(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有しており、
上記台座は、上記一方のプレートの中央のみに配置されており、該台座の直径は、上記基板の直径の２分の１〜５分の１であり、
上記一方のプレート体は、上記台座のみによって上記基板を支持するものであり、
上記他方のプレート体における上記一方のプレート体と対向する側の面には、対向配置させた上記一方のプレートの上記台座に貼着された上記基板を当該台座に向けて押しつける押さえ治具が設けられており、
上記押さえ治具は、上記他方のプレート体の中央の、上記台座の上面に対向する位置に設けられており、
上記一対のプレート体は、密閉された上記中空体を形成しており、
上記台座および上記押さえ治具のみが、上記中空体に収容される上記基板と接触することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
上記周縁部は、対向配置させた上記他方のプレート体に向けて突出していることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
上記周縁部同士の対向部分には、上記中空体を密閉するための弾性体が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
上記一方のプレート体の上記周縁部は、上記台座を中心として円形に構成されており、
上記他方のプレート体の上記周縁部は、上記一方のプレート体の上記周縁部と合致する形状を有しており、
上記弾性体は、上記円形の周縁部の上に配置されるＯリングであることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
上記円形の周縁部の上には、上記Ｏリングに沿って、凹溝が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有しており、
上記台座は、上記一方のプレートの中央のみに配置されており、該台座の直径は、上記基板の直径の２分の１〜５分の１であり、
上記一方のプレート体は、上記台座のみによって上記基板を支持するものであり、
上記台座における当該基板との対向面の一部分が基板に対して貼着性を有するように、上記基板の片面を貼着する粘着シートが、当該対向面に散在していることを特徴とする基板収納容器。
【請求項７】
上記粘着シートは、上記基板の側の面が、上記台座の側の面に比べて弱い粘着力を示すシートであることを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。
【請求項８】
上記クランプは、対向配置させた上記一対のプレート体の外周部分を挟持することによって、プレート体同士を互いに固定するように構成されていることを特徴とする請求項１から７までの何れか１項に記載の基板収納容器。
【請求項９】
請求項１から８までの何れか１項に記載の基板収納容器を複数個収納することができる搬送容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハなどの基板を収納するための容器と、当該容器を搬送するための搬送容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のウエハ搬送に用いられる容器は、その容器形状によらず、回路が形成されているウエハ表面を汚染することなく搬送するために設計されている。したがって、回路が形成されていないウエハのエッジ部分を、例えば容器に設けられた溝に挿入したり、容器に取り付けられたバネなどに接触させたりすることで、ウエハを固定し、容器内に保持している。このような思想に基づいた技術は、市販品のＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）やＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）や、枚葉ケースなどがある。
【０００３】
ところが、これらの構成は、何れも、ウエハエッジを汚染してしまう虞が高く、且つ、ウエハを容器から取り出すプロセスが煩雑であるという問題がある。また、ウエハに搭載する回路の微細化に伴い、ウエハエッジに加え、ウエハ外周部端面であるウエハベベルの状態が半導体製造プロセスに影響を与え、液浸リソグラフィー工程ではウエハエッジに付着した汚染物質が露光に影響を及ぼす虞がある。
【０００４】
そこで、これらの問題を解消させた容器が、例えば、特許文献１〜４に開示されている。特許文献１〜４の各技術について、簡単に説明する。
【０００５】
特許文献１には、ウエハ製造後からチップ切断までの工程でウエハが割れてしまうことを防止することを目的とした、ウエハを搬送する容器について記載している。特許文献１の容器は、図１６が示すように、ウエハ保持部１０１上の数箇所に配置した導電性粘着材１０２により、ウエハ１０３を固定する、また剥離の際は剥離用穴１０４下からウエハ１０３を突き上げて剥離するように構成されている。また容器の外周部には、ウエハの向きを認識するための切り欠き等の目印を付けて、これを自動で検査するための自動検査装置での位置合わせを容易にし、機械式固定ができるよう溝１０５が設けられている。
【０００６】
特許文献２〜４には、基材２０１に設けられた複数の突起２０４が、保持層２１０を介して、ウエハ２２０を間接的に支持する基板収納容器２３０について記載されている。具体的には、図１７および図１８に示すように、基材２０１の周縁部２０２を除く表面２０３は浅く凹み形成され、この凹んだ表面２０３から複数の突起２０４が間隔をおき上方に突出してその平坦な先端面を保持層２１０の裏面２１１に接触させており、これら複数の突起２０４と保持層２１０の裏面２１１との間には、空気流動用の区画空間２０５が形成される。複数の突起２０４は、基材２０１の周縁部２０２と略同じ高さに揃えられ、各突起２０４が剛性の円柱形あるいは円錐台形に形成されており、ウエハ２２０を、保持層２１０を介し間接的に支持する。基材２０１の厚さ方向には、区画空間２０５に連通するウエハ２２０取り外し用の給排孔２０６が穿孔され、この複数の突起２０４間に位置する給排孔２０６には、バキューム装置２０７が着脱自在に接続される。そして、このバキューム装置２０７が動作し、保持層２１０が複数の突起２０４のパターンに応じて凸凹に変形するとともに、この凸凹の保持層２１０とウエハ２２０との間に空気流入用の隙間が生じることにより、保持層２１０に粘着保持されたウエハ２２０が取り外し可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−１０９８７９号公報（１９９３年４月３０日公開）
【特許文献２】特開２００６−３１９０１２号公報（２００６年１１月２４日公開）
【特許文献３】特開２００６−３１５６９５号公報（２００６年１１月２４日公開）
【特許文献４】特開２００６−３１８９８４号公報（２００６年１１月２４日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した従来技術では、例えば図１６に示すように、容器に固定したウエハ１０３のエッジ部分（ウエハエッジおよびウエハベベル）が、溝１０５が形成されたウエハ保持部１０１の周縁部が接近しているため、特許文献１に記載のように、ウエハ１０３を取り外す際には、剥離用穴１０４を利用しなければならず、プロセスが煩雑であるとともに、仮に、ウエハ１０３のエッジ部分とウエハ保持部１０１の周縁部との間に治具を差し込んでウエハ１０３を剥離しようとしても、治具がウエハ１０３のエッジ部分に接触し、エッジ部分を汚染してしまう。また、剥離用穴１０４が容器内部と外部とを連通するように設けられていることから、図１６の容器は、ウエハを収納して外部に持ち出すための収納容器としては適さない。
【０００９】
また、図１７に示した技術においても、ウエハ２２０のエッジ部分まで、基材２０１の周縁部２０２上に設けられた保持層２１０が密着しており、ウエハを取り外す際には、給排孔２０６およびバキューム装置２０７が必須構成である。また、保持層２１０の粘着物質が、ウエハ２２０のエッジ部分を汚染する虞がある。また、給排孔２０６が設けられていることから、図１６の場合と同様に、ウエハ２２０を外部に持ち出すための収納容器としては適さない。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板（ウエハ）を密閉した状態で輸送することが可能で、且つ、基板の表面およびエッジ部分を汚染することなく、容易に容器への着脱を可能にした基板収納容器およびそれを搬送するための搬送容器を提供することにある。
【００１１】
すなわち、上記の課題を解決するために、本発明に係る基板収納容器は、
周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有していることを特徴としている。
【００１２】
上記の構成によれば、一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面に、対向配置させた上記他方のプレート体に向けて突出した台座が設けられており、基板の片面に貼着することによって当該基板を支持固定することができることから、片面保持型の基板（ウエハ）収納容器として用いることができる。そのため、基板の表面に接触することなく容器に収納することができるので、当該表面を汚染することがない。
【００１３】
また、特に、この台座が、基板の片面における外周部分よりも内側に貼着するように構成されており、一方のプレート体の上記周縁部よりも、他方の上記プレート体に向けて突出していることから、一方のプレート体の周縁部と基板の外周部分（エッジ部分）との間に比較的広い隙間ができる。そのため、貼着させた基板を取り外す際に、適切な治具を、その隙間から当該貼着させた面に容易に挿入することができ、当該面を支持することにより、基板を容易に台座から取り外すことができる。すなわち、従来構成のように、剥離用穴や給排孔を設けることなく、従来構成に比べて基板の台座への着脱を簡易な操作によって実施することができる。
【００１４】
また、上記の構成によれば、プレート体に剥離用穴や給排孔を設ける必要がない。そのため、中空部分を密閉できるので、ウエハを収納して外部に持ち出す場合であっても、当該ウエハが外部にある物質によって汚染されることがない。
【００１５】
また、クランプを設けることによって、一方のプレート体と他方のプレート体とを対向配置させた際に、その対向構造を確実に維持することができる。
【００１６】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記周縁部は、対向配置させた上記他方のプレート体に向けて突出していることが好ましい。
【００１７】
上記の構成によれば、上記周縁部が突出した構造となっているため、上記クランプを上記周縁部に取り付ける場合であっても、周縁部の強度を補強し、プレート体に耐久性を付与することができる。
【００１８】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
対向配置させた上記一方のプレートと上記他方のプレートとの接合部分には、上記中空体を密閉するための弾性体が設けられていることが好ましい。
【００１９】
上記の構成によれば、上記中空体をより確実に密閉することができ、当該ウエハが外部による汚染に曝されることがない。
【００２０】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記一方のプレート体の上記周縁部は、上記台座を中心として円形に構成されており、
上記他方のプレート体の上記周縁部は、上記一方のプレート体の上記周縁部と合致する形状を有しており、
上記弾性体は、上記円形の周縁部の上に配置されるＯリングであることが好ましい。
【００２１】
上記の構成によれば、Ｏリングという比較的シンプルな部材によって、中空体をより確実に密閉することができる。
【００２２】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記円形の周縁部の上には、上記Ｏリングに沿って、凹溝が形成されていることが好ましい。
【００２３】
上記の構成によれば、上記凹溝に上記Ｏリングを嵌めることによって、Ｏリングが所定位置から外れることを防ぐことができるため、操作性を更に容易にすることができる。
【００２４】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記台座は、上記一方のプレートの中央に配置されていることが好ましい。
【００２５】
上記の構成によれば、台座を一方のプレートの中央に配置することにより、台座に支持固定された基板の貼着面の外周領域を広く確保することができ、台座への着脱操作性をより一層簡便なものとすることができる。
【００２６】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記台座における当該基板との対向面の一部分が基板に対して貼着性を有するように、上記基板の片面を貼着する粘着シートが、当該対向面に散在していることが好ましい。
【００２７】
上記の構成によれば、台座の全面に粘着シートが設けられている場合と比較して、台座から基板を容易に取り外すことができる。
【００２８】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記粘着シートは、上記基板の側の面が、上記台座の側の面に比べて弱い粘着力を示すシートであることが好ましい。
【００２９】
上記の構成によれば、基板を取り外す際に粘着シートが基板に粘着して台座から剥がれることを防ぐことができる。
【００３０】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記クランプは、対向配置させた上記一対のプレート体の外周部分を挟持することによって、プレート体同士を互いに固定するように構成されていることが好ましい。
【００３１】
上記の構成によれば、周縁部が設けられているプレート体の外周部分を挟持するという簡易な構成によって、上記中空体の形状を維持することができる。
【００３２】
また、本発明に係る基板収納容器は、上記の構成に加えて、
上記他方のプレート体における上記一方のプレート体と対向する側の面には、対向配置させた上記一方のプレートの上記台座に貼着された上記基板を当該台座に向けて押さえる押さえ治具が設けられていることが好ましい。
【００３３】
上記の構成によれば、収納する基板の表面に対して分析処理などを行なう必要がない場合には、基板の表面に、他方のプレート体に設けた上記押さえ治具を接触させて、基板を台座に向けて押さえつけることができるので、中空体の内部において基板を台座に確実に固定させることができる。
【００３４】
また、本発明には、上述した構成の基板収納容器を複数個収納することが可能な搬送用の搬送容器も含まれる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように、本発明に係る基板収納容器は、
周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有していることを特徴としている。
【００３６】
これにより、基板（ウエハ）を密閉した状態で輸送することが可能で、且つ、基板の表面およびエッジ部分を汚染することなく、容易に容器への着脱を可能にした基板収納容器およびそれを搬送するための搬送容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板収納容器の構成を示す上面図である。
【図２】図１に示した基板収納容器の構成を示す断面図である。
【図３】図中の（ａ）は図１に示した基板収納容器の一部の構成を示す上面図であり、図中の（ｂ）は（ａ）に示した構成の断面図である。
【図４】図１に示した基板収納容器の一部の構成を示す上面図である。
【図５】図１に示した基板収納容器の構成を示す断面図である。
【図６】図１に示した基板収納容器の一部の構成を示す断面図である。
【図７】図中の（ａ）は図１に示した基板収納容器の一部の構成を示す上面図であり、図中の（ｂ）は（ａ）に示した構成の断面図である。
【図８】図中の（ａ）は図１に示した基板収納容器の一部の別例の構成を示す上面図であり、図中の（ｂ）は（ａ）に示した構成の断面図である。
【図９】図中の（ａ）および（ｂ）は図１に示した基板収納容器の一部の構成を示す上面図であり、図中の（ｃ）はその断面図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の別例の構成を示した断面図である。
【図１１】図１に示した基板収納容器を搬送するために収納する搬送容器の構成を示す図である。
【図１２】本実施形態における汚染評価機構の構成を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示した汚染評価機構の一部の構成を示す断面図である。
【図１４】図１２に示した汚染評価機構の一部の構成を示す断面図である。
【図１５】実施例に用いた基板収納容器の構成および寸法を示した断面図である。
【図１６】従来構成の図である。
【図１７】従来構成の図である。
【図１８】従来構成の図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
本発明に係る一実施形態について、図１から図１４を参照して以下に説明する。なお、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲が以下の実施形態及び図面に限定されるものではない。
【００３９】
本発明に係る基板収納容器は、半導体回路を実装するウエハなどの基板を収納するための容器として使用することができる。特に、本発明の基板収納容器によれば、基板のエッジ部分（ウエハの場合、ウエハエッジおよびウエハベベル）を汚染することがない。そこで以下では、まず基板収納容器の構成について説明し、続いて、エッジ部分の汚染の有無および汚染の度合いを評価する方法についても触れておく。
【００４０】
［基板収納容器の構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る基板収納容器５０の構成を示した上面図である。また、図２は、図１に示す切断線Ａ−Ａ´において基板収納容器５０を切断した状態を示した矢視断面図である。基板収納容器５０は、図２に示すように、対をなす２枚のプレート体（図１では片方のプレート体が示されている）１１・１２と、クランプ２とをその基本構成としている。本発明は、下側プレート体１１の構造に特徴を有している。以下、一対のプレート体１、およびクランプ２の構成について詳述する。
【００４１】
（一対のプレート体）
図２に示すように、一対のプレート体１は、下側プレート体１１（一方のプレート体）と、上側プレート体１２（他方のプレート体）とによって構成されている。
【００４２】
下側プレート体１１と上側プレート体１２とは円形であって、その大きさが合致しており、下側プレート体１１と上側プレート体１２とを対向配置することによって、円形を有した基板収納容器５０の外形が構成されている。
【００４３】
下側プレート体１１と上側プレート体１２として用いられる材料としては、収納する基板を汚染しない素材であればよく、収納する基板によって適宜選択すればよい。
【００４４】
下側プレート体１１の周縁には下側周縁部１１ａ（一方のプレート体の周縁部）が設けられており、上側プレート体１２の周縁には上側周縁部１２ａ（他方のプレート体の周縁部）が設けられている。そのため、下側周縁部１１ａと上側周縁部１２ａとを対向させて接合することによって、下側プレート体１１と上側プレート体１２との対向部分に、下側プレート体１１と上側プレート体１２と下側周縁部１１ａと上側周縁部１２ａとによって囲まれた中空部１３を形成することができる。
【００４５】
この中空部１３には、基板（不図示）を収納することができる。中空部１３の大きさとしては、基板の規格に併せて適宜設計すればよい。
【００４６】
以下、下側プレート体１１および上側プレート体１２それぞれについて、その構成の詳細を説明する。
【００４７】
（下側プレート体）
図３の（ａ）は下側プレート体１１の上面図であり、図３の（ｂ）は（ａ）に示す切断線Ａ−Ａ´において下側プレート体１１を切断した状態を示した矢視断面図である。図３の（ｂ）において紙面上側が上側プレート体１２との対向側に相当し、紙面下側が基板収納容器５０の外面の一部に相当する。
【００４８】
下側プレート体１１には、図３の（ｂ）に示すように、上述した下側周縁部１１ａに加えて、台座１４が設けられている。
【００４９】
台座１４は、下側プレート体１１の中心部にあり、対向配置させる上側プレート体１２に向けて突出した構造を有している。
【００５０】
なお、本実施形態では、図２および図３の（ｂ）に示すように、台座１４が下側プレート体１１の一体的に構成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、それぞれが別体から構成されていてもよい。
【００５１】
また、本実施形態では、図２および図３の（ｂ）に示すように、下側プレート体１１における台座１４の背面部分が凹構造になっているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、台座１４の背面部分に凹構造を設けず、下側プレート体１１の外面が平面になっていてもよい。
【００５２】
台座１４が下側プレート体１１とは別体から構成されている場合、台座１４は下側プレート体１１と同一材料から構成されていてもよいが、別材料から構成してもよい。別材料から構成する場合も、台座１４は、収納する基板を汚染しない素材であればよく、収納する基板によって適宜選択すればよい。
【００５３】
台座１４の上面形状は、例えば図３の（ａ）に示すように円形とすることができるが、本発明はこれに限定されるものではなく、後述するように、粘着シートを介して基板を支持固定することができれば良く、例えば、楕円であっても矩形であってもよく、リング状（環状）であってもよい。
【００５４】
台座１４の上面（円形）の直径は、収納する基板の直径の２分の１〜５分の１とすることができるが、これに限定されるものではなく、基板より小さく、基板をのせたときに基板を水平に保つことができればよい。
【００５５】
台座１４の上面図を、図４に示す。図４に示すように、台座１４の上面には、粘着シート１８が貼り付けられている。粘着シート１８は、台座１４の上面の全面に配設されているのではなく、散在するように構成されている。例えば、５ｍｍ角の粘着シート１８を４枚、図４に示すように、台座１４の上面貼り付けることができる。これにより、台座１４の全面に粘着シート１８が設けられている場合と比較して、台座１４から基板（不図示）を容易に取り外すことができる。しかし、粘着シート１８の大きさ、散在数、および散在位置については、これに限定されるものではなく、粘着シート１８を構成する粘着材の粘着強度などによって適宜設定することができる。
【００５６】
粘着シート１８としては、基材と、当該基材における基板に接触する側の面に設けられた基板側粘着材と、当該基材における台座１４に接触する側の面に設けられた台座側粘着材とによって構成されている。ここで、基板側粘着材は台座側粘着材に比べて弱い粘着力を示す粘着材から構成されている。これにより、基板を取り外す際に粘着シート１８が基板に粘着して台座１４から剥がれたり、基板側粘着材が基板に移行したりすることを防ぐことができる。
【００５７】
下側周縁部１１ａは、図３の（ａ）に示すように、円形を有する下側プレート体１１の外周において、台座１４と同じく、対向配置させる上側プレート体１２に向けて突出した構造を有している。すなわち、下側周縁部１１ａを上面からみると、図３の（ａ）に示すように、リング状に設けられている。
【００５８】
下側周縁部１１ａは、下側プレート体１１と上側プレート体１２とを対向配置させた際に、上側プレート体１２に設けられた上側周縁部１２ａと対向するように構成されており、各々の対向面は接合できる構造となっている。下側周縁部１１ａの当該対向面は、後述する凹溝１５を除いて平面であってもよいが、図２に示すように、上側プレート体１２の上側周縁部１２ａとの接合を容易にするべく、ガイドとなるような構造を有していてもよい。例えば、図３の（ｂ）では、下側周縁部１１ａにおける台座１４に近い側の端部がガイド構造１７となっている。このガイド構造１７は、上側プレート体１２との対向配置時に、上側周縁部１２ａの台座１４に近い側の端部よりも台座１４側に位置し、対向配置を容易におこなうことができるように構成されており、基板収納容器５０の操作性を簡便なものとしている。
【００５９】
下側周縁部１１ａが下側プレート体１１とは別体から構成されている場合、下側周縁部１１ａは下側プレート体１１と同一材料から構成されていてもよいが、別材料から構成してもよい。別材料から構成する場合、下側周縁部１１ａとして用いられる材料は、収納する基板を汚染しない素材であればよく、収納する基板によって適宜選択すればよい。
【００６０】
下側周縁部１１ａにおける、台座１４に近い側の端部とは反対側の端部は、後述するクランプ２の構造に併せた構造となっている。
【００６１】
また、下側周縁部１１ａにおける上側周縁部１２ａとの対向面には、凹溝１５が形成されている。この凹溝１５は、図３の（ａ）に示すように、下側周縁部１１ａに沿ってリング状に設けられており、内部にはＯリング１６（弾性体）が挿入されている。このように凹溝１５を設けることによって、Ｏリング１６が所定位置から外れることを防ぐことができるため、操作性を更に容易にすることができる。
【００６２】
Ｏリング１６は、下側プレート体１１と上側プレート体１２とを対向配置させた際に、中空部１３を密閉するために設けられている。Ｏリング１６としては、耐薬品性、耐熱性、シール性に優れたものと用いることが好ましく、具体的には、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどを用いることができる。
【００６３】
本発明の特徴的構成は、台座１４が、下側周縁部１１ａよりも、対向配置させた上側プレート体１２に向けて突出している点にある。換言すれば、台座１４の上記上面が、下側周縁部１１ａの上記上面よりも、対向配置させた上側プレート体１２の側に近い位置にある。図３の（ｂ）は、この点を明示している。図３の（ｂ）に示すように、台座１４の上記上面は、下側周縁部１１ａの端部１７の上端よりも、図中にＣで示した高さほど、上側プレート体１２の側に位置している。高さＣとしては、収納した基板を取り出す際に取り出し用の治具を挿入することができる程度であればよい。
【００６４】
このように、台座１４が下側周縁部１１ａよりも、対向配置させた上側プレート体１２に向けて突出している構成とすることにより、基板を台座１４に支持固定した際に、基板のエッジ部分４０ａが上側プレート体１２の上側周縁部１２ａに対向する位置となる。この状態を図５に示す。図５は、図２に示した断面構造において、基板４０を台座１４に支持固定した状態を示す。
【００６５】
ここで「基板のエッジ部分」とは、基板の外周部端面と、それに隣接する基板表面および裏面の外周部分に相当し、ウエハではウエハエッジおよびウエハベベルをさす。
【００６６】
基板４０と下側周縁部１１ａとを、図５に示す位置関係で実現することによって、基板４０のエッジ部分と下側周縁部１１ａとの間に、治具を挿入するスペースが充分に確保される。そのため、図６に示すような、治具３０を、基板４０のエッジ部分と下側周縁部１１ａとの間から挿入することができる。これにより、治具３０を用いて、基板４０の台座１４側の面に吸着するなどして、基板４０を台座１４から容易に取り外すことができ、取り外しの際に、下側周縁部１１ａが基板４０のエッジ部分に接触したり、治具３０が基板４０のエッジ部分に接触したりする虞がなく、基板４０のエッジ部分を汚染する虞がない。
【００６７】
（上側プレート体）
図７の（ａ）は上側プレート体１２の上面図であり、図７の（ｂ）は（ａ）に示す切断線Ａ−Ａ´において上側プレート体１２を切断した状態を示した矢視断面図である。図７の（ｂ）において紙面下側が下側プレート体１１との対向側に相当し、紙面上側が基板収納容器５０の外面の一部に相当する。
【００６８】
上側プレート体１２は下側プレート体１１と同径を有している。上側プレート体１２における下側プレート体１１との対向側の外周部分には、上側周縁部１２ａは設けられているが、下側プレート体１１にあるような台座１４はなく、図５に示すように、下側プレート体１１の台座１４に支持固定された基板４０を覆う空間が設けられていればよい。
【００６９】
また、上側プレート体１２における上面（下側プレート体１１との対向側とは反対側の面）には、図７の（ａ）および（ｂ）に示すようにリング状の突起部１２ｂが設けられていてもよい。このリング状の突起部１２ｂは、下側プレート体１１の台座１４の裏側に凹部分に挿入できる径のリングであり、収納容器を複数個重ね合わせたときの位置合わせ部として機能する。
【００７０】
なお、本実施形態では、上側周縁部１２ａには下側周縁部１１ａに設けられている凹溝１５はないが、本発明はこれに限定されるものではなく、凹溝が上側周縁部１２ａにもあってもよく、下側周縁部１１ａの代わりに上側周縁部１２ａのみに凹溝が設けられていてもよい。
【００７１】
上側プレート体１２としては、下側プレート体１１と同一材料から構成されていてもよいが、別材料から構成してもよい。
【００７２】
（上側プレート体の別例）
ここで、上側プレート体１２の変形例を説明する。
【００７３】
図８は、上側プレート体の変形形態を示した断面図である。図８に示す上側プレート体１２´は、その下側プレート体１１との対向側に、台座１４に支持固定した基板４０の表面に接触して、基板４０を台座１４に向けて押さえる押さえ治具１９が設けられている点で、上述した上側プレート体１２とは異なっている。
【００７４】
この変形例は、基板４０の表面が汚染されることを問わない場合、すなわち基板４０のうち、汚染を回避しなければならない箇所がエッジ部分のみの場合、に適用することができる。
【００７５】
押さえ治具１９は、図８に示すように、弾性体から構成される複数の羽部１９ａを有しており、この羽部１９ａの一端である自由端が、基板４０の表面に接触する構造となっている。
【００７６】
押さえ治具１９は、上側プレート体の中央、すなわち、台座１４の上面に対向する位置に設けられていれば、効果的に基板４０を押さえることができるので好ましい。なお、図８では、中央に１つの押さえ治具１９が設けられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば台座１４の対向領域に複数個設けられてもよい。
【００７７】
押さえ治具１９を構成する材料としては、耐摩耗性、耐薬品性などが優れており、且つ、基板を汚染しない素材のものを用いる。
【００７８】
（クランプ）
クランプ２は、対向配置させた下側プレート体１１と上側プレート体１２とを固定するために設けられている。
【００７９】
図９の（ａ）および図９の（ｂ）は、クランプ２の上面図であり、図９の（ｃ）は、図９の（ａ）に示す切断線Ａ−Ａ´においてクランプ２を切断した状態を示した矢視断面図である。
【００８０】
図９の（ａ）および図９の（ｂ）に示すように、クランプ２は開裂可能な環状の固定具である。図９の（ａ）は開裂した状態のクランプ２であり、中央にヒンジ２ａを設けることによって、クランプ２が開閉自在になっている。図９の（ｂ）は環状のクランプ２を示しており、端部同士を固定するための固定部２ｂが設けられている。
【００８１】
図９の（ｃ）に示す断面図には、説明の便宜上、下側プレート体１１の下側周縁部１１ａおよび上側プレート体１２の上側周縁部１２ａとを破線で示している。クランプ２における下側周縁部１１ａおよび上側周縁部１２ａとの接続部分は、図９の（ｃ）に示すように、下側周縁部１１ａおよび上側周縁部１２ａの端部構造に合致する構造とすればよい。図９の（ｃ）では、クランプ２の上記接続部分には、下側周縁部１１ａおよび上側周縁部１２ａの端部構造に合致する凹溝が設けられている。
【００８２】
クランプ２を、対向配置させた下側プレート体１１および上側プレート体１２に固定するためには、図９の（ａ）に示すようにクランプ２を開裂させた状態で、対向配置させた下側プレート体１１および上側プレート体１２の外周部に配置し、クランプ２の上記凹溝に、下側周縁部１１ａおよび上側周縁部１２ａの端部構造を挿入しながら、クランプ２を環状に変形させ、最後に固定部２ｂで固定すればよい。
【００８３】
［基板収納容器の構成による作用効果］
以上のような基板収納容器の構成によれば、下側プレート体１１に台座１４を設けることにより、基板４０と下側周縁部１１ａとを、図５に示す位置関係で実現することによって、基板４０のエッジ部分と下側周縁部１１ａとの間に、比較的広い隙間を形成することができる。これにより、この隙間に図６に示すような治具を挿入し、基板４０の台座１４側の面に治具を接触させたり、吸着させたりするなどして、基板４０を台座１４から容易に取り外すことができる。この取り外しの際に、台座１４によって基板４０のエッジ部分が下側周縁部１１ａから離された位置に支持されるので、下側周縁部１１ａが基板４０のエッジ部分に接触したり、治具３０が基板４０のエッジ部分に接触したりする虞がなく、基板４０のエッジ部分を汚染する虞がない。
【００８４】
また、上記の構成によれば、下側プレート体１１にも上側プレート体１２にも従来構成にあるような剥離用穴や給排孔を設ける必要がない。すなわち、対向配置された下側プレート体１１と上側プレート体１２とによって密閉された中空部分を形成することができるので、基板収納容器５０ごと基板４０を外部に持ち出す場合であっても、基板４０が外気に触れることはなく、基板４０が汚染される虞がない。
【００８５】
また、クランプ２を設けることによって、下側プレート体１１と上側プレート体１２とを対向配置させた際に、その対向構造を確実に維持することができ、信頼性のある基板収納容器５０を提供することができる。
【００８６】
［基板収納容器の別例］
上述した実施形態では、下側プレート体１１に、対向させた上側プレート体１２に向けて突出した下側周縁部１１ａが設けられた構成を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、図１０に示す下側プレート体１１´と上側プレート体１２´との組み合わせであってもよい。図１０に示す形態では、下側プレート体１１´は、台座１４以外は、面一となっており、下側周縁部１１ａ´は突出していない。一方、上側プレート体１２´の上側周縁部１２ａ´は、上述した実施形態の上側周縁部１２ａに比べて対向させた下側プレート体１１に向けてより大きく突出した構造となっている。上側周縁部１２ａ´の突出量は、上述した実施形態の下側周縁部１１ａの突出量と上側周縁部１２ａの突出量とを合わせた長さがある。
【００８７】
図１０の基板収納容器であっても、従来構成の課題を解決することができ、上述した実施形態と同様の効果を奏する。
【００８８】
以下に、上述した基板収納容器５０を複数個収納することが可能な搬送用の搬送容器について説明する。
【００８９】
［搬送容器］
図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、基板収納容器５０を複数個収納することが可能な搬送用の搬送容器を示した図であり、図１１（ａ）は搬送容器の蓋が開封された状態の図であり、図１１（ｂ）は搬送容器の蓋が閉じられている状態の図である。
【００９０】
搬送容器２０は、開口している本体２０ａと、その開口部分を覆う蓋２０ｂとを有している。
【００９１】
図１１（ａ）に示すように、搬送容器２０の本体２０ａには、基板収納容器５０を収納するスペースである窪み２１ａが設けられた梱包部２１が設けられている。図１１（ａ）では窪み２１ａが１つだけ示されており基板収納容器５０を１つだけ収納することしかできないようにみえるが、本実施形態の搬送容器２０では、１つの窪み２１ａに１つの基板収納容器５０（図１）を収納したものが搬送容器２０の本体２０ａ内で複数積み重なっている。
【００９２】
窪み２１ａは、基板収納容器５０の外形と略合致しており、窪み２１ａに収納した基板収納容器５０が搬送中に振動することを防いでいる。
【００９３】
梱包部２１としては、振動吸収性などが優れているものが好ましい。
【００９４】
搬送容器２０の蓋２０ｂは、図１１（ｂ）に示すように本体２０ａの開口部分を覆うことができる。また、蓋２０ｂが不都合に開かないように、搬送容器２０には、ベルト２２が本体２０ａと蓋２０ｂとに渡って設けられている。
【００９５】
また、搬送容器２０の本体２０ａの側面には、図１１（ｂ）に示すように袋取手部２３を設けることができる。これにより、人が搬送容器２０を持ち上げたりする際に、その作業がおこない易い。
【００９６】
最後に、基板収納容器５０（図１）に収納される基板のエッジ部分の汚染評価方法の一例について説明する。
【００９７】
［汚染評価機構］
汚染評価機構の一形態について図１２から図１４に基づいて説明する。図１２は、本実施形態における汚染物回収機構の構成を示した図である。
【００９８】
本実施形態の汚染物回収装置６０は、図１に示すように、ウエハ回転体６１と、回収治具７０とを備えており、基板４０のエッジ部分に付着または含有した汚染物を、回収用の液体を、基板４０のエッジ部分のみに接触させることによって回収することができる。
【００９９】
ウエハ回転体６１は、基板４０の表面が水平になるように基板４０の下面（基板収納容器５０の台座１４と接触する面）を下方から保持し、垂直方向の回転中心軸を中心として、基板４０の表面を水平に維持した状態で回転させることができる。
【０１００】
回収治具７０は、基板４０のエッジ部分に付着または含有した汚染物を捕集することができる液体を、内部に貯留させることができるように構成されている。
【０１０１】
ここで、汚染物とは、ナトリウム、マグネシウム、アルミニウム、カリウム、マンガン、亜鉛などの金属元素が挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではなく、液体に捕集されるのことが可能な物質であれば適用することができる。
【０１０２】
回収治具７０は、このような液体を、基板４０のエッジ部分に接触させるのとと同時に回収することができるように構成されている。
【０１０３】
以下に、図１３を用いて、回収治具７０の具体的な構成について説明する。図１３は、図１２に示す切断線Ａ−Ａ´において回収治具７０を切断した状態を示した矢視断面図である。
【０１０４】
回収治具７０は、図１３に示すように、回収本体７１と、制御手段７２とから構成されている。
【０１０５】
回収本体７１は、内径が互いに異なる円筒構造であって、互いに連通した本体下部７１ａと本体上部７１ｂとから構成されている。
【０１０６】
本体下部７１ａと本体上部７１ｂとは、各々の軸心が、水平に対して垂直である軸Ｘに沿って並んだ構成となっている。本体下部７１ａと本体上部７１ｂとの境界部分には、その外形が、当該軸心から放射状に突出しているフランジ部７３が形成されている。
【０１０７】
本体下部７１ａ、本体上部７１ｂ、および、フランジ部７３の材質は、耐薬品性を考慮するとともに、後述する液体を貯留可能な貯留部を制御手段によって密閉する際の密閉性を確保することを考慮すればよく、また、汚染物の分析処理において分析に影響を与えない材料であれば、特に限定されるものではない。また、製造方法も特に限定されるものではないが、例えば、射出成型によって一体成型することができほか、押し出し成型や圧縮成型等を用いることもできる。
【０１０８】
本体下部７１ａには、上記液体を貯留可能な貯留部７４と、貯留部７４に貯留されている液体の一部を外部に露出させるための、貯留部７４と外部とを連通する貫通部７５とが設けられている。
【０１０９】
貯留部７４は、円筒構造の中空部に相当し、液体を、本体下部７１ａの下端から、フランジ部７３の高さの水位まで貯留することができる。特に限定されるものではないが、５００μＬ程度の容積とすることができる。
【０１１０】
上記貫通部７５は、上記円筒構造の曲面部に形成されており、図１３に示すように、貯留部７４と外部とを水平方向に連通しており、後述するように基板４０のエッジ部分を挿入させることができる。貫通部７５の大きさは、貯留部７４に貯留した液体が漏れ出ない程度の大きさを有している。貫通部７５の形成位置としては、特に限定されないが、本体下部７１ａの高さの中間位置に配置することができる。
【０１１１】
上記本体上部７１ｂは、図１３に示すように、軸Ｘに沿って、本体下部７１ａの上方に設けられており、本体上部７１ｂの上端は、後述する制御手段７２を挿入することができるように開口している。また、上記円筒構造の中空部に相当する空間の内径は、上記貯留部７４の内径よりも大きく構成されており、且つ、内壁の曲面部分の少なくとも一部分には、図１３に示すようにネジ山７６が形成されている。また、一例はネジ式であるが、注射器状のピストン式でも同様の効果を得ることができる。
【０１１２】
制御手段７２は、上記本体上部７１ｂの内壁に形成されたネジ山７６に螺合するネジ山７７を外面に有しており、螺合することによって、本体上部７１ｂの所定の位置に螺着することができる。また、制御手段７２は、軸心が、本体上部７１ｂの軸心と一致しており、外面にネジ山７７を有し、且つ軸心部分が雌ネジ７８となっている枠部７２ａと、当該雌ネジ７８のネジ山に螺合するネジ山を有した雄ネジ構造を有した芯部７２ｂとを有している。
【０１１３】
上記枠部７２ａは、その底面７９の外径は、貯留部７４の径よりも大きく構成されている。そのため、芯部７２ｂを枠部７２ａの雌ネジ７８に螺着させた状態で、ネジ山７７とネジ山７６とを螺合させて底面７９を本体上部７１ｂの内側の底面８０に接触させることにより、貯留部７４は、貫通部７５を除いて閉鎖空間となる。すなわち、ここに、貫通部７５を覆う高さまで貯留部７４に液体が貯留されていれば、貯留部７４の液体の液面と、底面７９との間に形成された密閉状態となる。
【０１１４】
上記芯部７２ｂは、雌ネジ７８と完全に螺着した状態で、底面が、枠部７２ａの底面７９と面一になるように構成されているが、雌ネジ７８との螺合の程度を変化させることによって、底面を、底面７９よりも上昇させることができる。芯部７２ｂと雌ネジ７８との螺合の調節は、芯部７２ｂを軸心を回転軸として回転させることによって行なうことができ、回転は、図示しない機器が行なってもよく、手動で行なってもよい。
【０１１５】
枠部７２ａ及び芯部７２ｂの材質は、耐薬品性を考慮するとともに、後述するように貯留部７４を密閉した際に密閉性を確保することを考慮すればよく、また、汚染物の分析処理において分析に影響を与えない材料であれば、特に制限されるものではない。
【０１１６】
本実施形態の汚染物回収装置６０（図１２）は、このような構成を具備した制御手段７２を回収治具７０に設けたことにより、貫通部７５に露出した液体を、基板４０のエッジ部分のみに接触させることができる。以下、図１４の（ａ）〜（ｃ）を用いて、制御手段７２の作用を詳述する。なお、図１４の（ａ）〜（ｃ）は、何れも、図１３に示した回収治具７０の断面に相当する。
【０１１７】
図１４の（ａ）は、基板４０に液体を接触させる接触工程の前の工程を示している。図１４の（ａ）の状態は、本体上部７１ｂの開口端に制御手段７２が挿入されて、本体上部７１ｂのネジ山７６と、制御手段７２のネジ山７７との螺合が開始された状態である。ここでの制御手段７２は、芯部７２ｂが枠部７２ａの雌ネジ７８と完全に螺着している。
【０１１８】
なお、この図１４の（ａ）の段階で、貯留部７４には、既に液体が貯留されている。貯留させる液体は、基板４０のエッジ部分に付着している汚染物、またはエッジ部分を構成している膜の内部に含まれている汚染物を回収できるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、希王水溶液、フッ化水素酸溶液を挙げることができる。特に注目すべきは、回収治具７０が、膜（エッジ部分を構成している膜）に対して溶解性のある薬液を用いることができる点にある。具体的には、回収治具７０であれば、ＳｉＯ２膜に対してはフッ過水素酸、Ｃｕ膜に対しては硝酸や王水を、回収液として用いることができる。
【０１１９】
また、本体上部７１ｂと制御手段７２とを螺合させる前に、各部材を適切な方法で洗浄しておく。これにより、各部材からの対象の汚染物の溶出を抑えることができる。特に、評価対象成分が金属元素であれば適切な酸及び超純水などで洗浄する。
【０１２０】
ここで、図１４の（ａ）では、一見すると、制御手段７２が螺合を開始して回収本体７１の中空部の容積が徐々に減少していくのに伴って、貯留部７４の液体の液面と、制御手段７２の底面（底面７９、及び芯部７２ｂの底面）との間に形成された空間の圧力が圧縮されることによって、当該液面を押し下げて、貫通部７５から液体が流出する虞が懸念されるところである。しかしながら、この制御手段７２には、図１４の（ａ）に示すように、枠部７２ａに通気孔８１が設けられている。そのため、制御手段７２の螺合によって上記空間の容積が徐々に減少しても、中空部の空気は通気孔８１を通じて外部に排出されるため、述したような流出の虞はない。
【０１２１】
ここで、図１４の（ａ）に示す状態では、貫通部７５にて外部に露出している液体は、露出部分の表面張力と、貫通部７５から流出しようとする圧力とがつり合った状態となっているだけで、その他の圧力は何ら受けていない。従って、仮に、この状態のもとで基板４０を貫通部７５に挿入して、貫通部７５の液体を基板４０のエッジ部分のみに接触させようとしても、基板４０の表面の比較的高い濡れ性の影響によって、貫通部７５の液体に対してかかる‘貫通部７５から流出しようとする圧力’が高くなるので、液体が半導体ウエハの表面に流れてしまい、基板４０のエッジ部分のみに接触させることはできない。そこで、図１４の（ｂ）は、図１４の（ａ）の状態から、本体上部７１ｂのネジ山７６と、制御手段７２のネジ山７７との螺合を更に進めて、制御手段７２の底面を本体上部７１ｂの内側の底面８０に接触させて螺着を完了させている。
【０１２２】
図１４の（ｂ）の工程では、枠部７２ａの通気孔８１は、底面８０によって封止されており、よって、液面から底面７９までの空間が完全な密閉状態となっている。
【０１２３】
このように液面から底面７９までの空間が完全な密閉状態となっていると、貫通部７５に露出している液体に対して、貯留部７４の液体からかかる圧力が、図１４の（ａ）の段階のそれと比較して、小さくなっている。そのため、図１４の（ｂ）の段階で基板４０を貫通部７５に挿入した場合、基板４０への液体の接触範囲を基板４０のエッジ部分に限定するように制御することができる場合がある。しかしながら、例えば基板４０表面に厚さ１００ｎｍのＳｉＯ２の膜が形成され、当該膜の基板４０のエッジ部分の汚染物をフッ化水素酸溶液などを用いて接触溶解させる場合には、ＳｉＯ２によってフッ化水素酸溶液がウエハの表裏面に引き出される虞が高い。従って、このような場合は、図１４の（ｂ）の段階であっても基板４０への液体の接触範囲を正確に制御することは困難である。そこで、本実施形態では、図１４の（ｂ）の段階に続けて、図１４の（ｃ）に示すように、芯部７２ｂを、枠部７２ａの雌ネジ７８との螺合を解除させる方向に回転させて、芯部７２ｂの底部を引き上げることができる。
【０１２４】
この図１４の（ｃ）の工程によって、上述した密閉された空間が減圧され、これに伴って、貯留部７４の液体の液面が制御手段７２の底面のほうへ引き上げられて、図１４の（ｂ）の段階で貫通部７５に露出した液体の露出液面が、貯留部７４側に引き込まれる。
【０１２５】
この図１４の（ｃ）の状態とすることで、図１４の（ｂ）の状態と比較して、貫通部７５に露出している液体が貯留部７４側に強く引き込まれている。そのため、上述したようなＳｉＯ２の膜が形成された基板４０を貫通部７５に挿入した場合であっても、貫通部７５に露出している液体をＳｉＯ２の膜の表面に引き出そうとする力に比べて、制御手段７２による、貫通部７５に露出している液体を貯留部７４側に留めようとする力のほうが上回っている状態を実現することができる。
【０１２６】
この図１４の（ｃ）の状態を実現した後、または実現している間に、基板４０を貫通部７５に挿入すると、基板４０の表面状態に影響を受けることなく、基板４０のエッジ部分のみに液体を接触させることができる。このように貫通部７５に露出している液体を基板４０に接触させている間、制御手段７２の枠部７２ａ及び芯部７２ｂの位置を変化させる必要はない。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、基板４０と液体とが接触している最中に、制御手段７２の枠部７２ａを回転させて、貫通部７５への液体の露出状態を制御してもよい。
【０１２７】
図１４の（ｃ）の状態で実現することができる基板４０のエッジ部分への液体の接触範囲は、液体の種類や、貫通部７５の大きさ、基板４０の表面の性質にもよるが、後述する実施例に示すように、基板４０のエッジ部分の端部から、基板４０の中心に向けて、例えば長さ３００μｍで示される範囲を実現することができる。
【０１２８】
このように、本実施形態の汚染物回収機構によれば、制御手段７２が回収治具７０に設けられたことによって、貫通部７５にて基板４０と貫通部７５に露出した液体とが接触したときの、基板４０への液体の接触範囲を限定することができる。また、接触させた液体を効率良く回収することができる。このような回収治具７０を具備することによって、汚染物回収機構は、基板４０のエッジ部分のみから汚染物の有無などを分析することができる。
【０１２９】
回収治具７０によって回収された液体は、貯留部７４から取り出され、適切な測定装置を用いて汚染物を定量することにより、汚染状況の評価、判定をすればよい。定量操作は、評価対象成分毎に異なるが、特に評価対象成分が金属元素であれば、一般的には誘導結合プラズマ発光分析装置、誘導結合プラズマ質量分析装置、黒鉛炉原子吸光分析装置などにより測定する方法が用いられる。イオン成分、有機酸等についても、適切な溶解液（例えば超純水）の選択、イオンクロマトグラフ法などによって測定することができる。
【０１３０】
以下、実施例に基づいて、本発明に係る基板収納容器の効果について説明する。
【実施例】
【０１３１】
（本発明の基板収納容器）
図１５に、本実施例で用いた基板収納容器の断面とその寸法を示す。上側プレート体１２および下側プレート体１１は、ポリプロピレンによって構成されており、台座１４は下側プレート体１１と一体的に構成されている。クランプは、ポリアセタール製のものを用いた。
【０１３２】
この基板収納容器内に、３００ｍｍ径のシリコンウエハを基板として収納し、ウエハのエッジ部分が容器および容器中の気体によって金属元素に汚染されるか否かを評価した。ここで、収納前に、容器内の汚染を洗浄するために、台座１４上に粘着シート１８を配設する前の基板収納容器を希塩酸溶液中に１晩浸漬した後、超純水で洗浄し、クリーンルーム内で乾燥させた。粘着シート１８は、洗浄後にクリーンルーム内で台座１４上に配設した。
【０１３３】
基板は、この基板収納容器に収納した状態で、１週間、陸送輸送および空輸を複数回繰り返した。
【０１３４】
１週間経過後、真空ピンセットを取り外し用の治具３０（図６）を用いて、クリーンルーム内で、基板収納容器に収納した基板を取り外し、汚染の評価をおこなった。汚染の評価にあたっては、上述した汚染評価機構に基づいて評価をおこなった。
【０１３５】
（評価結果）
実施例の基板収納容器に収納した基板の汚染評価結果は、基板のエッジ部分の金属元素汚染が不検出（０．０２ｎｇ以下）であった。
【０１３６】
これにより、実施例の基板収納容器は、非接触、且つ、汚染に曝すことなく、基板を収納することができることが示された。
【産業上の利用可能性】
【０１３７】
本発明は、半導体ウエハといった基板の収納容器として利用することができる。
【符号の説明】
【０１３８】
１  一対のプレート体
２  クランプ
２ａ  ヒンジ
２ｂ  固定部
１１、１１´  下側プレート体
１１ａ、１１ａ´  下側周縁部
１２、１２´  上側プレート体
１２ａ、１２ａ´  上側周縁部
１２ｂ  リング状の突起部
１３  中空部
１４  台座
１５  凹溝
１６  Ｏリング
１７  端部（ガイド構造）
１８  粘着シート
１９  治具
１９ａ  羽部
２０  搬送容器
２０ａ  本体
２１  梱包部
２２  ベルト
２３  袋取手部
３０  治具
４０  基板
４０ａ  エッジ部分
５０  基板収納容器
６０  汚染物回収装置
６１  ウエハ回転体
７０  回収治具
７１  回収本体
７１ａ  本体下部
７１ｂ  本体上部
７２  制御手段
７２ａ  枠部
７２ｂ  芯部
７３  フランジ部
７４  貯留部
７５  貫通部
７６  ネジ山
７７  ネジ山
７８  雌ネジ
７９  底面
８０  底面
８１  通気孔
【図１】
0005642377.tif 000002
【図２】
0005642377.tif 000003
【図３】
0005642377.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005642377.tif 000006
【図６】
0005642377.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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