(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを保持して搬送する基板ホルダ搬送部と、
前記基板ホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、
前記ワゴンは、前記ワゴンを前記ワゴン設置部の内外に移動する移動手段を有し、
前記ワゴン設置部は、開閉可能な開閉部と、前記開閉部が開状態にある場合に、前記ワゴン設置部と当該めっき装置内部との雰囲気を遮断するための開閉自在なシャッタと、を有する
ことを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
前記移動手段はキャスタであり、前記キャスタにより前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離させることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記基板ホルダ搬送部は、前記ワゴンにおける前記基板ホルダの有無及び／又は位置を検知するセンサを有することを特徴とする請求項１または２に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記基板ホルダ搬送部及び前記ワゴン設置部の状態を監視制御する制御部と、前記制御部に対して前記ワゴンを移動させることを通知する通知手段を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項５】
前記ワゴンは、前記ワゴン設置部において前記ワゴンを固定するラッチハンドルを有し、前記ワゴン設置部は、ラッチ受けを有することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項６】
前記ワゴン設置部は、前記開閉部の開放を制限する開放部スイッチと、前記シャッタの開放を制限するシャッタスイッチとを有し、前記開放部スイッチと前記シャッタスイッチとは連動していることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項７】
ワゴンから基板ホルダを取り出し、
基板を前記基板ホルダで保持し、
前記基板を保持した前記基板ホルダを基板ホルダ搬送部によりめっき処理部に搬送し、
前記めっき処理部においてめっき処理を行い、
前記基板ホルダ搬送部が前記基板ホルダを前記ワゴンへ搬送し、前記基板ホルダを前記ワゴンに戻すこと
を自動で行うめっき方法であって、
前記めっき方法を実行するめっき装置の自動運転中に前記ワゴンの移動手段により前記ワゴンを前記めっき装置外に移動可能とし、
前記ワゴンを移動させる際に、前記ワゴンを前記めっき装置外に移動させる前に、シャッタを閉じて前記めっき装置内を外気から遮断し、前記ワゴンを前記めっき装置内に移動させた後に前記シャッタを開放して前記基板ホルダ搬送部が前記ワゴンにアクセスできるようにすることを特徴とするめっき方法。
【請求項８】
前記ワゴンはキャスタを有し、前記ワゴンを前記キャスタにより移動させる際に前記ワゴンは、前記めっき装置から分離することを特徴とする請求項７に記載のめっき方法。
【請求項９】
前記めっき装置の自動運転中、前記ワゴンを前記めっき装置外へ移動する前に、前記ワゴンの前記めっき装置外への移動を前記めっき装置の制御部に通知すること、をさらに含むことを特徴とする請求項７または８に記載のめっき方法。
【請求項１０】
基板を保持する基板ホルダと、
前記基板を前記基板ホルダに着脱するテーブルと、
前記基板ホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部と、
前記テーブルと前記ワゴン設置部との間に配置され、前記基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記テーブルと前記ワゴンとの間で前記基板ホルダを搬送する基板ホルダ搬送装置を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項１１】
基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを保持して搬送する基板ホルダ搬送部と、
前記基板ホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、
前記ワゴンは、前記ワゴンを前記ワゴン設置部の内外に移動する移動手段を有し、
前記ワゴン設置部には、前記ワゴンの位置及び高さを調整するためのガイドレールが設けられ、
前記ワゴンは、前記移動手段に加えて、前記ガイドレールに接して前記ワゴンの移動方向を規制するローラを有することを特徴とするめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の被めっき体（基板）の表面にめっきを行うめっき装置及びめっき方法に関し、特にウェハの表面に設けられた微細な配線用溝やホール、レジスト開口部にめっき膜を形成したり、半導体ウェハの表面にパッケージの電極等と電気的に接続するバンプ（突起状電極）を形成したりするのに好適なめっき装置及びめっき方法に関する。本発明のめっき装置及びめっき方法は、例えば内部に上下に貫通する多数のビアプラグを有し、半導体チップ等のいわゆる３次元実装に使用されるインターポーザまたはスペーサを製造する際にビアホールの埋め込みにも使用される。より詳細には、基板をホルダに設置し、そのホルダをめっき槽に浸漬させてめっきする（ディップ式の）めっき装置及びめっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板へのめっきの方式は、フェースダウン式と、ディップ式とに大別することができる。
【０００３】
フェースダウン式のめっきにおいては、基板、特にウェハは水平状態で、被処理面を下向きにヘッドにより保持され、めっきが行われる。一般的にヘッドは、めっき槽上部に配置され、各めっき槽に固定され使用される。めっき装置内の搬送ロボットがヘッドにウェハを受け渡す。一方、ディップ式のめっき装置はめっき槽のめっき液に基板ホルダで保持された基板を垂直に差し入れてめっきを行う。基板ホルダは、装置の運転前には基板ホルダを収納するためのストッカに収納され、運転を開始すると基板ホルダがストッカから取り出され、さらに処理すべきウェハが取り出した基板ホルダに保持される。基板を保持した基板ホルダは基板ホルダ搬送機によりめっき槽およびめっき処理に伴う各処理槽に搬送され、順次必要な処理が行われる。
【０００４】
従来のディップ式のめっき装置においては、給電不良などのトラブルが発見された基板ホルダをメンテナンスするには装置の運転を中断しなければならず、装置の稼働率が落ちるという問題があった。給電不良が発見された基板ホルダは、ストッカに戻され、メンテナンスを行うまで使用が制限される。めっき処理中は安全を確保するために装置内へのアクセスが制限されているため、基板ホルダをメンテナンスする場合は、少なくとも直前に開始されためっき処理が終了するまで待つ必要があった。使用が制限された基板ホルダはめっき処理に用いることは出来ないため、結果として単位時間当たりのスループットの低下を招いていた。また、従来のディップ式のめっき装置においては、基板ホルダを収納するストッカは、めっき装置の一部として分離困難に組み込まれており、ストッカに収納された基板ホルダのメンテナンスが必要となった場合には、基板ホルダをストッカから手作業や専用のホイストで取り出していた。あるいは、基板ホルダをストッカから、外部からアクセス可能とした装置内にあるデリバリ槽やサービスエリアに搬送して、同様に手作業や専用のホイストで取り出すといった方法が用いられていた。そのような基板ホルダを装置から取り出したり、また、装置へ戻したりする作業は大変手間がかかっていた。基板の大型化により、手作業の労力が増大し、ホイストの大型化が必要となるなど、メンテナンスの手間がかかるという問題はますます顕著になってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３９７９８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、基板ホルダへのアクセスが容易で、かつ、めっき装置でウェハの処理を行いながら、基板ホルダのメンテナンスが容易に行えるめっき装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態に係るめっき装置は、基板のめっき処理を行うめっき処理部と、前記基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを保持して搬送する基板ホルダ搬送部と、前記基板ホルダを収納するワゴンと、前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、前記ワゴンは、前記ワゴンを前記ワゴン設置部の内外に移動する移動手段を有し、前記めっき装置の前記ワゴン設置部は、開閉可能な開閉部と、前記開閉部が開状態にある場合に、前記ワゴン設置部と前記めっき装置内部との雰囲気を遮断するための開閉自在なシャッタと、を有することを特徴とする。
【０００８】
前記めっき装置の前記ワゴンの移動手段はキャスタであってもよく、前記キャスタにより前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離させてもよい。
【０００９】
前記めっき装置の前記基板ホルダ搬送部は、前記ワゴンにおける前記基板ホルダの有無及び／又は位置を検知するセンサを有してもよい。
【００１０】
前記めっき装置は制御部と、前記制御部に対して前記ワゴンを移動させることを通知する通知手段を有してもよい。
【００１１】
前記めっき装置の前記ワゴンは、前記ワゴン設置部において前記ワゴンを固定するラッチを有し、前記ワゴン設置部は、ラッチガイドを有してもよい。
【００１２】
前記めっき装置の前記ワゴン設置部は、前記開閉部の開放を制限する開放部スイッチと、前記シャッタの開放を制限するシャッタスイッチとを有してもよく、前記開放部ロックスイッチと前記シャッタロックスイッチとは連動してもよい。
【００１３】
また、本発明の一実施形態に係るめっき方法は、ワゴンから基板ホルダを取り出し、基板を前記基板ホルダで保持し、前記基板を保持した前記基板ホルダを基板ホルダ搬送部によりめっき処理部に搬送し、前記めっき処理部においてめっき処理を行い、前記基板ホルダ搬送部が前記基板ホルダを前記ワゴンへ搬送し、前記基板ホルダを前記ワゴンに戻すことを自動で行うめっき方法であって、
前記めっき装置の自動運転中に前記ワゴンの移動手段により前記ワゴンを前記めっき装置外に移動可能とし、前記ワゴンを移動させる際に、前記ワゴンを前記めっき装置外に移動させる前に、シャッタを閉じて前記めっき装置内を外気から遮断し、前記ワゴンを前記めっき装置内に移動させた後に前記シャッタを開放して前記基板ホルダ搬送部が前記ワゴンにアクセスできるようにすることを特徴とする。
【００１４】
前記めっき方法において、前記ワゴンはキャスタを有し、前記ワゴンを前記キャスタにより移動させる際に前記ワゴンは、前記めっき装置から分離してもよい。
【００１５】
前記めっき方法において、前記めっき装置の自動運転中、前記ワゴンを前記めっき装置外へ移動する前に、前記ワゴンの前記めっき装置外への移動を前記めっき装置の制御部に通知してもよい。
【００１６】
また、本発明の一実施形態に係るめっき装置に用いられる基板ホルダを収納するワゴンは、基板ホルダを収納する基板ホルダ収納部と、移動手段とを有してもよく、前記移動手段により前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離することを特徴とする。
【００１７】
前記ワゴンは、底部にドレインパンを有してもよい。
【００１８】
前記ワゴンは、アノードホルダを収納するアノードホルダ収納部をさらに有してもよい。
【００１９】
また、本発明の一実施形態に係るめっき装置に用いられるアノードホルダを収納するワゴンは、アノードホルダを収納するアノードホルダ収納部と、底部に設置されたドレインパンと、移動手段とを有し、前記移動手段により前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の一実施形態に係るめっき装置は、基板を保持する基板ホルダと、前記基板を前記基板ホルダに着脱するテーブルと、前記基板ホルダを収納するワゴンと、前記ワゴンを収納するワゴン設置部と、前記テーブルと前記ワゴン設置部との間に配置され、前記基板のめっき処理を行うめっき処理部と、前記テーブルと前記ワゴンとの間で前記基板ホルダを搬送する基板ホルダ搬送装置を有することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の一実施形態に係るめっき装置は、基板のめっき処理を行うめっき処理部と、前記基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを保持して搬送する基板ホルダ搬送部と、前記基板ホルダを収納するワゴンと、前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、前記ワゴンは、前記ワゴンを前記ワゴン設置部の内外に移動する移動手段を有し、前記ワゴン設置部には、前記ワゴンの位置及び高さを調整するためのガイドレールが設けられ、前記ワゴンは、前記移動手段に加えて、前記ガイドレールに接して前記ワゴンの移動方向を規制するローラを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、めっき装置でウェハ処理を停止することなくストッカ（ワゴン）に収納された基板ホルダを取り出し可能となり、単位時間当たりのスループットを低下することなく、メンテナンスを容易に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係るめっき装置の概要を示す側面図である。
【図２】図１のめっき装置の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板ホルダの構成を示す概要図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るワゴンの構成を示す概要図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るワゴンに切り欠き部を設けた一例を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るワゴン及びめっき装置に設けられたワゴン設置部との構成を示す概要図であり、（ａ）はワゴン設置部１６０の側面から見た図、（ｂ）はワゴン設置部１６０をめっき装置の背面から見た図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るめっき装置のワゴンにローラを設け、ワゴン設置部にガイドレールを設けた一例を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は、側面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の一実施形態に係るめっき装置のワゴン１５０にラッチ１５９を設け、ワゴン設置部１６０の扉１６１にラッチガイド１６９を設けた例を示す概要図であり、（ｂ）は、扉１６１のラッチガイド１６９を設けた面とラッチ１５９との関係を示す概要図であり、（ｃ）は、ラッチガイド１６９を設けた扉１６１の側面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るめっき装置の制御部２００と基板搬送部１４０及びワゴン設置部１６０等との接続関係を示すブロックダイアグラムである。
【図１０】本発明の一実施形態に係る基板ホルダ搬送部において、センサが設けられた例を示す概要図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係るワゴンのワゴン設置部への設置及び取り出しの手順の概要を示す概要図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係るワゴンのワゴン設置部への設置及び取り出しの手順の概要を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１及び図２を参照して、本発明の一実施形態に係るめっき装置全体について説明する。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の概要を示す側面図であり、図２は図1のめっき装置の平面図である。
【００２６】
本発明の一実施形態に係るめっき装置は、めっき装置フレーム１００に、基板ホルダ１１０（図３参照）と、基板５００を収納したＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の搬送容器を置くことができるロードポート１７０と、基板搬送ロボット１８０と、スピン・リンス・ドライヤ（ＳＲＤ）１９０と、テーブル１２０と、めっき処理部１３０と、基板ホルダ搬送部１４０と、ワゴン１５０と、ワゴン設置部１６０と、アライナ１９５とを備える。
【００２７】
基板搬送ロボット１８０は、搬送容器（図示せず）から基板５００を取り出し、テーブル１２０へ搬送することができる。基板搬送ロボット１８０は、テーブル１２０から基板５００を搬送し搬送容器に収納することもできる。基板搬送ロボット１８０は、好ましくは回転方向に動くことができ、ロードポート１７０とテーブル１２０とスピン・リンス・ドライヤ１９０とアライナ１９５との間で基板５００を搬送することができる。スピン・リンス・ドライヤ１９０は、めっき処理された基板５００をリンスしながら回転させ、最後に高速回転させて乾燥することができる。
【００２８】
アライナ１９５は、基板５００の円周方向の位置合わせを行う。すなわち、アライナ１９５は、基板５００に設けられたノッチ（切り欠き）位置を検出し、指定された角度にノッチ位置を向けることにより、基板５００を指定の位置に回転させる。また、アライナ１９５は基板５００を回転させながら、基板５００の中心の位置合わせを行う。
【００２９】
なお、図１及び図２において、１０１は基板ホルダ搬送部を搬送するための走行軸であり、１０２は基板ホルダ開閉機構、１０３は制御部（基板ホルダ搬送部制御部を含む）である。
【００３０】
基板ホルダ１１０は、基板５００のめっき処理の際に、基板５００の端部及び裏面をめっき液からシールし被めっき面を露出させて保持する。また、基板ホルダ１１０は、基板５００の被めっき面の周縁部と接触し、外部電源から給電を与えるための接点を備えても良い。基板ホルダ１１０は、めっき処理前にワゴン１５０に収納され、めっき処理時には基板ホルダ搬送部１４０によりテーブル１２０、めっき処理部１３０の間を移動し、めっき処理後にワゴン１５０へと再び収納される。
【００３１】
テーブル１２０には、基板ホルダ１１０を水平に載置することができる。テーブル１２０において、基板搬送ロボット１８０は、水平に載置された基板ホルダ１１０に対して、基板５００の着脱を行う。
【００３２】
図１及び図２に係るめっき装置においては、基板ホルダ１１０に保持された基板５００をめっき槽のめっき液に垂直に浸漬し、めっき液をめっき槽の下から注入しオーバーフローさせつつめっきが行われる。めっき槽は、複数の区画を有することが好ましく、各々の区画では、1枚の基板５００を保持した1つの基板ホルダ１１０がめっき液に垂直に浸漬され、めっきされる。各々の区画には基板ホルダ１１０の挿入部、基板ホルダ１１０への通電部、アノード、パドル攪拌装置、遮蔽板を備えていることが好ましい。アノードはアノードホルダに取り付けて使用し、基板５００と対向するアノードの露出面は基板５００と同心円状となっている。
【００３３】
基板ホルダ１１０に保持された基板５００は、めっき処理部１３０の各処理槽内の処理流体で処理が行われる。
【００３４】
めっき処理部１３０の各処理槽の配置は、例えば、図１に示すめっき液を２液使用するタイプのめっき装置とする場合には、工程順に、前水洗槽、前処理槽、リンス槽、第１めっき槽、リンス槽、第２めっき槽、リンス槽、ブロー槽、といった配置としてもよいし、別の構成としてもよい。各処理槽の配置は工程順（Ｘ→Ｘ’方向）に配置することが、余分な搬送経路をなくす上で好ましい。めっき装置内部の、槽の種類、槽の数、槽の配置は、基板の処理目的により自由に選択可能である。
【００３５】
基板ホルダ搬送部１４０は基板ホルダを懸架するアーム１４１を有し、アーム１４１は基板ホルダ１１０を垂直姿勢で保持するためのリフター１４２を有する。基板ホルダ搬送部１４０は、走行軸に沿って、テーブル１２０、めっき処理部１３０、ワゴン１５０の間をリニアモーターなどの搬送機構（図示せず）により移動可能である。基板ホルダ搬送部１４０は、基板ホルダ１１０を垂直姿勢で保持し搬送する。
【００３６】
ワゴン１５０は、基板ホルダを収納するストッカであり、複数の基板ホルダ１１０を垂直状態で収納することができる。少なくともめっき処理部１３０内の各処理槽の区画と同じ数量の基板ホルダ１１０を収納でき、さらに給電不良が発見された等のめっき処理に不具合のある基板ホルダ１１０の予備として使用する複数の基板ホルダ１１０も収納することができると好ましい。ワゴン１５０は、ワゴン設置部１６０内に設置される。図１においてワゴン１５０はロードポート１７０が配置される箇所を装置前面とした場合の装置背面に隣接したワゴン設置部１６０に設置されているが、ワゴン設置部１６０の位置、すなわちワゴン１５０の設置位置は、これに限られず、例えばテーブル１２０とめっき処理部１３０との間に配置してもよい。しかし図１のようにテーブル１２０、めっき処理部１３０、ワゴン設置部１６０と順に配置することが単位時間当たりのスループットが高くなることから効率的である。なぜならば、装置の連続運転時には、基板５００の一連の処理を終えて基板を受け渡した基板ホルダ１１０はすぐに次の処理すべき基板の受け取り処理を続けるため、基板ホルダ１１０に給電不良などの異常が発生しない限り、ワゴン１５０内部は空の状態であることが多い。ワゴン１５０の上を基板ホルダ１１０が通過することは搬送時間のロスにつながるためである。すなわち、上記のような通常の連続運転中には、基板ホルダ１１０はＸ地点よりも右側に搬送されることはない。また、設置位置をテーブル１２０とめっき処理部１３０の間とすると、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０から出し入れ可能とするためにはめっき装置の側面（図１において手前側）に開口部を設け、そこからワゴン１５０を引き出す必要がある。しかし、一般的に隣の装置との間隔は１ｍ程度しかないのでワゴン１５０を引き出して作業するためのスペースが限られ、そのスペースを移動可能でかつ複数の基板ホルダ１１０を収納可能なワゴン１５０を製作するのは困難である。装置背面はスペースの制限を受けにくいので、ワゴン１５０の設置場所として好ましい。
【００３７】
以下において、本発明の一実施形態に係るめっき装置の動作の一例を説明する。
【００３８】
（ａ）まず、基板ホルダ搬送部１４０が、ワゴン１５０上へと移動し、ワゴン１５０に収納された基板ホルダ１１０を取り出し保持する。
【００３９】
（ｂ）次に、基板ホルダ搬送部１４０は、基板ホルダ１１０を保持したままテーブル１２０まで移動し、基板ホルダ１１０がテーブル１２０の上に水平に設置される。
【００４０】
（ｃ）基板ホルダ１１０に、基板５００をセットする。
【００４１】
（ｄ）基板ホルダ搬送部１４０が、基板ホルダ１１０を垂直に保持してめっき処理部１３０の前水洗槽へと移動する。基板ホルダ１１０に保持された基板５００に対して、めっき処理部１３０の各処理槽において、めっきの各工程を行う。めっき処理はＸからＸ’方向へと順次行われる。
【００４２】
（ｅ）基板ホルダ搬送部１４０は、めっき処理部１３０における各工程完了後、基板ホルダ１１０を垂直に保持したままテーブル１２０まで移動し、基板ホルダ１１０がテーブル１２０の上に水平に設置される。
【００４３】
（ｆ）基板ホルダ１１０から、基板５００が取り外される。
【００４４】
（ｇ）連続処理を行う場合には、次の未処理の基板５００をセットし、（ｄ）から工程を繰り返す。
【００４５】
（ｈ）処理が完了した後、基板ホルダ搬送部１４０は、基板５００が取り外された基板ホルダ１１０を垂直に保持してワゴン１５０へと移動し、ワゴン１５０へと基板ホルダ１１０を垂直に収納する。
【００４６】
なお、上記の動作説明において（ｃ）で基板５００を基板ホルダ１１０に保持してから（ｄ）で基板ホルダ１１０をめっき処理部１３０の前水洗槽へと移動する例を示したが、あくまで例示であり、例えばこれと異なり、基板５００を基板ホルダ１１０に保持してからワゴン１５０へ搬送し、ワゴン１５０に仮置きしても良い。
【００４７】
次に、本発明の一実施形態に係る基板ホルダ１１０の構成を説明する。
【００４８】
図３は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダ１１０の構成を示す概要図である。
【００４９】
基板ホルダ１１０は、その一端にハンドルバー１１１を備える。ハンドルバー１１１は、基板ホルダ搬送部１４０により保持される。ハンドルバー１１１は、基板ホルダ１１０が垂直状態から水平状態または水平状態から垂直状態へ姿勢を変換する際に回転自在となるよう丸棒形状である。
【００５０】
ハンドルバー１１１は、めっき液が付着する事態に備え腐食に強いステンレス製であることがのぞましい。また、ステンレスでもめっき液による腐食に耐えられない場合にはステンレスの表面にクロムめっきやＴｉＣ等のコーティングをして腐食耐性を高めることが推奨される。なお、ハンドルバー１１１には、腐食耐性の高いチタンを用いることもできるが、一般に表面の摩擦抵抗が大きく、摺動に適した仕上げが必要である。
【００５１】
また、基板ホルダ１１０の上部両端に、直方体形状または立方体形状のハンガー部１１２が設けられる。ハンガー部１１２は、基板ホルダ１１０をめっき処理部１３０の各処理槽内に配置する際に、ハンガー受け部材（図示せず）の上に配置することにより、基板ホルダ１１０を懸架するための支持部として機能する。なお、めっき槽が電解めっき槽である場合は、ハンガー部１１２に設けられた給電接点１１４と、ハンガー受け部材の電気接点が互いに接触することにより、外部電源から基板５００の被めっき面に電流が供給される。給電接点１１４は、ハンガー受け部材に基板ホルダ１１０が懸架された際に、めっき槽のめっき液に接触しない箇所に設けられる。また、ハンガー部１１２は、基板ホルダ１１０をワゴン１５０に収納する際に、後述するワゴン１５０のハンガー受け部材１５２に支持される。
【００５２】
ハンガー部１１２は直方体形状または立方体形状として、図３に示す矢印Ａの方向から基板ホルダ搬送部１４０により力が加えられることにより、基板ホルダ１１０の移動時の振れが防止されるよう設計されてもよい。基板ホルダ１１０が垂直状態（図３に示す「下」方向に基板ホルダ１１０の下端部１１３が向く状態）のときに、ハンガー部１１２の上面は水平となる。
【００５３】
次に、本発明の一実施形態に係るワゴン１５０の構成について、図面を参照して説明する。なお、ワゴン１５０は、装置の停止時（基板５００の処理を行わない時）には基板ホルダ１１０をワゴン１５０にすべて収容し、運転時（基板５００の処理を行う時）には必要な基板ホルダ１１０がワゴン１５０から取り出されると共に、使用しない基板ホルダ１１０または、給電不良が発見された等により基板５００の処理に使用するには不具合がある基板ホルダ１１０もワゴン１５０に戻される。
【００５４】
図４は、本発明の一実施形態に係るワゴン１５０の構成を示す概要図である。ワゴン１５０は、ワゴンの移動手段としてのキャスタ１５１と、複数の基板ホルダ１１０を収納するため、基板ホルダ１１０のハンガー部１１２を支持して基板ホルダ１１０を懸架するためのハンガー受け部材１５２と、ハンガー受け部材１５２に懸架された基板ホルダ１１０を振れ止めする基板ホルダ振れ止め部材１５３と、ワゴン設置部１６０内でワゴン１１０を固定するためのラッチなどで構成されるワゴン固定手段１５９と、フレーム１５５と、縦ローラ１５６と、横ローラ１５７と、ドレインパン１５８、ハンドル１５４とを有する。各構成の詳細については後述する。なお、ワゴン１５０において、複数の基板ホルダ１１０が収納される空間を、基板ホルダ収納部（図示せず）と呼ぶ。
【００５５】
ワゴン１５０は移動手段としてキャスタ１５１を備えるため、ワゴン設置部１６０の内外、すなわちめっき装置の内外へと移動可能である。なお、図４においては、移動手段としてキャスタ１５１を示したが、例えば、移動手段としてワゴン１５０をスライドさせるレールを設けて、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０の内外に、引き出しのように出し入れできるようにしても良い。めっき装置の側面（本実施例の場合は背面）の外側にまでワゴン１５０を引き出すことにより、めっき装置の内部のワゴン１５０から手やホイストで基板ホルダ１１０を持ち上げて取り出す場合に比べると、作業負担を軽くすることができる。さらに、図４に示すようにワゴン１５０にキャスタ１５１を設けることにより、めっき装置と完全に切り離すことができる。ワゴン１５０をめっき装置から切り離した後、そのまま工場内のメンテナンスを行う場所までワゴン１５０を移動させ、そこでメンテナンスを行うことができる。重量のある基板ホルダ１１０をワゴン１５０から引き出す際にも、メンテナンスエリアにある固定式のホイストを用いることができる。ワゴン１５０をめっき装置から切り離すことができないと、可搬式のホイストを装置の近くまで持ってくる必要があり、メンテナンス作業に手間がかかるが、本実施形態に係るめっき装置によれば、そうした手間がかからない。
【００５６】
図５は、本発明の一実施形態に係るワゴンに切り欠き部を設けた一例を示す図である。
【００５７】
ワゴン１５０は、図５に示すように、ハンガー受け部材１５２に懸架された基板ホルダ１１０をワゴン１５０から取り出しやすいように、また基板ホルダ１１０をワゴン１５０のハンガー受け部材１５２へと懸架しやすいように、フレーム１５５の側面の一部に切り欠き部１５５ａを設けてもよい。これにより、ワゴン１５０から基板ホルダ１１０を出し入れする際に基板ホルダ１１０を高く持ち上げる必要がなくなり、基板ホルダ１１０の出し入れが容易となる。
【００５８】
図６は、本発明の他の実施形態に係るワゴン１５０と、めっき装置に設けられたワゴン設置部１６０との構成を示す概要図であり、（ａ）はワゴン設置部１６０の側面から見た図、（ｂ）はワゴン設置部１６０をめっき装置の背面から見た図である。
【００５９】
図６のめっき装置は、装置背面付近に、ワゴン１５０を設置可能なワゴン設置部１６０を備える。
【００６０】
ワゴン設置部１６０は、基板ホルダ搬送部１４０の走行軸の延伸方向でめっき装置背面に隣接する場所に設置されると、上述したように、空のワゴン１５０の上を基板ホルダ搬送部１４０がただ通り過ぎることによる搬送時間のロスがなくなり、タクトタイムが減少するので好ましい。ワゴン設置部１６０は、めっき装置背面に隣接した場所に限定されず、例えば図２のテーブル１２０とリンス槽・ブロー槽との間に設置しても良いが、ワゴン１５０をめっき装置外に引き出す場合にはめっき装置の側面に引き出すことになり、めっき装置の側面は、他の装置が隣接するなどしてスペースが制限される場合があるため、本実施例のように背面側に引き出せるようにすることが望ましい場合がある。
【００６１】
ワゴン設置部１６０は、ワゴン１５０が出入する開口部に設けられた扉１６１、扉１６１が開けられたときにめっき装置内に外気が入り込む隙間を最小にするために、開閉部として機能するシャッタ１６２を有する。扉１６１には、シャッタ１６２と連動したロック機構を備え、シャッタ１６２が開状態の時に扉が開くことがないようにしても良い。
【００６２】
ロック機構としては、例えばワゴン設置部１６０に、シャッタ１６２をロックするためのスイッチ１６５ａと、扉１６１をロックするためのスイッチ１６５ｂの２つのスイッチ１６５を有しても良い。スイッチ１６５は、アクチュエータ付きのスイッチであることが望ましい。スイッチ１６５は、例えばシャッタ１６２あるいは扉１６１に取り付けられたアクチュエータ（図示せず）が挿入されることによりシャッタ１６２あるいは扉１６１が閉められたことを検知し、アクチュエータ（図示せず）が抜けないようにロックし、またロック解除信号によりロックを解除することができる。シャッタ１６２はスイッチ１６５ａがロック状態では開けることは出来ず、また、扉１６１は扉ロックスイッチ１６５ｂがロック状態では開けることは出来ない。スイッチ１６５ａとスイッチ１６５ｂは連動し、スイッチ１６５ａがロック状態でなければ、スイッチ１６５ｂはロック解除できない。逆に、スイッチ１６５ｂがロック状態でなければ、スイッチ１６５ａはロック解除できない。これにより、扉１６１及びシャッタ１６２のいずれかが開状態にある際には、必ずもう一方は閉状態となり、めっき処理部１３０や基板ホルダ搬送部１４０の領域への外気流入が最小化される。
【００６３】
スイッチ１６５ａとスイッチ１６５ｂは、例えばソレノイド付安全スイッチであってよい。
【００６４】
なお、ワゴン設置部１６０に扉１６１を設ける代わりに、めっき装置の背面パネルをワゴン１５０と一体にして扉として用いても良い。
【００６５】
シャッタ１６２はスペース効率を考慮して、シャッタ回転機構１６２ａを設けて跳ね上げ式とすることが望ましい。また、ワゴン設置部１６０はシャッタ１６２の開閉をスイッチ１６５ａにより検出する。
【００６６】
ワゴン１５０をワゴン設置部１６０に対して強力に固定するラッチなどのワゴン固定手段１５９を設け、ワゴン１５０がワゴン設置部１６０に設置されている際は、ワゴン１５０が所定の位置から動かないようにすることが望ましい。ワゴン１５０の先端あるいはワゴン設置部１６０のワゴン１５０が突き当たる部分にワゴン１５０とワゴン設置部１６０との接触時の衝撃を緩和するためのゴム等の弾性体１６７を設けことが好ましい。ワゴン１５０をワゴン設置部１６０に設置する際はワゴン１５０を弾性体１６７に向かって押し込み、ワゴン固定手段１５９で固定するのが望ましい。
【００６７】
また、ワゴン１５０の出し入れの際にワゴン１５０の位置調整及び高さ調整を行うため、ワゴン設置部１６０は、ガイドレール１６３を有してもよい。
【００６８】
図７は、本発明の一実施形態に係るワゴン１５０にローラを設け、ワゴン設置部１６０にガイドレール１６３を設けた一例を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は、側面図である。図７に示すように、ワゴン１５０がキャスタ１５１とは別の車輪として縦ローラ１５６を有し、ワゴン設置部１６０にはガイドレール１６３を設けて、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０に押し入れたときに縦ローラ１５６がガイドレール１６３に乗り上げるようにすることが望ましい。このとき、キャスタ１５１は床面を離れる。ガイドレール１６３を設けずにキャスタ１５１が床に接したままの場合、床面と装置本体の高さはめっき装置一台一台で差があるのが通例であるため、あるめっき装置に適した高さに調整したワゴン１５０をワゴン設置部１６０を有する別のめっき装置で使うことができなくなる場合がある。ガイドレール１６３を設け、ガイドレール１６３とめっき装置本体各部の高さを共通にしておけば、ワゴン１５０をガイドレール１６３に乗り上げさせることにより、ワゴン１５０を複数のめっき装置で共通に使用できる。また、複数のワゴン１５０を同じめっき装置で使用できる。
【００６９】
ワゴン１５０の出し入れをスムーズに行うためにガイドレール１６３はガイド１６３ａを有し、ワゴン１５０はガイド１６３ａに対して側面方向に接触しながら転がる複数の横ローラ１５７を有してもよい。横ローラ１５７が、ガイド１６３ａと接触し、キャスタ１５１の側面方向への移動を規制することにより、キャスタ１５１の位置を調整することができる。
【００７０】
ガイドレール１６３には、ワゴン１５０を乗り上げやすいように、スロープ１６３ｂを設けてもよい。また、ワゴン１５０がガイドレール１６３へ乗り上げる際に、横ローラ１５７がスムーズにガイド１６３ａと接することができるよう、スロープ１６３ｃを設けてもよい。ガイド１６３ａの幅を、スロープ１６３ｃから離れる方向に延伸するに従って広くすることにより、横ローラ１５７とガイド１６３ａとのクリアランスを徐々に狭くしてもよい。これにより、横ローラ１５７がスムーズにガイド１６３ａに接することができるようにしつつ、ワゴン１５０の位置をより正確な位置に固定調整できる。
【００７１】
なお、図７と異なり、ワゴン１５０に縦ローラ１５６を設ける代わりに、ガイドレール１６３上にボールキャスタ（図示せず）を設けて、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０に押し入れたときにボールキャスタ上をワゴン１５０が移動するように構成してワゴン１５０がガイドレール１６３に乗り上げるようにしてもよい。このとき、ワゴン１５０側にローラを設けるとともにワゴン設置部１６０にガイドを設けて、ワゴン１５０のワゴン設置部１６０での位置調整を行えるようにしてもよい。
【００７２】
ガイドレール１６３の下部には、ワゴン１５０の重さを支えるための支柱１６４を設けてもよい。支柱１６４は高さ調整のためのアジャスタ機能を備えてもよい。めっき装置全体の床面からの高さはめっき装置のアジャスタ１６８により調整される。図６においてガイドレール１６３の左端はめっき装置本体に固定され、支柱１６４のアジャスタ機能により、ガイドレール１６３は平行になるように調整される。
【００７３】
なお、ワゴン設置部１６０は、ワゴン１５０の有無、およびワゴン１５０が正しい位置に固定されたことを判別するための、赤外線センサやカメラなどのワゴン検知手段（図示せず）を有してもよい。また、ワゴン１５０の有無を作業者に知らせるためのランプ等の表示手段を有してもよい。
【００７４】
ワゴン検知手段によりワゴン１５０がワゴン設置部１６０において正しい位置に設置され、なおかつ扉１６１をロックするためのスイッチ１６５ｂがロック状態であることが確認できなければ、シャッタ１６２をロックするためのスイッチ１６５ａにロック解除信号を送らない、すなわちシャッタ１６２が開かないように制御する。これにより、ワゴン１５０が正しくない位置に設置されたことによる基板ホルダ１１０の搬送トラブルや、外気の流入を防ぐことができる。
【００７５】
ワゴン１５０は、図８に示すように、扉１６１側となる側面に、ラッチハンドル１５９ａを有する。ラッチハンドル１５９ａとワゴン設置部１６０のラッチ受け１５９ｂでラッチ（ワゴン固定手段）１５９を構成し、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０に対して固定する。さらに、扉１６１のワゴン１５０と対向する面には、ラッチハンドル１５９ａに対応するラッチガイド１６９を有しても良い。
【００７６】
図８（ａ）は、本発明の一実施形態に係るめっき装置のワゴン１５０にラッチハンドル１５９ａを設け、ワゴン設置部１６０の扉１６１にラッチガイド１６９を設けた例を示す概要図であり、（ｂ）は、扉１６１のラッチガイド１６９を設けた面とラッチハンドル１５９ａとの関係を示す概要図であり、（ｃ）は、ラッチガイド１６９を設けた扉１６１の側面図である。
【００７７】
ラッチハンドル１５９ａを、ラッチ受け１５９ｂへと引っ掛けることにより、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０の所定位置へと固定することができる。なお、弾性体１６７の圧縮反力によりラッチハンドル１５９ａがラッチ受け１５９ｂに押されながら掛けられる。
【００７８】
ラッチガイド１６９は、扉１６１の内側、すなわちワゴン１５０がワゴン設置部１６０に設置されている際にワゴン１５０と対向する面に形成される。ラッチガイド１６９は、図８においては、扉１６１からせり出した略水平方向に延伸する板状の凸部であり、その間にラッチハンドル１５９ａが収まる形状となっている。ワゴン１５０を、ワゴン設置部１６０に設置し、扉１６１を閉めるためには、ラッチハンドル１５９ａを略水平方向に向いた状態にし、ラッチガイド１６９の間に収まるようにしなければならない。ラッチハンドル１５９ａを略水平方向に向いた状態とするには、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０の所定の位置まできちんと押しこみ収納する必要がある。このとき、ラッチ１５９により、ワゴン１５０はワゴン設置部１６０の所定の位置に固定される。そして、ラッチハンドル１５９ａを略水平方向に向いた状態としないと、ラッチハンドル１５９ａとラッチガイド１６９とが干渉して、扉１６１が閉まらない。そのため、ワゴン１５０を所定の位置まで押し込まないと、扉１６１が閉まらない構造となっている。これにより、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０の所定位置に必ず設置することができ、固定することができる構造となっている。なお、ラッチハンドル１５９ａがラッチ受け１５９ｂの正しい位置に掛けられたことを検出するスイッチ（図示せず）を設け、さらにラッチハンドル１５９ａが動かないように固定するアクチュエータ（図示せず）を設置しても良い。
【００７９】
ワゴン１５０は、図４及び図６に示すように、下部にドレインパン１５８を有する。図６に示すように、めっき処理部１３０とワゴン設置部１６０との間で基板ホルダ搬送部１４０に保持された基板ホルダ１１０を出し入れするための開口部１６６が、ワゴン設置部１６０の上方に設けられている。開口部１６６は、ワゴン１５０のドレインパン１５８の大きさよりも小さくなっている。これにより、シャッタ１６２が開いている際に、上方から滴が垂れた場合であっても、ワゴン１５０のドレインパン１５８が受け皿となって滴を受けるため、滴が床面に落ちて床面を汚染することはない。
【００８０】
ワゴン設置部１６０は、ワゴン１５０を内部に設置できる大きさであれば良いが、シャッタ１６２が開状態の時に、外気を無駄に吸気しないよう、ワゴン１５０を設置した際にワゴン１５０とワゴン設置部１６０との間に大きなスペースが空かない大きさであることが好ましい。ワゴン１５０が設置されているか否かにかかわらずめっき装置内に外気を吸い込む口の面積変化を最小にするため、また、内部の空気や飛沫がめっき装置の外に飛び出さないようにするため、ワゴン１５０の周囲を閉止する仕切り（図示せず）を設けてもよい。
【００８１】
本発明の一実施形態に係るめっき装置は、めっき装置の運転中であってもめっき装置の運転を中断することなく、ワゴン１５０を少なくともめっき装置の外（外面パネルの外側）に引き出すことができることを特徴とする。これにより、めっき装置の稼働率を落とすことなく、ワゴン１５０を取り出し、基板ホルダ１１０のメンテナンスを行うことができる。めっき装置の運転中にワゴン１５０を引き出す（あるいは戻す）ためには、概して言うと、めっき装置を運転する際の安全面の配慮と、ワゴン１５０にアクセスすることによるめっき装置内部の気流の乱れを最小化するための工夫をすることが望ましい。これらの安全面や気流設計上の配慮は、めっき装置の非運転中にワゴン１５０にアクセスする場合にも求められるが、めっき装置の運転中に行う場合により強く求められる。
【００８２】
基板ホルダ搬送部１４０がまさに基板ホルダ１１０をワゴン１５０に収納しようとしている場合や、基板ホルダ１１０をワゴン１５０から取り出そうとしている場合には、ワゴン１５０をめっき装置外に引き出すことができないようにめっき装置を制御することが望ましい。そのため、めっき装置は、基板ホルダ搬送部制御部２１０を有し、基板ホルダ搬送部制御部２１０を通じて基板ホルダ搬送部１４０の動作状況を把握し制御することが望ましい。
【００８３】
図９は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の制御部２００と基板搬送部１４０及びワゴン設置部１６０等との接続関係を示すブロックダイアグラムである。
【００８４】
本発明の一実施形態に係るめっき装置においては、図９に示すように、制御部２００と、制御部２００内に基板ホルダ搬送部制御部２１０と、ワゴン設置部制御部２２０と、通知制御部２３０と、表示制御部２４０とを有する。
【００８５】
基板ホルダ搬送部制御部２１０は、基板ホルダ搬送部１４０を監視制御し、また、基板ホルダ搬送部１４０に取り付けられたセンサ１４０ａの検知内容を受け取る。
【００８６】
ワゴン設置部制御部２２０は、ワゴン設置部１６０の各構成の監視制御、すなわち扉１６１、扉１６１をロックするためのスイッチ１６５ｂ、シャッタ１６２、シャッタ１６２をロックするためのスイッチ１６５ａ等の状況を把握するとともに各構成の動作を制御する。
【００８７】
通知制御部２３０は、ワゴンアクセス通知手段２５０からの、アクセス通知を受け取る。
【００８８】
表示制御部２４０は、ワゴン設置部制御部２２０や基板ホルダ搬送部制御部２１０から受領したワゴン設置部１６０へのアクセスの可否についての情報に基づき、アクセス可否表示手段２６０に対して、ワゴン設置部１６０へのアクセスの可否の判断を表示させる。
【００８９】
本発明の一実施形態に係るめっき装置は、ワゴン取り出し作業を開始すること、及びワゴンを戻す作業が終了したことを通知制御部２３０に通知し、基板ホルダ搬送部制御部２１０を通じて、基板ホルダ搬送部１４０のワゴン設置部１６０へのアクセスを制限するためのワゴンアクセス通知手段２５０（以下、通知手段２５０と称する）を有してもよい。通知手段２５０は、処理命令を入力するタッチパネルのボタンであってもよく、めっき装置の背面近傍に専用のボタンを設けても良い。通知手段２５０により、通知制御部２３０へワゴン１５０へのアクセスについての通知がなされ、通知制御部２３０は基板ホルダ搬送部制御部２１０へと通知を伝達し、基板ホルダ搬送部制御部２１０は基板ホルダ搬送部１４０の基板ホルダ設置部１６０へのアクセスを制限する。
【００９０】
通知手段２５０により、これからワゴン１５０にアクセスすることを通知制御部２３０に通知すると、通知制御部２３０はワゴン設置部制御部２２０へと通知を伝達し、ワゴン設置部制御部２２０は、ワゴン設置部１６０の状況や、基板ホルダ搬送部制御部２１０により把握された基板ホルダ搬送部１４０の動作状況に応じて前記ワゴン設置部１６０へのアクセスの可否を判断し、アクセス可否表示手段２６０により、アクセス可否の判断結果を作業者に通知する。
【００９１】
アクセス可否表示手段２６０は、例えば、ランプ、ＧＵＩ画面、ブザーなどであり、これらの表示手段により、装置使用者へとアクセスの可否を通知する。また、アクセス可否表示手段２６０は、ワゴン１５０のワゴン設置部１６０への設置の有無等を表示してもよく、これにより、装置使用者が容易にワゴン設置部１６０へのアクセスの可否等、ワゴン設置部１６０の状況を把握することができる。
【００９２】
基板ホルダ搬送部１４０が基板ホルダ１１０をワゴン１５０に収納する動作中などは、ワゴン１５０へのアクセスは禁止され、アクセス不可とワゴン設置部制御部２２０が判断する。アクセス不可と装置が判断した場合には、扉１６１が開くことがないように扉１６１は確実にロックされる。
【００９３】
ロックの方法としては、前述したシャッタ１６２をロックするためのスイッチ１６５ａと、扉１６１をロックするためのスイッチ１６５ｂで構成されるスイッチ１６５が用いられる。
【００９４】
扉１６１をロックするためのスイッチ１６５ｂの不具合などの何らかの理由で、例えばシャッタ１６２が開いているにも関わらず扉１６１が開いたなどの事態に備え、扉１６１に開閉センサ（図示せず）を設け、これにより扉１６１の開閉を検知してエラーを出すインターロックを設けてもよい。
【００９５】
また、基板ホルダ搬送部１４０は、図１０に示すように、ワゴン１５０内の基板ホルダ１１０の数及び位置を検出するセンサ１４０ａを有してもよい。めっき装置の電源を入れて、初期化動作を行うと、センサ１４０ａはワゴン１５０内に収納された基板ホルダ１１０の数及び位置を検出する。その後めっき処理等の命令に従い、基板ホルダ搬送部１４０が基板ホルダ１１０を取り出す。装置の制御部は、ワゴン１５０内のどの位置の基板ホルダ１１０を取り出して使用しているかを常に把握している。従って、ワゴン１５０を装置から取り出す直前にも、ワゴン１５０内にいくつ基板ホルダ１１０が入っているかを装置の制御部に認識させておくことができる。ただしワゴン１５０を装置から取り出す直前にも再度基板ホルダ１１０を検出してチェックしても良い。次にワゴン１５０を取り出して基板ホルダ１１０をメンテナンスし、再びワゴン１５０をワゴン設置部１６０に戻す。ワゴン１５０がワゴン設置部１６０に戻されると、センサ１４０ａがワゴン１５０内の基板ホルダ１１０を検出する。この時、ワゴン１５０を取り出す前にワゴン１５０内にあった基板ホルダ１１０の数よりも、ワゴン１５０を戻した後で検出した基板ホルダの数の方が多い場合、警告を発しても良い。なぜならば、基板ホルダの数が増えることで、装置が使用している基板ホルダ１１０を戻す場所がなくなるためである。さらに、ワゴン１５０を装置から取り出して基板ホルダ１１０をメンテナンスし、メンテナンスした基板ホルダ１１０をワゴン１５０に戻す場合は、基板ホルダ１１０を元と違う場所に戻すことを許容しても良い。そのためには、上述したようにワゴン１５０を戻した際に基板ホルダ１１０を検出し、ワゴン１５０内の基板ホルダ１１０の場所情報を更新するようにする。もちろん、基板ホルダ搬送部１４０が基板ホルダ１１０をワゴン１５０内に戻す際に、何かの理由で、基板ホルダ１１０がすでにある位置に戻そうとした場合も、すでにある基板ホルダ１１０をセンサ１４０ａが検出し、動作を中止させることができる。なお、センサ１４０ａの設置箇所は、基板ホルダ搬送部１４０に限られず、ワゴン１５０内の基板ホルダ１１０の数及び位置を把握できる箇所に設置されればよい。
【００９６】
ワゴン１５０をワゴン設置部１６０に出し入れする動作を確実にするために、基板ホルダ搬送部制御部２１０により、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０へと出し入れする際には基板ホルダ搬送部１４０のワゴン設置部１６０上方への移動を制限しても良い。基板ホルダ搬送部１４０のワゴン設置部１６０上方への移動制限は、例えば基板ホルダ搬送部１４０を移動させるサーボモータのドライバにより行われる。
【００９７】
以下において、図１１を参照して、ワゴン１５０のワゴン設置部１６０への設置及び取り出しの手順の概略を説明する。
【００９８】
図１１は、本発明の他の実施形態に係るワゴン１５０のワゴン設置部１６０への設置及び取り出しの手順を示す概要図である。
【００９９】
図１１（Ａ）において、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０の扉１６１付近へと移動する。
【０１００】
図１１（Ｂ）において、扉１６１が開く。扉１６１は、手動で開いても良いし、ワゴン１５０の接近を検知して自動で開くようにしても良い。
【０１０１】
図１１（Ｃ）において、ワゴン１５０を移動させて、ワゴン設置部１６０内の所定の位置に収納する。
【０１０２】
図１１（Ｄ）において、ワゴン１５０がワゴン設置部１６０内の所定の位置に収納されていることを確認し、扉１６１を閉じる。
【０１０３】
図１１（Ｅ）において、ワゴン１５０がワゴン設置部１６０内の所定の位置に収納されて、扉１６１を閉じたことが確認されると、ワゴン設置部１６０のシャッタ１６２が開く。
【０１０４】
シャッタ１６２が開いたことを確認して、ワゴン１５０のめっき処理に用いる準備が完了したことを表示する表示手段を備えても良い。ワゴン
【０１０５】
また、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０から取り出す処理は、以下の通りである。
【０１０６】
図１１（Ｅ）において、扉１６１が閉じていることを確認してシャッタ１６２を閉じる。
【０１０７】
図１１（Ｄ）において、扉１６１を開ける。
【０１０８】
図１１（Ｃ）において、ワゴン１５０のワゴン設置部１６０の外への移動を開始する。
【０１０９】
図１１（Ｂ）において、ワゴン１５０の全体がワゴン設置部１６０の外へと移動し、ワゴン１５０とワゴン設置部１６０との分離が完了する。
【０１１０】
図１１（Ａ）において、ワゴン１５０がワゴン設置部１６０との分離を完了したことを確認して、扉１６１を閉じる。
【０１１１】
次に、図１２を参照して、運転中にワゴンを取り出し、戻す動作をより詳細に説明する。
【０１１２】
Ｓ１０１は、通常運転時の状態を示す。Ｓ１０１においては、ワゴン１５０がワゴン設置部１６０に設置され、扉１６１は閉状態で、扉１６１はロックされ、シャッタ１６２は開状態にある。
【０１１３】
基板ホルダ１１０にメンテナンスの必要が生じた場合など、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０より取り出す必要が生じた場合、通知手段２５０により、取出し開始が通知され、通知制御部２３０は、取出し開始通知を受領する（Ｓ１０２）。
【０１１４】
通知制御部２３０が取出し開始通知を受領すると、基板ホルダ搬送部制御部２１０は、基板ホルダ搬送部１４０の状態を確認する。ワゴン設置部制御部２２０は、基板ホルダ搬送部制御部２１０が確認した基板ホルダ搬送部１４０の状況、例えば、ワゴン１５０から基板ホルダ１１０を取出し中であるか、または、ワゴン１５０へ基板ホルダ１１０を収納中であるか等から、ワゴン１５０へのアクセスの可否を、判断する（Ｓ１０３）。
【０１１５】
ワゴン設置部制御部２２０がワゴン１５０へアクセスできないと判断すると、表示制御部２４０により、アクセス可否表示手段２６０には、アクセスが不可である旨が表示される（Ｓ１０４）。この場合、扉１６１はロックされたままであり、扉１６１を開けることは出来ないが、そのまま待機し、基板ホルダ搬送部１４０の状況が変化するなどして状況が変化したことにより、ワゴン１５０へのアクセスが可能と判断されると、Ｓ１０５へと移行する。
【０１１６】
ワゴン設置部制御部２２０がワゴン１５０へアクセス可能であると判断すると、表示制御部２４０により、アクセス可否表示手段２６０には、アクセスが可である旨が表示される（Ｓ１０５）。シャッタ１６２は閉じられ、スイッチ１６５ａがロック状態となり、扉１６１のスイッチ１６５ｂがロック解除状態となり、インターロックが解除される。
【０１１７】
これにより、ワゴン設置部制御部２２０は、扉１６１の開放を許可する（Ｓ１０６）。
【０１１８】
扉１６１が開放され、ワゴン１５０へのアクセスが可能となると、手動によりラッチ１５９を解除することが可能となる。ワゴン設置部１６０から、ワゴン１５０が取り出される動作は、ワゴン設置部１６０に設けたセンサ等を通じ、ワゴン設置部制御部２２０により検知される（Ｓ１０７）。
【０１１９】
ワゴン１５０をワゴン設置部１６０より取り出し後、扉１６１が閉められ、ワゴン設置部制御部２２０により、扉閉め動作が検知される（Ｓ１０８）。
【０１２０】
ワゴン設置部１６０から取り出されたワゴン１５０に収納された基板ホルダ１１０を、ワゴン１５０から取り出し、メンテナンスを行う（Ｓ１０９）。
【０１２１】
メンテナンス完了後、ワゴン１５０をワゴン設置部１６０へと設置するため、扉１６１を開ける。ワゴン設置部制御部２２０により、扉開け動作が検知される。（Ｓ１１０）
【０１２２】
ワゴン１５０をワゴン設置部１６０へと設置し、ラッチ１５９により固定する。ラッチ１５９でワゴン１５０がワゴン設置部１６０内に固定されたことを、ワゴン設置部制御部２２０により検知する。（Ｓ１１１）
【０１２３】
ワゴン１５０をワゴン設置部１６０へと設置し、ラッチ１５９により固定した後に、扉１６１を閉める。扉閉め動作が、ワゴン設置部制御部２２０により検知される（Ｓ１１２）。
【０１２４】
通知手段２５０により、ワゴン１５０の設置が通知されると、通知制御部２３０は、ワゴン設置完了通知を受領する（Ｓ１１３）。
【０１２５】
ワゴン設置部制御部により、スイッチ１６５ｂがロック状態となり、扉１６１がインターロックされ、スイッチ１６５ａがロック解除状態となり、シャッタ１６２が開かれる（Ｓ１１４）。Ｓ１０５でシャッタ１６２が閉じられた後、シャッタ１６２はステップＳ１１４に至るまで、外気を遮断するために閉じられたままである。
【０１２６】
なお、本発明の一実施形態に係るワゴン１５０は基板ホルダ１１０を収納するものとして記載したが、電解めっきを行うめっき装置において用いる場合、めっき槽に設置されるアノードホルダを収納するものであっても良いし、また基板ホルダ１１０とアノードホルダの両方を収納するものであっても良い。ワゴン１５０において、アノードホルダ１１０が収納される空間を、アノードホルダ収納部（図示せず）と呼ぶ。基板ホルダ１１０とアノードホルダの両方を収容する場合、基板ホルダ収納部が、アノードホルダ収納部としても機能し、アノードホルダをも収納することとなる。アノードホルダは、アノードを保持し、めっき液を保有するめっき槽内に、アノードと、基板ホルダ１１０に保持した基板５００とが両者の面が平行になるように対向して配置され、めっき電源によりアノードと基板５００との間に通電することで基板ホルダ１１０から露出している基板５００の被めっき面に電気めっきを行うよう構成される。アノードホルダの形状は、例えば、図３で示した基板ホルダ１１０と外形は類似しており、ハンガー部とハンドルバーを有し、本体にアノードを保持する。アノードは、アノードホルダの内部で図３と同様にハンガー部に設けられた給電接点と電気的に接続されている。
【０１２７】
アノードホルダのワゴンへの収納は、以下のように行う。まず、アノードホルダをめっき槽から引き上げる。アノードホルダには通常、陽極スライム拡散等を防ぐため、アノードバックが付けられているが、アノードホルダを引き上げたときはアノードホルダのアノードバックから何分間にもわたってめっき液が滴り落ち続ける。めっき液の滴下の間隔が広がってからリンス槽ですすぎ洗いし充分に水が落ちてからワゴンに移す。ワゴン移動後も液の滴下が続くため、床を汚染しないよう、ドレインパンがワゴン下部に設置される。
【０１２８】
これにより、基板ホルダを本発明の一実施形態に係るワゴン１５０に基板ホルダ１１０を収納する場合と同様、めっき装置の外側にまでワゴン１５０を引き出すことにより、めっき装置の内部のワゴン１５０から手やホイストで基板ホルダ１１０を持ち上げて取り出す場合に比べると、作業負担を軽くすることができ、アノードホルダのメンテナンスを容易に行うことができる。
【符号の説明】
【０１２９】
１００  めっき装置フレーム
１１０  基板ホルダ
１２０  テーブル
１３０  めっき処理部
１４０  基板ホルダ搬送部
１５０  ワゴン
１６０  ワゴン設置部
５００  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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