(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御部が各リソースを制御することにより、各リソースに複数個のロットを搬送させて、各ロットに対して処理を行うにあたり、制御部が予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成方法において、
ロットごとにレシピに応じたスケジュールを単独で作成し、単バッチスケジュールとして作成する過程と、
ロットごとに各リソースについて予め設定されている、ロットを待機させることが可能な安全処理部と、ロットを待機させることができない非安全処理部とのリソース種別に基づいて、ロットごとの単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る過程と、
ブロックに区切った全ての単バッチスケジュールを、ブロック単位で一つの時間軸上に配置する全体スケジュールを作成する過程と、
前記全体スケジュールに基づいて各リソースを制御部が制御して各ロットに処理を行う過程と、
を備え、
前記リソースとして、二つの純水処理部を備えている場合には、あるロットのリソース種別では、一方が非安全処理部であり、他方が安全処理部であり、他のロットのリソース種別では、両方が安全処理部であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記リソース種別は、ユーザにより設定部を介して記憶部に記憶されることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記リソース種別は、ロットに対して処理液による処理を行うリソースに対してのみ設定されることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
制御部が各リソースを制御することにより、各リソースに複数個のロットを搬送させて、各ロットに対して処理を行うにあたり、制御部が予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
ロットごとにレシピに応じたスケジュールを単独で作成し、単バッチスケジュールとして作成する機能と、
ロットごとに各リソースについて予め設定されている、ロットを待機させることが可能な安全処理部と、ロットを待機させることができない非安全処理部とのリソース種別に基づいて、ロットごとの単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る機能と、
ブロックに区切った全ての単バッチスケジュールを、ブロック単位で一つの時間軸上に配置する全体スケジュールを作成する機能と、
前記全体スケジュールに基づいて各リソースを制御部が制御して各ロットに処理を行う機能と、を備え、
前記リソースとして、二つの純水処理部を備えている場合には、あるロットのリソース種別では、一方が非安全処理部であり、他方が安全処理部であり、他のロットのリソース種別では、両方が安全処理部であるように、前記制御部に実行させることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に洗浄、エッチング、乾燥等の所定の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の方法として、例えば、薬液処理部、純水処理部、乾燥処理部などの各リソース間で複数のロットを搬送してロットに対して処理を行う基板処理装置において、処理を開始する前に予めスケジュールを作成してから、そのスケジュールにしたがって実際の処理を開始する基板処理装置のスケジュール作成方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなスケジュール作成方法としては、レシピに応じて各ロットをリソースに配置するが、次のような点が考慮されている。例えば、あるリソースではロットを待機させるとロットに悪影響があるので、そのリソースでロットを待機させないようにする。一方、あるリソースではロットを待機させても悪影響がないので、そのリソースでロットを待機させてもよい。このリソース種別のうち、前者を「非安全処理部」と称し、後者は「安全処理部」と称する。非安全処理部としては、例えば、薬液処理部が挙げられ、安全処理部としては、純水処理部や乾燥処理部が挙げられる。薬液処理部では、ロットを待機させると、薬液による過剰な処理がロットに対して悪影響を与える一方、純水処理部では、ロットを待機させても、純水によりロットに処理が進行することはないからである。
【０００４】
なお、非安全処理部と安全処理部は、基板処理装置の記憶部に予め設定されており、これは基板処理装置ごとに固有のものである。したがって、この基板処理装置で処理される全てのロットについて共通のものとなっている。
【０００５】
スケジュールを作成する際には、各ロットについて、ロットごとのレシピに応じたロット単独のスケジュール（単バッチスケジュールという）を作成するが、その際には、複数の処理工程をブロックごとにまとめる。例えば、搬送処理部による搬送処理と、薬液処理部による薬液処理と、搬送処理部による搬送処理と、純水処理部による純水洗浄処理とを一つのブロックとし、後の全体スケジュールの際に各ロットについてブロックごとに配置してゆく。これにより、処理工程ごとにロットを配置してゆく場合に比較して処理工程を効率的に配置することができ、スケジューリングに要する負荷を低減できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３７５８９９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、最近の半導体プロセスでは基板に形成されるデバイスの微細化が進行し、デバイスによっては、純水洗浄処理を終えた後に、長時間にわたってロットを純水に浸漬させたままとすると、デバイスに対して悪影響が生じることがある。換言すると、いままで安全処理部として取り扱ってきたリソースが、ロットによっては非安全処理部として取り扱わなければならないことがある。しかしながら、従来の装置は、装置ごとに非安全処理部と安全処理部のリソース種別が固定的に設定されているので、ロットによっては悪影響を受ける。また、その悪影響を避けるために、基板処理装置のリソース種別において純水処理部を非安全処理部として設定すると、全てのロットのブロック配置に自由度が小さくなり、スループットが大幅に低下するという問題が生じる。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、リソース種別を柔軟に設定することにより、悪影響を回避しつつもスループットの低下を防止することができる基板処理装置のスケジュール作成法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、制御部が各リソースを制御することにより、各リソースに複数個のロットを搬送させて、各ロットに対して処理を行うにあたり、制御部が予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成方法において、ロットごとにレシピに応じたスケジュールを単独で作成し、単バッチスケジュールとして作成する過程と、ロットごとに各リソースについて予め設定されている、ロットを待機させることが可能な安全処理部と、ロットを待機させることができない非安全処理部とのリソース種別に基づいて、ロットごとの単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る過程と、ブロックに区切った全ての単バッチスケジュールを、ブロック単位で一つの時間軸上に配置する全体スケジュールを作成する過程と、前記全体スケジュールに基づいて各リソースを制御部が制御して各ロットに処理を行う過程と、を備え、前記リソースとして、二つの純水処理部を備えている場合には、あるロットのリソース種別では、一方が非安全処理部であり、他方が安全処理部であり、他のロットのリソース種別では、両方が安全処理部であることを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御部は、レシピに応じて各リソースを使用するタイミングをロットごとに作成し、これを単バッチスケジュールとする。次に、制御部は、各単バッチスケジュールについて、ロットごとにリソース種別を参照し、各単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る。そして、制御部は、全ての単バッチスケジュールから全体スケジュールを作成し、全体スケジュールに基づいて各ロットに対する処理を実行する。ロットにより待機時間が悪影響を与える恐れがあるリソースについては、予め非安全処理部として設定することで、ロットに応じた柔軟なスケジュールが可能となる。その結果、待機時間が生じると悪影響が生じる恐れがある全てのリソースをロットに関係なく非安全処理部に設定する場合に比較して、処理工程の配置効率を低下させることがない。よって、悪影響を回避しつつもスループットが低下するのを防止することができる。また、二つの純水処理部について、ロットごとにリソース種別を異ならせることにより、あるロットでは一方の純水処理部で待機させるが、他のロットでは待機させないようにスケジュールを作成することができる。したがって、複数の純水処理部を柔軟に利用するスケジュールが可能となる。
【００１１】
なお、本発明における「リソース」（resource）とは、純水処理部、薬液処理部、乾燥処理部、塗布処理部、メッキ処理部、エッチング処理部、ロットを搬送する搬送部、ロットの姿勢を変換する姿勢変換部などのことをいう。
【００１２】
また、本発明において、前記リソース種別は、ユーザにより設定部を介して記憶部に記憶されることが好ましい（請求項２）。ユーザにより設定部を介してリソース種別が記憶部に設定されるので、ロットに応じて柔軟な設定を行うことができる。
【００１３】
また、本発明において、前記リソース種別は、ロットに対して処理液による処理を行うリソースに対してのみ設定されることが好ましい（請求項３）。搬送系のリソースでは、待機時間が生じても悪影響を与える恐れが極めて小さい。したがって、純水、溶剤、酸などの処理液で処理を行うリソースのみにリソース種別を設定することにより、制御部による単バッチスケジュール作成時の参照項目を少なくすることができる。その結果、スケジュール作成における負荷を低減でき、スケジュール作成時間の抑制を図ることができる。
【００１４】
（削除）
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、制御部が各リソースを制御することにより、各リソースに複数個のロットを搬送させて、各ロットに対して処理を行うにあたり、制御部が予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、ロットごとにレシピに応じたスケジュールを単独で作成し、単バッチスケジュールとして作成する機能と、ロットごとに各リソースについて予め設定されている、ロットを待機させることが可能な安全処理部と、ロットを待機させることができない非安全処理部とのリソース種別に基づいて、ロットごとの単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る機能と、ブロックに区切った全ての単バッチスケジュールを、ブロック単位で一つの時間軸上に配置する全体スケジュールを作成する機能と、前記全体スケジュールに基づいて各リソースを制御部が制御して各ロットに処理を行う機能と、を備え、前記リソースとして、二つの純水処理部を備えている場合には、あるロットのリソース種別では、一方が非安全処理部であり、他方が安全処理部であり、他のロットのリソース種別では、両方が安全処理部であるように、前記制御部に実行させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール作成方法によれば、制御部は、レシピに応じて各リソースを使用するタイミングをロットごとに作成し、これを単バッチスケジュールとし、各単バッチスケジュールについて、ロットごとにリソース種別を参照し、各単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る。そして、制御部は、全ての単バッチスケジュールから全体スケジュールを作成し、全体スケジュールに基づいて各ロットに対する処理を実行する。ロットにより待機時間が悪影響を与える恐れがあるリソースについては、予め非安全処理部として設定することで、ロットに応じた柔軟なスケジュールが可能となる。その結果、待機時間が生じると悪影響が生じる恐れがある全てのリソースをロットに関係なく非安全処理部に設定する場合に比較して、処理工程の配置効率を低下させることがない。よって、悪影響を回避しつつもスループットが低下するのを防止できる。また、二つの純水処理部について、ロットごとにリソース種別を異ならせることにより、あるロットでは一方の純水処理部で待機させるが、他のロットでは待機させないようにスケジュールを作成することができる。したがって、複数の純水処理部を柔軟に利用するスケジュールが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュール作成を示すフローチャートである。
【図４】レシピ及び単バッチスケジュールを示すタイムチャートであり、（ａ）はロット１を示し、（ｂ）はロット２を示す。
【図５】リソース種別の例を示す模式図である。
【図６】単バッチスケジュール及びブロック区切りを示すタイムチャートであり、（ａ）はロット１であり、（ｂ）はロット２である。
【図７】全体スケジュールの例を示すタイムチャートである。
【図８】従来例の全体スケジュールの例を示すタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【実施例１】
【００１９】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び純水処理及び乾燥処理を行うための装置である。基板Ｗは、複数枚（例えば、２５枚）がカセット１内に水平姿勢で積層収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１が載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２０】
上述した投入部３と払出部７との間には、後述するレシピの指定や、リソース種別の設定などのためにユーザが操作する設定部１１が備えられている。
【００２１】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構ＣＴＣが設けられている。第１搬送機構ＣＴＣは、投入部３に載置されたカセット１に収納されている全ての基板Ｗを取り出した後、第２搬送機構ＷＴＲに対して搬送する。また、第１搬送機構ＣＴＣは、第２搬送機構ＷＴＲから処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収納する。第２搬送機構ＷＴＲは、基板処理装置の長手方向に沿って移動可能に構成されている。
【００２２】
上述した第２搬送機構ＷＴＲの移動方向における払出部７側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部ＬＰＤが設けられている。
【００２３】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向であって乾燥処理部ＬＰＤに隣接する位置には、第１処理部１９が配設されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水処理を施すための純水処理部ＯＮＢ１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液を含む処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部ＣＨＢ１を備えている。また、第１処理部１９は、第２搬送機構ＷＴＲとの間で基板Ｗを受け渡すとともに、純水処理部ＯＮＢ１と薬液処理部ＣＨＢ１でのみ昇降可能な副搬送機構ＬＦＳ１を備えている。
【００２４】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２１が設けられている。第２処理部２１は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。つまり、純水処理部ＯＮＢ２と薬液処理部ＣＨＢ２と副搬送機構ＬＦＳ２とを備えている。
【００２５】
上記のように構成された基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部２５によって統括的に制御される。なお、図２は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【００２６】
制御部２５は、ＣＰＵやカウンタ・タイマ等を備え、スケジューリング部２７と、処理実行指示部３１とを備えている。制御部２５に接続されている記憶部３３は、この基板処理装置のユーザなどによって予め作成され、基板Ｗをどのようにして処理するかを規定した複数の処理工程を含むレシピの情報であるレシピデータと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラムと、後述するリソース種別（安全処理部、非安全処理部）の情報であるリソース種別データなどが予め格納されている。
【００２７】
スケジューリング部２７は、カセット１に収納されて投入部３に載置された基板Ｗを一つのロットとして取り扱い、装置のユーザによって指示された、記憶部３３に予め記憶されているレシピに応じて、実際に処理を開始する前に、ロットごとに各リソースを使用する単独のスケジュールを「単バッチスケジュール」として作成する。また、詳細は後述するが、単バッチスケジュールについて、リソース種別を参照して各処理工程をブロックで区切る。その後、各ロットの単バッチスケジュールを同じ時間軸上に配置して「全体スケジュール」を作成する。このようにして作成された全体スケジュールは、記憶部３３に記憶される。
【００２８】
なお、ここでいうリソースとは、第１搬送機構ＣＴＣ、第２搬送機構ＷＴＲ、乾燥処理部ＬＰＤ、純水処理部ＯＮＢ１，ＯＮＢ２、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２、副搬送機構ＬＦＳ１，ＬＦＳ２など、制御部２５の制御の下でロットの処理のために利用される資源のことをいう。
【００２９】
処理実行指示部３１は、スケジューリング部２７によって作成されて、記憶部３３に格納されている全体スケジュールに基づいて、適切なタイミングで各処理部などの処理に係る動作を指示する。
【００３０】
次に、具体的なスケジュール作成方法について、図３〜７を参照して説明する。なお、図３は、スケジュール作成を示すフローチャートであり、図４は、レシピ及び単バッチスケジュールを示すタイムチャートであり、（ａ）はロット１を示し、（ｂ）はロット２を示し、図５は、リソース種別の例を示す模式図であり、図６は、単バッチスケジュール及びブロック区切りを示すタイムチャートであり、（ａ）はロット１であり、（ｂ）はロット２であり、図７は、全体スケジュールの例を示すタイムチャートである。
【００３１】
以下においては、説明の理解を容易にするために、ロット１，２の二つのロットのみをスケジュールする場合を例に採って説明するが、３つのロット以上のロットについても同様にしてスケジューリングすることができる。
【００３２】
この例におけるロット１のレシピは、例えば、図４（ａ）に示すようなものである。
すなわち、ロット１のレシピは、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程１Ａと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程１Ｂと、薬液処理部ＣＨＢ１による処理工程１Ｃと、副搬送機構ＬＦＳ１による処理工程１Ｄと、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程１Ｅと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程１Ｆと、乾燥処理部ＬＰＤによる処理工程１Ｇと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程１Ｈと、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程１Ｉとからなる。ユーザ側から見たレシピは、一般的には、薬液処理部ＣＨＢ１による処理工程１Ｃと、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程１Ｅと、乾燥処理部ＬＰＤによる処理工程１Ｇである。つまり、ユーザ側から見たレシピには、一般的に第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程１Ａなどは含まれないが、ここでは制御部２５側から見たレシピとして、これらを含めることにする。
【００３３】
また、ロット２のレシピは、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程２Ａと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｂと、純水処理部ＯＮＢ２による処理工程２Ｃと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｄと、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程２Ｅと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｆと、乾燥処理部ＬＰＤによる処理工程２Ｇと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｈと、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程２Ｉとからなる。
【００３４】
なお、各処理工程のうち、処理の実体は、図中にハッチングを施した部分であり、その前の空白にあたる部分は、リソースを使用するための準備にあたる前作業であり、その後ろの空白にあたる部分は、使用したリソースの片付けにあたる後作業である。
【００３５】
上述したようにレシピは、複数の処理工程から構成されているが、全体スケジュールを作成する前に、いくつかの複数の処理工程をまとめて、配置の最小単位としてブロックで複数の処理工程をまとめる。その際、スケジューリング部２７は、記憶部３３のリソース種別を参照する。ここで図５を参照してリソース種別について説明する。ここでいうリソース種別とは、ロットを待機させることができるリソースを表す「安全処理部」と、ロットを待機させることができないリソースを表す「非安全処理部」のことである。例えば、一般的に、薬液処理を行う場合には、薬液による過剰処理がロットに悪影響を与えるので、その処理工程後に待機時間が生じないように薬液処理部などをブロック区切りにはしない。一方、純水処理を行う場合には、純水による過剰処理が生じないので、その処理工程後に待機時間が生じてもよいように、ブロックの最後に純水処理部などを配置可能にする。つまり安全処理部がブロックの区切りに用いられる。但し、ロットによっては、純水処理でさえ悪影響が生じる恐れがあるので、ロットによってはブロックの最後に純水処理部を配置しないようにする。つまり、純水処理は、非安全処理部にも安全処理部にもなり得る。
【００３６】
次に、リソース種別の具体例を図５に示す。なお、この図５では、純水や薬液などの処理液を用いる主要なリソースだけについて記載しており、全てのリソースについては記載していない。この例では、ロット１では各リソースのうち、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２が非安全処理部として設定され（待機不可と記載）、純水処理部ＯＮＢ１，ＯＮＢ２、乾燥処理部ＬＰＤが安全処理部として設定されている（待機可と記載）。一方、ロット２では、各リソースのうち、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２に加えて純水処理部ＯＮＢ２についても非安全処理部として設定してある（待機不可と記載）。つまり、ロット１とロット２とでリソース種別が異なるように設定されている。このような設定は、スケジュール作成前にユーザによってロットごとに予め設定されている。
【００３７】
ここで、図３のフローチャートを参照する。
【００３８】
ステップＳ１
ユーザは、設定部１１を操作して、上述したようなリソース種別（図５）を設定する。設定されたリソース種別は、記憶部３３に記憶される。このようにユーザにより設定部１１を介してリソース種別が記憶部３３に設定されるので、ロットに応じて柔軟な設定を行うことができる。
【００３９】
ステップＳ２
処理の対象となる複数のロットを順次に投入部３から基板処理装置内に搬入する。ここでは、上述したロット１及びロット２が搬入されたとする。
【００４０】
ステップＳ３，Ｓ４
ユーザは、ロット１及びロット２について、設定部１１を介してレシピを指定する。ここでは、ロット１に対して上述した図４（ａ）のレシピが指定され、ロット２に対して図４（ｂ）のレシピが指定されたものとする。スケジューリング部２７は、指定されたレシピデータを記憶部３３から読み込む。
【００４１】
ステップＳ５
スケジューリング部２７は、ロット１，２のそれぞれについて、単バッチスケジュールを作成する。具体的には、図４（ａ）と図４（ｂ）に示すようになる。
【００４２】
ステップＳ６
スケジューリング部２７は、各単バッチスケジュールを、記憶部３３のリソース種別を参照しつつ、複数個の処理工程をブロックに区切る。
【００４３】
具体的には、ロット１が図６（ａ）となり、ロット２が図６（ｂ）のようになる。ロット１では、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２がリソース種別において待機不可の非安全処理部として設定されているので、これら以外の処理工程がブロックの最後となるように区切る。詳細には、処理工程１Ａをブロック１−Ａとし、処理工程１Ｂ〜１Ｅをブロック１−Ｂとし、処理工程１Ｆ，１Ｇをブロック１−Ｃとし、処理工程１Ｈ，１Ｉをブロック１−Ｄとする。ロット２では、処理工程２Ａをブロック２−Ｂとし、処理工程２Ｂ〜２Ｅをブロック２−Ｃとし、処理工程２Ｆ，２Ｇをブロック２−Ｃとし、処理工程２Ｈ，２Ｉを処理工程２−Ｄとする。ロット１のブロック１−Ｂは、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程１Ｅでブロックが区切られている。その一方、ロット２のブロック２−Ｂは、純水処理部ＯＮＢ１と同様の純水処理を行う純水処理部ＯＮＢ２による処理工程２Ｃではブロックが区切られず、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程２Ｅでブロックが区切られている。
【００４４】
上記のようにして作成されたブロックで区切られた各単バッチスケジュールは、記憶部３３に格納される。
【００４５】
ステップＳ７
スケジューリング部２７は、ブロックで区切られた各単バッチスケジュールを参照し、ロット１，２の単バッチスケジュールを同じ時間軸上に配置する全体スケジュールを行う。この際には、各処理工程ごとに配置するのではなく、ブロック単位で配置してゆく。全体スケジュールは、例えば、図７に示すようなものとなる。ここで、ロット２のブロック２−Ｂにおける処理工程２Ｃでは、待機時間が生じるとロット２に悪影響が生じる恐れがあるが、リソース種別の設定により、ブロック２−Ｂの最後に位置しないようにされている。したがって、ブロック２−Ｂをどのように配置しても待機時間が生じないようにできる。このように作成された全体スケジュールは、記憶部３３に記憶される。
【００４６】
ステップＳ８
処理実行指示部３１は、記憶部３３に記憶された全体スケジュールを参照して、各リソースを制御し、ロット１，２に対する処理を行う。
【００４７】
上述したように、スケジューリング部２７は、レシピに応じて各リソースを使用するタイミングをロット１，２ごとに作成して、ロット１，２の単バッチスケジュールを作成する。次に、スケジューリング部２７は、各単バッチスケジュールについて、ロット１，２ごとにリソース種別を参照し、各単バッチスケジュールの各処理工程を安全処理部でブロックに区切る。そして、スケジューリング部２７は、全ての単バッチスケジュールから全体スケジュールを作成し、全体スケジュールに基づいて各ロット１，２に対する処理を実行する。ロット２により待機時間が悪影響を与える恐れがあるリソースについては、予め非安全処理部として設定することで、ロット１とは異なるロット２に応じた柔軟なスケジュールが可能となる。その結果、待機時間が生じると悪影響が生じる恐れがある全てのリソースをロット１，２に関係なく非安全処理部に設定する場合に比較して、処理工程の配置効率を低下させることがない。よって、悪影響を回避しつつもスループットが低下するのを防止することができる。
【００４８】
また、リソース種別は、純水、溶剤、酸などの処理液で処理を行う薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２、純水処理部ＯＮＢ１，ＯＮＢ２、乾燥処理部ＬＰＤなどのリソースのみに設定することにより、スケジューリング部２７による単バッチスケジュール作成時の参照項目を少なくすることができる。その結果、スケジュール作成における負荷を低減でき、スケジュール作成時間の抑制を図ることができる。
【００４９】
因みに、従来例のように、ロット２のリソース種別を、ロット１におけるリソース種別と同じ設定とした場合には、図８のような全体スケジュールとなる。なお、図８は、従来例の全体スケジュールの例を示すタイムチャートである。
【００５０】
この場合には、ロット２のブロックが２−Ａ〜２Ｅの５つになる。このようなブロックの区切りで配置すると、ブロック２−Ｂの処理工程２Ｃにおいて待機時間ｗｔ１が生じることがある。これによりロット２には悪影響が生じる恐れがある。
【００５１】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５２】
（１）上述した実施例では、図１に示す配置構成の基板処理装置によるスケジューリングを例にとって説明したが、本発明はこのような配置構成の基板処理装置に限定されるものではない。
【００５３】
（２）上述した実施例では、図４に示したレシピを例にとって説明したが、本発明はこのようなレシピに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５４】
Ｗ  …  基板
１  …  カセット
３  …  投入部
ＣＴＣ  …  第１搬送機構
ＷＴＲ  …  第２搬送機構
ＬＰＤ  …  乾燥処理部
１９  …  第１処理部
２１  …  第２処理部
ＯＮＢ１，ＯＮＢ２  …  純水処理部
ＬＦＳ１，ＬＦＳ２  …  副搬送機構
ＣＨＢ１，ＣＨＢ２  …  薬液処理部
２５  …  制御部
２７  …  スケジューリング部
３１  …  処理実行指示部
３３  …  記憶部
１Ａ〜１Ｄ  …  ロット１の処理工程
２Ａ〜２Ｄ  …  ロット２の処理工程
１−Ａ〜１−Ｄ  …  ロット１のブロック
２−Ａ〜２−Ｄ  …  ロット２のブロック
【図１】
0005432654.tif 000002
【図２】
0005432654.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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