(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
・少なくとも一部が光を伝達する半透明な導波路を取り囲んでいるファラデー箱と、
・前記導波路と前記ファラデー箱との内部のバルブ型空洞共振器と、
・前記導波路と前記ファラデー箱との内部のアンテナ凹部と、
を有する固体誘電体材料からなる半透明な導波路と、
マイクロ波が励起可能な充填物を有するバルブであって、前記バルブ型空洞共振器内に受け入れられるバルブと、を備え、
前記ファラデー箱が、放射方向に光を伝達するように適用された光源。
【請求項２】
前記導波路が、電界強度が最大となる位置で前記空洞共振器がマイクロ波共振するように設計されたことを特徴とする請求項１記載の光源。
【請求項３】
前記導波路が円形断面であり、その内部が直径方向に広がり、マイクロ波の半波長に設計されることを特徴とする請求項２記載の光源。
【請求項４】
前記バルブの筐体と前記半透明な導波路が同一の材料からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光源。
【請求項５】
前記バルブ型空洞共振器が前記半透明な導波路の表面で開口していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の光源。
【請求項６】
前記バルブ型空洞共振器が閉じられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の光源。
【請求項７】
前記バルブ型空洞共振器が、固体誘電体材料からなるプラグによって閉じられていることを特徴とする請求項６記載の光源。
【請求項８】
前記プラグが前記半透明な導波路を固定していることを特徴とする請求項７記載の光源。
【請求項９】
前記プラグは、前記半透明な導波路を封着していることを特徴とする請求項８記載の光源。
【請求項１０】
前記半透明な導波路が、２つの部材からなり、前記部材の一方、あるいは両方が、２つの前記部材の共通の接合面で形成された前記空洞共振器を有することを特徴とする請求項６記載の光源。
【請求項１１】
２つの前記部材が互いに固定されていることを特徴とする請求項１０記載の光源。
【請求項１２】
２つの前記部材が互いに貼着されていることを特徴とする請求項１１記載の光源。
【請求項１３】
前記バルブが前記空洞共振器内で固定されていないことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項記載の光源。
【請求項１４】
前記バルブが前記空洞共振器内で固定されていることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項記載の光源。
【請求項１５】
前記バルブが、前記バルブの脚を溶融させることによって、前記導波路に対して封着されていることを特徴とする請求項１４記載の光源。
【請求項１６】
前記バルブの前記筐体と、ガラス材料からなるプラグ（備えている場合）及び導波路とが前記材料の局所的な溶融によって互いに固定され、もしくは、封着されていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項記載の光源。
【請求項１７】
前記バルブの前記筐体と、ガラス材料からなるプラグ（備えている場合）及び導波路とが、フリット材料の局所的な溶融によって互いに固定され、もしくは、封着されていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項記載の光源。
【請求項１８】
前記バルブが前記ファラデー箱によって前記空洞共振器内で保持されていることを特徴とする請求項５記載の光源。
【請求項１９】
前記バルブが誘電体材料からなる円筒によって前記空洞共振器内で保持されていることを特徴とする請求項５記載の光源。
【請求項２０】
前記空洞共振器が開口している前記表面が、前記半透明な導波路の背面であり、前記円筒が前記ファラデー箱の一部によって保持されていることを特徴とする請求項１９記載の光源。
【請求項２１】
前記バルブが前記円筒の内側の端部に延びて配置されていることを特徴とする請求項１８または１９記載の光源。
【請求項２２】
前記円筒が前記アンテナの凹部を提供することを特徴とする請求項１９〜２１のいずれか１項記載の光源。
【請求項２３】
前記ファラデー箱が、それらを横方向に広げるために前記半透明な導波路の後ろに広がっている固体部分と、
前記固体部分と前記導波路を固定し、前記固体部分を、光を伝達する前記ファラデー箱の前部に接続している留め具と、
を含むことを特徴とする請求項１〜２２のいずれか１項記載の光源。
【請求項２４】
前記固体部分が、光を前方に向けるための反射性であることを特徴とする請求項２３記載の光源。
【請求項２５】
前記半透明な導波路と、前記導波路の前記固体部分とが放射される光を集光するように補完的な形状にされていることを特徴とする請求項２４記載の光源。
【請求項２６】
前記ファラデー箱の光を前方に向ける部分が、網状の金属部材を含むことを特徴とする請求項２３〜２５の何れか一つに記載の光源。
【請求項２７】
前記ファラデー箱の光を前方に向ける部分が、半透明な導電性コーティングであることを特徴とする請求項２３〜２５の何れか一つに記載の光源。
【請求項２８】
前記ファラデー箱が、通過させる光を局所的に増大させる少なくとも１つ以上の開口部を含むことを特徴とする請求項１〜２７の何れか一つに記載の光源。
【請求項２９】
前記開口部が、前記バルブ内のマイクロ波の自由空間波長の１０倍程度の大きさであることを特徴とする請求項２８記載の光源。
【請求項３０】
前記半透明な導波路が、石英、多結晶アルミナ、多結晶イットリウム・アルミニウム・ガーネット、窒化アルミニウム、単結晶サファイアのうち、いずれかからなることを特徴とする請求項１〜２９の何れか一つに記載の光源。
【請求項３１】
半透明な前記バルブからの放射光を特定方向に反射させるための分離された反射器と組み合わされたことを特徴とする請求項１〜３０の何れか一つに記載の光源。
【請求項３２】
・マイクロ波源と
・整合回路と、
を備えたマイクロ波駆動回路と組み合わせることによりランプとしたことを特徴とする請求項１〜３１の何れか一つに記載の光源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロ波で駆動されるランプ光源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光を発生させるために、カプセルの中で放電させることはよく知られている。
【０００３】
典型的な例としてナトリウムランプや蛍光灯などがある。後者は紫外線を発生する水銀蒸気を用いている。この水銀蒸気が蛍光性粉末を励起させて発光させている。これらはタングステン・フィラメントのランプよりも消費電力１ワット当たりの光束の点では高効率である。しかしながら、これらの照明器具はカプセル内に電極が必要となる点で劣っている。これらは放電に必要な電流を流すために劣化し、最終的には効率も低下する。
【０００４】
国際出願番号ＰＣＴ／ＧＢ２００６／００２０１８号（以下「２０１８ランプ」という）、ランプ用バルブに関する国際出願番号ＰＣＴ／ＧＢ２００５／００５０８０号、マイクロ波で駆動されるランプの整合回路に関する国際出願番号ＰＣＴ／ＧＢ２００７／００１９３５号に示すとおり、我々は無電極バルブ型ランプを開発してきた。これらはすべて、バルブ内の発光プラズマを励起させるためのマイクロ波エネルギーを使用して無電極で駆動されるランプに関するものである。マイクロ波のエネルギーをバルブに供給するために電波を使用の伴う以前の提案は、例えばフュージョン・ライティング社の米国特許番号５，３３４，９１３号によって成し遂げられている。もし、電波の導波路が使用されると、導波路の物理的な大きさは、空気中のマイクロ波の波長分の１であるので、ランプは大型になってしまう。例えばこのような光は街灯に使用しても問題はないが、多くの機器に対して適さなくなってしまう。そのため、前記２０１８ランプは誘電性の導波路を使用しているが、これは実質的に２．４ＧＨｚの駆動周波数で波長を減らしている。このランプは背面投射型テレビのような家庭用電気機器に適している。
【０００５】
約８年前、マイクロ波による励起光ビジネスにおいて、我々のパートナーが、コンサルタント業務としてＬｕｘｉｍ社（以下、「Ｌｕｘｉｍ」という）の創設に従事した。Ｌｕｘｉｍは２０００年７月３１日に米国の仮特許出願番号６０／２２２，０２８を提出し、続いて、米国特許番号６，７３７，８０９号が特許となった（以下、「Ｌｕｘｉｍ特許」という）。この要約は、以下の通りである。
【０００６】
「およそ２より大きい誘電率を有する少なくとも一つの誘電体材料からなる本体を備えた誘電体導波路が集積されたプラズマランプ（ＤＷＩＰＬ）であって、少なくとも一つの共振モードにおいて、適当な周波数のマイクロ波エネルギーが前記本体に供給された時に、前記本体が共振するような外形と寸法を有するプラズマランプ。前記本体内の空洞共振器内に配置されたバルブは、充填ガスを含有し、共振する前記本体からのエネルギーを受け取った時に発光プラズマを形成する。」
我々は、これが無電極バルブへマイクロ波エネルギーを供給する固体誘電体の導波路の最初の開示だと信じている。その時に焦点となるのは、固体誘電体の使用によって、著しいサイズ縮小を成し遂げるであった。我々自身の事業への関与は、セラミックについて専門的意見を述べることであった。選ばれたセラミックはアルミナであった。
【０００７】
我々の米国特許番号６，６６６，７３９は、上記したコンサルタント業務まで遡る。その要約は、以下である。
【０００８】
「ランプは、閉口端と開口端を有する空洞の管状の本体からなる。前記本体は、焼結されたセラミック材料からなる。窓は、前記開口端を横切る形で封じられ、前記窓と前記本体は、ガラス材料の層によって結合されている。前記窓は、サファイアからなる。前記本体内は、不活性ガス雰囲気下で、励起可能な材料のペレット充填により封じられる。使用中に前記ランプは、前記サファイアを介して可視光を放射するために、無線電磁波の影響を受けて１０００℃まで加熱される。」
導波路内において、アルミナの不透明体だけでなく、銀メッキされた導波路も電界共振の境界条件を提供するために用いられている。Ｌｕｘｉｍ特許において、サファイアからなる窓を介して、光を放射することが提案されている。
【０００９】
不透明な導波路の凹部（通常、アルミナからなる）、あるいは、不透明な導波路の凹部に近接し、マイクロ波で励起可能な材料を包含する透明な窓の集積配置において、マイクロ波で励起可能な材料を包含した分かれたバルブ（バルブは通常、石英からなる）を用いず、固体誘電体導波路を用いるための上述した協力があるまでは我々はこれらの提案に気づいていない。
【００１０】
我々のマイクロ波励起光技術の改良を続けているうちに、アンドリュー・ニートは、別な方法において、バルブと導波路を一つの要素に一体化させる技術を発明した。
【００１１】
したがって、我々は、２００７年１１月１６日付で特許出願番号０７２２５４８．５の出願をしており、この出願では、我々の第１のＬＥＲ（発光共振器）の特許出願について言及している。この出願は、
・可視光に対して透明で、マイクロ波に対して不透明であり、マイクロ波励起で共振する筐体と、
・可視光を発光するプラズマを形成するためのマイクロ波エネルギーによって励起可能な材料からなる充填物と、
・前記筐体内でマイクロ波共振のプラズマ誘導励起させるように配置されたアンテナであって、前記マイクロ波源に結合された筐体の外側に突き出した接続部を有するアンテナと、
を有するマイクロ波源によって駆動されるランプ可視光源について述べている。
【００１２】
充填物を含む筐体内の密封空間にアンテナを備え、比較的薄い壁を有する比較的大きな筐体であった我々の第１のＬＥＲの開発において、我々は、密封空間が比較的小さく、そのアンテナが筐体内の励起可能な材料の中に配置された第２のＬＥＲを開発した。
【００１３】
したがって、２００８年５月２３日付で、我々の第２のＬＥＲ（発光共振器）の特許出願について言及している特許出願番号０８０９４７１．６号を提出した。この出願は、マイクロ波エネルギーで駆動される可視光源について述べており、前記可視光源は、
・外部に光を出力できるように透明もしくは半透明の材料からなる固体プラズマ容器であって、内部に密封空間を有する固体プラズマ容器と、
・前記プラズマ容器を取り囲むファラデー箱であって、少なくとも一部が前記プラズマ容器からの光を伝達し、さらにマイクロ波を内部に含むファラデー箱と、
・マイクロ波エネルギーによって駆動され、光を放射するプラズマをその内部で形成するための前記密封空間の励起可能な材料からなる充填物と、
・前記固体プラズマ容器内部に配置され、プラズマ誘導マイクロ波エネルギーを前記充填物に供給するためのアンテナであって、マイクロ波エネルギー源に結合するために前記固体プラズマ容器の外側に突き出した接続部を有するアンテナと、
を有し、前記密封空間内のプラズマからの光が前記固体プラズマ容器を通過することができ、前記ファラデー箱を介して、そこから放射されるように配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】国際公開第２００６／１２９１０２号
【特許文献２】国際公開第２００６／０７０１９０号
【特許文献３】国際公開第２００７／１３８２７６号
【特許文献４】米国特許第５３３４９１３号明細書
【特許文献５】米国特許第６７３７８０９号明細書
【特許文献６】米国特許第６６６６７３９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
現在、我々は、更なるＬＥＲと関連技術を開発し、アンドリュー・ニートと、ベリー・プレストンが共同で、我々の'２０１８バルブを用いたランプにおいて、ＬＥＲの長所を提供できる本発明を成している。
【００１６】
本発明によれば、
・少なくとも一部が光を伝達する導波路を取り囲んでいるファラデー箱と、
・前記導波路と前記ファラデー箱との内部のバルブ型空洞共振器と、
・前記導波路と前記ファラデー箱との内部のアンテナ凹部と、
を有する固体誘電体材料からなる半透明な導波路と、
マイクロ波が励起可能な充填物を有するバルブであって、前記バルブ型空洞共振器内に受け入れられるバルブと、を備え、
前記ファラデー箱が、放射方向に光を伝達するように適用された光源が提供できる。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本明細書で用いられているように、「半透明な」とは、透明と呼ばれる物を構成する材料であり、透明または半透明である。
【００１８】
光源を用いたランプは、特許'８０９のランプに比べて、バルブから横方向に放射される光を軸方向の光と同様に、集光して利用できるという長所を有している。'８０９特許では、バルブの一端からの軸方向の光のみが利用可能なだけである。
【００１９】
通常、導波路は、その充填物の光励起のために電界強度が最大となる位置で、その空洞共振器と共にマイクロ波共振するように設計されることとなる。好適な実施形態においては、導波路は、円形断面であり、その内部が直径方向に広がるマイクロ波の半波長に設計される。
【００２０】
好適には、バルブの筐体と半透明な導波路は、同一材料からなる。
【００２１】
'８０９特許において、バルブ型空洞共振器は導波路に従属し、開封することができる。しかしながら、我々は、バルブを導波路内の奥深くに配置することを望んでいる。我々は、この点について以下のいずれかの方法で成し遂げている。
１．導波路にボアを空ける場合、その深さの半分を過ぎたところでバルブをボアに挿入し、導波路を形成する材料からなるプラグと共に前記ボアを閉じる。さらに、必須なことではないが、便宜上、局所的なスポット溶融によって、導波路に前記プラグを封着すること、好ましくは固定することも成し得る。
２．導波路を２等分する場合、一緒に近接させた時にバルブ型空洞共振器を成す。また、２等分した導波路は、均等に分割されている必要はないし、対称である必要も無いが、互いにスポット溶融することができる。
【００２２】
バルブとプラグはガラス材料からなり、プラグ及びバルブ、あるいは２等分した後者は、そのステップおよび／またはカウンターボアにおいて、プラグの材料の局所的な溶融によって固定もしくは互いに貼着される。それらはセラミック材料からなり、フリット材料の局所的な溶融により互いに固定もしくは貼着される。局所的な溶融は、レーザーによって達成することができる。
【００２３】
いずれにしても、そのバルブは空洞共振器の内側で固定しないことができる。しかしながら、好ましくは、空洞共振器に対して固定される。空洞共振器から伸びたサイズが対応するボアにおいて、バルブの脚の部分のスポット溶融によって、このことは適切に成し遂げられる。
【００２４】
ファラデー箱と共にその空洞共振器内において、バルブは保持することができる。
【００２５】
特定の実施形態においては、
・バルブは、誘電体材料の円筒によって空洞共振器内に保持される。
・前記空洞共振器の開封される面は、半透明の導波路の背面であり、ファラデー箱の一部によって前記円筒が保持される。
・前記管の内側末端において、バルブは拡張位置を有している。
・バルブは、アンテナの凹部を提供している。
・ファラデー箱は、横方向に広げるために半透明の導波路の後方に広がる固体部と、前記固体部及び前記導波路を固定し、前記固体部を前記ファラデー箱の前部に光伝達のために接続する留め具とを含んでいる。
・半透明の前記導波路と前記導波路の前記固体部は、放射される光を集光するために補完的な形状とされている。
・前記ファラデー箱の光伝達するための前部は、網状の金属部材もしくは半透明の導電性コーティングを含んでいる。
【００２６】
これらの特徴は、個々に、あるいは集合的に利用することができる。
【００２７】
ファラデー箱は、通過させることで光を伝達し、局所的に光を増幅させるための少なくとも一つの開口部を含むことができる。好ましくは、前記開口部は、バルブ内のマイクロ波の自由空間波長の１０分の１程度である。前記開口部は、通常２．４５ＧＨｚで駆動されるために１／１０×１２．２４ｃｍ程度、すなわち１２．２４ｍｍ程度とされ、５．８ＧＨｚの場合は、６．１２ｍｍ程度とされる。
【００２８】
プラズマバルブは、石英もしくは焼結された透明なセラミック材料からなることが予測されるが、他の材料もあり得る。特に、セラミック材料は透明または半透明とすることができる。
【００２９】
例えば、適切な半透明のセラミック材料の例として、多結晶アルミナがあり、透明なセラミックの例として、多結晶イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）がある。他に可能性がある材料としては、窒化アルミや単結晶サファイアがある。
【００３０】
好ましくは、バルブの材料と導波路の材料が、同じ熱膨張係数を有し、便宜上、それらは同一材料からなる。それにもかかわらず、バルブは、比較的低い熱伝導性材料からなり、空洞共振器よりも熱くなりがちであるため、バルブの膨張のための隙間を備える。ただし、石英はアルミナに比べて低い伝導性である。
【００３１】
さらに、アンテナは、通常、光源において、アンテナ用凹部に置かれ、他の機械的な拘束によって、そこに保持され、アンテナは、たとえば、アンテナ周辺の導波路材料の溶融によって凹部に近接して導波路内に固定されることが予測される。
【００３２】
また、好ましくは、ランプは単一の結合された構造としてマイクロ波源と整合回路を含んでいる。
【００３３】
ここで、本発明を理解させるため、添付図面と共に、様々な具体的な実施形態について述べる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のバルブ、半透明の導波路、及び光源を有するランプのマイクロ波源の斜視図である。
【図２】図１のバルブと半透明の導波路の断面図である。
【図３】導波路の端面を示す図である。
【図４】別の半透明の導波路を分解した図である。
【図５】別の導波路の端面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
各図面を参照すると、図１は、マイクロ波エネルギーの発振器及び増幅器の源２を備えたランプ１の全体を示す図であり、通常、２．４５あるいは５．８ＧＨｚあるいはＩＳＭバンドの範囲内の別の周波数で駆動される。当該源は、整合回路３を介して半透明の導波路６の凹部５に延びているアンテナ４へマイクロ波を伝播させる。この導波路は、石英からなり、バルブ８を収容する中央の空洞共振器７を有している。バルブは、石英からなる密封された円筒９であり、希ガスの充填物とマイクロ波で励起可能な材料を含んでおり、マイクロ波によって励起されると可視光を放射する。
【００３６】
バルブは、中央の空洞共振器から伸びている脚用ボア11に受け入れられる脚10を有する。導波路は透明であり、バルブからの光は、反射面の影響を受けて、あらゆる方向に出て行くことができる。マイクロ波は、ファラデー箱によってその表面で制限を受け、導波路から出て行くことはできない。通常、これは、導波路の前面にＩＴＯコーティング12を備え、通常、背面で酸化ケイ素コーティング13と共に銀からなる光反射性コーティング10とワイヤ網14を備えており、ＩＴＯにも光反射性コーティングにも接して接地されており、ワイヤ網は、前面と後面の間の導波路の外縁に延びている。光は、集光して利用するためのワイヤ網を通過することができる。
【００３７】
導波路は、選択されたマイクロ波周波数で駆動された時、バルブで電界強度が最大となるように設計され、成形されることとなる。導波路の石英の誘電率を考慮して設計することは、当業者にとって容易であると考えられる。
【００３８】
図２及び図３において、バルブと導波路を備えた光源の一つの物理的な形状が示されている。石英製の導波路21は、一方の面23からのボア22と共に一体的に形成されている。当該ボアは、バルブ本体25用の最大直径部分24が厚さの60％程度まで延びており、そこからバルブの脚27用の直径26の隙間部分が続いている。プラグ28は、バルブの頂点部分から当該ボアを埋めており、導波路及びプラグ材料がレーザー封着によって当該ボアの開口部30で溶融し、溶融部分29によって所定の位置に固定される。このため、レーザーは、開口部においてプラグと導波路の間の継ぎ目31に集中しており、継ぎ目の周囲に沿って旋回し、局所的に石英を溶融させ、それが再び凝固すると、すぐにプラグは導波路に固定される。プラグの周辺を漏れなく溶融させれば、封着が形成される。他方の面32において、脚用のボアから突き出した脚にも同様なレーザー動作が実行される。もし、必要であれば、その後、面22,33は、飛び散ったものを除去するために研磨される。したがって、導波路はバルブと全体として一体的に形成される。
【００３９】
バルブの筐体と導波路は、材料が一体として封着できるように、どちらも石英からなることに留意すべきである。ここで、これらは、半透明の多結晶アルミナからなり、封着部にガラス材料が導入され、溶融することによって固定され、部材どうしが貼着される。
【００４０】
次にファラデー箱が適用される。図１において、アンテナとその凹部は、同軸に示され、図２において、この実施形態の凹部33は、軸からずれたところに配置される。
【００４１】
図４及び図５において、別の物理的配置が示されている。導波路41は、２つの相補的な部材42,33から構成される。これらは、ボア22と一致する凹部46,47と、脚用の延部26と、を備えた互いに合致する面44,45を有している。バルブ48は、一方の部分が凹部に置かれ、脚49はレーザー固定部50によってその凹部に当該脚の端部で固定され、そこでは使用中の熱応力が最小となることがわかる。他方の部分は、追加されたものであり、２つは節理の周囲をレーザー封着部51によって互いに貼着される。これらは、一体化できるように研磨された平面となり、導波路が２つの部材からなるという事実は、マイクロ波共振導波路としての動作には影響を与えない。したがって、導波路はバルブと一体化されることとなる。
【００４２】
上記実施例では、石英からなる、すなわち、バルブと導波路の両方が石英からなることを述べているが、これらを他の材料で構成することも可能である。特に、透明または少なくとも半透明に形成できる点で、以下の材料が適していると考えられる。
【００４３】
石英ガラス、サファイア、多結晶アルミナ（ＰＣＡ）、イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）、及び窒化アルミニウムである。
【００４４】
本発明は、上記実施例に限定されるものではない。例えば、図面は、直径に等しい長さで円筒形状の導波路であり、アンテナの凹部が通常中心軸上にあり、短くして太くしたり、長くして細くしたりすることによって直径に対する長さの比率が変更可能である。同様に、アンテナは、図２に示すように、中心軸からずれた位置に配置することができる。これは封着することができる、すなわち、凹部を所定の位置でアンテナと共に封着することができ、あるいは、挿入されたアンテナと共に凹部を開放したままにしておくことができる。
【００４５】
また、導波路は、例えば共振に適した設計にするために立方形状のように異なる幾何学形状に構成することが可能である。実際には、導波路を共振動作させることに必須なものではない。
【００４６】
図５と図６を参照すると、直径５０．８ｍｍで高さ３５ｍｍの短い円形の石英の導波路101を有する光源が示されている。後面102からは直径５ｍｍのボア103が中央に延びており、導波路の前面104の５ｍｍ以内まで達している。そして、導波路は、長さ１５ｍｍ延びた６ｍｍのカウンターボア105を有している。直径５ｍｍの石英の無電極バルブ106、すなわち１５ｍｍの本体107と長さ５ｍｍで直径２ｍｍの脚108を備えた'2018バルブは、ボア103に配置される。長さ１５ｍｍの石英円筒109は、カウンターボアに入れられ、そのボア110に脚を受け入れている。後面102と同一平面上に導波路の円筒が配置され、バルブが固定される。
【００４７】
アルミニウム接地平面112は、円筒109及びバルブに固定するために背面に接するように配置される。導波路内で共振を確立し、バルブ内でプラズマ発光させるための図示しない駆動回路からマイクロ波を供給するために、アンテナ113を伸ばして中央で絶縁したものが、ボア110に突出している。
【００４８】
ファラデー箱の接地平面116と共に、導波路の外周114の周辺と網状の金属箔115が延びたところの向かい側に形成する。バルブの端部に対応して、中央に来るものは、バルブからの軸方向の光の放出を妨げないように包まれた開口部117である。放射光の大部分は、外周114で網状の箔を通過する。留め具118は、導波路と共に、後面112を固定し、同時にその後面を網状の箔に接続する。外周の当該箔は、前面で縮れ119を形成させる。
【００４９】
図７において部分的に示されるように、光源は、反射器120の焦点に配置される。
【００５０】
図８を参照すると、本発明ではない変形例が示されており、補完的な後面212と共に放物線形状を備えた導波路211が示されている。これは、バルブによって放射される光を導波路の前方に向かわせる。後面は、先端214で留め具213を有しており、その留め具213によって後面の範囲内において導波路を固定すると同時に、導波路の全部を覆っているワイヤ網215を、縁部216を介して当該後面と導波路の間に固定している。ワイヤ網は、この光源のファラデー箱を仕上げている。これは、そのバルブの円筒を介して同様な配置とされている。
【００５１】
別の図示しないバルブは、導波路から開口している空洞共振器に入れられ、ワイヤ網によって保持される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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