(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体の表面に沿って延設された撓み部材と、
前記撓み部材に固定された板状の可撓基板と、
前記記録媒体の表面と対向するとともに、前記撓み部材に固定されたスライダと、
前記スライダに設けられた近接場光発生素子と、
を備え、前記近接場光発生素子が発生した近接場光を利用して記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、
前記可撓基板は、
前記近接場光の生成に用いられる光を供給する光供給部と、
前記光供給部の端面側に設けられ、光を集光する凹面の斜面を形成する切り欠きと、
前記切り欠きにおける前記光供給部の端面側に対向する面に設けられ、前記光を前記近接場光発生素子に反射する反射部と
を備えることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項２】
前記可撓基板は、前記スライダに接続される複数の電気配線を備え、
前記切り欠きは、前記複数の電気配線の間に形成されることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項３】
前記切り欠きの斜面に金属膜を設けたことを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項４】
前記可撓基板は、前記スライダに接続された電気配線を備え、
前記切り欠きが、前記スライダと前記電気配線とを電気的に接続するために前記可撓基板に設けられた接続パッドと前記可撓基板内部に設けられた前記電気配線との接続点より前記サスペンションの先端側に設置されたことを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項５】
前記撓み部材は、
サスペンションと、
前記サスペンションに備えられ、かつ略コ字型の開口を有するフレクシャと
を備え、
前記スライダは、前記フレクシャに備えられることを特徴とする請求項１もしくは２のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記光導波路が前記フレクシャに設けられた前記開口を架橋して設置したことを特徴とする請求項５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
前記光供給部の少なくとも一部が光導波路であることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記光供給部の少なくとも一部が半導体レーザであることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記電気配線のそれぞれのうちの一部と前記半導体レーザとが電気的に接続されたことを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
前記スライダと前記可撓基板とを接合するために用いられるものであり、前記スライダに対向する面が前記半導体レーザの前記スライダに対向する面よりも前記スライダ側に突出したスライダ接合部を有することを特徴とする請求項９に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１１】
前記光供給部は、前記可撓基板の厚みと同一の厚さ又はその厚みよりも薄い厚さを有することを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光、特に近接場光を利用して記録媒体に各種の情報を記録するヘッドジンバルアセンブリに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報処理機器における情報記録再生装置は、装置自体を小型化した上でより大量の情報の記録再生を行うという要求にさらされている。そのため、情報を記録する媒体、例えばハードディスクドライブの磁気メディア等は、年々、記録密度が向上している。このような記録密度の高密度化に応えるためには、一つの記録単位である磁区（記録媒体上に設けられた小さな磁石）をより小さくかつ近接する必要があるが、小さくすると隣り合う磁区の影響や周囲の熱エネルギーなどにより、記録した磁区が意図せず反転する現象がおきる。このような現象を抑えるため、保持力の強い材料が記録媒体に採用されてきている。保持力の強い記録媒体は、意図しない反転現象を抑える代わりに、記録時により大きな磁界を与えなければ、磁区を反転させることができず、記録困難になってしまう。
【０００３】
このような不具合を解消するため、光を照射することで、記録する磁区のみを加熱昇温させ、保磁力を低下させて書き換え記録を行う方式が提唱されている。年々進む記録密度の高密度化のため、記録する磁区自体は非常に小さくなってきていることから、従来の光学系において限界とされてきた光の波長以下のサイズに集光し、加熱することが求められる。これを実現するために、近接場光を利用することで、より微小な領域に光を集光することができ、従来の光情報記録再生装置等を超える高い記録密度を実現することができるといわれている。
【０００４】
このような光アシスト磁気記録方式を用いた情報記録再生装置は、様々なものが提案されているが、一例として、特許文献１に示される構成が知られている。この構成では、近接場光を発生させる記録素子を備えたヘッドスライダを記録媒体上でスキャンさせ、ヘッドスライダを記録媒体上の所望の位置に配置する。その後、記録素子から発する近接場光とヘッドスライダに搭載された記録コイルから発生する記録磁界を共に制御することで、記録媒体上の磁区を変化させ、情報の書き換え記録を行うことができるというものである。
【０００５】
このようなヘッドスライダ搭載の記録素子には、外部から十分な強度の光を供給する手段が必要となる。光供給手段としては、特許文献１に示される光ファイバや薄膜光導波路、特許文献２に示される光導波路や電気配線、発光素子等を備えた回路付サスペンション基板等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３９０３３６５号公報
【特許文献２】特許第４１６２６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の特許文献１による光供給手段では、記録媒体から見たヘッドスライダ背面にプリズムや光カップラ等の光学部品が配置されるため、ヘッドスライダの全高が大きくなり、記録媒体上での浮上時にヘッドスライダの揺動が大きくなる。そのため、記録媒体との接触を避けるため、媒体との距離が大きくなり、記録媒体とカップリングする近接場光の強度が小さくなる。そのため、十分に磁区を加熱することができず、書き換え記録できない可能性がある。
【０００８】
さらに、光ファイバや光導波路を格納するため、スライダヘッド背面に溝を設けている。記録媒体側のスライダヘッド表面には、記録媒体とスライダヘッド間の空気流により、スライダヘッドを浮上させるための微細な構造が形成されている。このため、スライダヘッド背面に溝加工すると、記録媒体側のスライダヘッド表面の平面度公差が大きくなり、スライダヘッドの浮上性能を悪化させ、記録媒体との近接が難しくなる。このため、同様に、十分に磁区を加熱することができず、書き換え記録できない可能性がある。
【０００９】
また、特許文献２による光供給手段では、ヘッドスライダを保持するサスペンション上に光導波路を形成しているため、光を伝播するコアを非常に小さい曲率半径で構成しなければならない。このような曲率半径の小さいコアの構成にすると、曲率半径の小さい部分で光の伝播ロスが生じる。そのため、ヘッドスライダに供給される光強度が小さくなり、結果、発生する近接場光の強度も比例して小さくなる。上記同様に、十分に磁区を加熱することができずに書き換え記録に失敗してしまう可能性がある。
【００１０】
そこで本発明は、このような事情を鑑みてなされたもので、その目的は、スライダに設けられた近接場光素子への安定かつ高強度の光供給と、スライダに安定浮上の両立を実現できるヘッドジンバルアセンブリを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設された撓み部材と、前記撓み部材に固定された板状の可撓基板と、前記記録媒体の表面と対向するとともに、前記撓み部材に固定されたスライダと、前記スライダに設けられた近接場光発生素子とを備え、前記近接場光発生素子が発生した近接場光を利用して記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、前記可撓基板は、前記近接場光の生成に用いられる光を供給する光供給部を備え、前記光供給部の端面側に設けられ、前記光導波路の光軸に対して交差する位置に設けられており、前記光を前記近接場光発生素子に反射する反射部とを備えることを特徴とする。これにより、可撓基板の厚みの範囲内で光導波路及び反射部を備えることができるため、全体の薄型化を図るとともに光を確実に近接場光発生素子に反射することができる。そのため、高強度の近接場光を生成することができると同時にスライダを安定浮上させることができ、記録媒体とスライダとを近接させることができる。そのため、高密度で安定した書き換え記録を実現できる。
【００１２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記反射部は、前記光供給部の光軸に対して交差する位置に設けられた斜面であり、前記光供給部から出射した前記光を反射する前記斜面を有する切り欠きを備えることを特徴とする。これにより、可撓基板に切り欠きを設けるだけで、光を反射する機能を形成することができるため、全体の構成を簡素化することができ、製造容易性を向上することができる。
【００１３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記撓み部材は、サスペンションと、前記サスペンションに備えられ、かつ略コ字型の開口を有するフレクシャとを備え、前記スライダは、前記フレクシャに備えられることを特徴とする。
【００１４】
これにより、スライダに対する安定した電気信号の通信および近接場光発生素子に対する高強度かつ安定した光の供給ができると同時に、スライダ自体の全高はほとんど変化しない。そのため、高強度の近接場光の生成できると同時にスライダの安定浮上でき、記録媒体とスライダとを近接を実現できる。そのため、高密度で安定した書き換え記録を実現できる。
【００１５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光供給部の少なくとも一部が光導波路であることを特徴とする。
【００１６】
これにより、スライダに搭載された近接場光発生素子に対して、高エネルギーかつ安定した光を供給でき、高強度の近接場光を生成できる。そのため、高密度で安定した書き換え記録を実現できる。
【００１７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光供給部の少なくとも一部が半導体レーザであることを特徴とする。
【００１８】
これにより、光源である半導体レーザと近接場光発生素子との光路長が短くなり、近接場発生素子に高い光エネルギーを供給できる。そのため、高強度の近接場光を生成することができる。また、光導波路をフレクシャに搭載することがないため、フレクシャの曲げ剛性を小さく構成でき、スライダの支持剛性を低くできる。そのため、スライダが記録媒体の振動に追従しやすくなり、スライダを記録媒体に非常に近接して浮上させることが可能となる。
【００１９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記可撓基板は前記スライダに接続された電気配線を備えることを特徴とする。
【００２０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記電気配線が前記可撓基板内に複数設けられ、前記電気配線の一部と前記半導体レーザとが電気的に接続されたことを特徴とする。
【００２１】
これにより、フレクシャの動きを制限することなく、半導体レーザに電気信号を供給できるため、安定した光を近接場光発生素子に供給することができる。そのため、安定した書き換え記録を実現できる。
【００２２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記スライダと前記可撓基板とを接合するために用いられるものであり、前記スライダに対向する面が半導体レーザの前記スライダに対向する面よりも前記スライダ側に突出したスライダ接合部を有することを特徴とする。
【００２３】
これにより、半導体レーザとスライダとは直接固定されないので、スライダの動きによって半導体レーザに荷重等の応力が加わることはない。このため、安定かつ高強度の光を供給することが可能となる。そのため、高密度で安定した書き換え記録を実現できる。
【００２４】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記切り欠きの斜面に金属膜を設けたことを特徴とする。
【００２５】
これにより、斜面での反射率が向上し、より多くの光が近接場光発生素子に入射するため、高強度の近接場光が生成できる。そのため、高密度で安定した書き換え記録を実現できる。
【００２６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記切り欠きが、前記スライダと前記電気配線とを電気的に接続するために前記可撓基板に設けられた接続パッドと前記可撓基板内部に設けられた前記電気配線との接続点より、前記サスペンションの先端に設置されたことを特徴とする。
【００２７】
これにより、電気配線を切断することなく切り欠きを形成できる。これにより、スライダに対する安定した電気信号の通信および近接場光発生素子に対する高強度かつ安定した光の供給ができる。そのため、高密度で安定した書き換え記録を実現できる。
【００２８】
また、本発明のヘッドジンバルアセンブリは、前記光導波路が前記フレクシャに設けられた前記開口を架橋したことを特徴とする。
【００２９】
これにより、光導波路を直線状に配置できるため、光導波路を伝播する光の損失が小さくなる。そのため、発生する近接場光の強度が高くなり、安定した書き込み記録を実現できる。
【００３０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記光供給部は前記可撓基板の厚みと同一の厚さ又はその厚みよりも薄い厚さを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリによれば、スライダに搭載された近接場光素子とスライダ外に設けられた光源とを高効率に接続でき、同時に、スライダの安定浮上を実現できる。よって、高性能な情報記録再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを用いた情報記録再生装置の一実施形態を示す構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す構成図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを説明する断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの製造方法を示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを説明する断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを説明する断面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを説明する断面図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの製造方法を示す説明図である。
【図９】本発明の第６の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの一例を説明する構成図である。
【図１０】本発明の第６の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの一例を説明する断面図である。
【図１１】本発明の第６の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリの一例を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
（第１の実施形態）
以下、本発明に係る第１の実施形態を、図１から図４を参照して説明する。図１は、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリを用いた情報記録再生装置１を示す構成図である。なお、情報記録再生装置１は、磁気記録層を有する記録媒体Ｄに対して、熱アシスト磁気記録方式で書き込みを行う装置である。
【００３４】
図１に示すように情報記録再生装置１において、スライダ２が固定されたサスペンション３が、キャリッジ１１に固定されている。スライダ２とサスペンション３を合わせて、ヘッドジンバルアセンブリ１２と呼ぶ。円盤状の記録媒体Ｄはスピンドルモータ７によって所定の方向に回転する。キャリッジ１１はピボット１０を中心に回転可能になっており、制御部５からの制御信号によって制御されるアクチュエータ６によって回転し、スライダ２を記録媒体Ｄ表面の所定の位置に配置することができる。ハウジング９はアルミニウムなどから成る箱状（図１では説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している）ものであり、上記の部品をその内部に格納している。スピンドルモータ７はハウジング９の底面に固定されている。スライダ２は記録媒体Ｄに向けて磁場を発生させる磁極（図示略）と、近接場光スポットを発生する近接場光発生素子（図示略）と、記録媒体Ｄに記録された情報を再生する再生素子（図示略）を有している。磁極と再生素子は、サスペンション３およびキャリッジ１１に沿って敷設された可撓基板１３、キャリッジ１１側面に設けられたターミナル１４およびフラットケーブル４を介して制御部５に接続されている。制御部５は電子回路および電子回路に接続されたレーザを備えており、可撓基板１３内の電気配線と制御部５の電子回路とが電気的に接続され、レーザと光導波路とが光学的に接続されている。
【００３５】
記録媒体Ｄは１枚でも良いが、図１に示すように複数枚設けても良い。記録媒体Ｄの枚数が増えれば、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数も増加する。図１では記録媒体Ｄの片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成を示しているが、両面に設けても良い。よって、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数は、最大で記録媒体Ｄの枚数の倍になる。これにより、情報記録再生装置の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
【００３６】
図２は本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の拡大図である。サスペンション３は、ステンレス薄板を材料とする、ベースプレート２０１、ヒンジ２０２、ロードビーム２０３、フレクシャ２０４からなる。ベースプレート２０１は、その一部に設けられた取り付け穴２０１ａにより、キャリッジ１１に固定されている。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３を接続している。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３よりも薄くなっており、ヒンジ２０２を中心としてサスペンション３がたわむようになっている。フレクシャ２０４はロードビーム２０３、ヒンジ２０２に固定された細長い部材であり、ロードビーム２０３やベースプレート２０１よりも薄く、かつ略コ字型の開口２０５が設けられており、たわみやすく出来ている。フレクシャ２０４の先端には略直方体形状のスライダ２が固定されている。
【００３７】
スライダ２の表面のうちフレクシャ２０４に固定された面の反対面は、記録媒体Ｄに対向する面である。この面は回転する記録媒体Ｄによって生じた空気流の粘性から、スライダ２が浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。ＡＢＳ上には図示を略した凹凸形状が設けられており、スライダ２と記録媒体Ｄ間に所望の圧力分布を発生させている。スライダ２を記録媒体Ｄから離そうとする正圧とスライダ２を記録媒体Ｄに引き付けようとする負圧と、サスペンション３による押しつけ力の釣り合いで、スライダ２は所望の状態で浮上している。記録媒体Ｄとスライダ２のすきまの最低値は１０ｎｍ程度もしくはそれ以下となっている。サスペンション３による押しつけ力は主にヒンジ２０２の弾性により発生している。また、記録媒体Ｄ表面のうねりに対して、ヒンジ２０２およびフレクシャ２０４がたわむことで、所望の浮上状態を維持することが出来る。
【００３８】
フレクシャ２０４上には可撓基板１３が設けられ、可撓基板１３内部には、電気配線３０２と光導波路のコア３０３が設けられている。光導波路のコア３０３はフレクシャ２０４の開口２０５を架橋して設置し、スライダ２側のコア３０３端面には切り欠き３１０が設けられている。また、電気配線３０２は接続パッド３２０に接続されている。切り欠き３１０は、電気配線３０２と接続パッド３２０との接続点よりサスペンション３の先端（自由端）側に設けられている。これにより、電気配線３０２を切断もしくは変形させることなく、切り欠き３１０を形成することが可能となる。なお、切り欠き３１０は反射部を構成する。
【００３９】
可撓基板１３の電気配線３０２は接続パッド３２０を経てスライダ２と電気的に接続され、コア３０３は切り欠き３１０を経てスライダ２と光学的に接続されている。可撓基板１３の電気配線３０２とコア３０３はそれぞれ制御部５と電気的および光学的に接続されているため、制御部５の電子回路およびレーザとスライダ２とは、電気的および光学的に接続されていることになる。
【００４０】
図３はフレクシャ２０４、可撓基板１３およびスライダ２の断面図である。図２中のＹＺ平面と平行面での断面である。可撓基板１３は、フレクシャ２０４上に形成されたベースクラッド層３０１、ベースクラッド層３０１上に形成されたコア３０３、コア３０３を覆うカバークラッド層３０５、カバークラッド層３０５上に形成された電気配線３０２および電気配線３０２を覆うカバー層３０４、コア３０３端に設けられた切り欠き３１０からなる。ベースクラッド層３０１とカバークラッド層３０５は、同じ光屈折率であり、コア３０３、ベースクラッド層３０１とカバークラッド層３０５は、光屈折率を正確に管理して形成することで、光導波路を構成する。電気配線３０２は、銅、アルミニウム、金等の材料からなる。カバークラッド層３０５とカバー層３０４は電気配線３０２の絶縁を担う。ベースクラッド層３０１、カバー層３０４、コア３０３、カバークラッド層３０５のいずれもポリイミド等の樹脂からなる。切り欠き３１０の斜面は、フレクシャ２０４に対して４５°の角度を有しており、斜面表面には金、アルミニウム等の薄膜を設け、反射膜３１１を構成している。
【００４１】
なお、可撓基板１３内部のコア３０３は直線状もしくは大きな曲率半径で湾曲する構成であるため、コア３０３内部を伝播する光はほとんど減衰することなく切り欠き３１０まで伝播する。
【００４２】
コア３０２から出射した光は、切り欠き３１０内を空気伝播した後、切り欠き３１０の斜面に設けられた反射膜３１１で反射し、スライダ２に設けられた近接場光発生素子２１０に入射する。近接場光発生素子２１０に入射した光は、スライダ２のＡＢＳ面に近接場光を生成し、記録媒体Ｄの微細な領域を加熱する。
【００４３】
電気配線３０２はハンダバンプ４０１を経て、スライダ２側面に設けられた電気パッド、磁極および再生素子（図示略）と電気的に接続されている。
【００４４】
これにより、制御部５の電子回路からの信号により、スライダ２に設けられた磁極および再生素子を制御することができ、また、磁極近傍に設けられた近接場光発生素子２１０の近接場光により記録媒体Ｄの所望の領域を加熱することができるため、記録媒体Ｄの情報を記録再生することが可能となる。
【００４５】
図４に本発明のヘッドジンバルアセンブリの製造工程、特に可撓基板１３の製造方法および可撓基板１３とスライダ２との接続固定方法について示す。図２中のＹＺ平面と平行面での断面を示す。
【００４６】
ステンレス鋼の薄板上に感光性ポリイミドを塗布する。露光および現像を行い、ベースクラッド層３０１を形成する（図ａ）。この上にレジストを塗布、露光および現像を行った後、コア３０３を形成する（図ｂ）。レジストを除去した後、感光性ポリイミドを塗布、露光および現像を行い、カバークラッド層３０５を形成する（図ｃ）。次に、片側４５°の傾斜を有するスリッターカッターを用いて、ベースクラッド層３０１、コア３０３、カバークラッド層３０５を切除し、所定の位置に切り欠き３１０を形成する（図ｄ）。斜面部分をレジストで保護した後、斜面部分にアルミニウムを蒸着し、反射膜３１１を形成する（図ｅ）。レジストを除去した後、別のレジストを塗布、露光および現像した後、銅で電気配線３０２を形成する（図ｆ）。レジストを除去した後、感光性ポリイミドを塗布、露光および現像してカバー層３０４を形成する（図ｇ）。これにより、可撓基板１３が形成される。
【００４７】
可撓基板１３全体をレジスト等で保護したのち、ステンレス鋼の薄板をエッチングし、フレクシャ２０４を形成する（図ｈ）。レジストを除去した後、別途作成したサスペンションのロードビームとフレクシャ２０４とをレーザ溶接で固定する。電気配線３０２の露出部分にハンダバンプ４０１を印刷、カバー層３０４に熱硬化性接着剤を塗布する（図ｉ）。可撓基板１３の所定位置にスライダ２を位置決めし、加熱する。ハンダバンプ４０１が融解し、電気配線３０２とスライダ２の電気配線が電気的に接続し、スライダ２は熱硬化性接着剤によりカバー層３０４に固定される（図ｊ）。
【００４８】
このような構成によって、レーザからの光がほとんど減衰することなく、近接場光発生素子に入射することができ、高強度の近接場光をスライダから発することができる。また、スライダに大きな光学部品を搭載しないため、スライダの全高はほとんど変化しない。そのため、スライダが安定浮上でき、スライダと記録媒体とを近接することが実現できる。よって、磁極、近接場光素子、再生素子と記録媒体Ｄとの距離を一定に保つことができるため、正確かつ安定した記録再生を実現することができる。
【００４９】
また、可撓基板１３は電気配線、光導波路および近接場光発生素子との光接続部品を一体形成できるため、低コストの構成が可能になる。
【００５０】
（第２の実施形態）
以下、本発明に係る第２の実施形態を、図５を参照して説明する。第１の実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、切り欠き３１０に接着剤４０２を充填して構成している点である。
【００５１】
このような構成によって、スライダ２と可撓基板１３との接着面積が広くなり接着強度を大きくできる。さらに、接着剤４０２は光学用接着剤、特に、光導波路のコア３０３と同等の屈折率を有するものを用いることで、コア３０３端面での反射光が小さくなり、切り欠き３１０および近接場光発生素子２１０に入射する光量が大きくなり、より大きな近接場光を生成することができる。
【００５２】
（第３の実施形態）
以下、本発明に係る第３の実施形態を、図６を参照して説明する。第１の実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、切り欠き３１０の斜面角度が異なる点である。
【００５３】
図６に示すように、切り欠き３１０の斜面は４５°に限るものではなく、６０°程度でも構成できる。この場合、近接場光発生素子２１０内にグレーティングを設けることで、近接場光発生素子２１０に対して斜めに入射した光の進行方向をスライダ２のＡＢＳ面に直交する方向に向けて伝播させることができる。同時に、切り欠き３０１と接続パッド３２０との間に電気配線３０２を設ける領域を確保できる。そのため、切り欠き３１０を形成する際に、複数の可撓基板１３をスリッターカッター等で一括加工することが可能となる。
【００５４】
さらに、切り欠き３１０の斜面を凹状に形成することで、凹面鏡を構成でき、光を集光した上で近接場光発生素子２１０に入射させることも可能である。
【００５５】
また、反射部の一例として切り欠き３０１を用いて説明したが、これに限定されないのは勿論のことである。例えば、コア３０３の先端を斜めに切断することにより、その先端の斜面を用いて光を反射させても良い。また光軸に対する斜面の角度は、全反射条件で光を反射するような角度であるのがより好ましい。
【００５６】
（第４の実施形態）
以下、本発明に係る第4の実施形態を、図7を参照して説明する。第１の実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、光導波路のコア３０３端面を斜面に形成している点である。
【００５７】
図７に示すように、光導波路のコア３０３端面は、数度程度の傾斜を設けて構成している。このような構成によって、コア３０３を伝播してくる光が端面で反射しても、光導波路の伝播モードではないため、反射光がレーザまで伝播しない。このためレーザが安定して発振するので、安定した光を光導波路、ひいては近接場光発生素子に供給することができ、安定した近接場光を生成することができる。
【００５８】
（第５の実施形態）
以下、本発明に係る第５の実施形態を、図８を参照して説明する。第１の実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、可撓基板１３内のコア３０３と電気配線３０２の位置関係である。
図８に、コア３０３と電気配線３０２の底面とを同一平面に構成するための製造工程を示す。なお、図２中のＸＺ平面と平行面での断面を示す。
【００５９】
詳しくは、ステンレス鋼の薄板上に感光性ポリイミドを塗布する。露光および現像を行い、ベースクラッド層３０１を形成する（図ａ）。この上にレジストを塗布、露光および現像を行った後、コア３０３を形成する（図ｂ）。レジストを除去した後、別のレジストを塗布、露光および現像を行った後、銅で電気配線３０２を形成する（図ｃ）。レジストを除去した後、感光性ポリイミドを塗布、露光および現像を行い、カバークラッド層３０５を形成する（図ｄ）。その後の製造工程は、上述した製造工程と同様に、片側４５°の傾斜を有するスリッターカッターを用いて、電気配線３０２ごと、ベースクラッド層３０１、コア３０３およびカバークラッド層３０５を切除し、所定の位置に切り欠き３１０を形成する。その後、ステンレス鋼の薄板をエッチングし、フレクシャを形成する。これとサスペンションのロードビームとをレーザ溶接で固定する。電気配線３０２の露出部分にハンダバンプを印刷、カバー層３０４に熱硬化性接着剤を塗布して、スライダを固定かつ電気接続する。
【００６０】
これにより、可撓基板１３において、コア３０３と電気配線３０２の配置は第１の実施形態の構成に限定されず、任意の配置で構成できる。また、可撓基板１３を薄く構成でき、可撓基板１３の剛性でフレクシャ２０４が変形を阻害することが少なくなる。そのため、スライダが記録媒体に追随できるため、スライダを記録媒体に非常に近接して浮上させることが可能となる。
【００６１】
（第６の実施形態）
以下、本発明に係る第６の実施形態を、図９および図１０を参照して説明する。第１の実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、可撓基板１３内に光供給部３３０を設けた点である。
【００６２】
図９に、本実施形態のフレクシャ２０４の一部を、図１０に可撓基板１３とスライダ２の部分の断面（図９中のＹＺ平面）を示す。
【００６３】
詳しくは、可撓基板１３内部には、光供給部３３０と複数の電気配線３０２、スライダ接合部３４０が設けられている。光供給部３３０は、光導波路のコア３０３及び半導体レーザ３３１から構成される。電気配線３０２はそれぞれ、接続パッド３２０とレーザ用接続パッド３２１とに電気的に接続されている。スライダ接合部３４０は半導体レーザ３３１の周囲に設けられ、その高さは半導体レーザ３３１のＺ方向の高さより高い構成となっている。これにより、スライダ接合部３４０は、スライダ２に対向する面が半導体レーザ３３１のスライダ２に対向する面よりもスライダ２側に突出するように形成されている。
【００６４】
スライダ2は、スライダ接合部３４０やカバークラッド層３０５と接着されることで、可撓基板１３に固定されている。
【００６５】
レーザ用接続パッド３２１と半導体レーザ３３１とは電気的に接続されており、レーザ用接続パッド３２１から供給される電気信号により、半導体レーザ３３１は発振し、光を出射する。半導体レーザ３３１から出射した光は光導波路のコア３０３に入射し、切り欠き３１０で反射し、スライダ２に設けられた近接場光発生素子２１０に入射する。
【００６６】
また、図１１に示すように、光供給部３３０を半導体レーザ３３１のみで構成することも可能である。半導体レーザ３３１が発振し、出射した光は、そのまま切り欠き３１０に入射し、スライダ２に設けられた近接場光発生素子２１０に入射する。
【００６７】
このような構成によって、光源である半導体レーザ３３１と近接場光発生素子２１０との光路長が短くなり、近接場発生素子２１０に高い光エネルギーを供給できる。そのため、高強度の近接場光を生成することができる。また、光導波路のコアがフレクシャ２０４の開口２０５を架橋する構成がなくなり、スライダ２の支持剛性を低くできる。そのため、スライダ２が記録媒体の振動に追従しやすくなり、スライダ２を記録媒体に非常に近接して浮上させることが可能となる。これにより、安定かつ確実な情報記録を実現することができる。また、半導体レーザ３３１とスライダ２とは、直接固定されていないので、スライダ２の動きによって半導体レーザ３３１に荷重等の応力が加わることはない。このため、安定かつ高強度の光を供給することが可能となる。
【００６８】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。また、上述した各実施形態を適宜組み合わせて採用することも可能である。
【００６９】
なお、光供給部は、可撓基板１３の内部に備えられており、可撓基板１３の厚みと同一の厚さ又はその厚みよりも薄い厚さを有するのが好ましい。
【符号の説明】
【００７０】
Ｄ記録媒体  １情報記録再生装置  ２スライダ  ３サスペンション  １１キャリッジ  １２ヘッドジンバルアセンブリ  １３可撓基板  ２０４フレクシャ  ２１０近接場光発生素子  ３０２電気配線  ３０３コア  ３１０切り欠き  ３１１反射膜  ３２０接続パッド  ３２１レーザ用接続パッド  ３３０光供給部  ３３１半導体レーザ  ３４０スライダ接合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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