(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の吐出口及び前記吐出口にそれぞれ至る複数の個別液体流路が形成された、流路ユニットと、
前記個別液体流路にそれぞれ対応する複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータの駆動によって前記個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する、前記流路ユニットの表面に互いに隣接配置された、複数のアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、
前記アクチュエータユニットにそれぞれ固定され、前記アクチュエータユニットと前記駆動回路とを電気的に接続する、複数の配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記アクチュエータを構成する個別電極にそれぞれ接合された複数の接点、前記接点にそれぞれ接続した複数の配線、及び、前記接点と前記配線とが形成された基材を含み、
前記基材は、
前記複数の接点が形成され且つ前記複数のアクチュエータユニットのうちの１のアクチュエータユニットに対向した第１領域、及び、前記第１領域外にあって前記接点が形成されていない第２領域であって、前記表面にならうように展開された場合に前記複数のアクチュエータユニットのうち前記第１領域が対向する前記１のアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに少なくとも一部が前記表面と直交する方向から見て重なる第２領域を有すると共に、
前記表面と直交する方向から見て前記第２領域が前記別のアクチュエータユニットに重ならないように、折り曲げられていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記表面と直交する方向から見て前記基材における前記アクチュエータユニットに重なる位置に配置された、磁性部材をさらに備えたことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
液体を吐出する複数の吐出口及び前記吐出口にそれぞれ至る複数の個別液体流路が形成された、流路ユニットと、
前記個別液体流路にそれぞれ対応する複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータの駆動によって前記個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する、前記流路ユニットの表面に互いに隣接配置された、複数のアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、
前記アクチュエータユニットにそれぞれ固定され、前記アクチュエータユニットと前記駆動回路とを電気的に接続する、複数の配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記アクチュエータを構成する個別電極にそれぞれ接合された複数の接点、前記接点にそれぞれ接続した複数の配線、及び、前記接点と前記配線とが形成された基材を含み、
前記基材は、
前記複数の接点が形成され且つ前記アクチュエータユニットに対向した第１領域、及び、前記第１領域外にあって前記接点が形成されていない第２領域であって、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域が対向するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに少なくとも一部が前記表面と直交する方向から見て重なる第２領域を有すると共に、
前記表面と直交する方向から見て前記第２領域が前記別のアクチュエータユニットに重ならないように、折り曲げられており、
前記表面と直交する方向から見て前記基材における前記アクチュエータユニットに重なる位置に配置された、磁性部材をさらに備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記磁性部材が、前記表面と同じ熱膨張率を有することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記磁性部材が、前記第１領域の全体に対向していることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記磁性部材が、前記アクチュエータユニットの外縁から前記表面に平行な方向に突出した突出部を有し、
前記基材における前記突出部に対応する部分と前記表面との間に、前記配線部材と前記流路ユニットとを接着する接着剤が配置されていることを特徴とする、請求項２〜５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記駆動回路が、前記基材における前記第１領域及び前記第２領域の一方に固定され、且つ、前記表面と直交する方向から見て全体が前記アクチュエータユニットと重なる位置に配置されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記駆動回路における前記アクチュエータユニットに対向する面とは反対側の面に配置された、前記駆動回路が発生する熱を放散させる放熱部材をさらに備えたことを特徴とする、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記駆動回路及び前記配線部材を挟んで前記放熱部材とは反対側に配置された、前記駆動回路を前記放熱部材に向けて付勢する付勢部材をさらに備えたことを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記基材が、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域に対して互いに異なる方向に延在した複数の前記第２領域を有し、
複数の前記駆動回路が、前記複数の第２領域のそれぞれに固定されており、
前記複数の第２領域を連結する連結部材であって、前記複数の第２領域に形成された前記配線のそれぞれに接続された複数の配線を有する連結部材をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
液体を吐出する複数の吐出口及び前記吐出口にそれぞれ至る複数の個別液体流路が形成された、流路ユニットと、
前記個別液体流路にそれぞれ対応する複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータの駆動によって前記個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する、前記流路ユニットの表面に互いに隣接配置された、複数のアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、
前記アクチュエータユニットにそれぞれ固定され、前記アクチュエータユニットと前記駆動回路とを電気的に接続する、複数の配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記アクチュエータを構成する個別電極にそれぞれ接合された複数の接点、前記接点にそれぞれ接続した複数の配線、及び、前記接点と前記配線とが形成された基材を含み、
前記基材は、前記複数の接点が形成され且つ前記アクチュエータユニットに対向した第１領域、及び、前記第１領域外にあって前記接点が形成されていない第２領域であって、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域が対向するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに少なくとも一部が前記表面と直交する方向から見て重なる第２領域を有するように構成された、液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記第１領域を前記アクチュエータユニットに対向させたときに前記表面と直交する方向から見て前記第２領域が前記別のアクチュエータユニットに重ならないように、前記基材を折り曲げる折曲工程と、
前記折曲工程の後、前記基材の前記折曲状態を保持し、且つ、前記第１領域を前記アクチュエータユニットに対向させた状態で、前記個別電極にそれぞれ前記接点を接合する接合工程と、
を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記接合工程の前に、前記基材に磁性部材を配置する磁性部材配置工程をさらに備え、
前記接合工程において、少なくとも前記基材の前記第１領域及び前記アクチュエータユニットを前記磁性部材とで挟持する位置に磁石を配置することを特徴とする、請求項１１に記載の製造方法。
【請求項１３】
前記磁性部材配置工程において、前記表面と同じ熱膨張率を有する前記磁性部材を用いることを特徴とする、請求項１２に記載の製造方法。
【請求項１４】
前記磁性部材配置工程において、前記第１領域の全体に対向するように、前記磁性部材を配置することを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の製造方法。
【請求項１５】
前記折曲工程の前に前記磁性部材配置工程を行い、
前記磁性部材配置工程において、前記表面と直交する方向から見て前記アクチュエータユニットと同じ形状及びサイズを有する板状の前記磁性部材を用いることを特徴とする、請求項１４に記載の製造方法。
【請求項１６】
前記接合工程において、前記磁性部材が前記アクチュエータユニットの外縁から前記表面に平行な方向に突出する突出部を有するように、前記配線部材を前記アクチュエータユニットに対して配置し、
前記基材における前記突出部に対応する部分と前記表面との間に接着剤を配置し、前記接着剤によって前記配線部材と前記流路ユニットとを接着する補強接着工程をさらに備えたことを特徴とする、請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項１７】
前記駆動回路が前記基材における前記第１領域及び前記第２領域の一方に固定されており、
前記表面と直交する方向から見て前記駆動回路の全体が前記アクチュエータユニットと重なるように、前記配線部材を前記アクチュエータユニットに対して配置した状態で、前記接合工程を行うことを特徴とする、請求項１１〜１６のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項１８】
前記駆動回路における前記アクチュエータユニットに対向する面とは反対側の面に、前記駆動回路が発生する熱を放散させる放熱部材を配置する放熱部材配置工程をさらに備えたことを特徴とする、請求項１７に記載の製造方法。
【請求項１９】
前記駆動回路及び前記配線部材を挟んで前記放熱部材とは反対側に、前記駆動回路を前記放熱部材に向けて付勢する付勢部材を配置する付勢部材配置工程をさらに備えたことを特徴とする、請求項１８に記載の製造方法。
【請求項２０】
前記基材が、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域に対して互いに異なる方向に延在した複数の前記第２領域を有し、
複数の前記駆動回路が、前記複数の第２領域のそれぞれに固定されており、
前記折曲工程の後、複数の配線を有する連結部材の前記配線をそれぞれ前記複数の第２領域に形成された前記配線と接続し、前記連結部材によって前記複数の第２領域を連結することで前記基材の前記折曲状態を保持する連結工程をさらに備えたことを特徴とする、請求項１１〜１９のいずれか一項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッド、及び、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドにおいて、特許文献１のように、アクチュエータユニット（各ヘッドユニット１２の振動板及び圧電素子）と駆動回路（各圧電素子に駆動信号を供給するスイッチＩＣ２８）とを配線部材（電気配線２６）で電気的に接続する構成が知られている。
配線部材は、アクチュエータを構成する個別電極（圧電素子上に形成された電極パッド）にそれぞれ接合された複数の接点、接点にそれぞれ電気的に接続した複数の配線、及び、接点と配線とが形成された基材を含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２４８１１２号公報（図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、インクジェットヘッドにおいては、高速記録や高画質化を実現するため、多数の吐出口を配置することが求められている。吐出口の数が増加すると、配線の数も増加する。この場合、配線の配置の関係等から、各配線部材に関して、基材の数を増やしたり、基材のサイズを大きくしたり、配線の引き出し方向を変更したりせざるを得ないことがある。
【０００５】
特許文献１のように複数のアクチュエータユニットが互いに隣接して配置された構成において、上記のように配線の数を増加させると、配線部材の基材が対応するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに重なる場合がある。この場合、アクチュエータユニットと配線部材との接合工程を行うのが困難である。
【０００６】
本発明の目的は、展開した状態で配線部材の基材が対応するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに重なる場合でも、アクチュエータユニットと配線部材との接合工程を容易に行うことができる、液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の第１観点によると、液体を吐出する複数の吐出口及び前記吐出口にそれぞれ至る複数の個別液体流路が形成された、流路ユニットと、前記個別液体流路にそれぞれ対応する複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータの駆動によって前記個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する、前記流路ユニットの表面に互いに隣接配置された、複数のアクチュエータユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、前記アクチュエータユニットにそれぞれ固定され、前記アクチュエータユニットと前記駆動回路とを電気的に接続する、複数の配線部材と、を備え、前記配線部材は、前記アクチュエータを構成する個別電極にそれぞれ接合された複数の接点、前記接点にそれぞれ接続した複数の配線、及び、前記接点と前記配線とが形成された基材を含み、前記基材は、前記複数の接点が形成され且つ前記複数のアクチュエータユニットのうちの１のアクチュエータユニットに対向した第１領域、及び、前記第１領域外にあって前記接点が形成されていない第２領域であって、前記表面にならうように展開された場合に前記複数のアクチュエータユニットのうち前記第１領域が対向する前記１のアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに少なくとも一部が前記表面と直交する方向から見て重なる第２領域を有すると共に、前記表面と直交する方向から見て前記第２領域が前記別のアクチュエータユニットに重ならないように、折り曲げられていることを特徴とする、液体吐出ヘッドが提供される。
【０００８】
本発明の第２観点によると、液体を吐出する複数の吐出口及び前記吐出口にそれぞれ至る複数の個別液体流路が形成された、流路ユニットと、前記個別液体流路にそれぞれ対応する複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータの駆動によって前記個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する、前記流路ユニットの表面に互いに隣接配置された、複数のアクチュエータユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、前記アクチュエータユニットにそれぞれ固定され、前記アクチュエータユニットと前記駆動回路とを電気的に接続する、複数の配線部材と、を備え、前記配線部材は、前記アクチュエータを構成する個別電極にそれぞれ接合された複数の接点、前記接点にそれぞれ接続した複数の配線、及び、前記接点と前記配線とが形成された基材を含み、前記基材は、前記複数の接点が形成され且つ前記アクチュエータユニットに対向した第１領域、及び、前記第１領域外にあって前記接点が形成されていない第２領域であって、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域が対向するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに少なくとも一部が前記表面と直交する方向から見て重なる第２領域を有するように構成された、液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記第１領域を前記アクチュエータユニットに対向させたときに前記表面と直交する方向から見て前記第２領域が前記別のアクチュエータユニットに重ならないように、前記基材を折り曲げる折曲工程と、前記折曲工程の後、前記基材の前記折曲状態を保持し、且つ、前記第１領域を前記アクチュエータユニットに対向させた状態で、前記個別電極にそれぞれ前記接点を接合する接合工程と、を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法が提供される。
【０００９】
上記第１及び第２観点によれば、展開した状態で基材が別のアクチュエータユニットに重なる場合でも、接合工程を容易に行うことができる。
【００１０】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記表面と直交する方向から見て前記基材における前記アクチュエータユニットに重なる位置に配置された、磁性部材をさらに備えてよい。本発明の別の観点に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口及び前記吐出口にそれぞれ至る複数の個別液体流路が形成された、流路ユニットと、前記個別液体流路にそれぞれ対応する複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータの駆動によって前記個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する、前記流路ユニットの表面に互いに隣接配置された、複数のアクチュエータユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路と、前記アクチュエータユニットにそれぞれ固定され、前記アクチュエータユニットと前記駆動回路とを電気的に接続する、複数の配線部材と、を備え、前記配線部材は、前記アクチュエータを構成する個別電極にそれぞれ接合された複数の接点、前記接点にそれぞれ接続した複数の配線、及び、前記接点と前記配線とが形成された基材を含み、前記基材は、前記複数の接点が形成され且つ前記アクチュエータユニットに対向した第１領域、及び、前記第１領域外にあって前記接点が形成されていない第２領域であって、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域が対向するアクチュエータユニットとは別のアクチュエータユニットに少なくとも一部が前記表面と直交する方向から見て重なる第２領域を有すると共に、前記表面と直交する方向から見て前記第２領域が前記別のアクチュエータユニットに重ならないように、折り曲げられており、前記表面と直交する方向から見て前記基材における前記アクチュエータユニットに重なる位置に配置された、磁性部材をさらに備えている。
本発明に係る製造方法は、前記接合工程の前に、前記基材に磁性部材を配置する磁性部材配置工程をさらに備え、前記接合工程において、少なくとも前記基材の前記第１領域及び前記アクチュエータユニットを前記磁性部材とで挟持する位置に磁石を配置してよい。
上記構成により、磁石による磁力を利用して、接合工程を容易に行うことができる。また、磁力を利用した加圧によって、接点と個別電極との接合強度を向上させることができる。
【００１１】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記磁性部材が、前記表面と同じ熱膨張率を有してよい。
本発明に係る製造方法は、前記磁性部材配置工程において、前記表面と同じ熱膨張率を有する前記磁性部材を用いてよい。
上記構成により、接合工程での加熱やヘッド使用時の発熱によって配線部材に生じる熱応力を低減することができる。ひいては、接点の個別電極からの剥がれを抑制することができる。
【００１２】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記磁性部材が、前記第１領域の全体に対向してよい。
本発明に係る製造方法は、前記磁性部材配置工程において、前記第１領域の全体に対向するように、前記磁性部材を配置してよい。
上記構成により、接合工程において、第１領域に形成された全接点について、磁力を利用した加圧を行うことができ、接点と個別電極との接合強度を向上させることができる。
【００１３】
本発明に係る製造方法は、前記折曲工程の前に前記磁性部材配置工程を行い、前記磁性部材配置工程において、前記表面と直交する方向から見て前記アクチュエータユニットと同じ形状及びサイズを有する板状の前記磁性部材を用いてよい。
上記構成により、折曲工程において、磁性部材の側端面に沿って、基材の第２領域を立ち上げたり、第２領域を立ち上げた状態で保持したりすることができる。したがって、折曲工程を容易に行うことができる。また、磁性部材は、板状であるため、折曲工程の作業の邪魔になることもない。
【００１４】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記磁性部材が、前記アクチュエータユニットの外縁から前記表面に平行な方向に突出した突出部を有し、前記基材における前記突出部に対応する部分と前記表面との間に、前記配線部材と前記流路ユニットとを接着する接着剤が配置されてよい。
本発明に係る製造方法は、前記接合工程において、前記磁性部材が前記アクチュエータユニットの外縁から前記表面に平行な方向に突出する突出部を有するように、前記配線部材を前記アクチュエータユニットに対して配置し、前記基材における前記突出部に対応する部分と前記表面との間に接着剤を配置し、前記接着剤によって前記配線部材と前記流路ユニットとを接着する補強接着工程をさらに備えてよい。
上記構成により、配線部材のアクチュエータユニットからの剥離を効果的に抑制し、ひいては接点と個別電極との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
【００１５】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記駆動回路が、前記基材における前記第１領域及び前記第２領域の一方に固定され、且つ、前記表面と直交する方向から見て全体が前記アクチュエータユニットと重なる位置に配置されてよい。
本発明に係る製造方法は、前記駆動回路が前記基材における前記第１領域及び前記第２領域の一方に固定されており、前記表面と直交する方向から見て前記駆動回路の全体が前記アクチュエータユニットと重なるように、前記配線部材を前記アクチュエータユニットに対して配置した状態で、前記接合工程を行ってよい。
上記構成により、駆動回路の全体がアクチュエータユニットに支持されることとなり、駆動回路に局所的な応力が作用するのを抑制することができる。
【００１６】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記駆動回路における前記アクチュエータユニットに対向する面とは反対側の面に配置された、前記駆動回路が発生する熱を放散させる放熱部材をさらに備えてよい。
本発明に係る製造方法は、前記駆動回路における前記アクチュエータユニットに対向する面とは反対側の面に、前記駆動回路が発生する熱を放散させる放熱部材を配置する放熱部材配置工程をさらに備えてよい。
上記構成により、アクチュエータユニットに対向する空間内で発生した駆動回路の熱を放熱部材によって効果的に放散させることができる。
【００１７】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記駆動回路及び前記配線部材を挟んで前記放熱部材とは反対側に配置された、前記駆動回路を前記放熱部材に向けて付勢する付勢部材をさらに備えてよい。
本発明に係る製造方法は、前記駆動回路及び前記配線部材を挟んで前記放熱部材とは反対側に、前記駆動回路を前記放熱部材に向けて付勢する付勢部材を配置する付勢部材配置工程をさらに備えてよい。
上記構成により、駆動回路が放熱部材に確実に密着し、放熱部材による放熱効果が向上する。
【００１８】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記基材が、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域に対して互いに異なる方向に延在した複数の前記第２領域を有し、複数の前記駆動回路が、前記複数の第２領域のそれぞれに固定されており、前記折曲工程の後、複数の配線を有する連結部材の前記配線をそれぞれ前記複数の第２領域に形成された前記配線と接続し、前記連結部材によって前記複数の第２領域を連結することで前記基材の前記折曲状態を保持する連結工程をさらに備えてよい。
本発明に係る製造方法は、前記基材が、前記表面にならうように展開された場合に前記第１領域に対して互いに異なる方向に延在した複数の前記第２領域を有し、複数の前記駆動回路が、前記複数の第２領域のそれぞれに固定されており、前記折曲工程の後、複数の配線を有する連結部材の前記配線をそれぞれ前記複数の第２領域に形成された前記配線と接続し、前記連結部材によって前記複数の第２領域を連結することで前記基材の前記折曲状態を保持する連結工程をさらに備えてよい。
上記構成のように、配線部材に連結部材を連結することで、例えば配線部材がＣＯＦ、連結部材がＦＰＣからなる場合に、コストを低減することができる。さらに連結部材が基材の折曲状態の保持にも寄与することから、折曲状態保持のための特別な部材や工程が不要であり、ヘッドの構成や製造工程の複雑化を効果的に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、展開した状態で基材が別のアクチュエータユニットに重なる場合でも、接合工程を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドが適用されるインクジェット式プリンタの内部構造を示す概略側面図である。
【図２】インクジェットヘッドの流路ユニット及びアクチュエータユニットを示す平面図である。
【図３】図２の一点鎖線で囲まれた領域ＩＩＩを示す拡大図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った部分断面図である。
【図５】インクジェットヘッドの縦断面図である。
【図６】（ａ）は、流路ユニット、アクチュエータユニット、及びＣＯＦの部分断面図である。（ｂ）は、アクチュエータユニットの個別電極を示す平面図である。
【図７】インクジェットヘッドの製造方法を示すフロー図である。
【図８】配線モジュール固定工程の各工程を示すフロー図である。
【図９】配線モジュール固定工程の各工程が行われるときの平面図及び断面図である。
【図１０】変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
先ず、図１を参照し、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッド１０が適用されるインクジェット式プリンタ１の全体構成について説明する。
【００２３】
プリンタ１は、直方体形状の筐体１ａを有する。筐体１ａの天板上部には、排紙部３１が設けられている。筐体１ａの内部空間は、上から順に空間Ａ，Ｂ，Ｃに区分できる。空間Ａ及びＢは、排紙部３１に連なる用紙搬送経路が形成された空間である。空間Ａでは、用紙Ｐの搬送と用紙Ｐへの画像の記録が行われる。空間Ｂでは、給紙に係る動作が行われる。空間Ｃには、インク供給源としてのインクカートリッジ４０が収容されている。
【００２４】
空間Ａには、４つのインクジェットヘッド１０、用紙Ｐを搬送する搬送ユニット２１、用紙Ｐをガイドするガイドユニット（後述）等が配置されている。空間Ａの上部には、これらの機構を含めたプリンタ１各部の動作を制御してプリンタ１全体の動作を司るコントローラ１ｐが配置されている。
【００２５】
コントローラ１ｐは、外部から供給された画像データに基づいて、用紙Ｐに画像が記録されるよう、記録に係わる準備動作、用紙Ｐの供給・搬送・排出動作、用紙Ｐの搬送に同期したインク吐出動作、吐出性能の回復維持動作（メンテナンス動作）等を制御する。
【００２６】
コントローラ１ｐは、演算処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）に加えて、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory：不揮発性ＲＡＭを含む）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit ）、Ｉ／Ｆ（Interface）、Ｉ／Ｏ（Input/Output Port）等を有する。ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラム、各種固定データ等が記憶されている。ＲＡＭには、プログラム実行時に必要なデータ（例えば画像データ）が一時的に記憶される。ＡＳＩＣでは、画像データの書き換え、並び替え等（信号処理や画像処理）が行われる。Ｉ／Ｆは、上位装置とのデータ送受信を行う。Ｉ／Ｏは、各種センサの検出信号の入力／出力を行う。
【００２７】
各ヘッド１０は、主走査方向に長尺な略直方体形状を有するラインヘッドである。４つのヘッド１０は、副走査方向に所定ピッチで並び、ヘッドフレーム３を介して筐体１ａに支持されている。ヘッド１０は、流路ユニット１２、８つのアクチュエータユニット１７（図２参照）、及びリザーバユニット１１を含む。画像記録に際して、４つのヘッド１０の下面（吐出面１０ａ）からはそれぞれマゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが吐出される。ヘッド１０のより具体的な構成については後に詳述する。
【００２８】
搬送ユニット２１は、図１に示すように、ベルトローラ６，７及び両ローラ６，７間に巻回されたエンドレスの搬送ベルト８に加え、搬送ベルト８の外側に配置されたニップローラ４及び剥離プレート５、搬送ベルト８の内側に配置されたプラテン９等を有する。
【００２９】
ベルトローラ７は、駆動ローラであって、搬送モータ（図示せず）の駆動により回転し、図１中時計回りに回転する。ベルトローラ７の回転に伴い、搬送ベルト８が図１中の太矢印方向に走行する。ベルトローラ６は、従動ローラであって、搬送ベルト８が走行するのに伴って、図１中時計回りに回転する。ニップローラ４は、ベルトローラ６に対向配置され、上流側ガイド部（後述）から供給された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえつける。剥離プレート５は、ベルトローラ７に対向配置され、用紙Ｐを外周面８ａから剥離して下流側ガイド部（後述）へと導く。プラテン９は、４つのヘッド１０に対向配置され、搬送ベルト８の上側ループを内側から支える。これにより、外周面８ａとヘッド１０の吐出面１０ａとの間に、画像記録に適した所定の間隙が形成される。
【００３０】
ガイドユニットは、搬送ユニット２１を挟んで配置された、上流側ガイド部及び下流側ガイド部を含む。上流側ガイド部は、２つのガイド２７ａ，２７ｂ及び一対の送りローラ２６を有する。当該ガイド部は、給紙ユニット１ｂ（後述）と搬送ユニット２１とを繋ぐ。下流側ガイド部は、２つのガイド２９ａ，２９ｂ及び２対の送りローラ２８を有する。当該ガイド部は、搬送ユニット２１と排紙部３１とを繋ぐ。
【００３１】
空間Ｂには、給紙ユニット１ｂが配置されている。給紙ユニット１ｂは、給紙トレイ２３及び給紙ローラ２５を有し、給紙トレイ２３が筐体１ａに対して着脱可能である。給紙トレイ２３は、上方に開口する箱であり、複数種類のサイズの用紙Ｐを収納する。給紙ローラ２５は、給紙トレイ２３内で最も上方にある用紙Ｐを送り出し、上流側ガイド部に供給する。
【００３２】
上述したように、空間Ａ及びＢに、給紙ユニット１ｂから搬送ユニット２１を介して排紙部３１に至る用紙搬送経路が形成されている。記録指令に基づいて、コントローラ１ｐは、給紙ローラ２５用の給紙モータ（図示せず）、各ガイド部の送りローラ用の送りモータ（図示せず）、搬送モータ等を駆動する。給紙トレイ２３から送り出された用紙Ｐは、送りローラ２６によって、搬送ユニット２１に供給される。用紙Ｐが各ヘッド１０の真下を副走査方向に通過する際、順に吐出面１０ａからインクが吐出されて、用紙Ｐ上にカラー画像が記録される。インクの吐出動作は、用紙センサ３２からの検出信号に基づいて行われる。用紙Ｐは、その後剥離プレート５により剥離され、２対の送りローラ２８によって上方に搬送される。さらに用紙Ｐは、上方の開口３０から排紙部３１に排出される。
【００３３】
ここで、副走査方向とは、搬送ユニット２１による用紙Ｐの搬送方向と平行な方向であり、主走査方向とは、水平面に平行且つ副走査方向と直交する方向である。
【００３４】
空間Ｃには、インクユニット１ｃが筐体１ａに対して着脱可能に配置されている。インクユニット１ｃは、カートリッジトレイ３５、及び、トレイ３５内に並んで収納された４つのカートリッジ４０を有する。各カートリッジ４０は、インクチューブ（図示せず）を介して、対応するヘッド１０にインクを供給する。
【００３５】
次に、図２〜図５を参照し、ヘッド１０の構成についてより詳細に説明する。なお、図２では、簡略化のため、上方の２つのアクチュエータユニット１７に対応する配線モジュール５０のみを示している。図３では、アクチュエータユニット１７の下側にあって点線で示すべき圧力室１６及びアパーチャ１５を実線で示している。
【００３６】
図５に示すように、ヘッド１０は、流路ユニット１２、アクチュエータユニット１７、リザーバユニット１１、及び基板６４が積層した積層体である。このうち、アクチュエータユニット１７、リザーバユニット１１、及び基板６４が、流路ユニット１２の上面１２ｘとカバー６５とにより形成される空間に収容されている。当該空間内において、配線モジュール５０が、アクチュエータユニット１７と基板６４とを電気的に接続している。
【００３７】
配線モジュール５０は、アクチュエータユニット１７毎に設けられており、ＣＯＦ(Chip On Film)５０ｘとＦＰＣ(Flexible Printed Circuit)５０ｙとを連結して構成されている。ＣＯＦ５０ｘは、アクチュエータユニット１７に対向して配置されている。ＦＰＣ５０ｙは、リザーバユニット１１の側方に配置され、弾性及び断熱性を有するスポンジ５８を介してリザーバユニット１１の側面に固定されている。ＦＰＣ５０ｙは、一端がＣＯＦ５０ｘ、他端がコネクタ６４ａを介して基板６４と接続されている。
【００３８】
カバー６５は、トップカバー６５ａ及びアルミ製のサイドカバー６５ｂを含む。カバー６５は、下方に開口する箱であり、流路ユニット１２の上面１２ｘに固定されている。
【００３９】
リザーバユニット１１は、４枚の金属プレート１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを互いに接着した積層体である。リザーバユニット１１の内部には、カートリッジ４０から供給されたインクを一時的に貯留するリザーバ７２を含む、インク流路が形成されている。当該インク流路の一端はチューブ等を介してカートリッジ４０に接続し、他端は流路ユニット１２に接続している。プレート１１ｄの下面には、凹凸が形成されており、凹部によってプレート１１ｄと上面１２ｘとの間に空間が形成されている。アクチュエータユニット１７は、ＣＯＦ５０ｘの上方に若干の間隙を残して、当該空間内で上面１２ｘに固定されている。プレート１１ｄには、インク流出流路７３が形成されており、凸部の先端面（即ち、上面１２ｘとの接合面）に開口している。
【００４０】
流路ユニット１２は、略同一サイズの矩形状の９枚の金属プレート１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈ，１２ｉを互いに接着した積層体である。図２に示すように、流路ユニット１２の上面１２ｘには、開口１２ｙが形成されている。開口１２ｙはそれぞれインク流出流路７３の開口７３ａ（図５参照）に接続している。流路ユニット１２の内部には、開口１２ｙから吐出口１４ａ（図４参照）に繋がるインク流路が形成されている。当該インク流路は、図２、図３、及び図４に示すように、開口１２ｙを一端に有するマニホールド流路１３、マニホールド流路１３から分岐した副マニホールド流路１３ａ、及び、副マニホールド流路１３ａの出口から圧力室１６を経て吐出口１４ａに至る個別流路１４を含む。
【００４１】
個別流路１４は、吐出口１４ａ毎に形成されており、図４に示すように、流路抵抗調整用の絞りとして機能するアパーチャ１５、及び、上面１２ｘに開口した圧力室１６を含む。圧力室１６は、図３に示すように、それぞれ略菱形形状であり、上面１２ｘでマトリクス状に配置されることで、平面視で（上面１２ｘと直交する方向から見て。以下同じ。）略台形領域を占める計８つの圧力室群を構成している。吐出口１４ａも、圧力室１６と同様、吐出面１０ａでマトリクス状に配置されることで、平面視で略台形領域を占める計８つの吐出口群を構成している。圧力室群と吐出群とは個別に対応しており、平面視で１つの圧力室群が１つの吐出群に重なっている。
【００４２】
アクチュエータユニット１７は、図２に示すように、それぞれ台形の平面形状を有し、上面１２ｘにおいて、互いに隣接配置され、２列の千鳥状に配列されている。各アクチュエータユニット１７は、図３に示すように、圧力室群（吐出口群）の占める台形領域上に配置されている。
【００４３】
次に、図６を参照し、アクチュエータユニット１７及びＣＯＦ５０ｘの構成について説明する。
【００４４】
アクチュエータユニット１７は、図６（ａ）に示すように、３つの圧電層１７ａ，１７ｂ，１７ｃの積層体を有する。
圧電層１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、共に強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックスからなるシートであり、同じ厚みを有する。
圧電層１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、平面視で同一のサイズ及び形状（１のアクチュエータユニット１７を画定する台形形状）を有する。１のアクチュエータユニット１７は１の圧力室群に含まれる多数の圧力室１６に対向しつつこれらに跨って配置され、圧電層１７ｃが１の圧力室群全体を封止している。
圧電層１７ａは、これら圧電層１７ａ〜１７ｃの積層方向と同じ方向に、分極されている。
【００４５】
圧電層１７ａの表面１７ａ１には、圧力室１６にそれぞれ対向する位置に、多数の個別電極１８ａが形成されている。圧電層１７ａとその下側の圧電層１７ｂとの間、及び、圧電層１７ｂとその下側の圧電層１７ｃとの間には、それぞれ共通電極１９及び金属層２０が形成されている。圧電層１７ｃの下面には電極が形成されていない。共通電極１９及び金属層２０はそれぞれ圧電層１７ｂ，１７ｃの上面全体に亘って形成されている。
個別電極１８ａ、共通電極１９、及び金属層２０は共に、Ａｕ（金）からなり、略１μｍの厚みを有する。
【００４６】
共通電極１９及び金属層２０は、それぞれ圧電層１７ｂ，１７ｃの全面に亘って形成されており、１のアクチュエータユニット１７に対応する全圧力室１６に共通の電極として機能する。
【００４７】
個別電極１８ａは、圧力室１６と同様、複数の行及び複数の列を形成するようマトリクス状に配置されている。各個別電極１８ａは、図６（ｂ）に示すように、主部１８ａ１及び延出部１８ａ２から構成されている。
主部１８ａ１は、圧力室１６よりもサイズが一回り小さい。主部１８ａ１は、平面視で圧力室１６の輪郭に内包され、圧力室１６と相似の略菱形形状である。
延出部１８ａ２は、主部１８ａ１の一方の鋭角部から、表面１７ａ１に沿って、圧力室１６の外側まで延びている。延出部１８ａ２の先端上には、Ａｇ−Ｐｄ（銀パラジウム）等からなる円柱状のランド１８ｂが形成されている。
【００４８】
表面１７ａ１には、ランド１８ｂに加え、共通電極１９及び金属層２０用のランド１８ｃ（図３参照）が形成されている。ランド１８ｃは、表面１７ａ１において台形の上底及び下底近傍に配置されており、圧電層１７ａに形成されたスルーホールを介して共通電極１９と接続されている。金属層２０は、平面視で台形のアクチュエータユニット１７の角部において、圧電層１７ｂに形成されたスルーホールを介して共通電極１９と接続されている。
ランド１８ｂ，１８ｃはそれぞれ、導電性接着剤（熱硬化性樹脂、半田等）からなるバンプ１８ｄを介して、ＣＯＦ５０ｘの接点５２ｄに接合されている。
【００４９】
個別電極１８ａには画像データに基づくパルス状の駆動電位が印加される一方、共通電極１９及び金属層２０は常に接地電位に保持される。
圧電層１７ａは電極１８ａ，１９に挟まれた部分に活性部を有する。活性部は、ｄ３１、ｄ３３、ｄ１５から選ばれる少なくとも１つの振動モード（本実施形態ではｄ３１）で変位する。圧電層１７ｂ，１７ｃにおける活性部に対向する部分は非活性部である。即ち、アクチュエータユニット１７は、圧力室１６毎に、１層の活性部と２層の非活性部との積層体からなる、ユニモルフタイプの圧電型アクチュエータを含む。各圧電型アクチュエータは、独立して変形可能である。
【００５０】
ＣＯＦ５０ｘは、ポリイミド等の絶縁性材料からなる柔軟な板状の基材５１と、配線５２及び接点５２ｄと、配線５２を覆うように形成された被覆層５３と、を有する。
表面５１ａには、ランド１８ｂ，１８ｃのそれぞれに対応する接点５２ｄと、接点５２ｄのそれぞれに接続する配線５２とが形成されている。接点５２ｄは、ランド１８ｂ（又はランド１８ｃ）とバンプ１８ｄとを介して、個別電極１８ａ（又は共通電極１９）に接合されている。接点５２ｄは、配線５２の先端に設けられている。
被覆層５３は、ポリイミド系やウレタン系樹脂等の絶縁性材料からなり、表面５１ａの略全体（各接点５２ｄを除く部分）に形成されている。被覆層５３は、表面５１ａにおいて、各接点５２ｄを露出しつつ、配線５２を被覆している。
【００５１】
ＣＯＦ５０ｘには、２つのドライバＩＣ５７（図９（ａ）参照）が実装されている。表面５１ａに形成された接点５２ｄは２つの群に分類され、一方の群に属する接点５２ｄは一方のドライバＩＣ５７の出力端子、他方の群に属する接点５２ｄは他方のドライバＩＣ５７の出力端子と、それぞれ配線５２を介して接続されている。表面５１ａに形成された接点５２ｄは、例えば図９（ａ）において、ＣＯＦ５０ｘの長手方向中央を境にして左半分と右半分との２つの群に分類される。そして左半分の群に属する接点５２ｄの配線５２は左側に引き出されて左側のドライバＩＣ５７の出力端子に接続され、右半分の群に属する接点５２ｄの配線５２は右側に引き出されて右側のドライバＩＣ５７の出力端子に接続されている。
【００５２】
ドライバＩＣ５７は、コントローラ１ｐ（図１参照）による制御の下、基板６４で調整されたデータをＦＰＣ５０ｙを介して受信し、当該データに基づいて各駆動信号を生成する。各駆動信号は、配線５２、接点５２ｄ、及びバンプ１８ｄを介して、アクチュエータユニット１７の各電極に供給される。
アクチュエータユニット１７は、個別電極１８ａに駆動電位が印加されることにより、圧電型アクチュエータが変位して圧力室１６の容積を変化させる。これにより、圧力室１６内のインクに吐出エネルギーが付与され、吐出口１４ａからインクが吐出される。
【００５３】
配線モジュール５０全体の具体的な構成については、以下の製造方法の説明の中で説明する。
【００５４】
次に、図７を参照し、ヘッド１０の製造方法について説明する。
【００５５】
先ず、流路ユニット１２、アクチュエータユニット１７、及びリザーバユニット１１を別々に作製する（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）。これら工程Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、独立して行われるものであり、いずれの工程を先に行ってもよく、並行して行ってもよい。
【００５６】
Ｓ１では、９枚の金属プレートにそれぞれ貫通孔を形成して、プレート１２ａ〜１２ｉを準備する。そしてこれらプレート１２ａ〜１２ｉを互いに位置合わせしつつ積層して接合することで、流路ユニット１２を作製する。プレート１２ａ〜１２ｉ同士の接合は、エポキシ系等の接着剤を介する方法で行ってもよいし、金属接合のように接着剤を用いない方法で行ってもよい。
【００５７】
Ｓ２では、８つのアクチュエータユニット１７を作製する。
先ず、圧電層１７ａ，１７ｂ，１７ｃとなる、３枚の圧電セラミックスのグリーンシートを用意する。これらのうち２枚の（圧電層１７ｂ，１７ｃとなる）グリーンシート上にそれぞれ、Ａｕペーストを共通電極１９及び金属層２０のパターンにスクリーン印刷する。そして、印刷のない圧電層１７ａ用グリーンシートの下に、Ａｕの共通電極パターンを挟むようにして圧電層１７ｂ用グリーンシートを重ね、さらにこの下にＡｕの金属層パターンを挟むようにして圧電層１７ｃ用グリーンシートを重ねる。こうして得られた積層体を、公知のセラミックスと同様に脱脂して焼成する。このとき、３枚のグリーンシートが圧電層１７ａ，１７ｂ，１７ｃとなり、Ａｕペーストが共通電極１９及び金属層２０となる。その後、表面１７ａ１に、Ａｕペーストを個別電極１８ａのパターンにスクリーン印刷する。そして当該Ａｕペーストを焼成し、表面１７ａ１に個別電極１８ａを形成する。しかる後、各延出部１８ａ２の先端上にＡｇ−Ｐｄペーストを印刷し、ランド１８ｂを形成する。このとき同時に、共通電極１９及び金属層２０用のランド１８ｃも表面１７ａ１の所定位置に形成する。各ランド１８ｂ，１８ｃは、所定温度で焼成される。このようにして、アクチュエータユニット１７を作製する。
【００５８】
Ｓ３では、４枚の金属プレートにそれぞれ貫通孔や凹部を形成して、プレート１１ａ〜１１ｄを準備する。そしてこれらプレート１１ａ〜１１ｄを互いに位置合わせしつつ積層して接合することで、リザーバユニット１１を作製する。プレート１１ａ〜１１ｄ同士の接合方法は、流路ユニット１２と同様である。
【００５９】
次いで、Ｓ１で作製した流路ユニット１２に、Ｓ２で作製した８つのアクチュエータユニット前駆体を、平面視で主部１８ａ１を圧力室１６に対向させつつ、固定する（Ｓ４）。固定は、エポキシ系接着剤を介して行われる。このとき、アクチュエータユニット１７が、流路ユニット１２の上面１２ｘに、互いに隣接配置され、２列の千鳥状に配列される。
【００６０】
Ｓ４の後、アクチュエータユニット１７のそれぞれに配線モジュール５０を固定する（Ｓ５）。
Ｓ５の後、Ｓ３で作製したリザーバユニット１１を、流路ユニット１２に固定する（Ｓ６）。
その後、ＦＰＣ５０ｙと基板６４とをコネクタ６４ａを介して電気的に接続する工程、流路ユニット１２とでリザーバユニット１１及びアクチュエータユニット１７とを取り囲むようにサイドカバー６５ｂ及びトップカバー６５ａを組み付ける工程等を経て、ヘッド１０が完成する。
【００６１】
次に、図８及び図９を参照し、配線モジュール固定工程（Ｓ５）について説明する。
なお、図９（ｂ１），（ｄ１），（ｆ１），（ｇ１）はそれぞれ図９（ｂ），（ｄ），（ｆ），（ｇ）に示すｂ１−ｂ１線，ｄ１−ｄ１線，ｆ１−ｆ１線，ｇ１−ｇ１線に沿った断面図である。
【００６２】
配線モジュール固定工程（Ｓ５）は、図８に示すように、配線モジュール５０を作製する「配線モジュール作製工程」と、各配線モジュール５０についてＣＯＦ５０ｘの接点５２ｄとアクチュエータユニット１７のランド１８ｂとを接合する「接合工程」とに区分され、配線モジュール作製工程を行った後に接合工程が行われる。
【００６３】
配線モジュール作製工程では、８つの配線モジュール５０を作製する。
以下、１の配線モジュール５０の作製手順を説明する。
【００６４】
先ず、図９（ａ）に示すように一方向に長尺な矩形状の基材５１を有するＣＯＦ５０ｘを用意する。図９（ａ）ではＣＯＦ５０ｘの裏面（接点５２ｄ、配線５２、及びドライバＩＣ５７が配置された表面５１ａと反対側の面）が示されている。
そして図９（ｂ），（ｂ１）に示すように、基材５１の裏面の略中央に、磁性部材５４を接着する（Ｓ２１）。
【００６５】
磁性部材５４は、平面視でアクチュエータユニット１７と略同じ形状及びサイズ（詳細にはアクチュエータユニット１７より一回り大きなサイズ）を有する板状部材である。
磁性部材５４は、流路ユニット１２を構成するプレート１２ａ〜１２ｉと同じ金属材料（ＳＵＳ４３０等）からなり、流路ユニット１２と同じ熱膨張率を有する。
【００６６】
基材５１の表面５１ａは、複数の接点５２ｄが形成され且つアクチュエータユニット１７に対向する（後述のＳ２８でアクチュエータユニット１７に対向して配置される）第１領域５１ｘ、及び、第１領域５１ｘ１外にあって接点５２ｄが形成されていない第２領域５１ｙを有する。
Ｓ２１では、第１領域５１ｘの全体に対向するように、磁性部材５４を配置する。
第２領域５１ｙは、第１領域５１ｘに対して基材５１の長手方向一方側及び他方側にそれぞれ延在するように設けられており、図２に示すように配線モジュール５０をアクチュエータユニット１７に固定した状態で、図９（ｂ），（ｂ１）に示すように平面上に（流路ユニット１２の上面１２ｘにならうように）展開された場合に、平面視で、第１領域５１ｘが対向するアクチュエータユニット１７とは別のアクチュエータユニット１７（対応するアクチュエータ１７と主走査方向に隣接するアクチュエータユニット１７）に少なくとも一部が重なる。
ドライバＩＣ５７は第２領域５１ｙのそれぞれに固定されている。
【００６７】
Ｓ２１の後、磁性部材５４上に付勢部材５５を接着する（Ｓ２２）。
付勢部材５５は、磁性部材５４と同じ形状及びサイズを有するスポンジである。付勢部材５５は、弾性及び断熱性を有し、ドライバＩＣ５７を後述の放熱部材５６（図９（ｆ１）参照）に向けて付勢する機能、ドライバＩＣ５７が発生する熱の伝達を抑制する機能等を有する。
【００６８】
Ｓ２２の後、図９（ｂ１）の太矢印で示すように磁性部材５４の側端面に沿って基材５１の第２領域５１ｙを上方に立ち上げ（図９（ｃ）参照）、さらに図９（ｄ），（ｄ１）に示すように、磁性部材５４と付勢部材５５とからなる積層体の側端面に沿って、基材５１を折り曲げる（Ｓ２３）。
ここで、例えば、予め磁性部材５４の側端面に接着剤を塗布又は両面粘着テープを貼り付けておき、第２領域５１ｙを上方に立ち上げることで、第２領域５１ｙにおける基材５１の折り曲げ部分近傍を磁性部材５４の側端面に接着し、第２領域５１ｙの立ち上げ状態を保持できるようにしてよい。立ち上げ状態が保持されることにより、折曲状態が保持され易くなる。その他、磁性部材５４の側端面に設けたピンと基材５１の折り曲げ部分に設けた穴とを係合させる等、様々な方法により、第２領域５１ｙの立ち上げ状態を保持できるようにしてよい。
【００６９】
Ｓ２３で基材５１を折り曲げる際、第２領域５１ｙを、付勢部材５５に対向するように、内側に倒す。これにより第２領域５１ｙは、図２に示すように配線モジュール５０をアクチュエータユニット１７に固定した状態で（即ち、第１領域５１ｘをアクチュエータユニット１７に対向させたときに）、平面視で、第１領域５１ｘが対向するアクチュエータユニット１７とは別のアクチュエータユニット１７（対応するアクチュエータ１７と主走査方向に隣接するアクチュエータユニット１７）に重ならないようになる。
また、このときドライバＩＣ５７は、平面視で全体が付勢部材５５と重なる位置に配置されている。
【００７０】
Ｓ２３の後、図９（ｅ）に示すように、ＣＯＦ５０ｘにＦＰＣ５０ｙの一端を接続する（Ｓ２４）。
ＦＰＣ５０ｙは、ポリイミド等の絶縁性材料からなる柔軟な板状の基材と、当該基材の表面に形成され且つ配線５２にそれぞれ対応する複数の配線とを有する。
Ｓ２４では、ＦＰＣ５０ｙの配線を２つの第２領域５１ｙの配線５２のそれぞれと接続する。これにより、２つの第２領域５１ｙに対する入力端が１のＦＰＣ５０ｙに対する入力端に変換される。
このようにＦＰＣ５０ｙによって２つの第２領域５１ｙを連結することで、基材５１の折曲状態を保持することができる。
なお、ＦＰＣ５０ｙの配線と第２領域５１ｙの配線５２との接続は、導電性接着剤（熱硬化性樹脂、半田、ＡＣＦ(Anisotropic Conductive Film)等）を用いて行われる。
【００７１】
Ｓ２４の後、図９（ｆ），（ｆ１）に示すように、ドライバＩＣ５７上に放熱部材５６を取り付ける（Ｓ２５）。
放熱部材５６は、磁性部材５４と同じ形状及びサイズを有し、２つのドライバＩＣ５７の上面（後述のＳ２８でアクチュエータユニット１７に対向する面とは反対側の面）に接着されると共に、磁性部材５４と付勢部材５５とからなる積層体及びこれを覆うように接着したＣＯＦ５０ｘの略全体と対向している。
放熱部材５６は、金属等からなり、ドライバＩＣ５７が発生する熱を放散させる。
【００７２】
Ｓ２１〜Ｓ２５の工程により、配線モジュール５０が完成する（図９（ｆ）参照）。
【００７３】
上記のようにして８つの配線モジュール５０を作製した後、接合工程を行う。
以下、接合工程の手順を説明する。
【００７４】
先ず、バンプ１８ｄ（図６（ａ）参照）を形成する（Ｓ２６）。
バンプ１８ｄが熱硬化性樹脂からなる場合、アクチュエータユニット１７の各ランド１８ｂ，１８ｃ上に、スクリーン印刷等で熱硬化性樹脂を塗布することで、バンプ１８ｄを形成する。このときスクリーン印刷は、８つのアクチュエータユニット１７について一度に行ってよい。
【００７５】
Ｓ２６の後、各アクチュエータユニット１７の外縁に沿って、流路ユニット１２の上面１２ｘに、補強用接着剤（熱硬化性接着剤等）１７ｒ（図９（ｇ１）参照）を配置する（Ｓ２７）。
【００７６】
Ｓ２７の後、ＣＯＦ５０ｘの各接点５２ｄとアクチュエータユニット１７の各ランド１８ｂ，１８ｃとを位置合わせしつつ、図９（ｇ），（ｇ１）に示すように、ＣＯＦ５０ｘをそれぞれ対応するアクチュエータユニット１７上に配置する（Ｓ２８）。
このとき、磁性部材５４と付勢部材５５とからなる積層体及びこれを覆うように接着したＣＯＦ５０ｘは、アクチュエータユニット１７の外縁から流路ユニット１２の上面１２ｘに平行な方向に突出する突出部５０ｐを有する。基材５１における突出部５０ｐに対応する部分と流路ユニット１２の上面１２ｘとの間に、Ｓ２７で形成された補強用接着剤１７ｒが介在する。
【００７７】
Ｓ２８の後、流路ユニット１２の下面（吐出面１０ａ）における、各アクチュエータユニット１７に対向する部分に、磁石６０を配置する（Ｓ２９）。
このとき、磁性部材５４に磁石６０に向かう方向の吸引力が作用し、配線モジュール５０がアクチュエータユニット１７に対して強固に固定される。
【００７８】
Ｓ２９の後、８つのアクチュエータユニット１７及びこれらに対応する配線モジュール５０が配置された流路ユニット１２を、加熱炉内に配置して加熱し（Ｓ３０）、その後冷却する（Ｓ３１）。
【００７９】
Ｓ２６〜Ｓ３１の工程により、各配線モジュール５０についてＣＯＦ５０ｘの接点５２ｄとアクチュエータユニット１７のランド１８ｂとが接合される。即ち、各配線モジュール５０のＣＯＦ５０ｘとアクチュエータユニット１７との機械的接合、及び、各接点５２ｄと各個別電極１８ａとの電気的接続が共に実現される。さらに、Ｓ３０で補強用接着剤１７ｒが硬化することにより、ＣＯＦ５０ｘと流路ユニット１２との接着も実現される。
【００８０】
なお、バンプ１８ｄが半田（低温半田等）からなる場合は、Ｓ２６において、ＣＯＦ５０ｘの各接点５２ｄ上に、スクリーン印刷等で半田を塗布することで、バンプ１８ｄを形成してよい。
また、バンプ１８ｄが半田（低温半田等）からなる場合は、Ｓ２６〜Ｓ３１の一連の工程を、アクチュエータユニット１７毎に（例えば図２の紙面最上方にあるアクチュエータユニット１７から順に）行ってよい。例えば、先ず、図２の紙面最上方にあるアクチュエータユニット１７に対応する１の配線モジュール５０のＣＯＦ５０ｘの各接点５２ｄ上にバンプ１８ｄを形成し（Ｓ２６）、その後当該アクチュエータユニット１７の外縁に沿って補強用接着剤１７ｒを配置する（Ｓ２７）。そして、当該アクチュエータユニット１７上に、Ｓ２６でバンプ１８ｄを形成したＣＯＦ５０ｘを配置する（Ｓ２８）。その後、流路ユニット１２の下面（吐出面１０ａ）における当該アクチュエータユニット１７に対向する部分に１の磁石６０を配置し（Ｓ２９）、当該アクチュエータユニット１７の加熱（Ｓ３０）及び冷却（Ｓ３１）の各工程を経て、当該アクチュエータユニット１７に関する接合工程を終了する。次に、図２の紙面上方から２番目のアクチュエータユニット１７について、上記のような一連の工程を行う。このように、８つのアクチュエータユニット１７について、上記一連の工程を順次行ってよい。また上記の場合において、Ｓ３０で、アクチュエータユニット１７と同様の平面視台形形状のヒータを、放熱部材５６上に配置し、接点５２ｄとバンプ１８ｄとの接合部に圧力を加えながら、加熱を行ってよい。
【００８１】
以上に述べたように、本実施形態のヘッド１０によると、ＣＯＦ５０ｘの基材５１が、平面視で第２領域５１ｙが別のアクチュエータユニット１７に重ならないように、折り曲げられている（図９参照）。
本実施形態のヘッド１０の製造方法によると、折曲工程（Ｓ２３）の後、基材５１の折曲状態を保持し、且つ、第１領域５１ｘをアクチュエータユニット１７に対向させた状態で、接合工程が行われる（図９（ｇ），（ｇ１）参照）。
これにより、展開した状態でＣＯＦ５０ｘの基材５１が別のアクチュエータユニット１７に重なる場合でも、接合工程を容易に行うことができる。
【００８２】
ヘッド１０は、平面視で基材５１におけるアクチュエータユニット１７に重なる位置に配置された、磁性部材５４を有する（図９（ｇ），（ｇ１）参照）。ヘッドの製造方法は、接合工程において、少なくとも基材５１の第１領域５１ｘ及びアクチュエータユニット１７を磁性部材５４とで挟持する位置に磁石６０を配置する工程（Ｓ２９）を有する。
これにより、磁石６０による磁力を利用して、接合工程を容易に行うことができる。また、磁力を利用した加圧によって、接点５２ｄと個別電極１８ａとの接合強度を向上させることができる。
【００８３】
磁性部材５４は、流路ユニット１２の上面１２ｘと同じ熱膨張率を有する。
これにより、接合工程での加熱やヘッド使用時の発熱によってＣＯＦ５０ｘに生じる熱応力を低減することができる。ひいては、接点５２ｄの個別電極１８ａからの剥がれを抑制することができる。
【００８４】
磁性部材５４は、第１領域５１ｘの全体に対向している（図９（ｇ），（ｇ１）参照）。ヘッド１０の製造方法では、Ｓ２１において、第１領域５１ｘの全体に対向するように、磁性部材５４を配置する。
これにより、接合工程において、第１領域５１ｘに形成された全接点５２ｄについて、磁力を利用した加圧を行うことができ、接点５２ｄと個別電極１８ａとの接合強度を向上させることができる。
【００８５】
ヘッド１０の製造方法では、折曲工程（Ｓ２３）の前に行われる磁性部材５４の配置工程（Ｓ２１）において、アクチュエータユニット１７と同じ形状及びサイズを有する板状の磁性部材５４を用いる（図９（ｇ），（ｇ１）参照）。
これにより、折曲工程（Ｓ２３）において、磁性部材５４の側端面に沿って、基材５１の第２領域５１ｙを立ち上げたり、第２領域５１ｙを立ち上げた状態で保持したりすることができる。したがって、折曲工程（Ｓ２３）を容易に行うことができる。また、磁性部材５４は、板状であるため、折曲工程（Ｓ２３）の作業の邪魔になることもない。
【００８６】
基材５１における突出部５０ｐに対応する部分と流路ユニット１２の上面１２ｘとの間に配置された補強用接着剤１７ｒによって、ＣＯＦ５０ｘと流路ユニット１２とが接着されている（図９（ｇ１）参照）。ヘッド１０の製造方法は、補強用接着剤１７ｒの配置工程（Ｓ２７）を有すると共に、この接着剤１７ｒによってＣＯＦ５０ｘと流路ユニット１２とを接着する補強接着工程（Ｓ３０の加熱工程）を有する。
これにより、配線モジュール５０のアクチュエータユニット１７からの剥離を効果的に抑制し、ひいては接点５２ｄと個別電極１８ａとの電気的接続の信頼性を向上させることができる。
【００８７】
ドライバＩＣ５７が、基材５１の第２領域５１ｙに固定され、且つ、平面視で全体がアクチュエータユニット１７と重なる位置に配置されている（図９（ｇ），（ｇ１）参照）。ヘッド１０の製造方法では、平面視でドライバＩＣの全体がアクチュエータユニット１７と重なるように、ＣＯＦ５０ｘをアクチュエータユニット１７に対して配置した状態で、接合工程を行う。
これにより、ドライバＩＣ５７の全体がアクチュエータユニット１７に支持されることとなり、ドライバＩＣ５７に局所的な応力が作用するのを抑制することができる。
【００８８】
ヘッド１０は、ドライバＩＣ５７におけるアクチュエータユニット１７に対向する面とは反対側の面に配置された、ドライバＩＣ５７が発生する熱を放散させる放熱部材５６を有する。ヘッド１０の製造方法は、放熱部材５６を配置する工程（Ｓ２５）を含む。
これにより、アクチュエータユニット１７に対向する空間内で発生したドライバＩＣ５７の熱を放熱部材５６によって効果的に放散させることができる。
【００８９】
ドライバＩＣ５７及びＣＯＦ５０ｘを挟んで放熱部材５６とは反対側に配置された、ドライバＩＣ５７を放熱部材５６に向けて付勢する付勢部材５５を有する。ヘッド１０の製造方法は、付勢部材５５を配置する工程（Ｓ２２）を含む。
これにより、ドライバＩＣ５７が放熱部材５６に確実に密着し、放熱部材５６による放熱効果が向上する。
【００９０】
基材５１が、流路ユニット１２の上面１２ｘにならうように展開された場合に第１領域５１ｘに対して互いに異なる方向に延在した２つの第２領域５１ｙを有し、且つ、ドライバＩＣ５７が第２領域５１ｙのそれぞれに固定されおり、２つの第２領域５１ｙがＦＰＣ５０ｙによって連結されている（図９（ｅ）参照）。ヘッド１０の製造方法は、ＦＰＣ５０ｙによって２つの第２領域５１ｙを連結することで基材５１の折曲状態を保持する連結工程（Ｓ２４）を含む。
このように、配線モジュール５０をＣＯＦ５０ｘとＦＰＣ５０ｙとで構成することで、配線モジュール５０全体をＣＯＦ５０ｘで構成する場合に比べ、コストを低減することができる（ＣＯＦ５０ｘは比較的高価であるため）。
さらにＦＰＣ５０ｙは、上記のとおり、基材５１の折曲状態の保持にも寄与する。つまり、もともと一構成要素としてヘッド１０に具備されているＦＰＣ５０ｙが、基材５１の折曲状態の保持に役立つことから、折曲状態保持のための特別な部材や工程が不要であり、ヘッド１０の構成や製造工程の複雑化を効果的に抑制することができる。
【００９１】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００９２】
アクチュエータユニットの構成は、例えば下記のように、変更可能である。
・１の液体吐出ヘッドに含まれるアクチュエータユニットの数は、２以上であればよい。
・アクチュエータユニットに含まれる圧電層の数や電極層（共通電極や金属層）の数、形状、サイズ、材料等は任意である。
・ランドを省略し、個別電極上に配線部材の接点を直接接合してもよい。
・アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。
・流路ユニットの表面におけるアクチュエータユニットの配置は、様々に変更可能である。例えば図１０（ａ）に示すように、平面視台形形状のアクチュエータユニット１７を、上底や下底が互いに隣接するように配置してよい。また、図１０（ｂ）に示すように、平面視平行四辺形形状のアクチュエータユニット１７を、一方向に配列してよい。
【００９３】
配線部材の構成は、例えば下記のように、変更可能である。
・配線部材の全体をＣＯＦ又はＦＰＣで構成してもよい。
・ＣＯＦの被覆層５３を省略してよい。
・１の基材における第２領域の数、第１領域に対する第２領域の延在方向等は任意である。例えば、基材は、図１０（ａ）に示すように、流路ユニット１２の表面にならうように展開された場合に台形の下底側のみから延出した第２領域５１ｙを有してよい。基材は、図１０（ｂ）に示すように、流路ユニット１２の表面にならうように展開された場合に平面視平行四辺形形状のアクチュエータユニット１７の対向する２つの辺から互いに逆方向に延出した第２領域５１ｙを有してよい。基材は、図１０（ｃ）に示すように、流路ユニット１２の表面にならうように展開された場合に台形形状のアクチュエータユニット１７の上底及び下底からそれぞれ延出した２つの第２領域５１ｙを有し、当該２つの第２領域５１ｙがそれぞれ内側に折り曲げられ、ＦＰＣ５０ｙで連結されてよい。また、基材は、第１領域に対して主走査方向に延在した第２領域と、第１領域に対して副走査方向に延在した第２領域とを有してよい。
【００９４】
駆動回路の構成は、例えば下記のように、変更可能である。
・１の配線部材に設けられる駆動回路の数、位置等は、任意である。例えば、駆動回路は、基材の第１領域に固定されてもよいし、また、基材に含まれる複数の第２領域の１つのみに固定されてよい。また、駆動回路は、ＣＯＦの表面ではなく、ＦＰＣの表面（例えばＦＰＣ５０ｙにおけるリザーバユニット１１の側方に配置された部分）に固定されてもよい。
・駆動回路は、全体がアクチュエータユニットと重なる位置になくてもよい。
【００９５】
放熱部材や付勢部材の形状、サイズ、材料等は任意である。
また、これら部材を省略してもよい。
【００９６】
磁性部材の構成は、例えば下記のように、変更可能である。
・磁性部材は、第１領域でなく、第２領域に配置されてもよい。
・磁性部材の形状、サイズ等は任意であり、例えばアクチュエータユニットよりも一回り小さいサイズを有してよい。
・磁性部材の材料は任意であり、流路ユニット１２を構成するプレート１２ａ〜１２ｉと異なる材料からなってもよい。
・磁性部材の熱膨張係数は、少なくとも流路ユニットの表面（アクチュエータユニットが配置される面）の熱膨張係数と同じであることが好ましい。例えば上述の実施形態のように流路ユニットが複数のプレートからなる場合、磁性部材の熱膨張係数は、最上層のプレート１２ａの熱膨張係数と同じで、他のプレート１２ｂ〜１２ｉの熱膨張係数と異なってもよい。また、磁性部材の熱膨張係数は流路ユニットの表面の熱膨張係数と同じであることが好ましいが、これに限定されない。
・磁性部材を省略してもよい。（この場合、ヘッドの製造方法における磁石配置工程を省略してよい。）
【００９７】
補強用接着剤１７ｒは、アクチュエータユニットの外縁の全周ではなく一部にのみ設けられてもよい。また、補強用接着剤１７ｒを省略してもよい。
【００９８】
特に製造方法について、下記のように変更可能である。
・配線モジュール作製工程を配線モジュール固定工程（Ｓ５）の前に行ってよい。即ち、Ｓ５の前に複数の配線モジュールを予め作製しておき、Ｓ５で接合工程のみを行ってよい。
・磁性部材の配置工程を、折曲工程後に行ってもよい。
・付勢部材の接着工程を、基材５１の第２領域５１ｙを上方に立ち上げた後、且つ、磁性部材５４と付勢部材５５とからなる積層体の側端面に沿って基材５１を折り曲げる前に、行ってもよい。
・補強用接着剤１７ｒを、バンプ１８ｄと同一工程で形成してよい。この場合、補強用接着剤１７ｒとバンプ１８ｄとを同じ材料で構成することが好ましい。
・ＦＰＣによって複数の第２領域を連結する連結工程は、折曲工程の後ではなく、折曲工程の前に行ってよく、さらに、接合工程の後に行ってもよい。
・配線部材をアクチュエータユニットに固定する工程を、流路ユニットとアクチュエータユニットとの固定工程の前に行ってもよい。この場合、磁石配置工程において、磁石をアクチュエータユニットの下側に配置してよい。
【００９９】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、プリンタに限定されず、ファクシミリやコピー機等、任意の液体吐出装置に適用可能である。また、液体吐出装置に適用される液体吐出ヘッドの数は４に限定されず、１以上であればよい。液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式でもよい。さらに、本発明に係る液体吐出ヘッドは、インク以外の任意の液体を吐出してよい。
【符号の説明】
【０１００】
１  インクジェット式プリンタ
１０  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１２  流路ユニット
１２ｘ  上面（流路ユニットの表面）
１４ａ  吐出口
１４  個別流路（個別液体流路）
１７  アクチュエータユニット
１７ｒ  接着剤
１８ａ  個別電極
５０  配線モジュール
５０ｘ  ＣＯＦ（配線部材）
５０ｙ  ＦＰＣ（連結部材）
５０ｐ  突出部
５１  基材
５１ｘ  第１領域
５１ｙ  第２領域
５２  配線
５２ｄ  接点
５４  磁性部材
５５  付勢部材
５６  放熱部材
５７  ドライバＩＣ（駆動回路）
６０  磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005633342.tif 000008
【図８】
0005633342.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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