(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボット・作業機械のアームに取付ける取付けベースを備えた本体（２）と、
この本体（２）に、対で枢支した第一アーム（５）、（６）は、この本体（２）に設けたモータ（３）で、旋回可能に支持し、
この第一アーム（５）、（６）に、それぞれ枢支した第二アーム（１０）、（１１）は、当該第一アーム（５）、（６）に設けたモータ（１３）と、作動機構とで、この第一アーム（５）、（６）の長手方向に対して、移動可能とするとともに、このモータ（１３）の出力軸（１３００）と、この出力軸（１３００）と第一歯車（１５）との間に設けたキーとキー溝との固定関係を解除し、かつ当該出力軸（１３００）と前記第二アーム（１０）、（１１）との間にストッパーを差込み、この出力軸（１３００）とこの第二アーム（１０）、（１１）とを固定し、前記モータ（１３）と、作動機構とで、前記第一アーム（５）、（６）に対して、当該第二アーム（１０）、（１１）を旋回可能に支持し、
この第二アーム（１０）、（１１）に、それぞれ枢支した一組、又は多数組の第三アーム（２０）、（２１）は、当該第二アーム（１０）、（１１）に設けたモータ（２２）、（２３）と、作動機構とで、この第二アーム（１０）、（１１）の長手方向に対して、移動可能とするとともに、このモータ（２２）、（２３）の出力軸（２２００）と、この出力軸（２２００）と第二歯車（２５）との間に設けたキーとキー溝との固定関係を解除し、かつこの出力軸（２２００）と前記第三アーム（２０）、（２１）との間にストッパーを差込み、この出力軸（２２００）とこの第三アーム（２０）、（２１）とを固定し、前記モータ（２２）、（２３）と、作動機構とで、前記第二アーム（１０）、（１１）に対して、当該第三アーム（２０）、（２１）を旋回可能に支持し、
この第三アーム（２０）、（２１）に垂下した一本、又は数本の垂下杆（２６）、（２７）と、で構成した万能チャック。
【請求項２】
請求項１に記載の万能チャックであって、
この作動機構は、第一アーム（５）、（６）と第二アーム（１０）、（１１）の長手方向に、それぞれ設けた長孔（５００）、（１０００）と、この長孔（５００）、（１０００）の内周面に刻設した螺子部（５０１）、（１００１）と、この螺子部（５０１）、（１００１）に螺合する第一、第二歯車（１５）、（２５）とで構成し、
この第一、第二歯車を、この第一アーム（５）、（６）と第二アーム（１０）、（１１）に設けた各モータ（１３）、（２２）、（２３）の出力軸（１３００）、（２２００）に設け、かつこの出力軸（１３００）、（２２００）と前記第一、第二歯車（１５）、（２５）の固止を、この第一、第二歯車（１５）、（２５）と前記出力軸（１３００）、（２２００）との間に、それぞれ設けたキーとキー溝で行う構成とした万能チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大小、異形、歪等の形状でなる品物、ワーク、搬送物、その他の物等の物を、確実、かつ安定的に挾持、搬送できる万能チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工場等の製造現場で、前記品物、ワーク等の物を、確実、かつ安定的に挾持、搬送できる機具として、万能チャックがある。この万能チャックは、大小の物を、挾持、搬送する手段として活用されている。しかし、異形、歪等の如く、特殊な形状の物を、挾持、搬送する手段として、希望する器具がないのが現況である。
【０００３】
そこで、この異形、歪等の如く、特殊な形状の物を、挾持、搬送する手段としての利用ができる構造に関して、調査した範囲内では、具体的な事例をなかった。しかし、アームと、このアームに設けたモータを介して、自在に可動（揺動）する構造とか、多数本のアームが自在に可動する構造とかが散見されるので、この文献を、以下に列挙する。
【０００４】
この文献（１）は、特開２００３−２４３２９４の「アライナー装置」であり、半導体製造装置等において、ウエハ等の物を、センターリング、オリフラする際に、把持するウエハ把持機構は、ソレノイド、リンクアームを介して、可動するアーム本体と、このアーム本体に設けた把持部とでなる構造が開示されている。しかし、この発明は、アーム本体が、リンクアームで可動し、ウエハを挾持、この挾持を解放することに留まり、その他の特徴はない。
【０００５】
また、文献（２）は、特開平１１−１９８００８号の「平面研削装置」であり、吸着パットを、アームと、このアームを可動するモータとを介して、スイングする構造が開示されている。しかし、この発明は、吸着パットが、アームで可動し、ウエハを吸着、かつ移動し、その後、吸着解除することに留まり、その他の特徴はない。
【０００６】
さらに、文献（３）は、特開ＷＯ９６／２９３０の「アパーチャグリルへのスプリング溶着方法及びその装置」であり、リンクをエアシリンダで可動し、このリンクに設けた振り分け機構を振り分け可動するとともに、このエアシリンダの伸縮動作により振り分け機構を可動する構造が開示されている。しかし、この発明は、エアシリンダで、リンクを介して、振り分け機構を振り分け可動することに留まり、その他の特徴はない。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２４３２９４
【特許文献２】特開平１１−１９８００８号
【特許文献３】特開ＷＯ９６／２９３０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記文献（１）は、アーム本体が、リンクアームで可動し、ウエハを挾持、この挾持を解放する構造である。この構造では、アームは、その枢支された位置を基準に可動する。しかし、このアームの先端部の位置は変わらず、前記枢支位置（枢支点）を基準に旋回する。従って、このアーム機構を利用して、物をチャックする場合には、この物の大きさが決定される。また、この物の大きさを変更することは、不可能と考えられる。
【０００９】
また、文献（２）は、吸着パットが、アームで可動し、ウエハを吸着、かつ移動し、その後、吸着解除する構造である。この構造では、アームは、その枢支された位置を基準に可動し、ウエハを所定の位置から吸着し、その後、所定の位置に離脱するものであって、このアームの位置は変わらず、前記枢支位置を基準に旋回する。従って、このアーム機構を利用して、物を吸着する場合には、この物の大きさが決定される。また、この物の大きさを変更することは、不可能と考えられる。
【００１０】
さらに、文献（３）は、エアシリンダで、リンクを介して、振り分け機構を振り分け可動する構造である。この構造では、振り分け機構は、回転軸を基準に可動し、横メンバーを所定の位置から設置し、その後、所定の位置に搬送するものであって、この振り分け機構の位置は変わらず、前記回転軸を基準に、揺動かつ前進後退する。従って、この振り分け機構を利用して、物を振り分ける場合には、この物の大きさが決定される。また、この物の大きさを変更することは、不可能と考えられる。
【００１１】
上記に鑑み、本発明は、挾持、又は吸着（吸着として説明する）する物の大小、及び／又は、異形形状等に係らず、これらの物を、最適で、かつ安定した位置（所定の位置）で、確実に吸着し、かつ吸着解除可能とすること、そして、また、この物の大きさ、形状、重量が、それぞれ異なり、多種、かつ多様の物であっても、所定の位置で、確実に吸着し、かつ吸着解除可能とすること、等を目的とする。
【００１２】
また、本発明は、第二アーム、第三アームを、それぞれ、この長手方向に移動可能としたことで、この第二アーム、第三アームの長さを可変し、前記物の大きさ、形状、重量に対応できること、又はこの第一アーム〜第三アームを、それぞれ、モータで旋回可能としたことで、この第二アーム、第三アームの長さを可変せずに、前記物の大きさ、形状、重量に対応できること、更には、前記第二アーム、第三アームの長さの可変と、この第一アーム〜第三アームの旋回位置を変更することで、更に、前記物の大きさ、形状、重量に、極めて広く対応できること、等を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１の発明は、前述した、吸着する物の大小、及び／又は、異形形状等に係らず、これらの物を、最適で、かつ安定した位置（所定の位置）で、確実に吸着し、かつ吸着解除可能とすること、そして、また、この物の大きさ、形状、重量が、それぞれ異なり、多種、かつ多様の物、或いは異形、歪等の如く、特殊な形状の物等であっても、所定の位置で、確実に吸着し、かつ吸着解除可能とすること、等を目的とする。また、請求項１の発明は、第一アーム〜第三アームを、それぞれ、この長手方向に移動可能としたことで、この第一アーム〜第三アームの長さを可変し、前記物の大きさ、形状、重量に対応できること、又はこの第一アーム〜第三アームを、それぞれ、モータで旋回可能としたことで、この第一アーム〜第三アームの長さを可変せずに、前記物の大きさ、形状、重量に対応すること、更には、前記第一アーム〜第三アームの長さの可変と、この第一アーム〜第三アームの旋回位置を変更としたことで、更に、前記物の大きさ、形状、重量に、極めて広く対応すること、等を目的とする。
【００１４】
請求項１は、ロボット・作業機械のアームに取付ける取付けベースを備えた本体（２）と、
この本体（２）に、対で枢支した第一アーム（５）、（６）は、この本体（２）に設けたモータ（３）で、旋回可能に支持し、
この第一アーム（５）、（６）に、それぞれ枢支した第二アーム（１０）、（１１）は、当該第一アーム（５）、（６）に設けたモータ（１３）と、作動機構とで、この第一アーム（５）、（６）の長手方向に対して、移動可能とするとともに、このモータ（１３）の出力軸（１３００）と、この出力軸（１３００）と第一歯車（１５）との間に設けたキーとキー溝との固定関係を解除し、かつ当該出力軸（１３００）と前記第二アーム（１０）、（１１）との間にストッパーを差込み、この出力軸（１３００）とこの第二アーム（１０）、（１１）とを固定し、前記モータ（１３）と、作動機構とで、前記第一アーム（５）、（６）に対して、当該第二アーム（１０）、（１１）を旋回可能に支持し、
この第二アーム（１０）、（１１）に、それぞれ枢支した一組、又は多数組の第三アーム（２０）、（２１）は、当該第二アーム（１０）、（１１）に設けたモータ（２２）、（２３）と、作動機構とで、この第二アーム（１０）、（１１）の長手方向に対して、移動可能とするとともに、このモータ（２２）、（２３）の出力軸（２２００）と、この出力軸（２２００）と第二歯車（２５）との間に設けたキーとキー溝との固定関係を解除し、かつこの出力軸（２２００）と前記第三アーム（２０）、（２１）との間にストッパーを差込み、この出力軸（２２００）とこの第三アーム（２０）、（２１）とを固定し、前記モータ（２２）、（２３）と、作動機構とで、前記第二アーム（１０）、（１１）に対して、当該第三アーム（２０）、（２１）を旋回可能に支持し、
この第三アーム（２０）、（２１）に垂下した一本、又は数本の垂下杆（２６）、（２７）と、で構成した万能チャックである。
【００１５】
請求項２の発明は、前記の請求項１の発明の目的を達成すること、この目的達成に最適な、移動機構の構造を意図する。
【００１６】
請求項２は、請求項１に記載の万能チャックであって、
この作動機構は、第一アーム（５）、（６）と第二アーム（１０）、（１１）の長手方向に、それぞれ設けた長孔（５００）、（１０００）と、この長孔（５００）、（１０００）の内周面に刻設した螺子部（５０１）、（１００１）と、この螺子部（５０１）、（１００１）に螺合する第一、第二歯車（１５）、（２５）とで構成し、
この第一、第二歯車を、この第一アーム（５）、（６）と第二アーム（１０）、（１１）に設けた各モータ（１３）、（２２）、（２３）の出力軸（１３００）、（２２００）に設け、かつこの出力軸（１３００）、（２２００）と前記第一、第二歯車（１５）、（２５）の固止を、この第一、第二歯車（１５）、（２５）と前記出力軸（１３００）、（２２００）との間に、それぞれ設けたキーとキー溝で行う構成とした万能チャックである。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明は、ロボット・作業機械のアームに取付ける取付けベースを備えた本体（２）と、
本体（２）に、対で枢支した第一アーム（５）、（６）は、本体（２）に設けたモータ（３）で、旋回可能に支持し、
第一アーム（５）、（６）に、それぞれ枢支した第二アーム（１０）、（１１）は、第一アーム（５）、（６）に設けたモータ（１３）と、作動機構とで、第一アーム（５）、（６）の長手方向に対して、移動可能とするとともに、モータ（１３）の出力軸（１３００）と、出力軸（１３００）と第一歯車（１５）との間に設けたキーとキー溝との固定関係を解除し、かつ出力軸（１３００）と第二アーム（１０）、（１１）との間にストッパーを差込み、出力軸（１３００）と第二アーム（１０）、（１１）とを固定し、モータ（１３）と、作動機構とで、第一アーム（５）、（６）に対して、第二アーム（１０）、（１１）を旋回可能に支持し、
第二アーム（１０）、（１１）に、それぞれ枢支した一組、又は多数組の第三アーム（２０）、（２１）は、第二アーム（１０）、（１１）に設けたモータ（２２）、（２３）と、作動機構とで、第二アーム（１０）、（１１）の長手方向に対して、移動可能とするとともに、モータ（２２）、（２３）の出力軸（２２００）と、出力軸（２２００）と第二歯車（２５）との間に設けたキーとキー溝との固定関係を解除し、かつ出力軸（２２００）と第三アーム（２０）、（２１）との間にストッパーを差込み、この出力軸（２２００）と第三アーム（２０）、（２１）とを固定し、モータ（２２）、（２３）と、作動機構とで、第二アーム（１０）、（１１）に対して、第三アーム（２０）、（２１）を旋回可能に支持し、
第三アーム（２０）、（２１）に垂下した一本、又は数本の垂下杆（２６）、（２７）と、で構成した万能チャックである。
【００２２】
従って、請求項１は、前述した、吸着する物の大小、及び／又は、異形形状等に係らず、これらの物を、最適で、かつ安定した位置で、確実に吸着し、かつ吸着解除可能となること、そして、また、この物の大きさ、形状、重量が、それぞれ異なり、多種、かつ多様の物、或いは異形、歪等の如く、特殊な形状の物等であっても、所定の位置で、確実に吸着し、かつ吸着解除可能となること、等の特徴を有する。また、請求項１は、第一アーム〜第三アームを、それぞれ、この長手方向に移動可能としたことで、この第一アーム〜第三アームの長さを可変し、前記物の大きさ、形状、重量に対応できること、又はこの第一アーム〜第三アームを、それぞれ、モータで旋回可能としたことで、この第一アーム〜第三アームの長さを可変せずに、前記物の大きさ、形状、重量に対応できること、更には、前記第一アーム〜第三アームの長さの可変と、この第一アーム〜第三アームの旋回位置を変更としたことで、更に、前記物の大きさ、形状、重量に、極めて広く対応できること、等の実益を有する。
【００２３】
請求項２の発明は、請求項１に記載の万能チャックであって、
作動機構は、第一アーム（５）、（６）と第二アーム（１０）、（１１）の長手方向に、それぞれ設けた長孔（５００）、（１０００）と、長孔（５００）、（１０００）の内周面に刻設した螺子部（５０１）、（１００１）と、螺子部（５０１）、（１００１）に螺合する第一、第二歯車（１５）、（２５）とで構成し、
第一、第二歯車を、第一アーム（５）、（６）と第二アーム（１０）、（１１）に設けた各モータ（１３）、（２２）、（２３）の出力軸（１３００）、（２２００）に設け、かつ出力軸（１３００）、（２２００）と第一、第二歯車（１５）、（２５）の固止を、第一、第二歯車（１５）、（２５）と出力軸（１３００）、（２２００）との間に、それぞれ設けたキーとキー溝で行う構成とした万能チャックである。
【００２４】
従って、請求項２は、前記の請求項１の発明の目的を達成できること、この目的達成に最適な、移動機構の構造を提供できること、等の特徴を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】万能チャックを、ロボット等の製造・作業機械のアームに取付けた状態を示した模式図
【図２−１】万能チャックの第一アーム〜第三アームを折畳んだ状態の一部欠截の俯瞰斜視図
【図２−２】図２−１の状態で、第三アームを、第二アームの略真中に移動した状態の俯瞰斜視図
【図３】万能チャックの第一アーム〜第三アームを展開した状態の俯瞰斜視図
【図４】万能チャックの要部の拡大断面図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施例を説明すると、１はロボット等の製造・作業機械のアームＡに取付ける取付けベースで、この取付けベース１は、本発明の万能チャックＢの本体２の上面２ａに設けられる。この本体２は、この一例では、椀形形状をしており、この本体２の下面２ｂには底板２００を設けるとともに、その内部２ｃは空洞２０１とする。この本体２の底板２００の左右側で、かつその上面には、それぞれモータ３、３を対で設ける（左右が対の構造では、その構造と、動きは、対象関係であるが同じであり、一方で説明し、かつ符号も一つとする）。そして、この実施例では、モータ３を、底板２００の左右端部に対峙して設ける。このモータ３の出力軸３００には、上下対の第一アーム５、６（一方の第一アーム５で説明する）の基端側が支持される。このように、上下対の第一アーム５、６の例では、強度の向上と、ブレ防止、又は確実なスイングが可能となり有効である。尚、上下対の第一アーム５、６は一例であり、何れか一方、例えば、上の第一アーム５か、下の第一アーム６でも機能するので、可能である（以下、同じ）。また、前記第一アーム５と、第一アーム６間には、出力軸３００に套嵌した、スリーブ８を設け間隔を保持するとともに、第一アーム６を、第一アーム５の下に、平行に設ける構造とするとともに、この第一アーム６を出力軸３００に設けた止め具７を設ける。そして、この第一アーム５の長手方向には長孔５００を設け、この長孔５００の内面には螺子部５０１を刻設する。また、この第一アーム６の長手方向には、前記長孔５００に重畳するように、長孔６００を設ける。
【００３１】
次に、第一アーム５、６の先端側間には、前記モータ３の出力軸３００を介して、上下対の第二アーム１０、１１（第二アーム１０で説明する）の基端側を設ける。この第二アーム１０の長手方向には、一条又は二条の長孔１０００を設け、この長孔１０００の内面には螺子部１００１を刻設する。また、この第二アーム１１の長手方向には、前記長孔１０００に重畳するように、一条又は二条の長孔１１００を設ける。そして、この第二アーム１０の螺子部１００１には、前記第一アーム５の先端側の上面に設けたモータ１３の出力軸１３００の途中に設けた第一歯車１５が噛合される。また、第二アーム１１の長孔１１００には、前記出力軸１３００が嵌入されるとともに、この第二アーム１１は、出力軸１３００に設けた止め具７を介して、この出力軸１３００に支持される。尚、第二アーム１０と、第二アーム１１間には、出力軸１３００に套嵌した、スリーブ８を設け間隔を保持するとともに、第二アーム１１を、第二アーム１０の上に、平行に設ける構造とする。また、第二アーム１１と出力軸１３００との間には、ストッパー１４を設け、このストッパー１４の差込み、引抜き等の操作で、この第二アーム１１と出力軸１３００とを固定するか、又はこの固定解除を図る。この実施例では、第二アーム１０を、第一アーム５、６間に設けたが一例である。
【００３２】
尚、前記第一アーム５に設けたモータ１３の出力軸１３００と、この出力軸１３００に設けた第一歯車１５との間に設けたキー溝１７とキー１８で、この第一歯車１５と出力軸１３００を固定することで、この出力軸１３００の回転を、第一歯車１５に伝える。また、このキー溝１７とキー１８との固定解除（キーを抜くことで）で、出力軸１３００のみが回転する構造となっている。この第一歯車１５が回転することで、この第一歯車１５の歯部１５００と噛合する、第一アーム５に設けた長孔５００の螺子部５０１が、順次、入替わり、この第二アーム１０が、短くなるとともに、出力軸１３００は、第一アーム６の長孔６００内に添って移行する。この第一歯車１５の回転、及び螺子部５０１が、順次、入替わり、かつ出力軸１３００が、第一アーム６の長孔６００内に添って移行するので、確実かつスムーズに、第二アーム１０の長さが短くなる構造である。また、この出力軸１３００と第一歯車１５との固止を解放し（キー１８を抜く）、かつストッパー１４を差込むことで、この出力軸１３００と第二アーム１１が固定される。この固定状態で、モータ１３（出力軸１３００）を駆動（回転）することで、この第二アーム１０、１１が旋回する構造である。尚、モータ１３が第一アーム５、６のどこの位置に移行しても、前記操作により、旋回は可能である（以下同じ）。
【００３３】
次に、第二アーム１０、１１の先端側には、後述するモータの出力軸を介して、第三アーム２０、２１（一方の第三アーム２０で説明する）の基端側を設ける。また、この第二アーム１０、１１の先端側の上面には、二個、又は数個のモータ２２、２３（一方のモータ２２で説明する）を設ける。そして、このモータ２２の出力軸２２００の途中には、第二歯車２５を設け、この第二歯車２５を、前記第二アーム１０の長孔１０００に挿設し、その歯部２５００を螺子部１００１に噛合する。また、出力軸２２００の先端部は、第二アーム１１の長孔１１００に到り、その貫通部には止め具７を設けることで、前記第三アーム２０を架承する。この第三アーム２０の先端側には、一本、又は複数本の垂下杆２６、２７（一方の垂下杆２６で説明する）が垂設されており、この垂下杆２６の先端には、吸盤３０、３１（一方の吸盤３０で説明する）が設けられている。尚、この吸盤３０はワーク（図示せず）を支持する一例であり、挾持具、磁石等の器具も可能である。
【００３４】
尚、前記第二アーム１０に設けたモータ２２の出力軸２２００と、この出力軸２２００に設けた第二歯車２５との間に設けたキー溝１７とキー１８で、この第二歯車２５と出力軸２２００を固定する。この固定状態で、モータ２２の駆動と出力軸２２００の回転で、第二歯車２５を回転する。また、このキー溝１７とキー１８との固定解除（キーを抜くことで）で、出力軸２２００のみが回転する構造となっている。そして、この第二歯車２５が回転することで、この第二歯車２５の歯部２５００と噛合する、第二アーム１０に設けた長孔１０００の螺子部１００１が、順次、入替わり、この第三アーム２０が、短くなるとともに、出力軸２２００は、第二アーム１１の長孔１１００内に添って移行する。この第二歯車２５の回転、及び螺子部１００１が、順次、入替わり、かつ出力軸２２００が、第二アーム１１の長孔１１００内に添って移行するので、確実かつたムーズに、第三アーム２０の長さが短くなる構造である。また、この出力軸２２００と第二歯車２５との固止を解放し（キー１８を抜く）、かつストッパー１４を差込むことで、この出力軸２２００と第三アーム２０が固定される。この固定状態で、モータ２２（出力軸２２００）を駆動することで、この第三アーム２０が旋回する構造である。尚、この垂下杆２６を伸縮自在とすることで、多種、かつ多様の物、或いは異形、歪等の如く、特殊な形状の物の支持も可能となり有益である。
【００３５】
本発明の万能チャックの作用を説明すると、この万能チャックを構成する第一アーム５〜第三アーム２０は、自由に旋回できるので、この第一アーム５〜第三アーム２０の長さの変更が可能である。例えば、図２−１の状態は、このモータ１３、２２の出力軸１３００、２２００と、第二アーム１０の第一歯車１５、第三アーム２１の第二歯車２５とのキー溝１７とキー１８との関係を解除した後に、このモータ３、１３、並びに２２、２３（一方のモータ２２で説明する）を駆動することで、第一アーム５〜第三アーム２０を旋回し、小さくした一例である。この図２−１は、第一アーム５〜第三アーム２０が小さくした状態で、小さなワーク等の物を吸盤３０で支持する。また、図３の状態は、前述と同様な操作で、第一アーム５〜第三アーム２０を展開した状態で、この第一アーム５〜第三アーム２０が長くなった一例であり、例えば、大きなワーク等の物を吸盤３０で支持する。尚、前記図２−１と、図３の第一アーム６〜第三アーム２０の旋回状態を達成するには、出力軸３００、１３００、２２００に、それぞれストッパー１４を差込む。この差込み操作で、この第一アーム６〜第三アーム２０と出力軸３００、１３００、２２００とが固定されるので、それぞれのモータ３、１３、２２を駆動することで可能となる。
【００３６】
また、図２−１の状態から、図２−２の如く、第三アーム２０を縮める状態を説明すると、この第三アーム２１と、モータ２２の出力軸２２００とを固定するストッパー１４を解除し、かつこの第三アーム２０の第二歯車２５と、モータ２２の出力軸２２００との間を、キー溝１７とキー１８で固定する。この状態でモータ２２を駆動すると、前述の如く、この駆動で出力軸２２００の回転が、第二歯車２５に伝えられる。この第二歯車２５が回転することで、この第二歯車２５の歯部２５００と噛合する、第二アーム１０に設けた長孔１０００の螺子部１００１が、順次、入替わり、この第三アーム２０が、短くなるとともに、出力軸２２００は、第二アーム１１の長孔１１００内に添って移行する。この第二歯車２５の回転、及び螺子部１０００が、順次、入替わり、かつ出力軸２２００が、第二アーム１１の長孔１１００内に添って移行するので、確実かつたスムーズに、第三アーム２０の長さが短くなり、図２−２の状態となる。従って、図２−１の第一アーム５と第二アーム１０の状態でも、第三アーム２０の移動で、この図２−２となり、全く異なる大きさ、重量、品質、特性（軟硬）等の物を吸盤３０で支持できる特徴がある。そして、この図２−１と図２−２の動きは、図示しないが、第二アーム１０も可能であって、この第二アーム１０の拡縮も同じ、操作により、全く異なる大きさ、重量等の物を吸盤３０で支持できる特徴がある。
【００３７】
そして、図示しないが、第一アーム５と、第二アーム１０、並びに第三アーム２０においても、それぞれの拡縮で、前述の特徴を、個別に、又は総合的に享受できる。
【符号の説明】
【００３８】
１            取付けベース
２            本体
２ａ          上面
２ｂ          下面
２ｃ          内部
２００        底板
２０１        空洞
３            モータ
３００        出力軸
５            第一アーム
５００        長孔
５０１        螺子部
６            第一アーム
６００        長孔
７            止め具
８            スリーブ
１０          第二アーム
１０００      長孔
１００１      螺子部
１１          第二アーム
１１００      長孔
１３          モータ
１３００      出力軸
１４          ストッパー
１５          第一歯車
１５００      歯部
１７          キー溝
１８          キー
２０          第三アーム
２１          第三アーム
２２          モータ
２２００      出力軸
２３          モータ
２５          第二歯車
２５００      歯部
２６          垂下杆
２７          垂下杆
３０          吸盤
３１          吸盤
Ａ            アーム
Ｂ            万能チャック
【図１】
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【図２−１】
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【図２−２】
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【図３】
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【図４】
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