(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮性を有し、多孔体で形成された絶縁層の両面に電極を設けて形成される電気的伸縮機構であって、一方の電極に電気的に接続された導通孔が前記絶縁層に形成されていると共に、前記導通孔が、前記多孔体に設けた貫通孔の内面の網目に沿って金属メッキを施すことによって形成されていることを特徴とする電気的伸縮機構。
【請求項２】
前記多孔体の孔内に電解液が充填されていると共に、前記導通孔と電気的に接続されていない他方の電極と前記絶縁層との間に絶縁皮膜が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気的伸縮機構。
【請求項３】
伸縮性を有する絶縁層の両面に電極を設けて形成される電気的伸縮機構であって、一方の電極に電気的に接続された導通孔が前記絶縁層に形成されていると共に、前記導通孔が、前記絶縁層に設けた雌ねじ状の貫通孔の内面に金属メッキを施すことによって形成されていることを特徴とする電気的伸縮機構。
【請求項４】
前記絶縁層が多孔体で形成され、この多孔体の孔内に電解液が充填されていると共に、前記導通孔と電気的に接続されていない他方の電極と前記絶縁層との間に絶縁皮膜が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の電気的伸縮機構。
【請求項５】
複数の絶縁層が前記電極を介して積層されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電気的伸縮機構。
【請求項６】
前記電極間の前記絶縁層の一部が欠けて空隙部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気的伸縮機構。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電気的伸縮機構と、前記電極間に電圧を印加する電源制御部とを備えて形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ等の製造に用いられる電気的伸縮機構及びこの電気的伸縮機構を用いて製造されたアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータは、入力されたエネルギーを物理運動量に変換するものであり、従来より様々なものが開発され、利用されている。例えば、特許文献１に記載のアクチュエータは、絶縁性を有する薄肉の弾性材料からなる伸縮層が厚み方向に３層以上積層された伸縮部と、各伸縮層の厚み方向の両面にそれぞれ設けられ伸縮層の伸縮を許容するように変形可能な複数の電極と、各電極に接続する電圧極性を選択する電源制御部とを備えて形成されている。そしてこのように形成されたアクチュエータは、電圧を印加していない元の位置に対して伸縮層を伸長させることができると共に、元の位置に対して伸縮層を収縮させることができるものである。
【特許文献１】特許第３８０９８０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記のような従来のアクチュエータにあっては、伸縮層の両側の電極にリード線などが接続されているので、伸縮層が伸縮する際に配線も動くことになり、断線などで接続信頼性が低下したり、また配線が複雑になって小型化が難しくなったりするものであった。
【０００４】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができると共に、接続信頼性を高めることができる電気的伸縮機構及びアクチュエータを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に係る電気的伸縮機構は、伸縮性を有し、多孔体３で形成された絶縁層１の両面に電極２を設けて形成される電気的伸縮機構Ａであって、一方の電極２ａに電気的に接続された導通孔５が前記絶縁層１に形成されていると共に、前記導通孔５が、前記多孔体３に設けた貫通孔１６の内面の網目に沿って金属メッキを施すことによって形成されていることを特徴とするものである。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記多孔体３の孔内に電解液が充填されていると共に、前記導通孔５と電気的に接続されていない他方の電極２ｂと前記絶縁層１との間に絶縁皮膜８が設けられていることを特徴とするものである。
本発明の請求項３に係る電気的伸縮機構は、伸縮性を有する絶縁層１の両面に電極２を設けて形成される電気的伸縮機構Ａであって、一方の電極２ａに電気的に接続された導通孔５が前記絶縁層１に形成されていると共に、前記導通孔５が、前記絶縁層１に設けた雌ねじ状の貫通孔１６の内面に金属メッキを施すことによって形成されていることを特徴とするものである。
請求項４に係る発明は、請求項３において、前記絶縁層１が多孔体３で形成され、この多孔体３の孔内に電解液が充填されていると共に、前記導通孔５と電気的に接続されていない他方の電極２ｂと前記絶縁層１との間に絶縁皮膜８が設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４のいずれか１項において、複数の絶縁層１が前記電極２を介して積層されていることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項６に係る発明は、請求項１乃至５のいずれか１項において、前記電極２間の前記絶縁層１の一部が欠けて空隙部９が形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の請求項７に係るアクチュエータは、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電気的伸縮機構Ａと、前記電極２間に電圧を印加する電源制御部６とを備えて形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１に係る電気的伸縮機構によれば、絶縁層に形成された導通孔によって、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができると共に、接続信頼性を高めることができるものである。また、金属メッキは貫通孔の内面の網目に沿って施されているので、絶縁層である多孔体が伸縮する場合には、この伸縮に追随して変形することができ、断線が防止されるものである。
【００１１】
請求項２に係る発明によれば、通常の誘電体を用いる場合に比べて電解液を用いる場合の方がより大きな出力を得ることができるものである。
本発明の請求項３に係る電気的伸縮機構によれば、絶縁層に形成された導通孔によって、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができると共に、接続信頼性を高めることができるものである。また、貫通孔の内面をあらかじめ雌ねじ状に形成しておくことによって、絶縁層が伸縮する際に金属メッキが剥離するのを抑制して断線を防止することができる。
請求項４に係る発明によれば、通常の誘電体を用いる場合に比べて電解液を用いる場合の方がより大きな出力を得ることができるものである。
【００１２】
請求項５に係る発明によれば、複数の絶縁層が積層されていることによって、伸縮性を高めることができるものである。
【００１３】
請求項６に係る発明によれば、絶縁層の収縮時において空隙部は抵抗とならないことによって、電極間の絶縁層が全く欠けていない場合に比べて、絶縁層をより大きく収縮させることができるものである。
【００１４】
本発明の請求項７に係るアクチュエータによれば、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができ、例えばロボット技術の分野において人工筋肉として好適に利用することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【００１６】
（実施形態１）
図１（ａ）は電気的伸縮機構Ａの一例を示すものであり、この電気的伸縮機構Ａは、伸縮性を有する絶縁層１の両面に電極２を設けて形成されている。
【００１７】
絶縁層１は非多孔体又は多孔体３で形成されている。非多孔体としては、ゴム等の弾性体を用いることができる。また多孔体３としては、例えば、ＰＶＡスポンジやウレタンスポンジのように孔が連続して設けられた連続多孔体を用いたり、孔が独立して設けられたもの等を用いたりすることができる。多孔体３の空隙率は、特に限定されるものではないが、３０〜９０％であることが好ましい。
【００１８】
一方、電極２は、絶縁層１の表面にボンディングシートを介して銅箔等の金属箔を接着して設けたり、また金属メッキやスパッタリング等によって設けたりすることができる。さらに電極２は、絶縁層１の伸縮に追随して変形可能となるように形成してもよい。具体的には、ベース材料に導電性の添加材を添加して導電性を付与したものを絶縁層１の表面に塗布することによって電極２を設けることができる。ベース材料としては、絶縁層１との密着性が高いものであれば特に限定されるものではないが、例えば、テフロン（登録商標）、シリコーンゴム、アクリルゴム、フェノキシ樹脂等を用いることができる。また導電性の添加材としては、金・銀・銅等の金属粉やカーボンブラック等を用いることができる。
【００１９】
そして特に絶縁層１には、一方の電極２ａに電気的に接続された導通孔５が形成されている。この導通孔５は、絶縁層１の伸縮に追随して変形可能となるように形成される。具体的には、絶縁層１に貫通孔１６を設けると共に、この貫通孔１６の内面に銅メッキ等の金属メッキを施すことによって導通孔５を形成することができる。このとき金属メッキは、絶縁層１の伸縮に追随して変形可能となるような厚みで施される。そして導通孔５の一端は一方の電極２ａに接続されており、導通孔５の他端には、後述する電源制御部６と接続される接続用電極１５が、他方の電極２ｂと絶縁された状態で設けられている。また、図１に示すような導通孔５以外に、図２に示すような導通孔５を形成してもよい。すなわち、図２（ａ）に示す導通孔５は、絶縁層１に雌ねじ状の貫通孔１６を設けると共に、この貫通孔１６の内面に銅メッキ等の金属メッキを施すことによって形成されている。このように、貫通孔１６の内面をあらかじめ雌ねじ状に形成しておくことによって、絶縁層１が伸縮する際に金属メッキが剥離するのを抑制して断線を防止することができる。また図２（ｂ）に示す導通孔５は、絶縁層１に貫通孔１６を設けると共に、導電性ペーストを貫通孔１６に充填することによって形成されている。なお、この導電性ペーストは、シリコーンゴムに銀・銅等の金属粉を添加して得ることができ、絶縁層１の伸縮に追随して変形可能である。
【００２０】
図１（ｂ）はアクチュエータＢの一例を示すものであり、このアクチュエータＢは、上記の電気的伸縮機構Ａと、電極２間に電圧を印加する電源制御部６とを備えて形成されている。電源制御部６は、直流電源１１及びスイッチ１２を備えて形成されており、リード線１３によって接続用電極１５及び他方の電極２ｂに接続されている。このように、絶縁層１に形成された導通孔５によって、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所を電気的伸縮機構Ａの片側にまとめることができ、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができるものである。そして、スイッチ１２がオンである場合には、電極２間に電圧が印加され、絶縁層１に誘電分極が生じることによって絶縁層１の内部にクーロン力が生じていわゆる電歪により絶縁層１に圧縮力が生じる。逆にスイッチ１２がオフである場合には、このような圧縮力は生じない。よって、スイッチ１２をオン・オフ制御することによってアクチュエータＢを絶縁層１の厚み方向に任意に伸縮させることができるものである。このように絶縁層１が伸縮を繰り返しても、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所は電気的伸縮機構Ａの片側にまとめられており、絶縁層１と共に動くことはないので、接続信頼性を高めることができるものである。
【００２１】
（実施形態２）
図３（ａ）は電気的伸縮機構Ａの他の一例を示すものである。この電気的伸縮機構Ａも、伸縮性を有する絶縁層１の両面に電極２を設けて形成されているが、本実施形態では絶縁層１が多孔体３で形成されていると共に、多孔体３の孔内に誘電体が充填されている。この誘電体としては、例えば、フッ素系不活性液体のような液状の誘電体や、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴンのような気体状の誘電体を用いることができる。このときチタン酸バリウムのような高誘電率の微細粉末材料を併用してもよい。しかし、このような誘電体では多孔体３から漏洩してしまうので、液状や気体状の誘電体を染み込ませた多孔体３は袋体１４に封入されている。この袋体１４としては、柔軟性があるものであれば特に限定されるものではないが、例えば、ゴムやプラスチック等で形成されたものを用いることができる。このように、様々な誘電体を多孔体３の孔内に充填させることによって、絶縁層１の誘電率を調整することができるものである。
【００２２】
また、多孔体３に貫通孔１６を設けるとその内面は網目状に形成されるが、この内面の網目に沿って銅メッキ等の金属メッキを施すことによって導通孔５を形成することができる。このように金属メッキは貫通孔１６の内面の網目に沿って施されているので、絶縁層１である多孔体３が伸縮する場合には、この伸縮に追随して変形することができ、断線が防止されるものである。導通孔５の一端は一方の電極２ａに接続されており、導通孔５の他端には、後述する電源制御部６と接続される接続用電極１５が、他方の電極２ｂと絶縁された状態で設けられている。
【００２３】
図３（ｂ）はアクチュエータＢの他の一例を示すものであり、このアクチュエータＢは、上記の電気的伸縮機構Ａと、電極２間に電圧を印加する電源制御部６とを備えて形成されている。電源制御部６は、直流電源１１及びスイッチ１２を備えて形成されており、リード線１３によって接続用電極１５及び他方の電極２ｂに接続されている。このように、絶縁層１に形成された導通孔５によって、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所を電気的伸縮機構Ａの片側にまとめることができ、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができるものである。そして、スイッチ１２がオンである場合には、電極２間に電圧が印加され、絶縁層１に誘電分極が生じることによって絶縁層１の内部にクーロン力が生じていわゆる電歪により絶縁層１に圧縮力が生じる。逆にスイッチ１２がオフである場合には、このような圧縮力は生じない。よって、スイッチ１２をオン・オフ制御することによってアクチュエータＢを絶縁層１の厚み方向に任意に伸縮させることができるものである。このように絶縁層１が伸縮を繰り返しても、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所は電気的伸縮機構Ａの片側にまとめられており、絶縁層１と共に動くことはないので、接続信頼性を高めることができるものである。
【００２４】
（実施形態３）
図４（ａ）は電気的伸縮機構Ａの他の一例を示すものである。この電気的伸縮機構Ａも、伸縮性を有する絶縁層１の両面に電極２を設けて形成されているが、本実施形態では複数の絶縁層１が電極２を介して積層されている。そして各絶縁層１を介して対向する電極２同士が相互に異極となるように、導通孔５によって同極の電極２同士が接続されている。このとき導通孔５は実施形態１や実施形態２と同じ方法で形成することができる。
【００２５】
具体的には、図４（ａ）に示す電気的伸縮機構Ａは、内層の電極２ａを絶縁層１で挟み、さらに各絶縁層１を内層の電極２ａ及び外層の電極２ｂ，２ｃで挟んで形成されている。そして絶縁層１には、内層の電極２ａに電気的に接続された導通孔５ａと、外層の電極２ｂ，２ｃに電気的に接続された導通孔５ｂとが形成されている。すなわち、前者の導通孔５ａの一端は、内層の電極２ａに接続されており、他端には、後述する電源制御部６と接続される接続用電極１５が、外層の電極２ｂと絶縁された状態で設けられている。また後者の導通孔５ｂは、内層の電極２ａの両側の絶縁層１を厚み方向に通り、内層の電極２ａと絶縁された状態で形成されており、両端がそれぞれ各外層の電極２ｂ，２ｃに接続されている。なお、本発明はこのような電気的伸縮機構Ａに限定されるものではない。
【００２６】
このように、図４（ａ）に示すような電気的伸縮機構Ａにあっては、複数の絶縁層１が積層されていることによって、伸縮性を高めることができるものである。
【００２７】
また実施形態２と同様に絶縁層１を多孔体３で形成する場合には、多孔体３の材質を選択したり、その空隙率をあらかじめ変化させておいたり、多孔体３に充填される誘電体の材質を選択したりすることによって、絶縁層１の誘電率を調整し、伸縮の程度を細かく調整することができるものである。
【００２８】
図４（ｂ）はアクチュエータＢの他の一例を示すものであり、このアクチュエータＢは、上記の電気的伸縮機構Ａと、電極２間に電圧を印加する電源制御部６とを備えて形成されている。電源制御部６は、直流電源１１及びスイッチ１２を備えて形成されており、絶縁層１を介して対向する電極２同士が相互に異極となるようにリード線１３によって接続用電極１５及び外層の電極２ｂに接続されている。このように、複数の絶縁層１が積層されていても、絶縁層１に形成された導通孔５によって、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所を電気的伸縮機構Ａの片側にまとめることができ、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができるものである。そして、スイッチ１２がオンである場合には、電極２間に電圧が印加され、絶縁層１に誘電分極が生じることによって絶縁層１の内部にクーロン力が生じていわゆる電歪により絶縁層１に圧縮力が生じる。逆にスイッチ１２がオフである場合には、このような圧縮力は生じない。よって、スイッチ１２をオン・オフ制御することによってアクチュエータＢを絶縁層１の厚み方向に任意に伸縮させることができるものである。このように絶縁層１が伸縮を繰り返しても、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所は電気的伸縮機構Ａの片側にまとめられており、絶縁層１と共に動くことはないので、接続信頼性を高めることができるものである。
【００２９】
（実施形態４）
図５（ａ）は電気的伸縮機構Ａの他の一例を示すものである。この電気的伸縮機構Ａも、実施形態１と同様に、伸縮性を有する絶縁層１の両面に電極２を設けて形成されているが、本実施形態では絶縁層１が多孔体３で形成され、この多孔体３の孔内に電解液が充填されていると共に、導通孔５と電気的に接続されていない他方の電極２ｂと絶縁層１との間に絶縁皮膜８が設けられている。絶縁層１の厚み方向に発生する力は絶縁層１の誘電率に比例するが、通常の誘電体の誘電率は３以下程度であるのに対して電解液の誘電率は２０〜３０程度であるので、通常の誘電体を用いる場合に比べて電解液を用いる場合の方がより大きな出力を得ることができるものである。
【００３０】
電解液としては、酸と塩基からなるイオンを生成する電解質塩と、これが溶解する溶媒とを混合して調製されたものを用いることができる。電解質塩の酸成分としては、ホウ酸やカルボン酸等の弱酸を用いることができ、また塩基成分としては、アンモニアやアミン等の有機塩基を用いることができ、また溶媒としては、エチレングリコールやγ−ブチロラクトン等を用いることができる。具体的には、電解液としては、三洋化成工業（株）製「サンエレック」等を用いることができる。
【００３１】
電解液は電気を通す液体であるので、ショート（短絡）を防止するために、導通孔５と電気的に接続されていない他方の電極２ｂと絶縁層１との間に絶縁皮膜８が設けられている。この絶縁皮膜８は、絶縁性を有する樹脂やボンディングシートで電極２ｂの表面を被覆して設けられ、この電極２ｂと電解液とが接触しないようにしてある。特に電極２ｂとしてアルミニウムを用いる場合には、この電極２ｂの表面を酸化して形成される酸化皮膜（酸化アルミ：Ａｌ２Ｏ３）を絶縁皮膜８として用いることができる。
【００３２】
ところで、液状や気体状の誘電体を用いる場合と同様に、電解液は多孔体３から漏洩してしまうので、電解液を染み込ませた多孔体３は図５（ａ）のように袋体１４に封入されている。この袋体１４としては、柔軟性があるものであれば特に限定されるものではないが、例えば、ゴムやプラスチック等で形成されたものを用いることができる。また、このような非導電性のもののほか、袋体１４としては、金属のような導電性のものを用いることができる。特に金属製の袋体１４を用いる場合には、図６のようにこの袋体１４の側面を蛇腹状に形成して、電気的伸縮機構Ａの伸縮性を確保するようにしてある。このとき、導通孔５と電気的に接続されていない他方の電極２ｂと袋体１４との間に絶縁皮膜８が設けられて、絶縁性が確保されている。
【００３３】
図５（ｂ）はアクチュエータＢの他の一例を示すものであり、このアクチュエータＢは、上記の電気的伸縮機構Ａと、電極２間に電圧を印加する電源制御部６とを備えて形成されている。電源制御部６は、直流電源１１及びスイッチ１２を備えて形成されており、リード線１３によって接続用電極１５及び他方の電極２ｂに接続されている。このように、絶縁層１に形成された導通孔５によって、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所を電気的伸縮機構Ａの片側にまとめることができ、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができるものである。そして、スイッチ１２がオンである場合には、電極２間に電圧が印加され、絶縁層１に誘電分極が生じることによって絶縁層１の内部にクーロン力が生じていわゆる電歪により絶縁層１に圧縮力が生じる。逆にスイッチ１２がオフである場合には、このような圧縮力は生じない。よって、スイッチ１２をオン・オフ制御することによってアクチュエータＢを絶縁層１の厚み方向に任意に伸縮させることができるものである。このように絶縁層１が伸縮を繰り返しても、リード線１３と接続用電極１５及び他方の電極２ｂとの接続箇所は電気的伸縮機構Ａの片側にまとめられており、絶縁層１と共に動くことはないので、接続信頼性を高めることができるものである。
【００３４】
（実施形態５）
図７は電気的伸縮機構Ａの他の一例を示すものである。この電気的伸縮機構Ａも、伸縮性を有する絶縁層１の両面に電極２を設けて形成されているが、本実施形態では電極２間の絶縁層１の一部が欠けて空隙部９が形成されている。
【００３５】
すなわち、図７（ａ）に示すものは、絶縁層１の中央部から片側端部にかけて空隙部９が形成されている。そして絶縁層１の収縮時において電極２同士が接触して短絡しないように、空隙部９を介して対向する電極２のうち少なくとも一方には絶縁層１を層状に残存させて短絡防止層１０が形成されている。この短絡防止層１０は導通孔５にも形成されている。
【００３６】
また、図７（ｂ）に示すものは、絶縁層１が多孔体３で形成されている場合であり、この場合も絶縁層１の中央部から片側端部にかけて空隙部９が形成されている。なお、この空隙部９は多孔体３の個々の孔よりも大きく形成されている。
【００３７】
また、図７（ｃ）に示すものは、複数の絶縁層１が積層されている場合であり、各絶縁層１の中央部から片側端部にかけて空隙部９が形成されている。さらにこの空隙部９を介して対向する電極２には絶縁層１を層状に残存させて短絡防止層１０が形成されており、この短絡防止層１０は導通孔５の周囲にも形成されている。そして電極２を介して隣り合う絶縁層１の空隙部９は、積層方向において重ならないように位置している。このように、蛇腹状となるように空隙部９を互い違いに配置することによって、絶縁層１が複数積層されている場合であっても、伸縮性をさらに高めることができるものである。なお、図７（ｃ）に示すものは、絶縁層１が２層積層されている場合であるが、絶縁層１が３層以上積層されている場合も同様である。
【００３８】
また、図７（ｄ）に示すものは、導通孔５と電気的に接続されていない他方の電極２ｂと絶縁層１との間に絶縁皮膜８が設けられている場合であり、この場合も絶縁層１の中央部から片側端部にかけて空隙部９が形成されている。そしてこの場合は絶縁皮膜８によって他方の電極２ｂが空隙部９内に面して露出することがないので、絶縁皮膜８にさらに短絡防止層１０を形成する必要はない。
【００３９】
このように、図７に示すような電気的伸縮機構Ａにあっては、絶縁層１の収縮時において空隙部９は抵抗とならないことによって、電極２間の絶縁層１が全く欠けていない場合に比べて、絶縁層１をより大きく収縮させることができるものである。
【００４０】
なお、図示省略しているが、図７に示す電気的伸縮機構Ａと、電極２間に電圧を印加する電源制御部６とを備えてアクチュエータＢを形成することができる。
【００４１】
このように、実施形態１〜５のいずれのアクチュエータＢであっても、従来よりもシンプルな配線で小型化を図ることができ、例えばロボット技術の分野において人工筋肉として好適に利用することができるものである。また特に絶縁層１が多孔体３で形成されている場合には、従来よりも伸縮性を高めることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、（ａ）は電気的伸縮機構の断面図、（ｂ）はアクチュエータの断面図である。
【図２】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、（ａ）（ｂ）は電気的伸縮機構の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、（ａ）は電気的伸縮機構の断面図、（ｂ）はアクチュエータの断面図である。
【図４】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、（ａ）は電気的伸縮機構の断面図、（ｂ）はアクチュエータの断面図である。
【図５】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、（ａ）は電気的伸縮機構の断面図、（ｂ）はアクチュエータの断面図である。
【図６】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、電気的伸縮機構の断面図である。
【図７】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、（ａ）〜（ｄ）は電気的伸縮機構の断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
Ａ  電気的伸縮機構
Ｂ  アクチュエータ
１  絶縁層
２  電極
３  多孔体
５  導通孔
６  電源制御部
８  絶縁皮膜
９  空隙部
【図１】
0005432479.tif 000002
【図２】
0005432479.tif 000003
【図３】
0005432479.tif 000004
【図４】
0005432479.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0005432479.tif 000008