(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品が載置された基板の位置決めを行う基板位置決め部と、
シートを繰り出すシート繰り出し部材とシート繰り出し部材より繰り出されるシートの巻き取りを行うシート巻き取り部材との間でシートを搬送してシートの供給を行うシート供給部と、
シート供給部により供給されるシートに押し当てられてシートにテンションを与える押し当て部材と、
基板に載置された部品をシート供給部により供給されるシートを介して基板に押圧して圧着する圧着ツールと、
圧着ツールによる部品の基板への圧着が行われた場合に、シート供給部のシート巻き取り部材にシートの巻き取りを行わせてシートを搬送させ、シートにおける圧着ツールとの接触領域の更新を行うシート巻き取り制御手段と、
押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態を押し当て部材の位置に基づいて検出する反力低下状態検出手段とを備え、
シート巻き取り制御手段は、反力低下状態検出手段により、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出されたときにシート巻き取り部材にシートの巻き取りを行わせ、
シート巻き取り制御手段が、反力低下状態検出手段により、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出されたことに基づいてシート巻き取り部材にシートの巻き取りを行わせた後もなお、反力低下状態検出手段により押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出された場合に報知器を介してシートの交換を要する旨の報知を行う報知手段を備えることを特徴とする部品圧着装置。
【請求項２】
シート巻き取り制御手段は、圧着ツールによる部品の基板への圧着が複数回行われた後にシート巻き取り部材にシートの巻取りを行わせることを特徴とする請求項１に記載の部品圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に載置された部品を基板に圧着する部品圧着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル製造ラインによる液晶パネル製造工程において用いられる部品圧着装置の一つである本圧着装置は、基板にＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）と呼ばれる異方性導電テープを介して載置（仮圧着）された部品（電子部品）を圧着ツールで圧着（本圧着）する。部品を基板に圧着する際には、部品圧着装置のシート供給部により基板上の部品の上方にシートを供給し、圧着ツールによって部品がシートを介して基板に押圧されて圧着されるようにする（例えば、特許文献１）。このような部品圧着装置が備えるシート供給部は、シートを繰り出すシート繰り出し部材とシート繰り出し部材より繰り出されるシートの巻き取りを行うシート巻き取り部材との間でシートを搬送してシートの供給を行い、シート供給部が供給するシートにはローラ等の押し当て部材が押し当てられて適度なテンションが与えられるようになっている。
【０００３】
ここで、シートに押し当て部材が押し当てられてシートに適度なテンションが付与されている状態では、押し当て部材はシートへの押し当て方向に付勢される付勢力とシートから受ける反力とがバランスした位置（この位置を「テンション付与位置」と称する）に位置しているが、テンションが付与されているシートに無理な負荷がかかってシートが切れてしまったり、シート繰り出し部材から繰り出されるシートが終端に至ってシート繰り出し部材からシートが抜け出てしまったりしたような場合（シート切れとなった場合）等には、押し当て部材に作用するシートからの反力がなくなるので、押し当て部材はテンション付与位置とは異なる位置（この位置を「テンション非付与位置」と称する）に位置する。このため従来の部品圧着装置では、押し当て部材がテンション非付与位置に位置した状態を検出することによってシートがシート切れ等のシートの交換を要する状態になったことを検知し、その旨をオペレータに報知するようにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１６５５７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記の部品圧着装置では、圧着ツールによるシートを介した部品の圧着動作によってシートに延びが生じることがあり、このようなシートの延びが大きくなり過ぎるとシートのテンションが不足して良好な部品の圧着状態を維持することができないおそれがあるという問題点があった。特に、シートの消費量を抑えるため、圧着ツールによる部品の基板への圧着が複数回行われた後にはじめてシートの巻き取りを行うようにしている場合には、圧着ツールの１回の圧着動作当たりのシートの延びが累積されるので、上記の事態が頻繁に起こり得た。
【０００６】
また、シートの延びによって生じるシートのテンション不足がシート切れと誤認されてシートの交換が促されると、単にシートが延びた状態であるにも拘らずオペレータがシートの交換作業にとりかかってしまうことになるので時間の無駄が生じ、作業効率が低下する。このため、シート切れ等のシートの交換を要する事態が生じたことは的確に把握する必要がある。
【０００７】
そこで本発明は、圧着ツールによる部品の圧着によってシートが延びた状態が是正されて良好な部品の圧着状態が維持されるとともに、シート切れ等のシートの交換を要する事態が生じたことを的確に把握することができる部品圧着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の部品圧着装置は、部品が載置された基板の位置決めを行う基板位置決め部と、シートを繰り出すシート繰り出し部材とシート繰り出し部材より繰り出されるシートの巻き取りを行うシート巻き取り部材との間でシートを搬送してシートの供給を行うシート供給部と、シート供給部により供給されるシートに押し当てられてシートにテンションを与える押し当て部材と、基板に載置された部品をシート供給部により供給されるシートを介して基板に押圧して圧着する圧着ツールと、圧着ツールによる部品の基板への圧着が行われた場合に、シート供給部のシート巻き取り部材にシートの巻き取りを行わせてシートを搬送させ、シートにおける圧着ツールとの接触領域の更新を行うシート巻き取り制御手段と、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態を押し当て部材の位置に基づいて検出する反力低下状態検出手段とを備え、シート巻き取り制御手段は、反力低下状態検出手段により、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出されたときにシート巻き取り部材にシートの巻き取りを行わせ、シート巻き取り制御手段が、反力低下状態検出手段により、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出されたことに基づいてシート巻き取り部材にシートの巻き取りを行わせた後もなお、反力低下状態検出手段により押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出された場合に報知器を介してシートの交換を要する旨の報知を行う報知手段を備える。
【０００９】
請求項２に記載の部品圧着装置は、請求項１に記載の部品圧着装置であって、シート巻き取り制御手段は、圧着ツールによる部品の基板への圧着が複数回行われた後にシート巻き取り部材にシートの巻取りを行わせる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態が検出された場合にはシートの巻き取りが行われるようになっているので、シートが延びた状態であるときにはこれが是正されて良好な部品の圧着状態が維持される。また、シートの巻き取りを行った後もなお、押し当て部材に作用するシートからの反力が低下した状態を検出することによって、シート切れ等のシートの交換を要する事態が生じたことを的確に把握することができ、シートが延びただけであるにも拘らずオペレータがシートの交換作業にとりかかってしまって時間の無駄を生じる不都合を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態における液晶パネル製造ラインの構成図
【図２】本発明の一実施の形態における液晶パネル製造ラインによる液晶パネル製造工程の実行手順を示す図
【図３】本発明の一実施の形態における本圧着装置の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態における本圧着装置が備えるシート供給ユニットの斜視図
【図５】本発明の一実施の形態における本圧着装置が備えるシート供給ユニット及び圧着ユニットの側面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるシート供給ユニットを構成するリール支持体の斜視図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるリール支持体の分解斜視図
【図８】本発明の一実施の形態におけるリール支持体の一部の（ａ）側面図（ｂ）背面図
【図９】本発明の一実施の形態におけるシート供給ユニットを構成するケース部材の斜視図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるケース部材にリール支持体を取り付ける手順を示す図
【図１１】本発明の一実施の形態における本圧着装置の制御系統を示すブロック図
【図１２】本発明の一実施の形態における本圧着装置が備えるシートにテンションローラを押し当てた状態を示す図
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるシート供給ユニットの一部の側面図
【図１４】本発明の一実施の形態における本圧着装置がテンションローラに作用するシートからの反力が低下した状態を検知した場合における処置の流れを示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す液晶パネル製造ライン１は、長方形の基板２の長辺及び短辺それぞれの端部に設けられた複数の端子２ａの各々に駆動回路等の部品３（電子部品。図２も参照）を装着する液晶パネル製造工程を実行するものであり、端子洗浄装置１１、ＡＣＦ貼着装置１２、仮圧着装置１３、２台の本圧着装置１４（第１の本圧着装置１４ａと第２の本圧着装置１４ｂ）及び検査装置１５の複数の装置がこの順で連結されて成る。これらの装置１１，１２，１３，１４ａ，１４ｂ，１５はホストコンピュータ１６によって統合制御されて作動し、ホストコンピュータ１６から生産指令が出されているとき、上記装置１１，１２，１３，１４ａ，１４ｂ，１５の各々は液晶パネル製造工程の中における各担当分の生産工程を実行する。
【００１３】
液晶パネル製造ライン１を構成する端子洗浄装置１１は、外部から投入された基板２を受け取り、各端子２ａの洗浄を行ったうえで、その基板２を下流工程側のＡＣＦ貼着装置１２に搬出する。
【００１４】
ＡＣＦ貼着装置１２は、上流工程側の端子洗浄装置１１から搬出された基板２を受け取り、各端子２ａに図２に示すようにＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）４を貼着したうえで、その基板２を下流工程側の仮圧着装置１３に搬出する。
【００１５】
仮圧着装置１３は、ＡＣＦ貼着装置１２から搬出された基板２を受け取り、各端子２ａに貼着されたＡＣＦ４上に部品３を装着（仮圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の第１の本圧着装置１４ａに搬出する。
【００１６】
第１の本圧着装置１４ａは、仮圧着装置１３から搬出された基板２を受け取り、基板２の長辺側の各端子２ａに仮圧着された部品３を熱圧着（本圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の第２の本圧着装置１４ｂに搬出する。
【００１７】
第２の本圧着装置１４ｂは、第１の本圧着装置１４ａから搬出された基板２を受け取り、基板２の短辺側の各端子２ａに仮圧着された部品３を熱圧着（本圧着）したうえで、その基板２を下流工程側の検査装置１５に搬出する。
【００１８】
検査装置１５は、第２の本圧着装置１４ｂから搬出された基板２を受け取り、基板２の各端子２ａに本圧着された部品３の外観検査を行ったうえで、基板２を外部に搬出する。  
【００１９】
次に、上記液晶パネル製造ライン１を構成する部品圧着装置としての本圧着装置１４（第１の本圧着装置１４ａ及び第２の本圧着装置１４ｂ）の構成について詳述する。図３において本圧着装置１４は、基台２１上に、上流工程側の装置（第１の本圧着装置１４ａであれば仮圧着装置１３、第２の本圧着装置１４ｂであれば第１の本圧着装置１４ａ）から送られてきた基板２（この基板２には仮圧着装置１３によって仮圧着された部品３が載置されている）を保持して位置決めを行う基板位置決め部２２、基板位置決め部２２により位置決めされた基板２に載置（仮圧着）されている部品３の上方にシートＳＴを供給するシート供給ユニット２３及び基板２に載置されている部品３をシート供給ユニット２３より供給されるシートＳＴを介して基板２に押圧して圧着する圧着ユニット２４を備えている。以下、説明の便宜上、オペレータＯＰ（図３）から見て基台２１の左右方向をＸ軸方向、オペレータＯＰから見て基台２１の前後方向をＹ軸方向、基台２１の上下方向をＺ軸方向とする。また、オペレータＯＰから見て基台２１の右側を右方、左側を左方と称し、オペレータＯＰから見て基台２１の手前側を前方、奥側を後方と称する。
【００２０】
図３において、基板位置決め部２２は、図示しない基板保持テーブル移動機構により水平面内方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸回り方向）に移動される基板保持テーブル２２ａを有して成る。
【００２１】
図４及び図５において、シート供給ユニット２３は、シートＳＴを繰り出すシート繰り出し部材としての繰り出しリール３１ａ及び繰り出しリール３１ａより繰り出されるシートＳＴの巻き取りを行うシート巻き取り部材としての前後一対の巻き取りローラ３１ｂを有し、繰り出しリール３１ａと一対の巻き取りローラ３１ｂの間でシートＳＴを搬送してシートＳＴの供給を行う複数（ここでは５つ）のシート供給機構３１（シート供給部）と、これら複数のシート供給機構３１を収納するケース部材３２を備えており、ケース部材３２は基台２１上に設けられた左右の台座部２１ａに着脱自在に取り付けられている。
【００２２】
図４において、巻き取りローラ３１ｂはケース部材３２に取り付けられた巻き取りローラ駆動モータ３４によって駆動され、繰り出しリール３１ａがから繰り出されるシートＳＴの巻き取り動作を行う。これにより各シート供給機構３１において、繰り出しリール３１ａと巻き取りローラ３１ｂの間でＹ軸方向にシートＳＴが搬送される。
【００２３】
図４及び図５において、ケース部材３２内には、各シート供給機構３１に対応してリール支持体３５が設けられている。図５及び図６に示すように、各リール支持体３５はＹ軸方向に延びた垂直壁部４１を有し、この垂直壁部４１の前端部には片持ち状態で水平に延びた前方支持部４２が設けられるとともに、垂直壁部４１の後端部には片持ち状態で水平に延びた後方支持部４３が設けられている。ここで、前方支持部４２は前方に開口する開口部４２ａを有した断面「コ」の字状の部材から成り、後方支持部４３は水平部４３ａ及び水平部４３ａの前端部より前方斜め下方に延びた斜め部４３ｂを有して成る。
【００２４】
図６、図７（ａ），（ｂ）及び図８（ａ），（ｂ）において、垂直壁部４１の後部には片持ち状態で水平に延びたリール支持シャフト４４が設けられており、リール支持シャフト４４には、外面にシートＳＴがロール状に巻き付けられた状態の繰り出しリール３１ａ（この繰り出しリール３１ａの外面に巻き付けられたロール状のシートＳＴをシートロールＳＲと称する）がリール支持シャフト４４の端部から挿入されて取り付けられている。
【００２５】
図６、図７（ａ），（ｂ）及び図８（ａ），（ｂ）に示すように、繰り出しリール３１ａが取り付けられたリール支持シャフト４４の先端部にはリール抜け止め具４５が着脱自在に設けられており、これにより繰り出しリール３１ａがリール支持シャフト４４から抜け出ることが防止される。  
【００２６】
リール抜け止め具４５は、図６及び図７（ａ），（ｂ）に示すように、リール支持シャフト４４の直径とほぼ同じ大きさの直径の円孔をリール抜け止め具４５の中心に配置したときに形成される第１の孔縁４６ａと、第１の孔縁４６ａの直径よりも大きい直径の円孔をリール抜け止め具４５の中心からずれた位置に配置したときに形成される第２の孔縁４６ｂとを繋げた孔縁を有する孔部４６を備えている。
【００２７】
繰り出しリール３１ａを取り付けたリール支持シャフト４４にリール抜け止め具４５を取り付けるには、リール抜け止め具４５の孔部４６の第２の孔縁４６ｂ側にリール支持シャフト４４を通過させてリール抜け止め具４５を繰り出しリール３１ａの側面に当接させた後、リール抜け止め具４５をリール支持シャフト４４に対してリール支持シャフト４４の軸方向と直交する方向にスライドさせ、リール抜け止め具４５の孔部４６の第１の孔縁４６ａにリール支持シャフト４４の端部を嵌め込む（係止させる）ことによって行う（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ）。
【００２８】
図６及び図７（ａ），（ｂ）において、垂直壁部４１の前後方向（Ｙ軸方向）の中間部の下方には片持ち状態で水平に延びた２つのガイドローラ支持シャフト４７が設けられている。各ガイドローラ支持シャフト４７にはガイドローラ４８が回転自在に取り付けられている。
【００２９】
図６及び図７（ａ），（ｂ）において、垂直壁部４１の後部には揺動軸４９が設けられており、この揺動軸４９には前後方向に延びたアーム部材５０の後端部が枢支されている。アーム部材５０の前端部には片持ち状態で水平に延びたテンションローラ支持シャフト５１が設けられており、このテンションローラ支持シャフト５１にはテンションローラ５２が回転自在に取り付けられている。アーム部材５０が揺動軸４９を支点にして上下方向に揺動すると、これに伴ってテンションローラ５２が前後２つのガイドローラ４８の間の上方領域を昇降する。なお、アーム部材５０は、図示しないばね等の付勢手段によって常時前端部が上方に引き上げられる方向（テンションローラ５２が２つのガイドローラ４８から離間する方向）に付勢されている。
【００３０】
図６及び図８（ａ），（ｂ）において、リール支持体３５の垂直壁部４１の後方上縁部には板状部材から成るスペーサ部材５３が設けられている。このスペーサ部材５３は、リール支持シャフト４４に取り付けられた繰り出しリール３１ａのリール支持シャフト４４の軸方向に沿った方向（Ｘ軸方向）の移動規制を行うものである。
【００３１】
リール支持シャフト４４は片持ち状態で支持されているので、オペレータＯＰは繰り出しリール３１ａの交換時にリール支持シャフト４４に挿入した新品の繰り出しリール３１ａを垂直壁部４１の方向に押し付けてしまいがちであり、このため繰り出しリール３１ａがアーム部材５０に当接してアーム部材５０の動きを阻害してしまう不都合が起き易いところであるが、スペーサ部材５３のＸ軸方向（リール支持シャフト４４の延びる方向）の厚さを、リール支持シャフト４４に挿入した繰り出しリール３１ａ（或いはシートロールＳＲ）の側面がアーム部材５０に当接する前にスペーサ部材５３に当接するような寸法に設定しておくことにより、上記不都合の発生を防ぐことができる（図８（ｂ））。なお、ここではスペーサ部材５３は板状部材としているが、スペーサ部材５３は必ずしも板状部材でなくてもよい。
【００３２】
図９において、ケース部材３２は底面部３２ａ、左右の側面部３２ｂ、前面部３２ｃ及び後面部３２ｄを備えて上方に開口した有底の箱状部材から成る。ケース部材３２の前後方向（Ｙ軸方向）の中間部には、左右の側面部３２ｂによって両端が支持された第１のビーム部材６１が設けられており、ケース部材３２の後方には、左右の側面部３２ｂによって両端が支持された第２のビーム部材６２が設けられている。
【００３３】
図９において、ケース部材３２の前方には前後２つの巻き取りローラ支持シャフト６３がそれぞれ左右の側面部３２ｂに両端が支持されて水平に延びて設けられており（図９には２つの巻き取りローラ支持シャフト６３の端部のみが見えている）、これら２つの巻き取りローラ支持シャフト６３にはそれぞれ巻き取りローラ３１ｂが回転自在に取り付けられている。
【００３４】
図９において、ケース部材３２の前方には揺動シャフト６４が設けられており（図９には揺動シャフト６４の端部のみが見えている）、この揺動シャフト６４には前後方向に延びた左右の揺動アーム６５（図９には左側の揺動アーム６５のみが見えている）の後端部が枢支されており、これら左右の揺動アーム６５の前端部には前後２つの押さえローラ６６の両端が支持されている。左右の揺動アーム６５はばね部材６７（図５）によって常時後端側が（すなわち前後の押さえローラ６６が）引き上げられる方向に付勢されているが、ケース部材３２に設けられたシート押さえシリンダ６８（図５）の作動により、上記ばね部材６７の付勢力に抗して左右の揺動アーム６５をその後端側が押し下げられる方向に押圧することができる。
【００３５】
シート供給機構３１のリール支持体３５がケース部材３２に取り付けられた状態では、図５に示すように、シートロールＳＲから引き出されたシートＳＴは後方のガイドローラ４８、テンションローラ５２、前方のガイドローラ４８の順に掛け渡されて前方に延びた後、シート押さえシリンダ６８によって押し下げた揺動アーム６５に支持されている前後２つの押さえローラ６６の下面に接触し、前後２つの巻き取りローラ３１ｂの間を延びた状態となっている。これによりシートＳＴは、上方に付勢されるアーム部材５０に取り付けられたテンションローラ５２が下方から上方に向けて押し当てられることによって適度なテンション（張力）が与えられる一方、前後２つの押さえローラ６６によって、ガイドローラ４８と巻き取りローラ３１ｂの間の部分が下方に付勢された状態となる。
【００３６】
このように本実施の形態において、テンションローラ５２は、シート供給機構３１により供給されるシートＳＴに押し当てられてシートＳＴにテンションを与える押し当て部材として機能する。
【００３７】
リール支持体３５をケース部材３２に取り付けるには、リール支持体３５の垂直壁部４１に片持ち状態に支持されたリール支持シャフト４４に繰り出しリール３１ａを挿入して取り付けた後（リール支持シャフト４４の端部にはリール抜け止め具４５を取り付ける）、繰り出しリール３１ａからシートＳＴを引き出して一方のガイドローラ４８、テンションローラ５２、他方のガイドローラ４８の順に掛け渡す（図８（ａ））。リール支持体３５の左右の一側方には垂直壁部４１があるものの、左右の他側方は開放状態になっているので、オペレータＯＰは、これらリール支持体３５の取り付け及びガイドローラ４８とテンションローラ５２へのシートＳＴの掛け渡し作業を容易に行うことができる。
【００３８】
上記の作業が終わったら、リール支持体３５の全体をその前部が後部よりも低くなる傾斜姿勢にしたうえで、リール支持体３５の前方支持部４２の開口部４２ａ内に設けられた上下の溝部４２ｂ（図６）を、第１のビーム部材６１の外周に設けられた複数の円筒状の突起６１ａ（図６及び図８（ａ））のひとつに嵌入させる（図１０（ａ）。図中に示す矢印Ｂ）。そして、リール支持体３５の全体を上記突起６１ａ回りに回転させ、リール支持体３５の垂直壁部４１に設けられた後方支持部４３を第２のビーム部材６２上に降ろす（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｃ）。これによりリール支持体３５の全体が水平姿勢になり、リール支持体３５のケース部材３２への取り付けが完了する。
【００３９】
リール支持体３５をケース部材３２に取り付けたら、前後２つのガイドローラ４８及びテンションローラ５２に掛け渡されたシートＳＴを引っ張って前後２つの押さえローラ６６の下方を通し、更に前後２つの巻き取りローラ３１ｂの間を通過させるようにする（図１０（ｃ））。
【００４０】
上記の作業では、リール支持体３５の左右の一側方には垂直壁部４１があるものの、左右の他側方は開放状態になっているので、オペレータＯＰは、ケース部材３２へのリール支持体３５の取り付け及びガイドローラ４８とテンションローラ５２へのシートＳＴの掛け渡し作業を容易に行うことができる。
【００４１】
図３及び図５において、本圧着装置１４の圧着ユニット２４は、基台２１上に設けられた門型フレーム７１、門型フレーム７１に設けられた昇降モータ７２により回転駆動されるボール螺子機構７３によって昇降される昇降ベース７４、昇降ベース７４に設けられた複数の加圧シリンダ７５によって昇降される複数の圧着ツール７６及びこれら複数の圧着ツール７６の下方の基台２１上に設置されたバックアップステージ７７を有して構成されている。圧着ツール７６は、基板２に載置（仮圧着）された部品３をシート供給機構３１により供給されるシートＳＴを介して基板２に押圧して圧着（本圧着）する。
【００４２】
基板位置決め部２２による基板２の位置決め動作（前述の図示しない基板保持テーブル移動機構による基板保持テーブル２２ａの水平面内方向への移動動作）は、本圧着装置１４が備える制御装置８０（図１１）が図示しないアクチュエータ等から成る基板位置決め部駆動機構８１（図１１）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４３】
圧着ユニット２４における昇降ベース７４の昇降動作は、制御装置８０が前述の昇降モータ７２等から成る昇降ベース昇降機構８２（図１１）の作動制御を行うことによってなされる。また、各圧着ツール７６による部品３の基板２への圧着動作は、制御装置８０が各圧着ツール７６に対応して設けられた加圧シリンダ７５等から成る圧着ツール駆動機構８３（図１１）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４４】
シート供給ユニット２３を構成する各シート供給機構３１によるシートＳＴの搬送動作は、制御装置８０が前述の巻き取りローラ駆動モータ３４の作動制御を行うことによってなされる。このシートＳＴの搬送動作は、主としてシートＳＴにおける圧着ツール７６との接触領域の更新を行うためになされるものであり、制御装置８０は、シートＳＴの搬送動作を、圧着ツール７６による部品３の基板２への圧着が行われた場合に行う。
【００４５】
すなわち本実施の形態において、制御装置８０は、圧着ツール７６による部品３の基板２への圧着が行われた場合に、シート供給機構３１の巻き取りローラ３１ｂにシートＳＴの巻き取りを行わせてシートＳＴを搬送させ、シートＳＴにおける圧着ツール７６との接触領域の更新を行うシート巻き取り制御手段として機能する。なお、制御装置８０は、シートＳＴの巻き取りによる接触領域の更新を、圧着ツール７６による部品３の圧着動作を１回実行するごとに行うようにしてもよいが、シートＳＴの消費量を押さえるため、圧着ツール７６による部品３の圧着動作を複数回行った後に行うようにしてもよい。
【００４６】
図５、図６、図７（ａ），（ｂ）及び図８（ａ）において、アーム部材５０の前端部には前方に突出した被検部５０ａが設けられており、垂直壁部４１には下方に開口する断面「コ」の字状のセンサ取り付け部材４１ａが設けられている。センサ取り付け部材４１ａには、図６の拡大図に示すように、検査光Ｌを水平方向（Ｘ軸方向）に投光する投光器８４ａと投光器８４ａが投光する検査光Ｌを受光する受光器８４ｂから成る光センサ８４が設けられている。
【００４７】
アーム部材５０が揺動軸４９を支点にして上下方向に揺動する揺動範囲のうち、シートＳＴにテンションローラ５２が押し当てられてシートＳＴに適度なテンションが付与されている状態では、図１２に示すように、テンションローラ５２は前述の図示しない付勢手段によってシートＳＴへの押し当て方向（ここでは上方）に付勢される付勢力Ｓと下方に向くシートＳＴから受ける反力Ｔとがバランスしたテンション付与位置に位置する。テンションローラ５２がテンション付与位置に位置した状態ではアーム部材５０の被検部５０ａは光センサ８４の検査光Ｌの下方にあり、検査光Ｌを遮光しない（図１３（ａ））。
【００４８】
一方、圧着ツール７６によるシートＳＴを介した部品３の圧着動作が行われることによってシートＳＴに延びが生じると、テンションローラ５２がシートＳＴに与えるテンションが減少するのに対応してテンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力は低下し、テンションローラ５２はテンション付与位置から上動する（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｄ１）。そして、シートＳＴの延びが過大になると、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力が大きく低下した（もしくは反力がない）テンション非付与位置（図１２中に一点鎖線で示すテンションローラ５２も参照）に位置した状態となる。テンションローラ５２がテンション非付与位置に位置した状態では、アーム部材５０の被検部５０ａはセンサ取り付け部材４１ａの内部空間内に下方から入り込んで（図６中に示す矢印Ｅ）、光センサ８４の検査光Ｌを遮光する（図１３（ｂ））。
【００４９】
また、テンションが付与されているシートＳＴに無理な負荷がかかってシートＳＴが切れ、若しくは繰り出しリール３１ａから繰り出されるシートＳＴが終端に至って繰り出しリール３１ａからシートＳＴが抜け出てしまったような場合（シート切れとなった場合）等においても、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔがなくなるので、テンションローラ５２はテンション付与位置から上動し（図１３（ｃ）中に示す矢印Ｄ２）、テンションローラ５２はテンション非付与位置に位置する。したがってこの場合においても、アーム部材５０の被検部５０ａは光センサ８４の検査光Ｌを遮光する（図１３（ｃ））。
【００５０】
光センサ８４は制御装置８０に繋がっており（図１１）、検査光Ｌがアーム部材５０の被検部５０ａによって遮光されていない状態（受光器８４ｂが検査光Ｌを受光している状態。図１３（ａ））では制御装置８０に受光信号を出力するが、検査光Ｌがアーム部材５０の被検部５０ａによって遮光されている状態（図１３（ｂ）及び図１３（ｃ））では、制御装置８０に受光信号を出力しない。ここで、テンションローラ５２がテンション非付与位置に位置して光センサ８４が受光信号を出力しなくなるのは、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔがないとき（低下した状態の一形態）であり、上記のように、（１）圧着ツール７６によるシートＳＴを介した部品３の圧着動作によってシートＳＴに生じた延びが所定量以上大きい場合（図１３（ｂ））のほか、（２）シートＳＴが切れた場合（図１３（ｃ））やシートＳＴが終端に至って繰り出しリール３１ａからシートＳＴが抜け出た場合等であるので、制御装置８０は光センサ８４から受光信号が出力されなくなったことによって、シートＳＴが上記（１）又は（２）の状態になったことを検知することができる。
【００５１】
ここで、シートＳＴが上記（２）の状態になった場合にはシートＳＴの交換（シートロールＳＲを備えた繰り出しリール３１ａの交換）を必要とするが、シートＳＴが上記（１）の状態になった場合にはシートＳＴに生じた延びを解消するだけでよく、シートＳＴの交換は必要としない。
【００５２】
そこで、制御装置８０は、光センサ８４から受光信号が出力されなくなったことを検知した場合、すなわち光センサ８４により、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔが低下した状態が検出された場合には、巻き取りローラ３１ｂに一定量のシートＳＴの巻き取りを行わせ、その後に光センサ８４からの受光信号の出力が再開されるか否かを調べる。その結果、光センサ８４からの受光信号の出力が再開された場合には、巻き取りローラ３１ｂによるシートＳＴの巻き取り動作によってシートＳＴの延びが解消されたことから、光センサ８４から受光信号が出力されなくなった原因はシートＳＴの延びであったと判断できるので、そのまま部品３の圧着作業を継続する。一方、光センサ８４からの受光信号の出力が再開されなかった場合は、光センサ８４からの受光信号が出力されなくなった原因はシートＳＴの延びではないと判断できるので、制御装置８０は、制御装置８０に繋がるタッチパネル等の報知器８５（図１１）を介してオペレータＯＰにシートＳＴの交換を要する旨の報知を行い、オペレータＯＰにシートＳＴの交換を促す。
【００５３】
このように本実施の形態において、光センサ８４は、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔが低下した状態をテンションローラ５２の位置に基づいて検出する反力低下状態検出手段として機能する。また、制御装置８０は、前述のようにシート巻き取り制御手段として機能するほか、光センサ８４により、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔが低下した状態が検出されたときに巻き取りローラ３１ｂにシートＳＴの巻き取りを行わせる機能を有する。
【００５４】
また、制御装置８０は、光センサ８４により、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力が低下した状態が検出されたことに基づいて巻き取りローラ３１ｂにシートＳＴの巻き取りを行わせた後もなお、光センサ８４によりテンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力が低下した状態が検出された場合に報知器８５を介してシートＳＴの交換を要する旨の報知を行う報知手段としても機能する。
【００５５】
このような構成を有する本圧着装置１４により、基板２に載置（仮圧着）された部品３を基板２上に圧着（本圧着）する作業を行うには、オペレータＯＰは先ず、前述の要領で各シート供給機構３１をケース部材３２に取り付けたうえで、そのケース部材３２を基台２１上の左右の台座部２１ａに取り付ける。ケース部材３２の台座部２１ａへの取り付けは、左右の台座部２１ａに前後方向に延びて設けられたガイド部２１ｂ（図３）に、ケース部材３２の左右の側面に設けられたレール部３２ｅ（図４及び図９）を基台２１の前方より挿入することによって行う。このように本実施の形態における本圧着装置１４では、シート供給ユニット２３全体が基台２１に対して取り外し可能になっているので、繰り出しリール３１ａの交換に伴う作業を容易に行うことができる。
【００５６】
上記のようにしてシート供給機構３１が取り付けられたケース部材３２を基台２１に装着したら、本圧着装置１４による基板２への部品３の圧着動作を行うことができるようになる。本圧着装置１４の制御装置８０は、上流工程側の装置（第１の本圧着装置１４ａであれば仮圧着装置１３、第２の本圧着装置１４ｂであれば第１の本圧着装置１４ａ）から基板２が送られてきたことを検知したら、その基板２を図示しない基板移載部によって受け取り、基板保持テーブル２２ａに載置する。そして、基板保持テーブル２２ａに基板２を保持させたうえで基板保持テーブル２２ａを移動させ、基板２の端部に載置（仮圧着）された部品３がバックアップステージ７７の直上に位置するようにする。これにより各シート供給機構３１によって前後方向に搬送されるシートＳＴのうち、前後２つの押さえローラ６６によって下方に押さえ付けられた部分が部品３の直上に位置する。
【００５７】
本圧着装置１４の制御装置８０は、基板２の端部に載置された部品３がバックアップステージ７７の直上に位置するようにしたら、昇降ベース７４を下降させて各圧着ツール７６を各シート供給機構３１のシートＳＴの上方に位置させ、そのうえで各圧着ツール７６を下降させる。これによりシートＳＴを介して部品３が基板２に押圧され、部品３が基板２に圧着（本圧着）される。
【００５８】
制御装置８０は、上記のような部品３の基板２への圧着を行ったら、基板保持テーブル２２ａを移動させてまだ圧着を行っていない部品３がバックアップステージ７７の直上に位置するようにして同様の圧着（本圧着）を行うが、その前に、必要があれば巻き取りローラ３１ｂを回転させてシートＳＴを巻き取って搬送し、シートＳＴにおける圧着ツール７６との接触領域の更新を行う。
【００５９】
制御装置８０は、基板２上の圧着すべき部品３の圧着作業が全て終了したら、上述の図示しない基板搬出部によって基板２を下流工程側の装置（第１の本圧着装置１４ａであれば第２の本圧着装置１４ｂ、第２の本圧着装置１４ｂであれば検査装置１５）に搬出する。
【００６０】
このような部品の圧着（本圧着）作業において、制御装置８０は常時光センサ８４からの受光信号の出力の有無を調べており、光センサ８４から受光信号が出力されなくなった場合には、シートＳＴに上述の（１）又は（２）の事態が発生したものとして必要な処置をとるようにしている。図１４は、制御装置８０が、光センサ８４からの受光信号の出力がなくなったことに基づいて、テンションローラ５２がテンション非付与位置に位置した状態（テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔが低下した状態）を検知した場合における処置の流れを示すフローチャートである。
【００６１】
制御装置８０は、光センサ８４から出力される受光信号の出力がなくなったことを検知することによってテンションローラ５２がテンション非付与位置に位置したと判断した場合には、先ず、巻き取りローラ３１ｂを作動させてシートＳＴを一定量の巻き取る（図１４に示すステップＳＴ１）。そして、シートＳＴの一定量の巻き取りが終了した時点で、光センサ８４から受光信号が出力されているかどうかに基づいて、テンションローラ５２がテンション非付与位置に位置しなくなったかどうかの判断を行う（図１４に示すステップＳＴ２）。そして、その結果、光センサ８４からの受光信号の出力が再開したことに基づいてテンションローラ５２がテンション非付与位置に位置しなくなったと判断した場合には、制御装置８０は部品３の圧着作業を継続して実行し（図１４に示すステップＳＴ３）、光センサ８４からの受光信号の出力が再開しなかったことに基づいて、テンションローラ５２が依然としてテンション非付与位置に位置していると判断した場合には、制御装置８０は、部品３の圧着作業を中断したうえで（図１４に示すステップＳＴ４）、報知器８５を介してオペレータＯＰにシートＳＴの交換を要する旨の報知を行う（図１４に示すステップＳＴ５）。
【００６２】
なお、ステップＳＴ２において、テンションローラ５２がテンション非付与位置に位置しなくなったと判断した場合に、すぐにステップＳＴ３及びステップＳＴ４の工程を実行するのはなく、ステップＳＴ１及びステップＳＴ２の工程を所定回数繰り返し、それでもなおテンションローラ５２がテンション非付与位置に位置していると判断した場合にはじめてステップＳＴ３及びステップＳＴ４の工程を実行するようにしてもよい。
【００６３】
このように本実施の形態における本圧着装置１４では、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔが低下した状態が検出された場合にはシートＳＴの巻き取りが行われるようになっているので、シートＳＴが延びた状態にあるときにはこれが是正されて良好な部品の圧着状態が維持される。また、シートＳＴの巻き取りを行った後もなお、テンションローラ５２に作用するシートＳＴからの反力Ｔが低下した状態を検出することによって、シート切れ等のシートＳＴの交換を要する事態が生じたことを的確に把握することができ、シートＳＴが延びただけであるにも拘らずオペレータＯＰがシートＳＴの交換作業にとりかかってしまって時間の無駄を生じる不都合を防止することができる。
【００６４】
特に、シートＳＴの消費量を抑えるため、圧着ツール７６による部品３の基板２への圧着が複数回行われた後にはじめてシートＳＴの巻き取りを行うようにしている場合には、圧着ツール７６の１回の圧着動作当たりのシートＳＴの延びが累積されてシートＳＴの延びが過大になるケースが頻繁に起こり得ることから、上記効果は非常に大きなものとなる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
圧着ツールによる部品の圧着によってシートが延びた状態が是正されて良好な部品の圧着状態が維持されるとともに、シート切れ等のシートの交換を要する事態が生じたことを的確に把握することができる部品圧着装置を提供する。
【符号の説明】
【００６６】
２  基板
３  部品
１４  本圧着装置（部品圧着装置）
２２  基板位置決め部
３１  シート供給機構（シート供給部）
３１ａ  繰り出しリール（シート繰り出し部材）
３１ｂ  巻き取りローラ（シート巻き取り部材）
５２  テンションローラ（押し当て部材）
７６  圧着ツール
８０  制御装置（シート巻き取り制御手段、報知手段）
８４  光センサ（反力低下状態検出手段）
８５  報知器
ＳＴ  シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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