(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
該基板上に第１の電極、光電変換層および第２の電極の順で積層されてなる光電変換部と、
該光電変換部から離れて前記基板上に配置された第１の金属膜と、
前記光電変換部および前記第１の金属膜を覆って前記基板上に配置された被覆部材と、
前記被覆部材を囲うように前記基板上に配置された第２の金属膜と、
平面視して前記被覆部材を囲うとともに、前記第２の金属膜を覆って前記基板上に配置された封止部材とを備えた、光電変換モジュール。
【請求項２】
前記第１の金属膜は、平面視して前記光電変換部を囲うように配置されている、請求項１に記載の光電変換モジュール。
【請求項３】
前記第１の金属膜は、独立して複数配置されている、請求項１または請求項２に記載の光電変換モジュール。
【請求項４】
前記第１の金属膜は、前記第１の電極と同じ材質である、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光電変換モジュール。
【請求項５】
前記第１の金属膜は、モリブデンを含んでいる、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の光電変換モジュール。
【請求項６】
前記第１の電極および前記第２の電極にそれぞれ電気的に接続された一対の配線導体をさらに有し、
前記基板は、上下に貫通して前記配線導体を導出する貫通孔を有し、
該貫通孔は、平面視して前記第１の金属膜に対して前記光電変換部の反対側に位置している、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の光電変換モジュール。
【請求項７】
前記貫通孔は、前記封止部材よりも内側に位置している、請求項６に記載の光電変換モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光電変換モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽光発電等に使用される光電変換モジュールは、様々な種類のものがある。その中でも、ＣＩＳ系（銅インジウムセレナイド系）、ＣＩＧＳ系（銅インジウムガリウムセレナイド系）等のカルコパイライト系の材料は、比較的低コストで大面積の光電変換モジュールを容易に製造できる点から、研究開発が進められている。
【０００３】
このような光電変換モジュールにおいては、外部から水分が浸入した場合、光電変換部などが劣化し、光電変換効率が低下する場合がある。そのため、このような光電変換モジュールでは、水分を吸着する吸着剤を含有させた封止部材を外周部に配置し、防水効果を高めている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１０−５４１２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のような光電変換モジュールであっても、外部からの水分の浸入を防止できていない。そのため、光電変換モジュールを長期間使用すると、外部から浸入した水分によって、光電変換部が劣化する可能性があった。
【０００６】
本発明の一つの目的は、光電変換部に向かう水分の到達時間を遅らせることにより、長期的な信頼性の高い光電変換モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態に係る光電変換モジュールでは、基板と、該基板上に第１の電極、光電変換層および第２の電極の順で積層されてなる光電変換部とを備えている。さらに、本実施形態では、前記光電変換部から離れて前記基板上に配置された第１の金属膜と、前記光電変換部および前記第１の金属膜を覆って前記基板上に配置された被覆部材とを備えている。さらに、本実施形態では、前記被覆部材を囲うように前記基板上に配置された第２の金属膜と、平面視して前記被覆部材を囲うとともに、前記第２の金属膜を覆って前記基板上に配置された封止部材とを備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一実施形態に係る光電変換モジュールでは、光電変換部から離れた位置に金属膜が配置されているため、基板と被覆部材との界面から浸入してくる水分の光電変換部まで到達する時間を遅らせることができる。これにより、水分に対する長期的な信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る光電変換モジュ−ルの光電変換部の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る光電変換モジュ−ルの光電変換部の一例を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る光電変換モジュ−ルの斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ部における断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ部における断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る光電変換モジュ−ルの斜視図である。
【図７】図６のＢ１−Ｂ１部における断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る光電変換モジュ−ルの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の光電変換モジュ−ルの実施形態の一例について、図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
まず、光電変換モジュ−ルの一部である光電変換部について説明する。なお、各図には、後述する光電変換セルの配列方向をＸ軸とする右手系のＸＹＺ座標が付している場合がある。
【００１２】
＜光電変換部＞
光電変換部１は、基板２の一主面上に設けられている。そして、この光電変換部１は、第１の電極としての下部電極３と、光吸収層４およびバッファ層５を備えた光電変換層と、透光性導電層６および集電電極７を備えた第２の電極としての上部電極とを有する。この光電変換部１では、下部電極３および上部電極で挟まれた光吸収層４およびバッファ層５によって光電変換が行なわれる。
【００１３】
この光電変換部１は、図１に示すように、複数の光電変換セル１ａ、１ｂが電気的に接続されるような態様を成している。具体的には、図１に示すように、一方の光電変換セル１ａの上部電極（集電電極７）と、一方の光電変換セル１ａに隣り合う他方の光電変換セル１ｂの下部電極３とが電気的に接続されている。これにより、隣接する光電変換セル１ａ、１ｂは、図１中のＸ方向に沿って直列接続され、基板２上で集積化されている。
【００１４】
また、光電変換部１には、この光電変換部１で得られた電気出力を外部に導出するための出力電極８（出力電極８ａ、８ｂ）がそれぞれ設けられている。
【００１５】
次に、光電変換部１の各部材について説明する。
【００１６】
下部電極３は、一方向（図１のＸ方向）に互いに間隔をあけて基板２の一主面上に複数配置されている。本実施形態では、図２に示すように、上記間隔に対応する分離溝Ｐ１によって互いに離間した３つの下部電極３が設けられている。なお、下部電極３の個数については、図１に示したものに限られない。このような下部電極３は、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）または金（Ａｕ）等の金属またはこれらの合金を含む薄膜であればよい。また、これらの金属が積層されてなる構造体であってもよい。この下部電極３は、例えば、基板２上にスパッタリング法または蒸着法等を利用して、厚さ０．２〜１μｍ程度に形成すればよい。
【００１７】
光吸収層４は、下部電極３上に配置されている。光吸収層４は、例えば、化合物半導体を含んでいる。このような化合物半導体としては、例えば、カルコゲン化合物半導体が挙げられる。カルコゲン化合物半導体は、カルコゲン元素である硫黄（Ｓ）、セレン（Ｓｅ）またはテルル（Ｔｅ）を含むものである。カルコゲン化合物半導体としては、例えば、Ｉ−III−VI化合物半導体がある。I−III−VI化合物半導体とは、Ｉ−Ｂ族元素（１１族元素ともいう）、III−Ｂ族元素（１３族元素ともいう）およびVI−Ｂ族元素（１６族元素ともいう）の化合物半導体である。そして、このようなI−III−VI化合物半導体は、カルコパイライト構造を有し、カルコパイライト系化合物半導体とも呼ばれる（ＣＩＳ系化合物半導体ともいう）。I−III−VI化合物半導体としては、例えば、二セレン化銅インジウム（ＣｕＩｎＳｅ２）、二セレン化銅インジウム・ガリウム（Ｃｕ（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓｅ２）、二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム（Ｃｕ（Ｉｎ，Ｇａ）（Ｓｅ，Ｓ）２）、二イオウ化銅インジウム・ガリウム（Ｃｕ（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓ２）または薄膜の二セレ
ン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等の多元化合物半導体薄膜がある。なお、光吸収層４が含む化合物半導体は、上記したＩ−III−VI化合物半導体だけでなく、例えば、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）、錫（Ｓｎ）、硫黄（Ｓ）を含む、ＣＺＴＳ系のものであってもよい。このようなＣＺＴＳ系化合物半導体としては、例えば、Ｃｕ２ＺｎＳｎＳ４が挙げられる。ＣＺＴＳ系化合物半導体は、I−III−VI化合物半導体のようにレアメタルを使用していないため、材料を確保しやすい。また、光吸収層４は、例えば、ｐ型の導電型を有し、厚さが１〜３μｍ程度である。
【００１８】
光吸収層４は、例えばスパッタリング法または蒸着法等のような真空プロセスによって形成される。また、光吸収層４は、塗布法または印刷法等のプロセスによっても形成される。塗布法または印刷法では、例えば、光吸収層４に主として含まれる元素の錯体溶液を下部電極３の上に塗布した後、乾燥および熱処理を行なっている。
【００１９】
バッファ層５は、光吸収層４の＋Ｚ側の主面の上に設けられており、光吸収層４の第１導電型とは異なる第２導電型（ここではｎ型の導電型）を有する半導体を主に含む。なお、導電型が異なる半導体とは、伝導担体（キャリア）が異なる半導体である。また、光吸収層４の導電型がｎ型であり、バッファ層５の導電型がｐ型であってもよい。ここでは、バッファ層５と光吸収層４との間にヘテロ接合領域が形成されている。このため、各光電変換セルでは、ヘテロ接合領域を形成する光吸収層４とバッファ層５とにおいて光電変換が生じ得る。
【００２０】
バッファ層５は、化合物半導体を主に含む。このような化合物半導体としては、例えば硫化カドミウム（ＣｄＳ）、硫化インジウム（Ｉｎ２Ｓ３）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、セレン化インジウム（Ｉｎ２Ｓｅ３）、Ｉｎ（ＯＨ，Ｓ）、（Ｚｎ，Ｉｎ）（Ｓｅ，ＯＨ）および（Ｚｎ，Ｍｇ）Ｏ等が挙げられる。また、バッファ層５が１Ω・ｃｍ以上の抵抗率を有していれば、リ−ク電流の発生が低減され得る。なお、バッファ層５は、例えば、ケミカルバスデポジション（ＣＢＤ）法等によって形成され得る。
【００２１】
また、バッファ層５は、光吸収層４の一主面の法線方向（＋Ｚ方向）に厚さを有する。この厚さは、例えば、１０〜２００ｎｍに設定される。バッファ層５の厚さが１００〜２００ｎｍであれば、バッファ層５の上に透光性導電層６がスパッタリング法等で形成される際に、バッファ層５においてダメージが生じ難くなる。
【００２２】
透光性導電層６は、バッファ層５の＋Ｚ側の主面の上に設けられており、例えば、ｎ型の導電型を有する透明の導電層（透明導電層とも言う）である。この透光性導電層６は、光吸収層４において生じた電荷を取り出す電極（取出電極とも言う）として働く。透光性導電層６は、バッファ層５よりも低い抵抗率を有する材料を主に含む。透光性導電層６には、いわゆる窓層と呼ばれるものが含まれてもよいし、窓層と透明導電層とが含まれてもよい。
【００２３】
透光性導電層６は、禁制帯幅が広く且つ透明で低抵抗の材料を主に含んでいる。このような材料としては、例えば酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化亜鉛の化合物、錫が含まれた酸化インジウム（ＩＴＯ）および酸化錫（ＳｎＯ２）等の金属酸化物半導体等が挙げられる。酸化亜鉛の化合物は、アルミニウム、ボロン、ガリウム、インジウムおよびフッ素のうちの何れか１つの元素等が含まれたものである。
【００２４】
透光性導電層６は、スパッタリング法、蒸着法または化学的気相成長（ＣＶＤ）法等によって形成され得る。透光性導電層６の厚さは、例えば、０．０５〜３．０μｍである。ここで、透光性導電層６が、１Ω・ｃｍ未満の抵抗率と、５０Ω／□以下のシート抵抗と
を有していれば、透光性導電層６を介して光吸収層４から電荷が良好に取り出され得る。
【００２５】
バッファ層５および透光性導電層６は、光吸収層４が吸収し得る光の波長帯域に対して、光を透過させ易い性質（光透過性とも言う）を有していてもよい。これにより、光吸収層４における光の吸収効率の低下が低減され得る。また、透光性導電層６の厚さが０．０５〜０．５μｍであれば、透光性導電層６における光透過性が高められると同時に、光電変換によって生じた電流が良好に伝送され得る。さらに、透光性導電層６の絶対屈折率とバッファ層５の絶対屈折率とが略同一であれば、透光性導電層６とバッファ層５との界面で光が反射することで生じる入射光のロスが低減され得る。
【００２６】
集電電極７は、透光性導電層６の＋Ｚ側の主面（一主面とも言う）の上に設けられている線状部７ａと、接続部７ｂを有している。そして、例えば、光電変換セル１ａの透光性導電層６によって集められた電荷は、線状部７ａによってさらに集められ、接続部７ｂを介して隣接する光電変換セル１ｂに伝達され得る。
【００２７】
この線状部７ａが設けられることで、透光性導電層６における導電性が補われるため、透光性導電層６の薄層化が可能となる。これにより、電荷の取り出し効率の確保と、透光性導電層６における光透過性の向上とが両立し得る。なお、線状部７ａが、例えば、銀等の導電性が優れた金属を主に含んでいれば、光電変換部１における変換効率が向上し得る。なお、線状部７ａに含まれる金属としては、例えば銅、アルミニウムおよびニッケル等が挙げられる。
【００２８】
また、線状部７ａの幅は、５０〜４００μｍであれば、隣接する光電変換セル１ａおよび光電変換セル１ｂ間における良好な導電が確保されつつ、光吸収層４への光の入射量の低下が低減され得る。１つの光電変換セルに複数の線状部７ａが設けられる場合、該複数の線状部７ａの間隔は、例えば、２．５ｍｍ程度であればよい。
【００２９】
なお、線状部７ａの表面が、光吸収層４が吸収し得る波長領域の光を反射する性質を有していれば、光電変換部１がモジュ−ル化された際に、線状部７ａの表面で反射した光が、モジュール内で再び反射して光吸収層４に入射し得る。これにより、光電変換部１における変換効率が向上し得る。このような線状部７ａは、例えば、透光性の樹脂に光反射率の高い銀等の金属粒子が添加されたペーストを用いて形成すればよい。また、アルミニウム等の光反射率の高い金属が線状部７ａの表面に蒸着されることによっても実現できる。
【００３０】
接続部７ｂは、図２に示すように、光吸収層４およびバッファ層５を分離する分離溝Ｐ２内に配置されている。この接続部７ｂは、線状部７ａと電気的に接続している。そして、例えば、光電変換セル１ａ内に位置する接続部７ｂは、分離溝Ｐ２を通って隣の光電変換セル１ｂから延伸されている下部電極３に接続するような垂下部を有している。これにより接続部７ｂは、図１において、光電変換セル１ａの上部電極（透光性導電層６および線状部７ａ）と、光電変換セル１ｂの下部電極３とを電気的に接続できる。なお、図１では、透光性導電層６に電気的に接続された光電変換セル１ａの線状部７ａと光電変換セル１ｂの下部電極３とを直に接続しているが、この形態に限られない。接続部７ｂは、例えば、分離溝Ｐ２に配置されるバッファ層５および透光性導電層６の少なくとも一方を介して光電変換セル１ａの上部電極と光電変換セル１ｂの下部電極３とを電気的に接続する形態であってもよい。すなわち、上部電極は、透光性導電層６のみで構成されていてもよい。このとき、接続部７ｂは、分離溝Ｐ２内に透光性導電層６が配置されているような態様となる。
【００３１】
接続部７ｂは、線状部７ａと同様の材質、方法で作製してもよい。そのため、接続部７ｂは、線状部７ａの形成と同時に行なってもよい。また、接続部７ｂは、線状部７ａの一
部であってもよい。
【００３２】
出力電極８ａ、８ｂは、各光電変換セルで光から変換された電流を外部に出力するものである。出力電極８ａおよび出力電極８ｂは、一方が正極であり、他方が負極である。本実施形態では、光電変換部１の一端側に出力電極８ａ、他端側に出力電極８ｂがそれぞれ設けられている。すなわち、出力電極８ａおよび出力電極８ｂは、光電変換部１と電気的に接続されているといえる。具体的に、本実施形態において、出力電極８ａは、光電変換セル１ａの一端側（−Ｘ方向）に位置する下部電極３の一部が延在された部位に相当する。一方で、出力電極８ｂは、光電変換セル１ｂの他端側（＋Ｘ方向）に位置する下部電極３の一部が延在された部位に相当する。なお、本実施形態では、出力電極８ａおよび出力電極８ｂを下部電極３の一部を延在させて形成しているが、これに限られない。出力電極８ａおよび出力電極８ｂは、例えば、光電変換セルの上部電極の一部を延在させて形成してもよい。また、光電変換セルが３個以上配列されるような場合は、光電変換部１の一端に位置する光電変換セルに出力電極８ａが設けられ、光電変換部１の他端に位置する光電変換セルに出力電極８ｂが設けられる。
【００３３】
次に、光電変換部１の製造方法の一例について説明する。
【００３４】
まず、基板２の略全面にモリブデン等の金属をスパッタリング法で成膜し、金属層を形成する。次いで、金属層の所望の位置にＹＡＧ（イットリウム、アルミニウム、ガーネット）レーザ等を照射して分割溝Ｐ１を形成し、複数の下部電極３を得る。次に、パターニングされた下部電極３上に光吸収層４をスパッタリング法、蒸着法または印刷法等を用いて成膜する。次いで、光吸収層４上にバッファ層５をケミカルバスデポジション法（ＣＢＤ法）等で成膜する。
【００３５】
次に、スパッタリング法または有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）等でバッファ層５上に透光性導電層６を成膜する。次いで、メカニカルスクライビング等で分割溝Ｐ２を形成して、光吸収層４、バッファ層５および透光性導電層６をパターニングする。次に、透光性導電層６上にスクリーン印刷法等で金属ペーストを塗布した後、焼成して集電電極７を形成する。次いで、メカニカルスクライビング等でＹ方向に沿って分割溝Ｐ３を形成してパターニングを行なうことにより、Ｘ方向に配列する複数の光電変換セルを形成することによって、光電変換部１が形成される。
【００３６】
次に、Ｘ方向における両端に位置する光電変換セル（本実施形態では光電変換セル１ａおよび光電変換セル１ｂ）について、例えばブレードおよびホイールブラシ等などを用いて光吸収層４、バッファ層５、透光性導電層６および集電電極７等を２〜７ｍｍ程度の幅で削り取り、下部電極３の一部を延在させる。これにより、光電変換セル１ａの一端部に出力電極８ａを形成し、光電変換セル１ｂの他端部に出力電極８ｂが形成される。
【００３７】
＜光電変換モジュール＞
本発明の一実施形態に係る光電変換モジュールＭは、図３に示すように、光電変換部１と、基板２と、被覆部材９と、保護部材１０と、配線導体１１と、端子ボックス１２と、金属膜１３と、封止部材１４とを備えている。
【００３８】
基板２は、光電変換部１を支持する機能を有している。この基板２の材質としては、例えば厚さ１〜３ｍｍ程度の青板ガラス（ソーダライムガラス）およびポリイミド樹脂などの耐熱性プラスチック等が挙げられる。また、基板２としては、表面を酸化膜などの絶縁膜で被覆した厚さ１００〜２００μｍ程度のステンレスまたはチタン等の金属箔を用いてもよい。また、基板２の形状は、例えば矩形状、円形状等の平板状であればよい。
【００３９】
被覆部材９は、図４および図５に示すように、基板２および保護部材１０の互いに対向する一主面間に充填されている。この被覆部材９は、主として光電変換部１を保護する機能を有しており、光電変換部１を覆うように配置されている。このような被覆部材９としては、例えば共重合したエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）を主成分とする樹脂が挙げられる。なお、ＥＶＡには、樹脂の架橋を促進すべく、トリアリルイソシアヌレート等の架橋剤が含まれていてもよい。また、ＥＶＡにより、基板２と保護部材１０とを接着し、これらが一体化されていてもよい。
【００４０】
保護部材１０は、被覆部材９と接触するように設けられており、光電変換部１等を外部から保護する機能を有している。この保護部材１０の大きさおよび形状は、基板２とほぼ同等のものである。保護部材１０は、光透過率と必要な強度の点から、例えば、風冷強化した白板ガラス等を用いることができる。
【００４１】
配線導体１１は、出力電極８と電気的に接続されており、光電変換部１の出力を出力電極８を介して外部に導く機能を有している。本実施形態において、配線導体１１ａは、出力電極８ａと電気的に接続されている。すなわち、配線導体１１ａは、第１の電極としての下部電極３と電気的に接続されている。一方で、配線導体１１ｂは、出力電極８ｂと電気的に接続されている。出力電極８ｂは、図２に示すように、上部電極（集電電極７）と電気的に接続されている。すなわち、配線導体１１ｂは、第２の電極としての上部電極と電気的に接続されている。これにより、一対の配線導体１１ａ、１１ｂは、第１の電極（下部電極３）および第２の電極（上部電極）にそれぞれ電気的に接続されていることとなる。
【００４２】
このような配線導体１１としては、例えば厚み０．３〜２．０ｍｍ程度の銅、銀およびアルミニウム等を含む金属箔を用いることができる。また、配線導体１１は、上記した金属を含む合金またはこれらの金属の積層体であってもよい。また、配線導体１１の幅は、例えば、出力電極８ａ、８ｂの幅の５０％〜９０％程度であればよい。配線導体１１は、出力電極８と半田を介して接続される。また、半田は、予め配線導体１１にコーティングされていてもよい。
【００４３】
配線導体１１は、基板２に設けられた貫通孔２ａを介して基板２の裏面側に導出され、端子ボックス１２内まで延びている。貫通孔２ａは、基板２の一主面から他主面に向かって形成されている。すなわち、貫通孔２ａは、基板２を上下に貫通している。貫通孔２ａは、光電変換部１を基板２上に形成する前に予め設けてもよいし、光電変換部１を形成した後に設けてもよい。なお、基板２がステンレス等の金属、ガラスまたはプラスチックである場合、貫通孔２ａは、ドリル等を用いた機械加工法およびＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザなどによるレーザ加工法等で形成できる。
【００４４】
端子ボックス１２は、光電変換部１の発電電力を外部に出力できるようにする役割を有する。このような端子ボックス１２は、ポリフェニレンエーテル樹脂やＡＢＳ樹脂等からなる箱体内に、銅およびステンレス等からなるターミナル（図示なし）を備えている。配線導体１１は、ターミナルに電気的に接続されている。また、ターミナルには、外部の機器と接続するための接続ケーブル（図示なし）が取り付けられている。
【００４５】
金属膜１３（以下、第１の金属膜１３ａとする）は、図３に示すように、光電変換部１から離れて基板２上に配置されている。そして、本実施形態において、第１の金属膜１３ａは、図４および図５に示すように、被覆部材９に覆われている。これにより、被覆部材９は、第１の金属膜１３ａによるアンカー効果によって基板２との接着力が増大する。また、光電変換モジュールＭは、使用する環境によって、基板２と封止部材１４との界面から水分が浸入する場合がある。これに対し、光電変換モジュールＭでは、光電変換部１の
周囲に第１の金属膜１３ａが配置されているため、基板２と被覆部材９との界面から浸入してくる水分の光電変換部１まで到達する時間を遅らせることができる。これは、水分が第１の金属膜１３ａの表面を伝って移動するからである。このとき、第１の金属膜１３ａを迂回するように水分が移動する場合もある。これにより、光電変換部１に水分が到達しにくくなる。それゆえ、水分に対する長期的な信頼性が向上する。
【００４６】
第１の金属膜１３ａは、光電変換部１から離れつつ、基板２の外周部側に配置されていればよい。これにより、光電変換部１との絶縁を確保しつつ、水分の浸入を遅らせることができる。第１の金属膜１３ａは、図３に示すように、平面視して光電変換部１を囲うように配置されていてもよい。これにより、水分が光電変換部１により到達しにくくなる。第１の金属膜１３ａの厚みおよび幅等の大きさは特に限定されない。図３に示すような光電変換部１を囲うような形状である場合、例えば幅が２〜５μｍ、厚みが２〜３μｍである。また、第１の金属膜１３ａは、光電変換部１と絶縁を確保できる程度まで離間していればよい。そのため、第１の金属膜１３ａと光電変換部１との距離は、例えば、５ｍｍ以上あればよい。
【００４７】
第１の金属膜１３ａの材質は、特に限定されないが、例えば、下部電極３（第１の電極）に用いられる金属であればよい。さらに、第１の金属膜１３ａは下部電極３と同じ材質であってもよい。例えば、下部電極３および第１の金属膜１３ａを構成する金属層を基板２上に配置した後に、当該金属層をレーザまたはサンドブラスト等でパターニングして、下部電極３および第１の金属膜１３ａを同時に形成してもよい。これにより、製造工程が簡易になる。また、第１の金属膜１３ａをモリブデンを含む金属で形成すれば、第１の金属膜１３ａに水分が到達したことがわかりやすくなる。これは、モリブデンが水分中の酸素と酸化して酸化モリブデンが生成されると、モリブデンと比べて色が変わるためである。そのため、第１の金属膜１３ａの色を観察することによって、水分の浸入度合いが確認可能である。そして、この水分の浸入度合いに応じて、被覆部材９および封止部材１４を交換する等の修理を行なえばよい。なお、第１の金属膜１３ａの色の変化は、例えば、基板２を透光性部材で形成すれば、基板２の裏面から目視で確認できる。
【００４８】
また、第１の金属膜１３ａは、図３に示すように、平面視して光電変換部１と貫通孔２ａとの間に設けられていてもよい。すなわち、貫通孔２ａは、平面視して第１の金属膜１３ａに対して光電変換部１の反対側に位置している。換言すれば、貫通孔２ａは、図５に示すように、断面視して第１の金属膜１３ａよりも基板２の外周側に位置している。これにより、貫通孔２ａを介して浸入してくる水分についても第１の金属膜１３ａによって光電変換部１まで到達させにくくできる。
【００４９】
また、第１の金属膜１３ａは、図６および図７に示すように、独立して複数配置されていてもよい。第１の金属膜１３ａは、例えば、図６に示すように、平面形状が長方形、平行四辺形等の四角形状、円形状等のものが複数配置されていてもよい。これにより、被覆部材９は、第１の金属膜１３ａによるアンカー効果が高まり、基板２との接着力がより増大する。また、第１の金属膜１３ａは、より広範囲に点在するように形成すれば、上記したアンカー効果がより高まる。このような第１の金属膜１３ａは、例えば、基板２上に設けた上記金属層をレーザで所望の形状にパターニングすることによって得られる。
【００５０】
封止部材１４は、基板２および保護基板１０を平面視して、光電変換部１および被覆部材９を取り囲むように、基板２と保護基板１０との間に配置されている。これにより、封止部材１４は、基板２と保護基板１０との間から光電変換部１側に入ってくる異物の浸入を低減する機能を有している。このような異物の中には、外部から浸入する水分も含まれる。本実施形態において、封止部材１４は、被覆部材９と接触するように配置されている。これにより、封止部材１４と充填材９との隙間が低減される。それゆえ、外部からの応
力に対して略均一な剛性を維持することができる。
【００５１】
封止部材１４は、例えばポリエチレン等の樹脂またはブチルゴム、エチレンプロピレンゴム等のゴムよりなる弾性体もしくは上述した樹脂とゴムの混合物のような高分子材料であればよい。上記したブチルゴムは、透湿度が０．１ｇ／ｍ２／ｄａｙ程度と低く、優れた防水性能を有している。また、封止部材１４は、水分を吸着する吸着剤を含んでいてもよい。このような吸着剤としては、例えば酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化ナトリウム（Ｎａ２Ｏ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ２）、硫酸ナトリウム無水塩（Ｎａ２ＳＯ４）、硫酸銅無水塩（ＣｕＳＯ４）または硫酸カルシウム（ＣａＳＯ４）などが挙げられる。上記した酸化カルシウムは、低湿度での水分吸収容量が大きく、潮解しにくい性質を有しているため、低湿度の環境下においても吸着力を維持しやすい。このような吸着剤の粒径は、例えば０．５〜１０μｍ程度である。また、ブチルゴムに吸着剤として酸化カルシウムを含有させて、封止部材１４は、ブチルゴム１００重量部に対し、酸化カルシウムを１０〜５０重量部程度含有させればよい。これにより、封止部材１４は、基板２および保護基板１０とブチルゴムとの接着強度を維持しつつ、水分の吸着効果を得やすくなる。それゆえ、本実施形態では、光電変換部１に到達する水分量を低減することができる。
【００５２】
また、封止部材１４は、図８に示すように、第２の金属膜１３ｂを介して設けられていてもよい。すなわち、封止部材１４は、第２の金属膜１３ｂを覆って基板２上に配置されている。このとき、第２の金属膜１３ｂは、被覆部材９を囲うように基板２上に配置されている。このような形態であれば、第２の金属膜１３ｂによるアンカー効果によって、封止部材１４の基板２に対する接着力が増大する。また、基板２と封止部材１４との界面から浸入してくる水分の光電変換部１まで到達する時間を第２の金属膜１３ｂで遅らせることができる。それゆえ、水分に対する長期的な信頼性がより向上する。この第２の金属膜１３ｂは、基板２と封止部材１４との接触面積の０．８〜３％程度であればよい。これにより、水分の影響を低減しつつ、封止効果を維持できる。
【００５３】
次に、光電変換モジュールＭの製造方法の一例について説明する。
【００５４】
上述した製造方法で基板２上に光電変換部１を形成する。次いで、基板２の外周部から内側に３〜２０ｍｍ程度の領域に位置する金属層（下部電極３）レーザまたはサンドブラスト等でパターニングして、金属膜１３（第１の金属膜１３ａ）を形成する。このとき、上記領域における金属層上に光電変換層および上部電極等が形成されている場合は、これらを予めメカニカルスクライブ等で除去してもよい。これにより、第１の金属膜１３ａの形成が容易になる。
【００５５】
次に、基板２にレーザを用いて、直径が３〜５ｍｍ程度の貫通孔２ａを２つ形成する。次いで、出力電極８ａおよび出力電極８ｂに配線導体１１ａおよび配線導体１１ｂをそれぞれ半田で接続する。次に、半田で接続されていない配線導体１１ａおよび配線導体１１ｂの一端側を貫通孔２ａを介して基板２の裏側に導出する。
【００５６】
次いで、基板２の外周側部分に、光電変換部１を取り囲むように封止部材１４の前駆体を塗布する。この塗布は、封止部材１４の前駆体をディスペンサーなどの吐出装置に充填し、吐出口から所定量の前駆体を吐出して所定の領域に塗布すればよい。このとき、封止部材１４の前駆体は、基板２の外周側に２〜８ｍｍ程度の幅で設ければよい。
【００５７】
次に、光電変換部１上に、ＥＶＡなどの被覆部材９、保護基板１０の順でそれぞれ載置する。次いで、各部材が積層された積層体をラミネート装置にセットし、５０〜１５０Ｐａ程度の減圧下で１００〜２００℃程度の温度で１５〜６０分間程度加熱しながら加圧し
て一体化する。次に、端子ボックス１２を基板２の裏面に固定するとともに、配線導体１１ａおよび配線導体１１ｂを端子ボックス１２内のターミナルと電気的に接続させることによって、光電変換モジュールＭを作製できる。
【００５８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で多くの修正及び変更を加えることができる。例えば光電変換モジュールは上述のＣＩＳ系などのカルコパイライト系光電変換モジュールに限定されるものではなく、アモルファスシリコンや微結晶シリコンを使用した薄膜太陽電池、シリコン基板を用いた結晶系シリコン太陽電池等の光電変換モジュールにも適用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
Ｍ：光電変換モジュ−ル
１：光電変換部
２：基板
２ａ：貫通孔
３：下部電極（第１の電極）
４：光吸収層
５：バッファ層
６：透光性導電層（第２の電極）
７：集電電極（第２の電極）
７ａ：線状部
７ｂ：接続部
８、８ａ、８ｂ：出力電極
９：被覆部材
１０：保護部材
１１、１１ａ、１１ｂ：配線導体
１２：端子ボックス
１３：金属膜
１３ａ：第１の金属膜
１３ｂ：第２の金属膜
１４：封止部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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