(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
−  単相混合物（５２）を形成するために、少なくとも一種のポリエチレングリコールを塩基と混合する（１０；２０）工程、
−  該単相混合物（５２）を８０℃の温度に加熱する（１２；２２）工程、
−  該単相混合物（５２）を、該単相混合物（５２）の色が変わるまで周囲空気中で静置（１４）する工程、及び
−  該単相混合物（５２）中に、非酸化性酸が混合（２６）される工程（２６）、
によって得られる、生成物（５６）。
【請求項２】
アルカリ水酸化物又は水酸化アンモニウムが塩基として使用される（１０；２０）ことを特徴とする、請求項１に記載の生成物（５６）。
【請求項３】
テトラエチレングリコールが、少なくとも一種のポリエチレングリコールとして使用される（１０；２０）ことを特徴とする、請求項１又は２に記載の生成物（５６）。
【請求項４】
前記単相混合物（５２）が、その色調が光学スペクトルにおけるオレンジ色と赤褐色との間の色調になるまで、周囲空気中に静置（１４）されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一つに記載の生成物（５６）。
【請求項５】
前記単相混合物（５２）が、その色調が赤褐色の色調になるまで、周囲空気中に静置（１４）されることを特徴とする、請求項４のいずれか一つに記載の生成物（５６）。
【請求項６】
前記単相混合物を形成するために、前記少なくとも一種のポリエチレングリコールが、前記塩基及び水と混合（２０）されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一つに記載の生成物（５６）。
【請求項７】
前記単相混合物（５２）中に、非酸化性酸として、塩酸又は酢酸が混合（２６）されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一つに記載の生成物。
【請求項８】
前記単相混合物（５６）の色が変わった後、水及び少なくとも一種のアルカリ水酸化物がそれに混合されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一つに記載の生成物。
【請求項９】
半導体材料のためのアルカリエッチング液における添加剤としての、請求項１〜８のいずれか一つに記載の生成物（５６）の使用。
【請求項１０】
半導体材料のためのテクスチャエッチング液としての、請求項８に記載の生成物の使用。
【請求項１１】
シリコンのためのテクスチャエッチング液としての、請求項８に記載の生成物の使用。
【請求項１２】
請求項１〜８のいずれか一つに記載の生成物（５６）を製造する方法であって、
−  少なくとも一種のポリエチレングリコールを塩基と混合（１０；２０）することによって、単相混合物を形成させ、
−  該単相混合物の色の変化を待ち（１４；２４）、そして
−  前記単相混合物（５６）中に、非酸化性酸が混合（２６）される、上記の方法。
【請求項１３】
アルカリ水酸化物が塩基として使用（１０；２０）されることを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
テトラエチレングリコールが少なくとも一種のポリエチレングリコールとして使用（１０；２０）されることを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記単相混合物（５２）の色の変化が、光学スペクトルにおけるオレンジ色と赤褐色との間の色調になるのを待つ（１４；２４）ことを特徴とする、請求項１２〜１４のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１６】
前記単相混合物（５６）中に、非酸化性酸として、塩酸又は酢酸が混合（２６）されることを特徴とする、請求項１２〜１５のいずれか一つに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング液の添加剤又は成分として使用される生成物、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
材料をエッチングする際、その目的は、しばしば、エッチングの種類、位置及び／又は範囲に関して画定されたエッチング結果を得ることである。これは、特に、半導体材料をエッチングする場合、例えば、電子部品又は太陽電池の製造における場合である。最も共通して使用される半導体材料はシリコンである。特に、単結晶シリコン又は多結晶シリコンは、シリコン太陽電池の工業的製造における半導体材料として使用されている。
【０００３】
結晶性材料、特に単結晶シリコン又は多結晶シリコンの画定的な（ｄｅｆｉｎｅｄ）エッチング結果は、異なる種類の粒子及び結晶の欠陥の存在下で、たいていエッチング液で様々の程度にエッチングされるため、高価である。これは、例えば、アルカリ水酸化物ベースのアルカリエッチング液による場合であり、それは、産業規模でのエッチング、特に、シリコンウエハーのテクスチャエッチングにおいて使用されている。半導体材料を均一にエッチングするその他のエッチング液を使用することもできるが、結晶の配向及び結晶の欠陥に拘わらず、ほとんどは安全性又は廃棄の理由から、産業規模でのそれらの使用には問題があり、かつ、高価であるため、異方性エッチング効果にも拘わらず、アルカリ水酸化物をベースとするアルカリエッチング液がしばしば好ましい。
【０００４】
この種類のアルカリエッチング液で画定されたエッチング結果を得るために、それぞれのエッチング工程は、個々の場合に使用される半導体材料、例えば、シリコン材料に合わせて正確に調整しなければならない。エッチング時間、エッチング液の組成及びエッチング温度のようなエッチングパラメーターは、そのために、なかんずく、使用される半導体材料の結晶化の種類、例えば、ブロックキャスト又はエッジ安定化ドロー多結晶シリコン又は単結晶シリコン、ドーパントの種類及びそれらドーパントの厚さ、及び結晶欠陥の種類及び密度も影響する。実際には、異なるエッチングパラメーターを、単一の製造業者からの種々のシリコン材料についてさえ、それぞれの場合に使用しなければならならないという結果となる。様々な製造業者からの材料が使用される場合、エッチングパラメーターの多様性はなお一層増大する。特に、光の注入を増大する目的で表面構造を形成するための、太陽電池の製造で度々行われるようなテクスチャエッチングの場合には、使用される材料に関してテクスチャエッチングプロセスの感度により、膨大な数の異なる組合せのエッチングパラメーターが生み出される。
【０００５】
この背景に対抗して、エッチングプロセス、特に、テクスチャエッチングプロセスを簡略化する必要がある。ドイツ特許第１０  ２００８  ０５６  ０８６号（特許文献１）は、これを可能にするエッチング液の添加剤を開示している。この添加剤の製造には、様々な密度の相の分離が要求され、ある程度の費用を伴う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】ドイツ特許第１０  ２００８  ０５６  ０８６号
【特許文献２】米国特許第３，９９８，６５９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明は、エッチングプロセス、特に、テクスチャエッチングプロセスを簡素化でき、かつ、より少ない費用で製造できる生成物を提供するという課題に基づいている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題は、請求項１に説明した方法で得られる生成物によって解決される。
【０００９】
本発明はまた、この生成物を製造するための方法を提供するという課題にも基づいている。
【００１０】
この課題は、請求項１０の特徴による方法によって解決される。
【００１１】
それぞれの場合における有利な改良点により、従属の下位請求項の主題が形成される。
【００１２】
請求項８及び請求項９は、本発明による生成物の有利な用途に関する。
【００１３】
本発明の生成物は、少なくとも一種のポリエチレングリコールを塩基と混合し、単相混合物を形成し、該単相混合物を８０℃の温度に加熱し、そして該単相混合物を、その単相混合物の色が変わるまで周囲空気中に静置することによって得られる。この場合の塩基という語は、基本的に、水性溶液中で水酸化物イオンを形成できる化合物及び元素を意味する。好ましいものとして、使用される塩基はアルカリ水酸化物又は水酸化アンモニウム、特に好ましくは、水酸化カリウム又は水酸化ナトリウムである。使用されるアルカリ水酸化物の質量分率は、単相混合物を形成するという目的で成分が混合される際、例えば、テトラエチレングリコールと水酸化カリウムの場合、１〜１０質量％、好ましくは約７質量％である。
【００１４】
単相混合物とは、数時間の長い耐用時間後でさえも、異なる密度のいくつかの相に分離しない混合物を意味する。本発明における周囲空気とは、人間が占有する領域において地球上で普通に見られるような気体混合物を意味する。この場合、‘静置させる’という語は、必ずしも混合物を絶対的に静置するという意味ではない。基本的に、混合物はまた移動させることもできる。単相混合物の色の変化は、その単相混合物の元来の色に対してその色が変わる時に起こる。特に、それまで透明だった単相混合物に色が付く時に色の変化がある。色の変化までの静置時間は、多くのパラメーター、特に、混合された物質に依存する。ほとんどの場合、約１５分〜１６時間の静置期間が必要とされる。
【００１５】
原則として、全てのポリエチレングリコール類が上記の生成物の製造に使用できる。実際には、テトラエチレングリコールの使用が証明されている。このポリエチレングリコールが使用される場合、例えば、色の変化が起こる前に、約１５分〜１６時間の静置期間が必要とされる。
【００１６】
本発明による生成物を、アルカリエッチング液中、特に、テクスチャエッチング液中に混合することが、エッチングプロセスに対して有利な効果を有することが明らかとなった。それ故、その混合の結果、エッチング液は、様々な種類及び品質の半導体材料に対して、同じエッチングパラメーターで、かつ、等しいエッチング結果で、例えば、ｐ−ドープシリコンもｎ−ドープシリコンにも同様に同じように使用することができる。したがって、エッチングレシピとして知られる必要とされるエッチングパラメーターの組合せの数を、著しく低減することができる。必要なエッチングレシピの数のこの低減により、これが必要とされ得る場合でさえも、エッチング液の組成及びエッチングパラメーターの両方を、エッチングすべき半導体材料に適合させることが更に簡素化される。更に、エッチング液の延長された耐用寿命が得られるであろう。
【００１７】
本発明による生成物が、アルカリテクスチャエッチング液中に混合される場合、更なる利点もまた得られるであろう。例えば、単結晶性半導体材料及び多結晶性半導体材料の両方、特に、シリコンウエハーを、同じエッチング液及び同一のエッチングパラメーターを用いてテクスチャ処理することができる。従来技術において、例えば、シリコンウエハーについて、０．５〜６重量％のアルカリ水酸化物及び１〜１０体積％のアルコール、たいていはイソプロピルアルコールを含む水性のテクスチャエッチング液（注：例えば、米国特許第３，９９８，６５９号明細書（特許文献２））が、テクスチャエッチング液として使用される。この場合、そのテクスチャエッチングは、通常、７０〜９０℃の温度で、典型的には２０〜７５分間の期間にわたって行われる。本発明の生成物が、アルコール含有アルカリエッチング液中に混合される時、結果としてそのエッチング時間を低減することができ、そして更に、そのアルカリエッチング液に使用されるアルコールの量を低減することができることが明らかとなった。また、そのアルコール消費量を低減することができるだけでなく、アルコール、特にイソプロピルアルコールの使用を完全に省くことができることが判明した。したがって、本発明の生成物を添加剤として用いる際に、アルコール類の混合を完全に省くのが特に好ましい。
【００１８】
切断プロセス（ｓａｗｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）によって塊（ｂｌｏｃｋ）から切り出された（ｓｅｐａｒａｔｅｄ）半導体材料、例えば、環状ソー（ａｎｎｕｌａｒ  ｓａｗ）又はワイヤーソーによってシリコン塊から切断されたシリコンウエハーの場合、ミクロの範囲での寸法形状を有する構造のためのテクスチャ処理が、テクスチャエッチング液を使って信頼できるように適用できる前に、まず、別の、ソー（ｓａｗ）の損傷エッチングプロセスによって、そのソーの損傷を取り除く必要がしばしばある。しかしながら、本発明の生成物が、テクスチャエッチング液中に混合される場合、その別の、ソーの損傷エッチングプロセスは省くことができ、そして、そのソーの損傷エッチングは、半導体材料の表面のテクスチャ処理と一緒に合同プロセス段階で行うことができる。
【００１９】
上述の有利な効果は、本発明による生成物の製造に、そしてアルカリエッチング液に使用される同じ塩基を当てにするものではない。例えば、水酸化ナトリウムは、本発明の生成物の製造に使用できるが、該生成物は、その後、水酸化カリウムを含む液中に混合することができる。
【００２０】
本発明の一つの改良点（ｒｅｆｉｎｅｍｅｎｔ）において、単相混合物を、その色が、光学スペクトルにおけるオレンジ色と赤褐色との間の色に変わるまで、周囲空気中に静置させる。好ましくは、単相混合物を、赤褐色の色調になるまで静置させる。本発明の生成物がより暗い色調に変わるほど、該生成物はより効果的になることが明らかとなっている。その色調が赤褐色である場合に、特に強い効果が得られる。しかしながら、ある程度の色の変化から、生成物の効果は再び減少する。そのため、単相混合物が暗褐色又は黒色である場合、弱い効果しかない。
【００２１】
本発明の別の実施形態は、塩基及び水と混合されて、単相混合物を形成する少なくとも一種のポリエチレングリコールを提供するものである。これは、好ましくは、アルカリ水酸化物の水溶液を、少なくとも一種のポリエチレングリコールと混合することによって行われる。実際に、このために、少なくとも２０質量％のアルカリ水酸化物濃度を有するアルカリ水酸化物水溶液が証明されている。水の割合は、単相混合物が形成され、そして該混合物が、ある寿命後にいくつかの相に分離しないように常に選択されなければならない。
【００２２】
本発明の一つの改良点において、非酸化性酸、好ましくは塩酸又は酢酸が、単相混合物中に混合される。上述したように、本発明の生成物は、その効果に関して長時間には適していない。明らかにされているように、上述のような非酸化性酸を混合することにより、安定性、そしてそれによる貯蔵寿命を向上させることができる。それ故、非酸化性酸を含む生成物はより長く貯蔵できる。非酸化性酸を、７未満、好ましくは３未満のｐＨ値になるように混合するのが有利であることが証明されている。非酸化性酸は、単相混合物の色が変わった後に混合される。
【００２３】
別の有利な実施形態において、水及び少なくとも一種のアルカリ水酸化物、好ましくは水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムは、単相混合物の色が変わった後に、その単相混合物中に混合される。このようにして、上述した方法の一つにおいて有利なエッチング又はテクスチャエッチング液が入手できる。形成された混合物中の単相混合物の体積当たりの割合は、約０．０１〜５％、好ましくは０．０１〜１％、そして特に好ましくは０．０７〜０．３％の量である。上述したように、以前、通常の実施ではアルコール、特にイソプロピルアルコールがこの種のエッチング液中に混合しされていた。依然として、このようにして上述のように形成された溶液は、基本的にアルコール、特にイソプロピルアルコールと混合することができる。しかしながら、上記で説明したように、より少ない量しか要求されない。しかしながら、単相混合物を使用する結果、以前は、普通に混合されていたアルコールを、その単相混合物に完全に置き換えることもできる。したがって、アルコールの混合を省略するのが特に好ましい。
【００２４】
本発明の生成物の全ての異なる実施形態は、半導体材料のアルカリエッチング液中、好ましくは、単結晶シリコン又は多結晶シリコンのような無機半導体材料のアルカリエッチング液中の添加剤として有利に使用することができる。特に、それら生成物は、テクスチャエッチング液における添加剤としての利点が証明されている。
【００２５】
上述の別の実施形態において、混合された水及び少なくとも一種のアルカリ水酸化物と共に、本発明の生成物は、それ自体が、半導体材料、好ましくは無機半導体材料、そして特に好ましくは、単結晶シリコンウエハー又は多結晶シリコンウエハーのようなシリコン材料のためのテクスチャエッチング液として使用できる。例えば、この別の実施形態により、ランダムに配向されたピラミッド構造を有する表面のテクスチャ処理は、シリコン表面上で製造できる。これは、特に、単結晶シリコンの表面においてそれ自体が証明している。この場合のピラミッド構造の高さは、使用される単相混合物とテクスチャエッチング液との比で影響を及ぼすことができる。
【００２６】
生成物を製造するための本発明による方法において、少なくとも一種のポリエチレングリコールが塩基と混合されることで単相混合物が形成され、そして、その単相混合物の色の変化が待たれる。塩基、単相混合物、及び色の変化という語は、上記で説明したように理解すべきである。色の変化は、例えば、単相混合物が待機期間の間に周囲空気に曝される時に起こる。しかしながら、原則としては、その他の周囲雰囲気もまた可能であるが、ただし、それら雰囲気には、単相混合物の色を変化させる能力が必要である。周囲空気又はその他の気体混合物を、単相混合物中に又は単相混合物を通して送り込むことも可能であり、それにより、待機期間を低減できる。
【００２７】
本発明の方法の別の実施形態において、該少なくとも一種のポリエチレングリコールは、単相混合物を形成するために塩基及び水と混合される。これは、好ましくは、該少なくとも一種のポリエチレングリコールを、塩基の水溶液と、例えば、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムの水溶液と混合することによって行われる。水の割合は、上述したように、単相混合物がいくつかの相に分離しないようなやり方で選択されるべきである。
【００２８】
アルカリ水酸化物、特に、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムは、それら自体が塩基であることが証明されている。有利には、使用されるアルカリ水酸化物又は使用されるいくつかのアルカリ水酸化物の混合物は、単相混合物を形成するために混合される成分におけるその質量割合が、１％〜１０％、好ましくは約７％になるように計量添加される。
【００２９】
本発明の方法の好ましい別の実施形態において、単相混合物の色の変化は、光学スペクトルにおけるオレンジ色と赤褐色との間にある色調へ変化するまで待たれる。上記ですでに説明したように、単相混合物により起こるその色調はその効果に対する影響を有する。したがって、このように色の変わった単相混合物が、特に強い効果を示すため、赤褐色の色調に変わるのを待つのが好ましい。
【００３０】
本発明方法の有利な実施形態の一変形は、単相混合物が、少なくとも４０℃の温度に、好ましくは４０℃〜１２０℃の温度に、そして特に好ましくは７５℃〜８５℃の温度に加熱されることを提供する。その単相混合物を加熱するのに使用される加熱装置は、好ましくは、標的温度に達した後に消されるが、原則としては、色の変化を待つ間スイッチを入れたままにすることも可能である。
【００３１】
本発明の一つの改良点は、非酸化性酸、好ましくは塩酸又酢酸を単相混合物中に混合することを提供するものである。上記で説明したように、その効果に関して経時的に不安定な生成物を安定化させ、そして、それにより、その貯蔵寿命を向上させることができる。酸の混合は、単相混合物の色の変化後に行われる。酸は、その単相混合物のｐＨ値が７未満、好ましくは３未満になるような濃度及び量で混合するのが有利であることが証明されている。
【００３２】
ドイツ特許第１０  ２００８  ０５６  ０８６号（特許文献１）によって開示されている生成物が、非酸化性酸の混合によって同様に安定化できることが明らかとなっている。少なくとも一種のポリエチレングリコールを塩基と混合し、その混合物を周囲空気中で、約２５℃の温度で、二つの相が形成されるまで静置し、そしてその混合物に存在するより低密度の相を分離することによって得られる生成物は、それ故、非酸化性酸、好ましくは塩酸又は酢酸を分離されたより低密度の相中に混合することによって、その効果に関して安定させることができる。酸は、生成物のｐＨ値が７未満、好ましくは３未満になるように好ましく混合される。
【００３３】
この説明した、塩酸又は酢酸のような非酸化性酸の混合による安定化は、ドイツ特許第１０  ２００８  ０５６  ０８６号（特許文献１）に開示されている生成物、並びにその生成物の製造方法、及びその開示された用途の全ての細部及び様々な実施形態に適合可能であり、そして、有利であることが証明された。アルカリ水酸化物、好ましくは水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムの塩基としての使用、少なくとも一種のポリエチレングリコールとしてのテトラエチレングリコールの使用、又は該用途において開示された混合物中への水の混合との組合せにおいて、特に有利であることが証明された。
【００３４】
非酸化性酸の混合はまた、水及びアルカリ水酸化物、好ましくは水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムが分離されたより低密度の相中に混合され、それによりテクスチャエッチング液を形成する場合に有利であることが証明された。アルコール、好ましくはイソプロピルアルコールの追加的な混合は、開示されている非酸化性酸の混合と適合する。しかしながら、好ましくは、そのようなアルコール類の混合は、それに付随する欠点を回避するために省かれる。
【００３５】
ドイツ特許第１０  ２００８  ０５６  ０８６号（特許文献１）に記載されている製造方法の一形態は、少なくとも一種のポリエチレングリコールを塩基と混合し、そして得られた混合物中に二つの相が形成された後、生成物中に存在するより低密度の相が分離され、そして非酸化性酸、好ましくは塩酸又は酢酸を、その分離された相中に混合することを提供している。
【００３６】
有利には、分離されたより低密度の相の色が、光学スペクトルにおけるオレンジと赤褐色との間にある色調、例えば、オレンジ色又は赤褐色へ変化することが待たれる。この場合、非酸化性酸は、好ましくは、そのより低密度の相の色が変化した後に混合される。
【００３７】
次に、図面の助けにより本発明をより詳細に説明する。同じ効果を有する要素は、それらが有用である限り、同じ参照数字が与えられている。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、本発明による生成物の一実施形態の製造の概要図である。
【図２】図２は、本発明による方法の一実施形態の概要図である。
【図３】図３は、図１及び図２からの実施形態の個々の工程を示す図である。
【図４】図４は、図１及び図２からの実施形態のための改良点を示す図である。
【図５】図５は、図１、図２及び図４からの実施形態のためのさらなる改良点を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
図１は、本発明による生成物の一実施形態の製造を概要図で示している。この実施形態では、テトラエチレングリコールが、少なくとも一種のポリエチレングリコールとして使用され、そして塩基として水酸化カリウム（ＫＯＨ）が使用されている。これらの成分は混合１０されて単相混合物が形成される。この場合における単相混合物は、８０℃まで加熱される１２。次に、その単相混合物を、その色が赤褐色に変わるまで、すなわち、赤褐色の色調を呈するまで静置する１４。図１の実施形態において、単相混合物は周囲空気中で静置される１４。本発明の実施形態における熱の供給は、８０℃の標的温度に一旦達すると停止され、そのため、単相混合物は静置期間１４の間に冷却する。単相混合物の赤褐色への色の変化は、静置期間１４の１０〜１２０分後に起こる。単相混合物の色の変化は、静置期間１４の間に熱の供給を継続することによって促進させることができるが、本発明の生成物の効果も、より速く減少してしまう。
【００４０】
図２は、本発明の方法の実施形態を概要図で示している。図２の方法の開始点は、テトラエチレングリコール及び水酸化ナトリウム水溶液（ＮａＯＨ溶液）であり、それらは最初に一緒に混合され２０、単相混合物が形成される。得られる混合物は、少なくとも４０℃の温度に、好ましくは、４０℃〜１２０℃の温度に、そして特に好ましくは７５℃〜８５℃の温度に加熱される２２。次に、単相混合物の赤褐色の色調への色の変化が待たれる２４。これは、典型的には、１５分〜１６時間の待機期間の間に起こる。
【００４１】
図１の図による方法は、本発明による方法のさらなる実施形態を明らかに代表している。というのも、静置期間１４の間、単相混合物の色の赤褐色の色調への変化が待たれるからである。対応するやり方において、本発明の生成物のさらなる実施形態は、図２の方法で製造することができる。ただし、本発明の趣旨内で単相混合物は、その単相混合物の色の変化を待つ期間２４の間静置される。
【００４２】
図３は、図１及び図２の実施形態の個々の工程の概要図である。そのため、図３は、容器５０中に配置され、加熱装置５４を用いて加熱１２又は２２される単相混合物５２を示している。図１及び図２の実施形態における単相混合物５２は、当初透明であるが、静置１４された後、又は待機２４後には、特に図１及び図２からわかるように特に赤褐色の色調の色を呈するため、色が変化した単相混合物５６が存在する。
【００４３】
図１からの実施例及び図２からの実施例の両方において、一種又は多種のポリエチレングリコール、特にテトラエチレングリコールと、アルカリ水酸化物又はアルカリ水酸化物の水溶液との混合物が使用できる。特に、ＮａＯＨ又はＫＯＨ水溶液の使用も、それ故可能である。水溶液が使用される場合、上記で説明したように、水の品質に関して注意を払わなくてはならないため、形成された混合物はいくつかの相に分離しない。
【００４４】
図４は、図１からの実施形態による生成物の改良の概要を、図２からの実施形態による本発明の方法と一緒に示している。図４の図によれば、図１又は図２からの単相混合物中に、静置１４後、又はその色の変化の待機２４後に塩酸が混合される２６。上記で説明したように、製造された生成物の安定性はこのように改良されるため、生成物をより長く貯蔵できる。
【００４５】
図５は、図１及び図２からの実施形態のためのさらなる改良点を図式的に示している。これによれば、図１、図２又は図４の製造工程の後に、少なくとも一種のアルカリ水酸化物及び水の単相混合物への混合２８の追加工程が続く。得られた生成物は、エッチング液、特に、テクスチャエッチング液として使用することができ、そしてシリコン材料のテクスチャエッチングにおいてそれ自体が証明されている。この種のエッチング液は、単結晶シリコンウエハーのテクスチャエッチングにおいてとりわけ証明されている。好ましいものとして、少なくとも一種のアルカリ水酸化物としてＮａＯＨ又はＫＯＨが使用され、その場合、そのなくとも一種のアルカリ水酸化物は、単相混合物５２中に使用される塩基とは独立して選択できる。実際に、体積で０．０１％〜５％の単相混合物の、形成された混合物に対する割合がそれ自体を証明している。好ましくは、この体積による単相混合物の割合は、０．０１〜１％となり、そして特に好ましくは０．０７〜０．３％となる。
【符号の説明】
【００４６】
１０    テトラエチレングリコールを水酸化カリウム（ＫＯＨ）と混合する
１２    単相混合物を加熱する
１４    単相混合物を、その色が赤褐色の色調に変わるまで静置する
２０    テトラエチレングリコールを水酸化ナトリウム水溶液（ＮａＯＨ溶液）と混合する
２２    単相混合物を加熱する
２４    単相混合物の色が赤褐色の色調に変わるのを待つ
２６    単相混合物中に塩酸を混合する
２８    少なくとも一種のアルカリ水酸化物及び水を単相混合物中に混合する
５０    容器
５２    単相混合物
５４    加熱装置
５６    色が変わった後の単相混合物
【図１】
0005632533.tif 000002
【図２】
0005632533.tif 000003
【図３】
0005632533.tif 000004
【図４】
0005632533.tif 000005
【図５】
0005632533.tif 000006