(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面に形成された電極パッドに電気的に接続するように、前記基板上に半導体チップを設置する工程と、
前記基板上及び、前記基板と前記半導体チップとの間に、トランスファーモールド法により、第１の樹脂層を形成する工程と、
前記第１の樹脂層上に積層して、トランスファーモールド法により、前記第１の樹脂層よりも弾性率が大きい、第２の樹脂層を形成する工程とを含む
半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記第２の樹脂層の上面が、前記半導体チップの上面よりも下方に位置するように、前記第２の樹脂層を形成する、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に係わる。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ、携帯電話、ＰＤＡ（Personal Digital Assistance）等の電子機器の小型化、高機能化・高速化が進んでいる。それに伴い、こうした電子機器向けのＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）等の半導体チップを搭載した半導体装置のさらなる小型化、高速化及び高密度化が要求されている。
半導体装置の小型化、高速化及び高密度化は、消費電力の増加を招き、単位体積当たりの発熱量も増加する傾向にある。
【０００３】
従来、半導体チップの実装構造として、半導体チップの電極が形成された面をフェイスダウンにした状態で、基板にハンダバンプを用いてフリップチップ実装する構造が知られている。
【０００４】
フリップチップ実装された半導体装置は、半導体チップ及び基板の熱膨張率の差異によっては、発熱によりハンダバンプによる接合部に応力が発生し、接続信頼性を低下させる、という問題がある。
また、同様に、半導体チップをフリップチップ実装した半導体装置の反り量が大きいと、半導体装置を実装基板に実装する際の２次実装信頼性を低下させる、という問題がある。
【０００５】
このような問題に対して、半導体チップと基板との間の隙間をアンダーフィルにて充填し硬化させると共に、基板の一部を樹脂層で覆う構成の半導体装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００６】
即ち、例えば、図７Ａに半導体装置の斜視図を示し、図７Ｂに図７ＡのＡ−Ａ´における断面図を示すように、基板１０１と、その上の半導体チップ１０２との間の隙間を、アンダーフィル１０５により充填している。
基板１０１及び半導体チップ１０２は、基板１０１の表面（図中上面）の電極パッド１０３と、半導体チップ１０２の下面のハンダバンプ１０４とによって、電気的に接続されている。アンダーフィル１０５は、電極パッド１０３及びハンダバンプ１０４が接続された部分以外に充填されている。
そして、半導体チップ１０２の周囲の基板１０１を樹脂層１１０で覆って、半導体装置１００を構成している。
また、基板１０１の裏面（図中下面）側には、ハンダボール１０６が形成されている。
【０００７】
この構成とすることにより、アンダーフィルと基板上の樹脂層によって、ハンダバンプにかかる応力が緩和されるため、接続信頼性が向上する。また、基板の外力に対する変形を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−３３５７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、基板表面状態やアンダーフィル塗布量等のバラツキにより、アンダーフィルが半導体チップと基板の間に浸入する際に空気を巻き込み、ボイドを生じることがある。アンダーフィル内にボイドが存在した場合、半導体装置を実装基板に実装する際にハンダバンプが電気ショートすることが考えられる。
【００１０】
特に、基板の電極パッド及び半導体チップのバンプの接続部について、その個数が増大することや、その間隔が狭くなることにより、アンダーフィル内にボイドが生じやすくなる。
【００１１】
また、アンダーフィルと封止用の樹脂層との材料の選定によっては、ハンダバンプの応力が大きくなって、ハンダバンプの接続信頼性低下や半導体装置の反り量が大きくなり、半導体装置の実装基板への２次実装信頼性を低下することも考えられる。
【００１２】
上述した問題の解決のために、本発明においては、アンダーフィル内にボイドを発生することなく、十分なハンダバンプの接続信頼性と半導体装置の実装基板への２次実装信頼性を実現することを可能にする、半導体装置の製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の半導体装置の製造方法は、基板表面に形成された電極パッドに電気的に接続するように、基板上に半導体チップを設置する工程と、基板上及び、基板と半導体チップとの間に、トランスファーモールド法により、第１の樹脂層を形成する工程とを含む。
そして、第１の樹脂層上に積層して、トランスファーモールド法により、第１の樹脂層よりも弾性率が大きい、第２の樹脂層を形成する工程を含む。
【００１６】
上述の本発明の半導体装置の製造方法によれば、基板上及び、基板と半導体チップとの間に、第１の樹脂層を形成し、この第１の樹脂層上に積層して、第１の樹脂層よりも弾性率が大きい第２の樹脂層を形成する。
これにより、上述したように、基板と半導体チップの間にボイドの発生がなく、基板と半導体チップとの接続部に発生する応力を低減することができ、半導体装置の反り量を低減することが可能な半導体装置を製造することが可能になる。
【発明の効果】
【００１７】
上述の本発明によれば、基板と半導体チップの間にボイドの発生がなく、基板と半導体チップとの接続部に発生する応力を低減すると共に半導体装置の反り量を低減することが可能である。
従って、本発明により、半導体チップと基板との接続部の接続信頼性と、基板への２次実装信頼性とを向上することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態の半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図２】図１の半導体装置の製造方法を示す製造工程図である。
【図３】図１の半導体装置の製造方法を示す製造工程図である。
【図４】図１の半導体装置の製造方法を示す製造工程図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態の半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図６】シミュレーションの結果を示す図である。
【図７】Ａ、Ｂ  従来提案されている半導体装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、発明を実施するための最良の形態（以下、実施の形態とする）について説明する。
なお、説明は以下の順序で行う。
１．第１の実施の形態
２．第２の実施の形態
３．変形例
４．シミュレーション
【００２０】
＜１．第１の実施の形態＞
本発明の半導体装置の第１の実施の形態の概略構成図（断面図）を、図１に示す。
この半導体装置１０は、基板１１上に半導体チップ１２が設けられて構成されている。
基板１１の上面には、図示しないが、電極パッドが形成されており、この電極パッドに、半導体チップ１２の下面に形成されたハンダバンプ１３が接続されていることにより、基板１１の電極パッドと半導体チップ１２とが電気的に接続されている。
また、基板１１の下面には、ハンダボール１４が設けられている。
【００２１】
本実施の形態の半導体装置１０においては、特に、基板１１上に形成する樹脂層を、下層の第１の樹脂層２１と上層の第２の樹脂層２２とを積層した構成としている。さらに、第１の樹脂層２１を、基板１１と半導体チップ１２との間の隙間にもトランスファーモールド法にて充填している。
これにより、基板１１と半導体チップ１２との間にアンダーフィルを使用しないため、基板表面状態やアンダーフィル塗布量等のバラツキにより、アンダーフィルが半導体チップと基板の間に浸入する際に空気を巻き込み、ボイドを生じることがなくなる。
【００２２】
そして、上層の第２の樹脂層２２は、下層の第１の樹脂層２１よりも、弾性率が大きい構成としている。
これにより、弾性率の小さい第１の樹脂層２１によってハンダバンプ１３に発生する応力を低減することができる。また、弾性率の大きい第２の樹脂層２２によって、半導体装置１０の反り量を低減することができる。
【００２３】
第１の樹脂層２１の厚さは、基板１１の表面から半導体チップ１２の下面までの高さよりも大きくなっており、基板１１と半導体チップ１２の間の隙間には、第１の樹脂層２１のみが充填されている。
【００２４】
第２の樹脂層２２は、半導体チップ１２よりも外側に形成されている。
そして、第２の樹脂層２２の上面は、半導体チップ１２の上面よりも下方の位置に形成されており、半導体チップ１２の上面が露出している。
これにより、半導体チップ１２の上面が第２の樹脂層２２で覆われている構成と比較して、半導体チップ１２の上面から放熱しやすくなる。
【００２５】
第１の樹脂層２１及び第２の樹脂層２２には、従来から封止樹脂として用いられている樹脂を使用することができる。例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。
エポキシ樹脂において、弾性率を変えるには、例えば、ベースのエポキシ樹脂の化学構造や分子量、もしくは、樹脂に含有させるフィラー（カーボンやシリカ等）の粒子径や含有率を変えればよい。
【００２６】
第１の樹脂層２１及び第２の樹脂層２２は、好ましくは、従来使用されていたアンダーフィルと比較して、弾性率が大きい構成とする。
【００２７】
第１の樹脂層２１及び第２の樹脂層２２は、好ましくは、トランスファーモールド法により形成された構成とする。
これにより、基板１１と半導体チップ１２との間の隙間に充填された第１の樹脂層２１において、ボイドの発生を抑制することができるので、半導体装置１０を実装基板に実装する際にハンダバンプが電気ショートすることがなくなる。
【００２８】
本実施の形態において、半導体チップ１２の構成は、特に限定されるものではなく、各種の半導体チップを使用することができる。
例えば、ＣＰＵ（中央処理装置）やＭＰＵ（マイクロプロセッサ）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の半導体チップを使用することができる。
【００２９】
本実施の形態において、基板１１の構成は特に限定されない。
特に、コア材を含まないコアレス基板の場合には、基板１１が柔らかく反りやすいので、第１の樹脂層２１及び第２の樹脂層２２を基板１１上に形成することによって、基板１１を補強して、反りを抑制することが有効である。
【００３０】
本実施の形態の半導体装置１０は、例えば、以下に説明するようにして、製造することができる。
【００３１】
まず、図２に示すように、基板１１の表面の電極パッドに、半導体チップ１２の下面のハンダバンプ１３を接続して、基板１１上に半導体チップ１２を実装する。
【００３２】
次に、トランスファーモールド法により、図３に示すように、基板１１上に第１の樹脂層２１を形成すると共に、基板１１と半導体チップ１２との間に第１の樹脂層２１を充填する。このとき、第１の樹脂層２１の厚さは、基板１１から半導体チップ１２の下面までの高さ以上とする。
続いて、トランスファーモールド法により、図４に示すように、半導体チップ１２の周囲の第１の樹脂層２１上に、第２の樹脂層２２を形成する。
このとき、好ましくは、第２の樹脂層２２の上面を、半導体チップ１２の上面よりも下方に位置するようにして、半導体チップ１２の上面を露出させる。
【００３３】
その後、基板１１の裏面に、ハンダボール１４を形成する。
このようにして、図１に示した半導体装置１０を製造することができる。
【００３４】
上述の本実施の形態の半導体装置１０の構成によれば、基板１１上に、下層の第１の樹脂層２１と上層の第２の樹脂層２２とを積層した構成として、第１の樹脂層２１を基板１１と半導体チップ１２との間の隙間にも充填している。そして、上層の第２の樹脂層２２は、下層の第１の樹脂層２１よりも、弾性率が大きい構成としている。
これにより、基板１１と半導体チップ１２との間にアンダーフィルを使用しないため、基板表面のラフネス状態やアンダーフィル塗布量等のバラツキにより、アンダーフィルが半導体チップと基板の間に浸入する際に空気を巻き込みボイドを生じることがない。
また、弾性率の小さい第１の樹脂層２１によってハンダバンプ１３に発生する応力を低減することができ、弾性率の大きい第２の樹脂層２２によって、半導体装置１０の反り量を低減することができる。
【００３５】
このように、アンダーフィル内にボイドを発生させることなく、ハンダバンプ１３に発生する応力を低減することができると共に、半導体装置１０の反り量を低減することができる。これにより、ハンダバンプ１３の接続信頼性と基板１１への２次実装信頼性とを向上することができる。
【００３６】
＜２．第２の実施の形態＞
本発明の半導体装置の第２の実施の形態の概略構成図（断面図）を、図５に示す。
この半導体装置２０は、基板１１上に接続された半導体チップ１２の上に、半導体チップ１２を冷却するための冷却部材１７が設けられている。
冷却部材１７と、半導体チップ１２の周囲の第２の樹脂層２２との間は、接着剤１５により接続されている。
また、冷却部材１７と半導体チップ１２の上面との間は、熱インターフェース材料層１６により接続されている。
【００３７】
冷却部材１７としては、従来から公知の各種冷却部材を使用することができる。
例えば、金属製ヒートシンク、水冷式ヒートシンク、ペルチェ素子、等が挙げられる。
【００３８】
熱インターフェース材料層１６に使用される材料は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シアネートエステル系樹脂、フェノール樹脂、ナフタレン系樹脂のいずれかの樹脂を主成分として、この主成分に、Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｌ，Ａｕ，Ｍｏ，Ｗ等の元素や、ダイヤモンド、アルミナ、ＡｌＮ、ムライト、ＢＮ、ＳｉＣ等のセラミック材料を含有するものが挙げられる。
【００３９】
その他の構成は、第１の実施の形態の半導体装置１０と同様であるので、重複説明を省略する。
【００４０】
上述の本実施の形態の半導体装置２０の構成によれば、第１の実施の形態の半導体装置１０と同様に、下層の第１の樹脂層２１と上層の第２の樹脂層２２とを積層し、第１の樹脂層２１を基板１１と半導体チップ１２との間の隙間にも充填している。そして、上層の第２の樹脂層２２は、下層の第１の樹脂層２１よりも、弾性率が大きい構成としている。
【００４１】
これにより、基板１１と半導体チップ１２との間にアンダーフィルを使用しないため、基板表面のラフネス状態やアンダーフィル塗布量等のバラツキにより、アンダーフィルが半導体チップと基板の間に浸入する際に空気を巻き込みボイドを生じることがない。
また、弾性率の小さい第１の樹脂層２１によってハンダバンプ１３に発生する応力を低減することができ、弾性率の大きい第２の樹脂層２２によって、半導体装置１０の反り量を低減することができる。
従って、ハンダバンプ１３の接続信頼性と基板１１への２次実装信頼性とを向上することができる。
【００４２】
また、本実施の形態の半導体装置２０の構成によれば、半導体チップ１２の上面は第２の樹脂層２２には覆われておらず、熱インターフェース材料層１６を介して、冷却部材１７に接続されている。
これにより、半導体チップ１２の熱を、冷却部材１７で効率良く冷却することができる。
【００４３】
＜３．変形例＞
上述した各実施の形態では、半導体チップ１２よりも外側の基板１１上には、第１の樹脂層２１及び第２の樹脂層２２のみが形成されていた。
これに対して、半導体チップ１２よりも外側の部分の基板１１上に、さらに、キャパシタやレジスタ等の受動素子を設けて、この受動素子を第１の樹脂層２１及び第２の樹脂層で覆う構成としてもよい。
本発明の半導体装置によれば、半導体装置の反り量を低減することができるため、これら受動素子の実装信頼性をも向上することができ、コアレス基板を用いても十分な実装信頼性を確保することが可能になる。
【００４４】
図５に示した第２の実施の形態では、半導体チップ１２の上に熱インターフェース材料層１６を介して冷却部材１７を接続していた。
本発明では、冷却部材を設ける場合の構成は、図５に示した構成に限定されるものではなく、その他の構成も可能である。例えば、半導体チップ上に、ヒートスプレッダを介して、ヒートシンクを接続する構成も可能である。冷却部材の大きさは、半導体チップ全面を冷却できれば良いので、半導体チップの上面と同程度以上であればよい。冷却部材の形状は、図５の平板状の他に、フィン等の突出部が設けられた構成としてもよい。
【００４５】
上述の各実施の形態では、基板１１と半導体チップ１２とを、ハンダバンプ１３を用いてフリップチップ接続していたが、本発明において、基板と半導体チップとの接続は、その他の構成とすることも可能である。
例えば、Ａｕ−ＡｕスタッドバンプやＡｕ−はんだ接続を用いることや、フリップチップ接続以外の接続方法とすることも可能である。
少なくとも、基板と半導体チップとの間に、第１の樹脂層を充填することが可能な構成であれば、本発明を適用することができる。
【００４６】
＜４．シミュレーション＞
シミュレーションを用いて、本発明の半導体装置の構成と、従来の半導体装置の構成とで、特性を比較した。
基板上に半導体チップが接続され、基板と半導体チップとの間を、第１の樹脂（従来の構成の場合はアンダーフィル）として、基板の半導体チップよりも外側の部分に、キャパシタ等の受動素子が接続されたモデルを用いて、シミュレーションを行った。
そして、シミュレーションを行って、基板に接続されたハンダバンプに発生する応力と、半導体装置全体の反り量とを、それぞれ求めた。
第１の樹脂、第２の樹脂、アンダーフィルの特性は、表１に示すように設定した。
第１の樹脂のガラス転移温度Ｔｇ以下の弾性率は、表２に示すように、値を変えた５つの例を設定した。
【００４７】
【表１】
0005617548.tif 000002
【表２】
0005617548.tif 000003
【００４８】
シミュレーションを行った結果として、第１の樹脂の弾性率と、ハンダバンプの応力及び反り量との関係を、図６に示す。
従来の半導体装置の構成については、ハンダバンプに発生する応力を白抜き三角で示し、反り量を白抜き丸で示している。
本発明の半導体装置の構成については、ハンダバンプに発生する応力を黒三角で示し、反り量を黒丸で示した。
【００４９】
図６に示す結果より、本発明の半導体装置のハンダバンプに発生する応力と反り量が従来の半導体装置に比べ小さく信頼性が向上することがわかる。
また、第１の樹脂の弾性率が第２の樹脂の弾性率よりも大きい場合には、反り量の改善効果が小さくなることがわかる。
【００５０】
さらに、この条件では、第１の樹脂の弾性率を５００ｋｇｆ／ｍｍ２以上にすれば、ハンダバンプにかかる応力を十分に小さくできることがわかる。
そして、反り量も考慮すると、応力と反り量を共に十分に小さくできる、第１の樹脂の弾性率の範囲は、８００〜１５００ｋｇｆ／ｍｍ２程度と考えられる。
【００５１】
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【符号の説明】
【００５２】
１０，２０  半導体装置、１１  基板、１２  半導体チップ、１３  ハンダバンプ、１４  ハンダボール、１６  熱インターフェース材料層、１７  冷却部材、２１  第１の樹脂層、２２  第２の樹脂層
【図１】
0005617548.tif 000004
【図２】
0005617548.tif 000005
【図３】
0005617548.tif 000006
【図４】
0005617548.tif 000007
【図５】
0005617548.tif 000008
【図６】
0005617548.tif 000009
【図７】
0005617548.tif 000010