(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも搬送物と接する部分が、ゴム部材であり、前記ゴム部材が、有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム１００質量部当たり、ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ2／ｇである導電性カーボンブラックが３から２０質量部、有機過酸化物が０．７質量部以上３質量部以下、多官能性不飽和化合物が１質量部以上５質量部以下を含有するゴム組成物を架橋してなるゴム部材であることを特徴とする搬送ローラ。
【請求項２】
前記ゴム部材が接地されることを特徴とする請求項１に記載の搬送ローラ。
【請求項３】
前記搬送物がフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送ローラ。
【請求項４】
フラットパネルディスプレイ製造工程のドライ工程で用いることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送ローラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゴム組成物、およびそれを用いてなるゴム部材、搬送ローラに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に使用されるガラス基板は、その製造工程において、工程内及び工程間を搬送ローラによって搬送されるローラ搬送方式の装置を使用する場合がある。例えば、液晶ディスプレイの製造工程では、基板の受け入れ検査、洗浄、成膜、露光、現像、エッチング、レジスト剥離、検査等の工程を繰り返して薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルタを形成するが、各工程内及び工程間はローラ搬送方式の装置でガラス基板を搬送することが多い。本発明において、洗浄工程など薬液がかかる工程をウエット工程、薬液のかからない工程をドライ工程と言う。
【０００３】
前記搬送ローラは、例えば、円筒状の回転軸にゴムからなるＯリングを取り付けた構造である。複数本列設された前記搬送ローラにガラス基板を載架し、前記搬送ローラを回動することにより、前記ガラス基板を搬送する。前記搬送ローラを備えた設備の一例として、特許文献１には、ゴムからなるＯリングが取り付けられたローラを用いてガラス基板を搬送する搬送装置を備えた洗浄設備が開示されている。
【０００４】
搬送ローラを備えた設備において、ガラス基板に粉塵微粒子（パーティクル）が付着するという問題がある。前記パーティクルの付着要因としては、搬送ローラが前記ガラス基板との摩擦やガラス基板のエッジ部と接触したことにより生じた摩耗粉の付着、搬送ローラに堆積した汚れのガラス基板への転写等がある。
【０００５】
例えば、特許文献２には、搬送ローラにガラス基板エッジ部が接触することによる前記搬送ローラの損傷により生じた摩耗粉の発塵や、基板裏面に前記摩耗粉が転写するという問題があり、ウエット処理エリア（本発明でいうウエット工程）の搬送ローラを円筒ローラ（ローラ外層は、例えばウレタンゴムのような弾性体）とし、ドライエリア（本発明でいうドライ工程）の搬送ローラを円板ローラ（例えば鋳造された金属や、射出成形されたプラスチック（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等））として、基板のエッジ部が搬送ローラに接触することを防止したことにより、搬送ローラの損傷が少なくなり、基板
裏面への汚れの転写が低減できたことが開示されている。
【０００６】
特許文献３には、Ｏリングのパーティングラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置にあること、及び前記Ｏリングが非金属元素よりなることを特徴とする搬送ローラが開示されており、前記搬送ローラによると、Ｏリングのパーティングラインに溜まったパーティクルがガラス基盤や半導体ウェハー等の搬送物へ付着せず、Ｏリングが摩耗しても金属が表面に析出しないため、パーティングラインに溜まったパーティクルとＯリングの摩耗粉等が、搬送物へのパーティクル付着の要因とならないとされている。
【０００７】
搬送ローラに用いるゴム部材としては、特許文献４には、耐プラズマ性を考慮したＯリングとして、フッ素含率が６８質量％以上の過酸化物架橋可能なフッ素ゴム１００質量部当り、多官能性不飽和化合物０．７〜２．４質量部及び有機過酸化物０．３〜１．０質量部を含有したフッ素ゴム組成物が開示されており、前記フッ素ゴム組成物から得られる加硫成形品は、耐プラズマ性が良好であり、シールとして必要な常態物性値及び圧縮永久ひずみ値を示しており、半導体製造装置や液晶製造装置の部品、例えばシールや搬送ローラ等の用途に好適に用いることができるとされている。
【０００８】
また、特許文献５には、金属製車軸と、該金属製車軸に固定された樹脂製ホイールと、該樹脂製ホイールの外周縁に被覆された滑り止めリングを備えた帯電防止搬送ローラであって、上記滑り止めリングと金属製車軸とが導線などの導電手段によって導通されている帯電防止搬送ローラが開示されており、搬送ローラで搬送される電子基板等搬送体への静電気の帯電を防止するとともに、搬送ローラの製造コスト及び維持管理コストの低減を実現できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−２６２６２６号公報
【特許文献２】特開２００３−１２４２８５号公報
【特許文献３】特開２００４−２７７０９６号公報
【特許文献４】特開２００８−０５６７３９号公報
【特許文献５】特開２００４−３３８９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１から５の搬送ローラには次のような問題がある。すなわち、特許文献１から５の搬送ローラにおいて、ガラス基板の搬送に伴い、前記ガラス基板面との接触により前記搬送ローラのゴム部材、弾性体又は滑り止めリングが、多少なりとも摩耗することは避けられず、摩耗により生じた摩耗粉がガラス基板へ粘着する問題がある。
【００１１】
特許文献２は、ドライ工程の搬送ローラに金属又はプラスチック製の円板ローラが使用されている。しかしながら、金属又はプラスチック製の円板ローラのみの搬送ローラで搬送すると、搬送物であるガラス基板が滑り搬送ローラが空転する虞が有る。このため、通常、金属又はプラスチック製の円板ローラを搬送ローラに用いる場合、ゴム製の補助ローラを円板ローラに併走して、搬送ローラの空転を防止する。しかしながら、ガラス基板の搬送によりゴム製の補助ローラから生じる摩耗粉が、搬送物であるガラス基板に粘着する虞がある。
【００１２】
また、近年のガラス基板の大型化、各処理の短時間化に伴い、ガラス基板の搬送時に搬送ローラにかかる応力が大きくなっている。このため、搬送ローラにおいて、搬送物と接する部分のゴム部材の引張応力緩和特性が抑制されていない場合、稼動後早期に前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラにおいて、前記ゴム部材とローラ本体の間で滑りが生じ、前記ローラ本体が空転するため搬送不良となる。さらに前記ローラ本体が空転することにより、前記ローラ本体と前記ゴム部材の摩擦により前記ゴム部材が摩耗し、摩耗粉が発生するなどの不具合が生じる虞がある。
【００１３】
また、ドライ工程においてガラス基板が搬送ローラによって搬送される際に、ガラス基板と搬送ローラの摩擦や、ガラス基板の搬送ローラからの剥離により静電気が生じる。これらの静電気は、ガラス基板の搬送中に、ガラス基板表面に蓄積されて帯電する。このように静電気が帯電したガラス基板が導電性材料部材と接触すると、ガラス基板に帯電した電荷が導電性部材へ流れる。この電荷の移動により、ガラス基板上に載置した素子が破壊されるといったＥＳＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ：静電気放電）現象による問題が有る。
【００１４】
本発明は、上述した問題点に着目し、搬送物と接触する部分に用いる搬送ローラ用ゴム部材であり、ガラス基板を搬送する際に生じる摩耗粉の、搬送物であるガラス基板への粘着、前記ゴム部材の引張応力緩和による搬送不良、ならびにＥＳＤ現象を低減したゴム部材のためのゴム組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の特徴は以下のとおりである。
〔１〕少なくとも搬送物と接する部分が、ゴム部材であり、前記ゴム部材が、有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム１００質量部当たり、ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ2／ｇである導電性カーボンブラックが３から２０質量部、有機過酸化物が０．７質量部以上３質量部以下、多官能性不飽和化合物が１質量部以上５質量部以下を含有するゴム組成物を架橋してなるゴム部材であることを特徴とする搬送ローラ。
〔２〕前記ゴム部材が接地されることを特徴とする上記〔１〕に記載の搬送ローラ。
〔３〕前記搬送物がフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする上記〔１〕又は〔２〕に記載の搬送ローラ。
〔４〕フラットパネルディスプレイ製造工程のドライ工程で用いることを特徴とする上記〔１〕から〔３〕のいずれか一つに記載の搬送ローラ。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、搬送物と接触する部分に用いる搬送ローラ用ゴム部材であり、ガラス基板を搬送する際に生じる摩耗粉が、搬送物であるガラス基板に粘着しにくいゴム部材のためのゴム組成物が提供される。これにより、搬送ローラから生じる摩耗粉によるガラス基板の汚染を低減することが可能となる。また、本発明により、搬送装置で用いる搬送ローラについて、搬送物と接触する部分に用いる搬送ローラ用ゴム部材であり、稼動後早期に緊迫力が低下しにくいゴム部材のためのゴム組成物が提供される。これにより、長期にわたり、搬送ローラのローラ本体の空転がないため、長期にわたり搬送効率を維持することができる。また、前記空転により、前記ローラ本体と前記ゴム部材とが摩擦し、前記ゴム部材が摩耗して生じる摩耗粉の発生を抑えることが出来る。さらにＥＳＤ現象を低減したゴム部材のためのゴム組成物が提供される。これにより、搬送時のガラス基板の帯電を防ぐことができ、搬送するガラス基板に載置した素子の破壊を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態の一つである搬送ローラの断面図である。
【図２】本発明の実施形態の一つである搬送ローラの説明図である。
【図３】本発明の他の実施形態の一つである搬送ローラの断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態の一つである搬送ローラの説明図である。
【図５】摩耗粉の粘着性の試験を行うための摩耗試験装置の斜視図である。
【図６】Ｏリングホルダーに試験用Ｏリングを嵌挿したものであり、（ａ）その平面図と（ｂ）ｘ−ｘ’矢視の断面正面図と（ｃ）ｙ-ｙ’ 矢視の断面側面図と（ｄ）あり溝の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。本発明に用いるビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（三元ＦＫＭ系共重合ゴム）は、過酸化物架橋が可能な三元ＦＫＭ系共重合ゴムであり、例えば、ビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合ゴム（三元ＦＫＭ共重合ゴム）に反応性ハロゲン基（例えば、臭化オレフィン、ヨウ化オレフィン等）等の有機過酸化物架橋性基を導入した三元ＦＫＭ系共重合ゴムが挙げられる。
【００１９】
本発明に用いる三元ＦＫＭ系共重合ゴム中のフッ素含有率は特に特定しないが、好ましくは６７質量％から７２質量％、更に好ましくは６７質量％から７１質量％である。前記フッ素含有率が６７質量％から７２質量％であると、搬送ローラに用いるゴム部材として最適な引張応力緩和特性が得られるため好ましく、７２質量％以下であるとゴム組成物中での多官能性不飽和化合物の分散が良好であるため好ましく、６７質量％から７１質量％であると商業的に入手が容易であるため好ましい。
【００２０】
本発明に好適な三元ＦＫＭ系共重合ゴムは、ダイエルＧ−９１２（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０６２（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０７４（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０１（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９０２（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９５０３（ダイキン工業社製）、ダイエルＧ−９５２（ダイキン工業社製）、バイトンＧＦ−６００Ｓ（デュポンエラストマー社製）、テクノフロンＰ９５９（ソルベイソレクシス社製）、テクノフロンＰ４５９（ソルベイ ソレクシス社製）、テクノフロンＰ７５７（ソルベイソレクシス社製）又はテクノフロンＰ４５７（ソルベイソレクシス社製）、テクノフロンＰ９５９／３０Ｍ（ソルベイソレクシス社製）等として商業的に入手しても良い。これらの三元ＦＫＭ系共重合ゴムは、一種又は二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２１】
本発明に用いる導電性カーボンブラックは、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり３〜２０質量部である。前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記導電性カーボンブラックが３質量部未満であると、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送する際に生じるゴム部材の摩耗粉の粘着性が大きくなり、前記摩耗粉がガラス基板に粘着し、ガラス基板から摩耗粉を取り除きにくくなる。また、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記導電性カーボンブラックが３質量部未満であると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなる。搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触するゴム部材の体積抵抗率が大きくなると、搬送したガラス基板上に静電気が帯電して、ガラス基板上の素子がＥＳＤ現象により破壊する虞が生じるため問題である。
【００２２】
前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記導電性カーボンブラックが２０質量部を超えると、本発明のゴム組成物の混練時の発熱が大きくなる。前記発熱が大きくなるとスコーチが発生する虞がある。また得られるゴム組成物を成形する際、配合組成に起因すると思われる融合不良等が発生するなど成形性が低下する。
【００２３】
本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＪＩＳ  Ｋ  ６２１７−４におけるＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ３／１００ｇである。前記導電性カーボンブラックのＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ３／１００ｇ未満であると、得られるゴム部材は、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触するゴム部材に求められる硬さ及び体積抵抗率を両立できない。すなわち、前記導電性カーボンブラックのＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ３／１００ｇ未満であると、得られるゴム部材を、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な硬さに調整すると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなる。前記ゴム部材の体積抵抗率が大きいと、得られる搬送ローラで搬送したガラス基板上に静電気が帯電して、前記ガラス基板上の素子がＥＳＤ現象により破壊する虞がある。また、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な体積抵抗率に調整すると、得られるゴム部材の硬さが硬くなる。前記ゴム部材の硬さが硬いと、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送した場合、搬送物が滑ることにより搬送ローラが空転する虞がある。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ３／１００ｇ以上であり、好ましくは３４０ｃｍ３／１００ｇ以上である。
【００２４】
また、前記導電性カーボンブラックのＤＢＰ吸油量が６００ｍ３／１００ｇを超えると、得られるゴム部材は混練加工性および成形性が低下する。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＤＢＰ吸油量が６００ｃｍ３／１００ｇ以下であり、好ましくは５５０ｃｍ３／１００ｇ以下である。
【００２５】
また、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、ＪＩＳ  Ｋ  ６２１７−２における窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ2／ｇである。窒素吸着比表面積が７００ｍ2／ｇ未満であると、得られるゴム部材は、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触するゴム部材に求められる硬さ及び体積抵抗率を両立できない。すなわち、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が７００ｍ2／ｇ未満であると、得られるゴム部材を、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な硬さに調整すると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなる。前記ゴム部材の体積抵抗率が大きいと、得られる搬送ローラで搬送したガラス基板上に静電気が帯電して、前記ガラス基板上の素子がＥＳＤ現象により破壊する虞がある。また、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板に接触するゴム部材として好適な体積抵抗率に調整すると、得られるゴム部材の硬さが硬くなる。前記ゴム部材の硬さが硬いと、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送した場合、搬送物が滑ることにより搬送ローラが空転する虞がある。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、窒素吸着比表面積が７００ｍ2／ｇ以上であり、好ましくは７５０ｍ2／ｇ以上である。
【００２６】
また、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が１４００ｍ2／ｇを超えると、得られるゴム部材は引張応力緩和が大きくなり、混練加工性および成形性が低下する。このため、本発明に用いる導電性カーボンブラックは、窒素吸着比表面積が１４００ｍ2／ｇ以下であり、好ましくは１３５０ｍ2／ｇ以下である。
【００２７】
本発明に用いる導電性カーボンブラックの平均粒子径（一次粒子径）は特に限定されるものではないが、引張応力緩和特性、混練加工性および成形性の点から、好ましくは２０〜７０ｎｍ、より好ましくは３０〜５０ｎｍである。なお、前記平均粒子径は、透過型電子顕微鏡により、無作為に選択した１０００個のカーボンブラック粒子の粒子径を計測し、算術平均を求めたものである。
【００２８】
本発明に用いる導電性カーボンブラックの粒子の構造に特に限定はなく、充填形状でもよく、中空シェル状の形状でもよいが、少ない導電性カーボンブラックの添加量で高い体積抵抗値のゴム部材が得られることから、中空シェル状の形状が好ましい。
【００２９】
本発明に好適な導電性カーボンブラックは、例えば、ケッチェンブラックＥＣ３００Ｊ、ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ（いずれもケッチェンブラックインターナショナル社製）として商業的に入手することが出来る。
【００３０】
本発明に用いる有機過酸化物の配合量は、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり０．７〜３質量部である。前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記有機過酸化物が０．７質量部未満であると、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送する際に生じるゴム部材の摩耗粉の粘着性が大きくなり、前記摩耗粉がガラス基板に粘着し、ガラス基板から摩耗粉を取り除きにくくなる。くわえて、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記有機過酸化物が０．７質量部未満であると、得られるゴム部材の引張応力緩和が大きくなる。前記ゴム部材の引張応力緩和が大きくなると、前記ゴム部材を搬送ローラにおいて搬送物と接触する部分のゴム部材として長期にわたり使用した際に、前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラの軸心であるローラシャフトおよびローラ本体の回転に前記ゴム部材の回転が追従しなくなり、前記ローラ本体が空転して搬送不良となる虞がある。このように、ゴム部材から生じる摩耗粉の粘着性や、ゴム部材の引張応力緩和特性の点で、本発明に用いる有機過酸化物の配合量は、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり０．７質量部以上であり、１．０質量部以上が好ましく、１．２質量部以上がより好ましい。
【００３１】
本発明に用いる有機過酸化物の配合量が、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり３質量部を超えると、本発明のゴム組成物の架橋速度が速くなり、前記ゴム組成物の混練中や成形中にスコーチが発生する等の成形性が低下する。このため、本発明に用いる有機過酸化物の配合量は、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記有機過酸化物は３質量部以下であり、２質量部以下が好ましい。
【００３２】
本発明に用いる有機過酸化物として、ｏ−メチルベンゾイルパーオキサイド、ビス（３，５，５−トリメチルヘキサノイル）パーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ジクミルパーオキサイド、１，３−ビス（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）−ヘキシン−３、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン又はジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等が例示され、一種又は二種以上を組み合わせて用いることができる。なかでも、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサンが、本発明のゴム部材から生じる前記摩耗粉の粘着性、本発明のゴム部材の引張応力緩和特性、本発明のゴム組成物の成形性の点で好適である。
【００３３】
本発明に用いる多官能性不飽和化合物の配合量は前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり１〜５質量部である。前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり本発明に用いる多官能性不飽和化合物が１質量部未満であると、得られる搬送ローラでガラス基板を搬送する際に生じるゴム部材の摩耗粉の粘着性が大きくなり、前記摩耗粉がガラス基板に粘着し、ガラス基板から摩耗粉を取り除きにくくなる。くわえて、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物が１質量部未満であると、得られるゴム部材の引張応力緩和が大きくなる。前記ゴム部材の引張応力緩和が大きくなると、前記ゴム部材を搬送ローラにおいて搬送物と接触する部分のゴム部材として長期にわたり使用した際に、前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラにおいて、ローラシャフトおよびローラ本体の回転に前記ゴム部材の回転が追従しなくなり、前記ローラ本体が空転して搬送不良となり、さらに前記ローラ本体が空転することにより、前記ローラ本体と前記ゴム部材の摩擦により前記ゴム部材が摩耗し、摩耗粉が発生するなどの不具合が生じる虞がある。このように、ゴム部材から生じる摩耗粉の粘着性や、ゴム部材の引張応力緩和特性の点で、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物は１質量部以上であり、１．５質量部以上が好ましい。また、本発明のゴム組成物の架橋反応をより好適に促進することから、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物は２質量部以上がより好ましい。
【００３４】
本発明に用いる多官能性不飽和化合物の配合量が、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり５質量部を越えると、得られるゴム部材の表面に前記多官能性不飽和化合物の重合物が析出して成形不良が発生する等、成形性が低下する。このことから、本発明のゴム組成物において好適な成形性を得るためには、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たり前記多官能性不飽和化合物は５質量部以下であり、４質量部以下が好ましい。
【００３５】
前記多官能性不飽和化合物として、キノンジオキシム系（ｐ−キノンジオキシム等）、メタアクリレート系（トリエチレングリコールジメタアクリレート、メチルメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート等）、アリル系（ジアリルフタレート、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルトリメリテート等）、マレイミド系（マレイミド、フェニルマレイミド、Ｎ，Ｎ´−ｍ−フェニレンビスマレイミド等）、無水マレイン酸、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン又は１，２-ポリブタジエン等が例示され、一種又は二種以上を組み合わせて用いることができる。なかでも、トリアリルイソシアヌレートが、本発明のゴム部材から生じる前記摩耗粉の粘着性、本発明のゴム部材の引張応力緩和特性、本発明のゴム組成物の成形性の点で好適である。
【００３６】
本発明のゴム組成物には、例えば、老化防止剤（例えば、アミン系、フェノール系、イミダゾール系）、可塑剤（例えば、アジピン酸系可塑剤（ジオクチルアジペート等）、セバシン酸系可塑剤（セバシン酸ジオクチル等）、トリメリット酸系可塑剤（トリメリテート等）、重合型可塑剤（例えば、ポリエーテル若しくはポリエステル等の重合型可塑剤）等）又は加工助剤（例えば、ステアリン酸、パルミチン酸、パラフィンワックス等）等ゴム工業で一般的に使用されている配合剤を必要に応じて適宜添加することができる。なお、各配合剤の添加量は特に限定せず、本発明の目的を損なわない範囲で必要に応じて適宜設定することができる。
【００３７】
本発明のゴム組成物を、従来公知のインタミックス、ニーダ、バンバリーミキサ等の混練機、オープンロール又は二軸混練押出機等を用いて混練した後、射出成形機、圧縮成形機、加熱プレス機又は押出成形機等を用いて所望の形状に架橋成形して前記ゴム部材を得ることができる。前記架橋成形において、例えば１４０℃〜２００℃で２分間〜３０分間の一次架橋を施した後、必要に応じて１５０℃〜２３０℃で１時間〜２４時間の二次架橋を施すというような条件で架橋を行うことが好ましい。二次架橋を施すことで、一次架橋のみの場合のゴム部材と比較して、前記ゴム部材を搬送ローラのゴム部材とした場合に前記ゴム部材から発塵する摩耗粉の搬送物である前記ガラス基板への付着量を低減でき、また前記ゴム部材の引張応力緩和を小さくすることができる。
【００３８】
本発明のゴム部材は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３に準拠して評価した、デュロメータ硬さ（瞬間値）がＡ５５〜Ａ９０である。この範囲の硬さは、搬送ローラにおいて搬送物であるガラス基板と接触する部分に用いるゴム部材として好適な硬さである。前記搬送ローラがガラス基板を搬送するためのグリップ力が向上し、前記搬送ローラの搬送効率が向上することから、本発明のゴム部材のデュロメータ硬さ（瞬間値）はＡ６５〜Ａ８０であることが好ましい。例えば、前記三元ＦＫＭ系共重合ゴム１００質量部当たりの前記導電性カーボンブラックの配合量が、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が７００〜９００ｍ2／ｇの場合５〜１０質量部であり、前記導電性カーボンブラックの窒素吸着比表面積が１２００〜１４００ｍ2／ｇの場合３〜７．５質量部であると、得られるゴム部材のデュロメータ硬さがＡ６５〜Ａ８０となる。
【００３９】
また、本発明のゴム部材は、体積抵抗率が１．０×１００〜１．０×１０５Ω・ｃｍである。このため、本発明のゴム部材に対して、他の部材が摩擦、あるいは接触して剥離することにより前記の他の部材が帯電することを防ぐことができる。このことから、ＥＳＤ現象を低減する必要がある部分に用いるゴム部材として好適である。例えば、素子を載置したガラス基板を搬送するための搬送ローラに用いるゴム部材のうち、搬送物であるガラス基板と接する部分のゴム部材に、本発明のゴム部材は好適である。
【００４０】
搬送ローラにおいて、搬送物であるガラス基板と接触する部分のゴム部材は、複数の搬送物を連続して搬送するため引張応力を連続的に受ける。このことにより、前記ゴム部材に引張応力緩和が生じる。前記引張応力緩和が大きいと、稼動後早期に前記ゴム部材の緊迫力が低下し、前記搬送ローラにおいて、前記ゴム部材とローラ本体の間で滑りが生じ、前記ローラ本体が空転して搬送不良となる傾向にある。さらに前記ローラ本体が空転することにより、前記ローラ本体と前記ゴム部材の摩擦により前記ゴム部材が摩耗し、摩耗粉が発生するなどの不具合が生じる虞がある。しかしながら、本発明の搬送ローラは、引張応力緩和が小さいため、前記空転が生じにくく、前記空転による摩耗粉が発生し難く、良好な搬送特性を長期に渡り維持できる。なお、本発明のゴム部材の引張応力緩和測定値は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２６３（引張応力緩和試験Ａ法）に準拠して、試験片は短冊１号形とし、試験温度４０℃、試験時間３０分、試験ひずみ２０％の条件下において、１０％以下である。
【００４１】
また、本発明の搬送ローラにおいて、ガラス基板搬送時に、搬送物であるガラス基板と前記ガラス基板と接触する部分のゴム部材との摩擦や剥離によってガラス基板に帯電した静電気を効率よく逃すためには、ゴム部材は接地（アース）されていることが望ましい。接地の方法は特に制限は無いが、ゴム部材を導電性の樹脂や金属等の導電部材でできた溝等を介してローラシャフトに固定して接地するなどの方法が考えられる。
【００４２】
本発明のゴム部材の形状は特に限定されず、Ｏリング、Ｄリング、角リング、Ｘリング、Ｔリング等のリング形状又はシート形状等や、金属材料や樹脂材料と接着等で組み合わせた複合体等その目的に応じて適宜選ばれる。本発明のゴム部材の大きさも特に限定はなく、目的に応じ適宜選ばれる。
【００４３】
本発明の搬送ローラは少なくとも搬送物と接する部分が本発明のゴム部材であり、例えば、中心軸を回転軸とした円筒状で前記円筒の側面に本発明のゴム部材を被覆した搬送ローラや、周方向に溝を設けた円筒状もしくは円盤状のローラ本体に前記溝に適合する形状とした本発明のゴム部材を設置した搬送ローラが挙げられる。前記搬送ローラをガラス基板搬送装置などの搬送装置に少なくとも一式設置し、ガラス基板などの搬送物を搬送する。
【００４４】
例えば、図１、２に示すように、ガラス基板Ｋの下面Ｋｂ側に、ガラス基板Ｋの搬送方向Ｙに並設された複数本のローラシャフト３と、ローラシャフト３に外嵌されガラス基板Ｋを下面Ｋｂ側から支持しつつ送り出し搬送するための複数のローラ本体１と、ローラ本体１の凹周溝１１に装着される本発明のゴム部材８と、を備える搬送ユニットが例示される。図１、２においてゴム部材８の形状はＯリングであるが、角リング、異形リングなど他の断面形状の円環状（リング状）としても良い。
【００４５】
また、図３、４に示すように、ガラス基板Ｋの上下両側に、ガラス基板Ｋの搬送方向Ｙに並設された複数本のローラシャフト３と、ローラシャフト３に外嵌されガラス基板Ｋを上下方向から挟圧しつつ搬送する複数対のローラ本体１と、本発明のゴム部材８と、を備えている。ここで、図３、４でゴム部材８の形状はＯリングであるが、角リング、異形リングなど他の断面形状の円環状（リング状）としても良い。
【００４６】
図３、４において、上側のローラ本体１（１Ａ）及び上側のゴム部材８（８Ａ）と、その上側のローラ本体１Ａ及び上側のゴム部材８Ａに対してガラス基板Ｋを挟んで対面位置に配設された下側のローラ本体１（１Ｂ）及び下側のゴム部材８（８Ｂ）は、前後方向及び左右方向が一致するように配設している。つまり、上側のゴム部材８Ａの左右中心線Ｓａと下側のゴム部材８Ｂの左右中心線Ｓｂとが一致するよう（同一直線上）に配設し、かつ、上側のゴム部材８Ａの前後中心線と下側のゴム部材８Ｂの前後中心線とが一致するように配設している。なお、本発明において、前方向とは、ガラス基板Ｋの進行方向Ｙで
ある。
【００４７】
図３、４に示すように、上下方向からゴム部材８をガラス基板Ｋに接触させつつ送り出し搬送することで、ガラス基板Ｋの水平度が保持され、安定した搬送を可能にする。また、上側のゴム部材８（８Ａ）と下側のゴム部材８（８Ｂ）が、前後方向及び左右方向が一致するように配設することで、ゴム部材の位置ずれによりガラス基板Ｋに生じる割れやヒビ等の破損を防止する。このことから、上下方向からゴム部材８をガラス基板Ｋに接触させつつ送り出し搬送することが好ましい。
【００４８】
本発明の搬送ローラは、ガラス基板を搬送した際に、搬送ローラのゴム部材から発塵する摩耗粉がガラス基板に極めて粘着し難いことに加え、前記ゴム部材の引張応力緩和が小さいことから搬送不良が起こりにくく、前記ガラス基板と接する部分にＥＳＤ現象を低減したゴム部材を用いることから、例えばフラットパネルディスプレイ製造装置に使用するガラス基板搬送用の搬送ローラとして、好適に使用でき、ＥＳＤ現象を低減している観点から、フラットパネルディスプレイ製造工程のドライ工程に使用する、ガラス基板搬送用の搬送ローラとして、特に好適に使用できる。
【実施例】
【００４９】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、実施例等で使用した材料およびその略号は以下のとおりである。
【００５０】
有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴムとしては、
・Ａ-１：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率７１質量％）：ダイエルＧ−９１２（ダイキン工業社製）
・Ａ−２：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率７０質量％）：テクノフロンＰ９５９（ソルベイソレクシス社製）
・Ａ−３：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率６７質量％）：テクノフロンＰ７５７（ソルベイソレクシス社製）
【００５１】
有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴムとの比較として以下Ａ’−１およびＡ’−２の成分を用いた。
・Ａ’−１：有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率６６質量％）：ダイエルＧ−８０１（ダイキン工業社製）
・Ａ’−２：ポリオール架橋可能なビニリデンフロライド−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴム（共重合ゴム中のフッ素含有率６６質量％）：ダイエルＧ−７０２（ダイキン工業社製）
【００５２】
ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ2／ｇである導電性カーボンブラックとしては、
・Ｂ−１：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量３６０ｃｍ３／１００ｇ、窒素吸着比表面積８００ｍ2／ｇ、平均粒子径３９．５ｎｍ、中空シェル形状）：ケッチェンブラックＥＣ３００Ｊ（ケッチェンブラックインターナショナル社製）
・Ｂ−２：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量４９５ｃｍ３／１００ｇ、窒素吸着比表面積１２７０ｍ2／ｇ、平均粒子径３４．０ｎｍ、中空シェル形状）：ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ（ケッチェンブラックインターナショナル社製）
【００５３】
ＤＢＰ吸油量が３００〜６００ｃｍ３／１００ｇであり、窒素吸着比表面積が７００〜１４００ｍ2／ｇである導電性カーボンブラックの比較として、以下のＢ’−１およびＢ’−２の成分を用いた。
・Ｂ’−１：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量１５５ｃｍ３／１００ｇ、窒素吸着比表面積２２５ｍ2／ｇ、平均粒子径２５ｎｍ、充填形状）：トーカブラック＃５５００（東海カーボン社製）
・Ｂ’−２：導電性カーボンブラック（ＤＢＰ吸油量１６８ｃｍ３／１００ｇ、窒素吸着比表面積５８ｍ2／ｇ、平均粒子径４０ｎｍ、充填形状）：トーカブラック＃４５００（東海カーボン社製）
【００５４】
有機過酸化物としては、
・Ｃ−１：有機過酸化物（２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン）：パーヘキサ２５Ｂ（日油社製）
【００５５】
多官能性不飽和化合物としては、
・Ｃ−２：多官能性不飽和化合物（トリアリルイソシアヌレート）：ＴＡＩＣ（日本化成社製）
【００５６】
有機過酸化物架橋の比較として、以下のポリオール架橋用のＣ’−１、Ｃ’−２の成分を検討した添加剤としては、
・Ｃ’−１：キョウワマグ１５０（協和化学工業社製）：酸化マグネシウム（受酸剤）
・Ｃ’−２：カルディック２０００（近江化学工業社製）：水酸化カルシウム（受酸剤）
【００５７】
実施例１〜１７、比較例１、３〜１４について、表１〜４の配合に示す割合のゴム及び配合剤を、オープンロールにて混練してゴム組成物を調整した。次いで、ゴム組成物をプレス成形装置
にて１６０℃で１０分間プレス架橋した後、更に２００℃で４時間二次架橋してゴム部材を得た。なお、表１〜４の配合の単位は質量部である。
【００５８】
比較例２は、表３の配合に示す割合のゴムおよび配合剤を、オープンロールにて混練してゴム組成物を調整した。次いで、ゴム組成物を１７０℃で１０分間プレス架橋を試みた。
【００５９】
実施例１〜１７及び比較例１、３〜１４で得られたゴム部材をサンプルとして、以下の（１）〜（５）の評価を行い、それらの結果に基づいて（６）総合評価を実施した。その結果を表１〜４に示す。なお、比較例２は、プレス架橋を試みたが加硫しなかったため、（２）〜（５）の評価は実施できなかった。
【００６０】
（１）成形性
ＪＩＳ Ｂ ２４０１記載のＧ２５サイズのＯリングを２０個成形して目視で外観を確認し、多官能性不飽和化合物の重合物と思われる析出物や、スコーチによる成形不良、ゴムの融合不良等、配合組成に起因すると思われる異常が確認されたものを外観不良とし、以下の基準にて評価した。
○  ：  成形品の外観不良品が１個以下
×  ：  成形品の外観不良品が２個以上、あるいは加硫しない
【００６１】
（２）摩耗粉の粘着性
図５に示す摩耗試験装置を用いてガラス板への摩耗粉の粘着性を確認した。即ち、ＪＩＳＢ ２４０１に記載のＰ２０サイズの試験用Ｏリング１０を質量２．５ＮのＯリングホルダー１２０で把持し、試験用Ｏリング１１０と可動式架台１３０に固定したガラス板１４０（松浪硝子工業社製  大型スライドガラス）を、Ｏリングホルダー１２０の質量により圧接し、駆動装置（図示せず）によりガラス板１４０を固定した可動式架台１３０を１分間に５０回の速さで一方向（矢印で図示）に往復摺動（ストローク５０ｍｍ）させ、１００００往復後にガラス板１４０を取り出し、ガラス板１４０上に付着している摩耗粉を目視で確認し、以下の基準で評価した。
○  ：  摩耗粉は見られない、
又は摩耗粉が発生してガラス板表面に付着しているが、
１００ｃｃポリエチレン製洗浄瓶を使用して
エタノールをかけ流すと容易に除去できる。
×  ：  摩耗粉がＯリングの摺動方向に伸びて
ガラス板表面に粘着している状態が観察される、
あるいは１００ｃｃポリエチレン製洗浄瓶を使用してエタノールを
かけ流しても容易に除去できない摩耗粉が付着している。
【００６２】
なお、固定台１５０に固定したホルダー固定架台１６０の上部に設けた円孔に、Ｏリングホルダー１２０を挿着することにより、試験装置稼動中に、Ｏリングホルダー１２０が、可動式架台１３０の往復摺動に追動せず、可動式架台１３０の往復摺動方向と垂直方向には自由に運動できるようにした。この時、Ｏリングホルダー１２０とホルダー固定架台１６０は、Ｏリングホルダー挿着部Ｉで、Ｏリングホルダー１２０の前記運動に影響がない程度に近接しており、Ｏリングホルダー挿着部Ｉ以外のいずれの部位においても接触しない。
【００６３】
また、図６に示すとおり、Ｏリングホルダー２０のＯリング固定溝は、試験用Ｏリング１１０が脱落しないように、あり溝形状とした。Ｏリング固定溝のサイズは、Ｏリング固定溝中心径φ＝２２．２ｍｍ、Ｏリング固定溝開口幅ｄ＝２．２２ｍｍ、Ｏリング固定溝深さｈ＝１．８ｍｍ、あり溝角度θ＝６６．６°、あり溝底半径ｒ１＝０．２ｍｍ、あり溝開口部エッジ半径ｒ２＝０．２ｍｍとした。
【００６４】
（３）体積抵抗率
ＪＩＳ Ｋ ６２７１に準拠し、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×２ｍｍ厚さのシート状としたゴム部材について、２３℃、相対湿度５０％の条件下で測定した。なお、１.０×１０６Ω・ｃｍ以上は測定不能であったため、体積抵抗率が大きいために測定不能の場合は、１.０×１０６Ω・ｃｍ以上とする。
○  ：  体積抵抗率が１.０×１０５Ω・ｃｍ未満
×  ：  体積抵抗率が１.０×１０５Ω・ｃｍ以上
【００６５】
（４）引張応力緩和
ＪＩＳ Ｋ ６２６３引張応力緩和試験Ａに準拠し、試験片形状短冊1号形、試験温度４０℃、１００ｍｍ／ｍｉｎで２０％伸張し、３０分後の引張応力緩和を測定し、以下の基準で評価した。
○  ：  引張応力緩和が１０％以下
×  ：  引張応力緩和が１０％を超える
【００６６】
（５）硬さ
ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３に準拠し、タイプＡデュロメータによる瞬間値（加圧板を試験片に接触させた瞬間に読み取った数値）を測定し、以下の基準で評価した。
○  ：  ５５〜９０  （但し、６５〜８０を◎とした）
×  ：  ５５未満、又は９０を超える
【００６７】
（６）総合評価
前記（１）〜（５）の試験結果から、以下の基準にて評価した。
○  ：  評価（１）〜（５）において、○もしくは◎であるもの
×  ：  評価（１）〜（５）において、×が一つ以上あるもの
【００６８】
【表１】
0005642527.tif 000002
【００６９】
【表２】
0005642527.tif 000003
【００７０】
【表３】
0005642527.tif 000004
【００７１】
【表４】
0005642527.tif 000005
【００７２】
表１および２に示すように、実施例１〜１７のゴム部材は、摩耗粉の粘着性試験において、摩耗粉が見られない、又は摩耗粉が発生してガラス板表面に付着しているが容易に除去できることから、搬送ローラに用いるゴム部材として優れた性能を有している。また、実施例１〜１７のゴム部材は、体積抵抗率が１．０×１０５Ω・ｃｍ未満であることから、搬送ローラにおいて、ガラス基板と接触する部分に用いるゴム部材として用いると、ガラス基板が搬送ローラによって搬送される際に生じる静電気が、ガラス基板の搬送中に、ガラス基板表面に蓄積されずに、逐次放電される。
【００７３】
これに対し、表３および４に示すように、比較例４から、本発明の範囲の導電性カーボンブラックの配合量が２０質量部を超えると成形性が低下し、且つ高硬度となり搬送不良が生じる傾向にあるといえる。また、比較例１から、有機過酸化物架橋性基を導入したビニリデンフロライド−ヘキサフルオロプロピレン系共重合ゴムを用いると発塵した摩耗粉が搬送物へ粘着しやすい傾向にあるといえる。また、比較例３および５から、本発明の範囲の導電性カーボンブラックの配合量が５質量部未満であると発塵した摩耗粉が搬送物へ粘着しやすい傾向にあるといえる。また、比較例３および５から、本発明の範囲の導電性
カーボンブラックの配合量が５質量部未満であると、得られるゴム部材の体積抵抗率が大きくなり、ＥＳＤ現象により搬送物であるガラス基板上の素子を破壊する虞があるといえる。また、比較例７および８から、ＤＢＰ吸油量および窒素吸着比表面積が本発明の範囲を外れる導電性カーボンブラックを用いると、多量配合しても得られるゴム部材の体積抵抗率が大きいため、ＥＳＤ現象により搬送物であるガラス基板上の素子を破壊する虞があるといえる。また、比較例２から、本発明の範囲の導電性カーボンブラックはポリオール架橋反応を阻害する虞があるといえる。また、比較例９〜１４から、架橋剤である有機過酸化物や架橋助剤である多官能性不飽和化合物が少ないと摩耗粉の粘着性や引張応力緩和特性が低下する傾向にあり、前記架橋剤や前記架橋助剤が多いと成形性が低下する傾向にあるといえる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明のゴム組成物は、搬送ローラにおいて搬送物（例えばガラス板）と接する部分のゴム部材から発塵した摩耗粉の搬送物への粘着、前記ゴム部材の引張応力緩和による搬送不良、又はＥＳＤ現象、を低減する必要がある搬送ローラに用いるゴム部材のためのゴム組成物として好適に使用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１  ローラ本体
３  ローラシャフト
８  ゴム部材（Ｏリング形状）
１１  凹周溝
Ｋ  ガラス基板（搬送物）
１１０  試験用Ｏリング
１２０  Ｏリングホルダー
１３０  可動式架台
１４０  ガラス板
１５０  固定台
１６０  ホルダー固定架台
【図１】
0005642527.tif 000006
【図２】
0005642527.tif 000007
【図３】
0005642527.tif 000008
【図４】
0005642527.tif 000009
【図５】
0005642527.tif 000010
【図６】
0005642527.tif 000011