(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象板を点灯検査する検査装置であって、
前記検査対象板の電極に直接接触するプローブを有する複数のプローブ組立体と、各プローブ組立体を支持するプローブベースとを備え、
前記複数のプローブ組立体が、前記検査対象板に簡易コンタクトして簡易点灯検査を行う簡易コンタクト用プローブ組立体と、前記検査対象板にフルコンタクトして通常点灯検査を行うフルコンタクト用プローブ組立体とからなり、
前記簡易コンタクト用プローブ組立体が、前記プローブベースに固定された支柱と、当該支柱にスライド可能に支持されたスライドブロックと、当該スライドブロックに支持されると共にプローブを支持するプローブブロックと、前記検査対象板に対して前記プローブを近接離間させる移動機構とを備え、
簡易点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して近接させ、通常点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して離間させると共に前記フルコンタクト用プローブ組立体と前記検査対象板とを整合させ、ワークテーブルを作動させて当該検査対象板をフルコンタクト位置に移動させ、
通常点灯検査時に欠陥が発生したとき、その欠陥がパネル起因かコンタクト起因かを判断するために、前記ワークテーブルを作動させずに前記移動機構を制御して前記簡易コンタクト用プローブ組立体のスライド可能に支持された前記プローブブロックのプローブを前記検査対象板に近接させて簡易点灯検査に切り替える制御部を備えたことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の検査対象板の点灯検査に用いる検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶パネル（ＬＣＤパネル）においては、その製造工程において、モジュール工程に進む前にＬＣＤパネル単体での点灯検査が行われる。この点灯検査には、通常点灯検査と簡易点灯検査とがある。
【０００３】
通常点灯検査は、ＬＣＤパネルの各電極にプローブをフルコンタクトさせて行う点灯検査である。簡易点灯検査は、ＬＣＤパネルの全ての電極にプローブをコンタクトさせるのではなく、部分的にコンタクトさせる簡易コンタクトによって行う点灯検査である。この簡易点灯検査の例としては特許文献１がある。
【特許文献１】特開平０９−１３８４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記検査装置では、点灯検査時に点灯不良が生じたとき、それがパネルに起因するものかコンタクト不良に起因するものかを判断する場合は、プローブユニットの載せ替えを行う必要があった。
【０００５】
しかし、プローブユニットを載せ替える場合は、その作業が煩雑で時間がかかるため、作業性が悪く、不良原因の判断が容易でないという問題がある。
【０００６】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、点灯検査時に点灯不良が生じたとき、それがパネル不良に起因するものかコンタクト不良に起因するものかを容易に判断できる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために本発明に係る検査装置は、検査対象板を点灯検査する検査装置であって、前記検査対象板の電極に直接接触するプローブを有する複数のプローブ組立体と、各プローブ組立体を支持するプローブベースとを備え、前記複数のプローブ組立体が、前記検査対象板に簡易コンタクトして簡易点灯検査を行う簡易コンタクト用プローブ組立体と、前記検査対象板にフルコンタクトして通常点灯検査を行うフルコンタクト用プローブ組立体とからなり、前記簡易コンタクト用プローブ組立体が、前記プローブベースに固定された支柱と、当該支柱にスライド可能に支持されたスライドブロックと、当該スライドブロックに支持されると共にプローブを支持するプローブブロックと、前記検査対象板に対して前記プローブを近接離間させる移動機構とを備え、簡易点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して近接させ、通常点灯検査時に前記簡易コンタクト用プローブ組立体を前記検査対象板に対して離間させると共に前記フルコンタクト用プローブ組立体と前記検査対象板とを整合させ、ワークテーブルを作動させて当該検査対象板をフルコンタクト位置に移動させ、通常点灯検査時に欠陥が発生したとき、その欠陥がパネル起因かコンタクト起因かを判断するために、前記ワークテーブルを作動させずに前記移動機構を制御して前記簡易コンタクト用プローブ組立体のスライド可能に支持された前記プローブブロックのプローブを前記検査対象板に近接させて簡易点灯検査に切り替える制御部を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
点灯検査時に点灯不良が生じたとき、それがパネル不良に起因するものかコンタクト不良に起因するものかを容易に判断できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態に係る検査装置について添付図面を参照しながら説明する。
【００１１】
本実施形態の検査装置では、ＸＹＺθステージ(図示せず)によってＸＹＺ軸方向及びθ回転方向が調整できるワークテーブル(図示せず)に検査対象板が載置されて、複数のプローブを備えたプローブユニットで点灯検査を行う装置である。
【００１２】
プローブユニット１は、図１及び図２に示すように、ワークテーブル上に載置された検査対象板としての液晶パネル２の２つの辺に沿って設けられている。このプローブユニット１は具体的には、液晶パネル２の長辺に沿う長辺プローブユニット３と、液晶パネル２の短辺に沿う短辺プローブユニット４とから構成されている。
【００１３】
長辺プローブユニット３は主に、長辺プローブベース５と、プローブ組立体６と、アライメントカメラ７とを備えて構成されている。
【００１４】
長辺プローブベース５は、検査装置の装置本体側のプローブステージ(図示せず)に支持された状態で前記プローブ組立体６等を液晶パネル２の長辺に沿って支持するための部材である。この長辺プローブベース５にプローブ組立体６とアライメントカメラ７が取り付けられている。
【００１５】
プローブ組立体６は、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａと簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂとから構成されている。長辺プローブユニット３にはフルコンタクト用プローブ組立体６Ａのみが設けられている。なお、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂについては後述する。
【００１６】
フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは、液晶パネル２にフルコンタクトして通常点灯検査を行うためのプローブ組立体である。フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは、液晶パネル２の各電極に個別に直接的に接触（フルコンタクト）して、液晶パネル２上の回路に検査信号を送信する。フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは主に、サスペンションベース９と、スライドブロック１０と、プローブブロック１１とを備えて構成されている。
【００１７】
サスペンションベース９は、直接的にスライドブロック１０を、間接的に後述するプローブブロック１１のプローブ１３を支持するための部材である。サスペンションベース９は、長辺プローブベース５に固定されている。サスペンションベース９の先端の下側には、スライドブロック１０が上下方向にスライド可能に支持されている。
【００１８】
スライドブロック１０は、プローブブロック１１を支持するための部材である。スライドブロック１０は、サスペンションベース９に上下へスライド可能に支持された状態で、プローブブロック１１をスプリング(図示せず)で下方へ付勢している。このスプリングによる付勢力によって、プローブ１３を液晶パネル２の各電極に接触させた状態で付勢する。
【００１９】
プローブブロック１１は、液晶パネル２の回路(図示せず)に検査信号の送信等を行うために液晶パネル２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック１１は、複数のプローブ１３を支持して構成されている。プローブ１３は、液晶パネル２の電極に合わせて配設され、プローブブロック１１で一体的に支持されている。プローブ１３は、信号線等を介して制御部に接続されている。
【００２０】
フルコンタクト用プローブ組立体６Ａは、液晶パネル２の電極に合わせて、長辺プローブベース５に５台取り付けられている。この５台のフルコンタクト用プローブ組立体６Ａの各プローブ１３が液晶パネル２の全ての電極にそれぞれ接触してフルコンタクト状態になり、検査信号を送信する。
【００２１】
アライメントカメラ７は、液晶パネル２を各プローブ組立体６（フルコンタクト用プローブ組立体６Ａ及び簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂ）に対して位置合わせするためのカメラである。アライメントカメラ７は、液晶パネル２に設けられたマーク(図示せず)を映し出して、このマークと基準位置とを合わせて、各プローブ組立体６のプローブ１３の先端接触子と、液晶パネル２の各電極とを整合させるようになっている。ここでは、アライメントカメラ７は長辺プローブベース５に１台設けられている。
【００２２】
短辺プローブユニット４は主に、短辺プローブベース１５と、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａと、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂと、アライメントカメラ７とを備えて構成されている。
【００２３】
短辺プローブベース１５は、プローブ組立体６等を液晶パネル２の短辺に沿って支持するための部材である。この短辺プローブベース１５に、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａ、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂ及びアライメントカメラ７が取り付けられている。ここで、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａとアライメントカメラ７は、上述した長辺プローブユニット３のフルコンタクト用プローブ組立体６Ａ及びアライメントカメラ７と同様の装置である。ここでは、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａが３台、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂが１台、アライメントカメラ７が２台設けられている。
【００２４】
簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、液晶パネル２に簡易コンタクトして簡易点灯検査を行うためのプローブ組立体である。液晶パネル２には、上記特許文献１のパネルのように、簡易コンタクト用の配線及び電極（クイック端子）が設けられている。簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、この簡易コンタクト用の電極に接触するためのプローブ組立体である。この簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂでは、少ない個数のプローブ１３が簡易コンタクト用の電極に接触（簡易コンタクト）して簡易点灯検査を行う。
【００２５】
簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、図３に示すように、支柱１７と、移動機構(図示せず)と、スライドブロック１８と、プローブブロック支持ブロック１９と、プローブブロック２０とを備えて構成されている。
【００２６】
支柱１７は、スライドブロック１８等を介して後述するプローブブロック２０のプローブ１３を支持するための部材である。支柱１７は、短辺プローブベース１５に固定されている。支柱１７の前側面（液晶パネル２側面）には、レール２１が縦方向に沿って設けられている。このレール２１には、後述するスライドブロック１８のガイド２２がスライド可能に取り付けられて、スライドブロック１８が上下方向にスライド可能に支持されている。
【００２７】
移動機構２１Ａは、スライドブロック１８を上下方向に移動させるための直動機構である。移動機構２１Ａは、スライドブロック１８を上下方向に移動させることで、プローブ１３を液晶パネル２に対して近接離間させる。具体的には、簡易点灯検査時に、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂのプローブ１３を液晶パネル２に対して近接させ、通常点灯検査時に、プローブ１３を液晶パネル２に対して離間させる。この移動機構２１Ａはリニアモータ等の直動機構で構成されている。なお、移動機構２１Ａとしては、種々の直動機構を用いることができる。例えば、ボールネジ機構等の公知の全ての直動機構を用いることができる。このような移動機構は、支柱１７内に組み込まれたり、支柱１７の近傍に設置されたりする。
【００２８】
移動機構２１Ａは、プローブブロック２０のプローブ１３を、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３よりも上側の退避位置に移動させる機能と、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３よりも下側のコンタクト位置まで移動させて簡易コンタクト用の電極に接触させる機能とを有する。これにより、簡易コンタクトの際には、液晶パネル２は移動せず、プローブブロック２０のプローブ１３のみが下方へ移動して電気的に接触するようになっている。
【００２９】
スライドブロック１８は、プローブ１３を間接的に支持して前記退避位置とコンタクト位置との間を移動させるための部材である。スライドブロック１８は、全体をＬ字状に構成され、その縦部材に、前記レール２１にスライド可能に取り付けられるガイド２２が固定されている。スライドブロック１８の横部材には、３つのネジ棒２３が取り付けられ、プローブブロック支持ブロック１９を支持している。ネジ棒２３には、スプリング(図示せず)が設けられ、このスプリングでプローブブロック支持ブロック１９が下方へ付勢されている。このスプリングによる付勢力によって、プローブ１３が液晶パネル２の簡易コンタクト用の電極に接触したときにプローブ１３を付勢する。
【００３０】
プローブブロック支持ブロック１９は、プローブブロック２０を介してプローブ１３を弾性的に支持するための部材である。プローブブロック支持ブロック１９は、スライドブロック１８のネジ棒２３に連結され、スプリングでスライドブロック１８に対して弾性的に支持されている。プローブブロック支持ブロック１９には取付ネジ２４が設けられている。この取付ネジ２４でプローブブロック２０がプローブブロック支持ブロック１９に固定されている。
【００３１】
プローブブロック２０は、液晶パネル２の回路(図示せず)に検査信号の送信等を行うために液晶パネル２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック２０は、複数のプローブ１３を支持して構成されている。プローブ１３は、液晶パネル２の簡易コンタクト用の電極と同じ数だけ並べて配設され、プローブブロック２０で一体的に支持されている。プローブ１３は、信号線等を介して制御部に接続されている。
【００３２】
簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、液晶パネル２の簡易コンタクト用の電極に合わせて、全体的に細く形成され、短辺プローブユニット４に１台取り付けられている。
【００３３】
短辺プローブユニット４のフルコンタクト用プローブ組立体６Ａ及び簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂは、図４に示すように、信号発生器２６と、制御部２７とに接続されている。具体的には、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａと信号発生器２６とがフルコンタクト用点灯信号線２８で接続されている。簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂと信号発生器２６とが簡易コンタクト用点灯信号線２９で接続されている。さらに、信号発生器２６と制御部２７も信号線３０で接続されている。
【００３４】
制御部２７は、信号発生器２６を制御して通常点灯検査と簡易点灯検査を行わせる。即ち、制御部２７は、通常点灯検査と簡易点灯検査とを選択して、点灯信号を、フルコンタクト用点灯信号線２８又は簡易コンタクト用点灯信号線２９からフルコンタクト用プローブ組立体６Ａ又は簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂに送信する。
【００３５】
制御部２７は、通常点灯検査時に線欠陥等の欠陥が発生したとき、前記移動機構２１Ａを制御して簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂを液晶パネル２に近接させてプローブ１３と電極とを互いに接触させて簡易点灯検査に切り替え、パネル起因かコンタクト起因かを判断する機能を有している。即ち、ＸＹＺ軸方向及びθ回転方向が調整できるワークテーブルは動かさずに、移動機構２１Ａでプローブ１３を移動させて液晶パネル２の電極に電気的に接触させている。この制御部２７での処理は、液晶パネル２の欠陥の検査を画像処理により自動的に行っている場合は、自動的に切り替えて、その欠陥がパネルに起因するものか、コンタクト不良に起因するものかを判断する。液晶パネル２の欠陥の検査を検査者が目視して確認するときは、切り替えスイッチを検査者が切り替えて、液晶パネル２を通常点灯と簡易点灯させて判断する。
【００３６】
以上のように構成された検査装置は、次のように作用する。
【００３７】
通常点灯検査を行う場合は、図５に示すように、制御部２７で信号発生器２６が制御されて、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂのプローブ１３がフルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３よりも上側の退避位置に移動させる。
【００３８】
次いで、液晶パネル２を支持したワークテーブルをＸＹＺ軸方向及びθ回転方向に調整して、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３と、液晶パネル２の電極とを整合させて、液晶パネル２をアライメント位置からフルコンタクト位置まで移動させて、フルコンタクト状態で互いに電気的に接触させる。次いで、信号発生器２６で検査信号を発生させて送信する。
【００３９】
これにより、液晶パネル２が点灯し、この液晶パネル２の点灯状態を検査者が目視で確認して通常点灯検査を行う。また、この液晶パネル２の点灯状態をカメラで撮影して画像処理により、欠陥の有無を確認する場合もある。
【００４０】
この確認により、線欠陥等の欠陥を発生したときは、手動で、又は自動的に簡易点灯検査に切り替える。この簡易点灯検査では、図６に示すように、ワークテーブルは作動させずに液晶パネル２をアライメント位置に保持した状態で、移動機構２１Ａだけを作動させる。具体的には、ワークテーブルは、フルコンタクト用プローブ組立体６Ａのプローブ１３から離れた下方位置で固定する。そして、簡易コンタクト用プローブ組立体６Ｂを作動させてそのプローブ１３を下方へ移動させ、このプローブ１３を上記簡易コンタクト用の電極（クイック端子）に電気的に接触させて簡易コンタクトさせる。これにより、液晶パネル２が簡易点灯する。
【００４１】
この簡易点灯した液晶パネル２を検査者が目視で確認し、または画像処理で自動的に確認する。
【００４２】
この結果、正常に点灯すれば、前記線欠陥等の欠陥は、フルコンタクト時のコンタクト不良に起因するものと判断できる。正常に点灯しなければ、前記欠陥は、パネル不良に起因するものと判断できる。
【００４３】
以上により、前記点灯不良が生じたとき、それがパネル不良に起因するものかコンタクト不良に起因するものかを容易に判断することができるようになる。
【００４４】
この結果、プローブユニットを載せ替える必要がなくなり、確認作業が容易になり、短時間で容易に、不良原因を特定することができ、検査作業を大幅に効率化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る簡易コンタクト用プローブ組立体を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置の制御系を示す概略構成図である。
【図５】本発明の実施形態に係る簡易コンタクト用プローブ組立体の退避状態を示す正面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る簡易コンタクト用プローブ組立体の簡易コンタクト状態を示す正面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１：プローブユニット、２：液晶パネル、３：長辺プローブユニット、４：短辺プローブユニット、５：長辺プローブベース、６：プローブ組立体、７：アライメントカメラ、９：サスペンションベース、１０：スライドブロック、１１：プローブブロック、１３：プローブ、１５：短辺プローブベース、１７：支柱、１８：スライドブロック、１９：プローブブロック支持ブロック、２０：プローブブロック、２１：レール、２１Ａ：移動機構、２２：ガイド、２３：ネジ棒、２４：取付ネジ、２６：信号発生器、２７：制御部、２８：フルコンタクト用点灯信号線、２９：簡易コンタクト用点灯信号線、３０：信号線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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