(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象パネルのリペア処理を行うリペア装置であって、
処理対象パネルを搬送してリペア処理を行う処理コンベアを備え、
当該処理コンベアが、
前記処理対象パネルをスライド可能に支持するローラコンベア部と、
当該ローラコンベア部の上流側に設けられて処理対象パネルを外部から搬入する搬入部と、
前記ローラコンベア部の中央部に設けられて前記搬入部から受け取った前記パネルにリペア処理を施すリペア部と、
前記ローラコンベア部の下流側に設けられて前記リペア部でリペア処理が施された前記パネルを外部に搬出する搬出部と、
Ｙ軸パネルクランプ機構及びＸ軸搬送機構を備え、上記Ｙ軸パネルクランプ機構を用いて前記搬入部に搬入された前記パネルの搬送方向に直交する方向の位置決めをし、上記Ｘ軸搬送機構を用いて当該パネルを搬送方向の前記リペア部及び前記搬出部に搬送すると共に搬送方向の位置決めをするパネル搬送ステージとを備え、
前記ローラコンベア部が、駆動源を持たず前記パネルをスライド可能に支持するフリーローラを備えて構成されて、前記パネル搬送ステージによる前記パネルの搬送を、前記フリーローラが回動することによって搬送が円滑になるように補助し、
前記リペア部が、前記ローラコンベア部の下側から前記パネルの欠陥部にレーザ光を照射してリペアを施すレーザ装置と、当該レーザ装置を搬送方向とそれに直交する方向とに移動させてレーザ光の照射位置と前記パネルの欠陥位置とを合わせるＸＹ軸ステージとを備え、
当該ＸＹ軸ステージが、前記レーザ装置の搬送方向と直交する方向の位置調整を行うＹ軸移動機構と、前記パネル搬送ステージで前記パネルの位置決めがされた後に前記レーザ装置を搬送方向に移動させて補助的にレーザ光の照射位置と欠陥位置との微調整を行うＸ軸移動機構とを備えたことを特徴とするリペア装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリペア装置において、
前記処理コンベアで処理が済んだ前記パネルを受け取って外部へ搬送する搬送コンベアを、前記処理コンベアと縦又は横に並べて配設されたことを特徴とするリペア装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のリペア装置において、
レーザ装置が前記パネルにその下側から向けた対物レンズを備え、当該対物レンズにゴミの付着を防止するシャッタを備えたことを特徴とするリペア装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリペア装置において、
前記パネルの欠陥部を照明する照明部と、前記レーザ装置のレンズのゴミを除去するごみ除去部とを有する照明ごみ除去装置を備え、
当該照明ごみ除去装置を支持して前記照明部が、当該照明部が行う透過照明の光軸と、前記レーザ装置からのレーザ光の光軸とが同一軸上に合わされるように、当該レーザ装置の移動と同期して追従、移動されて、常時照明状態を確保するＸＹＺ軸ステージを備えたことを特徴とするリペア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等のリペアを行うリペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、一般に、電極に配線を介して個々に接続された複数の薄膜トランジスタの側の基板と、カラーフィルタのような光フィルタの側の基板との間に、液晶層を配置して構成されている。このような表示用パネルは、製造過程で点灯検査が行われる。点灯検査の結果、不良品となったパネルのうち、修正可能なものはリペア処理が施される。このような修正を行う装置としては、例えば特許文献１の表示用パネルの処理装置がある。
【０００３】
この表示用パネルの処理装置は、表示用パネルをこれの薄膜トランジスタ及び配線が光フィルタより下側となる状態に共同して受ける複数のパネル受けと、少なくとも２つのパネル受けに個々に対応して備えられた少なくとも２つのプローブブロックであって表示用パネルの電極の上方側に接触子を押圧可能のプローブブロックと、表示用パネルの被処理箇所に照明用光線を上方から照射するバックライトと、表示用パネルの下方側に配置された処理ユニットとを含んで構成されている。処理ユニットは、被処理箇所に処理用のレーザ光線を下方側から照射するレーザ発生器と、被処理箇所を下方側から撮影するビデオカメラとを含んで構成されている。これにより、表示用パネルの上下を逆にすることなく、修正を行うことが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２２７６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した処理装置では、外部から搬入された表示用パネルをパネル受けで受けて処理を施し、処理が終了した表示用パネルを外部に搬出し、新たな表示用パネルを搬入して上述の処理を繰り返し、複数の表示用パネルの修正が行われる。
【０００６】
この処理装置により、表示用パネルをその下側から効率的に修正することができるが、表示用パネルの枚数が多くなると、表示用パネルの搬入、位置決め、修正処理、搬出の一連の動作に時間がかかり、枚数の多い表示用パネルを連続的に処理するのには適さない。
【０００７】
本発明は、パネルを連続的にかつ効率的にリペアすることができるリペア装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、処理対象パネルのリペア処理を行うリペア装置であって、処理対象パネルを搬送してリペア処理を行う処理コンベアを備え、当該処理コンベアが、前記処理対象パネルをスライド可能に支持するローラコンベア部と、当該ローラコンベア部の上流側に設けられて処理対象パネルを外部から搬入する搬入部と、前記ローラコンベア部の中央部に設けられて前記搬入部から受け取った前記パネルにリペア処理を施すリペア部と、前記ローラコンベア部の下流側に設けられて前記リペア部でリペア処理が施された前記パネルを外部に搬出する搬出部と、Ｙ軸パネルクランプ機構及びＸ軸搬送機構を備え、上記Ｙ軸パネルクランプ機構を用いて前記搬入部に搬入された前記パネルの搬送方向に直交する方向の位置決めをし、上記Ｘ軸搬送機構を用いて当該パネルを搬送方向の前記リペア部及び前記搬出部に搬送すると共に搬送方向の位置決めをするパネル搬送ステージとを備え、前記ローラコンベア部が、駆動源を持たず前記パネルをスライド可能に支持するフリーローラを備えて構成されて、前記パネル搬送ステージによる前記パネルの搬送を、前記フリーローラが回動することによって搬送が円滑になるように補助し、前記リペア部が、前記ローラコンベア部の下側から前記パネルの欠陥部にレーザ光を照射してリペアを施すレーザ装置と、当該レーザ装置を搬送方向とそれに直交する方向とに移動させてレーザ光の照射位置と前記パネルの欠陥位置とを合わせるＸＹ軸ステージとを備え、当該ＸＹ軸ステージが、前記レーザ装置の搬送方向と直交する方向の位置調整を行うＹ軸移動機構と、前記パネル搬送ステージで前記パネルの位置決めがされた後に前記レーザ装置を搬送方向に移動させて補助的にレーザ光の照射位置と欠陥位置との微調整を行うＸ軸移動機構とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
処理対象パネルにその下側からレーザ光を照射して効率的にリペア処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係るリペア装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るリペア装置の処理コンベアを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るリペア装置の処理コンベアを示す分解斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るリペア装置のリフター部及びＸ軸アライメント機構を示す平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るリペア装置のリフター部及びＸ軸アライメント機構を示す側面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るリペア装置の搬入部を示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るリペア装置の搬入部を示す側面図である。
【図８】本発明の実施形態に係るリペア装置のレーザ装置を示す正面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るリペア装置のレーザ装置を示す側面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るリペア装置の搬送コンベアのローラコンベア部を示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るリペア装置を示す側面図である。
【図１２】本発明の実施形態に係るリペア装置を示す平面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係るリペア装置の制御部での処理を示すフローチャートである。
【図１４】本発明の変形例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係るリペア装置について添付図面を参照して説明する。
【００１２】
本実施形態のリペア装置は、ローラコンベアの下側で、各ローラの間にレーザ照射口を設け、ローラコンベア上のパネルにその下側からレーザを照射して欠陥等をリペアする装置である。このリペア装置で処理する対象物は、レーザ光で欠陥を除去できる液晶パネルのセル基板等である。
【００１３】
図１に示すリペア装置１は、ローラコンベアを二段に重ねて構成されている。具体的にはリペア装置１は、下段の処理コンベア２と、上段の搬送コンベア３とから構成されている。下段の処理コンベア２は、処理対象のパネル４（図６参照）のリペア処理を行う装置であり、上段の搬送コンベア３は、リペア処理後のパネル４を受け取って外部へ搬送するための装置である。
【００１４】
処理コンベア２は、図１、２に示すように、筺体６と、ローラコンベア部７と、搬入部８と、リペア部９と、搬出部１０と、パネル搬送ステージ１１とから構成されている。
【００１５】
筺体６は、フレーム１３と、外側板（図示せず）とから構成されている。フレーム１３は、ローラコンベア部７等を収納して支持するための骨組みである。フレーム１３は、製管溶接構造によって構成されている。外側板は、フレーム１３を覆う板材である。外側板は、ステンレス板等で構成される。筺体６の上流側端部（図１中の左側端部）には、パネル４を搬入するためのパネル搬入口（図示せず）が搬入部８に面して設けられる。パネル搬入口にはシャッタ（図示せず）が設けられている。レーザ照射中は、シャッタが閉じられて、レーザ光が外部に漏れるのを防止している。シャッタの開閉扉（図示せず）にはインターロックスイッチが設けられている。
【００１６】
ローラコンベア部７は、パネル４をスライド可能に支持すると共に、パネル搬送ステージ１１でのパネル４の搬送を補助するためのコンベアである。ローラコンベア部７は、図２，３に示すように、駆動源を持たないフリーローラ７Ａを備えて構成され、パネル４を水平に保った状態でスライド可能に支持する。これにより、ローラコンベア部７は、パネル搬送ステージ１１がパネル４を支持して移動させるときに、パネル４を水平に保って落下を防止した状態で、パネル搬送ステージ１１によるパネル４の正確な移動を補助するようになっている。即ち、ローラコンベア部７がパネル搬送ステージ１１を補助することで、パネル搬送ステージ１１が、パネル４を、撓むことなく軽い力で正確に移動させることができるようになっている。
【００１７】
搬入部８は、パネル４を外部から搬入する部分である。搬入部８は、ローラコンベア部７の上流側部分（図１中の左側であって、全長の３分の１程度を占める部分）に設けられている。搬入部８は、搬入ローラ部１５と、リフター部１６と、Ｘ軸アライメント機構１７と、ＩＤリーダ１８とから構成されている。
【００１８】
搬入ローラ部１５は、外部から搬入されるパネル４を受け取って位置決め調整する部分である。搬入ローラ部１５は、ローラコンベア部７の上流側部分に、ローラコンベア部７の一部として構成されている。搬入ローラ部１５は具体的には、ほぼＣの字型のステー１９によってフリーローラ７Ａを二つに分割して構成されている。これにより、中央に調整用スリット２０が形成されている。この調整用スリット２０は、Ｘ軸アライメント機構１７が装着されるスリットである。
【００１９】
リフター部１６は、外部から搬入されるパネル４を受け取って搬入ローラ部１５に載置するための装置である。リフター部１６は、図３〜７に示すように、支持ピン部２２と、昇降板２３と、昇降機２４とから構成されている。
【００２０】
支持ピン部２２は、支持ピン２５と、連結板２６と、スライダ２７とから構成されている。支持ピン２５は、垂直に３本並列に配設されている。連結板２６は、３本の支持ピン２５を一体的に支持するための板材である。連結板２６は、３本の支持ピン２５を一体的に支持して、昇降されるようになっている。スライダ２７は、３本の支持ピン２５をＹ軸方向（ローラコンベア部７の長手方向と直交する方向、パネル４の搬送方向に直交する方向）に移動させるための部材である。スライダ２７は、連結板２６の下側面に設けられ、Ｙ軸方向に配設された後述するガイドレール２９にスライド可能に支持されている。支持ピン部２２は、Ｙ軸方向に２つ設けられ、６本の支持ピン２５でパネル４を支持するようになっている。支持ピン２５の上端部には、パネル４を受け取って支持するパネル受け２８が設けられている。パネル受け２８は、弾性部材で構成され、パネル４を傷付けずに支持するようになっている。スライダ２７は、任意の位置で固定できるようになっている。
これにより、各スライダ２７は、パネル４の大きさに合わせてスライドされて固定されている。
【００２１】
昇降板２３は、支持ピン部２２を支持して昇降するための板材である。昇降板２３の上側面にはガイドレール２９が設けられている。このガイドレール２９は、Ｙ軸方向に４本配設されている。各ガイドレール２９に支持ピン部２２のスライダ２７がスライド可能に嵌合して、支持ピン部２２をＹ軸方向にスライド可能に支持している。昇降板２３は、Ｙ軸方向に長い長方形板状に形成されている。
【００２２】
昇降機２４は、昇降板２３を支持して、この昇降板２３を介して支持ピン部２２を昇降させるための装置である。具体的には昇降機２４は、外部からパネル４が搬入されるときに支持ピン部２２を、ローラコンベア部７のフリーローラ７Ａの間から上昇させてパネル４を受け取り、下降させてパネル４を搬入ローラ部１５に載置させるための装置である。昇降機２４は、支持板３１と、ガイド棒３２と、昇降シリンダ３３と、昇降支持板３４と、支柱３５とから構成されている。
【００２３】
支持板３１は、昇降板２３を直接支持するための板材である。支持板３１は昇降板２３に一体的に固定されている。ガイド棒３２は、支持板３１の昇降を案内するための棒材である。ガイド棒３２は、支持板３１の下側に一体的に設けられ、垂直方向に配設されている。ガイド棒３２は、支持板３１の下側の少なくとも４カ所に設けられ、支持板３１を安定して昇降させるように案内する。昇降シリンダ３３は、ガイド棒３２で支持された支持板３１及び昇降板２３を介して支持ピン部２２を昇降させるための装置である。昇降シリンダ３３の昇降軸３３Ａが支持板３１に固定されている。昇降シリンダ３３は、落下防止ブレーキ付エアシリンダで構成され、後述する制御部１１１で制御されている。昇降支持板３４は、昇降シリンダ３３を固定して支持すると共に、ガイド棒３２を昇降可能に支持するための板材である。昇降支持板３４は、支柱３５で支持されて、フレーム１３に固定されている。
【００２４】
Ｘ軸アライメント機構１７は、搬入ローラ部１５に搬入されたパネル４のＸ軸方向（搬送方向）の位置を調整するための機構である。Ｘ軸アライメント機構１７は、支持板３７と、第１パネルクランプ３８と、第２パネルクランプ３９とから構成されている。支持板３７は、第１パネルクランプ３８及び第２パネルクランプ３９を支持するための板材である。支持板３７は、Ｘ軸方向（ローラコンベア部７の長手方向）に長い長方形板状に形成されている。支持板３７の上側面には、Ｘ軸方向に直列に２つのガイドレール４１が設けられている。
【００２５】
第１パネルクランプ３８は、パネル４のＸ軸方向一方（図４中の左方）の縁部に当接して支持するための部材である。第１パネルクランプ３８は、当接部４２と、支柱４３と、スライダ４４とから構成されている。当接部４２は、パネル４の縁部に直接当接する部材である。当接部４２は、弾性部材で構成されている。支柱４３は、当接部４２を一体的に支持してパネル４の縁部に当接させるための部材である。スライダ４４は、支柱４３を介して当接部４２をＸ軸方向にスライドさせるための部材である。スライダ４４は、支柱４３に一体的に連結されて、ガイドレール４１にスライド可能に嵌合している。
【００２６】
第２パネルクランプ３９は、パネル４のＸ軸方向他方の縁部に当接して支持するための部材である。第２パネルクランプ３９は、当接部４６と、支柱４７と、スライダ４８とから構成されている。当接部４６は、パネル４の縁部に直接当接する部材である。当接部４６は弾性部材で構成されて、２つ設けられている。支柱４７は、当接部４６を一体的に支持してパネル４の縁部に当接させるための部材である。スライダ４８は、支柱４７を介して当接部４６をＸ軸方向にスライドさせるための部材である。スライダ４８は、支柱４７に一体的に連結されて、ガイドレール４１にスライド可能に嵌合している。
【００２７】
ガイドレール４１とスライダ４４，４８との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、スライダ４４，４８をＸ軸方向に、連動して互いに近接離間させたり、個別にずらしたりして、パネル４のＸ軸方向の位置決めを行うようになっている。
【００２８】
ＩＤリーダ１８は、パネル４のＩＤを読み取るための装置である。このＩＤリーダ１８はカメラ１８Ａを有し、このカメラ１８Ａで読み取ったＩＤを基に、制御部１１１でパネル４の欠陥情報をＣＩＭから入手するようになっている。この欠陥情報に基づいてパネル搬送ステージ１１等が制御されるようになっている。
【００２９】
ＩＤリーダ１８は、ＸＹＺ軸ステージ５０に支持されている。ＸＹＺ軸ステージ５０は、ＩＤリーダ１８をＸＹＺ軸方向に移動可能に支持している。具体的にはＸＹＺ軸ステージ５０は、パネル４のＹ軸方向に全域とＸ軸方向の半分程度をカバーできるストロークで、ＩＤリーダ１８を移動可能に支持している。また、Ｚ軸方向は、ＩＤリーダ１８の高さを微調整する範囲で、ＩＤリーダ１８を移動可能に支持している。
【００３０】
ＸＹＺ軸ステージ５０は、図２，３に示すように、Ｙ軸移動機構５１と、Ｘ軸移動機構５２と、Ｚ軸移動機構（図示せず）とから構成されている。Ｙ軸移動機構５１は、ＩＤリーダ１８をＹ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｙ軸移動機構５１は、レール棒５３とスライダ５４とから構成されている。レール棒５３は、ガイドレール５３Ａを一体的に備えた部材である。スライダ５４は、ＩＤリーダ１８を支持して、Ｙ軸方向に移動させるための部材である。スライダ５４は、ＩＤリーダ１８を固定支持した状態で、レール棒５３のガイドレール５３Ａにスライド可能に支持されている。
【００３１】
ガイドレール５３Ａとスライダ５４との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、ＩＤリーダ１８のＹ軸方向の位置決めを行うようになっている。
【００３２】
Ｘ軸移動機構５２は、Ｙ軸移動機構５１を介してＩＤリーダ１８をＸ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｘ軸移動機構５２は、ガイドレール５５とスライダ５６とから構成されている。ガイドレール５５は、Ｘ軸方向に配設されている。具体的にはガイドレール５５は、Ｘ軸方向に配設された支持棒５７に一体的に取り付けられることで、Ｘ軸方向に配設されている。支持棒５７は、Ｘ軸方向に向けた状態で、筺体６のフレーム１３に固定されている。
【００３３】
スライダ５６は、Ｙ軸移動機構５１のレール棒５３を一体的に支持してＸ軸方向に移動させるための部材である。スライダ５６は、レール棒５３を固定支持した状態で、ガイドレール５５にスライド可能に支持されている。
【００３４】
ガイドレール５５とスライダ５６との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、ＩＤリーダ１８のＸ軸方向の位置決めを行うようになっている。
【００３５】
Ｚ軸移動機構は、上述したＹ軸移動機構５１及びＸ軸移動機構５２と同様のガイドレール（図示せず）とスライダ（図示せず）とから構成されている。これらがＺ軸方向に設けられ、制御部１１１で制御されて、ＩＤリーダ１８のＺ軸方向の位置を調整するようになっている。
【００３６】
リペア部９は、搬入部８で受け取ったパネル４にリペア処理を施すための装置である。即ち、リペア部９は、ローラコンベア部７の下側に位置してこのローラコンベアの上側に載置されたパネル４の欠陥部にレーザ光を照射してリペアを施す装置である。リペア部９は、ローラコンベア部７の中央部に設けられている。リペア部９は、レーザ装置６０と、ＸＹ軸ステージ６１と、照明ごみ除去装置６２とから構成されている。
【００３７】
レーザ装置６０は、パネル４の欠陥部に、ローラコンベア部７の下側からレーザ光を照射するための装置である。このレーザ装置６０の原理的構成を、図８，９に示す。レーザ装置６０は、リペア用のレーザ光を照射するレーザユニット６５と、画像処理によりレーザ光の照射位置を特定する光学系６６とから構成されている。レーザユニット６５は、レーザ発振器６７と、結像レンズ６８と、全反射ミラー６９と、ハーフミラー７０と、対物レンズ７１と、ガイド光源７２とから構成されている。
【００３８】
レーザ発振器６７は、パネル４の欠陥を除去するリペア用のレーザ光を発生させるための装置である。結像レンズ６８は、対物レンズ７１と協働して、レーザ発振器６７から発生したレーザ光をパネル４の欠陥に結像させるためのレンズである。全反射ミラー６９は、レーザ発振器６７からのレーザ光をパネル４側に向けるためのミラーである。ハーフミラー７０は、全反射ミラー６９からのレーザ光を透すと共にパネル４側からの光を反射させるためのミラーである。対物レンズ７１は、結像レンズ６８と協働して、レーザ発振器６７から発生したレーザ光をパネル４の欠陥に結像させるためのレンズである。対物レンズ７１は、レーザ光を、欠陥の大きさ等に合わせて複数設けられている。ここでは、５つの対物レンズ７１が並列にかつ一体的に設置されている。対物レンズ７１は、レンズ切換ステージ７３Ａで最適な対物レンズ７１に切り換えられ、フォーカス用ステージ７３Ｂで焦点が合わせられるようになっている。レンズ切換ステージ７３Ａ及びフォーカス用ステージ７３Ｂは、ステッピングモータ等の駆動源（図示せず）を備え、この駆動源が制御部１１１で制御され、欠陥情報等に基づいて最適な対物レンズ７１に切り換えられて、焦点が合わせられるようになっている。なお、対物レンズ７１には、必要に応じてゴミの付着を防止するシャッタが設けられる。
【００３９】
ガイド光源７２は、レーザ光の照射位置を正確に特定するためのガイド光を発生させる装置である。ガイド光源７２からのガイド光は、レーザ光と同じ経路を辿ってパネル４の欠陥に照射され、このガイド光で照射位置が特定されて、レーザ光が照射されるようになっている。
【００４０】
光学系６６は、ＣＣＤカメラ７４と、結像レンズ７５と、ハーフミラー７６と、同軸照明光源７７と、全反射ミラー７８とから構成されている。
【００４１】
ＣＣＤカメラ７４は、パネル４の欠陥を撮影するためのカメラである。ＣＣＤカメラ７４は、制御部１１１に接続され、ＣＣＤカメラ７４からの画像情報が制御部１１１で処理されるようになっている。結像レンズ７５は、対物レンズ７１と協働して、パネル４の欠陥に焦点を合わせるためのレンズである。ハーフミラー７６は、パネル４からの光を透し、同軸照明光源７７からの光を反射させるためのミラーである。同軸照明光源７７は、パネル４の欠陥部分を照明するための光源である。全反射ミラー７８は、同軸照明光源７７からの光をハーフミラー７６に反射させるためのミラーである。
【００４２】
ＸＹ軸ステージ６１は、図３に示すように、レーザ装置６０をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させて、レーザ光の照射位置とパネル４の欠陥位置とを合わせるための装置である。ＸＹ軸ステージ６１は、Ｙ軸移動機構８０と、Ｘ軸移動機構８１とから構成されている。Ｙ軸移動機構８０は、レーザ装置６０のＹ軸方向の位置調整を行う装置である。Ｙ軸移動機構８０は、ガイドレール８３と、スライダ８４とから構成されている。ガイドレール８３はＹ軸方向に配設されている。ガイドレール８３は、筺体６のフレーム１３側に固定されて、スライダ８４をＹ軸方向にスライド可能に支持している。ガイドレール８３とスライダ８４との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれている。この駆動源は、制御部１１１で制御されて、スライダ８４をＹ軸方向に正確に移動させて位置決めするようになっている。Ｙ軸移動機構８０は、パネル４のＹ軸方向の幅全域をカバーできるストロークでスライダ８４を移動させるようになっている。
【００４３】
Ｘ軸移動機構８１は、レーザ装置６０のＸ軸方向の位置調整を行う装置である。Ｘ軸移動機構８１は、ガイドレール８５と、スライダ（図示せず）とから構成されている。ガイドレール８５は、Ｙ軸移動機構８０のスライダ８４に支持された状態で、Ｘ軸方向に２本配設されている。各ガイドレール８５は、スライダをＸ軸方向にスライド可能に支持している。ガイドレール８５とスライダとの間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれている。この駆動源は、制御部１１１で制御されて、スライダをＸ軸方向に正確に移動させて位置決めするようになっている。Ｘ軸移動機構８１は、スライダを、１ピクセル内で僅かに移動させるだけである。即ち、Ｘ軸移動機構８１は、微調整に用いられる装置であって、パネル搬送ステージ１１でパネル４の位置決めをした後に、レーザ装置６０を移動させて、補助的にレーザ光の照射位置と欠陥位置との微調整を行う。
【００４４】
照明ごみ除去装置６２は、パネル４の欠陥部を照明すると共に、レーザ装置６０のレンズのゴミを除去するための装置である。照明ごみ除去装置６２は、照明部８８と、ごみ除去部８９と、支持板９０とから構成されている。照明部８８は、ＣＣＤカメラ７４の透過照明を行う照明部であり、パネル４の欠陥部を上側から照明する。照明部８８は、ＬＥＤ（図示せず）や集光レンズ（図示せず）等を備えて構成されている。ごみ除去部８９は、レーザ装置６０の対物レンズ７１についたゴミを除去するためのもので、エアによりゴミを吹き飛ばすようになっている。圧縮エアは、図示しないコンプレッサによって供給されている。支持板９０は、照明部８８とごみ除去部８９とを支持するための板材である。
【００４５】
照明ごみ除去装置６２はＸＹＺ軸ステージ９２に支持されている。ＸＹＺ軸ステージ９２は、照明ごみ除去装置６２をＸＹＺ軸方向に移動可能に支持している。ＸＹＺ軸ステージ９２は、Ｙ軸移動機構９３と、Ｘ軸移動機構９４と、Ｚ軸移動機構（図示せず）とから構成されている。Ｙ軸移動機構９３は、照明ごみ除去装置６２をＹ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｙ軸移動機構９３は、レール棒９６とスライダ９７とから構成されている。レール棒９６は、ガイドレール９６Ａを一体的に備えた部材である。スライダ９７は、照明ごみ除去装置６２を支持して、Ｙ軸方向に移動させるための部材である。スライダ９７は、照明ごみ除去装置６２を固定支持した状態で、レール棒９６のガイドレール９６Ａにスライド可能に支持されている。ガイドレール９６Ａとスライダ９７との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が設けられ、照明ごみ除去装置６２をＹ軸方向に正確に移動させることができるようになっている。これにより、ＸＹＺ軸ステージ９２で照明部８８が、その透過照明の光軸と、レーザ装置６０からのレーザ光の光軸とを同一軸上に合わされるように、レーザ装置６０の移動と同期して追従、移動され、常時照明状態を確保している。
【００４６】
Ｘ軸移動機構９４は、Ｙ軸移動機構９３を介して照明ごみ除去装置６２をＸ軸方向に移動可能に支持する装置である。Ｘ軸移動機構９４は、ガイドレール９８とスライダ９９とから構成されている。ガイドレール９８は、Ｘ軸方向に配設されている。具体的にはガイドレール９８は、Ｘ軸方向に配設された支持棒５７に一体的に取り付けられることで、Ｘ軸方向に配設されている。
【００４７】
スライダ９９は、Ｙ軸移動機構９３のレール棒９６を一体的に支持してＸ軸方向に移動させるための部材である。スライダ９９は、レール棒９６を固定支持した状態で、ガイドレール９８にスライド可能に支持されている。
【００４８】
ガイドレール９８とスライダ９９との間には直動機構等の駆動源（図示せず）が組み込まれ、制御部１１１で制御されている。これにより、照明ごみ除去装置６２のＸ軸方向の位置決めを行うようになっている。
【００４９】
Ｚ軸移動機構は、上述したＹ軸移動機構９３及びＸ軸移動機構９４と同様のガイドレール（図示せず）とスライダ（図示せず）とから構成されている。これらがＺ軸方向に設けられ、制御部１１１で制御されて照明ごみ除去装置６２のＺ軸方向の位置を調整するようになっている。
【００５０】
搬出部１０は、リペア部９でリペア処理を施したパネル４を外部に搬出する部分である。搬出部１０は、ローラコンベア部７の下流側部分に設けられている。具体的には、搬出部１０は、上述したリフター部１６を、ローラコンベア部７の下流側部分の下側に備えて構成されている。即ち、Ｘ軸アライメント機構１７を除いたリフター部１６だけをローラコンベア部７の下流側部分の下側に備えて構成されている。このリフター部１６が、パネル４を持ち上げて、後述する搬送ロボット１１３に渡すようになっている。
【００５１】
パネル搬送ステージ１１は、パネル４のＹ軸方向の位置決めをして、パネル４をＸ軸方向に搬送すると共にＸ軸方向の位置決めをするための装置である。パネル搬送ステージ１１は、図２，３，６，７に示すように、Ｙ軸パネルクランプ機構１００と、Ｘ軸搬送機構１０１とから構成されている。
【００５２】
Ｙ軸パネルクランプ機構１００は、パネル４をクランプすると共にパネル４のＹ軸方向の位置決めをする装置である。Ｙ軸パネルクランプ機構１００は、連結板１０３と、ガイドレール１０４と、スライダ１０５と、支持アーム１０６とから構成されている。
【００５３】
連結板１０３は、ローラコンベア部７の両側に配設された後述するＸ軸搬送機構１０１の２つのガイドレール１０９の間に架け渡して設けられる平板状の板材である。連結板１０３の上側面にガイドレール１０４が設けられている。スライダ１０５は、ガイドレール１０４にスライド可能に嵌合されている。このスライダ１０５は、支持アーム１０６を支持してＹ軸方向に移動させる。スライダ１０５は、ガイドレール１０４に２つ設けられている。ガイドレール１０４と２つのスライダ１０５との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が設けられ、制御部１１１で制御されて２つのスライダ１０５をそれぞれＹ軸方向に正確に移動させることができるようになっている。支持アーム１０６は、パネル４をクランプするための部材である。支持アーム１０６は、スライダ１０５に固定され、ローラコンベア部７に載置されるパネル４に向けて延出されている。支持アーム１０６の先端には、３つのクランプ部１０７が設けられている。
【００５４】
Ｘ軸搬送機構１０１は、Ｙ軸パネルクランプ機構１００でクランプされたパネル４を、駆動源なしのローラコンベア部７のフリーローラ７Ａ上を搬送する装置である。Ｘ軸搬送機構１０１は、ガイドレール１０９と、スライダ１１０とから構成されている。ガイドレール１０９は、ローラコンベア部７の両側に２つ設けられている。各ガイドレール１０９は、ローラコンベア部７の長手方向である、Ｘ軸方向に配設されている。これにより、スライダ１１０をＸ軸方向にスライド可能に支持している。スライダ１１０は、各ガイドレール１０９にそれぞれ支持されて、Ｘ軸方向に移動する部材である。各スライダ１１０は、Ｙ軸パネルクランプ機構１００の連結板１０３の両端部に取り付けられて、Ｙ軸パネルクランプ機構１００をＸ軸方向に移動させるようになっている。ガイドレール１０９と２つのスライダ１１０との間には、直動機構等の駆動源（図示せず）が設けられている。この駆動源が制御部１１１で制御されて、２つのスライダ１１０を互いに同期させてＸ軸方向に正確に移動させることができるようになっている。
【００５５】
制御部１１１は、リペア装置１全体を制御するための装置である。制御部１１１は、レーザの設定や、レシピなどを設定するコンピュータを内蔵して構成され、処理コンベア２及び搬送コンベア３の近傍に設置されている。制御部１１１の具体的な制御は後述する。
【００５６】
搬送ロボット１１３は、処理コンベア２のパネル４を搬送コンベア３へ移載するための装置である。搬送ロボット１１３は、図１２に示すように、処理コンベア２の搬出部１０及び後述する搬送コンベア３の搬入部１１８に面した位置に設けられて、下段の処理コンベア２と上段の搬送コンベア３とを連接している。これにより、搬送ロボット１１３の支持アーム（図示せず）が、処理コンベア２の搬出部１０と搬送コンベア３の搬入部１１８との間で移動して、下段の処理コンベア２のパネル４を上段の搬送コンベア３へ搬送するようになっている。搬送ロボット１１３としては、パネル４を支持して搬送できる既存の装置を用いることができる。搬送ロボット１１３は、制御部１１１で制御されている。
【００５７】
出し入れ用ロボット１１４は、下段の処理コンベア２のパネル搬入口へ外部からのパネル４を受け渡すと共に、上段の搬送コンベア３のパネル搬出口からのパネル４を受け取って外部へ搬送するための装置である。出し入れ用ロボット１１４は、図１１に示すように、処理コンベア２の搬入部８のパネル搬入口と搬送コンベア３のパネル搬出口とに面した位置に設けられている。出し入れ用ロボット１１４としては、パネル４を支持して出し入れできる既存の装置を用いることができる。出し入れ用ロボット１１４は、制御部１１１で制御されている。
【００５８】
搬送コンベア３は、処理コンベア２から受け取った処理済みのパネル４を外部へ搬送するための装置である。搬送コンベア３は、図１、１０に示すように、筺体１１６と、ローラコンベア部１１７と、搬入部１１８と、搬出部１１９とから構成されている。
【００５９】
筺体１１６は、処理コンベア２の筺体６と同様に、フレーム１２１と、外側板（図示せず）とから構成されている。フレーム１２１は、ローラコンベア部１１７等を収納して支持するための骨組みである。フレーム１２１は、製管溶接構造によって構成されている。外側板は、フレーム１２１を覆う板材である。外側板は、ステンレス板等で構成される。筺体１１６の上流側端部（図１中の右側端部）の側面には、パネル４を搬入するためのパネル搬入口（図示せず）が搬入部１１８に面して設けられる。
【００６０】
ローラコンベア部１１７は、パネル４を搬送するためのコンベアである。ローラコンベア部１１７は、マグネットドライブ式搬送コンベアで構成され、電動定量送り方式でパネル４を搬送するようになっている。ローラコンベア部１１７は具体的には、複数並列に配設された回転ローラ１２３と、各回転ローラ１２３の一端部にそれぞれ取り付けられた磁気従動ローラ１２４と、この磁気従動ローラ１２４を回転させる磁気駆動ローラ１２５と、この磁気駆動ローラ１２５を回転駆動する駆動モータ１２６とから構成されている。磁気駆動ローラ１２５は、各磁気従動ローラ１２４に一対一で対向してそれぞれ設けられている。各磁気駆動ローラ１２５は、各磁気従動ローラ１２４に直交する方向に配設された駆動モータ１２６の回転軸１２７にそれぞれ取り付けられ、駆動モータ１２６による回転によって、磁気従動ローラ１２４を介して回転ローラ１２３を回転させるようになっている。駆動モータ１２６は、制御部１１１で制御されている。これにより、搬送コンベア３に搬入されたパネル４は、駆動モータ１２６で回転駆動された回転ローラ１２３で搬出部１１９のパネル搬出口まで搬送されるようになっている。
【００６１】
搬入部１１８は、パネル４を外部から搬入する部分である。搬入部１１８は、ローラコンベア部１１７の上流側部分（図１中の右側部分）に設けられている。搬入部１１８は、処理コンベア２の搬入部８や搬出部１０に備えたリフター部１６と同じリフター部１６が回転ローラ１２３の下側に設けられている。このリフター部１６は、昇降機２４で支持ピン部２２が上昇されて、支持ピン２５が各回転ローラ１２３の間から上方へ延出して、搬送ロボット１１３からのパネル４を受け取り、支持ピン２５が各回転ローラ１２３の下側へ下降して、パネル４を回転ローラ１２３に載置させるようになっている。
【００６２】
搬出部１１９は、搬入部１１８からローラコンベア部１１７で搬送されたパネル４を外部に搬出する部分である。搬出部１１９は、ローラコンベア部１１７の下流側部分に設けられている。具体的には、搬出部１１９は、上述した搬入部１１８のリフター部１６と同様のリフター部１６を、ローラコンベア部１１７の下流側部分の下側に備えて構成されている。搬出部１１９の下流側端部には、出し入れ用ロボット１１４に面してパネル搬出口（図示せず）が設けられている。リフター部１６は、搬入部１１８から搬送されたパネル４を持ち上げて、パネル搬出口を介して出し入れ用ロボット１１４に渡すようになっている。パネル搬出口にはシャッタ（図示せず）が設けられている。レーザ照射中は、シャッタが閉じられて、レーザ光が外部に漏れるのを防止している。シャッタの開閉扉（図示せず）にはインターロックスイッチが設けられている。
【００６３】
以上のように構成されたリペア装置１では、制御部１１１によって次のようにパネル４のリペア処理が行われる。図１３のフローチャートに基づいて説明する。
【００６４】
まず、出し入れ用ロボット１１４で、外部からのパネル４が、処理コンベア２のパネル搬入口から搬入部８に搬入される(ステップＳ１)。
【００６５】
搬入部８では、リフター部１６の昇降機２４の昇降シリンダ３３が昇降軸３３Ａを上昇させて支持ピン部２２の支持ピン２５を、搬入ローラ部１５の各フリーローラ７Ａの間から上昇させる。出し入れ用ロボット１１４は、パネル４を支持ピン２５のパネル受け２８上に載置して、待機状態になる。
【００６６】
次いで、リフター部１６では、昇降シリンダ３３が昇降軸３３Ａを下降させて支持ピン部２２の支持ピン２５を、搬入ローラ部１５の各フリーローラ７Ａの間に下降させる。これにより、パネル４は、搬入ローラ部１５のフリーローラ７Ａに載置される。
【００６７】
このとき、支持ピン２５は、そのパネル受け２８がパネル４の裏面から僅かに離れる程度で下降が停止され、Ｘ軸アライメント機構１７の第１パネルクランプ３８の当接部４２及び第２パネルクランプ３９の当接部４６の位置が、パネル４の周縁部に当接する位置に調整される。
【００６８】
次いで、第１パネルクランプ３８のスライダ４４と第２パネルクランプ３９のスライダ４８が、互いに近接するように設定位置にずらされて、当接部４２，４６でパネル４が押されて、パネル４のＸ軸方向の位置決めがなされる(ステップＳ２)。
【００６９】
さらに、パネル搬送ステージ１１の２つのスライダ１０５が互いに近接するように設定位置にずらされ、支持アーム１０６のクランプ部１０７でパネル４が押されて、パネル４のＹ軸方向の位置決めがなされると共に、クランプ部１０７でパネル４が支持される(ステップＳ３)。
【００７０】
Ｘ軸アライメント機構１７とパネル搬送ステージ１１の位置決め動作は、同時に行わせてもよく、いずれか一方を先に行わせてもよい。これにより、パネル４は，ＸＹ軸方向に位置決めがなされる。次いで、Ｘ軸アライメント機構１７は、クランプ解除されて、ローラコンベア部７の下方へ降下される。
【００７１】
次いで、ＩＤリーダ１８がＸＹＺ軸ステージ５０で、パネル４のＩＤの上方に移動されて、そのＩＤを読み取られて、移動距離が演算される(ステップＳ４)。即ち、制御部１１１は、このＩＤリーダ１８で読み取ったＩＤを基に、パネル４の欠陥情報をＣＩＭから入手し、この欠陥情報に基づいて制御する。パネル４のアライメントマークが読み取られ、このアライメントマークから欠陥部位までの移動距離が特定される。
【００７２】
この欠陥情報に基づいて、パネル搬送ステージ１１によってパネル４が設定位置に移動される(ステップＳ５)。具体的には、ローラコンベア部７のフリーローラ７Ａで補助的に支持された状態で、パネル搬送ステージ１１の支持アーム１０６がパネル４を支持し、スライダ１１０がガイドレール１０９に案内されて、パネル４をＸ軸方向に軽い力で、リペア部９の設定位置まで移動される。即ち、パネル４の欠陥のＸ軸方向の位置が、レーザ装置６０の対物レンズ７１の光軸のＸ軸方向の位置と一致する位置に移動される。
【００７３】
次いで、ＸＹ軸ステージ６１のＹ軸移動機構８０でレーザ装置６０がＹ軸方向に移動されて位置合わせされる(ステップＳ６)。即ち、レーザ装置６０の対物レンズ７１の光軸のＹ軸方向の位置と、パネル４の欠陥のＹ軸方向の位置とが一致する位置にレーザ装置６０が移動され、正確に位置合わせされる。
【００７４】
さらに、パネル搬送ステージ１１のＸ軸方向の精度を補うために、Ｘ軸移動機構８１でレーザ装置６０のＸ軸方向が１ピクセル内で僅かに移動されて微調整され、精密に欠陥部を捕捉する(ステップＳ７)。即ち、レーザ装置６０と欠陥部とを精密に整合させる。このとき、カメラで映した欠陥部位の映像をモニタ（図示せず）で表示させて、オペレータに確認させるようにしてもよい。
【００７５】
さらに、上述の欠陥情報に基づいてＸＹＺ軸ステージ９２が、照明ごみ除去装置６２の照明部８８をパネル４の欠陥部の上方位置に移動させる(ステップＳ８)。これにより、照明部８８による透過照明の光軸と、ＣＣＤカメラ７４の光軸とが一致するように調整する。さらに、同軸照明光源７７の光軸とＣＣＤカメラ７４の光軸とが一致した状態で、パネル４の欠陥をＣＣＤカメラ７４で映して、レーザ発振器６７のレーザ光の光軸と、パネル４の欠陥位置とを整合させる。
【００７６】
次いで、ガイド光源７２から可視光を出して、レーザ発振器６７のレーザ光の光軸とパネル４の欠陥位置との整合を最終的に確認して、ローラコンベア部７のフリーローラ７Ａの間からレーザ光を照射し、欠陥部分をリペアする(ステップＳ９)。
【００７７】
リペアが終了すると、パネル搬送ステージ１１でパネル４を搬出部１０に移動させて、搬送ロボット１１３に渡して搬送コンベア３へ移送する(ステップＳ１０)。即ち、パネル搬送ステージ１１でパネル４を搬出部１０に移動させた後、パネル搬送ステージ１１は搬入部８に戻り、リフター部１６はパネル４を持ち上げて、搬送ロボット１１３の支持アームに渡す。搬送ロボット１１３の支持アームは、パネル４を支持して、搬送コンベア３へ搬送する。支持アームは、パネル４を搬送コンベア３の搬入部１１８に搬入し、搬入部１１８のリフター部１６に渡す。
【００７８】
リフター部１６は、パネル４を受け取って搬送コンベア３のローラコンベア部１１７に載置して、ローラコンベア部１１７はパネル４を搬出部１１９に移動させる(ステップＳ１１)。ローラコンベア部１１７では、駆動モータ１２６が、磁気駆動ローラ１２５と磁気従動ローラ１２４とを介して回転ローラ１２３を回転駆動して、パネル４を搬出部１１９に移動させる。搬出部１１９に設けられたセンサ（図示せず）がパネル４を検知すると、駆動モータ１２６が停止される。
【００７９】
次いで、リフター部１６がパネル４を持ち上げて、出し入れ用ロボット１１４に渡して、外部に搬出する(ステップＳ１２)。出し入れ用ロボット１１４の支持アームは、パネル搬出口から搬出部１１９に挿入されて、リフター部１６で支持されたパネル４を受け取って外部に搬出する。
【００８０】
この一連の処理において、リペア部９でのリペア処理に時間がかかるため、このリペア部９での処理に合わせて、搬入部８に次のパネル４を前もって搬入し、リペア処理が終了したら、リペア処理終了後のパネル４を搬出部１０に速やかに移動させて、すぐに次のパネル４を搬入部８で受け取ってリペア部９に移動させる。これにより、パネル４を連続的にリペア部９に搬入してリペア処理を行わせる。
【００８１】
以上のように、パネル４をローラコンベア部７の各フリーローラ７Ａ上に載置して、各フリーローラ７Ａ間からレーザ装置６０のレーザ光を欠陥部分に照射するため、パネル４の上下を逆にすることなく、欠陥のリペアをすることができる。
【００８２】
パネル４をローラコンベア部７のフリーローラ７Ａで補助的に支持して、パネル搬送ステージ１１の支持アーム１０６で支持するようにしたので、パネル４の落下や撓みを防止して、確実に支持することができる。即ち、パネル搬送ステージ１１とローラコンベア部７とが協働して、パネル４を確実に支持することができる。これにより、大型のパネル４に対しても、パネル搬送ステージ１１で容易に支持して搬送することができる。
【００８３】
さらに、パネル搬送ステージ１１のＸ軸搬送機構１０１での精度を、ＸＹ軸ステージ６１のＸ軸移動機構８１で補うようにしたため、Ｘ軸搬送機構１０１とＸ軸移動機構８１とが協働して、レーザ装置６０のＸ軸方向の位置決めを、短時間でかつ高い精度で行うことができる。この結果、協働するＸ軸搬送機構１０１及びＸ軸移動機構８１と、Ｙ軸移動機構８０とが相まって、速やかにかつ高精度で、レーザ装置６０を欠陥部位に位置合わせすることができる。これにより、大型のパネル４でも、効率的にリペア処理を行うことができる。さらに、複数のパネル４を、連続的にリペア処理することができる。即ち、本実施形態の構成にすることで、最も効率的にリペア処理を行うことができるようになる。
【００８４】
[変形例]
前記実施形態では、処理コンベア２と搬送コンベア３とを、別部材として構成したが、図１４に示すように、一体的に構成してもよい。図１４のリペア装置１３０の全体的構成は、前記実施形態のリペア装置１とほぼ同様であるため、ここでは、同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００８５】
図１４のリペア装置１３０では、１つの筺体１３１内に、処理コンベア２と搬送コンベア３とを組み込んでいる。
【００８６】
筺体１３１は、メインフレーム１３２と、フローティングフレーム１３３と、除振機１３４と、外側板１３５とから構成されている。メインフレーム１３２は、処理コンベア２と搬送コンベア３とを上下二段に重ねてこれらを同時に支持する大きさに構成される。搬送コンベア３は、メインフレーム１３２に設けられたステー部１３６で支持される。
【００８７】
フローティングフレーム１３３は、処理コンベア２を支持するフレームである。フローティングフレーム１３３は、処理コンベア２でのリペア処理に支障をきたす振動を防止するために、メインフレーム１３２内に除振機１３４を介して装着されている。
【００８８】
除振機１３４は、空気圧を利用したエアスプリング機構等を用いて構成されている。さらに、除振機１３４には、レベル調整機構が設けられている。この除振機１３４によって、処理コンベア２が安全に支持されている。これにより、地震等によって処理コンベア２が揺れることがなく、安全にリペア処理を施すことができる。
【００８９】
筺体１３１のパネル搬入口（図１４の処理コンベア２に面する筺体１３１の左側面）にはシャッタ１３７が設けられている。パネル搬出口（図１４の搬送コンベア３に面する筺体１３１の左側面）にはシャッタ１３８が設けられている。これらのシャッタ１３７，１３８には、インターロックスイッチが設けられている。これらのシャッタ１３７，１３８は、レーザ照射中は閉じられて、レーザ光が外部に漏れるのを防止している。
【００９０】
このリペア装置１３０によっても、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００９１】
さらに、除振機１３４で支持されたフローティングフレーム１３３によって処理コンベア２を支持したため、リペア装置１３０が何らかの原因で振動しても、リペア部９でのリペア処理を安全に行うことができる。
【００９２】
また、前記実施形態では、処理コンベア２と搬送コンベア３とを縦に重ねて構成したが、横に並べて構成してもよい。処理コンベア２のパネル搬入口にパネル４を戻す必要がない場合は、搬送コンベア３を設けず、処理コンベア２だけでリペア装置１を構成してもよい。
【００９３】
前記実施形態及び変形例に係るリペア装置は、レーザ光で欠陥部をリペアすることができる回路等を備えたパネル全般に用いることができる。
【符号の説明】
【００９４】
１：リペア装置、２：処理コンベア、３：搬送コンベア、４：パネル、６：筺体、７：ローラコンベア部、７Ａ：フリーローラ、８：搬入部、９：リペア部、１０：搬出部、１１：パネル搬送ステージ、１３：フレーム、１５：搬入ローラ部、１６：リフター部、１７：Ｘ軸アライメント機構、１８：ＩＤリーダ、１８Ａ：カメラ、１９：ステー、２０：調整用スリット、２２：支持ピン部、２４：昇降機、２５：支持ピン、２７：スライダ、２８：パネル受け、２９：ガイドレール、３１：支持板、３２：ガイド棒、３３：昇降シリンダ、３４：昇降支持板、３５：支柱、３７：支持板、３８：第１パネルクランプ、３９：第２パネルクランプ、４２：当接部、４３：支柱、４４：スライダ、４６：当接部、４７：支柱、４８：スライダ、５０：ＸＹＺ軸ステージ、５１：Ｙ軸移動機構、５２：Ｘ軸移動機構、５３：レール棒、５４：スライダ、５５：ガイドレール、５６：スライダ、５７：支持棒、６０：レーザ装置、６１：ＸＹ軸ステージ、６２：照明ごみ除去装置、６５：レーザユニット、６６：光学系、６７：レーザ発振器、６８：結像レンズ、６９：全反射ミラー、７０：ハーフミラー、７１：対物レンズ、７２：ガイド光源、７４：ＣＣＤカメラ、７５：結像レンズ、７６：ハーフミラー、７７：同軸照明光源、７８：全反射ミラー、８０：Ｙ軸移動機構、８１：Ｘ軸移動機構、８３：ガイドレール、８４：スライダ、８５：ガイドレール、８８：照明部、８９：ごみ除去部、９０：支持板、９２：ＸＹＺ軸ステージ、９３：Ｙ軸移動機構、９４：Ｘ軸移動機構、９６：レール棒、９７：スライダ、９８：ガイドレール、９９：スライダ、１００：Ｙ軸パネルクランプ機構、１０１：Ｘ軸搬送機構、１０３：連結板、１０４：ガイドレール、１０５：スライダ、１０６：支持アーム、１０７：クランプ部、１０９：ガイドレール、１１０：スライダ、１１１：制御部、１１３：搬送ロボット、１１４：出し入れ用ロボット、１１６：筺体、１１７：ローラコンベア部、１１８：搬入部、１１９：搬出部、１２１：フレーム、１２３：回転ローラ、１２４：磁気従動ローラ、１２５：磁気駆動ローラ、１２６：駆動モータ、１３０：リペア装置、１３１：筺体、１３２：メインフレーム、１３３：フローティングフレーム、１３４：除振機、１３５：外側板、１３６：ステー部、１３７：シャッタ、１３８：シャッタ。
【図１】
0005432804.tif 000002
【図２】
0005432804.tif 000003
【図３】
0005432804.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005432804.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005432804.tif 000008
【図８】
0005432804.tif 000009
【図９】
0005432804.tif 000010
【図１０】
0005432804.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0005432804.tif 000013
【図１３】
0005432804.tif 000014
【図１４】
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