(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
−防振または制振される積載物（１２）と、
−前記積載物（１２）を支持する支承体（１３）と、
−重力（１８）に対して直角な測定方向（１９）における前記積載物の振動を検出するための振動センサ（１４）と、
−前記積載物（１２）を支持する前記支承体（１３）に対して前記積載物（１２）を動かすためのアクチュエータ（１５）と、
−前記振動センサ（１４）と前記アクチュエータ（１５）に操作可能に接続され、前記積載物の検出された前記振動を表す信号を前記アクチュエータ（１５）に供給するコントローラ（１６）と、
を備え、前記振動センサは、センサフレームと、前記測定方向において前記センサフレームに対して移動できるように前記センサフレームに接続された慣性基準質量とを備えた能動的防振および制振システム（１１）において、
前記振動センサ（１４）は、
−重力（１８）に対して直角な軸（１７）周りの前記積載物の回転のための前記積載物（１２）への低剛性接続であって、それによって前記振動センサ（１４）が前記軸（１７）周りの前記積載物（１２）の振動から主に独立しているのを許容する低剛性接続と、
−前記積載物（１２）が前記軸（１７）周りに動いたときに前記振動センサ（１４）が前記軸（１７）周りに動くのを防ぐためであるが、前記測定方向（１９）への前記振動センサ（１４）の運動を許容する、前記軸（１７）周りの前記回転のためのフレーム（１３’）への高剛性接続と、
−前記振動センサが追従して前記測定方向（１９）における前記積載物（１２）の振動を測定するのを許容するために、前記振動センサ（１４）によって検出可能な前記測定方向（１９）における振動のための前記積載物（１２）への高剛性接続と、
を有することを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記フレーム（１３’）は前記積載物（１２）を支持する支承体（１３）である、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記システムは、振動を検出するための追加の振動センサ（２５）を少なくとも１つ備えることを特徴とする、請求項１に記載の能動的防振および制振システム。
【請求項４】
前記振動センサ（２４）は重力に対して直角な振動を測定するために適しており、前記追加のセンサ（２５）は重力方向への振動を測定するために適している、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記アクチュエータ（１５）はローレンツアクチュエータである、請求項１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防振または制振されるべきペイロードと、ペイロードの振動を検出するための振動センサと、ペイロードを支持する支承体に対してペイロードを動かすためのアクチュエータと、振動を表す信号をアクチュエータに供給するコントローラとを備える能動的防振および制振システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
地震および他の機械的外乱は、このような外乱振動がない環境を必要とする用途にとっての制限要因にますますなりつつある。地球上で開発中の宇宙機器は、宇宙での作業環境と同様のテスト環境を必要とする。プロセッサおよびメモリのような半導体製品に関して予見されるように小型化がさらに進むと、これらの製品の製造に用いられるリソグラフィ装置には現在得られる安定性より良い安定性が必要とされる。また、振動は、電子顕微鏡および原子間力顕微鏡の解像度のさらなる向上を妨げている。プラットフォームまたはペイロード、すなわち積載物とそこに配置された負荷とを機械的バネ、エラストマー、空気軸受、または磁気軸受を用いて地震から絶縁する単純な受動的方法は現在の要求を満たさない。
【０００３】
振動の測定に基づく能動的制御は、振動の発生源、例えば床、とペイロードとの間の剛性結合を調整するだけの（受動的または能動的）防振手法のようにコンプライアンスを増加させることなく、望ましくない振動からの絶縁を受動的防振より良好に可能にする。能動的振動制御システムは、実際の機械的外乱を補償する。望ましくない振動を検出可能なセンサ装置を振動源（多くの場合は地面または床）あるいは地震または他の機械的外乱から絶縁されるべきペイロードのどちらか一方に配置可能である。床または支持構造に対するペイロードの振動、あるいは慣性基準質量に対するペイロードの振動、は機械的、電気的、光学的、または電磁的に検出される。この目的のために、センサは、加速度、速度、あるいは位置または距離を検出するための周知の手段を備えうる。ペイロードはバネまたは他の支承体によって支持され、サーボモータのようなアクチュエータによってセンサの感度軸に沿って駆動可能である。センサの電子出力は（フィルタリングされてから）、望ましくない振動を補償するアクチュエータにフィードバックされる。
【０００４】
国際公開第２００４／０２９４７５号は、能動的防振および除振のためのシステムおよび方法を開示している。振動センサは、ペイロードに追従的に取り付けられた慣性基準質量に対するペイロードの一定方向への振動を測定する。測定された振動信号はコントローラに供給され、その方向に加えるべき力がコントローラによって計算される。使用される各センサは、一般には、１つの方向への振動を検出するためにその方向へのコンプライアンス（高剛性）を示す。より具体的には、各センサは１つの並進自由度を有しうる。欧州特許出願公開第１８７０６１４号は、センサとアクチュエータとを備え、センサの有効軸とアクチュエータの有効軸とが基本的に平行である、このような能動的防振システムを開示している。複数の自由度のための防振を得るために、センサとアクチュエータとの組み合わせをいくつか行いうることは当業者には公知である。
【０００５】
振幅が小さい良好な防振を得るには、防振されるべきペイロードに複数の振動センサを配置または取り付けることが好ましい。すなわち、慣性基準質量を備えた絶対振動センサが適用された能動的振動システムは、低周波数において良好な防振を可能にする。基準質量はセンサフレームに接続される。センサフレームに対する質量の変位は、１つの並進自由度において記録されうる。センサフレームへの剛性結合を介する以外の方法で測定方向に基準質量に直接加わる動的な力がない場合、記録される信号は、この方向におけるセンサフレームの絶対振動量である。ただし、センサフレームとペイロードとの間のあらゆる自由度における高剛性結合により、センサはペイロードと同じ方向に並進および回転する。
【０００６】
振動センサが水平自由度の振動を測定するとき、重力（または重力ベクトル）は測定方向に対して直角である。つまり、このセンサは、追加の自由度がないために、この鉛直力に感応しない。センサが慣性基準質量を備えている場合、この質量は測定方向、すなわち水平方向、において重力による変位を受けない。センサ、より具体的にはセンサ筐体、とペイロードとの間の剛性結合に起因する問題は「水平傾動の問題」と呼ばれる。その理由は、この問題は主に、ペイロードひいてはセンサが水平軸に沿った回転振動を示すときに発生することによる。
【０００７】
ペイロードが水平軸を中心として傾動すると、測定方向は同じ方向に傾動する。傾動した向きにおいては、重力により基準質量は測定方向における変位を確かに受ける。つまり、ペイロードが水平軸を中心として傾動する自由度については、水平方向において測定される振動は絶対振動として最早有効ではない。ペイロードに対する傾動方向への外乱は、擬似振動信号を異なる水平方向に引き起こし、この方向における防振性能を低下させる。
【０００８】
国際公開第２００５／０４７７２８号は、水平方向の低固有振動数を達成可能な水平運動防振システムを公開している。このシステムの各支承部材（柱）は、ペイロードとフレームとの間の剛性部材であり、水平軸を中心とした傾転のための剛性を有すると共にペイロードの水平並進を許容する傾動機構を備えている。この出願は、ペイロードとフレームとの間の一定周波数を超える振動を減衰できる単一自由度を有するバネ−質量系を開示している。この受動的システムは、例えば質量がペイロードの支承部材のうちの１つに近接配置されるために、ペイロードの傾動を受動的に防ぐ。この受動的システムは、能動的防振によって得られるレベルの防振をもたらさない。
【０００９】
ペイロードの傾動を測定するための公知のセンサが複数存在する。このような複雑なセンサは、例えば、Ｊ．Ｗｉｎｔｅｒｆｌｏｏｄ、Ｚ．Ｂ．Ｚｈｏｕ、Ｌ．Ｌｕ、およびＤ．Ｇ．Ｂｌａｉｒ共著「重力波検出において超低残留運動振動を隔離する傾斜低減（Ｔｉｌｔ  ｓｕｐｐｒｅｓｓｉｏｎ  ｆｏｒ  ｕｌｔｒａ−ｌｏｗ  ｒｅｓｉｄｕａｌ  ｍｏｔｉｏｎ  ｖｉｂｒａｔｉｏｎ  ｉｓｏｌａｔｉｏｎ  ｉｎ  ｇｒａｖｉｔａｔｉｏｎａｌ  ｗａｖｅ  ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）」、フィジックスレターＡ２７７（２０００年）ｐ．１４３−１５５に開示されている。この特別に設計されたセンサは、鏡面間を往復してはね返り四分割フォトダイオードに入るレーザビームを備える。このようなセンサは、能動的振動システムに適用可能であるが、比較的単純な解決策を提供しない。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の目的は、環境によってペイロードに加えられる外乱振動からのペイロードの絶縁が向上され、かつペイロードの振動の減衰も向上された能動的防振および制振システムを提供することである。
【００１１】
本発明の目的は、重力に対して直角な軸に沿った回転のためのペイロードへの低剛性接続と、振動センサによって検出可能な振動のためのペイロードへの高剛性接続とを有する振動センサを備えた、上記で定義したようなシステムによって達成される。
【００１２】
重力に対して直角な軸に沿った回転のためのペイロードへの低剛性接続の効果は、ペイロードの傾動によって追加の力が測定方向に振動センサに加わらないことである。したがって、センサは傾動振動から実際に切り離される。従来技術による能動的振動システムにおいては、この追加の力は、回転とは異なる自由度の振動として解釈されることになる。例えば水平振動を測定するように設計された振動センサを備えたこのような能動的防振システムにおいては、傾動振動はペイロードの水平振動として間違って解釈されることになる。結果として、従来技術によるシステムのコントローラは、ペイロードを水平に変位させるための信号を水平アクチュエータに与えることになる。本発明による結合解除は、このような誤変位を防止する。
【００１３】
本発明は、関連する振動センサの動きがペイロードの動きから少なくとも部分的に切り離される場合は、既知の能動的防振システムのさらなる改良が可能であるという洞察に基づく。
【００１４】
ある自由度のための振動センサの高剛性接続とは、そのセンサがその特定の自由度におけるペイロード、フレーム、支承体、または地面の振動に主に追従するか、またはその振動を主に測定することを意味する。例えば水平方向における高剛性とは、センサが固定されている支承部の水平変位にセンサが一定の周波数範囲内においてかなり正確に追従するか、またはその水平変位をかなり正確に測定することを意味する。一般に、高剛性接続は、２５Ｈｚより高い共振周波数をもたらすことになる。
【００１５】
ある自由度のための振動センサの低剛性接続とは、そのセンサがその特定の自由度におけるペイロード、フレーム、支承体、または地面の振動から主に独立していることを意味する。例えば、ある軸を中心とした回転のための低剛性接続とは、当該センサが一定の周波数範囲内においてその回転に追従しないか、またはその回転を測定しないか、あるいは有意でない程度でのみその回転に追従するか、またはその回転を測定することを意味する。一般に、低剛性接続は高剛性接続の１０分の１未満である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来技術による能動的防振および制振システムを模式的に示す。
【図２】大半の自由度のためにペイロードを支持するフレームに１つの振動センサが固定された、本発明による能動的防振および制振システムの一実施形態を模式的に示す。
【図３】大半の自由度のために１つの振動センサがペイロードに固定された、本発明による能動的防振および制振システムの一実施形態を模式的に示す。
【図４】水平振動のための本発明の特定の適合性を示す。
【図５】複数の追加センサを有する、本発明による能動的防振および制振システムの一実施形態を模式的に示す。
【図６】図５に示されている実施形態の性能を例示する、アクチュエータからセンサへの開ループ伝達関数のモデル計算を示す。
【図７】図５に示されている実施形態の性能を例示する、ペイロードの重心の運動への外乱力の閉ループ伝達関数のモデル計算を示す。
【図８】高回転剛性を実現するための一実施形態の概略図である。
【図９】低周波数および高周波数における回転剛性が異なる一実施形態の概略図である。
【図１０】本能動的防振および制振システムにおける複数のセンサおよび複数のアクチュエータの１つの可能な向きを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１は、従来技術による能動的防振および制振システムを模式的に示す。このようなシステムは、防振または制振されるべきペイロード（２）と、ペイロードを支持する支承体（３、３’）と、ペイロードの振動を検出するための少なくとも１つの振動センサ（４または４’）と、ペイロードを動かすための少なくとも１つのアクチュエータ（５または５’）と、関連の自由度（並進または回転方向）の振動を表す信号をアクチュエータに供給するコントローラ（６または６’）とを備える。支承体に対するペイロードの相対的変位を測定するために、振動センサ（４’）をペイロード（２）に配置または固定してもよく、あるいはセンサ（４）を支承体（３）に配置または固定してもよい。ペイロードは機械的バネまたはエラストマーのような従来のサスペンション（７）によって支持されうる。支承体は、フレーム、床、壁、または天井を含む、ペイロードのための何れかの支持構造でよい。アクチュエータは支承体に配置または固定される。このアクチュエータは、例えば圧電セラミック式の圧電アクチュエータ、磁歪モータ、ローレンツモータ（音声コイル）、または何れかの種類の位置アクチュエータまたはモータでもよい。
【００１８】
図２は、水平振動が絶縁または減衰される、本発明による能動的防振および制振システムの一実施形態を模式的に示す。振動センサ（１４）は、水平方向の並進を除くあらゆる自由度のためにフレーム（１３’）に固定される。このフレームは、ペイロードを支持するフレーム（１３）でもよい。振動センサはペイロードの水平並進を測定するためにペイロードに剛的に接続される。水平振動を表す信号がコントローラ（１６）に送られる。外乱傾動振動軸（１７、１７’）がセンサ（１４）の測定方向（１９）に対して直角な成分を有する限り、振動センサは振動を１自由度においてのみ測定すれば十分でありうる。この傾動振動軸は、軸（１７）によって例示されているように、測定方向に対して直角であり、かつペイロードの平面に存在しうるが、例えば軸（１７’）のように重力（１８）の方向に対して直角な成分を有する軸に沿った回転であれば如何なる回転でも軸（１７）に沿った回転になることは理解されるであろう。この図には１つの振動センサのみが示されている。ただし、傾動が何れの方向にも起こりうる場合は、２つまたは３つの振動センサが好ましい。水平振動は、コントローラ（１６）から入力信号を受信する少なくとも１つのアクチュエータ（１５）によって減衰される。
【００１９】
残りの自由度における振動は、当業者には公知の振動センサによって測定可能である。これらのセンサはペイロードに配置されることが好ましいが、これらのセンサはペイロードを支持する床にも配置可能である。したがって、水平振動センサは、その測定方向においてのみ、例えば、ダブルヒンジまたは可撓梁を介して、ペイロードに接続可能である。この振動センサの他の５つの自由度は、リニアガイドを介して地面に剛的に接続可能である。このリニアガイドは、測定方向への振動センサフレームの運動を許容するが、ペイロードの傾動時の振動センサの傾動など、他の方向への振動センサフレームの運動を防止するように設計可能である。
【００２０】
図３は、５自由度以内のために高剛性でペイロードに接続された、水平振動測定用に設計された第１の振動センサ（２４）を備える、本発明による能動的防振および制振システムの別の実施形態を模式的に示す。この第１の振動センサは、ペイロードの傾動から切り離される。水平アクチュエータ（１５）の変位を制御するコントローラ（１６）にペイロードの水平振動を表す信号が送られる。本システムは、例えば鉛直振動を検出するために、別の自由度における振動を測定するように設計された第２の振動センサ（２５）をさらに備える。この第２のセンサを傾動振動から切り離す必要はないが、切り離してもよい。鉛直アクチュエータ（２７）の変位を制御するコントローラ（２６）にペイロードの鉛直振動を表す信号が送られる。さまざまなアクチュエータの変位を制御するために２つのコントローラを１つの電子回路に組み合わせうることを理解されるであろう。これらの振動センサは何れの種類でもよいが、低周波数、例えば０．２Ｈｚ未満の周波数、の振動を絶縁または減衰するためのシステムにおいては慣性基準質量を備えた振動センサが好ましい場合がある。このようなセンサにおいては、基準質量は、振動センサによって検出可能な自由度のためにその筐体に低剛性で接続される。筐体へのセンサの低剛性接続により、基準質量は、検出対象の振動の慣性質量になる。
【００２１】
図４は、水平振動のための本発明の特定の適合性を示す。水平振動を測定するための振動センサが角度αを有する振幅で傾動すると、この傾動により、この傾動角度の正弦値を重力に掛けた値に等しい力がセンサの軸（水平方向と想定）に沿って追加される：Ｆ／／＝Ｆｇ＊ｓｉｎ（α）。傾動振幅が小さい場合、これは重力に直線的に比例した力になる。鉛直振動センサの場合、この追加の力は傾動角度の余弦に比例する。したがって、同じ現象が発生するにも拘らず、能動的防振への影響ははるかに小さい。このような力は、一般には水平振動の場合に比べ数桁小さいため、最も一般的な外乱の場合に一般的な小さな角度の場合は無視できる。
【００２２】
図５は、複数の追加センサを有する、本発明による能動的防振および制振システムの一実施形態を模式的に示す。この実施形態では、本発明による能動的防振および制振システムの有利な特性が示される。本実施形態は、１つの水平方向、１つの鉛直方向に移動可能であると共に、水平および鉛直方向の両並進に対して直角な軸を中心として回転可能な剛性ペイロード（３１）を備える。このペイロードは、あらゆる自由度のために、すなわち全ての並進および回転方向に、５Ｈｚのサスペンション（３２）によって剛性世界に接続される。この能動的振動システムは、重心のアームに配置された３つの振動センサを備える。２つの振動センサ（３４、３５）が鉛直振動を検出でき、１つのセンサ（３３）が水平振動を検出できる。この３つのセンサの全てが、同じ方向に位置合わせされた、力をペイロードに加えることができる対応する力アクチュエータ（３６、３７、３８）を有する。これらのアクチュエータは、１つ以上のコントローラ（３９、３９’、３９”）によって制御される。
【００２３】
図６は、図５に示されている実施形態の性能を例示する、アクチュエータからセンサへの開ループ伝達関数のモデル計算を示す。この３つのモデル計算のために、３つのセンサは、直線的に案内される質量バネ系としてモデル化されている。このモデルにおいては、慣性フィードバック系の性能は、対応するセンサとアクチュエータとの間の制御ループを閉じることによって予測可能である。２つのケースがシミュレートされている。一方のケースは、センサに対する重力効果を例示する能動的振動システムのための従来技術を表し、もう一方のケースは本発明によるシステムの場合の状況を表している。この後者のシミュレーションには、重力は省かれている。
【００２４】
各アクチュエータから各センサへの開ループ伝達関数が示されている。実線は、重力効果が含まれている従来技術を表し、破線は、重力効果が含まれていない本発明を表している。水平センサの低周波数領域においては、重力がある場合とない場合との間に明らかな差がある。重力がある場合、低周波ゲインが交差周波数付近で位相と組み合わされるために、取得可能なループゲインが制限される。この例においては、重力効果が含まれる場合に取得可能な最大ループゲインは約３５ｄＢである。このモデルにおいて重力効果が含まれない場合に取得可能な最大ループゲインは無限であるが、実際にはセンサ雑音および／または高次共振によってのみ制限されることになる。
【００２５】
図７は、図５に示されている実施形態の性能を例示する、ペイロードの重心の運動への外乱力の閉ループ伝達関数のモデル計算を示す。これらのモデル計算は、図６に示されているモデル計算と同じ前提に基づいている。ここでも、実線は、重力効果が含まれているケース（従来技術のシステム）を表し、破線は、重力効果が含まれていないケース（本発明によるシステム）を表す。このシミュレーションにおいては、同じ（重力が制限された）コントローラが適用されている。
【００２６】
対角伝達関数は両ケース間で同等である。ただし、水平軸周りのモーメントＭθと、鉛直方向への力Ｆｚと、水平方向へのペイロードの運動ｘｐａｙｌｏａｄとの間の非対角項においては、コンプライアンスの劇的増加が見られる。つまり、モーメント（または質量中心のアームにおける力）をこの周波数帯域で加えると、重心の水平運動という点でのテーブルの応答は、水平力と水平運動との間の実際の伝達より著しく大きくなる。重力効果が含まれている場合、ペイロードの絶対運動という点での慣性フィードバック系の性能は、非対角項の１つにおけるコンプライアンスの増加によって著しく低下する。重力効果をなくすと、または提案される解決策を実施すると、低周波数帯域における性能はペイロードの受動的サスペンションと同じ程度に良くなりうる。
【００２７】
図８は、支承体、例えばフレーム、への接続のための高回転剛性とペイロードへの接続のための低剛性とを実現する一実施形態の概略図である。フレームに固定されたヒンジ（５４）上の剛性体（５１）と２つの可撓梁（５２、５２’）とをそれぞれ備えた３つの屈曲機構を介して、水平センサ（５３）はフレームへの高回転剛性接続を有する。他の自由度については、センサはペイロードに剛的に接続される。各回転軸は、重力ベクトル（５６）に対して直角であると共に、ペイロード（５５）の水平変位を検出する水平振動センサの測定方向に対しても直角である。
【００２８】
低周波における低傾動効果、すなわちフレームへのセンサの剛性接続、と高周波におけるフレームと振動センサとの間のより弱い結合とを組み合わせることが好ましい場合がある。このような効果は、センサとフレームとの間に位置する補助質量によって実現可能である。このようなシステムの一実施形態が図９に示されている。この実施形態においては、ヒンジ（５４）はフレームに取り付けられず、補助質量（５７）に取り付けられる。この補助質量（５７）は回転剛性（５８）によってフレーム（１３）にさらに接続されるが、この質量の回転軸はセンサ（５３）の回転軸に対して平行である。補助質量の回転とセンサの回転との間の結合（｜Ｍ｜）がロールオフする周波数ｆｒｏは、補助質量（一般には１ｋｇと１００ｋｇの間）と２つの回転剛性とによって調整可能である。一般に、フレームに対する回転のための補助質量の回転剛性は、補助質量に対するセンサの回転剛性より少なくとも一桁大きい。
【００２９】
図１０は、本能動的防振および制振システムにおける複数のセンサ（６１、６１’、６１”）および複数のアクチュエータ（６２、６２’、６２”）の１つの可能な向きを例示する。これらのアクチュエータは、地面に配置されるか、またはペイロード（６３）を支持するフレーム（６４）に固定される。センサ／アクチュエータの組み合わせを複数備えるシステムにおいては、センサとアクチュエータとが同じ自由度を有する必要はない。つまり、あるセンサの測定方向をこれらのアクチュエータの何れかの変位方向に対応させる必要はない。センサ（６１”）を重力に対して固定角度で傾動させることもできる。
【００３０】
本発明は、テスト中の計器、例えば宇宙用の計器、を支持するために用いられるプラットフォーム用に特に適している。ただし、本発明は、多種多様な機器における防振にも使用可能であり、対象機器として望遠鏡、リソグラフィ機械、および自動車が挙げられるがこれだけに限定されるものではない。本システムは、例えば地面から生じた外部振動からペイロードを絶縁するために適している。さらに、本システムは、ペイロード自体、すなわち可動部品を収容した機器、またはこの機器を操作する人間、から生じた振動を減衰するためにも適している。振動とは、周期的または非周期的な、あらゆる種類の動き、変位、または回転である。したがって、本発明は、ペイロードの環境から生じた振動からのペイロードの絶縁に関するばかりでなく、ペイロード上に配置されている機器のような他の発生源から生じた振動の抑制にも関する。
【００３１】
本能動的防振システムは、防振または制振されるべきペイロードの振動を検出するためのセンサを少なくとも１つ備える。このセンサは、あらゆる空間方向への振動を検出する必要はない。実際には、有限数の、例えば１つまたは２つの、自由度のみを有するセンサを使用することが好ましい場合もある。また、３つの水平振動センサと３つの鉛直振動センサとを備えても良い。
【００３２】
なお、本文献で用いられている何れの用語も本発明の範囲を限定するように解釈されるべきではない。特に、単語「備える／含む」および「備えた／含んだ」は、具体的に明記されていない要素を排除するものではない。単一の要素または成分は複数の要素または成分、あるいはその均等物に置換されうる。
【００３３】
本発明は上記の実施形態に限定されず、添付の特許請求の範囲に規定されている本発明の範囲から逸脱することなく多くの変更および追加を行いうることを当業者は理解されるであろう。
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図９】
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【図１０】
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