(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を含むウエハを収納し、床面に対して移動可能なウエハ収納装置と、基板に前記電子部品を実装する実装機構に前記電子部品を供給するために設けられ、床面に設置されるとともに前記ウエハ収納装置を連結可能な部品供給装置とを備える電子部品搬送装置であって、
前記部品供給装置および前記ウエハ収納装置の一方に、ガイドレールが設けられており、
前記部品供給装置および前記ウエハ収納装置の他方に、前記ウエハ収納装置を前記部品供給装置に連結または分離する際に前記ガイドレールに沿って前記ウエハ収納装置を移動させるためのガイド部材が設けられており、
前記部品供給装置と前記ウエハ収納装置とが連結された状態で、前記ウエハ収納装置に設けられた前記ガイドレールまたは前記ガイド部材の一方が前記部品供給装置に設けられた前記ガイドレールまたは前記ガイド部材の他方に乗り上げることによって、前記ウエハ収納装置の前記部品供給装置側の床面に対する支持部分が床面から離間するように構成され、
前記ガイドレールは、一対設けられ、
前記ガイド部材は、一対設けられるとともに、高さ位置が調節可能に構成されている、電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記支持部分は、転動可能に前記床面に対して前記ウエハ収納装置を支持するキャスターを含み、
前記ガイドレールは前記部品供給装置に設けられており、
前記ガイド部材は、前記ウエハ収納装置に設けられており、
前記部品供給装置と前記ウエハ収納装置とが連結された状態で、前記ガイドレールの上面に前記ガイド部材が乗り上げることによって、前記ウエハ収納装置の前記部品供給装置側の前記キャスターが床面から離間するように構成されている、請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記ガイド部材は、前記ガイドレールとの接触面において転動する転動体を含む、請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記ウエハ収納装置の前記部品供給装置と反対側の部分には、前記部品供給装置と前記ウエハ収納装置とが連結された状態で前記床面に対して前記ウエハ収納装置を支持することが可能な支持機構が設けられており、
前記支持機構は、前記ウエハ収納装置の前記部品供給装置と反対側の部分の高さ位置を調整することが可能に構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記部品供給装置および前記ウエハ収納装置の少なくとも一方には、前記ウエハ収納装置を前記部品供給装置に連結させるために前記ウエハ収納装置が前記部品供給装置側に向かう連結方向に移動する際に、前記ウエハ収納装置の前記部品供給装置側の部分が床面から離間した状態で、前記ウエハ収納装置の前記連結方向への移動を規制するストッパが設けられている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記部品供給装置は、基台を含み、
前記基台には、前記ウエハ収納装置が連結された状態で前記ウエハ収納装置が嵌り込む、平面的に見て凹形状の連結部が設けられている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記基台は、前記連結部の前方壁部を構成する第１部分と、前記連結部の両側の側方壁部を構成する第２部分とを含み、
前記第２部分に前記部品供給装置の電装品が収納されている、請求項６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記基台は、前記連結部の前方壁部を構成する第１部分と、前記連結部の両側の側方壁部を構成する第２部分とを含み、
前記部品供給装置に設けられる前記ガイドレールまたは前記ガイド部材は、前記第２部分の側方壁部に固定されている、請求項６または７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
基板に電子部品を実装する実装機構と、
前記実装機構に前記電子部品を供給するために設けられる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置とを備えた、実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電子部品搬送装置および実装機に関し、特に、床面に対して移動可能なウエハ収納装置と、床面に設置されるとともにウエハ収納装置を連結可能な部品供給装置とを備える電子部品搬送装置および実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルを収納し、床面に対して移動可能な搬送台車と、床面に設置されるとともに搬送台車を連結可能な液晶パネル製造装置とを備える搬送移載装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、搬送台車を液晶パネル製造装置に連結するための構造が開示されている。上記特許文献１の液晶パネル製造装置には、連結時に搬送台車の移動をガイドする一対のガイドレールと、一対のブッシュ穴とが設けられている。搬送台車には、一対のガイドレールに対応する位置に一対のガイドブロックが設けられているとともに、一対のブッシュ穴に対応する位置に一対の位置決めピンが設けられている。
【０００４】
上記特許文献１において、搬送台車と液晶パネル製造装置とを連結する際の動作としては、搬送台車を液晶パネル製造装置に向かって移動させていく際に、搬送台車の一対のガイドブロックが液晶パネル製造装置の一対のガイドレールに沿ってガイドされる。そして、さらに搬送台車を移動させると、搬送台車の一対の位置決めピンが液晶パネル製造装置の一対のブッシュ穴に挿入されて、連結が完了する。連結状態における搬送台車と液晶パネル製造装置との位置関係は、ブッシュ穴および位置決めピンによって定められるように構成されている。ここで、上記特許文献１では、床面の平坦度合いが良好でない場合にもブッシュ穴に位置決めピンが挿入されるように、ブッシュ穴の大きさは位置決めピンに対して余裕（遊び）を持たせていると考えられる。
【０００５】
また、従来、床面に対して移動可能なウエハ収納装置と、床面に設置されるとともにウエハ収納装置を連結可能な部品供給装置とを備える電子部品搬送装置が知られている。このような電子部品搬送装置では、ウエハ収納装置が部品供給装置に連結された状態で、ウエハ収納装置から部品供給装置にウエハが移送される。そして、部品供給装置内においてウエハが所定の姿勢で保持された状態で、ウエハを構成する電子部品が基板に電子部品を実装するための実装機構に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１７６０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１では、搬送台車と液晶パネル製造装置との位置関係を定めるブッシュ穴の大きさに位置決めピンに対する余裕（遊び）を持たせているため、床面の平坦度合いが良好でない場合には、連結状態において搬送台車と液晶パネル製造装置との相対的な位置関係が平行からずれてしまう場合があるという不都合がある。また、上記特許文献１の装置間の連結に関する構成を上記したウエハ収納装置と部品供給装置とを備える従来の電子部品搬送装置に適用した場合にも、同様の不都合が生じる。すなわち、床面の平坦度合いが良好でない場合には、ウエハ収納装置と部品供給装置との相対的な位置関係が平行からずれてしまい、ウエハ収納装置から部品供給装置側にウエハを移送する際に、部品供給装置に対してウエハが傾いた状態で移送されてしまう。このため、移送中に部品供給装置とウエハとが干渉したり、部品供給装置においてウエハが適正な姿勢で保持されなくなったりする場合があるという問題点がある。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、床面の平坦度合いが良好でない場合にも、連結状態においてウエハ収納装置と部品供給装置との相対的な位置関係が平行からずれてしまうことを抑制することが可能な電子部品搬送装置および実装機を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００９】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による電子部品搬送装置は、電子部品を含むウエハを収納し、床面に対して移動可能なウエハ収納装置と、基板に電子部品を実装する実装機構に電子部品を供給するために設けられ、床面に設置されるとともにウエハ収納装置を連結可能な部品供給装置とを備える電子部品搬送装置であって、部品供給装置およびウエハ収納装置の一方に、ガイドレールが設けられており、部品供給装置およびウエハ収納装置の他方に、ウエハ収納装置を部品供給装置に連結または分離する際にガイドレールに沿ってウエハ収納装置を移動させるためのガイド部材が設けられており、部品供給装置とウエハ収納装置とが連結された状態で、ウエハ収納装置に設けられたガイドレールまたはガイド部材の一方が部品供給装置に設けられたガイドレールまたはガイド部材の他方に乗り上げることによって、ウエハ収納装置の部品供給装置側の床面に対する支持部分が床面から離間するように構成され、ガイドレールは、一対設けられ、ガイド部材は、一対設けられるとともに、高さ位置が調節可能に構成されている。
【００１０】
この第１の局面による電子部品搬送装置では、上記のように、部品供給装置とウエハ収納装置とが連結された状態で、ウエハ収納装置に設けられたガイドレールまたはガイド部材の一方が部品供給装置に設けられたガイドレールまたはガイド部材の他方に乗り上げることによって、ウエハ収納装置の部品供給装置側の床面に対する支持部分が床面から離間するように構成することにより、ガイドレールおよびガイド部材により、連結状態におけるウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係を床面の平坦度合いに依存することなく決めることができる。これにより、ガイドレールおよびガイド部材の位置を適切に設定することにより、床面の平坦度合いが良好でない場合にも、連結状態におけるウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係が平行からずれることを抑制することができる。このため、ウエハ収納装置から部品供給装置側にウエハを移送する際に、部品供給装置に対してウエハが傾いた状態で移送されてしまうのを抑制することができる。その結果、移送中に部品供給装置とウエハとが干渉したり、部品供給装置においてウエハが適正な姿勢で保持されなくなったりするのを抑制することができる。また、ガイドレールおよびガイド部材をそれぞれ複数設けた場合には、ウエハ収納装置を部品供給装置に対して２点以上で支持させることができるので、より精度良くウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係（特に、正面から見た場合のウエハ収納装置の左右の傾き）が平行からずれることを抑制することができる。
【００１１】
上記第１の局面による電子部品搬送装置において、好ましくは、支持部分は、転動可能に床面に対してウエハ収納装置を支持するキャスターを含み、ガイドレールは部品供給装置に設けられており、ガイド部材は、ウエハ収納装置に設けられており、部品供給装置とウエハ収納装置とが連結された状態で、ガイドレールの上面にガイド部材が乗り上げることによって、ウエハ収納装置の部品供給装置側のキャスターが床面から離間するように構成されている。このように構成すれば、固定的に設置され、比較的大きいサイズの部品供給装置に比較的大きいスペースを要するガイドレールを設け、移動する比較的小さいウエハ収納装置に比較的小さいスペースを要するガイド部材を設けるので、ウエハ収納装置にガイドレールを設ける場合と異なり、ウエハ収納装置が大きくなるのを抑制することができる。また、ウエハ収納装置のキャスターが床面から離間するように構成することによって、キャスターの接触する床面の平坦度合いが良好でない場合にも、容易に部品供給装置とウエハ収納装置との相対的な位置関係を平行に保つことができる。
【００１２】
上記第１の局面による電子部品搬送装置において、好ましくは、ガイド部材は、ガイドレールとの接触面において転動する転動体を含む。このように構成すれば、ガイドレールとガイド部材との間の接触抵抗を小さくすることができるので、部品供給装置とウエハ収納装置とを連結または分離する際に、ガイドレールとガイド部材とを接触させながらウエハ収納装置を円滑に移動させることができる。
【００１３】
上記第１の局面による電子部品搬送装置において、好ましくは、ウエハ収納装置の部品供給装置と反対側の部分には、部品供給装置とウエハ収納装置とが連結された状態で床面に対してウエハ収納装置を支持することが可能な支持機構が設けられており、支持機構は、ウエハ収納装置の部品供給装置と反対側の部分の高さ位置を調整することが可能に構成されている。このように構成すれば、ウエハ収納装置と部品供給装置とが連結された状態で、支持機構によりウエハ収納装置の部品供給装置と反対側の部分の高さ位置を調整することができる。これにより、連結状態におけるウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係（特に、前後方向の傾き）を床面の平坦度合いに依存することなく決めることができる。これにより、床面の平坦度合いが良好でない場合にも、連結状態におけるウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係が平行からずれることをさらに抑制することができる。
【００１４】
上記第１の局面による電子部品搬送装置において、好ましくは、部品供給装置およびウエハ収納装置の少なくとも一方には、ウエハ収納装置を部品供給装置に連結させるためにウエハ収納装置が部品供給装置側に向かう連結方向に移動する際に、ウエハ収納装置の部品供給装置側の部分が床面から離間した状態で、ウエハ収納装置の連結方向への移動を規制するストッパが設けられている。このように構成すれば、ユーザはウエハ収納装置をストッパにより停止されて動かなくなるまで連結方向に移動するだけで、ウエハ収納装置の部品供給装置側の部分を床面から離間させながら、部品供給装置とウエハ収納装置とを連結することができる。このストッパの位置を適切に設定することにより、連結状態におけるウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的なずれが生じるのを抑制することができる。また、ストッパを複数設けた場合には、ウエハ収納装置の部品供給装置に対する移動を２点以上で規制することができるので、より精度良くウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係（特に、上から見た場合の平面的な回転方向のずれ）が平行からずれることを抑制することができる。
【００１５】
上記第１の局面による電子部品搬送装置において、好ましくは、部品供給装置は、基台を含み、基台には、ウエハ収納装置が連結された状態でウエハ収納装置が嵌り込む、平面的に見て凹形状の連結部が設けられている。このように構成すれば、連結状態においてウエハ収納装置の少なくとも一部が部品供給装置に嵌りこむので、連結状態における電子部品搬送装置の全体の大きさを小型化することができる。また、連結状態における部品供給装置とウエハ収納装置との距離を小さくすることができるので、ウエハ収納装置から部品供給装置へのウエハの受け渡しを円滑に行うことができる。
【００１６】
上記部品供給装置の基台に平面的に見て凹形状の連結部を設けた構成において、好ましくは、基台は、連結部の前方壁部を構成する第１部分と、連結部の両側の側方壁部を構成する第２部分とを含み、第２部分に部品供給装置の電装品が収納されている。このように構成すれば、ウエハ収納装置を嵌め込むための基台の第２部分のスペースを有効に利用して電装品を配置することができる。
【００１７】
上記部品供給装置の基台に平面的に見て凹形状の連結部を設けた構成において、好ましくは、基台は、連結部の前方壁部を構成する第１部分と、連結部の両側の側方壁部を構成する第２部分とを含み、部品供給装置に設けられるガイドレールまたはガイド部材は、第２部分の側方壁部に固定されている。このように構成すれば、強固な部材である基台にガイドレールまたはガイド部材を設けるので、連結時にウエハ収納装置を支持するためのガイドレールまたはガイド部材の強度を大きくすることができる。
【００１８】
この発明の第２の局面による実装機は、基板に電子部品を実装する実装機構と、実装機構に電子部品を供給するために設けられる、上記第１の局面による電子部品搬送装置とを備えている。
【００１９】
この第２の局面による実装機では、上記第１の局面による電子部品搬送装置を設けることによって、床面の平坦度合いが良好でない場合にも、連結状態におけるウエハ収納装置の部品供給装置に対する相対的な位置関係が平行からずれることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態による実装機（ウエハ収納装置を連結していない状態）の全体構成を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態による実装機の全体構成（ウエハ収納装置を連結していない状態）を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態による実装機（ウエハ収納装置が連結された状態）の全体構成を示す正面図である。
【図４】本発明の一実施形態による実装機の全体構成（ウエハ収納装置が連結された状態）を示す平面図である。
【図５】本発明の一実施形態による実装機の主な構成要素を概略的に示す斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態による実装機の基台に設けられたガイドレールを示す斜視図である。
【図７】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置を示す斜視図である。
【図８】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の側部を示す斜視図である。
【図９】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の支持機構を示す断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態による実装機の制御系を示すブロック図である。
【図１１】本発明の一実施形態による実装機の基台の内部を示す断面図である。
【図１２】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の連結動作（連結前）を説明するための底面図である。
【図１３】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の連結動作（連結前）を説明するための側面から見た部分断面図である。
【図１４】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の連結動作（連結の途中）を説明するための側面から見た部分断面図である。
【図１５】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の連結動作（連結後）を説明するための底面図である。
【図１６】本発明の一実施形態による実装機のウエハ収納装置の連結動作（連結後）を説明するための側面から見た部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
以下、図１〜図１１を参照して、本発明の一実施形態による実装機の構造について説明する。なお、方向関係を明確にするために図中には適宜ＸＹＺ直角座標軸を示している。Ｘ軸方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ軸方向は水平面上でＸ軸方向と直交する方向であり、Ｚ軸方向はＸ軸、Ｙ軸にそれぞれ直交する方向である。
【００２３】
実装機は、ダイシングされたウエハＷからベアチップを取り出してプリント基板Ｐ上に実装（装着）するとともに、部品供給装置３００により供給されるパッケージ部品等をプリント基板Ｐ上に実装することが可能ないわゆる複合型の実装機である。図１〜図４に示すように、実装機は、床面Ｆに対して固定的に設置される実装機本体１００と、床面Ｆに対して移動可能であるとともに、実装機本体１００に連結可能なウエハ収納装置２００とから構成されている。なお、実装機は、本発明の「電子部品搬送装置」の一例であり、実装機本体１００は、本発明の「部品供給装置」の一例である。
【００２４】
この実装機本体１００は、図１〜図４に示すように、基台１と、所定の実装作業位置にプリント基板Ｐを搬入および搬出するためのコンベア２と、チップ部品を供給するためのチップ部品供給部３とを備えている。また、図１、図３および図５に示すように、実装機本体１００は、プリント基板Ｐ上に部品（ベアチップまたはチップ部品）を実装するための実装部４と、ウエハ収納装置２００から引き出されたウエハＷを支持するウエハ保持テーブル５と、ウエハ保持テーブル５に支持されたウエハＷからベアチップを取り出して実装部４に受け渡す取出装置６と、取出装置６によるベアチップの取出時にそのベアチップを下方から突き上げる突上げ装置７と、取出装置６によるベアチップの取出動作の前にそのベアチップを撮像する部品位置認識用の移動可能なカメラ８とを含む。なお、ベアチップは、本発明の「電子部品」の一例である。
【００２５】
基台１は、たとえば金属製の強固な部材から構成されており、コンベア２、チップ部品供給部３、実装部４、ウエハ保持テーブル５などを支持している。基台１は複数の脚１１により床面Ｆに対して固定的に設置されている。また、図１および図２に示すように、実装機本体１００の基台１の手前側の中央部には、平面的に見て凹形状の連結部１ａが設けられている。連結部１ａにウエハ収納装置２００を嵌め込んだ状態で、ウエハ収納装置２００を実装機本体１００に固定することが可能である。以下、連結時のウエハ収納装置２００の移動方向（Ｙ１方向）を連結方向と呼び、分離時のウエハ収納装置２００の移動方向（Ｙ２方向）を分離方向と呼ぶ。
【００２６】
平面的に見て凹形状の連結部１ａは、ウエハ収納装置２００から見て正面に相対する前方壁部１２と、ウエハ収納装置２００の両側面にそれぞれ相対する一対の側方壁部１３とを有している。第２部分１ｃは、平面的に見て、第１部分１ｂに対してウエハ収納装置２００側（分離方向（Ｙ２方向）側）に突出している。
【００２７】
また、一対の側方壁部１３には、それぞれ、ガイドレール１４およびガイドレール１５が設けられている。ガイドレール１４および１５は、実装機本体１００にウエハ収納装置２００が連結された状態で、ウエハ収納装置２００の前側（実装機本体１００側）の部分を支持するために設けられている。
【００２８】
図１および図６に示すように、ガイドレール１４は、側方壁部１３から内側に突出するブロック状の部材である。ガイドレール１４はＹ方向に延びるように形成されている。ガイドレール１４は、手前側（分離方向（図６のＹ２方向）側）の部分の上面１４ａは、連結方向（図６のＹ１方向）に向かうに従って高くなる傾斜面になっている。ガイドレール１４の後側（連結方向（Ｙ１方向）側）の部分の上面１４ｂは水平面となっている。また、ガイドレール１４は、下面から下方に突出するストッパとしての突起部１４ｃを含んでいる。また、ガイドレール１４の手前側（Ｙ２方向側）の側面には、ねじ穴１４ｄが設けられている。同様に、ガイドレール１５は、ガイドレール１４と寸法や位置などが対応するように形成されており、傾斜面からなる上面１５ａ、水平面からなる上面１５ｂ、突起部１５ｃおよびねじ穴１５ｄを有している。
【００２９】
コンベア２は、プリント基板Ｐを搬送するＸ方向に延びるコンベア本体と、このコンベア本体上でプリント基板Ｐを持ち上げて位置決めする図示しない位置決め機構とを含む。コンベア２は、図１〜図４の右側から左側に向かってプリント基板Ｐをほぼ水平姿勢でＸ軸方向に搬送し、所定の実装作業位置にプリント基板Ｐを位置決め固定する。本実施形態では、コンベア２による搬送経路上であってＸ軸方向に所定間隔だけ離間する位置（図２および図４のプリント基板Ｐの位置）がそれぞれ実装作業位置とされる。なお、以下の説明では、実装作業位置のうちプリント基板Ｐの搬送方向上流側の位置を第１作業位置Ｓ１と呼び、下流側の位置を第２作業位置Ｓ２と呼ぶ。
【００３０】
チップ部品供給部３は、実装機本体１００の手前側の両端に設けられている。チップ部品供給部３は、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等のチップ部品を供給するために設けられている。チップ部品供給部３には、例えばテープフィーダ等の部品供給装置３００がコンベア２に沿って並んで配置されている。各テープフィーダは、トランジスタ等のチップ部品を所定間隔で保持したテープが巻回されるリールと、リールを保持する保持部材と、リールからテープを引出しながらテープフィーダ先端の部品供給位置にチップ部品を送り出す部品送り機構等とを含む。テープフィーダはチップ部品供給部３に取り付けられた状態で、実装機本体１００と連動してチップ部品の送り出し動作を行うように構成されている。すなわち、実装機本体１００の実装部４により部品供給位置においてチップ部品をピックアップさせるとともに、このピックアップに伴い次のチップ部品を部品供給位置に繰り出すように構成されている。なお、チップ部品供給部３は、テープフィーダの代わりに、半導体パッケージ等の大型のパッケージ部品を載置したトレイ（図示せず）を設置することも可能である。この場合には、実装部４により当該トレイ上から直接パッケージ部品がピックアップされる。
【００３１】
実装部４は、ベアチップまたはチップ部品をプリント基板Ｐ上に実装するものであり、コンベア２の上方位置においてそれぞれ水平方向（ＸＹ方向）に移動することが可能な２つのヘッドユニット（第１ヘッドユニット４１、第２ヘッドユニット４２という）と、これらを個別に駆動する駆動手段とを含む。なお、実装部４は、本発明の「実装機構」の一例である。
【００３２】
第１ヘッドユニット４１は、基台１上のうち主に第１作業位置Ｓ１を含む上流側の領域を可動領域としてこの領域内でのみ移動可能とされ、他方、第２ヘッドユニット４２は、基台１上のうち主に第２作業位置Ｓ２を含む下流側の領域を可動領域としてこの領域内でのみ移動可能となっている。第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）は、Ｘ軸方向に並ぶ２つの部品実装用ヘッド４１ａおよび１つのカメラ４１ｂ（２つの部品実装用ヘッド４２ａおよび１つのカメラ４２ｂ）を備えている。
【００３３】
第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）は、部品供給装置３００（テープフィーダ）によって供給されるチップ部品をこれら部品実装用ヘッド４１ａ（４２ａ）により吸着してプリント基板Ｐ上に実装するとともに、取出装置６によりウエハＷから取り出されるベアチップを部品実装用ヘッド４１ａ（４２ａ）により吸着してプリント基板Ｐ上に実装する。これにより、トランジスタ、コンデンサ等のチップ部品とベアチップ（ベアチップ）との双方がプリント基板Ｐ上に実装される。また、第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）は、プリント基板Ｐへの部品の実装に先立ってカメラ４１ｂ（４２ｂ）によりプリント基板Ｐに付されたフィデューシャルマーク（図示せず）を認識することにより、プリント基板Ｐの位置ずれが認識され、実装時に位置ずれ補正がされる。
【００３４】
図１に示すように、第１ヘッドユニット４１および４２の駆動手段は、第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２をそれぞれＸ軸方向に移動可能に支持する支持部材４３および４４と、実装機本体１００の天井１００ａに設けられ、支持部材４３および４４を別個にＹ軸方向に移動可能に支持する固定レール４５および４６と、支持部材４３および４４に対して第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２をＸ軸方向に移動させるためのリニアモータからなる移動機構（図示せず）と、支持部材４３および４４をそれぞれ固定レール４５および４６に沿って別個にＹ軸方向に移動させるためのリニアモータからなる移動機構（図示せず）とを含む。
【００３５】
また、図２および図４に示すように、基台１上であって第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２のそれぞれの可動領域内には、部品認識用の固定カメラ９ａおよび９ｂが設置されている。固定カメラ９ａおよび９ｂは、例えばＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を備えるカメラである。固定カメラ９ａおよび９ｂは、第１ヘッドユニット４１の部品実装用ヘッド４１ａおよび第２ヘッドユニット４２の部品実装用ヘッド４２ａにより吸着されている部品を下側から撮像して、その画像信号を後述する制御装置１１０に出力するものである。
【００３６】
ウエハ収納装置２００は、図７に示すように、ダイシングされた複数枚のウエハＷを収容するものである。このウエハ収納装置２００は、ウエハＷが保持された略円環状のホルダＷｈを上下複数段に収容するラック２０１と、ラック２０１を昇降可能に保持する箱状の本体２０２と、本体２０２を支持する底板２０３と、底板２０３に取り付けられた４つのキャスター２０４とを含んでいる。本体２０２にはラック２０１を昇降駆動するモータなどの駆動手段が設けられている。ウエハ収納装置２００は、ラック２０１の昇降によって、所望のウエハＷをウエハ保持テーブル５に対して出し入れ可能な所定の出し入れ高さ位置に配置する。
【００３７】
ウエハ収納装置２００に収容されている各ウエハＷは、それぞれベアチップがフェイスアップ状態（回路形成面（プリント基板Ｐに対する実装面）が上向きの状態）となるようにフィルム状のウエハシート上に貼り着けられており、このウエハシートを介してホルダＷｈにより保持されている。
【００３８】
また、キャスター２０４は、ウエハ収納装置２００の連結方向側の端部と分離方向側の端部とにそれぞれ一対取り付けられている。これにより、ウエハ収納装置２００は床面Ｆに対して移動可能に４点で支持されている。
【００３９】
また、本実施形態では、本体２０２の一方の側部の分離方向（Ｙ２方向）側の端部の近傍には、ガイドレール１４に対応する車輪状のガイドコロ２０５が設けられており、本体２０２の他方の側部の分離方向（Ｙ２方向）側の端部の近傍には、ガイドレール１５に対応する車輪状のガイドコロ２０６が設けられている。ガイドコロ２０５および２０６は、それぞれ、本体２０２の側部から外側に突出する固定ブロック２０７および２０８（図７参照）の側面にＹＺ平面で回転可能に取り付けられている。連結方向（Ｙ１方向）にウエハ収納装置２００を移動させた場合に、これらのガイドコロ２０５および２０６がそれぞれガイドレール１４および１５上に乗り上げるように構成されている。これにより、連結状態において、ウエハ収納装置２００の連結方向（Ｙ１方向）側の部分は一対のガイドレール１４および１５と一対のガイドコロ２０５および２０６とによって支持されるとともに、ウエハ収納装置２００の連結方向（Ｙ１方向）側の一対のキャスター２０４が床面Ｆから離間するように構成されている。なお、ガイドコロ２０５および２０６は、本発明の「ガイド部材」および「転動体」の一例である。
【００４０】
また、ガイドコロ２０６は固定ブロック２０８に直接取り付けられている一方、図８に示すように、ガイドコロ２０５は固定ブロック２０７に対して上下方向（Ｚ方向）に移動可能な可動ブロック２０９に取り付けられている。可動ブロック２０９は、固定ブロック２０７の上面およびＸ１方向側の側面を覆うようにＬ字形状に形成されている。可動ブロック２０９の側面には上下方向に延びる一対の長穴２０９ａが形成されており、固定ブロック２０７のＸ１方向側の側面にはねじ穴（図示せず）が形成されている。これらの可動ブロック２０９の長穴２０９ａと固定ブロック２０７のねじ穴（図示せず）とがねじ２１０により締結されている。可動ブロック２０９は長穴２０９ａの長さ分だけ上下方向に移動可能である。このように、一対のガイドコロ２０５および２０６のうち、一方のガイドコロ２０５の高さ位置を調節することが可能に構成されている。
【００４１】
また、図２、図７および図８に示すように、本体２０２の一方側の側部のガイドコロ２０５の手前側（分離方向（Ｙ２方向）側）の位置には、外側に突出する平板状の当接部材２１１が設けられている。当接部材２１１の連結方向（Ｙ１方向）側の端面からなる当接部２１１ａは、平面的に見てＸ方向に延びる直線状（図２参照）となるように形成されている。ウエハ収納装置２００が連結方向（Ｙ１方向）に移動された場合に、ガイドコロ２０５がガイドレール１４の上面１４ｂに乗り上げた状態で、この当接部２１１ａがガイドレール１４の突起部１４ｃ（図６参照）に当接することにより、それ以上の連結方向（Ｙ１方向）への移動が規制されるように構成されている。なお、ガイドレール１４の突起部１４ｃおよび当接部２１１ａは、本発明の「ストッパ」の一例である。
【００４２】
また、図８に示すように、当接部材２１１には、板部材２１２が固定されている。板部材２１２にはねじ挿入穴が形成されているとともに、そのねじ挿入穴にはねじ２１３が回転可能に取り付けられている。このねじ挿入穴およびねじ２１３は、連結時にガイドレール１４のねじ穴１４ｄに位置が合わさるように配置されている。
【００４３】
また、図２および図７に示すように、本体２０２の他方側の側部のガイドコロ２０６の手前側（分離方向（Ｙ２方向）側）の位置には、外側に突出する平板状の当接部材２１４が設けられている。当接部材２１４の連結方向（Ｙ１方向）側の端面からなる当接部２１４ａは、平面的に見て凹形状（切欠状）を有している。ウエハ収納装置２００が連結方向（Ｙ１方向）に移動された場合に、ガイドコロ２０６がガイドレール１５の上面１５ｂに乗り上げた状態で、この切欠状の当接部２１４ａの奥部分がガイドレール１５の突起部１５ｃに当接することにより、それ以上の連結方向（Ｙ１方向）への移動が規制されるように構成されている。なお、ガイドレール１５の突起部１５ｃおよび当接部２１４ａは、本発明の「ストッパ」の一例である。
【００４４】
なお、図２の線Ｅにより示すように、当接部２１４ａの凹部の奥部分のＹ方向の位置は、当接部材２１１の当接部２１１ａのＹ方向の位置と等しくなっている。また、ガイドレール１４の突起部１４ｃとガイドレール１５の突起部１５ｃとのＹ方向の位置も等しくなっている。これにより、ガイドレール１４の突起部１４ｃおよびガイドレール１５の突起部１５ｃにそれぞれ当接部２１１ａおよび当接部２１４ａが当接した状態で、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する平面的な回転方向のずれが規制される。
【００４５】
また、当接部材２１４の切欠幅（図２に示すＸ方向の幅Ｄ）は、ガイドレール１５の突起部１５ｃの径と略等しい大きさである。これにより、連結状態において、ウエハ収納装置２００が実装機本体１００に対して横方向（Ｘ方向）に移動すること（ずれること）が抑制される。
【００４６】
また、当接部材２１４には、板部材２１５が固定されている。板部材２１５にはねじ挿入穴が形成されているとともに、そのねじ挿入穴にはねじ２１６が回転可能に取り付けられている。このねじ挿入穴およびねじ２１６は、連結時にガイドレール１５のねじ穴１５ｄに位置が合わさるように配置されている。そして、連結時には、ねじ挿入穴が設けられた板部材２１２とガイドレール１４のねじ穴１４ｄとをねじ２１３により締結するとともに、ねじ挿入穴が設けられた板部材２１５とガイドレール１５のねじ穴１５ｄとをねじ２１６により締結することにより、連結状態でウエハ収納装置２００と実装機本体１００とを固定することが可能である。
【００４７】
また、図７に示すように、ウエハ収納装置２００の手前側（分離方向（Ｙ２方向）側）には、キャスター２０４とは別に床面Ｆに対してウエハ収納装置２００を支持することが可能な支持機構２２０が設けられている。支持機構２２０は、Ｘ方向の中央部に１つ設けられている。支持機構２２０は、連結状態（ガイドコロ２０５および２０６がガイドレール１４および１５に乗り上げることによりウエハ収納装置２００の連結方向側のキャスター２０４が床面Ｆから離間した状態）において、ウエハ収納装置２００の後側部分の高さ位置を調節可能に構成されている。
【００４８】
具体的には、図７および図９に示すように、支持機構２２０は、床面Ｆに接地する接地部２２１ａを含む第１脚部２２１と、第１脚部２２１と連結される第２脚部２２２と、第２脚部２２２をユーザが回転させるためのハンドル２２３と、本体２０２の底部２０２ａに固定され、第２脚部２２２を支持するフレーム２２４とを含んでいる。
【００４９】
第２脚部２２２は、フレーム２２４に挿入される上部２２２ａと、フレーム２２４内に位置する胴部２２２ｂと、本体２０２の底部２０２ａよりも下方に突出する下部２２２ｃとを一体的に含んでいる。上部２２２ａはハンドル２２３に固定されており、ハンドル２２３の回転によって第２脚部２２２の全体が回転するように構成されている。また、第２脚部２２２の上部２２２ａの外表面には雄ねじが形成されているとともに、フレーム２２４の上部２２４ａには第２脚部２２２の上部２２２ａの雄ねじに対応する雌ねじが形成されている。これにより、ユーザがハンドル２２３を回転させることによって第２脚部２２２全体がフレーム２２４に対して上下方向（Ｚ方向）に昇降可能である。なお、第２脚部２２２が下降する向きにハンドル２２３を回転させていった場合に、第２脚部２２２の胴部２２２ｂの下面がフレーム２２４の底部２２４ｂの上面に当接することにより、ハンドル２２３（第２脚部２２２）がそれ以上回転しなくなるように構成されている。したがって、第２脚部２２２の最下位置はユーザが容易に再現可能である。
【００５０】
また、第２脚部２２２の下部２２２ｃには雌ねじが形成されているとともに、第１脚部２２１の外表面には、第２脚部２２２の下部２２２ｃの雌ねじに対応する雄ねじが形成されている。これにより、ユーザが第１脚部２２１を回転させることによって、第１脚部２２１が第２脚部２２２の下部２２２ｃに対して上下方向に昇降可能である。また、第１脚部２２１の雄ねじにはナット２２５が螺合している。ナット２２５を第２脚部２２２側に締め付けることにより、第１脚部２２１が第２脚部２２２の下部２２２ｃに対して回転することが防止される。これにより、ナット２２５を緩めた状態で第１脚部２２１の第２脚部２２２の下部２２２ｃに対する突出長さを調節可能であるとともに、調節後にナット２２５を締め付けることにより、第１脚部２２１の突出長さを調節した長さに固定することが可能である。
【００５１】
また、図７に示すように、第２脚部２２２の胴部２２２ｂの手前側には、胴部２２２ｂに向かって抜き差し可能なピン２２６が設けられている。ピン２２６はフレーム２２４の底部２２４ｂに固定されたピン支持部材２２７に取り付けられている。そして、第２脚部２２２の胴部２２２ｂにはピン挿入穴２２２ｄが設けられている。第２脚部２２２が最下位置に位置する状態で、胴部２２２ｂのピン挿入穴２２２ｄにピン２２６を挿入することにより、第２脚部２２２の回転（ハンドル２２３の回転）を防止することが可能である。また、ピン挿入穴２２２ｄからピン２２６を抜き出した状態で、ハンドル２２３を回転させることにより、第２脚部２２２を第１脚部２２１と共に上昇させることが可能である。
【００５２】
また、図１および図２に示すように、ウエハ保持テーブル５は、ウエハＷの出し入れ機構５ａを備えている。この出し入れ機構５ａは、ウエハ保持テーブル５に対して前後（Ｙ方向）に移動可能に構成され、先端にホルダ把持機構５ｂを備えたアームである。出し入れ機構５ａは、ウエハ保持テーブル５がウエハ受取位置（最も手前側（Ｙ２方向側）の位置）に配置された状態で、出し入れ高さ位置に配置されたラック２０１内のウエハＷ（ホルダＷｈ）をウエハ収納装置２００からウエハ保持テーブル５上に引き出すとともに、ウエハ部品が取り出されて実装された後にウエハ保持テーブル５上のホルダＷｈをラック２０１内に収容する（戻す）ことが可能に構成されている。
【００５３】
ウエハ保持テーブル５は、中央部に円形状の開口部を有しており、ウエハＷを保持するホルダＷｈの開口部とウエハ保持テーブル５の開口部とが重なるようにホルダＷｈを保持可能である。これにより、ウエハ保持テーブル５にウエハＷ（ホルダＷｈ）が保持された状態で、ウエハ保持テーブル５の下方から後述する突上げ装置７によりベアチップを突き上げることが可能である。
【００５４】
ウエハ保持テーブル５は、部品取出作業位置（最も奥側（Ｙ１方向側）の位置、図２参照）とウエハ受取位置との間で、基台１上をＹ方向に移動可能に構成されている。具体的には、ウエハ保持テーブル５は、基台１上にＹ軸方向に延びるように設けられた一対の固定レール５１に移動可能に支持されており、所定の駆動手段によって固定レール５１に沿って移動される。駆動手段は、固定レール５１と平行に延びかつウエハ保持テーブル５のナット部分に螺合挿入されるボールねじ軸５２と、ボールねじ軸５２を回転駆動するための駆動モータ５３とを含む。図１に示すように、ウエハ保持テーブル５は、コンベア２の下方位置を通って、所定の部品取出作業位置とウエハ収納装置２００近傍のウエハ受取位置との間を移動する。
【００５５】
突上げ装置７は、部品取出作業位置に配置されたウエハ保持テーブル５上のウエハＷのうち、取出し対象となるベアチップをその下側から突き上げることにより、当該ベアチップをウエハシートから剥離させながら持ち上げるものである。
【００５６】
この突上げ装置７は、図５に示すように、それぞれ突上げピン（図示せず）を内蔵する一対の小径の突上げロッド（第１突上げロッド７１ａ、第２突上げロッド７１ｂという）備えた突上げヘッド７１と、これを基台１上においてＸ軸方向に移動可能に支持する固定レール７２と、突上げヘッド７１を固定レール７２に沿って移動させるための駆動手段とを含む。この駆動手段は、固定レール７２と平行に延びかつ突上げヘッド７１に螺合挿入される図外のボールねじ軸とこれを回転駆動するための突上げヘッド駆動モータ（図示せず）とを含む。突上げ装置７をＸ方向に移動可能に構成することにより、Ｙ方向にのみ移動可能なウエハ保持テーブル５上に支持されているウエハＷに対し、突上げヘッド７１が任意のベアチップを突き上げることが可能となっている。
【００５７】
突上げヘッド７１の第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂは、上下方向に延び、それぞれ図示しないアクチュエータ（エアシリンダ等）により個別に昇降駆動される。つまり、ウエハ保持テーブル５の開口部の内側にこれら第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂが配置された状態で、第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂがウエハシートの下側のほぼ接触する位置まで上昇駆動され、その後所望のベアチップのＸＹ方向位置に位置付けられた後、第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂから突上げピンが駆動モータ（図示せず）により上昇駆動されることによりベアチップを突き上げる。なお、第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂは、突上げ対象の部品の大きさなどに応じて突上げピンの太さなどを変更することが可能である。たとえば、異なる突上げピンを第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂに装着させておくことにより、部品の大きさなどにより第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂを使い分けて使用することが可能である。
【００５８】
第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂは、２段階の高さ位置に昇降駆動可能である。すなわち、ウエハ保持テーブル５を部品取出作業位置とウエハ収納装置２００近傍のウエハ受取位置との間で移動させる際に、ウエハ保持テーブル５との干渉を避けるための最下位置と、ウエハ保持テーブル５が部品取出作業位置に位置する状態で、ホルダＷｈの開口部内側においてウエハＷの下面近傍に位置する突上げ待機位置との間で昇降駆動可能であり、突上げピンは、待機位置にある第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂに内蔵される位置とウエハ保持テーブル５の上面よりも上方に位置する部品突上げ位置との間で昇降駆動可能である。
【００５９】
取出装置６は、突上げ装置７により突き上げられたベアチップを吸着して第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２に受け渡すものである。
【００６０】
この取出装置６は、所定の駆動手段により部品取出作業位置の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）に移動される。この駆動手段は、以下のような構成を有する。
【００６１】
すなわち、部品取出作業位置には、Ｘ軸方向に所定間隔を隔てて配置されかつＹ軸方向に互いに平行に延びる一対の高架の固定レール６１と、両端をそれぞれ固定レール６１上に移動可能に支持されＸ軸方向に延びるフレーム部材６２と、固定レール６１に近接する位置に配置されてＹ軸方向に延び、かつフレーム部材６２両端のナット部材（図示省略）にそれぞれ螺合挿入される一対のボールねじ軸６３と、ボールねじ軸６３を回転駆動する一対のフレーム駆動モータ６４とが設けられている。
【００６２】
フレーム部材６２には、その手前側に固定されてＸ軸方向に延びる第１レール（図示省略）と、後側に固定されてＸ軸方向に延びる第２レール（図示省略）とが設けられている。第１レールに取出装置６が移動可能に支持されており、第２レールにカメラ８がそれぞれ移動可能に支持されている。そして、フレーム部材６２に、Ｘ軸方向に延びて取出装置６のナット部材（図示省略）に螺合挿入されるボールねじ軸（図示省略）と、このボールねじ軸を回転駆動する駆動モータ６５と、Ｘ軸方向に延びてカメラ８のナット部材（図示省略）に螺合挿入されるボールねじ軸（図示省略）と、このボールねじ軸を回転駆動する駆動モータ６６とが備えられている。すなわち、各フレーム駆動モータ６４の作動によりフレーム部材６２を固定レール６１に沿って移動させ、このフレーム部材６２の移動に伴い取出装置６およびカメラ８を一体的にＹ軸方向に移動させる。
【００６３】
また、駆動モータ６５の作動によりフレーム部材６２のＹ方向手前側の位置で取出装置６をＸ軸方向に移動させるとともに、駆動モータ６６の作動によりフレーム部材６２のＹ方向の後側の位置でカメラ８をＸ軸方向に移動させる。これにより取出装置６およびカメラ８が部品取出作業位置の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）にそれぞれ独立に移動可能となっている。
【００６４】
取出装置６のＸＹ方向における可動領域と第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２のＸＹ方向における可動領域とは一部重複している。これにより、後述するように取出装置６から第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２へのベアチップの受渡しが可能となっている。なお、図１に示すように、取出装置６、カメラ８および上記したこれらの駆動手段は、第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２およびこれらの駆動手段よりも下方に位置している。従って、取出装置６等の可動領域と第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２の各可動領域とは上記のように一部重複するが、取出装置６と第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２とが互いに干渉することは無い。
【００６５】
取出装置６は、一対のウエハヘッド（第１ウエハヘッド６ａ、第２ウエハヘッド６ｂと呼ぶ）を備えている。
【００６６】
図５に示すように、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂは、ドラム型のヘッドである。すなわち、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂは、Ｘ軸方向と平行な軸線回りに回転が可能で、かつ上下方向への移動（昇降）が可能となるように、取出装置６のフレーム部材６ｃにそれぞれ昇降可能に支持されるブラケット部材６ｄと、ブラケット部材６ｄにＸ軸回りに回転可能に支持されるとともに、両ブラケット部材６ｄの内側に設けられる部品吸着用の一対のノズル６ｅとを有する。
【００６７】
第１ウエハヘッド６ａの一対のノズル６ｅは、上下真逆の位置に設けられており、一方側のノズル６ｅが真下に向くときに他方側のノズル６ｅが真上を向くように設けられている。両ブラケット部材６ｄの外側にそれぞれ設けられた駆動モータ６ｆが回転駆動されることにより、一対のノズル６ｅの位置が交互に入れ替わる。また、図示しない駆動モータの駆動により、ブラケット部材６ｄがフレーム部材６ｃに対し昇降し、ノズル６ｅを含む第１ウエハヘッド６ａ全体が昇降する。第２ウエハヘッド６ｂも同様の構成である。なお、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂのノズル６ｅ同士の間隔（Ｘ軸方向の間隔）は、第１ヘッドユニット４１に搭載される部品実装用ヘッド４１ａの間隔および第２ヘッドユニット４２に搭載される部品実装用ヘッド４２ａの間隔と同間隔とされている。これにより、２つのウエハヘッド（第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂ）から第１ヘッドユニット４１の２つの部品実装用ヘッド４１ａまたは第２ヘッドユニット４２の２つの部品実装用ヘッド４２ａに対して、同時に２つのベアチップの受渡しが可能となっている。
【００６８】
カメラ８は、例えばＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を備えるカメラである。カメラ８は、ウエハＷからのベアチップの取り出しに先立ち、取り出し対象となるベアチップを撮像し、その画像信号を制御装置１１０に出力するものである。なお、取出装置６がヘッドユニットに部品を受け渡す時には、取出装置６はコンベア２に最も近接した位置に移動される。
【００６９】
図１０は、この実装機本体１００の制御系をブロック図で示している。図１０に示すように、この実装機本体１００は、ＣＰＵや各種メモリ、ＨＤＤ等からなる制御装置１１０を備えている。この制御装置１１０には、上記した各駆動モータ等（駆動モータ５３、フレーム駆動モータ６４、駆動モータ６５、駆動モータ６６、駆動モータ６ｆ、その他の駆動モータ、さらに第１突上げロッド７１ａ昇降用エアシリンダおよび第２突上げロッド７１ｂ昇降用エアシリンダへの空気回路における制御弁駆動ソレノイドを含む）、カメラ８、固定カメラ９ａおよび９ｂ等がそれぞれ電気的に接続されており、これにより各部の動作が制御装置１１０によって統括的に制御される。また、この制御装置１１０には、図外の入力装置が電気的に接続されており、オペレータによる各種情報がこの入力装置の操作に基づき入力されるとともに、各駆動モータに内蔵される図外のエンコーダ等の位置検出手段からの出力信号も入力される。また、連結状態においてはウエハ収納装置２００と制御装置１１０とがケーブル２００ａにより電気的に接続され、ウエハ収納装置２００のラック２０１の昇降のためのモータなども制御装置１１０により制御される。
【００７０】
この制御装置１１０は、その機能要素として、上記各駆動モータの駆動や各制御弁の駆動ソレノイドを制御する軸制御部１１１と、各カメラ（固定カメラ９ａおよび９ｂ、カメラ４１ｂ、４２ｂなど）からの画像信号に所定の処理を施す画像処理部１１２と、図外のセンサからの信号の入力および各種制御信号の出力等を制御するＩ／Ｏ処理部１１３と、外部装置との通信を制御する通信制御部１１４と、実装プログラム等の各種プログラムや各種データを記憶する記憶部１１５と、これらを統括的に制御するとともに、各種の演算処理を実行する主演算部１１６とを含んでいる。
【００７１】
そして、この制御装置１１０は、各駆動モータ等を予め定められたプログラムに基づいて制御することにより、コンベア２、ウエハ保持テーブル５、取出装置６、突上げ装置７、第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２等を制御する。これにより、ウエハ収納装置２００に対するウエハＷの出し入れ、ウエハＷからのベアチップの取り出しおよび第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２による部品の実装等の一連の動作（部品実装動作）を実行させる。
【００７２】
制御装置１１０は、主に基台１の内部に収納されている。ここで、本実施形態では、制御装置１１０の一部が第２部分１ｃに収納されている。具体的には、図１１に示すように、上記した画像処理部１１２、通信制御部１１４、記憶部１１５および主演算部１１６が一体となったコントロールボックス１１７が一方の第２部分１ｃに収納されている。また、他方の第２部分１ｃの外部にはメインスイッチ１１８（図１１でのみ図示）が設けられており、他方の第２部分１ｃの内部には、メインブレーカ１１９が収納されている。なお、コントロールボックス１１７は、本発明の「電装品」の一例である。
【００７３】
なお、第１部分１ｂの内部には、上記した軸制御部１１１およびＩ／Ｏ処理部１１３が収納されている。また、変電圧器１２０、トランス１２１、真空源１２２などの各種の装置も第１部分１ｂに収納されている。
【００７４】
次に、この制御装置１１０による部品実装動作の制御について説明する。なお、以下の説明は、ウエハ収納装置２００が実装機本体１００に連結されている状態で行われる。
【００７５】
まず、制御装置１１０は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐを実装機本体１００内に搬入する。そして、制御装置１１０は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐを第１作業位置Ｓ１および第２作業位置Ｓ２に配置した状態で固定する。
【００７６】
この後、制御装置１１０は、ウエハ保持テーブル５を制御することによりウエハ収納装置２００からウエハＷを引き出す。具体的には、駆動モータ５３を駆動することによりウエハ保持テーブル５をウエハ受取位置に移動させる。そして、出し入れ機構５ａによりウエハＷ（ホルダＷｈ）をウエハ収納装置２００からウエハ保持テーブル５上に引き出す。そして、引き出したウエハＷをウエハ保持テーブル５に固定する。この後、ウエハ保持テーブル５を制御することにより、部品取出作業位置に配置する。
【００７７】
ウエハＷが部品取出作業位置に配置されると、制御装置１１０は、カメラ８を制御することにより、取出し対象のベアチップの撮像を行う。
【００７８】
次に、制御装置１１０は、カメラ８による撮像結果に基づき、突上げ装置７、取出装置６およびウエハ保持テーブル５を制御し、突上げヘッド７１の突上げピンと、取出装置６のノズル６ｅと、取り出し対象となるベアチップとをＸＹ平面上の同一位置に移動させる。
【００７９】
そして、制御装置１１０は、部品の大きさなどに応じて第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂから突上げピンを上昇させる（駆動する）ことにより当該ベアチップをその下側から突き上げる。この際、突上げロッド７１ａまたは７１ｂの先端面に負圧を発生させてベアチップが貼り付けられているウエハシートを吸着保持しがら、突上げロッド７１ａまたは７１ｂの先端面中央部から突上げピンを突き上げる。その一方で、第１ウエハヘッド６ａあるいは第２ウエハヘッド６ｂを下降させて、突上げられることによりウエハシートから剥がされたベアチップをノズル６ｅの先端部の負圧により吸着させる。これによりウエハＷからのベアチップの取り出しを行う。
【００８０】
次に、制御装置１１０は、取出装置６からヘッドユニットへのベアチップの受け渡しを行う。具体的には、制御装置１１０は、取出装置６を制御することにより所定の部品受渡し位置（コンベア２に最も近接した位置）に取出装置６を移動させるとともに、実装部４を制御することにより第１ヘッドユニット４１（又は第２ヘッドユニット４２）を部品受渡し位置に移動させる。これにより部品受渡し位置において取出装置６と第１ヘッドユニット４１（又は第２ヘッドユニット４２）とを上下に配置する。
【００８１】
取出装置６および第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）が部品受渡し位置に配置されるまでの移動中に、制御装置１１０は、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂを回転させ、これにより各ノズル６ｅに吸着されているベアチップを反転（フェイスダウンの状態に反転）させた後、当該ベアチップを第１ヘッドユニット４１の下降させた２つの部品実装用ヘッド４１ａまたは第２ヘッドユニット４２の下降させた２つの部品実装用ヘッド４２ａにより吸着させる。これにより取出装置６から第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）へのベアチップの受渡しを行う。
【００８２】
次に、制御装置１１０は、第１ヘッドユニット４１を固定カメラ９ａ（第２ヘッドユニット４２の場合は固定カメラ９ｂ）上方に移動させ、各部品実装用ヘッドに吸着されたベアチップを固定カメラに撮像させるとともに、その画像データに基づき各部品実装用ヘッドに対するベアチップの吸着ずれを演算する。
【００８３】
次に、制御装置１１０は、第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）のカメラ４１ｂ（４２ｂ）により、コンベア２に固定されているプリント基板Ｐに付されているフィデューシャルマーク（図示せず）を認識する。これにより、制御装置１１０はプリント基板Ｐのコンベア２に対する位置ずれを認識する。
【００８４】
そして、制御装置１１０は、ベアチップの吸着ずれおよびプリント基板Ｐの位置ずれに基づいて第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）をプリント基板Ｐ上方の補正した位置に移動させる。そして、所定の実装位置で部品実装用ヘッドを下降させることによりベアチップをプリント基板Ｐ上に実装する。
【００８５】
上記の動作を繰り返し、全てのベアチップの実装が完了した場合には、制御装置１１０は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐの固定を解除する。そして、制御装置１１０は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐを実装機本体１００外に搬出する。
【００８６】
次に、図１２〜図１６を参照して、本実施形態による実装機の連結動作を説明する。
【００８７】
まず、図１２および図１３に示すように、ユーザはウエハ収納装置２００を連結方向（Ｙ１方向）に移動させることにより、実装機本体１００の連結部１ａに嵌め込む。なお、この時、支持機構２２０の接地部２２１ａは床面Ｆから離間している。
【００８８】
嵌め込む際には、まずガイドコロ２０５および２０６がそれぞれガイドレール１４の傾斜面（上面１４ａ）およびガイドレール１５の傾斜面（上面１５ａ）に乗り上げる。そして、ユーザがさらに連結方向（Ｙ１方向）にウエハ収納装置２００を移動させると、ガイドコロ２０５および２０６はそれぞれ水平面（上面１４ｂ）および水平面（上面１５ｂ）に乗り上げる。ガイドコロが水平面に乗り上げた状態では、図１４に示すように、傾斜面の高さ分だけガイドコロが上昇するので、ガイドコロが取り付けられている本体２０２、底板２０３およびキャスター２０４も上昇する。これにより、ウエハ収納装置２００の連結方向（Ｙ１方向）側のキャスター２０４が離間した状態となる。この状態では、ウエハ収納装置２００の手前側の部分のキャスター２０４は床面Ｆに接地したままである。
【００８９】
そして、ウエハ収納装置２００をさらに連結方向（Ｙ１方向）に移動させると、ガイドレール１４の突起部１４ｃおよびガイドレール１５の突起部１５ｃにそれぞれ当接部材２１１の当接部２１１ａおよび当接部材２１４の当接部２１４ａが当接する。これにより、それ以上の連結方向（Ｙ１方向）への移動はできなくなる。この状態で正面から見た場合の左右の高さ方向の傾きがある場合には、移動ブロック２０９の高さ位置を調節することによりガイドコロ２０５の高さ位置を調節する。
【００９０】
次に、支持機構２２０のハンドル２２３を回すことにより、第２脚部２２２および第１脚部２２１を降下させる。ハンドル２２３が回らなくなるまで回すと、図１５および図１６に示すように、第１脚部２２１が床面Ｆに当接するとともに手前側（分離方向側）の一対のキャスター２０４が床面Ｆから離間する。これにより、ウエハ収納装置２００の手前側の部分は支持機構２２０により支持される。
【００９１】
この状態で、ナット２２５を緩めるとともに、第２脚部２２２に対して第１脚部２２１を回転させることにより、第１脚部２２１の突出長さを調節する。そして、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する前後方向の傾きがなくなるように第１脚部２２１の突出長さを調節した状態で、ナット２２５を締め付ける。これにより、ウエハ収納装置２００は実装機本体１００に対して平行な状態でガイドコロ２０５、ガイドコロ２０６および支持機構２２０の３点で支持される。この状態では図１６に示すように、４つのキャスター２０４は全て床面Ｆから離間している。
【００９２】
そして、調整が終わった後に、ねじ２１３をガイドレール１４のねじ穴１４ｄに螺合挿入するとともに、ねじ２１６をガイドレール１５のねじ穴１５ｄに螺合挿入する。これにより、ウエハ収納装置２００が分離方向に移動するのが防止される。これによりウエハ収納装置２００と実装機本体１００との連結が完了し、この状態でウエハ収納装置２００から実装機本体１００へのウエハＷの受け渡しなどのウエハＷの搬送が行われる。
【００９３】
また、実装機の実装動作中などに実装機本体１００のメンテナンスのためにウエハ収納装置２００を一旦分離する場合がある。この場合には、まず、ねじ２１３をガイドレール１４のねじ穴１４ｄから抜き取るとともに、ねじ２１６をガイドレール１５のねじ穴１５ｄから抜き取る。そして、ハンドル２２３を回すことにより、支持機構２２０を上昇させてキャスター２０４を床面Ｆに接地させる。その後、ウエハ収納装置２００を分離方向（Ｙ２方向）に移動させることによりウエハ収納装置２００を実装機本体１００から分離させる。
【００９４】
そして、実装機本体１００のメンテナンスが終わった後に、再度ウエハ収納装置２００を実装機本体１００に連結する。この場合には、連結方向（Ｙ１方向）への移動ができなくなるまでウエハ収納装置２００を連結方向（Ｙ１方向）に移動させた後、ハンドル２２３をそれ以上回らなくなるまで回して支持機構２２０を下降させる。この状態で、第１脚部２２１の突出長さは最初に調整した突出長さとなっているので、ウエハ収納装置２００と実装機本体１００との平行がとれている状態となっている。すなわち、本実施形態の実装機では、初回の連結時にウエハ収納装置２００と実装機本体１００との相対位置の調整を行うと、２回目以降の連結時には調整作業を行うことなくウエハ収納装置２００と実装機本体１００との相対位置を互いに平行な状態にすることが可能である。
【００９５】
本実施形態では、上記のように、実装機本体１００とウエハ収納装置２００とが連結された状態で、ウエハ収納装置２００に設けられたガイドコロ２０５および２０６が実装機本体１００に設けられたガイドレール１４および１５に乗り上げることによって、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００側のキャスター２０４が床面Ｆから離間するように構成することにより、ガイドレール１４および１５とガイドコロ２０５および２０６とにより、連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的な位置関係を床面Ｆの平坦度合いに依存することなく決めることができる。これにより、ガイドレール１４および１５とガイドコロ２０５および２０６との位置を適切に設定することにより、床面Ｆの平坦度合いが良好でない場合にも、連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的な位置関係が平行からずれることを抑制することができる。このため、ウエハ収納装置２００から実装機本体１００側にウエハＷを移送する際に、実装機本体１００に対してウエハＷが傾いた状態で移送されてしまうのを抑制することができる。その結果、移送中に実装機本体１００とウエハＷとが干渉したり、実装機本体１００においてウエハＷが適正な姿勢で保持されなくなったりするのを抑制することができる。
【００９６】
また、ガイドレール１４および１５とガイドコロ２０５および２０６とによりウエハ収納装置２００を実装機本体１００に対して２点で支持させることができるので、より精度良く連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的な位置関係（特に、正面から見た場合の左右の傾き）が平行からずれることを抑制することができる。
【００９７】
また、本実施形態では、上記のように、ガイドレール１４および１５を実装機本体１００に設けるとともに、ガイドコロ２０５および２０６をウエハ収納装置２００に設けることによって、固定的に設置され、比較的大きいサイズの実装機本体１００に比較的大きいスペースを要するガイドレール１４および１５を設け、移動する比較的小さいウエハ収納装置２００に比較的小さいスペースを要するガイドコロ２０５および２０６を設けるので、ウエハ収納装置２００にガイドレールを設ける場合と異なり、ウエハ収納装置２００が大きくなるのを抑制することができる。また、ウエハ収納装置２００のキャスター２０４が床面Ｆから離間するように構成することによって、キャスター２０４の接触する床面Ｆの平坦度合いが良好でない場合にも、容易に実装機本体１００とウエハ収納装置２００との相対的な位置関係を平行に保つことができる。
【００９８】
また、本実施形態では、上記のように、ガイドレール１４および１５との接触面において転動可能なガイドコロ２０５および２０６を設けることによって、ガイドレールとガイド部材との間の接触抵抗を小さくすることができるので、実装機本体１００とウエハ収納装置２００とを連結または分離する際に、ガイドレール１４および１５とガイドコロ２０５および２０６とを接触させながらウエハ収納装置２００を円滑に移動させることができる。
【００９９】
また、本実施形態では、上記のように、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００と反対側の部分に、連結状態で床面Ｆに対してウエハ収納装置２００を支持することが可能な支持機構２２０を設けることによって、ウエハ収納装置２００と実装機本体１００とが連結された状態で、支持機構２２０によりウエハ収納装置２００の実装機本体１００と反対側の部分の高さ位置を調整することができる。これにより、連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的な位置関係（特に、前後方向の傾き）を床面Ｆの平坦度合いに依存することなく決めることができる。これにより、床面Ｆの平坦度合いが良好でない場合にも、連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的な位置関係が平行からずれることをさらに抑制することができる。
【０１００】
また、本実施形態では、上記のように、ウエハ収納装置２００が実装機本体１００側に向かう連結方向に移動する際に、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００側の部分が床面Ｆから離間した状態で、ウエハ収納装置２００の連結方向への移動を規制するストッパ（突起部１４ｃおよび当接部２１１ａからなるストッパと、突起部１５ｃおよび当接部２１４ａからなるストッパ）を設けている。このように構成することによって、ユーザはウエハ収納装置２００をストッパにより停止されて動かなくなるまで連結方向に移動するだけで、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００側の部分を床面Ｆから離間させながら、実装機本体１００とウエハ収納装置２００とを連結することができる。このストッパの位置を適切に設定することにより、連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的なずれが生じるのを抑制することができる。また、ストッパを２つ設けているので、ウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する移動を２点で規制することができる。これにより、連結状態におけるウエハ収納装置２００の実装機本体１００に対する相対的な位置関係（特に、上から見た場合の平面的な回転方向のずれ）が平行からずれることを抑制することができる。
【０１０１】
また、本実施形態では、上記のように、実装機本体１００の基台１に、ウエハ収納装置２００が連結された状態でウエハ収納装置２００が嵌り込む、平面的に見て凹形状の連結部１ａを設けている。このように構成することによって、連結状態においてウエハ収納装置２００の一部が実装機本体１００に嵌りこむので、連結状態における実装機の全体の大きさを小型化することができる。また、連結状態における実装機本体１００とウエハ収納装置２００との距離を小さくすることができるので、ウエハ収納装置２００から実装機本体１００へのウエハＷの受け渡しを円滑に行うことができる。
【０１０２】
また、本実施形態では、上記のように、凹形状の連結部１ａの両側の側方壁部１３を構成する第２部分１ｃに実装機本体１００のコントロールボックス１１７を収納することによって、ウエハ収納装置２００を嵌め込むための基台１の第２部分１ｃのスペースを有効に利用してコントロールボックス１１７を配置することができる。
【０１０３】
また、本実施形態では、上記のように、基台１の第２部分１ｃの側方壁部１３にガイドレール１４および１５を固定することによって、強固な部材である基台１にガイドレールを設けるので、連結時にウエハ収納装置２００を支持するためのガイドレールの強度を大きくすることができる。
【０１０４】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【０１０５】
たとえば、上記実施形態では、実装機本体１００にガイドレールを設け、ウエハ収納装置２００にガイド部材を設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、実装機本体１００にガイド部材を設け、ウエハ収納装置２００にガイドレールを設けてもよい。この場合、実装機本体のガイド部材にガイドレールが乗り上げることにより、ウエハ収納装置の実装機本体側の部分が床面から離間することになる。
【０１０６】
また、上記実施形態では、ガイドレール上を車輪状のガイドコロ（転動体）により転動させる例を示したが、本発明はこれに限らず、球状の転動体により転動させてもよい。また、ガイドレールとガイド部材との摩擦が小さければ、ガイド部材を転動体にしなくてもよい。
【０１０７】
また、上記実施形態では、支持機構２２０をキャスター２０４と別個に設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、後側のキャスター自体に高さ調整機構を設けてもよい。
【０１０８】
また、上記実施形態では、ウエハ収納装置２００の前側部分（連結方向側の部分）のみをガイドレールに乗り上げるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、前側部分のみならず、後側部分（手前側部分）もガイドレールに乗り上げるように構成してもよい。これにより、支持機構２２０を設ける必要がなくなる。
【符号の説明】
【０１０９】
１  基台
１ａ  連結部
１ｂ  第１部分
１ｃ  第２部分
４  実装部（実装機構）
１２  前方壁部
１３  側方壁部
１４、１５  ガイドレール
１４ｃ、１５ｃ  突出部（ストッパ）
１００  実装機本体（部品供給装置）
１１７  コントロールボックス
２００  ウエハ収納装置
２０４  キャスター（支持部分）
２０５、２０６  ガイドコロ（ガイド部材、転動体）
２１１ａ、２１４ａ  当接部（ストッパ）
２２０  支持機構
Ｐ  プリント基板（基板）
Ｗ  ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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