(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状に形成されたハウジングと、
前記ハウジングの内周面に回転可能に支持された主軸と、
前記主軸の外周面と前記ハウジングの内周面との間に配置され、前記主軸に対して一体的状態と分離状態とを切換可能に設けられた着脱部材と、
前記着脱部材と前記ハウジングとの間に形成される空間に流体を介在させるために前記空間に前記流体を供給する流体供給手段と、
前記ハウジングに対する前記主軸の振動を検出する振動検出手段と、
前記振動検出手段が前記主軸の振動を検出した場合に、前記着脱部材を前記主軸に対して前記分離状態から前記一体的状態に切り換える切換制御手段と、
を備えることを特徴とする工作機械の主軸装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記着脱部材は、質量部材を構成し、前記着脱部材が前記主軸に対して前記一体的状態の場合には、前記着脱部材が前記主軸に対して前記分離状態の場合に比べて、前記主軸および前記着脱部材を含む回転体の共振点を変化させることを特徴とする工作機械の主軸装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記工作機械の主軸装置は、前記着脱部材と前記ハウジングとの間に保持されている前記流体の温度を計測する温度センサを備え、
前記切換制御手段は、前記着脱部材が前記主軸に対して前記一体的状態のとき、前記温度センサにより計測された前記流体の温度が設定された温度閾値を超えた場合に、前記着脱部材を前記主軸に対して前記分離状態に切り換えることを特徴とする工作機械の主軸装置。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記工作機械の主軸装置は、前記主軸の回転速度を検出する回転速度検出センサを備え、
前記切換制御手段は、前記着脱部材が前記主軸に対して前記一体的状態のとき、前記主軸の回転速度が設定された回転速度閾値を超えた場合に、前記着脱部材を前記主軸に対して前記分離状態に切り換えることを特徴とする工作機械の主軸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主軸の振動を抑制することができる工作機械の主軸装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特開２００９−７８３５０号公報（特許文献１）に、主軸の振動を抑制する主軸装置について記載されている。この主軸装置は、主軸に振動が発生する場合に、主軸の回転速度を変更するというものである。例えば、主軸の回転速度（一般に回転数ともいう）を低下させることで、主軸の振動を抑制することができる。しかし、主軸の回転速度を低下させることは、加工精度に影響を及ぼすと共に、加工時間が長くなるという問題がある。
【０００３】
また、主軸の回転速度を下げずに主軸の振動を抑制できる主軸装置について、特開２０１０−２３１８７号公報（特許文献２）および特開２０１０−４２４６４号公報（特許文献３）に記載されている。これらは、主軸に取り付ける錘の質量を任意に設定することができる装置である。具体的には、主軸に発生する振動を解析しておき、その振動に応じて主軸に取り付ける錘の質量を変更することで、主軸および錘を含む回転体の共振点を変更する。その結果、実際に使用している最中に主軸が振動することを抑制するというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−７８３５０号公報
【特許文献２】特開２０１０−２３１８７号公報
【特許文献３】特開２０１０−４２４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献２，３に記載の工作機械の主軸装置においては、主軸に取り付ける錘の質量を事前に決定しておき、予め主軸に取り付けるものである。そのため、本来、錘を不要とする領域においても、常に錘が取り付けられた状態で主軸が回転する。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、主軸の回転速度を下げることなく、被加工物の加工中に振動が発生し得る場合にのみ振動抑制効果を発揮できる工作機械の主軸装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、円筒形状に形成されたハウジングと、前記ハウジングの内周面に回転可能に支持された主軸と、前記主軸の外周面と前記ハウジングの内周面との間に配置され、前記主軸に対して一体的状態と分離状態とを切換可能に設けられた着脱部材と、前記着脱部材と前記ハウジングとの間に形成される空間に流体を介在させるために前記空間に前記流体を供給する流体供給手段と、前記ハウジングに対する前記主軸の振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段が前記主軸の振動を検出した場合に、前記着脱部材を前記主軸に対して前記分離状態から前記一体的状態に切り換える切換制御手段と、を備えることである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記着脱部材は、質量部材を構成し、前記着脱部材が前記主軸に対して前記一体的状態の場合には、前記着脱部材が前記主軸に対して前記分離状態の場合に比べて、前記主軸および前記着脱部材を含む回転体の共振点を変化させることである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、前記工作機械の主軸装置は、前記着脱部材と前記ハウジングとの間に保持されている前記流体の温度を計測する温度センサを備え、前記切換制御手段は、前記着脱部材が前記主軸に対して前記一体的状態のとき、前記温度センサにより計測された前記流体の温度が設定された温度閾値を超えた場合に、前記着脱部材を前記主軸に対して前記分離状態に切り換えることである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、前記工作機械の主軸装置は、前記主軸の回転速度を検出する回転速度検出センサを備え、前記切換制御手段は、前記着脱部材が前記主軸に対して前記一体的状態のとき、前記主軸の回転速度が設定された回転速度閾値を超えた場合に、前記着脱部材を前記主軸に対して前記分離状態に切り換えることである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明によれば、着脱部材が主軸に対して一体的状態に切り換えられた場合、すなわち、着脱部材が主軸と共に回転する場合に、着脱部材とハウジングとの間に形成される空間に介在する流体の粘性による流体膜ダンピング効果により、主軸に対する振動減衰性能を発揮する。従って、主軸が振動する場合に、着脱部材を主軸に対して一体的状態に切り換えることで、主軸の振動を抑制することができる。ここで、振動検出手段は、ハウジングに取り付けられ主軸の実際の振動を検出する振動検出センサを適用することもできるし、加工条件および主軸装置の各部の機械構成の情報を用いた振動解析により振動の発生を解析する解析ツールを適用することもできる。ここで、着脱部材とハウジングとの間に形成される空間は、流体膜ダンピング効果を発揮できる微小隙間である。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、着脱部材が主軸に対して十分な質量を有する質量部材を構成することで、一体的状態の場合に主軸および着脱部材を含む回転体の共振点を変化させることができる。このことにより、主軸の振動をさらに抑制することができる。
【００１３】
着脱部材とハウジングとの間に形成された空間に介在する流体が発熱すると、着脱部材やハウジングに対して悪影響を及ぼすおそれがある。そこで、請求項３に係る発明によれば、流体の温度が高い温度に達した場合、すなわち設定された温度閾値を超えた場合に、着脱部材を主軸に対して分離状態に切り換えている。これにより、着脱部材とハウジングとの間に形成された空間に介在する流体が発熱することを抑制することができる。
【００１４】
主軸の回転速度が高くなると、着脱部材とハウジングとの間に形成された空間に介在する流体が発熱するおそれがある。そこで、請求項４に係る発明によれば、主軸の回転速度が高い回転速度に達した場合、すなわち設定された回転速度閾値を超えた場合に、着脱部材を主軸に対して分離状態に切り換えている。これにより、着脱部材とハウジングとの間に形成された空間に介在する流体が発熱することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】工作機械の主軸装置の軸方向断面図である。
【図２】着脱部材の拡大軸方向断面図である。
【図３】工作機械の主軸装置の制御ブロック図である。
【図４】解析部の処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜第一実施形態＞
第一実施形態の工作機械の主軸装置の機械構成部分について、図１および図２を参照して説明する。本実施形態の工作機械の主軸装置は、図１に示すように、主として、ハウジング１０と、主軸２０と、転がり軸受装置３０、４０、５０と、予圧付与ピストン部材６０と、モータ７０と、着脱部材１００とを備えている。
【００１７】
ハウジング１０は、前側ハウジング１１と、中央ハウジング１２と、第一後側ハウジング１３と、第二後側ハウジング１４と、スリーブ部材１５と、ハウジングキャップ１６とにより構成される。それぞれの部材１１〜１６は略円筒状に形成されており、それらの部材１１〜１６が一体に連結固定されることで、ハウジング１０が略円筒状に形成されている。
【００１８】
スリーブ部材１５は、軸方向中央部に径方向外方へ突出するリング状のフランジ部を有する。このスリーブ部材１５のフランジ部が、前側ハウジング１１と中央ハウジング１２との軸方向間に配置される。さらに、スリーブ部材１５におけるフランジ部の軸方向両側にある円筒部分が、中央ハウジング１２の前側（軸方向において、刃具８１の取付端側、図１において左側）端部の内周と前側ハウジング１１の内周に嵌合されている。スリーブ部材１５の内周面のうち軸方向中央部には、中央ハウジング１２およびスリーブ部材１５に形成された流体供給路９１の油排出開口部が形成されている。この流体供給路９１には、ポンプユニット（図示せず）が接続され、そのポンプユニットより所定の圧力に調整された油が供給される。
【００１９】
ハウジングキャップ１６は、前側ハウジング１１およびスリーブ部材１５の軸方向前側端に取り付けられる。このハウジングキャップ１６とスリーブ部材１５とにより、第一前側転がり軸受装置３０の外輪を軸方向間に挟んでいる。このハウジングキャップ１６には、径方向の変位センサ２０１が固定されている。この変位センサ２０１は、ハウジングキャップ１６に対する主軸２０の外周面の径方向変位を検出する。
【００２０】
第二後側ハウジング１４の内周面のうち軸方向前側は、軸方向前側が大径となるような段差形状に形成されている。この段差部分の大径部に、後述する着脱部材１００が配置される。この第二後側ハウジング１４には、着脱用流体供給路１４ａ、ダンピング用流体供給路１４ｂおよび流体排出路１４ｃが形成されている。着脱用流体供給路１４ａおよびダンピング用流体供給路１４ｂの流体排出開口部が、第二後側ハウジング１４の内周面の大径側周面に形成されている。着脱用流体供給路１４ａには、図示しない流体供給装置からエアが供給され、ダンピング用流体供給路１４ｂには、流体供給装置１３０（図２に示す）から油が供給される。また、流体排出流路１４ｃの開口部が、第二後側ハウジング１４の段差形状の軸方向後側端面に形成されている。
【００２１】
主軸２０は、略円筒状に形成されており、ハウジング１０の内周面に転がり軸受装置３０，４０，５０を介して回転自在に支持されている。主軸２０の中空内部には、刃具８１が固定されたホルダ８２をクランプするクランプユニット８３や、クランプユニット８３を作動させるプッシュロッド８４およびドローバー８５が収容されている。また、主軸２０の軸方向後側であって、第二後側ハウジング１４の中空内部には、クランプユニット８３を操作するためのシリンダ組立体８６が配置されている。主軸２０の外周面の軸方向中央部には、モータ７０のロータ７１が固定されている。このロータ７１の外周側には、モータ７０のステータ７２が設けられている。このステータ７２は、中央ハウジング１２の内周面に嵌合固定されている。主軸２０は、このモータ７０により回転駆動されるようになっている。
【００２２】
第一，第二前側転がり軸受装置３０，４０は、それぞれ二対のアンギュラ玉軸受を備えて構成されている。第一前側転がり軸受装置３０は、モータ７０の軸方向前側（刃具８１の取付端側）であって、前側ハウジング１１の内周面と主軸２０の外周面との間に嵌合される。第二前側転がり軸受装置４０は、モータ７０の軸方向前側であり、第一前側転がり軸受装置３０の軸方向後側（刃具８１の取付端側とは反対側）に配置される。この第二前側転がり軸受装置４０は、スリーブ部材１５の内周側に設けられた予圧付与ピストン部材６０の内周面と主軸２０の外周面との間に嵌合される。
【００２３】
第一前側転がり軸受装置３０のアンギュラ玉軸受の接触角と、第二前側転がり軸受装置４０のアンギュラ玉軸受の接触角は、軸直交平面に対して対称となるように設けられている。具体的には、第一前側転がり軸受装置３０の外輪と転動体の接点は、当該転動体の中心よりも軸方向後側（第二前側転がり軸受装置４０側）に位置し、第二前側転がり軸受装置４０の外輪と転動体の接点は、当該転動体の中心よりも軸方向前側（刃具８１の取付端側）に位置する。また、第一前側転がり軸受装置３０の内輪と転動体の接点は、当該転動体の中心よりも軸方向前側（刃具８１の取付端側）に位置し、第二前側転がり軸受装置４０の内輪と転動体の接点は、当該転動体の中心よりも軸方向後側（モータ７０側）に位置する。
【００２４】
後側転がり軸受装置５０は、図１に示すように、一個の円筒ころ軸受を備えて構成されている。後側転がり軸受装置５０は、モータ７０の軸方向後側（刃具８１の取付端側と反対側）であって、第一後側ハウジング１３の内周面と主軸２０の外周面との間に嵌合される。
【００２５】
予圧付与ピストン部材６０は、略円筒状に形成されている。この予圧付与ピストン部材６０は、スリーブ部材１５の内周面と第二前側転がり軸受装置４０の外輪の外周面との間に嵌合されている。この予圧付与ピストン部材６０の外周面とスリーブ部材１５に形成された流体供給路９１の油排出開口部との間には、流体供給路９１を介して供給された油が滞留する油滞留部９２が環状に形成されている。この油滞留部９２における油の圧力が高くなると、予圧付与ピストン部材６０には、スリーブ部材１５に対して軸方向後側へ移動する力が発生する。つまり、予圧付与ピストン部材６０は、第二前側転がり軸受装置４０の外輪を軸方向後側へ押圧する力が発生する。
【００２６】
従って、油滞留部９２における油の圧力を高めることで、予圧付与ピストン部材６０により第一，第二前側転がり軸受装置３０，４０に付与される予圧を高くすることになる。逆に、油滞留部９２における油の圧力を低くすることで、第一，第二前側転がり軸受装置３０，４０に付与される予圧を低くすることになる。そして、油滞留部９２には予め設定された圧力の油を付与しており、第一，第二前側転がり軸受装置３０，４０には予め設定された予圧が付与されている。また、予圧付与ピストン部材６０の外周面とスリーブ部材１５の内周面との間において、油滞留部９２の軸方向両側には、軸方向への油の漏洩を防止するためにＯリングなどのシール部材が配置されている。
【００２７】
着脱部材１００は、図１に示すように、第二後側ハウジング１４の内周面のうち段差形状の大径部に配置される。着脱部材１００は、図１および図２に示すように、クランプ装置１１０と、質量部材１２０とを備えて構成される。
【００２８】
質量部材１２０は、円環状に形成されており、第二後側ハウジング１４の内周面の段差形状の大径部に配置される。この質量部材１２０は、主軸２０と質量部材１２０の合計質量が主軸２０の質量に対して回転体として影響を及ぼす程度の質量とされている。この質量部材１２０の外周面のうち軸方向前端に周溝１２１が形成されている。質量部材１２０の軸方向前側端面、質量部材１２０の外周面のうち周溝１２１よりも軸方向後側、および、質量部材１２０の軸方向後側端面のそれぞれに、シール部材１２２，１２３，１２４が配置されている。これらのシール部材１２２，１２３，１２４は、第二後側ハウジング１４に当接しており、第二後側ハウジング１４との相対回転速度が規定された回転速度まで使用可能なものを用いている。
【００２９】
そして、質量部材１２０の最外周面は、第二後側ハウジング１４の内周面の段差形状の大径部との間に、微小隙間を介するように配置されている。さらに、質量部材１２０は、周溝１２１に対して第二後側ハウジング１４の着脱用流体供給路１４ａのエア排出開口部が径方向に対向するように配置されている。つまり、周溝１２１は、流体供給路１４ａのエア排出開口部から排出されたエアが滞留するエア滞留領域１２０ａを形成する。
【００３０】
また、質量部材１２０の軸方向後側端は、第二後側ハウジング１４の段差形状の軸方向後側端面との間に、微小隙間を介するように配置されている。つまり、第二後側ハウジング１４と質量部材１２０との間において、シール部材１２３とシール部材１２４との間には、微小隙間１２０ｂが形成されている。この微小隙間１２０ｂに、ダンピング用流体供給路１４ｂの開口部および流体排出流路１４ｃの開口部が位置している。つまり、当該微小隙間１２０ｂには、流体供給装置１３０によりダンピング用流体供給路１４ｂを介して油が供給され、流体排出流路１４ｃから排出される。従って、当該微小隙間１２０ｂには、設定された圧力の油が介在している。
【００３１】
このように、質量部材１２０は、第二後側ハウジング１４に対して、油およびエアを介して配置されている。そして、質量部材１２０は、第二後側ハウジング１４に対して相対回転可能に支持されていることになる。さらに、質量部材１２０の内部には、周溝１２１から軸方向前側端面に連通する連通路１２５が形成されている。つまり、エア滞留領域１２０ａに滞留するエアは、この連通路１２５に流れ込む。
【００３２】
クランプ装置１１０は、本体部１１１とクランパ１１２とにより構成される。このクランプ装置１１０は、本体部１１１に高圧エアが供給されることで、クランパ１１２の径方向内側の突出量を変化する装置である。このクランプ装置１１０は、質量部材１２０の軸方向前側に固定され、質量部材１２０の連通路１２５の軸方向前側開口部から高圧エアの供給を受ける。そして、クランプ装置１１０の本体部１１１が、着脱用流体供給路１４ａおよび質量部材１２０の連通路１２５を介して高圧エアが供給されると、クランプ装置１１０のクランパ１１２の径方向内側への突出量が大きくなる。
【００３３】
このとき、クランパ１１２の内周面は、主軸２０の外周面を押圧する。その結果、クランプ装置１１０は、主軸２０と一体的状態となる。当然に、クランプ装置１１０が主軸２０と一体的状態となるとき、着脱部材１００全体が主軸２０に一体的状態となる。つまり、着脱部材１００が主軸２０と共に回転する。そうすると、微小隙間１２０ｂに介在している油の粘性による油膜ダンピング効果により、着脱部材１００および主軸２０から構成される回転体に対して減衰効果を発揮する。
【００３４】
一方、クランプ装置１１０の本体部１１１に供給されるエアの圧力が低くなると、クランパ１１２の径方向内側への突出量が小さくなる。そうすると、クランパ１１２の内周面は主軸２０の外周面から離脱する。その結果、クランプ装置１１０を含む着脱部材１００全体が、主軸２０に対して分離状態となる。
【００３５】
次に、上述した主軸装置の主軸２０にびびり振動が発生する場合のびびり振動の抑制方法について、図３および図４を参照して説明する。図３に示すように、びびり振動抑制に関する制御ブロックは、変位センサ２０１、加工条件，刃具ホルダ情報２０２、解析部２０３、制御部２０４、ＮＣ装置２０５、クランプ装置１１０とから構成される。
【００３６】
変位センサ２０１は、上述したように、ハウジングキャップ１６に固定され、主軸２０の外周面の径方向変位を検出する。加工条件および刃具ホルダ情報２０２は、作業者によって入力される。解析部２０３は、変位センサ２０１の検出値、または、加工条件，刃具ホルダ情報２０２の何れかを用いて、分離状態と一体的状態のそれぞれにおける径方向のびびり振動の発生の有無について解析により算出する。さらに、解析部２０３は、一体的状態にする場合には、ＮＣ装置２０５から入力されるＮＣデータにおける主軸２０の回転速度を考慮して、微小隙間１２０ｂに介在する油の発熱量が設定値より高くならないように、クランプ装置１１０の本体部１１１に供給するエアの圧力を決定する。
【００３７】
この解析部２０３の処理について図４を参照して説明する。図４に示すように、解析部２０３は、作業者によって入力された解析処理の種類を判定する（Ｓ１）。解析処理の種類としては、加工条件，刃具ホルダ情報に基づいた解析と、変位センサ２０１の検出値に基づいた解析とがある。
【００３８】
そして、作業者によって加工条件，刃具ホルダ情報に基づいた解析処理の種類が選択されている場合には、加工条件および刃具ホルダ情報を入力する（Ｓ２）。一方、作業者によって変位センサ２０１に基づいた解析処理の種類が選択されている場合には、変位センサ２０１の検出値、すなわちハウジング１０に対する主軸２０の径方向変位を入力する（Ｓ３）。続いて、入力した主軸２０の径方向変位を元情報として、ＦＦＴ解析を行う（Ｓ４）。
【００３９】
続いて、分離状態における主軸２０の径方向のびびり振動解析を行う（Ｓ５）。すなわち、クランプ装置１１０の本体部１１１に供給するエアの圧力を最小とした状態におけるびびり振動解析を行う。なお、加工条件および刃具ホルダ情報に基づいた解析処理の場合には、当該情報を用いて、分離状態における主軸２０の径方向のびびり振動解析を行う（Ｓ５）。一方、変位センサの検出値に基づいた解析処理の場合には、ＦＦＴ解析の結果を用いて、分離状態における主軸２０の径方向のびびり振動解析を行う（Ｓ５）。
【００４０】
続いて、分離状態におけるびびり振動解析の結果において、びびり振動の有無を判定して（Ｓ６）、びびり振動が発生していない場合には、その解析結果を記憶する（Ｓ１１）。一方、分離状態におけるびびり振動解析においてびびり振動が発生した場合には、ＮＣ装置２０５からＮＣデータを入力して温度解析を行う。温度解析は、ＮＣデータに記載されている主軸２０の回転速度を取り出して、一体的状態とした場合において微小隙間１２０ｂに介在する油の発熱量が設定値を超えるか否かを解析するものである。つまり、この温度解析により、油の発熱量が設定値を超える場合には、着脱部材１００は主軸２０に対して分離状態とする。
【００４１】
続いて、加工条件などの情報またはＦＦＴの解析結果を用いて、一体的状態における主軸２０の径方向のびびり振動解析を行う（Ｓ８）。ただし、温度解析の結果により、分離状態に切り換える必要があるときには、分離状態に切り換えて解析を行う。続いて、一体的状態におけるびびり振動解析の結果において、びびり振動の有無を判定して（Ｓ９）、びびり振動が発生していない場合には、その解析結果を記憶する（Ｓ１１）。一方、一体的状態におけるびびり振動解析においてびびり振動が発生した場合には、ＮＣデータの加工条件を変更して、再びステップＳ１から処理を繰り返す（Ｓ１０）。
【００４２】
つまり、現在のＮＣデータのまま加工を行うと主軸２０に径方向のびびり振動が発生するときに、解析部２０３により、着脱部材１００を一体的状態と分離状態との切り換えのタイミングを決定することができる。
【００４３】
そして、制御部２０４は、解析部２０３によって決定された解析結果に従って、クランプ装置１１０の本体部１１１に供給するエアの圧力を制御する。つまり、制御部２０４は、ＮＣ装置による加工中において、解析部２０３により得られたクランプ装置１１０の本体部１１１にエアを供給するタイミング（一体的状態とするタイミング）になると、クランプ装置１１０の本体部１１１に高圧エアを供給する。その結果、着脱部材１００が主軸２０と一体的状態となり、着脱部材１００が主軸２０と共に回転する。その結果、微小隙間１２０ｂに介在する油の粘性による油膜ダンピング効果を発揮して、主軸２０に径方向のびびり振動が発生することを抑制できる。逆に、分離状態とするタイミングになると、制御部２０４は、クランプ装置１１０の本体部１１１に供給するエアの圧力を低くする。
【００４４】
ここで、着脱部材１００の質量部材１２０は主軸２０に対して十分な質量を有するため、着脱部材１００が主軸２０に対して一体的状態の場合に、主軸２０および着脱部材１００を含む回転体の共振点を変化させることができる。このことによっても、主軸２０のびびり振動を抑制することに寄与する。
【００４５】
また、本実施形態によれば、温度解析の結果を考慮して、微小隙間１２０ｂに介在する油の発熱量が大きくなる状態においては、着脱部材１００を主軸２０に対して分離状態としている。これにより、油の発熱により、着脱部材１００や第二後側ハウジング１４に対して悪影響を及ぼすことを防止できる。
【００４６】
なお、上記実施形態において、主軸２０の回転速度によって温度解析をした結果、発熱量が設定値より高くならないように、一体的状態と分離状態とを切り換えることとした。この他に、微小隙間１２０ｂに収容されている油の温度を、温度センサにより検出して、当該温度が設定値より高くならないように、一体的状態と分離状態とを切り換えるようにしてもよい。この場合も、同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００４７】
１０：ハウジング、  １１：前側ハウジング、  １２：中央ハウジング
１３：第一後側ハウジング、  １４：第二後側ハウジング、  １４ａ：着脱用流体供給路
１４ｂ：ダンピング用流体供給路、  １４ｃ：流体排出流路
１５：スリーブ部材、  １６：ハウジングキャップ
２０：主軸、  ３０，４０，５０：軸受装置、  ６０：予圧付与ピストン部材
７０：モータ、  ７１：ロータ、  ７２：ステータ
８１：刃具、  ８２：ホルダ、  ８３：クランプユニット、  ８４：プッシュロッド
８５：ドローバー、  ８６：シリンダ組立体
９１：流体供給路、  ９２：油滞留部
１００：着脱部材、  １１０：クランプ装置、  １１１：本体部、  １１２：クランパ
１２０：質量部材、  １２０ａ：エア滞留領域、  １２０ｂ：微小隙間
１２１：周溝、  １２２〜１２４：シール部材、  １２５：連通路
２０１：変位センサ
【図１】
0005589540.tif 000002
【図２】
0005589540.tif 000003
【図３】
0005589540.tif 000004
【図４】
0005589540.tif 000005