(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視略矩形である上面及び下面を有する平板状の水晶片と、前記上面及び前記下面に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記上面及び前記下面に設けられ、前記駆動電極に電気的に接続された実装電極と、
を備えた水晶振動子において、
前記上面又は前記下面の第１の短辺側の側面は、第１の傾斜面と第２の傾斜面とからなる切妻状に形成され、
前記第１の短辺と反対に位置する第２の短辺側の側面は、前記第１の短辺側の側面の少なくとも１つの傾斜面と略平行な傾斜面を有し、
前記駆動電極は、前記第２の短辺側に配置され、
前記第２の短辺側の側面は、前記駆動電極を配置する部分と異なる部分に第３の傾斜面と第４の傾斜面を有するとともに、前記駆動電極を配置する部分に前記第３の傾斜面及び前記第４の傾斜面と異なる面を有することを特徴とする水晶振動子。
【請求項２】
前記第１の傾斜面は、前記上面となす角度が鈍角であり、
前記第２の傾斜面は、前記下面となす角度が鈍角であることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子。
【請求項３】
前記第３の傾斜面は、前記上面となす角度が鈍角であり、かつ前記第２の傾斜面と略平行に形成され、
前記第４の傾斜面は、前記下面となす角度が鈍角であり、かつ前記第１の傾斜面と略平行に形成されることを特徴とする請求項２に記載の水晶振動子。
【請求項４】
前記第３の傾斜面と前記第４の傾斜面とが接続することを特徴とする請求項３に記載の水晶振動子。
【請求項５】
前記第３の傾斜面の前記上面から前記第４の傾斜面までの長さと、前記第４の傾斜面の前記下面から前記第３の傾斜面までの長さと、が異なることを特徴とする請求項４に記載の水晶振動子。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一つに記載の水晶振動子を用いた電子部品。
【請求項７】
水晶平板の上面及び下面に開口部を有する保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記開口部に位置する前記水晶平板を除去し、平面視略矩形形状の水晶片と、前記水晶片の第２の短辺に接続する支持部と、前記支持部に接続する枠部と、を形成する工程と、前記第２の短辺と反対に位置する第１の短辺側の側面を第１の傾斜面と第２の傾斜面とからなる切妻状に形成する工程と、前記第２の短辺と前記支持部との境界に沿って、前記上面に形成された断面視略Ｖ字状の第１の溝と、前記下面に形成された断面視略Ｖ字状の第２の溝と、を形成する工程と、を備えた水晶片形成工程と、
前記上面及び前記下面に導電性材料からなる駆動電極を形成する電極形成工程と、
前記水晶片を前記支持部から分離する水晶片個片化工程と、
を備え、
前記水晶片形成工程において、前記第１の傾斜面及び前記第２の傾斜面の少なくとも一方が、前記第１の溝を構成する少なくとも１つの面と略平行に形成されることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【請求項８】
前記水晶片形成工程は、前記水晶平板をフッ酸又はフッ化アンモニウムの少なくとも一方を含む水溶液に浸漬させ、前記水晶片と、前記支持部と、前記枠部と、前記第１の溝と、前記第２の溝と、を同時に形成することを特徴とする請求項７に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項９】
前記水晶片形成工程において、前記第１の傾斜面及び前記第２の傾斜面の少なくとも一方が、前記第２の溝を構成する少なくとも１つの面と略平行に形成されることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項１０】
前記水晶片形成工程は、前記第１の溝を構成する１つの面と前記第２の溝を構成する１つの面とを略同一平面上に形成することを特徴とする請求項９に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項１１】
前記水晶片個片化工程は、前記水晶片を前記支持部から折り取った切り口と、前記第１の溝を構成する１つの面又は前記第２の溝を構成する１つの面と、を同一平面状に形成することを特徴とする請求項１０に記載の水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子および水晶振動子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタル機器のクロックパルス発生や無線機器などにおいては、周波数の温度依存性が小さい水晶振動子が利用されている。
【０００３】
水晶振動子を製造する際には種々の方法が用いられるが、特に水晶振動子が小型である場合には、リソグラフィおよびウェットエッチングによる製造方法が好適である。リソグラフィおよびウェットエッチングで水晶振動子を形成する場合には、水晶基板から枠部を形成し、その枠部に支持部によって水晶振動子が保持されるように形成すると、水晶振動子が個別に分離されないので、続けて電極もリソグラフィを用いて高精度かつ多数の水晶振動子に一括して形成することができる。このようにして水晶振動子を形成したのち、支持部から折り取って各水晶振動子チップを得ることができる。
【０００４】
しかしながら、水晶振動子を支持部から折り取る際に、うまく支持部から折れず、水晶振動子が破損したり、水晶振動子に支持部の一部が残ったりするという不具合があった。
【０００５】
そこで、これらの問題を解決するために種々の方法が提案されている。例えば特許文献１によれば、支持部と水晶振動子とが接続する部分を水晶基板の璧開面と一致させた水晶振動子が提供されている。
【０００６】
このように構成された水晶振動子について、図１１から図１３を参照して説明する。図１１は水晶振動子１０１の平面図を、図１２は図１１のＥＥ線における断面図を示している。また、図１３は水晶振動子１０１をパッケージに実装した平面図を示している。
【０００７】
水晶振動子１０１は、支持部１０２によって枠部１０３に保持されている。水晶振動子１０１と支持部１０２との境界は水晶基板の璧開面と平行であるように配置されている。
【０００８】
このように構成された水晶振動子１０１の先端に力を加えると、水晶振動子１０１と支持部１０２の境界に応力が集中して璧開が発生し、水晶振動子１０１を支持部１０２から折り取ることができる。また、水晶振動子１０１と支持部１０２の境界に水晶基板の璧開面と平行であるように溝１０４を形成すると、機械的な強度が局所的に小さくなるため、容易に水晶振動子１０１を支持部１０２から折り取ることができる。さらに、水晶振動子１０１に設けられた実装電極１０５の近くに水晶振動子１０１と支持部１０２の境界が配置されているため、折り取った水晶振動子１０１をパッケージ１０６に実装する場合には、図１１に示すように折り取った部分を導電性接着剤１０７で覆って、実装電極１０５とパッケージ電極１０８とを電気的に接続するとともに、折り取った部分で発生する不要な振動モードを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−１３００７０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、このように構成された水晶振動子１０１では、水晶振動子１０１と支持部１０２の境界および該境界に設けられた溝１０４が水晶基板の璧開面に平行になるように配置されているので、水晶振動子１０１の平面形状は理想的な形状である矩形ではなく六角形となる。そのため、水晶振動子１０１の輪郭形状に起因する不要な振動モードが励起されるという問題があった。
【００１１】
また、水晶振動子１０１を小型化すると、パッケージ１０６に実装する場合、導電性接着剤１０７を用いると実装電極１０５同士が短絡してしまう。それを防ぐためにはフリップチップボンディングが用いられるが、フリップチップボンディングを用いると水晶振動子１０１から支持部１０２を折り取った部分を固定できず、水晶振動子１０１の平面形状が矩形でないために励起される不要な振動モードの抑制が難しいという問題があった。
【００１２】
本発明の目的は上記のような事情に考慮してなされたもので、容易に水晶振動子を支持部から折り取ることができると同時に不要な振動モードの励起を防ぐ水晶振動子および水晶振動子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。
【００１４】
本発明の水晶振動子は、平面視略矩形である上面及び下面を有する平板状の水晶片と、前記水晶片の上面及び下面に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記上面及び前記下面に設けられ、前記駆動電極に電気的に接続された実装電極と、を備えた水晶振動子において、前記上面又は下面の第１の短辺側の側面は、第１の傾斜面と第２の傾斜面とからなる切妻状に形成され、前記１つの短辺と反対に位置する第２の短辺側の側面は、前記第１の短辺側の側面の少なくとも１つの傾斜面と略平行な傾斜面を有することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の水晶振動子は、前記第１の傾斜面は、前記上面となす角度が鈍角であり、前記第２の傾斜面は、前記下面となす角度が鈍角であることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の水晶振動子は、前記第２の短辺側の側面は、第３の傾斜面と第４の傾斜面とからなり、第３の傾斜面は、前記上面となす角度が鈍角であり、かつ前記第２の傾斜面と略平行に形成され、前記第４の傾斜面は、前記下面となす角度が鈍角であり、かつ前記第１の傾斜面と略平行に形成されることを特徴とする。
【００１７】
本発明にかかる水晶振動子は、水晶片が平面視略矩形に形成されているので、輪郭形状に起因する不要な振動モードの励起を抑制することができる。また、第２の短辺側の側面が第３の傾斜と第４の傾斜を備えているので、第２の短辺側の側面に支持部を接続して多数の水晶片を一括して製造することができるとともに、第３の傾斜面と第４の傾斜面を利用して容易に水晶片を支持部から折り取ることができる。
【００１８】
また、本発明の水晶振動子は、前記第３の傾斜面と前記第４の傾斜面とが接続することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の水晶振動子は、前記第３の傾斜面の前記上面から前記第４の傾斜面までの長さと、前記第４の傾斜面の前記下面から前記第３の傾斜面までの長さと、が異なることを特徴とする。
【００２０】
本発明にかかる水晶振動子は、水晶片を支持部から折り取った際に現れる切り口が第３の傾斜面または第４の傾斜面に一致するので、水晶片を支持部から折り取ることによる形状の乱れを最小限にとどめ、輪郭形状の乱れに起因する不要な振動モードの励起を抑制することができる。
【００２１】
また、本発明の水晶振動子の製造方法は、水晶平板の上面及び下面に開口部を有する保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記開口部に位置する前記水晶平板を除去し、平面視略矩形形状の水晶片と、前記水晶片の第２の短辺に接続する支持部と、前記支持部に接続する枠部と、を形成する工程と、前記第２の短辺と反対に位置する第１の短辺側の側面を第１の傾斜面と第２の傾斜面とからなる切妻状に形成する工程と、前記第２の短辺と前記支持部との境界に沿って、前記上面に形成された断面視略Ｖ字状の第１の溝と、前記下面に形成された断面視略Ｖ字状の第２の溝と、を形成する工程と、を備えた水晶片形成工程と、前記上面及び前記下面に導電性材料からなる駆動電極を形成する電極形成工程と、前記水晶片を前記支持部から分離する水晶片個片化工程と、を備えることを特徴とする。
【００２２】
また、前記水晶片形成工程は、前記水晶平板をフッ酸又はフッ化アンモニウムの少なくとも一方を含む水溶液に浸漬させ、前記水晶片と、前記支持部と、前記枠部と、前記第１の溝と、前記第２の溝と、を同時に形成することを特徴とする。
【００２３】
また、前記水晶片形成工程において、前記第１の傾斜面及び前記第２の傾斜面の少なくとも一方が、前記第１の溝を構成する少なくとも１つの面と略平行に形成されることを特徴とする。
【００２４】
また、前記水晶片形成工程において、前記第１の傾斜面及び前記第２の傾斜面の少なくとも一方が、前記第２の溝を構成する少なくとも１つの面と略平行に形成されることを特徴とする。
【００２５】
本発明にかかる水晶振動子の製造方法は、第１の溝および第２の溝が形成された部分は水晶平板の厚さが薄くなっているので、水晶片を支持部から容易に折り取ることができる。また、水晶平板をエッチングにより貫通して水晶片および支持部並びに枠部を形成すると同時に、同一工程で一括して第１の溝および第２の溝を形成することができるので、水晶片を支持部から折り取る際に精度よく折り取ることができるとともに、工数を削減することができる。さらに、水晶の結晶異方性を利用して水晶片および第１の溝並びに第２の溝を容易に形成することができる。
【００２６】
また、前記水晶片形成工程は、前記１の溝を構成する1つの面と前記２の溝を構成する１つの面とを略同一平面上に形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明にかかる水晶振動子の製造方法は、第１の溝を構成する面のうち一つの面と、第２の溝を構成する面のうち一つの面とが略同一平面上に配置されているので、水晶片を支持部から容易に折り取ることができるとともに、折り取った切り口の形状の乱れを最小限にとどめることができ、輪郭形状の乱れに起因する不要な振動モードの励起を抑制することができる。
【００２８】
また、前記水晶片個片化工程は、前記水晶片を前記支持部から折り取った切り口と、前記第１の溝を構成する１つの面又は前記第２の溝を構成する１つの面と、を同一平面状に形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２９】
本発明にかかる水晶振動子および水晶振動子の製造方法は、容易に水晶振動子を支持部から折り取ることができると同時に不要な振動モードの励起を防ぐ水晶振動子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態の水晶振動子１を示す平面図である。
【図２】図１に示す第１実施形態の水晶振動子１のＡＡ線における断面図である。
【図３】図２に示す第１実施形態の水晶振動子１の円Ｂを拡大した断面図である。
【図４】図２に示す第１実施形態の水晶振動子１の円Ｃを拡大した断面図である。
【図５】第１実施形態の水晶振動子１を支持部２から折り取った状態を示す断面図である。
【図６】第１実施形態の水晶振動子１をパッケージ２１に実装した状態を示す平面図である。
【図７】第１実施形態の水晶振動子１の製造方法を示す断面図である。
【図８】第２実施形態の水晶振動子１を示す断面図である。
【図９】図８に示す第２実施形態の水晶振動子１の円Ｄを拡大した断面図である。
【図１０】第２実施形態の水晶振動子１を支持部２から折り取った状態を示す断面図である。
【図１１】従来の水晶振動子１０１を示す平面図である。
【図１２】図１１に示す従来の水晶振動子１０１のＥＥ線における断面図である。
【図１３】従来の水晶振動子１０１をパッケージ１０６に実装した状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
（第１実施形態）
以下、本発明にかかる第１実施形態を、図１から図６を参照して説明する。図１は、第１実施形態にかかる水晶振動子１を複数一括して形成した状態を示す平面図であり、図２は図１のＡＡ線における断面図、図３は図２の円Ｂを拡大した断面図、図４は図２の円Ｃを拡大した断面図、図５は水晶振動子１を支持部２から折り取った状態を示す断面図、図６は水晶振動子１をパッケージに実装した状態を示す平面図である。
【００３２】
平板状の水晶振動子１は支持部２によって枠部３に固定されている。水晶振動子１および支持部２並びに枠部３は同一の、たとえばＡＴカット水晶基板から、例えばフォトリソグラフィ技術およびウェットエッチング技術によって複数一括して形成される。
【００３３】
水晶振動子１は平面視略矩形形状の水晶片１４と、水晶片１４の主面９ａおよび９ｂ上に水晶片１４を挟んで対向するように形成された金やアルミニウムなどの導電性薄膜からなる駆動電極５と、を備えている。
【００３４】
水晶振動子１と支持部２の境界には、支持部２が水晶振動子１に接続する一辺と略平行に、断面形状略Ｖ字型の溝４ａおよび４ｂが、水晶片１４を挟んで対向するように、それぞれ水晶片１４の主面である上面９ａおよび下面９ｂ上に設けられている。
【００３５】
溝４ａおよび４ｂはウェットエッチング技術によって形成されるので、結晶面によってエッチング速度が異なる結晶異方性の影響を受ける。その結果、溝４ａを構成する面７ａおよび７ｂ、溝４ｂを構成する面８ａおよび８ｂはエッチング速度の遅い結晶面によって構成される。
【００３６】
同様に、水晶片１４もウェットエッチング技術によって形成され、結晶異方性の影響を受ける。その結果、水晶振動子１の側面はエッチング速度の遅い結晶面によって構成されている。例えば、図４に示すように、水晶片１４の自由端側短辺である第１の短辺側の側面を構成する第１の傾斜面６ａおよび第２の傾斜面６ｂは断面形状が切妻状となる。なお、図示しないが、水晶片１４の長辺側の側面も、第１の短辺側の側面と同様の方法によって形成することができる。その場合、長辺側の側面は結晶面で構成することができ、断面形状を切妻状にしたり、垂直にしたりすることも可能である。
【００３７】
ここで、溝４ａを構成する面のうち支持部２側の面７ａと、溝４ｂを構成する面のうち水晶片１４側の面８ｂと、第１の短辺側の側面のうち上面９ａ側の第１の傾斜面６ａと、は同一の結晶面から構成されており、それぞれ互いに平行である。
【００３８】
同様に、溝４ａを構成する面のうち水晶片１４側の面７ｂと、溝４ｂを構成する面のうち支持部２側の面８ａと、第１の短辺側の側面のうち下面９ｂ側の第２の傾斜面６ｂと、は同一の結晶面から構成されており、それぞれ互いに平行である。
【００３９】
支持部２側の面７ａは図３に示すように、上面９ａに対して特定の角θ１をなし、水晶片１４側の面７ｂは上面９ａに対して特定の角θ２をなす。溝４ａの幅をｗ、深さをｄとすると、これらの間には次のような関係が成立する。溝４ａの深さと幅との関係式を数１に示す。
【００４０】
【数１】
0005465992.tif 000002
溝４ｂの深さと幅との間の関係も同様である。
【００４１】
従って、溝４ａおよび４ｂの幅を適切に設定すると、所定の深さの溝４ａおよび４ｂを得ることができる。
【００４２】
水晶片１４を支持部２から折り取って分離すると、図５に示すように溝４ａおよび４ｂを構成していた側壁のうち、水晶片１４側の面７ｂおよび面８ｂが水晶片１４の第２の短辺側の側面の一部として残る。なお、水晶片１４側の面７ｂおよび面８ｂは、それぞれ第２の短辺側の第３の傾斜面および第４の傾斜面を構成する。
【００４３】
次に、このように構成された水晶振動子１の製造方法について、図７を参照して説明する。
【００４４】
図７は図１のＡＡ線における断面図での水晶振動子１の製造方法を示している。
【００４５】
まず、保護膜形成工程を行う。図７（ａ）に示すように、所定の厚さに形成された水晶平板１０を準備する。次に図７（ｂ）に示すように、水晶平板１０の上面９ａおよび下面９ｂの表面に、水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２を形成する。水晶片形成用保護膜１１は水晶片１４と略一致する平面視形状を備えている。また、支持部形成用保護膜１２は支持部２および枠部３と略一致する平面視形状を備えている。
【００４６】
また、水晶片形成用保護膜１１と支持部形成用保護膜１２の間には、溝４ａおよび４ｂと略一致する平面視形状を備えた開口部１３が形成されている。開口部１３の幅は、溝４ａおよび４ｂが所定の深さとなるように、数１の関係式から算出して設定する。
【００４７】
水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の材料としては、例えばフォトレジストや金、モリブデンなどフッ酸に対する耐食性を備えた材料を選択できる。
【００４８】
水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の詳細な形成工程の一例を以下に示す。
【００４９】
水晶平板１０の表面に水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の材料となる金やモリブデンからなる薄膜をスパッタリングや蒸着などにより成膜する。金などは水晶表面に対する密着力が弱く剥離しやすいので、水晶平板１０の表面にあらかじめクロムなどの密着性を向上する薄膜を成膜したのち、水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の材料となる薄膜を成膜してもよい。
【００５０】
次に、成膜した薄膜の上に図示しないフォトレジストからなるエッチングマスクを成膜する。このエッチングマスクの所定の部分をリソグラフィ技術を用いて除去し、除去により露出した水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の材料となる薄膜を所定のエッチャントを用いてエッチングし、所定の形状の水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２を得る。水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の材料が金からなる場合には、エッチャントとして例えばヨウ素ヨウ化カリウム水溶液や王水などを選択することができる。
【００５１】
なお、水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２はフォトレジストのみ、金またはモリブデンのみで形成することも可能である。水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２の形状を形成する方法としては、リソグラフィ技術およびエッチングによる方法のほかに、シャドーマスクを用いたマスク成膜や、リフトオフ技術なども用いることができる。
【００５２】
次に、水晶片形成工程を行う。図７（ｃ）に示すように、水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２によって保護されていない水晶平板１０の所定の領域を、フッ酸やフッ化アンモニウムなどを含む水溶液を用いてエッチングして除去し、水晶片１４、支持部２、枠部３並びに溝４ａおよび４ｂを同時に形成する。
【００５３】
水晶平板１０をエッチングしていくと、開口部１３の部分から露出した水晶はエッチングとともに除去されていくが、その際エッチングに対して耐性のある結晶面が現れて、断面視略Ｖ字状の溝４ａおよび４ｂが形成されていく。結晶面同士が溝４ａおよび４ｂの底部で会合すると、エッチングがそれ以上進行しなくなる。また、支持部２側と反対側の側面は切妻状に形成される。一方、開口部１３以外の水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２によって保護されていない領域は十分に広く配置されているので、エッチングに対して耐性のある結晶面同士が会合することなく、水晶平板１０が貫通されるまでエッチングが進行する。このようにして、水晶平板１０が貫通されるまでエッチングして水晶片１４、支持部２および枠部３を形成すると同時に、溝４ａおよび４ｂを形成することができる。
【００５４】
エッチングが終了して水晶片１４、支持部２、枠部３並びに溝４ａおよび４ｂが形成されると、水晶片形成用保護膜１１および支持部形成用保護膜１２を除去する。
【００５５】
次に、電極形成工程を行う。図７（ｄ）に示すように、水晶片１４の上面９ａおよび下面９ｂに、所定の形状の導電性薄膜を成膜し、駆動電極５を形成して、水晶振動子１を得る。
【００５６】
駆動電極５を形成する方法としては、例えば水晶片１４の上面９ａおよび下面９ｂの全面に導電性薄膜を成膜したのち、リソグラフィおよびエッチングを用いて所定の形状を得る方法が利用できる。また、リソグラフィであらかじめ駆動電極５を形成する領域以外を保護する保護膜（図示しない）を形成したのちに導電性薄膜を成膜し、保護膜を除去して所定の形状を得る方法も利用できる。また、所定の形状のシャドーマスクを通して導電性薄膜を成膜し、所定の形状を得る方法なども選択することができる。
【００５７】
駆動電極５を形成する導電性薄膜は、様々な材料を選択することができるが、例えば金を選択すると、大気中の酸素などと反応しにくいため、得られる水晶振動子１の振動特性を安定したものにすることができる。また、金は他の材料に比べて密度が大きいため、水晶振動子１に対しては錘となってその共振周波数を低下させる。従って、駆動電極５を形成したのちに、イオンビームやレーザーなどの照射によって駆動電極５を所定の量だけ蒸発させ、水晶振動子１の周波数調整を行うことができる。
【００５８】
なお、保護膜形成工程において、水晶片形成用保護膜１１を金で形成した場合、そのまま駆動電極５として利用することができる。その際、駆動電極５の部分以外の水晶片形成用保護膜を除去することが望ましい。
【００５９】
最後に、水晶振動子個片化工程を行う。図７（ｅ）に示すように、溝４ａおよび４ｂに沿って水晶片１４を支持部２から折り取り、水晶振動子１を得る。溝４ａおよび４ｂが配置された部分は水晶平板１０の厚さが薄くなっているので、水晶片１４に力を加えると容易に水晶片１４と支持部２の境界で水晶片１４を折り取ることができる。
【００６０】
以上に説明したように、本実施例に従えば、溝４ａおよび４ｂが水晶振動子１と支持部２の境界に配置されているので、水晶振動子１を支持部２から折り取る際、溝４ａおよび４ｂによって挟まれた部分に応力が集中し、容易に水晶振動子１を折り取ることができる。
【００６１】
また、折り取った水晶振動子１は平面視形状が矩形となり、不要な振動モードの励起を防ぐことができる。
【００６２】
また、折り取った水晶振動子１は平面視形状が矩形であるため、従来の水晶振動子のように折り取った部分を導電性接着剤で固定する必要がなく、図５に示すようにパッケージ２１に設けられた実装電極２２に、バンプ２３を介してフリップチップボンディング技術を用いて実装することができ、特に水晶振動子１を小型化した場合には好適である。
（第２実施形態）
次に、本発明にかかる第２実施形態を、図８から図１０を参照して説明する。第２実施形態においては、第１実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６３】
図８は第２実施形態にかかる水晶振動子１を示す断面図であり、図９は図８中の円Ｄを拡大した断面図である。また、図１０は水晶振動子１を支持部２から折り取った状態を示す断面図である。
【００６４】
本実施形態にかかる水晶振動子１には、図８および図９に示すように、溝４ａを構成する面のうち支持部２側の面７ａと、溝４ｂを構成する面のうち水晶片１４側の面８ｂとが略同一平面上に配置されるように溝４ａおよび４ｂが配置されている。支持部２側の面７ａおよび水晶片１４側の面８ｂは同方向の結晶面からなるので、溝４ａおよび４ｂの位置を調整するだけで支持部２側の面７ａと面８ｂとを容易に略同一平面上に配置させることができる。なお、本実施形態では一例として支持部２側の面７ａと水晶片１４側の面８ｂとを略同一平面上に配置した例を説明したが、水晶片１４側の面７ｂと支持部２側の面８ａとが略同一平面上に配置されるようにしても、違いは生じない。
【００６５】
このように構成された水晶振動子１の水晶片１４を支持部２から折り取ると、図１０に示すように、支持部２側の面７ａおよび水晶片１４側の面８ｂとを結ぶ平面上で容易に折り取ることができる。水晶片１４を支持部２から折り取って分離すると、図５に示すように溝４ａおよび４ｂを構成していた面のうち、水晶片１４側の面７ｂおよび水晶片１４側の面８ｂが水晶片１４の側面の一部として残る。水晶片１４の折り取った側面に現れた面は水晶片１４側の面８ｂから延長された面なので、なめらかな側面を得ることができ、形状の乱れに起因する不要な振動モードの励起を防ぐことができる。このようにすることで、第２の短辺側の側面は、面７ｂで構成される第３の傾斜面と、面８ｂで構成される第４の傾斜面と、で構成することができる。
【００６６】
また、水晶片１４を支持部２から折り取る際、折り取った断面に多少の水晶の破片や水晶片１４側の面８ｂと一致しない面の一部が現れても、水晶片１４側の面８ｂを構成する結晶面はエッチングに対して耐性のある結晶面なので、折り取ったのちに短時間エッチングを行えば、水晶の破片や水晶片１４側の面８ｂと一致しない面を容易に除去して水晶片１４側の面８ｂと略同一平面上にある結晶面を出現させることができ、水晶片１４の側面をなめらかな状態とすることができる。このようにすることで、第２の短辺側の側面は、面７ｂで構成される第３の傾斜面と、面８ｂで構成される第４の傾斜面と、のみで構成することもできる。その結果、形状の乱れに起因する不要な振動モードの励起を防ぐことができる。
【００６７】
なお、本願発明の水晶振動子は、例えば発振器などの電子部品や、水晶振動子の電極に物質が付着すると水晶振動子の周波数が変化することを利用した膜厚センサや微小質量センサなどの電子部品に用いることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１      水晶振動子
２      支持部
３      枠部
４ａ    第１の溝
４ｂ    第２の溝
５      駆動電極
６ａ    水晶振動子の第１の側面を構成する第１の傾斜面
６ｂ    水晶振動子の第１の側面を構成する第２の傾斜面
７ａ    第１の溝４ａを構成する支持部側の面
７ｂ    第１の溝４ａを構成する水晶片側の面
８ａ    第２の溝４ｂを構成する支持部側の面
８ｂ    第２の溝４ｂを構成する水晶片側の面
９ａ    上面
９ｂ    下面
１０    水晶平板
１１    水晶片形成用保護膜
１２    支持部形成用保護膜
１３    開口部
１４    水晶片
２１    パッケージ
２２    実装電極
２３    バンプ
１０１  従来の水晶振動子
１０２  支持部
１０３  枠部
１０４  溝
１０５  実装電極
１０６  パッケージ
１０７  導電性接着剤
１０８  パッケージ電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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