(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の側で、第一の発熱素子及び前記第一の発熱素子より発熱量の小さい第二の発熱素子が配置され、且つ、他方の側で、複数の第一凸部を有する放熱部及び前記放熱部の周囲に配置される第一接合部を具備する第一放熱体と、
前記第一接合部に接合される第二接合部と、前記放熱部を受容して冷媒流路を形成する第二凸部とを具備し、前記第一放熱体と組み合わされる第二放熱体と、を備え、
前記第一凸部の長さは、前記第一の発熱素子の中心位置から前記第二の発熱素子の中心位置に向かうに従って減少し、
前記第二凸部の長さは、前記第一の発熱素子の中心位置から前記第二の発熱素子の中心位置に向かうに従って増加し、
前記第一の発熱素子と前記第二の発熱素子は、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向に垂直な方向に沿って隣り合うように配置されており、
前記第一凸部の長さは、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向において変化し、前記第一の発熱素子の中心位置で最も長く、
前記第二凸部の長さは、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向において変化し、前記第二の発熱素子の中心位置で最も長くなることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記第一凸部と前記第二凸部は対向して配置され、対向する前記第一凸部と前記第二凸部との間隔は一定であることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記第一凸部が、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向に沿って延在するフィン形状を有することを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項４】
前記第一凸部がピン型の形状を有し、前記ピン型の第一凸部が前記冷媒流路の冷媒の流れ方向に沿って複数個設けられていることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項５】
前記第二放熱体において、前記冷却流路と反対側の面上で、
前記第二凸部の長さが最小となる位置に、第二の発熱素子と同じ発熱量となる第四の発熱素子が実装され、前記第二凸部の長さが最大となる位置に第一の発熱素子と同じ発熱量となる第三の発熱素子が実装されることを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発熱する素子等を冷却する冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１の従来技術では、共通の冷却装置（冷却器）の両面に発熱量の高い発熱素子（ＩＧＢＴ）と発熱量の低い発熱素子（ダイオード）が実装され、発熱量に合わせた冷却性能となるように冷却部材（冷却フィン）の長さが調整される。
【０００３】
特許文献２の従来技術では、全ての発熱素子の実装される近傍で、冷却装置の冷却部材（冷却フィン）の長さが増加する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０１５６３４号明細書
【特許文献２】特開２００３−３２４１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１の従来技術では、冷却部材（冷却フィン）の長さが全て同じであるため、例えば、全ての冷却フィンが短い場合には、発熱量の高い発熱素子側の冷却効率が低い可能性がある。また、特許文献２の従来技術では、流路断面の密度が均一でないため、冷媒の流量に分布が生じて、冷却装置の冷却効率が低い可能性がある。
【０００６】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものであり、冷却装置の冷却効率を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様に係る冷却装置は、第一放熱体と、前記第一放熱体と組み合わされる第二放熱体とを備える。第一放熱体の一方の側で、第一の発熱素子及び前記第一の発熱素子より発熱量の小さい第二の発熱素子が配置される。第一放熱体は、他方の側で、複数の第一凸部を有する放熱部及び前記放熱部の周囲に配置される第一接合部を具備する。第二放熱体は、前記第一接合部に接合される第二接合部と、前記放熱部を受容して冷媒流路を形成する第二凸部とを具備する。前記第一凸部の長さは、前記第一の発熱素子の中心位置から前記第二の発熱素子の中心位置に向かうに従って減少する。前記第二凸部の長さは、前記第一の発熱素子の中心位置から前記第二の発熱素子の中心位置に向かうに従って増加する。前記第一の発熱素子と前記第二の発熱素子は、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向に垂直な方向に沿って隣り合うように配置されている。前記第一凸部の長さは、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向において変化し、前記第一の発熱素子の中心位置で最も長く、前記第二凸部の長さは、前記冷媒流路の冷媒の流れ方向において変化し、前記第二の発熱素子の中心位置で最も長くなる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、冷媒流路の各部の流路断面積が略均一化され、冷却装置の冷却効率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第一実施形態に係る冷却装置（冷却器）の概略斜視図である。
【図２】第一実施形態に係る冷却装置の冷媒の流れに直交した方向に沿った概略断面図である。
【図３】（ａ）第一実施形態において、第一の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。（ｂ）第一実施形態において、第二の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。
【図４】第一凸部の長さを決定する方法の一例を説明する図である。
【図５】熱伝導シミュレーションに使用するセルを示す図である。
【図６】第一凸部の寸法等を示す図である。
【図７】第二実施形態に係る冷却装置の冷媒の流れに直交した方向に沿った概略断面図である。
【図８】（ａ）第二実施形態において、第一の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。（ｂ）第二実施形態において、第二の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。
【図９】（ａ）第三実施形態において、第一の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。（ｂ）第三実施形態において、第二の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。
【図１０】（ａ）第四実施形態において、第一の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。（ｂ）第四実施形態において、第二の発熱素子の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図である。
【図１１】第五実施形態に係る冷却装置の冷媒の流れに直交した方向に沿った概略断面図の一例である。
【図１２】第五実施形態に係る冷却装置の冷媒の流れに直交した方向に沿った概略断面図の他の例である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下では図面を参照して本発明を実施するための形態について、さらに詳しく説明する。
【００１１】
＜第一実施形態＞
図１は、第一実施形態に係る冷却装置（冷却器）の概略斜視図を示す。図２は、第一実施形態に係る冷却装置の概略断面図を示す。図２は、冷媒の流れ方向に直交した方向に沿った断面図である。
【００１２】
冷却装置の冷媒ジャケット１は、その内部に冷媒が流通する冷媒流路１０を有する。第一の発熱素子７と、第一の発熱素子７よりも発熱量（ワット：Ｗ）の少ない第二の発熱素子８が、冷却ジャケット１の上面に直接的に又は中間部材２０を介して実装されている。第一と第二の発熱素子７、８は、同一面に間隔をあけて隣り合うように、冷媒の流れ方向に垂直な方向に沿って配置されている。例えば、第一の発熱素子７は、トランジスタなどの半導体素子であり、第二の発熱素子８はダイオードなどの半導体素子である。
【００１３】
中間部材２０は、積層された結合部材３と、基板４と、絶縁部材５と、熱拡散部材６とからなる。結合部材３は、一例として半田、銀ペーストである。絶縁部材５は一例として接着剤、接着シート、グリースである。熱拡散部材６は、一例としてアルミや銅などの金属部材である。
【００１４】
冷却装置は、第一の放熱体１ａと第二の放熱体１ｂから構成される冷媒ジャケット１を備える。第一の放熱体１ａは、第一主面３１（発熱素子の設置面）と、第一主面３１に略平行に設けられて対向する第二主面３２（流路側の面）を有する。第一主面３１は、冷却ジャケット１の上面に相当し、第一主面３１上に第一と第二の発熱素子７、８が配置される。
【００１５】
第二主面３２には、第一の放熱体１ａの放熱部として、複数の第一凸部３５を備える放熱部（冷却部材）３６が形成される。また、第二主面３２には、放熱部３６の周囲で配置される第一接合部３７が形成される。複数の第一凸部３５は、第二主面３２において、冷媒の流れ方向に垂直な方向に所定間隔で設けられ、放熱用突出体として機能する。第一実施形態において、第一凸部３５の立体形状は、全体として、冷媒流路に沿って延在する直方体のフィン形状であるため、図２において、第一凸部３５の断面形状は長方形である。
【００１６】
第二の放熱体１ｂは、第三主面４０（流路側の面）と、第三主面４０に対向する第四主面４１（流路と反対側の面）を有する。第四主面４１は、冷却ジャケット１の下面に相当する。第三主面４０には、複数の第二凸部４２と、複数の第二凸部４２の周囲で配置される第二接合部４３が形成される。複数の第二凸部４２は、第三主面４０において、冷媒の流れ方向に垂直な方向に所定間隔で設けられる。複数の第二凸部４２の所定間隔は、複数の第一凸部３５の所定間隔と同じであることが好ましい。第一実施形態において、第二凸部４２の立体形状は全体として直方体のフィン形状であるため、図２において、第二凸部４２の断面形状は長方形である。
【００１７】
第二の放熱体１ｂの第二接合部４３は、第一の放熱体１ａの第一接合部３７に接合される接合面４５を有する。第二の放熱体１ｂの第二接合部４３が第一の放熱体１ａの第一接合部３７に接合されることにより、第二の放熱体１ｂと第一の放熱体１ａが組み合わされ、冷却ジャケット１となる。また、複数の第二凸部４２は第一の放熱体１ａの放熱部３６を受容して冷媒流路１０を形成する。
【００１８】
なお、図２では、第一接合部３７は、第二主面３２上の部分であり、接合面４５が第二主面３２上で位置“Ａ”にある。しかし、接合面４５は、第二主面３２と第三主面４０の間でどの位置にあってもよい。例えば、接合面４５は、第二の放熱体１ｂの第三主面４０により近い位置“Ｂ”にあってよく、この場合、第一接合部３７は凸状の部分になる。
【００１９】
図２を参照すると、第一凸部３５の先端を結んだ輪郭線（点線）のように、第一凸部３５の突出する方向への長さは、第一の発熱素子７の中心位置から第二の発熱素子８の中心位置に向かうに従って短くなる。第二凸部４２の先端を結んだ輪郭線（点線）のように、第二凸部４２の突出する方向への長さは、第一の発熱素子７の中心位置から第二の発熱素子８の中心位置に向かうに従って長くなる。
【００２０】
第一凸部３５の長さは、第二主面３２上において、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最大となり、第一の発熱素子７の外周部に向かうにつれて減少し、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最小となる。第二凸部４２の長さは、第三主面４０上において、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最小となり、第一の発熱素子７の外周部に向かうにつれて増加し、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最大となる。このように、複数の第二凸部４２の集まりは、全体的に、第一の放熱体１ａの放熱部３６（複数の第一凸部３５の集まり）に形状的に適合してこれを受容する。
【００２１】
第一の放熱体１ａの第一凸部３５と第二の放熱体１ｂの第二凸部４２は、ある空隙を介して隣接し対向する。第一凸部３５の先端とこれに対向する第二凸部４２の先端との間隔は、一定値ｄである。つまり、第一凸部３５の先端とこれに対面する第二の放熱体１ｂの部分との距離、及び、第二凸部４２の先端とこれに対面する第一の放熱体１ａの部分との距離が、一定値ｄとなる。従って、冷媒流路１０は、一定の断面積を有する各部分４８から構成され、冷媒流路の各部の断面積が略一定に保たれる。なお、各部分４８は、各第一凸部３５とその脇の凹部５０からなる凹凸、及び、これらに対向する第二凸部４２とその脇の凹部５１からなる凹凸によって画定される。
【００２２】
図３（ａ）は、第一の発熱素子７の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。第一凸部３５は、全体として、直方体の立体形状を有するため、第一凸部３５の長さＸは、冷媒の流れ方向において一定（不変）である。図３（ｂ）は、第二の発熱素子８の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。第二凸部４２は、全体として直方体の立体形状を有するため、第二凸部４２の長さＹは、冷媒の流れ方向において一定（不変）である。
【００２３】
次に、図４を参照して、各第一凸部３５の長さＸｎを決定する方法の一例を説明する。
【００２４】
まず、第一段階として、発熱素子７、８の発熱量Ｗ（ワット）から、各第一凸部３５の根元６０での温度Ｔｎと各第一凸部３５への伝熱発熱量Ｗｎが算出される。第二段階として、各第一凸部３５の根元６０から先端までの熱抵抗Ｒｎが算出される。第三段階として、全ての第一凸部３５の先端での温度ＴＷｎが等しい所定の温度なるように第一凸部３５の長さＸｎが算出される。
【００２５】
第一段階において、温度Ｔｎと伝熱発熱量（伝熱量）Ｗｎは、通常の熱伝導シミュレーション（数値計算）により求めることができる。第二主面３２から上の部分を図５のようなセルに分割して、差分法などによる熱伝導シミュレーションを適応できる。例えば、寸法δi、δｊ、Ｓのセル（ｉ，ｊ）の温度Ｔi,jは以下の数式１のように表わされ、逐次的に計算される。
【００２６】
【数１】
0005589647.tif 000002
ここで、ＫL、ＫR、ＫU、ＫBは、あるセル（ｉ，ｊ）とその隣のセルとの間の熱抵抗の逆数である。また、発熱部（発熱素子７又は８）のセルにおける発熱量Ｗi,jは、均一に発熱している場合、発熱部の容積Ｖとして、Ｗi,j＝Ｗ・（δi・δｊ・Ｓ）／Ｖ  となる。
【００２７】
第二段階において、図６のような寸法の第一凸部３５について、熱抵抗Ｒｎは、熱伝導率λとして、Ｒｎ＝Ｘｎ／（λ・ｔ・Ｌ）で算出される。
【００２８】
第三段階において、（Ｔｎ−ＴＷｎ）＝Ｒｎ・Ｗｎの関係から、第一凸部３５の長さＸｎは、数式２のように算出できる。
【００２９】
【数２】
0005589647.tif 000003
【００３０】
他の例として、熱伝導シミュレーションにより、第一凸部３５の先端での温度ＴＷｎを求めて、全ての第一凸部３５の先端での温度ＴＷｎが等しい所定温度なるように各第一凸部３５の長さＸｎを調整することも考えられる。
【００３１】
−作用・効果−
本実施形態によると、第二放熱体１ｂの第二凸部４２が、第一放熱体１ａにおいて複数の第一凸部３５を有する放熱部３６を受容して冷媒流路を形成する。第一凸部３５の長さは、発熱量の大きい第一の発熱素子７の中心位置から発熱量の小さい第二の発熱素子８の中心位置に向かうに従って減少し、第二凸部４２の長さは、第一の発熱素子７の中心位置から第二の発熱素子８の中心位置に向かうに従って増加する。このため、冷媒流路全体を略一定の断面積を有する各部分から構成でき、流路断面の密度が略均一となり、冷却装置の冷却効率を向上できる。また、流路断面積を冷媒流路の各部で略一定にできるため、冷媒流路で流量にむらができることが抑止でき、冷却装置全体の圧力損失を低く抑えることができる。
【００３２】
各発熱素子の発熱量の大小に応じて第一凸部の長さが設定されるため、必要十分な放熱面積を確保できる。このため、冷却装置を大型化することなく各発熱素子の発熱量に応じた冷却性能を確保することができる。放熱部（第一凸部）の先端部に関して、温度を略一定にして温度分布を軽減できるので、冷媒の耐久性も向上できる。
【００３３】
第一凸部と第二凸部は対向して配置され、対向する第一凸部と第二凸部との間隔は一定であるため、さらに、流路断面積を冷媒流路の各部で略一定にできる。
【００３４】
放熱部の第一凸部は、冷媒流路の冷媒の流れ方向に沿って延在するフィン形状である。従って、放熱部の熱伝達面積が広く取れ、その結果冷却効率が向上する。
【００３５】
また、第一凸部の長さが、冷媒の流れ方向において一定であるため、冷却装置の製造コストが低くなる。放熱部の断面形状が冷媒の流れ方向に不変なため、押し出し工法などの簡便かつ安価な工法によって冷却装置を作れる。
【００３６】
＜第二実施形態＞
図７は、第二実施形態に係る冷却装置の概略断面図を示す。図７は、冷媒の流れ方向に直交した方向に沿った断面図である。第二実施形態において、第一凸部３５と第二凸部４２は、全体として、ピン型の立体形状を有する。他の構成は、第一実施形態と同様である。
【００３７】
図７を参照すると、第一凸部３５の先端を結んだ輪郭線（点線）のように、第一凸部３５の長さは、第一の発熱素子７の中心位置から第二の発熱素子８の中心位置に向かうに従って短くなる。第二凸部４２の先端を結んだ輪郭線（点線）のように、第二凸部４２の長さは、第一の発熱素子７の中心位置から第二の発熱素子８の中心位置に向かうに従って長くなる。
【００３８】
第一凸部３５の長さは、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最大となり、第一の発熱素子７の外周部に向かうにつれて減少し、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最小となる。第二凸部４２の長さは、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最小となり、第一の発熱素子７の外周部に向かうにつれて増加し、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最大となる。このように、複数の第二凸部４２の集まりは、全体的に、第一の放熱体１ａの放熱部３６（複数の第一凸部３５の集まり）に形状的に適合してこれを受容する。
【００３９】
第一の放熱体１ａの第一凸部３５と第二の放熱体１ｂの第二凸部４２が、ある空隙を介して隣接し対向する。第一凸部３５の先端とこれに対向する第二凸部４２の先端との間隔は、一定値ｄである。つまり、第一凸部３５の先端とこれに対向する第二の放熱体１ｂの部分との距離、及び、第二凸部４２の先端とこれに対向する第一の放熱体１ａの部分との距離は、一定値ｄとなる。
【００４０】
図８（ａ）は、第一の発熱素子７の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。第一実施形態と異なり、ピン型の各第一凸部３５は、冷媒の流れ方向において分離している。しかし、各第一凸部３５の長さは、冷媒の流れ方向に関して同一である（冷媒の流れに垂直方向では異なる）。図８（ｂ）は、第二の発熱素子８の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。第一実施形態と異なり、ピン型の各第二凸部４２は、冷媒の流れ方向において分離している。しかし、各第二凸部４２の長さは、冷媒の流れ方向に関して同一である（冷媒の流れに垂直方向では異なる）。
【００４１】
本実施形態によると、放熱部の第一凸部３５がピン型の形状を有し、ピン型の第一凸部３５が冷媒流路の冷媒の流れ方向に沿って複数個設けられている。このため、冷却装置の単位体積あたりの熱伝達面積がより一層広く取れるので、さらなる冷却装置の小型化ができる。第一凸部３５の長さが、冷媒の流れ方向において一定であるため、冷却装置の製造コストが低くなる。
【００４２】
＜第三実施形態＞
第三実施形態において、第一実施形態と異なり、第一凸部３５と第二凸部４２の長さは、冷媒の流れ方向において変化する。他の構成は、第一実施形態と同様である。
【００４３】
図９（ａ）は、第一の発熱素子７の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。冷媒の流れ方向において、第一凸部３５の長さは、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最大となり、第一の発熱素子７の外周部に向かうにつれて減少する。
【００４４】
図９（ｂ）は、第二の発熱素子８の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。冷媒の流れ方向において、第二凸部４２の長さは、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最大となり、第二の発熱素子８の外周部に向かうにつれて減少する。
【００４５】
本実施形態によると、第一凸部３５の長さが、冷媒の流れ方向において、第一の発熱素子の中心位置で最も長く、第二凸部３５の長さが、第二の発熱素子の中心位置で最も長くなる。このように、冷却部材（放熱部）の形状を冷媒の流れ方向にも最適化することによって、冷却部材の先端に関して温度分布の低減ができるので、更なる冷却装置の小型化ができる。
【００４６】
＜第四実施形態＞
第四実施形態において、第二実施形態と異なり、ピン型の第一凸部３５と第二凸部４２の長さは、冷媒の流れ方向において変化する。他の構成は、第二実施形態と同様である。
【００４７】
図１０（ａ）は、第一の発熱素子７の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。冷媒の流れ方向において、第一凸部３５の長さは、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最大となり、第一の発熱素子７の外周部に向かうにつれて減少する。第二凸部４２の長さは、第一の発熱素子７の中心部に対応する位置で最小となる。
【００４８】
図１０（ｂ）は、第二の発熱素子８の直下において冷媒の流れ方向に沿った冷却装置の概略断面図を示す。冷媒の流れ方向において、第二凸部４２の長さは、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最大となり、第二の発熱素子８の外周部に向かうにつれて突出長さが減少する。第一凸部３５の長さは、第二の発熱素子８の中心部に対応する位置で最小となる。
【００４９】
本実施形態は、第三実施形態と同様の作用効果を有する。
【００５０】
＜第五実施形態＞
第五実施形態では、第一と第二の実施形態の冷却ジャケットの発熱素子の実装されていない側（第二の放熱体１ｂの第四主面４１）に、発熱素子が実装されている。即ち、冷却ジャケットの両側に発熱素子が実装される。他の構成は、第一実施形態と同様である。
【００５１】
図１１と図１２を参照すると、第二の放熱体１ｂの第四主面４１上に、第一の発熱素子７と同等又は同じ発熱量（ワット）の第三の発熱素子９と、第二の発熱素子８と同等又は同じ発熱量（ワット）の第四の発熱素子１０が実装される。冷却ジャケット１を挟むように、発熱の異なる第一の発熱素子７と第四の発熱素子１０が対向する。冷却ジャケット１を挟むように、発熱の異なる第二の発熱素子８と第三の発熱素子９が対向する。
【００５２】
第三の発熱素子９は、第二凸部４２の長さが最大となる位置に設けられ、第四の発熱素子１０は、第二凸部４２の長さが最小となる位置に設けられる。
【００５３】
本実施形態によると、第二放熱体１ｂにおいて、冷却流路１０と反対側の面上で、第二凸部４２の長さが最小となる位置に、第二の発熱素子８と同じ発熱量となる第四の発熱素子１０が実装される。第二凸部４２の長さが最大となる位置に第一の発熱素子７と同じ発熱量となる第三の発熱素子９が実装される。このように、冷却ジャケット１を共有して発熱量の異なる発熱素子を対向配置することで、発熱素子の冷却効率を満足しながら、冷却ジャケットのサイズを大型化することなく両面実装構造が実現できる。
【００５４】
本発明は、以上説明した実施形態に限定されることなく、その技術的思想の範囲内において種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に含まれることが明白である。
【符号の説明】
【００５５】
１  冷媒ジャケット
１ａ  第一放熱体
１ｂ  第二放熱体
３  結合部材
４  基板
５  絶縁部材
６  熱拡散部材
７  第一の発熱素子
８  第二の発熱素子
１０  冷媒流路
３１  第一主面
３２  第二主面
３５  第一凸部
３６  放熱部
３７  第一接合部
４０  第三主面
４１  第四主面
４２  第二凸部
４３  第二接合部
４５  接合面
５０  凹部
５１  凹部
【図１】
0005589647.tif 000004
【図２】
0005589647.tif 000005
【図３】
0005589647.tif 000006
【図４】
0005589647.tif 000007
【図５】
0005589647.tif 000008
【図６】
0005589647.tif 000009
【図７】
0005589647.tif 000010
【図８】
0005589647.tif 000011
【図９】
0005589647.tif 000012
【図１０】
0005589647.tif 000013
【図１１】
0005589647.tif 000014
【図１２】
0005589647.tif 000015