(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部材が第２の部材に積層された積層体を有する液体吐出ヘッドであって、
前記第１の部材が積層された表面である積層表面に開口端縁を有する開口と、前記開口と対向した内底面と、前記内底面の外周縁と前記開口端縁とを結ぶ内表面とによって画定された凹部が前記第２の部材に形成されており、
前記内底面が、前記第２の部材における金属製の部分であって、前記積層体の積層方向から見て前記開口を内部に含み、
前記積層方向に沿って前記開口と前記内底面とを結ぶいずれの仮想線分も前記内表面と交差しないとともに、
前記積層方向に沿う入射光に対する反射率は、前記積層表面に比べて前記内底面の方が小であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
表面の粗さは、前記積層表面に比べて前記内底面の方が粗であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１の部材と前記第２の部材とが接着剤を介して積層されており、
前記積層表面に沿って前記凹部から離隔する方向と交差する方向に延びる第１の溝が、前記開口の近傍に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記開口は、前記積層体の積層方向から見て円形の開口端縁を有し、
前記第１の溝は、
前記積層表面において前記開口端縁を全周に亘って囲い、前記開口端縁の中心に関して点対称の外形形状を有していることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第２の部材が、前記積層方向に積層された複数のプレートの積層体から構成され、
前記凹部が、複数の前記プレートに跨って形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記プレートの少なくともいずれかが金属製であり、
前記凹部において前記内底面が、金属製の前記プレートに対するハーフエッチングで形成されていることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記積層表面及び前記内底面が形成された前記プレートの表面が、圧延により形成されていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記プレート同士が接着剤を介して積層されており、
前記プレートの接着面に沿って前記凹部から離隔する方向と交差する方向に延びる第２の溝が、前記接着面における前記凹部の近傍に形成されていることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記凹部が、２以上の前記プレートにそれぞれ形成された貫通孔を含んでおり、
前記貫通孔のそれぞれが、前記積層表面側に配置された他の前記貫通孔を、前記積層方向から見て全て内部に含むように形成されていることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記凹部と当該凹部の近傍に形成された前記第１の溝とが複数組形成されており、
一の前記凹部及び第１の溝の組が、前記積層方向に沿った軸に関して回転させると、他の前記凹部及び第１の溝の組と形状が一致するように形成されていることを特徴とする請求項３〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第２の部材が、液体を吐出する吐出口が形成された流路ユニットであり、
前記流路ユニットにおいて、前記吐出口が形成された表面とは反対側の表面が前記積層表面であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
第１の部材が第２の部材に積層された液体吐出ヘッドであって、
前記第２の部材が、互いに積層された複数枚のプレートからなる積層体を有しており、
前記積層体において前記第１の部材と最も近接したプレートには、当該プレートの一方の表面から他方の表面に向かって施されたエッチング処理によって蝕刻された第１の部分と、当該プレートの他方の表面から一方の表面に向かって施されたエッチング処理によって蝕刻された第２の部分とが連結した貫通孔が形成されており、
前記積層体において前記最も近接したプレート以外の部分には、前記積層体の積層方向から見て前記貫通孔を内部に含む内底面であって、前記第２の部材における金属製の部分である内底面を有し前記貫通孔と連通する凹部が形成されており、
前記積層方向に沿って前記第１及び第２の部分の境界面と前記内底面とを結ぶいずれの仮想線分も、前記凹部において前記内底面以外の内表面とも前記貫通孔の内表面とも交差しないとともに、
前記積層方向に沿う入射光に対する反射率は、前記第１の部材が積層された前記第２の部材の表面である積層表面に比べて、前記内底面の方が小であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
少なくとも前記積層表面を有する前記プレート及びエッチング処理で形成された前記内底面を有する前記プレートは、圧延された金属製のプレートであって、表面の粗さが、前記積層表面に比べて前記内底面の方が粗であることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
第１及び第２の部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記第２の部材の一表面に開口する凹部を、前記一表面に直交する直交方向から見て前記凹部の開口を内部に含む内底面であって、前記第２の部材における金属製の部分である内底面を有し、且つ、前記直交方向に沿って前記凹部の開口と前記内底面とを結ぶいずれの仮想線分も前記凹部の内表面と交差しないように形成する工程と、
前記凹部の開口を撮像する工程と、
取得された撮像に基づいて、前記第１の部材を前記第２の部材に対して前記一表面に沿った方向に関して位置合わせする工程と、
位置合わせされた前記第１の部材を前記一表面に積層する工程とを備えているとともに、
前記第２の部材の一表面に開口する凹部を形成する工程において、前記直交方向に沿う入射光に対する反射率が、前記一表面に比べて小さい前記内底面が形成されることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記凹部の開口を撮像する工程に先立って、
前記開口を全周に亘って囲い、前記開口の中心に関して点対称の外形形状を有する囲い溝を形成する工程を備え、
前記凹部を形成する工程において、前記開口を前記直交方向から見て円形に形成することを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記第２の部材の一表面に開口する凹部を形成する工程において、表面粗さが、前記一表面に比べて粗の前記内底面が形成されることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの部材が互いに積層された積層体を有する液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
２つの部材を積層して液体吐出ヘッドを構成する場合、部材同士の位置合わせのためのマークを一方の部材に形成することがある。特許文献１では、部材表面に形成されたアライメントマークをＣＣＤカメラで撮像して認識し、部材同士を位置合わせしている。このアライメントマークは断面が階段状になるように形成されており、一段目の段差面と比べて内側の円穴のエッジには接着剤が付着しにくくなっている。これにより、段差面まで接着剤が達しても円穴のエッジの形状が接着剤によって不明確になることが抑制されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のように、位置合わせ用のマークが外部から段差面が視認可能に形成されている場合、ＣＣＤカメラの撮像に段差面に到達した接着剤が写り込んだ結果、全体として画像が認識されづらくなるおそれがある。画像が認識されないと位置合わせの精度が低下する。
【０００５】
本発明の目的は、積層体の位置合わせの精度が比較的高い液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、第１の部材が第２の部材に積層された積層体を有する液体吐出ヘッドであって、前記第１の部材が積層された表面である積層表面に開口端縁を有する開口と、前記開口と対向した内底面と、前記内底面の外周縁と前記開口端縁とを結ぶ内表面とによって画定された凹部が前記第２の部材に形成されており、前記内底面が、前記第２の部材における金属製の部分であって、前記積層体の積層方向から見て前記開口を内部に含み、前記積層方向に沿って前記開口と前記内底面とを結ぶいずれの仮想線分も前記内表面と交差しないとともに、前記積層方向に沿う入射光に対する反射率は、前記積層表面に比べて前記内底面の方が小である。 
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドによると、凹部が、開口より内底面が大きくなるように形成されており、開口から内底面までの直線経路が凹部の内表面に妨害されることなく形成されている。よって、凹部を撮像した際、特許文献１のようにＣＣＤ等による撮像に段差面が写りこんだりしない。また、接着剤等を使用した場合にも、開口よりも大きい内底部にその接着剤等が流れ込むため、画像内に接着剤等が写りこみにくい。これらにより、凹部の開口を画像認識しやすい。
【０００８】
また、本発明においては、前記第１の部材と前記第２の部材とが接着剤を介して積層されており、前記積層表面に沿って前記凹部から離隔する方向と交差する方向に延びる第１の溝が、前記開口の近傍に形成されていることが好ましい。これによると、積層表面に接着剤を塗布した際、接着剤が溝に流れ込むので、凹部側に接着剤が侵入するのを抑制できる。
【０００９】
また、本発明においては、前記開口は、前記積層体の積層方向から見て円形の開口端縁を有し、前記第１の溝は、前記積層表面において前記開口端縁を全周に亘って囲い、前記開口端縁の中心に関して点対称の外形形状を有していることが好ましい。これによると、第１の溝が全周に亘って形成されているので、塗布した接着剤の開口内への流れ込みが、平面内のいずれの方向においても規制されることになる。これにより、過大な接着剤の流れ込みがなくなる。
【００１０】
また、本発明においては、前記第２の部材が、前記積層方向に積層された複数のプレートの積層体から構成され、前記凹部が、複数の前記プレートに跨って形成されていることが好ましい。凹部の底面が鏡面反射することで撮像を解析した際、凹部を認識しにくくなることがある。上記の構成によると、複数のプレートに亘って凹部を形成するため、１枚のプレートのみに形成する場合と比べて深い凹部となるので、撮像した際、内底面での鏡面反射が写りこみにくい。
【００１１】
また、本発明においては、前記プレートの少なくともいずれかが金属製であり、前記凹部において前記内底面が、金属製の前記プレートに対するハーフエッチングで形成されていることが好ましい。これによると、ハーフエッチングにより内底面が乱反射しやすくなるため、撮像した際、内底面での鏡面反射が写りこむのを抑制できる。
【００１２】
また、本発明においては、前記プレート同士が接着剤を介して積層されており、前記プレートの接着面に沿って前記凹部から離隔する方向と交差する方向に延びる第２の溝が、前記接着面における前記凹部の近傍に形成されていることが好ましい。これによると、プレート同士を接着する際の接着剤が凹部側に侵入するのを抑制できる。
【００１３】
また、本発明においては、前記凹部が、２以上の前記プレートにそれぞれ形成された貫通孔を含んでおり、前記貫通孔のそれぞれが、前記積層表面側に配置された他の前記貫通孔を、前記積層方向から見て全て内部に含むように形成されていてもよい。
【００１４】
また、本発明においては、前記凹部と当該凹部の近傍に形成された前記第１の溝とが複数組形成されており、一の前記凹部及び第１の溝の組が、前記積層方向に沿った軸に関して回転させると、他の前記凹部及び第１の溝の組と形状が一致するように形成されていることことが好ましい。これによると、凹部及び溝が回転させると互いに一致する形状になっているため、画像認識に必要な参照画像の数を減らすことができる。
【００１５】
また、本発明においては、前記第２の部材が、液体を吐出する吐出口が形成された流路ユニットであり、前記流路ユニットにおいて、前記吐出口が形成された表面とは反対側の表面が前記積層表面であることが好ましい。これによると、吐出口とは反対側の表面に凹部が開口しており、貫通孔ではなく凹部として形成されているため、吐出口から吐出された液体が積層表面側に侵入してくるのを抑制できる。
【００１６】
別の観点では、本発明の液体吐出ヘッドは、第１の部材が第２の部材に積層された液体吐出ヘッドであって、前記第２の部材が、互いに積層された複数枚のプレートからなる積層体を有しており、前記積層体において前記第１の部材と最も近接したプレートには、当該プレートの一方の表面から他方の表面に向かって施されたエッチング処理によって蝕刻された第１の部分と、当該プレートの他方の表面から一方の表面に向かって施されたエッチング処理によって蝕刻された第２の部分とが連結した貫通孔が形成されており、前記積層体において前記最も近接したプレート以外の部分には、前記積層体の積層方向から見て前記貫通孔を内部に含む内底面であって、前記第２の部材における金属製の部分である内底面を有し前記貫通孔と連通する凹部が形成されており、前記積層方向に沿って前記第１及び第２の部分の境界面と前記内底面とを結ぶいずれの仮想線分も、前記凹部において前記内底面以外の内表面とも前記貫通孔の内表面とも交差しないとともに、前記積層方向に沿う入射光に対する反射率は、前記第１の部材が積層された前記第２の部材の表面である積層表面に比べて、前記内底面の方が小である。 
【００１７】
上記別の観点によると、エッチング処理の方式上、貫通孔の内表面に突出部が形成される場合があるが、その突出部は小さいものに収まることが多く、ＣＣＤ等の撮像において貫通孔を認識する際に問題になったり、接着剤の移り込みが問題になったりしにくい。
【００１８】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、第１及び第２の部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記第２の部材の一表面に開口する凹部を、前記一表面に直交する直交方向から見て前記凹部の開口を内部に含む内底面であって、前記第２の部材における金属製の部分である内底面を有し、且つ、前記直交方向に沿って前記凹部の開口と前記内底面とを結ぶいずれの仮想線分も前記凹部の内表面と交差しないように形成する工程と、前記凹部の開口を撮像する工程と、取得された撮像に基づいて、前記第１の部材を前記第２の部材に対して前記一表面に沿った方向に関して位置合わせする工程と、位置合わせされた前記第１の部材を前記一表面に積層する工程とを備えているとともに、前記第２の部材の一表面に開口する凹部を形成する工程において、前記直交方向に沿う入射光に対する反射率が、前記一表面に比べて小さい前記内底面が形成される。これによると、凹部の開口の位置に基づいて第１の部材を第２の部材に対して位置合わせできる。
【００１９】
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法においては、前記凹部の開口を撮像する工程に先立って、前記開口を全周に亘って囲い、前記開口の中心に関して点対称の外形形状を有する囲い溝を形成する工程を備え、前記凹部を形成する工程において、前記開口を前記直交方向から見て円形に形成することが好ましい。これによると、開口が円形であって、開口を囲う囲い溝が、開口の中心に関して点対称に形成されているので、撮像装置に対してヘッドがθ方向にずれていても、開口と囲い溝の組を１つのパターンとして認識しやすく、プレート間の位置合わせを迅速且つ正確に実行できる。
【発明の効果】
【００２０】
凹部が、開口より内底面が大きくなるように形成されており、開口から内底面までの直線経路が凹部の内表面に妨害されることなく形成されている。よって、凹部を撮像した際、特許文献１のようにＣＣＤ等による撮像に段差面が写りこんだりしない。また、接着剤等を使用した場合にも、開口よりも大きい内底部にその接着剤等が流れ込むため、画像内に接着剤等が写りこみにくい。これらにより、凹部の開口を画像認識しやすい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施の形態に係るインクジェットプリンタの内部構成を概略的に示す模式図である。
【図２】図１のヘッド本体の平面図である。
【図３】流路ユニットを構成する一のプレートの平面図である。
【図４】図３において一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。
【図５】流路ユニットを構成する他のプレートの平面図である。
【図６】副マニホールド流路から各吐出口までを繋ぐ個別インク流路に沿った流路ユニットの断面図である。
【図７】図６中に一点鎖線で示した領域の拡大断面図及び個別電極の平面図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、図４の凹部周辺の拡大図であり、図８（ｃ）は、平面視において凹部と重なる領域周辺の図５の拡大図である。
【図９】凹部周辺の流路ユニットの断面図であり、図８（ａ）のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。
【図１０】ヘッド本体の製造工程の流れを示すフロー図である。
【図１１】流路ユニットと流路ユニットを撮像する画像センサの斜視図である。
【図１２】本実施形態の凹部に代わる第１の変形例に係る凹部の断面図である。
【図１３】本実施形態の凹部に代わる第２の変形例に係る凹部の断面図である。
【図１４】本実施形態の凹部に代わる第３の変形例に係る凹部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２３】
図１は、本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの内部構成を示す模式図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１０１は直方体形状の筐体１０１ａを有している。筐体１０１ａ内には、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクをそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド１（液体吐出ヘッド；以下、ヘッド１とする）、及び、搬送機構１６が配置されている。また、筐体１０１ａの天板内面には、ヘッド１や搬送機構１６等の動作を制御する制御部１００が取り付けられている。天板の上部には、排紙部１５が設けられており、画像が形成された用紙Ｐが排出される。搬送機構１６の下方には、筐体１０１ａに対して着脱可能な給紙ユニット１０１ｂが配置されている。給紙ユニット１０１ｂの下方には、筐体１０１ａに対して着脱可能なインクタンクユニット１０１ｃが配置されている。
【００２４】
インクジェットプリンタ１０１の内部には、図１に示す太矢印に沿って用紙搬送経路が形成されており、用紙Ｐが給紙ユニット１０１ｂから排紙部１５に向けて搬送される。
給紙ユニット１０１ｂは、給紙トレイ１１と、給紙ローラ１２とを有している。給紙トレイ１１は、上方に向かって開口した箱形状を有しており、複数枚の用紙Ｐが積層された状態で収納される。給紙ローラ１２は、給紙トレイ１１の最も上方にある用紙Ｐを送り出す。
送り出された用紙Ｐは、ガイド１３ａ、１３ｂによりガイドされ且つ送りローラ対１４によって挟持されつつ搬送機構１６へと送られる。
【００２５】
搬送機構１６は、２つのベルトローラ６、７と、搬送ベルト８と、テンションローラ１０と、プラテン１８とを有している。搬送ベルト８は、両ローラ６、７の間に架け渡されるように巻回されたエンドレスのベルトである。テンションローラ１０は、搬送ベルト８の下側ループにおいて、その内周面に接触しつつ下方に付勢されており、搬送ベルト８にテンションを付加している。プラテン１８は、搬送ベルト８の内側領域に配置され、ヘッド１と対向する位置において、搬送ベルト８が下方に撓まないように搬送ベルト８を支持している。ベルトローラ７は、駆動ローラであって、その軸に搬送モータ１９から駆動力が与えられることで、図１中時計回りに回転する。ベルトローラ６は、従動ローラであって、ベルトローラ７の回転により搬送ベルト８が走行することによって、図１中時計回りに回転する。なお、搬送モータ１９の駆動力は、複数のギアを介してベルトローラ７に伝達される。
【００２６】
搬送ベルト８の外周面８ａは、シリコーン処理が施されることによって粘着性を有している。ベルトローラ６と対向する位置には、ニップローラ４が配置されている。ニップローラ４は、給紙ユニット１０１ｂから送り出された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付ける。用紙Ｐは、その粘着力によって外周面８ａ上に保持されながら用紙搬送方向（図１中右方であって副走査方向）へと搬送される。
【００２７】
ベルトローラ７と対向する位置には、剥離プレート５が設けられている。剥離プレート５は、用紙Ｐを外周面８ａから剥離する。剥離された用紙Ｐは、ガイド２９ａ、２９ｂによりガイドされ、且つ二組の送りローラ対２８によって挟持されつつ搬送される。そして用紙Ｐは、筐体１０１ａの上部に形成された排出口２２から、筐体１０１ａの天板上面に設けられた排紙凹部（排紙部）１５へと排出される。
【００２８】
４つのヘッド１は、主走査方向に長尺な略直方体形状を有している。これらのヘッド１は、用紙Ｐの搬送方向に沿って配列されて固定されている。つまり、このプリンタ１０１はライン式のプリンタであり、搬送方向と主走査方向とは互いに直交する関係にある。
【００２９】
各ヘッド１は、インクを吐出する複数の吐出口１０８（図６参照）が形成されたヘッド本体２を下部に有している。４つのインクタンク１７には互いに異なる色のインクが貯留されている。インクタンク１７からヘッド本体２へと、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが供給される。
【００３０】
吐出口１０８は、ヘッド本体２の下面である吐出面２ａに開口しており、ヘッド本体２に供給されたインクが到達する。搬送される用紙Ｐが４つのヘッド１のすぐ下方を通過する際に、用紙Ｐの上面に向けて吐出口１０８から各色のインクが順に吐出される。これにより、用紙Ｐの上面、すなわち、印刷面に所望のカラー画像が形成される。
【００３１】
以下、ヘッド本体２について説明する。図２はヘッド本体２の平面図である。図３は、ヘッド本体２（流路ユニット９）を構成するプレートの一枚であるプレート１２２の平面図である。図４は、図３において一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。図５は、ヘッド本体２（流路ユニット９）を構成するプレートの他の一枚であるプレート１２３の平面図である。図６は、副マニホールド流路１０５ａから各吐出口１０８までを繋ぐ個別インク流路１３２に沿った流路ユニット９の断面図である。
【００３２】
ヘッド本体２は、図２に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９（第２の部材）の上面（積層表面）に接着された８つのアクチュエータユニット２１（第１の部材）を含んでいる。流路ユニット９の内部にはインク流路が形成されており、アクチュエータユニット２１はインク流路内のインクに吐出エネルギーを付与する機能を有する。
【００３３】
流路ユニット９の上面には、インクタンク１７からのインクが供給される計１８個のインク供給口１０５ｂが開口している。流路ユニット９の内部には、図２に示すように、インク供給口１０５ｂに連通するマニホールド流路１０５及びマニホールド流路１０５から分岐した副マニホールド流路１０５ａが形成されている。マニホールド流路１０５は、平面視でアクチュエータユニット２１の台形の斜辺に沿って延びている。アクチュエータユニット２１の下方には４本の副マニホールド流路１０５ａが主走査方向に沿って延びている。これら４本の副マニホールド流路１０５ａは、アクチュエータユニット２１の一方の斜辺側においてマニホールド流路１０５から分岐し、主走査方向に沿って延び、他方の斜辺側において別のマニホールド流路１０５と合流している。
【００３４】
流路ユニット９は、図６に示すように、９枚のステンレス鋼からなる金属製のプレート１２２〜１３０が積層された積層体から構成されている。このうち、最上層のプレート１２１の上面には圧力室１１０が開口しており、最下層のプレート１３０の下面には、多数の吐出口１０８が開口している。各圧力室１１０は１つの吐出口１０８にそれぞれ対応して形成されている。
【００３５】
プレート１２２の上面（流路ユニット９の上面）には、図４に示すように複数の圧力室群１５１が形成されている。圧力室群１５１は、それぞれ多数の圧力室１１０が集まって形成されている。圧力室群１５１内には、主走査方向に沿って圧力室１１０が配列された複数本の圧力室列１６１が形成されている。圧力室列１６１のそれぞれに含まれる圧力室１１０は、副走査方向に関して一方側から他方側に向かって次第に少なくなるように配置され、圧力室群１５１が全体として台形の平面形状となるように配列されている。吐出口１０８も、圧力室列１６１と対応する複数の吐出口列を形成するように配置されている。これらの吐出口列は、平面視で副マニホールド流路１０５ａを避けるように互いに平行に配列されている。
【００３６】
圧力室群１５１は、図３に示すように、インク供給口１０５ｂが形成された領域を避ける位置に、主走査方向に沿って４個ずつ２列に配列されている。一方の列に配列された４個の圧力室群１５１は、他方の列に配列された４個の圧力室群１５１を主走査方向に挟んでおり、８個の圧力室群１５１は、斜辺同士が互いに平行に対向する位置関係で配置されている。２つの隣り合う圧力室群１５１同士は、図４に示すように、圧力室群１５１の間の点Ｑ（矢印Ｑの先端の点）について点対称に配置されている。図４に示されていない圧力室群１５１についても同様に、圧力室群１５１間の点に関して対称である。
【００３７】
プレート１２２の上面には、圧力室群１５１を取り囲む接着剤の逃がし溝１７１及び１７２がハーフエッチングで形成されている。逃がし溝１７１は各圧力室群１５１の上底及び下底のそれぞれの近傍に形成されている。逃がし溝１７１は主走査方向に沿って並んだ複数の矩形状の逃がし溝１７１ａと、逃がし溝１７１ａ同士を数珠繋ぎに連結する直線状の逃がし溝１７１ｂとから構成されている。逃がし溝１７２は、各圧力室群１５１の斜辺に沿って形成され、圧力室群１５１の斜辺に沿った辺を有する複数の平行四辺形状の逃がし溝１７２ａ（第１の溝；囲い溝）を有している。これらの逃がし溝１７２ａは、圧力室群１５１の斜辺に沿って数珠繋ぎに互いに連結されている。逃がし溝１７１と逃がし溝１７２とは互いに連結されており、これにより圧力室群１５１の全体を取り囲んでいる。本実施形態においては、逃がし溝１７２は、図４に示すように、圧力室群１５１間の点Ｑに関して点対称に形成されている。図４に示されていない逃がし溝１７２についても同様に、圧力室群１５１間の点に関して対称である。
【００３８】
逃がし溝１７１及び１７２は、プレート１２２の上面にアクチュエータユニット２１を接着する工程において圧力室１１０内に侵入する接着剤を規制する役割を果たす。圧力室１１０内に接着剤が侵入すると、インク流路の特性が変化し、吐出口１０８からのインクの吐出特性に変化が生じるおそれがある。逃がし溝１７１及び１７２は、圧力室１１０内に侵入する接着剤を規制することにより、吐出特性に変化が生じるのを抑制する。
【００３９】
プレート１２２の次の層であるプレート１２３の上面には、圧力室１１０と連通する多数の流路孔１１３及び１１４（図６参照）からなる複数の流路孔群１５２が形成されている。流路孔１１３及び１１４は、平面視において圧力室１１０とそれぞれ重なる位置に配置されているため、流路孔群１５２も圧力室群１５１と同様、台形の平面形状を有しており、圧力室群１５１と同様に配置されている。また、プレート１２３には、マニホールド流路１０５の一部である流路孔１０５ｃが形成されている。各流路孔１０５ｃは、平面視においてインク供給口１０５ｂと重なり合う形状と大きさを有しており、インク供給口１０５ｂと連通している。
【００４０】
この他、図６に示すように、プレート１２４には絞りとして機能するアパーチャ１１２が、プレート１２６〜１２８には副マニホールド流路１０５ａを構成する流路孔が、プレート１２３〜１３０には、圧力室１１０と副マニホールド流路１０５ａとを連通させる流路孔、及び、圧力室１１０と吐出口１０８とを連通させる流路孔がそれぞれ形成されている。そして、プレート１２２〜１３０は、互いに位置合わせされつつ接着剤を介して積層されることによってこれらの流路孔が互いに連通し、インク供給口１０５ｂからマニホールド流路１０５、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａ、そして副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経て吐出口１０８に至る多数の個別インク流路１３２がそれぞれ形成されている。
【００４１】
以上の通りに構成された流路ユニット９において、インクの流れは以下の通りである。インク供給口１０５ｂを介して流路ユニット９内に供給されたインクは、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａに分岐される（図２）。副マニホールド流路１０５ａ内のインクは、各個別インク流路１３２に流れ込み、アパーチャ１１２及び圧力室１１０を介して吐出口１０８に至る（図６）。
【００４２】
次に、アクチュエータユニット２１について説明する。図２に示すように、８つのアクチュエータユニット２１は、インク供給口１０５ｂを避けるよう千鳥状に配置されている。さらに、各アクチュエータユニット２１の平行対向辺は流路ユニット９の長手方向に沿っており、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は流路ユニット９の幅方向（副走査方向）に関して互いにオーバーラップしている。
【００４３】
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、図６中に一点鎖線で示した領域の拡大断面図及び個別電極の平面図である。
【００４４】
図７（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる３枚の圧電シート１４１〜１４３から構成されている。圧電シート１４１〜１４３は、いずれも複数の圧力室１１０に跨る形状とサイズを有した一枚のシートからなっている。最下層の圧電シート１４３の下面が流路ユニット９（プレート１２２）に固定される固定面となっている。また、最上層の圧電シート１４１の上面は、配線が施された平型の柔軟基板と対向している。圧電シート１４１の上面の圧力室１１０に対向する位置には、個別電極１３５が形成されている。柔軟基板は、後述のように個別電極１３５に接続される。圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間には、これらのシートの全面に亘って一体に形成された共通電極１３４が介在している。
【００４５】
個別電極１３５は、図７（ｂ）に示すように、圧力室１１０と相似な角の丸い菱形の平面形状を有する。平面視で、個別電極１３５の大部分は、圧力室１１０の領域内にある。個別電極１３５の菱形形状における鋭角部の一方は圧力室１１０の外に延出されている。延出方向の先端には、上方に突出した個別バンプ１３６が設けられ、個別電極１３５と電気的に接続されている。圧電シート１４１上には、共通電極用の個別バンプも形成されている。共通電極１３４は、圧電シート１４１に形成されたスルーホール内の導電体（図示せず）を介して上記の個別バンプと電気的に接続されている。
【００４６】
共通電極１３４には、上記の個別バンプを介して、すべての圧力室１１０に対応する領域において等しくグランド電位が付与されている。一方、個別電極１３５は、柔軟基板に実装されたドライバＩＣの各出力端子と柔軟基板に形成された配線を介して電気的に接続されており、ドライバＩＣからの駆動信号が選択的に供給されるようになっている。
【００４７】
アクチュエータユニット２１は、個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働く。圧力室１１０から離れた圧電シート１４１が活性部を含む層であり、圧力室１１０に近い２枚の圧電シート１４２、１４３が自発的に変形しない非活性層である。アクチュエータユニット２１は、いわゆるユニモルフタイプのアクチュエータの集合体であって、個別のアクチュエータが、少なくとも圧力室１１０の数だけ作りこまれている。圧電シート１４１はその厚み方向に分極されている。個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、個別電極１３５に対応した電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。例えば、分極方向と電界の印加方向とが同じであれば、活性部は分極方向と直交する方向（平面方向）に縮む。
【００４８】
このとき、圧電シート１４２、１４３には、電界による自発的歪みが生じない。そのため、圧電シート１４１の電界印加部分と圧電シート１４２、１４３との間で平面方向への歪みに差が生じる。さらに、図７（ａ）に示すように、圧電シート１４１〜１４３は圧力室１１０を区画するプレート１２２の上面に固定されているため、圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２、１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより、圧力室１１０内のインクに圧力が印加され、吐出口１０８からインクが吐出される。
【００４９】
ところで、アクチュエータユニット２１は水平方向に関して位置合わせされた後、流路ユニット９の上面に接着される。そこで、流路ユニット９の最上層のプレート１２２の上面には、図４に示すように、アクチュエータユニット２１の位置合わせのためのマーカ（凹部１８０ａ及び１８０ｂ）が形成されている。以下、凹部１８０ａ及び１８０ｂについて、図４、５、８及び９を参照しつつ説明する。
【００５０】
図８（ａ）は、図４の凹部１８０ａ周辺の拡大図であり、図８（ｂ）は、図４の凹部１８０ｂ周辺の拡大図であり、図８（ｃ）は、平面視において凹部１８０ａ又は１８０ｂと重なる領域周辺の図５の拡大図である。図９は、凹部１８０ａ周辺の流路ユニット９の断面図であり、図８（ａ）のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。
【００５１】
凹部１８０ａ及び１８０ｂは、圧力室群１５１ごとに１組、合計で８組形成されている。凹部１８０ａ及び１８０ｂの各組は、図４に示すように、圧力室群１５１を主走査方向に挟む位置に形成されている。凹部１８０ａ（１８０ｂ）は、図９に示すようにプレート１２２に形成された円柱状の貫通孔１８１と、プレート１２３に形成された凹部状の底部１８２とから構成されている。貫通孔１８１は、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、平面視において平行四辺形状の逃がし溝１７２ａの中心に開口しており、円形の開口端縁を有している。貫通孔１８１の開口は、図４に示すように、圧力室群１５１間の点Ｑに関して互いに点対称となるように配置されている。図４に示されていない開口についても同様に、圧力室群１５１間の点に関して対称である。
【００５２】
底部１８２は、図９に示すように、プレート１２３の上面（プレート１２２との接着面）に開口する凹部であり、ハーフエッチングで形成されている。底部１８２は、図８（ｃ）に示すように、平面視において貫通孔１８１を内部に含む円形に形成されている。底部１８２の内底面１８２ａはほぼ水平に形成されている。
【００５３】
以上のように、凹部１８０ａ（１８０ｂ）は、開口１８１ａの端縁から内底面１８２ａの外周縁までを結ぶ内表面１８１ｂ及び１８２ｂ、開口１８１ａ、並びに、内底面１８２ａによって画定されている。そして、凹部１８０ａ（１８０ｂ）は、図９において、開口１８１ａと内底面１８２ａとを両端とする鉛直方向に沿った仮想線分Ａを引いたとき、このようないずれの仮想線分Ａも凹部１８０ａ（１８０ｂ）の内表面１８１ｂや１８２ｂと交差することなく開口１８１ａと内底面１８２ａとを結ぶように形成されている。つまり、凹部１８０ａ（１８０ｂ）は、鉛直上方からの視線が内表面１８１ｂや１８２ｂに遮断されることなく、内底面１８２ａに到達するように形成されている。
【００５４】
逃がし溝１７２ａは、プレート１２２の上面に沿って凹部１８０ａ及び１８０ｂの開口１８１ａから離隔する方向（例えば、図８（ａ）の二点鎖線の矢印方向）に交差する方向に沿っている。これにより、アクチュエータユニット２１を接着するためプレート１２２の上面に接着剤が塗布された際、余剰の接着剤が逃がし溝１７２ａに流れ込み、凹部１８０ａや１８０ｂに接着剤が侵入するのが抑制される。また、逃がし溝１７２ａは、凹部１８０ａ及び１８０ｂをそれぞれ全周に亘って取り囲んでいるので、塗布された接着剤の凹部１８０ａ及び１８０ｂへの流れ込みが、平面内のいずれの方向においても規制されることになる。
【００５５】
凹部１８０ａ及び１８０ｂの底部１８２は、プレート１２３の上面に図８（ｃ）のように開口しており、その開口の周囲を環状に取り囲む逃がし溝１８３（第２の溝）が形成されている。また、逃がし溝１８３のさらに外側には、プレート１２３の上面に沿って底部１８２の開口から離隔する方向（二点鎖線の矢印方向）に交差するように２本の弧状の逃がし溝１８４（第２の溝）が形成されている。逃がし溝１８３及び１８４は、プレート１２２及び１２３同士を接着する際、接着剤が凹部１８０ａや１８０ｂ内に侵入するのを抑制する。特に、逃がし溝１８３は、凹部１８０ａ及び１８０ｂをそれぞれ全周に亘って取り囲んでいるので、塗布された接着剤の凹部１８０ａ及び１８０への流れ込みが、平面内のいずれの方向においても規制されることになる。また、逃がし溝１８３は、底部１８２の開口端縁から等距離に形成されており、接着剤の流れ込みを均一に規制する。
【００５６】
以下、ヘッド本体２の製造工程について説明する。図１０は、ヘッド本体２の製造工程の流れを示すフロー図である。
【００５７】
まず、流路ユニット９を構成するプレート１２２〜１３０のそれぞれが作製される。各プレートには、圧力室１１０やアパーチャ１１２、流路孔１１３及び１１４などの、インク流路を構成する複数の流路孔がエッチングにより形成される（Ｓ１）。次に、プレート１２２とプレート１２３に凹部１８０ａ及び１８０ｂが形成される（Ｓ２）。プレート１２２には、凹部１８０ａ及び１８０ｂの上部を構成する貫通孔１８１がエッチングにより形成される。プレート１２３には、平面視において貫通孔１８１を含む位置に底部１８２が、ハーフエッチングにより形成される。少なくともプレート１２２、１２３は金属部材（この場合、ステンレス鋼）の圧延により形成されている。そのため、底部１８２のエッチング面は、プレート１２２の圧延面に比べて滑らかさがなくなり、粗な表面となっている。
【００５８】
次に、プレート１２２や１２３などの表面に、逃がし溝１７１、１７２、１８３及び１８４などの接着剤の逃がし溝が、ハーフエッチングにより形成される（Ｓ３）。プレート１２２や１２３以外のプレートにも、流路孔の開口の周囲を取り囲むように逃がし溝が形成されることが好ましい。そして、各種の流路孔や凹部１８０ａ等が形成されたプレート１２２〜１３０が接着剤を介して積層され、互いに接着される。このとき、プレート１２２とプレート１２３とは、貫通孔１８１の開口中心を通る軸が、底部１８２の開口中心を通るように位置合わせされている。これにより流路ユニット９が完成する（Ｓ４）。
【００５９】
ここで、貫通孔１８１の開口径より底部１８２の開口径が大きいので、接着剤による接着時に、プレート１２２とプレート１２３間で余剰接着剤が生じても、接着剤は底部１８２の側面部に広がる程度である。そのため、後述の画像センサ１９１による撮像時に、広がった接着剤を撮像することがなく、参照画像データとの比較が適切にできる。なお、接着剤の広がりを確実に撮像範囲外に止めるという観点から、各プレートの積層時には、鉛直方向に関して、プレート１２２の情報からプレート１２３を積層するとよい。これによって、余剰接着剤の広がりが、撮像される表面と反対側の面に限定されることになる。
【００６０】
次に、流路ユニット９の上面に、アクチュエータユニット２１を接着するための接着剤が塗布される（Ｓ５）。そして、流路ユニット９の上面がＣＣＤ（Charge Coupled Devices）カメラなどの画像センサによって撮像される（Ｓ６）。なお、画像センサによる撮像に先立って、流路ユニット９は、支持台上に支持されて、撮像時に予めマーカが画像センサのほぼ正面に位置するように配置されている。
【００６１】
図１１は、流路ユニット９と、流路ユニット９の上面を撮像する画像センサ１９１の斜視図である。図１１のＸＹ座標は水平面に沿った座標である。画像センサ１９１による撮像データは、アクチュエータユニット２１の位置合わせを制御する位置決め制御装置１９２に送信される。位置決め制御装置１９２は、画像センサ１９１からの撮像データが示す画像を解析する画像解析部１９３と、アクチュエータユニット２１の位置を調整する位置調整部１９４とを有している。
【００６２】
画像解析部１９３は、位置合わせ用のマーカである凹部１８０ａ又は１８０ｂが画像センサ１９１からの撮像データ中に写りこんでいるかどうかを解析するための参照画像データを保持している。参照画像データは、例えば、図８（ａ）や図８（ｂ）において一点鎖線に囲まれた領域に対応する画像データである。具体的には、参照画像データとして、平面視で円形の貫通孔１８１とこれに隣接した平行四辺形の逃がし溝１７２ａとに対応したパターン情報が記憶されている。画像センサ１９１は、流路ユニット９の表面からの反射光をとらえる。このとき、貫通孔１８１に対向した底部１８２の表面は、ハーフエッチングで形成された面であり、圧延面とは入射光に対する反射率に差がある。そのため、貫通孔１８１が、円形パターンとして確実に識別される。
【００６３】
画像解析部１９３は、画像センサ１９１からの撮像データと参照画像データとを比較し、よく一致する部分があるか否かを判定する。画像解析部１９３は、参照画像データが示す画像をＸＹ座標平面に沿って任意の角度で回転させたものと画像センサ１９１からの撮像データとを比較できるように構成されている。
【００６４】
ここで、参照画像データは、貫通孔１８１の円形パターン情報に加えて、よりサイズの大きい逃がし溝１７２ａの平行四辺形パターン情報から構成されているので、撮像データとの比較が容易である。また、図４に示されるように、参照画像データに対応した逃がし溝１７２ａは、圧力室群の斜辺部に配置された他の逃がし溝１７２ａに比べても、サイズが大きく、撮像データとの比較をさらに容易にし、比較の精度を高くしている。
【００６５】
画像解析部１９３は、参照画像データとよく一致する部分があると判定した場合、その部分のＸＹ座標系上の位置と、参照画像データを回転させた回転角度とを取得する。このうち、ＸＹ座標上の位置は、円形パターン（貫通孔１８１）の中心位置として決められる。このようにして凹部１８０ａ及び１８０ｂの位置を取得することにより、凹部１８０ａ及び１８０ｂに挟まれた圧力室群１５１のＸＹ座標系上の位置とその回転角度θとを取得する。なお、圧力室群１５１の回転角度θは、凹部１８０ａのＸＹ座標と凹部１８０ｂのＸＹ座標とに基づいて取得されてもよい。
【００６６】
次に、位置調整部１９４は、画像解析部１９３が取得した圧力室群１５１のＸＹ座標系上の位置と回転角度θに基づいて、図１０のＳ７において流路ユニット９とは別途作製されたアクチュエータユニット２１の位置を調整し、圧力室群１５１上方の適切な接着位置にアクチュエータユニット２１を配置する（Ｓ８）。アクチュエータユニット２１は図１１の白抜き矢印で示す方向に移動可能な治具によって支持されており、位置調整部１９４はかかる治具を駆動してアクチュエータユニット２１の位置を調整する。そして、圧力室群１５１に対して適切に位置が調整されたアクチュエータユニット２１が、流路ユニット９の上面に接合され、接着される（Ｓ９）。このように、圧力室群１５１の位置及び回転角度の取得とアクチュエータユニット２１の位置合わせ及び接合が、８回繰り返されることにより、全てのアクチュエータユニット２１が流路ユニット９上に接着される。
【００６７】
以上説明した本実施形態によると、凹部１８０ａや凹部１８０ｂが、開口１８１ａと内底面１８２ａとを両端とする鉛直方向に沿った仮想線分Ａを引いたとき、このようないずれの仮想線分Ａも凹部１８０ａや１８０ｂの内表面１８１ｂや１８２ｂと交差することなく開口１８１ａと内底面１８２ａとを結ぶように形成されている。つまり、凹部１８０ａや１８０ｂは、鉛直上方から見た際、凹部１８０ａや１８０ｂ内の内表面１８１ｂや１８２ｂに遮られることなく内底面１８２ａを視認できる。したがって、凹部１８０ａや１８０ｂを画像センサ１９１で撮像した際、内表面１８１ｂや１８２ｂが写り込んで凹部１８０ａや１８０ｂを認識しにくくなることが防止されている。
【００６８】
また、凹部１８０ａや１８０ｂの底部１８２が、上部を構成する貫通孔１８１より平面視で大きく形成されている。このため、仮に凹部１８０ａや１８０ｂ内に接着剤が入り込んでも、その接着剤は内表面１８２ｂに沿って底部１８２へと流れ込むので、平面視において開口１８１ａに規定される視界から外側へと逃がしやすい。これにより、凹部１８０ａを撮像しても接着剤が写り込みにくくなるため、撮像において凹部１８０ａの開口１８１ａを認識しやすい。
【００６９】
また、本実施形態では、底部１８２をハーフエッチングで形成している。このため、内底面１８２ａに微小な凹凸が形成されやすく、光が乱反射しやすくなる。したがって、凹部１８０ａや１８０ｂを撮像した際、内底面１８２ａが鏡面反射して白くなり開口１８１ａを認識しにくくなるのが回避されやすい。つまり、コントラストの高い撮像が可能となる。
【００７０】
また、本実施形態では、プレート１２２及び１２３の２枚のプレートに亘って凹部１８０ａ及び１８０ｂを形成している。このように、凹部１８０ａや１８０ｂが複数のプレートに亘って形成されていることにより、１枚のプレートのみに形成されている場合と比べて凹部１８０ａ及び１８０ｂが深くなる。このため、内底面１８２ａが開口１８１ａから遠くなり、仮に内底面１８２ａが鏡面反射したとしても高コントラストの撮像ができる。
【００７１】
また、本実施形態では、逃がし溝１７２も開口１８１ａも、いずれも図４の点Ｑに関して対称に配置されている。したがって、開口１８１ａとその開口１８１ａを囲む逃がし溝１７２ａとの組は、互いに点Ｑに関して対称である。例えば、図４の一点鎖線Ｕで囲まれた領域に含まれる開口１８１ａと逃がし溝１７２ａとの組は、一点鎖線Ｖで囲まれた領域に含まれる開口１８１ａと逃がし溝１７２ａとの組に対して点Ｑに関して対称である。
【００７２】
このように、本実施形態では、凹部１８０ａや１８０ｂの開口１８１ａとその周囲の逃がし溝１７２ａとの組が、互いに点対称の関係にある。したがって、例えば、図８（ａ）の一点鎖線に囲まれた領域に関する１つの参照画像データを用意すれば、この画像データを水平面内で回転させることにより、いずれの凹部１８０ａの周囲の画像とも一致させることができる。一方、画像解析部１９３は、参照画像データを任意の角度で回転させて撮像データと比較することができる。このため、画像解析部１９３は、１つの圧力室群１５１に対応する１組の凹部１８０ａ及び１８０ｂの参照画像データを保持していれば、この参照画像データを回転させることにより、その他の全ての圧力室群１５１に対応して形成された凹部１８０ａ及び１８０ｂと比較することができる。本実施形態では、このように画像認識に必要な参照画像の数が抑制されている。
【００７３】
さらに、本実施形態では、平行四辺形状の逃がし溝１７２ａの中心に凹部１８０ａや１８０ｂが開口している。つまり、逃がし溝１７２ａが開口１８１ａの中心に関して点対称に形成されている。このように、開口１８１ａの中心に関して点対称に逃がし溝１７２ａが形成されていると、逃がし溝１７２ａの形状を把握することで、その中心の位置を判定しやすい。したがって、逃がし溝１７２ａが点対称に形成されていることで、開口１８１ａの位置を取得しやすくなっている。なお、この観点からは、平行四辺形以外に、正三角形や正方形などの正多角形、菱形、円形などの形状に逃がし溝を形成し、その中心に開口１８１ａを形成してもよい。
【００７４】
また、本実施形態では、凹部１８０ａ及び１８０ｂが流路ユニット９を貫通していない。これは、貫通孔として形成すると、吐出口１０８から吐出されたインクによるインクミストなどが流路ユニット９の上面側に侵入してくるおそれがあるからである。つまり、凹部１８０ａ及び１８０ｂが凹部として形成されていることにより、吐出口１０８から吐出されたインクが流路ユニット９の上面側へと侵入するのが回避されている。
【００７５】
以下、上述の凹部１８０ａや１８０ｂに代わる第１〜第３の変形例について説明する。図１２は、第１の変形例に係る凹部２８０の断面図である。凹部２８０は、プレート１２２〜１２５にエッチングで形成された円柱状の貫通孔２８１〜２８４と、プレート１２６にハーフエッチングで形成された円柱状の凹部２８５とから構成されている。貫通孔２８１〜２８４及び凹部２８５のそれぞれは、上方に位置する他の貫通孔を平面視で全て内部に含む大きさになるように形成されている。
【００７６】
つまり、貫通孔２８２は、平面視において貫通孔２８１より大きく、貫通孔２８１を内部に含むように形成されている。貫通孔２８３は、平面視において貫通孔２８１及び２８２のいずれよりも大きく、これらを内部に含むように形成されている。貫通孔２８４は、平面視において貫通孔２８１〜２８３のいずれよりも大きく、これらを内部に含むように形成されている。さらに、凹部２８５は、平面視において貫通孔２８１〜２８４のいずれよりも大きく、これらを内部に含むように形成されている。
【００７７】
また、プレート１２２〜１２６の上面には、貫通孔２８１〜２８４及び凹部２８５の開口を取り囲む接着剤の逃がし溝２９１〜２９５が形成されている。これにより、アクチュエータユニット２１を接着する際やプレートを互いに接着する際に、余剰の接着剤が凹部２８０内に侵入するのが抑制される。
【００７８】
以上の第１の変形例においても、凹部２８０の開口２８１ａと内底面２８５ａとを両端とする鉛直方向に沿った仮想線分Ｂを引いたとき、このようないずれの仮想線分も凹部２８０の内表面と交差することなく開口２８１ａと内底面２８５ａとを結ぶように凹部２８０が形成されている。つまり、凹部２８０においても、鉛直上方からの視線が内表面に遮られることなく、内底面２８５ａに到達するように形成されている。
【００７９】
また、凹部２８０は下方の部分ほど大きく形成されている。このため、凹部２８０内に接着剤が入り込んでも、その接着剤は凹部２８０の内表面に沿って下部へと流れ込み、平面視において開口２８１ａよりも外側へと向かいやすく、凹部２８０を撮像しても接着剤が写り込みにくい。
【００８０】
また、凹部２８０は５枚のプレートに跨って形成されているため、上述の実施形態よりも凹部２８０が深くなる。したがって、凹部２８０を撮像した際、仮に内底面２８５ａが鏡面反射してもより高いコントラストで撮像できる。
【００８１】
図１３は、第２の変形例に係る凹部３８０の断面図である。凹部３８０は、プレート１２２に形成された貫通孔３８１と、プレート１２３に形成された凹部３８２とから構成されている。凹部３８２は、貫通孔３８１を平面視で内部に含む大きさになるように形成されている。貫通孔３８１及び凹部３８２の内側面は下方ほど広がるように傾斜しており、貫通孔３８１の下端と凹部３８２の上端は平面視でちょうど重なり合うように形成されている。これにより、貫通孔３８１の内側面と凹部３８２の内側面とが滑らかに接続されている。また、プレート１２２及び１２３の上面には、貫通孔３８１及び凹部３８２の開口を取り囲む接着剤の逃がし溝３９１及び３９２が形成されている。
【００８２】
以上の第２の変形例においても、凹部３８０の開口３８１ａと内底面３８２ａとを両端とする鉛直方向に沿った仮想線分Ｃを引いたとき、このようないずれの仮想線分も凹部３８０の内表面と交差することなく開口３８１ａと内底面３８２ａとを結ぶように凹部３８０が形成されている。つまり、凹部３８０においても、鉛直上方からの視線が内表面に遮られることなく、内底面３８２ａに到達するように形成されている。
【００８３】
また、凹部３８０は下方の部分ほど大きく形成されている。このため、凹部３８０内に接着剤が入り込んでも、その接着剤は凹部３８０の内表面に沿って下部へと流れ込むため、凹部３８０を撮像しても接着剤が写り込みにくい。
【００８４】
さらに、貫通孔３８１の内側面と凹部３８２の内側面とが滑らかに接続されているので、開口３８１ａから接着剤が入り込んでも、その接着剤が貫通孔３８１の内側面と凹部３８２の内側面に沿って、内底面３８２ａの外周縁近傍へと円滑に導入されやすい。
【００８５】
図１４は、第３の変形例に係る凹部４８０の断面図である。凹部４８０は、プレート１２２に形成された貫通孔４８１と、プレート１２３に形成された凹部４８２とから構成されている。貫通孔４８１はほぼ円柱の形状を有しており、上部分４８１ａ及び下部分４８１ｂの２つの部分から構成されている。上部分４８１ａは、プレート１２２を上面から下面に向かって蝕刻するエッチング処理によって形成され、下部分４８１ｂは、プレート１２２を下面から上面に向かって蝕刻するエッチング処理によって形成されている。このように、２表面のそれぞれから施されるエッチング処理によって１つの貫通孔が形成されるのは、例えばプレート１２２の厚みが約１００マイクロメートルと比較的大きい場合である。このとき、プレート１２２は、あらかじめ表裏両面が貫通孔４８１となるべき表面を除いてレジスト膜で被覆される。エッチング処理によって、レジスト膜から露出した表面部分が厚み方向にエッチング（蝕刻）される。エッチングは、等方的に進む。そのため、表面に近い部分では、内部に比べて面方向のエッチングが進展して、上部分４８１ａと下部分４８１ｂとの境界面４８１ｃには貫通孔４８１の内側に突出した突出部が残る。また、プレート１２３は、表の面からのみのエッチング処理が施される。これによって形成される凹部４８２は、平面視で貫通孔４８１を内包できるサイズと形状を有し、ほぼ平坦な内底面４８２ａと湾曲した内表面４８２ｂとから構成されている。ここでは、凹部４８２は、平面視で円形である。
【００８６】
凹部４８０は、上部分４８１ａ及び下部分４８１ｂの境界面４８１ｃと内底面４８２ａとを両端とする鉛直方向に沿った仮想線分Ｄを引いたとき、このようないずれの仮想線分も、凹部４８２の内底面４８２ａ以外の内表面とも貫通孔４８１の内表面とも交差することがないように形成されている。
【００８７】
第３の変形例では、上部分４８１ａと下部分４８１ｂの境界において貫通孔４８１の内表面が内側に突出している。このような場合でも、画像センサ１９１による撮像時、貫通孔４８１を認識する上で上記の突出量が解像度以下であれば、ほぼ内表面がストレートな形状を有するとみなすことができ、図９に示す実施形態と同様の機能を果たすことができる。
【００８８】
また、上下両方向からエッチング処理によって形成する工程上、貫通孔４８１内に形成される突出部はそれほど大きいものにはならない。このため、貫通孔４８１の上端の開口から接着剤が貫通孔４８１内に流れ込んでも、突出部を乗り越えて凹部４８２へと流れ込む。
【００８９】
＜その他の変形例＞
以上は、本発明の好適な実施形態についての説明であるが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された範囲の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【００９０】
例えば、上述の実施形態では、凹部１８０ａ、１８０ｂ、２８０、３８０が下方の部分ほど大きくなるように形成されている。しかし、鉛直上方からの視線が内表面に遮られることなく内底面に到達するように形成されていれば、部分的に大きさが逆転していてもよい。例えば、第１の変形例においては貫通孔２８４の径が貫通孔２８３の径より大きくなっているが、その逆に、貫通孔２８３の径が貫通孔２８４の径より大きく形成されていてもよい。
【００９１】
さらに、上述の実施形態では、流路ユニット９に対してアクチュエータユニット２１を相対移動して位置調整を行ったが、アクチュエータユニット２１を固定し、流路ユニット９を載せた支持台を移動して位置調整をしてもよい。
【００９２】
また、上述の実施形態は、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明を適用可能な対象はこのようなインクジェットヘッドに限られない。例えば、導電ペーストを吐出して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に吐出して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に吐出して光導波路等の微小電子デバイスを形成するための、液滴吐出ヘッドに適用することができる。
【００９３】
また、本実施形態では、アクチュエータとして圧電方式のものを用いていたが、静電方式や抵抗加熱による方式のものにも適用可能である。
【符号の説明】
【００９４】
１        インクジェットヘッド（ヘッド）
９        流路ユニット
２１      アクチュエータユニット
１０１    インクジェットプリンタ（プリンタ）
１０８    吐出口
１２２〜１３０  プレート
１５１    圧力室群
１７１，１７２  逃がし溝
１８０ａ、１８０ｂ  凹部
１８１ａ  開口
１８１ｂ，１８２ｂ  内表面
１８２ａ  内底面
１８３，１８４  逃がし溝
２８０    凹部
２８１ａ  開口
２８５ａ  内底面
２９１〜２９５  逃がし溝
３８０    凹部
３８１ａ  開口
３８２ａ  内底面
３９１    逃がし溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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