(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型テープに貼着された粘着テープを電子部品へ貼着する貼着装置であって、
上記粘着テープを電子部品に貼着する貼着手段と、
上記離型テープを所定ピッチで間欠的に送る送り手段と、
を具備し、
上記送り手段は、
上記離型テープを挟持する一対の挟持片を開閉駆動する固定チャックと、上記離型テープを挟持する一対の挟持片を開閉駆動及び上記離型テープの送り方向に移動駆動する引き出しチャックを有し、
上記固定チャックの一対の挟持片が、上記離型テープを一対の挟持片を閉じて挟持する上記引き出しチャックの挟持片が通過できる間隔まで開放し、上記引き出しチャックの一対の挟持片が、所定ピッチ送られた上記離型テープを一対の挟持片を閉じて挟持する上記固定チャックの挟持片が通過できる間隔まで開放可能に構成されている
ことを特徴とする粘着テープの貼着装置。
【請求項２】
上記離型テープを挟持する上記引き出しチャックの一対の挟持片が閉じた位置から上記固定チャックの開放した一対の挟持片までの距離は、上記引き出しチャックが移動する所定ピッチの距離の半分より短いことを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項３】
上記引き出しチャックが上記離型テープを一対の挟持片で挟持して送り方向へ移動を開始する際に、送り方向とは逆方向に移動してから上記固定チャックの開放された一対の挟持片の間を通過することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して電子部品に貼着する粘着テープの貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置を製造する場合、基板としての液晶表示装置のパネルに、電子部品としてのＴＣＰを実装するための実装装置が用いられる。上記ＴＣＰは金型によってキヤリアテープから打ち抜かれた後、所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに供給される。このインデックステーブルには１回当たりの回転角度に応じた間隔で周方向に複数の吸着ヘッドが設けられている。そして、上記金型によって打ち抜かれたＴＣＰは複数の吸着ヘッドに順次供給される。
【０００３】
上記パネルはＸＹテーブルに位置決め載置されていて、このＸＹテーブルによってＸＹ方向に駆動されるようになっている。上記インデックステーブルの実装ポジションにおいて、上記ＴＣＰに設けられた位置合わせマークと、上記パネルに設けられた位置合わせマークとが撮像カメラによって撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。そして、画像処理部での上記撮像信号の処理に基いて、上記ＴＣＰの位置合わせマークに上記パネルの位置合わせマークが一致するよう、上記ＸＹテーブルの駆動が制御されて上記パネルが位置決めされるようになっている。
【０００４】
上記ＴＣＰに対して上記パネルが位置決めされると、ＴＣＰを保持した吸着ヘッドが下降方向に駆動され、そのＴＣＰを上記パネルに設けられた異方性導電部材からなる粘着テープに加圧して貼着、つまり実装するようになっている。インデックステーブルを用いて基板にＴＣＰを実装する従来の実装装置は、たとえば特許文献１に開示されている。
【０００５】
ところで、特許文献１に開示された実装装置においては、基板にＴＣＰを実装するための粘着テープを、上記基板の一側の長手方向全長にわたって貼着し、そこに上記ＴＣＰを所定間隔で実装するようにしている。
【０００６】
そのため、粘着テープの、所定間隔で貼着されたＴＣＰの間に位置する部分は、ＴＣＰの実装に必要のない部分となるから、その部分が無駄になり、コスト上昇につながるということがある。
【０００７】
そこで、最近では基板に粘着テープを貼着せず、ＴＣＰに、このＴＣＰの幅寸法に対応する長さに切断された粘着テープを貼着することで、粘着テープの無駄をなくすということが考えられている。このような先行技術は特許文献２に示されている。
【０００８】
特許文献２では、離型テープに貼着された粘着テープをＴＣＰの幅寸法に対応する長さで切断し、その粘着テープを上にしてインデックステーブルの吸着ヘッドに保持された電子部品に対向するよう位置決めする。
【０００９】
ついで、上記粘着テープを離型テープとともに押し上げ、インデックステーブルの吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに貼着した後、その粘着テープの下面から離型テープを剥離する。そして、ＴＣＰは粘着テープの離型テープが剥離された面を基板に貼着することで実装される。
【００１０】
ＴＣＰを基板に実装したならば、インデックステーブルを所定角度回転させるとともに、上記離型テープを所定長さでピッチ送りする。そして、所定長さに切断された新たな粘着テープをインデックステーブルの吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに対向させ、その粘着テープをＴＣＰに貼着した後、そのＴＣＰを基板に実装するということが繰り返して行なわれる。
【００１１】
特許文献２では、上記粘着テープが貼着された離型テープは供給リールから繰り出され、巻き取りリールに巻き取られるようになっている。したがって、上記供給リールによる離型テープの巻き取り長さを設定することで、所定長さに切断された新たな粘着テープを吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに順次対向位置決めすることができる。
【００１２】
ところで、技術文献２では、上述したように離型テープを巻き取りリールで巻き取って所定長さに切断された新たな粘着テープを吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに対して位置決めする構成であるから、巻き取りリールには粘着テープが除去された離型テープが巻き取られることになる。
【００１３】
そのため、巻き取りリールを繰り返して使用する際、この巻き取りリールに巻き取られた離型テープを除去して廃棄しなければならないから、その作業に手間が掛かるということがある。
【００１４】
そこで、離型テープの送りを巻き取りリールに換えて固定チャックと引き出しチャックとで行なうことが考えられている。すなわち、待機位置状態では固定チャックの上方に引き出しチャックが位置決めされている。
【００１５】
そして、引き出しチャックによって離型テープを挟持したならば、固定チャックを開放して、上記引き出しチャックを下降させる。それによって、離型テープを所定の長さ引き出したならば、その引出し状態で固定チャックによって離型テープを挟持固定して離型テープが弛むのを防止する。
【００１６】
ついで、上記引き出しチャックを開いて待機位置まで上昇させてから、この引き出しチャックを閉じて上記離型テープを挟持させた後、固定チャックによる離型テープの挟持状態を開放して上記引き出しチャックを下降させるという動作を繰り返すことで、上記離型テープを所定長さづつピッチ送りする。それによって、離型テープの粘着テープがＴＣＰに貼着されて除去された部分を落下させて回収容器に集積するようにしている。
【００１７】
このようにすれば、巻き取りリールを用いる場合に比べて粘着テープが貼着除去された離型テープの処理が容器となるから、生産性の向上を図ることができるという利点を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００２−３０５３９８号公報
【特許文献２】特開２００９−１４７０８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
ところで、粘着テープは、離型テープに貼着された状態で、カッタによって所定長さに切断される。粘着テープは粘着性の樹脂によって形成されている。そのため、粘着テープをカッタによって切断すると、所定長さに切断された粘着テープをＴＣＰに貼着することで除去した後であっても、粘着テープの一部、とくにカッタによって押圧切断された部分が離型テープに付着残留するということがある。
【００２０】
そのような状態で、上述したように固定チャックと引き出しチャックの開閉及び引き出しチャックの上下動を制御して離型テープをピッチ送りすると、固定チャックを開いて引き出しチャックによって離型テープを挟持してピッチ送りする際、離型テープに付着残留した粘着テープの一部によって離型テープが固定チャックに付着することがあるから、固定チャックを開放しても、離型テープが自重によって下方へ落下しなくなってしまうということがある。
【００２１】
そのため、離型テープが固定チャックに貼着した状態で、上述したように引き出しチャックを上下動させて離型テープのピッチ送りを繰り返して行なうと、固定チャックに付着した離型テープが引き出しチャックや固定チャックに絡まって離型テープのピッチ送りができなくなるということが生じる。
【００２２】
この発明は、固定チャックと引き出しチャックとで離型テープを所定長さづつ送る場合、離型テープが固定チャックに付着しても、引き出しチャックや固定チャックに絡まることがないようにした粘着テープの貼着装置及び貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
この発明は、離型テープに貼着された粘着テープを電子部品へ貼着する貼着装置であって、
上記粘着テープを電子部品に貼着する貼着手段と、
上記離型テープを所定ピッチで間欠的に送る送り手段と、
を具備し、
上記送り手段は、上記離型テープを挟持する一対の挟持片を開閉駆動する固定チャックと、上記離型テープを挟持する一対の挟持片を開閉駆動及び上記離型テープの送り方向に移動駆動する引き出しチャックを有し、上記固定チャックの一対の挟持片が、上記離型テープを一対の挟持片を閉じて挟持する上記引き出しチャックの挟持片が通過できる間隔まで開放し、上記引き出しチャックの一対の挟持片が、所定ピッチ送られた上記離型テープを一対の挟持片を閉じて挟持する上記固定チャックの挟持片が通過できる間隔まで開放可能なように構成されていることを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
【発明の効果】
【００２８】
この発明によれば、固定チャックを開いて引き出しチャックを下降させて離型テープをピッチ送りするとき、固定チャックに付着した離型テープは引き出しチャックの動きによって固定チャックから剥離されるから、離型テープを引き出しチャックに絡ませることなく確実に送ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す粘着テープの貼着装置の概略的構成を示す正面図。
【図２】図１の貼着装置のインデックステーブルを示す平面図。
【図３】図１の貼着装置の粘着テープを所定長さに切断する部分を示す側面図。
【図４】供給リールから繰り出された離型テープが貼着剥離ポジションを経て回収容器に回収されるまでの経路を示す構成図。
【図５】貼着装置の各駆動部の制御系統図。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は引き出しチャックと固定チャックとによって離型テープを所定ピッチで送る動作を順次示して説明図。
【図７】（ａ）〜（ｆ）はこの発明の第２の実施の形態を示す引き出しチャックと固定チャックとによって離型テープを所定ピッチで送る動作を順次示して説明図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００３１】
図１乃至図６はこの発明の第１の実施の形態を示し、図１は実装装置の全体構成の概略図である。この実装装置は基板としてのたとえば液晶表示装置用のパネル１を搬送する第１の搬送手段であるパネルテーブル２と、電子部品としてのＴＣＰ３を搬送する第２の搬送手段としてのインデックステーブル４を有する。
【００３２】
上記パネルテーブル２は、ベース５上にＸ方向（図１の紙面に直交する方向）に沿って移動可能に設けられたＸテーブル６を有する。このＸテーブル６は上記ベース５に設けられたＸ駆動源７によって上記ベース５上をＸ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００３３】
上記Ｘテーブル６にはＸ方向と直交するＹ方向（矢印で示す）に沿って移動可能なＹテーブル８が設けられている。このＹテーブル８は上記Ｘテーブル６に設けられたＹ駆動源９によってＹ方向に沿って駆動されるようになっている。上記Ｙテーブル８にはθテーブル１０が回転方向に移動可能に設けられ、上記Ｙテーブル８に設けられたθ駆動源１０ａによって回転方向に駆動されるようになっている。
【００３４】
そして、このθテーブル１０の上面に上記パネル１が供給され、たとえば真空吸着などの手段によって移動不能に保持される。それによって、上記パネル１は上記パネルテーブル２によってＸＹ及びθ方向に対して位置決め可能となっている。なお、θテーブル１０はパネル１よりも小さく形成されている。それによって、パネル１は周辺部をθテーブル１０の周辺部から外方へ突出させている。
【００３５】
上記インデックステーブル４は、中心に回転軸１１が設けられ、この回転軸１１はθ駆動源１２によって図２に矢印Ｒで示す時計方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。この実施の形態では、上記インデックステーブル４は９０度の回転角度で間欠駆動されるようになっている。
【００３６】
上記インデックステーブル４の上面には、９０度間隔で４つの支持体１３が設けられている。図１では２つの支持体１３だけを図示し、他の支持体１３を省略している。この支持体１３は側面形状がＬ字状をなしていて、その垂直面には可動体１４がリニアガイド１５によって垂直方向に移動可能に支持されている。
【００３７】
図１に示すように、上記支持体１３の上端にはブラケット１６が設けられ、このブラケット１６には実装シリンダ１７が軸線を垂直にし、かつロッド１７ａの先端を上記可動体１４の上端に連結して設けられている。なお、図２においては上記実装シリンダ１７の図示を省略している。
【００３８】
各可動体１４の下端面には実装手段として側面形状がＬ字状の吸着ヘッド１８が設けられている。この吸着ヘッド１８は、図２にＡで示す受け取りポジションで図示しない部品供給部から供給されたＴＣＰ３を吸着保持し、上記パネル１に実装するようになっている。なお、インデックステーブル４は上述した受け取りポジションＡの他に、Ｂ〜Ｄで示す３つのポジション、つまり合計で４つのポジションを有する。
【００３９】
Ｂは受け取りポジションＡで吸着ヘッド１８に供給されたＴＣＰ３の端子部をブラシ（ともに図示せず）で洗浄する洗浄ポジション、Ｃは洗浄されたＴＣＰ３の端子部に離型テープ２０に貼着された状態で所定長さに切断された異方性導電部材からなる粘着テープ１９を貼着してから、その粘着テープ１９から離型テープ２０を剥離する貼着剥離ポジション、Ｄは端子部に粘着テープ１９が貼着されたＴＣＰ３をパネル１の側辺部の上面に上記粘着テープ１９によって実装するための実装ポジションである。
【００４０】
なお、上記離型テープ２０は後述する送り装置４０（図４に示す）によって所定長さづつピッチ送りされるとともに、その過程で上記離型テープ２０に貼着された粘着テープ１９がＴＣＰ３の幅寸法と同じ長さ寸法に切断されるようになっている。
【００４１】
上記部品供給部２１は、図１に示すようにキヤリアテープ２２から上記ＴＣＰ３を打ち抜く金型２３を有する。この金型２３は上下方向に駆動される上型２３ａと、この上型２３ａに対向して固定的に配置された下型２３ｂとを有し、上型２３ａにはポンチ２４が設けられ、下型２３ｂには上型２３ａが下降したときに上記ポンチ２４が入り込む貫通孔２５が設けられている。
【００４２】
上記キヤリアテープ２２は上型２３ａと下型２３ｂとの間に通され、上型２３ａが下降することで上記ＴＣＰ３が打ち抜かれ、上昇したときに＋Ｙで示す矢印方向に所定ピッチで送られて新たにＴＣＰ３が打ち抜き可能な状態となる。
【００４３】
上記下型２３ｂの下方には受け具２６が配置されている。この受け具２６はＸテーブル２７に設けられたＺθ駆動源２８によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動されるようになっている。上記Ｘテーブル２７はＹテーブル２９に上記Ｙ方向と直交するＸ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル２９には上記Ｘテーブル２７をＸ方向に沿って駆動するＸ駆動源３１が設けられている。
【００４４】
上記Ｙテーブル２９は図１に矢印で示すＹ方向に沿って配置されたベース３２にＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このベース３２の一端には上記Ｙテーブル２９をＹ方向に沿って駆動するＹ駆動源３３が設けられている。上記ベース３２の他端は上記インデックステーブル４の受け取りポジションＡの下方に位置している。
【００４５】
上記金型２３によってキヤリアテープ２２から打ち抜かれたＴＣＰ３を受け具２６が受けて下降すると、図１に鎖線で示すようにＹテーブル２９がＹ駆動源３３によってベース３２の一端から他端へ駆動される。それによって、ＴＣＰ３を保持した受け具２６が図１に鎖線で示すようにインデックステーブル４の受け取りポジションＡの下方に位置決めされる。
【００４６】
受け具２６が受け取りポジションＡの下方に位置決めされると、上記受け具２６が上昇方向に駆動され、可動体１４の下端に設けられた吸着ヘッド１８によって上記受け具２６に保持されたＴＣＰ３の一端部の上面を吸着する。
【００４７】
吸着ヘッド１８が受け取りポジションＡでＴＣＰ３を吸着すると、インデックステーブル４が９０度回転駆動され、その吸着ヘッド１８が洗浄ポジションＢに位置決めされる。洗浄ポジションＢでは図示しないブラシによって吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３の端子部がブラッシングされる。それによって、端子部に付着した汚れが除去される。
【００４８】
洗浄ポジションＢでＴＣＰ３の汚れが除去されると、インデックステーブル４は９０度回転駆動されて上記ＴＣＰ３は貼着剥離ポジションＣに位置決めされる。貼着剥離ポジションＣでは、上記ＴＣＰ３の端子部に所定長さに切断された粘着テープ１９が貼着される。
【００４９】
上記貼着剥離ポジションＣには、図４に示すように貼着剥離ポジションＣに位置決めされた吸着ヘッド１８の下方に対向してこの吸着ヘッド１８とほぼ同じ大きさの押圧ブロック３４が設けられている。この押圧ブロック３４にはヒータ３４ａが内蔵されている。
【００５０】
上記押圧ブロック３４は軸線を垂直にして配置された駆動シリンダ３５のロッド３５ａに取付けられ、図４に矢印で示す上下方向に駆動可能となっている。それによって、上記駆動シリンダ３５が作動して上記ロッド３５ａが突出方向に駆動されると、上記押圧ブロック３４が上記吸着ヘッド１８に向かって上昇する。
【００５１】
上記押圧ブロック３４の上面側には、上記粘着テープ１９が一方の面に貼着された離型テープ２０が上記粘着テープ１９を上に向けて上記送り装置４０によって走行させられるようになっている。
【００５２】
上記送り装置４０は一方の面に上記粘着テープ１９が貼着された上記離型テープ２０が巻回された供給リール４１を有する。この供給リール４１から繰り出された離型テープ２０は、第１のガイドローラ４２によって走行方向が垂直方向上方に変換される。
【００５３】
上記第１のガイドローラ４２によって走行方向が変換された離型テープ２０は第２のガイドローラ４３によって水平方向に変換された後、第３のガイドローラ４４によって走行方向が垂直方向下方に変換される。それによって、離型テープ２０は第２のガイドローラ４３と第３のガイドローラ４４との間で水平に走行するようになっている。この走行方向を図４に矢印で示すように＋Ｘとする。
【００５４】
図３と図４に示すように、上記離型テープ２０の走行方向が上記第１のガイドローラ４２によって垂直方向上方に変換された部分は、帯板状の支持ブロック４５の板面に沿って走行するようになっている。
【００５５】
上記粘着テープ１９が上記支持ブロック４５に対向して垂直に走行する部分では、切断手段４６を構成するシリンダやリニアモータなどの駆動源４７によって二枚刃を有するカッタ４８が図３に矢印で示す粘着テープ１９に接近する方向に駆動される。それによって、粘着テープ１９には２本の切断線１９ａが所定間隔で形成される。なお、粘着テープ１９を切断する際、離型テープ２０がカッタ４８によって切断されないよう、この上記カッタ４８による切込み量が設定されている。
【００５６】
上記粘着テープ１９の２本の切断線１９ａによって他の部分と分離された部分、つまり抜き取り部分１９ｂは切断手段４６よりも上方に配置された抜き取り手段５１によって抜き取られる。それによって、粘着テープ１９は所定長さ、つまりＴＣＰ３に対応する長さに分離される。
【００５７】
上記抜き取り手段５１は、シリンダやリニアモータなどの駆動源５１ａと、この駆動源５１ａによって上記粘着テープ１９に接離する方向に駆動される押圧部５１ｂと、この押圧部５１ｂによって上記抜き取り部分１９ｂに押圧される除去テープ５２を有する。
【００５８】
上記除去テープ５２の一部が上記押圧部５１ｂによって粘着テープ１９の抜き取り部分１９ｂに押圧されることで、この抜き取り部分１９ｂが除去テープ５２に貼着されて除去される。なお、除去テープ５２は図示しない供給リールから繰り出され、同じく図示しない巻き取りリールによって所定長さづつ巻き取られるようになっている。
【００５９】
所定長さに切断された粘着テープ１９が貼着された離型テープ２０は、上記第２、第３のガイドローラ４３，４４にガイドされて粘着テープ１９が貼着された一側面を上に向けて上記押圧ブロック３４の上方を水平に走行する。
【００６０】
所定長さに切断された粘着テープ１９は押圧ブロック３４の上方、つまり貼着剥離ポジションＣに位置決めされると、上記押圧ブロック３４が駆動シリンダ３５によって上方に駆動される。それによって、上記粘着テープ１９は離型テープ２０とともに押圧され、貼着剥離ポジションＣに位置決めされた吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３に貼着される。
【００６１】
ＴＣＰ３に粘着テープ１９が貼着されると、この粘着テープ１９に貼着した離型テープ２０はＸ・Ｚ駆動源５３によって上下方向及びＸ方向に駆動される離型ローラ５４によって剥離される。つまり、離型ローラ５４はＺ方向下方に駆動された後、上記離型テープ２０の走行方向である＋Ｘ方向と逆の−Ｘ方向に駆動される。それによって、上記ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９がこのＴＣＰ３から剥離されることになる。
【００６２】
なお、貼着剥離ポジションＣで粘着テープ１９が貼着されたＴＣＰ３はインデックステーブル４によって実装ポジションＤに搬送され、そこで吸着ヘッド１８が下降方向に駆動されることで、パネルテーブル２に保持されたパネル１の側辺部に実装される。
【００６３】
所定長さに切断された粘着テープ１９がＴＣＰ３に貼着された後、上記離型テープ２０は上述した送り装置４０によって所定の長さづつピッチ送りされる。つまり、上記切断手段４６によって切断された粘着テープ１９のピッチ間隔Ｐ（図３に示す）と対応する長さでピッチ送りされる。
【００６４】
上記送り装置４０は図４に示すように上記離型テープ２０が上記第３のガイドローラ４４によって下方に方向変換された部分に対応して配置されている。すなわち、上記送り装置４０は一対の挟持片５６ａが第１の開閉駆動源５７によって水平方向に開閉駆動される固定チャック５６と、待機状態において上記固定チャック５６の上方に位置し、一対の挟持片５８ａが第２の開閉駆動源５９によって水平方向に開閉駆動さるとともに、上下駆動源６０によって上記第２の開閉駆動源５９と一体的に上下方向（Ｚ方向）に駆動可能に設けられた引き出しチャック５８によって構成されている。
【００６５】
上記固定チャック５６を開閉駆動する第１の開閉駆動源５７と、上記引き出しチャック５８の開閉及び上下駆動をする第２の開閉駆動源５９及び上下駆動源６０の駆動は制御手段としての図５に示す制御装置６２によって後述するように制御される。
【００６６】
それによって、上記離型テープ２０は＋Ｘ方向に所定の長さづつピッチ送りされるようになっている。つまり、離型テープ２０は上記供給リール４１から上記送り装置４０によって所定の長さづつ、繰り出される。
【００６７】
そして、上記送り装置４０によって所定の長さづつ繰り出されて粘着テープ１９が貼着除去された離型テープ２０は、後述するように上記固定チャック５６の下方に配置された回収容器６３に落下して収容されるようになっている。
【００６８】
なお、上記制御装置６２は、上記固定チャック５６の第１の開閉駆動源５７と、上記引き出しチャック５８の第２の開閉駆動源５９及び上下駆動源６０だけでなく、他の駆動手段の駆動も制御するようになっている。
【００６９】
他の駆動手段とは、上記パネルテーブル２のＸ駆動源７、Ｙ駆動源９、θ駆動源１０ａ、上記インデックステーブル４のθ駆動源１２、実装シリンダ１７、部品供給部２１のＺ・θ駆動源２８、Ｘ駆動源３１、Ｙ駆動源３３、ヒータ３４ａ，駆動シリンダ３５、上記切断手段４６の駆動源４７、上記抜き取り手段５１の駆動源５１ａ、離型ローラ５４を駆動するＸ・Ｚ駆動源５３である。
【００７０】
つぎに、上記送り装置４０によって離型テープ２０をピッチ送りする動作を図６（ａ）〜（ｅ）を参照しながら説明する。
【００７１】
図６（ａ）は待機状態を示す。待機状態においては、固定チャック５６よりも上方に引き出しチャック５８が位置決めされていて、これらチャック５６，５８が離型テープ２０を挟持固定している。このときの固定チャック５６と引き出しチャック５８の距離をｍとする。この距離ｍは、図３に示す切断手段４６によって所定長さに切断された粘着テープ１９のピッチＰの２分の１に設定されている。
【００７２】
離型テープ２０をピッチ送りするときには、図６（ｂ）に示すように第１の開閉駆動源５７によって固定チャック５６の一対の挟持片５６ａを開放する。このとき、離型テープ２０に粘着テープ１９の切断時に生じたかすが残っている場合があり、そのような場合には離型テープ２０の粘着テープ１９が貼着されていた一方の面が一対の挟持片５６ａの一方に貼着してしまう。
【００７３】
図６（ｃ）では、図６（ｂ）に示すように離型テープ２０が固定チャック５６の一方の挟持片５６ａに貼着した状態で、上下駆動源６０によって引き出しチャック５８を同図に鎖線で示す位置から実線で示す位置まで下降させる。つまり、引き出しチャック５８は開放した固定チャック５６の一対の挟持片５６ａの間を通し、固定チャック５６よりも下方に位置まで下降させる。
【００７４】
このときの引き出しチャック５８の下降距離Ｍは、待機状態における固定チャック５６と引き出しチャック５８の距離ｍの２倍に設定されている。したがって、上記距離ｍの２倍の下降距離Ｍは、図３に示す切断手段４６によって所定長さに切断された粘着テープ１９のピッチＰと同じ長さとなる。
【００７５】
離型テープ２０を引き出しチャック５８によって待機状態における固定チャック５６と引き出しチャック５８の距離ｍの２倍の下降距離Ｍで下降させると、離型テープ２０の固定チャック５６の一方の挟持片５６ａに貼着した箇所には確実に下方向への引張り力が作用することになる。それによって、離型テープ２０の固定チャック５６の一方の挟持片５６ａに貼着した部分が確実に剥離されることになる。
【００７６】
このようにして、離型テープ２０を固定チャック５６の一方の挟持片５６ａから剥離したならば、図６（ｄ）に示すように固定チャック５６の一対の挟持片５６ａを閉じて離型テープ２０の固定チャック５６よりも上流側の部分が弛まないように保持してから、引き出しチャック５８の一対の挟持片５８ａを閉状態にある固定チャック５６の一対の挟持片５６ａよりも大きな間隔になるように開放する。
【００７７】
ついで、図６（ｅ）に示すように引き出しチャック５８を待機位置まで上昇させる。そして、この引き出しチャック５８の一対の挟持片５８ａを閉じることで、図６（ａ）に示す待機状態に戻ることになる。
【００７８】
引き出しチャック５８の一対の挟持片５８ａを開いて上昇させる際、この挟持片５８ａの一方に離型テープ２０が貼着することがある。しかしながら、その場合、引き出しチャック５８は下降位置から固定チャック５６よりも上方に距離Ｍで上昇するから、引き出しチャック５８の挟持片５８ａに貼着してこの挟持片５８ａとともに離型テープ２０が上昇しても、離型テープ２０は固定チャック５６に係合する。
【００７９】
それによって、離型テープ２０には引き出しチャック５８の挟持片５８ａに貼着した部分に張力が加わるから、引き出しチャック５８の挟持片５８ａから剥離され、所定長さでピッチ送りされた分、つまり距離Ｍに対応する長さだけ回収容器６３に落下することになる。
【００８０】
このような動作を繰り返すことで、離型テープ２０は切断された粘着テープ１９のピッチＰと同じ距離で間欠的にピッチ送りされることになる。それによって、所定長さに切断された粘着テープ１９は、貼着剥離ポジションＣでインデックステーブル４の吸着ヘッド１８に保持されたＴＣＰ３に順次対向位置決めされるから、そのときに上記吸着ヘッド１８が下降方向に駆動されれば、粘着テープ１９がＴＣＰ３に貼着されることになる。
【００８１】
すなわち、固定チャック５６と引き出しチャック５８とで離型テープ２０をピッチ送りする上記構成の粘着装置によれば、離型テープ２０が固定チャック５６に付着しても、引き出しチャック５８の動作によって固定チャック５６に付着した離型テープ２０を剥離することができるから、離型テープ２０の粘着テープ１９が除去された部分を引き出しチャック５８に絡ませることなく、回収容器６３に回収することができる。
【００８２】
図７（ａ）〜（ｆ）はこの発明の第２の実施の形態を示す。なお、図６（ａ）〜（ｅ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同位置記号を付して説明を省略する。
【００８３】
すなわち、この実施の形態では図７（ａ）に示すように固定チャック５６と引き出しチャック５８が閉じた待機状態から、図７（ｂ）に示すように固定チャック５６を開いて引き出しチャック５８を距離Ｍで下降させる際、その下降動作に先立って引き出しチャック５８をわずかに上方へ駆動する。このときの引き出しチャック５８の上昇距離を図７（ｃ）にδで示す。
【００８４】
それによって、図７（ｂ）に示すように離型テープ２０が固定チャック５６の挟持片５６ａに貼着していても、離型テープ２０の挟持片５６ａに貼着した部分と上記引き出しチャック５８に挟持された部分との間に張力が生じることになる。
【００８５】
それによって、離型テープ２０の固定チャック５６の挟持片５６ａに貼着した部分は剥離されることになる。なお、このときの引き出しチャック５８の上昇距離δは、離型テープ２０に張力を加わることができる最小の距離であることが望ましい。
【００８６】
このようにして、離型テープ２０を固定チャック５６から剥離したならば、上記引き出しチャック５８を図７（ｄ）に鎖線で示す上昇位置から、離型テープ２０のピッチ送りに相当する距離、つまり（Ｍ＋δ）の距離で下降させる。
【００８７】
ついで、図７（ｅ）に示すように固定チャック５６を閉じて引き出しチャック５８を開いた後、図７（ｆ）に示すように引き出しチャック５８を待機位置まで上昇させてから、図７（ａ）に示すように閉じて待機状態に戻すという動作が繰り返して行なわれる。
【００８８】
それによって、この第２の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様、固定チャック５６に離型テープ２０が付着しても、その離型テープ２０を引き出しチャック５８に絡ませることなくピッチ送りして、回収容器６３に回収することができる。
【００８９】
また、引き出しチャック５８を図７（ｅ）に示す下降位置から図７（ｆ）に示す待機位置まで上昇させる際に離型テープ２０が上記引き出しチャック５８の挟持片５８ａに貼着していても、第１の実施の計態と同様、離型テープ２０は上記挟持片５８ａから剥離されることになる。
【符号の説明】
【００９０】
３…ＴＣＰ（電子部品）、４…インデックステーブル、１８…吸着ヘッド（貼着手段）、１９…粘着テープ、２０…離型テープ、４０…送り装置（送り手段）、４６…切断手段、４８…カッタ、５６…固定チャック、５８…引き出しチャック、６２…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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