(57)【要約】ＴＦＴアレイ駆動装置は、ＴＦＴアレイ基板が備えるパネルを駆動するＴＦＴアレイ駆動装置であり、ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動回路と、駆動信号を印加するパネルを選択する駆動パネル選択制御回路とを備える。駆動パネル選択制御回路は、ＴＦＴアレイ基板が備える複数のパネルの中からパネルを選択し、選択したパネルにＴＦＴ駆動回路が生成した駆動信号を印加する。駆動電流を印加するパネルを必要とするパネルに制限して低減することで、ＴＦＴ駆動回路からＴＦＴアレイ基板側を見たときのパネルの容量を低減するＴＦＴアレイ基板のＴＦＴアレイに係わる浮遊容量を低減する。浮遊容量を低減することによって、供給電流の電流が制限された場合であってもＴＦＴアレイの充放電に要する時間を短縮する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＦＴアレイ基板が備えるパネルを駆動するＴＦＴアレイ駆動装置において、
前記ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動回路と、
前記駆動信号を印加するパネルを選択する駆動パネル選択制御回路とを備え、
前記駆動パネル選択制御回路は、選択したパネルに前記ＴＦＴ駆動回路が生成した駆動信号を印加することを特徴とする、ＴＦＴアレイ駆動装置。
【請求項２】
前記ＴＦＴアレイ基板が備えるパネルに駆動信号を印加する給電回路を備え、
前記駆動パネル選択制御回路は、ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号と駆動信号を印加するパネルを選択する選択信号とを前記給電回路に送り、
当該給電回路は、前記選択信号により選択されるパネルに駆動信号を給電することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ駆動装置。
【請求項３】
ＴＦＴアレイが備えるパネルに電子線を走査する電子線走査手段を備え、
前記駆動パネル選択制御回路は、前記電子線走査手段の電子線走査と同期してパネル選択を行い、駆動信号を印加するパネルとして、前記電子線走査手段が走査するパネルを選択し、電子線走査と同期して駆動信号を印加するパネルを切り替えることを特徴とする、請求項１又は２に記載のＴＦＴアレイ駆動装置。
【請求項４】
前記電子線走査手段は、ＴＦＴアレイ基板を支持するとともに、当該ＴＦＴアレイ基板を所定方向に移動する基板ステージを有し、
前記選択回路は、前記基板ステージを駆動する移動指令と同期してパネル選択を行い、基板ステージの位置に応じて駆動信号を印加するパネルを切り替えることを特徴とする、請求項３に記載のＴＦＴアレイ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴ基板等の基板上に形成されたＴＦＴアレイを駆動する駆動装置に関し、ＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置に適用することができるものである。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴアレイは、例えば液晶表示装置の画素電極を選択するスイッチング素子として用いられる。ＴＦＴアレイを備える基板は、例えば、走査線として機能する複数本のゲートラインが平行に配設されると共に、信号線として記載する複数本のソースラインがゲートラインに直交して配設され、両ラインが交差する部分の近傍にＴＦＴ（Thin film  transistor）が配設され、このＴＦＴに画素電極が接続される。【０００３】
ＴＦＴアレイは格子状に配置することによってパネルを形成する。通常、液晶基板の製造では、一枚のガラス基板上に複数のパネルを形成し、各種工程を経た後に、各パネルに切り分けている。【０００４】
液晶基板等のＴＦＴアレイが形成された半導体基板の製造過程では、製造過程中にパネル上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査工程を含み、このＴＦＴアレイ検査工程において、ＴＦＴアレイの欠陥検査が行われている。このＴＦＴアレイ検査工程では、前記したゲートラインやソースラインに欠陥検査用の信号パターンの駆動信号を印加してＴＦＴアレイを駆動し、このＴＦＴアレイの駆動状態を検出することによってＴＦＴアレイ検査を行う。【０００５】
このＴＦＴアレイ検査では、ＴＦＴアレイを駆動した際のＩＴＯ電位を電子線照射によって発生する二次電子の強度で検出することが知られている。【０００６】
ガラス基板上には、多面取りと呼ばれるように、一枚のガラス基板上に複数のパネルが形成されている。この多面取りのＴＦＴガラス基板を検査する場合、ＴＦＴガラス基板上に形成された全パネルに駆動信号を印加して同時に全パネルのＴＦＴアレイを駆動するとともに、このガラス基板を支持するステージを一定速度で移動させながら、パネルに電子線を連続的に走査させることで、ガラス基板上に形成される各パネルのＴＦＴアレイを順に検査している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１７０６９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＴＦＴアレイ検査装置では、真空チャンバ内に測定用のステージを配置し、真空チャンバの上部に検査用の電子線を照射する電子銃を配置し、電子銃から照射した電子線をステージ上に載置した基板に照射する。この電子線が照射する照射範囲は、１パネルの面積と比較して極めて小さいため、電子線の照射方向を制御したり、ステージを一定速度で移動させることによって基板上において電子線を連続的に走査させている。【０００８】
基板上に複数のパネルを配置する場合、ＴＦＴアレイ検査では、基板上に配置される全パネルを駆動している。ステージが移動する方向に複数のパネルが配置される場合において、一つの電子銃からの電子線が照射する場所は、基板上に配置されるパネルの内の一つのパネル内に過ぎないが、従来のＴＦＴアレイ駆動では、基板上に配置される全パネルを同時に駆動している。【０００９】
図５は走査時における従来のパネル駆動例を説明するための図であり、パネル駆動によってＴＦＴアレイを検査する例を示している。図５（ａ）は測定前の状態を示し、図５（ｂ）は測定前半の状態を示し、図５（c）は測定後半の状態を示している。【００１０】
なお、ここでは、一枚のガラス基板５に４枚のパネルＡ〜パネルＤ（６Ａ〜６Ｄ）が２×２の配列で配置されているものとし、真空チャンバ２は２つの電子銃４Ａ，４Ｂがステージの移動方向（図中のｙ方向）と直交する方向（図中のｘ方向）に固定されているものとする。【００１１】
各電子銃４Ａ，４Ｂは、それぞれ一枚のパネルに電子線を照射し、電子線の照射方向を制御することでｘ方向の走査を行い、ｙ方向の走査はステージの移動方向によって行う。そのため、測定をステージの移動に応じて２段階で行い、測定前半ではパネルＡ（６Ａ）とパネルＣ（６Ｃ）を走査し、測定後半ではパネルＢ（６Ｂ）とパネルＤ（６Ｄ）を走査する。この各走査において、パネルのＴＦＴアレイを駆動することによって、ＴＦＴアレイの検査を行う。このとき、測定前半では、検査を行うパネルＡ（６Ａ）とパネルＣ（６Ｃ）を駆動するだけでなく、検査を行わないパネルＢ（６Ｂ）とパネルＤ（６Ｄ）についても駆動し、また、測定後半では、検査を行うパネルＢ（６Ｂ）とパネルＤ（６Ｄ）を駆動するだけでなく、検査を行わないパネルＡ（６Ａ）とパネルＣ（６Ｃ）についても駆動している。【００１２】
ＴＦＴアレイが構成され部位には種々の電気容量が存在する。図６は液晶表示装置が備えるＴＦＴアレイの構成例を示している。ＴＦＴアレイ２０は、ＴＦＴスイッチ２１が接続されたＩＴＯ電極２２を備える。液晶画素は、画素電極（ＩＴＯ電極）２２と対向電極（図示していない）との間に液晶層を挟むことで構成され、画素電極２２と対向電極との間に画素容量が形成される。また、ＴＦＴアレイ２０には上記の画素容量以外に浮遊容量が存在する。この浮遊容量としては、例えば、ＴＦＴスイッチ２１のゲート側に存在するゲート寄生容量Ｃｇ、ＴＦＴスイッチ２１のソース側に存在するソース寄生容量Ｃｄ、画素電極２２に付加される付加容量（Ｃｓ）等がある。付加容量（Ｃｓ）の一方は画素電極２２に接続され、他方は共通ラインあるいはゲートラインに接続される。なお、上記した浮遊容量は一例であってこれらに限られるものではない。【００１３】
ＴＦＴアレイを駆動するには、これら各パネルに存在する静電容量を充放電する必要がある。この静電容量の充放電に要する時間は、静電容量と印加電流に依存する。パネル数が増加すると、充放電を必要とする静電容量が増加するため、充放電に要する時間も長くなる。【００１４】
図７はＴＦＴアレイの容量の充電状態を説明するための図である。ＴＦＴアレイに印加する電流を一定として場合には、所定の電圧に達するまでに要する時間はＴＦＴアレイが含む容量に依存し、浮遊容量等によって容量がＣａからＣｂに増加すると充電に要する時間はＴａからＴｂに長引くことになる。また、放電に要する時間も同様である。【００１５】
ＴＦＴアレイの容量の充放電時間はＴＦＴアレイの応答時間を左右するため、ＴＦＴアレイの応答時間を短縮するには、容量の充放電時間を短縮する必要がある。充放電時間を短縮してＴＦＴアレイの応答時間を短縮するには、充放電に必要な電流を増やす必要があり、ＴＦＴアレイに大きな電流を印加する必要がある。【００１６】
しかしながら、ＴＦＴアレイ基板に大電流を流すと、ＴＦＴアレイ自体が損傷するおそれがある他、ＴＦＴアレイに至る配線やコネクタ、プローブピンが加熱し損傷するおそれがある。【００１７】
加熱による損傷としては、例えば、プローブピンのスプリングの劣化、接点部分に設けた金メッキの剥離や配線切れ等があり、金メッキの剥離は接触不良や電気抵抗の増大等の要因となる。特に、ＴＦＴアレイは真空チャンバ内に配置され、真空状態で検査が行われため、真空状態では発生した熱が放熱されないため、大気中に置かれる場合よりも加熱によって損傷する可能性が高くなる。そのため、ＴＦＴアレイに供給する電流を制限して、加熱による損傷を避ける必要がある。【００１８】
この供給電流の制限は、充放電に要する時間を長くし、結果として検査時間を長くするという問題が生じることになる。図８は、供給電流と充放電時間との関係を説明するための図である。【００１９】
図８（ａ）は、制限電流Ｉ0よりも大きな供給電流Ｉ2の場合を示し、図８（ｂ）は、供給電流Ｉ1を制限して制限電流Ｉ0よりも小さくした場合を示している。また、図８（ｃ）は充電時間の供給電流による長短の状態を示している。【００２０】
大きな供給電流Ｉ2（図８（ａ））をＴＦＴアレイに印加すると、容量を充電するための充電時間を充電時間Ｔ2に短縮されるが、供給電流Ｉ2は制限電流Ｉ0を越えることになり、加熱による損傷が問題となる。一方、供給電流Ｉ1を制限して制限電流Ｉ0よりも小さくした場合（図８（ｂ））には、浮遊容量等の容量を充電するために長い充電時間Ｔ1を要することになる。【００２１】
したがって、故障防止を目的として電流を制限すると、パネル数の増加に伴う静電容量の増加、例えば、ＴＦＴゲート寄生容量Ｃｇの増加によって、充放電時間が長時間化するという問題が生じる。【００２２】
そこで、本発明は上記課題を解決して、ＴＦＴアレイの充放電に要する時間を短縮することを目的とし、特に、電流制限された供給電流であってもＴＦＴアレイの充放電に要する時間を短縮することを目的とする。【００２３】
ＴＦＴアレイ基板において、ＴＦＴアレイの駆動時間を延ばしている要因の一つである充放電の容量を低減することを目的とする。【００２４】
また、ＴＦＴアレイ基板を検査する際に検査時間を短縮することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明のＴＦＴアレイ駆動装置は、ＴＦＴアレイ基板においてＴＦＴアレイの駆動時間を延ばす要因となっている浮遊容量を減らすことによって、電流制限による駆動波形の立ち上がり時間、立ち下がり時間を短縮し、ＴＦＴアレイの充放電に要する時間を短縮する。【００２６】
本発明は、ＴＦＴアレイ基板のＴＦＴアレイに係わる浮遊容量を低減するために、同時に駆動するパネル数を減らす。本発明は、同時に駆動するパネル数を減らし、ＴＦＴアレイ基板が備える複数のパネルの内で、そのとき検査対象となっているパネルにのみに駆動信号を印加し、検査対象となっていないパネルについては駆動信号を印加しないことによって、駆動信号を印加する駆動源からＴＦＴアレイ基板側を見たときのＴＦＴアレイの実質的な容量を低減する。【００２７】
この駆動信号の検査対象パネルへの印加は、駆動パネル選択制御回路によって、駆動信号を印加するパネルを選択することで行うことができる。また、この駆動パネル選択制御回路によるパネル選択は、ＴＦＴアレイ基板上のパネルを電子線照射位置に移動するステージの位置に応じて行うことで、駆動信号を印加するパネルを選択することができる。【００２８】
これによって、駆動源がＴＦＴアレイに駆動信号を印加したとき、ＴＦＴアレイの容量が低減されているため、充放電に要する時間が短縮され、その結果、ＴＦＴアレイ基板の検査時間を、ＴＦＴアレイ基板の全パネルを駆動する場合と比較して、電流制限された状態であっても短縮することができる。【００２９】
本発明のＴＦＴアレイ駆動装置は、ＴＦＴアレイ基板が備えるパネルを駆動するＴＦＴアレイ駆動装置であり、ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動回路と、駆動信号を印加するパネルを選択する駆動パネル選択制御回路とを備える。【００３０】
駆動パネル選択制御回路は、ＴＦＴアレイ基板が備える複数のパネルの中からパネルを選択し、選択したパネルにＴＦＴ駆動回路が生成した駆動信号を印加する。ＴＦＴアレイ基板が備える全パネルに対して駆動信号を印加するのではなく、これら全パネルの中から選択したパネルに対してのみに駆動電流を印加する。ＴＦＴ駆動回路からＴＦＴアレイ基板側を見たときのパネルの容量は、駆動信号を印加するためにＴＦＴ駆動回路と接続されるパネルで決まる。そこで、駆動電流を印加するパネルを必要とするパネルに制限して低減することで、ＴＦＴ駆動回路からＴＦＴアレイ基板側を見たときのパネルの容量を低減する。【００３１】
パネルの容量を低減することによって、容量に電荷を充電するに要する充電時間、あるいは容量に充電された電荷を放電するに要する放電時間は短縮され、駆動信号波形の立ち上がり時間、立ち下がり時間が短縮され、各パネルを駆動するに要する時間を短縮することができる。【００３２】
また、本発明のＴＦＴアレイ駆動装置は、ＴＦＴアレイ基板が備えるパネルに駆動信号を印加する給電回路を備える。本発明の駆動パネル選択制御回路は、ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号と、駆動信号を印加するパネルを選択する選択信号とを給電回路に送ることでパネルの駆動を制御する。供電回路は、駆動パネル選択制御回路から選択信号と駆動信号を受けると、選択信号によって、ＴＦＴアレイ基板が備える全パネルから所定のパネルを選択し、この選択したパネルに駆動信号を給電する。選択されなかったパネルには駆動信号は給電されない。一方、選択されたパネルは、選択されなかったパネルの容量の影響を受けることなく、給電された駆動信号によって駆動が行われる。【００３３】
また、本発明のＴＦＴアレイ駆動装置は、ＴＦＴアレイが備えるパネルに電子線を走査する電子線走査手段を備える。電子線走査手段は、ＴＦＴアレイが備えるパネルに電子線を走査し、電子線走査によってＴＦＴアレイから放出される二次電子を検出することで、ＴＦＴアレイ検査を行うことができる。【００３４】
本発明の駆動パネル選択回路は、電子線走査手段の電子線走査と同期してパネル選択を行い、電子線走査手段が走査するパネルを、駆動信号を印加するパネルとして選択する。これによって、電子線走査と同期して駆動信号を印加するパネルを切り替える。電子線走査は、検査対象となっているパネルに対して電子線を走査するものであるため、電子線走査と同期して駆動信号を印加するパネルを切り替えることによって、検査対象のパネルにのみ駆動信号を印加することができる。【００３５】
また、本発明のＴＦＴアレイ駆動装置において、電子線走査手段は、ＴＦＴアレイ基板を支持するとともに、この支持するＴＦＴアレイ基板を所定方向に移動する基板ステージを有する。基板ステージの移動によって、ＴＦＴアレイ基板上で電子線が照射されるパネルが切り替えられる。選択回路は、基板ステージを駆動する移動指令と同期してパネル選択を行うことによって、基板ステージの位置に応じて駆動信号を印加するパネルを切り替え、電子線が照射されるパネルに対してのみ駆動信号を印加し、電子線が照射されていないパネルに対しては駆動信号を印加しないようにする。これによって、ＴＦＴアレイ基板が備える複数のパネルの内で、そのとき検査対象となっているパネルにのみに駆動信号を印加し、検査対象となっていないパネルについては駆動信号を印加しないようにして、駆動信号を印加する駆動源からＴＦＴアレイ基板側を見たときのＴＦＴアレイの実質的な容量を低減する。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、ＴＦＴアレイの充放電に要する時間を短縮することができ、特に、電流制限された供給電流であってもＴＦＴアレイの充放電に要する時間を短縮することができる。【００３７】
また、ＴＦＴアレイ基板において、ＴＦＴアレイの駆動時間を延ばしている要因の一つである充放電の容量を低減することができる。【００３８】
本発明によれば、ＴＦＴアレイ基板を検査する際に検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ駆動装置の概略図である。
【図２】走査時における本発明のパネル駆動例を説明するための図である。
【図３】ＴＦＴアレイ駆動装置における各指令および駆動信号の関係例を示す図である。
【図４】従来構成による駆動波形と本発明の構成による駆動波形を模式的に示す図である。
【図５】走査時における従来のパネル駆動例を説明するための図である。
【図６】液晶表示装置が備えるＴＦＴアレイの構成例を示す図である。
【図７】ＴＦＴアレイの容量の充電状態を説明するための図である。
【図８】供給電流と充放電時間との関係を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…ＴＦＴアレイ駆動装置、２…真空チャンバ、３…基板ステージ、４，４Ａ，４Ｂ…電子銃、５…ＴＦＴガラス基板、６，６Ａ〜６Ｄ…パネル、７…給電リレー回路、１０…制御部、１１…ＴＦＴ駆動回路、１２…駆動パネル選択制御回路、１３…ステージ駆動回路、１４…電子銃制御部、１５…電子銃制御回路、１６…電子線、２０…ＴＦＴアレイ、２１…ＴＦＴスイッチ、２２…ＩＴＯ電極。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。【００４２】
図１は、本発明のＴＦＴアレイ駆動装置の概略図である。【００４３】
図１に示すＴＦＴアレイ駆動装置１は、ＴＦＴアレイ検査装置に適用した例を示している。ここでは、真空チャンバ２内に設けた基板ステージ３上に配置し、このＴＦＴガラス基板５の形成される複数のパネルＡ〜パネルＤ（６Ａ〜６Ｄ）に駆動電流を印加し、この駆動電流によって駆動状態となったパネルについてＴＦＴアレイ検査を行う例を示している。【００４４】
なお、ここでは、ＴＦＴガラス基板５の形成されるパネルとしてパネルＡ〜パネルＤ（６Ａ〜６Ｄ）の４枚のパネルの例を示しているが、このパネル数は説明上から示した一例であり、このパネル数に限られるものではない。【００４５】
ＴＦＴアレイ駆動装置１は、真空チャンバ２内に内蔵する基板ステージ３と、真空チャンバ３の上部に設けた電子銃４を備える他、ＴＦＴアレイを駆動する回路構成として、基板ステージ３の駆動するステージ駆動回路１３、基板ステージ３に載置するＴＦＴガラス基板５のパネルのＴＦＴアレイを駆動するＴＦＴ駆動回路１１および駆動パネル選択制御回路１２、電子銃４Ａを制御し駆動する電子銃制御部１４および電子銃制御回路１５、およびＴＦＴアレイ駆動装置１の全体を制御する制御部１０を備える。なお、制御部１０、電子銃制御部１４は、ＣＰＵおよびこのＣＰＵを駆動するアルゴリズムを記述したソフトウエアを格納するＲＯＭや信号処理のためのＲＡＭ等のメモリ手段等によってソフトウエア処理で制御を行うことができる。【００４６】
基板ステージ３は、ＴＦＴガラス基板５を支持するともに、ＴＦＴガラス基板５上に形成される各パネルの内で選択したパネルに駆動電流を供給する給電リレー回路７を備える。基板ステージ３は、ステージ駆動回路１３からの駆動信号に基づいて、ステージ上に載せたＴＦＴガラス基板５を所定の方向に移動させる。このＴＦＴガラス基板５の移動は、例えば、パネル上を走査する電子線の走査速度に合わせて一定速度とすることができる。ここで、基板ステージ３に駆動信号を供給するステージ駆動回路１３は、制御部１０からの移動指令を受けて駆動し、電子銃制御部１４により電子線の照射方向の制御とともに、電子線をパネル上において走査する。【００４７】
また、給電リレー回路７は、駆動パネル選択制御回路１２から選択信号および駆動信号を受ける。選択信号は、ＴＦＴガラス基板５上に形成される全パネル６Ａ〜６Ｄの中からパネルを選択し、選択したパネルに対して駆動信号を供給する。【００４８】
ここで、選択信号は、駆動パネル選択制御回路１２が制御部１０から選択指令を受け、ステージ駆動回路１３による基板ステージ３の移動と同期して、駆動信号を印加するパネルを選択する。【００４９】
また、駆動信号は、先ず、ＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）１１が制御部１０から駆動指令を受けて駆動波形を形成し、続いて、駆動パネル選択制御回路１２はＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）１１から駆動波形を受けることで生成される。【００５０】
また、制御部１０は電子銃制御部１４に電子線走査指令を送って電子銃制御回路１５を駆動する。電子銃制御回路１５は、電子銃制御部１４の制御に基づいて電子銃４を制御し、照射する電子線を制御する。【００５１】
ここで、制御部１０は、パネル上における電子線走査において基板ステージ３を制御する移動指令と、駆動信号を印加するパネルを選択する選択指令と、電子銃からの電子線照射を制御す電子線走査指令の各指令出力が同期するよう制御する。【００５２】
この制御部１０により同期した指令によって、ステージ駆動回路１３によるステージ駆動と、駆動パネル選択制御回路１２による駆動パネルの選択および選択パネルへの駆動信号の印加と、電子銃制御部１４による電子線照射制御とを同期させ、ステージ駆動回路１３によって目的とするパネルを電子銃の電子線照射位置に移動させ、電子銃制御部１４によって目的とするパネルに電子銃から電子線を照射させ、駆動パネル選択制御回路１２によって目的とするパネルに駆動信号を印加する。【００５３】
これによって、目的とするパネルにのみ駆動信号を印加し、目的としないパネルには駆動信号を印加させないことで、ＴＦＴアレイ基板において駆動源である給電リレー回路７から見たＴＦＴアレイ側の容量を低減させることができる。【００５４】
図２は走査時における本発明のパネル駆動例を説明するための図であり、パネル駆動によってＴＦＴアレイを検査する例を示している。図２（ａ）は測定前の状態を示し、図２（ｂ）は測定前半の状態を示し、図２（ｃ）は測定後半の状態を示している。【００５５】
なお、ここでは、前記した図５の構成例と同様に、一枚のガラス基板５に４枚のパネルＡ〜パネルＤ（６Ａ〜６Ｄ）が２×２の配列で配置されているものとし、真空チャンバ２は２つの電子銃４Ａ，４Ｂがステージの移動方向（図中のｙ方向）と直交する方向（図中のｘ方向）に固定されているものとする。【００５６】
また、前記した図５の動作例と同様に、各電子銃４Ａ，４Ｂは、それぞれ一枚のパネルに電子線を照射し、電子線の照射方向を制御することでｘ方向の走査を行い、ｙ方向の走査はステージの移動方向によって行う。そのため、測定をステージの移動に応じて２段階で行い、測定前半ではパネルＡ（６Ａ）とパネルＣ（６Ｃ）を走査し、測定後半ではパネルＢ（６Ｂ）とパネルＤ（６Ｄ）を走査する。この各走査において、パネルのＴＦＴアレイを駆動することによって、ＴＦＴアレイの検査を行う。【００５７】
このとき、本発明のＴＦＴアレイ駆動装置では、電子銃４Ａ，４Ｂによる電子線照射と、パネルへの駆動信号の印加が同期して行い、電子線を照射しないパネルには駆動信号を印加しないため、測定前半（図２（ｂ））では、検査を行うパネルＡ（６Ａ）とパネルＣ（６Ｃ）にのみ駆動信号を印加し、検査を行わないパネルＢ（６Ｂ）とパネルＤ（６Ｄ）への駆動信号の印加は行わない。図２（ｂ）では駆動信号の印加によって駆動するパネル６Ａ，６Ｃには“ＯＮ”を表記し、駆動信号を印加しないために駆動されないパネル６Ｂ，６Ｄには“ＯＦＦ”を表記している。【００５８】
また、測定後半（図２（ｃ））では、検査を行うパネルＢ（６Ｂ）とパネルＤ（６Ｄ）にのみ駆動信号を印加し、検査を行わないパネルＡ（６Ａ）とパネルＣ（６Ｃ）への駆動信号の印加は行わない。図２（ｃ）では駆動信号の印加によって駆動するパネル６Ｂ，６Ｄには“ＯＮ”を表記し、駆動信号を印加しないために駆動されないパネル６Ａ，６Ｃには“ＯＦＦ”を表記している。【００５９】
図３は、ＴＦＴアレイ駆動装置における各指令および駆動信号の関係例を示す図である。図３（ａ）〜（ｃ）は、制御部１０が出力する、電子線走査指令（図３（ａ））、移動指令（図３（ｂ））、駆動指令（図３（ｃ））を示し、図３（ｄ）〜（ｇ）は駆動パネル選択制御回路１２が出力する、選択信号（図３（ｄ），（ｆ））および駆動波形（図３（ｅ），（ｇ））を示している。【００６０】
ここで、電子線走査指令、移動指令、および駆動指令は同期して出力され、この指令の間において、前半期間でパネルＡ，Ｃに対して選択信号（図３（ｄ））と駆動波形（図３（ｅ））を出力し、後半期間でパネルＢ，Ｄに対して選択信号（図３（ｆ））と駆動波形（図３（ｇ））を出力する。【００６１】
なお、図３では、前半期間と後半期間の切り替え時点では、選択信号および駆動波形に重なる期間を有する信号状態を示しているが、重なる期間を有さない信号状態としてもよい。【００６２】
図４は、従来構成による駆動波形と本発明の構成による駆動波形を模式的に示している。図４において、実線は本発明の構成によって選択したパネルのみを駆動させた場合の駆動波形を示し、破線は従来の構成によって全パネルを駆動させたときの駆動波形を示している。【００６３】
ここで、駆動信号によって各アレイを駆動させて所定動作を実行させるに要する時間を有効駆動時間Ｔactとすると、この有効駆動時間Ｔactは全パネルを駆動させた場合と選択パネルのみを駆動させて場合の何れの場合も同じである。これに対して、駆動波形を印加してから終了するまでの間に要する駆動必要時間Ｔallは、有効駆動時間Ｔactに加えて、アレイに接続される液晶の容量や付加容量および寄生容量により充電あるいは放電するための立ち上がり時間および立ち下がり時間の分だけ長くなる。【００６４】
この立ち上がり時間および立ち下がり時間の時間幅は、駆動信号が印加されるアレイの容量に依存する。実線で示すように、本発明によって選択したパネルのみに駆動信号を印加する構成とすることによってアレイに接続される容量を減らし、立ち上がり時間および立ち下がり時間を短縮する。【００６５】
図４の短縮時間は、本発明による駆動必要時間Ｔall2は、従来のように全パネルを駆動する場合の駆動必要時間Ｔall1よりも短くすることができることを示している。【００６６】
なお、上記例では、本発明のＴＦＴアレイ駆動装置をＴＦＴアレイ検査装置に適用した例を示しているが、検査装置に限らずＴＦＴアレイを駆動する回路構成であれば同様に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、液晶製造装置におけるＴＦＴアレイ検査工程の他、有機ＥＬや種々の半導体基板が備えるＴＦＴアレイの欠陥検査に適用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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