(57)【要約】本発明による反射素子判定装置５０は、反射素子４１、４２を第一信号源１０および第二信号源２０の各々に接続した状態における信号の測定結果と、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における信号の測定結果とに基づき第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因を導出し、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における信号の測定結果と、導出された誤差要因とに基づき、伝送素子４４の伝送特性を導出し、導出された伝送素子４４の伝送特性と、導出の前に知られている伝送素子４４の伝送特性とに基づき、反射素子４１、４２が所定の反射状態を実現しているか否かを判定する。ただし、伝送素子４４において、第一端子４４ａから第二端子４４ｂに向かう方向に関する伝送特性と、それとは逆方向に関する伝送特性とが等しい。
2008026711.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定装置であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出手段と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出手段と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定手段と、
を備えた素子判定装置。
【請求項２】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定装置であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出手段と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出手段と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定手段と、
を備えた素子判定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の素子判定装置であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果は、
前記信号が前記反射素子により反射される前に前記信号を測定した結果と、
前記信号が前記反射素子により反射されたものを測定した結果と、
を有する、
素子判定装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の素子判定装置であって、
前記反射素子は、開放、短絡および標準負荷のうちのいずれかの状態を実現するものである、
素子判定装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の素子判定装置であって、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果は、
前記信号が前記伝送素子により伝送される前に前記信号を測定した結果と、
前記信号が前記伝送素子により伝送されたものを測定した結果と、
を有する、
素子判定装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の素子判定装置であって、
前記誤差要因導出手段が、
前記反射素子を前記第一信号源に接続した状態における信号の測定結果に基づき、前記第一信号源における誤差要因を導出する第一信号源側誤差要因導出部と、
前記反射素子を前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果に基づき、前記第二信号源における誤差要因を導出する第二信号源側誤差要因導出部と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果に基づき、前記第一信号源から前記第二信号源へ信号を送信する際の第一伝送誤差要因と、前記第二信号源から前記第一信号源へ信号を送信する際の第二伝送誤差要因との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出部と、
前記第一信号源における誤差要因と、前記第二信号源における誤差要因と、前記誤差要因比とに基づき前記第一伝送誤差要因および前記第二伝送誤差要因を導出する伝送誤差要因導出部と、
を有する素子判定装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の素子判定装置と、
前記信号生成システムと、
を備えた校正装置。
【請求項８】
請求項１に記載の素子判定装置の反射素子状態判定手段により前記反射素子が前記所定の反射状態を実現していると判定された場合において、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき導出された前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因と、
被測定物を介して前記第一信号源と前記第二信号源とを接続した状態における信号の測定結果と、
に基づき前記被測定物を測定する測定装置。
【請求項９】
請求項２に記載の素子判定装置の素子状態判定手段により前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現していると判定された場合において、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき導出された前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因と、
被測定物を介して前記第一信号源と前記第二信号源とを接続した状態における信号の測定結果と、
に基づき前記被測定物を測定する測定装置。
【請求項１０】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定方法であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出工程と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出工程と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出工程による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定工程と、
を備えた素子判定方法。
【請求項１１】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１２】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項１３】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定方法であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出工程と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出工程と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出工程による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定工程と、
を備えた素子判定方法。
【請求項１４】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１５】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定する際のキャリブレーションに関する。
【背景技術】  従来より、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている（例えば、特許文献１（特開平１１−３８０５４号公報）を参照）。
具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求めることができる。
また、受信部における測定系誤差要因Ｅｔは、信号源と受信部とを直結し、受信部により受信された信号のＳパラメータを測定することにより、取得できる（例えば、特許文献２（国際公開第２００３／０８７８５６号パンフレット）を参照）。なお、直結状態を実現する回路素子（校正キット）をスルーという。
このようにして得られた誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、Ｅｔを用いて補正を行う。
しかし、校正キット（オープン、ショート、ロード、スルー）自体のＳパラメータの経年変化および校正キット自体の特性不良（両者を「校正キットの不良」という）により、誤差要因を正しく取得できないことがある。そこで、校正キットの不良が生じているか否かを点検する必要がある。
校正キットの不良の点検法としては、下記のような方法が考えられる。まず、信号源に校正キットを接続し、誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、Ｅｔを取得する。次に、信号源から信号をチェック経路（ただし、チェック経路のＳパラメータは既知である）を介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定し、取得してある誤差要因を用いて補正を行って、チェック経路のＳパラメータを取得する。取得されたチェック経路のＳパラメータと、チェック経路の既知のＳパラメータとを比較する。比較の結果、両者が一致すれば、誤差要因を正しく取得できたといえ、校正キットの不良は生じていないことがわかる。比較の結果、両者が一致しなければ、誤差要因を正しく取得できなかったといえ、校正キットの不良が生じていることがわかる。
しかしながら、上記のような校正キットの不良の点検法は、チェック経路を必要とするため測定系を複雑にしてしまう。
そこで、本発明は、測定系の校正キットの不良の点検を簡易に行うことを課題とする。
【発明の開示】
本発明にかかる第一の素子判定装置は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定装置であって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出手段と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出手段と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定手段とを備えるように構成される。
上記のような発明によれば、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する第一の素子判定装置が提供される。
誤差要因導出手段は、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する。
伝送特性導出手段は、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する。
反射素子状態判定手段は、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する。
本発明にかかる第二の素子判定装置は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定装置であって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出手段と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出手段と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定手段とを備えるように構成される。
上記のような発明によれば、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する第二の素子判定装置が提供される。
誤差要因導出手段は、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する。
伝送特性導出手段は、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する。
素子状態判定手段は、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する。
なお、本発明にかかる素子判定装置は、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果が、前記信号が前記反射素子により反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が前記反射素子により反射されたものを測定した結果とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる素子判定装置は、前記反射素子が、開放、短絡および標準負荷のうちのいずれかの状態を実現するものであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる素子判定装置は、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果が、前記信号が前記伝送素子により伝送される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が前記伝送素子により伝送されたものを測定した結果とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる素子判定装置は、前記誤差要因導出手段が、前記反射素子を前記第一信号源に接続した状態における信号の測定結果に基づき、前記第一信号源における誤差要因を導出する第一信号源側誤差要因導出部と、前記反射素子を前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果に基づき、前記第二信号源における誤差要因を導出する第二信号源側誤差要因導出部と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果に基づき、前記第一信号源から前記第二信号源へ信号を送信する際の第一伝送誤差要因と、前記第二信号源から前記第一信号源へ信号を送信する際の第二伝送誤差要因との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出部と、前記第一信号源における誤差要因と、前記第二信号源における誤差要因と、前記誤差要因比とに基づき前記第一伝送誤差要因および前記第二伝送誤差要因を導出する伝送誤差要因導出部とを有するようにしてもよい。
本発明にかかる校正装置は、本発明にかかる素子判定装置と、前記信号生成システムとを備えるように構成される。
本発明にかかる測定装置は、本発明にかかる第一の素子判定装置の反射素子状態判定手段により前記反射素子が前記所定の反射状態を実現していると判定された場合において、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき導出された前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因と、被測定物を介して前記第一信号源と前記第二信号源とを接続した状態における信号の測定結果と、に基づき前記被測定物を測定するように構成される。
本発明にかかる測定装置は、本発明にかかる第二の素子判定装置の素子状態判定手段により前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現していると判定された場合において、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき導出された前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因と、被測定物を介して前記第一信号源と前記第二信号源とを接続した状態における信号の測定結果と、に基づき前記被測定物を測定するように構成される。
本発明は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定方法であって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出工程と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出工程と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出工程による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定工程と、を備えた素子判定方法である。
本発明は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定方法であって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出工程と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出工程と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出工程による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定工程と、を備えた素子判定方法である。
本発明は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【図面の簡単な説明】  第１図は、本発明の実施形態にかかる測定系の構成を示す図である。
第２図は、本発明の実施形態にかかる測定系のシグナルフローグラフであり、スイッチ１３が、信号生成部１２とブリッジ１４ａとを接続した状態（信号が第一信号源１０から第二信号源２０に与えられる）の測定系のシグナルフローグラフ（第２図（ａ））、スイッチ２３が、信号生成部２２とブリッジ２４ａとを接続した状態（信号が第二信号源２０から第一信号源１０に与えられる）の測定系のシグナルフローグラフ（第２図（ｂ））である。
第３図は、本発明の第一の実施形態にかかる信号生成システム１および反射素子判定装置５０を示す図である。
第４図は、本発明の実施形態にかかる反射素子判定装置５０の構成を示す機能ブロック図である。
第５図は、誤差要因導出部５２の構成を示す機能ブロック図である。
第６図は、反射素子４１Ｐを第一信号源１０に接続した状態（第６図（ａ））、反射素子４１Ｓを第一信号源１０に接続した状態（第６図（ｂ））、反射素子４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態（第６図（ｃ））を示す図である。
第７図は、第６図の状態をシグナルフローグラフで表したものである。
第８図は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における第一信号源１０と反射素子判定装置５０との接続関係を示す図である。
第９図は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における誤差要因導出部５２の動作を示す図である。
第１０図は、反射素子４２Ｐを第二信号源２０に接続した状態（第１０図（ａ））、反射素子４２Ｓを第二信号源２０に接続した状態（第１０図（ｂ））、反射素子４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態（第１０図（ｃ））を示す図である。
第１１図は、第１０図の状態をシグナルフローグラフで表したものである。
第１２図は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における第二信号源２０と反射素子判定装置５０との接続関係を示す図である。
第１３図は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における誤差要因導出部５２の動作を示す図である。
第１４図は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した際の、第一信号源１０から第二信号源２０へ信号を送信する状態を示す図である。
第１５図は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した際の、第二信号源２０から第一信号源１０へ信号を送信する状態を示す図である。
第１６図は、第１４図の状態（第一信号源１０から第二信号源２０へ信号を送信する状態）をシグナルフローグラフで表したもの（第１６図（ａ））および第１５図の状態（第二信号源２０から第一信号源１０へ信号を送信する状態）をシグナルフローグラフで表したもの（第１６図（ｂ））である。
第１７図は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における誤差要因導出部５２の動作を示す図である。
第１８図は、本発明の第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。
第１９図は、誤差要因導出部５２が誤差要因Ｅを導出する際の動作を示すフローチャートである。
第２０図は、反射素子判定装置５０を、測定系のキャリブレーションに使用する際のシステム構成を示す図である。
第２１図は、本発明の第二の実施形態にかかる信号生成システム１および素子判定装置５１０を示す図である。
第２２図は、第二の実施形態にかかる素子判定装置５１０の構成を示す機能ブロック図である。
第２３図は、素子判定装置５１０を、測定系のキャリブレーションに使用する際のシステム構成を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
第１図は、本発明の実施形態にかかる測定系の構成を示す図である。測定系は、第一信号源１０、第二信号源２０を備える。第一信号源１０および第二信号源２０には、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）２が接続されている。被測定物２を介して、第一信号源１０と第二信号源２０とを接続しているといえる。
第一信号源１０は、信号生成部１２、スイッチ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、出力端子１９を有する。
信号生成部１２は、信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。スイッチ１３は、信号生成部１２により生成された信号を受け、ブリッジ１４ａまたは終端抵抗に与える。
ブリッジ１４ａは、スイッチ１３を介して、信号生成部１２により生成された信号を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ａの出力をＲ１１とする。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、出力側からの信号を受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、出力側からの信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ｂの出力をＲ１２とする。
出力端子１９からは、信号生成部１２により生成された信号が出力される。または、出力端子１９を経由して別の信号が入力される。ここで、出力端子１９から第一信号源１０の外に出ていく信号のＳパラメータをａ１、出力端子１９を経由して第一信号源１０の内に入っていく信号のＳパラメータをｂ１とする。
第二信号源２０は、信号生成部２２、スイッチ２３、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、ミキサ２６ａ、２６ｂ、出力端子２９を有する。
信号生成部２２は、信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。スイッチ２３は、信号生成部２２により生成された信号を受け、ブリッジ２４ａまたは終端抵抗に与える。
ブリッジ２４ａは、スイッチ２３を介して、信号生成部２２により生成された信号を受け、二方向に分岐させる。ミキサ２６ａは、ブリッジ２４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ２６ａの出力をＲ２１とする。
ブリッジ２４ｂは、ブリッジ２４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、出力側からの信号を受け、ミキサ２６ｂに与える。ミキサ２６ｂは、出力側からの信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ２６ｂの出力をＲ２２とする。
出力端子２９からは、信号生成部２２により生成された信号が出力される。または、出力端子２９を経由して別の信号が入力される。ここで、出力端子２９から第二信号源２０の外に出ていく信号のＳパラメータをａ２、出力端子２９を経由して第二信号源２０の内に入っていく信号のＳパラメータをｂ２とする。
なお、スイッチ１３が、信号生成部１２とブリッジ１４ａとを接続したときは、スイッチ２３は、信号生成部２２と終端抵抗とを接続する。これにより、出力端子１９から信号生成部１２により生成された信号が出力されるとともに、出力端子２９を経由して信号生成部１２により生成された信号が第二信号源２０に入力される。
また、スイッチ２３が、信号生成部２２とブリッジ２４ａとを接続したときは、スイッチ１３は、信号生成部１２と終端抵抗とを接続する。これにより、出力端子２９から信号生成部２２により生成された信号が出力されるとともに、出力端子１９を経由して信号生成部２２により生成された信号が第一信号源１０に入力される。
このように、第一信号源１０および第二信号源２０は信号の送信および受信が可能である。
第２図は、本発明の実施形態にかかる測定系のシグナルフローグラフである。第２図（ａ）は、スイッチ１３が、信号生成部１２とブリッジ１４ａとを接続した状態（信号が第一信号源１０から第二信号源２０に与えられる）の測定系のシグナルフローグラフである。第２図（ｂ）は、スイッチ２３が、信号生成部２２とブリッジ２４ａとを接続した状態（信号が第二信号源２０から第一信号源１０に与えられる）の測定系のシグナルフローグラフである。
第２図において、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１およびＥｏ１が第一信号源１０の誤差要因であり、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２およびＥｏ２が第二信号源２０の誤差要因であり、Ｓ１１ｄ，Ｓ１２ｄ，Ｓ２１ｄおよびＳ２２ｄが被測定物２のＳパラメータである。
なお、第２図（ａ）においては、ａ１、ｂ１、ａ２およびｂ２を、それぞれ、ａ１（ｆ）、ｂ１（ｆ）、ａ２（ｆ）およびｂ２（ｆ）と記載し、第２図（ｂ）においては、ａ１、ｂ１、ａ２およびｂ２を、それぞれ、ａ１（ｒ）、ｂ１（ｒ）、ａ２（ｒ）およびｂ２（ｒ）と記載する。
第２図（ａ）において、Ｒ１１を１とおくと、Ｒ２２はＲ２２／Ｒ１１となり、Ｒ１２はＲ１２／Ｒ１１となり、Ｒ２１はＲ２１／Ｒ１１となる。ここで、Ｒ２２／Ｒ１１をＳ２１ｍと表記し、Ｒ１２／Ｒ１１をＳ１１ｍと表記し、Ｒ２１／Ｒ１１をＲ２１ｍと表記する。なお、第一信号源１０および第二信号源２０の誤差要因が無い場合、Ｓ２１ｍ＝Ｓ２１ｄとなり、Ｓ１１ｍ＝Ｓ１１ｄとなる。
第２図（ｂ）において、Ｒ２１を１とおくと、Ｒ２２はＲ２２／Ｒ２１となり、Ｒ１２はＲ１２／Ｒ２１となり、Ｒ１１はＲ１１／Ｒ２１となる。ここで、Ｒ２２／Ｒ２１をＳ２２ｍと表記し、Ｒ１２／Ｒ２１をＳ１２ｍと表記し、Ｒ１１／Ｒ２１をＲ１２ｍと表記する。なお、第一信号源１０および第二信号源２０の誤差要因が無い場合、Ｓ１２ｍ＝Ｓ１２ｄとなり、Ｓ２２ｍ＝Ｓ１１ｄとなる。
しかし、実際には、第一信号源１０および第二信号源２０の誤差要因がある。そこで、被測定物２のＳパラメータを正しく求めるためには、Ｒ１１、Ｒ２２、Ｒ１２およびＲ２１の他に、第一信号源１０および第二信号源２０の誤差要因も考慮する必要がある。
そこで、第一信号源１０および第二信号源２０の誤差要因を求める必要がある。
第一の実施形態
第３図は、本発明の第一の実施形態にかかる信号生成システム１および反射素子判定装置５０を示す図である。なお、信号生成システム１および反射素子判定装置５０が、校正装置を構成する。
信号生成システム１は、第一信号源１０、第二信号源２０、校正用機器４を備える。第一信号源１０および第二信号源２０は、先に説明したとおりのものであり、信号の送信および受信が可能である。
校正用機器４は、スイッチ３１、３２、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌ、伝送素子４４を有する。
スイッチ３１は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、伝送素子４４のいずれか一つを第一信号源１０の出力端子１９に接続する。スイッチ３２は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌ、伝送素子４４のいずれか一つを第二信号源２０の出力端子２９に接続する。
反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌは、所定の反射状態を実現する。すなわち、反射素子４１Ｐは無接続状態（ｏｐｅｎ）を実現し、反射素子４１Ｓは短絡状態（ｓｈｏｒｔ）（反射係数１：全反射）を実現し、反射素子４１Ｌは反射係数０の状態を実現する標準負荷（ｌｏａｄ）を有している。
反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌは、所定の反射状態を実現する。すなわち、反射素子４２Ｐは無接続状態（ｏｐｅｎ）を実現し、反射素子４２Ｓは短絡状態（ｓｈｏｒｔ）（反射係数１：全反射）を実現し、反射素子４２Ｌは反射係数０の状態を実現する標準負荷（ｌｏａｄ）を有している。
伝送素子４４は、第一端子４４ａおよび第二端子４４ｂを有する。しかも、第一端子４４ａから第二端子４４ｂに向かう方向に関する伝送特性（Ｓ２１：第１６図参照）と、第二端子４４ｂから第一端子４４ａに向かう方向に関する伝送特性（Ｓ１２：第１６図参照）とが等しい。一般に、伝送素子４４は、Ｓ２１＝Ｓ１２を満たしているものと考えられる。これは、例えば、＋１Ｖの電圧をかけると＋１Ａの電流が流れる抵抗に、−１Ｖの電圧をかけると−１Ａの電流が流れるということと等価である。
なお、伝送素子４４の伝送特性をＳ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２とする。伝送特性Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２は既知である。
反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌは、常に所定の反射状態を実現することが好ましい。しかし、反射素子の経年変化および特性不良により、所定の反射状態を実現していないことがある。そこで、反射素子判定装置５０が、反射素子が所定の反射状態を実現しているか否かを判定する。
第４図は、本発明の実施形態にかかる反射素子判定装置５０の構成を示す機能ブロック図である。反射素子判定装置５０は、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、誤差要因導出部５２、信号測定部５３、伝送特性導出部５４、伝送特性記録部５６、反射素子状態判定部５８を備える。
端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄは、それぞれ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、２６ｂ、２６ａに接続される。
誤差要因導出部５２は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第一信号源１０および第二信号源２０の各々に接続した状態における信号の測定結果と、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態（第１４図、第１５図に示すように、スイッチ３１によって第一端子４４ａを第一信号源１０に接続し、スイッチ３２によって第二端子４４ｂを第二信号源２０に接続した状態）における信号の測定結果とに基づき第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因を導出する。
第５図は、誤差要因導出部５２の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因導出部５２は、信号切替部５２２、第一信号源側誤差要因導出部５２３、第二信号源側誤差要因導出部５２４、誤差要因比導出部５２５、伝送誤差要因導出部５２６を有する。
信号切替部５２２は、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄから受けた信号Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２２、Ｒ２１を、第一信号源側誤差要因導出部５２３、第二信号源側誤差要因導出部５２４または誤差要因比導出部５２５に与える。
第一信号源側誤差要因導出部５２３は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における信号の測定結果に基づき、第一信号源１０における誤差要因Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１を導出する。
第６図は、反射素子４１Ｐを第一信号源１０に接続した状態（第６図（ａ））、反射素子４１Ｓを第一信号源１０に接続した状態（第６図（ｂ））、反射素子４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態（第６図（ｃ））を示す図である。ただし、第一信号源１０、スイッチ３１、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌおよび伝送素子４４以外は図示省略する。
信号生成部１２により生成された信号はスイッチ１３を介して、ブリッジ１４ａに与えられる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ミキサ１６ａの出力Ｒ１１は、信号が反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌにより反射される前に信号を測定した結果といえる。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。出力は出力端子１９から反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌに与えられ、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌにより反射される。反射された信号は出力端子１９を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂは、出力端子１９を介して与えられた信号を、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、出力端子１９を介して与えられた信号とローカル信号とを乗算する。ミキサ１６ｂの出力Ｒ１２は、信号が反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌにより反射されたものを測定した結果といえる。
第７図は、第６図の状態をシグナルフローグラフで表したものである。ただし、Ｘは反射素子４１Ｐの負荷係数（ｏｐｅｎ）、反射素子４１Ｓの負荷係数（ｓｈｏｒｔ）、反射素子４１Ｌの負荷係数（ｌｏａｄ）である。第７図から、下記の式（１）が成立するといえる。
Ｒ１２／Ｒ１１＝Ｅｄ１＋（Ｅｉ１・Ｅｏ１・Ｘ）／（１−Ｅｓ１・Ｘ）  （１）
第８図は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における第一信号源１０と反射素子判定装置５０との接続関係を示す図である。なお、第８図においては、第一信号源１０が反射素子４１Ｐに接続されているが、反射素子４１Ｓに接続されている場合もあるし、反射素子４１Ｌに接続されている場合もある。端子５１ａ、５１ｂは、それぞれ、ミキサ１６ａ、１６ｂに接続され、Ｒ１１、Ｒ１２を受ける。ここで、端子５１ｃ、５１ｄは、特に、ミキサ２６ｂ、２６ａに接続されていなくてもよい。ただし、端子５１ｃ、５１ｄが、それぞれ、ミキサ２６ｂ、２６ａに接続されていてもよい。この場合、ミキサ２６ｂ、２６ａから信号が端子５１ｃ、５１ｄに与えられるわけではない。
第９図は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における誤差要因導出部５２の動作を示す図である。なお、第９図においては、動作していない部分を点線で図示している。
信号切替部５２２は、端子５１ａからＲ１１を、端子５１ｂからＲ１２を受ける。なお、端子５１ｃ、５１ｄからは信号を受けない。信号切替部５２２は、Ｒ１１、Ｒ１２を第一信号源側誤差要因導出部５２３に与える。第二信号源側誤差要因導出部５２４および誤差要因比導出部５２５には、信号を与えない。なお、Ｒ１１およびＲ１２は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における信号の測定結果といえる。
第一信号源側誤差要因導出部５２３は、Ｒ１１（信号が反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌにより反射される前に信号を測定した結果）、Ｒ１２（信号が反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌにより反射されたものを測定した結果）およびＸ（反射素子４１Ｐの負荷係数（ｏｐｅｎ）、反射素子４１Ｓの負荷係数（ｓｈｏｒｔ）および反射素子４１Ｌの負荷係数（ｌｏａｄ））を式（１）に代入して、Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１を導出する。
第一信号源側誤差要因導出部５２３により導出されたＥｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１は、伝送誤差要因導出部５２６に与えられる。
第二信号源側誤差要因導出部５２４は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における信号の測定結果に基づき、第二信号源２０における誤差要因Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２を導出する。
第１０図は、反射素子４２Ｐを第二信号源２０に接続した状態（第１０図（ａ））、反射素子４２Ｓを第二信号源２０に接続した状態（第１０図（ｂ））、反射素子４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態（第１０図（ｃ））を示す図である。ただし、第二信号源２０、スイッチ３２、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌおよび伝送素子４４以外は図示省略する。
信号生成部２２により生成された信号はスイッチ２３を介して、ブリッジ２４ａに与えられる。ミキサ２６ａは、ブリッジ２４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ミキサ２６ａの出力Ｒ２１は、信号が反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌにより反射される前に信号を測定した結果といえる。
ブリッジ２４ｂは、ブリッジ２４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。出力は出力端子２９から反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌに与えられ、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌにより反射される。反射された信号は出力端子２９を介して、ブリッジ２４ｂに与えられる。ブリッジ２４ｂは、出力端子２９を介して与えられた信号を、ミキサ２６ｂに与える。ミキサ２６ｂは、出力端子２９を介して与えられた信号とローカル信号とを乗算する。ミキサ２６ｂの出力Ｒ２２は、信号が反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌにより反射されたものを測定した結果といえる。
第１１図は、第１０図の状態をシグナルフローグラフで表したものである。ただし、Ｘは反射素子４２Ｐの負荷係数（ｏｐｅｎ）、反射素子４２Ｓの負荷係数（ｓｈｏｒｔ）、反射素子４２Ｌの負荷係数（ｌｏａｄ）である。第１０図から、下記の式（２）が成立するといえる。
Ｒ２２／Ｒ２１＝Ｅｄ２＋（Ｅｉ２・Ｅｏ２・Ｘ）／（１−Ｅｓ２・Ｘ）  （２）
第１２図は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における第二信号源２０と反射素子判定装置５０との接続関係を示す図である。なお、第１２図においては、第二信号源２０が反射素子４２Ｐに接続されているが、反射素子４２Ｓに接続されている場合もあるし、反射素子４２Ｌに接続されている場合もある。端子５１ｃ、５１ｄは、それぞれ、ミキサ２６ｂ、２６ａに接続され、Ｒ２２、Ｒ２１を受ける。ここで、端子５１ａ、５１ｂは、特に、ミキサ１６ａ、１６ｂに接続されていなくてもよい。ただし、端子５１ａ、５１ｂが、それぞれ、ミキサ１６ａ、１６ｂに接続されていてもよい。この場合、ミキサ１６ａ、１６ｂから信号が端子５１ａ、５１ｂに与えられるわけではない。
第１３図は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における誤差要因導出部５２の動作を示す図である。なお、第１３図においては、動作していない部分を点線で図示している。
信号切替部５２２は、端子５１ｃからＲ２２を、端子５１ｄからＲ２１を受ける。なお、端子５１ａ、５１ｂからは信号を受けない。信号切替部５２２は、Ｒ２２、Ｒ２１を第二信号源側誤差要因導出部５２４に与える。第一信号源側誤差要因導出部５２３および誤差要因比導出部５２５には、信号を与えない。なお、Ｒ２２およびＲ２１は、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における信号の測定結果といえる。
第二信号源側誤差要因導出部５２４は、Ｒ２１（信号が反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌにより反射される前に信号を測定した結果）、Ｒ２２（信号が反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌにより反射されたものを測定した結果）およびＸ（反射素子４２Ｐの負荷係数（ｏｐｅｎ）、反射素子４２Ｓの負荷係数（ｓｈｏｒｔ）および反射素子４２Ｌの負荷係数（ｌｏａｄ））を式（２）に代入して、Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２を導出する。
第二信号源側誤差要因導出部５２４により導出されたＥｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２は、伝送誤差要因導出部５２６に与えられる。
誤差要因比導出部５２５は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態（第１４図、第１５図参照）における信号の測定結果に基づき、第一伝送誤差要因と第二伝送誤差要因との比である誤差要因比を導出する。ただし、第一伝送誤差要因は、第一信号源１０から第二信号源２０へ信号を送信する際の誤差要因（Ｅｉ１・Ｅｏ２）である。第二伝送誤差要因は、第二信号源２０から第一信号源１０へ信号を送信する際の誤差要因（Ｅｉ２・Ｅｏ１）である。なお、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態とは、スイッチ３１によって第一端子４４ａを第一信号源１０に接続し、スイッチ３２によって第二端子４４ｂを第二信号源２０に接続した状態をいう。
第１４図は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した際の、第一信号源１０から第二信号源２０へ信号を送信する状態を示す図である。
信号生成部１２により生成された信号はスイッチ１３を介して、ブリッジ１４ａに与えられる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ミキサ１６ａの出力Ｒ１１は、信号が伝送素子４４により伝送される前に信号を測定した結果といえる。Ｒ１１は、端子５１ａに与えられる。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。出力は出力端子１９から伝送素子４４に与えられ、出力の一部が伝送素子４４により反射される。反射された信号は出力端子１９を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂは、出力端子１９を介して与えられた信号を、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、出力端子１９を介して与えられた信号とローカル信号とを乗算する。ミキサ１６ｂの出力Ｒ１２は、信号が伝送素子４４により伝送される前に信号を測定した結果といえる。Ｒ１２は、端子５１ｂに与えられる。
出力端子１９から出力された信号をスイッチ３１、伝送素子４４およびスイッチ３２を介して、出力端子２９に与えられる。
出力端子２９に与えられた信号はブリッジ２４ｂに与えられる。ブリッジ２４ｂは、出力端子２９を介して与えられた信号を、ミキサ２６ｂは与える。ミキサ２６ｂは、出力端子２９を介して与えられた信号とローカル信号とを乗算する。ミキサ２６ｂの出力Ｒ２２は、信号が伝送素子４４により伝送されたものを測定した結果といえる。Ｒ２２は、端子５１ｃに与えられる。
なお、ブリッジ２４ａの出力は、ミキサ２６ａに与えられる。ミキサ２６ａは、ブリッジ２４ａの出力とローカル信号とを乗算する。ミキサ２６ａの出力Ｒ２１は、端子５１ｄに与えられる。
また、スイッチ２３は、終端抵抗に接続されているので、信号生成部２２からブリッジ２４ａに信号が与えられない。
第１５図は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した際の、第二信号源２０から第一信号源１０へ信号を送信する状態を示す図である。
信号生成部２２により生成された信号はスイッチ２３を介して、ブリッジ２４ａに与えられる。ミキサ２６ａは、ブリッジ２４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ミキサ２６ａの出力Ｒ２１は、信号が伝送素子４４により伝送される前に信号を測定した結果といえる。Ｒ２１は、端子５１ｄに与えられる。
ブリッジ２４ｂは、ブリッジ２４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。出力は出力端子２９から伝送素子４４に与えられ、出力の一部が伝送素子４４により反射される。反射された信号は出力端子２９を介して、ブリッジ２４ｂに与えられる。ブリッジ２４ｂは、出力端子２９を介して与えられた信号を、ミキサ２６ｂに与える。ミキサ２６ｂは、出力端子２９を介して与えられた信号とローカル信号とを乗算する。ミキサ２６ｂの出力Ｒ２２は、信号が伝送素子４４により伝送される前に信号を測定した結果といえる。Ｒ２２は、端子５１ｃに与えられる。
出力端子２９から出力された信号をスイッチ３２、伝送素子４４およびスイッチ３１を介して、出力端子１９に与えられる。
出力端子１９に与えられた信号はブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂは、出力端子１９を介して与えられた信号を、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、出力端子１９を介して与えられた信号とローカル信号とを乗算する。ミキサ１６ｂの出力Ｒ１２は、信号が伝送素子４４により伝送されたものを測定した結果といえる。Ｒ１２は、端子５１ｂに与えられる。
なお、ブリッジ１４ａの出力は、ミキサ１６ａに与えられる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力とローカル信号とを乗算する。ミキサ１６ａの出力Ｒ１１は、端子５１ａに与えられる。
また、スイッチ１３は、終端抵抗に接続されているので、信号生成部１２からブリッジ１４ａに信号が与えられない。
第１６図は、第１４図の状態（第一信号源１０から第二信号源２０へ信号を送信する状態）をシグナルフローグラフで表したもの（第１６図（ａ））および第１５図の状態（第二信号源２０から第一信号源１０へ信号を送信する状態）をシグナルフローグラフで表したもの（第１６図（ｂ））である。ただし、Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１およびＳ２２は、伝送素子４４の伝送特性である。他の記号は、第２図と同様である。
先に説明したように、伝送素子４４は、Ｓ２１＝Ｓ１２を満足するものである。すると、第１４図および第１５図を参照して、（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）を、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ１２ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｒ２１ｍ，およびＲ１２ｍにより求めることができる。
例えば、理解の便宜のために、Ｅｄ１＝Ｅｓ１＝Ｅｄ２＝Ｅｓ２＝Ｓ１１＝Ｓ２２＝０であるとすれば、Ｅｉ１・Ｅｏ２・Ｓ２１＝Ｓ２１ｍであり（第１６図（ａ）参照）、Ｅｉ２・Ｅｏ１・Ｓ１２＝Ｓ１２ｍである（第１６図（ｂ）参照）。よって、Ｓ２１ｍ／Ｓ１２ｍ＝（Ｅｉ１・Ｅｏ２・Ｓ２１）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１・Ｓ１２）となる。ここで、Ｓ２１＝Ｓ１２なので、Ｓ２１ｍ／Ｓ１２ｍ＝（Ｅｉ１・Ｅｏ２・Ｓ２１）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１・Ｓ１２）＝（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）となる。
なお、Ｅｄ１＝Ｅｓ１＝Ｅｄ２＝Ｅｓ２＝Ｓ１１＝Ｓ２２＝０が成立しない場合でも、第１６図から（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）を下記の式（３）のように表すことができることがわかる。
（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）＝（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）                                                  （３）
第１７図は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における誤差要因導出部５２の動作を示す図である。なお、第１７図においては、動作していない部分を点線で図示している。
信号切替部５２２は、端子５１ａからＲ１１を、端子５１ｂからＲ１２を、端子５１ｃからＲ２２を、端子５１ｄからＲ２１を受ける。信号切替部５２２は、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２２、Ｒ２１を誤差要因比導出部５２５に与える。第一信号源側誤差要因導出部５２３および第二信号源側誤差要因導出部５２４には、信号を与えない。なお、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２２およびＲ２１は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における信号の測定結果といえる。
誤差要因比導出部５２５は、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２２およびＲ２１を式（３）に代入して、（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）を導出する。なお、第１４図の状態（第一信号源１０から第二信号源２０へ信号を送信する状態）においては、Ｒ１１、Ｒ１２は信号が伝送素子４４により伝送される前に信号を測定した結果であり、Ｒ２２は信号が伝送素子４４により伝送されたものを測定した結果といえる。また、第１５図の状態（第二信号源２０から第一信号源１０へ信号を送信する状態）においては、Ｒ２１、Ｒ２２は信号が伝送素子４４により伝送される前に信号を測定した結果であり、Ｒ１２は信号が伝送素子４４により伝送されたものを測定した結果といえる。
誤差要因比導出部５２５により導出された（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）は、伝送誤差要因導出部５２６に与えられる。
伝送誤差要因導出部５２６は、第一信号源１０における誤差要因Ｅｉ１・Ｅｏ１と、第二信号源２０における誤差要因Ｅｉ２・Ｅｏ２と誤差要因比（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）とに基づき第一伝送誤差要因（Ｅｉ１・Ｅｏ２）および第二伝送誤差要因（Ｅｉ２・Ｅｏ１）を導出する。
第一伝送誤差要因をＰ、第二伝送誤差要因をＱとすると、Ｅｉ１・Ｅｏ１およびＥｉ２・Ｅｏ２から、Ｐ・Ｑをもとめることができる。なぜなら、Ｐ・Ｑ＝（Ｅｉ１・Ｅｏ２）・（Ｅｉ２・Ｅｏ１）＝（Ｅｉ１・Ｅｏ１）・（Ｅｉ２・Ｅｏ２）だからである。また、Ｐ／Ｑは誤差要因比（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）として導出されている。Ｐ・ＱおよびＰ／Ｑがわかれば、ＰおよびＱを導出できる。Ｐ・Ｑ＝Ａ、Ｐ／Ｑ＝Ｂとすれば、Ｐ＝±Ｂ（Ａ／Ｂ）１／２，Ｑ＝±（Ａ／Ｂ）１／２である（複号同順）。
ただし、Ｐの符号は、ａｒｇ（Ｐ）とａｒｇ（Ｓ２１ｍ／Ｓ２１）とがおおよそ等しくなるようにする。Ｑの符号は、ａｒｇ（Ｑ）とａｒｇ（Ｓ１２ｍ／Ｓ１２）とがおおよそ等しくなるようにする。このように、ＰおよびＱの符号を定めるために、Ｓ２１の位相が１８０度誤らない程度にはわかっているものとする。また、ａｒｇ（Ｐ）は、Ｐの偏角である。
伝送誤差要因導出部５２６は、第一伝送誤差要因（Ｅｉ１・Ｅｏ２）および第二伝送誤差要因（Ｅｉ２・Ｅｏ１）の他に、第一信号源１０における誤差要因Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１と、第二信号源２０における誤差要因Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２とを、伝送特性導出部５４に与える。なお、第一伝送誤差要因（Ｅｉ１・Ｅｏ２）、第二伝送誤差要因（Ｅｉ２・Ｅｏ１）、第一信号源１０における誤差要因Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１、第二信号源２０における誤差要因Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２をＥと表記することがある。なお、第一伝送誤差要因（Ｅｉ１・Ｅｏ２）および第二伝送誤差要因（Ｅｉ２・Ｅｏ１）も、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因と考えることができる。
このように、誤差要因導出部５２は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２（第９図参照）と、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における信号の測定結果Ｒ２１、Ｒ２２（第１３図参照）と、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２（第１７図参照）とに基づき第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅを導出する。
なお、誤差要因導出部５２による誤差要因Ｅの導出にあたっては、伝送素子４４の伝送特性の値を用いることは無い。ただし、誤差要因導出部６２による誤差要因Ｅの導出にあたっては、Ｓ２１＝Ｓ１２という関係は用いる。このように、伝送素子４４の伝送特性の値を用いないで、Ｓ２１＝Ｓ１２という関係を用いて、誤差要因Ｅを導出する方法はＳＯＬＲキャルといわれている。
第４図に戻り、信号測定部５３は、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態（第１４図、第１５図参照）における信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２を受ける。なお、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２を、Ｒｉｊと記載することがある（ただし、ｉ＝１，２、ｊ＝１，２）。
伝送特性導出部５４は、信号測定部５３から信号の測定結果Ｒｉｊを受け、さらに、誤差要因導出部５２により導出された誤差要因Ｅを受ける。伝送特性導出部５４は、信号の測定結果Ｒｉｊと導出された誤差要因Ｅとに基づき、伝送素子４４の伝送特性Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２を導出する。導出された伝送素子４４の伝送特性をＳｉｊａと記載する（ただし、ｉ＝１，２、ｊ＝１，２）。なお、第１６図を参照すれば、信号の測定結果Ｒｉｊと導出された誤差要因Ｅとにより、伝送素子４４の伝送特性Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２を表すことができることがわかる。
伝送特性記録部５６は、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２を記録する。既知である伝送素子４４の伝送特性をＳｉｊｔと記載する（ただし、ｉ＝１，２、ｊ＝１，２）。なお、「既知である」とは、「伝送特性導出部５４による導出の前に知られている」ということを意味している。また、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔは、伝送素子４４の伝送特性の真の値である。
反射素子状態判定部５８は、伝送特性導出部５４により導出された伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａと、伝送特性導出部５４による導出の前に知られている伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔとに基づき、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現しているか否かを判定する。
反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現しているとは、反射素子４１Ｐ、４２Ｐが、無接続状態（ｏｐｅｎ）を実現し、反射素子４１Ｓ、４２Ｓが、短絡状態（ｓｈｏｒｔ）を実現し、反射素子４１Ｌ、４２Ｌが、反射係数０の状態を実現することを意味する。
誤差要因導出部５２は、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅを導出する際に、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していることを前提としている。この前提に基づき、式（１）、（２）のＸに、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌの負荷係数を代入することで、Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１と、Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２とを導出する。
よって、このような前提が正しいのであれば、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅは正しく導出される。よって、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａは、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔ（すなわち、真の値）と一致する（か、または一致しているとみなせるほど近似している）はずである。
また、このような前提が誤っているのであれば、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅは誤って導出される。よって、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａは、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔ（すなわち、真の値）と一致しないはずである。
よって、反射素子状態判定部５８は、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａと、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔとが、一致する（か、または一致しているとみなせるほど近似している）ならば、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していると判定する。
一方、反射素子状態判定部５８は、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａと、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔとが、一致しないならば、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していないと判定する。
なお、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現しているならば、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅは正しく導出される。このため、誤差要因Ｅを第１図のような測定系のキャリブレーションに使用することができる。
次に、本発明の第一の実施形態の動作を説明する。
第１８図は、本発明の第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。まず、誤差要因導出部５２が第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅを導出する（Ｓ１０）。
第１９図は、誤差要因導出部５２が誤差要因Ｅを導出する際の動作を示すフローチャートである。
まず、第８図に示すように、端子５１ａ、５１ｂを、それぞれ、ミキサ１６ａ、１６ｂに接続する。さらに、第６図に示すように、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続する。ここで、第９図に示すように、信号切替部５２２が、端子５１ａ、５１ｂからＲ１１、Ｒ１２を受けて、第一信号源側誤差要因導出部５２３に与える。第一信号源側誤差要因導出部５２３は、Ｒ１１、Ｒ１２およびＸ（反射素子４１Ｐの負荷係数（ｏｐｅｎ）、反射素子４１Ｓの負荷係数（ｓｈｏｒｔ）および反射素子４１Ｌの負荷係数（ｌｏａｄ））を式（１）に代入して、Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１を導出する（Ｓ１０２）。
第一信号源側誤差要因導出部５２３により導出されたＥｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１は、伝送誤差要因導出部５２６に与えられる。
次に、第１２図に示すように、端子５１ｃ、５１ｄを、それぞれ、ミキサ２６ｂ、２６ａに接続する。さらに、第１０図に示すように、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続する。ここで、第１３図に示すように、信号切替部５２２が、端子５１ｃ、５１ｄからＲ２２、Ｒ２１を受けて、第二信号源側誤差要因導出部５２４に与える。第二信号源側誤差要因導出部５２４は、Ｒ２２、Ｒ２１およびＸ（反射素子４２Ｐの負荷係数（ｏｐｅｎ）、反射素子４２Ｓの負荷係数（ｓｈｏｒｔ）および反射素子４２Ｌの負荷係数（ｌｏａｄ））を式（２）に代入して、Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２を導出する（Ｓ１０４）。
第二信号源側誤差要因導出部５２４により導出されたＥｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２は、伝送誤差要因導出部５２６に与えられる。
さらに、第１４図に示すように、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄを、それぞれ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、２６ｂ、２６ａに接続する。さらに、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続する。ここで、スイッチ１３は、信号生成部１２とブリッジ１４ａとを接続する。一方、スイッチ２３は、信号生成部２２と終端抵抗とを接続する。
この状態で、第１７図に示すように、信号切替部５２２が、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄからＲ１１、Ｒ１２、Ｒ２２、Ｒ２１を受けて、誤差要因比導出部５２５に与える。第１６図（ａ）を参照すると、Ｓ２１ｍ、Ｓ１１ｍおよびＲ２１ｍが、それぞれ、Ｒ２２／Ｒ１１、Ｒ１２／Ｒ１１、Ｒ２１／Ｒ１１であることがわかる。誤差要因比導出部５２５は、Ｓ２１ｍ、Ｓ１１ｍおよびＲ２１ｍを求める。
さらに、第１５図に示すように、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄを、それぞれ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、２６ｂ、２６ａに接続する。さらに、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続する。ここで、スイッチ１３は、信号生成部１２と終端抵抗とを接続する。一方、スイッチ２３は、信号生成部２２とブリッジ２４ａとを接続する。
この状態で、第１７図に示すように、信号切替部５２２が、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄからＲ１１、Ｒ１２、Ｒ２２、Ｒ２１を受けて、誤差要因比導出部５２５に与える。第１６図（ｂ）を参照すると、Ｓ２２ｍ、Ｓ１２ｍおよびＲ１２ｍが、それぞれ、Ｒ２２／Ｒ２１、Ｒ１２／Ｒ２１、Ｒ１１／Ｒ２１であることがわかる。誤差要因比導出部５２５は、Ｓ２２ｍ、Ｓ１２ｍおよびＲ１２ｍを求める。
このようにして求めたＳ２１ｍ、Ｓ１１ｍおよびＲ２１ｍと、Ｓ２２ｍ、Ｓ１２ｍおよびＲ１２ｍとを式（３）に代入して、誤差要因比（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）を導出する（Ｓ１０６）。
誤差要因比導出部５２５により導出された誤差要因比（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）は、伝送誤差要因導出部５２６に与えられる。
伝送誤差要因導出部５２６は、第一信号源１０における誤差要因Ｅｉ１・Ｅｏ１と、第二信号源２０における誤差要因Ｅｉ２・Ｅｏ２と、誤差要因比（Ｅｉ１・Ｅｏ２）／（Ｅｉ２・Ｅｏ１）とに基づき第一伝送誤差要因（Ｅｉ１・Ｅｏ２）および第二伝送誤差要因（Ｅｉ２・Ｅｏ１）を導出する（Ｓ１０８）。第一伝送誤差要因をＰ、第二伝送誤差要因をＱとすると、Ｐ・Ｑ＝（Ｅｉ１・Ｅｏ２）・（Ｅｉ２・Ｅｏ１）＝（Ｅｉ１・Ｅｏ１）・（Ｅｉ２・Ｅｏ２）であり、誤差要因比＝Ｐ／Ｑであり、Ｐ・ＱおよびＰ／Ｑがわかるので、ＰおよびＱを導出できる。
伝送誤差要因導出部５２６は、誤差要因Ｅを、伝送特性導出部５４に与える。
次に、第１８図に戻り、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態（第１４図、第１５図参照）における信号の測定が行われる（Ｓ１２）。信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２は、信号測定部５３に与えられる。
伝送特性導出部５４は、信号測定部５３から信号の測定結果Ｒｉｊを受け、さらに、誤差要因導出部５２により導出された誤差要因Ｅを受ける。伝送特性導出部５４は、信号の測定結果Ｒｉｊと導出された誤差要因Ｅとに基づき、伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａを導出する（Ｓ１４）。
反射素子状態判定部５８は、伝送特性導出部５４により導出された伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａを受ける。さらに、反射素子状態判定部５８は、伝送特性導出部５４による導出の前に知られている伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔ（すなわち、真の値）を伝送特性記録部５６から読み出す。しかも、反射素子状態判定部５８は、伝送特性Ｓｉｊａと伝送特性Ｓｉｊｔ（すなわち、真の値）とを比較し、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現しているか否かを判定する（Ｓ１６）。
伝送特性Ｓｉｊａと伝送特性Ｓｉｊｔとが一致する（か、または一致しているとみなせるほど近似している）ならば、反射素子状態判定部５８は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していると判定する。
伝送特性Ｓｉｊａと伝送特性Ｓｉｊｔとが一致しないならば、反射素子状態判定部５８は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していないと判定する。
第２０図は、反射素子判定装置５０を、測定系のキャリブレーションに使用する際のシステム構成を示す図である。
まず、第３図に示すようなシステム構成で、反射素子判定装置５０は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していると判定する。その後、反射素子判定装置５０および校正用機器４が、第一信号源１０および第二信号源２０から取り外される。
その後、第２０図を参照して、第１図と同様に、被測定物２を介して、第一信号源１０と第二信号源２０とを接続する。さらに、第一信号源１０のミキサ１６ａ、１６ｂおよび第二信号源２０のミキサ２６ａ、２６ｂが測定装置６０に取り付けられる。また、測定装置６０には、反射素子判定装置５０が取り付けられ、反射素子判定装置５０の誤差要因導出部５２から誤差要因Ｅが測定装置６０に与えられる。
なお、誤差要因Ｅは、先に説明したとおり、誤差要因導出部５２により、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌを第一信号源１０に接続した状態における信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２（第９図参照）と、反射素子４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌを第二信号源２０に接続した状態における信号の測定結果Ｒ２１、Ｒ２２（第１３図参照）と、伝送素子４４を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２（第１７図参照）とに基づき導出されたものである。
まず、第２０図に示す状態で、スイッチ１３が、信号生成部１２とブリッジ１４ａとを接続し、スイッチ２３が、信号生成部２２と終端抵抗とを接続する。これにより、出力端子１９から信号生成部１２により生成された信号が出力されるとともに、出力端子２９を経由して信号生成部１２により生成された信号が第二信号源２０に入力されるすると、ミキサ１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂからＲ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２（信号の測定結果）が測定装置６０に与えられる。この状態をシグナルフローグラフで表すと、第２図（ａ）になる。
また、第２０図に示す状態で、スイッチ１３が、信号生成部１２と終端抵抗とを接続し、スイッチ２３が、信号生成部２２とブリッジ２４ａとを接続する。これにより、出力端子２９から信号生成部２２により生成された信号が出力されるとともに、出力端子１９を経由して信号生成部２２により生成された信号が第一信号源１０に入力される。すると、ミキサ１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂからＲ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２（信号の測定結果）が測定装置６０に与えられる。この状態をシグナルフローグラフで表すと、第２図（ｂ）になる。
測定装置６０は、被測定物２を介して第一信号源１０と第二信号源２０とを接続した状態における信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２と、誤差要因Ｅとに基づき、被測定物２のＳパラメータＳ１１ｄ、Ｓ１２ｄ、Ｓ２１ｄおよびＳ２２ｄを測定する。第２図（ａ）、（ｂ）のシグナルフローグラフから、信号の測定結果Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２と、誤差要因Ｅとにより、被測定物２のＳパラメータＳ１１ｄ、Ｓ１２ｄ、Ｓ２１ｄおよびＳ２２ｄを表すことができる。
本発明の第一の実施形態によれば、反射素子判定装置５０により、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現しているか否かを判定することができる。反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現している場合は、誤差要因導出部５２が導出した誤差要因Ｅが正しいといえる。そこで、この誤差要因Ｅを用いて、被測定物２のＳパラメータＳ１１ｄ、Ｓ１２ｄ、Ｓ２１ｄおよびＳ２２ｄを求めれば（第２０図参照）、正確に被測定物２のＳパラメータを求めることができる。
ここで、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していると判定するために、校正用機器４の他に、Ｓパラメータが既知であるチェック経路を使用する必要が無いことに留意されたい。伝送素子４４をチェック経路としても使用するため、チェック経路を省略することができ、測定系の反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌの点検を簡易に行うことができる。
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる素子判定装置５１０（第２１図参照）は、第一の実施形態にかかる反射素子判定装置５０において、既知である伝送素子４４の伝送特性が必ずしも真の値とは限らない（例えば、伝送素子４４が経年変化または故障している場合）ときに、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ、伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現しているか否かを判定するものである。
第２１図は、本発明の第二の実施形態にかかる信号生成システム１および素子判定装置５１０を示す図である。なお、信号生成システム１および素子判定装置５１０が、校正装置を構成する。
信号生成システム１は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
第２２図は、第二の実施形態にかかる素子判定装置５１０の構成を示す機能ブロック図である。素子判定装置５１０は、端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、誤差要因導出部５２、信号測定部５３、伝送特性導出部５４、伝送特性記録部５６、素子状態判定部５９を備える。
端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、誤差要因導出部５２、信号測定部５３、伝送特性導出部５４は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
伝送特性記録部５６は、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２を記録する。既知である伝送素子４４の伝送特性をＳｉｊｔと記載する（ただし、ｉ＝１，２、ｊ＝１，２）。ここで、「既知である」とは、「伝送特性導出部５４による導出の前に知られている」（例えば、伝送素子４４の仕様で定められている値）ということを意味している。しかし、第二の実施形態においては、第一の実施形態とは異なり、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔは、伝送素子４４の伝送特性の真の値とは限らない。伝送素子４４の経年変化や故障により、伝送素子４４の伝送特性が、既知である伝送特性とは異なる場合が生じるからである。
素子状態判定部５９は、伝送特性導出部５４により導出された伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａと、伝送特性導出部５４による導出の前に知られている伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔとに基づき、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現しているか否かを判定する。
所定の反射状態の定義は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。所定の伝送状態とは、伝送特性記録部５６に記録された伝送素子４４の伝送状態である。
誤差要因導出部５２は、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅを導出する際に、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していることを前提としている。この前提に基づき、式（１）、（２）のＸに、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌの負荷係数を代入することで、Ｅｄ１，Ｅｓ１およびＥｉ１・Ｅｏ１と、Ｅｄ２，Ｅｓ２およびＥｉ２・Ｅｏ２とを導出する。
よって、このような前提が正しいのであれば、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅは正しく導出される。よって、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａは、伝送素子４４の伝送特性に一致する（一致しているとみなせるほど近似している場合を含む、以下同様）はずである。ここで、伝送素子４４の伝送特性が所定の伝送状態（既知の伝送特性）と一致しているならば、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａは、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔと一致する。
すなわち、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現しており、かつ、伝送素子４４が所定の伝送状態を実現している場合は、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａが、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔと一致する。
このことから、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａが、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔと一致しない場合は、（１）反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していない場合、（２）伝送素子４４が所定の伝送状態を実現していない場合、のいずれかまたは双方が考えられる。
よって、素子状態判定部５９は、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａと、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔとが、一致するならば、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現していると判定する。
一方、素子状態判定部５９は、伝送特性導出部５４が導出する伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａと、既知である伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔとが、一致しないならば、（１）反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していない場合、（２）伝送素子４４が所定の伝送状態を実現していない場合、のいずれかまたは双方が生じていると判定する。
なお、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現しているならば、第一信号源１０および第二信号源２０における誤差要因Ｅは正しく導出される。このため、誤差要因Ｅを第１図のような測定系のキャリブレーションに使用することができる。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
第二の実施形態の動作は第一の実施形態と同様である（第１８図、第１９図参照）。ただし、第二の実施形態の動作は、第一の実施形態とは、第一の実施形態における第１８図のＳ１６の工程が異なるので、説明する。
素子状態判定部５９は、伝送特性導出部５４により導出された伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊａを受ける。さらに、素子状態判定部５９は、伝送特性導出部５４による導出の前に知られている伝送素子４４の伝送特性Ｓｉｊｔ（既知の伝送特性）を伝送特性記録部５６から読み出す。しかも、素子状態判定部５９は、伝送特性Ｓｉｊａと伝送特性Ｓｉｊｔ（既知の伝送特性）とを比較し、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現しているか否かを判定する（Ｓ１６）。
伝送特性Ｓｉｊａと伝送特性Ｓｉｊｔとが一致するならば、素子状態判定部５９は、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現しているか否かを判定する。
伝送特性Ｓｉｊａと伝送特性Ｓｉｊｔとが一致しないならば、素子状態判定部５９は（１）反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現していない場合、（２）伝送素子４４が所定の伝送状態を実現していない場合、のいずれかまたは双方が生じていると判定する。
第２３図は、素子判定装置５１０を、測定系のキャリブレーションに使用する際のシステム構成を示す図である。第２０図におけるシステム構成の反射素子判定装置５０を素子判定装置５１０に置き換えただけであり、第２０図を参照して説明したものと同様な構成をとる。
本発明の第二の実施形態によれば、素子判定装置５１０により、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現しているか否かを判定することができる。反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現している場合は、誤差要因導出部５２が導出した誤差要因Ｅが正しいといえる。そこで、この誤差要因Ｅを用いて、被測定物２のＳパラメータＳ１１ｄ、Ｓ１２ｄ、Ｓ２１ｄおよびＳ２２ｄを求めれば（第２３図参照）、正確に被測定物２のＳパラメータを求めることができる。
ここで、反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌが所定の反射状態を実現し、かつ伝送素子４４が所定の伝送状態（既知の伝送特性）を実現していると判定するために、校正用機器４の他に、Ｓパラメータが既知であるチェック経路を使用する必要が無いことに留意されたい。伝送素子４４をチェック経路としても使用するため、チェック経路を省略することができ、測定系の反射素子４１Ｐ、４１Ｓ、４１Ｌ、４２Ｐ、４２Ｓ、４２Ｌおよび伝送素子４４の点検を簡易に行うことができる。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、反射素子判定装置５０（端子５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄを除く）、測定装置６０、素子判定装置５１０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【図１】
2008026711.tif 000003
【図２】
2008026711.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008026711.tif 000009
【図８】
2008026711.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2008026711.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年3月12日(2008.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定装置であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出手段と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出手段と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定手段と、
を備え、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
素子判定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定装置であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出手段と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出手段と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出手段による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定手段と、
を備え、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
素子判定装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定方法であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出工程と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出工程と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出工程による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定工程と、
を備え、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
素子判定方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
プログラム。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現しているか否かを判定する反射素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であり、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
記録媒体。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定方法であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出工程と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出工程と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出工程による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定工程と、
を備え、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
素子判定方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
プログラム。
【手続補正８】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
（１）信号の送信および受信が可能である第一信号源および第二信号源と、（２）前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続でき、所定の反射状態を実現する反射素子と、（３）所定の伝送状態を実現し、第一端子および第二端子を有し、前記第一端子から前記第二端子に向かう方向に関する伝送特性と、前記第二端子から前記第一端子に向かう方向に関する伝送特性とが等しい伝送素子と、を有する信号生成システムにおける前記反射素子および前記伝送素子の状態を判定する素子判定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記反射素子を前記第一信号源および前記第二信号源の各々に接続した状態における信号の測定結果と、前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果とに基づき前記第一信号源および前記第二信号源における誤差要因を導出する誤差要因導出処理と、
前記伝送素子の前記第一端子および前記第二端子をそれぞれ前記第一信号源および前記第二信号源に接続した状態における信号の測定結果と、導出された前記誤差要因とに基づき、前記伝送素子の伝送特性を導出する伝送特性導出処理と、
導出された前記伝送素子の伝送特性と、前記伝送特性導出処理による導出の前に知られている前記伝送素子の伝送特性とに基づき、前記反射素子が前記所定の反射状態を実現し、かつ前記伝送素子が前記所定の伝送状態を実現しているか否かを判定する素子状態判定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であり、
前記反射素子および前記伝送素子が校正用の素子である、
記録媒体。
【国際調査報告】
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2008026711.tif 000027
2008026711.tif 000028
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