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　特願２０１３−５３１６１１「センサー素子、その製造方法、及びそれを含むセンサー装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　４月１９日国際公開、ＷＯ２０１２／０５０６８６、平成２５年１１月２１日国内公表、特表２０１３−５４２４２２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１１年（平成２３年）９月７日（パリ条約による優先権主張　２０１０年９月３０日　 米国）を国際出願日とする出願であって、平成２７年５月２７日付けで拒絶理由が通知され、同年１１月２０日に意見書及び手続補正書が提出され、平成２８年３月３１日付けで拒絶査定されたところ、同年８月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。その後当審において平成２９年６月１日付けで拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年９月５日に意見書及び手続補正書が提出されたものである。
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし３に係る発明は、平成２９年９月５日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定される発明であって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は以下のとおりの発明である。
　なお、本願発明は、以下のとおり、当審にて分節しＡ）〜Ｇ）の見出しを付けた。
「　　【請求項１】
Ａ）センサー素子であって、
Ｂ）電気的に結合された第１導電性部材を有する第１導電性電極と、
Ｃ）固有ミクロ孔質のポリマーを含む吸収性誘電体層と、
Ｄ）電気的に結合された第２導電性部材を有する熱蒸着された第２導電性電極と、を備え、
Ｅ）熱蒸着された前記第２導電性電極が少なくとも１種類の貴金属を含み、熱蒸着された前記第２導電性電極が、前記吸収性誘電体層の主表面と同一の広がりを持つと共に４〜８ナノメートルの厚さを有し、少なくとも１種類の有機蒸気に対して透過性があり、
Ｆ）前記吸収性誘電体層が、少なくとも部分的に前記第１導電性電極と熱蒸着された前記第２導電性電極との間に配置されている、
Ｇ）センサー素子。」
第３　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
（１）引用文献１に記載された事項
　当審拒絶理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００２−３２８１１０号公報（以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている（下線は当審による。以下同様。）。
（引１ａ）「【０００２】
【従来の技術】感湿材料として高分子膜を用いた湿度検出センサは、大別して静電容量を測定するタイプのものと電気抵抗を測定するタイプの２種類がある。これらのうち、静電容量を測定して湿度を検出するタイプのものは、湿度応答性が良好で、ヒステリシスが小さく、感湿特性の湿度依存性も小さく、計測可能な湿度・温度範囲も広いという特徴を備えている。
【０００３】このタイプのセンサは、一般に、次のような構造になっている。すなわち、基板の片面に、薄い下側電極と電気絶縁性でかつ感湿特性を有する高分子膜と多孔質構造の薄い上側電極とをこの順序で積層して成るセンサ本体が形成され、下側電極と上側電極のそれぞれからはリード線を引き出した構造である。その場合、基板としては電気絶縁性で適当な強度を有する絶縁材料が使用され、それでセンサ全体の強度を確保している。
【０００４】したがって、このセンサ構造において、基板上に形成されている上記センサ本体は、平行平板型のコンデンサ構造になっている。このセンサは次のような作動原理に基づいて環境中の湿度を検出する。
上記センサをある相対湿度の環境下に置くと、環境中の水蒸気ガス（水分子）は多孔質構造の上側電極を透過してその下に位置する高分子膜の表面にまで到達し、更に、当該高分子膜の内部に吸蔵される。
　・・・
【０００６】したがって、上側電極と下側電極から引き出されている各リード線をインピーダンスアナライザに接続して、
センサ本体の静電容量に関する出力信号を検出すれば、その出力信号に基づいて高分子膜への水蒸気ガスの吸蔵量
を測定することができる
　・・・
【０００８】そして実際の湿度検出が行われる。すなわち、このセンサを湿度測定対象の環境下に配置し、そのときの出力信号を検出する。その出力信号が、仮にＣｎであったとすれば、測定対象の環境における相対湿度をＸｎとして測定装置が読みとる。
この検出方式は、上記した水蒸気ガス以外の分子、例えば極性を有するホルムアルデヒド、アセトン、アルコールなどに対しても適用することができる
（引１ｂ）「【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記した目的を達成するための研究過程で、静電容量測定型の湿度検出センサにおけるドリフト劣化の発生要因に関して以下のような考察を行った。
（１）
一般に高分子膜は、高分子の重縮合によって形成された骨格部と、この骨格部の中に微細孔の形態をとって３次元的に分布する自由体積部とで構成されている。そして、水蒸気ガスの高分子膜への吸蔵現象とは、水蒸気ガスが上記した自由体積部に捕捉される現象であると解釈することができる。
（引１ｃ）「【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の静電容量センサを、湿度検出センサを例にして以下に詳細に説明する。最初に、センサＡについて説明する。まず、図１に本発明のセンサＡの１例Ａ１を示す。このセンサＡ１は、厚み方向に貫通する貫通孔１Ａが中央に１個形成されている枠形状をした
基板１の上に、
下側電極２Ａと高分子膜２Ｂと多孔質構造
の上側電極２Ｃとをこの順序で積層してなる平行平板型のコンデンサ構造のセンサ本体２が配置されている。
　・・・
【００２０】まず、図２で示したように、所定形状の基板１の上に、例えば真空蒸着法やスパッタ法を適用して電極材料を成膜して下側電極２Ａを形成する。基板１としては、電気絶縁性の材料から成る基板であれば何であってもよく、例えば、ガラス；石英；シリコン；窒化ケイ素、窒化アルミニウム、ジルコニア、サイアロンのようなセラミックス；サファイアなどの基板をあげることができる。これらのうち、ガラス基板は価格の点や後述する基板加工が行いやすいなどの点から好適である。
　・・・
【００２２】この下側電極２Ａの厚みは格別限定されるものではないが、通常は、０.０２〜１μｍ程度にすればよい。ついで、図３で示したように、下側電極２Ａを埋設して高分子膜２Ｂが成膜される。この高分子膜２Ｂの構成材料としては、電気絶縁性でかつ感湿特性を備えるものであれば何であってもよく、例えば、ポリイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリエーテル、ポリアミドイミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチルエーテルケトン、ポリエーテルケトン、セルロースアセテートブチル、セルロースアセテートなどの有機高分子材料、および架橋高分子材料をあげることができる。
　・・・
【００２５】ついで、図４で示したように、高分子膜２Ｂの上に例えば
真空密着法
を適用して多孔質構造
の上側電極２Ｃを成膜してコンデンサ構造のセンサ本体２を形成する。上側電極２Ｃの形成に用いる電極材料としては、
Ａｕ、Ｐｔ
Ｐｄ
などをあげることができる。
【００２６】この
上側電極２Ｃの厚みをあまり厚くすると、環境における湿度変化に対する応答速度の低下が起こりはじめ、逆に薄くなりすぎると、電極面が島状構造に近づいて電極としての導電性が低下するようになるので、その厚みは、通常、１０〜３００nm程度に設定される
（引１ｄ）図１は、以下のようなものである。
（２）引用文献１の記載から把握できる事項
ア　（引１ｃ）の【００２５】段落の「真空密着法」は、【００２０】段落の記載などから「真空蒸着法」の誤記であることは明らかであるから、「真空蒸着法」と読み替える。
（３）引用文献１に記載された発明
　上記（引１ａ）−（引１ｃ）の下線部の事項に、上記（２）での事項を加えて整理すると、引用文献１には、以下の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　なお、引用発明の認定の根拠となった対応する段落番号等を付記した。
「基板の上に、下側電極２Ａと、高分子膜２Ｂと多孔質構造の上側電極２Ｃとをこの順序で積層してなる平行平板型のコンデンサ構造のセンサ本体２であって（【００１８】）、
　上記センサをある相対湿度の環境下に置くと、環境中の水蒸気ガス（水分子）は多孔質構造の上側電極を透過してその下に位置する高分子膜の表面にまで到達し、更に、当該高分子膜の内部に吸蔵され（【０００４】）、
　高分子膜は、高分子の重縮合によって形成された骨格部と、この骨格部の中に微細孔の形態をとって３次元的に分布する自由体積部とで構成されており、水蒸気ガスの高分子膜への吸蔵現象とは、水蒸気ガスが上記した自由体積部に捕捉される現象であると解釈することができ（【００１２】）、
　センサ本体の静電容量に関する出力信号を検出すれば、その出力信号に基づいて高分子膜への水蒸気ガスの吸蔵量を測定することができるものであって（【０００６】）、
　多孔質構造の上側電極２Ｃの形成に用いる電極材料としては、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄなどであり（【００２５】）、
　多孔質構造の上側電極２Ｃは、真空蒸着法を適用して成膜され（【００２５】、上記（２）ア）、
　この上側電極２Ｃの厚みをあまり厚くすると、環境における湿度変化に対する応答速度の低下が起こりはじめ、逆に薄くなりすぎると、電極面が島状構造に近づいて電極としての導電性が低下するようになるので、その厚みは、通常、１０〜３００ｎｍ程度に設定され（【００２６】）、
　水蒸気ガス以外の分子、例えば極性を有するホルムアルデヒド、アセトン、アルコール等に対しても適用することができる（【０００８】）
　センサ本体。」
２　引用文献２について
　当審拒絶理由に引用された、本願の優先日前に電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、国際公開第２００９／０４５７３３号（以下、「引用文献２」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている（日本語訳は、引用文献２のパテントファミリーである特表２０１０−５４０９６６号公報を参照して、当審が作成した。）。
（引２ａ）「These discussions will refer to both Fig. 1, which depicts an exemplary sensing element based on the general configuration of a parallel plate capacitor, and Figs. 2, 2a, and 3, which depict exemplary sensing elements based on the general configuration of an interdigitated capacitor.」（第６頁１５−１８行目）
　日本語訳：これらの説明は、平行平板コンデンサの一般的な構成に基づく代表的なセンサ要素を表わす図１、及び交互配置コンデンサの一般的な構成に基づく代表的なセンサ要素を表わす図２、２ａ、３の両方を参照する。
（引２ｂ）「In one embodiment, the analyte-responsive dielectric material is chosen from the family of materials comprising so-called polymers of intrinsic microporosity (hereafter called PIMs). 」（第７頁１７−１９行目）
　日本語訳：一実施形態では、検体反応性誘電体材料は、いわゆる「固有マクロ孔質のポリマー」（以降、ＰＩＭｓと称される）を含む材料の一群から選択される。
（引２ｃ）「PIMs have the advantage of possessing microporosity that is not significantly dependent on the thermal history of the material. PIMs thus may offer advantages in terms of being reproducibly manufacturable in large quantities, and in terms of not exhibiting properties that change upon aging, shelf life, etc.」（第８頁７−１０行目）
　日本語訳：ＰＩＭｓは、材料の熱履歴に顕著に依存することのない、ミクロ孔質を備えることの利点を提供する。したがって、ＰＩＭｓは、大量に再生可能に製造可能であるという点で、また老朽化、及び貯蔵寿命等によって変化する特性を呈さないという点で、利益を提供することがある。
（引２ｄ）「In this context, the terms microporous and microporosity mean that the material has a significant amount of internal, interconnected pore volume, with the mean pore size (as characterized, for example, by sorption isotherm procedures) being less than about 100 nm. Such microporosity provides that molecules of organic analyte (if present) will be able to penetrate the internal pore volume of the material and take up residence in the internal pores. The presence of such analyte in the internal pores can alter the dielectric properties of the material such that a change in the dielectric constant (or any other suitable electrical property) can be observed. Without being limited by theory or mechanism, applicant considers that the disclosed sensing element 1/101, relying on a microporous dielectric material, may have advantageous properties with regard to the sensing of an organic analyte, in that a measurable change in an electrical property of the dielectric material may be caused by the presence of the analyte molecules in the pores. Thus, it may be possible to detect the analyte without the analyte molecules being required to be solubilized in the polymeric material itself to a sufficient extent to cause a change in a property of the polymeric material such as swelling and/or expansion (although such a phenomenon may also occur and may also contribute to a measurable electrical response). Such a microporous nature of the analyte-responsive dielectric material may contribute to increased sensitivity of the dielectric material to small amounts of organic analyte.」（第８頁１１−２８行目）
　日本語訳：この文脈において、用語「ミクロ孔質の」及び「ミクロ孔質」は、材料が有意な規模の、内部の相互接続された間隙体積を有し、平均孔径（例えば、吸着等温線手段によって特徴付けられる）は、約１００ｎｍ未満である。このようなミクロ孔質により、有機検体の分子（存在する場合）が、材料の内部細孔容積に浸透し、内部細孔に定着することが可能となる。内部細孔中のこのような検体の存在は、材料の誘電特性を変化させることができ、それによって誘電率（又は他の任意の好適な電気的特性）の変化が観察され得る。理論又は機構によって制限されることなく、出願人は、ミクロ孔質誘電体材料に依存する開示される感知素子１／１０１は、誘電体材料の電気的特性の測定可能な変化が細孔中の検体分子の存在によって生じ得るという点において、有機検体の感知に関する有利な特性を有することがあるものと考える。したがって、検体分子が、増大及び／又は膨張（ただし、このような現象もまた生じることがあり、やはり測定可能な電気的反応に寄与することがある）などの、ポリマー材料の特性の変化を生じるために十分な程度、ポリマー材料自体の中で可溶化されることを必要とせずに、検体を検出することが可能であり得る。このような検体応答性誘電体材料のミクロ孔質特性は、誘電体材料の、少量の有機検体への高い応答性に寄与することがある。
（引２ｅ）「In general, the edges of the various layers can be aligned flush with each other (as depicted in the exemplary embodiment of Fig.1).」（第１６頁３−４行目）
　
　日本語訳：一般的には、（図１の代表的な実施形態において示されるように、）各層の端部は互いにピッタリと重なるように位置合わせされ得る。
（引２ｆ）Fig.1は、以下のようなものである。
第４　当審の判断
１　対比
（１）　Ａ）、Ｇ）について
　引用発明の「センサ本体２」は、本願発明の「センサー素子」に相当する。
（２）　Ｂ）について
　引用発明の「下側電極２Ａ」は、電極である以上、電気的に結合された導電性部材を含んでいることは明らかであるから、本願発明の「電気的に結合された第１導電性部材を有する第１導電性電極」に相当する。
（３）　Ｃ）について
　引用発明の「高分子膜２Ｂ」は、平行平板型のコンデンサにおける誘電体層として機能し、「微細孔の形態をとって３次元的に分布する自由体積部」を有して、「自由体積部に」「ガス」を「補足」する「吸蔵現象」を起こす層であるから、引用発明の「高分子膜２Ｂ」と本願発明の「固有ミクロ孔質のポリマーを含む吸収性誘電体層」とは、「孔質のポリマーを含む吸収性誘電体層」である点で共通する。
（４）　Ｄ）について
　引用発明の「真空蒸着法を適用して成膜され」た「上側電極２Ｃ」は、電極である以上、電気的に結合された導電性部材を有していることは明らかであり、また、「真空蒸着法」が材料を加熱する工程を含む蒸着方法すなわち熱蒸着方法であることは明らかであるから、本願発明の「電気的に結合された第２導電性部材を有する熱蒸着された第２導電性電極」に相当する。
（５）　Ｅ）について
ア　「熱蒸着された前記第２導電性電極が少なくとも１種類の貴金属を含み」について
　引用発明の「真空蒸着法を適用して成膜され」た「上側電極２Ｃの形成に用いる電極材料としては、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄなどであ」ることは、本願発明の「熱蒸着された前記第２導電性電極が少なくとも１種類の貴金属を含」むことに相当する。
イ　「少なくとも１種類の有機蒸気に対して透過性があ」ることについて
　引用発明の「平行平板型のコンデンサ構造のセンサ本体２」における「多孔質構造の上側電極」は、「環境中の水蒸気ガス（水分子）」を「透過」させるものであって、引用発明の「センサ本体２」は、「水蒸気ガス以外の分子、例えば極性を有するホルムアルデヒド、アセトン、アルコール等」といった有機蒸気「に対しても適用することができる」ものであるから、そのようなセンサ本体２における「多孔質構造の上側電極２Ｃ」が、少なくともホルムアルデヒド、アセトン、アルコールといった有機蒸気に対して透過性があることは明らかである。
　したがって、引用発明の「水蒸気ガス以外の分子、例えば極性を有するホルムアルデヒド、アセトン、アルコール等に対しても適用することができる」「平行平板型のコンデンサ構造のセンサ本体２」における「多孔質構造の上側電極２Ｃ」は、本願発明の「少なくとも１種類の有機蒸気に対して透過性があ」る「第２導電性電極」に相当する。
ウ　Ｅ）について、まとめ
　上記ア−イから、引用発明の「真空蒸着法を適用して成膜され」た「上側電極２Ｃの形成に用いる電極材料としては、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄなどであり」、「真空蒸着法を適用して成膜され」た「上側電極２Ｃ」が、「水蒸気ガス以外の分子、例えば極性を有するホルムアルデヒド、アセトン、アルコール等に対しても適用することができる」「平行平板型のコンデンサ構造のセンサ本体２」における「多孔質構造の上側電極２Ｃ」であることと、本願発明の「熱蒸着された前記第２導電性電極が少なくとも１種類の貴金属を含み、熱蒸着された前記第２導電性電極が、前記吸収性誘電体層の主表面と同一の広がりを持つと共に４〜８ナノメートルの厚さを有し、少なくとも１種類の有機蒸気に対して透過性があ」ることとは、「熱蒸着された前記第２導電性電極が少なくとも１種類の貴金属を含み、熱蒸着された前記第２導電性電極が、少なくとも１種類の有機蒸気に対して透過性があ」る点で共通する。
（６）　Ｆ）について
　引用発明の「下側電極２Ａと、高分子膜２Ｂと多孔質構造の上側電極２Ｃとをこの順序で積層」されていることは、「高分子膜２Ｂ」が「下側電極２Ａ」と「多孔質構造の上側電極２Ｃ」との間に配置されていることを意味しているから、本願発明の「前記吸収性誘電体層が、少なくとも部分的に前記第１導電性電極と熱蒸着された前記第２導電性電極との間に配置されている」ことに相当する。
（７）　上記（１）−（６）から、本願発明と、引用発明とは、以下の一致点で一致し、以下の相違点で相違する。
＜一致点＞
「センサー素子であって、
　電気的に結合された第１導電性部材を有する第１導電性電極と、
　孔質のポリマーを含む吸収性誘電体層と、
　電気的に結合された第２導電性部材を有する熱蒸着された第２導電性電極と、を備え、
　熱蒸着された前記第２導電性電極が少なくとも１種類の貴金属を含み、熱蒸着された前記第２導電性電極が、少なくとも１種類の有機蒸気に対して透過性があり、
　前記吸収性誘電体層が、少なくとも部分的に前記第１導電性電極と熱蒸着された前記第２導電性電極との間に配置されている、
　センサー素子。」
＜相違点＞
（相違点１）「孔質のポリマーを含む吸収性誘電体層」について、本願発明は、「固有ミクロ孔質」のポリマーであるのに対して、引用発明は、「高分子の重縮合によって形成された骨格部と、この骨格部の中に微細孔の形態をとって３次元的に分布する自由体積部とで構成されて」いるものである点。
（相違点２）第２導電性電極が、本願発明では「吸収性誘電体層の主表面と同一の広がりを持つ」のに対して、引用発明では、広がりについて明確に特定されていない点。
（相違点３）貴金属を用いた場合の第２導電性電極の厚さについて、本願発明は、「４〜８ナノメートル」であるのに対して、引用発明は、「多孔質構造の上側電極２Ｃは、真空蒸着法を適用して成膜され、この上側電極２Ｃの厚みをあまり厚くすると、環境における湿度変化に対する応答速度の低下が起こりはじめ、逆に薄くなりすぎると、電極面が島状構造に近づいて電極としての導電性が低下するようになるので、その厚みは、通常、１０〜３００ｎｍ程度に設定され」ている点。
２　判断
（１）相違点１について
　引用文献２には、（引２ａ）ないし（引２ｄ）の記載からみて、平行平板コンデンサ型のセンサー本体において、第１電極と第２電極との間に配置されて、有機検体の分子がその内部細孔容積に浸透し内部細孔に定着することで材料の誘電率が変化する検体反応性誘電体材料として、固有マクロ孔質のポリマー（ＰＩＭｓ）を採用することで、大量に再生可能に製造可能であり、また老朽化、及び貯蔵寿命等によって変化する特性を呈さず、少量の有機検体への高い応答性に寄与するものとする利点が得られるという技術的事項が記載されている。
　また、引用発明における「高分子膜」と引用文献２記載の「固有マクロ孔質のポリマー」の層とは、ともに、平行平板コンデンサ型の有機蒸気センサ本体に用いられる誘電体層であって、引用文献１の(引１ａ)の【０００２】−【０００８】、(引１ｂ)の【００１２】段落に記載がされている高分子膜中の自由体積部へのガス分子の吸蔵による誘電率の変化と、引用文献２の（引２ｄ）に記載されている固有マクロ孔質のポリマー中の内部間隙容積への浸透及び内部細孔への定着による誘電率の変化とは、同様の物理化学的原理に基づくものであることは明らかである。
　したがって、引用発明における「高分子膜」に替えて、引用文献２に開示された上記利点を有する「固有マクロ孔質のポリマー」を採用することは、十分な動機があるから、引用発明の「高分子膜」に替えて、引用文献２記載の「固有ミクロ孔質のポリマー」を採用することは、当業者であれば容易に想到しうることである。
（２）相違点２について
　引用文献２には、（引２ａ）、（引２ｅ）及び（引２ｆ）の記載からみて、平行平板コンデンサ型のセンサ本体において、上側電極は吸収性誘電体層の主表面と同一の広がりを持つように形成されるものが開示されている。
　引用発明において、上記平行平板コンデンサ型の上側電極と吸収性誘電体層との位置関係について、引用文献２に開示されている平行平板コンデンサ型の電極形状を採用することは、当業者であれば容易に想到しうることである。
（３）相違点３について
　引用発明における「上側電極２Ｃ」の厚さは、「この上側電極２Ｃの厚みをあまり厚くすると、環境における湿度変化に対する応答速度の低下が起こりはじめ、逆に薄くなりすぎると、電極面が島状構造に近づいて電極としての導電性が低下するようになる」ことを考慮して設定されたものである。
　また、上側電極の材料として貴金属を用いる際の具体的な膜厚の上限値及び下限値は、貴金属の具体的材料、被蒸着面の材料や表面性状、真空蒸着の各種条件などにより変化することは、当業者に自明のことである。
　すると、上記事項を考慮して適宜実験等を行なって最適化することは、当業者の通常の創作能力の発揮の範囲内のものであって、その結果、４〜８ｎｍとすることは、当業者が設計する範囲のものである。
　なお、引用発明の「その厚みは、通常、１０〜３００nm程度に設定される」との数値範囲は、種々設計される「上側電極」の厚さを例示しただけのものであって、４〜８ｎｍに設定することの阻害要因とはならない。
（４）本願発明の効果について
　本願発明の効果は、引用発明及び引用文献２記載の技術的事項に基づいて、当業者であれば予測しえたものであって、格別なものではない。
（５）小括
　上記（１）−（４）から、本願発明は、引用発明及び引用文献２記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
第５　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。