(57)【要約】  電子装置の初期劣化不良品を取り除くのに有効なストレス印加ステップを導入した、電子装置の試験方法。一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する方法が、該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値を変更しつつ電源のオン／オフを繰り返すステップと、前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認するステップと、を含むように構成される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する方法であって、  該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返すステップと、  前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認するステップと、  を具備することを特徴とする、電子装置の試験方法。
【請求項２】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、該電圧値を定格電圧、電源オン時間を一定時間に維持しつつ、電源オフ時間をランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項３】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、該電圧値を定格電圧、電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、電源オン時間をランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項４】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、電源オン時間及び電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、該電圧値をランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項５】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、電源オン時間及び／又は電源オフ時間をランダムに変更するとともに、該電圧値をもランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項６】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップが、温度バーンイン試験のステップと組み合わされて実施される、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項７】
一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する装置であって、  該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返す手段と、  前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認する手段と、  を具備することを特徴とする、電子装置の試験装置。
【請求項８】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、該電圧値を定格電圧、電源オン時間を一定時間に維持しつつ、電源オフ時間をランダムに変更する、請求項７に記載の電子装置の試験装置。
【請求項９】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、該電圧値を定格電圧、電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、電源オン時間をランダムに変更する、請求項７に記載の電子装置の試験装置。
【請求項１０】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、電源オン時間及び電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、該電圧値をランダムに変更する、請求項７に記載の電子装置の試験装置。
【請求項１１】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、電源オン時間及び／又は電源オフ時間をランダムに変更するとともに、該電圧値をもランダムに変更する、請求項７に記載の電子装置の試験装置。
【請求項１２】
一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する装置に設けられるコンピュータを、  該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返す手段と、  前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認する手段と、  として機能させるためのプログラム。
【請求項１３】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、該電圧値を定格電圧、電源オン時間を一定時間に維持しつつ、電源オフ時間をランダムに変更する、請求項１２に記載のプログラム。
【請求項１４】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、該電圧値を定格電圧、電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、電源オン時間をランダムに変更する、請求項１２に記載のプログラム。
【請求項１５】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、電源オン時間及び電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、該電圧値をランダムに変更する、請求項１２に記載のプログラム。
【請求項１６】
前記電源のオン／オフを繰り返す手段は、電源オン時間及び／又は電源オフ時間をランダムに変更するとともに、該電圧値をもランダムに変更する、請求項１２に記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、メモリ素子等の半導体部品の単体、複数の半導体部品が実装された装置、等である電子装置を試験する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  近年、半導体メモリ等においては、プロセスの微細化に伴い、不良モードも多彩になってきている。そのため、高温バーンイン試験等だけで完全に排除することができない不良品も存在する。【０００３】  長期ランニング試験のみで検出され得る、パターン依存のある不良を検出しようとすると、集積度の向上により、その試験時間が膨大になる。そのため、動作パターンに依存しない、効果のある試験条件が求められている。【０００４】  なお、本発明に関連する先行技術文献として、下記特許文献１は、半導体集積回路に対して印加する電源電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間を任意の値に設定する手段を設けることにより、電源電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間に起因する製造不良を的確に検出し得る試験装置について開示している。【０００５】  また、下記特許文献２は、加熱下で半導体集積回路にバイアス電圧を印加しながら行う半導体集積回路の加速寿命試験方法であって、電源電圧及び信号電圧のうち少なくとも電源電圧を、定期的にラッチアップ電流が遮断される低レベルに落とすリセットを行う方法について開示している。【０００６】  また、下記特許文献３は、回路ブロック毎に電源スイッチを設け、電源スイッチをバーンイン検査中に各々個別に制御して各回路ブロックへの電源供給時間すなわちストレス量を調節可能とし、最もストレス印加時間を長く必要とする回路ブロックに対しては、必要充分量のストレスを印加しつつ、他の回路ブロックへの過剰ストレスの印加を防止することにより、各ブロックへのストレス印加量と印加タイミングとを自由に制御するストレス印加量制御方法について開示している。【０００７】
【特許文献１】特開平６−１１８１２８号公報
【特許文献２】特開平７−１７４８１６号公報
【特許文献３】特開２００４−２２６２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】  本発明は、上述した背景に鑑みてなされたものであり、その目的は、電子装置の初期劣化不良品を取り除くのに有効なストレス印加ステップを導入した、電子装置の試験方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  上記目的を達成するために、本発明によれば、一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する方法であって、該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返すステップと、前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認するステップと、を具備することを特徴とする、電子装置の試験方法が提供される。【００１０】  一つの好適な態様では、前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、該電圧値を定格電圧、電源オン時間を一定時間に維持しつつ、電源オフ時間をランダムに変更する。【００１１】  一つの好適な態様では、前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、該電圧値を定格電圧、電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、電源オン時間をランダムに変更する。【００１２】  一つの好適な態様では、前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、電源オン時間及び電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、該電圧値をランダムに変更する。【００１３】  一つの好適な態様では、前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、電源オン時間及び／又は電源オフ時間をランダムに変更するとともに、該電圧値をもランダムに変更する。【００１４】  一つの好適な態様では、前記電源のオン／オフを繰り返すステップが、温度バーンイン試験のステップと組み合わされて実施される。【００１５】  さらに、本発明によれば、上述の方法を実施する装置及びその装置を機能させるためのコンピュータプログラムが提供される。
【発明の効果】
【００１６】  電源のオン／オフにより電子装置に印加される電圧が過渡的に変化するが、オン／オフサイクルや電圧値がランダムに変更されることで、電子装置には様々な電圧立ち上がりパターンや電圧立下りパターンが与えられ、自己発熱のサイクルが変化する。すなわち、電子装置は、温度サイクル的な試験を経験することとなる。それ故、テスト時間の制限から個々の不良摘出パターンを実行するのが困難な状況に対し、その代替手段としての効果がある。電源オン／オフ時は動作を保証するものではないため、電子装置を破壊しない範囲で効率の高いストレスを与えることができ、初期劣化不良品を取り除くのに有効である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明による電子装置試験方法を実施するための試験装置の一例を示すブロック図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）は、電源オフ時間又は電源オン時間を可変にした電源電圧オン／オフパターンを例示するタイムチャートである。
【図３】電圧値を可変にした電源電圧オン／オフパターンを例示するタイムチャートである。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、電源オフ時間及び電圧値を可変にした電源電圧オン／オフパターンを例示するタイムチャートである。
【符号の説明】
【００１８】  １０    試験対象電子装置  １２    テスタ制御回路  １４    タイミング発生回路  １６    パターン発生回路  １８    ドライバ回路  ２０    コンパレータ回路  ２２    テスタ電源供給回路  ２４    デバイス電源
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】  以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明による電子装置試験方法を実施するための試験装置の一例を示すブロック図である。同図において、試験対象電子装置１０は、半導体メモリ素子等の単体の半導体部品でもよいし、メモリモジュールのように複数個の半導体部品が搭載されたパッケージでもよいし、あるいはパーソナルコンピュータのような一般の装置でもよい。【００２０】  テスタ制御回路１２は、プロセッサ、メインメモリ等を備えるコンピュータシステムである。プロセッサが、メインメモリにロードされたプログラムに従って動作することにより、このコンピュータシステムは、試験装置全体を制御し、電子装置試験機能を実現する。【００２１】  タイミング発生回路１４は、試験装置の動作に必要な各種のタイミングクロック信号を発生させる。パターン発生回路１６は、電子装置１０を試験するための入力信号パターン及び期待される出力信号パターンを発生させる回路である。ドライバ回路１８は、所定の仕様で入力信号パターンを電子装置１０に与える回路である。【００２２】  また、コンパレータ回路２０は、電子装置１０からの出力信号パターンと期待値とを比較する回路である。テスタ電源供給回路２２は、試験装置の駆動に必要な電源を供給する回路である。デバイス電源２４は、電子装置１０に印加されるべき電圧を供給する電源である。【００２３】  本発明による試験では、入力信号パターンに対する出力信号パターンをモニタすることによる動作確認の前に、デバイス電源２４のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつデバイス電源２４のオン／オフを繰り返すストレス印加ステップが実行され、初期劣化不良品の摘出が容易化される。以下、電源電圧によるストレスの印加について説明する。【００２４】  図２は、電源オフ時間又は電源オン時間を可変にした電源電圧オン／オフパターンを例示するタイムチャートである。より詳細には、図２（Ａ）に示される電源電圧オン／オフパターンでは、印加される電圧値は定格電圧Ｖ0に維持され、電源オン時間も一定時間１ｍｓに維持されるが、電源オフ時間は、１ｍｓ、２ｍｓ、３ｍｓ、４ｍｓと変更されていき、それがある一定回数又は一定時間繰り返される。【００２５】  また、図２（Ｂ）に示される電源電圧オン／オフパターンでは、印加される電圧値は定格電圧Ｖ0に維持され、電源オフ時間も一定時間１ｍｓに維持されるが、電源オン時間は、１ｍｓ、２ｍｓ、３ｍｓ、４ｍｓと変更されていき、それがある一定回数又は一定時間繰り返される。【００２６】  また、図２（Ｃ）に示される電源電圧オン／オフパターンは、図２（Ａ）に示される電源電圧オン／オフパターンの変形例であり、電源オフ時間が、１ｍｓ×ｎ回、２ｍｓ×ｎ回、・・・といったように、同一のオフ時間のサイクルが複数回繰り返されて進行していく。【００２７】  同様に、図２（Ｄ）に示される電源電圧オン／オフパターンは、図２（Ｂ）に示される電源電圧オン／オフパターンの変形例であり、電源オン時間が、１ｍｓ×ｎ回、２ｍｓ×ｎ回、・・・といったように、同一のオン時間のサイクルが複数回繰り返されて進行していく。【００２８】  図３は、電圧値を可変にした電源電圧オン／オフパターンを例示するタイムチャートである。より詳細には、電源オン時間も電源オフ時間も一定時間１ｍｓに維持されているが、電圧値が、定格電圧よりも低いＶ1、定格電圧Ｖ0、定格電圧よりも高いＶ2、と変更されていき、それがある一定回数又は一定時間繰り返される。【００２９】  図４は、電源オフ時間及び電圧値を可変にした電源電圧オン／オフパターンを例示するタイムチャートである。より詳細には、図４（Ａ）に示される電源電圧オン／オフパターンでは、電源オン時間は一定時間１ｍｓに維持されるが、電圧値が定格電圧よりも低いＶ1に変更されるとともに、電源オフ時間も、１ｍｓ、２ｍｓ、３ｍｓ、４ｍｓと変更されていき、それがある一定回数又は一定時間繰り返される。【００３０】  また、図４（Ｂ）に示される電源電圧オン／オフパターンでは、電源オン時間は一定時間１ｍｓに維持されるが、電圧値が定格電圧よりも高いＶ2に変更されるとともに、電源オフ時間も、１ｍｓ、２ｍｓ、３ｍｓ、４ｍｓと変更されていき、それがある一定回数又は一定時間繰り返される。【００３１】  さらには、図４（Ａ）のパターンと図４（Ｂ）のパターンとを組み合わせてもよいし、図２及び図３に示される各種パターンの任意の組み合わせが可能である。以上のような電源電圧によるストレス印加後に、入力信号パターンに対する出力信号パターンをモニタすることによる動作確認を行うと、電子装置１０の初期劣化不良の早期摘出が容易となる。【００３２】  また、電源のオン／オフを繰り返すステップと温度バーンイン試験のステップとを組み合わせて実施してもよい。
【図１】
2008146389.tif 000003
【図２】
2008146389.tif 000004
【図３】
2008146389.tif 000005
【図４】
2008146389.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月15日(2009.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する方法であって、
該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返すステップと、
前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認するステップと、
を具備することを特徴とする、電子装置の試験方法。
【請求項２】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、該電圧値を定格電圧、電源オン時間を一定時間に維持しつつ、電源オフ時間をランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項３】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、該電圧値を定格電圧、電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、電源オン時間をランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項４】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、電源オン時間及び電源オフ時間を一定時間に維持しつつ、該電圧値をランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項５】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップは、電源オン時間及び／又は電源オフ時間をランダムに変更するとともに、該電圧値をもランダムに変更する、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項６】
前記電源のオン／オフを繰り返すステップが、温度バーンイン試験のステップと組み合わされて実施される、請求項１に記載の電子装置の試験方法。
【請求項７】
一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する装置であって、
該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返す手段と、
前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認する手段と、
を具備することを特徴とする、電子装置の試験装置。
【請求項８】
一個又は複数個の半導体部品から構成される電子装置を試験する装置に設けられるコンピュータを、
該電子装置に接続される電源のオン／オフサイクル及び／又は電圧値をランダムに変更しつつ電源のオン／オフを繰り返す手段と、
前記電源のオン／オフの繰返し後、該電子装置が正常に動作するか否かを確認する手段と、
として機能させるためのプログラム。
【国際調査報告】
2008146389.tif 000007
2008146389.tif 000008