(57)【要約】【課題】従来のデータ表示装置等においては、半導体プロセスから測定されたデータ等の時系列のデータを、適切に表示することができないという課題があった。【解決手段】半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部１３０７と、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部１３０８と、複数のプロセス関連データのそれぞれから、表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得し、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部１３１０と、を具備し、第一表示部１３０７が表示対象範囲を示す情報を第一表示部１３０７が表示する１以上のプロセス関連データと対応付けて表示するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データが複数格納され得る格納部と、
前記格納部から、１以上のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した１以上のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、
前記第一表示部が表示している前記プロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、
前記複数のプロセス関連データのそれぞれから、前記表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、
前記表示データ取得部が取得した前記表示期間内の複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部と、を具備し、
前記第一表示部は、
前記範囲指定受付部が受け付けた表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記１以上のプロセス関連データと対応付けて、更に表示するデータ表示装置。
【請求項２】
半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである一のプロセス関連データが格納され得る格納部と、
前記格納部から、前記一のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、
前記第一表示部が表示している一のプロセス関連データについて、複数の範囲である複数の表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、
前記一のプロセス関連データから、前記複数の表示対象範囲にそれぞれ対応する期間である複数の表示期間内の複数のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、
前記表示データ取得部が取得した複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部と、を具備し、
前記第一表示部は、
前記範囲指定受付部が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記一のプロセス関連データと対応付けて、更に表示するデータ表示装置。
【請求項３】
前記第一表示部は、データ取得部が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で、複数表示し、
前記範囲指定受付部は、前記第一表示部が複数表示している前記一のプロセス関連データのそれぞれについて表示対象範囲の指定を受け付け、
前記表示データ取得部は、前記一のプロセス関連データから、前記範囲指定受付部が指定を受け付けた複数の表示対象範囲に対応する複数のプロセス関連データを取得し、
前記第二表示部は、前記表示データ取得部が取得した複数のプロセス関連データを、それぞれ、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示し、
前記第一表示部は、前記範囲指定受付部が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、それぞれが指定を受け付けた前記第一表示部が表示する複数の前記一のプロセス関連データにそれぞれ対応付けて、更に表示する請求項２記載のデータ表示装置。
【請求項４】
前記表示データ取得部が取得した複数のデータについて所定の解析を行う解析部をさらに備え、
前記解析部の解析結果を表示する第三表示部とを更に備えた請求項３記載のデータ表示装置。
【請求項５】
前記表示データ取得部が取得したプロセス関連データの１以上に対して、所定の演算処理を行うデータ処理部をさらに備え、
前記第二表示部は、
前記表示データ取得部が取得したプロセス関連データ、および前記データ処理部により演算処理されて得られたプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する請求項１記載のデータ表示装置。
【請求項６】
前記範囲指定受付部は、前記表示対象範囲の指定を、前記第一表示部が表示するプロセス関連データに対する指示デバイスを用いた操作により受け付ける請求項１記載のデータ表示装置。
【請求項７】
前記第一表示部は、前記表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示するプロセス関連データと重ねて表示し、
前記範囲指定受付部は、
前記表示対象範囲の指定を、前記第一表示部が表示する表示対象範囲を示す情報に対する、指示デバイスを用いた移動および幅の変更の操作に応じて受け付ける請求項１記載のデータ表示装置。
【請求項８】
データ取得部が取得したプロセス関連データの一つから特異点を検出する検出部と、
前記範囲指定受付部は、前記検出部が検出した特異点の発生した期間を示す情報を、前記表示対象範囲を指定する情報として受け付ける請求項１記載のデータ表示装置。
【請求項９】
半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データが複数格納され得る格納部と、データ取得部と、第一表示部と、範囲指定受付部と、表示データ取得部と、第二表示部と、により処理されるデータ表示方法であって、
前記格納部から、前記データ取得部が、１以上のプロセス関連データを取得するデータ取得ステップと、
第一表示部が、前記データ取得ステップで取得した１以上のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示ステップと、
範囲指定受付部が、前記第一表示ステップで表示している前記プロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付ステップと、
前記表示データ取得部が、前記複数のプロセス関連データのそれぞれから、前記表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得する表示データ取得ステップと、
前記第二表示部が、前記表示データ取得ステップで取得した前記表示期間内の複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示ステップと、を具備し、
前記第一表示部が、前記範囲指定受付ステップで受け付けた表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記１以上のプロセス関連データのうちの少なくとも一つと対応付けて表示するステップを更に具備するデータ表示方法。
【請求項１０】
半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである一のプロセス関連データが格納され得る格納部と、データ取得部と、第一表示部と、範囲指定受付部と、表示データ取得部と、第二表示部とにより処理されるデータ表示方法であって、
前記データ取得部が、前記格納部から、前記一のプロセス関連データを取得するデータ取得ステップと、
前記第一表示部が、前記データ取得ステップで取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示ステップと、
前記範囲指定受付部が、前記第一表示ステップで表示している一のプロセス関連データについて、複数の範囲である複数の表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付ステップと、
前記表示データ取得部が、前記一のプロセス関連データから、前記複数の表示対象範囲にそれぞれ対応する期間である複数の表示期間内の複数のプロセス関連データを取得する表示データ取得ステップと、
前記第二表示部が、前記表示データ取得ステップで取得した複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示ステップと、を具備し、
前記第一表示部が、前記範囲指定受付ステップで受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記一のプロセス関連データと対応付けて表示するステップを更に具備するデータ表示方法。
【請求項１１】
コンピュータを、
半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データが複数格納され得る格納部から、１以上のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した１以上のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、
前記第一表示部が表示している前記プロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、
前記複数のプロセス関連データのそれぞれから、前記表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、
前記表示データ取得部が取得した前記表示期間内の複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部として機能させるためのプログラムであって、
前記第一表示部は、
前記範囲指定受付部が受け付けた表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記１以上のプロセス関連データのうちの少なくとも一つと対応付けて更に表示するプログラム。
【請求項１２】
コンピュータを、
半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである一のプロセス関連データが格納され得る格納部から、前記一のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、
前記データ取得部が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、
前記第一表示部が表示している一のプロセス関連データについて、複数の範囲である複数の表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、
前記一のプロセス関連データから、前記複数の表示対象範囲にそれぞれ対応する期間である複数の表示期間内の複数のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、
前記表示データ取得部が取得した複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部と、して機能させるためのプログラムであって、
前記第一表示部は、
前記範囲指定受付部が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記一のプロセス関連データと対応付けて、更に表示するプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データを複数表示するデータ表示装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備する群管理システムにおける測定データ加工方法として、従来、測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工する方法が知られていた（例えば、特許文献１参照）。本測定データ加工方法は、測定データを加工する計算式を予め登録しておき、測定データを受信したとき、この測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、測定データが有するレシピ名称に基づいて、登録された計算式の中から測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。【０００３】
また、従来の半導体製造装置等を備えた群管理システムでは、半導体製造装置で測定された時系列の情報（以下チャートと記載）を表示する機能を有していた。このチャートには、群管理システムが管理する複数の半導体製造装置の情報が表示されていた。そして、従来の群管理システムでは、チャートを用いて、異常検知を行い、その後異常分類を行うＦＤＣ（fault detection and classification）という機能を有していた。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の群管理システム等においては、半導体プロセスにおいて測定されたデータ等の時系列のデータを、適切に表示することができないという課題があった。【０００５】
例えば、複数の時系列データについての解析等を行う際に、グラフ等で表示した複数の時系列データを並べて表示することで、各データ同士を比較することが可能となる。【０００６】
しかしながら、従来は、このように複数の時系列データを並べて表示した場合、一の時系列データの表示対象となる期間を変更したり、表示対象となる期間を移動させた場合、他の時系列データの表示対象としている期間も個別に変更しなければ、グラフ毎に表示している期間が異なってしまい、データ同士を比較することが困難であった。【０００７】
また、グラフ等で表示されている時系列データの一部を拡大したり、縮小したりして、表示する期間の範囲を変更した場合、現在の表示範囲が、時系列データの全体のうちのどのあたりの位置であるかを瞬時に把握することができず、また、他の表示期間を瞬時に指定することができなかった。【０００８】
特に近年は、半導体プロセスを精度良く制御するために、半導体製造装置等から１ＭＨｚ程度の高いサンプリングレートで測定データを取得することができるようになってきており、取得されるデータ量が増加してきている。このため、測定データの一部を拡大表示することで、より細かい部分の分析が可能となってきている。しかしながら、細部だけを拡大表示した場合、測定データ全体の傾向が把握できず、また、測定データ全体の中の拡大した部分の位置関係も判断できず、適切な分析が行えない、という問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のデータ表示装置は、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データが複数格納され得る格納部と、前記格納部から、１以上のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、前記データ取得部が取得した１以上のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、前記第一表示部が表示している前記プロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、前記複数のプロセス関連データのそれぞれから、前記表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、前記表示データ取得部が取得した前記表示期間内の複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部と、を具備し、前記第一表示部は、前記範囲指定受付部が受け付けた表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記１以上のプロセス関連データと対応付けて、更に表示するデータ表示装置である。【００１０】
かかる構成により、半導体プロセスに関する時系列のデータの細部をグラフで表示して、より細かい分析が可能となるとともに、第二表示部１３１０が拡大表示しているデータの期間が、第一および第二の測定データの全体のうちの、どの部分の期間であるかを、視覚的に瞬時に把握することが可能となる。これにより、半導体プロセスに関する時系列のデータを、適切に表示することが可能となる。【００１１】
また、本発明のデータ表示装置は、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである一のプロセス関連データが格納され得る格納部と、前記格納部から、前記一のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、前記データ取得部が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、前記第一表示部が表示している一のプロセス関連データについて、複数の範囲である複数の表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、前記一のプロセス関連データから、前記複数の表示対象範囲にそれぞれ対応する期間である複数の表示期間内の複数のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、前記表示データ取得部が取得した複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部と、を具備し、前記第一表示部は、前記範囲指定受付部が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記一のプロセス関連データと対応付けて、更に表示するデータ表示装置である。【００１２】
かかる構成により、一のプロセス関連データの複数の領域から取得したデータを第二の表示幅で表示することができ、一のプロセス関連データ内でのデータの比較等が容易となり、異常の検出等を効率的に行うことができる。【００１３】
また、本発明のデータ表示装置は、前記データ表示装置において、前記第一表示部は、データ取得部が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で、複数表示し、前記範囲指定受付部は、前記第一表示部が複数表示している前記一のプロセス関連データのそれぞれについて表示対象範囲の指定を受け付け、前記表示データ取得部は、前記一のプロセス関連データから、前記範囲指定受付部が指定を受け付けた複数の表示対象範囲に対応する複数のプロセス関連データを取得し、前記第二表示部は、前記表示データ取得部が取得した複数のプロセス関連データを、それぞれ、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示し、前記第一表示部は、前記範囲指定受付部が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、それぞれが指定を受け付けた前記第一表示部が表示する複数の前記一のプロセス関連データにそれぞれ対応付けて、更に表示するデータ表示装置である。【００１４】
かかる構成により、一のプロセス関連データの複数の領域から取得したデータを、第二の表示幅で表示することができ、一のプロセス関連データ内でのデータの比較等が容易となり、異常の検出等を効率的に行うことができる。【００１５】
また、本発明のデータ表示装置は、前記データ表示装置において、前記表示データ取得部が取得した複数のデータについて所定の解析を行う解析部と、前記解析部の解析結果を表示する第三表示部とを更に備えたデータ表示装置である。【００１６】
かかる構成により、一のプロセス関連データ内の複数の領域のデータについての解析結果を、一のプロセス関連データや、一のプロセス関連データ内の複数の領域のデータと並べて表示することで、データ間の比較が容易となり、データの異常等を認識しやすくすることができる。【００１７】
また、本発明のデータ表示装置は、前記データ表示装置において、前記表示データ取得部が取得したプロセス関連データの１以上に対して、所定の演算処理を行うデータ処理部をさらに備え、前記第二表示部は、前記表示データ取得部が取得したプロセス関連データ、および前記データ処理部により演算処理されたプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示するデータ表示装置である。【００１８】
かかる構成により、測定データの表示対象範囲のみを、データ処理部が処理することで、データ処理部のデータの処理量を削減できる。また、表示の際にデータ処理を行うため、リアルタイムにデータ処理したプロセス関連データを表示することができる。【００１９】
また、本発明のデータ表示装置は、前記データ表示装置において、前記範囲指定受付部は、前記表示対象範囲の指定を、前記第一表示部が表示するプロセス関連データに対する指示デバイスを用いた操作により受け付けるデータ表示装置である。【００２０】
かかる構成により、第一表示部が表示するプロセス関連データを用いて表示対象範囲を指定することができ、感覚的な操作が可能となり、操作性を向上させることができる。【００２１】
また、本発明のデータ表示装置は、前記データ表示装置において、前記第一表示部は、前記表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示するプロセス関連データと重ねて表示し、前記範囲指定受付部は、前記表示対象範囲の指定を、前記第一表示部が表示する表示対象範囲を示す情報に対する、指示デバイスを用いた移動および幅の変更の操作に応じて受け付けるデータ表示装置である。【００２２】
かかる構成により、表示対象範囲の変更を、感覚的な操作で行うことが可能となり、操作性を向上させることができる。【００２３】
また、本発明のデータ表示装置は、前記データ表示装置において、データ取得部が取得したプロセス関連データの一つから特異点を検出する検出部を更に備え、前記範囲指定受付部は、前記検出部が検出した特異点の発生した期間を示す情報を、前記表示対象範囲を指定する情報として受け付けるデータ表示装置である。【００２４】
かかる構成により、表示対象範囲を示す情報を自動取得することができる。これにより、表示対象範囲を指定するためのユーザの労力を削減できる。また、第二の表示幅で表示すべき部分の検出漏れをなくすことができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によるデータ表示装置等によれば、半導体プロセスに関する時系列のデータを、適切に表示することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、データ表示装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。【００２７】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置等の製造装置を管理するシステムである。また、群管理システムは、１以上の製造装置１１（製造装置１１ａから製造装置１１ｎ（ただしｎは任意数を示す））、サーバ装置１２、およびデータ表示装置１３を有する。【００２８】
製造装置１１とサーバ装置１２、およびデータ表示装置１３とサーバ装置１２は、それぞれ、通信回線等を介して、情報の送受信が可能である。各装置は、例えば、インターネットや、無線や有線のＬＡＮ等のネットワークで接続されていてもよいし、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信により接続されていてもよい。また、ＵＳＢやＩＥＥＥ１３９４のようなバス等により接続されていてもよい。ただし、各装置間の接続方法は問わない。また、情報の送受信の手段は、通信手段でも、放送手段等でも良い。【００２９】
図２は、本実施の形態における群管理システムの構成を示すブロック図である。なお、ここでは、説明の便宜上、製造装置１１が一つの場合を例に挙げて示している。【００３０】
製造装置１１は、被処理基板、例えば、半導体ウエハや液晶パネル基板等、に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、半導体ウエハ製造装置等の半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、プラズマディスプレイ用パネル製造装置等である。【００３１】
図３は、製造装置１１の一例である半導体ウエハ製造装置を示す図である。図３の半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数、例えば、３つのプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚、例えば、５０枚のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されるとともに、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。【００３２】
製造装置１１は、例えば、ウエハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピを格納しており、当該レシピを用いて製造プロセスの制御を行う。レシピとは、通常、プロセス条件値等の集合である。【００３３】
また、製造装置１１は、自装置の状況に関する時系列のデータ（以下時系列データと称す）である状況データを１以上取得し、サーバ装置１２に送信する。ここで述べる各時系列データは、例えば、時間に対応した１以上のデータにより構成されるデータである。状況に関する時系列のデータとは、具体的には、時系列に沿って取得された製造装置の利用状況に関連したデータや、動作状況に関連したデータである。利用状況に関連したデータとは、例えば、製造装置がどのような処理や制御を開始したか、実行中か等を示すデータや、製造装置を制御する際の制御値の変動を示すデータ等である。製造装置の動作状況に関連したデータとは、例えば、製造装置内の温度や圧力、製造装置に供給される電力量、材料ガスの流量等の製造装置の動作時等に実測された測定データ等である。この測定データは、１以上の温度センサや、１以上の振動センサや、１以上の流量センサ等を用いて取得される。製造装置１１は、通常、状況データに、当該状況データが構成された時刻や、当該状況データを構成する測定情報や利用状況を示すデータが取得された時刻等を示す情報である時刻データを、測定データや利用状況を示すデータと対応付けて付加して出力する。ただし、状況データを受信したサーバ装置１２が状況データを受信した時間に対応する時刻データを、状況データに対応付けて付加するようにしても良い。また、状況データに「温度」、「圧力」等の測定データの種類を示す情報を付加して出力しても良い。通常は、一の製造装置１１は、異なる種類の複数の状況データを送信する。ただし、複数の製造装置１１が、一以上の状況データを送信しても良い。また、製造装置１１が複数存在する場合、各製造装置１１から出力される状況データを識別できるように、状況データに各製造装置１１を識別するための識別情報を付加して送信しても良い。【００３４】
なお、製造装置１１が、ウエハ等の被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成や、状況データを取得して送信する構成等については、公知技術であるので、詳細な説明は省略する。【００３５】
サーバ装置１２は、群管理システムを構成するサーバ装置であり、１以上の製造装置１１から送信される、時系列データである状況データを複数受信して、図示しない格納部等に蓄積する。そして、データ表示装置１３から送信された、状況データの送信を要求する情報である要求情報に応じた状況データを格納部から読み出して、データ表示装置１３に送信する。データ表示装置１３から送信される状況データの送信を要求する情報は、例えば、所望の製造装置についての状況データの送信を指定するための、所望の製造装置の装置識別情報を含んでも良い。また、送信を要求する状況データの範囲、言い換えれば期間を指定するための、開始時刻と終了時刻や、開始時刻と必要とする時間を指定する情報を含んでも良い。このような場合、サーバ装置１２は、要求情報が指定する製造装置の、要求情報が指定する期間内の状況情報を、格納部から読み出して、要求情報の送信元となるデータ表示装置１３に送信する。ただし、サーバ装置１２は、要求情報とは関係なく、予め指定されているデータ表示装置１３に、予め指定されている一定または不定の所定のタイミングで、状況データを読み出して送信しても良い。また、サーバ装置１２は、格納された状況データを加工して新たな状況データを構成しても良い。なお、半導体製造装置の群管理システムにおけるサーバ装置１２が、状況データを受信して蓄積する構成や、格納された状況情報を読み出して送信する構成等は、公知技術であるので、詳細な説明は省略する。【００３６】
データ表示装置１３は、指示受付部１３０１、要求情報送信部１３０２、データ受信部１３０３、格納部１３０４、データ処理部１３０５、データ取得部１３０６、第一表示部１３０７、範囲指定受付部１３０８、表示データ取得部１３０９、第二表示部１３１０を具備する。【００３７】
指示受付部１３０１は、サーバ装置１２に格納されている複数のプロセス関連データである状況データの送信を要求する情報である要求情報を送信する指示を受け付ける。プロセス関連データについては後述する。指示受付部１３０１が受け付ける指示は、状況データの種類を指定する情報や、状況データの範囲、言い換えれば期間を指定するための、開始時刻と終了時刻や、開始時刻と必要とする時間を指定する情報を含んでも良い。また、所望の製造装置１１についての状況データを要求するための、識別情報等の製造装置１１を指定する情報を含んでもよい。ここで述べる受付とは、例えば、入力手段からの受付や、他の機器等から送信される入力信号の受信等である。指示受付部１３０１が受け付ける指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示受付部１３０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。【００３８】
要求情報送信部１３０２は、指示受付部１３０１が受け付けた指示に応じた要求情報を構成して、サーバ装置１２に送信する。指示受付部１３０１が受け付けた指示に応じた要求情報とは、具体的には、状況データの種類を指定する情報や、状況データの範囲、すなわち期間を指定する情報や、製造装置１１を指定する情報等に対応した、状況情報の送信を要求する情報である。要求情報送信部１３０２は、有線または無線の通信手段等により実現される。【００３９】
なお、要求情報と関係なく、サーバ装置１２から状況データ等が送信される場合、指示受付部１３０１や要求情報送信部１３０２等は省略しても良い。【００４０】
データ受信部１３０３は、サーバ装置１２から送信されるプロセス関連データである状況データを受信する。データ受信部１３０３は、有線または無線の通信手段等により実現される。【００４１】
格納部１３０４には、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データが複数格納され得る。プロセス関連データとは、具体的には、上述したデータ受信部１３０３が受信した状況データや、後述するデータ処理部１３０５が、データ受信部１３０３が受信した状況データに対して所定の処理を行って得られた時系列データである。例えば、製造装置１１について所定の時間間隔で繰り返し測定された測定データ等が格納される。格納部１３０４に格納されるプロセス関連データには、通常各データを取得した時間を示す時間情報が付加されている。例えば、格納部１３０４には、データ受信部１３０３が受信した状況データや、図示しない読み出し部等が、記録媒体等から読み出した、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである異なる複数のプロセス関連データや、後述するデータ処理部１３０５が処理したプロセス関連データ等が蓄積される。ここで述べる格納とは、一時記憶も含む概念である。格納部１３０４は、不揮発性の記録媒体でも、揮発性の記録媒体でも良い。【００４２】
データ処理部１３０５は、データ受信部１３０３が受信したプロセス関連データである状況データに対して所定の処理を行って、新たなプロセス関連データを構成する。そして、構成したプロセス関連データを、格納部１３０４に蓄積する。所定の処理は、どのような処理でも良く、例えば、ウェーブレット変換や、データの標準化・正規化の処理等である。また、どのような処理を行うかは、予め決まっていても良いし、図示しない受付部等から受け付けた指示に応じて指定されてもよい。データ処理部１３０５は、データ受信部１３０３が受信した状況データに直接処理を行っても良いし、一旦、格納部１３０４に格納された状況データを読み出して処理を行っても良い。データ処理部１３０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。データ処理部１３０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【００４３】
なお、状況データに対して所定の処理を行なって構成した新たなプロセス関連データが不要である場合、データ処理部１３０５は省略してもよい。【００４４】
データ取得部１３０６は、格納部１３０４から、１以上のプロセス関連データを取得する。データ取得部１３０６は、格納部１３０４に格納されているプロセス関連データの全ての期間のデータを取得しても良いし、一部の期間のデータを取得しても良い。この期間の指定は、予め決まっていても良いし、指示受付部１３０１や図示しない受付部等から受け付けた、開始時刻と終了時刻や、開始時刻と必要とする時間を指定する情報等に基づいて、決定されても良い。また、期間の指定がない場合に、格納部１３０４に格納されているプロセス関連データの全ての期間のプロセス関連データを取得するようにしても良い。データ取得部１３０６が取得する１以上のプロセス関連データは、格納部１３０４に蓄積されている複数のプロセス関連データの全てであっても良いし、その一部であっても良い。この取得対象とする一部のプロセス関連データがどのように指定されるかは問わない。例えば図示しない受付部等を介してユーザからデータの種類や、装置識別情報等を用いて指定されても良いし、予め設定されていても良い。なお、指定された所定の期間内の、プロセス関連データが存在しない部分については、プロセス関連データがない、すなわち「０」であることを示す情報を取得するようにしても良い。データ取得部１３０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。データ取得部１３０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【００４５】
第一表示部１３０７は、データ取得部１３０６が取得した１以上のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する。時間軸と対応付けて表示とは、具体的には、各プロセス関連データを、時間軸を横軸、あるいは縦軸としたグラフを用いて表示すること等である。第一の表示幅で表示とは、データ取得部１３０６が取得した１以上のプロセス関連データの開示時刻と、終了時刻とが、第一の表示幅の両端に位置するように、一以上のプロセス関連データを表示することである。ここで述べる幅とは、時間軸方向の長さのことである。第一の表示幅は固定であっても良いし、図示しない受付部等が受け付けた指示等に応じて変更可能なものであってもよい。また、第一表示部１３０７は、第一の表示幅に応じて、表示を行なううえで実質的に不要なプロセス関連データを間引いたり、プロセス関連データを滑らかに表示できるように、補間したりするようにしてもよい。また、第一表示部１３０７が表示する一以上のプロセス関連データはどのように決定されてもよい。また、複数のプロセス関連データを表示する場合、複数のプロセス関連データを重ね合わせて表示してもよい。【００４６】
また、第一表示部１３０７は、後述する範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲を示す情報を、上記の第一表示部１３０７が第一の表示幅で表示する１以上のプロセス関連データと対応付けて表示する。対応付けて表示とは、表示対象範囲が、第一表示部１３０７の表示しているプロセス関連データのうちのどの範囲であるかが一義的に把握できるように表示することである。即ち、表示対象範囲が、第一表示部１３０７の表示しているプロセス関連データのうちのどの範囲であるかが、他の領域と区別できるように表示することである。具体的には、表示対象範囲が示す範囲を示す画像を、プロセス関連データに重ねて表示したり、プロセス関連データの時間軸に沿って表示したりすることである。この表示対象範囲を示す情報は、例えば、第一表示部１３０７が表示している一以上のプロセス関連データの、表示対象範囲に相当する範囲を、他の範囲と判別できるように表示できる情報、例えばオブジェクト画像であればよく、例えば、表示対象範囲に相当する範囲を、オーバーレイ等により着色表示する情報や、点線や境界線等で囲んだり区切ったりする情報である。また、表示対象範囲の時系列情報の色等を、反転表示させた情報であってもよい。ここで述べる範囲とは、具体的には期間のことである。なお、表示対象範囲に相当する範囲を表示する技術は、指示デバイス等で指定された領域、例えば選択範囲を示す情報を表示する技術等として、公知であるので詳細な説明は省略する。ここで述べる表示とは、ディスプレイ等への表示を含む概念である。第一表示部１３０７は、ディスプレイ等の表示デバイス等を含むと考えても含まないと考えても良い。第一表示部１３０７は、表示デバイスのドライバソフトまたは、表示デバイスのドライバソフトと表示デバイス等で実現され得る。【００４７】
範囲指定受付部１３０８は、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける。表示対象範囲は、時間軸に沿った始点と終点とが少なくとも特定できる範囲を示す情報であればよい。表示対象範囲は、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ上の範囲である。範囲指定受付部１３０８は、例えば、表示対象範囲の指定を、第一表示部１３０７が表示するプロセス関連データに対するマウス等の指示デバイスを用いた操作により受け付けることが直感的に操作ができる点で好ましい。具体的には、第一表示部１３０７が表示している一以上のプロセス関連データ上の表示対象としたい範囲を、指示デバイス等を操作して、なぞったり、ボタン等をクリックしながらドラッグすることで、範囲の指定を受け付けてもよい。また、表示対象範囲を示す情報が、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ上、もしくはプロセス関連データの周辺に既に表示されている場合、この表示されている表示対象範囲を示す情報に対する、指示デバイスを用いた移動および幅の変更の操作に応じて、表示対象範囲の指定を受け付けてもよい。例えば、表示対象範囲を示す矩形のオブジェクト画像が、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ上に重ねて透過表示されている場合、このオブジェクト画像の中心を指示デバイスを用いてドラッグすることで、表示対象範囲の移動を受け付けるようにしてもよい。また、矩形のオブジェクト画像の時間軸方向の端部を指示デバイスを用いてドラッグすることで、表示対象範囲の示す範囲の変更を受け付けるようにしてもよい。ただし、範囲指定受付部１３０８が、表示対象範囲の指定をどのように受け付けるかは問わない。例えば、表示対象範囲の始点と終点とを示す時刻等の値を受け付けることで、表示対象範囲の指定や変更等を受け付けてもよい。ここで述べる受付とは、例えば、入力手段からの受付や、他の機器等から送信される入力信号の受信等である。入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。範囲指定受付部１３０８は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。【００４８】
表示データ取得部１３０９は、格納部１３０４に格納されている複数のプロセス関連データのそれぞれから、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得する。具体例としては、表示データ取得部１３０９は、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する表示期間の開始時刻と終了時刻とを取得し、この開始時刻と終了時刻との間の期間内の複数のプロセス関連データを、格納部１３０４から読み出して取得する。この複数のプロセス関連データは、どのように決定されてもよく、図示しない受付部等を介して指定を受け付けてもよいし、予め指定されていてもよい。また、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する表示期間の開始時刻および終了時刻は、例えば、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ上における表示対象範囲の時間軸方向の両端が表示されている位置と、第一表示部１３０７が第一の表示幅で表示しているプロセス関連データの両端の時刻とから、比率等を用いて算出可能である。また、予め、第一の表示幅と、第一表示部１３０７が表示するプロセス関連データの期間とから、第一表示部１３０７が表示する画像上の距離と、時間との関係を算出しておき、この関係を用いて、表示対象範囲の両端の、第一表示部１３０７上に表示された時系列情報の両端等に対する距離から、表示対象範囲の両端に対応する時刻である開始時刻と終了時刻とを算出してもよい。なお、表示対象範囲内の一部あるいは全部に、プロセス関連データが存在しない場合、この存在しない期間のプロセス関連データを取得しないようにしてもよいし、予め設定された値、例えば「０」等を、この期間の値として取得してもよい。表示データ取得部１３０９は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。表示データ取得部１３０９の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【００４９】
第二表示部１３１０は、表示データ取得部１３０９が取得した表示期間内の複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する。通常、第二の表示幅は、第一の表示幅と同程度の幅であることが好ましいが、異なる幅であってもよい。第二の表示幅が、第一の表示幅よりも狭い場合、表示対象範囲の幅よりも第二の表示幅のほうが広くなるようにするために、表示対象範囲の最大幅が、第二の表示幅より狭くなるように設定しておいてもよい。また、第二の表示幅は固定であっても良いし、図示しない受付部等が受け付けた指示等に応じて変更可能なものであってもよい。また、第二表示部１３１０は、第一の表示幅に応じて、表示を行なううえで実質的に不要なプロセス関連データを間引いたり、プロセス関連データを滑らかに表示できるように、補間したりするようにしてもよい。また、第二表示部１３１０が表示する一以上のプロセス関連データはどのように決定されてもよい。また、複数のプロセス関連データを表示する場合、通常は、それぞれのプロセス関連データを個別に、時間軸に対応付けて、表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する。ただし、複数のプロセス関連データのうちの、一部のプロセス関連データを重ね合わせて表示してもよい。また、表示対象範囲の指定を受けていない場合、第二表示部１３１０は、例えば、複数のプロセス関連データ全体を、プロセス関連データ別に、第二の表示幅で表示してもよい。ここで述べる表示とは、ディスプレイ等への表示を含む概念である。第二表示部１３１０は、ディスプレイ等の表示デバイス等を含むと考えても含まないと考えても良い。第二表示部１３１０は、表示デバイスのドライバソフトまたは、表示デバイスのドライバソフトと表示デバイス等で実現され得る。【００５０】
なお、表示データ取得部１３０９が範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得し、取得したプロセス関連データを第二表示部１３１０が表示する処理は、範囲指定受付部１３０８が表示対象範囲を受け付けたことをトリガーとして行われるようにすることが、表示対象範囲の指定に応じてリアルタイムに第二表示部１３１０の表示を更新することが可能となるため、好ましい。【００５１】
次に、データ表示装置の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは指示受付部１３０１は、所望の期間内の１以上の状況データ（プロセス関連データ）をサーバ装置１２から取得するための、期間と、状況データの種類とを指定する情報とを受け付けるものとする。【００５２】
（ステップＳ４００）指示受付部１３０１は、要求情報を送信する指示を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ４０１に進み、受け付けていない場合、ステップＳ４００に戻る。【００５３】
（ステップＳ４０１）要求情報送信部１３０２は、指示受付部１３０１が受け付けた指示に応じた要求情報を構成して、サーバ装置１２に送信する。ここでは、例として、指示受付部１３０１が受け付けた指示に応じて、所望の期間内の、所望の状況データ、すなわちプロセス関連データの送信を要求する要求情報を、サーバ装置１２に送信する。【００５４】
（ステップＳ４０２）データ受信部１３０３は、サーバ装置１２から送信されるプロセス関連データである状況データを受信する。【００５５】
（ステップＳ４０３）データ受信部１３０３は、ステップＳ４０２において受信したプロセス関連データを、格納部１３０４に蓄積する。【００５６】
（ステップＳ４０４）データ処理部１３０５は、データ受信部１３０３が受信したプロセス関連データに対して所定の処理を行ない、新たなプロセス関連データを構成する。そして構成したプロセス関連データを、格納部１３０４に蓄積する。データ処理部１３０５は、データ受信部１３０３が受信したプロセス関連データに対して所定の処理を行なってもよいし、格納部１３０４に格納されているステップＳ４０２において受信したプロセス関連データを読み出して所定の処理を行なってもよい。ここでは、例として、データ処理部１３０５が処理対象とするプロセス関連データが予め、指定されており、そのプロセス関連データに対して行なわれる処理も予め決まっているものとする。【００５７】
（ステップＳ４０５）データ取得部１３０６は、格納部１３０４から、一以上のプロセス関連データを取得する。ここでは、データ取得部１３０６は、例えば、ステップＳ４０２において受信した状況データの全期間のデータを取得するものとする。【００５８】
（ステップＳ４０６）第一表示部１３０７は、データ取得部１３０６が取得したプロセス関連データを、第一の表示幅で表示する。【００５９】
（ステップＳ４０７）範囲指定受付部１３０８は、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ４０８に進み、受け付けていない場合、ステップＳ４０７に戻る。【００６０】
（ステップＳ４０８）第一表示部１３０７は、ステップＳ４０７において受け付けた表示対象範囲を示す情報を、ステップＳ４０６で表示した時系列情報に対応付けて表示、例えば、重ねて表示する。【００６１】
（ステップＳ４０９）表示データ取得部１３０９は、ステップＳ４０７において受け付けた表示対象範囲に対応する実際の期間である表示期間を示す情報を取得する。具体的には、第一表示部１３０７が第一の表示幅で表示している時系列情報の、開始時刻と終了時刻、および第一表示部１３０７が第一の表示幅で表示している時系列情報の時間軸方向の端部が位置する時間軸方向の座標と、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲の時間軸方向の端部が位置する時間軸方向の座標等から、表示期間の開始時刻と、終了時刻とを算出する。【００６２】
（ステップＳ４１０）表示データ取得部１３０９は、格納部１３０４に格納されている複数のプロセス関連データのうちの、ステップＳ４０９において算出した表示期間内のプロセス関連データを読み出して、取得する。ここでは、この複数のプロセス関連データの種類等は予め指定されているものとする。【００６３】
（ステップＳ４１１）第二表示部１３１０は、ステップＳ４１０において取得したプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第二の表示幅で表示する。この第二の表示幅は、予め指定されているものとする。【００６４】
（ステップＳ４１２）範囲指定受付部１３０８は、表示対象範囲の変更を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ４０８に進み、受け付けていない場合、ステップＳ４１２に戻る。【００６５】
なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。【００６６】
なお、製造装置１１や、サーバ装置１２の動作については、公知であるのでここでは説明を省略する。【００６７】
以下、本実施の形態におけるデータ表示装置を備えた群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。【００６８】
ここでは、まず、製造装置１１の動作時における、温度や振動やガス流量等についての測定データ（状況データ）が、例えば１ＭＨｚのサンプリングレートで繰り返し測定され、測定開始時刻を０とした時刻データと対応付けられて、製造装置１１からサーバ装置１２に送信されているものとする。【００６９】
そして、送信された測定データがサーバ装置１２内に時刻データと対応付けられて蓄積されているものとする。【００７０】
次に、データ表示装置１３の指示受付部１３０１が、ユーザから、サーバ装置１２に格納されている測定データのうちの、第一の測定データおよび第二の測定データの、３０００×１０−６秒から、７０００×１０−６秒までの期間のデータを取得する指示を、キーボード等の入力手段等を介して受け付けたとする。第一および第二の測定データは、どのような測定データであっても良い。なお、ここでは説明の便宜上、第一のおよび第二の測定データの測定値の単位は同じ単位であるとする。【００７１】
要求情報送信部１３０２は、指示受付部１３０１が受け付けた指示に応じて、第一および第二のデータのうちの、３０００×１０−６秒から７０００×１０−６秒までの期間のデータの送信を要求する要求信号を、サーバ装置１２に送信する。【００７２】
サーバ装置１２は、データ表示装置１３から送信される要求信号に対応する第一および第二のデータの、３０００×１０−６秒から７０００×１０−６秒までの期間のデータを読み出して、データ表示装置１３に送信する。【００７３】
データ表示装置１３のデータ受信部１３０３は、サーバ装置１２から送信される第一および第二の測定データを受信し、格納部１３０４に格納する。【００７４】
ここで、予め、第一および第二の測定データをウェーブレット変換して得られたデータを、第一および第二の測定データとともに表示することが予め指定されているものとし、データ処理部１３０５は、格納部１３０４に格納された第一の測定データと第二の測定データとをそれぞれ読み出してウェーブレット変換する。そして、ウェーブレット変換して得られたプロセス関連データを、格納部１３０４に蓄積する。なお、ウェーブレット変換の処理については公知技術であるので、説明は省略する。【００７５】
次に、データ取得部１３０６は、第一表示部１３０７が表示を行うためのプロセス関連データを、格納部１３０４から取得する。ここでは、予め、データ受信部１３０３が受信した測定データの全てを第一表示部１３０７が表示することが指定されているものとし、データ取得部１３０６は、データ受信部１３０３が受信した第一および第二の測定データの全ての期間のデータを読み出す。【００７６】
第一表示部１３０７は、データ取得部１３０６が読み出した第一の測定データと、第二の測定データとを、時間軸に沿って重ね合わせた第一の表示幅のグラフを構成し、図示しないディスプレイ等を用いて表示する。ここでは、第一の表示幅は、予め設定されており、例えば、４００ピクセルであるとする。また、グラフの高さは１６０ピクセルであるとする。なお、ここでは、横軸の単位は、１０−６秒であるとする。また、ここでは、第一および第二の測定データが、第一の表示幅に対して、非常に多く、全てのデータを、グラフ内の限られたピクセル数で表示することはできないため、それぞれの測定データを間引いたデータを用いてグラフを構成するようにしてもよい。【００７７】
図５は、第一表示部１３０７が構成したグラフの表示例である。ここでは、第一および第二の測定値のグラフが重ね合わせて表示されている。なお、グラフ５１のみが、第一表示部１３０７が表示しているグラフである。ここでは、ｘ軸を時間、ｙ軸を測定データの値としている。グラフ５２〜グラフ５５は、第二表示部１３１０が表示するグラフであるが、ここでは、初期状態ではグラフが表示されていないものとする。なお、ここでは、第一表示部１３０７と第二表示部１３１０は同じディスプレイに画像を表示するものとする。【００７８】
次に、ユーザがマウス等を操作して、ディスプレイ上に表示されるポインタ等を移動させて、第一表示部１３０７が表示しているグラフ５１上の一部の範囲を選択すると、範囲指定受付部１３０８は、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける。具体的には、範囲指定受付部１３０８は、このマウスの操作等で選択された範囲のｘ座標の値を受け付ける。ここでは、説明を簡単にするために、第一表示部１３０７が表示しているグラフの左側のｘ座標を「０」、右側のｘ座標を「４００」であるとし、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲の左側のｘ座標が「１６０」、右側のｘ座標が「２８０」であったとすると、範囲指定受付部１３０８は、表示対象範囲を指定する情報である「ｘ＝１６０」および「ｘ＝２８０」の値を受け付ける。【００７９】
第一表示部１３０７は、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲を指定する座標の情報である「ｘ＝１６０」および「ｘ＝２８０」の値を取得し、図５に示したようなグラフ５１の、この座標間に挟まれた範囲内の背景色を、他の領域と異なる色に変更して再表示する。【００８０】
表示データ取得部１３０９は、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲を指定する情報である「ｘ＝１６０」および「ｘ＝２８０」の値から、表示対象範囲に対応する期間の情報を取得する。具体的には、第一表示部１３０７が表示しているグラフの時間軸の範囲が、３０００×１０−６秒から７０００×１０−６秒までの期間であり、この期間が、４００ピクセルである第一の表示幅で表示されていることから、表示データ取得部１３０９は、（７０００−３０００）×１０−６秒÷４００ピクセルを演算して、グラフ５１上の１ピクセルが、１０×１０−６秒であることを算出する。そして、この１ピクセルに対応する時間を用いて、表示データ取得部１３０９は、表示対象範囲の左端の時刻と右端の時刻とを算出する。表示データ取得部１３０９が算出する表示対象範囲の左端の時刻は、（３０００＋１６０×１０）×１０−６秒、右端の時刻は、（３０００＋２８０×１０）×１０−６秒となる。従って、表示対象範囲に対応する期間は、４６００×１０−６秒から５８００×１０−６秒までの期間となり、表示データ取得部１３０９は、この期間内の第一および第二の測定データと、これらのデータをウェーブレット変換したプロセス関連データを、格納部１３０４から読み出す。そして、読み出したデータをそれぞれ用いて、第一表示部１３０７と同様に、時間軸に沿った、予め設定された第二の表示幅のグラフを構成する。ここでは、第二の表示幅は、予め設定されており、第一の表示幅とほぼ同じサイズ、例えば４１０ピクセルであるとする。そして、構成したグラフをディスプレイ等に表示する。なお、表示データ取得部１３０９は、第一および第二の測定データや、ウェーブレット変換等により得られたプロセス関連データを、適宜間引いたデータを用いてグラフを構成するようにしてもよい。【００８１】
図６は、第一表示部１３０７と、第二表示部１３１０とが構成したグラフの表示例を示す図である。図５と同様に、グラフ５１が、第一表示部１３０７が表示しているグラフであり、グラフ５２〜グラフ５５は、第二表示部１３１０が表示しているグラフである。グラフ５２は第一の測定データのグラフ、グラフ５３は第一の測定データをウェーブレット変換して得られたデータのグラフ、グラフ５４は第二の測定データのグラフ、グラフ５５は第二の測定データをウェーブレット変換して得られたデータのグラフである。【００８２】
図６に示すように、第一表示部１３０７が表示しているグラフにおいては、格納部１３０４が格納している第一および第二の測定データのうちの、全期間のデータが表示されているとともに、範囲指定受付部１３０８が受け付けた範囲が、背景色が、他の領域と異なる領域６１として表示されている。また、第二表示部１３１０が表示しているグラフにおいては、第一表示部１３０７が表示しているグラフのうちの領域６１に対応する期間内のデータが、領域６１の幅よりも広い第二の表示幅、ここでは、第一の表示幅と同程度の幅で表示されている。【００８３】
このように、表示することで、第一表示部１３０７がディスプレイ等に表示しているグラフ上の、ユーザが指定した範囲に対応する期間の測定データや、この期間のウェーブレット変換した情報を、拡大して表示することができる。これにより、データの細部をグラフで表示して、より細かい分析が可能となる。また、第一および第二の測定データの全体は、第一表示部１３０７により表示されたままとなっているとともに、第二表示部１３１０により拡大して表示している範囲を、第一表示部１３０７が、第一および第二の測定データと対応付けて表示しているため、第二表示部１３１０が拡大表示しているデータの期間が、第一および第二の測定データの全体のうちの、どの部分の期間であるかを、視覚的に瞬時に把握することができる。特に、近年、半導体プロセスの処理時の状態に関する値を、より高い頻度で取得することが可能となっているため、測定データ等の細部を拡大して表示することが可能となっている。このため、本実施の形態によれば、測定データ等の全体を、第一表示部１３０７で表示しつつ、測定データ等の細部を見たい部分を効率的かつ感覚的に指定して拡大表示することが可能となる。これにより、測定データ等の全体と細部を、効率的に表示することができる。【００８４】
また、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する期間の複数の測定データ等のプロセス関連データが第二表示部１３１０により表示されるため、第二表示部１３１０が表示する複数のプロセス関連データの、表示対象としている期間を揃えることができ、複数のプロセス関連データの比較が容易となる。【００８５】
また、第一表示部１３０７のグラフ上で表示対象範囲を指定することができるため、拡大したい部分等を、判断しやすく、操作性がよい。【００８６】
つぎに、第一表示部１３０７に表示されている表示対象範囲を示す領域５１の時間軸方向の端部を、図７に示すように、画面に表示されているマウス等によりドラッグする操作を行ってポインタ７１を移動させると、範囲指定受付部１３０８は、幅が変更された表示対象範囲の情報を受け付ける。これに伴って、第一表示部１３０７に表示されている表示対象範囲を示す領域５１の幅が変更されるとともに、表示データ取得部１３０９が取得する測定データ等の期間も変更され、第二表示部１３１０は、ドラッグ等により幅が変更された領域５１に対応した測定データ等を表示することとなる。【００８７】
また、図６において、第一表示部１３０７に表示されている表示対象範囲を示す領域５１の中央部を、図８に示すように、マウス等によりドラッグする操作を行ってポインタ７１を移動させると、範囲指定受付部１３０８は、時間軸方向において位置が変更された表示対象範囲の情報を受け付ける。これに伴って、第一表示部１３０７に表示されている表示対象範囲を示す領域５１の時間軸方向の位置が変更されるとともに、表示データ取得部１３０９が取得する測定データ等の期間も変更され、第二表示部１３１０は、ドラッグ等により時間軸方向の位置が変更された領域５１に対応した測定データ等を表示することとなる。【００８８】
このように、第一表示部１３０７上に表示されている表示対象範囲を示す領域の幅や、位置をマウス等を操作することで、第二表示部１３１０が第二の表示幅で表示する測定データ等の期間を変更することができるため、感覚的な操作が可能となり、操作性が向上する。【００８９】
以上、本実施の形態によれば、製造装置１１に関する一以上の時系列のデータを、第一表示部１３０７を用いて表示するとともに、その一部の期間の複数のプロセス関連データを第二表示部１３１０が拡大して表示するようにしたことにより、半導体プロセスに関する時系列のデータの細部をグラフで表示して、より細かい分析が可能となる。また、第二表示部１３１０により拡大して表示している範囲を、第一表示部１３０７が、第一および第二の測定データと対応付けて表示していることにより、第二表示部１３１０が拡大表示しているデータの期間が、第一および第二の測定データの全体のうちの、どの部分の期間であるかを、視覚的に瞬時に把握することが可能となる。これにより、半導体プロセスに関する時系列のデータを、適切に表示することができる。【００９０】
また、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する期間の複数のプロセス関連データを、第二表示部１３１０により表示するようにしたことにより、表示対象としている期間を揃えて、複数のプロセス関連データを表示することができ、複数のプロセス関連データの比較が容易となる。【００９１】
なお、上記実施の形態において、データ処理部１３０５が状況データ等のプロセス関連データを処理して、新たなプロセス関連データを構成するタイミングやトリガー等は問わない。例えば、範囲指定受付部１３０８が表示対象範囲の指定を受け付けた場合に、格納部１３０４に格納されている当該表示対象範囲に対応する表示期間内の１以上の状況データ等のプロセス関連データに対して、ウェーブレット変換等の所定の処理を行って、新たなプロセス関連データを構成して、構成したプロセス関連データを、表示データ取得部１３０９等に出力するようにしてもよい。【００９２】
また、上記実施の形態において、データ処理部１３０５と同様のデータ処理部等を、サーバ装置１２に設けるようにし、サーバ装置１２が格納している状況データに対して、サーバ装置１２内のデータ処理部等が所定の処理を行って、新たなプロセス関連データを構成して、状況データ等とともにサーバ装置１２内の図示しない格納部に蓄積し、この蓄積したプロセス関連データを読み出して、データ表示装置１３に送信したりするようにしても良い。【００９３】
なお、上記実施の形態において、表示対象範囲の表示の形態等については問わない。例えば、図９に示すように、第一表示部１３０７が表示しているグラフ５１の、表示対象範囲６１の開始時刻と終了時刻とにそれぞれ対応する時間軸の位置に、マーカー９１およびマーカー９２を表示することで、第一表示部１３０７が表示対象範囲の表示を行うようにしてもよい。【００９４】
（実施の形態２）
本実施の形態は、上記実施の形態に示したデータ表示装置において、表示データ取得部が取得したプロセス関連データに対して、データ処理部が所定の処理を行って、この処理により得られたプロセス関連データを表示するようにしたものである。【００９５】
図１０は、本実施の形態にかかるデータ表示装置を備えた群管理システムの構成を示すブロック図である。図において、図２と同一符号は、同一または相当する部分を示している。【００９６】
データ表示装置２３は、指示受付部１３０１、要求情報送信部１３０２、データ受信部１３０３、格納部１３０４、データ処理部２３０５、データ取得部１３０６、第一表示部１３０７、範囲指定受付部１３０８、表示データ取得部１３０９、第二表示部２３１０を備えている。【００９７】
データ表示装置２３の、データ処理部２３０５および第二表示部２３１０以外の構成については、上記実施の形態のデータ表示装置と同様であるので、詳細な説明は省略する。【００９８】
データ処理部２３０５は、表示データ取得部１３０９が取得したプロセス関連データの１以上に対して、所定の演算処理を行う。そして、演算処理により取得したプロセス関連データを、第二表示部１３１０に出力する。所定の処理は、どのような処理でも良く、例えば、ウェーブレット変換や、データの標準化の処理等である。データの標準化とはデータの単位や種類の違いによる影響を少なくするための処理である。また、どのような処理を行うかは、予め決まっていても良いし、図示しない受付部等から受け付けた指示に応じて指定されてもよい。また、表示データ取得部１３０９が取得したプロセス関連データのうちのどのプロセス関連データを処理するかは問わない。処理対象となるプロセス関連データはどのように指定されても良く、例えば、図示しない受付部等を介してユーザ等にから指定を受け付けてもよい。また、デフォルトで設定されていても良い。また、表示データ取得部１３０９が取得した全てのプロセス関連データを処理しても良い。データ処理部２３０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。データ処理部１３０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【００９９】
第二表示部２３１０は、表示データ取得部１３０９が取得したプロセス関連データ、およびデータ処理部２３０５により演算処理されて得られたプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する。第二表示部２３１０は、表示データ取得部１３０９が取得したプロセス関連データ、およびデータ処理部２３０５により演算処理されたプロセス関連データを、異なるグラフとして、それぞれ別々の領域に、例えばウィンドウ等に表示しても良いし、重ね合わせて表示しても良い。なお、プロセス関連データの第二の表示幅による表示の仕方等の、その他の構成については、上記実施の形態の第二表示部と同様であるので、説明を省略する。【０１００】
次に、データ表示装置２３の動作について、図１１のフローチャートを用いて説明する。なお、図１１のフローチャートにおいて、図４と同一符号は、同一または相当する処理ステップを示しており、ここでは説明を省略する。【０１０１】
（ステップＳ１１０１）データ処理部２３０５は、ステップＳ４１０で取得したプロセス関連データのうちの一以上に対して、所定の処理を行う。【０１０２】
（ステップＳ１１０２）第二表示部２３１０は、ステップＳ４１０で取得したプロセス関連データ、およびステップＳ１１０１で所定の処理を行って得られたプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第二の表示幅で表示する。【０１０３】
以下、本実施の形態におけるデータ表示装置を備えた群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１と同様である。【０１０４】
ここでは、上記実施の形態１において説明した具体例と同様に、データ受信部１３０３が、プロセス関連データとして第一および第二のデータを受信し、第一表示部１３０７が、第一の測定データと、第二の測定データとを、時間軸に沿って重ね合わせた第一の表示幅のグラフ５１を構成して、図５に示すように表示したとする。【０１０５】
ユーザがマウス等を操作して、ディスプレイ上に表示されるポインタ等を移動させて、第一表示部１３０７が表示しているグラフ５１上の一部の範囲を選択すると、範囲指定受付部１３０８は、第一表示部１３０７が表示しているプロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける。【０１０６】
表示データ取得部１３０９は、範囲指定受付部１３０８が受け付けた表示対象範囲に対応する表示期間の情報を取得し、この表示期間の第一の測定データおよび第二の測定データを読み出す。【０１０７】
ここで、データ処理部２３０５は、表示データ取得部１３０９が取得した第一の測定データおよび第二の測定データに対して、それぞれ、所定の処理であるウェーブレット変換を行う。【０１０８】
そして、データ処理部２３０５によるウェーブレット変換によって得られたデータと、表示データ取得部１３０９が取得した第一の測定データおよび第二の測定データとを、第二表示部２３１０が、ここでは、それぞれを異なるグラフとして、第一の表示幅と同じサイズで表示する。このようにして表示されるグラフは、結果的には、図６に示したような実施の形態１の具体例と同様のものとなる。例えば、表示データ取得部１３０９が取得した第一の測定データおよび第二の測定データが、グラフ５２およびグラフ５４となり、第一の測定データをウェーブレット変換したグラフがグラフ５３、第二の測定データをウェーブレット変換したグラフがグラフ５５となる。【０１０９】
また、表示対象範囲の変更に同期して、表示が変更される処理等については、上記実施の形態１の具体例と同様であるので説明は省略する。【０１１０】
以上、本実施の形態によれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、測定データの表示対象範囲のみを、データ処理部が処理すればよいため、データ処理部のデータの処理量を削減することができる。また、表示の際にデータ処理を行うことで、リアルタイムにデータ処理したプロセス関連データを表示することができる。【０１１１】
（実施の形態３）
本実施の形態にかかるデータ表示装置は、一のプロセス関連データに対して、複数の表示対象範囲を指定できるようにし、一のプロセス関連データのうちの、それぞれの表示対象範囲に対応する表示期間内のデータを、それぞれ、第二の表示幅で表示するようにしたものである。【０１１２】
図１２は、本実施の形態にかかるデータ表示装置を備えた群管理システムの構成を示すブロック図である。図において、図２と同一符号は、同一または相当する部分を示している。【０１１３】
データ表示装置３３は、指示受付部１３０１、要求情報送信部１３０２、データ受信部１３０３、格納部３３０４、データ処理部１３０５、データ取得部３３０６、第一表示部１３０７、範囲指定受付部３３０８、表示データ取得部３３０９、第二表示部３３１０、解析部３３１１、第三表示部３３１２を備えている。【０１１４】
データ表示装置３３の、指示受付部１３０１、要求情報送信部１３０２、データ受信部１３０３、データ処理部１３０５の構成については、上記実施の形態１のデータ表示装置と同様であるので、詳細な説明は省略する。【０１１５】
格納部３３０４には、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである一のプロセス関連データが格納され得る。なお、一のプロセス関連データが格納され得る点を除けば、格納部３３０４の構成は、上記実施の形態１の格納部の構成と同様であるので説明は省略する。【０１１６】
データ取得部３３０６は、格納部３３０４から、一のプロセス関連データを取得する。なお、一のプロセス関連データを取得する点を除けば、データ取得部３３０６の構成は、上記実施の形態１のデータ取得部と同様であるので説明は省略する。【０１１７】
第一表示部３３０７は、データ取得部３３０６が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する。また、第一表示部３３０７は、後述する範囲指定受付部３３０８が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部３３０７が表示する一のプロセス関連データと対応付けて、更に表示する。表示対象範囲を示す情報やその表示のための構成等は、上記実施の形態１の第一表示部と同様であるので、ここでは説明を省略する。【０１１８】
ここで、本実施の形態においては、特に、第一表示部３３０７が、一のプロセス関連データを、第一の表示幅で複数表示するものである場合、例えば複数のグラフや複数のウィンドウで表示するものである場合について説明する。複数表示するとは、例えば複数のグラフや複数のウィンドウに、それぞれ表示することである。例えば、一のプロセス関連データを示す同じグラフを、複数表示することである。ただし、複数のグラフの幅等は、必ずしも全てが同じ幅でなくても良い。例えば、第一表示部３３０７は、一のプロセス関連データを、表示する時間を揃えて配列されたｎ（ｎは二以上の整数）個のグラフで表示する。このとき、第一表示部３３０７は、更に、範囲指定受付部３３０８が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、それぞれが指定を受け付けた第一表示部３３０７が表示する複数の一のプロセス関連データにそれぞれ対応付けて表示してもよい。具体的には、範囲指定受付部３３０８が、第一表示部３３０７が複数表示する一のプロセス関連データのうちの、ｋ（１≦ｋ≦ｎ）番目に表示されているグラフに対して表示対象範囲の指定を受け付けた場合、第一表示部３３０７は、この表示対象範囲を示す情報を、ｋ番目のグラフに対応付けて表示する。【０１１９】
ただし、第一表示部３３０７は、一のプロセス関連データを、一のグラフやウィンドウだけで表示しても良い。この場合、複数の表示対象範囲を示す情報を、一のグラフやウィンドウに表示可能なものであっても良い。なお、上記以外の第一表示部３３０７の構成等については、実施の形態１の第一表示部の構成等と同様であるので説明は省略する。【０１２０】
範囲指定受付部３３０８は、第一表示部３３０７が表示している一のプロセス関連データについて、複数の範囲である複数の表示対象範囲の指定を受け付ける。具体的には、第一表示部３３０７が、一のプロセス関連データを複数のグラフ等により複数表示している場合、範囲指定受付部３３０８は、第一表示部３３０７が複数表示している一のプロセス関連データのそれぞれについて表示対象範囲の指定を受け付ける。例えば、一のプロセス関連データがｎ個のグラフでそれぞれ表示されている場合、各グラフに対して、表示対象範囲の指定を受け付ける。なお、指定を受け付ける表示対象範囲同士は、同じ範囲でないことが好ましい。また、第一表示部３３０７が、一のプロセス関連データを一のグラフ等により１つだけ表示している場合、範囲指定受付部３３０８は、第一表示部３３０７が一つだけ表示している一のプロセス関連データについて異なる複数の表示対象範囲の指定を受け付けてもよい。上記のような範囲指定の結果、一のプロセス関連データに対して、複数の表示対象範囲の指定を受け付けることとなる。なお、上記以外の構成等については、上記実施の形態１の範囲指定受付部１３０８と同様であるので、説明は省略する。【０１２１】
表示データ取得部３３０９は、格納部３３０４に格納されている一のプロセス関連データから、範囲指定受付部３３０８が受け付けた複数の表示対象範囲にそれぞれ対応する期間である複数の表示期間内の複数のプロセス関連データをそれぞれ取得する。一のプロセス関連データとは第一表示部３３０７が表示しているプロセス関連データである。複数のプロセス関連データを取得する構成を除けば、表示データ取得部３３０９は、上記実施の形態１の表示データ取得部１３０９と同様であるので、説明は省略する。【０１２２】
第二表示部３３１０は、表示データ取得部３３０９が取得した複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する。例えば、第二表示部３３１０は、複数のプロセス関連データを、複数のグラフやウィンドウ等によりそれぞれ個別に表示する。あるいはこれらの複数のプロセス関連データを重ね合わせて表示しても良い。なお、複数のプロセス関連データを表示する点を除けば、第二表示部３３１０は、上記実施の形態１の第二表示部１３１０と同様であるので、説明は省略する。【０１２３】
解析部３３１１は、表示データ取得部３３０９が取得した複数のデータについて所定の解析を行う。所定の処理とは、どのような処理でも良く、Ｗａｙｌａｎｄテスト等のカオス時系列解析等でもよいし、多変量解析等の他の解析処理であっても良い。Ｗａｙｌａｎｄテストについては、文献「リチャード・ウェイランド（Richard Wayland）他，「時系列に関する決定論性の定量化（Ｒｅｃｏｇｎｉｚｉｎｇ  Ｄｅｔｅｒｍｉｎｉｓｍ  ｉｎ  ａ  Ｔｉｍｅ  Ｓｅｒｉｅｓ）」，フィジカル・レビュー・レターズ（ＰＨＹＳＩＣＡＬ  ＲＥＶＩＥＷ  ＬＥＴＴＥＲＳ），１９９３年２月１日，ＶＯＬＵＭＥ  ７０，ＮＵＭＢＥＲ  ５，ｐ．５８０−５８２」に記載されており公知技術であるので説明は省略する。解析部３３１１が、どのような処理を行うかは予め決まっていても良いし、図示しない受付部等から受け付けた指示に応じて指定されてもよい。解析により得られたデータ等は例えば図示しない記憶媒体等に一時記憶される。解析部３３１１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。解析部３３１１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【０１２４】
第三表示部３３１２は解析部３３１１の解析結果を表示する。解析結果とは具体的には解析により得られた結果を示すデータや判定結果等である。第三表示部３３１２は、解析部３３１１の解析結果を用いて、解析結果を表示するためのデータ、例えばグラフ等を構成し、当該解析結果を表示するためのデータを表示しても良い。ここで述べる表示とは、ディスプレイ等への表示を含む概念である。第一表示部１３０７は、ディスプレイ等の表示デバイス等を含むと考えても含まないと考えても良い。第一表示部１３０７は、表示デバイスのドライバソフトまたは、表示デバイスのドライバソフトと表示デバイス等で実現され得る。【０１２５】
次に、データ表示装置３３の動作について、図１３のフローチャートを用いて説明する。なお、図１３のフローチャートにおいて、図４と同一符号は、同一または相当する処理ステップを示しており、ここでは説明を省略する。なお、ここでは１つの表示対象範囲の指定を受け付けた場合、当該表示対象範囲に対応する表示期間のプロセス関連データを、第二の表示幅で表示する場合について説明する。【０１２６】
（ステップＳ１３０１）データ取得部３３０６は、格納部３３０４から、一のプロセス関連データを取得する。【０１２７】
（ステップＳ１３０２）第一表示部３３０７は、データ取得部３３０６が取得したプロセス関連データを、第一の表示幅で複数表示する。【０１２８】
（ステップＳ１３０３）範囲指定受付部３３０８は、第一表示部３３０７が複数表示しているプロセス関連データのうちの一つについて、一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ１３０４に進み、受け付けていない場合、ステップＳ１３０３に戻る。【０１２９】
（ステップＳ１３０４）第一表示部３３０７は、ステップＳ１３０３において受け付けた表示対象範囲を示す情報を、ステップＳ１３０３で複数表示したプロセス関連データのうちの、ステップＳ１３０３で、表示対象範囲の指定を受け付けたプロセス関連データに対応付けて表示、例えば、重ねて表示する。【０１３０】
（ステップＳ１３０５）表示データ取得部３３０９は、ステップＳ１３０４において受け付けた表示対象範囲に対応する実際の期間である表示期間を示す情報を取得する。【０１３１】
（ステップＳ１３０６）表示データ取得部３３０９は、格納部３３０４に格納されている一のプロセス関連データから、ステップＳ１３０５において算出した表示期間内のプロセス関連データを読み出して取得する。取得したプロセス関連データは、例えば、表示対象範囲の指定を受け付けたプロセス関連データの一の表示と対応付けて、図示しない記憶媒体等に蓄積される。【０１３２】
（ステップＳ１３０７）第二表示部３３１０は、ステップＳ１３０６において取得したプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第二の表示幅で表示する。【０１３３】
（ステップＳ１３０８）解析部３３１１は、範囲指定受付部３３０８が、一のプロセス関連データについて、複数の表示対象範囲の指定を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、解析が可能となるため、ステップＳ１３０９に進み、受け付けていない場合、ステップＳ１３１２に進む。【０１３４】
（ステップＳ１３０９）解析部３３１１は、所定の解析を行うか否かを判断する。解析部３３１１が、所定の解析を行うか否かをどのように判断しても良く、例えば、図示しない受付部等が解析を行う指示を受け付けた場合に、解析を行うことを判断してもよい。また、ステップＳ１３０８において、複数の表示対象範囲の指定を受け付けた場合に、解析を行うことを判断しても良い。解析を行うと判断した場合、ステップＳ１３１０に進み、解析を行わないと判断した場合、ステップＳ１３１２に進む。【０１３５】
（ステップＳ１３１０）解析部３３１１は、表示データ取得部３３０９が一のプロセス関連データから取得した複数のプロセス関連データに対して、所定の解析を行う。【０１３６】
（ステップＳ１３１１）第三表示部３３１２は、ステップＳ１３１０の解析結果を表示する。【０１３７】
（ステップＳ１３１２）範囲指定受付部３３０８は、表示対象範囲の変更あるいは追加を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ１３０４に戻り、受け付けていない場合、ステップＳ１３０９に戻る。【０１３８】
以下、本実施の形態におけるデータ表示装置を備えた群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１と同様である。なお、ここでは、説明を簡単にするために、データ処理部１３０５による処理は行わない場合を例に挙げて説明する。【０１３９】
ここでは、上記実施の形態１の具体例と同様に、データ受信部１３０３が、プロセス関連データを受信し、格納部３３０４に蓄積したとする。ただし、ここでは、一のプロセス関連データである第一の測定データだけを受信し、蓄積したものとする。【０１４０】
データ取得部３３０６は、格納部３３０４に蓄積された一のプロセス関連データである第一の測定データを読み出す。【０１４１】
第一表示部３３０７は、第一の測定データを表す、時間軸を横軸とした第一の表示幅のグラフを複数、ここでは例として５つ構成して、図１４に示すようにモニタ画面に表示する。図１４において、グラフ３３１〜３３５は、第一の測定データの５つのグラフである。５つのグラフ３３１〜３３５は同じグラフである。【０１４２】
次に、ユーザがマウス等を操作して、ディスプレイ上に表示されるポインタ等を移動させて、第一表示部３３０７が表示しているグラフ３３１上の一部の範囲を選択すると、範囲指定受付部３３０８は、第一表示部３３０７が表示しているプロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける。グラフ３３１に対して表示対象範囲の指定を受け付けると、第一表示部３３０７は、範囲指定受付部１３０８が表示対象範囲を受け付けたグラフ３３１上の、この表示対象範囲に対応した期間の領域３３１ａの背景色を、他の領域と異なる色に変更して再表示する。そして、表示データ取得部３３０９は、この表示対象範囲に対応する表示期間内の第一の測定データを読み出し、一時記憶する。第二表示部３３１０は、表示データ取得部３３０９が読み出した第一の測定データを、第二の表示幅のグラフで表示する。なお、ここでは、表示対象情報から読み出されたデータにより表示されるグラフは、表示対象範囲の指定を受け付けたグラフとの対応関係が分かるように、例えば隣接して表示されることが好ましい。なお、表示対象範囲を受け付ける処理や、第二の表示幅のグラフを表示する処理等は、上記具体例と同様である。【０１４３】
上記のような処理を繰り返して、第一表示部３３０７が表示する全てのグラフ３３１〜３３５に対して、範囲指定受付部３３０８がそれぞれ表示対象範囲の指定を受け付け、表示データ取得部３３０９がそれぞれのグラフ３３１〜３３５に対して指定された表示対象範囲内のデータをそれぞれ取得し、第二表示部３３１０が第二の表示幅のグラフ３３１ｂ〜３３５ｂを表示したとする。この場合の表示例を、図１５に示す。領域３３１ａ〜３３５ａは、各グラフ３３１〜３３５にそれぞれ指定された表示対象範囲を示す領域である。グラフ３３１ｂ〜グラフ３３５ｂは、それぞれ、グラフ３３１〜３３５内の領域３３１ａ〜３３５ａで示される範囲内のデータのグラフである。【０１４４】
このように表示できるようにしたことで、単一の時系列データである一のプロセス関連データ中の異なる領域のデータをあわせて評価したり、比較したりすることが容易になる。これにより、単一のプロセス関連データ中の異常部分を認識しやすくすることができる。【０１４５】
なお、この時点で、表示データ取得部３３０９は、第一の測定データに指定された複数の表示対象範囲から、複数のプロセス関連データを取得して、図示しない記憶媒体等に一時記憶している。【０１４６】
次に、ユーザが、図示しないメニュー画面等を操作して、第一の測定データに指定された複数の表示対象範囲から取得された複数データに対して、所定の解析を行う指示を与えたとする。ここでは、所定の解析が、Ｗａｙｌａｎｄテストであったとする。解析部３３１１は、表示データ取得部３３０９が複数の表示指定範囲に応じて第一の測定データから取得し蓄積した複数の第一の測定データを、図示しない格納部等から読み出し、Ｗａｙｌａｎｄテストを実行する。そして、Ｗａｙｌａｎｄテストの結果を、第三表示部３３１２がグラフ化して表示する。【０１４７】
図１６は、Ｗａｙｌａｎｄテストの結果を示す図である。この図１６は、図１５に示した表示例に対して、Ｗａｙｌａｎｄテストの結果を示すグラフ１６を追加して表示した表示例である。【０１４８】
このように、Ｗａｙｌａｎｄテストを一のプロセス関連データ内の複数の表示指定範囲から取得した複数のデータに対して行うことで、埋め込み次元と並進誤差推定値との関係を示すデータを取得することができる。また、表示指定範囲を変更した場合に、変更された表示指定範囲から取得したプロセス関連データを用いて、再度解析を行って、解析結果を随時更新するようにすることで、埋め込み次元と並進誤差推定値との関係を示すデータをリアルタイムに表示することが可能となる。【０１４９】
また、一のプロセス関連データの複数の領域のデータについての解析結果を、一のプロセス関連データや、一のプロセス関連データ内の複数の領域のデータと並べて表示することで、データ間の比較が容易であり、データの異常等を認識しやすくすることができる。【０１５０】
なお、表示対象範囲の変更に同期して、表示が変更される処理等については、上記実施の形態１の具体例と同様であるので説明は省略する。【０１５１】
以上、本実施の形態によれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、一のプロセス関連データの複数の領域から取得したデータを、第二の表示幅で表示することができ、一のプロセス関連データ内でのデータの比較等が容易となり、異常の検出等を効率的に行うことができる。【０１５２】
さらに、一のプロセス関連データの複数の領域から取得したデータについての解析結果を表示できるようにしたことで、解析結果と時系列データとの組み合わせから異常を検出することが可能となる。【０１５３】
なお、本実施の形態の構成については、上記実施の形態２の構成についても適用可能なものであり、このような場合においても、上記と同様の効果を奏する。【０１５４】
（実施の形態４）
本実施の形態にかかるデータ表示装置は、プロセス関連データの一つから、特異点を検出し、この特異点を検出した期間示す情報を、表示対象範囲を示す情報として受け付けるようにしたものである。【０１５５】
図１７は、本実施の形態にかかるデータ表示装置を備えた群管理システムの構成を示すブロック図である。図において、図２と同一符号は、同一または相当する部分を示している。【０１５６】
データ表示装置４３は、指示受付部１３０１、要求情報送信部１３０２、データ受信部１３０３、格納部１３０４、データ処理部１３０５、データ取得部１３０６、第一表示部１３０７、範囲指定受付部４３０８、表示データ取得部１３０９、第二表示部１３１０、検出部４３１１、パターン格納部４３１２を備えている。【０１５７】
データ表示装置４３の、範囲指定受付部４３０８、検出部４３１１、およびパターン格納部４３１２以外の構成については、上記実施の形態１のデータ表示装置と同様であるので、詳細な説明は省略する。【０１５８】
検出部４３１１は、データ取得部１３０６が取得したプロセス関連データの一つから特異点を検出する。プロセス関連データにおける特異点とは、他とは異なる特性を示す点である。特異点は、例えば、異常が発生した部分である。特異点の検出対象となるプロセス関連データは、通常、予め指定されているデータであり、特異点が検出しやすいデータであることが好ましい。検出部４３１１は、一のプロセス関連データからどのように特異点を検出しても良い。一のプロセス関連データから特異点を検出するアルゴリズムとしては、例えば、予めユーザが手動により探索した異常な波形等を登録しておき、この登録された波形と、プロセス関連データとの相関をとり、相関が高い部分が特異点であると判断するものがある。このような相関の高い部分は、例えば相互相関関数を用いることで検出可能である。相互相関関数については公知技術であるので説明は省略する。また、プロセス関連データが一定の範囲内に値が収まれば正常であると判断されるようなデータである場合等においては、プロセス関連データの値を閾値と比較して、閾値が指定する範囲外の値が検出された場合に、特異点と判断しても良い。検出部４３１１は、格納部１３０４に格納されている一のプロセス関連データから特異点を検出しても良いし、データ取得部１３０６が取得したプロセス関連データの一つから特異点を検出しても良い。そして、検出部４３１１は、特異点の発生した期間を示す情報を取得し、範囲指定受付部４３０８に出力する。特異点の発生した期間は、特異点が検出された期間であっても良いし、特異点が検出された時刻や期間の前後も含めた所定の期間であってもよい。例えば、上述したように、波形パターンとの相関により特異点を検出する場合においては、プロセス関連データ内に波形パターンとの相関がある部分が検出された場合、この特異点が検出された期間を示す情報を、特異点の発生した期間を示す情報として受け付けても良い。また、特異点の発生した時刻が検出された場合、この検出された時刻（例えばタイムスタンプ）の前後に一定または不定の所定の期間を付加した期間を示す情報を、特異点の発生した期間を示す情報として受け付けても良い。期間を示す情報とは、期間を示すことができれば、期間の始点と終点の時刻を示す情報や、期間の始点や中間点の時刻と期間の長さを指定する情報との組み合わせであっても良い。なお、ここでは、例として、予め登録された波形との相関により特異点を検出する場合について説明する。なお、予め登録された波形は、後述するパターン格納部４３１２に格納されているものとする。検出部４３１１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。検出部４３１１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【０１５９】
パターン格納部４３１２には、検出部４３１１が特異点を検出する際に読み出す、特異点を示す波形パターンが格納されている。波形パターンは、複数であっても良い。パターン格納部４３１２は、不揮発性の記録媒体であっても、揮発性の記録媒体であっても良い。【０１６０】
範囲指定受付部４３０８は、検出部４３１１が検出した特異点の発生した期間を示す情報を、表示対象範囲を指定する情報として受け付ける。なお、検出部４３１１が出力する特異点の発生した期間を示す情報を、表示対象範囲を指定する情報として受け付ける点を除けば、範囲指定受付部４３０８は、実施の形態１の範囲指定受付部４３０８と同様であるので、説明は省略する。【０１６１】
次に、データ表示装置４３の動作について、図１８のフローチャートを用いて説明する。なお、図１１のフローチャートにおいて、図４と同一符号は、同一または相当する処理ステップを示しており、ここでは説明を省略する。【０１６２】
（ステップＳ１８０１）検出部４３１１は、パターン格納部４３１２に格納されている波形パターンのデータを読み出す。【０１６３】
（ステップＳ１８０２）検出部４３１１は、格納部３３０４に格納されているプロセス関連データのうちの、予め指定されている一のプロセス関連データを取得する。【０１６４】
（ステップＳ１８０３）検出部４３１１は、ステップＳ１８０２で取得したプロセス関連データと、ステップＳ１８０１で取得した波形データとの相関を求める。例えば、相関は、相互相関関数等を用いて算出可能である。【０１６５】
（ステップＳ１８０４）検出部４３１１は、ステップＳ１８０３において、波形データと相関の高いデータが検出されたか否かを判断する。例えば、ステップＳ１８０３で算出した相関を示す値が、閾値以上であるか否かを判断し、閾値以上であれば、相関が高いと判断する。相関の高いデータが検出された場合、ステップＳ１８０５に進み、検出されなかった場合、処理を終了する。相関の高いデータが検出された場合、この検出された部分が特異点である。【０１６６】
（ステップＳ１８０５）検出部４３１１は、特異点の発生した期間を示す情報を取得し、出力する。特異点の発生した期間を示す情報とは、特異点を含む期間を示す情報であればよく、特異点が検出された時刻や期間を示す情報であっても良いし、この時刻や期間を含む前後の期間であってもよい。例えば、ステップＳ１８０４で波形データとの比較を行った期間を示す情報であっても良いし、この比較を行った期間の前や後に所定の期間を付加した期間であっても良い。検出部４３１１は、例えば、プロセス関連データのうちの波形パターンと相関があると判断された範囲を中心とした予め指定された長さの期間を示す情報を、特異点の発生した期間を示す情報として取得する。また、プロセス関連データのうちの波形パターンと相関があると判断された範囲の中心の時刻を、特異点の発生した時刻として取得し、この時刻を中心とした予め指定された長さの期間を示す情報を、表示対象範囲を指定する情報として受け付けるようにしてもよい。【０１６７】
（ステップＳ１８０６）範囲指定受付部４３０８は、検出部４３１１が検出した特異点の発生した期間を示す情報を、表示対象範囲を指定する情報として受け付ける。そして、ステップＳ４０５に進む。【０１６８】
（ステップＳ１８０７）第一表示部４３０７は、ステップＳ１８０６において受け付けた表示対象範囲を示す情報を、ステップＳ４０６で表示した時系列情報に対応付けて表示、例えば、重ねて表示する。そして、ステップＳ４０９へ進む。【０１６９】
なお、このフローチャートにおいては、ステップＳ４１１の処理後、動作が終了するようにしているが、ステップＳ４１１の処理後、ユーザ等の指示に応じて、特異点を検出後のデータについても、ステップＳ１８０３以降の処理を行うようにしてもよい。これにより、例えば、その後に発生した異常も検知可能である。【０１７０】
以下、本実施の形態におけるデータ表示装置を備えた群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１と同様である。【０１７１】
ここでは、データ受信部１３０３が、上記実施の形態１と同様に、プロセス関連データとして第一および第二の測定データを受信し、受信したデータを、格納部１３０４に蓄積しているものとする。これに加えて、データ受信部１３０３が、プロセス関連データの一つである第三の測定データを受信し、格納部１３０４に蓄積しているものとする。なお、第三の測定データは、第一及び第二の測定データと同時に測定された、他系統のデータであるとする。【０１７２】
また、データ処理部１３０５は、格納部１３０４に格納された第一の測定データと第二の測定データとをそれぞれ読み出してウェーブレット変換し、ウェーブレット変換して得られたプロセス関連データを、格納部１３０４に蓄積しているものとする。【０１７３】
図１９は、パターン格納部４３１２に格納されている、特異点検出に用いられる波形パターンの一例を示す図である。この波形パターンは、過去に測定された上述した第三の測定データと同じ測定データにおける、半導体製造プロセス等における異常が検出された時点の前後の所定の期間、ここでは例として５ミリ秒間のデータを取得し、これを波形で表したものである。ここでは、検出部４３１１が、この波形パターンを用いて、第三の測定データにおける異常が発生したと考えられる箇所を、特異点として検出する処理を行う例を説明する。【０１７４】
まず、検出部４３１１は、パターン格納部４３１２に格納されている波形パターンを読み出す。【０１７５】
つぎに、検出部４３１１は、第三の測定データを、格納部１３０４から読み出し、メモリやバッファ等に一時記憶する。【０１７６】
検出部４３１１は、メモリ等に一時記憶した第三の測定データと、パターン格納部４３１２から読み出した波形パターンとの相関を取る。相関の算出方法については、公知技術であるので、ここでは説明を省略する。【０１７７】
図２０は、第三の測定データの一例を示すグラフである。パターン格納部４３１２から読み出した図１９に示すような波形パターンとの比較から、領域２０の箇所が、検出部４３１１により相関が高いと判断されたとする。【０１７８】
第三の測定データ内にパターン格納部４３１２から読み出した波形パターンとの相関の高い部分が検出された場合、第三の測定データ内の、相関が高いと判断された波形が存在する期間を示す情報を、第三の測定データのタイムスタンプ等から取得する。そして、取得した期間を示す情報を用いて、この期間を中心とした所定の期間、ここでは６０ｍｓの期間、の開始時刻と終了時刻の情報を取得する。そして、取得した期間を示す情報を、範囲指定受付部４３０８に送信する。例えば、検出部４３１１が取得した開始時刻が「１秒２７０ミリ秒」、終了時刻が「１秒３３０ミリ秒」、であったとする。【０１７９】
範囲指定受付部４３０８は、表示対象範囲を指定する情報として、検出部４３１１が取得した開始時刻の情報である「１秒２７０ミリ秒」、および終了時刻の情報である「１秒３３０ミリ秒」を受け付ける。【０１８０】
次に、データ取得部１３０６は、上記実施の形態１の具体例と同様に、格納部１３０４から、第一の測定データと第二の測定データとを読み出す。そして、第一表示部１３０７が、データ取得部１３０６の読み出した第一の測定データと、第二の測定データとを、時間軸に沿って重ね合わせた第一の表示幅のグラフを構成して出力する。このとき、このグラフにおいて、表示データ取得部４３０８が取得した表示対象範囲を示す期間の背景色は他の領域と異なる色で表示する。【０１８１】
また、表示データ取得部１３０９は、格納部１３０４に格納されている第一の測定データ、第二の測定データ、およびこれらをウェーブレット変換して得られたデータのそれぞれから、範囲指定受付部４３０８が受け付けた、表示対象範囲を示す期間の情報が示す期間内の情報を取得する。即ち、それぞれのデータから、開始時刻が「１秒２７０ミリ秒」で、終了時刻が「１秒３３０ミリ秒」である期間の情報を取得する。そして、第二表示部１３１０は、表示データ取得部１３０９が取得した各データを、個別のグラフとして表示する。【０１８２】
図２１は、第一表示部１３０７および第二表示部１３１０がモニタ等に表示するグラフの表示例を示す図である。グラフ２１ａは、第一表示部１３０７が表示する、第一の測定データと第二の測定データとを重ね合わせたデータであり、領域２１１が表示対象範囲に対応する期間を示している。また、グラフ２１ｂ〜２１ｅは、第二表示部１３１０が表示するデータである。グラフ２１ｂは、第一の測定データの表示対象範囲に対応する期間内のグラフである。グラフ２１ｃは、第一の測定データをウェーブレット変換したデータの表示対象範囲に対応する期間内のグラフである。グラフ２１ｄは、第二の測定データの表示対象範囲に対応する期間内のグラフである。グラフ２１ｅは、第二の測定データをウェーブレット変換したデータの表示対象範囲に対応する期間内のグラフである。【０１８３】
このように、この具体例においては、第三のデータから特異点である異常が発生した期間を自動で検出し、この検出した期間内の、第一および第二の測定データ等を、拡大して表示することが可能である。従って、ユーザが、異常が発生した箇所を探し、この箇所を表示対象範囲に指定する必要がなくなる。このため、ユーザの作業を軽減することができる。また、異常が発生した箇所を探す際のユーザのミスによる漏れをなくすことができ、データを分析する際の信頼性を上げることができる。【０１８４】
以上、本実施の形態によれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、プロセス関連データの一つから特異点を検出し、当該特異点の発生した期間を示す情報を、表示対象範囲として用いるようにしたことにより、表示対象範囲を示す情報を自動取得することができる。これにより、ユーザが表示対象範囲を指定する作業が不要となり、ユーザの労力を削減できる。また、第二の表示幅で表示することが適切と考えられる特異点を自動で検出できることで、特異点を人的に検出する場合のような検出漏れをなくすことができ、データを分析する際の信頼性を上げることができる。【０１８５】
なお、本実施の形態の構成については、上記実施の形態２および実施の形態３の構成についても適用可能なものであり、このような場合においても、上記と同様の効果を奏する。【０１８６】
なお、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。【０１８７】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。【０１８８】
なお、上記各実施の形態におけるデータ表示装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データであるプロセス関連データが複数格納され得る格納部から、１以上のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、前記データ取得部が取得した１以上のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、前記第一表示部が表示している前記プロセス関連データ内の一部の範囲である表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、前記複数のプロセス関連データのそれぞれから、前記表示対象範囲に対応する期間である表示期間内のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、前記表示データ取得部が取得した前記表示期間内の複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部として機能させ、前記第一表示部は、前記範囲指定受付部が受け付けた表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記１以上のプロセス関連データと対応付けて更に表示するプログラムである。【０１８９】
また、このプログラムは、コンピュータを、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列データである一のプロセス関連データが格納され得る格納部から、前記一のプロセス関連データを取得するデータ取得部と、前記データ取得部が取得した一のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて第一の表示幅で表示する第一表示部と、前記第一表示部が表示している一のプロセス関連データについて、複数の範囲である複数の表示対象範囲の指定を受け付ける範囲指定受付部と、前記一のプロセス関連データから、前記複数の表示対象範囲にそれぞれ対応する期間である複数の表示期間内の複数のプロセス関連データを取得する表示データ取得部と、前記表示データ取得部が取得した複数のプロセス関連データを、時間軸と対応付けて、前記表示対象範囲の幅よりも広い第二の表示幅で表示する第二表示部と、して機能させるためのプログラムであって、前記第一表示部は、前記範囲指定受付部が受け付けた複数の表示対象範囲を示す情報を、当該第一表示部が表示する前記一のプロセス関連データと対応付けて、更に表示するプログラムである。【０１９０】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、情報を取得する取得部や、情報を出力する出力部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には含まれない。【０１９１】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。【０１９２】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。【０１９３】
図２２は、上記プログラムを実行して、上記実施の形態によるデータ表示装置を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図である。上記実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムによって実現される。【０１９４】
図２２において、コンピュータシステム１００は、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ１０５、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）ドライブ１０６を含むコンピュータ１０１と、キーボード１０２と、マウス１０３と、モニタ１０４とを備える。【０１９５】
図２３は、コンピュータシステムを示す図である。図２３において、コンピュータ１０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０５、ＦＤドライブ１０６に加えて、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１１１と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）１１２と、ＣＰＵ１１１に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶すると共に、一時記憶空間を提供するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するハードディスク１１４と、ＣＰＵ１１１、ＲＯＭ１１２等を相互に接続するバス１１５とを備える。なお、コンピュータ１０１は、ＬＡＮへの接続を提供する図示しないネットワークカードを含んでいてもよい。【０１９６】
コンピュータシステム１００に、上記実施の形態によるデータ表示装置の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１２１、またはＦＤ１２２に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０５、またはＦＤドライブ１０６に挿入され、ハードディスク１１４に転送されてもよい。これに代えて、そのプログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ１０１に送信され、ハードディスク１１４に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ１１３にロードされる。なお、プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１２１やＦＤ１２２、またはネットワークから直接、ロードされてもよい。【０１９７】
プログラムは、コンピュータ１０１に、上記実施の形態によるデータ表示装置の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティプログラム等を必ずしも含んでいなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいてもよい。コンピュータシステム１００がどのように動作するのかについては周知であり、詳細な説明は省略する。【０１９８】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（要求情報送信部や、データ受信部等）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。【０１９９】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０２００】
以上のように、本発明にかかるデータ表示装置等は、半導体プロセスの処理時の状態に関する時系列であるプロセス関連データを複数表示する装置等として適しており、複数のプロセス関連データをグラフ等を用いて並べて表示する装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０２０１】
【図１】本発明の実施の形態１における群管理システムの概念図を示す図
【図２】同群管理システムのブロック図
【図３】同製造装置の例を示す図
【図４】同データ表示装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同表示例を示す図
【図６】同表示例を示す図
【図７】同データ表示装置に対する操作を説明するための図
【図８】同データ表示装置に対する操作を説明するための図
【図９】同表示例を示す図
【図１０】本発明の実施の形態２における群管理システムのブロック図
【図１１】同データ表示装置の動作について説明するフローチャート
【図１２】本発明の実施の形態３における群管理システムのブロック図
【図１３】同データ表示装置の動作について説明するフローチャート
【図１４】同表示例を示す図
【図１５】同表示例を示す図
【図１６】同表示例を示す図
【図１７】本発明の実施の形態４における群管理システムのブロック図
【図１８】同データ表示装置の動作について説明するフローチャート
【図１９】同データ表示装置のパターン格納部に格納されている波形パターンの一例を示す図
【図２０】同データ表示装置が格納している第三のデータの一例を示す図
【図２１】同表示例を示す図
【図２２】同実施の形態におけるコンピュータシステムの外観の一例を示す模式図
【図２３】同実施の形態におけるコンピュータシステムの構成の一例を示す図
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２２】
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【図２３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【国際調査報告】
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