【事件の表示】
　上記当事者間の特許第５３４４１０５号発明「光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第５３４４１０５号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。
　特許第５３４４１０５号の請求項１ないし５に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　事案の概要
　本件無効審判請求に係る特許第５３４４１０５号（以下、「本件特許」という。）は、ウシオ電機株式会社（以下、「被請求人」という。）によって、平成２５年３月８日を出願日として出願され、その請求項１乃至５に係る発明について、平成２５年８月２３日に特許権の設定登録がなされたものであり、これに対し、平成２７年２月２日に、本件無効審判の請求人である株式会社ブイ・テクノロジー（以下、単に「請求人」という。）により本件無効審判の請求がなされたものである。
　
第２　手続の経緯
　本件審判の経緯は、次のとおりである（なお、特許庁への提出日は、請求人、及び、被請求人のそれぞれ記載の日付である。）。
　
平成２７年　２月　２日　審判請求
平成２７年　４月２０日　訂正請求（以下、「第１回訂正請求」という。）
同日　　　　　　　　　　審判事件答弁書（以下、「被請求人の答弁書」と
　　　　　　　　　　　　いう。）提出
平成２７年　６月１２日　審判事件弁駁書（以下、「弁駁書１」という。）
　　　　　　　　　　　　提出
平成２７年　７月　７日　無効理由通知（以下、「無効理由通知１」という
　　　　　　　　　　　　。）
同日　　　　　　　　　　職権審理結果通知
平成２７年　８月　７日　審判事件意見書（以下、「請求人の意見書」とい
　　　　　　　　　　　　う。）提出
平成２７年　８月１０日　訂正請求（以下、「第２回訂正請求」という。）
同日　　　　　　　　　　意見書（以下、「被請求人の意見書１」
　　　　　　　　　　　　という。）提出
平成２７年　９月１８日　弁駁書（以下、「弁駁書２」という。）
　　　　　　　　　　　　提出
平成２７年１０月２６日　無効理由通知（以下、「無効理由通知２」という
　　　　　　　　　　　　。）
同日　　　　　　　　　　職権審理結果通知
平成２７年１２月　２日　訂正請求（以下、「第３回訂正請求」という。）
同日　　　　　　　　　　意見書（以下、「被請求人の意見書２」
　　　　　　　　　　　　という。）提出
平成２８年　１月　８日　審判事件弁駁書（以下、「弁駁書３」という。）
　　　　　　　　　　　　提出
平成２８年　３月　８日　口頭審理陳述要領書（請求人）提出
平成２８年　３月　９日　口頭審理陳述要領書（被請求人）提出
平成２８年　３月１５日　上申書（請求人）提出
平成２８年　３月２３日　口頭審理
平成２８年　５月２６日　審決の予告
平成２７年　７月２８日　訂正請求（以下、「本件訂正請求」という。）
同日　　　　　　　　　　上申書（以下、「被請求人の上申書」
　　　　　　　　　　　　という。）提出
平成２８年　９月　７日　審判事件弁駁書（以下、「弁駁書４」という。）
　　　　　　　　　　　　提出
　
　なお、特許法第１３４条の２第６項の規定により、上記第１回訂正請求ないし第３回訂正請求は、取り下げたものとみなす。
　
第３　本件訂正請求についての当審の判断
１　本件訂正の内容
　本件訂正請求の趣旨は、特許第５３４４１０５号の願書に添付した明細書及び特許請求の範囲について、平成２８年７月２８日付け訂正請求書に添付した明細書及び特許請求の範囲（以下、それぞれ「訂正明細書」及び「訂正特許請求の範囲」という）のとおり訂正することを求めるものであって、その訂正事項は以下のとおりである（以下、「本件訂正」という。なお、下線は被請求人が付与したとおりである。）
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に「基板が載置されるステージ」とあるのを、「
光配向用膜材付きの
　
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１に「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させるものであり、」とあるのを、「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ
、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させ
、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させ
　
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項１に「ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、」とあるのを、「ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、
かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　
（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項１に「スペースが確保されていることを特徴とする」とあるのを、「スペースが確保されて
おり、前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む
　
（５）訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項２に「前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に偏光光を照射するものであることを特徴とする
請求項１記載の
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、
直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるように
向
　
（６）訂正事項６
　特許請求の範囲の請求項３に「前記第一第二の各ステージには、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きにする基板アライナーが設けられていることを特徴とする
請求項１又は２記載の
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、
円周方向に
ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている
向
　
（７）訂正事項７
　特許請求の範囲の請求項４に「前記ステージ移動機構は、前記第一第二のステージの移動方向に沿ってガイド部材を備えており、このガイド部材は、前記第一のステージの移動のガイドと前記第二のステージの移動のガイドとに兼用されるものであることを特徴とする
請求項１、２又は３記載の
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、
た、
向
（訂正請求書では、「・・・されるものであることを特徴とする・・・」であるが、訂正特許請求の範囲は、「・・・され
た、
　
（８）訂正事項８
　特許請求の範囲の請求項５に「
請求項１乃至４いずれかに記載の
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている
　
（９）訂正事項９
　特許請求の範囲の請求項５に「前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載する第一の基板搭載ステップと、前記第二の基板搭載位置において前記第二のステージ上に基板を搭載する第二の基板搭載ステップと、」とあるのを、「前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載
し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整
調整
し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整
調整
　
（１０）訂正事項１０
　特許請求の範囲の請求項５に「基板が搭載された前記第一のステージを前記第一の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記一方の側に設定された第一の基板回収位置まで前記第一のステージを戻す第一の移動ステップと、基板が搭載された前記第二のステージを前記第二の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記他方の側に設定された第二の基板回収位置まで前記第二のステージを戻す第二の移動ステップと、」とあるのを、「基板が搭載された前記第一のステージを
、前記第二の基板回収位置への前記第二のステージの復路移動に続くように
、前記第一の基板回収位置への前記第一のステージの復路移動に続くように
　
（１１）訂正事項１１
　願書に添付した明細書の段落【０００６】に
「上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されているという構成を有する。
　また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、前記請求項１の構成において、前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に偏光光を照射するものであるという構成を有する。
　また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、前記請求項１又は２の構成において、前記第一第二の各ステージには、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きにする基板アライナーが設けられているという構成を有する。
　また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、前記請求項１、２又は３の構成において、前記ステージ移動機構は、前記第一第二のステージの移動方向に沿ってガイド部材を備えており、このガイド部材は、前記第一のステージの移動のガイドと前記第二のステージの移動のガイドとに兼用されるものであるという構成を有する。
　また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、請求項１乃至４いずれかに記載の光配向用偏光光照射装置を使用して基板に光配向用の偏光光を照射する光配向用偏光光照射方法であって、
　前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載する第一の基板搭載ステップと、
　前記第二の基板搭載位置において前記第二のステージ上に基板を搭載する第二の基板搭載ステップと、
　基板が搭載された前記第一のステージを前記第一の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記一方の側に設定された第一の基板回収位置まで前記第一のステージを戻す第一の移動ステップと、
　基板が搭載された前記第二のステージを前記第二の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記他方の側に設定された第二の基板回収位置まで前記第二のステージを戻す第二の移動ステップと、
　第一の基板回収位置において前記第一のステージから基板を回収する第一の基板回収ステップと、
　第二の基板回収位置において前記第二のステージから基板を回収する第二の基板回収ステップと
を有しており、
　第一の基板回収ステップ及び第一の基板搭載ステップが行われる時間帯は、第二の移動ステップが行われる時間帯と全部又は一部が重なっており、
　第二の基板回収ステップ及び第二の基板搭載ステップが行われる時間帯は、第一の移動ステップが行われる時間帯と全部又は一部が重なっているという構成を有する。」
とあるのを
「上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　
光配向用膜材付きの
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ
、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させ
、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させ
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、
かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されているという構成
及び前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含むとの構成
　また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている光配向用偏光光照射装置
直接
して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるように
　また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている光配向用偏光光照射装置
前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、
円周方向に
て、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されてい
　また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている光配向用偏光光照射装置
　また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている
　前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載
し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整
調整
　前記第二の基板搭載位置において前記第二のステージ上に基板を搭載
し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整
調整
　基板が搭載された前記第一のステージを
、前記第二の基板回収位置への前記第二のステージの復路移動に続くように
、前記第一の基板回収位置への前記第一のステージの復路移動に続くように
　第一の基板回収位置において前記第一のステージから基板を回収する第一の基板回収ステップと、
　第二の基板回収位置において前記第二のステージから基板を回収する第二の基板回収ステップと
を有しており、
　第一の基板回収ステップ及び第一の基板搭載ステップが行われる時間帯は、第二の移動ステップが行われる時間帯と全部又は一部が重なっており、
　第二の基板回収ステップ及び第二の基板搭載ステップが行われる時間帯は、第一の移動ステップが行われる時間帯と全部又は一部が重なっているという構成を有する。」に訂正する。
　
２　訂正の適否
　以下、訂正の適否を判断する。なお、訂正事項１ないし４は請求項１に係る訂正であり、訂正事項５は請求項２に係る訂正であり、訂正事項６は請求項３に係る訂正であり、訂正事項７は請求項４に係る訂正であり、訂正事項８ないし１０は、請求項５に係る訂正であるところ、請求項１ないし５は、いずれも特許無効審判の請求がなされている請求項であるから、訂正事項１ないし１０には、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第７項は適用されない。
　
（１）訂正事項１について
ア　訂正事項１は、請求項１に「基板が載置されるステージ」とあるのを、「
光配向用膜材付きの
　
イ　また、ステージに載置される基板が光配向用膜材付きの基板であることは、本件特許明細書の段落【０００２】に「光配向を行う場合、
光配向膜用の膜（以下、膜材）
膜材付き液晶基板のような基板Ｓ
　
（２）訂正事項２について
ア　訂正事項２は、請求項１に「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させるものであり、」とあるのを、「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ
、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させ
、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させ
　
イ　また、ステージ移動機構が、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させる際に当該第一のステージが「前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域」を通過する点、及び、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させる際に当該第二のステージが「前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域」及び「前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域」を通過する点は、本件特許明細書の段落【００４１】に「偏光光が照射される一つの照射領域Ｒを二つのステージ２１，２２が交互に通過することで各ステージ２１，２２上の基板Ｓに対して偏光光が照射されるので、一方のステージ２１，２２上の基板Ｓへの偏光光の照射の最中に他方のステージ２１，２２において基板Ｓの回収動作と次の基板Ｓの搭載動作を行うことができる。」、及び、段落【０００９】に「具体的には、図１の装置は、設定された照射領域Ｒに偏光光を照射する照射ユニット１と、基板Ｓが載置されるステージ２１，２２と、照射領域Ｒにステージ２１，２２を移動させることでステージ２１，２２上の液晶基板Ｓに偏光光が照射されるようにするステージ移動機構３とを備えている。」と記載されるとおり、訂正事項２は、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（３）訂正事項３について
ア　訂正事項３は、請求項１に「ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、」とあるのを、「ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、
かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　
イ　また、ステージ移動機構が、「前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせる」点は、本件特許明細書の段落【００４３】に、「但し、一方のステージ２１，２２が復路移動（前進到達位置から基板搭載回収位置に戻る移動）に続くようにして他のステージ２１，２２の往路移動（基板搭載位置から前進到達位置までの移動）を行うようにしても良く、この場合には、ＴＬ１＋ＴＬ２＋ＴＬ３≦ＴＥ１ということになる。このようにすると、さらにタクトタイムは短くできる。」と記載されるとおり、訂正事項３は、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（４）訂正事項４について
ア　訂正事項４は、請求項１に「スペースが確保されていることを特徴とする」とあるのを、「スペースが確保されて
おり、前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む
　
イ　また、第一第二ステージが、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含むことは、本件特許明細書の段落【００５０】に「また、一つの照射領域Ｒに対して二つのステージ２１，２２が交互に通過する必要があるが、照射ユニット１は上記のように二つである必要はなく、一つのみの照射ユニット１が一つの照射領域Ｒに偏光光を照射する構成でも良く、三つ以上の照射ユニット１が一つの照射領域Ｒに偏光光を照射する構成でも良い。尚、本願発明において、『ステージ』の用語は通常より広く解釈される必要がある。即ち、真空吸着のような吸着孔を有する複数のピンの上に基板Ｓを載置してこれら複数のピン上に基板を吸着し、複数のピンを一体に移動させることで基板Ｓが照射領域を通過するようにする場合がある。」と記載されるように、訂正事項４は、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（５）訂正事項５について
ア　訂正事項５は、請求項２に、「設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、」との記載を付加するとともに、「ものであることを特徴とする請求項１記載の光配光用偏光光照射装置。」であったものを「ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。」に訂正（以下「訂正事項５前半」という。）し、さらに、「前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に偏光光を照射する」であったものを「前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に対し、偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにする」に訂正（以下、「訂正事項５後半」という。）するものである。
　
イ　訂正事項５前半は、請求項１を引用する記載であった請求項２を、請求項間の引用関係を解消し、請求項１を引用しないものとし独立形式請求項へ改めるための訂正、及び、「光配光用偏光光照射装置」であったものを「光配向用偏光光照射装置」と訂正する誤記の訂正であるから、それぞれ、特許法第１３４条の２第１項ただし書第４号及び特許法第１３４条の２第１項ただし書第２号に適合する。
　
ウ　また、訂正事項５前半が、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであるから、当該訂正事項５前半は、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
エ　次に、訂正事項５後半は、照射ユニットが、第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に偏光光を照射するに際して、偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにすると訂正して、偏光光の照射を直接照射と限定し、かつ、偏光光の照射を往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにすると限定するものであるから、訂正事項５後半が、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであって、当該訂正事項５後半は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号、及び、同条第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
オ　そして、訂正事項５後半の「偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるように」は、本件特許明細書の段落【００４５】に「尚、上記実施形態では、各ステージ２１，２２は、各前進到達位置に達する際と各前進位置から基板搭載回収位置まで戻る際に偏光光が照射され、両方の露光量が積算露光量となる。」、及び、段落【００１３】に「ランプハウス１３は、光照射口を有しており、偏光素子１４は、光源１１と光照射口との間の位置に配置されている。」と記載されていること、及び、後記した、本件特許の図１及び２の記載に照らして、訂正事項５後半が、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（６）訂正事項６について
ア　訂正事項６は、請求項３に、「設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、」「光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、」「を備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、」「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、」との記載を付加するとともに、「ことを特徴とする請求項１又は２記載の光配向用偏光光照射装置。」であったものを「ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。」に訂正（以下、「訂正事項６前半」という。）し、さらに、「前記第一第二の各ステージには、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きにする基板アライナーが設けられている」であったものを、「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ」、「第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている」に訂正（以下、「訂正事項６後半」という。）するものである。
　
イ　訂正事項６前半は、請求項１を引用する記載であった請求項３を、請求項間の引用関係を解消し請求項１を引用しないものとし独立形式請求項へ改めるための訂正であるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書第４号に適合する。
　
ウ　また、訂正事項６前半が、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであるから、当該訂正事項６前半は、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
エ　次に、訂正事項６後半は、「前記第一第二の各ステージには、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きにする基板アライナーが設けられている」を「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、」と訂正した上で、「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」、「第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている」とそれぞれ限定するものであるから、訂正事項６後半は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであって、当該訂正事項６後半は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号、及び、同条第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
オ　そして、訂正事項６後半の、「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ」は、本件特許明細書の段落【００２８】ないし【００３１】に、「可動ベース２０Ｂは、固定ベース２０Ａ上においてＸＹθの方向に移動可能に設けられている。即ち、固定ベース２０Ａ上にはＸＹθ移動機構６２が設けられており、ＸＹθ移動機構６２は可動ベース２０ＢをＸＹθ方向に移動させて可動ベース２０Ｂの位置や姿勢を微調節するものとなっている。尚、この際のＸＹ方向とは水平な面内の直交方向であり、例えばＸ方向が長さ方向（移動方向）、Ｙ方向が幅方向とされる。
θは、ＸＹ方向に対して垂直な軸の回りの円周方向であり、この例では鉛直な軸の回りの円周方向である。
アライメントマークＳ１が施されている。基板アライナー６は、アライメントマークＳ１を撮像するアライメントセンサ６１と、上記ＸＹθ移動機構６２と、アライメントセンサ６１からの出力に従ってＸＹθ移動機構６２を制御するアライメント用制御部６３とから主に構成されている。
第一のステージ２１と照射領域Ｒの間のスペース（以下、第一のスペース）として、少なくとも第二のステージ２２上の基板Ｓの長さ（ステージ２１，２２の移動方向の長さ）以上が確保されている
　
（７）訂正事項７について
ア　訂正事項７は、請求項４に、「設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、」「光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、」「を備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、」「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、」との記載を付加するとともに、「ことを特徴とする請求項１、２又は３記載の光配光用偏光光照射装置。」であったものを「ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。」に訂正（以下、「訂正事項７前半」という。）し、さらに、「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ」との記載を付加（以下、「訂正事項７後半」という。）するものである。
　
イ　訂正事項７前半は、請求項１を引用する記載であった請求項４を、請求項間の引用関係を解消し請求項１を引用しないものとし独立形式請求項へ改めるための訂正、及び、「光配光用偏光光照射装置」であったものを「光配向用偏光光照射装置」と訂正する誤記の訂正であるから、それぞれ、特許法第１３４条の２第１項ただし書第４号及び特許法第１３４条の２第１項ただし書第２号に適合する。
　
ウ　また、訂正事項７前半が、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであるから、当該訂正事項７前半は、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
エ　次に、訂正事項７後半は、訂正事項６後半と同じ訂正であるから、上記「（６）」「オ」で検討したとおりであって、訂正事項７後半は、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（８）訂正事項８について
ア　訂正事項８は、請求項５に、「設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、」「光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、」「を備えており、ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、」「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている」との記載を付加するとともに、「請求項１乃至４いずれかに記載の光配向用偏光光照射装置を使用して基板に光配向用の偏光光を照射する光配向用偏光光照射方法であって、」であったものを「光配向用偏光光照射装置を使用して基板に光配向用の偏光光を照射する光配向用偏光光照射方法であって、」に訂正（以下、「訂正事項８前半」という。）し、さらに、「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ」との記載を付加（以下、「訂正事項８後半」という。）するものである。
　
イ　訂正事項８前半は、請求項１を引用する記載であった請求項５を、請求項間の引用関係を解消し請求項１を引用しないものとし独立形式請求項へ改めるための訂正であるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書第４号に適合する。
　
ウ　また、訂正事項８前半が、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであるから、当該訂正事項８前半は、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
エ　次に、訂正事項８後半は、訂正事項６後半と同じ訂正であるから、上記「（６）」「オ」で検討したとおりであって、訂正事項８後半は、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（９）訂正事項９について
ア　訂正事項９は、請求項５の「前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載する第一の基板搭載ステップと、前記第二の基板搭載位置において前記第二のステージ上に基板を搭載する第二の基板搭載ステップ」との記載を、「前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第一の基板搭載調整ステップと、前記第二の基板搭載位置において前記第二のステージ上に基板を搭載し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第二の基板搭載調整ステップと、」に訂正するものである。
　
イ　訂正事項９は、「第一の基板搭載ステップ」及び「第二の基板搭載ステップ」に関して、「前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第一の基板搭載調整ステップ」及び「前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第二の基板搭載調整ステップ」と限定するものであるから、訂正事項９が、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであって、当該訂正事項９は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号、及び、同条第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
ウ　そして、訂正事項９の「前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第一の基板搭載調整ステップ」及び「前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第二の基板搭載調整ステップ」は、訂正事項６後半と同じ訂正であるから、上記「（６）」「オ」で検討したとおりであって、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（１０）訂正事項１０について
ア　訂正事項１０は、請求項５の「基板が搭載された前記第一のステージを前記第一の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記一方の側に設定された第一の基板回収位置まで前記第一のステージを戻す第一の移動ステップと、基板が搭載された前記第二のステージを前記第二の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記他方の側に設定された第二の基板回収位置まで前記第二のステージを戻す第二の移動ステップと、」との記載を、「基板が搭載された前記第一のステージを
、前記第二の基板回収位置への前記第二のステージの復路移動に続くように
、前記第一の基板回収位置への前記第一のステージの復路移動に続くように
　
イ　訂正事項１０は、「第一の基板搭載ステップ」において「第一の基板搭載位置から移動させ」る点及び「第二の基板搭載ステップ」において「第二の基板搭載位置から移動させ」る点に関して、「前記第二の基板回収位置への前記第二のステージの復路移動に続くように」及び「前記第一の基板回収位置への前記第一のステージの復路移動に続くように」と限定するものであるから、訂正事項１０が、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことも明らかであって、当該訂正事項１０は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号、及び、同条第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合する。
　
ウ　次に、訂正事項１０は、訂正事項３と同じ訂正であるから、上記「（３）」「イ」で検討したとおりであって、訂正事項１０は、本件特許明細書のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであることは明らかであるから、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項に適合する。
　
（１１）訂正事項１１について
ア　訂正事項１１は、上記訂正事項１から１０に係る訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため願書に添付した明細書の段落【０００６】に、上記第３，１（１１）に挙げた事項である、請求項１ないし５に記載の事項を付加し、上記訂正事項１から訂正事項１０で追加された構成を特定し、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであるから、当該訂正事項１１は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に適合する。
　
イ　上記訂正事項１１は、訂正事項１ないし１０に基づいて訂正するものであって、上記（１）ないし（１０）で検討したとおり、訂正事項１ないし１０が、特許法第１３４条の２第９項で準用する第１２６条第５項及び同条第６項に適合するものであるから、訂正事項９も同条項の規定に適合する
　
３　請求項ごと又は一群の請求項ごとによる訂正について
　上記訂正事項１〜１０は、特許法第１３４条の２第２項及び同条第３項に適合する
　
４　本件訂正についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号ないし第３号に掲げる事項を目的とし、かつ、特許法第１３４条の２第９項の規定によって準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
　よって、本件訂正請求による訂正を認め、以下では、訂正後の特許請求の範囲の請求項１ないし５に係る発明（以下それぞれ「本件訂正発明１」ないし「本件訂正発明５」という）について、請求人の主張する無効理由及び当審で通知した無効理由について検討する。
　
第４　本件訂正発明１ないし５
　本件訂正発明１ないし５は、本件訂正請求によって訂正された特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】
　設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、
　前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含むことを特徴と光配向用偏光光照射装置。
【請求項２】
　設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、
　前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に対し、偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにすることを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
【請求項３】
　設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、
　前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されていることを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
【請求項４】
　設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、
　前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており、
　前記ステージ移動機構は、前記第一第二のステージの移動方向に沿ってガイド部材を備えており、このガイド部材は、前記第一のステージの移動のガイドと前記第二のステージの移動のガイドとに兼用された、
　ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
【請求項５】
　設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　アライメントマークを有し、光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と、
　前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、
　ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている光配向用偏光光照射装置を使用して基板に光配向用の偏光光を照射する光配向用偏光光照射方法であって、
　前記第一の基板搭載位置において前記第一のステージ上に基板を搭載し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第一の基板搭載調整ステップと、
　前記第二の基板搭載位置において前記第二のステージ上に基板を搭載し、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する第二の基板搭載調整ステップと、
　基板が搭載された前記第一のステージを、前記第二の基板回収位置への前記第二のステージの復路移動に続くように前記第一の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記一方の側に設定された第一の基板回収位置まで前記第一のステージを戻す第一の移動ステップと、
　基板が搭載された前記第二のステージを、前記第一の基板回収位置への前記第一のステージの復路移動に続くように前記第二の基板搭載位置から移動させ、前記照射領域を基板が通過した後、前記他方の側に設定された第二の基板回収位置まで前記第二のステージを戻す第二の移動ステップと、
　第一の基板回収位置において前記第一のステージから基板を回収する第一の基板回収ステップと、
　第二の基板回収位置において前記第二のステージから基板を回収する第二の基板回収ステップとを有しており、
　第一の基板回収ステップ及び第一の基板搭載ステップが行われる時間帯は、第二の移動ステップが行われる時間帯と全部又は一部が重なっており、
　第二の基板回収ステップ及び第二の基板搭載ステップが行われる時間帯は、第一の移動ステップが行われる時間帯と全部又は一部が重なっていることを特徴とする光配向用偏光光照射方法。」
　
第５　請求人が主張する無効理由及び当審で通知した無効理由の概要
１　請求人が主張する無効理由の概要
　ここで、上記「第３　本件訂正請求について」で述べたとおり、本件訂正請求が認められたことから、無効審判請求の対象となる現在の発明は本件訂正請求で訂正された本件訂正発明１ないし本件訂正発明５であるが、無効審判請求時（平成２７年２月２日の時点）において無効審判の対象とした発明は、特許権の設定登録がなされた平成２５年８月２３日の時点における請求項１ないし請求項５に係る発明（特許公報に掲載された請求項１ないし５」に係る発明）であり、ここでは、この請求項１ないし請求項５に係る発明を、それぞれ、「当初発明１」ないし「当初発明５」として概要を示す。
（なお、この点に関して、下記の「２　無効理由通知１で通知した無効理由の概要」及び「３　無効理由通知２で通知した無効理由の概要」においても、それぞれで、対象とする発明に対する呼称「第１回訂正発明１」ないし「第１回訂正発明５」、「第２回訂正発明１」ないし「第２回訂正発明５」、または、「第３回訂正発明１」ないし「第３回訂正発明５」を付ける。）
　請求人は、「特許第５３４４１０５号の特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」を請求の趣旨として、以下の証拠方法を提示して無効理由を主張している。
　
（１）証拠方法
　請求人は、審判請求書に添付して以下の甲第１号証ないし甲第５号証を提示している。
甲第１号証　特開２００９−２６５２９０号公報
甲第２号証　特開２００９−２９５９５０号公報
甲第３号証　特開２０１０−７２６１５号公報
甲第４号証　特開２０１０−５４８４９号公報
甲第５号証　特許第５１０５５６７号公報
　また、請求人は弁駁書１に添付して以下の参考資料を提出している。
参考資料１　特開２００８−１６４７２９号公報
参考資料２　特開２０１１−１６４６３９号公報
参考資料３　特開２００７−１１４６４７号公報
参考資料４　特開２０１０−１３４４８３号公報
　
（２）請求人が主張する無効理由の概要
　当初発明１ないし５に係る各特許発明は、下記のとおり、甲号各証に記載された発明に基づいて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
［当初発明１］
　甲第１号証に記載された発明に、甲第２号証に記載された公知事項を適用することで当業者が容易に想到することができたものである。
　甲第１号証又は甲第５号証に記載された発明に、甲第２〜４号証に記載された周知事項を適用することで当業者が容易に想到できたものである。
［当初発明２］
　甲第１号証に記載された発明に、甲第２号証に記載された公知事項を適用することで当業者が容易に想到することができたものである。
［当初発明３］
　甲第１号証に記載された発明に、甲第２号証及び甲第５号証に記載された公知事項を適用することで当業者が容易に想到することができたものである。
　甲第５号証に記載された発明に、甲第２〜４号証に記載された周知事項を適用することで当業者が容易に想到できたものである。
［当初発明４］
　甲第１号証に記載された発明に、甲第２号証に記載された公知事項を適用することで当業者が容易に想到することができたものである。
　甲第５号証に記載された発明に、甲第２〜４号証に記載された周知事項を適用することで当業者が容易に想到することができたものである。
［当初発明５］
　甲第１号証に記載された発明に、甲第２号証に記載された公知事項を適用することで当業者が容易に想到することができたものである。
　甲第１号証又は甲第５号証に記載された発明に、甲第２〜４号証に記載された周知事項を適用することで当業者が容易に想到できたものである。
　
２　無効理由通知１で通知した無効理由の概要
（１）刊行物
ア　参考資料３及び参考資料３発明
　弁駁書１に添付して参考資料３として提出され、本件特許に係る出願の出願前に頒布された特開２００７−１１４６４７号公報を以下、「参考資料３」とし、当該参考資料３に記載された発明を以下、「参考資料３発明」とする（後記第６、１（１）及び（２）参照。）。
　
イ　甲第２号証及び甲２発明
　審判請求書に添付して甲第２号証として提出され、本件特許に係る出願の出願前に頒布された特開２００９−２９５９５０号公報を以下、「甲第２号証」とし、当該甲第２号証に記載された発明を以下、「甲２発明」とする（後記第６、１（３）及び（４）参照。）。
　
ウ　甲第５号証及び甲５発明
　審判請求書に添付して甲第５号証として提出され、本件特許に係る出願の出願前に頒布された特許第５１０５５６７号公報を以下、「甲第５号証」とし、当該甲第５号証に記載された発明を以下、「甲５発明」とする（後記第６、１（５）及び（６）参照。）。
　
（２）第１回訂正発明１〜５について
ア　第１回訂正発明１について
　第１回訂正発明１は、参考資料３発明及び甲２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
イ　第１回訂正発明２について
　第１回訂正発明２は、参考資料３発明及び甲２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
ウ　第１回訂正発明３について
　第１回訂正発明３は、参考資料３発明、甲２発明、甲第５号証に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
エ　第１回訂正発明４について
　第１回訂正発明４は、参考資料３発明、甲２発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
オ　第１回訂正発明５について
　第１回訂正発明５は、参考資料３発明、甲２発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（３）むすび
　以上のとおり、第１回訂正発明１〜５は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　
３　無効理由通知２で通知した無効理由の概要
（１）刊行物
ア　参考資料３及び参考資料３発明
　上記２（１）アに同じく、後記第６、１（１）及び（２）参照。
　
イ　甲第２号証及び甲２発明
　上記２（１）イに同じく、後記第６、１（３）及び（４）参照。
　
ウ　甲第５号証及び甲５発明
　上記２（１）ウに同じく、後記第６、１（５）及び（６）参照。
　
（２）第２回訂正発明１〜５について
ア　第２回訂正発明１について
　第２回訂正発明１は、参考資料３発明及び甲２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
イ　第２回訂正発明２について
　第２回訂正発明２は、参考資料３発明、甲２発明及び甲５発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
ウ　第２回訂正発明３について
　第２回訂正発明３は、参考資料３発明、甲２発明及び甲５発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
エ　第２回訂正発明４について
　第２回訂正発明４は、参考資料３発明、甲２発明、甲５発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
オ　第２回訂正発明５について
　第２回訂正発明５は、第２回訂正発明１〜４に記載の光配向用偏光光照射装置を使用した光配向用偏光光照射方法の発明であって、装置の具体的な駆動ステップを規定したものであるが、上記アないしエでの検討と同様に、基板の搭載及び調整に関するステップについては、参考資料３発明に甲５発明を適用することで、また、各ステージを移動、基板を回収させるステップについては、参考資料３発明に甲２発明を適用することでそれぞれ当業者が容易に想到し得たものである。
　したがって、第２回訂正発明５は、参考資料３発明、甲２発明、甲５発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（３）むすび
　以上のとおり、第２回訂正発明１〜５は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　
第６　当審の判断
　上記「第５　請求人が主張する無効理由及び当審で通知した無効理由の概要」に示した無効理由は、当該無効理由が主張又は通知された時点で、それぞれの時点での請求項に係る発明（すなわち、それぞれにおいて、当初発明１ないし５、前回訂正発明１ないし５）に対する無効理由であったが、上記「第３　本件訂正請求についての当審の判断」で述べたとおり、本件訂正請求が認められるものであるから、この後は、本件訂正請求により訂正された本件訂正発明１ないし５について、それぞれの無効理由を判断する。
　なお、事案に鑑みて、無効理由通知２で通知した無効理由から判断する。
　
１　刊行物の記載事項及び各刊行物に記載の発明について
（１）参考資料３には、以下の記載がある（下線は当審が付した。以下同じ。）。
ア　「【技術分野】
【０００１】
　本発明は、
液晶素子の配向膜
の光配向を行なう偏光光照射装置
　
イ　「【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
　図１に本発明の第１の実施例の
偏光光照射装置
　光照射部２０Ａ，２０Ｂには、
線状の光源であ
　
光照射部２０Ａ，２０Ｂは、ランプ２１の長手方向が、ワーク５０上に形成された光配向膜５１の幅方向（搬送方向に対して直交方向）になるように配置され
　棒状ランプ２１は、その長手方向が樋状集光鏡２２の長手方向と一致するように、また、断面のほぼ中心部が楕円形の樋状集光鏡２２の第１焦点位置に一致するように配置され、ワーク５０上に形成された光配向膜５１は、樋状集光鏡２２の第２焦点位置に配置されている。
　ワーク５０は例えば長尺の連続ワークであり、不図示の送り出しローラにロール状に巻かれており、送り出しローラから引き出されて搬送され、光照射部２０Ａ，２０Ｂの下を通って不図示の巻き取りローラに巻き取られる。
　光照射部２０Ａ，２０Ｂの光出射側には、図１３に示したワイヤーグリッド偏光素子ユニット１０，１０’が設けられている。前述したように、ワイヤーグリッド偏光素子ユニット１０，１０’には、偏光素子１の配列方向端部（境界部分）には、遮光板３が設けられている。
【００１４】
　なお、以下では、線状の光源として棒状ランプを例にして説明するが、近年は、紫外光を放射するＬＥＤやＬＤも実用化されており、このようなＬＥＤまたはＬＤを直線状に並べて配置し線状光源としても良い。なおその場合は、ＬＥＤまたはＬＤを並べる方向がランプの長手方向に相当する。
　また、現在光配向膜の材料としては、波長２６０ｎｍ±２０ｎｍの光で配向されるもの、２８０ｎｍ〜３３０ｎｍの光で配向されるもの、３６５ｎｍの光で配向されるものなどが知られており、光源の種類は必要せされる波長に応じて適宜選択する。
【００１５】
　光照射部２０Ａ，２０Ｂのランプ２１の長手方向の両側には、ブロック２３が取り付けられ、このブロック２３を介して支柱２４が取り付けられている。光配向膜５１が形成されたワーク５０は、上記２本の支柱の２４間を搬送される。
　このような偏光光を出射する光照射部２０Ａ，２０Ｂを、複数、ワーク５０の搬送方向に沿って多段に設ける。図１は光照射部２０Ａ，２０Ｂを２段に並べた場合を示し、以下２段の場合を例にして説明するが、３段以上設けても良い。
　ここで、各段に配置された各光照射部２０Ａ，２０Ｂは、各段の光照射部２０Ａ，２０Ｂの偏光素子１の間の境界部（遮光板３の設けられている部分）が、他の段の光照射部の偏光素子１の境界部と、光配向膜５１の搬送方向に対して互い重ならないように、搬送方向に直交する方向に位置をずらして配置されている。
　すなわち、図２に示すように、２段に設けた光照射部２０Ａと２０Ｂのワイヤーグリッド偏光素子ユニット１０，１０’の遮光板３が、ワークの搬送方向に対して重ならないように（一直線状に並ばないように）ずらして配置される。光照射部を３段以上設ける場合も同様に、遮光板３が、ワークの搬送方向に対して重ならないように（一直線状に並ばないように）ずらして配置される。
　なお、図１では光照射部２０Ａ，２０Ｂにそれぞれ５枚と６枚のワイヤーグリッド偏光素子を設けた場合を示しているが、図２では８枚のワイヤーグリッド偏光素子からなるワイヤーグリッド偏光素子ユニットを用いた場合を示している。
【００１６】
　次に図１に示した装置の動作について説明する。
　ワーク５０が搬送されると、光配向膜５１は、まず、光照射部２０Ｂからの偏光光が照射され、次に光照射部２０Ａからの偏光光が照射される。
　光照射部２０Ｂの偏光素子ユニット１０’に並べられた複数のワイヤーグリッド偏光子１の境界には、遮光板３が設けられており、したがって、遮光板３の直下を搬送される光配向膜５１の部分には、図２の（ａ）に示すように照度の低い偏光光が照射される。
　光照射部２０Ａの偏光素子ユニット１０に並べられた複数のワイヤーグリッド偏光子１の境界にも、遮光板３が設けられており、したがって、遮光板３の直下を搬送される光配向膜５１の部分には、図２（ｂ）に示すように照度の低い偏光光が照射される。
　しかし、偏光素子ユニット１０’と１０の遮光板３の位置が、ワークの搬送方向に対して重ならないように（一直線状に並ばないように）ずらして配置されているので、光照射部２０Ｂによる偏光光照射において低い照度で照射された部分は、次の光照射部２０Ａによる偏光光照射において高い照度で照射され、また、光照射部２０Ａによる偏光光照射において低い照度で照射される部分は、先に光照射部２０Ｂによる偏光光照射において高い照度で照射されている。
　したがって、
光照射部２０Ａと２０Ｂの両方の下を通過
【００１７】
　
ワーク５０は
光配向膜５１が形成された例えば液晶パネルの大きさに整形された矩形状のワークであってもよ
　
ワーク５０が矩形状の場合、ワーク５０は図示しないワークステージ上に載置され、光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながらワークステージを直線移動させて、光配向膜の光配向処理をする
　なお、ワーク５０の光配向膜５１に偏光光を照射し、光配向処理を行なう際、偏光光を照射しながらワーク５０を連続的に移動させてもよいし、ワークを間歇的に移動させながら偏光光を照射してもよい。
　ワーク５０を間歇的に移動させる場合には、例えば、ワーク５０を一定量移動させた後、ワーク５０を停止させて偏光光を照射し、ついで偏光光の照射を停止してワークを一定量移動させた後、ワークを停止させて偏光光を照射する動作を繰り返す。
　また、一方向だけでなく
ワーク５０を往復移動させて、
光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射する
　さらに、ワークステージを移動させる代わりに、ワーク５０上で光照射部２０Ａ，２０Ｂを移動させてワーク５０の光配向処理を行ってもよい。」
　
（２）参考資料３に記載の発明
ア　上記（１）イによれば、「偏光光を出射する光照射部２０Ａ，２０Ｂ」（段落【００１５】）は、「ワーク５０の光配向膜５１に偏光光を照射」（段落【００１７】）するものであるから、設定された照射領域へ偏光光を出射する構成を有することは、明らかである。
　上記（１）イの、「ワーク５０が矩形状の場合、ワーク５０は図示しないワークステージ上に載置され、光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながらワークステージを直線移動させて、光配向膜の光配向処理をする」（段落【００１７】）との記載から、ワークが矩形状の場合、ワークが載置されるワークステージを直線移動させるステージ移動機構を備えることは、明らかである。
　また、上記（１）アによれば、参考資料３には、「液晶素子の配向膜」「の光配向を行なう偏光光照射装置」の発明が記載されているから、液晶素子の製造に関する光照射装置の発明が記載されているといえる。
　
イ　また、上記（１）イによれば、「光照射部２０Ａ，２０Ｂ」は、「線状の光源であ」って、「光照射部２０Ａ，２０Ｂは、ランプ２１の長手方向が、ワーク５０上に形成された光配向膜５１の幅方向（搬送方向に対して直交方向）になるように配置され」（段落【００１３】）、「ワーク５０は」、「光配向膜５１が形成された例えば液晶パネルの大きさに整形された矩形状のワークであってもよ」く、「ワーク５０が矩形状の場合、ワーク５０は図示しないワークステージ上に載置され、光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながらワークステージを直線移動させて、光配向膜の光配向処理をする」ものであって、「ワーク５０を往復移動させて、例えば光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射する」（段落【００１７】）動作によりスキャン照射するものであるから、参考資料３には、液晶素子の製造に関するスキャン照射する偏光光照射装置の発明が記載されているといえる。
　
ウ　そうすると、上記（１）の参考資料３の記載事項から、参考資料３には、以下の発明（以下、「参考資料３発明」という。）が記載されていると認められる。
「設定された照射領域へ偏光光を出射する光照射部２０Ａ，２０Ｂが配置され、
　光配向膜５１が形成された矩形状のワーク５０がワークステージ上に載置され、
　前記ワークステージを直線移動させるステージ移動機構、を備え、
　前記光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながら前記ワークステージを直線移動させて、前記光照射部２０Ａと２０Ｂの両方の下を通過させ、前記光配向膜５１の光配向処理をするものであって、
　前記ワーク５０を往復移動させて、光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射するようにした、
　前記光配向膜５１の光配向を行なう、液晶素子の製造に関するスキャン照射する偏光光照射装置。」
　
（３）甲第２号証には、以下の記載がある。
ア　「【０００１】
　本発明は、スキャン露光装置およびスキャン露光方法に関し、より詳細には、
液晶ディスプレイ
の基板上にマスクのマスクパターンを露光転写する
スキャン露光装置
に関する
【背景技術】
【０００２】
　大型の薄形テレビ等に用いられる液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイは、基板上にマスクのパターンを分割逐次露光方式で近接露光転写することで製造されている。この種の分割逐次露光方法としては、例えば、
パネルと同寸のマスクを用い、
パターン露光用の光を照射
露光位置に対して左右両側にチャックに対してガラス基板のロード／アンロードを行うロード／アンロード位置が配置され、一方のチャック上のガラス基板で露光が行われている間に、他方のガラス基板でロード／アンロードを行ってスループットを向上させる
【０００３】
　また、他の露光方法として、
マスクを細分化して、これらマスクを保持する複数のマスク保持部を千鳥状に配置し、基板を一方向に移動させながら露光を行うスキャン露光
マスク
パネルに合わせて大きくする必要がな
【特許文献１】
特開２００５−１４０９３５号公報
【特許文献２】
特開２００７−１６５８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
　ところで、
特許文献１に記載の露光装置
は、
パネルの大型化に伴ってマスクが大型化し、製造コストが嵩む
【０００５】
　また、
特許文献２に記載の露光装置は、
パネ
の大型化に伴い、全露光領域を隙間なくカバーするためのマスク保持部、および照射部の数量はますます多くなり、露光装置の製造コスト上昇の一因とな
【０００６】
　本発明は、前述した
課題に鑑みてなされたものであり、
マスク保持部、および照射部の数量を削減してコストダウンを図ることができるとともに、スループットを向上することができるスキャン露光装置
を提供すること
　
イ　「【０００８】
　本発明のスキャン露光装置及びスキャン露光方法によれば、
基板を露光領域に対して往復して搬送することで、必要となるマスク保持部および照射部の数量を削減することができ、スキャン露光装置の製造コストを大幅に低減することができる
２つの基板交換領域を２つの基板保持領域の露光領域と反対側にそれぞれ設けて、基板の露光動作と、基板の搬出・搬入動作とを行うタイミングを少なくともオーバーラップするようにしたので、スループットを向上することができる
　また、本発明のスキャン露光方法によれば、第１の転写パターン形成後に第２の転写パターンを形成する前の移動工程において、所定の方向と反対方向（即ち、露光時の搬送方向と反対方向）への搬送と、
直交方向への移動
スループットを向上する
　
ウ　「【００１１】
　図２及び図３に示すように、露光機本体２は、
基板Ｗを
所定の方向であるＸ方向および該所定の方向と直交する方向であるＹ方向に搬送する基板搬送機構１４と、Ｙ方向に沿って並んでそれぞれ配置され、複数のマスクＭをそれぞれ保持する複数
のマスク保持部１１と、マスク保持部１１をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部１２と、複数のマスク保持部１１の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部１３と、を
備え
【００１２】
　
基板搬送機構１４は、
第１及び第２の基板駆動ユニット１６，１７
を備え
【００１３】
　第１及び第２の基板駆動ユニット１６，１７は、図２に示すように、Ｘ方向搬送機構５０，５１と、これらＸ方向搬送機構５０，５１によってＸ方向に沿って往復搬送される移動基台５２，５３と、各移動基台５２，５３上に配設されるＹ方向搬送機構５４，５５と、これらＹ方向搬送機構５４，５５によってＹ方向に沿って往復搬送される吸着パッド５６，５７をそれぞれ備える。Ｘ方向搬送機構５０，５１は、移動基台５２，５３の裏面に設けられた図示しないリニアモータが、図示しないドライバによって、ガイドレール５８に沿ってＸ方向に移動することで、移動基台５２，５３をＸ方向に沿って往復搬送する。また、Ｙ方向搬送機構５４，５５は、吸着パッド５６，５７の裏面に設けられた図示しないリニアモータが、図示しないドライバによって、ガイドレール５９，６０に沿ってＹ方向に移動することで、吸着パッド５６，５７を移動基台５２，５３に対してＹ方向に沿って往復搬送する。なお、本実施形態では、ガイドレール５８は、露光機本体２と、一対のプリアライメント台３，４の側方に亘ってＸ方向に延びるように形成されている。また、第１及び第２の基板駆動ユニット１６，１７は、後述の光学アライメントピンの代わりに、θ補正軸を具備しても良い。
【００１４】
　また、図３に示すように、第１の浮上ユニット１５ａが設けられる複数のフレーム１８は、地面にレベルブロック２２を介して設置されたメインベッド２３上に他のレベルブロック２４を介して配置されている。また、第２の浮上ユニット１５ｂが設けられる他のフレーム１９は、地面にレベルブロック２５を介して設置されたサブベッド２６ａ，２６ｂ上に他のレベルブロック２７を介して配置されている。
　従って、メインベッド２３上には、後述する露光領域Ａ、及び露光領域Ａの上流側及び下流側にそれぞれ設けられる第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２における基板Ｗを浮上搬送するための第１の浮上ユニット１５ａと、複数のマスク保持部１１と、複数の照射部１３と、が配置される。また、プリアライメント台３，４を構成する各サブベッド２６ａ，２６ｂ上には、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２に対して露光領域Ａと反対側にそれぞれ設けられる各第１及び第２の基板交換領域Ｃ１、Ｃ２における基板Ｗを浮上搬送するための各第２の浮上ユニット１５ｂがそれぞれ配置される。
【００１５】
　マスク駆動部１２は、フレーム（図示せず）に取り付けられ、マスク保持部１１をＸ方向に沿って駆動するＸ方向駆動部３１と、Ｘ方向駆動部３１の先端に取り付けられ、マスク保持部１１をＹ方向に沿って駆動するＹ方向駆動部３２と、Ｙ方向駆動部３２の先端に取り付けられ、マスク保持部１１をθ方向（Ｘ，Ｙ方向からなる水平面の法線回り）に回転駆動するθ方向駆動部３３と、θ方向駆動部３３の先端に取り付けられ、マスク保持部１１をＺ方向（Ｘ，Ｙ方向からなる水平面の鉛直方向）に駆動するＺ方向駆動部３４と、を有する。これにより、Ｚ方向駆動部３４の先端に取り付けられたマスク保持部１１は、マスク駆動部１２によってＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に駆動可能である。なお、Ｘ，Ｙ，θ，Ｚ方向駆動部３１，３２，３３，３４の配置の順序は、適宜変更可能である。
【００１６】
　また、図２に示すように、Ｙ方向に沿って配置された複数のマスク保持部１１には、各マスク保持部１１のマスクＭを同時に交換可能なマスクチェンジャ３７が配設されている。マスクチェンジャ３７により搬送される使用済み或いは未使用のマスクＭは、マスクストッカ１０との間でマスクローダー９により受け渡しが行われる。なお、マスクストッカ９とマスクチェンジャ３７とで受け渡しが行われる間にマスクプリアライメント機構（図示せず）によってマスクＭのプリアライメントが行われる。
【００１７】
　図３に示すように、各マスク保持部１１の上部に配置される複数の照射部１３は、ＹＡＧレーザーや、エキシマレーザーなどの光源４１と、この光源４１から照射された光を集光する凹面鏡４２と、この凹面鏡４２の焦点近傍に光路方向に移動可能な機構を有するオプチカルインテグレータ４３と、光路の向きを変えるための平面ミラー４５及び球面ミラー４６と、この平面ミラー４５とオプチカルインテグレータ４３との間に配置されて照射光路を開閉制御する露光制御用シャッター４４と、を備える。
【００１８】
　マスク保持部１１に保持されるマスクＭは、露光用光ＥＬの照射によりマスクパターンを基板Ｗ上のフォトレジストに露光転写させるものであり、本実施形態のマスクＭは、２種類のマスクパターン６１、６２を備える（図６参照）。２種類のマスクパターン６１、６２は、マスク駆動部１２によってマスク保持部１１を移動させることにより、いずれか一方のマスクパターン６１、６２が、照射部１３からの露光用光ＥＬの照射領域内に配置されることで切り替えられる。即ち、露光に際しては、２種類のマスクパターン６１、６２が切り替えられて、いずれか一方のマスクパターン６１、６２が有効となって基板Ｗに露光転写される。
【００１９】
　また、Ｙ方向に並べて配置される複数のマスク保持部１１では、後述する往路で使用される隣接するマスクパターン６１の間隔Ｇが、復路で使用されるマスクパターン６２のＹ方向の幅と、往復動作によって重ね合わせて露光される両側の幅とを考慮して設定されている。ただし、マスクパターン６１の間隔Ｇやマスクパターン６２のＹ方向の幅は、後述する基板ＷのＹ方向への移動量をできるだけ小さくするように設定されている。」
　
エ　「【００２６】
　次に、このように構成されたスキャン露光装置１の動作について、図５のフローチャート及び図６の動作説明図を用いて説明する。なお、図５のフローチャートにおいて、左のフローは、第１の基板交換領域Ｃ１から搬入・搬出される基板Ｗの一連の露光動作を示し、右のフローは、第２の基板交換領域Ｃ２から搬入・搬出される基板Ｗ´の一連の露光動作を示しており、二点鎖線で仕切られた左右の各工程は、同じ時間内で動作していることを示している。
【００２７】
　まず、第１の基板駆動ユニット１６が第１の基板交換領域Ｃ１に移動した状態で（ステップＳ１ａ）、基板搬送ロボット５によって
第１の基板交換領域Ｃ１に
搬入
搬入された基板Ｗのプリアライメントが行われた後
、基板Ｗが第１の基板駆動ユニット１６
保持され
【００２８】
　その後、
第１の基板駆動ユニット１６を駆動して、
一定の速度でＸ方向に搬送され、基板Ｗ
第１の基板保持領域Ｂ１へ移動
【００２９】
　さらに、
基板Ｗ
、一定の速度でＸ方向に搬送され、
露光領域Ａ内に進入
【００３０】
　図６（ｂ）に示すように、第１の基板駆動ユニット１６によってＸ方向に搬送される基板Ｗが、第１検知位置ＳＰ１に達すると、撮像手段３５が基板ＷとマスクＭの相対位置を検知し、この位置データに基づいて制御部から出力される指令信号によってマスク駆動部１２が作動してマスク保持部１１を移動させることにより、基板Ｗへのマスクパターン６１の露光転写に先立って、基板ＷとマスクＭとの位置誤差が修正される。
【００３１】
　位置誤差が修正されて搬送される基板Ｗには、
それぞれのマスクＭを介して照射部１３から露光用光ＥＬが照射されてマスクパターン６１が露光転写され
露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２に位置する基板Ｗには、
第１の転写パターン８３が形成され
【００３２】
　次に、
第１の転写パターン８３形成後、
第１の基板駆動ユニット１６のＹ方向搬送機構５４によって、基板Ｗを
Ｙ方向に所定の距離Ｌだけ移動させ
【００３３】
　また、同時に、図示しない駆動装置を作動させて、撮像手段３５を第１検知位置ＳＰ１から第２検知位置ＳＰ２に移動させる。これにより、基板Ｗの往路搬送および復路搬送のいずれの搬送時にも、基板ＷがマスクＭの下方に位置する前に、即ち、マスクパターンの露光転写に先立って、基板ＷとマスクＭとの相対位置を検知して位置誤差を修正することができる。
【００３４】
　更に、マスクパターン６２が照射部１３からの露光用光の照射領域内に位置するように、マスク駆動部１２によってマスク保持部１１を移動させ、有効なマスクパターンをマスクパターン６１からマスクパターン６２に切り替える。
【００３５】
　そして
、第１の基板駆動ユニット１６は、Ｘ方向搬送機構５０は基板Ｗの搬送方向をＸ方向と逆方向に切り替えて、第２の基板保持領域Ｂ２に保持されていた基板Ｗを、Ｘ方向と逆方向に搬送
照射部１３からの露光用光ＥＬを、それぞれのマスクＭを介して照射して、
未露光部にマスクパターン６２を露光転写して第２の転写パターン８４を形成
【００３６】
　
この一連の
露光動作中に、第２の基板交換領域Ｃ２では、基板Ｗ´の搬入
、基板Ｗ´のプリアライメント
、第２の基板駆動ユニット１７
保持が行われ
【００３７】
　そして、図６（ｅ）に示すように、
第１の基板駆動ユニット１６によって保持された露光済みの基板Ｗが、第１の基板保持領域Ｂ１から第１の基板交換領域Ｃ１へ移動する
際に、同時に、第２の基板駆動ユニット１７によって保持された未露光の基板Ｗ´が第２の基板保持領域Ｂ２へ露光動作時の速度より速い速度で移動され
【００３８】
　なお、第１の交換領域Ｃ１から搬入・搬出される基板Ｗが、第１の転写パターン８３を露光後に第２の転写パターン８４を露光する一方、第２の交換領域Ｃ２から搬入・搬出される基板Ｗ´が、第２の転写パターン８４を露光した後に第１の転写パターン８３を露光する場合には、上記マスクパターンの切換え動作を行う必要がない。
【００３９】
　そして、
第１の基板交換領域Ｃ１では、露光済み基板Ｗの搬出と、未露光基板Ｗの搬入
、未露光基板Ｗのプリアライメント
、未露光基板Ｗの吸着保持が行われ
一方、この間に、第２の駆動ユニット５１によって保持された基板Ｗ´も上述した同様の露光動作によって、往路によるスキャン露光
によって第１の転写パターン８３が露光され、
第１の基板保持領域Ｂ１に保持された基板Ｗ´に対してＹ方向への基板Ｗの移動
を行い、復路によるスキャン露光
によって第２の転写パターン８４が露光され
【００４０】
　以上説明したように、本実施形態のスキャン露光装置１は、
基板搬送機構１４の第１及び第２の基板駆動ユニット１６，１７は、複数のマスクＭと基板ＷとがＹ方向に所定の距離Ｌ、即ち、隣接するマスクＭのマスクパターン６１，６２のＹ方向における中心間距離Ｄの略１／２だけ移動するように構成され
基板Ｗの往路搬送時に、所定の間隔Ｇずつ離れた第１の転写パターン８３を露光させ、基板搬送機構１４により基板Ｗを所定の間隔Ｌだけ移動させた後、基板Ｗを復路搬送して、往路搬送時に露光した第１の転写パターン８３間に形成された未露光部に第２の転写パターン８４を隙間なく露光させること
【００４１】
　これにより、
必要となるマスク保持部１１および照射部１３の数量が削減され、スキャン露光装置１の製造費用が大幅に低減
【００４２】
　また、スキャン露光装置１は、
露光領域Ａと、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２と、第１及び第２の基板交換領域Ｃ１、Ｃ２と、を設けて、基板搬送機構１４は、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第１の基板交換領域Ｃ１間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動可能な第１の基板駆動ユニット１６と、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第２の基板交換領域Ｃ２間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動可能な第２の基板駆動ユニット１７と、を備えるようにして
基板Ｗの露光動作、すなわち、第１の転写パターン８３の形成工程、Ｙ方向への基板Ｗの移動工程、及び第２の転写パターン８４の形成工程と、基板Ｗの搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせて行うことができ、スループットを向上することができ
【００４３】
　また、第１及び第２の基板交換領域Ｂ１，Ｂ２では、基板のプリアライメントが行われるので、第１の転写パターン８３の形成工程、Ｙ方向への基板Ｗの移動工程、及び第２の転写パターン８４の形成工程と、搬出工程、搬入工程、及びプリアライメント工程とを行うタイミングを略一致して行なうことができ、スループットをさらに向上することができる。」
　
オ　「【００７４】
　さらに、本実施形態においては、基板搬送機構１４は、浮上ユニット１５ａ，１５ｂと第１及び第２基板駆動ユニット１６，１７によって基板Ｗを浮上して保持しながら搬送する場合について述べたが、これに限らず、基板Ｗを上面に載置しながら保持及び搬送するものであってもよい。」
　
カ　図２、３、５及び６は、次のものである。
　
（４）甲第２号証に記載の発明
ア　上記（３）オによれば、甲第２号証に、「基板搬送機構１４は、浮上ユニット１５ａ，１５ｂと第１及び第２基板駆動ユニット１６，１７によって基板Ｗを浮上して保持しながら搬送する場合について述べたが、これに限らず、基板Ｗを上面に載置しながら保持及び搬送するものであってもよい。」（段落【００７４】）と記載されているから、当該「基板搬送機構１４」は、「基板Ｗを上面に載置しながら保持及び搬送する」構成において、「基板Ｗを上面に載置」する部材、及び、同部材を移動する機構を備えることは明らかである。
　したがって、甲第２号証における「第１基板駆動ユニット１６」は、基板Ｗを上面に載置する第１の部材、及び、前記第１の部材を移動する第１の機構からなるものということができ、同様に、「第２基板駆動ユニット１７」は、基板Ｗ´を上面に載置する第２の部材、及び、前記第２の部材を移動する第２の機構からなるものということができる。
　また、上記（３）アによれば、甲第２号証には、「液晶ディスプレイ」「の基板上にマスクのマスクパターンを露光転写する」「スキャン露光装置に関する」（段落【０００１】）ものであって、「パターン露光用の光を照射」（段落【０００２】）する発明が記載されているから、液晶装置の製造に関して光を照射する装置であるスキャン露光装置の発明が記載されているといえる。
　
イ　そうすると、上記（３）の甲第２号証の記載事項から、甲第２号証には、以下の発明（以下、「甲２発明」という。）が記載されていると認められる。
「基板Ｗ，Ｗ´を、所定の方向であるＸ方向および該所定の方向と直交する方向であるＹ方向に搬送する基板搬送機構１４と、Ｙ方向に沿って並んでそれぞれ配置され、複数のマスクＭをそれぞれ保持する複数のマスク保持部１１と、マスク保持部１１をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部１２と、複数のマスク保持部１１の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部１３と、を備え、
　前記基板搬送機構１４は、基板Ｗ，Ｗ´をそれぞれ上面に載置する第１、２の部材、及び、前記第１、２の部材をそれぞれ移動する第１、２の機構を備え、
　前記基板Ｗが、第１の基板交換領域Ｃ１に搬入され、搬入された前記基板Ｗのプリアライメントが行われた後、前記第１の部材によって保持され、
　前記基板Ｗを上面に載置した前記第１の部材を第１の機構によって、前記基板Ｗを一定の速度でＸ方向に搬送させて、第１の基板保持領域Ｂ１へ移動し、また、前記基板Ｗは、一定の速度でＸ方向に搬送されて、露光領域Ａ内に進入し、それぞれのマスクＭを介して照射部１３から露光用光ＥＬが照射されてマスクパターン６１が露光転写され、露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２に位置する基板Ｗには、第１の転写パターン８３が形成され、
　前記第１の転写パターン８３形成後、基板Ｗを上面に載置した前記第１の部材を、第１の機構によって、基板ＷをＹ方向に所定の距離Ｌだけ移動させ、第１の機構の、基板Ｗの搬送方向をＸ方向と逆方向に切り替えて、第２の基板保持領域Ｂ２に保持されていた基板Ｗを、Ｘ方向と逆方向に搬送し、
　前記照射部１３からの露光用光ＥＬを、それぞれのマスクＭを介して照射して、未露光部にマスクパターン６２を露光転写して第２の転写パターン８４を形成し、この一連の露光動作中に、第２の基板交換領域Ｃ２では、基板Ｗ´の搬入、基板Ｗ´のプリアライメント、基板Ｗ´の第２の部材による保持が行われ、
　前記第１の部材によって保持された露光済みの基板Ｗが、第１の基板保持領域Ｂ１から第１の基板交換領域Ｃ１へ移動する際に、同時に、第２の部材によって保持された未露光の基板Ｗ´が第２の基板保持領域Ｂ２へ露光動作時の速度より速い速度で搬送され、
　前記第１の基板交換領域Ｃ１では、露光済み基板Ｗの搬出と、未露光基板Ｗの搬入、未露光基板Ｗのプリアライメント、未露光基板Ｗの保持が行われ、一方、この間に、第２の部材によって保持された基板Ｗ´も上述した同様の露光動作によって、往路によるスキャン露光によって第１の転写パターン８３が露光され、第１の基板保持領域Ｂ１に保持された基板Ｗ´に対してＹ方向への基板Ｗ´の移動を行い、復路によるスキャン露光によって第２の転写パターン８４が露光されるものであって、
　前記基板搬送機構１４の第１及び第２の部材は、それぞれ複数のマスクＭと基板Ｗ及びＷ´とがＹ方向に所定の距離Ｌ、即ち、隣接するマスクＭのマスクパターン６１，６２のＹ方向における中心間距離Ｄの略１／２だけ移動するように構成され、
　前記基板Ｗの往路搬送時に、所定の間隔Ｇずつ離れた第１の転写パターン８３を露光させ、基板搬送機構１４により基板Ｗを所定の間隔Ｌだけ移動させた後、基板Ｗを復路搬送して、往路搬送時に露光した第１の転写パターン８３間に形成された未露光部に第２の転写パターン８４を隙間なく露光させることにより、必要となるマスク保持部１１および照射部１３の数量が削減され、スキャン露光装置１の製造費用が大幅に低減し、
　前記露光領域Ａと、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２と、第１及び第２の基板交換領域Ｃ１、Ｃ２と、を設けて、基板搬送機構１４は、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第１の基板交換領域Ｃ１間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動可能な第１の部材と、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第２の基板交換領域Ｃ２間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動可能な第２の部材と、を備えるようにしていることにより、前記基板Ｗの露光動作、すなわち、第１の転写パターン８３の形成工程、Ｙ方向への基板Ｗの移動工程、及び第２の転写パターン８４の形成工程と、基板Ｗの搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせて行うことができ、スループットを向上することができ、
　前記基板Ｗ、Ｗ´上に前記マスクＭの前記マスクパターン６１、６２を露光転写する、液晶装置の製造に関してマスクパターンを露光転写するスキャン露光装置。」
　
（５）甲第５号証には、以下の記載がある。
ア　「【技術分野】
【０００１】
　本発明は、液晶表示板製造分野にて使用されるものであって、特に、
液晶表示装置に用いられる基板上において、液晶分子が望ましい角度と方向に整列するよう配向膜に配向性を付与するための光配向照射装置
　
イ　「【発明を実施するための形態】
【００２９】
　図１は、本発明の実施形態に係る光配向照射装置の構成を示す図である。本実施形態の
光配向照射装置１は、偏光光照射手段２、走査手段を主な構成要素として有
偏光光照射手段２は、基板９の表面に形成された配向膜に対して紫外線のビームを照射することで、配向膜に配向特性を付与する手段であ
反射鏡２１ａ、紫外線照射光源２１ｂを有する紫外線照射手段２１と、偏光手段３を備えて構成され
【００３０】
　図２には、本発明の実施形態に係る光配向照射装置の側断面図が、図３には本発明の実施形態に係る光配向照射装置の上面図が示されている。
走査手段は、ステージ４を所定の移動方向
に移動させることで、偏光光照射手段２から照射されるビームを基板９上に走査させる手段であ
ステージ４、可動台５５、ボールネジ５２、ＬＭガイド５１、回転部５４を有して構成され
可動台５５は、回転部５４を介してステージ４と機械的に結合され
ＬＭガイド５１にて走査方向に移動可能とされ
ＬＭガイド５１は、ＬＭレール５１ａ、５１ｂ上を、ＬＭブロック５１ｃ、５１ｄが摺動可能とされ
ＬＭブロック５１ｃ、５１ｄには可動台５５が固定され
２本のＬＭガイド５１ａ、５１ｂによって可動台５５を移動可能とし
【００３１】
　可動台５５には、ボールネジ５２に対応したネジ穴が切られている。このネジ穴にボールネジ５２を通し、ボールネジ５２を回転させることで、ボールネジ５２の回転を走査方向に対する可動台５５の移動に変換している。また、
可動台５５
は、上面に回転部５４が設けられ
回転部５４は、
回転を実行可能としており、偏光光照射手段２にて照射される偏光光の偏光方向の調整
に使用され
　
ウ　「【００３６】
　図５には、本発明の実施形態に係る偏光手段の構成が示されている。図５は、偏光手段３を下方、すなわち、図１〜図３に示されるＺ軸の正の方向から眺めた図となっている。本実施形態の
偏光手段３は、隣接方向３３に沿って隣接配置された複数の単位偏光子３１ａ〜３１ｆを有して構成され
　
エ　「【００４０】
　図４には、この偏光手段３による紫外線照射の状況が模式的に示されている。紫外線照射光源２１から出射された平行、あるいは、部分的に平行な無偏光紫外線Ａは、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆを透過することで、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆ毎に設定されている偏光方向に偏光され、偏光紫外線Ｂａ〜Ｂｆに変換される。各偏光紫外線Ｂａ〜Ｂｆは、基板９上に入射して配向膜を配向させる。図４の照射領域には、各偏光紫外線Ｂａ〜Ｂｆの偏光方向が矢印で模式的に示されている。偏光手段３を１つの偏光子で構成した場合、照射される偏光紫外線の偏光方向は、照射領域中において全て同方向となる。しかしながら、本実施形態のように複数の単位偏光子３１ａ〜３１ｆで構成した場合、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆの偏光方向を一致させておかないと、基板９を液晶表示装置として使用した際、映像ムラとして観察される。
【００４１】
　このような液晶表示装置における映像ムラ発生を抑制するため、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆの偏光方向が所定の方向に向いているか、また、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆ間の偏光方向の誤差が所定角度以内に収まっているかを確認する必要がある。そのため、本実施形態の光配向照射装置では、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆから出射された偏光紫外線の偏光方向を検知する偏光方向検知手段を設けることとしている。
【００４２】
　この
偏光方向検知手段は、１乃至複数の偏光センサー６を使用して構成
　
オ　「【００４８】
　走査方向に対して平行もしくは直交する方向に対する位置ずれであれば、特段問題はないが、単位偏光子３１ａ〜３１ｆを回転させる位置ずれは、偏光方向にずれを生じさせるため好ましくない。特に、本実施形態のように複数の単位偏光子３１ａ〜３１ｆ間の偏光方向のずれは、液晶表示装置として利用した際の映像品質に関わることとなる。したがって、本実施形態の光配向照射装置では、
偏光方向確認処理を実行することで、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆの偏光方向の確認を行う
確認した偏光方向に基づいて、回転部５４を回転させ偏光方向が適正となる補正処理も行
【００４９】
　図９は、本発明の実施形態に係る光配向照射装置の制御構成を示すブロック図であり、図１０は、本発明の実施形態に係る偏光方向確認処理を示すフロー図である。本実施形態の光配向照射装置は、その制御手段として、図９に示されるように制御部８１、ボールネジ駆動部８２を有して構成されている。制御部８１には、ユーザーに対する各種情報のやりとりを行うための表示部８３、入力部８４が接続されている。また、制御部８１は、回転部５４、紫外線照射光源２１ｂ、センサー制御部６５と接続されており、これら各種構成を制御することを可能としている。
【００５０】
　偏光方向確認処理は、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆから出射される偏光紫外線Ｂａ〜Ｂｆの偏光方向光を確認するための処理である。この
偏光方向確認処理は、ステージ４に基板９を載置する前の状態で実行される
　
カ　「【００６２】
　偏光センサー６の配置には他の形態を採用することも可能である。図１４には、本発明の他の実施形態に係る光配向照射装置の上面図が示されている。この実施形態においては、
ステージ４外に偏光センサー６ａ〜６ｆを配置し
【００６３】
　本実施形態では、このように偏光センサー６ａ〜６ｆをステージ４の外に設置したことで、ステージ４内に偏光センサー６ａ〜６ｆを配置する必要が無い。偏光センサー６ａ〜６ｆには信号を送受信するための配線が必要とされるが、前述の実施形態のようにステージ４内に偏光センサー６ａ〜６ｆを設置した場合には、ステージ４の移動により配線が疲弊して断線などを引き起こす可能性がある。本実施形態では可動部の無いステージ４外に偏光センサー６ａ〜６ｆを設置することで、断線などの障害の発生を抑えるとともに、その設置についても容易に行うことを可能としている。また、
ステージ４に基板９を設置した状態であっても、偏光方向確認処理を実行することが可能と
　
キ　図１ないし５、１０及び１２は、次のものである。
　
ク　図１４及び図１５は、次のものである。
　
（６）甲第５号証に記載の発明
ア　上記（５）によれば、甲第５号証の上記（５）カ及びクは、上記（５）イ〜オ及びキの実施形態を基本とした他の形態であって、上記（５）イ〜オ及びキの実施形態においてステージに設けていた偏光センサー６ａ〜６ｆを、ステージ外に配置することで、上記（５）イ〜オ及びキの実施形態において「ステージ４に基板９を載置する前の状態で実行される」「偏光方向確認処理」（上記（５）オの段落【００５０】）を、「ステージ４に基板９を設置した状態であっても、」「実行することが可能」（上記（５）カの段落【００６３】）としたものであるから、当該変更部分以外は、上記（５）イ〜オ及びキの実施例と同様の構成を有しているものと認められる。
　また、上記（５）アによれば、甲第５号証には、「液晶表示板製造分野にて使用される」「液晶表示装置に用いられる基板上において」「配向膜に配向性を付与するための光配向照射装置」の発明が記載されているといえる。
　
イ　そうすると、上記（５）の甲第５号証の記載事項から、甲第５号証には、以下の発明（以下、「甲５発明」という。）が記載されていると認められる。
「液晶表示装置に用いられる基板上において、液晶分子が望ましい角度と方向に整列するよう配向膜に配向性を付与するための光配向照射装置であって、
　前記光配向照射装置は、偏光光照射手段２、走査手段を主な構成要素として有し、
　前記偏光光照射手段２は、基板９の表面に形成された配向膜に対して紫外線のビームを照射することで、配向膜に配向特性を付与する手段であり、反射鏡２１ａ、紫外線照射光源２１ｂを有する紫外線照射手段２１と、偏光手段３を備えて構成され、
　前記走査手段は、ステージ４を所定の移動方向に移動させることで、偏光光照射手段２から照射されるビームを基板９上に走査させる手段であり、ステージ４、可動台５５、ボールネジ５２、ＬＭガイド５１、回転部５４を有して構成され、
　前記可動台５５は、回転部５４を介してステージ４と機械的に結合され、ＬＭガイド５１にて走査方向に移動可能とされ、
　前記ＬＭガイド５１は、ＬＭレール５１ａ、５１ｂ上を、ＬＭブロック５１ｃ、５１ｄが摺動可能とされ、
　前記ＬＭブロック５１ｃ、５１ｄには可動台５５が固定され、
　２本のＬＭガイド５１ａ、５１ｂによって可動台５５を移動可能とし、
　前記可動台５５は、上面に回転部５４が設けられ、
　前記回転部５４は、回転を実行可能としており、偏光光照射手段２にて照射される偏光光の偏光方向の調整に使用され、
　前記偏光手段３は、隣接方向３３に沿って隣接配置された複数の単位偏光子３１ａ〜３１ｆを有して構成され、
　偏光方向確認処理を実行することで、各単位偏光子３１ａ〜３１ｆの偏光方向の確認を行うと共に、確認した偏光方向に基づいて、回転部５４を回転させ偏光方向が適正となる補正処理も行い、
　偏光方向検知手段は、１乃至複数の偏光センサー６を使用して構成し、ステージ４外に偏光センサー６ａ〜６ｆを配置し、ステージ４に基板９を設置した状態であっても、偏光方向確認処理を実行することを可能とした、
　液晶表示板製造分野にて使用される液晶表示装置に用いられる基板上において配向膜に配向性を付与するための光配向照射装置。」
　
２　無効理由通知２についての判断
（１）本件訂正発明１について
ア　対比
　本件訂正発明１と参考資料３発明とを対比する。
（ア）参考資料３発明の「光照射部２０Ａ，２０Ｂ」、「光配向膜５１が形成された矩形状のワーク」、「ワークステージ」、「ステージ移動機構」及び「配向膜の光配向を行なう偏光光照射装置」は、それぞれ、本件訂正発明１の「照射ユニット」、「光配向用膜材付きの基板」、「ステージ」、「ステージ移動機構」及び「光配向用偏光光照射装置」に相当する。
　
（イ）参考資料３発明の「設定された照射領域へ偏光光を出射する光照射部２０Ａ，２０Ｂ」は、本件訂正発明１の「設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニット」に相当する。
　
（ウ）参考資料３発明の「光配向膜５１が形成された矩形状のワークがワークステージ上に載置され」る「ワークステージ」は、本件訂正発明１の「光配向用膜材付きの基板が載置されるステージ」に相当する。
　
（エ）参考資料３発明は、「ワークステージを直線移動させるステージ移動機構、を備え、前記光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながら前記ワークステージを直線移動させて、前記光照射部２０Ａと２０Ｂの両方の下を通過させ、前記光配向膜の光配向処理をする」ものであり、光照射部２０Ａ、２０Ｂの両方の下を通過させるより前に、ワークをワークステージ上に載置することは明らかである。
　そうすると、参考資料３発明の「ワークステージを直線移動させるステージ移動機構、を備え、前記光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながら前記ワークステージを直線移動させて、前記光照射部２０Ａと２０Ｂの両方の下を通過させ、前記光配向膜の光配向処理をする」構成と、本件訂正発明１の「照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、」「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであ」る構成は、「照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、」「ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された基板搭載位置からステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものである」構成の点で一致する。
　
（オ）参考資料３発明の「ワークステージを直線移動させるステージ移動機構、を備え、」「ワーク５０を往復移動させて、光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射する」構成と、本件訂正発明１の「ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであ」る構成は、「ステージ移動機構は、ステージ上の基板が照射領域を通過した後にステージを戻す」構成で共通する。
　
（カ）してみると、両者は、
「設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと、
　光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと、
　照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された基板搭載位置からステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、ステージ上の基板が照射領域を通過した後にステージを戻すものである、
光配向用偏光光照射装置。」
で一致し、次の各点で相違する。
　
ａ　本件訂正発明１は、「ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されて」いるのに対して、
　参考資料３発明は、ステージの個数が二つではなく一つであって、ステージ移動機構は、その一のステージ上の基板が照射領域を通過した後にその一のステージを戻すことができるものの、ステージの個数が二つであることに伴う構成、すなわち、
　第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻す構成、及び、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されている構成、
　を有していない点（以下、「相違点１」という。）。
　
ｂ　本件訂正発明１の「第一第二ステージの各々」は、「基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む」のに対して、参考資料３発明の「ワークステージ」は、「光配向膜５１が形成された矩形状のワーク５０」を「ワークステージ上に載置」するための詳細な構成が特定されていない点（以下、「相違点２」という。）。
　
イ　判断
（ア）相違点１について検討する。
ａ　液晶素子を製造する装置の技術分野においてスループット向上は当然の課題であるから、当業者であれば、矩形状のワークをワークステージ上に載置して照射領域に移動させる液晶素子の製造に関するスキャン照射する装置である参考資料３発明においても、スループットを向上させることが動機付けられるといえる。
　
ｂ　他方、甲第２号証には、マスク保持部及び照射部の数量を削減してコストダウンを図ることができるとともに、スループットを向上することを目的とした液晶装置を製造するスキャン露光装置が開示されているところ、甲２発明は、液晶装置を製造するためのものであって、矩形状のワークをワークステージ上に載置して照射領域に対して往復移動させるスキャン露光装置である点で、液晶素子の製造に関するスキャン照射する装置である参考資料３発明と共通するものであることが明らかである。
　そうすると、上記ａで述べたところの、参考資料３発明において、スループットを向上させることが動機付けられた当業者であれば、参考資料３発明と液晶素子（装置）を製造する、往復移動可能なスキャン照射（露光）装置として共通するとともに、スループットの向上にも関係する甲２発明を組み合わせることが動機付けられるというべきである。
　
ｃ　しかしながら、甲２発明は、マスク保持部及び照射部の数量を削減してコストダウンを図ることをも課題としており（上記（３）ア）、その結果、その課題を解決するための構成（例えば、「第１の転写パターン８３形成後、基板Ｗを上面に載置した前記第１の部材を、第１の機構によって、基板ＷをＹ方向に所定の距離Ｌだけ移動させ」る構成）を備えているとの事情がある。そこで、上記ａでいう当業者からみて、甲２発明がどのように把握されるのか、また、上記事情が甲２発明を組み合わせる際の阻害要因となるか否かについて、以下に検討する。
（ａ）甲２発明の技術的意義は次のとおりである。
　ｉ　特許文献１（特開２００５−１４０９３５号公報）に記載の露光装置は、パネルと同寸のマスクを用い、露光位置に対して左右両側のチャックに対してガラス基板のロード／アンロード位置が配置され、一方のチャック上のガラス基板で露光が行われている間に、他方のガラス基板でロード／アンロードを行ってスループットを向上させるものであるが、パネルの大型化に伴ってマスクが大型化し、製造コストが嵩むという課題があった（上記（３）ア　段落【０００２】〜【０００４】）。
　他方、特許文献２（特開２００７−１６５８２１号公報）に記載の露光装置は、マスクを細分化して、これらマスクを保持するマスク保持部を千鳥状に配置し、基板を一方向に移動させながら露光を行うスキャン露光装置であり、マスクをパネルに合わせて大きくする必要がないものである。しかしながら、パネルの大型化に伴い、全露光領域を隙間なくカバーするためのマスク保持部および照射部の数量がますます多くなり、露光装置の製造コスト上昇の一因となるとの課題があった（上記（３）ア　段落【０００３】、【０００５】）。
　
　ｉｉ　そこで、甲２発明は、上記各課題に鑑みてなされたものであり、マスク保持部、および照射部の数量を削減してコストダウンを図ることができるとともに、スループットを向上することができるスキャン露光装置を提供することを目的としたものである（上記（３）ア　段落【０００６】）。
　
　ｉｉｉ　ここで、甲２発明の動作について検討するに、甲２発明における、「所定の距離Ｌ、即ち、隣接するマスクＭのマスクパターン６１，６２のＹ方向における中心間距離Ｄの略１／２だけ移動」、「基板Ｗの往路搬送」ないし「基板Ｗを復路搬送」をそれぞれ「動作Ａ」、「動作Ｂ」ないし「動作Ｃ」とすると、下記のとおりである。
「前記基板搬送機構１４の第１及び第２の部材は、複数のマスクＭと基板ＷとがＹ方向に所定の距離Ｌ、即ち、隣接するマスクＭのマスクパターン６１，６２のＹ方向における中心間距離Ｄの略１／２だけ移動（動作Ａ）するように構成され、
　前記基板Ｗの往路搬送（動作Ｂ）時に、所定の間隔Ｇずつ離れた第１の転写パターン８３を露光させ、基板搬送機構１４により基板Ｗを所定の間隔Ｌだけ移動（動作Ａ）させた後、基板Ｗを復路搬送（動作Ｃ）して、往路搬送時に露光した第１の転写パターン８３間に形成された未露光部に第２の転写パターン８４を隙間なく露光させることにより、必要となるマスク保持部１１および照射部１３の数量が削減され、スキャン露光装置１の製造費用が大幅に低減し、
　前記露光領域Ａと、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２と、第１及び第２の基板交換領域Ｃ１、Ｃ２と、を設けて、基板搬送機構１４は、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第１の基板交換領域Ｃ１間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動（動作Ｂ、Ｃ）可能な第１の部材と、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第２の基板交換領域Ｃ２間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動（動作Ｂ、Ｃ）可能な第２の部材と、を備えるようにしていることにより、前記基板Ｗの露光動作、すなわち、第１の転写パターン８３の形成工程（動作Ｂ）、Ｙ方向への基板Ｗの移動工程（動作Ａ）、及び第２の転写パターン８４の形成工程（動作Ｃ）と、基板Ｗの搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせて行うことができ、スループットを向上する」
　
（ｂ）上記（ａ）によれば、甲２発明における基板の移動（動作Ａ）、（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）につき、次のことが理解できる。
　甲２発明においては、往路搬送時露光（動作Ｂ）、Ｙ方向移動（動作Ａ）、復路搬送時露光（動作Ｃ）がなされているところ、これは、マスク保持部１１および照射部１３の数量が減少されたにもかかわらず、隙間のない露光を可能とするためのものである。
　他方、甲２発明におけるスループットの向上のための、「基板搬送機構１４は、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第１の基板交換領域Ｃ１間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動可能（（動作Ｂ）及び（動作Ｃ））な第１の部材と、露光領域Ａ、第１及び第２の基板保持領域Ｂ１，Ｂ２、及び第２の基板交換領域Ｃ２間で基板ＷをＸ方向に沿って往復移動可能（（動作Ｂ）及び（動作Ｃ））な第２の部材と、を備える」構成は、上記（３）エの段落【００４２】の記載に基づいて認定されているが、当該記載には、Ｙ方向への基板Ｗの移動工程（動作Ａ）のための機構は明記されていない。
　このことは、甲２発明においてスループットを向上できるメカニズムが、基板Ｗの露光動作と、基板Ｗ´の（スキャン露光装置への）搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせることにあり、基板Ｗの露光動作に要する時間のうち、Ｙ方向への基板Ｗの移動工程（動作Ａ）の時間が、（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）の形成工程の時間よりもごく短いと解される（上記（３）ウ　段落【００１９】末文）ことからすれば首肯できるものである。そして、この意味での（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）は、マスク保持部１１および照射部１３の数量が減少されたにもかかわらず隙間のない露光を可能とするためのみならず、照射領域の一方の側と他方の側の２つのステージを設けることを可能とするとともに、基板Ｗの露光動作と基板Ｗ´の搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせるための時間を確保するためのもの（上記（３）エ　段落【００３６】、【００３９】）であることが明らかである。
　そうすると、甲２発明における基板の移動には、（動作Ａ）、（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）が存在するけれども、（動作Ａ）は、もっぱら隙間のない露光を可能とするとの技術的意義を奏する一方、（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）は、（動作Ａ）との組み合わせにより隙間のない露光を可能とするとの技術的意義に加えて、（動作Ｂ）と（動作Ｃ）の組み合わせによりスループット向上のためとの技術的意義を奏することが理解できる。
　
（ｃ）参考資料３発明には、マスク保持部および照射部の数量が減少されたにもかかわらず隙間のない露光を行うとの課題はない一方、スループット向上との課題は存在する。
　他方、甲２発明の、マスク保持部および照射部の数量が減少されたにもかかわらず隙間のない露光を可能とすることと、スループット向上とは、技術的には別の観点であることが明らかである。
　そうすると、参考資料３発明において、スループット向上との課題を解決しようとする、上記ａでいう当業者からみれば、甲２発明のうち、もっぱら、（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）の組み合わせに着目してスループットを向上させる技術を把握することができるというべきであるし、マスク保持部および照射部の数量が減少されたにもかかわらず隙間のない露光を可能とすることと、スループット向上とは、技術的には別観点である以上、（動作Ａ）の存在が、参考資料３発明との組み合わせの際の阻害要因となることはない。
　
ｄ　そこで、甲２発明を（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）の組み合わせについてより具体的にみると、
　「基板Ｗ」については、「第１の基板交換領域Ｃ１」から「第１の基板保持領域Ｂ１」を経て「露光領域Ａを通過して」「第２の基板保持領域Ｂ２」に移動させる（動作Ｂ）の後、「基板Ｗの搬送方向をＸ方向と逆方向に切り替えて」、「第２の基板保持領域Ｂ２」から「露光領域Ａを通過して」「第１の基板保持領域Ｂ１」を経て「第１の基板交換領域Ｃ１」に移動させる（動作Ｃ）を行い、
　また、「基板Ｗ´」については、「第２の基板交換領域Ｃ２」から「第２の基板保持領域Ｂ２」を経て「露光領域Ａを通過して」「第１の基板保持領域Ｂ１」に移動させる（動作Ｂ）の後、「基板Ｗ´」「の搬送方向を」「逆方向に切り替えて」、「第１の基板保持領域Ｂ１」から「露光領域Ａを通過して」「第２の基板保持領域Ｂ２」を経て「第２の基板交換領域Ｃ２」に移動させる（動作Ｃ）を行う、
　構成を含むものであることは明らかである。
　さらに、甲２発明の「第２の基板保持領域Ｂ２」は、「露光領域Ａ」と「第２の基板交換領域Ｃ２」との間の領域であって、「露光領域Ａ」を通過した「基板Ｗ」を保持する領域であり、「第１の基板保持領域Ｂ１」は、「露光領域Ａ」と「第１の基板交換領域Ｃ１」との間の領域であって、「露光領域Ａ」を通過した「基板Ｗ´」を保持する領域であるから、「第２の基板保持領域Ｂ２」及び「第１の基板保持領域Ｂ１」は、それぞれ「基板Ｗ」、「基板Ｗ´」が「露光領域Ａ」を通過する分以上のスペースを有することは明らかである。
　
ｅ　なお、甲２発明において、基板Ｗを「第１の基板交換領域Ｃ１」から動作Ｂ及びＣを経て「第１の基板交換領域Ｃ１」に戻し、基板Ｗ´を「第２の基板保持領域Ｂ２」から（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）を経て「第２の基板保持領域Ｂ２」に戻す目的は、「これにより、基板Ｗの露光動作・・・と、基板Ｗの搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせて行うことができ、スループットを向上することができる。」（上記１（３）エ　段落【００４２】）ことにあるところ、本件訂正発明１において、「ステージ移動機構」が、「第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻す」目的は、「一方のステージ２１，２２上の基板Ｓへの偏光光の照射の最中に他方のステージ２１，２２において基板Ｓの回収動作と次の基板Ｓの搭載動作を行うことができる。このため、タクトタイムを大幅に削減することができ、より生産性の高い光配向プロセスが実現される。」（本件特許明細書の段落【００４１】）、つまり、タイミングを少なくともオーバーラップさせて行うことができ、スループットを向上することにあるといえるから、両者は基板を「戻す」目的の点でも一致している。
　また、甲２発明が、「基板Ｗの露光動作・・・と、基板Ｗの搬出工程及び搬入工程とを行うタイミングを少なくともオーバーラップさせて行うことができ、スループットを向上する」（上記１（３）エ　段落【００４２】）ために、基板Ｗを「第１の基板交換領域Ｃ１」から動作Ｂ及びＣを経て「第１の基板交換領域Ｃ１」に戻し、基板Ｗ´を「第２の基板保持領域Ｂ２」から（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）を経て「第２の基板保持領域Ｂ２」に戻すものであるから、
（ａ）基板Ｗを、少なくとも第１の基板交換領域Ｃ１から第１の基板保持領域Ｂ１を経て露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２に移動させた後、基板Ｗの搬送方向をＸ方向と逆方向に切り替えて、第２の基板保持領域Ｂ２から露光領域Ａを通過して第１の基板保持領域Ｂ１を経て第１の基板交換領域Ｃ１に移動させ（動作イ）、
（ｂ）続けて、基板Ｗ´を、少なくとも第２の基板交換領域Ｃ２から第２の基板保持領域Ｂ２を経て露光領域Ａを通過して第１の基板保持領域Ｂ１に移動させた後、基板Ｗ´の搬送方向を逆方向に切り替えて、第１の基板保持領域Ｂ１から露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２を経て第２の基板交換領域Ｃ２に移動させ（動作ロ）、
（ｃ）さらに続けて、交換された別の基板Ｗを、少なくとも第１の基板交換領域Ｃ１から第１の基板保持領域Ｂ１を経て露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２に移動させるという動作（以下上記（ａ）の動作イ）を続けて行うものであるといえる。
　
ｆ　したがって、甲２発明は、（動作Ｂ）及び（動作Ｃ）の組み合わせの観点から整理すると、下記の構成（以下、「甲２′発明」という。）を備える発明ということができる。
「基板Ｗを上面に載置する第１、２の部材、及び、前記第１、２の部材を移動する第１、２の機構を備える基板搬送機構１４を有し、
　前記基板Ｗを、少なくとも第１の基板交換領域Ｃ１から第１の基板保持領域Ｂ１を経て露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２に移動させた後、基板Ｗの搬送方向をＸ方向と逆方向に切り替えて、第２の基板保持領域Ｂ２から露光領域Ａを通過して第１の基板保持領域Ｂ１を経て第１の基板交換領域Ｃ１に移動させ（動作イ）、
　さらに、基板Ｗ´を、少なくとも第２の基板交換領域Ｃ２から第２の基板保持領域Ｂ２を経て露光領域Ａを通過して第１の基板保持領域Ｂ１に移動させた後、基板Ｗ´の搬送方向を逆方向に切り替えて、第１の基板保持領域Ｂ１から露光領域Ａを通過して第２の基板保持領域Ｂ２を経て第２の基板交換領域Ｃ２に移動させ（動作ロ）、
　前記基板搬送機構１４が、第１の部材によって保持された露光済みの基板Ｗを、第１の基板保持領域Ｂ１から第１の基板交換領域Ｃ１へ移動し（戻し）、第２の部材によって保持された基板Ｗ´を、同様の露光動作によって、搬出工程及び搬入工程とを行い（戻し）、
　上記動作イに続けて動作ロを行い、動作ロに続けて、交換された別の基板にて動作イを行うという動作を行うものであって、
　前記第２の基板保持領域Ｂ２は、露光領域Ａと第２の基板交換領域Ｃ２との間の領域であって、露光領域Ａを通過した基板Ｗを保持する領域であり、前記第１の基板保持領域Ｂ１は、露光領域Ａと第１の基板交換領域Ｃ１との間の領域であって、露光領域Ａを通過した基板Ｗ´を保持する領域であって、前記第２の基板保持領域Ｂ２及び前記第１の基板保持領域Ｂ１は、それぞれ基板Ｗ及び基板Ｗ´が露光領域Ａを通過する分以上のスペースを有する液晶装置の製造に関してマスクパターンを露光転写するスキャン露光装置。」
　そして、甲２′発明は、本件訂正発明１の「ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており、
　ステージ移動機構は、照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに、照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ、前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり、
　ステージ移動機構は、第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに、第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり、かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、
　第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており」との構成に相当する構成を備えるものであると認められる。
　
ｇ　そうすると、参考資料３発明において、スループット向上という製造装置における普遍的な技術課題を解決するために、甲２′発明の「基板Ｗを保持及び搬送する第１、第２のステージ及び第１、第２のステージ移動機構」、及び、基板の露光動作と基板の搬出工程及び搬入工程をオーバーラップさせる構成を適用して、上記相違点１に係る構成を得ることは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、上記ｃのとおり、甲２′発明に（動作Ａ）があることが、参考資料３発明と甲第２号証に記載された発明とを組み合わせることの阻害要因となることはない。
　
（イ）相違点２について検討する。
ａ　参考資料３発明の「ワークステージ」の詳細な構成は不明であるところ、参考資料３発明を発明として実施するには適宜の具体的構成を採用すべきであって、参考資料３発明の「矩形状のワーク５０がワークステージ上に載置され」る構成にも適宜の具体的構成を採用すべきであるといえる。
　
ｂ　そして、「矩形状のワーク５０」を「ワークステージ上に載置」する構成として、「基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピン」を含むステージは、基板搬送技術において周知技術である。
（例えば、特開２００５−１１４８８２号公報、特開２００９−１９４３３５号公報、特開２００７−３２２８０６号公報、特開２０１２−１１９５９１号公報、参照）
　してみると、参考資料３発明を発明として実施するには「矩形状のワーク５０」を「ワークステージ上に載置」する構成に関して、適宜の具体的構成を採用すべきであるところ、参考資料３発明に当該周知技術を採用して、上記相違点２に係る本件訂正発明１の構成を得ることは、当業者が容易になし得たことである。
　
ｃ　なお、相違点２に係る本件訂正発明１の「前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む」との構成は、本件訂正明細書には、段落【００５０】に「尚、本願発明において、『ステージ』の用語は通常より広く解釈される必要がある。即ち、真空吸着のような吸着孔を有する複数のピンの上に基板Ｓを載置してこれら複数のピン上に基板を吸着し、複数のピンを一体に移動させることで基板Ｓが照射領域を通過するようにする場合がある。従って、『ステージ』は、基板を保持しながら基板を移動させることができる部材であれば足り、必ずしも台状の部材に限られない」と記載されるにとどまる。
　そうすると、本件訂正発明１における「前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む」との構成は、本件訂正発明１の「光配向用偏光光照射装置」のその余の構成と、不可分な直接的な技術的関連性がある構成とされるものでもなく、別異の適宜付加される構成にすぎない。
　
ウ　本件訂正発明１において奏される効果について
（ア）本件特許明細書には、以下の記載がある。
ａ　「【発明の効果】
　【０００７】
　以下に説明する通り、本願の請求項１又は５記載の発明によれば、照射領域を二つのステージが交互に通過することで各ステージ上の基板に対して偏光光が照射されるようにすることができ、タクトタイムの削減によって生産性の高い光配向プロセスを実現することができる。この際、第一の基板搭載位置と照射領域の間には、第二のステージ上の基板が照射領域を通過できる分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置と照射領域との間には、第一のステージ上の基板が照射領域を通過できる分以上のスペースが確保されているので、ステージ同士が干渉することなく均一性の高い光配向処理が行える。」
　
ｂ　「【００５０】尚、本願発明において、『ステージ』の用語は通常より広く解釈される必要がある。即ち、真空吸着のような吸着孔を有する複数のピンの上に基板Ｓを載置してこれら複数のピン上に基板を吸着し、複数のピンを一体に移動させることで基板Ｓが照射領域を通過するようにする場合がある。従って、『ステージ』は、基板を保持しながら基板を移動させることができる部材であれば足り、必ずしも台状の部材に限られない。」
　
（イ）上記（ア）ａによれば、本件訂正発明１においては、照射領域を二つのステージが交互に通過することで各ステージ上の基板に対して偏光光が照射されるようにすることができ、タクトタイムの削減によって生産性の高い光配向プロセスを実現することができるとの効果を奏するものと認められる。
　
（ウ）また、上記イ（イ）ｃで指摘したとおり、本件訂正発明１における、「前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む」との構成は、本件訂正発明１の「光配向用偏光光照射装置」のその余の構成要素と不可分な直接的な技術的関連性がある構成とされるものではなく、別異の適宜付加される構成であり、格別の効果を有するとは認められない。
　
（エ）他方、参考資料３発明の「ワーク５０を往復移動させて、光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射する」との構成を具体化するために、甲２′発明を適用することが、当業者が容易になし得るものであることは、上記イ（ア）で検討したとおりであって、参考資料３発明に甲２′発明を適用したものが、スループット向上という普遍的な技術課題を解決することができることから、かかる効果を奏する点において本件訂正発明１と格別の相違があるものとは認められない。
　したがって、本件訂正発明１が奏する効果は、参考資料３発明及び甲２′発明から当業者が予想し得るものであって、格別のものとはいえない。
　
エ　被請求人の主張
（ア）被請求人の答弁書、被請求人の意見書１、被請求人の意見書２、口頭審理陳述要領書（被請求人）、口頭審理及び被請求人の上申書においてなされた、被請求人の主張は、概略以下のとおりである。
ａ　参考資料３に記載された発明は、「偏光光照射装置」であるのに対して、甲第２号証に記載された発明は、「マスクパターンを露光転写するスキャン露光装置」であって、技術分野が異なり、組みあわせることができない（以下、「被請求人の主張１」という。）。
（被請求人の意見書１　２頁９行〜７頁２２行、被請求人の意見書２　２頁９行〜３頁２行、口頭審理陳述要領書（被請求人）　２頁９行〜最下行、５頁２〜７行等）
　
ｂ　甲第２号証に記載された発明は、ステージをＹ方向に移動させる構成が必須であって、２つのステージをオーバーラップさせるから、往復移動させる点のみを抽出できない（以下、「被請求人の主張２」という。）。
（被請求人の意見書２　３頁３行〜５頁２５行、口頭審理陳述要領書（被請求人）　２頁９行〜最下行等）
　
ｃ　甲第２号証に記載された発明は、断続的な移動を前提とするものであるが、参考資料３発明は、連続的な移動を前提とするものであって、これらの点を無視して組みあわせることはできない（以下、「被請求人の主張３」という。）。
（被請求人の意見書２　３頁３行〜５頁２５行、口頭審理陳述要領書（被請求人）　５頁８〜１３行等）
　
ｄ　甲第２号証が、二つのステージを備える露光装置を開示するとしても、一方のステージの復路移動に続くように他方のステージの往路移動を行わせる構成については、開示も示唆もしていない（以下、「被請求人の主張４」という。）。
（被請求人の上申書　４頁１８〜２０行等）
　
（イ）被請求人の主張について
ａ　被請求人の主張１については、上記イ（ア）ｂで検討したとおりである。
　
ｂ　被請求人の主張２については、上記イ（ア）で検討したとおりである。
　
ｃ　被請求人の主張３については、露光時に、断続的な移動を前提とするものであるのか、あるいは、連続的な移動を前提とするものであるのかは、どのようなパターンを形成するかによって、適宜選択できるものであり、参考資料３発明では、参考資料３の段落【００１７】に「ワーク５０が矩形状の場合、ワーク５０は図示しないワークステージ上に載置され、光照射部２０Ａ、２０Ｂから偏光光を照射しながらワークステージを直線移動させて、光配向膜の光配向処理をする。なお、ワーク５０の光配向膜５１に偏光光を照射し、光配向処理を行なう際、偏光光を照射しながらワーク５０を連続的に移動させてもよいし、ワークを間歇的に移動させながら偏光光を照射してもよい。」（上記１（１）イ）と記載されるように、どちらの移動も選択が可能であることを前提としている。
　そして、露光時にどちらの移動を選択するかは、２つのステージを往復移動することとは、独立した技術事項であることは明らかである。
（なお、本件訂正発明１において、偏光光照射時に、ステージを連続的な移動を前提とするものであるのか、断続的な移動を前提とするものであるのかの限定はない。）
　
ｄ　被請求人の主張４については、上記イ（ア）ｅで検討したとおりである。
　
（ウ）したがって、上記（ア）の被請求人の主張は、採用することはできない。
　
オ　小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（２）本件訂正発明２について
ア　対比
　本件訂正発明２と参考資料３発明とを対比する。
（ア）上記第３，１（４）及び同２（４）での検討に照らして、本件訂正発明２は、本件訂正発明１の「前記第一第二ステージの各々は、基板を吸着するための吸着孔を有する、一体的に移動可能な複数のピンを含む」との構成にかえて、「前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に対し、偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにする」との構成を付加したものであるといえる。
　
（イ）そうすると、本件訂正発明２と参考資料３発明とを対比するに、上記（１）アでの検討を踏まえると、本件訂正発明２と参考資料３発明は、上記（１）ア（カ）ａの相違点１、及び、下記点で相違し、その余の点で一致すると認められる。
　
（ウ）本件訂正発明２の「照射ユニット」は、「第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に対し、偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにする」ものであるのに対して、参考資料３発明の光照射部２０Ａ，２０Ｂは、このようなものと特定されない点（以下、「相違点３」という。）。
　
イ　判断
（ア）相違点１については、上記（１）イ（ア）で検討したとおりである。
　
（イ）相違点３について検討する。
ａ　参考資料３発明に関して、参考資料３の段落【００１６】（上記１（１）イ）には次の記載がある。
「光照射部２０Ｂによる偏光光照射において低い照度で照射された部分は、次の光照射部２０Ａによる偏光光照射において高い照度で照射され、また、光照射部２０Ａによる偏光光照射において低い照度で照射される部分は、先に光照射部２０Ｂによる偏光光照射において高い照度で照射されている。したがって、光照射部２０Ａと２０Ｂの両方の下を通過して偏光光が照射された光配向膜５１は、図２（ｃ）に示すように両者の照度分布が積算され、結果として均一なエネルギー分布で偏光光が照射されることになる。このことにより、光配向膜５１において、照射される偏光光のエネルギーが不足する部分が生じるのを防ぐことができる。」
　
ｂ　また、参考資料３発明の「ワーク５０を往復移動させて、光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射するようにした」構成によれば、参考資料３発明では、往路において光照射部２０Ｂ及び２０Ａで照射され、復路において光照射部２０Ａ及び２０Ｂで照射されるものとなることは明らかである。
　
ｃ　そうすると、上記ｂのとおり、参考資料３発明が、往路において光照射部２０Ｂ及び２０Ａで照射され、復路において光照射部２０Ａ及び２０Ｂで照射されるものであって、上記ａのとおり、「光照射部２０Ｂ」において「照射された部分は、次の光照射部２０Ａ」において「照射され」、「光照射部２０Ａと２０Ｂの両方の下を通過して偏光光が照射された光配向膜５１は、」「両者の照度分布が積算され」ることになるものであるから、参考資料３発明の「ワーク５０を往復移動させて、光照射部２０Ｂ→２０Ａ→２０Ａ→２０Ｂのように偏光光を照射するようにした」構成によれば、往路における２０Ｂ、２０Ａで照射された偏光光の量と、復路における２０Ａ、２０Ｂで照射された偏光光の量とが積算されることは明らかである。
　したがって、相違点３は実質的な相違点ではない。
　
ウ　本件訂正発明２において奏される効果について
（ア）本件特許明細書には、以下の記載がある。
「【発明の効果】
　【０００７】・・・
　また、請求項２記載の発明によれば、上記効果に加え、第一第二の各ステージ上の基板が、往路と復路の双方で光照射されるので、エネルギーの無駄無く効率良く光配向処理ができ、移動速度を速くすることでより生産性を高めることができる。」
　
（イ）しかしながら、上記イ（イ）での検討に照らして、上記本件訂正発明２が奏する効果は格別のものとはいえない。
　
エ　被請求人の主張
（ア）被請求人は、被請求人の意見書２で、概略次のように主張する。
　さらに、甲第２号証に記載された発明の「基板Ｗ」は、本件特許発明２の「光配向用膜材付きの基板」と対応しないことは前述の通りですが、当該「基板Ｗ」は、同様に、参考資料３発明の「光配向用膜材付きの基板」とも対応するものでもありません。このように、甲第２号証に記載された発明では、仮にステージを設ける構成を採用した場合でも、当該ステージにより搬送される基板が参考資料３のステージとは全く異なるものでありますから、このような場合において、ステージの移動方法のみを、移動させる対象物の全く異なるステージに適用することが想到容易であるとは到底考えられません。したがって、甲第２号証に記載された発明の基板Ｗを移動させるステージの動作を、偏光光を光配向用膜材付きの基板に直接照射する参考資料３発明に適用することは、本件特許出願当時の当業者にとって容易に想到できることではありません。
（上記意見書１１頁１２〜２１行）
　
（イ）この主張については、上記イ（イ）で検討したとおりであって、上記（ア）の被請求人の主張は、採用することはできない。
　
オ　小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明２は、参考資料３発明及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）本件訂正発明３について
ア　対比
　本件訂正発明３と参考資料３発明とを対比する。
（ア）上記第３，１（５）及び同２（５）での検討に照らして、本件訂正発明３は、本件訂正発明２から、「前記照射ユニットは、前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に対し、偏光子からの偏光光を直接照射して、往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにする」及び「かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、」との発明特定事項を除き、「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、」との発明特定事項を付加した上で、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、「第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該」第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、「第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該」第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されているとの構成を付加したもの（前記の「」内の記載を付加したもの）であるといえる。
　
（イ）そうすると、本件訂正発明３と参考資料３発明とを対比するに、上記（１）アでの検討を踏まえると、本件訂正発明３と参考資料３発明は、上記（１）ア（カ）ａの相違点１から、「かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、」との発明特定事項を除いた、相違点１´、及び、下記点で相違し、その余の点で一致すると認められる。
　
（ウ）本件訂正発明３の「第一第二の各ステージ」は「アライメントマークを有し、」「前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており、」「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ、」、さらに、「第一第二の各ステージ」には、「搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに調整する基板アライナーが設けられ」、第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には、「第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の」該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され、第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には、「第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の」該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されているのに対して、参考資料３発明のワークステージ、ステージ移動機構及び光照射部２０Ａ，２０Ｂは、このようなものと特定されない点（以下、「相違点４」という。）。
　
イ　判断
（ア）相違点１´は、相違点１から発明特定事項を除いたものであるから、上記（１）イ（ア）で検討したとおりである。
　
（イ）相違点４について検討する。
ａ　参考資料３発明は、光配向膜５１に偏光光を出射する、液晶素子の製造に関する光照射装置である偏光光照射装置であるところ、参考資料３発明が、光配向膜５１の光配向を行なう、液晶素子の製造に関する光照射装置である以上、光配向膜５１と光照射部２０Ａ，２０Ｂの偏光方向との精度が考慮されるべきものであることは技術常識である。
　そして、参考資料３発明を発明として実施するに際して、「光配向膜５１の光配向を行なう、液晶素子の製造に関する光照射装置である偏光光照射装置」である参考資料３発明と同じ技術分野である、「液晶表示板製造分野にて使用される液晶表示装置に用いられる基板上において配向膜に配向性を付与するための光配向照射装置」であって「光方向を変化させるような回転ずれは、製造する液晶表示装置の画像品質において問題となる。具体的には、一部の石英基板からの照射光の偏光方向に回転ずれが生じた場合、その部分では表示する画像がムラとして現れることとなる」との課題を解決する発明である甲５発明が公知のものである。
　
ｂ　そうすると、参考資料３発明が当然に有する課題である光配向膜５１と光照射部２０Ａ，２０Ｂの偏光方向との精度の課題を解決するために甲５発明の「ステージ４に基板９を設置した状態で」「偏光方向確認処理を実行」した構成を採用することを妨げる格別の理由は見当たらないところ、当該構成は、「偏光方向に基づいて、」「基板９を設置した」「ステージ」及び「可動台５５」に結合した「回転部５４を回転させ偏光方向が適正となる補正処理」を行う構成であって、その機械的駆動部である「ステージ４」、「可動台５５」及び「回転部５４」等を備えた走査手段は、本件特許発明３の「搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナー」に相当する。
　
ｃ　ここで、甲５発明は、照射される偏光光の偏光軸とステージに設置された基板の向きとの関係情報を、照射される偏光光の偏光方向を検知する「偏光センサー」によって得ているが、基板にアライメントマークを設けて、アライメントマークの位置情報によって、設定された方向と基板の向きとの関係情報を得ることは、配向処理を行う際の基板方向の調整において周知技術である（必要ならば、特開２０００−２２１４６１号公報、特開２００２−８２３３４号公報、特開２００５−２４９９３８号公報、特開２００６−１１３１８０号公報参照）。
　
ｄ　よって、参考資料３発明の「ワークステージ」として、甲５発明の機械的駆動部である「ステージ４」、「可動台５５」及び「回転部５４」を備えた走査手段を適用し、あわせて、基板にアライメントマークを設けて、アライメントマークの位置情報によって、設定された方向と基板の向きとの関係情報を得るという、配向処理を行う際の基板方向調整における周知技術を付加することは、当業者が容易に想到し得ることである。
　
ウ　本件訂正発明３において奏される効果について
（ア）本件特許明細書には、以下の記載がある。
「【発明の効果】
　【０００７】・・・
　また、請求項３記載の発明によれば、上記効果に加え、基板アライナーを備えているので、偏光光の偏光軸に対して基板が所定の向きに向いた状態で精度良く偏光光が照射される。このため、光配向処理の精度や品質を高く維持できる。」
　
（イ）しかしながら、上記イ（イ）での検討に照らして、上記本件訂正発明３が奏する効果は格別のものとはいえない。
　
エ　被請求人の主張
（ア）被請求人は、被請求人の意見書２で、概略次のように主張する。
　甲第２号証の装置は、マスク保持部１１を移動させることにより、基板ＷとマスクＭの位置誤差が修正される物であり、基板が回転移動することを想定したものではないので、図６、図８及び図１０に示されるように、照射領域と、基板の搭載位置との間の距離は、正方形形状の基板の一辺とほぼ一致します。したがって、仮に一方の基板を４５度回転させた場合には、一方の基板の先端が、他方の基板と干渉することなく、一方の基板の後端が照射領域を通過することはできません。技術的にも、露光転写に先だって、都度、基板とマスクの位置誤差の修正を行う甲第２号証に記載された発明は、回路パターンの露光装置であるため、配向用の膜材に光配向を与える場合と異なり、基板の前辺を搬送方向と垂直以外の方向に調整する技術的理由は存在せず、むしろ、基板とマスクの位置誤差の修正にかかる時間をできるだけ短くするために、照射領域と基板搭載位置を基板の一辺とほぼ一致するように設計するものです。よって、甲第２号証は、基板がいずれの向きに調整された場合であっても、一方の基板と他方の基板とが接触しないスペースについて特定した上記の構成を一切開示も示唆もしていません。また、参考資料３及び甲第５号証は、二つのステージを有する構成について開示していないから、当然二つのステージの干渉についての記載はなく・・・。
（上記意見書１５頁１〜１７行）
　
（イ）また、被請求人は、被請求人の上申書で、概略次のように主張する。
　本件訂正特許発明３では、アライメントセンサによって、ステージに載置された基板のアライメントマークを検出し、検出したアライメントマークの位置情報に基づいて、基板の向きを調整している一方で、甲５発明では、偏光センサーを用いて、紫外線照射光源からの光の偏光方向を検出し、かかる偏光方向と関連する偏光子の回転ずれに基づいて基板を調整する点で異なります。
　したがって、甲第５号証は、少なくとも本件訂正特許発明３の「アライメントマークを有し、…基板」、「前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサ」及び「前記第一第二の各ステージには、前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて、搭載された基板の向きを、照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ」との構成を開示しておりません。
（被請求人の上申書１１頁３〜８行）
　
（ウ）しかしながら、参考資料３発明に甲第２号証に記載された発明の構成を適用しつつ、参考資料３発明が当然に有する課題を解決するために、甲５発明の構成を合わせて適用した際に、甲５発明が「回転部５４を回転させ偏光方向が適正となる補正処理も行」うものであることを考慮して、「回転部５４を回転させ偏光方向が適正となる補正処理も行」った際に支障が生じないようにし、あわせて、配向処理を行う際の基板方向調整における周知技術を付加することは、発明を実施するに際して、当業者が当然に考慮すべき事項である。
　また、その際にどの程度考慮すべきかは、適宜定めるべき事項であって、本件訂正発明３も具体的な角度を定めていないことに照らして、４５°に係る主張は請求項の記載に基づくものではない。
　したがって、上記（ア）及び（イ）の被請求人の主張は、採用することはできない。
　
オ　小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明３は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明、甲５発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）本件訂正発明４について
ア　対比
　本件訂正発明４と参考資料３発明とを対比する。
（ア）上記第３，１（６）及び同２（６）での検討に照らして、本件訂正発明４は、本件訂正発明３から、「第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該」及び「第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該」との発明特定事項を除き、「かつ、前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ、前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり、」及び「前記ステージ移動機構は、前記第一第二のステージの移動方向に沿ってガイド部材を備えており、このガイド部材は、前記第一のステージの移動のガイドと前記第二のステージの移動のガイドとに兼用された、」との発明特定事項を付加したものであるといえる。
　
（イ）そうすると、本件訂正発明４と参考資料３発明とを対比するに、上記（３）アでの検討を踏まえると、本件訂正発明４と参考資料３発明は、上記（１）ア（カ）ａの相違点１、及び、下記の点で相違し、その余の点で一致すると認められる。
　
（ウ）本件訂正発明４の「ステージ移動機構」は、「第一第二のステージの移動方向に沿ってガイド部材を備えており、このガイド部材は、前記第一のステージの移動のガイドと前記第二のステージの移動のガイドとに兼用され」るのに対して、参考資料３発明のステージ移動機構は、このようなものと特定されない点（以下、「相違点５」という。）。
　
イ　判断
（ア）相違点１については、上記（１）イ（ア）で検討したとおりである。
　
（イ）相違点５について検討する。
　参考資料３発明における「ワークステージを直線移動させるステージ移動機構」がガイド部材を備えるか不明であり、甲第２号証に記載された発明の「基板搬送機構１４は、基板Ｗを保持及び搬送する」構成においてガイド部材を備えるか不明である。
　しかしながら、ステージ移動機構が、ステージの移動方向に沿ってガイド部材を備える技術は、周知技術である（甲第５号証　「ＬＭレール５１ａ，５１ｂ」、特開２００８−１９１３０２号公報　特に段落【００１７】、図１，６−９　参照）から、参考資料３発明に、当該周知技術を適用して、本件訂正発明４に係る上記相違点５の構成となすことは、当業者が容易になし得ることである。
　したがって、本件訂正発明４は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
ウ　本件訂正発明４において奏される効果について
（ア）本件特許明細書には、以下の記載がある。
「【発明の効果】
　【０００７】・・・
　また、請求項４記載の発明によれば、上記効果に加え、ガイド部材が第一第二のステージの移動に兼用されるので、ステージ移動機構の構成がシンプルになり、また装置のコストも安価にできる。」
　
（イ）しかしながら、上記イ（イ）での検討に照らして、上記本件訂正発明４が奏する効果は格別のものとはいえない。
　
エ　被請求人の主張
（ア）被請求人は、被請求人の意見書２で、概略次のように主張する。
　甲第２号証に記載された発明は、露光領域を通過した基板が、Ｙ方向に移動した後に、後退するのであって、前進到達位置におてステージが後退に転じるとの構成を備えるものではありません。なお、甲第２号証の図８及び図１０に示される実施形態は、本件特許発明４とは、基板の移動経路が全く異なるから、本件特許発明４とは一切関わりがありません。例えば、図８（ｂ）において、第２の基板は、後退して照射領域にを通過しているのであって、前進して照射領域を通過していません。同様に、図１０（Ｃ）においても第２の基板は、後退して照射領域を通過しているのであって、前進して照射領域を通過していません。したがって、甲第２号証に記載された発明は、前進して第１及び第２の基板が、照射領域を通過した後に前進到達位置において後退に転じる、との構成を開示しておりません。
（上記意見書１７頁最下行〜１８頁１０行）
　
（イ）しかしながら、往復移動とＹ方向移動を分けて抽出することについては、（１）イ（ア）で検討したとおりであって、上記（ア）の被請求人の主張は、採用することはできない。
　
オ　小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明４は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（５）本件訂正発明５について
　上記第３，１（７）及び（８）並びに同２（７）及び（８）での検討に照らして、本件訂正発明５は、請求項１ないし４を引用する形式のものであって、物の発明である請求項１を方法の発明として記載したものであった請求項５を、独立形式の請求項とする訂正をした上で、物の発明である本件訂正発明３の構成の一部を方法の発明の構成として付加したものであって、実質的には、物の発明である本件訂正発明３を方法の発明として記載したものであるといえる。
　したがって、上記（３）での検討に照らして、本件訂正発明３が、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明、甲５発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである以上、本件訂正発明３と同様の理由により、本件訂正発明５は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明、甲５発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
３　結論
　以上のとおり、本件訂正発明１、２及び４は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、また、本件訂正発明３及び５は、参考資料３発明、甲第２号証に記載された発明、甲５発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　したがって、上記各発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、請求人が主張する無効理由（上記第５，１）及び無効理由通知１で通知した無効理由（上記第５，２）について検討するまでもなく、無効とすべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。