【事件の表示】
　特願２０１５−　５１６６９「イメージセンサーとその形成方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　５月１２日出願公開、特開２０１６−　７６６８２、請求項の数（６）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２７年３月１６日（パリ条約に基づく優先権主張　外国庁受理２０１４年１０月６日、米国）の出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２７年　３月１６日　出願審査請求
　平成２８年　５月１６日　拒絶理由通知
　平成２８年　８月２２日　意見書・手続補正書
　平成２９年　１月３０日　拒絶査定
　平成２９年　４月２８日　審判請求・手続補正書
　平成２９年１１月　２日　拒絶理由通知（当審）
　平成２９年１２月２２日　意見書・手続補正書
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし６に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明６」という。）は、平成２９年１２月２２日付け手続補正書による補正後の特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載される事項により特定される、次のとおりのものと認める。
　「【請求項１】
　赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素と、
　それぞれ、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素中に設置されるＲ、Ｇ、および、Ｂフィルターと、
　上面が前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上面より高く、前記ＩＲ画素に設置されるＩＲパスフィルターと、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上に設置され、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽するＩＲフィルターと、
　前記ＩＲフィルターと前記ＩＲパスフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造を含み、
　前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低く、
　前記ＩＲパスフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造の底面は、前記ＩＲフィルターの上面より低いこと特徴とするイメージセンサー。
　　【請求項２】
　さらに、特定バンドの波長を有するＩＲ光を物体に照射するように設置される光源ユニットを含み、前記ＩＲフィルターにより遮蔽される前記ＩＲ光の前記特定波長は、前記光源ユニットの前記ＩＲ光の前記特定バンドの前記波長と一致し、前記ＩＲフィルターと前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターが結合したものは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽することを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサー。
　　【請求項３】
　前記ＩＲフィルターは、前記特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する選択的ＩＲフィルター、または、ＩＲバンド全体の波長を有するＩＲ光を遮蔽するＩＲカットオフフィルターを含むことを特徴とする請求項１と２のいずれかに記載のイメージセンサー。
　　【請求項４】
　画素アレイ領域と前記画素アレイ領域を囲む周辺領域を有し、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター、前記ＩＲフィルターと前記ＩＲパスフィルターが前記画素アレイ領域中に設置され、前記ＩＲパスフィルターがさらに、遮光素子として、前記周辺領域中に設置されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のイメージセンサー。
　　【請求項５】
　前記マイクロレンズ構造上に設置されるダブルバンドパスフィルターを更に備え、
　前記ダブルバンドパスフィルターは、可視帯の第一波長を有する光線、および、特定ＩＲバンドの第二波長を有する光線を通過させ、前記特定ＩＲバンドの前記第二波長は、前記光源ユニットの前記ＩＲ光の前記特定波長と一致することを特徴とする請求項２に記載のイメージセンサー。
　　【請求項６】
　複数のフォトダイオードを含み、前記各フォトダイオードが、赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素の一つの画素中に設置される半導体基板を供給する、工程と、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、それぞれ、Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターを、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターで開口を有するように形成する工程と、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター上、および、前記開口の中と上部に、ＩＲフィルター材料層を形成する工程と、
　前記ＩＲフィルター材料層のうち、前記ＩＲ画素に位置する部分を除去して、ＩＲフィルターを形成し、前記ＩＲフィルターは、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽し、前記ＩＲフィルターが、前記ＩＲ画素で、開口を有する工程と、
　前記ＩＲ画素で、前記ＩＲフィルターの前記開口中に、ＩＲパスフィルターを形成し、前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低く、キャビティが前記ＩＲパスフィルター上に形成される工程と、
　前記ＩＲフィルターと前記ＩＲパスフィルター上にマイクロレンズ構造を形成し、前記マイクロレンズ構造が、前記ＩＲパスフィルター上に形成される前記キャビティ中に充填される工程と、
　を含むことを特徴とするイメージセンサーの形成方法。」
第３　原査定の概要
　原査定の概要は次のとおりである。
　１　理由１（新規性）
　この出願の請求項１及び３に係る発明は、下記引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。
　２　理由２（進歩性）
　この出願の請求項１ないし３及び５ないし１０に係る発明は、下記引用文献１ないし５に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
引用文献等一覧
１．特開２００７−１８９３７６号公報
２．特開２００８−００８７００号公報
３．特開平０５−０８０２１３号公報
４．特開平０６−３４２１４６号公報
５．特開２０１３−１１５６２５号公報
第４　当審拒絶理由の概要
　平成２９年１１月２日付けで当審より通知した拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）の概要は、次のとおりである。
　１　理由１（明確性）
（１）本願発明１ないし５について
　ａ　請求項１の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターと前記ＩＲフィルターは開口を有し」との記載が、「イメージセンサー」のどのような構造又は特性を表しているのかが不明である。
　ｂ　請求項１の「前記ＩＲパスフィルターは、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターと前記ＩＲフィルターの前記開口中に充填され」との記載が、「イメージセンサー」のどのような構造又は特性を表しているのかが不明である。
　ｃ　請求項１の「前記マイクロレンズ構造が、前記ＩＲパスフィルター上に形成される前記キャビティ中に充填される」との記載が、「イメージセンサー」のどのような構造又は特性を表しているのかが不明である。
　ｄ　請求項１に「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの前記上面より低く」と記載されているが、当該記載以前に、「ＩＲフィルター」の上面については記載されていないから、「前記ＩＲフィルターの前記上面」が何を指し示すのかが不明である。
　ｅ　請求項１を引用する請求項２ないし５についても、上記ａないしｄと同様の点が指摘される。
　ｆ　よって、本願発明１ないし５は明確でない。
（２）本願発明２ないし５について
　ａ　請求項２の「前記ＩＲフィルターに結合される前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」との記載の意味が不明確である。
　ｂ　請求項２を引用する請求項３ないし５についても、上記ａと同様の点が指摘される。
　ｃ　よって、本願発明２ないし５は明確でない。
（３）本願発明５について
　ａ　請求項５には、「マイクロレンズ構造」について二回記載されているが、「マイクロレンズ構造」を二重に設けることを意味するのか、それとも、単一の構成について繰り返し記載しているだけであるのかが不明である。
　ｂ　請求項５に「前記光源ユニット」と記載されているが、当該記載に対応する「光源ユニット」との語は、選択的に引用される請求項２にしか存在せず、請求項５が請求項２を引用しない場合に、「前記光源ユニット」が指し示すものが不明である。
　ｃ　よって、本願発明５は明確でない。
（４）本願発明６について
　ａ　請求項６の「前記ＩＲ画素に位置する前記ＩＲフィルター材料層の一部を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」との記載の意味が不明確である。
　ｂ　よって、本願発明６は明確でない。
　２　理由２（サポート要件）
（１）本願発明２ないし５について
　ａ　請求項２には、「前記ＩＲフィルターに結合される前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」と記載されているが、「Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター」が、単体で、「可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」ことは、発明の詳細な説明に記載されていない。
　ｂ　請求項２を引用する請求項３ないし５についても、上記ａと同様の点が指摘される。
　ｃ　よって、本願発明２ないし５は発明の詳細な説明に記載されたものでない。
（２）本願発明５について
　ａ　請求項５には、「マイクロレンズ構造」について二回記載されているが、「マイクロレンズ構造」を二重に設けることは、発明の詳細な説明に記載されていない。
　ｂ　よって、本願発明５は発明の詳細な説明に記載されたものでない。
（３）本願発明６について
　ａ　請求項６には、「前記ＩＲ画素に位置する前記ＩＲフィルター材料層の一部を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」と記載されているが、「『ＩＲ画素に位置するＩＲフィルター材料層』のうち、一部を除去する」ことは、発明の詳細な説明に記載されていない。
　ｂ　よって、本願発明６は発明の詳細な説明に記載されたものでない。
　３　理由３（進歩性）
　この出願の請求項１ないし６に係る発明は、下記引用文献１ないし４に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
引用文献等一覧
１．特開２００８−８７００号公報
２．特開平５−２５１６７４号公報
３．特開２０１４−２２６７５号公報
４．特開２０１１−１９９７９８号公報
第５　引用文献の記載事項及び引用発明
　１　引用文献１の記載事項並びに引用発明１−１及び１−２
（１）引用文献１の記載事項
　原査定及び当審拒絶理由において引用された特開２００８−８７００号公報（以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。（当審注．下線は当審において付した。以下において同じ。）
　ア「【０００１】
　
本発明は、所定の距離位置に存在する被写体像（距離画像）を取得する距離画像センサに関し、特に、距離画像の取得とともに、通常の画像（可視光画像）を取得する距離画像センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
　近年、撮影対象空間に赤外のパルス光を照射し、所定時間経過後に被写体から反射されてくるパルス光を撮像することにより、所定の距離位置（光路差）に存在する被写体の画像（距離画像）を取得する光路差検出方式の距離画像センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載の距離画像センサでは、赤外光を受光するために固体撮像装置が用いられ、また、所定距離に位置する被写体から反射されたパルス光のみを受光するために、電気光学シャッタやイメージインテンシファイヤ等の高速シャッタ装置が設けられている。
【０００３】
　また、距離画像センサにおいて、距離画像と同時に通常の可視光画像を取得することは、画像中からの特定の被写体の切り出し（背景分離）や、３次元画像の作成などを行ううえで有用である。しかしながら、上記の距離画像センサに用いられる固体撮像装置は、赤外光受光用の撮像装置であるため、距離画像と可視光画像とを同時に取得するには、可視光受光用の固体撮像装置が別途必要であるとともに、入射光を各固体撮像装置へ導くためのプリズムなども必要となる。
【０００４】
　そこで、本出願人は、上記の距離画像センサの構成を簡素化し、サイズやコスト面の向上を図ることを目的とした固体撮像装置を提案している（特許文献２参照）。この固体撮像装置は、単板式でありながら可視光および赤外光を同時に受光することができるとともに、赤外光および可視光の受光期間をそれぞれ独立して制御することができる。この固体撮像装置を用いることにより、上記のプリズムやシャッタ装置を排除し、距離画像センサの構成を簡素化することができる。
【特許文献１】米国特許第６０５７９０９号明細書
【特許文献２】特願２００６−１７２６４９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　ところで、上記の距離画像センサは、人の目視あるいは通常の撮像へ影響を与えないように、可視光とは波長の異なる赤外光を用いて距離画像の取得を行っているが、実際に距離画像センサに入射される赤外光には、赤外発光部から発せられたパルス光の被写体からの反射成分だけでなく、太陽光や白熱灯等の外光中に存在する赤外光成分も含まれるため、距離撮像に影響が生じる。このため、状況によっては距離画像のＳＮ比が著しく低下して、距離情報を正確に取得することができないといった問題がある。
【０００６】
　本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、外光中の赤外成分による距離画像の劣化を防止することができる、可視光画像同時取得型の距離画像センサを提供することを目的とする。」
　イ「【００１３】
　
図１において、本発明に係わる距離画像センサ２は、
レンズ５によって集光された光を光電変換して画素信号を出力する固体撮像装置６と、
から構成されている。
　ウ「【００１９】
　
図２は、固体撮像装置６の構成を示す。固体撮像装置６は、
青色（Ｂ）光を受光してＢ信号電荷を蓄積するＢ受光部２０ａと、緑色（Ｇ）光を受光してＧ信号電荷を蓄積するＧ受光部２０ｂと、赤色（Ｒ）光を受光してＲ信号電荷を蓄積するＲ受光部２０ｃと、赤外（ＩＲ）光を受光してＩＲ信号電荷を蓄積するＩＲ受光部２０ｄと、
から構成されている。
　エ「【００２５】
　
図４は、図２のＩ−Ｉ線に沿う、Ｂ受光部２０ａを含む画素の断面を示す。ｎ型半導体基板（ｎ型シリコン基板）３０の表層には、ｐウェル層３１が形成されており、ｐウェル層３１の深部には、ｎ型半導体層からなるＢ信号電荷蓄積部３２が形成されている。
【００２６】
　
Ｂ信号電荷蓄積部３２とその下のｐウェル層３１との界面に形成されるｐｎ接合部３２ａが、Ｂ光を光電変換してＢ信号電荷を生成するフォトダイオードとなっている。
（中略）
【００３１】
　
分光層４０は、画素ごとに区分けされた複数種類の光学フィルタによって構成されており、本画素の平坦化層３９上には、可視光からＢ光（波長：約４００ｎｍ〜５００ｎｍ）のみを透過させるＢフィルタ４０ａと、ＩＲ光（波長：約８００ｎｍ〜１５００ｎｍ）を遮断するＩＲカットフィルタ４０ｂとが順に積層されている。さらに、分光層４０の上には、開口３３ａ内へ光を集光するためのマイクロレンズ４１が形成されている。
　オ「【００３２】
　
図５は、図２のII−II線に沿う、Ｇ受光部２０ｂを含む画素の断面を示す。
【００３３】
　本画素において、開口３３ａ下のｐウェル層３１中には、Ｇ信号電荷蓄積部４２が形成されている。
Ｇ信号電荷蓄積部４２とその下のｐウェル層３１との界面に形成されるｐｎ接合部４２ａが、Ｇ光を光電変換してＧ信号電荷を生成するフォトダイオードとなっている。
（中略）
【００３５】
　そして、本画素の平坦化層３９上には、
可視光からＧ光（波長：約５００ｎｍ〜６００ｎｍ）のみを透過させるＧフィルタ４０ｃと、前述のＩＲカットフィルタ４０ｂとが順に積層されており、ＩＲカットフィルタ４０ｂの上には、マイクロレンズ４１が積層されている。
　カ「【００３６】
　
図６は、図２のIII−III線に沿う、Ｒ受光部２０ｃを含む画素の断面を示す。
【００３７】
　本画素において、開口３３ａ下のｐウェル層３１中には、Ｒ信号電荷蓄積部４３が形成されている。
Ｒ信号電荷蓄積部４３とその下のｐウェル層３１との界面に形成されるｐｎ接合部４３ａが、Ｒ光を光電変換してＲ信号電荷を生成するフォトダイオードとなっている。
（中略）
【００３９】
　そして、本画素の平坦化層３９上には、
可視光からＲ光（波長：約６００ｎｍ〜７００ｎｍ）のみを透過させるＲフィルタ４０ｄと、前述のＩＲカットフィルタ４０ｂとが順に積層されており、ＩＲカットフィルタ４０ｂの上には、マイクロレンズ４１が積層されている。
　キ「【００４０】
　
図７は、図２のIV−IV線に沿う、ＩＲ受光部２０ｄを含む画素の断面を示す。
【００４１】
　本画素において、開口３３ａ下のｐウェル層３１中には、ＩＲ信号電荷蓄積部４４が形成されている。
ＩＲ信号電荷蓄積部４４とその下のｐウェル層３１との界面に形成されるｐｎ接合部４４ａが、ＩＲ光を光電変換してＩＲ信号電荷を生成するフォトダイオードとなっている。
（中略）
【００４３】
　そして、本画素の平坦化層３９上には、
ＩＲ光（波長：約８００ｎｍ〜１５００ｎｍ）を透過させ、可視光をカットする赤外光透過・可視光カットフィルタ４０ｅと、透明膜４０ｆとが順に積層されており、透明膜４０ｆの上には、マイクロレンズ４１が積層されている。
（２）引用発明１−１（物の発明）
　上記（１）より、引用文献１には、下記の発明（以下、「引用発明１−１」という。）が記載されていると認められる。
　「Ｒ受光部２０ｃを含む画素、Ｇ受光部２０ｂを含む画素、Ｂ受光部２０ａを含む画素とＩＲ受光部２０ｄを含む画素と、
　それぞれ、前記Ｒ受光部２０ｃを含む画素、前記Ｇ受光部２０ｂを含む画素、及び前記Ｂ受光部２０ａを含む画素中に設置されるＲフィルタ４０ｄ、Ｇフィルタ４０ｃ、及び、Ｂフィルタ４０ａと、
　前記ＩＲ受光部２０ｄを含む画素に設置される赤外光透過・可視光カットフィルタ４０ｅと、
　前記赤外光透過・可視光カットフィルタ４０ｅ上に設置された透明膜４０ｆと、
　前記Ｒフィルタ４０ｄ、Ｇフィルタ４０ｃ、及び、Ｂフィルタ４０ａの上に設置され、ＩＲ光（波長：約８００ｎｍ〜１５００ｎｍ）を遮断するＩＲカットフィルタ４０ｂと、
　前記ＩＲカットフィルタ４０ｂと前記透明膜４０ｆ上に設置されるマイクロレンズ４１を含むことを特徴とする距離画像センサ。」
（３）引用発明１−２（物を生産する方法の発明）
　引用文献１には、「距離画像センサ」を生産する方法について明記されていないが、当該技術分野における技術常識を参酌すれば、上記（１）の引用文献１の記載事項より、下記の発明（以下、「引用発明１−２」という。）を導出することができる。
　「複数のフォトダイオードを含み、前記各フォトダイオードが、Ｒ受光部２０ｃを含む画素、Ｇ受光部２０ｂを含む画素、Ｂ受光部２０ａを含む画素とＩＲ受光部２０ｄを含む画素の一つの画素中に設置されるｎ型半導体基板３０を供給する、工程と、
　前記Ｒ受光部２０ｃを含む画素、前記Ｇ受光部２０ｂを含む画素、及び、前記Ｂ受光部２０ａを含む画素に、それぞれ、Ｒフィルタ４０ｄ、Ｇフィルタ４０ｃ、及び、Ｂフィルタ４０ａを形成する工程と、
　前記ＩＲ受光部２０ｄを含む画素に、赤外光透過・可視光カットフィルタ４０ｅを形成する工程と、
　前記Ｒフィルタ４０ｄ、前記Ｇフィルタ４０ｃ、及び、前記Ｂフィルタ４０ａ上に、ＩＲ光（波長：約８００ｎｍ〜１５００ｎｍ）を遮断するＩＲカットフィルタ４０ｂを形成する工程と、
　前記赤外光透過・可視光カットフィルタ４０ｅ上に、透明膜４０ｆを形成する工程と、
　前記ＩＲカットフィルタ４０ｂ、及び、前記透明膜４０ｆ上に、マイクロレンズ４１を形成する工程と、
　を含むことを特徴とする距離画像センサの形成方法。」
　２　引用文献２の記載事項
　当審拒絶理由において引用された特開平５−２５１６７４号公報（以下、「引用文献２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００１５】その後は、図４に示すように、従来と同様の方法により
カラーフィルタ層１０ａ，１０ｂ，１０ｃ及びその上に保護膜１１を形成し、保護膜１１表面にはオンチップレンズ１１ａを加工する。
　３　引用文献３の記載事項
　当審拒絶理由において引用された特開２０１４−２２６７５号公報（以下、「引用文献３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　ア「【要約】
【課題】受光部及び回路部に対する遮光性を向上することで、受光部及び回路部に配置されているトランジスターの光リーク電流の増加を抑制し、センシング精度を向上させる。
【解決手段】本発明のセンシング装置は、光電変換素子を含む受光部及び受光部を駆動する回路部を有するセンサー基板と、受光部と回路部とに平面的に重なって形成され光電変換素子に対応した開口部を有する遮光膜と、受光部と回路部とに平面的に重なって形成された特定波長カットフィルターと、を備えている。遮光膜及び特定波長カットフィルターによって、トランジスターのリーク電流の増加となる不要な光を抑制することができる。さらに、遮光膜に遮光性が低下した領域が発生しても、特定波長カットフィルターによって遮光性は確保されているので、センシング精度の低下となるトランジスターのリーク電流の増加は抑制される。」
　イ「【請求項１】
　光電変換素子を含む受光部、及び前記受光部を駆動する回路部を有するセンサー基板と、
　前記受光部と前記回路部とに平面的に重なって形成され、前記光電変換素子に対応した開口部を有する遮光膜と、
　前記受光部と前記回路部とに平面的に重なって形成された特定波長カットフィルターと、
を備えていることを特徴とするセンシング装置。」
　４　引用文献４の記載事項
　当審拒絶理由において引用された特開２０１１−１９９７９８号公報（以下、「引用文献４」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【０１６４】
　［第５例］
　図１１は、光源（の特定波長光）と、光学フィルタ部と、撮像デバイス構造の組合せの第５例を示す図である。
【０１６５】
　第５例は、可視光の通常画像を取得可能な第２例や第４例に対する変形例であり、可視光帯を色分別して受光するように変形することでカラー画像撮像に対応するものである。このため、可視光画素と対応する部分には可視光領域の色分離に対応する波長を透過するカラーフィルタを設け、特定波長成分用の赤外画素と対応する部分には可視光を吸収または反射しかつ赤外光領域の少なくとも特定波長成分を透過するカラーフィルタを設ける。
【０１６６】
　たとえば、図１１（１）は、図７（１）や図１０（１）と対応し、撮像光学系の光路中に特殊な光学バンドパスフィルタ５０８を設ける際に、固体撮像素子３１４とは別の光学素子として光学バンドパスフィルタ５０８を設ける場合を示す。一方、図１１（２）は、図７（２）や図１０（２）（詳しくは図１０（６））と対応し、撮像光学系の光路中に特殊な光学バンドパスフィルタ５０８を設ける際に、光学バンドパスフィルタ５０８を固体撮像素子３１４上に一体で設ける構成を示す。図示しないが、図７（３）および図７（４）と対応するように、マイクロレンズ３１８と光学バンドパスフィルタ５０８の配置順を逆にすることで保護層３１９を使用しない（あるいは極めて薄いものにする）構造にすることも考えられる。
【０１６７】
　このような第５例の基本的な構成は、第２例や第４例と同様であるが、可視光帯を色分別して受光するように可視光画素と対応する部分には色分離用のカラーフィルタ（色フィルタ群３１２）を有する色フィルタ部５２０が設けられている。第２例や第４例と同様に、受光側の撮像光学系では、可視光を透過し、かつ、赤外光領域については光源から発せられた特定波長帯域の光だけを透過しその他の赤外光をカットする光学バンドパスフィルタ５０４や光学バンドパスフィルタ５０８を設ける。
【０１６８】
　カラー画像を撮影する可視光画素にはカラー画像を取得するためにたとえば、青、緑、赤の各色の画素を有する構成にする場合は、それぞれの波長成分以外を吸収または反射するカラーフィルタを設けた画素と、被写体に照射する特定波長光を検知し距離情報を得るための赤外画素を設ける。赤外画素には、可視光成分の波長を吸収または反射により除去するとともに赤外光領域に関しては少なくとも特定波長に対して透過性を持つ赤外光フィルタＩＲを設ける。
【０１６９】
　色フィルタ部５２０は色フィルタ部５１０と対応するもので、特に、図８（２）に示した第２例に対する第２変形例における可視光カットフィルタ５１２Ｂと対応する。構成としては、可視光カットフィルタ５１２Ｂの全域通過の白色フィルタＷを、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）のそれぞれに対応する色フィルタを配置した色分離フィルタＲ／Ｇ／Ｂに置き換えたものが色フィルタ部５２０である。色フィルタ部５２０は、赤外画素と対応する部分では可視光を吸収しかつ赤外光を通過する赤外光フィルタＩＲを使用する。
【０１７０】
　以下では、第４例に対する変形例で説明する。太陽光の地上到達波長特性に注目し、太陽光量の非常に少ないたとえば７６０ｎｍ、９４０ｎｍ、１１３０ｎｍ、１４００ｎｍ近傍の特定波長帯域を利用する。そして、実現するカメラシステムでは、撮影被写体に対して照射する光源（発光部３２２）として７５０ｎｍ以上の赤外帯域で４つの特定波長帯域の内１つ以上の波長成分を含む光を発する光源を発光部３２２に用いる。
【０１７１】
　固体撮像素子３１４やカメラシステムとしてこのような構成とすることで、青、緑、赤の波長成分は撮像光学系中の光学バンドパスフィルタ５０８で透過されるので、カラー画像は従来と同様に固体撮像素子３１４上のカラーフィルタにてそれぞれの成分として受光され光電変換される。一方、可視光成分の波長を吸収または反射により除去する赤外光フィルタＩＲを設けた赤外画素では青、緑、赤の波長成分は光電変換されることはない。
【０１７２】
　発光部３２２から特定波長光を発しての測距情報の取得では、被写体に照射された太陽光による赤外波長帯域の特定波長光成分を除く大部分の光は撮像光学系中の光学バンドパスフィルタ５０４や光学バンドパスフィルタ５０８を通過することができないので光電変換されない。一方、被写体に照射する特定波長光は、撮像光学系中の光学バンドパスフィルタ５０４や光学バンドパスフィルタ５０８を透過し、可視光成分の波長を吸収または反射により除去する赤外光フィルタＩＲを設けた赤外画素に受光され光電変換される。
【０１７３】
　被写体に照射した光源の特定波長光はカラー画像用の色分離フィルタＲ／Ｇ／Ｂの分光特性によっては可視光画素に集光され光電変換される可能性があり、カラー画像の色成分に対するノイズとなり得る。しかしながら、それぞれのカラー画素には本来の可視光成分（青、緑、赤の各別の光）が非常に大量に光電変換されることから、色成分に対するノイズは非常に限定的で影響は殆どない。仮に、暗い場所の場合は、色分離フィルタＲ／Ｇ／Ｂへの照射光が入り光電変換される影響があるが、たとえば、Ｒ−ＩＲ・α、Ｇ−ＩＲ・β、Ｂ−ＩＲ・γという差分演算をすることで特定波長光の影響を抑制できる。
【０１７４】
　光学フィルタ部５００および色フィルタ部５２０を第５例のような構成とすることで、単一の固体撮像素子３１４にてカラー画像と赤外情報を同時に取得することができる。つまり、色フィルタ部５２０により可視光画素（特に色画素）と赤外画素が区別されるので、カラー画像と被写体に照射する光源による特定波長光に基づく測定画像を同時に取得することが可能であり、被写体に照射した特定波長光の信号を用いて昼間の屋外でも測距が可能となる。
【０１７５】
　屋外では地上に到達する太陽光は主に大気中の水分にて７６０ｎｍ近傍、９４０ｎｍ近傍、１１３０ｎｍ近傍、１４００ｎｍ近傍の光が吸収される。このような特定波長の光を被写体を照射し、その反射光を透過する光学バンドパスフィルタ５０６を設けることにより直接的な外乱によるＳ／Ｎ比（Signal-Noise ratio：信号雑音比）を大幅に改善できる。固体撮像素子３１４あるいは撮像システムをこのような構成とすることで、屋外における外乱ノイズの極めて少ない信号を得ることが可能となる。また、特定波長光以外の不要な入射太陽光成分が減少することで飽和の問題も解消される。これにより、室内はもちろん太陽光下でも精度の高い距離計測や物体検出が可能になる。」
　５　引用文献５の記載事項並びに引用発明２−１及び２−２
（１）引用文献５の記載事項
　原査定において引用された特開２００７−１８９３７６号公報（以下、「引用文献５」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　ア「【０００１】
　
本発明は、
固体撮像装置
に関する。
（中略）
【００２３】
　本発明によれば、固体撮像装置内に赤外カットフィルタが形成されるため、固体撮像装置と赤外カットフィルタとをそれぞれ別個に備えるカメラモジュールと比べて、厚みの薄いカメラモジュールを構成することが可能となる。」
　イ「【００２５】
　（第１の実施形態）
　図１は、本発明の第１の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成を示す断面図である。
【００２６】
　固体撮像装置１は、表面に複数の画素が形成された半導体基板２と、遮光層５と、赤外カットフィルタ層６と、カラーフィルタ層７と、複数のマイクロレンズ８とを備える。
【００２７】
　
半導体基板２に形成された画素の各々は、例えばフォトダイオードのように、入射光を光電変換する受光素子３と、受光素子３から出力される信号を読み出すための読み出し回路４とを含む。
【００２８】
　遮光層５は、入射光の一部を遮蔽するために、すなわち、入射光が受光素子３の受光面以外の部分に入射することを避けるために設けられている。
【００２９】
　赤外カットフィルタ層６は、全ての受光素子３の受光面を覆うように、遮光層５の表面に形成されている。尚、赤外カットフィルタ層６の構成の詳細については後述する。
【００３０】
　カラーフィルタ層７は、有機材料よりなり、赤外カットフィルタ層６の表面を覆うように、赤外カットフィルタ層６上に形成されている。
カラーフィルタ層７は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の光を取り出すために、分光特性の異なる３種類のカラーフィルタを含む。尚、３種類のカラーフィルタの各々は、平面視において、予め定められたパターンに従って、画素を１つずつ覆うように配列されている。
【００３１】
　マイクロレンズ８の各々は、受光素子３の各々と対応するように、カラーフィルタ層７の表面に形成されている。マイクロレンズの各々は、入射光を効率よく受光素子３の受光面へと集光するために設けられている。
（中略）
【００４０】
　（第２の実施形態）
　
図３は、本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成を示す断面図である。第２の実施形態に係る固体撮像装置１１の基本的な構造は、第１の実施形態に係るものと同様であるので、以下においては、相違点を中心に説明する。
【００４１】
　
固体撮像装置１１は、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７が半導体基板２の表面に対して部分的に形成されている
有機層１２を有している
【００４２】
　より詳細には、
赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７は、平面視において、所定の繰り返しパターンに従って、複数の受光素子３のうち一部のみを規則的に覆うように、遮光層５上に形成されている。
【００４３】
　
有機層１２は、光学的に透明な有機材料によって、遮光層５の表面のうち、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７が形成されていない部分を埋め込むように形成されている。
【００４４】
　そして、
マイクロレンズ８の各々は、受光素子３の各々と対応するように、カラーフィルタ層７及び有機層１２の表面に形成されている。
【００４５】
　
図４は、図３に示される固体撮像装置の製造方法を説明するための概略図である。
【００４６】
　本実施形態に係る固体撮像装置１１は、半導体製造プロセスに従って製造される。より具体的には、まず、
図４に示されるように、遮光層５の表面に、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７を、所定のパターンに従って受光素子３の一部を規則的に覆うように形成する。次に、光学的に透明な材料を、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７の隙間１７に埋め込むことによって、有機層１２を形成する。その後、カラーフィルタ層７及び有機層１２の表面に複数のマイクロレンズ８を形成すると、図３に示される固体撮像装置１１が形成される。
【００４７】
　ここで、本実施形態に係る固体撮像装置１１の利点について説明する。
【００４８】
　再度図３を参照して、
赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７によって覆われる画素は、カラーフィルタ層７の特性に応じて可視光（例えば、ＲＧＢ）を検出することができる。一方、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７によって覆われていない画素は、赤外線を検出することが可能である。
【００４９】
　赤外カットフィルタ層６は、半導体製造プロセスに従って形成されるため、赤外カットフィルタ層６の平面パターンを微細化することができる。よって、
図３に示されるように、複数の画素の一部を選択的に覆うように赤外カットフィルタ層６を形成すれば、可視光を検出する画素と、赤外線を検出する画素とを併せ持つ固体撮像装置１１を構成することが可能となる。
　ウ「【００５６】
　ここで、図７〜図１０を参照しながら、
カラーフィルタ層及び赤外カットフィルタ層の配列パターンについて説明する。尚、図７〜図１０に示される矩形の各々は、画素の各々に対応する領域を表す。また、図７〜図１０に示される「Ｒ」、「Ｇ」、「Ｂ」の表記の各々は、赤、緑、青の光を検出する画素の各々を表し、「ＩＲ」の表記は、赤外線を検出する画素を表す。
赤、緑、青の光を検出する画素の各々を、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素といい、赤外線を検出する画素をＩＲ画素という。
（中略）
【００６０】
　
図８は、本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置におけるフィルタ配列の一例を示す図である。
（２）引用発明２−１（物の発明）
　上記（１）より、引用文献５には、下記の発明（以下、「引用発明２−１」という。）が記載されていると認められる。
　「Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素とＩＲ画素と、
　赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の光を取り出すために前記Ｒ、Ｇ、及び、Ｂ画素中に設置された分光特性の異なる３種類のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層７と、
　前記ＩＲ画素に設置される有機層１２と、
　前記カラーフィルタ層７の下に設置された赤外カットフィルタ層６と、
　前記カラーフィルタ層７と前記有機層１２上に設置されるマイクロレンズ８を含むことを特徴とする固体撮像装置。」
（３）引用発明２−２（物を生産する方法の発明）
　上記（１）より、引用文献５には、下記の発明（以下、「引用発明２−２」という。）が記載されていると認められる。
　「フォトダイオード等の受光素子３を複数含み、各受光素子３が、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素とＩＲ画素の１つの画素中に設置される半導体基板２を供給する工程と、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、赤外カットフィルタ層６及び分光特性の異なる３種類のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層７を形成する工程と、
　光学的に透明な材料を、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７の隙間１７に埋め込むことによって、有機層１２を形成する工程と、
　カラーフィルタ層７及び有機層１２の表面に複数のマイクロレンズ８を形成する工程と、
　を含むことを特徴とする固体撮像装置の形成方法。」
　６　引用文献６の記載事項
　原査定において引用された特開平０５−０８０２１３号公報（以下、「引用文献６」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００３１】実施例２
本実施例は、図４に示す工程により、顔料を分散させた感光性ポリアミドを主体とした着色樹脂層の下地層として無色透明な感光性ポリアミド樹脂を用いて、カラーフィルターを作成した例を示す。
【００３２】３００×３２０ｍｍのガラス基板１上に、無色透明な感光性ポリアミド樹脂（ＰＡ−１０００Ｃ、宇部興産社製品）をスピンコートし、ホットプレートにより１００℃，５分間ベークして１０００Åの膜厚の透明感光性樹脂層２の下地層を設けた（図４（ａ）参照）。その後、感光性赤色樹脂材料（ＰＡ−１０１２Ｒ、宇部興産社製品）を下地層の上にスピンコートにより１．５μｍの膜厚に設け、ホットプレートにより、８０℃、１０分間ベークし赤色樹脂層（Ｒ層）３を設けた（図４（ｂ）参照）。次に、フォトマクス４を介して所望の部分を適切な光量でＵＶ硬化し、現像液に不溶なものとした（図４（ｃ）参照）。その後、専用現像液により着色樹脂層と下地層の未露光部分を同時に溶解除去した（図４（ｄ）参照）。この現像により顔料を含まない下地層も溶解除去されるのでガラス面上に顔料の残渣が生じることはない。そして、ホットプレートにより２００℃、１０分間ポストベークして赤色フィルターを得た（図４（ｄ）参照）。
【００３３】同様にして、緑色樹脂層（Ｇ層）５、青色樹脂層（Ｂ層）６を設け、緑，青フィルターを形成した（図４（ｅ）参照）。次に、白色層として無色透明な感光性ポリアミド樹脂（ＰＡ−１０００Ｃ、宇部興産社製品）をスピンコートし、ホットプレートにより、８０℃、１０分間ベークして１．６μｍの膜厚を形成した。次に、所望の部分をフォトマスクを介して適切な露光量でＵＶ硬化（図４（ｆ）参照）した後、専用現像液で未露光部分を溶解除去し、ホットプレートにより２００℃，１０分間ポストベークを行い、白色樹脂層（Ｗ層）２ａを設けた。これにより、赤，緑，青，白の４色カラーフィルターが得られた（図４（ｇ）参照）。
【００３４】最後に、保護層（ＰＡ−１０００Ｃ、宇部興産社製品）７をスピンコートにより２．０μｍの膜厚に設け、ホットプレートにより、８０℃，１０分間ベークした。その後にＵＶにより適切な露光量で全面露光した後、ホットプレートにより、２５０℃，１０分間ポストベークした（図４（ｈ）参照）。
【００３５】このようにして形成したカラーフィルターは、下地層を設けているので未露光部分の溶解除去の際に、ガラス基板上に着色材料の残渣が生じず、色特製，耐熱性，後工程の着色樹脂層、保護層の密着性に優れ、大面積全域に渡って欠陥のない良好なカラーフィルターとなった。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、着色樹脂層の下に下地層として顔料を含まない透明感光性樹脂層を設け、下地層と着色樹脂層の２層からなる同じパターンを形成するが、その下地層のパターニング時に、着色樹脂層の残渣を除去でき、後工程の各色の着色樹脂層の基板への密着性が良好なカラーフィルターを得ることができる。
【００３７】また、カラーフィルター上に保護層を形成する際に、保護層の密着性も良好となる効果が得られる。」
　７　引用文献７の記載事項
　原査定において引用された特開平０６−３４２１４６号公報（以下、「引用文献７」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００５７】実施例３
本実施例では、Ｒ．Ｇ．Ｂの各色のフィルターの配列を夫々の原色が正三角形の頂点に位置するように配列（所謂デルタ配列）し、素子分離領域を視線検出のための照明光の透過領域として利用する画像表示手段について説明する。
【００５８】図１３は、本実施例の画像表示装置のカラーフィルター層部分を示したものであり、図１３（ａ）はその模式的断面図、図１３（ｂ）はその模式的平面図である。図からわかる通り、カラー表示を行うＲ，Ｇ，Ｂ画素を分離する領域は赤外光透過フィルター８０１で覆われている。一方、画素配列は上記したようにデルタ配列方式を採用した。この配列は、図１３（ｂ）の模式的平面図に示される通り、一行毎に画素を横方向に０．５画素ずらし、いずれの画素も最近接画素と同じ色のフィルターを有さない構成をとることにより、斜め方向の特定の色の線を見えにくくしている。このデルタ配列により、画像の鮮明度を高めることができる。
【００５９】図１４は、図１３（ｂ）で示したうちの４画素分を駆動するスイッチング素子層２０６の等価回路を示したものである。図１４に示されている様に、全ての画素は画像情報を表示する有効画素として用いることができる。一般には、図８で示した通り、画素と画素を分離するためのブラックマトリックス３０２を必要とするが、本実施例では、このブラックマトリックスを省き、素子分離領域の赤外光透過フィルターを通して故意に光を透過させている。この赤外光透過フィルターにより、人間の目にはあたかも遮光領域が存在するかの様に見える訳である。この構成により、ブラックマトリックスを不要とするとももに、画像情報を１ｂｉｔたりとも損うことなく、視線検知光を得ることができる。その結果、新たな照明光源を設けることなく安価で高精細の表示装置に視線検知機能の構成要素を付加することができる。」
　８　引用文献８の記載事項
　原査定において引用された特開２０１３−１１５６２５号公報（以下、「引用文献８」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００１３】
　図１は、本発明に係る画像処理システム１１０を備える車載機器制御システムの概略構成を示す模式図である。本車載機器制御システムは、自動車などの車両１００に搭載された撮像ユニット１０１で撮像した、車両１００の進行方向前方領域の撮像画像データを利用して、ヘッドランプ１０４の配光制御、フロントガラス（透明部材）１０５に付着した異物を除去するためのワイパー１０７の駆動制御、その他の車載機器の制御を行うものである。
【００１４】
　図１に示した車載機器制御システムは、撮像ユニット１０１と、画像解析ユニット（画像解析手段）１０２と、ヘッドランプ制御ユニット１０３と、ワイパー制御ユニット１０６と、車両走行制御ユニット１０８と、を主に備える。
【００１５】
　本実施形態の画像処理システム１１０は、撮像ユニット１０１及び画像解析ユニット１０２を含む。画像解析ユニット１０２は、撮像ユニット１０１を制御する機能を有するとともに、撮像ユニット１０１から送信されてくる撮像画像データを解析する機能を有する。
【００１６】
　画像解析ユニット１０２は、撮像ユニット１０１から送信されてくる撮像画像データを解析し、フロントガラス１０５に付着する雨滴などの異物を検出したり、撮像画像データに車両１００の前方に存在する他車両の位置、方角、距離を算出したり、撮像範囲内に存在する路面上の白線（区画線）等の検出対象物を検出したりする。なお、以降では、車両１００の前方の他車両の位置、方角、距離、並びに、路面上の白線（区画線）等の情報を車両周辺情報とも呼ぶ。他車両の検出では、他車両のテールランプを識別することで車両１００と同じ進行方向へ進行する先行車両を検出し、他車両のヘッドランプを識別することで車両１００とは反対方向へ進行する対向車両を検出する。
【００１７】
　画像解析ユニット１０２の算出結果は、ヘッドランプ制御ユニット１０３に送られる。ヘッドランプ制御ユニット１０３は、例えば、画像解析ユニット１０２が算出した距離データから、車両１００の車載機器であるヘッドランプ１０４を制御する制御信号を生成する。具体的には、例えば、先行車両や対向車両の運転者の目に車両１００のヘッドランプの強い光が入射するのを避けて他車両の運転者の幻惑防止を行いつつ、車両１００の運転者の視界確保を実現できるように、ヘッドランプ１０４のハイビーム及びロービームの切り換えを制御したり、ヘッドランプ１０４の部分的な遮光制御を行ったりする。
【００１８】
　画像解析ユニット１０２の算出結果は、ワイパー制御ユニット１０６にも送られる。ワイパー制御ユニット１０６は、ワイパー１０７を制御して、車両１００のフロントガラス１０５に付着した雨滴などの付着物を除去する。ワイパー制御ユニット１０６は、画像解析ユニット１０２が検出した異物検出結果を受けて、ワイパー１０７を制御する制御信号を生成する。ワイパー制御ユニット１０６により生成された制御信号がワイパー１０７に送られると、車両１００の運転者の視界を確保するべく、ワイパー１０７を稼動させる。
【００１９】
　また、画像解析ユニット１０２の算出結果は、車両走行制御ユニット１０８にも送られる。車両走行制御ユニット１０８は、画像解析ユニット１０２が検出した白線検出結果に基づいて、白線によって区画されている車線領域から車両１００が外れている場合等に、車両１００の運転者へ警告を報知したり、自車両のハンドルやブレーキを制御するなどの走行支援制御を行ったりする。
【００２０】
　図２は、本実施形態に係る画像処理システム１１０が備える撮像ユニット１０１の概略構成を示す模式図である。図２に示すように、撮像ユニット１０１は、車両１００内に固定されるカバー２１０と、撮像装置２０１（撮像手段）と、車両１００のフロントガラス１０５の内壁面（一方の面）１０５ａ側からフロントガラス１０５に向けて光を照射する光源２０２と、を有する。撮像装置２０１及び光源２０２はカバー２１０の内部に収容される。なお、図２は、カバー２１０内に１つの光源２０２が収容された例を図示しているが、光源の個数は１つに限定されるものではなく、複数個であってもよい。
【００２１】
　図３は、撮像ユニット１０１が有する撮像装置２０１の概略構成を示す模式図である。撮像装置２０１は、主に、フロントガラス１０５の外壁面（他方の面）１０５ｂに付着した異物（以下、異物が雨滴である場合を例に挙げて説明する。）２０３によって反射された光源２０２（図２参照）からの光、及び、車両１００の外部から（外壁面１０５ｂ側から）フロントガラス１０５を透過した光を集光する撮像レンズ２０４と、撮像レンズ２０４によって集光された光を撮像する撮像素子２０６と、撮像レンズ２０４と撮像素子２０６との間に配置され、有効撮像領域の所定領域において所定の波長範囲の光のみ透過させる光学フィルタ２０５と、撮像素子２０６が搭載されるセンサ基板２０７と、センサ基板２０７から出力されるアナログ電気信号（撮像素子２０６上の各受光素子が受光した受光量）をデジタル電気信号に変換した撮像画像データを生成して出力する信号処理部２０８と、から構成されている。
【００２２】
　なお、撮像レンズ２０４、光学フィルタ２０５、撮像素子２０６、センサ基板２０７は、フロントガラス１０５側からこの順に配置される。また、信号処理部２０８は、画像解析ユニット１０２と電気的に接続されている。なお、図３は、撮像素子２０６と信号処理部２０８とが独立に設けられた例を示しているが、撮像装置２０１の構成はこれに限定されない。例えば、撮像素子２０６としてその各画素にＡ／Ｄ変換部を備えたものを用いる場合には、そのＡ／Ｄ変換部が信号処理部２０８となる。即ち、この場合には、信号処理部２０８は撮像素子２０６に内蔵されることとなる。
【００２３】
　また、撮像素子２０６は、不図示のレジスタ（センサレジスタ）を備えている。後述する画素データの読み出し規則の制御は、画像解析ユニット１０２がセンサレジスタのパラメータ値を変更することによって実現される。
【００２４】
　光源２０２は、撮像レンズ２０４の画角範囲と光源２０２の照射領域とがフロントガラス１０５の内壁面１０５ａで重なるように配置される。なお、光源２０２としてはアイセーフ帯の波長及び光量の光源を使用する。撮像レンズ２０４は、例えば、複数のレンズから構成されており、焦点位置は、無限遠、又は、無限遠とフロントガラス１０５の外壁面１０５ｂとの間に設定されている。
【００２５】
　光源２０２は、フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂに付着した雨滴を検出するためのものである。フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂに雨滴２０３が付着している場合、光源２０２が発した光は、雨滴２０３と空気の界面で反射し、その反射光は撮像装置２０１に入射する。一方、フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂに雨滴２０３が付着していない場合、光源２０２から照射された光は、その一部がフロントガラス１０５を透過して外部に漏れ、残りの光がフロントガラス１０５の内壁面１０５ａ、あるいは、外壁面１０５ｂと外気との界面で反射し、その反射光が撮像装置２０１へ入射する。
【００２６】
　光源２０２としては、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ（ＬＤ）などを用いることができる。また、光源２０２の発光波長は、例えば可視光領域や赤外光領域の波長であるとよい。ただし、光源２０２の光で対向車両の運転者や歩行者等を眩惑するのを回避する場合には、可視光よりも波長が長く、撮像素子２０６の受光感度がおよぶ範囲の波長、例えば７５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の赤外光領域の波長を選択するのが好ましい。以降では、光源２０２が赤外光領域の波長の光を照射する場合を例に挙げて説明する。
【００２７】
　なお、光源２０２は、連続発光（ＣＷ発光）を行うものであってもよいし、特定のタイミングでパルス発光するものであってもよい。特に、パルス発光を行う構成は、発光のタイミングと画像撮影のタイミングの同期させることにより、外乱光による影響をより小さくできるため好ましい。
【００２８】
　被写体（検出対象物）を含む撮像範囲からの光は、撮像レンズ２０４を通り、光学フィルタ２０５を透過して、撮像素子２０６でその光強度に応じた電気信号に変換される。ここで、被写体（検出対象物）とは、車両１００の前方の風景や、フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂに付着した雨滴などの異物である。信号処理部２０８では、撮像素子２０６から出力される電気信号（アナログ信号）が入力されると、その電気信号から、撮像画像データとして、撮像素子２０６上における各画素の明るさ（輝度情報）を含むデジタル信号を、画像の水平・垂直同期信号とともに後段のユニットへ出力する。
【００２９】
　既に述べたように、本実施形態では、撮像レンズ２０４の焦点位置は、無限遠、又は、無限遠とフロントガラス１０５の外壁面１０５ｂとの間に設定されている。これにより、フロントガラス１０５上に付着した雨滴２０３の検出を行う場合だけでなく、先行車両や対向車両の検出や白線の検出を行う場合にも、撮像装置２０１の撮像画像データから適切な情報を取得することができる。
【００３０】
　例えば、フロントガラス１０５上に付着した雨滴２０３の検出を行う場合、撮像画像データ上の雨滴画像の形状は円形状であることが多いので、撮像画像データ上の雨滴候補画像が円形状であるかどうかを判断してその雨滴候補画像が雨滴画像であると識別する形状認識処理を行う。このような形状認識処理を行う場合、フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂ上の雨滴２０３に撮像レンズ２０４の焦点が合っているよりも、上述したように無限遠、又は、無限遠とフロントガラス１０５との間に焦点が合っている方が、多少のピンボケが発生することにより雨滴の形状認識率（円形状）が高くなり、雨滴検出性能が高くなる。
【００３１】
　図４は、雨滴検出用の撮像画像データである赤外光画像データを示す説明図である。図４（ａ）はフロントガラス１０５の外壁面１０５ｂ上の雨滴２０３に撮像レンズ２０４の焦点が合っている場合、図４（ｂ）は無限遠に焦点が合っている場合における赤外光画像データをそれぞれ示している。
【００３２】
　フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂ上の雨滴２０３に撮像レンズ２０４の焦点が合っている場合、図４（ａ）に示すように、雨滴に映り込んだ背景画像２０３ａまでが撮像される。このような背景画像２０３ａは雨滴２０３の誤検出の原因となる。また、図４（ａ）に示すように雨滴の一部２０３ｂだけ弓状等に輝度が大きくなる場合があり、その大輝度部分の形状、即ち雨滴画像の形状は太陽光の方向や街灯の位置などによって変化する。このような種々変化する雨滴画像の形状を形状認識処理で対応するためには処理負荷が大きくなり、また認識精度の低下を招く。
【００３３】
　これに対し、無限遠に焦点が合っている場合には、図４（ｂ）に示すように、多少のピンボケが発生する。そのため、背景画像２０３ａの映り込みが撮像画像データに反映されず、雨滴２０３の誤検出が軽減される。また、多少のピンボケが発生することで、太陽光の方向や街灯の位置などによって雨滴画像の形状が変化する度合いが小さくなり、雨滴画像の形状は常に略円形状となる。よって、雨滴２０３の形状認識処理の負荷が小さく、また認識精度も高くなる。
【００３４】
　ただし、無限遠に焦点が合っている場合、遠方を走行する先行車両のテールランプを識別する際に、撮像素子２０６上のテールランプの光を受光する受光素子が１個程度になることがある。この場合、テールランプの光がテールランプ色（赤色）を受光する赤色用受光素子に受光されない恐れがあり、その際にはテールランプを認識できず、先行車両の検出ができない。このような不具合を回避しようとする場合には、撮像レンズ２０４の焦点を無限遠よりも手前に合わせることが好ましい。これにより、遠方を走行する先行車両のテールランプがピンボケするので、テールランプの光を受光する受光素子の数を増やすことができ、テールランプの認識精度が上がり先行車両の検出精度が向上する。
【００３５】
　ここで、フロントガラス１０５で反射した光源２０２からの赤外波長光を撮像装置２０１で撮像する際、撮像装置２０１の撮像素子２０６では、光源２０２からの赤外波長光のほか、例えば太陽光などの赤外波長光を含む大光量の外乱光も受光される。よって、光源２０２からの赤外波長光をこのような大光量の外乱光と区別するためには、光源２０２の発光量を外乱光よりも十分に大きくする必要があるが、このような大発光量の光源２０２を用いることは困難である場合が多い。
【００３６】
　そこで、本実施形態においては、例えば、光源２０２の発光波長よりも短い波長の光をカットするようなカットフィルタか、もしくは、透過率のピークが光源２０２の発光波長とほぼ一致したバンドパスフィルタを介して、光源２０２からの光を撮像素子２０６で受光するように構成する。これにより、光源２０２の発光波長以外の光を除去して受光できるので、撮像素子２０６で受光される光源２０２からの光量は、外乱光に対して相対的に大きくなる。その結果、大発光量の光源を用いなくても、光源からの光を外乱交と区別することが可能となる。
【００３７】
　ただし、本実施形態においては、撮像画像データから、フロントガラス１０５上の雨滴２０３などの異物を検出するだけでなく、先行車両や対向車両の検出や白線の検出も行う。そのため、撮像画像全体について光源２０２が照射する赤外波長光以外の波長帯を除去してしまうと、先行車両や対向車両の検出や白線の検出に必要な波長帯の光を撮像素子２０６で受光できず、これらの検出に支障をきたす。そこで、本実施形態では、撮像画像データの画像領域を、フロントガラス１０５上の雨滴２０３を検出するための雨滴検出画像領域（第１の画像領域）と、先行車両や対向車両の検出や白線の検出を行うための車両周辺情報検出画像領域（第２の画像領域）と、に分割し、雨滴検出画像領域に対応する部分についてのみ光源２０２が照射する赤外波長光以外の波長帯を除去する構成としている。
【００３８】
　図５は、光学フィルタ２０５、撮像素子２０６、及び、センサ基板２０７の光透過方向に沿った断面模式図である。
【００３９】
　光学フィルタ２０５は、図５に示したように、使用帯域（本実施形態では可視光領域と赤外光領域）の光に対して透明な基板２２０と、基板２２０上の撮像レンズ２０４側の有効撮像領域の全面に形成され、波長λ１〜λ２、λ３〜λ４（λ１＜λ２＜λ３＜λ４）の範囲の波長成分の光のみ透過させる分光フィルタ層（第１の分光フィルタ層）２２１と、基板２２０の撮像素子２０６側の面に形成される偏光フィルタ層２２３と、偏光フィルタ層２２３上に充填される充填材２２４と、基板２２０上の撮像素子２０６側の有効撮像領域の一部に、上記偏光フィルタ層２２３及び充填材２２４を介して形成され、波長λ３〜λ４の範囲の波長成分の光のみ透過させる分光フィルタ層（第２の分光フィルタ層）２２２と、を有し、分光フィルタ層２２２の撮像素子２０６側の面が撮像素子２０６に密着接合されてなる。
【００４０】
　即ち、光学フィルタ２０５は、分光フィルタ層２２１と分光フィルタ層２２２とが光透過方向に重ね合わせられた構造となっている。
【００４１】
　図６は、分光フィルタ層２２１及び分光フィルタ層２２２を有する光学フィルタ２０５の有効撮像領域の領域分割を説明するための正面模式図である。図６に示すように、有効撮像領域は、上記の車両周辺情報検出画像領域に対応する可視光透過領域２１１と、上記の雨滴検出画像領域に対応する赤外光透過領域２１２とに、領域分割されている。
【００４２】
　例えば、可視光透過領域２１１は有効撮像領域の中央部１／２の領域であり、一方、赤外光透過領域２１２は有効撮像領域の上部及び下部の領域であるとよい。あるいは、赤外光透過領域２１２は、有効撮像領域の上部、下部、または側部に設けられてもよいが、図６に示したように有効撮像領域の上部及び下部に設けられることが特に好ましい。以下、その理由について説明する。図７は、撮像画像データを例示する図である。
【００４３】
　対向車両のヘッドランプ（不図示）及び先行車両のテールランプ並びに白線の画像は、主に撮像画像の中央部に存在することが多く、撮像画像の下部には自車両前方の直近路面の画像が存在するのが通常である。よって、対向車両のヘッドランプ（不図示）及び先行車両のテールランプ並びに白線の識別に必要な情報は撮像画像の中央部に集中しており、その識別において撮像画像の下部の情報はあまり重要ではない。一方、撮像画像の上部には空が写るのが通常であるから、撮像画像の上部の情報もあまり重要ではない。
【００４４】
　よって、単一の撮像画像データから、対向車両や先行車両あるいは白線の検出と雨滴２０３の検出とを両立して行う場合には、図７に示すように、撮像画像の中央部を車両周辺情報検出画像領域２１３とし、撮像画像の上部及び下部をそれぞれ雨滴検出画像領域２１４とすることが好適である。即ち、図６に示したように、有効撮像領域の上部及び下部を雨滴検出用の赤外光透過領域２１２とし、残りの有効撮像領域の中央部を車両周辺情報検出用の可視光透過領域２１１とし、これに対応して分光フィルタ層２２２を領域分割するのが好適である。
【００４５】
　なお、有効撮像領域のうち、充填材２２４上の分光フィルタ層２２２が形成されていない領域に、光源２０２が照射する赤外波長光をカットするフィルタが形成されていてもよい。
【００４６】
　撮像素子２０６は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などを用いたイメージセンサであり、その受光素子にはフォトダイオード２０６Ａを用いている。フォトダイオード２０６Ａは、画素ごとに２次元的にアレイ配置されており、フォトダイオード２０６Ａの集光効率を上げるために、各フォトダイオード２０６Ａの入射側には、フォトダイオード２０６Ａの各画素に対応してマイクロレンズ２０６Ｂが設けられている。この撮像素子２０６がワイヤボンディングなどの手法によりＰＷＢ（Printed Wiring Board）に接合されてセンサ基板２０７が形成されている。
【００４７】
　図８は、分光フィルタ層２２１及び分光フィルタ層２２２の分光特性を示すグラフである。分光フィルタ層２２１は、図８（ａ）に示すように波長範囲４００ｎｍ〜６７０ｎｍ（ここでは、λ１＝４００ｎｍ、λ２＝６７０ｎｍ）のいわゆる可視光領域の光と、波長範囲９４０ｎｍ〜９７０ｎｍ（ここでは、λ３＝９４０ｎｍ、λ４＝９７０ｎｍ）の赤外光領域の光を透過させる。可視光領域の光は車両周辺情報検出用に用いられ、赤外光領域の光は雨滴検出用に用いられる。
【００４８】
　ただし、本実施形態の撮像素子２０６を構成する各フォトダイオード２０６Ａは、赤外波長帯の光に対しても感度を有するので、赤外波長帯を含んだ光を撮像素子２０６で受光すると、得られる撮像画像は全体的に赤みを帯びたものとなってしまう。その結果、テールランプに対応する赤色の画像部分を識別することが困難となる場合がある。そこで、本実施形態では、分光フィルタ層２２１が、波長範囲６７０ｎｍ〜９４０ｎｍの赤外光を透過させないようになっている（透過率５％以下が望ましい）。これにより、テールランプの識別に用いる撮像画像データ部分から赤外波長帯が除外されるので、テールランプの識別精度が向上する。
【００４９】
　また、分光フィルタ層２２２は、図８（ｂ）に示すように波長範囲９４０ｎｍ〜９７０ｎｍの赤外光領域を透過帯としている。従って、光学フィルタ２０５は、分光フィルタ層２２２と上述の分光フィルタ層２２１との組合せにより、波長範囲９４０ｎｍ（＝λ３）〜９７０ｎｍ（＝λ４）の範囲の光のみを透過させることとなる。なお、この波長範囲λ３〜λ４における透過率のピークと光源２０２の発光波長が略同等であること（あるいは、発光波長が波長範囲λ３〜λ４に含まれること）が望ましい。
【００５０】
　なお、分光フィルタ層２２１は、図８（ａ）に示す分光特性に代えて、図９（ａ）に示す分光特性を有するものであってもよい。また、分光フィルタ層２２２は、図８（ｂ）に示す分光特性（透過率のピークが光源２０２の発光波長と略一致したバンドパスフィルタを含む特性）に代えて、図９（ｂ）に示す分光特性を有するものであってもよい。つまり、分光フィルタ層２２２の分光特性は、光源２０２の発光波長よりも短波長側の光をカットする特性であってもよい。
【００５１】
　ところで、撮像装置２０１の撮像方向を下方へ傾けていくと、撮像範囲内の下部に自車両のボンネットが入り込んでくる場合がある。この場合、自車両のボンネットで反射した太陽光や先行車両のテールランプなどが外乱光となり、これが撮像画像データに含まれることで対向車両のヘッドランプ及び先行車両のテールランプ並びに白線の誤識別の原因となる。このような場合でも、本実施形態では、有効撮像領域全体に波長範囲６７０ｎｍ〜９４０ｎｍの光を遮断する分光フィルタ層２２１が形成されているので、ボンネットで反射した太陽光や先行車両のテールランプなどの外乱光が除去される。よって、対向車両のヘッドランプ及び先行車両のテールランプ並びに白線の識別精度が向上する。」
第６　対比・判断
（１）本願発明１について
　ア　引用発明１−１との対比・判断
（ア）対比
　ａ　引用発明１−１の「Ｒ受光部２０ｃを含む画素」、「Ｇ受光部２０ｂを含む画素」、「Ｂ受光部２０ａを含む画素」及び「ＩＲ受光部２０ｄを含む画素」は、それぞれ、本願発明１の「赤色（Ｒ）画素」、「緑色（Ｇ）画素」、「青色（Ｂ）画素」及び「赤外線（ＩＲ）画素」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明１−１は、「赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素」を含む点において共通するといえる。
　ｂ　引用発明１−１の「Ｒフィルタ４０ｄ」、「Ｇフィルタ４０ｃ」及び「Ｂフィルタ４０ａ」は、それぞれ、本願発明１の「Ｒフィルター」、「Ｇフィルター」及び「Ｂフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明１−１は、「それぞれ、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素中に設置されるＲ、Ｇ、および、Ｂフィルター」を含む点において共通するといえる。
　ｃ　引用発明１−１の「赤外光透過・可視光カットフィルタ４０」は、後述する相違点１を除き、本願発明１の「ＩＲパスフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明１−１は、「前記ＩＲ画素に設置されるＩＲパスフィルター」を含む点において共通し、後述する相違点１において相違するといえる。
　ｄ　引用発明１−１の「ＩＲカットフィルタ４０ｂ」は、「ＩＲ光（波長：約８００ｎｍ〜１５００ｎｍ）を遮断する」ものであるから、「少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する」ものであるといえる。
　そうすると、引用発明１−１の「ＩＲカットフィルタ４０ｂ」は、本願発明１の「ＩＲフィルター」に相当するといえ、本願発明１と引用発明１−１は、「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上に設置され、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽するＩＲフィルター」を含む点において共通するといえる。
　ｅ　引用発明１−１の「マイクロレンズ４１」は、後述する相違点２を除き、本願発明１の「マイクロレンズ構造」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明１−１は、「前記ＩＲフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造」を含む点において共通し、後述する相違点２において相違するといえる。
　ｆ　引用文献１の【図４】ないし【図７】の記載より、引用発明１−１の「赤外光透過・可視光カットフィルタ４０」の上面は、「ＩＲカットフィルタ４０ｂ」の上面よりも低いといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明１−１は、「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低く」との点において共通するといえる。
　ｇ　引用発明１−１は「距離画像センサ」であり、画像センサの機能を備えたものであるから、「イメージセンサー」であるといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明１−１は、「イメージセンサー」である点において共通するといえる。
　ｈ　以上より、本願発明１と引用発明１−１は、下記（ａ）において一致し、下記（ｂ）において相違すると認める。
（ａ）一致点
　「赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素と、
　それぞれ、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素中に設置されるＲ、Ｇ、および、Ｂフィルターと、
　前記ＩＲ画素に設置されるＩＲパスフィルターと、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上に設置され、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽するＩＲフィルターと、
　前記ＩＲフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造を含み、
　前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低いことを特徴とするイメージセンサー。」
（ｂ）相違点
　・相違点１
　本願発明１の「ＩＲパスフィルター」は「上面が前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上面より高」いのに対し、引用発明１−１は当該構成を特定しない点。
　・相違点２
　本願発明１の「マイクロレンズ構造」は「ＩＲパスフィルター上」にも設置され、「ＩＲパスフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造の底面は、前記ＩＲフィルターの上面より低い」のに対し、引用発明１−１は当該構成を特定しない点。
（イ）判断
　相違点１及び２についてまとめて検討する。
　引用文献１ないし８には、相違点１及び２の構成を兼ね備えたものについては、記載も示唆もされていないから、本願発明１は、引用発明１−１及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　イ　引用発明２−１との対比・判断
（ア）対比
　ａ　引用発明２−１の「Ｒ画素」、「Ｇ画素」、「Ｂ画素」及び「ＩＲ画素」は、それぞれ、本願発明１の「赤色（Ｒ）画素」、「緑色（Ｇ）画素」、「青色（Ｂ）画素」及び「赤外線（ＩＲ）画素」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明２−１は、「赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素」を含む点において共通するといえる。
　ｂ　引用文献５の段落【００３０】の記載より、引用発明２−１の「３種類のカラーフィルタ」は画素毎に配置されているといえ、該「３種類のカラーフィルタ」のうち、Ｒ画素に配置されたもの、Ｇ画素に配置されたもの、及びＢ画素に配置されたものは、それぞれ、本願発明１の「Ｒフィルター」、「Ｇフィルター」及び「Ｂフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明２−１は、「それぞれ、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素中に設置されるＲ、Ｇ、および、Ｂフィルター」を含む点において共通するといえる。
　ｃ　引用文献５の段落【００４３】及び【００４８】の記載より、引用発明２−１の「有機層１２」は、赤外光を透過する（パスする）ものであるといえるから、引用発明２−１の「有機層１２」と、本願発明１の「ＩＲパスフィルター」は、「ＩＲパス部材」である点において共通するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明２−１は、「前記ＩＲ画素に設置されるＩＲパス部材」を含む点において共通し、後述する相違点３及び４において相違するといえる。
　ｄ　引用発明２−１の「赤外カットフィルタ層６」が「少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する」ものであることは明らかであるから、引用発明２−１の「赤外カットフィルタ層６」は、後述する相違点５を除き、本願発明１の「ＩＲフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明２−１は、「少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽するＩＲフィルター」を含む点において共通し、後述する相違点５において相違するといえる。
　ｅ　引用発明２−１の「マイクロレンズ８」は「マイクロレンズ構造」であるといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明２−１は、「前記ＩＲパス部材上に設置されるマイクロレンズ構造」を含む点において共通し、後述する相違点６において相違するといえる。
　ｆ　引用発明２−１は「固体撮像装置」であり、「イメージセンサー」であるといえる。
　そうすると、本願発明１と引用発明２−１は、「イメージセンサー」である点において共通するといえる。
　ｇ　以上より、本願発明１と引用発明２−１は、下記（ａ）において一致し、下記（ｂ）において相違すると認める。
（ａ）一致点
　「赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素と、
　それぞれ、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素中に設置されるＲ、Ｇ、および、Ｂフィルターと、
　前記ＩＲ画素に設置されるＩＲパス部材と、
　少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽するＩＲフィルターと、
　前記ＩＲパス部材上に設置されるマイクロレンズ構造を含むことを特徴とするイメージセンサー。」
（ｂ）相違点
　・相違点３
　本願発明１の「ＩＲパス部材」が「ＩＲパスフィルター」であるのに対し、引用発明２−１は、「ＩＲパス部材」（有機層１２）がフィルターであるとは特定しない点。
　・相違点４
　本願発明１の「ＩＲパス部材」（ＩＲパスフィルター）の上面は、「Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上面より高」く、「ＩＲフィルターの上面より低」いのに対し、引用発明２−１はそうではない点。
　・相違点５
　本願発明１の「ＩＲフィルター」は「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターの上に設置され」るのに対し、引用発明２−１はそうではない点。
　・相違点６
　引用発明１の「マイクロレンズ構造」は「ＩＲフィルター」上にも設置され、「ＩＲパス部材（ＩＲパスフィルター）上に設置されるマイクロレンズ構造の底面は、前記ＩＲフィルターの上面より低」いのに対し、引用発明２−１はそうではない点。
（イ）判断
　相違点３ないし６についてまとめて検討する。
　本願発明１と引用発明２−１は、相違点３ないし６において相違するから、本願発明１と引用発明２−１が同一であるとはいえない。
　また、引用文献１ないし８には、相違点３ないし６の構成を兼ね備えたものについては、記載も示唆もされていないから、本願発明１は、引用発明２−１及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（２）本願発明２ないし５について
　本願発明２ないし５は、本願発明１の発明特定事項を全て備え、さらに他の発明特定事項を付加したものである。
　そうすると、本願発明１が引用発明１−１及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない以上、本願発明２ないし５は引用発明１−１及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　また、本願発明１が引用発明２−１と同一であるとはいえない以上、本願発明２ないし５は引用発明２−１と同一であるとはいえない。
　さらに、本願発明１が引用発明２−１及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない以上、本願発明２ないし５は引用発明２−１及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（３）本願発明６について
　ア　引用発明１−２との対比・判断
（ア）対比
　ａ　引用発明１−２の「Ｒ受光部２０ｃを含む画素」、「Ｇ受光部２０ｂを含む画素」、「Ｂ受光部２０ａを含む画素」、「ＩＲ受光部２０ｄを含む画素」及び「ｎ型半導体基板３０」は、それぞれ、本願発明６の「赤色（Ｒ）画素」、「緑色（Ｇ）画素」、「青色（Ｂ）画素」、「赤外線（ＩＲ）画素」及び「半導体基板」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明１−２は、「複数のフォトダイオードを含み、前記各フォトダイオードが、赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素の一つの画素中に設置される半導体基板を供給する、工程」を含む点において共通するといえる。
　ｂ　引用発明１−２の「Ｒフィルタ４０ｄ」、「Ｇフィルタ４０ｃ」及び「Ｂフィルタ４０ａ」は、それぞれ、本願発明６の「Ｒフィルター」、「Ｇフィルター」及び「Ｂフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明１−２は、「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、それぞれ、Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターを形成する工程」を含む点において共通し、後述する相違点７において相違するといえる。
　ｃ　引用発明１−２の「ＩＲカットフィルタ４０ｂ」は、「ＩＲ光（波長：約８００ｎｍ〜１５００ｎｍ）を遮断する」ものであるから、「少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する」ものであるといえる。
　したがって、引用発明１−２の「ＩＲカットフィルタ４０ｂ」は、本願発明６の「ＩＲフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明１−２は、「ＩＲフィルターを形成し、前記ＩＲフィルターは、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する工程」を含む点において共通し、後述する相違点８において相違するといえる。
　ｄ　引用発明１−２の「赤外光透過・可視光カットフィルタ４０」は、本願発明６の「ＩＲパスフィルター」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明１−２は、「前記ＩＲ画素で、ＩＲパスフィルターを形成する工程」を含む点において共通し、後述する相違点９において相違するといえる。
　ｅ　引用発明１−２の「マイクロレンズ４１」は、本願発明６の「マイクロレンズ構造」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明１−２は、「ＩＲフィルター上にマイクロレンズ構造を形成する工程」を含む点において共通し、後述する相違点１０において相違するといえる。
　ｆ　引用発明１−２の「距離画像センサ」は、画像センサの機能を備えたものであるから、「イメージセンサー」であるといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明１−２は、「イメージセンサーの形成方法」である点において共通するといえる。
　ｇ　以上より、本願発明６と引用発明１−２は、下記（ａ）において一致し、下記（ｂ）において相違すると認める。
（ａ）一致点
　「複数のフォトダイオードを含み、前記各フォトダイオードが、赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素の一つの画素中に設置される半導体基板を供給する、工程と、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、それぞれ、Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターを形成する工程と、
　ＩＲフィルターを形成し、前記ＩＲフィルターは、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する工程と、
　前記ＩＲ画素で、ＩＲパスフィルターを形成する工程と、
　前記ＩＲフィルター上にマイクロレンズ構造を形成する工程と、
　を含むことを特徴とするイメージセンサーの形成方法。」
（ｂ）相違点
　・相違点７
　本願発明６は、「Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターで開口を有するよう」に「Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターを形成する」のに対し、引用発明１−２は当該構成を特定しない点。
　・相違点８
　本願発明６は、「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター上、および、前記開口の中と上部に、ＩＲフィルター材料層を形成する工程」を含み、「前記ＩＲフィルター材料層のうち、前記ＩＲ画素に位置する部分を除去」することにより「ＩＲフィルターを形成」し、また、「前記ＩＲフィルターが、前記ＩＲ画素で、開口を有する」のに対し、引用発明１−２はこれらの構成を特定しない点。
　・相違点９
　本願発明６は、「前記ＩＲフィルターの前記開口中に、ＩＲパスフィルターを形成」し、また、「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低く、キャビティが前記ＩＲパスフィルター上に形成される」のに対し、引用発明１−２はこれらの構成を特定しない点。
　・相違点１０
　本願発明６は、「前記ＩＲパスフィルター上」にも「マイクロレンズ構造を形成」し、また、「前記マイクロレンズ構造が、前記ＩＲパスフィルター上に形成される前記キャビティ中に充填される」のに対し、引用発明１−２はこれらの構成を特定しない点。
（イ）判断
　引用文献１ないし８には、相違点７ないし１０に係る構成を兼ね備えたものについては、記載も示唆もされていないから、本願発明６は、引用発明１−２及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　イ　引用発明２−２との対比・判断
（ア）対比
　ａ　引用発明２−２の「フォトダイオード等の受光素子３」、「Ｒ画素」、「Ｇ画素」、「Ｂ画素」、「ＩＲ画素」及び「半導体基板２」は、それぞれ、本願発明６の「フォトダイオード」、「赤色（Ｒ）画素」、「緑色（Ｇ）画素」、「青色（Ｂ）画素」、「赤外線（ＩＲ）画素」及び「半導体基板」に相当するといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明２−２は、「複数のフォトダイオードを含み、前記各フォトダイオードが、赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素の一つの画素中に設置される半導体基板を供給する、工程」を含む点において共通するといえる。
　ｂ　引用発明２−２の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、・・・分光特性の異なる３種類のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層７を形成する工程」において、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素に設けられるカラーフィルタは、それぞれ、本願発明６の「Ｒフィルター」、「Ｇフィルター」及び「Ｂフィルター」に相当するといえる。
　また、引用文献５の【図４】の記載より、引用発明２−２の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、・・・分光特性の異なる３種類のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層７を形成する工程」においては、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素に設けられるカラーフィルタで開口を有するように、各カラーフィルタを形成しているといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明２−２は、「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、それぞれ、Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターを、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターで開口を有するように形成する工程」を含む点において共通するといえる。
　ｃ　引用発明２−２の「赤外カットフィルタ層６」が「少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽する」ものであることは明らかであるから、引用発明２−２の「赤外カットフィルタ層６」は、本願発明６の「ＩＲフィルター」に相当するといえる。
　また、引用文献５の【図４】の記載より、引用発明２−２の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、赤外カットフィルタ層６・・・を形成する工程」においては、赤外カットフィルタ層６がＩＲ画素で開口を有するように、赤外カットフィルタ層６を形成しているといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明２−２は、「ＩＲフィルターを形成し、前記ＩＲフィルターは、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽し、前記ＩＲフィルターが、前記ＩＲ画素で、開口を有する工程」を含む点において共通し、後述する相違点１１において相違するといえる。
　ｄ　引用文献５の段落【００４３】及び【００４８】の記載より、引用発明２−２の「有機層１２」は、赤外光を透過する（パスする）ものであるといえるから、引用発明２−２の「有機層１２」と、本願発明６の「ＩＲパスフィルター」は、「ＩＲパス部材」である点において共通するといえる。
　また、引用文献５の【図３】及び【図４】の記載より、引用発明２−２の「光学的に透明な材料を、赤外カットフィルタ層６及びカラーフィルタ層７の隙間１７に埋め込むことによって、有機層１２を形成する工程」においては、「ＩＲ画素」において、「赤外カットフィルタ層６」の開口中に「有機層１２」を形成しているといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明２−２は、「前記ＩＲ画素で、前記ＩＲフィルターの前記開口中に、ＩＲパス部材を形成する工程」を含む点において共通し、後述する相違点１２において相違するといえる。
　ｅ　引用発明２−２の「マイクロレンズ８」は「マイクロレンズ構造」であるといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明２−２は、「ＩＲパス部材上にマイクロレンズ構造を形成する工程」を含む点において共通し、後述する相違点１３において相違するといえる。
　ｆ　引用発明２−２の「固体撮像装置」は「イメージセンサー」であるといえる。
　そうすると、本願発明６と引用発明２−２は、「イメージセンサーの形成方法」である点において共通するといえる。
　ｇ　以上より、本願発明６と引用発明２−２は、下記（ａ）において一致し、下記（ｂ）において相違すると認める。
（ａ）一致点
　「複数のフォトダイオードを含み、前記各フォトダイオードが、赤色（Ｒ）画素、緑色（Ｇ）画素、青色（Ｂ）画素と赤外線（ＩＲ）画素の一つの画素中に設置される半導体基板を供給する、工程と、
　前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂ画素に、それぞれ、Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターを、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターで開口を有するように形成する工程と、
　ＩＲフィルターを形成し、前記ＩＲフィルターは、少なくとも特定波長を有するＩＲ光を遮蔽し、前記ＩＲフィルターが、前記ＩＲ画素で、開口を有する工程と、
　前記ＩＲ画素で、前記ＩＲフィルターの前記開口中に、ＩＲパス部材を形成する工程と、
　前記ＩＲパス部材上にマイクロレンズ構造を形成する工程と、
　を含むことを特徴とするイメージセンサーの形成方法。」
（ｂ）相違点
　・相違点１１
　本願発明６は、「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター上、および、前記開口の中と上部に、ＩＲフィルター材料層を形成する工程」を含み、「前記ＩＲフィルター材料層のうち、前記ＩＲ画素に位置する部分を除去」することによりＩＲフィルターを形成しているのに対し、引用発明２−２は当該構成を特定しない点。
　・相違点１２
　本願発明６は、「ＩＲパス部材」が「ＩＲパスフィルター」であり、「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低く、キャビティが前記ＩＲパスフィルター上に形成される」のに対し、引用発明２−２はこれらの構成を特定しない点。
　・相違点１３
　本願発明６は「ＩＲフィルター」上にもマイクロレンズ構造を形成し、「前記マイクロレンズ構造が、前記ＩＲパスフィルター上に形成される前記キャビティ中に充填される」のに対し、引用発明２−２はこれらの構成を特定しない点。
（イ）判断
　相違点１１ないし１３について検討する。
　本願発明６と引用発明２−２は、相違点１１ないし１３において相違するから、本願発明６と引用発明２−２が同一であるとはいえない。
　また、引用文献１ないし８には、相違点１１ないし１３の構成を兼ね備えたものについては、記載も示唆もされていないから、本願発明６は、引用発明２−２及び引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（４）対比・判断のまとめ
　以上のとおり、本願発明１ないし６は、引用発明２−１又は２−２と同一であるとはいえない。
　また、本願発明１ないし６は、引用発明１−１、１−２、２−１又は２−２と、引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
第７　原査定についての判断
　上記のとおり、本願発明１ないし６は、引用発明２−１又は２−２と同一であるとはいえないから、原査定の理由１によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、上記のとおり、本願発明１ないし６は、引用発明１−１、１−２、２−１又は２−２と引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、原査定の理由２によっては、本願を拒絶することはできない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
第８　当審拒絶理由についての判断
　１　理由１（明確性）について
（１）本願発明１ないし５について
　ア　当審拒絶理由の１（１）ａにおいて、請求項１の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターと前記ＩＲフィルターは開口を有し」との記載が、「イメージセンサー」のどのような構造又は特性を表しているのかが不明である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項１の上記記載が削除されたため、当該拒絶の理由は解消した。
　イ　当審拒絶理由の１（１）ｂにおいて、請求項１の「前記ＩＲパスフィルターは、前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターと前記ＩＲフィルターの前記開口中に充填され」との記載が、「イメージセンサー」のどのような構造又は特性を表しているのかが不明である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項１の上記記載が削除されたため、当該拒絶の理由は解消した。
　ウ　当審拒絶理由の１（１）ｃにおいて、請求項１の「前記マイクロレンズ構造が、前記ＩＲパスフィルター上に形成される前記キャビティ中に充填される」との記載が、「イメージセンサー」のどのような構造又は特性を表しているのかが不明である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項１の上記記載が削除されたため、当該拒絶の理由は解消した。
　エ　当審拒絶理由の１（１）ｄにおいて、請求項１に「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの前記上面より低く」と記載されているが、当該記載以前に、「ＩＲフィルター」の上面については記載されていないから、「前記ＩＲフィルターの前記上面」が何を指し示すのかが不明である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項１の「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの前記上面より低く」との記載が「前記ＩＲパスフィルターの上面は、前記ＩＲフィルターの上面より低く」と補正され、記載の意味が明確となったから、当該拒絶の理由は解消した。
（２）本願発明２ないし５について
　当審拒絶理由の１（２）ａにおいて、請求項２の「前記ＩＲフィルターに結合される前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」との記載の意味が不明確である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項２の「前記ＩＲフィルターに結合される前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」との記載が「前記ＩＲフィルターと前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターが結合したものは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」と補正され、記載の意味が明確となったから、当該拒絶の理由は解消した。
（３）本願発明５について
　ａ　当審拒絶理由の１（３）ａにおいて、請求項５には、「マイクロレンズ構造」について二回記載されているが、「マイクロレンズ構造」を二重に設けることを意味するのか、それとも、単一の構成について繰り返し記載しているだけであるのかが不明である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項５の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター、前記ＩＲフィルターと前記ＩＲパスフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造と、」との記載が削除され、記載の意味が明確となったから、当該拒絶の理由は解消した。
　ｂ　当審拒絶理由の１（３）ｂにおいて、請求項５に「前記光源ユニット」と記載されているが、当該記載に対応する「光源ユニット」との語は、選択的に引用される請求項２にしか存在せず、請求項５が請求項２を引用しない場合に、「前記光源ユニット」が指し示すものが不明である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項５が請求項２のみを引用することとなったから、当該拒絶の理由は解消した。
（４）本願発明６について
　当審拒絶理由の１（４）ａにおいて、請求項６の「前記ＩＲ画素に位置する前記ＩＲフィルター材料層の一部を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」との記載の意味が不明確である旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項６の「前記ＩＲ画素に位置する前記ＩＲフィルター材料層の一部を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」との記載が「前記ＩＲフィルター材料層のうち、前記ＩＲ画素に位置する部分を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」と補正され、記載の意味が明確となったから、当該拒絶の理由は解消した。
　２　理由２（サポート要件）について
（１）本願発明２ないし５について
　当審拒絶理由の２（１）ａにおいて、請求項２には、「前記ＩＲフィルターに結合される前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」と記載されているが、「Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター」が、単体で、「可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」ことは、発明の詳細な説明に記載されていない旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項２の「前記ＩＲフィルターに結合される前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」との記載が「前記ＩＲフィルターと前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルターが結合したものは、可視帯の波長を有するＲ、Ｇ、および、Ｂ光を通過させ、前記特定バンドの前記波長を有する前記光源ユニットの前記ＩＲ光を遮蔽する」と補正され、発明の詳細な説明に記載されたものとなったから、当該拒絶の理由は解消した。
（２）本願発明５について
　当審拒絶理由の２（２）ａにおいて、請求項５には、「マイクロレンズ構造」について二回記載されているが、「マイクロレンズ構造」を二重に設けることは、発明の詳細な説明に記載されていない旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項５の「前記Ｒ、Ｇ、および、Ｂフィルター、前記ＩＲフィルターと前記ＩＲパスフィルター上に設置されるマイクロレンズ構造と、」との記載が削除され、発明の詳細な説明に記載されたものとなったから、当該拒絶の理由は解消した。
（３）本願発明６について
　当審拒絶理由の２（３）ａにおいて、請求項６には、「前記ＩＲ画素に位置する前記ＩＲフィルター材料層の一部を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」と記載されているが、「『ＩＲ画素に位置するＩＲフィルター材料層』のうち、一部を除去する」ことは、発明の詳細な説明に記載されていない旨が指摘された。
　これに対し、平成２９年１２月２２日付け手続補正により、請求項６の「前記ＩＲ画素に位置する前記ＩＲフィルター材料層の一部を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」との記載が「前記ＩＲフィルター材料層のうち、前記ＩＲ画素に位置する部分を除去して、ＩＲフィルターを形成し、」と補正され、発明の詳細な説明に記載されたものとなったから、当該拒絶の理由は解消した。
　３　理由３（進歩性）について
　上記第６（４）のとおり、本願発明１ないし６は、引用発明１−１又は１−２と引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　したがって、当審拒絶理由の理由３によって本願を拒絶することはできない。
第９　結言
　以上のとおり、原査定の理由及び当審拒絶理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。