(57)【要約】  基板の表面に付着した付着物を良好に除去することができるドライクリーナを提供する。被吐出物体１０上の付着物を除去するためのドライクリーナにおいて、被吐出物体と所定の間隔を持って配置され、内部に圧縮空気を貯留する貯留部１６aを有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口１６ｂを備え、吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状１６ｃを有し、吐出口が被吐出物体に最も近接する位置に設けられるノズル１６と、内部に前記ノズルを収容し、ノズルの吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出した圧縮空気と被吐出物表面を掃いた圧縮空気とが通過する開口部１８ａを有し、ノズルの所定の曲率を有する凸形状に沿って進行する圧縮空気が進行する通路１８ｂを形成するハウジング１８と、所定の曲率を有する凸形状に沿って進行した圧縮空気を排出するための排気部１８ｃとを備える。
2008108168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吐出物体と所定の間隔を持って配置され前記被吐出物体に対して略直交する方向に圧縮空気を吐出するためのノズルにおいて、
内部に前記圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、
前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記凸形状の前記被吐出物体に最も近接する位置に設けられることを特徴とするノズル。
【請求項２】
被吐出物体と所定の間隔を持って配置され前記被吐出物体に対して略直交する方向に圧縮空気を吐出するためのノズルにおいて、
内部に前記圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、
前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として平面形状とこれに連続して形成された所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記平面形状の略中央部に設けられることを特徴とするノズル。
【請求項３】
被吐出物体上の付着物を除去するためのドライクリーナにおいて、
前記被吐出物体と所定の間隔を持って配置され、内部に圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記凸形状の前記被吐出物体に最も近接する位置に設けられるノズルと、
内部に前記ノズルを収容し、前記ノズルの前記吐出口から前記被吐出物体に対して略直交する方向に吐出した前記圧縮空気と前記被吐出物表面を掃いた前記圧縮空気とが通過する開口部を有し、前記ノズルの所定の曲率を有する凸形状に沿った前記圧縮空気が進行する通路を形成するハウジングと、
前記所定の曲率を有する凸形状に沿って進行した前記圧縮空気を排出するための排気部と、
を備えることを特徴とするドライクリーナ。
【請求項４】
被吐出物体上の付着物を除去するためのドライクリーナにおいて、
前記被吐出物体と所定の間隔を持って配置され、内部に圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として平面形状とこれに連続して形成された所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記平面形状の略中央部に設けられるノズルと、
内部に前記ノズルを収容し、前記ノズルの前記吐出口から前記被吐出物体に対して略直交する方向に吐出した前記圧縮空気と前記被吐出物体表面を掃いた前記圧縮空気とが通過する開口部を有し、前記ノズルの所定の曲率を有する凸形状に沿った前記圧縮空気が進行する通路を形成するハウジングと、
前記所定の曲率を有する凸形状に沿って進行した前記圧縮空気を排出するための排気部と、
を備えることを特徴とするドライクリーナ。
【請求項５】
前記排気部は、前記ノズルの上方に前記ノズルの前記吐出口が延びる方向に沿って配置され、上部にスリット状の開口を有する円管状部材を備え、
前記圧縮空気が進行する前記通路は、前記ハウジングの前記開口部と前記円管状部材の開口とを略一定の高さの通路で連通することを特徴とする請求項３又は請求項４記載のドライクリーナ。
【請求項６】
請求項３〜請求項５の何れか一項に記載のドライクリーナと、
被吐出物体を載置する載置部とを備え、
前記ドライクリーナのノズルと前記被吐出物体とは、相互に一定の間隔を保って、前記ノズルの前記吐出口の長手方向と直交する方向に相対的に移動することを特徴とするドライクリーナシステム。
【請求項７】
前記ドライクリーナを前記ノズルの前記吐出口の長手方向と直交する方向に搬送する搬送手段または前記被吐出物体を前記ノズルの前記吐出口の長手方向と直交する方向に搬送する搬送手段を備えることを特徴とする請求項６記載のドライクリーナシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被吐出物体上の付着物を除去するためのドライクリーナに用いられるノズル、該ノズルを備えたドライクリーナ及び該ドライクリーナを備えるドライクリーナシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの組立製造工程においては、液晶表示装置用パネルで使用する２枚のガラス基板の間に、球形状の粉（スペーサ）を均一に散布して、２枚のガラス基板の隙間を均一に保つ方法が用いられている。スペーサがガラス基板上に凝集した状態で散布された場合、２枚のガラス基板の隙間が不均一となるため、散布されたスペーサを除去し、スペーサを散布しなおす必要がある。そこで、ガラス基板上に散布されたスペーサを除去する装置として、超音波発生器を備えた第１、第２の噴出ノズルと、これらの間に配置された１つの吸引ノズルとを備え、第１、第２の噴出ノズルからガラス基板の表面に超音波エアを噴出させて中央の吸引ノズルでスペーサを吸引する除塵装置が提案されている（例えば、日本国登録実用新案第３００９６９４号、日本国特許出願公開平７−６０２１１号公報参照）。
【発明の開示】
【０００３】
このような除塵装置においては、第１、第２の噴出ノズルから噴出された超音波エアを高効率で吸引ノズルより吸引することができず、その結果、ガラス基板上に付着しているスペーサを完全に除去しきれない場合があった。
【０００４】
この発明の目的は、被吐出物体の表面に付着した付着物、例えばスペーサや小粒径のゴミ類を良好に除去することができるドライクリーナに用いられるノズル、該ノズルを備えたドライクリーナ及び該ドライクリーナを備えるドライクリーナシステムを提供することである。
【０００５】
この発明のノズルは、被吐出物体と所定の間隔を持って配置され前記被吐出物体に対して略直交する方向に圧縮空気を吐出するためのノズルにおいて、内部に前記圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記凸形状の前記被吐出物体に最も近接する位置に設けられることを特徴とする。
【０００６】
この発明のノズルによれば、吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、圧縮空気が吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出されることにより被吐出物体表面の付着物が剥離され、剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿って進行する。従って、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。
【０００７】
また、この発明のノズルは、被吐出物体と所定の間隔を持って配置され前記被吐出物体に対して略直交する方向に圧縮空気を吐出するためのノズルにおいて、内部に前記圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状が平面形状とこれに連続して形成された所定の曲率を有する凸形状であって、前記吐出口が前記平面形状の略中央部に設けられることを特徴とする。
【０００８】
この本発明のノズルによれば、吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として平面形状とこれに連続して形成された所定の曲率の凸形状を有するため、圧縮空気が吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出されることにより被吐出物体表面の付着物が剥離され、剥離した付着物を含む圧縮空気は平面形状及びコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿って進行する。従って、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。
【０００９】
また、この発明のドライクリーナは、被吐出物体上の付着物を除去するためのドライクリーナにおいて、前記被吐出物体と所定の間隔を持って配置され、内部に圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記凸形状の前記被吐出物体に最も近接する位置に設けられるノズルと、内部に前記ノズルを収容し、前記ノズルの前記吐出口から前記被吐出物体に対して略直交する方向に吐出した前記圧縮空気と前記被吐出物体表面を掃いた前記圧縮空気とが通過する開口部を有し、前記ノズルの所定の曲率を有する凸形状に沿った前記圧縮空気が進行する通路を形成するハウジングと、前記所定の曲率を有する凸形状に沿って進行した前記圧縮空気を排出するための排気部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
この発明のドライクリーナによれば、ノズルの吐出口から被吐出物体に対して圧縮空気を略直交する方向に吹き付けるため、被吐出物体に付着している付着物を確実に剥離させることができる。また、ノズルの吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出され被吐出物体表面を掃き、被吐出物体から剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿ってハウジング内を進行する。従って、剥離した付着物のハウジング外への飛散を防止することができ、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。
【００１１】
また、この発明のドライクリーナは、被吐出物体上の付着物を除去するためのドライクリーナにおいて、前記被吐出物体と所定の間隔を持って配置され、内部に圧縮空気を貯留する貯留部を有し、該貯留部と連通したスリット状の吐出口を備え、前記吐出口が形成されている位置における前記吐出口が延びる方向と直交する断面形状として平面形状とこれに連続して形成された所定の曲率の凸形状を有し、前記吐出口が前記平面形状の略中央部に設けられるノズルと、内部に前記ノズルを収容し、前記ノズルの前記吐出口から前記被吐出物体に対して略直交する方向に吐出した前記圧縮空気と前記被吐出物体表面を掃いた前記圧縮空気とが通過する開口部を有し、前記ノズルの所定の曲率を有する凸形状に沿った前記圧縮空気が進行する通路を形成するハウジングと、前記所定の曲率を有する凸形状に沿って進行した前記圧縮空気を排出するための排気部とを備えることを特徴とする。
【００１２】
この発明のドライクリーナによれば、ノズルの吐出口から被吐出物体に対して圧縮空気を略直交する方向に吹き付けるため、被吐出物体に付着している付着物を確実に剥離させることができる。また、ノズルの吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出され被吐出物体表面を掃き、被吐出物体から剥離した付着物を含む圧縮空気は平面形状及びコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿ってハウジング内を進行する。従って、剥離した付着物のハウジング外への飛散を防止することができ、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。
【００１３】
また、この発明のドライクリーナは、前記排気部が、前記ノズルの上方に前記ノズルの前記吐出口が延びる方向に沿って配置され、上部にスリット状の開口を有する円管状部材を備え、前記圧縮空気が進行する前記通路は、前記ハウジングの前記開口部と前記円管状部材の開口とを略一定の高さの通路で連通することを特徴とする。
【００１４】
この発明のドライクリーナによれば、ハウジングの開口部から吸い込まれた被吐出物体から剥離した付着物を含む空気は通路内をほぼ一定の流速で進行し、円管状部材の上部のスリット状の開口から円管状部材内に吸い込まれるため、幅方向に対して均一な吸引を行なうことができる。また、通路内をほぼ一定の流速で被吐出物体から剥離した付着物を含む空気が進行するため、通路の内壁に一度剥離した付着物が再度付着するのを防止することができ、更に、仮に通路の内壁に付着物が再度付着した場合においても、落下し難くすることが出来る。
【００１５】
また、この発明のドライクリーナシステムは、本発明のドライクリーナと、被吐出物体を載置する載置部とを備え、前記ドライクリーナのノズルと前記被吐出物体とは、相互に一定の間隔を保って前記ノズルの前記吐出口の長手方向と直交する方向に相対的に移動することを特徴とする。
【００１６】
また、この発明のドライクリーナシステムは、前記ドライクリーナを前記ノズルの前記吐出口の長手方向と直交する方向に搬送する搬送手段または前記被吐出物体を前記ノズルの前記吐出口の長手方向と直交する方向に搬送する搬送手段を備えることを特徴とする。
【００１７】
この発明のドライクリーナシステムによれば、被吐出物体とノズルとがノズルの吐出口の長手方向と直交する方向に相対的に移動するため、大型の被吐出物体であっても迅速に付着物の除去を行うことができる。
【００１８】
この発明のノズルによれば、吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率を有する凸形状を有するため、吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出され被吐出物体表面を掃き、被吐出物体から剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿って進行する。従って、剥離した付着物のハウジング外への飛散を防止することができ、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。
【００１９】
また、この発明のドライクリーナによれば、ノズルの吐出口から被吐出物体に対して圧縮空気を略直交する方向に吹き付けるため、被吐出物体に付着している付着物を確実に剥離させることができる。また、ノズルの吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、吐出口から被吐出物体に対して略直交する方向に吐出され被吐出物体表面を掃き、被吐出物体から剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿ってハウジング内を進行する。従って、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。
【００２０】
また、この発明のドライクリーナシステムによれば、被吐出物体とノズルとがノズルの吐出口の長手方向と直交する方向に相対的に移動するため、大型の被吐出物体であっても迅速に付着物の除去を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１の実施の形態にかかるドライクリーナシステムの構成を示す図である。
【図２】第１の実施の形態にかかるドライクリーナの構成を示す断面図である。
【図３】第１の実施の形態にかかるノズルから吐出された圧縮空気の流れを説明するための図である。
【図４】第２の実施の形態にかかるドライクリーナの構成を示す断面図である。
【図５】第２の実施の形態にかかるノズルから吐出された圧縮空気の流れを説明するための図である。
【図６】第３の実施の形態にかかるドライクリーナの構成を示す断面図である。
【図７】第３の実施の形態にかかるノズルから吐出された圧縮空気の流れを説明するための図である。
【図８】圧縮空気の吹き出し圧力と排気装置の吸引動力の関係を示すグラフである。
【図９】コアンダ効果を利用しないドライクリーナの構成を示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して、この発明の第１の実施の形態にかかるドライクリーナについて説明する。図１は、第１の実施の形態にかかるドライクリーナを備えたドライクリーナシステムの構成を示す図である。なお、以下の説明においては、図１中に示す直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸が基板載置部の表面に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸が基板載置部の表面に対して直交する方向に設定されている。図中のＸＹＺ直交座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直方向に設定される。【００２３】
図１に示すように、ドライクリーナシステム２は、ドライクリーナ設置部３に設置されているドライクリーナ４と、被吐出物体である液晶表示装置用パネルの基板１０を載置する基板載置部８を備えている。ここで基板１０は、大型の矩形形状を有するガラス基板であり、基板載置部８は、大型の基板１０が載置できるように基板１０よりも大きい矩形形状の基板載置面を有している。【００２４】
ドライクリーナ４には、コンプレッサ５から供給管６を介して圧縮空気が供給される。供給された圧縮空気は、ノズル１６（図２参照）のスリット状の吐出口１６ｂから吐出され、基板載置部８に載置されている液晶表示装置用パネルの基板１０の表面に吹きつけられ、基板１０上に散布された付着物であるスペーサ（及び小粒径のゴミ類、以下同様）が除去される。即ち、圧縮空気をノズル１６のスリット状の吐出口１６ｂから吐出して基板１０の表面に吹きつけ、基板１０上に散布された付着物であるスペーサを基板１０から剥離させ、剥離したスペーサを含む圧縮空気を排出管１２を介してブロアを備える排気装置１４により排気することにより、基板１０上のスペーサを除去する。この際に基板載置部８が図１に示す矢印方向（Ｙ方向）、即ち、吐出口１６ｂの長手方向と直交する方向にコンベア等で搬送されて、吐出口１６ｂと基板１０とが相互に一定の間隔を保って相対的に移動することにより、基板１０の全面に亘って、スペーサを除去する。【００２５】
図２は、ドライクリーナ４の構成を説明するための断面図（ドライクリーナの幅方向の中央部におけるスリット状の吐出口と直交する方向の断面図）である。なお、ドライクリーナの断面形状は、ドライクリーナの幅方向の何れの位置においても同様な形状を有する。また、図中の矢印は、基板の移動方向を示している。【００２６】
ドライクリーナ４は、図２に示すように、基板１０の表面１０ａに対して圧縮空気を吐出するためのノズル１６とノズル１６を収容するハウジング１８を備えている。ノズル１６は、基板１０の幅方向（Ｘ方向）に延びる形状を有し、基板１０の幅方向よりも僅かに大きい幅を有している。ノズル１６は、その内部に、コンプレッサ５から供給管６を介して供給された圧縮空気を貯留する貯留部１６ａを有している。ここで貯留部１６ａは、ノズル１６内の略全幅に亘って形成されている。また、ノズル１６は、貯留部１６ａと連通したスリット状の吐出口１６ｂを備えている。また、ノズル１６は、図２に示すように、吐出口１６ｂが形成されている位置における吐出口１６ｂが延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状１６ｃを有しており、凸形状１６ｃの略中央部、即ち、ノズル１６を基板１０の表面１０ａと所定の間隔を持って配置した場合に、基板１０の表面１０ａに最も近接することとなる位置に吐出口１６ｂが設けられている。なお、ノズル１６が有する所定の曲率の凸形状１６ｃは、吐出口１６ｂの−Ｙ側の曲率半径をＲ１、吐出口１６ｂのＹ側の曲率半径をＲ２とした場合に、Ｒ１＝Ｒ２でも良いし、Ｒ１≠Ｒ２でも良く、Ｒ１、Ｒ２の大きさは、それぞれ最適なものに適宜選択可能である。【００２７】
ハウジング１８は、その内部にノズル１６を収容し、ノズル１６の吐出口１６ｂから基板１０の表面１０ａに向けて吐出した圧縮空気と、基板１０の表面１０ａを掃いた圧縮空気とが通過するように吐出口１６ｂに対向する位置にＸ方向に延びる開口部１８ａを備えている。ハウジング１８は、基板１０の表面１０ａを掃き開口部１８ａを通過した圧縮空気がノズル１８の所定の曲率を有する凸形状１６ｃに沿って進行する通路１８ｂを形成すると共に、この圧縮空気を排気管１２に排気する排気部１８ｃを備えている。【００２８】
コンプレッサ５から供給された圧縮空気は、貯留部１６ａを介し、スリット状の吐出口１６ｂより基板１０に向けて吐出され、基板１０の表面１０ａに到達する。ここで吐出口１６ｂと基板表面１０ａとの距離は、０．０１〜３０ｍｍ、好ましくは０．５〜５ｍｍにすることがよく、スリット状の吐出口１６ｂから吐出される圧縮空気としては、例えば吹き出し圧力を０．０１〜０．９５ＭＰａ、好ましくは０．１〜０．５ＭＰａとするのがよい。図３に示すように、スリット状の吐出口１６ｂから吐出された圧縮空気は、ハウジング１８の開口部１８ａを通過して、基板１０の表面１０ａに到達した後、基板１０の表面１０ａに付着しているスペーサを剥離する。そして、剥離したスペーサを含む圧縮空気は、開口部１８ａを通過して、図中の矢印で示すように、ノズル１６の所定の曲率を有する凸形状１６ｃに沿って通路１８ｂを進行し、排気部１８ｃ及び排気管１２を介して排気装置１４で吸引され、例えば工場の外部に排出される。その際に、基板が載置されている基板載置部８をＹ方向に移動させることにより基板１０の表面１０ａの全体に亘ってスペーサを除去することができる。【００２９】
この第１の実施の形態にかかるドライクリーナによれば、ノズルの吐出口から基板に対して圧縮空気を略直交する方向に吹き付けるため、基板に付着している付着物を確実に剥離させることができる。また、ノズルの吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、吐出口から基板に対して略直交する方向に吐出され基板表面を掃き、基板から剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿ってハウジング内を進行する。従って、剥離した付着物がハウジング外に飛散するのを防止することができ、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。また、コアンダ効果により剥離した付着物を含む圧縮空気は、ノズルの凸形状に沿って進行するため、排気装置の必要吸引動力を低減させることができる。【００３０】
次に、図面を参照して、この発明の第２の実施の形態にかかるドライクリーナについて説明する。このドライクリーナは、第１の実施の形態と同様にしてドライクリーナシステムに用いられる。図４は、ドライクリーナ３０の構成を説明するための断面図（ドライクリーナの幅方向の略中央部におけるスリット状の吐出口と直交する方向の断面図）である。なお、ドライクリーナの断面形状は、ドライクリーナの幅方向の何れの位置においても同様な形状を有する。また、図中の矢印は、基板の移動方向を示している。【００３１】
ドライクリーナ３０は、図４に示すように、基板１０の表面１０ａに対して圧縮空気を吐出するためのノズル３２とノズル３２を収容するハウジング３４を備えている。ノズル３２は、基板１０の幅方向（Ｘ方向）に延びる形状を有し、基板１０の幅方向よりも僅かに大きい幅を有している。ノズル３２は、内部にコンプレッサ５から供給管６を介して供給された圧縮空気を貯留する貯留部３２ａを有している。ここで貯留部３２ａは、ノズル３２内の略全幅に亘って形成されている。また、ノズル３２は、貯留部３２ａと連通したスリット状の吐出口３２ｂを備えている。また、ノズル３２は、図４に示すように、吐出口３２ｂが形成されている位置における吐出口３２ｂが延びる方向と直交する断面形状として平面形状３２ｃとこれに連続して形成された所定の曲率の凸形状３２ｄを有しており、平面形状３２ｃの略中央部に吐出口３２ｂが設けられている。なお、ノズル３２が有する所定の曲率の凸形状３２ｄは、吐出口３２ｂの−Ｙ側の曲率半径をＲ１、吐出口３２ｂのＹ側の曲率半径をＲ２とした場合に、Ｒ１＝Ｒ２でも良いし、Ｒ１≠Ｒ２でも良く、Ｒ１、Ｒ２の大きさは、それぞれ最適なものに適宜選択可能である。【００３２】
ハウジング３４は、その内部にノズル３２を収容し、ノズル３２の吐出口３２ｂから基板１０の表面１０ａに向けて吐出した圧縮空気と、基板１０の表面１０ａを掃いた圧縮空気とが通過するように吐出口３２ｂに対向する位置にＸ方向に延びる開口部３４ａを備えている。ハウジング３４は、基板１０の表面１０ａを掃き開口部３４ａを通過した圧縮空気がノズル３２の所定の曲率を有する凸形状３２ｄに沿って進行する通路３４ｂを形成すると共に、この圧縮空気を排気管１２に排気する排気部３４ｃを備えている。【００３３】
コンプレッサ５から供給された圧縮空気は、貯留部３２ａを介し、スリット状の吐出口３２ｂより基板１０に向けて吐出され、基板１０の表面１０ａに到達する。ここで吐出口３２ｂと基板１０の表面１０ａとの距離及び吐出口３２ｂから吐出される圧縮空気の圧力、吹き出し速度は、第１の実施の形態と同様にするのが好ましい。図５に示すように、スリット状の吐出口３２ｂから吐出された圧縮空気は、ハウジング３４の開口部３４ａを通過して、基板１０の表面１０ａに到達した後、基板１０の表面１０ａに付着しているスペーサを剥離する。そして、剥離したスペーサを含む圧縮空気は、開口部３４ａを通過して、ノズル３２の平面形状３２ｃ及び所定の曲率を有する凸形状３２ｄに沿って通路３４ｂを進行し、排気部３４ｃ及び排気管１２を介して排気装置１４で吸引され、外部に排出される。その際に、基板が載置されている基板載置部８をＹ方向、即ち吐出口３２ｂの長手方向と直交する方向に移動させることにより基板１０の表面１０ａの全体に亘ってスペーサを除去することができる。【００３４】
この第２の実施の形態にかかるドライクリーナによれば、ノズルの吐出口から基板に対して圧縮空気を略直交する方向に吹き付けるため、基板に付着している付着物を確実に剥離させることができる。また、ノズルの吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、吐出口から基板に対して略直交する方向に吐出され基板表面を掃き、基板から剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿ってハウジング内を進行する。従って、剥離した付着物がハウジング外に飛散するのを防止することができ、一度剥離した付着物が再度基板に付着するのを防止することができる。また、剥離した付着物を含む圧縮空気は、コアンダ効果によりノズルの凸形状に沿って進行するため、排気装置の吸引動力が低い場合においても、剥離した付着物を含む圧縮空気の排気を確実に行うことができる。【００３５】
次に、図面を参照して、この発明の第３の実施の形態にかかるドライクリーナについて説明する。このドライクリーナは、第１の実施の形態と同様にしてドライクリーナシステムに用いられる。ドライクリーナ５０は、図６に示すように、基板１０の表面１０ａに対して圧縮空気を吐出するためのノズル５６とノズル５６を収容するハウジング５８を備えている。ノズル５６は、基板１０の幅方向（Ｘ方向）に延びる形状を有し、基板１０の幅方向よりも僅かに大きい幅を有している。ノズル５６は、内部にコンプレッサ５から供給管６を介して供給された圧縮空気を貯留する貯留部５６ａを有している。ここで貯留部５６ａは、ノズル５６内の略全幅に亘って形成されている。また、ノズル５６は、貯留部５６ａと連通したスリット状の吐出口５６ｂを備えている。また、ノズル５６は、図６に示すように、吐出口５６ｂが形成されている位置における吐出口５６ｂが延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状５６ｃを有しており、ノズル５６を基板１０の表面１０ａと所定の間隔を持って配置した場合に、基板１０の表面１０ａに最も近接することとなる位置に吐出口５６ｂが設けられている。なお、ノズル５６が有する所定の曲率の凸形状５６ｃは、吐出口５６ｂの−Ｙ側の曲率半径をＲ１、吐出口５６ｂのＹ側の曲率半径をＲ２とした場合に、Ｒ１＝Ｒ２でも良いし、Ｒ１≠Ｒ２でも良く、Ｒ１、Ｒ２の大きさは、それぞれ最適なものに適宜選択可能である。【００３６】
ハウジング５８は、その内部にノズル５６を収容し、ノズル５６の吐出口５６ｂから基板１０の表面１０ａに向けて吐出した圧縮空気と、基板１０の表面１０ａを掃いた圧縮空気とが通過するように吐出口５６ｂに対向する位置にＸ方向に延びる開口部５８ａを備えている。ハウジング５８は、基板１０の表面１０ａを掃き開口部５８ａを通過した圧縮空気がノズル５６の所定の曲率を有する凸形状５６ｃに沿って進行する、一定の高さを有する通路５８ｂを形成すると共に、この圧縮空気を排気管１２に排気するための円管状部材６０を備えている。円管状部材６０は、ハウジング５８内のノズル５６の上方に、ノズル５６の吐出口５６ｂが延びる方向に沿って配置され、上部にスリット状の開口６０ａを有する。【００３７】
コンプレッサ５から供給された圧縮空気は、貯留部５６ａを介し、スリット状の吐出口５６ｂより基板１０に向けて吐出され、基板１０の表面１０ａに到達する。ここで吐出口５６ｂと基板表面１０ａとの距離は、０．０１〜３０ｍｍ、好ましくは０．５〜５ｍｍにすることがよく、スリット状の吐出口５６ｂから吐出される圧縮空気としては、例えば吹き出し圧力を０．０１〜０．９５ＭＰａ、好ましくは０．１〜０．５ＭＰａとするのがよい。図７に示すように、スリット状の吐出口５６ｂから吐出された圧縮空気は、ハウジング５８の開口部５８ａを通過して、基板１０の表面１０ａに到達した後、基板１０の表面１０ａに付着しているスペーサを剥離する。そして、剥離したスペーサを含む圧縮空気は、開口部５８ａを通過して、図中の矢印で示すように、ノズル５６の所定の曲率を有する凸形状５６ｃに沿って通路５８ｂを進行し、開口部５８ａと円管状部材６０の開口６０ａとを連通する略一定の高さの通路を進行して、開口６０ａから円管状部材６０内に吸い込まれ、排気管１２を介して排気装置１４で吸引され、例えば工場の外部に排出される。その際に、基板が載置されている基板載置部８をＹ方向に移動させることにより基板１０の表面１０ａの全体に亘ってスペーサを除去することができる。【００３８】
この第３の実施の形態にかかるドライクリーナによれば、ノズルの吐出口から基板に対して圧縮空気を略直交する方向に吹き付けるため、基板に付着している付着物を確実に剥離させることができる。また、ノズルの吐出口が形成されている位置における吐出口が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有するため、吐出口から基板に対して略直交する方向に吐出され基板表面を掃き、基板から剥離した付着物を含む圧縮空気はコアンダ効果により所定の曲率を有する凸形状に沿ってハウジング内を進行する。従って、剥離した付着物がハウジング外に飛散するのを防止することができ、一度剥離した付着物が再度被吐出物体に付着するのを防止することができる。また、コアンダ効果により剥離した付着物を含む圧縮空気は、ノズルの凸形状に沿って進行するため、排気装置の必要吸引動力を低減させることができる。【００３９】
また、ハウジングの開口部から吸い込まれた被吐出物体から剥離した付着物を含む空気は、通路が一定の高さを有するため、通路内を一定の流速で進行し円管状部材の上部のスリット状の開口から円管状部材内に吸い込まれるため、幅方向に対して均一な吸引を行なうことができる。また、通路内を一定の流速で被吐出物体から剥離した付着物を含む空気が進行するため、通路の内壁に一度剥離した付着物が再度付着するのを防止することができ、更に、仮に通路の内壁に付着物が再度付着した場合においても、落下し難くすることが出来る。【００４０】
なお、上述の実施の形態においては、ドライクリーナ４（３０，５０）に対して基板載置部８がＹ方向に移動しているが、基板載置部８に対してドライクリーナ４（３０，５０）がＹ方向に移動するようにしても良い。即ち、ドライクリーナ４（３０，５０）をコンベア等の搬送手段によりＹ方向に搬送することにより、基板載置部８に対してドライクリーナ４をＹ方向に移動するようにしても良い。【００４１】
また、上述の実施の形態にかかる被吐出物体１０は液晶表示装置用パネルの基板であり、付着物は被吐出物体１０上に散布されたスペーサであるが、被吐出物体１０は、例えば、電子部品を実装する実装基板、シリコンウエハ、フィールド・エミッション・ディスプレイパネル、プラズマ・ディスプレイパネル等の基板、多機能フィルム等であってもよく、付着物は、例えば数ｎｍ〜数μｍの基板カットくず、糸ごみ等の塵埃等であってもよい。【００４２】
また、上述の実施の形態においては、工場施設のコンプレッサを用いてドライクリーナに圧縮空気を供給しているが、ドライクリーナシステムにコンプレッサを設けて、ドライクリーナに圧縮空気を供給するようにしても良い。【００４３】
次に、上述の各実施の形態のようにコアンダ効果を用いたドライクリーナと、コアンダ効果を用いないドライクリーナとにおける、ノズルからの圧縮空気の吹き出し圧力と排気装置の吸引動力の関係について説明を行なう。ここで図８はノズルからの圧縮空気の吹出圧力と排気装置の吸引動力の関係を示すグラフであり、図９は、コアンダ効果を利用しないドライクリーナの構成を示す断面図である。図９に示すドライクリーナ１００は、ハウジング１１０内にノズル１２０を備えているが、ノズル１２０の吐出口１３０が形成されている位置における吐出口１３０が延びる方向と直交する断面形状として所定の曲率の凸形状を有していない。【００４４】
図８のグラフに示すように、ノズルの吐出口と基板との間隔（ギャップ）を０．５〜２．０（ｍｍ）の間で変化させ、ノズルからの圧縮空気の吹き出し圧力を０．２〜０．５（ＭＰａ）の間で変化させて、それぞれの場合における排気装置の吸引動力（−）（ギャップを０．５（ｍｍ）に設定し、コアンダ効果を利用した場合の吸引負荷を１．０として、他の場合の吸引負荷を無次元化したもの）を測定したが、どの条件の場合においても、コアンダ効果を利用している場合のほうが、排気装置の吸引動力が小さかった。【００４５】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであり、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属するすべての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００４６】
本開示は、２００７年３月８日に提出された日本国特許出願第２００７−５８２７８号に含まれた主題に関連し、その開示のすべてはここに参照事項として明白に組み込まれる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
以上のように、この発明のノズル、ドライクリーナ、およびドライクリーナシステムは除塵装置に用いるのに適している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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