(57)【要約】  工程を短縮して良品率を向上することができる、ビアホールの形成方法及び多層基板の製造方法を提供する。  （１）導電性材料を含み突起部１０ｂを有するトナー１０を、突起部１０ｂが外側を向くように、第１の感光体３０の表面３１に付着させてトナー像を形成する、第１の工程と、（２）絶縁性材料を含むグリーンシート２の一方主面２ａに感光体３０の表面３１を対向させてトナー像をグリーンシート２の一方主面２ａに転写して、グリーンシート２に突き刺したトナー１０の突起部１０ｂがグリーンシート２の他方主面２ｂに達し、トナー１０がグリーンシート２に埋め込まれるようにする、第２の工程とを備え、電子写真印刷法を用いてビアホール３を形成する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料を含み突起部を有するトナーを、前記突起部が外側を向くように、第１の感光体の表面に付着させてトナー像を形成する、第１の工程と、
絶縁性材料を含むグリーンシートの一方主面に前記感光体の前記表面を対向させて前記トナー像を前記グリーンシートの前記一方主面に転写して、前記グリーンシートに突き刺した前記トナーの前記突起部が前記グリーンシートの他方主面に達し、前記トナーが前記グリーンシートに埋め込まれるようにする、第２の工程と、
を備えたことを特徴とする、電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項２】
前記トナーは、平面部を有することを特徴とする、請求項１に記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項３】
前記トナーは、前記突起部の先端が前記平面部の法線方向に向いていることを特徴とする、請求項２に記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項４】
前記トナーは、それぞれ、１つの金属塊により大部分が構成されていることを特徴とする、請求項１ないし３に記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項５】
前記トナーは、めっきにより形成されていることを特徴とする、請求項４に記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項６】
前記トナーは、それぞれ、導電材料の複数の粒子が結合していることを特徴とする、請求項１ないし３に記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項７】
前記トナーは、無機組成物を含むことを特徴とする、請求項６に記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項８】
第２の導電性材料を含む第２のトナーを、第２の感光体の表面に付着させて第２のトナー像を形成する第３の工程と、
前記第２のトナー像を前記グリーンシートに転写し、前記第２のトナーを前記グリーンシートに転写・定着する第４の工程と、
を備えたことを特徴とする、請求項１ないし７のいずれか一つに記載の電子写真印刷法によるビアホールの形成方法。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一つに記載の電子写真印刷法によるビアホール形成方法により前記ビアホールが形成された複数枚の前記グリーンシートを積層して積層体を作製することを特徴とする、多層基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子写真印刷法によるビアホールの形成方法に関し、詳しくは、電子写真印刷法を用いて、基板等の内部に配置されるビアホールを形成するビアホールの形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック多層基板は、複数枚のグリーンシートを積層、圧着した積層体を焼成することにより形成される。グリーンシートには、必要に応じて、抵抗素子となる抵抗パターンや、インダクタとなる配線、キャパシタの電極などの回路パターンが表面に形成されたり、貫通孔に導体が充填されてビアホールが形成されたりする。ビアホールは、金型を用いた機械的なパンチやレーザー照射等によりグリーンシートに穴あけ加工した後、導体をスクリーン印刷等により充填することにより形成される（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−８５４５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような方法でビアホールを形成すると、穴あけと導体の充填という異なる工程が必要であるため、作製工程が長くなり、各工程において不良が発生するため、良品率のさらなる向上が難しく、製造コストの低減に限界がある。【０００４】
本発明は、かかる実情に鑑み、工程を短縮して良品率を向上することができる、ビアホールの形成方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子写真印刷法によるビアホールの形成方法を提供する。【０００６】
電子写真印刷法によるビアホールの形成方法は、（１）導電性材料を含み突起部を有するトナーを、前記突起部が外側を向くように、第１の感光体の表面に付着させてトナー像を形成する、第１の工程と、（２）絶縁性材料を含むグリーンシートの一方主面に前記感光体の前記表面を対向させて前記トナー像を前記グリーンシートの前記一方主面に転写して、前記グリーンシートに突き刺した前記トナーの前記突起部が前記グリーンシートの他方主面に達し、前記トナーが前記グリーンシートに埋め込まれるようにする、第２の工程と、を備える。【０００７】
上記方法の第２の工程によって、グリーンシートに埋め込まれたトナーは、グリーンシートの両方の主面に露出する。このグリーンシートに埋め込まれたトナーによって、ビアホールを形成することができる。【０００８】
好ましい一態様としては、前記トナーは、平面部を有し、前記突起部の先端が前記平面部の法線方向に向いている。【０００９】
この場合、第１の工程において、第１の感光体の表面にトナーの平面部が付着することによってトナーの突起部が外側を向くので、感光体に付着するときのトナーの向きを揃えることが容易である。【００１０】
好ましい他の態様としては、前記トナーは、それぞれ、１つの金属塊により大部分が構成されている。【００１１】
この場合、トナーは、めっきや削り出し等により作製した金属塊を含むので、抵抗値が下がり、電気的特性が向上する。【００１２】
好ましくは、前記トナーは、それぞれ、導電材料の複数の粒子が結合している。【００１３】
この場合、トナーに含まれる各粒子に帯電性樹脂を塗布できるため、帯電性樹脂の塗布面積が広くなり、トナーが感光体に付着するときの付着力を強化することができる。これにより、感光体からのトナーの脱落等による不良を低減することができる。【００１４】
好ましくは、（３）第２の導電性材料を含む第２のトナーを、第２の感光体の表面に付着させて第２のトナー像を形成する第３の工程と、（４）前記第２のトナー像を前記グリーンシートに転写し、前記第２のトナーを前記グリーンシートに転写・定着する第４の工程と、を備える。【００１５】
この場合、ビアホールの形成と配線電極等の形成とを同じ方式の装置で連続して行うことができるので、製造時間の短縮、工程の簡素化等を図ることができる。なお、第１及び第２の工程の後に第３及び第４の工程を実行しても、第１及び第２の工程の前に第３及び第４の工程を実行しても、第１及び第２の工程と第３及び第４の工程とを並行しながら同時に実行してもよい。第１の導電性材料と、第２の導電性材料とが同一であってもよい。第１の感光体と第２の感光体とが同一であってもよい。第２のトナー像は、グリーンシートの他方主面に形成してもよい。【００１６】
また、本発明は多層基板の製造方法を提供する。【００１７】
多層基板の製造方法は、上記電子写真印刷法によるビアホール形成方法により前記ビアホールが形成された複数枚の前記グリーンシートを積層して積層体を作製する。【００１８】
この場合、積層体を焼成等により固化することによって、効率よく多層基板を作製することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の回路パターンの形成方法によれば、トナーの転写によって、穴あけと導体の充填を同時に行うことができるので、工程を短縮して良品率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】電子写真印刷装置の構成図である。（実施例１）
【図２】グリーンシートの要部拡大断面図である。（実施例１）
【図３】トナーの斜視図である。（実施例１）
【図４】トナーの斜視図である。（実施例２）
【図５】電子写真印刷装置の構成図である。（実施例３）
【図６】セラミック多層基板の製造工程のフロー図である。（実施例４）
【符号の説明】
【００２１】
２  セラミックグリーンシート（グリーンシート）
３  ビアホール
１０〜１２  トナー
１０ａ〜１２ａ  平面部
１０ｂ〜１２ｂ  突起部
１０ｓ〜１２ｓ  平面部
１０ｔ〜１２ｔ  突起部
１０ｘ〜１２ｘ  トナー
１４  粒子
２０  電子写真装置
２２，２２ｘ  トナー供給装置
３０，３０ｘ  感光体
３２  帯電器
３４  露光装置
３６  クリーナー
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態として実施例について、図１〜図６を参照しながら説明する。【００２３】
＜実施例１＞  実施例１について、図１〜図３を参照しながら説明する。【００２４】
図１に模式的に示したように、トナー像を形成し、転写・定着するための電子写真装置２０を用いて、トナー１０を、セラミック材料を含む未焼成のセラミックグリーンシート２に埋め込むことによって、ビアホール３を形成する。【００２５】
電子写真装置２０は、現像ユニット４０と、転写装置２６とを備える。【００２６】
現像ユニット４０は、ドラム状の感光体３０のまわりに、帯電器３２、露光装置３４、トナー供給装置２２、及びクリーナー３６が配置されている。帯電器３２は、感光体３０の表面３１を帯電させる。例えば、帯電器３２には、コロナ帯電器を用いる。露光装置３４は、感光体３０の表面３１に照射光を照射し、所望の潜像パターン（図示せず）を形成する。トナー供給装置２２は、トナー像を現像するため、感光体３０の潜像パターン上に、導電材料を含むトナー１０を供給する。クリーナー３６は、トナー像が転写された後の感光体３０の表面３１をクリーニングする。【００２７】
転写装置２６は、感光体３０の表面３１に形成されたトナー１０を、被印刷物であるセラミックグリーンシート２に転写する。転写装置２６は、感光体３０の下方に配置されている。感光体３０の表面３１は、キャリアフィルム２４に支持されたセラミックグリーンシート２の上面２ａに接触している。【００２８】
次に、電子写真装置２０の動作を説明する。【００２９】
まず、感光体３０を矢印３８で示す方向に回転させながら、帯電器３２により感光体３０の表面電位を一定電位（例えばマイナス電荷）に均一に帯電させる。具体的な帯電方法としては、スコロトロン帯電法、ローラ帯電法、ブラシ帯電法などがある。【００３０】
次いで、露光装置３４で、ビアホールパターンに対応する画像信号に応じて、照射光を感光体３０の表面３１に照射し、照射部分のマイナス電荷を除去し、感光体３０の表面３１に、ビアホールパターンに対応する電荷の像（静電潜像）を形成する。照射光は、レーザー発振器やＬＥＤ等により発生する。【００３１】
次いで、トナー供給装置２２により、感光体３０上の静電潜像に、トナー１０を静電的に付着させて、可視像（トナー像）を形成する。トナー１０は、錐状もしくは針状の形状であり、例えば図３（ａ）に示すように略正４面体の形状であり、平面部１０ａと突起部１０ｂとを有し、図１に示すように、突起部１０ｂの先端が外側を向くようにして、平面部１０ａが感光体３０の表面３１に吸着される。【００３２】
次いで、転写装置２６によりプラス電位に帯電させたセラミックグリーンシート２を、感光体３０の表面３１に接近又は接触させながら、感光体３０の回転と同期して矢印２８の方向に搬送し、感光体３０の表面３１のトナー像を、セラミックグリーンシート２の表面５に転写する。【００３３】
このとき、感光体３０の表面３１に吸着されてトナー像を形成するトナー１０は、感光体３０の回転に伴って、突起部１０ｂの先端が、キャリアフィルム２４に支持されたセラミックグリーンシート２の表面２ａに突き刺さり、セラミックグリーンシート２を貫通してセラミックグリーンシート２の下面２ｂに達し、キャリアフィルム２４に当たって潰れて平坦になった先端１０ｃが形成される。このようにしてトナー１０をセラミックグリーンシート２に埋め込むことによって、ビアホール３が形成される。【００３４】
トナー１０は、感光体３０により、セラミックグリーンシート２上で圧力を加えることによって、セラミックグリーンシート２に埋め込む。この場合に加える圧力は、トナー１０の大きさや個数、トナー１０が埋め込まれるセラミックグリーンシート２の厚みにもよるが、一例を挙げると、１５０ｍｍ×１５０ｍｍのセラミックグリーンシートに対して、１０，０００個のトナーを埋め込むには、１００ＭＰａ〜１０００ＭＰａの面圧が良好である。【００３５】
しかも、セラミックグリーンシートは、４０℃〜１００℃程度に加熱し、セラミックグリーンシート中のバインダーを軟化させておくことが好ましい。【００３６】
また、セラミックグリーンシートの厚みがキャリアフィルムの厚みよりも薄く、かつ、キャリアフィルムの厚みが０．０５ｍｍ以上である方が好ましい。【００３７】
なお、キャリアフィルムを用いずに、セラミックグリーンシートのみステージやベルト上に載置して搬送するようにしてもよい。【００３８】
また、セラミックグリーンシート２と感光体３０とを相対移動させればトナー像を転写することができるので、セラミックグリーンシート２を固定し、現像ユニット４０と転写装置２６とを移動させ、感光体３０の表面がセラミックグリーンシート２の上面２ａに沿って回転しながら移動するように構成してもよい。【００３９】
トナー像が転写されたセラミックグリーンシート２は、必要に応じて、図２の要部拡大図に示すように、導電性ペーストを用いて印刷等の方法によって、表面２ａに回路パターン４が形成された後、所定枚数が積層、圧着される。このようにして作製された積層体を焼成することによって、セラミック多層基板が得られる。【００４０】
図３の斜視図に示すように、トナーは、錐状もしくは針状に型成形した導電材料の表面に樹脂をコーティングしたものである。導電材料としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｗが代表的である。導電材料の型成形は、（ａ）溶融した金属を型に流し込み成型する、（ｂ）金属の削り出しにより成型する、（ｃ）金属の鍛造により成型する、（ｄ）めっきを型に析出させることで成型する等の方法で、金属の塊を成型する。トナーの各粒子は、１つの金属の塊により大部分が構成されている。【００４１】
図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、トナー１０〜１２は、平面部１０ａ〜１２ａと、平面部１０ａ〜１２ａの法線方向に先端が向く突起部１０ｂ〜１２ｂとを有しており、平面部１０ａ〜１２ａが感光体３０の表面に吸着されたときに、突起部１０ｂ〜１２ｂの先端が外側を向き、感光体３０に付着するときのトナー１０〜１２の向きを揃えることが容易である。もっとも、上記以外の立体形状に形成されたトナーを用いてもよい。【００４２】
図３（ａ）に示した略正四面体のトナー１０は、どの面が感光体３０の表面３１に吸着されても、突起部の先端が外側を向くので、トナー１０が吸着されたときの方向を揃えることが容易である。【００４３】
図３（ｂ）に示した略円錐形状のトナー１１は、円形の貫通孔を有するマスクを基台に載置し、導電材料を含む適度な粘度のペーストを円形の貫通孔に充填した後、マスクを基台から持ち上げてペーストを上方に引き伸ばす等の方法によって、容易に作製することができる。【００４４】
図３（ｃ）に示した円筒形状の先端が略円錐形状となっているトナー１１は、同心に配置された円形の貫通孔を有する２枚のマスクを重ねて基台に載置し、導電材料を含む適度な粘度のペーストを円形の貫通孔に充填した後、上側のマスクのみを基台から持ち上げて先端側のペーストを上方に引き伸ばす等の方法によって、容易に作製することができる上、セラミックグリーンシートに埋め込まれたときに軸直角断面の形状が略一定となり、ビアホールの抵抗値がどの断面位置でも略一定にすることが容易である。【００４５】
上記のように電子写真印刷法を用いてビアホールを形成すると、導電材料を含むトナーを、直接、セラミックグリーンシートに埋め込むため、セラミックグリーンシートにビアホール用の穴を予め形成する必要がない。そのため、工程を短縮し、製造コストを低減することができる。【００４６】
また、感光体にトナー像を作像するため、トナー像を高精度に位置決めすることが容易であり、ビアホールの位置精度がよい。そのため、製品を小型化することができる。【００４７】
また、トナーの鋭利な先端をセラミックグリーンシートに突き刺し、セラミックグリーンシートに埋め込むため、後工程においてセラミックグリーンシートを搬送したときにトナーが移動しないので、トナーから欠落した導電材料のくずによる電気的ショートやトナー自身の欠落による電気的未接続等の不良発生を防止することができる。【００４８】
また、セラミックグリーンシートにトナーを埋め込んだ後に、ビアホール上に確実に重なるように回路パターンを形成することができるので、回路パターンとビアホールとの接続が安定し信頼性が向上する。【００４９】
さらに、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムの上に配置した状態でトナーを埋め込むと、トナーの先端がセラミックグリーンシートよりも硬いＰＥＴやＰＥＮなどのキャリアフィルムに当たって平坦になり、かつ、平坦になったトナーの先端部分が再びセラミックグリーンシートに覆い被されることがないので、ビアホールの平坦になった先端部分によって層間を接続する場合でも、安定した接続が可能となり、歩留まりが向上する。【００５０】
トナーの各粒子の大部分が一つの金属の塊により構成されている場合、回路の抵抗値が低くなり、特に高周波回路における損失を低減でき、高特性化を図ることができる。【００５１】
トナーの各粒子の大部分を構成する金属の塊をめっきにより型成形する場合には、容易にかつ安価に作製することができ、製造コストの低減を図ることができる。また、成形型を精度よく作製することができるので、微小でかつ精度のよい突起部を形成できる。さらに電界めっきの場合は、その電流値を制御することにより、金属の塊の密度を制御することができる。これにより、金属の塊の内部に空隙を形成することができ、積層体の焼成するときのセラミックグリーンシートとビアホールとの収縮量を合わせられ、焼成時の両者の収縮量の違いによるビアホール周辺でのクラック等による不良を防ぐことができる。【００５２】
＜実施例２＞  実施例２について、図４を参照しながら説明する。実施例２では、セラミックグリーンシートに埋め込むトナーの構成のみが、実施例１とは異なる。【００５３】
図４（ａ）〜（ｃ）の斜視図に示すように、トナー１０ｘ〜１２ｘは、導電材料の複数の粒子１４が結合して錐状もしくは針状の集合体である。トナー１０ｘ〜１２ｘは、実施例１と同様に、平面部１０ｓ〜１２ｓと、平面部１０ｓ〜１２ｓの法線方向に先端が向く突起部１０ｔ〜１２ｔとを有しており、平面部１０ｓ〜１２ｓが感光体３０の表面に吸着されたときに、突起部１０ｔ〜１２ｔの先端が外側を向き、感光体３０に付着するときのトナー１０ｘ〜１２ｘの向きを揃えることが容易である。もっとも、上記以外の立体形状に形成された、導電材料の粒子の集合体であるトナーを用いてもよい。【００５４】
導電材料の粒子１４には、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｗの単体金属粒子やこれらの複合物の金属粒子を用い、必要に応じて共素地などの添加物の粒子をワニスによりペースト化したものを用い、マスクにより、図４に示した形状に成型する。トナー１０ｘ〜１２ｘは、（ａ）ペースト化する金属粒子等の導電材料の粒子自身に、予め帯電樹脂をコーティングしたものを用いる、（ｂ）ペースト化するワニスに帯電樹脂をコーティングしたものを用いる、（ｃ）成型後に帯電樹脂をコーティングする等の方法で、帯電させる。【００５５】
導電材料の粒子１４の集合体であるトナー１０ｘ〜１２ｘを用いると、導電材料の各粒子１４に帯電性樹脂を塗布できるため、帯電性樹脂の塗布面積が広くなり、トナー１０ｘ〜１２ｘを十分に帯電させることができる。これにより、感光体３０からのトナー１０ｘ〜１２ｘの脱落等による不良を低減することができる。【００５６】
また、導電材料が粒子状であることで、セラミックグリーンシートとともに焼成したときに、ガラス成分の濡れ面積が増加し、セラミックへの拡散も良くなることで、導電材料とセラミックの高い接合性を得ることができ、セラミック多層基板の特性が向上する。さらに、トナー１０ｘ〜１２ｘにセラミックグリーンシートを構成するガラス等の無機物を添加することにより、セラミックグリーンシートとトナー１０ｘ〜１２ｘとの収縮挙動を合わせることができる。これにより、焼成時の両者の収縮量の違いによるビアホール周辺でのクラック等による不良を防ぐことができるとともに、ビアホールとセラミックとの接合強度を向上させることができる。【００５７】
＜実施例３＞  実施例３について、図５の模式図を参照しながら説明する。【００５８】
実施例３では、実施例１と異なり、平板状の感光体３０ｘを用い、トナー像の現像と、トナーの埋め込みとを、独立したステージ上で行う。【００５９】
すなわち、図５（ａ）において矢印３９ａで示すように、感光体３０ｘをトナー供給装置２２ｘに接近させて、感光体３０ｘの下面３１ｘに予め形成した潜像にトナー１０の平面部１０ａを吸着することによって、トナー像を形成する。【００６０】
トナー像が現像された感光体３０ｘは、図５（ｂ）において矢印３９ｂで示すように、感光体３０ｘを、キャリアフィルム２４上に支持されたセラミックグリーンシート２に接近させ、感光体３０ｘの下面３１ｘに吸着されたトナー１０の突起部１０ｂの先端を、セラミックグリーンシート２の上面２ａに突き刺し、図示した状態からさらに感光体３０ｘをセラミックグリーンシート２側に移動させて、トナー１０の突起部１０ｂの先端をキャリアフィルム２４に当て、突起部１０ｂの先端をつぶして平坦にする。【００６１】
平板状の感光体３０ｘを用いることによって、トナー１０を埋め込む際に、トナー１０の突起部１０ｂの先端がセラミックグリーンシートに真っ直ぐ向いた状態で、セラミックグリーンシート２に対して垂直に圧力を加えることができる。そのため、実施例１と比較すると、感光体３０ｘ体でのトナー１０の保持力を低くすることができる。【００６２】
＜実施例４＞  実施例４について、図６を参照しながら説明する。【００６３】
実施例４では、図６のフロー図に示すように、実施例１と同様にしてセラミックグリーンシートにビアホールを形成した後に（Ｓ１０）、電子写真印刷法を用いて、セラミックグリーンシート上に、配線電極用のトナーで配線電極を形成する（Ｓ２０）。【００６４】
具体的には、まず、実施例１と同様に、セラミックグリーンシートのビアホールを設けたい部分に対応するように、感光体を帯電、露光し、感光体の表面に潜像パターンを形成する（Ｓ１２）。次いで、潜像パターン上に、突起部の先端が外側を向くように、トナーの平面部を感光体の表面に吸着させる（Ｓ１４）。次いで、感光体をセラミックグリーンシートに押圧しながら、感光体の表面に吸着されているトナーの突起部をセラミックグリーンシートの上面に突き刺して、トナーをセラミックグリーンシートに埋め込む。トナーが埋め込まれたセラミックグリーンシートの上面は、平坦である。【００６５】
次いで、実施例１と異なり、配線電極用の感光体を帯電、露光し、配線電極用の感光体に、所望の配線電極に対応した潜像パターンを形成し（Ｓ２２）、潜像パターン上に配線電極用のトナーを付着させて配線電極用のトナー像を形成する（Ｓ２４）。次いで、配線電極用の感光体上の配線電極用のトナーをセラミックグリーンシートの上面に近接させて、トナーをセラミックグリーンシートの上面に転写し、定着する（Ｓ２６）。【００６６】
上記の各ステップを繰り返し、必要枚数のセラミックグリーンシートを作成した後（Ｓ３０）、必要枚数のセラミックグリーンシートを積層、圧着して積層体を形成し、この積層体を焼成することによって、セラミック多層基板を得る（Ｓ３２）。【００６７】
実施例４では、ビアホールの形成と配線電極の形成とを同じ方式の装置で連続して行うことができるので、製造時間の短縮、工程の簡素化等を図ることができる。なお、ビアホール形成工程（Ｓ１０）の前に配線電極形成工程（Ｓ２０）を実行しても、ビアホール形成工程（Ｓ１０）と配線電極形成工程（Ｓ２０）とを並行しながら同時に実行してもよい。配線電極用のトナーの導電性材料は、ビアホール形成用のトナーの導電性材料と同一材料であってもよい。ビアホール形成工程（Ｓ１０）と配線電極形成工程（Ｓ２０）とで同じ感光体を用いてもよい。配線電極は、セラミックグリーンシートの下面に形成してもよい。【００６８】
＜まとめ＞  以上に説明したように、電子写真印刷法を用いてトナーを埋め込んだグリーンシートを積層して多層基板を製造すると、ビアホールを形成する工程を短縮して良品率を向上することができる。【００６９】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の態様で実施することが可能である。【００７０】
例えば、Ｂステージ状態の樹脂など、セラミック以外の絶縁性材料を含むグリーンシートについて、トナーを埋め込むことによってビアホールを形成してもよい。また、グリーンシートの面方向への収縮を抑制するための収縮抑制層を用いて形成する無収縮基板へ適用してもよい。
【図１】
2008114551.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
2008114551.tif 000009
2008114551.tif 000010