(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象となる検査部を有する被検査物と、該検査部の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
前記検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える接続電極体と、
上方端が前記電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、
前記第一筒体の下方端開口部から突出されるとともに該第一筒体内に電気的に接続されて同軸に配置され、上方端が該第一筒体の内部に配置されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、
前記第一筒体及び前記第二筒体と電気的に非接続で且つ該第一筒体及び該第二筒体内に同軸で収容され、上方端が前記電極部に圧接されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第三筒体と、
前記第二筒体と第三筒体の夫々の下方端を前記検査点へ案内する第一案内孔を有する第一板状部材と、
前記第一筒体と前記第三筒体の夫々の上方端を前記電極部へ案内する第二案内孔を有し、前記第一板状部材と所定間隔を有して配置される第二板状部材とを備え、
前記第一筒体は、
該第一筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第一切欠部が設けられ、
前記第三筒体は、
該第三筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第二切欠部が設けられ、
前記第一筒体は、
前記第一切欠部より該下方端側に前記第二筒体と固定される第一固定部を有していることを特徴とする検査用治具。
【請求項２】
前記第一案内孔は、前記第一筒体の外径よりも小さく且つ第二筒体の外径よりもわずか
に大きい径を有することを特徴とする請求項１に記載の検査用治具。
【請求項３】
前記第三筒体は、該第三筒体の下方側に設けられる一つの切欠部が、第一案内孔の内部
に存在することを特徴とする請求項１及び２に記載の検査用治具。
【請求項４】
前記第一案内孔は、
前記第一筒体の外径よりもわずかに大きい径を有する第一案内上孔と、
前記第一案内上孔と連通連結され、前記第一筒体の外径より小さく、前記第二筒体の
外径よりもわずかに大きい径を有する第一案内下孔を有することを特徴とする請求項１に
記載の検査用治具。
【請求項５】
前記第三筒体は、上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の二つの第二切欠部を互いに距
離を有して備えるとともに、該二つの第二切欠部の間に前記第二筒体と固定される第二固
定部を有していることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の検査用治具。
【請求項６】
前記第三筒体は、該第三筒体の中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配
置されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の検査用治具。
【請求項７】
被検査対象となる検査部を有する被検査物と、該検査部の電気的特性を検査する検査装とを電気的に接続する検査用治具に用いる接触子であって、
上方端が前記電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、
前記第一筒体の他方端開口部から突出されるとともに該第一筒体内に電気的に接続されて同軸に配置され、上方端が該第一筒体の内部に配置されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、
前記第一筒体及び前記第二筒体と夫々電気的に非接続で且つ該第一筒体及び該第二筒体内部に同軸で収容され、上方端が前記電極部に圧接されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第三筒体とを備え、
前記第一筒体は、
該第一筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第一切欠部が設けられ、
前記第三筒体は、
該第三筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の二つの第二切欠部が互いに距離を有して設けられ、
前記第一筒体は、
第一切欠部より下方端側に前記第二筒体が固定される第一固定部を有しており、
前記第三筒体は、
前記二つの第二切欠部の間に前記第二筒体と固定される第二固定部を有していることを特徴とする接触子。
【請求項８】
前記第三筒体は、該第三筒体の中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配
置されていることを特徴とする、請求項７に記載の接触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の検査対象部上に予め設定される検査点とこの検査を実施する検査装置とを電気的に接続する検査用治具に関し、特に四端子測定を容易に測定可能とする検査用接触子とこの接触子を用いる検査用治具に関する。
【０００２】
本発明の検査用治具とは、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電力或いは電気信号を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性を検出したり、動作試験を行ったりすることを可能にする。
【０００３】
このような被検査物とは、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)などの半導体装置を例示することができる。
【０００４】
本明細書では、これらの上記の被検査物を総称して「被検査物」とし、被検査物に形成される検査対象部を「検査部」と称する。なお、検査部には、この検査部の電気的特性を実際に検査するための検査点が設定され、この検査点に接触子を圧接させることにより、検査部の電気的特性が検出される。
【背景技術】
【０００５】
従来、被検査物の一実施形態である回路基板には、複数の配線が形成されている。この配線は、回路基板上に搭載される電気・電子部品が所望の機能を有するように、電力を供給したり、電気信号を流したりするために形成されている。このため、配線の不良は、回路基板の動作不良につながることが知られている。
【０００６】
このような問題を解決するために、回路基板や半導体装置などの被検査物に形成される配線のような対象部の良否を判定する検査装置の発明が多数提案されている。
【０００７】
このような検査装置は、例えば、被検査物となる基板上に形成される配線の良否を判断するために、配線上に予め設定される複数の検査点と、夫々に接続される複数の接触子（プローブ）を備える検査用治具を用いて検査が実施される。
【０００８】
このような検査用治具は、接触子の一端が配線（検査部）上の検査点に圧接され、その他端が基板検査装置と電気的に接続される電極部に圧接される。そして、この検査用治具を介して、基板検査装置から配線の電気的特性を測定するための電流や電圧を供給するとともに、配線から検出される電気的信号を基板検査装置へ送信することになる。
【０００９】
近年、技術の進歩により、半導体装置の小形化や、基板の小形化などに伴い、基板上の配線もより微細かつ複雑に形成されるようになっている。このような基板の配線の微細化及び複雑化が進むにつれて、検査用治具が備える接触子も接触子自体の細線化、接触子間の狭ピッチ化や多ピン化や簡素化が求められている。
【００１０】
特に、微細化及び複雑化した被検査物の対象部を測定する場合には、対象部が接触子と接触した場合に生じる接触抵抗値の影響が大きいため、四端子測定法が実施される。この四端子測定法では、検査点に電流供給用と電圧検出用の電気的に独立した２組の接触子を配置する必要がある。このため、通常よりも細線化した接触子が要求されることになる。
【００１１】
ここで、例えば、特許文献１に開示される検査用治具の接触子では、筒状部材の第一電極部と、この第一電極部内部と絶縁されてその内部に配置される第二電極部を備えてなり、検査点に対して第一電極部と第二電極部が同時に接触するように形成されている。
【００１２】
しかしながら、特許文献１に開示される検査用治具では、巻線を用いたコイルばねにより形成されるため、コイルの直径の４倍程度より小さい径を有するコイルの形成が困難であり、外径が100μｍ以下の巻線コイルばねを形成し、検査用治具として組み立てることは極めて困難であった。仮に形成することができたとしても、製造コストの問題から２〜４千本の検査用治具に利用することは高価に成り過ぎて、実用的でない問題点を有していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００５−２４９４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、基板の微細化及び複雑化に対応することができるとともに、部品点数を低減した簡素化した構造の四端子測定用の接触子を備える検査用治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するために、本発明に係る検査用治具は、検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える接続電極体と、上方端が前記電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、前記第一筒体の下方端開口部から突出されるとともに該第一筒体内に電気的に接続されて同軸に配置され、上方端が該第一筒体の内部に配置されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、前記第一筒体及び前記第二筒体と電気的に非接続で且つ該第一筒体及び該第二筒体内部に同軸で収容され、上方端が前記電極部に圧接されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第三筒体と、前記第二筒体と第三筒体の夫々の下方端を前記検査点へ案内する第一案内孔を有する第一板状部材と、前記第一筒体と前記第三筒体の夫々の上方端を前記電極部へ案内する第二案内孔を有し、前記第一板状部材と所定間隔を有して配置される第二板状部材とを備え、前記第一筒体は、該第一筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第一切欠部が設けられ、前記第三筒体は、該第三筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第二切欠部が設けられ、前記第一筒体は、前記第一切欠部より該下方端側に前記第二筒体と固定される第一固定部を有することを特徴とする。
【００１６】
その第一案内孔は、前記第一筒体の外径よりも小さく且つ第二筒体の外径よりもわずかに大きい径を有するようにしてもよい。
【００１７】
その第三筒体は、該第三筒体の下方側に設けられる一つの切欠部が、第一案内孔の内部に存在するようにしてもよい。
【００１８】
その第一案内孔は、前記第一筒体の外径よりもわずかに大きい径を有する第一案内上孔と、前記第一案内上孔と連通連結され、前記第一筒体の外径より小さく、前記第二筒体の外径よりもわずかに大きい径を有する第一案内下孔を有するようにしてもよい。
【００１９】
その第三筒体は、上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の二つの第二切欠部を互いに距離を有して備えるとともに、前記二つの第二切欠部の間に前記第二筒体と固定される第二固定部を有するようにしてもよい。
【００２０】
その第三筒体は、該第三筒体の中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配置されるようにしてもよい。
【００２１】
また、本発明に係る接触子は、被検査対象となる検査部を有する被検査物と、該検査部の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具に用いる接触子であって、上方端が前記電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、前記第一筒体の下方端開口部から突出されるとともに該第一筒体内に電気的に接続されて同軸に配置され、上方端が該第一筒体の内部に配置されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、前記第一筒体及び前記第二筒体と夫々電気的に非接続で且つ該第一筒体及び該第二筒体内部に同軸で収容され、上方端が前記電極部に圧接されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第三筒体とを備え、前記第一筒体は、該第一筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第一切欠部が設けられ、前記第三筒体は、該第三筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の二つの第二切欠部が互いに距離を有して設けられ、前記第一筒体は、第一切欠部より下方端側に前記第二筒体が固定される第一固定部を有しており、前記第三筒体は、二つの第二切欠部の間に前記第二筒体と固定される第二固定部を有していることを特徴とする。
【００２２】
その第三筒体は、該第三筒体の中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配置されるようにしてもよい。
【００２３】
また、本発明に係る接触子は、被検査対象となる検査部を有する被検査物と、該検査部の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具に用いる接触子であって、一方端が電極部に圧接されるとともに他方端が検査点に圧接され、導電性の筒状部材から形成される内側接触子と、前記内側接触子を内部に非導電状態で収容し、一方端が電極部に圧接されるとともに他方端が検査点に圧接される導電性の筒状部材からなる外側接触子を有し、前記内側接触子及び前記外側接触子は、前記一方端と他方端の間の筒壁部に螺旋状の切欠部が設けられ、前記外側接触子の筒状部材の外側壁面が、前記他方端側から前記一方端側に沿って、徐々に又は階段状に大きくなるように形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１記載の発明によれば、導電性の第一筒体とこの第一筒体より突出されて第一筒体の内部に収容される導電性の第二筒体と、この第二筒体内部に収容される導電性の第三筒体を用いることにより、本検査用治具が備える接触子は同軸上に配置される二つの端子（外側接触子と内側接触子）を有することになる。また、検査部側には第一筒体内部に収容される第二筒体の下方端と第二筒体内部に収容される第三筒体の下方端が接触し、電極部側には、第二筒体を内部に収容する第一筒体の上方端と第二筒体内部に収容される第三筒体の上方端が接触するため、下方端（検査部側）の２端子のピッチよりも、上方端（電極部側）の２端子のピッチをより広くすることができるので、電極部の狭ピッチ化を回避して、狭ピッチの検査点にも効果的に用いることができる。さらにまた、第二筒体を第一筒体と第三筒体のガイドとすることにより、接触子の強度を確保するとともに双方を確実に垂直に伸縮させることができる。なお、二つの接触子が一体型の筒状部材三点から形成されるため、部品点数を低減し簡素化することができる。
請求項２記載の発明によれば、接触子が検査用治具に保持されたときに、その接触子の第一筒体下方端が第一板状部材上面に接触することで接触子が抜け落ちることを防止することができる。
請求項３記載の発明によれば、第三筒体の下方側に設けられる一つの切欠部が、第一案内孔の内部に存在するため、この第一案内孔を形成する第一板状部材が該切欠部の伸縮動作をガイドすることができ、安定して伸縮動作を行うことができる。
請求項４記載の発明によれば、接触子が検査用治具に保持されたときに、その接触子の第一筒体下方端が第一案内下孔を形成する第一板状部材の上面（第一案内上孔と第一案内下孔との境界面）に接触することにより接触子を適正な位置に精度良く保持するとともに、接触子を第二筒体下方端と第三筒体下方端が検査点に接触可能なように保持することができる。
請求項５記載の発明によれば、第三筒体には、第二固定部を挟んで二つの切欠部が形成されているので、上方端側の切欠部は電極部からの押圧力に応じて伸縮し、下方端側の切欠部は検査点からの押圧力に応じて伸縮するため、各切欠部が独立して伸縮機能を果たすことができる。
請求項６記載の発明によれば、第三筒体には、その中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配置されているので、接触子を組み立てる際に第三筒体の上方端・下方端を区別する必要がないため、接触子の製作に要する時間を短縮することができる。
請求項７記載の発明によれば、導電性の第一筒体とこの第一筒体の開口より突出されて第一筒体の内部に収容される導電性の第二筒体と、この第二筒体内部に収容される導電性の第三筒体により、検査用治具の接触子の上方端及び下方端は同軸上に配置される。また、検査部側には第一筒体内部に収容される第二筒体の下方端と第二筒体内部に収容される第三筒体の下方端が接触し、電極部側には、第二筒体を内部に収容する第一筒体の上方端と第二筒体内部に収容される第三筒体の上方端が接触するため、下方端（検査部側）の２端子のピッチよりも、上方端（電極部側）の２端子のピッチをより広くすることができるので、電極部の狭ピッチ化を回避して、狭ピッチの検査点にも効果的に用いることができる。さらにまた、第二筒体を第一筒体と第三筒体のガイドとすることにより、接触子の強度を確保するとともに双方を確実に垂直に伸縮させることができる。なお、二つの接触子が一体型の筒状部材三点から形成されるため、部品点数を低減し簡素化することができる。
請求項８記載の発明によれば、第三筒体には、その中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配置されているので、接触子を組み立てる際に第三筒体の上方端・下方端を区別する必要がないため、接触子の製作に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明にかかる検査用治具の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】本発明の第一実施形態の接触子（第一接触子）の概略断面図である。
【図３】第一接触子を構成する外側接触子の分解断面図であり、（ａ）は第一筒体を示し、（ｂ）は第二筒体を示し、（ｃ）は第一筒体内に第二筒体が配置された状態を示している。
【図４】内側接触子（第三筒体）の概略断面図を示している。
【図５】第一接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。
【図６】第一接触子を用いた検査用治具の検査時の状態を示す概略断面図である。
【図７】本発明の第二実施形態の接触子（第二接触子）の概略断面図である。
【図８】第二接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。
【図９】第二接触子を用いた検査用治具の動作の状態を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の第三実施形態の接触子（第三接触子）の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明を実施するための形態を説明する。
図１は、本発明にかかる検査用治具の一実施形態を示す概略構成図である。本発明に係る検査用治具１は、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に保持する保持体３、この保持体３を支持するとともに各接触子２と接触して導通状態となる電極部４１（図５参照）を有する接続電極体４、電極部４１から電気的に接続されて延設される導線部５を有してなる。
なお、図１では、複数の接触子２として三本の接触子が示されるとともに夫々に対応する三本の導線部５が示されているが、これらは三本に限定されるものではなく、検査対象の基板に設定される検査点に応じて決められる。
【００２７】
本発明の主要な特徴は、三点の導電性の筒状部材のうち二点を一つ目の接触子として利用し、残り一点の筒状部材を二つ目の接触子として利用することにより、外側接触子と内側接触子の二つの接触子を有する接触子として用いることにより、四端子測定に利用することを可能にしている。
このように構成することで、検査点には外側接触子の下方端（第二筒体の下方端）と内側接触子の下方端（第三筒体の下方端）が接触し、電極部には外側接触子の上方端（第一筒体の上方端）と内側接触子の上方端（第三筒体の上方端）が接触することになる。
【００２８】
本発明に係る第一実施形態の接触子（以下、第一接触子という）について説明する。図２は、本発明の第一接触子の概略断面図であり、図３は、第一接触子を構成する外側接触子の分解断面図を示し、（ａ）は第一筒体を示し、（ｂ）は第二筒体を示し、（ｃ）は第一筒体内に第二筒体が配置された状態を示し、図４は第三筒体の概略断面図を示している。
この第一接触子２は、上述の如く、外側接触子２１と内側接触子２２を有してなり、外側接触子２１の内部に外側接触子２１とは絶縁状態で内側接触子２２が配置されている。
外側接触子２１は、第一筒体２１１及び第二筒体２１２を有してなり、内側接触子２２は、第三筒体２１３から形成されている。第一接触子２は、図２で示される如く、最外側に外側接触子２１の第一筒体２１１が配置され、その内側に外側接触子２１の第二筒体２１２が配置され、最内側に第三筒体２１３が配置されている。このように第一接触子２は径の相違する三つの筒状部材が、同心軸に配置されて構成されている。
【００２９】
第一筒体２１１は、外側接触子２１の一部を形成するとともに外側接触子２１の電極部へ当接する部位を形成している。この第一筒体２１１は、三つの筒状部材のうち最も大きい径を有する筒状部材である。この第一筒体２１１は、所定の長さを有するとともに、両端開口部を有する導電性の中空状の円柱形状（筒形状）に形成される。この第一筒体２１１は、その一端開口部が、後述する電極部４１と接触することにより、電極部と外側接触子２１の電気的接続を可能とする。
【００３０】
第一筒体２１１は、第一先端部２１１ａ、第一切欠部２１１ｂ、第一固定部２１１ｃと第一後端部２１１ｄの各部位から形成されている（図３（ａ）参照）。第一先端部２１１ａと第一切欠部２１１ｂと第一後端部２１１ｄは、同一の筒状部材から各部位が形成されるため、夫々の部位は同一の外径と内径を有しており、第一固定部２１１ｃはこの筒状部材の壁面に形成されている。本発明の第一筒体２１１は、一本の筒状部材の壁面に螺旋状の切欠を設けることにより切欠部を形成し、その切欠部を挟んだ二つの筒状部材を夫々第一先端部と第一後端部として形成されている。尚、この第一切欠部２１１ｂの長さは、特に限定されるものではないが、所望の伸縮長を有するように長さを調整する必要があり、第一筒体２１１の強度が十分であれば、第一筒体２１１の略全長に亘って切欠部を形成することもできる。
【００３１】
第一先端部２１１ａは、電極部４１に当接する一方開口の上端面を有しており、この第一先端部２１１ａの上端面が、第一筒体２１１の上方端に相当することになる。第一先端部２１１ａは、後述する第二板状部材３２の第二案内孔３２１内部に貫通支持されて、所定の第一電極部４１１へ案内される。第一先端部２１１ａの長軸方向の長さは、特に限定されないが、第二板状部材３２の厚さより長く形成されることが好ましい。第一先端部２１１ａの下端は、後述する第一切欠部２１１ｂ上端と連通連結される。
【００３２】
第一切欠部２１１ｂは、第一先端部２１１ａと第一後端部２１１ｄの間に形成され、その上端が第一先端部２１１ａの下端と連通連結され、その下端は後述する第一後端部２１１ｄ上端と連通連結される。この第一切欠部２１１ｂは、上述の如く、第一筒体である筒状部材の壁面に沿って螺旋状の切欠により形成されている。このように第一筒体２１１に螺旋状の切欠を形成することにより、この第一切欠部２１１ｂは第一筒体の長軸方向に伸縮する伸縮部として機能することになる。なお、この切欠部２１１ｂが有する伸縮の特性は、切欠部の幅や長さと筒状部材の厚さの調整、筒状部材の材料の種類、筒状部材に加える各種処理（熱的処理や化学的処理等）や各種機械的加工処理（塑性加工等）により適宜調整可能であり、使用者により適宜調整される。なお、切欠部は図中では一つであるが、複数設けても構わない。
【００３３】
第一後端部２１１ｄは、その上端が第一切欠部２１１ｂの下端と連通連結され、その下端開口部は第一筒体２１１の下方端に相当する。この第一後端部２１１ｄは、第一板状部材３１とこの第一後端部２１１ｄの下方面が当接することになる。このため、第一筒体２１は、その上方端となる第一先端部２１１ａの上方面が電極部に当接し、その下方端となる第一後端部２１１ｄの下方面が第一板状部材３１に当接することになる（図５参照）。第一後端部２１１ｄの長軸方向の長さは、上述の如き第一板状部材３１に第一後端部２１１ｄの下方面が当接することができる長さを有するように形成されることになる。なお、この第一後端部２１１ｄは、後述する第二筒体をその開口部から突出するように設けられることになる。
【００３４】
第一固定部２１１ｃは、第一筒体２１と第二筒体２２を電気的に接続する。この第一固定部２１１ｃは、第一後端部２１１ｄに形成される。この図３（ａ）で示される第一固定部２１１ｃでは、第一筒体２１（第一後端部２１１ｄ）側から第二筒体２２側へ押圧を行うことにより、第一後端部２１１ｄが内側に湾曲する凹部が形成されている状態を示している。なお、この凹部は、第二筒体２１２を第一筒体２１１内に配置した後の場合に、第一筒体２１１と第二筒体２１２を固定するために形成されるが、第一筒体２１１に予め形成されていても良い。また、この凹部は、第一筒体２１１と第二筒体２１２を固定するために、外側（第一筒体２１１）から内側（第二筒体２１２）へ押圧（かしめ）を行うことで固定した場合に形成されたものである。
【００３５】
第一固定部２１１ｃによる第一及び第二筒体の固定方法は、このかしめの方法に限定されず、レーザ溶接、アーク溶接や接着剤などの他の固定方法を用いても良い。なお、第一筒体２１１と第二筒体２１２の固定方法として溶接等第一筒体２１１と第二筒体２１２が電気的に接続される固定方法を用いた場合には不要であるが、第一筒体２１１と第二筒体２１２が電気的に接続されない固定方法を用いた場合には、例えば第一筒体２１１と第二筒体２１２をはんだ或いは導線等で電気的に接続するようにすることもできる。
【００３６】
第一筒体２１１は、上述の如く、一本の導電性の筒状部材により形成することができるが、例えば、外径40〜250μｍ、内径30〜240μｍ、肉厚5〜50μｍに形成される。
第一筒体２１１の長軸方向の長さは、後述する第一板状部材３１と第二板状部材３２の間隔と第一案内上孔３１１の深さを合算した長さより僅かに長く形成されることが好ましい。これは、第一接触子２が保持体３に保持される場合に、第一切欠部２１１ｂが収縮して付勢状態となり、第一筒体２１１上端が定常的に電極部を圧接する状態となるからである。
【００３７】
第一筒体２１１は、その上端が電極部に接触して、その下端から第一筒体２１１に電気的に接続される第二筒体２１２が突出して配置される。第一筒体２１１と第二筒体２１２は導電性の材料で形成される。この材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されないが、例えば、ニッケルやニッケル合金やパラジウム合金を例示することができる。
【００３８】
第一先端部２１１ａ、第一切欠部２１１ｂと第一後端部２１１ｃは、夫々第一筒体２１１に配置されるが、これらの部位は第一筒体２１１に対して対称の位置となるように配置することもできる。このように配置した場合、第一筒体２１１が対称形状を有することにより、上下方向の相違がなくなるため、組立てが容易となる。
【００３９】
第二筒体２１２は、外側接触子２１の一部を形成するとともに外側接触子２１の検査点に当接するための部材である。この第二筒体２１２は、三つの筒状部材の内で略中間の大きさの径を有しており、所定の長さを有するとともに導電性の材料から形成される。この第二筒体２１２は、両端開口を有する中空状の円柱形状（筒形状）に形成される。第二筒体２１２は、その下方端が検査点に接触し、上方端が第一筒体２１１内部に常に存在するように配置されている。なお、外側接触子２１は、電気的に接続されている第一筒体２１１と第二筒体２１２を用いて、電極部４１と第一筒体２１１が導通接触し、検査点と第二筒体２１２が導通接触することにより、検査点と電極部が電気的に接続されることになる。
【００４０】
この第二筒体２１２は、第二先端部２１２ａ、第二固定部２１２ｂ、第二後端部２１２ｃを有している。第二先端部２１２ａと第二後端部２１２ｃは、一本の筒状部材により形成されており、同一の外径と内径を有しており、第二固定部２１２ｂはこの筒状部材の壁面上に形成されることになる。
【００４１】
第二先端部２１２ａは、第二筒体２１２を形成する筒状部材の一方端部であり、後述する第二固定部２１２ｂから電極部側の部位がこれに相当する。この第二先端部２１２ａは、第一筒体２１１内に常に収容されて配置される。第二先端部２１２ａの長さは、上述の如く常に第一筒体２１１内に常に収容されているため、第一筒体２１１の有する第一切欠部２１１ｂの伸縮機能により第一筒体２１１が短くなった場合であっても、第一筒体２１１の上方端から突出しない長さに形成される必要がある。
【００４２】
第二後端部２１２ｃは、第二筒体２１２を形成する筒状部材の他方端であり、後述する第二固定部２１２ｂから検査点側の部位がこれに相当し、この第二後端部２１２ｃの他方開口部が外側接触子２１の下方端として検査点と導通接触される。第二後端部２１２ｃの長さは、上述の如く、第一筒体２１１の第一後端部２１１ｄの他方開口部より突出して配置される長さが必要である。
【００４３】
第二固定部２１２ｂは、第一筒体２１１と第二筒体２１２を電気的に接続する。この第二固定部２１２ｂは、上述する第一固定部２１１ｂと同一位置に形成される。第二固定部２１２ｂは、第二筒体２１２の中央からずれた位置（図３では中央から下方側の位置）に形成されることが好ましい。これは、第一後端部２１２ｄ上に配置される第一固定部２１１ｃの位置に応じた位置に形成されるためである。このように第一筒体２１１と第二筒体２１２が固定されることによって、第一固定部２１１ｃが第一切欠部２１１ｂより下方端側の第一後端部２１１ｄ上に存在することになるため、第一切欠部２１１ｂが伸縮することにより、第二先端部２１２ａが第一筒体２１１の内部空間を相対的に移動することになる。なお、図３（ｂ）で示される第二固定部２１２ｃは、内側に湾曲する内側凹部として示されているが、この内側凹部は、第二筒体２１２を第一筒体２１１内部に収容した後に、第一筒体２１１と第二筒体２１２と第三筒体２１３を固定するために形成されるものであるが、第二筒体２１２に予め形成されていても良い。また、この内側凹部は、第一筒体２１１と第二筒体２１２を固定するために、外側（第一筒体２１１）から内側（第二筒体２１２）へ押圧（かしめ）を行うことで固定した場合に形成される。この第一及び第二筒体の固定方法は、このかしめに限定されず、レーザ溶接、アーク溶接や接着剤などの他の固定方法を用いても良い。
【００４４】
第二筒体２１２は、一本の導電性の筒状部材により形成することができ、例えば、外径20〜220μｍ、内径10〜200μｍ、肉厚5〜50μｍに形成される。
【００４５】
第二筒体２１２は、その中心に対して点対称又は中心軸に対して線対称となるように各部位を配置して形成することもできる。このように対称形状となるように形成した場合、外側接触子２１を製造する際に、第二筒体２１２の上下の区別無く取り扱うことができる。
【００４６】
第二筒体２１２は、第一筒体２１１と同様に導電性の材料で形成される。この材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されないが、例えば、ニッケルやニッケル合金やパラジウム合金を例示することができる。
【００４７】
第一筒体２１１と第二筒体２１２は、図３（ｃ）に示すように、一方では第一筒体２１１が突出され、他方では第二筒体２１２が突出されて配置されることにより、外側接触子２１として形成される。第一筒体２１１と第二筒体２１２は、第一固定部２１１ｃと第二固定部２１２ｂで電気的に接続されて固定されているため、第一筒体２１１の上方端が電極部に接触し、第二筒体２１２の下方端が検査点に接触することで、電極部と検査点を電気的に接続する接触子として機能することができる。
【００４８】
次に、第一接触子２１を形成する内側接触子２２となる第三筒体２１３について説明する（図４参照）。この第三筒体２１３は、内側接触子２１を形成するとともに内側接触子２１の電極部と検査点へ当接する部位を形成している。この第三筒体２１３は、三つの筒状部材のうち最も小さい径を有する筒状部材である。この第三筒体２１３は、所定の長さを有するとともに、両端開口を有する導電性の中空状の円柱形状（筒形状）に形成される。
【００４９】
第三筒体２１３は、第三先端部２１３ａ、第二切欠部２１３ｂ、中間部２１３ｃ、第三固定部２１３ｄ、第三切欠部２１３ｅと第三後端部２１３ｆの各部位から形成されている（図４参照）。第三先端部２１３ａと第二切欠部２１３ｂと中間部２１３ｃと第三切欠部２１３ｅと第三後端部２１３ｆは、同一の筒状部材から各部位が形成されるため、夫々の部位は同一の外径と内径を有しており、第三固定部２１３ｃはこの筒状部材の壁面に形成されている。本発明の第三筒体２１３は、一本の筒状部材の壁面に螺旋状の切欠を設けることにより切欠部を形成し、その切欠部を挟んだ二つの筒状部材を夫々第三先端部２１３ａと第三後端部２１３ｆとして形成している。尚、この第二切欠部２１３ｂ及び第三切欠部２１３ｅの長さは、特に限定されるものではないが、所望の伸縮長を有するように長さを調整する必要があり、第三筒体２１３の強度が十分であれば、第三筒体２１３の略全長に亘って切欠部を形成することもできる。
【００５０】
第三先端部２１３ａは、電極部４１に当接する上方開口の上端面を有しており、この第三先端部２１３ａの上端面が、内側接触子２２の上方端に相当することになる。第三先端部２１３ａは、後述する第二板状部材３２の第二案内孔３２１内部に貫通支持されて、所定の第一電極部４１２へ案内される。第三先端部２１３ａの長軸方向の長さは、特に限定されないが、第二板状部材３２の厚さより長く形成されることが好ましい。第三先端部２１３ａの下端は、後述する第二切欠部２１３ｂ上端と連通連結される。
【００５１】
第二切欠部２１３ｂは、第三先端部２１３ａと中間部２１３ｃの間に形成され、その上端が第三先端部２１３ａの下端と連通連結され、その下端は後述する中間部２１３ｃ上端と連通連結される。この第二切欠部２１３ｂは、上述の如く、第三筒体である筒状部材の壁面に沿って螺旋状の切欠により形成されている。このように第三筒体２１３に螺旋状の切欠を形成することにより、この第二切欠部２１３ｂは第三筒体の長軸方向に伸縮する伸縮部として機能することになる。なお、この切欠部２１３ｂが有する伸縮の特性は、切欠部の幅や長さと筒状部材の厚さの調整、筒状部材の材料の種類、筒状部材に加える各種処理（熱的処理や化学的処理等）や各種機械的加工処理（塑性加工等）により調整可能であり、使用者により適宜調整される。また、この切欠部２１３ｂは図中では１つであるが、複数設けても構わない。
【００５２】
中間部２１３ｃは、第三筒体２１３の第二切欠部２１３ｂと第三切欠部２１３ｅの間に形成され、その上端は第二切欠部２１３ｂ下端に連通連結され、その下端は後述する第三切欠部２１３ｅ上端に連通連結される。この中間部２１３ｃは、後述する第三固定部２１３ｄを有し、第一筒体２１１及び第二筒体２１２と電気的に絶縁されて固定される。
【００５３】
第三固定部２１３ｄは、第二筒体２１２と第三筒体２１３を絶縁状態で固定する。この第三固定部２１３ｄは、中間部２１３ｃに形成される。この図４で示される第三固定部２１３ｄでは、第二筒体２１２（第二後端部２１２ｃ）側から第三筒体２１３側へ押圧を行うことによる、固定が行われることになる。なお、この固定部は、第三筒体２１３を第二筒体２１２内に配置した後の場合に、第二筒体２１２と第三筒体２１３を固定するために形成されるものであるが、第三筒体２１３に予め形成されていても良い。また、この固定部は、第二筒体２１２と第三筒体２１３を固定するために、外側（第二筒体２１２）から内側（第三筒体２１３）へ押圧（かしめ）を行うことで固定した場合に形成されたものである。
【００５４】
第三固定部２１３ｄによる第二及び第三筒体の固定方法は、このかしめの方法に限定されず、接着剤など他の固定方法を用いても良い。但し、第二筒体２１２と第三筒体２１３は絶縁状態で固定されなければならないので、電気的に接続される固定方法を採用することはできない。
【００５５】
第三切欠部２１３ｅは、中間部２１３ｃと第三後端部２１３ｆの間に形成され、その上端が中間部２１３ｃの下端と連通連結され、その下端は後述する第三後端部２１３ｆ上端と連通連結される。この第三切欠部２１３ｅは、上述の如く、第三筒体である筒状部材の壁面に沿って螺旋状の切欠により形成されている。このように第三筒体２１３に螺旋状の切欠を形成することにより、この第三切欠部２１３ｅは第三筒体の長軸方向に伸縮する伸縮部として機能することになる。なお、この切欠部２１３ｅが有する伸縮の特性は、切欠部の幅や長さと筒状部材の厚さの調整、筒状部材の材料の種類、筒状部材に加える各種処理（熱的処理や化学的処理等）や各種機械的加工処理（塑性加工等）により適宜調整可能であり、使用者により適宜調整される。また、第三切欠部は図中では１つであるが、複数設けても構わない。
【００５６】
第三後端部２１３ｆは、その上端が第三切欠部２１３ｅの下端と連通連結され、その下端開口は第三筒体２１３の下方端に相当する。このため、第三筒体２１３は、その上方端となる第三先端部２１３ａの上方面が電極部に当接し、その下方端となる第三後端部２１３ｆの下方面が検査点に当接することになる。第一後端部２１３ｆの長軸方向の長さは、上述の如き検査点に第三後端部２１３ｆの下方面が当接することができる長さを有するように形成されることになる。
【００５７】
第三筒体２１３は、一本の導電性の筒状部材により形成することができ、例えば、外径20〜220μｍ、内径10〜200μｍ、肉厚5〜50μｍに形成される。
【００５８】
第三筒体２１３の長軸方向の長さは、後述する第一板状部材３１下面と第二板状部材３２上面の間隔より僅かに長く形成されることが好ましい。これは、第一接触子２が保持体３に保持されるとき、第二切欠部２１３ｂが収縮して付勢状態となり、第三筒体２１３の上端部が定常的に電極部に圧接される状態となるからである。
【００５９】
第三筒体２１３は、その上端が電極部に接触して、その下端が検査点に接触し、この第三筒体３１３を介して検査点と電極部との電気的導通を図ることになる。なお、第三筒体２１３は導電性の材料で形成される。この材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されないが、例えば、ニッケルやニッケル合金やパラジウム合金を例示することができる。
【００６０】
第三先端部２１３ａ、第二切欠部２１３ｂ、中間部２１３ｃ、第三切欠部２１３ｅ、第三後端部２１３ｆは、夫々第三筒体２１３に配置されるが、これらの部位は第三筒体２１３に対して対称の位置となるように配置されることもできる。このように配置した場合、第三筒体２１３が対称形状を有することになり、上下方向の相違がなくなるため、組立てが容易となる。
【００６１】
第一接触子２は、外側接触子（第一筒体２１１と第二筒体２１２）の内部に内側接触子である第三筒体２１３を収容して配置するため、図４で示される如く、第三筒体２１３の筒状部材部分の外側周縁には絶縁被膜２１３ｇを形成することが好ましい。この絶縁被膜２１３ｇは、例えば、ポリイミドやポリテトラフルオロエチレン（PTFE）やエポキシ樹脂を利用することができる。この絶縁被膜２１３ｇの厚みは、例えば、1〜5μｍに形成される。なお、この絶縁被膜は、切欠部の外側周縁にも形成しても良い。
この絶縁被膜２１３ｇは、図４の実施形態において第三筒体２１３の外側周縁に形成されているが、第二筒体２１２の内側周縁に形成することもできる。
【００６２】
第一接触子２は、検査点や電極部に押圧される際に、検査点には外側接触子２１の下方端（第二筒体２１２の下方端）と内側接触子２２の下方端（第三筒体２１３の下方端）が当接し、電極部には外側接触子２１の上方端（第一筒体２１１の上方端）と内側接触子の上方端（第三筒体２１３の上方端）が当接する。
【００６３】
第三筒体２１３は、図２で示される如く、第一筒体２１１の上方端開口部と第二筒体２１２の下方端開口部から突出するように配置されるが、第三筒体２１３が全く突出しないように配置することもできる。第一筒体２１１と第三筒体２１３は、いずれも伸縮機能を有する切欠部を備えているため、平面的にいずれが突出していようとも、検査点又は電極部から押圧される際に切欠部が十分に収縮することで、第一筒体２１１及び第二筒体２１２（外側接触子）と第三筒体２１３（内側接触子）の両方が検査点や電極部に当接することができる。
【００６４】
図５は、第一接触子２１が保持体に取り付けられた状態を示す断面図である。検査用治具１は、第一接触子２１を保持するための保持体３を有している。この保持体３は、第一板状部材３１と第二板状部材３２を有してなる。
【００６５】
第一板状部材３１は、第一接触子２１の下方端を検査点へ案内するための第一案内上孔３１１と第一案内下孔３１２を有する。第一案内上孔３１１は、第一筒体２１１の外径よりも僅かに大きな内径を有するように形成されている。また、第一案内下孔３１２は、第一案内上孔３１１と連通連結され、第一筒体２１１の外径より僅かに小さく第二筒体２１２の外径より僅かに大きな内径を有するように形成されている。
【００６６】
このように第一案内上孔３１１と第一案内下孔３１２を形成することにより、第一接触子２１を後述する第二案内孔３２１から挿入し、保持体３に保持させたときに、第一筒体２１１の第一後端部２１１ｄ下端の外径と第一案内下孔３１２の径の相違により、第一接触子２１を係止させる事ができる。更に、第一後端部２１１ｄの外径と第一案内上孔３１２の内径の差は僅かであるので、より精度良く第一接触子２１を保持体３に保持させることができる。
なお、この第一板状部材３１の厚みは、特に限定されないが、第一後端部２１１ｄの長さよりも短く形成されることが好ましい。これは、第一後端部２１１ｄが第一案内上孔３１１に沿って確実に伸縮することができるからである。
【００６７】
第二板状部材３２は、第一板状部材３１と所定間隔を有して配置されるとともに、第一接触子２１の上方端を電極部４１へ案内するための第二案内孔３２１を有する。第二案内孔３２１は、第一筒体２１１の外径よりも僅かに大きな径を有するように形成されている。なお、この第二板状部材３２の厚みは、特に限定されないが、第一先端部２１１ａの長さよりも短く形成されることが好ましい。これは、第一先端部２１１ａが第二案内孔３２１に沿って確実に案内されるからである。また、第一板状部材３１下面と第二板状部材３２上面の間隔は、特に限定されないが、第一接触子２１の長さ（外側接触子及び内側接触子の長さ）より僅かに短くなるように配置される。
【００６８】
第一接触子２を保持体３に装着する場合には、第一接触子２の下端部を第二案内孔３２１に通し、次に、第一案内上孔３１１と第一案内下孔３１２にこの下端部を通して装着する。この際に、第一接触子２は、第一案内下孔３１２と第二案内孔３２１から、夫々外側に突出するように配置されることになる。
【００６９】
検査用治具１の接続電極体４には、各第一接触子２に対応する電極部４１が形成されている。この電極部４１は、第一筒体２１１と当接して導通状態となる第一電極部４１１と、第三筒体２１３と当接して導通状態となる第二電極部４１２を有してなる。
【００７０】
図５で示される電極部４１は、第一電極部４１１と第二電極部４１２が示されており、これらの電極部は、夫々導線で形成され、夫々の端面が各筒体の端部と接触するように形成されている。第一電極部４１１と第二電極部４１２が、夫々の筒体と接触するとともに、最も遠い位置（最も大きな空間を有する位置）に配置されるように形成されている。
尚、電極部４１の構造は図５に示される他に、例えば、同軸ケーブルのような構造の電線を用いて、筒状の外部導体の内部に内部導体が同軸に配置されている同軸構造とすることもできる。また、内部導体は中実の円柱形状であってもよいし、中空の筒形状であってもよい。この場合、この電極部の外部導体は第一電極部４１１に対応し、内部導体は第二電極部４１２に対応することになる。
【００７１】
図６は、第一接触子を用いた検査用治具の検査時の状態を示す概略断面図である。第一接触子２１は、保持体３に装着される場合には、第二板状部材３２の第二案内孔３２１から挿入され、第一板状部材３１の第一案内上孔３１１と第一案内下孔３１２へ案内される。このとき、第一接触子２１は、第一案内上孔３１１と第一案内下孔３１２の径の相違する境界に第一筒体２１１が係止される。
【００７２】
保持体３に第一接触子２１が挿入された後に、第一接触子２１の上方端が電極部４１へ押し当たるように、第二板状部材３２は接続電極体４と当接される。このとき、第一接触子２１の外側接触子２１と内側接触子２２が夫々第一電極部４１１と第二電極部４１２に圧接されるため、夫々の第一切欠部２１１ｂと第二切欠部２１３ｂが収縮して付勢状態となる。このため、外側接触子の下方端（第二筒体２１２の第二後端部２１２ｃ下端）と内側接触子の下方端（第三筒体２１３の第三後端部２１３ｆの下方面）が検査点に当接するかしないかに関わらず、外側接触子と内側接触子の上方端は、夫々の電極部４１へ定常的に接触する。また、内側接触子２２の下方端側に配置されることになる第三切欠部２１３ｅは自然長の状態で検査待ちの状態となり、実際の検査時においてのみ、この切欠部が第三筒体２１３の長軸方向に収縮することになる。なお、外側接触子の第一切欠部２１１ｂは、外側接触子の上方端（第一筒体２１１上方端）が電極部に圧接されたときに収縮するが、外側接触子の下方端（第二筒体２１２下方端）が検査点に接触したときにも収縮可能であるように形成されることが好ましい。
以上が第一実施形態の検査用治具の構成の説明である。
【００７３】
この第一接触子１は、上記の如く、第一筒体２１１、第二筒体２１２と第三筒体２１３からなり、夫々導電性を有する材料で形成されることになる。この第一接触子１は、被検査物の微細化及び複雑化に応じて、接触子自体が細線化して形成される必要がある。一方で、接触子が保持板に対して直角方向の伸縮をするためには、プローブ自体に伸縮機能を有するように形成しなければならない。しかしながら、従来の巻線を用いたコイルばねで伸縮機能を有する部位を形成すると、この部位の外径は巻線自体の直径の大きさに依存することになる。これは巻線の直径の四倍程度より小さい径を有するコイルばねの形成は困難であることを意味しており、特に外径が100μｍ以下のコイルばねを形成することは極めて困難であった。また、仮にそのようなコイルばねを形成して接触子を製造できたとしても、組立性や製造コストの問題から二〜四千本の接触子からなる検査用治具に利用するには高価に成り過ぎて、実用的でない問題点を有していた。
【００７４】
そこで、本発明では下記の如き製造方法を利用することにより、より安価に且つ容易に微細な接触子を製造することができる。この製造方法には、下記の如き二つの製造方法を開示することができる。
【００７５】
［製法例１］
（１）まず、第一筒体２１１の中空部を形成する芯線（図示せず）を用意する。なお、この芯線は、第一筒体２１１の内径を規定する所望の太さの導電性を有する芯線（例えば、直径30μｍ，ステンレス鋼（SUS））を用いる。
【００７６】
（２）次いで、芯線（ステンレス線）にフォトレジスト被膜を塗布し、この芯線の周面を覆う。該フォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。このとき、例えば、芯線を中心軸に沿って回転させ、レーザにより露光して螺旋状のマスクを形成されるようにすることができる。本発明の第一筒体２１１を形成するためには、切欠部（第一切欠部２１１ｂ）が所定の位置（第一筒体の略中央部）に形成されることになる。
【００７７】
（３）次いで、この芯線にニッケルめっきを実施する。このとき、芯線が導電性であるため、フォトレジストマスクが形成されていない箇所は、ニッケルめっきされる。
【００７８】
（４）次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さの第一筒体２１１を形成する。芯線を完全に引き抜いた後に筒体を切断してもよいことは、言うまでもない。
【００７９】
また、第一筒体２１１は、下記の方法で製造することもできる。
【００８０】
［製法例２］
まず、上記の如き第一筒体２１１の中空部を形成する芯線（図示せず）を用意する。この芯線にニッケルを所望の厚さにめっきして、芯線の周面にニッケルめっき層を形成する。
【００８１】
（２）次に、このニッケルめっき層の表面にフォトレジストを塗布する。該フォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。このとき、例えば、芯線を中心軸に沿って回線させ、レーザにより露光して螺旋状のマスクを形成されるようにすることができる。本発明の第一筒体２１１を形成するためには、切欠部（第一切欠部２１１ｂ）が所定の位置（第一筒体の略中央部）に形成されることになる。
【００８２】
（３）次いで、ニッケルめっきをエッチング除去する。このとき、フォトレジストマスクが形成されていない箇所のニッケルめっきが除去される。
【００８３】
（４）次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さの第一筒体２１１を形成する。芯線を完全に引き抜いた後に筒体を切断してもよいことは、言うまでもない。
【００８４】
従来の巻き線を用いたコイルばね方式は、巻き線材料の直径に依存して、該直径の四倍程度より小さい直径を有するコイルの形成が困難で、100μｍ以下のコイルばねを形成することが極めて困難であった。上記の製法による本発明の第一筒体２１１は、芯線をニッケルめっきして、所望の形状を形成した後、芯線を引き抜くことにより製造するので、従来の巻き線を用いたコイルばね方式のものよりも、ばね材料の肉厚を薄くすることができ、同時に微細な外径及び内径を精度よく自在に一括製造することができる。
尚、[製法例１]及び[製法例２]において、筒体の切断の為にフォトレジストマスクを形成しても良いことは言うまでもない。
【００８５】
第一筒体２１１の製造方法は以上であるが、本発明における第二筒体２１２の製造方法は、フォトレジストマスクの形成が不要である点と、筒状部材の直径や内径が異なる点以外は、第一筒体２１１の製造方法と同様であるため説明を省略する。
【００８６】
本発明の第三筒体２１３は、２つの切欠部（第二切欠部２１３ｂと第三切欠部２１３ｅ）が所定距離（中間部２１３ｃの長さ分の距離）を有して形成されることになる。このため、フォトレジストマスクを形成する場所と個数が異なる。また、筒状部材の直径や内径も第一筒体とは異なる。これらの点以外は、第一筒体２１１の製造方法と同様であるため製造方法の説明を省略する。
【００８７】
次に、第二実施形態の検査用治具１’について説明する。図７は、本発明の第二実施形態の接触子（第二接触子）の概略断面図である。図８は、第二接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。図９は、第一接触子を用いた検査用治具の動作の状態を示す概略断面図である。この第二接触子２’は、基本的な構成は上述する第一接触子２と略同様の構成を有しており、外側接触子２１を構成する第一筒体２１１’及び第二筒体２１２と、内側接触子２２となる第三筒体２２３を有している。また、更に、第二接触子２’は、第一筒体２１１’の内部に第二筒体２１２を収容して外側接触子２１とし、第二筒体２１２の内部に内側接触子２２である第三筒体２２３を収容して形成されている（図７参照）。なお、第二接触子２’と第一接触子２は、類似する構成を有しており、下記の説明では相違する構成について説明し、同一の構成については説明を省略する。
【００８８】
第一接触子２と第二接触子２’の主要な相違点は、第一筒体２１１’の長軸方向の長さであり、第二接触子２’の第一筒体２１１’が、第一接触子２の第一筒体２１１の長軸方向の長さよりも短く形成されている。特に、この第二接触子２’の第一後端部２１１ｄ’が、第一接触子２の第一後端部２１１ｄの長軸方向の長さよりも短く形成されている。
【００８９】
また、図７で示される第二接触子２’の実施例では、内側接触子２２の第三筒体２２３に形成される切欠部が三つ形成されているが、後述する第三固定部２２３ｆを境として、第三筒体２２３の上端部側と下端部側の夫々に少なくとも一つの切欠部が形成されていれば良い。図７で示される第二接触子２’では、第三固定部２２３ｆの上端部側には、第二切欠部２２３ｂと第三切欠部２２３ｄの二つの切欠部が形成されてなり、その下端部側には、第四切欠部２２３ｇの一つの切欠部が形成されている。なお、第二切欠部２２３ｂ及び第三切欠部２２３ｄは、内側接触子２２を電極部に圧接するための押圧力を生み出し、第四切欠部２２３ｇは、内側接触子２２が検査点に圧接するための押圧力を生み出すことになる。
【００９０】
第二接触子２’は、上述の如く、第三固定部２２３ｆを有しているが、この第三固定部２２３ｆは第二中間部２２３ｅに形成されている（図７参照）。この第三固定部２２３ｆは、第三筒体２２３と第二筒体２１２を非導電状態で固定する部位となる。なお、第一筒体２１１’と第二筒体２１２が導通接続して第一固定部２１１ｃと第二固定部２１２ｂにより固定され、更に、この第三固定部２２３ｆにより第二筒体２１２と第三筒体２２３が固定されることになるので、第一乃至第三筒体が一体として固定されることになる。
【００９１】
図７で示される第三固定部２２３ｆでは、第二中間部２２３ｅの壁面に内側に湾曲する凹部形状に示されており、この凹部は、第三筒体２２３を第二筒体２１２内部に収容した後に形成され、第三筒体２２３に予め形成されているものではない。また、この凹部は、第一筒体２１１’と第二筒体２１２と第三筒体２２３を一体として固定するために、最外側の第一筒体２１１’側から内側へ向かって押圧（かしめ）を行うことにより形成されたものである。この第一乃至第三筒体の固定方法は、このかしめに限定されず、レーザ溶接、アーク溶接や接着剤などの他の固定方法を用いても良い。なお、この固定方法は、第二筒体と第三筒体を固定した後に、これらの筒体に第一筒体を固定するように二段階に分けても良い。
【００９２】
この第二接触子２’の実施例では、第一接触子２と相違し、第三筒体２２３の絶縁被膜２２３ｉが、第三筒体２２３の全体表面を覆うように形成されており、その筒状部材（第三先端部２２３ａ、第二中間部２２３ｃ、第三中間部２２３ｅ、第三後端部２２３ｈ）の表面と、切欠部部分（第二切欠部２２３ｂ、第三切欠部２２３ｄ、第四切欠部２２３ｇ）の表面に夫々形成されている。この絶縁被覆２２３ｉは、第一接触子２の実施例で示されるように、筒状部材にのみ絶縁被覆が形成されても良いし、第二筒体２１２の内側表面に形成されても良い。
【００９３】
第三筒体２２３は、図７で示される如く、第一筒体２１１’の上方端開口と第二筒体２１２の下方端開口から突出するように配置されるが、第三筒体２２３が全く突出しないように配置することもできる。第一筒体２１１’と第三筒体２２３は、いずれも伸縮機能を有する切欠部を備えているため、平面的にいずれが突出していようとも、検査点又は電極部から押圧される際に切欠部が十分に収縮することで、外側接触子２１と内側接触子２２の夫々が検査点や電極部に当接することができるようになる。
【００９４】
この図７に示される第二接触子２’では、第一筒体２１１’と第二筒体２１２と第三筒体２２３を固定するために、三つの筒状部材を所定の位置に配置した後、第一筒体２１１’の外側から内側へ押圧（かしめ）を行うことで、夫々の筒状部材を一体として同一箇所にて固定している。この夫々の筒状部材の固定方法は、このかしめに限定されず、レーザ溶接、アーク溶接や接着剤などの他の固定方法を用いても良い。なお、上述の如き第一乃至第三筒体全てが配置されてから全ての筒体を固定するように形成しても良いし、まず、第一と第二筒体を固定した後に、第三筒体を固定するようにしても良い。あるいは、第二筒体と第三筒体を固定した後に、第一筒体を固定するようにしても良い。なお、第二筒体２１２と第三筒体２２３は、非導電状態で固定される必要がある。
【００９５】
図８は、第二接触子２’が保持体３に取り付けられた状態を示す概略断面図である。第二実施形態の検査用治具１’は、第一板状部材３３と第二板状部材３２を有する保持体３により、第二接触子２’が保持されて組み立てられる。このとき、第一板状部材３３に形成される第一案内孔３３１は、第一実施形態の検査治具１の場合と相違し、所定径を有する貫通孔が形成されるのみである。
この第一板状部材３３の第一案内孔３３１は、第一筒体２１１’の外径より僅かに小さく、第二筒体２１２の外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。このように第一案内孔３３１が形成されることにより、第二接触子２’が第一筒体２１１’と第二筒体２１２の段差によって第二接触子２’が係止されることになる。つまり、第一板状部材３３の第一案内孔３３１を第二筒体２１２は通過することができるが、第一筒体２１１’は通過することができず、この第一案内孔３３１により第二接触子２’が抜け出ることを防止することができる。
【００９６】
なお、このとき、第二接触子２’は、第三筒体２２３の第四切欠部２２３ｇが第一案内孔３３１内部に存在して係止されるように、第一後端部２１１ｄ’が形成されることが好ましい。このように第二接触子２’を形成することにより、第二筒体２１２と第三筒体２２３の第一案内孔３３１に挿入される部位を多くすることができ、検査実施時に第二後端部２１２ｃと第三後端部２２３ｉが精度良く検査点に当接できることになる。
【００９７】
保持体３に第二接触子２’を保持させた後に、第二接触子２’の上方端が電極部４１に押し当たるように、第二板状部材３２を接続電極体４と当接させる。このとき、第二接触子２’の第一筒体２１１’と第三筒体２２３が夫々の第一電極部４１１と第二電極部４１２に圧接されるため、伸縮機能を有する夫々の第一切欠部２１１ｂと第二切欠部２２３ｂ及び第三切欠部２２３ｄが収縮して付勢状態となり、第一筒体２１１’の第一先端部２１１ａと第三筒体２２３の第三先端部２２３ａが検査点に当接するかしないにかかわらず定常的に夫々の電極部４１へ接触する。また、下方側に配置されることになる第三筒体２２３の第四切欠部２２３ｇは自然長の状態で検査待ちの状態となり、実際の検査時においてのみ、この切欠部が伸縮することになる。
【００９８】
第二接触子２’を有する検査用治具を用いて検査を実施する場合には、第二及び第三筒体の下方端が検査点に当接する。このとき、第二筒体２１２は第二固定部２１２ｂで第一筒体２１１’と固定されているため、第一筒体２１１’の有する第一切欠部２１１ｂが収縮し、第三筒体２２３においては第四切欠部２２３ｇが収縮することになる。
以上が第二実施形態の検査用治具の説明である。
【００９９】
次に、第三実施形態の接触子（第三接触子）について説明する。この第三接触子２’’は、第二接触子２’の構成と略同一の構成を有しており、その相違する構成を中心に説明する。図１０に示される第三接触子２’’は、第二接触子２’と比較した場合、第一筒体２１１’と第二筒体２１２’と第三筒体２２３を接続固定する固定箇所が相違している。この第三接触子２’’では、第一筒体２１１’と第二筒体２１２’を導通状態で接続固定する第一固定部２１１ｃと第二固定部２１２ｂが形成され、第二筒体２１２’と第三筒体２２３を非導通状態で接続固定する第三固定部２１２ｂ’と第四固定部２２３ｆが形成されている。これら固定部は、図１０で示される如く、第一筒体２１１’と第二筒体２１２’の固定箇所と、第二筒体２１２’と第三筒体２２３の固定箇所の位置が、同一位置ではなく、異なる位置にて設定されている。このように固定されることにより、第三筒体と第二筒体を先に固定し、これらの筒体に第一筒体を固定して接触子の組立てを実施することになるので、各組立工程を分業化して行うことができ、組立工程が容易になる。
なお、これらの固定部の固定方法は、上述の方法を利用することができ、説明を省略する。
【０１００】
図１０の第三接触子２’’では、これらの固定部が第三筒体２２３の第二中間部２２３ｅの位置に配置されるように形成されており、この位置に夫々の固定部が形成されることにより、この位置より上端部側に位置する切欠部は、電極部４１へ圧接される押圧力を生じさせ、この位置より下端部側に位置する切欠部は、検査点へ圧接される押圧力を生じさせることになる。
【０１０１】
本発明の第一乃至第三接触子は、上記の説明の如き三つの筒体から形成されているので、接触子の上方端（電極部）の２端子のピッチより下方端（検査点）の２端子のピッチを狭くすることができる。また、第二筒体を第一筒体と第三筒体のガイドとすることにより、接触子の強度を確保するとともに双方を確実に垂直に伸縮させることができる。更に、接触子を保持する保持体の案内孔を形成する数を低減することができ、組み立て工数の低減を図ることができる。
以上が第三実施形態の検査用治具の説明である。
【０１０２】
また、これら第一乃至第三接触子の上端部及び下端部の先端には、先鋭形状となるようなテーパ部を形成したり、複数の凸部を有するクラウン形状に形成したりすることもできる。
【０１０３】
第一乃至第三接触子は、三つの筒状部材を組み合わせることにより形成されているが、最内に内側接触子となる筒状部材を配置し、第二筒体と第一筒体で形成される外側接触子のように、複数の徐々に径の大きくなる筒状部材を複数組み合わせて外側接触子とすることもできる。
【符号の説明】
【０１０４】
１・・・・検査用治具
２・・・・接触子
２１１・・第一筒体
２１１ｂ・第一切欠部
２１１ｃ・第一固定部
２１２・・第二筒体
２１２ｂ・第二固定部
２１３・・第三筒体
２１３ｂ・第二切欠部
２１３ｅ・第三切欠部
２１３ｄ・第三固定部
３・・・・保持体
３１・・・第一板状部材
３１１・・第一案内孔
３２・・・第二板状部材
３２１・・第二案内孔
４・・・・接続電極体
４１・・・電極部
５・・・・導線部
【図１】
0005381609.tif 000002
【図２】
0005381609.tif 000003
【図３】
0005381609.tif 000004
【図４】
0005381609.tif 000005
【図５】
0005381609.tif 000006
【図６】
0005381609.tif 000007
【図７】
0005381609.tif 000008
【図８】
0005381609.tif 000009
【図９】
0005381609.tif 000010
【図１０】
0005381609.tif 000011