【事件の表示】
　特願２０１４−５２４４３７「ワークピースを検査するための方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　２月１４日国際公開、ＷＯ２０１３／０２１１５７、平成２６年１０月　９日国内公表、特表２０１４−５２７１７０、請求項の数（２４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２４年８月９日（パリ条約による優先権主張２０１１年８月９日、英国、２０１１年１０月２４日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２８年５月９日付けで拒絶理由が通知され、平成２８年１１月１７日付けで手続補正がなされ、平成２９年４月２０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２９年８月２５日付けで拒絶査定不服審判が請求され、同時に手続補正がなされたものである。
第２　原査定の概要
　原査定（平成２９年４月２０日付け拒絶査定）の概要は、次のとおりである。
「１．この出願の請求項１−２４に係る発明は、その優先日前に日本国内又は外国において、頒布された下記１−６の刊行物に記載された発明に基いて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
＜引用文献等一覧＞
１.特開２００４−１３８４４９号公報
２.特表２０００−５１１８２７号公報
３.特開２００８−２４９３５２号公報
４.特開平０５−２７２９０３号公報
５.特開２００４−０２８６５３号公報（周知技術を示す文献）
６.特開２０１１−０２１９６２号公報（周知技術を示す文献）」
第３　本願発明
　本願の請求項１−２４に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明２４」という。）は、平成２９年８月２５日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−２４に記載された事項により特定される発明であり、本願発明１及び本願発明５は、以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　測定装置での測定方法であって、
　測定しようとする一連の公称上同一のワークピースのうちの１つである基準ワークピースの形態であるマスター加工品を提供するステップであって、前記マスター加工品が前記測定装置の外部のソースから取得された既知の寸法を有するステップと、
　前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記マスター加工品の複数の寸法値を２つ以上の温度で前記装置で測定し、各温度における前記マスター加工品の２つ以上の対応する測定された寸法値のセットを生成するステップと、
　前記マスター加工品が測定された前記温度を測定するステップと、
　前記マスター加工品の前記複数の測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成するステップであって、前記エラーマップ、ルックアップテーブルまたは関数は、またはそのそれぞれは、前記マスター加工品が測定された前記各温度に依存するステップと
を含むことを特徴とする方法。」
「【請求項５】
　測定装置での測定方法であって、
　前記測定装置の外部のソースから取得された既知の寸法を有する基準ワークピースの形態であるマスター加工品を提供するステップと、
　前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記基準ワークピースの複数の寸法値を第１の温度で前記装置で測定し、前記第１の温度における前記基準ワークピースの結果的に得られた測定された寸法値の第１のセットを生成するステップと、
　前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成するステップと、
　測定されたワークピース寸法値を得るために製造ワークピースを前記装置で測定し、前記ワークピース寸法値が得られた前記温度を測定するステップと、
　前記ワークピース寸法値を、前記エラーマップ、ルックアップテーブルまたは関数から導出された補正値で補正するステップと
を含み、
　前記補正値は前記ワークピース寸法値が得られた温度に基づいて判断されることを特徴とする方法。」
　本願発明２−４は、本願発明１を減縮した発明である。
　本願発明６−２２は、本願発明１又は５を減縮した発明である。
　本願発明２３は、本願発明１−２２に記載の方法を実施するように構成された「測定装置」の発明である。
　本願発明２４は、本願発明１−２２に記載の方法を実施させるように構成された「測定装置用のソフトウェアプログラム」の発明である。
第４　引用発明等
１．引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１（特開２００４−１３８４４９号公報）には、図面とともに、次の技術が記載されている（下線は、当審で付与した。）。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像計測方法及び装置に係り、特に、ワークのアライメントマーク等を画像入力し、ワークの長寸法を計測する際に用いるのに好適な、
ワーク及び計測装置の熱膨張や熱収縮による計測値への影響を軽減することが可能な画像計測方法及び装置に関する。」
「【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークに付されたマークを画像入力し、ワークの長寸法を計測する際に、予め求めておいたワークと計測装置の複合的な熱膨張係数と、マーク座標登録時と計測時の雰囲気温度差から長寸法の計測値を補正し、
雰囲気温度変動に伴うワークと計測装置の熱膨張・熱収縮による計測値への影響を軽減する
「【００１６】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１７】
本実施形態は、図４（全体図）及び図５（ブロック図）に示す如く、
ワーク１０、２０の画像を入力するためのカメラ１４を含む画像入力部３０と、雰囲気温度計測部３２と、前記画像入力部３０から入力される画像を処理する画像処理部４２、該画像処理部４２の出力により長寸法を算出する長寸法算出部４４及び本発明による温度補正を行なうための温度補正処理部４６を含む処理部４０と、該処理部４０による処理結果を表示するための出力部５０と、各構成機器を制御するための制御部５２とを含んで構成され
【００１８】
測定に際しては、図６に手順を示す如く、基準ワークの材質が変わった場合は、まずステップ１００で、
予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、
雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取しておく。そして、該データ３８を基に、ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数αを求めておく。
【００１９】
次いで、
画像入力部３０にて長寸法が既知の基準ワーク１０のアライメントマーク１２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測・登録しておく。同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔ０を計測する。
【００２０】
なお、基準ワークの材質及びアライメントマークの位置が変わらない場合は、ステップ１００と１１０は１度行なえば良い。
【００２１】
ステップ１１０終了後、又は、基準ワークの材質及びアライメントマークの位置が変わらない場合は、ステップ１２０で、
画像入力部３０にて基準ワークと同型で長寸法Ｌｘが未知の計測ワーク２０のアライメントマーク２２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測する。同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔｍを計測する。
【００２２】
次いで
、長寸法算出部４４にて、
計測した基準ワーク１０と計測ワーク２０のアライメントマーク座標の差と基準ワークの長寸法Ｌ０から、計測ワーク２０の長寸法Ｌｘを求める。
【００２３】
次いで
、温度補正処理部４６で、
熱膨張係数αと
計測した雰囲気温度差△ｔ（＝ｔｍ−ｔ０）から長寸法補正量αΔｔを求め、
算出した長寸法Ｌｘを補正する。
【００２４】
次いでステップ１５０で、補正後の計測結果を出力部５０に出力する。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、測定時の雰囲気温度が変動しても、温度補正を行なうため、計測値は変動せず、ワーク及び計測装置の熱膨張や熱収縮による計測値の影響を軽減できる。」
　したがって、上記引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
「ワーク１０、２０の画像を入力するためのカメラ１４を含む画像入力部３０と、雰囲気温度計測部３２と、前記画像入力部３０から入力される画像を処理する画像処理部４２、該画像処理部４２の出力により長寸法を算出する長寸法算出部４４及び温度補正を行なうための温度補正処理部４６を含む処理部４０と、該処理部４０による処理結果を表示するための出力部５０と、各構成機器を制御するための制御部５２とを含んで構成され（段落【００１７】より。以下同様。）、予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取しておき、そして、該データ３８を基に、ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数αを求めておき（【００１８】）、
　次いで、画像入力部３０にて長寸法が既知の基準ワーク１０のアライメントマーク１２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測・登録しておき、同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔ０を計測し（【００１９】）、
　画像入力部３０にて基準ワークと同型で長寸法Ｌｘが未知の計測ワーク２０のアライメントマーク２２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測し、同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔｍを計測し（【００２１】）、
　次いで、長寸法算出部４４にて、計測した基準ワーク１０と計測ワーク２０のアライメントマーク座標の差と基準ワークの長寸法Ｌ０から、計測ワーク２０の長寸法Ｌｘを求め（【００２２】）、
　次いで温度補正処理部４６で、熱膨張係数αと、計測した雰囲気温度差△ｔ（＝ｔｍ−ｔ０）から長寸法補正量αΔｔを求め、算出した長寸法Ｌｘを補正する（【００２３】）、
　ワーク及び計測装置の熱膨張や熱収縮による計測値への影響を軽減することが可能な画像計測方法及び装置（【０００１】）。」
２．引用文献２について
　原査定の拒絶の理由に引用された、引用文献２（特表２０００−５１１８２７号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与した。）。
ア　「技術分野
  本発明は、機械の制御に関し、より特定的には、工作機械の真の位置の三次元レーザ測定を使用して、機械の精度および制御を高める方法に関する。」（第９頁第６−８行）
イ　「この「オートスケール（“autoscale”）」特徴は実際に、部品の工学的設計仕様から導出されたＮＣ媒体を、機械加工中に生じる部品に対する物理的な変化に適用するようにする。ここで物理的な変化とは、工場の温度の、設計標準の２０℃(６８°Ｆ）からの変化によって生じる部品のサイズの変化等を含む。たとえば、本発明では、部品の特徴（形態）に対する位置のデジタルデータセット定義は、その固有の熱膨張係数による部品の膨張または収縮の影響を反映するよう調整される。「オートスケール」に関しては、本発明では、計算で得たスケールファクタが工場の温度の変化から予測されるサイズの変化と一致するかどうかを平行に判定する。本発明では工場の温度を監視し（ただし、部品の温度もしくは機械の温度、またはそれら３つの温度のいかなる組合せを監視することも可能である）、
温度の変化が起こると、
適切な間隔で尺度をつくりなおす。「オートスケール」は、
間隔をおいた調整を行なう。
要求される処理の量を減じる。
ウ　「オートスケールは、写真測量法、経緯儀、およびレーザトラッカ等の産業的な光学的検査システムに適応が可能な、熱補償技術である。
オートスケールでは、実際の部品の基準または形態の位置を測定し、部品が実際にどの程度その設計基準の状態から膨張（または収縮）したかを判定し、その後、後続の位置に関する動作に対してサイズ変動の補償係数（尺度）を適用する。
　したがって、上記引用文献２には、次の技術的事項が記載されていると認められる。
「オートスケールでは、実際の部品の基準または形態の位置を測定し、部品が実際にどの程度その設計基準の状態から膨張（または収縮）したかを判定し、その後、後続の位置に関する動作に対してサイズ変動の補償係数（尺度）を適用する（上記「ウ」より。）が、オートスケールは、温度の変化が起こると、適切な間隔で尺度をつくりなおして、間隔をおいた調整を行ない、要求される処理の量を減じる（上記「イ」より。）。」 
３．引用文献３について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３（特開２００８−２４９３５２号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
「【０００１】
　本発明は、
被測定物の寸法を測定する寸法測定装置及び寸法測定方法
「【０００８】
　図１及び図２を参照して、本発明の実施の形態の
寸法測定装置１
【０００９】
　
寸法測定装置１は、ワーク（被測定物）の寸法を測定すると共に、ワークの寸法精度を評価する装置である。
【００１０】
　本実施の形態における
ワークは
ロータ２ａ、及びロータ２ａが収装されるカムリング２ｂである。以下では、ロータ２ａとカムリング２ｂの双方を総称する場合にはワーク２と記す。
【００１１】
　寸法測定装置１は、
ワーク２を搬送するコンベア５（搬送手段）と、ワーク２の寸法及び温度を測定する測定部６
と、寸法精度によって仕分けされたワーク２を収容する収容部７とを備え
「【００２１】
　コンベア５によって搬送された
ロータ２ａ及びカムリング２ｂの測定を行う測定部６ａ及び測定部６ｂは、ワーク２の温度を測定する温度測定部１４（温度測定手段）と、ワーク２の寸法を測定する寸法測定部１５（寸法測定手段）とを備える。また、測定部６ａには、ロータ２ａの寸法精度を評価する際に基準となるロータマスタ１６ａ（基準材）が配置され、測定部６ｂには、カムリング２ｂの寸法精度を評価する際に基準となるカムリングマスタ１６ｂ（基準材）が配置され
、ロータマスタ１６ａ及びカムリングマスタ１６ｂを総称する場合、マスタ１６と記す。
温度測定部１４、寸法測定部１５、及びマスタ１６
配置され
【００２２】
　
温度測定部１４では、
ワーク２の温度測定が行われ
【００２３】
　
寸法測定部１５では、
ワーク２の寸法測定が行われる。
【００２４】
　
マスタ１６についても、温度と寸法（厚さ）が測定され、その測定された温度と寸法がワーク２の寸法精度を評価する際の基準温度、基準寸法となる。
同じ機種のワーク２を連続して計測する場合には、所定条件を満たした場合に、マスタ１６の基準温度と基準寸法の再測定が行われる。この所定条件としては、
測定されたワーク２の温度とマスタ１６の基準温度との温度差が所定以上となった場合
である。
　したがって、上記引用文献３には、「ロータ２ａとカムリング２ｂの双方」を「ワーク２」と「総称」し（段落【００１０】参照。）、「ロータマスタ１６ａ及びカムリングマスタ１６ｂ」を「マスタ１６」と総称する場合（段落【００２１】参照。）に、次の技術的事項が記載されていると認められる。
「被測定物の寸法を測定する寸法測定装置（段落【０００１】より。以下、同様。）であって、ワーク２を搬送するコンベア５（搬送手段）と、ワーク２の寸法及び温度を測定する測定部６とを備え（【００１１】）、
　ワーク２の測定を行う測定部６は、ワーク２の温度を測定する温度測定部１４（温度測定手段）と、ワーク２の寸法を測定する寸法測定部１５（寸法測定手段）とを備え、また、測定部６には、ワーク２の寸法精度を評価する際に基準となるマスタ１６（基準材）が配置され（【００２１】）、
　温度測定部１４では、ワーク２の温度測定が行われ（【００２２】）、
　寸法測定部１５では、ワーク２の寸法測定が行われ（【００２３】）、
　マスタ１６についても、温度と寸法（厚さ）が測定され、その測定された温度と寸法がワーク２の寸法精度を評価する際の基準温度、基準寸法となり、所定条件を満たした場合に、マスタ１６の基準温度と基準寸法の再測定が行われ、この所定条件としては、測定されたワーク２の温度とマスタ１６の基準温度との温度差が所定以上となった場合である（【００２４】）、
寸法測定装置（【０００１】）。」
４．引用文献４
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献４（特開平０５−２７２９０３号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は
工作機械での測定方法
「【００１９】本発明によれば、新規に加工したワークピース１４Ａをプローブ２０で検査した直後にコア４をその軸２Ａのまわりにて回転させて割出して、アーティファクト２６をワークピース１４Ａが以前に占めていた位置にもたらす。
このアーティファクト２６は以前に製造済みのものであり、しかも追跡可能な標準規格（例えば国定の標準規格局の適当な標準規格）に対して較正済みであるため、その寸法は正確にわかっている。
アーティファクト２６はワークピース１４Ａの公称寸法および形状に係わる正確なレプリカである。アーティファクト２６でワークピース１４Ａに対して行ったと同じ測定を全て行って、それにて得られた結果を、
互いに直接比較することにより差を求めて、ワークピース１４Ａが公差内か、公差から外れているかを決定することができる。
【００２０】なお、次の２つの重要なことに留意すべきである。先ず、アーティファクト２６はワークピース１４Ａを加工する時の加工サイクルを通してコア４上のカセット１０に取付けたままとする。このために、アーティファクトはできるだけワークピース１４Ａと同じ温度環境に置くようにする。実際上（通常行われるように）ワークピース１４Ａに加工サイクル中冷却剤を浴びせる場合で、このような冷却剤の浴びせが同時にアーティファクト２６に悪影響を及ぼさない場合には、アーティファクト２６を真直ぐな位置に割出した後に、このアーティファクト２６を測定するサイクルに特殊な冷却剤を浴びせる工程を含めることができる。
アーティファクトはワークピースと同じ環境に置かれるため、これらはほぼ同じ温度となり、同じように熱膨張する。このためにワークピース１４Ａはそのような手段を講じない場合よりもアーティファクトとより一層正確に比較することができる。
　したがって、上記引用文献４には、次の技術的事項が記載されていると認められる。
「工作機械での測定方法（段落【０００１】より。以下同様。）であって、アーティファクト２６でワークピース１４Ａに対して行ったと同じ測定を全て行って、それにて得られた結果を、互いに直接比較することにより差を求めて、ワークピース１４Ａが公差内か、公差から外れているかを決定するが、アーティファクト２６はワークピース１４Ａの公称寸法および形状に係わる正確なレプリカであり、このアーティファクト２６は以前に製造済みのものであり、しかも追跡可能な標準規格（例えば国定の標準規格局の適当な標準規格）に対して較正済みであるため、その寸法は正確にわかっている（【００１９】）、測定方法（【０００１】）。」
５．引用文献５
　原査定の拒絶の理由において、周知技術を示す文献として提示された引用文献５（特開２００４−０２８６５３号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与した。）。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば自動車エンジンのシリンダブロックに設けられた
シリンダボアの内径寸法を計測する内径計測装置
「【００１０】
すなわち、
この内径計測装置によって、アルミ製のシリンダブロックのシリンダボアの内径を計測する際には、マスターリングを用いて寸法基準値を測定する
【００１１】
次に、シリンダボアの内径を、複数設定された各測定箇所で測定する。このとき、このシリンダボアの内径は、シリンダブロックの温度によって変化する。
【００１２】
しかし、前記各測定箇所での内径は、所定温度置きに実測されており、その実測値は、実測時のシリンダブロックの実測時温度に対応してテーブル化され温度補正値テーブルとして記憶されている。そして、各々の温度補正テーブルは、前記各実測時温度に対する前後四点の実測値を用いた曲線補間法により補間関数が算出されている。
【００１３】
これにより、測定された寸法測定値は、その測定箇所に対応する前記補間関数を用いるとともに、当該測定時の前記シリンダブロックの温度に基づいて補正され、温度に応じた変形に伴う測定誤差が排除され、前記寸法測定値と寸法基準値との差からシリンダボアの内径寸法が計測される。
「【００３３】
このため、前記制御部１３に設けられた記憶装置には、各車種に対応したシリンダブロック２において、各測定箇所毎の内径寸法を５℃刻みで測定した実測結果が温度補正値テーブルとしてそれぞれ記憶されており、各温度補正値テーブルからは、各実測時温度に対する前後四点の実測値を用いた曲線補間法、具体的には、実測値の前後四点による中間の二点間のラグランジェの曲線補間法によって補間された三次式の補間多項式である補間関数としての前記関数６２が算出されている。」
　したがって、上記引用文献５には、次の技術的事項が記載されていると認められる。
「シリンダボアの内径寸法を計測する内径計測装置（段落【０００１】より。以下、同様。）であって、この内径計測装置によって、アルミ製のシリンダブロックのシリンダボアの内径を計測する際には、マスターリングを用いて寸法基準値を測定し（【００１０】）、次に、シリンダボアの内径を、複数設定された各測定箇所で測定するが、このとき、このシリンダボアの内径は、シリンダブロックの温度によって変化する（【００１１】）ものの、前記各測定箇所での内径は、所定温度置きに実測されており、その実測値は、実測時のシリンダブロックの実測時温度に対応してテーブル化され温度補正値テーブルとして記憶されており、そして、各々の温度補正テーブルは、前記各実測時温度に対する前後四点の実測値を用いた曲線補間法により補間関数が算出されている（【００１２】）ので、これにより、測定された寸法測定値は、その測定箇所に対応する前記補間関数を用いるとともに、当該測定時の前記シリンダブロックの温度に基づいて補正され、温度に応じた変形に伴う測定誤差が排除され、前記寸法測定値と寸法基準値との差からシリンダボアの内径寸法が計測される（【００１３】）、内径計測装置（【０００１】）。」
６．引用文献６
　原査定の拒絶の理由において、周知技術を示す文献として提示された引用文献６（特開２０１１−０２１９６２号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与した。）。
「【０００１】
　本発明は、測定装置に関し、特に、被検物を高精度に測定することができるようにした測定装置に関する。 」
「【００１４】
　図１は、本発明を適用した測定装置の一実施の形態の構成例を示す図である。
【００１５】
　図１に示すように、
測定装置１１は、
水平に保たれた定盤１３の上面に傾斜回転テーブル１４が載置
【００１６】
　
定盤１３は、
定盤１３上をＹ軸方向
に駆動可能な門型フレーム１５
より構成され
 【００１７】
　
ヘッド部１６は、門型フレーム１５のＸ軸ガイド１５ａに沿って駆動可能であり、ヘッド部１６に対してＺ軸方向
に駆動可能なＺ軸ガイド１７が装着されている。Ｚ軸ガイド１７の下端部には、測定プローブ１８が装着されており、測定プローブ１８は、Ｚ軸を中心に回動可能、かつ、水平方向の所定軸を中心に傾動可能に構成されている。」
「【００３８】
　次に、図３を参照して、
所定の傾斜角度で傾斜している回転テーブル２１上の被検物４１を、測定プローブ１８を使用して測定する
【００３９】
　例えば、図３において右下を向く被検物４１の側面４２に測定プローブ１８を当接させて側面４２を測定した後、回転テーブル２１を９０度回転させて、図３において手前側を向いている被検物４１の側面４３を右下に向け、側面４２と同様に側面４３を測定する場合、回転テーブル２１の回転に伴って被検物４１の姿勢が変化する。このため、被検物４１の重心の偏りに応じて重心位置が変化することにより、回転テーブル２１の面ブレが発生したり、傾斜テーブル２２の沈み込みが発生したりする。」
　したがって、引用文献６には、次の技術的事項が記載されていると認められる。
「水平に保たれた定盤１３の上面に傾斜回転テーブル１４が載置され（段落【００１５】より。以下、同様。）、定盤１３は、定盤１３上をＹ軸方向に駆動可能な門型フレーム１５より構成され（【００１６】）、ヘッド部１６は、門型フレーム１５のＸ軸ガイド１５ａに沿って駆動可能であり、ヘッド部１６に対してＺ軸方向に駆動可能なＺ軸ガイド１７が装着され、Ｚ軸ガイド１７の下端部には、測定プローブ１８が装着されており、測定プローブ１８は、Ｚ軸を中心に回動可能、かつ、水平方向の所定軸を中心に傾動可能に構成され（ 【００１７】）、所定の傾斜角度で傾斜している回転テーブル２１上の被検物４１を、測定プローブ１８を使用して測定する（【００３８】）、測定装置１１。」
 
第５　対比・判断
１．本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを比較すると、次のことがいえる。
ア　引用発明における「画像計測」「装置」による「画像計測方法」が、本願発明１における「測定装置での測定方法」に相当する。
イ　引用発明における「計測ワーク２０」は「基準ワークと同型」であるから、本願発明１における「測定しようとする一連の公称上同一のワークピース」とは、「測定しようとする一連の同一のワークピース」の点で共通する。
ウ　引用発明における「基準ワーク」は、「計測ワーク２０」と「同型」であるから、上記「イ」を踏まえると、本願発明１における「測定しようとする一連の公称上同一のワークピースのうちの１つである基準ワークピース」とは、「測定しようとする一連の同一のワークピースのうちの１つである基準ワークピース」の点で共通するといえる。
　すると、引用発明における「長寸法が既知の基準ワーク１０」が本願発明１における「基準ワークピースの形態であるマスター加工品」に相当するといえる。
エ　引用発明における「基準ワーク１０」の「既知の」「長寸法」が、「画像計測」「装置」以外のソースから取得された寸法であることは明らかであるから、引用発明において「長寸法が既知の基準ワーク１０」を用意することが、本願発明１における「マスター加工品を提供するステップであって、前記マスター加工品が前記測定装置の外部のソースから取得された既知の寸法を有するステップ」に相当するといえる。
オ　引用発明における「長寸法」は、２つの「アライメントマーク１２」の「画像上の座標を計測・登録」することで得られるから、引用発明において「予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取してお」くことと、本願発明１における「前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記マスター加工品の複数の寸法値を２つ以上の温度で前記装置で測定し、各温度における前記マスター加工品の２つ以上の対応する測定された寸法値のセットを生成するステップ」とは、「前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記マスター加工品の寸法値を２つ以上の温度で前記装置で測定し、各温度における前記マスター加工品の対応する測定された寸法値のセットを生成するステップ」の点で共通する。
カ　引用発明において「予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取しておき、そして、該データ３８を基に、ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数αを求め」る際、「雰囲気温度」を測定していることは明らかであるから、引用発明において「雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取」する際に「雰囲気温度」を測定することが、本願発明１における「前記マスター加工品が測定された前記温度を測定するステップ」に相当する。
キ　引用発明における「予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取しておき、そして、該データ３８を基に、ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数αを求め」ることと、本願発明１における「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成するステップ」とは「前記マスター加工品についての寸法と温度との関係を生成するステップ」の点で共通する。
　したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
（一致点）
「測定装置での測定方法であって、
　測定しようとする一連の同一のワークピースのうちの１つである基準ワークピースの形態であるマスター加工品を提供するステップであって、前記マスター加工品が前記測定装置の外部のソースから取得された既知の寸法を有するステップと、
　前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記マスター加工品の寸法値を２つ以上の温度で前記装置で測定し、各温度における前記マスター加工品の対応する測定された寸法値のセットを生成するステップと、
　前記マスター加工品が測定された前記温度を測定するステップと、
　マスター加工品についての寸法と温度との関係を生成するステップと
を含むことを特徴とする方法。」
（相違点１）
　本願発明１では、一連の同一のワークピースが「公称上」のものであるのに対し、引用発明では、計測ワークが「公称上」のものか、不明である点。
（相違点２）
　本願発明１では、測定される前記マスター加工品の寸法値が「複数」であるのに対し、引用発明では、アラインメントマーク間の１つの寸法を測定することが示されているに過ぎない点。
（相違点３）
　本願発明１では、前記マスター加工品についての寸法と温度との関係が、「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」であるのに対し、引用発明では、「基準ワーク１０」についての「ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数α」である点。
（２）判断
　事案に鑑みて、上記相違点３について検討する。
　上記相違点３に係る本願発明１の「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成は、引用文献２−６には記載されておらず、また、本願の優先日前において周知技術であるともいえない。
　また、引用発明における補正方法は、「画像入力部３０にて長寸法が既知の基準ワーク１０のアライメントマーク１２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測・登録しておき、同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔ０を計測し、画像入力部３０にて基準ワークと同型で長寸法Ｌｘが未知の計測ワーク２０のアライメントマーク２２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測し、同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔｍを計測し、次いで、長寸法算出部４４にて、計測した基準ワーク１０と計測ワーク２０のアライメントマーク座標の差と基準ワークの長寸法Ｌ０から、計測ワーク２０の長寸法Ｌｘを求め、次いで温度補正処理部４６で、ステップ１００で求めた熱膨張係数αとステップ１１０、１２０で計測した雰囲気温度差△ｔ（＝ｔｍ−ｔ０）から長寸法補正量αΔｔを求め、ステップ１３０で算出した長寸法Ｌｘを補正する」というものであるから、引用発明における補正方法で用いられる、「基準ワーク１０」についての「ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数α」を、「基準ワーク１０」における「既知の」「長寸法」に関連付けるべき理由も見いだせない。
　したがって、本願発明１は、相違点１、相違点２について検討するまでもなく、当業者であっても、引用発明、引用文献２−６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２．本願発明２−４について
　本願発明２−４も、本願発明１の「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
３．本願発明５について
（１）対比
　本願発明５と引用発明とを対比する。
ア　引用発明における「画像計測」「装置」での「計測ワーク２０の長寸法Ｌｘを求め」る方法が、本願発明５における「測定装置での測定方法」に相当する。
イ　引用発明における「基準ワーク１０」における「既知の」「長寸法」が、引用発明における「画像計測」「装置」以外のソースから取得された寸法であることは明らかであるから、引用発明における「長寸法が既知の基準ワーク１０」を提供することが、本願発明５における「前記測定装置の外部のソースから取得された既知の寸法を有する基準ワークピースの形態であるマスター加工品を提供するステップ」に相当する。
ウ　引用発明における「長寸法」が、２つの「アライメントマーク１２」から「算出」されるものであることを踏まえると、引用発明における「予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取してお」くことと、本願発明５における「前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記基準ワークピースの複数の寸法値を第１の温度で前記装置で測定し、前記第１の温度における前記基準ワークピースの結果的に得られた測定された寸法値の第１のセットを生成するステップ」とは、「前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記基準ワークピースの寸法値を第１の温度で前記装置で測定し、前記第１の温度における前記基準ワークピースの結果的に得られた測定された寸法値の第１のセットを生成するステップ」の点で共通するといえる。
エ　引用発明において「予め雰囲気温度を変えて基準ワーク１０のアライメントマーク１２の座標を計測し、雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取しておき、そして、該データ３８を基に、ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数αを求め」ることと、本願発明５における「前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成するステップ」とは、「基準ワークピースについての温度と寸法との関係を生成するステップ」の点で共通する。
オ　引用発明における「基準ワークと同型で長寸法Ｌｘが未知の計測ワーク２０のアライメントマーク２２を画像入力し、画像処理部４２にて画像上の座標を計測し、同時に雰囲気温度計測部３２で雰囲気温度ｔｍを計測」することは、該計測が「計測ワーク２０」の「長寸法Ｌｘ」を得るための座標計測であることは明らかであるから、本願発明５における「測定されたワークピース寸法値を得るために製造ワークピースを前記装置で測定し、前記ワークピース寸法値が得られた前記温度を測定するステップ」に相当するといえる。
カ　引用発明における「温度補正処理部４６で、熱膨張係数αと、計測した雰囲気温度差△ｔ（＝ｔｍ−ｔ０）から長寸法補正量αΔｔを求め、算出した長寸法Ｌｘを補正する」ことと、本願発明５における「前記ワークピース寸法値を、前記エラーマップ、ルックアップテーブルまたは関数から導出された補正値で補正するステップ」とは、「前記ワークピース寸法値を、基準ワークピースの温度と寸法との関係から導出された補正値で補正するステップ」の点で共通する。
キ　引用発明における「長寸法補正量αΔｔ」が「熱膨張係数αと、計測した雰囲気温度差△ｔ（＝ｔｍ−ｔ０）から」計算されることが、本願発明５における「前記補正値は前記ワークピース寸法値が得られた温度に基づいて判断される」ことに相当する。
　したがって、本願発明５と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
（一致点）
　測定装置での測定方法であって、
　前記測定装置の外部のソースから取得された既知の寸法を有する基準ワークピースの形態であるマスター加工品を提供するステップと、
　前記マスター加工品の複数の点の座標を測定することにより、前記基準ワークピースの寸法値を第１の温度で前記装置で測定し、前記第１の温度における前記基準ワークピースの結果的に得られた測定された寸法値の第１のセットを生成するステップと、
　基準ワークピースについての温度と寸法との関係を生成するステップと、
　測定されたワークピース寸法値を得るために製造ワークピースを前記装置で測定し、前記ワークピース寸法値が得られた前記温度を測定するステップと、
　前記ワークピース寸法値を、前記エラーマップ、ルックアップテーブルまたは関数から導出された補正値で補正するステップと
を含み、
　前記補正値は前記ワークピース寸法値が得られた温度に基づいて判断されることを特徴とする方法。」
（相違点１）
　本願発明５では、測定される基準ワークピースの寸法値が「複数」であるのに対し、引用発明では、アラインメントマーク間の１つの寸法を測定することが示されているに過ぎない点。
（相違点２）
　本願発明５では、基準ワークピースについての温度と寸法との関係を生成するステップが、「前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成するステップ」であるのに対し、引用発明では、「基準ワーク」について、「雰囲気温度の変動に伴い長寸法が変動するデータ３８を採取して」いるものの、特定の雰囲気温度において採取された基準ワーク１０の長寸法を、基準ワーク１０の「既知の」「長寸法」と関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成することは、示されていない点。
（２）判断
　事案に鑑みて、上記相違点２について検討すると、上記相違点２に係る本願発明５の「前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成は、引用文献２−６には記載されておらず、また、本願の優先日前において周知技術であるともいえない。
　また、上記「１．」「（２）」で述べたとおり、引用発明における補正方法で用いられる、「基準ワーク１０」についての「ワークと計測装置の複合的な熱膨張係数α」を、「基準ワーク１０」における「既知の」「長寸法」に関連付けるべき理由も見いだせない。
　したがって、本願発明５は、相違点１について検討するまでもなく、当業者であっても、引用発明、引用文献２−６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
４．本願発明６−２２について
　本願発明６−２２も、本願発明１の「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成、又は、本願発明５の「前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数を生成するステップ」を備えるものであるから、本願発明１及び本願発明５と同じ理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
５．本願発明２３、２４について
　本願発明２３は、本願発明１−２２に記載の方法を実施するように構成された「測定装置」の発明であり、本願発明２４は、本願発明１−２２に記載の方法を実施させるように構成された「測定装置用のソフトウェアプログラム」の発明であるから、上記「１．」−「４．」で述べたのと同様の理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
第６　原査定について
　審判請求時の補正により、本願発明１−４は、「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成を有するものとなっており、本願発明５は「前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成を有するものとなっており、本願発明６−２２は、本願発明１の「前記マスター加工品の前記測定された寸法値を前記マスター加工品の対応する前記既知の寸法に関連付ける１つまたは複数のエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成、又は、本願発明５の「前記第１の温度における前記基準ワークピースの前記複数の測定された寸法値を前記基準ワークピースの対応する前記既知の寸法に関連付ける少なくとも１つのエラーマップまたはルックアップテーブルまたは関数」を生成するという構成を有するものとなっている。
　よって、上記「第５」「１．」−「４．」で述べたとおり、本願発明１−２２は当業者であっても、拒絶査定において引用された引用文献１−６に基づいて、容易に発明できたものであるとはいえない。
　また、本願発明２３、本願発明２４についても、上記「第５」「５．」で述べたとおり、当業者であっても、拒絶査定において引用された引用文献１−６に基づいて、容易に発明できたものであるとはいえない。
　したがって、原査定の理由を維持することはできない。
第７　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。