(57)【要約】  超純水中の不純物を小スペース内で長期にわたって安定的かつ高度に除去することが可能な超純水の高純度化方法及びその装置。超純水の高純度化装置１０に導入した超純水は、下室１ａ内のイオン交換樹脂層５を通過する。このとき、超純水中における金属イオン等が、イオン交換樹脂によって除去される。その後、純水は目皿４を通過して上室１ｂ内に流入し、イオン交換フィルタ６を透過する。このとき、このイオン交換樹脂層５によって、除去し切れなかった金属イオン等が除去される。このように、イオン交換樹脂によってある程度の金属イオンが除去されるため、その下流側のイオン交換フィルタでは極少量の金属イオンを除去するだけでよく、その結果、イオン交換フィルタが短期間で破過に至ることが防止され、長期間にわたって超純水の高純度化を行うことができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超純水を使用する施設の超純水導入部に接続され、超純水をさらに高純度化する装置であって、
粒状のイオン交換樹脂よりなるイオン交換樹脂層と、
該イオン交換樹脂層の下流側に配置された、イオン交換機能を有する濾過膜を備えたイオン交換フィルタと
を有することを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項２】
請求項１において、前記イオン交換樹脂は粒子径が１００μｍ以上であることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項３】
請求項１において、ハウジング内に、前記イオン交換樹脂層及び前記イオン交換フィルタが配置されていることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項４】
請求項１において、前記イオン交換樹脂はカチオン交換樹脂単独又はカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が混合されたものであることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項５】
請求項１において、前記イオン交換フィルタはさらに微粒子除去機能を有する微粒子除去膜を備えており、該微粒子除去膜は前記濾過膜の下流側に配置されていることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項６】
請求項１において、前記イオン交換機能を有する濾過膜は、プリーツの形状を有するように折られていることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項７】
請求項５において、前記イオン交換機能を有する濾過膜と微粒子除去膜とは、重ね合わされ、且つプリーツの形状を有するように折られていることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項８】
請求項６において、プリーツ形状の濾過膜は、同軸に配置された透水性の内筒と透水性の外筒との間に配置され、該内筒を取り巻いていることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項９】
請求項７において、プリーツ形状の濾過膜及び微粒子除去膜は、同軸に配置された透水性の内筒と透水性の外筒との間に配置され、該内筒を取り巻いていることを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項１０】
請求項１において、さらに、前記イオン交換樹脂層に供給される水を昇圧させるためのブースターポンプを有することを特徴とする超純水の高純度化装置。
【請求項１１】
超純水を使用する施設に供給される超純水をさらに高純度化する方法であって、
超純水を粒状のイオン交換樹脂よりなるイオン交換樹脂層に通水し、
次いで、イオン交換機能を有する濾過膜を備えたイオン交換フィルタに通水することを特徴とする超純水の高純度化方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
本発明は、超純水製造装置で製造された超純水を、超純水使用施設のユースポイント直前でさらに高純度化する方法及び装置に関する。
【発明の背景】
【０００２】
近年、半導体製造技術の進歩に伴い、半導体の高密度化、線幅の微細化が進んでいる。これに伴い、半導体製造工程で用いられる洗浄液としての超純水にあっては、微量金属や金属イオン等の不純物が極限まで低減されることが求められている。このため、半導体産業において使用される超純水の不純物除去技術に対する要求は、非常に厳しくなっている。
【０００３】
超純水製造装置によって高純度化された超純水は、半導体製造プロセスにおける使用箇所（ＰＯＵ：Ｐｏｉｎｔ  Ｏｆ  Ｕｓｅ）の直前においてさらに不純物が除去される。このユースポイント直前における不純物除去技術としては、濾過が唯一の技術である。
【０００４】
しかし、超純水製造装置では、紫外線酸化、イオン交換、限外濾過といった複雑な操作が行われる。このため、ユースポイントにおいてさらに複雑な操作を行う場合、装置が大型化することになり、ユースポイントにおける装置の設置スペースの確保が困難になる、大きな動力を必要とする、装置自体から金属や金属イオン等の不純物が発生する、などの不都合が生じる。従って、小型であり、かつ超純水を目的の純度まで高純度化することが可能な濾過装置及び濾過方法を構築することが強く求められている。
【０００５】
従来、水中の微量金属及び金属イオンを除去する方法としては、ビーズ状のイオン交換樹脂やキレート樹脂を用い、金属及び金属イオンをこれらの樹脂にイオン交換させて除去する方法が最も一般的に用いられてきた。
【０００６】
しかしながら、このようなビーズ状のイオン交換樹脂を用いて金属及び金属イオンを除去する場合、金属や金属イオンがイオン交換樹脂内に拡散する速度が律速となり、金属イオンの除去速度が小さい。このため、実プロセスで使用可能な程度のイオン交換効率を達成するためには、装置を大型化してイオン交換樹脂の容量を大きくする必要が生じ、濾過装置の小型化が困難であった。
【０００７】
かかる問題を解決するものとして、多孔質平膜、中空糸膜等の多孔質膜や不織布などを基材とし、これら基材にイオン交換基又はキレート基等の機能性官能基を形成させたフィルタが提案されている（特開平１１−９９３０７号、特開２００５−２１８９４７号）。
【０００８】
かかるフィルタにあっては、機能性官能基が金属イオン除去能を有しているため、金属イオンを除去することができる。また、これらのフィルタにあっては、金属イオンが超純水の対流によってフィルタの細孔に輸送されるため、フィルタが被吸着分子を除去する速度が速くなる。
【０００９】
しかしながら、基材として中空糸膜を用いる場合、コスト高になるという問題がある。
【００１０】
また、基材として平膜を用いる場合、膜厚が薄いため、通水初期には高い除去率で金属や金属イオンを除去することができるものの、短時間で破過に至るという問題がある。なお、かかる問題を回避するために、膜を大型化して単位膜面積当りの金属イオンの除去量を低減する場合、濾過装置が大型化する。また、濾過装置の大型化を回避するために数枚の膜を重ねて使用すると、圧力損失が大きくなる。
【００１１】
特公平３−９７９８号には、巨大網目状イオン交換樹脂とイオン交換繊維とによって水道水などを処理することが記載されている。
【特許文献１】特開平１１−９９３０７号
【特許文献２】特開２００５−２１８９４７号
【特許文献３】特公平３−９７９８号
【００１２】
上記の通り、超純水のさらなる水質向上が求められているが、ユースポイント直前のような限られたスペースにおいて、超純水中の極微量の金属イオンを長期にわたって安定的かつ高度に除去する技術は現在のところ見当たらない。
【発明の開示】
【００１３】
本発明は、超純水中の不純物を小スペース内で長期にわたって安定的かつ高度に除去することが可能な超純水の高純度化方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００１４】
第１態様の超純水の高純度化装置は、超純水を使用する施設の超純水導入部に接続され、超純水をさらに高純度化する装置であって、粒状のイオン交換樹脂よりなるイオン交換樹脂層と、該イオン交換樹脂層の下流側に配置された、イオン交換機能を有する濾過膜を備えたイオン交換フィルタとを有することを特徴とするものである。
【００１５】
第２態様の超純水の高純度化装置は、第１態様において、前記イオン交換樹脂は粒子径が１００μｍ以上であることを特徴とするものである。
【００１６】
第３態様の超純水の高純度化装置は、第１又は第２態様において、ハウジング内に、前記イオン交換樹脂層及び前記イオン交換フィルタが配置されていることを特徴とするものである。
【００１７】
第４態様の超純水の高純度化装置は、第１ないし３態様のいずれか１態様において、前記イオン交換樹脂はカチオン交換樹脂単独又はカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が混合されたものであることを特徴とするものである。
【００１８】
第５態様の超純水の高純度化装置は、第１ないし４のいずれか１態様において、前記イオン交換フィルタはさらに微粒子除去機能を有する微粒子除去膜を備えており、該微粒子除去膜は前記濾過膜の下流側に配置されていることを特徴とするものである。
【００１９】
第６態様の超純水の高純度化装置は、第１態様において、前記イオン交換機能を有する濾過膜は、プリーツの形状を有するように折られていることを特徴とするものである。
【００２０】
第７態様の超純水の高純度化装置は、第５態様において、前記イオン交換機能を有する濾過膜と微粒子除去膜とは、重ね合わされ、且つプリーツの形状を有するように折られていることを特徴とするものである。
【００２１】
第８態様の超純水の高純度化装置は、第６態様において、プリーツ形状の濾過膜は、同軸に配置された透水性の内筒と透水性の外筒との間に配置され、該内筒を取り巻いていることを特徴とするものである。
【００２２】
第９態様の超純水の高純度化装置は、第７態様において、プリーツ形状の濾過膜及び微粒子除去膜は、同軸に配置された透水性の内筒と透水性の外筒との間に配置され、該内筒を取り巻いていることを特徴とするものである。
【００２３】
第１０態様の超純水の高純度化装置は、第１態様において、さらに、前記イオン交換樹脂層に供給される水を昇圧させるためのブースターポンプを有することを特徴とするものである。
【００２４】
第１１態様の超純水の高純度化方法は、超純水を使用する施設に供給される超純水をさらに高純度化する方法であって、超純水を粒状のイオン交換樹脂よりなるイオン交換樹脂層に通水し、次いで、イオン交換機能を有する濾過膜を備えたイオン交換フィルタに通水することを特徴とするものである。
【００２５】
本発明の超純水の高純度化装置及び方法によると、イオン交換樹脂層である程度の金属イオンを除去した後、イオン交換フィルタによって残りの金属イオンを除去するため、超純水を高度に高純度化することができる。また、イオン交換樹脂によってある程度の金属イオンが除去されるため、その下流側のイオン交換フィルタでは極少量の金属イオンを除去するだけでよく、その結果、イオン交換フィルタが短期間で破過に至ることが防止され、長期間にわたって超純水の高純度化を行うことができる。さらに、イオン交換樹脂層とイオン交換フィルタの両方によって金属イオンを除去するため、イオン交換樹脂層のみで金属イオンを除去する場合と比べてイオン交換樹脂層の容量を低減することができ、その結果、装置の小型化を図ることができる。
【００２６】
本発明において、イオン交換樹脂の粒子径が１００μｍ以上である場合、イオン交換樹脂層の圧力損失が小さくなり、通水量の増加が可能である。
【００２７】
本発明において、イオン交換樹脂層及びイオン交換フィルタをハウジング内に配置する場合、装置のさらなる小型化が可能である。
【００２８】
本発明において、イオン交換樹脂としてカチオン交換樹脂単独で用いる場合、金属イオン等の陽イオンの除去が可能であり、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との混合物を用いる場合、カチオン交換樹脂によって金属イオン等の陽イオンが除去されると共に、アニオン交換樹脂によって陰イオンも除去される。
【００２９】
本発明において、イオン交換フィルタはさらに微粒子除去機能を有する微粒子除去膜を備えており、該微粒子除去膜は前記濾過膜の下流側に配置されていてもよい。この場合、イオン交換樹脂層や濾過膜で除去し切れなかった微粒子がこの微粒子除去膜によって除去される。
【００３０】
濾過膜又は重ね合わされた濾過膜と微粒子除去膜とをプリーツ状に折ることにより、プリーツの膜面に垂直な方向に濾過が進むだけではなく、膜面方向にも濾過が進む。つまりプリーツの折り目の高さがイオン交換フィルタの吸着層の厚みに相当して機能するためフィルタの寿命が長くなる。
【００３１】
一次純水装置やサブシステムにおけるポンプだけでなく、さらにユースポイント直前の本発明の高純度化装置の前段にブースターポンプを設置し、適切に出力を調整することにより一定の水圧（要求水圧）で超純水を供給することができる。
【００３２】
枚葉式洗浄機などでは、超純水を直接噴き付ける必要があるので、超純水が適切に一定の水圧で供給されることが要求される。
【００３３】
また、洗浄機があるクリーンルームまでは距離的に離れている可能性があり、階が異なる場合もある。さらに近年ウェハのサイズは３００ｍｍと大面積化しており、洗浄には大量の水が必要となっている。
【００３４】
このような事情から、イオン交換フィルタの圧力損失だけでなく上記事情も踏まえて、ユースポイントにおける要求水圧となるように、ブースターポンプを設置した上で、予めブースターポンプの設定圧力を適切に設定しておくか、あるいは高純度化装置の出口側で圧力測定し、測定値に基づいてブースターポンプの出力を制御するといった調整を行うことが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】実施の形態に係る超純水の高純度化装置の概略的な断面図である。
【図２】フィルタモジュールの透視状の斜視図である。
【図３】フィルタエレメントの積層構造を示す模式的な斜視図である。
【図４】超純水製造プロセスのフロー図である。
【図５】別の超純水製造プロセスのフロー図である。
【詳細な説明】
【００３６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３７】
図１は実施の形態に係る超純水の高純度化装置１０の模式的な断面図である。この高純度化装置１０は略筒形のハウジング１を有している。このハウジング１は、底部に給水口２を有すると共に上部に出口３を有している。このハウジング１内は、目皿４によって下室１ａと上室１ｂに区画されている。
【００３８】
下室１ａ内は、ビーズ状のイオン交換樹脂が充填されたイオン交換樹脂層５となっている。
【００３９】
上室１ｂ内に、イオン交換フィルタ６が配置されている。このイオン交換フィルタ６はプリーツ形状であり、下端部が封止部６ａによって封止され、上端部がハウジング１に固定されている。このイオン交換フィルタ６の内部は出口３に連通している。
【００４０】
このイオン交換フィルタ６は、イオン交換機能を有する濾過膜よりなっていてもよく、この濾過膜の内周面に、微粒子除去機能を有する微粒子除去膜が形成されていてもよい。また、この濾過膜又は微粒子除去膜の内周面に、濾過膜又は微粒子除去膜を支持するための筒形のボビンが形成されていてもよい。
【００４１】
かかる構成の超純水の高純度化装置１０を用いて超純水の高純度化を行うには、超純水製造装置等によって製造された超純水を、給水口２からハウジング１内に導入する。導入した超純水は下室１ａ内のイオン交換樹脂層５を通過する。このとき、超純水中における金属イオン等の不純物が、イオン交換樹脂によって除去される。
【００４２】
このイオン交換樹脂層５を通過した純水は、目皿を通過して上室１ｂ内に流入し、さらにイオン交換フィルタ６を外周面側から内周面側に向って透過する。このとき、このイオン交換フィルタ６によって、イオン交換樹脂層５では除去し切れなかった金属イオン等の不純物が除去される。
【００４３】
このイオン交換フィルタ６を透過した純水は、該イオン交換フィルタ６の内部の空洞を上方に向って流れ、出口３から流出する。
【００４４】
上記のイオン交換樹脂は、粒子径が１００μｍ以上、特に１００〜１２００μｍ、とりわけ４００〜８００μｍであることが好ましい。１００μｍ以上であると、イオン交換樹脂層の圧力損失が小さくなり、通水量の増加が図られる。１２００μｍ以下であると、金属イオン等の不純物を高効率にて除去することができる。なお、ここで粒子径とは、ＪＩＳ  Ｋ１４７４に記載の粒度分布測定法によって測定された粒度分布において、残留分累計５０％に対応する篩の目の径を平均径とし、これを粒子径としている。
【００４５】
上記のイオン交換樹脂としては、超純水製造装置のポリッシャーに用いられているイオン交換樹脂等が用いられる。このイオン交換樹脂としては、カチオン交換樹脂を用いてもよく、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が混合されたものを用いてもよい。但し、カチオン交換樹脂を単独で用いたときに、出口３における比抵抗が１８ＭΩ・ｃｍ以下である場合には、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂が混合されたものを用いることが好ましい。なお、アニオン交換樹脂を用いた場合、このアニオン交換樹脂からカチオン性の有機物が溶出するおそれがあるが、この有機物は下流側のイオン交換フィルタ６によって除去されるため、超純水の清浄度は保持される。
【００４６】
カチオン交換樹脂は、塩酸や硝酸等によってコンディショニングし、内包している不純物を極限まで除去すると共にＨ形の置換率を高めたものを用いることが好ましい。また、アニオン交換樹脂は、水酸化ナトリウム等によってコンディショニングし、内包している不純物を極限まで除去すると共にＯＨ形の置換率を高めたものを用いることが好ましい。
【００４７】
上記の実施の形態ではイオン交換フィルタはプリーツ形状であったが、これに限定されるものではなく、筒型等であってもよい。
【００４８】
上記のイオン交換機能を有する濾過膜としては、機能性官能基を有する高分子基材が用いられる。この機能性官能基としては、イオン交換基及び／又はキレート基が用いられる。この高分子基材としては、該基材からの溶出量が問題ないレベルのものが用いられる。
【００４９】
この濾過膜の材質としては、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフッ素樹脂、ポリ塩化ビニルなどのハロゲン化ポリオレフィン、ナイロン−６、ナイロン−６６などのポリアミド、ユリア樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、セルロース、酢酸セルロース、硝酸セルロース、ポリエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、ポリエーテルエ−テルケトン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリベンゾイミダゾール、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアクリルニトリル、ポリエーテルニトリル、及びこれらの共重合体等が挙げられるが、この限りではない。特に、１種類の素材に限定されることはなく、必要に応じて種々の素材を選択できる。
【００５０】
この濾過膜の膜厚は、０．１〜１０ｍｍ、特に０．５〜１０ｍｍであることが好ましい。０．１ｍｍよりも薄いと、濾過膜が早期に破過してしまう。１０ｍｍよりも厚いと、圧力損失が大きくなり、処理水量が低下してしまう。
【００５１】
濾過膜は、平均孔径が０．０５〜１０μｍであることが好ましく、空隙率が５５〜８５％であることが好ましい。
【００５２】
このような濾過膜を充填する場合、通常であれば目詰まりを考慮して膜面積を広くするなどの工夫をしている。しかし本発明では対象が超純水であり、また前段のイオン交換樹脂で相当量のイオンを粗取りしているため、膜面積を広くする必要がなく、緊密に充填するだけで十分な寿命が得られる。
【００５３】
上記の微粒子除去機能を有する微粒子除去膜としては、精密濾過膜（ＭＦ膜）、ナノ濾過膜（ＮＦ膜）、限外濾過膜（ＵＦ膜）、逆浸透膜（ＲＯ膜）等が挙げられるが、清浄性などの観点から、ＭＦ膜、ＵＦ膜を用いることが好ましい。
【００５４】
この微粒子除去膜におけるスキン層の膜厚は、１０〜５００μｍ、特に５０〜２００μｍであることが好ましい。１０μｍよりも薄いと、強度的に耐えられず、膜が破れてしまう。２００μｍよりも厚くなると、圧力損失が大きくなる。
【００５５】
本発明では、イオン交換機能を有した濾過膜をプリーツの形状に折ってもよい。また、イオン交換機能を有した濾過膜と、微粒子除去膜とを重ね、プリーツの形状に折ってもよい。
【００５６】
第２図は、イオン交換機能を有した濾過膜１１と、微粒子除去膜１２とを重ね、プリーツの形状に折り、さらに筒状に丸くした膜アッセンブリ１５の斜視図である。微粒子除去膜１２は濾過膜１１の内周側に配置されている。この膜アッセンブリ１５は、同軸状の透水性の内筒（ボビン）２１と透水性の外筒（ボビン）２２との間に、内筒２１を取り巻くように配置されている。内筒２１及び外筒２２は、多数の孔が開けられたものであってもよく、ポーラスなセラミックスや金属などの焼結体であってもよい。
【００５７】
この膜アッセンブリ１５、内筒２１及び外筒２２よりなる濾過エレメント２０は、第１図のイオン交換フィルタ６と同様に用いることができる。
【００５８】
膜アッセンブリは、第３図に示すように、内周側と外周側に、透水性の膜よりなるサポート１３，１４を有していてもよい。このサポート１３，１４は、濾過膜１１及び微粒子除去膜１２と重ね合わされた後、プリーツの形状に折られている。第３図ではイオン交換機能を有する濾過膜１１が２枚重ね合わされているが、１枚でもよく、３枚以上であってもよい。
【００５９】
本発明の高純度化装置を有した超純水製造プロセスのフローの一例を第４図及び第５図に示す。
【００６０】
第４図では、一次純水をサブシステム３０に通した後、ブースターポンプ５０で昇圧し、高純度化装置６０に供給し、得られた超純水をユースポイントに送水する。サブシステム３０は、ポンプ３１、熱交換器３２、ＵＶ（紫外線）酸化装置３３、イオン交換装置３４、ＵＦ（限外濾過膜）装置３５を有しており、これらは直列に接続されている。
【００６１】
第５図では、サブシステム３０Ａの途中にブースターポンプ５０を配置している。この例では、ブースターポンプ５０はイオン交換装置３４とＵＦ装置３５との間に配置されているが、他の位置に配置されてもよい。第５図では、このサブシステム３０Ａからの水を高純度化装置６０で処理し、ユースポイントに送水している。第５図のその他の構成は第４図と同一であり、同一符号は同一部分を示している
【００６２】
なお、ブースターポンプの材質としては、接液部が金属質ものは重金属リークの可能性があるため好ましくなく、ＰＶＤＦなどイオンリークの問題がない材質を用いるのが好ましい。また同様の理由から方式は渦流方式、マグネット方式であることが好ましい。
【００６３】
またブースターポンプの設置位置としては、本発明装置の前段であれば構わないが、サブシステムのＵＦ膜の前段としてブースターポンプ由来の溶存酸素をＵＦ膜で除去するのがより好ましい。なお、この場合は、ＵＦ膜として耐圧性（５〜１２Ｍｐａ）のものを用いる必要がある。これにより、ブースターポンプからリークしてくる微粒子をＵＦ膜によって除去することができる。また、ブースターポンプとＵＦ膜の間に脱気膜を設けると、より確実に溶存酸素を除去することができるため、さらに好ましい。
【実施例】
【００６４】
以下、実施例及び比較例を用いて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。【００６５】
なお、実施例及び比較例において、図１の超純水の高純度化装置を用いた。【００６６】
［実施例１］
栗田工業製カチオン交換樹脂「ＥＸ−ＣＧ」を、塩酸及び超純水の順でコンディショニングした後、図１の超純水の高純度化装置１０の下室１ａ内に充填した。【００６７】
また、第１図に示す装置において、イオン交換フィルタ６として第２図に示す構造の濾過エレメントを用い、これを塩酸及び超純水の順でコンディショニングした後、図１の超純水の高純度化装置１０の上室１ｂ内に装着した。濾過エレメントの外筒２２の内径（直径）は８０ｍｍ、高さは２１０ｍｍであり、内筒２１の外径（直径）は４０ｍｍ、高さは２１０ｍｍである。【００６８】
プリーツ状の膜アッセンブリとしては、イオン交換膜としてポリエチレンにスルホン酸基がグラフトされたものを用い、微粒子除去膜としてポリエチレン多孔膜を用いた。プリーツの「ひだ」（襞）の数は７０である。【００６９】
プリーツ体の外周端は外筒２２の内周に接し、プリーツ体の内周端は内筒２１の外周に接している。【００７０】
次いで、超純水に対してＩＣＰ−ＭＳ分析で用いるＮａイオン標準液を添加し、Ｎａ濃度が１．０ｎｇ／Ｌとなるように調製したものを試料水として用い、この試料水を給水口２から高純度化装置１０内に２０Ｌ／ｍｉｎで導入した。そして、出口３から流出した出口水のＮａイオン濃度を分析した。【００７１】
その結果、破過するまでの所要日数、即ち、出口水のＮａ濃度が高純度化装置１０に導入する前と同レベルの１．０ｎｇ／Ｌに達するまでの日数は、４６８日であった。【００７２】
［比較例１］
カチオン交換樹脂を省略したことの他は実施例１と同様にして実験を行った。【００７３】
その結果、破過するまでの所要日数、即ち、出口水のＮａ濃度が高純度化装置１０に導入する前と同レベルの１．０ｎｇ／Ｌに達するまでの日数は、３日であった。【００７４】
［実施例２］
プリーツの襞の数を４０としたこと以外は実施例２と同様とした。この高純度化装置に実施例２と同様に原水を通水した結果、破過までの日数は１２４日であった。【００７５】
本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更が可能であることは当業者に明らかである。
なお、本出願は、２００６年１０月３１日付で出願された日本特許出願（特願２００６−２９６１２３）に基づいており、その全体が引用により援用される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2008053826.tif 000008
2008053826.tif 000009
2008053826.tif 000010
2008053826.tif 000011