(57)【要約】  本発明は、記録媒体に照射する光照射量の温度による変動が少なく、信頼性の高い光記録ヘッを提供する。このため、光記録ヘッドは、光源から照射された光を導光する導光部と、記録媒体に対して相対的に移動するスライダと、前記スライダに設けられ前記導光部から射出された射出光を透過し、記録媒体に向けて射出する光透過部と、を有する光記録ヘッドにおいて、前記光透過部と前記導光部との間に挟まれ、前記光透過部と前記導光部の位置を固定するものであって、光透過性を有する接着剤層と、前記スライダの前記光透過部以外の部分と前記導光部との間に挟まれた弾力性を有する粘着剤層と、を有することを特徴とする。
2008096566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から照射された光を導光する導光部と、
記録媒体に対して相対的に移動するスライダと、
前記スライダに設けられ前記導光部から射出された射出光を透過し、記録媒体に向けて射出する光透過部と、を有する光記録ヘッドにおいて、
前記光透過部と前記導光部との間に挟まれ、前記光透過部と前記導光部の位置を固定するものであって、光透過性を有する接着剤層と、
前記スライダの前記光透過部以外の部分と前記導光部との間に挟まれた弾力性を有する粘着剤層と、を有することを特徴とする光記録ヘッド。
【請求項２】
前記導光部は樹脂材料よりなることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光記録ヘッド。
【請求項３】
前記光透過部の光射出面にプラズモンプローブを有することを特徴とする請求の範囲第１項又は第２項に記載の光記録ヘッド。
【請求項４】
前記スライダの全体が、光透過性の材料からなることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項の何れか一項に記載の光記録ヘッド。
【請求項５】
請求の範囲第１項乃至第４項のいずれか一項に記載の光記録ヘッドを有することを特徴とする記録再生装置。
【請求項６】
光源から照射された光を導光する導光部と、
記録媒体に対して相対的に移動するスライダと、
前記スライダに設けられ前記導光部から射出された射出光を透過し、記録媒体に向けて射出する光透過部と、
を有する光記録ヘッドの製造方法において、
前記スライダの前記導光部と対向する面の前記光透過部以外の部分に弾力性を有する粘着剤層を形成する粘着剤層形成工程と、
前記光透過部の前記導光部と対向する面の上に接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、前記接着剤層形成工程と前記粘着剤層形成工程の後に、前記スライダと前記導光部を重ね合わせ、前記接着剤層を硬化させる接着工程と、
を含むことを特徴とする光記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記粘着剤層形成工程は、前記スライダの全面に弾力性を有する粘着剤層を形成し、その後、前記接着剤層を形成する部分の粘着剤層を除去し、
前記接着剤形成工程は、前記接着剤層を形成する部分の粘着剤層を除去した後、該粘着剤層を除去した部分に接着剤層を形成することを特徴とする請求の範囲第６項に記載の光記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記接着剤層は、光硬化性樹脂を用いて形成することを特徴とする請求の範囲第６項又は第７項に記載の光記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記光硬化性樹脂は、紫外線硬化樹脂であることを特徴とする請求の範囲第８項に記載の光記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記光硬化性樹脂を硬化するための光は、前記導光部を介して前記接着剤層に照射することを特徴とする請求の範囲第８項又は第９項に記載の光記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録ヘッド、光記録ヘッドの製造方法及び記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録方式では、記録密度が高くなると磁気ビットが外部温度等の影響を顕著に受けるようになる。このため高い保磁力を有する記録媒体が必要になるが、そのような記録媒体を使用すると記録時に必要な磁界も大きくなる。記録ヘッドによって発生する磁界は飽和磁束密度によって上限が決まるが、この値は材料限界に近づいており飛躍的な増大は望めない。そこで、記録時に局所的に加熱して磁気軟化を生じさせ、保磁力が小さくなった状態で記録し、その後に加熱を止めて自然冷却することにより、記録した磁気ビットの安定性を保証する方式が提案されている。この方式は熱アシスト磁気記録方式と呼ばれている。【０００３】
熱アシスト磁気記録方式では、記録媒体の加熱を瞬間的に行うことが望ましい。また、加熱する機構と記録媒体とが接触することは許されない。このため、加熱は光の吸収を利用して行われるのが一般的であり、加熱に光を用いる方式は光アシスト式磁気記録方式と呼ばれている。また、光を用いて記録媒体に記録するヘッドは一般に光記録ヘッドと呼ばれている。【０００４】
光記録ヘッドは、記録媒体上に光記録ヘッドを空気浮上させるため、記録媒体が回転することに伴って発生する空気流により正圧、または負圧を生じるスライダを記録媒体と対向する面に有している。また、スライダに形成された光透過部から記録媒体に光を射出するように構成されている。そのため、例えば磁気記録再生装置内に設けられた光源から、スライダの光透過部まで、光源からの光を導く必要がある。【０００５】
例えば、斜面にミラー面を持つミラー基板と、透明なＳｉＯ2から形成されたスライダと、光ファイバーから構成し、光ファイバーからの出射光をミラー面で反射し、スライダを透過して記録媒体に照射する光記録ヘッドが開示されている（特許文献１参照）。【０００６】
また、光源から光を導くために光導波路を用い、光導波路に設けられた反射面でスライダの微小開口に照射する光記録ヘッドが開示されている（例えば、特許文献２参照）。【０００７】
また、記録媒体の鉛直方向に光軸を有する対物レンズをスライダ上に設け、スライダの開口部に集光する光記録ヘッドが開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００３−６９１３号公報
【特許文献２】特開２００３−６９１２号公報
【特許文献３】特開２００１−１４７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
光源からの光をスライダの光透過部に導く導光部は、接着によりスライダと固定するのが一般的である。しかしながら、導光部とスライダは別の材料から形成されることが多く、材料の熱膨張係数の差から温度によって光を照射する位置がずれ、記録媒体の所定の位置に照射する光量が低下する、という問題があった。また、特に、光アシスト式磁気記録ヘッドでは発生する熱のためスライダの温度上昇が大きくなり、接着部分の剥がれが生じやすい、という問題があった。【０００９】
一方、特許文献１に開示されているヘッドは、シリコンからなるミラー基板とＳｉＯ2からなるスライダから構成されているが、導光部として機能するミラー基板とスライダの接着方法や温度による問題については言及されていない。【００１０】
同様に、特許文献２に開示されているヘッドは、樹脂からなる光導波路と、ガラスからなるスライダから構成されているが、導光部として機能する光導波路とスライダの接着方法や温度による問題については言及されていない。【００１１】
また、特許文献３に開示されているヘッドは、ガラスからなる対物レンズと、樹脂からなるスライダから構成されているが、同じく導光部として機能する対物レンズとスライダの接着方法や温度による問題については言及されていない。【００１２】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、記録媒体に照射する光照射量の温度による変動が少なく、信頼性の高い光記録ヘッド、光記録ヘッドの製造方法及び記録再生装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
１．光源から照射された光を導光する導光部と、
記録媒体に対して相対的に移動するスライダと、
前記スライダに設けられ前記導光部から射出された射出光を透過し、記録媒体に向けて射出する光透過部と、を有する光記録ヘッドにおいて、
前記光透過部と前記導光部との間に挟まれ、前記光透過部と前記導光部の位置を固定するものであって、光透過性を有する接着剤層と、
前記スライダの前記光透過部以外の部分と前記導光部との間に挟まれた弾力性を有する粘着剤層と、を有することを特徴とする光記録ヘッド。【００１４】
２．前記導光部は樹脂材料よりなることを特徴とする１に記載の光記録ヘッド。【００１５】
３．前記光透過部の光射出面にプラズモンプローブを有することを特徴とする１又は２に記載の光記録ヘッド。【００１６】
４．前記スライダの全体が、光透過性の材料からなることを特徴とする１乃至３の何れか一項に記載の光記録ヘッド。【００１７】
５．１乃至４の何れか一項に記載の光記録ヘッドを有することを特徴とする記録再生装置。【００１８】
６．光源から照射された光を導光する導光部と、
記録媒体に対して相対的に移動するスライダと、
前記スライダに設けられ前記導光部から射出された射出光を透過し、記録媒体に向けて射出する光透過部と、
を有する光記録ヘッドの製造方法において、
前記スライダの前記導光部と対向する面の前記光透過部以外の部分に弾力性を有する粘着剤層を形成する粘着剤層形成工程と、
前記光透過部の前記導光部と対向する面の上に接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、前記接着剤層形成工程と前記粘着剤層形成工程の後に、前記スライダと前記導光部を重ね合わせ、前記接着剤層を硬化させる接着工程と、
を含むことを特徴とする光記録ヘッドの製造方法。【００１９】
７．前記粘着剤層形成工程は、前記スライダの全面に弾力性を有する粘着剤層を形成し、その後、前記接着剤層を形成する部分の粘着剤層を除去し、
前記接着剤形成工程は、前記接着剤層を形成する部分の粘着剤層を除去した後、該粘着剤層を除去した部分に接着剤層を形成することを特徴とする６に記載の光記録ヘッドの製造方法。【００２０】
８．前記接着剤層は、光硬化性樹脂を用いて形成することを特徴とする６又は７に記載の光記録ヘッドの製造方法。【００２１】
９．前記光硬化性樹脂は、紫外線硬化樹脂であることを特徴とする８に記載の光記録ヘッドの製造方法。【００２２】
１０．前記光硬化性樹脂を硬化するための光は、前記導光部を介して前記接着剤層に照射することを特徴する８又は９に記載の光記録ヘッドの製造方法。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、スライダの光透過部を光透過性の接着剤で導光部と固定すると共に、スライダの光透過部以外の部分を弾性力のある粘着剤層で貼り合わせるので、記録媒体に照射する光照射量の温度による変動が少ない。また、ヒートショックにより貼り合わせた部分の剥がれが生じることも無い。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】光アシスト式磁気記録再生装置の概略構成例を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における光記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態において、スライダに形成する接着剤層と粘着剤層の領域を説明するための平面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態における光記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態において、スライダに形成する接着剤層と粘着剤層の領域を説明するための平面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  筐体
２  ディスク
３  光記録ヘッド
４  サスペンション
１０  磁気記録再生装置
１１  スライダ
１３  導光部
１４  光ファイバー
１５  球レンズ
１６  半球レンズ
１７  反射面
３０  プラズモンプローブ
３９  導波路
４０  磁気再生部
４１  磁気記録部
５０  ＳＩＬ
８０  接着剤層
８１  粘着剤層
８２  光透過部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明に係る近接場光発生器（プラズモンプローブとも称する。）、光アシスト式磁気記録ヘッドと、それを備えた磁気記録再生装置を、図面を参照しつつ説明する。なお、各実施の形態の相互で同一の部分や相当する部分には同一の符号を付して重複説明を適宜省略する。【００２７】
図１に光アシスト式磁気記録ヘッドを搭載した磁気記録再生装置の一例としてハードディスク装置の概略構成図を示す。【００２８】
この磁気記録再生装置１０は、記録用のディスク２と、支軸５を支点として矢印Ａ方向（トラッキング方向）に回転可能に設けられたサスペンション４と、サスペンション４に取り付けられたトラッキング用のアクチュエータ６と、を筐体１内に備えている。また、サスペンション４の先端部に取り付けられた光記録ヘッド３と、ディスク２を矢印Ｂ方向に回転させるモータ（不図示）と、を筐体１内に備えている。光記録ヘッド３は、ディスク２上で浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。【００２９】
本例では、ディスク２及び光記録ヘッド３を複数積層した構造としている。説明を簡単にするため一つのヘッドについて詳しく説明するが、他のヘッドも同様の構成を有している。ディスク２は本発明の記録媒体である。【００３０】
図２に本発明の第１の実施形態における光記録ヘッド３の断面図を図示する。【００３１】
第１の実施形態の光記録ヘッド３は、サスペンション４、光ファイバー１４及び球レンズ１５、半球レンズ１６が取り付けられた導光部１３と、導波路３９、磁気記録部４１、磁気再生部４０などを備えたスライダ１１とで構成されている。【００３２】
導光部１３には、光ファイバー１４及び球レンズ１５、半球レンズ１６、サスペンション４が取り付けられている。【００３３】
図示せぬ光源から照射された近赤外レーザ光（波長１５５０ｎｍ、１３１０ｎｍ等）の光束は、光ファイバー１４の光出射側端面が斜めにカットされているため、光ファイバー１４から右上方に出射する。その後、球レンズ１５に入射する。球レンズ１５は例えば直径０．１５ｍｍ程度のガラス球（材料は、例えばＢＫ７）から成り、光束は球レンズ１５で略コリメートされる。球レンズ１５を通過した光束は、半球レンズ１６に入射する。半球レンズ１６は例えば直径０．０９ｍｍ程度のガラス半球（材料は、例えばＢＫ７）から成り、導光部１３に接着されている。【００３４】
球レンズ１５から出射した略コリメート光束は、半球レンズ１６で集光された後、導光部１３の金属材料が蒸着された反射面１７で反射し偏向される。反射面１７で偏向された光束は、接着剤層８０を透過し、直下の高屈折率のシリコンを媒質とする直径１０μｍ程度の導波路３９に対して集光され、導波路３９との結合が完了する。このとき、導光部１３の反射面１７から導波路３９に射出する光の位置は±１μｍ程度の精度で位置決めをする必要がある。【００３５】
光記録ヘッド３を搭載した磁気記録再生装置１０において、導波路３９から光がディスク２に照射されると、ディスク２の照射された部分の温度が一時的に上昇してディスク２の保磁力が低下する。その保磁力の低下した状態の照射部分に対して、磁気記録部４１により磁気情報の書き込みが行われる。また、ディスク２に書き込んだ磁気情報は磁気再生部４０で読み出しが行われる。【００３６】
スライダ１１のディスク２に対向する面にはディスク２が回転すると空気流によりディスク２上に浮上するように図示せぬ構造（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）が設けられている。スライダ１１には空気流による負圧または正圧が部分的にかかるため、たわみを生じやすい。スライダ１１にたわみが発生すると、導波路３９から射出する光の方向や磁気記録部４１が記録トラックからずれ、正常に記録できないことがある。そのため、剛性が高いＡｌＴｉＣやジルコニアなどのセラミックスを材料とすることが望ましい。本実施形態ではスライダ１１の材料としてＡｌＴｉＣを用いた例を説明するが、本発明の適用はスライダ１１の材料にＡｌＴｉＣを用いた場合に限定されるものではなく、他の材料にも適用できる。【００３７】
一方、導光部１３には、シリコンやガラスなどが材料として用いられるが、製造が容易なことから樹脂材料を用いる方法が注目されている。本実施形態では導光部１３の材料としてＰＭＭＡなどの樹脂を用いた例を説明するが、本発明の適用は導光部１３の材料に樹脂を用いた場合に限定されるものではなく、他の材料にも適用できる。【００３８】
導波路３９は本発明の光透過部、導光部１３は本発明の導光部である。【００３９】
導波路３９と導光部１３は、図２に示すように導波路３９と導光部１３の間に挟まれた接着剤層８０によって接着され位置が固定されている。接着剤層８０は光透過性を有する接着剤により形成されているので、光を透過することができる。【００４０】
また、スライダ１１の導波路３９以外の部分と導光部１３は、スライダ１１の導波路３９以外の部分と導光部１３の間に挟まれた粘着剤層８１により接着されている。【００４１】
ところで、スライダ１１の材料として使用するＡｌＴｉＣの線膨張係数は約８×１０-6／Ｋである。一方、導光部１３の材料として使用する樹脂材料は一般に大きな熱膨張係数を有しており，光学用途に用いられるＰＭＭＡ、ポリカーボネイト、ポリオレフィン系樹脂はいずれも約７０×１０-6／Ｋ程度である。このように熱膨張係数の異なる材料を接着剤により接着した場合、熱履歴を繰り返すことにより剥がれが生じ、破損することがある。【００４２】
ここで、接着剤と粘着剤の違いについて説明する。接着剤は接着作用の発現に際して硬化を伴うものであり、粘着剤は硬化を伴わない。従って、接着する部材間に熱膨張係数の差があっても粘着剤を使用して接着した場合は粘着剤層がその差を吸収するために剥がれなどの破損要因が生じにくい。この点だけに着目すると、スライダ１１と導光部１３の間を全て粘着剤を使用して接着することも考えられる。【００４３】
しかしながら、本実施形態のように導波路３９に入射する光の位置を高精度に位置決めして固定する必要がある場合、粘着剤を用いた固定では熱膨張が生じると光の位置が移動し、結果として導波路３９に入射する光量が減じ、記録媒体に照射する光照射量も減少する。【００４４】
本実施形態では、スライダ１１の導波路３９を光透過性の接着剤で導光部１３と固定すると共に、スライダ１１の導波路３９以外の部分を弾性力のある粘着剤層で貼り合わせるので、記録媒体であるディスク２に照射する光照射量の温度による変動が少ない。また、ヒートショックにより接着部分の剥がれが生じることも無い。【００４５】
特に、スライダ１１に用いられる材料と大きく異なる熱膨張係数を持つ樹脂を材料として導光部１３を形成した場合、このような効果が高い。【００４６】
なお、他の材料の熱膨張係数は、例えば、スライダ１１の材料として用いられるジルコニアの線膨張係数は約１０×１０-6／Ｋであり、導光部１３の材料として用いられるシリコンは約２４×１０-6／Ｋ、ガラス（パイレックス（登録商標））は約３×１０-6／Ｋである。このように、樹脂材料とセラミック材料ほどの差ではないが、一般的に用いられるスライダ１１の材料と導光部１３の材料とは異なる熱膨張係数を持っている。【００４７】
図３は本発明の第１の実施形態において、スライダ１１に形成する接着剤層８０と粘着剤層８１の領域を説明するための平面図である。【００４８】
本実施形態のスライダ１１と導光部１３の接着方法の一例として、図３を用いて次の工程Ｓ１〜Ｓ３を説明する。
Ｓ１・・・・・粘着剤層形成工程
Ｓ２・・・・・接着剤層形成工程
Ｓ３・・・・・接着工程
図３（ａ）は、接着剤層８０と粘着剤層８１を形成する前のスライダ１１であり、スライダ１１の導光部１３と対向する面の平面図を示している。【００４９】
以下、各工程について順に説明する。【００５０】
Ｓ１・・・・・スライダ１１の導光部１３と対向する面の導波路３９以外の部分に粘着剤層８１を形成する。【００５１】
導波路３９が形成されたスライダ１１上に、例えば、グラビアコータ、マイクログラビアコータ、コンマコータ、バーコータ、スプレーコータ、インクジェット法等の方法を用いて粘着剤を塗布し、粘着剤層８１を形成する。その後、レーザ加工機、エッチング法などを用いて、接着剤層８０を設ける部分の粘着剤を除去する。図３（ｂ）は、後の工程で接着剤層８０を設ける導波路３９の部分の粘着剤を除いた状態を示している。【００５２】
別法として、接着剤層８０を設ける部分をマスクし、スプレーコータなどの方法を用いて粘着剤を塗布しても良い。あるいは、インクジェット法を用いて接着剤層８０を設ける部分に空隙を残して粘着剤層８１を形成しても良い。【００５３】
粘着剤の種類は、例えば、ウレタン系、エポキシ系、水性高分子−イソシアネート系、アクリル系等の粘着剤、ポリエーテルメタクリレート型、エステル系メタクリレート型、酸化型ポリエーテルメタクリレート等の嫌気性粘着剤等が挙げられる。また、公知の方法を用いて粘着剤中に帯電防止剤や各種のフィラーを混ぜても良い。【００５４】
Ｓ２・・・・・スライダ１１の導光部１３と対向する面の導波路３９の上に接着剤層８０を形成する。【００５５】
図３（ｃ）のように、工程Ｓ１で粘着剤層８１を形成したスライダ１１の導波路３９の上に、例えば、グラビアコータ、マイクログラビアコータ、コンマコータ、バーコータ、スプレーコータ、インクジェット法等の方法を用いて接着剤を塗布し、接着剤層８０を形成する。接着剤層８０は光透過性を持った接着剤を用いて、導波路３９に入射する光の光路が接着剤層８０を通るように形成する。光透過性を持った接着剤としては、例えばアクリル系の紫外線硬化樹脂、または熱硬化樹脂を用いることができる。【００５６】
Ｓ３・・・・・スライダ１１と導光部１３を貼り合わせ、接着剤層８０を硬化させる。【００５７】
工程Ｓ１、Ｓ２で接着剤層８０と粘着剤層８１を形成したスライダ１１と、導光部１３を図２のように貼り合わせる。接着剤層８０を硬化させるため、例えば光ファイバー１４から接着剤層８０に光を照射する。例えば、接着剤としてアクリル系の紫外線硬化樹脂を用いる場合は、紫外線光を照射し、熱硬化樹脂を用いる場合は近赤外光を照射する。【００５８】
このようにして、本発明の光記録ヘッド３を作製することができる。なお、本実施形態では粘着剤層、接着剤層の順に形成しているが、特にこの順に限定されるものではなく、工程Ｓ１、Ｓ２を入れ替えて接着剤層、粘着剤層の順に形成しても良い。【００５９】
図４に本発明の第２の実施形態における光記録ヘッド３の断面図を図示する。【００６０】
第２の実施形態の光記録ヘッド３は、サスペンション４及びＳＩＬ（Ｓｏｌｉｄ  Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ  Ｌｅｎｓ、ソリッドイマージョンレンズ）５０などを備えたスライダ１１から構成されている。【００６１】
第２の実施形態の光記録ヘッド３では、スライダ１１が例えばシリコンで形成され、スライダ１１のディスク２に対向する面側にプラズモンプローブ３０が形成されている。【００６２】
図示せぬ半導体レーザから照射された近赤外レーザ光は、ＳＩＬ５０によって図４の矢印のように、スライダ１１に形成されたプラズモンプローブ３０の図示せぬ頂点Ｐ近辺に集光する。ＳＩＬ５０によって図４の矢印のように、プラズモンプローブ３０に集光される光束がスライダ１１を透過する部分を光透過部８２と呼ぶ。【００６３】
本実施形態では、スライダ１１がシリコンのような特定の波長の光を透過する材料で一体に形成されている場合について説明するが、スライダ１１を、セラミックのような不透明な材料からなる基板と、光を透過する材料で形成した光透過部８２から構成しても良い。【００６４】
光透過部８２は本発明の光透過部、ＳＩＬ５０は本発明の導光部である。【００６５】
光透過部８２とＳＩＬ５０は、光透過部８２とＳＩＬ５０の間に挟まれた接着剤層８０によって接着され位置が固定されている。接着剤層８０は光透過性を有する接着剤により形成されているので、光を透過することができる。【００６６】
プラズモンプローブ３０に光が作用すると、プラズモン共鳴が励起され、その頂点Ｐ近辺に近接場光が発生して、非常に小さいスポットサイズの光を用いた記録又は再生を行うことが可能となる。つまり、スライダ１１の上にプラズモンプローブ３０を設け、近接場光を発生させると、ＳＩＬ５０で集光された光スポットのサイズを更に小さくすることができ、高密度記録に有利となる。【００６７】
このような光アシスト方式による光記録ヘッド３を搭載した磁気記録再生装置１０において、プラズモンプローブ３０から近接場光がディスク２に照射されると、ディスク２の照射された部分の温度が一時的に上昇してディスク２の保磁力が低下する。その保磁力の低下した状態の照射部分に対して、リング形状の磁気記録部４１により磁気情報の書き込みが行われる。また、ディスク２に書き込んだ磁気情報は磁気再生部４０で読み出しが行われる。【００６８】
第１の実施形態と同様に、本実施形態ではプラズモンプローブ３０に入射する光の位置を高精度にＳＩＬ５０を位置決めすることにより固定する必要がある。【００６９】
一方、ＳＩＬ５０には、シリコンやガラスなどが材料として用いられるが、製造が容易なことから樹脂材料を用いる方法が注目されている。ＳＩＬ５０の材料としてＰＭＭＡなどの樹脂を用いた場合、スライダ１１との熱膨張係数の差が大きい。第１の実施形態で説明したように熱膨張係数の異なる材料を接着剤により接着した場合、熱履歴を繰り返すことにより剥がれが生じ、破損することがある。【００７０】
なお、本実施形態ではＳＩＬ５０の材料としてＰＭＭＡなどの樹脂を用いた例を説明するが、本発明の適用はＳＩＬ５０の材料に樹脂を用いた場合に限定されるものではなく、他の材料にも適用できる。【００７１】
本実施形態では、スライダ１１の光透過部８２を光透過性の接着剤層８０でＳＩＬ５０と固定すると共に、スライダ１１の光透過部８２以外の部分を弾性力のある粘着剤層８１で貼り合わせるので、ディスク２に照射する光照射量の温度による変動が少ない。また、ヒートショックにより接着部分の剥がれが生じることも無い。【００７２】
特に、スライダ１１に用いられる材料と大きく異なる熱膨張係数を持つ樹脂を材料としてＳＩＬ５０を形成した場合、このような効果が高い。【００７３】
図５は本発明の第２の実施形態において、スライダ１１に形成する接着剤層８０と粘着剤層８１の領域を説明するための平面図である。【００７４】
本実施形態のスライダ１１と導光部であるＳＩＬ５０の接着は、第１の実施形態で説明した工程と同様の工程であり図５を用いて説明する。なお、第１の実施形態と説明が重複する部分については説明を省略する。
Ｓ１・・・・・粘着剤層形成工程
Ｓ２・・・・・接着剤層形成工程
Ｓ３・・・・・接着工程
図５（ａ）は、接着剤層８０と粘着剤層８１を形成する前のスライダ１１であり、スライダ１１のＳＩＬ５０と対向する面の平面図を示している。光透過部８２は点線で示している。【００７５】
以下、各工程について順に説明する。【００７６】
Ｓ１・・・・・スライダ１１のＳＩＬ５０と対向する面の光透過部８２以外の部分に粘着剤層８１を形成する。【００７７】
スライダ１１上に、例えば、グラビアコータ、マイクログラビアコータ、コンマコータ、バーコータ、スプレーコータ、インクジェット法等の方法を用いて粘着剤を塗布し、粘着剤層８１を形成する。その後、レーザ加工機、エッチング法などを用いて、接着剤層８０を設ける部分の粘着剤を除去する。図５（ｂ）は、後の工程で接着剤層８０を設ける光透過部８２の部分から粘着剤を除いた状態を示している。【００７８】
別法として、接着剤層８０を設ける部分をマスクし、スプレーコータなどの方法を用いて粘着剤を塗布しても良い。あるいは、インクジェット法を用いて接着剤層８０を設ける部分に空隙を残して粘着剤層８１を形成しても良い。【００７９】
粘着剤は第１の実施形態と同じ粘着剤を用いることができる。【００８０】
Ｓ２・・・・・スライダ１１のＳＩＬ５０と対向する面の光透過部８２の上に接着剤層８０を形成する。【００８１】
図５（ｃ）のように、工程Ｓ１で粘着剤層８１を形成したスライダ１１の光透過部８２の上に、例えば、グラビアコータ、マイクログラビアコータ、コンマコータ、バーコータ、スプレーコータ、インクジェット法等の方法を用いて接着剤を塗布し、接着剤層８０を形成する。接着剤層８０は光透過性を持った接着剤を用いて、光透過部８２に入射する光路が接着剤層８０を通るように形成する。接着剤は第１の実施形態と同じ接着剤を用いることができる。【００８２】
Ｓ３・・・・・スライダ１１とＳＩＬ５０を貼り合わせ、接着剤層８０を硬化させる。【００８３】
工程Ｓ１、Ｓ２で接着剤層８０と粘着剤層８１を形成したスライダ１１と、ＳＩＬ５０を図４のように貼り合わせる。接着剤層８０を硬化させるため、ＳＩＬ５０から接着剤層８０に光を照射する。例えば、接着剤としてアクリル系の紫外線硬化樹脂を用いる場合は、紫外線光を照射し、熱硬化樹脂を用いる場合は近赤外光を照射する。【００８４】
このように、スライダ１１の光透過部８２を光透過性の接着剤でＳＩＬ５０と固定すると共に、スライダ１１の光透過部８２以外の部分を弾性力のある粘着剤層で貼り合わせるので、ディスク２に照射する光照射量の温度による変動が少ない。また、ヒートショックにより接着部分の剥がれが生じることも無い。【００８５】
なお、本明細書では磁気記録部４１、磁気再生部４０を備えた光アシスト式磁気記録を行う光記録ヘッド３について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、記録媒体への記録に光を利用する光記録ヘッドであれば本発明を適用することができる。【００８６】
以上このように、本発明によれば、記録媒体に照射する光照射量の温度による変動が少なく、信頼性の高い光記録ヘッド、光記録ヘッドの製造方法及び記録再生装置を提供できる。
【図２】
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【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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