(57)【特許請求の範囲】
【請求項２】
内部に密閉された空間を有する多角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、
多角形からなる上板及び底板と、
上板及び底板との間に設けられた複数の側板と、
Ｏリングからなる複数のシール部材と、からなり、
上板と各側板、底板と各側板および隣接する側板間のそれぞれの接合面には、シール部材を嵌挿するためのシール溝が設けられており、
該シール溝に各シール部材を嵌挿させた状態で、上板と各側板、底板と各側板及び隣接する側板間をボルトにより締結することにより形成されていること
を特徴とする組立て式密閉チャンバ。
【請求項３】
内部に密閉された空間を有する四角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、
四角形からなる上板及び底板と、
上板及び底板との間に設けられた四枚の側板と、
上板と側板、底板と側板及び隣接する側板間をシールするためのＯリング状の複数のシール部材と、からなり、
四枚の側板は対向配置される二枚の第一の側板及び対向配置される二枚の第二の側板から構成されており、
第一の側板の上板側面及び底板側面には屈曲部を有する第一のシール溝が形成されており、
第二の側板の側面には周回状に第二のシール溝が形成されており、
第一の側板及び第二の側板を枠状に組み合わせて側板枠を形成すると、側板枠の上板側及び底板側にはシール部材を嵌挿するための環状の連結シール溝が形成され、
第二のシール溝にシール部材を嵌挿させた状態で四枚の側板をボルトにより締結し、連結シール溝にシール部材を嵌挿させた状態で側板枠と上板及び底板をボルトにより締結することにより形成されること
を特徴とする組立て式密閉チャンバ。
【請求項４】
第二のシール溝の上板側及び底板側は、第二のシール溝に嵌挿されたシール部材と、連結シール溝に嵌挿されたシール部材とにより二重にシールされた状態となっていることを特徴とする請求項３に記載の組み立て式密閉チャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示基板等の被処理体の成膜処理、エッチング処理等に使用される組立て式密閉チャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体ウエハや液晶表示基板等の被処理体に成膜を施したり、これをエッチングしたりする際には、真空チャンバやガスを密閉するチャンバ（以下合わせて密閉チャンバと称する）が使用されている。【０００３】
この密閉チャンバは、従来、アルミニウム、ステンレス等の大きなブロックを用い、そのブロックの内部を削り込むことにより製造されていたので、密閉チャンバの大型化を図ることが困難であるとともに、製造をする際に大きな加工機械が必要となるため、加工単価が高くなるという問題点があった。【０００４】
この問題点を解決するものとして、枠状のチャンバ本体を複数の構成部材に分割し、分割した複数の構成部材を溶接して接合する密閉チャンバもあるが、アルミニウムの溶接は高価であるとともに、ステンレス、アルミニウム共に溶接後に歪が生じたり、溶接部は平面に出来ないので２次加工を入れる必要があり、価格を押し上げる要因になっている。また、使用後において各構成部材を取り外すことが出来ないことからメンテナンスがしづらいといった問題点がある。更に、近年、基板等の被処理体も大型化していることから、各構成部材を取り外すことができないとなると、持ち運びも不便であるし、チャンバ自体の大型化の要請には応えることが困難になってきている。【０００５】
そこで、このような新たな種々の問題点を解決するものとして、特許文献１に記載の真空チャンバもある。この真空チャンバは、構造ボルト（６０）により箱状に強固に接合された複数の板材（３０Ａ〜３０Ｆ）と、内側より各板材の接合線（Ｌ）に沿って連続的に設けられたシール部材（６２Ａ、６２Ｂ）と、シール部材を接合線に向けて押さえ付けて気密にシールするために締付ボルト（６６）により取り付けられた押さえ部材（６４、６４Ａ、６４Ｂ）とにより構成されている。なお、ここで使用しているカッコ内の符号は特許文献１に使用されている符号である。【０００６】
この特許文献１に記載の真空チャンバによれば、各板材を接合するに際し溶接を用いず、締め付けボルトにより接合するのでメンテナンス性及び持ち運び性に優れている。しかしながら、シール部材を押さえ部材と締め付けボルトにより内側から固定することによりシールするという構造であるため、シール部材を取り付けることが困難であるとともに、チャンバが大型化すると技術的に製作が更に困難になりコスト増の原因にもなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２０９１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明者らは、シール部材の取り付けの容易化を可能とし、同時に、シール部材を取り付ける際の部材の削減を図ることが出来る本発明をするに至った。すなわち、本発明は、従来に比して、シール部材の取り付けが容易であるとともに、シール部材を取り付ける際の部材の削減を図れ、よって、大型化の要請にも容易に対応し得る安価な組立て式密閉チャンバを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するにあたり、本発明の組立て式密閉チャンバは、本発明の組立て式密閉チャンバは、内部に密閉された空間を有する多角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、多角形からなる上板及び底板と、上板及び底板との間に設けられた複数の側板と、一体成形されたあるいは複数のシール材をつなぎ合せて形成されたシール部材と、からなり、上板と各側板、底板と各側板および隣接する側板間のそれぞれの接合面には、シール部材を嵌挿するためのシール溝が設けられており、該シール溝に各シール部材を嵌挿させた状態で、上板と各側板、底板と各側板及び隣接する側板間をボルトにより締結することにより形成されていることを特徴とする。【００１０】
また、本発明の組立て式密閉チャンバは、内部に密閉された空間を有する多角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、多角形からなる上板及び底板と、上板及び底板との間に設けられた複数の側板と、Ｏリングからなる複数のシール部材と、からなり、上板と各側板、底板と各側板および隣接する側板間のそれぞれの接合面には、シール部材を嵌挿するためのシール溝が設けられており、該シール溝に各シール部材を嵌挿させた状態で、上板と各側板、底板と各側板及び隣接する側板間をボルトにより締結することにより形成されていることを特徴とする。【００１１】
また、本発明の組立て式密閉チャンバは、内部に密閉された空間を有する四角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、四角形からなる上板及び底板と、上板及び底板との間に設けられた四枚の側板と、上板と側板、底板と側板及び隣接する側板間をシールするためのＯリング状の複数のシール部材と、からなり、四枚の側板は対向配置される二枚の第一の側板及び対向配置される二枚の第二の側板から構成されており、第一の側板の上板側面及び底板側面には屈曲部を有する第一のシール溝が形成されており、第二の側板の側面には周回状に第二のシール溝が形成されており、第一の側板及び第二の側板を枠状に組み合わせて側板枠を形成すると、側板枠の上板側及び底板側にはシール部材を嵌挿するための環状の連結シール溝が形成され、第二のシール溝にシール部材を嵌挿させた状態で四枚の側板をボルトにより締結し、連結シール溝にシール部材を嵌挿させた状態で側板枠と上板及び底板をボルトにより締結することにより形成されることを特徴とする。【００１２】
第二のシール溝の上板側及び底板側は、第二のシール溝に嵌挿されたシール部材と、連結シール溝に嵌挿されたシール部材とにより二重にシールされた状態となっていてもよい。
Ｏリング状の複数のシール部材を用いる場合は、第二のシール溝に嵌挿されたＯリング状のシール部材と、連結シール溝に嵌挿されたＯリング状のシール部材とにより二重にシールされた状態となるが、二重にシールされた部分とそうでない部分の境界は、第一の側板及び第二の側板を組み合わせることによって周回状に形成された第一の側板及び第二の側板のシール溝の、第一の側板及び第二の側板の境界部にあたり、この部分に僅かな隙間を生ずるが、第一のシール溝の屈曲部近傍の分岐部の断面積より、Ｏリング状のシール部材の断面積を大きくすることにより、僅かな隙間をシール部材で完全に密閉することが出来る。【００１３】
また、本発明の組立て式密閉チャンバは、内部に密閉された空間を有する四角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、四角形からなる上板及び底板と、上板及び底板との間に設けられた四枚の側板と、上板と側板、底板と側板及び隣接する側板間をシールするための立方体状あるいは直方体状の一体成形されたあるいは複数のシール材をつなぎ合せて形成されたスケルトンシール部材、からなり、四枚の側板は対向配置される二枚の第一の側板及び対向配置される二枚の第二の側板から構成されており、第一の側板の上板側面及び底板側面には屈曲部を有する第一のシール溝が形成されており、第二の側板の側面には周回状に第二のシール溝が形成されており、第一の側板及び第二の側板の上板側及び底板側の側面と、第一の側板と第二の側板とを組み合わせた際の組み合わせ側面とには、上板と第一の側板及び第二の側板、底板と第一の側板及び第二の側板及び隣接する第一の側板及び第二の側板間をボルトにより締結するためのネジ穴が設けられており、一体成形されたあるいは複数のシール材をつなぎ合せて形成されたスケルトンシール部材を第一のシール溝及び第二のシール溝に嵌挿させながら四枚の側板をボルトにより締結し、四枚の側板と上板及び底板をボルトにより締結することにより形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の組立て式密閉チャンバによれば、内部に密閉された空間を有する多角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、多角形からなる上板及び底板と、上板及び底板との間に設けられた複数の側板と、シール部材と、からなり、上板と各側板、底板と各側板および隣接する側板間のそれぞれの接合面には、シール部材を嵌挿するためのシール溝が設けられており、該シール溝に各シール部材を嵌挿させた状態で、上板と各側板、底板と各側板及び隣接する側板間をボルトにより締結することにより形成した。これにより、従来に比して、シール部材の取り付けが容易であるとともに、シール部材を取り付ける際の部材の削減を図れ、大型化の要請にも容易に対応することができるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の組立て式密閉チャンバの概略構造を説明するための上面図、正面図及び側面図。
【図２】側面板を示す正面図、左側面図、右側面図、上側面図及び下側側面図。
【図３】排気口付き側面板を示す正面図、左（右）側面図、Ａ−Ａ断面図、上側面図、下側面図及び内側面図。
【図４】上（底）板を示す正面図及び側面図。
【図５】スケルトンシール部材を示す上面図、側面図、正面図、斜視図及びＦ１部拡大図。
【図６】組立て式密閉チャンバの組み立て方を説明するための分解斜視図、側板枠の上面図及びＦ２部拡大図。
【図７】他の実施形態に係る本発明の組立て式密閉チャンバの側面板を示す正面図、上側面図、下側面図及び側面図。
【図８】排気口付き側面板を示す正面図、上側面図、下側面図、右側面図及び左側面図。
【図９】上（底）板を示す上面図及びＢ−Ｂ断面図。
【図１０】（ａ）及び（ｂ）は、同、シール部材を示す平面図。
【図１１】組み立て方を説明するための分解斜視図。
【図１２】図１１のＦ３部拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
〔第１実施形態〕
図１〜６は本発明の組立て式密閉チャンバの第１実施形態を示すものである。
【００１８】
図１は本発明の組立て式密閉チャンバの概略構造を説明するための上面図、正面図及び側面図、図２は側面板を示す正面図、左側面図、右側面図、上側面図及び下側側面図、図３は排気口付き側面板を示す正面図、左（右）側面図、Ａ−Ａ断面図、上側面図、下側面図及び内側面図、図４は上（底）板を示す正面図及び側面図、図５はスケルトンシール部材を示す上面図、側面図、正面図、斜視図及びＦ１部拡大図、図６は組立て式密閉チャンバの組み立て方を説明するための分解斜視図、側板枠の上面図及びＦ２部拡大図である。なお、上板と底板とは同一の構成であるため特に区別せずに図示しており、本実施形態においては、第一の側板を側面板、第二の側板を排気口付き側面板として説明する。
【００１９】
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る組立て式密閉チャンバ１００は、概略、対向配置された２枚の側面板１、１と、対向配置された２枚の排気口付き側面板２、２と、を複数のボルトＢ、Ｂ、・・・（以下ボルトＢとする）により締結することにより枠状の側板枠を形成し、側板枠の上側には上板３、下側には底板３をそれぞれ配置し複数のボルトＢ、Ｂ、・・・により締結することにより、内部に密閉された空間を有する四角柱状の密閉チャンバとして構成している（なお、図２正面図においては、ボルトＢはネジ穴Ｓ１４に嵌合された部分のみを図示している）。排気口付き側面板２、２のそれぞれには排気ポートＤ１、Ｄ２が４つのボルトＢ、Ｂ、Ｂ、Ｂにより締結されて取り付けられており、側板枠と上板３との間、側板枠と底板３との間及び隣接する側面板１と排気口付き側面板２との間の接合面にはシール溝が設けられ、このシール溝にはスケルトンシール部材４が嵌挿されている。この状態を示すべく、上面図及び側面図においては一部破断線により内部の状態が見えるように図示しているが、詳細な構造については後述する。
【００２０】
図２に示すように、側面板１は全体を四角形により形成し、上側面にはシール溝Ｄ１１、下側面にはシール溝Ｄ１２、左側面にはシール溝Ｄ１３、右側面にはシール溝Ｄ１４がそれぞれ直線状に設けられており、シール溝Ｄ１１、Ｄ１４、Ｄ１２及びＤ１３により、側面板１の側面には周回状に連通するシール溝（第二のシール溝）が形成されている。また、側面板１の左側面には隣接する後述の排気口付き側面板２とボルト締結するためのネジ穴Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ１３が設けられており、右側面にも同様のネジ穴Ｓ１４、Ｓ１５、Ｓ１６が設けられている。同様に、上側面には上板３とボルト締結するためのネジ穴Ｓ１７が、他方、下側面には底板３とボルト締結するためのネジ穴Ｓ１８がそれぞれ設けられている。なお、正面図においては、隣接する排気口付き側面板２とボルトＢにより締結した状態が破断線により図示されている。
また、左側面及び右側面には、隣接する排気口付き側面板２のボルト孔Ｈ２１〜Ｈ２６と対応するネジ穴Ｓ１１〜Ｓ１６とを合わせるための平行ピンＰを挿入するためのピン穴ｈ１１及びｈ１２とピン穴ｈ１３及びｈ１４がそれぞれ設けられている。
【００２１】
図３に示すように、排気口付き側面板２には、中央部に排気口ＤＳ２１が設けられるとともに、排気口ＤＳ２１の周りには排気ポートＤ１あるいはＤ２をボルトＢ、Ｂ、Ｂ、Ｂにより締結するためのネジ穴Ｓ２０〜Ｓ２３が設けられている。また、図中左側縁部周辺及び右側側縁部周辺には隣接する側面板１、１と締結するためのボルトを挿入するボルト孔Ｈ２１〜Ｈ２６が３つずつ縦列に設けられている。
【００２２】
排気口付き側面板２の上側面には両端部側に屈曲部Ｃ１、Ｃ１を有するシール溝Ｄ２１が設けられているとともに、後述の上板３とボルトにより締結するためのネジ穴Ｓ２４〜Ｓ２６が設けられている。同様の構造、すなわち、屈曲部Ｃ１、Ｃ１を有するシール溝Ｄ２２及び底板３とボルトにより締結するためのネジ穴Ｓ２７〜Ｓ２９が下側面にも設けられている。なお、Ａ−Ａ断面図においては各ネジ穴Ｓ２０、Ｓ２２及びＳ２５、Ｓ２８にボルトＢがそれぞれ挿入された状態が図示されている。ボルト孔Ｈ２１〜Ｈ２６及び後述のピン穴ｈ２１〜ｈ２４が設けられた排気口付き側面板２の内側面部分には、段部Ｔ、Ｔが形成されており、この段部Ｔ、Ｔにそれぞれ側面板１の右側面、左側面（図２参照）が当接されボルトにより締結されることとなる。
【００２３】
また、図３には、組立て式密閉チャンバ１００を形成した際の内側から排気口付き側面板２を見た状態の内側面図が図示されており、図中、排気口付き側面板２の左側縁部周辺及び右側縁部周辺には、上記ピン穴ｈ１１及びｈ１２とピン穴ｈ１３及びｈ１４との対向する位置に、平行ピンＰを挿入するためのピン穴ｈ２１及びｈ２２とピン穴ｈ２３及びｈ２４がそれぞれ設けられている。なお、内側面図においては、後述のスケルトンシール部材４がシール溝Ｄ１４、Ｄ１３に嵌挿された際のスケルトンシール部材４の一部が２点鎖線により図示されている。
【００２４】
図４には、底板３が図示されており、その周縁部には、対向配置される一対の側面板１，１及び対向配置される一対の排気口付き側面板２、２をボルトにより締結することにより枠状に形成されてなる側板枠と締結するためのボルトを挿入するためのボルト孔Ｈ３−１７及びＨ３−１８とボルト孔Ｈ３−２７〜Ｈ３−２９が設けられている。この図４においては、説明の便宜上、ボルト孔の符号を組み合わせる側面板１及び排気口付き側面板２に対応させている。なお、本実施形態においては上板も同様の構成であるので、上板も符号３を付して個別の説明は省略する。
【００２５】
図５には、直方体状に骨組み形成されたスケルトンシール部材４が図示されており、スケルトンシール部材４は８箇所の角部Ｃ２、Ｃ２、・・・を有している。本実施形態においては、フッ素樹脂素材からなる細長状のシール部材により辺Ｅ（１２辺）を形成し、角部Ｃ２をＦ１部拡大図に示すようなＴ字状部材により形成し、これらを接着剤により接着することにより一体としている。このスケルトンシール部材４の製造方法及び材質はこれに限定されず、各部材（１、２、３）との接合部分がシールされるように形成できればその製造方法及び材質はなんでもよい。なお、シール性を高めるためには、スケルトンシール部材４の辺Ｅの断面積よりも角部Ｃ２の断面積の方を大きく形成する必要があるが、後述する複数のシール部材を組み合わせて使用する場合と異なり、本実施形態に使用するシール部材であるスケルトンシール部材４は繋がっているため、必ずしも、屈曲部Ｃ１に対する角部Ｃ２近傍の分岐部Ｃ３の断面積の充填率は１００％以上である必要はない。
【００２６】
次に、このように形成された側面板１、排気口付き側面板２、上（底）板３及びスケルトンシール部材４を組み立てて本発明の組立て式密閉チャンバ１００を製造する方法について図６を参照して説明する。なお、図中においては、スケルトンシール部材４を嵌挿させるシール溝を明確にすべくスケルトンシール部材４の一部に符号を付しているとともに、排気口付き側面板２においては排気口ＤＳ２１のみを図示しネジ穴は省略して図示している。
【００２７】
まず、側面板１をスケルトンシール部材４に嵌め込む。この際、シール溝Ｄ１１〜Ｄ１４にスケルトンシール部材４の一部（４１〜４４）を嵌挿させる。具体的な対応関係を符号のみで示すと、Ｄ１１に４１、Ｄ１２に４２、Ｄ１３に４３、Ｄ１４に４４をそれぞれ嵌挿させる。このようにしてスケルトンシール部材４に側面板１を嵌め込んだら、側面板１のピン穴ｈ１３、ｈ１４に平行ピンＰ、Ｐを挿入する。
【００２８】
次いで、排気口付き側面板２をスケルトンシール部材４に嵌め込む。この際、シール溝Ｄ２１、Ｄ２２にスケルトンシール部材４の一部（４５、４６）を嵌挿させる。具体的な対応関係を符号のみで示すと、Ｄ２１に４５、Ｄ２２に４６をそれぞれ嵌挿させる。なお、このようにしてスケルトンシール部材４に排気口付き側面板２を嵌め込むと、段部Ｔと側面板１の右側面とが当接するとともに、排気口付き側面板２のピン穴ｈ２３、ｈ２４にはそれぞれ平行ピンＰ、Ｐが挿入されることとなる。
【００２９】
続いてこのような状態、すなわち、側面板１の右側面と排気口付き側面板２の段部Ｔとを当接させた状態で、ボルト孔Ｈ２４〜Ｈ２６にボルトを挿入し、ネジ穴Ｓ１４〜Ｓ１６にネジ込みボルト締結させる。なお、続いて、残りの側面板１及び排気口付き側面板２をそれぞれ既にスケルトンシール部材４に嵌め込んだ側面板１及び排気口付き側面板２に対向配置させ、同様にスケルトンシール部材４に嵌め込んでそれぞれを締結し、更に、このようにして接続された側面板１及び排気口付き側面板２同士をボルト締結する。なお、詳細な説明は上述したと同様の作業なので詳細な説明は省略する。
【００３０】
上記のようにして２枚の側面板１、１及び２枚の排気口付き側面板２、２をボルト締結すると、枠状の側板枠が形成され、この側板枠の上部側及び下部側にそれぞれ上板３及び底板３をボルト締結すると本発明の組立て式密閉チャンバ１００が形成される。具体的に底板３のボルト孔と側板枠のネジ穴との対応関係を符号のみで示すと、Ｈ３−１７がＳ１８、Ｈ３−１８がＳ１８、Ｈ３−２７がＳ２７、Ｈ３−２８がＳ２８、Ｈ３−２９がＳ２９にそれぞれ対応しておりボルトにより締結することにより、側板枠及び底板３は接続される。なお、上板３に関しても同様であるので詳細な説明は省略する。
【００３１】
なお、図６（ｂ）においては、側板枠の上面図が図示されており、２枚の側面板１、１及び２枚の排気口付き側面板２、２を接続することにより、その上面側及び底面側にシール溝Ｄ１１、Ｄ２１、Ｄ１１、Ｄ２１が連通して環状のシール溝（連通シール溝）が形成された状態を図示している。このシール溝に嵌挿されたスケルトンシール部材４の一部により上板３及び底板３と側板枠間がシールされる。
【００３２】
また、図６（ｃ）においては、図６（ｂ）のＦ２部拡大図が図示されている。このシール溝Ｄ２１に設けられた屈曲部Ｃ１には、スケルトンシール部材４の角部Ｃ２が嵌挿されることとなるが、シール性を高めるために、この部分においては、角部Ｃ２近傍の分岐部Ｃ３の断面積の方が屈曲部Ｃ１近傍の分岐部Ｃ４の断面積より大きく形成されていてもよい。
【００３３】
本実施形態においては、シール部材を１つのスケルトンシール部材により構成するとともに、このスケルトンシール部材を側面板に設けられたネジ穴によりボルト締結するように構成した。これにより、従来に比して構成部材が少なくて済むとともに簡易に組み立てが可能となる。
【００３４】
なお、本発明の組立て式密閉チャンバにおいては、構成部材である側面板、排気口付き側面板、上板及び底板が全て板状部材であるので、各部材の大きさを大きくすれば密閉チャンバの拡大化が容易に行える。また、側面板、排気口付き側面板、上板及び底板を複数連接することにより密閉チャンバを拡大化することも考えられる。
【００３５】
〔第２実施形態〕
次いで本発明の第２実施形態について図７〜１２を参照して説明する。なお、第２実施形態に係る本発明の組立て式密閉チャンバと、上記第１実施形態のものとの主な相違点は、シール部材を市販されているＯリングを複数用いた点であり、基本的な構造は略共通するので、以下においては、第１実施形態のものと相違する点を重点的に説明し、共通する点については同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３６】
図７は第２実施形態に係る本発明の組立て式密閉チャンバの側面板を示す正面図、上側面図、下側面図及び側面図、図８は排気口付き側面板を示す正面図、上側面図、下側面図、右側面図及び左側面図、図９は上（底）板を示す上面図及びＢ−Ｂ断面図、図１０（ａ）及び（ｂ）は、シール部材を示す平面図、図１１は組み立て方を説明するための分解斜視図、図１２は図１１のＦ３部拡大図である。
【００３７】
図７に示すように、側面板１０は全体を四角形により形成し、側面板１０の上側面には両端部側に屈曲部Ｃ１、Ｃ１を有するシール溝Ｄ３１が設けられているとともに、後述の上板３０とボルトにより締結するためのネジ穴Ｓ１−５〜Ｓ１−８が設けられている。同様の構造、すなわち、屈曲部Ｃ１、Ｃ１を有するシール溝Ｄ３２及び底板３０とボルトにより締結するためのネジ穴Ｓ１−９〜Ｓ１−１２が下側面にも設けられている。また、側面板１０の図中左右側縁部周辺には後述の排気口付き側面板２０と締結するボルトを挿入するためのボルト孔Ｈ１−１及びＨ１−２とＨ１−３及びＨ１−４が設けられている。なお、このボルト孔Ｈ１−１〜Ｈ１−４は、Ｃ−Ｃ断面図を参照すれば分かる通り、ボルトを挿入した際に、ボルトの頭部が出っ張らないように形成されており、ボルト孔Ｈ１−１〜Ｈ１−４にボルトを挿入すると頭部まですっぽり挿入可能になっている。
【００３８】
図８に示すように、排気口付き側面板２０には、中央部に排気口ＤＳ２１が設けられるとともに、排気口ＤＳ２１の周りには排気ポートＤ１あるいはＤ２をボルトＢ、Ｂ、Ｂ、Ｂにより締結するためのネジ穴Ｓ２０〜Ｓ２３が設けられている。また、上側面にはシール溝Ｄ４１、下側面にはシール溝Ｄ４３、左側面にはシール溝Ｄ４４、右側面にはシール溝Ｄ４２がそれぞれ直線状に設けられており、シール溝Ｄ４１、Ｄ４２、Ｄ４３及びＤ４４により、排気口付き側面板２０の側面には周回状に連通するシール溝（第二のシール溝）が形成されている。また、排気口付き側面板２０の左側面には隣接する側面板１０とボルト締結するためのネジ穴Ｓ２−３、Ｓ２−４が設けられており、右側面にも同様のネジ穴Ｓ２−１、Ｓ２−２が設けられている。同様に、上側面には上板３０とボルト締結するためのネジ穴Ｓ２−５〜２−７が、他方、下側面には底板３０とボルト締結するためのネジ穴Ｓ２−８〜Ｓ２−１０がそれぞれ設けられている。
【００３９】
図９には、上板３０が図示されており、その周縁部には、対向配置される一対の側面板１０，１０及び対向配置される一対の排気口付き側面板２０、２０をボルトにより締結することにより枠状に形成されてなる側板枠と締結するためのボルトを挿入するためのボルト孔Ｈ３１１〜Ｈ３１４、Ｈ３１５〜Ｈ３１８、Ｈ３２１〜Ｈ３２３及びＨ３２４〜Ｈ３２６が設けられている。この図９においては、説明の便宜上、ボルト孔の符号を組み合わせる側面板１０及び排気口付き側面板２０に対応させている。図９のＢ−Ｂ断面図を参照すれば分かる通り、上板及び底板３０においても、各ボルト孔の構造は上記した排気口付き側面板２０に設けられたボルト孔の構造と同様である。なお、本実施形態においては底板も同様の構成であるので、底板も符号３０を付して個別の説明は省略する。
【００４０】
図１０（ａ）、（ｂ）には、Ｏリング状のシール部材４Ａ、４Ｂが図示されており、シール部材４Ａは排気口付き側面板２０に取り付けられ、シール部材４Ｂは側板枠の上側面及び下側面にそれぞれ取り付けられる。このシール部材４Ａ、４Ｂは市販のＯリングを使用することも出来るし、また専用に製造されたものを使用してもよい。
【００４１】
次いで、このように構成された側面板１０、排気口付き側面板２０、上板３０、底板３０及びシール部材４Ａ、４Ｂを組み立てて本発明の組立て式密閉チャンバを製造する方法について図１１を参照して説明する。
【００４２】
まず、２枚の排気口付き側面板２０のそれぞれの側面に周回状に形成されたシール溝にシール部材４Ａ、４Ａを嵌挿する。
【００４３】
次いで、このシール部材４Ａが取り付けられた２枚の排気口付き側面板２０を対向配置させた状態で、一方は排気口付き側面板２０の左側面と側面板１０の図中左側縁、他方は排気口付き側面板の右側面と側面板１０の図中右側縁を当接させる。この際には、側面板１０のボルト孔Ｈ１−１と排気口付き側面板２０のネジ穴Ｓ２−１、Ｈ１−２とＳ２−２、Ｈ１−３とＳ２−３、Ｈ１−４とＳ２−４とがそれぞれ合うように当接させる。
【００４４】
この状態で、側面板１０の各ボルト孔Ｈ１−１〜Ｈ１−４からボルトを挿入し、２枚の排気口付き側面板２０、２０と一枚の側面板１０とを正面側からボルト締結させる。同様に残りの側面板１０を背面側からボルト締結させる。
【００４５】
すると、隣接する側面板１０と排気口付き側面板２０との間がシールされた状態の枠状に形成された側板枠が形成され、この側板枠の上面側及び下面側においては、シール溝Ｄ３１、Ｄ４１、Ｄ３１、Ｄ４１が環状に連通した連通シール溝が形成される。そして、この連通シール溝にシール部材４Ｂを嵌挿させた後、上板３０を各ボルト孔が各ネジ穴に合うように載置し、各ボルト孔にボルトを挿入してボルト締結すると、本発明の組立て式密閉チャンバが完成する。各ボルト孔と各ネジ穴との対応関係を符号のみで示すと、Ｈ３２３とＳ２−７、Ｈ３２２とＳ２−６、Ｈ３２１とＳ２−５、Ｈ３２６とＳ２−５、Ｈ３２５とＳ２−６、Ｈ３２４とＳ２−７、Ｈ３１５とＳ１−５、Ｈ３１６とＳ１−６、Ｈ３１７とＳ１−７、Ｈ３１８とＳ１−８である。なお背面側においては図示を省略している。
【００４６】
本実施形態においては、複数のＯリング状のシール部材、具体的には２本のシール部材４Ａと２本のシール部材４Ｂとによりシールするように構成しているので、排気口付き側面板２０、２０のシール溝Ｄ４１においては２重シール構造となる。具体的に図１２を参照して説明すると、図１２は図１１のＦ３部拡大図であり、側面板１０と排気口付き側面板２０とを接続する直前の状態を図示している。この図１２を参照すれば分かる通り、Ｄ３１、Ｄ４１、Ｄ３１、Ｄ４１からなる連通シール溝は図中内側に形成され、他方、排気口付き側面板２０の側面に周回状に形成されたシール溝はこれより外側に形成されることとなり、シール溝Ｄ４１においては、シール部材４Ａ及びシール部材４Ｂが並列配置されることとなる。よって、この部分においては二重にシールされることとなる。
【００４７】
この場合、二重にシールされた部分とそうでない部分の境界は、側面板１０及び排気口付き側面板２０を組み合わせることによって周回状に形成された側面板１０及び排気口付き側面板２０のシール溝の、側面板１０及び排気口付き側面板２０の境界部にあたり、この部分に僅かな隙間を生ずるが、屈曲部Ｃ１近傍の分岐部Ｃ５の断面積より、Ｏリング状のシール部材４Ｂの断面積を大きくすることにより、僅かな隙間をシール部材で完全に密閉することが出来る。
【００４８】
なお、上記実施形態は本発明の組立て式密閉チャンバの一例でありこれに限定されない。
【符号の説明】
【００４９】
１、１０    側面板（第一の側板）
２、２０    排気口付き側面板（第二の側板）
３、３０    上板、底板
４    スケルトンシール部材
４Ａ、４Ｂ  シール部材
Ｃ１  屈曲部
Ｃ２  角部
Ｃ３  分岐部
Ｃ４  分岐部
Ｃ５  分岐部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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