(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいて前記磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する磁気センサを複数備えた磁場測定装置であって，
測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサと，
前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサと，
前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段と，
前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段と，
を具備しており、
前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行い，
前記測定信号導出手段が，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する複数の分離信号それぞれのスペクトルから，周波数帯域ごとの信号成分が所定の近似条件を満たすものを抽出することによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出してなることを特徴とする磁場測定装置。
【請求項２】
磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいて前記磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する磁気センサを複数備えた磁場測定装置であって，
測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサと，
前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサと，
前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段と，
前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段と，
を具備しており、
前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行い，
前記測定信号導出手段が，前記主磁気センサの検出信号と，前記信号源分離手段により得られる複数の前記副磁気センサに対応する複数の分離信号と，の間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出してなることを特徴とする磁場測定装置。
【請求項３】
磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいて前記磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する磁気センサを複数備えた磁場測定装置であって，
測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサと，
前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサと，
前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段と，
前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段と，
を具備しており、
前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行い，
前記測定信号導出手段が，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する複数の分離信号を合成した信号と，前記信号源分離手段により得られる複数の前記副磁気センサに対応する複数の分離信号と，の間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出してなることを特徴とする磁場測定装置。
【請求項４】
前記主磁気センサ及び前記副磁気センサが，超伝導量子干渉素子を備えた磁気センサである請求項１〜３のいずれかに記載の磁場測定装置。
【請求項５】
磁気センサを有する磁場測定装置と，該磁場測定装置における磁場ピックアップ部が測定対象に対し走査されることによって得られる該測定対象における磁場の測定信号の分布に基いて，前記測定対象における特異な部分の有無を検出する特異部検出手段と，を備えた非破壊検査装置であって，
前記磁場測定装置が，請求項１〜４のいずれかに記載の磁場測定装置であることを特徴とする非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，交流磁場を検出する磁気センサを備えた磁場測定装置及びそれを含む非破壊検査装置，並びに磁場測定信号処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年，発電・製造・輸送・建築等の多くの産業分野で，非破壊検査の重要性が高まっている。例えば，発電所の構造物や橋梁設備等の被検体について，その表面や内部に存在する亀裂や損傷部，ボイド，組成が他と特に異なっている部分等の特異部を，それが未だ微小である段階において外部から非破壊で検出することは，安全性確保のために非常に重要である。従来，構造物の非破壊検査では，Ｘ線探傷や超音波探傷，渦電流探傷等の探傷法が採用されることが多い。
また，人体等の被検体内における微小な特異部を高感度で検査する場合に，ＳＱＵＩＤ磁気センサが用いられることがある。ＳＱＵＩＤ磁気センサは，超伝導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ：Superconducting Quantum Interference Device）を備えた磁気センサである。このＳＱＵＩＤ磁気センサは，超伝導体による量子干渉効果を利用し，例えば，地磁気の１億分の１（１ピコテスラ）以下の磁場変化を検出できる超高感度の磁気センサである。そのため，ＳＱＵＩＤ磁気センサは，被検体内のごく微小な特異部を検出したい場合の非破壊検査に採用され得る。なお，磁気センサが被検体の検査に用いられる場合，一般に，被検体の測定部位ごとに得られる磁気センサの検出信号の相対評価により被検体の検査（欠陥有無の検査等）が行われる。従って，非破壊検査等における磁気センサの検出信号は，検査対象の種類や測定環境等に応じてその絶対値が異なることについては特に問題とならない。
【０００３】
図５は，ＳＱＵＩＤ磁気センサの概略構成図である。なお，特許文献１に，図５に示されるものと同様のＳＱＵＩＤ磁気センサが示されている。
図５に示されるように，ＳＱＵＩＤ磁気センサは，例えば，ピックアップコイルＡ１と，インプットコイルＡ２と，超伝導量子干渉素子Ａ３（ＳＱＵＩＤ）と，磁束固定ループ（ＦＬＬ：Flux Lock Loop）回路Ａ４とを備えている。
前記ＳＱＵＩＤ（Ａ３）は，ジョセフソン接合により接合されて微小なループ（超伝導ループ）を形成する超伝導体を含むデバイスである。このＳＱＵＩＤ（Ａ３）は，液体窒素等によって超伝導特性が得られる温度に冷却される。
前記ピックアップコイルＡ１が，被検体に生じている磁場を受けて誘導電流を生じさせ，そのピックアップコイルＡ１に接続された前記インプットコイルＡ２が，前記ＳＱＵＩＤ（Ａ３）の超伝導ループに磁場を誘導する。これにより，前記ピックアップコイルＡ１付近の磁場の強さに応じて，前記超伝導ループに磁場が誘導される。
そして，前記ＳＱＵＩＤ（Ａ３）においてジョセフソン接合された第１の超伝導体から第２の超伝導体へバイアス電流Ｉｂが供給されると，２つの超伝導体の間に，前記インプットコイルＡ２によって誘導された磁場の強さに応じた電圧Ｖｓが生じる。即ち，電圧Ｖｓは，前記ピックアップコイルＡ１付近の磁場の強さに応じたレベルとなる。
前記ＦＬＬ回路Ａ４は，前記ＳＱＵＩＤ（Ａ３）における電圧Ｖｓの信号をアンプにより増幅し，さらに積分器により積分して得られる磁場の検出信号を出力する。同時に，前記ＦＬＬ回路Ａ４は，前記超伝導ループに磁場を誘導するフィードバックコイルに対し，前記検出信号のレベルに応じたフィードバック電流Ｉｆを供給する。このＦＬＬ回路Ａ４の作用により，前記ＳＱＵＩＤ（Ａ３）が一定の磁場動作点で動作し，前記ＳＱＵＩＤ（Ａ３）において誘導される磁場の強さに対して線形な前記検出信号のレベル（電圧）が得られる。
【０００４】
ところで，ＳＱＵＩＤ磁気センサは，超高感度であるがゆえに，磁気シールドがなされない環境下で使用された場合には，磁気ノイズの影響を強く受けるという問題点があった。例えば，ＳＱＵＩＤ磁気センサは，屋外で使用された場合，前記ＦＬＬ回路Ａ４が正常に動作しなくなったり，前記検出信号が環境ノイズに埋没したりすることにより，正常な検出信号が得られないことが多い。
そのような問題点に対応するため，特許文献２には，測定用のＳＱＵＩＤ磁気センサの検出信号と，ノイズキャンセル用のＳＱＵＩＤ磁気センサの検出信号との差分信号を，測定対象の磁場の測定信号とする非破壊検査装置が示されている。
【特許文献１】特開２００５−２６５７８０号公報
【特許文献２】特開２００７−１３２９２３号公報
【非特許文献１】猿渡洋，「アレー信号処理を用いたブラインド音源分離の基礎」，電子情報通信学会技術報告，vol.EA2001-7，pp.49-56，April 2001.
【非特許文献２】高谷智哉他，「SIMOモデルに基づくICAを用いた高忠実度なブラインド音源分離」，電子情報通信学会技術報告，vol.US2002-87，EA2002-108，January 2003.
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に示される技術は，２つのＳＱＵＩＤ磁気センサの個体差や位置関係が，磁場の測定信号である前記差分信号に大きく影響する。
例えば，２つのＳＱＵＩＤ磁気センサにおける磁場の検出ゲイン等の特性に個体差がある場合，その個体差の影響が前記差分信号にそのまま反映される。また，２つのＳＱＵＩＤ磁気センサの位置関係が，測定ごとに異なる場合や，測定途中に変化した（位置ずれが生じた）場合も，それらば前記差分信号にそのまま反映される。
しかしながら，複数のＳＱＵＩＤ磁気センサの個体差や位置関係を緻密に調整する作業は手間であり，また，その調整が難しいという問題点があった。
【０００６】
一方，磁場測定の技術分野とは全く異なる音声信号処理の技術分野において，複数の音源が存在する音響環境下で収音される音響信号から，特定の音源から出力される音響に対応する目的音信号を抽出する技術が開発されている。
所定の音響空間に複数の音源と複数のマイクロホンとが存在する場合，その複数のマイクロホンごとに，複数の音源各々からの個別の音響信号（以下，音源信号という）が重畳された混合信号が入力される。このようにして入力された複数の混合信号のみに基づいて，前記音源信号各々を同定（分離）する信号源分離処理は，ブラインド信号源分離処理（以下，ＢＳＳ処理という，ＢＳＳ：Blind Source Separation）と呼ばれる。
さらに，ＢＳＳ処理の１つに，独立成分分析法（Independent Component Analysis，以下，ＩＣＡ法という）に基づくＢＳＳ処理がある。このＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理は，前記混合信号に含まれる複数の信号どうしが統計的に独立であることを利用して所定の分離行列（逆混合行列）を最適化し，入力された複数の前記混合信号に対して最適化された分離行列によるフィルタ処理を施すことにより，各信号源に対応する信号の同定（信号源分離）を行う処理である。その際，分離行列の最適化は，ある時点で設定されている分離行列を用いたフィルタ処理により同定（分離）された信号（分離信号）に基づいて，逐次計算（学習計算）により以降に用いる分離行列を算出することによって行われる。
ここで，ＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理によれば，分離信号各々は，混合信号の入力数（例えば，マイクロホンの数）と同じ数の出力端（出力チャンネルといってもよい）各々を通じて出力される。このようなＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理は，例えば，非特許文献１や非特許文献２等に詳説されている。
【０００７】
従って，本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり，その目的とするところは，ＳＱＵＩＤ磁気センサに代表される高感度の磁気センサを用いて被検体における磁場（ここでは，交流磁場）を測定する場合に，手間のかかる緻密な調整を要することなく，磁気ノイズの影響の小さな（Ｓ／Ｎ比の高い）磁場の測定信号を得ることができる磁場測定装置及びそれを備えた非破壊検査装置，並びに磁場測定信号処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る磁場測定装置は，磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいてその磁場ピックアップ部付近の交流磁場（強度が振動する磁場）を検出する磁気センサを複数備える。そして，本発明に係る磁場測定装置は，次の（１）〜（４）に示される各構成要素を備えている。
（１）測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサ。
（２）前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサ。なお，この副磁気センサは，１つである場合の他，複数設けられる場合も考えられる。
（３）前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段。
（４）前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段。
【０００９】
本発明において，前記主磁気センサは，主として測定対象における交流磁場を検出するものであるが，その検出信号には，測定対象周辺のノイズ磁場の信号成分も含まれ得る。一方，前記副磁気センサは，主として測定対象周辺のノイズ磁場（背景ノイズ）を検出するものである。なお，前記副磁気センサの検出信号にも，前記測定対象における交流磁場の信号成分が含まれ得る。ここで，測定対象における交流磁場の振動成分と，測定対象周辺のノイズ磁場の振動成分とは，統計的に独立であると想定できる。
そして，前記信号源分離手段は，主／副それぞれの検出信号に基く最適化計算（学習計算）によって分離行列（逆混合行列）を最適化し，最適化された分離行列を用いて，主／副それぞれの検出信号に対してフィルタ処理を実行する。これにより，前記主磁気センサの検出信号から，主として測定対象における交流磁場の振動成分が抽出された分離信号（以下，主分離信号という）が得られる。さらに，前記副磁気センサの検出信号から，主として測定対象周辺のノイズ磁場（背景ノイズ）の振動成分が抽出された分離信号（以下，副分離信号という）が得られる。
従って，前記測定信号導出手段は，前記分離信号に基いて，磁気ノイズの影響の小さな（Ｓ／Ｎ比の高い）測定対象における磁場の測定信号を導出することができる。
また，本発明に係る磁場測定装置は，ノイズ磁場の影響を受けやすい高感度の磁気センサが用いられる場合，例えば，前記主磁気センサ及び前記副磁気センサが，超伝導量子干渉素子を備えた磁気センサである場合に特に好適である。
【００１０】
前記測定信号導出手段による測定信号の導出方法としては，例えば，前記主磁気センサと前記副磁気センサとが１つずつである場合，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する１つの分離信号（前記主分離信号）を測定信号とすることが考えられる。
また，前記主磁気センサの磁場ピックアップ部には，複数のノイズ源からのノイズ磁場が混入することも考えられる。この場合，前記副磁気センサが１つであると，前記信号源分離手段によって複数のノイズ源それぞれに対応する分離信号を分離生成できない。
そこで，前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行うことが考えられる。この場合，前記測定信号導出手段が，次の（１−１）〜（１−３）のいずれかの処理を実行することが考えられる。
（１−１）前記測定信号導出手段が，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する複数の分離信号それぞれのスペクトルから，周波数帯域ごとの信号成分が所定の近似条件を満たすものを抽出することによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出する。
（１−２） 前記測定信号導出手段が，前記主磁気センサの検出信号と，前記信号源分離手段により得られる複数の前記副磁気センサに対応する複数の分離信号と，の間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出する。
（１−３）前記測定信号導出手段が，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する複数の分離信号を合成した信号と，前記信号源分離手段により得られる複数の前記副磁気センサに対応する複数の分離信号と，の間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出する。
これら（１−１）〜（１−３）のいずれかに示される測定信号導出手段によれば，複数のノイズ源からのノイズ磁場の振動成分が除かれた測定信号，即ち，Ｓ／Ｎ比の高い測定信号が得られる。
【００１１】
また，本発明は，測定対象における磁場を測定することにより，その測定対象における特異な部分（亀裂や損傷部，ボイド，組成が他と特に異なっている部分等）の有無を検出する非破壊検査装置として捉えることもできる。
即ち，本発明に係る非破壊検査装置は，次の（２−１）及び（２−２）に示される各構成要素を備えている。
（２−１）前述した本発明に係る磁場測定装置。
（２−２）前記磁場測定装置における磁場ピックアップ部が測定対象に対し走査されることによって得られるその測定対象における磁場の測定信号の分布に基いて，前記測定対象における特異な部分の有無を検出する特異部検出手段。
本発明に係る非破壊検査装置によれば，屋外に存在する測定対象等，磁気シールドがなされていない測定対象における微小な特異部の有無を，ノイズ磁場の影響を受けずに高感度で検査することができる。
また，本発明は，磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する複数の磁気センサからその検出信号を取得し，その検出信号に基づいて測定対象の磁場の測定信号を導出する処理を，コンピュータによって実行する磁場測定信号処理方法として捉えることもできる。
即ち，本発明に係る磁場測定信号処理方法は，次の（３−１）〜（３−４）に示される各手順をコンピュータにより実行する方法である。
（３−１）前記測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサから検出信号を取得する主検出信号取得手順。
（３−２）前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサから検出信号を取得する副検出信号取得手順。
（３−３）前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手順。
（３−４）前記信号源分離手順により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手順。
なお、本願発明に係る磁場測定装置の最も好ましい形態は、磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいて前記磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する磁気センサを複数備えた磁場測定装置であって，測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサと，前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサと，前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段と，前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段と，を具備しており、前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行い，前記測定信号導出手段が，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する複数の分離信号それぞれのスペクトルから，周波数帯域ごとの信号成分が所定の近似条件を満たすものを抽出することによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出してなることを特徴とする。
また、本願発明に係る磁場測定装置の最も好ましい他の形態は、磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいて前記磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する磁気センサを複数備えた磁場測定装置であって，測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサと，前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサと，前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段と，前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段と，を具備しており、前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行い，前記測定信号導出手段が，前記主磁気センサの検出信号と，前記信号源分離手段により得られる複数の前記副磁気センサに対応する複数の分離信号と，の間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出してなることを特徴とする。
本願発明に係る磁場測定装置の最も好ましい他の形態は、磁場ピックアップ部を通じて入力される信号に基づいて前記磁場ピックアップ部付近の交流磁場を検出する磁気センサを複数備えた磁場測定装置であって，測定対象に対向配置される前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである主磁気センサと，前記主磁気センサの前記磁場ピックアップ部と並設された他の前記磁場ピックアップ部を有する前記磁気センサである副磁気センサと，前記主磁気センサの検出信号と前記副磁気センサの検出信号とに基づいて，独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理を行う信号源分離手段と，前記信号源分離手段により得られる分離信号に基づいて前記測定対象の磁場の測定信号を導出する測定信号導出手段と，を具備しており、前記信号源分離手段が，１つの前記主磁気センサの検出信号と複数の前記副磁気センサの検出信号それぞれとの組み合わせごとに前記ブラインド信号源分離処理を行い，前記測定信号導出手段が，前記信号源分離手段により得られる前記主磁気センサに対応する複数の分離信号を合成した信号と，前記信号源分離手段により得られる複数の前記副磁気センサに対応する複数の分離信号と，の間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定対象の磁場の測定信号を導出してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば，ＳＱＵＩＤ磁気センサに代表される高感度の磁気センサを用いて被検体における交流磁場を測定する場合に，手間のかかる緻密な調整を要することなく，磁気ノイズの影響の小さな（Ｓ／Ｎ比の高い）磁場の測定信号を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下添付図面を参照しながら，本発明の実施の形態について説明し，本発明の理解に供する。尚，以下の実施の形態は，本発明を具体化した一例であって，本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
ここに，図１は本発明の実施形態に係る非破壊検査装置Ｘの概略構成図，図２は本発明の第１実施形態に係る磁場測定装置Ｗ１の概略構成を表すブロック図，図３は本発明の第２実施形態に係る磁場測定装置Ｗ２の概略構成を表すブロック図，図４は本発明の第３実施形態に係る磁場測定装置Ｗ３の概略構成を表すブロック図，図５はＳＱＵＩＤ磁気センサの概略構成図，図６はＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理を行う信号源分離装置Ｚの概略構成を表すブロック図である。
【００１４】
まず，図１に示される概略構成図を参照しつつ，本発明の実施形態に係る非破壊検査装置Ｘの構成について説明する。
非破壊検査装置Ｘは，磁場測定装置Ｗを備え，その磁場測定装置Ｗの磁場ピックアップ部を被検体１に対し走査させて得られる磁場の測定信号の分布から，被検体１の表面や内部における特異な部分（特異部）の有無を検出する装置である。前記被検体１は，屋外に存在する構造物等，磁気シールドがなされていない環境下に存在する測定対象である。また，前記特異部は，前記被検体１の表面や内分に存在する亀裂や損傷部，ボイド，或いは組成（材質）が他と特に異なっている部分等である。
前記被検体１は，その表面や内部において交流磁場が生じているものである。例えば，前記被検体１は，微弱な電流が流れる金属製の配管等であって，その電流の変動や物理的な振動等によって交流磁場が生じているもの等が考えられる。また，前記被検体１が，それ自体が交流磁場を発するものではない場合，前記被検体１に対して交流電流を印加すること，或いは一様な交流磁場を放射すること等により，強制的に前記被検体１内に磁場を生じさせることも考えられる。
交流磁場が生じている被検体１において，その表面や内部に前記特異部が存在すると，その特異部において磁場の乱れ（他の部分と異なる磁場）が生じる。
非破壊検査装置Ｘは，被検体１における交流磁場の検出信号から，前記特異部で生じる磁場の乱れの有無を検出することにより，前記特異部の有無を検出する装置である。
【００１５】
図１に示されるように，前記非破壊検査装置Ｘは，ＳＱＵＩＤ磁気センサＡと，磁場測定信号処理装置Ｂと，信号解析装置Ｃと，冷却装置Ｄと，可動式支持装置Ｅとを備えている。
前記ＳＱＵＩＤ磁気センサＡには，複数のＳＱＵＩＤ磁気センサが含まれ，その１つを主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍと称し，残りの２つを副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓと称する。これら主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ及び副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓは，ＳＱＵＩＤ（超伝導量子干渉素子）を備えた磁気センサであり，それぞれ図５に示されたものと同じものである。なお，前記ＳＱＵＩＤ磁気センサＡにおけるＦＬＬ回路Ａ４（主：Ａ４ｍ，副：Ａ４ｓ）の積分器（図５参照）は，被検体１における交流磁場の交流成分を通過し，その交流成分が前記検出信号に表れるよう，十分に長い時定数が設定されている。
ここで，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍに設けられた磁場ピックアップ部であるピックアップコイルＡ１ｍは，被検体１の表面から僅かに離間した位置でその被検体１に対向して配置される。以下，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍにおけるピックアップコイルＡ１ｍのことを，主ピックアップコイルＡ１ｍと称する。
また，前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓに設けられたピックアップコイルＡ１ｓは，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍのピックアップコイルＡ１ｍと並設されている。以下，前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓにおけるピックアップコイルＡ１ｓのことを，副ピックアップコイルＡ１ｓと称する。
例えば，２つの前記副ピックアップコイルＡ１ｓは，前記主ピックアップコイルＡ１ｍに対し，その両側の位置に並設される。なお，前記主ピックアップコイルＡ１ｍと前記副ピックアップコイルＡ１ｓとの相対的な位置関係は固定されている。
前記主ピックアップコイルＡ１ｍは，主として被検体１の対向する部分（以下，測定部位という）における交流磁場をピックアップするものであるが，前記測定部位の周辺にノイズ磁場が生じている場合，そのノイズ磁場もピックアップしてしまう。
一方，前記副ピックアップコイルＡ１ｓは，主として前記測定部位周辺のノイズ磁場（背景ノイズ）をピックアップするものである。
以下，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍによる被検体１における磁場の検出信号を主検出信号Ｖｍ，前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓによる磁場の検出信号を副検出信号Ｖｓと称する。これら主検出信号Ｖｍ及び副検出信号Ｖｓは，前記磁場測定信号処理装置Ｂへ伝送される。
【００１６】
前記冷却装置Ｄは，液体窒素が収容された冷却容器Ｄ１を備えている。この冷却容器Ｄ１の外面の一部に，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ及び前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓそれぞれのデバイス部Ａｍ３，Ａｓ３（図５におけるＳＱＵＩＤ（Ａ３）に相当）が取り付けられている。
前記冷却容器Ｄ１の壁は，内外の断熱性を高めるため，真空層が内包された壁となっている。但し，前記冷却容器Ｄ１の壁における，前記デバイス部Ａｍ３，Ａｓ３と接する部分には，そのデバイス部Ａｍ３，Ａｓ３と液体窒素との間で効率的な熱交換が行われるように，熱伝導率の高い伝熱プレートＤ２が設けられている。
【００１７】
また，前記可動式支持装置Ｅは，前記冷却装置Ｄ及び前記ＳＱＵＩＤ磁気センサＡを支持するとともに，その支持位置を被検体１の表面に沿って移動させるものである。
図１に示される前記可動式支持装置Ｅは，被検体１の表面に対し一定の間隔で形成されたレール３と，そのレール３に支持された移動装置２と，その移動装置２の前記レール３上の位置を検出する位置センサ４とを備えている。
前記移動装置２は，前記冷却装置Ｄ及び前記ＳＱＵＩＤ磁気センサＡを保持しつつ前記レール３に沿って移動することにより，前記ＳＱＵＩＤ磁気センサＡにおける前記主ピックアップコイルＡ１ｍを被検体１に対して走査させる。
また，前記位置センサ４は，例えば，前記移動装置２の移動に応じてその移動距離をカウントアップするポジショナ等である。この位置センサ４の検出結果は，前記信号解析装置Ｃへ伝送される。
【００１８】
前記磁場測定信号処理装置Ｂは，前記ピックアップコイルＡ１ｍ，Ａ１ｓ付近の交流磁場を検出する複数のＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ，Ａｓそれぞれからその検出信号を取得し，その検出信号に基づいて被検体１における磁場の測定信号を導出する処理を実行する装置である。前記磁場測定信号処理装置Ｂは，例えば，コンピュータの一例であるＤＳＰ(Digital Signal Processor)及びそのＤＳＰにより実行されるプログラムが記憶されたＲＯＭ，或いはＡＳＩＣ等により具現化される。この場合，そのＲＯＭには，前記ＤＳＰが，後述する信号源分離処理部１０，前記主分離信号合成処理部２０及びスペクトル減算処理部３１等として機能するために実行するプログラムが予め記憶されている。
前記信号解析装置Ｃは，前記磁場測定信号処理装置Ｂから被検体１における磁場の測定信号（以下，測定部磁場信号Ｓｇと称する）と，前記位置センサ４の検出信号（位置情報）とを取得し，それらの信号に基づいて特異部検出処理を実行するコンピュータである。
前記特異部検出処理は，前記磁場測定装置Ｗにおける前記ピックアップコイルＡ１ｍが被検体１に対し走査されることによって得られる前記測定部磁場信号Ｓｇの分布に基いて，被検体１の各位置における特異部の有無を検出する処理である。
例えば，前記信号解析装置Ｃは，前記測定部位ごとに所定時間内に得られる前記測定部磁場信号Ｓｇの平均値や標準偏差を算出する。そして，前記信号解析装置Ｃは，ある測定部位について得られた前記測定部磁場信号Ｓｇの平均値又は標準偏差が，その前後の測定部位について得られた同平均値や標準偏差に対し，予め設定された差分以上の差がある場合に，当該測定部位に前記特異部が存在すると判別する。なお，前記特異部検出処理は，本発明における特徴をなす部分ではない。
【００１９】
以下，前記非破壊検査装置Ｘにおいて前記磁場測定装置Ｗとして採用され得る３つの実施形態である磁場測定装置Ｗ１〜Ｗ３それぞれについて説明する。
なお，前記磁場測定装置Ｗ１〜Ｗ３は，前記磁場測定信号処理装置Ｂの部分のみが異なり，その他の構成は同じである。以下，前記磁場測定装置Ｗ１〜Ｗ３それぞれが備える前記磁場測定信号処理装置Ｂを，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３として区別する。
［磁場測定信号処理装置Ｂ１］
まず，図２に示されるブロック図を参照しつつ，第１実施形態に係る磁場測定装置Ｗ１が備える磁場測定信号処理装置Ｂ１について説明する。
図２に示されるように，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１は，信号源分離処理部１０−１，１０−２と，主分離信号合成処理部２０と，スペクトル減算処理部３１とを備えている。
前記信号源分離処理部１０−１，１０−２は，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍを通じて得られる前記主検出信号Ｖｍと，複数の前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓを通じて得られる前記副検出信号Ｖｓそれぞれとの組み合わせごとに設けられている。
そして，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２は，前記主検出信号Ｖｍ及び前記副検出信号Ｖｃに基づいて，ＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理（信号源分離処理）を行う。これにより，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍに対応する第１の分離信号と，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍに対応する第２の分離信号とが得られる。以下，前記第１の分離信号を主分離信号Ｖｍ’，前記第２の分離信号を副分離信号Ｖｓ’と称する。
なお，各ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ，Ａｓと前記信号源分離処理部１０−１，１０−２との間には，不図示のＡ／Ｄコンバータが設けられている。そのＡ／Ｄコンバータによってデジタル信号に変換された検出信号が，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２に伝送される。なお，前記Ａ／Ｄコンバータのサンプリング周期は，測定対象とする交流磁場の周波数に応じて設定される。
ここで，前記信号源分離処理部１０−１，１０−１は，非特許文献１や非特許文献２に示される独立成分分析法に基づくブラインド信号源分離処理（ＩＣＡ−ＢＳＳ処理）を実行するものである。
【００２０】
以下，図６に示すブロック図を参照しつつ，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２として採用可能な信号源分離装置Ｚについて説明する。図６に示される前記信号源分離装置Ｚは，ＩＣＡ−ＢＳＳ処理の一例であるＦＤＩＣＡ方式（Frequency-Domain ICA）の信号源分離処理を行うものである。
ＦＤＩＣＡ方式の信号源分離処理では，まず，時系列信号である入力信号ｘ(ｔ)について，ＳＴ−ＤＦＴ処理部１３によって所定の周期ごとに区分された信号であるフレーム毎に短時間離散フーリエ変換（Short Time Discrete Fourier Transform，以下，ＳＴ−ＤＦＴ処理という）を行い，観測信号の短時間分析を行う。なお，前記入力信号ｘ(ｔ)は，前記主検出信号Ｖｍ及び前記副検出信号Ｖｓに相当する。
そして，そのＳＴ−ＤＦＴ処理後の各チャンネルの信号（各周波数成分の信号）について，分離演算処理部１１ｆにより分離行列Ｗ(ｆ)に基づくフィルタ処理（分離演算処理）を施すことによって信号源分離（音源信号の同定）を行う。ここでｆを周波数ビン，ｍを分析フレーム番号とすると，分離信号（同定信号）ｙ(ｆ，ｍ)は，次の（１）式のように表すことができる。
【数１】
0005403940.tif 000002
この（１）式からわかるように，前記フィルタ処理は，周波数ビンごとに行われる。
ここで，分離行列Ｗ(ｆ)を学習して更新する処理を表す式は，例えば次の（２）式のように表すことができる。
【数２】
0005403940.tif 000003
このＦＤＩＣＡ方式の信号源分離処理によれば，信号源分離処理が各狭帯域における瞬時混合問題として取り扱われ，比較的簡単かつ安定に分離行列Ｗ(ｆ)を更新することができる。
図６において，前記主検出信号Ｖｍに対応する分離信号ｙ1(ｆ)が前記主分離信号Ｖｍ’である。また，前記副検出信号Ｖｓに対応する分離信号ｙ2(ｆ)が前記副分離信号Ｖｓ’である。但し，分離信号ｙ1(ｆ)，ｙ2(ｆ)，即ち，前記主分離信号Ｖｍ’及び前記副分離信号Ｖｓ’は，周波数領域の信号である。
また，（１）式に基づく分離演算処理（フィルタ処理）は，前記検出信号Ｖｍ，Ｖｓが所定周期で区分されたフレーム信号ごとに行われる。このフィルタ処理は，演算負荷の小さな処理であり，実用的なプロセッサによってリアルタイムでの処理を実現できる。
また，前記分離行列Ｗ(ｆ)を求めるための（２）式に基づく学習計算（逐次計算）も，前記フィルタ処理と並行して行われる。
前記信号源分離処理部１０−１，１０−２を構成するプロセッサは，前記分離演算処理をリアルタイムで行いつつ，空き時間において前記学習計算を随時行う。これにより，リアルタイムでの信号源分離処理が行われる。
なお，図６においては，入力信号ｘ1，ｘ2のチャンネル数（即ち，ＳＱＵＩＤ磁気センサの数）が２つである例について示しているが，（チャンネル数ｎ）≧（信号源の数ｍ）であれば，３チャンネル以上であっても同様の構成により実現できる。
【００２１】
また，前記磁場測定信号処理装置Ｗ１において，前記主分離信号合成処理部２０は，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２それぞれにより得られる複数の前記主分離信号Ｖｍ’の合成処理を実行し，それにより得られる合成信号を出力するものである。
例えば，前記主分離信号合成処理部２０は，複数の前記主分離信号Ｖｍ’について，複数に区分された周波数成分（周波数ビン）ごとに平均処理や加重平均処理を実行すること等により，それら主分離信号Ｖｍ’を合成する。
また，前記スペクトル減算処理部３１は，前記主分離信号合成処理部２０により得られた合成信号と，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２それぞれにより分離生成された複数の前記副分離信号Ｖｓ’との間でスペクトル減算処理を行う。さらに，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１は，不図示の逆フーリエ変換処理部により，前記スペクトル減算処理によって得られた周波数領域の信号を時間領域の信号に変換し，変換後の信号を前記測定部磁場信号Ｓｇとして出力する。
このように，前記主分離信号合成処理部２０，前記スペクトル減算処理部３１及び不図示の前記逆フーリエ変換処理部は，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２により得られる複数の前記主分離信号Ｖｍ’を合成した信号と，同じく前記信号源分離処理部１０−１，１０−２により得られる複数の前記副分離信号Ｖｓ’との間でスペクトル減算処理を行うことにより，前記測定部磁場信号Ｓｇを導出する測定信号導出手段の一例である。
【００２２】
前記信号源分離処理部１０−１，１０−２により得られる前記主分離信号Ｖｍ’は，被検体１の測定部位における磁場の信号成分が抽出されたものであるが，除去しきれずに残ったノイズ成分が含まれることも考えられる。そのノイズ成分は，複数の前記主分離信号Ｖｍそれぞれにおいて共通性のない状態で存在することが多いと考えられる。
そこで，前記主分離信号合成処理部２０が，共通性のないノイズ成分を含む複数の前記主分離信号Ｖｍ’を合成（例えば，スペクトル合成）することにより，その合成信号は，共通性のある測定部位の磁場の信号成分がノイズ成分よりも強調されたする信号となる。
さらに，前記スペクトル減算処理部３１が，前記合成信号のスペクトルから，主としてノイズ成分が抽出された前記副分離信号Ｖｓ’のスペクトルを減算することにより，前記合成信号からさらにノイズ成分が除去される。
これにより，非常にＳ／Ｎ比の高い前記測定部磁場信号Ｓｇが得られる。
なお，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１が，前記主分離信号合成処理部２０により得られる前記合成信号を，前記測定部磁場信号Ｓｇとして出力することも考えられる。
【００２３】
［磁場測定信号処理装置Ｂ２］
次に，図３に示されるブロック図を参照しつつ，第２実施形態に係る磁場測定装置Ｗ２が備える磁場測定信号処理装置Ｂ２について説明する。なお，図３において，磁場測定信号処理装置Ｂ２が備える構成要素のうち，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１が備えるものと同じ処理を実行する構成要素については図２における符号と同じ符号が付されている。
図３に示されるように，前記磁場測定信号処理装置Ｂ２は，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２と，スペクトル近似信号抽出処理部３２とを備えている。以下，前記磁場測定信号処理装置Ｂ２について，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１と異なる部分についてのみ説明する。
【００２４】
前記スペクトル近似信号抽出処理部３２は，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２によって分離生成された複数の前記主分離信号Ｖｍ’について，複数に区分された周波数帯域（周波数ビン）ごとの信号成分のうち，その信号成分が前記主分離信号Ｖｍ’相互間で所定の近似条件を満たすものを抽出する。このように抽出された周波数領域の信号は，不図示の前記逆フーリエ変換処理部によって時間領域の信号に変換され，変換後の信号が，前記測定部磁場信号Ｓｇとして出力される。
例えば，前記スペクトル近似信号抽出処理部３２は，複数の前記主分離信号Ｖｍ’について，周波数ビンごとにそれらの信号成分のレベル（パワー）を比較し，そのレベルの比や差が予め定められた範囲内にあるという前記近似条件を満たす場合に，それらの信号成分のいずれか１つを選択する，又はそれらの信号成分を合成する（例えば平均値や最小値を算出する）ことによって前記測定部磁場信号Ｓｇを抽出する。
前記信号源分離処理部１０−１，１０−２により得られる前記主分離信号Ｖｍ’は，被検体１の測定部位における磁場の信号成分が抽出されたものであるが，除去しきれずに残ったノイズ成分が残存していることも考えられる。そのノイズ成分は，複数の前記主分離信号Ｖｍそれぞれにおいて共通性のない状態で存在することが多いと考えられる。
そこで，前記スペクトル近似信号抽出処理部３２は，共通性のないノイズ成分を含む複数の前記主分離信号Ｖｍ’のスペクトルから，共通性のある（近似条件を満たす）信号成分を測定部位の磁場の信号成分であるとして抽出することにより，前記主分離信号Ｖｍ’からノイズ成分を除去する。
これにより，Ｓ／Ｎ比の高い前記測定部磁場信号Ｓｇが得られる。
なお，前記スペクトル近似信号抽出処理部３２及び不図示の前記逆フーリエ変換処理部が，複数の前記主分離信号Ｖｍ’それぞれのスペクトルから，周波数帯域ごとの信号成分が所定の近似条件を満たすものを抽出することによって前記測定部磁場信号Ｓｇを導出する測定信号導出手段の一例である。
【００２５】
［磁場測定信号処理装置Ｂ２］
次に，図４に示されるブロック図を参照しつつ，第３実施形態に係る磁場測定装置Ｗ３が備える磁場測定信号処理装置Ｂ３について説明する。なお，図４において，磁場測定信号処理装置Ｂ３が備える構成要素のうち，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１，Ｂ２が備えるものと同じ処理を実行する構成要素については図２，３における符号と同じ符号が付されている。
図４に示されるように，前記磁場測定信号処理装置Ｂ３は，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２と，スペクトル減算処理部３１’とを備えている。以下，前記磁場測定信号処理装置Ｂ３について，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１と異なる部分についてのみ説明する。
前記スペクトル減算処理部３１’は，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍを通じて得られる前記主検出信号Ｖｍと，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２により分離生成された複数の前記副分離信号Ｖｓ’との間で前述したスペクトル減算処理を行う。このスペクトル減算処理部３１’は，処理対象（観測信号）が前記合成信号から前記主検出信号Ｖｍに置き換わったこと以外は，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１における前記スペクトル減算処理部３１と同じものである。
前記スペクトル減算処理部３１’は，ノイズ成分を含む前記主検出信号Ｖｍのスペクトルから，ノイズ成分が抽出された信号である前記副分離信号Ｖｓ’それぞれのスペクトルを減算することにより，前記主検出信号Ｖｍからノイズ成分を除去する。
これにより，Ｓ／Ｎ比の高い前記測定部磁場信号Ｓｇが得られる。
なお，前記スペクトル減算処理部３１’及び不図示の前記逆フーリエ変換処理部が，前記主検出信号Ｖｍと複数の前記副分離信号Ｖｓ’との間でスペクトル減算処理を行うことによって前記測定部磁場信号Ｓｇを導出する測定信号導出手段の一例である。
【００２６】
また，ＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理は，入力信号に混在する複数の信号成分の統計的な独立性（相関の低さ）に基づいて信号源分離を行う処理である。そのため，複数の前記ピックアップコイルＡ１ｍ，Ａ１ｓの位置関係のずれや，複数の前記ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ，Ａｓそれぞれの検出ゲインの個体差等に起因して，入力信号に混在する各信号成分の振幅等に多少のばらつきが生じても，信号源の分離性能への影響は小さい。
その結果，前記磁場測定装置Ｗ１〜Ｗ３は，複数のＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ，Ａｓの感度や前記ピックアップコイルＡ１ｍ，Ａ１ｓの位置等について，手間のかかる緻密な調整を要しないロバスト性を有している。
従って，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１〜Ｂ３によれば，高感度のＳＱＵＩＤ磁気センサを用いて被検体１における交流磁場を測定する場合に，手間のかかる緻密な調整を要することなく，磁気ノイズの影響の小さな（Ｓ／Ｎ比の高い）磁場の測定信号Ｓｇを得ることができる。
【００２７】
また，以上に示した実施形態は，前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓが複数設けられた例を示したが，前記主ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｍ及び前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓが１つずつ設けられた装置も考えられる。この場合，例えば，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１（図２参照）が，前記信号源分離処理部１０−１により得られる前記主分離信号Ｖｍ’を前記測定部磁場信号Ｓｇとして出力することが考えられる。
また，前記磁場測定信号処理装置Ｂ１〜Ｂ３が，３つ以上の前記副ＳＱＵＩＤ磁気センサＡｓを備えた構成も考えられる。この場合，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２の数が増え，前記主分離信号合成処理部２０や前記スペクトル減算処理部３１，３１’，前記スペクトル近似信号抽出処理部３２の信号入力数が増えるだけである。
また，本発明には，前記ＳＱＵＩＤ磁気センサの他，フラックスゲートセンサやピックアップコイル等，他の磁気センサも採用可能である。
なお，以上に示したように，前記信号源分離処理部１０−１，１０−２や前記スペクトル減算処理部３１等が実行する処理は，入力信号が振動信号（交流信号）であることが前提である。このため，本発明の実施形態に係る磁場測定装置Ｗ１〜Ｗ３は，被検体１において交流磁場が生じていることが前提である。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明は，交流磁場を検出する磁気センサを備えた磁場測定装置及びそれを含む非破壊検査装置等に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施形態に係る非破壊検査装置Ｘの概略構成図。
【図２】本発明の第１実施形態に係る磁場測定装置Ｗ１の概略構成を表すブロック図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る磁場測定装置Ｗ２の概略構成を表すブロック図。
【図４】本発明の第３実施形態に係る磁場測定装置Ｗ３の概略構成を表すブロック図。
【図５】ＳＱＵＩＤ磁気センサの概略構成図。
【図６】ＩＣＡ法に基づくＢＳＳ処理を行う信号源分離装置Ｚの概略構成を表すブロック図。
【符号の説明】
【００３０】
Ｘ  ：非破壊検査装置
Ａ  ：ＳＱＵＩＤ磁気センサ
Ａｍ：主ＳＱＵＩＤ磁気センサ
Ａｓ：副ＳＱＵＩＤ磁気センサ
Ｂ  ：磁場測定信号処理装置
Ｃ  ：信号解析装置
Ｄ  ：冷却装置
Ｅ  ：可動式支持装置
Ｗ，Ｗ１〜Ｗ３：磁場測定装置
１０−１，１０−２：信号源分離処理部
２０：主分離信号合成処理部
３１，３１’：スペクトル減算処理部
３２：スペクトル近似信号抽出処理部
【図１】
0005403940.tif 000004
【図２】
0005403940.tif 000005
【図３】
0005403940.tif 000006
【図４】
0005403940.tif 000007
【図５】
0005403940.tif 000008
【図６】
0005403940.tif 000009