(57)【要約】  ガルバノ型スキャナシステム（１）は、ガルバノ型スキャナ（２）のスキャナドライバ（３）に搭載されている位置制御用マイクロコンピュータ（３１）において、ガルバノ型スキャナの位置センサ（１４）から出力される位置検出信号をサンプリングし、サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナ（２）の現在位置アドレスを更新し、移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データをガルバノ型スキャナ（２）のアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して駆動回路（３３）に供給する。駆動回路（３３）は、アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、ガルバノ型スキャナ（２）を移動量分だけ移動させる。ガルバノ型スキャナ（２）を任意の位置に移動させるための制御を簡単に行うことができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガルバノ型スキャナのスキャナドライバに位置制御用マイクロコンピュータを内蔵し、
当該位置制御用マイクロコンピュータにおいて、
ガルバノ型スキャナの位置検出器から出力される位置検出信号をサンプリングし、
サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナの現在位置を表す現在位置アドレスを更新し、
外部からガルバノ型スキャナの移動量を指定するデジタル形態の移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、
このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、
この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路において、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記移動量分だけ移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナの駆動制御方法。
【請求項２】
請求項１に記載のガルバノ型スキャナの駆動制御方法において、
前記位置制御用マイクロコンピュータの記憶部に、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを予め記憶保持しておき、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記駆動パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナの駆動制御方法。
【請求項３】
請求項２に記載のガルバノ型スキャナの駆動制御方法において、
前記動作パターンに従って前記ガルバノ型スキャナを移動させている状態において、前記移動量指令データが入力されると、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記動作パターンに従って移動する前記ガルバノ型スキャナの移動位置が当該移動量指令データによって指定される移動量だけオフセットした位置となるように、前記アナログ位置指令を前記スキャナドライバの駆動回路に供給することを特徴とするガルバノ型スキャナの駆動制御方法。
【請求項４】
ガルバノ型スキャナを駆動するための駆動回路と、
位置制御用マイクロコンピュータとを有し、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、ガルバノ型スキャナの位置検出器から出力される位置検出信号をサンプリングし、サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナの現在位置を表す現在位置アドレスを更新し、外部からガルバノ型スキャナの移動量を指定するデジタル形態の移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記移動量分だけ移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。
【請求項５】
請求項４に記載のガルバノ型スキャナのスキャナドライバにおいて、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを記憶保持している記憶部を備えており、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記駆動パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。
【請求項６】
請求項５に記載のガルバノ型スキャナのスキャナドライバにおいて、
前記動作パターンに従って前記ガルバノ型スキャナを移動させている状態において、前記移動量指令データが入力されると、前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記動作パターンに従って移動する前記ガルバノ型スキャナの移動位置が当該移動量指令データによって指定される移動量だけオフセットした位置となるように、前記アナログ位置指令を前記駆動回路に供給することを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。
【請求項７】
ガルバノ型スキャナと、
このガルバノ型スキャナを駆動制御するスキャナドライバとを有し、
前記スキャナドライバは、請求項４ないし６のうちのいずれかの項に記載のスキャナドライバであることを特徴とするガルバノ型スキャナシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光の照射位置を移動させるため等に用いるガルバノ型スキャナの駆動制御方法に関し、特に、その移動位置を簡単に変更できるようにしたガルバノ型スキャナの駆動制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工等においては、レーザ光を高速で移動させることのできるガルバノ型スキャナが用いられる。ガルバノ型スキャナのスキャナドライバは高速処理に適したアナログ回路が用いられている。アナログ式の駆動回路は高速処理が可能であるが、複雑な演算、パラーメータ切り替えのような処理には不適であり、単純な制御のみしか実現できない。【０００３】
そこで、特許文献１においては、ガルバノスキャナの移動位置を制御するための複雑な演算をデジタル計算器において行い、演算結果に基づき、アナログ回路によってガルバノスキャナの移動位置をフィードバック制御する方法が提案されている。また、特許文献２においては、スキャナドライバに、スキャナの駆動パターンを表すデジタルデータが書き込まれた指令発生用マイクロコンピュータを搭載し、ここから出力される駆動パターンのデジタルデータをアナログ変換してアナログ式の駆動制御回路を介してスキャナを駆動制御するようにしている。一方、特許文献３には、ミラー走査用のガルバノ型スキャナとして用いることのできる検出器付き電磁式有限回転型電動機が開示されている。
【特許文献１】特許第３５１３４８９号公報
【特許文献２】特開２００５−３３８４５０号公報
【特許文献３】特開平０７−３１１１９号公報
【０００４】
ガルバノ型スキャナによるレーザ光などの位置を、センサ原点に対する任意の位置に移動させる場合には、センサ原点から移動先までの移動量に対応する指令電圧を与えるだけでよい。例えば、指令電圧１Ｖがセンサ原点から１°の指令位置とされ、指令電圧１０Ｖがセンサ原点から１０°の指令位置とされているときには、センサ原点から４°の位置に移動させる場合には、４Ｖの指令電圧を与えるだけでよい。【０００５】
しかしながら、ガルバノ型スキャナによるレーザ光などの移動位置を、現在位置から任意の位置に移動させたい場合には、ガルバノ型スキャナの現在位置からの移動量に基づき生成した指令電圧を位置指令として与える必要がある。すなわち、ガルバノ型スキャナに搭載されているセンサから出力される位置信号をモニタし、現在位置に移動量を足し合わせた移動先位置にガルバノ型スキャナを移動させるための位置指令電圧を生成し、これをガルバノ型スキャナに与える必要がある。【０００６】
例えば、現在の位置がセンサ原点から１°の位置である場合に、そこから３°移動させたい場合には、現在位置１°をセンサによって検出し、この１°に移動量３°を加算して、移動先位置である４°を算出し、４°に相当する指令電圧４Ｖを生成し、この電圧指令を継続して出力する必要がある。【０００７】
ここで、レーザ光などの移動位置を、ワーク上の現在位置から任意の位置に移動させる場合には、そのための移動量を入力するためのジョイスティック等の操作部材を備えた上位コントローラが必要である。【０００８】
しかしながら、ガルバノ型スキャナの駆動制御は、常に位置指令に対する追従制御である。したがって、ジョイスティック等の操作部材を操作して移動量を入力する場合には、リアルタイムの指令となるので、例えば２点間を移動するような単純な移動であっても、意図しない移動軌跡でガルバノ型スキャナが移動してしまうことがある。また、目標位置での静定も困難な場合がある。
【発明の開示】
【０００９】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、ガルバノ型スキャナを現在位置から任意の位置に移動させるための制御を簡単に行うことのできるガルバノ型スキャナの駆動制御方法を提案することにある。
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明のガルバノ型スキャナの駆動制御方法は、
ガルバノ型スキャナのスキャナドライバに位置制御用マイクロコンピュータを内蔵し、
当該位置制御用マイクロコンピュータにおいて、
ガルバノ型スキャナの位置検出器から出力される位置検出信号をサンプリングし、
サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナの現在位置を表す現在位置アドレスを更新し、
外部からガルバノ型スキャナの移動量を指定するデジタル形態の移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、
このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、
この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路において、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記移動量分だけ移動させることを特徴としている。
【００１１】
本発明では、ガルバノ型スキャナを移動させたい場合には、移動量を表す移動量指令データをスキャナドライバに内蔵の位置制御用マイクロコンピュータに入力すればよい。例えば、ガルバノ型スキャナの現在位置が１°であり、移動量が３°の場合には、移動量指令データの３°を位置制御用コンピュータに入力すればよい。
【００１２】
位置制御用マイクロコンピュータでは、ガルバノ型スキャナの現在位置をフィードバックし、ガルバノ型スキャナの位置が入力された移動量指令データによって指定される位置に移動するように駆動回路を介してガルバノ型スキャナを移動させる。
【００１３】
スキャナドライバに接続した上位コントローラの側において、ガルバノ型スキャナの現在位置をモニタしながらジョイスティックなどの操作部材を操作して移動量を入力して、任意の位置にガルバノ型スキャナを移動させる場合に比べて、簡単かつ確実に目標位置にガルバノ型スキャナを移動させ、そこに静定させることができる。
【００１４】
ここで、前記位置制御用マイクロコンピュータの記憶部に、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを予め記憶保持しておき、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記駆動パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることが望ましい。
【００１５】
この場合、ガルバノ型スキャナが特定の動作パターンで移動する移動領域を、リアルタイムの外部入力によりオフセットさせることができる。すなわち、前記動作パターンに従って前記ガルバノ型スキャナを移動させている状態において、前記移動量指令データが入力された場合には、前記位置制御用マイクロコンピュータから、前記動作パターンに従って移動する前記ガルバノ型スキャナの移動位置が当該移動量指令データによって指定される移動量だけオフセットした位置となるように、前記アナログ位置指令を前記スキャナドライバの駆動回路に供給すればよい。
【００１６】
次に、本発明のガルバノ型スキャナのスキャナドライバは、
ガルバノ型スキャナを駆動するための駆動回路と、
位置制御用マイクロコンピュータとを有し、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、ガルバノ型スキャナの位置検出器から出力される位置検出信号をサンプリングし、サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナの現在位置を表す現在位置アドレスを更新し、外部からガルバノ型スキャナの移動量を指定するデジタル形態の移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記移動量分だけ移動させることを特徴としている。
【００１７】
また、前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを記憶保持している記憶部を備えており、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記駆動パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることを特徴としている。
【００１８】
さらに、前記動作パターンに従って前記ガルバノ型スキャナを移動させている状態において、前記移動量指令データが入力されると、前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記動作パターンに従って移動する前記ガルバノ型スキャナの移動位置が当該移動量指令データによって指定される移動量だけオフセットした位置となるように、前記アナログ位置指令を前記駆動回路に供給することを特徴としている。
【００１９】
次に、本発明のガルバノ型スキャナシステムは、ガルバノ型スキャナと、このガルバノ型スキャナを駆動制御するスキャナドライバとを有し、このスキャナドライバが上記構成のスキャナドライバであることを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を適用したガルバノ型スキャナシステムの概略ブロック図である。
【図２】ガルバノ型スキャナによるレーザ光の走査領域をオフセットさせる動作を示すための説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、図面を参照して、本発明を適用したガルバノ型スキャナシステムの実施の形態を説明する。【００２２】
図１は、ガルバノ型スキャナシステムの概略ブロック図である。ガルバノ型スキャナシステム１は、レーザ光を走査するためのガルバノ型スキャナ２と、これを駆動制御するためのスキャナドライバ３と、スキャナドライバ３を駆動制御するためのコントローラ４とを有している。【００２３】
ガルバノ型スキャナ２は、例えば、有限回転型モータ１１と、このモータ回転軸１２に取り付けた走査用ミラー１３とを備えている。ガルバノ型スキャナ２には、モータ回転軸１２の回転角度位置を検出するための位置センサ１４が配置されている。位置センサ１４のアナログ位置検出信号はスキャナドライバ３に供給される。【００２４】
スキャナドライバ３は、位置制御用マイクロコンピュータ３１と、ここから出力されるデジタル信号をアナログ変換するＤＡ変換器３２と、アナログ変換された位置指令信号に基づきスキャナ駆動信号（位置指令電圧）を生成してガルバノ型スキャナ２に印加する駆動回路３３とを備えている。また、位置センサ１４からのアナログ位置検出信号をデジタル化して位置制御用マイクロコンピュータ３１に供給するＡＤ変換器３４を備えている。【００２５】
位置制御用マイクロコンピュータ３１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えており、ＲＯＭには、周期性のある任意の指令入力波形のデジタルデータ３１１、３１２・・・が書き込まれた記憶領域が含まれている。これらのデジタルデータを書き換え可能な状態で記憶保持するようにしてもよい。【００２６】
コントローラ４には入力装置５が接続されており、ここから、ガルバノ型スキャナ２の起動指令、移動量指令を入力できるようになっている。【００２７】
この構成のガルバノ型スキャナシステム１の動作を説明する。操作者によって入力装置５を介して動作の開始指令が入力されると、コントローラ４から入力信号がスキャナドライバ３に入力される。【００２８】
スキャナドライバ３の位置制御用マイクロコンピュータ３１では、ガルバノ型スキャナ２の位置センサ１４から出力される位置検出信号を所定の周期でサンプリングし、サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナ２の現在位置を表す現在位置アドレスを更新することにより、ガルバノ型スキャナ２の現在位置を常にモニタしている。【００２９】
入力信号が入力されると、位置制御用マイクロコンピュータ３１は、予め指定されている指令入力波形が記憶保持されているＲＯＭの記憶領域から指令入力波形のデジタルデータ、例えばデジタルデータ３１１を順次に出力する。出力されたデジタルデータは、ガルバノ型スキャナ２のアドレス変化量に変換され、このアドレス変化量が現在位置に加算されて移動先アドレスが算出される。この移動先アドレスを表すデジタルデータはＤＡ変換器３２を介してアナログ位置指令に変換された後に駆動回路３３に供給される。【００３０】
駆動回路３３は、供給されたアナログ値に増幅などの処理を施して、指令入力波形に対応する駆動電圧を生成して、ガルバノ型スキャナ２に印加する。これにより、ガルバノ型スキャナ２は、入力指令波形１００に対応する動作パターンで繰り返し駆動される。例えば、図２に示すように、所定の平面上の領域Ａ内において一定幅で左右にレーザ光を走査する動作パターンで駆動される。【００３１】
ここで、操作者が、レーザ光の走査領域を図２における領域Ａから領域Ｂにオフセットさせたい場合には、入力装置５を介して移動量を表す移動量指令データを入力する。入力された移動量指令データはコントローラ４からスキャナドライバ３の位置制御用マイクロコンピュータ３１に供給される。【００３２】
位置制御用マイクロコンピュータ３１は、ガルバノ型スキャナ２の移動量を指定する移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データをガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求める。そして、移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して駆動回路３３に供給する。駆動回路３３は、アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、ガルバノ型スキャナを移動量分だけ移動させる。【００３３】
この結果、ガルバノ型スキャナ２によるレーザ光の走査領域が領域Ａから領域Ｂにリアルタイムでオフセットされ、当該領域Ｂにおいて同一の動作パターンでレーザ光を走査する動作が繰り返し行われる。
【図１】
2008146337.tif 000003
【図２】
2008146337.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月3日(2010.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ここで、前記位置制御用マイクロコンピュータの記憶部に、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを予め記憶保持しておき、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記動作パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることが望ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを記憶保持している記憶部を備えており、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記動作パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガルバノ型スキャナのスキャナドライバに位置制御用マイクロコンピュータを内蔵し、
当該位置制御用マイクロコンピュータにおいて、
ガルバノ型スキャナの位置検出器から出力される位置検出信号をサンプリングし、
サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナの現在位置を表す現在位置アドレスを更新し、
外部からガルバノ型スキャナの移動量を指定するデジタル形態の移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、
このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、
この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路において、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記移動量分だけ移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナの駆動制御方法。
【請求項２】
請求項１に記載のガルバノ型スキャナの駆動制御方法において、
前記位置制御用マイクロコンピュータの記憶部に、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを予め記憶保持しておき、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記動作パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記スキャナドライバの駆動回路に供給し、
この駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナの駆動制御方法。
【請求項３】
請求項２に記載のガルバノ型スキャナの駆動制御方法において、
前記動作パターンに従って前記ガルバノ型スキャナを移動させている状態において、前記移動量指令データが入力されると、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記動作パターンに従って移動する前記ガルバノ型スキャナの移動位置が当該移動量指令データによって指定される移動量だけオフセットした位置となるように、前記アナログ位置指令を前記スキャナドライバの駆動回路に供給することを特徴とするガルバノ型スキャナの駆動制御方法。
【請求項４】
ガルバノ型スキャナを駆動するための駆動回路と、
位置制御用マイクロコンピュータとを有し、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、
ガルバノ型スキャナの位置検出器から出力される位置検出信号をサンプリングし、
サンプリング結果に基づきガルバノ型スキャナの現在位置を表す現在位置アドレスを更新し、
外部からガルバノ型スキャナの移動量を指定するデジタル形態の移動量指令データが入力されると、当該移動量指令データを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、
このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、
この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記移動量分だけ移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。
【請求項５】
請求項４に記載のガルバノ型スキャナのスキャナドライバにおいて、
前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記ガルバノ型スキャナの動作パターンを表すデジタルデータを記憶保持している記憶部を備えており、
当該位置制御用マイクロコンピュータは、外部からトリガ信号が入力されると、前記動作パターンのデジタルデータを順次に出力し、当該デジタルデータを前記ガルバノ型スキャナのアドレス変化量に変換し、このアドレス変化量を前記現在位置アドレスに加算して移動先アドレスを求め、この移動先アドレスをアナログ位置指令に変換して前記駆動回路に供給し、
前記駆動回路は、前記アナログ位置指令に対応する位置指令電圧を生成して、前記ガルバノ型スキャナを前記動作パターンに従って移動させることを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。
【請求項６】
請求項５に記載のガルバノ型スキャナのスキャナドライバにおいて、
前記動作パターンに従って前記ガルバノ型スキャナを移動させている状態において、前記移動量指令データが入力されると、前記位置制御用マイクロコンピュータは、前記動作パターンに従って移動する前記ガルバノ型スキャナの移動位置が当該移動量指令データによって指定される移動量だけオフセットした位置となるように、前記アナログ位置指令を前記駆動回路に供給することを特徴とするガルバノ型スキャナのスキャナドライバ。
【請求項７】
ガルバノ型スキャナと、
このガルバノ型スキャナを駆動制御するスキャナドライバとを有し、
前記スキャナドライバは、請求項４ないし６のうちのいずれかの項に記載のスキャナドライバであることを特徴とするガルバノ型スキャナシステム。
【国際調査報告】
2008146337.tif 000005
2008146337.tif 000006
2008146337.tif 000007
2008146337.tif 000008