【事件の表示】
　特願２０１４−２２１２１４「イメージセンサおよびその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　２月　１日出願公開，特開２０１６−　１８９８６，請求項の数（９）〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は，特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２６年１０月３０日の出願（パリ条約による優先権主張　２０１４年（平成２６年）７月９日（以下，左の日を「本願優先日」という。），アメリカ合衆国）であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２６年１０月３０日　審査請求
平成２８年　３月２８日　拒絶理由通知
平成２８年　７月　１日　意見書・手続補正書
平成２８年１２日２６日　拒絶査定（以下，「原査定」という。）
平成２９年　４月１７日　審判請求・手続補正書
平成２９年１２月１２日　拒絶理由通知（以下，「当審拒絶理由通知」という。）
平成３０年　１月３０日　意見書・手続補正書
第２　原査定の概要
　原査定の概要は次のとおりである。
（進歩性）この出願の下記の請求項に係る発明は，その出願前に日本国内又は外国において，頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
・請求項　１
・引用文献等　Ａ，Ｂ
　先に通知した引用文献Ａには，「受光センサ部１２（感知層）と，前記感知層上に配置された層内カラーフィルター２４（フィルターユニット）と，前記フィルターユニット上に配置されたマイクロレンズ２７と，を含むイメージセンサ。」が記載され，前記層内カラーフィルター２４（フィルターユニット）は，カラーフィルターとしての機能を有するとともに，層内レンズとしての機能を有すること，また，前記マイクロレンズと，前記フィルターユニットを感知層上に配置することで，カメラのレンズの絞りを開いた場合にも，集光率の低下を防止でき，画質を向上できることが記載されている（特に段落［００２２］−［００５２］，［図１］−［図１３］を参照されたい。）。
（対比）
　本願の請求項１に係る発明と，引用文献Ａに記載された発明とを対比する。
　本願の請求項１に係る発明においては，前記フィルターユニットは，勾配屈折率を有するのに対し，引用文献Ａに記載された発明においては，当該構成が記載されていない点で相違する（以下，「相違点」という。）
（相違点の判断）
　上記相違点について検討する。
　先に通知した引用文献Ｂには，イメージセンサにおいて，カラーフィルター１０４（フィルターユニット）は，屈折率分布領域１０４ａ（勾配屈折率）を有すること，当該構成により，前記屈折率分布領域１０４ａは集光部（従来のマイクロレンズ）として機能し，該集光部と受光部との距離を近づけることができ，集光部の開口数を向上することができることが記載されている（特に段落［００１９］−［００２１］，［００２８］−［００４２］，［図２］−［図３］を参照されたい。）。
　引用文献Ａと引用文献Ｂは，イメージセンサという共通の技術分野に属しており，集光部の開口数を向上するために，引用文献Ａに記載されたイメージセンサの，層内レンズとしても機能する，フイルタ−ユニットに，引用文献Ｂに記載された発明の，レンズとしても機能するフィルターユニットを適用すること，すなわち，本願の請求項１に係る発明の構成とすることは，当業者が容易になし得ることである。
　出願人は，平成２８年７月１日付け意見書において，「しかしながら，引用文献Ｂの図２では，カラーフィルター１０４は，屈折率分布領域１０４ａにより，マイクロレンズとしての機能を有しています。換言すれば，カラーフィルタ１０４は，マイクロレンズでもあります。引用文献Ｂでは，カラーフィルタ１０４上にマイクロレンズを設置する必要がありません。引用文献Ｂのカラーフィルター１０４を引用文献１に適用すると，引用文献Ａのマイクロレンズ２７を引用文献Ｂのマイクロレンズ（カラーフィルター１０４）に設置することになります。従って，引用文献Ａと引用文献Ｂは，イメージセンサという共通の技術分野に属していますが，異なる構成及び機能を有していますので，当業者がこれらの発明を組合わせることはありません。引用文献Ａと引用文献Ｂは，本願の請求項１と請求項７の発明を開示及び示唆するものではありません。よって，引用文献Ａに記載された発明に，引用文献Ｂに記載された発明を適用して，本願の請求項１と請求項７に係る発明の構成とすることは，当業者が容易になし得ることではありません。
」と主張している。
　出願人の当該主張について検討する。
　引用文献Ａに記載された発明は，マイクロレンズと，層内レンズとしても機能する層内カラーフィルター２４（フィルターユニット）を有するイメージセンサであり，引用文献Ａに記載されたイメージセンサに，引用文献２に記載された発明を適用する際に，引用文献Ａに記載された層内カラーフィルター２４（フィルターユニット）に，引用文献Ｂに記載されれたレンズとしても機能するカラーフィルター１０４（フィルターユニット）を適用することは，当業者が容易になし得ることである。
　したがって，出願人の当該主張は採用できない
　よって，本願の請求項１に係る発明は，引用文献Ａ，Ｂに基づいて，当業者が容易に発明することができたものであるから，依然として，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
・請求項　２−１２
・引用文献等　Ａ−Ｆ
　平成２８年３月２８日付け拒絶理由通知書において，通知したとおりである。
　よって，本願の請求項２−５，７に係る発明は，引用文献Ａ，Ｂに基づいて，本願の請求項６に係る発明は，引用文献Ａ−Ｃに基づいて，本願の請求項８−１０に係る発明は，引用文献Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅに基づいて，本願の請求項１１に係る発明は，引用文献Ａ，Ｂ，Ｆに基づいて，及び，本願の請求項１２に係る発明は，引用文献Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｆに基づいて，当業者が容易に発明することができたものであるから，依然として，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
Ａ．特開平１１−２８４１５８号公報
Ｂ．特開２００３−２０９２３１号公報
Ｃ．特開２０１０−２１２３０６号公報
Ｄ．特開平０２−３１０５０１号公報
Ｅ．特開昭５８−２２０１０６号公報
Ｆ．特開２００９−２６７６３７号公報
第３　当審拒絶理由の概要
　平成２９年１２月１２日付けで当審より通知した拒絶理由の概要は以下のとおりである。
１．（サポート要件）本件出願は，特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため，特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
２．（明確性）本件出願は，特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため，特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
３．（新規性）この出願の下記の請求項に係る発明は，その出願前に日本国内又は外国において，頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから，特許法第２９条第１項第３号に該当し，特許を受けることができない。
４．（進歩性）この出願の下記の請求項に係る発明は，その出願前に日本国内又は外国において，頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照）
・理由　１（サポート要件）
・請求項６
　請求項６に係る発明は，イメージセンサによって生成された画像信号の品質を向上させるイメージセンサの製造方法を提供する事を技術的課題（本願明細書【０００５】参照）としており，当該技術的課題を解決するための手段として，勾配屈折率が一定の条件，たとえば「勾配屈折率は，フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心垂直軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少する」または「前記フィルターユニットの底面から前記フィルターユニットの上面に徐々に増加する」，が必須と認められるが，請求項６に係る発明は，単に「勾配屈折率を持たせる」とのみ記載されており，課題解決のための手段が反映されておらず，その結果，発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することになっており，サポート要件に違反する。
・理由　１（サポート要件）
・請求項９
　請求項９に係る発明は，請求項６を引用しているので，「光ビームを前記フィルターユニットに出射し，前記フィルターユニットに勾配屈折率を持たせるステップ」を必須の要素とするが，請求項９に係る発明に対応した【００３７】〜【００４０】の記載には，当該ステップが記載されておらず，請求項９に係る発明は，明細書に記載されておらずサポート要件に違反する。
・理由　２（明確性）
・請求項９
　請求項９に係る発明は，請求項６を引用しているので，「光ビームを前記フィルターユニットに出射し，前記フィルターユニットに勾配屈折率を持たせる」方法と「複数の材料の屈折率より小さい屈折率を有する複数の材料を積層する」方法とが混在しており，イメージセンサの製造方法として不明確である。
・理由　２（明確性）
・請求項６〜１０　
　請求項６において「フィルターユニットにマイクロレンズを形成するステップ」という記載は，フィルターユニット「の一部」にマイクロレンズを形成するのか，フィルターユニット「上」にマイクロレンズを形成するのかが明らかでない。
　請求項６を引用する請求項７〜１０にも同様の拒絶理由が存する。
・理由　３，４（新規性，進歩性）
・請求項２，５
・引用文献　１
　引用文献１の，特に，【００６２】〜【００８３】及び図１，２には，光電変換素子（請求項２において「感知層」に対応）と，光電返還素子層の上に配置された染料内添型カラーフィルター１０９層と顔料分散型カラーフィルター層１１０からなる積層カラーフィルター（特に【００６６】参照，請求項２において「フィルターユニット」に対応），積層カラーフィルター層上に透明平坦膜１１１を介してマイクロレンズ１１２を含み，
　積層カラーフィルターの下部を構成する染料内添型カラーフィルター１０９層の屈折率を上部を構成する顔料分散型カラーフィルター層１１０の屈折率よりも小さくする（請求項２において「勾配屈折率は底面から上面に徐々に増加する」に対応）固体撮像素子（請求項２において「イメージセンサ」に対応）が開示されている。
　請求項２を引用する請求項５にも同様の拒絶理由が存する。　
・理由　３，４(新規性，進歩性）
・請求項　６〜１０
・引用文献　２
　請求項６において「フィルターユニットにマイクロレンズを形成するステップ」という記載を，フィルターユニット「の一部」にマイクロレンズを形成すると解した場合には，請求項６に係る発明は，引用文献２に記載された発明又は引用文献２に記載された発明に基づいて容易に発明された場合に当たる。
　すなわち，引用文献２には，受光部１０９（請求項６において「感知層」に対応）上にカラーフィルター１０４（請求項６において「フィルターユニット」に対応）を形成する工程とを形成するステップと，選択的重合法等（特に，【００２１】を参照）により光ビームをカラーフィルター１０４に出射し，前記カラーフィルターの表面の一部の所望の位置に屈折率分布領域（特に，【００３７】を参照。請求項６において「勾配屈折率」に対応）を形成する工程と，前記カラ−フィルター１０４にマイクロレンズとしての機能を有する屈折率分布領域を形成するステップと，を含む固体撮像装置（請求項６において「イメージセンサ」に対応）の製造方法，が開示されている。
＜拒絶の理由を発見しない請求項＞
　請求項１，３，４に係る発明については，現時点では，拒絶の理由を発見しない。拒絶の理由が新たに発見された場合には拒絶の理由が通知される。
　　　　　　　　　　　引　用　文　献　等　一　覧
１．特開２００６−２３７１２２号公報
２．特開２００３−２０９２３１号公報（原査定の引用文献Ｂ）
第４　本願発明
　本願請求項１ないし９に係る発明（以下，「本願発明１」ないし「本願発明９」という。）は，平成３０年１月３０日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明であり，以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　感知層と，
　前記感知層上に配置されたフィルターユニットと，
　前記フィルターユニット上に配置されたマイクロレンズと，を含み，
　前記フィルターユニットは，勾配屈折率を有し，
　前記勾配屈折率は，前記フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心垂直軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少するイメージセンサ。
　【請求項２】
　感知層と，
　前記感知層上に配置されたフィルターユニットと，
　前記フィルターユニット上に配置されたマイクロレンズと，を含み，
　前記フィルターユニットは，勾配屈折率を有し，
　前記フィルターユニットは，前記感知層上に配置された底面を有し，且つ前記底面に相対し，前記マイクロレンズに接続された上面を有し，
　前記フィルターユニットは，複数の積層材料を含み，前記複数の積層材料のうち最下層の前記積層材料を除く前記各積層材料は，前記各積層材料のうち，下方の前記積層材料の屈折率より小さい屈折率を有するイメージセンサ。
　【請求項３】
　前記積層材料の下方に配置されたバンプ形状の材料を更に含み，前記積層材料の形状は，バンプ形状の材料の輪郭に対応する請求項２に記載のイメージセンサ。
　【請求項４】
　前記勾配屈折率は，約１.４〜約１.９の範囲にあり，前記勾配屈折率は，最大値と最小値を有し，前記最大値と前記最小値との差は，約０.０７〜約０.５の範囲にある請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載のイメージセンサ。
　【請求項５】
　感知層上にフィルターユニットを形成するステップと，
　光ビームを前記フィルターユニットに出射し，前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少する勾配屈折率を持たせるステップと，
　前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップと，を含むイメージセンサの製造方法。
　【請求項６】
　前記光ビームは，マスクを経由して前記フィルターユニットに出射され，前記マスクは，前記フィルターユニットの中心領域に対応する孔を有する請求項５に記載のイメージセンサの製造方法。
　【請求項７】
　感知層上にフィルターユニットを形成するステップと，
　光ビームを前記フィルターユニットに均一に出射し，前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの底面から前記フィルターユニットの上面に増加する勾配屈折率を持たせるステップと，
　前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップと，を含み，前記フィルターユニットの底面は，前記感知層上に配置されるイメージセンサの製造方法。
　【請求項８】
　感知層上に複数の材料を積層して，フィルターユニットを形成するステップと，
　前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップと，を含み，
　積層された複数の前記材料のうち最下層の前記材料を除く前記各材料は，複数の前記材料のうち，下方の前記材料の屈折率より小さい屈折率を有するイメージセンサの製造方法。
　【請求項９】
　前記材料の下方に配置されたバンプ形状の材料を更に含み，前記材料の形状は，バンプ形状の材料の輪郭に対応し，前記材料は，湾曲形状，または多角形輪郭を有する請求項８に記載のイメージセンサの製造方法。」
第５　引用文献，引用発明等
１　引用文献１について
（１）引用文献１の記載事項
　当審拒絶理由通知で引用された，特開２００６−２３７１２２号公報には，図面とともに，次の記載がある。（下線は当審において付加した。以下同じ。）
ア「【００６２】
図１は，本発明の実施形態に係る固体撮像装置の断面構成を模式的に示す図である。図１には，光電変換素子３個に相当する範囲が示されている。
【００６３】
図１に示すように，本発明の
固体撮像装置１００
複数の光電変換素子１０３
【００６４】
また，Ｐウェル１０２及び光電変換素子１０３を覆うゲート絶縁膜１０４を備え，ゲート絶縁膜１０４上における光電変換素子１０３の間の領域に，転送電極１０５を備えている。転送電極１０５は，例えば多結晶シリコンからなるが，特に限定しない。
【００６５】
また，転送電極１０５を覆う層間絶縁膜１０６を備え，更に層間絶縁膜１０６を覆うように形成された遮光膜１０７を備えている。また，光電変換素子１０３上及び遮光膜１０７上を覆うように，表面保護膜１０８が形成されている。ここで，遮光膜１０７は例えばタングステン等によって形成されており，また，表面保護膜１０８は例えばＳｉＯＮ等によって形成されている。
【００６６】
また，転送電極１０５，層間絶縁膜１０６及び遮光膜１０７は，ゲート絶縁膜１０４上において，光電変換素子１０３を取り囲む平面形状を有するように形成されているため，光電変換素子１０３上には凹部が構成されている。該凹部を埋め込むように，ゲート絶縁膜１０４を介して
光電変換素子１０３上には染料内添型カラーフィルタ層１０９が形成されている。更に，染料内添型カラーフィルタ層１０９上には，顔料分散型カラーフィルター層１１０が形成され，二層の積層構造をとる積層カラーフィルターとなっている
【００６７】
ここで，染料内添型カラーフィルタ層１０９は，緑色染料内添型カラーフィルタ層１０９Ｇ，青色染料内添型カラーフィルタ層１０９Ｂ及び赤色染料内添型カラーフィルタ層１０９Ｒからなっており，個々の光電変換素子１０３に対して所定の色の染料内添型カラーフィルタ層が備えられている。
【００６８】
また，顔料分散型カラーフィルタ層１１０は，緑色顔料分散型カラーフィルタ層１１０Ｇ，青色顔料分散型カラーフィルタ層１１０Ｂ及び赤色顔料分散型カラーフィルタ層１１０Ｒからなっている。これらは，それぞれ下層の染料内添型カラーフィルタ層１０９の色と同一の色となっている。
【００６９】
また，表面保護膜１０８及び顔料分散型カラーフィルタ層１１０を覆う透明平坦化膜が備えられ，表面を平坦化している。更に，表面保護膜１０８上に，それぞれの光電変換素子１０３に対してマイクロレンズ１１２が備えられ，集光効率が高められている。
【００７０】
以上に説明したように，固体撮像装置１００において，積層カラーフィルタは，染料内添型カラーフィルタ層１０９の上に顔料分散型カラーフィルタ層１１０が積層された構造を有する。このため，分光特性に優れ且つ染料が粒子状ではないために黒色欠陥が少ないという染料内添型カラーフィルタ層の利点が利用できる。これと共に，耐久性（例えば耐光性，耐熱性及び耐薬品性等）には劣るという染料内添型カラーフィルタ層の欠点について，耐久性に優れる顔料分散型カラーフィルタ層が積層されていることにより，改善されている。
【００７１】
更に，
顔料分散型カラーフィルタ層１１０はマイクロレンズ１１２に近い位置に形成されている
【００７２】
また，顔料分散型のカラーフィルタ層に比べて表面保護膜に対する密着性の良い染料内添型カラーフィルタ層１０９を表面保護膜１０８上に形成することにより，表面保護膜１０８上に備えられている必要があった透明平坦化膜は不要である。このため，固体撮像装置１００においては，光電変換素子１０３上に直接カラーフィルタ層を形成することができる。
【００７３】
この結果，光電変換素子１０３からマイクロレンズ１１２までの距離が短くなる。言い換えると，光電変換素子１０３とマイクロレンズ１１２との間の層が薄膜化する。
【００７４】
また，先に説明したように，転送電極１０５等によって光電変換素子１０３上に形成される凹部に対してカラーフィルタ層を埋め込むことができる。このため，カラーフィルタ層を容易に寸法精度良く形成することができる。
【００７５】
これらのことから，光感度を向上し，斜め入射光に対する隣接画素からの混色を防止し，感度バラツキ，ライン濃淡及び色ムラを低減することができる。更に，入射角度依存性についても改善する。
【００７６】
また，
染料内添型カラーフィルタ層１０９の屈折率を顔料分散型カラーフィルタ層１１０の屈折率よりも小さくする
【００７７】
図２は，本実施形態の固体撮像装置１００におけるマイクロレンズ１１２の外周端付近（光電変換素子１０３よりも外側）に入射した入射光１５１が通過する経路を示している。
【００７８】
まず，マイクロレンズ１１２，透明平坦化膜１１１，顔料分散型カラーフィルタ層１１０及び染料内添型カラーフィルタ層１０９の屈折率が，それぞれ前記のような関係を有している場合を考える。この場合，入射光は実線に示す経路を通って光電変換素子１０３に至る。
【００７９】
まず，マイクロレンズ１１２により，入射光１５１は光電変換素子１０３の内側方向に屈折する。次に，屈折率がマイクロレンズ１１２＞透明平坦化膜１１１であるため，マイクロレンズ１１２と透明平坦化膜１１１との界面において，入射光は光電変換素子１０３の内側方向に屈折する。同様に，
屈折率は顔料分散型カラーフィルタ層１１０＞染料内添型カラーフィルタ層１０９
【００８０】
また，屈折率が透明平坦化膜１１１＜顔料分散型カラーフィルタ層１１０であることから，透明平坦化膜１１１と顔料分散型カラーフィルタ層１１０との界面においては，入射光は，光電変換素子１０３に対する入射角が小さくなる方向に屈折する。この結果，積層カラーフィルタ（顔料分散型カラーフィルタ層１１０及び染料内添型カラーフィルタ層１０９）内を通過する経路が短くなり，積層カラーフィルタ中で吸収される光の量が小さく
なる。この結果，光電変換素子１０３に集光される光量が大きくなる。以上のような経路を，図２において，実線によって示した。
【００８１】
これに対し，屈折率が透明平坦化膜１１１＞顔料分散型カラーフィルタ層１１０である（他は本実施形態と同じ関係である）場合を，図２に破線によって示している。この場合，透明平坦化膜１１１と顔料分散型カラーフィルタ層１１０との界面においても入射光は光電変換素子の内側方向に屈折する。このような経路は，マイクロレンズ１１２の外周端付近に対する入射光を光電変換素子１０３に集光する効果には優れているが，積層カラーフィルタ内を通過する経路が本実施形態の場合よりも長くなる。このため，積層カラーフィルタ内において吸収される光量が大きくなり，結果として本実施形態よりも集光される光量は小さくなる。
【００８２】
以上のように，マイクロレンズ１１２等の屈折率が，本実施形態のような関係を有している場合に，マイクロレンズ１１２の外周端により近い位置からも集光が可能であると共に積層カラーフィルタ中において光が吸収される量をより小さくすることができ，光電変換素子１０３に対して集光される光の量を総合的に大きくすることができる。
【００８３】
以上の結果，本実施形態の固体撮像装置１００を用いると，高画質の画像を撮像することができる。」
イ　図２には，以下の事項が記載されていると認められる。
　光電変換素子１０３と，光電変換素子１０３上に配置された染料内添型カラーフィルタ層１０９と，染料内添型カラーフィルタ層１０９上に配置された顔料分散型カラーフィルタ層１１０と，マイクロレンズ１１２を備えた，固体撮像素子。
（２）引用発明１
　引用文献１には，以下の発明（以下，「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
　「光電変換素子１０３と，光電変換素子１０３上に配置された染料内添型カラーフィルタ層１０９と，染料内添型カラーフィルタ層１０９上に配置された顔料分散型カラーフィルタ層１１０と，マイクロレンズ１１２を備え，屈折率は顔料分散型カラーフィルタ層１１０＞染料内添型カラーフィルタ層１０９である固体撮像素子。」
２　引用文献２について
（１）引用文献２の記載事項
　当審拒絶理由通知及び原査定で引用された，特開２００３−２０９２３１号公報には，図面とともに，次の記載がある。
ア「【０００５】
マイクロレンズは通常，個々の受光部に対応して設けられている。マイクロレンズの形成方法としてはフォトリソグラフィー法を用いる方法が一般的である。この方法は，開口部上面を透明樹脂によって平坦化した後に，マイクロレンズとなる感光性樹脂をフォトリソグラフィー法によって各受光部に対応するように島状に形成し，加熱することによって島状の樹脂を軟化させ，その表面張力によって球面化して曲面状のマイクロレンズを形成するものである
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし，
このように形成されるマイクロレンズは，受光部上にカラーフィルターや平坦化層を形成し，それらの上に形成されなければならないためにマイクロレンズと受光部との距離を短縮することが難しく，このことはマイクロレンズの開口数をあげる上で大きな制約になっていた。
イ「【００１３】
本発明に係る固体撮像装置は，受光部と，該受光部上に設けられたカラーフィルターと，マイクロレンズとを少なくとも有し
カラーフィルターに屈折率が拡がって変化する屈折率分布を形成することによって前記マイクロレンズが形成されている
ウ「【００１５】（実施形態１）図１は実施形態１の模式的断面図を示す。図１において，１１０は反射防止膜，１０２は表面平坦化層１０３の表面，１０３は表面平坦化層を示す。表面平坦化層１０３は受光部（光電変換素子）１０９の光入射側に形成され，低屈折率樹脂で形成されている。表面平坦化層１０３には受光部１０９に対応するように屈折率分布領域１０３ａが形成されている。１０３ｂは低屈折率樹脂領域である。
屈折率分布領域１０３ａは表面平坦化層１０３の上部側から下部側に向け拡がりながら，屈折率が次第に減少する構成となっている。
エ「【００２１】本実施形態では
屈折率分布型領域の形成方法として拡散重合法を用いている
オ「【００２８】（実施形態３）次に，実施形態３について図２を用いて詳細に説明する。図２は実施形態３の模式的断面図を示す。１１０は反射防止膜，１０１はカラーフィルターの表面，１０４はカラーフィルターである。カラーフィルター１０４は受光部（光電変換素子）１０９の光入射側に形成され，低屈折率樹脂で形成されている。
カラーフィルター１０４には受光部１０９に対応するように屈折率分布領域１０４ａが形成されている
【００２９】
屈折率分布領域１０４ａは表面平坦化層１０４の上部側から下部側に向け拡がりながら，屈折率が次第に減少する構成
【００３０】図２では，各領域に境界があるような図示になっているが，実際にはこれらの領域に明確な境界はない。また，屈折率分布領域１０４ａはカラーフィルター１０４の内部に形成されているので，その表面は略平面になっている。
【００３１】１０５は層内平坦化層，１０６は遮光膜，１０７は層間絶縁層，１０８は配線，１０９は受光部を示す。本実施形態では，カラーフィルター１０４上に表面平坦化層１０３がない構成になっている。
【００３２】以下，本実施形態の製造方法について説明する。まず，
シリコン等のを材料とするウェハに受光部１０９，配線１０８，層間絶縁層１０７，遮光層１０６，層内平坦化層１０５を形成する。
ついで，カラーフィルター１０４を形成する。
【００３３】
カラーフィルター１０４の形成後，前述の拡散重合法によりカラーフィルター１０４の表面の所望の位置に屈折率分布領域を形成する
カ　図２には，以下の事項が記載されていると認められる。
　カラーフィルター１０４に，カラーフィルター１０４の中心垂直軸に対し，対称をなし，中心軸からカラーフィルター１０４の側壁に徐々に減少し，かつカラーフィルター１０４の上部側から下部側に向け拡がりながら，屈折率が次第に減少する勾配屈折率を形成すること。
（２）引用発明２
　引用文献２には，以下の発明（以下，「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
　「ウェハに受光部１０９，配線１０８，層間絶縁層１０７，遮光層１０６，層内平坦化層１０５を形成し，ついで，カラーフィルター１０４を形成し，カラーフィルター１０４の形成後，拡散重合法によりカラーフィルター１０４の表面の所望の位置に屈折率分布領域を形成し，カラーフィルター１０４に，カラーフィルター１０４の中心垂直軸に対し，対称をなし，中心軸からカラーフィルター１０４の側壁に徐々に減少し，かつカラーフィルター１０４の上部側から下部側に向け拡がりながら，屈折率が次第に減少する勾配屈折率を形成する，カラーフィルタ１０４にマイクロレンズを形成する工程を含む固体撮像装置の製造方法。」
３　引用文献Ａについて
　原査定で引用された，特開平１１−２８４１５８号公報には，図面とともに，次の記載がある。
「【００２２】
【発明の実施の形態】本発明の固体撮像素子は，
基板上に，光電変換をなす受光センサ部と
受光センサ部に入射光を集光させるために必要な曲率の凸部が形成された層内カラーフィルターを有し，層内カラーフィルター上に，マイクロレンズを有するものとし，この層内カラーフィルターは，入射光を受光センサに集光する層内レンズと，カラーフィルターの双方の機能を有する
【００２３】以下，本発明の固体撮像素子の一例について説明するが，本発明は，以下の例に限定されるものではない。図１に本発明の
固体撮像素子１０
シリコンよりなる基板１１上には，光電変換を行う多数の受光センサ部１２が配列形成されている
【００２４】絶縁膜１６上には，電荷転送部１４のほぼ直上位置に，例えばポリシリコンからなる転送電極１７が形成されており，さらに転送電極１７とは一部が重なり合う状態で他の転送電極（図示せず）が形成されている。これらの転送電極１７の表面上，すなわちその上面および側面上には，転送電極１７を覆い，さらに転送電極１７間に臨む受光センサ部１２上の絶縁膜１６を覆って，層間絶縁膜１８が形成されている。
【００２５】この層間絶縁膜１８上には，転送電極１７を覆った状態で，例えば，タングステン（Ｗ）等の高融点金属により遮光膜１９が形成されている。この遮光膜１９は，スミアを抑えるため受光センサ部１２の直上にまで張り出してなる張出部１９ａが形成されてなり，受光センサ部１２の直上に上記張出部１９ａで囲った状態に開口部２０が形成されたものである。
【００２６】この遮光膜１９上には，遮光膜１９および開口部２０に臨む層間絶縁膜１８を覆って，例えばＢＰＳＧ（ボロン・リン・シリケートガラス）よりなる層間膜２１が形成されている。この層間膜２１は，リフロー処理されることにより，転送電極１７間の受光センサ部１２上に，凹部２１ａが形成される。この凹部２１ａは所要の曲率に調整されて加工される。この層間膜２１上には，その表面を覆って，例えばＳｉＮ膜や，ＳｉＯＮ膜をプラズマＣＶＤ法により成膜することにより，パッシベーション膜２２が形成されている。
【００２７】パッシベーション膜２２の上には，例えば色素含有光硬化性樹脂を層間膜２１の凹部２１ａを埋め込んだ状態に所定のパターンに成膜して，
層内カラーフィルター２４が形成されている
この層内カラーフィルター２４は，図１４に示して説明した従来の固体撮像素子における層内レンズの役割も兼ねている
（中略）
【００３１】この
層内カラーフィルター２４の上には，透明樹脂等よりなる凸型のマイクロレンズ２７が形成されている
（中略）
【００４４】
　図１に示す固体撮像素子１０においては，入射光Ｌがマイクロレンズ２７により集光され，さらに層内カラーフィルター２４に入射する。この
層内カラーフィルター２４は，層内レンズの役割を有する
（中略）
【００５０】
【発明の効果】
本発明の固体撮像素子においては，層内レンズと，カラーフィルターの双方の機能を有し，これらの役割を兼ねた層内カラーフィルターのみを形成した構造とした
【００５１】また，受光センサ部からマイクロレンズの配置面までの距離を小さくすることができるため，マイクロレンズの曲率を小さく選定することができた。これにより，マイクロレンズで集光した光Ｌが，カラーフィルターの端部で蹴られることを回避することができ，画質の向上が図られた。
【００５２】本発明の固体撮像素子の製造方法によれば，
層内レンズとカラーフィルターを別々に作製することを必要とせず，層内カラーフィルターを形成すれば足りるので，固体撮像素子の製造工程の簡略化を図ることことができた
４　引用文献Ｃについて
　原査定で引用された，特開２０１０−２１２３０６号公報には，図面とともに，次の記載がある。
「【０１２３】
［分布屈折率レンズ］
　次に，
固体撮像装置１０２に形成される分布屈折率レンズ３０７
【０１２４】
　図５は，実施の形態１に係る固体撮像装置１０２に形成される分布屈折率レンズの上面図である。図６は，その分布屈折率レンズの断面図である。
【０１２５】
　分布屈折率レンズ３０７の同心円構造は，図６のように，膜厚が１．２μｍ（ｔ１）と０．８μｍ（ｔ２）の２段同心円構造の酸化珪素（ｎ＝１．４５）によって構成されている。なお，以下，上段（光入射側）の膜厚をｔ３（ｔ１―ｔ２）と下段（基板側）の膜厚をｔ２と記載する。また，この上段／下段で構成される２段同心円構造を，上段／下段光透過膜と定義している。
【０１２６】
　図５において，膜厚が１．２μｍ（ｔ１）の部分はハッチング１０で示し，膜厚０．８μｍ（ｔ２）の部分はドットパターン１１で示している。なお，膜厚が０μｍの部分はパターンなし１２で示している。また，本実施の形態に係る分布屈折率レンズ３０７は，酸化珪素を同心円形状に掘り込んだ構造であり，周りの媒質は空気（ｎ＝１）である。
【０１２７】
　ここで，分布屈折率レンズ３０７を形成する領域は，各画素の開口（入射窓）が四角形状であることに合わせて四角形状としている。一般に，入射窓の領域が円形の場合，レンズとレンズの間に隙間ができるため，漏れ光が発生し，集光ロスが増大する原因となる。
しかしながら，入射窓の領域を四角形状とすると，画素の全領域で入射光を集光することができるので，漏れ光は無くなり，集光ロスを低減させることが可能となる。
【０１２８】
　また，
一般的な分布屈折率レンズでは，その屈折率は光学中心で最も高くなる
【０１２９】
　図７は，各ゾーン領域における２段同心円構造を形成する６つの基本構造を示す図である。
図７（ａ）〜図７（ｆ）では，各ゾーン領域における２段同心円構造を形成する高屈折率材料と低屈折率材料との体積比の基本パターンを示している
（中略）
【０１３２】
　なお，本実施の形態では，分りやすく説明するために，図７（ａ）〜図７（ｆ）のような基本構造を例として説明したが，その他の構造を用いて２段同心円構造を形成しても勿論よい。例えば，
図７（ｂ）と図７（ｃ）とを組み合わせた凸形状の構造
５　引用文献Ｄについて
　原査定で引用された，特開平２−３１０５０１号公報には，図面とともに，次の記載がある。
「まず，第１図の斜視図に示すように，
屈折率Ｎ
１
の重合体を形成する単量体（単量体混合物を含む）を室温〜１００℃の条件で一部重合させてゲル基板１を作製した後
透明ゲル基板１の片面に拡散防止用マスクとなる無機，有機の薄板又は膜２を密着する。次に，複数個の円形，または，楕円形を除く他のすべての部分が遮光されたフォトマスク３をゲル基板の他方の面に付着させて光照射，特に，取り扱い易さや経済性を考慮して好ましくは紫外線照射を行い，ゲル基板中に選択的に重合を進めた部分４を形成する
この透明ゲル基板をＮ
１
よりも低屈折率Ｎ
２
の重合体を形成する単量体５に室温〜１００℃の条件で一定時間浸漬させ，低屈折率単量体の拡散処理を行う（ｄ）
その後，加熱，または，光照射によって屈折率分布形状を固定化させ（ｅ）
拡散防止用の無機・有機の薄板，又は，膜を取り除き，光学研磨を行う（ｆ）
両者の拡散状態の差を利用することによって，紫外線照射部，すなわち，選択的に重合が進んだ部分に第２図に示すような屈折率分布形状８をもつレンズ体６が基板にアレー状に形成されるため，屈折率分布壁の平板マイクロレンズアレー７を得ることができる
（中略）
〔発明の効果〕
　
本発明によれば，合成樹脂平板レンズアレーを一体化して製造することができるため，平板レンズをアレー化する工程が不要となり，安価で，光学特性のばらつきの小さなレンズアレーを得ることができる。さらに，各平板レンズ径を，フォトマスクを通して光照射によって精度良く規定できること
６　引用文献Ｅについて
　原査定で引用された，特開昭５８−２２０１０６号公報には，図面とともに，次の記載がある。
「この発明は上述の事情に対処すべくなされたもので，
カラー撮像用の固体撮像装置
（中略）
　次に，第４図（ａ）〜（ｄ）を参照してこの製造方法を説明する。
基板１０に光電変換素子１２，その他の撮像素子としての必要素子が形成された後に，第４図（ａ）に示すように，酸化膜１９上に透光性基板２２，フォトレジスト３０が貼付される。そして，各フィルタに対応する開口（ここでは水平方向に長い長方形）を有するマスクを介してフォトレジスト３０が露光される。ここで，マスクの各開口の中心が各光電変換素子１２の中心と一致するように，マスクと撮像装置が位置合せされる。これにより，同図（ｂ）に示すように，フィルタ（凹部）に対応する部分のフォトレジストが除去される。次に，この残されたフォトレジストをマスクとして，フィルタに対応する部分にレーザービームを照射する。ここで，フィルタに対応する部分は長方形の平面形状を有するので，レーザビームはシリンドリカルレンズ等によって楕円ビームとして照射される
基板２２の表面領域に球面状の凹部が形成される。そして，同図（ｄ）に示すように，表面に残されたフォトレジスト３０を除去し，凹部に色素を含む高屈折率の透光性部材２４，２６，２８を充填する。
この実施例では，透光性基板２２の各凹部は多少の間隙があけられて設けられているが，各凹部を密接して設ければ，なお開口率が向上する。
（中略）
　以上説明したようにこの発明によれば，複雑な調整を必要とせずに開口率を向上した固体撮像装置を提供することができる。」（第２頁左上欄１行〜第３頁右上欄１７行）
７　引用文献Ｆについて
　原査定で引用された，特開２００９−２６７６３７号公報には，図面とともに，次の記載がある。
「【００４７】
　図１に示す本実施の形態の固体撮像素子は，例えば，次のようにして製造することができる。
　まず，
シリコン基板１，絶縁層２，配線層３，オンチップレンズ４の各層を，図９Ａに示したオンチップフィルタを導入していない従来の構成と同様に形成
　次に，オンチップレンズ４の上に，透明な埋め込み層５を形成する。このとき，透明な埋め込み層５の上面に，オンチップレンズ４の上面の曲面形状が反映されるように，埋め込み層５の厚さを選定する。
　続いて，
埋め込み層５の上に，オンチップフィルタ１０の多層膜を形成する。即ち，２つの膜１０Ａ，１０Ｂを交互に積層
　その後，フォトリソグラフィ法により，カラー画素（Ｒ，Ｇ，Ｂ画素）を含む全域画素（Ａ画素）以外の部分をマスクで覆って，全域画素（Ａ画素）のオンチップフィルタ１０を選択的にエッチングする。このエッチングは，標準的なドライエッチング技術又はウエットエッチング技術により，容易に行うことができる。このとき，エッチングの条件を選定することによって，全域画素（Ａ画素）のオンチップフィルタ１０を除去して形成される穴の側壁面を所望の傾斜角の斜面に形成することが可能である。
次に，
全域画素（Ａ画素）のオンチップフィルタ１０を除去して形成された穴を埋めて，全面的に，周囲のオンチップフィルタ１０とは屈折率が異なる適切な材料による埋め込み層１２を形成する
　次に，この埋め込み層１２の表面を平坦化する。その後，その平坦面上に，カラー画素（Ｒ，Ｇ，Ｂ画素）において，対応する色のカラーフィルタ６を形成する。また，全域画素（Ａ画素）においては，カラーフィルタ６の代わりに，透明な絶縁層７を形成する。
次に，各画素に，オンチップレンズ８を形成する。
　このようにして，図１に示した
固体撮像素子を製造
第６　対比・判断
１　サポート要件・明確性要件について
　請求項５において，「前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少する勾配屈折率を持たせるステップ」と記載されたことによって，勾配屈折率の条件が記載されていないというサポート要件違反は解消した。
　また，請求項８を独立請求項として，「積層された複数の前記材料のうち最下層の前記材料を除く前記各材料は，複数の前記材料のうち，下方の前記材料の屈折率より小さい屈折率を有する」とすることにより，「光ビームを前記フィルターユニットに均一に出射し，前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの底面から前記フィルターユニットの上面に増加する勾配屈折率を持たせるステップ」を有する発明との混在が解消され，サポート要件違反及び明確性要件違反は解消した。
　さらに，請求項５ないし９において「フィルターユニット上にマイクロレンズを形成する」ことが明確となり，明確性要件違反は解消した。
２　新規性・進歩性について
　平成３０年１月３０日付けの手続補正により，新規性・進歩性の拒絶理由の対象となった「イメージセンサ」に関する請求項２及び請求項２を引用する請求項５に係る発明は削除されたので，「イメージセンサの製造方法」に関する本願発明５ないし９について検討する。
（１）本願発明５について
　ア　対比
　本願発明５と，引用発明２とを対比する。
（ア）引用発明２の「受光部１０９」，「固体撮像装置」は，本願発明５の「感知層」，「イメージセンサ」に相当する。
  
（イ）引用発明２の「受光部１０９〜を形成し，ついで，カラーフィルター１０４を形成」する工程は，本願発明５の「感知層上にフィルターユニットを形成するステップ」に相当する。
（ウ）引用発明２の「拡散重合法」とは，引用文献Ｄに開示されているように「屈折率Ｎ１の重合体を形成する単量体（単量体混合物を含む）を室温〜１００℃の条件で一部重合させてゲル基板１を作製した後（ａ），透明ゲル基板１の片面に拡散防止用マスクとなる無機，有機の薄板又は膜２を密着する。次に，複数個の円形，または，楕円形を除く他のすべての部分が遮光されたフォトマスク３をゲル基板の他方の面に付着させて光照射，特に，取り扱い易さや経済性を考慮して好ましくは紫外線照射を行い，ゲル基板中に選択的に重合を進めた部分４を形成する（ｃ）。」「この透明ゲル基板をＮ１よりも低屈折率Ｎ２の重合体を形成する単量体５に室温〜１００℃の条件で一定時間浸漬させ，低屈折率単量体の拡散処理を行う（ｄ）。その後，加熱，または，光照射によって屈折率分布形状を固定化させ（ｅ）拡散防止用の無機・有機の薄板，又は，膜を取り除き，光学研磨を行う（ｆ）」，換言すると，「両者の拡散状態の差を利用することによって，紫外線照射部，すなわち，選択的に重合が進んだ部分に」「屈折率分布形状８をもつレンズ体６が基板にアレー状に形成される」という，屈折率分布を形成する対象物に光照射を行って屈折率分布を形成する技術である。
　また，引用発明２において「カラーフィルター１０４の中心垂直軸に対し，対称をなし，前記中心軸からカラーフィルター１０４の側壁に徐々に減少」する「勾配屈折率」は，本願発明５の「前記フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少する勾配屈折率」に相当する。
　したがって，引用発明２の「拡散重合法によりカラーフィルター１０４の表面の所望の位置に屈折率分布領域を形成し，カラーフィルター１０４に，カラーフィルター１０４の中心垂直軸に対し，対称をなし，中心軸からカラーフィルター１０４の側壁に徐々に減少する勾配屈折率を形成する」工程は，後記相違点２を除き，本願発明５の「光を前記フィルターユニットに出射し，前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少する勾配屈折率を持たせるステップ」の点で共通する。
　そうすると，本願発明５と引用発明２とは以下の（エ）の点で一致し，（オ）の点で相違する。
（エ）一致点
　感知層上にフィルターユニットを形成するステップと，
　光を前記フィルターユニットに出射し，前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの中心垂直軸に対し対称をなし，前記中心軸から前記フィルターユニットの側壁に徐々に減少する勾配屈折率を持たせるステップと，
　を含むイメージセンサの製造方法。
（オ）相違点
　相違点１
　本願発明５では，「前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップ」を有するのに対して，引用発明２では，当該ステップを有しない点。
　相違点２
　本願発明５では，「光ビームをフィルターユニットに出射」するのに対して，引用発明２では，光を出射をするが「光ビーム」ではない点。
　イ　相違点についての判断
　相違点１について判断する。
　引用発明２は，「マイクロレンズは通常，個々の受光部に対応して設けられている。マイクロレンズの形成方法としてはフォトリソグラフィー法を用いる方法が一般的である。この方法は，開口部上面を透明樹脂によって平坦化した後に，マイクロレンズとなる感光性樹脂をフォトリソグラフィー法によって各受光部に対応するように島状に形成し，加熱することによって島状の樹脂を軟化させ，その表面張力によって球面化して曲面状のマイクロレンズを形成するものである。しかし，このように形成されるマイクロレンズは，受光部上にカラーフィルターや平坦化層を形成し，それらの上に形成されなければならないためにマイクロレンズと受光部との距離を短縮することが難しく，このことはマイクロレンズの開口数をあげる上で大きな制約になっていた。」という技術的課題に対して（前記第５の２（１）ア，段落【０００５】，【０００６】を参照），「本発明に係る固体撮像装置は，受光部と，該受光部上に設けられたカラーフィルターと，マイクロレンズとを少なくとも有し，前記マイクロレンズの表面が気相に接するように構成された固体撮像装置において，前記カラーフィルターに屈折率が拡がって変化する屈折率分布を形成することによって前記マイクロレンズが形成されていることを特徴とする。」という解決手段を提供するものである（前記第５の２（１）イ，段落【００１３】を参照）。
　引用発明２では，当該技術的課題と解決手段から，マイクロレンズが提供する屈折率を利用した集光機能を，カラーフィルターに勾配屈折率を設けたマイクロレンズを形成することにより解決する技術的思想が認められる。そうすると，カラーフィルターに勾配屈折率を備えたマイクロレンズを有するイメージセンサに対して，さらにマイクロレンズを形成する工程を加えることは，その動機付けが認められない。
　本願発明５は，当該相違点に関する工程を有することにより，イメージセンサの感度は勾配屈折率を有するフィルターユニットによって向上される。このためイメージセンサで生成された画像信号は，特に低照度環境で向上されるという有利な効果を奏する（本願明細書の段落【０００９】参照）。
　したがって，本願発明５は，引用文献２に記載された発明ではなく，また，引用文献２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない。
（２）本願発明６について
　本願発明６は本願発明５を引用する発明であるところ，本願発明５が，引用文献２に記載された発明ではなく，また引用文献２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない以上，本願発明５をさらに限定する本願発明６は，引用文献２に記載された発明ではなく，また引用文献２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない。
（３）本願発明７について
　ア　対比
　本願発明７と引用発明２とを対比する。
（ア）本願発明における「感知層」について，本願明細書の段落【００１４】には，「感知層１０は，漏れ防止層（ａｎｔｉ−ｌｅａｋａｇｅ ｌａｙｅｒ），反射防止層（ａｎｔｉ−ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ），および／または他の任意の層（図示されていない）を更に含む。」と記載されていることから，引用発明２の「遮光層１０６，配線１０８，層間絶縁層１０７，層内平坦化層１０５」は，「他の任意の層」に含まれる。
　したがって，引用発明２の「ウェハに受光部１０９，配線１０８，層間絶縁層１０７，遮光層１０６，層内平坦化層１０５を形成し，ついでカラーフィルター１０４を形成」する工程は，本願発明の「感知層上にフィルターユニットを形成するステップ」に相当する。
　また，引用発明２において「受光部１０９，遮光層１０６，配線１０８，層間絶縁層１０７，層内平坦化層１０５を形成し，ついで，カラーフィルター１０４を形成し」ていることから，カラーフィルター１０４の底面は，「受光部１０９，遮光層１０６，配線１０８，層間絶縁層１０７，層内平坦化層１０５」上に配置されているので，本願発明７の「フィルターユニットの底面は，感知層上に配置される」点を満たす。　
（イ）引用発明２の，「カラーフィルター１０４の上部側から下部側に向け拡がりながら，屈折率が次第に減少する勾配屈折率を形成する」点は，下部側からみれば屈折率が次第に増加することになるので，本願発明７の「前記フィルターユニットの底面から前記フィルターユニットの上面に増加する勾配屈折率を持たせる」ことに相当する。
　その他，前記（１）アを参照すると，本願発明７と引用発明２とは以下の（ウ）の点で一致し，（エ）の点で相違する。
（ウ）一致点
　感知層上にフィルターユニットを形成するステップと，
　光をフィルターユニットに出射し，前記フィルターユニットに，前記フィルターユニットの底面から前記フィルターユニットの上面に増加する勾配屈折率を持たせるステップと，を含み，前記フィルターユニットの底面は，前記感知層上に配置されるイメージセンサの製造方法。
（エ）相違点
　相違点１
　本願発明７では，「前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップ」を有するのに対して，引用発明２では，当該ステップを有しない点。
　相違点２
　本願発明７では，「光ビームをフィルターユニットに均一に出射」するのに対して，引用発明２では，光を出射をするが「光ビーム」ではなく，また均一である点について明示されていない点。
　イ　相違点についての判断
　相違点１について検討する。
　相違点１は，引用発明５における相違点１と同様である。
　したがって，他の相違点について検討するまでもなく，前記（１）イと同様の理由により，本願発明７は，引用文献２に記載された発明ではなく，また，引用文献２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない。
（４）本願発明８について
　ア　対比
　本願発明８と引用発明２とを対比すると，以下の（ア）の点で一致し，（イ）の点で相違する。
（ア）一致点
　イメージセンサの製造方法。
（イ）相違点
　相違点１
　本願発明８では，「感知層上に複数の材料を積層して，フィルターユニットを形成するステップ」を有するのに対して，引用発明２では，そうではない点。
　相違点２
　本願発明８では，「フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップ」を有するのに対して，引用発明２では，当該ステップを有しない点。　
　相違点３　
　本願発明８では，「積層された複数の前記材料のうち最下層の前記材料を除く前記各材料は，複数の前記材料のうち，下方の前記材料の屈折率より小さい屈折率を有する」のに対して，引用発明２では，カラーフィルター１０４における勾配屈折率は，上部側から下部側に向け拡がりながら，屈折率が次第に減少する点。
　イ　相違点についての判断
　相違点２について検討する。
　相違点２は，本願発明５における相違点１と同様である。
　したがって，他の相違点について検討するまでもなく，前記（１）イと同様の理由により，本願発明８は，引用文献２に記載された発明ではなく，また，引用文献２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない。
（５）本願発明９について
　本願発明９は本願発明８を引用する発明であるところ，本願発明８が，引用文献２に記載された発明ではなく，また引用文献２に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとは認められない以上，本願発明８をさらに限定する本願発明９は，引用文献２に記載された発明ではなく，また引用文献２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない。
第７　原査定について
　平成２９年４月１７日付け及び平成３０年１月３０日付けの手続補正により，本願発明１ないし４は「フィルターユニット上に配置されたマイクロレンズと」「フィルターユニットは勾配屈折率を有」する構成に加えて勾配屈折率の状態を追加することにより，前記追加部分を技術的事項に含む「イメージセンサ」の発明となった。
　また，本願発明５ないし７は，「フィルターユニットに」「勾配屈折率を持たせるステップ」「前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップ」に，勾配屈折率の状態を追加することにより，前記追加部分を技術的事項に含む「イメージセンサの製造方法」の発明となった。
　さらに，本願発明８ないし９は，「複数の材料を積層してフィルターユニットを形成するステップと」，「積層された複数の材料のうち最下層の材料を除く前記各材料は，複数の前記材料のうち，下方の前記材料の屈折率より小さい屈折率を有」し，「前記フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップを有する点」とすることにより，積層材料により所望の屈折率の状態を形成視，フィルターユニット上にマイクロレンズを形成するステップを技術的事項に含む「イメージセンサの製造方法」の発明となった。
　当該各技術的事項は，引用文献ＡないしＦに記載されておらず，本願優先日前における周知技術でもないので，本願発明１ないし９は，当業者であっても，引用文献ＡないしＦに記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　したがって，原査定の理由を維持することはできない。
第８　結言
　以上のとおりであるから，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。