(57)【要約】  ２００℃を超える高温条件下においても使用することができるヒータ内蔵バルブを提供する。  ピストン駆動手段7は、ピストン6を下方に移動させるための上側圧縮空気導入室24と、ピストン6を上方に移動させるための下側圧縮空気導入室25とを有している。ピストンシール手段8は、上側圧縮空気導入室24をシールする上側ベローズ29と、下側圧縮空気導入室25をシールする下側ベローズ30とを有している。
2008120788.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路が設けられた弁箱と、弁箱上部に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体を上下移動させる弁棒と、ケーシング内に上下移動可能に配されて弁棒に固定されたピストンと、ピストンを上下移動させるピストン駆動手段と、弁体近傍を加熱する加熱手段と、ピストンとケーシングとの間をシールするシール手段とを備えているヒータ内蔵バルブにおいて、
ピストン駆動手段は、ピストンを下方に移動させるための上側圧縮空気導入室と、ピストンを上方に移動させるための下側圧縮空気導入室とを有し、シール手段は、上側圧縮空気導入室をシールする上側ベローズと、下側圧縮空気導入室をシールする下側ベローズとを有していることを特徴とするヒータ内蔵バルブ。
【請求項２】
ピストンは、下端部にフランジ部を有する大径部と、これの下方に連なる小径部とよりなり、ケーシングに、大径ピストン収容部およびこれよりも小径の小径ピストン収容部が設けられており、上側ベローズは、ケーシングの頂壁とピストン大径部のフランジ部との間に設けられており、下側ベローズは、上側ベローズよりも小径とされて、ピストン小径部上端部と小径ピストン収容部下端部との間に設けられている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【請求項３】
ピストンは、上端部にフランジ部を有する軸部と、軸部のフランジ部に上端部が固定され下端部にフランジ部を有する外筒部とよりなり、上側ベローズは、ピストン外筒部のフランジ部とこれに対向するケーシングの頂部との間に設けられており、下側ベローズは、ピストン軸部のフランジ部とこれに対向するようにケーシングに設けられたベローズ受け部との間に設けられている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【請求項４】
ピストンは、大径筒部と、これの下方に連なる小径筒部とよりなり、ピストン大径筒部の内側に、上端がピストン大径筒部の上端よりも上方にある第１の上側ベローズが、ピストン大径筒部の外側に、上端がピストン大径筒部の上端よりも上方にある第２の上側ベローズがそれぞれ配されて、各ベローズの上端部を支持するベローズ受け部がケーシングの上部に設けられることで、ピストン大径筒部の上端面、ケーシングの上部、第１の上側ベローズおよび第２の上側ベローズによって上側圧縮空気導入室が形成され、ピストン小径筒部の外側に下側ベローズが配されて、その下端部を支持するベローズ受け部がケーシングの周壁に設けられることで、ケーシングの周壁、第２の上側ベローズ、ピストン大径筒部の下端部および下側ベローズによって下側圧縮空気導入室が形成されている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【請求項５】
弁棒が中空状とされるとともに、その内部に加熱手段のヒータおよびセンサが配置されており、加熱手段のリード線が弁棒の上端開口から引き出されて、ケーシングの頂壁から取り出されている請求項４のヒータ内蔵バルブ。
【請求項６】
加熱手段のリード線が挿通される貫通孔がケーシングに設けられて、この貫通孔の周縁部に、加熱手段のリード線を外部に取り出すための継手が取り付けられており、継手は、上側圧縮空気導入室および下側圧縮空気導入室に配管を接続するための継手と同じ構成のものとされている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【請求項７】
加熱手段のリード線を外部に取り出すための継手は、貫通孔周縁部に固定された第１スリーブと、第１スリーブに回転可能に嵌められた袋ナットと、第１スリーブにガスケットを介して突き合わされた第２スリーブと、第２スリーブに嵌められて袋ナットにねじ合わされるおねじ部材とを有している請求項６のヒータ内蔵バルブ。
【請求項８】
摺動部に特殊コーティングが施されている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【請求項９】
特殊コーティングは、無電解メッキ処理によるコーティングである請求項８に記載のヒータ内蔵バルブ。
【請求項１０】
無電解メッキ層は、ニッケル−リン系、コバルト−リン系、ニッケル−リン−タングステン系、ニッケル−ボロン系およびニッケル−ボロン−タングステン系のいずれかからなる請求項９に記載のヒータ内蔵バルブ。
【請求項１１】
加熱手段は、弁棒に取り付けられてこれとともに移動可能とされているヒータを有しており、ヒータの下端面が弁体に当接させられている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【請求項１２】
加熱手段は、ケーシングに固定されたヒータ保持部材に取り付けられて、弁棒の移動に伴って移動しないヒータを有しており、弁棒が上方に移動した開位置においてヒータの下端面が弁体に当接させられている請求項１のヒータ内蔵バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ヒータ内蔵バルブに関し、特に、２００℃を超えるような高温条件で使用されるヒータ内蔵バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
ヒータ内蔵バルブとして、特許文献１には、流体通路が設けられた弁箱と、弁箱上部に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体を上下移動させる弁棒と、ケーシング内に上下移動可能に配されて弁棒に固定されたピストンと、ピストンを上下移動させるピストン駆動手段と、弁体近傍を加熱するヒータとを備えているものが開示されている。ヒータは、バルブに流されるガスが固形化することを防止するためのもので、１３０〜１５０℃に加熱するものとなっている。
【特許文献１】特開平７−１９８０６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１のヒータ内蔵バルブは、１３０〜１５０℃に加熱するものであり、２００℃を超えるような高温（例えば４５０℃）には耐えられないという問題があった。【０００４】
この発明の目的は、２００℃を超える高温条件下においても使用することができるヒータ内蔵バルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明によるヒータ内蔵バルブは、流体通路が設けられた弁箱と、弁箱上部に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体を上下移動させる弁棒と、ケーシング内に上下移動可能に配されて弁棒に固定されたピストンと、ピストンを上下移動させるピストン駆動手段と、弁体近傍を加熱する加熱手段と、ピストンとケーシングとの間をシールするシール手段とを備えているヒータ内蔵バルブにおいて、ピストン駆動手段は、ピストンを下方に移動させるための上側圧縮空気導入室と、ピストンを上方に移動させるための下側圧縮空気導入室とを有し、シール手段は、上側圧縮空気導入室をシールする上側ベローズと、下側圧縮空気導入室をシールする下側ベローズとを有していることを特徴とするものである。【０００６】
加熱手段は、ヒータ、ＴＣ（サーモセンサ）などからなるものとされ、ヒータとしては、例えば、電熱線が金属製の管に入れられたカートリッジヒータが適しているが、ファイバーグラス材に電熱線が織り込まれたテープヒータであってもよく、その他、シースヒータ、マイクロヒータ、プレートヒータなどの種々のタイプのヒータを使用することができる。ヒータとともに、温度制御用のセンサ（ＴＣ）もバルブに内蔵される。【０００７】
ピストンは、圧縮空気が上側圧縮空気導入室内に導入されることで、下方に移動させられ、圧縮空気が下側圧縮空気導入室に導入されることで、上方に移動させられ、このように上下両方向を圧縮空気による作動とすることで、特性が温度に依存しかつ耐熱性に不安がある材料からなるコイルばねなどが不要となる。また、ばねを使用した場合には、バルブを開にするときに、ばねがセット長から縮んでセット長時の荷重より大きな荷重が必要になり、これに応じて、下向きの力を大きくすることが必要となるのに対し、その必要がないので、バルブの小型化が可能となる。これに加えて、上側圧縮空気導入室および下側圧縮空気導入室をいずれもベローズでシールすることにより、耐熱性に不安があるＯリングが不要となる。こうして、２００℃以上（例えば４５０℃程度）の高温使用に耐えるヒータ内蔵バルブが得られる。【０００８】
ベローズは、金属製とされ、例えば、ステンレス鋼やコバルト系合金、ニッケル系合金、銅基合金等により形成される。ベローズとしては、金属素材で筒を作り、その内側から圧力をかけて外径となる山を成型した成型ベローズや、精密に波付きプレスしたディスク状の薄肉金属板を、内縁・外縁を交互に溶接しながらつなぎ合わせて製作される溶接ベローズなどが適宜使用される。【０００９】
ピストンは、下端部にフランジ部を有する大径部と、これの下方に連なる小径部とよりなり、ケーシングに、大径ピストン収容部およびこれよりも小径の小径ピストン収容部が設けられており、上側ベローズは、ケーシングの頂壁とピストン大径部のフランジ部との間に設けられており、下側ベローズは、上側ベローズよりも小径とされて、ピストン小径部上端部と小径ピストン収容部下端部との間に設けられていることがある。【００１０】
このようにすると、上側圧縮空気導入室に面しているピストンの面積は、下側圧縮空気導入室に面しているピストンの面積よりも大きく、かつ、下側圧縮空気導入室の容積は、上側圧縮空気導入室の容積よりも小さくなる。上側のベローズは、内外両側から圧力を受け、これに対し、下側のベローズは、圧力を受けるのは外側からのみで、弁棒のシール機能のみを有していればよいので、下側のベローズを小さくすることにより、アクチュエータ（ピストン、ピストン駆動手段およびピストンシール手段を含む部分）の小型化が可能となる。【００１１】
また、ピストンは、上端部にフランジ部を有する軸部と、軸部のフランジ部に上端部が固定され下端部にフランジ部を有する外筒部とよりなり、上側ベローズは、ピストン外筒部のフランジ部とこれに対向するケーシングの頂部との間に設けられており、下側ベローズは、ピストン軸部のフランジ部とこれに対向するようにケーシングに設けられたベローズ受け部との間に設けられていることがある。【００１２】
この構成においても、上側圧縮空気導入室に面しているピストンの面積は、下側圧縮空気導入室に面しているピストンの面積よりも大きく、かつ、下側圧縮空気導入室の容積は、上側圧縮空気導入室の容積よりも小さくなる。したがって、上側のベローズは、内外両側から圧力を受け、これに対し、下側のベローズは、圧力を受けるのは外側からのみで、弁棒のシール機能のみを有していればよいので、下側のベローズを小さくすることにより、アクチュエータ（ピストン、ピストン駆動手段およびピストンシール手段を含む部分）の小型化が可能となる。しかも、このようにすると、下側ベローズの下端面を上側ベローズの下端面よりも若干下方に位置させて、上側ベローズと下側ベローズとを上下ほぼ同位置に配置することが可能となり、上側ベローズおよび下側ベローズを収容するための上下方向寸法についても小形化が可能となる。【００１３】
また、ピストンは、大径筒部と、これの下方に連なる小径筒部とよりなり、ピストン大径筒部の内側に、上端がピストン大径筒部の上端よりも上方にある第１の上側ベローズが、ピストン大径筒部の外側に、上端がピストン大径筒部の上端よりも上方にある第２の上側ベローズがそれぞれ配されて、各ベローズの上端部を支持するベローズ受け部がケーシングの上部に設けられることで、ピストン大径筒部の上端面、ケーシングの上部、第１の上側ベローズおよび第２の上側ベローズによって上側圧縮空気導入室が形成され、ピストン小径筒部の外側に下側ベローズが配されて、その下端部を支持するベローズ受け部がケーシングの周壁に設けられることで、ケーシングの周壁、第２の上側ベローズ、ピストン大径筒部の下端部および下側ベローズによって下側圧縮空気導入室が形成されていることがある。この場合に、弁棒が中空状とされるとともに、その内部に加熱手段のヒータおよびセンサが配置されており、加熱手段のリード線が弁棒の上端開口から引き出されて、ケーシングの頂壁から取り出されていることが好ましい。【００１４】
加熱手段のリード線が弁棒の上端開口から引き出されて、ケーシングの頂壁から取り出されているようにすることで、加熱手段が弁棒とともに上下移動した場合の加熱手段のリード線への負担が軽減される。【００１５】
上側圧縮空気導入室および下側圧縮空気導入室の圧縮空気導入口には、継手が取り付けられ、この継手は、貫通孔周縁部に固定された第１スリーブと、第１スリーブに回転可能に嵌められた袋ナットと、第１スリーブにガスケットを介して突き合わされた第２スリーブと、第２スリーブに嵌められて袋ナットにねじ合わされるおねじ部材とを有していることが好ましい。【００１６】
この継手の構成は、ヒータ内蔵バルブが真空雰囲気（例えば真空炉）中に配置される場合により好ましいものとなる。このような真空雰囲気での使用においては、パーティクル等が真空雰囲気に出ることを防止する必要があり、金属製ガスケットを塑性変形させてシールする構成の継手を使用することにより、ヒータ内蔵バルブ内部雰囲気のシールを確実なものとし、ヒータ内蔵バルブ内部において発生したパーティクル等をこの継手を使用した配管によって外部へ排出することにより、パーティクル等が真空雰囲気に出ることが防止される。【００１７】
同様の理由から、加熱手段（ヒータ、ＴＣなど）のリード線が挿通される貫通孔がケーシングに設けられて、この貫通孔の周縁部に、加熱手段のリード線を外部に取り出すための継手が取り付けられており、継手は、貫通孔周縁部に固定された第１スリーブと、第１スリーブに回転可能に嵌められた袋ナットと、第１スリーブにガスケットを介して突き合わされた第２スリーブと、第２スリーブに嵌められて袋ナットにねじ合わされるおねじ部材とを有していることが好ましい。ヒータおよびリード線等からは、昇温によりガス等が発生してこれが真空雰囲気に出ることがあり得るので、金属製ガスケットを塑性変形させてシールする信頼性の高い継手により配管（ＳＵＳ製配管）して、このようなガス等を外部へ排出することにより、ヒータを内蔵したことに伴う真空雰囲気の汚染が確実に防止される。【００１８】
いずれにしろ、加熱手段のリード線が挿通される貫通孔がケーシングに設けられて、この貫通孔の周縁部に、加熱手段のリード線を外部に取り出すための継手が取り付けられることが好ましく、この場合に、加熱手段用の継手は、上側圧縮空気導入室および下側圧縮空気導入室に配管を接続するための継手と同じ構成のものとされることが好ましい。このようにすることで、加熱手段のリード線を外部に取り出すことが容易となるとともに、部品の共通化が可能となる。【００１９】
ヒータは、弁棒に取り付けられてこれとともに移動可能とされてもよく、また、ヒータは、ケーシングに固定されたヒータ保持部材に取り付けられて、弁棒の移動に伴って移動しないようになされてもよい。前者の場合には、ヒータの下端面が弁体に当接させられていることが好ましく、後者の場合、弁棒が上方に移動した開位置においてヒータの下端面が弁体に当接させられていることが好ましい。【００２０】
また、この発明によるヒータ内蔵バルブにおいて、アクチュエータの摺動部に、潤滑性向上のためのコーティングが施されていることが好ましい。アクチュエータの摺動部には、通常、潤滑のためのグリースが塗布されているが、一般的なグリースでは、２００℃くらいになると油分が蒸発し、この後は、Ｎｉの粉等でアクチュエータの摺動部の動作を維持している。油分が蒸発しにくいフッ素系のグリースでも最高使用温度（例えば３６０℃くらい）で長期間使用していると、成分が徐々に蒸発する傾向がある。このようなグリースの油分の蒸発は、潤滑機能の低下および真空炉内の汚染の原因となり、特殊コーティングによって摺動性を向上させることで、グリースをなくすことができ、これにより、潤滑機能の低下および真空炉内の汚染という問題を解消することができる。コーティングする部分は、弁棒全面とされることが好ましく、これにより、弁棒とケーシング、弁体などとの接触部における潤滑効果が確保される。【００２１】
摺動部に施されるコーティングは、無電解メッキ処理によるコーティングであることが好ましい。ここで、メッキ層は、例えば、ニッケル−リン系、コバルト−リン系などとされる。ニッケル−リン系は、耐食性およびコストに優れ、コバルト−リン系は、かじりに対して優れている。メッキ層としては、このほか、ニッケル−リン−タングステン系、ニッケル−ボロン系、ニッケル−ボロン−タングステン系などが耐熱性に優れているので適している。
【発明の効果】
【００２２】
この発明のヒータ内蔵バルブによると、ピストン駆動手段は、ピストンを下方に移動させるための上側圧縮空気導入室と、ピストンを上方に移動させるための下側圧縮空気導入室とを有し、シール手段は、上側圧縮空気導入室をシールする上側ベローズと、下側圧縮空気導入室をシールする下側ベローズとを有しているものとすることにより、付勢部材としてのコイルばねおよびシール部材としてのＯリングを使用しないヒータ内蔵バルブが実現され、この結果、２００℃を超える高温条件下においても使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】この発明によるヒータ内蔵バルブの第１実施形態を示す断面図である。
【図２】この発明によるヒータ内蔵バルブの第２実施形態を示す断面図である。
【図３】この発明によるヒータ内蔵バルブの第３実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
(1)       ヒータ内蔵バルブ
(2)       弁箱
(2a)      流体流入通路（流体通路）
(2b)      流体流出通路（流体通路）
(3)       ケーシング
(4)       弁棒
(5)       弁体
(6)       ピストン
(7)       ピストン駆動手段
(8)       ピストンシール手段
(10)      加熱手段
(12)      ケーシング頂壁
(14)      大径ピストン収容部
(16)      小径ピストン収容部
(17)      大径部
(18)      小径部
(19)      フランジ部
(24)      上側圧縮空気導入室
(25)      下側圧縮空気導入室
(29)      上側ベローズ
(30)      下側ベローズ
(37)      カートリッジヒータ
(38)      ヒータリード線
(39)      貫通孔
(40)      継手
(41)      第１スリーブ
(42)      袋ナット
(45)      第２スリーブ
(46)      おねじ部材
(61)      軸部
(61a)     フランジ部
(62)      外筒部
(62a)     フランジ部
(63a)     環状内方突出部（ベローズ受け部）
(64)      上側ベローズ
(65)      下側ベローズ
(66)      カートリッジヒータ
(67)      ヒータ保持リング（ヒータ保持部材）
(68)      ヒータリード線
(71)      ピストン大径筒部
(72)      ピストン小径筒部
(76)      第１上側ベローズ
(77)      第２上側ベローズ
(78)      下側ベローズ
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下および左右は、各図の上下および左右をいうものとする。【００２６】
この発明によるヒータ内蔵バルブ(1)の第１実施形態は、図１に示すように、流体流入通路(2a)および流体流出通路(2b)が設けられた弁箱(2)と、弁箱(2)上端部に固定されたケーシング(3)と、弁箱(2)上部に上下移動自在に挿通されて上部がケーシング(3)内にある弁棒(4)と、弁棒(4)下端部に吊り下げ支持されて弁棒(4)の上下移動に伴って流体流入通路(2a)を開閉する弁体(5)と、弁棒(4)上端部に固定されたピストン(6)と、ピストン(6)を上下移動させるピストン駆動手段(7)と、ピストン(6)とケーシング(3)との間をシールするピストンシール手段(8)と、弁棒(4)と弁箱(2)内通路(2a)(2b)との間をシールする弁棒シール手段(9)と、弁体(5)近傍を加熱する加熱手段(10)とを備えている。【００２７】
ケーシング(3)は、頂壁(12)を有しかつ下向きに開口する筒状の上側ケーシング(11)と、上側ケーシング(11)と弁箱(2)との間に介在させられた筒状の下側ケーシング(13)とを有している。【００２８】
弁棒(4)全面には、ニッケル−リン系の無電解メッキが施されており、これにより、弁棒(4)とケーシング(3)との間、弁棒(4)と弁体(5)との間および弁棒(4)とピストン(6)との結合部(22)などにおける摺動性が確保されている。摺動性を確保するためには、従来、「ネバーシーズ」などのグリースが使用されているが、このようなグリースを使用すると、高温用のグリースであっても、その油分が蒸発して真空炉内を汚染するという問題がある。弁棒(4)全面に無電解メッキを施すことで、４５０℃以上においても摺動性が確保され、こうして、真空炉内の汚染原因となるグリースの使用が回避されている。【００２９】
ピストン(6)は、上側ケーシング(11)の上部内において上下移動する大径部(17)と、これの下方に連なり上側ケーシング(11)の下部内において上下移動する小径部(18)とよりなる。これに対応して、上側ケーシング(11)には、上側の大径ピストン収容部(14)と、これの下方に段差部(15)を介して連なる小径ピストン収容部(16)とが設けられている。【００３０】
ピストン大径部(17)は、下端にフランジ部(19)を有し、また、下面中央に凹部(20)を有している。ピストン小径部(18)は、ピストン大径部(17)の凹部(20)に嵌め入れられて固定されているフランジ部(21)を上端部に有している。ピストン小径部(18)の下端部には、弁棒(4)上端部を嵌め入れる係合凹部(22)が形成されており、弁棒(4)は、その上端部に設けられた係合凸部(23)が係合凹部(22)内に嵌め入れられていることで、ピストン小径部(18)に吊り下げ支持されている。【００３１】
ピストン駆動手段(7)は、外部から導入される圧縮空気によってピストン(6)を下方に移動させるための上側圧縮空気導入室(24)と、外部から導入される圧縮空気によってピストン(6)を上方に移動させるための下側圧縮空気導入室(25)とを有している。上側圧縮空気導入室(24)は、ピストン大径部(17)およびフランジ部(19)の各上面と上側ケーシング(11)の頂壁(12)との間に形成されている。上側ケーシング(11)の頂壁(12)中央部には、継手(26a)付の圧縮空気導入口(26)が設けられている。下側圧縮空気導入室(25)は、ピストン大径部(17)のフランジ部(19)の下面と上側ケーシング(11)の段差部(15)上面との間に形成されている。上側ケーシング(11)の大径ピストン収容部(14)周壁の下端部には、継手(27a)付の圧縮空気導入口(27)が設けられている。この圧縮空気導入口(27)から下側圧縮空気導入室(25)に圧縮空気が流入可能なように、ピストン大径部(17)のフランジ部(19)の外周面と上側ケーシング(11)の周壁との間には、圧縮空気通路とされる隙間(28)が形成されている。【００３２】
ピストン(6)は、下方移動時には、ピストン大径部(17)のフランジ部(19)が上側ケーシング(11)の段差部(15)に当接することで、これ以上の下方移動が防止されており、上方移動時には、ピストン大径部(17)の上面がケーシング頂壁(12)下面に当接することで、これ以上の上方移動が防止されている。【００３３】
ピストンシール手段(8)は、上側圧縮空気導入室(24)をシールする金属製上側ベローズ(29)と、下側圧縮空気導入室(25)をシールする金属製下側ベローズ(30)とを有している。上側ベローズ(29)は、ケーシング頂壁(12)の外周縁部下面とピストン大径部(17)のフランジ部(19)の上面とによって挟持されている。下側ベローズ(30)は、ピストン小径部(18)のフランジ部(21)の下面(21a)と下側ケーシング(13)の周壁上端部内周面に固定された上側固定リング（ベローズ受け部）(31)上面とによって挟持されている。上側ベローズ(29)は、上側圧縮空気導入室(24)から外向きの圧力を受けるとともに、下側圧縮空気導入室(25)から内向きの圧力を受ける。下側ベローズ(30)は、下側圧縮空気導入室(25)から内向きの圧力だけを受ける。したがって、下側ベローズ(30)は、上側ベローズ(29)よりも径を小さくすることができ、このようにすることで、バルブ(1)の小形化が図られている。【００３４】
弁棒シール手段(9)は、弁棒(4)よりも大径とされている弁体(5)の外周縁部と下側ケーシング(13)の周壁下端部内周面に固定された下側固定リング（ベローズ受け部）(32)下面とによって挟持されている金属製弁体側ベローズ(33)を有している。【００３５】
各ベローズ(29)(30)(33)は、固定リング(31)(32)や対応するピストン(6)の部分に溶接固定されており、固定リング(31)(32)とケーシング(3)との間などの要シール部分にはメタルガスケット(34)(35)(36)が設けられている。【００３６】
加熱手段(10)は、弁棒(4)の弁箱(2)内にある部分を取り囲むように配されて弁棒(4)とともに上下移動するカートリッジヒータ(37)と、カートリッジヒータ(37)のリード線およびＴＣ（サーモセンサ）のリード線などからなるヒータリード線(38)と、ヒータリード線(38)を外部に取り出すために下側ケーシング(13)の周壁に設けられた貫通孔(39)周縁部に取り付けられた継手(40)とを有している。【００３７】
この継手(40)は、ガス供給用の配管において管と管とを接続するために使用されるもので、貫通孔(39)周縁部に溶接により固定されたフランジ付き第１スリーブ(41)と、第１スリーブ(41)に回転可能に嵌められた袋ナット(42)と、第１スリーブ(41)の左端部（軸方向外側端部）に設けられたフランジと袋ナット(42)との間に介在されたスラストリング(43)と、第１スリーブ(41)にガスケット(44)を介して突き合わされたフランジ付き第２スリーブ(45)と、第２スリーブ(45)に嵌められて袋ナット(42)にねじ合わされるおねじ部材(46)とを有している。ヒータリード線(38)は、継手(40)内に挿通されて外部に取り出されている。こうして、流体が流れる管同士を接続する際に使用される継手(40)を利用して、加熱手段の配線が処理されている。【００３８】
カートリッジヒータ(37)の下端面は、弁体(5)に当接させられている。カートリッジヒータ(37)は、詳細な図示は省略するが、一端部を封じて他端部を開口した金属製の管と、管の内部に設けられたニクロム線等の電熱線およびマグネシウム粉末等の充填材と、電熱線に接続された電極線とを備えているもので、高出力であり、高温加熱が可能である。カートリッジヒータ は、例えば、温度コントロールによる電圧ＯＮ−ＯＦＦ制御により温度制御される。温度制御用のセンサとしては、例えば、白金薄膜温度センサやシース型Ｋタイプサーモカップルなどが使用される。【００３９】
圧縮空気導入口(26)(27)に設けられている継手(26a)(27a)は、加熱手段(10)においてヒータリード線(38)を外部に取り出すための継手(40)と同じものとされており、図示したフランジ付き第１スリーブ(47)(50)、袋ナット(48)(51)およびスラストリング(49)(52)からなる一方の継手構成部材に、図示省略したフランジ付き第２スリーブおよびおねじ部材からなる他方の継手構成部材がガスケット（図示略）を介して突き合わされることにより、ヒータ内蔵バルブ(1)が真空雰囲気（例えば真空炉）中に配置される場合に、パーティクル等が真空雰囲気に出ることが防止されている。【００４０】
この発明のヒータ内蔵バルブ(1)によると、上側ケーシング(11)の頂壁(12)に設けられた圧縮空気導入口(26)から上側圧縮空気導入室(24)内に圧縮空気を導入すると、ピストン(6)が下方に移動し、これに伴って、弁棒(4)も下方に移動する。この結果、図に示すように、弁体(5)が流体流入通路(2a)の上向きの開口を閉鎖する。そして、上側圧縮空気導入室(24)内への圧縮空気の導入を停止して排出可能とするとともに、上側ケーシング(11)の周壁に設けられた圧縮空気導入口(27)から下側圧縮空気導入室(25)内に圧縮空気を導入すると、ピストン(6)が上方に移動し、これに伴って、弁棒(4)も上方に移動する。この結果、弁体(5)が流体流入通路(2a)の上向きの開口から離れ、流体流入通路(2a)から導入された流体は、流体流出通路(2b)から排出される。【００４１】
上側圧縮空気導入室(24)からピストン(6)が下向きに受ける力は、面積が大きいピストン大径部(17)が圧縮空気の圧力を受けることから、相対的に大きくなっており、流体流入通路(2a)を閉鎖するための力が大きいものとなっている。また、下側圧縮空気導入室(25)の容積が上側圧縮空気導入室(24)の容積に比べて小さいことから、下側圧縮空気導入室(25)に圧縮空気が導入され場合には、上向きの力がすぐに生じるようになっており、弁棒(4)の上方への移動が素早いものとなっている。【００４２】
上記第１実施形態のヒータ内蔵バルブ(1)によると、ヒータ（カートリッジヒータ）(37)は、弁棒(4)に取り付けられており、したがって、弁棒(4)の上下に伴って、ヒータ(37)が移動するようになっている。ヒータ(37)は、必ずしも、移動する必要はなく、固定するようにしてもよい。また、ピストン(6)およびピストンシール手段(8)も上記のものに限定されるものではない。その一例を図２に示す。【００４３】
この発明によるヒータ内蔵バルブ(1)の第２実施形態は、図２に示すように、流体流入通路(2a)および流体流出通路(2b)が設けられた弁箱(2)と、弁箱(2)上端部に固定されたケーシング(3)と、弁箱(2)上部に上下移動自在に挿通されて上部がケーシング(3)内にある弁棒(4)と、弁棒(4)下端部に吊り下げ支持されて弁棒(4)の上下移動に伴って流体流入通路(2a)を開閉する弁体(5)と、弁棒(4)上端部に固定されたピストン(6)と、ピストン(6)を上下移動させるピストン駆動手段(7)と、ピストン(6)とケーシング(3)との間をシールするピストンシール手段(8)と、弁棒(4)と弁箱(2)内通路(2a)(2b)との間をシールする弁棒シール手段(9)と、弁体(5)近傍を加熱する加熱手段(10)とを備えている。【００４４】
ケーシング(3)は、頂壁(12)を有しかつ下向きに開口する筒状の上側ケーシング(11)と、上側ケーシング(11)と弁箱(2)との間に介在させられた筒状の下側ケーシング(13)とを有している。【００４５】
弁棒(4)全面には、ニッケル−リン系の無電解メッキが施されており、これにより、弁棒(4)とケーシング(3)との間、弁棒(4)と弁体(5)との間および弁棒(4)とピストン(6)との結合部などにおける摺動性が確保されている。したがって、第１実施形態のものと同様、グリースを使用することなく、４５０℃以上における摺動性が確保されている。【００４６】
ピストン(6)は、下端部が弁棒(4)の上端部と結合されて弁棒(4)とともに上下移動する軸部(61)と、軸部(61)と一体でかつ軸部(61)との間に下側ベローズ(65)の配置空間を有する外筒部(62)とよりなる。ピストン外筒部(62)と上側ケーシング(11)との間には、上側ベローズ(64)の配置空間が設けられている。ピストン軸部(61)の上端部には、フランジ部(61a)が設けられており、ピストン軸部(61)の上端面、フランジ部(61a)の上面および外筒部(62)の上端面が面一になるように、ピストン軸部(61)のフランジ部(61a)の外周縁部と外筒部(62)の上端部とが結合されている。外筒部(62)の下端部には、フランジ部(62a)が設けられている。ピストン軸部(61)の下端部には、弁棒(4)上端部を嵌め入れる係合凹部(22)が形成されており、弁棒(4)は、その上端部に設けられた係合凸部(23)が係合凹部(22)内に嵌め入れられていることで、ピストン軸部(61)に吊り下げ支持されている。【００４７】
ピストン駆動手段(7)は、外部から導入される圧縮空気によってピストン(6)を下方に移動させるための上側圧縮空気導入室(24)と、外部から導入される圧縮空気によってピストン(6)を上方に移動させるための下側圧縮空気導入室(25)とを有している。上側圧縮空気導入室(24)は、ピストン(6)の上面と上側ケーシング(11)の頂壁(12)との間に形成されている。上側ケーシング(11)の頂壁(12)には、継手(26a)付の圧縮空気導入口(26)が径方向にのびて設けられている。下側圧縮空気導入室(25)は、ピストン外筒部(62)のフランジ部(62a)の下面とこれに対向するように上側ケーシング(11)の下端部に設けられた内向きフランジ部(63)との間に形成されている。上側ケーシング(11)の周壁には、継手(27a)付の圧縮空気導入口(27)が設けられている。この圧縮空気導入口(27)から下側圧縮空気導入室(25)に圧縮空気が流入可能なように、ピストン外筒部(62)のフランジ部(62a)の外周面と上側ケーシング(11)の周壁との間には、圧縮空気通路とされる隙間(28)が形成されている。【００４８】
各圧縮空気導入口(26)(27)に設けられている各継手(26a)(27a)は、第１実施形態と同じ構成のものが使用されている。【００４９】
ピストン(6)は、下方移動時には、ピストン外筒部(62)の下端面が上側ケーシング(11)の内向きフランジ部(63)に当接することで、これ以上の下方移動が防止されており、上方移動時には、ピストン軸部(61)の上端面がケーシング頂壁(12)下面に当接することで、これ以上の上方移動が防止されている。【００５０】
ピストンシール手段(8)は、上側圧縮空気導入室(24)をシールする金属製上側ベローズ(64)と、下側圧縮空気導入室(25)をシールする金属製下側ベローズ(65)とを有している。上側ベローズ(64)は、ピストン外筒部(62)のフランジ部(62a)の上面とこれに対向するように設けられたケーシング頂壁(12)の下方突出部(12a)下面とによって挟持されている。下側ベローズ(65)は、ピストン軸部(61)のフランジ部(61a)下面とこれに対向するように上側ケーシング(11)の内向きフランジ部(63)に設けられた環状内方突出部（ベローズ受け部）(63a)上面とによって挟持されている。上側ベローズ(64)は、ピストン外筒部(62)と上側ケーシング(11)との間にあり、上側圧縮空気導入室(24)から外向きの圧力を受けるとともに、下側圧縮空気導入室(25)から内向きの圧力を受ける。下側ベローズ(65)は、ピストン軸部(61)とピストン外筒部(62)との間にあり、下側圧縮空気導入室(25)から内向きの圧力だけを受ける。したがって、下側ベローズ(65)は、上側ベローズ(64)よりも径を小さくすることができ、このようにすることで、バルブ(1)の小形化が図られている。また、第１実施形態のものでは、下側ベローズ(30)の上端面が上側ベローズ(29)の下端面よりも下方に位置させられているが、この実施形態のものでは、下側ベローズ(65)の下端面が上側ベローズ(64)の下端面よりも若干下方に位置させられているだけであり、上側ベローズ(64)および下側ベローズ(65)を収容するための上下方向寸法についても小形化が図られている。【００５１】
加熱手段(10)は、弁棒(4)下部を取り囲むように周方向等間隔で配された３本のカートリッジヒータ(66)と、３本のカートリッジヒータ(66)を保持して下側ケーシング(13)および弁箱(2)にまたがって固定されたヒータ保持リング（ヒータ保持部材）(67)と、カートリッジヒータ(66)のリード線(68a)およびＴＣ（サーモセンサ）のリード線(68b)などからなるヒータリード線(68)と、ヒータリード線(68)を外部に取り出すために下側ケーシング(13)の周壁に設けられた貫通孔(39)周縁部に取り付けられた継手(40)とを有している。【００５２】
ヒータ保持リング(67)は、大径部(69)およびその下端に連なり内径が大径部(69)と同じで外径が小さい小径部(70)からなる段付き状とされている。ヒータ保持リング(67)は、大径部(69)の上下の中間部分に設けられたフランジ部(69a)が下側ケーシング(13)の下端部と弁箱(2)の上端部との間に挟まれることで固定されており、その径方向中心部分には、上下移動する弁棒(4)を案内する弁棒挿通孔(67a)が設けられている。【００５３】
３本のカートリッジヒータ(66)は、直列接続とされており、耐熱温度が５００℃以上ある絶縁ビーズのリード線(68a)で外部電源と接続されている。ＴＣ（サーモセンサ）は、カートリッジヒータ(66)近傍に２本設置されており、２本のリード線(68b)で外部回路と接続されている。【００５４】
カートリッジヒータ(66)は、弁棒(4)が上方に移動した開位置においてヒータ(66)の下端面が弁体(5)に当接するように、その下端面位置が設定されている。【００５５】
継手(40)は、第１実施形態のものと同じ構成のものとされており、貫通孔(39)周縁部に溶接により固定されたフランジ付き第１スリーブ(41)と、第１スリーブ(41)に回転可能に嵌められた袋ナット(42)と、第１スリーブ(41)の軸方向外側端部に設けられたフランジと袋ナット(42)との間に介在されたスラストリング(43)とが下側ケーシング(13)に設けられている。そして、図１に示したように、外部側に設けられて第１スリーブ(41)にガスケット(44)を介して突き合わされたフランジ付き第２スリーブ(45)と、第２スリーブ(45)に嵌められて袋ナット(42)にねじ合わされるおねじ部材(46)とによって外部側と接続される。【００５６】
弁棒シール手段(9)は、弁棒(4)よりも大径とされている弁体(5)の外周縁部とヒータ保持リング(67)の大径部(69)の下端面とによって挟持されている金属製弁体側ベローズ(33)を有している。【００５７】
各ベローズ(33)(64)(65)は、溶接固定されており、要シール部分にはメタルガスケット(34)(35)(36)が設けられている。【００５８】
この発明のヒータ内蔵バルブ(1)によると、上側ケーシング(11)の頂壁(12)に設けられた圧縮空気導入口(26)から上側圧縮空気導入室(24)内に圧縮空気を導入すると、ピストン(6)が下方に移動し、これに伴って、弁棒(4)も下方に移動する。この結果、図に示すように、弁体(5)が流体流入通路(2a)の上向きの開口を閉鎖する。そして、上側圧縮空気導入室(24)内への圧縮空気の導入を停止して排出可能とするとともに、上側ケーシング(11)の周壁に設けられた圧縮空気導入口(27)から下側圧縮空気導入室(25)内に圧縮空気を導入すると、ピストン(6)が上方に移動し、これに伴って、弁棒(4)も上方に移動する。この結果、弁体(5)が流体流入通路(2a)の上向きの開口から離れ、流体流入通路(2a)から導入された流体は、流体流出通路(2b)から排出される。【００５９】
上側圧縮空気導入室(24)からピストン(6)が下向きに受ける力は、面積が大きいピストン(6)上面が圧縮空気の圧力を受けることから、相対的に大きくなっており、流体流入通路(2a)を閉鎖するための力が大きいものとなっている。また、下側圧縮空気導入室(25)の容積が上側圧縮空気導入室(24)の容積に比べて小さいことから、下側圧縮空気導入室(25)に圧縮空気が導入され場合には、上向きの力がすぐに生じるようになっており、弁棒(4)の上方への移動が素早いものとなっている。【００６０】
こうして、カートリッジヒータ(66)を弁棒(4)とともに上下移動させないタイプにおいても、２００℃を超える高温条件下で使用可能なものを得ることができる。【００６１】
図３は、第１実施形態と同様にヒータ（カートリッジヒータ）を弁棒(4)の上下に伴って上下移動させる実施形態（第３実施形態）を示している。【００６２】
この実施形態のヒータ内蔵バルブ(1)は、図３に示すように、流体流入通路(2a)および流体流出通路(2b)が設けられた弁箱(2)と、弁箱(2)上端部に固定されたケーシング(3)と、弁箱(2)上部に上下移動自在に挿通されて上部がケーシング(3)内にある弁棒(4)と、弁棒(4)下端部に吊り下げ支持されて弁棒(4)の上下移動に伴って流体流入通路(2a)を開閉する弁体(5)と、弁棒(4)上端部に固定されたピストン(6)と、ピストン(6)を上下移動させるピストン駆動手段(7)と、ピストン(6)とケーシング(3)との間をシールするピストンシール手段(8)と、弁棒(4)と弁箱(2)内通路(2a)(2b)との間をシールする弁棒シール手段(9)と、弁体(5)近傍を加熱する加熱手段(10)とを備えている。【００６３】
ケーシング(3)は、頂壁(12)を有しかつ下向きに開口する筒状の上側ケーシング(11)と、上側ケーシング(11)と弁箱(2)との間に介在させられた筒状の下側ケーシング(13)とを有している。【００６４】
弁棒(4)全面には、ニッケル−リン系の無電解メッキが施されており、これにより、弁棒(4)とケーシング(3)との間、弁棒(4)と弁体(5)との間および弁棒(4)とピストン(6)との結合部などにおける摺動性が確保されている。したがって、第１実施形態のものと同様、グリースを使用することなく、４５０℃以上における摺動性が確保されている。【００６５】
ピストン(6)は、下側ケーシング(13)の上部内において上下移動する大径筒部(71)と、これの下方に連なり下側ケーシング(13)の下部内において上下移動する小径筒部(72)とよりなる。これに対応して、下側ケーシング(13)には、上側の大径ピストン収容部(73)と、これの下方に段差部(74)を介して連なる小径ピストン収容部(75)とが設けられている。【００６６】
上側ケーシング(11)は、その内径がピストン大径筒部(71)の内径よりもわずかに小さいものとされており、この結果、上側ケーシング(11)の下面(11a)は、下側ケーシング(13)の段差部(74)に対向する環状の段差面となっている。これにより、上側ケーシング(11)の下面(11a)と下側ケーシング(13)の段差部(74)との間に、ピストン大径筒部(71)およびベローズ(77)の配置用空間が形成されている。【００６７】
ピストン駆動手段(7)は、外部から導入される圧縮空気によってピストン(6)を下方に移動させるための上側圧縮空気導入室(24)と、外部から導入される圧縮空気によってピストン(6)を上方に移動させるための下側圧縮空気導入室(25)とを有している。【００６８】
ピストンシール手段(8)は、上側圧縮空気導入室(24)をシールする第１および第２の金属製上側ベローズ(76)(77)と、下側圧縮空気導入室(25)をシールする金属製下側ベローズ(78)とを有している。【００６９】
ピストン大径筒部(71)の下端部には、第２の上側ベローズ(77)を受けるためのフランジ部(71a)が形成されている。ピストン小径筒部(72)の上端部には、フランジ部(72a)が設けられており、その外周縁部がピストン大径筒部(71)の下端部に固定されている。ピストン小径筒部(72)のフランジ部(72a)は、その上面によって第１の上側ベローズ(76)の下端部を受けるとともに、その下面によって下側ベローズ(78)の上端部を受けるベローズ受け部とされている。【００７０】
上側圧縮空気導入室(24)をシールする第１および第２の上側ベローズ(76)(77)は、相対的に小径の第１の上側ベローズ(76)がピストン大径筒部(71)の内側に、相対的に大径の第２の上側ベローズ(77)がピストン大径筒部(71)の外側にそれぞれ配されている。第１の上側ベローズ(76)は、ピストン大径筒部(71)の上端よりも上方位置においてその上端部が上側ケーシング(11)の内周に設けられた固定リング（ベローズ受け部）(79)に固定されているとともに、その下端部がピストン小径筒部(72)のフランジ部(72a)上面に固定されていることで、上側ケーシング(11)とピストン(6)との間に挟持されている。第２の上側ベローズ(77)は、ピストン大径筒部(71)の上端よりも上方位置においてその上端部がベローズ受け部を兼ねる上側ケーシング(11)の下面(11a)に固定されるとともに、その下端部がピストン大径筒部(71)のフランジ部(71a)に固定されていることで、上側ケーシング(11)とピストン(6)との間に挟持されている。【００７１】
こうして、上側ベローズ(76)(77)が２つ設けられているとともに、ピストン大径筒部(71)の上端面、上側ケーシング(11)、第１の上側ベローズ(76)および第２の上側ベローズ(77)によって環状の上側圧縮空気導入室(24)が形成されている。【００７２】
下側ベローズ(78)は、ピストン小径筒部(72)の外側に配されて、その上端部がピストン小径筒部(72)のフランジ部(72a)下面に固定されるとともに、その下端部が下側ケーシング(13)の下端部近くの周壁に設けられた固定リング（ベローズ受け部）(80)に固定されていることで、下側ケーシング(13)とピストン(6)との間に挟持されている。そして、下側ケーシング(13)の周壁、第２の上側ベローズ(77)、ピストン大径筒部(71)の下端部および下側ベローズ(78)によって下側圧縮空気導入室(25)が形成されている。【００７３】
上側ケーシング(11)の周壁には、継手(26a)付のＬ字状の圧縮空気導入口(26)が設けられている。圧縮空気導入口(26)は、継手(26a)が設けられている一端側が径方向外方に開口するとともに、他端開口が軸方向下向きにのびて、第２の上側ベローズ(77)よりも径方向内方において、上側ケーシング(11)の下面に開口している。下側ケーシング(13)の大径ピストン収容部(73)周壁の下端部には、継手(27a)付の圧縮空気導入口(27)が設けられている。この圧縮空気導入口(27)から下側圧縮空気導入室(25)に圧縮空気が流入可能なように、ピストン大径筒部(71)のフランジ部(71a)の外周面と下側ケーシング(13)の周壁との間には、圧縮空気通路とされる隙間(28)が形成されている。【００７４】
ピストン(6)は、下方移動時には、ピストン大径筒部(71)の下端面が下側ケーシング(13)の段差部(74)上面に当接することで、これ以上の下方移動が防止されており、上方移動時には、ピストン大径筒部(71)の上端面が上側ケーシング(11)の下面(11a)に当接することで、これ以上の上方移動が防止されている。【００７５】
弁棒シール手段(9)は、弁棒(4)よりも大径とされている弁体(5)の外周縁部と下側ケーシング(13)の周壁下端部内周面に固定された固定リング（ベローズ受け部）(32)下面とによって挟持されている金属製弁体側ベローズ(33)を有している。【００７６】
弁棒(4)は、弁体(5)を下端に有する下部筒状体(81)と、下部筒状体(81)の上端部内周に設けられているめねじ部にねじ合わされているおねじ部を下端部外周に有する上部筒状体(82)とからなり、上端が開口した中空状とされている。【００７７】
加熱手段(10)は、中空状とされた弁棒(4)内部に配されて弁棒(4)とともに上下移動するカートリッジヒータ(83)と、カートリッジヒータ(83)のリード線およびＴＣ（サーモセンサ）のリード線などからなるヒータリード線(84)と、ヒータリード線(84)を外部に取り出すためにケーシング頂壁(12)に設けられた貫通孔(85)周縁部に取り付けられた継手(40)とを有している。【００７８】
弁棒(4)の上部筒状体(82)は、下部筒状体(81)にねじ合わされることで、その先端がカートリッジヒータ(83)の上端に当接するようになされている。また、弁棒(4)の上部筒状体(82)の上端部には、フランジ部(82a)が設けられており、このフランジ部(82a)の下面がピストン小径筒部(72)のフランジ部(72a)の上面に設けられた段差面(72b)に当接している。上部筒状体(82)を下部筒状体(81)にねじ合わせることにより、ピストン小径筒部(72)が弁棒(4)の上部筒状体(82)のフランジ部(82a)下面と下部筒状体(81)の上端面との間に挟持され、こうして、芯ずれが起こりにくいようにして、下部筒状体(81)および上部筒状体(82)からなる弁棒(4)とピストン大径筒部(71)およびピストン小径筒部(72)からなるピストン(6)とが一体化されている。【００７９】
ヒータリード線(84)を外部に取り出すための継手(40)は、設置位置は異なるが第１実施形態のものと同じ構成のものとされており、貫通孔(39)周縁部に溶接により固定されたフランジ付き第１スリーブ(41)と、第１スリーブ(41)に回転可能に嵌められた袋ナット(42)と、第１スリーブ(41)の軸方向外側端部に設けられたフランジと袋ナット(42)との間に介在されたスラストリング(43)とがケーシング頂壁(12)に設けられている。そして、図１に示したように、外部側に設けられて第１スリーブ(41)にガスケット(44)を介して突き合わされたフランジ付き第２スリーブ(45)と、第２スリーブ(45)に嵌められて袋ナット(42)にねじ合わされるおねじ部材(46)とによって外部側と接続される。【００８０】
こうして、ヒータリード線(84)は、カートリッジヒータ(83)およびセンサから上方にのびて、そのまま上方に取り出されており、弁棒(4)が上下移動した際のヒータリード線(84)への負担が少ないものとなっている。【００８１】
各ベローズ(33)(76)(77)(78)は、溶接固定されており、要シール部分にはメタルガスケット(34)(35)(36)が設けられている。【００８２】
この発明のヒータ内蔵バルブ(1)によると、上側ケーシング(11)に設けられた圧縮空気導入口(26)から上側圧縮空気導入室(24)内に圧縮空気を導入すると、ピストン(6)が下方に移動し、これに伴って、弁棒(4)も下方に移動する。この結果、図に示すように、弁体(5)が流体流入通路(2a)の上向きの開口を閉鎖する。そして、上側圧縮空気導入室(24)内への圧縮空気の導入を停止して排出可能とするとともに、上側ケーシング(11)の周壁に設けられた圧縮空気導入口(27)から下側圧縮空気導入室(25)内に圧縮空気を導入すると、ピストン(6)が上方に移動し、これに伴って、弁棒(4)も上方に移動する。この結果、弁体(5)が流体流入通路(2a)の上向きの開口から離れ、流体流入通路(2a)から導入された流体は、流体流出通路(2b)から排出される。【００８３】
第３実施形態のヒータ内蔵バルブ(1)によると、第１実施形態と同様に、カートリッジヒータ(83)を弁棒(4)とともに上下移動させることが可能となり、この場合に課題となるヒータリード線(84)の処理において、ヒータリード線(84)が上方に取り出されていることで、第１実施形態のものに比べて、弁棒(4)が上下移動した際のヒータリード線(84)への負担が少ないものとされており、２００℃を超える高温条件下での使用により適したものとなっている。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
この発明によると、２００℃を超えるような高温には耐えられないという従来のヒータ内蔵バルブの問題が解消されるので、ヒータ内蔵バルブの適用範囲を大幅に拡大することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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