【事件の表示】
　特願２０１３−１７２３９１「走査型プローブ顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年　３月　２日出願公開、特開２０１５−　４０７８５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２５年８月２２日の出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２８年１月５日付け　：　拒絶理由通知（最初）
　平成２８年３月８日　 　 ：　意見書及び手続補正書の提出
　平成２８年８月１６日付け：　拒絶理由通知（最後）
　平成２８年１０月１７日　：　意見書及び手続補正書の提出
　平成２９年３月２８日付け：　平成２８年１０月１７日にされた手続補正
　　　　　　　　　　　　　　　についての補正の却下の決定及び拒絶査定
　平成２９年６月２７日　　：　審判請求書及び手続補正書の提出
　平成３０年４月１８日　　：　電話応対による審尋
　平成３０年４月２４日　　：　ＦＡＸによる回答書の提出
第２　原査定の概要
　平成２９年３月２８日付け拒絶査定（以下、「原査定」という。）の概要は次のとおりである。
　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　 記　　　
・請求項１−４
　引用文献１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
・請求項５−６
　引用文献１、２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
引用文献１.　国際公開第２０１２／０３３１３１号
引用文献２.　特開平８−９４６４３号公報
第３　本願発明の認定
　本願請求項１−６に係る発明は、平成２９年６月２７日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１−６に記載された事項により特定されるものであるところ、そのうちの請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
「　【請求項１】
　試料を搭載するステージと、
　前記試料の表面の走査領域を、接触した状態で走査して、前記試料の特性を測定するプローブと、
　前記試料の特性の測定中における前記プローブの走査軌道の少なくとも一部を直角又は鋭角に屈曲させるように前記プローブと前記ステージとを相対的に
方向転換
　前記走査軌道に含まれる隣接する測定軌道の間の距離が、前記測定軌道の幅以下であ
り、
　前記プローブは、方向転換の際に、前記走査軌道の外側に前記試料から生じた摩耗粉を取り残す
第４　引用文献の記載事項及び引用発明
１　引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、次の事項（（引１ａ）〜（引１ｃ））が記載されている。（下線は、当審で付したものである。）
（引１ａ）「　[0009]　上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。 　
走査型プローブ顕微鏡を用いて試料の表面を加工する加工装置
前記試料を載置するステージと、 　
前記試料の表面に対向して設けられるカンチレバーと、 　
前記カンチレバーの変位を測定する変位測定手段と、 　
前記カンチレバーと前記試料との相対位置を変化させながら、前記変位測定手段によりカンチレバーの変位を測定することにより、前記試料の表面性状画像を取得する表面性状画像取得手段と、 　
前記試料の表面と前記カンチレバーの先端に設けられた探針との間に、前記カンチレバーの系とは異なる系から外力を印加することにより、前記探針により前記試料の表面を加工する表面加工手段と、を有し、 　
前記表面性状画像取得手段による表面性状画像の取得と前記表面加工手段による表面加工とを交互に繰り返す、 ことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を用いた表面加工装置。」
（引１ｂ）「[0016]　本実施形態のシステム構成を図１に示す。
カンチレバー３は先端部に探針８を有しており、試料４の表面に探針８が接するようにカンチレバー３が配置される。
　[0017]　
試料４は、シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７に載置されていて、これらのスキャナによりＸＹＺ方向に移動可能になっている。
これらのスキャナは駆動回路１４により制御される。
　[0018]　試料４の下部には、探針８に外力を印加するための電極５が設けられている。カンチレバー３及び探針８は導電性を有するように構成されており、カンチレバー３と電極５との間に図２のように電圧を印加すると、試料４の表面と探針８との間に電界が生じる。この電界により、探針８に試料表面方向への静電力が生じ、この静電力を試料４の表面の加工のための押圧力として用いる。このようにすることにより、カンチレバー３のばね力を用いることなく試料４の表面の加工が可能となる。カンチレバー３と電極５との間の電圧を制御することにより、探針８の試料表面への押圧力を制御可能である。この制御は、外力印加回路１５により行われる。試料表面への押圧力の制御は、単純なＯＮ／ＯＦＦ制御でも良いし、探針８のＺ軸変位測定と後述の力覚操作を用いたフィードバック系により制御しても良い。試料表面への押圧力の印加は、直流的に印加しても良いし、交流的に印加しても良いし、タッピングしても良い。
　[0019] 　
ＡＦＭによる高速画像取得は、例えばコンタクトモードによる方法を用いる。
試料表面の高速走査は、シェア型スキャナ６によりＸ軸走査と、チューブスキャナ７によりＹ軸走査の組み合わせにより行われる。図６（ａ）に走査の軌跡の例を示す。
　[0020]　本システムはナノマニピュレータとして、人間の手に力を提示する力覚フィードバックデバイスであるハプティックデバイス１０(PHANTOM omni, SensAble Technologies)を、この高速ＡＦＭシステムに組み込んでいる。ハプティックデバイス１０はＰＣ１３と接続されており、ペン型のハンドルを動かすことでＡＦＭ探針８を試料４の表面の任意の場所に移動させ、その間カンチレバー３が検出した表面凹凸形状を感じることができる。これにより、高速画像取得と任意の位置の力覚操作の両方を可能とするシステムを実現する。
　[0021]　本システムでは高速ＡＦＭ用システムとして、例えば、図４に示すメモリ搭載のＡ／Ｄ・Ｄ／Ａ変換ボードを用いたデータ収集システムを用いる。Ａ／Ｄ変換の動作は、Ｄ／Ａ変換ボードからのクロック信号により走査信号と同期して同じタイミングで行われる。画素データは一旦Ａ／Ｄ変換ボードのメモリに格納され、その後、データ処理され、Ａ／Ｄ変換ボードのメモリに１フレーム分の画素データが溜まった後にまとめてＰＣに転送する。このシステムでは１フレームのデータごとにＰＣのＣＰＵにデータを転送するという方式をとっているので、従来の１点の画素ずつの処理方法に比べてＣＰＵのデータ処理回数が減り、大幅に時間を短縮することができる。
　[0022]　 
実際に本システムにより取得した高速ＡＦＭ画像の例を図５に示す。図はＤＶＤ表面の凹凸（ピット）を計測したものであり、（ａ）は高速ＡＦＭにより０．５秒で取得した画像を、（ｂ）は従来型のＡＦＭにより３００秒で取得した画像を示す。
　[0023]　続いて、図６及び図７により、高速ＡＦＭによる画像取得と力覚操作による表面加工とを組み合わせた本システムの動作について説明する。なお、説明を簡単化するために探針８やカンチレバー３が移動するように記載しているが、実際には試料４の方を移動させている。
本システムでは１つのカンチレバー３で（ａ）高速ＡＦＭモード（高速で試料表面の２次元画像を取得）と（ｂ）表面加工モード（加工対象２０に探針８を移動させ表面加工）とを交互に繰り返すことにより、２次元表面画像取得と表面加工とを行う。
　[0024] 図７のフローチャートにより本システムの動作を説明する。 まず、探針８の表面加工座標及び加工押圧力を初期化する（ステップ３１）。例えば、初期座標として表面加工座標が画面の中央位置に設定され、加工押圧力は０に設定される。 
続いて、高速ＡＦＭにより表面形状画像（２次元）の取得・表示を行う（ステップ３２）。試料４とカンチレバー３の相対位置を高速に移動させて、試料表面を２次元的に走査することにより表面形状画像（２次元）を取得する。
（引１ｃ）　図６（ａ）には、高速ＡＦＭにおける試料表面の走査の軌跡が記載されている。
　ここで、図６（ａ）から、高速ＡＦＭモードでの走査の軌跡が直角に曲がっていることが読みとれる。
　上記（引１ａ）〜（引１ｃ）より、上記引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認める。
「高速ＡＦＭモード（高速で試料表面の２次元画像を取得）と表面加工モード（加工対象２０に探針８を移動させ表面加工）とを交互に繰り返す走査型プローブ顕微鏡であって、
　カンチレバー３は先端部に探針８を有しており、試料４の表面に探針８が接するようにカンチレバー３が配置され、
　試料４は、シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７に載置されていて、これらのスキャナによりＸＹＺ方向に移動可能になっており、これらスキャナは駆動回路１４により制御され、
　高速ＡＦＭモードでは、コンタクトモードで、試料４とカンチレバー３の相対位置を高速に移動させて、走査の軌跡が直角に曲がるように、試料表面を２次元的に走査することにより表面形状画像（２次元）を取得する、走査型プローブ顕微鏡。」
第５　対比（一致点、相違点の認定）
１　本願発明における「測定軌道の幅」については、明細書等において用語の意味が説明されておらず、必ずしも明瞭とはいえない。そこで、平成３０年４月１８日に、当審において、「測定軌道の幅」の用語の意味について明らかにするよう、電話応対による審尋を行ったところ、出願人は平成３０年４月２４日にＦＡＸにて回答書を提出して、「２．「測定軌道の幅」は、プローブが試料の表面を走査しながらその試料の測定をしたときに、試料に形成される軌道の幅であり（［００４５］）、隣接する軌道が重複していない場合の軌道の幅を示します。」と釈明した。この釈明における、「プローブが試料の表面を走査しながらその試料の測定をしたときに、試料に形成される軌道の幅」とは、本願の明細書段落【００４８】の「測定軌道の距離Ｗ１は、測定軌道の幅Ｗ２以下である。このため、隣接する測定軌道部分の間には、非走査領域８が形成されない。したがって、試料３の走査領域３２を隙間なく走査し、測定精度を向上させることができる。」という記載も参照すれば、プローブが試料表面を実際に測定する帯状の測定領域の幅であると解するのが相当である。
　したがって、以下このように解して、検討する。
２　引用発明における「試料４」は、シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７に載置されていて、これらのスキャナによりＸＹＺ方向に移動可能になっている。したがって、引用発明における「試料４」が「載置」された「シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７」は、本願発明における「試料を搭載するステージ」に相当する。
３　引用発明においては、試料４とカンチレバー３の相対位置を高速に移動させて、試料表面を２次元的に走査することにより表面形状画像（２次元）を取得しており、引用発明における「カンチレバー３」は、表面形状画像（２次元）を取得するために試料表面の特性を測定しているといえる。また、引用発明において、試料４は、探針８の先端でコンタクトモードにより走査されるため、探針８が試料４に接触した状態で走査が行われているといえる。したがって、引用発明における「先端部に探針８を有しており、試料４の表面に探針８が接する」ように配置されている「カンチレバー３」は、本願発明における「前記試料の表面の走査領域を、接触した状態で走査して、前記試料の特性を測定するプローブ」に相当する。
４　引用発明においては、シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７に載置された試料４とカンチレバー３の相対位置を高速で移動させて、走査の軌跡が直角に曲がるように、試料表面を２次元的に走査していることから、引用発明においては、カンチレバー３と、試料４が載置されたシェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７とを、相対的に方向転換させているといえる。また、引用発明において、「シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７」は「駆動回路１４」によって制御されている。したがって、引用発明における、「表面形状画像（２次元）を取得する」際に、「試料４とカンチレバー３の相対位置を高速に移動させて、走査の軌跡が直角に曲がる」ように、「シェア型スキャナ６及びチューブスキャナ７」を制御する「駆動回路１４」は、本願発明における「前記試料の特性の測定中における前記プローブの走査軌道の少なくとも一部を直角又は鋭角に屈曲させるように前記プローブと前記ステージとを相対的に方向転換させるコントローラ」に相当する。
５　そうすると、本願発明と引用発明とは、次の点で一致する。
　「試料を搭載するステージと、
　前記試料の表面の走査領域を、接触した状態で走査して、前記試料の特性を測定するプローブと、
　前記試料の特性の測定中における前記プローブの走査軌道の少なくとも一部を直角又は鋭角に屈曲させるように前記プローブと前記ステージとを相対的に方向転換させるコントローラとを備えた、
走査型プローブ顕微鏡。」
６　また、本願発明と引用発明とは、次の点で相違する。
（相違点１）本願発明は「前記走査軌道に含まれる隣接する測定軌道の間の距離が、前記測定軌道の幅以下であ」るのに対して、引用発明では、「走査の軌跡」の間の距離と、「走査の軌跡」の幅が、特定されていない点。
（相違点２）本願発明におけるプローブは、「方向転換の際に、前記走査軌道の外側に前記試料から生じた摩耗粉を取り残す」ものであるのに対して、引用発明における「先端部に探針８」を有する「カンチレバー３」は、「走査の軌跡が直角に曲がる」ときに、試料に接触した状態で走査され、直角に方向転換するものではあるが、走査の軌跡の外側に試料から生じた摩耗粉を取り残すことは特定されていない点。
第６　判断（相違点についての検討）
１　相違点１について
　前記相違点１について検討する。走査型プローブ顕微鏡によって試料表面を測定する際に、非測定領域を設ける（すなわち、測定軌道間に隙間があるような測定軌道とする）か、非測定領域を設けない（すなわち、測定軌道間に隙間がない測定軌道とする）かは、測定の目的、時間、コスト等を勘案して決定した測定精度に応じて、当業者が適宜選択し得た事項である。また、引用文献１には、走査型プローブ顕微鏡での測定に際し、非走査領域を積極的に設けているとの記載は無い。したがって、引用発明において、非測定領域を設けず、「走査の軌跡」の間に隙間がないように、「走査の軌跡」の間の距離と「走査の軌跡」の幅を設定して、前記相違点１に係る本願発明の「走査軌道に含まれる隣接する測定軌道の間の距離が、測定軌道の幅以下である」発明特定事項を得ることは、当業者が容易になし得たことである。
２　相違点２について
　本願発明では、プローブが方向転換する際に走査軌道の外側に試料から生じた摩耗粉を取り残すための具体的な構成は、特定されていない。そこで、本願明細書を参酌すると、本願明細書には、試料に接触したプローブが走査されることにより摩耗粉が発生すること（本願明細書の【００３８】、【００３９】等を参照）、プローブが直角又は鋭角の角度で方向転換することにより走査軌道の外側に試料から生じた摩耗粉が取り残されること（本願明細書の【００４０】−【００４５】等を参照）、が記載されていると認められる。したがって、「プローブは、方向転換の際に、前記走査軌道の外側に前記試料から生じた摩耗粉を取り残す」とは、プローブが試料に接触した状態で走査され、直角又は鋭角の角度で方向転換することによって、プローブから摩耗粉が分離されることを意味するものと認められる。
　そして、引用発明でも、「コンタクトモード」、すなわち、「探針８」が試料に接触した状態で走査され、「走査の軌跡が直角に曲がる」ものであり、この「走査の軌跡が直角に曲がる」際に、摩耗粉が「探針８」から分離されて、「走査の軌跡」外に取り残されるものと認められる。すると、相違点２は、実質的な相違点であるとはいえない。
　
３　本願発明の効果について
  本願発明は、隙間無く走査することにより測定精度が向上するという効果を有する（本願明細書の【００４８】を参照。以下、「本願発明の有する効果」という）。そして、本願発明の有する効果は、「走査の軌跡」の間に隙間があるか否かが特定されない引用発明の有する効果と比較して有利なものである。しかしながら、走査型プローブ顕微鏡において、測定軌道の密度を高めると測定精度が向上する関係にあることは当業者にとって当然のことであるから、本願発明の有する効果は出願時の技術水準から当業者が予測することができたものにすぎず、格別顕著なものということはできない。
　また、請求人は、平成２８年１０月１７日付けの意見書にて、「本補正書の請求項１では、隣接する測定軌道は一部で重複しており、該隣接する測定軌道間の間隔はそもそも存在しません。即ち、本願発明では、隣接する測定軌道間に非走査領域は無く、走査線間の間隔を狭くして単に密度を高めているものとは異なります。このように、隣接する測定軌道を一部重複させて走査することによって、本願発明は、測定精度の向上だけでなく、既に測定の終了した測定軌道上に摩耗粉を取り残し、摩耗粉がプローブに堆積することを防ぐ、という効果をも奏します。（［００４８］、［００４９］）。」という効果がある旨主張している（同意見書における２．を参照）。しかし、本願発明は、本願の図２、図５〜８に記載されるような種々の走査軌道があり、このうち、「既に測定の終了した測定軌道上に摩耗粉を取り残」すという効果を奏し得るのは、図５及び図７に記載される走査軌道のみであることを考慮すれば、本願発明が「既に測定の終了した測定軌道上に摩耗粉を取り残」すという効果を奏し得るとは認められない。したがって、出願人の主張は採用することができない。
４　小括
　したがって、本願発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
第７　むすび
　上記のとおりであるから、本願発明１は、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。