(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板固定用の基台と、予め決められた第１方向に沿って移動可能に前記基台に配置されて固定対象の回路基板における当該第１方向に沿った縁部をクランプする複数のクランプ機構と、当該クランプ機構を移動させる移動機構とを備えて前記回路基板を固定する回路基板固定装置であって、
前記複数のクランプ機構の少なくとも１つは、前記縁部をクランプした状態において、前記第１方向と当該第１方向に直交する第２方向とを合成した合成方向としての回動方向、および当該第１方向に対して傾斜する当該合成方向としての傾斜方向のいずれの方向に沿っても移動可能な合成方向可動クランプ機構で構成され、
前記移動機構は、前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる回路基板固定装置。
【請求項２】
前記回路基板における前記第１方向に沿った１つの前記縁部の複数箇所をそれぞれクランプする前記クランプ機構としての複数の第１クランプ機構と、当該各第１クランプ機構に対して一対一で対向するように配置されて前記回路基板における前記１つの縁部に対向する他の１つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする前記クランプ機構としての第２クランプ機構とを備え、
互いに対向する前記第１クランプ機構および前記第２クランプ機構の少なくとも一方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている請求項１記載の回路基板固定装置。
【請求項３】
互いに対向する前記第１クランプ機構および前記第２クランプ機構の双方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている請求項２記載の回路基板固定装置。
【請求項４】
前記基台は、基台本体と、長さ方向が前記第１方向とそれぞれ一致するように前記基台本体に配設された一対の梁部材と、当該各梁部材を互いに接離させる接離機構とを備え、
前記第１クランプ機構は、前記一対の梁部材の一方における前記長さ方向に沿って配置され、
前記第２クランプ機構は、前記一対の梁部材の他方における前記長さ方向に沿って配置されている請求項２または３記載の回路基板固定装置。
【請求項５】
前記各梁部材における前記長さ方向の中央部にそれぞれ固定されて前記回路基板の前記縁部をクランプするセンタークランプ機構を備え、
前記一対の梁部材の一方には、２つの前記第１クランプ機構が配置され、当該各第１クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する２つの位置にそれぞれ配置され、
前記一対の梁部材の他方には、２つの前記第２クランプ機構が配置され、当該各第２クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する２つの位置にそれぞれ配置されている請求項４記載の回路基板固定装置。
【請求項６】
前記基台本体に固定されて前記回路基板の前記第２方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備え、
前記接離機構は、前記補助クランプ機構が固定された固定位置を中心として前記一対の梁部材を互いに接離させる請求項４または５記載の回路基板固定装置。
【請求項７】
前記合成方向可動クランプ機構は、前記基台に形成された凹部内に移動可能に収容されて前記回路基板における前記縁部の一面側を支持する本体部と、当該本体部に対して接離するように当該本体部に配設されて前記回路基板における前記縁部の他面側を押圧して当該本体部と共に当該縁部をクランプする押圧部とを備え、
前記移動機構は、前記本体部を前記第１方向に沿って押圧する第１押圧部と、前記本体部を前記第２方向に沿って押圧する第２押圧部とを備えて、前記第１押圧部および前記第２押圧部による押圧によって前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる請求項１から６のいずれかに記載の回路基板固定装置。
【請求項８】
前記本体部は、略矩形の板状に形成され、
前記凹部は、当該本体部よりも大形で平面視略矩形に形成され、
前記第１押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第２方向に沿った側面に開口部を有する第１シリンダと、当該第１シリンダ内への空気供給によって前記第１方向に沿って前記第１シリンダ内をスライドする第１ピストンとを備えて、前記第１ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第１方向に沿って押圧し、
前記第２押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第１方向に沿った側面に開口部を有する第２シリンダと、当該第２シリンダ内への空気供給によって前記第２方向に沿って前記第２シリンダ内をスライドする第２ピストンとを備えて、前記第２ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第２方向に沿って押圧する請求項７記載の回路基板固定装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板をクランプするクランプ機構を備えて回路基板を固定する回路基板固定装置、およびその回路基板固定装置を備えて回路基板に対する電気的検査を行う回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板固定装置クランプ機構として、特開２００９−１１７７４０号公報において出願人が開示した固定装置（回路基板固定装置）が知られている。この固定装置は、基台本体、一対の梁部材、移動機構および複数のクランプ機構などを備えて構成されている。この場合、各梁部材は、基台本体における第１方向（第１の方向）とその長さ方向とが一致するようにして、第１方向と直交する第２方向（第２の方向）に沿って移動（スライド）可能に基台本体に配設されている。また、移動機構は、各梁部材を互いに接離するように第２方向に沿って移動させる。また、クランプ機構は、本体部、スライド部および回動部を備えて構成され、本体部の先端部と回動部の先端部とによって回路基板の縁部をクランプする。また、クランプ機構は、本体部が梁部材の凹部に嵌め込まれており、本体部に配設された第１エアシリンダが凹部を構成する壁面に向けてロッドを突出および突出解除させることによって第１方向に沿って移動させられる。
【０００３】
このように構成された固定装置では、各クランプ機構によって回路基板の縁部をクランプさせた状態において、各クランプ機構を互いに離反するように第１方向に沿って移動させることで、回路基板を第１方向に沿って引っ張ることができる。このため、この固定装置では、例えば、第２方向に沿った皺などの変形が回路基板に生じているときには、その変形を矯正することが可能となっている。また、各クランプ機構によって回路基板の縁部をクランプさせた状態において、各梁部材を第２方向に沿って移動させることで、回路基板を第２方向に沿って引っ張ることができる。このため、この固定装置では、例えば、第１方向に沿った皺などの変形が回路基板に生じているときには、その変形を矯正することが可能となっている。
【特許文献１】特開２００９−１１７７４０号公報（第５−１０頁、第２，５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の固定装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この固定装置では、各クランプ機構を第１方向に沿って移動させることで、回路基板における第２方向に沿った皺などの変形を矯正し、各梁部材を第２方向に沿って移動させることで、回路基板における第１方向に沿った皺などの変形を矯正している。この場合、この固定装置では、各クランプ機構を第１方向に沿って個別に移動させる構造となっているため、第２方向に沿った皺などの変形が部分的に生じているときには、変形が生じている部位をクランプしているクランプ機構を第１方向に沿って移動させることで、その変形を確実に矯正することができる。しかしながら、この固定装置では、梁部材を移動させて梁部材に配設されている各クランプ機構を一度に同じ移動量だけ第２方向に沿って移動させる構造となっている。したがって、この固定装置では、第１方向に沿った皺などの変形が部分的に生じているときには、第２方向に沿った各クランプ機構の移動量を個別に調整することが困難な結果、このような変形を十分に矯正できないことがあり、この点の改善が望まれている。また、図１７に示すように、各クランプ機構を一度に同じ移動量だけ第２方向Ｂに沿って移動させて、回路基板１００を第２方向Ｂに沿って引っ張ったときには、回路基板における第２方向Ｂに沿った縁部の中央部に弛みが生じることがあり、この点の改善も望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、弛みの発生を防止しつつ回路基板の変形を確実に矯正し得る回路基板固定装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板固定装置は、回路基板固定用の基台と、予め決められた第１方向に沿って移動可能に前記基台に配置されて固定対象の回路基板における当該第１方向に沿った縁部をクランプする複数のクランプ機構と、当該クランプ機構を移動させる移動機構とを備えて前記回路基板を固定する回路基板固定装置であって、前記複数のクランプ機構の少なくとも１つは、前記縁部をクランプした状態において、前記第１方向と当該第１方向に直交する第２方向とを合成した合成方向としての回動方向、および当該第１方向に対して傾斜する当該合成方向としての傾斜方向のいずれの方向に沿っても移動可能な合成方向可動クランプ機構で構成され、前記移動機構は、前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる。
【０００７】
また、請求項２記載の回路基板固定装置は、請求項１記載の回路基板固定装置において、前記回路基板における前記第１方向に沿った１つの前記縁部の複数箇所をそれぞれクランプする前記クランプ機構としての複数の第１クランプ機構と、当該各第１クランプ機構に対して一対一で対向するように配置されて前記回路基板における前記１つの縁部に対向する他の１つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする前記クランプ機構としての第２クランプ機構とを備え、互いに対向する前記第１クランプ機構および前記第２クランプ機構の少なくとも一方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている。
【０００８】
また、請求項３記載の回路基板固定装置は、請求項２記載の回路基板固定装置において、互いに対向する前記第１クランプ機構および前記第２クランプ機構の双方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている請求項２記載の回路基板固定装置。
【０００９】
また、請求項４記載の回路基板固定装置は、請求項２または３記載の回路基板固定装置において、前記基台は、基台本体と、長さ方向が前記第１方向とそれぞれ一致するように前記基台本体に配設された一対の梁部材と、当該各梁部材を互いに接離させる接離機構とを備え、前記第１クランプ機構は、前記一対の梁部材の一方における前記長さ方向に沿って配置され、前記第２クランプ機構は、前記一対の梁部材の他方における前記長さ方向に沿って配置されている。
【００１０】
また、請求項５記載の回路基板固定装置は、請求項４記載の回路基板固定装置において、前記各梁部材における前記長さ方向の中央部にそれぞれ固定されて前記回路基板の前記縁部をクランプするセンタークランプ機構を備え、前記一対の梁部材の一方には、２つの前記第１クランプ機構が配置され、当該各第１クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する２つの位置にそれぞれ配置され、前記一対の梁部材の他方には、２つの前記第２クランプ機構が配置され、当該各第２クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する２つの位置にそれぞれ配置されている。
【００１１】
また、請求項６記載の回路基板固定装置は、請求項４または５記載の回路基板固定装置において、前記基台本体に固定されて前記回路基板の前記第２方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備え、前記接離機構は、前記補助クランプ機構が固定された固定位置を中心として前記一対の梁部材を互いに接離させる。
【００１２】
また、請求項７記載の回路基板固定装置は、請求項１から６のいずれかに記載の回路基板固定装置において、前記合成方向可動クランプ機構は、前記基台に形成された凹部内に移動可能に収容されて前記回路基板における前記縁部の一面側を支持する本体部と、当該本体部に対して接離するように当該本体部に配設されて前記回路基板における前記縁部の他面側を押圧して当該本体部と共に当該縁部をクランプする押圧部とを備え、前記移動機構は、前記本体部を前記第１方向に沿って押圧する第１押圧部と、前記本体部を前記第２方向に沿って押圧する第２押圧部とを備えて、前記第１押圧部および前記第２押圧部による押圧によって前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる。
【００１３】
また、請求項８記載の回路基板固定装置は、請求項７記載の回路基板固定装置において、前記本体部は、略矩形の板状に形成され、前記凹部は、当該本体部よりも大形で平面視略矩形に形成され、前記第１押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第２方向に沿った側面に開口部を有する第１シリンダと、当該第１シリンダ内への空気供給によって前記第１方向に沿って前記第１シリンダ内をスライドする第１ピストンとを備えて、前記第１ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第１方向に沿って押圧し、前記第２押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第１方向に沿った側面に開口部を有する第２シリンダと、当該第２シリンダ内への空気供給によって前記第２方向に沿って前記第２シリンダ内をスライドする第２ピストンとを備えて、前記第２ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第２方向に沿って押圧する。
【００１４】
また、請求項９記載の回路基板検査装置は、請求項１から８のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置では、回路基板における第１方向に沿った縁部をクランプして第１方向に沿って移動可能な複数のクランプ機構の少なくとも１つが、第１方向と第１方向に直交する第２方向とを合成した合成方向に沿って移動可能な合成方向可動クランプ機構で構成され、移動機構がその合成方向可動クランプ機構を合成方向に沿って移動させる。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、合成方向可動クランプ機構によってクランプしている回路基板の縁部を第１方向に沿った向きおよび第２方向に沿った向きの双方に向けて個別に引っ張ることができる。したがって、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、回路基板における第２方向に沿った皺などの変形が合成方向可動クランプ機構の近傍において部分的に生じているときには、その合成方向可動クランプ機構における合成方向に沿った移動のうちの第１方向に沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能なことに加えて、第１方向に沿った皺などの変形が合成方向可動クランプ機構の近傍において部分的に生じているときにおいても、その合成方向可動クランプ機構における合成方向に沿った移動のうちの第２方向に沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することができる。また、回路基板における第２方向に沿った縁部の中央部に弛みが生じたとしても、第１方向に沿った縁部の端部を合成方向可動クランプ機構でクランプしてその合成方向可動クランプ機構を合成方向に沿って移動させることで、その合成方向可動クランプ機構における合成方向に沿った移動のうちの第２方向に沿った移動成分によってその弛みを確実に矯正することができる。したがって、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、弛みの発生を防止しつつ回路基板の変形を確実に矯正することができる。
【００１６】
また、請求項２記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置では、回路基板における第１方向に沿った１つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする複数の第１クランプ機構と、各第１クランプ機構にそれぞれ対向配置されて回路基板における他の１つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする複数の第２クランプ機構とを備え、互いに対向する第１クランプ機構および第２クランプ機構の少なくとも一方が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、回路基板における互いに対向する第１クランプ機構および第２クランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じている場合においてもそれらの変形を個別に矯正することができる。
【００１７】
また、請求項３記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置では、互いに対向する第１クランプ機構および第２クランプ機構の双方が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、回路基板における互いに対向する第１クランプ機構および第２クランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じているときに、その部位を２つのクランプ機構で引っ張ることができるため、これらの変形をより確実に矯正することができる。
【００１８】
また、請求項４記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置によれば、接離機構によって互いに接離させられる一対の梁部材を備えて基台を構成し、一方の梁部材における長さ方向に沿って第１クランプ機構を配置し、他方の梁部材における長さ方向に沿って第２クランプ機構を配置したことにより、第１クランプ機構と第２クランプ機構とを同じ移動量で接離させることができるため、例えば、第１方向に沿った皺などの変形が回路基板の両端部の間の全範囲に亘って一様に生じているときには、この変形を均等に引き伸ばして矯正することができる。
【００１９】
また、請求項５記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置によれば、各梁部材における長さ方向の中央部に固定されたセンタークランプ機構を挟んで互いに離間した位置にクランプ機構を２つずつ配設したことにより、センタークランプ機構を中心として第１方向に沿ってセンタークランプ機構から離反する方向に各クランプ機構を移動させることで、回路基板を第１方向に沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第１方向に沿って湾曲するような変形が回路基板に生じていたとしても、回路基板を十分に平坦な状態に矯正することができる。
【００２０】
また、請求項６記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置によれば、回路基板の第２方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備えて、接離機構が、補助クランプ機構の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材の双方を第２方向に沿って移動させることにより、回路基板を第２方向に沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第２方向に沿って湾曲するような変形が回路基板に生じていたとしても、回路基板を十分に平坦な状態に矯正することができる。
【００２１】
また、請求項７記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置では、梁部材に形成された凹部内に移動可能に収容された本体部を備えて合成方向可動クランプ機構が構成され、本体部を第１方向に沿って押圧する第１押圧部と、本体部を第２方向に沿って押圧する第２押圧部とを備えて移動機構が構成されて、第１押圧部および第２押圧部による本体部の押圧によって合成方向可動クランプ機構が合成方向に沿って移動される。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、移動機構を簡易に構成することができる。
【００２２】
また、請求項８記載の回路基板固定装置、および請求項９記載の回路基板検査装置では、本体部における第２方向に沿った側面に開口部を有して本体部に形成された第１シリンダと、第１シリンダ内への空気供給によって第１方向に沿って第１シリンダ内をスライドする第１ピストンとを備えて第１押圧部が構成され、本体部における第１方向に沿った側面に開口部を有して本体部に形成された第２シリンダと、第２シリンダへの空気供給によって第２方向に沿って第１シリンダ内をスライドする第２ピストンとを備えて第２押圧部が構成されている。つまり、この回路基板固定装置および回路基板検査装置では、第１押圧部および第２押圧部が本体部に内蔵されている。したがって、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、第１押圧部および第２押圧部を本体部の外部に配設する構成と比較して、合成方向可動クランプ機構を十分に小形化することができる。
【００２３】
また、請求項９記載の回路基板検査装置によれば、上記の回路基板固定装置を備えたことにより、回路基板に皺などの変形が生じていたとしても、回路基板固定装置によってその変形を確実に矯正することができるため、回路基板の検査対象体（例えば、導体パターン）に検査用プローブを確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】固定装置２の平面図である。
【図３】クランプ機構１４ａ，１４ｂ（１４ｃ，１４ｄ）およびセンタークランプ機構１５ａ（１５ｂ）を梁部材１２ａ（１２ｂ）に配設した状態の平面図である。
【図４】クランプ機構１４ａ，１４ｂ（１４ｃ，１４ｄ）およびセンタークランプ機構１５ａ（１５ｂ）を梁部材１２ａ（１２ｂ）に配設した状態の斜視図である。
【図５】梁部材１２ａ（１２ｂ）の凹部９１にクランプ機構１４ｂ（１４ａ，１４ｃ，１４ｄ）の本体部４１が収容された状態の平面図である。
【図６】梁部材１２ａにおける凹部９１の構成を示す斜視図である。
【図７】回動部４３を取り外した状態のクランプ機構１４の斜視図である。
【図８】クランプ機構１４の動作を説明する第１の説明図である。
【図９】クランプ機構１４の動作を説明する第２の説明図である。
【図１０】クランプ機構１４の動作を説明する第３の説明図である。
【図１１】補助クランプ機構１６の斜視図である。
【図１２】補助クランプ機構１６の動作を説明する第１の説明図である。
【図１３】補助クランプ機構１６の動作を説明する第２の説明図である。
【図１４】固定装置２に対する回路基板１００の固定方法を説明する説明図である。
【図１５】固定装置２の動作を説明する第１の説明図である。
【図１６】固定装置２の動作を説明する第２の説明図である。
【図１７】従来の回路基板固定装置の動作を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る回路基板固定装置および回路基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２６】
最初に、図１に示す検査装置１の構成について説明する。検査装置１は、回路基板検査装置の一例であって、同図に示すように、固定装置２、プロービング装置３および制御部４を備えて、回路基板１００に対する電気的検査を実行可能に構成されている。なお、回路基板１００は、一例として、矩形に形成された基板本体と、基板本体の表面に形成された導体パターン（図示せず）とで構成されている。
【００２７】
固定装置２は、回路基板固定装置の一例であって、図２に示すように、基台５、接離機構１３、クランプ機構１４ａ〜１４ｄ（合成方向可動クランプ機構の一例であって、以下、区別しないときには「クランプ機構１４」ともいう）、センタークランプ機構１５ａ，１５ｂ（以下、区別しないときには「センタークランプ機構１５」ともいう）、補助クランプ機構１６ａ，１６ｂ（以下、区別しないときには「補助クランプ機構１６」ともいう）、コンプレッサ１７（図１参照）および電磁弁１８（同図参照）を備えて構成されている。
【００２８】
基台５は、図２に示すように、基台本体１１および一対の梁部材１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「梁部材１２」ともいう）を備えて構成されている。基台本体１１は、同図に示すように、一例として、略長方形の板状に形成されている。また、基台本体１１の中央部には、略矩形の開口部１１ａが形成されている。梁部材１２は、図２，３，４に示すように、全体として長尺の板状に形成されている。また、梁部材１２には、図３〜図６に示すように、クランプ機構１４における後述する本体部４１を収容する２つの凹部９１、および後述するセンタークランプ機構１５の本体部４４が嵌め込まれる１つの凹部９２が形成されている。凹部９１は、図５，６に示すように、開口面積が本体部４１よりもやや大形で平面視が略矩形（長方形状）に形成されている。具体的には、凹部９１は、図５に示すように、本体部４１を収容した状態において、本体部４１の側面４１ａ〜４１ｄと凹部９１の内周壁９１ａ〜９１ｄとの間にそれぞれ２ｍｍ程度の隙間４０１が生じる大きさに形成されている。なお、図５では、クランプ機構１４ｂにおける後述するスライド部４２および回動部４３を取り外した状態を図示している。
【００２９】
また、梁部材１２は、図２に示す基台本体１１の第１方向Ａとその長さ方向とが一致するようにして、基台本体１１にスライド可能に配設されている。具体的には、梁部材１２ａは、同図に示す基台本体１１の第２方向Ｂ（第１方向Ａに直交する方向）に沿って基台本体１１における開口部１１ａの縁部に配設されたレール２１ａ，２１ｂ上を移動可能なスライダー２２ａ，２２ｂにその両端部が固定されている。また、梁部材１２ｂは、レール２１ａ，２１ｂ上を移動可能なスライダー２２ｃ，２２ｄにその両端部が固定されている。
【００３０】
接離機構１３は、図２に示すように、モータ３１、ベルト３２ａ〜３２ｃ（以下、区別しないときには「ベルト３２」ともいう）、回転軸３３およびプーリ３４ａ〜３４ｆ（以下、区別しないときには「プーリ３４」ともいう）を備えて構成されている。モータ３１は、制御部４の制御に従って駆動軸３１ａを回転させる。ベルト３２ａは、同図に示すように、モータ３１の駆動軸３１ａに取り付けられているプーリ３４ａと回転軸３３に取り付けられているプーリ３４ｂとの間に架け渡されて、駆動軸３１ａのトルク（回転力）を回転軸３３に伝達する。また、ベルト３２ｂ，３２ｃは、タイミングベルト（歯付きベルト）であって、回転軸３３に取り付けられているプーリ３４ｃと基台本体１１に取り付けられているプーリ３４ｄとの間、および回転軸３３に取り付けられているプーリ３４ｅと基台本体１１に取り付けられているプーリ３４ｆとの間にそれぞれ架け渡されている。
【００３１】
また、ベルト３２ｂ，３２ｃは、上側（図２における紙面手前側）の所定部位がスライダー２２ａ，２２ｂに形成されているラック（図示せず）に噛合すると共に、下側（同図における紙面奥側）の所定部位がスライダー２２ｃ，２２ｄに形成されているラックに噛合している。この構成により、回転軸３３が矢印Ｘ１の向きに回転したときには、スライダー２２ａ，２２ｂが矢印Ｂ１の向きに移動させられると共に、スライダー２２ｃ，２２ｄが矢印Ｂ２の向きに移動させられる。また、それとは逆に回転軸３３が矢印Ｘ２の向きに回転したときには、スライダー２２ａ，２２ｂが矢印Ｂ２の向きに移動させられると共に、スライダー２２ｃ，２２ｄが矢印Ｂ１の向きに移動させられる。つまり、接離機構１３は、スライダー２２ａ，２２ｂに両端部が固定されている梁部材１２ａ、およびスライダー２２ｃ，２２ｄに両端部が固定されている梁部材１２ｂを、レール２１ａ，２１ｂの長さ方向における中央部（後述する補助クランプ機構１６ａ，１６ｂの固定位置）を中心として互いに接離するように第２方向Ｂに沿って移動させる。
【００３２】
クランプ機構１４ａ，１４ｂは、第１クランプ機構に相当し、図２に示すように、梁部材１２ａにおけるセンタークランプ機構１５ａを挟んで互いに離間する位置にそれぞれ配置されて、回路基板１００における第１方向Ａに沿った縁部の一方（例えば、図１４に示す縁部１０２ａ）をクランプ可能に構成されている。また、クランプ機構１４ｃ，１４ｄは、第２クランプ機構に相当し、図２に示すように、梁部材１２ｂにおけるセンタークランプ機構１５ｂを挟んで互いに離間する位置であって、かつ各クランプ機構１４ａ，１４ｂに対して一対一で対向する位置にそれぞれ配置されて、回路基板１００における第１方向Ａに沿った縁部の他方（例えば、図１４に示す縁部１０２ｂ）をクランプ可能に構成されている。
【００３３】
また、クランプ機構１４ａ〜１４ｄは、図７に示すように、本体部４１、スライド部４２および回動部４３を備えてそれぞれ構成されている。なお、クランプ機構１４ａ，１４ｄとクランプ機構１４ｂ，１４ｃとでは、これらを構成する各構成要素（特にエアシリンダ５１〜５３，５５やバネ６１〜６５）が左右対称に配置されている点を除いて同様に構成されている。このため、図５，７および後述する図８〜１０，１５，１６では、各クランプ機構１４ａ〜１４ｄを代表してランプ機構１４ｂを図示して説明する。本体部４１は、同図に示すように、平面視が略矩形（長方形状）の板状に形成されている。また、本体部４１は、図３〜図５に示すように、梁部材１２に形成されている凹部９１内にその下側部分（図４参照）が収容されている。また、本体部４１は、挿通孔４１ｅ，４１ｅ（図５参照）に挿通されたねじ４０２，４０２（図３参照）によって上下方向（厚み方向）への移動が規制されている。
【００３４】
この場合、図５に示すように、本体部４１が凹部９１内に収容された状態では、本体部４１の側面４１ａ〜４１ｄと凹部９１の内周壁９１ａ〜９１ｄとの間にそれぞれ２ｍｍ程度の隙間４０１が生じている。また、この本体部４１では、挿通孔４１ｅ，４１ｅの直径が、ねじ４０２の直径よりも２ｍｍ程度大きく形成されている。このため、本体部４１は、凹部９１内において隙間４０１の分だけ、第１方向Ａ、第２方向Ｂ、および第１方向Ａと第２方向Ｂとを合成した合成方向（具体的には、図１５に示す回動方向Ｆや、図１６に示す梁部材１２の長さ方向に対して傾斜する傾斜方向Ｇ）に沿って梁部材１２に対して（つまり、基台５に対して）移動することが可能となっている。
【００３５】
また、本体部４１は、固定装置２を用いて回路基板１００を固定する際に、回路基板１００における縁部の一面１０１ａ（図１０参照）側をその先端部２０４（同図における左上側の部分）で支持する。また、本体部４１には、図７に示すように、スライド部４２を嵌め込み可能な凹部９３が形成されている。
【００３６】
また、図５に示すように、本体部４１には、シリンダ５１，５５およびバネ６１，６４，６５が配設されている。エアシリンダ５１は、第１押圧部に相当し、第１方向Ａに沿って基台本体１１の開口部１１ａ（図２参照）の中央部から離反する向き（クランプ機構１４ａ，１４ｃにおいては同図に示す矢印Ａ２の向き、クランプ機構１４ｂ，１４ｄにおいては同図に示す矢印Ａ１の向き）に本体部４１を押圧する。具体的には、エアシリンダ５１は、同図に示すように、シリンダ５１ａおよびピストン５１ｂを備えている。シリンダ５１ａは、第１シリンダに相当し、本体部４１に形成されて、本体部４１における第２方向Ｂに沿った側面のうちの基台本体１１の中央部側に位置する側面（クランプ機構１４ａ，１４ｃにおいては同図に示す側面４１ａ、クランプ機構１４ｂ，１４ｄにおいては同図に示す側面４１ｃ）に開口部を有する平面視円形の穴で構成されている。この場合、シリンダ５１ａの形成位置は、上記した側面における基台本体１１の中央部側に位置する端部側に規定されている。また、シリンダ５１ａの底部には、エア供給用の挿通孔５１ｃが形成され、挿通孔５１ｃには、エアカプラ５１ｅ（図７参照）が接続されている。
【００３７】
ピストン５１ｂは、図５に示すように、シリンダ５１ａ内に収容されて、挿通孔５１ｃを介してのシリンダ５１ａ内への空気の供給および供給停止によってシリンダ５１ａ内をスライドする。この場合、シリンダ５１ａの開口部側へのピストン５１ｂのスライドに伴い、ピストン５１ｂに取り付けられているロッド５１ｄの先端部が、第２方向Ｂに沿った凹部９１の内周壁のうちのシリンダ５１ａが形成されている本体部４１の側面に対向する内周壁（クランプ機構１４ａ，１４ｃにおいては同図に示す内周壁９１ａ、クランプ機構１４ｂ，１４ｄにおいては同図に示す内周壁９１ｃ）を押圧し、この反力によって本体部４１が、第１方向Ａに沿って基台本体１１の中央部から離反する向きに押圧される。バネ６１は、本体部４１におけるシリンダ５１ａが形成された側面とは逆側の側面（クランプ機構１４ａ，１４ｃにおいては同図に示す側面４１ｃ、クランプ機構１４ｂ，１４ｄにおいては同図に示す側面４１ａ）に形成された平面視円形の穴に収容されて、第１方向Ａに沿って基台本体１１の中央部側に向かう向き（クランプ機構１４ａ，１４ｃにおいては同図に示す矢印Ａ１の向き、クランプ機構１４ｂ，１４ｄにおいては同図に示す矢印Ａ２の向き）に本体部４１を押圧する。
【００３８】
エアシリンダ５５は、第２押圧部に相当し、第２方向Ｂに沿って基台本体１１（開口部１１ａ）の中央部から離反する向き（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては図５に示す矢印Ｂ２の向き、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す矢印Ｂ１の向き）に本体部４１を押圧する。具体的には、エアシリンダ５５は、同図に示すように、シリンダ５５ａおよびピストン５５ｂを備えている。シリンダ５５ａは、第２シリンダに相当し、本体部４１に形成されて、本体部４１における第１方向Ａに沿った側面のうちの基台本体１１の中央部側に位置する側面（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては同図に示す側面４１ｄ、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す側面４１ｂ）に開口部を有する平面視円形の穴で構成されている。この場合、シリンダ５５ａの形成位置は、上記した側面における第１方向Ａに沿って基台本体１１の中央部から離反する端部側に規定されている。また、シリンダ５５ａの底部には、エア供給用の挿通孔５５ｃが形成され、挿通孔５５ｃには、エアカプラ５５ｅ（図７参照）が接続されている。
【００３９】
ピストン５５ｂは、図５に示すように、シリンダ５５ａ内に収容されて、挿通孔５５ｃを介してのシリンダ５５ａ内への空気の供給および供給停止によってシリンダ５５ａ内をスライドする。この場合、シリンダ５５ａの開口部側へのピストン５５ｂのスライドに伴い、ピストン５５ｂに取り付けられているロッド５５ｄの先端部が、第１方向Ａに沿った凹部９１の内周壁のうちのシリンダ５５ａが形成されている本体部４１の側面に対向する内周壁（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては同図に示す内周壁９１ｄ、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す内周壁９１ｂ）を押圧し、この反力によって本体部４１が、第２方向Ｂに沿って基台本体１１の中央部から離反する向きに押圧される。バネ６４，６５は、本体部４１におけるシリンダ５５ａが形成された側面とは逆側の側面（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては同図に示す側面４１ｂ、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す側面４１ｄ）に形成された平面視円形の穴にそれぞれ収容されて、第２方向Ｂに沿って基台本体１１の中央部側に向かう向き（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては同図に示す矢印Ｂ１の向き、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す矢印Ｂ２の向き）に本体部４１を押圧する。なお、エアシリンダ５１，５５（つまり、第１押圧部および第２押圧部）によって移動機構１９が構成される。
【００４０】
スライド部４２は、図７に示すように、第２方向Ｂに沿ってスライド可能に本体部４１の凹部９３に嵌め込まれている（本体部４１に配設されている）。また、スライド部４２は、一対のエアシリンダ５２および一対のバネ６２を備えて構成されて、凹部９３を構成する本体部４１の基端部２０８側の壁面２０２に向けて各エアシリンダ５２のロッド５２ａを突出（または突出解除）させことによって第２方向Ｂに沿ってスライドする。また、スライド部４２は、エアシリンダ５２にエアが供給されていない状態では、図８示すように、バネ６２の弾性力によって本体部４１の基端部２０８側に向けて付勢されている。
【００４１】
また、スライド部４２は、図７に示すように、第１方向Ａと平行な回動軸７１ａを支点（中心）として回動可能に回動部４３を支持するヒンジ部７１、一対のエアシリンダ５３およびバネ６３を備えて構成されている。この場合、ヒンジ部７１によって支持された回動部４３の基端部２０９側の下面２０３に向けて各エアシリンダ５３のロッド５３ａを突出（または突出解除）させることにより、本体部４１の先端部２０４と回動部４３の先端部２０５とが接離する方向（同図に示す矢印Ｃの方向）に回動部４３が回動させられる。
【００４２】
回動部４３は、押圧部に相当し、固定装置２を用いて回路基板１００を固定する際に、図１０に示すように、その先端部２０５と本体部４１の先端部２０４とが互いに近接する向き（同図に示す矢印Ｃ１の向き）に上記したエアシリンダ５３によって回動させられることにより、回路基板１００における縁部の他面１０１ｂをその先端部２０５で押圧して本体部４１の先端部２０４と共に回路基板１００の縁部をクランプする。また、回動部４３は、エアシリンダ５３にエアが供給されていない状態では、図８に示すように、バネ６３の弾性力によって本体部４１の先端部２０４からその先端部２０５が離間する姿勢に維持されている。
【００４３】
センタークランプ機構１５は、図４に示すように、本体部４４、並びに上記したスライド部４２および回動部４３を備えて構成されている。本体部４４は、エアシリンダ５１，５５およびバネ６１，６４，６５を備えていない点を除いて、上記した本体部４１とほぼ同様に構成されている。また、本体部４４は、梁部材１２の凹部９１に嵌め込まれた状態で梁部材１２における長さ方向の中央部に固定されて（第１方向Ａおよび第２方向Ｂへの移動が規制されて）、回路基板１００の縁部をクランプする。つまり、センタークランプ機構１５は、本体部４４が第１方向Ａおよび第２方向Ｂにスライドしない点を除いて、クランプ機構１４と同様に構成されている。
【００４４】
各補助クランプ機構１６は、図２に示すように、開口部１１ａを挟んで互いに対向するようにして、開口部１１ａの縁部における基台本体１１の幅方向の中央部（固定位置）に固定されている。また、補助クランプ機構１６は、クランプ機構１４およびセンタークランプ機構１５によってクランプされる回路基板１００の縁部を除く他の縁部をクランプ可能に構成されている。具体的には、補助クランプ機構１６は、図１１に示すように、本体部８１、スライド部８２および回動部８３を備えて構成されている。本体部８１は、図１３に示すように、固定装置２を用いて回路基板１００を固定する際に、回路基板１００における縁部の一面１０１ａ側をその先端部２０６で支持する。また、本体部８１には、スライド部８２を嵌め込み可能な凹部９４が形成されている。
【００４５】
スライド部８２は、図１１に示すように、第１方向Ａに沿ってスライド可能に本体部８１の凹部９４に嵌め込まれている。また、スライド部８２は、同図に示すように、第２方向Ｂと平行な回動軸を中心として回動部８３を回動可能に支持するヒンジ部（図示せず）を備えて構成されている。回動部８３は、スライド部８２のヒンジ部に取り付けられて、図１３に示すように、本体部８１の先端部２０６とその先端部２０７とが近接する向き（同図に示す矢印Ｅ１の向き）に回動させられたときに、回路基板１００における縁部の他面１０１ｂを先端部２０７で押圧して本体部８１の先端部２０６と共に回路基板１００をクランプする。
【００４６】
また、補助クランプ機構１６は、図１１に示すように、エアシリンダ５４およびバネ６６，６７を備えて構成されている。この場合、エアシリンダ５４のロッド５４ａを突出（または突出解除）させることにより、凹部９４に配設されたスライド部８２が同図に示す第１方向Ａに沿って移動させられると共に、スライド部８２に配設された回動部８３が同図に示す矢印Ｅの方向に回動させられる。また、エアシリンダ５４にエアが供給されていない状態では、同図に示すように、バネ６６，６７の弾性力により、スライド部８２が本体部８１の基端部２１０側に位置して、両先端部２０７，２０６が互いに離間する姿勢に回動部８３が維持されている。
【００４７】
コンプレッサ１７は、エア（圧縮空気）を供給する。電磁弁１８は、図外のエアチューブによってコンプレッサ１７、エアシリンダ５１のエアカプラ５１ｅ（図７参照）、エアシリンダ５２のエアカプラ５２ｂ（同図参照）、エアシリンダ５３のエアカプラ５３ｂ（同図参照）、エアシリンダ５５のエアカプラ５５ｅ（同図参照）およびエアシリンダ５４のエアカプラ５４ｂ（図１１参照）に連結されており、制御部４の制御に従い、エアチューブおよび各エアカプラ５１ｅ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂ，５５ｅを介しての各エアシリンダ５１〜５４に対するコンプレッサ１７からのエアの供給および供給停止を行う。
【００４８】
プロービング装置３は、図１に示すように、回路基板１００の導体パターンに接触させる検査用プローブ３０１と、制御部４の制御に従って検査用プローブ３０１を移動させるプロービング機構３０２とを備えて構成されている。制御部４は、電磁弁１８を制御して各エアシリンダ５１〜５５に対するエアの供給および供給停止を行う。また、制御部４は、プロービング装置３のプロービング機構３０２を制御することにより、検査用プローブ３０１を回路基板１００の導体パターンに接触させる。さらに、制御部４は、検査部として機能し、検査用プローブ３０１を介して入力した電気信号Ｓに基づいて電気的検査を実行する。
【００４９】
次に、検査装置１を用いて回路基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。
【００５０】
まず、図外の操作部を操作して、回路基板１００の大きさ等の各種設定値を入力する。次いで、制御部４が、モータ３１を制御して、予め規定された回転方向に予め規定された回転数だけ駆動軸３１ａを回転させる。続いて、駆動軸３１ａのトルクがベルト３２ａを介して回転軸３３に伝達されて回転軸３３が回転し、これに伴ってベルト３２ｂ，３２ｃが牽引されて、各スライダー２２ａ〜２２ｄおよび梁部材１２ａ，１２ｂが、回路基板１００の大きさに対応する移動量だけ矢印Ｂ１または矢印Ｂ２の向きに移動させられる。次いで、図１４に示すように、各クランプ機構１４における本体部４１の先端部２０４、各センタークランプ機構１５における本体部４４の先端部２０４ａ、および各補助クランプ機構１６における本体部８１の先端部２０６に、回路基板１００における縁部１０２ａ〜１０２ｄ（以下、区別しないときには「縁部１０２」ともいう）の一面１０１ａ（同図における紙面奥側の面）を当接させるようにして載置する。
【００５１】
続いて、操作部を操作して測定を開始させる。この際に、コンプレッサ１７が、エアの供給を開始する。次いで、制御部４が、電磁弁１８を制御して、クランプ機構１４およびセンタークランプ機構１５のエアシリンダ５２にエアを供給させる。この際に、図９に示すように、各エアシリンダ５２のロッド５２ａが本体部４１における基端部２０８側の壁面２０２に向けて（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては図２に示す矢印Ｂ１の向きに、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す矢印Ｂ２の向きに）突出し、これに伴い、スライド部４２が本体部４１の先端部２０４側（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては同図に示す矢印Ｂ２の向き、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す矢印Ｂ１の向き）にスライドさせられる。続いて、制御部４は、電磁弁１８を制御して、クランプ機構１４およびセンタークランプ機構１５のエアシリンダ５３にエアを供給させる。この際に、図１０に示すように、各エアシリンダ５３のロッド５３ａが同図に示す矢印Ｄ１の向きに突出して回動部４３の基端部２０９側（同図における右下側の部位）の下面２０３を押圧し、これに伴って回動部４３が同図に示す矢印Ｃ１の向きに回動させられる。これにより、回動部４３の先端部２０５が回路基板１００の他面１０１ｂを押圧する結果、回動部４３の先端部２０５と本体部４１（本体部４４）の先端部２０４（先端部２０４ａ）とによって回路基板１００の縁部がクランプされる。
【００５２】
この場合、このクランプ機構１４（およびセンタークランプ機構１５）では、回動部４３の基端部２０９側の下面２０３にエアシリンダ５３のロッド５３ａを突出させて直接押圧することによって回動軸７１ａを支点として回動部４３を回動させて回路基板１００をクランプしている。このため、エアシリンダ５３によって回動部４３の基端部２０９側を強く押圧することで、回動部４３の先端部２０５をその幅方向の全域に亘って十分に強い力でしかも均一に回路基板１００に押し当てることができる結果、回路基板１００を確実にクランプすることが可能となっている。したがって、このクランプ機構１４では、回路基板１００をクランプしているクランプ機構１４（クランプ機構１４が配設されている梁部材１２）を、後述するように接離機構１３によって第２方向Ｂに沿って強い力で引っ張ったとしても、回路基板１００がクランプ機構１４から外れる事態を確実に防止することが可能となっている。
【００５３】
続いて、制御部４は、電磁弁１８を制御して、各補助クランプ機構１６のエアシリンダ５４にエアを供給させる。この際に、図１２に示すように、補助クランプ機構１６ａにおけるエアシリンダ５４のロッド５４ａがスライド部８２側に向けて突出し、これに伴ってロッド５４ａの先端部に取り付けられている押圧部材５４ｃが回動部８３のベアリング８３ａを押圧し、これによってスライド部８２および回動部８３が前方（補助クランプ機構１６ａにおいては図２に示す第１方向Ａ２の向き、補助クランプ機構１６ｂにおいては同図に示す第１方向Ａ１の向き）に移動させられる。次いで、ロッド５４ａがさらに突出したときには、図１３に示すように、回動部８３が同図に示す矢印Ｅ１の向きに回動させられる。これにより、回動部８３の先端部２０７が回路基板１００の他面１０１ｂを押圧する結果、本体部８１の先端部２０６と回動部８３の先端部２０７とによって回路基板１００の縁部がクランプされる。
【００５４】
続いて、制御部４は、モータ３１を制御して、図１４に示すように、駆動軸３１ａを矢印Ｘ１の向きに回転させる。この際に、駆動軸３１ａのトルクがベルト３２ａを介して回転軸３３に伝達されて回転軸３３が矢印Ｘ１の向きに回転し、これに伴ってベルト３２ｂ，３２ｃが牽引されて、各スライダー２２ａ，２２ｂおよび梁部材１２ａが矢印Ｂ１の向きに移動させられると共に、スライダー２２ｃ，２２ｄおよび梁部材１２ｂが矢印Ｂ２の向きに移動させられる。これにより、回路基板１００が矢印Ｂ１，Ｂ２の向き（外向き）に引っ張られる結果、回路基板１００において第１方向Ａに沿って皺が生じているときにはその皺が矯正される。
【００５５】
次いで、制御部４は、電磁弁１８を制御して、各クランプ機構１４におけるエアシリンダ５１のシリンダ５１ａ、およびエアシリンダ５５のシリンダ５５ａにエアを供給させる。この際に、図１５に示すように、シリンダ５１ａ内に収容されているピストン５１ｂがシリンダ５１ａの開口部側にスライドする。このスライドに伴い、ピストン５１ｂに取り付けられているロッド５１ｄの先端部が、梁部材１２の凹部９１における第２方向Ｂに沿った内周壁（クランプ機構１４ａ，１４ｃにおいては同図に示す内周壁９１ａ、クランプ機構１４ｂ，１４ｄにおいては同図に示す内周壁９１ｃ）を押圧し、この反力により、本体部４１が、第１方向Ａに沿って基台本体１１の中央部から離反する向きに押圧される。
【００５６】
また、エアシリンダ５５のシリンダ５５ａに対するエアの供給により、図１５に示すように、シリンダ５５ａ内に収容されているピストン５５ｂがシリンダ５５ａの開口部側にスライドする。このスライドに伴い、ピストン５５ｂに取り付けられているロッド５５ｄの先端部が、梁部材１２の凹部９１における第１方向Ａに沿った内周壁（クランプ機構１４ａ，１４ｂにおいては同図に示す内周壁９１ｄ、クランプ機構１４ｃ，１４ｄにおいては同図に示す内周壁９１ｂ）を押圧し、この反力によって本体部４１が、第２方向Ｂに沿って基台本体１１の中央部から離反する向きに押圧される。
【００５７】
ここで、この固定装置２では、本体部４１と、本体部４１が収容されている凹部９１との間に隙間４０１が生じて、本体部４１が、第１方向Ａ、第２方向Ｂ、および第１方向Ａと第２方向Ｂとを合成した合成方向に沿って基台５に対して移動可能に構成されている。このため、上記したように、第１方向Ａに沿って基台本体１１の中央部から離反する向きに押圧され、かつ第２方向Ｂに沿って基台本体１１の中央部から離反する向きに押圧された本体部４１は、例えば、本体部４１におけるエアシリンダ５５の配設位置側が基台本体１１の中央部から離反する回動方向（第１方向Ａおよび第２方向Ｂを合成した合成方向の一例であって、クランプ機構１４ａ，１４ｄにおいては右回りの回動方向、クランプ機構１４ｂ，１４ｃにおいては左回りの回動方向（図１５に示す回動方向Ｆ））に沿って回動させられたり、または、図１６に示すように、傾斜方向Ｇ（第１方向Ａおよび第２方向Ｂを合成した合成方向の他の一例）に沿って基台本体１１の中央部から離反しつつ移動させられたりする。このため、各クランプ機構１４によってクランプされている回路基板１００は、第１方向Ａに沿った外向きに引っ張られることに加えて、第２方向Ｂに沿った外向きにも引っ張られる。この結果、回路基板１００の第２方向Ｂに沿って皺が生じているときには、その皺が確実に矯正されることに加えて、上記した接離機構１３による引っ張り（梁部材１２ａ，１２ｂの第２方向Ｂに沿った移動）によってもなお第１方向Ａに沿った皺が矯正されていない場合においても、その皺が確実に矯正される。
【００５８】
また、この固定装置２では、各クランプ機構１４が、第１方向Ａおよび第２方向Ｂを合成した合成方向に個別に移動可能に構成されているため、回路基板１００における第２方向Ｂに沿った皺などの変形がクランプ機構１４の近傍において部分的に生じているときには、そのクランプ機構１４における合成方向に沿った移動のうちの第１方向Ａに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能なことに加えて、第１方向Ａに沿った皺などの変形がクランプ機構１４の近傍において部分的に生じているときにおいても、そのクランプ機構１４における合成方向に沿った移動のうちの第２方向Ｂに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能となっている。さらに、上記した接離機構１３による引っ張りに起因して、回路基板１００における第２方向Ｂに沿った縁部の中央部に弛みが生じたとしても（図１７参照）、各クランプ機構１４における合成方向に沿った移動のうちの第２方向Ｂに沿った移動成分によって、その弛みを確実に矯正することが可能となっている。
【００５９】
次いで、制御部４は、プロービング装置３のプロービング機構３０２を制御することにより、検査用プローブ３０１を移動させて回路基板１００における検査対象の導体パターンに接触させる。この場合、回路基板１００に皺などの変形が生じていたとしても、上記したように固定装置２によってその変形が確実に矯正されているため、検査対象の導体パターンに検査用プローブ３０１が確実に接触される。
【００６０】
続いて、制御部４は、検査用プローブ３０１を介して入力した電気信号Ｓに基づいて電気的検査を実行する。この後、回路基板１００についての検査を終了したときには、制御部４は、電磁弁１８を制御して、各エアシリンダ５１〜５５に対するエアの供給を停止する。これにより、クランプ機構１４およびセンタークランプ機構１５における回動部４３の先端部２０５、並びに補助クランプ機構１６における回動部８３の先端部２０７が、バネ６３，６６の弾性力によって本体部４１，４４，８１の先端部２０４，２０５，２０６から離間する向きにそれぞれ回動させられて、各クランプ機構１４，１５，１６による回路基板１００のクランプが解除される。また、バネ６１，６４，６５の弾性力により、本体部４１が、上記した回動方向とは逆の回動方向（クランプ機構１４ａ，１４ｄにおいては左回りの回動方向、クランプ機構１４ｂ，１４ｃにおいては右回りの回動方向）に回動させられて、初期状態となる。
【００６１】
このように、この固定装置２および検査装置１では、回路基板１００における第１方向Ａに沿った縁部１０２をクランプして第１方向Ａに沿って移動可能な複数のクランプ機構の少なくとも１つが、第１方向Ａと第１方向Ａに直交する第２方向Ｂとを合成した合成方向に沿って移動可能な合成方向可動クランプ機構としてのクランプ機構１４で構成され、移動機構１９がそのクランプ機構１４を合成方向に沿って移動させる。このため、この固定装置２および検査装置１によれば、クランプ機構１４によってクランプしている回路基板１００の縁部１０２を第１方向Ａに沿った向きおよび第２方向Ｂに沿った向きの双方に向けて個別に引っ張ることができる。したがって、この固定装置２および検査装置１によれば、回路基板１００における第２方向Ｂに沿った皺などの変形がクランプ機構１４の近傍において部分的に生じているときには、そのクランプ機構１４における合成方向に沿った移動のうちの第１方向Ａに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能なことに加えて、第１方向Ａに沿った皺などの変形がクランプ機構１４の近傍において部分的に生じているときにおいても、そのクランプ機構１４における合成方向に沿った移動のうちの第２方向Ｂに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することができる。また、回路基板１００における第２方向Ｂに沿った縁部の中央部に弛みが生じたとしても、第１方向Ａに沿った縁部の端部をクランプ機構１４でクランプしてクランプ機構１４を合成方向に沿って移動させることで、クランプ機構１４における合成方向に沿った移動のうちの第２方向Ｂに沿った移動成分によってその弛みを確実に矯正することができる。したがって、この固定装置２および検査装置１によれば、弛みの発生を防止しつつ回路基板１００の変形を確実に矯正することができる。
【００６２】
また、この固定装置２および検査装置１では、回路基板１００における第１方向Ａに沿った１つの縁部１０２ａの複数箇所をそれぞれクランプする複数の（例えば２つの）クランプ機構（上記の例ではクランプ機構１４ａ，１４ｂ）と、これらのクランプ機構にそれぞれ対向配置されて回路基板１００における縁部１０２ａに対向する他の１つの縁部１０２ｂの複数箇所をそれぞれクランプする複数のクランプ機構（上記の例ではクランプ機構１４ｃ，１４ｄ）とを備え、互いに対向するクランプ機構の少なくとも一方（つまり、上記の例ではクランプ機構１４ａ，１４ｂ、クランプ機構１４ａ，１４ｄ、クランプ機構１４ｂ，１４ｃ、クランプ機構１４ｃ，１４ｄ、クランプ機構１４ａ，１４ｂ，１４ｃ、クランプ機構１４ａ，１４ｂ，１４ｄ、クランプ機構１４ａ，１４ｃ，１４ｄ、クランプ機構１４ｂ，１４ｃ，１４ｄおよびクランプ機構１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄのうちのいずれかの組み合わせ）が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この固定装置２および検査装置１によれば、回路基板１００における互いに対向するクランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じている場合においてもそれらの変形を個別に矯正することができる。
【００６３】
また、この固定装置２および検査装置１では、互いに対向するクランプ機構（上記の例ではクランプ機構１４ａ，１４ｂおよびクランプ機構１４ｃ，１４ｄ）の双方が合成方向可動クランプ機構で構成されている。つまり、この固定装置２および検査装置１では、全てのクランプ機構１４が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この固定装置２および検査装置１によれば、回路基板１００における互いに対向するクランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じているときに、その部位を２つのクランプ機構１４で引っ張ることができるため、これらの変形をより確実に矯正することができる。
【００６４】
さらに、この固定装置２および検査装置１によれば、接離機構１３によって互いに接離させられる一対の梁部材１２を備えて基台５を構成し、一方の梁部材１２における長さ方向に沿ってクランプ機構１４ａ，１４ｂを配置し、他方の梁部材１２における長さ方向に沿ってクランプ機構１４ｃ，１４ｄを配置したことにより、クランプ機構１４ａ，１４ｂとクランプ機構１４ｃ，１４ｄとを同じ移動量で接離させることができるため、例えば、第１方向Ａに沿った皺などの変形が回路基板１００の両端部の間の全範囲に亘って一様に生じているときには、この変形を均等に引き伸ばして矯正することができる。
【００６５】
さらに、この固定装置２および検査装置１によれば、各梁部材１２における長さ方向の中央部に固定されたセンタークランプ機構１５を挟んで互いに離間した位置にクランプ機構１４を２つずつ配設したことにより、センタークランプ機構１５を中心として第１方向Ａに沿ってセンタークランプ機構１５から離反する方向に各クランプ機構１４の本体部４１を移動させることで、回路基板１００を第１方向Ａに沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第１方向Ａに沿って湾曲するような変形が回路基板１００に生じていたとしても、回路基板１００を十分に平坦な状態に矯正することができる。
【００６６】
さらに、この固定装置２および検査装置１によれば、回路基板１００の第２方向Ｂに沿った縁部をクランプする補助クランプ機構１６を備えて、接離機構１３が、補助クランプ機構１６の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材１２の双方を第２方向Ｂに沿って移動させることにより、回路基板１００を第２方向Ｂに沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第２方向Ｂに沿って湾曲するような変形が回路基板１００に生じていたとしても、回路基板１００を十分に平坦な状態に矯正することができる。
【００６７】
また、この固定装置２および検査装置１では、梁部材１２に形成された凹部９１内に移動可能に収容された本体部４１を備えてクランプ機構１４が構成され、本体部４１を第１方向Ａに沿って押圧するエアシリンダ５１と、本体部４１を第２方向Ｂに沿って押圧するエアシリンダ５５とを備えて移動機構１９が構成されて、エアシリンダ５１，５５による本体部４１の押圧によってクランプ機構１４が合成方向に沿って移動される。このため、この固定装置２および検査装置１によれば、移動機構１９を簡易に構成することができる。
【００６８】
また、この固定装置２および検査装置１では、本体部４１における第２方向Ｂに沿った側面に開口部を有して本体部４１に形成されたシリンダ５１ａと、シリンダ５１ａ内への空気供給によって第１方向Ａに沿ってシリンダ５１ａ内をスライドするピストン５１ｂとを備えてエアシリンダ５１が構成され、本体部４１における第１方向Ａに沿った側面に開口部を有して本体部４１に形成されたシリンダ５５ａと、シリンダ５５ａへの空気供給によって第２方向Ｂに沿ってシリンダ５５ａ内をスライドするピストン５５ｂとを備えてエアシリンダ５５が構成されている。つまり、この固定装置２および検査装置１では、エアシリンダ５１，５５が本体部４１に内蔵されている。したがって、この固定装置２および検査装置１によれば、エアシリンダ５１，５５を本体部４１の外部に配設する構成と比較して、クランプ機構１４を十分に小形化することができる。
【００６９】
また、この検査装置１によれば、上記の固定装置２を備えたことにより、回路基板１００に皺などの変形が生じていたとしても、固定装置２によってその変形を確実に矯正することができるため、検査対象の導体パターンに検査用プローブ３０１を確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。
【００７０】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、１つのエアシリンダ５１と１つのエアシリンダ５５とを用いて本体部４１を押圧する構成例について上記したが、エアシリンダ５１およびエアシリンダ５５の数は、１つに限定されず、任意に変更することができる。また、本体部４１の内部に形成したシリンダ５１ａ，５５ａおよびシリンダ５１ａ，５５ａ内に収容したピストン５１ｂ，５５ｂを備えてエアシリンダ５１，５５を構成した例、つまり本体部４１にエアシリンダ５１，５５を内蔵した構成例について上記したが、本体部４１とは別体としたエアシリンダ５１，５５を構成本体部４１の外部、（例えば、本体部４１の上面）に配設する構成を採用することもできる。また、エアシリンダ５１，５５に代えて、モータおよびボールねじを備えた機構や、油圧シリンダなどを第１押圧部および第２押圧部として用いることもできる。また、第１押圧部および第２押圧部による本体部４１に対する押圧によって本体部４１を移動させる構成例について上記したが、モータ等の回転機構によって本体部４１を直接回転させて回動方向Ｆに沿って移動させる構成や、傾斜方向Ｇに沿った向きに本体部４１を押圧して本体部４１をその向きに移動させる構成を採用することもできる。
【００７１】
また、各梁部材１２にクランプ機構１４を２つずつ配設した構成例について上記したが、梁部材１２に配設するクランプ機構１４の数は２つに限定されず、３つ以上の任意の数に規定することができる。また、全てのクランプ機構１４を合成方向可動クランプ機構で構成した例について上記したが互いに対向する一対のクランプ機構１４のうちの少なくとも一方だけを合成方向可動クランプ機構で構成する、具体的には、クランプ機構１４ａ，１４ｂ、クランプ機構１４ａ，１４ｄ、クランプ機構１４ｂ，１４ｃ、クランプ機構１４ｃ，１４ｄ、クランプ機構１４ａ，１４ｂ，１４ｃ、クランプ機構１４ａ，１４ｂ，１４ｄ、クランプ機構１４ａ，１４ｃ，１４ｄ、およびクランプ機構１４ｂ，１４ｃ，１４ｄのうちのいずれかの組み合わせに係る各クランプ機構１４を合成方向可動クランプ機構で構成することができる。また、全てのクランプ機構１４のうちの１つだけを合成方向可動クランプ機構で構成することもできる。
【００７２】
また、接離機構１３が、補助クランプ機構１６の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材１２の双方を第２方向に沿って移動させる構成例について上記したが、両梁部材１２のいずれか一方だけを移動させる構成を採用することもできる。また、補助クランプ機構１６を備えた構成例について上記したが、補助クランプ機構１６を備えていない構成を採用することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１  検査装置
２  固定装置
３  プロービング装置
４  制御部
５  基台
１２ａ，１２ｂ  梁部材
１３  接離機構
１４ａ〜１４ｄ  クランプ機構
１５ａ，１５ｂ  センタークランプ機構
１６ａ，１６ｂ  補助クランプ機構
１９  移動機構
４１  本体部
４１ａ〜４１ｄ  側面
４２  スライド部
４３  回動部
５１，５５  エアシリンダ
５１ａ，５５ａ  シリンダ
５１ｂ，５５ｂ  ピストン
９１  凹部
９１ａ〜９１ｄ  内周壁
１００  回路基板
１０１ａ  一面
１０１ｂ  他面
１０２ａ〜１０２ｄ  縁部
３０１  検査用プローブ
Ａ  第１方向
Ｂ  第２方向
Ｆ  回動方向
Ｇ  傾斜方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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