(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸入口から空気を吸引し、該空気を排出口に排出するポンプ本体と、
前記ポンプ本体の駆動に連動して前記ポンプ本体に潤滑油を圧送する油圧ポンプと、
前記吸入口と前記ポンプ本体との間の流路に配設されて前記吸入口を開閉する逆流防止弁と、
前記逆流防止弁に真空よりも高圧の気体を導入する大気導入路と、
前記油圧ポンプの作動時には該油圧ポンプにより圧送された潤滑油の圧力で前記大気導入路を閉じ、前記油圧ポンプの非作動時には前記大気導入路を開く大気導入弁と、
前記弁体逆流防止弁が前記吸入口を閉じた際に、前記大気導入弁が開放して前記逆流防止弁に導入された大気を前記流路側に導入する真空破壊用流路とを備え、
前記逆流防止弁は、シリンダが設けられた弁支持体と該シリンダに収納されて前記吸入口を開閉する弁体とを備え、
前記大気導入路は、前記シリンダに大気を導入するように構成され、
前記弁体は、前記ポンプ本体の停止時には、前記ポンプ本体が作動していたことにより大気圧以下に減圧された前記流路内の圧力と、前記ポンプ本体の停止に伴う前記油圧ポンプの停止により前記大気導入弁が開放して前記シリンダに導入された大気の圧力との差圧により前記シリンダから突出して前記吸入口を閉じ、
前記弁支持体には、前記シリンダと前記流路とを連通する連通流路、及び前記真空破壊用流路が設けられ、
前記真空破壊用流路のシリンダ内の開口は、前記弁体が前記吸入口を封止していないときには前記弁体により閉ざされ、前記弁体が前記吸入口を封止しているときには開放される位置に形成されている
ことを特徴とするポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、潤滑油供給用の油圧ポンプが組み込まれたポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空にする対象の容器等を真空状態にするには、油回転真空ポンプを当該容器等に直接的に接続することで、理想的な排気系が形成され、最も簡単で安価に実現する事が出来る。しかし、この場合、真空容器を真空に保ったまま油回転真空ポンプを停止すると油回転真空ポンプ内も真空状態になっている事から油回転真空ポンプの潤滑油は、ポンプのローター室へ流入しローター室が油で満たされるとポンプ吸入口から上流に向かって油が押し上げられる。【０００３】
このように油の逆流が生じると真空配管、真空容器が汚染され次の真空排気において油の蒸気により真空容器の雰囲気が炭化水素により汚染され到達圧力が上昇するだけでなく真空処理を行う対象物にカーボンを析出させてしまう等の不具合が生じる。【０００４】
そこで、このような不具合を避ける為に図１に示す排気系が一般に使用されている。すなわち、油回転真空ポンプ１００を停止する前に遮断弁（Ｖ１）を閉じることで真空容器１０１と油回転真空ポンプ１００を隔離遮断後、大気導入弁（Ｖ２）を開き油回転真空ポンプ１００のローター室を大気圧に戻してから停止する。停止の度に大気導入弁（Ｖ２）を開き油回転真空ポンプ１００のローター室を大気圧に戻すことで潤滑油の逆流を防いでいる。【０００５】
また、上流に油が逆流することを防止するために、空気の吸入口からポンプのローター室に至るまでの間に遮断弁を設けたポンプがある（例えば、特許文献１参照）。【０００６】
このようなポンプは、ポンプ本体の駆動により吸入口から空気が導入されて排出口から排出される。またポンプ本体に連動する油圧ポンプが設けられ、油圧ポンプによりポンプ本体に潤滑油が供給される。一方、吸入口からポンプ本体の間の流路には、吸入口を開閉する遮断弁が配設されている。遮断弁は、吸入口を閉じる方向に付勢され、油圧ポンプにより圧送された潤滑油の圧力で吸入口を開くように構成されている。【０００７】
このような構成のポンプでは、ポンプ本体の動作時には、油圧ポンプも作動し、その作動により潤滑油の圧力で遮断弁が開いた状態となり、吸入口からポンプ本体に空気が導入され真空容器を真空にすることができる。ポンプ本体を停止した際には、油圧ポンプも停止し、潤滑油の圧力が低下するので遮断弁がその付勢力で吸入口を閉じ、潤滑油の逆流を防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平６−２００８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、図１に示した構成では、油回転真空ポンプ１００、遮断弁Ｖ１、大気導入弁Ｖ２を制御する制御系は真空のもとで運転される為、費用が嵩み且つ、遮断弁Ｖ１、大気導入弁Ｖ２を設置するスペースを相当程度確保する必要がある。【００１０】
また、特許文献１に係るポンプでは、ポンプ本体の運転を停止し、遮断弁が吸入口を閉じた状態では、吸入口からポンプ本体までに至る流路は、真空に維持されたままである。ポンプ本体の運転停止時には、潤滑油には大気圧が加わっている。したがって、大気圧により押圧された潤滑油が真空に維持された流路に逆流し、当該流路や遮断弁や吸入口の周辺を汚染してしまうという問題がある。特に、遮断弁と吸入口とが接する面に不具合、例えば錆や部材の疲労破壊や異物が介在することなどにより気密性が保たれていないと、その隙間を通して真空容器側にまで潤滑油が逆流してしまうという問題がある。【００１１】
本発明は、このような事情に鑑み、上流側に潤滑油の流入を確実に防止することができ、且つ簡易な構成のポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するための第１の態様は、吸入口から空気を吸引し、該空気を排出口に排出するポンプ本体と、前記ポンプ本体の駆動に連動して前記ポンプ本体に潤滑油を圧送する油圧ポンプと、前記吸入口と前記ポンプ本体との間の流路に配設されて前記吸入口を開閉する逆流防止弁と、前記逆流防止弁に真空よりも高圧の気体を導入する大気導入路と、前記油圧ポンプの作動時には該油圧ポンプにより圧送された潤滑油の圧力で前記大気導入路を閉じ、前記油圧ポンプの非作動時には前記大気導入路を開く大気導入弁と、前記弁体逆流防止弁が前記吸入口を閉じた際に、前記大気導入弁が開放して前記逆流防止弁に導入された大気を前記流路側に導入する真空破壊用流路とを備え、前記逆流防止弁は、シリンダが設けられた弁支持体と該シリンダに収納されて前記吸入口を開閉する弁体とを備え、前記大気導入路は、前記シリンダに大気を導入するように構成され、前記弁体は、前記ポンプ本体の停止時には、前記ポンプ本体が作動していたことにより大気圧以下に減圧された前記流路内の圧力と、前記ポンプ本体の停止に伴う前記油圧ポンプの停止により前記大気導入弁が開放して前記シリンダに導入された大気の圧力との差圧により前記シリンダから突出して前記吸入口を閉じ、前記弁支持体には、前記シリンダと前記流路とを連通する連通流路、及び前記真空破壊用流路が設けられ、前記真空破壊用流路のシリンダ内の開口は、前記弁体が前記吸入口を封止していないときには前記弁体により閉ざされ、前記弁体が前記吸入口を封止しているときには開放される位置に形成されていることを特徴とするポンプにある。
【００１３】
かかる第１の態様では、ポンプ本体及び油圧ポンプが停止すると、大気導入弁が大気導入路を開放し、逆流防止弁に空気が導入される。この空気の圧力は、ポンプ本体の作動により減圧され若しくは真空状態である流路の圧力よりも高い。これにより、流路の圧力と逆流防止弁に導入された空気とに圧力差が生じ、逆流防止弁が吸入口を閉じる。これにより、ポンプ本体の停止により、逆流防止弁により流路が封止されるので潤滑油が上流側に逆流することを確実に防ぐことができる。【００１４】
また、本態様に係るポンプによれば、逆流防止弁や、この開閉を行うための大気導入弁は全てポンプに設けられているため、真空容器とポンプとの間に真空下で動作する制御系を設ける必要が無く、省スペース化を実現できる。また、逆流防止弁の開閉は、ポンプ本体に油圧ポンプが連動し、さらにこの油圧ポンプに連動して大気導入弁が開閉することにより実現されるため、従来技術のように複雑で電気的な制御系を設ける場合に比して、逆流防止弁の開閉制御を簡易に実現することができる。これにより、装置（排気系）の開発・製造に係る費用を抑えることができる。
また、ポンプ本体の運転停止時には、吸入口が逆流防止弁で閉ざされる。このとき、逆流防止弁からポンプ本体に至る流路は、大気導入路からの空気により真空破壊される。したがって、大気圧により押圧された潤滑油が流路や逆流防止弁や吸入口の周辺を汚染してしまうことを防止できる。
さらに、ポンプの運転停止時における吸入口の封止を簡易な構造の逆流防止弁で実現することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、上流側に潤滑油の流入を確実に防止することができ、且つ簡易な構成の装置（排気系）を設計することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来技術に係るポンプの基本構成を模式的に説明する図である。
【図２】実施形態に係るポンプの要部を展開した図である。
【図３】ポンプを構成する油圧ポンプ及びポンプ本体の断面図である。
【図４】実施形態に係るポンプの動作を説明する要部断面図である。
【図５】実施形態に係るポンプの動作を説明する要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００２２】
図２及び図３に基づいて本発明の実施形態に係るポンプの構成を説明する。これらの図に示すように、ポンプ１は、基台２に設けられた流路部材３を備え、流路部材３にはケース４が設けられている。流路部材３には、減圧若しくは真空とする対象の機器等が接続される吸入部５が設けられ、また、逆流防止弁７０（詳細は後述する）が収納される弁収納部６が設けられている。吸入部５には、空気の流路となる吸入口７が形成され、吸入口７と弁収納部６とは連通している。ケース４には、吸入部５から吸入した空気が排出される排出部８が設けられ、排出部８には、ケース４内部と外部とを連通して空気の流路となる排出口９が設けられている。
【００２３】
ケース４内部には、第１のポンプ本体１０と、第２のポンプ本体２０とが配設されている。第１のポンプ本体１０は、第１のポンプ室１３が設けられた第１のケーシング１１と、第１のポンプ室１３内に偏心して配設された第１のローター１２とを備えている。第１のローター１２には、ベーン４０が第１のポンプ室１３の内周に摺動するように取り付けられており、第１のポンプ室１３は、ベーン４０により複数個の空間に仕切られている。
【００２４】
同様に、第２のポンプ本体２０は、第２のポンプ室２３が設けられた第２のケーシング２１と、第２のポンプ室２３内に偏心して配設された第２のローター２２とを備えている。第２のローター２２には、ベーン４０が第２のポンプ室２３の内周に摺動するように取り付けられており、第２のポンプ室２３は、ベーン４０により複数個の空間に仕切られている。
【００２５】
第１のケーシング１１及び第２のケーシング２１はケース４内に固定され、第１のローター１２及び第２のローター２２は第１のポンプ室１３及び第２のポンプ室２３内で回転するように共通軸４５に軸支されている。
【００２６】
第１のケーシング１１には、第１のポンプ室１３と弁収納部６とに連通する第１の気体導入路１４が設けられ、第１のポンプ室１３とケース４内部とに連通する第１の気体排出路１５が設けられている。また、第２のケーシング２１には、第１のポンプ室１３と第２のポンプ室２３とを連通する第２の気体導入路２４が設けられ、第２のポンプ室２３とケース４内部とに連通する第２の気体排出路２５が設けられている。
【００２７】
また、第１の気体排出路１５及び第２の気体排出路２５には、それぞれ吐出弁４１が設けられている。各吐出弁４１は、各第１、第２のポンプ室１３、２３側に付勢するスプリング４２により各第１、第２の気体排出路１５、２５を閉じており、各第１、第２のポンプ室１３、２３で圧縮された気体の圧力が所定値を超えたときに開くようになっている。
【００２８】
これらの流路部材３、第１のポンプ本体１０、第２のポンプ本体２０には、吸入口７、弁収納部６、第１の気体導入路１４、第２の気体導入路２４、第１の気体排出路１５、第２の気体排出路２５、ケース４内部、排出口９からなる気体の流路が形成されている。これにより、第１のローター１２及び第２のローター２２が駆動することにより、吸入口７から気体が導入され、弁収納部６、第１の気体導入路１４を経由して第１のポンプ室１３に気体が導入される。その気体の一部は、第１のローター１２の回転により圧縮されて第１の気体排出路１５及びケース４内部を介して排出口９から外部に排出される。その気体の残りは第２の気体導入路２４を経由して第２のポンプ室２３に導入され、第２のローター２２の回転により圧縮されて第２の気体排出路２５及びケース４内部を介して排出口９から外部に排出される。
【００２９】
また、ケース４内には、油圧ポンプ３０が配設されている。油圧ポンプ３０は、第３のポンプ室３３が設けられた第３のケーシング３１と、第３のポンプ室３３内に偏心して配設された第３のローター３２とを備えている。第３のローター３２には、ベーン４０が第３のポンプ室３３の内周に摺動するように取り付けられており、第３のポンプ室３３は、ベーン４０により複数個の空間に仕切られている。
【００３０】
第３のケーシング３１は、取付部材５０を介して第２のポンプ本体２０に取り付けられ、押さえ部材５１により固定されている。第３のローター３２は、共通軸４５に取り付けられ、第１のローター１２及び第２のローター２２と連動するように構成されている。
【００３１】
第３のケーシング３１には、第３のポンプ室３３と外部とを連通する潤滑油導入路３６が形成されている。潤滑油導入路３６は、ケース４の下部に開口しており、第３のローター３２の回転によりケース４下部に貯留された潤滑油６２は、潤滑油導入路３６を経由して第３のポンプ室３３に吸引される。第３のポンプ室３３に吸引されて昇圧された潤滑油６２は、第３のケーシング３１、取付部材５０、第２のケーシング２１及び第１のケーシング１１にそれぞれ形成された潤滑油６２の流路となる潤滑油流路５５に圧送され、共通軸４５や第１、第２のポンプ室１３、２３に供給される。
【００３２】
第１のポンプ本体１０、第２のポンプ本体２０が駆動することにより、油圧ポンプ３０も連動する。この油圧ポンプ３０の作動により、第１のポンプ室１３、第２のポンプ室２３及び共通軸４５に潤滑油６２が供給されるため、各第１、第２のポンプ本体１０、２０が円滑に作動し、ポンプ１の能力が安定的に提供される。
【００３３】
ここで、図４及び図５に基づいて、逆流防止弁７０の開閉について説明する。
【００３４】
流路部材３の弁収納部６（吸入口７と第１のポンプ本体１０との間の流路）には、逆流防止弁７０が配設されている。逆流防止弁７０は、弁体７１と弁支持体７２とから構成されている。弁支持体７２にはシリンダ７４が設けられ、弁体７１にはピストン部７５が設けられている。弁体７１は吸入口７の開口を閉ざすことができるように形成され、ピストン部７５がシリンダ７４内に摺動自在に配設されている。このような構成により、弁体７１は、弁支持体７２から突出して吸入口７を閉じ、また、吸入口７から離隔して吸入口７を開放することが可能となっている。
【００３５】
また、弁支持体７２には、シリンダ７４に連通して空気の流路となる連通流路７６が形成され、連通流路７６は、大気導入路１９及び弁支持体７２外部に連通している。また、弁支持体７２には、シリンダ７４と外部とを連通する真空破壊用流路７３が形成されている。真空破壊用流路７３は、詳細は後述するが、弁体７１が吸入口７を封止していないときには弁体７１により真空破壊用流路７３の開口が閉ざされ、弁体７１がシリンダ７４から突出して吸入口７を閉じたときには真空破壊用流路７３の開口が開放される位置に形成されている。
【００３６】
第１のケーシング１１には、円筒状の導入弁収納部１６が設けられ、導入弁収納部１６には、ケース４内に連通する潤滑油排出口１７と大気導入口１８とが設けられている。また、導入弁収納部１６は、第３のケーシング３１に設けられた導入弁用潤滑油流路３７（図２参照）、取付部材５０に設けられた潤滑油流路５６（図２参照）、及び第２のケーシング２１に設けられた潤滑油流路２６を介して第３のポンプ室３３に連通しており、第３のポンプ室３３から潤滑油が圧送されるようになっている。
【００３７】
また、流路部材３及び第１のケーシング１１には、大気導入口１８からの空気が導入される大気導入路１９が設けられており、大気導入口１８は、導入弁収納部１６、大気導入路１９を介して弁支持体７２のシリンダ７４に連通している。
【００３８】
導入弁収納部１６には、大気導入弁６０が摺動自在に配設されている。大気導入弁６０は、大気導入路１９を開閉する弁である。具体的には、大気導入弁６０は、その第１の位置においては、その側面で大気導入口１８を閉じ（図４参照）、その第２の位置においては、その側面は大気導入口１８を開放する（図５参照）ように構成されている。さらに、大気導入弁６０は、第２の位置に位置するようにスプリング６１により付勢されている。なお、このスプリング６１の付勢力は、後述するように、潤滑油流路２６から圧送された潤滑油の圧力で大気導入弁６０が第１の位置に位置するように調整されている。
【００３９】
図４に示すように、大気導入弁６０が第１の位置にある場合には、大気導入口１８と大気導入路１９とは大気導入弁６０で分断され、また潤滑油流路２６と潤滑油排出口１７とが連通する。一方、図５に示すように、大気導入弁６０が第２の位置にある場合には、大気導入口１８と大気導入路１９とは連通し、また潤滑油流路２６と潤滑油排出口１７とは大気導入弁６０で分断される。
【００４０】
このように構成された逆流防止弁７０は、ポンプ１の動作時においては、図４に示すように、吸入口７を開放した状態となる。このことを詳細に説明する。ポンプ１の動作前においては、第１のポンプ本体１０、第２のポンプ本体２０及び油圧ポンプ３０は何れも動作していない。したがって、導入弁収納部１６には、油圧ポンプ３０により潤滑油が圧送されることはなく、大気導入弁６０は、第２の位置に位置している。
【００４１】
第１、第２のポンプ１０、２０を動作させると、弁収納部６は真空状態（大気圧以下）になる。また、シリンダ７４内も連通流路７６を介して弁収納部６と連通しているので真空状態になる。このとき、第１、第２のポンプ１０、２０に連動する油圧ポンプ３０により潤滑油が導入弁収納部１６に圧送され、この潤滑油の圧力がスプリング６１の付勢力に勝ると、大気導入弁６０が第１の位置に移動する。この結果、弁収納部６、シリンダ７４、及び大気導入路１９は大気導入口１８（大気）から遮断されて封止された空間となり、弁収納部６及びシリンダ７４内の圧力は第１、第２のポンプ１０、２０により真空状態となる。つまり、弁収納部６及びシリンダ７４内では圧力差が生じない。したがって、弁体７１はシリンダ７４から突出せず、吸入口７を封止しない。なお、導入弁収納部１６に圧送された潤滑油は潤滑油排出口１７を介してケース４内に排出される。
【００４２】
一方、ポンプ１の非動作時においては、図５に示すように、吸入口７が逆流防止弁７０で封止された状態になる。このことを詳細に説明する。動作しているポンプ１（図４参照）の第１、第２のポンプ１０、２０を停止すると、これに連動して油圧ポンプ３０も停止する。油圧ポンプ３０の停止により、導入弁収納部１６には潤滑油が圧送されなくなり、スプリング６１の付勢力により大気導入弁６０は第２の位置に移動する。
【００４３】
大気導入弁６０の第２の位置への移動により、大気導入路１９は、大気導入口１８に連通し、大気導入口１８から導入された大気は、大気導入路１９を介してシリンダ７４に導入される。このとき、弁収納部６は真空状態であり、シリンダ７４は大気圧となり、弁収納部６が負圧、シリンダ７４側が正圧となるため、弁体７１はシリンダ７４から突出して、吸入口７を閉じる。
【００４４】
弁体７１がシリンダ７４から突出すると、真空破壊用流路７３が開放されるため、シリンダ７４内に導入された空気は真空破壊用流路７３及び連通流路７６を介して弁収納部６に導入される。この結果、弁収納部６の真空状態は破壊され、大気圧となり、第１のポンプ室１３、第２のポンプ室２３も大気圧となる。
【００４５】
このような状態では、弁体７１により封止された吸入口７よりも上流側（真空にする対象の機器等が存在する側）は真空に維持され、弁収納部６は大気圧であるため、この圧力差により弁体７１は吸入口７を封止した状態が維持される。
【００４６】
なお、逆流防止弁７０は、大気導入路１９から導入された大気が連通流路７６を介して弁収納部６に導入されても、弁収納部６全体が大気圧となってシリンダ７４と差圧が無くなる前に、吸入口７を閉じられるように構成されている。例えば、ピストン部７５の径や弁体７１の重量を調整してある。
【００４７】
以上に説明したように、本実施形態に係るポンプ１では、第１のポンプ本体１０、第２のポンプ本体２０、油圧ポンプ３０とが動作する際には、シリンダ７４に大気を導入する大気導入路１９が油圧ポンプ３０により圧送された潤滑油の圧力で閉じられる。これにより、弁収納部６（吸入口７と第１のポンプ本体１０との間の第１の気体導入路１４を含む気体の流路）とシリンダ７４との圧力差がなくなるため、逆流防止弁７０は吸入口７を封止しない。
【００４８】
一方、ポンプ１の停止、すなわち第１のポンプ本体１０、第２のポンプ本体２０、及び油圧ポンプ３０とが停止すると、大気導入弁６０が大気導入路１９を開放し、シリンダ７４に大気が導入される。これにより、弁収納部６とシリンダ７４とに圧力差が生じ、弁体７１が吸入口７を閉じる。そして、この弁体７１が吸入口７を閉じて真空容器側を遮断する一方で、弁収納部６側は真空破壊される。
【００４９】
このような本実施形態に係るポンプ１によれば、真空容器側と第１、第２のポンプ本体１０、２０側とを遮断する逆流防止弁７０や、この開閉を行うための大気導入弁６０は全てポンプ１に設けられているため、省スペース化を実現できる。また、逆流防止弁７０の開閉は、各第１のポンプ本体１０、第２のポンプ本体２０に油圧ポンプ３０が連動し、さらにこの油圧ポンプ３０に連動して大気導入弁６０が開閉することにより実現されるため、従来技術のように複雑で電気的な制御系を設ける場合に比して簡易な逆流防止弁７０の開閉制御が可能となる。これにより、ポンプ１を採用することにより装置（排気系）の開発・製造に係る費用を抑えることができる。
【００５０】
さらに、従来技術においては、吸入口からポンプ本体までに至る流路は、真空に維持されたままであるのに対し、本実施形態に係るポンプは、ポンプ本体の運転停止時には、当該流路に相当する弁収納部６や第１の気体導入路１４は真空破壊される。したがって、大気圧により押圧された潤滑油が当該流路や遮断弁や吸入口の周辺を汚染してしまうことを防止できる。
【００５１】
また、従来技術においては、吸入口を開閉する遮断弁は潤滑油により開閉されていたが、本実施形態に係る逆流防止弁は、圧力差で開閉する。したがって、本実施形態に係る逆流防止弁は、逆流防止弁を開閉するための潤滑油の漏洩でその周辺が汚染されるということを回避できる。
【００５２】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。
【００５３】
例えば、大気導入弁６０は、第１のケーシング１１に設けられていたがこれに限られず、逆流防止弁７０のシリンダ７４に大気を導入する大気導入路１９の開閉を行いうるものであればよい。
【００５４】
また、逆流防止弁７０は、弁体７１と弁支持体７２から構成されていたがこれに限られず、弁収納部６側の圧力と大気導入路１９からの大気の圧力との差圧で吸入口を閉じられるものであればよい。また、逆流防止弁７０は流路部材３に設けられていたがこれに限られず、吸入口７と第１のポンプ本体１０との間の流路であって、第１のポンプよりも上流側に配設されていればよい。
【００５５】
さらに、第１のポンプ本体１０及び第２のポンプ本体２０をポンプ本体として例示したが、これに限らず、１つ又は２以上であってもかまわない。
【００５６】
また、本実施形態では、ベーンポンプを例に挙げたが、これに限らず、本発明は、ポンプ本体に連動し、ポンプ本体に潤滑油を供給する油圧ポンプを備えるポンプに広く適用することができる。
【符号の説明】
【００５７】
Ｖ１   遮断弁
Ｖ２   大気導入弁
１     ポンプ
６     弁収納部（流路）
７     吸入口
９     排出口
１０   第１のポンプ本体
１６   導入弁収納部
１７   潤滑油排出口
１８   大気導入口
１９   大気導入路
２０   第２のポンプ本体
３０   油圧ポンプ
３６   潤滑油導入路
３７   導入弁用潤滑油流路
４５   共通軸
５５   潤滑油流路
６０   大気導入弁
７０   逆流防止弁
７１   弁体
７２   弁支持体
７３   真空破壊用流路
７４   シリンダ
７５   ピストン部
７６   連通流路
【図１】
0005608685.tif 000002
【図２】
0005608685.tif 000003
【図３】
0005608685.tif 000004
【図４】
0005608685.tif 000005
【図５】
0005608685.tif 000006