(57)【要約】  ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープ５を搬送して、テストヘッド１０に電気的に接続されているプローブ８１を有するプローブカード８に対してキャリアテープ５を押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブカード８のプローブ８１に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドラ２において、当該ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５を支持しながら当該キャリアテープ５をプローブカード８に対して押圧するプッシャユニット３と、プッシャユニット３をキャリアテープ面方向に移動させることのできるプッシャステージ４と、プッシャユニット３の後段に設けられ、試験結果の情報に基づいてキャリアテープ５に対し穴を開けることのできるパンチユニット２６と、パンチユニット２６をキャリアテープ面方向に移動させることのできるパンチユニットステージ２６１とを備えており、パンチユニットステージ２６１は、プッシャステージ４によるプッシャユニット３のキャリアテープ搬送方向に沿った移動量の情報に基づいて、パンチユニット２６を移動させる。かかるＴＣＰハンドラ２によれば、パンチ穴位置の精度を向上させることができる。
2008120520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
キャリアテープを支持しながら当該キャリアテープを前記測定部に対して押圧するプッシャ装置と、
前記プッシャ装置をキャリアテープ面方向に移動させることのできるプッシャ移動装置と、
前記プッシャ装置の後段に設けられ、試験結果の情報に基づいてキャリアテープに対し穴を開けることのできるパンチ装置と、
前記パンチ装置をキャリアテープ面方向に移動させることのできるパンチ移動装置と
を備えており、
前記パンチ移動装置は、前記プッシャ移動装置による前記プッシャ装置のキャリアテープ搬送方向に沿った移動量の情報に基づいて、前記パンチ装置を移動させる
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、キャリアテープ上にて直列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験することができるものであり、
前記パンチ移動装置は、前記試験結果の情報に基づいて、穴を開けるべきＴＣＰの位置に前記パンチ装置をあらかじめ移動させることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記パンチ移動装置は、キャリアテープ搬送方向と直交する方向にも前記パンチ装置を移動させることができることを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、キャリアテープ上にて並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験することができるものであり、
前記パンチ移動装置は、前記試験結果の情報に基づいて、穴を開けるべきＴＣＰの位置に前記パンチ装置をあらかじめ移動させることを特徴とする請求項３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
ＴＣＰの品種毎に前記パンチ装置の標準位置を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、前記パンチ移動装置は、前記パンチ装置を被試験ＴＣＰの標準位置に移動させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにプッシャユニットによりキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
上記ＴＣＰハンドラは、プッシャユニットの後段に、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くためのパンチユニットを備えており、このパンチユニットによって、不良品であるＴＣＰをキャリアテープから排除している。【０００５】
ところで、上記ＴＣＰハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要であり、そのためにＴＣＰとプローブとの位置合わせを行う必要がある。【０００６】
従来、ＴＣＰとプローブとの位置合わせ方法として、キャリアテープをプッシャユニットとともに移動させてアライメント補正を行う方法（特許文献１〜３）が知られている。
【特許文献１】実公平６−２２７１号公報
【特許文献２】特開平９−９２６９５号公報
【特許文献３】特開平８−２９４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記ＴＣＰハンドラを使用して、例えば数千個のＴＣＰについて連続的に試験を行うと、アライメント補正の累積によりプッシャユニットが基準位置から大きくずれてくることがある。上記パンチユニットはＴＣＰハンドラに固定されているため、プッシャユニットが基準位置から大きくずれると、プッシャユニットとパンチユニットとの相対距離が変わる。その状態で上記パンチユニットを駆動すると、パンチ穴の位置が目標とするＴＣＰからずれて、場合によっては隣接する良品であるＴＣＰの一部を打ち抜いてしまうことがある。【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、パンチ穴位置の精度を向上させることのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、キャリアテープを支持しながら当該キャリアテープを前記測定部に対して押圧するプッシャ装置と、前記プッシャ装置をキャリアテープ面方向に移動させることのできるプッシャ移動装置と、前記プッシャ装置の後段に設けられ、試験結果の情報に基づいてキャリアテープに対し穴を開けることのできるパンチ装置と、前記パンチ装置をキャリアテープ面方向に移動させることのできるパンチ移動装置とを備えており、前記パンチ移動装置は、前記プッシャ移動装置による前記プッシャ装置のキャリアテープ搬送方向に沿った移動量の情報に基づいて、前記パンチ装置を移動させることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【００１０】
なお、前記パンチ装置の移動は、前記プッシャ装置の移動毎に行ってもよいし、プッシャ装置の移動量が所定量以下（極小量）の場合には、パンチ装置を移動させなくてもよく、そして、プッシャ装置の累積移動量が所定量以上となったときに、パンチ装置を当該累積移動量分、まとめて移動させてもよい。【００１１】
上記発明（発明１）によれば、プッシャ装置の移動量の情報に基づいて、パンチ装置を移動させることができるため、例えば、プッシャ装置が基準位置から大きくずれたような場合には、それに合わせてパンチ装置を移動させることで、パンチ穴が目標とする位置から大きくずれることを防止することができる。すなわち、上記発明（発明１）によれば、パンチ穴位置の精度を向上させることができる。【００１２】
上記発明（発明１）において、前記ＴＣＰハンドリング装置が、キャリアテープ上にて直列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験することができるものの場合には、前記パンチ移動装置は、前記試験結果の情報に基づいて、穴を開けるべきＴＣＰの位置に前記パンチ装置をあらかじめ移動させるようにしてもよい（発明２）。かかる発明によれば、ロスタイムなくパンチ穴を開けることができ、したがって、スループットを向上させることができる。【００１３】
上記発明（発明１，２）において、前記パンチ移動装置は、キャリアテープ搬送方向と直交する方向にも前記パンチ装置を移動させることができるようになっていてもよい（発明３）。かかる発明によれば、キャリアテープ搬送方向と直交する方向においても、パンチ穴位置の精度を向上させることができる。【００１４】
上記発明（発明３）において、前記ＴＣＰハンドリング装置が、キャリアテープ上にて並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験することができるものである場合には、前記パンチ移動装置は、前記試験結果の情報に基づいて、穴を開けるべきＴＣＰの位置に前記パンチ装置をあらかじめ移動させるようにしてもよい（発明４）。かかる発明によれば、ロスタイムなくパンチ穴を開けることができ、したがって、スループットを向上させることができる。【００１５】
上記発明（発明１〜４）においては、ＴＣＰの品種毎に前記パンチ装置の標準位置を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、前記パンチ移動装置は、前記パンチ装置を被試験ＴＣＰの標準位置に移動させるようにしてもよい（発明５）。かかる発明によれば、品種切り替え時におけるパンチ装置のセッティング時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、パンチ穴位置の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。
【図３】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。
【図４】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるパンチユニットの動作の一例を示す図である。
【図５】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるパンチユニットの動作の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００１８】
１…ＴＣＰ試験装置
２…ＴＣＰハンドラ（ＴＣＰハンドリング装置）
３…プッシャユニット（プッシャ装置）
３３…プッシャ本体部（プッシャ装置）
４…プッシャステージ（プッシャ移動装置）
５…キャリアテープ
８…プローブカード（測定部）
８１…プローブ（接続端子）
１０…テストヘッド
２６…パンチユニット（パンチ装置）
２６１…パンチユニットステージ（パンチ移動装置）
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。【００２０】
ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成される。ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものである。【００２１】
なお、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２において、Ｘ軸は、テストヘッド１０上のキャリアテープ５の搬送方向（図１中左右方向）を示し、Ｙ軸は、水平面においてＸ軸と直交する方向（図１中紙面を貫通する方向）を示し、Ｚ軸は、垂直方向（図１中上下方向）を示す。【００２２】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００２３】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００２４】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００２５】
また、巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００２６】
イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられており、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（後述するプローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。【００２７】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、図示しない画像処理装置に接続されており、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。【００２８】
図１および図２に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド（以下「ＬＭガイド」という。）３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、ＬＭガイド３７にガイドされながらＺ軸方向に移動可能となっている。【００２９】
このプッシャ本体部３３の下端部には、エアを吸引することによりキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。【００３０】
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられている。【００３１】
図２および図３に示すように、プッシャフレーム３６におけるプッシャ本体部３３の背面側には、基台３８に載せられるようにしてプッシャステージ４が設置されており、プッシャステージ４の回転台であるトップテーブル４８はプッシャフレーム３６に固定されている。【００３２】
プッシャステージ４のベース４０上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ４２ａを回転させるサーボモータ４１ａと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｂを回転させるサーボモータ４１ｂと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｃを回転させるサーボモータ４１ｃとが設けられており、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃは、それぞれベース４０上の両端部に位置している。【００３３】
ボールねじ４２ａには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４３ａ，４３ａにガイドされてＸ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ａが螺合している。摺動ブロック４４ａには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４５ａを介して摺動板４６ａがＹ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ａの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ａが固定されており、回転部材４７ａは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００３４】
ボールねじ４２ｂには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｂ，４３ｂにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｂが螺合している。摺動ブロック４４ｂには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｂを介して摺動板４６ｂがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｂの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｂが固定されており、回転部材４７ｂは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００３５】
ボールねじ４２ｃには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｃ，４３ｃにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｃが螺合している。摺動ブロック４４ｃには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｃを介して摺動板４６ｃがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｃの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｃが固定されており、回転部材４７ｃは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００３６】
このような構成を有するプッシャステージ４においては、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａ、摺動板４６ｂおよび摺動板４６ｃをＸ軸方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＸ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂ、摺動ブロック４４ｃおよび摺動板４６ａをＹ軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＹ軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａをＸ軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂおよび摺動ブロック４４ｃを互いにＹ軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材４７ａ，４５ｂ，４５ｃを回転させることにより、トップテーブル４８をその垂直軸回りに回転させることができる。このプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、およびＺ軸回りに回転移動させることができる。【００３７】
したがって、プッシャユニット３のプッシャ本体部３３が吸着プレート３４によってキャリアテープ５を吸着保持している状態でプッシャユニット３を上記のように移動させることにより、キャリアテープ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸回りに移動させて、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブ８１との位置合わせ（アライメント補正）を行うことができる。【００３８】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。このプローブカードステージ７によれば、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、およびＺ軸回りに回転移動させることができる。【００３９】
プローブカード８は、複数のプローブ８１を備えており、各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。【００４０】
図１に示すように、プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、パンチユニット２６が設けられている。パンチユニット２６は、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００４１】
本実施形態におけるパンチユニット２６は、パンチユニットステージ２６１上に搭載されている。このパンチユニットステージ２６１は、その内部に設けられたアクチュエータの駆動により、パンチユニット２６をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることができるものである。【００４２】
ＴＣＰハンドラ２において、プッシャユニット３のＸ軸方向の移動量の情報は、パンチユニットステージ２６１に伝達される。そして、パンチユニットステージ２６１は、プッシャユニット３のＸ軸方向の移動量と同じ分だけ、パンチユニット２６をＸ軸方向に移動させる。パンチユニット２６の移動のタイミングは、プッシャユニット３の移動と同時であってもよいし、プッシャユニット３でアライメント補正を行ったＴＣＰがパンチユニット２６の位置に搬送される時（直前）であってもよい。【００４３】
パンチユニット２６を上記のように移動させて、プッシャユニット３とパンチユニット２６との相対距離を実質的に一定に保つことにより、パンチ穴の位置が目標とするＴＣＰからずれることを防止することができる。すなわち、試験回数が増大して、アライメント補正の累積によりプッシャユニット３のＸ軸方向の移動量が大きくなり、プッシャユニット３が基準位置から大きくずれたとしても、プッシャユニット３も同じ移動量でＸ軸方向に移動しているため、正確な位置でパンチ穴を開けることができる。したがって、隣接する良品であるＴＣＰの一部を打ち抜いてしまうことが防止される。【００４４】
なお、プッシャユニット３とパンチユニット２６との相対距離を一定に保つために、両者を連結部材によって機械的に連結することも考えられるが、プッシャユニット３を移動させるときに、パンチユニット２６および連結部材も同時に移動させることとなって、重量物を動かすことになり、プッシャユニット３を早く動かすことが困難となる。そのため、スループットが低下するという問題がある。また、ＴＣＰハンドラ２において連結部材のためのスペースを設けることも困難である。【００４５】
一方、ＴＣＰハンドラ２において、プッシャユニット３のＹ軸方向の移動量の情報も、パンチユニットステージ２６１に伝達される。そして、パンチユニットステージ２６１は、プッシャユニット３のＹ軸方向の移動量と同じ分だけ、パンチユニット２６をＹ軸方向に移動させる。パンチユニット２６の移動のタイミングは、プッシャユニット３の移動と同時であってもよいし、プッシャユニット３でアライメント補正を行ったＴＣＰがパンチユニット２６の位置に搬送される時（直前）であってもよい。【００４６】
これにより、ＴＣＰがキャリアテープ５上でＹ軸方向にずれていたとしても、プッシャユニット３がＹ軸方向に移動してその位置ずれを補正すれば、パンチユニット２６も同じ移動量でＹ軸方向に移動するため、正確な位置でパンチ穴を開けることができる。特に、キャリアテープ５上にてＴＣＰが並列方向に並んでいる場合に、隣接する良品であるＴＣＰの一部を打ち抜いてしまうことが防止される。【００４７】
ここで、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２が、キャリアテープ５上にて直列方向に並んだ複数、例えば２個のＴＣＰを同時に試験することができるものである場合、パンチユニットステージ２６１は、試験結果の情報に基づいて、パンチ穴を開けるべきＴＣＰの位置にパンチユニット２６をあらかじめ移動させることが好ましい。【００４８】
例えば、図４（ａ）に示すように、同時に試験した２個のＴＣＰのＸ軸プラス側（図中右側）が良品（ＯＫ；図中Ｏで示す）であり、Ｘ軸マイナス側（図中左側）が不良品（ＮＧ；図中Ｎで示す）であった場合、ＴＣＰハンドラ２は、その情報をパンチユニットステージ２６１に伝達する。図４（ｂ）に示すように、それらのＴＣＰがパンチユニット２６の位置まで搬送される前に、パンチユニットステージ２６１は、上記情報に基づいて、パンチユニット２６をあらかじめＸ軸マイナス側に移動させる。そして、図４（ｃ）に示すように、それらのＴＣＰがパンチユニット２６の位置まで搬送されたら、パンチユニット２６によってＮＧのＴＣＰを打ち抜く。【００４９】
パンチユニットステージ２６１によって、上記のようにあらかじめパンチユニット２６を移動させることにより、ロスタイムなくパンチ穴を開けることができ、したがって、スループットを向上させることができる。【００５０】
また、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２が、キャリアテープ５上にて並列方向に並んだ複数、例えば２個のＴＣＰを同時に試験することができるものである場合も、パンチユニットステージ２６１は、試験結果の情報に基づいて、パンチ穴を開けるべきＴＣＰの位置にパンチユニット２６をあらかじめ移動させることが好ましい。【００５１】
例えば、図５（ａ）に示すように、同時に試験した２個のＴＣＰのＹ軸プラス側（図中上側）が良品（ＯＫ；図中Ｏで示す）であり、Ｙ軸マイナス側（図中下側）が不良品（ＮＧ；図中Ｎで示す）であった場合、ＴＣＰハンドラ２は、その情報をパンチユニットステージ２６１に伝達する。図５（ｂ）に示すように、それらのＴＣＰがパンチユニット２６の位置まで搬送される前に、パンチユニットステージ２６１は、上記情報に基づいて、パンチユニット２６をあらかじめＹ軸マイナス側に移動させる。そして、図５（ｃ）に示すように、それらのＴＣＰがパンチユニット２６の位置まで搬送されたら、パンチユニット２６によってＮＧのＴＣＰを打ち抜く。【００５２】
パンチユニットステージ２６１によって、上記のようにあらかじめパンチユニット２６を移動させることにより、ロスタイムなくパンチ穴を開けることができ、したがって、スループットを向上させることができる。【００５３】
ここで、パンチユニット２６によってキャリアテープ５に対して穴を開ける標準位置は、ＴＣＰの品種毎に異なることが多い。したがって、ＴＣＰハンドラ２は、ＴＣＰの品種毎にパンチユニット２６の標準位置を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、当該ＴＣＰについて記憶した標準位置を読み出し、その情報に基づいて、パンチユニットステージ２６１によってパンチユニット２６を標準位置に移動させることが好ましい。これにより、品種切り替え時におけるパンチユニット２６のセッティング時間を短縮することができる。【００５４】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００５５】
例えば、上記実施形態では、プッシャユニット３が移動したら、逐一パンチユニット２６も移動するようにしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、プッシャユニット３の移動量が所定量以下（極小量）の場合には、パンチユニット２６を移動させなくてもよく、そして、プッシャユニット３の累積移動量が所定量以上となったときに、パンチユニット２６を当該累積移動量分、移動させてもよい（ある程度毎に纏めて移動させてもよい）。【００５６】
また、パンチユニットステージ２６１は、パンチユニット２６をＸ軸方向だけに移動させることができるものであってもよい。さらに、上記実施形態におけるパンチユニット６２は、不良品のＴＣＰを打ち抜くもの（リジェクトパンチ）であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、所定の試験結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるもの（マークパンチ）であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置においてパンチ穴を正確な位置に開けるのに有用である。
【図１】
2008120520.tif 000003
【図２】
2008120520.tif 000004
【図３】
2008120520.tif 000005
【図４】
2008120520.tif 000006
【図５】
2008120520.tif 000007
【国際調査報告】
2008120520.tif 000008
2008120520.tif 000009