(57)【要約】  圧着時に生じる内部電極のずれを防止でき、かつ、効率よく生産できる積層コイル部品及びその製造方法を提供すること。  磁性体層（４，５，６）が積層された積層体（２）と、複数の内部電極（７）からなり該積層体（２）に内蔵されたコイル（Ｌ）とを有する積層コイル部品（１）。内部電極（７）と積層方向に重ならない非重畳領域（Ｅ）に積層された磁性体層（４，５，６）の数は、内部電極（７）と積層方向に重なる重畳領域（Ｄ）に積層された磁性体層（４，５）の数より多い。
2008090852.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品において、
前記内部電極と積層方向に重ならない第１の領域に積層された磁性体層の数は、該内部電極と積層方向に重なる第２の領域に積層された磁性体層の数より多いこと、
を特徴とする積層コイル部品。
【請求項２】
前記積層体は、
前記内部電極と第１の磁性体層とが積層されて構成されるコイル形成層と、
積層方向の両側から前記コイル形成層を挟むように配置され、第２の磁性体層により構成されるコイル非形成層と、
を備え、
前記第２の領域に積層された第２の磁性体層の数は、前記第１の領域に積層された第２の磁性体層の数より少ないこと、
を特徴とする請求の範囲第１項に記載の積層コイル部品。
【請求項３】
前記第２の磁性体層は、
前記第１の磁性体層と略同じ面積を有する面状磁性体層と、
前記面状磁性体層よりも小さな面積を有する部分磁性体層と、
からなり、
前記面状磁性体層の前記第１の領域に、前記部分磁性体層が形成されることにより、該第１の領域に積層された第２の磁性体層の数が、前記第２の領域に積層された第２の磁性体層の数より多くなっていること、
を特徴とする請求の範囲第２項に記載の積層コイル部品。
【請求項４】
前記部分磁性体層の厚みの合計は、前記内部電極の厚みの合計と略等しいこと、
を特徴とする請求の範囲第３項に記載の積層コイル部品。
【請求項５】
前記第２の磁性体層は、前記第１の磁性体層と同じ材料により形成されていること、
を特徴とする請求の範囲第２項ないし請求の範囲第４項のいずれかに記載の積層コイル部品。
【請求項６】
磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品において、
前記磁性体層の積層方向を上下方向としたときに、前記積層体の上面及び下面は平坦面であり、
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極が上方に突出するように湾曲した形状を有すると共に、最も下方に配置された内部電極が下方に突出するように湾曲した形状を有すること、
を特徴とする積層コイル部品。
【請求項７】
磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品において、
前記磁性体層の積層方向を上下方向としたときに、前記積層体の上面及び下面は平坦面であり、
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極の中央部分から該積層体の上面までの距離は、最も上方に配置された該内部電極の端部から該積層体の上面までの距離よりも小さく、
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も下方に配置された内部電極の中央部分から該積層体の下面までの距離は、最も下方に配置された該内部電極の端部から該積層体の下面までの距離よりも小さいこと、
を特徴とする積層コイル部品。
【請求項８】
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極の両端の下面は、最も上方から２番目に配置された内部電極の中央部分の上面よりも下方に位置し、
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も下方に配置された内部電極の両端の上面は、最も下方から２番目に配置された内部電極の中央部分の下面よりも上方に位置すること、
を特徴とする請求の範囲第６項又は請求の範囲第７項のいずれかに記載の積層コイル部品。
【請求項９】
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極の両端の下面は、該最も上方に配置された内部電極の中央部分の下面よりも下方に位置し、
前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も下方に配置された内部電極の両端の上面は、該最も下方に配置された内部電極の中央部分の上面よりも上方に位置すること、
を特徴とする請求の範囲第６項又は請求の範囲第７項のいずれかに記載の積層コイル部品。
【請求項１０】
第１の磁性体層及び第２の磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品を製造する方法において、
前記第２の磁性体層は面状磁性体層と部分磁性体層とからなり、
前記内部電極と前記第１の磁性体層とを積層してコイル形成層を形成する工程と、
前記面状磁性体層の主面上であって、かつ、前記内部電極と積層方向に重ならない領域に前記部分磁性体層を形成する工程と、
前記第２の磁性体層を積層してコイル非形成層を形成する工程と、
前記コイル形成層と前記コイル非形成層とからなる積層体を、前記積層方向から圧着する工程と、
を備えることを特徴とする積層コイル部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層コイル部品及びその製造方法、より特定的には、導電体と磁性体層とを積層して形成されるコイルを内蔵する積層コイル部品及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層コイル部品は、例えば、コイルの一部を構成する内部電極が形成されたセラミックグリーンシートを所定枚数ずつ積層する工程と、セラミックグリーンシートの上面を加圧して仮圧着を行う工程とが繰り返され、最後に、セラミックグリーンシートが積層されてなる積層体が本圧着されることにより作製される。【０００３】
ところで、前記積層コイル部品では、仮圧着あるいは本圧着の際に、内部電極が横にずれてしまうという問題があった。以下に図１６及び図１７を参照しながら説明する。図１６は、前記積層コイル部品の積層体２０２の分解図である。図１７は、圧着後の積層体２０２の断面構造図である。【０００４】
図１６では、セラミックグリーンシート２０４と内部電極２０７とが交互に配置されることにより、積層体２０２が構成されている。このように、セラミックグリーンシート２０４と内部電極２０７とが交互に積層されると、積層方向の上から見たときに、内部電極２０７が形成された領域（以下、形成領域Ｘと称す）と、内部電極２０７が形成されていない領域（以下、非形成領域Ｙと称す）とが形成される。このとき、形成領域Ｘにおける積層方向の厚みは、内部電極２０７が存在している分だけ、非形成領域Ｙにおける積層方向の厚みよりも厚くなる。【０００５】
前記のように形成領域Ｘの厚みと非形成領域Ｙの厚みとの間に差が生じると、セラミックグリーンシート２０４の仮圧着あるいは本圧着の際に、形成領域Ｘにかかる圧力が、非形成領域Ｙにかかる圧力よりも大きくなってしまう。その結果、形成領域Ｘ内の内部電極２０７にかかる圧力が横方向に逃げてしまい、図１７に示すように、内部電極２０７が、積層体２０２内において横にずれてしまうという問題があった。【０００６】
前記問題を解決する積層コイル部品の製造方法として、特許文献１に記載の積層電子部品の製造方法が出願されている。図１８は、該積層電子部品の断面構造図である。該積層電子部品の製造方法では、内部電極２０７が印刷されたセラミックグリーンシートを所定枚数重ねて得られる積層体２０２を静水圧により加圧している。更に、図１８に示すように、この積層体２０２の上下に可撓性に優れたセラミックグリーンシート２１０を工具２１１により圧着して、積層電子部品の上面及び下面の平坦性を確保している。【０００７】
しかしながら、前記積層電子部品の製造方法では、静水圧プレスにより積層体２０２の上下面に凹凸ができてしまうので、可撓性に優れたセラミックグリーンシート２１０を圧着して上下面を平坦化する必要があり、積層電子部品の生産性が悪いという問題が存在する。
【特許文献１】特開平６−６１０７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明の目的は、圧着時に生じる内部電極のずれを防止でき、かつ、効率よく生産できる積層コイル部品及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品において、前記内部電極と積層方向に重ならない第１の領域に積層された磁性体層の数は、該内部電極と積層方向に重なる第２の領域に積層された磁性体層の数より多いこと、を特徴とする。【００１０】
第１の発明によれば、内部電極が横方向にずれることを容易に防止できる。以下に説明する。【００１１】
従来、内部電極が形成された領域の積層方向における厚みが、内部電極が形成されていない領域における厚みよりも大きいために、圧着時に、内部電極が形成された領域に大きな圧力がかかってしまい、この圧力が横方向に逃げてしまって内部電極が横にずれてしまうという問題があった。これに対して、例えば、積層体の圧着時に、静水圧により加圧して、積層体全体に均等に圧力をかけることが提案されていた。【００１２】
しかしながら、このような静水圧による加圧を用いて積層コイル部品を作製すると、可撓性に優れたセラミックグリーンシートを用いて積層コイル部品の上下面を平坦化する必要があるため、積層コイル部品の生産性が悪いという問題があった。そこで、第１の発明では、内部電極が形成されていない第１の領域に余分に磁性体層を設けて、第１の領域の厚みと第２の領域の厚みとを等しくしている。このように、余分に磁性体層を設けることは、磁性体層を積層する工程を増加させるだけですむので、静水圧による加圧に比べて簡単に追加できる工程である。そのため、第１の発明によれば、積層コイル部品において、内部電極が横方向にずれることを容易に防止することができる。【００１３】
更に、第１の発明によれば、第１の領域に加える圧力を第２の領域に加える圧力に近づけることが可能であるので、積層コイル部品の圧着時において、第１の領域における磁性体層の圧着不足が発生しにくくなる。その結果、第１の領域における磁性体層のデラミネーションを防止することができる。【００１４】
更に、第１の領域に積層された磁性体層の数が、第２の領域に積層された磁性体層の数よりも多いので、第１の領域に積層された磁性体層の数を、第２の領域に積層された磁性体層の数と内部電極の数との合計に近づけることができる。その結果、積層コイル部品の上面と下面とを平坦に近づけることができ、該積層コイル部品の実装の際に生じる実装ミスを防止できる。【００１５】
第１の発明において、前記積層体は、前記内部電極と第１の磁性体層とが積層されて構成されるコイル形成層と、積層方向の両側から前記コイル形成層を挟むように配置され、第２の磁性体層により構成されるコイル非形成層と、を備え、前記第２の領域に積層された第２の磁性体層の数は、前記第１の領域に積層された第２の磁性体層の数より少なくてもよい。更に、第１の発明において、前記第２の磁性体層は、前記第１の磁性体層と略同じ面積を有する面状磁性体層と、前記面状磁性体層よりも小さな面積を有する部分磁性体層と、からなり、前記面状磁性体層の前記第１の領域に、前記部分磁性体層が形成されることにより、該第１の領域に積層された第２の磁性体層の数が、前記第２の領域に積層された第２の磁性体層の数より多くなっていてもよい。【００１６】
第１の発明において、前記部分磁性体層の厚みの合計は、前記内部電極の厚みの合計と略等しくてもよい。部分磁性体層の厚みの合計が内部電極の厚みの合計と等しくなることにより、第１の領域の厚みと第２の領域の厚みとを等しくすることができる。その結果、積層コイル部品の上面及び下面を平坦に近づけることができる。【００１７】
第１の発明において、前記第２の磁性体層は、前記第１の磁性体層と同じ材料により形成されていてもよい。第１の磁性体層と第２の磁性体層とが同じ材料により形成されていることにより、これらの層の接着性を向上させることができ、より効果的にデラミネーションの発生を抑制することができる。【００１８】
第２の発明は、磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品において、前記磁性体層の積層方向を上下方向としたときに、前記積層体の上面及び下面は平坦面であり、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極が上方に突出するように湾曲した形状を有すると共に、最も下方に配置された内部電極が下方に突出するように湾曲した形状を有すること、を特徴とする。【００１９】
第２の発明によれば、第１の発明と同様に、内部電極が横方向にずれることを容易に防止することができる。更に、圧着不足による磁性体層間におけるデラミネーションを防止できると共に、積層コイル部品の実装時における実装ミスを防止できる。更に、第２の発明によれば、内部電極が湾曲しているので、該内部電極が上方あるいは下方に存在する磁性体層に食い込むようになる。その結果、内部電極と磁性体層との間でのデラミネーションが防止される。【００２０】
更に、最も上方に配置された内部電極が上方に突出すると共に、最も下方に配置された内部電極が下方に突出している。そのため、内部電極が湾曲していない場合に比べて、内部電極が湾曲している場合の方が、コイルに形成される磁路を短くできる。その結果、コイルに発生する磁束密度を高めることができ、大きなインダクタを得ることが可能となる。【００２１】
第３の発明は、磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品において、前記磁性体層の積層方向を上下方向としたときに、前記積層体の上面及び下面は平坦面であり、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極の中央部分から該積層体の上面までの距離は、最も上方に配置された該内部電極の端部から該積層体の上面までの距離よりも小さく、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も下方に配置された内部電極の中央部分から該積層体の下面までの距離は、最も下方に配置された該内部電極の端部から該積層体の下面までの距離よりも小さいこと、を特徴とする。【００２２】
第３の発明によれば、第１の発明と同様に、内部電極が横方向にずれることを容易に防止することができる。更に、圧着不足による磁性体層間におけるデラミネーションを防止できると共に、積層コイル部品の実装時における実装ミスを防止できる。【００２３】
第２の発明又は第３の発明において、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極の両端の下面は、最も上方から２番目に配置された内部電極の中央部分の上面よりも下方に位置し、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も下方に配置された内部電極の両端の上面は、最も下方から２番目に配置された内部電極の中央部分の下面よりも上方に位置していてもよい。或いは、第２の発明又は第３の発明において、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極の両端の下面は、該最も上方に配置された内部電極の中央部分の下面よりも下方に位置し、前記積層体の積層方向に平行な断面において、最も下方に配置された内部電極の両端の上面は、該最も下方に配置された内部電極の中央部分の上面よりも上方に位置していてもよい。【００２４】
第４の発明は、第１の磁性体層及び第２の磁性体層が積層された積層体と、該積層体に内蔵された複数の内部電極からなるコイルと、を有する積層コイル部品を製造する方法において、前記第２の磁性体層は面状磁性体層と部分磁性体層とからなり、前記内部電極と前記第１の磁性体層とを積層してコイル形成層を形成する工程と、前記面状磁性体層の主面上であって、かつ、前記内部電極と積層方向に重ならない領域に前記部分磁性体層を形成する工程と、前記第２の磁性体層を積層してコイル非形成層を形成する工程と、前記コイル形成層と前記コイル非形成層とからなる積層体を、前記積層方向から圧着する工程と、を備えることを特徴とする。【００２５】
第４の発明によれば、第１の発明と同様に、内部電極が横方向にずれることを容易に防止することができる。更に、圧着不足による磁性体層間におけるデラミネーションを防止できると共に、積層コイル部品の実装時における実装ミスを防止できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、内部電極が形成されていない第１の領域に余分に磁性体層を設けて、第１の領域の厚みと第２の領域の厚みとを等しくしているので、積層コイル部品において、内部電極が横方向にずれることを容易に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】積層コイル部品の外観斜視図である。
【図２】積層体の分解斜視図である。
【図３】積層方向に平行な方向における積層コイル部品の断面構造図である。
【図４】セラミックグリーンシートの外観斜視図である。
【図５】セラミックグリーンシートの外観斜視図である。
【図６】セラミックグリーンシートの外観斜視図である。
【図７】未焼成のマザー積層体の外観斜視図である。
【図８】積層コイル部品の工程断面図である。
【図９】積層コイル部品の工程断面図である。
【図１０】未焼成のマザー積層体の外観斜視図である。
【図１１】積層体の外観斜視図である。
【図１２】積層コイル部品内での磁路の様子を示した図である。
【図１３】その他の実施形態に係る積層コイル部品の積層体の分解斜視図である。
【図１４】その他の実施形態に係る積層コイル部品の積層体の分解斜視図である。
【図１５】その他の実施形態に係る積層コイル部品の断面構造図である。
【図１６】従来の積層コイル部品の積層体の分解図である。
【図１７】従来の積層コイル部品の圧着後の積層体の断面構造図である。
【図１８】従来の積層電子部品の積層体の断面構造図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明の一実施形態に係る積層コイル部品について説明する。図１は、積層コイル部品１の外観斜視図である。図２は、積層体２の分解斜視図である。図３は、積層方向に平行な方向における積層コイル部品１の断面構造図である。なお、図３では、図面の理解を容易とするためにハッチングを省略している。更に、電極の線幅は、説明の便宜上実際の比率より大きく図示している。また、以下、説明の簡略のため、積層コイル部品１の積層方向を上下方向と定義する。【００２９】
（積層コイル部品の構成について）
積層コイル部品１は、図１に示すように、内部にコイルを含む直方体状の積層体２と、積層体２の対向する側面に形成される２つの外部電極３とを備える。【００３０】
積層体２は、図２に示すように、強透磁率のフェライト（例えば、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト又はＮｉ−Ｚｎフェライト等）からなる磁性体層４，５が積層されることにより構成される。磁性体層４，５は、共に略同じ面積及び形状を有する。磁性体層４の主面上には、コイルＬを構成する内部電極７及びビアホール導体８が形成される。また、面状磁性体層としての磁性体層５の主面上の一部分には、磁性体層４，５と同じ強透磁率のフェライトからなり、磁性体層４，５よりも面積が小さな部分磁性体層としての磁性体層６が形成される。以下では、内部電極７が形成された磁性体層４が積層されてなる層をコイル形成層Ａと称し、内部電極７が形成されていない磁性体層５が積層されてなる層のうち、コイル形成層Ａの上側に配置された層をコイル非形成層Ｂと称し、コイル形成層Ａの下側に配置された層をコイル非形成層Ｃと称す。すなわち、図２に示すように、コイル非形成層Ｂ，Ｃは、コイル形成層Ａを上下方向から挟むように配置されている。【００３１】
内部電極７は、Ａｇからなる導電性材料からなり、環の一部が切り欠かれた形状を有する。本実施形態では、内部電極７は、「コ」の字の形状を有する。これにより、一つの内部電極７が３／４巻き分に相当するコイルＬの一部分を構成する。なお、内部電極７は、Ｐｄ，Ａｕ，Ｐｔ等を主成分とする貴金属やこれらの合金などの導電性材料からなっていてもよい。また、内部電極７は、円又は楕円の一部が切り欠かれた形状であってもよい。【００３２】
更に、各内部電極７の一端には磁性体層４を上下方向に貫通するビアホール導体８が設けられている。このビアホール導体８により互いに隣接する内部電極７同士が接続されることにより、螺旋状のコイルＬが形成される。更に、最も上方及び最も下方に形成された内部電極７にはそれぞれ、引き出し電極７ａ，７ｂが設けられている。この引き出し電極７ａ，７ｂは、コイルＬと外部電極３とを接続する役割を果たす。【００３３】
磁性体層６は、内部電極７と上下方向に重ならない領域（図２の斜線部分）にペースト状のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト又はＮｉ−Ｚｎフェライト等が印刷されることにより形成される。具体的には、各内部電極７が環の一部が切り欠かれた形状を有し、内部電極７が上下方向に重なることにより環を形成するので、少なくとも、この環に対応する部分が空白部分（磁性体層が形成されない部分）となるように、該磁性体層６が形成される。本実施形態では、複数の「コ」の字を有する内部電極７は、それぞれが重なることにより形成される「ロ」の字の形状を構成する。そこで、該「ロ」の字の形状に対応する空白部分を有するように、磁性体層６が形成される。これにより、磁性体層５の表面は、磁性体層６の存在により、凹凸を有するようになる。【００３４】
更に、磁性体層６の厚みの合計（磁性体層６の枚数×磁性体層６の１枚当りの厚み）は、内部電極７の厚みの合計（内部電極７の枚数×内部電極７の１枚当りの厚み）と略等しくなるように形成される。本実施形態では、内部電極７を７枚形成し、磁性体層６を７枚形成するので、磁性体層６の厚みの合計を内部電極７の厚みの合計と等しくするために、内部電極７の厚みと磁性体層６の厚みとを等しくしている。【００３５】
図２に示す分解斜視図の積層体２を上下方向から圧着し、積層体２の表面に外部電極３を形成すると、図３に示すような断面構造を有する積層コイル部品１が得られる。具体的には、内部電極７と上下方向に重ならない領域（以下、非重畳領域Ｅ）に積層された磁性体層４，５，６の枚数は、内部電極７と上下方向に重なる領域（以下、重畳領域Ｄ）に積層された磁性体層４，５の枚数より多くなる。より具体的には、非重畳領域Ｅに積層された磁性体層５，６の枚数は、重畳領域Ｄに積層された磁性体層５の枚数より多くなる。これにより、重畳領域Ｄにおける磁性体層４，５及び内部電極７の上下方向における厚みの合計と、非重畳領域Ｅにおける磁性体層４，５，６の厚みの合計とが略等しくなり、該積層コイル部品１の上面及び下面が平坦になる。【００３６】
更に、図３に示すように、積層体２の積層方向を含む断面において、複数の内部電極７の内、少なくとも、最も上方に配置された内部電極７が上方に突出するように湾曲した形状を有すると共に、少なくとも、最も下方に配置された内部電極７が下方に突出するように湾曲した形状を有する。より好ましくは、積層体２の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極７の両端の下面Ｐが、該最も上方に配置された内部電極７の中央部分の下面Ｑよりも下方に位置すると共に、最も下方に配置された内部電極７の両端の上面Ｐ'が、該最も下方に配置された内部電極７の中央部分の上面Ｑ'よりも上方に位置する程度に、各内部電極７が湾曲していることが好ましい。【００３７】
更に、図３に示すように、積層体２の積層方向に平行な断面において、最も上方に配置された内部電極７の両端の下面Ｐは、最も上方から２番目に配置された内部電極７の中央部分の上面Ｒよりも下方に位置すると共に、最も下方に配置された内部電極７の両端の上面Ｐ'は、最も下方から２番目に配置された内部電極７の中央部分の下面Ｒ'よりも上方に位置していることが好ましい。【００３８】
なお、前記内部電極７の形状について換言すれば、最も上方に配置された内部電極７の中央部分から積層体２の上面までの距離ｍは、最も上方に配置された該内部電極７の両端部から該積層体２の上面までの距離Ｍよりも小さく、かつ、最も下方に配置された内部電極７の中央部分から積層体２の下面までの距離ｍ'は、最も下方に配置された該内部電極７の両端部から該積層体２の下面までの距離Ｍ'よりも小さくなっているとも言える。【００３９】
更に、内部電極７は、図３に示すように、積層体２の積層方向に平行な断面において、中央部分の厚みよりも両端の厚みの方が薄い断面形状を有する。【００４０】
（積層コイル部品の製造方法について）
以下に図４〜図１１を参照しながら積層コイル部品１の製造方法について説明する。以下に説明する製造方法では、シート積層法により積層コイル部品１を作製するものとする。図４〜図１１は、積層コイル部品１の製造工程を示した図である。なお、図４、図５、図６、図８及び図９におけるセラミックグリーンシート１４，１５はそれぞれ、図２及び図３における磁性体層４，５の未焼成の状態の層あるいはシートを指す。同様に、図６、図８及び図９におけるフェライト印刷層１６は、図２及び図３における磁性体層６の未焼成の状態の層を指す。【００４１】
セラミックグリーンシート１４，１５は、以下のようにして作製される。酸化第二鉄（Ｆｅ2Ｏ3）を４８．０ｍｏｌ％、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を２５．０ｍｏｌ％、酸化ニッケル（ＮｉＯ）を１８．０ｍｏｌ％、酸化銅（ＣｕＯ）を９．０ｍｏｌ％の比率で秤量したそれぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式調合を行う。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を７５０℃で１時間仮焼する。得られた仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕し、フェライトセラミック粉末を得る。【００４２】
このフェライトセラミック粉末に対して結合剤（酢酸ビニル、水溶性アクリル等）と可塑剤、湿潤材、分散剤を加えてボールミルで混合を行い、その後、減圧により脱泡を行う。得られたセラミックスラリーをドクターブレード法により、シート状に形成して乾燥させ、所望の膜厚のセラミックグリーンシート１４，１５を作製する。【００４３】
セラミックグリーンシート１４には、図４に示すように、隣接する層の内部電極７同士を接続するためのビアホール導体８が形成される。ビアホール導体８は、セラミックグリーンシート１４にレーザビームなどを用いて貫通孔を形成し、この貫通孔にＡｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などの導電性ペーストを印刷塗布などの方法により充填することによって形成される。【００４４】
ビアホール導体８が形成されたセラミックグリーンシート１４上には、図５に示すように、導電性ペーストがスクリーン印刷法やフォトリソグラフィ法などの方法で塗布されることにより、内部電極７が形成される。これらの内部電極７は、Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などにより、「コ」の字の形状となるように形成される。【００４５】
一方、面状磁性体層としてのセラミックグリーンシート１５上には、図６に示すように、フェライトのペーストがスクリーン印刷法により印刷されることにより、部分磁性体層となるフェライト印刷層１６が形成される。このフェライトのペーストは、セラミックグリーンシート１４，１５と同じ材料により構成される。なお、図６では、理解の容易のために、フェライト印刷層１６を斜線でハッチングしてある。このフェライト印刷層１６は、積層コイル部品１が完成したときに、図５に示す内部電極７と上下方向に重ならない領域に形成される。したがって、該フェライト印刷層１６は、「ロ」の字の形状の空白部分を有するように形成される。【００４６】
次に、セラミックグリーンシート１４，１５を下から順に積層して、図７に示すような未焼成のマザー積層体１２を形成する。以下に図８及び図９を用いて詳しく説明する。【００４７】
まず、セラミックグリーンシート１５の配置及び圧着を繰り返して、図２に示すコイル非形成層Ｃを形成する。具体的には、図８（ａ）に示すように、フェライト印刷層１６が形成されたセラミックグリーンシート１５上に、更に、フェライト印刷層１６が形成された新たなセラミックグリーンシート１５を配置する。そして、図８（ｂ）に示すように、該新たなセラミックグリーンシート１５の上面を圧着金型Ｔにより、所定の条件で加圧して仮圧着を行う。圧着金型Ｔの下側には弾性体からなるラバーシートが形成されている。この図８（ａ），（ｂ）に示す工程を繰り返して、フェライト印刷層１６が形成されたセラミックグリーンシート１５を４層積層する。これにより、コイル非形成層Ｃを得る。【００４８】
なお、非重畳領域Ｅにはフェライト印刷層１６が存在し、重畳領域Ｄにはフェライト印刷層１６は存在しない。そのため、これらのフェライト印刷層１６の分だけ、セラミックグリーンシート１５の積層時には、重畳領域Ｄを構成する磁性体層の数の方が、非重畳領域Ｅを構成する磁性体層の数よりも少なくなる。その結果、図８に示すように、コイル非形成層Ｃの重畳領域Ｄの上面は、コイル非形成層Ｃの非重畳領域Ｅの上面に対して窪んだ状態となる。【００４９】
次に、コイル非形成層Ｃ上において、セラミックグリーンシート１４の配置及び仮圧着を繰り返して、図２に示すコイル形成層Ａを形成する。具体的には、図９（ａ）に示すように、セラミックグリーンシート１４の上に、内部電極７が形成された新たなセラミックグリーンシート１４を配置する。次に、図９（ｂ）に示すように、該新たなセラミックグリーンシート１４の上面を圧着金型Ｔにより加圧して仮圧着を行う。ラバーシートを設けている点については、前記図８の場合と同じである。この図９（ａ），（ｂ）に示す工程を繰り返して、内部電極７が形成されたセラミックグリーンシート１４を７層積層する。【００５０】
ここで、セラミックグリーンシート１４の積層時における内部電極７の変形の様子について説明する。まず、下の３層のセラミックグリーンシート１４では、仮圧着のための加圧の際に、内部電極７は、コイル非形成層Ｃの重畳領域Ｄの上面に形成された窪みの形状に倣って下方向に突出するように湾曲させられる。そして、セラミックグリーンシート１４には、フェライト印刷層１６が存在しないので、セラミックグリーンシート１４が積層される毎に、コイル非形成層Ｃの重畳領域Ｄの上面に形成された窪みが内部電極７により埋まっていく。その結果、下の３層のセラミックグリーンシート１４上の内部電極７は、上に行くにしたって湾曲の度合いが小さくなる。そして、図３に示すように、真ん中のセラミックグリーンシート１４では、内部電極７は、平坦な形状を取るようになる。【００５１】
更に、仮圧着のための加圧の際に、上の３層のセラミックグリーンシート１４では、内部電極７は、下層に存在する内部電極７により中央部が上方向に押し上げられて、上方向に突出するように湾曲させられる。そして、湾曲させられる際に、内部電極７の両端は、下に存在するセラミックグリーンシート１４に食い込むようになる。なお、セラミックグリーンシート１４には、内部電極７が形成されているので、セラミックグリーンシート１４が積層されるにしたがって、内部電極７が形成された部分が上方に突出するようになる。その結果、上の３層のセラミックグリーンシート１４上の内部電極７は、上にいくにしたがって湾曲の度合いが大きくなる。【００５２】
更に、各内部電極７は、湾曲する際に引き伸ばされて、両端が中央部分より薄い形状を取るようになる。これにより、セラミックグリーンシート１４と内部電極７とが交互に積層されたコイル形成層Ａを得る。【００５３】
次に、コイル形成層Ａの上において、３層分のセラミックグリーンシート１５の積層及び仮圧着を繰り返して、図２に示すコイル非形成層Ｂを形成する。コイル形成層Ａの上面は、図９に示すように、重畳領域Ｄに対応する部分が上に突出し、非重畳領域Ｅに対応する部分が窪んだ形状を取っている。そこで、フェライト印刷層１６が形成されたセラミックグリーンシート１５を積層して、コイル非形成層Ｂを形成することにより、コイル非形成層Ｂの上面を概ね平坦なものにしている。なお、該コイル非形成層Ｂの形成工程は、コイル非形成層Ｃの形成工程と同様であるので、詳細な説明を省略する。【００５４】
次に、所定の条件で積層方向の上方向から圧着金型Ｔを、コイル形成層Ａ及びコイル非形成層Ｂ，Ｃからなる未焼成のマザー積層体１２に押し当てることによって、上下方向から圧力を加えて本圧着を行う。これにより、図７に示す未焼成のマザー積層体１２が完成する。【００５５】
次に、未焼成のマザー積層体１２を図１０に示すように、個々の積層体２にダイサー等によりカットする。これにより、図１１に示すような、直方体状の積層体２を得る。【００５６】
次に、この積層体２には、脱バインダー処理及び焼成がなされる。これにより、焼成された積層体２が得られる。【００５７】
次に、積層体２の表面には、例えば、浸漬法などの公知の方法により主成分が銀である電極ペーストが塗布及び焼き付けされることにより、外部電極３が形成される。外部電極３は、図１に示すように、積層体２の左右の端面に形成される。コイルＬの引き出し電極７ａ，７ｂは、外部電極３に電気的に接続されている。【００５８】
最後に、外部電極３の表面に、Ｎｉめっき／Ｓｎめっき又はＮｉめっき／半田めっきを施す。以上の工程を経て、図１に示すような積層コイル部品１が完成する。【００５９】
（効果）
以上のように本実施形態に係る積層コイル部品１及び積層コイル部品１の製造方法によれば、積層体２の圧着時において重畳領域Ｄと非重畳領域Ｅとにかかる圧力が均一になるので、内部電極７が上下方向において直線に並ばずにずれてしまうことを防止できる。より詳細には、従来の積層コイル部品では、非重畳領域の上下方向の厚さは、重畳領域の上下方向の厚さよりも薄くなっていた。そのため、圧着時に重畳領域にかかる圧力が非重畳領域にかかる圧力よりも大きくなり、内部電極にかかる圧力が横方向に逃げてしまうことで、該内部電極が横方向にずれてしまうという問題があった。【００６０】
これに対して、本実施形態に係る積層コイル部品１及び積層コイル部品１の製造方法によれば、重畳領域Ｄの上下方向の厚みと非重畳領域Ｅの上下方向の厚みとが略等しいので、積層体２の圧着時に重畳領域Ｄと非重畳領域Ｅとに均等に圧力がかかるようになる。その結果、積層コイル部品１において内部電極７が直線に並ばずにずれてしまうことを防止でき、積層コイル部品１毎の電気特性のばらつきを抑制できる。【００６１】
更に、本実施形態に係る積層コイル部品１及び積層コイル部品１の製造方法によれば、磁性体層５上に磁性体層６を形成するという比較的簡単な工程により、前記内部電極７が直線に並ばずにずれてしまうことを防止できる。より詳細には、磁性体層６を形成する工程には、例えばスクリーン印刷法等のように、積層コイル部品において一般的に行われる工程を利用できるので、本実施形態に係る積層コイル部品１を製造するために、特許文献１に記載の従来の積層コイル部品のように、静水圧により圧着した後、可撓性に優れたセラミックグリーンシートを積層圧着するような特殊な工程を行う必要がない。その結果、積層コイル部品１の生産性が向上する。【００６２】
また、本実施形態に係る積層コイル部品１及び積層コイル部品１の製造方法によれば、積層体２の圧着時において重畳領域Ｄと非重畳領域Ｅとにかかる圧力が略均一になるので、非重畳領域Ｅにおけるデラミネーションが発生することを抑制できる。より詳細には、従来の積層コイル部品では、非重畳領域には内部電極が存在しないので、非重畳領域の上下方向の厚さは、重畳領域の上下方向の厚さよりも薄くなっていた。そのため、圧着時において、重畳領域に応力が集中し、非重畳領域に十分な圧力がかからなかった。このように非重畳領域に十分な圧力がかからない場合、非重畳領域の磁性体層間においてデラミネーションが発生しやすくなっていた。【００６３】
これに対して、積層コイル部品１及び積層コイル部品１の製造方法によれば、非重畳領域Ｅに磁性体層６を形成して、重畳領域Ｄの上下方向の厚みと非重畳領域Ｅの上下方向の厚みとを略等しくしているので、積層体２の圧着時に重畳領域Ｄと非重畳領域Ｅとに略均等に圧力がかかるようになる。その結果、積層コイル部品１の非重畳領域Ｅの磁性体層４，５，６間におけるデラミネーションの発生を抑制できる。【００６４】
また、本実施形態に係る積層コイル部品１及び積層コイル部品１の製造方法によれば、磁性体層６を、内部電極７が形成されていない領域に設けて、重畳領域Ｄにおける上下方向の厚みと、非重畳領域Ｅにおける上下方向の厚みとを略等しくしている。そのため、積層コイル部品１の上面及び下面を平坦にすることができ、基板上に該積層コイル部品１を実装する際の実装ミスを低減できる。【００６５】
また、積層コイル部品１によれば、内部電極７が湾曲した形状を有するので、内部電極７が磁性体層４に食い込んだ状態となる。その結果、内部電極７と磁性体層４との間には、これらが剥離しようとすることを妨げる力が働き、デラミネーションの発生を抑制できる。更に、内部電極７の端部が中央部よりも細くとがったような形状となっているので、内部電極７の端部が磁性体層４により食い込むようになる。【００６６】
更に、積層コイル部品１によれば、磁性体層４，５，６が同じ材料により形成されているので、これらの間における接着性が高い。その結果、積層コイル部品１においてデラミネーションが発生することを防止できる。なお、磁性体層４，５，６が、焼成時における収縮率が同等の材料により形成されていれば、効果的にデラミネーションの発生を防止できる。【００６７】
更に、積層コイル部品１によれば、積層方向の最も上に位置する内部電極７が上方向に突出し、かつ、積層方向の最も下に位置する内部電極７が下方向に突出しているので、該積層コイル部品１のインダクタンスを大きくすることが可能である。以下に図１２を参照しながら説明する。図１２（ａ）は、比較例の積層コイル部品１０１の断面図であり、図１２（ｂ）は、本実施形態に係る積層コイル部品１の断面図である。【００６８】
図１２（ａ）に示す積層コイル部品１０１は、内部電極１０７が湾曲していない構造を有する。一方、図１２（ｂ）に示す積層コイル部品１は、積層方向の最も上に位置する内部電極７が上方向に突出し、かつ、積層方向の最も下に位置する内部電極７が下方向に突出した構造を有している。積層コイル部品１では、最も上に位置する内部電極７及び最も下に位置する内部電極７の角がなくなっている分だけ内部電極７列の外周が短くなる。そのため、積層コイル部品１の磁路φ１は、比較例の積層コイル部品１０１の磁路φ２に比べて短くなる。その結果、積層コイル部品１の磁束を増加させることができ、該積層コイル部品１のインダクタンスを増加させることが可能となる。【００６９】
（その他の実施形態）
なお、積層コイル部品１において、磁性体層６は、図２に示すように、内部電極７に対応する環状の空白部分を有するように形成されるものとしたが、該磁性体層６の形状はこれに限らない。図１３に示すように、内部電極７の周囲の領域を取り囲む領域のみに磁性体層５６が形成された磁性体層５５と、内部電極７の内側の領域のみに磁性体層５６'が形成された磁性体層５５とが交互に積層されてもよい。この場合、磁性体層５６，５６'のそれぞれは、内部電極７の２倍の厚みを有することが好ましい。【００７０】
なお、積層コイル部品１において、磁性体層６は、コイル非形成層Ｂ，Ｃの磁性体層５上に形成されるものとしたが、該磁性体層６及び磁性体層５が設けられる場所は、これに限らない。例えば、図１４に示すように、磁性体層６が形成された磁性体層５は、コイル形成層Ａの上下方向の中央近傍に設けられてもよい。この場合、磁性体層５には、上層と下層に設けられた内部電極７を接続するためのビアホール導体８が形成される。【００７１】
なお、積層コイル部品１の磁性体層４は、全て同じ材料にて作製されるものとしたが、必ずしも全て同じ材料で作製される必要はない。例えば、図１５に示す積層コイル部品１'のように、積層体２の中に低透磁率材料からなる低透磁率層４'が設けられていてもよい。この場合、コイルＬの周りに形成される磁路の低透磁率層４'における磁気抵抗が大きくなり、該低透磁率層４'において磁束が漏れる。そのため、磁気飽和が発生しにくくなり、磁気飽和の発生によるインダクタンスの急激な低下が抑制される。すなわち、直流重畳特性に優れた積層コイル部品１'を得ることができる。なお、この低透磁率層４'は、磁性体層４に比べて透磁率の低い材料或いは非磁性の材料で構成されていればよい。【００７２】
なお、積層コイル部品１の製造方法として、シート積層法について説明を行ったが、該積層コイル部品１の製造方法はこれに限らない。例えば、逐次印刷積層法や転写積層法によって積層コイル部品１を製造してもよい。【００７３】
なお、積層コイル部品１では、内部電極７の数と磁性体層６の数とを等しくしているが、必ずしも、これらの数は一致している必要はない。磁性体層６の厚みの合計は、前記内部電極７の厚みの合計と略等しくさえなっていればよい。したがって、例えば、磁性体層６の厚みが内部電極７の厚みの半分である場合には、磁性体層６の数は、内部電極７の数の２倍となる。また、磁性体層６の厚みの合計と内部電極７の厚みの合計とが略等しいことが好ましいが、必ずしもこれに拘る必要はない。重畳領域Ｄの厚みと非重畳領域Ｅの厚みとの差に起因する不都合が生じない程度の差が存在していてもかまわない。【００７４】
なお、本発明に係る積層コイル部品は前記各実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
以上のように、本発明は、積層コイル部品及びその製造方法に有用であり、特に、圧着時に生じる内部電極のずれを防止でき、かつ、効率よく生産できる点で優れている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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