(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロマシニング型の構成素子であって、
ホルダ（５５）と、
変位可能な部材（１０）と、
外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）であって、該外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が少なくとも１つの外ばね（５３，８１，９０，９４，９８，１００）を介して前記ホルダ（５５）に結合されており、前記変位可能な部材（１０）が、前記ホルダ（５５）に関して前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と前記外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）との間での第１の電圧の印加を介して第１の回転軸線（１２）周りに変位可能であるように、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に連結されている、外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と、
内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）であって、該内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）が、第１の部分（５０）、及び該第１の部分（５０）に配置された少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）を備え、該第１の部分（５０）が、前記第１の回転軸線（１２）に対して非平行の第２の回転軸線（１４）に沿って配向されており、前記変位可能な部材（１０）が、前記ホルダ（５５）に関して前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の前記少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）と前記内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）との間での第２の電圧の印加を介して前記第２の回転軸線（１４）周りに変位可能であるように、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）に連結されている、内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）と、
を備えるマイクロマシニング型の構成素子において、
前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）を前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に結合している、前記第２の回転軸線（１４）に沿って配向された中間ばね（５２）を備えることを特徴とする、マイクロマシニング型の構成素子。
【請求項２】
前記中間ばね（５２）の前記第２の回転軸線（１４）周りのねじりに関する該中間ばね（５２）のばね剛性が、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）の前記第２の回転軸線（１４）周りの回動に抗して作用する、前記少なくとも１つの外ばね（５３，８１，９０，９４，９８，１００）のばね剛性より低い、請求項１記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項３】
前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が、前記第１の部分（５０）に対して非平行に配向された第２の部分（５４）と、該第２の部分（５４）に配置された少なくとも１つの電極指（２４ａ）とを備える、請求項１又は２記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項４】
前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が平板型電極（８６）を備える、請求項１又は２記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項５】
前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の、隣接する前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に面した側に湾入部が設けられており、前記中間ばね（５２）が少なくとも部分的に前記湾入部を通って延びている、請求項１から４までのいずれか１項記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項６】
前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）及び／又は前記外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）の電極面（２８ａ‐１，２８ａ‐２）が、前記第２の回転軸線（１４）により、該第２の回転軸線（１４）の第１の側に配置された第１の電極面（２８ａ‐１）と、該第２の回転軸線（１４）の第２の側に配置された第２の電極面（２８ａ‐２）とに分割されており、かつ前記第１の電極面（２８ａ‐１）が少なくとも１つの第１の線路に、第１の電位が該第１の電極面（２８ａ‐１）に印加可能であるように連結されており、かつ前記第２の電極面（２８ａ‐２）が少なくとも１つの第２の線路に、前記第１の電位とは異なる第２の電位が該第２の電極面（２８ａ‐２）に印加可能であるように連結されている、請求項１から５までのいずれか１項記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項７】
前記マイクロマシニング型の構成素子が、前記第１の電位を前記第１の電極面（２８ａ‐１）に、かつ前記第２の電位を前記第２の電極面（２８ａ‐２）に印加するように設計された制御装置を有しており、該制御装置が付加的に、第１の電位と第２の電位との間の差を、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の前記少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）と前記内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）との間で作用する第２の電圧についての情報及び／又は前記内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）に関する前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の前記少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）の現在の位置についての情報を考慮の上で決定するように設計されている、請求項６記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項８】
前記少なくとも１つの外ばね（５３，９０，９４，９８）が、前記第１の回転軸線（１２）に対して平行に配向されるばね（５３，９０，９４，９８）を備え、該ばね（５３，９０，９４，９８）が、蛇行状の揺動ばね（５３）、ねじりばね（９０）、Ｖ字形ばね（９４）及び／又は２方で張設された曲げばね（９８）として形成されている、請求項１から７までのいずれか１項記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項９】
前記少なくとも１つの外ばね（８１，１００）が、前記第２の回転軸線（１４）に対して平行に配向されるばねを備え、該ばねが、曲げばね（８１）及び／又は蛇行状のばね（１００）として形成されている、請求項１から８までのいずれか１項記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの外ばね（５３，８１，９０，９４，９８，１００）の形状及び／又は前記少なくとも１つの外ばね（５３，８１，９０，９４，９８，１００）の懸架点により、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が、前記第１の回転軸線（１２）及び前記第２の回転軸線（１４）に対して垂直に運動可能である、請求項１から９までのいずれか１項記載のマイクロマシニング型の構成素子。
【請求項１１】
マイクロマシニング型の構成素子の製造方法において、以下の工程、すなわち：
外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）を形成する工程であって、該外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が少なくとも１つの外ばね（５３，８１，９０，９４，９８，１００）を介して前記マイクロマシニング型の構成素子のホルダ（５５）に結合されているようにする、外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）を形成する工程と、
変位可能な部材（１０）を、該変位可能な部材（１０）が前記ホルダ（５５）に関して前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と前記外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）との間での第１の電圧の印加時に第１の回転軸線（１２）周りに変位されるように、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に連結する工程と、
内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）並びに第１の部分（５０）及び該第１の部分（５０）に配置される少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）を備える内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）を形成する工程であって、前記第１の部分（５０）が、前記第１の回転軸線（１２）に対して非平行の第２の回転軸線（１４）に沿って配向されるようにする、内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）並びに第１の部分（５０）及び該第１の部分（５０）に配置される少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）を備える内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）を形成する工程と、
前記変位可能な部材（１０）を、該変位可能な部材（１０）が前記ホルダ（５５）に関して前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の前記少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）と前記内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）との間での第２の電圧の印加時に前記第２の回転軸線（１４）周りに変位されるように、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）に連結する工程と、
を含む、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法において、
前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）を前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に、前記第２の回転軸線（１４）に沿って配向される中間ばね（５２）を介して結合する工程、
を含むことを特徴とする、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念部に記載のマイクロマシニング型の構成素子、すなわち、マイクロマシニング型の構成素子であって、ホルダと、調節可能な部材と、外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントであって、該外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが少なくとも１つの外ばねを介して前記ホルダに結合されており、前記調節可能な部材が、前記ホルダに関して前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと前記外側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第１の電圧の印加を介して第１の回転軸線周りに調節可能であるように、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結されている、外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと、内側のステータ‐電極コンポーネント及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントであって、該内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが、第１のウェブ、及び該第１のウェブに配置された少なくとも１つの電極指を備え、該第１のウェブが、前記第１の回転軸線に対して非平行の第２の回転軸線に沿って配向されており、前記調節可能な部材が、前記ホルダに関して前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記少なくとも１つの電極指と前記内側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第２の電圧の印加を介して前記第２の回転軸線周りに調節可能であるように、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結されている、内側のステータ‐電極コンポーネント及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントとを備えるマイクロマシニング型の構成素子に関する。さらに本発明は、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法、すなわち、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法において、以下の工程、すなわち：外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程であって、該外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが少なくとも１つの外ばねを介して前記マイクロマシニング型の構成素子のホルダに結合されているようにする、外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程と、調節可能な部材を、該調節可能な部材が前記ホルダに関して前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと前記外側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第１の電圧の印加時に第１の回転軸線周りに調節されるように、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結する工程と、内側のステータ‐電極コンポーネント並びに第１のウェブ及び該第１のウェブに配置される少なくとも１つの電極指を備える内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程であって、前記第１のウェブが、前記第１の回転軸線に対して非平行の第２の回転軸線に沿って配向されるようにする、内側のステータ‐電極コンポーネント並びに第１のウェブ及び該第１のウェブに配置される少なくとも１つの電極指を備える内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程と、前記調節可能な部材を、該調節可能な部材が前記ホルダに関して前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記少なくとも１つの電極指と前記内側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第２の電圧の印加時に前記第２の回転軸線周りに調節されるように、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結する工程とを含む、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法に関する。
【０００２】
従来技術
マイクロマシニング型の構成素子は、しばしば、静電式かつ／又は磁気式の駆動装置を有している。駆動装置は、少なくとも１つの調節可能な部材をマイクロマシニング型の構成素子のホルダに関して少なくとも１つの回転軸線周りに調節するために設計されている。この種のマイクロマシニング型の構成素子は、例えばマイクロミラーとして形成可能である。以下に、本願の出願時には未公開のＥＰ０８４００００７．４号のマイクロミラーについて、マイクロマシニング型の構成素子の例として説明する。
【０００３】
図１は、従来慣用のマイクロミラーの概略図である。
【０００４】
図示のマイクロミラーは、調節可能な部材としてミラープレート１０を有している。ミラープレート１０は、（図示しない）ホルダに関して第１の回転軸線１２及び第２の回転軸線１４周りに調節可能である。ミラープレート１０は、第１の回転軸線１２に沿って延びる内ばね１６を介して内枠１８に結合されている。内枠１８の対向する２つの箇所には、第２の回転軸線１４に沿って延びるウェブ２０が固定されている。両ウェブ２０の各々は、内枠１８とは逆向きの端部に、それぞれ第２の回転軸線１４に沿って延びる外ばね２２を介してホルダに結合されている。
【０００５】
付加的に、ウェブ２０の各々には、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６が配置されている。外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４は、電極指２４ａを有している。電極指２４ａは、対応するウェブ２０の両側で第２の回転軸線１４に対して垂直に延びている。相応に、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の電極指２６ａ，２６ｂも、第２の回転軸線１４に対して垂直に配向されている。ただし、電極指２６ａは、第２の回転軸線１４の第１の側に配置され、電極指２６ｂは、第２の回転軸線１４の第２の側に配置されている。図１に示した例では、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の電極指２４ａは、一定の長さを有している。内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の電極指２６ａ，２６ｂの長さは、内枠１８からの間隔が増すにつれて減少する。
【０００６】
ホルダには、それぞれ２つの外側のステータ‐電極コンポーネント２８及び２つの内側のステータ‐電極コンポーネント３０が固定されている。それぞれ１つの外側のステータ‐電極コンポーネント２８は、対応する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に隣接配置されている。相応に、両内側のステータ‐電極コンポーネント３０の各々にも、１つの内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６が割り当てられている。ステータ‐電極コンポーネント２８，３０の各々は、電極指２８ａ，３０ａ，３０ｂを有している。
【０００７】
図示のマイクロミラーでは、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の電極指２４ａと、対応する外側のステータ‐電極コンポーネント２８の電極指２８ａとの間に、０でない第１の電圧が印加可能である。第１の電圧が、外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第１の回転軸線１２の第１の側に配置された電極指２４ａと２８ａとの間で印加されると、ミラープレート１０は、第１の回転軸線１２周りに第１の回転方向で調節される。相応に、第１の電圧が、外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第１の回転軸線１２の第２の側に配置された電極指２４ａと２８ａとの間で印加されると、ミラープレート１０は、第１の回転軸線１２周りに第２の回転方向で回転する。
【０００８】
内側の電極コンポーネント２６及び３０の電極指２６ａ，２６ｂ，３０ａ，３０ｂは、両内側の電極コンポーネント２６及び３０の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２６ａと３０ａとの間でのみ第２の電圧が印加可能であるように接続可能である。これとは無関係に、第２の電圧は、両内側の電極コンポーネント２６及び３０の、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指間２６ｂと３０ｂとの間でのみ印加することも可能である。第２の電圧を、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２６ａと３０ａとの間で印加するか、又は第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２６ｂと３０ｂとの間で印加するかに基づいて、ミラープレート１０は、第２の回転軸線１４周りに所定の回転方向で調節される。
【０００９】
図１に示した従来慣用のマイクロミラーの欠点を説明するために、次の図面を参照されたい。
【００１０】
図２Ａ及び図２Ｂは、図１に示した従来慣用のマイクロミラーの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの横断面図である。
【００１１】
図２Ａ及び図２Ｂの概略図において、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の電極指２４ａと、外側のステータ‐電極コンポーネント２８の電極指２８ａとの間に、第１の電圧Ｕ１＝０が作用している。図２Ａにおいて、内側の電極コンポーネント２６及び３０の電極指２６ａと３０ａとの間又は電極指２６ｂと３０ｂとの間で印加可能な第２の電圧Ｕ２も０である。印加可能な電圧Ｕ１及びＵ２＝０の無電圧の状態で、外側の電極コンポーネント２４及び２８の電極指２４ａと２８ａとは、互いに平行に、それぞれ異なる２つの平面内に位置している。これは、無電圧の状態での外側の電極コンポーネント２４及び２８の電極指２６ａと２８ａとの面外（Ｏｕｔ‐Ｏｆ‐Ｐｌａｎｅ）配置とも言う。
【００１２】
これに対して、図２Ｂは、内側の電極コンポーネント２６及び３０の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置される電極指２６ａと３０ａとの間で、第２の電圧Ｕ２≠０が印加されている状態を示している。看取可能であるように、内側の電極コンポーネント２６及び３０の（図示しない）電極指２６ａと３０ａとの間又は２６ｂと３０ｂとの間での、第２の電圧Ｕ２≠０の印加は、第２の回転軸線１４周りの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の電極指２４ａの変位も惹起する。この変位は、例えば、外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２４ａと２８ａとのオーバラップに至らしめる可能性がある一方、外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２４ａと２８ａとは、オーバラップしない。図２Ｂに示すこのような状態において、第１の電圧Ｕ１≠０が、外側の電極コンポーネント２４及び２８の電極指２４ａと２８ａとの間で印加されると、印加された第１の電圧Ｕ１は、付加的に、第２の回転軸線周りのクロストークトルク（Ｕｅｂｅｒｓｐｒｅｃｈ−Ｄｒｅｈｍｏｍｅｎｔ）を生じる。このクロストークトルクは、しばしば、ミラープレート１０の第２の回転軸線１４周りの不都合な変位を招く。この変位は、マイクロミラーのクロストーク（Ｕｅｂｅｒｓｐｒｅｃｈｅｎ）又はミラープレート１０の両回転軸線１２，１４周りの可能な調節運動間の不都合な結合とも言う。その際、この効果が、印加される第２の電圧Ｕ２の上昇にともなって、あるいはミラープレート１０が第２の回転軸線１４周りに調節される第２のミラー調節角の増大にともなって増大することは欠点である。それゆえ、調節可能な部材の両可能な調節運動間の結合が生じない、冒頭で述べた形式のマイクロマシニング型の構成素子を提供することが望まれる。
【００１３】
発明の開示
本発明は、請求項１記載の特徴を備えるマイクロマシニング型の構成素子、すなわち、マイクロマシニング型の構成素子であって、ホルダと、調節可能な部材と、外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントであって、該外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが少なくとも１つの外ばねを介して前記ホルダに結合されており、前記調節可能な部材が、前記ホルダに関して前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと前記外側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第１の電圧の印加を介して第１の回転軸線周りに調節可能であるように、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結されている、外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと、内側のステータ‐電極コンポーネント及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントであって、該内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが、第１のウェブ、及び該第１のウェブに配置された少なくとも１つの電極指を備え、該第１のウェブが、前記第１の回転軸線に対して非平行の第２の回転軸線に沿って配向されており、前記調節可能な部材が、前記ホルダに関して前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記少なくとも１つの電極指と前記内側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第２の電圧の印加を介して前記第２の回転軸線周りに調節可能であるように、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結されている、内側のステータ‐電極コンポーネント及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと、を備えるマイクロマシニング型の構成素子において、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに結合している、前記第２の回転軸線に沿って配向された中間ばねを備えることを特徴とする、マイクロマシニング型の構成素子を提供する。さらに本発明は、請求項１１記載の特徴を備えるマイクロマシニング型の構成素子の製造方法、すなわち、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法において、以下の工程、すなわち：外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程であって、該外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが少なくとも１つの外ばねを介して前記マイクロマシニング型の構成素子のホルダに結合されているようにする、外側のステータ‐電極コンポーネント及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程と、調節可能な部材を、該調節可能な部材が前記ホルダに関して前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと前記外側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第１の電圧の印加時に第１の回転軸線周りに調節されるように、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結する工程と、内側のステータ‐電極コンポーネント並びに第１のウェブ及び該第１のウェブに配置される少なくとも１つの電極指を備える内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程であって、前記第１のウェブが、前記第１の回転軸線に対して非平行の第２の回転軸線に沿って配向されるようにする、内側のステータ‐電極コンポーネント並びに第１のウェブ及び該第１のウェブに配置される少なくとも１つの電極指を備える内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを形成する工程と、前記調節可能な部材を、該調節可能な部材が前記ホルダに関して前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記少なくとも１つの電極指と前記内側のステータ‐電極コンポーネントとの間での第２の電圧の印加時に前記第２の回転軸線周りに調節されるように、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに連結する工程とを含む、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法において、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントを前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに、前記第２の回転軸線に沿って配向される中間ばねを介して結合する工程を含むことを特徴とする、マイクロマシニング型の構成素子の製造方法を提供する。
【００１４】
外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントと内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントとの間に配置される中間ばねにより、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの第２の回転軸線周りの調節時に連動しないことが保証されている。これにより、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントは、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの第２の回転軸線周りの回動から切り離されている。これにより、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの第２の回転軸線周りの回動は、外側の電極コンポーネント間の、第２の回転軸線に関して非対称的なオーバラップを生じない。それゆえ、外側の電極コンポーネント間での０でない第１の電圧の印加は、上述の従来技術において生じるような、第２の回転軸線周りの明確なクロストークトルクを生じ得ない。これにより、調節可能な部材の両可能な調節運動間の不都合な結合が良好に阻止されていることが保証されている。これにより、本発明は、従来しばしば発生していたクロストークを防止する、簡単かつ安価に実施可能な可能性を提供する。
【００１５】
上述の従来慣用のマイクロミラーとは異なり、本発明により、第１のウェブに沿って内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの電極指のみが形成されているマイクロマシニング型の構成素子が実現可能である。こうして、調節可能な部材を第２の回転軸線周りに調節するための、調節可能な部材に作用可能なトルクは、第１のウェブの全長に対して明確に増大可能である。これにより、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの電極指の多くが、第２の回転軸線に対して比較的小さな間隔を置いて配置されるという欠点は、解消可能である。
【００１６】
さらに、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントは、有利には内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの第１のウェブ及び／又は第１の回転軸線に対して非平行に配向されている、電極指を備える第２のウェブを有していてよい。この場合、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの電極指は、第１の回転軸線に対して好ましい大きな間隔を置いて配置されているので、調節可能な部材を第１の回転軸線周りに調節するための高いトルクが実現可能である。付加的に、第１のウェブと第２のウェブとが非平行に配向されている場合、第１の回転軸線及び／又は第２の回転軸線に沿ったマイクロマシニング型の構成素子の拡大を必要とすることなく、より多数の電極指を両ウェブに配置することができる。
【００１７】
電極コンポーネントの電極指の数が比較的多いことにより、比較的大きな力の供給が実現可能である。これにより、このマイクロマシニング型の構成素子により、比較的大きな質量を有する調節可能な部材も調節可能である。付加的に、少なくとも１つの内ばね、少なくとも１つの中間ばね及び／又は少なくとも１つの外ばねのばね剛性は、比較的高く設定可能である。その結果、マイクロマシニング型の構成素子は、比較的頑強に形成可能である。
【００１８】
本発明の有利な態様は、従属請求項に記載される。すなわち、好ましくは、前記中間ばねの前記第２の回転軸線周りのねじりに関する該中間ばねの第１のばね剛性が、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記第２の回転軸線周りの回動に抗して作用する、前記少なくとも１つの外ばねの第２のばね剛性より低い。好ましくは、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが、前記第１のウェブに対して非平行に配向された第２のウェブと、該第２のウェブに配置された少なくとも１つの電極指とを備える。好ましくは、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが平板型電極を備える。好ましくは、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの、隣接する前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに面した側に湾入部が設けられており、前記中間ばねが少なくとも部分的に前記湾入部を通って延びている。好ましくは、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント及び／又は前記外側のステータ‐電極コンポーネントの電極面が、前記第２の回転軸線により、該第２の回転軸線の第１の側に配置された第１の電極面と、該第２の回転軸線の第２の側に配置された第２の電極面とに分割されており、かつ前記第１の電極面が少なくとも１つの第１の線路に、第１の電位が該第１の電極面に印加可能であるように連結されており、かつ前記第２の電極面が少なくとも１つの第２の線路に、前記第１の電位とは異なる第２の電位が該第２の電極面に印加可能であるように連結されている。好ましくは、前記マイクロマシニング型の構成素子が、前記第１の電位を前記第１の電極面に、かつ前記第２の電位を前記第２の電極面に印加するように設計された制御装置を有しており、該制御装置が付加的に、第１の電位と第２の電位との間の差を、前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記少なくとも１つの電極指と前記内側のステータ‐電極コンポーネントとの間で作用する第２の電圧についての情報及び／又は前記内側のステータ‐電極コンポーネントに関する前記内側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの前記少なくとも１つの電極指の現在の位置についての情報を考慮の上で決定するように設計されている。好ましくは、前記少なくとも１つの外ばねが、前記第１の回転軸線に対して平行に配向されるばねを備え、該ばねが、蛇行状の揺動ばね、ねじりばね、Ｖ字形ばね及び／又は２方で張設された曲げばねとして形成されている。好ましくは、前記少なくとも１つの外ばねが、前記第２の回転軸線に対して平行に配向されるばねを備え、該ばねが、曲げばね及び／又は蛇行状のばねとして形成されている。好ましくは、前記少なくとも１つの外ばねの形状及び／又は前記少なくとも１つの外ばねの懸架点により、前記外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントが、前記第１の回転軸線及び前記第２の回転軸線に対して垂直に運動可能である。
【００１９】
このマイクロマシニング型の構成素子の利点は、マイクロマシニング型の構成素子の相応の製造方法においても保証されている。
【００２０】
以下に、本発明の別の特徴及び利点について図面を参照しながら説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、従来慣用のマイクロミラーの概略図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、従来慣用のマイクロミラーの概略横断面図である。
【図３】図３は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図４】図４は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図５】図５は、製造方法の一実施の形態を説明するための層構造の横断面図である。
【図６】図６は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図７】図７は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図８】図８は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図１０】図１０は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図１１】図１１は、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図１２】図１２Ａ及び図１２Ｂは、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【図１３】図１３Ａ及び図１３Ｂは、マイクロマシニング型の構成素子の一実施の形態の概略図である。
【００２２】
本発明の実施の形態
図３は、マイクロマシニング型の構成素子の第１の実施の形態の概略図である。
【００２３】
図示のマイクロマシニング型の構成素子は、マイクロミラーとして形成されている。調節可能な部材あるいは変位可能な部材として、このマイクロマシニング型の構成素子は、ミラープレート１０を有している。ミラープレート１０のポリッシング及び／又は適当なコーティングを介して、好ましい反射係数を保証可能である。
【００２４】
ただし、マイクロマシニング型の構成素子は、マイクロミラーとしての形成に限定されるものではない。ミラープレート１０の代わりに又はミラープレート１０に対して付加的に、マイクロマシニング型の構成素子は、別の調節可能な部材を有していてもよい。
【００２５】
ミラープレート１０は、第１の回転軸線１２及び第２の回転軸線１４周りに（図示しない）ホルダに関して調節可能である。第２の回転軸線１４は、第１の回転軸線１２に対して非平行に配向されている。有利には、第２の回転軸線１４は、第１の回転軸線１２と直角をなしている。しかし、本明細書で説明するマイクロマシニング型の構成素子は、両回転軸線１２及び１４相互の垂直の配向に限定されるものではない。以下の説明に基づいて、両回転軸線１２及び１４が０°〜９０°の角度を形成するマイクロマシニング型の構成素子の実施の形態は、当業者であれば容易に把握可能である。
【００２６】
ミラープレート１０は、少なくとも１つの内ばね１６を介して内枠１８に結合されている。内枠１８は、カルダンフレームとも呼称可能である。例えば内枠１８は、カルダンリングとして形成されている。少なくとも１つの内ばね１６は、第１の回転軸線１２に沿って配向されたねじりばねであってよい。安定性を改善するために、ミラープレート１０は、対向する側に配置された２つの内ばね１６を介して内枠１８に結合されていてよい。
【００２７】
内枠１８には、第１のウェブ５０を備える少なくとも１つの内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６が固定されている。第１のウェブ５０には、電極指２６ａ及び２６ｂが配置されている。第１のウェブ５０は、第２の回転軸線１４に沿って配向されている。有利には、マイクロマシニング型の構成素子は、第１の回転軸線１２の対向する側に配置されている２つのこの種の内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６を有している。この場合、両アクチュエータ‐電極コンポーネント２６の各々は、それぞれ１つの対応する第１のウェブ５０に形成されていてよい。有利には、両内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の各々は、第２の回転軸線１４の両側に配置されている、第２の回転軸線１４に対して垂直に第２の回転軸線１４から離間する方向に延びる複数の電極指２６ａ及び２６ｂを有している。
【００２８】
各々の内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６に隣接して、対応する内側のステータ‐電極コンポーネント３０がホルダに固定配置されている。各々の内側のステータ‐電極コンポーネント３０は、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の電極指２６ａ及び２６ｂに対応する電極指３０ａ及び３０ｂを有している。内側のステータ‐電極コンポーネント３０の電極指３０ａ及び３０ｂの配向は、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の電極指２６ａ及び２６ｂに適合されている。
【００２９】
内側の電極コンポーネント２６及び３０の電極指２６ａ，２６ｂ，３０ａ，３０ｂは、一定の長さを有していてよい。一定の長さの電極指２６ａ，２６ｂ，３０ａ，３０ｂを有する本実施の形態の内側の電極コンポーネント２６及び３０は、内枠１８からの間隔が増すにつれて電極指の長さが減少する電極コンポーネントと比較して、より大きな実現可能なトルクの利点を有している。このより大きな実現可能なトルクは、電極指２６ａ及び２６ｂの外れ（Ａｕｓｔａｕｃｈｅｎ）が回避されているために、保証されている。内側の電極コンポーネント２６及び３０の機能については下で詳述する。
【００３０】
第１のウェブ５０の、ミラープレート１０から離間する方向を向いた各々の端部は、中間ばね５２を介して外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に結合されている。第１のウェブ５０と外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４との間に形成される中間ばね５２は、第２の回転軸線１４に沿って、すなわち第１のウェブ５０の長手方向軸線に沿って配向されている。外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４は、第２のウェブ５４と、第２のウェブ５４に配置される電極指２４ａとを備えるくし型電極（Ｋａｍｍｅｌｅｋｔｒｏｄｅ）として形成されていてよい。外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に関する別の実施の形態については後述する。
【００３１】
外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントは、少なくとも１つの外ばねを介して（図示しない）ホルダに結合されている。図示の実施の形態では、各々の外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４は、蛇行状の揺動ばね（Ｗｉｐｐｆｅｄｅｒ）あるいはジグザグばね５３として形成された２つの外ばねを介してホルダに結合されている。蛇行状の揺動ばね５３の長手方向は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４の長手方向軸線に沿って、かつ第１の回転軸線１２に対して平行に延びている。
【００３２】
少なくとも１つの中間ばね５２は、中間ばね５２の第２の回転軸線１４周りのねじりに関して、比較的小さな第１のばね剛性を有している。これに対して、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４をホルダに結合している少なくとも１つの外ばねは、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントの第２の回転軸線１４周りの回動に反作用する少なくとも１つの外ばねの第２のばね剛性が、中間ばね５２の第１のばね剛性より大きいように形成されている。好ましい大きな第２の（仮想の）ばね剛性は、例えば両蛇行状の揺動ばね５３を介して実現可能である。
【００３３】
これにより、既に比較的小さな力で中間ばね５２の第２の回転軸線１４周りのねじりが実施可能である一方、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２の回転軸線１４周りの回動を引き起こすためには、比較的大きな力が必要である。
【００３４】
こうして、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第２の回転軸線１４周りの回動時、隣接する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４が連動しないことが保証されている。これは、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第２の回転軸線１４周りの回動からの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４のデカップリングあるいは切り離しとも呼称可能である。このようなデカップリングあるいは切り離しにより、従来技術において発生する不都合なクロストーク（Ｕｅｂｅｒｓｐｒｅｃｈｅｎ）が、本明細書において説明するマイクロマシニング型の構成素子では確実に阻止されている。
【００３５】
有利には、少なくとも１つの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４は、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の、第２の回転軸線１４に沿って延びる第１のウェブ５０に対して非平行に配向されている。この場合、ウェブ５０及び５４は、従来技術と比較して、第１の回転軸線１２及び／又は第２の回転軸線１４に沿ったマイクロマシニング型の構成素子の大きさを拡大させることなく、より長く形成可能である。これにより、マイクロマシニング型の構成素子の好ましい大きさを維持したまま、より多くの数の電極指２６ａ及び２６ｂを少なくとも１つの第１のウェブ５０に配置可能かつ／又はより多くの数の電極指２４ａを少なくとも１つの第２のウェブ５４に配置可能である。このことは、第１の回転軸線１２及び／又は第２の回転軸線１４周りにミラープレート１０を調節するための実現可能なトルクを増大させる。第２のウェブ５４は、特に第１のウェブ５０に対して垂直に配向されていてよい。
【００３６】
比較的高い実現可能なトルクに基づいて、ばね１６，５２，５３は、比較的高い剛性を有するように設計可能である。このことは、マイクロマシニング型の構成素子の有利な頑強性を保証する。付加的に、このことは、ばね１６，５２，５３の製造を容易にする。さらに、ばね１６，５２，５３のばね剛性は、上述の形式で不都合なクロストークが阻止されるように設定可能である。
【００３７】
少なくとも１つの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の、第２のウェブ５４に対して垂直に形成された電極指２４ａは、第１の回転軸線に対して比較的大きな間隔を有している。このことは、付加的に、第１の回転軸線１２周りにミラープレート１０を調節するための比較的高いトルクを保証する。それゆえ、外側の電極コンポーネント２４及び２８の電極指２４ａ，２８ａの数は、内側の電極コンポーネント２６及び３０の電極指２６ａ，２６ｂ，３０ａ，３０ｂのための十分な設置面を保証するために減少可能である。こうして、第２の回転軸線１４周りにミラープレート１０を調節するための駆動力は、付加的に増大可能である。
【００３８】
外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の各々には、ホルダに固定されている外側のステータ‐電極コンポーネント２８が割り当てられている。外側のステータ‐電極コンポーネント２８の各々は、電極指２８ａを有している。電極指２８ａの配向及び位置は、対応する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の電極指２４ａに対応している。
【００３９】
外側の電極コンポーネント２４及び２８は、第１の回転軸線１２の第１の側にある電極指２４ａと２８ａとの間で、０でない第１の電圧が印加可能であると同時に、第１の回転軸線１２の第２の側にある電極指２４ａと２８ａとの間では、電圧が印加されないことが保証されているように接続可能である。同様に、第１の回転軸線１２の第１の側にある電極指２４ａと２８ａとの間では、電圧が印加されずに、第１の回転軸線１２の第２の側にある電極指２４ａと２８ｂとの間で、０でない第１の電圧が印加可能である。
【００４０】
さらに、内側の電極コンポーネント２６及び３０は、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２６ｂと３０ｂとの間で、電圧が印加されない一方、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２６ａと３０ａとの間では、０でない第２の電圧が印加可能であるように接続可能である。付加的に、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２６ａと３０ａとの間で印加される電圧が０である一方、第２の電圧が、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２６ｂと３０ｂとの間で印加可能である。
【００４１】
第１の電圧及び第２の電圧を印加するための適当なコンタクトエレメント（例えば線路）及び（図示しない）制御装置の形成は、当業者であれば図３に基づいて容易に把握可能である。それゆえ、これらのコンポーネントのより詳細な説明は省略する。
【００４２】
無電圧の状態、すなわち、電極コンポーネント２４，２６，２８，３０のいずれの間でも、電圧が印加されていない場合、アクチュエータ‐電極コンポーネント２４及び２６並びにミラープレート１０は、有利には１つの共通の初期平面内にある初期位置にある。ステータ‐電極コンポーネント２８及び／又は３０の電極指２８ａ，３０ａ及び／又は３０ｂは、初期平面の、ホルダから離間する方向を向いた側に配置されていてよい。ステータ‐電極コンポーネント２８及び／又は３０の電極指２８ａ，３０ａ及び／又は３０ｂは、初期平面とホルダとの間の一平面内に配置されていてもよい。
【００４３】
有利には、ミラープレート１０の第１の回転軸線１２周りの調節は、共振式に実施される。この場合、制御装置は、第１の電圧として、少なくとも１つの内ばね１６の曲げの下、内枠１８に関してミラープレート１０の振動の固有振動数と同じ周波数を有する電圧信号を提供するために設計されている。こうして、ミラープレート１０の質量及び少なくとも１つの内ばね１６のばね剛性の適当に設定された値において、適当に、少なくとも１つの内ばね１６の曲げの下、内枠１８に関する第１の軸線１２周りのミラープレート１０の共振振動が励起可能である。このことは、ミラー調節角の増大を生じる。例えば、こうして、ミラープレート１０が、ホルダに関して第１の回転軸線１２周りに１２°のミラー調節角で変位可能である一方、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４は、ホルダに関して第１の回転軸線１２周りに≪１°の回転角で傾倒するにすぎない。有利には、第１の電圧として、約２０ｋＨｚの周波数を有する電圧信号が提供される。
【００４４】
図３に示したマイクロマシニング型の構成素子により画像投影が実現可能である。有利には、画像投影は、ライン状の画像形成により実施される。マイクロマシニング型の構成素子の有利な制御時、電圧は、ミラープレート１０が２０ｋＨｚの周波数を有する第１の回転軸線１２周りの第１の振動で振動するように設計される。同時にミラープレート１０は、６０Ｈｚの周波数を有する第２の回転軸線１４周りの第２の準静的な運動で運動する。ミラープレート１０の第２の準静的な運動は、しばしば、鋸歯形の準静的な運動とも呼称される。この場合、マイクロマシニング型の構成素子は、マイクロスキャナの機能を良好に充足する。
【００４５】
２‐ばね‐２‐質量‐系（Ｚｗｅｉ‐Ｆｅｄｅｒ‐Ｚｗｅｉ‐Ｍａｓｓｅ‐Ｓｙｓｔｅｍ）である従来慣用のマイクロミラーと比較して、上の段落で説明したマイクロマシニング型の構成素子は、４‐ばね‐４‐質量‐系（Ｖｉｅｒ‐Ｆｅｄｅｒｎ‐Ｖｉｅｒ‐Ｍａｓｓｅｎ‐Ｓｙｓｔｅｍ）として形成されている。
【００４６】
図示のマイクロマシニング型の構成素子の有利な実施の形態では、すべてのパワートレーン、すなわち、少なくとも１つの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４及び少なくとも１つの内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６が接地される。この場合、より高い電圧を少なくとも１つの外ばね及び少なくとも１つの中間ばね５２を介して導く必要がない。それゆえ、ばね５２及び５３を介して導かれる線路は、高い電圧に耐えるように形成される必要がない。こうして、ばね５２及び５３のばね剛性が、高い電圧を印加するために特別に形成されている線路により影響を受けないことが保証されている。
【００４７】
第１の電圧及び第２の電圧を提供するための高い電位は、外部から、ステータ‐電極コンポーネント２８及び３０に印加される。ステータ‐電極コンポーネント２８及び３０への印加は、比較的小さな手間で実現可能である。特に、高い電位を印加するために使用される線路は、安価にかつ簡単に製造可能である。
【００４８】
図４は、マイクロマシニング型の構成素子の第２の実施の形態の概略図である。
【００４９】
図示の実施の形態において、図３に示した前述の実施の形態に対して補足的に、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４が、２つの結合ウェブ５６を介して互いに結合されている。両結合ウェブ５６の各々は、第２のウェブ５４の、片側において第２の回転軸線１４から離間する方向を向いた２つの端部を互いに結合している。こうして、第２のウェブ５４及び結合ウェブ５６は、中間枠を形成している。有利には、中間枠は、コンポーネント５４及び５６から長方形に形成されている。
【００５０】
コンポーネント５４及び５６からなる中間枠は、蛇行状の揺動ばね５３として形成された２つの外ばねを介してホルダに結合されている。蛇行状の揺動ばね５３の両長手方向軸線は、第１の回転軸線１２上に位置している。ホルダは、例えば外枠５５として形成されていてよい。有利には、外側のステータ‐電極コンポーネント２８の電極指２８ａが、外枠５５の、第２のウェブ５４に対して平行に配向された内面に固定されている。しかし、マイクロマシニング型の構成素子は、ホルダのこのような形成に限定されるものではない。
【００５１】
これにより、両外側のステータ‐電極コンポーネント２８が、ホルダに固定配置されている一方、内側のステータ‐電極コンポーネント３０は、コンポーネント５４及び５６からなる中間枠に固定されている。これにより、内側のステータ‐電極コンポーネント３０は、中間枠とともに外側の電極コンポーネント２４及び２８により駆動される。中間枠に内側のステータ‐電極コンポーネント３０を固定するために、くし型電極として形成される内側のステータ‐電極コンポーネント３０のウェブ５７は、各々１つの固定ウェブ５８により、隣接する結合ウェブ５６に結合可能である。
【００５２】
内側のステータ‐電極コンポーネント３０の電極指３０ａ，３０ｂに印加される電圧は、蛇行状の揺動ばね５３を介して導かれる。付加的に、アクチュエータ‐電極コンポーネント２４及び２６の電極指２４ａ，２６ａ，２６ｂに印加されるアース電位も、蛇行状の揺動ばね５３を介して導かれる。有利には、アース電位は、第１の蛇行状の揺動ばね５３を介して導かれ、高電圧信号は、第２の蛇行状の揺動ばね５３を介して導かれる。内側のステータ‐電極コンポーネント３０の電極指３０ａ又は３０ｂに高い電位を印加するための線路は、コンポーネント５７，５８を介して導かれてもよい。
【００５３】
蛇行状の揺動ばね５３の代わりに、Ｖ字形ばね（Ｖ‐Ｆｅｄｅｒ）が使用されてもよい。この場合、電位は、Ｖ字形ばねを介して導くことができる。１つのＶ字形ばねを介して２つの線路を導くことができ、これにより、２つのＶ字形ばねを介して計４つの線路を導くことができる。このことは、センサエレメントの制御及び読み取りに関して有利な場合がある。
【００５４】
図５は、製造方法の一実施の形態を説明するための層構造の横断面図である。
【００５５】
部分的にのみ示す製造方法により、例えば、図４に示したマイクロマシニング型の構成素子が製造可能である。図４に示したマイクロマシニング型の構成素子を製造するために実施される工程は、当業者であれば、以下に説明する層構造に基づいて容易に把握可能である。
【００５６】
層構造は、第１の半導体層６０と、第１の半導体層６０を少なくとも部分的に被覆する絶縁層６２と、絶縁層６２を被覆する第２の半導体層６４とを有している。絶縁層６２には、半導体層６０及び６４の領域を一体に互いに結合する孔が形成されていてよい。第１の半導体層６０は、例えばシリコン基板である。埋設された酸化物層（Ｂｕｒｒｉｅｄ  Ｏｘｉｄ  Ｌａｙｅｒ）とも呼称可能な絶縁層６２は、酸化物及び／又はその他の絶縁材料を有していてよい。第２の半導体層６４は、特にＳＯＩ層（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  Ｉｓｏｌａｔｏｒ）であってよい。
【００５７】
第１の半導体層６０の、絶縁層６２とは反対側の背面は、少なくとも部分的に背面層６６、有利には酸化物からなる背面層６６により被覆される。相応に、第２の半導体層６４の外側の表面は、少なくとも部分的に上面層６８により被覆される。上面層６８は、やはり酸化物を含んでいてよい。
【００５８】
当業者に公知の方法、例えばリソグラフィ法により、貫通した凹部が層６６，６８内に形成可能である。これにより、前面トレンチを介して第１の凹部７０を第２の半導体層６４内にエッチングし、背面トレンチを介して第２の凹部７２を第１の半導体層６０内にエッチングすることが可能である。こうして、図４に示したマイクロマシニング型の構成素子のコンポーネント１０〜３０及び５０〜５８が、図示の層構造から構造化可能である。適当なエッチング法、例えばＫＯＨエッチングは、当業者であれば図５に基づいて容易に把握可能である。
【００５９】
ホルダは、例えば、第１の半導体層の材料から、第１の半導体層６０の層厚さに等しい高さｈ１を有して形成されている。ウェブ５０，５４〜５８及びミラープレート１０は、孔７０，７２のエッチングにより、高さｈ２を有して半導体層６０，６４及び絶縁層６２の領域から形成可能である。有利には、ばね１６，５２，５３は、第２の半導体層６４の領域のみから構造化されている。第２の半導体層６４の層厚さは、第１の半導体層６０の層厚さより小さい。このことは、ばね１６，５２，５３のばね剛性に関する有利な値を保証する。
【００６０】
ステータ‐電極指２８ａ，３０ａ，３０ｂに関して面外の位置でのアクチュエータ‐電極指２４ａ，２６ａ，２６ｂの構造化は、当業者であれば図４及び図５に基づいて容易に把握可能であるので、詳細な説明は省略する。
【００６１】
少なくとも１つの金属層７４を上面層６８上に有利にはアルミニウムから形成することで、電極指２４ａ，２６ａ，２６ｂ，２８ａ，３０ａ，３０ｂに電位を印加するための線路が、簡単かつ安価に製造可能である。
【００６２】
図６は、マイクロマシニング型の構成素子の第３の実施の形態の概略図である。
【００６３】
図示の実施の形態では、内側のステータ‐電極コンポーネントの電極指３０ａ及び３０ｂが、ウェブ５７，５８を介して、外枠５５として形成されたホルダに固定されている。このことは、ウェブ５７，５８をより頑強に形成することを可能にし、内側のステータ‐電極コンポーネントの電極指３０ａ及び３０ｂを電圧源に接続する線路の設置を容易にする。
【００６４】
さらに、図６を参照しながら説明する実施の形態は、比較的小さな質量が、電極コンポーネント２４〜３０により生じるトルクを介して動かされるという利点を有している。これにより、電極コンポーネント２４〜３０における比較的小さな電圧が既に、ミラープレート１０の所望の変位を生じる。
【００６５】
付加的に、内側のステータ‐電極コンポーネントのウェブ５７に、付加ウェブ８０が固定可能である。付加ウェブ８０は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４に対して平行に配向されている。付加ウェブ８０には、外側のステータ‐電極コンポーネント２８の別の電極指２８ａを形成することができる。この場合、電極指２４ａは、有利には外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４の両側に形成されている。こうして、外側の電極コンポーネント２４及び２８の電極指２４ａ及び２８ａの数を増加させることができ、第１の回転軸線１２周りにミラープレート１０を調節するためのより大きなトルクを実現することができる。ウェブ５７，５８のコンパクトな形成により、付加ウェブ８０に形成された電極指２８ａに電位を印加するための線路のための十分な設置面が保証されている。
【００６６】
図４に示した前述の実施の形態とは異なり、外ばねは、第２の回転軸線１４に対して平行に配向されているウェブ状の曲げばね（Ｂｉｅｇｅｆｅｄｅｒ）８１として形成されている。各々の曲げばね８１は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４の端部を、隣接する、外枠５５の、第２のウェブ５４に対して平行に配向された内面に結合している。この種の外ばねの特性については下で詳述する。少なくとも１つの曲げばね８１の代わりに、少なくとも１つの蛇行ばね（Ｍａｅａｎｄｅｒｆｅｄｅｒ）が使用されてもよい。
【００６７】
第１の回転軸線１２に沿ったマイクロマシニング型の構成素子の大きさは、中間枠が不要であるとともに、曲げばね８１が第１の回転軸線１２に沿って配向されていないので、比較的小さい。
【００６８】
図７は、マイクロマシニング型の構成素子の第４の実施の形態の概略図である。
【００６９】
前述の実施の形態とは異なり、図７に示したマイクロマシニング型の構成素子では、外ばねが、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２のウェブ５４の端部を結合ウェブ５８に結合するウェブ状の曲げばね８１として形成されている。これは、内向きの外ばね／曲げばね８１の支持とも呼称可能である。曲げばね８１のこの種の配置では、外ばねの長さは、第２の回転軸線１４に沿った図示のマイクロマシニング型の構成素子の大きさを拡大することなしに、延長可能である。曲げばね８１がより長く形成されていることにより、曲げばね８１のばね剛性は、幅が同じであれば、低減可能である。このことは、第１の回転軸線１２周りの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４のより良好な調節可能性を保証する。
【００７０】
図８は、マイクロマシニング型の構成素子の第５の実施の形態の概略図である。
【００７１】
図示のマイクロマシニング型の構成素子では、第１の回転軸線１２の片側で協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８は、協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２４ａ‐１と２８ａ‐１との間で、第１の電圧として第１の電圧値が印加可能であり、かつ協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２４ａ‐２と２８ａ‐２との間で、第１の電圧値とは異なる第２の電圧値が、第１の電圧として印加可能である。これは、協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の少なくとも一方の、電極面として機能する電極指２４ａ又は２８ａが、第２の回転軸線１４により、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された第１の電極面２４ａ‐１又は２８ａ‐１と、第２の回転軸線の第２の側に配置された第２の電極面２４ａ‐２又は２８ａ‐２とに分割され、第１の電極面２４ａ‐１又は２８ａ‐１が少なくとも１つの（図示しない）第１の線路に、第１の電位が第１の電極面２４ａ‐１又は２８ａ‐１に印加可能であるように連結されており、かつ第２の電極面２４ａ‐２又は２８ａ‐２が少なくとも１つの（図示しない）第２の線路に、第１の電位とは異なる第２の電位が第２の電極面２４ａ‐２又は２８ａ‐２に印加可能であるように連結されているとも言える。有利には、マイクロマシニング型の構成素子は、第１の電位を第１の電極面２４ａ‐１又は２８ａ‐１に、かつ第２の電位を第２の電極面２４ａ‐２又は２８ａ‐２に印加するために設計されている制御装置を有している。
【００７２】
以下に、この種のマイクロマシニング型の構成素子の可能な実施の形態について詳述する。
【００７３】
図示の実施の形態では、各々の外側のステータ‐電極コンポーネント２８は、第１の下位コンポーネント８２と第２の下位コンポーネント８４とに分割されている。第１の下位コンポーネント８２は、対応する外側のステータ‐電極コンポーネント２８の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置されている電極指２８ａ‐１を有している。第１の下位コンポーネント８２の電極指２８ａ‐１は、外枠５５の、第２のウェブ５４に対して平行に配向された内面及び／又は付加ウェブ８０の外面に配置されていてよい。相応に、外側のステータ‐電極コンポーネント２８の、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２８ａ‐２は、第２の下位コンポーネント８４に割り当てられている。第２の下位コンポーネント８４の電極指２８ａ‐２も、外枠５５及び／又は付加ウェブ８０に固定されていてよい。
【００７４】
第１の下位コンポーネント８２の電極指２８ａ‐１には、第１の電位が印加可能である。同時に、第１の電位とは異なる第２の電位が、第２の下位コンポーネント８４の電極指２８ａ‐２に印加可能である。外側のステータ‐電極コンポーネント２８の両下位コンポーネント８２及び８４の、電極指２８ａ‐１及び２８ａ‐２の接続のために使用可能な線路は、当業者であれば図８に基づいて容易に把握可能である。それゆえ、詳細な説明は省略する。
【００７５】
少なくとも１つの外側のステータ‐電極コンポーネント２８の、下位コンポーネント８２及び８４への分割は、例えば外枠５５として形成されるホルダに、下位コンポーネント８２及び８４の線路を形成するための十分な設置面が存在するという利点につながる。さらに、ウェブ５７及び５８のコンパクトな形成によっても、下位コンポーネント８２及び８４の線路の形成が容易になる。
【００７６】
ただし、マイクロマシニング型の構成素子は、少なくとも１つの外側のステータ‐電極コンポーネント２８の、第２の回転軸線１４に関する下位コンポーネント８２及び８４への分割に限定されるものではない。少なくとも１つの分割された外側のステータ‐電極コンポーネント２８の代わりに又は補足的に、少なくとも１つの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４が、第２の回転軸線１４の両側に配置された電極指２４ａ‐１と２４ａ‐２とにそれぞれ異なる電位が印加可能であるように分割されてもよい。マイクロマシニング型の構成素子のこの種の形成は、当業者であれば図８に基づいて容易に把握可能であるので、詳細な説明は省略する。
【００７７】
協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２４ａ‐１と２８ａ‐１との間での第１の電圧値の印加と、同じ外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２４ａ‐２と２８ａ‐２との間での、第１の電圧値とは異なる第２の電圧値の印加とにより、第２の回転軸線１４周りの付加的なトルクを、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に作用させることができる。有利な実施の形態において、第１の電圧値及び第２の電圧値は、制御装置により、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に対する第２の回転軸線１４周りの付加的なトルクが、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第２の回転軸線１４周りの調節の際に、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６により生じる付加トルクを補償するように提供される。このことは、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の少なくとも１つの電極指２６ａ又は２６ｂと内側のステータ‐電極コンポーネント３０との間で作用する第２の電圧についての情報及び／又は内側のステータ‐電極コンポーネント３０に関する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の少なくとも１つの電極指２６ａ又は２６ｂの現在の位置についての情報を考慮の上、印加される第１の電位／第１の電圧値と第２の電位／第２の電圧値との間の差を決定するように、制御装置を付加的に設計することにより実現可能である。
【００７８】
こうして、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第２の回転軸線１４周りの調節の際の外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の連動に基づく、従来慣用のマイクロマシニング型の構成素子において発生するクロストークは、回避可能である。これにより、ミラープレート１０の両調節運動間の、従来技術において発生する不都合な結合は、ミラープレート１０の所望の調節に影響を及ぼさないように阻止可能である。
【００７９】
少なくとも１つの外側の電極コンポーネント２４又は２８の、両下位コンポーネント８２及び８４への分割と、第２の回転軸線１４の両側にある協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の電極面２４ａ‐１，２４ａ‐２，２８ａ‐１，２８ａ‐２間のそれぞれ異なる電圧値の印加とは、閉ループ運転でのマイクロマシニング型の構成素子の運転とも呼称可能である。この種の閉ループ運転において、２つの協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８は、電極指２４ａ‐１，２４ａ‐２，２８ａ‐１，２８ａ‐２への第１の電圧の印加を介してミラープレートが第１の回転軸線１２周りに調節可能であるように形成されており、電極指２４ａ‐１，２４ａ‐２，２８ａ‐１，２８ａ‐２は、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された電極指２４ａ‐１と２８ａ‐１との間で第１の電圧値が印加可能であり、かつ第２の回転軸線１４の第２の側に配置された電極指２４ａ‐２と２８ａ‐２との間で、第１の電圧値とは異なる第２の電圧値が印加可能であるように分割されている。
【００８０】
マイクロマシニング型の構成素子の、図４及び図６に示した実施の形態も、変化態様において閉ループ運転で運転可能である。閉ループ運転のために適した変化態様は、当業者であれば上の段落に基づいて容易に把握可能であるので、詳細な説明は省略する。
【００８１】
図９Ａ及び図９Ｂは、マイクロマシニング型の構成素子の第６の実施の形態の概略図である。
【００８２】
図９Ａに平面図として示した実施の形態は、外側の電気的なくし型駆動装置（Ｋａｍｍａｎｔｒｉｅｂ）の代わりに、外側の電気的な平板型駆動装置（Ｐｌａｔｔｅｎａｎｔｒｉｅｂ）を有している。この場合、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４は、第２の回転軸線１４に沿って延びる中間ばね５２を介して、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第１のウェブ５０に結合されているアクチュエータ‐平板型電極（Ｐｌａｔｔｅｎｅｌｅｋｔｒｏｄｅ）８６として形成されている。有利には、アクチュエータ‐平板型電極８６は、初期位置（無電圧の運転中）において、両回転軸線１２，１４により規定される一平面に対して平行に配向されている。アクチュエータ‐平板型電極８６は、少なくとも１つの外ばねを介して直接又は間接にホルダに結合されている。少なくとも１つの外ばねは、例えば曲げばね８１を有していてよい。図示の実施の形態では、２つの曲げばね８１が、アクチュエータ‐平板型電極８６と、隣接する結合ウェブ５８との間で、第２の回転軸線１４に対して平行に延びている。当業者であれば、ここに示した図面に基づいて、アクチュエータ‐平板型電極８６を直接又は間接にホルダに結合する少なくとも１つの外ばねに関する別の可能な実施の形態も容易に把握可能である。
【００８３】
外側のステータ‐電極コンポーネント２８も、少なくとも１つのステータ‐平板型電極８８として形成されていてよい。図９Ａに示した線Ａ−Ａの断面図である図９Ｂから看取可能であるように、少なくとも１つのステータ‐平板型電極２８は、有利には、アクチュエータ‐平板型電極８６の初期位置に対して平行に、最小の間隔を置いて配向されている。有利には、平板型電極８６，８８は、オーバラップ面を有していてよい。オーバラップ面間の間隔は、数マイクロメートルであってよい。このことは、第１の回転軸線１２周りにミラープレート１０を調節するための比較的大きなトルクを平板型電極８６，８８の使用により保証する。
【００８４】
図示の実施の形態の変化態様において、協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の少なくとも一方が、下位コンポーネントに分割されていてよい。この場合、外側の電極コンポーネント２４及び２８の少なくとも一方が、第１の部分平板型電極を第２の回転軸線１４の第１の側に有しており、第２の部分平板型電極を第２の回転軸線１４の第２の側に有している。これにより、協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第１の側に配置された第１の電極面間に、第１の電圧値が印加可能であり、協働する外側の電極コンポーネント２４及び２８の、第２の回転軸線１４の第２の側に配置された第２の電極面間に、第１の電圧値とは異なる第２の電圧値が印加可能である。
【００８５】
こうして、電気的な平板型駆動装置の協働する外側の電極コンポーネント２４，２８を介して、付加的なトルクを外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に及ぼすこともできる。この付加的なトルクは、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第２の回転軸線１４周りの調節の際の外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の連動に抗して働く。電気的な平板型駆動装置のこの種の変化態様及び平板型駆動装置の接続のために必要な線路は、当業者であれば、ここに記載した説明に基づいて容易に把握可能である。それゆえ、この種の変化態様についての詳細な説明は省略する。
【００８６】
図１０は、マイクロマシニング型の構成素子の第７の実施の形態の概略図である。
【００８７】
クロストーク、すなわち、隣接する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６の第２の回転軸線周りの調節の際の外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の連動を阻止する可能性は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４をホルダに結合する少なくとも１つの外ばねの適当な形成及び配置にある。
【００８８】
有利には、第２の回転軸線１４周りの中間ばね５２のねじりに関する中間ばね５２の第１のばね剛性は、第２の回転軸線１４周りの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の回動に抗して作用する、少なくとも１つの外ばねの第２のばね剛性より低い。このことは、外ばね、又は複数の外ばねから構成されるばね懸架装置が、両回転軸線１２，１４に対して垂直な第１の運動方向に沿った外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第１の調節運動に関する少なくとも１つの外ばねの第１の曲げ剛性が比較的低いように形成され配置されることにより、簡単に実現可能である。付加的に、第１の運動方向に対して非平行に配向されている第２の運動方向に沿った外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第２の調節運動に関する外ばね又はばね懸架装置の第２の曲げ剛性が比較的高いと有利である。有利な第１の曲げ剛性及び第２の曲げ剛性を保証するための少なくとも１つの外ばねに関する適当な有利な実施の形態は、先行の図面で既に説明してある。
【００８９】
図１０に示したマイクロマシニング型の構成素子では、各々の外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４が、第１の回転軸線１２に対して平行に配向された２つのねじりばね９０を介して、外枠５５として形成されたホルダに結合されている。ねじりばね９０は、有利にはウェブ状に形成されている。
【００９０】
外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４を外枠５５に両ねじりばね９０を介して配置したことにより、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４が、比較的小さな力で、両回転軸線１２，１４に対して垂直な所望の第１の調節方向で調節されることが保証されている。これに対して、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４を、第１の調節方向に対して非平行の第２の調節方向で動かすためには、比較的大きな力が必要である。このことは、両ねじりばね９０が、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の有利な並進運動（両回転軸線１２，１４に対して垂直）のために設計されているとも言える。この場合、両ねじりばね９０は、２方で張設された曲げばねとして協働する。
【００９１】
さらに中間ばね５２は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネントに隣接する端部区分に、貫通した孔を有していてよい。孔は、端部区分を第１の脚片と第２の脚片とに分割している。有利には、端部区分は、両脚片及び両脚片間を延びる結合ウェブがＵ字形のばね結合部９２を形成するように分割されている。
【００９２】
当業者であれば看取可能であるように、説明した実施の形態及び以下に説明する実施の形態の外側の電極コンポーネント２４，２８は、くし型駆動装置及び／又は平板型駆動装置として形成されていてよい。少なくとも１つの外側の電極コンポーネント２４，２８の電位を印加するための電極面は、付加的に、第２の回転軸線１４に関して分割されていてよい。これらの実施の形態のこの種の変化態様は、先の段落に基づいて容易に把握可能である。
【００９３】
図１１は、マイクロマシニング型の構成素子の第８の実施の形態の概略図である。
【００９４】
図示のマイクロマシニング型の構成素子の各々の外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４は、２つのＶ字形ばね９４を介して、外枠５５として形成されたホルダに結合されている。有利には、Ｖ字形ばね９４は、Ｖ字形ばね９４の対称軸線が第１の回転軸線１２に対して平行に延びるように形成されている。こうして、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の２つのＶ字形ばね９４の、Ｘ字形のばね配置と呼称可能な配置が、両回転軸線１２，１４に対して垂直な第１の調節方向に沿った外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の第１の調節運動に関して、比較的低い第１の曲げ剛性を有していることが保証されている。これに対して、第１の調節方向に対して非平行に配向された第２の調節方向のための、Ｘ字形のばね配置の第２の曲げ剛性は、比較的高い。これにより、両Ｖ字形ばね９４からなるＸ字形のばね配置によっても、クロストーク、すなわち、ミラープレート１０の両調節運動間の望ましくない結合は、阻止可能である。さらにＶ字形ばね９４は、Ｕ字形のばね結合部９６を介して外枠５５に結合可能である。
【００９５】
図１１に概略的にのみ示した内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６は、隣接する中間ばね５２寄りの側に、中間ばね５２を少なくとも部分的に包囲する湾入部を有している。これにより、少なくとも中間ばね５２の部分区分は、湾入部内を延びている。こうして、中間ばね５２は、好ましい長い長さを有しており、これにより、マイクロマシニング型の構成素子が第２の回転軸線１４に沿って比較的小さな大きさを有しているにもかかわらず、第２の回転軸線１４周りの低いばね剛性及び良好な可撓性を有している。付加的に中間ばね５２は、Ｕ字形のばね結合部９２を介して、隣接する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に結合可能である。
【００９６】
図１２Ａ及び図１２Ｂは、マイクロマシニング型の構成素子の第９の実施の形態の概略図である。
【００９７】
図１２Ａの平面図に示したマイクロマシニング型の構成素子は、それぞれ２つの両側で／二方で張設された曲げばね９８を介して外枠５５に結合されている、２つの外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４を有している。図１２Ｂの拡大図から看取可能であるように、両側で張設された各々の曲げばね９８は、ウェブ状の内側区分９８ａと、Ｕ字形のばね結合部として形成されている外側区分９８ｂとを有している。内側区分９８ａは、隣接する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４と接触している。外枠５５と接触する外側区分９８ｂは、外側区分９８ｂの両脚片の両外面間の平均間隔が、内側区分９８ａの平均幅より明らかに大きいように形成されている。有利には、両側で張設された両曲げばね９８は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に、曲げばね９８の対称軸線が第１の回転軸線１２に対して平行に配向されているように配置されている。
【００９８】
両側で張設された曲げばね９８を介して、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の、両回転軸線１２，１４に対して垂直な所望の並進運動が、高信頼性に実現可能である。
【００９９】
図１２Ａ及び図１２Ｂの実施の形態でも、中間ばね５２は、Ｕ字形のばね結合部９２を介して、隣接する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に結合されており、少なくとも部分的に、対応する内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２６に形成された湾入部を通って延びている。
【０１００】
図１３Ａ及び図１３Ｂは、マイクロマシニング型の構成素子の第１０の実施の形態を示している。
【０１０１】
図１３Ａは、蛇行状のばね１００の拡大図である。蛇行状のばね１００は、少なくとも１つの蛇行部を有している。蛇行状のばね１００の複数の曲折部／蛇行部を備える構成は、当業者であれば図１３Ａに基づいて容易に把握可能である。
【０１０２】
蛇行状のばね１００は、第１の端部区分１０２で、例えば外枠５５として形成されたホルダに固定可能である。同様に、蛇行状のばね１００は、第２の端部区分１０４で、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４に接触可能である。有利には、蛇行状のばね１００は、ホルダ及び／又は外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の少なくとも１つの下位ユニットとともに、半導体材料、例えばシリコンから構造化されている。蛇行状のばね１００の製造方法は、当業者であれば図１３Ａ及び図１３Ｂに基づいて容易に把握可能であるので、詳細な説明は省略する。
【０１０３】
外側の電極コンポーネント２４と２８との間での電圧の印加は、蛇行状のばね１００を初期位置から撓曲位置１００ａへと撓ませる。
【０１０４】
図１３Ｂに側面図で示したマイクロマシニング型の構成素子において看取可能であるように、各々２つの蛇行状のばね１００が、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４を外枠５５に結合可能である。有利には、蛇行状のばね１００の第１の端部区分１０２は、外枠５５の、第１の回転軸線１２に対して平行に配向された内面と接触している。第２の端部区分１０４は、対応する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の、第２の回転軸線１４に対して平行に配向された外面と接触可能である。
【０１０５】
外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の両蛇行状のばね１００の各々は、対応する外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４と、第２の回転軸線１４の他方の側において接触している。蛇行状のばね１００の長手方向１０６は、第２の回転軸線１４に対して平行に配向されている。
【０１０６】
同じ外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の両蛇行状のばね１００の協働により、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の、両回転軸線１２，１４に対して垂直に配向された第１の調節運動に関して、好ましい低い第１の曲げ剛性を有するばね懸架装置が実現されている。外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の、第１の調節運動に対して非平行に配向されている第２の調節運動に関する、ばね懸架装置の第２の曲げ剛性は、明らかに高い。
【０１０７】
要するに、これにより、両蛇行状のばね１００の曲げ線は、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の、両回転軸線１２，１４に対して垂直な並進運動に有利な、クロストークを阻止する総ばね特性を生じる。
【０１０８】
外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４が純粋に並進運動する場合、ミラープレート１０の実現したい運動を妨げる、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の横方向の運動は生じない。これにより、従来技術において生じる、不都合な横方向の運動に投入される付加的なエネルギ供給は省略される。これにより、本明細書で説明する実施の形態において、最適なエネルギ供給が得られる。
【０１０９】
付加的に、生じる静電力は、電極コンポーネント２４〜３０の面積変化に比例する。外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４が純粋に並進運動する場合、電極指２４ａ及び２８ａの長さに比例する、外側の電極コンポーネント２４と２８との間の面積変化が得られる。外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の望ましくない回動時、面積変化は、半分の大きさである。
【０１１０】
付加的な横方向の運動成分により、励起運動の使用可能な割合も減少してしまう。さらに、付加的な横方向の運動成分は、ミラープレート１０の中心の移動を生じる。中心の移動は、光線がミラープレートの調節運動中ミラープレート１０の表面に当たるようにするために、ミラープレート１０を大きくすることを必要とする。本明細書に示した実施の形態及び変化態様により、従来技術のこれらの欠点は、回避可能である。
【０１１１】
外ばねの形状に対して付加的に、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント２４の純粋な並進運動、すなわち、両回転軸線１２，１４に対して垂直な運動を実現するために、外ばねの懸架点も変更可能である。本明細書に示した実施の形態のこの種の変更は、当業者であれば図面に基づいて容易に把握可能であるので、詳細な説明は省略する。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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