(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移送対象基板が配置され、複数の貫通孔及び転換孔が形成される第１プレートと、
前記第１プレート上で前記基板が浮揚されるように前記第１プレートの貫通孔内にエアを噴射する固定ノズルと、
エアを噴射し、噴射されるエアの噴射方向を調節して前記基板の移送方向を制御する動的ノズルと
を含み、
前記動的ノズルは、前記転換孔に連通してエアを噴射する第１ジョイントと、前記転換孔と前記第１ジョイントとの間に介在されるパッキング部材とを含むことを特徴とする、移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項２】
前記第１ジョイントは一端からエアを噴射し、
前記動的ノズルは、前記第１ジョイントの他端から全方向に回動可能に連結される第２ジョイントを含むことを特徴とする、請求項１に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項３】
前記第２ジョイントが装着され、回転回動可能に構成される回転軸をさらに含むことを特徴とする、請求項２に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項４】
前記回転軸は、長さ方向に沿って移動可能なことを特徴とする、請求項３に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項５】
前記動的ノズルは、前記回転軸上に複数個が装着され、
前記回転軸は、相互離隔するように複数個が配列されることを特徴とする、請求項４に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項６】
前記第１プレートから離隔するように前記第１プレートに対向して配置され、複数の貫通孔が形成される第２プレートをさらに含み、
前記動的ノズルは、前記第１プレートと前記第２プレートとの間の空間に配置され、
前記固定ノズルは、前記第２プレートの前記第１プレートと対向しない側に配置されてエアを前記第２プレート側に噴射することを特徴とする、請求項５に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項７】
前記回転軸に回転力または移動力を印加する動力部をさらに含むことを特徴とする、請求項３から請求項６のいずれか１項に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項８】
前記第１プレート上で浮揚された状態で移送される前記基板の方向を制御するために前記動的ノズルを制御する制御部をさらに含むことを特徴とする、請求項３から請求項６のいずれか１項に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記動的ノズルから噴射されるエアの噴射速度を制御することを特徴とする、請求項８に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【請求項１０】
前記基板の位置を検出するため、前記貫通孔の間に設けられる複数個のセンサーをさらに含むことを特徴とする、請求項３から請求項６のいずれか１項に記載の移送方向転換が可能な基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移送方向転換が可能な基板移送装置に関し、より詳細には、基板を浮揚させた状態で全方向の移送が可能であり、移送方向転換が可能な基板移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体素子を製造するためには、拡散、エッチング、写真及びクリーニング工程などを行うことになる。このようなそれぞれの工程は、以前工程と連携され、各工程が完了した後に次の工程に移送されなければならない。このような工程間の基板移送のため、各工程から次工程に移送するための移送アームを備えたロボット型の基板移送装置が使用される。
【０００３】
図１は、従来の移送ロボットの一例を示すものである。
【０００４】
図１を参照すると、従来の移送ロボットは、ロボットアームを用いて基板を移送するように構成される。
【０００５】
しかし、このような従来の移送ロボットは、高価で全体的な生産コストを増大させ、基板の移送時に衝突により破損する可能性があるという問題点があった。また、多数の基板を連続的に移送する用途として利用し難いため、製品歩留りが劣って、大量生産に適さないという短所があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、自由な方向転換を通じて破損のおそれなしに大面積の基板を大量に移送することができる移送方向転換が可能な基板移送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的は、移送対象基板が配置され、複数の貫通孔が形成される第１プレートと、第１プレート上で基板が浮揚されるように第１プレートの貫通孔内にエアを噴射する固定ノズルと、エアを噴射し、噴射されるエアの噴射方向を調節して基板の移送方向を制御する動的ノズルとを含むことを特徴とする、移送方向転換が可能な基板移送装置により達成される。
【０００８】
また、動的ノズルは、一端でエアを噴射する第１ジョイントと、第１ジョイントの他端から全方向に回動可能に連結される第２ジョイントと、を含むことができる。
【０００９】
また、第１ジョイントのエアが噴射される端部が装着されるように第１プレートには、転換孔が形成されることができる。
【００１０】
また、第２ジョイントが装着され、回転回動可能に構成される回転軸をさらに含むことができる。
【００１１】
また、回転軸は、長さ方向に沿って移動可能なことができる。
【００１２】
また、動的ノズルは、回転軸上に複数個が装着され、回転軸は、相互離隔するように複数個が配列されることができる。
【００１３】
また、第１プレートから離隔するように第１プレートに対向して配置され、複数の貫通孔が形成される第２プレートをさらに含み、動的ノズルは、第１プレートと第２プレートとの間の空間に配置され、固定ノズルは、第２プレートの第１プレートと対向しない側に配置されてエアを第２プレート側に噴射することができる。
【００１４】
また、回転軸に回転力または移動力を印加する動力部をさらに含むことができる。
【００１５】
また、第１プレート上で浮揚された状態で移送される基板の方向を制御するために動的ノズルを制御する制御部をさらに含むことができる。
【００１６】
また、制御部は、動的ノズルから噴射されるエアの噴射速度を制御することができる。
【００１７】
また、基板の位置を検出するため、貫通孔の間に設けられる複数個のセンサーをさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、基板を所定の高さに浮揚させて破損するおそれを最小化した状態で、移送方向転換を通じて基板を望みの位置に容易に移送することができる、移送方向転換が可能な基板移送装置が提供できる。
【００１９】
また、制御部が固定ノズルから噴射されるエアの噴射速度を調節することにより、基板の浮揚の高さを制御することができる。
【００２０】
また、制御部が動的ノズルから噴射されるエアの噴射速度を調節することにより、基板の移送速度を制御することができる。
【００２１】
また、上部プレートまたは下部プレートの貫通孔の個数を調節することにより、固定ノズルから基板に噴射されるエアを均一に分散して基板に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来の基板移送ロボットの一例を示すものである。
【図２】本発明の第１実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置の斜視図である。
【図３】図２の移送方向転換が可能な基板移送装置の動的ノズルを示すものである。
【図４】図２の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の前進方向移送の動作を説明するためのものである。
【図５】図２の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の後進方向移送の動作を説明するためのものである。
【図６】図２の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の回転移送の動作を説明するためのものである。
【図７】本発明の第２実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置の斜視図である。
【図８】図７の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の左側方向移送の動作を説明するためのものである。
【図９】図７の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の右側方向移送の動作を説明するためのものである。
【図１０】本発明の第３実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置を概略的に示すものである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
説明に先立って、様々な実施例において、同一の構成を持つ構成要素に対しては同一の符号を使用して代表的に第１実施例で説明し、その他の実施例では第１実施例と異なる構成に対してのみ説明する。
【００２４】
以下、添付の図面を参照して本発明の第１実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置１００に対し、詳細に説明する。
【００２５】
図２は、本発明の第１実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置の斜視図である。
【００２６】
図２を参照すると、本発明の第１実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置１００は、上部プレート１１０と、下部プレート１２０と、固定ノズル１３０と、動的ノズル１４０と、回転軸１５０と、動力部１６０と、制御部１７０と、エア供給部１８０と、を含む。上部プレート１１０は第１プレートの一例であってよく、下部プレート１２０は第２プレートの一例であってよい。
【００２７】
上記上部プレート１１０は、後述する下部プレート１２０から上側に離隔するように配置されるプレートであって、後述する固定ノズル１３０から噴射されるエアが通過できるように多数個の貫通孔１１１が全面に均一に形成される。
【００２８】
上部プレート１１０に形成される貫通孔１１１は、下側から提供されるエアが上側の基板Ｓの全面に分散して供給されることができるようにするものであって、貫通孔１１１の個数は、基板Ｓが全面にかけて均一な程度の浮揚力を確保するように基板Ｓの重量及び面積を考慮して決めることが好ましい。
【００２９】
一方、上部プレート１１０には、後述する動的ノズル１４０の第１ジョイント１４１の上端が装着されるように動的ノズル１４０の個数に対応する個数の転換孔１１２が形成される。
【００３０】
上記下部プレート１２０は、上部プレート１１０と対向するように上部プレート１１０から下側に離隔するように配置されるプレート状の部材である。 下部プレート１２０には、前述の上部プレート１１０と同一の形態の貫通孔１２１が多数形成される。
【００３１】
一方、後述する固定ノズル１３０から提供されるエアが外部に損失されないように上部プレート１１０と下部プレート１２０との間の空間は、外部から密閉されることが好ましい。
【００３２】
上記固定ノズル１３０は、下部プレート１２０の下側空間に設けられ、上部プレート１１０の上側に配置される基板Ｓが上部プレート１１０から浮揚されるように上側にエアを噴射する部材である。
【００３３】
図３は、図２の移送方向転換が可能な基板移送装置の動的ノズルを示すものである。
【００３４】
図３を参照すると、上記動的ノズル１４０は上部プレート１１０から浮揚された状態の基板Ｓの移送方向を制御するための部材であって、上部プレート１１０と下部プレート１２０との間の領域に配置される。動的ノズル１４０は、エアの噴射方向が調節可能な構造で構成され、互いに対して回動可能に相互連結される第１ジョイント１４１と第２ジョイント１４２と、を含む。
【００３５】
上記第１ジョイント１４１は、エアが噴射される側の端部であって、上端部が転換孔１１２内に収容され、転換孔１１２と第１ジョイント１４１との間には弾性力(ｆｌｅｘｉｂｌｅ)のある材質のパッキング部材１１３が介在する。したがって、弾性を持つパッキング部材１１３により転換孔１１２内に装着される第１ジョイント１４１は、上端部の位置が固定した状態で噴射方向が転換されることができるように構成される。
【００３６】
上記第２ジョイント１４２は、一端が第１ジョイント１４１と連結されるものであって、他端は後述する回転軸１５０上に装着される部材である。すなわち、後述する回転軸１５０の長さ方向の移動から第２ジョイント１４２に加えられる力が第１ジョイント１４１に伝達されて第１ジョイント１４１の上端部が向かう方向、すなわち、エアの噴射方向が自由に変換できるように構成される。
【００３７】
一方、第２ジョイント１４２の下端部は、回転軸１５０上に装着できるように挿入孔が形成され、第２ジョイント１４２は、回転軸１５０とともに一体で動かすことができるように構成される。
【００３８】
上記回転軸１５０は、多数個が上部プレート１１０と下部プレート１２０との間の領域に平行に並列配置され、長さ方向に沿って往復移動が可能な形態で設けられる。本実施例で回転軸１５０は、相互離隔される第１回転軸１５１と第２回転軸１５２と、を含む。
【００３９】
前述のように、回転軸１５０上には動的ノズル１４０の第２ジョイント１４２が装着されるため、第２ジョイント１４２の下端部は、回転軸１５０の長さ方向とともに一体で動くようになる。
【００４０】
一方、本実施例で回転軸１５０は、互いに複列配列される第１回転軸１５１と第２回転軸１５２と、を含むが、これに制限されるものでなく、回転軸１５０の個数は移送される基板Ｓの面積、重量、移送方向などを考慮して決めることが好ましい。
【００４１】
上記動力部１６０は、回転軸１５０が長さ方向に沿って移動するように回転軸１５０に動力を印加するための部材である。
【００４２】
上記動力部１６０は、上部プレート１１０と下部プレート１２０の離隔空間の側端部にリニアモーターの形態で装着され、回転軸１５０の端部と連結されることにより回転軸に長さ方向の力を印加する。
【００４３】
上記制御部１７０は、前述の動力部１５０を制御することにより、最終的に動的ノズル１４０から噴射されるエアの噴射方向を調節する部材である。また、制御部１７０は、固定ノズル１３０及び動的ノズル１４０から噴射されるエアの噴射速度を制御することにより、基板Ｓの浮揚程度及び移送速度を制御することもできる。
【００４４】
上記エア供給部１８０は、固定ノズル１３０または動的ノズル１４０に圧縮されたエアを提供するための保存所である。
【００４５】
次に、前述の移送方向転換が可能な基板移送装置１００の第１実施例の作動に対し、説明する。
【００４６】
先ず、上部プレート１１０上に基板Ｓが配置されると、固定ノズル１３０から上側にエアが噴射される。このとき、エアは高圧に圧縮された状態で固定ノズル１３０から噴射され、下部プレート１２０の貫通孔１２１及び上部プレート１１０の貫通孔１１０を順番に通過して基板Ｓの下端面と接触することになり、上部プレート１００から基板Ｓを所定の高さだけ浮揚させる。
【００４７】
このとき、上部プレート１１０及び下部プレート１２０上に多数形成される貫通孔１１１、１２１が固定ノズル１３０から噴射されるエアを全面に均一に分散させる役目をするため、基板Ｓは、エアから均一な浮揚力の提供を受けることができる。
【００４８】
一方、固定ノズル１３０から噴射されるエアの噴射速度は、上部プレート１１０と下部プレート１２０との間の隔離距離、上部プレート１１０及び下部プレート１２０に形成される貫通孔１１１、１２１の個数、移送対象基板Ｓの面積及び重量などを考慮して制御部１７０により適切に制御することができる。
【００４９】
基板Ｓが上部プレート１１０から浮揚された状態で、制御部１７０は移送対象基板Ｓの決めた移送方向に沿って動力部１６０を制御し、基板Ｓの各移送方向に沿った動力部１６０の制御方法に対しては後述する。
【００５０】
［前進方向Ａ］
図４は、図２の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の前進方向移送の動作を説明するための図面である。
【００５１】
図４を参照して説明すると、前進方向Ａへの基板Ｓの移送時に制御部１７０は、動力部１６０を制御して第１回転軸１５１及び第２回転軸１５２が後進方向Ｂに沿って移動するように力を印加する。第１回転軸１５１及び第２回転軸１５２が後進方向Ｂに沿って移動すると、これにそれぞれ装着される第２ジョイント１４２も後進方向Ｂに沿って移動する。
【００５２】
第２ジョイント１４２の移動により、これと連結される第１ジョイント１４１の下端部も後進方向Ｂに沿って移動することになり、下端部の移動により上端部が転換孔内に挿入されて位置が固定した状態の第１ジョイント１４１のエア噴射方向は、前進方向Ａに変換される。すなわち、第１ジョイント１４１の長さ方向側の下端部が後進方向Ｂに移送されると、上端部は位置が固定した状態で、第１ジョイント１４１の上端部は前進方向Ａ、下端部は後進方向Ｂに沿って傾く。
【００５３】
したがって、前述の過程により各動的ノズル１４０は、前進方向Ａに向かって斜線でエアを噴射し、これにより基板Ｓは、所定の高さに浮揚された状態で前進方向Ａに沿って移送される。
【００５４】
一方、制御部１７０は、基板Ｓの方向制御だけでなく、固定ノズル１３０ 及び動的ノズル１４０から噴射されるエアの噴射速度を調節して浮揚力及び移送される基板Ｓの速度を制御することもできる。
【００５５】
［後進方向Ｂ］
図５は、図２の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の後進方向移送の動作を説明するためのものである。
【００５６】
図５を参照して説明すると、後進方向Ｂへの基板Ｓの移送時に制御部１７０は動力部１６０を用いて第１回転軸１５１及び第２回転軸１５２が前進方向Ａに沿って移動するように力を印加する。第１回転軸１５１及び第２回転軸１５２が前進方向Ａに沿って移動すると、これにそれぞれ装着される第２ジョイント１４２も前進方向Ａに沿って移動する。
【００５７】
第２ジョイント１４２の移動により、これと連結される第１ジョイント１４１の下端部も前進方向Ａに沿って移動することになり、下端部の移動により上端部が転換孔内に挿入されて位置が固定した状態の第１ジョイント１４１から噴射されるエアの噴射方向は、後進方向Ｂに変換される。すなわち、第１ジョイント１４１の軸の下端部が前進方向Ａに移送すると、位置が固定した状態の上端部は、反対方向である前進方向Ｂに向かうようになるものである。
【００５８】
したがって、前述の過程により、各動的ノズル１４０は、後進方向Ｂに向かって斜線でエアを噴射し、これにより基板Ｓは所定の高さに浮揚された状態で後進方向Ｂに沿って移送される。
【００５９】
［回転］
図６は、図２の移送方向転換が可能な基板移送装置で基板の回転移送の動作を説明するためのものである。
【００６０】
図６を参照して説明すると、上部プレート１１０ 上で基板Ｓを回転させようとする場合に、制御部１７０は動力部１６０を動作させて第１回転軸１５１は後進方向Ｂに移動するようにし、第２回転軸１５２は前進方向Ａに移動するようにする。
【００６１】
これにより、第１回転軸１５１に装着される動的ノズル１４０と第２回転軸１５２に装着される動的ノズル１４０は、それぞれ互いに異なる方向にエアを噴射することになり、両端部に互いに異なる方向の力を受ける基板は、いずれかの方向に移送されず、固定した位置で回転することになる。
【００６２】
また、前述の第１回転軸１５１と第２回転軸１５２の移送方向を互いに変更することにより、基板の回転方向を変更することもできる。
【００６３】
以下、添付の図面を参照し、本発明の第２実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置２００に対し、詳細に説明する。
【００６４】
図７は、本発明の第２実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置の斜視図である。
【００６５】
図７を参照すると、本発明の第２実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置２００は、上部プレート１１０と、下部プレート１２０と、固定ノズル１３０と、動的ノズル１４０と、回転軸２５０と、動力部２６０と、制御部１７０と、を含む。 本実施例の上部プレート１１０と、下部プレート１２０と、固定ノズル１３０と、動的ノズル１４０と、制御部１７０は、第１実施例で前述の構成と同一であるため、 重複説明は省略する。
【００６６】
上記回転軸２５０は、多数個が上部プレート１１０と下部プレート１２０との間の空間に平行に複列配置され、第１回転軸２５１と第２回転軸２５２と、を含む。
【００６７】
但し、本実施例で回転軸２５０は、長さ方向に沿って移動可能に装着されるとともに、軸方向に回転可能に構成される。
【００６８】
上記動力部２６０は、軸方向及び長さ方向に移動するように回転軸に回転力及び移動力を印加するためのものであって、第１動力部２６１と第２動力部２６２と、を含む。
【００６９】
上記第１動力部２６１は、上部プレート１１０と下部プレート１２０の離隔空間の側端部にリニアモーターの形態で装着され、回転軸２５０の端部と連結されて回転軸２５０に長さ方向の力を印加する。
【００７０】
上記第２動力部２６２は、上部プレート１１０と下部プレート１２０の離隔空間の側端部に回転モーターの形態で装着され、前述の回転軸２５０の端部と連結されて回転軸２５０に回転力を伝達する。
【００７１】
次に、前述の移送方向転換が可能な基板移送装置の第２実施例の作動に対し、説明する。
【００７２】
本実施例の移送方向転換が可能な基板移送装置２００の基板Ｓの前進方向Ａの移送、基板Ｓの後進方向Ｂの移送、回転移送は制御部が第１動力部を制御することにより、第１実施例と同一の形態に具現することができる。
【００７３】
したがって、以下、本実施例を用いた基板の左側方向Ｃ及び右側方向Ｄの移送に対し、説明する。
【００７４】
［左側方向Ｃ］
図８は、図７の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の左側方向移送の動作を説明するためのものである。
【００７５】
図８を参照して説明すると、左側方向Ｃに基板Ｓを移送するため、制御部１７０は先ず、第１動力部２６１を制御して各回転軸２５０を中立に調節し、動的ノズル１４０のエア噴射方向が前進方向Ａまたは後進方向Ｂのいずれか一方に偏らないようにする。
【００７６】
制御部１７０は、第２動力部２６２を通じて第１回転軸２５１及び第２回転軸２５２が右側方向Ｄに沿って回転するように回転力を印加する。第１回転軸２５１及び第２回転軸２５２が右側方向Ｄに回転すると、これにそれぞれ装着される第２ジョイント１４２も右側方向Ｄに回転する。
【００７７】
第２ジョイント１４２の回転により、第１ジョイント１４１の下端部は、回転方向に力が印加されて右側方向Ｄに傾いて、転換孔１１２内に装着された状態の第１ジョイント１４１の上端部は、左側方向Ｃに向かうことになる。
【００７８】
したがって、前述の過程により各動的ノズル１４０は、左側方向Ｃに向かって斜線でエアを噴射し、これにより基板Ｓは、所定の高さに浮揚された状態で左側方向Ｃに沿って移送される。
【００７９】
［右側方向Ｄ］
図９は、図７の移送方向転換が可能な基板移送装置で、基板の右側方向移送の動作を説明するためのものである。
【００８０】
図９を参照して説明すると、右側方向Ｄに基板Ｓを移送するため、制御部１７０は先ず、第１動力部２６１を制御して回転軸１５０を中立に調節し、動的ノズル１４０を通じたエア噴射方向が、前進方向Ａまたは後進方向Ｂのいずれか一方に偏らないようにする。
【００８１】
次に、制御部１７０は、第２動力部２６２を通じて第１回転軸２５１及び第２回転軸２５２が左側方向Ｃに沿って回転するように回転力を印加する。第１回転軸２５１及び第２回転軸２５２が左側方向Ｃに回転すると、これにそれぞれ装着される第２ジョイント１４２も左側方向Ｃに回転する。
【００８２】
第２ジョイント１４２の回転により、第１ジョイント１４１の下端部は回転方向に力が印加されて左側方向Ｃに傾いて、転換孔１１２内に装着された状態の第１ジョイント１４１の上端部は、右側方向Ｄに向かうことになる。
【００８３】
したがって、前述の過程により各動的ノズル１４０は、右側方向Ｄに向かって斜線でエアを噴射し、これにより基板Ｓは、所定の高さに浮揚された状態で右側方向Ｄに沿って移送される。
【００８４】
したがって、本実施例によると、基板Ｓが破損するおそれなしに前進方向Ａ移送、後進方向Ｂ移送、左側方向Ｃ移送、右側方向Ｄ移送、回転移送など全ての方向への移送が可能である。
【００８５】
以下、添付の図面を参照して本発明の第３実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置３００に対し、詳細に説明する。
【００８６】
図１０は、本発明の第３実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置を概略的に示すものである。
【００８７】
図１０を参照すると、本発明の第１実施例による移送方向転換が可能な基板移送装置１００は、上部プレート１１０と、下部プレート１２０と、固定ノズル１３０と、動的ノズル１４０と、回転軸１５０と、動力部１６０と、制御部１７０と、エア供給部１８０と、センサー３９０と、を含む。
【００８８】
但し、上記上部プレート１１０と、下部プレート１２０と、固定ノズル１３０と、動的ノズル１４０と、回転軸１５０と、動力部１６０と、制御部１７０と、エア供給部１８０と、は、第１実施例で述べた構成と同一であるため、 重複説明は省略する。
【００８９】
上記センサー３９０は、貫通孔と貫通孔との間の空間に設けられ、基板Ｓの位置を検出するものであって、複数個が設けられる。
【００９０】
図１０（ｂ）に示されたように、 基板Ｓが上部プレート１１０上で一定領域を占める場合、センサー３９０は、基板Ｓの位置及び大きさなどを検出して制御部１７０に伝達することができる。
【００９１】
一方、センサー３９０の個数及び配列は、上部プレート１１０の全体の大きさ、移送される基板Ｓの速度などを考慮して決めることが好ましい。
【００９２】
なお、上記の目的は、上側に移送対象基板が配置され、多数の貫通孔が形成される上部プレートと、上記上部プレート上で上記基板が浮揚されるように上記上部プレートの貫通孔内にエアを噴射する固定ノズルと、エアを噴射し、噴射されるエアの噴射方向を調節して上記基板の移送方向を制御する動的ノズルと、を含むことを特徴とする移送方向転換が可能な基板移送装置によって達成されてもよい。
【００９３】
また、上記動的ノズルは、一端でエアを噴射する第１ジョイントと、上記第１ジョイントの他端から全方向に回動可能に連結される第２ジョイントと、を含むことができる。
【００９４】
また、上記第１ジョイントのエアが噴射される端部が装着されるように上記上部プレートには、転換孔が形成されることができる。
【００９５】
また、上記第２ジョイントが装着され、回転回動可能に構成される回転軸をさらに含むことができる。
【００９６】
また、上記回転軸は、長さ方向に沿って移動可能にすることができる。
【００９７】
また、上記動的ノズルは、上記回転軸上に複数個が装着され、上記回転軸は相互が離隔するように複数個が配列されるようにすることができる。
【００９８】
また、上記上部プレートから下方に離隔するように配置され、多数の貫通孔が形成される下部プレートをさらに含み、上記動的ノズルは上記上部プレートと上記下部プレートとの間の空間に配置され、上記固定ノズルは上記下部プレートの下方に配置されてエアを上側に噴射することができる。
【００９９】
また、上記回転軸に回転力または移動力を印加する動力部をさらに含むことができる。
【０１００】
また、上記上部プレート上で浮揚された状態で移送される上記基板の方向を制御するため、上記動的ノズルを制御する制御部をさらに含むことができる。
【０１０１】
また、上記制御部は、上記動的ノズルから噴射されるエアの噴射速度を制御することができる。
【０１０２】
また、上記基板の位置を検出するため、上記貫通孔の間に設けられる複数個のセンサーをさらに含むことができる。
【０１０３】
本発明の技術的範囲は、前述の実施例に限定されず、添付の特許請求の範囲内で多様な形態の実施例として具現することができる。特許請求の範囲内で本発明の要旨を逸脱せず、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者なら変形可能な多様な範囲までは本発明の技術的範囲内にあるものと見做す。
【符号の説明】
【０１０４】
１００                  本発明の第１実施例による移送方法転換が可能な基板移送装置
１１０                  上部プレート
１２０                  下部プレート
１３０                  固定ノズル
１４０                  動的ノズル
１５０                  回転軸
１６０                  動力部
１７０                  制御部
１８０                 エア供給部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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