【事件の表示】
　特願２０１４−５５１９４０号「液体供給システム」拒絶査定不服審判事件〔２０１４年６月１９日国際公開、ＷＯ２０１４／０９１８６６号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１３年１１月１４日（優先権主張平成２４年１２月１４日）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２８年　８月２９日付け：拒絶理由通知書
　平成２８年１０月１７日　　：意見書及び手続補正書の提出
　平成２９年　３月２３日付け：拒絶査定
　平成２９年　６月２１日　　：審判請求書及び手続補正書の提出
第２　平成２９年６月２１日にされた手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　平成２９年６月２１日にされた手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正について
（１）本件補正後の特許請求の範囲
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された（下線部は、補正箇所である。）。
「【請求項１】
　密閉容器と、
　密閉容器内に収容される超低温液体中に配置され、リニアアクチュエータによって駆動され
、一方向弁が備えられた吸入口から超低温液体を吸入し、一方向弁が備えられた送出口から超低温液体を送り出する
　前記ポンプによって送り出される超低温液体を密閉容器の外部に設けられた被冷却装置に導く第１配管と、
　被冷却装置から密閉容器内部まで超低温液体を戻す第２配管と、
　
前記超低温液体中に配置され、
第１配管の内部圧力が所定圧以上になることを抑制するように
第１
　を備
える
（２）本件補正前の特許請求の範囲
　本件補正前の平成２８年１０月１７日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１は次のとおりである。
　「【請求項１】
　密閉容器と、
　密閉容器内に収容される超低温液体中に配置され、リニアアクチュエータによって駆動されるポンプと、
　前記ポンプによって送り出される超低温液体を密閉容器の外部に設けられた被冷却装置に導く第１配管と、
　被冷却装置から密閉容器内部まで超低温液体を戻す第２配管と、
　密閉容器内において第１配管に接続され、かつ密閉容器内に超低温液体を逃がす逃し弁と、
　を備え、前記逃し弁が前記超低温液体中に配置されることを特徴とする液体供給システム。」
２　本件補正の適否
　本件補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「ポンプ」について、「一方向弁が備えられた吸入口から超低温液体を吸入し、一方向弁が備えられた送出口から超低温液体を送り出する」ものと限定し、及び「逃し弁」について、「超低温液体中に配置され」であって「第１配管の内部圧力が所定圧以上になることを抑制するように」するものと限定し、さらに「第１」の「逃し弁」と特定するものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法１７条の２第５項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本件補正発明」という。）が、同条６項において準用する同法１２６条７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。
　
（１）本件補正発明
　本件補正発明は、上記１（１）に記載したとおりのものである。
（２）引用文献の記載事項
　ア　引用文献１
　（ア）原査定の拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である特開２００４−２８６４０４号公報（以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに次の記載がある（「・・・」は記載の省略を意味する。）。
　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被冷却物である、例えば、半導体素子の電気試験（機能試験）に用いられるウエハープローバのウエハーチャックを冷却するための冷却液循環装置及び該冷却液循環装置を用いた冷却ユニットに関し、特に冷却液循環装置に設けた低温タンクの構造に関する。」
　「【０００２】
【従来の技術】
・・・試験ではウエハープローバ（ウエハーの移動と加熱または冷却の温度調節を行う装置）と呼ばれる装置が使われている。ウエハープローバ内部には平面内に精密に移動可能なテーブル（Ｘ−Ｙテーブルと呼ばれる）があり、テストするウエハーを乗せるウエハーチャックは、このテーブルに取り付けられている。低温における半導体素子の特性測定では、ウエハーチャックを低温（例えば、一５５℃程度）に冷やす。」
　「【０００４】
図５に従来のウエハーチャック冷却用冷却ユニット（以下、「冷却ユニット」という）及びその冷却液循環装置Ｂ’を示す。該冷却液循環装置Ｂ’は、循環ポンプ１０２、フィルタ１０５、流量調整弁１０３、リリーフ弁１０６、予備タンク１０４、冷却液出口接続口１０７、冷却液入口接続口１０８、冷凍機入口接続口１０９、冷凍機出口接続口１１０とそれらの各機器を接続する配管（循環ポンプ吸込み側配管１１１、循環ポンプ吐出側配管１１２、リリーフ配管１１３、冷却液往き配管１１４、冷却液戻り配管１１５、冷凍機往き配管１１６、冷凍機戻り配管１１７、冷却液補給配管１１９等。）で構成されている。これら冷却液循環装置Ｂ’を構成する各機器は、図５に示すように、冷却ユニット筐体１０１に個別に設けられている。フィルタ１０５は循環ポンプ吸引側配管１１１に設けられ、流量調整弁１０３は冷凍機往き配管１１６に設けられ、リリーフ弁１０６はリリーフ配管１１３に設けられている。予備クンク（審決注：「予備タンク」の誤記。）１０５は、冷却液が常温時と低温時で比重が変わる為、冷却液の液が不足するのを防止するために設置されている。」
　「【０００７】
循環ポンプ本体１０２ａ、流量調整弁本体１０３ａ、リリーフ弁１０６、冷却液出口接続口１０７、冷却液入口接続口１０８、冷凍機入口接続口１０９、冷凍機出口接続口１１０等の各機器及びこれら各機器を結ぶ配管は低温になるので、結露及び外部からの熱侵入を防ぐために断熱材で覆われている。なお、図５に示す二点鎖線は断熱材で覆われる部分を模式的に示す。」
　「【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
冷却液循環装置は、結露及び外部からの熱侵入を防ぐために冷却液循環装置を構成する機器及び各機器を接続する配管を断熱材で覆う必要があるが、従来の冷却液循環装置は、各機器が別個に配置され、また、各機器を接続する配管の全長も長くなるため、多量の断熱材を必要としていた。また、各機器が別個に配置され、その間に断熱材が存在するため、各機器を離れて配置せざるを得なかった。そのため、従来の冷却液循環装置は、図５に示すように、膨大な構成スペースを必要とするという問題があった。また、多量の断熱材及び配管を必要とするため、断熱材の施工が容易でなく、コスト的にも問題があった。」
　「【００１２】
本発明の目的は、冷却液循環装置を構成する各機器をコンパクトに配置するとともに各機器を接続する配管の全長を短くし、かつ断熱材の使用量を少なくして、省スペース化した冷却液循環装置を得ることにある。また、本発明の目的は、断熱材の施工の容易化を図るとともに製造コストの低減を図ることにある。さらに、本発明の目的は、冷却液循環装置が組み込まれる冷却ユニット全体のフットプリント（設置スペース）を小さくすることにある。」
　「【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、被冷却物を冷却した冷却液及び冷凍機によって冷却された冷却液を低温タンクに戻すようにした冷却液の流路を有する冷却液循環装置において、循環ポンプを低温タンクの内部に設けたものである。請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記冷却液の流路に１つの弁又は２つ以上の弁を設け、該１つの弁又は２つ以上の弁のうちいずれか１つの弁あるいは任意の複数の弁を低温タンクの内部に設けたものである。」
　「【００１５】
・・・請求項７の発明は、前記循環ポンプの吐出口にリリーフ弁を接続し、前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻す流路に流量調整弁を接続し、循環ポンプの吸込み口にフィルタを接続するとともに、前記循環ポンプと流量調整弁とフィルタとリリーフ弁を前記低温タンク内に設けたものである。」
　「【００１７】
【発明の効果】
請求項１、４乃至７の発明は、低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、被冷却物を冷却した冷却液及び冷凍機によって冷却された冷却液を低温タンクに戻すような冷却液循環回路を採用するとともに、冷却液循環装置の機器を構成する循環ポンプ、流量調整弁、フィルタ及びリリーフ弁のうち、いずれか一つの機器あるいは任意の複数の機器を低温タンク５内に配置したため、冷却液循環装置を構成する各機器及びこれらを接続する各配管を、低温タンク４内部も含め低温タンク４まわりにコンパクトに纏めて配置することができる。そのため、各機器及び配管に施される断熱材及び配管の量を、従来の冷却液循環装置に較べ、大幅に低減することができ、断熱材の施工を容易にするとともに製造コストを低減でき、かつ、冷却液循環装置を省スペース化することができた。」
　「【００１８】
特に，請求項７の発明では、循環ポンプの吐出口にリリーフ弁を接続し、循環ポンプの吸込み口にフィルタを接続したため、配管をより簡単にすることができる。また請求項２、３の発明のように、冷却液循環装置に採用される弁として、流量調整弁及びリリーフ弁に限らず適当な弁を採用しても、請求項１、４乃至７の発明と同様の効果を奏する。」
　「【００２０】
【発明の実施の形態】
図１乃至３を参照して、本発明による冷却液循環装置の一実施の形態について説明する。冷却液循環装置Ｂは、冷凍機Ａで冷却された冷却液（冷却液）を循環させて、ウエハープローバのウエハーチャック（被冷却物。図示せず）を冷却するものであり、キャスター１ａ付きの冷却ユニット筐体１に組込まれている。」
　「【００２１】
冷却液循環装置Ｂは、ポンプ本体２ａ及びポンプ駆動モータ２ｂとから構成された循環ポンプ２と、流量調整弁本体３ａ及び弁駆動部３ｂとから構成された流量調整弁３と、冷却液を収容する低温タンク４と、循環ポンプ２の吸込み側に設けられたフィルタ５と、循環ポンプの吐出側に設けられたリリーフ弁６と、冷却液をウエハーチャックに供給するウエハープローバ側接続ホース（図示せず）が接続される冷却液出口接続口７と、ウエハーチャックを冷却した冷却液を冷却液循環装置Ｂに戻すウエハープローバ側接続ホース（図示せず）が接続される冷却液入口接続口８と、冷却液を冷凍機Ａに供給する冷凍機側接続配管が接続される冷凍機入口接続口９と、冷凍機Ａで冷却された冷却液を冷却液循環装置Ｂに戻す冷凍機側接続配管が接続される冷凍機出口接続口１０を備えている。」
　「【００２２】
循環ポンプ２、流量調整弁３、低温タンク４、フィルタ５、リリーフ弁６、冷却液出口接続口７、冷却液入口接続口８、冷凍機入口接続口９、冷凍機出口接続口１０は、冷却液循環装置Ｂの各機器を構成している。なお、循環ポンプ２として歯車ポンプが図示されているが、冷却液を循環させることができるものであればどのような形式のポンプであってもよい。」
　「【００２３】
冷却液循環装置Ｂの各機器を構成する機器のうち、循環ポンプ２のポンプ本体２ａと、流量調整弁３の弁本体３ａと、フィルタ５と、リリーフ弁６は、図２に示すように、冷却ユニット筐体１のリアカバー１ｂに近接して配置された低温タンク４の内部に設けられている。これら低温タンク４内に設けられる機器は、低温タンク４の設置スペース、後述する配管等を考慮して配置される。図３に示す低温タンク４内の配置では、フィルタ５が、循環ポンプ２のポンプ本体２ａの横（図３における左右方向）に並べて配置されている。リリーフ弁６は、循環ポンプ２のポンプ本体２ａの前方に（図３における前後方向）に配置されている。フィルタ５とリリーフ弁６は循環ポンプ２のポンプ本体２ａに近接して配置されている。また、流量調整弁３の弁本体３ａは、フィルタ５の斜め前方に近接して配置されている。このように配置することによって、低温タンク４の設置スペースをコンパクトにすることできる。」
　「【００２４】
冷却液出口接続口７と冷却液入口接続口８は、冷却ユニット筐体１のリヤカバー１ｂに取り付けられた冷却液接続口取付部材２１に、冷却液出口接続口７の軸心と循環ポンプ２の吐出口１２の軸心が一致するように設けられている。冷凍機入口接続口９と冷凍機出口接続口１０は、低温タンク４より上方に設けられている。」
　「【００２５】
なお、図１乃至３において、符号４ａは低温タンク４の冷却液補給口、符号４ｂは低温タンク４の液面を表示するレベル表示器、符号４ｂ１はレベル表示器４ｂの接続配管、４ｂ２は、レベル表示器接続口、符号１８は冷却液循環装置Ｂから漏れた液体を回収するオイルパン、符号１９はポンプ取付部材、符号２０は低温タンク取付部材、２０ａは低温タンク取付部材１８の取付ボルト・ナットである。なお、図示していないが、低温タンク４には、従来の冷却液循環装置Ｂ’と同様、低温タンク４の液面を計測するレベル計が設けられ、オイルパン１８には、ドレン弁が設けられている。」
　「【００２６】
このように構成された冷却液循環装置Ｂの各機器は、各配管により接続されている。循環ポンプ２の吸込み口１１には、フィルタ５が接続されている。循環ポンプ２の吐出口１２には、リリーフ弁６が接続されるとともにポンプ吐出配管１３が接続されている。ポンプ吐出配管１３には、継手１３ａを介して、冷却液出口接続口７に接続される冷却液往き配管１４と、冷凍機入口接続口９に接続される冷凍機往き配管１６が接続されている。冷却液入口接続口８は、冷却液戻り配管１５を介して低温タンク４に接続され、冷凍機出口接続口１０は、冷凍機戻り配管１７を介して低温タンクに接続されている。流量調整弁３は冷凍機戻り配管１７に接続されている。ポンプ吐出配管１３と冷却液往き配管１４と冷却液戻り配管１５は、冷却液出口接続口７及び冷却液入口接続口８が循環ポンプ２に近接して設けられているため、非常に短い配管となっている。」
　「【００２７】
また、冷却液循環装置Ｂの機器及び配管は低温になるため、結露及び外部からの熱侵入を防ぐために断熱材で覆われている。図１乃至３の二点鎖線は、本実施の形態において断熱材が施される部分を模式的に示したものである。断熱材は、低温タンク４の外表面と、冷却液出口接続口７と、冷却液入口接続口８と、ポンプ吐出配管１３と、冷却液往き配管１４と、冷却液戻り配管１５と、冷凍機往き配管１６と、冷凍機戻り配管１７のうち低温タンク４の外にある部分と、レベル表示器４ｂの接続配管４ｂ１等に施されている。」
　「【００２８】
冷却液循環装置Ｂを構成する各機器及びこれらを接続する各配管は、冷却液循環装置Ｂをコンパクト、かつ小さな構成スペースとするため、低温タンク４内部を含め低温タンク４まわりに纏めて配置されている。」
　「【００２９】
このように構成された冷却液循環装置Ｂの冷却液は次のように流れる。なお、図１、３に図示した矢印は冷却液の流れ方向を示す。低温タンク４内に内蔵された冷却液はフィルタ５を介して循環ポンプ２に吸い込まれ、循環ポンプ２によって吐出される。吐出された冷却液は、ポンプ吐出配管１３、冷凍機往き配管１６、冷凍機入口接続口９、冷凍機側接続配管を順次通って冷凍機Ａに供給される。冷凍機Ａに供給された冷却液は、冷凍機Ａを通過し、熱交換器（図示せず）によって冷却される。冷却された冷却液は、冷凍機の中を通り、次いで冷凍機側接続配管、冷凍機出口接続口１０を順次通り、さらに冷凍機戻り配管１７、流量調整弁３を順次通って、低温タンクに４内へ戻される。また、循環ポンプ２から吐出された冷却液は、ポンプ吐出配管１３、冷却液往き配管１４、冷却液出口接続口７、ウエハープローバ側接続ホースを順次通ってウエハーチャックに供給される。ウエハーチャックに供給されてウエハーチャックを冷却した冷却液は、ウエハープローバ側接続ホース、冷却液入口接続口８、冷却液戻り配管１５を順次通って低温タンク４内に戻される。」
　「【００３０】
流量調整弁３は、冷凍機Ａに供給される冷却液の流量を調節することによって、ウエハーチャックに供給される冷却液の流量を制御するとともに、ウエハーチャックに供給される冷却液の温度を制御する。リリーフ弁６は、循環ポンプ２によって吐出される冷却液の圧力を一定に保つように機能する。」
　「【００３１】
このように構成された本発明の実施の形態の冷却液循環装置Ｂでは、冷却液を内蔵するタンクを従来のような予備タンクの構成としないで、冷却液の循環回路中に設けた低温タンク４の構成とし、低温タンク４から循環ポンプ２に吸込まれた冷却液を、循環ポンプ２によってウエハーチャック及び冷凍機Ａに供給し、ウエハーチャックを冷却した冷却液及び冷凍機Ａによって冷却された冷却液を低温タンク４に戻すような冷却液循環回路を構成し、この低温タンク４内に循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５及びリリーフ弁６を配置したことによって、低温タンク４内の配管が簡素になるとともに、低温タンク４の外表面に断熱材の施工を行えば、循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５、リリーフ弁６に断熱材を施す必要がない。さらに、冷却液出口接続口７及び冷却液入口接続口８を循環ポンプ２の吐出口１２の近傍に設けることが可能となり、冷却液往き配管１４及び冷却液戻り配管１５の長さを可及的に短くすることができる。このため、断熱材を施す機器及び配管が少なくなり、断熱材の施工を容易にし、製造コストを低減することができる。」
　「【００３２】
また、本発明の実施の形態の冷却液循環装置Ｂは、冷却液循環装置Ｂを構成する各機器及びこれらを接続する各配管が、低温タンク４内部も含め低温タンク４まわりに纏めて配置されており、しかも、断熱材を施す機器及び配管が少ないため、断熱材によって占められるスペースを小さくすることができるので、冷却液循環装置Ｂ全体の省スペース化が可能
となり、従来の冷却液循環装置のように広い構成スペースを必要としない。そのため、後述するように、冷却液循環装置Ｂが組み込まれる冷却ユニット全体のフットプリント（設置スぺース）を小さくすることができる。」
　「【００３３】
なお、前記実施の形態では、循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５及びリリーフ弁６を低温タンク５に内蔵したものを示したが、本発明はこれに限定されない。低温タンク４の大きさを考慮して、循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５及びリリーフ弁６の各機器のうち、一つの機器あるいは任意の複数の機器を内蔵するようにしてもよい。その組み合わせは自由であるが、少なくとも構成スペースの大きな循環ポンプ２を内蔵する形態が好ましい。なお、フィルタ５は必ずしも設ける必要はない。また、流量調整弁３あるいはリリーフ弁６に換えて他の適宜の弁を設けるようにし、これらを低温タンク４内に内蔵させるものであってもよい。」
　「　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
「　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
　
「　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
　
「　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　（イ）上記記載から、引用文献１には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。
　　ａ　図２の側断面図における「低温タンク４」の最下部に対する「ポンプ吐出配管１３」の配置、及び図３の平断面図における「低温タンク４」に対する「ポンプ吐出配管１３」の配置、並びに「低温タンク４」内の「循環ポンプ２の吐出口１２」についての「循環ポンプ２の吐出口１２には・・・ポンプ吐出配管１３が接続されている。」（【００２６】）という記載からみて、「低温タンク４」の最下部には、「ポンプ吐出配管１３」が配置されている。
　　ｂ　上記ａに加え、「ポンプ吐出配管１３には、継手１３ａを介して、冷却液出口接続口７に接続される冷却液往き配管１４・・・が接続されている。」（【００２６】）、「冷却液出口接続口７と冷却液入口接続口８は、冷却ユニット筐体１のリヤカバー１ｂに取り付けられた冷却液接続口取付部材２１に、冷却液出口接続口７の軸心と循環ポンプ２の吐出口１２の軸心が一致するように設けられている。」（【００２４】）、並びに図２の側断面図における「ポンプ吐出配管１３」、「冷却液往き配管１４」及び「冷却液出口接続口７」の略水平といえる配置態様から、「ポンプ吐出配管１３」及び「冷却液往き配管１４」からなる配管（以下、「配管Ａ」という。）の軸心と、「循環ポンプ２」の「吐出口１２」の軸心とは一致し、「低温タンク４」の最下部には、「配管Ａ」が配置されている。
　　ｃ　上記ｂに加え、図１の背面図における「冷却液出口接続口７」及び「冷却液入口接続口８」の略同じ高さといえる配置態様、及び図３の平断面図における「ポンプ吐出配管１３」及び「冷却液戻り配管１５」の配置態様から、「循環ポンプ２」の「吐出口１２」及び「冷却液戻り配管１５」は、（「配管Ａ」とともに、）「低温タンク４」の最下部に配置されている。
　　ｄ　上記ｃに加え、「循環ポンプ２のポンプ本体２ａと・・・リリーフ弁６は・・・低温タンク４の内部に設けられている。・・・リリーフ弁６は、循環ポンプ２のポンプ本体２ａの前方に（図３における前後方向）に配置されている。」（【００２３】）、「循環ポンプ２の吐出口１２には、リリーフ弁６が接続されるとともにポンプ吐出配管１３が接続されている。」（【００２６】）、図３の平断面図における「循環ポンプ２」の「吐出口１２」と「ポンプ吐出配管１３」との間の「リリーフ弁６」の配置態様から、「リリーフ弁６」は、（「循環ポンプ２」の「吐出口１２」、「配管Ａ」及び「冷却液戻り配管１５」とともに、）「低温タンク４」の最下部に配置されるものである。
　　ｅ　上記ｄに加え、「循環ポンプ２・・・低温タンク４・・・リリーフ弁６、冷却液出口接続口７、冷却液入口接続口８・・・は、冷却液循環装置Ｂの各機器を構成している。」（【００２２】）、及び「図１乃至３において、・・・符号４ｂは低温タンク４の液面を表示するレベル表示器、符号４ｂ１はレベル表示器４ｂの接続配管、４ｂ２は、レベル表示器接続口・・・図示していないが、低温タンク４には、従来の冷却液循環装置Ｂ’と同様、低温タンク４の液面を計測するレベル計が設けられ」（【００２５】）から、液面を計測して使用される「低温タンク４」の少なくとも下部には、冷却液が満たされ、「低温タンク４」の最下部に配置されている「循環ポンプ２」、「吐出口１２」、「リリーフ弁６」、「配管Ａ」及び「冷却液戻り配管１５」は、それぞれ冷却液中に配置されるものである。
　　ｆ　「ウエハーチャックを低温（例えば、一５５℃程度）に冷やす。」（【０００２】）及び「冷却液循環装置Ｂは・・・冷却液をウエハーチャックに供給するウエハープローバ側接続ホース（図示せず）が接続される冷却液出口接続口７と、ウエハーチャックを冷却した冷却液を冷却液循環装置Ｂに戻すウエハープローバ側接続ホース（図示せず）が接続される冷却液入口接続口８・・・を備えている。」（【００２１】）から、引用文献１の冷却液は超低温液体である。
　
　（ウ）　上記（ア）及び（イ）から、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「低温タンク４と、
　低温タンク４内に収容される超低温液体中に配置され、吸込み口１１から超低温液体を吸入し、吐出口１２から超低温液体を送り出する循環ポンプ２と、
　前記循環ポンプ２によって送り出される超低温液体を低温タンク４の外部に設けられたウエハーチャックに導く配管Ａ及びウエハープローバ側接続ホースと、
　ウエハーチャックから低温タンク４内部まで超低温液体を戻す冷却液戻り配管１５及びウエハープローバ側接続ホースと、
　前記超低温液体中に配置され、低温タンク４内において、循環ポンプ２の吐出口１２に配管Ａとともに接続され、循環ポンプ２によって吐出される冷却液の圧力を一定に保つように機能するリリーフ弁６と、
　を備える冷却液循環装置Ｂ。」
　イ　引用文献２
　（ア）　原査定の拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である国際公開第２０１２／１２４３６３号（以下、「引用文献２」という。）には、図面とともに次の記載がある。
　「［００１０］本発明の目的は、省スペース化を可能としつつ冷却効率の向上を図った液体供給システムを提供することにある。」
　「［００３６］液体供給システム１００は、超低温の液体Ｌが収容される第１容器１１０と、第１容器１１０に収容された液体Ｌ中に配置される第２容器１２０と、第２容器１２０の内部に入り込むように配置されるベローズ１３０とを備えている。第２容器１２０内のうちベローズ１３０の外側の領域によって、第１ポンプ室Ｐ１を構成している。また、ベローズ１３０内も密閉空間となっており、この密閉空間が第２ポンプ室Ｐ２となっている。そして、第２容器１２０には、第１容器１１０内の液体Ｌを第１ポンプ室Ｐ１内に吸入する第１吸入口１２１と、吸入した液体Ｌを第１ポンプ室Ｐ１内からシステムの外部に通じる供給通路（供給管）Ｋ１に送出する第１送出口１２２とが設けられている。また、第２容器１２０には、第１容器１１０内の液体Ｌを第２ポンプ室Ｐ２内に吸入する第２吸入口１２３と、吸入した液体Ｌを第２ポンプ室Ｐ２内から供給通路Ｋ１に送出する第２送出口１２４も設けられている。また、第１吸入口１２１及び第２吸入口１２３には、それぞれ１方向弁１２１ａ，１２３ａが設けられており、第１送出口１２２及び第２送出口１２４にも、それぞれ１方向弁１２２ａ，１２４ａが設けられている。」
　「［００３７］また、駆動源としてのリニアアクチュエータ１４０によって往復移動するように構成された軸１５０が、第１容器１１０の外部からベローズ１３０の内部に入り込み、その先端がベローズ１３０の先端に固定されている。これにより、軸１５０が往復移動することによって、ベローズ１３０は伸縮する。」
　（イ）上記記載から、引用文献２には、次の技術（以下、「引用文献２記載の技術」という。）が記載されていると認められる。
　「リニアアクチュエータを駆動源とするポンプを容器に収容し、ポンプは吸入口及び送出口を設け、１方向弁を備える吸入口から超低温液体を吸入し、１方向弁を備える送出口から超低温液体を送出する技術。」
（３）引用発明との対比
　ア　本件補正発明と引用発明とを対比する。
　本件補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「低温タンク４」は、その機能、構造又は技術的意義からみて、本件補正発明の「密閉容器」に相当し、以下同様に、「吸込み口１１」は「吸入口」に、「吐出口１２」は「送出口」に、「循環ポンプ２」は「ポンプ」に、「ウエハーチャック」は「被冷却装置」に、「配管Ａ及びウエハープローバ側接続ホース」は「第１配管」に、「冷却液戻り配管１５及びウエハープローバ側接続ホース」は「第２配管」に、「リリーフ弁６」は「第１逃し弁」に、「冷却液循環装置」は「液体供給システム」に、それぞれ相当する。
　イ　以上のことから、本件補正発明と引用発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。
［一致点］
　「密閉容器と、
　密閉容器内に収容される超低温液体中に配置され、吸入口から超低温液体を吸入し、送出口から超低温液体を送り出するポンプと、
　前記ポンプによって送り出される超低温液体を密閉容器の外部に設けられた被冷却装置に導く第１配管と、
　被冷却装置から密閉容器内部まで超低温液体を戻す第２配管と、
　前記超低温液体中に配置される第１逃し弁と、
　を備える液体供給システム。」
［相違点１］
　吸入口から超低温液体を吸入し、送出口から超低温液体を送り出するポンプについて、本件補正発明は、「リニアアクチュエータによって駆動され」、「吸入口」及び「吸込口」にそれぞれ「一方向弁」を備えるのに対し、引用発明は、当該構成について特定されてない点。
［相違点２］
　超低温液体中に配置される第１逃し弁について、本件補正発明は、「密閉容器内において第１配管に接続され、かつ第１配管の内部圧力が所定圧以上になることを抑制するように密閉容器内に超低温液体を逃がす」ものであるのに対し、引用発明は、「低温タンク４内において、循環ポンプ２の吐出口１２に配管Ａとともに接続され、循環ポンプ２によって吐出される冷却液の圧力を一定に保つように機能する」ものである点。
（４）判断
　以下、相違点について検討する。
　ア　相違点１について
　引用発明及び引用文献２記載の技術はともに、被冷却装置に超低温液体を供給するシステムであることで同一技術分野に属し、また、省スペース化を目的として、収容容器内にポンプを配する装置であることで技術が共通するものである（（２）ア（ア）【００１７】及び（２）イ（ア）［００１０］）。
　さらに、 引用文献１には、「循環ポンプ２として歯車ポンプが図示されているが、冷却液を循環させることができるものであればどのような形式のポンプであってもよい。」（【００２２】）と記載されており、引用発明は、他の形式のポンプを用いることが可能な装置である。
　そうすると、引用文献２記載の技術に基づき、引用発明のポンプをリニアアクチュエータによって（往復）駆動される形式とすること、並びに、リニアアクチュエータとともに用いることが一般的な一方向弁なる部品を、同技術に基づき、ポンプの吸入口及び送出口に配することは、技術の具体化の際に当業者が適宜なし得る設計事項であるといえる。
　よって、相違点１に係る本件補正発明の構成は、引用発明及び引用文献２記載の技術に基づき、当業者が容易に想到し得たものである。
　イ　相違点２について
　引用文献１の従来技術を参照すると（特に、引用文献１の【０００４】及び図５参照。）、リリーフ弁１０６はリリーフ配管１１３に設けられ、かつリリーフ配管１１３は、循環ポンプ１０２の吐出側配管１１２と、吸込側配管１１１に接続されたフィルタ１０５との間に接続して設けられるものである。
　他方、引用発明は、引用文献１の図３平断面図の「低温タンク４」に対する「冷却液戻り配管１５」の接続態様から理解できるとおり、「低温タンク４」内に収容された「リリーフ弁６」の周囲の空間は、「循環ポンプ２」の吸込側に対応する空間である。
　そうすると、上記従来技術と同様のリリーフ弁に係るポンプ吐出側とポンプ吸込側との接続態様は、引用発明において、ポンプ吐出側の配管Ａに接続された「リリーフ弁６」から、ポンプ吸込側の「低温タンク４」内への冷却液の放出により達成可能である。
　また、引用発明における「リリーフ弁６」の機能である「循環ポンプ２によって吐出される冷却液の圧力を一定に保つ」ことにより、配管Ａの内部圧力が所定圧以上になることを抑制可能であることは明らかである。
　以上から、引用発明において、ポンプ吐出側の配管Ａに接続された「リリーフ弁６」から、ポンプ吸込側に対応する「低温タンク４」内の空間に冷却液を逃がすようにして、配管の内部圧力が所定圧以上になることを抑制すべく構成することは、当業者が容易になし得る設計事項である。
　ウ　そして、これらの相違点を総合的に勘案しても、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明及び引用文献２記載の技術の奏する作用効果から予測される範囲内のものに過ぎず、格別顕著なものということはできない。
　エ　したがって、本件補正発明は、引用発明及び引用文献２記載の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　本件補正についてのむすび
　よって、本件補正は、特許法１７条の２第６項で準用する同法１２６条７項の規定に違反するので、同法１５９条１項で読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。
第３　本願発明について
１　本願発明
　平成２９年６月２１日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、平成２８年１０月１７日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された事項により特定される、前記第２［理由］１（２）に記載のとおりのものである。
２　引用文献
　原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１ないし２及びその記載事項は、上記第２［理由］２（２）に記載のとおりである。
　
３　対比・判断
　本願発明は、上記第２［理由］２で検討した本件補正発明から、上記第２［理由］２に記載した限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、上記第２の［理由］２（３）及び（４）に記載したとおり、引用発明及び引用文献２記載の技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も引用発明及び引用文献２記載の技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
第４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。