(57)【要約】【課題】減圧された処理容器の内部において、比較的簡単な構造で、汚染を生じさせずに基板を搬送させる機構を提供する。【解決手段】基板（Ｇ）を処理する処理装置（１３）であって、内部において基板（Ｇ）を処理する処理容器（３０）と、処理容器（３０）の内部を減圧させる減圧機構（３６）と、処理容器（３０）の内部に配置された、基板Ｇを搬送する搬送機構（４０）とを備え、搬送機構（４０）は、ガイド部材（４１）と、基板（Ｇ）を保持するステージ（４２）と、ステージ（４２）を移動させる駆動部材（５０）と、ステージ（４２）を支持し、ガイド部材（４１）に沿って移動可能な移動部材（４３）とを備え、ガイド部材（４１）と移動部材（４３）とは、磁石（４７、４８）の反発力により、互いに接触しないように維持される。
2008066103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する処理装置であって、
内部において基板を処理する処理容器と、
前記処理容器の内部を減圧させる減圧機構と、
前記処理容器の内部に配置された、基板を搬送する搬送機構とを備え、
前記搬送機構は、ガイド部材と、基板を保持するステージと、前記ステージを移動させる駆動部材と、前記ステージを支持し、前記ガイド部材に沿って移動可能な移動部材とを備え、
前記ガイド部材と前記移動部材とは、磁石の反発力により、互いに接触しないように維持されることを特徴とする。
【請求項２】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記磁石を冷却する冷却機構を備えることを特徴とする。
【請求項３】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記ステージの内部に、前記処理容器の内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、前記空間部と前記処理容器の外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられていることを特徴とする。
【請求項４】
請求項３に記載の処理装置であって、
前記ステージは、基板を保持する静電チャックを有し、前記静電チャックへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されていることを特徴とする。
【請求項５】
請求項３に記載の処理装置であって、
前記搬送機構はモータであり、前記モータへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されていることを特徴とする。
【請求項６】
請求項５に記載の処理装置であって、
前記モータは、シャフトモータであることを特徴とする。
【請求項７】
請求項３に記載の処理装置であって、
前記ステージは、基板の温度を調節するための熱媒流路を有し、前記熱媒流路熱媒への熱媒供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていることを特徴とする。
【請求項８】
請求項７に記載の処理装置であって、
前記ステージは、基板とステージとの間に伝熱用のガスを供給する伝熱用ガス供給部を有し、伝熱用ガス供給部へのガス供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていることを特徴とする。
【請求項９】
請求項３に記載の処理装置であって、
前記空間部は大気圧に維持されることを特徴とする。
【請求項１０】
請求項３に記載の処理装置であって、
前記ダクト部材は、多関節アームで構成されることを特徴とする。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の処理装置であって、
前記ステージに保持された基板に対して成膜材料の蒸気を供給する蒸着ヘッドを備えることを特徴とする。
【請求項１２】
請求項１１に記載の処理装置であって、
前記成膜材料は、有機ＥＬ素子の発光層の成膜材料であることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧された処理容器の内部において、基板に対して例えば成膜などの処理を行う処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エレクトロルミネッセンス(ＥＬ;Electro  Luminescence)を利用した有機ＥＬ素子が開発されている。有機ＥＬ素子は、熱をほとんど出さないのでブラウン管などに比べて消費電力が小さく、また、自発光なので、液晶ディスプレー(LCD)などに比べて視野角に優れている等の利点があり、今後の発展が期待されている。【０００３】
この有機ＥＬ素子のもっとも基本的な構造は、ガラス基板上にアノード（陽極）層、発光層およびカソード（陰極）層を重ねて形成したサンドイッチ構造である。発光層の光を外に取り出すために、ガラス基板上のアノード層には、ITO(Indium Tin Oxide）からなる透明電極が用いられる。かかる有機ＥＬ素子は、表面にITO層（アノード層）が予め形成されたガラス基板上に、発光層とカソード層を順に成膜することによって製造されるのが一般的である。【０００４】
以上のような有機ＥＬ素子の発光層を成膜させる装置としては、例えば特許文献１に示す成膜装置が知られている。
【特許文献１】特開２００４−７９９０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、有機ＥＬ素子の発光層を成膜させる工程では、処理容器内を所定の圧力まで減圧させることが行われる。その理由は、上記のように有機ＥＬ素子の発光層を成膜させる場合、蒸着ヘッドから２００℃〜５００℃程度の高温にした成膜材料の蒸気を供給して、基板表面に成膜材料を蒸着させるのであるが、仮に大気中で成膜処理すると、気化させた成膜材料の蒸気の熱が処理容器内の空気を伝わることにより、処理室内に配置された各種センサ等の部品を高温にさせ、それら部品の特性を悪化させたり、部品自体の破損を招いてしまうからである。そこで、有機ＥＬ素子の発光層を成膜させる工程では、処理容器内を所定の圧力まで減圧させ、成膜材料の蒸気の熱が逃げないように維持している（真空断熱）。【０００６】
しかし一方で、処理容器内には、基板の搬送機構が存在しており、処理容器内を減圧した場合、搬送機構から汚染源が発生し、成膜処理に悪影響を与えてしまう。即ち、通常搬送機構は、基板を保持するステージの移動を直線状にガイドするためのリニアガイドやステージを移動させる駆動モータ、金属ころ等を有しているが、処理容器内を減圧した場合、リニアガイド等で潤滑剤として使用されているグリスが蒸発し、それが有機ＥＬ素子の発光層中にコンタミとして混入してしまう恐れを生ずる。【０００７】
この場合、グリス無しではリニアガイドでの物理的接触によりパーティクルの発生が免れなくなり、処理容器内を優れたクリーン環境に保てなくなってしまう。また最近では、いわゆる固体潤滑として金属ボールの表面にＭｏＳ２などの薄膜をスパッタで形成させて潤滑性を担保し、グリスを省略する試みもなされている。しかしながら、この固体潤滑でもパーティクルの発生が無いわけではなく、また、いまだ寿命が十分でなく、メンテナンスが煩雑になるという別の問題を生じてしまう。【０００８】
また、汚染源となるリニアガイドなどをベローズ等の内部に収納してしまうことも考えられるが、減圧容器内に配置できるベローズとなると相当に大掛かりとなり、構造が複雑となって、コスト高騰、装置スペースの増大といった問題を生じてしまう。また、ベローズに付着した副生成物がベローズの収縮によって真空容器内に剥がれ落ち、処理容器内のクリーン環境を悪化させる心配もある。更に、さらに、構造上真空ベローズは表面積が大きいため、ベローズ表面からの放出ガスにより到達真空度が上がらないという問題もある。【０００９】
従って本発明の目的は、減圧された処理容器の内部において、比較的簡単な構造で、汚染を生じさせずに基板を搬送させる機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、基板を処理する処理装置であって、内部において基板を処理する処理容器と、前記処理容器の内部を減圧させる減圧機構と、前記処理容器の内部に配置された、基板を搬送する搬送機構とを備え、前記搬送機構は、ガイド部材と、基板を保持するステージと、前記ステージを移動させる駆動部材と、前記ステージを支持し、前記ガイド部材に沿って移動可能な移動部材とを備え、前記ガイド部材と前記移動部材とは、磁石の反発力により、互いに接触しないように維持されることを特徴とする、処理装置が提供される。【００１１】
この処理装置によれば、ステージを駆動部材によって移動させるに際し、ステージと共に移動する移動部材が、磁石の反発力によりガイド部材と接触しないように維持されているので、ガイド部材と移動部材との間で摩擦が発生しなくなる。このため、グリスを用いないでも、ステージを円滑に移動させることができる。【００１２】
前記磁石を冷却する冷却機構を備えても良い。また、前記ステージの内部に、前記処理容器の内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、前記空間部と前記処理容器の外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられていても良い。その場合、前記ステージは、基板を保持する静電チャックを有し、前記静電チャックへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。また、前記搬送機構はモータであり、前記モータへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。なお、前記モータは、例えばシャフトモータである。また、前記ステージは、基板の温度を調節するための熱媒流路を有し、前記熱媒流路熱媒への熱媒供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。この場合、前記ステージは、基板とステージとの間に伝熱用のガスを供給する伝熱用ガス供給部を有し、伝熱用ガス供給部へのガス供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。【００１３】
なお、前記空間部は、例えば大気圧に維持される。また、前記ダクト部材は、多関節アームで構成されても良い。【００１４】
また、前記ステージに保持された基板に対して成膜材料の蒸気を供給する蒸着ヘッドを備えても良い。その場合、前記成膜材料は、例えば有機ＥＬ素子の発光層の成膜材料である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ガイド部材と移動部材との間で摩擦が発生しなくなるので、グリスを用いないでも、ステージを円滑に移動させることができるようになる。特に、ステージを移動させる駆動部材としてシャフトモータを用いることにより、減圧下においても処理室内を非常にクリーンな雰囲気に保つことができる。また、物理的な接触が無いことから、磨耗による部品の交換や潤滑グリスの充填等のメンテナンスが不要となり、生産時のダウンタイムや生産コストの低減に寄与する。また、潤滑グリスが無いことから、処理容器内のドライクリーニングも容易に行うことができる。【００１６】
また、ステージの内部に形成した空間部の雰囲気を、ダクト部材を介して処理容器の外部雰囲気に連通させることにより、静電チャックの電力供給配線、シャフトモータの電力供給配線、熱媒配管、伝熱用ガスの供給配管などを、ダクト部材の内部に配置でき、チャックの保持、ステージの移動、基板の温調などを、処理容器の外部から好適に行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照にして説明する。以下の実施の形態では、減圧雰囲気で基板処理の一例として、ガラス基板Ｇ上にアノード（陽極）層１、発光層３およびカソード（陰極）層２を成膜して有機ＥＬ素子Ａを製造する処理システム１０を例にして具体的に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。【００１８】
先ず、図１は、本発明の実施の形態において製造される有機ＥＬ素子Ａの説明図である。有機ＥＬ素子Ａのもっとも基本となる構造は、陽極１と陰極２との間に発光層３を挟んだサンドイッチ構造である。陽極１はガラス基板Ｇ上に形成されている。陽極１には、発光層３の光を透過させることが可能な、例えばITO(Indium Tin Oxide）からなる透明電極が用いられる。【００１９】
発光層３である有機層は一層から多層のものまであるが、図１では、第１層ａ１〜第６層ａ６を積層した６層構成である。第１層ａ１はホール輸送層、第２層ａ２は非発光層（電子ブロック層）、第３層ａ３は青発光層、第４層ａ４は赤発光層、第５層ａ５は緑発光層、第６層ａ６は電子輸送層である。かかる有機ＥＬ素子Ａは、後述するように、ガラス基板Ｇ表面の陽極１の上に、発光層３（第１層ａ１〜第６層ａ６）を順次成膜し、仕事関数調整層（図示せず）を介在させた後、Ａｇ、Ｍｇ／Ａｇ合金などの陰極２を形成し、最後に、全体を窒化膜（図示せず）などで封止して、製造される。【００２０】
図２は、有機ＥＬ素子Ａを製造するための成膜システム１０の説明図である。この成膜システム１０は、基板Ｇの搬送方向（図２において右向き）に沿って、ローダ１１、トランスファーチャンバ１２、発光層３の蒸着処理装置１３、トランスファーチャンバ１４、仕事関数調整層の成膜装置１５、トランスファーチャンバ１６、エッチング装置１７、トランスファーチャンバ１８、スパッタリング装置１９、トランスファーチャンバ２０、ＣＶＤ装置２１、トランスファーチャンバ２２、アンローダ２３を直列に順に並べた構成である。ローダ１１は、基板Ｇを成膜システム１０内に搬入するための装置である。トランスファーチャンバ１２、１４、１６、１８、２０、２２は、各処理装置間で基板Ｇを受け渡しするための装置である。アンローダ２３は、基板Ｇを成膜システム１０外に搬出するための装置である。【００２１】
ここで、本発明の実施の形態にかかる蒸着処理装置１３について、更に詳細に説明する。図３は、蒸着処理装置１３の斜視図であり、図４は、蒸着処理装置１３の内部構造を説明するための部分断面図である。【００２２】
この蒸着処理装置１３は、内部において基板Ｇを蒸着処理するための処理容器３０を備えている。処理容器３０は、アルミニウム、ステンレススチール等で構成され、切削加工や溶接により製作される。処理容器３０は、全体として前後に長い直方体形状をなしており、処理容器３０の前面に搬出口３１が形成され、後面に搬入口３２が形成されている。この蒸着処理装置１３では、処理容器３０後面の搬入口３２から搬入された基板Ｇが、処理容器３０内において手前側に向かって搬送され、処理容器３０前面の搬出口３１から搬出される。なお、説明のため、この基板Ｇの搬送方向をＸ軸、水平面内においてＸ軸と直交する方向をＹ軸、鉛直方向をＺ軸と定義する。【００２３】
処理容器３０の側面には、排気孔３５が開口しており、排気孔３５には、処理容器３０の外部に配置された減圧機構である真空ポンプ３６が、排気管３７を介して接続されている。この真空ポンプ３６の稼動により、処理容器３０の内部は所定の圧力に減圧される。【００２４】
処理容器３０の内部には、基板ＧをＸ軸方向に沿って搬送する搬送機構４０が設けられている。この搬送機構４０は、処理容器３０の底部にＸ軸方向に延設されたガイド部材４１と、基板Ｇを保持するステージ４２を備えている。また、ガイド部材４１に沿ってＸ軸方向に移動可能な移動部材４３が設けられており、ステージ４２は、この移動部材４３に支持されている。【００２５】
図５に示すように、移動部材４３は、水平部４５の上面の中央に垂直部４６を立設させた、逆Ｔ字形状を有しており、垂直部４６の上端にステージ４２が支持されている。また、移動部材４３の水平部４５は、ガイド部材４１に形成された溝内に保持されている。【００２６】
図６に示すように、移動部材４３の水平部４５の外面と、ガイド部材４１の内面（溝内面）には、磁石４７、４８が対向するように配置されている。この場合、移動部材４３の水平部４５に設けられた磁石４７と、ガイド部材４１に設けられた磁石４８は、対向する磁石４７、４８同士が、互いに同じ極となるように配置されており、移動部材４３の水平部４５に設けられた磁石４７がＳ極である場合は、ガイド部材４１に設けられた磁石４８もＳ極であり、逆に、移動部材４３の水平部４５に設けられた磁石４７がＮ極である場合は、ガイド部材４１に設けられた磁石４８もＮ極となるように対向して配置されている。このため、移動部材４３の水平部４５表面と、ガイド部材４１内面との間には、移動部材４３の水平部４５に設けられた磁石４７と、ガイド部材４１に設けられた磁石４８との反発力が生じており、両者が互いに接触しないように維持されている。【００２７】
なお、移動部材４３の水平部４５に設けられた磁石４７と、ガイド部材４１に設けられた磁石４８は、いずれも永久磁石である。このため、電磁石を用いた磁気浮上機構のような複雑な制御や、制御を行うための各種センサ（ギャップセンサ・加速度センサ等）が必要無く、さらには停電時のタッチダウンの心配も無い。また電磁石を使わないので省エネルギである。また、水平部４５に設けられた磁石４７と、ガイド部材４１に設けられた磁石４８の背部には、一般にバックヨークと呼ばれる磁性体４９が配置されている。これら磁性体４９（バックヨーク）で磁石４７、磁石４８を囲むことにより、磁気浮上のための反発力を高めると共に、周囲への磁場の漏れを抑制した構造になっている。【００２８】
磁性体４９の内部には、冷媒を流すための冷媒流路４４が形成されている。この冷媒流路４４は、移動部材４３の水平部４５に設けられた磁石４７と、ガイド部材４１に設けられた磁石４８を冷却するための冷却機構として機能する。冷媒流路４４に流される冷媒には、例えばフッ素系熱媒体（ガルデン等）が用いられる。一般的に、永久磁石の磁気力は温度上昇とともに低下する。磁石４７、４８は、後述する蒸着ヘッド９０などからの入熱により、高温に曝される可能性がある。磁石４７、４８の温度が上がりすぎると反発力が低下し、磁石４７、４８同士が接触してしまう可能性がある。そこで、冷媒流路４４に冷媒が流されることによって、磁石４７、４８の温度上昇が防止されている。なお、図６に示したように磁性体４９の内部に冷媒流路４４が形成される場合、冷媒の冷熱を磁性体４９から磁石４７、４８に効率良く伝達させるために、磁石４７，４８および磁性体４９の接触面を高精度に加工し、磁石４７，４８と磁性体４９との間に極力すき間が生じないようにすることが望ましい。この場合、磁石４７，４８および磁性体４９の接触面の平滑度Raを例えば０．２〜６．３の範囲とする。また、冷媒流路４４に流される冷媒の温度は例えば１０℃〜６０℃の範囲に設定し、磁石４７，４７の温度が例えば１５℃〜８０℃の範囲となるようにすることが望ましい。【００２９】
移動部材４３の水平部４５表面と、ガイド部材４１内面との間の浮上ギャップは、１０μｍ〜５ｍｍ程度とし、移動部材４３の移動中、移動部材４３の水平部４５表面と、ガイド部材４１内面とが互いに接触しないような反発力を有する永久磁石を配置する。なお、移動部材４３の水平部４５表面と、ガイド部材４１内面とが万が一接触する事態を回避するために、接触検知センサを設けても良い。また、磁石４７，４８同士の隙間（Ｇａｐ）を極力均一化することにより、磁石４７，４８間の反発力の変動も抑えられ、安定した磁気浮上によるガイドが実現できると考えられる。【００３０】
なお、磁石４７、４８は、処理容器３０の内部において真空中に設置されることになり、腐食性ガスやクリーニングガスにさらされる可能性がある。そのため、磁石４７、４８は、それらの条件に対して耐性の高い非磁性材料で封止するか、もしくは表面処理を施す必要がある。【００３１】
また、処理容器３０の内部において、ステージ４２をＸ軸方向に沿って移動させる駆動部材としてのシャフトモータ５０を備えている。このシャフトモータ５０は、Ｘ軸方向に沿って配置された円柱形状のシャフト軸５１と、シャフト軸５１の周りに移動自在に装着された円筒形状の非磁性材料からなるコイルケース５２で構成される直動(リニア)モータである。コイルケース５２の内部には、シャフト軸５１を囲むように配置された電磁石コイル５３が内蔵されている。シャフト軸５１は、Ｘ軸方向に沿ってＮ極とＳ極が交互にくるように永久磁石を配置した構成である。かかるシャフトモータ５０は、電磁石コイル５３に電流を流すことにより、安定した速度でステージ４２をＸ軸方向に沿って移動させることができる。この場合、シャフト軸５１表面と、コイルケース５２内面とは非接触で摩擦がない。シャフトモータ５０には、例えば（株）ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ可動子を用いることができる。【００３２】
図７に示すように、ステージ４２の内部には、処理容器３０の内部の雰囲気と遮断された空間部５５が形成されている。この空間部５５と、シャフトモータ５０のコイルケース５２の内部に形成された、電磁石コイル５３を内蔵している空間は、ステージ４２の下面に形成された孔５６と、コイルケース５２の上面に形成された孔５７を通じて、互いに連通した状態になっている。なお、これらステージ４２の内部の空間部５５とコイルケース５２の内部空間が、処理容器３０の内部の雰囲気と遮断されるように、ステージ４２の下面と、コイルケース５２の上面との間に、Ｏリングからなるシール材５８が介在している。【００３３】
電磁石コイル５３への電力供給配線６０は、コイルケース５２の上面に形成された孔５７と、ステージ４２の下面に形成された孔５６を通じて、ステージ４２の内部の空間部５５に引き出されている。【００３４】
ステージ４２の上面内部には、ステージ４２上に載せた基板Ｇを保持するための静電チャック６５を有している。この静電チャック６５への電力供給配線６６は、ステージ４２の内部の空間部５５に引き出されている。【００３５】
また、ステージ４２の上面内部には、ステージ４２上に載せた基板Ｇの温度を調節するための熱媒流路７０を有している。この熱媒流路７０へ例えばエチレングリコールなどの熱媒を供給する配管７１も、ステージ４２の内部の空間部５５に引き出されている。更に、ステージ４２の上面には、ステージ４２上に保持した基板Ｇの下面とステージ４２の上面との隙間に伝熱用のガスを供給する伝熱用ガス供給部７２を有している。この伝熱用ガス供給部７２へ例えばＨｅなどの伝熱用のガスを供給するガス供給配管７３も、ステージ４２の内部の空間部５５に引き出されている。【００３６】
図４に示すように、ステージ４２には、処理容器側支柱部７５、２つのアーム部７６、７７、ステージ側支柱部７８で構成される多関節アーム構造のダクト部材８０が接続されている。これら処理容器側支柱部７５、アーム部７６、７７、ステージ側支柱部７８の内部はいずれも空洞であり、これら処理容器側支柱部７５、アーム部７６、７７、ステージ側支柱部７８で構成されるダクト部材８０の内部を通して、ステージ４２の内部の空間部５５と、処理容器３０の外部との雰囲気が連通させられている。なお、図示はしないが、処理容器３０の底面には、処理容器側支柱部７５の内部と連通する孔が形成されている。同様に、ステージ４２の側面には、ステージ側支柱部７８の内部と連通する孔が形成されている。【００３７】
上記のようにステージ４２の内部の空間部５５にそれぞれ引き出された電磁石コイル５３への電力供給配線６０、静電チャック６５への電力供給配線６６、熱媒流路７０へ熱媒を供給する配管７１、伝熱用ガス供給部７２へ伝熱用のガスを供給するガス供給配管７３は、いずれもダクト部材８０の内部を通して、処理容器３０の外部へと引き出されている。【００３８】
ダクト部材８０において、処理容器側支柱部７５は、処理容器３０の底面に立設されており、この処理容器側支柱部７５に、アーム部７６の一端部が接続されている。図８に示すように、これら処理容器側支柱部７５とアーム部７６の一端部との接続は、処理容器側支柱部７５においてＹ軸方向に配置された円筒形状凸部８５を、アーム部７６の一端部においてＹ軸方向に配置された円筒形状凹部８６に挿入することにより行われており、円筒形状凸部８５を中心軸として、アーム部７６が回転できるようになっている。円筒形状凹部８６の外周面には、アーム部７６を円滑に回転させるための、リング形状のベアリング（クロスローラベアリング）８８と、処理容器側支柱部７５とアーム部７６の内部を、密閉するためのＯリングからなるシール材８７が装着してある。なお、重複説明を省略するが、アーム部５６の他端部とアーム部５６の一端部との接続、アーム部５６の他端部とステージ側支柱部７８との接続も、同様な構成になっている。これにより、処理容器３０の内部の雰囲気と遮断された状態を維持しながら、ダクト部材８０の内部を通して、ステージ４２の内部の空間部５５と、処理容器３０の外部との雰囲気を連通させている。なお、これら処理容器側支柱部７５とアーム部７６の一端部との接続、アーム部５６の他端部とアーム部５６の一端部との接続、アーム部５６の他端部とステージ側支柱部７８との接続は、ロータリジョイント（液体）やロータリコネクタ（電気）を使った構造としても良い。また、シール材８７は、Ｏリングに代えて磁性流体シールとしても良い。【００３９】
また、このようにダクト部材８０を構成する処理容器側支柱部７５、アーム部５６、７７、ステージ側支柱部７８の各接続を、Ｙ軸方向に配置された円筒形状凸部８５と円筒形状凹部８６でそれぞれ行うことにより、２つのアーム部７６、７７は、いずれもＹ軸に垂直な平面（Ｘ−Ｚ平面）内において回転自在である。このため、ステージ４２がガイド部材４１に沿ってＸ軸方向に移動する際に、２つのアーム部７６、７７がＹ軸に垂直な平面（Ｘ−Ｚ平面）内において適宜回転し、ステージ４２の内部の空間部５５と、処理容器３０の外部との雰囲気の連通状態が維持される。【００４０】
また、このようにステージ４２にダクト部材８０を接続していることにより、ステージ４２の姿勢は、ダクト部材８０によって拘束される。即ち、図示のように処理容器側支柱部７５、アーム部５６、７７、ステージ側支柱部７８の各接続を、Ｙ軸方向に配置された円筒形状凸部８５と円筒形状凹部８６でそれぞれ行った場合、ステージ４２のＹ軸方向の移動（横ずれ）、Ｘ軸方向を中心とする回転運動（ローリング）、Ｚ軸方向を中心とする回転運動（ヨーイング）が抑制される。これにより、ステージ４２を正しい姿勢に維持しやすい。なお、円筒形状凸部８５と円筒形状凹部８６の軸方向を変えることにより、ステージ４２について抑制する運動の種類（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の移動、ローリング、ヨーイング、ピッチング）の組み合わせを容易に変更することができる。【００４１】
処理容器３０の上面には、ステージ４２に保持されて移動していく基板Ｇの表面に対して成膜材料の蒸気を供給する蒸着ヘッド９０を備えている。この蒸着ヘッド９０は、ホール輸送層を蒸着させる第１ヘッド９１、非発光層を蒸着させる第２ヘッド９２、青発光層を蒸着させる第３ヘッド９３、赤発光層を蒸着させる第４ヘッド９４、緑発光層を蒸着させる第５ヘッド９５、電子輸送層を蒸着させる第６ヘッド９６を、ステージ４２の移動方向（Ｘ軸方向）に沿って配置した構成である。【００４２】
次に、図２に示す仕事関数調整層の成膜装置１５は、蒸着によって基板Ｇの表面に対して仕事関数調整層を成膜するように構成されている。エッチング装置１７は、成膜された各層などをエッチングするように構成されている。スパッタリング装置１９は、Ａｇなどの電極材料をスパッタリングして、陰極２を形成させるように構成されている。ＣＶＤ装置２１は、窒化膜などからなる封止膜を、ＣＶＤ等によって成膜し有機ＥＬ素子Ａの封止を行うものである。【００４３】
さて、以上のように構成された成膜システム１０において、ローダ１１を介して搬入された基板Ｇが、トランスファーチャンバ１２によって、先ず、蒸着処理装置１３に搬入される。この場合、基板Ｇの表面には、例えばITOからなる陽極１が所定のパターンで予め形成されている。【００４４】
そして、蒸着処理装置１３では、基板Ｇの表面（成膜面）を上に向けた姿勢にしてステージ４２上に基板Ｇが載せられる。なお、このように基板Ｇが蒸着処理装置１３に搬入される前に、蒸着処理装置１３の処理容器３０の内部は、真空ポンプ３６の稼動により、予め所定の圧力に減圧されている。【００４５】
こうして、減圧された蒸着処理装置１３の処理容器３０内において、ステージ４２がガイド部材４１に沿ってＸ軸方向に移動し、その移動中に、蒸着ヘッド９０から成膜材料の蒸気が供給されて、基板Ｇの表面に発光層３が成膜・積層されていく。【００４６】
そして、蒸着処理装置１３において発光層３を成膜させた基板Ｇは、トランスファーチャンバ１４によって、次に、成膜装置１５に搬入される。こうして、成膜装置１５では、基板Ｇの表面に仕事関数調整層が成膜される。【００４７】
次に、トランスファーチャンバ１６によって、基板Ｇはエッチング装置１７に搬入され、各成膜の形状等が調整される。次に、トランスファーチャンバ１８によって、基板Ｇはスパッタリング装置１９に搬入され、陰極２が形成される。次に、トランスファーチャンバ２０によって、基板ＧはＣＶＤ装置２１に搬入され、有機ＥＬ素子Ａの封止が行われる。こうして製造された有機ＥＬ素子Ａが、トランスファーチャンバ２２、アンローダ２３を介して、成膜システム１０外に搬出される。【００４８】
以上の成膜システム１０にあっては、蒸着処理装置１３において、減圧された処理容器３０内でステージ４２が移動する場合、ガイド部材４１と移動部材４３は常に非接触に保たれ、両者間で摩擦が発生しないので、グリスを用いないでも、ステージ４２を円滑に移動させることができる。この場合、冷媒流路４４に冷媒が流されることによって、磁石４７、４８の温度上昇が防止され、磁石４７、４８同士の接触が防止される。特に、ステージ４２を移動させる駆動部材としてシャフトモータ５０を用いているので、シャフト軸５１表面と、コイルケース５２内面とが非接触であり、処理室内は非常にクリーンな雰囲気に保たれる。【００４９】
また、ステージ４２の内部に形成した空間部５５の雰囲気は、ダクト部材８０を介して処理容器３０の外部雰囲気に連通しており、電磁石コイル５３への電力供給配線６０、静電チャック６５への電力供給配線６６、熱媒流路７０へ熱媒を供給する配管７１、伝熱用ガス供給部７２へ伝熱用のガスを供給するガス供給配管７３は、いずれもダクト部材８０の内部を通して、処理容器３０の外部へと引き出されている。このため、基板Ｇの保持、ステージ４２の移動、基板Ｇの温調などを、処理容器３０の外部から好適に行うことができる。また、処理容器３０の外部雰囲気に連通していることにより、ステージ４２の内部の空間部５５と、コイルケース５２内部は大気圧に維持される。このため、処理容器３０の内部において、ステージ４２とコイルケース５２がいわゆる真空断熱状態となることが回避される。このため、例えば電磁石コイル５３への通電によって発生した熱が、円滑に処理容器３０の外部へ放出され、電磁石コイル５３を冷却することができる。【００５０】
以上、本発明の好ましい実施の形態の一例を説明したが、本発明は図示の形態に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に相到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば、有機ＥＬ素子Ａの発光層３の蒸着処理装置１３に基づいて説明したが、本発明は、その他の各種電子デバイス等の処理に利用される真空処理装置に適用することができる。【００５１】
なお、処理容器３０は、１ピースでも良いが、好ましくは搬入エリア、処理エリア、搬出エリアなどに分割すると良い。その理由は、処理容器３０が大型化した場合、複数に分割して現地で組み立てるようにすれば、加工・製作において有利であり、搬送、工場への搬入も容易になる。また、処理エリアのみを変更することにより、各種の処理装置に変更できるようになる。【００５２】
処理の対象となる基板Ｇは、ガラス基板、シリコン基板、角形、丸形等の基板など、各種基板に適用できる。【００５３】
また、ダクト部材８０にステージ駆動用のロボットアーム機能をもたせて、ダクト部材８０に搬送機構を兼用させることにより、シャフトモータ５０などを省略することも可能である。また、ステージ４２に配線や配管の導入が必要ない場合は、ダクト部材８０は無くても良い。非接触給電化により配線を省略する場合も考えられる。また、ステージ４２は、加熱用ヒータ等を備えていても良い。【００５４】
また、真空中に設置されるステージ４２は、温度上昇が懸念される。その対策としてステージ冷却用チラーを利用し、冷却を行う等なんらかの冷却機構を備えてもよい。また、負荷に対し余裕を持った出力のモータを選定することにより、発熱量をおさえることもできる。【００５５】
ダクト部材８０は、ステージ４２の両側に設置しても良いし、片側でも非対称でもよい。ダクト部材８０の本数に制限は無い。【００５６】
図２では、基板Ｇの搬送方向に沿って、ローダ１１、トランスファーチャンバ１２、発光層３の蒸着処理装置１３、トランスファーチャンバ１４、仕事関数調整層の成膜装置１５、トランスファーチャンバ１６、エッチング装置１７、トランスファーチャンバ１８、スパッタリング装置１９、トランスファーチャンバ２０、ＣＶＤ装置２１、トランスファーチャンバ２２、アンローダ２３を直列に順に並べた構成の成膜システム１０を示した。しかし、図９に示すように、トランスファーチャンバ９０の周囲に、例えば、基板ロードロック装置９１、スパッタリング蒸着成膜装置９２、アライメント装置９３、エッチング装置９４、マスクロードロック装置９５、ＣＶＤ装置９６、基板反転装置９７、蒸着成膜装置９８を配置した構成の成膜システム１０’としても良い。各処理装置の台数・配置は任意に変更可能である。【００５７】
例えば、図１０に示すように、トランスファーチャンバ１００の周りに６台の処理装置１０１〜１０６を設けた処理システム１０７について本発明を適用することも可能である。なお、この図１０に示す処理システム１０７では、搬入出部１０８から、２つのロードロック室１０９を介して、基板Ｇをトランスファーチャンバ１００に搬入出させ、トランスファーチャンバ１００によって、各処理装置１０１〜１０６に対して基板Ｇを搬入出させるようになっている。このように、処理システムに設ける処理装置の台数、配置は任意である。【００５８】
また、蒸着処理装置１３内において、搬入口３２から処理容器３０内に搬入された基板Ｇが、処理後、搬出口３１から搬出される例を示した。しかし、搬入口と搬出口を兼用する搬入出口を設け、搬入出口から処理容器３０内に搬入された基板Ｇが、処理後、再び搬入出口から搬出されても良い。なお、処理後は、なるべく短時間で基板Ｇを処理容器３０内から搬出できるような搬送経路とすることが好ましい。【００５９】
なお、蒸着ヘッド９０の各ヘッド９１〜９６から噴出される材料は同じでも異なっていても良い。また、各ヘッドの連数は６つに限らず、任意である。また、蒸着ヘッド９０に限らず、あらゆる処理ソースが設置されていても良い。例えば、成膜（ＰＶＤ、ＣＶＤ）・エッチング・熱処理・光照射等の各種処理装置に本発明を適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明は、例えば有機ＥＬ素子の製造分野に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】有機ＥＬ素子の説明図である。
【図２】成膜システムの説明図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかる蒸着処理装置の斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態にかかる蒸着処理装置の内部構造を示す部分断面図である。
【図５】搬送機構の正面図である。
【図６】移動部材に設けられた磁石と、ガイド部材に設けられた磁石の県警を示す説明図である。
【図７】図５におけるＡ−Ａ断面拡大図である。
【図８】ダクト部材の間接部分を説明するための断面図である。
【図９】トランスファーチャンバの周囲に各処理装置を配置した成膜システムの説明図である。
【図１０】トランスファーチャンバの周りに６台の処理装置を設けた処理システムの説明図である。
【符号の説明】
【００６２】
Ａ  有機ＥＬ素子
Ｇ  ガラス基板
１０  処理システム
１１  ローダ１１
１２、１４、１６、１８、２０、２２  トランスファーチャンバ
１３  発光層の蒸着処理装置
１５  仕事関数調整層の成膜装置
１７  エッチング装置
１９  スパッタリング装置
２１  ＣＶＤ装置
２３  アンローダ
３０  処理容器
３１  搬出口
３２  搬入口
３５  排気孔
３６  真空ポンプ
４０  搬送機構
４１  ガイド部材
４２  ステージ
４３  移動部材
４４  冷媒流路
４７、４８  磁石
５０  シャフトモータ
５３  電磁石コイル
５５  空間部
５６、５７  孔
５８、８７  シール材
６０、６６  電力供給配線
６５  静電チャック
７０  熱媒流路
７１  配管
７２  伝熱用ガス供給部
７３  ガス供給配管
８０  ダクト部材
８５  円筒形状凸部
８６  円筒形状凹部
９０  蒸着ヘッド
【図１】
2008066103.tif 000003
【図２】
2008066103.tif 000004
【図３】
2008066103.tif 000005
【図４】
2008066103.tif 000006
【図５】
2008066103.tif 000007
【図６】
2008066103.tif 000008
【図７】
2008066103.tif 000009
【図８】
2008066103.tif 000010
【図９】
2008066103.tif 000011
【図１０】
2008066103.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月29日(2008.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する処理装置であって、
内部において基板を処理する処理容器と、
前記処理容器の内部を減圧させる減圧機構と、
前記処理容器の内部に配置された、基板を搬送する搬送機構とを備え、
前記搬送機構は、ガイド部材と、基板を保持するステージと、前記ステージを移動させる駆動部材と、前記ステージを支持し、前記ガイド部材に沿って移動可能な移動部材とを備え、
前記ガイド部材と前記移動部材とは、磁石の反発力により、互いに接触しないように維持され、
前記ステージの内部に、前記処理容器の内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、
前記空間部と前記処理容器の外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられている。
【請求項２】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記磁石を冷却する冷却機構を備えることを特徴とする。
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記ステージは、基板を保持する静電チャックを有し、前記静電チャックへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されている。
【請求項５】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記搬送機構はモータであり、前記モータへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されている。
【請求項６】
請求項５に記載の処理装置であって、
前記モータは、シャフトモータであることを特徴とする。
【請求項７】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記ステージは、基板の温度を調節するための熱媒流路を有し、前記熱媒流路熱媒への熱媒供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されている。
【請求項８】
請求項７に記載の処理装置であって、
前記ステージは、基板とステージとの間に伝熱用のガスを供給する伝熱用ガス供給部を有し、伝熱用ガス供給部へのガス供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていることを特徴とする。
【請求項９】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記空間部は大気圧に維持される。
【請求項１０】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記ダクト部材は、多関節アームで構成される。
【請求項１１】
請求項１に記載の処理装置であって、
前記ステージに保持された基板に対して成膜材料の蒸気を供給する蒸着ヘッドを備える。
【請求項１２】
請求項１１に記載の処理装置であって、
前記成膜材料は、有機ＥＬ素子の発光層の成膜材料であることを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
させたり、部品自体の破損を招いてしまうからである。そこで、有機ＥＬ素子の発光層を成膜させる工程では、処理容器内を所定の圧力まで減圧させ、成膜材料の蒸気の熱が逃げないように維持している（真空断熱）。
［０００６］
しかし一方で、処理容器内には、基板の搬送機構が存在しており、処理容器内を減圧した場合、搬送機構から汚染源が発生し、成膜処理に悪影響を与えてしまう。即ち、通常搬送機構は、基板を保持するステージの移動を直線状にガイドするためのリニアガイドやステージを移動させる駆動モータ、金属ころ等を有しているが、処理容器内を減圧した場合、リニアガイド等で潤滑剤として使用されているグリスが蒸発し、それが有機ＥＬ素子の発光層中にコンタミとして混入してしまう恐れを生ずる。
［０００７］
この場合、グリス無しではリニアガイドでの物理的接触によりパーティクルの発生が免れなくなり、処理容器内を優れたクリーン環境に保てなくなってしまう。また最近では、いわゆる固体潤滑として金属ボールの表面にＭｏＳ２などの薄膜をスパッタで形成させて潤滑性を担保し、グリスを省略する試みもなされている。しかしながら、この固体潤滑でもパーティクルの発生が無いわけではなく、また、いまだ寿命が十分でなく、メンテナンスが煩雑になるという別の問題を生じてしまう。
［０００８］
また、汚染源となるリニアガイドなどをベローズ等の内部に収納してしまうことも考えられるが、減圧容器内に配置できるベローズとなると相当に大掛かりとなり、構造が複雑となって、コスト高騰、装置スペースの増大といった問題を生じてしまう。また、ベローズに付着した副生成物がベローズの収縮によって真空容器内に剥がれ落ち、処理容器内のクリーン環境を悪化させる心配もある。更に、さらに、構造上真空ベローズは表面積が大きいため、ベローズ表面からの放出ガスにより到達真空度が上がらないという問題もある。
［０００９］
従って本発明の目的は、減圧された処理容器の内部において、比較的簡単な構造で、汚染を生じさせずに基板を搬送させる機構を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
［００１０］
本発明によれば、基板を処理する処理装置であって、内部において基板を処理する処理容器と、前記処理容器の内部を減圧させる減圧機構と、前記処理容器の内部に配置された、基板を搬送する搬送機構とを備え、前記搬送機構は、ガイド部材と、
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
基板を保持するステージと、前記ステージを移動させる駆動部材と、前記ステージを支持し、前記ガイド部材に沿って移動可能な移動部材とを備え、前記ガイド部材と前記移動部材とは、磁石の反発力により、互いに接触しないように維持され、前記ステージの内部に、前記処理容器の内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、前記空間部と前記処理容器の外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられている、処理装置が提供される。
［００１１］
この処理装置によれば、ステージを駆動部材によって移動させるに際し、ステージと共に移動する移動部材が、磁石の反発力によりガイド部材と接触しないように維持されているので、ガイド部材と移動部材との間で摩擦が発生しなくなる。このため、グリスを用いないでも、ステージを円滑に移動させることができる。
［００１２］
前記磁石を冷却する冷却機構を備えても良い。また、前記ステージは、基板を保持する静電チャックを有し、前記静電チャックへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。また、前記搬送機構はモータであり、前記モータへの電力供給配線が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。なお、前記モータは、例えばシャフトモータである。また、前記ステージは、基板の温度を調節するための熱媒流路を有し、前記熱媒流路熱媒への熱媒供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。この場合、前記ステージは、基板とステージとの間に伝熱用のガスを供給する伝熱用ガス供給部を有し、伝熱用ガス供給部へのガス供給配管が、前記ダクト部材の内部に配置されていても良い。
［００１３］
なお、前記空間部は、例えば大気圧に維持される。また、前記ダクト部材は、多関節アームで構成されても良い。
［００１４］
また、前記ステージに保持された基板に対して成膜材料の蒸気を供給する蒸着ヘッドを備えても良い。その場合、前記成膜材料は、例えば有機ＥＬ素子の発光層の成膜材料である。
［発明の効果］
［００１５］
本発明によれば、ガイド部材と移動部材との間で摩擦が発生しなくなるので、グリスを用いないでも、ステージを円滑に移動させることができるようになる。特に、ステージを移動させる駆動部材としてシャフトモータを用いることにより、減圧下においても処
【国際調査報告】
2008066103.tif 000013
2008066103.tif 000014