【事件の表示】
　特願２０１５−５２５７７６「ＭＯＣＶＤ反応炉の面状ヒータ用加熱エレメント」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　２月１３日国際公開、ＷＯ２０１４／０２３４１４、平成２７年　９月１７日国内公表、特表２０１５−５２７７４２、請求項の数（１７）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２５年（２０１３年）８月５日（パリ条約に基づく優先権主張　外国庁受理　２０１２年８月７日　米国，以下左の日を「本願優先日」という。）を国際出願日とする出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２８年１２月１９日　拒絶理由通知
平成２９年　５月２３日　意見書・手続補正
平成２９年　６月１６日　拒絶査定（以下，「原査定」という。）
平成２９年１０月１７日　審判請求・手続補正
　
第２　原査定の概要
　原査定の理由の概要は以下のとおりである。
（進歩性）この出願の下記の請求項に係る発明は，本願優先日前に日本国内又は外国において，頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，本願優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照）
・請求項　１−１９
・引用文献等　１−４
　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
引用文献１　特表２００８−５０３０６６号公報
引用文献２　米国特許第３７３７７１４号明細書
引用文献３　特公昭３９−３８６４号公報
引用文献４　特表２００２−５２２８８１号公報
　
第３　審判請求時の補正について
　審判請求時の補正は，特許法第１７条の２第３項から第６項までの要件に違反しているものとはいえない。
　審判請求時の補正によって，補正前の請求項１及び２が削除されたが，この補正事項は請求項の削除を目的とするものである。
　また，同補正によって，補正前の請求項１３に補正前の請求項４に記載されていた発明特定事項の一部が追加され補正後の請求項１１とされたが，この補正事項は，特許請求の範囲の減縮を目的とし，補正後の請求項１１に係る発明は，下記第４から第６に示すとおり，独立特許要件を満たすものである。
　
第４　本願発明
　本願の請求項１ないし１７に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明１７」という。）は，審判請求時の補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１７に記載された事項により特定される発明であり，以下のとおりである。
「【請求項１】
　多孔焼結被膜（３０）で少なくとも部分的に直接覆われた加熱体（２０）を有し，前記加熱体（２０）及び前記多孔焼結被膜（３０）がそれぞれ少なくとも９０重量％のタングステンを含んでおり，
　前記多孔焼結被膜（３０）が少なくとも部分的に前記加熱体（２０）と冶金的に結合しており，
　前記多孔焼結被膜（３０）が外表面に開口気孔（３２）を有し，該開口気孔（３２）が，前記多孔焼結被膜（３０）により覆われている前記加熱体（２０）の表面積の１０％以上に及ぶ投影面積を有し，前記加熱体（２０）がほぼ平坦な形態である，加熱エレメント。
　【請求項２】
　前記加熱体（２０）が互いに反対側を向く２つの面をもち，該面が両方とも，少なくとも部分的に前記多孔焼結被膜（３０）で覆われている，請求項１に記載の加熱エレメント。
　【請求項３】
　前記開口気孔（３２）が，前記多孔焼結被膜（３０）により覆われている前記加熱体（２０）の表面積の２０％以上に及ぶ投影面積を有する，請求項１又は２に記載の加熱エレメント。
　【請求項４】
　前記開口気孔（３２）が，前記多孔焼結被膜（３０）により覆われている前記加熱体（２０）の表面積の３０％以上に及ぶ投影面積を有する，請求項１又は２に記載の加熱エレメント。
　【請求項５】
　前記開口気孔（３２）が，前記多孔焼結被膜（３０）により覆われている前記加熱体（２０）の表面積の７０％以下に及ぶ投影面積を有する，請求項１〜４のいずれか１項に記載の加熱エレメント。
　【請求項６】
　前記開口気孔（３２）が，前記多孔焼結被膜（３０）により覆われている前記加熱体（２０）の表面積の６０％以下に及ぶ投影面積を有する，請求項１〜５のいずれか１項に記載の加熱エレメント。
　【請求項７】
　前記多孔焼結被膜（３０）が工業的純タングステンから形成されている，請求項１〜６のいずれか１項に記載の加熱エレメント。
　【請求項８】
　前記加熱体（２０）が，単一平面内で少なくとも部分的に湾曲している，請求項１〜７のいずれか１項に記載の加熱エレメント。
　【請求項９】
　前記多孔焼結被膜（３０）の放射率が０．５以上である，請求項１〜８のいずれか１項に記載の加熱エレメント。
　【請求項１０】
　チャンバと，１以上のウェハを載置するサセプタと，請求項１〜９のいずれか１項に記載の加熱エレメントと，を備えた反応炉。
　【請求項１１】
　加熱エレメント（１０）の製造方法であって，
　実質的に単一平面内で延伸し，少なくとも９０重量％のタングステンを含む材料から形成される加熱体（２０）を生成する工程と，
　前記加熱体（２０）の表面に，タングステンが少なくとも９０重量％である材料の粒子を含んだ懸濁液を少なくとも部分的に塗布する工程と，
　当該加熱体（２０）表面の懸濁液を焼結して，外表面に開口気孔を有する多孔焼結被膜（３０）とする焼結工程と，
　を含む製造方法。
　【請求項１２】
　前記懸濁液を，前記焼結工程の前に乾燥させる，請求項１１に記載の製造方法。
　【請求項１３】
　前記懸濁液を，前記焼結工程中に乾燥させる，請求項１１に記載の製造方法。
　【請求項１４】
　前記焼結工程は，１８００℃より下の温度で実施する，請求項１１〜１３の何れか１項に記載の製造方法。
　【請求項１５】
　前記焼結工程は，１４００℃〜１５００℃の温度で実施する，請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の製造方法。
　【請求項１６】
　前記焼結工程は，空気中の酸素を排除した中で実施する，請求項１１〜１５のいずれか１項に記載の製造方法。
　【請求項１７】
　前記焼結工程は，水素雰囲気又はアルゴン雰囲気中で実施する，請求項１１〜１６のいずれか１項に記載の製造方法。」
　
第５　引用文献及び引用発明
１　引用文献１について
（１）引用文献１の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には，図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審で付加した。以下同じ。）
　ア　「【技術分野】
【０００１】
　本出願は，材料をそれらの放射率を増大させるように改質することに関し，さらに詳細には，熱の吸収又は熱の放射などに用いられる金属の放射率を増大させる方法に関する。」
　イ　「【０００７】
　
表面の放射率を増大させるもう１つの手法は，第１の材料の表面を高放射率の第２の材料によって被覆する方法である。
母材と被膜との間の線膨張の差にある。数回の熱サイクルの後，被膜は，亀裂と剥離を生じ始めることがある。さらに，多くの被膜は，低い機械的強度を有し，設置及び使用中に，容易に掻き落とされ，あるいは別の態様で表面から除去される。最後に，半導体，医学，食品，又は薬剤業界などのような用途では，プロセス環境との化学的な親和性の問題と，被膜の材料によるプロセスの汚染の問題とがある。
【０００８】
　
表面の放射率を増大させるもう１つの有力な方法は，極めて不規則な表面形態を生じるように調整された化学蒸着（ＣＶＤ）プロセスのような被覆プロセスを用いて，母材と同じ組成を有する被膜を施すことである。これらの被膜の主な欠点は，極めて低い機械的強度と母材の表面に対する低い付着性である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　従って，当技術分野におけるあらゆる努力にもかかわらず，
加熱要素のような要素の放射率を増大させるさらに改良された方法
　ウ　「【００１１】
　
本発明のこの態様による方法は，最初，材料の表面を機械加工し，次いで，その機械加工された表面をエッチングする。
【００１２】
　本発明は，どのような作用を裏付ける理論によっても制限されないが，機械加工ステップは，表面の局部的な変形をもたらし，これによって，微視的な欠陥を表面の材料結晶構造に導入し，エッチングステップは，主に，これらの欠陥において材料を侵食することが考えられる。作用の理論とは無関係に，本発明のこの態様による好ましい方法は，継続性のある高放射率を有する材料をもたらすことができる。
【００１３】
　一態様において，本発明は，放射加熱要素を有する加熱装置の製造において，特に有用である。本発明は，他の目的を有する他の要素の製造に適用することもできる。例えば，本発明は，被加工品を加熱するサセプタ，熱環境を調節する吸収面，などに適用することもできる。」
　エ　「【００１５】
　図１は，本発明の一実施形態の工程フローチャートを示している。
材料（この場合，改質されていない加熱要素１００）
が用意される。他の導電材料から形成される他の材料
この材料は，耐熱性金属，例えば，
タングステンなどである。
加熱要素の放射率は，２段階プロセス，すなわち，微視的なレベルの欠陥を生成するために表面を機械加工する第１ステップ１１０と，その表面をエッチングする第２ステップ１２０とによって，改良される。その結果，改質された材料（この場合，改質された加熱要素１４０）が生成される。
【００１６】
　
機械加工ステップ１１０において，
微視的レベルの欠陥を生成する
【００１７】
　冷間加工プロセスの条件は，好ましくは，母材の結晶構造の結晶粒に高レベルの微視的欠陥を生じさせるように調整され，これらの条件は，用いられる母材と粗面化プロセスによって，変動する。転位やすべり線のような欠陥は，極めて望ましい。
【００１８】
　
エッチングステップ１２０において，機械的に誘導された欠陥を有する表面は，典型的には，プラズマ又は硝酸のような酸などを用いる化学エッチングプロセスによって，エッチングされる。
表面の欠陥が深められ，微視的なレベルでの溝の網目構造が生じる。
　オ　「【００２６】
　
図５は，本発明の一実施形態を含む半導体処理装置，この場合，ウエハ処理用の半導体反応装置
【００２７】
　一実施形態では，装置は，内面５０４を有する反応室５０２を備えている。反応室の上面において，一組のガス入口が，例えば，一組又は多数の組のウエハにエピタキシャル層を堆積させるために，反応ガス及び／又はキャリアガスを供給する。
加熱サセプタ５１０は，一組の加熱要素５２０によって，常に加熱されている。これらの加熱要素５２０は，多数の加熱ゾーンに分割されていてもよい。加熱要素５２０は，好ましくは，耐熱性金属，例えば，モリブデン，さらに好ましくは，レニウムから作製されている。加熱要素に，電源（図示せず）から電流（図示せず）が供給される。さらに，加熱要素５２０の上面は，前述のプロセスによって処理され，高放射率の表面５２５を生成している。
　カ　図５には，
ほぼ平坦な形態である加熱要素５２０
（２）引用加熱要素発明
　前記（１）より，引用文献１には次の発明（以下，「引用加熱要素発明」という。）が記載されていると認められる。
「タングステンを材料とし，表面の欠陥が深められ，微視的なレベルでの溝の網目構造が生じた加熱要素。」
（３）引用方法発明
　前記（１）より，引用文献１には次の発明（以下，「引用方法発明」という。）が記載されていると認められる。
「改質された加熱要素を生成する方法であって，タングステンを材料とする加熱要素を用意するステップと，微視的なレベルの欠陥を生成するために表面を機械加工するステップと，その表面をエッチングするステップと，を含む方法。」
２　引用文献２について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２には，図面とともに次の事項が記載されている。（訳は当審で作成した。）
「This invention 
relates to coated heaters and, particularly, to dark coated insulated heaters utilized in indirectly heated cathodes in vaccum tubes.
（訳：本発明は，
被覆されたヒータに関し，特に，真空管の間接加熱カソードに用いられる暗色被覆絶縁ヒータに関する。
「According to our invention, the heater coil is coated with aluminum oxide such as disclosed in the U.S. Pat. of Dolan, No. 3,049,482. Following the manufacture, 
the coated coil is dipped in a solution of a soluble high tungsten containing compound. After dipping, the coated coil is sintered at an elevated tempetature in a reducing atmosphere and the ionic tungsten is reduced to a tungsten metal, thereby imparting the dark coloration.
 Accordingly, the primary object of our invention is darkening an insulating coating on heater coils.
 
Another object of our invention is increasing the emissivity of the coating on the heater coil, hence, resulting in better heat transfer without decreasing the insulating characters.
（訳：本発明によれば，米国特許３０４９４８２号に開示されているように，ヒータコイルは酸化アルミニウムで被覆されている。その製造法に従えば，
被覆されたコイルは高濃度タングステン溶解混合物に浸漬される。浸漬の後，被覆されたコイルは高温で還元性雰囲気において焼結され，タングステンイオンは金属タングステンに還元されて，これにより暗色化される。
　したがって，本発明の主な目的は，ヒータコイル上の絶縁被覆を暗色化することである。
　
本発明のその他の目的は，ヒータコイル上の被覆の放射性を高め，よって，絶縁性を減少させることなくより高い熱移動を得ることである。
「Referring now to FIG. 1 of the drawing, 
the heater coil 1 is coated with aluminum oxide and covered with tungsten metal particles
（中略）
 As shown in FIG. 3,
 the tungsten wire 9 has an aluminum oxide layer 10 coated thereupon. The tungsten overcoat 11 impregnates only partly through the coating 10 to the wire 9, preferably
（訳：第１図を参照して，
ヒータコイル１は酸化アルミニウムに覆われ，タングステン金属粒子に覆われている。
（中略）
第３図に示されるように，
タングステンワイヤ９はその上を被覆する酸化アルミニウム層１０を有する。タングステンの外皮１１は，好ましくは，部分的にのみ被覆１０を通じてワイヤ９まで含浸する。
３　引用文献３について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３には，図面とともに次の事項が記載されている。
「本発明は
電子放電管の陰極ヒーターに関するものである。
「本発明の一
目的は，改良された絶縁特性と高い熱輻射能を有する被覆を備えた陰極ヒーターを提供する
「黒化剤として添加されるかゝる難溶性材料としては，本発明の特徴として金属タングステンの粉末である。
この粉末状金属タングステンは酸化アルミニウムの第１被覆上に第２被覆として附加される。
酸化アルミニウム被覆２３を基線１３に焼結させるための水素中での焼成を必要としない点だけを除き，酸化アルミニウム被覆を有するヒーターを普通の方法で製作する。
附加材料としてのタングステンをボールミルまたは類似装置により非常に微粒化された粉末にして，メタノールのような適当な分散媒中に懸濁混合させる。この懸濁液を普通のスプレー手段により酸化アルミニウム被覆ヒーター上に吹付け，しかる後乾燥させて第２層または第２被覆２４を完全に形成する。乾燥後この２重に被覆したヒーターを水素雰囲気中で焼成する。
４　引用文献４について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献４には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００１】
　［技術分野］
　本発明は請求項１の前文に記載された
高圧放電ランプの電極に関する。
「【０００６】
　
電極の表面の本発明による被覆は（熱放射による）電極の冷却のための極めて有効なメカニズムとして適している。
「【００１１】
　本発明においては，
陽極を樹枝状金属又は金属化合物によって被覆することにより，放射係数が０．３（純タングステン）から０．６以上の値に増大する（少なくとも１０００℃の温度の際）。
　
第６　対比及び判断
１　本願発明１について
（１）本願発明１と引用加熱要素発明との対比
　ア　引用加熱要素発明の「加熱要素」は「加熱体」ということができ，タングステンを材料とするから，下記相違点１を除いて，本願発明１の「加熱体を有し，前記加熱体が少なくとも９０重量％のタングステンを含んでおり」を満たす。
　イ　引用加熱要素発明では，その加熱要素がほぼ平坦な形態であることが開示されている（前記第５の１（１）カ）から，本願発明１の「前記加熱体がほぼ平坦な形態である」を満たす。
　ウ　すると，本願発明１と引用加熱要素発明とは，下記エの点で一致し，下記オの点で相違する。
　エ　一致点
「加熱体を有し，前記加熱体が少なくとも９０重量％のタングステンを含んでおり，
　前記加熱体がほぼ平坦な形態である，加熱エレメント。」
　オ　相違点
　本願発明１では，「加熱体」が「多孔焼結被膜で少なくとも部分的に直接覆われた」加熱体であり，「前記多孔焼結被膜が少なくとも９０重量％のタングステンを含んでおり，前記多孔焼結被膜が少なくとも部分的に前記加熱体と冶金的に結合しており，前記多孔焼結被膜が外表面に開口気孔を有し，該開口気孔が，前記多孔焼結被膜により覆われている前記加熱体の表面積の１０％以上に及ぶ投影面積を有」するのに対し，引用加熱要素発明では，加熱要素の「表面の欠陥が深められ，微視的なレベルでの溝の網目構造が生じた」もので「多孔焼結被膜」で覆われていない点。（以下，「相違点１」という。）
（２）相違点についての判断
　相違点１に係る構成について，いずれの引用文献にも記載も示唆もない。
　引用文献２記載の「ヒータコイル」は「酸化アルミニウムに覆われ，タングステン金属粒子に覆われている」から，そのタングステンの外皮はヒータコイルを「少なくとも部分的に直接覆う」ものではない。引用文献３記載のヒーターも同様に基線と第２被覆との間に「酸化アルミニウムの第１被覆」が介在しており「少なくとも部分的に直接覆う」ものではない。引用文献４記載の「陽極を樹脂状金属又は金属化合物によって被覆すること」の「陽極」はその技術分野から明らかなように熱放射による冷却を要する高圧放電ランプの電極であって「加熱体」ではない。
　引用加熱要素発明では，表面の放射率を増大させるために，母材と同じ組成を有する被膜を施すと，極めて低い機械的強度と母材の表面に対する低い付着性という欠点があるから，これを改良したというもの（前記第５の１（１）イ）であり，引用加熱要素発明の「表面の欠陥が深められ，微視的なレベルでの溝の網目構造」を多孔焼結被膜に置き換えることは，引用加熱要素発明が排斥しているところであり，阻害要因がある。
　よって，相違点１に係る構成を得ることは，当業者が容易になし得ることではない。
（３）まとめ
　したがって，本願発明１は，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
２　本願発明２ないし１０について
　本願発明２ないし１０は，本願発明１を引用するものであり，本願発明１の発明特定事項を全て備えるから，前記１と同様の理由により，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
３　本願発明１１について
（１）本願発明１１と引用方法発明との対比
　ア　引用方法発明の「改質された加熱要素を生成する方法」は，下記相違点２を除いて，本願発明１１の「加熱エレメントの製造方法」に相当する。
　イ　引用方法発明の「タングステンを材料とする加熱要素を用意するステップ」は，その加熱要素がほぼ平坦な形態であることが開示されている（前記第５の１（１）カ）から，本願発明１１の「実質的に単一平面内で延伸し，少なくとも９０重量％のタングステンを含む材料から形成される加熱体を生成する工程」を満たす。
　ウ　すると，本願発明１１と引用方法発明とは，下記エの点で一致し，下記オの点で相違する。
　エ　一致点
「加熱エレメントの製造方法であって，
　実質的に単一平面内で延伸し，少なくとも９０重量％のタングステンを含む材料から形成される加熱体を生成する工程と，
　を含む製造方法。」
　オ　相違点
　本願発明１１は「前記加熱体の表面に，タングステンが少なくとも９０重量％である材料の粒子を含んだ懸濁液を少なくとも部分的に塗布する工程と，当該加熱体表面の懸濁液を焼結して，外表面に開口気孔を有する多孔焼結被膜とする焼結工程」とを含むのに対して，引用方法発明は「微視的なレベルの欠陥を生成するために表面を機械加工するステップと，その表面をエッチングするステップ」とを含む点。（以下，「相違点２」という。）
（２）相違点についての判断
　相違点２に係る工程は，いずれの引用文献にも記載も示唆もない。
　引用文献２ないし４に記載された工程は，「加熱体の表面に」懸濁液を塗布するものではない。
　引用方法発明では，表面の放射率を増大させるために，母材と同じ組成を有する被膜を施すと，極めて低い機械的強度と母材の表面に対する低い付着性という欠点があるから，これを改良したというもの（前記第５の１（１）イ）であり，引用方法発明の「表面を機械加工するステップと，その表面をエッチングするステップ」を多孔焼結被膜を生成するための工程に置き換えることは，引用方法発明の排斥しているところであり，阻害要因がある。
　よって，相違点２に係る構成を得ることは，当業者が容易になし得ることではない。
（３）まとめ
　したがって，本願発明１１は，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
４　本願発明１２ないし１７について
　本願発明１２ないし１７は，本願発明１１を引用するものであり，本願発明１１の発明特定事項を全て備えるから，前記３と同様の理由により，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
第７　原査定について
　前記「第６　対比及び判断」のとおりであるから，本願発明１ないし１７は，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　したがって，原査定の理由によって，本願を拒絶することはできない。
　
第８　結言
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。