(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状もしくはスリット状でかつ梁構造を有する開口部が形成されかつ金属材料からなるＸ線不透過性の第１基板ならびに第２基板からなり、前記第１基板と前記２枚の基板に挟まれて前記開口部を閉止するＸ線透過窓とを有する基板と、前記基板に取り付けられて内部が高真空状態とされた箱型の容器部と、前記容器部の内部において内側にある前記基板の前記開口部に設けられ前記Ｘ線透過窓と密着して設けられたＸ線ターゲットと、前記容器部の内部に設けられ、前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極および前記陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を少なくとも有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって引き出して前記Ｘ線ターゲットに電子を供給する電子源とを備えたＸ線管であって、
前記電子源が、容器部の内面に形成された背面電極と、線状の陰極と、前記陰極の長手方向に対応してメッシュ状の開口を有する第１制御電極と、前記陰極ならびに第１制御電極を囲うように設けられ第１制御電極の開口より狭い開口を有する第２制御電極と、を少なくとも備えたことを特徴とするＸ線管。
【請求項２】
前記第１制御電極ならびに第２制御電極の開口には、格子又はハニカム状のメッシュが形成されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
【請求項３】
前記基板は、前記第１基板ならびに第２基板は４２６合金からなり、前記開口部の前記梁構造がエッチング又はプレス加工によって形成されると共に、前記Ｘ線透過窓はチタンからなり、前記第１基板と前記第２基板の間に前記Ｘ線透過窓を挟んで加熱しながら圧着することにより、前記第１基板と前記第２基板と前記Ｘ線透過窓が熱拡散接合されて形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線管。
【請求項４】
前記基板の前記開口に設けられた梁構造が格子又はハニカム構造であることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載のＸ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高真空状態とされたパッケージの内部で電子源から電子を放出させてＸ線ターゲットに衝突させ、Ｘ線ターゲットから放出されたＸ線をパッケージのＸ線透過窓から外部に放射するＸ線管に係り、特にＸ線透過窓の改良によりパッケージの強度を向上させたＸ線管に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、空気にＸ線を照射してイオンガスを生成するためのＸ線発生装置が開示されている。このＸ線発生装置に用いられるＸ線管は、円柱状のパッケージ（バルブ）を本体としており、パッケージ内において、フィラメントから放出された電子は、フォーカスによって集束されて、Ｘ線ターゲットに衝突してＸ線を発生させ、このＸ線は出力窓（Ｘ線透過窓）を透過してパッケージの外部に出射される。
【０００３】
図８は、上述した特許文献１のＸ線管と同様、ガラス製の円柱状のパッケージ１００を本体とする所謂丸型管と呼ばれるタイプのＸ線管の断面図である。この円柱状のパッケージ１００は、その一端面にある円形の開口がベリリウムの膜からなるＸ線透過窓１０１
で閉止されており、内部が高真空状態に保持されている。パッケージ１００の内部において、Ｘ線透過窓１０１の内面にはＸ線ターゲット１０２が設けられている。またパッケージ１００の他端面の側には、電子源であるカソード１０３と制御電極１０４が設けられている。そして、カソード１０３から放出された電子は制御電極１０４で加速され、集束されてＸ線ターゲット１０２に衝突し、Ｘ線透過窓１０１からパッケージ１００の外にＸ線を放射するようになっている。なお図８中、Ｘ線透過窓１０１からパッケージ１００の外に放射されるＸ線を模式的に符号Ｘで示すとともに、Ｘ線透過窓１０１におけるＸ線の放射の中心をＰで示した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５―１１６５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図８に示した従来のＸ線管では、カソード１０３からの電子線がビーム状に絞られており、ターゲット１０２に衝突した位置を中心としてＸ線が放射状に広がる点状のＸ線照射であり（図８において符号Ｐで示す点が中心）、Ｘ線はＸ線透過窓１０１から出た後は円錐状に広がるため（図８において符号Ｘで示す）、照射対象物の大きさに対して有効な照射エリアが狭いという問題があった。従って、このように照射エリアが狭い丸型管のＸ線管を用いて広い範囲にＸ線を照射させるためには、多数のＸ線管を用い、これらを並べて使用する必要があり、設備コストやメンテナンス面での負担が大きかった。
また、Ｘ線を広範囲に照射するには、例えば対象物から遠ざけてＸ線を照射するということも考えられるが、照射対象物に所望のＸ線を照射するには、Ｘ線の照射強度を強くする必要がある。あわせて、不要な箇所にまでＸ線を照射することになり、Ｘ線漏洩の問題が生じてしまう。
【０００６】
そこで、本願発明の発明者等は、このような従来の丸型管タイプのＸ線管の問題点を解決するために、図６及び図７に示すような平型管タイプのＸ線管を発明した。このＸ線管は、ガラス板を箱型に組み立てた容器部５１の開放側周縁部に、細いスリット状の開口部５２（例えば幅２ｍｍ程度）が形成されたＸ線不透過性の金属からなる基板５３を取り付けて閉止し、さらに基板５３の外側から開口部５２にチタン箔からなるＸ線透過窓５４を取り付けて閉止したパッケージ５５を本体としている。パッケージ５５の内部は高真空状態に保持されている。パッケージ５５内において、基板５３の開口部５２に表れているＸ線透過窓５４にはタングステン等のターゲット５６が設けられている。また、パッケージ５５の内部には、Ｘ線透過窓５４と反対側の内面に背面電極５７が設けられ、その下方にはフィラメント状のカソード５８と、カソード５８から電子を引き出す第１制御電極５９と、第１制御電極５９が引き出した電子を加速する第２制御電極６０が順次配設されている。
【０００７】
このＸ線管によれば、第１制御電極５９によってカソード５８から引き出された電子は第２制御電極６０によって加速される。そして、Ｘ線ターゲット５６と衝突して発生したＸ線は、Ｘ線透過窓５４を透過してパッケージ５５の外に放射される。このように、このＸ線管では、Ｘ線透過窓５４の素材としてＸ線透過性が良好で強度の高いチタンを使用しており、酸化すると有害になるベリリウムは使用していない。また、Ｘ線は基板５３の開口部５２で規制されたＸ線透過窓５４から放射されるため、開口部５２の細長いスリット形状の寸法を所望のサイズに設定すれば、Ｘ線が放射される領域を実質的に線状としてＸ線透過窓５４のスリット幅でＸ線が広がるようにすることができるため、対象物の大きさに対応して有効な広さの照射エリアを比較的高い自由度で容易に設定することができ、照射エリアが狭い丸型管のＸ線管にはない効果を得ることができる。さらに、開口部５２の寸法・形状を所望のサイズの矩形溝状等に形成すれば、Ｘ線透過窓５４においてＸ線が放射される領域は円形のＸ線透過窓に比べて比較的容易に外形から判断できるため、Ｘ線を所定位置に精密に導く経路の設定をすることが比較的容易である。
【０００８】
しかしながら、本願発明の発明者等が提案した図６及び図７に示すような平型管タイプのＸ線管によれば、金属製の基板５３や、基板５３の開口部５２に設けたチタン箔からなるＸ線透過窓５４が、パッケージ５５内の真空雰囲気によって外圧を受けて変形し、場合によっては破損して真空状態が保持できなくなる場合があるという問題があった。
さらに、Ｘ線透過窓５４そのものの機械的な強度が弱くわずかな力で破損してしまうので、基板５３への取り付けが困難であるばかりか、Ｘ線透過窓５４を基板５３へ取り付けた後の基板５３の取扱いに注意を要するという問題があった。
【０００９】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、高真空状態とされたパッケージの内部に電子源やＸ線ターゲットを有する平型管タイプのＸ線管において、Ｘ線をパッケージの外部に放射するＸ線透過窓付近の構造を改良することにより、パッケージの強度を向上させるとともに、基板に対するＸ線透過窓の形成ならびにＸ線透過窓形成後の基板の取扱いを容易にすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載されたＸ線管によれば、
矩形状もしくはスリット状でかつ梁構造を有する開口部が形成されかつ金属材料からなるＸ線不透過性の第１基板ならびに第２基板からなり、前記第１基板と前記２枚の基板に挟まれて前記開口部を閉止するＸ線透過窓とを有する基板と、前記基板に取り付けられて内部が高真空状態とされた箱型の容器部と、前記容器部の内部において内側にある前記基板の前記開口部に設けられ前記Ｘ線透過窓と密着して設けられたＸ線ターゲットと、前記容器部の内部に設けられ、前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極および前記陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を少なくとも有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって引き出して前記Ｘ線ターゲットに電子を供給する電子源とを備えたＸ線管であって、
前記電子源が、容器部の内面に形成された背面電極と、線状の陰極と、前記陰極の長手方向に対応してメッシュ状の開口を有する第１制御電極と、前記陰極ならびに第１制御電極を囲うように設けられ第１制御電極の開口より狭い開口を有する第２制御電極と、を少なくとも備えたことを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載されたＸ線管は、請求項１に記載のＸ線管において、前記第１制御電極ならびに第２制御電極の開口には、格子又はハニカム状のメッシュが形成されていることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載されたＸ線管は、請求項１又は２に記載のＸ線管において、前記基板は、前記第１基板ならびに第２基板は４２６合金からなり、前記開口部の前記梁構造がエッチング又はプレス加工によって形成されると共に、前記Ｘ線透過窓はチタンからなり、前記第１基板と前記第２基板の間に前記Ｘ線透過窓を挟んで熱拡散接合されて形成されていることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載されたＸ線管は、請求項１又は２又は３に記載のＸ線管において、前記基板の前記開口に設けられた梁構造が孔子又はハニカム構造であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載されたＸ線管は、梁構造を有する開口部が形成されかつ金属材料からなるＸ線不透過性の第１基板，第２基板によってＸ線透過窓を挟み、Ｘ線透過窓を両面側から梁構造で補強したので、平型管タイプのＸ線管において、基板やＸ線透過窓が変形しづらくなり、パッケージ強度が向上するという効果が得られる。従って、開口部によって規定されるＸ線透過窓の形状を比較的自由に設定することができ、必ずしも細いスリット状に限らず、ある程度の面積がある縦横比の小さい矩形状、正方形状のＸ線透過窓を設けることもできる。また、Ｘ線透過窓を構成する金属箔がＸ線管の外面に直接露出しておらず、基板の開口部に形成された梁構造がＸ線透過窓よりも外側にあってＸ線透過窓を保護する構造になっているため、Ｘ線透過窓にパッケージの外側から取扱者の指や何らかの物体が接触しようとしても、これらがＸ線透過窓に直接接触する状況は起きにくいという効果も得られる。さらに、電子源に線状の陰極と複数の制御電極を有し、しかも線状陰極の延在方向と制御電極の開口とが前記基板の開口部の形状に対応しているため、Ｘ線は基板の開口部のほぼ全ての領域から均一に取り出すことができ、基板の開口部に相当するＸ線透過窓からＸ線が放射されることで、Ｘ線の放射位置（領域）を正確に特定できる効果がある。また、多数のＸ線管を用いなくてもＸ線の広範囲照射が可能になることから、設備コストやメンテナンスにかかる費用を低減することができる。そして、電子源の構造を、背面電極と第１制御電極ならびに第２制御電極で線状の陰極を取り囲む構成としたので、容器部内面への帯電を抑え、陰極周囲の電位を安定させる効果がある。また、第２制御電極の開口を第１制御電極の開口よりも狭くすることによって、電子の取り出し位置を規制し、Ｘ線ターゲットの基板開口部（Ｘ線ターゲットの、基板の開口部に位置する部分）とその近傍にのみ電子が衝突するように第２制御電極からの電子の照射位置を規制することができ、基板の不必要な範囲へ電子の衝突を防ぐことができる。
【００１７】
請求項２に記載されたＸ線管によれば、第１制御電極ならびに第２制御電極の開口に格子又はハニカム状のメッシュを設けたので、第１制御電極ならびに第２制御電極の強度が向上し、電子源内の電位を安定させる効果が得られる。
【００１８】
請求項３に記載されたＸ線管によれば、４２６合金の基板に開口部の梁構造をエッチング又はプレス加工で一体に構成し、Ｘ線透過窓のチタンを４２６合金の基板で挟んで熱拡散接合したので、基板及びＸ線透過窓の強度がさらに向上し、パッケージ強度の改良がさらに確実なものになるという効果が得られる。
【００１９】
請求項４に記載されたＸ線管によれば、基板の開口に格子又はハニカム状の梁構造があり２枚の基板でＸ線透過窓を挟み込む構造において基板の強度が確保され、パッケージ強度の改良の程度がさらに向上する。さらに格子又はハニカム構造にすることによって開口率の向上が図れ、Ｘ線照射量を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態の断面図である。
【図２】本発明の実施形態の平面図である。
【図３】本発明の実施形態における電極構造を示す分解拡散斜視図である。
【図４】本発明の実施形態におけるハニカム構造の一辺長とチタン箔にかかる応力の関係を示すグラフである。
【図５】本発明の実施形態における基板である４２６合金の厚さと発生する応力の関係を示すグラフである。
【図６】本発明の発明者等が発明したＸ線管の断面図である。
【図７】本発明の発明者等が発明したＸ線管の正面図である。
【図８】従来の丸型管の断面図と、Ｘ線照射領域を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の一実施形態を図１〜図５を参照して説明する。
図１に示す平型管タイプのＸ線管１は箱型のパッケージ２を本体としている。このパッケージ２は、ガラス板を箱型に組み立てた容器部３の開放側周縁部に、２枚の第１基板４ａ，第２基板４ｂでチタン箔のＸ線透過窓５を挟んだ構成の基板４を取り付けて閉止したものであり、内部は高真空状態に排気されている。基板４は、Ｘ線不透過性の４２６合金でできた矩形板である。４２６合金とは４２％Ｎｉ、６％Ｃｒ、残部Ｆｅ等の合金であり、容器部３を構成するソーダライムガラスと熱膨張係数が略等しい。
【００２２】
また、図２に示すように、第１基板４ａ、第２基板４ｂの中央には長手方向に沿って細長い矩形状（又はスリット状）の開口部６が形成されており、さらにこの開口部６の内部には同一形状のハニカム構造７が形成されて梁構造を構成している。そしてＸ線透過窓５は、第１基板４ａ，第２基板４ｂとほぼ同じ大きさのチタン箔で、このチタン箔を前記第１基板４ａ，第２基板４ｂの間に挟んだ状態で、真空又は不活性ガス雰囲気中で熱拡散接合によって一体化され基板４を構成している。また、基板４を金属材料としているので、金属箔からなるＸ線透過窓５との接合性が良好である。
ここで熱拡散接合とは、母材を密着させ、母材の融点以下の温度条件で接合面間に生じる原子の拡散を使用して接合する方法である。
従ってチタン箔のＸ線透過窓５は、ハニカム構造７の梁が存在する部分では必ず上下から挟まれて一体化されており、強固な構造によって支持されている。また、第１基板４ａと第２基板４ｂの他の部分でもチタン箔が固着剤の作用をし、第１基板４ａと第２基板４ｂが強固に固着し、基板４の強度を向上させる効果がある。
このような開口部６及びハニカム構造７は、容器部３を構成するソーダライムガラスの板材では加工が困難であるが、４２６合金等の金属材料は、強度が高い割りには加工性が良く、開口部６及びハニカム構造７はエッチングまたはプレス加工によって容易に作り出すことができる。
【００２３】
そして、パッケージ２の内部において、内側にある第１基板４ａの開口部６、ハニカム構造７及びこれらから覗くチタン箔のＸ線透過窓５の内面には、前記開口部６の内側からＸ線透過窓５の内面に密着するように、タングステンの膜が蒸着されることによりＸ線ターゲット８が形成されている。なお、Ｘ線ターゲット８としては、モリブデンなどのタングステン以外の金属を用いても良い。
【００２４】
次に、パッケージ２内部の電極構成について説明する。
図１及び図３に示すように、パッケージ２の内部には、Ｘ線透過窓５と反対側の容器部３の内面に、ガラスへの帯電を防止するための背面電極９が設けられている。背面電極９の下方には、電子源である線状の陰極１０が張設されており、陰極１０の下方には陰極１０から電子を引き出すためのメッシュ状の開口１１ａを有する第１制御電極１１が設けられ、その下方には電子線の照射範囲を規制する第２制御電極１２が設けられている。そして、背面電極９、陰極１０、第１制御電極１１、第２制御電極１２によって電子源を構成している。
なお、前記陰極１０は、タングステン等からなるワイヤー上の芯線の表面に炭酸塩を施したもので、芯線を通電加熱することで、熱電子を放出するものである。
また、第１制御電極１１と第２制御電極１２は、線状の陰極１０と対応してメッシュ状の開口を有し、第２制御電極１２は周囲の四方を板体に囲まれた箱型の電極部材であり、線状の陰極１０と対応する部分には、細長いスリットの開口１３を有しかつこの開口１３には、メッシュ１４が形成されている。この第２制御電極１２の開口１３及びメッシュ１４は、前述した第１基板４ａの開口部６及びその近傍に設けられたＸ線ターゲット８に対応しており、陰極１０から放出された電子が第２制御電極から放射される範囲を規制し、第１基板４ａ側のＸ線透過窓５のＸ線ターゲット８やその近傍に電子を当てることによって、効率的にＸ線を発生させてパッケージ２外に取り出せるように構成されている。また、第２制御電極１２とＸ線ターゲット８の距離も、Ｘ線透過窓５に電子が適切な状態で衝突するために適した値に設定されている。
【００２５】
上記のように、前記陰極１０は、周囲が所定の電位が印加された電極で囲われた構成になるので、容器部内面の帯電の影響を受けることなく、陰極１０周囲の電位を安定させることができる。
さらに、第２制御電極１２には、第１制御電極１１によって引き出された電子がＸ線透過窓５以外の場所、例えばパッケージ２の内壁等に衝突してアノードであるＸ線ターゲット８と陰極１０との絶縁性を悪化させることがないように、陰極１０側を遮蔽する機能も有している。
【００２６】
なお、背面電極９は、容器部３と線状の陰極１０との距離が十分保たれていれば、容器部３への電子の帯電の影響が少なく不要である。また、制御電極は、第１制御電極、第２制御電極に加えて、線状の陰極１０とＸ線ターゲット８の距離、管電圧、あるいはＸ線透過窓５から取り出すＸ線の集束度合いに応じて追加しても良い。
また、前記容器部３の材質がソーダライムガラス以外のガラス板の場合、前記基板４は、前記容器部３の熱膨張係数に略等しくなるように他の材質の金属板を使用しても良い。
また、第１制御電極１１ならびに第２制御電極１２は、前記基板４と同様、容器部３の熱膨張係数をほぼ等しくするために、４２６合金を使用することが望ましい。
本実施形態のＸ線管１によれば、空気等にＸ線を照射してイオン化したガスを生成し、このガスで帯電した被除電体の除電処理を行なうことができる。
【００２７】
次に、前記開口部６のハニカム構造７の一辺長（六角形の１辺の長さ）の望ましい条件を調べた。まず、ハニカム構造のない種々のサイズの開口部( スリット) が形成された基板を用意し、チタン箔の厚さを１０μｍとしてＸ線管を実際に製作し、内部の真空による外圧でチタン箔が破損しないかどうか調べた。その結果、少なくともスリット幅が２ｍｍ以下であれは、チタン箔は破損しなかった。
そこで、シミュレーションにより、開口部のチタン箔が破損しないチタン箔に加わる応力の上限を調査した。その結果、応力の上限は２８１ｋｇｆ／ｍｍ2 であることが判明した。さらに、シミュレーションにより、チタン箔の厚さを１０μｍに固定して開口部（スリット）のハニカム構造の一辺長の長さを変化させた時、チタン箔に加わる応力が先の上限値を超えない範囲を調査した。その結果、図４に示すように、少なくともハニカム構造７の一辺長が２．２ｍｍ以下であれば、チタン箔に発生する応力は２８１ｋｇｆ／ｍｍ2 を越えず（同図中矢印Ｆ１の範囲内）、破損しないことが判明した。
【００２８】
また、２枚を重ねて使用している４２６合金製の基板４の望ましい厚さについてのシミュレーションにより条件を調べた。４２６合金の厚さと、板部分とハニカム構造７の各部分に発生する応力との関係は図５に示す通りである。
この図に示すように、ハニカム構造７は基板４の中央部分にあるために板部分よりも応力が高くなり、従って破断強度はハニカム構造７の部分で検討する必要がある。また、４２６合金の破断強度は概ね３７ｋｇｆ／ｍｍ2 程度であると考えられるため（同図中矢印Ｆ２の範囲内）、必要な４２６合金の厚さは概ね０．２ｍｍであるから、２枚重ねて使用する本実施形態の４２６合金の一枚の厚さは少なくとも０．１ｍｍ以上である必要がある。
上記のシミュレーション等を考慮して、具体的にハニカム構造７を有する開口部６を備えた２枚の基板４でチタン箔（Ｘ線透過窓５）を挟んだ構造のＸ線管１を作成した。その際の条件として、チタン箔の厚さは１０μｍであり、パッケージ２のサイズは縦１８．５ｍｍ、横６５ｍｍ、厚さ１２．８ｍｍであり、開口部６は４ｍｍ×３０ｍｍであり、ハニカム構造７の一辺長は１．５ｍｍ、線径は５０μｍである。このような構成であれば、パッケージ２の強度も十分で、かつＸ線透過窓５の強度も十分なＸ線管１を得ることができた。さらに、ハニカム構造７の一辺長を１．５ｍｍとし、チタン箔の厚さを変えて同様の実験を行なったところ、チタン箔の厚さが３μｍでは破損が生じたが、５μｍ以上２０μｍ以下では問題は生じなかった。
【００２９】
以上のように、本実施形態のＸ線管１によれば、第１制御電極１１によって陰極１０から引き出された電子は第２制御電極１２の電界で規制されて照射範囲が基板４の開口部６近傍に規制され、電子は開口部６とその近傍でＸ線ターゲット８に衝突してＸ線を発生させ、このＸ線は基板４の開口部６で規制されたＸ線透過窓５から放射される。このため、開口部６の寸法・形状を所望のサイズの矩形溝状等に形成すれば、Ｘ線が放射される領域を略線状としてＸ線透過窓５の幅でＸ線が照射されるようにすることができるため、例えば帯電解消用のＸ線照射等の目的で用いる場合にも、対象物の大きさ、範囲等に対応して有効な広さの照射エリアを比較的高い自由度で容易に設定することができる。さらに、開口部６の寸法・形状を所望のサイズの矩形溝状等に形成すれば、Ｘ線透過窓５においてＸ線が放射される領域は、円形のＸ線透過窓の場合に比べて比較的容易に分かるため、Ｘ線を所定位置に精密に導く機器類等の配置も比較的容易になる。
【００３０】
以上説明した実施形態では、チタン箔の厚さが１０μｍである例について説明してきたが、Ｘ線透過窓の膜厚については種々変更可能である。
また、開口部６のハニカム構造７の１辺の長さは、２枚重ねにする第１基板４ａ，第２基板４ｂの厚みあるいは、チタン箔の厚みが厚ければ、１辺の長さを長くすることができるが、逆に薄い場合には１辺の長さを短くする必要がある。
【００３１】
このほか、梁構造によりＸ線透過窓５の強度が向上したので、Ｘ線透過窓５の形状は細長いスリット状に限らず、幅のより大きい面状であってもよい。その場合には、線状の陰極１０は基板４の開口部６の面積に応じて必要な本数を並列して張設すればよい。また、基板４の開口部６に設ける梁構造はハニカム構造７に限らず、格子状（開口形状が方形のみならずひし形を含む）その他の規則的な繰り返し構造でもよい。なお、梁構造がハニカム構造あるいは格子状であれば、開口形状が円形のものより必要な強度を保ちつつ開口部６の開口率を上げることができる。
さらに、チタンはベリリウムのように酸化した場合に毒性を生じることはなく、Ｘ線透過性が良好な点においても、Ｘ線透過窓５に適している。
【００３２】
また、前述の実施形態のＸ線管１は、対象物にＸ線を照射して除電を行なう用途に用いられるものとして説明したが、もちろん用途を限定するものではなく、その他の用途に使用してもかまわない。
【００３３】
このほか、前述の実施形態では、その工程中、２枚の４２６合金からなる第１基板４ａと第２基板４ｂとでチタン箔を挟み、熱拡散接合させるため、４２６合金とチタン箔は接合されるが、４２６合金どうしは完全には接合されないので、これら基板４を多数重ねて一度に熱拡散接合することができるので、基板４の製造を効率的に行うことができる。
【符号の説明】
【００３４】
１…Ｘ線管
２…パッケージ
３…容器部
４…基板
５…Ｘ線透過窓
６…開口部
７…梁構造としてのハニカム構造
８…Ｘ線ターゲット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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