(57)【要約】  本発明は、異なる光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために、光学特性を維持しながらも、光検出器やコリメータの共通化を図ることができる光ピックアップ装置用のレンズユニット及び光ピックアップ装置を提供する。この光ピックアップ装置用のレンズユニット及び光ピックアップ装置は、第１の対物レンズ部ＯＬ１における光ディスク側の面頂点からＤＶＤの表面までの距離（ＷＤ１）と、第２の対物レンズ部ＯＬ２における光情報記録媒体側の面頂点からＣＤまでの距離（ＷＤ２）とを略等しくすることによって、レンズユニットＯＥを駆動するアクチュエータの負担を抑えることが出来、共振等を抑制して高精度な駆動を実現できる。
2008120594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単一もしくは複数の光源と、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部を一体的に形成したレンズユニットと、光検出器とを有し、前記光源からの光束を、前記第１の対物レンズ部を介して第１光情報記録媒体の情報記録面に集光させその反射光を前記光検出器で検出することにより、その情報記録面に対して情報の記録及び／又は再生が可能となっており、また前記光源からの光束を、前記第２の対物レンズ部を介して第２光情報記録媒体の情報記録面に集光させその反射光を前記光検出器で検出することにより、その情報記録面に対して情報の記録及び／又は再生が可能となっている光ピックアップ装置用のレンズユニットであって、
前記第１光情報記録媒体の必要開口数が、前記第２光情報記録媒体の必要開口数より大きくなっているか、又は前記第１の対物レンズ部に入射する光束の波長λ１が、前記第２の対物レンズ部に入射する光束の波長λ２より短い場合、以下の式を満たすことを特徴とする光ピックアップ装置用のレンズユニット。
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ４．１                    （１）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ４．１                    （２）
０．７・φ１  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  １．３・φ１          （３）
０．６０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．９０    （４）
但し
φ１：前記第１の対物レンズ部の有効径
φ２：前記第２の対物レンズ部の有効径
ＷＤ１：前記第１光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために集光スポットを形成したときの、前記第１の対物レンズ部における前記第１光情報記録媒体側の面頂点から前記第１光情報記録媒体の表面までの距離（ｍｍ）
ＷＤ２：前記第２光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために集光スポットを形成したときの、前記第２の対物レンズ部における前記第２光情報記録媒体側の面頂点から前記第２光情報記録媒体の表面までの距離（ｍｍ）
ｆ１：波長λ１の光束での前記第１の対物レンズ部の焦点距離（ｍｍ）
ｆ２：波長λ２の光束での前記第２の対物レンズ部の焦点距離（ｍｍ）
【請求項２】
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
０（ｍｍ）  ≦  ｜ｄ１−ｄ２｜  ≦  ０．２（ｍｍ）          （５）
但し
ｄ１：前記第１の対物レンズ部の軸上厚さ
ｄ２：前記第２の対物レンズ部の軸上厚さ
【請求項３】
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第１項または第２項に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （１‘）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （２‘）
【請求項４】
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
０．７・ＷＤ１  ≦  ＷＤ２  ≦  １．５・ＷＤ１            （６）
【請求項５】
前記第１光情報記録媒体はＤＶＤであり、前記第２光情報記録媒体はＣＤであり、
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
０．８０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．７９  （４‘）
【請求項６】
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第５項に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
０（ｍｍ）  ≦  ｜ｄ１−ｄ２｜  ≦  ０．２（ｍｍ）          （５）
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （１‘）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （２‘）
０．７・ＷＤ１  ≦  ＷＤ２  ≦  １．５・ＷＤ１            （６）
０．９９  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．７９  （４‘）
但し
ｄ１：前記第１の対物レンズ部の軸上厚さ
ｄ２：前記第２の対物レンズ部の軸上厚さ
【請求項７】
前記第１光情報記録媒体はＢＤであり、前記第２光情報記録媒体はＨＤであり、
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
０．６０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．２５  （４‘’）
【請求項８】
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
０（ｍｍ）  ≦  ｜ｄ１−ｄ２｜  ≦  ０．２（ｍｍ）          （５）
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （１‘）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （２‘）
０．７・ＷＤ１  ≦  ＷＤ２  ≦  １．５・ＷＤ１            （６）
１．００  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．２５  （４‘’‘）
但し
ｄ１：前記第１の対物レンズ部の軸上厚さ
ｄ２：前記第２の対物レンズ部の軸上厚さ
【請求項９】
以下の式を満たすことを特徴とする請求の範囲第１項乃至第８項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
−０．０２  ＜  ｍ１  ＜  ０．０２          （７）
−０．０２  ＜  ｍ２  ＜  ０．０２          （８）
但し
ｍ１：前記光源から出射され、前記第１の対物レンズ部へ入射する光束の倍率
ｍ２：前記光源から出射され、前記第２の対物レンズ部へ入射する光束の倍率
【請求項１０】
前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部の少なくとも一方は、非球面の屈折面の光学面のみを有することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第９項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
【請求項１１】
前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部が共に、非球面の屈折面の光学面のみを有することを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
【請求項１２】
前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部とは一体成型されていることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第１１項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
【請求項１３】
前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部とを係合して一体的に形成していることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第１１項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
【請求項１４】
前記第１の対物レンズ部は互いに対向する第１の光学面と第２の光学面を有し、前記第２の対物レンズ部は互いに対向する第１の光学面と第２の光学面を有し、前記第１の対物レンズ部及び前記第２の対物レンズ部の第１の光学面は、前記第１の対物レンズ部及び前記第２の対物レンズ部の第２の光学面よりも曲率が大きく、
前記第１の対物レンズ部の前記第２の光学面の面頂点と、前記第２の対物レンズ部の前記第２の光学面の面頂点の光軸方向の高さが等しいことを特徴とする請求の範囲第１項乃至第１３項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニット。
【請求項１５】
請求の範囲第１項乃至第１４項のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットを用いたことを特徴とする光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異なる種類の光情報記録媒体（光ディスクともいう）に対して情報の記録及び／又は再生を行える光ピックアップ装置用のレンズユニット及びそれを用いた光ピックアップ装置に関する。 
【背景技術】
【０００２】
近年、波長４００ｎｍ程度の青紫色半導体レーザを用いて、情報の記録及び／又は再生（以下、「記録及び／又は再生」を「記録／再生」と記載する）を行える高密度光ディスクシステムの研究・開発が急速に進んでいる。一例として、ＮＡ０．８５、光源波長４０５ｎｍの仕様で情報記録／再生を行う光ディスク、いわゆるＢｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ（以下、ＢＤという）では、ＤＶＤ（ＮＡ０．６、光源波長６５０ｎｍ、記憶容量４、７ＧＢ）と同じ大きさである直径１２ｃｍの光ディスクに対して、１層あたり２５ＧＢ程度の情報の記録が可能であり、又、ＮＡ０．６５、光源波長４０５ｎｍの仕様で情報記録／再生を行う光ディスク、いわゆるＨＤ ＤＶＤ（以下、ＨＤという）では、直径１２ｃｍの光ディスクに対して、１層あたり１５ＧＢ程度の情報の記録が可能である。尚、ＢＤでは、光ディスクの傾き（スキュー）に起因して発生するコマ収差が増大するため、ＤＶＤにおける場合よりも保護層を薄く設計し（ＤＶＤの０．６ｍｍに対して、０．１ｍｍ）、スキューによるコマ収差量を低減している。以下、本明細書では、このような光ディスクを「高密度光ディスク」と呼ぶ。【０００３】
また、現在において、多種多様な情報を記録したＤＶＤ（デジタルバーサタイルディスク）やＣＤ（コンパクトディスク）が販売されている現実をふまえると、一台のプレーヤーで可能な限り様々なタイプの光ディスクに対して適切に情報の記録／再生ができるようにすることが望まれている。更に、光ピックアップ装置がノート型パソコン等に搭載されることも考慮すると、複数種の光ディスクに対する互換性を有するのみでは足らず、そのコンパクト化を更に推進する事が重要である。【０００４】
ここで、光ピックアップ装置において、単一の対物レンズを用いて異なる光ディスクの互換使用が可能になれば、コンパクト化を実現する上で好ましいと言える。ところが、高密度光ディスクの仕様を考慮すると、対物レンズの共通化を図ることは技術的に困難であるといえる。例えば、ＢＤとＨＤとでは、保護基板厚が異なるにも関わらず、同じ波長の光束を使用するので、回折構造を用いて収差補正を行うことができず、対物レンズの共通化が難しいという実情がある。【０００５】
また、ＤＶＤ／ＣＤ互換レンズは既に実用化されているものの、ＣＤのＷＤ（ワーキングディスタンス）をある程度確保するために、互換レンズの外径が大きくなる傾向がある。結局、レンズ径が大きくなることで所望の大きさに入れ込むことができなくなるという問題が発生する。これに対しＤＶＤ用、ＣＤ用にそれぞれ専用レンズを用いれば、ＣＤ側ＷＤの制限に関わりなくＤＶＤ用レンズを小さくする事ができ、特にピックアップ装置の厚さ方向に対して薄型化が達成される。【０００６】
このように、光ピックアップ装置において、異なる光ディスクに対する「互換」と「コンパクト化」を両立させ、更に好ましい光学性能を得るためには、レンズを並列に並べて一体的に形成した複合光学素子を用いることが考えられる。このような複合光学素子は、個々に成形した２つのレンズを用いる場合に比べて、フランジ部を共通化できるため、レンズ間の間隔を狭められるというメリットがある。また、組み立て調整の簡易化や低コスト化を図ることができるというメリットもある。このような複合光学素子の例としては、
特許文献１に記載されたものがある。
【特許文献１】特開平９−１１５１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、光ピックアップ装置の低コスト化を図るために、異なる種類の光ディスクからの反射光を検出する光検出器を共通化することが考えられる。かかる場合、適切な検出を行うためには、いずれの反射光のリム（周辺）強度も極力等しくしたい。また、同様に光ピックアップ装置の低コスト化を図るため、対物レンズに光束を入射させるコリメータも共通化したい。かかる場合、２つのレンズの有効径を近づけることが有効といえる。しかしながら、単純にレンズの有効径を合わせたのみでは十分な光学特性が得られないという問題がある。【０００８】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、異なる光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために、光学特性を維持しながらも、光検出器やコリメータの共通化を図ることができる光ピックアップ装置用のレンズユニット及び光ピックアップ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本明細書においては、情報の記録／再生用の光源として、青紫色半導体レーザや青紫色ＳＨＧレーザを使用する光ディスク（光情報記録媒体ともいう）を総称して「高密度光ディスク」といい、ＮＡ０．８５の対物光学系により情報の記録／再生を行い、保護層の厚さが０．１ｍｍ程度である規格の光ディスク（例えば、ＢＤ：ブルーレイディスク）の他に、ＮＡ０．６５乃至０．６７の対物光学系により情報の記録／再生を行い、保護層の厚さが０．６ｍｍ程度である規格の光ディスク（例えば、ＨＤ  ＤＶＤ：単にＨＤともいう）も含むものとする。また、このような保護層をその情報記録面上に有する光ディスクの他に、情報記録面上に数〜数十ｎｍ程度の厚さの保護膜を有する光ディスクや、保護層或いは保護膜の厚さが０の光ディスクも含むものとする。また、本明細書においては、高密度光ディスクには、情報の記録／再生用の光源として、青紫色半導体レーザや青紫色ＳＨＧレーザを使用する光磁気ディスクも含まれるものとする。【００１０】
更に、本明細書においては、ＤＶＤとは、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−Ｖｉｄｅｏ、ＤＶＤ−Ａｕｄｉｏ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ＋ＲＷ等のＤＶＤ系列光ディスクの総称であり、ＣＤとは、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ａｕｄｉｏ、ＣＤ−Ｖｉｄｅｏ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ等のＣＤ系列光ディスクの総称である。記録密度は、ＢＤが最も高く、次いでＨＤ、ＤＶＤ、ＣＤの順に低くなる。【００１１】
請求の範囲１に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、単一もしくは複数の光源と、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部を一体的に形成したレンズユニットと、光検出器とを有し、前記光源からの光束を、前記第１の対物レンズ部を介して第１光情報記録媒体の情報記録面に集光させその反射光を前記光検出器で検出することにより、その情報記録面に対して情報の記録及び／又は再生が可能となっており、また前記光源からの光束を、前記第２の対物レンズ部を介して第２光情報記録媒体の情報記録面に集光させその反射光を前記光検出器で検出することにより、その情報記録面に対して情報の記録及び／又は再生が可能となっている光ピックアップ装置用のレンズユニットであって、
前記第１光情報記録媒体の必要開口数が、前記第２光情報記録媒体の必要開口数より大きくなっているか、又は前記第１の対物レンズ部に入射する光束の波長λ１が、前記第２の対物レンズ部に入射する光束の波長λ２より短い場合、以下の式を満たすことを特徴とする。【００１２】
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ４．１                    （１）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ４．１                    （２）
０．７・φ１  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  １．３・φ１          （３）
０．６０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．９０    （４）
但し
φ１：前記第１の対物レンズ部の有効径
φ２：前記第２の対物レンズ部の有効径
ＷＤ１：前記第１光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために集光スポットを形成したときの、前記第１の対物レンズ部における第１光情報記録媒体側の面頂点から前記第１光情報記録媒体の表面までの距離（ｍｍ）
ＷＤ２：前記第２光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために集光スポットを形成したときの、前記第２の対物レンズ部における第２光情報記録媒体側の面頂点から前記第２光情報記録媒体の表面までの距離（ｍｍ）
ｆ１：波長λ１の光束での前記第１の対物レンズ部の焦点距離（ｍｍ）
ｆ２：波長λ２の光束での前記第２の対物レンズ部の焦点距離（ｍｍ）
本発明によれば、（４）式を満たすように、第１の対物レンズ及び第２の対物レンズ部のワーキングディスタンスと焦点距離とを規定することで、その有効径φ１、φ２を略等しくすることが出来、それにより光検出器を容易に共通化することが出来、光ピックアップ装置の低コスト化を図ることができる。又、光源からの光束を第１の対物レンズ部と第２の対物レンズ部とに入射させるコリメータの共通化も図ることができる。尚、有効径φ１、φ２を略等しくするとは、（３）式を満たすことをいう。又、光ピックアップ装置に実用的に用いるためには、対物レンズ部の有効径は（１）、（２）式を満たすのが好ましい。【００１３】
尚、以下の式（３‘）を満たすことがより好ましく、以下の式（３’‘）を満たすことが更に好ましい。【００１４】
０．９・φ１  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  １．１・φ１          （３‘）
φ１  ＝  φ２          （３‘’）
第１の対物レンズ部は対向する第１の光学面と第２の光学面を有し、第１の光学面の方が、第２の光学面よりも曲率が大きい。第１の光学面が光源側となり、第２の光学面が光情報記録媒体側となる事が好ましい。第２の対物レンズも同様に対向する第１の光学面と第２の光学面を有し、第１の光学面の方が、第２の光学面よりも曲率が大きい。【００１５】
尚、本明細書における「ワーキングディスタンス（ＷＤ１，ＷＤ２）」とは、光情報記録媒体に対して情報の記録／再生を行っている際の、対物レンズ部の第２の光学面の面頂点から光情報記録媒体までの光軸方向の距離をいう。より具体的には、図２でＷＤ１，ＷＤ２として示されている距離である。但し、実際の光学素子から対物レンズ部の面頂点の位置を決定するのが困難な場合には、光学素子を光ピックアップ装置のボビンに取り付ける際に、ボビンに接する光学素子のフランジ部の基準面（ボビンに接している面）から光軸方向で最も離れている第１の対物レンズ部の第２の光学面の場所を面頂点とし、かかる面頂点から第１光情報記録媒体までの距離をＷＤ１とし、同様に基準面から光軸方向で最も離れている第２の対物レンズ部の第２の光学面の場所を面頂点とし、かかる面頂点から第２光情報記録媒体までの距離をＷＤ２としてもよい。【００１６】
本発明の「第１の対物レンズ部と第２の対物レンズ部とを一体的に形成した光学素子」とは、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部が融合している場合（例えば、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部とを有する光学素子を射出成形による一体成形などにより得る場合）だけでなく、第１の対物レンズ部を有する光学素子と第２の対物レンズ部を有する光学素子とを別々に成形し、後で嵌合させたり、接着したり係合することなどによって一体化した光学素子であっても良い。【００１７】
本発明において、第１光情報記録媒体の必要開口数ＮＡ１が、前記第２光情報記録媒体の必要開口数ＮＡ２より大きくなっているか、又は前記第１の対物レンズ部に入射する光束の波長λ１が、前記第２の対物レンズ部に入射する光束の波長λ２より短い。従って、本発明が適用される第１光情報記録媒体と第２光情報記録媒体の組み合わせとしては、ＤＶＤとＣＤ、ＢＤとＤＶＤ、ＢＤとＣＤ、ＨＤとＣＤ（ＮＡ１>ＮＡ２であり、λ１＞λ２である例）や、ＢＤとＨＤ（λ１＝λ２であるが、ＮＡ１＞ＮＡ２である例）や、ＨＤとＤＶＤ（ＮＡ１=ＮＡ２であるが、λ１＞λ２である例）などが挙げられる。なお、各光情報記録媒体におけるＮＡ、λの好ましい値は、以下である。【００１８】
ＢＤ  ：ＮＡ＝０．８〜０．９、λ＝３８０〜４２０ｎｍ
（特に好ましくは、ＮＡ＝０．８５、λ＝４０５ｎｍ）
ＨＤ  ：ＮＡ＝０．５〜０．７、λ＝３８０〜４２０ｎｍ
（特に好ましくは、ＮＡ＝０．６５、λ＝４０５ｎｍ）
ＤＶＤ：ＮＡ＝０．５〜０．７、λ＝６４０〜６８０ｎｍ
（特に好ましくは、ＮＡ＝０．６、λ＝６５５ｎｍ）
ＣＤ  ：ＮＡ＝０．４〜０．５５、λ＝７５０〜８２０ｎｍ
（特に好ましくは、ＮＡ＝０．４５又は０．５１、λ＝７８０ｎｍ）
尚、光ピックアップ装置の光源について以下に述べる。例えば、第１光情報記録媒体がＢＤで、第２光情報記録媒体がＨＤの場合の光ピックアップ装置は、波長３８０〜４２０ｎｍの単一光源を有していればよい。一方、第１光情報記録媒体がＤＶＤで、第２光情報記録媒体がＣＤの場合の光ピックアップ装置は、波長６４０〜６８０ｎｍの第１光源と、波長７４０〜８２０ｎｍの第２光源とを有している必要がある。このように、使用する光情報記録媒体の種類に応じて、単一光源だったり複数光源だったりする。【００１９】
請求の範囲２に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。【００２０】
０（ｍｍ）  ≦  ｜ｄ１−ｄ２｜  ≦  ０．２（ｍｍ）          （５）
但し
ｄ１：前記第１の対物レンズ部の軸上厚さ
ｄ２：前記第２の対物レンズ部の軸上厚さ
なお、対物レンズ部の軸上厚さとは、対物レンズ部の光軸上における厚みをいう。より具体的には、例えば、図２に示されるｄ１やｄ２のことをいう。【００２１】
請求の範囲３に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１または２に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。【００２２】
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （１‘）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （２‘）
上記条件式を満たすことにより、レンズユニットをよりコンパクトにできることと、第１の対物レンズ部と第２の対物レンズ部との間で、ワーキングディスタンスの値を近づけやすくなるため好ましい。ワーキングディスタンス及びコンパクト化の観点から、より好ましくは、以下の条件式を満たすことである。【００２３】
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  １．５                    （１‘’）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  １．５                    （２‘’）
請求の範囲４に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜３のいずれかに記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。【００２４】
０．７・ＷＤ１  ≦  ＷＤ２  ≦  １．５・ＷＤ１            （６）
本発明によれば、情報記録及び／又は再生時における、第１の対物レンズ部における第１光情報記録媒体側の面頂点から第１光情報記録媒体の表面までの距離（ＷＤ１）と、第２の対物レンズ部における第２光情報記録媒体側の面頂点から第２光情報記録媒体の表面までの距離（ＷＤ２）とを近づけることによって、レンズユニットを駆動するアクチュエータの負担を抑えることが出来、共振等を抑制して高精度な駆動を実現できる。【００２５】
請求の範囲５に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜４のいずれかに記載の発明において、前記第１光情報記録媒体はＤＶＤであり、前記第２光情報記録媒体はＣＤであり、以下の式を満たすことを特徴とする。【００２６】
０．８０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．７９  （４‘）
好ましくは、以下を満たすことである。【００２７】
０．８０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．７７
以下においては、光情報記録媒体の種類ごとに、特に好ましい数値範囲を規定する。先ず、上述の請求の範囲５及び以下の請求の範囲６では、第１光情報記録媒体がＤＶＤであり、第２光情報記録媒体がＣＤである場合に、特に好ましい数値範囲を規定している。有効径を略同一にしつつ、ＤＶＤ及びＣＤの情報記録面上に集光スポットを形成するために、条件式（１）、（２）、（３）及び（４‘）を満たすことが好ましい。【００２８】
請求の範囲６に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲５に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。【００２９】
０（ｍｍ）  ≦  ｜ｄ１−ｄ２｜  ≦  ０．２（ｍｍ）          （５）
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （１‘）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （２‘）
０．７・ＷＤ１  ≦  ＷＤ２  ≦  １．５・ＷＤ１            （６）
０．９９  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．７９  （４‘）
但し
ｄ１：前記第１の対物レンズ部の軸上厚さ
ｄ２：前記第２の対物レンズ部の軸上厚さ
請求の範囲７に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜４のいずれかに記載の発明において、前記第１光情報記録媒体はＢＤであり、前記第２光情報記録媒体はＨＤであり、以下の式を満たすことを特徴とする。【００３０】
０．６０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．２５  （４‘’）
好ましくは、以下を満たすことである。【００３１】
０．６０  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．２１
次に、上述の請求の範囲７及び以下の請求の範囲８では、第１光情報記録媒体がＢＤであり、第２光情報記録媒体がＨＤである場合に、特に好ましい数値範囲を規定している。有効径を略同一にしつつ、ＢＤ及びＨＤの情報記録面上に集光スポットを形成するために、条件式（１）、（２）、（３）及び（４‘’）を満たすことが好ましい。【００３２】
請求の範囲８に記載の光ピックアップ装置用レンズユニットは、請求の範囲７に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。【００３３】
０（ｍｍ）  ≦  ｜ｄ１−ｄ２｜  ≦  ０．２（ｍｍ）          （５）
１．０  ≦  φ１（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （１‘）
１．０  ≦  φ２（ｍｍ）  ≦  ２．１                    （２‘）
０．７・ＷＤ１  ≦  ＷＤ２  ≦  １．５・ＷＤ１            （６）
１．００  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．２５  （４‘’‘）
但し
ｄ１：前記第１の対物レンズ部の軸上厚さ
ｄ２：前記第２の対物レンズ部の軸上厚さ
また、第１光情報記録媒体がＢＤであり、第２光情報記録媒体がＤＶＤである場合は、以下の式及び式（１）、（２）、（３）を満たすことが好ましい。
１．１６  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．３１  （４‘’‘’）
また、第１光情報記録媒体がＨＤであり、第２光情報記録媒体がＤＶＤである場合は、以下の式及び式（１）、（２）、（３）を満たすことが好ましい。
１．００  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．０８  （４‘’‘’‘）
以下を満たすことがより好ましい。
１．０１  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．０７
また、第１光情報記録媒体がＨＤであり、第２光情報記録媒体がＣＤである場合は、以下の式及び式（１）、（２）、（３）を満たすことが好ましい。
０．８１  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．９２  （４‘’‘’‘’）
以下を満たすことがより好ましい。
０．８１  ≦  （ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）  ≦  １．８９
請求の範囲９に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜８のいずれかに記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。
−０．０２  ＜  ｍ１  ＜  ０．０２          （９）
−０．０２  ＜  ｍ２  ＜  ０．０２          （１０）
但し
ｍ１：前記光源から出射され、前記第１の対物レンズ部へ入射する光束の倍率
ｍ２：前記光源から出射され、前記第２の対物レンズ部へ入射する光束の倍率
本発明によって、平行光束又は略平行光束を、第１及び第２の対物レンズ部に入射させることができるため好ましい。特に平行光束（ｍ１、ｍ２＝０）を第１及び第２の対物レンズ部に入射させることが好ましい。但し、本発明は、平行光束が対物レンズ部に入射する態様に限定されず、発散光束や収束光束が対物レンズ部に入射する態様にも適用可能である。【００３４】
請求の範囲１０に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜９のいずれかに記載の発明において、前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズの少なくとも一方は、非球面の屈折面の光学面のみを有することを特徴とする。【００３５】
請求の範囲１１に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲９に記載の発明において、前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部が共に、非球面の屈折面の光学面のみを有することを特徴とする。【００３６】
本発明のレンズユニットは、第１の対物レンズ部と第２の対物レンズ部は、共に専用レンズ（一つの対物レンズ部で或る波長を用いる光情報記録媒体一種のみに対応する対物レンズ）であってもよいし、共に互換レンズ（一つの対物レンズ部で異なる波長を用いる複数の種類の光情報記録媒体に対応する対物レンズ）であってもよいし、互換レンズと専用レンズの組み合わせであってもよい。特に好ましくは、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部が共に専用レンズである場合に、本発明の条件式を満たすことによって達成できる効果がより顕著となる。第１の対物レンズ部又は第２の対物レンズ部が、専用レンズである場合は、第１の光学面及び第２の光学面は共に非球面屈折面であることが好ましいが、温度変化時や波長変化時に発生する収差を低減させるような光路差付与構造を有効径内に設けてもよいし、有効径外の光束をフレアにするための光路差付与構造を有効径外に設けてもよい。【００３７】
請求の範囲１２に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜１１のいずれかに記載の発明において、前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部とは一体成型されていることを特徴とする。【００３８】
請求の範囲１３に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜１１のいずれかに記載の発明において、前記第１の対物レンズ部と前記第２の対物レンズ部とを係合して一体的に形成していることを特徴とする。【００３９】
第１の対物レンズ部と第２の対物レンズ部とを係合して一体的に形成しているレンズユニットの例を図７に示す。第１の例を、図７（ａ）に示す。プラスチック製の第２の対物レンズ部ＯＬ２が、その矩形板状のフランジ部ＦＬ２に段差部ＳＴを有する開口ＨＬを形成しており、開口ＨＬ内の段差部ＳＴに、フランジ部ＦＬ１を保持されるようにして、ガラス製又はプラスチック製の第１の対物レンズ部ＯＬ１が光軸方向から組み付けられ、接着等により一体化されて、第１の対物レンズ部ＯＬ１と第２の対物レンズ部ＯＬ２が並列になった光学素子（レンズユニットともいう）ＯＥが形成される。【００４０】
別の例を、図７（ｂ）に示す。プラスチック製の第２の対物レンズ部ＯＬ２が、その矩形板状のフランジ部ＦＬ２に段差部ＳＴを有する切欠ＣＴを形成しており、切欠ＣＴ内の段差部ＳＴに、フランジ部ＦＬ１を保持されるようにして、ガラス製又はプラスチック製の第１の対物レンズ部ＯＬ１が光軸直交方向から組み付けられ、接着等により一体化されて、第１の対物レンズ部ＯＬ１と第２の対物レンズ部ＯＬ２が並列になった光学素子ＯＥが形成される。【００４１】
尚、図７（ｃ）に示すように、開口ＨＬ又は切欠ＣＴ内に段差ＳＴを形成することなく、第１の対物レンズＯＬ１のフランジ部ＦＬ１は、フランジ部ＦＬ２の上面で支持されても良い。或いは、図示していないが、ガラス製又はプラスチック製の第１の対物レンズ部ＯＬ１と、プラスチック製の第２の対物レンズ部ＯＬ２とを、別部材である保持部材に組み付けることで一体化しても良い。何れの場合も、保持部材が開口を有し、そこに対物レンズ部を嵌め込むように配置する事が好ましい。【００４２】
尚、第１の対物レンズ部又は第２の対物レンズ部のいずれかをガラスレンズとし、他方をプラスチックレンズとしても良いし、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部を共にプラスチックレンズ又はガラスレンズとしても良い。【００４３】
請求の範囲１４に記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットは、請求の範囲１〜１３のいずれかに記載の発明において、前記第１の対物レンズ部は互いに対向する第１の光学面と第２の光学面を有し、前記第２の対物レンズ部は互いに対向する第１の光学面と第２の光学面を有し、前記第１の対物レンズ部及び前記第２の対物レンズ部の第１の光学面は、前記第１の対物レンズ部及び前記第２の対物レンズ部の第２の光学面よりも曲率が大きく、前記第１の対物レンズ部の前記第２の光学面の面頂点と、前記第２の対物レンズ部の前記第２の光学面の面頂点の光軸方向の高さが等しいことを特徴とする。【００４４】
請求の範囲１５に記載の光ピックアップ装置は、請求の範囲１〜１４のいずれかに記載の光ピックアップ装置用のレンズユニットを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、アクチュエータの負担を軽減し、異なる光情報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行うために、光学特性を維持しながらも、光検出器やコリメータの共通化を図ることができる光ピックアップ装置用のレンズユニット及び光ピックアップ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】光ピックアップ装置ＰＵ１の概略構成を示す図である。
【図２】本実施の形態で用いるレンズユニットを光軸直交方向に見た図である。
【図３】実施例１にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図である。
【図４】実施例４にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図である。
【図５】実施例６にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図である。
【図６】実施例８にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図である。
【図７】レンズユニットＯＥの変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
２Ｌ１Ｐ  ２レーザ１パッケージ
ＡＣ１  ２軸アクチュエータ
ＢＳ  ビームスプリッタ
ＣＯＬ  コリメータ
ＯＬ１  第１の対物レンズ部
ＯＬ２  第２の対物レンズ部
ＰＤ  光検出器
ＰＬ１  保護基板
ＰＬ２  保護基板
ＰＵ１  光ピックアップ装置
ＱＷＰ  λ／４波長板
ＲＬ１  情報記録面
ＲＬ２  情報記録面
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。以下の実施形態においては、第１の光情報記録媒体がＤＶＤであり、第２の光情報記録媒体がＣＤである場合を示す。尚、本実施の形態にかかる光ピックアップ装置ＰＵ１は、光ディスクドライブ装置に組み込むことが可能である。図１は、光ピックアップ装置ＰＵ１の概略構成を示す図である。図２は、本実施の形態のレンズユニットを光軸直交方向に見た図である。【００４９】
光ピックアップ装置ＰＵ１は、ＤＶＤに対して情報の記録／再生を行う場合に発光されλ１＝６５５ｎｍのレーザ光束（第１光束）を射出する第１の光源と、ＣＤに対して情報の記録／再生を行う場合に発光されλ２＝７８５ｎｍのレーザ光束（第２光束）を射出する第２の光源とを１つのパッケージに収容した２レーザ１パッケージ２Ｌ１Ｐと、ＤＶＤからの反射光とＣＤからの反射光とを共通に受光する光検出器ＰＤとを有している。又、コリメータＣＯＬは、ＤＶＤ使用時とＣＤ使用時に共通して用いられる。【００５０】
又、保持部材Ｈにより保持されるレンズユニットＯＥは、それぞれ非球面光学面のみを備えた第１の対物レンズ部ＯＬ１と第２の対物レンズ部ＯＬ２とを有し、図２に示すように、第１の対物レンズ部ＯＬ１の有効径φ１と、第２の対物レンズ部ＯＬ２の有効径φ２とは略等しくなっている。又、第１の対物レンズ部ＯＬ１のワーキングディスタンスＷＤ１（第１の対物レンズ部ＯＬ１の光ディスク側の光学面Ｓ２とＤＶＤとの距離）が、第２の対物レンズ部ＯＬ２のワーキングディスタンスＷＤ２（第２の対物レンズ部ＯＬ２の光ディスク側の光学面Ｓ２とＣＤとの距離）と略等しくして用いられる場合もある。また、図２に示すように、レンズユニットＯＥにおいて、第１の対物レンズ部ＯＬ１の第２の光学面の面頂点Ｐ１２と、第２の対物レンズ部ＯＬ２の第２の光学面の面頂点Ｐ２２の光軸方向の高さが等しい。【００５１】
光ピックアップ装置ＰＵ１において、ＤＶＤに対して情報の記録／再生を行う場合には、図１に示す位置に保持部材Ｈを移動させ、第１の対物レンズ部ＯＬ１を光路内に挿入し、２レーザ１パッケージ２Ｌ１Ｐの第１の光源を発光させる。第１の光源から射出された発散光束は、図１において実線でその光線経路を描いたように、コリメータＣＯＬにより平行光束に変換され、偏光ビームスプリッタＰＢＳと、λ／４波長板ＱＷＰを通過し、第１の対物レンズ部ＯＬ１に平行光の状態で入射した後、ＤＶＤの保護基板ＰＬ１を介して情報記録面ＲＬ１上に形成されるスポットとなる。第１の対物レンズ部ＯＬ１を有するレンズユニットＯＥは、２軸アクチュエータＡＣ１によって保持部材Ｈごと駆動されフォーカシングやトラッキングが行われる。【００５２】
情報記録面ＲＬ１で情報ピットにより変調された反射光束は、再び第１の対物レンズ部ＯＬ１、λ／４波長板ＱＷＰを通過し、偏光ビームスプリッタＰＢＳで反射され、センサレンズＳＮを介して光検出器ＰＤの受光面に入射する。そして、光検出器の出力信号を用いてＤＶＤに記録された情報を読み取ることができる。【００５３】
光ピックアップ装置ＰＵ１において、ＣＤに対して情報の記録／再生を行う場合には、図１に示す位置から保持部材Ｈを移動させ、第２の対物レンズ部ＯＬ２を光路内に挿入し、２レーザ１パッケージ２Ｌ１Ｐの第２の光源を発光させる。第２の光源から射出された発散光束は、図１において点線でその光線経路を描いたように、コリメータＣＯＬにより平行光束に変換され、偏光ビームスプリッタＰＢＳと、λ／４波長板ＱＷＰを通過し、第２の対物レンズ部ＯＬ２に平行光の状態で入射した後、ＣＤの保護基板ＰＬ２を介して情報記録面ＲＬ２上に形成されるスポットとなる。第２の対物レンズ部ＯＬ２を有するレンズユニットＯＥは、２軸アクチュエータＡＣ１によって保持部材Ｈごと駆動されフォーカシングやトラッキングが行われる。【００５４】
情報記録面ＲＬ２で情報ピットにより変調された反射光束は、再び第２の対物レンズ部ＯＬ２、λ／４波長板ＱＷＰを通過し、偏光ビームスプリッタＰＢＳで反射され、センサレンズＳＮを介して光検出器ＰＤの受光面に入射する。そして、光検出器の出力信号を用いてＣＤに記録された情報を読み取ることができる。これ以外にも、ＢＤ、ＨＤ、ＤＶＤ、ＣＤの４種類の光ディスクのいずれかに対して集光スポットを形成できる対物レンズ部は、レンズニットにおいて任意の組み合わせとすることが可能である。
（実施例）
以下、上述したレンズユニットとして好適な実施例について説明する。以下の対物レンズ部は、全て専用レンズであり、非球面屈折面を有し、光路差付与構造を有さないレンズである。表１に、ＣＤ用の第２の対物レンズ部とＤＶＤ用の第１の対物レンズ部のレンズデータを示す。また、本実施例において、光束は全て平行光束として対物レンズ部に入射させ、ＣＤ及びＤＶＤを良好に記録／再生できる条件を検討している。図３に、実施例１にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図を示し、図４に、実施例４にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図を示し、図５に、実施例６にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図を示し、図６に、実施例８にかかるＤＶＤ用の対物レンズ部（ａ）及びＣＤ用の対物レンズ部（ｂ）の断面図を示す。【００５５】
表１によれば、ＣＤ用の対物レンズ部とＤＶＤ用の対物レンズ部の有効径φを一致させ、１．０〜２．３（ｍｍ）の範囲で変更したときに、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、０．８１９〜１．３７５であり、｜ｄ１−ｄ２｜は０．２ｍｍである。ワーキングディスタンスＷＤの差は、０〜０．３８０９（ｍｍ）である。【００５６】
【表１】
2008120594.tif 000003
【００５７】
次に、表２に、ＣＤ用の第２の対物レンズ部とＤＶＤ用の第１の対物レンズ部の別の例のレンズデータを示す。本実施例においては表１の実施例から、対物レンズ部の軸上厚ｄ１、ｄ２を変更して検討している。本実施例においても、光束は全て平行光束として対物レンズ部に入射させ、ＣＤ及びＤＶＤを良好に記録／再生できる条件を検討している。表２に拠れば、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部における有効径Φ１及びΦ２を略同じ値とし、有効径Φを１．０〜４．０（ｍｍ）の範囲で変更したときに、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、０．８７８〜１．７８４であり、｜ｄ１−ｄ２｜は０．１１〜０．２６ｍｍである。ワーキングディスタンスＷＤの差は、０．０４〜０．６９（ｍｍ）である。【００５８】
【表２】
2008120594.tif 000004
【００５９】
表１及び表２に記載された、ＤＶＤ−ＣＤの実施例において、Φ１及びΦ２が１．０ｍｍ以上、２．１ｍｍ以下である場合は、｜ｄ１−ｄ２｜は０．１１〜０．２０ｍｍであり、ＷＤ２は、０．７１ＷＤ１〜１．２９ＷＤ１であり、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、０．９９８〜１．７８４である。【００６０】
次に、表３に、ＨＤ用の第２の対物レンズ部とＢＤ用の第１の対物レンズ部のレンズデータを示す。また、本実施例においても、光束は全て平行光束として対物レンズ部に入射させ、ＨＤ及びＢＤを良好に記録／再生できる条件を検討している。表３に拠れば、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部における有効径Φ１及びΦ２を略同じ値とし、有効径Φを１．７〜４．０（ｍｍ）の範囲で変更したときに、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、０．６０４〜１．２０９であり、｜ｄ１−ｄ２｜は０．１２〜１．４６ｍｍである。ワーキングディスタンスＷＤの差は、０．０１〜０．８３（ｍｍ）である。【００６１】
【表３】
2008120594.tif 000005
【００６２】
表３に記載された、ＢＤ−ＨＤの実施例において、Φ１及びΦ２が１．０ｍｍ以上、２．１ｍｍ以下である場合は、｜ｄ１−ｄ２｜は０．１２ｍｍであり、ＷＤ２は、１．０５ＷＤ１であり、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、１．２０９である。【００６３】
次に、表４に、ＤＶＤ用の第２の対物レンズ部とＢＤ用の第１の対物レンズ部のレンズデータを示す。また、本実施例においても、光束は全て平行光束として対物レンズ部に入射させ、ＤＶＤ及びＢＤを良好に記録／再生できる条件を検討している。表４に拠れば、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部における有効径Φ１及びΦ２を略同じ値とし、有効径Φを１．７〜４．０（ｍｍ）の範囲で変更したときに、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、１．１６３〜１．３０８であり、｜ｄ１−ｄ２｜は０．０６〜０．１６ｍｍである。ワーキングディスタンスＷＤの差は、０．００〜０．０９（ｍｍ）である。【００６４】
【表４】
2008120594.tif 000006
【００６５】
次に、表５に、ＤＶＤ用の第２の対物レンズ部とＨＤ用の第１の対物レンズ部のレンズデータを示す。また、本実施例においても、光束は全て平行光束として対物レンズ部に入射させ、ＤＶＤ及びＨＤを良好に記録／再生できる条件を検討している。表５に拠れば、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部における有効径Φ１及びΦ２を略同じ値とし、有効径Φを１．０〜４．０（ｍｍ）の範囲で変更したときに、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、１．０００〜１．０６９であり、｜ｄ１−ｄ２｜は０．００〜０．０５ｍｍである。ワーキングディスタンスＷＤの差は、０．００〜０．０３（ｍｍ）である。【００６６】
【表５】
2008120594.tif 000007
【００６７】
次に、表６に、ＣＤ用の第２の対物レンズ部とＨＤ用の第１の対物レンズ部のレンズデータを示す。また、本実施例においても、光束は全て平行光束として対物レンズ部に入射させ、ＣＤ及びＨＤを良好に記録／再生できる条件を検討している。表６に拠れば、第１の対物レンズ部及び第２の対物レンズ部における有効径Φ１及びΦ２を略同じ値とし、有効径Φを１．０〜４．０（ｍｍ）の範囲で変更したときに、（ｆ２・ＷＤ１）／（ｆ１・ＷＤ２）は、０．８１５〜１．９１２であり、｜ｄ１−ｄ２｜は０．１０〜０．２６ｍｍである。ワーキングディスタンスＷＤの差は、０．０３〜０．６７（ｍｍ）である。【００６８】
【表６】
2008120594.tif 000008
【００６９】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更や改良が可能であることはもちろんである。
【図１】
2008120594.tif 000009
【図２】
2008120594.tif 000010
【図３】
2008120594.tif 000011
【図４】
2008120594.tif 000012
【図５】
2008120594.tif 000013
【図６】
2008120594.tif 000014
【図７】
2008120594.tif 000015
【国際調査報告】
2008120594.tif 000016
2008120594.tif 000017
2008120594.tif 000018
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