【事件の表示】
　特願２０１４−５４８４８８「給電システム」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　５月３０日国際公開，ＷＯ２０１４／０８０６８８，請求項の数（４）〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は，特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２５年９月２４日（優先権主張　平成２４年１１月２２日）を国際出願日とする出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２８年１１月１７日　拒絶理由通知
平成２８年１２月２６日　意見書提出・手続補正
平成２９年　１月２３日　拒絶査定（以下，「原査定」という。）
平成２９年　４月　４日　審判請求
平成３０年　５月２３日　拒絶理由通知（以下，「当審拒絶理由通知」という。）
平成３０年　７月１２日　意見書提出・手続補正
第２　原査定の概要
　本願請求項１−２，８−９に係る発明は，本願優先権主張日前に日本国内において頒布された刊行物である引用文献１，２に記載された発明に基づき本願優先権主張日前に当業者が容易に発明することができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
１.特開２００７−３０５９３８号公報
２.特開２０１１−１０３７６２号公報
第３　当審拒絶理由通知の概要
　本願請求項１−３，６−９に係る発明は，本願優先権主張日前に日本国内において頒布された刊行物である引用文献１−５に記載された発明に基づき本願優先権主張日前に当業者が容易に発明することができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
１．特開２００６−３０３１５６号公報
２．特開２００７−３０５９３８号公報
３．特開２０１１−１０３７６２号公報
４．特開平８−１５３７６６号公報
５．特開２０１１−７１２９４号公報
第４　本願発明
　本願の請求項１ないし４に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明４」という。）は，平成３０年７月１２日付け手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定される発明であり，以下のとおりである。
　「　　【請求項１】
　真空チャンバ内の搬送機構によって搬送される静電チャックであって，且つ，表面を被加工板体の吸着面とする誘電体及びこの誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層と，この静電吸着層が上面に配設された基材と，外部電源からの低電圧を入力するための低電圧用入力端子及び当該低電圧を昇圧して得た高電圧を上記吸着電極に供給するための高電圧用出力端子を有する昇圧回路とを備え，上記昇圧回路の本体と上記低電圧用入力端子とを上記基材の下面に露出させて装着し，上記吸着電極から上記誘電体内及び上記基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と上記高電圧用出力端子との電気的接続部分を，上記基材内に納めて非露出状態にした静電チャックと，
　上記真空チャンバ内に固定された固定電極が上記外部電源に接続されると共に，静電チャックと共に動く可動電極が上記昇圧回路の低電圧用入力端子に接続され，これら固定電極と可動電極との接触によって，上記外部電源からの低電圧を上記昇圧回路の低電圧用入力端子に入力する電気的接触機構と
　を備える給電システムにおいて，
　上記電気的接触機構の固定電極を，静電チャックに近接した状態で搬送方向に平行に配設された導電性のレールで形成し，可動電極を，当該レールに接触した状態で静電チャックに取り付けられた導体性の可撓性接触子で形成した，
　ことを特徴とする給電システム。
　　【請求項２】
　真空チャンバ内の搬送機構によって搬送される静電チャックであって，且つ，表面を被加工板体の吸着面とする誘電体及びこの誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層と，この静電吸着層が上面に配設された基材と，外部電源からの低電圧を入力するための低電圧用入力端子及び当該低電圧を昇圧して得た高電圧を上記吸着電極に供給するための高電圧用出力端子を有する昇圧回路とを備え，上記昇圧回路の本体と上記低電圧用入力端子とを上記基材の下面に露出させて装着し，上記吸着電極から上記誘電体内及び上記基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と上記高電圧用出力端子との電気的接続部分を，上記基材内に納めて非露出状態にした静電チャックと，
　上記真空チャンバ内に固定された固定電極が上記外部電源に接続されると共に，静電チャックと共に動く可動電極が上記昇圧回路の低電圧用入力端子に接続され，これら固定電極と可動電極との接触によって，上記外部電源からの低電圧を上記昇圧回路の低電圧用入力端子に入力する電気的接触機構と
　を備える給電システムにおいて，
　上記搬送機構を，搬送方向に並べられた複数の導電性のローラと，これらのローラを回転可能に支持する平行な１対のレーンとで構成し，
　上記電気的接触機構の固定電極を，上記複数の導電性のローラで形成し，可動電極を，ローラと接触した状態で静電チャックと共に動く電極板で形成した，
　ことを特徴とする給電システム。
　　【請求項３】
　真空チャンバ内の搬送機構によって搬送される静電チャックであって，且つ，表面を被加工板体の吸着面とする誘電体及びこの誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層と，この静電吸着層が上面に配設された基材と，外部電源からの低電圧を入力するための低電圧用入力端子及び当該低電圧を昇圧して得た高電圧を上記吸着電極に供給するための高電圧用出力端子を有する昇圧回路とを備え，上記昇圧回路の本体と上記低電圧用入力端子とを上記基材の下面に露出させて装着し，上記吸着電極から上記誘電体内及び上記基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と上記高電圧用出力端子との電気的接続部分を，上記基材内に納めて非露出状態にした静電チャックと，
　真空チャンバ内に固定された固定コイルが上記外部電源に接続されると共に，当該固定コイルと非接触状態で静電チャックと共に動く可動コイルが上記昇圧回路の低電圧用入力端子に接続され，固定コイルから可動コイルへの電磁誘導によって，外部電源からの低電圧を上記昇圧回路の低電圧用入力端子に入力する電磁誘導装置と
　を備える給電システムであって，
　上記固定コイルの長さを，上記静電チャックの搬送範囲にほぼ等しく設定すると共に，可動コイルを，この固定コイルに近接した状態で静電チャック基材上に取り付けた，
　ことを特徴とする給電システム。
　　【請求項４】
　請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の給電システムにおいて，
　上記静電チャックの昇圧回路の低電圧用入力端子は，５ボルト〜１００ボルトの範囲内の電圧を入力し，高電圧用出力端子は，３００ボルト〜１００００ボルトの範囲内の電圧を出力するものである，
　ことを特徴とする給電システム。」
第５　引用文献及び引用発明
　１　引用文献１について
（１）引用文献１の記載
　当審拒絶理由通知に引用された引用文献１には，図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審で付加した。以下同じ。）
　「【技術分野】
【０００１】
　
本発明は，ウエハ等の基板を吸着するための静電チャック装置およびこの静電チャック装置を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
　一般に，露光装置では，ウエハステージのテーブルに，ウエハを吸着する静電チャックが配置されている。このような静電チャックでは，ウエハの吸着面に付着物(パーティクル)が付着すると露光精度の低下に繋がる。特に，ＥＵＶ露光装置では，焦点深度が浅く，面内変形精度が厳しいため，付着物の付着を極力防止する必要がある。
　そして，従来，静電チャックに付着した付着物の除去は，テーブルに固定される静電チャックを所定の布等により手で拭き取ることにより行われている。
【特許文献１】特開２００４−１６５１９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　
しかしながら，上述したように，テーブルに固定される静電チャックを所定の布等により手で拭き取る方法を，真空雰囲気で使用されるＥＵＶ露光装置等に適用する場合には，真空環境を破る必要があり，装置の復帰に多大な時間が必要になるという問題があった。
　一方，テーブルから静電チャックを離脱した状態で，静電チャックを所定の位置に搬送し静電チャックの付着物を除去することが可能になれば，真空環境を破る必要がなくなり，平均故障間隔(ＭＴＢＦ)を長くすることができる。そして，そのためには，テーブルへの静電チャックの着脱を容易，確実に行うことが必要になる。
【０００４】
　本発明は，かかる従来の問題を解決するためになされたもので，テーブルへの静電チャックの着脱を容易，確実に行うことができる静電チャック装置，およびこの静電チャック装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。」
　「【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
　以下，本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
(静電チャック装置の実施形態)
　図１および図２は本発明の静電チャック装置の一実施形態を示している。
　
この実施形態では，静電チャック装置１１がＥＵＶ露光装置のウエハステージ１３に配置されている。
【００１１】
　
ウエハステージ１３は，テーブル１５を有している。
【００１２】
　
テーブル１５には，ウエハ２１を吸着する静電チャック装置１１が配置されている。静電チャック装置１１は円形状の静電チャック２３を有している。この静電チャック２３はテーブル１５の略中心に位置されている。静電チャック２３の上面には，ウエハ２１を吸着する吸着面２３ａが形成されている。吸着面２３ａの内側には電極２３ｂが配置されている。この電極２３ｂに電圧を印加することにより吸着面２３ａに静電気が発生しウエハ２１が吸着される。
【００１３】
　
静電チャック装置１１は，静電チャック２３をテーブル１５に着脱自在に固定するテーブル側連結部２５およびチャック側連結部２７を有している。
　テーブル側連結部２５は，テーブル１５の上面に形成される円形状の凹部１５ａに固定されている。そして，図３に示すように，凹部１５ａの中心から１２０度の角度を置いて３個配置されている。
【００１４】
　図４の(ａ)および(ｂ)はテーブル側連結部２５の詳細を示している。テーブル側連結部２５は取付部材２９およびコア(鉄心)部材３１を有している。取付部材２９は矩形環状をしており長手方向の外側には取付穴２９ａが形成されている。この取付穴２９ａにボルト(不図示)を挿入して取付部材２９がテーブル１５の凹部１５ａの底面に固定される。取付部材２９には支持部材３３を介してコア部材３１が固定されている。コア部材３１は３個の突出部３１ａを有している。中央の突出部３１ａの先端には永久磁石３５が固定されている。そして，この中央の突出部３１ａに１次コイル３７が巻回されている。この１次コイル３７には電源供給部３９(図１に示す)からの電圧が印加される。
【００１５】
　チャック側連結部２７は，静電チャック２３の下面(吸着面２３ａと反対側)に固定されている。そして，図５に示すように，静電チャック２３の中心から１２０度の角度を置いて３個配置されている。このチャック側連結部２７の位置はテーブル側連結部２５の位置に対応する位置とされている。
　図６の(ａ)および(ｂ)はチャック側連結部２７の詳細を示している。チャック側連結部２７はコア(鉄心)部材４１を有している。コア部材４１は取付部材(不図示)により静電チャック２３の下面に固定されている。コア部材４１は３個の突出部４１ａを有している。中央の突出部４１ａには２次コイル４５が巻回されている。
【００１６】
　
静電チャック２３の下面の中央には，図５に示したように，集電変圧部４７が配置されている。この集電変圧部４７は静電チャック２３内に配置される電極２３ｂに配線２３ｃ(図１に示す)を介して接続されている。また，集電変圧部４７にはチャック側連結部２７に配置される２次コイル４５が配線４５ａを介して接続されている。集電変圧部４７は１次コイル３７への交流電圧の印加により２次コイル４５に電磁誘導された交流を直流に変換するＡＣ／ＤＣ変換手段を有している。すなわち，テーブル側連結部２５の１次コイル３７に電源供給部３９から交流電圧を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部２７の２次コイル４５に交流が発生するが，この交流が直流に変換される。この直流は集電変圧部４７において所定の電圧に変圧され電極２３ｂに印加される。
【００１７】
　また，集電変圧部４７は，静電チャック２３からのウエハ２１の離脱時に，ウエハ２１の吸着時に電極２３ｂに印加される電圧と逆の逆電圧を電極２３ｂに印加する。この逆電圧の印加は電源供給部３９から１次コイル３７への交流電圧の印加が停止したこと，すなわち，２次コイル４５に交流が発生していないことを検出して行われる。この逆電圧の印加により静電チャック２３からウエハ２１を確実に離脱することが可能になる。
【００１８】
　
上述した静電チャック装置１１では，テーブル１５への静電チャック２３の固定が以下述べるようにして行われる。先ず，図７に示すように，静電チャック２３を搬送アーム４９により把持した状態でテーブル１５の上方に位置させる。そして，搬送アーム４９により静電チャック２３を下降させて，図１に示したように，テーブル１５に固定されるテーブル側連結部２５に，静電チャック２３のチャック側連結部２７を載置する。
【００１９】
　この時には，テーブル側連結部２５の１次コイル３７に電源供給部３９から直流電圧が印加されており，テーブル側連結部２５のコア部材３１に配置される永久磁石３５が消磁されている。すなわち，１次コイル３７に，１次コイル３７に発生する磁束が永久磁石３５の磁束と反対で同一になるように直流電圧が印加され，永久磁石３５の磁束が消去されている。従って，この時には，静電チャック２３を自由に移動することが可能であり，搬送アーム４９により静電チャック２３が位置決めされ，テーブル側連結部２５の所定の位置に静電チャック２３のチャック側連結部２７が載置される。
【００２０】
　そして，この状態から，１次コイル３７への直流電圧の印加をオフすることにより，テーブル側連結部２５のコア部材３１の永久磁石３５の消磁が解除される。これにより，チャック側連結部２７のコア部材４１の中央の突出部４１ａが，テーブル側連結部２５のコア部材３１の中央の永久磁石３５に吸着され固定される。
　そして，この状態から静電チャック２３の吸着面２３ａにウエハ２１を載置し，テーブル側連結部２５の１次コイル３７に電源供給部３９から交流電圧を印加すると，静電チャック２３の吸着面２３ａにウエハ２１が吸着される。すなわち，テーブル側連結部２５の１次コイル３７に電源供給部３９から交流電圧を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部２７の２次コイル４５に交流が発生する。そして，２次コイル４５に発生した交流が集電変圧部４７により直流に変換される。この直流は集電変圧部４７において所定の電圧に変圧され電極２３ｂに印加される。この電極２３ｂへの電圧の印加により吸着面２３ａに静電気が発生しウエハ２１が吸着面２３ａに吸着される。
【００２１】
　一方，静電チャック２３へのウエハ２１の吸着の解除は，電源供給部３９からの１次コイル３７への交流電圧の印加をオフにすることにより行われる。すなわち，１次コイル３７への交流電圧の印加をオフにすると，電磁誘導による２次コイル４５の交流の発生が停止する。集電変圧部４７はこの停止を検出し電極２３ｂへの直流電圧の印加を停止する。これにより吸着面２３ａへの静電気の発生が無くなりウエハ２１の吸着面２３ａへの吸着が解除される。この実施形態では，電極２３ｂへの直流電圧の印加の停止時に，集電変圧部４７により，ウエハ２１の吸着時に電極２３ｂに印加される電圧と逆の逆電圧を印加する。この逆電圧の印加により吸着面２３ａに残留していた静電気が除去され，吸着面２３ａからウエハ２１を確実に離脱することが可能になる。なお，逆電圧の印加はコンデンサ，蓄電池等に貯蔵された電気を用いて行われる。
【００２２】
　また，テーブル１５からの静電チャック２３の離脱は，テーブル側連結部２５の１次コイル３７に電源供給部３９から直流電圧を印加することにより行われる。すなわち，１次コイル３７に，１次コイル３７に発生する磁束が永久磁石３５の磁束と反対で同一になるように直流電圧が印加され，永久磁石３５の磁束が消去される。そして，この状態から，搬送アーム４９により静電チャック２３を上昇させて，図７に示したように，テーブル１５から静電チャック２３が離脱される。
【００２３】
　上述した静電チャック装置１１では，テーブル１５に固定されるテーブル側連結部２５に静電チャック２３に固定されるチャック側連結部２７を磁力により固定するようにしたので，静電チャック２３をテーブル１５に着脱自在に固定することができる。そして，テーブル側連結部２５の１次コイル３７に交流電圧を印加し，チャック側連結部２７の２次コイル４５に電磁誘導により交流電圧を発生させるようにしたので，
テーブル１５側から静電チャック２３側に非接触で給電することが可能になる。従って，テーブル１５への静電チャック２３の着脱を容易，確実に行うことができる。
（２）引用発明
　前記（１）より，引用文献１には次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「真空雰囲気で使用されるＥＵＶ露光装置の静電チャックであって，静電チャックは，搬送アームにより位置決めされ，静電チャックの上面には，ウエハを吸着する吸着面が配置されており，吸着面の内側には電極が配置されており，電源供給部から１次コイルに交流電圧を印加すると電磁誘導で交流が発生し，２次コイルに配線を介して接続され，また，静電チャックの内側に配置される電極に配線を介して接続される集電変圧部を有し，静電チャックの下面の中央には，集電変圧部が配置されており，集電変圧部は吸着面の内側の電極に配線を介して接続されている静電チャックを有し，
　ＥＵＶ露光装置のウエハステージのテーブルのテーブル側連結部の１次コイルに電源供給部から交流電流を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部の２次コイルに交流が発生することでテーブル側から静電チャック側に非接触で給電し，
　静電チャックをテーブルに着脱自在に固定するテーブル側連結部およびチャック側連結部を有する静電チャック装置。」
　２　引用文献２について
　当審拒絶理由通知に引用された引用文献２には，図面とともに次の事項が記載されている。
　「【技術分野】
【０００１】
　本発明は，さまざまな圧力環境においても放電することなく使用できる静電吸着装置に関する。」
　「【０００３】
　このような静電吸着装置は，電源装置から１０２〜１０４ボルト程度の高電圧を印加されることにより，装置の吸着面に被着物を静電吸着するものである。静電吸着装置は減圧可能な耐圧力容器（チャンバー）の内部に組み込まれ使用する。一方，高い電圧を供給する昇圧回路を含む電源装置は，チャンバーの外部に設置され大気圧下に置かれている。静電吸着装置と電源装置とは高耐電圧ケーブル（以下，単に高圧ケーブルという）で配線されている。チャンバー内の圧力は，被着物を吸着する過程で大気圧から減圧あるいは加圧されて連続的に変化する。この際，前記高圧ケーブルと静電吸着装置とを導通させる高電圧配線部分もチャンバー内に設置されているため，その圧力変化にさらされることになる。ところで，低い圧力の雰囲気下で高電圧を印加した場合，グロー放電現象を起こすことが知られている。このグロー放電を起こす低い圧力雰囲気の範囲はパッシェン領域といわれ，電圧が高いほどこの領域は広くなる。」
　３　引用文献３について
　当審拒絶理由通知に引用された引用文献３には，図面とともに次の事項が記載されている。
　「【技術分野】
【０００１】
　本発明は，半導体製造装置の基板保持用に使われる静電チャックや，静電チャック機能を利用した展示・掲示装置などに用いられる静電チャック用の高電圧発生装置に係り，特に，太陽電池や二次電池（蓄電池）などの低電圧電源を入力電源としてｋＶオーダーの高電圧を発生することが可能であり，しかも小型かつ軽量で消費電力の非常に少ない直流−直流変換型の静電チャック用の高電圧発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　静電チャックは，例えば，一対の吸着電極を有し，これら一対の吸着電極にそれぞれ正極性及び負極性の電荷を蓄積して静電気を発生させることにより，ガラスやプラスチックなどの誘電体基板，シリコンウエハなどの半導体基板，鉄，銅，アルミ，ステンレス鋼などの金属基板等の種々の基板を吸着，保持させるために使用される。
【０００３】
　また，静電チャックは，吸着電極間の距離を調整することにより，１×１０7Ｖ／ｍ程度の非常に強い電界を容易に作り出すことができることを利用して，上述した種々の基板を吸着保持する機能だけではなく，除菌や滅菌装置，空気中の塵や埃を集める集塵装置，あるいは植物やキノコなどの植生の成長を促進する成育装置などの機器にも応用が可能である。以下，これらの静電チャック応用機器も含めて単に「静電チャック」と称する。
【０００４】
　静電チャックには，一般に，直流や交流の高電圧電源が使用されるが，半導体製造装置などの比較的大型の装置では，スペースを比較的大きくとれることと，信頼性を確保するため，外装は頑丈な筐体で覆われるなど，メンテナンス時の不意な物理的損傷を避けることが容易であり，高電圧電源の大きさや電源自身の消費電力には特に制約がなかった。静電チャック用の高電圧電源の消費電力は，例えば，±１ｋＶ（電位差２ｋＶ）の両極電圧発生タイプで，出力電流をそれぞれ最大１０ｍＡとすると，この高電圧電源の入力に必要とする電力は，少なくとも３０Ｗ程度となる。」
　４　引用文献４について
　当審拒絶理由通知に引用された引用文献４には，図面とともに次の事項が記載されている。
　「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はたとえば半導体ウエハなどのワークを静電力によって吸着保持するための静電チャックおよびそのチャックがアーム先端に設けられるロボット装置に関する。」
　「【００４７】図６乃至図８はこの発明の第３の実施例を示し，この実施例は静電チャック４１が設けられたロボット装置４０である。つまり，ロボット装置４０は駆動部４３を有する。この駆動部４３の駆動軸４３ａには第１のアーム５４の一端が連結され，その他端には第２のアーム５５の一端が関節接続されている。
【００４８】上記第２のアーム４５の他端には上記静電チャック４１が設けられている。この静電チャック４１は比抵抗の大きな絶縁材からなるチャック本体４２に一対の電極４３が埋設された双極型のものであって，上記チャック本体４２には各電極４３の一部を露出させる充放電孔４４が下面側に開口して形成されている。
【００４９】上記静電チャック４１がワークとしての半導体ウエハＵを受けとるポジションには充電器４５が設けられ，受け渡すポジッションには放電器４６が設けられている。上記充電器４５は直流電源４７と，この直流電源４７に接続された一対の給電ピン４８を有する第１のプッシャ４９とからなり，この第１のプッシャ４９は図示しない駆動源によって図６に矢印で示す垂直方向に駆動されるようになっている。
【００５０】上記放電器４６はコイルなどの放電素子５１と，この放電素子５１に接続された一対の放電ピン５２を有する第２のプッシャ５３とからなり，この第２のプッシャ５３は図示しない駆動源によって図６に矢印で示す垂直方向に駆動されるようになっている。」
　５　引用文献５について
　当審拒絶理由通知に引用された引用文献５には，図面とともに次の事項が記載されている。
　「【技術分野】
【０００１】
　本発明は，基板を静電吸着する静電吸着部材，静電吸着部材を保持する静電吸着部材保持機構，基板を搬送する搬送モジュール，その搬送モジュールを備える半導体製造装置，及び基板を搬送する搬送方法に関する。」
　「【００７４】
　次に，図４を参照し，静電吸着部材及び給電部について説明する。図４は，静電吸着部材及び給電部の構成を模式的に示す図である。また，図４は，図３Ａ（ｂ）におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【００７５】
　静電吸着部材６０は，前述したように，逆円錐台形状を有する主部６１と，その上側の上面部６２とを有する。主部６１の下面には，給電部７１の給電ピン７１ａが挿入され電気的に接続するための挿入孔６１ａが設けられる。挿入孔６１ａの先端には正電極６１ｂ及び負電極６１ｃが設けられ，正電極６１ｂと負電極６１ｃとは，静電吸着部材６０の内部を引き回される配線６１ｄにより接続される。配線６１ｄは，正電極６１ｂから上方に延び，上面部６２中を引き回され，再び下方に延び，負電極６１ｃまで引き回される。主部６１の材質は，アルミニウム等の金属を用いることができる。また，上面部６２の材質は，ポリイミド等の誘電体６２ａを用いることができる。従って，配線６１ｄは，上面部６２において誘電体６２ａ中を引き回される。
【００７６】
　一方，給電部７１における回路構成は，次のようになる。給電部７１は，電源７１ｂ，抵抗７１ｃ，第１のスイッチ７１ｄ，第２のスイッチ７１ｅを有し，図４に示すように，電源の両端が，少なくとも一方が抵抗及び第１のスイッチ７１ｄを介して，給電ピン７１ａの静電吸着部材６０と電気的に接続される正電極７１ｆ及び負電極７１ｇに接続される。第１のスイッチ７１ｄを閉じることにより，電源７１ｂから静電吸着部材６０に給電することができる。
【００７７】
　上記した構成により，静電吸着部材６０は，ジョンセン・ラーベック力により静電吸着する。ジョンセン・ラーベック力は，誘電体とウェハとの界面の小さなギャップに微少電流が流れ，帯電分極して誘起させことによって生じる力であり，誘電体の体積固有抵抗率が約１０１２〜１０１３Ω・ｃｍ程度になると発生するものである。本実施の形態では，誘電体として上述したポリイミドを誘電体として用いている。
【００７８】
　また，給電部７１には，給電ピン７１ａの正電極７１ｆ及び負電極７１ｇを短絡するための第２のスイッチ７１ｅを設けることができる。第１のスイッチ７１ｄを開いた状態で第２のスイッチ７１ｅを閉じることにより，静電吸着部材６０の正電極６１ｂ及び負電極６１ｃを短絡することができ，静電吸着部材６０をウェハＷから脱離させることができる。
【００７９】
　また，静電吸着部材６０及び給電部７１の構造は，特に限定されず，クーロン力を用いる方式の静電吸着部材及び給電部の構造であってもよい。」
第６　対比及び判断
　１　本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明との対比
　ア　引用発明の「真空雰囲気で使用されるＥＵＶ露光装置」は，「真空チャンバ」を有するものである。
　イ　引用発明の「搬送アーム」は，「搬送機構」といえ，引用発明の静電チャックは「搬送アームにより位置決めされ」ているから，「搬送機構によって搬送される」といえる。
　ウ　引用発明の「ウエハ」は，本願発明１の「被加工板体」に相当し，また，静電チャックの表面の吸着面が誘電体で構成されることは，技術常識であるから，引用発明の「ウエハを吸着する吸着面」は，「表面を被加工板体の吸着面とする誘電体」といえる。
　エ　引用発明の「吸着面の内側」の「電極」は，層状であり（【図１】の２３ｂ），また，静電チャックの電極は導通しないように誘電体内部に配置されることは技術常識であるから，引用発明の「吸着面の内側」の「電極」は，「この誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層」といえる。
　オ　引用発明の「吸着面の内側」の「電極」より下側の静電チャックの部分は，「この静電吸着層が上面に配設された基材」といえる。
　カ　引用発明の「集電変圧部」は，集電，変圧するための「回路」を有するものである。
　キ　引用発明の「集電変圧部」は，静電チャックの下面の中央に配置されており，「回路の本体」を「基材の下面に露出されて装着し」ているといえる。
　ク　引用発明には，静電チャックの下面と集電変圧部の間に，特に空間を設けることは記載されていないから，引用発明の静電チャックの内側に配置される電極と静電チャックの下面の集電変圧部との間にある配線，及び，集電変圧部と配線との接続部も非露出状態である。
　よって，引用発明の「吸着面の内側の電極」に接続される「配線」は，「吸着電極から誘電体内及び基材内を通って非露出状態で引き出された」状態であるといえるし，引用発明の「吸着面の内側の電極」に接続される「配線」と「集電変圧部」とは，「吸着電極から誘電体内及び基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と」回路「との電気的接続部分を基材内に納めて非露出状態にした」状態であるといえる。
　ケ　引用発明の「１次コイル」は，ＥＵＶ露光装置のウエハステージのテーブルのテーブル側連結部に固定されており，本願発明１の「真空チャンバー内に固定された固定電極」に相当する。
　コ　引用発明の「電源供給部」は，本願発明１の「外部電源」に相当し，引用発明の「電源供給部から交流電流を印加される」１次コイルは，「外部電源に接続される」状態であるといえる。
　サ　引用発明の「２次コイル」は，着脱自在な静電チャックに固定されており，本願発明１の「静電チャックと共に動く可動電極」に相当する。
　シ　引用発明の「電源供給部」から「１次コイル」，「２次コイル」，「集電変換部」，「吸着面の内側の電極」に至る電気的機構は，「給電システム」といえる。
　ス　すると，本願発明１と引用発明とは，下記セの点で一致し，下記ソの点で相違する。
　セ　一致点
　「真空チャンバ内の搬送機構によって搬送される静電チャックであって，且つ，表面を被加工板体の吸着面とする誘電体及びこの誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層と，この静電吸着層が上面に配設された基材と，回路とを備え，回路の本体を上記基材の下面に露出させて装着し，上記吸着電極から上記誘電体内及び上記基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と回路との電気的接続部分を，上記基材内に納めて非露出状態にした静電チャックと，
　上記真空チャンバ内に固定された固定電極が上記外部電源に接続されると共に，静電チャックと共に動く可動電極を備える給電システム。」
　ソ　相違点
（ア）相違点１
　本願発明１は，「外部電源からの低電圧を入力するための低電圧用入力端子及び当該低電圧を昇圧して得た高電圧を上記吸着電極に供給するための高電圧用出力端子を有する昇圧回路」を有するのに対し，引用発明は，電源供給部から１次コイルに交流電圧を印加すると電磁誘導で交流が発生し，２次コイルに配線を介して接続され，また，静電チャックの内側に配置される電極に配線を介して接続される集電変圧部を有する点。
（イ）相違点２
　本願発明１は，「これら固定電極と可動電極との接触によって，上記外部電源からの低電圧を上記昇圧回路の低電圧用入力端子に入力する電気的接触機構」を有するのに対し，引用発明は，テーブル側連結部の１次コイルに電源供給部から交流電流を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部の２次コイルに交流が発生することでテーブル側から静電チャック側に非接触で給電している点。
（ウ）相違点３
　本願発明１は，「上記電気的接触機構の固定電極を，静電チャックに近接した状態で搬送方向に平行に配設された導電性のレールで形成し，可動電極を，当該レールに接触した状態で静電チャックに取り付けられた導体性の可撓性接触子で形成した」のに対し，引用発明は，静電チャックをテーブルに着脱自在に固定するテーブル側連結部およびチャック側連結部を有するが，導電性のレールと導体性の可撓性接触子による電気的接触機構を有していない点。
（２）相違点についての判断
　相違点３について
　相違点３に係る構成である電気的接触機構を「上記電気的接触機構の固定電極を，静電チャックに近接した状態で搬送方向に平行に配設された導電性のレールで形成し，可動電極を，当該レールに接触した状態で静電チャックに取り付けられた導体性の可撓性接触子で形成した」ことについて，引用文献１−５のいずれにも記載も示唆もない。
（３）まとめ
　したがって，本願発明１は，引用文献１−５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　２　本願発明２について
　ア　引用発明の「真空雰囲気で使用されるＥＵＶ露光装置」は，「真空チャンバ」を有するものである。
　イ　引用発明の「搬送アーム」は，「搬送機構」といえ，引用発明の静電チャックは「搬送アームにより位置決めされ」ているから，「搬送機構によって搬送される」といえる。
　ウ　引用発明の「ウエハ」は，本願発明２の「被加工板体」に相当し，また，静電チャックの表面の吸着面が誘電体で構成されることは，技術常識であるから，引用発明の「ウエハを吸着する吸着面」は，「表面を被加工板体の吸着面とする誘電体」といえる。
　エ　引用発明の「吸着面の内側」の「電極」は，層状であり（【図１】の２３ｂ），また，静電チャックの電極は導通しないように誘電体内部に配置されることは技術常識であるから，引用発明の「吸着面の内側」の「電極」は，「この誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層」といえる。
　オ　引用発明の「吸着面の内側」の「電極」より下側の静電チャックの部分は，「この静電吸着層が上面に配設された基材」といえる。
　カ　引用発明の「集電変圧部」は，集電，変圧するための「回路」を有するものである。
　キ　引用発明の「集電変圧部」は，静電チャックの下面の中央に配置されており，「回路の本体」を「基材の下面に露出されて装着し」ているといえる。
　ク　引用発明には，静電チャックの下面と集電変圧部の間に，特に空間を設けることは記載されていないから，引用発明の静電チャックの内側に配置される電極と静電チャックの下面の集電変圧部との間にある配線，及び，集電変圧部と配線との接続部も非露出状態である。
　よって，引用発明の「吸着面の内側の電極」に接続される「配線」は，「吸着電極から誘電体内及び基材内を通って非露出状態で引き出された」状態であるといえるし，引用発明の「吸着面の内側の電極」に接続される「配線」と「集電変圧部」とは，「吸着電極から誘電体内及び基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と」回路「との電気的接続部分を基材内に納めて非露出状態にした」状態であるといえる。
　ケ　引用発明の「１次コイル」は，ＥＵＶ露光装置のウエハステージのテーブルのテーブル側連結部に固定されており，本願発明２の「真空チャンバー内に固定された固定電極」に相当する。
　コ　引用発明の「電源供給部」は，本願発明２の「外部電源」に相当し，引用発明の「電源供給部から交流電流を印加される」１次コイルは，「外部電源に接続される」状態であるといえる。
　サ　引用発明の「２次コイル」は，着脱自在な静電チャックに固定されており，本願発明２の「静電チャックと共に動く可動電極」に相当する。
　シ　引用発明の「電源供給部」から「１次コイル」，「２次コイル」，「集電変換部」，「吸着面の内側の電極」に至る電気的機構は，「給電システム」といえる。
　ス　すると，本願発明２と引用発明とは，下記セの点で一致し，下記ソの点で相違する。
　セ　一致点
　「真空チャンバ内の搬送機構によって搬送される静電チャックであって，且つ，表面を被加工板体の吸着面とする誘電体及びこの誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層と，この静電吸着層が上面に配設された基材と，回路とを備え，回路の本体を上記基材の下面に露出させて装着し，上記吸着電極から上記誘電体内及び上記基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と回路との電気的接続部分を，上記基材内に納めて非露出状態にした静電チャックと，
　上記真空チャンバ内に固定された固定電極が上記外部電源に接続されると共に，静電チャックと共に動く可動電極を備える給電システム。」
　ソ　相違点
（ア）相違点１
　本願発明２は，「外部電源からの低電圧を入力するための低電圧用入力端子及び当該低電圧を昇圧して得た高電圧を上記吸着電極に供給するための高電圧用出力端子を有する昇圧回路」を有するのに対し，引用発明は，電源供給部から１次コイルに交流電圧を印加すると電磁誘導で交流が発生し，２次コイルに配線を介して接続され，また，静電チャックの内側に配置される電極に配線を介して接続される集電変圧部を有する点。
（イ）相違点２
　本願発明２は，「これら固定電極と可動電極との接触によって，上記外部電源からの低電圧を上記昇圧回路の低電圧用入力端子に入力する電気的接触機構」を有するのに対し，引用発明は，テーブル側連結部の１次コイルに電源供給部から交流電流を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部の２次コイルに交流が発生することでテーブル側から静電チャック側に非接触で給電している点。
（ウ）相違点３
　本願発明２は，「上記搬送機構を，搬送方向に並べられた複数の導電性のローラと，これらのローラを回転可能に支持する平行な１対のレーンとで構成し，
　上記電気的接触機構の固定電極を，上記複数の導電性のローラで形成し，可動電極を，ローラと接触した状態で静電チャックと共に動く電極板で形成した」のに対し，引用発明は，搬送機構を搬送アームで構成しており，導電性のローラとレーンによる搬送機構，及び，導電性のローラと電極板による電気的接触機構を有していない点
（２）相違点についての判断
　相違点３について
　相違点３に係る構成である搬送機構を「搬送方向に並べられた複数の導電性のローラと，これらのローラを回転可能に支持する平行な１対のレーンとで構成し電気的接触機構を「上記電気的接触機構の固定電極を，静電チャックに近接した状態で搬送方向に平行に配設された導電性のレールで形成し」たこと，及び，電気的接触機構を「上記電気的接触機構の固定電極を，上記複数の導電性のローラで形成し，可動電極を，ローラと接触した状態で静電チャックと共に動く電極板で形成した」ことについて，引用文献１−５のいずれにも記載も示唆もない。
（３）まとめ
　したがって，本願発明２は，引用文献１−５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　３　本願発明３について
（１）本願発明３と引用発明との対比
　ア　引用発明の「真空雰囲気で使用されるＥＵＶ露光装置」は，「真空チャンバ」を有するものである。
　イ　引用発明の「搬送アーム」は，「搬送機構」といえ，引用発明の静電チャックは「搬送アームにより位置決めされ」ているから，「搬送機構によって搬送される」といえる。
　ウ　引用発明の「ウエハ」は，本願発明３の「被加工板体」に相当し，また，静電チャックの表面の吸着面が誘電体で構成されることは，技術常識であるから，引用発明の「ウエハを吸着する吸着面」は，「表面を被加工板体の吸着面とする誘電体」といえる。
　エ　引用発明の「吸着面の内側」の「電極」は，層状であり（【図１】の２３ｂ），また，静電チャックの電極は導通しないように誘電体内部に配置されることは技術常識であるから，引用発明の「吸着面の内側」の「電極」は，「この誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層」といえる。
　オ　引用発明の「吸着面の内側」の「電極」より下側の静電チャックの部分は，「この静電吸着層が上面に配設された基材」といえる。
　カ　引用発明の「集電変圧部」は，集電，変圧するための「回路」を有するものである。
　キ　引用発明の「集電変圧部」は，静電チャックの下面の中央に配置されており，「回路の本体」を「基材の下面に露出されて装着し」ているといえる。
　ク　引用発明には，静電チャックの下面と集電変圧部の間に，特に空間を設けることは記載されていないから，引用発明の静電チャックの内側に配置される電極と静電チャックの下面の集電変圧部との間にある配線，及び，集電変圧部と配線との接続部も非露出状態である。
　よって，引用発明の「吸着面の内側の電極」に接続される「配線」は，「吸着電極から誘電体内及び基材内を通って非露出状態で引き出された」状態であるといえるし，引用発明の「吸着面の内側の電極」に接続される「配線」と「集電変圧部」とは，「吸着電極から誘電体内及び基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と」回路「との電気的接続部分を基材内に納めて非露出状態にした」状態であるといえる。
　ケ　引用発明の「１次コイル」は，ＥＵＶ露光装置のウエハステージのテーブルのテーブル側連結部に固定されており，本願発明３の「真空チャンバー内に固定された固定電極」に相当する。
　コ　引用発明の「電源供給部」は，本願発明３の「外部電源」に相当し，引用発明の「電源供給部から交流電流を印加される」１次コイルは，「外部電源に接続される」状態であるといえる。
　サ　引用発明の「２次コイル」は，着脱自在な静電チャックに固定されており，本願発明３の「静電チャックと共に動く可動電極」に相当する。
　シ　引用発明は，「１次コイルに電源供給部から交流電流を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部の２次コイルに交流が発生することでテーブル側から静電チャック側に非接触で給電」しており，本願発明３の「固定コイルから可動コイルへの電磁誘導によって」「外部電源から」「電圧を」「回路に」「入力する電磁誘導装置」を有しているといえる。
　ス　引用発明の「電源供給部」から「１次コイル」，「２次コイル」，「集電変圧部」，「吸着面の内側の電極」に至る電気的機構は，本願発明３の「給電システム」といえる。
　セ　引用発明は，静電チャックをテーブルに固定して１次コイルと，２次コイルとで電磁誘導で給電しているから，本願発明３の「可動コイルを，この固定コイルに近接した状態で静電チャック基材上に取り付けた」といえる。
　ソ　すると，本願発明３と引用発明とは，下記タの点で一致し，下記チの点で相違する。
　タ　一致点
　「真空チャンバ内の搬送機構によって搬送される静電チャックであって，且つ，表面を被加工板体の吸着面とする誘電体及びこの誘電体内部に配置された吸着電極を有する静電吸着層と，この静電吸着層が上面に配設された基材と，回路とを備え，回路の本体を上記基材の下面に露出させて装着し，上記吸着電極から上記誘電体内及び上記基材内を通って非露出状態で引き出された配線の端部と回路との電気的接続部分を，上記基材内に納めて非露出状態にした静電チャックと，
　真空チャンバー内に固定された固定コイルが外部電源に接続されると共に，当該固定コイルと非接触状態で静電チャックと共に動く可動コイルと固定コイルから可動コイルへの電磁誘導によって電圧を回路に入力する電磁誘導装置を備える給電システムであって，
　可動コイルを，この固定コイルに近接した状態で静電チャック基材上に取り付けた
　給電システム。」
　チ　相違点
（ア）相違点１
　本願発明３は，「外部電源からの低電圧を入力するための低電圧用入力端子及び当該低電圧を昇圧して得た高電圧を上記吸着電極に供給するための高電圧用出力端子を有する昇圧回路」を有するのに対し，引用発明は，電源供給部から１次コイルに交流電圧を印加すると電磁誘導で交流が発生し，２次コイルに配線を介して接続され，また，静電チャックの内側に配置される電極に配線を介して接続される集電変圧部を有する点。
（イ）相違点２
　本願発明３は，可動コイルが「上記昇圧回路の低電圧用入力端子に接続され」ているのに対し，引用発明は，２次コイルが集電変圧部に接続されているが，集電変圧部の入力端子について特に記載されていない点。
（ウ）相違点３
　本願発明３は，外部電源からの「低電圧を上記昇圧回路の低電圧用入力端子に」入力するのに対し，引用発明は，１次コイルに電源供給部から交流電流を印加すると，電磁誘導によりチャック側連結部の２次コイルに交流が発生することでテーブル側から静電チャック側に非接触で給電しているが，集電変圧部の入力端子について特に記載されていない点。
（ケ）相違点４
　本願発明３は，「上記固定コイルの長さを，上記静電チャックの搬送範囲にほぼ等しく設定する」のに対し，引用発明は，固定コイルは点状に配置されており，静電チャックの搬送範囲と等しくない点。
（２）相違点についての判断
　相違点４について
　相違点４に係る構成である固定コイルの長さを，「上記静電チャックの搬送範囲にほぼ等しく設定する」ことは，引用文献１−５のいずれにも記載も示唆もない。
（３）まとめ
　したがって，本願発明３は，引用文献１−５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　４　本願発明４について
　本願発明４は，本願発明１ないし３いずれかの発明特定事項をすべて含むものであるから，前記１ないし３と同様の理由により，引用文献１−５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。
第７　原査定について
１　理由（特許法第２９条第２項）について
　平成３０年７月１２日付け手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１の「上記電気的接触機構の固定電極を，静電チャックに近接した状態で搬送方向に平行に配設された導電性のレールで形成し，可動電極を，当該レールに接触した状態で静電チャックに取り付けられた導体性の可撓性接触子で形成した，
　ことを特徴とする給電システム。」，
　また，請求項２の「上記搬送機構を，搬送方向に並べられた複数の導電性のローラと，これらのローラを回転可能に支持する平行な１対のレーンとで構成し，
　上記電気的接触機構の固定電極を，上記複数の導電性のローラで形成し，可動電極を，ローラと接触した状態で静電チャックと共に動く電極板で形成した，
　ことを特徴とする給電システム。」，
　また，請求項３の「上記固定コイルの長さを，上記静電チャックの搬送範囲にほぼ等しく設定すると共に，可動コイルを，この固定コイルに近接した状態で静電チャック基材上に取り付けた，
　ことを特徴とする給電システム。」は，原査定の引用文献１−２には記載されていないし，周知技術でもない。
　よって，本願発明１−４は，当業者が原査定の引用文献１−２に基づいて容易に発明できたものではない。
　したがって，原査定を維持することはできない。
第８　結言
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。