(57)【要約】  液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分と、正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第３レンズ成分とで構成され、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ、前記第１レンズ成分の像側に凸面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をそれぞれ、ｎ１１、ｎ１２とし、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、前記第１レンズ成分の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式、１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０、０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５、ｎ１２−ｎ１１＞０．３及びｎ３Ｇｐ＞１．７の条件を満足する。
2009035072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分と、正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第３レンズ成分とで構成され、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、
負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、
全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１１とし、前記第１レンズ成分の像側に凸面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１２とし、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、前記第１レンズ成分の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式
１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０
０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５
ｎ１２−ｎ１１＞０．３
ｎ３Ｇｐ＞１．７
の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせからなり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、
前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式
ν８ｐ＞４１
ｎ８ｐ＞１．８
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項２に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群は、物体側から順に並んだ、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第４レンズ成分及び第５レンズ成分と、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとを３枚貼り合わせてなる第６レンズ成分とを含むことを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせからなり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、
前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式
ν８ｐ＞４１
ｎ８ｐ＞１．８
の条件を満足することを特徴とする請求項３に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項５に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液浸系顕微鏡対物レンズに関し、更に詳しくは、近紫外域から近赤外域において使用される、液浸系で中・高倍率の超アポクロマート級液浸系顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
高倍率の液浸系顕微鏡対物レンズでは、像面湾曲の補正をするために、像側に凸面を向けたメニスカスレンズにこれよりも相対的に屈折率の低い平凸レンズを平面が物体側となるように接合して最も物体側に配設し、これら２つのレンズの屈折率差を利用し、その接合面に負の屈折力を与えてペッツバール和を低減させる構成となっている。更に、光束径の小さい位置に互いに向き合った凹面を配置し、その強い負の屈折力によりペッツバール和を低減させる、いわゆるガウスタイプのレンズ系を配置した構成も知られており、これら両構成の組合せが像面湾曲を効果的に低減し得るものとして公知の技術となっている。【０００３】
このような構成を有する液浸系顕微鏡対物レンズとして、例えば、特許文献１〜３に開示された、高倍率のアポクロマート級顕微鏡対物レンズが知られている。これら特許文献１〜３に示された液浸系顕微鏡対物レンズにおいて、最も物体側に配置された前記接合レンズ（いわゆる埋め込みレンズ、即ち先端に小径レンズが埋め込まれた全体形状を持つ）を構成する物体側の先端レンズの浸液と接する側の面が平面となっているのは、浸液中の泡や異物等を除去するときの作業が容易であることや、レンズそのものの加工が比較的容易であること等の理由による。【０００４】
ここで、浸液をオイルとする場合には、浸液の屈折率と埋め込みレンズの浸液と接する先端レンズの屈折率とをほぼ等しくすることができるため（オイルとガラスの屈折率はともにおよそ１．５）、埋め込みレンズの浸液と接する面（第１レンズ面と称する）が平面で入射光の入射角が６０°を超えるような場合でも、その面で発生する収差は小さくなり、上記第１レンズ面や中心厚の寸法誤差は収差にほとんど影響を与えない。【０００５】
しかしながら、浸液を水とする場合には、水の屈折率が約１．３３とレンズ（ガラス）に比べて低く、レンズとの間の屈折率差によってその境界面で球面収差が発生してしまうという問題がある。特に、ＮＡ（開口数）が１．２を超え且つ広視野なレンズを設計する場合には、高次球面収差の発生が大きくなり、後のレンズ群での補正が困難になってくる。実際、浸液とレンズ（水とガラス）との屈折率差が０．１より大きく、上記第１レンズ面が平面でＮＡが１．２を超える場合には、その球面収差の補正は非常に難しいものとなっていた。そこで、例えば、浸液と接する第１レンズ面を弱い凹面とすることで、ＮＡを１．２よりも大きくした対物レンズが、特許文献４に開示されている。【０００６】
【特許文献１】特開平７−２３００３８号公報
【特許文献２】特開２０００−３５５４１号公報
【特許文献３】特開２００２−１４８５１９号公報
【特許文献４】特開２００５−２６６１３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、最近では観察方法も多岐にわたり、蛍光観察用液浸系顕微鏡対物レンズ等において、近紫外域から近赤外域までの広範な励起光にも対応できるものが望まれている。しかしながら、上記特許文献の対物レンズでは、色収差の補正範囲が近紫外域から可視域までとなっており、近赤外域を使用するアプリケーションに対応するためには、色収差の補正範囲を拡大する必要がある。【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、ＮＡが１．２を超える高開口数で広視野でありながら、近紫外域から近赤外域の広波長域にわたって諸収差を良好に補正することができる、中・高倍率の液浸系顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的を達成するため、本発明は、物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分と、正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第３レンズ成分とで構成され、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１１とし、前記第１レンズ成分の像側に凸面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１２とし、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、前記第１レンズ成分の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０、０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５、ｎ１２−ｎ１１＞０．３及びｎ３Ｇｐ＞１．７の条件を満足することを特徴とする。【００１０】
なお、前記第２レンズ群は、物体側から順に並んだ、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第４レンズ成分及び第５レンズ成分と、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとを３枚貼り合わせてなる第６レンズ成分とを含むことが好ましい。【００１１】
また、前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせからなり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式ν８ｐ＞４１及びｎ８ｐ＞１．８の条件を満足することが好ましい。【００１２】
また、前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、倍率４０倍で、開口数が１．２５と大きく広視野でありながら、広波長域（近紫外域から近赤外域）にわたって諸収差（球面収差、コマ収差、像面湾曲、色収差等）が良好に補正され、優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物レンズを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図３】本発明の第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図４】本発明の第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図５】本発明の第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図６】本発明の第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図７】上記実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズと組み合わせて用いられる、結像レンズのレンズ構成図である。
【符号の説明】
【００１５】
Ｇ１  第１レンズ群
Ｇ２  第２レンズ群
Ｇ３  第３レンズ群
Ｌ１  第１レンズ成分
Ｌ２  第２レンズ成分
Ｌ３  第３レンズ成分
Ｌ３１  第３レンズ成分の負レンズ
Ｌ３２  第３レンズ成分の正レンズ
Ｌ４  第４レンズ成分
Ｌ４１  第４レンズ成分の負レンズ
Ｌ４２  第４レンズ成分の正レンズ
Ｌ５  第５レンズ成分
Ｌ６  第６レンズ成分
Ｌ７  第７レンズ成分
Ｌ８  第８レンズ成分
Ｌ８２  第８レンズ成分の正レンズ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本願の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１及び図３は、それぞれ本願の第１及び第２実施形態に対応する液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図であり、いずれも、物体（観察試料）側から順に並んだ、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを備えて構成されている。【００１７】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に並んだ、物体側に弱い凹面を向けた第１メニスカスレンズＬ１１と像側に凸面を向けた第２メニスカスレンズＬ１２とを貼り合わせてなる第１レンズ成分（埋め込みレンズ）Ｌ１と、像側に物体側より屈折力の大きな面を向けた正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分Ｌ２と、負レンズＬ３１と正レンズＬ３２とを貼り合わせてなり正の屈折力を有する第３レンズ成分Ｌ３とを有した構成となっている。【００１８】
ここで、第１レンズ成分Ｌ１は、第２メニスカスレンズＬ１２に比して径が小さい第１メニスカスレンズＬ１１の像側の凸面が第２メニスカスレンズＬ１２の物体側の凹面に埋め込まれるようにして接合されている、いわゆる埋め込みレンズである。第２レンズ成分Ｌ２は、正メニスカスレンズからなる単レンズであり、その凹面を物体側に向けて配置されている。第３レンズ成分Ｌ３において、負レンズＬ３１は両凹レンズ又は物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズからなり、正レンズＬ３２は両凸レンズからなっている。【００１９】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に並んだ、負レンズＬ４１と正レンズＬ４２とを貼り合わせてなり正の屈折力を有する第４レンズ成分Ｌ４、負レンズＬ５１と正レンズＬ５２とを貼り合わせてなり正の屈折力を有する第５レンズ成分Ｌ５と、負メニスカスレンズＬ６１と両凸レンズＬ６２と両凹レンズＬ６３とを３枚貼り合わせてなる第６レンズ成分Ｌ６とを有した構成となっている。【００２０】
なお、第４レンズ成分Ｌ４において、負レンズＬ４１は物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズからなり、正レンズＬ４２は両凸レンズからなっている。第５レンズ成分Ｌ５において、負レンズＬ５１は両凹レンズからなり、正レンズＬ５２は両凸レンズからなっている。【００２１】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に並んだ、正レンズＬ７１と負レンズＬ７２との貼り合わせからなり、全体として物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分Ｌ７と、負レンズＬ８１と正レンズＬ８２との貼り合わせからなり、全体として像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分Ｌ８とを有した構成となっている。【００２２】
なお、第７レンズ成分Ｌ７において、正レンズＬ７１は両凸レンズからなり、負レンズＬ７２は両凹レンズからなっている。また、第８レンズ成分Ｌ８において、負レンズＬ８１は像側に凸面を向けた負メニスカスレンズからなり、正レンズＬ８２は像側に凸面を向けた正メニスカスレンズからなっている。【００２３】
上記のように、埋め込みレンズＬ１を構成する第１メニスカスレンズＬ１１は、物体側に弱い凹面を向けた正メニスカスレンズからなっているため、第１メニスカスレンズＬ１１の屈折率と、これと接して使用される浸液の屈折率との差（屈折率差）が０．１を超える場合（すなわち、浸液の屈折率をｎ０とし、第１メニスカスレンズＬ１１の屈折率をｎ１１としたときに、式｜ｎ０−ｎ１１｜＞０．１が満たされる場合）においても、第１メニスカスレンズＬ１１と浸液との境界面で発生する高次球面収差が効果的に低減される。すなわち、本発明に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、第１メニスカスレンズＬ１１と浸液との境界面を凹面とすることで物体からの光束の入射角を小さくし、高次球面収差の発生を抑える構成となっている。また、第１メニスカスレンズＬ１１と、これが埋め込まれる第２メニスカスレンズＬ１２との接合面には強い負の屈折力が与えられるので、ペッツバール和が効果的に低減される。【００２４】
物体から出た光束は上記第１レンズ成分Ｌ１を出た後、正の屈折力を有する第２レンズ成分Ｌ２によって緩やかに曲げられる。ここで、第２レンズ成分Ｌ２において、像側に物体側よりも屈折力の大きい面を配することにより、マージナル光線（光軸上の物点を出た光束のうち最も外側に位置する光線）の偏角をできるだけ小さく抑えている。また、第３レンズ成分Ｌ３において、基準波長（ｄ線）の屈折率が互いに近似し（屈折率差が小さく）かつ相異なる分散を有した負レンズＬ３１と正レンズＬ３２とを貼り合わせた構成とすることにより、第１レンズ成分Ｌ１と第２レンズ成分Ｌ２それぞれの像側の強い凸面で発生した軸上色収差や色の（波長差による）球面収差を、基準波長の収差に影響を与えずに良好に補正している。【００２５】
物体から出た光は、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２によって収斂光に変換される。そして、第２レンズ群Ｇ２の最も物体側に配置された負レンズＬ４１と正レンズＬ４２とが貼り合わされてなる第４レンズ成分Ｌ４を通ることにより、上記発散光に含まれる球面収差及び軸上色収差は良好に補正される。なお、これら収差（球面収差および軸上色収差）を最も好ましく補正するためには、本願のように、第２レンズ群Ｇ２を、上記第４レンズ成分Ｌ４に加え、負レンズＬ５１と正レンズＬ５２とが貼り合わされてなる第５レンズ成分Ｌ５及び負メニスカスレンズＬ６１と両凸レンズＬ６２と両凹レンズＬ６３との３枚のレンズが貼り合わされてなる第６レンズ成分Ｌ６とから構成することが好ましい。【００２６】
第３レンズ群Ｇ３は、全体として負の屈折力を有するレンズ構成となっているので、ペッツバール和を減少させつつ、軸上色収差と倍率色収差とをバランスよく補正することができる。この場合、第３レンズ群Ｇ３は、所謂ガウスタイプのレンズ構成であることが好ましく、このような構成であればペッツバール和をより効果的に補正することが可能である。【００２７】
上記構成の液浸系顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ成分Ｌ１の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１１のｄ線に対する屈折率をｎ１１とし、第１レンズ成分Ｌ１の像側に凸面を向けたメニスカスレンズＬ１２のｄ線に対する屈折率をｎ１２とし、第１レンズ成分Ｌ１の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１１の浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、第１レンズ成分Ｌ１の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、第３レンズ群Ｇ３の最も像側に位置する正レンズＬ８２のｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式（１）〜（４）を満足することが好ましい。【００２８】
１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０        …（１）
０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５  …（２）
ｎ１２−ｎ１１＞０．３    …（３）
ｎ３Ｇｐ＞１．７              …（４）【００２９】
上記条件式（１）は、埋め込みレンズである第１メニスカスレンズＬ１１における浸液と接する面（第１レンズ面と称する。後述の第１実施例及び第２実施例における面番号１の面に相当）の曲率半径と、レンズ全系の焦点距離Ｆとの適切な比の範囲を規定するものである。条件式（１）の上限値を上回ると（第１メニスカスレンズＬ１１の曲率半径が大きくなり過ぎると）、物体からの光束の入射角が大きくなり過ぎて、後群のレンズで高次球面収差を補正することが困難になってしまう。また、条件式（１）の下限値を下回ると（第１メニスカスレンズＬ１１の曲率半径が小さくなり過ぎると）、浸液中の泡や異物等を取り除くことが困難となってしまう。なお、ＮＡ（開口数）が１．２を超える場合、更に優れた結像性能を発揮するためには、上記条件式（１）の下限値を２とすることが好ましい。また、上限値を９とすることが好ましい。【００３０】
また、上記条件式（２）は、第１レンズ成分Ｌ１を構成する第１メニスカスレンズＬ１１と第２メニスカスレンズＬ１２との接合面の曲率半径と、レンズ全系の焦点距離Ｆとの適切な比の範囲を規定するものである。条件式（２）の上限値を上回ると、上記両レンズ間Ｌ１１，Ｌ１２の接合面での十分な負の屈折力が得られなくなり、ペッツバール和が大きくなって、像面の平坦性が悪くなる。また、条件式（２）の下限値を下回ると、第１レンズ成分Ｌ１を構成する第１メニスカスレンズＬ１１と第２メニスカスレンズＬ１２との接合面の曲率半径が小さくなり過ぎて加工が困難となる。特に、接合時に第１メニスカスレンズＬ１１と第２メニスカスレンズＬ１２との偏芯が取りきれず、非対称収差が発生する等、性能低下を招く。なお、視野数２５程度まで像面湾曲を補正しつつ、更に良好な結像性能を発揮するためには、上記条件式（２）の下限値を０．１３とすることが好ましい。また、上限値を０．６とすることが好ましい。【００３１】
また、上記条件式（３）は、第１レンズ成分Ｌ１を構成する第１メニスカスレンズＬ１１と第２メニスカスレンズＬ１２との適切な屈折率差の範囲を規定するものである。上記条件式（３）の下限値を下回ると、両者の屈折率差が小さくなり過ぎて、第１レンズ成分Ｌ１における両者の接合面で十分な負の屈折力が得られなくなり、ペッツバール和が増大し、像面の平坦性が悪くなる。なお、視野数２５まで像面湾曲を補正しつつ、更に良好な結像性能を発揮するためには、上記条件式（３）の下限値を０．３５とすることが好ましい。【００３２】
また、上記条件式（４）は、第３レンズ群Ｇ３の最も像側に配置される正レンズ（後述の第１及び第２実施例では第３レンズ群Ｇ３を構成する正レンズＬ８２）の屈折率の適切な範囲を規定するものである。上記条件式（４）の下限値を下回ると、ペッツバール和を減少させるために、第８レンズ成分Ｌ８の空気側面（空気に触れる側の側面）の曲率半径が小さくなり、コマ収差が悪化してしまう。【００３３】
さらに、第３レンズ群Ｇ３における、第８レンズ成分Ｌ８の正レンズＬ８２のアッベ数をν８ｐとし、第８レンズ成分Ｌ８の正レンズＬ８２のｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式（５）及び（６）を満足することが好ましい。【００３４】
ν８ｐ＞４１    …（５）
ｎ８ｐ＞１．８  …（６）【００３５】
上記条件式（５）及び（６）は、第３レンズ群Ｇ３が所謂ガウスタイプのレンズ構成となる場合において、第８レンズ成分Ｌ８の正レンズＬ８２のアッベ数及び第８レンズ成分Ｌ８の正レンズＬ８２のｄ線に対する屈折率の適切な範囲を規定するものである。上記条件式（５）及び（６）を外れると、屈折率が１．８よりも大きい硝材は近紫外域での透過率が低下してしまい、蛍光観察において十分な性能を発揮できなくなる。【００３６】
また、第１レンズ群Ｇ１から第３レンズ群Ｇ３を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることが好ましい。これは、各レンズを分散の小さいガラスで構成することにより、本質的に色収差の発生を少なくするためである。この条件を外れると、視野中心から周辺まで色収差によるにじみを減らして結像性能を維持しつつ、対物レンズ全体の近紫外域における透過率を確保することが困難になってしまう。透過率の確保が困難なのは、アッベ数が４１未満の範囲にある光学ガラスは、近紫外線の透過率が低いからである。
【実施例】
【００３７】
以下、本願に係る液浸系顕微鏡対物レンズの各実施例を添付図面に基づいて説明する。【００３８】
以下に示す表１〜表３は、本願に係る液浸系顕微鏡対物レンズの第１〜第３実施例の各レンズの諸元の表である。いずれの表においても、βは倍率、ＮＡは開口数、Ｄ０はカバーガラスの対物レンズ側の面から第１レンズ群Ｇ１の第１レンズ面（表中の面番号１）までの距離、Ｆはレンズ全系の合成焦点距離をそれぞれ示している。また、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序（以下、面番号と称する）を、面間隔は各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離を、屈折率はｄ線（波長587.5620nm）に対する値をそれぞれ示している。【００３９】
表中において、焦点距離Ｆ、曲率半径、面間隔、その他の長さの単位は、一般に「ｍｍ」が使われている。但し、光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。また、表中において、曲率半径の「0.0000」は平面を示し、空気の屈折率「1.00000」の記載は省略している。また、表中において、上記の条件式（１）〜（６）に対応する値、すなわち条件対応値も示している。【００４０】
なお、以下の実施例では、浸液としてｎｄ（ｄ線に対する屈折力）＝１．３３２４９，νｄ（アッベ数）＝５５．９７の水を使用し、カバーガラスＣは、ｔ（厚さ）＝０．１７，ｎｄ（ｄ線に対する屈折力）＝１．５２２１６，νｄ（アッベ数）＝５８．８０を基準として設計されている。【００４１】
（第１実施例）
本願の第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズについて、図１、図２及び表１を用いて説明する。第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズは、浸液を水とした、倍率４０倍、開口数１．２５を有する水浸用アポクロマート級顕微鏡対物レンズであり、図１に示すように、物体（観察試料）側から順に並んだ、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを備えて構成されている。【００４２】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に並んだ、物体側に弱い凹面を向けた第１メニスカスレンズＬ１１と像側に凸面を向けた第２メニスカスレンズＬ１２とを貼り合わせてなる第１レンズ成分Ｌ１と、像側に物体側より屈折力の大きな面を向けた正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分Ｌ２と、負レンズＬ３１と正レンズＬ３２とを貼り合わせてなり正の屈折力を有する第３レンズ成分Ｌ３とを有した構成となっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に並んだ、負レンズＬ４１と正レンズＬ４２とを貼り合わせてなり正の屈折力を有する第４レンズ成分Ｌ４、負レンズＬ５１と正レンズＬ５２とを貼り合わせてなり正の屈折力を有する第５レンズ成分Ｌ５と、負メニスカスレンズＬ６１と両凸レンズＬ６２と両凹レンズＬ６３とを３枚貼り合わせてなる第６レンズ成分Ｌ６とを有した構成となっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に並んだ、正レンズＬ７１と負レンズＬ７２との貼り合わせからなり、全体として物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分Ｌ７と、負レンズＬ８１と正レンズＬ８２との貼り合わせからなり、全体として像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分Ｌ８とを有した構成となっている。【００４３】
表１に第１実施例における各諸元の表を示す。なお、表１における面番号１〜２４は、図１に示す面１〜２４に対応している。【００４４】
（表１）
［全体諸元］
β＝−39.9，ＮＡ＝1.25，Ｄ０＝0.25，Ｆ＝5.012
［レンズ諸元］
面番号    曲率半径    面間隔    屈折率    アッベ数    レンズ名
１    -10.75887    0.700    1.45850      67.8        Ｌ11
２      -1.03110    3.000    1.81600      46.6        Ｌ12
３      -3.15990    0.100
４    -14.71881    3.180    1.56907      71.3        Ｌ2
５      -6.73158    0.150
６    -532.23269    1.000    1.51742      52.4        Ｌ31
７      12.42195    8.500    1.49782      82.5        Ｌ32
８    -13.53418    0.150
９    111.17799    1.000    1.81600      46.6      Ｌ41
１０    18.41259    7.200    1.43425      95.0      Ｌ42
１１    -15.84471    1.000
１２    -144.29266    1.000    1.51823      59.0      Ｌ51
１３    10.83822    8.500    1.43385      95.3      Ｌ52
１４    -20.48705    0.150
１５    13.72040    1.500    1.81600      46.6      Ｌ61
１６    10.33666    6.150    1.43425      95.0      Ｌ62
１７    -23.42408    1.000    1.81600      46.6      Ｌ63
１８    25.36729    0.150
１９    9.00000    4.750    1.49782      82.5      Ｌ71
２０    -200.00000    2.200    1.51823      59.0      Ｌ72
２１    6.58860    5.200
２２    -7.01686    3.250    1.65160      58.5      Ｌ81
２３    -40.89441    3.250    1.73800      32.3      Ｌ82
２４    -10.97925
［条件対応値］
ｒ１＝-10.75887
Ｆ＝5.012
ｎ１２＝1.81600
ｒ２＝-1.03110
ｎ１１＝1.45850
ｎ３Ｇｐ＝ｎ８ｐ＝1.73800
ν８ｐ＝32.3
条件式（１）｜ｒ１／Ｆ｜＝2.147
条件式（２）｜ｒ２／Ｆ｜＝0.206
条件式（３）ｎ１２−ｎ１１＝0.358
条件式（４）ｎ３Ｇｐ＝1.73800
条件式（５）ν８ｐ＝32.3
条件式（６）ｎ８ｐ＝1.73800【００４５】
表１に示す諸元の表から分かるように、本実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。【００４６】
図２は、ｓ線（波長852.1100nm）、Ａ´線（波長768.1950nm）、Ｃ線（波長656.2790nm）、ｄ線（波長587.5620nm）、Ｆ線（波長486.1330nm）、ｇ線（波長435.08350nm）及びｈ線（波長404.6560nm）に対する第１実施例の諸収差図（球面収差、非点収差及びコマ収差）である。ここで、非点収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリジオナル像面をそれぞれ示す。また、各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を示している。以上、収差図の説明は、他の実施例においても同様である。【００４７】
各収差図から明らかなように、第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、色収差補正範囲が通常のアポクロマートレンズのｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線を含む、ｈ線〜ｓ線の波長域において、ＮＡ＝１．２５、視野数２２まで良好に補正されていることが分かる。【００４８】
（第２実施例）
本願の第２実施例について、図３、図４及び表２を用いて説明する。第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズは、浸液を水とした、倍率４０倍、開口数１．２５を有する水浸用アポクロマート級顕微鏡対物レンズである。なお、第２実施例の液浸系顕微鏡対物レンズは、第１実施例と同様の構成であり、各部に第１実施例の場合と同一の符号を付して詳細な説明を省略する（図３参照）。表２に、第２実施例における各諸元の表を示す。なお、表２における面番号１〜２４は、図３に示す面１〜２４に対応している。【００４９】
（表２）
［全体諸元］
β＝−40.1，ＮＡ＝1.25，Ｄ０＝0.25，Ｆ＝4.988
［レンズ諸元］
面番号    曲率半径    面間隔    屈折率    アッベ数    レンズ名
１    -10.00800    0.600    1.45850      67.8        Ｌ11
２      -1.03110    3.100    1.83481      42.7        Ｌ12
３      -3.15990    0.100
４    -15.04688    2.900    1.59240      68.3        Ｌ2
５      -6.77255    0.150
６    400.00000    1.000    1.51742      52.4        Ｌ31
７      11.51510    8.000    1.49782      82.5        Ｌ32
８    -13.44936    0.150
９    569.31905    1.000    1.81600      46.6        Ｌ41
１０    18.34459    7.000    1.43385      95.3        Ｌ42
１１    -13.97045    1.100
１２    -430.45703    1.000    1.51823      59.0        Ｌ51
１３    10.06428    8.100    1.43385      95.3        Ｌ52
１４    -19.51431    0.150
１５    11.04816    1.500    1.81600      46.6        Ｌ61
１６    8.29541    6.200    1.43425      95.0        Ｌ62
１７    -19.04776    1.000    1.77250      49.6        Ｌ63
１８    16.74321    0.150
１９      7.78895    4.100    1.43425      95.0        Ｌ71
２０    -146.46359    4.000    1.56384      60.7        Ｌ72
２１      5.61449    4.000
２２    -5.30741    4.700    1.56384      60.7        Ｌ81
２３    -52.09943    3.100    1.83481      42.7        Ｌ82
２４    -10.63002
［条件対応値］
ｒ１＝-10.00800
Ｆ＝4.988
ｒ２＝-1.03110
ｎ１２＝1.83481
ｎ１１＝1.45850
ｎ３Ｇｐ＝ｎ８ｐ＝1.83481
ν８ｐ＝42.7
条件式（１）｜ｒ１／Ｆ｜＝2.006
条件式（２）｜ｒ２／Ｆ｜＝0.207
条件式（３）ｎ１２−ｎ１１＝0.376
条件式（４）ｎ３Ｇｐ＝1.83481
条件式（５）ν８ｐ＝42.7
条件式（６）ｎ８ｐ＝1.83481【００５０】
表２に示す諸元の表から分かるように、本実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（６）を全て満たすことが分かる。【００５１】
図４は、ｓ線（波長852.1100nm）、Ａ´線（波長768.1950nm）、Ｃ線（波長656.2790nm）、ｄ線（波長587.5620nm）、Ｆ線（波長486.1330nm）、ｇ線（波長435.08350nm）及びｈ線（波長404.6560nm）に対する第２実施例の諸収差図（球面収差、非点収差及びコマ収差）である。各収差図から明らかなように、第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、色収差補正範囲が通常のアポクロマートレンズのｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線を含む、ｈ線〜ｓ線の波長域において、ＮＡ＝１．２５、視野数２２まで良好に補正されていることが分かる。【００５２】
（第３実施例）
本願の第３実施例について、図５、図６及び表３を用いて説明する。第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズは、浸液を水とした、倍率４０倍、開口数１．１５を有する水浸用アポクロマート級顕微鏡対物レンズである。なお、第３実施例の液浸系顕微鏡対物レンズは、第２レンズ群Ｇ２の第６レンズ成分Ｌ６が両凸レンズＬ６１と両凹レンズＬ６２との２枚貼り合わせで構成されている以外は、第１実施例と同様の構成であり、各部に第１実施例の場合と同一の符号を付して詳細な説明を省略する（図５参照）。表３に、第３実施例における各諸元の表を示す。なお、表３における面番号１〜２３は、図５に示す面１〜２３に対応している。【００５３】
（表３）
［全体諸元］
β＝−39.9，ＮＡ＝1.15，Ｄ０＝0.60，Ｆ＝5.013
［レンズ諸元］
面番号    曲率半径    面間隔    屈折率    アッベ数    レンズ名
１    -100.00000    0.600    1.45850      67.8        Ｌ11
２      -2.00000    3.739    1.83481      42.7        Ｌ12
３      -3.94616    0.100
４      -8.24295    2.900    1.59240      68.3        Ｌ2
５      -6.82271    0.150
６    451.83977    1.000    1.51742      52.4        Ｌ31
７      11.51758    8.000    1.49782      82.5        Ｌ32
８    -16.91853    0.150
９      37.39913    1.000    1.81600      46.6        Ｌ41
１０    20.03370    7.000    1.43385      95.3        Ｌ42
１１    -18.27314    1.100
１２    41.25503    1.000    1.81600      46.6        Ｌ51
１３    11.70822    8.100    1.43385      95.3        Ｌ52
１４    -16.52039    0.150
１５    10.76207    6.200    1.43385      95.3        Ｌ61
１６    -22.50935    1.000    1.81600      46.6        Ｌ62
１７    10.84608    0.150
１８      7.68165    4.100    1.43425      95.0        Ｌ71
１９    -50.00000    5.511    1.56384      60.7        Ｌ72
２０    5.56244    3.623
２１    -4.90844    4.077    1.56384      60.7        Ｌ81
２２    -36.64293    3.100    1.83481      42.7        Ｌ82
２３    -9.47184
［条件対応値］
ｒ１＝-100.00000
Ｆ＝5.013
ｒ２＝-2.00000
ｎ１２＝1.83481
ｎ１１＝1.45850
ｎ３Ｇｐ＝ｎ８ｐ＝1.83481
ν８ｐ＝42.7
条件式（１）｜ｒ１／Ｆ｜＝19.948
条件式（２）｜ｒ２／Ｆ｜＝0.399
条件式（３）ｎ１２−ｎ１１＝0.376
条件式（４）ｎ３Ｇｐ＝1.83481
条件式（５）ν８ｐ＝42.7
条件式（６）ｎ８ｐ＝1.83481【００５４】
表３に示す諸元の表から分かるように、本実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（６）を全て満たすことが分かる。【００５５】
図６は、ｓ線（波長852.1100nm）、Ａ´線（波長768.1950nm）、Ｃ線（波長656.2790nm）、ｄ線（波長587.5620nm）、Ｆ線（波長486.1330nm）、ｇ線（波長435.08350nm）及びｈ線（波長404.6560nm）に対する第３実施例の諸収差図（球面収差、非点収差及びコマ収差）である。各収差図から明らかなように、第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズでは、色収差補正範囲が通常のアポクロマートレンズのｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線を含む、ｈ線〜ｓ線の波長域において、ＮＡ＝１．１５、視野数２２まで良好に補正されていることが分かる。【００５６】
図７は、各実施例の液浸系顕微鏡対物レンズと組み合わせて使用された結像レンズの構成図であり、物体側から順に、両凸レンズＭ１１と両凹レンズＭ１２との貼り合せからなる第１接合レンズＭ１と、両凸レンズＭ２１と両凹レンズＭ２２との貼り合せからなる第２接合レンズＭ２とから構成されている。表４は、この結像レンズのレンズデータの一例である。表４において、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序（以下、面番号と称する）を、面間隔は各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離を、屈折率はｄ線（波長587.5620nm）に対する値をそれぞれ示している。【００５７】
（表４）
［レンズ諸元］
面番号    曲率半径    面間隔    屈折率    アッベ数    レンズ名
１      75.040      5.1    1.62280      57.03      Ｍ11
２      -75.040      2.0    1.74950      35.19      Ｍ12
３      1600.580    7.5
４      50.260      5.1    1.66755      41.96      Ｍ21
５      -84.540      1.8    1.66755      44.41      Ｍ22
６      36.910【００５８】
表４の諸元の結像レンズを用いた場合、第１〜第３実施例の液浸系顕微鏡対物レンズとの間の間隔は、５０ｍｍ〜１８０ｍｍの間であれば実用上特に問題はない。なお、第１〜第３実施例に係る図２、図４及び図６に示す諸収差図は、上記間隔を１５０ｍｍとしたときの結果である。但し、これらの結果は、上記間隔が５０ｍｍ〜１８０ｍｍの間であれば（１５０ｍｍ以外の位置でも）特に大きな相違はない。【００５９】
以上から、本発明に係る液浸系顕微鏡対物レンズによれば、倍率が４０倍、高開口数で広視野でありながら、広波長域（ｈ線〜ｓ線）にわたって諸収差（球面収差、非点収差及びコマ収差）を良好に補正することができ、優れた結像性能を発揮し得ることが分かる。【００６０】
なお、以上のような本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る要旨を逸脱しない範囲であれば適宜改良可能である。
【図１】
2009035072.tif 000003
【図２】
2009035072.tif 000004
【図３】
2009035072.tif 000005
【図４】
2009035072.tif 000006
【図５】
2009035072.tif 000007
【図６】
2009035072.tif 000008
【図７】
2009035072.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月24日(2009.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることが好ましい。
もう一つの本発明に係る液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分を最も物体側に有し、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのアッベ数が４１より大きく、前記正レンズのｄ線に対する屈折率が１．８より大きいことを特徴とする。
なお、この液浸系顕微鏡対物レンズは、好ましくは、前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分と、正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第３レンズ成分とで構成され、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、
負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、
全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１１とし、前記第１レンズ成分の像側に凸面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１２とし、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、前記第１レンズ成分の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式
１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０
０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５
ｎ１２−ｎ１１＞０．３
ｎ３Ｇｐ＞１．７
の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせから
なり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズと
の貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、
前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式
ν８ｐ＞４１
ｎ８ｐ＞１．８
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項２に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群は、物体側から順に並んだ、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第４レンズ成分及び第５レンズ成分と、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとを３枚貼り合わせてなる第６レンズ成分とを含むことを特徴とする請求項１に記載の液
【請求項５】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせからなり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、
前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式
ν８ｐ＞４１
ｎ８ｐ＞１．８
の条件を満足することを特徴とする請求項４に記載の液浸系顕微鏡対物レン
ズ。
【請求項６】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項５に記載の液浸系顕微鏡対
物レンズ。
【請求項７】
物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分を最も物体側に有し、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、
負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、
全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのアッベ数が４１より大きく、前記正レンズのｄ線に対する屈折率が１．８より大きいことを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項８】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項７に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月26日(2009.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分と、正の屈折力を有する単レンズからなる第２レンズ成分と、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第３レンズ成分とで構成され、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、
負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、
全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１１とし、前記第１レンズ成分の像側に凸面を向けたメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率をｎ１２とし、前記第１レンズ成分の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの浸液に接するレンズ面の曲率半径をｒ１とし、前記第１レンズ成分の接合面の曲率半径をｒ２とし、レンズ全系の焦点距離をＦとし、前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのｄ線の屈折率をｎ３Ｇｐとしたとき、次式
１＜｜ｒ１／Ｆ｜＜５０
０．１＜｜ｒ２／Ｆ｜＜１．５
ｎ１２−ｎ１１＞０．３
ｎ３Ｇｐ＞１．７
の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせから
なり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズと
の貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、
前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式
ν８ｐ＞４１
ｎ８ｐ＞１．８
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項２に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群は、物体側から順に並んだ、負レンズと正レンズとを貼り合わせてなる第４レンズ成分及び第５レンズ成分と、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとを３枚貼り合わせてなる第６レンズ成分とを含むことを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとの貼り合わせからなり、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ成分と、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなり、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ成分とを備え、
前記第８レンズ成分の正レンズのアッベ数をν８ｐとし、前記第８レンズ成分の正レンズのｄ線に対する屈折率をｎ８ｐとしたとき、次式
ν８ｐ＞４１
ｎ８ｐ＞１．８
の条件を満足することを特徴とする請求項４に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項５に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項７】
物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとを貼り合わせてなる第１レンズ成分を最も物体側に有し、全体として正の屈折力を有する第１レンズ群と、
負レンズと正レンズとを貼り合わせてなるレンズ成分を含み、全体として正の屈折力を有する第２レンズ群と、
全体として負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第３レンズ群の最も像側に位置する正レンズのアッベ数が４１より大きく、前記正レンズのｄ線に対する屈折率が１．８より大きいことを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項８】
前記第１レンズ群から第３レンズ群を構成する全てのレンズにおいて、アッベ数が４１以上であることを特徴とする請求項７に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【国際調査報告】
2009035072.tif 000010
2009035072.tif 000011