(57)【要約】【課題】ワークの配列を効率良く、高精度に変更し得るエクスパンダユニット、及びこのエクスパンダユニットを含む電子部品の製造装置を提供すること。【解決手段】エクスパンダユニット１０は、インターポーザの配列方向Ｄｒに沿って複数配列されてホルダ列１１を形成するワークホルダ１１０と、配列方向Ｄｒに沿って変位可能な状態で各ワークホルダ１１０を支持する支持手段１２と、ホルダ列１１の中で隣り合う２基のワークホルダ１１０が配列方向Ｄｒに離隔し得る最大間隔を規制する連結部材１３と、ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０のうちの少なくとも一方のワークホルダ１１０を駆動するように構成された駆動手段１４とを備えている。
2008044655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一列状に配列されたワークの配列ピッチを変更するためのエクスパンダユニットであって、
上記ワークを個別に保持可能なように構成されたワークホルダと、
上記ワークの配列方向に沿って複数の上記ワークホルダを配列してなるホルダ列と、
上記配列方向に沿って上記各ワークホルダが変位可能な状態で当該各ワークホルダを支持するように構成された支持手段と、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダにそれぞれ設けた係合部に係合し、当該２基のワークホルダが上記配列方向に最も離隔し得る最大間隔を規制するように構成された連結部材と、
上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの少なくとも一方のワークホルダを直接的に駆動するように構成された駆動手段と、を有していることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項２】
請求項１において、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る最小間隔は、上記配列方向において、当該ワークホルダ同士が直接、又は他の部材を介して間接的に接触する位置であり、上記最小間隔及び上記最大間隔が、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの各組合せについて略一定に設定されていることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項３】
請求項１において、上記連結部材は、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る最小間隔を規制するように構成されており、上記最小間隔及び上記最大間隔が、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの各組合せについて略一定に設定されていることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項４】
請求項１において、上記駆動手段は、上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの両方のワークホルダを駆動するように構成されていることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項５】
請求項１において、上記連結部材は、略軸状を呈する中間軸部と、両端に位置する抜け止め部とを有しており、
上記各ワークホルダの上記係合部は、上記中間軸部を挿通可能であって、かつ、上記抜け止め部を挿入不可能なように形成された貫通孔を設けてなり、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダは、それぞれの上記係合部を介して上記連結部材を共有していることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項６】
請求項５において、上記連結部材の上記中間軸部は、上記貫通孔に挿入不可能な規制部が軸方向における中間的な位置に形成されてなり、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの間に介設された上記連結部材は、当該２基のワークホルダの各係合部の間隙に上記規制部が位置するように組み付けられていることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項７】
請求項１において、上記ホルダ列の中で連続する３基の上記ワークホルダのうちの一方の隣り合う２基のワークホルダに対して配設された上記連結部材、及び上記３基のワークホルダのうちの他方の隣り合う２基のワークホルダに対して配設された上記連結部材は、それぞれの配設位置が上記配列方向に直交する方向に相違し、上記配列方向に重なり合わないように位置していることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項８】
請求項１において、上記エクスパンダユニットは、複数の上記ホルダ列を有していると共に、当該複数のホルダ列を形成する各ワークホルダが一列状に配列されてなり、当該一列状に配列された各ワークホルダは、上記配列方向に沿って交互に異なるホルダ列に属していることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項９】
請求項８において、上記エクスパンダユニットは、上記ホルダ列を２列有していることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項１０】
請求項１において、上記ワークホルダは、上記ワークを固定するワーク固定手段を備えていることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項１１】
請求項１において、上記ワークは、シート状のチップ保持部材に半導体チップを実装してなると共に該半導体チップから電気的に延設された接続端子を備えたインターポーザであることを特徴とするエクスパンダユニット。
【請求項１２】
シート状のチップ保持部材に半導体チップを実装してなるワークを、シート状のベース部材よりなるベース回路シートに接合した電子部品を作製するための電子部品の製造装置であって、
一列状に配列された複数の上記ワークを含むワークシートに切れ目を設け、当該切れ目を介して上記各ワーク毎に分割可能な状態を形成するように構成されたカッティングユニットと、
上記ベース回路シートを連続的に保持しながら回転する略円柱状のアンビルローラ、及び該アンビルローラの外周面に略外接する軌跡円上で上記ワークを保持しながら周回するエンドエフェクタを有し、上記ベース回路シートの表面に上記ワークを配置するように構成されたコンバータユニットと、
上記ワークを個別に保持するキャリアを順次、上記コンバータユニットに対して供給するワーク供給ユニットと、
上記ワークを保持していない空の上記キャリアを一列状に配列するキャリア配列ユニットと、
上記ワークシートにおける上記ワークの配列ピッチに相当する最小ピッチから、上記キャリア配列ユニットによる上記キャリアの配列ピッチに相当する最大ピッチまでの範囲で一列状に配列された上記ワークの配列ピッチを変更し得るように構成されたエクスパンダユニットと、
上記カッティングユニットにより上記分割可能な状態にされた上記ワークシートの上記各ワークを上記エクスパンダユニットへ移載する第１のトランスポータユニットと、
上記エクスパンダユニットが配列ピッチを変更した後の上記各ワークを、上記キャリア配列ユニットが配列した上記キャリアに移載するように構成された第２のトランスポ−タユニットと、を有してなり、
上記エクスパンダユニットは、上記各ワークを個別に保持可能なように構成されたワークホルダと、
上記ワークの配列方向に沿って複数の上記ワークホルダを配列してなるホルダ列と、
上記配列方向に沿って上記ワークホルダが変位可能な状態で当該各ワークホルダを支持するように構成された支持手段と、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダにそれぞれ設けられた係合部に係合し、当該２基のワークホルダが上記配列方向に最も離隔し得る最大間隔を規制するように構成された連結部材と、
上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの少なくとも一方のワークホルダを直接的に駆動するように構成された駆動手段と、を備えており、
上記エクスパンダユニットでは、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが最も接近して上記配列方向に最小間隔となった際、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最小ピッチになり、かつ、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記最大間隔となった際、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最大ピッチになることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１３】
請求項１２において、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る上記最小間隔は、上記配列方向において、当該ワークホルダ同士が直接、又は他の部材を介して間接的に接触する位置であることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１４】
請求項１２において、上記連結部材は、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る最小間隔を規制するように構成されていることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１５】
請求項１２において、上記エクスパンダユニットの上記駆動手段は、上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダの両方を駆動するように構成されていることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１６】
請求項１２において、上記連結部材は、略軸状を呈する中間軸部と、両端に位置する抜け止め部とを有しており、
上記各ワークホルダの上記係合部は、上記中間軸部を挿通可能であって、かつ、上記抜け止め部を挿入不可能なように形成された貫通孔を設けてなり、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダは、それぞれの上記係合部を介して上記連結部材を共有していることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１７】
請求項１６において、上記連結部材の上記中間軸部は、上記貫通孔に挿入不可能な規制部が軸方向における中間的な位置に形成されてなり、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの間に介設された上記連結部材は、当該２基のワークホルダの各係合部の間隙に上記規制部が位置するように組み付けられていることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１８】
請求項１２において、上記ホルダ列の中で連続する３基の上記ワークホルダのうちの一方の隣り合う２基のワークホルダに対して配設された上記連結部材、及び上記３基のワークホルダのうちの他方の隣り合う２基のワークホルダに対して配設された上記連結部材は、それぞれの配設位置が上記配列方向に直交する方向に相違し、上記配列方向に重なり合わないように位置していることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項１９】
請求項１２において、上記エクスパンダユニットは、複数の上記ホルダ列を有していると共に、当該複数のホルダ列を形成する各ワークホルダが一列状に配列されてなり、当該一列状に配列された各ワークホルダは、上記配列方向に沿って交互に異なるホルダ列に属していることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項２０】
請求項１９において、上記エクスパンダユニットは、上記ホルダ列を２列有していることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項２１】
請求項１２において、上記エクスパンダユニットの上記ワークホルダは、上記ワークを固定するワーク固定手段を有していることを特徴とする電子部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の部材から分離したワークを接合してなる電子部品を製造するための製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体ウェハ上に形成された半導体チップを複数、一括して取り出し、他の部材に接合するチップ実装方法がある（例えば、特許文献１参照）。一般に、電子基板等に実装される電子部品等と比べて、上記半導体チップは極めて小さい。そのため、複数の上記半導体チップを同時に取り出し、その後、他の部材に接合するに当たっては、半導体チップの配列ピッチの拡大が必要になる場合が多い。このように、半導体チップ等のワークを他の部材に接合するに当たって、ワークの配列ピッチを変更する場合がある。【０００３】
しかしながら、上記従来のワークの実装方法では、次のような問題がある。すなわち、ワークの配列ピッチを変更する際の精度を高く確保しようとすると配列ピッチの変更に要する時間が長くなる一方、ワークの配列ピッチを高速に変更しようとすると配列ピッチの精度が低下してしまうおそれがあり、効率と精度との両立が難しく、生産効率と製品の品質とを高次元でバランスさせることが難しいおそれがあるという問題がある。【０００４】
【特許文献１】ＵＳ  ６，５１４，７９０Ｂ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、ワークの配列を効率良く、高精度に変更し得るエクスパンダユニット、及びこのエクスパンダユニットを含む電子部品の製造装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、一列状に配列されたワークの配列ピッチを変更するためのエクスパンダユニットであって、
上記ワークを個別に保持可能なように構成されたワークホルダと、
上記ワークの配列方向に沿って複数の上記ワークホルダを配列してなるホルダ列と、
上記配列方向に沿って上記各ワークホルダが変位可能な状態で当該各ワークホルダを支持するように構成された支持手段と、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダにそれぞれ設けた係合部に係合し、当該２基のワークホルダが上記配列方向に最も離隔し得る最大間隔を規制するように構成された連結部材と、
上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの少なくとも一方のワークホルダを直接的に駆動するように構成された駆動手段と、を有していることを特徴とするエクスパンダユニットにある。【０００７】
上記第１の発明のエクスパンダユニットでは、上記ワークホルダが上記配列方向に複数配列されて上記ホルダ列を形成している。当該ホルダ列における上記各ワークホルダは、それぞれ、その順列を維持しながら上記配列方向に沿って変位可能である。さらに、上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダが上記配列方向に沿って離隔し得る上記最大間隔は、上記連結部材により規制されている。【０００８】
上記エクスパンダユニットでは、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記最大間隔となるまで上記配列方向に離隔し得る。そして、例えば、上記隣り合う２基のワークホルダのうち上記配列方向外側に位置する上記ワークホルダが移動する際には、当該２基のワークホルダの間隔が上記最大間隔となった後、上記連結部材を介して上記配列方向内側のワークホルダが従動し得る。【０００９】
上記エクスパンダユニットでは、上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの少なくとも一方のワークホルダが上記駆動手段により直接的に駆動される。この駆動手段により、上記ホルダ列の端に位置する上記ワークホルダを上記配列方向外方に向けて変位させれば、上記連結部材を介して、上記配列方向内側のワークホルダを外側のものから順次、従動させていくことができる。そして、上記ホルダ列において隣り合う２基のワークホルダの間隔が全て上記最大間隔となるまで、上記ホルダ列を上記配列方向に沿って伸張させることができる。【００１０】
このように、上記エクスパンダユニットの上記ホルダ列では、上記隣り合う２基の上記ワークホルダについての上記最大間隔が、上記連結部材により精度高く規制されている。それ故、上記エクスパンダユニットによれば、上記ワークホルダの配列ピッチを精度高く伸張できる。さらに、上記エクスパンダユニットでは、一部のワークホルダを駆動するのみで、上記ホルダ列に属する他のワークホルダを極めて効率良く従動させることができる。【００１１】
以上のように、上記第１の発明のエクスパンダユニットは、上記ワークホルダに保持された上記ワークの配列ピッチを拡張するに当たって精度と効率を両立できるという優れた特性を備えている。【００１２】
第２の発明は、シート状のチップ保持部材に半導体チップを実装してなるワークを、シート状のベース部材よりなるベース回路シートに接合した電子部品を作製するための電子部品の製造装置であって、
一列状に配列された複数の上記ワークを含むワークシートに切れ目を設け、当該切れ目を介して上記各ワーク毎に分割可能な状態を形成するように構成されたカッティングユニットと、
上記ベース回路シートを連続的に保持しながら回転する略円柱状のアンビルローラ、及び該アンビルローラの外周面に略外接する軌跡円上で上記ワークを保持しながら周回するエンドエフェクタを有し、上記ベース回路シートの表面に上記ワークを配置するように構成されたコンバータユニットと、
上記ワークを個別に保持するキャリアを順次、上記コンバータユニットに対して供給するワーク供給ユニットと、
上記ワークを保持していない空の上記キャリアを一列状に配列するキャリア配列ユニットと、
上記ワークシートにおける上記ワークの配列ピッチに相当する最小ピッチから、上記キャリア配列ユニットによる上記キャリアの配列ピッチに相当する最大ピッチまでの範囲で一列状に配列された上記ワークの配列ピッチを変更し得るように構成されたエクスパンダユニットと、
上記カッティングユニットにより上記分割可能な状態にされた上記ワークシートの上記各ワークを上記エクスパンダユニットへ移載する第１のトランスポータユニットと、
上記エクスパンダユニットが配列ピッチを変更した後の上記各ワークを、上記キャリア配列ユニットが配列した上記キャリアに移載するように構成された第２のトランスポ−タユニットと、を有してなり、
上記エクスパンダユニットは、上記各ワークを個別に保持可能なように構成されたワークホルダと、
上記ワークの配列方向に沿って複数の上記ワークホルダを配列してなるホルダ列と、
上記配列方向に沿って上記ワークホルダが変位可能な状態で当該各ワークホルダを支持するように構成された支持手段と、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダにそれぞれ設けられた係合部に係合し、当該２基のワークホルダが上記配列方向に最も離隔し得る最大間隔を規制するように構成された連結部材と、
上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの少なくとも一方のワークホルダを直接的に駆動するように構成された駆動手段と、を備えており、
上記エクスパンダユニットでは、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが最も接近して上記配列方向に最小間隔となった際、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最小ピッチになり、かつ、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記最大間隔となった際、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最大ピッチになることを特徴とする電子部品の製造装置にある。【００１３】
上記第２の発明の電子部品の製造装置が備えるエクスパンダユニットでは、上記隣り合う２基のワークホルダの最小間隔及び最大間隔が規制されている。上記エクスパンダユニットでは、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが最小間隔になった際、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最小ピッチとなる。また、上記隣り合う２基のワークホルダが最大間隔になった際、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最大ピッチとなる。このように上記エクスパンダユニットでは、上記各ワークホルダの配列ピッチが上記最小ピッチ、あるいは上記最大ピッチとなり得るように上記最小間隔及び上記最大間隔が規制されている。【００１４】
上記エクスパンダユニットによれば、上記ワークシートにおける上記ワークの配列ピッチに相当する（略一致する）上記最小ピッチと、上記キャリア配列ユニットによる上記キャリアの配列ピッチに相当する（略一致する）上記最大ピッチとの間で、上記各ワークホルダの配列ピッチを精度高く切り換えることができる。【００１５】
上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記最小間隔まで接近すれば、上記エクスパンダユニットにおけるワークホルダの配列ピッチが上記最小ピッチとなり、上記ワークシートにおける上記ワークの配列ピッチと略一致する。この状態では、上記カッティングユニット側から上記ワークシートを受け取る際、上記各ワークホルダの配列ピッチと略一致する配列ピッチで配列された上記ワークを効率良く受け取ることが可能になる。【００１６】
その後、上記ワークを保持する上記各ワークホルダの配列ピッチを拡大すれば、上記切れ目に沿って上記ワークを個別に分離し得る。そして、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記最大間隔まで離隔すれば、上記ワークの配列ピッチが上記最大ピッチとなり、上記キャリア配列ユニットが配列した上記キャリアの配列ピッチと略一致する。この状態では、上記キャリア配列ユニットが配列した上記各キャリアに対して、上記各ワークホルダに保持した上記ワークを効率良く引き渡し可能である。【００１７】
さらに、上記エクスパンダユニットでは、ごく一部のワークホルダを駆動するのみで、上記ホルダ列に属する他のワークホルダを従動でき、上記ホルダ列における上記ワークホルダの配列ピッチを極めて効率高く調整できる。【００１８】
上記のように構成されたエクスパンダユニットを備えた上記電子部品の製造装置によれば、上記ワークホルダの配列ピッチを上記最小ピッチあるいは上記最大ピッチに精度高く調整可能である。さらに、上記電子部品の製造装置のエクスパンダユニットでは、ごく一部のワークホルダを駆動することで上記各ワークホルダを移動でき、上記ホルダ列における上記ワークホルダの配列ピッチを極めて効率良く変更可能である。【００１９】
以上のように、上記エクスパンダユニットを備えた上記第２の発明の電子部品の製造装置によれば、上記エクスパンダユニットを利用することで、極めて効率良く上記電子部品を製造し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例１における、電子部品の製造装置の構成を示す側面図。
【図２】実施例１における、電子部品の製造装置の構成を示す上面図。
【図３】実施例１における、エクスパンダユニットの構造を示す断面図。
【図４】実施例１における、電子部品であるＲＦ−ＩＤメディアを示す斜視図。
【図５】実施例１における、キャリアを示す斜視図。
【図６】実施例１における、連続ベース部材を示す斜視図。
【図７】実施例１における、コンバータユニットを構成するエンドユニットを示す正面図。
【図８】実施例１における、エンドユニットの断面構成を示す断面図（図７におけるＣ−Ｃ線矢視断面図。）。
【図９】実施例１における、エンドユニットの構成を示す斜視図。
【図１０Ａ】実施例１における、エンドユニットを構成するエンドエフェクタの断面構造を示す断面図。
【図１０Ｂ】実施例１における、エンドユニットを構成するエンドエフェクタの断面構造を示す断面図。
【図１０Ｃ】実施例１における、エンドユニットを構成するエンドエフェクタの断面構造を示す断面図。
【図１１】実施例１における、同一円周状を周回するエンドエフェクタを説明する説明図。
【図１２】実施例１における、プレスユニットが連続ベース部材に加工を施す様子を示す説明図。
【図１３】実施例１における、プレスユニットを示す側面図。
【図１４】実施例１における、プレスユニットの断面構造を示す断面図（図１３におけるＤ−Ｄ線矢視断面図。）。
【図１５】実施例１における、エクスパンダユニットを示す説明図（最小ピッチを設定した状態。）。
【図１６】実施例１における、エクスパンダユニットを示す説明図（最大ピッチを設定した状態。）。
【図１７】実施例１における、ワーク固定手段を示す斜視図（ワークを保持してない状態。）。
【図１８】実施例１における、ワーク固定手段を示す斜視図（ワークを保持する状態。）。
【図１９】実施例１における、キャリアピッチ調整ユニットを示す側面図。
【図２０】実施例１における、配列ピッチを拡大する前のキャリアピッチ調整ユニットを示す斜視図。
【図２１】実施例１における、配列ピッチを拡大した後のキャリアピッチ調整ユニットを示す斜視図。
【図２２】実施例１における、隙間なく配列されたキャリアを示す説明図。
【図２３】実施例１における、キャリアの配列ピッチを拡大する様子を示す説明図。
【図２４】実施例１における、インターポーザを配置した連続ベース部材の断面構造を示す断面図（図６におけるＢ−Ｂ線矢視断面図。）。
【図２５】実施例１における、プレスユニットが加工する様子を示す説明図。
【図２６】実施例１における、プレスユニットが加工した連続ベース部材の断面構造を示す断面図。
【図２７】実施例１における、プレスユニットが加工した連続ベース部材の断面構造を示す断面図（図２６におけるＦ−Ｆ線矢視断面図。）。
【符号の説明】
【００２１】
１  電子部品の製造装置
１０  エクスパンダユニット
１１０  ワークホルダ
１２  支持手段
１２１、１２２、１２３  ガイドレール
１３  連結部材（連結ロッド）
１４  駆動手段
１４２  回転モータ
１４３  駆動部材
２  ワーク供給ユニット
２１  キャリア
３  コンバータユニット
３５  アンビルローラ
３７１〜３７６  エンドエフェクタ
４  プレスユニット
５  ＲＦ−ＩＤメディア（電子部品）
５０  インターポーザ
５１  ＩＣチップ（半導体チップ）
５３  チップ保持部材
５３０  ワークシート
６０  ベース回路シート
６１  ベース部材
６１０  連続ベース部材
７  カッティングユニット
８１、８２  トランスポータユニット
９  キャリア配列ユニット
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
上記第１の発明におけるワークとしては、例えば、フィルム状（シート状）の部材の表面に半導体チップ等を表面実装したインターポーザ、シール、積層電池素材、ＩＣチップ等の電子部品、樹脂線形材等がある。
また、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る最小間隔は、上記配列方向において、当該ワークホルダ同士が直接、又は他の部材を介して間接的に接触する位置であり、上記最小間隔及び上記最大間隔が、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの各組合せについて略一定に設定されていることが好ましい。【００２３】
この場合には、上記隣り合うワークホルダ同士の接触により、上記最小間隔を精度高く規制できる。金属や硬質樹脂等、剛性の高い材料で上記ワークホルダを形成する場合には、上記ワークホルダ同士の接触に応じて極めて精度高く、かつ、信頼性高く上記最小間隔を規制可能である。なお、上記ワークホルダが間接的に接触する際に介在させる上記他の部材としては、例えば、シム等、厚さを微調整するための部材等がある。なお、当該他の部材としては、上記隣り合う２基のワークホルダのいずれかに保持された部材であっても良いが、どちらのワークホルダにも保持されておらず独立して変位可能な部材であっても良い。【００２４】
また、上記連結部材は、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る最小間隔を規制するように構成されており、上記最小間隔及び上記最大間隔が、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの各組合せについて略一定に設定されていることが好ましい。
この場合には、上記連結部材により、上記隣り合う２基のワークホルダの間隔が変動し得る範囲を上記最小間隔から上記最大範囲までの範囲に精度高く規制できる。【００２５】
上記第２の発明におけるワークシートとしては、予めシート状に個片化された部材のほか、上記ワークシートを巻回したロールからシート状をなすように巻き出した部材であっても良い。
また、上記ベース回路シートを連続的に保持する上記アンビルローラとしては、予め個片化されたベース回路シートを連続的に保持するように構成されていても良く、個片化前の連結状態の複数のベース回路シートを保持するように構成されていても良い。【００２６】
また、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る上記最小間隔は、上記配列方向において、当該ワークホルダ同士が直接、又は他の部材を介して間接的に接触する位置であることが好ましい。
なお、２基のワークホルダ同士が接触することの意味は、上述のごとく第１の発明について説明した意味と同様である。【００２７】
また、上記連結部材は、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に最も接近し得る最小間隔を規制するように構成されていることが好ましい。
この場合には、上記隣り合う２基のワークホルダの最小間隔を上記連結部材によって精度高く規制できる。【００２８】
上記第１又は上記第２の発明における上記ワークの配列ピッチとは、一列状に配列された上記ワークのうち、隣り合う２基のワークの距離を意味している。また、上記ワークホルダの配列ピッチとは、一列状に配列された上記ワークホルダのうち、隣り合う２基のワークホルダの距離を意味している。上記ワークあるいは上記ワークホルダの距離とは、例えば、ワーク等において基準となる位置に関する距離であっても良く、ワーク等の中心となる位置に関する距離であっても良い。【００２９】
また、上記駆動手段が上記ワークホルダを直接的に駆動することの意味は、他のワークホルダを介在せずに、駆動手段がワークホルダに直接的に駆動力を作用することを意味している。
また、上記ワークとしては、個片化済みのワークであっても良いが、複数の部材を切り出すための個片化前のワークであっても良い。【００３０】
また、上記エクスパンダユニットの上記駆動手段は、上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダの両方を駆動するように構成されていることが好ましい。
この場合には、上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダを上記駆動手段により駆動することで、一層効率良く上記ホルダ列全体を上記配列方向に伸張させることができる。このとき、上記ホルダ列の中間に位置するいずれか１基のワークホルダの位置を固定しておくことも良い。【００３１】
なお、上記ホルダ列の両端に位置する上記ワークホルダのうちの一方を上記駆動手段により駆動するように上記エクスパンダユニットを構成した場合には、他方のワークホルダを固定しておくことが好ましい。この場合には、上記ホルダ列に対して基準となり得る位置を設定でき、上記ホルダ列を伸縮する際の位置精度を向上させることができる。【００３２】
また、上記各ワークホルダは、上記連結部材に係合する１又は２以上の係合部を有していることが好ましい。上記ホルダ列において両端に位置するワークホルダを除く中間のワークホルダは、両隣のワークホルダとの間でそれぞれ上記連結部材を共有している。一方、上記ホルダ列において両端に位置するワークホルダについては、隣り合うワークホルダが１つのみである。それ故、例えば、全ての上記隣り合う２基のワークホルダについて、共有する上記連結部材の数が同じである場合には、上記中間のワークホルダの上記係合部の数は、上記両端に位置するワークホルダの上記係合部の数の２倍となる。【００３３】
また、上記連結部材は、略軸状を呈する中間軸部と、両端に位置する抜け止め部とを有しており、
上記各ワークホルダの上記係合部は、上記中間軸部を挿通可能であって、かつ、上記抜け止め部を挿入不可能なように形成された貫通孔を設けてなり、
上記ホルダ列の中で隣り合う２基の上記ワークホルダは、それぞれの上記係合部を介して上記連結部材を共有していることが好ましい。
この場合には、上記中間軸部と上記抜け止め部を含む上記連結部材により、上記隣り合う２基のワークホルダの間隔の最大値を上記最大間隔に精度良く規制することができる。【００３４】
上記連結部材としては、上記のごとく中間軸部と抜け止め部とを組み合わせた部材のほか、長孔状のスリット形状の内部で上記係合部を進退させ得るように構成した部材や、少なくとも２本以上のリンクをジョイントにより連結した部材や、対向配置された一対のアーム状部材の間隙で上記係合部を進退させ得るように構成した部材等、様々な態様あるいは形態のものがある。２本以上のリンクを連結した連結部材であれば、両端に位置するリンクの端部を上記隣り合う２基のワークホルダの係合部にそれぞれ係合させることができる。上記アーム状部材よりなる連結部材であれば、例えば、略Ｃ字状を呈するもの等がある。上記Ｃ字状を呈する連結部材の内側において、上記隣り合う２基のワークホルダの係合部を進退させれば、当該２基のワークホルダが最も離隔し得る間隔を規制できる。【００３５】
また、上記連結部材の上記中間軸部は、上記貫通孔に挿入不可能な規制部が軸方向における中間的な位置に形成されてなり、上記ホルダ列の中で隣り合う２基のワークホルダの間に介設された上記連結部材は、当該２基のワークホルダの各係合部の間隙に上記規制部が位置するように組み付けられていることが好ましい。
この場合には、上記規制部により、上記隣り合う２基のワークホルダについての上記最小間隔を精度高く、かつ、確実性高く規制できる。さらに、例えば、上記中間軸部の外周に外周側から脱着可能な脱着部材により上記規制部を形成すれば、当該脱着部材の配列方向の長さを適宜、選択的に設定することにより、上記最小間隔を調整することも可能になる。【００３６】
また、上記ホルダ列の中で連続する３基の上記ワークホルダのうちの一方の隣り合う２基のワークホルダに対して配設された上記連結部材、及び上記３基のワークホルダのうちの他方の隣り合う２基のワークホルダに対して配設された上記連結部材は、それぞれの配設位置が上記配列方向に直交する方向に相違し、上記配列方向に重なり合わないように位置していることが好ましい。【００３７】
この場合には、上記隣り合う２基のワークホルダが上記配列方向に接近した際、上記連結部材同士が干渉するおそれを抑制できる。上記連結部材同士の干渉を未然に回避できれば、上記ホルダ列の上記最小間隔を一層、小さく設定できるようになる。なお、上記のごとく連結部材が上記配列方向に重なり合わないように構成する方法としては、例えば、上記ワークホルダに対する上記連結部材の配設位置を数種類設けると共に、上記配列方向に沿って上記配設位置を交互に切り換える方法がある。この場合、２種類の上記配設位置のうちで交互に切り換えても良く、３種類、４種類・・・の配設位置のうちで交互に切り換えることも良い。【００３８】
また、上記エクスパンダユニットは、複数の上記ホルダ列を有していると共に、当該複数のホルダ列を形成する各ワークホルダが一列状に配列されてなり、当該一列状に配列された各ワークホルダは、上記配列方向に沿って交互に異なるホルダ列に属していることが好ましい。
この場合には、上記ホルダ列の数に応じて上記エクスパンダユニットにおける上記ワークホルダの配列ピッチを一層、小さくできる。それ故、上記エクスパンダユニットでは、上記複数のホルダ列のワークホルダにより実現される最小ピッチが小さくなり、より細かい配列ピッチで上記ワークが配列された上記ワークシートにも対応可能となる。例えば、上記ホルダ列を３列、４列・・・と増やしていけば、上記各ホルダ列における上記ワークホルダの配列ピッチに対して、上記エクスパンダユニットにおける上記ワークホルダの配列ピッチを１／３、１／４・・・というように小さくできる。例えば、上記ワークが半導体チップであり、上記ワークシートが半導体ウェハであるような場合には、極めて狭小な上記ワークの配列ピッチに対応する必要がある。それ故、上記のごとく複数のホルダ列を備えたエクスパンダユニットの構成が非常に有効となり得る。【００３９】
また、上記エクスパンダユニットは、上記ホルダ列を２列有していることが好ましい。
この場合には、上記各ホルダ列における上記ワークホルダの配列ピッチに対して、上記エクスパンダユニットで実現し得る上記ワークの配列ピッチをその半分に設定し得る。【００４０】
また、上記エクスパンダユニットの上記ワークホルダは、上記ワークを固定するワーク固定手段を備えていることが好ましい。
この場合には、上記各ワークを上記固定手段により固定した状態で上記ワークホルダの間隔を拡張すれば、上記ワークシートの上記各ワークを確実性高く分離し得る。例えば、切れ目を設けたワークシート上でワークの切り口が絡み合っていたり、微小な切り残しが存在する場合等にも、上記ワークを確実性高く分離して所望の配列ピッチを実現できるようになる。【００４１】
また、上記ワークは、シート状のチップ保持部材に半導体チップを実装してなると共に該半導体チップから電気的に延設された接続端子を備えたインターポーザであることが好ましい。
この場合には、上記エクスパンダユニットを利用することで、上記インターポーザの配列ピッチを効率良く、高精度に拡張し得る。【００４２】
上記第２の発明における上記半導体チップは、ＲＦ−ＩＤメディア用のＩＣチップであり、上記ベース回路シートには、上記ＩＣチップと電気的に接続されるアンテナパターンを設けてあることが好ましい。
ここで、ＲＦ−ＩＤとは、Ｒａｄｉｏ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎの略である。ＲＦ−ＩＤメディアは、低コスト化が要求されるため、生産効率を向上し得るという上記第２の発明の作用効果が特に、有効となる。なお、上記電子部品の製造装置は、非接触ＩＤ用のＲＦ−ＩＤメディアのみならず、接触ＩＤ用のものを作製することも可能である。【００４３】
上記チップ保持部材及び上記ベース部材としては、ＰＥＴフィルム、ＰＰＳ樹脂、ＰＬＡ樹脂、汎用エンプラ等の合成樹脂や、紙や、不織布や、アルミ箔、銅箔等の金属材料や、ガラス等の材料より形成したものを採用できる。なお、上記チップ保持部材の材料と、上記ベース部材の材料とは、同じ材料の組み合わせでも良く、異なる材料の組み合わせであっても良い。また、上記キャリアの材質としては、ポリイミド系エンプラ、ポリアセタール、ナイロン６６などの材料が好ましい。
【実施例】
【００４４】
（実施例１）
本例は、シート片状のワーク５０を含む電子部品５を作製する製造装置に関する例である。この内容について、図１〜図２７を用いて説明する。
本例の電子部品の製造装置１は、図１〜図４に示すごとく、シート状のベース部材６１よりなるベース回路シート６０の表面にワーク５０を接合した電子部品を作成するための装置である。ワーク５０（本例では、インターポーザ。以下、インターポーザ５０という。）は、シート状のチップ保持部材５３の表面に半導体チップ５１を実装した電子部品である。
この電子部品の製造装置１は、一列状に配列された複数のインターポーザ５０を含むワークシート５３０に切れ目を設け、当該切れ目を介して各インターポーザ５０毎に分割可能な状態を形成するカッティングユニット７と、ベース回路シート６０を連続的に保持しながら回転する略円柱状のアンビルローラ３５、及びこのアンビルローラ３５の外周面に略外接する軌跡円上でインターポーザ５０を保持しながら周回するエンドエフェクタ３７１〜３７６（図１１参照。）を有し、ベース回路シート６０の表面にインターポーザ５０を配置するコンバータユニット３と、インターポーザ５０を個別に保持するキャリア２１を順次、コンバータユニット３に向けて供給するワーク供給ユニット２と、インターポーザ５０を保持しない空のキャリア２１を一列状に配列するキャリア配列ユニット９と、ワークシート５３０におけるインターポーザ５０の配列ピッチに相当する最小ピッチから、キャリア配列ユニット９によるキャリア２１の配列ピッチに相当する最大ピッチまでの範囲で一列状に配列されたインターポーザ５０の配列ピッチを変更するためのエクスパンダユニット１０と、カッティングユニット７により分割可能な状態にされたワークシート５３０の各インターポーザ５０をエクスパンダユニット１０へ移載する第１のトランスポータユニット８１と、エクスパンダユニット１０が配列ピッチを変更した後のインターポーザ５０を、キャリア配列ユニット９が配列したキャリア２１に移載する第２のトランスポ−タユニット８２と、を備えている。【００４５】
上記エクスパンダユニット１０は、図１〜図４に示すごとく、インターポーザ５０を個別に保持可能なワークホルダ１１０と、インターポーザ５０の配列方向Ｄｒに沿って複数のワークホルダ１１０を配列してなるホルダ列１１と、配列方向Ｄｒに沿ってワークホルダ１１０が変位可能な状態で各ワークホルダ１１０を支持する支持手段１２と、ホルダ列１１の中で隣り合う２基のワークホルダ１１０にそれぞれ設けられた係合部１１５（図１５参照。）に係合し、当該２基のワークホルダ１１０が配列方向Ｄｒに最も離隔し得る最大間隔を規制するように構成された連結部材１３（以下、連結ロッド１３という。）と、ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０を直接的に駆動する駆動手段１４とを備えている。連結ロッド１３は、隣り合う２基のワークホルダ１１０にそれぞれ形成された係合部１１５に係合している。
エクスパンダユニット１０では、ホルダ列１１の中で隣り合う２基のワークホルダ１１０が最も接近して配列方向に最小間隔となった際、各ワークホルダ１１０の配列ピッチが最小ピッチとなり、かつ、ホルダ列１１の中で隣り合う２基のワークホルダ１１０が最大間隔となった際、各ワークホルダ１１０の配列ピッチが最大ピッチとなる。
以下、この内容について、詳しく説明する。【００４６】
まず、本例で作製する電子部品５について説明する。この電子部品５は、図４に示すごとく、非接触ＩＤ用のＲＦ−ＩＤ（Ｒａｄｉｏ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）メディアである（以下、適宜ＲＦ−ＩＤメディア５と記載する。）。このＲＦ−ＩＤメディア５は、インターポーザ５０とベース回路シート６０とを積層して接合した電子部品である。インターポーザ５０は、上記半導体チップ５１としてＲＦ−ＩＤ用のＩＣチップ（以下、適宜ＩＣチップ５１と記載する。）を実装してなる。ベース回路シート６０は、ベース側端子６２を含むアンテナパターン６４を設けてなる。【００４７】
インターポーザ５０は、図４に示すごとく、ＰＳＦ（ポリスルホン）よりなる厚さ２００μｍのシート状のチップ保持部材５３の表面に、ＩＣチップ５１を実装した電子部品である。このチップ保持部材５３の表面には、ＩＣチップ５１の電極パッド（図示略）と電気的に接続される導電パッド（図示略）と、この導電パッドから延設した接続端子５２とが形成されている。なお、本例の導電パッド及び接続端子５２は、導電性インクにより形成されている。【００４８】
なお、チップ保持部材５３の材質としては、図４に示すごとく、本例のＰＳＦに代えて、ＰＣ、加工紙等を採用することができる。また、導電パッドと電極パッドとの電気的な接続箇所を保護するため、アンダーフィル材やポッティング材等を利用するのも良い。また、接続端子５２等の形成方法としては、本例の導電性インクを印刷する方法に代えて、銅エッチング、ディスペンス、金属箔貼り付け、金属の直接蒸着、金属蒸着膜転写、導電高分子層形成などの方法であっても良い。【００４９】
上記ベース回路シート６０は、図４に示すごとく、ＰＥＴよりなる厚さ１００μｍの熱可塑性のベース部材６１の表面に、導電性インクよりなるアンテナパターン６４を配設してなる。このアンテナパターン６４は、１カ所において途切れた略環状を呈している。アンテナパターン６４において上記１カ所を介して対面する両端部は、接続端子５２と電気的に接続するベース側端子６２を形成している。【００５０】
なお、上記チップ保持部材５３の接続端子５２と同様、導電性インクよりなるアンテナパターン６４に代えて、銅エッチング箔、ディスペンス、金属箔貼り付け、金属の直接蒸着、金属蒸着膜転写、導電高分子層形成などの方法により形成されたアンテナパターンを設けることも良い。また、ベース部材６１の材質としては、本例のＰＥＴのほか、ＰＥＴ−Ｇ、ＰＣ、ＰＰ、ナイロン、紙等を用いることができる。さらに、導電性インクのインク材料としては、銀、黒鉛、塩化銀、銅、ニッケル等を用いることができる。【００５１】
次に、上記のＲＦ−ＩＤメディア５を作製するための電子部品の製造装置１について説明する。
電子部品の製造装置１は、図１〜図３を用いて上記したごとく、コンバータユニット３と、ワーク供給ユニット２と、エクスパンダユニット１０と、カッティングユニット７と、キャリア配列ユニット９と、２基のトランスポータユニット８１、８２とを有している。さらに、この電子部品の製造装置１は、図１２〜図１４に示すごとく、ベース回路シート６０に対してインターポーザ５０を加圧して接合するプレスユニット４を備えている。なお、図１では、エクスパンダユニット１０、カッティングユニット７及びキャリア配列ユニット９を省略してある。また、図２では、トランスポータユニット８１、８２及びプレスユニット４を省略してある。【００５２】
まず、本例で採用した上記キャリア２１について説明する。このキャリア２１は、図５に示すごとく、インターポーザ５０を収容して保持する部材である。本例のキャリア２１は、超高分子ポリエチレンよりなる樹脂成型品である。キャリア２１は、図５中上側に位置する略平板状の収容部２１０と、下側に位置する略直方体形状の台座部２１５とよりなる。収容部２１０は、台座部２１５よりも幅広であって、奥行き方向（配列方向Ｄｒ）の寸法が小さくなっている。【００５３】
収容部２１０は、幅方向Ｗに翼状をなして台座部２１５より突出する翼部２１２を有している。この翼部２１２は、後述するインターバル調整機構２４のスパイラル溝２４３に係合する部分である。翼部２１２には、位置決め用の丸孔２１３が穿孔されている。収容部２１０は、その中央部分に、インターポーザ５０を収容するための凹部２１１を有している。収容部２１０の凹部２１１は、インターポーザ５０の表面形状に略一致する断面略矩形状を呈する窪みである。【００５４】
上記ワーク供給ユニット２は、図１及び図２に示すごとく、インターポーザ５０を保持するキャリア２１を搬送するコンベアベルト２２と、キャリア２１の搬送間隔を調整するためのインターバル調整機構２４と、コンベアベルト２２により搬送されてきたインターポーザ５０をキャリア２１から取り出して受け取る保持プーリ２３とを備えている。【００５５】
インターバル調整機構２４は、図１及び図２に示すごとく、２本一対のシャフト状のキャリアフィードスパイラル２４１、２４２を有している。このキャリアフィードスパイラル２４１、２４２は、コンベアベルト２２における保持プーリ２３側の端部に近く配設されている。２本一対のキャリアフィードスパイラル２４１、２４２は、図１及び図２に示すごとく、それぞれ、コンベアベルト２２の搬送方向に対して略平行をなすと共に、コンベアベルト２２上のキャリア２１を介して互いに対向するように配設されている。各キャリアフィードスパイラル２４１、２４２は、その外周面に、キャリア２１の翼部２１２に係合するスパイラル溝２４３を有している。【００５６】
コンベアベルト２２の下流方向Ｃｄに向かって左側に配置された第１のキャリアフィードスパイラル２４１は、図１及び図２に示すごとく、下流方向Ｃｄに向けて反時計回りのスパイラル溝２４３を有している。このキャリアフィードスパイラル２４１は、下流方向Ｃｄに向かって時計回りに回転する。一方、下流方向Ｃｄに向かって右側に配置された第２のキャリアフィードスパイラル２４２は、下流方向Ｃｄに向けて時計回りのスパイラル溝２４３を有している。このキャリアフィードスパイラル２４２は、下流方向Ｃｄに向かって反時計回りに回転する。【００５７】
各キャリアフィードスパイラル２４１、２４２のスパイラル溝２４３は、同図に示すごとく、コンベアベルト２２の下流方向Ｃｄに向かって形成ピッチが次第に拡大している。キャリアフィードスパイラル２４１、２４２を備えたインターバル調整機構２４によれば、スパイラル溝２４３に沿って搬送するキャリア２１の搬送間隔を拡大できる。ワーク供給ユニット２は、コンバータユニット３によるインターポーザ５０の受け取り周期に対応できるよう、キャリア２１の搬送間隔を拡大する。【００５８】
上記保持プーリ２３は、図１及び図２に示すごとく、略円板状の回転部材の外周面に、径方向に突出する保持ロッド２３０を設けたものである。この保持ロッド２３０は、周方向の略等間隔に複数、配設されている。保持ロッド２３０は、上記キャリア２１の凹部２１１に収容可能なように形成されている。さらに、保持ロッド２３０は、その先端面をなす保持面に図示しない圧力導入孔を有している。この保持ロッド２３０は、圧力導入孔を負圧に設定することでインターポーザ５０を吸着して保持し、圧力導入孔を大気圧又は正圧に設定することでインターポーザ５０をエンドエフェクタ３７１〜３７６に引き渡す。【００５９】
上記コンバータユニット３は、図１、図６〜図１１に示すごとく、連続ベース部材６１０の表面にインターポーザ５０を順次、配置するためのユニットである。コンバータユニット３は、連続ベース部材６１０を外周面に保持しながら回転する略円柱状のアンビルローラ３５と、インターポーザ５０を保持するエンドエフェクタ３７１〜３７６とを有している。ここで、連続ベース部材６１０は、連続シート状の上記ベース部材６１である。連続ベース部材６１０の表面には、所定の間隔を空けて連続的にアンテナパターン６４が形成されている。【００６０】
アンビルローラ３５は、連続ベース部材６１０を外周面に保持しながら回転し、該連続ベース部材６１０を前進させる。エンドエフェクタ３７１〜３７６は、インターポーザ５０を保持し、アンビルローラ３５の外周面に略外接する軌跡円上でインターポーザ５０を周回させる。【００６１】
エンドエフェクタ３７１〜３７６は、図７〜図１１に示すごとく、中心軸ＣＬと略平行をなすよう、偏芯して配置された棒状材である。各エンドエフェクタ３７１〜３７６は、中心軸ＣＬの周りを周回可能なように回転支持されている。各エンドエフェクタ３７１〜３７６は、下記のエンドユニット３６を構成する部品である。【００６２】
エンドユニット３６は、図７〜図１１に示すごとく、エンドエフェクタ３７１、３７３、３７５を含むエンドユニット３６Ａと、エンドエフェクタ３７２、３７４、３７６を含むエンドユニット３６Ｂとを組み合わせてなる。本例では、すべてのエンドエフェクタ３７１〜３７６が同一円周上を周回するように、エンドユニット３６Ａ、３６Ｂを対向して配置してある。なお、本例では、エンドエフェクタ３７１〜３７６の周回円が、上記ワーク供給ユニット２の保持プーリ２３に外接している。【００６３】
エンドユニット３６Ａ（３６Ｂ）は、図７及び図８に示すごとく、構造部材３６０Ａ、３６０Ｂ、３６０Ｃと、同軸上に配置された４つの軸受３８０、３８２、３８４、３８６とを有している。各軸受３８０、３８２、３８４、３８６の内周側には、中心軸ＣＬを軸芯とした構造部材である中空軸３６０が配設されている。そして、この中空軸３６０の外周には、エンドエフェクタ３７１、３７３、３７５（３７２、３７４、３７６）の周回運動を支持するための軸受３６１、３６３、３６５が配置されている。【００６４】
エンドユニット３６Ａ（３６Ｂ）は、図８、図９及び図１０Ａ、Ｂ、Ｃに示すごとく、３つの同軸回転体３１０を組み合わせたユニットである。エンドユニット３６Ａ（３６Ｂ）では、各同軸回転体３１０が他の同軸回転体３１０を互いに支持している。各同軸回転体３１０は、軸方向に隣り合う軸受のうちの一方の内輪と他方の外輪とを連結する連結部材を介して他の同軸回転体３１０を支持している。軸方向の端部に位置する軸受３８０は、外輪３８０Ｂが構造部材３６０Ａに固定されている。また、他方の端部に位置する軸受３８６は、内輪３８６Ａが構造部材３６０Ｃに固定されている。【００６５】
同軸回転体３１０は、図７〜図９に示すごとく、それぞれ１つのエンドエフェクタを備えている。各同軸回転体３１０においては、連結部材３９１、３９３、３９５を介して連結された内輪と外輪との組み合わせのうち、内輪の内周側にエンドエフェクタ３７１、３７３、３７５が固定され、外輪に駆動ホイール３９２、３９４、３９６が外挿されて固定されている。【００６６】
例えば、図７〜図９に示すごとく、エンドエフェクタ３７１は、その先端側（保持面３７０Ｓ側）が軸受３６１の外輪３６１Ｂの外周側に固定され、後端側が軸受３８０の内輪３８０Ａの内周側に固定されている。軸受３８０の内輪３８０Ａは、連結部材３９１を介して、軸方向に隣り合う軸受３８２の外輪３８２Ｂと一体的に回転するように連結されている。外輪３８２Ｂの外周側には、連結部材３９１の一部を介し駆動ホイール３９２が固定されている。【００６７】
駆動ホイール３９２の外周側には、駆動力を伝達するための機械要素が配置されている。駆動ホイール３９２の外周面には、例えば、上記機械要素の駆動力を伝達して駆動ホイール３９２を回転駆動するタイミングベルトに噛み合う伝導用噛み合い溝が形成されている。【００６８】
上記のように構成されたコンバータユニット３では、図７及び図１１に示すごとく、各エンドエフェクタ３７１〜３７６が、それぞれ互いの周回順序を維持しながら略同一円周上を周回する。各エンドエフェクタ３７１〜３７６は、ワーク供給ユニット２による供給周期に同期し、相対速度が略ゼロの状態でインターポーザ５０を受け取る。その後、各エンドエフェクタ３７１〜３７６は、ベース回路シート６０の表面にインターポーザ５０を配置する。このとき、アンビルローラ３５の回転動作に対して各エンドエフェクタ３７１〜３７６を同期させることで、ベース回路シート６０との相対速度が略ゼロの状態でインターポーザ５０を配置する。【００６９】
上記エンドユニット３６Ａ（３６Ｂ）の中空軸３６０の端面には、図８に示すごとく、中心軸に沿って穿孔された貫通孔３７０Ｂが開口している。この貫通孔３７０Ｂには、図示しないポンプの吸入ポートが接続されている。それ故、中空軸３６０の中空部は、上記ポンプの作用により負圧に維持される。また、中空軸３６０の外周壁面には、径方向に貫通する貫通孔３７０Ａが穿孔されている。さらに、軸受３６１、３６３、３６５は、上記貫通孔３７０Ａと連通するように径方向に貫通する孔を有している。この孔は、エンドエフェクタ３７１、３７３、３７５の中空部に連通する孔である。【００７０】
本例のエンドエフェクタ３７１、３７３、３７５（３７２、３７４、３７６）は、図７〜図１１に示すごとく、その先端部に、インターポーザ５０（図４参照。）を吸着して保持するための保持面３７０Ｓを備えている。この保持面３７０Ｓは、空気圧制御のための孔が開口しており、インターポーザ５０を負圧吸着して保持し得る。一方、連続ベース部材６１０にインターポーザ５０を引き渡す際には、保持面３７０Ｓの孔が大気圧又は正圧となり、インターポーザ５０がリリースされる。【００７１】
また、本例のコンバータユニット３は、図７〜図１１に示すごとく、ワーク供給ユニット２によって搬送中のインターポーザ５０の搬送状態を撮影して、画像データを得るための図示しない撮像装置を有している。図示しない制御手段は、この画像データの画像処理により搬送中のインターポーザ５０の搬送位置及び搬送速度を検出し、各エンドエフェクタ３７１〜３７６の周回運動を制御する。【００７２】
さらに、本例のコンバータユニット３は、図７〜図１１に示すごとく、エンドエフェクタ３７１〜３７６により保持されたインターポーザ５０を撮影する図示しない撮像装置と、アンビルローラ３５に保持された連続ベース部材６１０を撮影する図示しない撮像装置とを備えている。コンバータユニット３では、これら撮像装置により撮影した画像データに基づいて、例えば、インターポーザ５０の搬送間隔の異常、姿勢異常、異物の存在等の異常検出や、連続ベース部材６１０上のアンテナパターン６４の搬送速度、搬送位置、パターン異常等が検出される。【００７３】
上記プレスユニット４は、図１２〜図１４に示すごとく、コンバータユニット３を通過した後の連続ベース部材６１０に対してインターポーザ５０を加圧して接合するためのユニットである。コンバータユニット３を通過後の連続ベース部材６１０の表面には、インターポーザ５０が配置されている。プレスユニット４は、連続ベース部材６１０を外周面に保持しながら回転し、該連続ベース部材６１０を前進させる略円柱形状のプレスローラ４１と、該プレスローラ４１の外周面に対して所定の間隙Ｇを設けて対面する接合ヘッド４２とを有する。プレスユニット４は、上記所定の間隙Ｇにおいて、連続ベース部材６１０に対してインターポーザ５０を加圧して接合する。【００７４】
プレスローラ４１は、図６及び図１２〜図１４に示すごとく、アンテナパターン６４の一対のベース側端子６２が軸芯方向に沿って配置されるように連続ベース部材６１０を保持する。プレスローラ４１の外周面には、上記一対のベース側端子６２に対応して２列の凸形成部４１０が配設されている。この凸形成部４１０は、プレスローラ４１の外周全周に渡って形成されている。凸形成部４１０は、アンテナパターン６４の各ベース側端子６２に対面するように形成されている（図２７参照。）。【００７５】
凸形成部４１０では、図１３及び図１４に示すごとく、突出部４１１が連続的に形成されている。突出部４１１は、プレスローラ４１の外周側に向けて突出する部分である。突出部４１１は、軸芯方向に略平行をなすよう延設されて畝状を呈している。本例では、各ベース側端子６２に対して数個の突出部４１１が対面するよう、その形成ピッチが設定されている（図２６参照。）。なお、本例では、突出部４１１の突出高さＨＤを４００μｍとした。【００７６】
さらに、本例のプレスローラ４１は、図示しない加熱ヒータを有している。プレスローラ４１は、図１２〜図１４に示すごとく、加熱ヒータにより加熱された突出部４１１により連続ベース部材６１０を加圧する。加熱された突出部４１１によれば、熱可塑性材料よりなる連続ベース部材６１０を容易、かつ、形状精度高く突出変形させ得る。【００７７】
接合ヘッド４２は、図１３及び図１４に示すごとく、プレスローラ４１の各突出部４１１の突出表面がなす最外周表面に対して、２３０μｍの間隙Ｇを介して対面している。なお、接合ヘッド４２は、図示しない加振ユニットを有している。この加振ユニットによれば、接合ヘッド４２の加圧面４２０に超音波振動を作用できる。【００７８】
なお、加圧面４２０には、インターポーザ５０の裏面との摩擦を抑制するため、表面処理としてダイヤモンドコート処理を施してある。これに代えて、加圧面にテフロン（Ｒ）コート等の表面処理を施すことや、タングステンカーバイトよりなる超硬チップを加圧面４２０に配設することも有効である。さらには、接合ヘッド４２の先端に回転ローラを設け、その回転ローラの外周面を加圧面として利用することも良い。【００７９】
上記カッティングユニット７は、図２に示すごとく、ワークシート５３０から個片状のインターポーザ５０を切り出すためのユニットである。ワークシート５３０は、連続的にＩＣチップ５１を表面実装したシート状の部材である。本例のカッティングユニット７は、ワークシート５３０に対してインターポーザ５０毎の切れ目を設ける図示しないトムソンプレスを有している。本例のカッティングユニット７は、ワークシート５３０におけるインターポーザ５０の配列をそのまま維持しながら、インターポーザ５０毎の境界に切れ目を設ける。【００８０】
上記第１のトランスポータユニット８１は、図１及び図２に示すごとく、カッティングユニット７が切れ目を設けた一列状の４６個のインターポーザ５０をエクスパンダユニット１０に一括して移載するためのユニットである。本例のトランスポータユニット８１は、インターポーザ５０を保持する保持面を負圧に設定可能なバキュームアーム８１０を備えている。なお、図１では、１組のバキュームアームに対して符号８１０及び８２０を付してあるが、実際には、バキュームアーム８１０とバキュームアーム８２０とは配列ピッチが相違している。各バキュームアーム８１０、８２０の配列ピッチは固定であり、バキュームアーム８１０の配列ピッチの方が小さくなっている。【００８１】
第１のトランスポータユニット８１は、図１及び図２に示すごとく、カッティングユニット７とエクスパンダユニット１０との間で、バキュームアーム８１０を往復させる。第１のトランスポータユニット８１は、バキュームアーム８１０を利用して、カッティングユニット７が切れ目を設けた一列状のインターポーザ５０を受け取り、エクスパンダユニット１０へ引き渡す。【００８２】
上記エクスパンダユニット１０は、図１、図３及び図１５〜図１８に示すごとく、カッティングユニット７側から受け取った一列状のインターポーザ５０の配列ピッチを変更するためのユニットである。エクスパンダユニット１０は、上記のごとく、インターポーザ５０を個別に保持するワークホルダ１１０と、インターポーザ５０のを配列方向Ｄｒに沿って複数のワークホルダ１１０を配列したホルダ列１１と、配列方向Ｄｒに沿って変位可能な状態で各ワークホルダ１１０を支持する支持手段１２と、ホルダ列１１の中で隣り合う２基のワークホルダ１１０の最大間隔を規制する連結ロッド１３と、ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０を駆動する駆動手段１４とを有している。【００８３】
特に、本例のエクスパンダユニット１０は、２列のホルダ列１１を並設してなる。このエクスパンダユニット１０では、２列のホルダ列１１に属するワークホルダ１１０が一列状に配列されている。そして、この一列状のワークホルダ１１０のうち、隣り合う２基が異なるホルダ列１１に属している。このエクスパンダユニット１０では、各ホルダ列１１におけるワークホルダ１１０の配列ピッチに対して、エクスパンダユニット１０におけるワークホルダ１１０の配列ピッチが１／２となる。【００８４】
ホルダ列１１を構成する各ワークホルダ１１０は、図１５〜図１８に示すごとく、略Ｌ字状を呈する部材である。ワークホルダ１１０は、鉛直方向に細長い胴部１１１と、該胴部１１１の端部から水平方向に延設されたかぎ状部１１２とを有している。カギ状部１１２は、ワークホルダ１１０において鉛直方向上側に位置している。【００８５】
カギ状部１１２は、図２及び図１５〜図１８に示すごとく、鉛直方向上側を向く表面に、インターポーザ５０を保持する保持面１１３を有している。保持面１１３は、インターポーザ５０を吸着できるよう、負圧を設定可能である。エクスパンダユニット１０では、異なるホルダ列１１のカギ状部１１２が櫛歯状に噛み合うように２列のホルダ列１１が対向している。エクスパンダユニット１０では、異なるホルダ列１１に属する各ワークホルダ１１０の保持面１１３が、略一直線状をなすエクスパンド列１０５に沿って交互に配列されている。【００８６】
胴部１１１は、図３、図１５及び図１６に示すごとく、上記のごとく鉛直方向に細長く形成された部分である。胴部１１１は、他方のホルダ列に面する側部に、上記支持手段１２であるガイドレール１２１〜１２３に係合するレールホルダ１２０を有している。レールホルダ１２０は、配列方向Ｄｒに沿って配設されたガイドレール１２１〜１２３のいずれかに対して、配列方向Ｄｒに摺動可能な状態で係合している。なお、各ワークホルダ１１０は、鉛直方向における２箇所のレールホルダ１２０を有している。本例のホルダ列１１では、配列方向３基のワークホルダ１１０毎に、上記２箇所のレールホルダ１２０の鉛直方向の位置が交互に変更されている。【００８７】
胴部１１１は、図１５及び図１６に示すごとく、他方のホルダ列の反対側の側部に、連結ロッド１３に係合する係合部１１５を有している。係合部１１５は、胴部１１１から外側に突出するタブ状を呈する部分である。係合部１１５は、連結ロッド１３を貫通配置するための貫通孔１１８を有している。【００８８】
ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０は、鉛直方向の１箇所に係合部１１５を有している。ホルダ列１１の両端を除いて、中間に位置するワークホルダ１１０は、鉛直方向の２箇所の係合部１１５を有している。これら２箇所の係合部１１５のうちの一方の係合部は、隣り合う２基のワークホルダ１１０のうちの一方のワークホルダの係合部１１５との間で連結ロッド１３を共有している。他方の係合部１１５は、隣り合う２基のワークホルダ１１０のうちの他方のワークホルダの係合部１１５との間で連結ロッド１３を共有している。本例のホルダ列１１では、係合部１１５の配設位置として９種類の鉛直方向位置が設定されている。そして、本例では、隣り合う２基のワークホルダ１１０の組み合わせ毎に、係合部１１５の鉛直方向の配設位置が交互に変更されている。【００８９】
さらに、本例のワークホルダ１１０は、図１５〜図１８に示すごとく、保持面１１３に保持したインターポーザ５０を固定するためのワーク固定手段１６を有している。ワーク固定手段１６は、保持面１１３上のインターポーザ５０を押さえて固定する可動フラップ１６１と、該可動フラップ１６１を駆動する駆動部１６５とを有している。可動フラップ１６１は、外周にギア歯を設けた略円柱状のギア部１６３と、該ギア部１６３から径方向に突出するように延設された略平板状のプレート部１６２とよりなる。【００９０】
略円柱状のギア部１６３は、軸芯に沿う軸穴を有し、この軸穴に貫通配置した回転軸１６０を介して、回転可能な状態でワークホルダ１１０に軸支されている。可動フラップ１６１は、プレート部１６２が保持面１１３に押し当たる位置（図１８参照。）と、保持面１１３に対して直交してプレート部１６２が起立する位置（図１７参照。）との間を回動する。【００９１】
駆動部１６５は、図１５〜図１８に示すごとく、上記ギア部１６３にギア係合する駆動ギアを設けた駆動ブロック１６６を有している。駆動ブロック１６６は、鉛直方向に進退可能なようにワークホルダ１１０に支持されている。駆動ブロック１６６は、その進退動作に応じてギア部１６３を回転させ、可動フラップ１６１を回動させ得る。【００９２】
支持手段１２は、図３、図１５及び図１６に示すごとく、各ホルダ列１１毎に６本ずつ、エクスパンダユニット１０全体として１２本のガイドレール１２１〜１２３を備えている。エクスパンダユニット１０を構成する各ワークホルダ１１０は、それぞれ、２本のガイドレール１２１、１２２、１２３により支持されている。ホルダ列１１では、配列方向Ｄｒにおいて連続する３基のワークホルダ１１０毎に、２本のガイドレール１２１、１２２、１２３の組み合わせが交互に変更されている。【００９３】
エクスパンダユニット１０の駆動手段１４は、図３に示すごとく、各ホルダ列１１毎に１基ずつ設けた駆動ユニット１４０よりなる。駆動ユニット１４０は、外周ねじを設けた軸状の駆動シャフト１４１と、該駆動シャフト１４１を回転させる回転モータ１４２と、駆動シャフト１４１に対してねじ係合する駆動部材１４３とを有している。駆動シャフト１４１は、軸受１４９により回転可能な状態で軸支されている。【００９４】
駆動部材１４３は、図３に示すごとく、駆動シャフト１４１の外周ねじにねじ係合すると共に、ホルダ列１１の端部に位置するワークホルダ１１０に係合する部材である。駆動部材１４３は、駆動シャフト１４１の回転に応じて軸方向に進退し、これにより、係合するワークホルダ１１０を配列方向Ｄｒに変位させる。本例では、駆動シャフト１４１に対して２個ずつ、駆動部材１４３を配設してある。１本の駆動シャフト１４１にねじ係合する２個一対の駆動部材１４３には、互いに逆ねじのねじ部１４８が形成されている。【００９５】
それ故、駆動シャフト１４１の両端に位置する２個一対の駆動部材１４３は、駆動シャフト１４１の回転に応じて、互いに逆方向に変位し得る。例えば、駆動シャフト１４１を所定方向に回転させれば、ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０を外方に向けて変位させ、該ホルダ列１１を配列方向Ｄｒに伸張させることができる。一方、駆動シャフト１４１を逆方向に回転させれば、ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０を内方に向けて変位させ、該ホルダ列１１を配列方向Ｄｒに収縮させることができる。なお、本例のエクスパンダユニット１０では、配列方向Ｄｒにおける中央に位置するワークホルダ１１０が固定され、その固定位置が基準位置として設定されている。【００９６】
上記連結ロッド１３は、図３、図１５及び図１６に示すごとく、隣り合う２基のワークホルダ１１０を連結する軸状の部材である。上記のごとく隣り合う２基のワークホルダ１１０は、鉛直方向の配設位置が等しい係合部１１５を有している。連結ロッド１３は、ホルダ列１１の中で隣り合う２基のワークホルダ１１０の間で、鉛直方向の配設位置が等しい係合部１１５に貫通配置されている。連結ロッド１３は、略円形状の同一断面を呈する中間軸部１３０と、該中間軸部１３０の両端側に形成された大径の抜け止め部１３１とを有している。隣り合う２基のワークホルダ１１０は、両端の抜け止め部１３１の間隙に位置する中間軸部１３０の軸方向長さの範囲で、配列方向Ｄｒに上記最大間隔まで離隔し得る。また、当該２基のワークホルダ１１０は、配列方向Ｄｒに互いに接触するまでの範囲で配列方向Ｄｒの間隔を上記最小間隔まで縮小できる。なお、シム等の部材を介して、隣り合う２基のワークホルダ１１０を接触させることも良い。この場合には、シムの厚さを調整することで、隣り合う２基のワークホルダ１１０の最小間隔を微調整できる。【００９７】
本例のエクスパンダユニット１０では、図３、図１５及び図１６に示すごとく、両端に位置するワークホルダ１１０を配列方向Ｄｒ外方に向けて変位させれば、連結ロッド１３を介してホルダ列１１の中間側に位置するワークホルダ１１０を順次、変位させていくことができる。最終的には、ホルダ列１１において隣り合うワークホルダ１１０の間隔を、連結ロッド１３によって規制された上限値の寸法（上記最大間隔）に設定できる。【００９８】
本例のエクスパンダユニット１０では、各ホルダ列１１における隣り合う２基のワークホルダ１１０が最小間隔となったとき、２基のホルダ列１１により配列されたワークホルダ１１０の配列ピッチが最小ピッチとなる。また、各ホルダ列１１における隣り合う２基のワークホルダ１１０が最大間隔となったとき、２基のホルダ列１１により配列されたワークホルダ１１０の配列ピッチが最大ピッチとなる。なお、エクスパンダユニット１０におけるワークホルダ１１０の配列ピッチとは、２基のホルダ列により配列されたワークホルダ１１０がなす配列ピッチを意味している。一方、各ホルダ列１１におけるワークホルダ１１０の配列ピッチは、エクスパンダユニット１０における（ワークホルダ１１０の）配列ピッチの２倍となる。【００９９】
上記キャリア配列ユニット９は、図２及び図１９〜図２１に示すごとく、キャリアピッチ調整ユニット９１と、回収コンベア機構９４と、ピアノレバー９３とを有している。キャリアピッチ調整ユニット９１は、略一直線状のピッチアジャスト列９３１に沿って配列された複数のキャリア２１の配列ピッチを拡張する。回収コンベア機構９４は、ワーク供給ユニット２から引き取った空のキャリア２１をキャリアピッチ調整ユニット９１に供給する。ピアノレバー９３は、インターポーザ５０を保持したキャリア２１を上記ワーク供給ユニット２のコンベアベルト２２上に移載する。なお、図１では、キャリアピッチ調整ユニット９１を省略してある。なお、キャリア２１の配列ピッチとは、隣り合うキャリアの距離をいう。【０１００】
キャリアピッチ調整ユニット９１は、図１９〜図２３に示すごとく、周方向１２０度近くに渡る略円弧状断面を呈するユニット本体９１１と、所定の回転方向に向けてユニット本体９１１を回転させる回転支持部（図示略）とを備えている。この回転支持部は、ユニット本体９１１の軸方向の両端を回転支持している。ユニット本体９１１は、ピッチアジャスト列９３１に略外接するように配置されている。キャリアピッチ調整ユニット９１は、ピッチアジャスト列９３１に略外接するユニット本体９１１の回転に応じて、該ピッチアジャスト列９３１に沿って配列されたインターポーザ５０の配列ピッチを拡大する。【０１０１】
ユニット本体９１１は、図１９〜図２３に示すごとく、湾曲面状を呈する外周面に、周方向に沿って延設された凸状のリブ９１２を複数有している。リブ９１２は、隣り合わせの２個のキャリア２１の隙間に挿入され、その隙間を拡大する。本例では、ピッチアジャスト列９３１に沿って配列する４６個のキャリア２１に対応して、軸方向等間隔に４５本のリブ９１２が形成されている。なお、図２２は、複数のキャリア２１が配列方向Ｄｒに密接する状態を図示している。図２３は、配列方向Ｄｒに隣り合うキャリア２１の間に隙間が形成され、配列ピッチが拡張された状態を図示している。【０１０２】
各リブ９１２は、図１９〜図２３に示すごとく、回転方向の先端が略くさび状を呈している。リブ９１２としては、軸方向の回転方向の先端位置が異なる３種類のリブ９１２Ａ、Ｂ、Ｃがある。リブ９１２Ａは、軸方向の中央に配置された１７本である。リブ９１２Ｂは、リブ９１２Ａの軸方向の両側に配置された各７本である。リブ９１２Ｃは、軸方向の両端に配置された各７本である。リブ９１２Ａが、回転方向に最も長く、リブ９１２Ｃが、回転方向に最も短くなっている。リブ９１２Ａ、Ｂ、Ｃの組み合わせによれば、ピッチアジャスト列の中央部分から両端側に向けて、隣接するキャリア２１間の隙間を順次、拡大していくことが可能である。【０１０３】
上記回収コンベア機構９４は、図１及び図２に示すごとく、ワーク供給ユニット２のコンベアベルト２２に対して略平行をなすように配設された回収コンベアベルト９４１と、コンベアベルト２２によって搬送されたキャリア２１を回収コンベアベルト９４１に移載させるオフセットプーリ９４２とを有している。このオフセットプーリ９４２は、略円柱状の回転体である。オフセットプーリ９４２は、その外周面に、キャリア２１を収容して前進させるためのら旋状のガイド溝を有している。このオフセットプーリ９４２は、コンベアベルト２２から受け取った空のキャリア２１を、上記ら旋状のガイド溝に沿って前進させ、回収コンベアベルト９４１に引き渡す。【０１０４】
なお、上記オフセットプーリ９４２に代えて、上記ら旋状のガイド溝を平面上に展開したごとき斜行溝が形成されたガイド面を含むガイドブロックを利用することもできる。コンベアベルト２２の搬送面に対してガイド面が対面するようにガイドブロックを配設すれば、コンベアベルト２２により搬送されてきたキャリア２１を上記斜行溝に供給することで上記オフセットプーリ９４２のごとく作用を実現することができる。【０１０５】
上記ピアノレバー９３は、図２に示すごとく、キャリアピッチ調整ユニット９１によりピッチアジャスト列９３１に沿って配列された４６個のキャリア２１にそれぞれ対応して配設されている。各ピアノレバー９３は、ピッチアジャスト列９３１に直交する方向に進退する。このピアノレバー９３の進退動作により、ピッチアジャスト列９３１に沿って配列したキャリア２１をワーク供給ユニット２のコンベアベルト２２上に移載できる。【０１０６】
なお、本例の電子部品の製造装置１では、このピアノレバー９３が、後述するインターポーザ選別機構の一部を構成している。そして、ピアノレバー９３は、良品であるインターポーザ５０を保持したキャリア２１のみを選択的にコンベアベルト２２に移載する。それ故、インターポーザ５０を移載されなかった空のキャリア２１は、ワーク供給ユニット２のコンベアベルト２２上に載置されず、ピッチアジャスト列９３１にそのまま滞留する。【０１０７】
上記第２のトランスポータユニット８２は、図１及び図２に示すごとく、上記エクスパンダユニット１０が配列ピッチを拡張したインタポーザ５０を、キャリア配列ユニット９に向けて一括して移載するユニットである。この第２のトランスポータユニット８２は、インターポーザ５０の保持面を有する４６本のバキュームアーム８２０を備えている。各バキュームアーム８２０は、保持面を負圧に設定可能である。【０１０８】
第２のトランスポータユニット８２の各バキュームアーム８２０は、図１及び図２に示すごとく、エクスパンド列１０５からピッチアジャスト列９３１までの移動経路を往復する。エクスパンド列１０５は、エクスパンダユニット１０がインターポーザ５０を配列する列である。ピッチアジャスト列９３１は、キャリア配列ユニット９がキャリア２１を配列する列である。第２のトランスポータユニット８２は、バキュームアーム８２０を利用して、エクスパンド列１０５に配列されたインターポーザ５０を受け取り、ピッチアジャスト列９３１のキャリア２１に引き渡す。【０１０９】
上記インターポーザ選別機構は、図１及び図２に示すごとく、上記第２のトランスポータユニット８２と、上記キャリア配列ユニット９のピアノレバー９３と、個片状のインターポーザ５０を切り出す前のワークシート５３０について不良のインターポーザ５０を検出する不良検出部と、該不良検出部の検出信号に基づいてバキュームアーム８２０及びピアノレバー９３を制御する図示しない制御ユニットとを含む機構である。なお、本例では、電気的な接続不良などの不良のＩＣチップ５１（図３参照。）に対応して○印が印刷されたワークシート５３０を利用している。【０１１０】
不良検出部は、図１及び図２に示すごとく、不良のインターポーザ５０を検出する画像処理ユニット（図示略）を有している。この画像処理ユニットは、カッティングユニット７にセットされた切り出し前のワークシート５３０の画像データを処理し、上記○印を検出する。画像処理ユニットは、検出した○印の位置情報を制御ユニットに向けて出力する。【０１１１】
○印の位置情報を画像処理ユニットから取り込んだ制御ユニットは、図１及び図２に示すごとく、その位置情報に基づいて上記第２のトランスポータユニット８２及び上記ピアノレバー９３を制御する。第２のトランスポータユニット８２は、保持するインターポーザ５０のうち、不良のインターポーザ５０を吹き飛ばし、良品のインターポーザ５０のみをキャリア２１に移載する。そして、ピアノレバー９３は、良品のインターポーザ５０を保持するキャリア２１のみを、コンベアベルト２２に向けて選択的に押し出す。【０１１２】
次に、上記のように構成した電子部品の製造装置１を用いたＲＦ−ＩＤメディア５の作製手順について説明する。なお、本例では、図１に示すごとく、ＩＣチップ５１を連続的に表面実装した樹脂よりなるワークシート５３０及び、アンテナパターン６４を連続的に設けた連続ベース部材６１０を利用して上記ＲＦ−ＩＤメディア５を作製している。【０１１３】
ＲＦ−ＩＤメディア５を作製するに当たって、まず、ワークシート５３０をカッティングユニット７にセットすると共に、ロール状に巻回した連続ベース部材６１０を、図示しないロールセットシャフトにセットした。ここで、上記連続ベース部材６１０は、その巻回外周側の端部に、ベース回路シート６０を配設してない先端リード部分を有している。連続ベース部材６１０をセットする際には、コンバータユニット３のアンビルローラ３５、プレスユニット４のプレスローラ４１に先端リード部分を巻き付ける。【０１１４】
上記のような状態で、コンバータユニット３のアンビルローラ３５、及びプレスユニット４のプレスローラ４１を同期して回転させ、連続ベース部材６１０を前進させる。このとき、コンバータユニット３の工程上流側に配設された接着剤塗布ユニット（図示略）を用い、図２４に示すごとく、連続ベース部材６１０のベース側端子６２に重ねて接着剤配設層２５を設けた。なお、本例では、電気的絶縁性を有する絶縁性接着剤２５０により上記接着剤配設層２５を形成している。【０１１５】
本例では、図６に示すごとく、連続ベース部材６１０の表面のうちのインターポーザ配置領域を包含する領域に、厚さ４０〜８０μｍの接着剤配設層２５（図２４参照。）を設けた。本例では、絶縁性接着剤２５０として、熱可塑性であって、かつ、湿気硬化型のホットメルト（スリーエム社製の型番ＴＥ−０３１）を用いている。【０１１６】
一方、カッティングユニット７では、図２に示すごとく、ワークシート５３０から個片状のインターポーザ５０を切り出す工程を実施する。本例では、ワークシート５３０をプレスし、該ワークシート５３０上のインターポーザ５０を個片化できるように切れ目を設ける。【０１１７】
なお、上記のごとく、本例のワークシート５３０では、不良のインターポーザ５０に対して、予め、不良であることを示す○印が印刷されている。本例では、インターポーザ選別機構をなす画像処理ユニットが、カッティングユニット７に載置されたワークシート５３０における不良個所を認識し、その位置データを制御ユニット（図示略）に向けて出力する。【０１１８】
カッティングユニット７により切れ目を設けた一列状のインターポーザ５０は、第１のトランスポータユニット８１により、エクスパンダユニット１０に引き渡される。ここで、カッティングユニット７により切れ目を設けただけのインターポーザ５０の配列ピッチは、エクスパンダユニット１０で設定し得る最小ピッチに略一致している。それ故、上記ホルダ列におけるワークホルダ１１０の間隔を最小ピッチに設定しておけば、カッティングユニット７からエクスパンダユニット１０にインターポーザ５０を引き渡すに当たり、その配列ピッチを変更する必要がない。【０１１９】
エクスパンダユニット１０は、図１５〜図１８に示すごとく、可動フラップ１６１を直立させて保持面１１３を開放した状態でインターポーザ５０を受け取る。その後、可動フラップ１６１を回動させ、保持面１１３との間でインターポーザ５０を挟持する。そして、この状態で駆動シャフト１４１を回転させ、各ホルダ列１１の両端に位置するワークホルダ１１０を外方に前進させる。そうすると、連結ロッド１３による規制の範囲で、ワークホルダ１１０の間隔を拡張でき、インターポーザ５０の配列ピッチを拡張することができる。【０１２０】
なお、本例では、インターポーザ５０の配列ピッチを拡張するに当たって、可動フラップ１６１によりインターポーザ５０を挟持したが、これは、必須の要件ではない。ワーク固定手段１６を省略してエクスパンダユニット１０を構成することも可能である。ワーク固定手段１６を備えたエクスパンダユニット１０によれば、インターポーザ５０の切れ目が不完全であったり、切り口が絡み合っているような場合であっても、個々のインターポーザ５０を確実性高く分離できる。【０１２１】
エクスパンダユニット１０のエクスパンド列１０５に配列されたインターポーザ５０は、図２に示すごとく、第２のトランスポータユニット８２により、ピッチアジャスト列９３１に配列されたキャリア２１に引き渡しされる。ここで、エクスパンダユニット１０で設定し得る最大ピッチは、キャリア配列ユニット９によるキャリア２１の配列ピッチと略一致している。それ故、エクスパンダユニット１０を最大ピッチに設定しておけば、エクスパンダユニット１０からキャリア配列ユニット９に向けてインターポーザ５０を引き渡すに当たり、その配列ピッチを変更する必要がない。【０１２２】
なお、本例では、不良のインターポーザ５０の位置データを取り込んだ制御ユニットが、第２のトランスポータユニット８２を制御している。この制御ユニットの制御に応じて、第２のトランスポータユニット８２は、良品のインターポーザ５０のみをキャリア２１に移載する。【０１２３】
その後、ピッチアジャスト列９３１に沿って配列されたキャリア２１は、ピアノレバー９３によりワーク供給ユニット２のコンベアベルト２２上に載置される。ピアノレバー９３のうち、良品のインターポーザ５０を保持するキャリア２１に対応するピアノレバー９３が前進し、インターポーザ５０を移載されなかった空のキャリア２１に対応したピアノレバー９３は前進しない。これにより、インターポーザ５０を保持したキャリア２１のみを、選択的にコンベアベルト２２上に載置できる。インターポーザ５０を保持しない空のキャリア２１は、そのまま、ピッチアジャスト列９３１に残留する。【０１２４】
コンベアベルト２２上のキャリア２１は、上記インターバル調整機構２４に向かって前進する。インターバル調整機構２４では、２本一対のキャリアフィードスパイラル２４１、２４２の動作により、各キャリア２１の搬送間隔が拡張される。そして、インターバル調整機構２４から送出されたキャリア２１は、その搬送間隔を維持しながらコンベアベルト２２によりさらに搬送される。これにより、コンベアベルト２２によるインターポーザ５０の搬送周期が、保持プーリ２３の回転周期と一致するように精度高く調整される。【０１２５】
保持プーリ２３の回転に応じて、各保持ロッド２３０がキャリア２１の凹部２１１（図５参照。）に順次、挿入される。凹部２１１に挿入された保持ロッド２３０は、その保持面に負圧が導入され、キャリア２１に保持されたインターポーザ５０を吸着する。その後、保持プーリ２３がさらに回転すると、インターポーザ５０を吸着した保持ロッド２３０が凹部２１１から引き抜かれる。本例では、このような動作により、キャリア２１から保持プーリ２３に向けて、順次、インターポーザ５０を引き渡した。【０１２６】
コンバータユニット３のエンドエフェクタ３７１〜３７６は、同一円周上を周回しながら、保持プーリ２３から順次、インターポーザ５０を受け取る。エンドエフェクタ３７１〜３７６の保持面３７０Ｓは、保持プーリ２３に保持されたインターポーザ５０を吸着して保持する。【０１２７】
コンバータユニット３は、アンビルローラ３５に保持された連続ベース部材６１０に対して個片状のインターポーザ５０を順次、配置していく。本例では、図２４に示すごとく、アンテナパターン６４の上記ベース側端子６２と、インターポーザ５０の上記接続端子５２とが相互に対面するようにインターポーザ５０を配置した。【０１２８】
コンバータユニット３の各エンドエフェクタ３７１〜３７６は、上記のごとく、同一円周上で周回運動を行う。各エンドエフェクタ３７１〜３７６は、インターポーザ５０の受け取りと引き渡しを含む周回運動の間に、それぞれ独立に周期変速制御される。すなわち、エンドエフェクタの周回軌道上において、インターポーザ５０の受け取りと引き渡しのためのタイミング調整（周回位置調整）及び、周回速度を調整するための周期変速制御が実施される。【０１２９】
次に、図２５に示すごとく、プレスユニット４を用いて、インターポーザ５０と連続ベース部材６１０とを相互に加圧して接合した。上記のようにプレスユニット４のプレスローラ４１は、各ベース側端子６２の裏面に対面するよう、畝状に連続的に設けた突出部４１１を有している。そして、本例の突出高さＨＤ＝４００μｍの突出部４１１によれば、図２６及び図２７に示すごとく、突出高さＨＳ＝約１００μｍの突出変形部６２０をベース側端子６２に形成することができる。【０１３０】
本例では、加圧面の表面温度を２００℃に維持したプレスローラ４１を回転させていき、連続ベース部材６１０の表面に配置したインターポーザ５０を、接合ヘッド４２がなす間隙Ｇに向けて連続的に圧送した。上記のように、本例では、１００μｍ厚の連続ベース部材６１０と、インターポーザ５０をなす２００μｍ厚のチップ保持部材５３との組み合わせに対して、プレスローラ４１と接合ヘッド４２との間隙Ｇを２３０μｍに設定してある。そのため、連続ベース部材６１０とインターポーザ５０とを、重ねて上記の間隙Ｇを通過させることにより、連続ベース部材６１０とインターポーザ５０とを相互に加圧できる。本例のプレスユニット４は、ここで発生する加圧力を利用してインターポーザ５０を強固に接合する。【０１３１】
凸形成部４１０を設けたプレスローラ４１と接合ヘッド４２との組み合わせを備えた本例のプレスユニット４によれば、突出部４１１により各ベース側端子６２の一部を突出変形させることができる。すなわち、図２６及び図２７に示すごとく、プレスローラ４１の加圧表面に畝状に設けた突出部４１１に対応して、各ベース側端子６２に畝状の突出変形部６２０を形成できる。そして、ベース側端子６２と接続端子５２とは、この畝状の突出変形部６２０を介して直接、接触し、この突出変形部６２０以外の部分では、両者の間に間隙６２２が形成される。【０１３２】
そのため、突出変形部６２０と接続端子５２との間では、図２６及び図２７に示すごとく、絶縁性接着剤２５０が流出し、突出変形部６２０が接続端子５２に圧着される。そして、これにより、接続端子５２とベース側端子６２との電気的な接続を確実性高く実現できる。一方、各ベース側端子６２における突出変形部６２０を除く非突出部６２１と、対面する接続端子５２との間隙６２２では、絶縁性接着剤２５０が完全に流出せず、適量の絶縁性接着剤２５０がそのまま残留する。それ故、この間隙に残留した絶縁性接着剤２５０を介して、接続端子５２とベース側端子６２との間の接着接合、すなわち物理的な接続が確実性高く実現される。【０１３３】
次に、上記キャリア配列ユニット９がピッチアジャスト列９３１に沿ってキャリア２１を配置する動作について説明する。図２に示すごとく、ピッチアジャスト列９３１に沿って配置されたキャリア２１のうち、インターポーザ５０を移載されずに空のままのキャリア２１は、上記のごとく、ピッチアジャスト列９３１にそのまま滞留する。一方、インターポーザ５０を引き渡した後の空のキャリア２１は、上記オフセットプーリ９４２を介して、上記回収コンベアベルト９４１上に載置される。回収コンベアベルト９４１は、ピッチアジャスト列９３１に向けてキャリア２１を搬送する。ピッチアジャスト列９３１では、回収コンベアベルト９４１により順次、搬送されてくるキャリア２１により、上記のごとく滞留したキャリア２１が押し出され、隙間なく配列される。【０１３４】
ピッチアジャスト列９３１上で隙間なく配列されたキャリア２１は、図１９に示すごとく、キャリアピッチ調整ユニット９１のユニット本体９１１の回転に応じて、配列ピッチが拡張される。上記のごとく、拡張後の配列ピッチは、エクスパンダユニット１０の最大ピッチと略一致している。【０１３５】
上記のごとく、本例の電子部品の製造装置１が備えるエクスパンダユニット１０によれば、ワークシート５３０におけるインターポーザ５０の配列ピッチに略一致する最小ピッチと、キャリア配列ユニット９によるキャリア２１の配列ピッチに略一致する最大ピッチとの間で、ワークホルダ１１０に保持したインターポーザ５０の配列ピッチを精度高く切り換えることができる。【０１３６】
エクスパンダユニット１０におけるワークホルダ１１０の配列ピッチを最小ピッチに設定すれば、ワークホルダ１１０の保持面１１３の配列ピッチと、ワークシート５３０におけるインターポーザ５０の配列ピッチとを略一致させることができる。この状態のエクスパンダユニット１０によれば、カッティングユニット７側からワークシート５３０を受け取る際、各ワークホルダ１１０に１個ずつ、一列状のインターポーザ５０を効率良く受け取ることが可能になる。【０１３７】
また、エクスパンダユニット１０におけるワークホルダ１１０の配列ピッチを最大ピッチに設定すれば、各ワークホルダ１１０に保持したインターポーザ５０の配列ピッチと、キャリア配列ユニット９が配列したキャリア２１の配列ピッチとを略一致させることができる。この状態のエクスパンダユニット１０によれば、キャリア配列ユニット９が配列した各キャリア２１に対してインターポーザ５０を効率良く引き渡すことができる。【０１３８】
以上のように、エクスパンダユニット１０を備えた本例の電子部品の製造装置１によれば、エクスパンダユニット１０を利用することで、極めて効率良くＲＦ−ＩＤメディア５を製造し得る。
なお、本例の電子部品の製造方法及び製造装置１は、ＲＦ−ＩＤメディア５の作製に限定されるものでなく、インターポーザ５０を用いた各種の電子部品の作製において有効である。さらに、本例の製造方法及び製造装置１は、半導体チップ５１をシート状部材に接合した電子部品の作成に対しても有効である。本例の製造方法あるいは製造装置１によれば、例えば、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）、ペーパーコンピュータ、使い捨て電気製品など様々な電子部品の製造工程において活用することができる。【０１３９】
さらに、本例で用いたコンバータユニット３は、ＲＦ−ＩＤメディア５の作製に限らず、例えばＩＣカード部品への電子部品の移載などにも用いることができる。さらに、例えば、本例のコンバータユニット３と略同一構成の装置は、上記インターポーザ５０に代わる上記ＩＣチップ５１を上記チップ保持部材５３に実装して、上記インターポーザ自体の製造に利用することもできる。すなわち、本例のコンバータユニット３の構成は、上記インターポーザ５０の作製工程に適用可能である。さらにまた、紙おむつや、生理用品などのサニタリー製品の製造工程に用いる生産設備として、本例のコンバータユニット３を採用することもできる。【０１４０】
上記電子部品の製造装置１では、予め分離され、キャリア２１に保持された状態のインターポーザ５０をコンバータユニット３に供給している。そのため、この電子部品の製造装置１では、コンバータユニット３にインタポーザ５０を供給する過程で、インターポーザ５０にトラブルを生じるおそれが少ない。【０１４１】
また、上記電子部品の製造装置１では、上記ワーク供給ユニット２がキャリア２１に保持した状態で信頼性高くインターポーザ５０を搬送する。それ故、上記電子部品の製造装置１では、カッティングユニット７とコンバータユニット３とを互いに接近してレイアウトする必要がない。上記電子部品の製造装置１では、カッティングユニット７やコンバータユニット３等の設置自由度が高くなっている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【国際調査報告】
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