(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持部と、
基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、
ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、
各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、
ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、
基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージと、
手動操作される操作手段と、
操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材を昇降させるピン状部材昇降機構とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記ピン状部材昇降機構は、操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも２つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、
各レール固定手段が備えるピン状部材を下降位置から上昇させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔から抜去させてレール固定手段によるマスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除する工程と、
マスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除した後、一対のマスク支持レールをガイド部材に沿って移動させることにより、一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節する工程と、
一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節した後、各レール固定手段が備えるピン状部材を上昇位置から下降させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させて一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する工程と、
ガイド部材に固定した一対のマスク支持レールにマスクの対向する両辺部を支持させる工程とを含み、
操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材が昇降するようにしたことを特徴とするスクリーン印刷機におけるマスク設置方法。
【請求項４】
操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも２つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させるようにしたことを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板保持部に保持した基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板の電極に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が上下に一致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して電極にペーストを転写させるようになっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、マスクは基板保持部の上方に設けられたマスクホルダによって水平姿勢に保持される。マスクホルダは、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールを有して構成され、マスクはガイド部材に固定された一対のマスク支持レールによって対向する両辺部が支持されるようになっている。
【０００４】
ここで、マスクは生産対象となる基板の種類によってマスクの大きさが変わる場合には、ガイド部材に沿ってマスク支持レールを移動させてその間隔を変える必要がある。このため従来、マスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に合わせて調整したときに上下に合致する孔をマスク支持レールとガイド部材の双方に設けておき、マスク支持レールの間隔の調整を行なった後、マスク支持レールに設けられた孔とガイド部材に設けられた孔の両孔に固定用の螺子を挿通することによって、マスク支持レールをガイド部材に固定するようにしていた（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−７６２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷機では、マスク支持レールの間隔の調整を行うたびにマスク支持レールをガイド部材に固定する螺子の着脱が必要となり、作業に時間がかかるうえ、螺子を紛失しないように細心の注意を払う必要があるため、マスク設置時の作業性がよくないという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、マスク支持レールの間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージと、手動操作される操作手段と、操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材を昇降させるピン状部材昇降機構とを備えた。
【００１０】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記ピン状部材昇降機構は、操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも２つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させる。
【００１１】
請求項３に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に水平に延びて配置されたガイド部材と、ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な一対のマスク支持レールと、各マスク支持レールに設けられ、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、昇降自在に設けられたピン状部材を上昇位置から下降させてガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることにより一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する複数のレール固定手段と、ガイド部材に固定された一対のマスク支持レールにより対向する両辺部が支持された状態で、基板保持部に保持された基板と接触されるマスクと、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクを介して基板にペーストを転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、各レール固定手段が備えるピン状部材を下降位置から上昇させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔から抜去させてレール固定手段によるマスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除する工程と、マスク支持レールのガイド部材に対する固定を解除した後、一対のマスク支持レールをガイド部材に沿って移動させることにより、一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節する工程と、一対のマスク支持レールの間隔をマスクの外径寸法に応じて調節した後、各レール固定手段が備えるピン状部材を上昇位置から下降させることによりガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させて一対のマスク支持レールをガイド部材に固定する工程と、ガイド部材に固定した一対のマスク支持レールにマスクの対向する両辺部を支持させる工程とを含み、操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材が昇降するようにした。
【００１３】
請求項４に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法は、請求項３に記載のスクリーン印刷機におけるマスク設置方法であって、操作手段の手動操作に応じて前記複数のレール固定手段のうちの少なくとも２つのレール固定手段のピン状部材を同時に昇降させるようにした。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、一対のマスク支持レールの間隔が調整された状態で、各マスク支持レールに設けられた複数のレール固定手段の各ピン状部材を、ガイド部材に設けられたピン状部材嵌入孔に嵌入させることによってマスク支持レールをガイド部材に固定するようになっているので、従来のようにマスク支持レールの間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができる。しかも、操作手段の手動操作に応じて各レール固定手段のピン状部材が昇降するようにしているので、オペレータによるワンタッチ操作でピン状部材を昇降させることができ、マスク設置時の作業性の更なる向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク固定シリンダの動作制御系統を示す図
【図８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すフローチャート
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの正面図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図
【図１４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図
【図１５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図
【図１６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板２を搬入してその基板２の表面に設けられた電極３上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰｓｔ（図３参照）を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板２を下流側の電子部品実装機（図示せず）等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機１における基板２の搬送方向をＸ軸方向（図１の紙面左右方向）、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（図１の紙面上下方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向をスクリーン印刷機１の前後方向、Ｘ軸方向をスクリーン印刷機１の横（左右）方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機１のオペレータＯＰ（図１）がスクリーン印刷機１に対して作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、その反対側（図１の紙面上方）をスクリーン印刷機１の後方とする。
【００１７】
図１、図２及び図３において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基台１１上に設けられた基板保持移動ユニット１２、基板保持移動ユニット１２の上方に設けられたプレート状のマスク１３、前後一対のスキージ１４及びカメラユニット１５を備えている。
【００１８】
図２及び図３において、基板保持移動ユニット１２は、水平移動部２１、昇降部２２、コンベア部２３及び基板保持部２４から成る。
【００１９】
水平移動部２１は、Ｙテーブル駆動モータＭｙの作動によって基台１１に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル２１ａ、Ｘテーブル駆動モータＭｘの作動によってＹテーブル２１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃの上面に固定されたベーステーブル２１ｄ及びベーステーブル２１ｄの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド２１ｅから成る。
【００２０】
昇降部２２は、水平移動部２１の複数の昇降テーブルガイド２１ｅにガイドされてベーステーブル２１ｄに対して昇降する昇降テーブル２２ａ及び昇降テーブル２２ａの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド２２ｂから成る。
【００２１】
図３において、コンベア部２３は下受けユニット昇降ガイド２２ｂの上端に取り付けられて昇降テーブル２２ａとともにベーステーブル２１ｄに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材２３ａと、各ベルトコンベア支持部材２３ａに支持されてＸ軸方向に進退動作する前後一対のベルトコンベア２３ｂから成っており、これら前後のベルトコンベア２３ｂが同期して作動することにより、基板２のＸ軸方向への搬送がなされる。
【００２２】
図２及び図３において、基板保持部２４は、コンベア部２３が備える前後のベルトコンベア支持部材２３ａそれぞれの上部にＹ軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材２４ａ（図１も参照）、コンベア部２３の下方において、下受けユニット昇降ガイド２２ｂにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル２４ｂ及び下受けユニット支持テーブル２４ｂの上面に設けられた下受けユニット２４ｃから成る。下受けユニット２４ｃは、下受けユニット支持テーブル２４ｂとともに昇降テーブル２２ａに対して昇降することにより、コンベア部２３上の基板２を下方から支持する。前後のクランプ部材２４ａは、前後のベルトコンベア２３ｂによって両端部が支持され、下受けユニット２４ｃによって下面が支持された基板２のＹ軸方向の両側部を基板２の外方から挟んでクランプする。
【００２３】
図１及び図２において、基板保持移動ユニット１２を構成するコンベア部２３のＸ軸方向の両側（基板２の搬送方向の上流側と下流側）の位置には、スクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面左側）から投入された基板２を搬送（搬入）してコンベア部２３に受け渡す基板搬入コンベア２５と、コンベア部２３から受け渡された基板２をスクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面右側）に搬送（搬出）する基板搬出コンベア２６が備えられている。
【００２４】
図１及び図２において、基台１１上には基板搬入コンベア２５及び基板搬出コンベア２６をそれぞれＹ軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム２８が設けられており、これら一対の門型フレーム２８には、マスク１３を水平姿勢に保持するマスクホルダ３０が取り付けられている。
【００２５】
図１及び図４において、マスク１３は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠１３ｗによって四辺が支持されており、マスク枠１３ｗによって囲まれた矩形の領域には、基板２上の複数の電極３に対応した多数のパターン孔１３ａが設けられている。すなわちマスク１３は、基板２の電極３の配置に応じて形成された多数のパターン孔１３ａを有したものとなっている。
【００２６】
図１において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側位置決め用マークｍｋが設けられている。一方、図４において、マスク１３には、基板側位置決め用マークｍｋに対応して配置された２つ一組のマスク側位置決め用マークＭＫが設けられている。これら基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に合致する状態で基板２をマスク１３に接触させると、基板２の電極３とマスク１３のパターン孔１３ａは上下に合致した状態となる。
【００２７】
図４及び図５において、マスクホルダ３０は、門型フレーム２８に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット１２が備える基板保持部２４の上方をＸ軸方向に（したがって水平に）延びて配置された前後一対のガイド部材３１と、Ｙ軸方向に（したがって水平に）延びるとともに前後のガイド部材３１に沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、互いに平行な姿勢を保持したままその間隔を調整可能な左右一対のマスク支持レール３２とを備えている。
【００２８】
図４及び図５において、各マスク支持レール３２のＸ軸方向の外側の側面（マスク支持レール３２同士が対向する側とは反対側の側面）には、そのマスク支持レール３２を両ガイド部材３１に固定する前後一対のレール固定装置３３（レール固定手段）が設けられている。これら前後一対のレール固定装置３３のうち前方に位置するレール固定装置３３は前方のガイド部材３１の上方に配置されており、前後一対のレール固定装置３３のうち後方に位置するレール固定装置３３は後方のガイド部材３１の上方に配置されている。
【００２９】
各レール固定装置３３はそれぞれ、ロッド部４１ａを上方に突没させる固定ピン昇降シリンダ４１と、固定ピン昇降シリンダ４１のロッド部４１ａの上端に一端が取り付けられて水平方向（Ｙ軸方向）に延びた平板状部材４２と、平板状部材４２の他端に上端が取り付けられて下方に延びた固定ピン４３（ピン状部材）を有して成り、固定ピン昇降シリンダ４１のロッド部４１ａを昇降させることにより、平板状部材４２を介して固定ピン４３を上昇位置と下降位置との間で昇降させることができるようになっている（図５中に示す矢印Ａ）。
【００３０】
図５において、前後のガイド部材３１のそれぞれの上面には、左右一対のマスク支持レール３２をその間隔がスクリーン印刷機１によって使用されるマスク１３の外径寸法に応じた長さになるように調節したときに（図５中に示す矢印Ｂ）、各マスク支持レール３２の特定の部分（例えば、マスク支持レール３２の外側の側面の下縁部分）が位置することとなる位置にＹ軸方向に延びたガイド線３１ａが設けられている。また、各ガイド部材３１には、各マスク支持レール３２を上記ガイド線３１ａに合わせた状態でそのマスク支持レール３２が備えるレール固定装置３３の固定ピン４３を下降させて上方から嵌入させることができる固定ピン嵌入孔３１ｂがガイド部材３１の厚さ方向（Ｚ軸方向）に延びて設けられている。
【００３１】
これらガイド線３１ａ及び固定ピン嵌入孔３１ｂは、スクリーン印刷機１によって使用される外径寸法が異なる複数種のマスク１３のそれぞれについて設けられている。このため、各ガイド部材３１上には、外径寸法が異なるマスク１３の種類に応じた複数のガイド線３１ａと固定ピン嵌入孔３１ｂが、マスク支持レール３２の移動方向（Ｘ軸方向）に並んで設けられている。
【００３２】
オペレータＯＰは、使用するマスク１３の外径寸法に応じて左右一対のマスク支持レール３２の間隔調整を行うときは、各マスク支持レール３２の特定の部分をガイド部材３１上に並んだ複数のガイド線３１ａの中からマスク１３の外径寸法に対応したものとして選択したひとつのガイド線３１ａに合わせるようにする。そして、そのマスク支持レール３２の間隔調整を行った状態から、左右一対のマスク支持レール３２に設けられた計４個のレール固定装置３３のうち、オペレータＯＰからみて左側のマスク支持レール３２に取り付けられた前後一対のレール固定装置３３（左側のレール固定装置３３）の固定ピン４３を上昇位置から下降位置まで下降させて両ガイド部材３１に設けられた固定ピン嵌入孔３１ｂに嵌入させるとともに、計４個のレール固定装置３３のうち、オペレータＯＰからみて右側のマスク支持レール３２に取り付けられた前後一対のレール固定装置３３（右側のレール固定装置３３）の固定ピン４３を上昇位置から下降位置まで下降させて両ガイド部材３１に設けられた固定ピン嵌入孔３１ｂに嵌入させることにより、間隔調整を行った状態の左右一対のマスク支持レール３２を、前後一対のガイド部材３１に固定することができる。
【００３３】
図４及び図５において、各マスク支持レール３２の内側の側面（マスク支持レール３２同士が対向する側の側面）には、下方に突没自在なロッド部３４ａを備えたマスク固定シリンダ３４が複数個ずつ（ここでは２個ずつ。計４個）設けられている。マスク１３は、左右一対のマスク支持レール３２の間に挿入され、マスク枠１３ｗの先頭部がマスク支持レール３２上に設けられたストッパ３２ａ（図１も参照）に当接するまで後方に押し込まれることによってマスクホルダ３０に取り付けられて左右一対のマスク支持レール３２によって支持されるが、このようにマスク１３が左右一対のマスク支持レール３２によって支持された状態で、上記４個のマスク固定シリンダ３４の各ロッド部３４ａを上昇位置から下降位置まで突出（下降）させてマスク枠１３ｗの上面に上方から当接させることにより、マスク１３をマスク支持レール３２上に固定することができる。
【００３４】
図１及び図２において、一対の門型フレーム２８には、Ｘ軸方向に延びたＸ軸ステージ５１の両端部がＹ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸ステージ５１上にはカメラ支持ステージ５２がＸ軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ５２には前述のカメラユニット１５が取り付けられている。カメラユニット１５は、撮像視野を下方に向けた第１カメラ１５ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ１５ｂを備えている（図３）。
【００３５】
また、図１及び図２において、一対の門型フレーム２８にはＸ軸方向に延びたスキージベース５３の両端が支持されており、スキージベース５３は門型フレーム２８に沿ってＹ軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース５３には前述の前後一対のスキージ１４がＹ軸方向に対向して設けられている。各スキージ１４はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、それぞれスキージベース５３に対して昇降自在に取り付けられている。
【００３６】
このスクリーン印刷機１において、基板２の搬送を行う基板搬送路としての基板搬入コンベア２５、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２６の各動作は、制御装置６０（図６）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構６１（図６）の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材２４ａによる基板２のクランプ動作は、制御装置６０が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構６２（図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３７】
基台１１に対するＹテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃの（すなわちベーステーブル２１ｄの）Ｚ軸回りの回転、ベーステーブル２１ｄに対する昇降テーブル２２ａの昇降、昇降テーブル２２ａに対する下受けユニット支持テーブル２４ｂの（すなわち下受けユニット２４ｃの）昇降の各動作は、制御装置６０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘを含むアクチュエータ等から成る基板保持移動ユニット作動機構６３（図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３８】
カメラユニット１５の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム２８に対するＸ軸ステージ５１のＹ軸方向への移動動作及びＸ軸ステージ５１に対するカメラ支持ステージ５２のＸ軸方向への移動動作の各制御は、制御装置６０が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構６４（図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３９】
前後のスキージ１４をＹ軸方向に往復移動させるスキージベース５３の作動制御は、制御装置６０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構６５（図６）の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１４のスキージベース５３に対する昇降動作は、制御装置６０がスキージベース５３の上部に取り付けられたスキージ昇降シリンダ６６（図２、図３及び図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４０】
カメラユニット１５を構成する第１カメラ１５ａは、制御装置６０に制御されて、基板保持移動ユニット１２が備える基板保持部２４によって保持された基板２の基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行い、第２カメラ１５ｂは、制御装置６０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行う。第１カメラ１５ａの撮像によって得られた画像データと第２カメラ１５ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置６０に入力される（図６）。
【００４１】
図４及び図５において、左側のマスク支持レール３２の前端部には、オペレータＯＰによって手動操作される操作手段としての押しボタン式の左側スイッチ７１ａを備えた左側バルブ７１が設けられており、右側のマスク支持レール３２の前端部には、同じくオペレータＯＰによって手動操作される操作手段としての押しボタン式の右側スイッチ７２ａを備えた右側バルブ７２が設けられている。
【００４２】
左側のレール固定装置３３を構成する前後一対の固定ピン昇降シリンダ４１と左側バルブ７１とは図示しない空圧管路によって繋がっており、オペレータＯＰが左側スイッチ７１ａの押圧操作或いは押圧操作の解除を行って左側バルブ７１のスプール（図示せず）の位置切り替えを行うと、左側のレール固定装置３３を構成する２つの固定ピン昇降シリンダ４１それぞれへの空圧供給経路が切り替わって、これら２つの固定ピン昇降シリンダ４１のロッド部４１ａが（したがってこれらロッド部４１ａに連結された前後一対の固定ピン４３が）同時に昇降するようになっている。ここでは、オペレータＯＰが左側スイッチ７１ａを押圧操作すると左側の前後一対の固定ピン４３が下降位置から上昇位置まで同時に上昇し、オペレータＯＰが左側スイッチ７１ａの押圧操作の解除をすると、左側の前後一対の固定ピン４３が上昇位置から下降位置まで同時に下降する。
【００４３】
また、同様に、右側のレール固定装置３３を構成する前後一対の固定ピン昇降シリンダ４１と右側バルブ７２とは図示しない空圧管路によって繋がっており、オペレータＯＰが右側スイッチ７２ａの押圧操作或いは押圧操作の解除を行って右側バルブ７２のスプール（図示せず）の位置切り替えを行うと、右側のレール固定装置３３を構成する２つの固定ピン昇降シリンダ４１それぞれへの空圧供給経路が切り替わって、これら２つの固定ピン昇降シリンダ４１のロッド部４１ａが（したがってこれらロッド部４１ａに連結された前後一対の固定ピン４３が）同時に昇降するようになっている。ここでは、オペレータＯＰが右側スイッチ７２ａを押圧操作すると右側の前後一対の固定ピン４３が下降位置から上昇位置まで同時に上昇し、オペレータＯＰが右側スイッチ７２ａの押圧操作の解除をすると、右側の前後一対の固定ピン４３が上昇位置から下降位置まで同時に下降する。
【００４４】
図７において、基台１１に設けられた操作盤７０には、オペレータＯＰによって操作される押しボタン式のマスク固定シリンダ上昇スイッチ７３ａとマスク固定シリンダ下降スイッチ７３ｂが設けられている（図６も参照）。各マスク固定シリンダ３４が下降位置にある状態からオペレータＯＰがマスク固定シリンダ上昇スイッチ７３ａを押圧操作すると、制御装置６０は、４個のマスク固定シリンダ３４に対応して配置された４個のマスク固定シリンダ操作バルブ３４ｂを介して、４個のマスク固定シリンダ３４の各ロッド部３４ａを下降位置から上昇位置まで同時に上昇させる。また、この状態からオペレータＯＰがマスク固定シリンダ下降スイッチ７３ｂを押圧操作すると、制御装置６０は、上記４個のマスク固定シリンダ操作バルブ３４ｂを介して、４個のマスク固定シリンダ３４の各ロッド部３４ａを上昇位置から下降位置まで同時に下降させる。
【００４５】
次に、図８のフローチャート及び図９〜図１３の説明図を加えてスクリーン印刷機１の動作手順を説明する。スクリーン印刷機１の制御装置６０は、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させるとともに、下受けユニット２４ｃを昇降テーブル２２ａに対する下降位置に位置させた状態で（図９（ａ））、図示しない検知手段によってスクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置等（図示せず）から基板搬入コンベア２５に基板２が投入されたことを検知した場合には、基板搬入コンベア２５とコンベア部２３を連動作動させてスクリーン印刷機１内に基板２を搬入し（図９（ａ）中に示す矢印Ｃ）、更に、図示しない検知手段により、コンベア部２３が搬入する基板２が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部２３の作動を停止させて、基板２を静止させる（図９（ｂ）。図８のステップＳＴ１に示す基板搬入工程）。
【００４６】
制御装置６０は、基板２の搬入が終わったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｃを（下受けユニット支持テーブル２４ｂを）昇降テーブル２２ａに対して上昇させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、下受けユニット２４ｃの上端が基板２の下面に接触したところで下受けユニット２４ｃの上昇を停止させる（図１０（ａ））。そして、クランプ部材２４ａを作動させ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、コンベア部２３上の基板２の両側部を前後のクランプ部材２４ａによりクランプする（図１０（ｂ））。
【００４７】
制御装置６０は、前後のクランプ部材２４ａにより基板２をクランプしたら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｃを更に昇降テーブル２２ａに対して上昇させて、下受けユニット２４ｃで基板２を押し上げる（図１１（ａ）。図中に示す矢印Ｄ２）。これにより基板２はＹ軸方向の両端をクランプ部材２４ａに対して摺動させながら上昇し（基板２はコンベア部２３の両ベルトコンベア２３ｂから上方に離間する）、下受けユニット２４ｃが昇降テーブル２２ａに対する上昇位置に位置して基板２の上面が両クランプ部材２４ａの上面とほぼ同じ高さになったところで、下受けユニット２４ｃの押し上げを停止させる。これにより基板保持部２４によって基板２が保持された状態となる（図１１（ａ）。図８のステップＳＴ２に示す基板保持工程）。
【００４８】
制御装置６０は、上記のようにして基板保持部２４により基板２を保持したら、カメラユニット移動機構６４の作動制御を行い（Ｘ軸ステージ５１をＹ軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ５２をＸ軸方向に移動させ）、第１カメラ１５ａを基板２に設けられた基板側位置決め用マークｍｋの直上に位置させて、第１カメラ１５ａに基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行わせる一方、第２カメラ１５ｂをマスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの直下に位置させて、第２カメラ１５ｂにマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行わせる。そして、制御装置６０は、得られた基板側位置決め用マークｍｋの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置決め用マークＭＫの画像データからマスク１３の位置を把握し、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１の作動制御を行って基板保持部２４を（したがって基板２を）水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置決めを行う（図８のステップＳＴ３に示す位置決め工程）。
【００４９】
制御装置６０は、上記基板２とマスク１３の水平面内方向の位置決めが終わったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して上昇させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）、基板２の被印刷面である上面をマスク１３に下方から接触させる（図１１（ｂ）。図８のステップＳＴ４に示す接触工程）。これによりマスク１３のパターン孔１３ａと基板２上の電極３とが上下方向に合致した状態となる。
【００５０】
制御装置６０は、基板２をマスク１３に接触させたら、スクリーン印刷機１の動作を一時中断したうえで、図示しないディスプレイ装置による画像表示等を介して、オペレータＯＰにペーストＰｓｔの供給を促す。オペレータＯＰは、現在マスク１３上に残っているペーストＰｓｔの量に基づいて、ペーストＰｓｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストＰｓｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ８０（図１２（ａ））により、マスク１３上にペーストＰｓｔの供給を行う。そして、ペーストＰｓｔの供給が終わったら、図示しない動作再開ボタンの操作を行う。オペレータＯＰは、ペーストＰｓｔの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタンの操作を行う。
【００５１】
制御装置６０はステップＳＴ４の後、動作再開ボタンの操作が行われたかどうかの判断を行い（図８のステップＳＴ５に示す第１の判断工程）、動作再開ボタンの操作が行われたと判断した場合には、スクリーン印刷機１の動作中断を解除し、スキージ１４を（スキージベース５３を）Ｙ軸方向に往復移動させて、マスク１３のパターン孔１３ａ内にペーストＰｓｔを充填させることによって、ペーストＰｓｔを基板２の電極３上に転写させる（図８のステップＳＴ６に示す転写工程）。
【００５２】
スキージ１４によるペーストＰｓｔの基板２への転写動作では、先ず、前方のスキージ１４（図１２における紙面左側のスキージ１４）を下降させてその下縁をマスク１３の上面に接触（当接）させた後、スキージベース５３をＹ軸方向の後方に移動させ、前方のスキージ１４をマスク１３上で摺動させることによって、後方のクランプ部材２４ａの上面領域までペーストＰｓｔを掻き寄せる（図１２（ｂ）中に示す矢印Ｇ１）。ペーストＰｓｔを後方のクランプ部材２４ａの上面領域まで掻き寄せたら、スキージベース５３の移動を停止させたうえで、前方のスキージ１４を上昇させてマスク１３から離間させるとともに、後方のスキージ１４（図１２における紙面右側のスキージ１４）を下降させてその下縁をマスク１３の上面に接触（当接）させる。そして、スキージベース５３を矢印Ｇ１とは反対の方向に移動させ、後方のスキージ１４をマスク１３上で摺動させることによって、前方のクランプ部材２４ａの上面領域までペーストＰｓｔを掻き寄せる（図１２（ｃ）中に示す矢印Ｇ２）。これによりマスク１３のパターン孔１３ａを介して基板２の電極３上にペーストＰｓｔが転写される。
【００５３】
制御装置６０は、基板２の電極３上にペーストＰｓｔを転写させたら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して下降させ（図１３（ａ）中に示す矢印Ｆ２）、マスク１３から基板２を離間させる（図１３（ａ））。これにより版離れが行われ、ペーストＰｓｔが基板２の電極３上に印刷された状態となる（図８のステップＳＴ７に示す版離れ工程）。
【００５４】
制御装置６０は、基板２へのペーストＰｓｔの印刷が終了したら、クランプ部材２４ａを作動させて基板２のクランプを解除したうえで（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）、下受けユニット２４ｃを（下受けユニット支持テーブル２４ｂを）昇降テーブル２２ａに対して下降させ（図１３（ｃ）中に示す矢印Ｄ３）、基板２をコンベア部２３上に降ろす（図１３（ｃ））。これにより基板保持部２４による基板２の保持が解除される（図８のステップＳＴ８に示す基板保持解除工程）。
【００５５】
制御装置６０は、基板２の保持を解除したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１を作動させ、基板搬出コンベア２６に対するコンベア部２３の位置調整を行ったうえで、コンベア部２３と基板搬出コンベア２６を連動作動させ、コンベア部２３上の基板２を基板搬出コンベア２６に受け渡してそのまま基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図８のステップＳＴ９に示す基板搬出工程）。
【００５６】
制御装置６０は、基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図８のステップＳＴ１０に示す第２の判断工程）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００５７】
本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、上記の手順によって基板２に対するスクリーン印刷を行うが、基板２の種類が変わって設置するマスク１３の大きさが変わる場合には、オペレータＯＰはマスクホルダ３０が備える左右一対のマスク支持レール３２の間隔を変化させる作業を行ったうえで、マスクホルダ３０にマスク１３を設置する。
【００５８】
オペレータＯＰは、マスク支持レール３２の間隔を変化させるときは、先ず、マスク固定シリンダ上昇スイッチ７３ａを押圧操作して計４個のマスク固定シリンダ３４のロッド部３４ａを下降位置から上昇位置まで上昇させ、左右一対のマスク支持レール３２に対するマスク１３の固定を解除する。そして、左側スイッチ７１ａを押圧操作して左側の前後一対の固定ピン４３を下降位置から上昇位置まで上昇させるとともに、右側スイッチ７２ａを押圧操作して右側の前後一対の固定ピン４３を下降位置から上昇位置まで上昇させることにより、４個のレール固定装置３３が備える全ての固定ピン４３をガイド部材３１に設けられた固定ピン嵌入孔３１ｂから抜去させて、レール固定装置３３によるマスク支持レール３２のガイド部材３１に対する固定を解除する（図１４（ａ）。図中に示す矢印Ａ１参照。レール固定解除工程）。
【００５９】
オペレータＯＰは、レール固定装置３３によるマスク支持レール３２のガイド部材３１に対する固定を解除したら、その状態のまま（左側スイッチ７１ａと右側スイッチ７２ａをそれぞれ押圧操作した状態のまま）、左右一対のマスク支持レール３２を前後一対のガイド部材３１に沿ってＸ軸方向に移動させることにより、左右一対のマスク支持レール３２の間隔をマスク１３の外径寸法に応じて調整する（レール間隔調整工程。図１４（ｂ）中に示す矢印Ｂ）。このとき、左側のマスク支持レール３２と右側のマスクレール３２はそれぞれ、特定の部分がマスク１３の外径寸法に対応したガイド部材３１上のガイド線３１ａに一致するようにする。
【００６０】
オペレータＯＰは、上記のようにして一対のマスク支持レール３２の間隔をマスク１３の外径寸法に応じて調節したら、左側スイッチ７１ａの押圧操作を解除し、左側の前後一対の固定ピン４３を上昇位置から下降位置まで下降させて前後一対のガイド部材３１に設けられた固定ピン嵌入孔３１ｂに嵌入させるとともに、右側スイッチ７２ａの押圧操作を解除し、右側の前後一対の固定ピン４３を上昇位置から下降位置まで下降させて前後一対のガイド部材３１に設けられた固定ピン嵌入孔３１ｂに嵌入（図１５（ａ）中に示す矢印Ａ２）させ、左右一対のマスク支持レール３２を前後一対のガイド部材３１に固定する（レール固定工程）。
【００６１】
オペレータＯＰは、上記のようにして一対のマスク支持レール３２をガイド部材３１に固定したら、そのガイド部材３１に固定した一対のマスク支持レール３２の間にマスク１３を挿入し（図１５（ｂ）中に示す矢印Ｈ）、前述のように、マスク枠１３ｗの先頭部がマスク支持レール３２上に設けられたストッパ３２ａに当接するまで後方に押し込んで（図１６（ａ））、一対のマスク支持レール３２にマスク１３の対向（ここではＸ軸方向に対向）する両辺部を支持させる（マスク支持工程）。
【００６２】
そして、オペレータＯＰは、マスク固定シリンダ下降スイッチ７３ｂを押圧操作して４個のマスク固定シリンダ３４の各ロッド部３４ａを上昇位置から下降位置まで下降させ（図１６（ｂ）中に示す矢印Ｋ）、４個のマスク固定シリンダ３４のロッド部３４ａによりマスク枠１３ｗを左右一対の支持レール３２上に押し付けて固定する（図１６（ｂ）。マスク固定工程）。
【００６３】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びこのスクリーン印刷機１におけるマスク設置方法では、一対のマスク支持レール３２の間隔が調整された状態で、各マスク支持レール３２に設けられた複数（上記例では４個であったが、幾つであっても構わない）のレール固定装置３３の固定ピン４３を、前後一対のガイド部材３１に設けられた固定ピン嵌入孔３１ｂに嵌入させることによって左右一対のマスク支持レール３２をガイド部材３１に固定するようになっているので、従来のようにマスク支持レール３２の間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができる。
【００６４】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、手動操作される操作手段としての左側スイッチ７１ａ及び右側スイッチ７２ａと、これら両スイッチ７１ａ，７２ａの手動操作に応じて各レール固定装置３３の固定ピン４３を昇降させる、左側バルブ７１、右側バルブ７２及び４個の固定ピン昇降シリンダ４１から成るピン状部材昇降機構を備えた構成となっているので、オペレータＯＰによるワンタッチ操作で固定ピン４３を昇降させることができ、マスク設置時の作業性の更なる向上を図ることができるようになっている。特に、本実施の形態では、上記ピン状部材昇降機構によって、左側スイッチ７１ａ及び右側スイッチ７２ａそれぞれの手動操作に応じて左右２個ずつのレール固定装置３３の固定ピン４３を同時に昇降させる構成となっているので、マスク支持レール３２の間隔調整が非常に行い易いものとなっている。
【００６５】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、４個のレール固定装置３３が備える各固定ピン４３は上記ピン状部材昇降機構によって昇降されるようになっていたが、各固定ピン４３は、上記ピン状部材昇降機構によらず、オペレータＯＰが手動によって昇降させる構成であってもよい。
【００６６】
また、上記実施の形態では、ピン状部材昇降機構によって、左側の前後一対の固定ピン４３が左側スイッチ７１ａの操作によって同時に昇降され、右側の前後一対の固定ピン４３が右側スイッチ７２ａの操作によって同時に昇降されるようになっていたが、ピン状部材昇降機構は、操作手段の手動操作に応じて４個のレール固定装置３３（すなわち複数のレール固定手段）のうちの少なくとも２つのレール固定装置３３の固定ピン４３を同時に昇降させるようになっていることが好ましく、４個の固定ピン４３が、オペレータＯＰによって手動操作されるひとつの操作手段の操作によって同時に昇降されるようになっていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
マスク支持レールの間隔の調整を行うたびに螺子の着脱を行う必要がなく、マスク設置時の作業性の向上を図ることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法を提供する。
【符号の説明】
【００６８】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１３  マスク
１４  スキージ
２４  基板保持部
３１  ガイド部材
３１ｂ  固定ピン嵌入孔（ピン状部材嵌入孔）
３２  マスク支持レール
３３  レール固定装置（レール固定手段）
４１  固定ピン昇降シリンダ（ピン状部材昇降機構）
４３  固定ピン（ピン状部材）
７１  左側バルブ（ピン状部材昇降機構）
７１ａ  左側スイッチ（操作手段）
７２  右側バルブ（ピン状部材昇降機構）
７２ａ  右側スイッチ（操作手段）
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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