(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（Ｉ）
空隙率＝［（ｂ1×ｂ2）／（ａ1×ａ2）］×１００ （Ｉ）
（式中、ａ1は隣接する経糸の中心間長さの平均値（μｍ）を、ａ2は隣接する緯糸の中心間長さの平均値（μｍ）を、ｂ1は隣接する経糸の隙間の平均値（μｍ）を、ｂ2は隣接する緯糸の隙間の平均値（μｍ）を表す。）
で示される空隙率で１０％以下である扁平又は開繊加工され、厚さが０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下のガラスクロスが、下記平均組成式（ＩＩ）
ＲaＳｉＯ(4-a)/2 （ＩＩ）
（式中、Ｒは非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）
で示され、１分子中に少なくとも２個のケイ素原子に結合したアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンと、ＢＥＴ法による比表面積が５０ｍ2／ｇ以上の補強性シリカを上記オルガノポリシロキサン１００質量部に対し５〜１００質量部と、硬化剤とを含有する補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物の硬化物で目止め処理され、更に少なくともその一方の面に熱伝導性シリコーンゴム層が積層され、全体の厚さが０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項２】
上記熱伝導性シリコーンゴム層が、熱伝導率０．３Ｗ／ｍＫ以上５Ｗ／ｍＫ以下で、硬度３０以上９０以下であることを特徴とする請求項１記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【請求項３】
上記目止め処理されたガラスクロスに熱伝導性シリコーンゴム層が積層一体化されたことを特徴とする請求項１又は２記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気・電子機器部品の配線接続工程で、熱を伝えると共に均一に圧力をかける目的で使用される熱圧着用シリコーンゴムシートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造に際しては、液晶を駆動させるために液晶パネルの透明リード電極と駆動用ＬＳＩが搭載されたフレキシブルプリント基板（ＣＯＦ）のリード電極とを、異方性導電接着剤（ペースト状やフィルム状）を介在して熱圧着し、電気的及び機械的に接続することが行われている。この場合、熱と共に均一な圧力を加える目的で、加圧・加熱金属ツールとＣＯＦの間にシリコーンゴムシートを挟むことが一般的となっている。
【０００３】
熱圧着用シリコーンゴムシートとしては、例えば、シリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合しガラスクロスで補強したもの（特許文献１：特開平５−１９８３４４号公報）や、シリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合しガラスクロスで補強し、帯電防止性を付与したもの（特許文献２：特開平６−３６８５３号公報）、シリコーンゴムにセラミック、金属などの良熱伝導性物質を配合したもの（特許文献３：特開平６−２８９３５２号公報）、シリコーンゴムに水分を除いた揮発分が０．５％以下であるカーボンブラックを配合し耐熱性を改良したもの（特許文献４：特開平７−１１０１０号公報）等が知られている。しかしながら、これらのものは、シート表面の粘着性についての改善がなされていない。
【０００４】
そこで、シリコーンゴムにカーボンブラックを配合したシートと耐熱性樹脂フィルムとを複合化することにより、シート表面の粘着性がない上、強度にも優れた、熱圧着用シリコーンゴム複合シートが提案されている（特許文献５：特開平８−１７４７６５号公報）。しかしながら、このシートはシリコーンゴムが耐熱性樹脂フィルムと接着しているので、ゴム単体より柔軟性が低下する。この傾向は、特に、シートの両面に耐熱性樹脂フィルムを設けると強くなる。このため加圧時に均一に圧力をかけることが困難となるので、加圧力を大きくすることが必要となるが、この加圧力には、被圧着体の強度との関係で限界がある。
【０００５】
また、ガラスクロスあるいはガラスクロス処理フッ素樹脂シートと熱伝導性シリコーンゴムを積層することが提案されている（特許文献６：特許第３２４４１８７号公報、特許文献７：特許第４３０１４６８号公報、特許文献８：特開２００１−３１５２４８号公報、特許文献９：特開２００４−１６８０２５号公報）。
【０００６】
しかし、近年更に液晶パネルの高精細化が進行し、従来品に使用されているガラスクロスの織目に起因する凹凸でも、均一な圧着を妨げたり、パネル電極とＣＯＦ電極の位置ずれを発生させたりするため、新規高精細対応シートの開発が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−１９８３４４号公報
【特許文献２】特開平６−３６８５３号公報
【特許文献３】特開平６−２８９３５２号公報
【特許文献４】特開平７−１１０１０号公報
【特許文献５】特開平８−１７４７６５号公報
【特許文献６】特許第３２４４１８７号公報
【特許文献７】特許第４３０１４６８号公報
【特許文献８】特開２００１−３１５２４８号公報
【特許文献９】特開２００４−１６８０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、高精細液晶パネルの製造に適した熱圧着用シリコーンゴムシートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の上記の目的は、扁平又は開繊加工されたガラスクロスを熱伝導性シリコーンゴム層と積層された熱圧着用シリコーンゴムシートにより達成された。
即ち、本発明者らが種々検討した結果、従来の熱圧着用シリコーンゴムシートに使用されてきた扁平又は開繊加工されていないガラスクロスと比較して、扁平又は開繊加工された凹凸の少ないガラスクロスを基材として用いることで、圧着時の圧力分布が更に均一となり、ＣＯＦの変形やずれを抑制できることを見出し、本発明をなすに至った。
【００１０】
従って、本発明は下記熱圧着用シリコーンゴムシートを提供する。
請求項１：
下記式（Ｉ）
空隙率＝［（ｂ1×ｂ2）／（ａ1×ａ2）］×１００ （Ｉ）
（式中、ａ1は隣接する経糸の中心間長さの平均値（μｍ）を、ａ2は隣接する緯糸の中心間長さの平均値（μｍ）を、ｂ1は隣接する経糸の隙間の平均値（μｍ）を、ｂ2は隣接する緯糸の隙間の平均値（μｍ）を表す。）
で示される空隙率で１０％以下である扁平又は開繊加工され、厚さが０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下のガラスクロスが、下記平均組成式（ＩＩ）
ＲaＳｉＯ(4-a)/2 （ＩＩ）
（式中、Ｒは非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）
で示され、１分子中に少なくとも２個のケイ素原子に結合したアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンと、ＢＥＴ法による比表面積が５０ｍ2／ｇ以上の補強性シリカを上記オルガノポリシロキサン１００質量部に対し５〜１００質量部と、硬化剤とを含有する補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物の硬化物で目止め処理され、更に少なくともその一方の面に熱伝導性シリコーンゴム層が積層され、全体の厚さが０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシート。
請求項２：
上記熱伝導性シリコーンゴム層が、熱伝導率０．３Ｗ／ｍＫ以上５Ｗ／ｍＫ以下で、硬度３０以上９０以下であることを特徴とする請求項１記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
請求項３：
上記目止め処理されたガラスクロスに熱伝導性シリコーンゴム層が積層一体化されたことを特徴とする請求項１又は２記載の熱圧着用シリコーンゴムシート。
【発明の効果】
【００１１】
従来のガラスクロスでは、熱圧着時に経糸と緯糸の交点が特に強くフレキシブルプリント基板に押し付けられる。そのために、狭いピッチの電極接合では位置ずれが生じる場合があった。また、ガラスクロスを含まない単層熱伝導性ゴムシートでは、ガラスクロス含有品と比較して変形し易いために、特にフレキシブルプリント基板の端部で位置ずれが起こり易い傾向があった。
それに対して、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、扁平又は開繊加工されたガラスクロスを積層することで、ＣＯＦと接するシート表面の凹凸が従来品よりも大幅に軽減しており、狭いピッチの電極接合においても位置ずれを大幅に抑制することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例１に係る熱圧着用シリコーンゴムシートの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、扁平又は開繊加工されたガラスクロスにシリコーン樹脂を目止め処理した基材クロスに対して、少なくともその一方の面に熱伝導性シリコーンゴム層を積層して作製する。
図１はその一例を示し、基材クロス１１の一面に熱伝導性シリコーンゴム層１２を積層してなるものである。なお、図中１１ａはガラス繊維、１１ｂはシリコーン樹脂を示す。
【００１４】
ここで、本発明に使用されるガラスクロスとしては、経糸及び緯糸を構成するヤーンの平均フィラメント径が４μｍ以上８μｍ以下であり、厚さが０．０３ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下、特に０．１０ｍｍ以下、経糸及び緯糸の密度がそれぞれ５０本／２５ｍｍ以上であることが好ましい。これよりフィラメント径及び厚さが小さくなると強度が不足し、逆に大きくなるとシート表面の凹凸が大きくなり均一な圧力伝達を妨げることになる。また、経糸及び緯糸の密度が小さくなってもシート表面の凹凸が大きくなる。
このガラスクロスは、扁平又は開繊加工されるものであるが、開繊処理方法としては、ガラスクロスを超音波振動させた水中内で開繊させる超音波法、ガラスクロスを温水中で上下回転筒体によりプレスして開繊させる回転筒体による押圧法、ガラスクロスに柱状流高圧水を噴きつけて開繊させる柱状流高圧水噴射開繊法、バイブロウォッシャー法、稜線法などを適用すればよい。
この場合、上記扁平又は開繊加工されたガラスクロスが、下記式（Ｉ）で示される空隙率で１０％以下、特に０〜５％であることが好ましい。
空隙率＝［（ｂ1×ｂ2）／（ａ1×ａ2）］×１００          （Ｉ）
（式中、ａ1は隣接する経糸の中心間長さの平均値（μｍ）を、ａ2は隣接する緯糸の中心間長さの平均値（μｍ）を、ｂ1は隣接する経糸の隙間の平均値（μｍ）を、ｂ2は隣接する緯糸の隙間の平均値（μｍ）を表す。）
【００１５】
上記扁平又は開繊加工されたガラスクロスは、シリコーン樹脂で目止め処理することが好ましい。この場合、シリコーン樹脂がガラス繊維に強く接着するように、ガラスクロスにはシランカップリング剤処理を行うことが好ましい。シランカップリング剤の種類としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のビニル基含有シランカップリング剤、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等のエポキシ基含有シランカップリング剤、Ｎ−２（アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２（アミノエチル）３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン等のアミノ基含有シランカップリング剤、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリル基含有シランカップリング剤などがあるが、特にビニル基含有シランカップリング剤を用いた場合にガラスクロスとシリコーン樹脂の接着力が向上する。
【００１６】
なお、基材クロスに使用されるガラスクロスの厚さは、０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下が好ましい。０．０２ｍｍより薄くなると機械的強度が不足し、熱圧着時あるいは熱伝導性シリコーンゴム層積層時に変形するおそれがある。また、０．１ｍｍより厚くなると熱圧着用シリコーンゴムシートに占めるガラスクロス層の割合が多くなることでシート全体の熱伝導率が低下してしまう。
【００１７】
ガラスクロスへのシリコーン樹脂含浸方法として、ディップコート法、ナイフコート法、スプレーコート法などが挙げられるが、特にディップコート法を用いると薄いコーティング層を良好に成形することができる。
【００１８】
ガラスクロスに含浸させる樹脂としては、補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物が好ましい。補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物のポリマー成分であるオルガノポリシロキサンは他の合成ゴムに比べ非常に強度が弱く、それ自体単独では使用できるレベルのものではない。オルガノポリシロキサンに充填剤、特に補強性シリカを添加することにより使用可能な強度を発揮する。
【００１９】
オルガノポリシロキサンは、下記平均組成式（ＩＩ）
ＲaＳｉＯ(4-a)/2          （ＩＩ）
（式中、ａは１．９５〜２．０５の正数である。）
で示されるもので、Ｒは非置換又は置換の一価炭化水素基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、あるいはこれらの基の水素原子が部分的に又は全てが塩素原子、フッ素原子等で置換されたハロゲン化炭化水素基などが例示されるが、一般的にはオルガノポリシロキサンの主鎖がジメチルシロキサン単位からなるもの、あるいはこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基等を導入したものが好ましい。また分子鎖末端がトリオルガノシリル基又は水酸基で封鎖されたものとすればよいが、このトリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基などが例示される。なお、この成分のＧＰＣによるポリスチレン換算の平均重合度は２００以上、回転粘度計による２５℃における粘度が０．３Ｐａ・ｓ以上のものが好ましく、平均重合度が２００未満では硬化後の機械的強度が劣り、脆くなるおそれがある。なお、平均重合度の上限は特に制限されないが、１０，０００以下であることが好ましい。
また、このオルガノポリシロキサンは、１分子中に少なくとも２個のケイ素原子に結合したアルケニル基を有することが好ましく、Ｒのうち０．００１〜５モル％、特に０．０１〜１モル％のビニル基を含有することが好ましい。
【００２０】
補強性シリカは機械的強度に優れたシリコーンゴムを得るために配合されるものであり、ＢＥＴ法による比表面積が５０ｍ2／ｇ以上、特に１００〜４００ｍ2／ｇであることが好ましい。この補強性シリカとしては、煙霧質シリカ（乾式シリカ）、沈降シリカ（湿式シリカ）等が例示される。また、補強性シリカの表面をオルガノポリシロキサン、オルガノシラザン、クロロシラン、アルコキシシラン等で疎水化処理を行ってもよい。
この補強性シリカの添加量は、特に制限されるものではないが、オルガノポリシロキサン１００質量部に対して５質量部未満では十分な補強効果が得られないおそれがあり、１００質量部より多くすると成形加工性が悪くなる場合があるので、５〜１００質量部の範囲、好ましくは２０〜８０質量部の範囲である。
【００２１】
更に必要に応じて、熱伝導性フィラー、着色顔料、耐熱性向上剤、難燃性向上剤、受酸剤などの各種添加剤、あるいは補強性シリカ分散剤として各種アルコキシシラン、ジフェニルシランジオール、カーボンファンクショナルシラン、シラノール基含有シロキサンなどを添加してもよい。
【００２２】
補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物は、上記成分を二本ロール、バンバリーミキサー、ニーダー、プラネタリーミキサー等の混練機を用いて均一に混合し、必要に応じて１００℃以上の温度で熱処理することにより得ることができる。
補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物を硬化させゴム弾性体とする硬化剤としては、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている従来公知のものでよく、これはラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジクミルパーオキサイド等の有機過酸化物、付加反応硬化剤としてオルガノポリシロキサンがアルケニル基を有する場合、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金族金属系触媒とからなるもの、縮合反応硬化剤としてオルガノポリシロキサンがシラノール基を含有する場合、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基等の加水分解性基を２個以上有する有機ケイ素化合物などが例示されるが、この添加量は通常のシリコーンゴムと同様にすればよい。
補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物としては、ミラブルタイプシリコーンゴム組成物及び液状タイプシリコーンゴム組成物のいずれを用いてもよい。作業性、成形加工性の点から有機過酸化物硬化型又は付加反応硬化型の補強性シリカ配合シリコーンゴム組成物が好ましい。
【００２３】
ガラスクロスに含浸させるシリコーン樹脂は、ガラスクロスに薄く、安定して塗工できる樹脂を選択することが好ましい。熱伝導率が高い材料を選択してもよいが、全体の熱伝導率はシリコーン樹脂よりもガラスクロスに依存しており、また、熱伝導性粉末を多くするとガラスクロスが目詰まりを起こし塗工面が荒れたり、硬度が上昇し均一な圧力伝達が阻害されたりするおそれがある。
【００２４】
基材クロス層に積層する熱伝導性シリコーンゴム層は、熱伝導率０．３Ｗ／ｍＫ以上５Ｗ／ｍＫ以下（ＡＳＴＭ  Ｅ  １５３０）、特に０．５〜３Ｗ／ｍＫであるものが好ましい。熱伝導率が０．３Ｗ／ｍＫより小さいと熱圧着温度を高くしたり、圧着時間を長くしたりする必要があり、効率の面で不利な場合が生じる。３Ｗ／ｍＫを超えても、基材クロス層の熱伝導率が制限されるため、特に有利な効果は期待できない。
【００２５】
上記熱伝導性シリコーンゴム層を形成するための熱伝導性シリコーンゴム組成物は、ガラスクロスに含浸させる樹脂と同様のオルガノポリシロキサン１００質量部に、カーボン、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも１種を１０〜１，６００質量部添加することで得られるものが好ましい。これらの具体例としては、金属では銀粉、銅粉、鉄粉、ニッケル粉、アルミニウム粉など、金属酸化物では亜鉛、マグネシウム、アルミニウム、ケイ素、鉄等の酸化物、金属窒化物ではホウ素、アルミニウム、ケイ素等の窒化物、金属炭化物ではケイ素、ホウ素等の炭化物などが例示される。
【００２６】
必要に応じて、着色顔料、耐熱性向上剤、難燃性向上剤、受酸剤などの各種添加剤、あるいは分散剤として各種アルコキシシラン、ジフェニルシランジオール、カーボンファンクショナルシラン、シラノール基含有シロキサンなどを添加してもよい。
【００２７】
熱伝導性シリコーンゴム組成物は、上記成分を二本ロール、バンバリーミキサー、ニーダー、プラネタリーミキサー等の混練機を用いて均一に混合し、必要に応じて１００℃以上の温度で熱処理することにより得ることができる。
熱伝導性シリコーンゴム組成物を硬化させゴム弾性体とする硬化剤としては、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている従来公知のものでよく、これはラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジクミルパーオキサイド等の有機過酸化物、付加反応硬化剤としてオルガノポリシロキサンがアルケニル基を有する場合、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金族金属系触媒とからなるもの、縮合反応硬化剤としてオルガノポリシロキサンがシラノール基を含有する場合、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基等の加水分解性基を２個以上有する有機ケイ素化合物などが例示されるが、この添加量は通常のシリコーンゴムと同様にすればよい。
熱伝導性シリコーンゴム組成物としては、ミラブルタイプシリコーンゴム組成物及び液状タイプシリコーンゴム組成物のいずれを用いてもよい。作業性、成形加工性の点から有機過酸化物硬化型又は付加反応硬化型の熱伝導性シリコーンゴム組成物が好ましい。
【００２８】
熱伝導性シリコーンゴムの硬度に関しては、３０以上９０以下（ＪＩＳ  Ｋ６２５３に規定のタイプＡデュロメーター）であることが好ましい。更に硬度４０以上６０以下としたときに、ＣＯＦの位置ずれが低減され、高精細液晶パネル用途としては特に好適である。
【００２９】
基材クロスへの熱伝導シリコーン樹脂の積層方法としては、ナイフコート法、コンマコート法、カレンダーコート法等が挙げられ、連続的にコートと焼成を行う。特にカレンダーコート法では無溶剤コートが可能であり、有機溶剤の使用量を削減できる。
【００３０】
熱圧着用シリコーンゴムシート全体の厚さは、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましい。構造上０．１ｍｍ未満のものを作製することは難しい。また、１ｍｍを超えると全体の熱伝導率が低下するために圧着機の設定温度を高くする必要があり、また単位長さ当たりの質量が重くなるため作業性も悪くなってしまう。
【００３１】
なお、均一に圧力を伝える手段として、耐熱フィルム（例えばポリイミドフィルム）に熱伝導性シリコーンゴム層を積層することも考えられるが、プライマー塗布が必要であること、少ない熱圧着回数でフィルムが変形し易いこと、ガラスクロスにシリコーン樹脂を目止め処理した基材クロスより凹凸吸収能力が劣ることが欠点として挙げられる。
【実施例】
【００３２】
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００３３】
〔実施例１〜４、比較例１〜４〕
（ガラスクロス）
表１及び２に示すように、柱状流高圧水噴射開繊法により開繊処理したガラスクロス及び未処理平織ガラスクロスを各種準備し、シリコーン目止め処理は以下の手順で実施した。
【００３４】
（目止め処理）
ポリメチルビニルシロキサン（ジメチルシロキサン単位１００モルに対して、側鎖に０．１５モルのビニル基を有するもの、平均重合度は約５，０００）１００質量部、ジメトキシジメチルシラン３質量部、塩酸水（ｐＨ３．５）１質量部、ニップシールＶＮ３（日本シリカ工業社製湿式シリカ商品名）４０質量部をニーダーにて１８０℃、１時間加熱混合した。得られたゴムコンパウンド１００質量部をキシレン３００質量部によく溶解させた後に、１−エチニル−１−シクロヘキサノール０．２質量部、塩化白金酸のビニルシロキサン錯体（白金含有量０．５質量％）０．２質量部、下記式（ＩＩＩ）で示されるケイ素原子に直接結合した水素原子を有するジメチルポリシロキサン１．０質量部を順次加えて塗工液を得た。
【化１】
0005381964.tif 000002
この塗工液をビニルトリメトキシシラン処理ガラスクロスに連続的にディップコートし、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、基材クロスを得た。
【００３５】
（熱伝導性シリコーンゴム組成物の配合）
３種類のポリメチルビニルシロキサン（ジメチルシロキサン単位１００モルに対して、末端に０．０２５モルのビニル基を有するもの、側鎖に０．１５モルのビニル基を有するもの、側鎖に０．５モルのビニル基を有するもの、平均重合度はいずれも約５，０００）、アセチレンブラック（平均粒径３５ｎｍ、ＢＥＴ比表面積１３０ｍ2／ｇ）、疎水性シリカ（ＢＥＴ比表面積１２０ｍ2／ｇ）、酸化セリウム（ＢＥＴ比表面積１４０ｍ2／ｇ）を二本ロールで配合し、混練りしてゴムコンパウンドを得た。各成分の配合量は、仕上がり硬度が５０、熱伝導率はいずれも０．５Ｗ／ｍＫとなるように調整した。
得られたコンパウンド１００質量部にトルエン３００質量部を加えて均一に混練後に、１−エチニル−１−シクロヘキサノール０．２質量部、塩化白金酸のビニルシロキサン錯体（白金含有量０．５質量％）０．２質量部、上記式（ＩＩＩ）で示されるケイ素原子に直接結合した水素原子を有するジメチルポリシロキサン１．０質量部を順次加えた。
【００３６】
（成形条件）
次にナイフコーターを用いて、基材クロスと熱伝導性シリコーンゴム層を合わせた厚さが０．２５ｍｍとなるように上記熱伝導性シリコーンゴム組成物を基材クロスにコーティングし、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた（表１及び２において、ゴム積層と記載）。
また、基材クロスと重ねて使う単層シリコーンゴムシートは、同じくカレンダー成形機を用いて、上記熱伝導性シリコーンゴム組成物を仕上がり厚さが０．１５ｍｍになるようにＰＥＴ上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた後にＰＥＴを剥離して得た。これを基材クロスに接着せずに重ねた（表１及び２において、２枚使いと記載）。
【００３７】
（感圧紙による評価）
加圧時に圧力が均等にかかるかを評価するために、平坦なガラス基板上に感圧紙（富士フィルム社製品名プレスケール中圧用）を置き、その上に作製した熱圧着用シリコーンゴムシートをガラスクロス面が下向きになるように重ね、その上から常温の加圧ツール（断面３ｍｍ×２００ｍｍ）で５ＭＰａ、１０秒加圧した。感圧紙の変色状態を目視により評価した。結果を表１及び２に示す。
【００３８】
（ＣＯＦ圧着による評価）
２５μｍピッチの銅電極を設けたガラス基板と厚さ３５μｍのＣＯＦで、厚さ２２μｍの異方性導電接着フィルムを挟み、その上に作製した熱圧着用シリコーンゴムシートをガラスクロス面が下向きになるように重ね、更にその上から加熱した加圧ツール（異方性導電接着フィルムの到達温度が１８０℃になるように調整）で、５ＭＰａ、１５秒圧着し、ＣＯＦ末端の電極が圧着前後にどの程度ずれるかをマイクロスコープにより観察した。圧着に伴う電極ずれの度合いをＡ（５μｍ未満）、Ｂ（５μｍ以上１０μｍ未満）、Ｃ（１０μｍ以上）で評価した。
厚さ５０μｍ、３５μｍのガラスクロス層を基材とした場合、ガラスクロスを開繊処理することでＣＯＦ圧着テストの位置ずれが改善され、高精細対応に有効であることが示された。結果を表１及び２に示す。
【００３９】
【表１】
0005381964.tif 000003
【００４０】
【表２】
0005381964.tif 000004
【符号の説明】
【００４１】
１１  基材クロス
１１ａ  ガラス繊維
１１ｂ  シリコーン樹脂
１２  熱伝導性シリコーンゴム層
【図１】
0005381964.tif 000005