(57)【要約】  ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープ５を搬送して、テストヘッド１０に電気的に接続されている複数のプローブ８１を有するプローブカード８ａ，８ｂに対してキャリアテープ５を押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドラ２において、同時に試験に付す２個のＴＣＰに対応させて、プローブカード８ａ，８ｂを２つ設け、各プローブカード８ａ，８ｂ毎に、当該プローブカード８ａ，８ｂを移動させることのできる移動装置７ａ，７ｂを設ける。かかるＴＣＰハンドラ２によれば、複数のＴＣＰを同時に試験する場合に、コンタクトミスの低減を図ることができる。
2008120518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
複数のＴＣＰを同時に試験できるように、前記測定部はｎ個（ｎは２以上の整数）設けられており、
前記ｎ個の測定部の少なくとも（ｎ−１）個の各測定部毎に、当該測定部を移動させることのできる測定部移動装置が設けられている
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記各測定部に対応するようにｎ個のプッシャを備えており、前記各プッシャは、それぞれ独立して前記測定部に対して近接・離隔可能となっていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記測定部に対して近接・離隔可能な１または複数のプッシャを有するプッシャユニットと、前記プッシャユニットをキャリアテープ面方向に移動させることのできるプッシャユニット移動装置とを備えており、
前記プッシャユニット移動装置による前記プッシャユニットの移動によって、前記測定部に対するキャリアテープの位置を調整できることを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記キャリアテープの所定部位および前記測定部の所定部位を撮影することのできる撮像装置を備えており、
前記撮像装置により撮影した画像に基づいて、ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子との位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置により前記測定部を移動させ、ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行う
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
前記ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うにあたり、さらに、請求項３に記載のプッシャユニット移動装置により前記プッシャユニットを移動させることを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記撮像装置を複数備えていることを特徴とする請求項４または５に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記複数の撮像装置は、移動装置によって、それぞれ独立して又は連動して所望の位置に移動可能となっていることを特徴とする請求項６に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
前記撮像装置は、前記キャリアテープと前記測定部との間に挿入可能となっていることを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
前記測定部と前記テストヘッドとの間には、両者を電気的に接続するためのインターフェイス部材が設けられており、
前記測定部と前記インターフェイス部材とは、フレキシブルなリード線を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１０】
前記測定部と前記テストヘッドとの間には、両者を電気的に接続するためのインターフェイス部材が設けられており、
前記インターフェイス部材は、前記測定部に対応してｎ個設けられており、
前記各インターフェイス部材は、前記測定部移動装置によって、前記測定部とともに、それぞれ独立して移動可能となっていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
このようなＴＣＰハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要であり、そのためにＴＣＰとプローブとの位置合わせを行う必要がある。【０００５】
従来、ＴＣＰとプローブとの位置合わせ方法として、キャリアテープをプッシャおよびクランプまたはコンタクトプレスとともにＸＹ方向に移動させる方法（特許文献１〜３）や、プローブカードをＸＹ方向に移動させる方法（特許文献４，５）が知られている。【０００６】
ところで、最近のＴＣＰハンドラでは、試験効率の向上のために、複数個、例えば２個のＴＣＰを同時に試験に付すことを行っている。複数のＴＣＰは、それぞれ同じテープ上に形成されているため、各ＴＣＰを個別に移動させてプローブとの位置合わせをすることはできない。また、プローブカード上のプローブは固定されているため、各ＴＣＰに対応させてプローブを個別に移動させることもできない。【０００７】
したがって、上記の場合、従来は、一方のＴＣＰのみを基準として位置合わせを行い、他方のＴＣＰは、位置が合っているであろうとの見込みでコンタクトを行っていた。
【特許文献１】実公平６−２２７１号公報
【特許文献２】特開平９−９２６９５号公報
【特許文献３】特開平８−２９４８４号公報
【特許文献４】特開平１０−１８５９９６号公報
【特許文献５】特開２００２−１８１８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そのため、上記のように見込みで位置合わせを行ったＴＣＰについてコンタクトミスが多発する場合があり、常に高い信頼性の下でコンタクトを行うことはできなかった。【０００９】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、複数のＴＣＰを同時に試験する場合に、コンタクトミスの低減を図ることのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、複数のＴＣＰを同時に試験できるように、前記測定部はｎ個（ｎは２以上の整数）設けられており、前記ｎ個の測定部の少なくとも（ｎ−１）個の各測定部毎に、当該測定部を移動させることのできる測定部移動装置が設けられていることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【００１１】
なお、測定部移動装置は、「ｎ個の測定部の少なくとも（ｎ−１）個毎に」設けられるものであるため、ｎ個の測定部のｎ個毎に、すなわち全ての測定部のそれぞれに測定部移動装置が設けられてもよい。【００１２】
上記発明（発明１）によれば、１個の測定部を固定して他の全ての測定部を独立して移動させること、または全ての測定部を独立して移動させることができる。前者の場合には、固定されている測定部に対してキャリアテープを移動させて、当該測定部に対応するＴＣＰの位置合わせを行い、そして測定部移動装置が設けられている測定部を独立して移動させることで、同時に試験に付すＴＣＰのそれぞれに対して個別に位置合わせを行うことができる。後者の場合には、キャリアテープを移動させる必要なく、測定部移動装置によって各測定部を独立して移動させることで、同時に試験に付すＴＣＰのそれぞれに対して個別に位置合わせを行うことができる。これにより、各ＴＣＰの外部端子と、各測定部の接続端子とを確実に接触させることができ、コンタクトミスの低減を図ることができる。【００１３】
上記発明（発明１）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記各測定部に対応するようにｎ個のプッシャを備えており、前記各プッシャは、それぞれ独立して前記測定部に対して近接・離隔可能となっていることが好ましい（発明２）。【００１４】
測定部が複数存在する場合、それらの接続端子の高さには違いが生じることが多いが、上記発明（発明２）のように、各測定部に対して別々のプッシャを個別に移動させ、その移動量を接続端子の高さに応じて適宜調整することにより、各測定部の接続端子に対して最適な接触圧でＴＣＰを押圧することができる。【００１５】
上記発明（発明１，２）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記測定部に対して近接・離隔可能な１または複数のプッシャを有するプッシャユニットと、前記プッシャユニットをキャリアテープ面方向に移動させることのできるプッシャユニット移動装置とを備えており、前記プッシャユニット移動装置による前記プッシャユニットの移動によって、前記測定部に対するキャリアテープの位置を調整できることが好ましい（発明３）。【００１６】
上記発明（発明３）によれば、測定部移動装置が、ｎ個の測定部に対してｎ−１個設けられている場合に、固定されている測定部に対するＴＣＰの位置合わせをプッシャユニットの移動によって自動的に簡単に行うことができる。また、測定部移動装置が、ｎ個の測定部に対してｎ個設けられている場合であっても、位置ずれのパターンによっては、プッシャユニットによりキャリアテープ全体を移動させることにより、的確に位置合わせを行うことができる。【００１７】
上記発明（発明１〜３）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記キャリアテープの所定部位および前記測定部の所定部位を撮影することのできる撮像装置を備えており、前記撮像装置により撮影した画像に基づいて、ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置により前記測定部を移動させ、ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うことが好ましい（発明４）。【００１８】
上記発明（発明４）によれば、撮像装置を利用した画像処理により、ＴＣＰの外部端子に対する接続端子の位置合わせを簡便に行うことができる。【００１９】
上記発明（発明４）においては、前記ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うにあたり、さらに、前記プッシャユニット移動装置（発明３）により前記プッシャユニットを移動させてもよい（発明５）。【００２０】
上記発明（発明４，５）においては、前記撮像装置を複数備えていることが好ましい（発明６）。かかる発明によれば、同時に複数のＴＣＰ／測定部について撮影することができるため、位置ずれ量の取得に係る処理時間を短縮することができる。【００２１】
上記発明（発明６）において、前記複数の撮像装置は、移動装置によって、それぞれ独立して又は連動して所望の位置に移動可能となっていることが好ましい（発明７）。かかる発明によれば、ＴＣＰの互いに遠い位置にある複数の外部端子および測定部の互いに遠い位置にある接続端子を撮影することができる。これにより、ＴＣＰと測定部との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができ、ＴＣＰと測定部との位置合わせをより正確に行うことができる。また、複数の撮像装置のそれぞれを移動させることにより、１つの撮像装置を移動させる場合よりも、移動量は小さくて済むため、位置ずれ量の取得に係る処理時間を短縮することができる。【００２２】
上記発明（発明４〜７）において、前記撮像装置は、前記キャリアテープと前記測定部との間に挿入可能となっていてもよい（発明８）。かかる発明によれば、他の部材等によって撮像装置の視野が邪魔されることがなく、確実にキャリアテープの所定部位および測定部の所定部位を撮影することができる。また、下方からでは撮影できない接続端子の先端部（テストパッドとの接触面）を直接撮影することができるため、接続端子の先端部の位置情報を高い精度で取得することができる。さらに、近い位置からキャリアテープの所定部位を撮影することができるため、その位置情報（座標データ）を高い精度で取得することができる。なお、前記撮像装置は、従来のようにテストヘッドの内部または下側に設けられてもよい。【００２３】
上記発明（発明１〜８）において、前記測定部と前記テストヘッドとの間には、両者を電気的に接続するためのインターフェイス部材が設けられており、前記測定部と前記インターフェイス部材とは、フレキシブルなリード線を介して電気的に接続されていてもよい（発明９）。かかる発明によれば、各測定部は、リード線によって動きを妨げられることなく移動することができる。【００２４】
また、上記発明（発明１〜８）において、前記測定部と前記テストヘッドとの間には、両者を電気的に接続するためのインターフェイス部材が設けられており、前記インターフェイス部材は、前記測定部に対応してｎ個設けられており、前記各インターフェイス部材は、前記測定部移動装置によって、前記測定部とともに、それぞれ独立して移動可能となっていてもよい（発明１０）。【００２５】
上記発明（発明１０）によれば、各測定部とそれに対応するインターフェイス部材とは一体的に移動するため、それらの間にフレキシブルなリード線を設ける必要がない。したがって、撮像装置がテストヘッドの上部に設けられたとしても、当該撮像装置の視野はリード線によって邪魔されない。また、測定部の高さを従来と同じに設定することができるため、ハンドラの設計変更を最小限に抑えることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、複数のＴＣＰを同時に試験する場合に、測定部を個別に移動させてＴＣＰとの位置合わせをすることができるため、コンタクトミスの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラで使用されるプローブカードの平面図である。
【図３】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットおよびテストヘッド上部の正面図である。
【図４】他の実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットおよびテストヘッド上部の正面図である。
【図５】図４に示すＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニット、プローブカードおよびカメラの側面図である。
【図６】別の実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットおよびテストヘッド上部の正面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１…ＴＣＰ試験装置
２…ＴＣＰハンドラ
３…プッシャユニット
３０ａ，３０ｂ…プッシャ
５…キャリアテープ
６ｂ，６ｂ’…第２カメラ（撮像装置）
７ａ，７ｂ…クランプ（測定部移動装置）
８ａ，８ｂ…プローブカード（測定部）
８１…プローブ（接続端子）
９，９ａ，９ｂ…インターフェイス部材
９１…リード線
１０…テストヘッド
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラで使用されるプローブカードの平面図であり、図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットおよびテストヘッド上部の正面図である。【００３０】
ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成されている。【００３１】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、一例としてＴＣＰを２個ごと同時に試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば４個以上のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。【００３２】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００３３】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００３４】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００３５】
巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００３６】
そして、イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、Ｚ軸方向に移動可能なプッシャユニット３が設けられている。【００３７】
一方、図１および図３に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、インターフェイス部材９を介して２つのプローブカード８ａ，８ｂが設けられている。なお、インターフェイス部材２００は、他に例えばハイフィックス、試験ヘッドシャーシ、テストフィクスチャ、トッププレートとも呼ばれるものである。【００３８】
図２に示すように、本実施形態における２つのプローブカード８ａ，８ｂは、それぞれ平面視半円状となっているが、これに限定されるものではない。各プローブカード８ａ，８ｂは、同時に試験に付される２個のＴＣＰの各々に対応して設けられており、それぞれ複数のプローブ８１を備えている。各プローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１は、１個のＴＣＰが有するテストパッド（外部端子）の配列に対応する配列で設けられている。各プローブ８１は、インターフェイス部材９およびテストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。【００３９】
図１〜図３に示すように、プローブカード８ａは、クランプ７ａによって把持されており、プローブカード８ｂは、クランプ７ｂによって把持されている。各クランプ７ａ，７ｂは、それぞれ図示しない駆動機構によってＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動可能となっている。したがって、プローブカード８ａは、クランプ７ａによってＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動可能となっており、プローブカード８ｂは、クランプ７ｂによってＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動可能となっている。【００４０】
上記のように、２つのプローブカード８ａ，８ｂは、それぞれ独立して移動可能となっているため、同時に試験に付すＴＣＰのそれぞれに対して個別に位置合わせを行うことができる。したがって、各ＴＣＰのテストパッドと、各プローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１とを確実に接触させることができ、コンタクトミスの低減を図ることができる。【００４１】
各プローブカード８ａ，８ｂは、フレキシブルなリード線９１を介してインターフェイス部材９に電気的に接続されている。したがって、プローブカード８ａ，８ｂは、リード線９１によって動きを妨げられることなく移動することができる。【００４２】
図１および図３に示すように、プッシャユニット３は、プッシャフレーム３６と、プッシャフレーム３６に取り付けられた２つのプッシャ３０ａ，３０ｂと、プッシャ３０ａ，３０ｂの前段側（図１中左側）に設けられたテンションスプロケット３５ａと、プッシャ３０ａ，３０ｂの後段側（図１中右側）に設けられたメインスプロケット３５ｂとを備えている。【００４３】
各プッシャ３０ａ，３０ｂは、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３と、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１と、プッシャ本体部３３の下端部に設けられた吸着プレート３４とを備えている。【００４４】
各プッシャ３０ａ，３０ｂのプッシャ本体部３３は、Ｚ軸方向のリニアモーションガイド３７を介してプッシャフレーム３６に取り付けられており、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。すなわち、各プッシャ３０ａ，３０ｂは、個別にＺ軸方向に移動可能となっている。吸着プレート３４は、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ５を吸着保持することのできるものである。【００４５】
ここで、プッシャ３０ａは、キャリアテープ５上のＴＣＰをプローブカード８ａに対して押圧するものであり、プッシャ３０ｂは、キャリアテープ５上のＴＣＰをプローブカード８ｂに対して押圧するものである。上記のように２つのプローブカード８ａ，８ｂを作製してハンドラ２に設けた場合、それぞれのプローブカード８ａ，８ｂにおけるプローブ８１の針高さには僅かでも違いが生じることが多い。その場合に１つのプッシャでキャリアテープ５を押圧すると、接触圧の低い方のプローブカードのプローブ８１についてコンタクトミスが生じたり、接触圧の高い方のプローブカードのプローブ８１が変形したりする問題が生じることがある。しかしながら、本実施形態のように各プローブカード８ａ，８ｂに対して別々のプッシャ３０ａ，３０ｂを使用して、個別にＺ軸方向に移動可能とし、各プッシャ３０ａ，３０ｂの移動下端の位置を針高さに応じて適宜調整することにより、各プローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１に対して最適な接触圧でキャリアテープ５を押圧することができる。すなわち、２つのプッシャ３０ａ，３０ｂを使用することにより、各プローブカード８ａ，８ｂの針高さ違いを吸収することができる。【００４６】
プッシャフレーム３６の背面側には、プッシャステージ４が設けられている（図５参照）。このプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動させることができる。したがって、プッシャユニット３のプッシャ３０ａ，３０ｂが、吸着プレート３４によってキャリアテープ５を吸着保持している状態でプッシャユニット３を上記のように移動させることにより、キャリアテープ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸回りに移動させて、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブ８１との位置合わせを行うことができる。【００４７】
図１および図３に示すように、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）に第１カメラ６ａが、テストヘッド１０の上部に第２カメラ６ｂ，６ｂ’が、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）に第３カメラ６ｃが、それぞれ設けられている。【００４８】
プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００４９】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｂ’，６ｃは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なように表示装置（図示せず）に表示させる。表示装置は、画像処理部と、各カメラ６ａ，６ｂ，６ｂ’，６ｃが撮影した画像を表示するモニターとを有している。【００５０】
上記のカメラのうち、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものである。一方、第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、ＴＣＰとプローブ８１との間の位置ずれ情報を取得するためのものである。【００５１】
本実施形態では、２つの第２カメラ６ｂ，６ｂ’が設けられており、一方の第２カメラ６ｂがプローブカード８ａのプローブ８１およびそれに対応するＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークを撮影し、他方の第２カメラ６ｂ’がプローブカード８ｂのプローブ８１およびそれに対応するＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークを撮影するようになっている。【００５２】
各第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、撮影した画像から、プローブ８１およびテストパッドまたはアライメントマークの位置情報（座標データ）を取得し、それによってプローブ８１とＴＣＰとの位置ずれ量を算出することができる。【００５３】
２つの第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、それぞれカメラステージ６１，６１’上に搭載されており、カメラステージ６１，６１’が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）に移動可能となっている。第２カメラ６ｂ，６ｂ’が平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）に移動することで、ＴＣＰの互いに遠い位置にある複数のテストパッドおよびプローブカード８ａ，８ｂの互いに遠い位置にあるプローブ８１を撮影することができる。これにより、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができ、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１との位置合わせをより正確に行うことができる。【００５４】
各カメラステージ６１，６１’は、それぞれ独立して第２カメラ６ｂ，６ｂ’を移動させてもよいし、連動して第２カメラ６ｂ，６ｂ’を移動させてもよい。連動の場合、例えば第２カメラ６ｂ，６ｂ’は並行して移動し、２つのＴＣＰの対応する位置のテストパッド、およびプローブカード８ａ，８ｂの対応する位置のプローブ８１をそれぞれ撮影することができる。【００５５】
なお、第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、焦点位置を変更することができ、それによって、撮影目標であるプローブ８１およびテストパッドまたはアライメントマークの両者に焦点を合わせることができる。【００５６】
上記のように、複数の第２カメラ６ｂ，６ｂ’を設けることにより、同時に２つのＴＣＰ／プローブカードについて位置情報を取得することができ、しかも第２カメラ６ｂ，６ｂ’の移動量は小さくて済むため、位置情報の取得に係る処理時間を短縮することができる。ただし、スペース的な問題やコストの関係から、第２カメラは１つだけ設けられてもよい。【００５７】
ここで、本実施形態では、プローブカード８ａ，８ｂとインターフェイス部材９との間にフレキシブルなリード線９１が存在するが、場合によっては、このリード線９１が第２カメラ６ｂ，６ｂ’の視野を邪魔することがある。このような場合には、第２カメラ６ｂ，６ｂ’を、キャリアテープ５とプローブ８１との間に挿入し得るように設けてもよい。このように第２カメラ６ｂ，６ｂ’を設けることにより、リード線９１によって視野が邪魔されることなく、第２カメラ６ｂ，６ｂ’によってプローブ８１およびＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークを撮影することができる。【００５８】
図４および図５（ａ），（ｂ）に示す例では、第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、それぞれカメラステージ６２，６２’から延びているアーム６３の先端部に取り付けられており、カメラステージ６２，６２’が有するアクチュエータによって、平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）に移動可能となっている。なお、図５（ａ）は、第２カメラ６ｂ，６ｂ’の退出状態を示し、図５（ｂ）は、第２カメラ６ｂ，６ｂ’の挿入状態を示す。【００５９】
第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、第２カメラ６ｂ，６ｂ’の上側および下側をそれぞれ同時に撮影することのできるものである。したがって、図５（ｂ）に示すように、第２カメラ６ｂ，６ｂ’がキャリアテープ５とプローブ８１との間に挿入されたときには、第２カメラ６ｂ，６ｂ’によって、ＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークおよびプローブ８１の先端部を同時に撮影することができる。かかる第２カメラ６ｂ，６ｂ’によれば、下方からでは撮影できないプローブ８１の先端部（テストパッドとの接触面）を直接撮影することができるため、プローブ８１の先端部の位置情報を高い精度で取得することができる。また、近い位置からＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークを撮影することができるため、それらの位置情報（座標データ）を高い精度で取得することができる。【００６０】
なお、上記第２カメラ６ｂ，６ｂ’は、上側（キャリアテープ５）および下側（プローブ８１）をそれぞれ同時に撮影することのできるものであるが、これに限定されることなく、カメラ自体が反転することによって又はカメラ内の光路を切り替えることによって、上側（キャリアテープ５）および下側（プローブ８１）をそれぞれ撮影することのできるカメラであってもよいし、上側（キャリアテープ５）を撮影するカメラと下側（プローブ８１）を撮影するカメラが設けられてもよい。【００６１】
次に、ＴＣＰハンドラ２の位置合わせ動作の一例について説明する。この位置合わせ動作は、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中の動作であってもよいし、実稼動前の初期設定時の動作であってもよい。【００６２】
ＴＣＰハンドラ２は、第２カメラ６ｂ，６ｂ’によって、試験位置に搬送された２個のＴＣＰのそれぞれのテストパッドまたはアライメントマークを撮影するとともに、対応するプローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１を撮影し、それらの座標データを取得する。そして、各ＴＣＰのテストパッドとプローブ８１との位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量が所定量以下となるように、クランプ７ａによってプローブカード８ａを移動させ、クランプ７ｂによってプローブカード８ｂを移動させる。【００６３】
このように、２つのプローブカード８ａ，８ｂを独立して移動させることにより、２個のＴＣＰの位置ずれ方向が互いに異なっていたとしても、２個のＴＣＰのそれぞれに対して個別に位置合わせを行うことができる。したがって、各ＴＣＰのテストパッドと、各プローブカード８ａ，８ｂのプローブ８１とを確実に接触させることができ、コンタクトミスの低減を図ることができる。【００６４】
なお、２個のＴＣＰの位置ずれ方向が同じであるような場合には、上記プローブカード８ａ，８ｂの移動の前に、プッシャステージ４によってプッシャユニット３を動かして、キャリアテープ５全体を移動させてもよい。その後、必要に応じてプローブカード８ａ，８ｂを移動させてもよい。【００６５】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００６６】
例えば、上記実施形態では、プローブカード８ａ，８ｂを把持しているクランプ７ａ，７ｂのいずれも移動可能なものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、一方のクランプ７ａ（またはクランプ７ｂ）を移動可能なものとし、他方のクランプ７ｂ（またはクランプ７ａ）を固定してもよい。【００６７】
この場合、最初にプッシャステージ４によってプッシャユニット３、そしてキャリアテープ５を動かし、２個のうち１個のＴＣＰについて、固定されているプローブカード８ｂ（またはプローブカード８ａ）のプローブ８１との位置合わせを行う。次いで、その移動量を加味して、移動可能なクランプ７ａ（またはクランプ７ｂ）によりプローブカード８ａ（またはプローブカード８ｂ）を移動させ、残りの１個のＴＣＰについて、当該プローブカード８ａ（またはプローブカード８ｂ）のプローブ８１との位置合わせを行う。【００６８】
かかる構成では、プローブカードの移動量が上記実施形態よりも大きくなって処理時間が長くなるものの、ハンドラ２を簡素化して省スペース化およびコストの低減を図ることができる。【００６９】
また、インターフェイス部材は、プローブカードの数に対応して複数設けられ、移動装置によってプローブカードとともに移動可能となっていてもよい。例えば、図６に示すように、プローブカード８ａ用としてインターフェイス部材９ａが設けられ、プローブカード８ｂ用としてインターフェイス部材９ｂが設けられ、プローブカード８ａおよびインターフェイス部材９ａは、クランプ７ａによって把持され、図示しない駆動機構によってＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動可能となっており、プローブカード８ｂおよびインターフェイス部材９ｂは、クランプ７ｂによって把持され、図示しない駆動機構によってＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動可能となっていてもよい。【００７０】
かかる構成によれば、プローブカード８ａとインターフェイス部材９ａ、プローブカード８ｂとインターフェイス部材９ｂはそれぞれ一体的に移動するため、プローブカード８ａ，８ｂとインターフェイス部材９ａ，９ｂとの間にフレキシブルなリード線を設ける必要がない。したがって、テストヘッド１０の上部に設けられた第２カメラ６ｂ，６ｂ’の視野はリード線によって邪魔されない。また、プローブカード８ａ，８ｂの高さを従来と同じに設定することができ、さらには従来のクランプを利用することができるため、ハンドラの設計変更を最小限に抑えることができる。【００７１】
また、上記実施形態では、プローブカードおよびプローブカードを移動させる装置（クランプ）の個数は２つとしたが、本発明はこれに限定されることなく、例えば、３つ、４つ等、３以上の整数であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置の初期設定時または実稼動時において、プローブカードのプローブとＴＣＰのテストパッドとの位置合わせを正確に行うのに有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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