(57)【要約】  小流量の微小な調整が容易であり、ユーザー側で所望の小流量を設定できる流体制御器を提供する。  上方移動時の小流量ピストン停止位置を設定する小流量ピストン停止位置設定手段12は、は、弁棒5上端面との間に間隙が存在するようにケーシング4頂壁15に設けられた貫通ねじ孔15aにねじ合わされた小流量調整ねじ31と、小流量調整ねじ31の先端部に形成されたテーパ部32と、このテーパ部32に所定間隙をおいて対向するテーパ部34を上面に有し下面33aが小流量ピストン8の上方停止位置を規制するストッパピストン33と、小流量調整ねじ31のテーパ部32とストッパピストン33のテーパ部34との間に介在させられてこれらの間に力を伝達する複数の力伝達用球体35とを備えている。
2008096646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路が設けられた弁箱と、弁箱上部に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体を上下移動させる弁棒と、弁棒を下向きに付勢する弾性部材と、弁棒上端部に取り付けられて弁棒と一体で上下移動する小流量ピストンと、小流量ピストン下側において弁棒に取り付けられて弁棒と一体で上下移動する大流量ピストンと、小流量ピストンを上方に移動させる小流量ピストン駆動手段と、大流量ピストンを上方に移動させる大流量ピストン駆動手段と、上方移動時の小流量ピストン停止位置を設定する小流量ピストン停止位置設定手段と、上方移動時の大流量ピストン停止位置を設定する大流量ピストン停止位置設定手段とを備えており、弁棒を閉位置、大流量開位置およびこれら両位置の間にある小流量開位置のいずれかに位置させることができる流体制御器において、
小流量ピストン停止位置設定手段は、弁棒上端面との間に間隙が存在するようにケーシング頂壁に設けられた貫通ねじ孔にねじ合わされた小流量調整ねじと、小流量調整ねじの先端部に設けられたテーパ部と、このテーパ部に所定間隙をおいて対向するテーパ部を上面に有し下面が小流量ピストンの上方停止位置を規制するストッパピストンと、小流量調整ねじの先端部に設けられたテーパ部とストッパピストンのテーパ部との間に介在させられてこれらの間に力を伝達する複数の力伝達体とを備えていることを特徴とする流体制御器。
【請求項２】
各テーパ部は、弁棒の中心軸を中心軸とする円錐面とされ、力伝達体は、球体とされ、球体は、周方向に複数個配置されている請求項１の流体制御器。
【請求項３】
各テーパ部は、弁棒の中心軸を対称軸とするくさび状とされ、力伝達体は、円柱状とされて、各テーパ部の対称軸を介して対称に１対配置されている請求項１の流体制御器。
【請求項４】
小流量調整ねじの先端部に設けられたテーパ部のテーパ角度は、鋭角とされ、ストッパピストンのテーパ部は、鈍角とされている請求項２または３の流体制御器。
【請求項５】
ストッパピストンは、小流量ピストンの上方において上下移動可能なようにケーシング内に嵌め入れられている請求項１の流体制御器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、弁棒を閉位置、大流量開位置およびこれら両位置の間にある小流量開位置のいずれかに位置させることができる構成とされて、流体の流量を大流量と小流量とに切替可能な流体制御器に関する。
【背景技術】
【０００２】
大流量と小流量とに切替可能な流体制御器として、特許文献１には、流体通路が設けられた弁箱と、弁箱上部に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体を上下移動させる弁棒と、弁棒を下向きに付勢する弾性部材と、弁棒上端部に取り付けられて弁棒と一体で上下移動する小流量ピストンと、小流量ピストン下側において弁棒に取り付けられて弁棒と一体で上下移動する大流量ピストンと、小流量ピストンを上方に移動させる小流量ピストン駆動手段と、大流量ピストンを上方に移動させる大流量ピストン駆動手段と、上方移動時の小流量ピストン停止位置を設定する小流量ピストン停止位置設定手段と、上方移動時の大流量ピストン停止位置を設定する大流量ピストン停止位置設定手段とを備えており、弁棒を閉位置、大流量開位置およびこれら両位置の間にある小流量開位置のいずれかに位置させることができる流体制御器において、小流量ピストン停止位置設定手段は、ケーシング周壁の上端部にねじ合わされてケーシングカバーとしての機能を有している小流量調整ねじを備えており、このねじの下面によって小流量ピストンの上方停止位置を規制するものが開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２７３５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１の流体制御器では、小流量調整ねじのピッチが１ｍｍ程度となることから、回転数にして０〜０．３回転の範囲で調整する必要があり、小流量の微小な調整が困難となり、ユーザー側では調整ができないため、メーカー側でこの調整を行うこととなっている。【０００４】
この発明の目的は、小流量の微小な調整が容易であり、ユーザー側で所望の小流量を設定できる流体制御器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明による流体制御器は、流体通路が設けられた弁箱と、弁箱上部に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体を上下移動させる弁棒と、弁棒を下向きに付勢する弾性部材と、弁棒上端部に取り付けられて弁棒と一体で上下移動する小流量ピストンと、小流量ピストン下側において弁棒に取り付けられて弁棒と一体で上下移動する大流量ピストンと、小流量ピストンを上方に移動させる小流量ピストン駆動手段と、大流量ピストンを上方に移動させる大流量ピストン駆動手段と、上方移動時の小流量ピストン停止位置を設定する小流量ピストン停止位置設定手段と、上方移動時の大流量ピストン停止位置を設定する大流量ピストン停止位置設定手段とを備えており、弁棒を閉位置、大流量開位置およびこれら両位置の間にある小流量開位置のいずれかに位置させることができる流体制御器において、小流量ピストン停止位置設定手段は、弁棒上端面との間に間隙が存在するようにケーシング頂壁に設けられた貫通ねじ孔にねじ合わされた小流量調整ねじと、小流量調整ねじの先端部に設けられたテーパ部と、このテーパ部に所定間隙をおいて対向するテーパ部を上面に有し下面が小流量ピストンの上方停止位置を規制するストッパピストンと、小流量調整ねじの先端部に設けられたテーパ部とストッパピストンのテーパ部との間に介在させられてこれらの間に力を伝達する複数の力伝達体とを備えていることを特徴とするものである。【０００６】
閉位置は、弾性部材（例えば圧縮コイルばね）の付勢力だけが存在しているときに得られ、大流量開位置は、大流量ピストン駆動手段によって大流量ピストンが上方に移動させられたときに得られ、小流量開位置は、小流量ピストン駆動手段によって小流量ピストンが上方に移動させられたときに得られる。【０００７】
各テーパ部は、円錐面とされ、力伝達体は、球体とされることがあり、この場合、球体は、周方向に複数個（例えば、３〜８個）とされる。また、各テーパ部は、くさび状とされ、力伝達体は、円柱状とされることもあり、この場合、力伝達体は１対とされ、２つの円（力伝達体断面）の間に二等辺三角形（くさび状テーパ部断面）が介在させられる断面形状となる。【０００８】
小流量ピストンおよび大流量ピストンは、弁棒の所定位置に上下移動可能に取り付けられるとともに、その上方への移動が、弁棒に固定された止め輪によって防止されることで、上方へ移動したときには止め輪に当接して、その後は、弁棒と一体で上方に移動し、この逆に、弁棒が下方に移動する際には、止め輪がピストンに当接することで、弁棒と一体で下方に移動するものとされる。【０００９】
小流量ピストン駆動手段および大流量ピストン駆動手段は、小流量ピストンおよび大流量ピストンの下方にそれぞれ形成された密閉空間（空気導入室）に圧縮空気を導入するものとされる。この場合、圧縮空気が導入されないときには、弁棒は、弾性部材に付勢されて閉位置に位置させられ、小流量ピストン下方の空気導入室内に圧縮空気が導入されたときには、小流量ピストンの上方への移動に対応する量だけ弁棒（弁体）が上方に移動した第１の開位置に位置させられ、大流量ピストン下方の空気導入室内に圧縮空気が導入されたときには、大流量ピストンの上方への移動に対応する量だけ弁棒（弁体）が上方に移動した第２の開位置に位置させられる。そして、小流量ピストンの移動量＜大流量ピストンの移動量とすることにより、第１の開位置が小流量開位置に、第２の開位置が大流量開位置となり、流量の２段階調整を行うことができる。【００１０】
小流量ピストン停止位置設定手段は、小流量ピストン停止位置を調整可能なものとされる。大流量ピストン停止位置設定手段は、調整は不要で、大流量開位置（全開位置）において、弁棒を停止させることができればよく、ストッパピストンに当接した小流量ピストンによって大流量ピストンが必要以上に上方に移動することを防止するようにしてもよく、また、ケーシングに固定された部材に、弁棒に設けられたフランジ部が当接する段部を形成することによって、弁棒自体の所定位置を越える上方への動きを防止するようにしてもよい。【００１１】
小流量ピストン停止位置設定手段は、例えば、小流量調整ねじをねじ回しで回転させることによって、上方に移動する小流量ピストンが当接するストッパピストンの位置を調整するものとされる。ストッパピストンは、小流量ピストンおよび大流量ピストンと類似の形状とされて、小流量ピストンの上方において上下移動可能なようにケーシング内に嵌め入れられる。小流量調整ねじのテーパ部のテーパ角およびストッパピストンのテーパ部のテーパ角は、小流量調整ねじの移動量に対するストッパピストンの移動量を規定するもので、このテーパ角を所定値に設定することによって、ストッパピストンの上下位置の調整が容易なものとなり、これにより、小流量時における流量を所望の値に調整することができる。【００１２】
このように構成された流体制御器は、常時閉でかつ流量の２段階調整を行うことができ、例えば、真空チャンバーに窒素ガスを一気に流したくない場合に、まず、小流量の窒素ガスを流し、次いで、大流量の窒素ガスを流すという目的に使用できる。また、液圧回路中の空気を排出するためなど（ブライト弁、リーク弁など）にも使用することができる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の流体制御器によると、小流量調整ねじのテーパ部のテーパ角および／またはストッパピストンのテーパ部のテーパ角を調整することにより、小流量調整ねじの移動量に対し、ストッパピストンの移動量を非常に小さく（例えば１／１０に）することができるので、小流量の微小な調整が容易であり、ユーザー側での調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明による流体制御器の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】この発明による流体制御器における小流量調整ねじの回転角度とＣｖ値との関係を従来のものと比較して示すグラフである。
【図４】この発明による流体制御器の第２実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１５】
(1)       流体制御器
(2)       弁箱
(2a)      流体流入通路（流体通路）
(2b)      流体流出通路（流体通路）
(4)       ケーシング
(5)       弁棒
(6)       ダイヤフラム（弁体）
(7)       圧縮コイルばね（弾性部材）
(8)       小流量ピストン
(9)       大流量ピストン
(10)      小流量ピストン駆動手段
(11)      大流量ピストン駆動手段
(12)(40)  小流量ピストン停止位置設定手段
(13)      大流量ピストン停止位置設定手段
(15)      カバー（頂壁）
(15a)     貫通ねじ孔
(31)      小流量調整ねじ
(32)(42)  テーパ部
(33)(43)  ストッパピストン
(33a)(43a)下面
(34)(44)  テーパ部
(35)      力伝達用球体（力伝達体）
(45)      力伝達用円柱体（力伝達体）
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下および左右は、図１の上下および左右をいうものとする。【００１７】
この発明による流体制御器(1)の第１実施形態は、図１に示すように、流体流入通路(2a)および流体流出通路(2b)が設けられた弁箱(2)と、弁箱(2)上部に固定されたボンネット(3)と、ボンネット(3)上端部に固定されたケーシング(4)と、ボンネット(3)に上下移動自在に挿通されてその上部がケーシング(4)内にある弁棒(5)と、弁棒(5)の上下移動に伴って流体流入通路(2a)を開閉するダイヤフラム（弁体）(6)と、弁棒(5)を下向きに付勢する弾性部材としての圧縮コイルばね(7)と、弁棒(5)上端部に取り付けられて弁棒(5)と一体で上下移動する小流量ピストン(8)と、小流量ピストン(8)下側において弁棒(5)に取り付けられて弁棒(5)と一体で上下移動する大流量ピストン(9)と、外部から導入される圧縮空気によって小流量ピストン(8)を上方に移動させる小流量ピストン駆動手段(10)と、外部から導入される圧縮空気によって大流量ピストン(9)を上方に移動させる大流量ピストン駆動手段(11)と、上方移動時の小流量ピストン停止位置を設定する小流量ピストン停止位置設定手段(12)と、上方移動時の大流量ピストン停止位置を設定する大流量ピストン停止位置設定手段(13)とを備えており、弁棒(5)を圧縮コイルばね(7)の付勢力だけが存在しているときの閉位置、大流量ピストン(9)が上方に移動させられたときの大流量開位置およびこれら両位置の間にあり小流量ピストン(9)が上方に移動させられたときの小流量開位置のいずれかに位置させることができるものである。図１は、弁棒(5)が閉位置にあるときを示している。【００１８】
ボンネット(3)は、弁箱(2)の上端部に設けられた上向きに開口した凹所にその下端部が嵌め入れられており、ボンネットナット(14)により弁箱(2)に固定されている。ケーシング(4)は、上向きに開口しており、その開口がカバー(15)によって閉鎖されている。ボンネット(3)は、その上部がケーシング(4)の底壁に設けられたボンネット挿通孔に流体密に挿通されており、ケーシング(4)の底壁より上方に突出したボンネット(3)の上端部および中間部にそれぞれ止め輪(16)(17)が嵌められることにより、ボンネット(3)とケーシング(4)とが結合されている。【００１９】
弁棒(5)は、ボンネット(3)の上端部分に流体密にかつ上下移動可能に挿通されており、弁棒(5)下端部には、フランジ部(5a)が設けられている。ボンネット(3)には、フランジ部(5a)の上方位置を規定する段部(13a)が形成されている。【００２０】
圧縮コイルばね(7)は、ボンネット(3)の中間部分の内周部に収納され、弁棒(5)のフランジ部(5a)とボンネット(3)の上側に設けられた段部とにより受け止められている。【００２１】
弁棒(5)のフランジ部(5a)の下面には、ダイアフラム押さえ(18)が固定されており、ダイヤフラム(6)は、図１に示す閉位置において、圧縮コイルばね(7)の弾性力によって下向きに付勢されたダイアフラム押さえ(18)に押さえられることにより、弁箱(2)の流体流入通路(2a)の開口に設けられた環状の弁座(19)に押し付けられている。【００２２】
小流量ピストン(8)および大流量ピストン(9)は、いずれも、環状の下方突出縁部を有する円板状に形成されて、弁棒(5)の所定位置に取り付けられるとともに、ケーシング(4)内に上下移動可能にかつ流体密に嵌め入れられている。弁棒(5)は、２つのピストン(8)(9)を貫通して上方にのびている。図１に示す閉位置では、大流量ピストン(9)は、圧縮コイルばね(7)により下向きに付勢されている弁棒(5)と一体となって下向きに押されることにより、その底壁下面の環状の下方突出縁部が、ケーシング(4)の底壁上面に当接している。【００２３】
小流量ピストン(8)および大流量ピストン(9)の各上面に接するようにして、弁棒(5)には、止め輪(20)(21)が固定されており、これによりに小流量ピストン(8)および大流量ピストン(9)がそれぞれ上方に移動すると、弁棒(5)がこれと一体になって上方に移動し、弁棒(5)が下方に移動すると、小流量ピストン(8)および大流量ピストン(9)がこれと一体になって下方に移動する。なお、止め輪(20)(21)は、弁棒(5)に対して小流量ピストン(8)および大流量ピストン(9)が下方に移動することは規制していない。【００２４】
小流量ピストン駆動手段(10)は、小流量ピストン(8)下面と大流量ピストン(9)上面との間に形成された小流量時空気導入室(22)に圧縮空気を導入するもので、ケーシング(4)の底壁側面に設けられて圧縮空気源に接続される小流量ポート(23)と、小流量ポート(23)からケーシング(4)の底壁および周壁内部を通って小流量時空気導入室(22)にケーシング内通路(24)とを備えている。【００２５】
大流量ピストン駆動手段(11)は、ケーシング(4)底壁と大流量ピストン(9)下面との間に形成された大流量時空気導入室(25)に圧縮空気を導入するもので、ケーシング(4)の底壁に設けられて圧縮空気源に接続される大流量ポート(26)と、大流量ポート(26)からケーシング(4)の底壁内部を通って大流量時空気導入室(25)に通じるケーシング底壁内通路(27)とを備えている。【００２６】
小流量ピストン停止位置設定手段(12)は、弁棒(5)上端面との間に間隙が存在するようにケーシング(4)頂壁としてのカバー(15)に設けられた貫通ねじ孔(15a)にねじ合わされた小流量調整ねじ(31)と、小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられた先細りのテーパ部(32)と、このテーパ部(32)に所定間隙をおいて対向する凹状のテーパ部(34)を上面に有し下面(33a)が小流量ピストン(8)の上方停止位置を規制するストッパピストン(33)と、小流量調整ねじ(31)のテーパ部(32)とストッパピストン(33)のテーパ部(34)との間に介在させられてこれらの間に力を伝達する力伝達体としての４つの力伝達用球体(35)と、小流量調整ねじ(31)を固定する小流量調整ねじ固定手段(36)とを備えている。【００２７】
小流量調整ねじ(31)の上面には、ねじ回しを嵌め合わせるための係合溝(31a)が形成されている。【００２８】
小流量調整ねじ(31)のテーパ部(32)およびストッパピストン(33)のテーパ部(34)は、いずれも、弁棒(5)の中心軸を中心軸とする円錐状とされている。小流量調整ねじ(31)のテーパ部(32)のテーパ角度は、鋭角とされ、ストッパピストン(33)のテーパ部(34)は、鈍角とされており、これらのテーパ角度を調整することにより、小流量調整ねじ(31)の移動量に対し、ストッパピストン(33)の移動量を例えば１／１０にすることができる。なお、小流量ピストン(8)の上面とストッパピストン(33)の下面との間の隙間は、実際には非常に小さいものであるが、図では、これを誇張して描いている。【００２９】
球体(35)は、鋼球、その他の金属球、セラミック球などの硬い材料で形成されており、ストッパピストン(33)に形成された溝内に回転可能に嵌め入れられている。【００３０】
小流量調整ねじ固定手段(36)は、カバー(15)の中央部に上方突出状に設けられて小流量調整ねじ(31)がねじ合わされている中空状のおねじ部(37)と、おねじ部(37)を縮径させるテーパねじのロックナット(38)とを備えている。おねじ部(37)には、４本の溝(37a)が設けられており、ロックナット(38)を締め付けることにより、おねじ部(37)に径方向内向きの力が生じて、小流量調整ねじ(31)がロックされる。【００３１】
大流量ピストン停止位置設定手段(13)は、大流量ピストン(9)の上方位置を規定している止め輪(21)と小流量ピストン(8)の下面との間の距離が所定間隔に調整されることによって形成されている。【００３２】
この発明による流体制御器(1)によると、流路閉の状態のときに、小流量ポート(23)から小流量時空気導入室(22)内に圧縮空気が導入されると、小流量ピストン(8)が上方に移動し、これに伴って、弁棒(5)も上方に移動する。この結果、小流量ピストン(8)の上面がストッパピストン(33)の下面に当接する。これにより、弁棒(5)は、小流量開位置に保持される。この後、大流量ポート(26)から大流量時空気導入室(25)内に圧縮空気を導入すると、大流量ピストン(9)が上方に移動し、大流量ピストン(9)の上面にある止め輪(21)が小流量ピストン(8)の下面に当接する。これにより、大流量ピストン(9)は、それ以上の移動が阻止され、弁棒(5)が大流量開位置に保持される。【００３３】
こうして、この発明による流体制御器(1)によると、小流量ポート(23)からの圧縮空気導入、大流量ポート(26)からの圧縮空気導入および空気導入なしのいずれかを選択することにより、小流量開位置、大流量開位置および閉位置のいずれかに弁棒(5)を保持することができる。【００３４】
図３に、この発明による流体制御器(1)を使用した場合の小流量調整ねじ(31)の回転角度とＣｖ値との関係を示す。この関係は、小流量がゼロとなる位置を基準として、その位置より小流量調整ねじ(31)を４５°ずつ左方向に回し、それぞれの位置でロックナット(38)を締め付けてロックした後、流量を測定し、測定値よりＣｖ値を算出したもので、同図から分かるように、従来のものでは、Ｃｖ値が０．０１以下では実質的に調整不可能であったが、この発明による流体制御器(1)によると、Ｃｖ値０．０１以下でも容易に調整することができる。【００３５】
なお、上記の第１実施形態では、各テーパ部(32)(34)は、円錐面とされ、力伝達体(35)は、球体とされているが、これに限定されるものではない。その実施形態を次に示す。【００３６】
図４に示すこの発明による流体制御器(1)の第２実施形態は、図１に示した第１実施形態とは、小流量ピストン停止位置設定手段(12)(40)の構成が相違している。以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付してその説明を省略する。【００３７】
小流量ピストン停止位置設定手段(40)は、第１実施形態のものと同様に、弁棒(5)上端面との間に間隙が存在するようにケーシング(4)頂壁としてのカバー(15)に設けられた貫通ねじ孔(15a)にねじ合わされた小流量調整ねじ(31)と、小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられた先細りのテーパ部(42)と、このテーパ部(42)に所定間隙をおいて対向する凹状のテーパ部(44)を上面に有し下面(43a)が小流量ピストン(8)の上方停止位置を規制するストッパピストン(43)と、小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられたテーパ部(42)とストッパピストン(43)のテーパ部(44)との間に介在させられてこれらの間に力を伝達する力伝達体(45)と、小流量調整ねじ(31)を固定する小流量調整ねじ固定手段(36)とを備えており、小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられたテーパ部(42)、ストッパピストン(43)および力伝達体(45)の構成が第１実施形態と相違している。【００３８】
第２実施形態の力伝達体(45)は、球ではなく、弁棒(5)の中心軸を介して対称に配置され、かつ図４の紙面表側から裏側にのびる軸を有する１対の力伝達用円柱体とされている。そして、これに対応して、小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられたテーパ部(42)およびストッパピストン(43)のテーパ部(44)は、いずれも、弁棒(5)の中心軸を対称軸とするくさび状とされており、図４において、各テーパ部(42)(44)の傾斜面がその紙面表側から裏側まで同じ形状でのびることで、２つの円（力伝達体断面）の間に二等辺三角形（くさび状テーパ部断面）が介在させられる断面形状が得られている。【００３９】
小流量ピストン(8)の上方停止位置を規制するストッパピストン(43)の下面(43a)は、第１実施形態のストッパピストン(33)の下面(33a)と同一形状とされている。【００４０】
小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられたテーパ部（くさび状体）(42)は、小流量調整ねじ(31)とは別体とされており（第１実施形態の小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられたテーパ部(32)は、小流量調整ねじ(31)の先端部に一体に形成されている）、テーパ部を形成するくさび状体(42)は、小流量調整ねじ(31)を回転させたときに一体に上下移動するが回転はしないように小流量調整ねじ(31)の先端部に結合されている。【００４１】
小流量調整ねじ(31)の先端部に設けられたテーパ部(42)のテーパ角度は、鋭角とされ、ストッパピストン(43)のテーパ部(44)は、鈍角とされている。そして、これらのテーパ角度を調整することにより、第１実施形態と同様に、小流量調整ねじ(31)の移動量に対し、ストッパピストン(43)の移動量を例えば１／１０にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
この発明の流体制御器によると、流体の流量を大流量と小流量とに切替可能で、しかも、ユーザー側で所望の小流量を設定できるので、流体制御器の利便性向上に寄与することができる。
【図１】
2008096646.tif 000003
【図２】
2008096646.tif 000004
【図３】
2008096646.tif 000005
【図４】
2008096646.tif 000006
【国際調査報告】
2008096646.tif 000007
2008096646.tif 000008
2008096646.tif 000009
2008096646.tif 000010