(57)【要約】  ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープ５を搬送して、テストヘッド１０に電気的に接続されているプローブ８１を有するプローブカード８に対してキャリアテープ５を押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブカード８のプローブ８１に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドラ２において、クリーニングステージ９１によってキャリアテープ５とプローブカード８との間に挿入され、プローブカード８のプローブ８１をクリーニングすることのできるクリーニング部材９３を設ける。かかるＴＣＰハンドラ２によれば、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中であっても、プローブ８１を簡便にクリーニングすることができる。
2008120519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記キャリアテープと前記測定部との間に挿入され、前記測定部の接続端子をクリーニングすることのできるクリーニング部材を備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記クリーニング部材は、当該クリーニング部材を、前記キャリアテープと前記測定部との間に対して挿入および退出させること、前記測定部の接続端子に対して近接および離隔させること、ならびに前記測定部の複数の接続端子の先端部が形成する面方向に移動させること、のできる移動装置に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記キャリアテープと前記測定部との間に挿入され、前記キャリアテープの所定部位および前記測定部の所定部位を撮影することのできる撮像装置を備えており、
前記撮像装置は、当該撮像装置を、前記キャリアテープと前記測定部との間に対して挿入および退出させること、前記測定部の接続端子に対して近接および離隔させること、ならびに前記測定部の複数の接続端子の先端部が形成する面方向に移動させること、のできる移動装置に取り付けられており、
前記クリーニング部材は、前記撮像装置のいずれかの部位に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記測定部の接続端子に対して近接・離隔可能なプッシャ装置を備えており、
前記移動装置は、前記プッシャ装置の前記接続端子に対する移動量に基づいて、前記クリーニング部材の前記接続端子に対する移動量を決定する
ことを特徴とする請求項２または３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
前記クリーニング部材は、研磨材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記クリーニング部材は、ブラシであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記ブラシまたは前記接続端子に対して洗浄液を供給することのできる洗浄液供給装置を備えていることを特徴とする請求項６に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記クリーニング部材または前記測定部の接続端子の近傍に位置し得るエアブロアまたはバキューム装置を備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
前記ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中における前記クリーニング部材による前記測定部の接続端子のクリーニングは、被試験ＴＣＰと前記接続端子とのコンタクトミスまたはコンタクト率の低下を指標にして行うことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１０】
前記ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中における前記クリーニング部材による前記測定部の接続端子のクリーニングは、試験回数を指標にして定期的に行うことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにプッシャによりキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
ところで、上記の試験を繰り返して行うと、ＴＣＰのテストパッドの金属がプローブに移行し、その金属による酸化皮膜がプローブに形成され、ＴＣＰのテストパッドとプローブとの接触不良を起こすことがある。この状態でＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせても、正確な試験を行うことはできない。【０００５】
上記のようなＴＣＰのテストパッドとプローブとの接触不良を防止・解消するためには、プローブをクリーニングする必要がある。プローブをクリーニングするために、従来は、プローブカードを取り外して、作業台上でプローブを研磨したり、プッシャに研磨材を装着して、その研磨材をプローブに接触させたりしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のクリーニング方法においては、ＴＣＰハンドラの実稼動中（ロット試験中）には実施できないという問題や、プローブカードまたは研磨材の脱着に時間および手間を要するという問題があった。【０００７】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中であっても、測定部の接続端子を簡便にクリーニングすることのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記キャリアテープと前記測定部との間に挿入され、前記測定部の接続端子をクリーニングすることのできるクリーニング部材を備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【０００９】
上記発明（発明１）によれば、測定部を取り外したり、プッシャに研磨材を装着したりする必要がなく、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中（ロット試験中）であっても、接続端子を短時間で簡便にクリーニングすることができる。なお、本明細書においては、ＴＣＰハンドリング装置を稼動して試験を行っている最中において、試験を一時中断した状態も「実稼動中」に含まれるものとする。【００１０】
上記発明（発明１）において、前記クリーニング部材は、当該クリーニング部材を、前記キャリアテープと前記測定部との間に対して挿入および退出させること、前記測定部の接続端子に対して近接および離隔させること、ならびに前記測定部の複数の接続端子の先端部が形成する面方向に移動させること、のできる移動装置に取り付けられていてもよい（発明２）。また、上記発明（発明１）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記キャリアテープと前記測定部との間に挿入され、前記キャリアテープの所定部位および前記測定部の所定部位を撮影することのできる撮像装置を備えており、前記撮像装置は、当該撮像装置を、前記キャリアテープと前記測定部との間に対して挿入および退出させること、前記測定部の接続端子に対して近接および離隔させること、ならびに前記測定部の複数の接続端子の先端部が形成する面方向に移動させること、のできる移動装置に取り付けられており、前記クリーニング部材は、前記撮像装置のいずれかの部位に取り付けられていてもよい（発明３）。【００１１】
上記発明（発明２，３）によれば、移動装置によってクリーニング部材を自動的に移動させることにより、接続端子を簡便にクリーニングすることができる。【００１２】
上記発明（発明２，３）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記測定部の接続端子に対して近接・離隔可能なプッシャ装置を備えており、前記移動装置は、前記プッシャ装置の前記接続端子に対する移動量に基づいて、前記クリーニング部材の前記接続端子に対する移動量を決定するようにしてもよい（発明４）。【００１３】
上記発明（発明４）によれば、クリーニング部材の接続端子に対する接触圧を、接続端子にダメージを与えない好適な大きさに設定することができる。【００１４】
上記発明（１〜４）において、前記クリーニング部材は、研磨材であってもよいし（発明５）、ブラシであってもよい（発明６）。クリーニング部材がブラシの場合、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記ブラシまたは前記接続端子に対して洗浄液を供給することのできる洗浄液供給装置を備えていてもよい（発明７）。かかる発明によれば、接続端子の汚れを効果的に落とし、接続端子をクリーンにすることができる。【００１５】
上記発明（発明１〜７）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記クリーニング部材または前記測定部の接続端子の近傍に位置し得るエアブロアまたはバキューム装置を備えていてもよい。かかる発明によれば、クリーニング部材によって接続端子から取った汚れや異物を、クリーニング部材や接続端子の周りに残すことなく除去することができる。【００１６】
上記発明（発明１〜８）において、前記ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中における前記クリーニング部材による前記測定部の接続端子のクリーニングは、被試験ＴＣＰと前記接続端子とのコンタクトミスまたはコンタクト率の低下を指標にして行ってもよいし（発明９）、試験回数を指標にして定期的に行ってもよい（発明１０）。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中であっても、測定部の接続端子を簡便にクリーニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニット、クリーニングユニットおよびプローブカードの側面図である。
【図３】他の実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニット、カメラ、クリーニング部材およびプローブカードの側面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１…ＴＣＰ試験装置
２…ＴＣＰハンドラ（ＴＣＰハンドリング装置）
３３…プッシャ本体部（プッシャ装置）
５…キャリアテープ
６ｂ…第２カメラ（撮像装置）
６２…カメラステージ（移動装置）
８…プローブカード（測定部）
８１…プローブ（接続端子）
９…クリーニングユニット
９１…クリーニングステージ（移動装置）
９３…クリーニング部材
１０…テストヘッド
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニット、クリーニングユニットおよびプローブカードの側面図である。【００２１】
ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成される。ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものである。【００２２】
なお、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２において、Ｘ軸は、テストヘッド１０上のキャリアテープ５の搬送方向（図１中左右方向）を示し、Ｙ軸は、水平面においてＸ軸と直交する方向（図１中紙面を貫通する方向）を示し、Ｚ軸は、垂直方向（図１中上下方向）を示す。【００２３】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００２４】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００２５】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００２６】
また、巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００２７】
イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられており、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（後述するプローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。【００２８】
プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００２９】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、図示しない画像処理装置に接続されており、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。【００３０】
図１に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド（以下「ＬＭガイド」という。）３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、ＬＭガイド３７にガイドされながらＺ軸方向に移動可能となっている。【００３１】
このプッシャ本体部３３の下端部には、エアを吸引することによりキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。【００３２】
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられている。【００３３】
図２に示すように、プッシャフレーム３６の背面側には、プッシャステージ４が設けられている。このプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動させることができる。したがって、プッシャユニット３のプッシャ本体部３３が、吸着プレート３４によってキャリアテープ５を吸着保持している状態でプッシャユニット３を上記のように移動させることにより、キャリアテープ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸回りに移動させて、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブ８１との位置合わせを行うことができる。【００３４】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。このプローブカードステージ７によれば、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、およびＺ軸回りに回転移動させることができる。【００３５】
プローブカード８は、複数のプローブ８１を備えており、各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。【００３６】
図１および図２に示すように、プッシャユニット３とプローブカード８との間には、クリーニングユニット９が設けられている。クリーニングユニット９は、クリーニングステージ９１と、クリーニングステージ９１から延びているアーム９２の先端部下側に設けられたクリーニング部材９３とを備えている。【００３７】
クリーニングステージ９１は、アーム９２をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動させることのできるアクチュエータを内蔵している。したがって、クリーニング部材９３は、クリーニングステージ９１の駆動により、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動することができる。【００３８】
クリーニング部材９３は、やすり（例えばサンドペーパー）等の研磨材であってもよいし、ブラシであってもよく、プローブ８１にダメージを与えることなく、プローブ８１の先端部の汚れや異物を除去できるものであれば、特に限定されない。【００３９】
クリーニング部材９３がブラシの場合、ＴＣＰハンドラ２は、ブラシまたはプローブ８１に対して、アルコール等の洗浄液を供給することのできる洗浄液供給装置を備えていてもよい。かかる洗浄液供給装置からブラシまたはプローブ８１に洗浄液を供給することにより、プローブ８１の汚れを効果的に落とし、プローブ８１をクリーンにすることができる。洗浄液の供給方法としては、ブラシまたはプローブ８１への噴射または滴下、あるいはブラシへの含浸等、いずれであってもよい。【００４０】
また、ＴＣＰハンドラ２は、クリーニング部材９３またはプローブ８１の近傍に位置し得るエアブロアまたはバキューム装置を備えていてもよい。例えば、ダクトをクリーニングユニット９のアーム９２の下側に這わせ、そのダクトの開口部をクリーニング部材９３に向けるようにしてエアブロアまたはバキューム装置を設けることができる。また、エアブロアまたはバキューム装置は、プローブカード８側に設けてもよい。かかるエアブロアまたはバキューム装置によれば、クリーニング部材９３によってプローブ８１から取った汚れや異物を、クリーニング部材９３やプローブ８１の周りに残すことなく除去することができる。【００４１】
ここで、クリーニングユニット９の動作について説明する。通常時は、図２（ａ）に示すように、クリーニング部材９３はクリーニングステージ９１の近傍に位置し、プッシャ本体部３３とプローブカード８との間から退出している。【００４２】
クリーニング時は、図２（ａ）〜（ｂ）に示すように、クリーニングステージ９１はアーム９２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、クリーニング部材９３をプッシャ本体部３３とプローブカード８との間に挿入するとともに、プローブ８１の先端部の上方に位置させる。次いで、クリーニングステージ９１はアーム９２をＺ軸マイナス方向に移動させ、クリーニング部材９３をプローブ８１の先端部に接触させる。その状態で、クリーニングステージ９１はアーム９２をＸ軸方向および／またはＹ軸方向に往復移動させ、クリーニング部材９３によってプローブ８１の先端部を擦り、プローブ８１の先端部の汚れや異物を除去する。【００４３】
なお、クリーニングステージ９１によるクリーニング部材９３のＺ軸方向の移動量（下端位置）は、プッシャ本体部３３のプローブ８１に対する移動量（下端位置）に基づいて決定することが好ましい。これにより、クリーニング部材９３のプローブ８１に対する接触圧は、プローブ８１にダメージを与えない好適な大きさにすることができる。【００４４】
上記クリーニングが終了したら、クリーニングステージ９１はアーム９２をＺ軸プラス方向、そしてＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、クリーニング部材９３を図２（ａ）に示す通常時の状態に戻す。【００４５】
ここで、プローブ８１の配置はＴＣＰの品種毎に異なるため、ＴＣＰハンドラ２は、ＴＣＰの品種毎にクリーニング部材９３の標準位置、すなわちクリーニングステージ９１によるＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の移動量を記憶しておき、被試験ＴＣＰの種類に応じてその情報を読み出し、当該情報に従ってクリーニング部材９３を標準位置に移動させることが好ましい。【００４６】
上記のようなクリーニングは、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中にコンタクトミスが発生したとき、またはコンタクト率が低下したときに行うようにしてもよいし、試験回数を指標にして定期的に行うようにしてもよい。前者の場合には、可能な限り試験を中断しなくて済むため、試験効率を高く維持することができる。一方、後者の場合には、コンタクトミスやコンタクト率の低下を未然に防止することができる。【００４７】
本実施形態に係るクリーニングユニット９によれば、プローブカード８を取り外したり、プッシャユニット３に研磨材を装着したりする必要がなく、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中（ロット試験中）であっても、プローブ８１を短時間で簡便にクリーニングすることができる。【００４８】
以上説明した実施形態では、クリーニング部材９３はクリーニングユニット９に設けたが、本発明はこれに限定されず、クリーニング部材９３は、キャリアテープ５とプローブ８１との間に挿入されるカメラに取り付けられてもよい。【００４９】
図３（ａ），（ｂ）に示す例では、第２カメラ６ｂは、プッシャステージ４とプローブカード８との間に設けられたカメラステージ６２から延びているアーム６３の先端部に取り付けられている。そして、第２カメラ６ｂにはブラケット９４が取り付けられており、そのブラケット９４の下面にクリーニング部材９３が設けられている。【００５０】
カメラステージ６２は、上記クリーニングステージ９１と同様の構造を有しており、内蔵しているアクチュエータによって、アーム６３を介して第２カメラ６ｂをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動させることができる。【００５１】
したがって、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５とプローブ８１との間に挿入されること、およびキャリアテープ５とプローブ８１との間から退出することが可能となっている。また、第２カメラ６ｂがＸ軸方向／Ｙ軸方向に移動することで、第２カメラ６ｂがＴＣＰの互いに遠い位置にある複数のテストパッドおよびプローブカード８の互いに遠い位置にあるプローブ８１を撮影することができるため、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができる。【００５２】
第２カメラ６ｂは、第２カメラ６ｂの上側および下側をそれぞれ同時に撮影することのできるものである。したがって、図３（ｂ）に示すように、第２カメラ６ｂがキャリアテープ５とプローブ８１との間に挿入されたときには、第２カメラ６ｂによって、ＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークおよびプローブ８１の先端部を同時に撮影することができる。かかる第２カメラ６ｂによれば、下方からでは撮影できないプローブ８１の先端部（テストパッドとの接触面）を直接撮影することができるため、プローブ８１の先端部の位置情報を高い精度で取得することができる。また、近い位置からＴＣＰのテストパッドまたはアライメントマークを撮影することができるため、それらの位置情報（座標データ）を高い精度で取得することができる。【００５３】
クリーニング時は、図３（ａ）〜（ｂ）に示すように、カメラステージ６２はアーム６３をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、クリーニング部材９３をプッシャ本体部３３とプローブカード８との間に挿入するとともに、プローブ８１の先端部の上方に位置させる。次いで、カメラステージ６２はアーム６３をＺ軸マイナス方向に移動させ、クリーニング部材９３をプローブ８１の先端部に接触させる。その状態で、カメラステージ６２はアーム６３をＸ軸方向および／またはＹ軸方向に往復移動させ、クリーニング部材９３によってプローブ８１の先端部を擦り、プローブ８１の先端部の汚れや異物を除去する。【００５４】
上記クリーニングが終了したら、カメラステージ６２はアーム６３をＺ軸プラス方向、そしてＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、第２カメラ６ｂおよびクリーニング部材９３を図３（ａ）に示す通常時の状態に戻す。【００５５】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００５６】
例えば、クリーニングステージ９１にバイブレーション機能を付加して、クリーニング部材９３がプローブ８１の先端部に接触した後、クリーニング部材９３のＸ軸方向および／またはＹ軸方向の往復運動を省略して、クリーニング部材９３を振動させ、それによりプローブ８１の先端部の汚れや異物を除去してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中であっても、測定部の接続端子を簡便にクリーニングすることができるため、効率良く試験を行うのに有用である。
【図１】
2008120519.tif 000003
【図２】
2008120519.tif 000004
【図３】
2008120519.tif 000005
【国際調査報告】
2008120519.tif 000006
2008120519.tif 000007
2008120519.tif 000008
2008120519.tif 000009