【事件の表示】
　上記当事者間の特許第５５２８４０４号発明「流体制御装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第５５２８４０４号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり，訂正後の請求項〔１−１１〕について訂正することを認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　特許第５５２８４０４号の請求項４，５に係る特許についての本件審判の請求を却下する。
　審判費用は，請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本件特許第５５２８４０４号の請求項１〜１１に係る発明についての出願は，平成２３年９月６日の特許出願であって，平成２６年４月２５日に設定登録（請求項の数１１）されたものである。　
　そして，平成２９年８月１４日付けで請求人　曽賢仁により無効審判が請求され，同年１１月２０日付けで被請求人　株式会社村田製作所，オムロンヘルスケア株式会社より審判事件答弁書及び訂正請求書が提出された。
　同年１２月１２日付けで審理事項通知書が通知され，平成３０年１月１２日付けで請求人より口頭審理陳述要領書が提出され，同年１月２５日付けで被請求人より口頭審理陳述要領書が提出され，同日付けで請求人より口頭審理陳述要領書（その２）が提出された。
　そして，同年２月１日に口頭審理が行われ，同年２月１６付け，同年３月１日付け及び同年３月９日付けで請求人より上申書が提出され，同年３月２日付け及び同年３月９日付けで被請求人より上申書が提出された。
第２　請求人適格について
　被請求人は，審判事件答弁書において，請求人が請求人適格を有するものであることを明らかにしない限り，本件審判請求は，特許法第１２３条第２項に規定する要件を満たすものとはならず，特許法第１３５条の規定により不適法なものとして却下されるべきものである旨主張するので，まず，この点について検討する。
１．請求人が利害関係人であることについての当事者の主張の概略
（１）請求人の主張
・「曽 賢仁氏が研究開発している発明について，台湾や日本で事業展開したいと企図しているものの特許第５５２８４０４号に抵触するおそれがあるために，この特許を無効にしたいというものです。詳細については，追って補充する予定です。」（平成３０年１月１２日付け口頭審理陳述要領書２ページ下から６行〜下から３行）
・「請求人は，本発明の製品を製造するプラントの整備・建設を具体的に計画しています。別紙１は，プラント設計企画会社から請求人に提出された当該プラントの仕様書です。別紙２は，それに対応する日本語の翻訳です。また，別紙３は，請求人が作成した圧電式ポンプの試作品の写真です。別紙４は，別紙３に記載された各名称等の参考翻訳です。別紙１〜別紙４ともに，秘密情報が含まれるものですので，秘密箇所は黒塗りとしているとともに，第三者への公開は制限されるように秘密情報としての取り扱いをお願いいたします。
　この製造プラントの仕様書や圧電ポンプの試作品の写真を見ると，本件特許に抵触するおそれのある製品（流体制御装置）の生産についての具体的な計画や準備をしていることが分かります。
　また，請求人は，本プラントで生産された製品について，台湾から日本に輸出する計画もあります。
　したがって，本請求人は，「当該特許発明を将来実施する可能性を有する者」が明白であります。仮に，そのまま事業計画を推進すると，本件特許に抵触するおそれがあり，紛争を生じかねないことも考えられます。無用な争いを予防的に回避するためにも，本請求をしたものです。
　また，無効審判の結果如何では，事業の見直し等の機会も得ることを意図しています。仮に，これ以上の具体的な計画や事業の進捗が無ければ，無効審判を請求する機会が与えられないとすると，無効とならない場合に事業設備は廃棄等も含めた事業の見直しを強いられることもあり，特許法の目的にも反するものと思われます。よって，本上申書で提出した製造インフラの仕様書，圧電式ポンプの試作品の写真，その他の説明から，「当該特許発明を将来実施する可能性を有する者」と認定され，請求人適格を認められるべきと思料します。」（平成３０年２月１６日付け上申書２ページ１６行〜３ページ６行。）
・「請求人は，平成３０年２月１６日付けの上申書において，別紙１（プラント設計企画会社から請求人に提出された当該プラントの仕様書），及び別紙２（それに対応する日本語の翻訳）を提出しました。
　本上申書では，これに関連して，請求人が本発明に関連する本事業を主導していることがより明確に分かるように，新たに別紙４として，別紙１の当該箇所の黒塗りの箇所を外すとともに，当該箇所の日本語による翻訳文を提出します。
　なお，平成３０年３月１日付けの上申書において，同趣旨のものとして別紙３として提出しましたが，既に提出した別紙１の当該箇所の黒塗りの箇所を外したものではなかったので，再提出するものです。」（平成３０年３月９日付け上申書２ページ１６〜２５行。）
（２）被請求人の主張
・「特許法第１２３条第２項に規定する要件である請求人適格について争う。
　特許法第１２３条第２項の規定によれば，『特許無効審判は，利害関係人に限り請求することができる』とされている。しかし，本件審判の請求人は，台湾籍の個人「曽賢仁」であり，日本における本件特許権に係る特許を無効とすることについて如何なる利害関係を有するのか，全く不明である。
　請求人が請求人適格を有する者であることを明らかにしない限り，本件審判請求は，特許法第１２３条第２項に規定する要件を満たすものとはならず，特許法第１３５条の規定により不適法なものとして却下されるべきものである。」（審判事件答弁書２ページ最下行〜３ページ７行）
・「請求人から，利害関係人を示す証拠が出されていないため，依然として本件審判の請求人は，日本における本件特許権に係る特許を無効とすることについて如何なる利害関係を有するのか，全く不明です。」（平成３０年１月２５日付け口頭審理陳述要領書２ページ下から４行〜下から２行）
・「請求人の平成３０年２月１６日付け上申書に対し，以下の意見を述べます。
　・・・
　請求人から提出された資料は，一個人に対して提示されたものと解釈するには相当に違和感があります。合議体の求めの通り，和訳文の４頁目，「１．工程の目的　はじめに，○○○と」の伏せ字を開示すべきであり，その内容により請求人適格を判断すべきものであると思います。」（平成３０年３月２日付け上申書２ページ１５行〜２０行）
・「以下の理由により，平成３０年３月１日付け請求人の上申書に添付された「別紙３」と称する書面は，平成３０年２月１６日付け請求人の上申書に添付された「別紙１」とは別の書類と認められますから，請求人が利害関係人であることについての証明にはなっていません。
　理由１．平成３０年３月１日付け請求人の上申書に添付された「別紙３」と称する書面は簡体字であり，平成３０年２月１６日付け請求人の上申書に添付された「別紙１」は繁体字である。
　理由２．平成３０年３月１日付け請求人の上申書に添付された「別紙３」と称する書面と，平成３０年２月１６日付け請求人の上申書に添付された「別紙１」と，は改行位置が異なる。
　なお，理由２．については，平成３０年２月１６日付け請求人の上申書に添付された「別紙１」の伏せ字部分は４文字分の幅があると認められるのに対して，平成３０年３月１日付け請求人の上申書に添付された「別紙３」と称する書面では，開示したと主張する部分が「曽賢仁」の３文字であるためにこの様な改行位置の相違が生じているものと考えられます。
　以上の通りですから，平成３０年２月１６日付け請求人の上申書に添付された「別紙１」の伏せ字部分を開示したもの（つまり当該「別紙１」そのもの）が提示されない以上，請求人は利害関係を有していないものとして速やかに審理を進めるべきであると考えます。」（平成３０年３月９日付け上申書２ページ１５行〜３ページ７行）
２．当審の判断
　請求人は，本件発明の製品を製造するプラントの整備・建設を具体的に計画していると主張し，平成３０年２月１６日付け上申書と共に，別紙１〜４を提出した。ここで，別紙１は，プラント設計企画会社から請求人に提出された当該プラントの仕様書，別紙２は，それに対応する日本語の翻訳文，別紙３は，請求人が作成した圧電式ポンプの試作品の写真であり，別紙４は，別紙３に記載された各名称等の参考翻訳文である。
　当該別紙３の請求人が作成した圧電ポンプの試作品の写真を参照すると本件発明との関連が窺えるものである。
　また，平成３０年３月９日付けで別紙４を添付書類とした請求人の上申書が提出され，別紙１のプラントの仕様書に「曽賢仁氏と気体小型ポンプ自動化設備を共同で開発する」と記載されていることが説明されている。
　そうすると，請求人は，平成３０年１月１２日付け口頭審理陳述要領書において主張した，「曽 賢仁氏が研究開発している発明について，台湾や日本で事業展開したいと企図しているものの特許第５５２８４０４号に抵触するおそれがあるために，この特許を無効にしたいというものです。」としていることは一応信用できる。
　したがって，請求人は，研究開発している発明（本件発明に関連する発明）を製造する設備の設計の計画をしているものであって，「当該特許発明を将来実施する可能性を有する者」であるから，本件特許の無効を求めることについて利害関係を有するものであり，請求人適格を有するものである。
第３　訂正について　
１．訂正の内容
　平成２９年１１月２０日付けの訂正請求書による訂正請求の内容は以下（１）〜（７）のとおりである。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１における「前記振動板および前記板の少なくとも一方は，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する，流体制御装置。」との記載を「前記振動板および前記板の少なくとも一方は，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有し，前記突出部は，円柱状に形成され，前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する，流体制御装置。」に訂正する。
（２）訂正事項２
　請求項４を削除する。
（３）訂正事項３
　請求項５を削除する。
（４）訂正事項４
　請求項６の「請求項１から５」を「請求項１から３」に訂正する。
（５）訂正事項５
　請求項７の「請求項２から６」を「請求項２，３または６」に訂正する。
（６）訂正事項６
　請求項８の「請求項１から７」を「請求項１，２，３，６または７」に訂正する。
（７）訂正事項７
　請求項１１の「請求項１から１０」を「請求項１，２，３，６，７，８，９または１０」に訂正する。
２．訂正の適否についての判断
（１）一群の請求項について
　訂正前の請求項１について，請求項２乃至１１は，いずれも請求項１を引用しているものであって，訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。したがって，訂正前の請求項１乃至１１に対応する訂正後の請求項１乃至１１は，特許法１３４条の２第３項に規定する一群の請求項である。
（２）訂正の目的の適否，新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
ア．訂正事項１
（ア）訂正の目的について
　訂正前の請求項１に係る発明は，「前記振動板および前記板の少なくとも一方は，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する」ことを特定している。
　これに対して，訂正後の請求項１に係る発明は，「前記突出部は，円柱状に形成され，前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する，」との記載が追加されることにより，訂正後の請求項１に係る発明における「突出部」の形状をより具体的に特定し，更に限定するものである。すなわち，訂正事項１は，特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（イ）願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項１は，訂正前の特許請求の範囲における請求項４，５に記載されている。したがって，当該訂正事項１は，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記（ア）の理由から明らかなように，訂正事項１は，「突出部」という発明特定事項を概念的により下位の「前記突出部は，円柱状に形成され，前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する，」の記載にするものであり，カテゴリーや対象，目的を変更するものではないから，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当せず，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
イ．訂正事項２
（ア）訂正の目的について
　訂正事項２は，訂正前の請求項４の記載を削除するものである。
　したがって，訂正事項２は，特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 
（イ）願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項２は，訂正前の請求項４の記載を削除するのみであるため，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項２は，訂正前の請求項４の記載を削除するのみであり，カテゴリーや目的を変更するものではないから，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当せず，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
ウ．訂正事項３
（ア）訂正の目的について
　訂正事項３は，訂正前の請求項５の記載を削除するものである。
　したがって，訂正事項３は，特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 
（イ）願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項３は，訂正前の請求項５の記載を削除するのみで特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項３は，訂正前の請求項５の記載を削除するのみであり，カテゴリーや目的を変更するものではないから，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当せず，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
エ．訂正事項４〜７
（ア）訂正の目的について
　訂正事項４〜７は，請求項４，５を削除した結果，請求項間の引用関係を正しいものにするための訂正であって，特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 
（イ）願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項４〜７は，請求項４，５を削除した結果，請求項間の引用関係を正しいものにするための訂正であって，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項４〜７は，請求項４，５を削除した結果，請求項間の引用関係を正しいものにするための訂正であって，カテゴリーや目的を変更するものではないから，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当せず，特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
オ．小括
　したがって，平成２９年１１月２０日付けの訂正は，特許法第１３４条の２第１項に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同条第３項，及び，同条第９項で準用する特許法第１２６条第５項，第６項の規定に適合するので，訂正後の請求項［１〜１１］について訂正を認める。
第４　本件特許発明
　本件特許第５５２８４０４号の請求項１〜１１に係る発明は，平成２９年１１月２０日付けの訂正請求により訂正された特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】
　振動板と，
　前記振動板の一方の主面に設けられ，前記振動板を振動させる駆動体と，
　前記振動板の他方の主面に対向して設けられ，孔が設けられている板と，を備え，
　前記板は，屈曲振動可能な可動部を有し，
　前記振動板および前記板の少なくとも一方は，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有
し，
　前記突出部は，円柱状に形成され，
　前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する，
　
【請求項２】
　前記板に接合され，開口部が形成された基板をさらに備え，
　前記板は，前記基板に拘束された固定部をさらに有し，
　前記可動部は，前記基板の前記開口部に面する，請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
　前記突出部は，前記振動板の他方の主面に形成されており，前記板側へ突出する，請求項１または２に記載の流体制御装置。
【請求項４】（削除）
【請求項５】（削除）
【請求項６】
　前記振動板全体のうち前記突出部を除く領域は，エッチングにより前記振動板の前記突出部の領域の厚みより薄い厚みに形成されている，請求項１から
３
【請求項７】
　前記突出部の前記開口部側の面の面積は，前記開口部の開口面の面積以上である，請求項２
，３または
【請求項８】
　前記振動板と，前記振動板の周囲を囲む枠板と，前記振動板と前記枠板とを連結し，前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と，を有する振動板ユニットを備え，
　前記板は，前記振動板の他方の主面に対向するよう前記枠板に接合されている，請求項１
，２，３，６または
【請求項９】
　前記板は，複数の微粒子を含有した接着剤によって前記複数の微粒子を挟んで前記枠板に接着されている，請求項８に記載の流体制御装置。
【請求項１０】
　前記板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成された，請求項８又は９に記載の流体制御装置。
【請求項１１】
　前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し，
　前記アクチュエータは円板状である，請求項１
，２，３，６，７，８，９または
（以下，訂正された請求項１〜１１に係る発明をそれぞれ「本件特許発明１」〜「本件特許発明１１」という。）
第５　請求人適格以外についての当事者の主張の概略　
１．請求人の主張，及び提出した証拠の概要
　請求人は，特許第５５２８４０４号の特許請求の範囲の請求項１〜１１に係る発明についての特許を無効とする，審判費用は被請求人の負担とするとの審決を求め，審判請求書，平成３０年１月１２日付け口頭審理陳述要領書，同年１月２５日付け口頭審理陳述要領書（その２），同年２月１６付け，同年３月１日付け及び同年３月９日付け上申書，同年２月１日の口頭審理において，甲第１〜１１号証を提示し，以下の無効理由を主張した。
　
無効理由：
　本件特許発明１〜３，６〜１１は，その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明（甲第４号証〜甲第１１号証に記載された発明）に基いて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり，本件特許は，同法第１２３条第１項第２号に該当して無効とすべきである。
　具体的には，甲第４号証に記載された発明を引用発明として，
　−１：本件特許発明１は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術及び甲第７号証に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−２：本件特許発明２は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術及び甲第７号証に記載された周知技術及び甲第５号証に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−３：本件特許発明３は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術及び甲第７号証に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−４：本件特許発明６は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術，甲第７号証に記載された周知技術，及び甲第７号証及び甲第８号証に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−５：本件特許発明７は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術，及び甲第７号証に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−６：本件特許発明８は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術，甲第７号証に記載された周知技術，甲第９号証及び甲第１０号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−７：本件特許発明９は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術，甲第７号証に記載された周知技術，甲第９号証，甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−８：本件特許発明１０は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術，甲第７号証に記載された周知技術，甲第９号証及び甲第１０号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
　−９：本件特許発明１１は，引用発明，甲第４号証，甲第６号証に記載された周知技術，甲第７号証に記載された周知技術及び甲第９号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をできたものである。
証拠方法
　甲第４号証：国際公開２００９／１４８００５号
　甲第５号証：国際公開２００９／１４５０６４号
　甲第６号証：米国特許７，０２５，３２４号明細書
　甲第７号証：特開平１０−２９９６５９号公報
　甲第８号証：特開２００４−３５３６３８号公報
　甲第９号証：国際公開２００８／０６９２６４号
　甲第１０号証：国際公開２００９／１４８００８号
　甲第１１号証：特開平１１−２１４７６４号公報
２．被請求人の主張
　これに対して，被請求人は，平成２９年１１月２０日付け審判事件答弁書・訂正請求書，平成３０年１月２５日付け口頭審理陳述要領書，同年３月２日付け及び同年３月９日付け上申書，同年２月１日の口頭審理において，請求人の無効理由に対して以下のように反論した。
　
［無効理由に対する反論］
　特許第５５２８４０４号の特許請求の範囲を，訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり，訂正後の請求項１乃至１１について訂正することを求める。
　本件審判の請求を却下する。
　本件審判請求は成り立たない。
　審判費用は請求人の負担とする。
との審決を求める。
第６　当審の判断
１．各号証の記載事項
（１）甲第４号証（国際公開２００９／１４８００５号）
　甲第４号証には，「圧電マイクロブロア」に関し，図面とともに以下の事項が記載又は示されている（下線部は当審で付与した。）。
・「【技術分野】
  【０００１】
本発明は空気のような圧縮性流体を輸送するのに適した圧電マイクロブロアに関するものである。
【背景技術】
  【０００２】
ノートパソコンやデジタルＡＶ機器などの小型電子機器においては，内部の発熱が大きな問題となってきている。これらに用いられる冷却用ブロアとしては，小型・低背であること，低消費電力であることが重視され，要求される。」
・「【発明が解決しようとする課題】
  【０００７】
そこで，本発明の目的は，良好なブロア特性を得つつ小型化することが可能な圧電マイクロブロアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
  【０００８】
前記目的を達成するため，本発明は，圧電素子に所定周波数の電圧を印加することによりベンディングモードで駆動される振動板と，前記振動板の両端部又は周囲を固定し，振動板との間でブロア室を形成するブロア本体とを備え，前記振動板の中央部と対向するブロア本体の部位に開口部を設けた圧電マイクロブロアにおいて，
前記振動板の中央部に対応するブロア室の部位に，前記開口部を中心としてその周囲に仕切り部を設けることによって，仕切り部の内側に共鳴空間を形成し，前記振動板の駆動周波数と共鳴空間のヘルムホルツ共鳴周波数とが対応するように，前記共鳴空間の大きさを設定した
  【０００９】
ブロア室の共鳴周波数を振動板の駆動周波数に合わせることで，ブロア室の空気共鳴を利用してブロア性能を向上させることができる。しかし，ブロア室全体を可聴域を越えた周波数（例えば，２０ｋＨｚ以上）で空気共鳴させようとすると，ブロア室の一面を構成している振動板の寸法も小さくしなければならず，変位が小さくなり，流量が極端に低下してしまう。つまり，
流量を増加させるためにブロア室を共鳴させようとすると，振動板が必要以上に小さくなり，かえって流量が低下してしまう。そこで，本発明では，ブロア室の中に仕切り部を設けることで共鳴空間を形成し，この共鳴空間を振動板の振動領域より小さい寸法とすることにより，共鳴空間でヘルムホルツの共鳴を発生させると共に，振動板の振動領域を確保している。
・「【発明の効果】
  【００１９】
本発明の圧電マイクロブロアによれば，ブロア室の中に仕切り部を設けることで共鳴空間を形成してあるため，この共鳴空間でヘルムホルツの共鳴を発生させることができ，流量を増加させることができる。しかも，振動板の大きさを共鳴空間の寸法とは独立して，狙いの振動周波数になるように任意に設計することができる。これによって良好なブロア性能を得つつ，小型のマイクロブロアを実現することができる。」
 【００２２】
〔第１実施例〕
図１〜図３は本発明にかかる
圧電マイクロブロア
振動板５０のダイヤフラム５１
セパレータ３０
  【００２３】
天板１０は四角形平板で形成されており，その中心部には表裏に貫通する吐出口（第２開口部）１１が形成されている。流路形成板２０も天板１０と同一外形を有する平板であり，図３に示すように，その中央部には吐出口１１より大径な中央孔（中央空間）２１が形成されている。中央孔２１から４つのコーナ部に向かって放射方向に延びる複数（ここでは４本）の流入通路２２が形成されている。本実施例の圧電マイクロブロアＡの場合，流入通路２２が中央孔２１に対して４方向から連通しているため，振動板５０のポンピング動作に伴って流体が抵抗なく中央孔２１に引き寄せられ，さらなる流量の増加を図ることができる。
  【００２４】
セパレータ３０
その中心部には
貫通孔３１（第１開口部）が形成されている
中央孔２１と対応するセパレータ３０の部分を共振させる
セパレータ３０の下面中央部には，貫通孔３１を取り囲むように，リング状凸部よりなる仕切り部３３が接着されている。
  【００２５】
ブロア枠体４０も天板１０と同一外形を有する平板であり，その中心部には大径な空洞部４１が形成されている。４つのコーナ部近傍には，前記流入孔３２と対応する位置に流入孔４２が形成されている。ブロア枠体４０を間にしてセパレータ３０とダイヤフラム５１とを接着することにより，ブロア枠体４０の空洞部４１によってブロア室４が形成される。このブロア室４のうち，
仕切り部３３で囲まれた領域が共鳴空間３４であり，後述するように振動板５０の共振周波数と共鳴空間３４のヘルムホルツ共鳴周波数とが対応するように，仕切り部３３の直径が設定されている。
  【００２６】
底板６０も天板１０と同一外形を有する平板であり，その中心部にはブロア室３とほぼ同形の空洞部６１が形成されている。底板６０は圧電素子５２の厚みと振動板５０の変位量との合計より厚肉に形成されており，マイクロブロアＡを基板などに搭載した場合でも，圧電素子５２が基板と接触するのを防止できる。前記空洞部６１は後述するダイヤフラム５１の圧電素子５２の周囲を取り囲む空洞部を形成している。底板６０の４つのコーナ部近傍には，前記流入孔３２，４２と対応する位置に流入孔６２が形成されている。
  【００２７】
振動板５０は，ダイヤフラム５１の
下面に
圧電素子５２を貼り付けた
  【００２８】
圧電素子５２
振動板５０を
共振駆動させる
  【００２９】
図１，図２に示すように，圧電マイクロブロアＡの流入口８はブロア本体１の下方に向かって開口しており，吐出口１１は上面側に開口している。空気を圧電マイクロブロアＡの裏側の流入口８から吸込み，表側の吐出口１１から排出することができるので，燃料電池の空気供給用ブロアやＣＰＵ等の空冷用ブロアとして好適な構造となる。なお，流入口８は下方に開口している必要はなく，外周に開口していてもよい。
  【００３０】
図１では，ダイヤフラム５１と圧電素子５２との間に中間板５３を挟着した構造の振動板５０を示したが，
ダイヤフラム５１に圧電素子５２を直接貼り付けた振動板でも構わない
  【００３１】
ここで，前記構成の圧電マイクロブロアＡの作動を説明する。圧電素子５２に所定周波数の交流電圧を印加すると，振動板５０が１次共振モード又は３次共振モードで共振駆動され，それによりブロア室４の第１開口部３１と振動板５０との距離が変化する。ブロア室４の第１開口部３１と振動板５０との距離が増大するとき，中央空間２１内の空気が第１開口部３１を通りブロア室４へと吸い込まれ，逆にブロア室４の第１開口部３１と振動板５０との距離が減少するとき，ブロア室４内の空気が第１開口部３１を通り中央空間２１へと排出される。振動板５０は高周波で駆動されるため，第１開口部３１から中央空間２１へと排出された高速／高エネルギーの空気流は，中央空間２１を通過し，第２開口部１１から排出される。このとき，中央空間２１内にある空気を巻き込みながら第２開口部１１から排出されるので，流入通路２２から中央空間２１へ向かう連続した空気の流れが生じ，第２開口部１１から空気は噴流となって連続的に排出される。
  【００３２】
特に，
セパレータ３０の中央空間２１と対応する部分が
共振する
・「 【００３７】
〔第３実施例〕
図８は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第３実施例を示す。本実施例のマイクロブロアＣでは，仕切り部３３をダイヤフラム５１の表面に接着固定した点を除き，第１実施例の圧電マイクロブロアＡと同じである。本実施例の場合，振動板５０の共振駆動に伴って仕切り部３３も上下に振動するので，仕切り部３３とその上に対向するセパレータ３０との間に，所定の隙間δを設ける必要がある。仕切り部３３の位置を振動板５０のノード点付近に設定すれば，仕切り部３３の振動を抑制できるので好ましい。」
・「【請求項１】
圧電素子に所定周波数の電圧を印加することによりベンディングモードで駆動される振動板と，前記振動板の両端部又は周囲を固定し，振動板との間でブロア室を形成するブロア本体とを備え，前記振動板の中央部と対向するブロア本体の部位に開口部を設けた圧電マイクロブロアにおいて，
前記振動板の中央部に対応するブロア室の部位に，前記開口部を中心としてその周囲に仕切り部を設けることによって，当該仕切り部の内側に共鳴空間を形成し，
前記振動板の駆動周波数と共鳴空間のヘルムホルツ共鳴周波数とが対応するように，前記共鳴空間の大きさを設定した
・段落【００２４】の「
セパレータ３０
その中心部には
貫通孔３１（第１開口部）が形成されている
ダイヤフラム５１の圧電素子５２と反対側面に対向して設けられ，中心部に貫通孔（第１開口部）３１が形成されたセパレータ３０
・段落【００２４】の「
中央孔２１と対応するセパレータ３０の部分を共振させる
セパレータ３０の中央空間２１と対応する部分が
共振する」
中央孔（中央空間）２１に対応するセパレータ３０の部分が共振部分を有する
・段落【００２４】の「
セパレータ３０の下面中央部には，貫通孔３１を取り囲むように，リング状凸部よりなる仕切り部３３が接着されている。
セパレータ３０は，貫通孔３１と前記貫通孔３１に対向するダイヤフラム５１領域の間に位置し，前記貫通孔３１と前記貫通孔３１に対向するダイヤフラム５１の領域との中間の方向へ突出するリング状凸部よりなる仕切り部３３を有する
　これらの記載事項及び図１〜３の図示内容を参照すると，甲第４号証には，以下の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「振動板５０のダイヤフラム５１と，
　ダイヤフラム５１の下面に貼り付けられ，振動板５０を共振駆動させる圧電素子５２と，
　前記ダイヤフラム５１の圧電素子５２と反対側面に対向して設けられ，中心部に貫通孔（第１開口部）３１が形成されたセパレータ３０と，を備え，
　中央孔（中央空間）２１と対応するセパレータ３０の部分が共振部分を有し，
　セパレータ３０は，貫通孔３１と前記貫通孔３１に対向するダイヤフラム５１領域の間に位置し，前記貫通孔３１と前記貫通孔３１に対向するダイヤフラム５１の領域との中間の方向へ突出するリング状凸部よりなる仕切り部３３を有する，
　圧電マイクロブロア。」
（２）甲第５号証（国際公開２００９／１４５０６４号）
　甲第５号証には，「圧電マイクロブロア」に関し，図面とともに以下の事項が記載されている。
・「【００１６】
圧電素子を含む駆動体を１次共振モード（１次共振周波数）で駆動するのが，最も大きな変位量が得られるので望ましいが，１次共振周波数は可聴域となるため，騒音が大きくなる場合がある。これに対し，３次共振モード（３次共振周波数）を用いると，１次共振モードに比べて変位量が小さくなるものの，共振モードを使用しない場合より大きな変位量が得られ，しかも可聴領域を越えた周波数で駆動できるため，騒音を防ぐことができる。なお，１次共振モードとは，駆動体の中央部と周辺部とが同方向に変位するモードのことであり，３次共振モードとは，駆動体の中央部と周辺部とが逆方向に変位するモードのことである。
【発明の好ましい実施形態の効果】
  【００１７】
以上のように，本発明の圧電マイクロブロアによれば，駆動体を屈曲振動させることにより，中央空間内の流体を第１開口部を介してブロア室内に吸引し，第２開口部からブロア室外に押し出される高速流と一緒に，中央空間に存在する流体も一緒に巻き込んで押し出すことができる。そのため，逆止弁を使用しなくても駆動体の変位体積以上の吐出流量を得ることができ，大流量のブロアを実現できる。また，流入通路に絞りを設けたので，中央空間の圧力変動が流入通路に波及するのを抑制でき，中央空間の圧力エネルギーを効果的に第２開口部へ伝えることができる。その結果，流量のさらなる増大を達成することができる。」
・「【００１９】
以下に，本発明の好ましい実施の形態を，図面に基づいて説明する。
  【００２０】
〔第１実施形態〕
図１〜図４は本発明にかかる圧電マイクロブロアの第１実施形態を示す。本実施形態の圧電マイクロブロアＡは，電子機器の空冷用ブロアとして用いた例であり，天板（第２壁部）１０，流路形成板２０，セパレータ（第１壁部）３０，ブロア枠体４０，駆動体５０及び底板６０が上方から順に積層固定されている。駆動体５０の外周部は，ブロア枠体４０と底板６０との間で接着固定されている。駆動体５０を除く部品１０，２０，３０，４０，６０はブロア本体１を構成しており，金属板や硬質樹脂板のような剛性のある平板材料で形成されている。
  【００２１】
天板１０は四角形平板で形成されており，その中心部には表裏に貫通する吐出口（第２開口部）１１が形成されている。」
（３）甲第６号証（米国特許７，０２５，３２４号明細書）
　甲第６号証には，「Gating apparatus and method of manufacture」｛ゲート装置及び製造方法｝に関し，図面とともに以下の事項が記載されている（｛｝内は，当審による仮訳である。）。
・「A gating apparatus for controlling the gap between two surfaces that includes an upper structure having a polished central region portion, an elastically deformable fulcrum structure, and an elastically deformable lever region. The upper structure can be fabricated from silicon using microelectromechanical system (MEMS) fabrication techniques. The gating apparatus also includes a lower structure coupled to the upper structure at the elastically deformable fulcrum structure. The upper structure, in response to a force, can bend about the fulcrum structure, thereby forming a variable gap between the polished central region portion and the lower structure. The variable gap can be used as a filter to filter fluids and mixed phase fluids. The structures can be made from a wide variety of materials including silicon, glass, ceramic, metal, and plastic.」（要約）
｛研磨された中央領域部分と，弾性変形可能な支点構造と，弾性変形可能なレバー領域を有する上部構造を含む２面間の間隔を制御するためのゲート装置。上部構造は，微小電気機械システム(MEMS)製造技術を用いてシリコンから製造され得る。ゲート装置は，弾性変形可能な支点構造の上部構造体に結合された下部構造体も備えている。上部構造，力に応答して，支点構造を中心に屈曲し，研磨された中央部と下部構造体との間の可変間隙を形成することができる。可変間隙はフィルタ流体および混合相流体にフィルタとして用いることができる。構造は，シリコン，ガラス，セラミック，金属，およびプラスチックを含む多種多様な材料から作ることができる。｝
・「Referring now to  FIG. 3 , in which like elements of  FIGS. 1 and 2  are shown having like reference designations, a cross section of the gating apparatus, taken along lines  3−3  shown in  FIG. 1 , shows the upper structure  121  including the inner portion  120  having an elastically deformable fulcrum structure  123  and a central region  129 . Each of the fulcrum structure  123  and the central region  129  can have a substantially circular symmetric shape, where the fulcrum structure  123  has an annular (continuous or segmented) ring shape with a diameter greater than the diameter of the central region  129 . While the central region  129  and the fulcrum structure  123  are shown having cylindrical shapes, in alternate embodiments, they can have any three dimensional polygonal shape. The fulcrum structure  123  is substantially stiff in compression and compliant in bending; and the latter can be enhanced by making the annular ring segmented, or even discrete such as a 3 point support, but then a larger dead volume will exist.」（第４欄２２〜３９行）
｛次に，図３を参照すると，図１及び図２の同じ要素が，同じ参照番号で示され，図１で示した線３−３に沿ったゲート装置の断面図で，上部構造体１２１を示しており，該上部構造体１２１は，弾性変形可能な支点構造部１２３及び中心領域１２９を有する内部部分１２０を含んでいる。支点構造部１２３と中心領域１２９の其々は，略円形の対称的な形状を有することができ，支点構造部１２３は，中心領域１２９の直径より大きな直径の円環（連続した又は分割した）形状を有する。別の実施形態では，中心領域１２９及び支点構造部１２３が，円筒形で示されており，その場合，中心領域１２９及び支点構造部１２３は，任意の三次元多角形とすることができる。支点構造部１２３は，圧縮時には略剛性があり，曲折時には柔軟性がある；この柔軟性は，円環を分割することで，或いは３点支持等のように別個に分離させても向上できるが，デッドボリュームは大きくなるであろう。｝
・「In all cases, the diameters and thicknesses are selected to give a desired mechanical impedance and flow resistance as will be known to those skilled in the art of the design of microfluidic systems.」（第５欄１１〜１５行）
｛すべての場合では，マイクロ流体システムの設計の分野の当業者に知られているように直径および厚さは，所望の機械的インピーダンスと流路抵抗を与えるように選択される。｝
・「Referring now to  FIG. 4 , in which like elements of  FIGS. 1 ,  2 , and  3  are shown having like reference designations, a cross section of the gating apparatus, taken along lines  4−4  shown in  FIG. 3 , shows the central region  129  having a surface  148 , also referred to herein as a polished central region  148 . The polished central region portion  148  has flat and smooth characteristics described below. The gating apparatus  100  is shown to be closed, wherein the polished central region portion  148  is in contact with the lower structure  122 , therefore isolating the first fluid flow channel  201 a from the second fluid flow channel  201 b. The lower structure has a polished lower structure surface portion  151 , also having flat and smooth characteristics described below.
The annular chamber  124  is provided between the fulcrum structure  123  and the central region  129 . The annular chamber  124  is aligned with the second fluid flow channel  201 b. 
Referring now to  FIG. 5 , in which like elements of  FIGS. 1 ,  2 ,  3 , and  4  are shown having like reference designations, a cross section of the nanogate apparatus taken along lines  5−5  shown in  FIG. 4 , shows the polished central region portion  148  aligned with the first fluid flow channel  201 a. The polished central region portion  148  can be proximate to, or in contact with the polished lower structure surface portion  151  depending upon whether the nanogate apparatus  100  is open or a closed. Here shown, the nanogate apparatus  100  is open, therefore having a gap  152  between the polished central region portion  148  and the polished lower structure surface portion  151 . The gap  152  can be a variable gap  152 , such that the gap size is determined by the magnitude the force  130 ,  132  ( FIG. 3 ) applied to the lever region  125  ( FIG. 3 ) that inner portion  120  about the fulcrum structure  123  ( FIG. 3 ).
Through the variable gap  152 , the first fluid flow channel  201 a is connected to the second fluid flow channel  201 b ( FIG. 4 ) so that fluid can flow between the channels  201 a,  201 b. Particles suspended in the fluid having a size larger than the variable gap  152  cannot flow between the channels  201 a,  201 b. Thus, the variable gap  152  acts as a filter, allowing the fluid and small particles to pass between the fluid flow channels  201 a,  201 b, while not allowing larger particles to pass. Because the central region  129  ( FIG. 4 ) has a relatively large annulus, the gap  152  is less likely to clog with filtered particles.
It will be appreciated that the smallest effective variable gap  152  provided by the gating apparatus  100  is ( FIG. 1 ) affected by the surface finish or surface polish of the polished central region portion  148  and the polished lower structure surface portion  151 . In one particular embodiment, the polished central region portion  148  and the polished lower structure surface portion  151  each have a surface polish better than five nanometers. In another embodiment, the central region portion  148  and the polished lower structure surface portion  151  each have a surface polish better than five angstroms. However, in still other embodiments, other surface polishes, or no surface polish, are possible with this invention.」（第５欄４８行〜第６欄３７行）
｛図４を参照すると，図１，図２および図３の同様の要素は同様な参照名称が付いて示されており，図３の線４−４に沿って切り取った，ゲート装置の断面は，研磨された中央領域１４８とも呼ばれる，表面１４８を有する中央領域１２９を示している。研磨された中央領域部分１４８は，後述する平滑特性を有している。ゲート装置１００が閉じられるように示されている。その故，研磨された中央領域部分１４８は，下部構造１２２と接触しているため，第１の流体流路２０１ａを第２流体流路２０１ｂから分離する。下部構造は，研磨された下部構造体表面部分１５１とともに，後述する平滑特性を有している。
　環状チャンバ１２４は，支点構造１２３と中央領域１２９との間に設けられている。環状チャンバ１２４は，第２の流体流路２０１ｂと位置が合っている。
　図５を参照すると，図１，図２ ，図３および図４の同様の要素は同様な参照名称が付いて示されており，図４の線５−５に沿って切り取ったナノゲート装置の断面は，第１の流体流路２０１ａと位置合わせされた研磨された中心領域部分１４８を示している。ナノゲート装置１００が開いて又は閉じているかに依存して，研磨された中央領域部分１４８は，研磨された下部構造部分１５１と隣接するか又は接触することができる。ここで示されたナノゲート装置１００が開放されるため，研磨された中央領域部分１４８と研磨された下部構造体表面部分１５１との間に間隙１５２が形成される。間隙１５２は，支点構造１２３の内部部分１２０であるレバー領域１２５（図３）に印加される力の大きさによって決定された可変間隙１５２，間隙寸法である。
　可変間隙１５２を通って，第１の流体流路２０１ａは，第２の流体流路２０１ｂ（図４）に接続された流体は，流路２０１ａ，２０１ｂの間を流れることができるようになっている。可変間隙１５２よりも大きいサイズの流体中の懸濁粒子は，流路２０１ａ，２０１ｂとの間に流れることができない。可変間隙１５２は，フィルタとして作用し，流体と小さな粒子は，流体流路２０１ａ，２０１ｂ間を通過することができる，より大きな粒子を通過させる。中央領域１２９（図４）は，比較的大きな環を有しているため，間隙１５２がフィルタ処理された粒子によって詰まりにくくなる。
　ゲート装置１００によって提供される最小の効果的な可変間隙１５２は，研磨された中央領域部分１４８と研磨された下部構造体表面部分１５１の表面仕上げ，表面研磨の影響（図１）を受けることが理解されよう。一特定の実施形態では，研磨された中央領域部分１４８と研磨された下部構造体表面部分１５１は，それぞれ５ｎｍよりも良好な表面研磨を有している。別の実施形態では，中心領域部分１４８と研磨された下部構造面部分１５１は各面５オングストロームよりも良好な表面研磨を有している。しかしながら，さらに他の実施形態として，その他の表面研磨あるいは表面研磨しないものも，本発明では可能である。｝
（４）甲第７号証（特開平１０−２９９６５９号公報）
　甲第７号証には，「マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法」に関し，図面とともに以下の事項が記載又は示されている。
・「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は微小量な液体の高精度な送液と同時に装置自体の小型化が不可欠である医療分野や分析分野におけるマイクロポンプおよびマイクロバルブの構造および製造方法に関する。」
・「そこで本発明は，薄型化が可能な，圧電素子とシリコンダイアフラムのユニモルフ構造によって駆動をおこなう能動的なバルブを二つ用いることにより，外圧の変化によらず常に一定の吐出を実現でき，かつ双方向への送液が可能であり，一枚のシリコン基板と一枚のガラス基板の一回の接合によって製作が可能であるマイクロポンプおよびマイクロバルブの実現を目的とする。また本発明ではすでに流路口が存在している平面に対して新たに逆止弁を製造する方法を提供し，上記のマイクロポンプに応用することによってさらに吐出効率の高いマイクロポンプを実現することを目的とする。」（【０００５】）
・「【０００６】
【課題を解決する手段】本発明ではマイクロマシニング技術によって製作されたダイアフラムに対して，駆動源としてユニモルフアクチュエータを用いることによって薄型化を可能とし，シリコン基板の同一平面にバルブ部ダイアフラムとポンプ部ダイアフラムを形成し，その面をガラス基板と接合することによってマイクロポンプ内部の閉じた空間を形成しているため，接合の工程数を一度で済ませることが可能となった。」
・「【０００９】
【発明の実施の形態】本発明におけるマイクロポンプの構造を図１に示す。二つのバルブダイアフラムと一つのポンプダイアフラムはシリコン基板１にエッチングによって形成され，各ダイアフラムに圧電素子３を貼り付けることによってユニモルフ式のアクチュエータを構成している。シリコン基板１は流路として用いられる貫通穴の形成されたガラス基板２と接合されており，バルブ部ダイアフラムの剛性により，ポリイミドによって形成されたパッキン４が貫通穴の存在するガラス基板２に押し付けられ，通常時においてバルブが閉の状態を実現することができる（図５）。」
・「この時シリコン基板１において図５に示すように，接合面よりもパッキン４が突出しているために，接合によってバルブ部ダイアフラムが変形し，パッキンがガラス基板に押しつけられることによって各バルブは通常状態で閉の状態を保つことになる。」（【００１２】）
（５）甲第８号証（特開２００４−３５３６３８号公報）
　甲第８号証には，「マイクロポンプ」に関し，図面とともに以下の事項が記載されている。
・「【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は，振動板の振動によってガス等の流体を吐出する半導体基板のエッチングによるマイクロマシニング加工によって製造されるマイクロポンプに関する。」
・「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
解決しようとする問題点は，機械加工による構成部品を組み立てたマイクロポンプでは小形化に自ずと限界があるものとなっていることである。
【０００９】
また，機械加工による構成部品を組み立てたマイクロポンプでは，振動板の組み付け精度が悪く，ポンプ性能にばらつきを生じてしまっていることである。
【００１０】
そして，一つの振動板の振動によって超小形のマイクロポンプからガスを吐出させるのでは，その吐出されるガスの流量が少ないものになっていることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明によるマイクロポンプは，半導体基板のエッチングによるマイクロマシニング加工によって小形でポンプ性能にばらつきのないものを容易に製造することができるとともに，特に２つの振動板を設けて，各振動板の振動方向が相反するようにそれぞれの振動板の振動を行わせることによって充分なポンプ吐出流量を得ることができるようにしている。」
（６）甲第９号証（国際公開２００８／０６９２６４号）
　甲第９号証には，「圧電ポンプ」に関し，図面とともに以下の事項が記載されている。
・「【００１６】
図１〜図３は圧電ポンプの第１実施例を示す。ここで，図１は本発明に係る圧電ポンプの全体斜視図，図２は図１に示す圧電ポンプの分解斜視図，図３は図１のＡ−Ａ線断面図である。
  【００１７】
本実施例の圧電ポンプＰは，ポンプ本体を構成する天板１０と，ダイヤフラム２０と，環状の押え板３０とを順に積層した構造よりなり，これら部品が積層接着されている。天板１０は剛性のある平板状に形成されたものであり，その中心位置に第１開口部１１が形成され，第１開口部１１を中心とする同一円周上に複数の第２開口部１２が形成されている。ここでは，流量を確保するため第２開口部１２を８個形成したが，第２開口部１２の個数は必要とする流量に応じて任意に設定できる。
  【００１８】
ダイヤフラム２０はばね弾性を持つ薄肉な金属板で形成されている。図２に示すように，ダイヤフラム２０には円弧状の複数のスリット２１が形成され，スリット２１より外側領域の表裏面に接着剤が塗布され，天板１０と押え板３０とでダイヤフラム２０の外側領域が接着固定されている。接着剤の塗布領域がスリット２１により隔てられているので，接着剤がスリット２１より内側の円形領域２２まで拡がることがない。押え板３０の内周縁３１はダイヤフラム２０の円形領域２２より僅かに小径であり，この内周縁３１で囲まれた円形領域２２が屈曲変形できる領域である。
  【００１９】
ダイヤフラム２０は天板１０の下面側に接触状態で配置されている。ダイヤフラム２０の背面（下面）であって，円形領域２２の中央部に円形の圧電素子２３が貼り付けられている。ダイヤフラム２０の円形領域２２の中心（圧電素子２３の中心）と天板１０の第１開口部１１の中心とは，同軸上に位置している。圧電素子２３の半径は，第１開口部１１と第２開口部１２との距離Ｌより小さいため，第２開口部１２は圧電素子２３より外周側に位置している。なお，第２開口部１２の位置は，３次共振モードでのダイヤフラム２０の最大変位位置と同一位置またはそれよりやや外周側とするのがよい。
  【００２０】
押え板３０は後述する圧電素子２３の厚みとダイヤフラム２０の変位量との合計より厚肉に形成されており，圧電ポンプＰを基板などに搭載した場合に，圧電素子２３が基板と接触するのを防止している。なお，押え板３０の一部には切溝３２が形成されているが，これは圧電ポンプＰを基板などに搭載した場合に，ダイヤフラム２０の下面側が密閉空間になるのを防止するとともに，圧電素子への配線を引き出すための溝である。
  【００２１】
この実施例では，圧電素子２３として表裏面に電極を持つ単板の圧電セラミックスを使用し，これをダイヤフラム２０の裏面（天板１０と逆側の面）に貼り付けて変位部材としてのユニモルフ振動板を構成した。圧電素子２３に交番電圧（正弦波または矩形波）を印加することにより，圧電素子２３が平面方向に伸縮するので，圧電素子２３を含むダイヤフラム２０全体が板厚方向に屈曲変形する。ダイヤフラム及び圧電素子からなる変位部材の３次共振モード（約１５ｋＨｚ）で駆動する場合には，第２開口部１２とほぼ対応するダイヤフラム２０の周辺部が最大変位となるように屈曲変形する。ダイヤフラム及び圧電素子からなる変位部材の１次共振モード（約５ｋＨｚ）で駆動する場合には，ダイヤフラム２０の中心部が最大変位となるように屈曲変形する。圧電素子２３の投入電圧は，±６０Ｖ（１２０Ｖｐｐ）〜±１２０Ｖ（２４０Ｖｐｐ）程度が望ましい。」
（７）甲第１０号証（国際公開２００９／１４８００８号）
　甲第１０号証には，「圧電マイクロブレア」に関し，図面とともに以下の事項が記載されている。
・「【００３６】
図５〜図７は，前述の第１実施形態のマイクロブロアを具体化したものであり，新たな符号を付したものを除き，対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。このマイクロブロアＡ'の内ケース１は，天板１０と，天板１０の下面に固定された環状の第１枠体１３と，第１枠体１３の下面に固定された振動板２と，振動板２の下面に固定された環状の第２枠体１４との積層構造となっている。第１枠体１３の厚みによって，ブロア室３の厚みが設定される。
  【００３７】
天板１０はばね弾性を有する円板状の金属板よりなり，図６に示すように，その外周部に４個の幅狭な連結部４が９０°間隔で一体に突設され，各連結部４の外側端部に幅広な取付部１０ｂ，１０ｃが形成されている。取付部のうちの１つ１０ｃは外ケース５より外周方向に突出しており，この取付部１０ｃが圧電素子２０に電圧を印加するための一方の電極端子を兼ねている。第１枠体１３，第２枠体１４も金属材料よりなり，第１枠体１３と第２枠体１４との間で振動板２の金属製ダイヤフラム２１の上下面を挟持することにより，圧電素子２０の片面の電極は，別途配線を行うことなく，天板１０の電極端子１０ｃと電気的に接続できる。
  【００３８】
振動板２は，ダイヤフラム２１と圧電素子２０とを中間板２２を間にして接着したものである。中間板２２もダイヤフラム２１と同様な金属板よりなり，振動板２が屈曲変形したとき，変位の中立面が中間板２２の厚みの範囲内になるように設定されている。
  【００３９】
外ケース５は例えば樹脂材料によって一体成形されており，その周壁部端面に他方の電極端子８が固定されている。この電極端子８には，圧電素子２０の他面に形成された電極がリード線８１を介して電気的に接続されている。外ケース５の側壁部５０には，周方向４箇所に支持面５５が形成され，これら支持面５５に天板１０の取付部１０ｂ，１０ｃを支持固定することにより，内ケース１は外ケース５に対して浮動状態で弾性的に支持される。外ケース５の周壁部には，上下に貫通する複数の取付孔５６が形成され，これら取付孔５６にボルト（又はネジ）を挿入して，筐体又は基板などに締結することにより，本マイクロブロアＡ'は取り付けられる。なお，ボルトに代えて接着剤により固定してもよい。本実施例では，外ケース５の空洞部５１は下方に開放し，圧電素子２０が外部に露出しているが，圧電素子２０を覆うように外ケース５の下面開口を蓋体で閉じるようにしてもよい。」
（８）甲第１１号証（特開平１１−２１４７６４号公報）
　甲第１１号証には，「圧電トランス」に関し，図面とともに以下の事項が記載されている。
・「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，ノートパソコン，情報携帯端末および車載用モニター等に搭載される液晶表示パネルの冷陰極管バックライト用のインバータ回路，民生製品一般に用いるアダプタ電源回路，あるいは電子複写機用の高圧発生回路等に用いる圧電トランスに関する。」
・「【００２３】弾性接着剤３としては，ゴム弾性を有するウレタン樹脂やシリコーン樹脂系等の接着剤やその他の発泡性の樹脂接着剤を使用できる。」
２．本件特許発明１と引用発明との対比
　本件特許発明１と引用発明とを対比すると，引用発明の「ダイヤフラム５１」は本件特許発明１の「振動板」に相当し，以下同様に，「下面」は「一方の主面」に，「圧電素子５２」は「駆動体」に，「圧電素子５２と反対側面」は圧電素子５２の貼り付けられた下面と反対側の面であるから「他方の主面」に，「貫通孔（第１開口部）３１」は「孔」に，「セパレータ３０」は「板」に，「中央孔（中央空間）２１と対応するセパレータ３０の部分」の「共振部分」は「屈曲振動可能な可動部」に，「リング状凸部よりなる仕切り部３３」は「突出部」に，「圧電マイクロブロア」は段落［０００１」を参照すると「空気のような圧縮性流体を輸送するのに適した」ものであるから「流体制御装置」に，それぞれ相当する。
　引用発明の「ダイヤフラム５１の下面に貼り付けられ」ることは本件特許発明１の「振動板の一方の主面に設けられ」ることに相当する。
　引用発明の「振動板５０」は「ダイヤフラム５１」と「圧電素子５２」とを含むものであって，引用発明の「振動板５０を共振駆動させる圧電素子５２」は本件特許発明１の「振動板」に相当する「ダイヤフラム５１」を振動させているから，本件特許発明１の「振動板を駆動させる駆動体」に相当する。
　引用発明の「ダイヤフラム５１の圧電素子５２と反対側面に対向して設けられ，中心部に貫通孔（第１開口部）３１が形成されたセパレータ３０」は本件特許発明１の「振動板の他方の主面に対向して設けられ，孔が設けられている板」に相当する。
　引用発明の「中央孔（中央空間）２１と対応するセパレータ３０の部分が共振部分を有」することは，本件特許発明１の「板は，屈曲振動可能な可動部を有」することに相当する。
　引用発明の「セパレータ３０は，貫通孔３１と前記貫通孔３１に対向するダイヤフラム５１領域の間に位置し，前記貫通孔３１と前記貫通孔３１に対向するダイヤフラム５１の領域との中間の方向へ突出するリング状凸部よりなる仕切り部３３を有する」ことは，本件特許発明１の「振動板および板の少なくとも一方は，孔と前記孔に対向する振動板の領域との間に位置し，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有」することに相当する。
　そうすると，両者は，
「振動板と，
　前記振動板の一方の主面に設けられ，前記振動板を振動させる駆動体と，
　振動板の他方の主面に対向して設けられ，孔が設けられている板と，を備え，
　前記板は，屈曲振動可能な可動部を有し，
　前記振動板および前記板の少なくとも一方は，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し，前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する，
　流体制御装置。」
の点で一致し，以下の点で相違すると認められる。
＜相違点＞
　前記突出部に関して，本件特許発明では，「前記突出部は，円柱状に形成され，前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する」のに対して，引用発明では，前記突出部が，「リング状凸部よりなる仕切り部３３」である点。
３．相違点の判断
　本件特許発明１は，「前記突出部は，円柱状に形成され」ていることにより，「振動板の振動に伴う損失がより少なくなり，ポンプとしての動作効率が高まる。」（段落【００２７】）という作用効果を有し，前記突出部は，「前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する」ことにより，「突出部の端部と，当該端部より内側に位置する突出部の中央部と，で異なる圧力分布が得られるため，流体の圧縮時に，流体の圧力の高い突出部の中央部から，流体の圧力の低い突出部の端部の方向へ流体が流動し易くなる。このため，ポンプの加圧効率をより改善することができる。」（段落【００２９】）」という作用効果を有する。
　一方，引用発明は，段落【０００８】，【０００９】，【００２５】，請求項１の下線部の記載からみて，流量を増加させるためにブロア室を共鳴させようとすると，振動板が必要以上に小さくなり，かえって流量が低下してしまうことを課題として，リング状凸部の「仕切り部３３」により，ブロア室内において仕切り部３３の内側に共鳴空間を形成し，かつ該共鳴空間の大きさを振動板の駆動周波数と共鳴空間のヘルムホルツ共鳴周波数とが対応するように設定するものであり，引用発明の「仕切り部３３」は，その名のとおり空間を隔てるための仕切りの機能を果たすためのものである。
　本件特許発明１の円柱状の「突出部」と，引用発明のリング状凸部の「仕切り部３３」とは，構成上明確に異なり，機能・作用の点でも全く異なる。
　請求人は，甲第４号証における図７における内径が２ｍｍの場合に流量が極大となる記載を根拠に，内径を更に小さくして空洞部分を無くした突出部とすることで流量を更に大きくすることが当業者にとって容易に想到し得る旨主張する。
　しかしながら，仮にリング状凸部の「仕切り部３３」の内径を更に小さくして空洞部分を無くすと，「仕切り部３３」に「仕切り」の機能が無くなって，もはや共鳴空間が存在しなくなり，共鳴空間を形成するという引用発明の趣旨が成り立たない。また，甲第４号証の段落【００３６】における「２ｍｍ付近で流量の極大点」という記載からも，当業者がリング状凸部の「仕切り部３３」の内径を２ｍｍ未満より極端に小さくする構成を採用することは考えられない。
　さらに，請求人は，平成３０年２月１６日付け上申書３ページ下から５行〜最下行において，甲第４号証の図７には仕切り内径を０とする記載もあり，仕切り部を円柱状に置き換えることは容易である旨主張する。
　しかしながら，図７の「０］とする記載は，グラフの起点（０点）であり，内径０のデータは開示されていないから，請求人の上記主張は採用できない。
　したがって，引用発明において，仕切り部３３を本件発明１のように円柱状の突出部とするには，引用発明の課題，作用機能の点を鑑みてもあり得ないし，何らその様な示唆もない。ましてや，仮に引用発明のリング状凸部の「仕切り部３３」を円柱状の突出部とした場合には共鳴空間がなくなって引用発明が成り立たなくなるのであるから，引用発明は，本件特許発明１の主引用例として他の技術を適用するための動機付けを欠くものであり，阻害要因を有するといえる。
　さらに，請求人は，平成３０年１月１２日付け口頭審理陳述要領書にて，甲４発明（引用発明）のリング状の仕切り部は段落【００２４】〜【００２６】の記載からも，そもそも円柱状であることが認識でき，その円柱の中心に共鳴空間３４が設けられたものですので，この内容からも容易に仕切り部３３を「円柱状」に形成することができたものと思料する旨主張する。
　しなしながら，引用発明がリング状凸部よりなる「仕切り部３３」を円柱状とすることについて阻害要因を有することは前述したとおりであり，請求人の上記主張は採用できない。
　また，請求人は，中央部の突出部を円柱状にすることは，流体ポンプとして適用可能な甲第６号証の４欄２３〜３９行に記載された「central　region　129」（中心領域）の円柱状の形状（周知技術）を引用発明に適用して容易に想到し得る旨主張する。
　しかしながら，「central　region　129」（中心領域）は，下部構造部分１５１との可変間隙１５２により流体の懸濁粒子のフィルタとして作用するものであり，引用発明の圧電マイクロブロアの「リング状凸部よりなる仕切り部３３」とは，機能・作用が全く異なることから，甲第６号証は，副引用例として引用発明に適用できるものではない。また，請求人は，甲第６号証のような「円柱状の形状」は周知技術であると主張するが，他に周知技術である証拠は開示されていない。
　さらに，本件特許発明１は，「前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する」構成を備える点で引用発明と相違するが，これに対して請求人は，甲第７号証に，シリコン基板１の下面には，突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する突出部が形成されることが記載されている，と主張し，該構成を引用発明に適用する旨主張する。
　この点について検討する。
　甲第７号証の段落【０００５】には「一枚のシリコン基板と一枚のガラス基板の一回の接合によって製作が可能であるマイクロポンプおよびマイクロバルブの実現を目的とする」と記載され，段落【０００９】には「二つのバルブダイアフラムと一つのポンプダイアフラムはシリコン基板１にエッチングによって形成され・・・バルブ部ダイアフラムの剛性により，ポリイミドによって形成されたパッキン４が貫通穴の存在するガラス基板２に押し付けられ，通常時においてバルブが閉の状態を実現することができる（図５）。」と記載され，段落【００１２】には「図５に示すように，接合面よりもパッキン４が突出しているために，接合によってバルブ部ダイアフラムが変形し，パッキンがガラス基板に押しつけられることによって各バルブは通常状態で閉の状態を保つことになる。」と記載されているものの，甲第７号証には，請求人が突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する突出部として指摘している構成（図１において３つの圧電素子３の間にある上下の台形状の２つの部材）の形状について説明する特段の記載は認められない。
　そうすると，請求人が突出部として指摘している構成（図１において３つの圧電素子３の間にある上下の台形状の２つの部材）の形状を，引用発明の引用発明の「仕切り部３３」の形状として用いることは，甲第４号証，及び甲第７号証に記載も示唆もないといわざる得ない。
　したがって，引用発明に甲第７号証において指摘している構成を適用して本件特許発明１の「前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する」という構成を当業者が容易に想到し得ることにはならない。
　さらに，引用発明の課題は，「流量を増加させるためにブロア室を共鳴させようとすると，振動板が必要以上に小さくなり，かえって流量が低下してしまう。」ことであり，甲第７号証の発明の課題は，「一枚のシリコン基板と一枚のガラス基板の一回の接合によって製作が可能であるマイクロポンプおよびマイクロバルブの実現」である。これに対して，本件特許発明１の上記構成により解決される課題は，「流体の圧縮時に，流体の圧力の高い突出部の中央部から，流体の圧力の低い突出部の端部の方向へ流体が流動し易くなる」ことであり，「ポンプの加圧効率をより改善すること」にある。
　そうすると，本件特許発明１の課題が全く想定されていない引用発明において，さらに全く課題が異なる甲第７号証の発明を組み合わせて，本件特許発明１が容易に導き出されるという論理づけを構築することは困難である。
　また，請求人は，甲第７号証のような，マイクロポンプにおいて，突出部の断面テーパ状の構造が周知技術であると主張しているが，他に周知技術である証拠も開示されておらず，甲第７号証の記載のみをもって周知技術であるともいえない。
　そして，本件特許発明１は，上記相違点の構成により，上述の作用効果を奏するものである。
　また，甲第４号証，甲第６号証，甲第７号証以外の証拠（甲第５号証，甲第８号証〜甲第１１号証）は，本件特許発明１の進歩性を否定するために提出された証拠ではなく，また，それらの証拠を考慮しても，本件特許発明１は，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　以上のことから，本件特許発明１について，特許法第２９条第２項を根拠とする無効理由は，成り立たない。
４．本件特許発明２，３，６〜１１について
　本件特許発明２，３，６〜１１は，いずれも，本件特許発明１の発明特定事項を全て備え，さらにその発明特定事項を限定するものである。
　したがって，本件特許発明２，３，６〜１１についての特許法第２９条第２項を根拠とする無効理由も，成り立たない。
第７　むすび
　以上のとおりであるから，請求人の主張及び証拠方法によっては，本件特許発明１，２，３，６〜１１の特許を無効とすることはできない。
　本件特許発明４，５については，訂正により削除されたため，本件特許の請求項４，５に対して請求人がした本件審判の請求については対象となる請求項が存在しない。
　審判に関する費用については，特許法１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により，請求人が負担すべきものとする。　
　よって，結論のとおり審決する。