(57)【要約】【課題】権限に関する情報を容易に管理することができるようにする。【解決手段】サーバ装置１０は、処理についての権限に関する権限情報が記憶される権限情報記憶部１１と、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置４０あるいはクライアント装置２０から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部１２と、判断要求情報受信部１２が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、権限情報を用いて行う許否判断部１３と、許否判断部１３による判断結果を示す判断結果情報を、判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部１４と、を備える。【選択図】図１
2008096792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、
前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部と、
前記判断要求情報受信部が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部と、を備えたサーバ装置。
【請求項２】
前記権限情報の変更を指示する情報である変更指示情報を受け付ける変更指示情報受付部と、
前記変更指示情報受付部が受け付けた変更指示情報に応じて、前記権限情報記憶部で記憶されている権限情報を変更する権限情報変更部と、をさらに備えた請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記権限情報記憶部で記憶されている権限情報を、前記製造装置または前記クライアント装置に送信する権限情報送信部をさらに備えた、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記権限情報は、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報と、処理についてのユーザの権限を示す情報であるユーザ権限情報とを対応付けて有する情報を含んでおり、
前記判断要求情報には、処理を要求するユーザのユーザ識別情報が含まれており、
前記許否判断部は、前記判断要求情報に含まれるユーザ識別情報に対応付けられているユーザ権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記権限情報には、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報と、処理についてのグループの権限を示す情報であるグループ権限情報とを対応付けて有する情報をも含んでおり、
前記許否判断部は、前記判断要求情報に含まれるユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられているグループ権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項４記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記処理は、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する操作の処理、前記製造装置で用いられるレシピへのアクセス処理、前記製造装置で用いられるパラメータへのアクセス処理、前記製造装置のリカバリ処理の少なくともいずれかである、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項７】
前記処理は、前記製造装置で収集され、前記製造装置または前記サーバ装置に保存されている収集データへのアクセス処理、前記収集データを統計処理したデータへのアクセス処理の少なくともいずれかである、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記許否判断部が許可の判断をした場合には、前記判断結果情報に、処理を実行可能とする鍵を示す情報である鍵情報が含まれる、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項９】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信ステップと、
前記判断要求情報受信ステップで受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、処理についての権限に関する情報である権限情報を用いて行う許否判断ステップと、
前記許否判断ステップでの判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項１０】
コンピュータを、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置として機能させるためのプログラムであって、
前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部と、
前記判断要求情報受信部が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、処理についての権限に関する情報である権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置を有する群管理システムにおける、処理の実行に関する許否を判断するサーバ装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置を操作する際に、ユーザ認証を行うことによって、不特定多数の者による操作を制限し、その結果、機密漏洩等を防止することができていた（例えば、特許文献１参照）。
また、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた（特許文献２、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００２−２７５６７号公報
【特許文献２】特許３５４３９９６号公報
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、半導体製造装置等の被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置が、通信回線に接続されて用いられるようになってきている。そのような状況においても、ユーザ認証等を行うことによって、正当な権限を有するユーザにのみ、データへのアクセスや処理の実行等を許可することがセキュリティー上必要である。ユーザ認証等を行わない場合には、例えば、正当な権限を有しないユーザが、データ等へのアクセスを行うことによって、ノウハウが流出してしまうおそれがあるからである。また、ユーザ認証等を行わない場合には、例えば、正当な権限を有しないユーザが、半導体製造装置等のパラメータ等を改変することによって、半導体製造装置等において不具合が発生し、甚大な被害の生じるおそれがあるからである。【０００４】
しかしながら、そのような権限に関する情報を複数の製造装置ごとに設定することは、多大な労力が必要となるという問題があった。また、その権限に関する情報を変更する場合に、複数の製造装置ごとに、その変更を行わなければならず、その変更にも多大な時間と労力とが必要であるという問題があった。また、その権限に関する情報の変更に時間がかかることにより、ある製造装置における権限に関する情報と、他の製造装置における権限に関する情報とに食い違いの生じ、適切な認証を行うことができなくなるおそれがあるという問題もあった。【０００５】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、権限に関する情報の管理を容易にすることができ、複数の製造装置ごとに、その権限に関する情報の食い違いが生じないようにすることができるサーバ装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明によるサーバ装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部と、前記判断要求情報受信部が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部と、を備えたものである。【０００７】
このような構成により、権限情報を容易に管理することができる。権限情報がサーバ装置において一元管理されているため、例えば、権限情報の内容を変更したい場合に、そのサーバ装置で管理されている権限情報のみを変更すればよく、権限情報の変更を行うユーザの利便性が向上されている。また、群管理システムが２以上の製造装置を有し、すべての製造装置について同じ権限としたい場合に、複数の製造装置ごとに、その権限情報の食い違いが生じないようにすることができうる。【０００８】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報の変更を指示する情報である変更指示情報を受け付ける変更指示情報受付部と、前記変更指示情報受付部が受け付けた変更指示情報に応じて、前記権限情報記憶部で記憶されている権限情報を変更する権限情報変更部と、をさらに備えてもよい。
このような構成により、サーバ装置に対して、例えば、変更指示情報を送信したり、入力したりすることによって、権限情報を変更することができる。【０００９】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報記憶部で記憶されている権限情報を、前記製造装置または前記クライアント装置に送信する権限情報送信部をさらに備えてもよい。【００１０】
このような構成により、製造装置やクライアント装置では、サーバ装置から送信された権限情報を保持しておくことにより、サーバ装置と通信を行うことができない状況でも、製造装置やクライアント装置において、処理の実行に関する許否の判断を、送信された権限情報を用いて実行することができうる。【００１１】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報は、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報と、処理についてのユーザの権限を示す情報であるユーザ権限情報とを対応付けて有する情報を含んでおり、前記判断要求情報には、処理を要求するユーザのユーザ識別情報が含まれており、前記許否判断部は、前記判断要求情報に含まれるユーザ識別情報に対応付けられているユーザ権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、ユーザごとに、権限の管理を行うことができうる。【００１２】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報には、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報と、処理についてのグループの権限を示す情報であるグループ権限情報とを対応付けて有する情報をも含んでおり、前記許否判断部は、前記判断要求情報に含まれるユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられているグループ権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、ユーザのグループごとに権限の管理を行うことができうる。【００１３】
また、本発明によるサーバ装置では、前記処理は、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する操作の処理、前記製造装置で用いられるレシピへのアクセス処理、前記製造装置で用いられるパラメータへのアクセス処理、前記製造装置のリカバリ処理、前記製造装置で収集され、前記製造装置または前記サーバ装置に保存されている収集データへのアクセス処理、前記収集データを統計処理したデータへのアクセス処理の少なくともいずれかであってもよい。
このような構成により、それらの処理の実行に関する権限の管理を行うことができる。【００１４】
また、本発明によるサーバ装置では、前記許否判断部が許可の判断をした場合には、前記判断結果情報に、処理を実行可能とする鍵を示す情報である鍵情報が含まれてもよい。【００１５】
このような構成により、悪意のあるユーザが、例えば、クライアント装置等を操作することにより、許可を示す判断結果情報をサーバ装置から受信していないにもかかわらず、所望の処理を実行することを防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によるサーバ装置等によれば、１以上の製造装置とサーバ装置とクライアント装置とを少なくとも備えた群管理システムにおいて、権限に関する情報を容易に管理することができ、その権限に関する情報のメンテナンス等に必要な労力を削減することができる。また、複数の製造装置が存在する場合に、その製造装置ごとに、権限に関する情報に食い違いが生じることを回避するようにすることができうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明による群管理システムについて、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。【００１８】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置１０と、クライアント装置２０と、Ｎ個の製造装置４０とを備える。ここで、Ｎは、１または２以上の整数である。群管理システムにおいて、サーバ装置１０、クライアント装置２０、１以上の製造装置４０は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。【００１９】
サーバ装置１０は、権限に関する情報である権限情報を保持しており、その権限情報を用いて処理の実行に関する許否の判断を行う。このサーバ装置１０の詳細については後述する。また、サーバ装置１０は、１以上の製造装置４０における各種の測定情報を格納可能なものである。また、サーバ装置１０は、クライアント装置２０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置２０に送信する。【００２０】
製造装置４０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置４０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、プラズマ表示パネル製造装置等である。被処理基板は、例えば、半導体ウエハやＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等である。ＦＰＤ基板は、例えば、ガラス基板等である。なお、製造装置４０が実行する被処理基板に対する所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでもよく、あるいは、含まなくてもよい。製造装置４０が被処理基板に対して行う処理は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等であってもよい。【００２１】
クライアント装置２０は、サーバ装置１０あるいは製造装置４０に対する各種の処理を要求する。また、クライアント装置２０は、それらの処理の要求に対する処理結果を受け付ける。【００２２】
製造装置４０は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。製造装置４０の例を図２に示す。製造装置４０は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置４０は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボートｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置４０の例における、その他の部位、及び動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置４０を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。また、製造装置４０は、図２で示される以外のものであってもよいことは言うまでもない。また、製造装置４０は、例えば、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する情報であるレシピを保持しており、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行する。【００２３】
次に、本実施の形態によるサーバ装置１０、クライアント装置２０、製造装置４０の構成について、図３〜図５のブロック図を用いて説明する。なお、図３〜図５のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、サーバ装置１０、クライアント装置２０、製造装置４０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成、例えば、製造装置４０における被処理基板を搬送する構成や、製造装置４０における製造工程での温度や圧力等をサーバ装置１０に送信する構成等を有していてもよい。【００２４】
図３は、本実施の形態によるサーバ装置１０の構成を示すブロック図である。図３において、本実施の形態によるサーバ装置１０は、権限情報記憶部１１と、判断要求情報受信部１２と、許否判断部１３と、判断結果情報送信部１４と、変更指示情報受付部１５と、権限情報変更部１６と、権限情報送信部１７とを備える。【００２５】
権限情報記憶部１１では、権限情報が記憶される。ここで、権限情報とは、処理についての権限に関する情報である。この権限情報によって、処理を実行することができるかどうかが示されることになる。「処理」とは、群管理システムにおける各種の処理であり、例えば、サーバ装置１０あるいは製造装置４０に対する操作の処理、製造装置４０で用いられるレシピ等へのアクセス処理、群管理システムで用いられるマクロへのアクセス処理、製造装置４０でのデータをサーバ装置１０で収集するためのデータ収集条件へのアクセス処理、製造装置４０で用いられるパラメータへのアクセス処理、製造装置４０のリカバリ処理、製造装置４０でのプロセスの実行処理、製造装置４０で収集され、製造装置４０またはサーバ装置１０に保存されている収集データへのアクセス処理、その収集データを統計処理したデータへのアクセス処理の少なくともいずれかであってもよい。ここで、アクセス処理とは、例えば、情報を読み出したり、情報を修正したりする処理である。情報の修正とは、例えば、情報の更新や、情報の削除等である。リカバリ処理とは、例えば、製造装置４０での設定を、過去の所定の時点の設定に復旧するための処理である。収集データとは、製造装置４０で収集されたデータであって、例えば、トレースデータや、イベントデータ、アラームデータ等である。トレースデータは、時系列に沿って収集された温度や圧力等のデータであり、例えば、時間軸を有するグラフ等に表示されるデータである。イベントデータは、製造装置４０での半導体プロセス等における各イベント時に収集されたデータである。アラームデータは、例えば、過去に発生したアラームに関するデータ（例えば、アラームの発生した日時や場所、アラームの種類、そのアラームの発生に対してなされた処理内容等を示す情報）や、アラームの設定に関するデータ（例えば、アラームを発生させる条件や、アラームの発生に対してなされる処理内容を示す情報）である。また、収集データを統計処理したデータとは、収集データに対してなされた統計的な処理結果を示すデータであり、例えば、収集データの最大値や最小値、平均値、３σの値、変化の傾きの値、積分値等を示すものであってもよい。収集データを統計処理したデータは、例えば、サーバ装置１０や、製造装置４０、その他の装置において保存されている。その権限情報は、例えば、データ等の読み出しの許否を示す情報、データ等の修正の許否を示す情報、プロセス等の実行の許否を示す情報であってもよい。【００２６】
その権限情報は、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報と、処理についてのユーザの権限を示す情報であるユーザ権限情報とを対応付けて有する情報を含んでもよい。この場合には、処理の実行を要求するユーザごとに権限を管理することができる。また、権限情報は、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報と、処理についてのグループの権限を示す情報であるグループ権限情報とを対応付けて有する情報を含んでもよい。この場合には、処理の実行を要求するグループごとに権限を管理することができる。なお、権限情報には、ユーザ識別情報と、グループ識別情報との対応を示す情報が含まれてもよい。また、権限情報は、装置を識別する情報である装置識別情報と、処理についての装置の権限を示す情報である装置権限情報とを対応付けて有する情報を含んでもよい。この場合には、処理の実行を要求する装置ごとに権限を管理することができる。また、権限情報は、複数の装置を含むグループを識別する情報である装置グループ識別情報と、処理についての装置の権限を示す情報である装置グループ権限情報とを対応付けて有する情報を含んでもよい。この場合には、処理の実行を要求する装置のグループごとに権限を管理することができる。なお、権限情報には、装置識別情報と、装置グループ識別情報との対応を示す情報が含まれてもよい。また、権限情報は、これら以外の権限を示す情報であってもよいことは言うまでもない。【００２７】
権限情報記憶部１１は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。権限情報記憶部１１に権限情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して権限情報が権限情報記憶部１１で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された権限情報が権限情報記憶部１１で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された権限情報が権限情報記憶部１１で記憶されるようになってもよい。なお、権限情報記憶部１１で記憶されている権限情報は、後述する権限情報変更部１６によって変更されるものである。【００２８】
判断要求情報受信部１２は、判断要求情報を受信する。ここで、判断要求情報は、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である。なお、判断要求情報には要求（指示や命令）が含まれておらず、例えば、ユーザ識別情報や、処理を識別する情報が判断要求情報に含まれることによって、サーバ装置１０において判断要求情報であると判断されてもよい。例えば、判断要求情報は、ユーザ識別情報や、処理を識別する情報が含まれている処理の実行要求を示す情報であり、その情報がサーバ装置１０において判断要求情報であると判断されてもよい。その判断要求情報には、処理を要求するユーザのユーザ識別情報や、処理を要求する装置の装置識別情報等が含まれていてもよい。本実施の形態では、判断要求情報に、処理を要求するユーザのユーザ識別情報が含まれるものとする。また、判断要求情報は、クライアント装置２０あるいは製造装置４０から送信された情報である。本実施の形態では、判断要求情報がクライアント装置２０から送信される場合について説明する。【００２９】
なお、判断要求情報受信部１２は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、判断要求情報受信部１２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００３０】
許否判断部１３は、判断要求情報受信部１２が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を行う。許否判断部１３は、その許否の判断を、権限情報記憶部１１で記憶されている権限情報を用いて行う。許否判断部１３は、判断要求情報にユーザ識別情報が含まれる場合に、その判断要求情報に含まれるユーザ識別情報に、権限情報において対応付けられているユーザ権限情報を用いて、許否の判断を行ってもよい。また、許否判断部１３は、判断要求情報にユーザ識別情報が含まれる場合に、その判断要求情報に含まれるユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に、権限情報において対応付けられているグループ権限情報を用いて、許否の判断を行ってもよい。許否の判断の具体的な方法については後述する。【００３１】
判断結果情報送信部１４は、判断要求情報を送信した装置に判断結果情報を送信する。ここで、判断結果情報とは、許否判断部１３による判断結果を示す情報である。その判断結果情報は、判断結果情報送信部１４以外の構成要素によって構成されたものであってもよく、あるいは、判断結果情報送信部１４が構成したものであってもよい。その判断結果情報は、例えば、判断要求情報を送信した装置に対して、直接送信されてもよく、所定のサーバ等を経由して送信されてもよい。なお、判断結果情報送信部１４は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、判断結果情報送信部１４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００３２】
変更指示情報受付部１５は、変更指示情報を受け付ける。ここで、変更指示情報とは、権限情報の変更を指示する情報である。権限情報の変更とは、例えば、許否の設定の変更や、ユーザや装置のグループの設定の変更等である。なお、変更指示情報には指示や命令が含まれておらず、例えば、権限情報の変更内容を示す情報が変更指示情報に含まれることによって、サーバ装置１０において変更指示情報であると判断されてもよい。【００３３】
ここで、この受け付けは、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報の受け付けでもよく、クライアント装置２０あるいは製造装置４０から有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報の受け付けでもよい。本実施の形態では、変更指示情報受付部１５は、クライアント装置２０から送信された変更指示情報を受信するものとする。なお、変更指示情報受付部１５は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、変更指示情報受付部１５は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００３４】
権限情報変更部１６は、変更指示情報受付部１５が受け付けた変更指示情報に応じて、権限情報記憶部１１で記憶されている権限情報を変更する。この権限情報の変更により、変更指示情報で指示される権限情報の変更が行われることになる。権限情報変更部１６は、例えば、権限情報に新たな情報を追加してもよく、権限情報に含まれる情報を変更してもよく、権限情報に含まれる情報を削除してもよい。【００３５】
権限情報送信部１７は、権限情報記憶部１１で記憶されている権限情報を、クライアント装置２０あるいは製造装置４０に送信する。権限情報送信部１７が権限情報を送信するタイミングは問わない。例えば、権限情報送信部１７は、権限情報が変更されたタイミングで、その変更後の権限情報を送信してもよく、定期的に権限情報を送信してもよく、クライアント装置２０あるいは製造装置４０がサーバ装置１０と通信を行うことができない状態、すなわちオフラインの状態となるタイミングで権限情報を送信してもよい。また、権限情報送信部１７が送信する権限情報の範囲も問わない。例えば、権限情報送信部１７は、権限情報記憶部１１で記憶されているすべての権限情報を送信してもよく、あるいは、一部の権限情報を送信してもよい。後者の場合には、権限情報送信部１７は、例えば、送信先のクライアント装置２０や製造装置４０に関係のある権限情報のみを送信してもよい。また、権限情報は、例えば、クライアント装置２０あるいは製造装置４０に直接送信されてもよく、所定のサーバ等を経由してクライアント装置２０あるいは製造装置４０に送信されてもよい。【００３６】
なお、権限情報送信部１７は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、権限情報送信部１７は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００３７】
なお、判断要求情報受信部１２、判断結果情報送信部１４、変更指示情報受付部１５、権限情報送信部１７の任意の２以上の要素が通信に関するデバイスを有する場合に、それらは同一の手段であってもよく、あるいは別々の手段であってもよい。【００３８】
図４は、本実施の形態によるクライアント装置２０の構成を示すブロック図である。図４において、本実施の形態によるクライアント装置２０は、入力受付部２１と、処理実行部２２と、判断要求情報送信部２３と、判断結果情報受信部２４と、権限情報受信部２５と、権限情報蓄積部２６と、権限情報記憶部２７と、許否判断部２８と、変更指示情報構成部２９と、変更指示情報送信部３０とを備える。【００３９】
入力受付部２１は、クライアント装置２０を操作するユーザからの入力を受け付ける。ここで、この受け付けは、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報の受け付けでもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信でもよい。なお、入力受付部２１は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、入力受付部２１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００４０】
処理実行部２２は、入力受付部２１で受け付けられた指示に応じて、ユーザの所望の処理を実行する。また、その処理の実行に伴う制御等も行う。なお、処理実行部２２は、クライアント装置２０が通信回線を介してサーバ装置１０と通信可能な場合には、判断結果情報受信部２４において、処理の実行を許可する旨の判断結果情報が受信されたときに、その処理の実行を行い、サーバ装置１０と通信可能でない場合には、許否判断部２８によって処理の実行を許可する旨の判断がなされたときに、その処理の実行を行うものとする。なお、処理実行部２２は、処理の実行を許可しない旨の判断結果情報が受信された場合や、許否判断部２８によって処理の実行を許可しない旨の判断がなされた場合には、そのユーザ所望の処理を実行しないものとする。【００４１】
判断要求情報送信部２３は、処理実行部２２が処理を実行する前に、その処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報をサーバ装置１０に送信する。その判断要求情報は、判断要求情報送信部２３以外の構成要素によって構成されたものであってもよく、あるいは、判断要求情報送信部２３が構成したものであってもよい。その判断要求情報は、例えば、サーバ装置１０に直接送信されてもよく、所定のサーバ等を経由してサーバ装置１０に送信されてもよい。なお、判断要求情報送信部２３は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、判断要求情報送信部２３は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００４２】
判断結果情報受信部２４は、サーバ装置１０から送信された判断結果情報を受信する。なお、判断結果情報受信部２４は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、判断結果情報受信部２４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００４３】
権限情報受信部２５は、サーバ装置１０から送信された権限情報を受信する。なお、権限情報受信部２５は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、権限情報受信部２５は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００４４】
権限情報蓄積部２６は、権限情報受信部２５が受信した権限情報を、権限情報記憶部２７に蓄積する。
権限情報記憶部２７では、権限情報蓄積部２６が蓄積した権限情報が記憶される。権限情報記憶部２７は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。【００４５】
許否判断部２８は、処理実行部２２によって実行される処理の実行に関する許否の判断を行う。許否判断部２８は、権限情報記憶部２７で記憶されている権限情報を用いて、この許否の判断を行う。許否判断部２８は、前述のように、クライアント装置２０が通信回線を介してサーバ装置１０と通信できない場合に、この拒否の判断を行うものとする。なお、許否判断部２８による許否の判断の方法は、前述のサーバ装置１０の許否判断部１３による方法と同様のものであり、詳細については後述する。【００４６】
変更指示情報構成部２９は、入力受付部２１で受け付けられた指示に応じて、変更指示情報を構成する。変更指示情報構成部２９は、例えば、あらかじめ記録媒体で記憶されている変更指示情報を読み出すことによって変更指示情報を構成してもよく、あるいは、入力された指示に応じて、新たに変更指示情報を生成することによって変更指示情報を構成してもよい。【００４７】
変更指示情報送信部３０は、変更指示情報構成部２９が構成した変更指示情報を、サーバ装置１０に送信する。その変更指示情報は、例えば、サーバ装置１０に直接送信されてもよく、所定のサーバ等を経由してサーバ装置１０に送信されてもよい。なお、変更指示情報送信部３０は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、変更指示情報送信部３０は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。【００４８】
なお、判断要求情報送信部２３、判断結果情報受信部２４、権限情報受信部２５、変更指示情報送信部３０の任意の２以上の要素が通信に関するデバイスを有する場合に、それらは同一の手段であってもよく、あるいは別々の手段であってもよい。【００４９】
本実施の形態では、クライアント装置２０から判断要求情報や、変更指示情報が送信され、クライアント装置２０に判断結果情報や、権限情報が送信される場合について説明するが、それらの情報の送受信は、製造装置４０によってなされてもよいことは前述の通りである。そのような場合に、製造装置４０は、図４で示されるクライアント装置２０と同様の構成要素を有してもよい。なお、本実施の形態では、製造装置４０の詳細な説明は省略する。【００５０】
次に、本実施の形態による群管理システムの動作について、フローチャートを用いて説明する。図５は、サーバ装置１０の動作を示すフローチャートである。
（ステップＳ１０１）判断要求情報受信部１２は、判断要求情報を受信したかどうか判断する。そして、判断要求情報を受信した場合には、ステップＳ１０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０４に進む。【００５１】
（ステップＳ１０２）許否判断部１３は、判断要求情報受信部１２が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、権限情報を用いて行う。なお、この判断の処理の詳細については、図６のフローチャートを用いて詳述する。【００５２】
（ステップＳ１０３）判断結果情報送信部１４は、許否判断部１３による判断結果を示す判断結果情報を、判断要求情報を送信した装置に送信する。そして、ステップＳ１０１に戻る。【００５３】
（ステップＳ１０４）変更指示情報受付部１５は、変更指示情報を受け付けたかどうか判断する。そして、変更指示情報を受け付けた場合には、ステップＳ１０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０６に進む。【００５４】
（ステップＳ１０５）権限情報変更部１６は、変更指示情報受付部１５が受け付けた変更指示情報に応じて、権限情報を変更する。そして、ステップＳ１０１に戻る。【００５５】
（ステップＳ１０６）権限情報送信部１７は、権限情報を送信するタイミングであるかどうか判断する。そして、権限情報を送信するタイミングである場合には、ステップＳ１０７に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。【００５６】
（ステップＳ１０７）権限情報送信部１７は、権限情報記憶部１１から権限情報を読み出し、その権限情報をクライアント装置２０または製造装置４０に送信する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。【００５７】
図６は、図５のフローチャートにおける許否判断（ステップＳ１０２）の処理の詳細を示すフローチャートである。なお、このフローチャートの説明において、判断要求情報にはユーザ識別情報が含まれており、権限情報には、ユーザ権限情報とグループ権限情報とが含まれているものとする。そして、許否判断部１３は、ユーザ権限情報とグループ権限情報とを用いて、判断要求情報に含まれるユーザ識別情報に関する許否判断を行うものとする。その許否判断において、図７で示されるように、ユーザ権限情報と、グループ権限情報との少なくとも一方が許可であることを示しており、そのいずれもが拒否であることを示していない場合に、許可であると判断するものとする。一方、その許否判断において、図７で示されるように、ユーザ権限情報と、グループ権限情報との少なくとも一方が拒否であることを示している場合、及び両者において許可・拒否が設定されていない場合に、不許可であると判断するものとする。このように許否の判断をすることにより、ユーザ権限情報とグループ権限情報との条件のうち、ユーザにとって厳しい方の条件で判断を行うこととなり、より安全性の高い判断を行うことができうる。【００５８】
（ステップＳ２０１）許否判断部１３は、判断要求情報に含まれるユーザ識別情報と対応付けられているユーザ権限情報が「拒否」であるかどうか判断する。そして、拒否である場合には、ステップＳ２０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０２に進む。【００５９】
（ステップＳ２０２）許否判断部１３は、判断要求情報に含まれるユーザ識別情報で識別されるユーザが含まれるグループのグループ識別情報と対応付けられているグループ権限情報が「拒否」であるかどうか判断する。そして、拒否である場合には、ステップＳ２０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０３に進む。【００６０】
（ステップＳ２０３）許否判断部１３は、判断要求情報に含まれるユーザ識別情報と対応付けられているユーザ権限情報が「許可」であるかどうか判断する。そして、許可である場合には、ステップＳ２０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０４に進む。【００６１】
（ステップＳ２０４）許否判断部１３は、判断要求情報に含まれるユーザ識別情報で識別されるユーザが含まれるグループのグループ識別情報と対応付けられているグループ権限情報が「許可」であるかどうか判断する。そして、許可である場合には、ステップＳ２０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０６に進む。【００６２】
（ステップＳ２０５）許否判断部１３は、処理の実行が許可されていると判断する。そして、図５のフローチャートに戻る。
（ステップＳ２０６）許否判断部１３は、処理の実行が許可されていないと判断する。そして、図５のフローチャートに戻る。【００６３】
なお、この図６のフローチャートは一例であって、図７で示される判断がなされるのであれば、図６で示される以外のフローチャートであってもよいことは言うまでもない。また、ユーザ権限情報とグループ権限情報の両方を用いない場合、あるいは、権限情報に含まれる他の情報を用いる場合にも、図６で示される以外のフローチャートによって、許否判断の処理を行ってもよいことは言うまでもない。【００６４】
図８は、クライアント装置２０の動作を示すフローチャートである。
（ステップＳ３０１）処理実行部２２は、入力受付部２１で、所定の処理の実行を要求する入力が受け付けられたかどうか判断する。そして、受け付けられた場合には、ステップＳ３０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０９に進む。【００６５】
（ステップＳ３０２）処理実行部２２は、クライアント装置２０がオンラインであるかどうか、すなわち、サーバ装置１０と通信することができるかどうか判断する。この判断は、例えば、クライアント装置２０がオンラインであるかどうかを示す情報が所定のメモリ等で記憶されている場合には、その情報を参照することによって行ってもよく、あるいは、オンラインかどうかを判断するためのパケットを送信することによって行ってもよく、その判断の方法は問わない。そして、オンラインであれば、ステップＳ３０３に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０７に進む。【００６６】
（ステップＳ３０３）判断要求情報送信部２３は、判断要求情報をサーバ装置１０に送信する。この判断要求情報には、処理の実行を要求したユーザのユーザ識別情報が少なくとも含まれているものとする。【００６７】
（ステップＳ３０４）判断結果情報受信部２４は、判断結果情報を受信したかどうか判断する。そして、受信した場合には、ステップＳ３０５に進み、そうでない場合には、受信するまでステップＳ３０４の処理を繰り返す。なお、何らかのエラーが発生したことによって、判断要求情報が送信されてから所定の時間が経過しても判断結果情報を受信することができない場合には、タイムアウトであると判断してステップＳ３０１に戻ってもよい。【００６８】
（ステップＳ３０５）処理実行部２２は、判断結果情報受信部２４が受信した判断結果情報が、処理の実行を許可するものであるかどうか判断する。そして、処理の実行を許可するものである場合には、ステップＳ３０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０１に戻る。【００６９】
（ステップＳ３０６）処理実行部２２は、要求された処理を実行する。この処理は、前述のように、例えば、所定の製造装置４０のレシピを修正する処理等である。したがって、処理実行部２２は、製造装置４０と通信を行うことによって、この処理を実行してもよい。そして、ステップＳ３０１に戻る。【００７０】
（ステップＳ３０７）許否判断部２８は、権限情報記憶部２７で権限情報が記憶されているかどうか判断する。そして、権限情報が記憶されている場合には、ステップＳ３０８に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０１に戻る。【００７１】
（ステップＳ３０８）許否判断部２８は、権限情報記憶部２７で記憶されている権限情報を用いて、要求された処理の実行の許否を判断する。そして、判断結果が許可である場合には、ステップＳ３０６に進み、不許可である場合には、ステップＳ３０１に戻る。【００７２】
（ステップＳ３０９）権限情報受信部２５は、権限情報を受信したかどうか判断する。そして、権限情報を受信した場合には、ステップＳ３１０に進み、そうでない場合には、ステップＳ３１１に進む。
（ステップＳ３１０）権限情報蓄積部２６は、権限情報受信部２５が受信した権限情報を権限情報記憶部２７に蓄積する。そして、ステップＳ３０１に戻る。【００７３】
（ステップＳ３１１）入力受付部２１は、権限情報の変更を指示する入力を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ３１２に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０１に戻る。
（ステップＳ３１２）変更指示情報構成部２９は、入力受付部２１で受け付けられた権限情報の変更を指示する入力に応じて、変更指示情報を構成する。【００７４】
（ステップＳ３１３）変更指示情報送信部３０は、変更指示情報構成部２９が構成した変更指示情報を、サーバ装置１０に送信する。そして、ステップＳ３０１に戻る。
なお、図８のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。【００７５】
また、製造装置４０が図４と同様の構成要素を有する場合にも、図８で示されるように、所望の処理の実行や、権限情報の蓄積、変更指示情報の送信等の処理が行われてもよい。【００７６】
次に、本実施の形態による群管理システムの動作について、具体例を用いて説明する。
この具体例において、権限情報記憶部１１では、図９及び図１０で示される権限情報が記憶されているものとする。図９において、ユーザ識別情報と、グループ識別情報と、ユーザ権限情報とが対応付けられている。図９の１番目のレコードでは、ユーザ識別情報「Ｕ００１」で識別されるユーザが、グループ識別情報「Ｇ００１」「Ｇ００２」で識別されるグループに属することが示されている。また、図１０において、グループ識別情報と、グループ権限情報とが対応付けられている。ここで、ユーザ権限情報及びグループ権限情報の表記について説明する。Ａ００１等は、処理対象を識別する情報である。例えば、Ａ００１は、プロセスパラメータに対応するものとする。また、その処理対象を識別する情報とセミコロンで区切られて示されている３桁の数字は、「読み出し（ｒ）」「修正（ｗ）」「実行（ｘ）」の許否をそれぞれ示すものである。「１」は許可を示し、「０」は拒否を示す。例えば、「Ａ００１；１１０」により、プロセスパラメータの「読み出し」と「修正」が許可されており、「実行」が拒否されていることが示される。なお、プロセスパラメータについては、「実行」という概念がないため、その実行の許否は意味がないものである。例えば、図９の２番目のレコードにより、ユーザ識別情報「Ｕ００２」で識別されるユーザは、「Ａ００３」で識別される処理対象については、何も許可されておらず、「Ａ００６」で識別される処理対象については、「読み出し」「修正」が許可されていることがわかる。なお、ユーザ識別情報「Ｕ００２」で識別されるユーザについて、「Ａ００２」で識別される処理対象については、許否の設定がなされていない。【００７７】
また、クライアント装置２０は、オンラインの状態であるとする。また、ユーザ識別情報「Ｕ００１」で識別されるユーザがクライアント装置２０を使用しており、そのユーザ識別情報がクライアント装置２０の図示しないメモリにおいて保持されているものとする。【００７８】
まず、クライアント装置２０のユーザが、クライアント装置２０を操作して、図１１で示されるように、実行する処理として、「プロセスパラメータ編集」をプルダウンメニューから選択し、その処理を行う製造装置４０として、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０をプルダウンメニューから選択したとする。そして、ユーザがマウスを操作することによって、「ＯＫ」ボタンをクリックすると、処理実行部２２は、処理の実行要求が入力受付部２１で受け付けられたと判断し（ステップＳ３０１）、クライアント装置２０がオンラインであることを、所定のメモリを参照することにより判断する（ステップＳ３０２）。【００７９】
処理実行部２２は、判断要求情報を送信するために、図示しないメモリからユーザ識別情報「Ｕ００１」を読み出し、処理の実行が要求された「プロセスパラメータ編集」に対応する処理対象を識別する情報「Ａ００１」と、その処理内容「編集」を示す情報「ｗ」と、判断要求情報を送信する旨の指示とを判断要求情報送信部２３に渡す。すると、判断要求情報送信部２３は、ユーザ識別情報「Ｕ００１」と、処理対象及び処理内容を示す情報「Ａ００１；ｗ」とを含む判断要求情報のパケットを構成し、その判断要求情報のパケットを、あらかじめ設定されているサーバ装置１０のＩＰアドレスを送信先として送信する（ステップＳ３０３）。【００８０】
クライアント装置２０から送信された判断要求情報のパケットは、サーバ装置１０の判断要求情報受信部１２で受信され（ステップＳ１０１）、その送信元のＩＰアドレス、すなわちクライアント装置２０のＩＰアドレスが取得されて判断結果情報送信部１４に渡されると共に、判断要求情報に含まれるユーザ識別情報「Ｕ００１」と、処理対象及び処理内容を示す情報「Ａ００１；ｗ」とが許否判断部１３に渡される。【００８１】
許否判断部１３は、ユーザ識別情報と、処理対象及び処理内容を示す情報を受け取ると、権限情報記憶部１１で記憶されている図９及び図１０で示される権限情報を参照しながら、許否判断を行う（ステップＳ１０２）。処理対象及び処理内容を示す情報が「Ａ００１；ｗ」であるため、権限情報において「Ａ００１」とセミコロンで区切られている３桁の数字のうち、左から２番目の数字が「１」であれば、処理が許可されていることとなり、「０」であれば、処理が許可されていないことになる。【００８２】
具体的には、許否判断部１３は、ユーザ識別情報「Ｕ００１」に対応付けられているユーザ権限情報、すなわち、図９の１番目のレコードで示されるユーザ権限情報を参照することにより、その処理の実行が拒否されているかどうか判断する。図９では、「Ａ００１；１１０」と設定されているため、許否判断部１３は、その処理の実行が拒否されていないと判断する（ステップＳ２０１）。次に、許否判断部１３は、図９の１番目のレコードから、ユーザ識別情報「Ｕ００１」に対応付けられているグループ識別情報「Ｇ００１」「Ｇ００２」を取得する。そして、図１０において、グループ識別情報「Ｇ００１」に対応付けられているグループ権限情報により、その処理の実行が拒否されているかどうか判断する。図１０の１番目のレコードでは、「Ａ００１」に関する設定がないため、許否判断部１３は、その処理の実行が拒否されていないと判断する。さらに、許否判断部１３は、図１０において、グループ識別情報「Ｇ００２」に対応付けられているグループ権限情報により、その処理の実行が拒否されているかどうか判断する。図１０の２番目のレコードでは、「Ａ００１；１１０」と設定されているため、許否判断部１３は、その処理の実行が拒否されていないと判断する（ステップＳ２０２）。【００８３】
次に、許否判断部１３は、ユーザ識別情報「Ｕ００１」に対応付けられているユーザ権限情報を参照し、要求されている「Ａ００１；ｗ」の処理の実行が許可されているかどうか判断する。図９では、「Ａ００１；１１０」と設定されているため、許否判断部１３は、その処理の実行が許可されていると判断する（ステップＳ２０３）。そして、最終的に、許否判断部１３は、その要求されている処理の実行が許可されていると判断し（ステップＳ２０５）、判断結果が「許可」であることを判断結果情報送信部１４に伝える。すると、判断結果情報送信部１４は、「許可」を含む判断結果情報のパケットを構成し、そのパケットを、あらかじめ判断要求情報受信部１２から受け取っていたクライアント装置２０のＩＰアドレスを送信先として送信する（ステップＳ１０３）。【００８４】
サーバ装置１０から送信された判断結果情報のパケットは、クライアント装置２０の判断結果情報受信部２４で受信され（ステップＳ３０４）、処理実行部２２に渡される。処理実行部２２は、判断結果情報に「許可」である旨が含まれていると判断し（ステップＳ３０５）、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０にアクセスしてプロセスパラメータの編集処理を実行する（ステップＳ３０６）。この処理は、例えば、クライアント装置２０において製造装置４０のプロセスパラメータを参照し、クライアント装置２０で受け付けられたプロセスパラメータの変更を指示する入力に応じて、製造装置４０のプロセスパラメータを変更するための情報をクライアント装置２０から製造装置４０に送信することによって行われる。この処理は、すでに公知の処理であるため、詳細な説明を省略する。【００８５】
なお、ここで、処理の実行が許可されない場合についても簡単に説明する。クライアント装置２０から送信され、判断要求情報受信部１２で受信された判断要求情報に、ユーザ識別情報「Ｕ００１」と、処理対象及び処理内容を示す情報「Ａ００２；ｒ」とが含まれていたとする。したがって、権限情報において、「Ａ００２」とセミコロンで区切られている３桁の数字のうち、左から１番目の数字が「１」であれば、処理か許可されていることとなり、「０」であれば、処理が許可されていないことになる。【００８６】
この場合には、許否判断部１３は、ユーザ識別情報「Ｕ００１」に対応付けられているユーザ権限情報、すなわち、図９の１番目のレコードで示されるユーザ権限情報「Ａ００２；１００」を参照することにより、その処理の実行が拒否されていないと判断する（ステップＳ２０１）。次に、許否判断部１３は、図９の１番目のレコードから、ユーザ識別情報「Ｕ００１」に対応付けられているグループ識別情報「Ｇ００１」「Ｇ００２」を取得する。そして、図１０において、グループ識別情報「Ｇ００１」に対応付けられているグループ権限情報により、その処理の実行が拒否されていないと判断する。図１０の１番目のレコードでは、「Ａ００２；１１０」と設定されているからである。さらに、許否判断部１３は、図１０において、グループ識別情報「Ｇ００２」に対応付けられているグループ権限情報「Ａ００２；０００」により、その処理の実行が拒否されていると判断する（ステップＳ２０２）。そして、最終的に、許否判断部１３は、その要求されている処理の実行が不許可であると判断し（ステップＳ２０６）、判断結果が「不許可」であることを判断結果情報送信部１４に伝える。すると、判断結果情報送信部１４は、「不許可」を含む判断結果情報のパケットを構成し、そのパケットをクライアント装置２０に送信する（ステップＳ１０３）。【００８７】
その判断結果情報のパケットは判断結果情報受信部２４で受信され（ステップＳ３０４）、処理実行部２２に渡される。処理実行部２２は、判断結果情報に「不許可」である旨が含まれていると判断し（ステップＳ３０５）、プロセスパラメータの編集処理を実行しないと共に、クライアント装置２０のディスプレイに図１２で示される表示を行う。ユーザは、この表示を見ることによって、プロセスパラメータの編集処理が許可されていないことを知ることができる。
このようにして、ユーザの権限管理をサーバ装置１０において一括して行うことができる。【００８８】
次に、権限情報が送信される処理について説明する。ここでは、毎日午前２時に、権限情報を送信するように設定されていたとする。
権限情報送信部１７は、図示しない時計を参照することにより、午前２時になったことを検知すると（ステップＳ１０６）、権限情報記憶部１１で記憶されている図９及び図１０で示される権限情報を読み出し、その権限情報のパケットを構成して、あらかじめ保持しているクライアント装置２０のＩＰアドレスを送信先として送信する（ステップＳ１０７）。なお、ここでは、クライアント装置２０に対してのみ権限情報が送信される場合について説明しているが、その他の装置にも権限情報が送信されてもよい。【００８９】
送信された権限情報のパケットは、クライアント装置２０の権限情報受信部２５で受信され（ステップＳ３０９）、権限情報蓄積部２６によって権限情報記憶部２７に蓄積される（ステップＳ３１０）。【００９０】
なお、上記説明では、クライアント装置２０がオンラインであって、判断要求情報をサーバ装置１０に送信することによって許否判断を行う場合について説明したが、クライアント装置２０がオンラインでない場合にも、サーバ装置１０でなされた許否判断と同様にして、許否判断部２８による許否判断が行われることになる（ステップＳ３０７，Ｓ３０８）。その詳細な説明は省略する。【００９１】
次に、権限情報を変更する処理、特に、権限情報におけるグループをセットアップする処理の一例について説明する。まず、クライアント装置２０のユーザは、クライアント装置２０を操作することにより、グループセットアップの画面を表示させる。図１３は、その表示画面の一例を示す図である。【００９２】
図１３において、ユーザは、マウス等を操作することにより、グループ識別情報「Ｇ００１」を選択し、そのグループに含まれるユーザのユーザ識別情報を設定する。例えば、「ユーザの追加」ボタンをクリックすることにより、新たなユーザ識別情報を追加することができる。また、削除したいユーザ識別情報をマウス等でクリックしてハイライトさせた上で、「ユーザの削除」ボタンをクリックすることにより、そのユーザ識別情報を削除することができる。また、権限を設定する処理内容を選択し、その権限の内容を設定することができる。図１３では、処理対象として「製造装置の定数値編集」に含まれる「プロセスパラメータ」が選択されている。また、その処理対象に対する処理の権限として、「読み出し」を許可し、「修正」を許可しない設定がなされている。なお、プロセスパラメータには、「実行」の概念がないため、「実行」については、許否の設定ができないようになっている。【００９３】
この図１３の表示において、ユーザが「ＯＫ」ボタンをクリックすると、入力受付部２１は、変更指示が入力されたと判断し（ステップＳ３１１）、その変更内容を示す情報を変更指示情報構成部２９に渡す。そして、変更指示情報構成部２９は、グループ識別情報「Ｇ００１」とユーザ識別情報「Ｕ００１」等が対応付けられており、プロセスパラメータについては読み出しのみを許可する権限情報、すなわち、「Ａ００１；１００」で示されるグループ権限情報を登録する旨の変更指示情報を構成し（ステップＳ３１２）、変更指示情報送信部３０に渡す。変更指示情報送信部３０は、その変更指示情報をサーバ装置１０に送信する（ステップＳ３１３）。【００９４】
その送信された変更指示情報は、変更指示情報受付部１５で受け付けられ（ステップＳ１０４）、権限情報変更部１６に渡される。そして、権限情報変更部１６は、その変更指示情報で示されるように、権限情報記憶部１１で記憶されている権限情報を変更する（ステップＳ１０５）。具体的には、グループ識別情報「Ｇ００１」に新たなユーザ識別情報が対応付けられた場合には、その新たなユーザ識別情報に対応付けてグループ識別情報「Ｇ００１」を登録する。また、グループ識別情報「Ｇ００１」に対応付けられているグループ権限情報に、「Ａ００１；１００」を追加する。【００９５】
なお、ここでは、グループ識別情報とユーザ識別情報との対応関係と、グループ識別情報とグループ権限情報との対応関係とについての変更指示情報が送信され、その変更指示情報に応じて権限情報が変更される場合について説明したが、それ以外の変更、例えば、ユーザ識別情報とユーザ権限情報との対応関係についての変更を指示する変更指示情報が送信され、それに応じた権限情報の変更がなされてもよいことは言うまでもない。【００９６】
また、この具体例では、権限情報において、「読み出し」「修正」「実行」の各処理について、許可「１」あるいは拒否「０」のいずれかの設定を行う場合について説明したが、許可・拒否を決めていない設定を行うことができるようにしてもよい。例えば、許可・拒否を決めていない場合には、「２」を設定するようにしてもよい。【００９７】
また、この具体例では、処理対象に対する処理として、「読み出し」「修正」「実行」の３種類について説明したが、それ以外の処理についても許否の設定を行うことができるようにしてもよい。また、１種類、または２種類の処理について許否の設定を行うだけであってもよい。【００９８】
また、この具体例では、ユーザのグループが設定されている場合について説明したが、このグループは、ユーザの属性に応じて設定されていることが好適である。一般的に、ユーザの属性ごとに、付与される権限が設定されるからである。例えば、製造装置４０を運転するユーザのグループとして、オペレータ（Ｏｐｅｒａｔｏｒ）のグループが設定されてもよく、製造装置４０を調整するユーザのグループとして、保守管理者（Ｍａｉｎｔａｉｎｅｒ）のグループが設定されてもよく、製造装置４０の販売者のサービスエンジニアのグループとして、サービス（Ｓｅｒｖｉｃｅ）のグループが設定されてもよい。【００９９】
また、この具体例では、クライアント装置２０において、許否の判断結果に応じて、処理を実行することができたり、できなかったりする場合について説明したが、例えば、許否の判断結果に応じて、実行できない処理については、ディスプレイ等に表示されるインターフェース画面において、ボタンをクリックできないように設定されていたり、処理の名称等が薄い表示となっていたりすることによって、許可されていない処理がユーザに容易にわかるようにしてもよい。【０１００】
また、この具体例において、変更指示情報による権限情報の変更を行う前に、その変更指示情報を入力するユーザの認証を行い、権限情報を変更する権限を有するユーザに対してのみ、変更指示情報の送信や、変更指示情報による権限情報の変更を許可するようにしてもよい。【０１０１】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、サーバ装置１０において権限情報を管理することにより、各製造装置４０等において権限情報を管理する場合に比べて、メンテナンス等に必要な労力を削減することができる。さらに、複数の製造装置４０が存在する場合に、その製造装置４０ごとに権限情報に食い違いが生じる事態を回避することもできる。【０１０２】
なお、オフラインでも権限情報による許否判断を行う場合には、例えば、その許否判断で用いられるクライアント装置２０等で保持されている権限情報に有効期限を設け、有効期限を越えている場合には、オフラインでの権限情報による許否判断を行わないようにしてもよい。権限情報が設定されてから長期間経過している場合には、その権限情報による適切な許否判断を行うことができないと考えられるからである。なお、その期限の算出の始期は、例えば、権限情報がクライアント装置２０等で蓄積された時点であってもよく、あるいは、権限情報がサーバ装置１０において最後に更新された時点であってもよい。【０１０３】
また、本実施の形態では、権限情報が製造装置４０ごとに設けられるのではなく、権限情報が複数の製造装置４０について同じ内容で設定される場合について説明したが、製造装置４０ごとに異なる内容の権限情報を設定することができるようにしてもよい。その場合には、例えば、権限情報において、製造装置４０を識別する装置識別情報と、ユーザ識別情報と、ユーザ権限情報が対応付けられることになり、製造装置４０ごとに、ユーザ権限情報等が設定されることになる。【０１０４】
また、許否判断部１３が許可の判断をした場合には、判断結果情報に、処理を実行可能とする鍵を示す情報である鍵情報が含まれるようにしてもよい。この鍵情報を用いることによって、クライアント装置２０等は、所望の処理を実行できるようになる。したがって、製造装置４０では、処理の要求と共に送信される鍵情報の正当性を判断し、正当であると判断した場合に、その処理を実行できるようにしてもよい。このようにすることで、悪意のあるユーザが、クライアント装置２０のプログラム等を改造することにより、許可を示す判断結果情報をサーバ装置１０から受け取っていなくても、所望の処理を実行することができるようにした場合であっても、鍵情報がなければ所望の処理を実行することができないため、許可なしに所望の処理を実行するような不正行為を防止することができる。【０１０５】
また、前述のように、本実施の形態では、クライアント装置２０から判断要求情報の送信等が行われる場合について説明したが、本実施の形態において説明したクライアント装置２０と同じ動作を、製造装置４０において、行うようにしてもよい。その場合に、製造装置４０は、自らの製造装置４０に関する処理の実行の許否判断をサーバ装置１０に要求してもよく、あるいは、他の製造装置に関する処理の実行の許否判断をサーバ装置１０に要求してもよい。【０１０６】
また、本実施の形態による群管理システムにおけるサーバ装置１０は、図３の構成で示されるように、権限の管理と許否判断とをするだけのものであってもよい。したがって、群管理システムにおけるその他の処理、例えば、クライアント装置２０等の要求に応じて処理を実行し、その処理結果をクライアント装置２０に送信する処理や、１以上の製造装置４０から送信された各種の測定情報を蓄積する処理等を行うサーバ装置が、サーバ装置１０以外に設けられていてもよい。【０１０７】
また、本実施の形態による群管理システムを構成するサーバ装置１０、クライアント装置２０、製造装置４０が本実施の形態で説明した以外の構成要素を有していてもよいことは言うまでもない。【０１０８】
また、本実施の形態では、サーバ装置１０が権限情報をクライアント装置２０等に送信する場合について説明したが、サーバ装置１０は、権限情報を送信しなくてもよい。その場合には、サーバ装置１０は、権限情報送信部１７を備えていなくてもよい。【０１０９】
また、本実施の形態では、サーバ装置１０が変更指示情報に応じて権限情報の変更を行う場合について説明したが、サーバ装置１０は、変更指示情報に応じた権限情報の変更を行わなくてもよい。その場合には、サーバ装置１０は、変更指示情報受付部１５、及び権限情報変更部１６を備えなくてもよい。なお、それらを備えない場合には、権限情報記憶部１１が着脱可能な記録媒体として構成されており、権限情報記憶部１１の記録媒体をサーバ装置１０からはずし、他の装置に装着することによって、権限情報の更新を行うようにしてもよい。【０１１０】
また、本実施の形態において、許否判断の対象となる処理は、サーバ装置１０や、製造装置４０に対する処理だけではなく、その他の装置、例えば、群管理システムが２以上のサーバ装置を有する場合におけるサーバ装置１０以外のサーバ装置に対する処理であってもよい。【０１１１】
また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。【０１１２】
また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記実施の形態におけるサーバ装置１０を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、前記製造装置あるいは前記サーバ装置に対する処理を要求するクライアント装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置として機能させるためのプログラムであって、前記製造装置あるいは前記クライアント装置から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部と、前記判断要求情報受信部が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、処理についての権限に関する情報である権限情報を用いて行う許否判断部と、前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を、前記判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部として機能させるためのものである。【０１１３】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、情報を受信する受信部や、情報を送信する送信部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には少なくとも含まれない。【０１１４】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。【０１１５】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１１６】
以上より、本発明によるサーバ装置等は、権限情報をサーバ装置において管理することができるものであり、被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置を備えた群管理システムにおいて有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本発明の実施の形態１による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２】同実施の形態による製造装置の一例を示す図
【図３】同実施の形態によるサーバ装置の構成を示すブロック図
【図４】同実施の形態によるクライアント装置の構成を示すブロック図
【図５】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図６】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図７】同実施の形態における許否判断について説明するための図
【図８】同実施の形態によるクライアント装置の動作を示すフローチャート
【図９】同実施の形態における権限情報の一例を示す図
【図１０】同実施の形態における権限情報の一例を示す図
【図１１】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１２】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１３】同実施の形態における表示の一例を示す図
【符号の説明】
【０１１８】
１０  サーバ装置
１１、２７  権限情報記憶部
１２  判断要求情報受信部
１３、２８  許否判断部
１４  判断結果情報送信部
１５  変更指示情報受付部
１６  権限情報変更部
１７  権限情報送信部
２０  クライアント装置
２１  入力受付部
２２  処理実行部
２３  判断要求情報送信部
２４  判断結果情報受信部
２５  権限情報受信部
２６  権限情報蓄積部
２９  変更指示情報構成部
３０  変更指示情報送信部
４０  製造装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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