(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から第２ガス容器（ＳＢ）に切り替え、切り替え後に第２ガス容器（ＳＢ）からガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が、第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の範囲の残圧（ＰＡ）を有する第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）未満となったときには、使用先へのガス供給を第２ガス容器（ＳＢ）から第１ガス容器（ＳＡ）に切り替え、残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）以上になったときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から第２ガス容器（ＳＢ）に切り替え、残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から第２ガス容器（ＳＢ）に切り替えるとともに第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行い、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満で、残圧（ＰＢ）が第１設定圧力（Ｐ１）以上の第２ガス容器（ＳＢ）からガス使用先にガスを供給中に、第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときには、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、
（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；
前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；
前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；
前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；
ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；
前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）
ことを特徴とするガス供給方法。
【請求項２】
複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、
（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；
前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；
ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；
前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）
ことを特徴とするガス供給方法。
【請求項３】
複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が、第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の範囲の残圧（ＰＡ）を有する第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）未満となったときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を停止して第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）以上になったときに、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、
（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；
前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；
前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；
前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；
ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；
前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）
ことを特徴とするガス供給方法。
【請求項４】
複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給ガス流量（Ｑ）が変動しないときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断したまま第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給ガス流量（Ｑ）が変動したときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を再開して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、
（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；
前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；
前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；
前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；
ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；
前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）
ことを特徴とするガス供給方法。
【請求項５】
複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、一方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が他方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）より低い場合、供給ガス流量（Ｑ）が、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）未満のときには、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、供給ガス流量（Ｑ）が、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）以上のときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）に切り替え、あるいは、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、
（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；
前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；
前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；
前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；
ただし、第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；
第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）
ことを特徴とするガス供給方法。
【請求項６】
複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給検出圧力（ＰＴ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給検出圧力（ＰＴ）が低下しないときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断したまま第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給検出圧力（ＰＴ）が低下したときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を再開して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、
（ここで、前記供給設定圧力（ＰＳ）は、ガス使用先であらかじめ設定された圧力；
前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；
前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；
前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；
前記供給検出圧力（ＰＴ）は、ガス使用先に供給中のガスの圧力を検出した圧力；
ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；
前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）
ことを特徴とするガス供給方法。
【請求項７】
ガス容器内の残圧と供給可能なガス流量との関係は、供給するガスの種類及びガス供給系統の構成に応じてあらかじめ設定されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載のガス供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス供給方法に関し、詳しくは、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や化学製品の製造工程では、様々なガスが使用されており、これらのガスは、例えば高圧ガスを充填したガス容器から配管を通して供給されている。ガスを連続的に供給する必要がある場合には、複数のガス容器を並列に接続し、一つのガス容器内の残圧があらかじめ設定された下限値に下降すると、ガスの供給を他のガス容器に切り替えるとともに、圧力が低下したガス容器を新しいガス容器に交換して待機状態としている（例えば、特許文献１参照。）。また、複数のガス容器内のガス残量をそれぞれ検出し、ガス残量が少ないガス容器を選択してガスを供給することも行われている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２５０１９１３号公報
【特許文献２】特開２００７−１０７７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
高圧の圧縮ガスを充填したガス容器から使用先にガスを供給する場合、ガス容器から使用先へ供給可能なガス流量は、使用先で使用するガスの圧力やガス供給設備の圧力損失、ガスの種類によって異なり、安定した流量でガスを供給するためには、ガス供給設備におけるガス容器側の圧力と使用先側の圧力との間に、ガス流量に対応した差圧が必要である。また、一般的に、使用先に供給するガス流量の設定値は、その使用先で使用するガス流量の最大値を基準として設定されている。【０００５】
例えば、使用先で使用する最大ガス流量を供給するために必要な差圧が０．７ＭＰａ（ゲージ圧、以下同様）程度である場合、ガス容器の残圧の下限は１ＭＰａ程度とされており、前記特許文献１，２のいずれの場合も、残圧が１ＭＰａになると容器交換を行うようにしている。この場合、ガス容器内には、圧力１ＭＰａのガスが容器容積分も残っていることになり、大型のガス容器の場合には、大量のガスが未使用の状態になっていることになる。【０００６】
そこで本発明は、ガス使用先で使用するガスの流量が変動するとガスの供給に必要な差圧も変動することから、ガス使用流量が変動するガス使用先にガスを供給する場合には、ガスの流量変動に応じて、複数のガス供給系統を用意するなどして、ガスの流量変動を適切に対応できるようにすることにより、容器交換時における残圧を低くすることができ、ガス容器内のガスを有効に利用することができるガス供給方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のガス供給方法における第１の構成は、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から第２ガス容器（ＳＢ）に切り替え、切り替え後に第２ガス容器（ＳＢ）からガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が、第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の範囲の残圧（ＰＡ）を有する第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）未満となったときには、使用先へのガス供給を第２ガス容器（ＳＢ）から第１ガス容器（ＳＡ）に切り替え、残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）以上になったときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から第２ガス容器（ＳＢ）に切り替え、残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から第２ガス容器（ＳＢ）に切り替えるとともに第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行い、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満で、残圧（ＰＢ）が第１設定圧力（Ｐ１）以上の第２ガス容器（ＳＢ）からガス使用先にガスを供給中に、第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときには、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）ことを特徴としている。【０００８】
本発明のガス供給方法の第２の構成は、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）ことを特徴としている。【０００９】
本発明のガス供給方法の第３の構成は、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が、第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の範囲の残圧（ＰＡ）を有する第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）未満となったときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を停止して第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）未満、かつ、第２設定圧力（Ｐ２）以上の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、供給ガス流量（Ｑ）が第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）以上になったときに、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）ことを特徴としている。【００１０】
本発明のガス供給方法の第４の構成は、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給ガス流量（Ｑ）が変動しないときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断したまま第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給ガス流量（Ｑ）が変動したときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を再開して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）ことを特徴としている。【００１１】
本発明のガス供給方法の第５の構成は、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給ガス流量（Ｑ）を監視し、一方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が他方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）より低い場合、供給ガス流量（Ｑ）が、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）未満のときには、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、供給ガス流量（Ｑ）が、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）から供給可能なガス流量（ＱＰＡ）以上のときには、使用先へのガス供給を第１ガス容器（ＳＡ）から残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）に切り替え、あるいは、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、（ここで、前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；前記供給ガス流量（Ｑ）は、ガス使用先に供給中のガス流量を検出したガス流量；前記各ガス流量（ＱＰＡ，ＱＰＢ）は、ガス容器内の前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）で供給可能なガス流量；ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）ことを特徴としている。【００１２】
本発明のガス供給方法の第６の構成は、複数のガス供給系統にそれぞれ接続されたガス容器に充填されている圧縮ガスを、ガス使用流量が変動するガス使用先に供給するガス供給方法において、前記各ガス容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）及び供給検出圧力（ＰＴ）を監視し、第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の各容器内の残圧（ＰＡ，ＰＢ）が共に第１設定圧力（Ｐ１）以上で、一方の第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給中に、第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第１設定圧力（Ｐ１）に低下したときには、第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を開始して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、第１ガス容器（ＳＡ）と第２ガス容器（ＳＢ）とからガス使用先にガスを供給中に、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給検出圧力（ＰＴ）が低下しないときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断したまま第１ガス容器（ＳＡ）からガス使用先にガスを供給し、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を中断して供給検出圧力（ＰＴ）が低下したときには第２ガス容器（ＳＢ）からのガス供給を再開して第１ガス容器（ＳＡ）及び第２ガス容器（ＳＢ）の双方からガス使用先にガスを供給し、残圧が低い方の第１ガス容器（ＳＡ）内の残圧（ＰＡ）が第２設定圧力（Ｐ２）に低下したとき、あるいは、残圧が高い方の第２ガス容器（ＳＢ）内の残圧（ＰＢ）が第３設定圧力（Ｐ３）に低下したときに、第１ガス容器（ＳＡ）の容器交換を行う、（ここで、前記供給設定圧力（ＰＳ）は、ガス使用先であらかじめ設定された圧力；前記第１設定圧力（Ｐ１）は、第１設定流量（Ｑ１）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第２設定圧力（Ｐ２）は、第２設定流量（Ｑ２）に対応した流量のガスを供給可能なガス容器内の残圧を設定した圧力；前記第３設定圧力（Ｐ３）は、前記第１設定圧力（Ｐ１）よりも高い圧力で、充填圧力より低い圧力に設定された圧力；前記各残圧（ＰＡ，ＰＢ）は、前記各ガス容器（ＳＡ，ＳＢ）内の圧力を検出した残圧；前記供給検出圧力（ＰＴ）は、ガス使用先に供給中のガスの圧力を検出した圧力；ただし、前記第１設定流量（Ｑ１）は、ガス使用先であらかじめ設定された流量；前記第２設定流量（Ｑ２）は、ガス使用先であらかじめ設定され、前記第１設定流量（Ｑ１）より小流量の流量）ことを特徴としている。【００１３】
さらに、本発明のガス供給方法は、前記各構成において、ガス容器内の残圧と供給可能なガス流量との関係は、供給するガスの種類及びガス供給系統の構成に応じてあらかじめ設定されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のガス供給方法によれば、使用流量や供給圧力の変動に応じて複数のガス供給系統を用意するなどして、前記流量変動や前記圧力変動に適切に対応できるようにし、残圧が低くても供給可能な状態のときには残圧が低いガス容器からガスを供給するようにしているので、ガス容器に充填されている圧縮ガスを有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のガス供給方法を適用可能なガス供給設備の一例を示す説明図である。
【図２】ガス容器内の残圧と供給可能なガス流量との関係を示す図である。
【図３】本発明のガス供給方法の第１形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。
【図４】本発明のガス供給方法の第２形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。
【図５】本発明のガス供給方法の第３形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。
【図６】本発明のガス供給方法の第４形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。
【図７】本発明のガス供給方法の第５形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。
【図８】本発明のガス供給方法の第６形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明のガス供給方法を適用可能なガス供給設備の一例を示す説明図、図２はガス容器内の残圧と供給可能なガス流量との関係を示す図、図３は本発明のガス供給方法の第１形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。【００１７】
まず、図１に示すように、ガス供給設備は、２系統のガス供給系統Ａ，Ｂを有しており、各系統Ａ，Ｂの下流側が合流してガス使用先に接続されている。各系統Ａ，Ｂには、所定の高圧状態で圧縮ガスを充填したガス容器ＳＡ，ＳＢから供給するガスの圧力をあらかじめ設定された圧力に減圧するための圧力調整部１１ａ，１１ｂがそれぞれ設けられ、各圧力調整部１１ａ，１１ｂには、複数の圧力調整器１２ａ，１２ｂがそれぞれ直列に設けられている。【００１８】
圧力調整部１１ａ，１１ｂの上流側には、ガス容器ＳＡ，ＳＢとの間に、高圧弁１３ａ，１３ｂと、ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の圧力（残圧）を検出するための圧力計１４ａ，１４ｂとがそれぞれ設けられ、圧力調整部１１ａ，１１ｂの下流側には低圧弁１５ａ，１５ｂがそれぞれ設けられている。また、両系統Ａ，Ｂが合流したガス供給経路１６には流量計１７や圧力計（図示せず）が設けられている。【００１９】
このように形成されたガス供給設備で本発明方法を実施するに当たっては、まず、各種設定値として、ガス使用先であらかじめ設定された最大流量である第１設定流量Ｑ１及び最小流量である第２設定流量Ｑ２と、前記第１設定流量Ｑ１に対応した流量のガスを供給可能なガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧を設定した第１設定圧力Ｐ１と、同様に、前記第２設定流量Ｑ２に対応した流量のガスを供給可能なガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧を設定した第２設定圧力Ｐ２と、前記第１設定圧力Ｐ１よりも高い圧力で、充填圧力Ｐfullより低い圧力に設定された第３設定圧力Ｐ３とをそれぞれ設定する。通常、第１設定圧力Ｐ１は、従来のガス供給設備におけるガス容器交換圧力（残圧下限値）と同じ圧力に設定することができる。【００２０】
第１設定流量Ｑ１及び第２設定流量Ｑ２は、ガス使用先のガス使用流量の変動に対応して設定され、Ｑ１＞Ｑ２の関係にある。例えば、半導体薄膜製造装置における原料ガスの場合、該半導体薄膜製造装置で基板上に半導体薄膜を製造しているときに最大流量となり、半導体薄膜を製造していないとき、例えば基板交換のときに最小流量となる。また、半導体薄膜製造装置が多数台設けられている場合は、半導体薄膜製造中の台数によって流量変動が発生し、さらに、装置稼働時間、例えば昼間と夜間、平日と休日、その他の様々な条件でガス使用流量が変動するので、これらを考慮して第１設定流量Ｑ１及び第２設定流量Ｑ２が設定される。なお、ガス使用先のガス使用量の最小流量が短時間だけ極めて少ない流量（流量０も含む。）になるような場合は、これを第２設定流量Ｑ２とはせず、継続的に、例えば数十分以上継続する最小流量を第２設定流量Ｑ２とすることが望ましい。【００２１】
第１設定圧力Ｐ１及び第２設定圧力Ｐ２は、前記第１設定流量Ｑ１及び第２設定流量Ｑ２と供給するガスの種類とガス供給系統の構成とが決まれば自動的に決まるもので、例えば、図２に示すように、同じ構成のガス供給系統であっても、ガスＡの場合は、残圧が１．０ＭＰａのときの供給可能なガス流量が約３１０Ｌ／ｍｉｎであるのに対し、ガスＢの場合は、残圧が同じ１．０ＭＰａであっても供給可能なガス流量は約２００Ｌ／ｍｉｎとなる。したがって、第１設定流量Ｑ１が２００Ｌ／ｍｉｎの場合、ガスＡの第１設定圧力Ｐ１は０．７ＭＰａに設定され、ガスＢの第１設定圧力Ｐ１は１．０ＭＰａに設定され、第２設定圧力Ｐ２も、同様にして、ガスＡ，Ｂによって適切な圧力に設定される。【００２２】
また、前記第３設定圧力Ｐ３は、ガス容器ＳＡ，ＳＢの容積、第１設定流量Ｑ１でガスを供給しているときのガス容器ＳＡ，ＳＢ内のガスの減少量、容器交換に要する時間などの条件に応じて設定される。例えば、Ｐ３はガス容器ＳＡが第１設定流量Ｑ１で２４時間ガスを供給できる圧力に設定する。各設定圧力の関係は、ガス容器ＳＡ，ＳＢの充填圧力Ｐfullに対して、Ｐfull＞Ｐ３＞Ｐ１＞Ｐ２となっている。【００２３】
また、制御に必要な変動値としては、前記圧力計１４ａ，１４ｂでそれぞれ検出した各ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢと、前記流量計１７で検出した供給ガス流量Ｑと、各容器内の残圧ＰＡ，ＰＢでそれぞれ供給可能なガス流量（供給可能ガス流量）ＱＰＡ，ＱＰＢとが用いられる。容器内の残圧ＰＡ，ＰＢは圧力計１４ａ，１４ｂで常時監視され、供給ガス流量Ｑは流量計１７で常時監視される。さらに、必要に応じて供給中のガスの圧力も監視される。【００２４】
以下、ガス供給方法の第１形態例を図３に基づいて説明する。なお、以下の説明及び各図において、数値の大小の比較における「以上」の場合も、表記上、「＞」又は「＜」を使用している。【００２５】
まず、通常の使用状態では、ガス容器ＳＡ，ＳＢのいずれか一方、例えば第１ガス容器ＳＡがガス供給中で、他方の第２ガス容器ＳＢは、新しいガス容器に交換した後であって残圧（ＰＢ）は充填圧力Ｐfullとなっている。両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢは、共に前記第１設定圧力Ｐ１を上回っており、前記第１設定流量Ｑ１に相当する流量のガスを供給可能な状態となっている。なお、このときの供給ガス流量Ｑは任意の流量である。ガス使用先のガス使用流量が変動すると、供給ガス流量Ｑは当然変動するため、任意の流量と記載している。【００２６】
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、時間Ｔ１までの期間は、任意の供給ガス流量Ｑに対応するガスが、一方の第１ガス容器ＳＡから供給されているため、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡは、任意の供給ガス流量Ｑに応じて時間ｔの経過とともに次第に低下していく。時間Ｔ１が経過し、ガス供給によって第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ１）、ガス使用先にガスを供給するガス容器が第１ガス容器ＳＡから他方の第２ガス容器ＳＢに切り替えられる。【００２７】
ガス容器切り替え後は、第２ガス容器ＳＢからガス使用先にガスが供給されるが、流量計１７で常時監視されている任意の供給ガス流量Ｑが、時間Ｔ２が経過したときに第１ガス容器ＳＡから供給可能なガス流量となった場合、すなわち、残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１未満で、かつ、第２設定圧力Ｐ２以上の範囲となっている第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡで供給可能なガス流量ＱＰＡが任意の供給ガス流量Ｑ以上である場合には（Ｑ＜ＱＰＡ）、ガス使用先にガスを供給するガス容器が、残圧ＰＢの高い第２ガス容器ＳＢから残圧ＰＡの低い第１ガス容器ＳＡに切り替えられる。【００２８】
残圧ＰＡで供給可能なガス流量ＱＰＡは、任意の供給ガス流量Ｑに応じて時間の経過とともに低下する残圧ＰＡを検出して常に更新され、新たに算出した残圧ＰＡで供給可能なガス流量ＱＰＡが任意の供給ガス流量Ｑ以上である間は、第１ガス容器ＳＡからのガス供給が継続される。この間、第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢは、低圧弁１５ａを開にして低圧弁１５ｂを閉にすることで、切替時の残圧を保持している。【００２９】
そして、図３（ａ）に示すように、時間Ｔ３が経過して第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第２設定圧力Ｐ２まで低下したとき（ＰＡ＝Ｐ２）、すなわち、任意の供給ガス流量Ｑが最小流量である第２設定流量Ｑ２のガス流量でも第１ガス容器ＳＡから供給できなくなったときには（Ｑ（＝Ｑ２）＞ＱＰＡ）、ガスを供給するガス容器を第１ガス容器ＳＡから第２ガス容器ＳＢに切り替えるとともに、第１ガス容器ＳＡの容器交換を促す警報が発せられ、第１ガス容器ＳＡが新しいガス容器に交換される。したがって、容器交換後の第１ガス容器ＳＡ内の残圧（残圧）はＰfullとなって待機状態となり、第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢは、ガス供給に伴って次第に低下していく状態となる。第１ガス容器ＳＡの新しいガス容器への交換は、第２ガス容器ＳＢで供給できる間に行えばよい。【００３０】
また、図３（ｂ）に示すように、時間Ｔ１〜Ｔ２経過した後、さらに、時間Ｔ４が経過したときに、任意の供給ガス流量Ｑが増大し、任意の供給ガス流量Ｑが第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡで供給可能なガス流量ＱＰＡ以上である場合には（Ｑ＞ＱＰＡ）、第２ガス容器ＳＢの残圧ＰＢは第１ガス容器ＳＡの残圧ＰＡより高いため、ガス供給を行うガス容器が第１ガス容器ＳＡから第２ガス容器ＳＢに切り替えられる。ガス供給を行うガス容器の切り替えは、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡで供給可能な供給可能ガス流量ＱＰＡと任意の供給ガス流量Ｑと関係によって繰り返して行われ、任意の供給ガス流量Ｑが少ない時間帯は、残圧ＰＢに比べて低い残圧ＰＡの第１ガス容器ＳＡから優先してガス供給が行われる。【００３１】
一方、残圧ＰＢが残圧ＰＡより高い第２ガス容器ＳＢからのガス供給中に、時間Ｔ５が経過して第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢが第３設定圧力Ｐ３に低下したときには（ＰＢ＝Ｐ３）、第１ガス容器ＳＡの容器交換を促す警報が発せられて第１ガス容器ＳＡが新しいガス容器に交換され、容器交換後の第１ガス容器ＳＡ内の残圧（残圧）はＰfullとなる。このように、残圧ＰＢより低い第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１以下の場合、残圧ＰＡより高い第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢが第１設定圧力Ｐ１に低下する前に（Ｐ１＜ＰＢ＜Ｐ３）、残圧が低い第１ガス容器ＳＡの容器交換を行うことにより、両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢが共に第１設定圧力Ｐ１未満となること、すなわち、第１設定流量Ｑ１に相当する流量のガスを供給できなくなることを回避することができる。【００３２】
第１ガス容器ＳＡの容器交換後は、引き続いて第２ガス容器ＳＢからのガス供給が行われ、前述の時間Ｔ１における第１ガス容器ＳＡと第２ガス容器ＳＢとが入れ替わった状態となり、前記同様の条件でガス供給を行うガス容器が入れ替わり、任意の供給ガス流量Ｑ、すなわち、ガス使用先のガス使用流量が少ない時間は、残圧の低いガス容器からガス供給を行うことにより、任意の供給ガス流量Ｑが少なく、残圧の低いガス容器からガス供給を行っている時間（Ｔ３）が長ければ、ガス容器の残圧を、ガス供給を行うための必要最小限の圧力である第２設定圧力Ｐ２まで下げることができるので、容器交換時にガス容器内に残留するガス量を少なくすることができ、ガス容器内に充填した圧縮ガスを有効に利用することができる。【００３３】
例えば、ガス使用先の最大流量である第１設定流量Ｑ１を供給するために必要な残圧（第１設定圧力Ｐ１）が１ＭＰａで、最小流量である第２設定流量Ｑ２を供給するために必要な残圧（第２設定圧力Ｐ２）が０．５ＭＰａの場合、図３（ａ）に示すように、ガス容器内の残圧が０．５ＭＰａになるまでガス供給を行ったとすると、ガス容器内に残存する未使用のガス量を従来に比べて約半分にすることができる。【００３４】
図４は本発明のガス供給方法の第２形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。なお、以下の説明において、ガス供給設備には、図１に示した構成を採用することができ、各種設定値として、第１設定流量Ｑ１、第２設定流量Ｑ２、第１設定圧力Ｐ１、第２設定圧力Ｐ２、第３設定圧力Ｐ３が前記同様に設定され、変動値として両ガス容器ＳＡ，ＳＢの残圧ＰＡ，ＰＢが検出される。【００３５】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢが共に第１設定圧力Ｐ１を上回っており、一方の第１ガス容器ＳＡからガス供給を行っている場合、時間Ｔ１が経過し、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ１）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給が開始され、ガス使用先へのガス供給を両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方から並行して行う状態になる。したがって、両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢは、時間ｔの経過に伴って次第に低下していく。このとき、ガス使用先のガス使用流量は第１ガス容器ＳＡからの供給流量と第２ガス容器ＳＢからの供給流量の総和である。【００３６】
図４（ａ）に示すように、時間Ｔ６が経過して第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第２設定圧力Ｐ２まで低下し（ＰＡ＝Ｐ２）、最小流量である第２設定流量Ｑ２のガス流量でも第１ガス容器ＳＡから供給できなくなったときには、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止してガス供給を第２ガス容器ＳＢのみから行うように切り替えるとともに、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われ、第１ガス容器ＳＡは、時間Ｔ１の期間における第２ガス容器ＳＢと同様の待機状態となる。【００３７】
また、図４（ｂ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガスを供給中に、時間Ｔ７が経過して残圧が高い第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢが第３設定圧力Ｐ３に低下したときには（ＰＢ＝Ｐ３）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止し、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を継続しながら、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われて第１ガス容器ＳＡが待機状態となる。【００３８】
本形態例では、一方のガス容器の残圧が、最大流量を確保できなくなった圧力に低下したときに、両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方からガス供給を行うようにしているので、供給ガス流量Ｑの変動状態に応じて残圧が低いガス容器内のガスを使用先に供給することができ、ガス容器内の圧縮ガスを有効に利用することができる。【００３９】
図５は本発明のガス供給方法の第３形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。本形態例においても、各種設定値として、第１設定流量Ｑ１、第２設定流量Ｑ２、第１設定圧力Ｐ１、第２設定圧力Ｐ２、第３設定圧力Ｐ３が前記同様に設定され、変動値としては、任意の供給ガス流量Ｑ（ガス使用先のガス使用流量）と両ガス容器ＳＡ，ＳＢの残圧ＰＡ，ＰＢとが検出される。【００４０】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢが共に第１設定圧力Ｐ１を上回っており、第１ガス容器ＳＡからガス供給を行っている場合、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ１）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給が開始され、ガス使用先へのガス供給を両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方から並行して行う状態になり、両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢは、時間の経過に伴って次第に低下していくことになる。このとき、ガス使用先のガス使用流量は第１ガス容器からの供給流量と第２ガス容器からの供給流量の総和である。【００４１】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガス供給中に検出した任意の供給ガス流量Ｑが、その時点で残圧が低い方のガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡで供給可能な供給可能ガス流量ＱＰＡが任意の供給ガス流量Ｑ以上である場合には（Ｑ＜ＱＰＡ）、残圧が高い方の第２ガス容器ＳＢからのガス供給を停止し、残圧ＰＡの低い第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行う。【００４２】
第１ガス容器ＳＡから供給可能な供給可能ガス流量ＱＰＡは、ガス供給に伴って低下する残圧ＰＡに応じて常に算出更新され、更新された供給可能ガス流量ＱＰＡが任意の供給ガス流量Ｑ以上となっている間は、第１ガス容器ＳＡのみからのガス供給が継続されるが、供給可能ガス流量ＱＰＡが任意の供給ガス流量Ｑ未満になると（Ｑ＞ＱＰＡ）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給が再開され、両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方からガス供給が行われる状態になる。【００４３】
そして、図５（ａ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガス供給を行っているとき、あるいは、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行っているときに、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第２設定圧力Ｐ２まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ２）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止してガス供給を第２ガス容器ＳＢのみから行うように切り替えるとともに、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われ、第１ガス容器ＳＡは待機状態となる。【００４４】
また、図５（ｂ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガスを供給中に、第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢが第３設定圧力Ｐ３に低下したときには（ＰＢ＝Ｐ３）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止し、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を継続しながら、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われて第１ガス容器ＳＡが待機状態となる。【００４５】
図６は、本発明のガス供給方法の第４形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。本形態例においても、各種設定値として、第１設定流量Ｑ１、第２設定流量Ｑ２、第１設定圧力Ｐ１、第２設定圧力Ｐ２、第３設定圧力Ｐ３が前記同様に設定され、変動値としては、任意の供給ガス流量Ｑ（ガス使用先のガス使用流量）と両ガス容器ＳＡ，ＳＢの残圧ＰＡ，ＰＢとが検出される。【００４６】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢが共に第１設定圧力Ｐ１を上回っており、第１ガス容器ＳＡからガス供給を行っている場合、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ１）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給が開始され、ガス使用先へのガス供給を両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方から並行して行う状態になり、両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢは、時間の経過に伴って次第に低下していくことになる。このとき、ガス使用先のガス使用流量は第１ガス容器からの供給流量と第２ガス容器からの供給流量の総和である。【００４７】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガス供給中の任意のときに、残圧の高いガス容器、この場合は、残圧ＰＡに比べて残圧ＰＢの方が高いので、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を一時中断し、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行う（図６における時間Ｔａ）。そして、検出した任意の供給ガス流量Ｑが変動しないとき（ガス使用先のガス使用流量が変化しないとき）には、すなわち、第１ガス容器ＳＡのみからのガス供給で任意の供給ガス流量Ｑが賄えている間は、図６（ａ）に示すように、第１ガス容器ＳＡのみからのガス供給を継続する。その後、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行っているときに検出した任意の供給ガス流量Ｑが変動したとき（ガス使用先のガス使用流量が変化したとき）には（例えば図６における時間Ｔｂ）、すなわち、第１ガス容器ＳＡのみからのガス供給で任意の供給ガス流量Ｑが十分に賄えなくなったときには、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を再開し、両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方からガス供給を行うようにする。【００４８】
一方、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を中断したときに（図６における時間Ｔａ）、検出した任意の供給ガス流量Ｑが変動したとき（ガス使用先のガス使用流量が変化したとき）には、図６（ｂ）に示すように、直ちに第２ガス容器ＳＢからのガス供給を再開し、両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方からガス供給を行う。残圧ＰＢが高い第２ガス容器ＳＢからのガス供給の一時中断は、所定時間間隔毎、あるいは、あらかじめ設定した時間内に供給ガス流量Ｑが変動しないときに行われ（時間Ｔｃ）、任意の供給ガス流量Ｑの変動状態に応じて（ガス使用先のガス使用流量に応じて）前記操作が適宜繰り返される。【００４９】
そして、図６（ａ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガス供給を行っているとき、あるいは、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行っているときに、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第２設定圧力Ｐ２まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ２）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止してガス供給を第２ガス容器ＳＢのみから行うように切り替えるとともに、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われ、第１ガス容器ＳＡは待機状態となる。【００５０】
また、図６（ｂ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガスを供給中に、第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢが第３設定圧力Ｐ３に低下したときには（ＰＢ＝Ｐ３）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止し、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を継続しながら、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われて第１ガス容器ＳＡが待機状態となる。【００５１】
図７は、本発明のガス供給方法の第５形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。本形態例においても、各種設定値として、第１設定流量Ｑ１、第２設定流量Ｑ２、第１設定圧力Ｐ１、第２設定圧力Ｐ２、第３設定圧力Ｐ３が前記同様に設定され、変動値としては、任意の供給ガス流量Ｑ（ガス使用先のガス使用流量）と両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢとが検出される。【００５２】
まず、通常の使用状態では、ガス容器ＳＡ、ＳＢのいずれか一方、例えば第１ガス容器ＳＡがガス供給中で、他方の第２ガス容器ＳＢは、新しいガス容器に交換した後であって残圧（ＰＢ）は充填圧力Ｐｆｕｌｌとなっている。両ガス容器ＳＡ、ＳＢ内の残圧ＰＡ、ＰＢは共に前記第１設定圧力Ｐ１を上回っており、前記第１設定流量Ｑ１に相当する流量のガスを供給可能な状態となっている。【００５３】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢから各ガス容器ＳＡ，ＳＢで供給可能な供給可能ガス流量ＱＰＡ，ＱＰＢをそれぞれ算出し、算出した供給可能ガス流量ＱＰＡ，ＱＰＢと、このときの供給ガス流量Ｑとをそれぞれ比較する。このとき、両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢが共に第１設定圧力Ｐ１以上の場合には、両ガス容器ＳＡ，ＳＢから供給可能な供給可能ガス流量ＱＰＡ，ＱＰＢが共に任意の供給ガス流量Ｑ以上であるので、両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢを比較し、残圧が低い方のガス容器、例えば、残圧ＰＢに比べて残圧ＰＡが低いときには、第１ガス容器ＳＡからガス供給を行う。なお、残圧ＰＡ，ＰＢが同じ場合には、あらかじめ優先順位を設定し、優先順位に従ってガス供給を行うガス容器を選択すればよい。【００５４】
第１ガス容器ＳＡからガス供給を行っているときには、逐次変化する第１ガス容器ＳＡから供給可能なガス流量ＱＰＡと任意の供給ガス流量Ｑとを常に比較し、残圧ＰＡから算出した供給可能ガス流量ＱＰＡが検出した任意の供給ガス流量Ｑ以上の間は（Ｑ＜ＱＰＡ）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を継続し、残圧ＰＡから算出した供給可能ガス流量ＱＰＡが検出した任意の供給ガス流量Ｑ未満になったときには（Ｑ＞ＱＰＡ）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給が停止されて第２ガス容器ＳＢからのガス供給が開始される。【００５５】
第２ガス容器ＳＢからガス供給を行っている間にも、第１ガス容器ＳＡから供給可能な供給可能ガス流量ＱＰＡと任意の供給ガス流量Ｑとが常に比較され、供給可能ガス流量ＱＰＡが任意の供給ガス流量Ｑ以上になると（Ｑ＜ＱＰＡ）、残圧Ｂが高い第２ガス容器ＳＢからのガス供給が停止され、残圧Ａが低い第１ガス容器ＳＡからガス供給が再開される。以下、残圧が低い第１ガス容器ＳＡの供給可能ガス流量ＱＰＡと任意の供給ガス流量Ｑとの関係に応じて、前記同様にガス供給を行うガス容器が切り替えられる。【００５６】
そして、図７（ａ）に示すように、第１ガス容器ＳＡからガス供給を行っているときに、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第２設定圧力Ｐ２まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ２）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止してガス供給を第２ガス容器ＳＢから行うように切り替えるとともに、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われ、第１ガス容器ＳＡは待機状態となる。【００５７】
また、図７（ｂ）に示すように、第２ガス容器ＳＢからガス供給を行っているときに、第２ガス容器ＳＢの残圧ＰＢが第３設定圧力Ｐ３に低下したときには（ＰＢ＝Ｐ３）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を継続しながら、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われて第１ガス容器ＳＡが待機状態となる。【００５８】
図８は、本発明のガス供給方法の第６形態例を説明するためのガス容器内の残圧変化を示す図である。本形態例では、各種設定値として、第１設定流量Ｑ１、第２設定流量Ｑ２、第１設定圧力Ｐ１、第２設定圧力Ｐ２、第３設定圧力Ｐ３が前記同様に設定されるとともに、ガス使用先であらかじめ設定された供給設定圧力（ＰＳ）が設定され、変動値としては、ガス供給経路１６から供給中のガスの圧力（供給検出圧力）ＰＴと両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢとが検出される。【００５９】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢ内の残圧ＰＡ，ＰＢが共に第１設定圧力Ｐ１以上で、第１ガス容器ＳＡからガス供給を行っている場合、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第１設定圧力Ｐ１まで低下すると（ＰＡ＝Ｐ１）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給が開始され、ガス使用先へのガス供給を両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方から並行して行う状態になる。【００６０】
両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガス供給中の任意のときに、残圧の高いガス容器、この場合は、残圧ＰＡに比べて残圧ＰＢの方が高いので、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を一時中断し、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行う（図８における時間Ｔｄ）。そして、供給検出圧力ＰＴが低下しないときには、すなわち、第１ガス容器ＳＡのみからのガス供給で供給中のガスの圧力を維持できている間は、第１ガス容器ＳＡのみからのガス供給を継続し、その後、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行っているときに供給検出圧力ＰＴが低下したときには（例えば図８における時間Ｔｅ）、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を再開し、両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方からガス供給を行うようにする。【００６１】
一方、時間Ｔｄで第２ガス容器ＳＢからのガス供給を中断したときに、供給検出圧力ＰＴが低下した場合には、直ちに第２ガス容器ＳＢからのガス供給を再開し、両ガス容器ＳＡ，ＳＢの双方からガス供給を行う。残圧ＰＢが高い第２ガス容器ＳＢからのガス供給の一時中断は、所定時間間隔毎、あるいは、あらかじめ設定した時間内に供給検出圧力ＰＴが変動しないときに行われ（例えば図８（ｂ）における時間Ｔｆ）、供給検出圧力ＰＴの状態に応じて前記操作が適宜繰り返される。【００６２】
そして、図８（ａ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガス供給を行っているとき、あるいは、第１ガス容器ＳＡからのみガス供給を行っているときに、第１ガス容器ＳＡ内の残圧ＰＡが第２設定圧力Ｐ２まで低下したときには（ＰＡ＝Ｐ２）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止してガス供給を第２ガス容器ＳＢから行うように切り替えるとともに、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われ、第１ガス容器ＳＡは待機状態となる。【００６３】
また、図８（ｂ）に示すように、両ガス容器ＳＡ，ＳＢからガスを供給中に、第２ガス容器ＳＢ内の残圧ＰＢが第３設定圧力Ｐ３に低下したときには（ＰＢ＝Ｐ３）、第１ガス容器ＳＡからのガス供給を停止し、第２ガス容器ＳＢからのガス供給を継続しながら、第１ガス容器ＳＡの容器交換が行われて第１ガス容器ＳＡが待機状態となる。【００６４】
以上の各形態例に示したように、一方のガス容器内の残圧が第１設定流量Ｑ１を供給できない第１設定圧力Ｐ１に低下したとき、従来はこの残圧で容器交換を行っていたが、本発明では残圧が高い他方のガス容器からガス供給を行うとともに、ガス使用先に供給している供給ガス流量Ｑの変化に応じて残圧が低いガス容器からのガス供給を行うことにより、従来より低い残圧になるまでガス容器内の圧縮ガスを使用先に供給することができ、容器交換時にガス容器内に残る未使用のガス量を大幅に少なくすることができる。【００６５】
また、ガス容器内の残圧が第２設定流量Ｑ２を供給できない圧力にまで低下したときには、そのガス容器の容器交換を行い、一方のガス容器内の残圧が第１設定圧力Ｐ１を下回っているときに、他方のガス容器内の残圧が第３設定圧力Ｐ３に低下したときには、残圧が低い方の一方のガス容器を交換することにより、両方のガス容器内の残圧が第１設定圧力Ｐ１を下回ることはなく、最大流量である第１設定流量Ｑ１のガスを確実に供給することができる。【００６６】
なお、ガス供給設備の構成は任意であり、ガス容器の形態や供給するガスの種類も任意である。また、ガス供給系統を３系統以上備えたガス供給設備においても、同様の操作が可能であり、一つのガス供給系統に複数のガス容器を接続することもできる。
【符号の説明】
【００６７】
１１ａ，１１ｂ…圧力調整部、１２ａ，１２ｂ…圧力調整器、１３ａ，１３ｂ…高圧弁、１４ａ，１４ｂ…圧力計、１５ａ，１５ｂ…低圧弁、１６…ガス供給経路、１７…流量計、Ａ，Ｂ…ガス供給系統、ＳＡ，ＳＢ…ガス容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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