(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートが貼付された板状部材の支持装置であって、
前記接着シートを介して前記板状部材を保持する保持手段と、
前記保持手段で保持された前記板状部材を付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持する面位置維持手段とを備え、
前記面位置維持手段は、
前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢する第１付勢手段と、
前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢する第２付勢手段とを備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
接着シートが貼付された板状部材の支持方法であって、
前記接着シートを介して前記板状部材を保持し、
前記保持された前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢し、前記保持された前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持することを特徴とする支持方法。
【請求項３】
接着シートが貼付された板状部材の搬送装置であって、
前記接着シートを介して前記板状部材を保持する保持手段と、
前記保持手段で保持された前記板状部材を付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持する面位置維持手段と、
前記保持手段を移動させる移動手段とを備え、
前記面位置維持手段は、
前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢する第１付勢手段と、
前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢する第２付勢手段とを備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
前記板状部材の面位置を検出する面位置検出手段を備え、
前記面位置維持手段は、前記面位置検出手段の検出結果に応じて前記板状部材への付勢力を変化させることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
接着シートが貼付された板状部材の搬送方法であって、
前記接着シートを介して前記板状部材を移動可能に保持し、
前記保持された前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢し、前記保持された前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持することを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートが貼付された板状部材の支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置の製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）を支持する支持装置や、ウェハを支持しつつ搬送する搬送装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の搬送装置は、マウントシートによりリングフレームと一体化されたウェハを搬送する。この搬送装置は、リングフレームを支持してウェハを覆うカップと、このカップで覆われた空間内を減圧する減圧手段とを備え、減圧手段の減圧により搬送中のウェハの撓みを抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３４９４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、例えば、表側の回路面に保護シートが貼付されたウェハの場合、裏面にマウント用シートを貼付してリングフレームと一体化させた後に保護シートを剥離するときには、表裏を反転しなくてはならない。また、回路面に保護シートが貼付されていないウェハの場合でも、裏面にマウント用シートを貼付した後に回路面側からダイシングを行うときには、表裏を反転しなくてはならない。つまり、半導体装置の製造工程において、ウェハの表裏反転は、必要不可欠である。
しかしながら、特許文献１に記載の搬送装置では、ウェハにおける一方向への撓みを抑制するにあたって、減圧手段による減圧しか行うことができないため、減圧手段によって一方向への撓みを抑制した状態のまま、ウェハの表裏を反転させると、ウェハにおける他方向への撓みを助長してしまうため、ウェハを破損させてしまう。ここで、ウェハの表裏を反転させたときに減圧手段の減圧を停止させたとしても、カップ内が負圧になっているため、ウェハにおける他方向への撓みの助長を回避することはできない。また、搬送中の加減速によりウェハに慣性力が働き、カップ側に撓むような場合も、同様の理由により、ウェハの撓みを抑制できず、ウェハを破損させてしまう。
また、特許文献１に記載の搬送装置の一部、すなわちカップ以下をアームから取り外し、例えばテーブル等の固定台に取り付けてウェハを固定的に支持する支持装置として使用した場合、当該支持装置はウェハをカップの下側で水平に支持するものとしてしか使用できず、汎用性がないものとなってしまう。
【０００５】
本発明の目的は、支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制できる支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明の支持装置は、接着シートが貼付された板状部材の支持装置であって、前記接着シートを介して前記板状部材を保持する保持手段と、前記保持手段で保持された前記板状部材を付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持する面位置維持手段とを備え、前記面位置維持手段は、前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢する第１付勢手段と、前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢する第２付勢手段とを備える、という構成を採用している。
【０００７】
また、本発明の支持方法は、接着シートが貼付された板状部材の支持方法であって、前記接着シートを介して前記板状部材を保持し、前記保持された前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢し、前記保持された前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持することを特徴とする。
【０００８】
一方、本発明の搬送装置は、接着シートが貼付された板状部材の搬送装置であって、前記接着シートを介して前記板状部材を保持する保持手段と、前記保持手段で保持された前記板状部材を付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持する面位置維持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段とを備え、前記面位置維持手段は、前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢する第１付勢手段と、前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢する第２付勢手段とを備える、という構成を採用している。
【０００９】
本発明の搬送装置では、前記第１付勢手段は、前記保持手段および前記板状部材間の流体を前記一方側に吸引し、前記第２付勢手段は、前記板状部材に前記一方側から前記他方側に前記流体を吹き付けることが好ましい。
また、本発明の搬送装置では、前記保持手段は、少なくとも前記接着シートと共に密閉空間を形成し、前記第１付勢手段は、前記密閉空間内を減圧し、前記第２付勢手段は、前記密閉空間内を加圧することが好ましい。
【００１０】
本発明の搬送装置では、前記接着シートは、前記板状部材の外縁からはみ出る大きさとされ、かつ前記接着シートの前記板状部材からはみ出た側がフレームに貼付されて前記板状部材と前記フレームとが一体化され、前記保持手段は、前記フレーム部分で前記板状部材を支持可能に設けられていることが好ましい。
【００１１】
さらに、本発明の搬送装置では、前記板状部材の面位置を検出する面位置検出手段を備え、前記面位置維持手段は、前記面位置検出手段の検出結果に応じて前記板状部材への付勢力を変化させることが好ましい。
そして、本発明の搬送装置では、前記板状部材を反転させる反転手段と、前記板状部材の反転角度を検出する反転角度検出手段とを備え、前記面位置維持手段は、前記反転角度検出手段の検出結果に応じて前記板状部材への付勢力を変化させることが好ましい。
【００１２】
本発明の搬送方法は、接着シートが貼付された板状部材の搬送方法であって、前記接着シートを介して前記板状部材を移動可能に保持し、前記保持された前記板状部材が他方側に撓むときに、当該板状部材を一方側に付勢し、前記保持された前記板状部材が一方側に撓むときに、当該板状部材を他方側に付勢して前記板状部材の面位置を所定位置に維持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上のような本発明によれば、板状部材の支持姿勢や搬送動作に応じて、板状部材を一方側に付勢したり、一方側から他方側に付勢したりして板状部材の面位置を所定位置に維持することができるため、板状部材の支持姿勢や搬送動作にかかわらず、板状部材の撓みを抑制できる。例えば、面位置維持手段は、保持手段および板状部材間の流体を一方側に吸引したり、板状部材に一方側から他方側に流体を吹き付けたりする。また、面位置維持手段は、保持手段および接着シートで形成された密閉空間内を減圧したり加圧したりする。このようにして、板状部材の撓み方向とは反対の方向に付勢力を作用させることで、支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制することができる。
この際、接着シートの板状部材からはみ出た側をフレームに貼付して板状部材とフレームとを一体化し、フレーム部分で板状部材を支持することにより、板状部材に対して非接触な状態で付勢することができる。従って、板状部材を付勢する際に、板状部材の特定の部分に応力が集中することがなく、板状部材の撓みを効果的に抑制できる。
【００１４】
また、板状部材の面位置を検出する面位置検出手段を設ければ、検出された面位置により板状部材の撓みを直接的に検出できる。従って、板状部材に対する付勢力を板状部材の面位置に応じて変化させることで、支持姿勢や搬送動作によらず、板状部材の撓みを抑制できる。
【００１５】
また、板状部材を反転させる反転手段を設ければ、板状部材の支持面とは反対側の面に関する作業を行い易くなり、合わせて板状部材の反転角度を検出する反転角度検出手段を設ければ、検出された反転角度により板状部材の撓みを間接的に検出できる。従って、板状部材の撓みを直接的に検出できないような場合でも、板状部材に対する付勢力を板状部材の反転角度に応じて変化させることで、板状部材の撓みを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送装置の側面図。
【図２】図１の搬送装置の別の側面図。
【図３】図１中矢印Ｘ方向から見た搬送装置の動作模式図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る搬送装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
また、各実施形態では、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」といった方位を示す用語は、図１を基準として用いる。
【００１８】
〔第１実施形態〕
図１に示すように、本実施形態の搬送装置１は、テーブルＴ上に載置された板状部材としてのウェハＷを搬送するものである。ここで、ウェハＷは、下側に位置する表面ＷＡに回路が形成されるとともに、この回路を保護する保護シートＳが貼付されている。また、ウェハＷの上側に位置する裏面ＷＢには、接着シートとしてのマウント用シートＭＳが貼付されている。マウント用シートＭＳは、ウェハＷの外縁からはみ出る大きさとされ、マウント用シートＭＳのウェハＷからはみ出た部分がフレームとしてのリングフレームＲＦに貼付されることで、ウェハＷとリングフレームＲＦとが一体化されている。
【００１９】
搬送装置１は、ウェハＷを支持する支持装置１Ａと、支持装置１Ａを移動させる全体の図示を略する移動手段３とを備えている。また、支持装置１Ａは、マウント用シートＭＳを介してウェハＷを保持する保持手段２と、保持手段２を反転させる反転手段としての駆動機器である回動モータ４と、保持手段２の反転角度を検出する反転角度検出手段５と、ウェハＷの面位置を維持する面位置維持手段としてのファン６（第１付勢手段および第２付勢手段をも兼ねる）と、ウェハＷの面位置を検出する面位置検出手段としての位置センサ７とを備えて構成されている。なお、ファン６は、単数でも複数でもよい。
【００２０】
保持手段２は、表裏を貫通する図示しない通気孔を有する円盤状の本体部２１と、この本体部２１から立設され、同一円周上に９０度間隔で４箇所に設けられたアーム２２（一部図示省略）と、それぞれのアーム２２の下方に設けられた吸着パッド２３とを備えて構成される。この保持手段２は、マウント用シートＭＳのウェハＷからはみ出た部分に吸着パッド２３を当接させ、吸着パッド２３でマウント用シートＭＳを吸着保持してウェハＷを支持する。本実施形態の場合、吸着パッド２３でリングフレームＲＦを吸着保持してもよいし、マウント用シートＭＳとリングフレームＲＦとの両方を吸着保持してもよい。
【００２１】
移動手段３は、保持手段２を直接的または間接的に支持する支持アーム３１を含む複数のアームと、これらアーム同士を接続する複数の図示しない関節とを備えた駆動機器としての所謂多関節ロボットを含み、保持手段２を直交三軸方向で形成される空間内に移動可能に構成されている。
【００２２】
回動モータ４は、支持アーム３１の自由端（左端）に設けられ、その出力軸４１が保持手段２を同一平面内で回転可能な駆動機器としての回動モータ３２に連結されている。
【００２３】
反転角度検出手段５は、回動モータ４に設けられて、回動モータ４の出力軸４１の回転角度を検出する。このような反転角度検出手段５としては、ロータリーエンコーダやレゾルバ等の回転角度センサが例示される。本実施形態の場合、回動モータ４の回転によってウェハＷの支持姿勢が変化する。
【００２４】
ファン６は、回動モータ３２の出力軸３２Ａに連結されている。ファン６は、保持手段２の本体部２１に形成された図示しない通気孔を介して、保持手段２およびウェハＷ間の流体としての空気を吸引したり、ウェハＷに空気を吹き付けたりすることで、ウェハＷの撓み方向とは反対の方向にウェハＷを付勢して、ウェハＷの面位置を所定位置に維持する。このため、ファン６は、正逆両方向に回転自在に構成され、図１の矢印Ａに示すように、ウェハＷが保持手段２の下側に支持されている場合はウェハＷを吸引により付勢し、図２の矢印Ｂに示すように、回動モータ４により保持手段２が反転された場合はウェハＷに空気を吹き付けて付勢する。また、ファン６は、回転速度制御可能に構成され、その回転方向および回転速度を変更することにより、ウェハＷに対する付勢力を変化させる。
【００２５】
位置センサ７は、保持手段２に設けられた反射型のセンサであり、検出対象面からの反射を利用して面位置を検出する。このような位置センサ７としては、発光素子および受光素子を有する光センサや、送波器および受波器を有する超音波センサ等の位置センサが例示される。
【００２６】
以上の搬送装置１において、ファン６の回転方向および回転速度は、反転角度検出手段５の検出結果に応じて変化され、ウェハＷ、マウント用シートＭＳ、および保護シートＳに作用する重力と、ファン６の回転によるウェハＷの付勢力とが釣り合うように設定されている。すなわち、図３中ポジションＰ１で示すように、ウェハＷが保持手段２の下側で水平に支持されたときの反転角度を０°とした場合、この反転角度が０°のときにファン６の吸引による付勢力は最も大きく、反転角度の増加に伴ってファン６の回転速度を徐々に低下させて付勢力を小さくしていく。そして、ファン６の吸引による付勢力は、ポジションＰ２で示した反転角度が９０°のときにゼロとなる。
【００２７】
保持手段２の反転角度が９０°よりも大きくなると、ファン６は、回転方向を逆転させてウェハＷに空気を吹き付け始め、空気でウェハＷを押して付勢する。ファン６の空気の吹き付けによる付勢力は、反転角度が９０°のときがゼロで、反転角度の増加に伴ってファン６の回転速度を徐々に上昇させて付勢力を大きくしていく。そして、ファン６の空気の吹き付けによる付勢力は、ポジションＰ３で示した反転角度が１８０°のとき、つまりウェハＷが保持手段２の上側で水平に支持されている場合が最大となる。
【００２８】
同様に、反転角度が１８０°からポジションＰ４で示した２７０°までの間は、反転角度の増加に伴ってファン６の回転速度を徐々に低下させて、ウェハＷへの空気の吹き付けによる付勢力を最大値からゼロまで徐々に小さくしていく。そして、ファン６は、反転角度が２７０°よりも大きくなると、回転方向を正転方向に切り換えてウェハＷを吸引し始め、反転角度が２７０°から３６０°（ポジションＰ１で示した反転角度が０°）までの間は、反転角度の増加に伴ってファン６の回転速度を徐々に上昇させることで、吸引による付勢力をゼロから最大値まで徐々に大きくしていく。このようなファン６による付勢力の最大値は、ウェハＷ、マウント用シートＭＳ、および保護シートＳの重さ、曲げ剛性などの条件によって適宜に設定される。なお、ウェハＷが保持手段２の上側で水平に支持されたとき（図３中ポジションＰ３で示す状態のとき）の反転角度を０°とした場合、上記の反転角度に対する付勢力の制御は、吸引と押圧とが正反対となる。
【００２９】
また、ファン６の回転方向および回転速度を位置センサ７の検出結果に応じて変化させることもできる。すなわち、テーブルＴ上で吸着パッド２３がマウント用シートＭＳを吸着保持したときの位置センサ７からマウント用シートＭＳの上面までの距離、又は、ウェハＷの上面までの距離を検出して記憶する。そして、ウェハＷを反転させたり、加減速によりウェハに慣性力が働いたりして当該ウェハＷが撓むと、位置センサ７の検出結果が変化するため、位置センサ７の検出距離が先ほど記憶した距離と同じになるようにファン６の回転方向および回転速度を制御する。
【００３０】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、保持手段２の反転角度やウェハＷの面位置に応じて、保持手段２およびウェハＷ間の空気を吸引したり、ウェハＷに空気を吹き付けたりすることで、ウェハＷに作用する重力や慣性力と釣り合う付勢力を、ウェハＷに作用させることができる。従って、支持姿勢や搬送動作にかかわらず、ウェハＷの撓みを抑制できる。
【００３１】
また、保持手段２が、リングフレームＲＦ部分を支持することにより、保持手段２と非接触の状態でウェハＷを付勢できるため、ウェハＷの特定部分への応力集中による撓みを回避できる。
【００３２】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図４に基づいて説明する。
本実施形態の搬送装置１は、保持手段２がマウント用シートＭＳと共に密閉空間Ｖを形成し、ファン６のかわりに設けられた面位置維持手段としての加減圧ポンプ８（第１付勢手段および第２付勢手段をも兼ねる）が、この密閉空間Ｖを加圧および減圧する点で前記第１実施形態と相違する。また、搬送装置１は、位置センサ７のかわりに面位置検出手段としての圧力センサ９を備える点でも、前記第１実施形態と相違する。
【００３３】
本実施形態の保持手段２は、本体部２１と、本体部２１から立設して筒状に連続する側壁部２４とを備えて構成される。側壁部２４には、端面２５側に開口する吸引孔２６が設けられ、保持手段２は、この吸引孔２６内の空気を図示しない吸引手段で吸引してマウント用シートＭＳを吸引することにより、ウェハＷを保持する。側壁部２４の端面２５には、図示しないパッキンやシリコンゴム等の弾性部材が設けられており、保持手段２は、マウント用シートＭＳを保持することで、マウント用シートＭＳとの間に密閉空間Ｖを形成する。
【００３４】
加減圧ポンプ８は、保持手段２の本体部２１に形成された図示しない通気孔を介して、密閉空間Ｖ内の加圧および減圧を行うことでウェハＷを付勢して、ウェハＷの面位置を所定位置に維持する。このため、加減圧ポンプ８は、加圧側と減圧側とのそれぞれ独立した系統を備えて加圧及び減圧が実施可能に構成され、図４の矢印Ｃに示すように、ウェハＷが保持手段２の下側に支持されている場合は密閉空間Ｖ内を雰囲気圧から減圧してウェハＷを付勢し、回動モータ４により保持手段２が反転された場合は密閉空間Ｖ内を雰囲気圧から加圧してウェハＷを付勢する。
【００３５】
圧力センサ９は、保持手段２に設けられて密閉空間Ｖ内の圧力を検出する。このような圧力センサ９としては、ダイヤフラム型、静電容量型、圧電型、または振動型の圧力センサが例示される。
【００３６】
以上の搬送装置１において、加減圧ポンプ８は、密閉空間Ｖ内の圧力を反転角度検出手段５の検出結果に応じて変化させることで、ウェハＷへの付勢力を変化させる。この際の加減圧量は、前述した第１実施形態と同様に、ウェハＷ、マウント用シートＭＳ、および保護シートＳに作用する重力と、密閉空間Ｖ内の圧力に応じたウェハＷへの付勢力とが釣り合うように設定されている。すなわち、図３に示すように、保持手段２の反転角度が０°の場合、加減圧ポンプ８は、雰囲気圧からの減圧量が最大値となるように密閉空間Ｖ内を減圧して、ウェハＷを付勢する。加減圧ポンプ８は、反転角度が０°から９０°までの間は、反転角度の増加に伴って減圧量を徐々に小さくしてウェハＷへの付勢力を弱め、反転角度が９０°の場合に密閉空間Ｖ内を雰囲気圧として付勢力をゼロとする。
【００３７】
さらに、加減圧ポンプ８は、反転角度が９０°から１８０°までの間は、反転角度の増加に伴って、雰囲気圧からの加圧量がゼロから最大値まで徐々に大きくなるように密閉空間Ｖ内を加圧して、ウェハＷへの付勢力を徐々に大きくする。同様に、反転角度が１８０°から２７０°までの間は、密閉空間Ｖ内の加圧量を最大値からゼロまで徐々に小さくなるように変化させてウェハＷへの付勢力を弱めていき、反転角度が２７０°から３６０°までは、密閉空間Ｖ内の減圧量がゼロから最大値まで徐々に大きくなるように減圧して、ウェハＷへの付勢力を大きくしていく。なお、ウェハＷが保持手段２の上側で水平に支持されたときの反転角度を０°とした場合、上記の反転角度に対する付勢力の制御は、加圧と減圧とが正反対となる。
【００３８】
また、加減圧ポンプ８は、圧力センサ９の検出結果に応じて密閉空間Ｖ内の圧力を変化させることで、ウェハＷへの付勢力を変化させる。すなわち、ウェハＷの面位置を維持するための密閉空間Ｖ内の圧力は、静的状態においては、保持手段２の反転角度により一義的に定まるため、密閉空間Ｖ内の圧力を監視すれば、密閉空間Ｖ内の圧力変動からウェハＷの加減速による慣性力の発生を検知できる。このため、加減速により慣性力がウェハＷに作用する場合であっても、密閉空間Ｖ内の圧力の変動量に応じてウェハＷに対する付勢力を変化させることで、加減速によりウェハＷに慣性力が作用した場合でも、ウェハＷの撓みを抑制できる。
【００３９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００４０】
例えば、前記実施形態では、板状部材がウェハＷである場合を示したが、板状部材はウェハＷに限定されるものではなく、リングフレームＲＦはなくてもよいし、ウェハＷ以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材などや、板状部材以外のものも対象とすることができる。そして、ウェハＷは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示できる。そして、このような板状部材に貼付する接着シートは、マウント用シートＭＳに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、板状部材に貼付する任意の用途、形状の接着シートが適用できる。また、前記実施形態では、回路面に保護シートＳが貼付されたウェハＷを採用したが、保護シートＳが貼付されていないウェハＷを採用してもよい。
【００４１】
前記実施形態では、保持手段２を反転させる反転手段として回動モータ４を用いていたが、これに限られない。要するに、保持手段２を反転させることができればよく、例えば、移動手段３の複数の関節の動きにより保持手段２を反転させることで、移動手段３全体を反転手段として機能させてもよい。また、回動モータ４は、保持手段２を反転角度３６０°反転可能であったが、反転手段において３６０°まで反転可能とすることは必須ではない。
【００４２】
前記実施形態では、ファン６および加減圧ポンプ８を用いたウェハＷの付勢力を変化させるにあたり、反転角度検出手段５、位置センサ７、および圧力センサ９の検出結果を用いていたがこれに限られない。要するに、ウェハＷの撓みによる面位置の変化を直接的または間接的に検出できればよく、例えば、撮像手段によるウェハＷの映像からウェハＷの平面状態を検出してもよい。また、必ずしも複数の検出手段を設ける必要はなく、少なくとも位置センサ７や圧力センサ９等の面位置検出手段を設ければ、前述した本発明の効果を得ることができる。
【００４３】
前記実施形態では、位置センサ７に反射型のものを用いたがこれに限られず、ウェハＷの面位置を検出できるものであれば、他のセンサを用いてもよい。
前記実施形態では、ファン６および加減圧ポンプ８は、空気を介してウェハＷを付勢していたがこれに限られず、ウェハＷを付勢するための流体としては、窒素ガスやネオンガス等の他の気体や液体であってもよい。
また、ファン６の代わりに圧縮エアの噴き付けと減圧エアによる吸引としてもよい。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
また、前記第２実施形態では、保持手段２がマウント用シートＭＳと共に密閉空間Ｖを形成したが、保持手段２がリングフレームＲＦとマウント用シートＭＳと共に密閉空間Ｖを形成する構成としてもよい。
【００４４】
前記実施形態では、搬送装置１は反転手段として回動モータ４を備えていたが、搬送装置１が反転手段を有さない場合でも、前述した本発明の効果を得ることができる。すなわち、搬送装置１では、反転手段の有無にかかわらず、搬送中の加減速によりウェハＷに慣性力が働き、ウェハＷが撓むことがあるが、搬送装置１がファン６やポンプ８を備えていれば、ファン６またはポンプ８の付勢力によりウェハの撓みを抑制できる。
また、前記実施形態の搬送装置１の一部、すなわちファン６またはポンプ８以下を回動モータ３２の出力軸３２Ａから取り外し、例えばテーブル等の固定台に取り付けてウェハＷを固定的に支持する支持装置として使用することができる。この場合、当該支持装置は、面位置維持手段を有しているので、従来例のように、ウェハＷを保持手段２の下側で水平に支持するだけでなく、ウェハＷを保持手段２の上側で水平に支持したり、ウェハＷを保持手段２の右側または左側で垂直に支持したり、ウェハＷを保持手段２の右上側、右下側、左上側または左下側で斜めに支持したりするものとして使用することができ、従来例と比較して汎用性が向上する。なお、このような支持装置を回動モータ４に接続し、上記実施形態で図３を用いて説明したように、ウェハＷを反転させることのできる支持装置とすることもできる。
【符号の説明】
【００４５】
１      搬送装置
２      保持手段
３      移動手段
４      回動モータ（反転手段）
５      反転角度検出手段
６      ファン（面位置維持手段、第１付勢手段、第２付勢手段）
７      位置センサ（面位置検出手段）
８      ポンプ（面位置維持手段、第１付勢手段、第２付勢手段）
９      圧力センサ（面位置検出手段）
Ｗ      ウェハ（板状部材）
ＭＳ    マウント用シート（接着シート）
ＲＦ    リングフレーム（フレーム）
Ｖ      密閉空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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