【手続補正書】
【提出日】平成15年4月16日(2003.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ以上の電導性トラックを有する基体を形成し、上面及び下面を有する圧電性材料の本体を形成し；該圧電性材料の下面上に１つ以上の電導性ポイントを設け；該圧電性材料本体の下面が該トラックと該電導性ポイントを覆うように、該圧電性材料本体を該基体に付着させて圧電性材料の作動のために該トラックとの電気的接続を確立し；そして付着させた該圧電性材料内に少なくとも１つの小滴射出チャンバを形成することを特徴とする小滴付着装置を形成する方法。
【請求項２】
圧電性材料を付着する前の基体が、それぞれの電導性トラックと相互接続している集積回路接続パッドをさらに含む請求項１の方法。
【請求項３】
圧電性材料を付着する前の基体が、それぞれの伝導性トラックと相互接続する端末を有する集積回路をさらに含む請求項１または２の方法。
【請求項４】
電導性ポイントを設ける工程が、圧電性材料の下面に１つ以上のくぼみを形成しそして該くぼみに電導性材料を配置することからなる請求項１の方法。
【請求項５】
くぼみが圧電性材料を除くことにより形成される請求項４の方法。
【請求項６】
くぼみが伝導性材料により満たされる請求項４または５の方法。
【請求項７】
電導性材料の被膜が該くぼみに配置される請求項４または５の方法。
【請求項８】
１つ以上のくぼみが、次に非電導性材料により満たされる請求項７の方法。
【請求項９】
電導性材料が、圧電性材料の下面に塗布されて１つ以上の隆起した電導性ポイントを形成する請求項１−８の何れか１つの項の方法。
【請求項１０】
射出チェンバーが、圧電性材料の除去により形成される請求項１−９の何れか１つの項の方法。
【請求項１１】
射出チェンバーが、圧電性材料の上面をのこ引きして流路を設けることにより設けられる請求項１０の方法。
【請求項１２】
流路の少なくとも１つが、圧電性材料を通ってそれぞれのくぼみ中に延在する請求項１０または１１の方法。
【請求項１３】
射出チャンバーの壁に電極材料を付与するさらなる工程を含む請求項１−１２の何れか１つの項の方法。
【請求項１４】
電極材料が、電導性材料と電気的接触を確立する請求項１３の方法。
【請求項１５】
圧電性材料が、上面から材料を除くさらなる処理をうける請求項１−１４の何れか１つの項の方法。
【請求項１６】
さらなる処理がラッピングである請求項１５の方法。
【請求項１７】
カバーを、射出チェンバーを閉じるために圧電性材料の本体に付着させる請求項１−１６の何れか１つの項の方法。
【請求項１８】
カバーが、小滴液体供給マニホールドを含む請求項１７の方法。
【請求項１９】
カバーが、小滴を射出できる１つ以上のオリフィスを含む請求項１７の方法。
【請求項２０】
１つ以上の電導性トラックを有する基体；上面及び下面を有する圧電性材料の本体；該下面から該圧電性材料内に延在しそれぞれが電導性材料を含有する複数の第１流路及び該上面からそれぞれの第１流路内に延在して頂部が開放している射出チェンバーを構成している複数の第２流路をもち、該電導性トラックが該圧電材料の下に延在して該電導性材料との接続を確立し且つ該第１流路間の圧電性材料の領域への電界の付与を可能としていることを特徴とする小滴付着装置部品。
【請求項２１】
各第１流路が充填剤により満たされている請求項２０の部品。
【請求項２２】
充填剤が電導性である請求項２１の部品。
【請求項２３】
充填剤が金属を含む接着剤である請求項２２の部品。
【請求項２４】
充填剤が非電導性である請求項２１の部品。
【請求項２５】
各第１流路が、電導性材料の層をもつ請求項２０の部品。
【請求項２６】
電導性ポイントが、圧電性材料の下面から突出している請求項２０−２５の何れか１つの項の部品。
【請求項２７】
該電導性ポイントが金の隆起である請求項２６の部品。
【請求項２８】
圧電性材料及び基体が、単一の材料により機械的かつ電気的に結合している請求項２０−２７の何れか１つの項の部品。
【請求項２９】
単一の材料が、異方性の電導性接着剤である請求項２８の部品。
【請求項３０】
単一の材料がハンダである請求項２８の部品。
【請求項３１】
１つの第１流路が、電導性材料を通る切り込みにより隣接する第１流路内の電導性材料から電気的に絶縁されている請求項２０−３０の何れか１つの項の部品。
【請求項３２】
各第１流路が鋸の切り込みである請求項２０−３１の何れか１つの項の部品。
【請求項３３】
複数の第２流路が、該第１流路の対応する１つが交差するような深さまで圧電性材料中に延在している請求項２０−３２の何れか１つの項の部品。
【請求項３４】
電極材料が頂部が開放している射出チェンバーの壁に付与されている請求項２０−３３の何れか１つの項の部品。
【請求項３５】
頂部が開放している射出チェンバーが該第１流路より狭い請求項２０−３４の何れか１つの項の部品。
【請求項３６】
頂部が開放している射出チェンバーが非電導性材料中に延在している請求項２４の部品。
【請求項３７】
第１流路中の電導性材料が、非電導性材料により射出チェンバーから隔離されている請求項３６の部品。
【請求項３８】
圧電性材料がＰＺＴである請求項２０−３７の何れか１つの項の部品。
【請求項３９】
請求項２０−３９の何れか１つの項の部品の頂部が開放している射出チェンバーを閉じているノズルプレート及び／またはカバープレートをもつことを特徴とする小滴付着装置。
【請求項４０】
１つ以上の電導性トラックを有する基体；上面及び下面を有する圧電性材料の本体；及び該上面から該圧電性材料内に延在する頂部が開放している複数の平行な射出チェンバーをもち、該電導性トラックが該圧電性材料の下面の下に射出チェンバーの長さ方向に直交する方向に延在していることを特徴とする小滴付着装置部品。
【請求項４１】
上面と下面をもつ圧電性材料の本体を形成し；該下面に複数の第１流路を形成し；隣接する第１流路間にある圧電性材料の領域を横断して電界を付与するために各流路に電導性材料を付与し；該上面に該第１流路と見当の合った複数の第２流路を形成し；そして該第２流路の各々が対応する第１流路内に延在している小滴射出チェンバーを形成することを特徴とする小滴付着装置の製造方法。
【請求項４２】
１つ以上の電導性トラックをもつ基材を形成し、該圧電性材料の本体を該基材に付着させて圧電性材料の作動のために該電導性材料と該トラックとの電気的接続を確立する工程をさらに含む請求項４１の方法。
【請求項４３】
基材への圧電性材料本体の付着が第１流路の形成後であって第２流路の形成前に行なわれる請求項４２の方法。
【請求項４４】
各流路への電導性材料の付与が流路に電導性材料の層を沈着させることによって行なわれる請求項４１−４３の何れか１つの項の方法。
【請求項４５】
電導性材料の層が隣接する第１流路間にある圧電性材料の領域を横断して電界を付与する電極として作用する請求項４４の方法。
【請求項４６】
電動性材料の層を沈着させた後に各第１流路を非電導性充填剤で満たす工程をさらに含む請求項４４または４５の方法。
【請求項４７】
第２流路が第１流路内の充填剤中に延在している請求項４６の方法。
【請求項４８】
圧電性材料の本体を形成し、該圧電性材料本体中に複数の第１流路を形成し、各流路に電導性材料の層を沈着させて隣接する第１流路間にある圧電性材料の領域を横断する電界を付与できる電極を形成し、各第１流路を充填剤で満たし、該圧電性材料本体中に第１流路と見当が合い且つ第１流路より狭い複数の第２流路を形成し、各第２流路が対応する第１流路の充填剤を通って延在して充填剤によって小液滴が電極材料から離される小滴射出チェンバーを形成していることを特徴とする小滴付着装置。
【請求項４９】
１つ以上の電導性トラックをもつ基材を形成し、該基材に圧電性材料の本体を付着させて圧電性材料の作動のために該電導性層と該トラックとの電気的接続を確立する工程をさらに含む請求項４８の方法。
【請求項５０】
基材への圧電性材料本体の付着が第１流路の形成後であって第２流路の形成前に行なわれる請求項４９の方法。
【請求項５１】
圧電性材料の本体、該圧電性材料本体内にある複数の第１流路、各流路内にあって隣接する第１流路間にある圧電性材料の領域を横断して電界を付与できる電極を形成するための電導性材料の層、各第１流路内にある充填剤、該圧電性材料本体内にあり第１流路と見当が合い且つ第１流路より狭い複数の第２流路をもち、各第２流路が対応する第１流路の充填剤を通って延在して充填剤によって小液滴が電極材料から離される小滴射出チェンバーを形成していることを特徴とする小滴付着装置部品。
【請求項５２】
各第２流路が対応する第１流路の充填剤を切断した溝からなる請求項５１の部品。
【請求項５３】
該圧電性材料に付着した１つ以上の電導性トラックをもつ基材をさらに有し、該電導性層が圧電性材料の作動のために該トラックと電気的接続を確立している請求項５１または５２の部品。