(57)【要約】  プッシャユニット３の前段側に位置し、キャリアテープ５上のＴＣＰを撮影する第１カメラ６ａと、第１カメラ６ａをキャリアテープ５に沿って移動させることのできるカメラステージ６１ａと、プッシャユニット３の後段側に位置し、キャリアテープ５にパンチ穴を開けることのできるマークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂと、それらパンチ２６ａ，２６ｂの後段側に位置し、キャリアテープ５に形成されたパンチ穴を撮影する第３カメラ６ｃと、第３カメラ６ｃをキャリアテープ５に沿って移動させることのできるカメラステージ６１ｃと、をＴＣＰハンドラ２に設ける。かかるＴＣＰハンドラ２によれば、第３カメラ６ｃの視野を拡大しなくても、種々の場合におけるＴＣＰやパンチ穴を検出することができる。
2008132936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記測定部の前段側に位置し、キャリアテープ上のＴＣＰを撮影する撮像装置と、
前記撮像装置をキャリアテープに沿って移動させることのできる移動装置と
を備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記測定部の後段側に位置し、キャリアテープにパンチ穴を開けることのできるパンチ装置と、
前記パンチ装置の後段側に位置し、キャリアテープに形成されたパンチ穴を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置をキャリアテープに沿って移動させることのできる移動装置と
を備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
ＴＣＰの品種毎に前記撮像装置の標準位置を記憶する手段と、
前記撮像装置の位置を検知するセンサと、
前記センサにより検知した撮像装置の位置が前記標準位置にあるか否かを判断する手段と
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
ＴＣＰの品種毎に前記撮像装置の標準位置を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、前記移動装置は、前記撮像装置を前記標準位置に自動的に移動させることを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにプッシャユニットによりキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
上記ＴＣＰハンドラは、プッシャユニットの後段に、試験の結果に基づいてキャリアテープの所定の位置にパンチ穴を開けるマークパンチや、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くリジェクトパンチを備えている。【０００５】
また、上記ＴＣＰハンドラは、プッシャユニットの前段に、キャリアテープ５上のＴＣＰを検出するためのカメラ（前段カメラ）を備えており、マークパンチ・リジェクトパンチの後段に、キャリアテープ５に形成されたパンチ穴を検出するカメラ（後段カメラ）を備えている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、最近のＴＣＰハンドラでは、試験効率の向上のために、２個のＴＣＰを同時に試験に付すことがあり、また、ＴＣＰの種類によっては、非常に大きなものがある（例えばプラズマディスプレイパネル用のデバイス）。このような場合、上記前段カメラの視野から２個のＴＣＰの一方が外れたり、大きなＴＣＰの一部が視野に入らないことがある。また、上記後段カメラの視野からパンチ穴が外れることがある。【０００７】
かかる問題を解決するために、撮影倍率を下げてカメラの視野を拡大することが行われているが、撮影倍率を下げると、いきおい検出精度の低下を招いてしまう。【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、撮像装置の視野を拡大しなくても、種々の場合におけるＴＣＰやパンチ穴を検出することのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記測定部の前段側に位置し、キャリアテープ上のＴＣＰを撮影する撮像装置と、前記撮像装置をキャリアテープに沿って移動させることのできる移動装置とを備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【００１０】
上記発明（発明１）によれば、通常では、同時測定に係る複数個のＴＣＰのうちの１個のＴＣＰや大きいＴＣＰの一部が撮像装置の視野に入らない場合であっても、移動装置によって撮像装置を移動させることにより、撮像装置の視野を拡大しなくても、撮像装置の視野に複数個のＴＣＰを入れること、または大きいＴＣＰの全体を入れることができる。したがって、撮影倍率を下げなくても目的とするＴＣＰを撮影することができ、高い精度でＴＣＰを検出することができる。【００１１】
第２に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、ＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記測定部の後段側に位置し、キャリアテープにパンチ穴を開けることのできるパンチ装置と、前記パンチ装置の後段側に位置し、キャリアテープに形成されたパンチ穴を撮影する撮像装置と、前記撮像装置をキャリアテープに沿って移動させることのできる移動装置とを備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明２）。【００１２】
上記発明（発明２）によれば、通常では、同時測定に係る複数個のＴＣＰのうちの１個のＴＣＰのパンチ穴が撮像装置の視野に入らない場合であっても、移動装置によって撮像装置を移動させることにより、撮像装置の視野を拡大しなくても、撮像装置の視野に複数個のＴＣＰのパンチ穴を入れることができる。したがって、撮影倍率を下げなくても目的とするパンチ穴を撮影することができ、高い精度でパンチ穴を検出することができる。【００１３】
上記発明（発明１，２）においては、ＴＣＰの品種毎（品種が同じで同時測定数が変わる場合も含む）に前記撮像装置の標準位置を記憶する手段と、前記撮像装置の位置を検知するセンサと、前記センサにより検知した撮像装置の位置が前記標準位置にあるか否かを判断する手段とを備えていてもよい（発明３）。かかる発明によれば、撮像装置が標準位置にないと判断した場合には、その判断結果に基づいて、移動装置により撮像装置を標準位置に移動させることができる。【００１４】
また、上記発明（発明１，２）においては、ＴＣＰの品種毎（品種が同じで同時測定数が変わる場合も含む）に前記撮像装置の標準位置を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、前記移動装置は、前記撮像装置を前記標準位置に自動的に移動させるようにしてもよい（発明４）。かかる発明によれば、品種切り替え時における撮像装置のセッティング時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、複数個同時測定の場合やデバイスが大きい場合であっても、撮像装置の視野を拡大することなく、ＴＣＰまたはパンチ穴を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるカメラおよびセンサの概略図である。
【図３】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける第１カメラによるモニター画像の図である。
【図４】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける第１カメラによるモニター画像の図である。
【図５】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける第３カメラによるモニター画像の図である。
【符号の説明】
【００１７】
１…ＴＣＰ試験装置
２…ＴＣＰハンドラ（ＴＣＰハンドリング装置）
２６ａ…マークパンチ（パンチ装置）
２６ｂ…リジェクトパンチ（パンチ装置）
５…キャリアテープ
５１…ＴＣＰ
５２…パンチ穴
６ａ，６ｂ，６ｃ…カメラ（撮像装置）
６１ａ，６１ｃ…カメラステージ（移動装置）
９Ｃ，９Ｒ，９Ｌ…センサ
１０…テストヘッド
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるカメラおよびセンサの概略図であり、図３〜図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるモニター画像の図である。【００１９】
まず、本発明の実施形態に係るＴＣＰハンドラを備えたＴＣＰ試験装置の全体構成について説明する。ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成されている。【００２０】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものである。なお、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２において、Ｘ軸は、テストヘッド１０上のキャリアテープ５の搬送方向（図１中左右方向）を示し、Ｙ軸は、水平面においてＸ軸と直交する方向（図１中紙面を貫通する方向）を示し、Ｚ軸は、垂直方向（図１中上下方向）を示す。【００２１】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００２２】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００２３】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００２４】
巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００２５】
そして、イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられている。【００２６】
図１に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。【００２７】
このプッシャ本体部３３の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。【００２８】
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられており、所望の張力でキャリアテープ５を保持するようになっている。【００２９】
プッシャフレーム３６の背面側には、図示しないプッシャステージが設けられている。このプッシャステージによれば、プッシャユニット３をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動させることができる。したがって、プッシャユニット３のプッシャ本体部３３が、吸着プレート３４によってキャリアテープ５を吸着保持している状態でプッシャユニット３を上記のように移動させることにより、キャリアテープ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸回りに移動させて、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブ８１との位置合わせを行うことができる。【００３０】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。このプローブカードステージ７によれば、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、およびＺ軸回りに回転移動させることができる。【００３１】
プローブカード８は、複数のプローブ８１を備えており、各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。【００３２】
図１に示すように、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（プローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。【００３３】
プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個のパンチ穴を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００３４】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なようにモニター（図示せず）に表示させる。【００３５】
第１カメラ６ａは、プッシャユニット３に供給されるキャリアテープ５上のＴＣＰをあらかじめ検出するためのものであり、第２カメラ６ｂは、ＴＣＰとプローブ８１との位置関係を見たり、両者の位置ずれ情報を取得するためのものであり、第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるマークパンチ２６ａまたはリジェクトパンチ２６ｂによるパンチ穴を検出するためのものである。【００３６】
図１および図２に示すように、本実施形態における第１カメラ６ａは、カメラステージ６１ａ上に搭載されている。このカメラステージ６１ａは、その内部に設けられたアクチュエータの駆動により、第１カメラ６ａをＸ軸方向（キャリアテープ５に沿った方向）に移動させることができるものである。また、本実施形態における第３カメラ６ｃは、カメラステージ６１ｃ上に搭載されている。このカメラステージ６１ｃも、その内部に設けられたアクチュエータの駆動により、第３カメラ６ｃをＸ軸方向（キャリアテープ５に沿った方向）に移動させることができるものである。【００３７】
ＴＣＰハンドラ２が２個のＴＣＰを同時に試験に付す場合、第１カメラ６ａがカメラステージ６１ａによってＸ軸方向に移動可能であることにより、例えば図３（ａ）に示すように、通常では第１カメラ６ａの視野から２個のＴＣＰ５１の一方が外れる場合であっても、カメラステージ６１ａによって第１カメラ６ａをＸ軸方向（図３中左側）に移動させることにより、第１カメラ６ａの視野を拡大しなくても（撮影倍率を下げなくても）、図３（ｂ）に示すように、第１カメラ６ａの視野に２個のＴＣＰ５１を入れることができる。【００３８】
また、ＴＣＰハンドラ２が大きいＴＣＰを試験に付す場合、例えば図４（ａ）に示すように、通常では第１カメラ６ａの視野にＴＣＰ５１の一部が入らない場合であっても、カメラステージ６１ａによって第１カメラ６ａをＸ軸方向（図４中左側）に移動させることにより、第１カメラ６ａの視野を拡大しなくても（撮影倍率を下げなくても）、図４（ｂ）に示すように、第１カメラ６ａの視野にＴＣＰ５１全体を入れることができる。【００３９】
したがって、上記第１カメラ６ａおよびカメラステージ６１ａによれば、撮影倍率を下げなくても目的とするＴＣＰを撮影することができるため、高い精度でＴＣＰを検出することができる。【００４０】
また、ＴＣＰハンドラ２が２個のＴＣＰを同時に試験に付す場合、第３カメラ６ｃがカメラステージ６１ｃによってＸ軸方向に移動可能であることにより、例えば図５（ａ）に示すように、通常では第３カメラ６ｃの視野から２個のＴＣＰ５１の一方のＴＣＰ５１に係るパンチ穴５２が外れる場合であっても、カメラステージ６１ｃによって第３カメラ６ｃをＸ軸方向（図５中左側）に移動させることにより、第３カメラ６ｃの視野を拡大しなくても（撮影倍率を下げなくても）、図５（ｂ）に示すように、第３カメラ６ｃの視野に２個のＴＣＰ５１のパンチ穴５２を入れることができる。なお、図５中、左側のパンチ穴５２は、リジェクトパンチ２６ｂによる打ち抜き穴であり、右側のパンチ穴５２は、マークパンチ２６ａによるマーク用のパンチ穴である。【００４１】
したがって、上記第３カメラ６ｃおよびカメラステージ６１ｃによれば、撮影倍率を下げなくても目的とするパンチ穴を撮影することができるため、高い精度でパンチ穴を検出することができる。【００４２】
上記のような第１カメラ６ａまたは第３カメラ６ｃの移動は、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中に行うこともできるが、ＴＣＰハンドラ２の初期設定時にあらかじめ行うことが好ましい。この場合、オペレータが、モニターを見ながらカメラステージ６１ａおよびカメラステージ６１ｃを操作して、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃの最適位置を決定する。【００４３】
ＴＣＰハンドラ２は、上記のようにして決定した第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃの最適位置を、ＴＣＰの品種毎（品種が同じで同時測定数が変わる場合も含む）に標準位置（例えば、センター、ライト、レフト等）として記憶することが好ましい。そして、ＴＣＰハンドラ２は、ＴＣＰの品種切り替えのときに、当該ＴＣＰについて記憶した標準位置を読み出し、その情報に基づいて、カメラステージ６１ａおよびカメラステージ６１ｃによって第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃを標準位置に自動的に移動させることが好ましい。これにより、品種切り替え時における第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃのセッティング時間を短縮することができる。【００４４】
ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、ＴＣＰの品種切り替えのときに、オペレータが、カメラステージ６１ａおよびカメラステージ６１ｃを操作して、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃを標準位置に移動させるようにしてもよい。【００４５】
上記の場合、ＴＣＰハンドラ２は、図２に示すように、第１カメラ６ａの位置を検知するセンサ９Ｃ，９Ｒ，９Ｌを有するとともに、第３カメラ６ｃの位置を検知するセンサ９Ｃ，９Ｒ，９Ｌを有することが好ましい。センサ９Ｃ，９Ｒ，９Ｌは、Ｘ軸方向に並んで設けられており、第１カメラ６ａまたは第３カメラ６ｃがセンターに位置する場合には、センサ９Ｃがそれを検知し、第１カメラ６ａまたは第３カメラ６ｃがセンターより右側に位置する場合には、センサ９Ｒがそれを検知し、第１カメラ６ａまたは第３カメラ６ｃがセンターより左側に位置する場合には、センサ９Ｌがそれを検知する。【００４６】
ＴＣＰハンドラ２は、上記センサ９Ｃ，９Ｒ，９Ｌによって第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃの位置を検知し、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃが被試験ＴＣＰに対応する標準位置にあるか否かを判断する。そして、第１カメラ６ａまたは第３カメラ６ｃが標準位置にないと判断した場合には、アラートを発する。これにより、オペレータは、カメラステージ６１ａまたはカメラステージ６１ｃを操作して、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃを確実に標準位置に移動させることができる。【００４７】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００４８】
例えば、第１カメラ６ａのカメラステージ６１ａまたは第３カメラ６ｃのカメラステージ６１ｃのいずれか一方は、省略されてもよい。また、センサ９Ｃ，９Ｒ，９Ｌは省略されてもよいし、３個よりも多く、例えば５個、７個等設けられてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置において、撮像装置によって精度良くＴＣＰまたはパンチ穴を検出するのに有用である。
【図１】
2008132936.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2008132936.tif 000008
2008132936.tif 000009
2008132936.tif 000010
2008132936.tif 000011