【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に、低屈折率層と高屈折率層からなる第１の交互周期層と、中間屈折率層と前記高屈折率層からなる第２の交互周期層と、前記低屈折率層と前記高屈折率層からなる第３の交互周期層とをこの順に備え、
前記中間屈折率層の屈折率は、前記低屈折率層の屈折率より高く前記高屈折率層の屈折率より低く、
前記中間屈折率層は前記低屈折率層の材料と前記高屈折率層の材料とを含むことを特徴とするダイクロイックミラー。
【請求項２】
前記中間屈折率層の屈折率層の屈折率は１．６以上１．８以下である請求項１記載のダイクロイックミラー。
【請求項３】
前記第２の交互周期層の周期数は７以上１２以下であり、前記第１の交互周期層と前記第３の交互周期層の合計層数は７層以上１２層以下である請求項１記載のダイクロイックミラー。
【請求項４】
前記低屈折率層はＳｉＯ２であり、前記高屈折率層はＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２のいずれか、もしくはこれらの混合物からなることを特徴とする請求項１記載のダイクロイックミラー。
【請求項５】
光源と、画像形成手段としてのライトバルブと、前記光源の放射光を前記ライトバルブ上に集光する照明光学系と、前記照明光学系からの照明光を赤，緑，青の３原色光に分解し且つ前記３原色光を合成する色分解合成光学系と、前記ライトバルブ上に形成された光学像をスクリーン上に拡大投写する投写レンズとを具備し、前記色分解合成光学系は請求項１記載のダイクロイックミラーを少なくとも１つ用いていることを特徴とする投写型表示装置。
【請求項６】
前記色分解合成光学系は青反射ダイクロイックミラー及び赤反射ダイクロイックミラーを有し、少なくとも一方のダイクロイックミラーに対する媒質側からの光の線入射角が３０゜以上であることを特徴とする請求項５記載の投写型表示装置。
【請求項７】
透明基板上に、低屈折率層と高屈折率層からなる第１の交互周期層と、前記低屈折率層と中間屈折率層からなる第２の交互周期層と、前記低屈折率層と前記高屈折率層からなる第３の交互周期層とをこの順に備え、
前記中間屈折率層の屈折率は、前記低屈折率層の屈折率より高く前記高屈折率層の屈折率より低く、
前記中間屈折率層は前記低屈折率層の材料と前記高屈折率層の材料とを含むことを特徴とするダイクロイックミラー。
【請求項８】
前記中間屈折率層の屈折率層の屈折率は１．８以上２以下である請求項７記載のダイクロイックミラー。
【請求項９】
前記第２の交互周期層の周期数は７以上１２以下であり、前記第１の交互周期層と前記第３の交互周期層の合計層数は７層以上１２層以下である請求項７記載のダイクロイックミラー。
【請求項１０】
前記低屈折率層はＳｉＯ２であり、前記高屈折率層はＮｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２のいずれかであることを特徴とする請求項７記載のダイクロイックミラー。
【請求項１１】
光源と、画像形成手段としてのライトバルブと、前記光源の放射光を前記ライトバルブ上に集光する照明光学系と、前記照明光学系からの照明光を赤，緑，青の３原色光に分解し且つ前記３原色光を（明確に）（０００３）合成する色分解合成光学系と、前記ライトバルブ上に形成された光学像をスクリーン上に拡大投写する投写レンズとを具備し、前記色分解合成光学系は請求項７記載のダイクロイックミラーを少なくとも１つ用いていることを特徴とする投写型表示装置。
【請求項１２】
前記色分解合成光学系は青反射ダイクロイックミラー及び赤反射ダイクロイックミラーを有し、少なくとも一方のダイクロイックミラーに対する媒質側からの光の線入射角が３０゜以上であることを特徴とする請求項１１記載の投写型表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
図１２はダイクロイックミラーの分光透過率であり、図１２（ａ）は青反射ダイクロイックミラー、図１２（ｂ）は赤反射ダイクロイックミラーの分光透過率である。いずれのダイクロイックミラーもガラス基板上に低屈折率層の誘電体薄膜と高屈折率層の誘電体薄膜の交互周期層を積層させたものであり、低屈折率層として屈折率が１．４６のＳｉＯ２、高屈折率層として屈折率が２．３のＮｂ２Ｏ５を用いている。青反射ダイクロイックミラーは青色光と緑色光を分離する波長帯の透過率５０％を示す波長（以下、半値波長と呼ぶ）が５０５ｎｍ付近であり、赤反射ダイクロイックミラーは赤色光と緑色光を分離する半値波長が５９５ｎｍ付近である。赤反射ダイクロイックミラーは半値波長付近の透過率曲線が直線的に立ち上がっているのに対し、青反射ダイクロイックミラーの半値波長付近の透過率曲線は透過率５０％付近で階段状となっていることがわかる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため本発明のダイクロイックミラーは、透明基板上に、低屈折率層と高屈折率層からなる第１の交互周期層と、中間屈折率層と前記高屈折率層からなる第２の交互周期層と、前記低屈折率層と前記高屈折率層からなる第３の交互周期層とをこの順に備え、前記中間屈折率層の屈折率は、前記低屈折率層の屈折率より高く前記高屈折率層の屈折率より低く、前記中間屈折率層は前記低屈折率層の材料と前記高屈折率層の材料とを含むことを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の投写型表示装置は、光源と、画像形成手段としてのライトバルブと、前記光源の放射光を前記ライトバルブ上に集光する照明光学系と、前記照明光学系からの照明光を赤，緑，青の３原色光に分解し且つ前記３原色光を合成する色分解合成光学系と、前記ライトバルブ上に形成された光学像をスクリーン上に拡大投写する投写レンズとを具備し、前記色分解合成光学系は上記のダイクロイックミラーを少なくとも１つ用いていることを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、本発明の他のダイクロイックミラーは、透明基板上に、低屈折率層と高屈折率層からなる第１の交互周期層と、前記低屈折率層と中間屈折率層からなる第２の交互周期層と、前記低屈折率層と前記高屈折率層からなる第３の交互周期層とをこの順に備え、
前記中間屈折率層の屈折率は、前記低屈折率層の屈折率より高く前記高屈折率層の屈折率より低く、
前記中間屈折率層は前記低屈折率層の材料と前記高屈折率層の材料とを含むことを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の他の投写型表示装置は、光源と、画像形成手段としてのライトバルブと、前記光源の放射光を前記ライトバルブ上に集光する照明光学系と、前記照明光学系からの照明光を赤，緑，青の３原色光に分解し且つ前記３原色光を合成する色分解合成光学系と、前記ライトバルブ上に形成された光学像をスクリーン上に拡大投写する投写レンズとを具備し、前記色分解合成光学系は上記のダイクロイックミラーを少なくとも１つ用いていることを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
低屈折率層２の材質はＳｉＯ２で屈折率が１．４６、高屈折率層３の材質はＮｂ２Ｏ５で屈折率が２．３、中間屈折率層４の材質は低屈折率層２のＳｉＯ２と高屈折率層３のＮｂ２Ｏ５からなる混合層であり屈折率が１．７である。中間屈折率層はＳｉＯ２とＮｂ２Ｏ５とを同時に蒸着し、それぞれの成膜速度を制御して混合比をコントロールすることによって所望の屈折率を得る。成膜方法としてはＳｉ基板とＮｂ基板を蒸着ターゲットとした反応性スパッタリングを採用すれば屈折率の再現性が高い良好な中間屈折率層を形成できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
高屈折率層として本実施の形態においてはＮｂ２Ｏ５を用いたが、他にＴａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２のいずれか、もしくはこれらの混合物を用いても良い。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
低屈折率層４２の材質はＳｉＯ２で屈折率が１．４６、高屈折率層４３の材質はＮｂ２Ｏ５で屈折率が２．３、中間屈折率層４４の材質は低屈折率層４２のＳｉＯ２と高屈折率層４３のＮｂ２Ｏ５からなる混合層であり屈折率が１．９である。中間屈折率層はＳｉＯ２とＮｂ２Ｏ５とを同時に蒸着し、それぞれの成膜速度を制御して混合比をコントロールすることによって所望の屈折率を得る。成膜方法としてはＳｉ基板とＮｂ基板を蒸着ターゲットとした反応性スパッタリングを採用すれば屈折率の再現性が高い良好な中間屈折率層を形成できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
高屈折率層として本実施の形態においてはＮｂ２Ｏ５を用いたが、他にＴｉＯ２を用いても良い。