(57)【要約】  インダクタ結合を用いて信号伝送を行う半導体装置が開示される。該半導体装置は、1つの送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上、または複数の送信コイルと１つの受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上、または複数の送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上有する。
2008102814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インダクタ結合を用いて信号伝送を行う半導体装置において、
1つの送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記各受信コイルに生じた信号を受信する信号受信器と、複数の前記信号受信器の出力を演算し、信号伝送結果を出力する演算装置と、をさらに有する、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記演算装置は、前記各信号受信器の出力結果が前記信号伝送結果に与える寄与度を任意に制御可能である、請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記演算装置の演算内容をチップ実装後に任意に制御可能である、請求項２または３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記信号受信器の増幅率または閾値がチップ実装後に任意に制御可能である、請求項２から請求項４のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項６】
前記受信コイルの径が、前記送信コイルの径と同等の大きさか、または、前記送信コイルの径よりも小さい、請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項７】
インダクタ結合を用いて信号伝送を行う半導体装置において、
複数の送信コイルと１つの受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上有することを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
前記各送信コイルに電流を流す信号送信器をさらに有する、請求項７に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記各信号送信器の送信信号が信号伝送結果に与える寄与度を任意に制御可能である、請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記各信号送信器に信号を入力する送信信号発生器をさらに有し、前記送信信号発生器の動作をチップ実装後に任意に制御可能である、請求項９に記載の半導体装置。
【請求項１１】
インダクタ結合を用いて信号伝送を行う半導体装置において、
複数の送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上有することを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
前記各受信コイルに生じた信号を受信する信号受信器と、前記各送信コイルに電流を流す信号送信器と、をさらに有する、請求項１１に記載の半導体装置。
【請求項１３】
前記信号送信器の送信信号と前記信号受信器の出力結果のいずれか一方、またはその両方が信号伝送結果に与える寄与度を任意に制御可能である、請求項１２に記載の半導体装置。
【請求項１４】
前記信号受信器の出力結果を入力とする演算装置と、前記信号送信器に信号を入力する送信信号発生器と、をさらに有し、
前記演算装置の演算内容をチップ実装後に任意に制御可能であり、また、前記送信信号発生器の動作をチップ実装後に任意に制御可能である、請求項１２または請求項１３に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置に関し、特に、垂直方向に集積された各チップ層間における、電磁誘導コイルによる電磁結合（インダクタ結合）を用いて信号伝送を行なう半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路は、半導体集積回路を構成するトランジスタ素子の微細化によって集積密度が向上している。このため、１つのチップから構成される半導体集積装置に多種類の機能が搭載されるようになってきている。また、半導体メモリ装置においても、トランジスタ素子の微細化に伴ってＤＲＡＭ（ダイナミック型ランダムアクセスメモリ）やＳＲＡＭ（スタティック型ランダムアクセスメモリ）など、メモリ回路の種類を問わず、メモリ容量の大容量化が進んできた。【０００３】
しかしながら、近年では、集積密度をさらに上げ、その結果多機能性や大容量を得るための新しい技術の開発が求められている。これは、第１に、トランジスタ素子の微細化で得られる機能向上や容量向上以上に、半導体チップに多機能性や大容量が求められ、第２に、トランジスタ素子の微細化には限界がある、などのためである。【０００４】
その一技術として複数の半導体チップを積層した積層型半導体装置、いわゆる３次元半導体が提案されている。例えば、半導体チップを積層してチップ面積を変えずに大規模集積回路を実現する手段として、半導体集積回路本体の上に積層した別チップにメモリ回路を集積している例が特許文献１に記載されている。また、同様に、チップ面積を変えずに大規模集積回路を実現する手段として、メモリセルアレイを多層化してさらに大容量化した多層メモリ構造が特許文献２に記載されている。【０００５】
複数の半導体チップを多層化した場合には、今までのチップ面内の配線に加えて、チップ間の配線が必要となる。チップ間の配線としては、ワイヤボンディングを利用した接続が多く用いられている。しかし、積層型半導体にワイヤボンディングを適用した場合、ワイヤボンディングはチップの表面に設けられたパッド間を接続するため、第１にパッドに例えば100μｍ四方など、ある程度パッド面積が必要になることから使用可能な配線の数が限られてしまう、第２に、半導体チップの表面に設けられたパッドをチップ外部から接続可能にするようにパッドを積層されたチップの外側に設ける必要があるため、同じ形状の半導体チップを積層した場合、ボンディングワイヤ用のパッドを取り出せなくなる、などの問題がある。【０００６】
これらの問題点を解決する方法として、大きく二つのデータ伝送技術が開発されている。【０００７】
第１の技術は、半導体チップを貫通した貫通配線である。Takahashiらの報告(非特許文献１）では、シリコンチップを５０μｍまで薄膜化し、チップに１０μｍ角の孔を開けて、そこに金属を充填してチップ間配線用の貫通配線を形成している。この貫通配線によってチップ間配線はチップ面内で２次元に配置でき、数百本のチップ間配線も可能になる。加えて、チップ間配線がチップを貫通して配線されるため、同じ形状の半導体チップを積層することが可能となる。【０００８】
第２の技術は、複数の半導体チップ間のデータ伝送を、非接触インターフェース技術を用いて行うものである。非接触インターフェース技術には、大別して、容量を用いる容量性結合伝送技術と、インダクタを用いるインダクタ結合伝送技術がある。例えば、Kandaらの報告（非特許文献２）では、半導体チップ上に４０μｍ間隔でパッドを設け、複数のチップの表面同士を互いに向かい合わせて積層することで、パッド間に容量性結合を作り、その容量性結合間でデータ伝送する方式および回路が紹介されている。また、Mizoguchiらの報告（非特許文献３）では、半導体チップ上に１００μｍ間隔で半導体配線領域にスパイラルインダクタによるコイルを形成し、複数のチップを互いのチップ表面と裏面とを向かい合わせながら積層することで、インダクタ結合を作り、そのインダクタ結合間でデータ伝送する方式および回路が紹介されている。【０００９】
これら、貫通配線、容量結合、インダクタ結合などの技術を用いて複数の半導体チップを積層化すれば、例に示したメモリ回路に限らず、ロジック回路やアナログ回路なども積層することが可能で、メモリの大容量化に加えて多機能化も実現可能となる。【００１０】
しかしながら、貫通配線技術では、データ伝送のために半導体チップの表面と裏面を接続させるように、半導体チップの半導体基板に貫通ビアと呼ばれる穴を形成し、その貫通ビアを金属などの導電性材料を用いて配線を形成する工程や、貫通配線と半導体基板とを絶縁するための絶縁材料を設ける工程など、が必要である。このため、半導体形成プロセスが煩雑になり、または、半導体製造コストの高騰、期間の長期化などの問題がある。一方、容量結合技術では、複数のチップの表面に形成されたパッド部分を互いに向かい合わせて容量結合部を形成することから、積層するチップは互いに表面同士を向かい合わせる必要がある。その結果、チップの積層数は２層に限定されてしまうため、３層以上のチップ積層や、多機能化、大容量化が制限されることになる。【００１１】
したがって、３層以上にチップを積層する技術として、インダクタ結合を用いた非接触インターフェース技術が、半導体装置の多機能化、大容量化に寄与する可能性が高い。【００１２】
ここで、インダクタ結合を用いた非接触インターフェース技術について簡単に説明する。図１はチップ間でデータ送受信を行うための従来の送信部および受信部の構成例を示すブロック図である。ここでは、１つのチップから他のチップに１ビットのデータを送る場合とする。また、信号電圧が示すデータの極性は、信号電圧が接地（グランド）電位であれば「０」とし、信号電圧が接地電位とは異なる電圧で予め決められた所定の電圧であれば「１」とする。【００１３】
図１に示すように、データを送信する側のチップ７０１の送信部には、送信コイル７０３と送信器７０２とが設けられている。送信器７０２は内部に電流方向可変電流源を持ち、データ入力端子に入力される送信データ７０４に対応して電流方向を変える。電流方向は、図１において電流が送信コイル７０３の図左から図右に流れる場合を正とし、その反対の向きを負とする。以下、コイルが水平に描かれている場合は電流が左から右に流れる場合を正、逆の向きを負とし、コイルが垂直に描かれている場合は、電流が上から下に流れる場合を正、逆の向きを負とする。データを受信する側のチップ７０６の受信部には、受信コイル７０７と、受信コイル７０７に並列に接続された受信器７０８が設けられている。受信器７０８は、受信コイル７０７に発生する電流変化を読み取る。送信コイル７０３と受信コイル７０７がチップ面の垂直方向でほぼ重なる位置になるように、チップ７０１とチップ７０６が積層されている。【００１４】
データ入力端子に入力される送信データ７０４の極性が「１」の場合、送信クロック７０５に同期させて電流方向可変電流源は送信コイル７０３に正の向きに電流を流す。送信コイル７０３に電流が流れると、電磁誘導現象によって送信コイル７０３内に磁界が発生し、受信コイル７０７に電流が発生する。受信器７０８は、受信コイル７０７に発生した電流変化を読み取る。同様に、送信データ７０４の極性が「０」の場合も、受信コイル７０７に送信コイル７０３に流れる電流の方向に依存した向きの電流が発生するので、受信器７０８が誘導電流を読み取る。送信データ７０４によって受信コイル７０７に発生する誘導電流の向きが異なるので、データ出力端子から出力される受信データ７０９は送信データ７０４の極性に対応したものとなる。このようにして、積層した複数のチップ間にデータ伝送のための配線を設けなくても、チップ間でデータを伝送することが可能となる。【００１５】
ここで、図１のインダクタ結合を用いた信号伝送におけるタイミングチャートを図２に、送信回路例の回路図を図３に、受信回路例の回路図を図４に合わせて示す。【００１６】
上述した信号伝送方式は、チップ上に製作された送信用コイルに電流を流し、送信用コイルが形成されたチップとは別のチップに形成された受信用コイルに電気信号を誘導させ、その信号を観測することで信号を伝送するものである。そのため、この伝送方式において、高速信号伝送や低エラーレートなどの高品位の信号伝送を行うには、Ｓ/Ｎ比を確保するために、受信コイルに誘導される信号を大きくしなければならない。この受信コイルに誘導される信号は、送受信コイル間の相互インダクタンスに比例する。この相互インダクタンスは、受信コイルの自己インダクタンス、送信コイルの自己インダクタンス、コイル間の結合係数に比例する。ここで、結合係数は、コイルの相対位置に依存しているので、高品位信号伝送を実現するには、各チップに形成された電磁誘導コイルの位置を極端に高い精度で調整する必要がある。【００１７】
仮に、コイル位置がずれると、相互インダクタンスの減少に伴い信号強度が低下してしまう。しかしながら、上記関連技術では、各チップ間の相対位置を高精度に維持しながら実装することが非常に困難である。仮に、高精度な実装を実現したとしても実装コストの増大を招く。また、チップ実装後にコイル位置を変更できないので、伝送速度が制限され、エラーレートを十分に下げることができなかい。【００１８】
また、これまで積層ＳＩＰ技術で用いられてきたワイヤボンドは、ある程度接続位置の変更が可能なため、汎用チップ同士の積層なども可能であった。しかしながら、従来のインダクタ結合を用いた信号伝送装置は、送信コイルと受信コイルの位置を高精度に合わせなければならないため、専用設計のチップを用いるか、送信コイルと受信コイルの位置を合わせたようなチップを用いる必要があった。このため、製造コストの増大につながっていた。【００１９】
さらに、半導体装置製造時におけるデバイス特性のばらつきの影響によって、信号伝送の際のエラーレートを十分に下げられなくなってしまう。例えば、受信器のトランジスタの間の特性にばらつきが発生すると、入力信号にオフセットが加えられたような状態になってしまい、信号の誤伝送につながる。【００２０】
また、従来は送信コイルの真下に実装された受信コイル内を貫通する磁束によって発生した誘導電流のみを用いて信号を受信していたため、送信コイルの真下に向かい受信コイルを貫いた磁束以外の周囲に広がった磁束は無駄になってしまっており、その分だけ、送信コイルに流す電流量を大きくすることで、信号伝送を行っていた。そのため、送信電力が大きくなってしまい、消費電力の増大を招いていた。
【特許文献１】特開平４−１９６２６３号公報
【特許文献２】特開２００２−２６２８３号公報
【非特許文献１】K. Takahashi et al., JapaneseJournal of Applied Physics, 40, 3032(2001)
【非特許文献２】K. Kanda, et al., InternationalSolid-State Circuits Conference, 2003
【非特許文献３】D. Mizoguchi, et al.,International Solid-State Circuits Conference, 2004
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明の目的は、半導体装置製造時の特性ばらつきの影響を緩和し、高精度の位置あわせ制御を要求しない、高品位の信号伝送が可能な半導体装置を提供することである。【００２２】
本発明の他の目的は、送信コイルが発生した信号を効率的に受信して、消費電力を削減可能な半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の第１の態様では、1つの送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上配置する。【００２４】
本発明の第２の態様では、複数の送信コイルと１つ受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上配置する。【００２５】
本発明の第３の態様は、第１の態様と第２の態様の組み合わせであり、複数の送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上配置する。【００２６】
本発明によれば、チップ実装後に信号受信器が持つ演算装置の演算方法を制御し、または、信号送信器が持つ送信信号発生器の信号を制御し、またはそれらの両方を行うことで、チップ実装の際による位置ずれや、半導体デバイス製造時のばらつきによるオフセットや、外乱の影響を取り除き、高品位の信号伝送が可能となる。【００２７】
さらに、送信器が伝送する信号を有効に利用できるために、半導体装置の送信電力の削減可能になり、かつ、伝送距離の拡大も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１はチップ間でデータ送受信を行うための従来の送信部および受信部の構成例を示すブロック図である。
【図２】図２は図１のインダクタ結合を用いた信号伝送におけるタイミングチャートである。
【図３】図３は図１の送信部の回路例を示す図である。
【図４】図４は図１の受信部の回路例を示す図である。
【図５】図５は本発明の第1の実施の形態による半導体装置における受信部のブロック図である。
【図６】図６は第１の実施形態において、送信コイルと受信コイルの相対位置関係を明らかにするための模式的平面図である。
【図７】図７は第１の実施形態において、送信コイルに時計回りに電流が流れるように信号を入力した場合、すなわち送信データが「１」である場合の受信コイルに流れる電流を示す図である。
【図８】図８は第１の実施形態において、送信コイルに反時計回り向きの電流をした入力した場合、すなわち送信データが「０」の場合の受信コイルに流れる電流を示す図である。
【図９】図９は第１の実施形態において、信号受信器が誤動作した場合の受信コイルに流れる電流を示す図である。
【図１０】図１０は第１の実施形態において、チップ実装時の位置ずれが発生した様子を示す図である。
【図１１】図１１は第１の実施の形態の送受信コイル対を複数実装した半導体装置の例を示す図である。
【図１２】図１２は受信コイルと信号受信器を時間分割で共有する半導体装置のブロック図である。
【図１３】図１３は本発明の第２の実施の形態による半導体装置の送信部のブロック図である。
【図１４】図１４は第２の実施形態において、受信コイルと送信コイルの相対位置関係を明らかにする模式的平面図である。
【図１５】図１５は第２の実施形態の、送信データが「１」のときの動作を示す図である。
【図１６】図１６は第２の実施形態の、送信データが「０」のときの動作を示す図である。
【図１７】図１７は本発明の第３の実施形態による半導体装置の受信部を示すブロック図である。
【図１８】図１８は本発明の第３の実施形態による半導体装置の送信部を示すブロック図である。
【図１９】図１９は第３の実施形態による送受信部の相対位置を示す投影図である。
【図２０】図２０は第３の実施形態の、送信データが「１」のときの動作を示す図である。
【図２１】図２１は第３の実施形態の、送信データが「０」のときの動作を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０１    受信コイル
１０１−１〜１０１−５  受信コイル群
１０１Ａ  送信コイル２０１の内側の受信コイル
１０１Ｂ  送信コイル２０１の外側の受信コイル
１０２    信号受信器
１０２Ａ  送信信号と同相特性の信号受信器
１０２Ｂ  送信信号と逆相特性の信号受信器
１０２Ｃ  正常動作した信号受信器
１０２Ｄ  誤動作した信号受信器
１０２Ｅ  極性が変化した信号受信器
１０２Ｆ  データ受信しない信号受信器
１０３    受信機構
１０４    読み出し器
１０５、１０５−１〜１０５−３    演算装置
１０６    読み出し制御信号
１０７、１０７−１〜１０７−３    受信データ
１０８    受信信号
１０９    選択器
１１０    選択信号
２０１、２０１−１〜２０１−３  送信コイル
２０２    信号送信器
３０１    送信コイル
３０１Ａ  受信コイル４０１の内側の送信コイル
３０１Ｂ  受信コイル４０１の外側の送信コイル
３０２    信号送信器
３０２Ａ  正常動作した信号受信器
３０２Ｂ  誤動作した信号受信器
３０３    送信機構
３０４    書き込み器
３０５    送信信号発生器
３０６    書き込み制御信号
３０７    送信データ
４０１    受信コイル
４０２    信号受信器
５０１    受信コイル
５０２    信号受信器
５０２Ａ、５０２Ｄ  「１」を出力する信号受信器
５０２Ｂ、５０２Ｃ  「-１」を出力する信号受信器
５０３    受信機構
５０４    読み出し器
５０５    演算装置
５０６    読み出し制御信号
６０１    送信コイル
６０２    信号送信器
６０３    送信機構
６０４    書き込み器
６０５    送信信号発生器
６０６    書き込み制御信号
６０７    送信データ
６０８    送信信号
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
（第1の実施の形態）
図５は本発明の第1の実施の形態による半導体装置、すなわち１つの送信コイルと複数の受信コイルからなる送受信コイル対を１つ有する半導体装置における受信部のブロック図である。【００３１】
受信部は、受信コイル１０１と信号受信器１０２とを有する受信機構１０３を７行×７列のアレイ状に複数持つ。受信機構１０３が受信した信号が、読み出し制御信号１０６によって制御される読み出し器１０４を用いて演算装置１０５に送られ、演算装置１０５で受信信号を演算することで受信データ１０７が得られる。ここで、図５のｍ×n番目にある信号受信器１０２をＲ（ｍ，ｎ)とし、Ｒ（ｍ，ｎ）の出力信号１０８をＤ（ｍ，ｎ)とする。ただし、ｍはｍ行目、ｎはｎ列目であることを示し、ｍ、ｎは、それぞれ０以上の整数で、図１の例では０〜６である。図５では受信機構１０３が７×７のアレイ状に配置されているが、７×７である必要はなく、受信機構１０３が複数あればよい。【００３２】
図６は送信コイルと受信コイルの相対位置関係を明らかにするための模式的平面図を示す。図６はチップ実装後の送信コイル２０１を受信コイル１０１があるチップ上に投影したものである。受信コイル１０１の径が送信コイル２０１の径より大きい場合、異なる向きの磁束が受信コイル２０１を貫き、磁束を打ち消しあってしまうので、図６に示すように、受信コイル１０１の径は送信コイル２０１の径と同等か、それより小さい径とすると効率的である。【００３３】
次に、信号伝送するために送信コイル２０１に電流を流したときの半導体装置の動作について説明する。ここでは、図面を上から見て時計回りに電流が流れた場合を「１」、反時計回りに電流が流れた場合を「−１」とする。以降同様の符号を用いる。【００３４】
図７は送信コイル２０１に時計回りに電流が流れるように信号を入力した場合、すなわち送信データが「１」である場合の受信コイル１０１に流れる電流を示したものである。図７に示すように、送信コイル２０１の内側の受信コイル１０１Ａには送信コイル２０１に流れる電流と同じ向きの時計回りに電流が流れ、送信コイル２０１の外側に位置する受信コイル１０１Ｂには送信コイル２０１に流れる電流とは逆向きの反時計回りの電流が流れる。【００３５】
一方、図８に示したように、送信コイル２０１に反時計回り向きの電流を流した場合、すなわち送信データが「０」の場合、送信コイル２０１の内側の受信コイル１０１Ａには、送信コイル２０１に流れる電流と同じ反時計回りの電流が流れ、送信コイル２０１の外側の受信コイル１０１Ｂには送信コイル２０１に流れる電流とは逆の時計回りの電流が流れる。なお、図７および図８において、１０２Ａは送信信号と同相特性の信号受信器、１０２Ｂは送信信号と逆相特性の信号受信器である。【００３６】
信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)は前述した受信コイル１０１に流れる電流を観測し、その電流の極性、および強度によって出力を変化させる機能を有する。ここで、図７、８に示すように、送信データ「１」、「０」を送信した時の各信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の出力結果である受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)の一覧を表１に示す。ここでは、受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)を、各受信コイル１０１で発生した誘導電流を各受信コイル１０１と接続されている信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)によって２値化されたディジタル信号としている。【００３７】
【表１】
2008102814.tif 000003
信号受信後、読み出し制御信号１０６によって受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)は、演算装置１０５へと順々に入力される。演算装置１０５では、各信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の位置に応じた演算が行われる。すなわち、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の受信コイル１０１が送信コイル２０１の内側にあるときは、受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)にＡ(ｍ，ｎ)=１をかけて加算処理し、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の受信コイル１０１が送信コイル２０１の外側にあるときは、受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)にＡ(ｍ，ｎ)=−1をかけた後に加算処理する。表２にＡ(ｍ，ｎ)の一覧を示す。【００３８】
【表２】
2008102814.tif 000004
表１および表２より演算装置１０５による加算結果は「１」を送信したときは４９、「０」を送信したときは−４９となる。この加算結果を閾値処理することによって、送信信号を復元し、信号伝送を実現する。【００３９】
もちろん、この閾値処理の閾値をある任意の値に設定してもよい。また、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)に掛ける係数Ａ(ｍ，ｎ)を１または−1としていたが、もちろん、前述の値に限らず１と−１の間の中間値であったり、絶対値が１を超えるような任意の値であってもよい。また、その任意の値の大きさは、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)ごとに設定してもよい。ここに示す係数Ａ(ｍ，ｎ)の目的は、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)が、演算装置１０５の出力信号に与える寄与度を任意に制御することにある。【００４０】
これまでの例では、係数Ａ(ｍ，ｎ)を変化させることで信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の、演算装置１０５の出力信号に与える寄与度を任意に制御してきた。しかし、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の閾値や信号増幅率を変化させて受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)を得ることで、信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の、演算装置１０５の出力信号に与える寄与度を制御してもよい。【００４１】
従来は送信コイル２０１の真下に実装された受信コイル１０１内を貫通する磁束によって発生した誘導電流を用いて信号を受信するのみであったため、送信コイル２０１の真下に向かい受信コイル１０１を貫いた磁束以外の周囲に広がった磁束は無駄になってしまっていた。しかしながら、本発明によれば、図７、図８に示したように受信コイル１０１は送信コイル２０１の真下のみならず周辺にも配置されているので、効率的な信号受信が可能となり、送信コイル２０１に流す電流を減少させることができるため消費電力の削減が可能となる。また、図９に示したように、信号受信器１０２のいくつかが外乱やばらつきなどの影響を受けて誤動作した場合でも、誤動作した信号受信器１０２Ｄよりも正確な受信ができた受信器１０２Ｃが多ければ、信号伝送が可能である。【００４２】
図９に示したように、「１」を送信し信号受信器１０２が誤動作した場合の受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)の一覧を表３に示す。【００４３】
【表３】
2008102814.tif 000005
演算装置１０５の加算結果は３７となり、この加算結果が閾値を超えていれば、誤りなく送信信号の復元を行え、信号伝送を実現できる。また、これらの信号受信器１０２が常に誤動作するのであれば、前述の演算の際に、誤受信している信号受信器１０２からの信号を無視することによって、信号伝送器全体の誤受信を避けることが可能となる。その際の係数Ａ(ｍ，ｎ)の一覧を表４に示す。【００４４】
【表４】
2008102814.tif 000006
表４に示した係数Ａ(ｍ，ｎ)を用いれば、演算装置１０５の加算結果は４３となり、より確実な信号伝送が可能となる。【００４５】
次に、図１０に示したように、チップ実装の際に送信コイル２０１と受信コイル１０１の相対位置がずれた場合を考える。ここでは、位置ずれがない図６の状態よりやや下方に送信コイル２０１がずれた場合を示している。図６で示した位置ずれのない状態では、送信コイル２０１の内側にあった受信コイル１０１のいくつかが送信コイル２０１の外側に配置されてしまっている。このような位置ずれによって受信信号の極性が変わってしまい、正確な信号受信の妨げとなる。そこで、極性が変化した信号受信器１０２Ｅの受信信号を集めて演算する際の演算を、加算から減算、または減算から加算に変更する。また、送信コイル２０１のほぼ境界に位置しているような受信コイル１０１は、受信コイル１０１を異なる向きの磁界が貫くことになってしまい、磁界の総量が少なくなり、信号の誤受信が発生しやすい。そのような受信コイル１０１の信号受信器１０２Ｆの受信信号は、加算や減算どちらも行わず、信号受信に不感応とすると、さらに高品位の信号伝送が可能となる。これによって、チップ実装時に位置ずれが発生したとしても、演算を制御することで位置ずれの影響を削減することが可能になる。【００４６】
図１０に示すように、チップ実装時の位置ずれが発生した際の係数Ａ(ｍ，ｎ)を表５に示す。【００４７】
【表５】
2008102814.tif 000007
表５に示した係数Ａ(ｍ，ｎ)を用いれば、演算装置１０５の加算結果は４３となり、位置ずれが発生したとしても信号受信が可能となる。【００４８】
次に、係数Ａ(ｍ，ｎ)の設定方法の例を挙げる。【００４９】
チップの実装ずれを機械的に計測し、その位置ずれの量から、最適な係数を決定してもよい。また、値が既知の送信データを送信し、その受信結果がもっとも誤りの少なくなるように係数Ａ(ｍ，ｎ)を変化させて、係数Ａ(ｍ，ｎ)を決定してもかまわない。【００５０】
信号受信器１０２の感度や信号増幅率などの特性を一定としたが、もちろん、信号受信器１０２の特性を位置ずれに合わせて変化させても、係数Ａ(ｍ，ｎ)を変化させた場合と同様の効果が得られる。【００５１】
ここまでは、受信信号Ｄ(ｍ，ｎ)を「１」または「−１」などとデジタルデータとして扱ってきた例を示したが、もちろん、デジタルデータに変換せず、アナログデータのまま処理を行ってもかまわない。【００５２】
次に、信号受信器１０２の、デバイスばらつきなどを起因とする特性の偏りに関しても、前述した係数Ａ(ｍ，ｎ)を変化させることで信号受信の誤りを低減できる。例えば、デバイスばらつきによって常に「１」を出力してしまうような信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)が製造された場合、前述の係数Ａ(ｍ，ｎ)を「０」にすることで、誤動作する信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)の影響を受信データに反映させずにすむ。このとき、他の信号受信器が正常な動作をしていれば、正確な信号受信が可能となる。【００５３】
また、これまで演算装置１０５に送られる信号をＤ(ｍ，ｎ)×Ａ(ｍ，ｎ)としてきたが、これにＢ(ｍ，ｎ)を加え、Ｄ（ｍ，ｎ)×Ａ(ｍ，ｎ)+Ｂ(ｍ，ｎ)などとすることで、ばらつきによるオフセットなども取り除くことが可能である。【００５４】
同様に、外乱の影響を強く受ける信号受信器も同様に対応可能である。ある信号受信器が隣接コイルの影響によって誤受信することが多い場合、その信号受信器に対応する係数Ａ(ｍ，ｎ)を「０」にすれば、隣接コイルの影響によって誤動作していた信号受信器の出力が最終的な受信データに反映させずにすむため、正確な信号受信が可能となる。【００５５】
次に、第１の実施の形態の送受信コイル対を複数実装した半導体装置の例を説明する。【００５６】
図１１は、３つの送受信コイル対を実装した半導体装置のブロック図である。各送受信コイル対内の受信部は図５に示したものを３つ配置したものであって、図１１中では読み出し器１０４の一部を省略して記載されている。また、受信コイルと送信コイルの相対位置を明らかにするために、送信コイルの投影図も合わせて示されている。【００５７】
図１２は、受信コイルと信号受信器を時間分割で共有する半導体装置のブロック図である。図１２も図１１と同様に、各送受信コイル対内の受信部とほぼ同様の構成であって、図１２中では読み出し器１０４の一部を省略して記載されている。また、受信コイルと送信コイルの相対位置を明らかにするために、送信コイルの投影図も合わせて示されている。【００５８】
まず、送信コイル２０１−１および送信コイル２０１−３は時間領域Ｔ１において信号を送信する。すると、送信コイル２０１−１に対応する受信コイル群１０１−１、１０１−４と信号受信器群が動作し、送信コイル２０１−３に対応する受信コイル群１０１−３、１０１−５と信号受信器群が動作し、それぞれ送信コイル２０１−１、２０１−３からの送信信号を受信する。その時読み出し器１０４を介して読み出された信号は、選択器１０９によって、それぞれが対応する演算装置１０５−１、１０５−３に送られ、演算されることにより受信データ１０７-１、１０７−３が得られる。時間領域Ｔ１のあとの時間領域Ｔ２では、送信コイル２０１−２より送信データが送信される。その際、選択信号１１０を変化させ、読み出し器１０４を演算装置１０５−２に接続し、受信コイル群１０１−２、１０１−４、１０１−５と信号受信器群によって得られたデータを演算装置１０５−２に送る。その後演算装置１０５−１や演算装置１０５−３と同様の演算を行うことによって受信データ１０７−２が得られる。この時間領域Ｔ１と時間領域Ｔ２を交互に繰り返すことにより、受信コイルと信号受信器の共有が可能となる。ここでは、受信コイルと受信器を２つの受信機構によって共有したが、２つに限られるものではなく、選択器の入力ポートを増加させることにより、より多くの受信機構により共有することが可能である。【００５９】
以上説明したように、本実施形態では、1つの送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上配置し、チップ実装後に制御可能な演算装置で、受信コイルの送信コイルに対する位置が送信コイルの内側にあるか、外側になるかということで生じる、各受信コイルに流れる受信信号の極性の違いを打ち消すように演算し、送信データを受信する。【００６０】
（第２の実施の形態）
図１３は本発明の第２の実施の形態による半導体装置、すなわち複数の送信コイルと１つの受信コイルからなる送受信コイル対を１つ有する半導体装置における送信部のブロック図である。第２の実施の形態は、第1の実施の形態とほぼ同様であり、第1の実施の形態の送信部と受信部を逆にしたような構成である。【００６１】
本実施形態の送信部は、送信コイル３０１と信号送信器３０２とを有する送信機構３０３を３×３のアレイ状に複数持ち、送信信号発生器３０５から書き込み制御信号３０６で制御された書き込み器３０４を介して信号送信器３０２に送信信号を入力し、信号送信器３０２が送信コイル３０１に電流を流すことで、送信信号を伝送する。ここで、図１３のｍ×ｎ番目にある信号送信器３０２をＴ（ｍ，ｎ)とし、Ｔ（ｍ，ｎ）への入力信号３０８をＤ(ｍ，ｎ)とする。但し、ｍはｍ行目、ｎはｎ列目であり、それぞれ0以上の整数である。【００６２】
図１３では送信機構３０３は３×３のアレイ状に配置されているが、３×３である必要はなく、送信機構３０３が複数であればよい。【００６３】
図１４は受信コイル４０１と送信コイル３０１の相対位置関係を明らかにする模式的平面図である。図１４はチップ実装後の受信コイル４０１を送信コイル３０１があるチップ上に投影したものである。【００６４】
次に、信号伝送するために送信コイル３０１に電流を流したときの動作について説明する。ここでは、図面を上から見て時計回りに電流が流れた場合を「１」、反時計回りに電流が流れた場合を「−１」とする。【００６５】
本発明による信号伝送は、送信コイル３０１に電流を流すことで発生した磁束が受信コイル４０１を貫くことで誘導電流が発生する電磁誘導を利用するものであるため、送信コイル３０１が発生する磁束の向きをそろえることによって、効果的な信号伝送が可能となる。ここで、送信コイル３０１が発生する磁束を考えると、送信コイル３０１の内側と外側では、磁束の向きが逆となるので、受信コイル４０１の直上に配置された送信コイル３０１が作る磁束と、受信コイル４０１の外側に配置された送信コイル３０１が作る磁束とでは、逆の向きとなる。そのため、前述したように磁束の向きをそろえるには、受信コイル４０１の直上に配置された送信コイル３０１に入力する電流と、受信コイル４０１の外側に配置された送信コイル３０１に入力する電流とで、向きを逆にすると効率的である。【００６６】
ここで、信号伝送するために送信コイル３０１に電流を流したときの動作について説明する。【００６７】
まず、送信データが「１」のときの動作を、図１５を用いて説明する。
受信コイル４０１の直上にある信号送信器３０２Ａ（Ｔ（１，１)）と、それ以外の信号送信器３０２Ｂを分けて考える。前者の信号送信器３０２Ａ（Ｔ（１，１)）には、送信コイル３０１Ａに時計回りに電流が流れるような信号を入力する。受信コイル４０１の内側には紙面の手前から奥の方向に貫くような磁束が発生し、電磁誘導によって、時計回りの電流が受信コイル４０１に流れる。一方、信号送信器３０２Ｂには、送信コイル３０１Ｂに反時計回りの電流が流れるような信号を入力する。これら送信コイル３０１Ｂの内側には紙面奥から手前に貫くような磁束が発生するが、受信コイル４０１の内側には、信号送信器３０２Ａ（Ｔ(１，１)）が作ったのと同じ向きの磁束が発生し、前述した信号送信器３０２Ａ（Ｔ(１，１)）が作った磁束をさらに強め、受信コイル４０１に発生する誘導電流はより大きく時計回りに流れ、その誘導電流を信号受信器４０２が受信することで、送信データ「１」が伝送される。【００６８】
次に、送信データが「０」の場合は、図１６に示すように、「１」の場合とは逆に、信号送信器３０２Ａ（Ｔ(１，１)）は、送信コイル３０１Ａに反時計回りの電流が入力し、信号送信器３０２Ａ（Ｔ(１，１)）以外の送信コイル３０１Ｂには時計回りの電流が入力される。送信コイル３０１と電流によって、受信コイル４０１の内側には紙面奥から手前方向に強めあった磁束が発生し、電磁誘導によって反時計回りの向きに誘導電流が流れる。その反時計回りに流れた誘導電流を信号受信器４０２が観測することで、送信データ「０」を伝送する。【００６９】
仮に第１の実施形態のときのように実装位置がずれている送信コイル３０１が発生する磁束が受信コイル４０１を貫く磁束を弱める方向に働く場合は、その送信コイル３０１に入力する信号を逆にするか、信号を入力しないことで、磁束を弱めず、大きな誘導電流が発生させることができるので、信号伝送が行える。【００７０】
このように、受信コイル４０１の直上に配置された送信コイル３０１のみによって信号伝送する場合に比べ、受信コイル４０１を貫くより大きな磁束が発生するので、実装による送受信コイルの位置ずれを許容しつつ、高品位の信号伝送が可能となる。【００７１】
図１１に示した第１の実施の形態の例と同様に、本実施形態の送受信コイル対を複数、実装するのが可能である。また、図８に示した第１の実施の形態の例と同様に、送信コイルと信号送信器を時間分割して共有することが可能である。【００７２】
本実施形態では、複数の送信コイルと１つ受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上配置し、各送信コイルには、信号送信器から、受信コイルを貫く磁束が強めあうような電流が入力されることによって、信号を送信する。【００７３】
（第３の実施の形態）
図１７は本発明の第３の実施形態による半導体装置、すなわちすなわち複数の送信コイルと複数の受信コイルからなる送受信コイル対を１つ有する半導体装置における受信部を示すブロック図である。また、図１８は本発明の第３の実施形態による半導体装置の送信部を示すブロック図である。第３の実施形態による送信部は、第２の実施形態による送信部と同様のものである。図１９は第３の実施形態による送受信部の相対位置を示す投影図である。【００７４】
ここで、信号伝送するために送信コイルに電流を流したときの半導体装置の動作について説明する。【００７５】
まず、送信データが「１」のときの動作を、図２０を用いて説明する。ｍおよびｎが共に奇数、または共に偶数である信号送信器T(ｍ,ｎ)は時計回りの電流を流し、ｍが偶数、かつｎが奇数、またはｍが奇数、かつｎが偶数である信号送信器T(ｍ,ｎ)は反時計回りの電流を流す。そのとき、前者の送信コイル６０１に対応する位置に実装された受信コイル５０１の内側には、紙面を手前から奥に貫く方向の磁束が発生し、後者の送信コイル６０１に対応する位置に実装された受信コイル５０１の内側には、奥から手前に貫く方向の磁束が発生する。それぞれの受信コイル５０１を貫く磁束はお互いに強め合う関係となる。そのとき、磁束の向きに依存した誘導電流が受信コイル５０１に発生し、各受信コイル５０１に接続された信号受信器５０２が信号を復元する。その際、ｍおよびｎが共に奇数、または共に偶数である信号送信器Ｒ(ｍ，ｎ)は「１」を受信し、ｍが偶数、かつｎが奇数、またはｍが奇数、かつｎが偶数である信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)は「−１」を受信する。その後受信信号は読み出し器５０４を介して演算装置５０５に送られる。そのとき演算装置５０５では、後者の信号受信器Ｒ(ｍ，ｎ)から送られた信号を反転させてから加算する。その加算結果は正の値となるので、受信データは「１」であると判断され、信号伝送が行われる。【００７６】
次に、「０」を伝送する際の半導体装置の動作を、図２１を用いて説明する。送信データが「０」の時は、「１」のときの逆向きの電流がそれぞれの各送信コイル６０１に入力される。その結果、発生する磁束の向きと誘導電流の向きは逆となり、受信信号の極性も逆のものとなる。さらに、演算装置５０５によって得られる加算結果は負となり、受信データは「０」であると判断され、信号伝送が行われる。【００７７】
ここで、位置ずれが発生した場合や、ばらつきによるオフセット、また、外乱の影響などが発生した場合、受信部が有する演算装置での演算方法や、信号発生器が発生する信号をチップ実装後に制御し変更することで、それぞれの影響を取り除くことが可能であり、高品位の信号伝送ができる。【００７８】
図１１に示した第１の実施の形態の例と同様に、本実施形態の送受信コイル対を複数、実装することが可能である。また、図１２に示した第１の実施の形態と同様に、送信コイルと信号送信器、および受信コイルと信号受信器を時間分割して共有することが可能である。【００７９】
以上説明したように、本実施形態では、複数の送信コイルと複数の受信コイルとからなる送受信コイル対を1つ以上配置する。複数の送信コイルには、複数の受信コイルを貫く磁束を強めあうような電流が信号送信器によって入力される。また、受信機構では、演算装置によって、複数の受信コイルが発生した信号の極性の違いを打ち消すような演算を行い、信号を伝送する。【００８０】
以上本発明の好ましい実施形態を特定の用語を用いて説明したが、そのような記載は例示のみを目的としており、種々の変形および修正が以下の特許請求の範囲から外れることなく可能であることが理解されるべきである。【００８１】
この出願は、２００７年２月２３日に出願された日本出願特願２００７−０４３５６１号を基礎とする優先権を主張し、その開示をここに取り込む。
【図１】
2008102814.tif 000008
【図２】
2008102814.tif 000009
【図３】
2008102814.tif 000010
【図４】
2008102814.tif 000011
【図５】
2008102814.tif 000012
【図６】
2008102814.tif 000013
【図７】
2008102814.tif 000014
【図８】
2008102814.tif 000015
【図９】
2008102814.tif 000016
【図１０】
2008102814.tif 000017
【図１１】
2008102814.tif 000018
【図１２】
2008102814.tif 000019
【図１３】
2008102814.tif 000020
【図１４】
2008102814.tif 000021
【図１５】
2008102814.tif 000022
【図１６】
2008102814.tif 000023
【図１７】
2008102814.tif 000024
【図１８】
2008102814.tif 000025
【図１９】
2008102814.tif 000026
【図２０】
2008102814.tif 000027
【図２１】
2008102814.tif 000028
【国際調査報告】
2008102814.tif 000029
2008102814.tif 000030
2008102814.tif 000031
2008102814.tif 000032