【手続補正書】
【提出日】平成16年3月3日(2004.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】弾性表面波デバイス
【特許請求の範囲】
【請求項１】圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方と、第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方の櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続されている弾性表面波デバイス。
【請求項２】圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方と、第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方の櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続され、前記第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指と前記第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指とが接続されている請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項３】第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指と第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指とがインダクタ成分を介して接続されている請求項２に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項４】第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指と第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指とが弾性表面波を形成する圧電基板上の外部の電極パターンにより接続されている請求項２に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項５】圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に配置され、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が第１、第２櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方と、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方の櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続されている弾性表面波デバイス。
【請求項６】第１の櫛型電極の他方の櫛型電極指と第２の櫛型電極の他方の櫛型電極指とが電気的に接続されるとともに電位的に浮いている状態である請求項５に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項７】圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に垂直に第１の櫛型電極は上側に第２の櫛型電極は下側に配置され、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が表面波伝搬方向に第１、第２櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極の下部櫛型電極指は第２の櫛型電極の上部櫛型電極と電気的に接続されており、第１の櫛型電極の上部櫛型電極指本数と第２の櫛型電極の下部櫛型電極指の本数が同数で、それらの電極指は平衡型端子に接続されている弾性表面波デバイス。
【請求項８】圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極と第２の櫛型電極との間隔が第１の櫛型電極と第３の櫛型電極との間隔に等しい請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項９】圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に配置され、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が、第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第３の櫛型電極の対数と第４の櫛型電極の対数が同数である請求項５に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項１０】圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に配置され、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極と第３の櫛型電極との間隔が第２の櫛型電極と第４の櫛型電極との間隔に等しい請求項５に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項１１】圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に垂直に第１の櫛型電極は上側に第２の櫛型電極は下側に配置され、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が表面波伝搬方向に第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第３の櫛型電極の対数と第４の櫛型電極の対数が同数である請求項７に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項１２】圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に垂直に第１の櫛型電極は上側に第２の櫛型電極は下側に配置され、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が表面波伝搬方向に第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１および第２の櫛型電極と第３の櫛型電極との間隔が第１および第２の櫛型電極と第４の櫛型電極との間隔に等しい請求項７に記載の弾性表面波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば、無線通信機器における高周波回路などに使用される弾性表面波デバイスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波を用いたエレクトロメカニカル機能部品は、波の音速が数km/sであり、波のエネルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を有することから、ハードウエアの高密度化の流れの中で注目されている。また、弾性表面波を用いたエレクトロメカニカル機能部品は、IDT(Inter-digital-transducer)の開発と、その変形展開を可能にした薄膜作製技術、表面加工技術の進歩によって、レーダ用遅延線、テレビジョン受像機用帯域フィルタなどに実用化され、現在では、無線通信機器の送受信回路におけるＲＦ、ＩＦ段のフィルタとして広く使用されている。
【０００３】
近年、移動体通信機器のディジタル化に伴い、ディジタル携帯電話やディジタルコードレス電話などの開発が盛んに進められている。これらに使用されるフィルタは携帯電話の性能にかかわる重要なキーパーツとしてより一層の高性能化が求められている。
【０００４】
従来、ＲＦ段に適する弾性表面波フィルタとしては、ラダー型弾性表面波フィルタと縦モード結合共振器型弾性表面波フィルタの２種類がよく知られている。そして、近年の移動体通信分野においては、回路の簡素化、高性能化のため、平衡入出力型フィルタの要望が増えてきている。
【０００５】
以下、従来の三電極縦モード結合型設計を用いた弾性表面波フィルタについて説明する。
【０００６】
図１４は従来技術による縦モード結合型の弾性表面波フィルタの一例を示す構成図である。圧電基板９０上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極９１と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極９２、９３が配置され、それらの両側には反射器９４、９５が配置されている。櫛型電極指９１ａ、９１ｂはそれぞれ平衡型端子９７ａ、９７ｂに接続されている。ここで、櫛型電極指９１ａと９１ｂとは電極指の本数が異なる構成である。また、櫛型電極９２、９３はそれぞれ２つの対向し合う片側の櫛型電極指９２ｂ、９３ｂが接地され、他方の櫛型電極指９２ａ、９３ａが不平衡型端子９８に接続されている。ここで、不平衡型端子９８に電圧を印加することにより、表面波が励起され、反射器９４、９５でエネルギーが閉じ込められることにより、フィルタ特性が平衡型端子９７ａ、９７ｂから平衡型電気信号として取り出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来のフィルタ設計では、不平衡入力および出力端子に接続されている櫛型電極指と対向し合うもう一方の櫛型電極指を電気的端子として用いることで、平衡動作を可能としていたが、回路設計面において重要となる位相バランス度特性、振幅バランス度特性の改善が必要であるという課題があった。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するもので、位相バランス度特性、振幅バランス度特性に優れた弾性表面波デバイスを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続された構成であり、これにより機械信号である弾性表面波から電気信号への変換効率はそれぞれの平衡型端子に接続される櫛型電極指において均等となり、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１１】
本発明の請求項１に記載の発明は、圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方と、第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方の櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続された構成であり、これにより機械信号である弾性表面波から電気信号への変換効率はそれぞれの平衡型端子に接続される櫛型電極指において均等となり、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１２】
本発明の請求項２に記載の発明は、圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方と、第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方の櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続され、前記第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指と前記第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指とが接続された構成であり、これにより前記第２、第３の櫛型電極の平衡型端子に接続されていない前記第２、第３の櫛型電極指が等電位になるとともにグランドからの信号の回り込みによる特性劣化が生じないため、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１３】
本発明の請求項３に記載の発明は、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指と第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指とがインダクタ成分を介して接続された構成であり、これにより位相バランスおよび振幅バランス特性が向上させられるだけでなくフィルタ特性を調整することができるという作用効果が得られる。
【００１４】
本発明の請求項４に記載の発明は、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指と第３の櫛型電極の対向し合う櫛型電極の他方の電極指とが弾性表面波を形成する圧電基板上の外部の電極パターンにより接続される構成であり、これにより圧電基板上以外でもインダクタ成分を付加することが可能となり設計の自由度を大きくできるという作用効果が得られる。
【００１５】
本発明の請求項５に記載の発明は、圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に配置され、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が第１、第２櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方と、第２の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の少なくとも一方の櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続された構成であり、これにより機械信号である弾性表面波から電気信号への交換効率はそれぞれの平衡型端子に接続される櫛型電極指において均等となり、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１６】
本発明の請求項６に記載の発明は、第１の櫛型電極の他方の櫛型電極指と第２の櫛型電極の他方の櫛型電極指とが電気的に接続されるとともに、電位的に浮いている状態である構成であり、これによりグランドからの信号の回り込みによる特性劣化が生じないため、平衡型端子間における位相バランス特性および振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１７】
本発明の請求項７に記載の発明は、圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に垂直に第１の櫛型電極は上側に第２の櫛型電極は下側に配置され、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が表面波伝搬方向に第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極の下部櫛型電極指は第２の櫛型電極の上部櫛型電極と電気的に接続されており、第１の櫛型電極の上部櫛型電極指本数と第２の櫛型電極の下部櫛型電極指の本数が同数で、それらの電極指は平衡型端子に接続された構成であり、これにより機械信号である弾性表面波から電気信号への変換効率はそれぞれの平衡型端子に接続される櫛型電極指において均等となり、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項８に記載の発明は、圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極と第２の櫛型電極との間隔が第１の櫛型電極と第３の櫛型電極との間隔に等しい構成であり、これにより平衡型端子に接続されている前記第１の櫛型電極が表面波伝搬方向の両側から均等な機械信号を受け取ることができるため、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００１９】
本発明の請求項９に記載の発明は、圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に配置され、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第３の櫛型電極の対数と第４の櫛型電極の対数が同数である構成であり、これにより平衡型端子に接続されている前記第１の櫛型電極が表面波伝搬方向の両側から均等な機械信号を受け取ることができるため、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００２０】
本発明の請求項１０に記載の発明は、圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に配置され、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極と第３の櫛型電極との間隔が第２の櫛型電極と第４の櫛型電極との間隔に等しい構成であり、これにより平衡型端子に接続されている前記第１の櫛型電極が表面波伝搬方向の両側から均等な機械信号を受け取ることができるため、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００２１】
本発明の請求項１１に記載の発明は、圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に垂直に第１の櫛型電極は上側に第２の櫛型電極は下側に配置され、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が表面波伝搬方向に第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第３の櫛型電極の対数と第４の櫛型電極の対数が同数である構成であり、これにより平衡型端子に接続されている前記第１の櫛型電極が表面波伝搬方向の両側から均等な機械信号を受け取ることができるため、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００２２】
本発明の請求項１２に記載の発明は、圧電基板上にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と第２の櫛型電極が表面波伝搬方向に垂直に第１の櫛型電極は上側に第２の櫛型電極は下側に配置され、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第３、第４の櫛型電極が表面波伝搬方向に第１、第２の櫛型電極を挟むように配置され、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１および第２の櫛型電極と第３の櫛型電極との間隔が第１および第２の櫛型電極と第４の櫛型電極との間隔に等しい構成であり、これにより平衡型端子に接続されている前記第１の櫛型電極が表面波伝搬方向の両側から均等な機械信号を受け取ることができるため、平衡型端子間における位相バランスおよび振幅バランス特性が向上するという作用効果が得られる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下に本発明の実施の形態１を用いて本発明について説明する。
【００２４】
図１は本発明による弾性表面波フィルタの実施の形態１を示す構成図である。
【００２５】
図１において、１０は圧電基板、１１、１２、１３は櫛型電極、１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂは櫛型電極指、１４、１５は反射器、１６は三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ、１７ａ、１７ｂは平衡型端子、１８は不平衡型端子である。
【００２６】
本実施の形態１における弾性表面波フィルタの構成は、次のようになっている。
【００２７】
すなわち、圧電基板１０上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極１１と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極１２、１３が配置され、それらの両側には反射器１４と反射器１５が配置されている。前記の三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ１６において、櫛型電極１１の対向し合う２つの櫛型電極指１１ａ、１１ｂの本数は同数とした構成になっている。
【００２８】
櫛型電極指１１ａ、１１ｂはそれぞれ平衡型端子１７ａ、１７ｂに接続されており、櫛型電極１２、１３はそれぞれ２つの対向し合う片側の櫛型電極指１２ｂ、１３ｂが接地され、他方の櫛型電極指１２ａ、１３ａが不平衡型端子１８に接続されている。
【００２９】
ここで、不平衡型端子１８に電気信号が印加されると、三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ１６内で弾性表面波が励起され、平衡型端子１７ａ、１７ｂ間において平衡型電気信号として取り出されるが、この時櫛型電極指１１ａ、１１ｂの本数が同数であるため、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しく、良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００３０】
なお、平衡型端子１７ａ、１７ｂを入力端子、不平衡型端子１８を出力端子として用いても同様のことが言える。
【００３１】
従って、第１の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続されているという構成にすることにより、それぞれの平衡型端子に接続される櫛型電極指において機械信号である弾性表面波から電気信号への変換効率は均等とすることができる。
【００３２】
なお、複数の櫛型電極において、互いに対向し合わない櫛型電極指を平衡型端子として用いる場合においてもそれぞれの櫛型電極指数は同数の方が望ましく、さらに平衡型端子として用いられる櫛型電極を挟むように配置されている他の櫛型電極においても、櫛型電極の対数は同数で対称性を保った構造である方が位相バランス度特性および振幅バランス度特性は良好となる。
【００３３】
また、このような構造の多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタを多段に、あるいはラダー型の弾性表面波フィルタと組み合わせて用いる場合においても、上記のような三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタを平衡型入出力端子に用いることで良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００３４】
（実施の形態２）
以下に本発明の実施の形態２を用いて、本発明の請求項１〜４について説明する。
【００３５】
図２は本発明における実施の形態２の弾性表面波フィルタの構成図である。
【００３６】
すなわち本実施の形態２においては、圧電基板２０上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極２１と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極２２、２３が配置され、それらの両側には反射器２４、２５が配置されている。前記の三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ２６において、櫛型電極２２の対向し合う２つの櫛型電極指２２ａ、２２ｂと櫛型電極２３の対向し合う２つの櫛型電極指２３ａ、２３ｂにおいて、櫛型電極指２２ａの本数と櫛型電極指２３ａの本数は同数となっている。
【００３７】
櫛型電極指２２ａ、２３ａはそれぞれ平衡型端子２７ａ、２７ｂに接続され、櫛型電極指２２ｂ、２３ｂが接地されている。また、櫛型電極２１、２２、２３はそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指の片側２１ａ、２２ｂ、２３ｂが接地され、櫛型電極２１の櫛型電極指２１ｂは不平衡型端子２８に接続されている。
【００３８】
ここで、不平衡型端子２８に電気信号が印加されると、三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ２６内で弾性表面波が励起され、平衡型端子２７ａ、２７ｂ間において平衡型電気信号として取り出されるが、この時櫛型電極指２２ａ、２３ａの本数が同数であるため、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しく、良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００３９】
なお、平衡型端子２７ａ、２７ｂを入力端子、不平衡型端子２８を出力端子として用いても同様のことが言える。
【００４０】
また、本実施の形態２においては櫛型電極指２２ｂ、２３ｂは接地されているとしているが、これは、図３に示すように直接電気的に接続されていてもかまわない。また、図４に示すように、インダクタ２９を介して接続されてもかまわない。この場合にはインダクタ２９を基板上のパターン幅や長さで形成調整することにより、フィルタ特性を調整することが可能となる。また、図３や図４においては、平衡型端子２７ａ、２７ｂに接続される櫛型電極指２２ａ、２３ａが接地されていないため、グランドからの信号の回り込みによるバランス特性の劣化を小さくすることができる。
【００４１】
さらに、弾性表面波フィルタをフェースダウン実装などによりパッケージなどに実装する場合を考えると、図５に示すように、パッケージ上で櫛型電極指２２ｂ、２３ｂを接続してもかまわない。平衡型端子に接続される櫛型電極２２、２３の櫛型電極指２２ａ、２３ａは圧電基板２０上の電極パッド２０１、２０２に接続される。また、櫛型電極２２、２３の櫛型電極指２２ｂ、２３ｂは圧電基板２０上の電極パッド２０３、２０４に接続される。不平衡型端子に接続される櫛型電極２１の櫛型電極指２１ａ、２１ｂは圧電基板２０上の電極パッド２０５、２０６に接続される。
【００４２】
弾性表面波を形成する圧電基板２０は図の点線のようにパッケージ２０７にフェースダウン実装される。パッケージ２０７の表層には電極が配置されており、出力電極２０８、２０９は平衡型端子に接続される。また、電極２１０、２１１は接続電極２１２により接続される。入力電極２１３は不平衡型端子に接続され、電極２１４は接地されている。
【００４３】
上記構成において、フェースダウン実装を行うと、弾性表面波フィルタの電極パッドとパッケージ２０７の電極とは、電極パッド２０１と出力電極２０８が接続され、電極パッド２０２と出力電極２０９が接続される。また、電極パッド２０３、２０４と電極２１０、２１１とがそれぞれ接続される。電極パッド２０５は入力電極２１３に接続され、電極パッド２０６は電極２１４に接続される。
【００４４】
以上のような構成にすることにより、圧電基板２０上の引き回し電極の長さ、面積を小さくすることができるとともに、圧電基板２０のサイズの小型化、空間的な結合を小さくすることができる。さらに、接続電極２１２の引き回しの長さや幅の自由度が広がり、設計の自由度を大きくすることができる。
【００４５】
また、複数の櫛型電極において、互いに対向し合わない櫛型電極指を平衡型端子として用いる場合においても、それぞれの櫛型電極指数は同数の方が望ましい。さらに、平衡型端子として用いられる櫛型電極を挟むように配置されている他の櫛型電極においても、櫛型電極の対数は同数で対称性を保った構造である方が位相バランス度特性および振幅バランス度特性は良好となる。
【００４６】
なお、電極構造の対称性を向上させるためには、櫛型電極２１と櫛型電極２２との間隔が櫛型電極２１と櫛型電極２３との間隔に等しいことが望ましい。
【００４７】
（実施の形態３）
以下に本発明の実施の形態１を用いて、本発明の請求項５、６について説明する。図６は本発明による弾性表面波フィルタの実施の形態３を示す構成図である。
【００４８】
すなわち本実施の形態３においては、圧電基板３０上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極３１、３２を表面波伝搬方向に配置し、その両側にはそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極３３、３４が櫛型電極３１、３２を挟むよう配置され、それらの両側には反射器３５、３６が配置されている。前記の多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ３７において、櫛型電極３１の対向し合う２つの櫛型電極指３１ａと櫛型電極３２の対向し合う２つの櫛型電極指３２ａの本数は同数の構成となっている。
【００４９】
櫛型電極指３１ａ、３２ａはそれぞれ平衡型端子３８ａ、３８ｂに接続され、それぞれの対向し合う櫛型電極指３１ｂ、３２ｂは接地されている。また、櫛型電極３３、３４はそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指の片側３３ａ、３４ａが接地され、他方の櫛型電極指３３ｂ、３４ｂは不平衡型端子３９に接続されている。
【００５０】
ここで、不平衡型端子３９に電気信号が印加されると、多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ３７内で弾性表面波が励起され、平衡型端子３８ａ、３８ｂ間において平衡型電気信号として取り出されるが、この時櫛型電極指３１ａ、３２ａの本数が同数であるため、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しく、良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００５１】
なお、平衡型端子３８ａ、３８ｂを入力端子、不平衡型端子３９を出力端子として用いても同様のことが言える。
【００５２】
また、本実施の形態３においては櫛型電極指３１ｂ、３２ｂは接地する構成としているが、これは、図７に示すように櫛型電極指３１ｂ、３２ｂを接続電極３１ｃにより接続して、電気的に浮いている状態としてもかまわない。この場合には、櫛型電極指３１ａ、３２ａに平衡信号が入力されると櫛型電極指３１ｂ、３２ｂは仮想的に電位が零となり接地することなく弾性表面波を励振することができるため、グランドからの信号の回り込みによる特性劣化を抑えることができ、平衡型端子間における位相バランス特性および振幅バランス特性が向上させることができる。
【００５３】
（実施の形態４）
以下に本発明の実施の形態４を用いて、本発明の請求項７について説明する。
【００５４】
図８は本発明による弾性表面波フィルタの第４の実施の形態を示す構成図である。
【００５５】
すなわち本実施の形態４においては、圧電基板４０上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極４１、４２を表面波伝搬方向に対して垂直に配置し、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極４３、４４が表面波伝搬方向に櫛型電極４１、４２を挟むよう配置され、それらの両側には反射器４５、４６が配置されており、前記の多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ４７において、櫛型電極４１の対向し合う２つの櫛型電極指４１ａと櫛型電極４２の対向し合う２つの櫛型電極指４２ａの本数は同数となっている。
【００５６】
また、櫛型電極指４１ａ、４２ａはそれぞれ平衡型端子４８ａ、４８ｂに接続されている。また、櫛型電極４３、４４はそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指の片側４３ｂ、４４ｂが接地され、他方の櫛型電極指４３ａ、４４ａは不平衡型端子４９に接続されている構成になっている。
【００５７】
従って、不平衡型端子４９に電気信号が印加されると、多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ４７内で弾性表面波が励起され、平衡型端子４８ａ、４８ｂ間において平衡型電気信号として取り出されるが、この時櫛型電極指４１ａ、４２ａの本数が同数であるため、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しく、良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００５８】
なお、平衡型端子４８ａ、４８ｂを入力端子、不平衡型端子４９を出力端子として用いても、同様のことが言える。
【００５９】
（実施の形態５）
以下に本発明の実施の形態５を用いて、本発明の請求項８〜１２について説明する。図９は本発明による弾性表面波フィルタの第５の実施の形態を示す構成図である。
【００６０】
すなわち本実施の形態５においては、圧電基板５０上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極５１とその表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極５２、５３が配置され、それらの両側には反射器５４、５５が配置されており、前記の三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ５６において、櫛型電極５１の対向し合う２つの櫛型電極指５１ａ、５１ｂの本数は同数となっている。
【００６１】
また、櫛型電極指５１ａ、５１ｂはそれぞれ平衡型端子５７ａ、５７ｂに接続されている。また、櫛型電極５２、５３はそれぞれ２つの対向し合う片側の櫛型電極指の５２ｂ、５３ｂが接地され、他方の櫛型電極指５２ａ、５３ａが不平衡型端子５８に接続されているという構成になっている。
【００６２】
従って、不平衡型端子５７ａ、５７ｂに接続されている櫛型電極５１を挟んでいる櫛型電極５２、５３の櫛型電極指の対数を同数にすることにより、対称性に優れた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ５６の電極構造が実現することができ、位相バランス度特性および振幅バランス度特性を向上させることができる。
【００６３】
なお、電極構造の対称性を向上させるためには、櫛型電極５１と櫛型電極５２との間隔が櫛型電極５１と櫛型電極５３との間隔に等しいことが望ましい。
【００６４】
また、電極構造の対称性については実施の形態２から５に関しても同様のことが言える。
【００６５】
（実施の形態６）
以下に本発明の実施の形態６を用いて、本発明について説明する。図１０は本発明による弾性表面波フィルタの第６の実施の形態を示す構成図である。
【００６６】
すなわち本実施の形態６においては、圧電基板６００上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極６０１と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極６０２、６０３が配置され、それらの両側には反射器６０４、６０５を配置することで三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６０６が形成され、さらに前記三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６０６は同様の構造を有する三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６１２と縦続接続されている。この三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６１２は、櫛型電極６０７、６０８、６０９、反射器６１０、６１１によって構成されている。
【００６７】
この三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６０６の櫛型電極指６０１ａ、６０１ｂはそれぞれ平衡型端子６１３ａ、６１３ｂに接続されており、また櫛型電極６０２、６０３はそれぞれ２つの対向し合う片側の櫛型電極指６０２ａ、６０３ａが接地され、他方の櫛型電極指６０２ｂ、６０３ｂが三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６１２の櫛型電極指６０８ａ、６０９ａに接続され、三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ６１２の櫛型電極指６０７ａ、６０８ｂ、６０９ｂは接地され、櫛型電極指６０７ｂは不平衡型端子６１４に接続されている構成になっている。
【００６８】
従って、平衡型端子６１３ａ、６１３ｂに接続されている櫛型電極指６０１ａ、６０１ｂの本数を同数にすることにより、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しく、良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００６９】
すなわち、三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタを多段に接続する場合においても、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しくし、位相バランス度特性および振幅バランス度特性を良くするには平衡型出力あるいは入力端子に接続される櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の本数は同数であることが望ましい。
【００７０】
また、本実施の形態６においては、櫛型電極６０２と６０８、あるいは櫛型電極６０３と６０９とを上下反転させた構造にしてもかまわない。
【００７１】
図１１に櫛型電極指６０２と６０８とを上下反転させた櫛型電極６１５、６１６を用いた構成を示す。この場合には、櫛型電極指６１５ｂと６０３ｂが電気的に逆相となり、櫛型電極指６１６ａと６０９ａが電気的に逆相となる。よって、櫛型電極指６１５ｂと櫛型電極指６１６ａとの接続線６１７と櫛型電極指６０３ｂと櫛型電極指６０９ａとの接続線６１８とは電気的に逆相の信号が伝達されることとなり、接続線からのとびによる空間的な結合が打ち消しあい、さらに良好なフィルタ特性およびバランス特性を得ることができる。
【００７２】
また、この構成においては、櫛型電極指６１５ａと６０３ａは接地としているが、実施の形態２で示したように、直接接続してもインダクタを介して接続してもパッケージ上で接続してもかまわない。
【００７３】
また、同様に、櫛型電極指６１６ｂと６０９ｂに関しても接地としているが、実施の形態２で示したように、直接接続してもインダクタを介して接続してもパッケージ上で接続してもかまわない。
【００７４】
また、図１２に示すように平衡型端子７１５ａ、７１５ｂに接続される圧電基板７００上に櫛型電極７０１、７０２、７０３と反射器７０４、７０５、櫛型電極指７０１ａ、７０１ｂ、７０２ａ、７０２ｂ、７０３ａ、７０３ｂを形成した三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ７０６と不平衡型端子７１６に接続される櫛型電極７０７、７０８、７０９、７１０、７１１、反射器７１２、７１４からなる多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ７１４が異なる構造となる場合についても、平衡型出力あるいは入力端子に接続される櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の本数は同数であることが望ましい。
【００７５】
（実施の形態７）
以下に本発明の実施の形態７を用いて本発明について説明する。
【００７６】
図１３は本発明による弾性表面波フィルタの第７の実施の形態を示す構成図である。
【００７７】
すなわち本実施の形態７において、圧電基板８００上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極８０１と、その表面波伝搬方向の両側に、それぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される櫛型電極８０２、８０３が配置され、それらの両側には反射器８０４、８０５を配置することで三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ８０６が形成され、さらに前記三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ８０６は、並列共振器８０７と直列共振器８０８を有するラダー型の弾性表面波フィルタ８０９に接続されている構成になっている。
【００７８】
従って、平衡型端子８１０ａ、８１０ｂに接続されている櫛型電極指８０１ａ、８０１ｂの本数を同数にすることにより、励起された弾性表面波の機械−電気変換効率は等しく、良好な位相バランス度特性および振幅バランス度特性を得ることができる。
【００７９】
なお、この時のラダー型の弾性表面波フィルタ８０９を構成する直列共振器および並列共振器の数は複数でもよい。図１３において、８０２ａ、８０２ｂ、８０３ａ、８０３ｂは櫛型電極指、８１１は不平衡型端子を示す。
【００８０】
さらに、直列共振器および並列共振器のどちらかを、少なくとも一つ以上含む場合についても同様のことが言える。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、圧電基板上に２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第１の櫛型電極と、その表面波伝搬方向の両側にそれぞれ２つの対向し合う櫛型電極指によって形成される第２、第３の櫛型電極を配置し、それらの両側に第１の反射器と第２の反射器を備えた三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタにおいて、第１の櫛型電極の対向し合う櫛型電極指の本数が同数であり、それらの電極指は平衡型端子に接続されている構成を有しており、これにより機械信号である弾性表面波から電気信号への変換効率は、それぞれの平衡型端子に接続される櫛型電極指において均等となるという構成を有しており、これにより位相バランス度特性および振幅バランス度特性に優れたフィルタを実現することができるという作用効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における実施の形態１の弾性表面波フィルタの構成図
【図２】本発明における実施の形態２の弾性表面波フィルタの構成図
【図３】本発明における実施の形態２の他の例を示す弾性表面波フィルタの構成図
【図４】本発明における実施の形態２のさらに他の例を示す弾性表面波フィルタの構成図
【図５】本発明における実施の形態２の他の例を示す弾性表面波フィルタの構成図
【図６】本発明における実施の形態３の弾性表面波フィルタの構成図
【図７】本発明における実施の形態３の他の例を示す弾性表面波フィルタの構成図
【図８】本発明における実施の形態４の弾性表面波フィルタの構成図
【図９】本発明における実施の形態５の弾性表面波フィルタの構成図
【図１０】本発明における実施の形態６の弾性表面波フィルタの構成図
【図１１】本発明における実施の形態６の他の例を示す弾性表面波フィルタの構成図
【図１２】本発明における実施の形態６の弾性表面波フィルタの構成図
【図１３】本発明における実施の形態７の弾性表面波フィルタの構成図
【図１４】従来の弾性表面波フィルタの構成図
【符号の説明】
１０、２０、３０、４０、５０、６００、７００、８００  圧電基板
１１、１２、１３、２１、２２、２３、３１、３２、３３、３４、４１、４２、４３、４４、５１、５２、５３、６０１、６０２、６０３、６０７、６０８、６０９、７０１、７０２、７０３、７０７、７０８、７０９、７１０、７１１、８０１、８０２、８０３  櫛型電極
１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ、２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂ、４１ａ、４２ａ、４３ａ、４３ｂ、４４ａ、４４ｂ、５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ、６０１ａ、６０１ｂ、６０２ａ、６０２ｂ、６０３ａ、６０３ｂ、６０７ａ、６０７ｂ、６０８ａ、６０８ｂ、６０９ａ、６０９ｂ、７０１ａ、７０１ｂ、７０２ａ、７０２ｂ、７０３ａ、７０３ｂ、８０１ａ、８０１ｂ、８０２ａ、８０２ｂ、８０３ａ、８０３ｂ  櫛型電極指
１４、１５、２４、２５、３５、３６、４５、４６、５４、５５、９４、９５、６０４、６０５、６１０、６１１、７０４、７０５、７１２、７１３、８０４、８０５  反射器
１６、２６、６０６、６１２、７０６、８０６  三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ
１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂ、３８ａ、３８ｂ、４８ａ、４８ｂ、５７ａ、５７ｂ、６１３ａ、６１３ｂ、７１５ａ、７１５ｂ、８１０ａ、８１０ｂ  平衡型端子
１８、２８、３９、４９、５８、６１４、７１６、８１１  不平衡型端子
２９  インダクタ
３７、４７、７１４  多電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ
２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６  電極パッド
２０７  パッケージ
２０８、２０９  出力電極
２１０、２１１、２１４  電極
２１２  接続電極
２１３  入力電極
８０７  並列共振器
８０８  直列共振器
８０９  ラダー型の弾性表面波フィルタ