【手続補正書】
【提出日】平成17年4月22日(2005.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量流量コントローラの製造中に使用されたテスト動作条件と少なくとも部分的に異なるプロセス動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法であって、
テスト流体を有するテスト動作条件での質量流量コントローラの動作中に構成データを得る動作と、
テスト動作条件での質量流量コントローラの動的応答の確立を容易にするために、構成データに基づいて少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作と、
プロセス動作条件で動作する質量流量コントローラの動的応答が実質的に変化しないように、プロセス動作条件および構成データに基づいて少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作と
を含む方法。
【請求項２】
プロセス動作条件が、テスト流体と異なるプロセス流体を含み、少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス流体種類情報に少なくとも部分的に基づいて少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
修正する動作が、プロセス動作条件に基づいて、質量流量コントローラの複数の個々の構成要素の少なくとも１つに関連する少なくとも１つの利得項を判定する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、少なくとも１つの利得項の積の逆数をとることによって形成される逆数利得項を判定する動作を含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
複数の個々の構成要素が、バルブを含み、少なくとも１つの利得項を判定する動作が、バルブの物理モデルから少なくとも１つの利得項を判定するステップを含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、逆数利得項と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス動作条件に基づいて質量流量コントローラの複数の個々の構成要素に関連する複数のプロセス利得項を判定する動作を含み、複数の個々の構成要素が、質量流量コントローラの制御ループを形成する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、さらに、複数のプロセス利得項の積の逆数をとることによって形成されるプロセス逆数利得項を判定する動作を含み、プロセス逆数利得項が、少なくとも１つの可変動作条件の関数である、請求項７または５４に記載の方法。
【請求項９】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、制御ループが少なくとも少なくとも１つの可変動作条件に関して一定のループ利得を有するように、プロセス逆数利得項と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項８または５４に記載の方法。
【請求項１０】
複数の個々の構成要素の少なくとも１つが、バルブを含み、前記複数のプロセス利得項を判定する動作が、バルブの物理モデルから複数のプロセス利得項の少なくとも１つの利得項を判定する動作を含む、請求項７または５２に記載の方法。
【請求項１１】
複数のプロセス利得項を判定する動作が、プロセス動作条件のプロセス流体に関連するプロセスフルスケール範囲から複数のプロセス利得項の少なくとも１つのプロセス利得項を判定する動作を含み、前記プロセス流体が、テスト流体と異なる、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
バルブの物理モデルから少なくとも１つの利得項を判定する動作が、複数の所定の流量で、流量の変化をバルブ変位の対応する変化で割ったものとしてバルブ利得項を判定するステップを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも１つの利得項を判定する動作が、バルブ利得項からバルブアクチュエータに関連するバルブアクチュエータ利得項を判定するステップを含み、バルブアクチュエータが、バルブ変位の関数として駆動レベルに関連する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作が、テスト動作条件の下でテスト流体に関する質量流量コントローラの定常状態応答を確立するのを容易にするために少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
質量流量コントローラが、流量計、バルブ、およびバルブアクチュエータを含む複数の個々の構成要素を有し、
構成データを得る動作が、流量計の動的応答に関するセンサチューニングデータ、バルブおよびバルブアクチュエータの応答に関するバルブ特性記述データ、およびテスト流体に関するテスト動作条件の下での質量流量コントローラの定常状態応答に関する較正データの少なくとも１つを得る動作を含む
請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
構成データを得る動作が、テスト動作条件の下でのテスト流体に関して動作する質量流量コントローラの流量計に関連する利得項を含む第１合成利得項を判定する動作を含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作が、
定常状態応答を確立するのを容易にするために、流量計に関連する利得項を本質的に一定に調整するために第１制御パラメータをセットするステップと、
動的応答を確立するのを容易にするために、第１合成利得項の逆数に基づいて第２制御パラメータをセットするステップと
を含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス動作条件および第１合成利得項に基づいて、質量流量コントローラの複数の個々の構成要素に関連する第２合成利得項を判定する動作を含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
第２合成利得項を判定する動作が、
第１合成利得項を、テストバルブ利得項を含む合成利得項に分解する動作と、
テストバルブ利得項およびプロセス動作条件からプロセスバルブ利得項を判定する動作と、
プロセスバルブ利得項に基づいて第２合成利得項を判定する動作と
を含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、第２合成利得項の逆数と等しくなるように第１制御パラメータを修正する動作を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
プロセスバルブ利得項を判定する動作が、バルブの物理モデルから、流量の関数としてバルブ変位を判定するステップを含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
第２合成利得項を判定する動作が、
プロセス動作条件のプロセス流体に関連するプロセスフルスケール範囲を判定する動作であって、プロセス流体がテスト流体と異なる動作と、
プロセスフルスケール範囲に基づいて、プロセス流量計利得項を判定する動作と、
プロセス流量計利得項に基づいて、第２制御パラメータを修正する動作と
を含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
物理モデルから、流量の関数としてバルブ変位を判定する動作が、プロセス流体を含むプロセス動作条件をパラメータとしてバルブの物理モデルに適用するステップを含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
第２合成利得項を判定する動作が、バルブの物理モデルに基づいてバルブ変位の関数として駆動レベルを判定することによって、バルブアクチュエータに関連するプロセスバルブアクチュエータ利得項を判定するステップを含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】
第２合成利得項が、プロセス動作条件で動作する質量流量コントローラの設定点によって示される流量の関数になるように、第２合成利得項が、プロセス流量計利得項、プロセスバルブアクチュエータ利得項、およびプロセスバルブ利得項から形成され、
第１制御パラメータを修正する動作が、制御ループ利得が設定点に関して一定になるように、質量流量コントローラの複数の個々の構成要素を含む制御ループに第２合成利得項の逆数を適用する動作を含む
請求項２２に記載の方法。
【請求項２６】
プロセッサで実行されるプログラムによってエンコードされたコンピュータ可読媒体であって、プログラムが、プロセッサで実行される時に、製造中に質量流量コントローラの応答を確立するのに使用されたテスト動作条件と少なくとも部分的に異なるプロセス動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を実行し、前記方法が、
プロセス流体種類情報および少なくとも１つのプロセス動作条件の少なくとも１つを入力として受け取る動作と、
テスト動作条件での質量流量コントローラの動作中に判定された第１合成利得項を得る動作と、
第１合成利得項および入力に基づいて第２合成利得項を判定する動作と、
本質的に同一の応答を維持するのを容易にするために、第２合成利得項に基づいて質量流量コントローラの少なくとも１つのパラメータを修正する動作と
を含むコンピュータ可読媒体。
【請求項２７】
プロセス動作条件が、応答を確立するのに使用されたテスト流体と異なるプロセス流体を含み、少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス流体種類情報に少なくとも部分的に基づいて少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項２６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項２８】
修正する動作が、入力に部分的に基づく第１分解利得項からの少なくとも１つの利得項を分解する動作を含み、少なくとも１つの利得項が質量流量コントローラの複数の個々の構成要素の少なくとも１つに関連する、請求項２６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項２９】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、第２合成利得項の積の逆数をとることによって形成される逆数利得項を判定する動作を含む、請求項２８に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３０】
質量流量コントローラが、バルブを含み、少なくとも１つの利得項を分解する動作が、少なくとも１つの利得項およびバルブの物理モデルに基づいてバルブ利得項を判定する動作を含む、請求項２８に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３１】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、逆数利得項と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項２９に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３２】
第２合成利得項を判定する動作が、プロセス動作条件で動作する質量流量コントローラの複数の構成要素に関連する複数のプロセス利得項を判定する動作を含み、複数の構成要素が、質量流量コントローラの制御ループを形成する、請求項２６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３３】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、複数のプロセス利得項の積の逆数をとることによって形成されるプロセス逆数利得項を判定する動作を含み、プロセス逆数利得項が、少なくとも１つの可変動作条件の関数である、請求項３２に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３４】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、制御ループが少なくとも少なくとも１つの可変動作条件に関して一定のループ利得を有するように、プロセス逆数利得項と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項３３に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３５】
複数の構成要素が、バルブを含み、複数のプロセス利得項を判定する動作が、バルブの物理モデルから少なくとも１つのプロセス利得項を判定する動作を含む、請求項３２に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３６】
コンピュータ可読媒体に記憶された構成データにアクセスする動作をさらに含み、構成データが、質量流量コントローラの応答がテスト動作条件で確立された時に得られた、請求項２６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３７】
構成データにアクセスする動作が、センサチューニングデータ、バルブ特性記述データ、および較正データの少なくとも複数にアクセスするステップを含む、請求項３６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３８】
構成データにアクセスする動作が、テスト動作条件の下でテスト流体に関して動作する質量流量コントローラの複数の構成要素の少なくとも１つに関連する少なくとも１つのテスト利得項を判定する動作を含む、請求項３６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項３９】
構成データにアクセスする動作が、第１合成利得項を得る動作を含み、第２合成利得項を判定する動作が、第１合成利得項を、質量流量コントローラの複数の構成要素に関連する複数のテスト利得項に分解する動作を含み、複数のテスト利得項が、質量流量コントローラのバルブに関連するテストバルブ利得項を含む、請求項３８に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４０】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、質量流量コントローラの複数の構成要素の少なくとも１つに関連する少なくとも１つのプロセス利得項を判定する動作を含み、少なくとも１つのプロセス利得項が、プロセス動作条件に基づいて、バルブの物理モデルから判定されるプロセスバルブ利得項を含む、請求項３９に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４１】
少なくとも１つのプロセス利得項を判定する動作が、プロセス流量計利得項、プロセスバルブアクチュエータ利得項、およびプロセスバルブ利得項を判定し、少なくとも１つのプロセス利得項の積の逆数をとることによって形成されるプロセス逆数利得項を判定する動作を含む、請求項４０に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４２】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス逆数利得項と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項４１に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４３】
少なくとも１つのプロセス利得項を判定する動作が、プロセス動作条件に基づいて、質量流量コントローラの流量計、バルブ、およびバルブアクチュエータに関連する複数のプロセス利得項を判定する動作を含む、請求項２６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４４】
構成データを判定する動作が、プロセス動作条件のプロセス流体に関連するプロセスフルスケール範囲を判定する動作を含み、プロセス流体が、テスト動作条件のテスト流体と異なる、請求項４３に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４５】
複数のプロセス利得項を判定する動作が、少なくとも、バルブの物理モデルからバルブに関連するプロセスバルブ利得項を判定するステップを含み、バルブの物理モデルが、パラメータとしてプロセス動作条件をとるように適合された、請求項４４に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４６】
少なくともプロセスバルブ利得項を判定する動作が、バルブの物理モデルからバルブアクチュエータに関連するプロセスバルブアクチュエータ利得項を判定することを含む、請求項４５に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４７】
複数のプロセス利得項を判定する動作が、プロセスフルスケール範囲に基づいてプロセス流量計利得項を判定する動作を含む、請求項４４に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４８】
プロセッサが、質量流量コントローラに含まれ、プログラムが、プロセッサに結合された質量流量コントローラのメモリに保管され、入力が、プロセッサに結合された質量流量コントローラの入力であり、プログラムがプロセッサ上で実行される時に、質量流量コントローラが、入力で受け取られるプロセス動作条件で動作するように構成される、質量流量コントローラと組み合わされた、請求項２６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４９】
プロセッサが、質量流量コントローラに含まれ、プログラムが、プロセッサに結合された質量流量コントローラのメモリに保管され、入力が、プロセッサに結合された質量流量コントローラの入力であり、プログラムがプロセッサ上で実行される時に、質量流量コントローラが、入力で受け取られるプロセス動作条件で動作するように構成され、構成データが、質量流量コントローラのメモリに保管される、質量流量コントローラと組み合わされた、請求項３６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５０】
プログラムがその上で実行されるプロセッサを含むコンピュータと組み合わされ、コンピュータが、質量流量コントローラから得られた構成データが保管されるメモリを含む、請求項３６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５１】
構成データを得る動作が、テスト動作条件で動作する質量流量コントローラの複数の構成要素に関連する複数のテスト利得項を判定する動作を含む、請求項７に記載の方法。
【請求項５２】
複数のテスト利得項を判定する動作が、流量計に関連する流量計利得項、バルブアクチュエータに関連するバルブアクチュエータ利得項、および質量流量コントローラのバルブに関連するバルブ利得項の少なくとも１つを判定する動作を含む、請求項５１に記載の方法。
【請求項５３】
複数のテスト利得項を判定する動作が、複数のテスト利得項の積の逆数をとることによって形成されるテスト逆数利得項を判定する動作を含み、テスト逆数利得項が、少なくとも１つの可変動作条件の関数である、請求項５１に記載の方法。
【請求項５４】
少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作が、テスト逆数利得項と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータをセットするステップを含む、請求項５３に記載の方法。
【請求項５５】
構成データを得る動作が、少なくとも複数の流量計、バルブ、およびバルブアクチュエータに関連する第１合成利得項を得る動作を含み、流量計、バルブ、およびバルブアクチュエータが、動作条件の第１組で動作する質量流量コントローラの制御ループを少なくとも部分的に形成する、請求項１に記載の方法。
【請求項５６】
少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作が、第１合成利得項の逆数と等しくなるように少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作を含む、請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
少なくとも１つの制御パラメータをセットする動作が、第１合成利得項の逆数と等しくなるように制御ループ制御パラメータをセットするステップを含み、制御ループ制御パラメータが、少なくとも１つの可変動作条件の関数であり、制御ループの制御ループ利得が、少なくとも少なくとも１つの可変動作条件の関数として変化しないようになる、請求項５５または５６に記載の方法。
【請求項５８】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、動作条件に関するパラメータを有するバルブの物理モデルおよびプロセス動作条件に関連するプロセスフルスケール範囲の少なくとも１つに基づいて、少なくとも質量流量コントローラの複数の流量計、バルブ、およびバルブアクチュエータとプロセス動作条件に関連する第２合成利得項を判定する動作を含む、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス動作条件の下で動作する時に、制御ループ利得が少なくとも少なくとも１つの可変動作条件について一定のままになるように、第２合成利得項の逆数と等しくなるように制御ループ制御パラメータを修正する動作を含む、請求項５８に記載の方法。
【請求項６０】
質量流量コントローラが、
質量流量コントローラによって供給される流体の実際の流れを監視し、条件付けられた出力信号を供給する流量計であって、第１利得項を有する流量計と、
質量流量コントローラによって供給される流体の所望の流れを表す第２入力信号を受け取り、制御信号を供給する制御セクションであって、少なくとも１つの可変動作条件の関数である第２利得項を有する制御セクションと、
バルブの１つまたは複数の要素の変位に基づいて流体の流れを許容するバルブであって、第３利得項を有するバルブと、
制御信号を受け取り、バルブの１つまたは複数の要素の変位を調整するバルブアクチュエータであって、第４利得項を有するバルブアクチュエータと
を含む制御ループを有し、さらに、実質的に一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを構成する動作を含む方法であって、
構成データを得る動作が、テスト動作条件を使用してテスト流体に関する第１利得項、第３利得項、および第４利得項を判定する動作を含み、
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス流体およびプロセス動作条件の少なくとも１つに伴って、第１利得項、第３利得項、および第４利得項がどのように変化するかを予測する動作を含み、
少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、さらに、少なくとも少なくとも１つの可変動作条件に関して実質的に一定の制御ループ利得をもたらすために、第１利得項、第３利得項、および第４利得項の積の逆数に定数をかけたものに第２利得項を変更する動作を含む
請求項１に記載の方法。
【請求項６１】
質量流量コントローラの制御ループを定義する複数の構成要素を有する質量流量コントローラを制御する方法であって、
少なくとも１つの可変動作条件の関数である少なくとも１つの制御ループ制御パラメータを形成する動作と、
少なくとも１つの制御ループ制御パラメータを質量流量コントローラの制御ループに適用することによって、少なくとも少なくとも１つの可変動作条件に関して制御ループの一定のループ利得を維持する動作と
を含む方法。
【請求項６２】
少なくとも１つの制御ループ制御パラメータを形成する動作が、質量流量コントローラの少なくとも１つの構成要素に関連する制御ループの少なくとも１つの利得の積の逆数をとることによって制御ループ制御パラメータを形成する動作を含む、請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
少なくとも１つの可変動作条件が、設定点を含む、請求項６２に記載の方法。
【請求項６４】
少なくとも１つの可変動作条件が、バルブ入口圧力を含む、請求項６２に記載の方法。
【請求項６５】
一定のループ利得を維持する動作が、制御ループ制御パラメータに、制御ループ内に設けられる少なくとも１つの信号をかける動作を含む、請求項６２に記載の方法。
【請求項６６】
制御ループ制御パラメータを形成する動作が、少なくとも質量流量コントローラの流量計、バルブアクチュエータ、およびバルブに関連する合成利得項の逆数から形成される逆数利得項を形成する動作を含む、請求項６１に記載の方法。
【請求項６７】
一定のループ利得を維持する動作が、逆数利得項を質量流量コントローラの制御ループに適用する動作を含む、請求項６６に記載の方法。
【請求項６８】
制御ループを有する質量流量コントローラであって、
流体流路内の流体の流れを感知するように適合され、流路内の質量流量を表す流れ信号を供給する流量計と、
流量計に結合され、流れ信号に少なくとも部分的に基づいて駆動信号を供給するように適合されたコントローラと、
コントローラから駆動信号を受け取るように適合されたバルブアクチュエータと、
バルブアクチュエータによって制御され、流体流路に結合されたバルブと
を含み、
質量流量コントローラの制御ループが、流量計、コントローラ、バルブアクチュエータ、およびバルブを含み、
コントローラが、少なくとも１つの制御パラメータを制御ループに適用することによって、テスト動作条件での動作中の少なくとも１つの可変動作条件に関する実質的に一定の制御ループ利得項を確立するように適合され、
コントローラが、実質的に一定の制御ループ利得を維持するために、プロセス動作条件に従って少なくとも１つの制御パラメータを修正するように構成される
質量流量コントローラ。
【請求項６９】
実質的に一定の制御ループ利得項が、流量計、バルブアクチュエータ、およびバルブの少なくとも１つに関連する少なくとも１つの利得を含む、請求項６８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７０】
実質的に一定の制御ループ利得項が、少なくとも１つの利得項の積の逆数をとることによって形成される逆数利得項を含む、請求項６９に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７１】
逆数利得項が、少なくとも設定点の関数である、請求項７０に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７２】
逆数利得項が、少なくともバルブ入口圧力の関数である、請求項７０に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７３】
実質的に一定の制御ループ利得項が、少なくとも流量計、バルブアクチュエータ、およびバルブに関連する合成利得項を含む、請求項６８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７４】
実質的に一定の制御ループ利得が、合成利得項の積の逆数によって形成される逆数利得項を含み、逆数利得項が、少なくとも１つの可変動作条件の関数である、請求項７３に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７５】
逆数利得項および合成利得項の積が、本質的に定数であり、実質的に一定の制御ループ利得が、制御ループ内の質量流量コントローラの少なくとも１つの信号に逆数利得項を適用することによってもたらされる、請求項７４に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７６】
流量計が、正規化回路、応答補償回路、および線形化曲線の少なくとも１つを含む、請求項６８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７７】
流量計が、線形化曲線を含む、請求項７６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７８】
線形化曲線が、制御点の組にあてはめられた３次スプラインである、請求項７７に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７９】
制御点の組が、テスト流体およびテスト動作条件での質量流量コントローラの特性記述中に得られる構成データの一部である、請求項７８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８０】
制御点が、設定点の選択された組に関するセンサ出力とおよび実際の流体の流れを示す点の対である、請求項７９に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８１】
コントローラが、利得／リード／ラグ（ＧＬＬ）コントローラである、請求項７４に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８２】
逆数利得項が、ＧＬＬコントローラの第１入力に供給される、請求項８１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８３】
流量計からの流れ信号がＧＬＬコントローラの第２入力に供給され、設定点信号がＧＬＬコントローラの第３入力に供給される、請求項８２に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８４】
ＧＬＬコントローラが、流れ信号と設定点信号との間の差に基づいて誤差信号を供給する、請求項８３に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８５】
ＧＬＬコントローラが、逆数利得項に誤差信号をかける、請求項８４に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８６】
流量計が、第１利得項を有し、
バルブが、第２利得項を有し、
バルブアクチュエータが、第３利得項を有し、
コントローラが、実質的に一定の制御ループ利得を確立するために、少なくとも１つの制御パラメータとして、第１利得項、第２利得項、および第３利得項の少なくとも１つの積の逆数をとることによって形成される逆数利得項を提供するように適合された
請求項６８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８７】
逆数利得項が、第１利得項、第２利得項、および第３利得項の少なくとも２つの積の逆数をとることによって形成される、請求項８６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８８】
逆数利得項が、第１利得項、第２利得項、および第３利得項の積の逆数をとることによって形成される、請求項８６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８９】
逆数利得項が、質量流量コントローラのシステム利得項の逆数をとることによって形成される、請求項８６に記載の質量流量コントローラ。
【請求項９０】
逆数利得項が、少なくとも１つの可変動作条件の関数である、請求項８８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項９１】
質量流量コントローラの制御ループが、流量計、バルブアクチュエータ、バルブ、およびコントローラを含み、逆数利得項が、少なくとも、１つの可変動作条件に関して、制御ループの一定のループ利得を維持する、請求項９０に記載の質量流量コントローラ。
【請求項９２】
入口圧力で流体の流れを受け取るバルブ入口および出口圧力で流体の流れを供給するバルブ出口を有するバルブの変位を決定する方法であって、
（Ａ）入口圧力と出口圧力との間の中間圧力を選択する動作と、
（Ｂ）入口圧力から中間圧力への粘性圧力低下に基づいてバルブの第１変位を判定する動作と、
（Ｃ）中間圧力から出口圧力への無粘性圧力低下に基づいてバルブの第２変位を判定する動作と、
（Ｄ）第１変位が第２変位と近似的に等しいかどうかを判定する動作と、
（Ｅ）第１変位が第２変位と近似的に等しい時に、バルブの変位として第１変位および第２変位の１つを選択する動作と
を含む方法。
【請求項９３】
動作（Ｄ）で、第１変位が第２変位と近似的に等しくないと判定される時に、新しい中間圧力を選択する動作
をさらに含む、請求項９２に記載の方法。
【請求項９４】
動作（Ｄ）で、第１変位が第２変位と近似的に等しいと判定されるまで、動作（Ｂ）から（Ｄ）を繰り返す動作
をさらに含む、請求項９３に記載の方法。
【請求項９５】
動作（Ｃ）が
中間圧力が、出口圧力より約２気圧高い時に、第２変位を判定するために、チョークされた流れの条件の下で中間圧力から出口圧力への無粘性圧力低下に基づいて第１計算を使用する動作と、
中間圧力が、出口圧力より約２気圧高くはない時に、第２変位を判定するために、チョークされない流れの条件の下で中間圧力から出口圧力への無粘性圧力低下に基づいて第２計算を使用する動作と
を含む、請求項９２に記載の方法。
【請求項９６】
第１計算および第２計算が、オリフィスを通る無粘性流れの物理モデルに基づく、請求項９５に記載の方法。
【請求項９７】
動作（Ｃ）が、
第２変位を判定するために、オリフィスを通る無粘性流れの物理モデルに基づく第１計算を使用する動作
を含む、請求項９２に記載の方法。
【請求項９８】
動作（Ｂ）が、
バルブの第１変位を判定するために、２つの平行の板の間の粘性流れの物理モデルに基づく第１計算を使用する動作
を含む、請求項９２に記載の方法。
【請求項９９】
ソレノイド作動装置でのヒステリシスの影響を減らす方法であって、
装置を所定の状態にするために、ソレノイド作動装置に所定の非動作信号を適用する動作
を含む方法。
【請求項１００】
非動作信号を適用する動作が、ソレノイド作動装置の各動作サイクルの後に発生する、請求項９９に記載の方法。
【請求項１０１】
非動作信号を適用する動作が、装置が所定の動作範囲の外で動作した後に限って発生する、請求項９９に記載の方法。
【請求項１０２】
非動作信号を適用する動作が、非動作電流信号を適用する動作を含む、請求項９９に記載の方法。
【請求項１０３】
非動作信号を適用する動作が、非動作電圧信号を適用する動作を含む、請求項９９に記載の方法。
【請求項１０４】
非動作信号を適用する動作が、時間に伴って変化する正弦波形を適用する動作を含む、請求項９９に記載の方法。
【請求項１０５】
時間に伴って変化する正弦波形を適用する動作が、時間に伴って減少する振幅を有する正弦波形を適用する動作を含む、請求項１０４に記載の方法。
【請求項１０６】
時間に伴って変化する正弦波形を適用する動作が、波形が非負値だけを有するようになる振幅のオフセットを有する正弦波形を適用する動作を含む、請求項１０４に記載の方法。
【請求項１０７】
非動作信号を適用する動作が、時間に伴って変化する方形波形を適用する動作を含む、請求項９９に記載の方法。
【請求項１０８】
時間に伴って変化する方形波形を適用する動作が、時間に伴って減少する振幅を有する方形波形を適用する動作を含む、請求項１０７に記載の方法。
【請求項１０９】
時間に伴って変化する方形波形を適用する動作が、波形が非負値だけを有するようになる振幅のオフセットを有する方形波形を適用する動作を含む、請求項１０７に記載の方法。
【請求項１１０】
非動作信号を適用する動作が、時間に伴って変化する三角形波形を適用する動作を含む、請求項９９に記載の方法。
【請求項１１１】
時間に伴って変化する三角形波形を適用する動作が、時間に伴って減少する振幅を有する三角形波形を適用する動作を含む、請求項１１０に記載の方法。
【請求項１１２】
時間に伴って変化する三角形波形を適用する動作が、波形が非負値だけを有するようになる振幅のオフセットを有する三角形波形を適用する動作を含む、請求項１１１に記載の方法。
【請求項１１３】
非動作信号を適用する動作が、パルス形信号を適用する動作を含む、請求項９９に記載の方法。
【請求項１１４】
パルス形信号を適用する動作が、ソレノイド作動装置に適用される動作信号の符号と反対の符号を有するパルス形信号を適用する動作を含む、請求項１１３に記載の方法。
【請求項１１５】
（ａ）ソレノイド作動装置を第１位置から第２位置に移動させるために、ソレノイド作動装置にエネルギの第１量を供給する動作と、
（ｂ）ソレノイド作動装置を第１位置に戻すために、ソレノイド作動装置にエネルギの第２量を供給する動作と
をさらに含み、
（ｃ）エネルギの第１量がエネルギの所定の量を超える時に、ソレノイド作動装置を所定の状態にセットするために、動作（ｂ）の後に所定の非動作信号を適用する動作が実行される、
請求項９９に記載の方法。
【請求項１１６】
所定の非動作信号を適用する動作が、時間に伴って変化する信号をソレノイド作動装置に供給する動作を含む、請求項１１５に記載の方法。
【請求項１１７】
時間に伴って変化する信号を供給する動作が、正弦波形、方形波形、三角形波形、鋸歯波形の少なくとも１つを有する時間に伴って変化する信号を供給する動作を含む、請求項１１６に記載の方法。
【請求項１１８】
時間に伴って変化する信号を供給する動作が、波形が非負値だけを有するようになるオフセットを有する時間に伴って変化する信号を供給する動作を含む、請求項１１７に記載の方法。
【請求項１１９】
時間に伴って変化する信号を供給する動作が、時間に伴って減少する振幅を有する時間に伴って変化する信号を供給する動作を含む、請求項１１７に記載の方法。
【請求項１２０】
ソレノイド装置が、制御される部分を有する制御バルブである、請求項１１５に記載の方法。
【請求項１２１】
エネルギの第１量を供給する動作が、バルブの制御される部分を制御するために駆動信号を供給するステップを含み、駆動信号が、第１の符号を有する、請求項１２０に記載の方法。
【請求項１２２】
動作（ｃ）が、バルブにパルスを供給する動作を含む、請求項１２１に記載の方法。
【請求項１２３】
パルスを供給する動作が、第１の符号と反対の符号を有するパルスを供給する動作を含む、請求項１２２に記載の方法。
【請求項１２４】
エネルギの所定の量が、バルブの制御される部分を開くのに必要な駆動信号のエネルギを超える、請求項１２１に記載の方法。
【請求項１２５】
ソレノイド作動装置が、質量流量コントローラのソレノイド作動制御バルブである、請求項１１５に記載の方法。
【請求項１２６】
質量流量コントローラが、動作範囲を有し、エネルギの所定の量が、ソレノイド制御バルブの位置を、質量流量コントローラの通常動作範囲の外の位置に移動するのに必要なエネルギの量である、請求項１２５に記載の方法。
【請求項１２７】
ソレノイド作動装置と、
ソレノイド作動装置に結合されたソレノイドアクチュエータであって、装置を所定の状態にセットするためにソレノイド作動装置に非動作信号を供給するように適合された、ソレノイドアクチュエータと
を含む装置。
【請求項１２８】
非動作信号が、電流信号である、請求項１２７に記載の装置。
【請求項１２９】
非動作信号が、電圧信号である、請求項１２７に記載の装置。
【請求項１３０】
アクチュエータが、各動作サイクルの後に、ソレノイド作動装置に非動作信号を供給するように適合された、請求項１２７に記載の装置。
【請求項１３１】
アクチュエータが、ソレノイド作動装置が所定の動作範囲の外で動作した後に限って非動作信号を供給するように適合された、請求項１２７に記載の装置。
【請求項１３２】
非動作信号が、時間に伴って変化する正弦波形、時間に伴って変化する方形波形、時間に伴って変化する三角形波形、および時間に伴って変化する鋸歯波形の１つである、請求項１２７に記載の装置。
【請求項１３３】
非動作信号が、時間に伴って減少する振幅を有する、請求項１３２に記載の装置。
【請求項１３４】
非動作信号が、波形が非負値だけを有するようになるオフセットを有する、請求項１３２に記載の装置。
【請求項１３５】
非動作信号が、パルスである、請求項１３２に記載の装置。
【請求項１３６】
ソレノイド作動装置が、ソレノイド作動バルブである、請求項１２７に記載の装置。
【請求項１３７】
アクチュエータが、バルブが所定の量を超える量だけデフォルト位置から変位した時にのみ、非動作信号を供給する、請求項１３６に記載の装置。
【請求項１３８】
アクチュエータが、バルブのすべての動作サイクルの後にバルブに非動作信号を供給する、請求項１３６に記載の装置。
【請求項１３９】
非動作信号が、時間に伴って変化する正弦波形、時間に伴って変化する方形波形、および時間に伴って変化する鋸歯波形の１つである、請求項１３６に記載の装置。
【請求項１４０】
流路内の流体の流れを感知し、流体の流れを表す流れ信号を供給するように適合された流量計と、
流れ信号を受け取り、流れ信号に少なくとも部分的に基づいて駆動信号を供給するように適合されたコントローラと、
流れ信号を受け取るバルブドライバであって、流れ信号に基づいて非動作信号を供給するように適合されたバルブドライバと
を含む質量流量コントローラと組み合わされ、
アクチュエータが、コントローラによって供給される駆動信号を受け取り、駆動信号に基づいてバルブの制御される部分を変位させる
請求項１３８に記載の装置。
【請求項１４１】
バルブドライバが、さらに、各動作サイクルの後にアクチュエータに非動作信号を供給するように適合された、請求項１４０に記載の装置。
【請求項１４２】
バルブドライバが、さらに、流れ信号が流れを示さない時に、必ずアクチュエータに非動作信号を供給するように適合された、請求項１４０に記載の装置。
【請求項１４３】
バルブドライバが、さらに、バルブの制御される部分が所定の量を超えて変位した後に限って、非動作信号を供給するように適合された、請求項１４０に記載の装置。
【請求項１４４】
非動作信号が、正弦波形、方形波形、三角形波形、および鋸歯波形の少なくとも１つである、請求項１４０に記載の装置。
【請求項１４５】
質量流量コントローラの特性を記述する動作であって、
テスト動作条件で質量流量コントローラをチューニングする動作と、
テスト動作条件で質量流量コントローラを較正する動作と
を含み、テスト動作条件が、単一のテスト流体を含む
質量流量コントローラの特性を記述する動作をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４６】
プロセス動作条件が、質量流量コントローラのチューニング中および較正中に使用された単一のテスト流体と異なるプロセス流体を含み、少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作が、プロセス流体のプロセス流体種類情報に少なくとも部分的に基づいて少なくとも１つの制御パラメータを修正する動作を含む、請求項１４５に記載の方法。