【手続補正書】
【提出日】平成16年12月22日(2004.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップを供給するためのチップ供給ユニットと、
マウント部材を搬送するマウント部材搬送ユニットと、
前記チップ供給ユニットからチップをピックアップし、マウント位置まで搬送し、マウント部材上にマウントするチップ搬送ユニットと、
このチップ搬送ユニットの位置を測定するためのセンサユニットと、
このセンサユニットにより、マウント作業開始前に測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報と、マウント作業中に測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報とを比較して位置ズレを算出し、この位置ズレが所定値以上であれば前記チップ搬送ユニットの位置補正指示を行なうコントロールユニットと、
このコントローラからの位置補正指示によりチップ搬送ユニットの位置を補正する手段と、
を備えたことを特徴とするチップマウント装置。
【請求項２】
チップを供給するためのチップ供給ユニットと、
リードフレームを搬送するリードフレーム搬送ユニットと、
前記チップ供給ユニットからチップをピックアップし、マウント位置まで搬送し、リードフレーム上にマウントするチップ搬送ユニットと、
このチップ搬送ユニットの位置を測定するためのセンサユニットと、
このセンサユニットにより、マウント作業開始前に測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報と、マウント作業中に測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報とを比較して位置ズレを算出し、この位置ズレが所定値以上であれば前記チップ搬送ユニットの位置補正指示を行なうコントロールユニットと、
このコントローラからの位置補正指示によりチップ搬送ユニットの位置を補正する手段と、
を備えたことを特徴とするチップマウント装置。
【請求項３】
センサユニットによりマウント作業開始前のピックアップ位置におけるチップ搬送ユニットの位置を測定し、測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報をコントローラに格納する工程と、
前記チップ搬送ユニットをピックアップ位置まで搬送し、チップ供給ユニットにおけるチップをピックアップする工程と、
このピックアップしたチップをリードフレーム搬送ユニットにおけるリードフレームのマウント位置まで搬送し、マウントする工程と、
前記センサユニットによりマウント作業中でのピックアップ位置における前記チップ搬送ユニットの位置を測定し、測定したチップ搬送ユニットの位置情報を前記コントローラに格納する工程と、
前記マウント作業開始前の前記位置情報とマウント作業中での位置情報とを比較し、マウント作業中で発生した前記チップ搬送ユニットの位置ズレを前記コントローラにより算出する工程と、
この位置ズレが所定値以上であれば、ピックアップ位置における前記チップ搬送ユニットの位置及びマウント位置における前記チップ搬送ユニットの位置を前記コントローラの指示により位置ズレ分だけそれぞれ補正する工程と、
を備えたことを特徴とするチップのマウント方法。
【請求項４】
チップを供給するためのチップ供給ユニットと、
リードフレームを搬送するリードフレーム搬送ユニットと、
前記チップ供給ユニットからチップをピックアップし、マウント位置まで搬送し、リードフレーム上にマウントするチップ搬送ユニットと、
このチップ搬送ユニットのピックアップ位置とリードフレーム搬送ユニットのリードフレームのマウント位置を測定するためのセンサユニットと、
このセンサユニットにより、マウント作業開始前に測定したチップ搬送ユニットのピックアップの位置情報と、マウント作業中に測定したチップ搬送ユニットのピックアップの位置情報とを比較して、位置ズレを算出し、このピックアップ位置ズレが所定値以上であれば前記チップ搬送ユニットのピックアップ及びマウント位置をピックアップ位置ズレ分だけ補正する指示を行ない、更に、マウント作業開始前に測定した前記リードフレーム搬送ユニットのマウント位置情報と、マウント作業中に測定した前記リードフレーム搬送ユニットのマウント位置情報とを比較してリードフレーム搬送ユニットのマウントの位置ズレを算出し、このマウント位置ズレが所定値以上であれば前記ピックアップ位置ズレと前マウント位置ズレの和を算出し、前記チップ搬送ユニットのマウント位置をこの位置ズレの和の分だけ補正する指示を行なうコントロールユニットと、
前記ピックアップ及びマウント位置ズレが所定値以上であれば、このコントローラからの補正指示によりチップ搬送ユニットのピックアップ位置及びマウント位置を補正する手段と、
を備えたことを特徴とするチップマウント装置。
【請求項５】
センサユニットによりマウント作業開始前におけるチップ搬送ユニットのピックアップ位置及びリードフレーム搬送ユニットのマウント位置を測定し、測定した前記ピックアップ位置及びマウント位置の位置情報をコントローラに格納する工程と、
前記チップ搬送ユニットをピックアップ位置まで搬送し、チップ供給ユニットにおけるチップをピックアップする工程と、
このピックアップしたチップをリードフレーム搬送ユニットにおけるリードフレームのマウント位置まで搬送し、マウントする工程と、
前記センサユニットによりマウント作業中での前記チップ搬送ユニットのピックアップ位置を測定し、測定した前記ピックアップ位置の位置情報を前記コントローラに格納する工程と、
マウント作業開始前に測定した前記チップ搬送ユニットのピックアップ位置とマウント作業中での前記チップ搬送ユニットのピックアップ位置とを比較し、マウント作業中で発生した前記チップ搬送ユニットのピックアップ位置ズレを前記コントローラにより算出する工程と、
このピックアップ位置ズレが所定値以上であれば、前記チップ搬送ユニットのピックアップ位置を前記コントローラの指示により位置ズレ分だけ補正する工程と、
前記センサユニットにより、マウント作業中での前記リードフレーム搬送ユニットのマウント位置を測定し、測定したリードフレーム搬送ユニットの位置情報を前記コントローラに格納する工程と、
マウント作業開始前に測定した前記リードフレーム搬送ユニットのマウント位置とマウント作業中のリードフレーム搬送ユニットのマウント位置とを比較し、マウント作業中で発生した前記リードフレーム搬送ユニットのマウント位置ズレを前記コントローラにより算出する工程と、
このマウント位置ズレが所定値以内で、且つピックアップ位置ズレが所定値以上あれば、前記チップ搬送ユニットのマウント位置を前記コントローラの指示によりピックアップ位置ズレ分だけ補正し、前記マウント位置ズレが所定値以上であれば、前記ピックアップ位置ズレとマウント位置ズレとの和の分だけ前記チップ搬送ユニットのマウント位置を前記コントローラの指示により補正する工程と、を備えたことを特徴とするチップのマウント方法。
【請求項６】
チップを供給するためのチップ供給ユニットと、
リードフレームを搬送するリードフレーム搬送ユニットと、
前記チップ供給ユニットからチップをピックアップし、マウント位置まで搬送し、リードフレーム上にマウントするチップ搬送ユニットと、
このチップ搬送ユニットの位置を測定するためのセンサユニットと、
このセンサユニットにより、マウント作業開始前に測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報と、マウント作業中に測定した前記チップ搬送ユニットの位置情報とを比較して位置ズレを算出し、この位置ズレが所定値以上であれば、前記チップ供給ユニットの位置及び前記チップ搬送ユニットの位置のいずれか一方の位置補正指示を行なうコントロールユニットと、
このコントローラからの位置補正指示により、前記マウント作業開始前の位置に前記チップ供給ユニットのチップ位置及びチップ搬送ユニットのピックアップ位置のいずれか一方がくるように、前記チップ供給ユニット及びチップ搬送ユニットのいずれか一方を補正する手段と、
を備えたことを特徴とするチップマウント装置。