(57)【要約】ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂と、感光剤とを含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となることを特徴とする感光性樹脂組成物。  本発明によれば、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂と、感光剤とを含む感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率が、７０％以上である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記アルカリ可溶性樹脂を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの膜厚５μｍあたりの、波長３６５ｎｍにおける光透過率が、４０％以上である請求項１または請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物で構成されていることを特徴とする硬化膜。
【請求項５】
ガラス転移温度が２５０℃以上である請求項４に記載の硬化膜。
【請求項６】
請求項４または５に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする保護膜。
【請求項７】
請求項４または５に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする絶縁膜。
【請求項８】
請求項４または５に記載の硬化膜を有していることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項４または５に記載の硬化膜を有していることを特徴とする表示体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子の保護膜、絶縁膜には、耐熱性が優れ、かつ卓越した電気特性、機械特性等を有するポリイミド樹脂、上記特性に加えて耐湿信頼性が良いとされるポリベンゾオキサゾール樹脂が用いられていた。更に、ポリイミド樹脂やポリベンゾオキサゾール樹脂、それらの前駆体樹脂自身に感光性を付与し、レリーフパターン作成工程の一部を簡略化できるようにし、高感度で微細加工性を有しながら、高い耐熱性、優れた電気特性、機械特性を持ち、工程短縮および歩留まり（生産性）向上に効果のある感光性樹脂組成物が開発されており、これは半導体素子の保護膜用のみならず絶縁用樹脂組成物としての可能性も有している。
更に最近では、安全性の面からアルカリ水溶液で現像ができるポジ型感光性樹脂組成物が開発されている。例えば、特許文献１にはアルカリ可溶性樹脂としてポリベンゾオキサゾール前駆体と感光剤であるジアゾキノン化合物より構成されるポジ型感光性樹脂組成物が開示されている。このポジ型感光性樹脂組成物の現像メカニズムは以下のようになっている。基板上に塗布されたポジ型感光性樹脂組成物に、所望のパターンが描かれたマスクを通して化学線を照射すると、露光されている部分（露光部）のジアゾキノン化合物は化学変化を起こし、アルカリ水溶液に可溶となり、アルカリ可溶性樹脂の溶解を促進させる。一方、露光されていない部分（未露光部）のジアゾキノン化合物はアルカリ水溶液に不溶であり、アルカリ可溶性樹脂と相互作用することでこれに対し耐性を持つようになる。この露光部と未露光部との溶解性の差を利用し、露光部を溶解除去することにより未露光部のみのレリーフパターンの作成が可能となるものである。
レリーフパターンを形成した感光性樹脂組成物中のポリイミド前駆体樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂は、最終的に３００℃〜３５０℃付近の高温で硬化することにより脱水閉環し、耐熱性に富むポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂となる。近年は半導体素子の小型化、高集積化により、特に記憶素子では耐熱性が低くなっており、生産性向上の為、低温で硬化可能なポリイミド前駆体樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂も必要とされている。
硬化にはオーブン、ホットプレート、電気炉（ファーネス）、赤外線、マイクロ波などが使われるが、例えばオーブンの場合、その内部の位置（上段や下段、隅など）により温度にバラツキがあり、一様に設定温度どおりにならないことがある。
その場合、感光性樹脂組成物を塗布したウェハはそのウェハ面内、ウェハ間で硬化の度合いに差が生じて、性能にバラツキが生じるため生産性が低下する場合がある。更に、低温で硬化した際にはより顕著に差が出るため、生産性が更に低下する問題がある。
従って、幅広い温度領域で硬化しても生産性に優れる感光性樹脂組成物の開発が最近強く望まれている。
【特許文献１】特公平１−４６８６２号公報
【０００３】
従って、本発明の目的は、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することにある。
【発明の開示】
【０００４】
このような目的は、下記（１）〜（９）に記載の本発明により達成される。
（１）ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｉ）と、感光剤（ＩＩ）とを含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となることを特徴とする感光性樹脂組成物。
（２）前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率が、７０％以上である（１）に記載の感光性樹脂組成物。
（３）前記アルカリ可溶性樹脂を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの膜厚５μｍあたりの、波長３６５ｎｍにおける光透過率が、４０％以上である（１）または（２）に記載の感光性樹脂組成物。
（４）（１）乃至（３）のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物で構成されていることを特徴とする硬化膜。
（５）硬化膜のガラス転移温度（Ｔｇ）が２５０℃以上である（４）に記載の硬化膜。
（６）（４）または（５）に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする保護膜。
（７）（４）または（５）に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする絶縁膜。
（８）（４）または（５）に記載の硬化膜を有していることを特徴とする半導体装置。
（９）（４）または（５）に記載の硬化膜を有していることを特徴とする表示体装置。
本発明によれば、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下、本発明の感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｉ）と、感光剤（ＩＩ）とを含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となる感光性樹脂組成物である。また、本発明の感光性樹脂組成物は、前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率が、７０％以上であることが好ましい。
また、本発明の保護膜、絶縁膜は、上記感光性樹脂組成物の硬化物である硬化膜で構成されていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置、表示体装置は、上記硬化膜で構成されていることを特徴とする。
以下に本発明の感光性樹脂組成物の各成分について詳細に説明する。なお下記は例示であり、本発明は何ら下記に限定されるものではない。
本発明に係る前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂である。
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ベンゾオキサゾール前駆体構造：
2008102890.tif 000002
またはイミド前駆体構造：
2008102890.tif 000003
（式中、Ｒ’は、水素またはアルキル基、アルコキシアルキル基、トリアルキルシリル基、トリハロメチル基、フェニル基、ベンジル基、シクロアルキル基、テトラヒドロフラニル基若しくはテトラヒドロピラニル基）
のいずれか、あるいは、ベンゾオキサゾール前駆体構造およびイミド前駆体構造の両方を有しており、ベンゾオキサゾール前駆体構造、あるいは、イミド前駆体構造、あるいは、ベンゾオキサゾール前駆体構造およびイミド前駆体構造の両方により、樹脂の主鎖が結合されている。
また、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ベンゾオキサゾール前駆体構造またはイミド前駆体構造の一部が閉環し、樹脂中に、ベンゾオキサゾール構造：
2008102890.tif 000004
またはイミド構造：
2008102890.tif 000005
を有していてもよい。
なお、上記式中、Ｂ、Ｄ及びＥは、有機基である。
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、主鎖または側鎖に、少なくともフェノール性水酸基又はカルボキシル基、あるいは、フェノール性水酸基及びカルボキシル基の両方を有し、それらの一部がエーテル化又はエステル化されていてもよい。
従来は、低温で硬化した際にも生産性が高いことを満たすポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するポリアミド系樹脂は無かった。これは、低温で硬化した際には環化反応が十分進行しなかったことにより、アルカリ可溶基であるフェノール性水酸基、カルボキシル基が残存し、吸水率が高くなる為に耐湿信頼性や耐薬品性が低下、誘電率も高くなることによる。
これに対し本発明では鋭意検討を行った結果、アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となる前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）、つまり、「［Ｂ］≦（１０／７）×［Ａ］」となる前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）、好ましくは「［Ｂ］≦（４／３）×［Ａ］＋（８／３）」となる前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を用いた感光性樹脂組成物が、幅広い温度領域で硬化しても高い生産性を示すことを見出した。
環化率を測定するための指標となる硬化温度としては、低温で硬化する際に一般的に広く使用される２５０℃と、従来使用されてきた硬化温度範囲で最も低く、かつ硬化膜の性能が変わらないと考えられる３００℃である。前記［Ａ］／［Ｂ］の比が０．７０以上、つまり、「［Ｂ］≦（１０／７）×［Ａ］」であると、好ましくは「［Ｂ］≦（４／３）×［Ａ］＋（８／３）」であると、感光剤を含む感光性樹脂組成物として硬化した場合、感光剤による触媒効果により、低温で硬化した場合でもその環化率がほぼ１００％になり、幅広い温度領域の硬化で高い環化率を示し、性能のバラツキが少なくなるため歩留まりが向上し、半導体装置に対して高い生産性効果を与えることができる。
このような前記［Ａ］／［Ｂ］の比が０．７０以上、つまり、「［Ｂ］≦（１０／７）×［Ａ］」、好ましくは［［Ｂ］≦（４／３）×［Ａ］＋（８／３）」を達成するアルカリ可溶性樹脂を得る方法としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量を１万以下にする方法、シロキサン結合や脂肪族炭化水素結合などを主鎖に導入したりする方法などが考えられるが、その中でも、下記に示すビス（アミノフェノール）を使用する方法が好ましい。
具体的には、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）が、少なくともアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有するビス（アミノフェノール）と、カルボン酸由来の構造からなるポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有する樹脂であり、該ビス（アミノフェノール）が、両方のアミノ基の隣接する部位に置換基を有する樹脂である。
そして、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ジアミン成分とカルボン酸成分との反応により得られるポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有する樹脂であって、該ジアミン成分の全部または一部が、「両方のアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有し、且つ、その両方のアミノ基の他方の隣接する部位に置換基を有するビス（アミノフェノール）」である樹脂である。
以下、「両方のアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有し、且つ、その両方のアミノ基の他方の隣接する部位に置換基を有するビス（アミノフェノール）」を、ビス（アミノフェノール）（Ｃ）とも記載する。
更に該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）は、両方の水酸基のもう一方の隣接する部位に置換基を有することが好ましい。
該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）は、２つのアミノフェノール基のうち、一方のアミノフェノール基において、芳香族環上のヒドロキシル基の位置を１位としたとき、１位にヒドロキシル基を、該ヒドロキシル基に隣接する２位にアミノ基を、該アミノ基に隣接する３位に置換基を有し、他方のアミノフェノール基においても同様に、芳香族環上のヒドロキシル基の位置を１’位としたとき、１’位にヒドロキシル基を、該ヒドロキシル基に隣接する２’位にアミノ基を、該アミノ基に隣接する３’位に置換基を有する。更に該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）は、１位及び１’位のヒドロキシル基のアミノ基とは反対の隣接する部位に置換基を有することが好ましい。
より具体的には、該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）としては、下記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）が挙げられる。下記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）では、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）中のアミド結合が、下記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）のアミノ基の隣接する部位（オルソ位）にある置換基（Ｒ２）との立体障害により水酸基側に押し出されるため、アミド結合のカルボニル炭素と水酸基の酸素原子との距離が短くなると考えられる。そのため、環化反応におけるビス（アミノフェノール）由来の水酸基の酸素原子が、アミド結合中のカルボニル基の炭素原子へ求核攻撃し易くなるので、［Ａ］／［Ｂ］の値が０．７０以上を満たし易くなり、幅広い温度領域での硬化で高い環化率を示す。よって、半導体装置に対して高い生産性効果を与えることができる。
式（１）：
2008102890.tif 000006
（式中、Ｒ１は有機基である。Ｒ２はアルキル基、アルコキシ基、アシルオキシ基、シクロアルキル基のいずれかであり、同一でも異なっても良い。Ｒ３は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アシルオキシ基、シクロアルキル基のいずれかであり、同一でも異なっても良い。）
前記式（１）のＲ１は、好ましくはアルキレン、置換アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、単結合、又は下記式（３）の群から選ばれる有機基である。
式（３）：
2008102890.tif 000007
（式中、＊は前記式（１）のアミノフェノール構造に結合することを示す。）
なお、前記式（１）において、Ｒ１が単結合とは、アミノフェノール基の芳香族環同士が、単結合で結合していることを指す。
前記式（１）で表わされるビス（アミノフェノール）が、フェノール性水酸基のオルソ位（Ｒ３）にも置換基を有すことにより、フェノール性水酸基が、置換基（Ｒ３）との立体障害によりアミド結合側に押し出されて更に接近すると考えられ、低温で硬化した際にも高環化率になる効果が更に高まる。
特に好ましくは、前記式（１）のＲ２がアルキル基又はアルコキシ基であり、かつ、Ｒ３がアルキル基又はアルコキシ基であるビス（アミノフェノール）を用いることが、低温で硬化した際にも高環化率であることを維持しながら、アルカリ水溶液に対して十分な溶解性を持つ、バランスに優れる該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を得ることができる点で好ましい。前記式（１）のＲ２に係るアルキル基の具体的な例としては、−ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−Ｃ（ＣＨ３）３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ（ＣＨ３）２）、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３等が挙げられる。前記式（１）のＲ２に係るアルコキシ基の具体的な例としては、−ＯＣＨ３、−ＯＣＨ２ＣＨ３、−ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＯＣＨ（ＣＨ３）２、−ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＯＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＯＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−ＯＣ（ＣＨ３）３等が挙げられる。
前記式（１）のＲ１に係るアルキレン、置換アルキレンの具体的な例としては、−ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−等が挙げられるが、その中でも−ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−が、低温で硬化した際にも高環化率であることを維持しながら、アルカリ水溶液だけでなく溶剤に対しても十分な溶解性を持つ、バランスに優れる該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を得ることができる点で好ましい。
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）に係る該ジアミン成分は、一部が上記ビス（アミノフェノール）以外のジアミンであってもよく、その場合、該ジアミンとしては、一般に、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造を有する樹脂類のジアミン成分として用いられるものであれば、特に制限されない。
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）に係る該カルボン酸成分としては、一般に、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造を有する樹脂類のカルボン酸成分として用いられるものであれば、特に制限されない。
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）としては、最終加熱後の耐熱性、信頼性が高くなる点で、「ジアミン成分とカルボン酸成分との反応により得られるポリアミド樹脂類であって、該ジアミン成分由来の構造単位として下記式（４−１）及び下記式（４−２）と、該カルボン酸成分由来の構造単位として下記式（４−３）とが、アミド結合によりランダムに共重合したポリアミド樹脂類」（以下、式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類とも記載する。）であることが好ましい。なお、下記式（４−１）は１種でもあっても２種以上であってもよく、すなわち、下記式（４−１）に該当するジアミン成分が、Ｒ１〜Ｒ３が全て同じジアミン成分であってもよく、Ｒ１〜Ｒ３が異なるジアミン成分であってもよい。また、式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類が、下記式（４−２）のジアミン成分を有する場合、下記式（４−２）は１種でもあっても２種以上であってもよく、すなわち、下記式（４−２）に該当するジアミン成分が、Ｒ４、ｍ及びＸが全て同じジアミン成分であってもよく、Ｒ４、ｍ及びＸが異なるジアミン成分であってもよい。また、下記式（４−３）は１種でもあっても２種以上であってもよく、すなわち、下記式（４−３）に該当するカルボン酸成分が、Ｒ５、ｎ及びＹが全て同じカルボン酸成分であってもよく、Ｒ５、ｎ及びＹが異なるカルボン酸成分であってもよい。また、下記式（４−１）、（４−２）及び（４−３）では、ａ及びｂは樹脂中の各構造単位の数を示しているのであって、各成分が連続していること示すものではない。また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」には、ベンゾオキサゾール前駆体構造又はイミド前駆体構造の一部が閉環して、ベンゾオキサゾール構造又はイミド構造になったものも含まれる。
式（４−１）：
2008102890.tif 000008
式（４−２）：
2008102890.tif 000009
式（４−３）：
2008102890.tif 000010
上記式（４−１）、（４−２）及び（４−３）中、Ｘ、Ｙは有機基である。ａ及びｂは樹脂中の各構造単位の数を示し、ａは１以上の整数であり、ｂは０又は１以上の整数である。式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類において、ジアミン成分中の式（４−１）のモルパーセント、すなわち、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）は６０以上１００以下であり、ジアミン成分中の式（４−２）のモルパーセント、すなわち、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）は０以上４０以下である。Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、前記式（１）中のＲ１、Ｒ２及びＲ３と同義である。Ｒ４は水酸基又は−Ｏ−Ｒ７であり、同一でも異なっても良い。Ｒ５は水酸基、カルボキシル基、−Ｏ−Ｒ７、−ＣＯＯ−Ｒ７のいずれかであり、同一でも異なっても良い。ｍは０〜２の整数、ｎは０〜４の整数である。Ｒ７は炭素数１〜１５の有機基である。なお、式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類において、式（４−２）のｍが０である場合、又は前記式（４−２）中のＲ４が全て水酸基でない場合、前記式（４−３）中のＲ５は少なくとも１つはカルボキシル基でなければならない。また、前記式（４−３）中のＲ５がカルボキシル基でない場合、前記式（４−２）中のＲ４が水酸基であるジアミン成分のモルパーセントは、全ジアミン成分中２０〜４０％でなければならない。
また、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの膜厚５μｍあたりの、波長３６５ｎｍにおける光透過率が、４０％以上あることが好ましい。フィルムの光透過率が高いと、フィルム内部の奥にまでより多くの化学線が届くことにより、感度が向上する。感度が向上すると露光時間が短縮されることにより生産性が向上する。より好ましくは前記光透過率が５０％以上である。
これは、前記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）を使用することにより、レリーフパターン形成用の露光光源としてよく使用される波長３６５ｎｍの化学線に対するフィルムの光透過率が高い該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）が得られる。その理由として、前記式（１）のＲ２で示される置換基同士の立体障害によりＲ１を介した芳香環同士が折れ曲がることで平面構造が取り難くなり、電荷移動が起こり難くなったことが考えられる。
式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類において、ジアミン成分中の式（４−１）のモルパーセント、すなわち、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）が６０以上１００以下であることにより、前記［Ａ］／［Ｂ］の比が０．７０以上であり、２５０℃の低温で硬化した際にも環化率が７０％以上となる該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）が得られ、更に該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの膜厚５μｍあたりの、波長３６５ｎｍにおける光透過率が４０％以上となる為、信頼性と加工性が両立され、半導体装置に対して高い生産性効果が得られる。
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」は、例えば、前記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）と、必要によりＸを含むジアミン或いはビス（アミノフェノール）、２，４−ジアミノフェノール等から選ばれる化合物と、Ｙを含むテトラカルボン酸二無水物、トリメリット酸無水物、ジカルボン酸或いはジカルボン酸ジクロライド、ジカルボン酸誘導体、ヒドロキシジカルボン酸、ヒドロキシジカルボン酸誘導体等から選ばれる化合物とを反応して得られるものである。なお、ジカルボン酸の場合には反応収率等を高めるため、１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール等を予め反応させた活性エステル型のジカルボン酸誘導体を用いてもよい。
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」において、Ｘの置換基としての−Ｏ−Ｒ７、Ｙの置換基としての−Ｏ−Ｒ７、−ＣＯＯ−Ｒ７は、水酸基、カルボキシル基のアルカリ水溶液に対する溶解性を調節する目的で、炭素数１〜１５の有機基であるＲ７で保護された基であり、必要により水酸基、カルボキシル基を保護しても良い。Ｒ７の例としては、ホルミル基、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ターシャリーブチル基、ターシャリーブトキシカルボニル基、フェニル基、ベンジル基、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等が挙げられる。
この「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」を、高温で加熱する場合は２８０℃〜３８０℃、低温で加熱する場合は１５０℃〜２８０℃で処理すると脱水閉環し、ポリベンゾオキサゾール樹脂、又はポリベンゾオキサゾール樹脂とポリイミド樹脂との共重合という形で、耐熱性樹脂が得られる。低温で加熱処理すると、耐熱性が低い半導体素子でも生産性向上に効果がある。
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」のＸは有機基であり、例えばベンゼン環、ナフタレン環等の芳香族化合物、ビスフェノール類、ピロール類、フラン類等の複素環式化合物、シロキサン化合物等が挙げられ、より具体的には下記式（５）で示されるものを好ましく挙げることができる。これらは低温で硬化した際の高環化性に影響しない程度に、必要により１種類又は２種類以上組み合わせて用いてもよい。
式（５）：
2008102890.tif 000011
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」では、ＸにはＲ４が０〜２個結合される。なお、前記式（５）では、Ｒ４の記載を省略した。
また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」のＹは有機基であり、前記Ｘと同様のものが挙げられ、例えばベンゼン環、ナフタレン環等の芳香族化合物、ビスフェノール類、ピロール類、ピリジン類、フラン類等の複素環式化合物、シロキサン化合物等が挙げられ、より具体的には下記式（６）で示されるものを好ましく挙げることができる。これらは１種類又は２種類以上組み合わせて用いてもよい。
式（６）：
2008102890.tif 000012
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」では、ＹにはＲ５が０〜４個結合されるなお、前記式（６）では、Ｒ５の記載を省略した。
また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」では、Ｘを含む繰り返し単位のモルパーセントはゼロであってもよい。すなわち、ｂはゼロであってもよい。
更に、感光性樹脂組成物を２５０℃で熱処理した後の硬化膜のＴｇが２５０℃以上であることが高い生産性を実現させる為に好ましい。
これは、幅広い温度領域で硬化しても硬化物の耐熱サイクル性や耐熱ショック性などの特性にバラツキが殆ど無いことが望まれており、そのようなことから硬化物のガラス転移温度（Ｔｇ）が、鉛フリー半田の使用を想定したリフロー温度以上であることが望ましく、特に２５０℃の低温で熱処理した後の硬化膜のＴｇが２５０℃以上であることが望まれている。そのような観点から、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」中のＸとＹは環式化合物が望ましく、特に芳香族化合物が好ましい。ＸとＹの少なくとも一方に非環式化合物を含む場合は、それを含む繰り返し単位が２０モルパーセント未満であることが好ましい。
また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」は、該ポリアミド樹脂類の末端のアミノ基を、脂肪族基又は環式化合物基であって、該脂肪族基又は該環式化合物基が、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも１個有する基を含む酸無水物を用いてアミドとしてキャップすることが好ましい。これにより、保存性を向上することができる。このような、アミノ基と反応した後の脂肪族基又は環式化合物基であって、該脂肪族基又は該環式化合物基が、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも１個有する基を含む酸無水物に起因する基としては、例えば式（７）、式（８）で示される基等を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、２種類以上組み合わせて用いても良い。
式（７）：
2008102890.tif 000013
式（８）：
2008102890.tif 000014
これらの中で特に好ましいものとしては、式（９）から選ばれる基である。これにより、特に保存性を向上することができる。
式（９）：
2008102890.tif 000015
またこの方法に限定される事はなく、該ポリアミド樹脂類中に含まれる末端の脂肪族基又は環式化合物基であって、該脂肪族基又は該環式化合物基が、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも１個有する基を含むアミン誘導体を用いてアミドとしてキャップすることもできる。
本発明で用いる感光剤（ＩＩ）は、ポジ型のパターニングが可能となる感光剤を用いることができ、具体的には感光性ジアゾキノン化合物やオニウム塩など光により酸を発生する化合物や、ジヒドロピリジン化合物などを用いることができる。感光剤（ＩＩ）に係る感光性ジアゾキノン化合物は、例えばフェノール化合物と１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホン酸または１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホン酸とのエステルが挙げられる。具体的には、式（１０）〜式（１３）に示すエステル化合物を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上組み合わせて用いても良い。
式（１０）：
2008102890.tif 000016
式（１１）：
2008102890.tif 000017
式（１２）：
2008102890.tif 000018
式（１３）：
2008102890.tif 000019
式（１０）〜式（１３）中、Ｑは、水素原子、式（１４）または式（１５）のいずれかから選ばれるものである。式（１０）〜式（１３）中、各化合物のＱのうち、少なくとも１つは式（１４）または式（１５）である。
式（１４）、式（１５）：
2008102890.tif 000020
更に本発明では、高感度で更に現像後の樹脂残り（スカム）無くパターニングできるようにフェノール化合物を添加することができる。
本発明における樹脂組成物および感光性樹脂組成物には、必要によりレベリング剤、シランカップリング剤等の添加剤を含んでも良い。
本発明の感光性樹脂組成物は、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂（Ｉ）の他に、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）１００質量部に対して、０〜３０質量部の他のアルカリ可溶性樹脂を含有してもよい。該他のアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、アルカリ可溶性を有するクレゾール型ノボラック樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、メタクリル酸樹脂、メタクリル酸エステル樹脂等のアクリル系樹脂、水酸基、カルボキシル基等を含む環状オレフィン系樹脂が挙げられる。
本発明においては、これらの成分を溶剤に溶解し、ワニス状にして使用する。溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メチル−１，３−ブチレングリコールアセテート、１，３−ブチレングリコール−３−モノメチルエーテル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メチル−３−メトキシプロピオネート等が挙げられ、単独でも混合して用いても良い。
本発明の感光性樹脂組成物の使用方法は、まず該組成物を適当な支持体、例えば、シリコンウエハー、セラミック基板、アルミ基板等に塗布する。塗布量は、半導体素子上に塗布する場合、硬化後の最終膜厚が０．１〜３０μｍになるよう塗布する。膜厚が下限値を下回ると、半導体素子の保護膜、絶縁膜としての機能を十分に発揮することが困難となり、上限値を越えると、微細なレリーフパターンを得ることが困難となるばかりでなく、加工に時間がかかりスループットが低下する。塗布方法としては、スピンナーを用いた回転塗布、スプレーコーターを用いた噴霧塗布、浸漬、印刷、ロールコーティング等がある。次に、６０〜１３０℃でプリベークして塗膜を乾燥後、所望のパターン形状に化学線を照射する。化学線としては、Ｘ線、電子線、紫外線、可視光線等が使用できるが、２００〜５００ｎｍの波長のものが好ましい。
次に照射部を現像液で溶解除去することによりレリーフパターンを得る。現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン等の第１アミン類、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン等の第２アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第３アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第４級アンモニウム塩等のアルカリ類の水溶液、及びこれにメタノール、エタノールのごときアルコール類等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加した水溶液を好適に使用することができる。現像方法としては、スプレー、パドル、浸漬、超音波等の方式が可能である。
次に、現像によって形成したレリーフパターンをリンスする。リンス液としては、蒸留水を使用する。次に加熱処理（硬化）を行い、オキサゾール環、又はオキサゾール環及びイミド環を形成し、耐熱性に富む硬化物を得る。
加熱処理は高温でも低温でも可能であり、高温での加熱処理温度は、２８０℃〜３８０℃が好ましく、より好ましくは２９０℃〜３５０℃である。低温での加熱処理温度は１５０℃〜２８０℃が好ましく、より好ましくは１８０℃〜２６０℃である。
次に、本発明による感光性樹脂組成物の硬化膜について説明する。感光性樹脂組成物の硬化物である硬化膜は、半導体素子等の半導体装置用途のみならず、ＴＦＴ型液晶や有機ＥＬ等の表示体装置用途、多層回路の層間絶縁膜やフレキシブル銅張板のカバーコート、ソルダーレジスト膜や液晶配向膜としても有用である。
半導体装置用途の例としては、半導体素子上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなるパッシベーション膜、パッシベーション膜上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなるバッファーコート膜等の保護膜、また、半導体素子上に形成された回路上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなる層間絶縁膜等の絶縁膜、また、α線遮断膜、平坦化膜、突起（樹脂ポスト）、隔壁等を挙げることができる。
表示体装置用途の例としては、表示体素子上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなる保護膜、ＴＦＴ素子やカラーフィルター用等の絶縁膜または平坦化膜、ＭＶＡ型液晶表示装置用等の突起、有機ＥＬ素子陰極用等の隔壁等を挙げることができる。その使用方法は、半導体装置用途に準じ、表示体素子やカラーフィルターを形成した基板上にパターン化された感光性樹脂組成物層を、上記の方法で形成することによるものである。表示体装置用途の、特に絶縁膜や平坦化膜用途では、高い透明性が要求されるが、この感光性樹脂組成物層の硬化前に、後露光工程を導入することにより、透明性に優れた樹脂層が得られることもでき、実用上更に好ましい。
【実施例】
【０００６】
以下、実施例および比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものでない。
＜実施例１＞
アルカリ可溶性樹脂の合成
イソフタル酸０．２６４モルとジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸０．６１６モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４０８．９７ｇ（０．８８０モル）と、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６−ジメチルフェノール）２８６．３７ｇ（１．０００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２７８０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。次にＮ−メチル−２−ピロリドン１６０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、数平均分子量が１０５００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を得た。
透過率評価
アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）４．０ｇをγ−ブチロラクトン８．０ｇに溶解した樹脂を石英板にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で４分乾燥し、膜厚５μｍの塗膜を得た。この塗膜の透過率を紫外可視分光光度計（島津製作所製）により測定した。波長３６５ｎｍにおける透過率は６５％であった。
環化率評価（アルカリ可溶性樹脂）
上記アルカリ可溶性樹脂を３枚のシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、それぞれ膜厚約１μｍの塗膜を得た。次に塗膜付きシリコンウエハーの１枚を２％フッ化水素酸に浸け、フィルムを得た。このフィルムをフーリエ変換赤外分光光度計ＰＡＲＡＧＯＮ１０００（パーキンエルマー製）を用いて測定し、１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ａ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。次にオーブンを用いて、もう１枚の塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った後、同様にして硬化フィルムを得、フーリエ変換赤外分光光度計による測定から１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｂ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。残りの１枚の塗膜付きシリコンウエハーを同様に３００℃／９０分で加熱を行った後、同様にして硬化フィルムを得、フーリエ変換赤外分光光度計による測定から１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｃ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。
２５０℃での環化率［Ａ］は（１−｛（ｂ）／（ａ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は８２％であった。３００℃での環化率［Ｂ］は（１−｛（ｃ）／（ａ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は１００％であった。これより、［Ａ］／［Ｂ］は０．８２であり、幅広い温度領域でも環化率のバラツキが少ないアルカリ可溶性樹脂が得られた。
感光剤の合成
フェノール式（Ｂ−１）１３．５３ｇ（０．０２１４モル）と、トリエチルアミン７．６２ｇ（０．０７５３モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、テトラヒドロフラン１０８．６５ｇを加えて溶解させた。この反応溶液を１０℃以下に冷却した後に、１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホニルクロライド２０．２２ｇ（０．０７５３モル）をテトラヒドロフラン１００ｇと共に１０℃以上にならないように徐々に滴下した。その後１０℃以下で５分攪拌した後、室温で５時間攪拌して反応を終了させた。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／メタノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、式（Ｑ−１）の構造で示される感光剤を得た。
2008102890.tif 000021
感光性樹脂組成物の作製
合成したアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）１００ｇ、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤１３．５ｇをＮ−メチル−２−ピロリドン１００ｇとγ−ブチロラクトン１００ｇの混合溶媒に溶解した後、０．２μｍのテフロンフィルターで濾過し感光性樹脂組成物を得た。
感度評価
この感光性樹脂組成物をシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、膜厚約８．０μｍの塗膜を得た。この塗膜に凸版印刷（株）製・マスク（テストチャートＮｏ．１：幅０．８８〜５０μｍの残しパターン及び抜きパターンが描かれている）を通して、ｉ線ステッパー（（株）ニコン製・４４２５ｉ）を用いて、露光量を変化させて照射した。
次に２．３８％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に１２０秒で２回パドル現像することによって露光部を溶解除去した後、純水で１０秒間リンスした。その結果、露光量２３０ｍＪ／ｃｍ２で照射した部分よりパターンが成形されており、非常に高い感度を示していることが確認できた。（感度は２３０ｍＪ／ｃｍ２）。現像後の膜厚は７．９μｍと非常に高い値を示した。
環化率評価（感光性樹脂組成物）
上記感光性樹脂組成物を３枚のシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、それぞれ膜厚約１μｍの塗膜を得た。次に塗膜付きシリコンウエハーの１枚を２％フッ化水素酸に浸け、フィルムを得た。このフィルムをフーリエ変換赤外分光光度計ＰＡＲＡＧＯＮ１０００（パーキンエルマー製）を用いて測定し、１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｄ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。
次にオーブンを用いて、もう１枚の塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った後、同様にして硬化フィルムを得、フーリエ変換赤外分光光度計による測定から１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｅ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。残りの１枚の塗膜付きシリコンウエハーを同様に３００℃／９０分で加熱を行った後、同様にして１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｆ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。２５０℃での環化率は（１−｛（ｅ）／（ｄ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は９６％であった。３００℃での環化率は（１−｛（ｆ）／（ｄ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は１００％であった。これより、幅広い温度領域でも環化率のバラツキが少ない感光性樹脂組成物が得られていることが分かった。
ガラス転移温度（Ｔｇ）評価
上記感光性樹脂組成物を６インチのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、膜厚約１０μｍの塗膜を得た。次にオーブンを用いて、塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った。次に得られた硬化膜を２％のフッ化水素水に漬浸し、膜をシリコンウエハーから剥離した。得られた膜を純水で充分に洗浄し、オーブンで乾燥した。乾燥後の膜を５ｍｍ幅に切ってサンプル片を作成し、セイコーインスツルメンツ（株）製熱機械分析装置（ＴＭＡ）ＳＳ６０００を用いてガラス転移温度を測定した結果、２６５℃であった。
吸水率評価
上記感光性樹脂組成物を３枚の６インチシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、膜厚約１０μｍの塗膜を得た。次にオーブンを用いて、１枚の塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った。次に１枚の塗膜付きシリコンウエハーを３００℃／９０分で加熱を行った。更に残りの１枚の塗膜付きシリコンウエハーを３５０℃／９０分で加熱を行った。
その後、それぞれの硬化後の塗膜に５ｃｍ四方の升目になるようカッターで切れ込みを入れた後、２％フッ化水素酸に浸け、５ｃｍ四方のフィルムを得た。このフィルムの吸水率を試験規格ＪＩＳ−Ｋ７２０９に従って測定し、２５０℃／９０分で加熱処理した硬化膜は０．７％、３００℃／９０分で加熱処理した硬化膜は０．６％、３５０℃／９０分で加熱処理した硬化膜は０．５％という値を得た。
更に、上記２５０℃、３００℃、３５０℃の加熱処理した硬化フィルムの吸水率のうち、最大値と最小値との差を計算した。この結果、０．２％と非常に低い値を得た。
上記差が０．５％未満であり、かつ吸水率の最大値が１％以下であれば実用上使用に差し支えないと考えられ、本感光性樹脂組成物は、幅広い温度領域で硬化しても吸水率が小さく、更にそのバラツキが少なかったことから、より生産性に優れていることが分かった。これは、幅広い温度領域で硬化しても環化反応が十分進行したことにより、アルカリ可溶性樹脂中のアルカリ可溶基であるフェノール性水酸基が殆ど消失したことによるものと考えられる。
＜実施例２＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を２００．４６ｇ（０．７００モル）に減らし、替わりに３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン６９．０８ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が１１２００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例３＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタンの替わりに、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン７７．５０ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が１１８００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例４＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を２４９．１４ｇ（０．８７０モル）に減らし、替わりに３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン２８．０３ｇ（０．１００モル）と、１，３−ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン７．４６ｇ（０．０３０モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝８７、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１３、数平均分子量が１１０００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−４）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例５＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸の替わりにジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比を０．７０４モルに変更し、更に４，４′−オキシジフタル酸無水物５４．６０ｇ（０．１７６モル）と、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を１４３．１９ｇ（０．５００モル）に減らし、替わりにヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパンを１８３．１３ｇ（０．５００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝５０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝５０、数平均分子量が１２１００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−５）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例６＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸とジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比をそれぞれ０．３４４モルと０．５１６モルに変更し、更に４，４‘−メチレンビス（２−アミノ−３，６−ジメチルフェノール）の替わりに、４，４′−エチリデンビス（２−ニトロ−３，６−ジメチルフェノール）３００．４０ｇ（１．０００モル）を用いた他は実施例１と同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、数平均分子量が１０２００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−６）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１２．５ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例７＞
実施例６におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸とジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比をそれぞれ０．２５２モル、０．５８８モルに変更し、更に４，４′‐エチリデンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を２１０．２８ｇ（０．７００モル）に減らし、替わりに３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン６９．０８ｇ（０．３００モル）を用い、４−エチニルフタル酸無水物の添加量も５５．０８ｇ（０．３２０モル）に変更して同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が９５００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−７）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１４．０ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例８＞
実施例７におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタンの替わりに、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン７７．５０ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が９６００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−８）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１４．０ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例９＞
実施例６におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸とジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比をそれぞれ０．３３６モルと０．５０４モルに変更し、更に４，４′−エチリデンビス（２−アミノ−３，６−ジメチルフェノール）の替わりに、４，４′−エチリデンビス（２−アミノ−３−メチル−６−シクロヘキシルフェノール）４３６．６４ｇ（１．０００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、数平均分子量が８７００、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−９）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１５．０ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
＜比較例１＞
アルカリ可溶性樹脂の合成
イソフタル酸０．２６４モルとジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸０．６１６モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４０８．９７ｇ（０．８８０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン２５６．３８ｇ（０．７００モル）と、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン７７．５０ｇ（０．３００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２９７０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１６０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１１３００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１０）を得た。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様にして評価した。
＜比較例２＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）の替わりに、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン１９６．２１ｇ（０．７００モル）と、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン６９．０８ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１１８００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１１）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例１０＞
アジピン酸０．４３０モルとジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．４３０モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７２０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）３７５．３２ｇ（０．８６０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン２５６．３８ｇ（０．７００モル）と、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）エーテル６９．６８ｇ（０．３００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２７９０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１９０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４８．２０ｇ（０．２８０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が８６００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１２）を得た。
更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を２２ｇに変更した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
＜実施例１１＞
１，３−ビス（４−カルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン０．３４４モルとイソフタル酸０．２５８モルとジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．２５８モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７２０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４３９．６８ｇ（０．８６０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン３６６．２６ｇ（１．０００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２３８０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１９０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４８．２０ｇ（０．２８０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が８１００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１３）を得た。
更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１６ｇに変更した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
＜比較例３＞
ジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．８８０モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４３３．３６ｇ（０．８８０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン１４６．５０ｇ（０．４００モル）と、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）エーテル１３９．３５ｇ（０．６００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２８７０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１７０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１０２００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１４）を得た。
その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
＜比較例４＞
イソフタル酸０．４４０モルとジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．４４０モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）３９２．６９ｇ（０．８８０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン１４６．５０ｇ（０．４００モル）と、１，３−ビス（４−アミノ−３−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン１９４．６０ｇ（０．６００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２９４０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１６０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１１３００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１５）を得た。
更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１５ｇに変更した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
以下に、実施例及び比較例の第１表〜第３表を示す。
【表１】
2008102890.tif 000022
【表２】
2008102890.tif 000023
【表３】
2008102890.tif 000024
第３表において、各加熱処理温度における吸水率の最大値と最小値との差が０．５％未満であり、かつ吸水率の最大値が１％以下であれば◎とし、差が０．５％以上、もしくは吸水率の最大値が１％より大であれば×と判定した。
第１表及び第２表に示すように、実施例１〜１１は高透明性で高感度であり、かつ幅広い温度領域で硬化しても環化率のバラツキが少なく、その上で２５０℃の低温で硬化した場合でも高環化率で高Ｔｇであることが分かる。
第３表に示すように、実施例１〜１１は幅広い温度領域で硬化しても硬化フィルムの吸水率が１％以下である上に、その差も０．５％未満と少なく安定した特性を示していることが分かり、半導体装置の生産性向上に効果があるものと示唆された。
各実施例および各比較例で得られた感光性樹脂組成物は、半導体素子上に塗布して実施例１と同様にしてパターンを形成し、オーブンを用いて硬化して保護膜を形成させ、半導体装置を得ることができる。
このようにして得られた半導体装置は正常に動作すると予想されるが、実施例１〜１１の感光性樹脂組成物を用いた場合は、比較例よりも低吸水率であるため、より信頼性に優れた動作をするものと予想される。
【産業上の利用可能性】
【０００７】
本発明によれば、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月7日(2009.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂と、感光剤とを含む感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃９０分加熱後の環化率が、７０％以上であり、
前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃９０分加熱後の環化率［Ａ］％とし、３００℃９０分加熱後の環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上であり、
前記感光性樹脂組成物の２５０℃９０分加熱後の吸水率、３００℃９０分加熱後の吸水率及び３５０℃９０分加熱後の吸水率の最大値から最小値の差が、０．５％未満であること、
を特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記アルカリ可溶性樹脂が、ジアミン成分とカルボン酸成分との反応により得られるポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有する樹脂であり、
前記ジアミン成分の全部または一部が、両方のアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有し、且つ、その両方のアミノ基の他方の隣接する部位に置換基を有するビス（アミノフェノール）であること、
を特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物で構成されていることを特徴とする硬化膜。
【請求項４】
ガラス転移温度が２５０℃以上である請求項３に記載の硬化膜。
【請求項５】
請求項３または４に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする保護膜。
【請求項６】
請求項３または４に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする絶縁膜。
【請求項７】
請求項３または４に記載の硬化膜を有していることを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項３または４に記載の硬化膜を有していることを特徴とする表示体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子の保護膜、絶縁膜には、耐熱性が優れ、かつ卓越した電気特性、機械特性等を有するポリイミド樹脂、上記特性に加えて耐湿信頼性が良いとされるポリベンゾオキサゾール樹脂が用いられていた。更に、ポリイミド樹脂やポリベンゾオキサゾール樹脂、それらの前駆体樹脂自身に感光性を付与し、レリーフパターン作成工程の一部を簡略化できるようにし、高感度で微細加工性を有しながら、高い耐熱性、優れた電気特性、機械特性を持ち、工程短縮および歩留まり（生産性）向上に効果のある感光性樹脂組成物が開発されており、これは半導体素子の保護膜用のみならず絶縁用樹脂組成物としての可能性も有している。
更に最近では、安全性の面からアルカリ水溶液で現像ができるポジ型感光性樹脂組成物が開発されている。例えば、特許文献１にはアルカリ可溶性樹脂としてポリベンゾオキサゾール前駆体と感光剤であるジアゾキノン化合物より構成されるポジ型感光性樹脂組成物が開示されている。このポジ型感光性樹脂組成物の現像メカニズムは以下のようになっている。基板上に塗布されたポジ型感光性樹脂組成物に、所望のパターンが描かれたマスクを通して化学線を照射すると、露光されている部分（露光部）のジアゾキノン化合物は化学変化を起こし、アルカリ水溶液に可溶となり、アルカリ可溶性樹脂の溶解を促進させる。一方、露光されていない部分（未露光部）のジアゾキノン化合物はアルカリ水溶液に不溶であり、アルカリ可溶性樹脂と相互作用することでこれに対し耐性を持つようになる。この露光部と未露光部との溶解性の差を利用し、露光部を溶解除去することにより未露光部のみのレリーフパターンの作成が可能となるものである。
レリーフパターンを形成した感光性樹脂組成物中のポリイミド前駆体樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂は、最終的に３００℃〜３５０℃付近の高温で硬化することにより脱水閉環し、耐熱性に富むポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂となる。近年は半導体素子の小型化、高集積化により、特に記憶素子では耐熱性が低くなっており、生産性向上の為、低温で硬化可能なポリイミド前駆体樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂も必要とされている。
硬化にはオーブン、ホットプレート、電気炉（ファーネス）、赤外線、マイクロ波などが使われるが、例えばオーブンの場合、その内部の位置（上段や下段、隅など）により温度にバラツキがあり、一様に設定温度どおりにならないことがある。
その場合、感光性樹脂組成物を塗布したウェハはそのウェハ面内、ウェハ間で硬化の度合いに差が生じて、性能にバラツキが生じるため生産性が低下する場合がある。更に、低温で硬化した際にはより顕著に差が出るため、生産性が更に低下する問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特公平１−４６８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
従って、幅広い温度領域で硬化しても生産性に優れる感光性樹脂組成物の開発が最近強く望まれている。
【０００４】
従って、本発明の目的は、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記（１）〜（９）に記載の本発明により達成される。
（１）ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂と、感光剤とを含む感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃９０分加熱後の環化率が、７０％以上であり、
前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃９０分加熱後の環化率［Ａ］％とし、３００℃９０分加熱後の環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上であり、
前記感光性樹脂組成物の２５０℃９０分加熱後の吸水率、３００℃９０分加熱後の吸水率及び３５０℃９０分加熱後の吸水率の最大値から最小値の差が、０．５％未満であること、
を特徴とする感光性樹脂組成物。
（２）前記アルカリ可溶性樹脂が、ジアミン成分とカルボン酸成分との反応により得られるポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有する樹脂であり、
前記ジアミン成分の全部または一部が、両方のアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有し、且つ、その両方のアミノ基の他方の隣接する部位に置換基を有するビス（アミノフェノール）であること、
を特徴とする（１）記載の感光性樹脂組成物。
（３）（１）または（２）のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物で構成されていることを特徴とする硬化膜。
（４）硬化膜のガラス転移温度（Ｔｇ）が２５０℃以上である（３）に記載の硬化膜。
（５）（３）または（４）に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする保護膜。
（６）（３）または（４）に記載の硬化膜で構成されていることを特徴とする絶縁膜。
（７）（３）または（４）に記載の硬化膜を有していることを特徴とする半導体装置。
（８）（３）または（４）に記載の硬化膜を有していることを特徴とする表示体装置。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｉ）と、感光剤（ＩＩ）とを含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となる感光性樹脂組成物である。また、本発明の感光性樹脂組成物は、前記アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率が、７０％以上であることが好ましい。
また、本発明の保護膜、絶縁膜は、上記感光性樹脂組成物の硬化物である硬化膜で構成されていることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置、表示体装置は、上記硬化膜で構成されていることを特徴とする。
【０００８】
以下に本発明の感光性樹脂組成物の各成分について詳細に説明する。なお下記は例示であり、本発明は何ら下記に限定されるものではない。
【０００９】
本発明に係る前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂である。
【００１０】
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ベンゾオキサゾール前駆体構造：
【００１１】
【化１】
2008102890.tif 000025
【００１２】
またはイミド前駆体構造：
【００１３】
【化２】
2008102890.tif 000026
【００１４】
（式中、Ｒ’は、水素またはアルキル基、アルコキシアルキル基、トリアルキルシリル基、トリハロメチル基、フェニル基、ベンジル基、シクロアルキル基、テトラヒドロフラニル基若しくはテトラヒドロピラニル基）
のいずれか、あるいは、ベンゾオキサゾール前駆体構造およびイミド前駆体構造の両方を有しており、ベンゾオキサゾール前駆体構造、あるいは、イミド前駆体構造、あるいは、ベンゾオキサゾール前駆体構造およびイミド前駆体構造の両方により、樹脂の主鎖が結合されている。
【００１５】
また、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ベンゾオキサゾール前駆体構造またはイミド前駆体構造の一部が閉環し、樹脂中に、ベンゾオキサゾール構造：
【００１６】
【化３】
2008102890.tif 000027
【００１７】
またはイミド構造：
【００１８】
【化４】
2008102890.tif 000028
【００１９】
を有していてもよい。
なお、上記式中、Ｂ、Ｄ及びＥは、有機基である。
【００２０】
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、主鎖または側鎖に、少なくともフェノール性水酸基又はカルボキシル基、あるいは、フェノール性水酸基及びカルボキシル基の両方を有し、それらの一部がエーテル化又はエステル化されていてもよい。
【００２１】
従来は、低温で硬化した際にも生産性が高いことを満たすポリベンゾオキサゾール前駆体構造およびポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有するポリアミド系樹脂は無かった。これは、低温で硬化した際には環化反応が十分進行しなかったことにより、アルカリ可溶基であるフェノール性水酸基、カルボキシル基が残存し、吸水率が高くなる為に耐湿信頼性や耐薬品性が低下、誘電率も高くなることによる。
【００２２】
これに対し本発明では鋭意検討を行った結果、アルカリ可溶性樹脂の２５０℃での環化率［Ａ］％とし、３００℃での環化率［Ｂ］％としたとき、［Ａ］／［Ｂ］が０．７０以上となる前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）、つまり、「［Ｂ］≦（１０／７）×［Ａ］」となる前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）、好ましくは「［Ｂ］≦（４／３）×［Ａ］＋（８／３）」となる前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を用いた感光性樹脂組成物が、幅広い温度領域で硬化しても高い生産性を示すことを見出した。
【００２３】
環化率を測定するための指標となる硬化温度としては、低温で硬化する際に一般的に広く使用される２５０℃と、従来使用されてきた硬化温度範囲で最も低く、かつ硬化膜の性能が変わらないと考えられる３００℃である。前記［Ａ］／［Ｂ］の比が０．７０以上、つまり、「［Ｂ］≦（１０／７）×［Ａ］」であると、好ましくは「［Ｂ］≦（４／３）×［Ａ］＋（８／３）」であると、感光剤を含む感光性樹脂組成物として硬化した場合、感光剤による触媒効果により、低温で硬化した場合でもその環化率がほぼ１００％になり、幅広い温度領域の硬化で高い環化率を示し、性能のバラツキが少なくなるため歩留まりが向上し、半導体装置に対して高い生産性効果を与えることができる。
【００２４】
このような前記［Ａ］／［Ｂ］の比が０．７０以上、つまり、「［Ｂ］≦（１０／７）×［Ａ］」、好ましくは「［Ｂ］≦（４／３）×［Ａ］＋（８／３）」を達成するアルカリ可溶性樹脂を得る方法としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量を１万以下にする方法、シロキサン結合や脂肪族炭化水素結合などを主鎖に導入したりする方法などが考えられるが、その中でも、下記に示すビス（アミノフェノール）を使用する方法が好ましい。
【００２５】
具体的には、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）が、少なくともアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有するビス（アミノフェノール）と、カルボン酸由来の構造からなるポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有する樹脂であり、該ビス（アミノフェノール）が、両方のアミノ基の隣接する部位に置換基を有する樹脂である。
【００２６】
そして、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）は、ジアミン成分とカルボン酸成分との反応により得られるポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造の少なくとも一方を有する樹脂であって、該ジアミン成分の全部または一部が、「両方のアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有し、且つ、その両方のアミノ基の他方の隣接する部位に置換基を有するビス（アミノフェノール）」である樹脂である。
【００２７】
以下、「両方のアミノ基の隣接する部位にフェノール性水酸基を有し、且つ、その両方のアミノ基の他方の隣接する部位に置換基を有するビス（アミノフェノール）」を、ビス（アミノフェノール）（Ｃ）とも記載する。
【００２８】
更に該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）は、両方の水酸基のもう一方の隣接する部位に置換基を有することが好ましい。
【００２９】
該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）は、２つのアミノフェノール基のうち、一方のアミノフェノール基において、芳香族環上のヒドロキシル基の位置を１位としたとき、１位にヒドロキシル基を、該ヒドロキシル基に隣接する２位にアミノ基を、該アミノ基に隣接する３位に置換基を有し、他方のアミノフェノール基においても同様に、芳香族環上のヒドロキシル基の位置を１’位としたとき、１’位にヒドロキシル基を、該ヒドロキシル基に隣接する２’位にアミノ基を、該アミノ基に隣接する３’位に置換基を有する。更に該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）は、１位及び１’位のヒドロキシル基のアミノ基とは反対の隣接する部位に置換基を有することが好ましい。
【００３０】
より具体的には、該ビス（アミノフェノール）（Ｃ）としては、下記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）が挙げられる。下記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）では、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）中のアミド結合が、下記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）のアミノ基の隣接する部位（オルソ位）にある置換基（Ｒ２）との立体障害により水酸基側に押し出されるため、アミド結合のカルボニル炭素と水酸基の酸素原子との距離が短くなると考えられる。そのため、環化反応におけるビス（アミノフェノール）由来の水酸基の酸素原子が、アミド結合中のカルボニル基の炭素原子へ求核攻撃し易くなるので、 [Ａ]／[Ｂ]の値が０．７０以上を満たし易くなり、幅広い温度領域での硬化で高い環化率を示す。よって、半導体装置に対して高い生産性効果を与えることができる。
式（１）：
【００３１】
【化５】
2008102890.tif 000029
【００３２】
（式中、Ｒ１は有機基である。Ｒ２はアルキル基、アルコキシ基、アシルオキシ基、シクロアルキル基のいずれかであり、同一でも異なっても良い。Ｒ３は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アシルオキシ基、シクロアルキル基のいずれかであり、同一でも異なっても良い。）
【００３３】
前記式（１）のＲ１は、好ましくはアルキレン、置換アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、単結合、又は下記式（３）の群から選ばれる有機基である。
式（３）：
【００３４】
【化６】
2008102890.tif 000030
【００３５】
（式中、＊は前記式（１）のアミノフェノール構造に結合することを示す。）
なお、前記式（１）において、Ｒ１が単結合とは、アミノフェノール基の芳香族環同士が、単結合で結合していることを指す。
【００３６】
前記式（１）で表わされるビス（アミノフェノール）が、フェノール性水酸基のオルソ位（Ｒ３）にも置換基を有すことにより、フェノール性水酸基が、置換基（Ｒ３）との立体障害によりアミド結合側に押し出されて更に接近すると考えられ、低温で硬化した際にも高環化率になる効果が更に高まる。
【００３７】
特に好ましくは、前記式（１）のＲ２がアルキル基又はアルコキシ基であり、かつ、Ｒ３がアルキル基又はアルコキシ基であるビス（アミノフェノール）を用いることが、低温で硬化した際にも高環化率であることを維持しながら、アルカリ水溶液に対して十分な溶解性を持つ、バランスに優れる該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を得ることができる点で好ましい。前記式（１）のＲ２に係るアルキル基の具体的な例としては、−ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−Ｃ（ＣＨ３）３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ（ＣＨ３）２）、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）、−ＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３等が挙げられる。前記式（１）のＲ２に係るアルコキシ基の具体的な例としては、−ＯＣＨ３、−ＯＣＨ２ＣＨ３、−ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＯＣＨ（ＣＨ３）２、−ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３、−ＯＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２、−ＯＣＨ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）、−ＯＣ（ＣＨ３）３等が挙げられる。
【００３８】
前記式（１）のＲ１に係るアルキレン、置換アルキレンの具体的な例としては、−ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ２ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−等が挙げられるが、その中でも−ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−Ｃ（ＣＨ３）２−が、低温で硬化した際にも高環化率であることを維持しながら、アルカリ水溶液だけでなく溶剤に対しても十分な溶解性を持つ、バランスに優れる該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を得ることができる点で好ましい。
【００３９】
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）に係る該ジアミン成分は、一部が上記ビス（アミノフェノール）以外のジアミンであってもよく、その場合、該ジアミンとしては、一般に、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造を有する樹脂類のジアミン成分として用いられるものであれば、特に制限されない。
【００４０】
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）に係る該カルボン酸成分としては、一般に、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造またはポリイミド前駆体構造を有する樹脂類のカルボン酸成分として用いられるものであれば、特に制限されない。
【００４１】
該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）としては、最終加熱後の耐熱性、信頼性が高くなる点で、「ジアミン成分とカルボン酸成分との反応により得られるポリアミド樹脂類であって、該ジアミン成分由来の構造単位として下記式（４−１）及び下記式（４−２）と、該カルボン酸成分由来の構造単位として下記式（４−３）とが、アミド結合によりランダムに共重合したポリアミド樹脂類」（以下、式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類とも記載する。）であることが好ましい。なお、下記式（４−１）は１種でもあっても２種以上であってもよく、すなわち、下記式（４−１）に該当するジアミン成分が、Ｒ１〜Ｒ３が全て同じジアミン成分であってもよく、Ｒ１〜Ｒ３が異なるジアミン成分であってもよい。また、式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類が、下記式（４−２）のジアミン成分を有する場合、下記式（４−２）は１種でもあっても２種以上であってもよく、すなわち、下記式（４−２）に該当するジアミン成分が、Ｒ４、ｍ及びＸが全て同じジアミン成分であってもよく、Ｒ４、ｍ及びＸが異なるジアミン成分であってもよい。また、下記式（４−３）は１種でもあっても２種以上であってもよく、すなわち、下記式（４−３）に該当するカルボン酸成分が、Ｒ５、ｎ及びＹが全て同じカルボン酸成分であってもよく、Ｒ５、ｎ及びＹが異なるカルボン酸成分であってもよい。また、下記式（４−１）、（４−２）及び（４−３）では、ａ及びｂは樹脂中の各構造単位の数を示しているのであって、各成分が連続していること示すものではない。また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」には、ベンゾオキサゾール前駆体構造又はイミド前駆体構造の一部が閉環して、ベンゾオキサゾール構造又はイミド構造になったものも含まれる。
式（４−１）：
【００４２】
【化７】
2008102890.tif 000031
【００４３】
（４−１）
式（４−２）：
【００４４】
【化８】
2008102890.tif 000032
【００４５】
（４−２）
式（４−３）：
【００４６】
【化９】
2008102890.tif 000033
【００４７】
（４−３）
【００４８】
上記式（４−１）、（４−２）及び（４−３）中、Ｘ、Ｙは有機基である。ａ及びｂは樹脂中の各構造単位の数を示し、ａは１以上の整数であり、ｂは０又は１以上の整数である。式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類において、ジアミン成分中の式（４−１）のモルパーセント、すなわち、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）は６０以上１００以下であり、ジアミン成分中の式（４−２）のモルパーセント、すなわち、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）は０以上４０以下である。Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、前記式（１）中のＲ１、Ｒ２及びＲ３と同義である。Ｒ４は水酸基又は−Ｏ−Ｒ７であり、同一でも異なっても良い。Ｒ５は水酸基、カルボキシル基、−Ｏ−Ｒ７、−ＣＯＯ−Ｒ７のいずれかであり、同一でも異なっても良い。ｍは０〜２の整数、ｎは０〜４の整数である。Ｒ７は炭素数１〜１５の有機基である。なお、式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類において、式（４−２）のｍが０である場合、又は前記式（４−２）中のＲ４が全て水酸基でない場合、前記式（４−３）中のＲ５は少なくとも１つはカルボキシル基でなければならない。また、前記式（４−３）中のＲ５がカルボキシル基でない場合、前記式（４−２）中のＲ４が水酸基であるジアミン成分のモルパーセントは、全ジアミン成分中２０〜４０％でなければならない。
【００４９】
また、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの膜厚５μｍあたりの、波長３６５ｎｍにおける光透過率が、４０％以上あることが好ましい。フィルムの光透過率が高いと、フィルム内部の奥にまでより多くの化学線が届くことにより、感度が向上する。感度が向上すると露光時間が短縮されることにより生産性が向上する。より好ましくは前記光透過率が５０％以上である。
【００５０】
これは、前記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）を使用することにより、レリーフパターン形成用の露光光源としてよく使用される波長３６５ｎｍの化学線に対するフィルムの光透過率が高い該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）が得られる。その理由として、前記式（１）のＲ２で示される置換基同士の立体障害によりＲ１を介した芳香環同士が折れ曲がることで平面構造が取り難くなり、電荷移動が起こり難くなったことが考えられる。
【００５１】
式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類において、ジアミン成分中の式（４−１）のモルパーセント、すなわち、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）が６０以上１００以下であることにより、前記［Ａ］／［Ｂ］の比が０．７０以上であり、２５０℃の低温で硬化した際にも環化率が７０％以上となる該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）が得られ、更に該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）を塗布、乾燥後に形成されるフィルムの膜厚５μmあたりの、波長３６５ｎｍにおける光透過率が４０％以上となる為、信頼性と加工性が両立され、半導体装置に対して高い生産性効果が得られる。
【００５２】
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」は、例えば、前記式（１）で示されるビス（アミノフェノール）と、必要によりＸを含むジアミン或いはビス（アミノフェノール）、２，４−ジアミノフェノール等から選ばれる化合物と、Ｙを含むテトラカルボン酸二無水物、トリメリット酸無水物、ジカルボン酸或いはジカルボン酸ジクロライド、ジカルボン酸誘導体、ヒドロキシジカルボン酸、ヒドロキシジカルボン酸誘導体等から選ばれる化合物とを反応して得られるものである。なお、ジカルボン酸の場合には反応収率等を高めるため、１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール等を予め反応させた活性エステル型のジカルボン酸誘導体を用いてもよい。
【００５３】
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」において、Ｘの置換基としての−Ｏ−Ｒ７、Ｙの置換基としての−Ｏ−Ｒ７、−ＣＯＯ−Ｒ７は、水酸基、カルボキシル基のアルカリ水溶液に対する溶解性を調節する目的で、炭素数１〜１５の有機基であるＲ７で保護された基であり、必要により水酸基、カルボキシル基を保護しても良い。Ｒ７の例としては、ホルミル基、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ターシャリーブチル基、ターシャリーブトキシカルボニル基、フェニル基、ベンジル基、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等が挙げられる。
【００５４】
この「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」を、高温で加熱する場合は２８０℃〜３８０℃、低温で加熱する場合は１５０℃〜２８０℃で処理すると脱水閉環し、ポリベンゾオキサゾール樹脂、又はポリベンゾオキサゾール樹脂とポリイミド樹脂との共重合という形で、耐熱性樹脂が得られる。低温で加熱処理すると、耐熱性が低い半導体素子でも生産性向上に効果がある。
【００５５】
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」のＸは有機基であり、例えばベンゼン環、ナフタレン環等の芳香族化合物、ビスフェノール類、ピロール類、フラン類等の複素環式化合物、シロキサン化合物等が挙げられ、より具体的には下記式（５）で示されるものを好ましく挙げることができる。これらは低温で硬化した際の高環化性に影響しない程度に、必要により１種類又は２種類以上組み合わせて用いてもよい。
式（５）：
【００５６】
【化１０】
2008102890.tif 000034
【００５７】
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」では、ＸにはＲ４が０〜２個結合される。なお、前記式（５）では、Ｒ４の記載を省略した。
【００５８】
また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」のＹは有機基であり、前記Ｘと同様のものが挙げられ、例えばベンゼン環、ナフタレン環等の芳香族化合物、ビスフェノール類、ピロール類、ピリジン類、フラン類等の複素環式化合物、シロキサン化合物等が挙げられ、より具体的には下記式（６）で示されるものを好ましく挙げることができる。これらは１種類又は２種類以上組み合わせて用いてもよい。
式（６）：
【００５９】
【化１１】
2008102890.tif 000035
【００６０】
「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」では、ＹにはＲ５が０〜４個結合されるなお、前記式（６）では、Ｒ５の記載を省略した。
【００６１】
また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」では、Ｘを含む繰り返し単位のモルパーセントはゼロであってもよい。すなわち、ｂはゼロであってもよい。
【００６２】
更に、感光性樹脂組成物を２５０℃で熱処理した後の硬化膜のＴｇが２５０℃以上であることが高い生産性を実現させる為に好ましい。
【００６３】
これは、幅広い温度領域で硬化しても硬化物の耐熱サイクル性や耐熱ショック性などの特性にバラツキが殆ど無いことが望まれており、そのようなことから硬化物のガラス転移温度（Ｔｇ）が、鉛フリー半田の使用を想定したリフロー温度以上であることが望ましく、特に２５０℃の低温で熱処理した後の硬化膜のＴｇが２５０℃以上であることが望まれている。そのような観点から、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」中のＸとＹは環式化合物が望ましく、特に芳香族化合物が好ましい。ＸとＹの少なくとも一方に非環式化合物を含む場合は、それを含む繰り返し単位が２０モルパーセント未満であることが好ましい。
【００６４】
また、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」は、該ポリアミド樹脂類の末端のアミノ基を、脂肪族基又は環式化合物基であって、該脂肪族基又は該環式化合物基が、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも１個有する基を含む酸無水物を用いてアミドとしてキャップすることが好ましい。これにより、保存性を向上することができる。このような、アミノ基と反応した後の脂肪族基又は環式化合物基であって、該脂肪族基又は該環式化合物基が、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも１個有する基を含む酸無水物に起因する基としては、例えば式（７）、式（８）で示される基等を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、２種類以上組み合わせて用いても良い。
式（７）：
【００６５】
【化１２】
2008102890.tif 000036
【００６６】
式（８）：
【００６７】
【化１３】
2008102890.tif 000037
【００６８】
これらの中で特に好ましいものとしては、式（９）から選ばれる基である。これにより、特に保存性を向上することができる。
式（９）：
【００６９】
【化１４】
2008102890.tif 000038
【００７０】
またこの方法に限定される事はなく、該ポリアミド樹脂類中に含まれる末端の脂肪族基又は環式化合物基であって、該脂肪族基又は該環式化合物基が、アルケニル基又はアルキニル基を少なくとも１個有する基を含むアミン誘導体を用いてアミドとしてキャップすることもできる。
【００７１】
本発明で用いる感光剤（ＩＩ）は、ポジ型のパターニングが可能となる感光剤を用いることができ、具体的には感光性ジアゾキノン化合物やオニウム塩など光により酸を発生する化合物や、ジヒドロピリジン化合物などを用いることができる。感光剤（ＩＩ）に係る感光性ジアゾキノン化合物は、例えばフェノール化合物と１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホン酸または１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホン酸とのエステルが挙げられる。具体的には、式（１０）〜式（１３）に示すエステル化合物を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上組み合わせて用いても良い。
式（１０）：
【００７２】
【化１５】
2008102890.tif 000039
【００７３】
式（１１）：
【００７４】
【化１６】
2008102890.tif 000040
【００７５】
式（１２）：
【００７６】
【化１７】
2008102890.tif 000041
【００７７】
式（１３）：
【００７８】
【化１８】
2008102890.tif 000042
【００７９】
式（１０）〜式（１３）中、Ｑは、水素原子、式（１４）または式（１５）のいずれかから選ばれるものである。式（１０）〜式（１３）中、各化合物のＱのうち、少なくとも１つは式（１４）または式（１５）である。
式（１４）、式（１５）：
【００８０】
【化１９】
2008102890.tif 000043
【００８１】
更に本発明では、高感度で更に現像後の樹脂残り（スカム）無くパターニングできるようにフェノール化合物を添加することができる。
【００８２】
本発明における樹脂組成物および感光性樹脂組成物には、必要によりレベリング剤、シランカップリング剤等の添加剤を含んでも良い。
【００８３】
本発明の感光性樹脂組成物は、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂（Ｉ）の他に、該アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）１００質量部に対して、０〜３０質量部の他のアルカリ可溶性樹脂を含有してもよい。該他のアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、アルカリ可溶性を有するクレゾール型ノボラック樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、メタクリル酸樹脂、メタクリル酸エステル樹脂等のアクリル系樹脂、水酸基、カルボキシル基等を含む環状オレフィン系樹脂が挙げられる。
【００８４】
本発明においては、これらの成分を溶剤に溶解し、ワニス状にして使用する。溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メチル−１，３−ブチレングリコールアセテート、１，３−ブチレングリコール−３−モノメチルエーテル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メチル−３−メトキシプロピオネート等が挙げられ、単独でも混合して用いても良い。
【００８５】
本発明の感光性樹脂組成物の使用方法は、まず該組成物を適当な支持体、例えば、シリコンウエハー、セラミック基板、アルミ基板等に塗布する。塗布量は、半導体素子上に塗布する場合、硬化後の最終膜厚が０．１〜３０μｍになるよう塗布する。膜厚が下限値を下回ると、半導体素子の保護膜、絶縁膜としての機能を十分に発揮することが困難となり、上限値を越えると、微細なレリーフパターンを得ることが困難となるばかりでなく、加工に時間がかかりスループットが低下する。塗布方法としては、スピンナーを用いた回転塗布、スプレーコーターを用いた噴霧塗布、浸漬、印刷、ロールコーティング等がある。次に、６０〜１３０℃でプリベークして塗膜を乾燥後、所望のパターン形状に化学線を照射する。化学線としては、Ｘ線、電子線、紫外線、可視光線等が使用できるが、２００〜５００ｎｍの波長のものが好ましい。
【００８６】
次に照射部を現像液で溶解除去することによりレリーフパターンを得る。現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン等の第１アミン類、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン等の第２アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第３アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第４級アンモニウム塩等のアルカリ類の水溶液、及びこれにメタノール、エタノールのごときアルコール類等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加した水溶液を好適に使用することができる。現像方法としては、スプレー、パドル、浸漬、超音波等の方式が可能である。
【００８７】
次に、現像によって形成したレリーフパターンをリンスする。リンス液としては、蒸留水を使用する。次に加熱処理（硬化）を行い、オキサゾール環、又はオキサゾール環及びイミド環を形成し、耐熱性に富む硬化物を得る。
【００８８】
加熱処理は高温でも低温でも可能であり、高温での加熱処理温度は、２８０℃〜３８０℃が好ましく、より好ましくは２９０℃〜３５０℃である。低温での加熱処理温度は１５０℃〜２８０℃が好ましく、より好ましくは１８０℃〜２６０℃である。
【００８９】
次に、本発明による感光性樹脂組成物の硬化膜について説明する。感光性樹脂組成物の硬化物である硬化膜は、半導体素子等の半導体装置用途のみならず、ＴＦＴ型液晶や有機ＥＬ等の表示体装置用途、多層回路の層間絶縁膜やフレキシブル銅張板のカバーコート、ソルダーレジスト膜や液晶配向膜としても有用である。
【００９０】
半導体装置用途の例としては、半導体素子上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなるパッシベーション膜、パッシベーション膜上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなるバッファーコート膜等の保護膜、また、半導体素子上に形成された回路上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなる層間絶縁膜等の絶縁膜、また、α線遮断膜、平坦化膜、突起（樹脂ポスト）、隔壁等を挙げることができる。
【００９１】
表示体装置用途の例としては、表示体素子上に上述の感光性樹脂組成物の硬化膜を形成してなる保護膜、ＴＦＴ素子やカラーフィルター用等の絶縁膜または平坦化膜、ＭＶＡ型液晶表示装置用等の突起、有機ＥＬ素子陰極用等の隔壁等を挙げることができる。その使用方法は、半導体装置用途に準じ、表示体素子やカラーフィルターを形成した基板上にパターン化された感光性樹脂組成物層を、上記の方法で形成することによるものである。表示体装置用途の、特に絶縁膜や平坦化膜用途では、高い透明性が要求されるが、この感光性樹脂組成物層の硬化前に、後露光工程を導入することにより、透明性に優れた樹脂層が得られることもでき、実用上更に好ましい。
【００９２】
【実施例】
【００９３】
以下、実施例および比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものでない。
【００９４】
＜実施例１＞
アルカリ可溶性樹脂の合成
イソフタル酸０．２６４モルとジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸０．６１６モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４０８．９７ｇ（０．８８０モル）と、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）２８６．３７ｇ（１．０００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２７８０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。次にＮ−メチル−２−ピロリドン１６０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、数平均分子量が１０５００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を得た。
【００９５】
透過率評価
アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）４．０ｇをγ−ブチロラクトン８．０ｇに溶解した樹脂を石英板にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で４分乾燥し、膜厚５μｍの塗膜を得た。この塗膜の透過率を紫外可視分光光度計（島津製作所製）により測定した。波長３６５ｎｍにおける透過率は６５％であった。
【００９６】
環化率評価（アルカリ可溶性樹脂）
上記アルカリ可溶性樹脂を３枚のシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、それぞれ膜厚約１μｍの塗膜を得た。次に塗膜付きシリコンウエハーの１枚を２％フッ化水素酸に浸け、フィルムを得た。このフィルムをフーリエ変換赤外分光光度計ＰＡＲＡＧＯＮ１０００（パーキンエルマー製）を用いて測定し、１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ａ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。次にオーブンを用いて、もう１枚の塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った後、同様にして硬化フィルムを得、フーリエ変換赤外分光光度計による測定から１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｂ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。残りの１枚の塗膜付きシリコンウエハーを同様に３００℃／９０分で加熱を行った後、同様にして硬化フィルムを得、フーリエ変換赤外分光光度計による測定から１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｃ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。
２５０℃での環化率［Ａ］は（１−｛（ｂ）／（ａ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は８２％であった。３００℃での環化率［Ｂ］は（１−｛（ｃ）／（ａ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は１００％であった。これより、［Ａ］／［Ｂ］は０．８２であり、幅広い温度領域でも環化率のバラツキが少ないアルカリ可溶性樹脂が得られた。
【００９７】
感光剤の合成
フェノール式（Ｂ−１）１３．５３ｇ（０．０２１４モル）と、トリエチルアミン７．６２ｇ（０．０７５３モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、テトラヒドロフラン１０８．６５ｇを加えて溶解させた。この反応溶液を１０℃以下に冷却した後に、１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホニルクロライド２０．２２ｇ（０．０７５３モル）をテトラヒドロフラン１００ｇと共に１０℃以上にならないように徐々に滴下した。その後１０℃以下で５分攪拌した後、室温で５時間攪拌して反応を終了させた。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／メタノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、式（Ｑ−１）の構造で示される感光剤を得た。
【００９８】
【化２０】
2008102890.tif 000044
【００９９】
感光性樹脂組成物の作製
合成したアルカリ可溶性樹脂（Ａ−1）１００ｇ、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤１３．５ｇをＮ−メチル−２−ピロリドン１００ｇとγ−ブチロラクトン１００ｇの混合溶媒に溶解した後、０．２μｍのテフロンフィルターで濾過し感光性樹脂組成物を得た。
【０１００】
感度評価
この感光性樹脂組成物をシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、膜厚約８．０μｍの塗膜を得た。この塗膜に凸版印刷（株）製・マスク（テストチャートＮｏ．１：幅０．８８〜５０μｍの残しパターン及び抜きパターンが描かれている）を通して、ｉ線ステッパー（（株）ニコン製・４４２５ｉ）を用いて、露光量を変化させて照射した。
次に２．３８％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に１２０秒で２回パドル現像することによって露光部を溶解除去した後、純水で１０秒間リンスした。その結果、露光量２３０ｍＪ／ｃｍ2で照射した部分よりパターンが成形されており、非常に高い感度を示していることが確認できた。（感度は２３０ｍＪ／ｃｍ2）。現像後の膜厚は７．９μｍと非常に高い値を示した。
【０１０１】
環化率評価（感光性樹脂組成物）
上記感光性樹脂組成物を３枚のシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、それぞれ膜厚約１μｍの塗膜を得た。次に塗膜付きシリコンウエハーの１枚を２％フッ化水素酸に浸け、フィルムを得た。このフィルムをフーリエ変換赤外分光光度計ＰＡＲＡＧＯＮ１０００（パーキンエルマー製）を用いて測定し、１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｄ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。
次にオーブンを用いて、もう１枚の塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った後、同様にして硬化フィルムを得、フーリエ変換赤外分光光度計による測定から１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｅ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。残りの１枚の塗膜付きシリコンウエハーを同様に３００℃／９０分で加熱を行った後、同様にして１６５０ｃｍ−１のアミド基と１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピークの比（ｆ）（１６５０ｃｍ−１のアミド基のピーク／１４９０ｃｍ−１の全芳香族に伴うピーク）を算出した。２５０℃での環化率は（１−｛（ｅ）／（ｄ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は９６％であった。３００℃での環化率は（１−｛（ｆ）／（ｄ）｝）に１００を乗じた値とした。このようにして求めた環化率は１００％であった。これより、幅広い温度領域でも環化率のバラツキが少ない感光性樹脂組成物が得られていることが分かった。
【０１０２】
ガラス転移温度（Ｔｇ）評価
上記感光性樹脂組成物を６インチのシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、膜厚約１０μｍの塗膜を得た。次にオーブンを用いて、塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った。次に得られた硬化膜を２％のフッ化水素水に漬浸し、膜をシリコンウエハーから剥離した。得られた膜を純水で充分に洗浄し、オーブンで乾燥した。乾燥後の膜を５ｍｍ幅に切ってサンプル片を作成し、セイコーインスツルメンツ（株）製熱機械分析装置（ＴＭＡ）ＳＳ６０００を用いてガラス転移温度を測定した結果、２６５℃であった。
【０１０３】
吸水率評価
上記感光性樹脂組成物を３枚の６インチシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分プリベークし、膜厚約１０μｍの塗膜を得た。次にオーブンを用いて、１枚の塗膜付きシリコンウエハーを２５０℃／９０分で加熱を行った。次に１枚の塗膜付きシリコンウエハーを３００℃／９０分で加熱を行った。更に残りの１枚の塗膜付きシリコンウエハーを３５０℃／９０分で加熱を行った。
その後、それぞれの硬化後の塗膜に５ｃｍ四方の升目になるようカッターで切れ込みを入れた後、２％フッ化水素酸に浸け、５ｃｍ四方のフィルムを得た。このフィルムの吸水率を試験規格ＪＩＳ−Ｋ７２０９に従って測定し、２５０℃／９０分で加熱処理した硬化膜は０．７％、３００℃／９０分で加熱処理した硬化膜は０．６％、３５０℃／９０分で加熱処理した硬化膜は０．５％という値を得た。
更に、上記２５０℃、３００℃、３５０℃の加熱処理した硬化フィルムの吸水率のうち、最大値と最小値との差を計算した。この結果、０．２％と非常に低い値を得た。
上記差が０．５％未満であり、かつ吸水率の最大値が１％以下であれば実用上使用に差し支えないと考えられ、本感光性樹脂組成物は、幅広い温度領域で硬化しても吸水率が小さく、更にそのバラツキが少なかったことから、より生産性に優れていることが分かった。これは、幅広い温度領域で硬化しても環化反応が十分進行したことにより、アルカリ可溶性樹脂中のアルカリ可溶基であるフェノール性水酸基が殆ど消失したことによるものと考えられる。
【０１０４】
＜実施例２＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を２００．４６ｇ（０．７００モル）に減らし、替わりに３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン６９．０８ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が１１２００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
【０１０５】
＜実施例３＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタンの替わりに、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン７７．５０ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が１１８００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
【０１０６】
＜実施例４＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を２４９．１４ｇ（０．８７０モル）に減らし、替わりに３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン２８．０３ｇ（０．１００モル）と、１，３−ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン７．４６ｇ（０．０３０モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝８７、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１３、数平均分子量が１１０００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−４）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
【０１０７】
＜実施例５＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸の替わりにジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比を０．７０４モルに変更し、更に４，４′−オキシジフタル酸無水物５４．６０ｇ（０．１７６モル）と、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を１４３．１９ｇ（０．５００モル）に減らし、替わりにヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパンを１８３．１３ｇ（０．５００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝５０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝５０、数平均分子量が１２１００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−５）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
【０１０８】
＜実施例６＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸とジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比をそれぞれ０．３４４モルと０．５１６モルに変更し、更に４，４‘−メチレンビス（２−アミノ−３，６−ジメチルフェノール）の替わりに、４，４′−エチリデンビス（２−アミノ−３，６−ジメチルフェノール）３００．４０ｇ（１．０００モル）を用いた他は実施例１と同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、数平均分子量が１０２００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−６）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１２．５ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
【０１０９】
＜実施例７＞
実施例６におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸とジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比をそれぞれ０．２５２モル、０．５８８モルに変更し、更に４，４′‐エチリデンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）を２１０．２８ｇ（０．７００モル）に減らし、替わりに３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン６９．０８ｇ（０．３００モル）を用い、４−エチニルフタル酸無水物の添加量も５５．０８ｇ（０．３２０モル）に変更して同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が９５００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−７）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１４．０ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
【０１１０】
＜実施例８＞
実施例７におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタンの替わりに、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン７７．５０ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝７０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝３０、数平均分子量が９６００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−８）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１４．０ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
【０１１１】
＜実施例９＞
実施例６におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、イソフタル酸とジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸のモル比をそれぞれ０．３３６モルと０．５０４モルに変更し、更に４，４′−エチリデンビス（２−アミノ−３，６−ジメチルフェノール）の替わりに、４，４′−エチリデンビス（２−アミノ−３−メチル−６−シクロヘキシルフェノール）４３６．６４ｇ（１．０００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、数平均分子量が８７００、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−９）を合成した。更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１５．０ｇに変更した以外は、実施例１と同様の評価を行った。
【０１１２】
＜比較例１＞
アルカリ可溶性樹脂の合成
イソフタル酸０．２６４モルとジフェニルエーテル−４，４’−ジカルボン酸０．６１６モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４０８．９７ｇ（０．８８０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン２５６．３８ｇ（０．７００モル）と、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン７７．５０ｇ（０．３００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２９７０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１６０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１１３００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１０）を得た。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様にして評価した。
【０１１３】
＜比較例２＞
実施例１におけるアルカリ可溶性樹脂の合成において、４，４′‐メチレンビス（２−アミノ−３，６‐ジメチルフェノール）の替わりに、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン１９６．２１ｇ（０．７００モル）と、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン６９．０８ｇ（０．３００モル）を用いて同様にして反応し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１１８００で、第１表で示される化合物からなるアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１１）を合成した。その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製し、実施例１と同様の評価を行った。
【０１１４】
＜実施例１０＞
アジピン酸０．４３０モルとジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．４３０モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７２０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）３７５．３２ｇ（０．８６０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン２５６．３８ｇ（０．７００モル）と、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）エーテル６９．６８ｇ（０．３００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２７９０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１９０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４８．２０ｇ（０．２８０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が８６００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１２）を得た。
更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を２２ｇに変更した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
【０１１５】
＜実施例１１＞
１，３−ビス（４−カルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン０．３４４モルとイソフタル酸０．２５８モルとジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．２５８モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７２０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４３９．６８ｇ（０．８６０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン３６６．２６ｇ（１．０００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２３８０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１９０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４８．２０ｇ（０．２８０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が８１００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１３）を得た。
更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１６ｇに変更した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
【０１１６】
＜比較例３＞
ジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．８８０モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）４３３．３６ｇ（０．８８０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン１４６．５０ｇ（０．４００モル）と、ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）エーテル１３９．３５ｇ（０．６００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２８７０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１７０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１０２００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１４）を得た。
その他は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
【０１１７】
＜比較例４＞
イソフタル酸０．４４０モルとジフェニルエーテル−４，４′−ジカルボン酸０．４４０モルと１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール１．７６０モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体（活性エステル）３９２．６９ｇ（０．８８０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン１４６．５０ｇ（０．４００モル）と、１，３−ビス（４−アミノ−３−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン１９４．６０ｇ（０．６００モル）とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２９４０ｇを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。
次にＮ−メチル−２−ピロリドン１６０ｇに溶解させた４−エチニルフタル酸無水物４１．３１ｇ（０．２４０モル）を加え、更に３時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、反応混合物を水／イソプロパノール＝３／１（体積比）の溶液に投入、沈殿物を濾集し水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、「式（４−１）及び式（４−２）と、式（４−３）とが、ランダムに共重合したポリアミド樹脂類」であり、｛ａ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝０、｛ｂ／（ａ＋ｂ）｝×１００＝１００、数平均分子量が１１３００で、第１表で示される化合物からなる目的のアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１５）を得た。
更に実施例１における感光性樹脂組成物の作製において、式（Ｑ−１）の構造を有する感光剤の添加量を１５ｇに変更した以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を作製した。
また実施例１の感度評価において、パドル現像の時間は、プリベーク後の膜厚と現像後の膜厚の差が１μｍになるように現像時間を調節して評価を行った。
それ以外は実施例１と同様の評価を行った。
【０１１８】
以下に、実施例及び比較例の第１表〜第３表を示す。
【表１】
2008102890.tif 000045
【０１１９】
【表２】
2008102890.tif 000046
【０１２０】
【表３】
2008102890.tif 000047
【０１２１】
第３表において、各加熱処理温度における吸水率の最大値と最小値との差が０．５％未満であり、かつ吸水率の最大値が１％以下であれば◎とし、差が０．５％以上、もしくは吸水率の最大値が１％より大であれば×と判定した。
【０１２２】
第１表及び第２表に示すように、実施例１〜１１は高透明性で高感度であり、かつ幅広い温度領域で硬化しても環化率のバラツキが少なく、その上で２５０℃の低温で硬化した場合でも高環化率で高Ｔｇであることが分かる。
【０１２３】
第３表に示すように、実施例１〜１１は幅広い温度領域で硬化しても硬化フィルムの吸水率が１％以下である上に、その差も０．５％未満と少なく安定した特性を示していることが分かり、半導体装置の生産性向上に効果があるものと示唆された。
【０１２４】
各実施例および各比較例で得られた感光性樹脂組成物は、半導体素子上に塗布して実施例１と同様にしてパターンを形成し、オーブンを用いて硬化して保護膜を形成させ、半導体装置を得ることができる。
【０１２５】
このようにして得られた半導体装置は正常に動作すると予想されるが、実施例１〜１１の感光性樹脂組成物を用いた場合は、比較例よりも低吸水率であるため、より信頼性に優れた動作をするものと予想される。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
本発明によれば、高感度で半導体装置の生産性が高い感光性樹脂組成物、硬化膜、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置を提供することができる。
【国際調査報告】
2008102890.tif 000048
2008102890.tif 000049
2008102890.tif 000050
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