【手続補正書】
【提出日】平成17年7月11日(2005.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成された、金属よりなるフレーム板と、このフレーム板の各貫通孔の周辺部に支持された複数の接点膜とを具えてなり、
前記接点膜の各々は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記電極領域における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部が前記絶縁膜を貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなる電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とするシート状プローブ。
【請求項２】
回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成されたフレーム板と、このフレーム板上に配置されて支持された接点膜とを具えてなり、
前記接点膜は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部が前記絶縁膜を貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなる複数の電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とするシート状プローブ。
【請求項３】
互いに独立した複数の接点膜が、フレーム板の表面に沿って並ぶよう配置されていることを特徴とする請求項２に記載のシート状プローブ。
【請求項４】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項５】
電極構造体のピッチが４０〜２５０μｍであり、電極構造体の総数が５０００個以上であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項６】
電極構造体における表面電極部は、絶縁膜の表面から突出する突起状のものであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項７】
電極構造体における表面電極部の径に対する突出高さの比が０．２〜３であることを特徴とする請求項６に記載のシート状プローブ。
【請求項８】
電極構造体における裏面電極部は、フレーム板を構成する金属と同一の金属よりなる部分を有することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項９】
電極構造体における裏面電極部には、高導電性金属よりなる被覆膜が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１０】
フレーム板の線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１１】
フレーム板形成用金属板と、このフレーム板形成用金属板上に一体的に積層された絶縁膜形成用シートとを有する積層体を用意し、
この積層体における絶縁膜形成用シートに、形成すべき電極構造体のパターンに対応するパターンに従って貫通孔を形成し、当該積層体に対してメッキ処理を施すことにより、当該絶縁膜形成用シートの貫通孔内に形成され、前記フレーム板形成用金属板に連結された短絡部および当該短絡部に連結された表面電極部を形成し、
その後、前記フレーム板形成用金属板をエックング処理することにより、複数の貫通孔が形成されたフレーム板を形成する工程を経由して得られることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のシート状プローブを具えてなることを特徴とするプローブカード。
【請求項１３】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブカードであって、
検査対象であるウエハにおける集積回路の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面上に配置された異方導電性コネクターと、この異方導電性コネクター上に配置された、請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のシート状プローブとを具えてなることを特徴とするプローブカード。
【請求項１４】
請求項１２に記載のプローブカードを具えてなることを特徴とする回路装置の検査装置。
【請求項１５】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うウエハ検査装置であって、
請求項１３に記載のプローブカードを具えてなることを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項１６】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々を、請求項１３に記載のプローブカードを介してテスターに電気的に接続し、当該ウエハに形成された集積回路の電気的検査を実行することを特徴とするウエハ検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のシート状プローブは、回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成された、金属よりなるフレーム板と、このフレーム板の各貫通孔の周辺部に支持された複数の接点膜とを具えてなり、
前記接点膜の各々は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記電極領域における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部が前記絶縁膜を貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなる電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明のシート状プローブは、回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成されたフレーム板と、このフレーム板上に配置されて支持された接点膜とを具えてなり、
前記接点膜は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部が前記絶縁膜を貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなる複数の電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とする。