【手続補正書】
【提出日】平成16年4月19日(2004.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項２】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項３】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面を浄化する表面浄化処理室と、前記表面浄化処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項４】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面を浄化する表面浄化処理室と、前記表面浄化処理の後、前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理が行われる予備ゲッタ処理室と、前記予備ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項５】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理が行われる予備ゲッタ処理室と、前記予備ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項６】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項８】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面を浄化する表面浄化処理室と、前記表面浄化処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項９】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面を浄化する表面浄化処理室と、前記表面浄化処理の後、前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理が行われる予備ゲッタ処理室と、前記予備ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１０】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベークするベーク処理室と、前記ベーク処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理の後に、前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理が行われる予備ゲッタ処理室と、前記予備ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理の後、前記パネル部材が搬送され、封着される封着処理室とを含み、前記複数の処理室における各処理は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室での当該パネル部材の温度以下に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１１】
画像表示装置のパネルを形成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施して画像表示装置を製造する画像表示装置の製造装置であって、
前記各処理室の温度制御手段は、当該処理室における前記パネル部材の温度を、前記搬送過程における前の処理室における当該パネル部材の温度以下に設定する手段であることを特徴とする画像表示装置の製造装置。