(57)【要約】  電子デバイスのチップ内に設けられ、電子デバイスの動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路であって、動作回路に電源電圧を供給する主電源配線における電源電圧の変動成分を検出し、検出した変動成分を増幅して出力する増幅器と、増幅器の出力端および主電源配線の間に設けられ、増幅器の出力に応じて、主電源配線における電源電圧の変動を抑制する電流を、主電源配線に供給する安定化キャパシタとを備える電源安定化回路を提供する。
2009031405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスのチップ内に設けられ、前記電子デバイスの動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路であって、
前記動作回路に前記電源電圧を供給する主電源配線における前記電源電圧の変動成分を検出し、検出した前記変動成分を増幅して出力する増幅器と、
前記増幅器の出力端および前記主電源配線の間に設けられ、前記増幅器の出力に応じて、前記主電源配線における前記電源電圧の変動を抑制する電流を、前記主電源配線に供給する安定化キャパシタと
を備える電源安定化回路。
【請求項２】
前記主電源配線と、所定の電位との間に設けられ、前記主電源配線における前記電源電圧の変動に応じた電流を、前記主電源配線に供給するバイパスコンデンサを更に備える
請求項１に記載の電源安定化回路。
【請求項３】
前記バイパスコンデンサの時定数は、前記増幅器の時定数より小さい
請求項２に記載の電源安定化回路。
【請求項４】
前記増幅器の入力端子および前記主電源配線の間に設けられ、前記電源電圧の変動成分を前記増幅器に入力するＡＣ結合キャパシタを更に備える
請求項１に記載の電源安定化回路。
【請求項５】
前記増幅器は、前記ＡＣ結合キャパシタから入力される前記電源電圧の変動成分を、反転増幅して出力する反転増幅器である
請求項４に記載の電源安定化回路。
【請求項６】
前記増幅器の電源電力は、前記主電源配線とは異なる配線を介して前記増幅器に供給される
請求項１に記載の電源安定化回路。
【請求項７】
前記増幅器は差動増幅器であり、一方の入力端子が前記主電源配線に接続され、他方の入力端子に所定の基準電位が入力される
請求項１に記載の電源安定化回路。
【請求項８】
前記基準電位を生成する基準電位生成部を更に備え、
前記主電源配線は、高圧側電源配線および低圧側電源配線を有し、
前記基準電位生成部は、
前記増幅器の前記他方の入力端子と、前記高圧側電源配線との間に設けられた抵抗と、
前記増幅器の前記他方の入力端子と、前記低圧側電源配線との間に設けられたコンデンサと
を有する請求項７に記載の電源安定化回路。
【請求項９】
前記主電源配線は、高圧側電源配線および低圧側電源配線を有し、
前記増幅器は、
前記高圧側電源配線における前記電源電圧の変動成分を増幅して出力する高圧側増幅器と、
前記低圧側電源配線における前記電源電圧の変動成分を増幅して出力する低圧側増幅器と
を有し、
前記安定化キャパシタは、
前記高圧側増幅器の出力端および前記高圧側電源配線の間に設けられる高圧側安定化キャパシタと、
前記低圧側増幅器の出力端および前記低圧側電源配線の間に設けられる低圧側安定化キャパシタと
を有する請求項１に記載の電源安定化回路。
【請求項１０】
前記主電源配線は、高圧側電源配線および低圧側電源配線を有し、
前記増幅器は差動増幅器であり、一方の入力端子が前記高圧側電源配線または前記低圧側電源配線の一方に接続され、他方の入力端子に所定の基準電位が入力され、
前記安定化キャパシタは、
前記増幅器の正出力端または負出力端の一方と、前記高圧側電源配線との間に設けられる高圧側安定化キャパシタと、
前記増幅器の正出力端または負出力端の他方と、前記低圧側電源配線との間に設けられる低圧側安定化キャパシタと
を有する請求項１に記載の電源安定化回路。
【請求項１１】
動作回路と、前記動作回路と同一チップ内に設けられ、前記動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路とを備える電子デバイスであって、
前記電源安定化回路は、
前記動作回路に前記電源電圧を供給する主電源配線における前記電源電圧の変動成分を検出し、検出した前記変動成分を増幅して出力する増幅器と、
前記増幅器の出力端および前記主電源配線の間に設けられ、前記増幅器の出力に応じて、前記主電源配線における前記電源電圧の変動を抑制する電流を、前記主電源配線に供給する安定化キャパシタと
を有する電子デバイス。
【請求項１２】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
予め定められた試験信号を生成して、前記被試験デバイスに入力する信号入力部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する被測定信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記信号入力部は、
前記試験信号を生成すべく動作する動作回路と、
前記動作回路と同一チップ内に設けられ、前記動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路と
を有し、
前記電源安定化回路は、
前記動作回路に前記電源電圧を供給する主電源配線における前記電源電圧の変動成分を検出し、検出した前記変動成分を増幅して出力する増幅器と、
前記増幅器の出力端および前記主電源配線の間に設けられ、前記増幅器の出力に応じて、前記主電源配線における前記電源電圧の変動を抑制する電流を、前記主電源配線に供給する安定化キャパシタと
を含む試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源安定化回路、電子デバイス、および、試験装置に関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
特願２００７−２２９４６３    出願日  ２００７年９月４日
【背景技術】
【０００２】
半導体回路等の電子デバイスの動作回路に供給される電源電圧を安定化する技術として、電源配線にパスコンデンサを接続する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。一般にパスコンデンサは、電子デバイスのチップ外において、電子デバイスに電源を入力する電源配線と、接地電位との間に設けられる。【０００３】
そして、電子デバイスの消費電流の変動に応じた電流を、電源入力端子を介して電子デバイスに供給することで、電源配線に流れる電流の変動を抑制する。これにより、電流の変動による電源電圧の変動を抑制することができる。パスコンデンサの容量としては、数十ｎＦ〜数μＦ程度が一般に用いられる。
【特許文献１】特開平７−３３３２４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、電子デバイスの電源入力端子から動作回路までの配線においても、動作回路の消費電流の変動に応じて電源電圧が変動する。係る電源電圧の変動は、電子デバイスのチップ外に設けたパスコンデンサでは、補償することができない。【０００５】
このような問題に対して、電子デバイスのチップ内にも、同様のパスコンデンサを設けることが考えられる。電子デバイスのチップ内のコンデンサとしては、トランジスタのゲート容量を用いることが考えられる。しかし、トランジスタ１個のゲート容量は、数ｆＦ程度であるので、チップ内にパスコンデンサを設ける場合、非常に多数の素子を形成しなければならない。【０００６】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる電源安定化回路、電子デバイス、および、試験装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、電子デバイスのチップ内に設けられ、電子デバイスの動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路であって、動作回路に電源電圧を供給する主電源配線における電源電圧の変動成分を検出し、検出した変動成分を増幅して出力する増幅器と、増幅器の出力端および主電源配線の間に設けられ、増幅器の出力に応じて、主電源配線における電源電圧の変動を抑制する電流を、主電源配線に供給する安定化キャパシタとを備える電源安定化回路を提供する。【０００８】
本発明の第２の形態においては、動作回路と、動作回路と同一チップ内に設けられ、動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路とを備える電子デバイスであって、電源安定化回路は、動作回路に電源電圧を供給する主電源配線における電源電圧の変動成分を検出し、検出した変動成分を増幅して出力する増幅器と、増幅器の出力端および主電源配線の間に設けられ、増幅器の出力に応じて、主電源配線における電源電圧の変動を抑制する電流を、主電源配線に供給する安定化キャパシタとを有する電子デバイスを提供する。【０００９】
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、予め定められた試験信号を生成して、被試験デバイスに入力する信号入力部と、試験信号に応じて被試験デバイスが出力する被測定信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、信号入力部は、試験信号を生成すべく動作する動作回路と、動作回路と同一チップ内に設けられ、動作回路に供給される電源電圧を安定化する電源安定化回路とを有し、電源安定化回路は、動作回路に電源電圧を供給する主電源配線における電源電圧の変動成分を検出し、検出した変動成分を増幅して出力する増幅器と、増幅器の出力端および主電源配線の間に設けられ、増幅器の出力に応じて、主電源配線における電源電圧の変動を抑制する電流を、主電源配線に供給する安定化キャパシタとを含む試験装置を提供する。【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一つの実施形態に係る、電子デバイス１００の構成の一例を示す図である。
【図２】電子デバイス１００の他の構成例を示す図である。
【図３】電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。
【図４】電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。
【図５】電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。
【図６】電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。
【図７】試験装置２００の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００１２】
１０・・・動作回路、１２・・・主電源配線、１２−Ｈ・・・高圧側電源配線、１２−Ｌ低圧側電源配線、１４・・・パッケージ、１６・・・電源端子、１８・・・バイパスコンデンサ、２０・・・電源安定化回路、２２・・・安定化キャパシタ、２２−Ｈ・・・高圧側安定化キャパシタ、２２−Ｌ・・・低圧側安定化キャパシタ、２４・・・増幅器、２４−Ｈ・・・高圧側増幅器、２４−Ｌ・・・低圧側増幅器、２６・・・ＡＣ結合キャパシタ、２６−Ｈ・・・高圧側ＡＣ結合キャパシタ、２６−Ｌ・・・低圧側ＡＣ結合キャパシタ、２８・・・コンデンサ、３０・・・抵抗、４０・・・基準電位生成部、１００・・・電子デバイス、２００・・・試験装置、２１０・・・信号入力部、２２０・・・判定部、３００・・・被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１４】
図１は、本発明の一つの実施形態に係る、電子デバイス１００の構成の一例を示す図である。電子デバイス１００は、半導体チップ等のデバイスであってよい。電子デバイス１００は、動作回路１０、パッケージ１４、電源安定化回路２０、主電源配線１２（高圧側電源配線１２−Ｈ、低圧側電源配線１２−Ｌ）、および、複数の電源端子１６（１６−１〜１６−４）を備える。【００１５】
パッケージ１４は、動作回路１０、電源安定化回路２０、および主電源配線１２を格納する。例えば、動作回路１０、電源安定化回路２０、および主電源配線１２は半導体基板に形成され、パッケージ１４は、当該半導体基板を覆うように形成される樹脂、セラミック等であってよい。また、パッケージ１４の表面には、電子デバイス１００のチップ内外との間で電源電力、信号等を受け渡す端子が形成される。パッケージ１４には、図１に示す電源端子１６の他に、動作回路１０との間で信号を伝送する信号端子が設けられてよい。【００１６】
動作回路１０は、与えられる電源電圧および与えられる信号に応じて動作する。動作回路１０は、例えばメモリ回路、デジタル回路、アナログ回路、またはこれらの組み合わせであってよい。主電源配線１２は、電源端子１６−３および電源端子１６−４を介して与えられる電源電圧ＶＤＤおよび電源電圧ＶＳＳを、動作回路１０に供給する。【００１７】
電源安定化回路２０は、動作回路１０と同一チップ内に設けられ、動作回路１０に供給される電源電圧を安定化する。電源安定化回路２０は、動作回路１０の近傍において、主電源配線１２を伝送する電源電圧の変動を検出して、検出した電源電圧の変動に応じた電流を主電源配線１２に供給してよい。【００１８】
電源安定化回路２０は、ＡＣ結合キャパシタ２６、増幅器２４、および、安定化キャパシタ２２を有する。ＡＣ結合キャパシタ２６は、動作回路１０に供給される電源電圧の変動を検出する。本例のＡＣ結合キャパシタ２６は、一端が動作回路１０の近傍の高圧側電源配線１２−Ｈに接続され、他端が増幅器２４の入力端子に接続される。このような構成により、ＡＣ結合キャパシタ２６は、動作回路１０に供給される電源電圧のうち、交流成分（変動成分）を増幅器２４に入力することができる。【００１９】
増幅器２４は、動作回路１０に電源電圧を供給する主電源配線１２における電源電圧の変動成分を検出して、検出した変動成分を増幅して出力する。本例の増幅器２４は、ＡＣ結合キャパシタ２６を介して、電源電圧の変動成分を検出する。また、本例の増幅器２４は、電源電圧の変動成分を、所定の増幅率で反転増幅する反転増幅器であってよい。【００２０】
また、増幅器２４は、電源端子１６−１および電源端子１６−２から、主電源配線１２とは異なる配線を介して電源電圧ＶＤＤＨおよび電源電圧ＶＳＳＬを受け取る。電源電圧ＶＤＤＨおよび電源電圧ＶＳＳＬは、電源電圧ＶＤＤおよび電源電圧ＶＳＳとは異なる電源系統から与えられることが好ましい。また、電源電圧ＶＤＤＨおよび電源電圧ＶＳＳＬは、動作回路１０に入力される電源電圧ＶＤＤおよび電源電圧ＶＳＳの変動成分に対して、増幅器２４が有するべき増幅率を乗算した程度の電圧値を有してよい。【００２１】
安定化キャパシタ２２は、増幅器２４の出力端および主電源配線１２の間に設けられ、増幅器２４の出力に応じて、主電源配線１２における電源電圧の変動を抑制する電流を、主電源配線１２に供給する。本例の安定化キャパシタ２２は、高圧側電源配線１２−Ｈに接続される。増幅器２４は、動作回路１０に供給される電源電圧の変動成分を増幅して出力するので、動作回路１０から電源安定化回路２０を見ると、安定化キャパシタ２２の容量が、増幅器２４の増幅率で増幅されたように見える。【００２２】
本例の電源安定化回路２０によれば、比較的に小さい容量の安定化キャパシタ２２を用いて、動作回路１０に供給される電源電圧の変動を補償することができる。このため、電子デバイス１００のチップ内に、電源安定化回路２０を容易に設けることができ、チップ内で生じる電源電圧の変動を補償することができる。【００２３】
なお、ＡＣ結合キャパシタ２６の容量は、増幅器２４の入力容量より大きいことが好ましい。また、ＡＣ結合キャパシタ２６の容量は、安定化キャパシタ２２の容量より小さくてよい。また本例では、増幅器２４の電源電圧は、動作回路１０と異なる系統で与えられるが、他の例では、増幅器２４の電源電圧は、動作回路１０と同一の系統で与えられてもよい。また本例では、ＡＣ結合キャパシタ２６は、高圧側電源配線１２−Ｈに接続されたが、他の例では、低圧側電源配線１２−Ｌに接続されてもよい。この場合、安定化キャパシタ２２も、低圧側電源配線１２−Ｌに接続されてよい。【００２４】
図２は、電子デバイス１００の他の構成例を示す図である。本例の電子デバイス１００は、図１に関連して説明した電子デバイス１００の構成に加え、バイパスコンデンサ１８を更に備える。バイパスコンデンサ１８は、主電源配線１２と、所定の電位との間に設けられる。本例では、バイパスコンデンサ１８は、高圧側電源配線１２−Ｈと、低圧側電源配線１２−Ｌとの間に設けられる。バイパスコンデンサ１８は、動作回路１０の近傍に設けられることが好ましい。【００２５】
バイパスコンデンサ１８は、主電源配線１２における電源電圧の変動に応じた電流を、主電源配線１２に供給する。バイパスコンデンサ１８は、増幅器２４より高速に電源電圧の変動に追従することが好ましい。増幅器２４は、トランジスタ等で形成されるので、トランジスタ等の動作は、一定の遅延を有する。トランジスタの動作が遅延している間は、安定化キャパシタ２２は、主電源配線１２における電源電圧の変動を補償できない場合がある。バイパスコンデンサ１８は、係るトランジスタの動作が遅延している間の、電源電圧の変動を補償する。【００２６】
より具体的には、バイパスコンデンサ１８の時定数は、増幅器２４の時定数より小さいことが好ましい。つまり、バイパスコンデンサ１８の時定数が、増幅器２４の時定数より小さくなるような容量を有するように、バイパスコンデンサ１８が形成されることが好ましい。このような構成により、より精度よく電源電圧の変動を補償することができる。【００２７】
図３は、電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。本例の電源安定化回路２０は、増幅器２４および安定化キャパシタ２２を有する。安定化キャパシタ２２は、図１に関連して説明した安定化キャパシタ２２と同一であってよい。また本例では、増幅器２４として差動増幅器を用いる。【００２８】
増幅器２４の一方の入力端子（本例では負入力端子）は、主電源配線１２（本例では高圧側電源配線１２−Ｈ）に接続され、他方の入力端子（本例では正入力端子）には、所定の基準電位Ｖｒｅｆが入力される。増幅器２４の入力端子は、動作回路１０の近傍で、主電源配線１２に接続されてよい。またパッケージ１４には、基準電位Ｖｒｅｆを外部から受け取る電源端子１６−５が更に設けられてよい。また、他の例では、電源端子１６−３が受け取る電源電圧ＶＤＤを、基準電位Ｖｒｅｆとして増幅器２４に入力してもよい。【００２９】
このような構成によっても、電子デバイス１００のチップ内で生じる電源電圧の変動を補償することができる。また、本例の電源安定化回路２０によれば、ＡＣ結合キャパシタ２６を省略することができる。なお、本例の電源安定化回路２０は、図１または図２に関連して説明したいずれの電子デバイス１００にも適用することができる。【００３０】
図４は、電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。本例の電源安定化回路２０は、安定化キャパシタ２２、増幅器２４、および、基準電位生成部４０を有する。本例の安定化キャパシタ２２および増幅器２４は、図３に関連して説明した安定化キャパシタ２２および増幅器２４と同一であってよい。本例では、増幅器２４として差動増幅器を用いる。【００３１】
基準電位生成部４０は、増幅器２４に供給する基準電位Ｖｒｅｆを生成する。このため、本例の電子デバイス１００は、図３に関連して説明した電源端子１６−５を有さなくてよい。基準電位生成部４０は、抵抗３０およびコンデンサ２８を有する。【００３２】
抵抗３０は、増幅器２４の正入力端子と、高圧側電源配線１２−Ｈとの間に設けられる。また、コンデンサ２８は、増幅器２４の正入力端子と、低圧側電源配線１２−Ｌとの間に設けられる。このような構成により、高圧側電源配線１２−Ｈを伝送する電源電圧ＶＤＤと、低圧側電源配線１２−Ｌを伝送する電源電圧ＶＳＳとの間の電圧変動成分を除去した基準電位Ｖｒｅｆを生成することができる。【００３３】
このような構成によっても、電子デバイス１００のチップ内で生じる電源電圧の変動を補償することができる。また、本例の電源安定化回路２０によれば、基準電位Ｖｒｅｆを電子デバイス１００の内部で生成するので、基準電位Ｖｒｅｆがパッケージ１４を通過するときの、基準電位Ｖｒｅｆの変動を防ぐことができる。なお、本例の電源安定化回路２０は、図１または図２に関連して説明したいずれの電子デバイス１００にも適用することができる。【００３４】
図５は、電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。本例の電源安定化回路２０は、高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈ、高圧側増幅器２４−Ｈ、高圧側ＡＣ結合キャパシタ２６−Ｈ、低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌ、低圧側増幅器２４−Ｌ、および、低圧側ＡＣ結合キャパシタ２６−Ｌを有する。【００３５】
高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈおよび低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌは、同一の特性を有してよい。また、高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈおよび低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌは、図１に関連して説明した安定化キャパシタ２２と同一の特性を有してよい。【００３６】
高圧側増幅器２４−Ｈおよび低圧側増幅器２４−Ｌは、同一の特性を有してよい。また、高圧側増幅器２４−Ｈおよび低圧側増幅器２４−Ｌは、図１に関連して説明した増幅器２４と同一の特性を有してよい。【００３７】
高圧側ＡＣ結合キャパシタ２６−Ｈおよび低圧側ＡＣ結合キャパシタ２６−Ｌは、同一の特性を有してよい。また、高圧側ＡＣ結合キャパシタ２６−Ｈおよび低圧側ＡＣ結合化キャパシタ２６−Ｌは、図１に関連して説明したＡＣ結合キャパシタ２６と同一の特性を有してよい。【００３８】
高圧側ＡＣ結合キャパシタ２６―Ｈは、高圧側電源配線１２−Ｈが伝送する電源電圧の変動を検出する。また、低圧側ＡＣ結合キャパシタ２６―Ｌは、低圧側電源配線１２−Ｌが伝送する電源電圧の変動を検出する。【００３９】
高圧側増幅器２４―Ｈは、高圧側ＡＣ結合キャパシタ２６―Ｈを介して、高圧側電源配線１２−Ｈが伝送する電源電圧の変動成分を検出する。低圧側増幅器２４―Ｌは、低圧側ＡＣ結合キャパシタ２６―Ｌを介して、低圧側電源配線１２−Ｌが伝送する電源電圧の変動成分を検出する。また、高圧側増幅器２４―Ｈおよび低圧側増幅器２４−Ｌは、共通の電源端子１６−１および電源端子１６−２から、電源電圧ＶＤＤＨおよび電源電圧ＶＳＳＬを受け取ってよい。【００４０】
高圧側安定化キャパシタ２２―Ｈは、高圧側増幅器２４―Ｈの出力端および高圧側電源配線１２―Ｈの間に設けられ、高圧側増幅器２４―Ｈの出力に応じて、高圧側電源配線１２−Ｈにおける電源電圧の変動を抑制する電流を、高圧側電源配線１２―Ｈに供給する。低圧側安定化キャパシタ２２―Ｌは、低圧側増幅器２４―Ｌの出力端および低圧側電源配線１２―Ｌの間に設けられ、低圧側増幅器２４―Ｌの出力に応じて、低圧側電源配線１２−Ｌにおける電源電圧の変動を抑制する電流を、低圧側電源配線１２―Ｌに供給する。【００４１】
このような構成により、高圧側電源配線１２−Ｈおよび低圧側電源配線１２−Ｌが伝送するそれぞれの電源電圧を安定化させることができる。また、本例の電源安定化回路２０は、図１または図２に関連して説明したいずれの電子デバイス１００にも適用することができる。また、電子デバイス１００は、高圧側電源配線１２−Ｈと接地電位との間、および、低圧側電源配線１２−Ｌと接地電位との間に、それぞれバイパスコンデンサ１８を有してもよい。【００４２】
図６は、電源安定化回路２０の他の構成例を示す図である。本例の電源安定化回路２０は、高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈ、低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌ、および、増幅器２４を有する。本例では、増幅器２４として、図３または図４において説明した例と同様に、差動増幅器を用いる。増幅器２４に供給する基準電位Ｖｒｅｆは、図３または図４において説明したいずれの方法で生成してもよい。【００４３】
高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈおよび低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌは、同一の特性を有してよい。また、高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈおよび低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌは、図１に関連して説明した安定化キャパシタ２２と同一の特性を有してよい。【００４４】
高圧側安定化キャパシタ２２−Ｈは、増幅器２４の正出力端または負出力端の一方（本例では正出力端）と、高圧側電源配線１２−Ｈとの間に設けられる。低圧側安定化キャパシタ２２−Ｌは、増幅器２４の正出力端または負出力端の他方（本例では負出力端）と、低圧側電源配線１２−Ｌとの間に設けられる。【００４５】
このような構成により、簡易な構成で、高圧側電源配線１２−Ｈおよび低圧側電源配線１２−Ｌが伝送するそれぞれの電源電圧を安定化させることができる。また、本例の電子デバイス１００は、図５において説明した例と同様に、バイパスコンデンサ１８を有してよい。【００４６】
図７は、試験装置２００の構成の一例を示す図である。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、信号入力部２１０および判定部２２０を備える。【００４７】
信号入力部２１０は、予め定められた試験信号を生成して、被試験デバイス３００に入力する。試験信号は、例えば被試験デバイス３００の論理回路を動作させるべく、所定の論理パターンを有する信号であってよい。また、試験信号は、例えば被試験デバイス３００のメモリのアドレスを指定して、被試験デバイス３００にデータを書き込み、または被試験デバイス３００からデータを読み出す信号であってもよい。また、試験信号は、アナログ信号であってもよい。【００４８】
信号入力部２１０は、図１から図６に関連して説明したいずれかの電子デバイス１００を用いて、試験信号を生成してよい。例えば信号入力部２１０は、電子デバイス１００の動作回路１０から、試験信号を出力してよい。上述したように、電子デバイス１００は、動作回路１０に供給される電源電圧を安定化させることができるので、精度よく試験信号を生成することができる。【００４９】
判定部２２０は、試験信号に応じて被試験デバイス３００が出力する被測定信号に基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定する。例えば判定部２２０は、被測定信号の論理パターンが、予め定められた期待値パターンと一致するか否かに基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定してよい。本例の試験装置２００によれば、試験信号を精度よく生成することができる。このため、被試験デバイス３００を精度よく試験することができる。【００５０】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。【００５１】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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