【手続補正書】
【提出日】平成16年11月26日(2004.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に設けられた複数の球面の各中心位置を測定する中心測定手段と、
前記中心測定手段により測定された各中心位置から、被測定物の取付誤差を算出する誤差算出手段と、
前記被測定物の形状を測定する形状測定手段と、
前記形状測定手段による測定データを前記誤差算出手段による誤差データを用いて補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出手段とを具備することを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
前記被測定物は少なくとも３つ設けられることを特徴とする請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項３】
前記被測定物は治具により固定され、前記複数の球面は、該治具上に少なくとも３つ設けられることを特徴とする請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項４】
被測定物に設けられた複数の平面部の各平面位置とを測定する平面測定手段と、
前記平面測定手段により測定された各平面位置から、被測定物の第１の方向の取付誤差を算出する第１の誤差算出手段と、
第２、第３の方向と原点位置の取付誤差を算出する第２の誤差算出手段と、
前記被測定物の形状を測定する形状測定手段と、
前記形状測定手段による測定データを前記誤差算出手段による誤差データを用いて補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出手段とを具備することを特徴とする形状測定装置。
【請求項５】
前記被測定物には、少なくとも２つの球面が設けられ、
該球面の各中心位置を測定する中心測定手段と、
前記中心測定手段により測定された各中心位置から、被測定物の取付誤差を算出する第３の誤差算出手段とを更に備え、
前記補正手段は、前記形状測定手段による測定データを前記第１、第２、第３の誤差算出手段による誤差データを用いて補正し、
前記形状算出手段は、前記補正手段により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出することを特徴とする請求項４に記載の形状測定装置。
【請求項６】
被測定物に設けられた複数の球面の各中心位置を測定する中心測定工程と、
前記中心測定工程にて測定された各中心位置から、被測定物の取付誤差を算出する誤差算出工程と、
前記被測定物の形状を測定する形状測定工程と、
前記形状測定工程での測定データを前記誤差算出工程での誤差データを用いて補正する補正工程と、
前記補正工程により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出工程とを備えることを特徴とする形状測定方法。
【請求項７】
前記被測定物は少なくとも３つ設けられることを特徴とする請求項６に記載の形状測定方法。
【請求項８】
前記被測定物は治具により固定され、前記複数の球面は、該治具上に少なくとも３つ設けられることを特徴とする請求項６に記載の形状測定方法。
【請求項９】
被測定物に設けられた複数の平面部の各平面位置とを測定する平面測定工程と、
前記平面測定工程にて測定された各平面位置から、被測定物の第１の方向の取付誤差を算出する第１の誤差算出工程と、
第２、第３の方向と原点位置の取付誤差を算出する第２の誤差算出工程と、
前記被測定物の形状を測定する形状測定工程と、
前記形状測定工程での測定データを前記誤差算出工程での誤差データを用いて補正する補正工程と、
前記補正工程にて補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出工程とを備えることを特徴とする形状測定方法。
【請求項１０】
前記被測定物には、少なくとも２つの球面が設けられ、
該球面の各中心位置を測定する中心測定工程と、
前記中心測定工程にて測定された各中心位置から、被測定物の取付誤差を算出する第３の誤差算出工程とを更に備え、
前記補正工程では、前記形状測定工程での測定データを前記第１、第２、第３の誤差算出工程での誤差データを用いて補正し、
前記形状算出工程では、前記補正工程にて補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出することを特徴とする請求項９に記載の形状測定方法。
【請求項１１】
形状測定のプログラムコードが格納されたコンピュータ可読メモリであって、
被測定物に設けられた複数の球面の各中心位置を測定する中心測定工程のコードと、
前記中心測定工程にて測定された各中心位置から、被測定物の取付誤差を算出する誤差算出工程のコードと、
前記被測定物の形状を測定する形状測定工程のコードと、
前記形状測定工程での測定データを前記誤差算出工程での誤差データを用いて補正する補正工程のコードと、
前記補正工程により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出工程のコードとを備えることを特徴とするコンピュータ可読メモリ。
【請求項１２】
形状測定のプログラムコードが格納されたコンピュータ可読メモリであって、
被測定物に設けられた複数の平面部の各平面位置とを測定する平面測定工程のコードと、
前記平面測定工程にて測定された各平面位置から、被測定物の第１の方向の取付誤差を算出する第１の誤差算出工程のコードと、
第２、第３の方向と原点位置の取付誤差を算出する第２の誤差算出工程のコードと、
前記被測定物の形状を測定する形状測定工程のコードと、
前記形状測定工程での測定データを前記誤差算出工程での誤差データを用いて補正する補正工程のコードと、
前記補正工程にて補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出工程のコードとを備えることを特徴とするコンピュータ可読メモリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、第２の発明の形状測定装置は、以下の構成を備える。即ち、
被測定物に設けられた複数の平面部の各平面位置とを測定する平面測定手段と、前記平面測定手段により測定された各平面位置から、被測定物の第１の方向の取付誤差を算出する第１の誤差算出手段と、第２、第３の方向と原点位置の取付誤差を算出する第２の誤差算出手段と、前記被測定物の形状を測定する形状測定手段と、前記形状測定手段による測定データを前記誤差算出手段による誤差データを用いて補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出手段とを具備する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、第４の発明の形状測定方法は、以下の特徴を備える。即ち、
被測定物に設けられた複数の平面部の各平面位置とを測定する平面測定工程と、前記平面測定工程にて測定された各平面位置から、被測定物の第１の方向の取付誤差を算出する第１の誤差算出工程と、第２、第３の方向と原点位置の取付誤差を算出する第２の誤差算出工程と、前記被測定物の形状を測定する形状測定工程と、前記形状測定工程での測定データを前記誤差算出工程での誤差データを用いて補正する補正工程と、前記補正工程にて補正された測定データと被測定物の設計データとの差により被測定物の誤差形状を算出する形状算出工程とを備える。