【手続補正書】
【提出日】平成16年12月2日(2004.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料を基板上に塗布する塗布方法において、
前記材料を前記基板上に供給すると共にその供給点を移動させる第１工程と、
前記材料の供給点の移動と同時に前記基板を回転させる第２工程とを有し、
前記供給点が前記基板内の外側位置にあるときの前記基板の回転速度は、前記供給点が前記基板内の内側位置にあるときの前記基板の回転速度よりも遅くなることを有することを特徴とする塗布方法。
【請求項２】
請求項１において、前記基板の回転速度は段階的に遅くなることを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
請求項１において、前記基板の回転速度は無段階的に遅くなることを特徴とする塗布方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３の少なくともいずれか１つにおいて、
前記第１工程では、前記供給点の移動速度は一定であることを特徴とする塗布方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４の少なくともいずれか１つにおいて、
前記第１工程では、前記供給点は前記基板の回転中心と異なる点を中心として旋回移動することを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５の少なくともいずれか１つにおいて、
前記第１工程及び前記第２工程の後に、前記基板上に在る材料を該基板の回転によって広げる工程をさらに有することを特徴とする塗布方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６の少なくともいずれか１つにおいて、
前記第２工程では、前記基板の全面積の５０％以上、好ましくは８０％以上、の面積で該基板に密着できる大きさを有する定盤に前記基板を密着して支持した状態で、該定盤を回転させることにより前記基板を回転させることを特徴とする塗布方法。
【請求項８】
材料を基板上に塗布する塗布装置において、
前記材料を前記基板へ供給する材料供給手段と、
該材料供給手段による材料の供給点を移動させる供給点移動手段と、
前記基板を回転させる基板回転手段と、
前記供給点が前記基板内の外側位置にあるときの前記基板の回転速度が、前記供給点が前記基板内の内側位置にあるときの前記基板の回転速度よりも遅くなるように制御する制御手段とを有することを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項８において、前記制御手段は、前記基板の回転速度を段階的に遅くさせることを特徴とする塗布装置。
【請求項１０】
請求項８において、前記制御手段は、前記基板の回転速度を無段階的に遅くさせることを特徴とする塗布装置。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０の少なくともいずれか１つにおいて、前記供給点移動手段によって移動される前記供給手段の移動速度は一定であることを特徴とする塗布装置。
【請求項１２】
請求項８から請求項１１の少なくともいずれか１つにおいて、前記供給点移動手段は前記基板の回転中心と異なる点を中心として前記供給点を旋回移動させることを特徴とする塗布装置。
【請求項１３】
請求項８から請求項１２の少なくともいずれか１つにおいて、前記基板回転手段は、前記基板の全面積の５０％以上、好ましくは８０％以上、の面積で該基板に密着できる大きさを有する定盤を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項１４】
着色された少なくとも１種類の感光性材料を基板上に有するカラーフィルタの製造方法において、着色された少なくとも１種類の感光性材料を、請求項１から請求項７のいずれかに記載した塗布方法を用いて基板上に塗布する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１５】
請求項１から請求項７のいずれかに記載した塗布方法を用いて、ブラックマスク、オーバーコート膜、電極の少なくとも１つを形成する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係る塗布方法は、材料を基板上に塗布する塗布方法において、前記材料を前記基板上に供給すると共にその供給点を移動させる第１工程と、前記材料の供給点の移動と同時に前記基板を回転させる第２工程とを有し、前記供給点が前記基板内の外側位置にあるときの前記基板の回転速度は、前記供給点が前記基板内の内側位置にあるときの前記基板の回転速度よりも遅くなることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記構成の塗布方法においては、前記基板の回転速度を段階的に遅くなるように制御することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、上記構成の塗布方法においては、前記基板の回転速度を無段階的に遅くなるように制御することもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、上記構成の塗布方法において、前記第１工程では、前記供給点の移動速度を一定に維持することができる。もちろん、基板の回転速度を変化させることに加えて、材料の供給点の移動速度も変化させても構わない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、上記構成の塗布方法において、前記第１工程では、前記供給点を前記基板の回転中心と異なる点を中心として旋回移動させることができる。また、これに代えて、材料の供給点を直線的に移動させることも可能である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、上記構成の塗布方法において、前記第１工程及び前記第２工程の後に、前記基板上に在る材料を該基板の回転によって広げる工程を実行することも可能である。この工程の実施により、材料は基板の全面に一様な厚さで塗布されることになる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、上記構成の塗布方法において、前記第２工程では、前記基板の全面積の５０％以上、好ましくは８０％以上、の面積で該基板に密着できる大きさを有する定盤に前記基板を密着して支持した状態で、該定盤を回転させることにより前記基板を回転させることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
次に、本発明に係る塗布装置は、材料を基板上に塗布する塗布装置において、前記材料を前記基板へ供給する材料供給手段と、該材料供給手段による材料の供給点を移動させる供給点移動手段と、前記基板を回転させる基板回転手段と、前記供給点が前記基板内の外側位置にあるときの前記基板の回転速度が、前記供給点が前記基板内の内側位置にあるときの前記基板の回転速度よりも遅くなるように制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
上記の塗布装置において、前記制御手段は、前記基板の回転速度を段階的に遅くさせるように制御することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、上記の塗布装置において、前記制御手段は、前記基板の回転速度を無段階的に遅くさせるように制御することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、上記の塗布装置において、前記供給点移動手段によって移動される前記供給手段の移動速度は一定に維持することができる。もちろん、基板の回転速度を変化させることに加えて、材料の供給点の移動速度も変化させても構わない。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、上記の塗布装置において、前記供給点移動手段は前記基板の回転中心と異なる点を中心として前記供給点を旋回移動させることができる。また、これに代えて、材料の供給点を直線的に移動させることも可能である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、上記の塗布装置において、前記基板回転手段は、前記基板の全面積の５０％以上、好ましくは８０％以上、の面積で該基板に密着できる大きさを有する定盤を有することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
次に、本発明に係るカラーフィルタの製造方法は、着色された少なくとも１種類の感光性材料を基板上に有するカラーフィルタの製造方法において、着色された少なくとも１種類の感光性材料を、以上に記載した構成の塗布方法を用いて基板上に塗布する工程を有することを特徴とする。この構成のカラーフィルタの製造方法によれば、カラーフィルタを形成する材料、例えば顔料レジストの使用量を大幅に削減することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
次に、本発明に係る他の電気光学装置の製造方法は、ブラックマスク、オーバーコート膜、電極の少なくとも１つを備えた電気光学装置の製造方法であって、以上に記載した構成の塗布方法を用いて、ブラックマスク、オーバーコート膜、電極の少なくとも１つを形成する工程を有することを特徴とする。この方法によれば、ブラックマスク、オーバーコート膜、電極等をフォトリソグラフィー法に基づいてパターニングする際、それらを構成する材料自体や、パターニング際して使用するレジスト材料を大幅に削減できる。