(57)【要約】  吸着搬送装置は、電子部品を真空吸着するノズル１０とノズル１０に電子部品が吸着されたか否かを着脱流路１３の空気流量により検出する流量センサ２４とを有している。ノズル内流路の基準流量に対する目詰まり判定流量が吸着センサコントローラ２５の判定流量記憶部３１に格納され、ノズル１０に電子部品が接触していない状態のもとでノズル１０に負圧空気を供給して検出されるノズル内流路の空吸い流量と、目詰まり判定流量とを比較して空吸い流量が目詰まり判定流量よりも少ないときにはノズルは目詰まりであると判定される。
2009005058.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を真空吸着するノズルに前記電子部品が吸着されたか否かを判定する吸着センサコントローラであって、
前記ノズル内流路の基準流量に対する目詰まり判定流量を格納する判定流量記憶部と、
前記ノズルに電子部品が接触していない状態のもとで前記ノズルに負圧空気を供給して検出される前記ノズル内流路の空吸い流量と、前記目詰まり判定流量とを比較して前記空吸い流量が前記目詰まり判定流量よりも少ないときにはノズル目詰まりと判定する演算手段と、
前記演算手段によりノズル目詰まりが判定されたときにはエラー信号を出力する出力手段とを有することを特徴とする吸着センサコントローラ。
【請求項２】
請求項１記載の吸着センサコントローラにおいて、前記判定流量記憶部に前記ノズル内流路の基準流量に対するエア漏れ判定流量を格納し、前記演算手段により前記空吸い流量と前記エア漏れ判定流量とを比較して前記空吸い流量が前記エア漏れ流量よりも多いときにはエア漏れと判定し、エア漏れが判定されたときにはエラー信号を出力する出力手段を有することを特徴とする吸着センサコントローラ。
【請求項３】
請求項１記載の吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記目詰まり判定流量とを比較して目詰まりが判定されないときには前記ノズルへの負圧空気の供給を停止することなく、電子部品の吸着搬送を行うことを特徴とする吸着搬送装置。
【請求項４】
請求項１記載の吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記目詰まり判定流量とを比較して目詰まりが判定されないときに、前記ノズルにより電子部品の吸着搬送を行うまで前記ノズルへの負圧空気の供給を停止し、電子部品の吸着搬送を行うときに前記ノズルを前記電子部品に接触させた後に前記ノズルに負圧空気を供給することを特徴とする吸着搬送装置。
【請求項５】
請求項２記載の吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記エア漏れ判定流量とを比較してエア漏れが判定されないときには、前記ノズルへの負圧空気の供給を停止することなく、前記電子部品の吸着搬送を行うことを特徴とする吸着搬送装置。
【請求項６】
請求項２記載の吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記エア漏れ判定流量とを比較してエア漏れが判定されないときに、前記ノズルにより電子部品の吸着搬送を行うまで前記ノズルへの負圧空気の供給を停止し、電子部品の吸着搬送を行うときに前記ノズルを前記電子部品に接触させた後に前記ノズルに負圧空気を供給することを特徴とする吸着搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＩＣチップ等の電子部品をワークとしてこれを真空吸着するノズルにワークが吸着した状態であるか否かを判定する吸着センサコントローラおよびそれを用いた吸着搬送装置に関し、特に電子部品を吸着するノズルの目詰まりやエア漏れを検出するようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣチップ等の電子部品を検査ボードに搭載したり、実装基板に電子部品を搭載するために、電子部品を真空吸着して搬送する吸着搬送装置が使用されている。吸着搬送装置は電子部品を真空吸着する吸着具としてのノズルを有し、ノズルに負圧空気つまり真空を供給することにより電子部品がノズルの先端に吸着され、ノズルによって電子部品は搬送されて所定の位置に配置される。このようなワークのピックアップ工程とプレイス工程とを有する吸着搬送装置には、ノズルの先端に電子部品が吸着されたことを自動的に検出するために、吸着検出センサが用いられている。この吸着検出センサには、ノズル内流路の空気の圧力を検出する圧力センサ（特許文献１参照）と、ノズル内流路の空気の流量を検出する流量センサ（特許文献２参照）とがある。圧力センサはノズル内流路の真空圧力に応じて出力信号を出力し、出力信号に基づいて所定の真空度の範囲となっているときにノズルに電子部品が吸着されていると判定される。一方、流量センサはノズル内流路の空気流量に応じて出力信号を出力し、出力信号に基づいて流量が所定の範囲内となっているときにノズルに電子部品が吸着されていると判定される。この判定は吸着検出センサからの信号に基づいて吸着センサコントローラにより判定される。
【特許文献１】特開平１１−２１４８９３号公報
【特許文献２】特開２００５−２６２３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
電子部品が比較的大きな場合や電子部品の表面とノズルの先端面との密着度が高い場合には、圧力センサにより電子部品の吸着を検出することができるのに対し、ノズルに電子部品が吸着された状態のもとでノズル先端面から空気が流入してしまうようなリーク現象が発生する場合には流量センサが使用される。例えば電子部品の１辺が１mm〜数mm程度の小型のＩＣチップをノズルにより吸着する場合には、吸着前後でノズル内の圧力差が大きくならないので、圧力センサを用いて検出することができずに流量センサが使用される。【０００４】
流量センサが使用されるのは、上述のように、比較的小型の電子部品を吸着搬送する場合が多く、ノズル内流路の内径が０．８mm〜０．１mm程度の小径ノズルが使用される場合には、ノズルへの電子部品の吸着を検出するために流量センサが使用される。しかしながら、特に小径のノズルが使用される吸着搬送装置においては、ノズルに負圧空気を供給してノズルが外部空気を真空吸引するときに外部空気とともにゴミがノズル内に入り込むと、ゴミがノズル内流路に食い付くことがある。ゴミが流路内に食い付いてしまうとノズル内流路の内径が細くなってしまうため、ノズル内の空気流量が減少し、ワーク吸着ミスや流量センサによる吸着検出ミスが発生する恐れがある。【０００５】
このような誤動作が発生すると、電子機器や電子部品の組立異常が発生し、生産歩留まりを低下させることになる。【０００６】
本発明の目的は電子部品吸着用のノズルの目詰まりを自動的に検出し得るようにすることにある。【０００７】
本発明の他の目的はノズルのエア漏れを自動的に検出し得るようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の吸着センサコントーラは、電子部品を真空吸着するノズルに前記電子部品が吸着されたか否かを判定する吸着センサコントローラであって、前記ノズル内流路の基準流量に対する目詰まり判定流量を格納する判定流量記憶部と、前記ノズルに電子部品が接触していない状態のもとで前記ノズルに負圧空気を供給して検出される前記ノズル内流路の空吸い流量と、前記目詰まり判定流量とを比較して前記空吸い流量が前記目詰まり判定流量よりも少ないときにはノズル目詰まりと判定する演算手段と、前記演算手段によりノズル目詰まりが判定されたときにはエラー信号を出力する出力手段とを有することを特徴とする。【０００９】
本発明の吸着センサコントローラは、前記判定流量記憶部に前記ノズル内流路の基準流量に対するエア漏れ判定流量を格納し、前記演算手段により前記空吸い流量と前記エア漏れ判定流量とを比較して前記空吸い流量が前記エア漏れ流量よりも多いときにはエア漏れと判定し、エア漏れが判定されたときにはエラー信号を出力することを特徴とする。【００１０】
本発明の吸着搬送装置は、上記吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記目詰まり判定流量とを比較して目詰まりが判定されないときには前記ノズルへの負圧空気の供給を停止することなく、電子部品の吸着搬送を行うことを特徴とする。【００１１】
本発明の吸着搬送装置は、上記吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記目詰まり判定流量とを比較して目詰まりが判定されないときに、前記ノズルにより電子部品の吸着搬送を行うまで前記ノズルへの負圧空気の供給を停止し、電子部品の吸着搬送を行うときに前記ノズルを前記電子部品に接触させた後に前記ノズルに負圧空気を供給することを特徴とする。【００１２】
本発明の吸着搬送装置は、上記吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記エア漏れ判定流量とを比較してエア漏れが判定されないときには、前記ノズルへの負圧空気の供給を停止することなく、前記電子部品の吸着搬送を行うことを特徴とする。【００１３】
本発明の吸着搬送装置は、上記吸着センサコントローラを有する吸着搬送装置であって、前記空吸い流量と前記エア漏れ判定流量とを比較してエア漏れが判定されないときに、前記ノズルにより電子部品の吸着搬送を行うまで前記ノズルへの負圧空気の供給を停止し、電子部品の吸着搬送を行うときに前記ノズルを前記電子部品に接触させた後に前記ノズルに負圧空気を供給することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、電子部品を吸着するノズル内にゴミ等の異物が入り込んでノズルが目詰まりした場合には、ノズルにより電子部品を吸着搬送する前に予めノズル内の空気の流量に基づいて目詰まりを自動的に検出することができる。これにより、目詰まりが発生したままで電子部品の吸着搬送動作が行われることがなくなるので、電子機器の組立異常などの発生を防止できる。【００１５】
ノズルにエア漏れが発生した場合には、ノズルによる電子部品の吸着搬送の前に予めノズル内の空気の流量に基づいてエア漏れを自動的に検出することができる。これにより、ノズルのエア漏れが発生したままで電子部品の吸着搬送動作が行われることがなくなるので、エア漏れに起因する電子機器の組立異常などの発生を防止できる。【００１６】
ノズルに電子部品が吸着したか否かと電子部品がノズルから離脱したか否かを検出するための流量センサを利用して、ノズル内の目詰まりを検出することができ、さらにノズルのエア漏れを検出することができる。これにより、ノズルを用いて電子部品を組み立てる組立装置における組立異常の発生を防止して、組立生産の歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態である吸着センサコントローラを用いた吸着搬送装置におけるノズルの上下動部を示す概略図である。
【図２】ノズルに対して負圧空気と正圧空気を供給するための空気圧回路と吸着センサコントローラおよびプログラマブルコントローラの関係を示す図である。
【図３】ノズル内における空気の流量と流量センサからの出力信号に基づく電子部品の吸着状態と吸着離脱状態の判定結果を示すタイムチャートである。
【図４】空吸い状態のもとにおける正常時のノズル内の空気流量とノズル目詰まり等の異常時の空気流量とを示すタイムチャートである。
【図５】ノズルの目詰まり判定とエア漏れ判定とを行った後に、電子部品を吸引後接触方式で吸着搬送する場合におけるノズル内の空気の流量変化と流量センサからの出力信号による吸着および吸着離脱判定を示すタイムチャートである。
【図６】ノズルの目詰まり判定とエア漏れ判定とを行った後に、電子部品を接触後吸引方式で吸着搬送する場合におけるノズル内の空気の流量変化と流量センサからの出力信号による吸着および吸着離脱判定を示すタイムチャートである。
【図７】吸着センサコントローラを用いた吸着搬送装置の作動制御の手順を示すアルゴリズムである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。【００１９】
吸着搬送装置は、図１に示されるように、水平方向に移動自在となった搬送ヘッド１を有し、その搬送ヘッド１には空気圧シリンダ２が設けられており、空気圧シリンダ２により上下方向に駆動されるピストンロッド３には、電子部品Ｗを真空吸着する吸着具つまりノズル１０が設けられている。図１は１つの空気圧シリンダ２を示すが、搬送ヘッド１には複数の空気圧シリンダ２が設けられ、それぞれの空気圧シリンダ２のピストンロッド３にはノズル１０が設けられており、それぞれのノズル１０は上下動手段としての空気圧シリンダ２により上下動自在となっている。ノズル１０により部品収容部Ｂ１から部品搭載部Ｂ２に電子部品Ｗを搬送して搭載するには、搬送ヘッド１を水平移動してノズル１０を部品収容部Ｂ１に位置決め移動した後にノズル１０を下降移動させ、電子部品Ｗをノズル１０により真空吸着する。次いで、ノズル１０を上昇移動させるととも搬送ヘッド１を水平移動させることにより電子部品Ｗを部品搭載部Ｂ２にまで搬送する。この状態のもとで、ノズル１０を下降移動させることにより特定の位置に電子部品Ｗを搭載することができる。【００２０】
図２には、搬送ヘッド１に設けられた複数のノズル１０のうち１つが示されており、ノズル１０に対応させて真空供給制御弁１１と真空破壊制御弁１２とが搬送ヘッド１に設けられている。ノズル１０の内部流路つまり着脱流路１３は、真空供給制御弁１１を介して真空供給路１４に接続され、真空破壊制御弁１２を介して正圧供給路１５に接続されている。真空供給路１４は真空ポンプ等からなる真空供給源１６に接続され、正圧供給路１５はコンプレッサ等からなる正圧供給源１７に図示しないフィルタや調圧弁を介して接続されている。【００２１】
真空供給制御弁１１は、真空供給路１４に連通する真空供給ポートＶＳと、着脱流路１３に連通する真空ポートＶと、外部に連通する大気開放ポートＴとを有する電磁弁であり、ソレノイド２１を有している。真空供給制御弁１１は、ソレノイド２１へ通電すると真空供給ポートＶＳと真空ポートＶとを連通させる位置に作動し、通電を停止させると真空供給ポートＶＳと真空ポートＶとの連通を遮断して真空ポートＶと大気開放ポートＴとを連通させる位置に作動する。ソレノイド２１へ通電すると、ノズル１０内の着脱流路１３には真空供給源１６からの負圧空気つまり真空が供給される。【００２２】
真空破壊制御弁１２は、正圧供給路１５に連通する正圧ポートＰと、着脱流路１３に連通する出力ポートＡとを有する電磁弁であり、ソレノイド２２を有している。真空破壊制御弁１２は、ソレノイド２２に通電すると正圧ポートＰと出力ポートＡとを連通させる位置に作動し、通電を停止させると正圧ポートＰと出力ポートＡとの連通を遮断する位置に作動する。ソレノイド２２へ通電すると、ノズル１０内の着脱流路１３には正圧空気が真空破壊用の空気として供給される。出力ポートＡから吐出された圧縮空気は可変絞り２３により絞られた後に着脱流路１３に供給される。【００２３】
図２においては、ソレノイド２１，２２に対する通電が停止された状態が示されており、着脱流路１３は大気開放状態となっている。ノズル１０により電子部品Ｗを真空吸着するには、真空供給制御弁１１のソレノイド２１に通電してノズル１０の内部流路つまり着脱流路１３に負圧空気を供給した状態のもとでノズル１０を電子部品Ｗに接近させて電子部品Ｗにノズル１０を接触させる吸引後接触方式と、真空供給制御弁１１のソレノイド２１に通電することなく、ノズル１０を電子部品Ｗに接近させて電子部品Ｗにノズル１０を接触させるかほぼ接触させた状態のもとでソレノイド２１に通電して着脱流路１３に負圧空気を供給する接触後吸引方式とがある。いずれの方式においても、電子部品Ｗはソレノイド２１に通電してノズル１０内の着脱流路１３を真空状態に保持することによりノズル１０により真空吸着され、真空吸着された状態のもとで空気圧シリンダ２と搬送ヘッド１の駆動により電子部品Ｗは所定の搭載位置にまで搬送される。【００２４】
電子部品Ｗが所定の位置まで搬送されたときには、真空供給制御弁１１のソレノイド２１に対する通電を停止してノズル１０への負圧空気の供給を停止するとともに真空破壊制御弁１２のソレノイド２２に通電してノズル１０に正圧空気を供給する。これにより、電子部品Ｗはノズル１０の先端から確実に離れて所定の搭載位置に配置される。【００２５】
ノズル１０に電子部品Ｗが真空吸着された状態となっているか否か、およびノズル１０から電子部品Ｗが確実に離れた状態となっているか否かを検出するために、ノズル１０にはその内部の着脱流路１３における空気の流量を検出する流量センサ２４が設けられている。流量センサ２４の出力信号は吸着センサコントローラ２５に送られ、吸着センサコントローラ２５からの検出信号に基づいてメインコントローラとしてのプログラマブルコントローラ２６からはそれぞれのソレノイド２１，２２に対して駆動信号が送られる。【００２６】
図３はノズル１０内における空気の流量と、流量センサ２４からの出力信号に基づく電子部品Ｗの吸着状態と吸着離脱状態の判定結果を示すタイムチャートであり、上述した接触後吸引方式で電子部品Ｗをノズル１０により真空吸着する場合が示されている。図２に示した両方のソレノイド２１，２２に通電することなく、ノズル１０内の流路を大気に開放した状態のもとでノズル１０を電子部品Ｗに接近させ、ノズル１０が電子部品Ｗに接触するかほぼ接触した状態のもとでソレノイド２１に通電してノズル１０に負圧空気を供給する。ソレノイド２１への通電によりノズル１０内にノズル１０と電子部品Ｗの隙間から空気が流入して着脱流路１３内の流量つまり流速は増加する。【００２７】
真空供給源１６から着脱流路１３に一定圧の負圧空気を供給すると、ノズル１０の先端面と電子部品Ｗとの間からノズル１０内に流入する空気の流れ、つまりリーク流量はほぼ一定となる。このリーク流量が、図３に示すように、リーク流量の誤差を考慮して、所定の吸着判定流量Ｌ(1)と所定の吸着判定流量Ｌ(2)との間となっているときには、電子部品Ｗがノズル１０に吸着していると判定される。吸着判定流量Ｌ(1)と吸着判定流量Ｌ(2)の設定値は着脱流路１３に供給される負圧空気の真空度に応じて実験により設定される。【００２８】
電子部品が真空吸着されたと判定されると、その判定に基づいてノズル１０は空気圧シリンダ２により上昇され、搬送ヘッド１の水平移動により上昇移動した電子部品Ｗは所定の搭載位置の真上まで搬送される。この状態のもとで空気圧シリンダ２を駆動することによりノズル１０が下降移動されて電子部品Ｗは所定の搭載位置に配置される。電子部品Ｗが配置された後に、ソレノイド２１に対する通電を停止してノズル１０への負圧空気の供給を停止するとともにソレノイド２２に通電することによりノズル１０内に真空破壊用の正圧空気を所定時間供給する。これにより、図３に示すように、ノズル１０内の空気の流れは減少し、吸着判定流量Ｌ(2)よりも流量が低下した時点で電子部品Ｗがノズル１０から離れたと判定される。【００２９】
一方、上述した吸引後接触方式ではノズル１０内に負圧空気を供給した状態でノズル１０を電子部品Ｗに接近させるので、ノズル１０内の空気流量は吸着判定流量Ｌ(1)よりも流量が大きい状態から、ノズル１０の電子部品Ｗへの接近によって流量が吸着判定流量Ｌ(1)よりも低下したときに電子部品Ｗがノズル１０に吸着されたと判定される。【００３０】
ノズル１０がゴミなどにより目詰まりしていると、負圧空気をノズル１０に供給してもノズル１０内に吸着判定流量Ｌ(2)以上の空気の流れが発生しないので、電子部品Ｗをノズル１０に吸着させることができない。一方、電子部品Ｗを吸着動作を行った状態のもとで吸着判定流量Ｌ(1)以上に空気の流れが発生する場合は、電子部品Ｗがノズル１０に接触していないか、ノズル１０の着脱流路１３がエア漏れとなっているかいずれかである。【００３１】
図４は電子部品Ｗを接触させることなくノズル１０内に負圧を供給した状態を空吸い状態とし、この時のノズル内の流量を空吸い流量とした場合の正常時の空吸い流量と、ノズル目詰まり等の異常時の空吸い流量とを示すタイムチャートである。【００３２】
図４に示すようにノズル１０に所定圧の負圧空気を供給すると、電子部品Ｗを接近させない空吸い状態のもとでは、ノズル１０内の流路には基準流量Ｌcの空気が流れることになる。真空供給源からの真空圧の変動や、ノズル１０の内径などに基づいて、基準流量Ｌcよりも所定値Ｌbm減算した流量Ｌcmを目詰まり判定流量とし、基準流量Ｌcよりも所定値Ｌbp加算した流量Ｌcpをエア漏れ判定流量とする。したがって、空吸い状態のもとで、破線で示すように、ノズル１０内の空気流量が目詰まり判定流量Ｌcm以下となったときには、ノズル１０は目詰まりであると判定される。また、空吸い状態のもとで、一点鎖線で示すようにノズル１０内の空気流量がエア漏れ判定流量Ｌcp以上となったときには、ノズル１０か着脱流路１３はエア漏れであると判定される。【００３３】
図２に示す吸着センサコントローラ２５はメモリ部を有するマイクロプロセッサ（ＣＰＵ）を備えており、判定流量記憶部３１と演算部３２とを有している。判定流量記憶部３１には、図４に示した目詰まり判定流量Ｌcmとエア漏れ判定流量Ｌcpが格納されるとともに、吸着判定流量Ｌ(1)とＬ(2)が格納されている。つまり、それぞれの判定流量ＬcmとＬcpに対応する流量センサ２４の出力値と、吸着判定流量Ｌ(1)、Ｌ(2)に対応する流量センサ２４の出力値とが判定流量記憶部３１に格納されている。【００３４】
吸着センサコントローラ２５には信号出力部３３が設けられている。吸着判定流量Ｌ(1)およびＬ(2)に基づいて電子部品Ｗの吸着と吸着離脱が演算部３２により判定されたときには、空気圧シリンダ２や搬送ヘッド１を駆動するメインコントローラとしてのプログラマブルコントローラ２６に信号出力部３３から検出信号が送られる。同様に、ノズル１０の目詰まりとエア漏れが演算部３２により判定されたときには、信号出力部３３からメインコントローラとしてのプログラマブルコントローラ２６にエラー信号が出力され、警報ランプを点灯させたり、ブザーを作動させたり、吸着搬送装置の作動が停止される。【００３５】
図５および図６はそれぞれ予めノズル１０の目詰まり判定とエア漏れ判定とを行った後に、電子部品Ｗを吸着搬送する場合におけるノズル１０内の空気の流量変化と流量センサ２４からの出力信号による吸着および吸着離脱判定を示すタイムチャートであり、図５は前述した吸引後接触方式による吸着搬送を示し、図６は前述した接触後吸引方式による吸着搬送を示す。【００３６】
吸引後接触方式と接触後吸引方式のいずれにおいても、図５および図６に示されるように、まずノズル１０に負圧空気を供給してノズルチェックが行われる。このノズルチェックによりノズル１０内の空気の流量がＬcmとＬcpの間の流量であれば、着脱流路１３内には目詰まりまたはエア漏れが発生していないと判定される。図５に示される吸引後接触方式においては、ノズルチェックした後に一度負圧空気の供給を停止し、電子部品Ｗの吸着搬送が行われる際に、負圧空気をノズルに供給した状態でノズルが電子部品Ｗに向けて接触移動される。ノズル１０内の空気の流量が吸着判定流量L(1)よりも低下し、かつ吸着判定流量L(2)よりも多いときに吸着が判定されて電子部品の吸着搬送が行われる。【００３７】
一方、図６に示される接触後吸引方式においては、ノズル１０が電子部品に接触するかほぼ接触した状態のもとで負圧空気がノズル１０に供給される。ノズル１０内の空気の流量が吸着判定流量L(2)よりも多く、かつ吸着判定流量L(1)よりも少ないときに吸着が判定されて電子部品の吸着搬送が行われる。【００３８】
図７は吸着搬送装置の作動制御の手順を示すアルゴリズムの一例であり、図５および図６を参照しつつ、吸着搬送装置の作動について説明する。【００３９】
まず、吸着搬送装置におけるノズル１０のチェック指令がステップＳ１において出力されたならば、図２における真空供給制御弁１１のソレノイド２１に通電がなされてステップＳ２の空吸いが実行される。ステップＳ３では空吸い状態のもとでの空気流量を測定してその測定流量Ｌ0が目詰まり判定流量Ｌcmよりも小さいか否かが判定される。図５および図６において[3]で示すように、測定流量Ｌ0が目詰まり判定流量Ｌcmよりも小さければ、このステップＳ３でYESと判定される。これにより、ステップＳ４において信号出力部３３から外部の機器にエラー信号を出力して外部の機器の表示部に目詰まりが点灯表示され、ステップＳ５において吸着搬送装置によるワークの搬送を中止し、ステップＳ６において搬送可能フラグをオフする。ステップＳ３でNOと判定されれば、ステップＳ７が実行される。【００４０】
ステップＳ７においては、測定流量Ｌ0がエア漏れ判定流量Ｌcpよりも多いか否かが判定される。このステップＳ７で測定流量Ｌ0がエア漏れ判定流量Ｌcpよりも多いと判定されれば、図５および図６における[1]の状態であり、ステップＳ８でエア漏れが表示部に点灯表示され、さらに上述したステップＳ５，Ｓ６が実行される。ステップＳ７でＮＯと判定されれば、測定流量Ｌ0からノズル１０には目詰まりが発生しておらず、しかもエア漏れも発生しておらず、吸着搬送装置はワークを搬送することができる状態であり、ステップＳ９で搬送可能フラグをオンに設定する。【００４１】
ステップＳ１においてノズルチェックがNOであればステップＳ１０が実行され、ステップＳ１０でワークの搬送が指令されたならば、ステップＳ１１では搬送可能フラグのオンオフを判定し、搬送可能フラグがオンとなっているときにのみステップＳ１２において吸着搬送を実行する。【００４２】
図５および図６は、空吸いによりノズルチェックを行った後に一度負圧空気の供給を停止してから吸着搬送を行うようにした場合を示している。電子部品の吸着搬送が行われる毎にノズルチェックを行うようにしても良く、所定回数の吸着搬送が行われた後にノズルチェックを行うようにしても良い。【００４３】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明はＩＣチップなどの電子部品を吸着して搬送する場合に適用される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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