【手続補正書】
【提出日】平成17年8月15日(2005.8.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハスタックを組み立てるためのシステムであって、前記ウェーハスタックがデータ記憶装置を形成するように適合され、前記ウェーハスタックが第１のウェーハと第２のウェーハとを含み、前記第１のウェーハおよび第２のウェーハがそれらの間に内部チャンバを画定し、前記システムが、
真空チャンバと、
前記真空チャンバと連通し、前記真空チャンバの少なくとも一部を真空圧に維持するように適合された真空装置と、
前記第１のウェーハ上に記憶媒体を堆積させるように構成され、前記真空チャンバ内に配置された媒体堆積装置と、
前記真空装置と電気的に通信する制御システムであって、その制御システムが、前記真空装置に制御信号を供給するように適合され、前記真空装置が、前記制御信号に応答して、前記真空チャンバの少なくとも一部の中の圧力を選択された圧力に維持するようになっている、制御システムと、及び
前記真空チャンバ内に配置されたウェーハスタック組み立て装置であって、前記ウェーハスタック組み立て装置は、前記ウェーハスタックの内部チャンバが前記真空チャンバから真空圧を除去しても真空圧に維持されるように、前記真空チャンバの少なくとも一部が真空圧に維持される間に、前記第１のウェーハと前記第２のウェーハとを互いに対して位置合わせし、かつ前記第１のウェーハと前記第２のウェーハとをともに結合するように構成される、ウェーハスタック組み立て装置とを含む、システム。
【請求項２】
前記真空チャンバが、媒体堆積ゾーンとウェーハスタック組み立てゾーンとを画定し、前記真空チャンバが、前記媒体堆積ゾーンおよび前記ウェーハスタック組み立てゾーンのうちの少なくとも１つを真空圧状態にするように適合され、
前記媒体堆積ゾーンが、前記第１のウェーハを受け取るように構成され、
前記媒体堆積装置が、前記媒体堆積ゾーン内に配置される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ウェーハスタック組み立て装置が、前記ウェーハスタック組み立てゾーン内に配置される、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記真空チャンバ内に配置された移送装置をさらに含み、前記移送装置が、前記第１のウェーハを、前記媒体堆積ゾーンから前記ウェーハスタック組み立てゾーンに移送するように適合される、請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
前記媒体堆積ゾーンと選択的に連通するように構成されたエントリロックをさらに含み、前記エントリロックが、前記第１のウェーハを受け取り、前記第１のウェーハの前記媒体堆積ゾーンへの移送を容易にするように適合される、請求項２に記載のシステム。
【請求項６】
前記第１のウェーハの前記媒体堆積ゾーンへの移送を容易にするための手段をさらに含む、請求項２に記載のシステム。
【請求項７】
前記真空装置が、前記真空チャンバの少なくとも一部を、約１３．３×１０−５Ｐａ（１０−８Ｔｏｒｒ）程度の圧力に維持するように適合され、前記ウェーハスタック組み立て装置が前記第１のウェーハを前記第２のウェーハに結合した後に、前記ウェーハスタックの内部が約１３．３×１０−５Ｐａ（１０−８Ｔｏｒｒ）程度の圧力に維持されるようになっている、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記真空チャンバ内に配置された移送装置をさらに含み、前記移送装置が、前記第１のウェーハを、前記媒体堆積ゾーンから前記ウェーハスタック組み立てゾーンに移送するように適合され、
前記制御システムは、前記媒体堆積装置が前記第１のウェーハ上に自動的に記憶媒体を堆積できるようにし、前記移送装置が前記第１のウェーハを前記ウェーハスタック組み立てゾーンに移送できるようにし、前記真空装置が前記ウェーハスタック組み立てゾーンを真空圧に維持する間に、前記ウェーハスタック組み立て装置が前記第１のウェーハおよび前記第２のウェーハを互いに対して位置合わせし、かつ前記第１のウェーハおよび前記第２のウェーハをともに結合できるように構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
ウェーハスタックを組み立てるためのシステムであって、前記ウェーハスタックがデータ記憶装置を形成するように適合され、前記ウェーハスタックが第１のウェーハと第２のウェーハとを含み、前記第１のウェーハおよび第２のウェーハがそれらの間に内部チャンバを画定し、前記システムが、
堆積ゾーン、中間ゾーン、及び組み立てゾーンを画定する真空チャンバと、
前記真空チャンバと連通し、前記真空チャンバの少なくとも一部を真空圧に維持するように適合された真空装置と、
前記第１のウェーハ上に記憶媒体を堆積させるように構成され、前記堆積ゾーン内に配置された媒体堆積装置と、
前記中間ゾーンを前記堆積ゾーンから空気的に分離するように適合された第１のエントリロックと、及び
前記組み立てゾーン内に配置されたウェーハスタック組み立て装置であって、前記ウェーハスタック組み立て装置は、前記ウェーハスタックの内部チャンバが前記組み立てゾーンから真空圧を除去しても真空圧に維持されるように、前記組み立てゾーンが真空圧に維持される間に、前記第１のウェーハと前記第２のウェーハとを互いに対して位置合わせし、かつ前記第１のウェーハと前記第２のウェーハとをともに結合するように構成される、ウェーハスタック組み立て装置とを含む、システム。
【請求項１０】
前記真空チャンバ内に配置された移送装置をさらに含み、前記移送装置が、前記第１のウェーハを、前記堆積ゾーンから前記組み立てゾーンに移送するように適合される、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記真空装置が、前記真空チャンバの少なくとも一部を、約１３．３×１０−５Ｐａ（１０−８Ｔｏｒｒ）程度の圧力に維持するように適合され、前記ウェーハスタック組み立て装置が前記第１のウェーハを前記第２のウェーハに結合した後に、前記ウェーハスタックの内部が約１３．３×１０−５Ｐａ（１０−８Ｔｏｒｒ）程度の圧力に維持されるようになっている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１２】
前記真空装置と電気的に通信する制御システムをさらに含み、その制御システムが、前記真空装置に制御信号を供給するように適合され、前記真空装置が、前記制御信号に応答して、前記真空チャンバの少なくとも一部の中の圧力を選択された圧力に維持するようになっている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１３】
前記制御システムは、前記媒体堆積装置が前記第１のウェーハ上に自動的に記憶媒体を堆積できるようにし、前記真空装置が前記組み立てゾーンを真空圧に維持する間に、前記ウェーハスタック組み立て装置が前記第１のウェーハおよび前記第２のウェーハを互いに対して位置合わせし、かつ前記第１のウェーハおよび前記第２のウェーハをともに結合できるように構成される、請求項１２に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
メモリ１２０４内のソフトウエアは、１つ以上の独立したプログラムを含むことができ、それぞれが、論理機能を実施するための実行可能命令の順序づけられたリストを含む。図１１の例では、メモリ１２０４内のソフトウエアは制御システム１１００と、適切なオペレーティングシステム（Ｏ／Ｓ）１２１０とを含む。網羅的ではないが、市販のオペレーティングシステム１２１０の例を列挙すると、Microsoft Corporation（米国）のWindows（Ｒ）オペレーティングシステム、Novel，Inc．（米国）のNetwareオペレーティングシステム、Hewlett-Packard Company（米国）、Sun Microsystems，Inc．およびＡＴ＆Ｔ Corporation（米国）のような数多くのベンダから購入することができるＵＮＩＸ（Ｒ）オペレーティングシステムがある。オペレーティングシステム１２１０は、制御システム１１００のような他のコンピュータプログラムの実行を制御する。また、オペレーティングシステム１２１０は、スケジューリング、入力／出力制御、ファイルおよびデータ管理、メモリ管理、通信制御および関連サービスも提供する。