(57)【要約】  ナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタであって、前記ナノファイバーろ材として、ろ材通過風速５.３cm/sの場合、捕集対象粒子径０.３μｍの性能指標が０.０４０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.１μｍの性能指標が０.０３０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.０５μｍの性能指標が０.０５０(1/Ｐａ)以上のナノファイバーろ材から構成されるエアフィルタ用ろ材を用いる。これにより、ナノファイバー製のろ材を使用しつつ、高風量低圧損型の高性能なエアフィルタを提供することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ろ材通過風速５.３cm/sの場合、捕集対象粒子径０.３μｍの性能指標が０.０４０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.１μｍの性能指標が０.０３０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.０５μｍの性能指標が０.０５０(1/Ｐａ)以上のナノファイバーろ材から構成されることを特徴とするエアフィルタ用ろ材。
【請求項２】
捕集対象粒子径０.３μｍの性能指標が０.０６０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.１μｍの性能指標が０.０４０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.０５μｍの性能指標が０.０７０(1/Ｐａ)以上であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ用ろ材。
【請求項３】
前記ナノファイバーろ材の繊維充填率が０.０１〜０.２５で、繊維充填不均一性が１.０〜２.０であることを特徴とする請求項１または２記載のエアフィルタ用ろ材。
【請求項４】
前記ナノファイバーろ材は繊維とビーズで作製されたものであることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材。
【請求項５】
前記繊維の平均繊維径が０.０１〜０.５０μｍで、前記ビーズの粒径が前記平均繊維径の１〜９倍であることを特徴とする請求項４記載のエアフィルタ用ろ材。
【請求項６】
ナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタであって、前記ナノファイバーろ材として請求項１乃至５の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材が用いられることを特徴とするエアフィルタ。
【請求項７】
処理風量７０ｍ3／ｍｉｎ時の初期圧損が３０５Ｐａ以下又は処理風量５０ｍ3／ｍｉｎ時の初期圧損が２２０Ｐａ以下で、０.３μｍ粒子の捕集効率が９９.９７％以上であることを特徴とする請求項６記載のエアフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノファイバー製のろ材が用いられたエアフィルタ用ろ材並びに高風量低圧損型の高性能エアフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
エアフィルタ用ろ材の高性能化は、高効率と低圧損を併せて達成することである。ナノファイバーは繊維径が1μｍ未満(50〜800nm)の繊維から構成され、細い繊維が多く、繊維径が揃っているのが特徴である。一般的に繊維径が細ければ細いほど、1本1本の繊維がより有効に粒子捕集に働くと共に受ける抵抗もより小さくなる。つまり、効率が高くなると共に圧損が低くなる。さらに、極細繊維表面でのすべり流れ、いわゆる「スリップフロー」による圧損低減効果もあることなどから、ナノファイバーはろ材の高性能化に有望と考えられている。
また、半導体の配線間隔をナノサイズまで小さくすると、半導体製造工場や半導体取扱工場等において清浄化される粒子もナノサイズとなり、こうしたナノ粒子をエアフィルタにより捕集するには、ろ材にナノファイバーを使用することがより有効である。
ナノファイバーの製造方法としては、静電紡糸法（エレクトロスピニング法）と呼ばれるものがある。詳細には、ポリマー溶液にプラスの高電圧を印加し、これをマイナスに帯電したターゲットに吹き付けることによってナノファイバーをつくるものが知られており、そのナノファイバーを利用して高性能エアフィルタ用のろ材を作製することも研究されている（非特許文献１参照）。
ところが、ナノファイバーを静電紡糸法により集綿したろ材は、極細繊維が緻密に絡み合い繊維充填率が高くなり、メンブレンフィルタろ材のように表面ろ過が支配的に機能する内部構造であり、粒子を高効率に除去することができる代わりに圧力損失が高くなるなどが原因で実用化には至っていない。また、ろ材構造上気流の吹き抜けが存在するなど繊維充填が不均一であることにより、ろ材内部の繊維、特に、細い繊維が有効に使われておらず、粒子捕集に対してより有効に働いていないなどの問題点も指摘されている。従って、繊維充填率を低くし、繊維充填の不均一性を改善すれば、深層ろ過が支配的に機能できる内部構造に最適化でき、さらなる高性能化を図れる。
一方、ナノ粒子を高効率に除去することができる低圧損のろ材として、多数のナノファイバーと多数の骨格粒子とを所定の比率で混合した多孔性圧縮層を作製することが提案されている（特許文献１参照）。
しかしながら、多数のナノファイバーと多数の骨格粒子とを所定の比率で水等の溶媒に分散させ、その混合物分散溶液から溶媒を除き作製した多孔性圧縮層をろ材として利用する場合には、つぎのような問題がある。すなわち、ナノファイバーと骨格粒子とが別部材として混合するため、混合方法として乾式法（溶媒を介さず空気中で混合する方法）によれば、混合時の不均一が原因で集綿後の乾式不織布層において繊維同士で、又は、繊維と粒子とで形成される空隙の分布にばらつきが生じる。また、混合方法として通常の抄造によれば、粒子の沈降により粒子が集面ネット側の表面に偏り、全体に均一に分散しないため、抄造後の湿式不織布層において繊維と粒子とで形成される空隙の分布にばらつきが生じる。
よって、エアフィルタの性能として、ナノファイバー製のろ材を使用しながら例えば処理風量７０ｍ3／ｍｉｎ時の初期圧損をコンスタントに３０５Ｐａ以下、処理風量５０ｍ3／ｍｉｎ時の初期圧損をコンスタントに２２０Ｐａ以下に抑えるようなことは難しく、そのような高風量時の初期圧損の大きさが、省エネなどの観点から実用上十分なメリットを得るのに妨げとなり、高風量低圧損型の高性能なエアフィルタの製品化を困難としていた。
【非特許文献１】「静電紡糸法を用いたナノファイバーフィルタの作製及びその性能評価」（日本エアロゾル学会  第２４回エアロゾル科学・技術研究討論会論文集  ２００７年８月９日発行）
【特許文献１】特表２０００−５０７３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そこで、本発明は、ナノファイバー製のろ材を使用しつつ、高風量低圧損型の高性能なエアフィルタを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するため、本発明のエアフィルタ用ろ材は、請求項１記載の通り、ろ材通過風速５.３cm/sの場合、捕集対象粒子径０.３μｍの性能指標が０.０４０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.１μｍの性能指標が０.０３０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.０５μｍの性能指標が０.０５０(1/Ｐａ)以上のナノファイバーろ材から構成されることを特徴とする。
また、請求項２記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項１記載のエアフィルタ用ろ材において、捕集対象粒子径０.３μｍの性能指標が０.０６０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.１μｍの性能指標が０.０４０(1/Ｐａ)以上、捕集対象粒子径０.０５μｍの性能指標が０.０７０(1/Ｐａ)以上であることを特徴とする。
また、請求項３記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項１または２記載のエアフィルタ用ろ材において、前記ナノファイバーろ材の繊維充填率が０.０１〜０.２５で、繊維充填不均一性が１.０〜２.０であることを特徴とする。
また、請求項４記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項１乃至３の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材において、前記ナノファイバーろ材は繊維とビーズで作製されたものであることを特徴とする。
また、請求項５記載のエアフィルタ用ろ材は、請求項４記載のエアフィルタ用ろ材において、前記繊維の平均繊維径が０.０１〜０.５０μｍで、前記ビーズの粒径が前記平均繊維径の１〜９倍であることを特徴とする。
また、本発明のエアフィルタは、請求項６記載の通り、ナノファイバーろ材が折り畳まれてなるフィルタパックがシール材を介してフィルタ枠に取り付けられるエアフィルタであって、前記ナノファイバーろ材として請求項１乃至５の何れかに記載のエアフィルタ用ろ材が用いられることを特徴とする。
また、請求項７記載のエアフィルタは、請求項６記載のエアフィルタにおいて、処理風量７０ｍ3／ｍｉｎ時の初期圧損が３０５Ｐａ以下又は処理風量５０ｍ3／ｍｉｎ時の初期圧損が２２０Ｐａ以下で、０.３μｍ粒子の捕集効率が９９.９７％以上であることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】発明を実施するための最良の形態に係るエアフィルタを示す説明図である。
【図２】エアフィルタに用いるろ材の実施例及び比較例を示す電子顕微鏡写真である。
【図３】ろ材を作製するための製造装置を示す説明図である。
【図４】ろ材の製造方法を示す説明図である。
【図５】ろ材の他の製造方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【０００６】
１    エアフィルタ
２    ろ材
３    セパレータ
４    フィルタパック
５    シール材
６    フィルタ枠
７    超極細繊維
８    ビーズ
９    数珠状繊維
１０    空隙
１１    ポリマー溶液
１１ａ  ポリマー溶液
１１ｂ  ポリマー溶液
１２    筐体
１３    シリンジ
１３ａ  シリンジ
１３ｂ  シリンジ
１４    アルミニウム板
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明に係るエアフィルタを実施するための最良の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に示すように、本形態に係るエアフィルタ１は、ろ材２がジグザグ状（稲妻形状）に折り畳まれ、この折り畳まれたろ材２の各部分が他の部分と接して重なり合わないようにセパレータ３が介装されてフィルタパック４が構成され、このフィルタパック４が、シール材５を介してフィルタ枠６に取り付けられて構成されている。【０００８】
ろ材２は、後記する実施例２の場合を例に説明すると、図２に示すように、線状の超極細繊維７と粒状のビーズ８とが連なった数珠状繊維（ナノファイバー）９と、数珠状繊維９間に形成された空隙１０とにより構成されている。ろ材２を製造するには、原理的には例えば図３、図４に示すように静電紡糸法を用いればよく、ナノファイバーの原料を溶媒に溶解させたポリマー溶液１１をステンレス製の筐体１２の内部にあるシリンジ１３に入れ、このシリンジ１３側と、同じく筐体１２の内部に設置されたアース電極であるアルミニウム板１４との間に高電圧を印加し、ポリマー溶液１１をシリンジ１３から噴霧させることによって、アルミニウム板１４上にろ材２を作製することができる。あるいは、後記する実施例１の場合を例に説明すると、図５に示すように、（筐体１２の内部に）二つのシリンジ１３ａ，１３ｂを用意し、ポリマー溶液１１ａを入れたシリンジ１３ａから超極細繊維７’を噴霧し、ポリマー溶液１１ｂを入れたシリンジ１３ｂからビーズ８’を噴霧することによって、アルミニウム板１４’上に超極細繊維７’、ビーズ８’及びこれらにより形成された空隙１０’からなるろ材２’を作製することができる。【０００９】
ナノファイバーの原料としては、例えば中性能クラスの通常用途のエアフィルタにはポリウレタン（ＰＵ）、耐薬品性を備えたエアフィルタにはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）を用いることができ、高性能クラスの通常用途のエアフィルタにはポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、耐熱性・耐薬品性を備えたエアフィルタにはポリエーテルスルホニ（ＰＥＳ）を用いることができる。その他、極性のある液体になるものとしてナイロン、ポリビニールアルコール（ＰＶＡ）、シリカ（ＳｉＯ2）、チタン（ＴｉＯ2）等の利用も考えられる。一方、溶媒としては、例えばＮ，Ｎ−ｄｉｍｅｔｈｙｌｆｏｒｍａｍｉｄｅ（ＤＭＦ）を用いることができる。ポリマー溶液の濃度は、２ｗｔ％未満であると繊維化することができず、１０ｗｔ％超であるとシリンジからスプレーすることができないので、２〜１０ｗｔ％であることが好ましい。特に、５〜８ｗｔ％であることが最も好ましい。【００１０】
また、捕集効率と圧力損失を同時に考慮した性能を評価する指標として、透過率の対数と圧力損失の比(−lnＰ/ΔＰ)がよく用いられる。これは一般的に、Ｉ値(Performance Index)またはＱ値(Quality Factor)と呼ばれる。性能指標は風速依存性と、粒径依存性があるため、代表的な風速と粒径で考えると、ナノファイバから構成されるろ材について、ろ材通過風速５.３cm/sの場合、捕集対象粒子径０.３μｍの性能指標が０.０４０(1/Ｐａ)以上、好ましくは０.０６０(1/Ｐａ)以上とする。捕集対象粒子径０.１μｍの性能指標が０.０３０(1/Ｐａ)以上、好ましくは０.０４０(1/Ｐａ)以上とする。捕集対象粒子径０.０５μｍの性能指標が０.０５０(1/Ｐａ)以上、好ましくは０.０７０(1/Ｐａ)以上とする。【００１１】
また、ろ材の繊維充填率（＝全繊維容積／ろ材容積）は、それが高いと高効率の実現と同時に高圧損になりかねないので０．０１〜０．２５とし、好ましくは０．０１〜０．１０とする。ろ材の繊維充填不均一性（＝圧力損失の理論値／圧力損失の実測値）は、それが高いと繊維層内部に空気の吹き抜けが生じることにより繊維が有効に粒子の捕集に寄与しない可能性があるので１．０〜２．０とし、好ましくは１．０〜１．５とする。超極細繊維のろ材における容積率は、上記の繊維充填率との関係から１〜２５％とし、好ましくは１〜１０％とする。【００１２】
さらに、超極細繊維の平均繊維径は、それが小さければ捕集効率に対して有効に働くので０．０１〜０．５０μｍとし、好ましくは０．０１〜０．２５μｍとする。ビーズの粒径は、それが小さすぎると繊維間距離を広げることができず、ろ材が所望の低充填率なものとならないため、高効率、低圧損を実現することができない。一方、それが大きすぎると圧力損失を低くして捕集効率も高められるが、単位面積あたりの繊維全長を確保することができないため、一定の厚みを有するろ材の全体効率を高められない。したがって、ビーズの粒径は超極細繊維の平均繊維径の１〜９倍とする。
また、ビーズ８がＰＶＡ等の材質で得られた通気性のある多孔質材とすれば、無孔質のビーズ８と比べて低抵抗のろ材を提供することができる。
【実施例】
【００１３】
以下に本発明の実施例を対照のための比較例とともに説明する。
〔実施例１〕
まず、静電噴霧法と静電紡糸法を併用した実施例「ビーズとファイバーの積層ろ材）について説明する。
静電噴霧法を利用して、シリンジ１３b側とアルミニウム板１４’との間に電圧６〜８ｋＶを印加し、溶媒ＤＭＦにＰＭＭＡを溶解させた濃度１０ｗｔ％のポリマー溶液１１ｂを、シリンジ１３bから流量６μｌ／ｍｉｎで噴霧させ、平均粒径１〜２μｍのビーズ８’をつくった。
一方、静電紡糸法を利用して、シリンジ１３a側とアルミニウム板１４’との間に電圧７〜１０ｋＶを印加し、溶媒ＤＭＦにＰＡＮを溶解させた濃度８ｗｔ％のポリマー溶液１１ａを、シリンジ１３aから流量８μｌ／ｍｉｎで噴霧させ、平均繊維径４００nｍ〜６００ｎｍの超極細繊維７’をつくった。
上記静電噴霧法でつくった超極細ビーズ８’を、静電紡糸法でつくった超極細繊維７’と交互にアルミニウム板１４’上に堆積させることにより、繊維充填率が０．０５、繊維充填不均一性が１．１、超極細繊維７’の容積率が５％、保護層など込みで厚さが０.３８ｍｍ、目付が９１ｇ／ｍ2のろ材２’を作製した。こうして得られたろ材２’の電子顕微鏡写真を図２に示す。
つぎに、このろ材２を２８．４ｍ2（／台）用いてジグザグ状に折り畳み、アルミニウム製のセパレータ６でろ材２のジグザグ（稲妻形）の部分の間隔を保持し、５８０×５８０×２６５ｍｍのフィルタパック３を作製した。
そして、ポリウレタン製のシール材５でフィルタパック４と金属又は木製のフィルタ枠６の上下面とを面シールし、フィルタパック４とフィルタ枠６の側面とを線状にポリウレタン等のシール剤によりシールして、６１０×６１０×２９０ｍｍのエアフィルタ１を作製した。【００１４】
〔実施例２〕
次に、静電紡糸法を利用した実施例「ビーズを含むファイバの数珠状繊維からなるろ材」について説明する
シリンジ１３側とアルミニウム板１４との間に電圧８〜１２ｋＶを印加し、ＤＭＦにＰＡＮを溶解させた濃度７ｗｔ％のポリマー溶液１１をシリンジ１３から流量４〜６μｌ／ｍｉｎで噴霧させ、４００nｍ〜６００ｎｍの超極細繊維７と平均粒径１〜２μｍの超極細ビーズ８とからなる数珠状繊維９をアルミニウム板１４上に堆積させ、繊維充填率が０．０５、繊維充填不均一性が１．１、超極細繊維７の容積率が５％、保護層など込みで厚さが０.３８ｍｍ、目付が９１ｇ／ｍ2のろ材２を作製した。そのほかは、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。尚、ろ材２の電子顕微鏡写真を図２に示す。【００１５】
〔実施例３〕
ろ材を繊維充填率が０.１１３、繊維充填不均一性が１.５、保護層など込みで厚さが０．３８ｍｍ、目付が９１ｇ／ｍ2のビーズを含まない線状の超極細繊維のみからなるナノファイバー製としたほかは、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。尚、ろ材の電子顕微鏡写真を図２に示す。【００１６】
〔比較例〕
ろ材を繊維充填率が０．０６５、繊維充填不均一性が２．３、厚さが０．３８ｍｍ、目付が７０ｇ／ｍ2のガラス繊維製としたほかは、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。尚、ろ材２の電子顕微鏡写真を図２に示す。
これらの実施例１，２，３及び比較例で得られた各エアフィルタの特性につき、捕集効率、圧力損失をＪＩＳ  Ｂ  ９９０８（換気用エアフィルタ、電気集じん機の性能試験方法）の形式１（計数法）を適用して試験した。その結果を表１に示す。【００１７】
【表１】
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【００１８】
表１において、捕集効率の欄の「◎」は０．３μｍ粒子の捕集効率が９９．９７％以上であることを示す。また、圧力損失については、処理風量が７０ｍ3／ｍｉｎのときに初期圧損が２５０Ｐａ以下であれば「◎」、２５０Ｐａ超３００Ｐａ以下であれば「○」、３００Ｐａ超であれば「×」とし、処理風量が５０ｍ3／ｍｉｎのときに初期圧損が１８５Ｐａ以下であれば「◎」、１８５Ｐａ超２２０Ｐａ以下であれば「○」、２２０Ｐａ超であれば「×」とした。
また、ろ材通過風速５.３cm/sの場合の、ろ材の性能指標、対象粒子径０.３μｍの欄の「◎」は０.０６０(1/Ｐａ)以上、「○」は０.０４０(1/Ｐａ)以上、「×」は０.０４０(1/Ｐａ)未満を示す。対象粒子径０.１μｍの欄の「◎」は、０.０４０(1/Ｐａ)以上、「○」は０.０３０(1/Ｐａ)以上、「×」は０.０３０(1/Ｐａ)未満、対象粒子径０.０５μｍの欄の「◎」は０.０７０(1/Ｐａ)以上、「○」は０.０５０(1/Ｐａ)以上、「×」は０.０５０(1/Ｐａ)未満であることを示す。【００１９】
表１より、ろ材にナノファイバを用いた実施例１，２，３に係るエアフィルタは、処理目標とする処理風量において高い捕集効率と低い圧力損失をあわせて維持でき、省エネ等のメリットが大きいことなどから、高風量低圧損型の高性能なエアフィルタが製品化できる可能性が高いことがわかる。これに対し、ろ材にガラス繊維を用いた比較例に係るエアフィルタは、目標とする処理風量において高い捕集効率と低い圧力損失をあわせて維持できないため、省エネ等のメリットが少ないことから、高風量低圧損型の高性能なエアフィルタを製品化するには支障がある。【００２０】
なお、本発明は以上説明した形態に限られるものではなく、例えばろ材を実施例以外の原料により作製したり、フィルタパックにおけるろ材の折畳方法を変更したりしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明は、主に高風量低圧損型のＨＥＰＡに適用し得るが、繊維径、繊維充填率、ろ材厚み等を適宜調整することによってＵＬＰＡ等にも適用することができ、産業上の利用可能性を有する。
【図１】
2009031334.tif 000004
【図３】
2009031334.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図２】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年4月2日(2010.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
以下に本発明の実施例を対照のための比較例とともに説明する。
〔実施例１〕
まず、静電噴霧法と静電紡糸法を併用した実施例「ビーズとファイバーの積層ろ材」について説明する。
静電噴霧法を利用して、シリンジ１３b側とアルミニウム板１４’との間に電圧６〜８ｋＶを印加し、溶媒ＤＭＦにＰＭＭＡを溶解させた濃度１０ｗｔ％のポリマー溶液１１ｂを、シリンジ１３bから流量６μｌ／ｍｉｎで噴霧させ、平均粒径１〜２μｍのビーズ８’をつくった。
一方、静電紡糸法を利用して、シリンジ１３a側とアルミニウム板１４’との間に電圧７〜１０ｋＶを印加し、溶媒ＤＭＦにＰＡＮを溶解させた濃度８ｗｔ％のポリマー溶液１１ａを、シリンジ１３aから流量８μｌ／ｍｉｎで噴霧させ、平均繊維径４００ｎｍ〜６００ｎｍの超極細繊維７’をつくった。
上記静電噴霧法でつくった超極細ビーズ８’を、静電紡糸法でつくった超極細繊維７’と交互にアルミニウム板１４’上に堆積させることにより、繊維充填率が０．０５、繊維充填不均一性が１．１、超極細繊維７’の容積率が５％、保護層など込みで厚さが０.３８ｍｍ、目付が９１ｇ／ｍ2のろ材２’を作製した。こうして得られたろ材２’の電子顕微鏡写真を図２に示す。
つぎに、このろ材２’を２８．４ｍ2（／台）用いてジグザグ状に折り畳み、アルミニウム製のセパレータ３でろ材２のジグザグ（稲妻形）の部分の間隔を保持し、５８０×５８０×２６５ｍｍのフィルタパック４を作製した。
そして、ポリウレタン製のシール材５でフィルタパック４と金属又は木製のフィルタ枠６の上下面とを面シールし、フィルタパック４とフィルタ枠６の側面とを線状にポリウレタン等のシール剤によりシールして、６１０×６１０×２９０ｍｍのエアフィルタ１を作製した。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
〔比較例〕
ろ材を繊維充填率が０．０６５、繊維充填不均一性が２．３、厚さが０．３８ｍｍ、目付が７０ｇ／ｍ2のガラス繊維製としたほかは、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。尚、ろ材の電子顕微鏡写真を図２に示す。
これらの実施例１，２，３及び比較例で得られた各エアフィルタの特性につき、捕集効率、圧力損失をＪＩＳ  Ｂ  ９９０８（換気用エアフィルタ、電気集じん機の性能試験方法）の形式１（計数法）を適用して試験した。その結果を表１に示す。
【国際調査報告】
2009031334.tif 000009
2009031334.tif 000010