【手続補正書】
【提出日】平成15年5月30日(2003.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの試料準備デバイス（５）を使用して材料の試料を準備するために使用される試料準備パラメータを決定するシステムであって、
少なくとも１つの入力デバイス（４ａ、４ｂ、７）を含む入力手段と、少なくとも１つの出力デバイス（４ａ、４ｂ）を含む出力手段と、記憶手段（２、６）と、処理手段（３、６）とを含むデータ処理システムを備え、
前記システムは、
i）ユーザが入力する１組の準備基準の入力値を前記入力手段によって受けるステップを遂行できるようにセットアップされ、前記準備基準は準備すべき１つまたは複数の試料の特性を限定しており、
前記システムは更に、
ii）前記入力値及び前記データ処理システムの記憶手段内に格納されている複数の標準試料準備方法パラメータに基づいて１組の試料準備方法パラメータを決定するステップと、
iii）前記決定された１組の試料準備方法パラメータを出力手段上へ出力するステップと、
iv）ユーザが入力する１組の適応された方法パラメータを、対応する準備基準と共に前記入力手段によって受けるステップと、
を遂行できるようにセットアップされ、前記適応された方法パラメータは、初めに要求された特性を有する試料を準備するのに、前記決定された１組の試料準備方法パラメータよりも適しているとユーザが決定したものであり、
前記システムは更に、
v）前記標準試料準備方法パラメータとは分離して前記１組の適応された方法パラメータにアクセスできるように、前記１組の適応された方法パラメータを前記記憶手段内へ格納するステップと、
vi）前記記憶手段内に格納されている少なくとも前記適応された方法パラメータを許可されたユーザが編集し、前記適応された方法パラメータを前記許可されたユーザが承認して標準試料準備方法パラメータとして前記記憶手段内に格納し、その後は、ある許可されたユーザによる要求に応じて検索することを可能にするステップと、
を遂行できるようにセットアップされていることを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記１組の準備基準は、１組の試料特性及び前記試料準備デバイスの識別からなることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記試料特性は、前記準備される試料の質に対する要求からなることを特徴とする請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記試料準備方法パラメータは、プロセスステップ識別、試料準備デバイス識別、及びプロセスパラメータからなることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１つに記載のシステム。
【請求項５】
前記記憶手段及び前記処理手段の少なくとも一部分は、サーバシステム（１）によって構成されており、
前記入力手段及び出力手段は、通信ネットワークを介して前記サーバに接続されている少なくとも１つのクライアントデータ処理システム（４ａまたは４ｂ）の入力及び出力デバイスであり、
前記サーバは、前記準備基準入力値または適応された方法パラメータを含む要求を前記またはあるクライアントデータ処理システムから受け、且つ決定された１組の試料準備方法パラメータを含む応答を前記またはあるクライアントデータ処理システムへ送るようにセットアップされている、
ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１つに記載のシステム。
【請求項６】
前記試料準備デバイス（４５ａ、４５ｂ）は、通信インタフェース（４４）を介して前記出力手段に接続され、前記決定された試料準備方法パラメータを受けるようになっていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１つに記載のシステム。
【請求項７】
前記データ処理システムは更に、標準試料準備方法パラメータの間を補間するようになっていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１つに記載のシステム。
【請求項８】
試料準備デバイスを使用して材料の試料の準備に使用される試料準備パラメータをデータ処理システムによって決定する方法であって、
ａ）ユーザが入力する１組の準備基準の入力値を受けるステップを遂行できるようにセットアップされ、前記準備基準は準備すべき１つまたは複数の試料の特性を限定しており、
前記方法は更に、
ｂ）前記入力値及び前記データ処理システムの記憶手段内に格納されている複数の標準試料準備方法パラメータに基づいて１組の試料準備方法パラメータを決定するステップと、
ｃ）前記１組の試料準備方法パラメータを前記データ処理システムの出力手段上へ出力するステップと、
ｄ）ユーザが入力する１組の適応された方法パラメータを、対応する準備基準と共に前記入力手段によって受けるステップと、
を遂行できるようにセットアップされ、前記適応された方法パラメータは、初めに要求された特性を有する試料を準備するのに、前記決定された１組の試料準備方法パラメータよりも適しているとユーザが決定したものであり、
前記方法は更に、
ｅ）前記標準試料準備方法パラメータとは分離して前記１組の適応された方法パラメータにアクセスできるように、前記１組の適応された方法パラメータを前記記憶手段内へ格納するステップと、
ｆ）前記記憶手段内に格納されている少なくとも前記適応された方法パラメータを許可されたユーザが編集し、前記適応された方法パラメータを前記許可されたユーザが承認して標準試料準備方法パラメータとして前記記憶手段内に格納し、その後は、ある許可されたユーザによる要求に応じて検索できるようにするステップと、
を遂行できるようにセットアップされていることを特徴とする方法。
【請求項９】
前記１組の準備基準は、１組の試料特性及び前記試料準備デバイスの識別からなることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記試料特性は、前記準備される試料の質に対する要求からなることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記試料準備方法パラメータは、プロセスステップ識別、試料準備デバイス識別、及びプロセスパラメータからなることを特徴とする請求項８乃至１０の何れか１つに記載の方法。
【請求項１２】
前記試料準備デバイスは、通信インタフェースを介して前記出力手段に接続され、前記決定された試料準備方法パラメータを受けるようになっていることを特徴とする請求項８乃至１１の何れか１つに記載の方法。
【請求項１３】
前記１組の試料準備方法パラメータを決定するステップは、複数の前記格納されている標準試料準備方法パラメータの間を補間するステップからなることを特徴とする請求項８乃至１２の何れか１つに記載の方法。
【請求項１４】
少なくとも１つの試料準備デバイス（５）を使用して材料の試料の準備に使用される試料準備方法パラメータを決定するシステムに使用するためのサーバコンピュータであって、
前記サーバコンピュータは、記憶手段（２、６）、及び処理手段（３、６）を備え、
前記サーバコンピュータは、
i）クライアントデータ処理システムから通信ネットワークを介して１組の準備基準の入力値を含む要求を受けるステップを遂行できるようにセットアップされ、前記準備基準は準備すべき１つまたは複数の試料の特性を限定しており、
前記サーバコンピュータは更に、
ii）前記入力値及び前記記憶手段内に格納されている複数の標準試料準備方法パラメータに基づいて１組の試料準備方法パラメータを決定するステップと、
iii）前記決定された１組の試料準備方法パラメータを含む応答を、前記通信ネットワークを介して前記クライアントデータ処理システムへ送るステップと、
iv）前記標準試料準備方法パラメータとは分離して１組の適応された方法パラメータにアクセスできるように、前記１組の適応された方法パラメータを前記記憶手段内へ格納するステップと、
を遂行できるようにセットアップされ、前記適応された１組の方法パラメータは、初めに要求された特性を有する試料を準備するのに、前記決定された１組の試料準備方法パラメータよりも適当であるとユーザが決定したものであり、
前記サーバコンピュータは更に、
v）前記記憶手段内に格納されている少なくとも前記適応された方法パラメータを許可されたユーザが編集し、前記適応された方法パラメータを前記許可されたユーザが承認して標準試料準備方法パラメータとして前記記憶手段内に格納し、その後は、ある許可されたユーザによる要求に応じて検索することを可能にするステップと、
を遂行できるようにセットアップされていることを特徴とするサーバコンピュータ。
【請求項１５】
少なくとも１つの試料準備デバイス（５）を使用して材料の試料の準備に使用される試料準備方法パラメータを決定するシステムに使用するためのクライアントコンピュータであって、
前記クライアントコンピュータは、少なくとも１つの入力デバイス（４ａ、４ｂ、７）を含む入力手段と、少なくとも１つの出力デバイス（４ａ、４ｂ）を含む出力手段とを備え、
前記クライアントコンピュータは、
i）ユーザが入力する１組の準備基準の入力値を受けるステップを遂行できるようにセットアップされ、前記準備基準は準備すべき１つまたは複数の試料の特性を限定しており、
前記クライアントコンピュータは更に、
ii）前記１組の準備基準の前記入力値を含む応答を、通信ネットワークを介してサーバデータ処理システムへ送るステップと、
iii）１組の試料準備方法パラメータを含む応答を、前記通信ネットワークを介して前記サーバデータ処理システムから受けるステップと、
を遂行できるようにセットアップされ、前記１組の試料準備方法パラメータは、前記入力値及び前記サーバデータ処理システムの記憶手段内に格納されている複数の標準試料準備方法パラメータに基づいて、前記サーバデータ処理システムによって決定され、
前記クライアントコンピュータは更に、
iv）前記決定された１組の試料準備方法パラメータを前記出力手段上に出力するステップと、
v）ユーザが入力する１組の適応された方法パラメータを、対応する準備基準と共に前記入力手段によって受けるステップと、
を遂行できるようにセットアップされ、前記適応された方法パラメータは、初めに要求された特性を有する試料を準備するのに前記決定された１組の試料準備方法パラメータよりも適当であるとユーザが決定したものであり、
前記クライアントコンピュータは更に、
vi）前記標準試料準備方法パラメータとは分離して前記１組の適応された方法パラメータにアクセスできるように、前記１組の適応された方法パラメータを前記記憶手段へ送って前記記憶手段内へ格納させるステップと、
vii）前記記憶手段内に格納されている少なくとも前記適応された方法パラメータを許可されたユーザが編集し、前記適応された方法パラメータを前記許可されたユーザが承認して標準試料準備方法パラメータとして前記記憶手段内に格納し、その後は、ある許可されたユーザによる要求に応じて検索することを可能にするステップと、
を遂行できるようにセットアップされていることを特徴とするクライアントコンピュータ。