(57)【要約】  複数のｆθレンズを介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された複数のワークを同時にレーザ加工するレーザ加工装置１００において、ワーク毎の位置ずれ値を算出するとともにワークの位置ずれを補正する加工テーブルの移動量の補正値をワークの加工方法に応じて設定するずれ量算出部３３と、位置ずれ値に応じたワークの加工方法を予め設定された複数種類の加工方法の中から選択するずれ量判定部３４と、ワークの加工方法に応じた補正値を用いて加工テーブル上の複数のワークを加工制御する制御部２１とを備え、何れかのワークがｆθレンズの加工領域外であってかつ各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さい場合、ずれ量算出部３３は全ワークがｆθレンズの加工領域内に入るよう補正値を設定し、ずれ量判定部３４は全ワークにレーザビームを同時照射して全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を選択する。
2008038385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレーザ照射軸から各レーザ照射軸に対応するｆθレンズを介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された複数のワークを同時にレーザ加工するレーザ加工装置において、
前記加工テーブルに対する前記各ワークの位置ずれをワーク毎に検出して前記加工テーブルに対するワーク毎の位置ずれ値を算出するずれ値算出部と、
前記ずれ値算出部が算出する位置ずれ値に基づいて、予め設定された複数種類の加工方法の中から前記位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択する加工方法選択部と、
前記各ワークの位置ずれを補正する前記加工テーブルの移動量の補正値を前記加工方法選択部が選択した加工方法に応じて設定する補正値設定部と、
前記加工方法選択部が選択した加工方法で前記補正値設定部が設定した補正値を用いて前記加工テーブル上の複数のワークを加工する際の加工制御を行なう加工制御部と、
を備え、
前記加工方法選択部は、前記加工テーブル上の何れかのワークが前記ｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外であってかつ前記加工テーブル上の各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さい場合は、前記加工テーブル上の全ワークに前記レーザビームを同時照射して前記加工テーブル上の全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を前記複数種類の加工方法の中から選択し、
前記補正値設定部は、前記加工方法選択部が前記同時加工方法を選択した場合には、前記加工テーブル上の全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に前記加工方法選択部に選択させる加工方法を予め設定しておく加工方法設定部をさらに備え、
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記加工方法設定部に設定された加工方法を選択することを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記各ワークのレーザ加工毎に前記加工テーブルを移動させて前記ワーク毎の個別加工を行なう個別加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記各ワークのレーザ加工毎の前記加工テーブルの移動によって前記各ワークが前記各ワークに対応するｆθレンズを介してレーザ加工できる領域内に入るよう、前記各ワーク毎に前記補正値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記加工テーブル上の全ワークを外部に配設されて前記ワークを搬入させる際のワークの位置決めを行なう位置決め装置に戻して当該位置決め装置に前記全ワークの位置決めを行なわせた後、位置決めされた前記全ワークを前記加工テーブルに再搬入させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブル上に再搬入された全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、前記各ワークの位置決め位置を補正する第１の位置決め補正値を前記位置決め装置に設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記加工テーブル上に載置されている所定のワークを前記加工テーブルから持ち上げさせるとともに前記所定のワークが持ち上げている間に前記加工テーブルを移動させ、前記加工テーブルの移動後に前記所定のワークを前記加工テーブルに再載置させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブルの移動によって前記加工テーブル上に載置された全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、外部に配設されて前記ワークを搬出させる搬出装置に前記加工テーブル上の全ワークを搬出させるとともに、外部に配設されて前記ワークを搬入させる際の位置決めを行なう位置決め装置に次に搬入する各ワークの位置決めを行なわせ、位置決めされた各ワークを前記加工テーブルに搬入させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブル上に搬入された次のワークの全てが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、前記各ワークの位置決め位置を補正する第２の位置決め補正値を前記位置決め装置に設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、外部に配設されて前記ワークを搬出させる搬出装置に前記加工テーブル上の全ワークを搬出させるとともに、外部に配設されて前記ワークを搬入させる際の位置決めを行なう位置決め装置に次に搬入する各ワークの位置決めを行なわせ、位置決めされたワークのうち所定のワークを前記加工テーブルに搬入させて前記加工テーブルを移動させ、前記加工テーブルの移動後に位置決めされたワークのうち残りのワークを前記加工テーブルに搬入させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブル上に搬入された全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工テーブル上の複数のワークをレーザ加工するレーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工するため、種々のレーザ加工装置が開発されている。このようなレーザ加工装置として、例えば複数の加工ヘッドを備え、複数のワーク（被加工物）を同時加工するレーザ加工装置がある。複数の加工ヘッドで複数のワークを同時加工する場合、加工テーブルに対する各ワークの位置ずれ量を検出し、検出した位置ずれ量をｆθレンズで補正することによって、各ワークを精度良く加工している。【０００３】
特許文献１に記載の加工装置は、各加工ヘッドに取りつけた検出手段によって各被加工物の位置を検出し、検出したデータに基づいて各加工ヘッド毎の位置のずれがほぼ同じになるような位置に加工テーブルを移動させ、これにより加工精度よく複数の被加工物を同時に加工している。【０００４】
また、特許文献２に記載のレーザ加工装置は、１つのレーザ発振器からのレーザ光を複数に分割するレーザビーム分割手段を備え、レーザビーム分割手段から各被加工物の間にそれぞれのレーザビームに対してレーザビームを遮断するためのレーザビーム遮断機構をそれぞれ設けている。そして、それぞれの加工軸上に載置された各被加工物に対するレーザビームの照射・未照射を独立に制御している。【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３６１４６３号公報
【特許文献２】特開２００３−１１２２７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記前者の従来技術では、複数枚のワークを加工しようとした場合に、複数枚のワークのずれ量のうち１枚のワークのずれ量でも所定のずれ量に収まっていなければ、異常を検出して全てのワークの加工を中止する必要があった。このため、ワークのずれ量が１枚でも所定のずれ量に収まっていない場合、迅速にワークの加工を行なうことができないといった問題があった。また、上記前者の従来技術では、複数枚のワークのずれ量が等しくなるようにテーブルを移動させてから、複数枚のワークの加工を行なうか中止するかを判断している。このため、ワークの加工を中止する場合には、テーブルの移動動作が無駄になるといった問題があった。【０００７】
また、上記後者の従来技術では、複数枚のワークのずれ量が所定のずれ量に収まっていない場合、所定のレーザビームを遮断して、遮断されていないレーザビームのみで加工を行なわなければならなかった。このため、レーザビームが遮断された側のワークを加工することができず、迅速に加工を行なうことができないといった問題があった。【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工するレーザ加工装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数のレーザ照射軸から各レーザ照射軸に対応するｆθレンズを介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された複数のワークを同時にレーザ加工するレーザ加工装置において、前記加工テーブルに対する前記各ワークの位置ずれをワーク毎に検出して前記加工テーブルに対するワーク毎の位置ずれ値を算出するずれ値算出部と、前記ずれ値算出部が算出する位置ずれ値に基づいて、予め設定された複数種類の加工方法の中から前記位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択する加工方法選択部と、前記各ワークの位置ずれを補正する前記加工テーブルの移動量の補正値を前記加工方法選択部が選択した加工方法に応じて設定する補正値設定部と、前記加工方法選択部が選択した加工方法で前記補正値設定部が設定した補正値を用いて前記加工テーブル上の複数のワークを加工する際の加工制御を行なう加工制御部と、を備え、前記加工方法選択部は、前記加工テーブル上の何れかのワークが前記ｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外であってかつ前記加工テーブル上の各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さい場合は、前記加工テーブル上の全ワークに前記レーザビームを同時照射して前記加工テーブル上の全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を前記複数種類の加工方法の中から選択し、前記補正値設定部は、前記加工方法選択部が前記同時加工方法を選択した場合には、前記加工テーブル上の全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかるレーザ加工装置は、算出した位置ずれ値に基づいて、予め設定された複数種類の加工方法の中から位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択するとともに、加工テーブル上の何れかのワークがｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外であってかつ加工テーブル上の各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さい場合には、加工テーブル上の全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう補正値を設定し加工テーブル上の全ワークにレーザビームを同時照射して加工テーブル上の全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を選択するので、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施の形態に係るレーザ加工システムの構成を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、実施の形態に係るレーザ加工システムの動作手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、ガルバノミラーの調整によってワークが加工範囲内となる場合を示す図である。
【図５】図５は、ガルバノミラーの調整によってワークが加工範囲内とならない場合を示す図である。
【図６】図６は、ガルバノミラーの調整だけでは２つのワークが加工範囲内とならない場合の一例を示す図である。
【図７】図７は、加工テーブルによるワークの位置補正の概念を説明するための図（１）である。
【図８】図８は、加工テーブルによるワークの位置補正の概念を説明するための図（２）である。
【図９】図９は、ずれ量算出処理の詳細手順を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、ワークを１枚ずつ処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、加工テーブルへ２枚のワークを同時に再セット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１２】図１２は、加工テーブルへ１枚ずつワークを再セット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、加工テーブルへ次のワークを２枚同時にセット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、加工テーブルへ次のワークを１枚ずつセット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００１２】
１  レーザ加工機構
２Ａ，２Ｂ，２Ｘ  ミラー
３Ａ，３Ｂ  ビームシャッター
４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ  ガルバノミラー
６Ａ，６Ｂ  加工ヘッド
７Ａ，７Ｂ  ワーク位置検出カメラ
８Ａ，８Ｂ  ワーク
９  ワーク搬入装置
１０  加工テーブル
１１  ワーク搬出装置
１２  位置決め装置
１３  レーザ発振器
２１  制御部
２２  加工プログラム記憶部
２３  位置検出部
２４  ずれ量表示部
２５  テーブル制御部
２６  ミラー制御部
２７  ビーム照射制御部
３１  同時加工処理部
３２  個別加工処理部
３３  ずれ量算出部
３４  ずれ量判定部
４１  同時位置補正処理部
４２  同時加工処理指示部
４３  個別位置補正処理部
４４  個別加工処理指示部
５１Ａ，５１Ｂ  加工パターン
５２Ａ，５２Ｂ  加工範囲
１００  レーザ加工装置
１０１  レーザ加工システム
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。【００１４】
実施の形態
図１は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工システムの構成を示す図である。レーザ加工システム１０１は、ワーク（被加工物）にレーザ加工を行なうレーザ加工機構１、レーザ加工機構１へのワークの搬入を行なうワーク搬入装置９、レーザ加工機構１からワークの搬出を行なうワーク搬出装置１１、ワークの位置決めを行なうワーク位置決め装置１２を備えている。【００１５】
レーザ加工機構１は、複数のレーザ照射軸から各レーザ照射軸に対応するｆθレンズ（加工ヘッド）を介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された複数のワークを同時にレーザ加工する機能を有している。レーザ加工機構１は、レーザ発振器１３、ミラー２Ａ，２Ｂ，２Ｘ、ビームシャッター３Ａ，３Ｂ、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ、加工ヘッド６Ａ，６Ｂ、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂ、ワーク８Ａ，８Ｂを載せる加工テーブル１０を備えている。【００１６】
レーザ発振器１３は、所定のタイミングでレーザビームを出射（発生）し、ミラー２Ｘへ入射させる。ミラー２Ａ，２Ｂ，２Ｘは、レーザ発振器１３から出射されるレーザビームを反射して所定の光路へ導く。ミラー２Ｘは、レーザ発振器１３からのレーザビームを反射して、ミラー２Ａ，２Ｂへ入射する。ミラー２Ａ，２Ｂは、ミラー２Ｘからのレーザビームを反射して、それぞれビームシャッター３Ａ，３Ｂへ入射させる。ビームシャッター３Ａ，３Ｂは、必要に応じてそれぞれミラー２Ａ，２Ｂからのレーザービームを遮断したり通過させたりする。【００１７】
ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂは、レーザビームを任意の角度にスキャニングして、レーザビームを所定の光路へ導く。ガルバノミラー４Ａ，５Ａは、ビームシャッター３Ａを通過したミラー２Ａからのレーザビームを加工ヘッド６Ａに入射させる。ガルバノミラー４Ｂ，５Ｂは、ビームシャッター３Ｂを通過したミラー２Ｂからのレーザビームを加工ヘッド６Ｂに入射させる。【００１８】
加工ヘッド６Ａ，６Ｂは、それぞれｆθレンズを備えており、ガルバノミラー５Ａ，５Ｂを介して入射するレーザビームを、それぞれワーク８Ａ，８Ｂに対して垂直に入射するよう補正して出射する。【００１９】
加工テーブル１０は、ワーク８Ａ，８Ｂを載置するとともに、ＸＹ方向に移動する。ワーク８Ａ，８Ｂは、それぞれ加工ヘッド６Ａ，６Ｂから出斜されるレーザビームによってレーザ加工が行なわれる。ここでのワーク８Ａ，８Ｂは、同一の加工テーブル１０に載置され、ワーク８Ａ，８Ｂで同じ加工パターンのレーザ加工が行なわれる。【００２０】
ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂは、加工テーブル１０に対するワーク８Ａ，８Ｂの位置を撮像する画像の撮像手段である。ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂが撮像したワーク８Ａ，８Ｂの位置は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置ずれ量（位置ずれ値）を判定する際に用いられる。【００２１】
ワーク位置決め装置１２は、レーザ加工機構１へワーク８Ａ，８Ｂの搬入を行なう前に、ワーク８Ａ，８Ｂの板端などを所定の位置に位置決め（位置を修正）する装置である。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２で位置決めの行なわれたワーク位置決め装置１２上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて、レーザ加工機構１の加工テーブル１０に搬入する。ワーク搬出装置１１は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて、レーザ加工機構１の外部へ搬出する。【００２２】
つぎに、実施の形態に係るレーザ加工装置の構成について説明する。図２は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。レーザ加工装置１００は、加工テーブルの位置補正、ガルバノミラーの調整を行なってワークのレーザ加工を行なう装置であり、加工プログラム記憶部２２、位置検出部２３、ずれ量表示部２４、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７、制御部（加工制御部）２１を備えている。なお、ここではレーザ加工機構１の図示を省略している。【００２３】
加工プログラム記憶部２２は、レーザ加工装置１００（レーザ加工機構１）がワーク８Ａ，８Ｂのレーザ加工を行なう際に用いる加工プログラムを記憶する。加工プログラム記憶部２２は、制御部２１と接続しており、ワーク８Ａ，８Ｂのレーザ加工を行なう際に、制御部２１によって加工プログラムが読み出される。【００２４】
位置検出部２３は、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂが撮像したワーク８Ａ，８Ｂの画像に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置を検出する。位置検出部２３は、検出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置（位置情報）を制御部２１に入力する。【００２５】
制御部２１は、加工プログラム記憶部２２が記憶する加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７への制御指示情報を作成する。本実施の形態では、制御部２１が位置検出部２３から送られるワーク８Ａ，８Ｂの位置情報に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工方法（２枚同時に加工する同時加工方法、１枚ずつ個別に加工する個別加工方法など）を決定する。制御部２１は、同時加工処理部３１、個別加工処理部３２、ずれ量算出部（ずれ値算出部、補正値設定部）３３、ずれ量判定部（加工方法選択部、加工方法設定部）３４を備えている。【００２６】
ずれ量算出部３３は、ワーク８Ａ，８Ｂが加工テーブル１０にセットされて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工を開始する際に、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量（基準となるセット位置に対するずれ量）を算出する。ずれ量算出部３３は、位置検出部２３から送られるワーク８Ａ，８Ｂの位置情報を用いて、ワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量を算出し、算出結果（位置ずれ量）をずれ量判定部３４に送信する。【００２７】
ずれ量判定部３４は、ずれ量算出部３３から受信したワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量に基づいて、加工テーブル１０による位置補正やガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によって、ワーク８Ａ，８Ｂの位置を補正できるか否かを判定（補正判定）する。【００２８】
ずれ量判定部３４は、補正判定の判定結果などに基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順を決定する。ずれ量判定部３４は、各ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対するずれ量が加工プログラムで規定された所定の値以下である場合は、同時加工処理部３１を選択してワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を指示する。ずれ量判定部３４は、各ワークの加工テーブル１０に対するずれ量が加工プログラムで規定された所定の値より大きい場合は、個別加工処理部３２を選択してワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理を指示する。ずれ量判定部３４は、例えばワーク８Ａ，８Ｂを２枚同時に加工すると判定した場合に、同時加工処理部３１にワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を指示し、例えばワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工すると判定した場合に、個別加工処理部３２にワーク８Ａ，８Ｂの１枚ずつの加工処理を指示する。【００２９】
同時加工処理部３１は、ずれ量判定部３４からの指示に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報、ワーク８Ａ，８Ｂの位置補正量（同時加工する際の加工テーブル１０やミラー２Ａ，２Ｂの位置データ）（加工テーブル１０の移動量の補正値）を生成する。同時加工処理部３１は、同時位置補正処理部４１と同時加工処理指示部４２を備えている。同時位置補正処理部４１は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための加工テーブル１０の位置とミラー２Ａ，２Ｂの位置の補正データ（位置補正量）を算出（生成）する。同時加工処理指示部４２は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報を生成する。同時位置補正処理部４１が算出した位置補正量、同時加工処理指示部４２が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７に入力される。【００３０】
同時加工処理指示部４２は、ビーム照射制御部２７に同時加工を指示する情報を出力することによって、ビーム照射制御部２７にビームシャッター３Ａ，３Ｂを開かせ、両ステージ（ワーク８Ａ，８Ｂ）の同時加工を実施する。【００３１】
個別加工処理部３２は、ずれ量判定部３４からの指示に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための制御指示情報、ワーク８Ａ，８Ｂの位置補正量（個別処理する際の加工テーブル１０やミラー２Ａ，２Ｂの位置データ）をワーク８Ａ，８Ｂ毎に生成する。個別加工処理部３２は、個別位置補正処理部４３と個別加工処理指示部４４を備えている。個別位置補正処理部４３は、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための加工テーブル１０の位置とミラー２Ａ，２Ｂの位置の補正データ（位置補正量）を算出（生成）する。個別加工処理指示部４４は、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための制御指示情報を生成する。個別位置補正処理部４３が算出した位置補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、個別処理するワークの順番でテーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７に入力される。【００３２】
個別加工処理部３２は、ビーム照射制御部２７に個別加工を指示する情報を出力することによって、ビーム照射制御部２７にビームシャッター３Ａ，３Ｂの何れか一方を開かせ、ワーク８Ａ，８Ｂの個別加工を実施する。【００３３】
テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７は、制御部２１からの制御指示情報や位置補正量に基づいてレーザ加工機構１を制御する。テーブル制御部２５は、加工テーブル１０の移動（位置）に関する制御を行なう。ミラー制御部２６は、ミラー２Ａ，２Ｂ，２Ｘ、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂなどを制御して、ワーク８Ａ，８Ｂへ出斜するレーザビームの光路を調整する。ビーム照射制御部２７は、レーザ発振器１３、ビームシャッター３Ａ，３Ｂを制御してワーク８Ａ，８Ｂへ出射するレーザビーム（出斜タイミング、出力）の調整を行なう。【００３４】
ずれ量表示部２４は、液晶モニタなどの情報の表示手段を有しており、ずれ量算出部３３が算出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対するずれ量や、ワーク８Ａ，８Ｂの加工状態などを表示する。【００３５】
つぎに、実施の形態に係るレーザ加工装置の動作手順について説明する。図３は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工システムの動作手順を示すフローチャートである。レーザ加工システム１０１において、ワーク８Ａ，８Ｂのレーザ加工を開始すると、まずワーク８Ａ，８Ｂがワーク位置決め装置１２上で位置決めされる。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされたワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて加工テーブル１０に搬入（セット）する。【００３６】
制御部２１のずれ量算出部３３は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出し（ステップＳ１０）、算出結果をずれ量判定部３４に送信する。ずれ量判定部３４は、ずれ量算出部３３から受信したワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量に基づいて、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂが加工範囲内となるか否か（ワーク８Ａ，８Ｂがそれぞれ加工ヘッド６Ａ，６Ｂのｆθレンズで加工可能な範囲であるか否か）を判定する（ステップＳ２０）。【００３７】
ここで、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂが加工範囲内となるか否かの判定処理について説明する。図４および図５は、ガルバノミラーの調整によってワークが加工範囲内となるか否かの判定処理を説明するための図である。【００３８】
ここでは、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となるか否かの判定について説明する。図４および図５では、ｆθレンズによって加工可能な範囲を加工範囲５２Ａで示し、ワーク８Ａの加工パターンを加工パターン５１Ａで示している。図４では、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となる場合を示しており、図５では、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整ではワーク８Ａが加工範囲内とならない場合を示している。【００３９】
図４では、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっているため、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となる。一方、図５では、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっていないため、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整だけではワーク８Ａは加工範囲内とならない。【００４０】
ワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズで加工可能な範囲内である場合（ステップＳ２０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、同時加工処理部３１にワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理（２枚の同時加工処理）を指示する。【００４１】
同時加工処理部３１の同時加工処理指示部４２は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報を生成し、ミラー制御部２６に送信する。ミラー制御部２６は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂを調整（補正処理）する（ステップＳ３０）。【００４２】
この後、レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用い、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御しながらワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行う（ステップＳ４０）。【００４３】
一方、ワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズで加工可能な範囲外である場合（ステップＳ２０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、ずれ量算出部３３から受信したワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量に基づいて、加工テーブル１０の移動（ワーク８Ａ，８Ｂの位置補正）（テーブル位置補正）によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内となるか否か（加工テーブル１０でワーク８Ａ，８Ｂの位置補正が可能か否か）を判定する。すなわち、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ５０）。【００４４】
本実施の形態では、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂの両方が加工範囲内となれば、ワーク８Ａ，８Ｂはｆθレンズで加工可能な範囲内であると判断する。図６は、ガルバノミラーの調整だけでは２つのワークが加工範囲内とならない場合の一例を示す図である。【００４５】
図６では、ガルバノミラー４Ａ，５Ａで調整可能な加工範囲を加工範囲５２Ａで示し、ガルバノミラー４Ｂ，５Ｂで調整可能な加工範囲を加工範囲５２Ｂで示している。また、ワーク８Ａの加工パターンを加工パターン５１Ａで示し、ワーク８Ｂの加工パターンを加工パターン５１Ｂで示している。【００４６】
ここでは、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっているため、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となる。一方、加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まっていないため、ガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整だけではワーク８Ｂは加工範囲内とならない。したがって、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂの両方を加工範囲内とすることはできず、ワーク８Ａ，８Ｂはｆθレンズによって加工可能な範囲内ではないと判断される。【００４７】
ここで、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内となるか否かの判定処理の概念について説明する。図７および図８は、加工テーブルによるワークの位置補正の概念を説明するための図である。【００４８】
図７では、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのうち、一方の加工パターン（ここでは加工パターン５１Ｂ）の最端部（加工パターンの右上の角部分）が、加工パターンに対応する加工エリア（ここでは加工範囲５２Ｂ）の最端部（加工エリアの右上の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なった場合を示している。このように加工テーブル１０を位置補正すると、加工パターン５１Ｂの移動に伴って加工パターン５１Ａも移動する。【００４９】
本実施の形態では、例えば加工パターン５１Ｂの最端部が、加工範囲５２Ｂの最端部と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なった場合（加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まっている場合）に、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まれば、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。【００５０】
図７に示すワーク８Ａ，８Ｂの位置補正の場合、加工パターン５１Ｂの最端部を加工範囲５２Ｂの最端部に重ねた場合に、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっているので、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。【００５１】
なお、ここでは、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの右上の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの右上の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう場合について説明したが、加工パターン５１Ｂと加工範囲５２Ｂは他の位置で重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なってもよい。例えば、加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａのずれ方向に応じて、加工パターン５１Ｂと加工範囲５２Ｂを重ねる位置補正を決定する。【００５２】
加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａが、図内で右上方向にずれている場合、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの左下の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの左下の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう。【００５３】
また、加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａが、図内で左上方向にずれている場合、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの右下の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの右下の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう。【００５４】
また、加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａが、図内で右下方向にずれている場合、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの左上の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの左上の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう。【００５５】
また、ここでは、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのうち、加工パターン５１Ｂの最端部が、加工範囲５２Ｂの最端部と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう場合について説明したが、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのうち、加工パターン５１Ａの最端部が、加工範囲５２Ａの最端部と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なってもよい。【００５６】
また、図８では、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ位置の中点（ずれ位置の平均値）を用いて加工テーブル１０による位置補正を行なった場合を示している。換言すると、加工範囲５２Ａ，５２Ｂの中点と加工パターン５１Ａ，５１Ｂの中点が重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なっている。すなわち、ビーム照射の狙い位置（加工範囲５２Ａ，５２Ｂの中心位置）からの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ量（座標）を算出し、そのずれ量の平均値を算出する。そして、各加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ量が、算出した平均値の値と等しくなるよう、加工テーブル１０の位置を移動させて位置補正を行なう。【００５７】
例えば、加工範囲５２Ａの中心位置を原点座標（０，０）とした場合に、加工テーブル１０による位置補正前の加工パターン５１Ａの中心が座標（ａ１，ａ２）であり、加工範囲５２Ｂの中心位置を原点座標（０，０）とした場合に、加工テーブル１０による位置補正前の加工パターン５１Ｂの中心が座標（ｂ１，ｂ２）である場合、加工範囲５２Ａ，５２Ｂに対する加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ量（座標）の平均値は、ｘ座標が（ａ１＋ｂ１）／２であり、ｙ座標が（ａ２＋ｂ２）／２である。したがって、この場合、加工パターン５１Ａ，５１Ｂの各中心が（（ａ１＋ｂ１）／２，（ａ２＋ｂ２）／２）となるよう、加工テーブル１０を移動させて加工パターン５１Ａ，５１Ｂの位置補正を行なう。このように加工テーブル１０を位置補正すると、加工パターン５１Ａ，５１Ｂの両方がそれぞれ加工範囲５２Ａ，５２Ｂの領域上で移動する。【００５８】
本実施の形態では、例えば２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ位置の中点に基づいて加工テーブル１０を移動させ、加工パターン５１Ａ，５１Ｂの位置補正を行なった場合に、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まり、加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まれば、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。【００５９】
図８に示すワーク８Ａ，８Ｂの位置補正の場合、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まり、加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まっているので、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。【００６０】
すなわち、本実施の形態では、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まり、かつ加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まるよう、加工テーブル１０による位置補正ができれば、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。【００６１】
加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂが加工範囲内となる場合（ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量の差が所定値よりも小さい場合）（ステップＳ６０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、同時加工処理部３１にワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を指示する。【００６２】
同時加工処理部３１の同時加工処理指示部４２は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報を生成し、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に送信する。テーブル制御部２５は、ワーク８Ａ，８Ｂの位置がガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整で加工可能な範囲となるよう、加工テーブル１０の位置を調整（補正処理）する。また、ミラー制御部２６は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂを調整する（ステップＳ３０）。【００６３】
ここで、加工テーブル１０によるワーク８Ａ，８Ｂの位置補正値の算出方法について説明する。まず、ワーク８Ａ，８Ｂをガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの補正（調整）によってレーザ加工可能か否かの判断方法について説明する。【００６４】
レーザ加工装置１００でレーザ加工されるワーク８Ａ，８Ｂは、ワーク形成の工程や周囲環境の変化によって、ワーク８Ａ，８Ｂ上のパターンが設計値から伸縮ずれ、オフセットずれ、回転ずれ、直角度ずれ、台形ずれ等のパターン形状のずれを発生させてしまう。【００６５】
このようなずれが発生する場合であっても、ずれ量を考慮して精度良くレーザ加工を実施するため、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂで加工テーブル１０に載置されたワーク８Ａ，８Ｂの位置決めマークを検出し、ワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれを補正する必要がある。【００６６】
ワークが１枚だけの場合、目標位置（Ｘ，Ｙ）に対するずれ補正後（パターン形状に対数補正後）のレーザ加工位置（Ｘ'、Ｙ'）を従来の方法で算出すると、例えば、回転ずれ、伸縮ずれ、オフセットずれは、式（１）および式（２）で示すことができる。なお、ここでのＰ１１〜Ｐ１３，Ｐ２１〜Ｐ２３は、任意の補正係数である。
Ｘ'＝Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３・・・（１）
Ｙ'＝Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３・・・（２）【００６７】
また、例えばワーク８Ａ，８Ｂの２枚のワークがある場合、各ワーク８Ａ，８Ｂにおける共通の目標位置（Ｘ，Ｙ）に対して、各ワーク８Ａ，８Ｂの補正式（補正座標）が求まる。ワーク８Ａの補正後の座標を（Ｘ'ｐ、Ｙ'ｐ）、ワーク８Ｂの座標を（Ｘ'ｑ、Ｙ'ｑ）とすると、ワーク８Ａ，８Ｂの補正式は式（３）〜式（６）で示すことができる。なお、ここでのＰ１１〜Ｐ１３，Ｐ２１〜Ｐ２３、Ｑ１１〜Ｑ１３，Ｑ２１〜Ｑ２３は、任意の補正係数である。
Ｘ'ｐ＝Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３・・・（３）
Ｙ'ｐ＝Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３・・・（４）
Ｘ'ｑ＝Ｑ１１Ｘ＋Ｑ１２Ｙ＋Ｑ１３・・・（５）
Ｙ'ｑ＝Ｑ２１Ｘ＋Ｑ２２Ｙ＋Ｑ２３・・・（６）【００６８】
目標位置のＸ、Ｙの成分は、ガルバノミラー位置座標（Ｘｍ、Ｙｍ）とテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）との和で表すことができる。ガルバノミラー４Ａ，５Ａとガルバノミラー４Ｂ，５Ｂは、ワーク８Ａとワーク８Ｂで独立しているが、加工テーブル１０はワーク８Ａとワーク８Ｂで共通である。このため、各ワーク８Ａ，８Ｂに対応するガルバノミラー位置を用いてテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）に対する補正を行なう必要がある。式（３）〜式（６）をテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）に対して補正すると、式（７）〜式（１０）となる。【００６９】
なお、ここでのＸ'ｐｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｘ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＸ成分）であり、Ｙ'ｐｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｙ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＹ成分）である。また、Ｘ'ｑｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｘ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＸ成分）であり、また、Ｙ'ｑｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｙ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＹ成分）である。
Ｘ'ｐｍ＝Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３−Ｘｔ・・・（７）
Ｙ'ｐｍ＝Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３−Ｙｔ・・・（８）
Ｘ'ｑｍ＝Ｑ１１Ｘ＋Ｑ１２Ｙ＋Ｑ１３−Ｘｔ・・・（９）
Ｙ'ｑｍ＝Ｑ２１Ｘ＋Ｑ２２Ｙ＋Ｑ２３−Ｙｔ・・・（１０）【００７０】
ｆθレンズによって加工できる加工範囲の広さ（１辺がｆＬ四方のエリア）は固定されている。したがって、ｆθレンズの加工範囲（１辺ｆＬ）と補正後のガルバノミラー座標（式（７）〜式（１０）で示したＸ'ｐｍ、Ｙ'ｐｍ、、Ｘ'ｑｍ、Ｙ'ｑｍ））の差は、式（１１）〜式（１４）を用いて算出できる。なお、ここでのＷｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、ｆθレンズの加工範囲と補正後のガルバノミラー座標の差を示すものであり、これらの値が全て正の場合に、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工することが可能となる。
Ｗｐｘ＝ｆＬ／２−｜Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３−Ｘｔ｜・・・（１１）
Ｗｐｙ＝ｆＬ／２−｜Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３−Ｙｔ｜・・・（１２）
Ｗｑｘ＝ｆＬ／２−｜Ｑ１１Ｘ＋Ｑ１２Ｙ＋Ｑ１３−Ｘｔ｜・・・（１３）
Ｗｑｙ＝ｆＬ／２−｜Ｑ２１Ｘ＋Ｑ２２Ｙ＋Ｑ２３−Ｙｔ｜・・・（１４）【００７１】
しかしながら、目標位置に対してレーザ照射する位置のずれ量が大きい場合、ガルバノミラーによる補正（照射位置の補正）だけでは、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できない場合がある。そこで、本実施の形態では、ｆθレンズによって加工可能な範囲を最大限に活用するため、加工テーブル１０によってワーク８Ａ，８Ｂの位置を補正する。【００７２】
つぎに、加工テーブル１０によるワーク８Ａ，８Ｂの位置補正値の算出方法について説明する。目標位置（Ｘ，Ｙ）は、ガルバノミラー位置座標（Ｘｍ、Ｙｍ）とテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）との和で表すことができる。目標位置（Ｘ，Ｙ）に対する補正後のレーザ加工位置（Ｘ'，Ｙ'）を、ガルバノミラー位置座標（Ｘｍ、Ｙｍ）とテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）との和で表すと、式（１５）、式（１６）となる。
Ｘ'＝Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（１５）
Ｙ'＝Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（１６）【００７３】
なお、ここでのＰｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）は、ミラー位置での補正座標（ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂによって補正された場合の座標）であり、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、テーブル位置での補正座標（加工テーブル１０によって補正された場合の座標）である。Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、それぞれ以下の式（１７）〜式（２０）の関係を有している。
Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｘｍ＋（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｙｍ・・・（１７）
Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｘｔ＋（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｙｔ＋Ｐ１３・・・（１８）
Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｘｍ＋（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｙｍ・・・（１９）
Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｘｔ＋（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｙｔ＋Ｐ２３・・・（２０）【００７４】
ワーク８Ａとワーク８Ｂの２枚のワークが加工テーブル１０にセットされる場合、各ワーク８Ａ，８Ｂにおける共通の目標位置（Ｘ，Ｙ）に対して、各ワーク８Ａ，８Ｂそれぞれの補正式が求まる。ワーク８Ａ，８Ｂの補正後のレーザ加工位置は、式（２１）〜式（２４）で示すことができる。
Ｘ'ｐ＝Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２１）
Ｙ'ｐ＝Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２２）
Ｘ'ｑ＝Ｑｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２３）
Ｙ'ｑ＝Ｑｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２４）【００７５】
なお、ここでのＸ'ｐ、Ｙ'ｐがワーク８Ａの補正後のレーザ加工位置（Ｘ成分とＹ成分）であり、Ｘ'ｑ、Ｙ'ｑがワーク８Ｂの補正後のレーザ加工位置（Ｘ成分とＹ成分）である。【００７６】
また、ここでのＰｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）は、ミラー位置での補正座標（ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂによって補正された場合の座標）であり、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、テーブル位置での補正座標（加工テーブル１０によって補正された場合の座標）である。Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、それぞれ前述の式（１７）〜式（２０）および以下の式（２５）〜式（２８）の関係を有している。【００７７】
Ｑｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｘｍ＋（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｙｍ・・・（２５）
Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｘｔ＋（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｙｔ＋Ｑ１３・・・（２６）
Ｑｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｘｍ＋（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｙｍ・・・（２７）
Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｘｔ＋（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｙｔ＋Ｑ２３・・・（２８）【００７８】
レーザ加工装置１００では、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂは各ワーク８Ａ，８Ｂに独立した軸に配設されており、ワーク８Ａ，８Ｂ毎に位置決めすることができる。加工テーブル１０は、ワーク８Ａ，８Ｂに共通の軸に配設されており、加工テーブル１０のテーブル位置はワーク８Ａ，８Ｂで共通とする必要がある。【００７９】
例えば、テーブル位置をワーク８Ａを基準とした場合、ワーク８Ｂ側では、ワーク８Ａ側のガルバノミラー位置座標に、式（２１）〜式（２４）のテーブル補正を考慮する必要がある。したがって、加工テーブル１０の移動によって、ワーク８Ａのずれ量が０となるよう位置補正すると、Ｗｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、式（２９）〜式（３２）で算出できる。なお、ここでのＷｑｘ、Ｗｑｙは、ワーク８Ａに対するワーク８Ｂのずれ量である。
Ｗｐｘ＝０・・・（２９）
Ｗｐｙ＝０・・・（３０）
Ｗｑｘ＝Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（３１）
Ｗｑｙ＝Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（３２）【００８０】
すなわち、加工テーブル１０による位置補正（移動）をワーク８Ａのずれ量を基準とすると、ｆθレンズとワーク８Ｂの加工パターンのずれ量は、ワーク８Ｂ単独のずれ量とワーク８Ａ単独のずれ量の和になる。【００８１】
ワーク８Ｂ側のずれ量（Ｗｑｘ，Ｗｑｙ）が所定値よりも大きい場合、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できないので、ｆθレンズの加工範囲に収まるよう、Ｗｑｘ、Ｗｑｙとｆθレンズによる加工範囲ｆＬの差を再算出して加工テーブル１０を移動させる。例えば、Ｗｑｘ，Ｗｑｙが正の方向にｆθレンズの加工範囲を超えた場合、Ｗｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、式（３３）〜式（３６）によって算出される。
Ｗｐｘ＝ｆＬ／２−（Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））・・・（３３）
Ｗｐｙ＝ｆＬ／２−（Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））・・・（３４）
Ｗｑｘ＝ｆＬ／２・・・（３５）
Ｗｑｙ＝ｆＬ／２・・・（３６）【００８２】
この場合、加工テーブル１０の位置は、（Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｗｐｘ，Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｗｐｙ）となる。また、ワーク８Ａとワーク８Ｂの加工テーブル１０の移動によって補正されるワーク８Ａ，８Ｂのずれ量（ずれた座標位置）の完全な中間点（（Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）＋Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））/２，（Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）＋Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））/２）を基準としてワーク８Ａ，８Ｂのずれ量を再算出してもよい。この場合、Ｗｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、式（３７）〜式（４０）によって算出される。
Ｗｐｘ＝（Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（３７）
Ｗｐｙ＝（Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（３８）
Ｗｑｘ＝（Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（３９）
Ｗｑｙ＝（Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（４０）【００８３】
この場合、算出したＷｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙに、ガルバノミラーによってレーザ照射位置の補正を行い、レーザ加工を行う。ここでのＷｐｘ、Ｗｐｙは、ワーク８Ａ，８Ｂの中点に対するワーク８Ａのずれ量であり、Ｗｑｘ、Ｗｑｙはワーク８Ａ，８Ｂの中点に対するワーク８Ｂのずれ量である。このように、式（３３）〜式（３６）または式（３７）〜式（４０）によって算出されるＷｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙの値が、ワーク８Ａ，８Ｂ間のずれ量となる。【００８４】
加工テーブル１０の位置とガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂを調整した後、レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用い、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御しながらワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行う（ステップＳ４０）。【００８５】
加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂが同時に加工範囲内とならない場合（ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量の差が所定値よりも大きい場合）（ステップＳ６０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工するか否かを判断する。【００８６】
レーザ加工装置１００へは、加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂが同時に加工範囲内とならない場合にワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工するか否かを予め設定しておく。ワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行わない場合にワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工することがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ７０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工すると判断する。ずれ量判定部３４は、個別加工処理部３２にワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理（１枚ずつの加工処理）を指示する。【００８７】
個別加工処理部３２の個別加工処理指示部４４は、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための制御指示情報を生成し、個別位置補正処理部４３はワーク８Ａ，８Ｂの位置補正量（個別処理する際の各位置補正量）を生成する。個別位置補正処理部４３が算出した位置補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に入力される。【００８８】
テーブル制御部２５、ミラー制御部２６は、位置補正量に基づいて加工テーブル１０、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂなどを調整する。レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御し、ワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理を行う（ステップＳ８０）。【００８９】
ワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行わない場合にワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しないことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ７０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なうか否かを判断する（ステップＳ９０）。【００９０】
レーザ加工装置１００へは、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できずワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しない場合に、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なうか否かを予め設定しておく。【００９１】
ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できず、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しない場合に、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なうことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ９０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理（再搬入）を行うと判断する。ずれ量判定部３４は、ワーク搬出装置１１、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理を指示し、ワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理を行わせる。これにより、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への再セット処理が行われる（ステップＳ１００）。【００９２】
ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への再セット処理の後、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ１０の処理に戻って、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出する。以下、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ２０以降の処理を繰り返す。【００９３】
一方、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できず、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しない場合に、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわないことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ９０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、レーザ加工装置１００の停止処理を行うか否かを判断する（ステップＳ１１０）。【００９４】
レーザ加工装置１００へは、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわない場合に、レーザ加工装置１００の停止処理を行うか否かを予め設定しておく。加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわない場合にはレーザ加工装置１００の停止処理を行うことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ１１０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、レーザ加工装置１００の停止処理を行わせる（ステップＳ１２０）。このとき、レーザ加工装置１００は、異常停止を通知するためのアラームを出力してもよい。【００９５】
一方、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわない場合であってもレーザ加工装置１００の停止処理を行わないことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ１１０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、加工テーブル１０へ次のワークのセット処理を行うと判断する。ずれ量判定部３４は、ワーク搬出装置１１、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０への次のワークのセット処理を指示し、次のワークのセット処理を行わせる。これにより、ワーク８Ａ，８Ｂが加工テーブル１０から搬出され、次のワークのセット処理が行われる（ステップＳ１３０）。【００９６】
ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への次のワークのセット処理の後、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ１０の処理に戻って、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出する。以下、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ２０以降の処理を繰り返す。【００９７】
つぎに、図３で説明したレーザ加工装置１００の動作手順を詳細に説明する。まず、制御部２１によるずれ量算出処理（加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量の算出処理）について説明する。【００９８】
図９は、ずれ量算出処理の詳細手順を示すフローチャートである。ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂは、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂの画像を撮像し（ステップＳ２１０）、撮像した画像を位置検出部２３に送る。位置検出部２３は、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂが撮像したワーク８Ａ，８Ｂの画像に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置（ワーク位置）を検出する（ステップＳ２２０）。位置検出部２３は、検出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置情報を制御部２１に入力する。【００９９】
制御部２１のずれ量算出部３３は、位置検出部２３から送られるワーク８Ａ，８Ｂの位置情報を用いて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出し（ステップＳ２３０）、算出結果をずれ量判定部３４に送信する。【０１００】
つぎに、レーザ加工装置１００がワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ処理する際の処理手順（ステップＳ８０）について説明する。図１０は、ワークを１枚ずつ処理する際の処理手順を示すフローチャートである。【０１０１】
レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工すると判断した場合、個別加工処理部３２にワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理（１枚ずつの加工処理）を指示する。【０１０２】
個別加工処理部３２の個別加工処理指示部４４は、まずワーク８Ａを個別に加工処理するための制御指示情報を生成し、個別位置補正処理部４３はワーク８Ａの位置補正量（個別処理する際のテーブル位置補正量）とガルバノミラー４Ａ，５Ａの補正量を生成する。【０１０３】
ここでのテーブル制御部２５は、ワーク８Ａの加工パターン５１Ａがガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整で加工可能な範囲となっていない場合に、テーブル位置補正量を生成する。個別位置補正処理部４３が算出したテーブル位置補正量やガルバノミラー４Ａ，５Ａの補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に入力される。【０１０４】
ワーク８Ａの加工パターン５１Ａがガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整で加工可能な範囲となっていない場合には、加工パターン５１Ａがガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によって加工可能な範囲となるよう、テーブル制御部２５によってテーブル位置補正が行なわれる（加工テーブル１０の位置調整）（ステップＳ３１０）。また、ミラー制御部２６は、ワーク８Ａの加工パターン５１Ａにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ａを調整する。【０１０５】
レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御し、ワーク８Ａの個別加工処理を行う（ステップＳ３２０）。【０１０６】
つぎに、個別加工処理部３２の個別加工処理指示部４４は、まずワーク８Ｂを個別に加工処理するための制御指示情報を生成し、個別位置補正処理部４３はワーク８Ｂの位置補正量（個別処理する際のテーブル位置補正量）とガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの補正量を生成する。【０１０７】
ここでのテーブル制御部２５は、ワーク８Ｂの加工パターン５１Ｂがガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整で加工可能な範囲となっていない場合に、テーブル位置補正量を生成する。個別位置補正処理部４３が算出したテーブル位置補正量やガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に入力される。【０１０８】
ワーク８Ｂの加工パターン５１Ｂがガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整で加工可能な範囲となっていない場合には、加工パターン５１Ｂがガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整によって加工可能な範囲となるよう、テーブル制御部２５によってテーブル位置補正が行なわれる（加工テーブル１０の位置調整）（ステップＳ３３０）。また、ミラー制御部２６は、ワーク８Ｂの加工パターン５１Ｂにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ｂを調整する。【０１０９】
レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御し、ワーク８Ｂの個別加工処理を行う（ステップＳ３４０）。【０１１０】
なお、ここではワーク８Ａの個別処理を先に行ない、ワーク８Ｂの個別処理を後から行うこととしたが、ワーク８Ｂの個別処理を先に行ない、ワーク８Ａの個別処理を後から行ってもよい。【０１１１】
つぎに、レーザ加工装置１００がワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への再セット処理する際の処理手順（ステップＳ１００）について説明する。図１１および図１２は、加工テーブルへワークを再セット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。【０１１２】
ここでは、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの両方を再セットする際の処理手順と、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの何れか一方を再セットする際の処理手順について説明する。なお、ここでは、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの何れか一方としてワーク８Ａを再セットする際の処理手順について説明する。図１１は、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの両方を再セットする際の処理手順であり、図１２は、加工テーブル１０へワーク８Ａを再セットする際の処理手順である。【０１１３】
まず、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂ（２枚のワーク）の両方を再セットする際の処理手順（図１１）について説明する。加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの両方を再セットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理を指示する。これにより、ワーク搬入装置９は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げてワーク位置決め装置１２に戻す（ステップＳ４１０）。【０１１４】
ワーク位置決め装置１２では、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０へのずれ量が無くなるよう、位置補正して再度位置決めを行なう。このとき、ワーク位置決め装置１２は、ずれ量算出部３３が算出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を用いてワーク８Ａ，８Ｂを位置決めする。すなわち、ワーク位置決め装置１２は、再度ワーク８Ａ，８Ｂを加工テーブル１０へセット（搬入）した際に、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂが加工範囲５２Ａ，５２Ｂ内に収まるよう、所定の補正値（第１の位置決め補正値）でワーク８Ａ，８Ｂの位置決め位置を補正して位置決めを行なう（ステップＳ４２０）。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされたワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて加工テーブル１０上に搬入（再セット）する（ステップＳ４３０）。【０１１５】
つぎに、加工テーブル１０へワーク８Ａ（１枚のワーク）を再セットする際の処理手順（図１２）について説明する。加工テーブル１０へワーク８Ａを再セットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へのワーク８Ａの再セット処理を指示する。これにより、ワーク搬入装置９は、加工テーブル１０上のワーク８Ａを持ち上げる（ステップＳ５１０）。【０１１６】
ずれ量判定部３４は、持ち上げたワーク８Ａと加工テーブル１０上のワーク８Ｂのずれ量が、ともにｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置補正量を算出する。ずれ量判定部３４は、位置補正量の算出結果をテーブル制御部２５に送信する。【０１１７】
テーブル制御部２５は、ずれ量判定部３４からの位置補正量に基づいて、加工テーブル１０の位置を移動させる。ここでのテーブル制御部２５は、持ち上げたワーク８Ａと加工テーブル１０上のワーク８Ｂのずれ量が、ともにｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置を移動させる（ステップＳ５２０）。この後、ワーク搬入装置９は、持ち上げていたワーク８Ａを加工テーブル１０上に搬入（再セット）する（ステップＳ５３０）。【０１１８】
なお、ここでは、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの何れか一方としてワーク８Ａを再セットする際の処理手順について説明したが、ワーク８Ｂのみを再セットすることとしてもよい。【０１１９】
つぎに、レーザ加工装置１００が次のワークを加工テーブル１０へセット処理する際の処理手順（ステップＳ１３０）について説明する。図１３および図１４は、加工テーブルへ次のワークをセット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。【０１２０】
ここでは、加工テーブル１０へ次のワークを２枚同時にセットする際の処理手順と、加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする際の処理手順について説明する。図１３は、加工テーブル１０へ次のワークを２枚同時にをセットする際の処理手順であり、図１４は、加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする際の処理手順である。【０１２１】
まず、加工テーブル１０へ次のワークとして２枚のワークを同時にセットする際の処理手順（図１３）について説明する。加工テーブル１０へ次のワークとして２枚のワークを同時にセットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬出装置１１、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へ次のワークとして２枚のワークを同時にセットするよう指示する。これにより、ワーク搬出装置１１は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げてレーザ加工機構１外へワーク８Ａ，８Ｂを搬出する（ステップＳ６１０）。【０１２２】
つぎに、ワーク位置決め装置１２が次のワーク（２枚）の位置決めを行なう。このとき、ワーク位置決め装置１２は、前回のワーク（ワーク８Ａ，８Ｂ）を加工テーブル１０へセットした場合に位置ずれが無くなる位置補正値で、次のワークの位置補正を行なって位置決めを行なう。ここでのワーク位置決め装置１２は、ずれ量算出部３３が算出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を用いてワーク８Ａ，８Ｂを位置決めする。すなわち、ワーク位置決め装置１２は、再度ワーク８Ａ，８Ｂを加工テーブル１０へセット（搬入）した場合に、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂが加工範囲５２Ａ，５２Ｂ内に収まる位置補正値（第２の位置決め補正値）で、次のワークの位置決めを行なう（ステップＳ６２０）。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされた次のワーク（２枚）を持ち上げて加工テーブル１０上に搬入する（ステップＳ６３０）。【０１２３】
つぎに、加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする際の処理手順（図１４）について説明する。加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬出装置１１、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットするよう指示する。これにより、ワーク搬出装置１１は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げてレーザ加工機構１外へ、ワーク８Ａ，８Ｂを搬出する（ステップＳ７１０）。【０１２４】
つぎに、ワーク位置決め装置１２が次のワーク（１枚目および２枚目）の位置決めを行なう。このとき、ワーク位置決め装置１２は、前回のワーク（ワーク８Ａ，８Ｂ）と同様の位置補正によって、次のワークの位置決めを行なう。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされた次のワーク（１枚目）を持ち上げて加工テーブル１０上に搬入する（ステップＳ７２０）。【０１２５】
ずれ量判定部３４は、前回のワーク（ワーク８Ａ，８Ｂ）を加工テーブル１０へセットした場合に、前回のワーク間のずれ量がｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置補正量を算出する。ずれ量判定部３４は、位置補正量の算出結果をテーブル制御部２５に送信する【０１２６】
テーブル制御部２５は、ずれ量判定部３４からの位置補正量に基づいて、加工テーブル１０の位置を移動させる。ここでのテーブル制御部２５は、１枚目のワークおよびこの後の２枚目のワークがｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置を移動させる（ステップＳ７３０）。この後、ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされた次のワーク（２枚目）を持ち上げて加工テーブル１０上に搬入する（ステップＳ７４０）。【０１２７】
なお、本実施の形態では、レーザ加工装置１００が２枚のワークを加工する場合について説明したが、レーザ加工装置１００は３枚以上のワークを加工してもよい。この場合も、ワーク間のずれ位置の差が所定値以下であれば、加工テーブル１０を移動させて３枚以上のワークの同時加工を行なう。また、予め設定した条件に基づいて、１枚ずつの加工、再加工処理、次のワークの加工処理などを行う。【０１２８】
また、本実施の形態では、ワークのずれ位置に応じて種々の加工方法でワークをレーザ加工する場合について説明したが、他の加工装置がワークのずれ位置に応じて種々の加工方法でワークを加工してもよい。【０１２９】
このように実施の形態によれば、算出した位置ずれ値に基づいて、予め設定された複数種類の加工方法の中から位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択し、選択した加工方法を用いてワークのレーザ加工を行なうので、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３０】
また、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂの何れかがｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外（加工範囲外）であって、かつ加工テーブル１０上の各ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量（位置ずれ値）の差が所定値よりも小さい場合（テーブル位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内となる場合）は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂがそれぞれに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう加工テーブル１０の位置補正量を設定し、加工テーブル１０上の全てのワーク８Ａ，８Ｂにレーザビームを同時照射して加工テーブル１０上の全てのワーク８Ａ，８Ｂの同時加工を行なうので、位置ずれ量の差が所定値よりも小さい場合、複数のワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能となる。これにより、複数枚のワークを加工しようとした場合に複数枚のワークのずれ量が所定のずれ量に収まっていない場合であっても、複数枚のワークを同時加工することができ、迅速に加工を行なうことが可能となる。【０１３１】
また、レーザ加工装置１００へは、加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂがが同時に加工範囲内とならない場合（ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量の差が所定値よりも大きい場合）に選択する種々の加工方法（１枚ずつの加工処理、再セット処理、次のワークの加工処理など）を予め設定しておくので、加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂがが同時に加工範囲内とならない場合であっても、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３２】
また、ずれ量判定部３４がワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量の差が所定値よりも大きいと判断した場合、個別加工処理部３２によって各ワーク８Ａ，８Ｂを個別にテーブル位置補正してレーザ加工するので、ワーク８Ａ，８Ｂに大きな位置ずれがある場合であっても加工されないワークを発生させる無く、迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３３】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、ワーク搬入装置９がワーク８Ａ，８Ｂをワーク位置決め装置１２に戻し、再搬入するワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、ワーク位置決め装置１２でワーク８Ａ，８Ｂの位置を修正して位置決めするので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３４】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、一方のワーク８Ａを持ち上げさせるとともにワーク８Ａが持ち上げられている間に、ワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、加工テーブル１０を移動させ、加工テーブル１０の移動後にワーク８Ａを加工テーブル１０に再載置させるので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３５】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、ワーク搬出装置１１がワーク８Ａ，８Ｂを搬出し、次に搬入するワークがｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るようワーク位置決め装置１２で次のワークの位置決めを行なうので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３６】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、ワーク搬出装置１１がワーク８Ａ，８Ｂを搬出し、次に搬入する１枚目のワークを加工テーブル１０に搬入した後、搬入されたワーク（１枚目および２枚目）がｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう加工テーブル１０を移動させ、移動後に２枚目のワークを加工テーブル１０に搬入するので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。【０１３７】
したがって、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合であっても、レーザ加工装置１００は２枚のレーザ加工を行なうことが可能となり、１枚だけの加工しかできない場合よりも効率よく加工処理を行なうことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１３８】
以上のように、本発明にかかるレーザ加工装置は、加工テーブル上の複数のワークのレーザ加工に適している。
【図１】
2008038385.tif 000003
【図２】
2008038385.tif 000004
【図３】
2008038385.tif 000005
【図４】
2008038385.tif 000006
【図５】
2008038385.tif 000007
【図６】
2008038385.tif 000008
【図７】
2008038385.tif 000009
【図８】
2008038385.tif 000010
【図９】
2008038385.tif 000011
【図１０】
2008038385.tif 000012
【図１１】
2008038385.tif 000013
【図１２】
2008038385.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年6月11日(2007.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレーザ照射軸から各レーザ照射軸に対応するｆθレンズを介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された２つのワークを同時にレーザ加工するレーザ加工装置において、
前記加工テーブルに対する前記各ワークの位置ずれをワーク毎に検出して前記加工テーブルに対するワーク毎の位置ずれ値を算出するずれ値算出部と、
前記ずれ値算出部が算出する位置ずれ値に基づいて、予め設定された各ワークの加工手順に関する複数種類の加工方法の中から前記位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択する加工方法選択部と、
前記各ワークの位置ずれを補正する前記加工テーブルの移動量の補正値を前記加工方法選択部が選択した加工方法に応じて設定する補正値設定部と、
前記加工方法選択部が選択した加工方法で前記補正値設定部が前記加工方法に応じて設定した補正値を用いて前記加工テーブル上の２つのワークを加工する際の加工制御を行なう加工制御部と、
を備え、
前記加工方法選択部は、前記加工テーブル上の何れかのワークが前記ｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外であってかつ前記加工テーブル上の各ワーク間の位置ずれ値の差と予め設定しておいた所定値とを比較した場合に前記位置ずれ値の差が前記所定値よりも小さい場合は、前記加工テーブル上の全ワークに前記レーザビームを同時照射して前記加工テーブル上の全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を前記複数種類の加工方法の中から選択し、
前記補正値設定部は、前記加工方法選択部が前記同時加工方法を選択した場合には、前記加工テーブル上の全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に前記加工方法選択部に選択させる前記各ワークの加工手順に関する複数種類の加工方法を予め設定しておく加工方法設定部をさらに備え、
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記加工方法設定部に設定された加工方法を選択することを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記各ワークのレーザ加工毎に前記加工テーブルを移動させて前記ワーク毎の個別加工を行なう個別加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記各ワークのレーザ加工毎の前記加工テーブルの移動によって前記各ワークが前記各ワークに対応するｆθレンズを介してレーザ加工できる領域内に入るよう、前記各ワーク毎に前記補正値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記加工テーブル上の全ワークを外部に配設されて前記ワークを搬入させる際のワークの位置決めを行なう位置決め装置に戻して当該位置決め装置に前記全ワークの位置決めを行なわせた後、位置決めされた前記全ワークを前記加工テーブルに再搬入させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブル上に再搬入された全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、前記各ワークの位置決め位置を補正する第１の位置決め補正値を前記位置決め装置に設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、前記加工テーブル上に載置されている所定のワークを前記加工テーブルから持ち上げさせるとともに前記所定のワークが持ち上げている間に前記加工テーブルを移動させ、前記加工テーブルの移動後に前記所定のワークを前記加工テーブルに再載置させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブルの移動によって前記加工テーブル上に載置された全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、外部に配設されて前記ワークを搬出させる搬出装置に前記加工テーブル上の全ワークを搬出させるとともに、外部に配設されて前記ワークを搬入させる際の位置決めを行なう位置決め装置に次に搬入する各ワークの位置決めを行なわせ、位置決めされた各ワークを前記加工テーブルに搬入させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブル上に搬入された次のワークの全てが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、前記各ワークの位置決め位置を補正する第２の位置決め補正値を前記位置決め装置に設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
前記加工方法選択部は、前記各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも大きい場合に、外部に配設されて前記ワークを搬出させる搬出装置に前記加工テーブル上の全ワークを搬出させるとともに、外部に配設されて前記ワークを搬入させる際の位置決めを行なう位置決め装置に次に搬入する各ワークの位置決めを行なわせ、位置決めされたワークのうち所定のワークを前記加工テーブルに搬入させて前記加工テーブルを移動させ、前記加工テーブルの移動後に位置決めされたワークのうち残りのワークを前記加工テーブルに搬入させる加工方法を選択し、
前記補正値設定部は、前記加工テーブル上に搬入された全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工テーブル上の複数のワークをレーザ加工するレーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工するため、種々のレーザ加工装置が開発されている。このようなレーザ加工装置として、例えば複数の加工ヘッドを備え、複数のワーク（被加工物）を同時加工するレーザ加工装置がある。複数の加工ヘッドで複数のワークを同時加工する場合、加工テーブルに対する各ワークの位置ずれ量を検出し、検出した位置ずれ量をｆθレンズで補正することによって、各ワークを精度良く加工している。
【０００３】
特許文献１に記載の加工装置は、各加工ヘッドに取りつけた検出手段によって各被加工物の位置を検出し、検出したデータに基づいて各加工ヘッド毎の位置のずれがほぼ同じになるような位置に加工テーブルを移動させ、これにより加工精度よく複数の被加工物を同時に加工している。
【０００４】
また、特許文献２に記載のレーザ加工装置は、１つのレーザ発振器からのレーザ光を複数に分割するレーザビーム分割手段を備え、レーザビーム分割手段から各被加工物の間にそれぞれのレーザビームに対してレーザビームを遮断するためのレーザビーム遮断機構をそれぞれ設けている。そして、それぞれの加工軸上に載置された各被加工物に対するレーザビームの照射・未照射を独立に制御している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３６１４６３号公報
【特許文献２】特開２００３−１１２２７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記前者の従来技術では、複数枚のワークを加工しようとした場合に、複数枚のワークのずれ量のうち１枚のワークのずれ量でも所定のずれ量に収まっていなければ、異常を検出して全てのワークの加工を中止する必要があった。このため、ワークのずれ量が１枚でも所定のずれ量に収まっていない場合、迅速にワークの加工を行なうことができないといった問題があった。また、上記前者の従来技術では、複数枚のワークのずれ量が等しくなるようにテーブルを移動させてから、複数枚のワークの加工を行なうか中止するかを判断している。このため、ワークの加工を中止する場合には、テーブルの移動動作が無駄になるといった問題があった。
【０００７】
また、上記後者の従来技術では、複数枚のワークのずれ量が所定のずれ量に収まっていない場合、所定のレーザビームを遮断して、遮断されていないレーザビームのみで加工を行なわなければならなかった。このため、レーザビームが遮断された側のワークを加工することができず、迅速に加工を行なうことができないといった問題があった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工するレーザ加工装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数のレーザ照射軸から各レーザ照射軸に対応するｆθレンズを介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された２つのワークを同時にレーザ加工するレーザ加工装置において、前記加工テーブルに対する前記各ワークの位置ずれをワーク毎に検出して前記加工テーブルに対するワーク毎の位置ずれ値を算出するずれ値算出部と、前記ずれ値算出部が算出する位置ずれ値に基づいて、予め設定された各ワークの加工手順に関する複数種類の加工方法の中から前記位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択する加工方法選択部と、前記各ワークの位置ずれを補正する前記加工テーブルの移動量の補正値を前記加工方法選択部が選択した加工方法に応じて設定する補正値設定部と、前記加工方法選択部が選択した加工方法で前記補正値設定部が前記加工方法に応じて設定した補正値を用いて前記加工テーブル上の２つのワークを加工する際の加工制御を行なう加工制御部と、を備え、前記加工方法選択部は、前記加工テーブル上の何れかのワークが前記ｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外であってかつ前記加工テーブル上の各ワーク間の位置ずれ値の差と予め設定しておいた所定値とを比較した場合に前記位置ずれ値の差が前記所定値よりも小さい場合は、前記加工テーブル上の全ワークに前記レーザビームを同時照射して前記加工テーブル上の全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を前記複数種類の加工方法の中から選択し、前記補正値設定部は、前記加工方法選択部が前記同時加工方法を選択した場合には、前記加工テーブル上の全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう前記補正値を設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかるレーザ加工装置は、算出した位置ずれ値に基づいて、予め設定された各ワークの加工手順に関する複数種類の加工方法の中から位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択するとともに、加工テーブル上の何れかのワークがｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外であってかつ加工テーブル上の各ワーク間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さい場合には、加工テーブル上の全ワークが各ワークに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう補正値を設定し加工テーブル上の全ワークにレーザビームを同時照射して加工テーブル上の全ワークの同時加工を行なう同時加工方法を選択するので、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１２】
実施の形態
図１は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工システムの構成を示す図である。レーザ加工システム１０１は、ワーク（被加工物）にレーザ加工を行なうレーザ加工機構１、レーザ加工機構１へのワークの搬入を行なうワーク搬入装置９、レーザ加工機構１からワークの搬出を行なうワーク搬出装置１１、ワークの位置決めを行なうワーク位置決め装置１２を備えている。
【００１３】
レーザ加工機構１は、複数のレーザ照射軸から各レーザ照射軸に対応するｆθレンズ（加工ヘッド）を介して複数のレーザビームを同時照射し、１つの加工テーブル上に載置された複数のワークを同時にレーザ加工する機能を有している。レーザ加工機構１は、レーザ発振器１３、ミラー２Ａ，２Ｂ，２Ｘ、ビームシャッター３Ａ，３Ｂ、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ、加工ヘッド６Ａ，６Ｂ、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂ、ワーク８Ａ，８Ｂを載せる加工テーブル１０を備えている。
【００１４】
レーザ発振器１３は、所定のタイミングでレーザビームを出射（発生）し、ミラー２Ｘへ入射させる。ミラー２Ａ，２Ｂ，２Ｘは、レーザ発振器１３から出射されるレーザビームを反射して所定の光路へ導く。ミラー２Ｘは、レーザ発振器１３からのレーザビームを反射して、ミラー２Ａ，２Ｂへ入射する。ミラー２Ａ，２Ｂは、ミラー２Ｘからのレーザビームを反射して、それぞれビームシャッター３Ａ，３Ｂへ入射させる。ビームシャッター３Ａ，３Ｂは、必要に応じてそれぞれミラー２Ａ，２Ｂからのレーザービームを遮断したり通過させたりする。
【００１５】
ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂは、レーザビームを任意の角度にスキャニングして、レーザビームを所定の光路へ導く。ガルバノミラー４Ａ，５Ａは、ビームシャッター３Ａを通過したミラー２Ａからのレーザビームを加工ヘッド６Ａに入射させる。ガルバノミラー４Ｂ，５Ｂは、ビームシャッター３Ｂを通過したミラー２Ｂからのレーザビームを加工ヘッド６Ｂに入射させる。
【００１６】
加工ヘッド６Ａ，６Ｂは、それぞれｆθレンズを備えており、ガルバノミラー５Ａ，５Ｂを介して入射するレーザビームを、それぞれワーク８Ａ，８Ｂに対して垂直に入射するよう補正して出射する。
【００１７】
加工テーブル１０は、ワーク８Ａ，８Ｂを載置するとともに、ＸＹ方向に移動する。ワーク８Ａ，８Ｂは、それぞれ加工ヘッド６Ａ，６Ｂから出斜されるレーザビームによってレーザ加工が行なわれる。ここでのワーク８Ａ，８Ｂは、同一の加工テーブル１０に載置され、ワーク８Ａ，８Ｂで同じ加工パターンのレーザ加工が行なわれる。
【００１８】
ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂは、加工テーブル１０に対するワーク８Ａ，８Ｂの位置を撮像する画像の撮像手段である。ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂが撮像したワーク８Ａ，８Ｂの位置は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置ずれ量（位置ずれ値）を判定する際に用いられる。
【００１９】
ワーク位置決め装置１２は、レーザ加工機構１へワーク８Ａ，８Ｂの搬入を行なう前に、ワーク８Ａ，８Ｂの板端などを所定の位置に位置決め（位置を修正）する装置である。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２で位置決めの行なわれたワーク位置決め装置１２上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて、レーザ加工機構１の加工テーブル１０に搬入する。ワーク搬出装置１１は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて、レーザ加工機構１の外部へ搬出する。
【００２０】
つぎに、実施の形態に係るレーザ加工装置の構成について説明する。図２は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。レーザ加工装置１００は、加工テーブルの位置補正、ガルバノミラーの調整を行なってワークのレーザ加工を行なう装置であり、加工プログラム記憶部２２、位置検出部２３、ずれ量表示部２４、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７、制御部（加工制御部）２１を備えている。なお、ここではレーザ加工機構１の図示を省略している。
【００２１】
加工プログラム記憶部２２は、レーザ加工装置１００（レーザ加工機構１）がワーク８Ａ，８Ｂのレーザ加工を行なう際に用いる加工プログラムを記憶する。加工プログラム記憶部２２は、制御部２１と接続しており、ワーク８Ａ，８Ｂのレーザ加工を行なう際に、制御部２１によって加工プログラムが読み出される。
【００２２】
位置検出部２３は、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂが撮像したワーク８Ａ，８Ｂの画像に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置を検出する。位置検出部２３は、検出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置（位置情報）を制御部２１に入力する。
【００２３】
制御部２１は、加工プログラム記憶部２２が記憶する加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７への制御指示情報を作成する。本実施の形態では、制御部２１が位置検出部２３から送られるワーク８Ａ，８Ｂの位置情報に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工方法（２枚同時に加工する同時加工方法、１枚ずつ個別に加工する個別加工方法など）を決定する。制御部２１は、同時加工処理部３１、個別加工処理部３２、ずれ量算出部（ずれ値算出部、補正値設定部）３３、ずれ量判定部（加工方法選択部、加工方法設定部）３４を備えている。
【００２４】
ずれ量算出部３３は、ワーク８Ａ，８Ｂが加工テーブル１０にセットされて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工を開始する際に、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量（基準となるセット位置に対するずれ量）を算出する。ずれ量算出部３３は、位置検出部２３から送られるワーク８Ａ，８Ｂの位置情報を用いて、ワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量を算出し、算出結果（位置ずれ量）をずれ量判定部３４に送信する。
【００２５】
ずれ量判定部３４は、ずれ量算出部３３から受信したワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量に基づいて、加工テーブル１０による位置補正やガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によって、ワーク８Ａ，８Ｂの位置を補正できるか否かを判定（補正判定）する。
【００２６】
ずれ量判定部３４は、補正判定の判定結果などに基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順を決定する。ずれ量判定部３４は、各ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対するずれ量が加工プログラムで規定された所定の値以下である場合は、同時加工処理部３１を選択してワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を指示する。ずれ量判定部３４は、各ワークの加工テーブル１０に対するずれ量が加工プログラムで規定された所定の値より大きい場合は、個別加工処理部３２を選択してワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理を指示する。ずれ量判定部３４は、例えばワーク８Ａ，８Ｂを２枚同時に加工すると判定した場合に、同時加工処理部３１にワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を指示し、例えばワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工すると判定した場合に、個別加工処理部３２にワーク８Ａ，８Ｂの１枚ずつの加工処理を指示する。
【００２７】
同時加工処理部３１は、ずれ量判定部３４からの指示に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報、ワーク８Ａ，８Ｂの位置補正量（同時加工する際の加工テーブル１０やミラー２Ａ，２Ｂの位置データ）（加工テーブル１０の移動量の補正値）を生成する。同時加工処理部３１は、同時位置補正処理部４１と同時加工処理指示部４２を備えている。同時位置補正処理部４１は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための加工テーブル１０の位置とミラー２Ａ，２Ｂの位置の補正データ（位置補正量）を算出（生成）する。同時加工処理指示部４２は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報を生成する。同時位置補正処理部４１が算出した位置補正量、同時加工処理指示部４２が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７に入力される。
【００２８】
同時加工処理指示部４２は、ビーム照射制御部２７に同時加工を指示する情報を出力することによって、ビーム照射制御部２７にビームシャッター３Ａ，３Ｂを開かせ、両ステージ（ワーク８Ａ，８Ｂ）の同時加工を実施する。
【００２９】
個別加工処理部３２は、ずれ量判定部３４からの指示に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための制御指示情報、ワーク８Ａ，８Ｂの位置補正量（個別処理する際の加工テーブル１０やミラー２Ａ，２Ｂの位置データ）をワーク８Ａ，８Ｂ毎に生成する。個別加工処理部３２は、個別位置補正処理部４３と個別加工処理指示部４４を備えている。個別位置補正処理部４３は、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための加工テーブル１０の位置とミラー２Ａ，２Ｂの位置の補正データ（位置補正量）を算出（生成）する。個別加工処理指示部４４は、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための制御指示情報を生成する。個別位置補正処理部４３が算出した位置補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、個別処理するワークの順番でテーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７に入力される。
【００３０】
個別加工処理部３２は、ビーム照射制御部２７に個別加工を指示する情報を出力することによって、ビーム照射制御部２７にビームシャッター３Ａ，３Ｂの何れか一方を開かせ、ワーク８Ａ，８Ｂの個別加工を実施する。
【００３１】
テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７は、制御部２１からの制御指示情報や位置補正量に基づいてレーザ加工機構１を制御する。テーブル制御部２５は、加工テーブル１０の移動（位置）に関する制御を行なう。ミラー制御部２６は、ミラー２Ａ，２Ｂ，２Ｘ、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂなどを制御して、ワーク８Ａ，８Ｂへ出斜するレーザビームの光路を調整する。ビーム照射制御部２７は、レーザ発振器１３、ビームシャッター３Ａ，３Ｂを制御してワーク８Ａ，８Ｂへ出射するレーザビーム（出斜タイミング、出力）の調整を行なう。
【００３２】
ずれ量表示部２４は、液晶モニタなどの情報の表示手段を有しており、ずれ量算出部３３が算出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対するずれ量や、ワーク８Ａ，８Ｂの加工状態などを表示する。
【００３３】
つぎに、実施の形態に係るレーザ加工装置の動作手順について説明する。図３は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工システムの動作手順を示すフローチャートである。レーザ加工システム１０１において、ワーク８Ａ，８Ｂのレーザ加工を開始すると、まずワーク８Ａ，８Ｂがワーク位置決め装置１２上で位置決めされる。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされたワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて加工テーブル１０に搬入（セット）する。
【００３４】
制御部２１のずれ量算出部３３は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出し（ステップＳ１０）、算出結果をずれ量判定部３４に送信する。ずれ量判定部３４は、ずれ量算出部３３から受信したワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量に基づいて、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂが加工範囲内となるか否か（ワーク８Ａ，８Ｂがそれぞれ加工ヘッド６Ａ，６Ｂのｆθレンズで加工可能な範囲であるか否か）を判定する（ステップＳ２０）。
【００３５】
ここで、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂが加工範囲内となるか否かの判定処理について説明する。図４および図５は、ガルバノミラーの調整によってワークが加工範囲内となるか否かの判定処理を説明するための図である。
【００３６】
ここでは、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となるか否かの判定について説明する。図４および図５では、ｆθレンズによって加工可能な範囲を加工範囲５２Ａで示し、ワーク８Ａの加工パターンを加工パターン５１Ａで示している。図４では、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となる場合を示しており、図５では、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整ではワーク８Ａが加工範囲内とならない場合を示している。
【００３７】
図４では、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっているため、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となる。一方、図５では、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっていないため、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整だけではワーク８Ａは加工範囲内とならない。
【００３８】
ワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズで加工可能な範囲内である場合（ステップＳ２０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、同時加工処理部３１にワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理（２枚の同時加工処理）を指示する。
【００３９】
同時加工処理部３１の同時加工処理指示部４２は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報を生成し、ミラー制御部２６に送信する。ミラー制御部２６は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂを調整（補正処理）する（ステップＳ３０）。
【００４０】
この後、レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用い、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御しながらワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行う（ステップＳ４０）。
【００４１】
一方、ワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズで加工可能な範囲外である場合（ステップＳ２０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、ずれ量算出部３３から受信したワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量に基づいて、加工テーブル１０の移動（ワーク８Ａ，８Ｂの位置補正）（テーブル位置補正）によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内となるか否か（加工テーブル１０でワーク８Ａ，８Ｂの位置補正が可能か否か）を判定する。すなわち、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ値の差が所定値よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ５０）。
【００４２】
本実施の形態では、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂの両方が加工範囲内となれば、ワーク８Ａ，８Ｂはｆθレンズで加工可能な範囲内であると判断する。図６は、ガルバノミラーの調整だけでは２つのワークが加工範囲内とならない場合の一例を示す図である。
【００４３】
図６では、ガルバノミラー４Ａ，５Ａで調整可能な加工範囲を加工範囲５２Ａで示し、ガルバノミラー４Ｂ，５Ｂで調整可能な加工範囲を加工範囲５２Ｂで示している。また、ワーク８Ａの加工パターンを加工パターン５１Ａで示し、ワーク８Ｂの加工パターンを加工パターン５１Ｂで示している。
【００４４】
ここでは、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっているため、ガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によってワーク８Ａが加工範囲内となる。一方、加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まっていないため、ガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整だけではワーク８Ｂは加工範囲内とならない。したがって、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整によってワーク８Ａ，８Ｂの両方を加工範囲内とすることはできず、ワーク８Ａ，８Ｂはｆθレンズによって加工可能な範囲内ではないと判断される。
【００４５】
ここで、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内となるか否かの判定処理の概念について説明する。図７および図８は、加工テーブルによるワークの位置補正の概念を説明するための図である。
【００４６】
図７では、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのうち、一方の加工パターン（ここでは加工パターン５１Ｂ）の最端部（加工パターンの右上の角部分）が、加工パターンに対応する加工エリア（ここでは加工範囲５２Ｂ）の最端部（加工エリアの右上の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なった場合を示している。このように加工テーブル１０を位置補正すると、加工パターン５１Ｂの移動に伴って加工パターン５１Ａも移動する。
【００４７】
本実施の形態では、例えば加工パターン５１Ｂの最端部が、加工範囲５２Ｂの最端部と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なった場合（加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まっている場合）に、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まれば、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。
【００４８】
図７に示すワーク８Ａ，８Ｂの位置補正の場合、加工パターン５１Ｂの最端部を加工範囲５２Ｂの最端部に重ねた場合に、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まっているので、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。
【００４９】
なお、ここでは、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの右上の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの右上の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう場合について説明したが、加工パターン５１Ｂと加工範囲５２Ｂは他の位置で重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なってもよい。例えば、加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａのずれ方向に応じて、加工パターン５１Ｂと加工範囲５２Ｂを重ねる位置補正を決定する。
【００５０】
加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａが、図内で右上方向にずれている場合、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの左下の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの左下の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう。
【００５１】
また、加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａが、図内で左上方向にずれている場合、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの右下の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの右下の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう。
【００５２】
また、加工範囲５２Ａに対する加工パターン５１Ａが、図内で右下方向にずれている場合、加工パターン５１Ｂの最端部のうち、加工パターンの左上の角部分が加工範囲５２Ｂの最端部（加工エリアの左上の角部分）と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう。
【００５３】
また、ここでは、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのうち、加工パターン５１Ｂの最端部が、加工範囲５２Ｂの最端部と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なう場合について説明したが、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのうち、加工パターン５１Ａの最端部が、加工範囲５２Ａの最端部と重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なってもよい。
【００５４】
また、図８では、２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ位置の中点（ずれ位置の平均値）を用いて加工テーブル１０による位置補正を行なった場合を示している。換言すると、加工範囲５２Ａ，５２Ｂの中点と加工パターン５１Ａ，５１Ｂの中点が重なるよう加工テーブル１０による位置補正を行なっている。すなわち、ビーム照射の狙い位置（加工範囲５２Ａ，５２Ｂの中心位置）からの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ量（座標）を算出し、そのずれ量の平均値を算出する。そして、各加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ量が、算出した平均値の値と等しくなるよう、加工テーブル１０の位置を移動させて位置補正を行なう。
【００５５】
例えば、加工範囲５２Ａの中心位置を原点座標（０，０）とした場合に、加工テーブル１０による位置補正前の加工パターン５１Ａの中心が座標（ａ１，ａ２）であり、加工範囲５２Ｂの中心位置を原点座標（０，０）とした場合に、加工テーブル１０による位置補正前の加工パターン５１Ｂの中心が座標（ｂ１，ｂ２）である場合、加工範囲５２Ａ，５２Ｂに対する加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ量（座標）の平均値は、ｘ座標が（ａ１＋ｂ１）／２であり、ｙ座標が（ａ２＋ｂ２）／２である。したがって、この場合、加工パターン５１Ａ，５１Ｂの各中心が（（ａ１＋ｂ１）／２，（ａ２＋ｂ２）／２）となるよう、加工テーブル１０を移動させて加工パターン５１Ａ，５１Ｂの位置補正を行なう。このように加工テーブル１０を位置補正すると、加工パターン５１Ａ，５１Ｂの両方がそれぞれ加工範囲５２Ａ，５２Ｂの領域上で移動する。
【００５６】
本実施の形態では、例えば２つの加工パターン５１Ａ，５１Ｂのずれ位置の中点に基づいて加工テーブル１０を移動させ、加工パターン５１Ａ，５１Ｂの位置補正を行なった場合に、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まり、加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まれば、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。
【００５７】
図８に示すワーク８Ａ，８Ｂの位置補正の場合、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まり、加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まっているので、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。
【００５８】
すなわち、本実施の形態では、加工範囲５２Ａ内に全ての加工パターン５１Ａが収まり、かつ加工範囲５２Ｂ内に全ての加工パターン５１Ｂが収まるよう、加工テーブル１０による位置補正ができれば、加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内になると判断する。
【００５９】
加工テーブル１０による位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂが加工範囲内となる場合（ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量の差が所定値よりも小さい場合）（ステップＳ６０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、同時加工処理部３１にワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を指示する。
【００６０】
同時加工処理部３１の同時加工処理指示部４２は、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工処理するための制御指示情報を生成し、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に送信する。テーブル制御部２５は、ワーク８Ａ，８Ｂの位置がガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの調整で加工可能な範囲となるよう、加工テーブル１０の位置を調整（補正処理）する。また、ミラー制御部２６は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂを調整する（ステップＳ３０）。
【００６１】
ここで、加工テーブル１０によるワーク８Ａ，８Ｂの位置補正値の算出方法について説明する。まず、ワーク８Ａ，８Ｂをガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂの補正（調整）によってレーザ加工可能か否かの判断方法について説明する。
【００６２】
レーザ加工装置１００でレーザ加工されるワーク８Ａ，８Ｂは、ワーク形成の工程や周囲環境の変化によって、ワーク８Ａ，８Ｂ上のパターンが設計値から伸縮ずれ、オフセットずれ、回転ずれ、直角度ずれ、台形ずれ等のパターン形状のずれを発生させてしまう。
【００６３】
このようなずれが発生する場合であっても、ずれ量を考慮して精度良くレーザ加工を実施するため、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂで加工テーブル１０に載置されたワーク８Ａ，８Ｂの位置決めマークを検出し、ワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれを補正する必要がある。
【００６４】
ワークが１枚だけの場合、目標位置（Ｘ，Ｙ）に対するずれ補正後（パターン形状に対数補正後）のレーザ加工位置（Ｘ'、Ｙ'）を従来の方法で算出すると、例えば、回転ずれ、伸縮ずれ、オフセットずれは、式（１）および式（２）で示すことができる。なお、ここでのＰ１１〜Ｐ１３，Ｐ２１〜Ｐ２３は、任意の補正係数である。
Ｘ'＝Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３・・・（１）
Ｙ'＝Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３・・・（２）
【００６５】
また、例えばワーク８Ａ，８Ｂの２枚のワークがある場合、各ワーク８Ａ，８Ｂにおける共通の目標位置（Ｘ，Ｙ）に対して、各ワーク８Ａ，８Ｂの補正式（補正座標）が求まる。ワーク８Ａの補正後の座標を（Ｘ'ｐ、Ｙ'ｐ）、ワーク８Ｂの座標を（Ｘ'ｑ、Ｙ'ｑ）とすると、ワーク８Ａ，８Ｂの補正式は式（３）〜式（６）で示すことができる。なお、ここでのＰ１１〜Ｐ１３，Ｐ２１〜Ｐ２３、Ｑ１１〜Ｑ１３，Ｑ２１〜Ｑ２３は、任意の補正係数である。
Ｘ'ｐ＝Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３・・・（３）
Ｙ'ｐ＝Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３・・・（４）
Ｘ'ｑ＝Ｑ１１Ｘ＋Ｑ１２Ｙ＋Ｑ１３・・・（５）
Ｙ'ｑ＝Ｑ２１Ｘ＋Ｑ２２Ｙ＋Ｑ２３・・・（６）
【００６６】
目標位置のＸ、Ｙの成分は、ガルバノミラー位置座標（Ｘｍ、Ｙｍ）とテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）との和で表すことができる。ガルバノミラー４Ａ，５Ａとガルバノミラー４Ｂ，５Ｂは、ワーク８Ａとワーク８Ｂで独立しているが、加工テーブル１０はワーク８Ａとワーク８Ｂで共通である。このため、各ワーク８Ａ，８Ｂに対応するガルバノミラー位置を用いてテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）に対する補正を行なう必要がある。式（３）〜式（６）をテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）に対して補正すると、式（７）〜式（１０）となる。
【００６７】
なお、ここでのＸ'ｐｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｘ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＸ成分）であり、Ｙ'ｐｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｙ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＹ成分）である。また、Ｘ'ｑｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｘ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＸ成分）であり、また、Ｙ'ｑｍは、加工テーブル１０のテーブル位置（Ｙ成分）を用いて補正したガルバノミラー座標（ワーク８ＡのＹ成分）である。
Ｘ'ｐｍ＝Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３−Ｘｔ・・・（７）
Ｙ'ｐｍ＝Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３−Ｙｔ・・・（８）
Ｘ'ｑｍ＝Ｑ１１Ｘ＋Ｑ１２Ｙ＋Ｑ１３−Ｘｔ・・・（９）
Ｙ'ｑｍ＝Ｑ２１Ｘ＋Ｑ２２Ｙ＋Ｑ２３−Ｙｔ・・・（１０）
【００６８】
ｆθレンズによって加工できる加工範囲の広さ（１辺がｆＬ四方のエリア）は固定されている。したがって、ｆθレンズの加工範囲（１辺ｆＬ）と補正後のガルバノミラー座標（式（７）〜式（１０）で示したＸ'ｐｍ、Ｙ'ｐｍ、、Ｘ'ｑｍ、Ｙ'ｑｍ））の差は、式（１１）〜式（１４）を用いて算出できる。なお、ここでのＷｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、ｆθレンズの加工範囲と補正後のガルバノミラー座標の差を示すものであり、これらの値が全て正の場合に、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工することが可能となる。
Ｗｐｘ＝ｆＬ／２−｜Ｐ１１Ｘ＋Ｐ１２Ｙ＋Ｐ１３−Ｘｔ｜・・・（１１）
Ｗｐｙ＝ｆＬ／２−｜Ｐ２１Ｘ＋Ｐ２２Ｙ＋Ｐ２３−Ｙｔ｜・・・（１２）
Ｗｑｘ＝ｆＬ／２−｜Ｑ１１Ｘ＋Ｑ１２Ｙ＋Ｑ１３−Ｘｔ｜・・・（１３）
Ｗｑｙ＝ｆＬ／２−｜Ｑ２１Ｘ＋Ｑ２２Ｙ＋Ｑ２３−Ｙｔ｜・・・（１４）
【００６９】
しかしながら、目標位置に対してレーザ照射する位置のずれ量が大きい場合、ガルバノミラーによる補正（照射位置の補正）だけでは、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できない場合がある。そこで、本実施の形態では、ｆθレンズによって加工可能な範囲を最大限に活用するため、加工テーブル１０によってワーク８Ａ，８Ｂの位置を補正する。
【００７０】
つぎに、加工テーブル１０によるワーク８Ａ，８Ｂの位置補正値の算出方法について説明する。目標位置（Ｘ，Ｙ）は、ガルバノミラー位置座標（Ｘｍ、Ｙｍ）とテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）との和で表すことができる。目標位置（Ｘ，Ｙ）に対する補正後のレーザ加工位置（Ｘ'，Ｙ'）を、ガルバノミラー位置座標（Ｘｍ、Ｙｍ）とテーブル位置（Ｘｔ、Ｙｔ）との和で表すと、式（１５）、式（１６）となる。
Ｘ'＝Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（１５）
Ｙ'＝Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（１６）
【００７１】
なお、ここでのＰｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）は、ミラー位置での補正座標（ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂによって補正された場合の座標）であり、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、テーブル位置での補正座標（加工テーブル１０によって補正された場合の座標）である。Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、それぞれ以下の式（１７）〜式（２０）の関係を有している。
Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｘｍ＋（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｙｍ・・・（１７）
Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｘｔ＋（Ｐ１１＋Ｐ１２）Ｙｔ＋Ｐ１３・・・（１８）
Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｘｍ＋（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｙｍ・・・（１９）
Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｘｔ＋（Ｐ２１＋Ｐ２２）Ｙｔ＋Ｐ２３・・・（２０）
【００７２】
ワーク８Ａとワーク８Ｂの２枚のワークが加工テーブル１０にセットされる場合、各ワーク８Ａ，８Ｂにおける共通の目標位置（Ｘ，Ｙ）に対して、各ワーク８Ａ，８Ｂそれぞれの補正式が求まる。ワーク８Ａ，８Ｂの補正後のレーザ加工位置は、式（２１）〜式（２４）で示すことができる。
Ｘ'ｐ＝Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２１）
Ｙ'ｐ＝Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２２）
Ｘ'ｑ＝Ｑｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２３）
Ｙ'ｑ＝Ｑｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＋Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（２４）
【００７３】
なお、ここでのＸ'ｐ、Ｙ'ｐがワーク８Ａの補正後のレーザ加工位置（Ｘ成分とＹ成分）であり、Ｘ'ｑ、Ｙ'ｑがワーク８Ｂの補正後のレーザ加工位置（Ｘ成分とＹ成分）である。
【００７４】
また、ここでのＰｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）は、ミラー位置での補正座標（ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂによって補正された場合の座標）であり、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、テーブル位置での補正座標（加工テーブル１０によって補正された場合の座標）である。Ｐｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）、Ｐｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）、Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）は、それぞれ前述の式（１７）〜式（２０）および以下の式（２５）〜式（２８）の関係を有している。
【００７５】
Ｑｘ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｘｍ＋（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｙｍ・・・（２５）
Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｘｔ＋（Ｑ１１＋Ｑ１２）Ｙｔ＋Ｑ１３・・・（２６）
Ｑｙ（Ｘｍ，Ｙｍ）＝（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｘｍ＋（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｙｍ・・・（２７）
Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）＝（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｘｔ＋（Ｑ２１＋Ｑ２２）Ｙｔ＋Ｑ２３・・・（２８）
【００７６】
レーザ加工装置１００では、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂは各ワーク８Ａ，８Ｂに独立した軸に配設されており、ワーク８Ａ，８Ｂ毎に位置決めすることができる。加工テーブル１０は、ワーク８Ａ，８Ｂに共通の軸に配設されており、加工テーブル１０のテーブル位置はワーク８Ａ，８Ｂで共通とする必要がある。
【００７７】
例えば、テーブル位置をワーク８Ａを基準とした場合、ワーク８Ｂ側では、ワーク８Ａ側のガルバノミラー位置座標に、式（２１）〜式（２４）のテーブル補正を考慮する必要がある。したがって、加工テーブル１０の移動によって、ワーク８Ａのずれ量が０となるよう位置補正すると、Ｗｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、式（２９）〜式（３２）で算出できる。なお、ここでのＷｑｘ、Ｗｑｙは、ワーク８Ａに対するワーク８Ｂのずれ量である。
Ｗｐｘ＝０・・・（２９）
Ｗｐｙ＝０・・・（３０）
Ｗｑｘ＝Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（３１）
Ｗｑｙ＝Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）・・・（３２）
【００７８】
すなわち、加工テーブル１０による位置補正（移動）をワーク８Ａのずれ量を基準とすると、ｆθレンズとワーク８Ｂの加工パターンのずれ量は、ワーク８Ｂ単独のずれ量とワーク８Ａ単独のずれ量の和になる。
【００７９】
ワーク８Ｂ側のずれ量（Ｗｑｘ，Ｗｑｙ）が所定値よりも大きい場合、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できないので、ｆθレンズの加工範囲に収まるよう、Ｗｑｘ、Ｗｑｙとｆθレンズによる加工範囲ｆＬの差を再算出して加工テーブル１０を移動させる。例えば、Ｗｑｘ，Ｗｑｙが正の方向にｆθレンズの加工範囲を超えた場合、Ｗｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、式（３３）〜式（３６）によって算出される。
Ｗｐｘ＝ｆＬ／２−（Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））・・・（３３）
Ｗｐｙ＝ｆＬ／２−（Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））・・・（３４）
Ｗｑｘ＝ｆＬ／２・・・（３５）
Ｗｑｙ＝ｆＬ／２・・・（３６）
【００８０】
この場合、加工テーブル１０の位置は、（Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｗｐｘ，Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｗｐｙ）となる。また、ワーク８Ａとワーク８Ｂの加工テーブル１０の移動によって補正されるワーク８Ａ，８Ｂのずれ量（ずれた座標位置）の完全な中間点（（Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）＋Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））/２，（Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）＋Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））/２）を基準としてワーク８Ａ，８Ｂのずれ量を再算出してもよい。この場合、Ｗｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙは、式（３７）〜式（４０）によって算出される。
Ｗｐｘ＝（Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（３７）
Ｗｐｙ＝（Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（３８）
Ｗｑｘ＝（Ｑｘ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｘ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（３９）
Ｗｑｙ＝（Ｑｙ（Ｘｔ，Ｙｔ）−Ｐｙ（Ｘｔ，Ｙｔ））／２・・・（４０）
【００８１】
この場合、算出したＷｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙに、ガルバノミラーによってレーザ照射位置の補正を行い、レーザ加工を行う。ここでのＷｐｘ、Ｗｐｙは、ワーク８Ａ，８Ｂの中点に対するワーク８Ａのずれ量であり、Ｗｑｘ、Ｗｑｙはワーク８Ａ，８Ｂの中点に対するワーク８Ｂのずれ量である。このように、式（３３）〜式（３６）または式（３７）〜式（４０）によって算出されるＷｐｘ、Ｗｐｙ、Ｗｑｘ、Ｗｑｙの値が、ワーク８Ａ，８Ｂ間のずれ量となる。
【００８２】
加工テーブル１０の位置とガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂを調整した後、レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用い、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御しながらワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行う（ステップＳ４０）。
【００８３】
加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂが同時に加工範囲内とならない場合（ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量の差が所定値よりも大きい場合）（ステップＳ６０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工するか否かを判断する。
【００８４】
レーザ加工装置１００へは、加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂが同時に加工範囲内とならない場合にワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工するか否かを予め設定しておく。ワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行わない場合にワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工することがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ７０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工すると判断する。ずれ量判定部３４は、個別加工処理部３２にワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理（１枚ずつの加工処理）を指示する。
【００８５】
個別加工処理部３２の個別加工処理指示部４４は、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ個別に加工処理するための制御指示情報を生成し、個別位置補正処理部４３はワーク８Ａ，８Ｂの位置補正量（個別処理する際の各位置補正量）を生成する。個別位置補正処理部４３が算出した位置補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に入力される。
【００８６】
テーブル制御部２５、ミラー制御部２６は、位置補正量に基づいて加工テーブル１０、ガルバノミラー４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂなどを調整する。レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御し、ワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理を行う（ステップＳ８０）。
【００８７】
ワーク８Ａ，８Ｂの同時加工処理を行わない場合にワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しないことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ７０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なうか否かを判断する（ステップＳ９０）。
【００８８】
レーザ加工装置１００へは、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できずワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しない場合に、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なうか否かを予め設定しておく。
【００８９】
ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できず、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しない場合に、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なうことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ９０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理（再搬入）を行うと判断する。ずれ量判定部３４は、ワーク搬出装置１１、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理を指示し、ワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理を行わせる。これにより、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への再セット処理が行われる（ステップＳ１００）。
【００９０】
ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への再セット処理の後、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ１０の処理に戻って、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出する。以下、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ２０以降の処理を繰り返す。
【００９１】
一方、ワーク８Ａ，８Ｂを同時加工できず、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工しない場合に、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわないことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ９０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、レーザ加工装置１００の停止処理を行うか否かを判断する（ステップＳ１１０）。
【００９２】
レーザ加工装置１００へは、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわない場合に、レーザ加工装置１００の停止処理を行うか否かを予め設定しておく。加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわない場合にはレーザ加工装置１００の停止処理を行うことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ１１０、Ｙｅｓ）、ずれ量判定部３４は、レーザ加工装置１００の停止処理を行わせる（ステップＳ１２０）。このとき、レーザ加工装置１００は、異常停止を通知するためのアラームを出力してもよい。
【００９３】
一方、加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セットを行なわない場合であってもレーザ加工装置１００の停止処理を行わないことがレーザ加工装置１００に設定されている場合（ステップＳ１１０、Ｎｏ）、ずれ量判定部３４は、加工テーブル１０へ次のワークのセット処理を行うと判断する。ずれ量判定部３４は、ワーク搬出装置１１、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０への次のワークのセット処理を指示し、次のワークのセット処理を行わせる。これにより、ワーク８Ａ，８Ｂが加工テーブル１０から搬出され、次のワークのセット処理が行われる（ステップＳ１３０）。
【００９４】
ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への次のワークのセット処理の後、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ１０の処理に戻って、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出する。以下、レーザ加工システム１０１は、ステップＳ２０以降の処理を繰り返す。
【００９５】
つぎに、図３で説明したレーザ加工装置１００の動作手順を詳細に説明する。まず、制御部２１によるずれ量算出処理（加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量の算出処理）について説明する。
【００９６】
図９は、ずれ量算出処理の詳細手順を示すフローチャートである。ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂは、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂの画像を撮像し（ステップＳ２１０）、撮像した画像を位置検出部２３に送る。位置検出部２３は、ワーク位置検出カメラ７Ａ，７Ｂが撮像したワーク８Ａ，８Ｂの画像に基づいて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置（ワーク位置）を検出する（ステップＳ２２０）。位置検出部２３は、検出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０に対する位置情報を制御部２１に入力する。
【００９７】
制御部２１のずれ量算出部３３は、位置検出部２３から送られるワーク８Ａ，８Ｂの位置情報を用いて、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を算出し（ステップＳ２３０）、算出結果をずれ量判定部３４に送信する。
【００９８】
つぎに、レーザ加工装置１００がワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ処理する際の処理手順（ステップＳ８０）について説明する。図１０は、ワークを１枚ずつ処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【００９９】
レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク８Ａ，８Ｂの加工手順として、ワーク８Ａ，８Ｂを１枚ずつ加工すると判断した場合、個別加工処理部３２にワーク８Ａ，８Ｂの個別加工処理（１枚ずつの加工処理）を指示する。
【０１００】
個別加工処理部３２の個別加工処理指示部４４は、まずワーク８Ａを個別に加工処理するための制御指示情報を生成し、個別位置補正処理部４３はワーク８Ａの位置補正量（個別処理する際のテーブル位置補正量）とガルバノミラー４Ａ，５Ａの補正量を生成する。
【０１０１】
ここでのテーブル制御部２５は、ワーク８Ａの加工パターン５１Ａがガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整で加工可能な範囲となっていない場合に、テーブル位置補正量を生成する。個別位置補正処理部４３が算出したテーブル位置補正量やガルバノミラー４Ａ，５Ａの補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に入力される。
【０１０２】
ワーク８Ａの加工パターン５１Ａがガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整で加工可能な範囲となっていない場合には、加工パターン５１Ａがガルバノミラー４Ａ，５Ａの調整によって加工可能な範囲となるよう、テーブル制御部２５によってテーブル位置補正が行なわれる（加工テーブル１０の位置調整）（ステップＳ３１０）。また、ミラー制御部２６は、ワーク８Ａの加工パターン５１Ａにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ａを調整する。
【０１０３】
レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御し、ワーク８Ａの個別加工処理を行う（ステップＳ３２０）。
【０１０４】
つぎに、個別加工処理部３２の個別加工処理指示部４４は、まずワーク８Ｂを個別に加工処理するための制御指示情報を生成し、個別位置補正処理部４３はワーク８Ｂの位置補正量（個別処理する際のテーブル位置補正量）とガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの補正量を生成する。
【０１０５】
ここでのテーブル制御部２５は、ワーク８Ｂの加工パターン５１Ｂがガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整で加工可能な範囲となっていない場合に、テーブル位置補正量を生成する。個別位置補正処理部４３が算出したテーブル位置補正量やガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの補正量、個別加工処理指示部４４が生成した制御指示情報は、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６に入力される。
【０１０６】
ワーク８Ｂの加工パターン５１Ｂがガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整で加工可能な範囲となっていない場合には、加工パターン５１Ｂがガルバノミラー４Ｂ，５Ｂの調整によって加工可能な範囲となるよう、テーブル制御部２５によってテーブル位置補正が行なわれる（加工テーブル１０の位置調整）（ステップＳ３３０）。また、ミラー制御部２６は、ワーク８Ｂの加工パターン５１Ｂにビーム照射されるよう、ガルバノミラー４Ｂを調整する。
【０１０７】
レーザ加工装置１００の制御部２１は、加工プログラム記憶部２２の加工プログラムを用いて、テーブル制御部２５、ミラー制御部２６、ビーム照射制御部２７を制御し、ワーク８Ｂの個別加工処理を行う（ステップＳ３４０）。
【０１０８】
なお、ここではワーク８Ａの個別処理を先に行ない、ワーク８Ｂの個別処理を後から行うこととしたが、ワーク８Ｂの個別処理を先に行ない、ワーク８Ａの個別処理を後から行ってもよい。
【０１０９】
つぎに、レーザ加工装置１００がワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０への再セット処理する際の処理手順（ステップＳ１００）について説明する。図１１および図１２は、加工テーブルへワークを再セット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【０１１０】
ここでは、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの両方を再セットする際の処理手順と、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの何れか一方を再セットする際の処理手順について説明する。なお、ここでは、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの何れか一方としてワーク８Ａを再セットする際の処理手順について説明する。図１１は、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの両方を再セットする際の処理手順であり、図１２は、加工テーブル１０へワーク８Ａを再セットする際の処理手順である。
【０１１１】
まず、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂ（２枚のワーク）の両方を再セットする際の処理手順（図１１）について説明する。加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの両方を再セットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へのワーク８Ａ，８Ｂの再セット処理を指示する。これにより、ワーク搬入装置９は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げてワーク位置決め装置１２に戻す（ステップＳ４１０）。
【０１１２】
ワーク位置決め装置１２では、ワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０へのずれ量が無くなるよう、位置補正して再度位置決めを行なう。このとき、ワーク位置決め装置１２は、ずれ量算出部３３が算出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を用いてワーク８Ａ，８Ｂを位置決めする。すなわち、ワーク位置決め装置１２は、再度ワーク８Ａ，８Ｂを加工テーブル１０へセット（搬入）した際に、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂが加工範囲５２Ａ，５２Ｂ内に収まるよう、所定の補正値（第１の位置決め補正値）でワーク８Ａ，８Ｂの位置決め位置を補正して位置決めを行なう（ステップＳ４２０）。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされたワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げて加工テーブル１０上に搬入（再セット）する（ステップＳ４３０）。
【０１１３】
つぎに、加工テーブル１０へワーク８Ａ（１枚のワーク）を再セットする際の処理手順（図１２）について説明する。加工テーブル１０へワーク８Ａを再セットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へのワーク８Ａの再セット処理を指示する。これにより、ワーク搬入装置９は、加工テーブル１０上のワーク８Ａを持ち上げる（ステップＳ５１０）。
【０１１４】
ずれ量判定部３４は、持ち上げたワーク８Ａと加工テーブル１０上のワーク８Ｂのずれ量が、ともにｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置補正量を算出する。ずれ量判定部３４は、位置補正量の算出結果をテーブル制御部２５に送信する。
【０１１５】
テーブル制御部２５は、ずれ量判定部３４からの位置補正量に基づいて、加工テーブル１０の位置を移動させる。ここでのテーブル制御部２５は、持ち上げたワーク８Ａと加工テーブル１０上のワーク８Ｂのずれ量が、ともにｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置を移動させる（ステップＳ５２０）。この後、ワーク搬入装置９は、持ち上げていたワーク８Ａを加工テーブル１０上に搬入（再セット）する（ステップＳ５３０）。
【０１１６】
なお、ここでは、加工テーブル１０へワーク８Ａ，８Ｂの何れか一方としてワーク８Ａを再セットする際の処理手順について説明したが、ワーク８Ｂのみを再セットすることとしてもよい。
【０１１７】
つぎに、レーザ加工装置１００が次のワークを加工テーブル１０へセット処理する際の処理手順（ステップＳ１３０）について説明する。図１３および図１４は、加工テーブルへ次のワークをセット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【０１１８】
ここでは、加工テーブル１０へ次のワークを２枚同時にセットする際の処理手順と、加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする際の処理手順について説明する。図１３は、加工テーブル１０へ次のワークを２枚同時にをセットする際の処理手順であり、図１４は、加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする際の処理手順である。
【０１１９】
まず、加工テーブル１０へ次のワークとして２枚のワークを同時にセットする際の処理手順（図１３）について説明する。加工テーブル１０へ次のワークとして２枚のワークを同時にセットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬出装置１１、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へ次のワークとして２枚のワークを同時にセットするよう指示する。これにより、ワーク搬出装置１１は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げてレーザ加工機構１外へワーク８Ａ，８Ｂを搬出する（ステップＳ６１０）。
【０１２０】
つぎに、ワーク位置決め装置１２が次のワーク（２枚）の位置決めを行なう。このとき、ワーク位置決め装置１２は、前回のワーク（ワーク８Ａ，８Ｂ）を加工テーブル１０へセットした場合に位置ずれが無くなる位置補正値で、次のワークの位置補正を行なって位置決めを行なう。ここでのワーク位置決め装置１２は、ずれ量算出部３３が算出したワーク８Ａ，８Ｂの加工テーブル１０上での位置ずれ量を用いてワーク８Ａ，８Ｂを位置決めする。すなわち、ワーク位置決め装置１２は、再度ワーク８Ａ，８Ｂを加工テーブル１０へセット（搬入）した場合に、ワーク８Ａ，８Ｂの加工パターン５１Ａ，５１Ｂが加工範囲５２Ａ，５２Ｂ内に収まる位置補正値（第２の位置決め補正値）で、次のワークの位置決めを行なう（ステップＳ６２０）。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされた次のワーク（２枚）を持ち上げて加工テーブル１０上に搬入する（ステップＳ６３０）。
【０１２１】
つぎに、加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする際の処理手順（図１４）について説明する。加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットする場合、レーザ加工装置１００のずれ量判定部３４は、ワーク位置決め装置１２、ワーク搬出装置１１、ワーク搬入装置９に加工テーブル１０へ次のワークを１枚ずつセットするよう指示する。これにより、ワーク搬出装置１１は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂを持ち上げてレーザ加工機構１外へ、ワーク８Ａ，８Ｂを搬出する（ステップＳ７１０）。
【０１２２】
つぎに、ワーク位置決め装置１２が次のワーク（１枚目および２枚目）の位置決めを行なう。このとき、ワーク位置決め装置１２は、前回のワーク（ワーク８Ａ，８Ｂ）と同様の位置補正によって、次のワークの位置決めを行なう。ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされた次のワーク（１枚目）を持ち上げて加工テーブル１０上に搬入する（ステップＳ７２０）。
【０１２３】
ずれ量判定部３４は、前回のワーク（ワーク８Ａ，８Ｂ）を加工テーブル１０へセットした場合に、前回のワーク間のずれ量がｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置補正量を算出する。ずれ量判定部３４は、位置補正量の算出結果をテーブル制御部２５に送信する
【０１２４】
テーブル制御部２５は、ずれ量判定部３４からの位置補正量に基づいて、加工テーブル１０の位置を移動させる。ここでのテーブル制御部２５は、１枚目のワークおよびこの後の２枚目のワークがｆθレンズによる加工範囲内に入るよう、加工テーブル１０の位置を移動させる（ステップＳ７３０）。この後、ワーク搬入装置９は、ワーク位置決め装置１２によって位置決めされた次のワーク（２枚目）を持ち上げて加工テーブル１０上に搬入する（ステップＳ７４０）。
【０１２５】
なお、本実施の形態では、レーザ加工装置１００が２枚のワークを加工する場合について説明したが、レーザ加工装置１００は３枚以上のワークを加工してもよい。この場合も、ワーク間のずれ位置の差が所定値以下であれば、加工テーブル１０を移動させて３枚以上のワークの同時加工を行なう。また、予め設定した条件に基づいて、１枚ずつの加工、再加工処理、次のワークの加工処理などを行う。
【０１２６】
また、本実施の形態では、ワークのずれ位置に応じて種々の加工方法でワークをレーザ加工する場合について説明したが、他の加工装置がワークのずれ位置に応じて種々の加工方法でワークを加工してもよい。
【０１２７】
このように実施の形態によれば、算出した位置ずれ値に基づいて、予め設定された複数種類の加工方法の中から位置ずれ値に応じたワークの加工方法を選択し、選択した加工方法を用いてワークのレーザ加工を行なうので、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１２８】
また、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂの何れかがｆθレンズを介してレーザ加工できる領域外（加工範囲外）であって、かつ加工テーブル１０上の各ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量（位置ずれ値）の差が所定値よりも小さい場合（テーブル位置補正によってワーク８Ａ，８Ｂがともに加工範囲内となる場合）は、加工テーブル１０上のワーク８Ａ，８Ｂがそれぞれに対応するｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう加工テーブル１０の位置補正量を設定し、加工テーブル１０上の全てのワーク８Ａ，８Ｂにレーザビームを同時照射して加工テーブル１０上の全てのワーク８Ａ，８Ｂの同時加工を行なうので、位置ずれ量の差が所定値よりも小さい場合、複数のワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能となる。これにより、複数枚のワークを加工しようとした場合に複数枚のワークのずれ量が所定のずれ量に収まっていない場合であっても、複数枚のワークを同時加工することができ、迅速に加工を行なうことが可能となる。
【０１２９】
また、レーザ加工装置１００へは、加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂがが同時に加工範囲内とならない場合（ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量の差が所定値よりも大きい場合）に選択する種々の加工方法（１枚ずつの加工処理、再セット処理、次のワークの加工処理など）を予め設定しておくので、加工テーブル１０による位置補正ではワーク８Ａ，８Ｂがが同時に加工範囲内とならない場合であっても、ワークを加工精度良く迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１３０】
また、ずれ量判定部３４がワーク８Ａ，８Ｂの位置ずれ量の差が所定値よりも大きいと判断した場合、個別加工処理部３２によって各ワーク８Ａ，８Ｂを個別にテーブル位置補正してレーザ加工するので、ワーク８Ａ，８Ｂに大きな位置ずれがある場合であっても加工されないワークを発生させる無く、迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１３１】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、ワーク搬入装置９がワーク８Ａ，８Ｂをワーク位置決め装置１２に戻し、再搬入するワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、ワーク位置決め装置１２でワーク８Ａ，８Ｂの位置を修正して位置決めするので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１３２】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、一方のワーク８Ａを持ち上げさせるとともにワーク８Ａが持ち上げられている間に、ワーク８Ａ，８Ｂがｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう、加工テーブル１０を移動させ、加工テーブル１０の移動後にワーク８Ａを加工テーブル１０に再載置させるので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１３３】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、ワーク搬出装置１１がワーク８Ａ，８Ｂを搬出し、次に搬入するワークがｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るようワーク位置決め装置１２で次のワークの位置決めを行なうので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１３４】
また、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合、ワーク搬出装置１１がワーク８Ａ，８Ｂを搬出し、次に搬入する１枚目のワークを加工テーブル１０に搬入した後、搬入されたワーク（１枚目および２枚目）がｆθレンズを介して同時にレーザ加工できる領域内に入るよう加工テーブル１０を移動させ、移動後に２枚目のワークを加工テーブル１０に搬入するので、位置決め不良となるワークを減らすとともに迅速にレーザ加工することが可能となる。
【０１３５】
したがって、ワーク８Ａ，８Ｂ間の位置ずれ量が所定値より大きい場合であっても、レーザ加工装置１００は２枚のレーザ加工を行なうことが可能となり、１枚だけの加工しかできない場合よりも効率よく加工処理を行なうことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
以上のように、本発明にかかるレーザ加工装置は、加工テーブル上の複数のワークのレーザ加工に適している。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】図１は、実施の形態に係るレーザ加工システムの構成を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、実施の形態に係るレーザ加工システムの動作手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、ガルバノミラーの調整によってワークが加工範囲内となる場合を示す図である。
【図５】図５は、ガルバノミラーの調整によってワークが加工範囲内とならない場合を示す図である。
【図６】図６は、ガルバノミラーの調整だけでは２つのワークが加工範囲内とならない場合の一例を示す図である。
【図７】図７は、加工テーブルによるワークの位置補正の概念を説明するための図（１）である。
【図８】図８は、加工テーブルによるワークの位置補正の概念を説明するための図（２）である。
【図９】図９は、ずれ量算出処理の詳細手順を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、ワークを１枚ずつ処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、加工テーブルへ２枚のワークを同時に再セット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１２】図１２は、加工テーブルへ１枚ずつワークを再セット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、加工テーブルへ次のワークを２枚同時にセット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、加工テーブルへ次のワークを１枚ずつセット処理する際の処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３８】
１  レーザ加工機構
２Ａ，２Ｂ，２Ｘ  ミラー
３Ａ，３Ｂ  ビームシャッター
４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ  ガルバノミラー
６Ａ，６Ｂ  加工ヘッド
７Ａ，７Ｂ  ワーク位置検出カメラ
８Ａ，８Ｂ  ワーク
９  ワーク搬入装置
１０  加工テーブル
１１  ワーク搬出装置
１２  位置決め装置
１３  レーザ発振器
２１  制御部
２２  加工プログラム記憶部
２３  位置検出部
２４  ずれ量表示部
２５  テーブル制御部
２６  ミラー制御部
２７  ビーム照射制御部
３１  同時加工処理部
３２  個別加工処理部
３３  ずれ量算出部
３４  ずれ量判定部
４１  同時位置補正処理部
４２  同時加工処理指示部
４３  個別位置補正処理部
４４  個別加工処理指示部
５１Ａ，５１Ｂ  加工パターン
５２Ａ，５２Ｂ  加工範囲
１００  レーザ加工装置
１０１  レーザ加工システム
【国際調査報告】
2008038385.tif 000017
2008038385.tif 000018
2008038385.tif 000019
2008038385.tif 000020