【手続補正書】
【提出日】平成17年2月1日(2005.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に周方向の接合予定部（Ｈ）を有する接合部材（10、20）における前記接合予定部（Ｈ）を、該接合予定部に接合部材の外周面側から埋入されたプローブ（52）によって該接合予定部に沿って接合する摩擦撹拌接合法であって、
接合終了時又は終了後に、埋入状態のプローブ（52）が接合部材（10、20）の外周面を略螺旋状に通過するように、接合部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させることを特徴とする摩擦撹拌接合法。
【請求項２】
前記接合部材（10、20）の外周面におけるプローブ通過部のリード角（β1）が０°を超え７０°未満の範囲内になるように、接合部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させる請求項１記載の摩擦撹拌接合法。
【請求項３】
埋入状態のプローブ（52）を、接合部材（10、20）の端部からなる捨て肉部（29）において抜出する請求項１又は２記載の摩擦撹拌接合法。
【請求項４】
埋入状態のプローブ（52）が前記捨て肉部（29）に到達すると同時に又はそのあとで、接合部材（10、20）の前記端部を長さ方向において切断する請求項３記載の摩擦撹拌接合法。
【請求項５】
前記接合部材（10、20）は、前記接合予定部（Ｈ）の内側に中空部（11）を有するとともに、該中空部に臨んだ面の少なくとも一部に表面処理層（30）が形成されたものである請求項１〜４のいずれか１項記載の摩擦撹拌接合法。
【請求項６】
前記接合予定部（Ｈ）を接合した接合部（Ｗ1）の表面に研磨加工又は切削加工を施す請求項１〜５のいずれか１項記載の摩擦撹拌接合法。
【請求項７】
回転可能なプローブ（52）を有する摩擦撹拌接合用接合工具（50）を用い、
外周面に周方向の接合予定部（Ｈ）を有する接合部材（10、20）における前記接合予定部（Ｈ）を、該接合予定部に接合部材の外周面側から埋入された前記プローブ（52）によって該接合予定部に沿って摩擦撹拌接合して、接合継手（１）を得る接合継手の製造方法であって、
接合終了時又は終了後に、埋入状態のプローブ（52）が接合部材（10、20）の外周面を略螺旋状に通過するように、接合部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させることを特徴とする接合継手の製造方法。
【請求項８】
前記接合部材（10、20）の外周面におけるプローブ通過部のリード角（β1）が０°を超え７０°未満の範囲内になるように、接合部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させる請求項７記載の接合継手の製造方法。
【請求項９】
埋入状態のプローブ（52）を、接合部材（10、20）の端部からなる捨て肉部（29）において抜出する請求項７又は８記載の接合継手の製造方法。
【請求項１０】
埋入状態のプローブ（52）が前記捨て肉部（29）に到達すると同時に又はそのあとで、接合部材（10、20）の前記端部を長さ方向において切断する請求項９記載の接合継手の製造方法。
【請求項１１】
前記接合部材（10、20）は、前記接合予定部（Ｈ）の内側に中空部（11）を有するとともに、該中空部に臨んだ面の少なくとも一部に表面処理層（30）が形成されたものである請求項７〜１０のいずれか１項記載の接合継手の製造方法。
【請求項１２】
前記接合予定部（Ｈ）を接合した接合部（Ｗ1）の表面に研磨加工又は切削加工を施す請求項７〜１１のいずれか１項記載の接合継手の製造方法。
【請求項１３】
外周面に周方向の接合予定部（Ｈ）を有する接合部材（10、20）における前記接合予定部（Ｈ）が、該接合予定部に接合部材の外周面側から埋入された摩擦撹拌接合用接合工具（50）のプローブ（52）によって該接合予定部に沿って摩擦撹拌接合されることにより、外周面に周方向の接合部（Ｗ1）が形成された接合継手（１）であって、
外周面に、該外周面を前記プローブ（52）が通過することにより生じたビード部（Ｘ1）が、前記接合部（Ｗ1）から略螺旋状に延びて形成されていることを特徴とする接合継手。
【請求項１４】
前記ビード部（Ｘ1）のリード角（β1）は、０°を超え７０°未満の範囲内に設定されている請求項１３記載の接合継手。
【請求項１５】
前記接合部（Ｗ1）の内側に中空部（11）を有するとともに、該中空部に臨んだ面の少なくとも一部に表面処理層（30）が形成されたものである請求項１３又は１４記載の接合継手。
【請求項１６】
前記接合部（Ｗ1）における継手効率が６０％以上である請求項１３〜１５のいずれか１項記載の接合継手。
【請求項１７】
前記接合部（Ｗ1）の表面に研磨加工又は切削加工が施されている請求項１３〜１６のいずれか１項記載の接合継手。
【請求項１８】
回転可能なプローブ（52）を有する摩擦撹拌接合用接合工具（50）を用い、
作動流体が収容される中空部（11）を有する筒状の第１構成部材（10）の一端開口部を第２構成部材（20）によって閉塞するとともに、この閉塞部（Ｈ）を、該閉塞部に両構成部材の外周面側から埋入された前記プローブ（52）によって該閉塞部に沿って摩擦撹拌接合し、
前記閉塞部（Ｈ）の接合終了時又は終了後に、埋入状態のプローブ（52）が第１構成部材又は第２構成部材（20）の外周面を略螺旋状に通過するように、両構成部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させることを特徴とする熱交換器の製造方法。
【請求項１９】
前記第１構成部材（10）又は前記第２構成部材（20）の外周面におけるプローブ通過部のリード角（β1）が０°を超え７０°未満の範囲内になるように、両構成部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させる請求項１８記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２０】
埋入状態のプローブ（52）を、第１構成部材（10）の端部又は第２構成部材（20）の端部からなる捨て肉部（19、29）において抜出する請求項１８又は１９記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２１】
埋入状態のプローブ（52）が前記捨て肉部（19、29）に到達すると同時に又はそのあとで、第１構成部材（10）の前記端部又は第２構成部材（20）の前記端部を長さ方向において切断する請求項２０記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２２】
両構成部材（10、20）のうち少なくとも一方の構成部材は、前記中空部（11）に臨んだ面の少なくとも一部に表面処理層（30）が形成されたものである請求項１８〜２１のいずれか１項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２３】
前記接合予定部（Ｈ）を接合した接合部（Ｗ1）の表面に研磨加工又は切削加工を施す請求項１８〜２２のいずれか１項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２４】
前記第２構成部材（20）は、被冷却体（106）又は被加熱体と接続される接続用突出部（23）を有するとともに、前記第１構成部材（10）の一端開口部を閉塞した状態のもとで前記突出部（23）が前記中空部（11）内に挿入配置されており、
前記プローブ（52）が前記第１構成部材（10）の外周面側から該第１構成部材（10）の周壁部（12）を貫通して前記突出部（23）の先端部（24）に埋入された状態に配置し、この埋入状態のプローブ（52）により前記突出部（23）の先端部（24）を前記第１構成部材（10）の周壁部（12）に周方向に摩擦撹拌接合して、第２接合部（Ｗ2）を形成し、
前記突出部（23）の先端部（24）の、前記第１構成部材（10）の周壁部（12）への接合終了時又は終了後に、埋入状態のプローブ（52）が第１構成部材（10）又は第２構成部材（20）の外周面を略螺旋状に通過するように、両構成部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させる請求項１８〜２３のいずれか１項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２５】
前記第１構成部材（10）又は前記第２構成部材（20）の外周面におけるプローブ通過部のリード角（β2）が０°を超え７０°未満の範囲内になるように、両構成部材（10、20）の外周面とプローブ（52）のうち少なくとも一方を移動させる請求項２４記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２６】
埋入状態のプローブ（52）を、第１構成部材（10）の端部又は第２構成部材（20）の端部からなる捨て肉部（19、29）において抜出する請求項２４又は２５記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２７】
埋入状態のプローブ（52）が前記捨て肉部（19、29）に到達すると同時に又はそのあとで、第１構成部材（10）の前記端部又は第２構成部材（20）の前記端部を長さ方向において切断する請求項２６記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２８】
前記突出部（23）の内部に、前記被冷却体（106）又は被加熱体の接続部（106b）が挿入される挿入孔（27）を形成する請求項２４〜２７のいずれか１項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項２９】
前記第２接合部（Ｗ2）の表面に研磨加工又は切削加工を施す請求項２４〜２８のいずれか１項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項３０】
前記突出部（23）の外周面に、前記中空部（11）を仕切る１個又は複数個の仕切り壁部（25）が設けられるとともに、少なくとも１個の仕切り壁部（25）の一部に作動流体流通用切欠き部（26）が設けられている請求項２４〜２９のいずれか１項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項３１】
前記仕切り壁部（25）は、略螺旋状に設けられている請求項３０記載の熱交換器の製造方法。
【請求項３２】
前記仕切り壁部（25）を前記第１構成部材（10）の周壁部（12）に摩擦撹拌接合する請求項３０又は３１記載の熱交換器の製造方法。
【請求項３３】
前記仕切り壁部（25）を、該仕切り壁部（25）に沿って摩擦撹拌接合する請求項３２記載の熱交換器の製造方法。
【請求項３４】
前記仕切り壁部（25）を第１構成部材（10）の周壁部（12）に摩擦撹拌接合した第３接合部（Ｗ3）の表面に研磨加工又は切削加工を施す請求項３２又は３３項記載の熱交換器の製造方法。
【請求項３５】
作動流体が収容される中空部（11）を有する筒状の第１構成部材（10）の一端開口部が第２構成部材（20）によって閉塞されるとともに、この閉塞部（Ｈ）が、摩擦撹拌接合用接合工具（50）のプローブ（52）によって該閉塞部に沿って摩擦撹拌接合されることにより、外周面に接合部（Ｗ1）が形成されており、
第１構成部材（10）又は第２構成部材（20）の外周面に、該外周面を前記プローブ（52）が通過することにより生じたビード部（Ｘ1）が、前記接合部（Ｗ1）から略螺旋状に延びて形成されていることを特徴とする熱交換器。
【請求項３６】
前記ビード部（Ｘ1）のリード角（β1）は、０°を超え７０°未満の範囲内に設定されている請求項３５記載の熱交換器。
【請求項３７】
両構成部材（10、20）のうち少なくとも一方の構成部材は、前記中空部（11）に臨んだ面の少なくとも一部に表面処理層（30）が形成されたものである請求項３５又は３６記載の熱交換器。
【請求項３８】
前記接合部（Ｗ1）の表面に研磨加工又は切削加工が施されている請求項３５〜３７のいずれか１項記載の熱交換器。
【請求項３９】
前記接合部（Ｗ1）における継手効率が６０％以上である請求項３５〜３８のいずれか１項記載の熱交換器。
【請求項４０】
両構成部材（10、20）のうち少なくとも一方の構成部材に、前記中空部（11）と連通した作動流体流入口（31a）又は作動流体流出口（32a）が設けられている請求項３５〜３９のいずれか１項記載の熱交換器。
【請求項４１】
前記第２構成部材（20）は、被冷却体（106）又は被加熱体と接続される接続用突出部（23）を有するとともに、前記第１構成部材（10）の一端開口部を閉塞した状態のもとで前記突出部（23）が前記中空部（11）内に挿入配置されており、
前記突出部（23）の内部には、前記被冷却体（106）又は被加熱体の接続部（106b）が挿入される挿入孔（27）が形成されており、
前記プローブ（52）により前記突出部（23）の先端部（24）が前記第１構成部材（10）の周壁部（12）に周方向に摩擦撹拌接合されて、第２接合部（Ｗ2）が形成され、
第１構成部材（10）又は第２構成部材（20）の外周面に、該外周面を埋入状態のプローブ（52）が通過することにより生じた第２ビード部（Ｘ2）が、前記第２接合部（Ｗ2）から略螺旋状に延びて形成されている請求項３５〜４０のいずれか１項記載の熱交換器。
【請求項４２】
前記第２ビード部（Ｘ2）のリード角（β2）は、０°を超え７０°未満の範囲内に設定されている請求項４１記載の熱交換器。
【請求項４３】
前記第２接合部（Ｗ2）の表面に研磨加工又は切削加工が施されている請求項４１又は４２記載の熱交換器。
【請求項４４】
前記第２接合部（Ｗ2）における継手効率が６０％以上である請求項４１〜４３のいずれか１項記載の熱交換器。
【請求項４５】
前記突出部（23）の外周面に、前記中空部（11）を仕切る１個又は複数個の仕切り壁部（25）が設けられるとともに、少なくとも１個の仕切り壁部（25）の一部に作動流体流通用切欠き部（26）が設けられている請求項４１〜４４のいずれか１項記載の熱交換器。
【請求項４６】
前記仕切り壁部（25）は、略螺旋状に設けられている請求項４５記載の熱交換器。
【請求項４７】
前記仕切り壁部（25）は、前記第１構成部材（10）の周壁部（12）に摩擦撹拌接合されている請求項４５又は４６記載の熱交換器。
【請求項４８】
前記仕切り壁部（25）は、該仕切り壁部（25）に沿って摩擦撹拌接合されている請求項４７記載の熱交換器。
【請求項４９】
前記仕切り壁部（25）が第１構成部材（10）の周壁部（12）に摩擦撹拌接合された第３接合部（Ｗ3）の表面に研磨加工又は切削加工が施されている請求項４７又は４８項記載の熱交換器。
【請求項５０】
請求項３５〜４９のいずれか１項記載の熱交換器を用いた電子デバイス製造装置。
【請求項５１】
請求項３５〜４９のいずれか１項記載の熱交換器を用いた液晶製造装置。
【請求項５２】
請求項３５〜４９のいずれか１項記載の熱交換器を用いた成膜装置。