【手続補正書】
【提出日】平成16年6月1日(2004.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部共振器および前記外部共振器内のレーザ源を有する外部共振器レーザと、
前記外部共振器レーザを不活性雰囲気内に収容する気密封止可能なコンテナと、
放出されるコンパウンドを吸収する、前記気密封止可能なコンテナ内に位置する活性炭ドレンと
を備える、装置。
【請求項２】
前記不活性気体の水分量が制御されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記外部共振器レーザは波長が可変である、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記レーザ源が、第１および第２出力面を含むゲイン媒体を備え、
前記第２出力面に反射防止コーティングが施されている、
請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記外部共振器レーザがエンドミラーを更に備え、
前記エンドミラーおよび前記ゲイン媒体の前記第１出力面が前記外部共振器を画定し、
前記ゲイン媒体が、前記第２出力面から出力パスに沿ってビームを放射する、
請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記気密封止可能なコンテナの内部において、前記エンドミラーに作用可能に接続され、前記エンドミラーを調節する同調装置を更に備える、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記外部共振器レーザがグリッド・ジェネレータを更に備える、請求項３に記載の装置。
【請求項８】
前記外部共振器レーザがチャネル・セレクタを更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記チャネル・セレクタに作用可能に接続され、前記チャネル・セレクタを調節する同調装置を更に備える、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記レーザ源の運転中に発生し放出されるコンパウンドを吸収する、カーボンの表面を、前記活性炭ドレンが、備え、
前記放出されるコンパウンドが、揮発性有機化合物を含む、
請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記気密封止可能なコンテナの内側に位置する水分トラップを更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
前記不活性気体は、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素とヘリウムの混合、ネオンとヘリウムの混合、クリプトンとヘリウムの混合、およびキセノンとヘリウムの混合の中から選択される気体を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
前記気密封止可能なコンテナ内に延長し、前記外部共振器レーザからの光出力を受信するべく配置された光ファイバと、
前記光ファイバを気密封止するファイバ・フィードスルーと
を更に備える、請求項３に記載の装置。
【請求項１４】
レーザ装置であって、
（ａ）活性領域を含み、第１出力面、および表面に反射防止コーティングが施された第２出力面を有するゲイン媒体と、
（ｂ）エンドミラーと
を備え、
前記ゲイン媒体の前記第１出力および前記エンドミラーが外部共振器を画定し、前記ゲイン媒体の活性領域が前記外部共振器の内部の光路に沿ってビームを放射し、前記エンドミラーが前記光路中に配置され、
前記レーザ装置が更に、
（ｃ）不活性の雰囲気において前記外部共振器を収容する気密封止されたコンテナと、
（ｄ）前記気密封止されたコンテナ内の水分を吸収するために、前記気密封止されたコンテナ内に位置する水分トラップと、
（ｅ）前記ゲイン媒体および前記エンドミラーの少なくとも１つにおける凝縮を防ぐために、前記ゲイン媒体に電力が供給されていない時に、前記ゲイン媒体および前記エンドミラーの少なくとも１つの温度を前記水分トラップの第２温度よりも高い温度である第１温度に維持するために、前記ゲイン媒体および前記エンドミラーの少なくとも１つに熱的に接続される熱源と
を備える、レーザ装置。
【請求項１５】
前記エンドミラーに動作可能なように接続され、前記エンドミラーを調節するように構成される同調装置を更に備え、
前記同調装置が前記気密封止可能なコンテナの内部に位置する、
請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記外部共振器レーザがグリッド・ジェネレータを更に備え、
前記グリッド・ジェネレータが、前記外部共振器の前記光路中に位置する、
請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
チャネル・セレクタを更に備え、
前記チャネル・セレクタが、前記外部共振器の前記光路中に位置する、
請求項１４に記載の装置。
【請求項１８】
前記チャネル・セレクタに作用可能に接続され、前記チャネル・セレクタを調節する同調装置を更に備え、
前記同調装置が前記気密封止可能なコンテナの内部に位置する、
請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記気密封止されたコンテナの内側に位置する活性炭ドレンを更に備える、請求項１４に記載の装置。
【請求項２０】
前記不活性気体は、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素とヘリウムの混合、ネオンとヘリウムの混合、クリプトンとヘリウムの混合、およびキセノンとヘリウムの混合の中から選択される気体である、請求項１４に記載の装置。
【請求項２１】
外部共振器レーザを製作する方法であって、
（ａ）外部共振器を提供するステップと、
（ｂ）前記外部共振器内にレーザ源を提供するステップと、
（ｃ）前記外部共振器および前記レーザ源の少なくとも１つにおける凝縮を防ぐために、電力が前記レーザ源に供給されない時に、前記外部共振器および前記レーザ源の少なくとも１つの高温を維持するために、前記外部共振器および前記レーザ源の少なくとも１つに熱的に接続される熱源を提供するステップと、
（ｄ）前記外部共振器および前記レーザ源を、気密封止されるコンテナ内に不活性雰囲気において気密封止するステップと、
（ｅ）前記気密封止するステップに先立って、前記外部共振器レーザの少なくとも１つの気体を放出する成分を真空ベーキングするステップと
を備える、方法。
【請求項２２】
前記レーザ源が、反射防止表面を有するゲイン媒体を備え、
前記外部共振器が、前記ゲイン媒体から放射されたビームによって画定される光路中に位置するエンドミラーを備える、
請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記エンドミラーに作用可能なように接続され、前記エンドミラーを調節する同調装置を提供するステップを更に備える、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記外部共振器内にグリッド・ジェネレータを提供するステップを更に備える、請求項２１に記載の方法。
【請求項２５】
前記外部共振器内にチャネル・セレクタを提供するステップを更に備える、請求項２１に記載の方法。
【請求項２６】
同調装置を提供するステップを更に備え、前記同調装置が、前記チャネル・セレクタに移動可能なように接続され、前記チャネル・セレクタを調節する、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記気密封止ステップに先立って、前記外部共振器レーザを真空ベーキングするステップを更に備える、請求項２１に記載の方法。
【請求項２８】
前記外部共振器レーザに隣接する前記気密封止されたコンテナ中に活性炭ドレンを提供するステップと、
前記活性炭ドレンで揮発性有機炭化水素を吸収するステップと
を更に備える、請求項２１に記載の方法。
【請求項２９】
前記外部共振器レーザに隣接する前記気密封止されたコンテナ中に水分トラップを提供するステップと、
前記水分トラップ上に水分を凝縮させるステップと
を更に備える、請求項２１に記載の方法。
【請求項３０】
前記同調装置がステッパーモータを備える、請求項２６に記載の方法。
【請求項３１】
（ａ）外部共振器および前記外部共振器内のレーザ源を有する外部共振器レーザと、
（ｂ）前記外部共振器レーザを不活性雰囲気において気密封止する手段と、
（ｃ）放出されるコンパウンドを吸収する、前記気密封止可能なコンテナ内に位置する活性炭ドレンと
を備える、レーザ装置。
【請求項３２】
前記不活性雰囲気中の揮発性有機化合物を吸着する手段を更に備える、請求項３１に記載の装置。
【請求項３３】
前記不活性雰囲気中の気体から水分をトラッピングする手段を更に備える、請求項３１に記載の装置。
【請求項３４】
前記外部共振器レーザを同調する手段を更に備える、請求項３１に記載の装置。
【請求項３５】
前記外部共振器レーザおよび前記同調する手段が、前記気密封止する手段に収容される、請求項３１に記載の装置。
【請求項３６】
前記気密封止可能なコンテナ内に、周囲の表面よりも低い温度に保たれる犠牲表面を更に備える、請求項１に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図面をより詳細に参照して、説明の目的のために、本発明は図１〜図７に示される装置および方法によって実施される。本願明細書に開示されている基礎概念から逸脱する事無く、本装置が構成に関して、および部分の詳細について変化し得、本方法が、その詳細および行為の順序について変化し得ると言う事は言うまでもない。本発明は、外部共振型ダイオード・レーザ（ＥＣＤＬ）パッケージおよびＥＣＤＬを気密封止する方法に関して主に開示される。しかしながら、本発明が他のレーザ装置あるいは光学系と共に使用されてもよいことは、当業者にとっては非常に明白であろう。本願明細書に使用される用語は、特定の実施形態について記載するためだけに使用されているのであって、制限する事を意図していないと言う事が更に理解されるべきである。