【手続補正書】
【提出日】平成16年9月29日(2004.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が基板に形成されてなる機能性素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で前記溶液を噴射するとともに、滴飛翔時の滴の形状を、前記基板面に付着する直前にはほぼ丸い滴にする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状であってその直径の３倍以内の長さにするとともに、飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴わないようにしたことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
【請求項２】
所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が基板に形成されてなる機能性素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で前記溶液を噴射するとともに、該溶液の噴射速度は、前記基板と前記噴射ヘッドとの相対移動速度より速いことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
【請求項３】
所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が基板に形成されてなる機能性素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、前記溶液中に発生する気泡の作用力で前記溶液を噴射するとともに、前記基板と前記噴射ヘッドとの相対移動速度を、前記溶液の噴射速度の１／３以下にしたことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
【請求項４】
前記溶液は飛翔時の形状を、飛翔方向に伸びた細長柱状であってその直径の１０倍〜２０倍の長さとしたことを特徴とする請求項３に記載の機能性素子基板の製造装置。
【請求項５】
前記溶液は飛翔時の形状を、後方に複数の微小な滴を伴う飛翔形状としたことを特徴とする請求項３もしくは４に記載の機能性素子基板の製造装置。
【請求項６】
前記基板保持手段の前記保持位置調整機構は、前記基板の角度調整機構を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１に記載の機能性素子基板の製造装置。
【請求項７】
１対の素子電極を有し、該１対の素子電極間に機能性材料を含有した溶液の液滴を噴射して形成した機能性素子を複数個の群として形成してなる機能性素子基板であって、該機能性素子基板は、前記機能性素子群がマトリックスとなるように配列され、該マトリックスの互いに直交する２方向のそれぞれが、前記機能性素子基板の直交する２辺のそれぞれに平行であることを特徴とする機能性素子基板。
【請求項８】
１対の素子電極を有し、該１対の素子電極間に機能性材料を含有した溶液の液滴を噴射して形成した機能性素子を複数個の群として形成してなる機能性素子基板であって、該機能性素子基板は、前記機能性素子群がマトリックスとなるように配列され、該マトリックスの互いに直交する２方向のそれぞれに平行なパターンが直交してなる帯状パターンを有することを特徴とする機能性素子基板。
【請求項９】
前記基板の大きさが２００ｍｍ×２００ｍｍ以上であり、前記基板上の１対の素子電極間への前記溶液の噴射は、前記マトリックスの直交する２方向に対し順次行われることを特徴とする請求項７または８に記載の機能性素子基板。
【請求項１０】
所定の駆動信号を入力することにより発光する有機ＥＬ素子群が基板に形成されてなる有機ＥＬ素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して有機ＥＬ材料を溶解した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記有機ＥＬ素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記有機ＥＬ素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の電極が形成された基板面であらかじめ形成された有機物で囲まれた領域に前記溶液を噴射することにより前記有機ＥＬ素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で、前記溶液を噴射するとともに、滴飛翔時の滴の形状を、前記基板面に付着する直前にはほぼ丸い滴にする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状であってその直径の３倍以内の長さにするとともに、飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴わないようにし、前記溶液の噴射速度は、前記基板と前記噴射ヘッドとの相対移動速度より速くしたことを特徴とする有機ＥＬ素子基板の製造装置。
【請求項１１】
１対の素子電極を有し、該１対の素子電極間であって、前記基板の電極が形成された基板面であらかじめ形成された有機物で囲まれた領域内に有機ＥＬ材料を溶解した溶液の液滴を噴射して形成した有機ＥＬ素子を複数個の群として形成してなる有機ＥＬ素子基板であって、該有機ＥＬ素子基板は、前記有機ＥＬ素子群がマトリックス状に配列され、該マトリックスの互いに直交する２方向のそれぞれが、前記有機ＥＬ素子基板の直交する２辺のそれぞれに平行であることを特徴とする有機ＥＬ素子基板。
【請求項１２】
前記基板はプラスチック基板であることを特徴とする請求項１１に記載の有機ＥＬ素子基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また第４の目的は、液滴を飛翔方向に伸びた細長形状として液滴を安定して飛翔させるようにした機能性素子基板製造装置を提供することにある。
第５の目的は、液滴の後方に複数の微小な滴を伴うようにして液滴を安定して飛翔させるようにした機能性素子基板製造装置を提供することにある。
第６の目的は、簡単な構成でより高精度な機能性素子群および機能性素子基板を形成するための機能性素子基板製造装置を提供することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに第７の目的は、このような製造装置によって製作され、高精度な機能性素子群を形成した機能性素子基板を提供することにある。
また第８の目的は、このような製造装置によって製作され、高精度な機能性素子群を形成した他の構成の機能性素子基板を提供することにある。
さらに第９の目的は、このような製造装置によって製作され、高精度な機能性素子群を形成した大型の機能性素子基板を低コストで提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに第１０の目的は、液滴をより安定して飛翔させるようにして素子群および機能性素子基板を形成するための機能性素子基板製造装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらに第１１の目的は、このような製造装置によって製作され、高精度な機能性素子群を形成した機能性素子基板を提供することにある。
第１２の目的は、軽量の、或いは可撓性のある機能性素子基板を提供することにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために第１に、所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が基板に形成されてなる機能性素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で前記溶液を噴射するとともに、滴飛翔時の滴の形状を、前記基板面に付着する直前にはほぼ丸い滴にする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状であってその直径の３倍以内の長さにするとともに、飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴わないようにした。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第４に、上記第３に記載の機能性素子基板の製造装置において、前記溶液は飛翔時の形状を、飛翔方向に伸びた細長柱状であってその直径の１０倍〜２０倍の長さとした。
第５に、上記第３もしくは４に記載の機能性素子基板の製造装置において、前記溶液は飛翔時の形状を、後方に複数の微小な滴を伴う飛翔形状とした。
また第６に、上記第１ないし５のいずれか１に記載の機能性素子基板の製造装置において、前記基板保持手段の前記保持位置調整機構は、前記基板の角度調整機構を含むようにした。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
さらに第７に、１対の素子電極を有し、該１対の素子電極間に機能性材料を含有した溶液の液滴を噴射して形成した機能性素子を複数個の群として形成してなる機能性素子基板であって、該機能性素子基板は、前記機能性素子群がマトリックスとなるように配列され、該マトリックスの互いに直交する２方向のそれぞれが、前記機能性素子基板の直交する２辺のそれぞれに平行であるようにした。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また第８に、１対の素子電極を有し、該１対の素子電極間に機能性材料を含有した溶液の液滴を噴射して形成した機能性素子を複数個の群として形成してなる機能性素子基板であって、該機能性素子基板は、前記機能性素子群がマトリックスとなるように配列され、該マトリックスの互いに直交する２方向のそれぞれに平行なパターンが直交してなる帯状パターンを有するようにした。
さらに第９に、上記第７または８に記載の機能性素子基板において、前記基板の大きさが２００ｍｍ×２００ｍｍ以上であり、前記基板上の１対の素子電極間への前記溶液の噴射は、前記マトリックスの直交する２方向に対し順次行われるようにした。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第１０に、所定の駆動信号を入力することにより発光する有機ＥＬ素子群が基板に形成されてなる有機ＥＬ素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して有機ＥＬ材料を溶解した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記有機ＥＬ素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記有機ＥＬ素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の電極が形成された基板面であらかじめ形成された有機物で囲まれた領域に前記溶液を噴射することにより前記有機ＥＬ素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で、前記溶液を噴射するとともに、滴飛翔時の滴の形状を、前記基板面に付着する直前にはほぼ丸い滴にする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状であってその直径の３倍以内の長さにするとともに、飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴わないようにし、前記溶液の噴射速度は、前記基板と前記噴射ヘッドとの相対移動速度より速くした。
第１１に、１対の素子電極を有し、該１対の素子電極間であって、前記基板の電極が形成された基板面であらかじめ形成された有機物で囲まれた領域内に有機ＥＬ材料を溶解した溶液の液滴を噴射して形成した有機ＥＬ素子を複数個の群として形成してなる有機ＥＬ素子基板であって、該有機ＥＬ素子基板は、前記有機ＥＬ素子群がマトリックス状に配列され、該マトリックスの互いに直交する２方向のそれぞれが、前記有機ＥＬ素子基板の直交する２辺のそれぞれに平行であるようにした。
第１２に、上記第１１に記載の有機ＥＬ素子基板において、前記基板はプラスチック基板であるようにした。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
【発明の効果】
本発明によると、所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が基板に形成されてなる機能性素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する２方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で前記溶液を噴射するとともに、滴飛翔時の滴の形状を、前記基板面に付着する直前にはほぼ丸い滴にする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状であってその直径の３倍以内の長さにするとともに、飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴わないようにしたので、簡単な構成で、不必要な微小な材料が付着しない高品質な機能性素子群および機能性素子基板を製作することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
本発明によると、前記溶液は飛翔時の形状を、飛翔方向に伸びた細長柱状であってその直径の１０倍〜２０倍の長さとしたので、サーマルインクジェット方式の原理で強力な噴射作用力によって、飛翔時の形状を飛翔方向に伸びた細長形状として噴射させることができ、噴射速度が速く安定した飛翔が行えるようになった。
また前記溶液の液滴は飛翔時の形状を、後方に複数の微小な滴を伴う飛翔形状としたので、サーマルインクジェット方式の原理で強力な噴射作用力によって、噴射速度が速く安定した飛翔が行えるようになった。
また本発明によると、前記基板保持手段の前記保持位置調整機構は、前記基板の角度調整機構を含むようにしたので、簡単な構成でより高精度に機能性素子群を形成した機能性素子基板を製作することができる。