【手続補正書】
【提出日】平成16年7月23日(2004.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】  スライド式移載装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基台上に複数のスライド台を重ねて配設するとともに、直線案内機構及び動力伝達機構を備えるようにしたスライド式移載装置において、スライド台に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を形成し、該収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機構を配設することにより、複数のスライド台の直線案内機構及び動力伝達機構を略同一平面内に配するようにしたことを特徴とするスライド式移載装置。
【請求項２】  スライド式移載装置の内側に直線案内機構を、外側に動力伝達機構を配設したことを特徴とする請求項１記載のスライド式移載装置。
【請求項３】  スライド台を、略均一な肉厚で、凹凸状に形成したことを特徴とする請求項１又は２記載のスライド式移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スライド式移載装置に関し、特に、半導体や液晶等の生産設備、搬送台車、自動倉庫等において、半導体や液晶等を搬送するために使用される移載装置に好適に使用される、基台上に複数のスライド台を重ねて配設するとともに、直線案内機構及び動力伝達機構を備えるようにしたスライド式移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、特に、半導体や液晶等の生産設備、搬送台車、自動倉庫等において、半導体や液晶等の被搬送物を搬送するために使用される移載装置として、スライド式移載装置が汎用されている。
【０００３】
ところで、従来のスライド式移載装置は、図３〜図４に示すように、駆動用モータ２を備えた基台１の上方に、複数のスライド台４，８，９を重ねて配設するとともに、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構及びラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構を備え、駆動用モータ２を回転駆動することにより、ラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構を介して、各スライド台４，８，９が同じ比率で、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構によって滑らかに摺動して、全体が伸縮するように構成し、これにより、上段のスライド台９に載置した被搬送物の積み込み又は積み卸しを行うようにしていた。
【０００４】
そして、このスライド式移載装置は、駆動用モータ２を回転駆動させると、ピニオン３０が回転し、ピニオン３０と噛合するラック５０と共に下段のスライド台４が摺動し、このとき、下段のスライド台４に回転自在に配設されているピニオン３１は、基台１のラック５２により回転され、ピニオン３１と噛合するラック５２と共に中段のスライド台８が摺動するとともに、中段のスライド台８に回転自在に配設されているピニオン３２は、下段のスライド台４のラック５３により回転され、ピニオン３２と噛合するラック５４と共に上段のスライド台９が摺動するように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のスライド式移載装置の場合、特に、基台１及び各スライド台４，８（上段のスライド台９を除く。）に、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構を、重なるように配設しているため、移載装置を薄型化することが困難で、これに伴い、移載装置が生産設備、搬送台車、自動倉庫等において大きなスペースを占有し、設備コストが上昇するという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来のスライド式移載装置の有する問題点に鑑み、基台上に複数のスライド台を重ねて配設するとともに、直線案内機構及び動力伝達機構を備えるようにした薄型のスライド式移載装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のスライド式移載装置は、基台上に複数のスライド台を重ねて配設するとともに、スライドガイド、スライドレールよりなる直線案内機構及びラック、ピニオンよりなる動力伝達機構を備えるようにしたスライド式移載装置において、スライド台に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を形成し、該収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機構を配設することにより、複数のスライド台の直線案内機構及び動力伝達機構を略同一平面内に配するようにしたことを特徴とする。
【０００８】
このスライド式移載装置は、スライド台に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を形成し、この収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機構を配設することにより、複数のスライド台の直線案内機構及び動力伝達機構を略同一平面内に配するようにしているので、直線案内機構及び動力伝達機構を備えたスライド式移載装置を薄型化することができる。
【０００９】
この場合において、スライド式移載装置の内側に直線案内機構を、外側に動力伝達機構を配設することができる。
【００１０】
これにより、保守、点検を必要とする頻度の高い動力伝達機構の保守、点検を容易に行うことができ、それに要する時間及び費用を低減することができる。
【００１１】
また、スライド台を、略均一な肉厚で、凹凸状に形成することができる。
【００１２】
これにより、凹凸状に形成したスライド台の凹部を直線案内機構及び動力伝達機構を配設する収納溝として利用することができるとともに、スライド台の強度を向上することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のスライド式移載装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１〜図２に、本発明のスライド式移載装置の一実施例を示す。
このスライド式移載装置は、半導体や液晶等の生産設備、搬送台車、自動倉庫等において、半導体や液晶等の被搬送物を搬送するために使用されるもので、駆動用モータ２を備えた基台１の上方に、複数のスライド台４，８，９を重ねて配設するとともに、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構及びラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構を備え、駆動用モータ２を回転駆動することにより、ラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構を介して、各スライド台４，８，９が同じ比率で、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構によって滑らかに摺動して、全体が伸縮するように構成し、これにより、上段のスライド台９に載置した被搬送物の積み込み又は積み卸しを行うようにする。
【００１５】
そして、このスライド式移載装置は、駆動用モータ２を回転駆動させると、駆動用モータ２に取り付けられたピニオン３０が回転し、基台１を貫通したピニオン３０と噛合するラック５０と共に下段のスライド台４が摺動し、このとき、下段のスライド台４の側片４２に回転自在に配設されているピニオン３１は、基台１のラック５２により回転され、ピニオン３１と噛合するラック５２と共に中段のスライド台８が摺動するとともに、中段のスライド台８の側片８２に回転自在に配設されているピニオン３２は、下段のスライド台４のラック５３により回転され、ピニオン３２と噛合するラック５４と共に上段のスライド台９が摺動するように構成されている。
【００１６】
この場合において、基台１及びスライド台４，８，９は、金属製又は合成樹脂製の略均一な肉厚の板材を、凹凸状に形成（板材を折曲加工したものや押出成形したもの等、成形方法は限定されない。）したものを使用することができる。
なお、上段のスライド台９は、被搬送物を載置しやすいように、上面を平坦面に形成するようにする。
【００１７】
そして、この凹凸状に形成したスライド台４，８の摺動方向に延びる凹部４１，８１，８３を、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構を配設する収納溝として利用するようにする。
本実施例においては、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構を、それぞれ２個１組として用い、基台１及びスライド台４，８，９の幅方向の中心位置を挟んで両側に対称に配設するようにしたが、これに限定されず、例えば、それぞれ１個で以て直線案内機構を構成することもできる。
【００１８】
また、スライド台９の側片９２の内側に形成されたスライド台９の摺動方向に延びる凹部９１を、ラック５１，５２，５３，５４、ピニオン３１，３２よりなる動力伝達機構を配設する収納溝として利用するようにする。
【００１９】
これにより、全体として、スライド台９の側片９２の内側に形成された凹部９１内に、嵌合状態に配設したスライド台４，８を嵌入し、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構、及びラック５１，５２，５３，５４、ピニオン３１，３２よりなる動力伝達機構を略同一平面内に配するようにする。
【００２０】
次に、このスライド式移載装置の動作及び作用について説明する。
スライド式移載装置の駆動用モータ２を回転駆動させると、駆動用モータ２に取り付けられたピニオン３０が回転し、基台１を貫通したピニオン３０と噛合するラック５０と共に下段のスライド台４が摺動する。
このとき、同時に、下段のスライド台４の側片４２に回転自在に配設されているピニオン３１は、基台１のラック５２により回転され、ピニオン３１と噛合するラック５２と共に中段のスライド台８が摺動する。
また、これと同時に、中段のスライド台８の側片８２に回転自在に配設されているピニオン３２は、下段のスライド台４のラック５３により回転され、ピニオン３２と噛合するラック５４と共に上段のスライド台９が摺動する。
これにより、駆動用モータ２を回転駆動するだけで、ラック５０，５１，５２，５３，５４、ピニオン３０，３１，３２よりなる動力伝達機構を介して、各スライド台４，８，９が同じ比率で、スライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構によって滑らかに摺動して、スライド台４，８，９全体が伸縮し、これにより、上段のスライド台９に載置した被搬送物の積み込み又は積み卸しを行うことができる。
また、スライド台４，８，９のスライドガイド７０，７１，７２、スライドレール６０，６１，６２よりなる直線案内機構及びラック５１，５２，５３，５４、ピニオン３１，３２よりなる動力伝達機構を略同一平面内に配するようにしているので、スライド式移載装置を薄型化することができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明のスライド式移載装置によれば、スライド台に、スライド台の摺動方向に延びる収納溝を形成し、この収納溝内に、直線案内機構及び動力伝達機構を配設することにより、複数のスライド台の直線案内機構及び動力伝達機構を略同一平面内に配するようにしているので、直線案内機構及び動力伝達機構を備えたスライド式移載装置を薄型化することができ、これにより、移載装置が生産設備、搬送台車、自動倉庫等において占有するスペースを少なくし、設備コストを低廉化できる。
【００２２】
また、スライド式移載装置の内側に直線案内機構を、外側に動力伝達機構を配設することにより、保守、点検を必要とする頻度の高い動力伝達機構の保守、点検を容易に行うことができ、それに要する時間及び費用を低減することができる。
【００２３】
また、スライド台を、略均一な肉厚で、凹凸状に形成することにより、凹凸状に形成したスライド台の凹部を直線案内機構及び動力伝達機構を配設する収納溝として利用することができるとともに、スライド台の強度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明のスライド式移載装置の一実施例を示す説明図である。
【図２】
同スライド台が伸縮する状態を示す説明図である。
【図３】
従来のスライド式移載装置を示す説明図である。
【図４】
同スライド台が伸縮する状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１    基台
２    駆動用モータ
３０，３１，３２  ピニオン
４    スライド台（下段）
４１  凹部（収納溝）
４２  側片
５０，５１，５２，５３，５４  ラック
６０，６１，６２  スライドレール
７０，７１，７２  スライドガイド
８    スライド台（中段）
８１，８３  凹部（収納溝）
９    スライド台（上段）
９１  凹部（収納溝）
９２  側片