【手続補正書】
【提出日】平成16年4月13日(2004.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レーザ周波数測定方法、レーザ周波数制御方法、レーザ周波数測定装置及びレーザ光発生装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、
上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分と被測定レーザ光とのヘテロダイン成分を検出し、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とするレーザ周波数測定方法。
【請求項２】
上記光周波数コムから非線形光学結晶素子を介して光第２高調波成分を得て、
上記光周波数コムの光第２高調波成分と被測定レーザ光を混合し、
上記光第２高調波成分と被測定レーザ光の混合光から上記ヘテロダイン成分を検出することを特徴とする請求項１のレーザ周波数測定方法。
【請求項３】
第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、
上記光周波数コムと第２のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分とのヘテロダイン成分を検出し、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記第１のレーザ光又は第２のレーザ光の周波数を測定することを特徴とするレーザ周波数測定方法。
【請求項４】
上記光周波数コムと第２のレーザ光とを混合し、その混合光から１つの非線形光学結晶素子を介して上記和周波数成分と光第２高調波成分を得て上記ヘテロダイン成分を検出することを特徴とする請求項３のレーザ周波数測定方法。
【請求項５】
上記光周波数コムと第２のレーザ光とを混合し、その混合光から第１の非線形光学結晶素子を介して上記和周波数成分を得るとともに第２の非線形光学結晶素子を介して上記光第２高調波成分を得て、上記ヘテロダイン成分を検出することを特徴とする請求項３のレーザ周波数測定方法。
【請求項６】
第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、
上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分と第２のレーザ光とのヘテロダイン成分を検出し、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御することを特徴とするレーザ周波数制御方法。
【請求項７】
上記光周波数コムから非線形光学結晶素子を介して光第２高調波成分を得て、
上記光周波数コムの光第２高調波成分と被測定レーザ光を混合し、
上記光第２高調波成分と被測定レーザ光の混合光から上記ヘテロダイン成分を検出することを特徴とする請求項６のレーザ周波数制御方法。
【請求項８】
第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、
上記光周波数コムと第２のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと第２のレーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分とのヘテロダイン成分を検出し、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御することを特徴とするレーザ周波数制御方法。
【請求項９】
上記光周波数コムと第２のレーザ光とを混合し、その混合光から１つの非線形光学結晶素子を介して上記和周波数成分と光第２高調波成分を得て上記ヘテロダイン成分を検出することを特徴とする請求項８のレーザ周波数制御方法。
【請求項１０】
上記光周波数コムと第２のレーザ光とを混合し、その混合光から第１の非線形光学結晶素子を介して上記和周波数成分を得るとともに第２の非線形光学結晶素子を介して上記光第２高調波成分を得て、上記ヘテロダイン成分を検出することを特徴とする請求項８のレーザ周波数制御方法。
【請求項１１】
基準レーザ光を出射する基準レーザ光源と、
上記基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、
上記光周波数コムが入射される非線形光学結晶素子と、
上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムの光第２高調波成分と被測定レーザ光を混合する光学系と、
上記光学系により混合された光第２高調波成分と被測定レーザ光とのヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段とを備え、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とするレーザ周波数測定装置。
【請求項１２】
基準レーザ光を出射する基準レーザ光源と、
上記基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、
上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと被測定レーザ光とレーザ光を混合する光学系と、
上記光学系により混合された上記光周波数コムと被測定レーザ光の混合光が入射される非線形光学結晶素子と、
上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段とを備え、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とするレーザ周波数測定装置。
【請求項１３】
基準レーザ光を出射する基準レーザ光源と、
上記基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、
上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと被測定レーザ光を混合する光学系と、
上記光学系により混合された上記光周波数コムと被測定レーザ光の混合光から上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分を生成する第１の非線形光学結晶素子と、
上記混合光から光第２高調波成分を生成する第２の非線形光学結晶素子と、
上記第１の非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と上記第２の非線形光学結晶素子により得られる光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段とを備え、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とするレーザ周波数測定装置。
【請求項１４】
第１のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、
上記第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、
第２のレーザ光を出射する第２のレーザ光源と、
上記光周波数コムが入射される非線形光学結晶素子と、
上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムの光第２高調波成分と上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光を混合する光学系と、
上記光学系により混合された光第２高調波成分と第２のレーザ光とのヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御する制御手段とを備える
ことを特徴とするレーザ光発生装置。
【請求項１５】
第１のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、
上記第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、
第２のレーザ光を出射する第２のレーザ光源と、
上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光を混合する光学系と、
上記光学系により混合された上記光周波数コムと第２のレーザ光の混合光が入射される非線形光学結晶素子と、
上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御する制御手段とを備える
ことを特徴とするレーザ光発生装置。
【請求項１６】
第１のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、
上記第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、
第２のレーザ光を出射する第２のレーザ光源と、
上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光と上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムを混合する光学系と、
上記光学系により混合された上記光周波数コムと第２のレーザ光の混合光から上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分を生成する第１の非線形光学結晶素子と、
上記混合光から光第２高調波成分を生成する第２の非線形光学結晶素子と、
上記第１の非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と上記第２の非線形光学結晶素子により得られる光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、
上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御する制御手段とを備える
ことを特徴とするレーザ光発生装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、周波数間隔一定の側帯波をもつレーザ光からなる光周波数コムを利用したレーザ周波数測定方法、レーザ周波数制御方法、レーザ周波数測定装置及びレーザ光発生装置に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明の目的は、このような従来の問題点に鑑み、光周波数コムと被測定レーザ光をヘテロダイン検波してその差周波数を測定あるいは制御するに当たり、ＳＮ比を改善して十分な測定精度を確保し、広範囲に亘ってレーザ周波数を測定あるいは制御することができるようにしたレーザ周波数測定方法、レーザ周波数制御方法、レーザ周波数測定装置及びレーザ光発生装置を提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るレーザ周波数測定方法は、基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分と被測定レーザ光とのヘテロダイン成分を検出し、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とする。
また、本発明に係るレーザ周波数測定方法は、第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムと第２のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分とのヘテロダイン成分を検出し、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記第１のレーザ光又は第２のレーザ光の周波数を測定することを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明に係るレーザ周波数制御方法は、第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分と第２のレーザ光とのヘテロダイン成分を検出し、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御することを特徴とする。
また、本発明に係るレーザ周波数制御方法は、第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、  上記光周波数コムと第２のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと第２のレーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分とのヘテロダイン成分を検出し、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御することを特徴とする。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係るレーザ周波数測定装置は、基準レーザ光を出射する基準レーザ光源と、上記基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、上記光周波数コムが入射される非線形光学結晶素子と、上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムの光第２高調波成分と被測定レーザ光を混合する光学系と、上記光学系により混合された光第２高調波成分と被測定レーザ光とのヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段とを備え、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とする。
また、本発明に係るレーザ周波数測定装置は、基準レーザ光を出射する基準レーザ光源と、上記基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと被測定レーザ光を混合する光学系と、上記光学系により混合された上記光周波数コムと被測定レーザ光の混合光が入射される非線形光学結晶素子と、上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段とを備え、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とする。
さらに、本発明に係るレーザ周波数測定装置は、基準レーザ光を出射する基準レーザ光源と、上記基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと被測定レーザ光を混合する光学系と、上記光学系により混合された上記光周波数コムと被測定レーザ光の混合光から上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分を生成する第１の非線形光学結晶素子と、上記混合光から光第２高調波成分を生成する第２の非線形光学結晶素子と、上記第１の非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と上記第２の非線形光学結晶素子により得られる光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段とを備え、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて上記被測定レーザ光の周波数を測定することを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係るレーザ光発生装置は、第１のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、上記第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、第２のレーザ光を出射する第２のレーザ光源と、上記光周波数コムが入射される非線形光学結晶素子と、上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムの光第２高調波成分と上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光を混合する光学系と、上記光学系により混合された光第２高調波成分と第２のレーザ光とのヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
また、本発明に係るレーザ光発生装置は、第１のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、上記第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、第２のレーザ光を出射する第２のレーザ光源と、上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光を混合する光学系と、上記光学系により混合された上記光周波数コムと第２のレーザ光の混合光が入射される非線形光学結晶素子と、上記非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
さらに、本発明に係るレーザ光発生装置は、第１のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、上記第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを発生する光周波数コム発生手段と、第２のレーザ光を出射する第２のレーザ光源と、上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光と上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムを混合する光学系と、上記光学系により混合された上記光周波数コムと第２のレーザ光の混合光から上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分を生成する第１の非線形光学結晶素子と、上記混合光から光第２高調波成分を生成する第２の非線形光学結晶素子と、上記第１の非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と上記第２の非線形光学結晶素子により得られる光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段と、  上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御する制御手段とを備えることを特徴とする。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係るレーザ周波数測定方法では、基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分と被測定レーザ光とのヘテロダイン成分を検出することにより、  高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて高い測定精度を確保して広範囲に亘って上記被測定レーザ光の周波数を測定することができる。
また、本発明に係るレーザ周波数測定方法では、第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムと第２のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分とのヘテロダイン成分を検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光又は第２のレーザ光の周波数を高い測定精度を確保して広範囲に亘って測定することができる。
本発明に係るレーザ周波数制御方法では、第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分と第２のレーザ光とのヘテロダイン成分を検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御することにより、上記差周波数を広範囲に亘って高精度に制御することができる。
また、本発明に係るレーザ周波数制御方法では、第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを生成し、上記光周波数コムと第２のレーザ光との光混合により得られる上記光周波数コムと第２のレーザ光の和周波数成分と、上記光周波数コムから光第２高調波発生により得られる光第２高調波成分とのヘテロダイン成分を検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように帰還制御することにより、上記差周波数を広範囲に亘って高精度に制御することができる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本発明に係るレーザ周波数測定装置では、基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生手段により発生し、上記光周波数コムが入射される非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムの光第２高調波成分と被測定レーザ光を光学系で混合し、上記光学系により混合された光第２高調波成分と被測定レーザ光とのヘテロダイン成分をヘテロダイン検波手段で検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて高い測定精度を確保して広範囲に亘って上記被測定レーザ光の周波数を測定することができる。
また、本発明に係るレーザ周波数測定装置では、基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生手段により発生し、上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと被測定レーザ光と光学系で混合し、上記光学系により混合された上記光周波数コムと被測定レーザ光の混合光が入射される非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と光第２高調波成分のヘテロダイン成分をヘテロダイン検波手段で検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて高い測定精度を確保して広範囲に亘って上記被測定レーザ光の周波数を測定することができる。
さらに、本発明に係るレーザ周波数測定装置では、基準レーザ光源から出射された基準レーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生手段により発生し、上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと被測定レーザ光を光学系で混合し、上記光学系により混合された上記光周波数コムと被測定レーザ光の混合光から上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分を第１の非線形光学結晶素子により生成するとともに、上記混合光から光第２高調波成分を第２の非線形光学結晶素子におり生成し、上記第１の非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と上記第２の非線形光学結晶素子により得られる光第２高調波成分のヘテロダイン成分をヘテロダイン検波手段で検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて高い測定精度を確保して広範囲に亘って上記被測定レーザ光の周波数を測定することができる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
本発明に係るレーザ光発生装置では、第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生手段により発生し、上記光周波数コムが入射される非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムの光第２高調波成分と上記第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光を光学系で混合し、上記光学系により混合された光第２高調波成分と第２のレーザ光とのヘテロダイン成分をヘテロダイン検波手段で検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、制御手段により上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように広い周波数範囲に亘って極めて安定に帰還制御することができる。
また、本発明に係るレーザ光発生装置では、第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生手段により発生し、上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムと第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光を光学系で混合し、上記光学系により混合された上記光周波数コムと第２のレーザ光の混合光が入射される非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と光第２高調波成分のヘテロダイン成分をヘテロダイン検波手段で検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、制御手段により上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように広い周波数範囲に亘って極めて安定に帰還制御することができる。
さらに、本発明に係るレーザ光発生装置では、第１のレーザ光源から出射された第１のレーザ光に基づいて周波数間隔一定のサイドバンドを持つレーザ光からなる光周波数コムを光周波数コム発生手段により発生し、第２のレーザ光源から出射された第２のレーザ光と上記光周波数コム発生手段により発生された光周波数コムを光学系で混合し、上記光学系により混合された上記光周波数コムと第２のレーザ光の混合光から上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分を第１の非線形光学結晶素子により生成するとともに、上記混合光から光第２高調波成分を第２の非線形光学結晶素子に生成し、上記第１の非線形光学結晶素子により得られる上記光周波数コムと被測定レーザ光の和周波数成分と上記第２の非線形光学結晶素子により得られる光第２高調波成分のヘテロダイン成分を検出するヘテロダイン検波手段で検出することにより、高いＳＮ比でヘテロダイン成分を検出することができ、上記ヘテロダイン成分の検出出力に基づいて、制御手段により上記第１のレーザ光と第２のレーザ光の差周波数を一定にするように広い周波数範囲に亘って極めて安定に帰還制御することができる。