【手続補正書】
【提出日】平成17年8月26日(2005.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を用いて画素に設けられた画素電極に第３の交流電圧を印加し、
前記画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記検査用電極に生じた第４の交流電圧から前記画素電極に印加された電圧を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項２】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、整流化または前記第２の交流電圧の波形を整形して、画素が有する配線または回路素子に印加することによって、前記画素に設けられた画素電極に第３の交流電圧を印加し、
前記画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記検査用電極に生じた第４の交流電圧から前記画素電極に印加された電圧を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項３】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を用いて複数の画素にそれぞれ設けられた画素電極に第３の交流電圧を印加し、
前記複数の画素にそれぞれ設けられた画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記検査用電極に生じた第４の交流電圧から前記複数の画素にそれぞれ設けられた画素電極に印加された電圧の総和を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項４】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、整流化または前記第２の交流電圧の波形を整形して、複数の画素にそれぞれ設けられた配線または回路素子に印加することによって、前記複数の画素にそれぞれ設けられた画素電極に第３の交流電圧を印加し、
前記複数の画素にそれぞれ設けられた画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記検査用電極に生じた第４の交流電圧から前記複数の画素にそれぞれ設けられた画素電極に印加された電圧の総和を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記第１のコイル、前記第２のコイルが有する配線は、それぞれ同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする電圧測定方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、
前記第１のコイルと前記検査用電極は、第１の絶縁表面上に形成されており、
前記第２のコイルと前記画素電極は、第２の絶縁表面上に形成されていることを特徴とする電圧測定方法。
【請求項７】
請求項６において、
前記第１の絶縁表面と前記第２の絶縁表面の間隔は、前記第１の絶縁表面と前記第２の絶縁表面の間に流体を流すことにより制御していることを特徴とする電圧測定方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の前記電圧測定方法を用いて得られた、前記画素電極に印加された電圧またはその総和を用いて、前記画素の良否を判定することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項９】
第１のコイルと、
半導体装置に設けられた第２のコイルと、
前記第１のコイルと前記半導体装置に設けられた第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせる手段と、
前記半導体装置に設けられた画素が有する画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせる手段と、
前記第１のコイルが有する２つの端子間に交流電圧を印加する手段と、
前記検査用電極に生じた交流電圧から前記画素の動作状態を確認する手段とを有することを特徴とする電気的検査装置。
【請求項１０】
第１のコイルと、
半導体装置に設けられた第２のコイルと、
前記第１のコイルと前記半導体装置に設けられた第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせる手段と、
前記半導体装置に設けられた画素が有する画素電極と走査電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせる手段と、
前記第１のコイルが有する２つの端子間に交流電圧を印加する手段と、
前記検査用電極に生じた交流電圧から前記画素の動作状態を確認する手段とを有し、
前記検査用電極に生じた交流電圧は、前記画素の動作状態を情報として有していることを特徴とする電気的検査装置。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０において、
前記第１のコイルと前記第２のコイルとの間隔を、前記第１のコイルと前記第２のコイルとの間に流体を流すことで制御していることを特徴とする電気的検査装置。
【請求項１２】
請求項９乃至請求項１１のいずれか一項において、
前記第１のコイルが有する配線は、同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする電気的検査装置。
【請求項１３】
画素電極と、配線または回路素子と、第１のコイルと、第２のコイルとを形成し、
前記第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと前記第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を前記配線または回路素子に印加することによって、前記画素電極に第３の交流電圧を印加し、
前記画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記検査用電極に生じた第４の交流電圧から前記画素電極に印加された電圧を算出することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１４】
画素電極と、配線または回路素子と、第１のコイルと、第２のコイルとを形成し、
前記第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと前記第２のコイルとを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、整流化または前記第２の交流電圧の波形を整形して前記配線または回路素子に印加することによって、前記画素電極に第３の交流電圧を印加し、
前記画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせ、
前記検査用電極に生じた第４の交流電圧から前記画素電極に印加された電圧を算出することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項１５】
複数の画素に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極の各々に印加される電圧を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項１６】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に非接触で電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極の各々に印加される電圧を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項１７】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極に生じる第３の交流電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極の各々に印加される電圧を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項１８】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、整流化または前記第２の交流電圧の波形を整形して、複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極に生じる第３の交流電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極の各々に印加される電圧を算出することを特徴とする電圧測定方法。
【請求項１９】
請求項１７または請求項１８において、
前記第１のコイルおよび前記第２のコイルが有する配線は、それぞれ同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする電圧測定方法。
【請求項２０】
請求項１７乃至請求項１９のいずれか一項において、
前記第１のコイルと前記第２のコイルの間隔は、前記第１のコイルと前記第２のコイルの間に流体を流すことにより制御していることを特徴とする電圧測定方法。
【請求項２１】
請求項１７乃至請求項２０のいずれか一項において、
前記複数の画素電極の各々の電圧を、逐次近似法、投影切断面定理を用いたフーリエ変換法または重畳積分法を用いて算出していることを特徴とする電圧測定方法。
【請求項２２】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２３】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に非接触で電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２４】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極に印加される電圧の分布を求めることを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２５】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に非接触で電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極に印加される電圧の分布を求めることを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２６】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極に印加される電圧の分布を求め、
前記電圧の分布から前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２７】
複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に非接触で電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極に印加される電圧の分布を求め、
前記電圧の分布から前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２８】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極に生じる第３の交流電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項２９】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極に生じる第３の交流電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極に印加される電圧の分布を求め、
前記電圧の分布から前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項３０】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、整流化または前記第２の交流電圧の波形を整形して、複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極に生じる第３の交流電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項３１】
第１のコイルが有する２つの端子間に第１の交流電圧を印加し、
前記第１のコイルと第２のコイルとを間隔を空けて重ね合わせ、
前記第２のコイルが有する２つの端子間に生じた第２の交流電圧を、整流化または前記第２の交流電圧の波形を整形して、複数の画素電極に印加される電圧を制御するための配線または回路素子に印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極に生じる第３の交流電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素電極に印加される電圧の分布を求め、
前記電圧の分布から前記配線または回路素子の動作状態を確認することを特徴とする電気的検査方法。
【請求項３２】
請求項２８乃至請求項３１のいずれか一項において、
前記第１のコイルおよび前記第２のコイルが有する配線は、それぞれ同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする電気的検査方法。
【請求項３３】
請求項２８乃至請求項３２のいずれか一項において、
前記第１のコイルと前記第２のコイルの間隔は、前記第１のコイルと前記第２のコイルの間に流体を流すことにより制御していることを特徴とする電気的検査方法。
【請求項３４】
第１のコイルと、
素子基板に設けられた第２のコイルと、
前記第１のコイルと前記素子基板に設けられた第２のコイルとを間隔を空けて重ねる手段と、
前記素子基板に設けられた複数の画素がそれぞれ有する画素電極の一部または全てと検査用電極とを間隔を空けて重ねる手段と、
前記複数の画素がそれぞれ有する画素電極に対する前記検査用電極の位置を変える手段と、
前記第１のコイルが有する２つの端子間に交流電圧を印加する手段と、
前記検査用電極に生じた交流電圧から、前記複数の画素の各々の動作状態を確認する手段とを有することを特徴とする電気的検査装置。
【請求項３５】
第１のコイルと、
前記素子基板に設けられた第２のコイルと、
前記第１のコイルと前記素子基板に設けられた第２のコイルとを間隔を空けて重ねる手段と、
前記素子基板に設けられた複数の画素がそれぞれ有する画素電極の一部または全てと検査用電極とを間隔を空けて重ねたまま、前記複数の画素がそれぞれ有する画素電極に対する前記検査用電極の位置を変える手段と、
前記第１のコイルが有する２つの端子間に交流電圧を印加する手段と、
前記検査用電極に生じた交流電圧から、前記複数の画素の各々の動作状態を確認する手段とを有することを特徴とする電気的検査装置。
【請求項３６】
請求項３４または請求項３５において、
前記第１のコイルと前記第２のコイルとの間の間隔を、前記第１のコイルと前記第２のコイルとの間に流体を流すことにより制御する手段を有していることを特徴とする電気的検査装置。
【請求項３７】
請求項３４および請求項３６において、
前記第１のコイルが有する配線は、同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする電気的検査装置。
【請求項３８】
配線または回路素子と、前記配線または回路素子によって電圧が供給される画素電極とを形成し、
前記配線または回路素子に電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素がそれぞれ有する画素電極に印加された電圧の値を算出することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３９】
配線または回路素子と、前記配線または回路素子によって電圧が供給される画素電極とを形成し、
前記配線または回路素子に非接触で電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素がそれぞれ有する画素電極に印加された電圧の値を算出することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４０】
配線または回路素子と、前記配線または回路素子によって電圧が供給される画素電極とを形成し、
前記配線または回路素子に電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素がそれぞれ有する画素電極に印加された電圧の値を算出することを特徴とする素子基板の作製方法。
【請求項４１】
配線または回路素子と、前記配線または回路素子によって電圧が供給される画素電極とを形成し、
前記配線または回路素子に非接触で電圧を印加し、
前記複数の画素電極の一部または全てと間隔を空けて重ねたまま検査用電極を移動させ、
前記検査用電極の電圧と前記複数の画素電極に対する前記検査用電極の位置とから、前記複数の画素がそれぞれ有する画素電極に印加された電圧の値を算出することを特徴とする素子基板の作製方法。