【手続補正書】
【提出日】平成17年9月2日(2005.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  定盤に対して所定方向に移動自在に設置された移動テーブルを備えたステージ装置であって、
可動子と固定子とを有し、前記可動テーブルを前記所定方向に駆動する非接触型可動手段と、
前記可動テーブルの移動により前記固定子に作用する反力を相殺するように、前記固定子に非接触で推力を与えるリニアモータと、を備えることを特徴とするステージ装置。
【請求項２】  請求項１記載のステージ装置であって、
前記非接触型可動手段が前記可動テーブルに与える推力に基づいて、前記リニアモータを制御する制御手段を備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項３】  請求項１記載のステージ装置であって、
前記固定子は前記定盤上に設けられていることを特徴とするステージ装置。
【請求項４】  請求項３記載のステージ装置であって、
前記固定子を前記所定方向に移動可能にガイドするガイド手段を備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項５】  定盤上に所定方向に移動自在に設置された可動テーブルを、前記定盤に対して前記所定方向に非接触型駆動手段を用いて駆動するステージ駆動方法であって、
前記非接触型駆動手段の固定子が前記定盤に対して移動自在に支持された状態で、前記可動テーブルに前記所定方向に推力を与えるときに前記固定子に対して制動力を与えることを特徴とするステージ駆動方法。
【請求項６】  請求項５記載のステージ駆動方法であって、
前記固定子に対して与えられる制動力は電磁力によって非接触で与えられることを特徴とするステージ駆動方法。
【請求項７】  請求項５記載のステージ駆動方法であって、
前記可動テーブルの位置及び移動速度の指令値に基づいて、フィードフォワード系で、前記固定子に対して制動力を与えることを特徴とするステージ駆動方法。
【請求項８】  定盤と、該定盤に対して所定方向に移動自在に設置された可動テーブルと、前記定盤に対して前記可動テーブルを前記所定方向に駆動する非接触型駆動手段と、を有するステージ装置であって、
前記非接触型駆動手段の固定子を前記定盤に対して前記所定方向に移動自在に支持し、
前記固定子に対して制動力を与える制動部材を所定のベースに設けたことを特徴とするステージ装置。
【請求項９】  請求項８記載のステージ装置であって、
前記非接触型駆動手段の固定子は、前記定盤に対して前記所定方向に直交する方向には移動しないように支持されており、
前記ベースに設けられた前記制動部材は、前記ベース上に設けられたフレームと、該フレームに取り付けられ前記非接触型駆動手段の固定子に対して電磁力よりなる制動力を与える推力発生器と、を有し、
前記推力発生器は、前記非接触型駆動手段を介して前記可動テーブルを駆動する際に前記固定子に作用する反力を実質的に相殺する推力を前記駆動力として発生することを特徴とするステージ装置。
【請求項１０】  請求項８記載のステージ装置であって、
前記非接触型駆動手段の固定子は、前記定盤に対して前記所定方向に直交する方向には移動しないように支持されており、
前記ベースに設けられた前記制動部材は、前記ベースに設けられたフレームと、該フレームに取り付けられ前記非接触型駆動手段の固定子に対して機械的な制動力を与える受動的制動器と、を有することを特徴とするステージ装置。
【請求項１１】  定盤と、
該定盤上に第１の方向に移動自在に設置された第１の可動テーブルと、
該第１の可動テーブルに対して前記第１の方向に交差する第２の方向に移動自在に設置された第２の可動テーブルと、
前記定盤に対して前記第１の可動テーブルを前記第１の方向に駆動する駆動装置と、
前記第１の可動テーブルに対して前記第２の可動テーブルを前記第２の方向に駆動する非接触型駆動手段と、を有するステージ装置であって、
前記第１の可動テーブルに取り付けられて該第１の可動テーブルと共に前記第１の方向に移動する可動部材と、
所定のベース上に固定されて前記可動部材の前記第１の方向での移動範囲に亘って前記可動部材に対して前記第２の方向への推力を与える制動部材と、を備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項１２】  請求項１１記載のステージ装置であって、
前記制動部材は、前記可動部材の前記第１の方向での全移動範囲に亘って前記可動部材と対向するように配置された固定部材を有し、
前記可動部材と前記固定部材との間に、前記非接触型駆動手段を介して前記第２の可動テーブルを駆動する際に前記可動部材に作用する反力を実質的に相殺する推力を発生することを特徴とするステージ装置。
【請求項１３】  基板にパターンを露光する露光装置において、
前記基板を保持するステージ装置として、請求項１又は８記載のステージ装置を用いることを特徴とする露光装置。
【請求項１４】  マスクのパターンを基板に露光する露光装置において、
前記マスクを保持するステージ装置として、請求項１又は８記載のステージ装置を用いることを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明による第１のステージ装置は、定盤（３）に対して所定方向に移動自在に設置された可動テーブル（５，６，８）を備えたステージ装置であって、可動子（１１Ａ，１１Ｂ）と固定子（１２Ａ，１２Ｂ）とを有し、可動テーブルを所定方向に駆動する非接触型可動手段（１０Ａ，１０Ｂ）と、可動テーブルの移動により固定子に作用する反力を相殺するように、固定子に非接触で推力を与えるリニアモータ（１２Ａ，１２Ｂ，３６Ａ，３６Ｂ）と、を備えている。
この場合、非接触型可動手段が可動テーブルに与える推力に基づいて、リニアモータを制御する制御手段（５２）を設けてもよい。
また、固定子を前記定盤上に設けてもよい。この場合、固定子を所定方向に移動可能にガイドするガイド手段（１３Ａ，１３Ｂ）を備えてもよい。
本発明によるステージ駆動方法は、定盤（３）上に所定方向に移動自在に設置された可動テーブル（５，６，８）を、定盤（３）に対して所定方向に非接触型駆動手段（１０Ａ，１０Ｂ）を用いて駆動するステージ駆動方法であって、その非接触型駆動手段の固定子（１２Ａ，１２Ｂ）が定盤（３）に対して移動自在に支持された状態で、その可動テーブルにその所定方向に推力を与えるときにその固定子に対して制動力を与えるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この場合、その可動テーブルの位置及び移動速度の指令値に基づいて、フィードフォワード系で、その固定子に対して勢動力を与えるようにしてもよい。これによって応答速度が速くなる。
次に、本発明による第２のステージ装置は、定盤（３）と、この定盤に対して所定方向に移動自在に設置された可動テーブル（５，６，８）と、その定盤に対してその可動テーブルをその所定方向に駆動する非接触型駆動手段（１０Ａ，１０Ｂ）と、を有するステージ装置であって、その非接触型駆動手段の固定子（１２Ａ，１２Ｂ）をその定盤に対してその所定方向に移動自在に支持し、その固定子に対して制動力を与える制動部材（３５Ａ，３６Ａ，３６Ｂ；３５Ａ，６４Ａ，６４Ｂ，６５）を所定のベース（１）に設けたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明による第３のステージ装置は、定盤（３）と、この定盤（３）上に第１の方向に移動自在に設置された第１の可動テーブル（５，６，８）と、この第１の可動テーブルに対してその第１の方向に交差する第２の方向に移動自在に設置された第２の可動テーブル（７，１４，１５）と、定盤（３）に対してその第１の可動テーブルをその第１の方向に駆動する駆動装置（１０Ａ，１０Ｂ）と、その第１の可動テーブルに対してその第２の可動テーブルをその第２の方向に駆動する非接触型駆動手段（２６Ａ，２６Ｂ）と、を有するステージ装置であって、その第１の可動テーブルに取り付けられてこの第１の可動テーブルと共にその第１の方向に移動する可動部材（３２）と、所定のベース（１）上に固定されて可動部材（３２）のその第１の方向での移動範囲に亘って可動部材（３２）に対してその第２の方向への推力を与える制動部材（３３，３４Ａ，３４Ｂ）と、を備えたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明による第１の露光装置は、基板にパターンを露光する露光装置において、その基板を保持するステージ装置として、本発明の第１又は第２のステージ装置を用いるものである。
次に、本発明による第２の露光装置は、マスクのパターンを基板に露光する露光装置において、そのマスクを保持するステージ装置として、本発明の第１又は第２のステージ装置を用いるものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
【発明の効果】
本発明の第１のステージ装置によれば、可動テーブルを駆動させる非接触型可動手段の固定子を利用して、リニアモータがこの固定子に作用する反力を相殺することが可能となる。
また、可動テーブルに与える推力に基づいてリニアモータを制御することができる。
また、固定子を定盤上に設けることができ、更に固定子を定盤上で所定方向に移動可能にガイドすれば、固定子に作用する反力を完全に相殺できない場合でも、相殺されなかった反力の影響を受けることがない。
本発明のステージ駆動方法によれば、非接触型駆動手段の固定子を制動しているため、可動テーブル（可動部）の駆動に伴う振動を抑制する際にモーメントや変形力等を発生しにくい利点がある。この場合、その可動テーブルの位置及び移動速度の指令値に基づいて、フィードフォワード系で、固定子に対して制動力を与えるときには、応答速度が向上する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
次に、本発明の第２のステージ装置によれば、非接触型駆動装置の固定子に対する制動部材を設けているため、本発明のステージ駆動方法が使用できる。
この場合、非接触型駆動装置の固定子は、定盤に対して所定方向に直交する方向には移動しないように支持されており、ベースに設けられた制動部材は、そのベースに設けられたフレームと、このフレームに取り付けられその非接触型駆動装置の固定子に対して電磁力よりなる制動力を与える推力発生器と、を有し、その推力発生器は、その非接触型駆動装置を介してその可動テーブルを駆動する際にその固定子に作用する反力を実質的に相殺する推力をその制動力として発生する場合には、大型の制振機構を使用することなく能動的に、その可動部の駆動に伴う振動を大きく低減できる利点がある。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
また、本発明の第３のステージ装置によれば、交差する２方向に可動部を駆動する場合に、一方の移動方向で生じる振動を他方の移動方向にはあまり影響を与えることなく抑制できる利点がある。また、第２の可動テーブル（可動部）の駆動に伴う振動を抑制する際にモーメントや変形力等を発生しにくい利点もある。この場合、制動部材は、可動部材の第１の方向での全移動範囲に亘ってその可動部材に対向するように配置された固定部材を有し、その可動部材とその固定部材との間に、非接触型駆動手段を介して第２の可動テーブルを駆動する際にその可動部材に作用する反力を実質的に相殺する推力を発生する場合には、その可動部材のその第１の方向での位置が変化しても、常に同じ状態でその可動部材をその第２の方向へ駆動する際の振動を低減できる利点がある。
また、本発明の第１、第２の露光装置によれば可動テーブルを駆動した際に発生する反力の影響を受けることなく露光を行うことができるという利点がある。