【手続補正書】
【提出日】平成17年5月17日(2005.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器の前記出力端における電気的特性を解析するインピーダンス整合器の出力端特性解析方法であって、
前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを予め取得しておき、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出し、この検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【請求項２】
前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な全ての値を順次変化させつつ、各可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定することにより取得されることを特徴とする、請求項１に記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【請求項３】
前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定し、その測定結果を用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を算出することにより取得されることを特徴とする、請求項１に記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【請求項４】
予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、
前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データとこの取得済のデータを用いて補間演算により算出されるサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報のデータとに基づいて、解析されることを特徴とする、請求項１に記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【請求項５】
前記補間演算は、補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に隣接する少なくとも２個のサンプリング可変値のインピーダンス測定値を用いて比例計算により、前記補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に対するインピーダンスに関する情報を算出するものであることを特徴とする、請求項３または４に記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【請求項６】
前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性は、前記インピーダンス整合器の出力端における出力インピーダンス、電圧、電流、当該電圧と電流との位相差、および前記負荷のインピーダンスのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【請求項７】
入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、
前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、
前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と前記記憶部の記憶されたデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器。
【請求項８】
入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、
前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、
前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波供給回路と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを入力する入力部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と前記入力部から入力されるデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器。
【請求項９】
前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な全ての値を順次変化させつつ、各可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定することにより取得されることを特徴とする、請求項７または８に記載のインピーダンス整合器。
【請求項１０】
前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定し、その測定結果を用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を算出することにより取得されることを特徴とする、請求項７または８に記載のインピーダンス整合器。
【請求項１１】
請求項７に記載のインピーダンス整合器において、
予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、前記取得済のデータを用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を算出する補間演算部をさらに備え、
前記解析部は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データとこの取得済のデータを用いて補間演算により算出されるサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報のデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とするインピーダンス整合器。
【請求項１２】
前記補間演算は、補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に隣接する少なくとも２個のサンプリング可変値のインピーダンス測定値を用いて比例計算により、前記補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に対するインピーダンスに関する情報を算出するものであることを特徴とする、請求項１０または１１に記載のインピーダンス整合器。
【請求項１３】
請求項７ないし１２のいずれかに記載のインピーダンス整合器において、
前記解析部で解析されたインピーダンス整合器の出力端における電気的特性を外部に出力する出力部をさらに備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器。
【請求項１４】
前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性は、前記インピーダンス整合器の出力端における出力インピーダンス、電圧、電流、当該電圧と電流との位相差、および前記負荷のインピーダンスのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする、請求項７ないし１３のいずれかに記載のインピーダンス整合器。
【請求項１５】
高周波電源が接続される入力端と、負荷が接続される出力端と、前記入力端と出力端との間に設けられ、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるための少なくとも１の可変リアクタンス素子と、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるべく、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値を調整する制御部と、前記制御部により調整された前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値に関する情報を外部に出力する出力部とを備えたインピーダンス整合器と、
前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、前記インピーダンス整合器の出力部から出力されるリアクタンス値に関する情報を入力する入力部と、前記入力部から入力されるリアクタンス値に関する情報と前記記憶部に記憶されたデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えた出力端特性解析器と
からなることを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析システム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析システムにおいて、前記出力端特性解析器は、前記解析部で解析された結果をモニタ出力する出力部をさらに備えることを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第１の側面によれば、入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器の前記出力端における電気的特性を解析するインピーダンス整合器の出力端特性解析方法であって、前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを予め取得しておき、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出し、この検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とするインピーダンス整合器の出力解析方法が提供される（請求項１）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
あるいは、前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値のうちの一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定し、その測定結果を用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスを算出することにより取得してもよい（請求項３）。さらに、予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データとこの取得済のデータを用いて補間演算により算出されるサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報のデータとに基づいて、解析されるようにしてもよい（請求項４）。この場合、前記補間演算は、補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に隣接する少なくとも２個のサンプリング可変値のインピーダンス測定値を用いて比例計算により、前記補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に対するインピーダンスを算出するとよい（請求項５）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明の第２の側面によれば、入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と前記記憶部の記憶されたデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器が提供される（請求項７）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本発明の第３の側面によれば、入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを入力する入力部と、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と前記入力部から入力されるデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えたことを特徴とするインピーダンス整合器が提供される（請求項８）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
あるいは、前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値のうちの一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定し、その測定結果を用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスを算出することにより取得してもよい（請求項１０）。さらに、予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、前記取得済のデータを用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を算出する補間演算部をさらに備え、前記解析部は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データとこの取得済のデータを用いて補間演算により算出されるサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報のデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析するようにしてもよい（請求項１１）。この場合、前記補間演算は、補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に隣接する少なくとも２個のサンプリング可変値のインピーダンス測定値を用いて比例計算により、前記補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に対するインピーダンスを算出するとよい（請求項１２）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本発明の第４の側面によれば、高周波電源が接続される入力端と、負荷が接続される出力端と、前記入力端と出力端との間に設けられ、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるための少なくとも１の可変リアクタンス素子と、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるべく、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値を調整する制御部と、前記制御部により調整された前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値に関する情報を外部に出力する出力部とを備えたインピーダンス整合器と、前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、前記インピーダンス整合器の出力部から出力されるリアクタンス値に関する情報を入力する入力部と、前記入力部から入力されるリアクタンス値に関する情報と前記記憶部に記憶されたデータとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えた出力端特性解析器とからなることを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析システムが提供される（請求項１５）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
本発明によれば、インピーダンス整合器の入力端に高周波電源を接続するとともに、出力端に負荷を接続し、高周波電源から高周波電力が出力されると、入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流が検出され、この検出情報に基づいて可変リアクタンス素子のリアクタンス値が高周波電源と負荷とのインピーダンスを整合させるように調整される。そして、その調整されたリアクタンス値に関する情報と記憶部に記憶されたデータとに基づいて、インピーダンス整合器の出力端における電気的特性（インピーダンス整合器の出力端における出力インピーダンス、電圧、電流および当該電圧と電流との位相差、負荷のインピーダンスなどの電気的特性）が解析される。そして、その解析結果は外部にモニタ出力される。これにより従来のインピーダンス整合器の出力端の電気的特性を検出するための出力側検出器が削減可能になり、製造コストが安価でしかも出力端の電気的特性を高精度に解析できるインピーダンス整合器、およびその出力端特性解析方法、ならびに出力端特性解析システムを実現することができる。