【手続補正書】
【提出日】平成16年7月21日(2004.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記プローブ本体は、前記細長い光ファイバの少なくとも主要な部分が前記プローブ本体に対して自由に移動することのないように維持される大きさとされていることを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項２】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記プローブ本体が、光ファイバを包囲する第１の断面積を有しかつ前記先端に近接する第１終端部と、光ファイバを包囲する第２の断面積を有しかつ前記先端とは反対側の前記プローブ本体の端部に近接する第２終端部と、光ファイバを包囲する第３の断面積を有しかつ前記第１終端部と前記第２終端部との略中間に位置する中間部とを画定しており、第１の断面積が第２の断面積よりも小さくかつ第３の断面積が第２の断面積よりも小さいことを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項３】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記先端に近接する前記プローブ本体が前記細長い光ファイバを密接に包囲する内側材料を含み、前記先端に近接する前記プローブ本体が内側材料を包囲する他の層を含み、前記他の層が前記材料の内側層に接続されていない場合に、前記材料の内側層を約９０°曲げる際に断面積を維持する傾向が、前記他の層を曲げる際よりも大きく、前記光ファイバが前記プローブ本体と嵌合した場合に、前記光ファイバが前記内側層に対して移動可能であることを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項４】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記光ファイバを前記プローブ本体から取り外すことなく前記先端を越えて延在する前記光ファイバの長さを延長可能とするように、前記細長い光ファイバが、前記本体に対して長手方向に調整可能であることを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項５】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記光ファイバプローブは、前記光ファイバの周囲の大部分を支持する支持体を含み、前記光ファイバが前記プローブ本体に対して長手方向に自由に移動することを選択的に維持することを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項６】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記プローブ本体の大部分が容易に折り曲げ可能であり、プローブ本体に対するプローブ先端の角度を調整でき、かつ前記光ファイバが前記プローブ本体の大部分と摺動可能に嵌合できることを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項７】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記プローブ本体の主要な部分が、実質的に一定の垂直プロファイルを有することを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項８】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体と、
（ｂ）前記本体に沿って長手方向に延在し、かつ前記先端を越えて延びる細長い光ファイバとを含み、
（ｃ）前記プローブ本体がその内部に空洞を画定し、前記細長いファイバが空洞内を延在し、前記空洞の主要な部分が前記細長い光ファイバを密接に包囲することを特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項９】
前記プローブ本体が、第１の断面積を有しかつ前記先端に近接する第１終端部と、第２の断面積を有しかつ前記先端とは反対側の前記プローブ本体の端部に近接する第２終端部と、第３の断面積を有しかつ前記第１終端部と前記第２終端部との略中間に位置する中間部とを画定しており、第１の断面積が第２の断面積よりも小さくかつ第３の断面積が第２の断面積よりも小さい、請求項１、３〜８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１０】
前記先端に近接する前記プローブ本体が前記細長い光ファイバを密接に包囲する内側材料を含み、前記先端に近接する前記プローブ本体が内側材料を包囲する他の層を含み、前記他の層が前記材料の内側層に接続されていない場合に、前記材料の内側層を約９０°曲げる際に断面積を維持する傾向が、前記他の層を曲げる際よりも大きい、請求項１、２、４〜８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１１】
前記細長い光ファイバが、前記本体に対して長手方向に調整可能である、請求項１〜３、５〜８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１２】
前記光ファイバプローブは、前記光ファイバが前記プローブ本体に対して長手方向に自由に移動することを選択的に維持する支持体を含む、請求項１〜４、６〜８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１３】
前記プローブ本体の大部分が容易に折り曲げ可能であり、プローブ本体に対するプローブ先端の角度を調整できる、請求項１〜５、７、８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１４】
前記プローブ本体が、前記細長い光ファイバの実質的に全部をプローブ本体に対して自由に移動できないように維持する大きさである、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１５】
前記プローブ本体の主要な部分が、実質的に一定の垂直プロファイルを有する、請求項１〜６、８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１６】
前記プローブ本体がその内部に空洞を画定し、前記細長いファイバが空洞内を延在し、前記空洞の主要な部分が前記細長い光ファイバを密接に包囲する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の光ファイバ。
【請求項１７】
前記プローブ本体が、前記細長い光ファイバの少なくとも主要な部分をプローブ本体に対して自由に移動できないように維持する大きさである、請求項２から８のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。
【請求項１８】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体を与え、
（ｂ）細長い光ファイバを、前記本体に沿って長手方向に延ばし、かつ前記先端を越えて延ばし、
（ｃ）前記光ファイバの主要な部分が前記プローブ本体に対して長手方向に自由に移動するよう選択的に維持し、
（ｄ）前記先端に向かって前記光ファイバの主要な部分を長手方向に調整し、
（ｅ）前記長手方向の調整の後、前記光ファイバの主要な部分が前記プローブ本体に対して長手方向に自由に移動するよう選択的に維持することを含む、供試デバイスを試験する方法。
【請求項１９】
（ａ）前記プローブ本体を折曲げツールと嵌合し、
（ｂ）前記プローブ本体と前記折曲げツールとを協働することにより前記プローブ本体の一部を折り曲げ、
（ｃ）前記折曲げツールから前記プローブ本体を外すことをさらに含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
（ａ）供試デバイスに選択的に接近する先端を有するプローブ本体を与え、
（ｂ）細長い光ファイバを、前記本体に沿って長手方向に、前記先端を越えて延ばし、
（ｃ）前記プローブ本体を折曲げツールと嵌合し、
（ｄ）前記プローブ本体と前記折曲げツールとを協働することにより前記プローブ本体の一部を折り曲げ、
（ｅ）前記折曲げツールから前記プローブ本体を外すことを含む、光電子探針デバイスを調整する方法。
【請求項２１】
（ａ）前記光ファイバの主要な部分が前記プローブ本体に対して長手方向に自由に移動するよう選択的に維持し、
（ｂ）前記先端に向かって前記光ファイバの主要な部分を長手方向に調整し、
（ｃ）前記長手方向の調整の後、前記光ファイバの主要な部分が前記プローブ本体に対して長手方向に自由に移動するよう選択的に維持することを含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記光ファイバの少なくとも一部を前記プローブ本体に対して選択的に回転可能にする構造をさらに含む、請求項１〜２１のいずれか一項に記載の光ファイバプローブ。