(57)【要約】  観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、観測対象信号をストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、直前のストローブ信号に応じてフリップフロップにより取得された直前の観測対象信号の値に応じて、次の観測対象信号を取り込むための次のストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、を備える取得装置を提供する。変更部は、ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる複数の遅延部と、複数の遅延部により互いに異なる遅延量だけ遅延された複数のストローブ信号の中から、直前の観測対象信号の値に応じて次のストローブ信号を選択する選択部と、を有し、フリップフロップは、選択部により選択された次のストローブ信号を入力してよい。
2009022427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記観測対象信号を前記ストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力状態に基づいて、次の前記観測対象信号を取り込むための次の前記ストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、
を備える取得装置。
【請求項２】
前記変更部は、
前記ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる複数の遅延部と、
前記複数の遅延部により互いに異なる遅延量だけ遅延された複数の前記ストローブ信号の中から、直前の前記観測対象信号の値に応じて次の前記ストローブ信号を選択する選択部と、
を有し、
前記フリップフロップは、前記選択部により選択された次の前記ストローブ信号を入力する
請求項１に記載の取得装置。
【請求項３】
前記フリップフロップが第１論理値を取得している第１状態において、調整用の第１の前記観測対象信号を前記フリップフロップに出力して、前記第１論理値に応じて選択された前記ストローブ信号により取得させる第１取得処理部と、
前記フリップフロップが第２論理値を取得している第２状態において、前記変更部によるタイミング変更前の前記ストローブ信号に対して前記第１観測対象信号と同一の波形を有する調整用の第２の前記観測対象信号を前記フリップフロップに出力して、前記第２論理値に応じて選択された前記ストローブ信号により取得させる第２取得処理部と、
前記第１取得処理部および前記第２取得処理部が前記フリップフロップに取得させた前記観測対象信号の値が同一となるように、前記第１論理値および前記第２論理値に応じて選択される前記遅延部の遅延量の差を調整する調整部と、
を更に備える請求項２に記載の取得装置。
【請求項４】
入力信号を閾値と比較した結果に応じた論理値を有する前記観測対象信号を出力するレベル比較部を更に備える請求項３に記載の取得装置。
【請求項５】
前記観測対象信号が、前記ストローブ信号に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定するエッジ判定部を更に備え、
前記変更部は、前記フリップフロップにより取得された直前の前記観測対象信号の値および前記エッジ判定部による判定結果に応じて、次の前記ストローブ信号のタイミングを変更する
請求項３に記載の取得装置。
【請求項６】
観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、
前記複数の遅延部に対応して設けられ、対応する前記遅延部から出力された前記遅延ストローブ信号のタイミングで前記観測対象信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、
少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記観測対象信号の値に応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記観測対象信号を次の前記ストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、
前記複数のフリップフロップの出力信号のうち、前記決定部が決定した前記フリップフロップの出力信号を、次の前記観測対象信号の観測値として出力する出力部と、
を備える取得装置。
【請求項７】
次の前記ストローブ信号に応じて少なくとも２つの前記フリップフロップにより取得された少なくとも２つの次の前記観測対象信号の値から、前記観測対象信号が前記ストローブ信号に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定するエッジ判定部を更に備え、
前記決定部は、少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記観測対象信号の値と、少なくとも２つの前記フリップフロップにより取得された少なくとも２つの次の前記観測対象信号の値から前記エッジ判定部が判定した判定結果に応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記観測値を出力すべきフリップフロップを決定する請求項６に記載の取得装置。
【請求項８】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、
前記取得装置が取得した前記デバイス出力信号に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記取得装置は、
前記デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記デバイス出力信号を前記ストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力状態に基づいて、次の前記デバイス出力信号を取り込むための次の前記ストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、
を有する試験装置。
【請求項９】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、
前記取得装置が取得した前記デバイス出力信号に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記取得装置は、
前記デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、
前記ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、
前記複数の遅延部に対応して設けられ、対応する前記遅延部から出力された前記遅延ストローブ信号のタイミングで前記デバイス出力信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、
少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記デバイス出力信号の値に応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記デバイス出力信号を次の前記ストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、
前記複数のフリップフロップの出力信号のうち、前記決定部が決定した前記フリップフロップの出力信号を、次の前記デバイス出力信号の観測値として出力する出力部と、
を有する試験装置。
【請求項１０】
前記デバイス出力信号の期待値を発生する期待値発生部を更に備え、
前記決定部は、少なくとも１つの前記フリップフロップにより取得された直前の前記デバイス出力信号の値と、次の前記デバイス出力信号の期待値とに応じて、前記複数のフリップフロップのうち、次の前記デバイス出力信号を次の前記ストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する
請求項９に記載の試験装置。
【請求項１１】
デバイスを製造する製造方法であって、
デバイスを製造する製造段階と、
製造されたデバイスを、請求項８または請求項９に記載の試験装置により試験して選別する選別段階と、
を備える製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、取得装置、試験装置および製造方法に関する。特に本発明は、ストローブ信号のタイミングで信号を取得するフリップフロップを備える取得装置、試験装置および製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体等の試験装置は、被試験デバイスから出力された出力信号の論理値をフリップフロップで取り込む。そして、試験装置は、フリップフロップにより取り込んだ値に基づき被試験デバイスの良否を判定する（例えば、特許文献１参照。）。また、試験装置は、出力信号の論理値の取り込みタイミングを示すストローブ信号をタイミング発生部から発生して、フリップフロップに与える。
【特許文献１】特開２００２−１１６２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、フリップフロップは、観測対象の信号の論理値の変化中のタイミングにおいてストローブ信号が与えられた場合、直前に取得した論理値（すなわち、現在格納している論理値）に応じて異なる論理値を取り込んでしまうという現象が発生する。例えば、フリップフロップは、観測対象信号がＬ論理からＨ論理へ変化中の所定タイミングにおいてストローブ信号が与えられた場合、Ｈ論理を格納している状態ではＨ論理を取り込むが、Ｌ論理を格納している状態ではＬ論理を取り込む、という現象が発生する。【０００４】
このような現象が生じる観測対象信号とストローブ信号との相対タイミングの範囲を、デッドバンドと呼ぶ。フリップフロップにおけるデッドバンドは、例えば、製造ばらつき、内部回路の構成、メーカの違い、製造プロセス、製造ロット、内部配線経路、隣接配線の容量等によって異なると考えられる。【０００５】
このように、フリップフロップは、デッドバンドが存在するので、観測対象信号の論理値の取得タイミングを微小な時間間隔で制御した場合、精度良く論理値を取り込むことができなかった。また、このようなフリップフロップを用いる試験装置は、被試験デバイスの出力信号の論理値の取得タイミングを微小な時間間隔で制御した場合、被試験デバイスの良否を精度良く判定できなかった。【０００６】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる取得装置、試験装置および製造方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、観測対象信号をストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、フリップフロップの出力状態に基づいて、次の観測対象信号を取り込むための次のストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、を備える取得装置を提供する。【０００８】
本発明の第２の形態においては、観測対象の信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、複数の遅延部に対応して設けられ、対応する遅延部から出力された遅延ストローブ信号のタイミングで観測対象信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、少なくとも１つのフリップフロップにより取得された直前の観測対象信号の値に応じて、複数のフリップフロップのうち、次の観測対象信号を次のストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、複数のフリップフロップの出力信号のうち、決定部が決定したフリップフロップの出力信号を、次の観測対象信号の観測値として出力する出力部と、を備える取得装置を提供する。【０００９】
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、被試験デバイスが試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、取得装置が取得したデバイス出力信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備え、取得装置は、デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、デバイス出力信号をストローブ信号のタイミングで取得するフリップフロップと、フリップフロップの出力状態に基づいて、次のデバイス出力信号を取り込むための次のストローブ信号のタイミングを変更する変更部と、を有する試験装置を提供する。【００１０】
本発明の第４の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに供給する試験信号供給部と、被試験デバイスが試験信号に応じて出力するデバイス出力信号を取得する取得装置と、取得装置が取得したデバイス出力信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備え、取得装置は、デバイス出力信号を取り込むべきタイミングを示すストローブ信号を発生するストローブ発生部と、ストローブ信号を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号として出力する複数の遅延部と、複数の遅延部に対応して設けられ、対応する遅延部から出力された遅延ストローブ信号のタイミングでデバイス出力信号をそれぞれ取得する複数のフリップフロップと、少なくとも１つのフリップフロップにより取得された直前のデバイス出力信号の値に応じて、複数のフリップフロップのうち、次のデバイス出力信号を次のストローブ信号に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップを決定する決定部と、複数のフリップフロップの出力信号のうち、決定部が決定したフリップフロップの出力信号を、次のデバイス出力信号の観測値として出力する出力部と、を有する試験装置を提供する。【００１１】
本発明の第５の形態においては、デバイスを製造する製造方法であって、デバイスを製造する製造段階と、製造されたデバイスを、第３の形態または第４の形態の試験装置により試験して選別する選別段階と、を備える製造方法を提供する。【００１２】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００と共に示す。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る取得装置１４の構成を示す。
【図３】図３は、観測対象信号５３０、ストローブ信号５４０およびフリップフロップ２６による取得値の一例を示す。
【図４】図４は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。
【図５】図５は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。
【図６】図６は、観測対象信号５３０が立上りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。
【図７】図７は、観測対象信号５３０が立下りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。
【図８】図８は、本発明の実施形態の第１変形例に係る取得装置１４の構成を示す。
【図９】図９は、図８に示した第１変形例に係る取得装置１４による、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を調整する調整処理フローを示す。
【図１０】図１０は、図９のステップＳ１００１における詳細な処理フローを示す。
【図１１】図１１は、ステップＳ１００１の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。
【図１２】図１２は、図９のステップＳ１００２における詳細な処理フローを示す。
【図１３】図１３は、ステップＳ１００２の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。
【図１４】図１４は、本発明の実施形態の第２変形例に係る取得装置１４の構成を期待値発生部１８とともに示す。
【図１５】図１５は、本発明の実施形態の第３変形例に係る取得装置１４の構成を示す。
【符号の説明】
【００１４】
１０  試験装置
１２  試験信号供給部
１４  取得装置
１６  判定部
１８  期待値発生部
２２  レベル比較部
２４  ストローブ発生部
２６  フリップフロップ
２８  変更部
３２  遅延部
３４  選択部
４０  スイッチ
４２  第１取得処理部
４４  第２取得処理部
４６  調整部
５０  エッジ判定部
５２  記憶部
５４  決定部
５６  出力部
１００  被試験デバイス
５１０  試験信号
５２０  デバイス出力信号
５３０  観測対象信号
５４０  ストローブ信号
５５０  取得信号
５６０  第１観測対象信号
５７０  第２観測対象信号
６００  遅延ストローブ信号
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１６】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００と共に示す。試験装置１０は、半導体メモリ等の被試験デバイス１００を試験する。【００１７】
試験装置１０は、試験信号供給部１２と、取得装置１４と、判定部１６とを備える。試験信号供給部１２は、被試験デバイス１００を試験するための試験信号５１０を被試験デバイス１００に供給する。取得装置１４は、被試験デバイス１００が試験信号５１０に応じて出力するデバイス出力信号５２０を取得する。試験装置１０は、デバイス出力信号５２０がＨ論理か否かを判定するためのＨ論理用取得装置と、デバイス出力信号５２０がＬ論理か否かを判定するためのＬ論理用取得装置とを備えてもよい。判定部１６は、取得装置１４が取得したデバイス出力信号５２０に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定する。【００１８】
図２は、本実施形態に係る取得装置１４の構成を示す。取得装置１４は、印加された試験信号５１０に応じて被試験デバイス１００から出力された応答信号（デバイス出力信号５２０）を受けて、指定されたタイミング（ストローブタイミング）において応答信号の論理値を取得する。これにより、取得装置１４によれば、ストローブタイミングでの応答信号の論理値を判定することができる。取得装置１４は、レベル比較部２２と、ストローブ発生部２４と、フリップフロップ２６と、変更部２８とを備える。【００１９】
レベル比較部２２は、被試験デバイス１００により出力されたアナログ波形のデバイス出力信号５２０を受けて、閾値と比較する。レベル比較部２２は、一例として、Ｈ論理と判断すべきレベルとＨ論理ではない判断すべきレベルとの閾値、または、Ｌ論理と判断すべきレベルとＬ論理ではない判断すべきレベルとの閾値と、デバイス出力信号５２０とを比較する。そして、レベル比較部２２は、デバイス出力信号５２０と閾値との比較結果に応じた論理値を表す論理波形の観測対象信号５３０を出力する。本実施形態において、レベル比較部２２は、デバイス出力信号５２０が閾値以上の場合にはＨ論理（又はＬ論理）となり、観測対象信号５３０が閾値より小さい場合にはＬ論理（又はＨ論理）となる観測対象信号５３０を出力する。【００２０】
ストローブ発生部２４は、観測対象信号５３０を取り込むべきタイミング（すなわち、デバイス出力信号５２０を取り込むべきタイミング）を示すストローブ信号５４０を発生する。ストローブ発生部２４により出力されるストローブ信号５４０のタイミングは、一例として、試験プログラムに応じて動作するコントローラ等に応じて可変制御がされる。ストローブ発生部２４は、一例として、観測対象信号５３０を取り込むべきタイミングにおいてパルス波形を含むストローブ信号５４０を発生してよい。【００２１】
フリップフロップ２６は、論理波形の観測対象信号５３０を受け、観測対象信号５３０により表された論理値をストローブ信号５４０のタイミングでラッチする。そして、フリップフロップ２６は、ラッチした論理値を表す取得信号５５０を出力する。本実施形態において、フリップフロップ２６は、入力端（Ｄ端）から観測対象信号５３０を入力する。本実施形態において、フリップフロップ２６は、クロック端からストローブ信号５４０を入力する。【００２２】
フリップフロップ２６は、クロック端から入力したストローブ信号５４０のタイミングで、入力端から入力した観測対象信号５３０の値（Ｈ論理またはＬ論理）を取得する。フリップフロップ２６は、取得した値（Ｈ論理またはＬ論理）を表す取得信号５５０を出力端（Ｏ端）から出力する。なお、フリップフロップ２６は、同一タイミングのストローブ信号５４０であっても、製造ばらつき要因、その他の要因によって、極小な取得タイミングのずれが生じる場合がある。【００２３】
変更部２８は、フリップフロップ２６の出力状態に基づいてストローブ信号５４０のタイミングを変更する。すなわち、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値に応じて、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを変更する。本実施形態において、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じて取得された観測対象信号５３０の値がＨ論理かＬ論理かに応じて、次の観測対象信号５３０の値を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを切り換える。【００２４】
変更部２８は、一例として、複数の遅延部３２と、選択部３４とを有してよい。複数の遅延部３２のそれぞれは、ストローブ信号５４０を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる。複数の遅延部３２のうちの１つは、バッファ回路等の固定遅延量であってもよい。選択部３４は、フリップフロップ２６の出力信号である取得信号５５０を受けて、複数の遅延部３２により互いに異なる遅延量だけ遅延された複数のストローブ信号５４０の中から、何れかを選択して、フリップフロップ２６のクロック入力端へ供給する。【００２５】
ここで、本実施形態においては、変更部２８は、Ｈ側遅延部３２−１と、Ｌ側遅延部３２−２と、選択部３４とを有する。Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２は、ストローブ信号５４０を、互いに異なる遅延量だけ遅延させる。Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２は、一方が固定遅延量であってよい。選択部３４は、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合、Ｈ側遅延部３２−１により遅延されたストローブ信号５４０を次のストローブ信号５４０として選択する。選択部３４は、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合、Ｌ側遅延部３２−２により遅延されたストローブ信号５４０を次のストローブ信号５４０として選択する。これにより、変更部２８は、フリップフロップ２６の出力状態に基づき観測対象信号５３０の取得タイミング（ストローブタイミング）の遅延量を微小に変更することができる。【００２６】
図３は、観測対象信号５３０、ストローブ信号５４０およびフリップフロップ２６による取得値の一例を示す。ストローブ発生部２４は、一例として、当該試験装置１０による試験のための基本となる周期（試験周期）毎に、指定された位相のタイミングでストローブ信号５４０を発生する。フリップフロップ２６は、ストローブ信号５４０が発生されたタイミングで、観測対象信号５３０の値（Ｈ論理またはＬ論理）をラッチする。このようにフリップフロップ２６は、試験周期毎に観測対象信号５３０の値を取得することができる。【００２７】
図４は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。図５は、直前のストローブ信号５４０のタイミングで取得された観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合における、フリップフロップ２６から出力される取得信号５５０の一例を示す。【００２８】
図４の（Ａ）および図５の（Ａ）は、同一波形の観測対象信号５３０を示す。図４の（Ｂ）は、（Ａ）に示された観測対象信号５３０に対して、時刻ｔ０１、時刻ｔ１、時刻ｔ２、時刻ｔ３のタイミングで発生されたストローブ信号５４０を示す。図５の（Ｂ）は、（Ａ）に示された観測対象信号５３０に対して、時刻ｔ０２、時刻ｔ１、時刻ｔ２、時刻ｔ３のタイミングで発生されたストローブ信号５４０を示す。【００２９】
図４の（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）は、時刻ｔ０１のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０の値を取得した後、時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０を取得した場合の取得信号５５０を示す。図５の（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）は、時刻ｔ０２のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０の値を取得した後、時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３のタイミングのストローブ信号５４０で観測対象信号５３０を取得した場合の取得信号５５０を示す。【００３０】
なお、時刻ｔ０１は、観測対象信号５３０がＨ論理となっている任意のタイミングを示す。時刻ｔ０２は、観測対象信号５３０がＬ論理となっている任意のタイミングを示す。時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３のそれぞれは、時刻ｔ０１および時刻ｔ０２で発生されたストローブ信号５４０の次のストローブ信号５４０の発生範囲であって、観測対象信号５３０がＬ論理からＨ論理への変化中のタイミングを示す。【００３１】
ここで、理想的なフリップフロップは、観測対象信号５３０とストローブ信号５４０との相対タイミングが同一であれば、フリップフロップ２６の出力状態に関わらず、常に同一の再現性で値を取得する。しかし、現実のフリップフロップ２６は、製造ばらつき、その他の要因でこの再現性がばらつく場合がある。ここで、再現性がばらつく範囲をデッドバンドという。デッドバンドは、使用する回路素子、製造ばらつき等に依存して変わり、ゼロの場合もあるが、数ピコ秒〜数十ピコ秒程度が見込まれる。【００３２】
例えば、図４および図５の時刻ｔ１のタイミングにおいて、共にＬ論理を取得する。また、フリップフロップ２６は、例えば、図４および図５の時刻ｔ３のタイミングにおいて、共にＨ論理を取得する。しかし、フリップフロップ２６は、観測対象信号５３０とストローブ信号５４０との相対タイミングが当該フリップフロップ２６におけるデッドバンドの範囲に含まれる場合、直前に取得した観測対象信号５３０の値がＨ論理かまたはＬ論理かによって、異なる値を取得する。例えば図４に示されるように、直前に取得した値がＨ論理の場合、フリップフロップ２６は、時刻ｔ２のタイミングにおいてＨ論理を取得する。これに対して、例えば図５に示されるように、直前に取得した値がＬ論理の場合、フリップフロップ２６は、時刻ｔ２のタイミングにおいてＬ論理を取得する。【００３３】
図６は、観測対象信号５３０が立上りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。図７は、観測対象信号５３０が立下りエッジの場合の変更部２８によるストローブ信号５４０のタイミングの変更例を示す。【００３４】
観測対象信号５３０が立上りエッジの場合、フリップフロップ２６のデッドバンドは、図６に示すような範囲となる。すなわちこの場合のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における取得信号５５０がＬ論理からＨ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ１１）と、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における取得信号５５０がＬ論理からＨ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ１２）との間となる。なお、立上りエッジの場合のフリップフロップ２６のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における切替タイミング（ｔ１１）が、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における切替タイミング（ｔ１２）よりも時間的に前の場合、および後の場合のいずれも存在する。【００３５】
また、観測対象信号５３０が立下りエッジの場合、フリップフロップ２６のデッドバンドは、図７に示すような範囲となる。すなわちこの場合のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における取得信号５５０がＨ論理からＬ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ２１）と、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における取得信号５５０がＨ論理からＬ論理へと切り替わる切替タイミング（ｔ２２）との間となる。なお、立下りエッジの場合のフリップフロップ２６のデッドバンドは、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における切替タイミング（ｔ２１）が、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における切替タイミング（ｔ２２）よりも時間的に前の場合、および後の場合のいずれも存在する。【００３６】
ここで、本実施形態において、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値（Ｈ論理またはＬ論理）に応じて、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを変更する。この場合において、変更部２８は、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理である場合の次のストローブ信号５４０のタイミングと、直前のストローブ信号５４０に応じてフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理である場合の次のストローブ信号５４０のタイミングとの間に、デッドバンドに対応する時間差を設ける。【００３７】
例えば、図６に示すように、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合の切替タイミング（ｔ１２）が、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合の切替タイミング（ｔ１１）よりも時間的に後であるとする。このような場合、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングをデッドバンドに対応する時間差分遅延する。そして、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを遅延しない。【００３８】
また、例えば、図７に示すように、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合の切替タイミング（ｔ２１）が、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合の切替タイミング（ｔ２２）よりも時間的に後であるとする。このような場合、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングをデッドバンドに対応する時間差分遅延する。そして、変更部２８は、一例として、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理であれば、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを遅延しない。【００３９】
このように、変更部２８は、直前の観測対象信号５３０の値が取得信号５５０の論理切替タイミングが時間的に後となる論理値の場合、直前の観測対象信号５３０の値が取得信号５５０の論理切替タイミングが時間的に前となる論理値の場合よりも、次の観測対象信号５３０を取り込むための次のストローブ信号５４０のタイミングを、デッドバンドに対応する時間差分遅延する。これにより、変更部２８は、観測対象信号５３０とストローブ信号５４０との相対タイミングがデッドバンドの範囲に含まれても、直前に取得した観測対象信号５３０の値に関わらず、フリップフロップ２６に対して同一の値を取得させることができる。従って、取得装置１４によれば、観測対象信号５３０の値を精度良く取り込むことができる。【００４０】
図８は、本実施形態の第１変形例に係る取得装置１４の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、本実施形態に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、本実施形態に係る試験装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００４１】
本変形例に係る取得装置１４は、更に、スイッチ４０と、第１取得処理部４２と、第２取得処理部４４と、調整部４６とを備える。スイッチ４０は、通常動作時において、レベル比較部２２から出力される観測対象信号５３０をフリップフロップ２６の入力端に入力させる。スイッチ４０は、調整時において、レベル比較部２２から出力される観測対象信号５３０に代えて、第１取得処理部４２および第２取得処理部４４から出力される第１観測対象信号５６０および第２観測対象信号５７０を、フリップフロップ２６の入力端に入力させる。【００４２】
第１取得処理部４２は、フリップフロップ２６が第１論理値を取得している第１状態において、調整用の第１観測対象信号５６０をフリップフロップ２６に出力する。そして、第１取得処理部４２は、調整用の第１観測対象信号５６０を第１論理値に応じて選択されたストローブ信号５４０により取得させる。なお、第１論理値は、Ｈ0論理またはＬ論理のいずれかであってよい。また、第２論理値は、第１論理値がＨ論理の場合、Ｌ論理であり、第１論理値がＬ論理の場合、Ｈ論理であってよい。第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいて第１論理値（例えばＨ論理）となっている波形と、次のストローブ信号５４０の発生範囲内における予め定められたタイミングにおいて第２論理値（例えばＬ論理）から第１論理値（例えばＨ論理）に変化する波形とを有する第１観測対象信号５６０を、フリップフロップ２６に対して出力してよい。【００４３】
第２取得処理部４４は、フリップフロップ２６が第２論理値を取得している第２状態において、変更部２８によるタイミング変更前のストローブ信号５４０に対して第１観測対象信号５６０と同一の波形を有する調整用の第２観測対象信号５７０をフリップフロップ２６に出力する。そして、第２取得処理部４４は、調整用の第２観測対象信号５７０を第２論理値に応じて選択されたストローブ信号５４０により取得させる。第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいて第２論理値（例えばＬ論理）となっている波形と、次のストローブ信号５４０の発生範囲内における予め定められたタイミングにおいて第２論理値（例えばＬ論理）から第１論理値（例えばＨ論理）に変化する波形とを有する第２観測対象信号５７０を、フリップフロップ２６に対して出力してよい。【００４４】
調整部４６は、第１取得処理部４２および第２取得処理部４４がフリップフロップ２６に取得させた第１観測対象信号５６０および第２観測対象信号５７０の値が同一となるように、第１論理値および第２論理値に応じて選択されるＨ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２の遅延量の差を調整する。調整部４６は、一例として、ストローブ発生部２４を制御して、当該ストローブ発生部２４から出力されるストローブ信号５４０のタイミングを順次変化させながら、Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２の遅延量の差を調整する。【００４５】
図９は、図８に示した第１変形例に係る取得装置１４による、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を調整する調整処理フローを示す。まず、取得装置１４は、デッドバンドの開始位置を検出する（Ｓ１００１）。次に、取得装置１４は、デッドバンドに対応した時間差となるように、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を調整する（Ｓ１００２）。【００４６】
図１０は、図９のステップＳ１００１における詳細な処理フローを示す。図１１は、ステップＳ１００１の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。【００４７】
ステップＳ１００１の処理において、まず、調整部４６は、Ｈ側遅延部３２−１およびＬ側遅延部３２−２の遅延量を一致させる（Ｓ１０１１）。すなわち、調整部４６は、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を０とする。【００４８】
次に、調整部４６は、ステップＳ１０１３〜ステップＳ１０１５の処理を、ストローブ信号５４０のタイミングを順次に変更しながら繰返し実行する（Ｓ１０１２、Ｓ１０１６）。調整部４６は、一例として、ストローブ信号５４０のタイミングをデッドバンドの開始位置よりも十分に前の位置から所定時間間隔で順次に後ろにずらしながら、ステップＳ１０１３〜ステップＳ１０１５の処理を繰り返し実行する。【００４９】
ステップＳ１０１３〜１０１５の処理において、まず、調整部４６は、第１取得処理部４２に処理を実行させる（Ｓ１０１３）。ステップＳ１０１３において、第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＨ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＨ論理状態にする。ステップＳ１０１３において、続いて、第１取得処理部４２は、予め定められたタイミングにおいてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形を有する第１観測対象信号５６０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第１取得処理部４２は、調整部４６によって設定されたストローブ信号５４０のタイミングで、フリップフロップ２６に第１観測対象信号５６０の論理値を取得させることができる。【００５０】
次に、調整部４６は、第２取得処理部４４に処理を実行させる（Ｓ１０１４）。ステップＳ１０１４において、第２取得処理部４４は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＬ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＬ論理状態にする。ステップＳ１０１４において、続いて、第２取得処理部４４は、予め定められたタイミング（ステップＳ１０１３と同一タイミング）においてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形（ステップＳ１０１３と同一波形）を有する第２観測対象信号５７０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第１取得処理部４２は、調整部４６によって設定されたストローブ信号５４０のタイミングで、フリップフロップ２６に第２観測対象信号５７０の論理値を取得させることができる。【００５１】
次に、調整部４６は、ステップＳ１０１３でのフリップフロップ２６による第１観測対象信号５６０の取得結果（Ｈ状態取得値）と、ステップＳ１０１４でのフリップフロップ２６による第２観測対象信号５７０の取得結果（Ｌ状態取得値）とを比較する（Ｓ１０１５）。ここで、図１１に示すように、Ｈ状態取得値およびＬ状態取得値は、デッドバンドの範囲以外では同一の値となり、デッドバンドの範囲内では異なる値となる。従って、ストローブ信号のタイミングを、デッドバンドの開始位置よりも十分に前の位置から順次に後ろにずらしていった場合、Ｈ状態取得値およびＬ状態取得値は、最初同一であり、デッドバンドの開始位置に一致すると違いが生じる。【００５２】
次に、調整部４６は、ステップＳ１０１５においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが同一である場合、ステップＳ１０１３〜Ｓ１０１５の処理を繰り返す（Ｓ１０１２、Ｓ１０１６）。そして、調整部４６は、ステップＳ１０１５においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが異なると、ステップＳ１０１２〜Ｓ１０１６の処理を抜ける（Ｓ１０１６）。このようにして、調整部４６は、デッドバンドの開始位置を検出することができる。そして、調整部４６は、ステップＳ１０１２〜Ｓ１０１６の処理を抜けると、処理を図９のステップＳ１００２に移す。【００５３】
図１２は、図９のステップＳ１００２における詳細な処理フローを示す。図１３は、ステップＳ１００２の処理中における、第１観測対象信号５６０（第２観測対象信号５７０）、遅延ストローブ信号６００およびフリップフロップ２６の取得値の一例を示す。【００５４】
ステップＳ１００２の処理において、調整部４６は、ステップＳ１０２２〜ステップＳ１０２４の処理を、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を順次に変更しながら繰返し実行する（Ｓ１０２１、Ｓ１０２５）。調整部４６は、一例として、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を、０から所定量ずつ順次大きくしながら、ステップＳ１０２２〜ステップＳ１０２４の処理を繰返し実行する。この場合、調整部４６は、他方の遅延量を固定としてよい。【００５５】
なお、ここで、調整部４６は、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理だった場合における取得信号５５０の論理値の切替タイミングが、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理だった場合における取得信号５５０の論理値の切替タイミングよりも時間的に後である場合には、Ｌ側遅延部３２−２の遅延量を順次に大きくしてよい。また、調整部４６は、切替タイミングの関係が逆の場合には、Ｈ側遅延部３２−１の遅延量を順次に大きくしてよい。【００５６】
ステップＳ１０２２〜１０２４において、まず、調整部４６は、第１取得処理部４２に処理を実行させる（Ｓ１０２２）。ステップＳ１０２２において、第１取得処理部４２は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＨ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＨ論理状態にする。ステップＳ１０２２において、続いて、第１取得処理部４２は、予め定められたタイミングにおいてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形を有する第１観測対象信号５６０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第１取得処理部４２は、調整部４６によって設定されたストローブ信号５４０のタイミングで、フリップフロップ２６に第１観測対象信号５６０の論理値を取得させることができる。【００５７】
次に、調整部４６は、第２取得処理部４４に処理を実行させる（Ｓ１０２３）。ステップＳ１０２３において、第２取得処理部４４は、一例として、直前のストローブ信号５４０のタイミングにおいてＬ論理となっている波形を有する信号をフリップフロップ２６に出力して、フリップフロップ２６をＬ論理状態にする。ステップＳ１０２３において、続いて、第２取得処理部４４は、予め定められたタイミング（ステップＳ１０２２と同一タイミング）においてＬ論理からＨ論理に立ち上がる波形（ステップＳ１０２２と同一波形）を有する第２観測対象信号５７０をフリップフロップ２６に出力する。これにより、第２取得処理部４４は、ステップＳ１０２２のストローブ信号５４０のタイミングから遅延量の差分遅延したタイミングで、フリップフロップ２６に第２観測対象信号５７０の論理値を取得させることができる。【００５８】
次に、調整部４６は、ステップＳ１０２２でのフリップフロップ２６による第１観測対象信号５６０の取得結果（Ｈ状態取得値）と、ステップＳ１０２３でのフリップフロップ２６による第２観測対象信号５７０の取得結果（Ｌ状態取得値）とを比較する（Ｓ１０２４）。ここで、直前の論理値がＬ論理の場合に選択されるストローブ信号のタイミングを、デッドバンドの開始位置から順次に後ろにずらしていった場合、Ｈ状態取得値およびＬ状態取得値は、最初は相違しているが、デッドバンドの終了位置を超えると同一となる。【００５９】
次に、調整部４６は、ステップＳ１０２４においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが異なる場合、ステップＳ１０２２〜Ｓ１０２４の処理を繰り返す（Ｓ１０２１、Ｓ１０２５）。そして、調整部４６は、ステップＳ１０２４においてＨ状態取得値とＬ状態取得値とが同一となると、ステップＳ１０２１〜Ｓ１０２５の処理を抜ける（Ｓ１０２５）。この結果、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差は、デッドバンドに対応する値となる。そして、調整部４６は、ステップＳ１０２１〜Ｓ１０２５の処理を抜けると、図９のステップＳ１００２の処理を終了する。【００６０】
以上の処理の結果、調整部４６は、デッドバンドに対応した遅延量の差を、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との間に設定することができる。以上のように本変形例に係る取得装置１４によれば、Ｈ側遅延部３２−１とＬ側遅延部３２−２との遅延量の差を、デッドバンドに対応した時間差となるように調整することができる。【００６１】
図１４は、本実施形態の第２変形例に係る取得装置１４の構成を期待値発生部１８とともに示す。本変形例に係る試験装置１０は、本実施形態に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、本実施形態に係る試験装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００６２】
本変形例に係る試験装置１０は、デバイス出力信号５２０の期待値を発生する期待値発生部１８を、更に備える。また、本変形例に係る取得装置１４は、エッジ判定部５０を更に備える。【００６３】
エッジ判定部５０は、観測対象信号５３０が、ストローブ信号５４０に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定する。エッジ判定部５０は、期待値発生部１８により発生される期待値に基づき、立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジを判定してよい。【００６４】
本変形例において、変更部２８は、フリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値およびエッジ判定部５０による判定結果に応じて、次のストローブ信号５４０のタイミングを変更する。変更部２８は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３と、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４と、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５と、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６と、選択部３４とを有してよい。【００６５】
選択部３４は、観測対象信号５３０が立上りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合に、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。選択部３４は、観測対象信号５３０が立上りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合に、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。選択部３４は、観測対象信号５３０が立下りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＨ論理の場合に、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。選択部３４は、観測対象信号５３０が立下りエッジを有する場合であって、直前の観測対象信号５３０の値がＬ論理の場合に、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６により遅延されたストローブ信号５４０を選択する。【００６６】
このような取得装置１４によれば、立上りエッジと立下りエッジとでデッドバンドの幅が異なる場合にも、直前に取得した観測対象信号５３０の値に関わらず、フリップフロップ２６に対して同一の値を取得させることができる。これにより、取得装置１４によれば、観測対象信号５３０の値を精度良く取り込むことができる。【００６７】
図１５は、本実施形態の第３変形例に係る取得装置１４の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、第２変形例に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、第２変形例に係る試験装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００６８】
本変形例に係る取得装置１４は、レベル比較部２２と、ストローブ発生部２４と、複数の遅延部３２と、複数のフリップフロップ２６と、エッジ判定部５０と、複数の記憶部５２と、決定部５４とを備える。複数の遅延部３２は、ストローブ信号５４０を、互いに異なる遅延量だけ遅延させて複数の遅延ストローブ信号６００として出力する。取得装置１４は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３と、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４と、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５と、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６と、選択部３４とを有してよい。【００６９】
複数のフリップフロップ２６は、複数の遅延部３２に対応して設けられる。そして、複数のフリップフロップ２６のそれぞれは、対応する遅延部３２から出力された遅延ストローブ信号６００のタイミングで観測対象信号５３０を取得する。取得装置１４は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側遅延部３２−３に対応した立上りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−３と、立上りエッジ用Ｌ側遅延部３２−４に対応した立上りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−４と、立下りエッジ用Ｈ側遅延部３２−５に対応した立下りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−５と、立下りエッジ用Ｌ側遅延部３２−６に対応した立下りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−６とを備えてよい。【００７０】
エッジ判定部５０は、観測対象信号５３０が、遅延ストローブ信号６００に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定する。エッジ判定部５０は、一例として、次のストローブ信号５４０に応じて少なくとも２つのフリップフロップ２６により取得された少なくとも２つの次の観測対象信号５３０の値から、観測対象信号５３０がストローブ信号５４０に応じたタイミングにおいて立上りエッジまたは立下りエッジを有するか否かを判定してよい。【００７１】
複数の記憶部５２は、複数のフリップフロップ２６に対応して設けられる。そして、複数の記憶部５２は、対応するフリップフロップ２６により直前の遅延ストローブ信号６００により取得された直前の観測対象信号５３０の値を記憶する。取得装置１４は、一例として、立上りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−３に対応した立上りエッジ用Ｈ側記憶部５２−３と、立上りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−４に対応した立上りエッジ用Ｌ側記憶部５２−４と、立下りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−５に対応した立下りエッジ用Ｈ側記憶部５２−５と、立下りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−６に対応した立下りエッジ用Ｌ側記憶部５２−６とを備えてよい。【００７２】
決定部５４は、複数の記憶部５２に記憶された値およびエッジ判定部５０による判定結果とを入力する。そして、決定部５４は、少なくとも１つのフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値と、少なくとも２つのフリップフロップ２６により取得された少なくとも２つの次の観測対象信号５３０の値からエッジ判定部５０が判定した判定結果に応じて、複数のフリップフロップ２６のうち、次の観測値を出力すべきフリップフロップ２６を決定する。【００７３】
出力部５６は、複数のフリップフロップ２６の出力信号のうち、決定部５４が決定したフリップフロップ２６の出力信号を、次の観測対象信号５３０の観測値として出力する。出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立上りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＨ論理である場合、立上りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−３により取得された値を選択して出力する。また、出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立上りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＬ論理である場合、立上りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−４により取得された値を選択して出力する。出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立下りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＨ論理である場合、立下りエッジ用Ｈ側フリップフロップ２６−５により取得された値を選択して出力する。また、出力部５６は、一例として、エッジ判定部５０が立下りエッジと判定した場合であって直前に取得された論理値がＬ論理である場合、立下りエッジ用Ｌ側フリップフロップ２６−６により取得された値を選択して出力する。【００７４】
このような取得装置１４によれば、立上りエッジと立下りエッジとでデッドバンドの幅が異なる場合にも、直前に取得した観測対象信号５３０の値に関わらず、フリップフロップ２６に対して同一の値を取得させることができる。これにより、取得装置１４によれば、観測対象信号５３０の値を精度良く取り込むことができる。なお、決定部５４は、少なくとも１つのフリップフロップ２６により取得された直前の観測対象信号５３０の値と、次の観測対象信号５３０の期待値とに応じて、複数のフリップフロップ２６のうち、次の観測対象信号５３０を次のストローブ信号５４０に応じて取得した次の観測値を出力すべきフリップフロップ２６を決定してもよい。【００７５】
また、以上説明した本実施形態に係る試験装置１０は、デバイスを製造する製造方法に用いることができる。この製造方法は、デバイスを製造する製造段階と、製造されたデバイスを試験装置１０により試験して選別する選別段階とを備える。このような製造方法によれば、精度良く選別されたデバイスを製造することができる。【００７６】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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