【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  非常に狭いスリット機能と比較的広いスペクトル範囲を有する高分解能分光器であって、
Ａ）圧力容器と、
Ｂ）前記圧力容器の中に収容され、狭帯域紫外線ビームをモニタリングして干渉縞を生成するように構成されたエタロン光学ユニットと、
を備え、前記エタロン光学ユニットが、
１）前記光を非常に多くの方向に拡散して、拡散ビームを生成するように配置された拡散器と、
２）前記拡散ビームの光路内に配置されたエタロンと、
３）第１スリット開口と、
４）前記エタロンを通過した光を集めて、該通過した光の一部を前記第１スリット開口を通して合焦するように配置されたレンズユニットと、
を備え、
Ｃ）前記圧力容器装置の中に収容された格子ユニットが設けられ、
前記格子は、
１）前記第１スリット開口を通過する光を集めるように配置されたコリメータ光学ユニットと、
２）ほぼリトロー構成で配置され、前記平行化された光を前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに反射して返し、該反射された光のスペクトル成分が前記コリメータ光学ユニットによって前記スペクトル成分の波長に依存した位置に合焦されるようにする格子と、
３）第２スリット開口と、
４）前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに通過した前記光の一部を、前記第２スリット開口の中に反射するように配置されたミラーと、
５）前記第２スリット開口を通過する光をモニタリングするように配置された光モニタと、
からなり、
Ｄ）前記圧力容器の中に収容されたガスと、前記圧力容器の中のガス圧を制御するための調整手段が備えられ、
前記第１スリット開口と前記第２スリット開口との両方は、ほぼ同一の狭い波長範囲を有する非常に狭い帯域の光を通すように配置され、前記圧力容器内の圧力を変えることによって波長スキャンが達成されることを特徴とする分光器。
【請求項２】  前記格子モノクロメータ装置がさらに、前記コリメータレンズと前記格子との間に配置されて、前記第１スリット開口を通過する前記光の一部を前記格子から少なくとも２回反射させる部分反射ミラーを備えたことを特徴とする請求項１に記載の分光器。
【請求項３】  前記ミラーが、前記格子から前記第２スリット開口を通して光を２回反射させるように配置されたことを特徴とする請求項２に記載の分光器。
【請求項４】  前記容器が、前記エタロン光学ユニットと前記格子ユニットとを収容する単一の収容器からなることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
【請求項５】  前記容器が、パイプによって接続された少なくとも２つの収容器からなり、前記２つの収容器のうちの一方は、前記エタロン光学ユニットを収容し、前記収容器の他方は、前記格子を収容することを特徴とする請求項１に記載の分光器。
【請求項６】  狭帯域紫外線レーザシステムであって、
Ａ）少なくとも数ピコメートルの範囲にわたる出力波長をスキャンすることができる波長制御機構を有する狭帯域エキシマレーザと、
Ｂ）圧力容器と、
Ｃ）前記圧力容器の中に収容され、狭帯域紫外線ビームをモニタリングし、干渉縞を生成するように構成されたエタロン光学ユニットと、
を備え、前記エタロン光学ユニットが、
１）前記光を非常に多くの方向に拡散して、拡散ビームを生成するように配置された拡散器と、
２）前記拡散ビームの光路内に配置されたエタロンと、
３）第１スリット開口と、
４）前記エタロンを通過した光を集めて、該通過した光の一部を前記第１スリット開口を通して合焦するように配置されたレンズユニットと、
を備え、
Ｄ）格子ユニットが設けられ、
前記格子ユニットは、
１）前記第１スリット開口を通過する光を集めるように配置されたコリメータ光学ユニットと、
２）ほぼリトロー構成で配置され、前記平行化された光を前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに反射して返し、該反射された光のスペクトル成分が前記コリメータ光学ユニットによって前記スペクトル成分の波長に依存した位置に合焦されるようにする格子と、
３）第２スリット開口と、
４）前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに通過した前記光の一部を、前記第２スリット開口の中に反射するように配置されたミラーと、
６）前記第２スリット開口を通過する光をモニタリングするように配置された光モニタと、
からなり、
Ｅ）前記圧力容器の中に収容されたガスと、前記圧力容器の中のガス圧を制御するための調整手段が備えられ、
前記第１スリット開口と前記第２スリット開口との両方は、ほぼ同一の狭い波長範囲を有する非常に狭い帯域の光を通すように配置されて、バンド幅測定を可能にし、前記圧力容器内の圧力を変えることによって波長スキャンが達成されることを特徴とするレーザシステム。
【請求項７】  前記格子モノクロメータ装置がさらに、前記コリメータレンズと前記格子との間に配置されて、前記第１スリット開口を通過する前記光の一部を前記格子から少なくとも２回反射させる部分反射ミラーを備えたことを特徴とする請求項４に記載のレーザ。
【請求項８】  前記ミラーが、前記格子から前記第２スリット開口を通して光を２回反射させるように配置されたことを特徴とする請求項５に記載のレーザ。
【請求項９】  非常に狭いスリット機能と、比較的広いスペクトル範囲を有する高分解能モノクロメータであって、
Ａ）狭帯域紫外線ビームをモニタリングして干渉縞を生成するように構成されたエタロン光学ユニットを備え、
前記エタロン光学ユニットが、
１）前記光を非常に多くの方向に拡散して、拡散ビームを生成するように配置された拡散器と、
２）前記拡散ビームの光路内に配置されたエタロンと、
３）第１スリット開口と、
４）前記エタロンを通過した光を集めて、該通過した光の一部を前記第１スリット開口を通して合焦するように配置されたレンズユニットと、
を備え、
Ｂ）格子モノクロメータ装置が設けられ、
前記モノクロメータ装置は、
１）前記第１スリット開口を通過する光を集めるように配置されたコリメータ光学ユニットと、
２）ほぼリトロー構成で配置され、前記平行化された光を前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに反射して返し、該反射された光のスペクトル成分が前記コリメータ光学ユニットによって前記スペクトル成分の波長に依存した位置に合焦されるようにする格子と、
３）第２スリット開口と、
４）前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに通過した前記光の一部を、前記第２スリット開口の中に反射するように配置されたミラーと、
５）前記第２スリット開口を通過する光をモニタリングするように配置された光モニタと、
からなり、
前記第１スリット開口と前記第２スリット開口との両方は、ほぼ同一の狭い波長範囲を有する非常に狭い帯域の光を通すように配置されたことを特徴とするモノクロメータ。
【請求項１０】  前記格子モノクロメータ装置がさらに、前記コリメータレンズと前記格子との間に配置されて、前記第１スリット開口を通過する前記光の一部を前記格子から少なくとも２回反射させる部分反射ミラーを備えたことを特徴とする請求項９に記載のモノクロメータ。
【請求項１１】  前記ミラーが、前記格子から前記第２スリット開口を通して光を２回反射させるように配置されたことを特徴とする請求項１０に記載のモノクロメータ。
【請求項１２】  狭帯域紫外線レーザシステムであって、
Ａ）少なくとも数ピコメートルの範囲にわたる出力波長をスキャンすることができる波長制御機構を有する狭帯域エキシマレーザと、
Ｂ）狭帯域紫外線ビームをモニタリングして干渉縞を生成するように構成されたエタロン光学ユニットと、
を備え、前記エタロン光学ユニットが、
１）前記光を非常に多くの方向に拡散して、拡散ビームを生成するように配置された拡散器と、
２）前記拡散ビームの光路内に配置されたエタロンと、
３）第１スリット開口と、
４）前記エタロンを通過した光を集めて、該通過した光の一部を前記第１スリット開口を通して合焦するように配置されたレンズユニットと、
を備え、
Ｃ）格子モノクロメータ装置が設けられ、
前記モノクロメータ装置は、
１）前記第１スリット開口を通過する光を集めるように配置されたコリメータ光学ユニットと、
２）ほぼリトロー構成で配置され、前記平行化された光を前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに反射して返し、該反射された光のスペクトル成分が前記コリメータ光学ユニットによって前記スペクトル成分の波長に依存した位置に合焦されるようにする格子と、
３）第２スリット開口と、
４）前記コリメータ光学ユニットを通して後ろに通過した前記光の一部を、前記第２スリット開口の中に反射するように配置されたミラーと、
５）前記第２スリット開口を通過する光をモニタリングするように配置された光モニタと、
からなり、
前記第１スリット開口と前記第２スリット開口との両方は、ほぼ同一の狭い波長範囲を有する非常に狭い帯域の光を通すように配置されて、前記出力波長が前記波長制御機構によってスキャンされるときにバンド幅測定を可能にすることを特徴とするモノクロメータ。
【請求項１３】  前記格子モノクロメータ装置がさらに、前記コリメータレンズと前記格子との間に配置されて、前記第１スリット開口を通過する前記光の一部を前記格子から少なくとも２回反射させる部分反射ミラーを備えたことを特徴とする請求項１２に記載のモノクロメータ。
【請求項１４】  前記ミラーが、前記格子から前記第２スリット開口を通して光を２回反射させるように配置されたことを特徴とする請求項１３に記載のモノクロメータ。