(57)【要約】【課題】  簡単且つ安価な構成で、垂直方向に十分な駆動力および耐荷重が得られ、しかも変位の方向付けが行える電歪アクチュエータを提供すること。【解決手段】  基材１３の両面に、一対の対向電極１１、１２をそれぞれ接合し、一方の対向電極１１に形成した開口穴１１ａ内にゲル状のエラストマからなる充填材１４が充填されている。一対の対向電極１１，１２間に所定の電圧を印加すると、開口穴１１ａの寸法が収縮変形し、開口穴１１ａ内に充填されていたゲル状のエラストアが外に押し出され、大きな駆動力および耐荷重を得ることができる。【選択図】図２
2009031538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮性および絶縁性を有する基材と、前記基材の両面に設けられた伸張性を有する一対の対向電極と、を備えた弾性変形部材とを有し、前記一対の対向電極のうち、少なくとも一方の対向電極には穴が形成されており、前記一対の対向電極間に所定の電圧が与えられることにより前記穴が縮小されるよう駆動される電歪アクチュエータにおいて、
前記穴の内部に弾性変形可能な充填材が設けられていることを特徴とする電歪アクチュエータ。
【請求項２】
前記電圧が与えられて駆動する際に、前記穴が縮小することによって前記充填材の少なくとも一部が基材に対して盛り上がるものである請求項１記載の電歪アクチュエータ。
【請求項３】
前記穴から盛り上がった前記充填材を含む部分が、被駆動対象物を駆動させる押圧部とされる請求項２記載の電歪アクチュエータ。
【請求項４】
前記穴は、前記弾性変形部材を板厚方向に貫通する貫通穴である請求項１記載の電歪アクチュエータ。
【請求項５】
前記充填材が、封止部材で覆われている請求項１記載の電歪アクチュエータ。
【請求項６】
前記穴の上下の開口端のうち少なくとも一方の開口端側が、伸張性を有する封止部材で封止されている請求項４記載の電歪アクチュエータ。
【請求項７】
前記穴の上下の開口端の双方が封止部材で封止されており、上側の開口端を封止する封止部材と下側の開口端を封止する封止部材の弾性率に差が設けられている請求項４記載の電歪アクチュエータ。
【請求項８】
前記穴の上下の開口端の双方が封止部材で封止されており、上側の開口端を封止する封止部材と下側の開口端を封止する封止部材の板厚に寸法差が設けられている請求項４記載の電歪アクチュエータ。
【請求項９】
一方の対向電極に形成された前記穴の内部に設けられた充填材が、凸状に湾曲形成され、その上に前記基材が形成され、さらにその上に他方の対向電極が積層されており、
他方の対向電極の弾性率が、前記封止部材、充填材および基材の合計の弾性率よりも低く設定されている請求項４記載の電歪アクチュエータ。
【請求項１０】
一方の対向電極に形成された前記穴の内部に設けられた充填材が、凸状に湾曲形成され、その上に前記基材が、さらにその上に他方の対向電極が積層されており、前記他方の対向電極の表面には補助基板が設けられている請求項４記載の電歪アクチュエータ。
【請求項１１】
前記充填材が流動性材料又は半流動性のゲル状のエラストマである請求項１記載の電歪アクチュエータ。
【請求項１２】
前記充填材が弾性フォーム材である請求項１記載の電歪アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気活性ポリマー（EAP: Electro Active Polymer）を用いた電歪アクチュ
エータに係わり、特に垂直方向に大きな駆動力および耐荷重を得ることができ、しかも変位の方向付けを行えるようにした電歪アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気活性ポリマーを用いた電歪アクチュエータ素子は、通電することにより面積方向の変位が得られる。この面積方向の変位をもちいて、垂直方向の変位を取り出す試みが行われている。例えば、下記の特許文献１には、円形の穴を備えたフレームに、プリストレインドを取り付けることにより構成されたダイヤグラムアクチュエータに関する発明が記載されている。【０００３】
プリストレインドポリマの両側には円形電極が固定されており、これらの電極間に所定の電位差を与えると、前記円形の穴に垂直な方向にプリストレインドポリマを変形させることが可能となっている。
【特許文献１】特表２００３−５０６８５８号公報（第２８頁、図１Ｅ，１Ｆ）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このような電歪アクチュエータは柔軟なポリマーと変形可能な電極から構成されるため、外部からの垂直方向からの力に対しては十分な強度を得ることが難しく、駆動力、耐荷重といった観点で実用的でなかった。【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、簡単且つ安価な構成で、垂直方向に十分な駆動力および耐荷重が得られ、しかも変位の方向付けを行えるようにした電歪アクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、伸縮性および絶縁性を有する基材と、前記基材の両面に設けられた伸張性を有する一対の対向電極と、を備えた弾性変形部材とを有し、前記一対の対向電極のうち、少なくとも一方の対向電極には穴が形成されており、前記一対の対向電極間に所定の電圧が与えられることにより前記穴が縮小されるよう駆動される電歪アクチュエータにおいて、
前記穴の内部に弾性変形可能な充填材が設けられていることを特徴とするものである。【０００７】
上記においては、前記電圧が与えられて駆動する際に、前記穴が縮小することによって前記充填材の少なくとも一部が基材に対して盛り上がるものである。【０００８】
本発明の電歪アクチュエータでは、静電引力に伴うマクスウェル応力等で、電極間の基材がつぶされる方向に変形すると共に電極自体も面方向に延びる。電歪アクチュエータの面方向に広がる動作によって、穴部分は内径寸法が絞られる方向に収縮変形させられることで、穴内に充填された充填材が穴の外側に向かって押し出される。【０００９】
このため、より大きな駆動力を発生させることができ、あるいは充填材が有する弾性力が大きな抗力として働くため、強度ないしは耐荷重を向上させることが可能となる。【００１０】
上記においては、前記穴から盛り上がった前記充填材を含む部分が、被駆動対象物を駆動させる押圧部とされるものが好ましい。【００１１】
上記手段では、被駆動対象物に駆動力を与えるアクチュエータとすることができ、被駆動対象物を所望の方向に動作させることが可能となる。
例えば、前記穴は、前記弾性変形部材を板厚方向に貫通する貫通穴である。【００１２】
前記手段では、穴の収縮方向への変形により、充填材をこれと直交する方向（穴の上下方向）に突出させることができる。
上記において、前記充填材が、封止部材で覆われているものとすることができる。【００１３】
充填材が、液状シリコーン、パーフルオロロフルオロエタンなどの流動性部材の場合には、封止部材によって包むことにより、充填材の漏れを防止できるとともに、大きな駆動力を得ることが可能となる。【００１４】
例えば、前記穴の上下の開口端のうち少なくとも一方の開口端側が、伸張性を有する封止部材で封止されているものである。【００１５】
上記手段では、充填材の突出する方向（変位の方向）を方向付けることができる。尚、伸張性を有する封止部材は適度な弾性率を有する弾性体であることが好ましい。【００１６】
上記においては、前記穴の上下の開口端の双方が封止部材で封止されており、上側の開口端を封止する封止部材と下側の開口端を封止する封止部材の弾性率に差が設けられているものが好ましい。【００１７】
または前記穴の上下の開口端の双方が封止部材で封止されており、上側の開口端を封止する封止部材と下側の開口端を封止する封止部材の板厚に寸法差が設けられているものが好ましい。【００１８】
上記手段では、液漏れを防止できるとともに、充填材の突出する方向（変位の方向）を弾性率の高い方に定めること（方向付けること）ができる。【００１９】
また、一方の対向電極に形成された前記穴の内部に設けられた充填材が、凸状に湾曲形成され、その上に前記基材が形成され、さらにその上に他方の対向電極が積層されており、
他方の対向電極の弾性率が、前記封止部材、充填材および基材の合計の弾性率よりも低く設定されているものである。【００２０】
あるいは、一方の対向電極に形成された前記穴の内部に設けられた充填材が、凸状に湾曲形成され、その上に前記基材が、さらにその上に他方の対向電極が積層されており、前記他方の対向電極の表面には補助基板が設けられているものである。【００２１】
上記手段によっても変位の方向付けを行うことができる。
上記においては、前記充填材が半流動性のゲル状のエラストマが好ましい。【００２２】
例えば、シリコーンゲルなどを用いることができる。
あるいは、前記充填材が弾性フォーム材であるものとすることもできる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の電歪アクチュエータでは、より大きな力で充填材を面と直交する垂直方向（板厚方向）に押し出すことができるため、十分な駆動力および耐荷重を得ることができる。【００２４】
また簡単且つ安価な構成で、電歪アクチュエータが変位する方向をあらかじめ設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
最初に、電歪アクチュエータ１０の基本構造および基本動作について説明する。図１は電歪アクチュエータの基本的構成を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。【００２６】
図１（Ａ）に示すように、本発明の電歪アクチュエータ１０は、板厚方向の中心部に設けられた基材１３と、その上面側に設けられた一方の対向電極１１と、下面側に設けられた他方の対向電極１２の三層構造を有し、これらの外周側の縁部が拘束部材２０により保持される構成を基本としている。【００２７】
前記基材１３は薄い樹脂シートで形成されており、高い伸縮性および絶縁性を備えている。このような樹脂シートは、一般に弾性エラストマと称されており、例えばシリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂、オレフィン樹脂などが好適である。前記基材１３は、面と直交する板厚方向の圧縮力を受けて変形させられると、面と平行となる方向に変位して、その面積が広がる方向に変形する。【００２８】
一方の対向電極１１と他方の対向電極１２は一対の対向電極を形成しており、前記基材１３の上面および下面に接合されている。一対の対向電極１１，１２は、例えば導電ゲルなどのように、板厚方向と直交する方向への伸縮性を有する材料で形成されている。このため、基材１３の変形に追従して、面積が広がる方向に容易に変形することが可能である。なお、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２の中心部には、所定の直径からなる開口穴１１ａ，１２ａが形成されている。【００２９】
電歪アクチュエータ１０は、基材１３、一方の対向電極１１および他方の対向電極１２が板厚方向に積層された三層構造からなる積層体として形成された弾性変形部材１０Ａを有している。また電歪アクチュエータ１０の平面形状は円形状をしている。【００３０】
拘束部材２０はリング形状をした上側拘束部材２１と下側拘束部材２２とを有しており、前記弾性変形部材１０Ａの外周側を上下方向から挟み込むことによって電歪アクチュエータ１０全体が保持されている。【００３１】
一対の対向電極１１，１２は、前記基材１３の表面にテンションを付与した状態で取り付けられている。テンションを付与する方法は様々であるが、例えば基材１３の上に一対の対向電極１１、１２を接合した後、その基材１３を伸張させた上でその外周側を上側拘束部材２１と下側拘束部材２２とで固定することにより、テンションを付与することができる。あるいは、テンションを付与した基材１３を予め前記上側拘束部材２１と下側拘束部材２２とで拘束し、その後、基材１３の上に一対の対向電極１１，１２を接合するようにしてもよい。【００３２】
このように、一対の対向電極１１，１２の外周部を前記上側拘束部材２１と下側拘束部材２２とで拘束するようにすると、一対の対向電極１１，１２が伸縮する際に生じる力を、拘束部材２０側を基準とする水平方向の力とすることが可能となる。【００３３】
図１（Ｂ）に示すように、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２との間に所定の電圧を印加すると、電極間に静電引力が発生して、電極間距離が狭まる方向に変位させられる。このため、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２との間に挟持されている基材１３は面積の広がる外周方向および内周方向に変形しようとする。【００３４】
しかし、電歪アクチュエータ１０の外周側は拘束部材２０により保持されており、基材１３はこれ以上外周方向に広がることができない状態にある。このため、基材１３は開口穴１１ａ，１２ａが内周方向の一方向に向かってのみ拡大する。このとき、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２も前記基材１３と一体となって面積の広がる内周方向に向かって変形する。すると、開口穴１１ａ，１２ａが収縮して前記基材１３の中央部分が凸状に盛り上がり、その一部が開口穴１１ａを通じて図示上方または下方に突出させられる。これにより、電歪アクチュエータ１０を、面と直交する垂直方向（板厚方向）に変位させることが可能となる。この突出した部分を用いることにより、次の被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００３５】
次に、各実施の形態について説明する。なお、以下においては、上記基本構成の相違点および／または各実施の形態間での相違点を中心に説明する。【００３６】
図２は本発明の第１の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。【００３７】
図２（Ａ）に示すように、第２の実施の形態の構成は、開口穴１１ａ内にゲル状のエラストマなどからなる充填材１４が充填されている点以外は、上記基本構成と同様である。すなわち、充填材１４は、開口穴１１ａ内において、基材１３の上に重ねられた状態で設けられている。前記充填材１４は、外力を受けると自在に変形することができ、しかも弾性を有する半流動体の材料が好ましく、例えばシリコーンゲルなどが好適である。あるいは、充填材１４に流動を有しない弾性フォーム材（発泡体）を使用することも可能である。【００３８】
図２（Ｂ）に示すように、充填材１４を開口穴１１ａ内に設けておくと、電極間に電圧を印加して駆動させたときに、基材１３とともに、その上に重ねられている充填材１４を一緒に変形させることが可能である。このとき、変形した基材１３が、充填材１４を開口穴１１ａの外に押し出す。同時に、開口穴１１ａの内径寸法が絞られる方向に収縮変形させられるため、外に突出させられる充填材１４により大きな力を与えることができる。このため、この電歪アクチュエータ１０では、充填材１４を有しない基本構成に比較して、より大きな駆動力を発生させることができる。なお、外に押し出されて突出した充填材１４を押圧部などとして用いることにより、被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００３９】
また、垂直方向の荷重に対しては基材１３に加えて、充填材１４の弾性が抗力として働く。このため、充填材１４を有しない基本構成の場合に比べて格段に強度、耐荷重を向上させることが可能である。【００４０】
図３は本発明の第２の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。【００４１】
第２の実施の形態は、第１の実施の形態の変形例に相当するものである。
図３（Ａ）に示すように、第２の実施の形態では、下側となる他方の対向電極１２に開口穴１２ａを設けていない点、基材１３と他方の対向電極１２とが対向する境界部分は接着固定されておらず、この間の摩擦抵抗は零、または無視できるほどに小さな自由状態に設定されている点において、上記第２の実施の構成と相違しており、その他の構成は第１の実施の形態と同様である。【００４２】
第２の実施の形態では、他方の対向電極１２が、充填材１４の下面側を支える構成である。このため、図３（Ｂ）に示すように、一対の対向電極１１，１２間に所定の電圧を印加すると、電極間距離が狭まると同時に、開口穴１１ａを有する一方の対向電極１１だけが、その面積が広がる方向、すなわち開口穴１１ａの内径を絞る中心方向に収縮変形する。このとき、基材１３と他方の対向電極１２との間の摩擦抵抗は無視できるため、基材１３は面と平行となる方向に自由に変形することが可能である。このため、基材１３は、他方の対向電極１２を基準として図示上方（Ｚ１方向）に大きく盛り上がるように変形する。これにより、基材１３の上部側に設けられた充填材１４を、前記開口穴１１ａを介して図示Ｚ１方向に大きく突出させることができる。また第２の実施の形態では、変位しようとする方向をあらかじめ方向付けることができる。なお、このように突出した充填材１４を押圧部などとして用いることにより、次の被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００４３】
図４は、本発明の第３の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。【００４４】
図４（Ａ）に示す電歪アクチュエータは、開口穴１１ａを封止部材で覆った状態を示している。すなわち、第３の実施の形態に示す電歪アクチュエータは、開口穴１１ａ内に充填材１４を充填した上で、開口穴１１ａが封止部材１５で封止された状態にある。あるいは、封止部材１５で封止された開口穴１１ａ内に、充填材１４が充填された状態にある。【００４５】
前記充填材１４は、流動性を有さない弾性ゲルエラストマや弾性フォーム材（発泡体）などであってもよいし、液状シリコーンなどの流動性の部材などであってもよい。前記流動性の部材を使用した場合には、より自由に変形することが可能である。また封止部材１５で流動性の部材を封止した場合には、流動性の部材の漏れを防止することができる。このため、より大きな駆動力や耐荷重を得ることが可能となる。【００４６】
前記封止部材１５としては、例えばシリコーン、ポリウレタン等の比較的大きな伸張性を有するとともに適度な弾性率を有する弾性体が好適である。あるいは、液洩れ防止用のシーリング材を塗布することにより封止部材１５を形成するようにした構成であってもよい。【００４７】
図４（Ｂ）に示すように、第３の実施の形態では、一対の対向電極１１，１２間に所定の電圧を印加すると、基材１３および充填材１４に変形に追従して、これを覆う封止部材１５を一緒に隆起変形（突出）させることができる。このため、開口穴１１ａ内の封止状態を維持することができ、前記液洩れを防止することが可能である。なお、このように突出した充填材１４を含む部分を押圧部などとして用いることにより、次の被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００４８】
図５は、本発明の第４の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。また図６は、本発明の第５の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。【００４９】
図５（Ａ）に示すように、第４の実施の形態を示す電歪アクチュエータは、他方の対向電極１２の上に基材１３を重ね、さらにその上に一方の対向電極１１を重ねた三層構造の弾性変形部材１０Ａに、共通の貫通穴１６を形成し、この貫通穴１６の内部に充填材１４を充填させた構成である。【００５０】
図５（Ｂ）に示すように、この電歪アクチュエータでは、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２との間に所定の電圧を印加すると、一方の対向電極１１および他方の対向電極１２が面積を拡張する方向、すなわち貫通穴１６の中心軸に向かって伸張する。このため、一方の対向電極１１および他方の対向電極１２との間に挟まれている基材１３も一緒に中心軸に向かって伸張させられる。すなわち、貫通穴１６は、その内径寸法が絞られる方向に収縮変形させられる。このため、図５（Ｂ）に示すように、貫通穴１６内部の充填材１４を、例えば図示Ｚ１方向の外部に突出させることができる。そして、このように突出した充填材１４を含む部分を押圧部などとして用いることにより、被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００５１】
ただし、貫通穴１６内に充填材１４を設けただけでは、充填材１４が上下どちらの方向に突出するかは一義的に定めることができず、両方向に突出することもあり得る。【００５２】
そこで、図５（Ａ）（Ｂ）に示すように、貫通穴１６の少なくとも一方の開口端に封止部材１７を設ける構成にすると、封止部材１７が設けられた側とは逆側（図５ではＺ１方向）に充填材１４を突出させることが可能となる。【００５３】
一方、図６（Ａ）（Ｂ）に示す第５の実施の形態に示す電歪アクチュエータでは、貫通穴１６の上下両側の開口端のそれぞれに、封止部材１７Ａ，１７Ｂを設けた構成とした点で第４の実施の形態と相違している。しかも、第５の実施の形態では、上端側の封止部材１７Ａと下端側の封止部材１７Ｂとを異なる材料で形成することにより、封止部材１７Ｂの弾性率よりも封止部材１７Ａ側の弾性率を大きくしてある。つまり、封止部材１７Ａの方が封止部材１７Ｂよりも伸び易い状態にある。このため、図６（Ｂ）に示すように、貫通穴１６の内径寸法が絞る方向に収縮変形したときに、充填材１４を封止部材１７Ａが設けられた上部（Ｚ１）方向に大きく突出させることができる。前記突出した充填材１４を含む部分を押圧部などとして用いることにより、被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００５４】
このように、上端側の封止部材１７Ａと下端側の封止部材１７Ｂとの弾性率に差を設けることにより、充填材１４を所望の方向に突出させること、すなわち変位の方向についての方向付けを行うことが可能となる。【００５５】
図７は、本発明の第６の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。また図８は、本発明の第７の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。なお、第６および第７の実施の形態は、前記第４または第５の実施の形態の変形例を示している。【００５６】
第６の実施の形態に示す電歪アクチュエータが第４または第５の実施の形態と異なる点は、貫通穴１６の内面の全体を、シーリング材からなる封止部材１７で覆い、その中に充填材１４を充填した構成としている点にある。また第７の実施の形態に示す電歪アクチュエータにあっては、充填材１４を封止部材１７の内部に密封した状態で、前記貫通穴１６内に設けた構成としている点で相違している。【００５７】
図７（Ｂ）および図８（Ｂ）に示すように、第６，７に示す実施の形態においても、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２との間に所定の電圧を印加すると、電極間距離が狭まり、電歪アクチュエータ１０を形成する弾性変形部材１０Ａ全体が面積を広げようと貫通穴１６の中心軸に向かって変形する。このため、貫通穴１６の内径が収縮する方向に変形し、内部の充填材１４が盛り上がって貫通穴１６の開口端から垂直（Ｚ）方向に突出させられる。よって、第６，７に示す実施の形態においても、前記突出した充填材１４を含む部分を押圧部などとして用いることにより、被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００５８】
第６の実施の形態では充填材１４はＺ１方向にのみ突出させることができるが、第７の実施の形態では、Ｚ１およびＺ２方向のいずれにも突出させることが可能である。このため、例えば図８（Ｂ）の実線に示すように、封止部材１７の底面１７ａの板厚寸法を、天面１７ｂよりも厚く形成する構成にすると、充填材１４をＺ１側方向に突出させることが可能となる。あるいは第５の実施の形態で説明したように、封止部材１７の天面１７ｂの弾性率を、底面１７ａの弾性率よりも高くした構成とすることによっても、充填材１４をＺ１側方向に突出させることが可能である。【００５９】
なお、第６および第７の実施の形態では、充填材１４と前記貫通穴１６との間に、封止部材１７を介在させることで、前記基材１３の表面にテンションをかけ易くできる。【００６０】
図９は、本発明の第８の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。第８の実施の形態に示す電歪アクチュエータは、上記第３の実施の形態の変形例を示している。【００６１】
第８の実施の形態では、充填材１４を、突出させたい側（図９ではＺ１方向）とは逆側となる図示Ｚ２方向に、あらかじめ凸状に湾曲させた状態に形成している。そして、充填材１４の形状に倣うように基材１３を積層し、さらに他方の対向電極１２Ａを前記基材１３の形状に倣うように、その下面側に積層している。また第８の実施の形態では、他方の対向電極１２Ａを、基材１３、充填材１４および封止部材１５の合計の弾性率に比較して、十分に低い弾性率を有する材料で形成した点でも相違している。【００６２】
図９（Ｂ）に示すように、一対の対向電極１１，１２Ａ間に所定の電圧を印加すると、一方の対向電極１１と他方の対向電極１２Ａとの間の電極間距離が狭まる。このとき、弾性率の小さな他方の対向電極１２Ａには、平板の状態に戻ろうとする復元力がＺ１方向に作用する。このため、基材１３および充填材１４が、他方の対向電極１２Ａに押されてＺ１方向に持ち上げられる。よって、第８の実施の形態においても、充填材１４およびこれを覆う封止部材１５を、開口穴１１ａの開口端から図示上方のＺ１方向に突出させることができる。よって、この実施の形態においても、前記突出した充填材１４を含む部分を押圧部などとして用いることにより、被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００６３】
図１０は、本発明の第９の実施の形態を示す電歪アクチュエータの断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示している。第９の実施の形態に示す電歪アクチュエータは、前記第８の実施の形態の変形例を示している。【００６４】
第９の実施の形態では、他方の対向電極１２の弾性率を小さくする代わりに、他方の対向電極１２の下面側に、基材１３、充填材１４および封止部材１５に比較して十分に低い弾性率からなる補助基板１９を設けた構成とした点において相違している。【００６５】
図１０（Ａ）に示すように、前記補助基板１９は、湾曲変形させられた状態で隆起形成された前記他方の対向電極１２の下面側に固定されている。なお、前記補助基板１９は他方の対向電極１２の下面に部分的に設けた構成であってもよいし、他方の対向電極１２の下面に全面的に配置した構成であってもよい。【００６６】
図１０（Ｂ）に示すように、第９の実施の形態においても、一対の対向電極１１，１２間に所定の電圧を印加すると、弾性変形部材１０Ａが変形するときに、補助基板１９が他方の対向電極１２の下面側を図示Ｚ１方向に付勢する。このため、上記同様に充填材１４およびこれを覆う封止部材１５を、開口穴１１ａの開口端から図示上方のＺ１方向に突出させることができる。よって、この実施の形態においても、前記突出した充填材１４を含む部分を押圧部などとして用いることにより、被駆動対象物を駆動させることが可能となる。【００６７】
以上各実施の形態において説明した電歪アクチュエータでは、簡単且つ安価な構成で、面と垂直となる方向に十分な駆動力および耐荷重を得ることができる。しかも変位の方向付けを行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】電歪アクチュエータの基本的構成を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図４】本発明の第３の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図５】本発明の第４の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図６】本発明の第５の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図７】本発明の第６の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図８】本発明の第７の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図９】本発明の第８の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【図１０】本発明の第９の実施の形態を示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は駆動状態の一例を示す図、
【符号の説明】
【００６９】
１０  電歪アクチュエータ
１０Ａ  弾性変形部材
１１  一方の対向電極
１１ａ  開口穴
１２  他方の対向電極
１３  基材
１４  充填材
１５，１７  封止部材
１６  貫通穴
２０  拘束部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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