【手続補正書】
【提出日】平成17年4月28日(2005.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクのパターンを感光基板へ転写する露光方法において、前記マスクの異物を検出する異物検査工程と、前記異物検査工程後、異物が前記マスクに付着しうる状態にある時間を計測する計時工程と、を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記計時工程で計測された時間が所定の使用時間リミット値に達したときに、前記マスクに対して再度異物検査を行なう工程をさらに有することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項３】
前記マスクは複数のマスクであり、前記マスク毎に前記所定の使用時間リミット値を設定する工程をさらに有することを特徴とする請求項１又は２記載の露光方法。
【請求項４】
前記計時工程にて計測された時間と前記所定の使用時間リミット値との少なくとも一方を表示する工程をさらに有することを特徴とする請求項１，２又は３記載の露光方法。
【請求項５】
マスクのパターンを感光基板へ転写する露光装置において、前記露光装置内において前記マスクに異物が付着しうる状態にある時間を計測する計時装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項６】
前記計時装置で計測された時間が所定の使用時間リミット値に達したときに警告を発する警告部をさらに有することを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記計時装置で計測された時間が前記所定の使用時間リミット値に達したときに、前記マスクに対して異物検査を行なう異物検査部をさらに有することを特徴とする請求項５又は６記載の露光装置。
【請求項８】
パターンが形成されたマスクを複数管理するマスク管理装置であって、
前記複数のマスクの夫々に対応して時間情報を設定するための設定画面、又は、前記複数のマスクの夫々に対応する時間情報を表示する表示画面と、
前記複数のマスクの夫々に対応して設定される時間情報を記憶する記憶装置とを有することを特徴とするマスク管理装置。
【請求項９】
前記時間情報は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に関する情報、又は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて定められる使用時間リミット値であることを特徴とする請求項８記載のマスク管理装置。
【請求項１０】
マスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて警告を発生する警告手段を備えることを特徴とする請求項８又は９記載のマスク管理装置。
【請求項１１】
マスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて前記マスクの再検査要否を判定する判定手段を備えることを特徴とする請求項８から１０のいずれか１項に記載のマスク管理装置。
【請求項１２】
前記判定手段は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間とマスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて定められる使用時間リミット値とから求められる残時間に応じて、マスクの再検査要否を判定することを特徴とする請求項１１記載のマスク管理装置。
【請求項１３】
前記時間情報は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に関する情報であり、
前記複数のマスクのうちの所定のマスクが異物検査の再検査を受けた場合に、前記所定マスクに対応する前記経過時間に関する情報の値をリセットするリセット手段を備えることを特徴とする請求項１１又は１２記載のマスク管理装置。
【請求項１４】
前記判定手段は、前記複数のマスクの中から、前記再検査を要するマスクを検索することを特徴とする請求項１２又は１３記載のマスク検査装置。
【請求項１５】
マスクのパターンを感光基板に転写する露光装置であって、請求項８から１４のいずれか１項に記載のマスク管理装置を備えることを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明では、マスクのパターンを感光基板へ転写する露光方法において、前記マスクの異物を検出する異物検査工程と、前記異物検査工程後、異物が前記マスクに付着しうる状態にある時間を計測する計時工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、請求項２記載の発明では、前記計時工程で計測された時間が所定の使用時間リミット値に達したときに、前記マスクに対して再度異物検査を行なう工程をさらに有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、請求項３記載の発明では、前記マスクは複数のマスクであり、制御装置により前記マスク毎に前記所定の使用時間リミット値を設定する工程をさらに有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、請求項４記載の発明では、前記計時工程にて計測された時間と前記所定の使用時間リミット値との少なくとも一方を表示する工程をさらに有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項５記載の発明では、マスクのパターンを感光基板へ転写する露光装置において、前記露光装置内において前記マスクに異物が付着しうる状態にある時間を計測する計時装置を有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項６記載の発明では、前記計時装置で計測された時間が所定の使用時間リミット値に達したときに警告を発する警告部をさらに有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項７記載の発明では、前記計時装置で計測された時間が前記所定の使用時間リミット値に達したときに、前記マスクに対して異物検査を行なう異物検査部をさらに有することを特徴とする。
また、請求項８記載の発明では、パターンが形成されたマスクを複数管理するマスク管理装置であって、前記複数のマスクの夫々に対応して時間情報を設定するための設定画面、又は、前記複数のマスクの夫々に対応する時間情報を表示する表示画面と、前記複数のマスクの夫々に対応して設定される時間情報を記憶する記憶装置とを有することを特徴とする。
また、請求項９記載の発明では、前記時間情報は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に関する情報、又は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて定められる使用時間リミット値であることを特徴とする。
また、請求項１０記載の発明では、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて警告を発生する警告手段を備えることを特徴とする。
また、請求項１１記載の発明では、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて前記マスクの再検査要否を判定する判定手段を備えることを特徴とする。
また、請求項１２記載の発明では、前記判定手段は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間とマスクが異物検査を受けてからの経過時間に応じて定められる使用時間リミット値とから求められる残時間に応じて、マスクの再検査要否を判定することを特徴とする。
また、請求項１３の発明では、前記時間情報は、マスクが異物検査を受けてからの経過時間に関する情報であり、前記複数のマスクのうちの所定のマスクが異物検査の再検査を受けた場合に、前記所定マスクに対応する前記経過時間に関する情報の値をリセットするリセット手段を備えることを特徴とする。
また、請求項１４記載の発明では、前記判定手段は、前記複数のマスクの中から、前記再検査を要するマスクを検索することを特徴とする。
また、請求項１５記載の発明では、マスクのパターンを感光基板に転写する露光装置であって、前記マスク管理装置を備えることを特徴とする露光装置。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、請求項７記載の発明では、前記計時装置で計測された時間が前記所定の使用時間リミット値に達したときに、前記マスクに対して異物検査を行なう異物検査部をさらに有している。したがって、ゴミ等が一定量以上付着したマスクの使用を避けることができる。
また、請求項８記載の発明では、複数のマスク夫々に対応して時間情報を設定する時間設定画面でマスクの種類に応じて最適な時間情報を設定でき、又は、複数のマスク夫々に対応する時間情報を表示する表示画面で、各マスクの時間情報を確認できる。
また、請求項９記載の発明では、時間情報として、複数のマスク夫々に対応して最適な使用時間リミット値を設定できる。
また、請求項１０記載の発明では、オペレータがマスクの経過時間に関する情報を確実に認識できる。
また、請求項１１記載の発明では、塵などが一定量以上付着したマスクの使用を避けることも可能となる。
また、請求項１２記載の発明では、残時間が考慮されるため、再検査要否の判定が終了した後に、直ちにマスクの再検査が必要となる状況は発生し難くなる。