【手続補正書】
【提出日】平成17年9月15日(2005.9.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】  請求項２に記載の欠陥検出装置であって、
前記第１の回転追跡手段が、
前記第１の輪郭抽出体の回転を開始する候補位置として、所定の回転量ごとに複数の第１の開始位置を記憶しており、
前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを前記回転の中心画素（第１の支点画素）として、いずれかの前記第１の開始位置から前記回転を開始し、
前記第１の輪郭抽出体の回転中に、前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第１の支点画素以外の画素（第１の検出対象画素）が、前記検査パターンを形成する画素と一致した場合の前記第１の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記検査パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、
前記検査パターンを形成する画素と一致した前記第１の検出対象画素を新たに回転の中心画素とするとともに、前記回転を開始した前記第１の開始位置および前記第１の輪郭抽出体の回転量に応じて、前記第１の輪郭抽出体を前記複数の第１の開始位置のうちのいずれかに移動させることを特徴とする欠陥検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】  請求項２に記載の欠陥検出装置であって、
前記第１の回転追跡手段が、
前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを、前記第１の輪郭抽出体の回転の中心画素（第１の支点画素）として、所定の位置から前記回転を開始し、
前記第１の輪郭抽出体の回転中に、前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第１の支点画素以外の画素（第１の検出対象画素）が、前記検査パターンを形成する画素と一致した場合の前記第１の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記検査パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、
前記検査パターンを形成する画素と一致した前記第１の検出対象画素を新たに前記第１の支点画素とするとともに、前記検査パターンの輪郭が伸びる方向を検知した際の前記第１の輪郭抽出体の位置に応じて、前記第１の輪郭抽出体を移動させることを特徴とする欠陥検出装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】  請求項６に記載の欠陥検出装置であって、
前記第２の回転追跡手段が、
前記第２の輪郭抽出体の回転を開始する候補位置として、所定の回転量ごとに複数の第２の開始位置を記憶しており、
前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを前記回転の中心画素（第２の支点画素）として、いずれかの前記第２の開始位置から前記回転を開始し、
前記第２の輪郭抽出体の回転中に、前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第２の支点画素以外の画素（第２の検出対象画素）が、前記良品パターンを形成する画素と一致した場合の前記第２の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記良品パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、
前記良品パターンを形成する画素と一致した前記第２の検出対象画素を新たに前記第２の支点画素とするとともに、前記回転を開始した前記第２の開始位置および前記第２の輪郭抽出体の回転量に応じて、前記第２の輪郭抽出体を前記複数の第２の開始位置のうちのいずれかに移動させることを特徴とする欠陥検出装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】  請求項６に記載の欠陥検出装置であって、
前記第２の回転追跡手段が、
前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを、前記第２の輪郭抽出体の回転の中心画素（第２の支点画素）として、所定の位置から前記回転を開始し、
前記第２の輪郭抽出体の回転中に、前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第２の支点画素以外の画素（第２の検出対象画素）が、前記良品パターンを形成する画素と一致した場合の前記第２の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記良品パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、
前記良品パターンを形成する画素と一致した前記第２の検出対象画素を新たに前記第２の支点画素とするとともに、前記良品パターンの輪郭が伸びる方向を検知した際の前記第２の輪郭抽出体の位置に応じて、前記第２の輪郭抽出体を移動させることを特徴とする欠陥検出装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】  請求項５ないし８のいずれかに記載の欠陥検出装置であって、
前記検出手段が、
前記良品パターンの輪郭に基づいて前記欠陥候補領域を分類し、当該分類結果に基づいて前記欠陥候補領域を前記検査パターンの欠陥として検出することを特徴とする欠陥検出装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】  請求項１ないし９のいずれかに記載の欠陥検出装置であって、
前記検出手段が、
相互の輪郭間距離が所定値以下である複数の欠陥候補領域を互いに結合して１つの欠陥候補領域とする結合手段を有することを特徴とする欠陥検出装置。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１６】  請求項１４または１５に記載の欠陥検出方法であって、
前記検出工程が、
相互の輪郭間距離が所定値以下である複数の欠陥候補領域を互いに結合して１つの欠陥候補領域とすることを特徴とする欠陥検出方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１９】  請求項１７または１８に記載のプログラムであって、
前記検出工程が、
相互の輪郭間距離が所定値以下である複数の欠陥候補領域を互いに結合して１つの欠陥候補領域とすることを特徴とするプログラム。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る欠陥検出装置であって、前記第１の回転追跡手段が、前記第１の輪郭抽出体の回転を開始する候補位置として、所定の回転量ごとに複数の第１の開始位置を記憶しており、前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを前記回転の中心画素（第１の支点画素）として、いずれかの前記第１の開始位置から前記回転を開始し、前記第１の輪郭抽出体の回転中に、前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第１の支点画素以外の画素（第１の検出対象画素）が、前記検査パターンを形成する画素と一致した場合の前記第１の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記検査パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、前記検査パターンを形成する画素と一致した前記第１の検出対象画素を新たに回転の中心画素とするとともに、前記回転を開始した前記第１の開始位置および前記第１の輪郭抽出体の回転量に応じて、前記第１の輪郭抽出体を前記複数の第１の開始位置のうちのいずれかに移動させる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、請求項４の発明は、請求項２の発明に係る欠陥検出装置であって、前記第１の回転追跡手段が、前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを、前記第１の輪郭抽出体の回転の中心画素（第１の支点画素）として、所定の位置から前記回転を開始し、前記第１の輪郭抽出体の回転中に、前記第１の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第１の支点画素以外の画素（第１の検出対象画素）が、前記検査パターンを形成する画素と一致した場合の前記第１の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記検査パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、前記検査パターンを形成する画素と一致した前記第１の検出対象画素を新たに前記第１の支点画素とするとともに、前記検査パターンの輪郭が伸びる方向を検知した際の前記第１の輪郭抽出体の位置に応じて、前記第１の輪郭抽出体を移動させる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る欠陥検出装置であって、前記第２の回転追跡手段が、前記第２の輪郭抽出体の回転を開始する候補位置として、所定の回転量ごとに複数の第２の開始位置を記憶しており、前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを前記回転の中心画素（第２の支点画素）として、いずれかの前記第２の開始位置から前記回転を開始し、前記第２の輪郭抽出体の回転中に、前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第２の支点画素以外の画素（第２の検出対象画素）が、前記良品パターンを形成する画素と一致した場合の前記第２の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記良品パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、前記良品パターンを形成する画素と一致した前記第２の検出対象画素を新たに前記第２の支点画素とするとともに、前記回転を開始した前記第２の開始位置および前記第２の輪郭抽出体の回転量に応じて、前記第２の輪郭抽出体を前記複数の第２の開始位置のうちのいずれかに移動させる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、請求項８の発明は、請求項６の発明に係る欠陥検出装置であって、前記第２の回転追跡手段が、前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうちの１つを、前記第２の輪郭抽出体の回転の中心画素（第２の支点画素）として、所定の位置から前記回転を開始し、前記第２の輪郭抽出体の回転中に、前記第２の輪郭抽出体を形成する画素のうち前記第２の支点画素以外の画素（第２の検出対象画素）が、前記良品パターンを形成する画素と一致した場合の前記第２の輪郭抽出体の回転後の伸びる方向を前記良品パターンの輪郭が伸びる方向として検知し、前記良品パターンを形成する画素と一致した前記第２の検出対象画素を新たに前記第２の支点画素とするとともに、前記良品パターンの輪郭が伸びる方向を検知した際の前記第２の輪郭抽出体の位置に応じて、前記第２の輪郭抽出体を移動させる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項９の発明は、請求項５ないし８のいずれかの発明に係る欠陥検出装置であって、前記検出手段が、前記良品パターンの輪郭に基づいて前記欠陥候補領域を分類し、当該分類結果に基づいて前記欠陥候補領域を前記検査パターンの欠陥として検出する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、請求項１０の発明は、請求項１ないし９のいずれかの発明に係る欠陥検出装置であって、前記検出手段が、相互の輪郭間距離が所定値以下である複数の欠陥候補領域を互いに結合して１つの欠陥候補領域とする結合手段を有する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、請求項１６の発明は、請求項１４または１５の発明に係る欠陥検出方法であって、前記検出工程が、相互の輪郭間距離が所定値以下である複数の欠陥候補領域を互いに結合して１つの欠陥候補領域とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、請求項１９の発明は、請求項１７または１８の発明に係るプログラムであって、前記検出工程が、相互の輪郭間距離が所定値以下である複数の欠陥候補領域を互いに結合して１つの欠陥候補領域とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６４】
請求項９に記載の発明では、検出手段が、良品パターンの輪郭に基づいて欠陥候補領域を分類し、当該分類結果に基づいて欠陥候補領域を検査パターンの欠陥として検出することにより、柔軟な欠陥検出を行うことができる。