【手続補正書】
【提出日】平成16年5月13日(2004.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
２つに分割されたゲート配線と、平行に配置されたゲート配線に挟まれたドレインと、前記ゲート配線に対してドレインと反対側のソースと、前記ソース，ドレインに信号を供給するためのソースコンタクタ及びドレインコンタクタとを備える半導体装置において、
前記ゲート配線よりも上層に形成され、前記各コンタクタにそれぞれ接続されてソース，ドレインに信号を供給するソース配線及びドレイン配線を前記ゲート配線と直交する方向に沿って形成し、
前記各ゲート配線をそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げて前記ドレインコンタクタを囲むよう配置した半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
２つに分割されたゲート配線と、平行に配置されたゲート配線に挟まれたドレインと、前記ゲート配線に対してドレインと反対側のソースと、前記ソース，ドレインに信号を供給するためのソースコンタクタ及びドレインコンタクタとを備える半導体装置において、
前記ゲート配線よりも上層に形成され、前記ソースに信号を供給するソース配線と前記ドレインに信号を供給するドレイン配線とを前記ゲート配線に沿って形成し、
前記ソース配線とドレイン配線と前記各コンタクタを接続する配線を前記ゲート配線と直交して形成し、
前記各ゲート配線をそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げて前記ドレインコンタクタを囲むよう配置した半導体装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
２つに分割され平行に配置されたゲート配線を備え、前記各ゲートにより分割された領域の一方の領域をソースとし、他方の領域をドレインとし、前記ドレイン，ソースに信号を供給するためのドレインコンタクタ，ソースコンタクタをそれぞれ形成し、
前記コンタクタを前記ゲート配線に沿って交互に配列し、
前記ゲート配線よりも上層に形成され、前記各コンタクタにそれぞれ接続されてドレイン，ソースに信号を供給する配線を前記ゲート配線と直交する方向に沿って形成し、
前記各ゲート配線をそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げて前記ソースコンタクタを囲むよう配置してなるトランジスタを、前記コンタクタに接続された配線の形成方向に沿って複数隣接して形成した半導体装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、２つに分割されたゲート配線と、平行に配置されたゲート配線に挟まれたドレインと、前記ゲート配線に対してドレインと反対側のソースと、前記ソース，ドレインに信号を供給するためのソースコンタクタ及びドレインコンタクタとを備える半導体装置において、前記ゲート配線よりも上層に形成され、前記各コンタクタにそれぞれ接続されてソース，ドレインに信号を供給するソース配線，ドレイン配線を前記ゲート配線と直交する方向に沿って形成し、前記各ゲート配線をそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げて前記ドレインコンタクタを囲むよう配置した。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２に記載の発明は、２つに分割されたゲート配線と、平行に配置されたゲート配線に挟まれたドレインと、前記ゲート配線に対してドレインと反対側のソースと、前記ソース，ドレインに信号を供給するためのソースコンタクタ及びドレインコンタクタとを備える半導体装置において、前記ゲート配線よりも上層に形成され、前記ソースに信号を供給するソース配線と前記ドレインに信号を供給するドレイン配線とを前記ゲート配線に沿って形成し、前記ソース配線，ドレイン配線と前記各コンタクタを接続する配線を前記ゲート配線と直交して形成し、前記各ゲート配線をそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げて前記ドレインコンタクタを囲むよう配置した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６に記載の発明は、２つに分割され平行に配置されたゲート配線を備え、前記各ゲートにより分割された領域の一方の領域をソースとし、他方の領域をドレインとし、前記ドレイン，ソースに信号を供給するためのドレインコンタクタ，ソースコンタクタをそれぞれ形成し、前記コンタクタを前記ゲート配線に沿って交互に配列し、前記ゲート配線よりも上層に形成され、前記各コンタクタにそれぞれ接続されてドレイン，ソースに信号を供給する配線を前記ゲート配線と直交する方向に沿って形成し、前記各ゲート配線をそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げて前記ソースコンタクタを囲むよう配置してなるトランジスタを、前記コンタクタに接続された配線の形成方向に沿って複数隣接して形成した。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（作用）
従って、請求項１に記載の発明によれば、各コンタクタに接続されるソース配線及びドレイン配線はゲート配線よりも上層であって直交する方向に沿って形成される。そして、各ゲート配線がそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げられてドレインコンタクタを囲むよう配置される。従って、ドレイン容量が小さく実効ゲート幅が大きくなってオン抵抗の小さくなり、面積の小さい半導体装置が形成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、各コンタクタに接続されるソース配線及びドレイン配線はゲート配線よりも上層であってゲート配線に沿って形成されるとともに、ソース配線、ゲート配線とコンタクトを接続する配線がゲート配線と直行して形成される。そして、各ゲート配線がそれぞれ該ゲート配線の両側に形成されたコンタクタ間で２回折り曲げられてドレインコンタクタを囲むよう配置される。従って、ドレイン容量が小さく実効ゲート幅が大きくなってオン抵抗の小さくなり、面積の小さい半導体装置が形成される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項６に記載の半導体装置によれば、２つに分割され平行に配置されたゲート配線によって分割された領域の一方の領域がソース、他方の領域がゲートとされる。ソース・ゲートには信号を供給するためのソースコンタクタ・ドレインコンタクタがそれぞれ形成される。それらコンタクタはゲート配線に沿って交互に配列される。また、ゲート配線よりも上層には、各コンタクタに接続されて信号を供給する配線がゲート配線と直行する方向に沿って形成される。更に、ゲート配線は、ゲート配線の両側に形成されたコンタクト間で２回折り曲げられ、ソースコンタクトを囲むように配置してトランジスタが形成される。そのトランジスタをコンタクタに接続された配線の形成方向に沿って複数隣接して形成され、ドレイン，ソースが共通化されて面積の小さな半導体装置が形成される。