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【手続補正書】
【提出日】平成17年9月20日(2005.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光デバイス内の導波路を探索するシステムであって、前記導波路が前記光デバイスにおける入口および出口を有し、前記光デバイスが、前記導波路を含む第１の層と、該第１の層を覆う第２の層とを有するものにおいて、
受信端および送信端を有し、前記受信端でレーザ光を受信し、前記送信端から光を送信するように構成された入力光ファイバプローブと、
前記入力光ファイバプローブを保持するためのファイバ保持器と、
前記ファイバ保持器に接続された第１の位置決め要素であって、前記入力光ファイバプローブを前記導波路を含む第１の層に対して平行な平面領域内の複数の位置に位置決めするように動作する第１の位置決め要素と、
前記導波路出口に近接して配置され、前記光デバイスからの光を検出し、前記入力光ファイバプローブの複数の位置の各々について検出された光量を示す複数の出力信号を生成するように動作する、光検出器とからなり、
前記複数の出力信号に従って前記導波路入口の位置を判定する、システム。
【請求項２】
前記光検出器に接続され、前記光検出器を前記導波路出口の近くに位置決めするように動作する第２の位置決め要素をさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記光検出器の複数の出力信号に応じて前記第１の位置決め要素を制御することにより、前記入力光ファイバプローブの位置を調節するように動作するコントローラ(610)をさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記入力光ファイバプローブは、ガラスアレイ保持器における光ファイバのマトリクスからなる、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
光デバイス内の導波路の位置を識別する方法であって、前記導波路が前記光デバイスにおける入口および出口を有し、前記光デバイスが、前記導波路を含む第１の層と、該第１の層を覆う第２の層とを有するものにおいて、
受信端および送信端を有し、前記受信端でレーザ光を受信し、前記送信端から光を光デバイスへ送信するように構成された入力光ファイバプローブを、前記導波路入口の複数の位置に位置決めするステップと、
前記光デバイスからの光を検出し、前記入力光ファイバプローブの複数の位置の各々について検出された光量を示す複数の出力信号を生成するように構成された光検出器を前記導波路の近くに配置するステップと、
前記複数の出力信号に従って前記導波路入口の位置を判定するステップと
からなる方法。
【請求項６】
前記導波路に近接する前記複数の位置が、前記導波路入口を含む光デバイスの面に対して実質的に平行な面内に存在する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記導波路入口の位置を判定するステップは、
前記第１の光ファイバプローブを前記第１の層と前記第２の層の境界に対して実質的に垂直な第１の方向に移動させることにより生成された複数の出力信号からなる第１の出力信号に従って、前記第１の層と前記第２の層の境界の位置を識別するステップと、
前記入力光ファイバプローブを前記第１の層と前記第２の層の境界から所定の距離に位置決めするステップと、
前記入力光ファイバプローブを前記第１の方向に対して実質的に垂直かつ前記光デバイスの前記導波路入口を含む面に対して実質的に平行な第２の方向に移動させることによって生成された複数の出力信号からなる第２の出力信号に従って、前記導波路入口の位置を識別するステップと
からなる、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の層と前記第２の層の境界の位置を識別するステップは、前記光検出器からの複数の出力信号からなる第１の出力信号における最大値に対応する前記入力光ファイバプローブの位置を見付けることを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の層と前記第２の層の境界の位置を識別するステップは、前記光検出器からの複数の出力信号からなる第１の出力信号のうちの対応する出力信号が所定の値に最も近くなる前記入力光ファイバプローブの位置を見付けることを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記複数の出力信号からなる第２の出力信号に従って前記導波路入口の位置を識別するステップは、前記光検出器からの複数の出力信号からなる前記第２の出力信号の最大値に対応する前記入力光ファイバプローブの位置を見付けることを含む、請求項７に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月5日(2005.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  物体平面に配置されたマスクの像を像平面に生成する、特にマイクロリソグラフィのための投影露光設備であって、投影光を放出する光源と、マスクと像の間に配置された投影光学系とを備えており、投影光学系の光路には、マスクを起点として、
ａ）全体として正の屈折力をもつ光学コンポーネントの第１のグループ（ＬＧ１）と、
ｂ）全体として負の屈折力をもつ光学コンポーネントの第２のグループ（ＬＧ２）と、
ｃ）全体として正の屈折力をもつ光学コンポーネントの第３のグループ（ＬＧ３）と、
ｄ）全体として負の屈折力をもつ光学コンポーネントの第４のグループ（ＬＧ４）と、
ｅ）全体として正の屈折力をもち、かつ開口絞りを有する光学コンポーネントの第５のグループ（ＬＧ５；ＬＧ５，ＬＧ６）
とが配置されている形式の投影露光設備において、
ｆ）少なくとも１つの光学コンポーネントを有する少なくとも下記の３つの光学サブグループ（２，８，９，１７；６，８，９，１７；２，８，９，１７，３１；２，８，９，１７，２３，３１；６，８，９，１７，２３，３１；１０２，１４１，１４２，１４９；１４０，１４１，１４２，１４９；１０２，１４０，１４１，１４２，１４９；１０２，１４０，１４１，１４２，１４９，１５７；１４０，１４１，１４２，１４９，１５７，１５９；２０２，２７１，２７２，２８０；２６９，２７１，２７２，２８０；２０２，２６９，２７１，２７２，２７９；２０２，２７１，２８０，２８６，２９０；２６８，２７１，２８０，２８６，２９０；２０２，２７１，２７２，２８０，２８４；２０２，２７１，２７８，２８０，２８４；２０２，２７１，２８０，２８４；２０２，２７１，２７２，２７８；２０２，２７６，２８０，２８４；２０２，２７８，２７９，２８０）が投影光学系（１；１０１；２０１）の光学軸に沿って変位可能であり、
ｇ）第１の光学サブグループは、マスク（２；１０２；２０２）、または光学コンポーネントの第１のグループ（ＬＧ１）からの少なくとも１つの光学コンポーネント（６；１４０，１４１；２６８，２６９）を含んでおり、
ｈ）第２の光学サブグループは、光学コンポーネントの第２（ＬＧ２）または第３（ＬＧ３）のグループからの少なくとも１つの光学コンポーネント（８，９；１４２；２７１，２７２，２７６，２７８，２７９）を含んでおり、
ｉ）第３の光学サブグループは、光学コンポーネントの第３（ＬＧ３）または第４（ＬＧ４）のグループからの少なくとも１つの光学コンポーネント（１７；１４９；２７８，２７９，２８０）を含んでいる
ことを特徴とする投影露光設備。
【請求項２】  第２の光学サブグループ（８，９；１４１，１４２；２７１，２７２）が、光学コンポーネントの第１のグループ（ＬＧ１）に隣接して配置されている請求項１に記載の投影露光設備。
【請求項３】  第３の光学サブグループ（１７；１４９；２７９，２８０）が、光学コンポーネントの第３（ＬＧ３）および第４（ＬＧ４）のグループの間の移行領域に配置されている請求項１または２に記載の投影露光設備。
【請求項４】  第２の光学サブグループとして、光学軸に沿った変位が必然的に相互に結合される一組の光学コンポーネント（８，９；１４１，１４２；２７１，２７２）が設けられている前記請求項のうちいずれか１項に記載の投影露光設備。
【請求項５】  両方の光学コンポーネント（８，９；１４１，１４２；２７１，２７２）を一緒に保持して、投影光学系（１；１０１；２０１）の光学軸に沿って変位可能な支持体が設けられている請求項４に記載の投影露光設備。
【請求項６】  波長の調節装置が設けられている、前記請求項のうちいずれか１項に記載の投影露光設備。
【請求項７】  前記調節装置が、光源の放出波長が前記調節装置によって変えられるように設計されている請求項６に記載の投影露光設備。
【請求項８】  前記調節装置が、投影光波長が光源から射出された後で前記調節装置によって変えられるように設計されている請求項６または７に記載の投影露光設備。
【請求項９】  投影光学系（１；１０１；２０１）の光学軸に沿って変位可能であり、光学コンポーネントの第５のグループ（ＬＧ５；ＬＧ５，ＬＧ６）からの少なくとも１つの光学コンポーネント（３１；２３，３１；１５７；１５７，１５９；２８６，２９０；２８４）を含む、少なくとも１つの光学コンポーネントを有するさらに別の少なくとも１つの光学サブグループ（３１；２３，３１；１５７；１５７，１５９；２８６，２９０；２８４）を備えている前記請求項のうちいずれか１項に記載の投影露光設備。
【請求項１０】  投影光学系の光学軸に沿って変位可能なちょうど２つの別の光学サブグループ（２３，３２；１５７，１５９；２８６，２９０）を備えている請求項９に記載の投影露光設備。
【請求項１１】  光学コンポーネント（３から３５；１３７から１６５；２６６から２９５）が屈折コンポーネントとして設計されている前記請求項のうちいずれか１項に記載の投影露光設備。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月12日(2004.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主レンズの物体側に装着され、前記主レンズの焦点距離を望遠側にシフトさせるテレサイドコンバーターレンズであって、
全体として正の屈折力を持つ前レンズ群と、
全体として負の屈折力を持ち、少なくとも１枚の正レンズを含む後レンズ群とを有することを特徴とするテレサイドコンバーターレンズ。
【請求項２】
前記後レンズ群が、以下の条件を満たすことを特徴とする請求項１に記載のテレサイドコンバーターレンズ。
νR-−νR+＞１５
但し、νR+：後レンズ群に含まれる正レンズの材質の平均アッベ数
νR-：後レンズ群に含まれる負レンズの材質の平均アッベ数
【請求項３】
前記前レンズ群は、最も像側に配置した少なくとも１枚の負レンズを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のテレサイドコンバーターレンズ。
【請求項４】
前記前レンズ群が、以下の条件を満たすことを特徴とする請求項１乃至３に記載のテレサイドコンバーターレンズ。
νF+−νF-＞３５
但し、νF+：前レンズ群に含まれる正レンズの材質の平均アッベ数
νF-：前レンズ群に含まれる負レンズの材質の平均アッベ数
【請求項５】
前記後レンズ群に含まれる正レンズは、以下の条件を満たすことを特徴とする請求項１乃至４に記載のテレサイドコンバーターレンズ。
θ(g,F)R+ ＞０．６５３−０．００１６νR+
但し、θ(g,F)R+：後レンズ群の正レンズの材質の異常分散性
また、θ(g,F)＝（ｎg−ｎF）／（ｎF −ｎc）
但し、ｎg ，ｎc ，ｎF はそれぞれｇ線、Ｃ線、Ｆ線に対する屈折率
【請求項６】
全体として以下の条件を満たすことを特徴とする請求項１乃至５に記載のテレサイドコンバーターレンズ。
ＴＬ／ＨＨ’＜１．１
但し、ＴＬ：テレサイドコンバータレンズの全厚
ＨＨ’：前レンズ群と後レンズ群の主点間隔
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、特開平３−５９５０８号公報にて提案のテレサイドコンバーターレンズでは、後群が単に負レンズにより構成されており、群として負の色消しをするだけでは軸上色収差や倍率色収差の２次スペクトルを低減させることが困難であるという欠点がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、上記目的を満たすために、後レンズ群及び前レンズ群をそれぞれ、以下の条件式（１）及び（２）の条件を満足するように構成するとよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
νR-−νR+＞１５  …（１）
但し、νR+：後レンズ群に含まれる正レンズの材質の平均アッベ数
νR-：後レンズ群に含まれる負レンズの材質の平均アッベ数
νF+−νF-＞３５  …（２）
但し、νF+：前レンズ群に含まれる正レンズの材質の平均アッベ数
νF-：前レンズ群に含まれる負レンズの材質の平均アッベ数
上記条件式（１）は、後群の色収差補正に関するものであり、条件の範囲を外れると倍率色収差が補正不足となり、結像性能が悪化する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
θ(g,F)R+ ＞０．６５３−０．００１６νR+  …（３）
但し、θ(g,F)R+：後レンズ群の正レンズの材質の異常分散性
また、θ(g,F)＝（ｎg−ｎF）／（ｎF −ｎc）  …（４）
但し、ｎg ，ｎc ，ｎF はそれぞれｇ線、Ｃ線、Ｆ線に対する屈折率
上記条件式（３）は、後レンズ群の正レンズの材質の異常分散性に関するものである。後レンズ群の正レンズに上記条件式（３）を満たす異常分散性ガラスを用い、かつその正レンズに適切な光学的パワーを持たせることで、倍率色収差の補正効果が発揮される。上記条件式（３）を外れると、倍率色収差の補正効果が不足し、残存収差が大きくなってしまう。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ＴＬ／ＨＨ’＜１．１  …（５）
但し、ＴＬ：テレサイドコンバータレンズの全厚
ＨＨ’：前レンズ群と後レンズ群の主点間隔
上記条件式（５）は、テレサイドコンバーター全体をコンパクトにまとめるための具体的な条件である。本発明では、前レンズ群の最も像側に負レンズを配置することにより、前レンズ群の主点位置を物体側に押し出すことが可能となる。このため、各群のパワーを緩くすることが可能であり、また主点間隔を大きくとることが可能となる。その結果、レンズの曲率半径を比較的緩くできるので、収差補正上、有効であり、かつコンバーター全体をコンパクトにすることが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ｒはテレサイドコンバーターレンズの物体側からのレンズ面の曲率半径、ｄは物体側からの面または空気間隔、ｎはテレサイドコンバーターレンズの物体側からのレンズのｄ線に対する屈折率、ν（表中ではｖと記す）はテレサイドコンバーターレンズの物体側からのレンズのｄ線に対するアッベ数を表す。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
【表６】
2003156685.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月3日(2005.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長を調整可能な第１のフィルタ（60）の光学的濾波特性を第１の光信号（40）に整合させるためのシステム（400）であって、
前記第１のフィルタ（60）に適用する前に、前記第１の光信号（40）の少なくとも一部を変調信号（140）で変調するように適応されている変調器（90）と、及び
前記変調信号（140）と関連して、前記第１のフィルタ（60）通過後の変調された第１の光信号を解析することによって、前記第１のフィルタ（60）を調整するための制御信号（160）を導出するように適応されている解析ユニット（150）とを備える、システム。
【請求項２】
前記変調器（90）が、前記第１の光信号に対し、好ましくは基礎をなす第１の濾波特性の半値幅（FWHM）の少なくとも数％の周波数／波長範囲で周波数変調又は波長変調を施す、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記変調信号により変調されることなく、前記第１のフィルタ（60）に伝えられる第２の光信号（30）をさらに含む、請求項１又は２に記載のシステム。
【請求項４】
最初の光信号を、前記第１の光信号（40）と前記第２の光信号（30）に分波するための第１の分波装置（20、250）をさらに含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記変調された第１の光信号（40）と第２の光信号（30）を、反対の伝播方向で前記第１のフィルタ（60）へ供給するための第１の方向制御器（70；270）をさらに備える、請求項３又は４に記載のシステム。
【請求項６】
前記第１の分波装置（20；250）が第１のビームスプリッタ（20；250）からなり、前記第１の方向制御器（70；270）が第２のビームスプリッタ（270）からなる、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記第１のビームスプリッタ（20；250）及び前記第２のビームスプリッタ（270）が、偏光依存性ビームスプリッタ（250B、270B）からなる、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
変調される前記第１の光信号（40）と濾波される前記第２の光信号（30）が、実質上互いに独立しており、
所望の波長（λＤ）に予め調整され、前記第１のフィルタ（60）により濾波される前に、前記第１の光信号（40）及び前記第２の光信号（30）を濾波するように適応されているプリセットフィルタ（420）をさらに備える、請求項３〜７のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項９】
請求項８に記載のシステムを含む光学スペクトル分析器（図４）。
【請求項１０】
波長を調整可能な第１のフィルタ（60）の光学的濾波特性を第１の光信号（40）に整合させるための方法であって、
（ａ）変調信号（140）で前記第１の光信号（40）の少なくとも一部を変調するステップと、
（ｂ）前記変調された第１の光信号（100）を前記第１のフィルタ（60）に適用するステップと、及び
（ｃ）前記変調信号（140）と関連して、前記第１のフィルタ（60）通過後の変調された第１の光信号（110）を解析することによって、前記第１のフィルタ（60）を調整するための制御信号（160）を導出するステップとを含む、方法。
【請求項１１】
前記ステップ（ａ）が、好ましくは、前記第１のフィルタ（60）の半値幅（FWHM）の少なくとも数％の周波数／波長範囲で、周波数変調又は波長変調することを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
（ｄ）変調信号により変調されることなく、第２の光信号（30）を前記第１のフィルタ（60）に適用するステップをさらに含む、請求項１０又は１１に記載の方法。
【請求項１３】
変調される前記第１の光信号（40）及び濾波される第２の光信号（30）が、実質上互いに独立しており、
前記ステップ（ａ）の前に、所望の波長（λＤ）に予め調整されたプリセットフィルタ（420）に前記第１の光信号（40）を適用するステップと、及び
前記ステップ（ｄ）の前に、所望の波長（λＤ）に予め調整されたプリセットフィルタ（420）に前記第２の光信号（30）を適用するステップをさらに含む、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第２の実施形態では、第１及び第２のビームスプリッタが、偏光依存性ビームスプリッタとして設けられ、これにより第１及び第２の信号は異なる偏光状態で伝わる。これにより信号の明確な分離が可能になり、したがって例えば変調され濾波された第１の信号の入来光信号源への不要な復帰結合を効果的に回避することが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月14日(2004.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板に受光素子を設ける工程１と、前記の支持基板に発光素子を設ける工程２と、かつ前記の支持基板に前記の発光素子及び受光素子を結ぶように、光照射により屈折率の制御ができる材料を成膜させる工程３と、前記の膜に対して光照射を行い導波路を形成する工程４とからなる、ことを特徴とする光学素子の製作方法。
【請求項２】
支持基板に受光素子を設ける工程１と、前記支持基板に発光素子を設ける工程２と、かつ前記支持基板に屈折率が支持基板より低い基板を設ける工程３と、前記屈折率の低い基板上に光照射により屈折率の制御ができる材料を成膜させる工程４と、前記の膜に対して光照射を行い導波路を形成する工程５とからなる、ことを特徴とする光学素子の製作方法。
【請求項３】
支持基板に受光素子を設ける工程１と、前記の支持基板に発光素子を設ける工程２と、かつ前記支持基板に前記の発光素子及び受光素子を結ぶように弾性体を設ける工程３と、前記の弾性体に光照射により屈折率の制御ができる材料を成膜させる工程４と、前記の膜に対して光照射を行い導波路を形成する工程５とからなる、ことを特徴とする光学素子の製作方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載した導波路に対し、更に光照射を施すことによりブラッググレーディング（以下ＢＧと称する）を形成する工程を加えた、ことを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項５】
前記のいずれかの製造法による光学素子において、導波路をなす材料に、一種高分子主材料の他に少なくとも一種類以上の、光照射により屈折率の変化を誘起し得る高分子、オリゴマー或いは低分子化合物若しくは無機微粒子を含有する、ことを特徴とする光学素子。
【請求項６】
前記記のいずれかの製造法による光学素子において、用いた発光素子は電界発光素子とし、この電界発光素子は導波路の入射端にあり、かつ導波路の一部とする、ことを特徴とする光学素子。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６に記載のいずれかの光学素子の製造法に、少なくとも導波路の一部に有機及び無機ガス、液体若しくはそれらの混合物と物理的及び／或いは化学的反応を起こし得る反応性薄膜を製膜させる工程Ａと、補償用導波路に更に被検物質から曝されないように被覆材を設ける工程Ｂとを加えた、ことを特徴とするオプティク化学センサの製作法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７に記載のいずれかの製造法によるオプティクセンサであって、少なくとも検知用導波路と、補償用導波路と、前記導波路の入射端に設けた発光素子と、及び導波路の表面にある有機及び無機ガス、液体、若しくはそれらの混合体と物理的及び／或いは化学的反応を起こし得る反応性薄膜と、前記補償用導波路に更に被検物質から曝されないように設けた被覆材と、かつ前記の導波路の光射出端に、受光素子とを備える、ことを特徴とするオプティク化学センサ。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８に記載のいずれかの製造法によるオプティクセンサであって、少なくても導波路の入射端に設けた発光素子と、検知用導波路及びその一部に書き込んだ検知用ブラッググレーディングＢＧと、補償用導波路及びその一部に書き込んだ補償用ＢＧと、前記導波路の表面にある有機及び無機ガス、液体若しくは混合体と物理的及び／或いは化学的反応を起こし得る反応性薄膜と、前記補償用導波路に更に被検物質から曝されないように設けた被覆材と、かつ前記の導波路の光射出端に受光素子とを備える、ことを特徴とするオプティク化学センサ。
【請求項１０】
前記のいずれかの製造法によるオプティク化学センサにおいて、検知用導波路に塗布された反応性薄膜に含まれる少なくとも一種類以上の高分子は、ポリ弗化ビニリデン、フェノル樹脂、ノボラク樹脂、エポキシ樹脂、複数環を主鎖及び／或いは側鎖に有する高分子などから選ばれ、かつ当該高分子に鉄、アルミニュウム、ルテニュウム、コバルト、ニッケル、白金、金、銀等の遷移金属をドーピングした、ことを特徴とするオプティクアルコールセンサ。
【請求項１１】
前記のいずれかの製造法による化学オプティクセンサにおいて、検知用導波路に塗布された反応性薄膜に含まれる少なくとも一種類以上の高分子は、ポリアクリル酸、ポリメチルメタクリレート、アクリル酸とメチルメタクリレートとの共重合体などから選ばれた、ことを特徴とするオプティク湿度センサ。
【請求項１２】
前記のいずれかの製造法による化学オプティクセンサにおいて、検知用導波路に塗布された反応性薄膜に含まれる少なくとも一種類の高分子は、ポリフッ化ビニリデンなどのようなハイライド系ポリマーから選ばれ、ポリカッボゾールと適切な割合でブレンドし、かつ当該ブレンド物の屈折率が導波路コアの屈折率より高い、ことを特徴とするオプティク炭酸ガスセンサ。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項６に記載のいずれかの製造法によるオプティクセンサであって、少なくても力を受け変位するセンシング部と、このセンシング部に設けられる導波路と、かつ前記導波路の一部に形成されたＢＧと、補償用ＢＧのブラッグ波長を測定して変位検出用ＢＧの波長特性を補償する、前記変位検出用導波路の近傍に形成されるＢＧを有する補償用導波路と、前記した二つの導波路の入射端に設けた発光素子と、他端に設けた受光素子とを備える、ことを特徴とするオプティク力センサ。
【請求項１４】
任意に選ばれた請求項８乃至請求項１３に記載したオプティクセンサの一つと、駆動回路と接続されている光ファイバーと、前記の支持基板に取り付けたフォトダイオード（ＰＤ）により前記の光ファイバーから伝搬される光信号を受信し、なおかつこれにより生じた光電流を適切に増幅して、駆動電圧とする、ことを特徴とするオプティクセンサモジュール。
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月15日(2004.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、第１のフォーカスレンズ群と、変倍レンズ群と、前記変倍レンズ群と撮像手段との間に配置される第２のフォーカスレンズ群とを備えており、該第２のフォーカスレンズ群を光軸方向に駆動させる電動駆動手段と、該電動駆動手段により前記第２のフォーカスレンズ群を駆動したときに撮像手段で得られる信号に基づいて前記第２のフォーカスレンズ群を合焦位置へ駆動するための駆動信号を演算する演算手段とを有し、前記駆動信号に基づいて前記電動駆動手段により前記第２のフォーカスレンズ群を駆動することにより合焦制御を行なう撮像装置において、
前記第２のフォーカスレンズ群を手動で操作するための手動駆動手段を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記第２のフォーカスレンズ群の手動駆動時には、該第２のフォーカスレンズ群の電動駆動手段と該第２のフォーカスレンズ群とが一体的に光軸方向に移動することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
該第２のフォーカスレンズ群は光軸方向に駆動することによりフランジバック調整又は／及びマクロ撮影が可能であることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するための本発明にかかる撮像装置は、物体側から順に、第１のフォーカスレンズ群と、変倍レンズ群と、前記変倍レンズ群と撮像手段との間に配置される第２のフォーカスレンズ群とを備えており、該第２のフォーカスレンズ群を光軸方向に駆動させる電動駆動手段と、該電動駆動手段により前記第２のフォーカスレンズ群を駆動したときに撮像手段で得られる信号に基づいて前記第２のフォーカスレンズ群を合焦位置へ駆動するための駆動信号を演算する演算手段とを有し、前記駆動信号に基づいて前記電動駆動手段により前記第２のフォーカスレンズ群を駆動することにより合焦制御を行なう撮像装置において、前記第２のフォーカスレンズ群を手動で操作するための手動駆動手段を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明において第２のフォーカスレンズ８は、主に該第２のフォーカスレンズ８を光軸方向前後に微小に移動させたときに撮像素子９で得られる信号を用いて、演算部１６で出されたデータをもとに第２のフォーカスレンズ群８を移動させて自動焦点検出を行なう制御に用いられる。また、前記第１のフォーカスレンズ群１は自動焦点検出動作中には動作範囲中の任意の位置に固定される（多くの場合は無限端）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
ここで、操作者が自動焦点検出を使用せずに手動による撮影を行なう場合や、ビデオカメラ本体、または別電源からズームレンズに電源が供給されない状態での撮影を余儀なくされた場合において、操作者が第２のフォーカスレンズ８を操作してフランジバック調整などの操作やマクロ撮影を行なう場合、操作者は前記ストッパー２８や、前記マクロピン３０を緩めてから前記フランジバックリング２７及び前記マクロリング２９の操作を行なうだけで該第２のフォーカスレンズ８を手動にて駆動することが出来る。この時、図３に示す電動駆動による該第２のフォーカスレンズ８移動量Ａと、図４に示す手動駆動による該第２のフォーカスレンズ８の操作量Ａ’は駆動する部品が違っていてもＡ＝Ａ’となり、前記撮像素子９には同じ映像が得られる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月14日(2004.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望の波長域の波長の光を透過し且つ他の所望の波長域に光を反射する特性を有するフィルタと、
前記フィルタからの反射光を反射可能で且つ前記フィルタと実質的に平行に配置されたミラーと、
前記フィルタと前記ミラーとの間に延在した複数の曲がり光導波路で構成され且つ前記フィルタと前記ミラーとの間で前記曲がり光導波路を介して相互反射を可能とする第２の光通路であって、且つ前記ミラーの受光側から前記フィルタの受光側に延在する前記曲がり光導波路が光の進行方向を変化させる光導波路であるような第２の光通路と、
前記第２の光通路内の曲がり光導波路の所定の端部に光学的に接続された当該光回路部材の入出力端となす第１の光通路と、
前記フィルタに対して前記第２の光通路とは反対の位置に、前記第１の光通路と光学的に接続された前記第２の光通路内の曲がり光導波路が前記フィルタに達する位置及び前記フィルタと前記ミラーとの間に設けられた前記第２の光通路内の曲がり光導波路が、前記フィルタに達する位置より成る群の内の所定位置の各々に対応して設けられ、前記第２の光通路内の曲がり光導波路の前記所定位置の対応する第３の光通路から射出する各光が等波長間隔となるようになされた第３の光通路と、を有し、
前記第２の光通路内の各曲がり光導波路の前記フィルタへの入射角度が少なくとも２種類あることを特徴とする光回路部材。
【請求項２】
前記第２の光通路内の曲がり光導波路の前記フィルタへの各入射角が、前記第１の光通路から複数の波長を有する光を入射した時、前記第３の光通路に達した光が、その各位置で異なる波長の光が選択的に分波される入射角となされたことを特徴とする請求項第１項に記載の光回路部材。
【請求項３】
少なくとも、所望の波長域の波長の光を透過し且つ他の所望の波長域の光を反射する特性を有するフィルタと、ミラーと、光導波路にて構成される平面光波回路とを有し、
前記フィルタと前記ミラーとは前記平面光波回路の第１の入出力端と第２の入出力端の中間に、実質的に平行に配置され、且つ
前記平面光波回路を構成する光導波路は、当該平面光波回路の第１の入出力端となる光導波路の第１の端部と前記フィルタとを、所定の角度で導波する第１の部分と、前記フィルタと前記ミラーとの間で相互反射が可能な第２の部分と、前記フィルタから当該平面光波回路の第２の入出力端となる複数の光導波路の各々の第２の端面に導波する第３の部分とを有し、且つ
前記第２の部分における前記フィルタへの入射角が少なくとも２種類あり、且つ前記第２の部分は複数の曲がり光導波路を有して構成され、且つ前記ミラーの受光側から前記フィルタの受光側に延在する前記曲がり光導波路が光の進行方向を変化される光導波路であり、前記第３の部分から射出する各光が等波長間隔となるようになされたことを特徴とする光回路部材。
【請求項４】
前記フィルタがフラットトップ型の透過特性を有することを特徴とする請求項１に記載の光回路部材。
【請求項５】
当該光回路部材における光路長の最も長い波長チャネルについて、前記第２の光通路から前記第３の光通路へ、前記フィルタを介在せず光結合することを特徴とする請求項１に記載の光回路部材。
【請求項６】
前記第３の光通路に曲がり光導波路が含まれることを特徴とする請求項１に記載の光回路部材。
【請求項７】
前記フィルタの数が２つ以上であり、当該光回路部材に適用する光の波長多重数が３以上であることを特徴とする請求項１に記載の光回路部材。
【請求項８】
所望の波長域の波長の光を透過し且つ他の所望の波長域の光を反射する特性を有するフィルタと、ミラーと、光導波路にて構成される平面光波回路とを有し、
前記フィルタと前記ミラーとは前記平面光波回路の第１の入出力端と第２の入出力端の中間に、実質的に平行に配置され、
前記フィルタと前記ミラーとの間で相互反射が前記光導波路を介して可能であり、且つ
前記平面光波回路の光導波路は、前記平面光波回路の第１の入出力端となる光導波路の第１の端部と前記フィルタとを所定の角度で導波する第１の部分と、前記フィルタと前記ミラーとの間で相互反射を行う第２の部分と、前記フィルタから前記平面光波回路の第２の入出力端となる光導波路の第２の端面に導波する第３の部分とを有し、
前記第２の部分における前記フィルタへの入射角が少なくとも２種類あり、且つ
前記平面光波回路の材料が有機高分子樹脂からなり、
入射光全てが１．４μｍ未満の波長多重光からなり、且つ長波側波長チャネルの光路長が最も短く、短波側波長チャネルになるに従い光路長が長くなること、又は、入射光が１．４μｍ以上の波長多重光からなり、且つ短波側波長チャネルの光路長が最も短く、長波側波長チャネルになるに従い光路長が長くなること、を特徴とする光回路部材。
【請求項９】
前記第２の光通路は曲がり光導波路を有して構成されることを特徴とする請求項７に記載の光回路部材。
【請求項１０】
前記有機高分子樹脂がハロゲン化されたポリイミドまたはポリメチルメタクリレートであることを特徴とする請求項７に記載の光回路部材。
【請求項１１】
当該光回路部材が、前記第１の光通路を光の入力端とする光分波器であることを特徴とする請求項１に記載の光回路部材。
【請求項１２】
当該光回路部材が、前記複数の第３の光通路を光の入力端とする光合波器であることを特徴とする請求項１に記載の光回路部材。
【請求項１３】
当該光回路部材が、前記第１の入出力端を光の入力端とする光分波器であることを特徴とする請求項７に記載の光回路部材。
【請求項１４】
当該光回路部材が、前記第２の入出力端を光の入力端とする光合波器であることを特徴とする請求項７に記載の光回路部材。
【請求項１５】
第１の光回路部材と当該第１の光回路部材よりの光を受光する第１の光電変換部とを少なくとも有する第１の信号系、或いは、電気信号を光に変換する第２の光電変換部と当該第２の光電変換部よりの光信号を受光する第２の光回路部材とを少なくとも有する第２の信号系のいずれかを有し、且つ前記第１及び第２の光回路部材の内の少なくともいずれかが請求項１に記載の光回路部材であることを特徴とする光トランシーバ。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月19日(2004.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性樹脂に５８０ｎｍ付近の光透過率を下げ得る光吸収化合物を含有してなる透光性樹脂板であって、５８０ｎｍでの光線透過率が６１０ｎｍ及び５４０ｎｍでの光線透過率に対し４／５以下である特定波長が吸収された透過色調補正樹脂板。
【請求項２】
該５８０ｎｍ付近の光透過率を下げ得る光吸収化合物が、アゾキレート顔料、不溶性アゾ顔料、縮合アゾ顔料、アゾ系色素、ビスアゾ系染料、トリスアゾ系染料、シアニン系色素、ポルフィリン系色素から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１記載の透過色調補正樹脂板。
【請求項３】
該５８０ｎｍ付近の光透過率を下げ得る光吸収化合物が、アゾ系色素、ビスアゾ系染料、トリスアゾ系染料、シアニン系色素、ポルフィリン系色素から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１記載の透過色調補正樹脂板。
【請求項４】
ＪＩＳ−Ｋ−７１０３記載の方法で測定した板厚２ｍｍでの全光線透過率が４０〜９３％であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の透過色調補正樹脂板。
【請求項５】
該透光性樹脂がアクリル系樹脂であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の透過色調補正樹脂板。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の透過色調補正樹脂板を少なくとも１層有する多層構造であることを特徴とする透過色調補正樹脂板。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月7日(2004.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
一次側冷媒および二次側冷媒の一方の冷媒が流送される外管内に、該外管の軸心周りに螺旋状に捻られて他方の冷媒が流送される複数の内管を配置した二重管熱交換器を製造するに際して、
複数の直管状内管を束ねて内管群を形成し、
前記内管群を所定の配置で固定して内管群を軸心周りに捻り各内管を螺旋形状に形成して螺旋形状の内管群を形成し、
前記内管群を外管内に挿入する
ことを特徴とした二重管熱交換器の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項５記載の二重管熱交換器の製造方法は、一次側冷媒および二次側冷媒の一方の冷媒が流送される外管内に、該外管の軸心周りに螺旋状に捻られて他方の冷媒が流送される複数の内管を配置した二重管熱交換器を製造するに際して、複数の直管状内管を束ねて内管群を形成し、前記内管群を所定の配置で固定して内管群を軸心周りに捻り各内管を螺旋形状に形成して螺旋形状の内管群を形成し、前記内管群を外管内に挿入するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月4日(2004.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
潮解性を有する非線形結晶を用いた波長変換装置であって、前記非線形結晶が内部に配置されると共に、その非線形結晶への入射光及び出力光が通過する一対の開口が設けられた容器と、該容器内に配置された前記非線形結晶を所定の湿度環境下に保持する除湿手段と、を備えることを特徴とする波長変換装置。
【請求項２】
請求項１の波長変換装置において、前記除湿手段は前記非線形結晶を湿度３０％以下の環境下にすることを特徴とする波長変換装置。
【請求項３】
請求項１の波長変換装置において、前記一対の開口を閉塞する閉塞機構を設けたことを特徴とする波長変換装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１）  潮解性を有する非線形結晶を用いた波長変換装置であって、前記非線形結晶が内部に配置されると共に、その非線形結晶への入射光及び出力光が通過する一対の開口が設けられた容器と、該容器内に配置された前記非線形結晶を所定の湿度環境下に保持する除湿手段と、を備えることを特徴とする。
（２）  （１）の波長変換装置において、前記除湿手段は前記非線形結晶を湿度３０％以下の環境下にすることを特徴とする。
（３）  （１）の波長変換装置において、前記一対の開口を閉塞する閉塞機構を設けたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
容器１１の両端には、非線形光学結晶１２への入射光及び波長変換された出力光を通過させる一対の開口１５ａと開口１５ｂとが、光線軸Ｌを中心にして設けられている。開口１５ａ、１５ｂの大きさは、レーザ光の径よりやや大きい程度が好ましい。入射光は開口１５ａを通して容器１１内に入射し、非線形光学結晶１２により波長変換された後、開口１５ｂから出力される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
容器１１の上部には、容器１１内の空間と接する電気分解式の除湿器３０が取り付けられている。図２は除湿器３０の構成を説明する図である。３１は水分子（湿気）を電気分解して酸素を発生する陽極、３２は水素と酸素を反応させて水分子を発生する陰極である。陽極３１と陰極３２は多孔質基材で形成されている。この陽極３１と陰極３２との間に、水素イオン交換膜となる固体高分子電界質膜３３が挟持され、積層構造とされている。これらの積層構造素子は絶縁性フレーム３４の間に置かれ、陽極３１と陰極３２は所定の直流電圧を印加する電源３５と接続されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
こうした除湿器３０の電源３５から直流電圧を印加すると、被除湿空間側（容器１１側）に置かれた陽極３１側では、水分子を電気分解する下記（式１）の反応が起こって、水分子を水素イオンと酸素に解離する。水素イオンは固体高分子電界質膜３３中を移動し陰極３２側に達する。陰極３２側に到達した水素イオンは、下記（式２）の反応が起こって、放湿空間側（容器１１外）の空気中酸素と反応して水分子となり、外へ放出する。これにより被除湿空間側の除湿が行われる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月21日(2005.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の繰り返し周波数の半分の周波数の正弦波成分を含む駆動信号により駆動されるマッハツェンダ型変調器により光信号を変調することにより、所定の繰り返し周波数の光パルスを生成する方法であって、前記駆動信号に前記正弦波成分の少なくとも一つの奇数次高調波を重畳するステップを有することを特徴とする光パルス生成方法。
【請求項２】
請求項１記載の光パルス生成方法が、さらに、前記奇数次高調波の相対振幅を選択的に変更するステップを有することを特徴とする光パルス生成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光パルス生成方法が、さらに、前記奇数次高調波の相対位相を選択的に変更するステップを有することを特徴とする光パルス生成方法。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載の光パルス生成方法が、さらに、前記所定の繰り返し周波数にて生成した光パルスから帰還信号を生成するステップと、前記帰還信号を前記所定の繰り返し周波数の半分の記周波数で濾波するステップと、前記濾波された帰還信号に前記正弦波成分を重畳して誤差信号を生成するステップと、前記誤差信号に基づいて前記マッハツェンダ型変調器をバイアスするステップを有することを特徴とする光パルス生成方法。
【請求項５】
請求項４記載の光パルス生成方法が、さらに前記誤差信号を積分してマッハツェンダ型変調器用のバイアス信号を生成するステップを有することを特徴とする光パルス生成方法。
【請求項６】
請求項４又は５の記載の光パルス生成方法が、さらに、前記所定の周波数で生成された光パルスの一部を分岐させ、被分岐光信号を生成するステップと、前記光信号を電気信号へ変換して前記帰還信号を生成するステップを有することを特徴とする光パルス生成方法。
【請求項７】
光信号を変調するよう設けたマッハツェンダ型変調器と、所定の繰り返し周波数の半分の周波数の正弦波成分を含む信号を駆動することにより前記マッハツェンダ型変調器を駆動する駆動生成器とを備える、所定の繰り返し周波数の光パルスを生成する光パルス生成装置であって、前記駆動生成器が、前記正弦波成分の少なくとも一つの奇数次高調波を生成し、前記正弦波成分に加えて該正弦波成分の少なくとも一つの奇数次高調波を前記駆動信号に合成する回路網を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項８】
請求項７記載の光パルス生成装置あって、前記生成器が、前記正弦波成分を生成する基本生成回路と、前記正弦波成分の少なくとも一つの奇数次高調波を生成する少なくとも一つの奇数次高調波生成器と、前記変調器へ向けて前記正弦波成分を伝搬する主要信号路と、前記変調器へ向けて前記正弦波成分の前記少なくとも一つの奇数次高調波を伝搬する少なくとも一つの付加信号路を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の光パルス生成装置であって、前記生成器が、前記正弦波成分に対する前記少なくとも一つの奇数次高調波の相対振幅を選択的に変更可能な少なくとも一つの減衰器を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれかに記載の光パルス生成装置であって、前記生成器が前記正弦波成分に対する前記少なくとも一つの奇数次高調波の相対位相を選択的に可変可能な少なくとも一つの移相器を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれかに記載の光パルス生成装置であって、前記マッハツェンダ型変調器用のバイアス制御回路をさらに含み、前記バイアス制御回路が、生成された光パルス内で前記所定の繰り返し周波数の半分の周波数のスペクトル成分を検出するとともに、前記マッハツェンダ型変調器に印加されたバイアス信号を変調し、前記所定の繰り返し周波数の半分の周波数の前記スペクトル成分を抑制するよう配設された帰還信号路を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の光パルス生成装置であって、前記バイアス制御回路は、前記生成された光パルスを検出してそこから帰還信号を生成する帰還ユニットと、前記所定の繰り返し周波数の半分の周波数にて前記帰還信号を濾波して濾波帰還信号を出力するフィルタと、前記濾波帰還信号に前記正弦波成分を重畳して誤差信号を生成する乗算器と、前記誤差信号に基づいて前記マッハツェンダ型変調器のバイアスを制御するバイアス制御信号路を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の光パルス生成装置であって、前記バイアス制御信号路が、前記マッハツェンダ型変調器のバイアス制御に用いる前記誤差信号を積分する積分器を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【請求項１４】
請求項１１乃至１３のいずれかに記載の光パルス生成装置であって、前記帰還信号路は、前記生成された光パルスを電気信号に変換して前記帰還信号を生成する光電変換器を有することを特徴とする光パルス生成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月8日(2005.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影レンズを着脱するための開口を有し、装着された撮影レンズを透過した撮影光束が撮影用開口を通過して光透過部材に入射し、該光透過部材の有効透過領域を透過した光が撮像素子に入射するよう構成した光学装置において、
前記レンズ着脱用開口から前記撮影用開口を通して前記光透過部材を見たときに、該光透過部材の前記有効透過領域が該撮影用開口から露呈するとともに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、前記光透過部材の非有効透過領域も少なくとも一部が前記撮影用開口から露呈するように該撮影用開口の形状を定めたことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
撮影レンズを着脱するための開口を有し、装着された撮影レンズを透過した撮影光束が撮影用開口を通過して光透過部材に入射し、該光透過部材の透過光が撮像素子に入射するよう構成した光学装置において、
前記レンズ着脱用開口から前記撮影用開口を通して前記光透過部材を見たときに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、該光透過部材の端縁が前記撮影用開口から露呈するように該撮影用開口の形状を定めたことを特徴とする光学装置。
【請求項３】
前記露呈する端縁の近傍に塵埃を吸着するための措置を施したことを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記露呈する端縁を覆い隠す位置に固定可能な部材を備えたことを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
【請求項５】
前記撮影用開口を通過して前記光透過部材の端面で反射した光束が前記受光素子に入射しないように、前記光透過部材と前記撮像素子との間に遮光部材を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学装置。
【請求項６】
光路中に開口および光学部材が配置された光学装置において、
前記開口を通して前記光学部材を見たときに、該光学部材の有効領域に加えて非有効領域の一部が前記開口から露呈可能に構成したことを特徴とする光学装置。
【請求項７】
撮影レンズを着脱するための開口を有し、装着された撮影レンズを透過した撮影光束が撮影用開口を通過して光透過部材に入射し、該光透過部材の透過光が撮像素子に入射するよう構成したデジタルスチルカメラにおいて、
前記レンズ着脱用開口から前記撮影用開口を通して前記光透過部材を見たときに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、該光透過部材の端縁の少なくとも一部が前記撮影用開口から露呈するように該撮影用開口の形状を定めたことを特徴とするデジタルスチルカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、撮影レンズを着脱するための開口を有し、装着された撮影レンズを透過した撮影光束が撮影用開口を通過して光透過部材に入射し、光透過部材の有効透過領域を透過した光が撮像素子に入射するよう構成した光学装置に適用される。そして、レンズ着脱用開口から撮影用開口を通して前記光透過部材を見たときに、光透過部材の有効透過領域が撮影用開口から露呈するとともに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、光透過部材の非有効透過領域も少なくとも一部が撮影用開口から露呈するように撮影用開口の形状を定め、これにより上記問題点を解決する。
請求項２の発明は、撮影レンズを着脱するための開口を有し、装着された撮影レンズを透過した撮影光束が撮影用開口を通過して光透過部材に入射し、該光透過部材の透過光が撮像素子に入射するよう構成した光学装置に適用される。そして、レンズ着脱用開口から撮影用開口を通して光透過部材を見たときに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、光透過部材の端縁が撮影用開口から露呈するように撮影用開口の形状を定め、これにより上記問題点を解決する。
請求項３の発明は、上記露呈する端縁の近傍に塵埃を吸着するための措置を施したものである。
請求項４の発明は、露呈する端縁を覆い隠す位置に固定可能な部材を備えたものである。
請求項５の発明は、撮影用開口を通過して光透過部材の端面で反射した光束が受光素子に入射しないように、光透過部材と撮像素子との間に遮光部材を設けたものである。
請求項６の発明は、光路中に開口および光学部材が配置された光学装置に適用され、開口を通して光学部材を見たときに、光学部材の有効領域に加えて非有効領域の一部が開口から露呈可能に構成したものである。
請求項７の発明は、撮影レンズを着脱するための開口を有し、装着された撮影レンズを透過した撮影光束が撮影用開口を通過して光透過部材に入射し、光透過部材の透過光が撮像素子に入射するよう構成したデジタルスチルカメラに適用され、レンズ着脱用開口から撮影用開口を通して光透過部材を見たときに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、光透過部材の端縁の少なくとも一部が撮影用開口から露呈するように撮影用開口の形状を定め、これにより上記問題点を解決する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以上では、図３の如く光学ローパスフィルタ４１の下端縁の大部分が露呈される例を示したが、例えば図７に示すように中央の一部分のみが露出されるようシャッタ開口２２’の形状を定めてもよい。また露呈させるのは下端縁に限定されず、左右の端縁あるいは上端縁のいずれかであってもよい。ただし、フィルタ４１の保持部材（例えば、板ばね）等が露呈すると見場が悪いのに加えて、清掃の際に清掃部材がフィルタと保持部材との間に挟まるおそれがあるので、その点を考慮して露呈させる端縁を決める必要がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、レンズ着脱用開口から撮影用開口を通して光透過部材を見たときに、撮影用開口の４辺のうち１辺側においては、光透過部材の非有効透過領域も少なくとも一部が撮影用開口から露呈するようにしたので、光透過部材の有効透過領域に付着した塵埃を確実に非有効領透過域まで移動させることができ、塵埃がもたらす悪影響を効果的に防止できる。
請求項６の発明は、開口を通過した光束が光学部材に入射されるよう構成された光学装置に適用され、開口を通して光学部材を見たときに、光学部材の有効領域に加えて非有効領域の一部が開口から露呈可能に構成したので、上述と同様の効果が得られる。