【手続補正書】
【提出日】平成17年4月12日(2005.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
KNbO3層を有するダイヤモンド基板に櫛形電極を形成して構成された表面弾性波素子であって、
前記櫛形電極は前記KNbO3層の表面上に形成され、前記KNbO3層と前記ダイヤモンド基板の間にさらに短絡用電極を備えており、前記KNbO3層は、所定モードの表面弾性波の伝搬速度が５０００ｍ／ｓ以上かつ電気機械結合係数が２０％以上となるよう膜厚、配向方向が調整された単結晶であることを特徴とする表面弾性波素子。
【請求項２】
KNbO3層を有するダイヤモンド基板に櫛形電極を形成して構成された表面弾性波素子であって、
前記櫛形電極は前記KNbO3層の表面上に形成されており、前記KNbO3層は、所定モードの表面弾性波の伝搬速度が５０００ｍ／ｓ以上かつ電気機械結合係数が２０％以上となるよう膜厚、配向方向が調整された単結晶であることを特徴とする表面弾性波素子。
【請求項３】
KNbO3層を有するダイヤモンド基板に櫛形電極を形成して構成された表面弾性波素子であって、
前記櫛形電極は前記KNbO3層と前記ダイヤモンド基板の間に形成されており、前記KNbO3層は、所定モードの表面弾性波の伝搬速度が５０００ｍ／ｓ以上かつ電気機械結合係数が２０％以上となるよう膜厚、配向方向が調整された単結晶であることを特徴とする表面弾性波素子。
【請求項４】
請求項１記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は０次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ０．６、０．８、１．０、１．４のときに下記、表３８−１〜表３８−４に示される値をとるとともに、ｋｈ1が０．６より大きく１．４より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−５に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−１】
2000307379.tif 000001
【表３８−２】
2000307379.tif 000002
【表３８−３】
2000307379.tif 000003
【表３８−４】
2000307379.tif 000004
【数２−１】
2000307379.tif 000005
【表３８−５】
2000307379.tif 000006
【請求項５】
請求項２記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は０次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ０．８、１．０、１．４のときに下記、表３８−６〜表３８−８に示される値をとるとともに、ｋｈ1が０．８より大きく１．４より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−９に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−６】
2000307379.tif 000007
【表３８−７】
2000307379.tif 000008
【表３８−８】
2000307379.tif 000009
【数２−２】
2000307379.tif 000010
【表３８−９】
2000307379.tif 000011
【請求項６】
請求項３記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は０次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ１．０、１．４のときに下記、表３８−１０、表３８−１１に示される値をとるとともに、ｋｈ1が１．０より大きく１．４より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−１２に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−１０】
2000307379.tif 000012
【表３８−１１】
2000307379.tif 000013
【数２−３】
2000307379.tif 000014
【表３８−１２】
2000307379.tif 000015
【請求項７】
請求項１記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は１次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1が０．４のときに下記表３８−１３〜表３８−４に示される値をとることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−１３】
2000307379.tif 000016
【請求項８】
請求項２記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は１次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ１．０、１．２のときに下記表３８−１４、表３８−１５に示される値をとるとともに、ｋｈ1が１．０より大きく１．２より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−１６に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−１４】
2000307379.tif 000017
【表３８−１５】
2000307379.tif 000018
【数２−４】
2000307379.tif 000019
【表３８−１６】
2000307379.tif 000020
【請求項９】
請求項３記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は１次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1が１．２のときに下記、表３８−１７に示される値をとることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−１７】
2000307379.tif 000021
【請求項１０】
請求項１記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は２次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ１．２、１．４、１．８、２．４、３．０のときに下記、表３８−１８〜表３８−２２に示される値をとるとともに、ｋｈ1が１．２より大きく３．０より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−２３に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−１８】
2000307379.tif 000022
【表３８−１９】
2000307379.tif 000023
【表３８−２０】
2000307379.tif 000024
【表３８−２１】
2000307379.tif 000025
【表３８−２２】
2000307379.tif 000026
【数２−５】
2000307379.tif 000027
【表３８−２３】
2000307379.tif 000028
【請求項１１】
請求項２記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は２次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ０．６、０．８、１．０、１．２、１．４、１．８、２．４、３．０のときに下記、表３８−２４〜表３８−３１に示される値をとるとともに、ｋｈ1が０．６より大きく３．０より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−３２に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−２４】
2000307379.tif 000029
【表３８−２５】
2000307379.tif 000030
【表３８−２６】
2000307379.tif 000031
【表３８−２７】
2000307379.tif 000032
【表３８−２８】
2000307379.tif 000033
【表３８−２９】
2000307379.tif 000034
【表３８−３０】
2000307379.tif 000035
【表３８−３１】
2000307379.tif 000036
【数２−６】
2000307379.tif 000037
【表３８−３２】
2000307379.tif 000038
【請求項１２】
請求項３記載の表面弾性波素子において、利用される表面弾性波は２次モードであって、その波長をλ［μｍ］とするとき、前記KNbO3層は、その厚さをｔ1［μｍ］、結晶方位をオイラー角表示（θ［°］、ψ［°］、φ［°］）で表すと、所定のｋｈ1＝２π（ｔ1／λ）に対する好適な結晶方位（θ、ψ、φ）の値は、θ、ψ、φの値をそれぞれｘ、ｙ、ｚとして直交座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）上に表示した際に、(xn,1,yn,1,zn)、(xn,2,yn,2,zn)、(xn,3,yn,3,zn)、(xn,4,yn,4,zn)、(xn,5,yn,5,zn)、(xn,6,yn,6,zn)、(xn,7,yn,7,zn)、(xn,8,yn,8,zn)をそれぞれ頂点とする８角形と、(xn+1,1,yn+1,1,zn+1)、(xn+1,2,yn+1,2,zn+1)、(xn+1,3,yn+1,3,zn+1)、(xn+1,4,yn+1,4,zn+1)、(xn+1,5,yn+1,5,zn+1)、(xn+1,6,yn+1,6,zn+1)、(xn+1,7,yn+1,7,zn+1)、(xn+1,8,yn+1,8,zn+1)をそれぞれ頂点とする８角形と、をそれぞれ対向する底面とする８角柱領域Ｖn内の任意の点として表すことができ、これら頂点座標（ｘi,j，ｙi,j，ｚi）は、ｋｈ1がそれぞれ１．４、１．８、２．４、３．０のときに下記、表３８−３３〜表３８−３６に示される値をとるとともに、ｋｈ1が１．４より大きく３．０より小さいこれ以外の値αのときの頂点座標（ｘl,j(α)，ｙl,j(α)，ｚl(α)）は、ｋｈ1＝ａのときの、既知の頂点座標を（ｘm,j，ｙm,j，ｚm）、ｋｈ1＝ｂのときの既知の頂点座標を（ｘn,j，ｙn,j，ｚn）、とすると、以下の式（１）で表され、式（１）中のｍ、ｎ、ｌは、それぞれ表３８−３７に示される値であることを特徴とする表面弾性波素子。
【表３８−３３】
2000307379.tif 000039
【表３８−３４】
2000307379.tif 000040
【表３８−３５】
2000307379.tif 000041
【表３８−３６】
2000307379.tif 000042
【数２−７】
2000307379.tif 000043
【表３８−３７】
2000307379.tif 000044