(57)【要約】  ノイズであるパルス及び試験対象となる電子回路のクロックをそれぞれ検出し、パルスとクロックの立ち上がりまたは立下りのタイミングとの時間差を求め、求めた時間差に応じてパルスを所望の時間だけ遅延させ、クロックの立ち上がりまたは立下りに同期してパルスを電子回路に印加する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インパルス発生装置で生成されたパルスをクロックで動作する電子回路である供試体に印加するノイズイミュニティ評価装置であって、
前記インパルス発生装置で生成された前記パルスを検出するパルス検出装置と、
前記前記インパルス発生装置で生成された前記パルスを遅延させる、遅延量が変更可能な可変遅延装置と、
前記供試体のクロックを検出するクロック検出装置と、
前記パルス検出装置で検出されたパルスと前記クロック検出装置で検出されたクロック間の時間差を求める時間差抽出装置と、
前記時間差抽出装置で求めた時間差に応じて前記可変遅延装置による前記パルスの遅延量を設定する駆動装置と、
を有するノイズイミュニティ評価装置。
【請求項２】
前記クロックに対する前記パルスの印加タイミングを所望の値に設定するタイミング設定装置を有する請求項１記載のノイズイミュニティ評価装置。
【請求項３】
前記パルス検出装置と前記可変遅延装置間に配置される、前記パルスを固定の遅延量だけ遅延させる固定遅延装置を有する請求項１記載または２記載のノイズイミュニティ評価装置。
【請求項４】
前記クロック検出装置で検出されたクロックと、前記パルスを印加するタイミングを表示する波形表示装置を有する請求項１から３のいずれか１項記載のノイズイミュニティ評価装置。
【請求項５】
前記パルス検出装置が、パルス電流によって生成される磁界を検出する磁界プローブである請求項１から４のいずれか１項記載のノイズイミュニティ評価装置。
【請求項６】
前記パルス検出装置から前記供試体までのケーブルによる遅延時間の和が、
前記パルス検出装置の遅延時間、前記クロック検出装置の遅延時間、前記パルス検出装置及び前記クロック検出装置と前記時間差抽出装置を接続するケーブルの遅延時間、並びに前記時間差抽出装置の出力信号にしたがって前記可変遅延装置が所望の遅延時間になるまでに要する遅延時間の総和よりも長い請求項１または２記載のノイズイミュニティ評価装置。
【請求項７】
前記供試体はＬＳＩであり、
前記供試体のクロックを検出するクロック検出装置が前記ＬＳＩのチップ上に配置される磁界プローブである請求項１から４のいずれか１項記載のノイズイミュニティ評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子回路のノイズ耐性（ノイズイミュニティ）を評価するためのノイズイミュニティ評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のＬＳＩの製造プロセスでは、素子の微細化や低電圧で動作することによるノイズ耐性（ノイズイミュニティ）の低下に伴って、電子回路のノイズイミュニティ評価の重要性が増している。ＬＳＩのノイズイミュニティ評価方法の１つとしては、高電圧のパルスを試験対象の電子回路に印加して誤動作耐力を評価する方法がある。【０００３】
この背景技術のノイズイミュニティ評価装置では、キャパシタ（容量）等に電荷を蓄積しておき、ノイズ印加用のスイッチをＯＮにして該キャパシタに蓄積された電荷を放電することで、高電圧のパルス（ノイズ）を試験対象の電子回路に印加する。高電圧のパルスは、試験対象の電子回路を定常状態あるいは一定の動作モードで動作させている状態で印加するのが一般的である。【０００４】
なお、試験対象の電子回路がデジタル回路であり、該電子回路がクロックで動作している場合、該電子回路に高電圧のパルスを印加しても、それがクロックの立ち上がり時なのか、立ち下がり時なのか、あるいはクロックの立ち上がりでも立下りでもない定常時なのかを区別することはできない。そのため、クロックに対する印加タイミングの違いに起因して測定結果にばらつきが発生することがあった。【０００５】
通常、ノイズイミュニティ評価に用いるノイズ印加用のスイッチには、高電圧で使用でき、かつチャッタリングが発生しにくい水銀リレーが用いられる。水銀リレーは、液状の水銀を用いて接点を形成するため、接点のＯＮ／ＯＦＦタイミングをｎｓｅｃオーダーで制御することは困難である。そのため、接点の形成時間に大きなばらつきが生じ（ｍｓｅｃオーダー)、近年の電子回路のように数十ＭＨｚ以上のクロックで動作する電子回路に対して、クロックに同期してノイズを印加することは事実上不可能であった。【０００６】
なお、ＬＳＩのノイズイミュニティ評価装置については特開２００４−０８５４７７号公報にも記載されている。特開２００４−０８５４７７号公報では、電源ラインにデカップリング容量が接続されたＬＳＩのノイズイミュニティ評価を精度よく行うための構成及び方法が記載されている。【０００７】
上述したように、背景技術のノイズイミュニティ評価装置では、例えばクロックの立ち上がりに同期して試験対象の電子回路にノイズを印加しようとしても、ノイズ印加用に設けたスイッチをＯＮにしてから実際にスイッチの接点が形成されるまでの時間に大きなばらつきがあるため、クロックの立ち上がりや立下りに同期して試験対象の電子回路にノイズを印加することができなかった。
【発明の開示】
【０００８】
そこで、本発明は、クロックの立ち上がりや立下りに同期して試験対象の電子回路にノイズを印加できるノイズイミュニティ評価装置を提供することを目的とする。
【０００９】
上記目的を達成するため本発明のノイズイミュニティ評価装置は、インパルス発生装置で生成されたパルスをクロックで動作する電子回路である供試体に印加するノイズイミュニティ評価装置であって、
前記インパルス発生装置で生成された前記パルスを検出するパルス検出装置と、
前記前記インパルス発生装置で生成された前記パルスを遅延させる、遅延量が変更可能な可変遅延装置と、
前記供試体のクロックを検出するクロック検出装置と、
前記パルス検出装置で検出されたパルスと前記クロック検出装置で検出されたクロック間の時間差を求める時間差抽出装置と、
前記時間差抽出装置で求めた時間差に応じて前記可変遅延装置による前記パルスの遅延量を設定する駆動装置と、
を有する。
【００１０】
上記のような構成では、時間差抽出装置によってパルス検出装置で検出されたパルスとクロック検出装置で検出されたクロック間の時間差を求め、時間差抽出装置で求めた時間差に応じて可変遅延装置によるパルスの遅延量を設定するため、試験対象の電子回路の動作速度を可変することなく、クロックに対して所望のタイミングでノイズを印加できる。
【００１１】
したがって、試験対象の電子回路がクロックのどの時点で印加されるノイズに対して誤動作しやすいか等の詳細な情報を得ることができる。そのため、クロックの立ち上がりや立下りに同期して試験対象の電子回路にノイズを印加できるノイズイミュニティ評価装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第１動作例を示すタイミングチャートである。
【図３】図３は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第１動作例を示すグラフである。
【図４】図４は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第２動作例を示すタイミングチャートである。
【図５】図５は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第２動作例を示すグラフである。
【図６】図６は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第３動作例を示すタイミングチャートである。
【図７】図７は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第３動作例を示すグラフである。
【図８】図８は、第２の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である。
【図９】図９は、第３の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】図１０は、第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である
【図１１】図１１は、第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置が備える波形表示装置の画面の一例を示す模式図である。
【図１２】図１２は、第５の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】図１３は、第６の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】図１４は、第７の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の構成を示すブロック図である。
【図１５】図１５は、第１の実施の形態〜第７の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の具体例を示すブロック図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に本発明について図面を参照して説明する。【００１４】
（第１の実施の形態）
図１に示すように、ノイズイミュニティ評価装置３は、試験対象の電子回路である供試体１と該供試体１に印加するノイズである高電圧のパルスを生成するインパルス発生装置２との間に挿入される。【００１５】
第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置３は、インパルス発生装置２で生成されたパルスを検知するパルス検出装置３１と、パルス検出装置３１を通して出力されたパルスを遅延させる、遅延量が変更可能な可変遅延装置３２と、供試体１で用いるクロックを検出するクロック検出装置３３と、パルス検出装置３１で検出されたパルスとクロック検出装置３３で検出されたクロック間の時間差を求める時間差抽出装置３４と、時間差抽出装置３４で求めた時間差に応じて可変遅延装置３２によるパルスの遅延量を設定する駆動装置３５とを有する。【００１６】
次に第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第１動作例について図２を用いて説明する。【００１７】
第１動作例は、クロックの周期に対して十分に短いパルスをクロックの立ち上がりから所望の時間経過後に印加する例である。【００１８】
第１動作例では、インパルス発生装置２で生成されたパルスをパルス検出装置３１で検知し、該検知結果をトリガーにして次に観測されたクロックとの時間差を測定し、時間差抽出装置３４にて遅延時間を設定する。【００１９】
例えば、ｎ番目のクロックの立ち上がりが観測された後にインパルス発生装置２で生成したパルスがパルス検出装置３１で検知されたとする。時間差抽出装置３４は、パルスの検知結果と次のクロック（ｎ＋１番目）の立ち上がりが観測されるまでの時間差Ｔ１を求める。この場合、ｎ＋１番目のクロックは既に発生しているため、例えば次にクロックの立ち上がりに同期させてインパルスを印加できるクロックはｎ＋２番目となる。したがって、クロックの周期をＴ０とすれば、インパルス発生装置２で発生したパルスが供試体１に印加されるまでの全遅延時間はＴ０＋Ｔ１となる。【００２０】
図３はパルスの検知出力とクロックの検知出力の時間差を検知時間としたとき、この検知時間とパルスの全遅延時間との関係を示した図である。【００２１】
検知時間が０の場合は、すなわちパルス検知出力がｎ＋１番目のクロックの立ち上がりと同時だった場合、そこから１周期分の遅延時間の設定をすることでｎ＋２番目のクロックの立ち上がりに同期して供試体１にパルスを印加できる。【００２２】
可変遅延装置３２は、クロックの１周期分の範囲内でパルスの遅延時間を設定できればよい。パルスの全遅延時間Ｔ０＋Ｔ１のうち、パルス検出装置３１と可変遅延装置３２を接続するケーブルによる遅延と可変遅延装置３２と供試体１を接続するケーブルによる遅延が、この系における固定遅延時間τ０になる。【００２３】
したがって、可変遅延装置３２で遅延すべき時間τは
τ＝Ｔ０＋Ｔ１−τ０
で表すことができる。【００２４】
次に第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第２動作例について説明する。【００２５】
第２動作例は、クロックの周期に対して十分に短いパルスをクロックの立ち下がりから所望の時間経過後に印加する例である。【００２６】
第２動作例では、例えば図４に示すようにパルス検出装置３１からクロックの立ち下りに同期して負方向の信号（検知結果）を出力し、その反転出力を用いて時間差抽出装置３４によりクロックの立ち下り時と比較することで、可変遅延装置３２の遅延量を設定する。【００２７】
図５に示すように、時間差抽出装置３４は、パルス検出装置３１でパルスの検知結果が出力された後、ｎ番目のクロックの立ち下りを検出すると、その間の時間差Ｔ２を求め、それにクロックの半周期Ｔ０／２を加えた時間Ｔ２＋Ｔ０／２を全遅延時間として出力する。以降の処理は第１動作例と同様である。【００２８】
次に第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置の第３動作例について説明する。【００２９】
図６に示すように、第３動作例は、クロックの立ち上がりをトリガーに用いてパルスとクロックの立ち上がりの時間差を求める手法である。【００３０】
時間差抽出装置３４は、ｎ番目のクロックの立ち上がりをトリガーにして次のｎ＋１番目のクロックが立ち上がる前にパルスの検知出力が得られた場合、ｎ番目のクロックの立ち上がりとパルスの検知出力の時間差をＴ３として求める。この場合、次のｎ＋１番目のクロックの立ち上がりに同期して供試体１にパルスを印加することが可能であり、パルスの全遅延時間はＴ０−Ｔ３となる。可変遅延装置３２によるパルスの遅延時間τは、第１動作例と同様に、
τ＝Ｔ０−Ｔ３−τ０
となる。【００３１】
時間差抽出装置３４で検出した検知時間とパルスの全遅延時間との関係は、図７に示すように検知時間が長くなる、すなわちクロックの立ち上がりをトリガーに用いうことでパルス検知出力が得られるまでの時間が長くなると、クロックに同期して印加するための時間が減少するので右下がりのグラフとなる。【００３２】
但し、検知時間Ｔ３が、クロックの周期と固定遅延時間τ０の差Ｔ０−τ０よりも小さい（Ｔ３＜Ｔ０−τ０）場合、次のｎ＋１番目のクロックの立ち上がりに同期するパルスの印加が間に合わないため、さらにクロックの１周期分の時間だけ遅延させてｎ＋２番目のクロックの立ち上がりに同期してパルスを印加する必要がある。【００３３】
第３動作例では、時間差抽出装置３４にて、検知時間Ｔ３とＴ０−τ０とを比較し、Ｔ３がＴ０−τ０よりも小さい場合は、検知時間Ｔ３にクロックの周期Ｔ０を加える処理が必要になる。【００３４】
なお、第３動作例については、第２動作例と同様にクロックの立下りを利用してパルスの遅延時間を設定することも可能である。
（第２の実施の形態）
次に第２の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置について図面を用いて説明する。【００３５】
図８に示すように、第２の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置は、第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置に、クロックに対するパルスの印加タイミングを所望の値に設定するためのタイミング設定装置３６を追加した構成である。【００３６】
第１の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置では、例えばｎ＋２番目のクロックの立ち上がりに同期してノイズであるパルスが供試体１に印加されるように調整していた（図２参照）。タイミング設定装置３６は、クロック立ち上がりに対して、その前後に所望の時間だけずらしてパルスを印加できるように、パルスの印加タイミングを調整する装置である。タイミング設定装置３６は、クロックの１周期分だけ遅延時間をずらすことができればよいため、例えば時間差抽出装置３４で検出した遅延時間に対してさらに±Ｔ０／２の範囲内で設定すればよい。【００３７】
第２の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置は、第１の実施の形態の第２動作例と同様に動作させる場合、全遅延時間が固定遅延時間τ０よりも小さくならないように設定する必要がある。その場合、クロックの１周期の時間Ｔ０を全遅延時間に加算した設定値を用いればよく、上述したように検知時間とＴ０−τ０とを比較し、検知時間がＴ０−τ０よりも小さい場合は、検知時間にクロックの周期Ｔ０を加算する処理を実行すればよい。
（第３の実施の形態）
第１及び第２の実施の形態では、パルス検出装置３１から供試体１までのケーブルによる遅延時間の和（これを印加系遅延時間と呼ぶ）を固定遅延時間（図２〜図７）と仮定していた。しかしながら、遅延時間には、パルス検出装置３１の遅延時間、クロック検出装置３３の遅延時間、これらの装置と時間差抽出装置３４を接続するケーブルの遅延時間、さらに時間差抽出装置３４から可変遅延装置３２が安定な状態になるまでに要する遅延時間（評価系遅延時間と称す）もある。【００３８】
このような評価系遅延時間が無視できる場合は、第１及び第２の実施の形態で示した構成でもよいが、評価系遅延時間が無視できない場合や評価系遅延時間が印加系遅延時間よりも大きい場合は評価系遅延時間を考慮したノイズイミュニティ評価装置を実現する必要がある。第３の実施の形態では評価系遅延時間を考慮したノイズイミュニティ評価装置を提案する。【００３９】
第３の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置は、図９に示すようにパルス検出装置３１と可変遅延装置３２間に、パルスを（評価系遅延時間）−（印加系遅延時間）に相当する時間（固定値）だけ遅延させる固定遅延装置３７を追加した構成である。【００４０】
評価系遅延時間は、印加系遅延時間と同様に評価系の構成が決まれば不変であるため、別途見積もっておけばよい。この場合、遅延時間τは
τ＝Ｔ０＋Ｔ１−（印加系遅延時間＋評価系遅延時間）
となる。よって、固定遅延時間τ０は、
τ０＝印加系遅延時間＋評価系遅延時間
となる。【００４１】
印加系のケーブルの長さが不変であれば、印加系遅延時間も不変であるので、
固定遅延時間τ１＝評価系遅延時間
とすればよい。【００４２】
（第４の実施の形態）
次に第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置について図面を用いて説明する。【００４３】
図１０に示すように、第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置は、図９に示した第３の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置に、クロック検出装置３３の検出波形及びパルスの印加タイミングを示す矢印を同時に表示できる波形表示装置３８を追加した構成である。【００４４】
図１１は波形表示装置の画面イメージを示した図である。【００４５】
第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置では、タイミング設定装置を用いてパルス（ノイズ）の印加タイミングを画面上の矢印に基づいて左右方向にずらして調節し、パルスの印加タイミングに相当するタイミング設定量を決定する。【００４６】
インパルス発生装置２でパルスが発生すると、クロックの所定のタイミングでパルスが印加されるように可変遅延装置３２でパルスを遅延させる。その結果、クロック検出装置３３ではクロックの所望の位置で印加されたパルスが検出される。このとき、波形表示装置３８により必要に応じて矢印をパルスが印加されたクロック波形に重ねて表示する。図１１に示すように、パルスが印加された瞬間にクロック波形が大きく乱れるので、クロック波形から正方向、または負方向に大きくずれたタイミングを不図示のトリガー機能を用いて検出し、そのクロックの周期内に矢印を重ねて表示すればよい。これらの表示機能を備えた波形表示装置３８は、例えば周知のオシロスコープを用いて実現できる。【００４７】
なお、図１０では第３の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置に波形表示装置３８を追加した構成を示しているが、第１及び第２の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置に波形表示装置３８を追加してもよい。【００４８】
第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置では、タイミング設定装置３６で設定されるタイミングをクロック波形に重ねて表示でき、またタイミング設定装置３６の設定範囲も表示できる。これにより、マン・マシンインターフェイスが格段に向上する。【００４９】
さらに、第４の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置では、クロック検出装置３３で供試体１中のクロックをピックアップすることにより、クロック波形にパルスが重畳された波形を表示することが可能となり、タイミング設定装置３６で設定されたタイミングと、実際に印加されたノイズの両方が表示できる。そのため、評価系の精度も検証できる。【００５０】
（第５の実施の形態）
次に第５の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置について図面を用いて説明する。【００５１】
第５の実施の形態では、パルス検出装置３１としてパルス電流によって生成される磁界を検出する磁界プローブを用いる例を示す。【００５２】
例えば、図１２（ａ）に示すように、ケーブルの一部を、該ケーブルと同じ特性インピーダンスを持つマイクロストリップ線路で形成し、該マイクロストリップ線路上で発生する磁界を磁界プローブで検出する。【００５３】
磁界プローブは、図１２（ｂ）に示すように、ケーブル外被（被覆材）に芯線まで達する微小な穴を設け、その穴を利用して磁界プローブの先端のループを芯線近傍に配置する。これにより、芯線の周りに発生する磁界を磁界センサの微小ループでピックアップできる。【００５４】
（第６の実施の形態）
次に第６の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置について図面を用いて説明する。【００５５】
図１３に示すように、第６の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置は、パルス検出装置から可変遅延回路までのケーブルの長さを調整することで、印加系遅延時間ｔ１＋ｔ２を評価系遅延時間よりも長くした構成である。すなわち、パルス検出装置３１から供試体１までのケーブルによる遅延時間の和が、パルス検出装置３１の遅延時間、クロック検出装置３３の遅延時間、これらの装置と時間差抽出装置３４を接続するケーブルの遅延時間及び時間差抽出装置３４の出力信号にしたがって可変遅延装置３２が所望の遅延時間になるまでに要する遅延時間の総和よりも長く設定する。これにより固定遅延装置３７が不要となる。【００５６】
（第７の実施の形態）
次に第７の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置について図面を用いて説明する。【００５７】
図１４に示すように、第７の実施の形態のノイズイミュニティ評価装置は、供試体が外部からクロックが供給されるＬＳＩまたは内部でクロックを生成するＬＳＩの場合に、磁界プローブを用いてＬＳＩのチップに直接アクセスすることでクロックを検知する方法である。【００５８】
磁界プローブを用いてクロックを検出することにより、図２、図４及び図６で示したように、クロックの立ち上がりと立下りに同期して正負の方向が逆転する波形、すなわちクロックの微分波形が得られる。この正負のスパイク状の波形を整形し、時間差抽出装置３４にてパルスとの時間差を求める。【００５９】
このように磁界プローブを用いてクロックを観測することで、供試体１に供給されるクロックとそれに重畳されたノイズの両方を観測できる。なお、第４の実施の形態で示した波形表示装置３８を用いてクロックを表示する場合は、磁界プローブで検出した波形を積分すれば元のクロック波形を再現できる。【００６０】
上述した第１の実施の形態〜第７の実施の形態で示したノイズイミュニティ評価装置の具体例を図１５に示す。インパルス発生装置２については、出願人が先に提出した特願２００７−０５５１５３号に記載されている。また、可変遅延回路３２については、例えば特開昭６０−０９３８１７号公報等に記載されている。【００６１】
パルス検出装置３１は、磁界を検出する方式だけでなく、パルス波形を抵抗分割で抽出する構成も可能である。パルス検出装置３１は、上述した第５の実施の形態で示した磁界プローブに代えて、ループセンサ、ループセンサの検出信号を増幅するプリアンプ（Pre）及びＡＧＣ（Automatic gain Control）回路でも実現できる。また、クロック検出装置３３は、上述した第７の実施の形態で示した磁界プローブに代えて、ループセンサ、ループセンサの検出信号を増幅するプリアンプ（Pre）及びＡＧＣ（Automatic gain Control）回路を備え、供試体のクロック入力端子から直接クロックを取り込むことでクロックを検出できる。これらの回路を用いるときは、時間差抽出装置３４が最適に動作するように前置回路を適切に組み合わせる必要がある。【００６２】
また、時間差抽出回路３４は、検知されたパルス及びクロックを重畳するミキサとローパスフィルタ（ＬＰＦ）で実現可能である。また、タイミング設定装置は、加算器を用いて時間差抽出装置の出力信号に直流バイアス電圧を印加することで実現可能であり、駆動装置３５は、直流アンプ（ＤＣ−ＰＡ）で実現できる。【００６３】
この出願は、２００７年３月２９日に出願された特願２００７−０８８４９１号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
2008123282.tif 000018
2008123282.tif 000019