(57)【要約】  多くのカセットを処理する場合であっても、システム全体が大きくなってしまうのを防ぐことができるワーク搬送システムを提供する。ワーク（３１〜３４）が収納される複数のカセットと、複数のカセットと対向する位置に配置されたワーク処理装置（２０）と、多関節型ロボット（１）とを有するワーク搬送システムであって、複数のカセットは、アーム関節部（Ｊ１）の移動軌跡と平行となるように並列配置され、リンク機構（３）の基台（２）及びアーム関節部（６）は、ワーク処理装置（２０）と複数のカセットとの中間位置よりも、ワーク処理装置（２０）と複数のカセットいずれか一方の側に偏った位置にあるとともに、リンク機構（３）の駆動に伴って、一方の側とは反対側にリンク関節部（Ｊ２）が屈折して突出する。
2008065747.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが収納される複数のカセットと、
少なくとも前記複数のカセットの並びと対向する位置に配置されたワーク処理装置と、
ワークをカセットにロード／アンロードする多関節型ロボットと、を有し、
前記多関節型ロボットは、ワークを保持するハンド部と、前記ハンド部を回転可能に保持するアーム部と、前記アーム部の基端側におけるアーム関節部を回転可能に保持するとともに、前記アーム関節部の移動軌跡が、前記ロード／アンロードする方向とは略直交する方向の直線となるように動作するリンク機構と、を備え、
前記リンク機構は、前記多関節型ロボットの基台に回転可能に保持された基台側リンク部と、前記アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、がリンク関節部によって連結されているワーク搬送システムであって、
前記複数のカセットは、前記アーム関節部の移動軌跡と平行となるように並列配置され、
前記リンク機構の前記基台側リンク部の回転中心及び前記アーム関節部の回転中心は、前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの中間位置よりも、前記ワーク処理装置と前記複数のカセットいずれか一方の側に偏った位置にあるとともに、
前記リンク機構の駆動に伴って、前記複数のカセット及び前記ワーク処理装置に対して前記ワークをロード／アンロードする時には、前記一方の側とは反対側に前記リンク関節部が屈折して突出することを特徴とするワーク搬送システム。
【請求項２】
前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの中間位置とは、
前記複数のカセットに収納されるワークの各中心点を結ぶ直線を直線１とし、ワーク処理装置の背面に含まれる直線であって、直線１と平行な関係にある直線を直線２としたとき、前記直線１からも前記直線２からも距離が等しい点の集合からなる直線位置、
前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの互いに対向する面間の中間位置、
前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの間に形成される前記多関節型ロボットの作業必要エリアにおける前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの中間位置、および、
前記ワーク処理装置側への前記ハンド部の到達可能最遠位置と前記複数のカセット側への前記ハンド部の到達可能最遠位置との中間位置のいずれかであることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送システム。
【請求項３】
前記アーム部の旋回範囲を前記一方の側において規制することを特徴とする請求項１又は２記載のワーク搬送システム。
【請求項４】
前記アーム部は、前記一方の側とは逆側を２４０度旋回可能であることを特徴とする請求項３記載のワーク搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークをカセットにロード／アンロードする際に用いられる多関節型ロボットを有するワーク搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ等のワークをカセットにロード／アンロードするには、複数のアームを互いに回転可能に連結すると共に、回転駆動源の回転力を伝達して伸縮等の動作をさせるようにした多関節型ロボットが用いられている。そして、ワークが収納される複数のカセットと、ワークに対して所定の処理を施すワーク処理装置と、この多関節型ロボットとで、１つのワーク搬送システムを構成している。従来のワーク搬送システムについて、図５を用いて詳述する（例えば特許文献１参照）。【０００３】
図５に示すように、従来のワーク搬送システムは、多関節型ロボット１００と、ワーク処理装置２００と、ワーク３０１〜３０３が収納される複数のカセット（カセット１〜３）と、を有している。なお、複数のカセットは、ワークを棚状に積載載置するものであって、多関節型ロボット１００はワークをカセットの各棚段に対して搬出搬入する。また、ここではカセットの一例として、ＳＥＭＥ（Semiconductor Equipment and Materials International） スタンダードＥ47.1に規定される正面開口式カセット一体型搬送、保管箱であるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）等を考えている。これら複数のカセットは、等間隔に並列に載置されている。多関節型ロボット１００は、ハンド部１０１と、アーム部１０２と、アーム部側リンク部１０３と、基台側リンク部１０４と、基台１０５と、を有しており、例えば、ワーク３０３をカセット（カセット３）から取り出して、ワーク処理装置２００へと搬送することができるようになっている。【０００４】
多関節型ロボット１００は、ワーク処理装置２００と複数のカセット（カセット１〜３）との中間位置に配置されている。より具体的には、複数のカセットに収納されるワーク３０１〜３０３の各中心点を結ぶ直線を直線１とし、ワーク処理装置２００の背面に含まれる直線であって、直線１と平行な関係にある直線を直線２とすると、直線１からも直線２からも距離が等しい点の集合からなる直線３の線上に、多関節型ロボット１００は配置されている。【０００５】
ここで、図５に示すワーク搬送システムでは、３個のワーク３０１〜３０３が収納される３個のカセットを取り扱う３ＦＯＵＰ方式を採用しているが、仮に、４個のカセットを取り扱う４ＦＯＵＰ方式を採用する場合には、上述したアーム部１０２，アーム部側リンク部１０３及び基台側リンク部１０４の全て又は一部の長さを延長しなければならない。５個以上のカセットを取り扱う場合も、同様である。【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２８９５５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、アーム部１０２，アーム部側リンク部１０３及び基台側リンク部１０４の全て又は一部の長さを長くした場合には、図５中のＸ方向へは、より遠くのアクセスが可能となるが（４ＦＯＵＰ対応は実現できるが）、図５中のＹ方向へはロボットの干渉エリアが広がってしまい、多関節型ロボット１００の装置全体、ひいてはワーク搬送システムのシステム全体が大きくなってしまう（ロボット設置スペースが広くなってしまう）。図５を例に挙げると、図５中のＹ方向の寸法Ｍを有する干渉エリア、即ち、作業必要エリア（ワークが収納されるカセットと干渉せず、また、ワーク処理装置とも干渉せず作業が行えるように確保されたエリア）が大きくなる結果、寸法Ｎも大きくなってしまう。【０００８】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、多くのカセットを処理する場合であっても、システム全体が大きくなってしまうのを防ぐことができ、ひいては省スペース化を図ることが可能なワーク搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上のような課題を解決するために、本発明は、以下のものを提供する。【００１０】
（１）  ワークが収納される複数のカセットと、少なくとも前記複数のカセットの並びと対向する位置に配置されたワーク処理装置と、ワークをカセットにロード／アンロードする多関節型ロボットと、を有し、前記多関節型ロボットは、ワークを保持するハンド部と、前記ハンド部を回転可能に保持するアーム部と、前記アーム部の基端側におけるアーム関節部を回転可能に保持するとともに、前記アーム関節部の移動軌跡が、前記ロード／アンロードする方向とは略直交する方向の直線となるように動作するリンク機構と、を備え、前記リンク機構は、前記多関節型ロボットの基台に回転可能に保持された基台側リンク部と、前記アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、がリンク関節部によって連結されているワーク搬送システムであって、前記複数のカセットは、前記アーム関節部の移動軌跡と平行となるように並列配置され、前記リンク機構の前記基台側リンク部の回転中心及び前記アーム関節部の回転中心は、前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの中間位置よりも、前記ワーク処理装置と前記複数のカセットいずれか一方の側に偏った位置にあるとともに、前記リンク機構の駆動に伴って、前記複数のカセット及び前記ワーク処理装置に対して前記ワークをロード／アンロードする時には、前記一方の側とは反対側に前記リンク関節部が屈折して突出することを特徴とするワーク搬送システム。【００１１】
本発明によれば、複数のカセットと、ワーク処理装置と、多関節型ロボットとを有し、この多関節型ロボットは、ワークを保持するハンド部と、それを回転可能に保持するアーム部と、アーム部の基端側におけるアーム関節部の移動軌跡がロード／アンロードする方向とは略直交する方向の直線となるように動作するリンク機構と、を備え、このリンク機構は、基台側リンク部とアーム部側リンク部とがリンク関節部によって連結されているワーク搬送システムで、複数のカセットは、アーム関節部の移動軌跡と平行となるように並列配置され、リンク機構の前記基台側リンク部の回転中心及びアーム関節部の回転中心は、ワーク処理装置と複数のカセットとの中間位置よりも、ワーク処理装置と複数のカセットいずれか一方の側に偏った位置にあるとともに、リンク機構の駆動に伴って、前記複数のカセット及び前記ワーク処理装置に対して前記ワークをロード／アンロードする時には、一方の側とは反対側にリンク関節部が屈折して突出することとしたので、例えばアーム部やリンク機構の各部の長さを長くした場合であっても、リンク機構のリンク関節部が突出して、ワーク処理装置と接触したり、或いは複数のカセットを収納するカセットケースと接触したりするのを防ぐことができる。【００１２】
したがって、ワーク搬送システム全体として大型化してしまうのを防ぐことができ、ひいては省スペース化を図ることができる。【００１３】
ここで、ワーク処理装置と複数のカセットとの「中間位置」とは、例えば、複数のカセットに収納されるワークの各中心点を結ぶ直線１とし、ワーク処理装置の背面に含まれる直線であって、直線１と平行な関係にある直線を直線２としたとき、直線１からも直線２からも距離が等しい点の集合からなる直線位置とすることができる。または、ワーク処理装置と複数のカセットとの「中間位置」とは、ハンド部がワーク処理装置又は複数のカセットと干渉しないように、前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの互いに対向する面間の中間位置、前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの間に形成される前記多関節型ロボットの作業必要エリアにおける前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの中間位置、および、前記ワーク処理装置側への前記ハンド部の到達可能最遠位置と前記複数のカセット側への前記ハンド部の到達可能最遠位置との中間位置のいずれかとして定めることができる。【００１４】
さらに、ハンド部，アーム部，基台側リンク部，及びアーム部側リンク部のいずれの長さを長くしてもよい。１の部位でもあってもよいし、２以上の部位であってもよい。なお、基台側リンク部４とアーム部側リンク部５との回転角度比を１：２とし、両者の長さを同一にするのが好ましい。これにより、簡易に直線補間が可能になる。また、ハンド部の長さを不変とすることで、ハンド部に関して３ＦＯＵＰ用や４ＦＯＵＰ用で共通化でき、汎用性を高めることができる。【００１５】
なお、本発明は、リンク機構の基台側リンク部の回転中心だけでなく、アーム関節部の回転中心も上述した「中間位置」よりも偏った位置にあることとしているので、例えばリンク機構の基台だけが「中間位置」にあるときと比べて、補間（直線補間又は擬似直線補間）を容易にすることができる。【００１６】
（２）  前記アーム部の旋回範囲を前記一方の側において規制することを特徴とするワーク搬送システム。【００１７】
本発明によれば、上述したアーム部の旋回範囲を、上述した一方の側において規制することとしたので、アーム部の動作範囲を一定の範囲限定することができ、ひいてはワーク搬送システムの設置スペースをより効率的に使用することができる。具体的には、前記アーム部は、前記一方の側とは逆側を２４０度旋回可能であるように構成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、多関節型ロボットにおける基台側リンク部の回転中心とアーム関節部の回転中心がワーク処理装置と複数のカセットとの中間位置よりも、ワーク処理装置と複数のカセットいずれか一方の側に偏った位置にあることとしたので、カセット数を増やし（例えば３ＦＯＵＰから４ＦＯＵＰに変え）、多関節型ロボットの各部を伸ばした場合であっても、リンク機構におけるリンク関節部がワーク処理装置やカセットケースなどと接触するのを防ぐことができ、ひいてはワークシステム全体が大型化するのを防ぐことができる。また省スペース化に寄与することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態に係るワーク搬送システムのシステム構成を示す図である。
【図２】図１に示す多関節型ロボットの機械構成を示す断面図である。
【図３】図１に示す多関節型ロボットのアーム部の旋回範囲図である。
【図４】ワーク処理装置に対してワークをロード／アンロードする様子を示す図である。
【図５】従来のワーク搬送システムのシステム構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  多関節型ロボット
２  基台
３  リンク機構
４  基台側リンク部
５  アーム部側リンク部
６  アーム部
７  ハンド部
２０  ワーク処理装置
３１〜３４  ワーク
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。【００２２】
［システム構成］
図１は、本発明の実施の形態に係るワーク搬送システムのシステム構成を示す図である。なお、図１では、３姿勢の多関節型ロボット１が示されている。【００２３】
図１において、ワーク搬送システムは、多関節型ロボット１と、ワーク処理装置２０と、ワーク３１〜３４（例えば円形の半導体ウェハ）のそれぞれが収納される４個のカセット（４ＦＯＵＰ方式）と、を有している。【００２４】
多関節型ロボット１は、ワーク３１〜３４をカセットにロード／アンロードするものであって、ワークを保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側におけるアーム関節部Ｊ１を回転可能に保持するとともに、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡が、ロード／アンロードする方向とは略直交する方向との直線となるように動作するリンク機構３と、リンク機構３の基端側が回転可能に支持された基台２と、を有している。【００２５】
リンク機構３は、多関節型ロボット１の基端（基台２）側に位置し、基台２に回転可能に保持された基台側リンク部４と、アーム部６側に位置するアーム部側リンク部５と、がリンク関節部Ｊ２によって連結されている。より詳細な機械構成については、［多関節型ロボットの機械構成］において詳述する。【００２６】
ワーク処理装置２０は、ワーク３１〜３４に対して所定の処理を施す装置であって、４個のカセットの並びと対向する位置に配置されている。なお、図１では、４個のカセットの並びと対向する位置に配置されているのみであるが、これ以外の場所に配置されていても構わない。例えば、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡を延長した直線上に、配置されていても構わない。【００２７】
４個のカセットは、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡と平行となるように、距離間隔Ｌで並列配置されている。なお、カセットは、ワーク３１〜３４を搬出搬入する目標位置に設置されており、このような搬入搬出位置が定義されるものであれば、カセットの他、加工装置等であってもよい。【００２８】
ここで、本実施形態に係るワーク搬送システムでは、リンク機構３の基台２の位置、即ち、基台２に回転可能に保持された基台側リンク部４の回転中心及び回転中心位置であるアーム関節部Ｊ１は、ワーク処理装置２０と４個のカセットとの中間位置よりも、４個のカセットの側に（長さＰだけ）偏った位置にある。そして、リンク機構３の駆動に伴って、この偏った位置とは反対側に、リンク関節部Ｊ２が屈折して突出するようになっている。【００２９】
従って、並列配置するカセットの数を多くした場合において、アーム部６やリンク機構３の各部の長さを長くしたときであっても、リンク機構３のリンク関節部Ｊ２がワーク処理装置２０やカセットと接触するのを防ぐことができる。その結果、ワーク搬送システム全体として大型化してしまうのを防ぐことができ、ひいては省スペース化を図ることができる。具体的には、図５に示す従来のワーク搬送システムと比べて、作業必要エリアの寸法Ｍや寸法Ｎをほとんど変えることなく（或いは全く変えることなく）、より多くのカセットへの搬送を可能にすることができるので、より省スペースな搬送システムが可能になる。【００３０】
なお、本実施形態では、上述した中間位置よりも４個のカセットの側に偏った位置にあることとしたが、例えば、ワーク処理装置２０の側に偏った位置にあることとしてもよい。この場合、アーム関節部Ｊ１（回転中心）の移動軌跡は、ワーク処理装置２０の側に偏った位置となり、リンク関節部Ｊ２は、中間位置よりもカセット側に屈折して突出するようにする。また、本実施形態では、「中間位置」として、複数のカセットに収納されるワークの各中心点を結ぶ直線と、この直線と平行であって、ワーク処理装置の背面に含まれる直線と、の双方から距離が等しい点の集合からなる直線位置（図１において距離２Ｎの中間位置を通る直線の位置）を考えたが、例えば、「中間位置」として、複数のカセットのうち多関節型ロボット１側の面に含まれる直線と、この直線と平行であって、ワーク処理装置２０のうち多関節型ロボット１側の面に含まれる直線と、の双方から距離が等しい点の集合からなる直線位置（図１において距離Ｍの中間位置を通る直線の位置）を考えても構わない。即ち、図１において距離Ｍで示される前記ワーク処理装置２０の多関節型ロボット１側の前面と前記複数のカセットの多関節型ロボット１側の前面との互いに対向する面間の中間位置を考えても構わない。または、「中間位置」として、図５に寸法Ｍで示される前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの間に形成される前記多関節型ロボットの作業必要エリアにおける前記ワーク処理装置と前記複数のカセットとの中間位置、または、前記ワーク処理装置側への前記ハンド部の到達可能最遠位置と前記複数のカセット側への前記ハンド部の到達可能最遠位置との中間位置を考えても構わない。【００３１】
［多関節型ロボットの機械構成及び機械動作］
図１に示す多関節型ロボット１の機械構成及び機械動作を、図１〜図３を用いて説明する。図２は、図１に示す多関節型ロボット１の機械構成を示す断面図であって、図２（ａ）は平面断面図、図２（ｂ）は縦断面図である。また、図３は、アーム部６の旋回範囲図である。【００３２】
図２において、多関節型ロボット１は、基台２と、リンク機構３と、アーム部６と、ハンド部７と、から構成される。リンク機構３は、互いに回転可能に連結された基台側リンク部４とアーム部側リンク部５を備えている。基台２は、昇降モータ（図示せず）の回転によって上下方向に昇降する昇降筒８と、を備えている。なお、昇降筒８は、図中の上下方向を長手方向とするガイド軸（図示せず）に案内されて昇降する。【００３３】
基台側リンク部４は、昇降筒８に、連結軸８ｂを介して連結されており、昇降筒８に内蔵されたリンク機構モータ８ａによって回転可能に保持されている。また、基台側リンク部４は、昇降筒８の昇降に伴って、基台２に対して昇降可能となっている。基台側リンク部４には、基台側プーリ４ａ，アーム部側プーリ４ｂ，ベルト４ｃが内蔵されている。そして、基台側プーリ４ａとアーム部側プーリ４ｂとの径の比は２：１としている。また、アーム部側プーリ４ｂとアーム部側リンク部５とは、連結軸４ｄによって連結されている。従って、基台側リンク部４が基台側プーリ４ａの回転中心を中心として回転したとき、基台側プーリ４ａとアーム部側プーリ４ｂとの回転角度比、すなわち基台側リンク部４とアーム部側リンク部５との回転角度比は１：２となる。さらに、基台側リンク部４とアーム部側リンク部５の長さは等しい。その結果、リンク機構３は、アーム部側リンク部５とアーム部６とを回転可能に連結する連結軸５ａの中心点（アーム関節部Ｊ１）の移動軌跡が、所定の直線上に規制されることになる。【００３４】
アーム部６は、アーム部側リンク部５の先端に、連結軸５ａを介して連結されており、アーム部側リンク部５に内蔵されたアーム部モータ５１によって回転可能に保持されている。なお、図２では、説明の便宜上、アーム部モータ５１をアーム部側リンク部５に内蔵させているが、本発明はこれに限られず、例えばアーム部モータ５１をアーム部６に内蔵させてもよいし、その他如何なる場所にあってもよい。【００３５】
ハンド部７には、平行な２本の上支持フレーム７ａと下支持フレーム７ｂから構成され、上支持フレーム７ａ及び下支持フレーム７ｂは、アーム部６の先端に、それぞれ連結軸６ｃ及び連結軸６ｄを介して連結され、それぞれアーム部６に内蔵された下支持フレームモータ６ａ及び上支持フレームモータ６ｂによって回転可能に保持されている。【００３６】
なお、図示しない昇降モータ，リンク機構モータ８ａ，アーム部モータ５１，下支持フレームモータ６ａ及び上支持フレームモータ６ｂを駆動する制御信号は、オペレータが入力したプログラムに基づいて、図示しないコントローラから適宜送信される。このコントローラは、マニピュレータ（ロボット本体１）とケーブルで繋がるように配置されており、他の装置と干渉しない位置であれば、どの場所に配置しても構わない。【００３７】
図３において、本実施形態に係る多関節型ロボット１では、アーム部６の旋回範囲が前記一方の側において規制されている。具体的には、アーム部６は、図３に示すように左右Ｑ（例えば、Ｑ＝１２０度、但し、この角度は、必要に応じ自由に設定することができる）の範囲でしか回転することができない。すなわち、図１でいえば、前記一方の側とは逆側のワーク処理装置２０側では自由に回転しうるが、カセット側では、一定の角度以上回転し得ない状態になっている。これにより、アーム部６の動作範囲が、従来の小判形から（図５参照）、一部を切り取った扁平形（図１参照）になるため、ワーク搬送システムの設置スペースをより効率的に使用することができるようになる。【００３８】
図１に示す多関節型ロボット１の機械動作を概説する。多関節型ロボット１の姿勢は、現在、図１中の右の多関節型ロボット１の姿勢（実線）をしているものとする。まず、ハンド部７の上支持フレーム７ａは、ワーク３４をカセットから取り出すために、その向きを保ちつつＹ軸の正方向に直線移動する。より詳細には、アーム部６は、アーム部モータ５１（図２参照）によってアーム関節部Ｊ１を中心に左回り（反時計回り）に回転し、ハンド部７の上支持フレーム７ａは、上支持フレームモータ６ｂによって連結軸６ｃを中心として右回り（時計回り）に回転する。このとき、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡（Ｊ１→Ｊ１'）は、ワークをアンロードする方向と直交する方向（Ｘ軸の負方向）の直線となる。また、リンク関節部Ｊ２は、リンク関節部Ｊ２'の位置に屈折して突出する。ハンド部７の上支持フレーム７ａが所定距離だけＹ軸の正方向に移動すると、ハンド部７の上支持フレーム７ａがカセット内に進入する。なお、ここでいう「時計回り」は、多関節型ロボット１を上から見たときにおける（図１参照）右回りの方向であって、「反時計回り」は、多関節型ロボット１を上から見たときにおける（図１参照）左回りの方向である。また、ここでいう「Ｘ軸の負方向」は、多関節型ロボット１を上から見たときにおける（図１参照）左方向であって、「Ｘ軸の正方向」は、多関節型ロボット１を上から見たときにおける（図１参照）右方向である。【００３９】
そして、ハンド部７の上支持フレーム７ａにワークが載置された後（図1中の右の多関節型ロボット１の姿勢（鎖線）参照）、上述の動作と逆順の動作が行われ、図1中の右の多関節型ロボットの姿勢（実線）に戻る。なお、次の作業として、左端のカセットに収納されたワーク３１を取り出すには、アーム関節部Ｊ１がＸ軸の負方向に移動するように、リンク機構３及びアーム部６が動作した後（図1中の左の多関節型ロボット１の姿勢（鎖線）になった後）、上述同様の動作が行われる。なお、カセットの各棚に対するワークの載置は、昇降モータ（図示せず）の回転によって昇降筒８を上下方向に微小に昇降することにより行なわれる。また、昇降モータ（図示せず）の回転によって昇降筒８を上下方向に昇降することにより、各カセットの異なる高さの棚に対して、ワーク３１〜３４を適宜搬出搬入し、またはワーク処理装置２０に対する搬出搬入をすることができる。【００４０】
図４は、ワーク処理装置２０に対してワークをロード／アンロードする様子を示す図である。【００４１】
図４に示すように、例えばカセットから取り出したワーク３１を、アーム関節部Ｊ１をＸ軸の正方向に移動させながら、アーム部をアーム関節部Ｊ１を中心に左回り（反時計回り）に回転し（図４中の右の多関節型ロボット１の姿勢（実線）参照）、ハンド部７の上支持フレーム７ａをワーク処理装置２０内に進入させることもできる。【００４２】
［実施形態の効果］
以上説明したように、本実施形態に係るワーク搬送システムによれば、図１又は図４に示すように、カセットを４ＦＯＵＰ対応にし、アーム部６やリンク機構３の各部（基台側リンク部４及びアーム部側リンク部５）の長さを長くした場合であっても、リンク機構３のリンク関節部Ｊ２が突出して、ワーク処理装置２０や複数のカセットと接触するのを防ぐことができる。従って、ワーク搬送システム全体の大型化を防ぐことができ、ひいては省スペース化を図ることができる。また、アーム部６の旋回範囲を一定の範囲に限定することによって、ワーク搬送システムの設置スペースをより効率的に使用することができる。【００４３】
なお、本実施形態では、多関節型ロボット１の基台２に設置された基台側リンク部４の回転中心及びアーム関節部Ｊ１は、ワーク処理装置２０と複数のカセットとの中間位置よりも、複数のカセット側に偏った位置にあることとしているが、これは、常時この位置になければならないわけではない。例えば、スライド機構を用いる等して、ワーク処理装置２０と複数のカセットとの中間位置と、偏った位置と、を行き来できるような仕組みにしても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上説明したように、本発明は、並列配置されたより多くのカセットへのワーク搬送を可能にしつつ、システム全体の大型化を防ぐことが可能なものとして有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2008065747.tif 000009