【手続補正書】
【提出日】平成16年4月20日(2004.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
光を横方向に(2n＋1)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項２】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、光を横方向に(2n)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項３】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1)（Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち、光を横方向に(2n＋1)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項４】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち光を横方向に(2n)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を有し、前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項５】
レーザビームを発生させる手段と、
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向にレーザービームをN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W(d/(n−1))で定義される角度Xを持ちレーザービームを横方向に(2n＋1)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を含む光学系から構成されるビームホモジェナイザーと、
一方向に動く移動テーブルと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項６】
レーザビームを発生させる手段と、
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向にレーザービームをN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ちレーザービームを横方向に(2n)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、
を含む光学系から構成されるビームホモジェナイザーと、
一方向に動く移動テーブルと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項７】
レーザビームを発生させる手段と、
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向にレーザービームをN(n−1)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
レーザービームを横方向に(2n＋1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を含む光学系から構成されるビームホモジェナイザーと、
一方向に動く移動テーブルと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項８】
レーザビームを発生させる手段と、
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に該レーザービームをN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、レーザービームを横方向に(2n)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/（d/(n−1)）で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を含む光学系から構成されるビームホモジェナイザーと、
一方向に動く移動テーブルと、を有し、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項９】
請求項３乃至請求項６のいずれか一項において、前記平行四辺形状シリンドリカルレンズ群は凹凸混合レンズ群であることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項１０】
請求項５乃至請求項8のいずれか一項において、被照射面におけるレーザービームは、横方向に長手形状を有する線状ビームであることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項１１】
請求項1乃至請求項１０のいずれか一項において、dは、λをレーザー光の波長、fを横方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズの焦点距離、Lをレーザービームを横方向に分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群を構成する一つのレンズの幅として、概略d＝λf/Lで示されることを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項１２】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、光を横方向に(2n＋1)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を少なくとも有した光学系を通したレーザービームを被照射面に照射することを特徴とし、前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されるレーザー照射方法。
【請求項１３】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、光を横方向に(2n)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を少なくとも有した光学系を通したレーザービームを被照射面に照射することを特徴とし、前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されるレーザー照射方法。
【請求項１４】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される概略の角度Xを持ち、光を横方向に(2n＋1)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と、
｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される概略の角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、
前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を少なくとも有した光学系を通したレーザービームを被照射面に照射することを特徴とし、
前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されるレーザー照射方法。
【請求項１５】
レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n−1) （Ｎは０を含まない自然数であり、ｎは３以上の自然数である）分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち光を横方向に(2n)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と,｜tan X｜＝W/(d/(n−1))で定義される角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を少なくとも有した光学系を通したレーザービームを被照射面に照射することを特徴とし、前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されるレーザー照射方法。
【請求項１６】
請求項１２乃至請求項１５のいずれか一項において、被照射面におけるレーザービームは、横方向に長手形状を有する線状ビームであることを特徴とするレーザー照射方法。
【請求項１７】
請求項１２乃至請求項１６のいずれか一項において、レーザー光を半導体膜に対して照射することを特徴とするレーザー照射方法。
【請求項１８】
請求項１２乃至請求項１７のいずれか一項において、dは、λをレーザー光の波長、fを横方向に分割されたレーザービームを再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズの焦点距離、Lをレーザービームを横方向に分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群を構成する一つのレンズの幅として、概略d＝λf/Lで示されることを特徴とするレーザー照射方法。