(57)【要約】駆動装置（１００ｆ）は、ベース部（１１０）と、被駆動物（１２）が搭載されると共に、移動可能なステージ部（１３０）と、ベース部とステージ部とを接続すると共に、ステージ部を一の方向（Ｙ軸）に沿って移動させるような弾性を有する弾性部（１２）と、ステージ部及び弾性部により定まる共振周波数でステージ部が一の方向に沿って共振するようにステージ部を移動させるための加振力を、弾性部に加える印加部（１６１、１６２、２２）とを備える。
2008126248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と、
被駆動物が搭載されると共に、移動可能なステージ部と、
前記ベース部と前記ステージ部とを接続すると共に、前記ステージ部を一の方向に沿って移動させるような弾性を有する弾性部と、
前記ステージ部及び前記弾性部により定まる共振周波数で前記ステージ部が前記一の方向に沿って共振するように前記ステージ部を移動させるための加振力を、前記ベース部に加える第１印加部と
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記ステージ部を又は前記ステージ部上に搭載される前記被駆動物を前記一の方向と略直交する他の方向に沿って段階的に又は連続的に移動させるための駆動力を加える第２印加部を更に備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記加振力による前記ベース部の振動の振幅は前記ステージ部の振動の振幅よりも小さいことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記第１印加部は、前記ステージ部を移動させ始めてから所定期間の間に前記加振力を加える初期用第１印加部と、前記所定期間が経過した後に前記加振力を加える維持用第１印加部とを備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記初期用第１印加部は、電磁力に起因した前記加振力を加え、前記維持用第１印加部は、圧電効果、電磁力及び静電力のいずれか１つに起因した前記加振力を加えることを特徴とする請求の範囲第４項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記第１印加部は、前記共振周波数に応じた周期で前記加振力を加えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記第１印加部は、圧電効果に起因した前記加振力を加えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記第１印加部は、電磁力に起因した前記加振力を加えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記第１印加部は、静電力に起因した前記加振力を加えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプローブ等を一軸方向や二軸方向に駆動しながら、媒体の表面等を走査する駆動装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば記録媒体に対して、複数のプローブを含むプローブアレイを記録媒体の記録面に沿って移動させることで、記録媒体にデータを記録したり、或いは該記録媒体に記録されたデータを再生したりするプローブメモリの開発が進められている。このようなプローブメモリにおいては、記録媒体に対するプローブアレイの位置（言い換えれば、プローブアレイと記録媒体との位置関係）は、例えばプローブアレイが備え付けられたステージを移動させることで決定される。言い換えれば、ステージを備えると共に該ステージを移動することができるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）アクチュエータの動作により、記録媒体に対するプローブアレイの位置が決定される。【０００３】
プローブアレイが備え付けられたステージを移動させるための具体的な構成としては、例えば特許文献１に開示されたＭＥＭＳアクチュエータが一例として挙げられる。このようなＭＥＭＳアクチュエータにおいては、相対的に低い周波数（より具体的には、ステージを含むばね・質量系の最低共振周波数よりも低い周波数）でステージが振動するようにステージに力を加えることで、ステージを移動させている。このように最低共振周波数よりも低い周波数でステージを振動させるようにステージに力を加えるのは、共振周波数付近の周波数でステージを振動させるようにステージに力を加えると、振動のゲイン（つまり、振幅の変動幅）が大きくなりすぎてしまったり、共振周波数より高い周波数では姿勢の制御が利きづらくなり、その結果、ステージの動作（つまり、ＭＥＭＳアクチュエータの動作）が不安定になってしまうことを考慮しているからである。これにより、ＭＥＭＳアクチュエータの動作の安定化を図ることができる。【０００４】
【非特許文献１】長谷部建彦，山中聖子，原田武，武藤康、「低電圧・可変ストローク電磁駆動方式アクチュエータの開発（development of wide lateral stroke electro-magnetic actuator driven by low voltage）」、電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会／マイクロマシン・センサシステム研究会、Ｎｏ．ＭＳＳ−０６−１２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
他方で、ＭＥＭＳアクチュエータは、そのサイズが微小であることから、より一層の低消費電力化が望まれている。また、記録媒体の記録容量の大容量化のために、その記録密度を極めて高くし、且つ記録ピッチのナノメートル台までの極小化を目指している。このような超微小な領域に対してプローブを用いてデータを記録する際には、ほんのわずかなステージの駆動姿勢の乱れ、姿勢再現性が性能を左右する。このため、より効率的にステージを移動させることが望まれている。【０００６】
本発明が解決しようとする課題には上記のようなものが一例として挙げられる。本発明は、より効率的にステージを移動させることで、低消費電力化を実現可能であり、駆動姿勢の安定化を実現可能な駆動装置（つまり、ＭＥＭＳアクチュエータ）を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明の駆動装置は、ベース部と、被駆動物が搭載されると共に、移動可能なステージ部と、前記ベース部と前記ステージ部とを接続すると共に、前記ステージ部を一の方向に沿って移動させるような弾性を有する弾性部と、前記ステージ部及び前記弾性部により定まる共振周波数で前記ステージ部が前記一の方向に沿って共振するように前記ステージ部を移動させるための加振力を、前記ベース部に加える第１印加部とを備える。【０００８】
本発明のこのような作用及び利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施例に係る強誘電体記録再生装置の構成を概念的に示すブロック図である。
【図２】本実施例において用いられる記録媒体の一例を概念的に示す平面図及び断面図である。
【図３】データの記録動作を概念的に示す断面図である。
【図４】データの再生動作を概念的に示す断面図である。
【図５】第１実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図６】図５に示す第１実施例に係る駆動装置のステージが移動した場合の態様を概念的に示す平面図である。
【図７】電磁力に起因した加振力をベースに加えることによりステージを移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図８】静電力に起因した加振力をベースに加えることによりステージを移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図９】第２実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１０】電磁力に起因した加振力を２本のサスペンションに加えることによりステージを移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１１】静電力に起因した加振力を２本のサスペンションに加えることによりステージを移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１２】第３実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１３】電磁力に起因した加振力をステージに加えることによりステージを移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１４】静電力に起因した加振力をステージに加えることによりステージを移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１５】第４実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１６】第４実施例に係る駆動装置が動作した場合の態様を概念的に示す平面図である。
【図１７】ステージの質量を調整する駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１８】第５実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図１９】図１８に示す第５実施例に係る駆動装置の第１ステージが移動した場合の一の態様を概念的に示す平面図である。
【図２０】図１８に示す第５実施例に係る駆動装置の第１ステージが移動した場合の他の態様を概念的に示す平面図である。
【図２１】電磁力に起因した加振力を第１ステージに加えることにより第２ステージをＹ軸の方向に沿って移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２２】静電力に起因した加振力を第１ステージに加えることにより第２ステージをＹ軸の方向に沿って移動させる駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２３】第２ステージをＹ軸の方向に沿って移動させるための駆動源を２種類備えている駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２４】第１ステージ上に複数の第２ステージを備える駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２５】第６実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２６】第６実施例に係る駆動装置の他の構成を概念的に示す平面図である。
【図２７】第１ステージ上に複数の第２ステージを備える駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２８】第７実施例に係る駆動装置の構成を概念的に示す平面図である。
【図２９】図２８に示す第７実施例に係る駆動装置のステージが移動した場合の態様を概念的に示す平面図である。
【図３０】第８実施例に係る駆動装置により実現される複数のプローブの移動の軌跡を概念的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００１０】
１  強誘電体記録再生装置
１２  プローブ
３０  記録媒体
１００  駆動装置
１１０  ベース
１２０  サスペンション
１３０  ステージ
１４１、１４３  電極
１４２  圧電素子
１４４  力伝達機構
１５１  コイル
１５２  磁極
１６１、１６２  電極
１７０  バネ定数調整部
１７１  部材
１７２  バネ
１７３  ステージ質量調整部
１８０  駆動源
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明を実施するための最良の形態として、本発明の駆動装置に係る実施形態について順に説明する。【００１２】
本発明の駆動装置に係る実施形態は、ベース部と、被駆動物（例えば、後述の複数のプローブを含むプローブアレイ等）が搭載されると共に、移動可能なステージ部と、前記ベース部と前記ステージ部とを接続すると共に、前記ステージ部を一の方向に沿って移動させるような弾性を有する弾性部と、前記ステージ部及び前記弾性部により定まる共振周波数で前記ステージ部が前記一の方向に沿って共振するように前記ステージ部を移動させるための加振力を、前記ベース部に加える第１印加部とを備える。【００１３】
本発明の駆動装置に係る実施形態によれば、第１印加部の動作により、各種ばねを含む弾性部を介してベース部（つまり、基礎となる固定されたベース部）と接続されたステージ部がステージ部及び弾性部により定まる共振周波数で一の方向（例えば、Ｙ軸の方向）に沿って共振するような加振力が、ベース部に対して加えられる。つまり、第１印加部により弾性部に対して加えられる加振力により、ステージ部は、共振周波数で共振するように移動する（言い換えれば、可動する）。【００１４】
このように、本実施形態においては、ステージ部を移動させる際に、共振という性質を利用している。ここで、「共振」とは、無限小の力の繰り返しにより無限大の変位が生じる現象であることから、ステージ部が移動するために必要な加振力を小さくしても、ステージ部の移動範囲を大きくとることができる。つまり、ステージ部が移動するために必要な加振力を相対的に小さくすることができる。このため、ステージ部の移動に必要な加振力を加えるために必要な電力量をも少なくすることができる。従って、より効率的にステージ部を移動させることで、低消費電力化を実現することができる。【００１５】
尚、上述した背景技術に記載された構成では、最低共振周波数よりも低い周波数でステージ部が振動するようにステージ部を移動させていた。しかしながら、本発明は、低消費電力化を目的として、共振周波数でステージ部が振動するようにステージ部を移動させている。このような低消費電力化は、ＭＥＭＳアクチュエータのような微小な装置においては特に有利な効果と言える。【００１６】
加えて、方向性を有する力を利用してステージ部が移動する駆動装置においては、ステージ部に加えられる力が作用する方向や位置によっては、ステージ部の姿勢が乱れてしまいかねない。つまり、ステージ部の重心に力を加えなければ、ステージ部の姿勢が乱れてしまいかねない。或いは、ステージ部に加えられる力に回転成分が含まれていれば、ステージ部の姿勢が乱れてしまいかねない。その結果、ステージ部の移動の態様に対する再現性が得られなくなりかねない。しかるに、本実施形態においては、共振というステージ部及び弾性部を含む振動系自身の自由な挙動を利用してステージ部を移動させることができるため、ステージ部の姿勢の安定性を維持することができる。その結果、ステージ部の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。【００１７】
そして、被駆動物としてのプローブアレイがステージ部に備え付けられており、且つプローブアレイと対向するように記録媒体が配置されていれば、プローブアレイが含む複数のプローブの夫々を、記録媒体上の所望の位置に移動させることができる。その結果、記録媒体上の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体上の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【００１８】
更に、本実施形態においては、ベース部に対して加振力が加えられる。これにより、加振力を加えるための駆動源である第１印加部をベース部に固定させれば（言い換えれば、弾性部やステージ部を含む可動部に固定することなく）、加振力を加えることができる。このため、弾性部及びステージ部を含む可動部における、駆動源に起因した熱の発生を相対的に抑制することができる。その結果、弾性部及びステージ部を含む可動部に対する熱の悪影響を好適に抑制することができる。【００１９】
また、加振力をベース部に加えるがゆえに、弾性部及びステージ部を含む可動部に駆動源である第１印加部を備え付ける必要がない。このため、弾性部及びステージ部を含む可動部の質量を増加させることなく、加振力を加えることができる。従って、ステージ部の移動に係る感度を増加させることができる。【００２０】
本発明の駆動装置に係る実施形態の一の態様は、前記ステージ部を又は前記ステージ部上に搭載される前記被駆動物を前記一の方向と略直交する他の方向に沿って段階的に又は連続的に移動させるための駆動力を加える第２印加部を更に備える。【００２１】
この態様によれば、第２印加部の動作により、ステージ部自身を又はステージ部上に搭載される被駆動物を他の方向（例えば、Ｘ軸の方向）に沿って段階的に又は連続的に移動させるための駆動力が加えられる。これにより、ステージ部又はステージ部上に搭載される被駆動物は、他の方向に沿ったトラッキング動作を行うように移動する。ここで、ステージ部を他の方向に沿って移動させる構成としては、(i)ベース部、ステージ部及び弾性部を含む共振振動系の全体を移動させる構成と、(ii)共振するように移動しているステージ部上に搭載される被駆動物（例えば、他のステージ部）のみを更に移動させる構成との２つが一例として挙げられる。【００２２】
このため、ステージ部を他の方向に沿って移動させると共に該ステージ部又は該ステージ部上に搭載される被駆動物を他の方向に沿って共振させることができる。これにより、ステージ部又はステージ部上に搭載された被駆動物を、一の方向に沿って共振させながら他の方向に沿って移動させることができる。つまり、ステージ部の２軸駆動を行うことができる。従って、例えば、記録媒体上の概ね全ての記録面に対してデータを記録したり、記録媒体上の概ね全ての記録面に記録されたデータを再生したりすることができる。【００２３】
本発明の駆動装置に係る実施形態の他の態様は、前記加振力による前記ベース部の振動の振幅は、前記ステージ部の振動の振幅よりも小さい。【００２４】
この態様によれば、ベース部は固定されていることから、加振力を加えたとしても、殆ど振動しない。仮に振動したとしても、その振動の周波数は、ステージ部の振動の周波数（つまり、共振周波数）よりも高い。このため、ベース部の振動の振幅は、ステージ部の振動の振幅よりも十分に小さくなる。【００２５】
本発明の駆動装置に係る実施形態の他の態様は、前記第１印加部は、前記ステージ部を移動させ始めてから所定期間の間に前記加振力を加える初期用第１印加部と、前記所定期間が経過した後に前記加振力を加える維持用第１印加部とを備える。【００２６】
この態様によれば、初期用第１印加部による相対的に大きな加振力を用いてステージ部を共振させ始めると共に、ステージ部の挙動が安定した場合には、維持用第１印加部による相対的に小さな加振力を用いてステージ部の共振を維持することができる。このため、より効率的にステージ部を共振させることができる。【００２７】
上述の如く第１印加部が初期用第１印加部及び維持用第１印加部を備える駆動装置の態様では、前記初期用第１印加部は、電磁力に起因した前記加振力を加え、前記維持用第１印加部は、圧電効果、電磁力及び静電力のいずれか１つに起因した前記加振力を加えるように構成してもよい。【００２８】
このように構成すれば、電磁力に起因した相対的に大きな加振力を用いてステージ部を共振させ始めると共に、ステージ部の挙動が安定した場合には、圧電効果、電磁力及び静電力のいずれか１つに起因した相対的に小さな加振力を用いてステージ部の共振を維持することができる。このため、より効率的にステージ部を共振させることができる。【００２９】
更に、電磁力に起因した加振力を加えるための第１印加部が備えるコイルへの電圧の印加を最小限にとどめることができる。つまり、弾性部及びステージ部を含む可動部における、駆動源としてのコイルに起因した熱の発生を相対的に抑制することができる。その結果、弾性部及びステージ部を含む可動部に対する熱の悪影響を好適に抑制することができる。【００３０】
本発明の駆動装置に係る実施形態の他の態様は、前記第１印加部は、前記共振周波数に応じた周期で前記加振力を加える。【００３１】
この態様によれば、例えば共振周波数がｆ０である仮定すれば、１／ｆ０の周期で或いは１／ｆ０のＮ倍ないしは１／Ｎ倍（但し、Ｎは１以上の整数）の周期で加振力が加えられる。言い換えれば、１／ｆ０の周期につき１回或いは１／ｆ０のＮ倍ないしは１／Ｎ倍（但し、Ｎは１以上の整数）の周期につき１回ずつ、加振力が加えられる。その結果、ステージ部の共振の態様に合わせて、該共振を強める又は維持するタイミングで加振力が加えられる。これにより、ステージ部は、共振周波数で共振するように移動する。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。【００３２】
本発明の駆動装置に係る実施形態の他の態様は、前記第１印加部は、圧電効果に起因した前記加振力を加える。【００３３】
この態様によれば、例えば圧電素子に電圧を印加することで得られる圧電素子の形状の変位を、加振力として利用することができる。その結果、上述した各種効果を好適に享受することができる。【００３４】
本発明の駆動装置に係る実施形態の他の態様は、前記第１印加部は、電磁力に起因した前記加振力を加える。【００３５】
この態様によれば、例えばコイルに電流を流すことで発生する磁界と、該コイルに隣接するように設けられた磁極との間の電磁相互作用により得られる電磁力を、加振力として利用することができる。その結果、上述した各種効果を好適に享受することができる。【００３６】
本発明の駆動装置に係る実施形態の他の態様は、前記第１印加部は、静電力に起因した前記加振力を加える。【００３７】
この態様によれば、例えば対向する２つの電極の電位差に起因して生ずる静電力を、加振力として利用することができる。その結果、上述した各種効果を好適に享受することができる。【００３８】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。【００３９】
以上説明したように、本発明の駆動装置に係る実施形態によれば、ベース部と、ステージ部と、弾性部と、第１印加部とを備える。従って、より効率的、及び安定的にステージを移動させることで、低消費電力化、及び姿勢の安定化を実現することができる。
【実施例】
【００４０】
以下、図面を参照しながら、本発明の駆動装置に係る実施例について説明を進める。【００４１】
（１）情報記録再生装置
初めに、図１から図４を参照して、本発明の駆動装置に係る実施例を備える情報記録再生装置について説明する。尚、ここでは、強誘電体を記録材料として用いる記録媒体３０に対して記録動作或いは再生動作を行う強誘電体記録再生装置について説明を進める。【００４２】
（１−１）構成
先ず、本実施例に係る強誘電体記録再生装置の構成について、図１を参照して説明する。ここに、図１は、本実施例に係る強誘電体記録再生装置の構成を概念的に示すブロック図である。【００４３】
図１に示すように、強誘電体記録再生装置１は、記録媒体３０に近接もしくは接触すると共に、駆動装置（言い換えれば、ＭＥＭＳアクチュエータ）１００に備え付けられたプローブ１２と、該プローブ１２に対向する位置に配置される記録媒体３０とを備える。また、強誘電体記録再生装置１は、プローブ１２から印加された信号再生用の高周波信号が戻るリターン電極１１と、プローブ１２とリターン電極１１との間に設けられるインダクタＬと、インダクタＬとプローブ１２の直下の誘電体材料３１の表層ないしは内部に形成される、記録情報に対応して分極した部位の容量Ｃｓとで決まる共振周波数で発振する発振器１３と、誘電体材料３１に記録された分極状態を検出するための交番電界を印加するための交流信号発生器１６と、誘電体材料３１に分極状態を記録する記録信号発生器１７と、交流信号発生器１６及び記録信号発生器１７の出力を切り替えるスイッチ１８と、ＨＰＦ（Ｈｉｇｈ  Ｐａｓｓ  Ｆｉｌｔｅｒ）１５と、プローブ１２の直下の誘電体材料３１が有する分極状態に対応した容量で変調されるＦＭ信号を復調する復調器１９と、復調された信号からデータを検出する信号検出部２０と、復調された信号からトラッキングエラー信号を検出するトラッキングエラー検出部２１と、駆動装置１００の動作を制御するアクチュエータ駆動回路２２等を備えて構成される。【００４４】
プローブ１２はＨＰＦ１５を介して発振器１３と接続され、またＨＰＦ１５及びスイッチ１８を介して交流信号発生器１６及び記録信号発生器１７と接続される。そして、誘電体材料３１に電界を印加する電極として機能する。【００４５】
尚、プローブ１２は、後述する駆動装置１００が備えるステージ１３０上に備え付けられており、記録媒体３０の記録面に沿って平面移動することができる。このプローブ１２の移動動作は、アクチュエータ駆動回路２２の制御の下に行われる。尚、プローブ１２の移動動作（言い換えれば、駆動装置１００の構成及び動作）については、後に詳述する。【００４６】
リターン電極１１は、プローブ１２から誘電体材料３１に印加される高周波電界（即ち、発信器１３からの共振電界）が戻る電極であって、プローブ１２を取り巻くように設けられている。尚、高周波電界が抵抗なくリターン電極１１に戻るものであれば、リターン電極１１の形状や配置は任意に設定が可能である。【００４７】
尚、本実施例においては、説明の簡略化のために、図１においては、プローブ１２は一つだけ示しているが、実際には、記録速度及び再生速度を向上させるために、複数のプローブ１２を備える構成を有していることが好ましい。この場合には、交流信号発生器１６は、夫々のプローブ１２に対応して複数設けられる。また、信号検出部２０において夫々の交流信号発生器１６に対応する再生信号を弁別可能なように、信号検出部２０を複数備え、且つ夫々の信号検出部２０は、夫々の交流信号発生器１６より参照信号を取得することで、対応する再生信号を出力するように構成される。【００４８】
インダクタＬは、プローブ１２とリターン電極１１との間に設けられていて、例えばマイクロストリップラインで形成される。インダクタＬと容量Ｃｓとを含んで共振回路１４が構成される。この共振周波数が例えば１ＧＨｚ程度を中心とした値になるようにインダクタＬのインダクタンスが決定される。【００４９】
交流信号発生器１６は、リターン電極１１と電極３２との間に存在する誘電体材料３１の微小領域に交番電界を印加する。また、複数のプローブ１２を用いる強誘電体記録再生装置においては、この周波数を参照信号として同期を取り、プローブ１２で検出する信号を弁別する。その周波数は１００ｋＨｚ程度を中心としたものである。【００５０】
発振器１３は、インダクタＬと容量Ｃｓとで決定される共振周波数で発振する発振器である。その発振周波数は容量Ｃｓの変化に対応して変化するものである。従って、記録されているデータに対応した分極状態によって決定される容量Ｃｓの交番電界による変化に対応してＦＭ変調が行われる。このＦＭ変調を復調することで、記録媒体３０に記録されているデータを読み取ることができる。【００５１】
尚、後に詳述するように、プローブ１２、リターン電極１１、発振器１３、インダクタＬ、ＨＰＦ１５及び誘電体材料３１中の容量Ｃｓから共振回路１４が構成され、発信器１３において増幅されたＦＭ変調信号が復調器１９へ出力される。【００５２】
記録信号発生器１７は、記録用の信号を発生し、記録時にプローブ１２に供給される。この信号はデジタル信号に限らずアナログ信号であってもよい。これらの信号として、音声情報、映像情報、コンピュータ用デジタルデータ等、各種の信号が含まれる。また、記録信号に重畳された交流信号は信号再生時の参照信号として各探針の情報を弁別して再生するためである。【００５３】
スイッチ１８は、再生時には、交流信号発生器１６からの信号を、一方、記録時には、記録信号発生器１７からの信号をプローブ１２に供給するようにその出力を選択する。この装置は機械式のリレーや半導体の回路が用いられるが、アナログ信号にはリレーが、デジタル信号には半導体回路で構成するのが好適である。【００５４】
ＨＰＦ１５は、インダクタ及びコンデンサを含んでなり、交流信号発生器１６や記録信号発生器１７からの信号が発振器１３の発振に干渉しないように信号系統を遮断するためのハイパスフィルタを構成するために用いられていて、その遮断周波数はｆ＝１／２π√｛ＬＣ｝である。ここで、ＬはＨＰＦ１５に含まれるインダクタのインダクタンス、ＣはＨＰＦ１５に含まれるコンデンサのキャパシタンスとする。交流信号発生既１６から出力去れる交流信号の周波数は１００ＫＨｚ程度であり、発振器１３の発振周波数は１ＧＨｚ程度であるので、１次のＬＣフィルタで分離は十分に行われる。さらに次数の高いフィルタを用いてもよいが素子数が多くなるので装置が大きくなる虞がある。【００５５】
復調器１９は、ＦＭ変調信号を復調し、プローブ１２がトレースした部位の分極された状態に対応した波形を復元する。記録されているデータがデジタルの「０」と「１」のデータであれば、変調される周波数は２種類であり、その周波数を判別することで容易にデータの再生が行われる。【００５６】
信号検出部２０は、復調器１９で復調された信号から記録されたデータを再生する。この信号検出器１９として例えばロックインアンプを用い、交流信号発生器１６の交番電界の周波数に基づいて同期検波を行うことでデータの再生を行う。尚、他の位相検波手段を用いてもよいことは当然である。【００５７】
トラッキングエラー検出部２１は、復調器１９で復調された信号から、装置を制御するためのトラッキングエラー信号を検出する。検出したトラッキングエラー信号がトラッキング機構に入力されて制御がなされる。【００５８】
続いて、図１に示す誘電体材料を用いた記録媒体３０の一例について、図２を参照して説明する。ここに、図２は、本実施例において用いられる記録媒体３０の一例を概念的に示す平面図及び断面図である。【００５９】
図２（ａ）に示すように、記録媒体３０は、例えば矩形の形状を有する。このような記録媒体３０の記録面の上を、上述のプローブ１２が相対的に移動することにより、記録媒体３０にデータが記録され、或いは記録媒体３０に記録されたデータが再生される。【００６０】
また、図２（ｂ）に示すように記録媒体３０は、基板３３の上に電極３２が、また、電極３２の上に誘電体材料３１が積層されて形成されている。【００６１】
基板３３は例えばＳｉ（シリコン）であり、その強固さと化学的安定性、加工性等において好適な材料である。電極３２はプローブ１２（或いは、リターン電極１１）との間で電界を発生させるためのもので、誘電体材料３１に抗電界以上の電界を印加することで分極方向を決定する。データに対応して分極方向を定めることにより記録が行われる。【００６２】
誘電体材料３１は、例えば強誘電体であるＬｉＴａＯ３等を電極３２の上にスパッタリング等の公知の技術によって形成されている。そして、分極の＋面と−面が１８０度のドメインの関係であるＬｉＴａＯ３のＺ面に対して記録が行われる。他の誘電体材料を用いても良いことは当然である。この誘電体材料３１は直流のバイアス電圧と同時に加わるデータ記録用の電圧によって、高速で微小な分極を形成する。【００６３】
（１−２）動作原理
続いて、図３及び図４を参照して、本実施例に係る強誘電体記録再生装置１の動作原理について説明する。尚、以下の説明では、図１に示した強誘電体記録再生装置１のうち一部の構成要素を抜き出して説明している。【００６４】
（１−２−１）記録動作
先ず、図３を参照して、本実施例に係る強誘電体記録再生装置１の記録動作について説明する。ここに、図３は、データの記録動作を概念的に示す断面図である。【００６５】
図３に示すように、プローブ１２と電極３２との間に、誘電体材料３１の抗電界以上の電界を印加することで、印加電界の方向に対応した方向を有して誘電体材料３１は分極する。そして、印加する電圧を制御し、この分極の方向を変えることで所定のデータを記録することができる。これは、誘電体（特に、強誘電体）にその抗電界を超える電界を印加すると分極方向が反転し、且つその分極方向が状態で維持されるという性質を利用したものである。【００６６】
例えばプローブ１２から電極３２に向かう電界が印加されたとき、微小領域は下向きの分極Ｐとなり、電極３２からプローブ１２に向かう電界が印加されたときは上向きの分極Ｐとなるとする。これがデータを記録した状態に対応する。駆動装置１００の動作によりプローブ１２が矢印で示す方向に移動すると、検出電圧は分極Ｐに対応して、上下に振れた矩形波として出力される。【００６７】
（１−２−２）再生動作
続いて、図４を参照して、本実施例に係る強誘電体記録再生装置１の再生動作について説明する。ここに、図４は、データの再生動作を概念的に示す断面図である。【００６８】
誘電体の非線形誘電率は、誘電体の分極方向に対応して変化する。そして、誘電体の非線形誘電率は、誘電体に電界を印加した時に、誘電体の容量の違いないし容量の変化の違いとして検出することができる。従って、誘電体材料に電界を印加し、そのときの誘電体材料の一定の微小領域における容量Ｃｓの違いないし容量Ｃｓの変化の違いを検出することにより、誘電体材料の分極の方向として記録されたデータを読み取り、再生することが可能となる。【００６９】
具体的にはまず、図４に示すように、不図示の交流信号発生器１６からの交番電界が電極３２及びプローブ１２の間に印加される。この交番電界は、誘電体材料３１の抗電界を越えない程度の電界強度を有し、例えば１００ｋＨｚ程度の周波数を有する。交番電界は、主として、誘電体材料３１の分極方向に対応する容量変化の違いの識別を可能にするために生成される。尚、交番電界に代えて、直流バイアス電圧を印加して、誘電体材料３１内に電界を形成してもよい。係る交番電界が印加されると記録媒体３０の誘電体材料３１内に電界が生ずる。【００７０】
次に、プローブ１２の先端と記録面との距離がナノオーダの極めて小さい距離となるまで、プローブ１２を記録面に接近させる。この状態で発振器１３を駆動する。尚、プローブ１２直下の誘電体材料３１の容量Ｃｓを高精度に検出するためには、プローブ１２を誘電体材料３１の表面、即ち、記録面に接触させることが好ましい。但し、プローブ１２の先端を記録面に接触させなくとも、例えば実質的には接触と同視できる程度にプローブ１２の先端を記録面に接近させても、再生動作（更には、上述の記録動作）を行なうことは可能である。【００７１】
そして、発振器１３は、プローブ１２直下の誘電体材料３１に係る容量ＣｓとインダクタＬとを構成要因として含む共振回路１４の共振周波数で発振する。この共振周波数は、上述のとおりその中心周波数をおおよそ１ＧＨｚ程度とする。【００７２】
ここで、リターン電極１１及びプローブ１２は、発振器１３による発振回路１４の一部を構成している。プローブ１２から誘電体材料３１に印加された１ＧＨｚ程度の高周波信号は、図４中点線の矢印にて示すように、誘電体材料３１内を通過してリターン電極１１に戻る。リターン電極１１をプローブ１２の近傍に設け、発振器１３を含む発振回路１４の帰還経路を短くすることにより、発振回路１４内にノイズ（例えば、浮遊容量成分）が入り込むのを軽減することができる。【００７３】
付言すると、誘電体材料３１の非線形誘電率に対応する容量Ｃｓの変化は微小であり、これを検出するためには、高い検出精度を有する検出方法を採用する必要がある。ＦＭ変調を用いた検出方法は、一般に高い検出精度を得ることができるが、誘電体材料３１の非線形誘電率に対応する微小な容量変化の検出を可能とするために、さらに検出精度を高める必要がある。そこで、本実施例に係る強誘電体記録再生装置１（即ち、ＳＮＤＭ原理を用いた記録再生装置）は、リターン電極１１をプローブ１２の近傍に配置し、発振回路１４の帰還経路をできる限り短くしている。これにより、極めて高い検出精度を得ることができ、誘電体の非線形誘電率に対応する微小な容量変化を検出することが可能となる。【００７４】
発振器１３の駆動後、プローブ１２を記録媒体３０上において記録面と平行な方向に移動させる。プローブ１２直下の誘電体材料３１のドメインの分極状態は、記録された信号に応じて変化しているので、プローブ１２直下の誘電率の非線型成分が変化する。誘電率の非線形成分が変化すると、交番電界に対する共振周波数（即ち、発振器１３の発振周波数）の位相が変化する。この結果、発振器１３は、分極の状態即ち記録されたデータに基づいてＦＭ変調された信号を出力する。【００７５】
このＦＭ信号は、復調器１９によって周波数−電圧変換される。この結果、容量Ｃｓの変化は、電圧の大きさに変換される。容量Ｃｓの変化は、誘電体材料３１の非線形誘電率に対応し、この非線形誘電率は、誘電体材料３１の分極方向に対応し、この分極方向は、誘電体材料３１に記録されたデータに対応する。従って、復調器１９から得られる信号は、記録媒体３０に記録されたデータに対応して電圧が変化する信号となる。更に、復調器１９から得られた信号は、信号検出部２０に供給され、例えば同期検波されることで、記録媒体３０に記録されたデータが抽出される。【００７６】
このとき、信号検出部２０では、交流信号発生器１６により生成された交流信号が参照信号として用いられる。これにより、例えば復調器１９から得られる信号がノイズを多く含んでおり、又は抽出すべきデータが微弱であっても、後述の如く参照信号と同期をとることで当該データを高精度に抽出することが可能となる。【００７７】
（２）駆動装置
続いて、図５から図３０を参照して、本実施例に係る強誘電体記録再生装置１が備える複数のプローブ１２を移動させるための駆動装置１００について説明する。【００７８】
（２−１）１軸駆動方式を採用する駆動装置
まず、図５から図１７を参照して、本実施例に係る駆動装置１００のうち、１軸駆動方式を採用する駆動装置（具体的には、後述の第１実施例に係る駆動装置から第４実施例に係る駆動装置）について説明を進める。尚、１軸駆動方式を採用する駆動装置とは、プローブ１２を１つの軸（例えば、Ｙ軸）に沿って移動させることができる駆動装置である。つまり、１軸駆動方式を採用する駆動装置とは、プローブ１２の１次元移動を実現することができる駆動装置である。【００７９】
（２−１−１）駆動装置の第１実施例
初めに、図５及び図６を参照して、第１実施例に係る駆動装置１００ａについて説明する。ここに、図５は、第１実施例に係る駆動装置１００ａの構成を概念的に示す平面図であり、図６は、図５に示す第１実施例に係る駆動装置１００ａのステージ１３０が移動した場合の態様を概念的に示す平面図である。【００８０】
図５に示すように、第１実施例に係る駆動装置１００ａは、ベース１１０と、２本のサスペンション１２０と、ステージ１３０と、電極１４１と、圧電素子１４２と、電極１４３とを備えている。【００８１】
固定された（言い換えれば、駆動装置１００ａという系の内部においては固定された）ベース１１０には、長手方向に伸張する２本のサスペンション１２０の夫々の一方の端部が固定されている。２本のサスペンション１２０の夫々は、本発明における「弾性部」の一具体例を構成しており、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。２本のサスペンション１２０の夫々の他方の端部は、ステージ１３０に固定されている。つまり、ステージ１３０は、２本のサスペンション１２０により支えられている（言い換えれば、懸がされている）。ステージ１３０は、２本のサスペンション１２０の弾性によってＹ軸の方向に沿って移動可能に構成されている。つまり、ステージ１３０は、図６に示すように、２本のサスペンション１２０により、Ｙ軸の方向に沿って移動する。また、ステージ１３０上には、上述したプローブ１２（ここでは、複数のプローブ１２）が備え付けられている。更に、電極１４１は、ベース１１０に固定されると共に接地された電極１４３との間に圧電素子１４２を挟み込むように配置されている。【００８２】
尚、ベース１１０上には、上述した記録媒体３０が保持されていることが好ましい。つまり、複数のプローブ１２をステージ１３０に備え付けることにより複数のプローブ１２を移動させているため、記録媒体３０はベース１１０に固定されている（つまり、記録媒体３０が移動しない）ように構成することが好ましい。【００８３】
更には、ベース１１０を、２本のサスペンション１２０やステージ１３０を内部の空隙に備える箱型の筐体として構成してもよい。この場合、箱型の筐体であるベース１１０の内部であって且つベース１１０上に、図１を参照して説明した強誘電体記録再生装置１の各種構成要素（但し、少なくともプローブ１２を除く）が配置されているように構成してもよい。つまり、ベース１１０を筐体とするカード型のメモリ等として、本実施例に係る強誘電体記録再生装置１を構成してもよい。更に、ベース１１０が２本のサスペンション２０に懸河されている可動体となるように構成してもよい。【００８４】
ここで、上述した構成を有する第１実施例に係る駆動装置１００ａの動作について説明する。電極１４１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。電極１４１への電圧の印加によって、圧電素子１４２はその形状を変化させる。ここで、電極１４３がベース１１０に固定されていることから、圧電素子１４２の形状の変化は、電極１４３を介して、力としてベース１１０に加わる。つまり、第１実施例においては、電圧の印加による圧電素子１４２の形状の変化（つまり、圧電効果）に起因した力がベース１１０に加えられる。【００８５】
ここでベース１１０が準固定されていること及び、後述するように可動体（第１実施例においては、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０）の共振周波数で力を加えることから、ベース１１０に対して圧電素子１４２より力が加えられたとしても、ベース１１０は殆ど動かない又は微小に振動する。また、微小に振動した場合であっても、その周波数は、ステージ１３０の振動の周波数（つまり、後述する共振周波数）よりも十分に高い。言い換えれば、ベース１１０の振動の振幅は、ステージ１３０の振動の振幅よりも十分に小さい。【００８６】
他方で、ベース１１０に一方の端部が固定された２本のサスペンション１２０は、ベース１１０に対して圧電素子１４２より加えられる力に応じて、振動を開始する。その結果、２本のサスペンション１２０の他方の端部に固定されたステージ１３０は、図６に示すようにＹ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【００８７】
尚、以降の説明では、ステージ１３０を移動させる（特に、共振周波数で振動させる）ためにベース１１０（或いは、後述するようにサスペンション１２０又はステージ１３０）に加えられる力を、“加振力”と称して説明を進める。【００８８】
第１実施例では特に、アクチュエータ駆動回路２２は、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数でステージ１３０を振動させる（つまり、共振させる）ための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を電極１４１に対して印加する。例えば、ステージ１３０の質量がｍであり、且つ２本のサスペンション１２０を１本のバネとみなした場合のバネ定数がｋであるとすれば、アクチュエータ駆動回路２２は、√（ｋ／ｍ）の周波数で（或いは、√（ｋ／ｍ）の１／Ｎ（但し、Ｎは１以上の整数）倍の周波数で）ステージ１３０を共振させるための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を電極１４１に対して印加する。この場合、アクチュエータ駆動回路２２は、共振周波数に同期するタイミングで加振力がベース１１０に加わるように、所望の電圧を電極１４１に印加することが好ましい。言い換えれば、共振周波数をｆ０とすれば、アクチュエータ駆動回路２２は、１／ｆ０の周期で或いは１／ｆ０のＭ（但し、Ｍは１以上の整数）倍の周期で加振力がベース１１０に加わるように、所望の電圧を電極１４１に印加することが好ましい。更に、アクチュエータ駆動回路２２は、ステージ１３０の移動を維持することができる加振力（つまり、ステージ１３０の移動の方向と同一の方向に作用する力をステージ１３０に加えることができる加振力）を加えるように、所望の電圧を電極１４１に印加することが好ましい。もちろん、ステージ１３０の移動を停止させる（或いは、ステージ１３０の移動の幅を小さくする又は減衰する）場合には、ステージ１３０の移動を停止することができる加振力（つまり、ステージ１３０の移動の方向と逆の方向に作用する力をステージ１３０に加えることができる加振力又はステージ１３０の移動の方向と同じ方向の力を、位相を１８０度ずらすようなタイミングでステージ１３０に加えることができる加振力）を加えることが好ましいことは言うまでもない。【００８９】
このように、第１実施例においては、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数に応じたタイミングで加振力がベース１１０に加えられる。その結果、第１実施例に係る駆動装置１００ａは、ステージ１３０を、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数で共振させることができる。つまり、ステージ１３０は自励共振する。【００９０】
ここで、「共振」とは、無限小の力の繰り返しにより無限大の変位が生じる現象であること。このため、ステージ１３０を移動させるためにベース１１０に加えられる加振力を小さくしても、ステージ１３０の移動範囲を大きくとることができる。つまり、ステージ１３０が移動するために必要な加振力を相対的に小さくすることができる。このため、ステージ１３０の移動に必要な加振力をベース１１０に加えるために必要な電力量をも少なくすることができる。従って、より効率的にステージ１３０を移動させることができ、その結果、駆動装置１００ａの低消費電力化を実現することができる。【００９１】
加えて、方向性を有する力をステージ１３０に加えることによりステージ１３０が移動する駆動装置においては、ステージ１３０に加えられる力（具体的には、加振力に応じてステージ１３０に加わる力）が作用する方向や位置によっては、ステージ１３０の姿勢が乱れてしまいかねない。例えば、ステージ１３０の重心に対して力を加えなければ、ステージ１３０の姿勢が乱れてしまいかねない。或いは、ステージ１３０に加えられる力に回転成分が含まれていれば、ステージ１３０の姿勢が乱れてしまいかねない。その結果、ステージ１３０の移動の態様に対する再現性が得られなくなりかねない。しかるに、第１実施例に係る駆動装置１００ａにおいては、共振というステージ１３０及び２本のサスペンション１２０を含む振動系自身の挙動を利用してステージ１３０を移動させ、且つベース１１０に加振力を加える方式のため、ステージ１３０の姿勢の安定性を好適に維持することができる。その結果、ステージ１３０の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。【００９２】
更に、共振周波数でステージを振動させる場合の振動のゲインが大きいという現象を利用するのと違い、第１実施例においては、共振とは無限小の力の重ね合わせであるという現象を利用することにより、一回あたりの加振力の大きさを小さくすることが出来る。このため、より安定したステージ１３０の姿勢制御が可能となる。【００９３】
そして、複数のプローブ１２がステージ１３０に備え付けられており、且つ複数のプローブ１２と対向するように記録媒体３０が配置されていれば、複数のプローブ１２の夫々を、記録媒体３０の所望の位置に移動させることができる。その結果、記録媒体３０の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体３０の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【００９４】
加えて、第１実施例においては、加振力をベース１１０に対して加えている。言い換えれば、加振力を加えるための駆動源（つまり、電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３）をベース１１０に固定させている。従って、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０を含む可動部に固定される駆動源を設ける必要がなくなる。これにより、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０を含む可動部における、駆動源に起因した熱の発生を相対的に抑制することができる。その結果、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０を含む可動部に対する熱の悪影響を好適に抑制することができる。【００９５】
また、加振力をベース１１０に加えるがゆえに、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０を含む可動部に駆動源を備え付ける必要がない。このため、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０を含む可動部の質量を増加させることなく、加振力を加えることができる。従って、ステージ１３０の移動に係る感度を増加させることができる。【００９６】
更に、第１実施例においては、圧電効果に起因した加振力を加えている。このため、圧電素子１４２の形状の変化量（つまり、圧電素子１４２の変位量）が相対的に小さい一方で、相対的に大きな加振力を加えることができる。言い換えれば、圧電素子１４２の形状の変化量（つまり、圧電素子１４２の変位量）をそれほど大きくすることなく、大きな加振力を加えることができる。【００９７】
尚、圧電効果に起因した加振力を加える場合には、該加振力を間欠的に加えるように構成してもよい。例えば、上述したように、共振周波数をｆ０とすれば、１／ｆ０の周期につき１回或いは１／ｆ０のＭ（但し、Ｍは２以上の整数）倍の周期につき１回加振力を加えるように構成してもよい。このように構成しても、圧電効果に起因した加振力が相対的に大きいことから、ステージ１３０を好適に共振させることができる。その一方で、加振力が常時加えられる必要がなくなるため、加振力を加えるために必要な電力量をより少なくすることができる。但し、ステージ１３０を共振させることができる限りは、上述の例以外の周期で又は常時加振力を加えるように構成してもよいことは言うまでもない。また、後述するように、電磁力や静電力に起因した加振力を加える場合であっても、加振力を間欠的に加えるように構成してもよいし、加振力を常時加えるように構成してもよい。このように構成しても、圧電効果に起因した加振力を間欠的に加える場合と同様の効果を相応に享受することができる。以降説明する第２実施例等においても同様である。【００９８】
尚、第１実施例においては、ステージ１３０が共振しているため、ステージ１３０の移動速度は正弦波的に変動する。つまり、ステージ１３０の移動範囲の限界位置（つまり、ステージ１３０が最大量移動したときの位置）においては、ステージ１３０の移動方向が正の方向から負の方向へ（例えば、図５の上方向から図５の下方向へ）、或いは負の方向から正の方向へ（例えば、図５の下方向から図５の上方向へ）と変化する。このため、安定的な記録動作及び再生動作を行うという観点からは、ステージ１３０の移動範囲の限界位置付近では、プローブ１２を用いた記録動作や再生動作を行わないように構成することが好ましい。以降説明する第２実施例等においても同様である。【００９９】
また、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａの説明では、圧電効果に起因した加振力をベース１１０に加えることにより、ステージ１３０を移動させている。しかしながら、圧電効果に起因した加振力に加えて又は代えて、電磁力に起因した加振力や静電力に起因した加振力をベース１１０に加えてもよい。ここで、電磁力に起因した加振力をベース１１０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｂ及び静電力に起因した加振力をベース１１０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｃの構成について、図７及び図８を参照して説明する。ここに、図７は、電磁力に起因した加振力をベース１１０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｂの構成を概念的に示す平面図であり、図８は、静電力に起因した加振力をベース１１０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｃの構成を概念的に示す平面図である。【０１００】
図７に示すように、駆動装置１００ｂは、駆動装置１００ａと同様に、ベース１１０と、２本のサスペンション1１２０と、ステージ１３０とを備えている。駆動装置１００ｂは特に、駆動装置１００ａが備える電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３に代えて、少なくとも一方がベース１１０に固定されたコイル１５１及び磁極１５２を備えている。コイル１５１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。コイル１５１への電圧の印加によって、コイル１５１と磁極１５２との間に電磁相互作用が生ずる。その結果、電磁相互作用による電磁力が発生する。ここで、コイル１５１及び磁極１５２の少なくとも一方がベース１１０に固定されていることから、この電磁力に起因した力がベース１１０に加わる。つまり、駆動装置１００ｂにおいては、電磁力に起因した力が、加振力としてベース１１０に加えられる。その結果、ステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【０１０１】
このような駆動装置１００ｂであっても、上述した圧電効果に起因した加振力をベース１１０に加える駆動装置１００ａが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１０２】
図８に示すように、駆動装置１００ｃは、駆動装置１００ａと同様に、ベース１１０と、２本のサスペンション1１２０と、ステージ１３０とを備えている。駆動装置１００ｃは特に、駆動装置１００ａが備える電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３に代えて、電極１６１と、ベース１１０に固定されると共に接地された電極１６２とを備えている。電極１６１と電極１６２とは、間に所定の間隔を有して配置されている。電極１６１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。ここで、電極１６１と電極１６２との間の電位差に起因して、電極１６１と電極１６２との間には静電力（言い換えれば、クーロン力）が生ずる。ここで、電極１６２がベース１１０に固定されていることから、この静電力に起因した力がベース１１０に加わる。つまり、駆動装置１００ｃにおいては、静電力に起因した力が、加振力としてベース１１０に加えられる。その結果、ステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【０１０３】
このような駆動装置１００ｃであっても、上述した圧電効果に起因した加振力をベース１１０に加える駆動装置１００ａが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１０４】
尚、ベース１１０に加振力を加える構成においては、ベース１１０が殆ど振動しないことを考慮すれば、加振力としてそれほど大きな力は必要とはならない。また、圧電効果に起因した加振力及び電磁力に起因した加振力と比較して、静電力に起因した加振力は一般的には小さい。このため、ベース１１０に加振力を加える構成においては、静電力に起因した加振力を加えることが好ましい。【０１０５】
尚、アクチュエータ駆動回路２２と、電極１４１と、圧電素子１４２と、電極１４３との組み合わせが、本発明における「印加部」の一具体例を構成している。また、アクチュエータ駆動回路２２と、コイル１５１と、磁極１５２との組み合わせが、本発明における「印加部」の一具体例を構成している。また、アクチュエータ駆動回路２２と、電極１６１と、電極１６２との組み合わせが、本発明における「印加部」の一具体例を構成している。【０１０６】
（２−１−２）駆動装置の第２実施例
続いて、図９を参照して、第２実施例に係る駆動装置１００ｄについて説明する。ここに、図９は、第２実施例に係る駆動装置１００ｄの構成を概念的に示す平面図である。尚、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ（更には、駆動装置１００ｂ及び駆動装置１００ｃ）と同様の構成については、同様の参照符号を付することにより、その詳細な説明については省略する。【０１０７】
図９に示すように、第２実施例に係る駆動装置１００ｄは、第１実施例に係る駆動装置１００ａと同様に、ベース１１０と、２本のサスペンション１２０と、ステージ１３０と、２本のサスペンションに対応する２組の電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３とを備えている。【０１０８】
第２実施例に係る駆動装置１００ｄでは特に、電圧の印加による圧電素子１４２の形状の変化（つまり、圧電効果）に起因した加振力は、ベース１１０に代えて２本のサスペンション１２０に加えられる。更に、加振力による変位量を増幅するための力伝達機構１４４を２組備えている。力伝達機構１４４は、テコの原理を利用しており、加振力による変位量を数倍ないしは数十倍に増幅可能に構成されている。そして、第２実施例に係る駆動装置１００ｄにおいても、第１実施例に係る駆動装置１００ａと同様に、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数に応じたタイミングでステージ１３０を移動させることができる加振力が加えられる。これにより、加振力が加えられる２本のサスペンション１２０は、振動を開始する。その結果、２本のサスペンション１２０の他方の端部に固定されたステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って共振する（つまり、移動する）。【０１０９】
これにより、第２実施例に係る駆動装置１００ｄにおいても、第１実施例に係る駆動装置１００ａが享受する効果と同様の効果を享受することができる。つまり、ステージ１３０の移動に必要な加振力を２本のサスペンション１２０に加えるために必要な電力量を少なくすることができる。従って、より効率的にステージ１３０を移動させることができ、その結果、駆動装置１００ｄの低消費電力化を実現することができる。また、共振というステージ１３０及び２本のサスペンション１２０を含む振動系自身の挙動を利用してステージ１３０を移動させることができるため、ステージ１３０の姿勢の安定性を好適に維持することができる。その結果、ステージ１３０の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。その結果、記録媒体３０の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体３０の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１１０】
加えて、第２実施例に係る駆動装置１００ｄにおいては、２本のサスペンション１２０に加振力が加えられる。ここで、２本のサスペンション１２０のうち加振力が加えられる点を力点とみなし、２本のサスペンション１２０のうちベース１１０と固定される点を支点とみなし、２本のサスペンション１２０のうちステージ１３０と固定される点を作用点とみなせば、テコの原理を利用してステージ１３０を共振させていることが分かる。つまり、第２実施例に係る駆動装置１００ｄにおいては、２本のサスペンション１２０をテコとして利用している。これにより、相対的に小さな変位量を実現する加振力によって、ステージ１３０を相対的に大きく移動させることができる。【０１１１】
このように２本のサスペンション１２０をテコとして利用しているということを考慮すれば、加振力が加えられる点と、２本のサスペンション１２０とステージ１３０とが固定される点との間の距離は、加振力が加えられる点と、２本のサスペンション１２０とベース１１０とが固定される点との間の距離よりも大きいことが好ましい。言い換えれば、加振力が加えられる点は、２本のサスペンション１２０とベース１１０とが固定される点に近いことが好ましい。加振力が加えられる点が、２本のサスペンション１２０とベース１１０とが固定される点に近づけば近づくほど、より小さな変位量を実現する加振力によって、ステージ１３０を相対的に大きく移動させることができる。【０１１２】
尚、単に加振力を加えるという観点から考慮すれば、第２実施例に係る駆動装置１００ｄは必ずしも力伝達機構１４４を備えていなくともよい。但し、電圧の印加による圧電素子１４２の形状の変化量が相対的に小さく且つ加振力によって２本のサスペンション１２０を実際に振動させる（つまり、動かす）必要があることを考慮すれば、圧電素子１４２の形状の変化量を力伝達機構１４４によって増幅すると共に該増幅した変位量に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えることが好ましい。【０１１３】
尚、第２実施例においては、圧電効果に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えることによりステージ１３０を移動させている。しかしながら、第２実施例においても、第１実施例と同様に、圧電効果に起因した加振力に加えて又は代えて、電磁力に起因した加振力や静電力に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えてもよい。ここで、電磁力に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｅや静電力に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｆの構成について、図１０及び図１１を参照して説明する。ここに、図１０は、電磁力に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｅの構成を概念的に示す平面図であり、図１１は、静電力に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｆの構成を概念的に示す平面図である。【０１１４】
図１０に示すように、駆動装置１００ｅは、上述した駆動装置１００ｂと同様に、駆動装置１００ｄが備える２組の電極１４１、圧電素子１４２、電極１４３及び力伝達機構１４４に代えて、２本のサスペンション１２０のうち対応するサスペンション１２０に少なくとも一方が固定されたコイル１５１及び磁極１５２を２組備えている。この場合、対応するサスペンション１２０に固定されないコイル１５１及び磁極１５２のうちの他方は、ベース１１０に固定されるように構成してもよい。コイル１５１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｅにおいては、電磁力に起因した力が、加振力として２本のサスペンション１２０に加えられる。その結果、ステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。このような駆動装置１００ｅであっても、上述した圧電効果に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加える駆動装置１００ｄが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１１５】
図１１に示すように、駆動装置１００ｆは、上述した駆動装置１００ｃと同様に、駆動装置１００ｄが備える２組の電極１４１、圧電素子１４２、電極１４３及び力伝達機構１４４に代えて、夫々がベース１１０に固定される複数の電極１６１と、夫々が２本のサスペンション１２０のうち対応するサスペンション１２０に固定されると共に接地された複数の電極１６２とを備えている。特に、櫛歯状に配列される複数の電極１６１の夫々の間に、櫛歯状に配列される複数の電極１６２のうちの一つが配置されている。複数の電極１６１の夫々には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｆにおいては、静電力に起因した力が、加振力として２本のサスペンション１２０に加えられる。その結果、ステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。このような駆動装置１００ｆであっても、上述した圧電効果に起因した加振力を２本のサスペンション１２０に加える駆動装置１００ｄが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１１６】
（２−１−３）第３実施例
続いて、図１２を参照して、第３実施例に係る駆動装置１００ｇについて説明する。ここに、図１２は、第３実施例に係る駆動装置１００ｇの構成を概念的に示す平面図である。尚、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ（更には、駆動装置１００ｂ及び駆動装置１００ｃ）や、第２実施例に係る駆動装置１００ｄ（更には、駆動装置１００ｅ及び駆動装置１００ｆ）と同様の構成については、同様の参照符号を付することにより、その詳細な説明については省略する。【０１１７】
図１２に示すように、第３実施例に係る駆動装置１００ｄは、第２実施例に係る駆動装置１００ｄと同様に、ベース１１０と、２本のサスペンション１２０と、ステージ１３０と、２組の電極１４１、圧電素子１４２、電極１４３及び力伝達機構１４４とを備えている。【０１１８】
第３実施例に係る駆動装置１００ｇでは特に、電圧の印加による圧電素子１４２の形状の変化（つまり、圧電効果）に起因した加振力は、ベース１１０及び２本のサスペンション１２０に代えて、ステージ１３０に直接加えられる。そして、第３実施例に係る駆動装置１００ｇにおいても、第１実施例に係る駆動装置１００ａや第２実施例に係る駆動装置１００ｄと同様に、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数でステージ１３０を共振させることができる加振力が加えられる。これにより、加振力が加えられるステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って共振する（つまり、移動する）。【０１１９】
これにより、第３実施例に係る駆動装置１００ｇにおいても、第１実施例に係る駆動装置１００ａが享受する効果と同様の効果を享受することができる。つまり、ステージ１３０の移動に必要な加振力をステージ１３０に加えるために必要な電力量を少なくすることができる。従って、より効率的にステージ１３０を移動させることができ、その結果、駆動装置１００ｇの低消費電力化を実現することができる。また、共振というステージ１３０及び２本のサスペンション１２０を含む振動系自身の挙動を利用してステージ１３０を移動させることができるため、ステージ１３０の姿勢の安定性を好適に維持することができる。その結果、ステージ１３０の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。その結果、記録媒体３０の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体３０の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１２０】
更に、ステージ１３０に対して加振力を加えるがゆえに、ステージ１３０の移動に合わせたタイミングで、いわば間欠的に加振力を加えれば、ステージ１３０を共振させることができる。具体的には、ステージ１３０の移動に応じて力伝達機構１４４とステージ１３０との間の距離は変わるが、力伝達機構１４４とステージ１３０とが接するときに加振力を加えれば、ステージ１３０を共振させることができる。このため、加振力が常時加えられる必要がなくなるため、加振力を加えるために必要な電力量をより少なくすることができる。【０１２１】
尚、第３実施例においては、圧電効果に起因した加振力をステージ１３０に加えることによりステージ１３０を移動させている。しかしながら、第３実施例においても、第１実施例や第２実施例と同様に、圧電効果に起因した加振力に加えて又は代えて、電磁力に起因した加振力や静電力に起因した加振力をステージ１３０に加えてもよい。ここで、電磁力に起因した加振力をステージ１３０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｈや静電力に起因した加振力をステージ１３０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｉの構成について、図１３及び図１４を参照して説明する。ここに、図１３は、電磁力に起因した加振力をステージ１３０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｈの構成を概念的に示す平面図であり、図１４は、静電力に起因した加振力をステージ１３０に加えることによりステージ１３０を移動させる駆動装置１００ｉの構成を概念的に示す平面図である。【０１２２】
図１３に示すように、駆動装置１００ｈは、上述した駆動装置１００ｂ及び駆動装置１００ｅと同様に、駆動装置１００ｇが備える２組の電極１４１、圧電素子１４２、電極１４３及び力伝達機構１４４に代えて、ステージ１３０に少なくとも一方が固定されたコイル１５１及び磁極１５２を２組備えている。この場合、ステージ１３０に固定されないコイル１５１及び磁極１５２のうちの他方は、ベース１１０に固定されるように構成してもよい。コイル１５１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｈにおいては、電磁力に起因した力が、加振力としてステージ１３０に加えられる。その結果、ステージ１３０は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。このような駆動装置１００ｈであっても、上述した圧電効果に起因した加振力をステージ１３０に加える駆動装置１００ｇが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１２３】
図１４に示すように、駆動装置１００ｉは、上述した駆動装置１００ｃ及び駆動装置１００ｆと同様に、駆動装置１００ｇが備える２組の電極１４１、圧電素子１４２、電極１４３及び力伝達機構１４４に代えて、夫々がベース１１０に固定される複数の電極１６１と、夫々がステージ１３０に固定されると共に接地された複数の電極１６２とを備えている。特に、櫛歯状に配列された複数の電極１６１の夫々の間に、櫛歯状に配列された複数の電極１６２のうちの一つが配置されている。電極１６１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｉにおいては、静電力に起因した力が、加振力としてステージ１３０に加えられる。このような駆動装置１００ｉであっても、上述した圧電効果に起因した加振力をステージ１３０に加える駆動装置１００ｇが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１２４】
（２−１−４）第４実施例
続いて、図１５及び図１６を参照して、第４実施例に係る駆動装置１００ｊについて説明する。ここに、図１５は、第４実施例に係る駆動装置１００ｊの構成を概念的に示す平面図であり、図１６は、第４実施例に係る駆動装置１００ｊが動作した場合の態様を概念的に示す平面図である。尚、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ（更には、駆動装置１００ｂ及び駆動装置１００ｃ）や、第２実施例に係る駆動装置１００ｄ（更には、駆動装置１００ｅ及び駆動装置１００ｆ）や、第３実施例に係る駆動装置１００ｇ（更には、駆動装置１００ｈ及び駆動装置１００ｉ）と同様の構成については、同様の参照符号を付することにより、その詳細な説明については省略する。【０１２５】
図１５に示すように、第４実施例に係る駆動装置１００ｊは、上述した第３実施例に係る駆動装置１００ｉ（図１４参照）と同様に、ベース１１０と、２本のサスペンション１２０と、ステージ１３０と、夫々がベース１１０に固定される複数の電極１６１と、夫々がステージ１３０に固定されると共に接地された複数の電極１６２とを備えている。【０１２６】
第４実施例に係る駆動装置１００ｊは特に、２本のサスペンション１２０に対応する２つのバネ定数調整部１７０を備えている。２つのバネ定数調整部１７０の夫々は、２本のサスペンション１２０のうちの対応するサスペンション１２０に対して自在に付加及び剥離可能な所定の部材１７１と、該部材１７１を対応するサスペンション１２０に付加するための力又は対応するサスペンション１２０から剥離するための力を加えるバネ１７２とを備える。【０１２７】
バネ１７２は、アクチュエータ駆動回路２２から出力される制御信号に応じて、伸張する。その結果、部材１７１が対応するサスペンション１２０に付加される。つまり、図１６に示すように、部材１７１と対応するサスペンション１２０とが一体化する。その結果、２本のサスペンション１２０の夫々のバネ定数が変化する。他方、バネ１７２は、アクチュエータ駆動回路２２から出力される制御信号に応じて、縮む。その結果、部材１７１が対応するサスペンション１２０から剥離される。つまり、一体化していた部材１７１と対応するサスペンション１２０とが分離される。その結果、２本のサスペンション１２０の夫々のバネ定数が変化する。【０１２８】
これにより、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数が変化するため、所望の周波数でステージ１３０を共振させることができる。【０１２９】
尚、２本のサスペンション１２０のバネ定数を調整することで共振周波数を変化させることに加えて又は代えて、ステージ１３０の質量を調整することで共振周波数を変化させるように構成してもよい。ここで、ステージ１３０の質量を調整する駆動装置１００ｋの構成について、図１７を参照して説明する。ここに、図１７は、ステージ１３０の質量を調整する駆動装置１００ｋの構成を概念的に示す平面図である。【０１３０】
図１７に示すように、駆動装置１００ｋは、上述した駆動装置１００ｊと同様に、ベース１１０と、２本のサスペンション１２０と、ステージ１３０と、夫々がベース１１０に固定される複数の電極１６１と、夫々がステージ１３０に固定されると共に接地された複数の電極１６２と、ステージ質量調整部１７３とを備えている。ステージ質量調整部１７３は、ステージ１３０に対して自在に付加及び剥離可能な所定の部材１７１と、該部材１７１をステージ１３０に付加するための力又は対応するサスペンション１２０から剥離するための力を部材１７１に加えるバネ１７２とを備える。【０１３１】
バネ１７２は、アクチュエータ駆動回路２２から出力される制御信号に応じて、伸張する。その結果、部材１７１がステージ１３０に付加される。つまり、部材１７１とステージ１３０とが一体化する。その結果、ステージ１３０の質量が変化する。他方、バネ１７２は、アクチュエータ駆動回路２２から出力される制御信号に応じて、縮む。その結果、部材１７１がステージ１３０から剥離される。つまり、一体化していた部材１７１とステージ１３０とが分離される。その結果、ステージ１３０の質量が変化する。【０１３２】
これにより、２本のサスペンション１２０及びステージ１３０により定まる共振周波数が変化するため、所望の周波数でステージ１３０を共振させることができる。【０１３３】
尚、第４実施例では、部材１７１をステージ１３０に対して付加及び剥離するための力又は対応するサスペンション１２０に対して付加及び剥離するための力を部材１７１に加えるための駆動力発生部材をバネ１７２で示した。しかしながら、バネ１７２に代えて、静電力や電磁力等に利用する駆動力発生部材を採用してもよい。【０１３４】
尚、上述の説明では、第３実施例に係る駆動装置１００ｉに対して共振周波数を調整する構成を組み合わせることで実現される構成を用いて説明を進めた。しかしながら、第３実施例に係る他の駆動装置１００ｇ又は駆動装置１００ｈに対して共振周波数を調整する構成を組み合わせてもよいことは言うまでもない。同様に、第１実施例に係る駆動装置１００ａから駆動装置１００ｃ又は第２実施例に係る駆動装置１００ｄから１００ｆに対して共振周波数を調整する構成を組み合わせてもよいことは言うまでもない。【０１３５】
（２−２）２軸駆動方式を採用する駆動装置
続いて、図１８から図３０を参照して、本実施例に係る駆動装置１００のうち、２軸駆動方式を採用する駆動装置（具体的には、後述の第５実施例から第８実施例に係る駆動装置）について説明を進める。尚、２軸駆動方式を採用する駆動装置とは、プローブ１２を２つの軸（例えば、Ｘ軸及びＹ軸）に沿って移動させることができる駆動装置である。つまり、１軸駆動方式を採用する駆動装置とは、プローブ１２の２次元移動を実現することができる駆動装置である。【０１３６】
尚、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ（更には、駆動装置１００ｂ及び駆動装置１００ｃ）や、第２実施例に係る駆動装置１００ｄ（更には、駆動装置１００ｅ及び駆動装置１００ｆ）や、第３実施例に係る駆動装置１００ｇ（更には、駆動装置１００ｈ及び駆動装置１００ｉ）や、第４実施例に係る駆動装置１００ｊ（更には、駆動装置１００ｋ）と同様の構成については、同様の参照符号を付することにより、その詳細な説明については省略する。【０１３７】
（２−２−１）第５実施例
初めに、図１８から図２０を参照して、第５実施例に係る駆動装置１００ｌについて説明する。ここに、図１８は、第５実施例に係る駆動装置１００ｌの構成を概念的に示す平面図であり、図１９は、図１８に示す第５実施例に係る駆動装置１００ｌの第１ステージ１３０−１が移動した場合の一の態様を概念的に示す平面図であり、図２０は、図１８に示す第５実施例に係る駆動装置１００ｌの第２ステージ１３０−２が移動した場合の他の態様を概念的に示す平面図である。【０１３８】
図１８に示すように、第５実施例に係る駆動装置１００ｌは、第１ベース１１０−１と、第１ベース１１０−１に一方の端部が固定されると共にＸ軸の方向に沿って伸縮可能な第１サスペンション１２０−１と、第１サスペンション１２０−１の他方の端部が固定される第１ステージ１３０−１と、第１ステージ１３０−１に一方の端部が固定されると共にＹ軸の方向に沿って伸縮可能な第２サスペンション１２０−２と、第２サスペンション１２０−２の他方の端部が固定されると共に複数のプローブ１２が備え付けられる第２ステージ１３０−２とを備えている。このように、第５実施例に係る駆動装置１００ｌにおいては、第１ステージ１３０−１が２本の第１サスペンション１２０−１により支えられていると共に、第２ステージ１３０−２が２本の第２サスペンション１２０−２により支えられている。更に、第５実施例に係る駆動装置１００ｌは、夫々が第１ベース１１０−１に固定された複数の電極１６１と、夫々が第１ステージ１３０−１に固定されると共に接地された複数の電極１６２とを備えている。更に、第５実施例に係る駆動装置１００ｌは、電極１４１と、第１ステージ１３０−１に固定されると共に接地された電極１４３と、電極１４１と電極１４３との間に配置された圧電素子１４２とを備えている。尚、第１ベース１１０−１、第１サスペンション１２０−１、複数の電極１６１及び複数の電極１６２は、第１ステージ１３０−１の左右両側の夫々に配置される。また、第２サスペンション１２０−２は、第２ステージ１３０−２の上下両側の夫々に配置される。つまり、第５実施例に係る駆動装置１００ｌは、２組の第１ベース１１０−１、２組の第１サスペンション１２０−１、２組の複数の電極１６１及び２組の複数の電極１６２を備えている。同様に、第５実施例に係る駆動装置１００ｌは、２組の第２サスペンション１２０−２を備えている。【０１３９】
ここで、上述した構成を有する第５実施例に係る駆動装置１００ｌの動作について説明する。まず、複数の電極１６１の夫々には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、静電力に起因した力が、加振力として第１ステージ１３０−１に加えられる。その結果、第１ステージ１３０−１は、第１サスペンション１２０−１の弾性を利用して、図１９に示すように、Ｘ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【０１４０】
このとき、アクチュエータ駆動回路２２は、所定量ずつ段階的に又は連続的に第１ステージ１３０−１を移動させるための力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を複数の電極１６１の夫々に対して印加する。【０１４１】
尚、以降の説明では、所定量ずつ段階的に又は連続的にステージ１３０を移動させる（言い換えれば、共振周波数で振動させる態様以外の態様でステージ１３０を移動させる）ためにベース１１０（或いは、後述するようにサスペンション１２０又はステージ１３０）に加えられる力を、“駆動力”と称して説明を進める。【０１４２】
より具体的には、アクチュエータ駆動回路２２は、第１ステージ１３０−１の移動によって記録媒体３０の記録面上におけるトラッキング動作を実現するための駆動力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を複数の電極１６１の夫々に対して印加する。例えば、記録媒体３０上に記録されるデータのピッチ（いわゆるトラックピッチ）がｔであれば、距離ｔ又は距離Ｌｔ（但し、Ｌは１以上の整数）ずつ第１ステージ１３０−１を移動させるための駆動力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を複数の電極１６１の夫々に対して印加する。その結果、第１ステージ１３０−１は、所定量ずつ段階的に又は連続的に移動する。【０１４３】
他方で、電極１４１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、圧電素子１４２の形状の変化（つまり、圧電効果）に起因した力が、加振力として第１ステージ１３０−１に加えられる。これにより、第１ステージ１３０−１に一方の端部が固定された２本の第２サスペンション１２０−２は振動を開始する。その結果、２本の第２サスペンション１２０の他方の端部に固定された第２ステージ１３０−２は、第２サスペンション１２０−２の弾性を利用して、図２０に示すように、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【０１４４】
このとき、アクチュエータ駆動回路２２は、２本の第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２により定まる共振周波数で第２ステージ１３０−２を振動させる（つまり、共振させる）ための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を電極１４１に対して印加する。特に、アクチュエータ駆動回路２２は、第２ステージ１３０−２が第１ステージ１３０−１を基準位置として共振するための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を電極１４１に対して印加する。その結果、第２ステージ１３０−２は、第１ステージ１３０−１に対する相対的な位置としてみれば、２本の第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２により定まる共振周波数で共振する。【０１４５】
このように、第５実施例に係る駆動装置１００ｌにおいては、第１ステージ１３０−１をＸ軸の方向に沿って移動させると共に該第１ステージ１３０−１上に配置された第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って共振させることで、第２ステージ１３０−２を、Ｙ軸の方向に沿って共振させながらＸ軸の方向に沿って移動させることができる。つまり、第２ステージ１３０−２（言い換えれば、第２ステージ１３０−２に備え付けられる複数のプローブ１２）の２軸駆動を行うことができる。このため、複数のプローブ１２を用いて、矩形の形状を有する記録媒体３０上の概ね全ての記録面に対してデータを記録したり、記録媒体３０上の概ね全ての記録面に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１４６】
更に、第５実施例に係る駆動装置１００ｌにおいても、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ等と同様に共振を利用して第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させているため、第１実施例に係る駆動装置１００ａが享受する効果と同様の効果を享受することができる。つまり、第２ステージ１３０−２の移動に必要な加振力を第１ステージ１３０−１に加えるために必要な電力量を少なくすることができる。従って、より効率的に第２ステージ１３０−２を移動させることができ、その結果、駆動装置１００ｌの低消費電力化を実現することができる。また、共振という第２ステージ１３０−２及び２本の第２サスペンション１２０−２を含む振動系自身の挙動を利用して第２ステージ１３０−２を移動させることができるため、第２ステージ１３０−２の姿勢の安定性を好適に維持することができる。その結果、第２ステージ１３０−２の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。その結果、記録媒体３０の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体３０の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１４７】
尚、第５実施例に係る駆動装置１００ｌにおいては、１つの第１ベース１１０−１と、１つの第１サスペンション１２０−１と、第１ステージ１３０−１とを１つの駆動装置としてみなせば、１つの第１ベース１１０−１と１つの第１サスペンション１２０−１と第１ステージ１３０−１とを含む駆動装置は、上述した１軸駆動方式を採用する駆動装置（特に、第３実施例に係る駆動装置１００ｉ）と概ね同様の構成を有しているということが、上述の説明及び対応する図面から読み取ることができる。また、第１ステージ１３０−１と、１つの第２サスペンション１２０−２と、第２ステージ１３０−２とを１つの駆動装置としてみなせば、第１ステージ１３０−１と１つの第２サスペンション１２０−２と第２ステージ１３０−２とを含む駆動装置は、上述した１軸駆動方式を採用する駆動装置（特に、第１実施例に係る駆動装置１００ａ）と概ね同様の構成を有しているということが、上述の説明及び対応する図面から読み取ることができる。つまり、第１ステージ１３０−１は、第１ステージ１３０−１、第１サスペンション１２０−１及び第１ステージ１３０−１を含む駆動系においては、上述したステージ１３０として機能する一方で、第１ステージ１３０−１、第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２を含む駆動系に対しては、上述したベース１１０として機能する。【０１４８】
但し、第１ステージ１３０−１上に更に第２ベース１１０−２を配置し、該第２ベース１１０−２上に第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２を配置するように構成してもよい。このように構成しても、上述した各種効果を好適に享受することができることは言うまでもない。【０１４９】
また、上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌの説明では、圧電効果に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加えることにより、第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させている。しかしながら、圧電効果に起因した加振力に加えて又は代えて、電磁力に起因した加振力や静電力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加えてもよい。ここで、電磁力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加えることにより第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させる駆動装置１００ｍ及び静電力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加えることにより第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させる駆動装置１００ｎの構成について、図２１及び図２２を参照して説明する。ここに、図２１は、電磁力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加えることにより第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させる駆動装置１００ｍの構成を概念的に示す平面図であり、図２２は、静電力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加えることにより第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させる駆動装置１００ｎの構成を概念的に示す平面図である。尚、ここでは、「加振力」を加えるための構成について説明しているが、「駆動力」を加えるための構成についても、圧電効果や電磁力や静電力を利用してもよいことは言うまでもない。【０１５０】
図２１に示すように、駆動装置１００ｍは、上述した駆動装置１００ｂ、駆動装置１００ｅ及び駆動装置１００ｈと同様に、駆動装置１００ｌが備える電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３に代えて、第１ステージ１３０−１に少なくとも一方が固定されたコイル１５１及び磁極１５２を備えている。コイル１５１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｍにおいては、電磁力に起因した力が、加振力として第１ステージ１３０−１に加えられる。その結果、第２ステージ１３０−２は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。このような駆動装置１００ｍであっても、上述した圧電効果に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加える駆動装置１００ｌが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１５１】
図２２に示すように、駆動装置１００ｎは、上述した駆動装置１００ｃ及び駆動装置１００ｆ及び駆動装置１００ｉと同様に、駆動装置１００ｌが備える電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３に代えて、電極１６１と、第１ステージ１３０−１に固定されると共に接地された電極１６２とを備えている。電極１６１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｎにおいては、静電力に起因した力が、加振力として第１ステージ１３０−１に加えられる。その結果、第２ステージ１３０−２は、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。このような駆動装置１００ｎであっても、上述した圧電効果に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加える駆動装置１００ｌが享受する効果と概ね同様の効果を享受することができる。【０１５２】
尚、図２２に示すような静電力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加える構成では、静電力に起因した加振力が相対的に小さいことを考慮して、第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させるための駆動源を２種類備えているように構成してもよい。この構成について、図２３を参照して説明する。ここに、図２３は、第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させるための駆動源を２種類備えている駆動装置１００ｏの構成を概念的に示す平面図である。【０１５３】
図２３に示すように、駆動装置１００ｏは、上述した駆動装置１００ｎと同様の構成を有している。駆動装置１００ｏは特に、第２ステージ１３０−２に少なくとも一方が固定されたコイル１５１及び磁極１５２を２組備えている。この場合、第２ステージ１３０−２に固定されないコイル１５１及び磁極１５２のうちの他方は、第１ステージ１３０−１に固定されるように構成してもよい。コイル１５１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、駆動装置１００ｏにおいては、電磁力に起因した力を、加振力として第２ステージ１３０−２に加えることができる。つまり、駆動装置１００ｏにおいては、静電力に起因した加振力及び電磁力に起因した加振力の夫々を第２ステージ１３０−２に加えることができる。【０１５４】
ここで、駆動装置１００ｏにおいては、第２ステージ１３０−２を共振させ始める初期段階（つまり、第２ステージ１３０−２を共振させ始めてからの所定期間）には、電磁力に起因した加振力が第２ステージ１３０−２に加えられる。そして、初期段階が終了した後には、第２ステージ１３０−２の共振を維持するための加振力として、電磁力に起因した加振力が第２ステージ１３０−２に加えられる。【０１５５】
これにより、電磁力に起因した、相対的に大きな加振力を用いて第２ステージ１３０−２を共振させ始めると共に、第２ステージ１３０−２の挙動が安定した場合には、静電力に起因した、相対的に小さな加振力を用いて第２ステージ１３０−２の共振を維持することができる。このため、より効率的に第２ステージ１３０−２を共振させることができる。【０１５６】
更に、第２ステージ１３０−２にとっては発熱源となるコイル１５１への電圧の印加を最小限にとどめることができる。つまり、２本の第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２を含む可動部における、駆動源としてのコイル１５１に起因した熱の発生を相対的に抑制することができる。その結果、２本の第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２を含む可動部に対する熱の悪影響を好適に抑制することができる。【０１５７】
尚、静電力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加える構成に限らず、圧電効果に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加える構成や、電磁力に起因した加振力を第１ステージ１３０−１に加える構成であっても、第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させるための駆動源を２種類備えるように構成してもよい。【０１５８】
また、上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌは、第１ステージ１３０−１上に１つの第２ステージ１３０−２を備えている。しかしながら、第１ステージ１３０−１上に複数の第２ステージ１３０−２を備えるように構成してもよい。言い換えれば、図１８に示す第２ステージ１３０−２を分割してもよい。この構成について、図２４を参照して説明する。ここに、図２４は、第１ステージ１３０−１上に複数の第２ステージ１３０−２を備える駆動装置１００ｐの構成を概念的に示す平面図である。【０１５９】
図２４に示すように、駆動装置１００ｐは、上述した駆動装置１００ｌと同様に、２組の第１ベース１１０−１及び第１サスペンション１２０−１と、第１ステージ１３０−１と、複数の電極１６１と、複数の電極１６２と、電極１４１と、電極１４３と、圧電素子１４２とを備えている。【０１６０】
駆動装置１００ｐでは特に、第１ステージ１３０−１上に、夫々が相対的に小さなサイズを有する（具体的には、夫々が駆動装置１００ｌにおける第２ステージ１３０−２よりも小さなサイズを有する）４つの第２ステージ１３０−２を備えている。４つの第２ステージ１３０−２の夫々は、対応する第２サスペンション１２０−２の他方の端部が固定されている。４つの第２サスペンション１３０−２の夫々の一方の端部は、第１ステージ１３０−１に固定されている。【０１６１】
駆動装置１００ｐにおいては、アクチュエータ駆動回路２２は、対応する第２サスペンション１２０−２及び夫々の第２ステージ１３０−２により定まる共振周波数で夫々の第２ステージ１３０−２を振動させる（つまり、共振させる）ための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を電極１４１に対して印加する。その結果、４つの第２ステージ１３０−２の夫々は、対応する第２サスペンション１２０−２及び夫々の第２ステージ１３０−２により定まる共振周波数で共振する。【０１６２】
これにより、駆動装置１００ｐにおいても、上述した駆動装置１００ｌが享受する効果と同様の効果を享受することができる。【０１６３】
更に、夫々の第２ステージ１３０−２のサイズを相対的に小さくすることができるため、夫々の第２ステージ１３０−２の質量を相対的に減少させることができる。このため、夫々の第２ステージ１３０−２を支える第２サスペンション１２０−２のサイズを小さくしても（例えば、厚みを薄くしたり、幅を小さくしたりしても）、夫々の第２ステージ１３０−２を好適に支えることができる。従って、駆動装置１００ｐの軽量化或いは小型化を図ることができる
尚、上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌ（更には、駆動装置１００ｍから駆動装置１００ｐ）では、第２ステージ１３０−２を共振させる駆動系については、第１ステージ１３０−２に加振力を加える構成（つまり、上述したベース１１０に加振力を加える第１実施例と同様の構成）を採用している。しかしながら、上述した第２実施例に係る駆動装置１００ｄ（更には、駆動装置１００ｅ及び駆動装置１００ｆ）と同様に、第２サスペンション１２０−２に加振力を加えるように構成してもよいことは言うまでもない。同様に、第３実施例に係る駆動装置１００ｇ（更には、駆動装置１００ｈ及び１００ｉ）と同様に、第２ステージ１３０−２に加振力を加えるように構成してもよいことは言うまでもない。【０１６４】
また、上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌ（更には、駆動装置１００ｍから駆動装置１００ｐ）に対して、上述した第１実施例から第４実施例において説明した各種構成を適宜適用してもよいことは言うまでもない。特に第４実施例で説明した共振周波数を調整するための機構を組み込むことにより、複数のステージ１３０の共振周波数及び振幅等の偏差を調整し、より効率的な振動及び振幅の調整を行うことは効果的である。【０１６５】
（２−２−２）第６実施例
続いて、図２５を参照して、第６実施例に係る駆動装置１００ｑについて説明する。ここに、図２５は、第６実施例に係る駆動装置１００ｑの構成を概念的に示す平面図である。【０１６６】
図２５に示すように、第６実施例に係る駆動装置１００ｑは、第１ベース１１０−１と、第１ベース１１０−１に一方の端部が固定されると共にＹ軸の方向に沿って伸縮可能な第１サスペンション１２０−１と、第１サスペンション１２０−１の他方の端部が固定される第１ステージ１３０−１と、第１ステージ１３０−１に一方の端部が固定されると共にＸ軸の方向に沿って伸縮可能な第２サスペンション１２０−２と、第２サスペンション１２０−２の他方の端部が固定されると共に複数のプローブ１２が備え付けられる第２ステージ１３０−２とを備えている。このように、第６実施例に係る駆動装置１００ｑにおいては、第１ステージ１３０−１が２本の第１サスペンション１２０−１により支えられていると共に、第２ステージ１３０−２が２本の第２サスペンション１２０−２により支えられている。更に、第６実施例に係る駆動装置１００ｑは、少なくとも一方が第１ステージ１３０−１に固定されたコイル１５１−１及び磁極１５２−１を備えている。この場合、第１ステージ１３０−１に固定されないコイル１５１−１及び磁極１５２−１のうちの他方は、第１ベース１１０−１に固定されるように構成してもよい。更に、第６実施例に係る駆動装置１００ｑは、少なくとも一方が第２ステージ１３０−２に固定されたコイル１５１−２及び磁極１５２−２を備えている。この場合、第２ステージ１３０−２に固定されないコイル１５１−２及び磁極１５２−２のうちの他方は、第１ステージ１３０−１に固定される。尚、第１サスペンション１２０−１は、第１ステージ１３０−１の上下両側の夫々に配置される。また、コイル１５１−１及び磁極１５２−１は、第１ステージ１３０−１の左右両側の対称な位置の夫々に配置される。また、第２サスペンション１２０−２は、第２ステージ１３０−２の左右両側の夫々に配置される。また、コイル１５１−２及び磁極１５２−２は、第１ステージ１３０−１の上下両側の対称な位置の夫々に配置される。【０１６７】
ここで、上述した構成を有する第６実施例に係る駆動装置１００ｑの動作について説明する。まず、２つのコイル１５１−１には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、電磁力に起因した力が、加振力として第１ステージ１３０−１に加えられる。その結果、第１ステージ１３０−１は、第１サスペンション１２０−１の弾性を利用して、Ｙ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【０１６８】
このとき、アクチュエータ駆動回路２２は、２本の第１サスペンション１２０−１及び第１ステージ１３０−１により定まる共振周波数で第１ステージ１３０−１を振動させる（つまり、共振させる）ための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を２つのコイル１５１−１に対して印加する。その結果、第１ステージ１３０−１は、２本の第１サスペンション１２０−１及び第１ステージ１３０−１により定まる共振周波数で共振する。【０１６９】
他方で、２つのコイル１５１−２には、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。これにより、電磁力に起因した力が、駆動力として第２ステージ１３０−２に加えられる。その結果、第２ステージ１３０−２は、第２サスペンション１２０−２の弾性を利用して、Ｘ軸の方向に沿って駆動される（つまり、移動する）。【０１７０】
このとき、アクチュエータ駆動回路２２は、所定量ずつ段階的に又は連続的に第２ステージ１３０−２を移動させるための駆動力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を２つのコイル１５１−２に対して印加する。より具体的には、アクチュエータ駆動回路２２は、第２ステージ１３０−２の移動によって記録媒体３０の記録面上におけるトラッキング動作を実現するための駆動力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を２つのコイル１５１−２に対して印加する。その結果、第２ステージ１３０−２は、所定量ずつ段階的に又は連続的に移動する。【０１７１】
このように、第６実施例に係る駆動装置１００ｑにおいては、第１ステージ１３０−１をＹ軸の方向に沿って共振させると共に該第１ステージ１３０−１上に配置された第２ステージ１３０−２をＸ軸の方向に沿って移動させることで、上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌと同様に、第２ステージ１３０−２を、Ｙ軸の方向に沿って共振させながらＸ軸の方向に沿って移動させることができる。つまり、第２ステージ１３０−２（言い換えれば、第２ステージ１３０−２に備え付けられる複数のプローブ１２）の２軸駆動を行うことができる。このため、複数のプローブ１２を用いて、矩形の形状を有する記録媒体３０上の概ね全ての記録面に対してデータを記録したり、記録媒体３０上の概ね全ての記録面に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１７２】
更に、第６実施例に係る駆動装置１００ｑにおいても、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ等と同様に共振を利用して第２ステージ１３０−２をＹ軸の方向に沿って移動させているため、第１実施例に係る駆動装置１００ａが享受する効果と同様の効果を享受することができる。つまり、第２ステージ１３０−２の移動に必要な加振力を第１ステージ１３０−１に加えるために必要な電力量を少なくすることができる。従って、より効率的に第２ステージ１３０−２を移動させることができ、その結果、駆動装置１００ｑの低消費電力化を実現することができる。また、共振という第２ステージ１３０−２が備えつけられた第１ステージ１３０−１及び２本の第１サスペンション１２０−１を含む振動系自身の挙動を利用して第１ステージ１３０−１を移動させることができるため、第１ステージ１３０−１（つまり、第１ステージ１３０−１上に備え付けられる第２ステージ１３０−２）の姿勢の安定性を好適に維持することができる。その結果、第２ステージ１３０−２の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。その結果、記録媒体３０の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体３０の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１７３】
尚、第６実施例に係る駆動装置１００ｑにおいては、第１ベース１１０−１と、１つの第１サスペンション１２０−１と、第１ステージ１３０−１とを１つの駆動装置としてみなせば、第１ベース１１０−１と１つの第１サスペンション１２０−１と第１ステージ１３０−１とを含む駆動装置は、上述した１軸駆動方式を採用する駆動装置（特に、第３実施例に係る駆動装置１００ｉ）と概ね同様の構成を有しているということが、上述の説明及び対応する図面から読み取ることができる。また、第１ステージ１３０−１と、１つの第２サスペンション１２０−２と、第２ステージ１３０−２とを１つの駆動装置としてみなせば、第１ステージ１３０−１と１つの第２サスペンション１２０−２と第２ステージ１３０−２とを含む駆動装置は、上述した１軸駆動方式を採用する駆動装置（特に、第３実施例に係る駆動装置１００ｉ）と概ね同様の構成を有しているということが、上述の説明及び対応する図面から読み取ることができる。つまり、第１ステージ１３０−１は、第１ステージ１３０−１、第１サスペンション１２０−１及び第１ステージ１３０−１を含む駆動系においては、上述したステージ１３０として機能する一方で、第１ステージ１３０−１、第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２を含む駆動系に対しては、上述したベース１１０として機能する。【０１７４】
但し、第１ステージ１３０−１上に更に第２ベース１１０−２を配置し、該第２ベース１１０−２上に第２サスペンション１２０−２及び第２ステージ１３０−２を配置するように構成してもよい。このように構成しても、上述した各種効果を好適に享受することができることは言うまでもない。【０１７５】
加えて、駆動装置１００ｑにおいては、第１ステージ１３０−１を移動させるための駆動源であるコイル１５１−１及び磁極１５２−１は、第１ステージ１３０−１の左右両側の対称な位置の夫々に配置されている。これにより、２組のコイル１５１−１及び磁極１５２−１を用いて、第１ステージ１３０−１の姿勢制御を行うことができる。２組のコイル１５１−１及び磁極１５２−１の夫々に印加される電圧（例えば、その大きさや位相等）を調整することで、第１ステージ１３０−１が傾いたり或いは回転したりする不都合を好適に防止することができる。【０１７６】
また、駆動装置１００ｑでは、第２ステージ１３０−２に固定されたコイル１５１−２及び磁極１５２−２の一方と第１ステージ１３０−１に固定されたコイル１５１−２及び磁極１５２−２の他方との間の電磁相互作用による電磁力を加振力として用いている。言い換えれば、加振力は、共振する第１ステージ１３０−１（つまり、自励共振子としての第１ステージ１３０−１）からの相体力として第２ステージ１３０−２に加えられている。このため、第２ステージ１３０−２と、第２ステージ１３０−２を移動させるための駆動源であるコイル１５１−２及び磁極１５２−２とが、共通の第１ステージ１３０−１上に配置される。これにより、第１ステージ１３０−１を共振させた場合であっても、第２ステージ１３０−２と、第２ステージ１３０−２を移動させるための駆動源であるコイル１５１−２及び磁極１５２−２とが、概ね同様の態様で移動することになる。従って、第１ステージ１３０−１の共振に起因したＹ軸の方向の偏倚の影響を考慮することなく、駆動装置１００ｑを構成することができる。これにより、第２ステージ１３０−２と、第２ステージ１３０−２を移動させるための駆動源であるコイル１５１−２及び磁極１５２−２の構成の簡略化を図ることができる。具体的には、磁極１５２−２の小型化を図ることができる。【０１７７】
尚、電磁力に起因した加振力を第２ステージ１３０−２に加える構成に代えて、静電力に起因した加振力を第２ステージ１３０−２に加える構成を採用する場合であっても、第１ステージ１３０−１からの相対力としての加振力を第２ステージ１３０−２に加えるように構成することで、図１０等を用いて説明した櫛歯状の複数の電極を好適に形成することができる。また、電磁力に起因した加振力を第２ステージ１３０−２に加える構成に代えて、圧電効果に起因した加振力を第２ステージ１３０−２に加える構成を採用する場合であっても、第１ステージ１３０−１からの相対力としての加振力を第２ステージ１３０−２に加えるように構成することで、電極１４１、圧電素子１４２及び１４３を好適に形成することができる。【０１７８】
但し、第１ステージ１３０−１からの相対力としての加振力を第２ステージ１３０−２に加えることに加えて又は代えて、第１ベース１１０−１からの相対力としての加振力を第２ステージ１３０−２に加えるように構成してもよい。この構成について、図２６を参照して説明する。ここに、図２６は、第６実施例に係る他の駆動装置１００ｒの構成を概念的に示す平面図である。【０１７９】
図２６に示すように、駆動装置１００ｒは、上述した駆動装置１００ｑと概ね同様の構成を有している。駆動装置１００ｒにおいては特に、第２ステージ１３０−２に固定されないコイル１５１−２及び磁極１５２−２のうちの他方（図２６においては、コイル１５１−２）は、第１ステージ１３０−１に代えて、第１ベース１１０−１に固定される。従って、駆動装置１００ｒにおいては、第２ステージ１３０−２に固定されたコイル１５１−２及び磁極１５２−２の一方と、第１ベース１１０−１に固定されたコイル１５１−２及び磁極１５２−２の他方との間の電磁相互作用による電磁力を加振力として用いている。言い換えれば、加振力は、固定された第１ベース１１０−１からの相体力として第２ステージ１３０−２に加えられている。【０１８０】
このような構成を有する駆動装置１００ｒにおいては、第１ステージ１３０−１を共振させた場合には、第２ステージ１３０−２の位置は、第２ステージ１３０−２を移動させるための駆動源であるコイル１５１−２及び磁極１５２−２の他方に対して変動することになる。従って、駆動装置１００ｒでは、第１ステージ１３０−１の予期しないＸ軸の方向の偏倚の影響を受けることがなくなるため、複数のプローブ１２の移動に焦点を当てれば、その移動の正確性が増加する。【０１８１】
尚、上述した第６実施例に係る駆動装置１００ｑは、第１ステージ１３０−１上に１つの第２ステージ１３０−２を備えている。しかしながら、第１ステージ１３０−１上に複数の第２ステージ１３０−２を備えるように構成してもよい。言い換えれば、図２５に示す第２ステージ１３０−２を分割してもよい。この構成について、図２７を参照して説明する。ここに、図２７は、第１ステージ１３０−１上に複数の第２ステージ１３０−２を備える駆動装置１００ｓの構成を概念的に示す平面図である。【０１８２】
図２７に示すように、駆動装置１００ｓは、上述した駆動装置１００ｑと同様に、第１ベース１１０−１と、２本の第１サスペンション１２０−１と、コイル１５１−１及び磁極１５２−１とを備えている。駆動装置１００ｓでは特に、第１ステージ１３０−１上に、夫々が相対的に小さなサイズを有する（具体的には、夫々が駆動装置１００ｑにおける第２ステージ１３０−２よりも小さなサイズを有する）２つの第２ステージ１３０−２を備えている。２つの第２ステージ１３０−２は、Ｘ軸の方向（言い換えれば、トラッキング動作による移動の方向）に沿って並ぶように配列されている。つまり、駆動装置１００ｓにおける２つの第２ステージ１３０−２は、駆動装置１００ｑにおける第２ステージ１３０−２をＸ軸と略直交する方向に沿って分割することで得られる。２つの第２ステージ１３０−２の夫々は、対応する第２サスペンション１２０−２の他方の端部が接続されている。２つの第２サスペンション１３０−２の夫々の一方の端部は、第１ステージ１３０−１に接続されている。更に、駆動装置１００ｓは、１つの第２ステージ１３０−２を移動させるための駆動源であるコイル１５１−２及び磁極１５２−２を、第２ステージ１３０−２毎に２組独立して備えている。【０１８３】
駆動装置１００ｓにおいては、アクチュエータ駆動回路２２は、夫々の第２ステージ１３０−２を移動させるための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を各コイル１５１−２に対して印加する。その結果、２つの第２ステージ１３０−２の夫々は、Ｘ軸の方向に沿って振動する（つまり、移動する）。【０１８４】
これにより、駆動装置１００ｓにおいても、上述した駆動装置１００ｏが享受する効果と同様の効果を享受することができる。【０１８５】
更に、夫々の第２ステージ１３０−２のサイズを相対的に小さくすることができるため、夫々の第２ステージ１３０−２の質量を相対的に減少させることができる。このため、夫々の第２ステージ１３０−２を支える第２サスペンション１２０−２のサイズを相対的に小さくしても（例えば、厚みを薄くしたり、幅を小さくしたりしても）、夫々の第２ステージ１３０−２を好適に支えることができる。従って、駆動装置１００ｓの軽量化或いは小型化を図ることができる
加えて、駆動装置１００ｓにおいては、トラッキング動作による移動の方向に沿って並ぶように複数の第２ステージ１３０−２が配列されている。ここで、矩形の形状を有する記録媒体３０においては、記録媒体３０の記録面の一の領域における熱膨張と、該一の領域とは離れた位置にある他の領域における熱膨張との間にばらつきが生じかねない。このため、一の領域におけるデータのピッチと、他の領域におけるデータのピッチとが一致しない不都合が生じかねない。ここで、単一の第２ステージ１３０−２を備える駆動装置を用いた場合には、トラッキング動作は、全てのプローブ１２に対して共通の距離ずつ行われる。従って、第２ステージ１３０−２の一方の端部に近接して備え付けられるプローブ１２は、記録媒体３０の記録面の一の領域の所望のエリア部分（例えば、データを記録すべきエリア部分や、データを再生すべきエリア部分）に対してデータの記録や再生を行うことはできる一方で、第２ステージ１３０−２の他方の端部に近接して備え付けられるプローブ１２は、記録媒体３０の記録面の他の領域の所望のエリア部分に対してデータの記録や再生を行うことができないという不都合が生じかねない。しかるに、駆動装置１００ｓによれば、２つの第２ステージ１３０−２を備えると共に、該２つの第２ステージ１３０−２の夫々が独立した２つの駆動源のうちの対応する駆動源によって移動される。従って、記録媒体３０の記録面の一の領域における熱膨張と、他の領域における熱膨張との間にばらつきが生じていたとしても、一の領域及び他の領域の夫々におけるプローブ１２の移動を独立して行うことができるため、一の領域及び他の領域の夫々に対してデータの記録動作及び再生動作を好適に行うことができる。【０１８６】
尚、上述した第６実施例に係る駆動装置１００ｑ（更には、駆動装置１００ｒから駆動装置１００ｓ）に対して、上述した第１実施例から第５実施例において説明した各種構成を適宜適用してもよいことは言うまでもない。【０１８７】
（２−２−３）第７実施例
続いて、図２８及び図２９を参照して、第７実施例に係る駆動装置１００ｔについて説明する。ここに、図２８は、第７実施例に係る駆動装置１００ｔの構成を概念的に示す平面図であり、図２９は、図２８に示す第７実施例に係る駆動装置１００ｔのステージ１３０が移動した場合の態様を概念的に示す平面図である。【０１８８】
図２８に示すように、第７実施例に係る駆動装置１００ｔは、複数のプローブ１２が備え付けられるステージ１３０を備えている。ステージ１３０の左右両側の夫々には、夫々が長手方向に伸張すると共に一方の端部がステージ１３０に固定される２本の第１サスペンション１２０−１を備えている。尚、以下の説明では、説明の簡略化のために、ステージ１３０の右側の構成について説明を進めるが、ステージ１３０の左側にも同様の構成を有していることは言うまでもない。【０１８９】
２本の第１サスペンション１２０−１は、長手方向とＸ軸の方向が一致すると共に短手方向（つまり、Ｙ軸の方向）に沿って隣接するように配列される。２本の第１サスペンション１２０−１の夫々の他方の端部は、ステージ１３０をＹ軸の方向に沿って移動させるための加振力を加えるための加振力印加部１８１と、ステージ１３０をＸ軸の方向に沿って移動させるための駆動力を加えるための駆動力印加部１８２とを備えると共にＹ軸の方向に沿って並ぶ２つの駆動源１８０の一方の端部に固定されている。駆動源１８０の他方の端部には、長手方向に伸張する２本の第２サスペンション１２０−２が固定されている。２本の第２サスペンション１２０−２は、長手方向とＸ軸の方向が一致すると共に短手方向（つまり、Ｙ軸の方向）に沿って隣接するように配列される。２本の第２サスペンション１２０−２の夫々の他方の端部は、Ｘ軸の方向に沿って伸張可能な第３サスペンション１２０−３の一方の端部に固定されている。第３のサスペンション１２０−３の他方の端部は、ベース１１０に固定されている。更に、ステージ１３０には、Ｘ軸の方向に沿ったステージ１３０のトラッキング動作を、駆動力印加部１８２によるトラッキング動作よりもより細かい範囲で行うためのトラッキング回路１９０が接続されている。【０１９０】
尚、ステージ１３０と、２本の第１サスペンション１２０−１と、２つの駆動源１８０と、２本の第２サスペンション１２０−２と、第３サスペンション１２０−３と、ベース１１０とは、Ｘ軸の方向に沿って並ぶように配列されている。【０１９１】
ステージ１３０は、２本の第１サスペンション１２０−１及び２本の第２サスペンション１２０−２の弾性を利用して、図２９に示すように、Ｙ軸の方向に沿って移動する。この場合、２本の第１サスペンション１２０−１は実際に振動するが、２本の第２サスペンション１２０−２は振動しない又は殆ど振動しない。このため、第２サスペンション１２０−２を省略し、駆動源１８０と第３サスペンション１２０−３とを接続しても良いし、または第２サスペンション１２０−２と第３サスペンション１２０−３とを一体化しても良い。【０１９２】
また、ステージ１３０は、第３サスペンション１２０−３の弾性を利用して、図２９に示すように、Ｘ軸の方向に移動する。このようにステージ１３０を移動させるための加振力及び駆動力は、駆動源１８０が備える加振力印加部１８１及び駆動力印加部１８２に対して、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで所望の電圧が印加されることによって加えられる。尚、加振力印加部１８１及び駆動力印加部１８２は、圧電効果に起因した加振力及び駆動力を加える構成（具体的には、電極１４１、圧電素子１４２及び電極１４３）を有していてもよいし、電磁力に起因した加振力及び駆動力を加える構成（具体的には、コイル１５１及び磁極１５２）を有していてもよいし、静電力に起因した加振力及び駆動力を加える構成（具体的には、電極１６１及び電極１６２）を有していてもよい。【０１９３】
また、アクチュエータ駆動回路２２は、各々２本で合計４本の第１サスペンション１２０−１及びステージ１３０により定まる共振周波数でステージ１３０を振動させる（つまり、共振させる）ための加振力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を加振力印加部１８１に対して印加する。その結果、ステージ１３０は、各々２本で合計４本の第１サスペンション１２０−１及びステージ１３０により定まる共振周波数で共振する。【０１９４】
他方で、アクチュエータ駆動回路２２は、所定量ずつ段階的に又は連続的にステージ１３０を移動させるための駆動力を加えるように、所望のタイミングで所望の電圧を駆動力印加部１８２に対して印加する。その結果、ステージ１３０は、所定量ずつ段階的に又は連続的にＸ軸の方向に沿って移動する。【０１９５】
加えて、トラッキング回路１９０は、所定量ずつ段階的に又は連続的に且つ駆動力印加部１８２によるトラッキング動作よりもより細かい単位でステージ１３０を移動させる。その結果、ステージ１３０のＸ軸の方向に沿った高精度なトラッキング動作が行われる。【０１９６】
このため、第７実施例に係る駆動装置１００ｔは、ステージ１３０をＹ軸の方向に沿って共振させると共に該ステージ１３０をＸ軸の方向に沿って移動させることができる。つまり、ステージ１３０（言い換えれば、ステージ１３０に備え付けられる複数のプローブ１２）の２軸駆動を行うことができる。このため、複数のプローブ１２を用いて、矩形の形状を有する記録媒体３０上の概ね全ての記録面に対してデータを記録したり、記録媒体３０上の概ね全ての記録面に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１９７】
更に、第７実施例に係る駆動装置１００ｔにおいても、上述した第１実施例に係る駆動装置１００ａ等と同様に共振を利用してステージ１３０をＹ軸の方向に沿って移動させているため、第１実施例に係る駆動装置１００ａが享受する効果と同様の効果を享受することができる。つまり、ステージ１３０の移動に必要な加振力を加えるために必要な電力量を少なくすることができる。従って、より効率的にステージ１３０を移動させることができ、その結果、駆動装置１００ｔの低消費電力化を実現することができる。また、共振というステージ１３０及び２本の第１サスペンション１２０−１を含む振動系自身の挙動を利用してステージ１３０を移動させることができるため、ステージ１３０の姿勢の安定性を好適に維持することができる。その結果、ステージ１３０の移動の態様に対する再現性を好適に得ることができる。その結果、記録媒体３０の所望の位置にデータを記録したり、或いは記録媒体３０の所望の位置に記録されたデータを再生したりすることができる。【０１９８】
尚、第７実施例に係る駆動装置１００ｔにおいては、Ｙ軸の方向に沿って並ぶ２つの駆動源１８０のうちの上側の駆動源１８０により加えられる加振力の位相（或いは、方向）と、２つの駆動源１８０のうちの下側の駆動源１８０により加えられる加振力の位相とをずらすように構成してもよい。このようにＹ軸の方向（つまり、共振の方向）に沿って並ぶ２つの駆動源１８０により加えられる加振力の位相をずらすことで、ステージ１３０の共振の振幅（つまり、ステージ１３０のＹ軸の方向における移動範囲）を調整することができる。例えば、上側の駆動源１８０がステージ１３０を上側に移動させる加振力を加え、且つ下側の駆動源１８０がステージ１３０を下側に（つまり、上側の駆動源１８０により加えられる加振力がステージを移動させる方向とは逆側に）移動させる加振力を加えることで、ステージ１３０の共振の振幅を減衰することができる。同様に、例えば、上側の駆動源１８０がステージ１３０を上側に移動させる加振力を加え、且つ下側の駆動源１８０がステージ１３０を下側に（つまり、上側の駆動源１８０により加えられる加振力がステージを移動させる方向と同一の側に）移動させる加振力を加えることで、ステージ１３０の共振の振幅を増幅することができる。【０１９９】
上記の例では、また２つの駆動原の位相を１８０度ずらす例を示した。しかしながら、１８０度ずらす例に限らず、例えば４５度ずらしてもよいし、９０度ずらしてもよいし、その他の数値だけずらしてもよいし、連続的に変化させてもよい。この場合には、微妙な振幅の調整が可能となる。【０２００】
尚、上述した第７実施例に係る駆動装置１００ｔに対して、上述した第１実施例から第６実施例において説明した各種構成を適宜適用してもよいことは言うまでもない。【０２０１】
（２−２−４）第８実施例
続いて、図３０を参照して、第８実施例に係る駆動装置１００ｕについて説明する。ここに、図３０は、第８実施例に係る駆動装置１００ｕにより実現される複数のプローブ１２の移動の軌跡を概念的に示す平面図である。【０２０２】
上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌ（更には、駆動装置１００ｍから駆動装置１００ｐ）、第６実施例に係る駆動装置１００ｑ（更には、駆動装置１００ｒ及び駆動装置１００ｓ）及び第７実施例に係る駆動装置１００ｔでは、第２ステージ１３０−２がＹ軸の方向のみに共振する状態を実現するように動作している。つまり、第２ステージ１３０−２は、Ｘ軸の方向に沿っては共振していない。しかしながら、第８実施例に係る駆動装置１００ｕは、上述した第５実施例に係る駆動装置１００ｌ（更には、駆動装置１００ｍから駆動装置１００ｐ）、第６実施例に係る駆動装置１００ｑ（更には、駆動装置１００ｒ及び駆動装置１００ｓ）及び第７実施例に係る駆動装置１００ｔと同様の構成を有しつつ、第２ステージ１３０−２がＹ軸の方向及びＸ軸の方向の夫々に沿って共振する状態を実現するように動作する。【０２０３】
このとき、第８実施例に係る駆動装置１００ｕにおいては、第２ステージ１３０−２のＸ軸の方向に沿った共振の位相と、第２ステージ１３０−２のＹ軸の方向に沿った共振の位相とが略９０°ずらされる。言い換えれば、第２ステージ１３０−２のＸ軸の方向に沿った共振の位相と、第２ステージ１３０−２のＹ軸の方向に沿った共振の位相とを略９０°ずらすことができる加振力を加えるように、アクチュエータ駆動回路２２から所望のタイミングで、所望の電圧が印加される。その結果、複数のプローブ１２の軌道は、図３０に示すような円軌道となる。【０２０４】
この場合、第２ステージ１３０−２上に備え付けられるプローブ１２の数に応じて円軌道の半径を変更するように構成してもよい。例えば、プローブ１２の数が相対的に少なければ、１つのプローブ１２によりデータの記録及び再生が行われるエリア部分が相対的に大きくなるため、円軌道の半径を相対的に大きくすることが好ましい。他方、プローブ１２の数が相対的に多ければ、１つのプローブ１２によりデータの記録及び再生が行われるエリア部分が相対的に小さくなるため、円軌道の半径を相対的に小さくすることが好ましい。【０２０５】
このような駆動装置１００ｕであっても、上述した各種効果を相応に享受することができる。【０２０６】
尚、上述した第８実施例に係る駆動装置１００ｕに対して、上述した第１実施例から第７実施例において説明した各種構成を適宜適用してもよいことは言うまでもない。【０２０７】
尚、上述の説明では、複数のプローブ１２を駆動装置１００のステージ１３０に備え付ける例について説明したが、複数のプローブ１２に代えて記録媒体３０を駆動装置１００のステージ１３０に備え付けるように構成してもよい。【０２０８】
また、上述の説明では、駆動装置１００を強誘電体記録再生装置１に適用した例について説明した。しかしながら、強誘電体記録再生装置１に限らず、各種プローブメモリを含む各種情報記録再生装置に対して駆動装置１００を適用してもよいことは言うまでもない。また、情報記録再生装置に限らず、プローブを利用する構成（例えば、ＡＦＭ（Atomic Force Microscopy）に対して駆動装置１００を適用してもよい。更には、ステージをＸ軸及びＹ軸の２軸に沿って移動させる各種装置に駆動装置１００を適用してもよい。【０２０９】
また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０２１０】
本発明に係る駆動装置は、例えば、媒体等を一軸方向や二軸方向に駆動しながら、プローブにより該媒体の表面等を走査する駆動装置に利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【手続補正書】
【提出日】平成21年10月15日(2009.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３０】
2008126248.tif 000033
【国際調査報告】
2008126248.tif 000034
2008126248.tif 000035