【手続補正書】
【提出日】平成17年6月14日(2005.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
リニアモータの駆動電流をリニア制御するリニアアンプと、
前記リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線接続経路を備え、
大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項２】
前記リニアモータは、その内部で各相に複数の直列に接続された巻線を配備し、また巻線の途中から口出し線が出され、ドライバとの接続が可能なように通常の接続端子とは別に口出しされた各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線接続経路を有することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項３】
前記口出し線が出される接続端子は、前記ＰＷＭアンプでの駆動の際に駆動しない前記リニアアンプの耐圧以下となるように各相の複数の直列接続された巻線の途中から出すことを特徴とする請求項２に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項４】
前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項５】
前記リニアアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項６】
前記ＰＷＭアンプと前記リニアアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項７】
前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、
前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記リニアアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給して前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項８】
前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するスイッチ部を備え、
前記スイッチ部は、その内部ドライブ回路で内部半導体素子をオンオフさせ、前記リニアアンプでの前記リニアモータを駆動する場合、前記リニアモータの中性点と前記リニアアンプで使用するＰＮ電源の中間電位とを接続することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項９】
システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの各相巻線全体に、また前記リニアアンプで前記リニアモータの各相の口出しされた一部巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１０】
前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項１乃至９記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１１】
リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
リニアモータの駆動電流をリニア制御するリニアアンプと、
前記リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線を備え、
大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項１２】
前記リニアモータは、大推力用巻線に比較的安価に製造可能な集中巻きでの巻線を施し、小推力用巻線に推力リプルを極小に抑制することが可能なヘリカル巻きでの巻線を施して各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線を有することを特徴とする請求項１１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１３】
前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１４】
前記リニアアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１５】
前記ＰＷＭアンプと前記リニアアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えることを特徴とする請求項１１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１６】
前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、
前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記リニアアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給して前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１７】
システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの集中巻き巻線に、また前記リニアアンプで前記リニアモータのヘリカル巻き巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項１１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１８】
前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項１１乃至１７記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１９】
リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプと、
前記リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線接続経路を備え、
大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項２０】
前記リニアモータは、その内部で各相に複数の直列に接続された巻線を配備し、また巻線の途中から口出し線が出され、ドライバとの接続が可能なように通常の接続端子とは別に口出しされた各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線接続経路を有することを特徴とする請求項１９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２１】
前記口出し線が出される接続端子は、前記ＰＷＭアンプでの駆動の際に駆動しない前記高キャリアＰＷＭアンプの耐圧以下となるように各相の複数の直列接続された巻線の途中から出すことを特徴とする請求項２０に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２２】
前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２３】
前記高キャリアＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２４】
前記ＰＷＭアンプと前記高キャリアＰＷＭアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えることを特徴とする請求項１９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２５】
前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、
前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記高キャリアＰＷＭアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給して前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２６】
システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの各相巻線全体に、また前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの各相の口出しされた一部巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項１９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２７】
前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項１９乃至２６記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項２８】
リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
リニアモータの駆動電流をリニア制御するリニアアンプと、
大推力用リニアモータと小推力用リニアモータの２通りのリニアモータを備え、
大推力時に適したリニアモータとアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータとアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項２９】
前記大推力用リニアモータは巻線に比較的安価に製造可能な集中巻きでの巻線を施し、前記小推力用リニアモータは小推力用巻線に推力リプルを極小に抑制することが可能なヘリカル巻きでの巻線を施すことを特徴とする請求項２８に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項３０】
システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記大推力用リニアモータの集中巻き巻線に、また前記リニアアンプで前記小推力用リニアモータのヘリカル巻き巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項２８に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項３１】
前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項２８乃至３０記載のリニアモータ駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、リニアモータの駆動電流をリニア制御するリニアアンプと、前記リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線接続経路を備え、大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、大推力時に巻線全体とアンプ（ＰＷＭアンプ）の組合せ、小推力時に口出しされた巻線とアンプ（リニアアンプ）の組合せとを、駆動条件に応じて選択的に切替えることができる。
請求項２に記載の発明は、請求項１における前記リニアモータは、その内部で各相に複数の直列に接続された巻線を配備し、また巻線の途中から口出し線が出され、ドライバとの接続が可能なように通常の接続端子とは別に口出しされた各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線接続経路を有するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、１つのリニアモータに対して、２通りのアンプで駆動電流を供給することができる。
請求項３に記載の発明は、請求項２における前記口出し線が出される接続端子は、前記ＰＷＭアンプでの駆動の際に駆動しない前記リニアアンプの耐圧以下となるように各相の複数の直列接続された巻線の途中から出すものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、リニアアンプには耐圧が比較的低いパワー素子しか使用できないため、リニアモータの同一巻線を使用してもリニアアンプのパワー素子を破損することなく使用できる。
請求項４に記載の発明は、請求項１における前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時に大推力が必要な場合にＰＷＭアンプの高耐圧・大電流なパワー素子を使用することができるため大容量のリニアモータ駆動が可能であり、リニアモータ巻線設計においても極力損失を抑えることができる。
請求項５に記載の発明は、請求項１における前記リニアアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要な場合に小電流時の電流制御特性を良くすることができる。
請求項６に記載の発明は、請求項１における前記ＰＷＭアンプと前記リニアアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えるものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、同一の場合はドライバの小形化を図ることができ、個別の場合はアンプ破損時の修理・交換の容易性や多種類アンプの利用性が高まり、他からのあるいは他へのアンプ流用による汎用性も高まる。
請求項７に記載の発明は、請求項１における前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記リニアアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給して前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、駆動条件に応じて、ＰＷＭアンプかリニアアンプを使用することができ、使用していないアンプの入力はゼロ指令となるため、出力への影響をなくすことができる。
請求項８に記載の発明は、請求項１における駆動条件に応じて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するスイッチ部を備え、前記スイッチ部は、その内部ドライブ回路で内部半導体素子をオンオフさせ、前記リニアアンプでの前記リニアモータを駆動する場合、前記リニアモータの中性点と前記リニアアンプで使用するＰＮ電源の中間電位とを接続するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、リニアアンプ駆動時の３相バランスを保つことができ、小推力時の電流リプル／波形歪を小さくすることができる。
請求項９に記載の発明は、請求項１におけるシステムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの各相巻線全体に、また前記リニアアンプで前記リニアモータの各相の口出しされた一部巻線に駆動電流を供給する組合せとするものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時の大推力が必要で、精密な電流制御を必要としない場合に高耐圧・大電流アンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。また、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要で精密な電流制御を必要とする場合に電流制御特性がよいアンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９における前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用したものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、半導体製造装置または液晶製造装置では高精度な位置決め精度や一定速送り精度を得ることができ、高速な位置決めや一定速送りをすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項１１に記載の発明は、リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、リニアモータの駆動電流をリニア制御するリニアアンプと、前記リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線を備え、大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプ（ＰＷＭアンプ）の組合せ、小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプ（リニアアンプ）の組合せとを、駆動条件に応じて選択的に切替えることができる。
請求項１２に記載の発明は、請求項１１における前記リニアモータは、大推力用巻線に比較的安価に製造可能な集中巻きでの巻線を施し、小推力用巻線に推力リプルを極小に抑制することが可能なヘリカル巻きでの巻線を施して各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線を有するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、精度を問わない大推力時には、大推力用巻線に駆動電流を供給することができ、精度を要求される小推力時には、小推力用巻線に駆動電流を供給することができる。
請求項１３に記載の発明は、請求項１１における前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時に大推力が必要な場合にＰＷＭアンプの高耐圧・大電流なパワー素子を使用することができるため大容量のリニアモータ駆動が可能であり、リニアモータ巻線設計においても極力損失を抑えることができる。
請求項１４に記載の発明は、請求項１１における前記リニアアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要な場合に小電流時の電流制御特性を良くすることができる。
請求項１５に記載の発明は、請求項１１における前記ＰＷＭアンプと前記リニアアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えるものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、同一の場合はドライバの小形化を図ることができ、個別の場合はアンプ破損時の修理・交換の容易性や多種類アンプの利用性が高まり、他からのあるいは他へのアンプ流用による汎用性も高まる。
請求項１６に記載の発明は、請求項１１における前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記リニアアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給して前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、駆動条件に応じて、ＰＷＭアンプかリニアアンプを使用することができ、使用していないアンプの入力はゼロ指令となるため、出力への影響をなくすことができる。
請求項１７に記載の発明は、請求項１１におけるシステムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの集中巻き巻線に、また前記リニアアンプで前記リニアモータのヘリカル巻き巻線に駆動電流を供給する組合せとするものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時の大推力が必要で、精密な電流制御を必要としない場合に高耐圧・大電流アンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。また、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要で精密な電流制御を必要とする場合に電流制御特性がよいアンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。
請求項１８に記載の発明は、請求項１１乃至１７における前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用したものです。
このリニアモータ駆動装置によれば、半導体製造装置または液晶製造装置では高精度な位置決め精度や一定速送り精度を得ることができ、高速な位置決めや一定速送りをすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１９に記載の発明は、リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプと、前記リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線接続経路を備え、大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、大推力時に巻線全体とアンプ（ＰＷＭアンプ）の組合せ、小推力時に口出しされた巻線とアンプ（高キャリアＰＷＭアンプ）の組合せとを、駆動条件に応じて選択的に切替えることができる。
請求項２０に記載の発明は、請求項１９における前記リニアモータは、その内部で各相に複数の直列に接続された巻線を配備し、また巻線の途中から口出し線が出され、ドライバとの接続が可能なように通常の接続端子とは別に口出しされた各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線接続経路を有するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、１つのリニアモータに対して、２通りのアンプで駆動電流を供給することができる。
請求項２１に記載の発明は、請求項２０における前記口出し線が出される接続端子は、前記ＰＷＭアンプでの駆動の際に駆動しない前記高キャリアＰＷＭアンプの耐圧以下となるように各相の複数の直列接続された巻線の途中から出すものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、高キャリアＰＷＭアンプには耐圧が比較的低いパワー素子しか使用できないため、リニアモータの同一巻線を使用しても高キャリアＰＷＭアンプのパワー素子を破損することなく使用できる。
請求項２２に記載の発明は、請求項１９における前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時に大推力が必要な場合にＰＷＭアンプの高耐圧・大電流なパワー素子を使用することができるため大容量のリニアモータ駆動が可能であり、リニアモータ巻線設計においても極力損失を抑えることができる。
請求項２３に記載の発明は、請求項１９における前記高キャリアＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要な場合、キャリア周波数が高いため、推力リプルに起因する電流リプルを小さく、また、０クロス近傍の不感帯の影響を極小にでき、小推力時の電流制御特性を良くすることができる。
請求項２４に記載の発明は、請求項１９における前記ＰＷＭアンプと前記高キャリアＰＷＭアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えるものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、同一の場合はドライバの小形化を図ることができ、個別の場合はアンプ破損時の修理・交換の容易性や多種類アンプの利用性が高まり、他からのあるいは他へのアンプ流用による汎用性も高まる。
請求項２５に記載の発明は、請求項１９における前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記高キャリアＰＷＭアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給して前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、駆動条件に応じて、ＰＷＭアンプか高キャリアアンプを使用することができ、使用していないアンプの入力はゼロ指令となるため、出力への影響をなくすことができる。
請求項２６に記載の発明は、請求項１９におけるシステムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの各相巻線全体に、また前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの各相の口出しされた一部巻線に駆動電流を供給する組合せとするものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時の大推力が必要で、精密な電流制御を必要としない場合に高耐圧・大電流アンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。また、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要で精密な電流制御を必要とする場合に電流制御特性がよいアンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。
請求項２７に記載の発明は、請求項１９乃至２６における前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用したものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、半導体製造装置または液晶製造装置では高精度な位置決め精度や一定速送り精度を得ることができ、高速な位置決めや一定速送りをすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２８に記載の発明は、リニアモータと駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、リニアモータの駆動電流をリニア制御するリニアアンプと、大推力用リニアモータと小推力用リニアモータの２通りのリニアモータを備え、大推力時に適したリニアモータとアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータとアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、大推力時に適したリニアモータとアンプ（ＰＷＭアンプ）の組合せ、小推力時に適したリニアモータとアンプ（リニアアンプ）の組合せとを、駆動条件に応じて選択的に切替えることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２９に記載の発明は、請求項２８における前記大推力用リニアモータは巻線に比較的安価に製造可能な集中巻きでの巻線を施し、前記小推力用リニアモータは小推力用巻線に推力リプルを極小に抑制することが可能なヘリカル巻きでの巻線を施すものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、精度を問わない大推力時には、大推力用リニアモータに駆動電流を供給することができ、精度を要求される小推力時には、小推力用リニアモータに駆動電流を供給することができる。
請求項３０に記載の発明は、請求項２８におけるシステムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記大推力用リニアモータの集中巻き巻線に、また前記リニアアンプで前記小推力用リニアモータのヘリカル巻き巻線に駆動電流を供給する組合せとするものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時の大推力が必要で、精密な電流制御を必要としない場合に高耐圧・大電流アンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。また、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要で精密な電流制御を必要とする場合に電流制御特性がよいアンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。
請求項３１に記載の発明は、請求項２８乃至３０における前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用したものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、半導体製造装置または液晶製造装置では高精度な位置決め精度や一定速送り精度を得ることができ、高速な位置決めや一定速送りをすることができる。