【手続補正書】
【提出日】平成17年2月25日(2005.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  矩形に配置され、オフ状態とオン状態との間を切換軸の廻りを回転することができ、観視される映像のピクセルに対応する能動マイクロミラーのアレイ、
マイクロミラーアレイに光を送るための光源であって、各マイクロミラーの少なくとも２つの側面に対して非垂直に、そして各マイクロミラーの少なくとも他の２つの側面に対して、各マイクロミラーの上面から見た場合に、平行に、光を送るように配置された光源、および
オン状態のマイクロミラーから光を受けるように配置された集光系を具備する投射システム。
【請求項２】  光源が、マイクロミラーの切換軸と実質的に垂直な角度で光を送る請求項１に記載のシステム。
【請求項３】  光源とマイクロミラーアレイとの間に、色分解部材をさらに有する請求項１に記載のシステム。
【請求項４】  光が１００ないし１５０度の角度で各マイクロミラーの先頭側に当るように光源が配置される請求項１に記載のシステム。
【請求項５】  マイクロミラーが、金属および誘電性材料を含有する請求項１に記載のシステム。
【請求項６】  誘電性材料が、シリコンの窒化物、炭化物または酸化物である請求項５に記載のシステム。
【請求項７】  マイクロミラーが、回路基板の上方に設けてある請求項１に記載のシステム。
【請求項８】  回路基板がＣＭＯＳ基板である請求項７に記載のシステム。
【請求項９】  マイクロミラーが、下部シリコン基板に接着された上部ガラス基板に取り付けてある請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】  上部基板と下部基板が、ＵＶおよび／またはＩＲエポキシによって接着される請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】  約１ｃｍ2ないし約１ｉｎ2の面積内に６４，０００ないし約６，０００，０００個のマイクロミラーが設けてある請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】  マイクロミラーアレイ上またはその上方に配置された矩形のマスクをさらに有する請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】  マイクロミラーアレイが、４つの辺を有する矩形を画定する四隅の能動マイクロミラーを有する請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】  マイクロミラーが、少なくとも４つの長いマイクロミラー側面を有し、マイクロミラーの各側面のうち１つ以上が、四隅の能動マイクロミラーによって画定された矩形の何れの辺に対しても平行でも垂直でもない請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】  マイクロミラーの側面が、いずれも、マイクロミラーの矩形アレイのいずれの辺に対しても平行でも垂直でもない請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】  マイクロミラーの少なくとも２つの側面が、マイクロミラーアレイの矩形のいずれの辺に対しても平行でも垂直でもなく、マイクロミラーの少なくとも２つの側面がマイクロミラーアレイの矩形の辺に対して平行である請求項１４に記載のシステム。
【請求項１７】  各マイクロミラーが、マイクロミラーの回転軸に対して０から９０度の角度を有する方向に延びる１つ以上のヒンジを有する請求項１に記載のシステム。
【請求項１８】  前記１つ以上のヒンジが、回転軸に対して４５度の角度を有する方向に延びる請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】  各マイクロミラーの形状が、平行四辺形または平行四辺形の組合せによるものである請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】  各マイクロミラーの形状が、２つないし７つの平行四辺形の組合せによるものである請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】  各マイクロミラーの形状が、２つないし４つの平行四辺形の組合せによるものである請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】  平行四辺形の組合せによる形状が、各々が隣接する平行四辺形の鏡像である平行四辺形の集合によるものである請求項２０に記載のシステム。
【請求項２３】  平行四辺形の組合せによる形状が、同一形状の平行四辺形の集合によるものである請求項２０に記載のシステム。
【請求項２４】  前記少なくとも２つの側面が、マイクロミラーの先頭側および／または後尾側にある請求項１に記載のシステム。
【請求項２５】  先頭側および後尾側が、ギザギザ状またはのこ歯状の側面である請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】  組合せの中の各平行四辺形の幅が、マイクロミラーに導入された光の波長より実質的に大きい幅である請求項２０に記載のシステム。
【請求項２７】  Ｍをマイクロミラーの幅とし、λを入射光の波長とした場合に、平行四辺形の数がＭ／λより少ない請求項１９に記載のシステム。
【請求項２８】  平行四辺形の数が０．５Ｍ／λより少ない請求項２７に記載のシステム。
【請求項２９】  平行四辺形の数が０．１Ｍ／λより少ない請求項２８に記載のシステム。
【請求項３０】  マイクロミラーが、５つ以上の長い直線状の側面を有する請求項１に記載のシステム。
【請求項３１】  ６つ以上の側面が、少なくとも１つの突出部および切欠部を有する形状を成す請求項３０に記載のシステム。
【請求項３２】  マイクロミラーが、８つ以上の側面を有する請求項３０に記載のシステム。
【請求項３３】  突出部および切欠部が、三角形である請求項３１に記載のシステム。
【請求項３４】  突出部が７０ないし１２０度の外角を有し、切欠部がそれに対応する７０ないし１２０度の内角を有する請求項３１に記載のシステム。
【請求項３５】  マイクロミラーの形状が、実質的に矩形以外の形状である請求項１に記載のシステム。
【請求項３６】  マイクロミラーが、３５ないし６０度の外角を少なくとも２つ有する請求項１に記載のシステム。
【請求項３７】  マイクロミラーが、矩形の有効エリアの辺に対して平行でも垂直でもない直線状の側面を有する請求項１に記載のシステム。
【請求項３８】  マイクロミラーのアレイであって、各マイクロミラーが、観視される映像のピクセルに対応し、凹多角形または１つ以上の非矩形の平行四辺形からなる形状を有するアレイ、
マイクロミラーのアレイに光を送るための光源、および
マイクロミラーから反射された光を受けるように配置された集光系を具備する投射システム。
【請求項３９】  各マイクロミラーの形状が、非矩形の平行四辺形または並列された非矩形の平行四辺形の組合せによるものである請求項３８に記載のシステム。
【請求項４０】  各マイクロミラーの形状が、２つないし７つの平行四辺形の組合せによるものである請求項３９に記載のシステム。
【請求項４１】  各マイクロミラーの形状が、２つないし４つの平行四辺形の組合せによるものである請求項４０に記載のシステム。
【請求項４２】  平行四辺形の組合せによる形状が、各々が隣接する平行四辺形の鏡像である平行四辺形の集合によるものである請求項４０に記載のシステム。
【請求項４３】  前記形状が、６つ以上の辺と、少なくとも１つの凹部を有する凹多角形である請求項４０に記載のシステム。
【請求項４４】  前記少なくとも２つの側面が、マイクロミラーの先頭側および／または後尾側にある請求項３８に記載のシステム。
【請求項４５】  先頭側および後尾側が、ギザギザ状またはのこ歯状の側面である請求項４４に記載のシステム。
【請求項４６】  組合せの中の各平行四辺形の幅が、マイクロミラーに導入された光の波長より実質的に大きい幅である請求項４０に記載のシステム。
【請求項４７】  Ｍをマイクロミラーの幅とし、λを入射光の波長とした場合に、平行四辺形の数がＭ／λより少ない請求項３９に記載のシステム。
【請求項４８】  平行四辺形の数が０．５Ｍ／λより少ない請求項４７に記載のシステム。
【請求項４９】  平行四辺形の数が０．１Ｍ／λより少ない請求項４８に記載のシステム。
【請求項５０】  マイクロミラーが、６つ以上の長い直線状の側面を有する請求項３８に記載のシステム。
【請求項５１】  ６つ以上の側面が、少なくとも１つの突出部および切欠部を有する形状を成す請求項５０に記載のシステム。
【請求項５２】  マイクロミラーが、８つ以上の側面を有する請求項５０に記載のシステム。