(57)【要約】  支持部材と、前記支持部材の少なくとも一方面側に形成された導電層と、下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記導電層の一方面に接するよう前記支持部材を貫通させた端子部と、前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、前記被覆層及び前記導電層上に積層された導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
2009017061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材と、
前記支持部材の少なくとも一方面側に形成された導電層と、
下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記導電層の一方面に接するよう前記支持部材を貫通させた端子部と、
前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
前記被覆層及び前記導電層上に積層された導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
【請求項２】
支持部材と、
前記支持部材の少なくとも一方面側に形成され、かつ互いに離間した２つの導電層と、
下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記２つの導電層の一方面のそれぞれに接するよう前記支持部材を貫通させた２つの端子部と、
前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
前記被覆層及び前記２つの導電層上に積層され、かつ互いに離間した２つの導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
【請求項３】
前記導電性粘着剤層が、導電性高分子含水ゲルからなる層である請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項４】
前記導電性粘着剤層が、３〜３００ｃｍ2の表面積を有する請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項５】
前記導電性粘着剤層が、イオウ、ケイ素及びスズの元素とハロゲン化物のイオンとを１０００ｐｐｍ未満の濃度で実質的に含まない導電性高分子含水ゲルからなる層である請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項６】
前記帯電防止具は、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２１に準拠した測定法による０．１μｍ以上の塵埃の量が、１００個／立方フィート（約２８．３リットル）以内である請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項７】
前記端子部が、凸部、凸部に対応する凹部及び凸部下端に鍔部を有する導電性スナップと、前記導電性スナップの凹部に嵌合し、かしめることにより導電性スナップを係止しうる凸部及び凸部下端に鍔部を有する導電部とからなる請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項８】
前記帯電防止用具が、半導体デバイス、半導体デバイス搭載回路、情報記録機器、粉塵及び化学物質の取り扱い作業時に、作業員に静電気が帯電することを防止するための用具である請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項９】
前記支持体が、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、シリコーンゴム、スチレン−ブタジエンゴムから選択される材料からなり、被着面に対する追随性を有する請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項１０】
前記導電性粘着剤層が、５×１０2〜１×１０6Ωｃｍの範囲の比抵抗を有する請求項１に記載の帯電防止用具。
【請求項１１】
前記２つの導電層が、導電層の厚さの２倍以上の距離で離間している請求項１に記載の帯電防止用具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電防止用具に関する。更に詳しくは、本発明は、人体のような複雑な表面形態であっても、良好に密着し、その表面に帯電する電荷を有効に除去しうる帯電防止用具に関する。本発明の帯電防止用具は、半導体デバイス、半導体デバイス搭載回路及び情報記録機器等の取り扱い、粉塵の取り扱い、有機溶剤のような化学物質の取り扱い等の作業において、作業員に静電気が帯電することを防止するための器具として有用である。更に、本発明の帯電防止用具は、クリーンルームのような特に発塵を嫌う作業環境でのハードディスクドライブ又はより微細な半導体デバイス等の取り扱い等の作業により有用である。
【背景技術】
【０００２】
人体に帯電した静電気は様々な問題を引き起こすことが知られている。
例えば、半導体デバイスの分野では、人体に帯電した静電気が、ＬＳＩ、ＣＭＯＳ等の半導体デバイス、ハードディスクドライブ、ハードディスクのヘッド等の情報記録機器へ放電されると、デバイス及び機器が破壊されるという問題がある。
デバイス及び機器は、マイクロ化及び精密化されつつあり、加えてより低電圧で駆動することが求められている。そのため微小な静電気の放電程度であっても、これらデバイス及び機器が破壊されたり、誤動作の原因となる可能性が増している。
また、上記半導体デバイス、ハードディスクドライブ、磁気ヘッド等は、クリーンルームのような外部汚染を厳しく管理された場所での生産が一般的である。このようなクリーンルームで使用される備品にも厳しい制限が求められる。例えば、製品誤動作の原因となる塵埃は、備品からの発生を極限まで少なくすることが必要である。また、火災のような異常時でも、燃焼ガスからの不純物の混入を防ぐため、塩素のような弊害を生じるガス発生の可能性を備品から根本から絶つ必要がある。
上記分野以外でも、微粉末からなる粉塵を取り扱う分野、有機溶剤のような揮発性物質を多量に扱う分野では、静電気の放電により爆発が起こる恐れがある。【０００３】
上記のように静電気の発生及び帯電を嫌う作業環境では、静電気の発生及び帯電が様々な方法で注意深く管理されている。例えば、導電繊維を含む導電性手袋、作業服の着用、床面への導電性シートの敷き詰め等により人体への静電気の帯電が防止されている。後者の帯電の防止法は、多額の投資が必要である。一方、前者の帯電の防止法は、比較的投資額が少なく、そのためこの方法に使用できる種々の器具が報告されている。【０００４】
そのような器具として、実公平６−４６０８０号公報（特許文献１）及び実用新案登録第３０７８４９３号公報（特許文献２）ではリストバンド型の帯電防止用具が、特開２００１−２１０４９３号公報（特許文献３）及び特開２００２−１７０６９６号公報（特許文献４）では手袋型の帯電防止用具が報告されている。【０００５】
実公平６−４６０８０号公報のリストバンド型の帯電防止用具は、リストバンドに備えられた導電片と、導電片に備えられた導電性スナップとからなる。リストバンドは導電性繊維から構成されていてもよいと記載されている。
特開２００１−２１０４９３号公報のグローブ型の帯電防止用具は、帯電した静電気を除去するための導電部が手の平に接触するように配置された構成を有している。
実用新案登録第３０７８４９３号公報のリストバンド型の帯電防止用具、特開２００２−１７０６９６号公報のグローブ型の帯電防止用具は、伸縮性の導電性繊維のリストバンド又はグローブと、リストバンド又はグローブに備えられた導電性スナップとからなる。また、実用新案登録第３０７８４９３号公報、特開２００１−２１０４９３号公報、特開２００２−１７０６９６号公報には、端子を２つ有する帯電防止用具が記載されている。
上記いずれの公報でも、導電性スナップを接地配線に接続することで、作業員に帯電した静電気が除去される。【０００６】
【特許文献１】実公平６−４６０８０号公報
【特許文献２】実用新案登録第３０７８４９３号公報
【特許文献３】特開２００１−２１０４９３号公報
【特許文献４】特開２００２−１７０６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
リストバンド型の帯電防止用具は、導電性繊維を編みこんだバンド型とメタルバンド型がある。これらは、作業中に常に例えば手首に巻いて固定する必要がある。長時間の固定により、作業者の手首に、蒸れによるかぶれ、金属アレルギーによるかぶれ、圧迫による不快、締め付け痕等が発生するという課題があった。このような課題は、締め付けを緩くすることで緩和できるが、そうすると手首と帯電防止用具との密着性が低下し、帯電防止性が不十分となる。その結果、静電気によりデバイス及び機器が破壊され、歩留りが低下するという課題がある。また、リストバンド型の帯電防止用具は、作業中にバンドが緩み、その都度巻き直しによる作業の分断、分断による歩留りの低下という課題が発生していた。【０００８】
更に、リストバンド型の帯電防止用具は、冬場のような皮膚が乾燥している場合に、帯電防止が十分でないという課題がある。この課題は、ハンドクリームを手首に塗布することで乾燥を防ぐこと、より締め付けを強くすることにより、解決することが考えられる。しかし、前者の方法はクリームの成分が製品に移行するという問題があり、また作業者に不評であり、後者の方法はかぶれの発生又は圧迫痕が残るという課題がある。【０００９】
また、上記課題は、特開２００１−２１０４９３号公報のグローブ型の帯電防止用具でも発生する。
更に、伸縮性の導電性繊維を使用したリストバンド又はグローブ型の帯電防止用具は、上記課題の発生が比較的少ないものの、かぶれの発生又は圧迫痕が残るという課題を十分に解決できていない。
また更に、特に静電気に対して敏感な半導体デバイス、ハードディスクドライブ、磁気ヘッド等の装置を扱う場合、帯電圧が非常に低い状態に維持できていることを常時観察して装置の破壊を防ぐことが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
かくして本発明によれば、支持部材と、
前記支持部材の少なくとも一方面側に形成された導電層と、
下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記導電層の一方面に接するよう前記支持部材を貫通させた端子部と、
前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
前記被覆層及び前記導電層上に積層された導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具が提供される。【００１１】
更に、本発明によれば、支持部材と、
前記支持部材の少なくとも一方面側に形成され、かつ互いに離間した２つの導電層と、
下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記２つの導電層の一方面のそれぞれに接するよう前記支持部材を貫通させた２つの端子部と、
前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
前記被覆層及び前記２つの導電層上に積層され、かつ互いに離間した２つの導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の帯電防止用具は、皮膚に直接貼付し、導電性粘着剤の持つ粘着力でしっかり密着するので、人による皮膚状態の差、体調による皮膚状態の差等に左右されないで、皮膚との継続的な密着を確保できる。また、本発明の帯電防止用具は、圧迫感が少なく、かつ作業者の皮膚に与える影響を小さくできるため、作業者に与える不快感が少ない。本発明の帯電防止用具は、導電性粘着剤層を備えているため、金属アレルギーの発生もなく、また皮膚との密着性が良好であるため、皮膚との電気的接触を安定して保持できる。
従って、本発明の帯電防止用具を使用すれば、締め付けによる閉塞感のない開放的な作業環境を作業者に提供できると共に、作業中の帯電防止性を維持できる。その結果、歩留まり及び作業性の向上、爆発の発生を防止することができる。【００１３】
更に、帯電防止用具が導電層、端子部及び導電性粘着材層をそれぞれ２つずつ有する２端子型の用具である場合、一般的にデュアル式と呼ばれる２つの導体間の抵抗又は電圧を検知するモニタリングシステムに使用できる。即ち、回路のループ抵抗又は電圧を連続モニターすることで、アースラインの断線又はアースラインとの接合不良による回路遮断又は基準値以上の帯電を検知できるため作業中の帯電防止性をより確実に維持できる。【００１４】
また、導電性粘着剤層が、導電性高分子含水ゲルからなることで、この含水ゲルが水分量を平衡状態になるように自己制御するため、皮膚の蒸れを適切に解消できる。更に、皮膚が乾燥していても、含水ゲルは一定の水分量を維持するので、皮膚の乾燥による帯電防止性能の低下を抑制できる。このように含水ゲルを使用することで、皮膚表面を閉塞感から開放でき、その結果、帯電防止用具を比較的長時間使用しても皮膚の蒸れ及びかぶれを起こしにくいという利点がある。加えて、作業環境の影響を受けず、安定して帯電防止効果が得られるという利点がある。【００１５】
更に、帯電防止用具を構成する導電性高分子含水ゲルが、所定量未満のイオウ、ケイ素、スズ及びハロゲン元素のイオン濃度であれば、クリーンルーム内で異常が起こった際でも腐食性ガスを発生する等のデバイス及び機器、作業者に影響を与えることなく、作業者の帯電を防止できる。また、本発明の帯電防止用具は、発塵が少なくクリーンルーム内で好適に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１の帯電防止用具の概略図である。
【図２】図１の端子部の概略拡大図である。
【図３】実施例２の２端子型の帯電防止用具の概略図である。
【符号の説明】
【００１７】
１：支持部材、１ａ：軟質ポリエチレン層、１ｂ：ポリエステルフィルム、２：導電層、３：端子部、３ａ：導電性スナップ、３ｂ：導電部、４：被覆層、５：導電性粘着剤層、６：中間基材、７：非粘着剤層、８：保護フィルム、３ａ１：導電性スナップの凸部、３ａ２：導電性スナップの凹部、３ａ３：導電性スナップの鍔部、３ｂ１：導電部の凸部、３ｂ２：導電部の鍔部、ａ：導電層が形成されていない部分、ｂ：導電性粘着剤層が形成されていない部分
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の帯電防止用具は、支持部材と、前記支持部材の少なくとも一方面側に形成された導電層と、下端に鍔部を有し、鍔部が導電層の一方面に接するよう支持部材を貫通させた端子部と、鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、被覆層及び前記導電層上に積層された導電性粘着剤層とを備えている。
本発明の帯電防止用具は、端子部を接地配線と接続することにより、作業者に帯電した静電気を、導電性粘着剤層及び導電層を介して、効率的に除去できる。
更に、帯電防止用具が、導電層、端子部及び導電性粘着材層をそれぞれ２つずつ有する２端子型の用具である場合には、帯電をモニタリングするシステムに接続することで、帯電異常を検知できる、これにより、より確実に静電気を除去できる。【００１９】
（支持部材）
支持部材は、適度な強度を有する材料からなりさえすれば、特に限定されず、導電性であっても、非導電性であってもよい。また、支持部材は、皮膚表面に対する追随性（柔軟性）に優れている材料からなることが好ましい。更に、繰り返し使用に耐える強度を有する材料からなることが好ましい。また更に、顧客のロゴ、作業者名等を入れるため印刷しやすい材料からなることが好ましい。加えて、クリーンルーム内での作業に使用する場合、作業者の衣服、接地配線等との繰り返し接触により、塵埃、デバイス及び機器への汚染物（コンタミ）が発生しない材料からなることが好ましい。【００２０】
そのような材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ)のようなポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン（ＰＥ)、ポリプロピレン（ＰＰ）、ナイロンのようなポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体等の各種樹脂、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、シリコーンゴム、スチレン−ブタジエンゴム等の各種ゴムが挙げられる。更に、支持部材は、単層からなっていても、積層体からなっていてもよい。更に、支持部材は、発泡体又は非発泡体からなっていてもよく、発泡体と非発泡体との積層体からなっていてもよい。クリーンルーム内での作業を考慮すると、非発泡体からなることが好ましい。【００２１】
支持部材は、強度の観点からＰＥＴからなる層を含むことが好ましい。更に、支持部材は、強度と柔軟性の観点からＰＥＴからなる層とＰＥ又はナイロンからなる層の積層体であることがより好ましい。ＰＥ及びナイロンが、ＰＥＴより柔軟性が高い場合、ＰＥＴからなる層に容易に粘着ラミネートできるので、積層体の製造が容易であるという利点がある。【００２２】
支持部材の厚さは、強度と柔軟性が所望の範囲で確保されていれば特に限定されない。例えば、４〜６００μｍの範囲で設定可能であり、１０〜６００μｍ、５０〜６００μｍ、５０〜５００μｍの範囲とすることも可能である。また、柔軟性を挙げるためには、上記範囲の中で、例えば３０〜１５０μｍのように、厚さを小さくしてもよい。【００２３】
例えば、支持部材がＰＥＴからなる層とＰＥからなる層の積層体である場合、ＰＥＴからなる層の厚さを１とすると、ＰＥからなる層の厚さは２〜４であることが、強度と柔軟性を兼ね備える観点から好ましい。積層体の厚さは、４〜６００μｍの範囲で設定可能である。【００２４】
更に、支持部材には帯電防止処理が施されていることが好ましい。帯電防止処理が施されていることで、支持部材に塵埃が吸着することを防止できるので、クリーンルーム内での使用に好適な帯電防止用具が得られる。帯電防止処理は、特に限定されず効果の持続する公知の処理を適用できる。【００２５】
（導電層）
支持部材は、一方面及び他方面を有する。支持部材の少なくとも一方面には導電層が設けられる。用途によっては、一方面及び他方面の両面に導電層を設けてもよい。
支持部材の少なくとも一方面に設けられる導電層は、導電性粘着剤層を介して、作業者に帯電した電荷（静電気）を除去しうる限り、その材料及び構成は特に限定されない。ここで、導電とは、デジタルマルチメータ（アドバンテスト社製Ｒ６４４１Ａ）による測定で２×１０-5Ｓｃｍ-1以上の導電率を有することを意味する。【００２６】
導電層としては、銀、ニッケル、モリブデン等の金属粒子、これら金属（例えば、塩化銀）の化合物粒子、カーボンブラック、グラファイト等のカーボンの粒子と結着樹脂とからなる層、上記金属又は金属化合物で被覆した樹脂フィルム、銀、ニッケル、アルミニウム、ステンレス等の金属箔、ステンレス繊維のような金属をラミネートした繊維（以下、金属繊維）から得られる不織布又は織布等が挙げられる。【００２７】
粒子と結着樹脂とからなる導電層は、粒子と結着樹脂とを含む導電性ペースト（例えば、カーボンインク）を支持部材上に塗布・乾燥することで形成できる。塗布法としては、バーコーター印刷法、スクリーン印刷法、フレキソグラフィー印刷法、グラビア印刷法等の印刷法、吹き付け法、ディッピング法等を好適に使用できる。印刷法の場合、所望のパターンを容易に形成できる。また、乾燥後の導電層は、２〜３５μｍの範囲の厚さを有することが好ましく、５〜１５μｍの範囲の厚さを有することがより好ましい。この範囲であることで、導電性と皮膚への追随性がより確保された導電層が得られる。
導電層に金属箔を使用した場合、その厚さは３〜３５μｍとすることが可能である。【００２８】
金属繊維から得られる織布は、それ自体に変形性及び柔軟性を容易に持たせることができ、その結果、作業者に違和感を与えることなく表面が曲面である皮膚に帯電防止用具を接触させることができる。【００２９】
（端子部）
端子部は下端に鍔部を有している。この鍔部は、支持部材に端子部を固定する役割と接地配線を接続する役割とを有している。前者の役割を果たすため、鍔部は導電層側に位置するよう支持部材を貫通している。
端子部は、凸部、凸部に対応する凹部及び凸部下端に鍔部を有する導電性スナップと、導電性スナップの凹部に嵌合し、カシメることにより導電性スナップを係止しうる凸部及び凸部下端に鍔部を有する導電部とを有することが好ましい。この構成を有していれば、支持部材に端子部をより強固に固定可能である。【００３０】
導電性スナップ及び導電部は、導電性を有する限りどのような材料からなっていてもよい。但し、強度、耐腐食性等の所望される特性を満たすという観点から、難腐食性の金属を使用することが好ましい。具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ等オーステナイト系、ＳＵＳ４１０等のマルテンサイト系、ＳＵＳ４３０等フェライト系等のステンレスを使用することができる。これらは塵埃を発生しにくく、繰り返しスナップの脱着を行うための強度も優れている。これらステンレスの内、ＳＵＳ３１６Ｌが繰り返し使用時に耐久性を維持できる点で最も優れており、好ましい。【００３１】
導電性スナップの凸部は、接地配線との接続を容易にするために、１．５〜４．０ｍｍの高さを有することが好ましい。また、凹部は凸部に対応した形状で、以下で説明する導電部の凸部を嵌入することにより係止することができれば、その形状は特に限定されない。【００３２】
更に、鍔部は少なくとも導電性スナップを固定することができる程度の厚さ及び幅を有することが好ましい。また、上記のような金属を使用した場合、鍔部の厚みを０．１〜０．４ｍｍ程度に薄くすることが可能である。厚みを０．１ｍｍ以上とすることで、鍔部の強度を確保し、正確な形状に成形するのが容易となる。また、カシメ時の衝撃に耐えられず変形したり、破壊されるおそれを抑制することもできる。また、鍔部の厚みを０．４ｍｍ以下とすることで、成形を容易とし、鍔部に対応する段差が導電性粘着剤層の表面に生じることを防ぐことができる。従って、接触不良及び使用者に与える違和感を抑制することができる。
更に、この鍔部の幅は、導電性スナップの底面の幅が５〜１５ｍｍとなるように調節されていることが好ましい。【００３３】
次に、導電部の凸部は、それを導電性スナップの凹部に嵌入することにより、両者を係止することができさえすれば、その高さ及び形状は特に限定されない。また、導電部の鍔部の厚みは、上記導電性スナップの鍔部と同様の理由で、０．１〜０．４ｍｍの厚さを有することが好ましい。また、鍔部の幅は、導電部を固定することができさえすれば、特に限定されない。固定をより強固にする観点から、導電部の鍔部の幅は、導電性スナップの鍔部の幅と同程度か、より広いことが好ましい。【００３４】
上記導電性スナップと導電部は、次のように配置することが好ましい。まず、導電性スナップの鍔部が、凸部の下端を支持部材の表面側に位置させるように配置され、導電部の鍔部が、導電層上に位置するように配置される。更に、その凹部に導電部の凸部が支持部材を貫通して導電性スナップの凹部に嵌入することにより、導電性スナップが係止されている。その結果、導電性スナップの鍔部が支持部材に陥入して支持部材に圧着されることとなる。【００３５】
このように圧着されることで、支持部材をパッキンのようにして導電性スナップと導電部とを固定できるので、導電性スナップの鍔部から支持部材に水分等が浸透することを防ぐことができる。また、導電性スナップへの導電部の陥入時の位置あわせがずれることで、導電性スナップ又は導電部の鍔部に浮き上がりが生じても、導電性スナップが支持部材に陥入されているため、鍔部と支持部材との接触を維持することができる。よって、浮き上がりによる支持部材への水分の侵入を防ぐことができる。
なお、端子部は１つの導電層について１つに限定されず、帯電をより防止することを目的として、任意の位置に２つ以上備えていてもよい。【００３６】
（被覆層）
鍔部の下面全面を被覆層で被覆することにより、端子部をより強固に固定したり、端子部の腐食をより効果的に防止することができる。この被覆層の固定方法には、例えば、被覆層の片面に粘着層を設け、粘着層を端子部の鍔部と導電層に接触させる方法が挙げられる。【００３７】
被覆層は、吸水性及び含水性が小さい材料からなる層が好ましい。そのような層として、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ＰＥＴ樹脂のようなポリエステル、ナイロン、ポリウレタン、セロハン等の合成樹脂フィルムからなる層が挙げられる。被覆層の導電性粘着剤層側の面は、極性を付与することで親水化処理されていてもよく、粗面化処理されていてもよく、非透水処理されていてもよい。親水化処理又は粗面化処理されていれば、被覆層と導電性粘着剤層との接着性を向上できる。【００３８】
更に、被覆層は、非透水性樹脂を含む溶液を鍔部上に塗布することで形成してもよい。この塗布法で形成された被覆層には、柔軟性が高いという特徴を付与できる。
また、端子部と接地配線との接続時に被覆層にかかる応力に耐えうる程度の機械的強度を有す材料を使用することが好ましい。そのような材料として、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ＰＥＴ樹脂のようなポリエステル等が挙げられる。【００３９】
被覆層は、少なくとも鍔部を被覆する形状を有していればよい。また、被覆層による端子部と導電性粘着剤層との非導通部分を少なくするために、鍔部の下面形状と対応した形状を有していることが好ましい。例えば、鍔部下面が円形である場合、被覆層は円形を有していることが好ましい。更に、被覆層は、鍔部の面積より１５０〜６００％大きい面積を有していることが好ましく、２００〜５００％大きい面積を有していることがより好ましい。【００４０】
更に、被覆層は、それを端子部の下端に固定するための粘着剤層を有してもよい。粘着剤層としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の公知の粘着剤からなる層が挙げられる。【００４１】
（導電性粘着剤層）
被覆層及び導電層上には、導電性粘着剤層が積層されている。導電性粘着剤層は、導電性を有すると共に、皮膚の表面に対して良好に密着できさえすれば、粘着テープ、粘着シール、粘着ゲル等からなる層を採用できる。また、導電性粘着剤層としては、導電性を有し、皮膚に対して刺激性が少なく、かつ十分な粘着力を有する材料からなる層であれば、特に限定されない。例えば、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリアクリル酸エステル、ポリアクリルアミド等のポリアクリル酸誘導体、ポリビニルピロリドン、ポリ−Ｎ−ビニルアセトアミド等のポリ−Ｎ−ビニルアセトアミド誘導体、ポリウレタン等の重合架橋体に、水、電解質等を含有させた導電性粘着ゲル等が好適に使用できる。具体的には、以下のような粘着ゲル（粘着性を有する導電性高分子含水ゲル）を使用することが好ましい。即ち、架橋された合成高分子１８〜３０重量％、水１２〜３０重量％、多価アルコール２５〜６５重量％及び電解質０〜１３重量％を含む導電性高分子含水ゲルを使用することができる。ゲル中に１２〜３０重量％含まれる水がゲルの飽和吸水量の３〜５０％に相当する。この導電性高分子含水ゲルは、ゲルを２０℃の水に１０分間浸漬したときの粘着力低下が浸漬前の粘着力の５０％以下となる性質を有している。【００４２】
架橋された合成高分子を構成する重合性単量体としては、
式：ＣＨ2＝ＣＲ1−ＣＯＮＲ2Ｒ3
［式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基、Ｒ2及びＲ3は水素原子又は低級アルキル基をそれぞれ意味する］
で表されるアクリルアミドもしくはメタクリルアミド系化合物、及び
式：ＣＨ2＝ＣＲ1−ＣＯＯＲ2
［式中、Ｒ1及びＲ2はそれぞれ前記と同じ意味を有する］
で表されるアクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステル系化合物、ならびにビニルピロリドンが挙げられる。【００４３】
ここで、Ｒ2及びＲ3の低級アルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ペンチル、ヘキシル等の炭素数１〜６の、直鎖状又は分枝鎖状の低級アルキル基が挙げられる。
そのほかに、（メタ）アクリル酸、ビニルカルボン酸、アリルアミン、ビニル安息香酸、ビニルピリジン、ｔｅｒｔ−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メタクリロイルエチル、トリメチルアンモニウムクロライド又はジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、ヘキサメチレンジイソシアネートのような多官能イソシアン酸エステル、エチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシド、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリオールなどのイオン性の重合性単量体も使用できる。【００４４】
イオン性の重合性単量体を使用する場合には、凝集体の生成を防ぐために非イオン性の単量体を併用するのが好ましい。非イオン性の単量体としては、エチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、プロピレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、グリセリン（メタ）アクリレート、ポリグリセリン（メタ）アクリレート等のアクリル酸エステル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミド等のＮ置換（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルホルムアミド、Ｎ−ビニルアセトアミド等のＮ−ビニルアミド誘導体等が挙げられる。これら単量体は、１種又は複数種組み合わせて使用できる。【００４５】
重合性単量体とともに用いられる架橋性単量体としては、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−エチレンビスアクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−エチレンビスメタクリルアミド、１，２−ジアクリルアミドエチレングリコール、ジ（トリ又はポリ）アクリレート、ジ（トリ又はポリ）メタクリレート等が挙げられる。【００４６】
上記架橋された合成高分子を得るのに適した架橋性単量体の使用割合は、重合性単量体及び架橋性単量体の種類にもよるが、通常、重合性単量体に対して０．１〜３．５重量％であり、より好ましくは０．１５〜２．０重量％である。【００４７】
導電性高分子含水ゲル中に含まれる架橋された合成高分子の組成割合は、１８〜３０重量％が好ましく、より好ましいのは１８〜２５重量％である。
架橋された合成高分子の割合が１８重量％より少ないと、そのような合成高分子を用いてゲルを作製した場合、ゲル中に占める高分子主鎖の割合が低くなり、腰強度の充分なゲルが得られないことがある。そのため、ゲル体の網目構造中に封入された水分を安定な状態に維持し難いことがある。一方、架橋された合成高分子の割合が３０重量％より多いと、ゲル強度が高くて腰強度の大きなゲルが得られる。しかし、ゲル体の網目構造が密になりすぎることがあり、網目中に封入できる水分の絶対量が少なくなることがある。【００４８】
導電性高分子含水ゲル中に含まれる水分は、ゲル全体に対して１２〜３０重量％であり、より好ましくは１６〜３０重量％である。ゲルの水分含量が１２重量％より少ないと、良好な導電性のゲルが得られないことがある。ゲルの水分含量が３０重量％より多いと、水が網目中で安定に存在し難くなって乾燥しやすくなる。【００４９】
この導電性高分子含水ゲルでは、ゲルの総重量に対して１２〜３０重量％の水分が含まれるとき、その水分の量がゲルの飽和吸水量の３〜５０％に相当するのがよい。
ゲルに含まれる１２〜３０重量％の水分が飽和吸水量の３％未満となるようなゲルでは、ゲルが水に接触したときに速やかに吸水して膨潤するとともに高分子網目構造が緩み、多価アルコール等の内包成分が溶出することがある。この場合、ゲルの組成が変化し、ゲルの強度及び粘着力が低下することがあり、再使用回数が減ることがある。
また、ゲルに含まれる１２〜３０重量％の水分が飽和吸水量の５０％を超えるようなゲルでは、ゲル自体の強度は高いが、粘着性に劣ることがあり、この場合、脆さが増して、引っ張り又は圧縮による破断又は破壊が起こることがある。【００５０】
ゲル中に含まれる多価アルコールとしては、ソルビトール、グリコール、グリセリン等が挙げられる。これらの多価アルコールは、ゲル中に２５〜６５重量％含まれるのが好ましく、より好ましいのは３５〜６０重量％である。
ゲルに含まれる多価アルコールの含量が２５重量％より少ないと、充分な粘着力が得られないことがある。一方、多価アルコールの含量が６５重量％を超えると、多価アルコールがゲルの表面にブリードして、粘着力の低下を招くことがある。【００５１】
ゲル中には電解質が含まれていてもよい。電解質としては、リチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属、マグネシウム、カルシウム等のアルカリ土類金属のハロゲン化物、炭酸、硫酸、リン酸等の鉱酸塩、有機酸塩、アンモニウム塩、及びイミダゾリウム系、ピリジニウム系、脂環式アミン系、脂肪族アミン系、脂肪族ホスホニウム系等のイオン性液体等が挙げられる。クリーンルーム内では、イオウ、ケイ素、スズ、ハロゲン元素のイオンがデバイス及び機器の製造歩留りに悪影響を与えるため、導電性高分子含水ゲル中のイオウ、ケイ素及びスズの元素、ハロゲン化物のイオン濃度の合計が、１０００ｐｐｍ未満で実質的に含まないことが好ましい。この濃度を実現するため、電解質を使用しないか、使用する場合は電解質をアンモニウム塩、有機酸塩、イオン性液体等のイオウ、ケイ素、スズ、ハロゲン化物を含まないものから選択することが好ましい。電解質は、ゲル中に０〜１３重量％含まれるのが好ましく、より好ましいのは０〜６重量％である。
電解質の含量が１３重量％より多いと、水の含量との関係で電離限界を超えて過飽和状態となり無駄となることがある。【００５２】
上記導電性高分子含水ゲルの製造方法の一例として、まず重合性単量体と、架橋性単量体と、多価アルコールと、電解質とをそれぞれ計量し、これらの混合物に所定量の水を加えて攪拌し、均一なモノマー配合液とする。これに重合開始剤を適宜加え、常法により重合反応させることで、導電性高分子含水ゲルを得ることができる。
なお、導電性高分子含水ゲルには、所望により、防腐剤、殺菌剤、安定化剤、香料、界面活性剤、着色剤等を適宜添加してもよい。【００５３】
導電性粘着剤層は、５×１０2〜１×１０6Ωｃｍの範囲の比抵抗を有することが好ましく、１×１０4〜１×１０6Ωｃｍの範囲の比抵抗を有することがより好ましい。この範囲の比抵抗であれば、帯電した静電気をより効率的に除去することができ、ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission）規格を満たす帯電防止用具を提供できる。【００５４】
更に、導電性粘着剤層は、垂直引き剥がし試験による対ＳＵＳ板を用いた試験により、５〜５０Ｎの範囲の粘着力を有することが好ましく、１０〜３５Ｎの範囲の粘着力を有することがより好ましい。また、導電性粘着剤層は、３〜３００ｃｍ2の面積を有することが好ましい。上記範囲の粘着力及び面積を有することで、帯電防止用具の皮膚に対する粘着力を、端子部の接地配線の保持力より大きくすることができる。その結果、帯電防止用具の帯電防止性を維持できる。また、上記範囲の面積を有することで、導電性粘着剤層の千切れ及び破れを防止でき（耐久性を向上でき）、帯電防止用具を繰り返し使用できる。また、作業者の汗による粘着性の低下を考慮しても、十分な粘着性を確保できる。なお、手首に貼り付けることを考慮すると、面積の上限は３００ｃｍ2であることが好ましい。【００５５】
また、導電性粘着剤層は、ＰＥＴ樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、ポリウレタン、セロハン等からなる不織布又は織布を中間基材として含んでいてもよい。導電性高分子含水ゲルは、千切れやすいので加工性が高くなく、繰り返し貼り付け可能な強度が不足していることがある。このような場合、中間基材を使用することで、加工性を向上でき、繰り返し貼り付けが可能な強度を導電性粘着剤層に付与できる。【００５６】
（帯電防止用具の平面形状）
帯電防止用具の平面形状は、特に限定されず、貼り付け部位の形状に応じた形状を採用できる。例えば、丸、楕円、多角形（三角、四角等）、瓢箪型、とっくり型、不定形等の形状が挙げられる。平面形状において、角が存在する場合、角は丸められていることが好ましい。これら平面形状の内、衣類等と接触した際により剥がれにくい、楕円、瓢箪型、とっくり型が好ましい。更に、手首又は足首等の湾曲した面に貼付するため、平面視で、帯電防止用具の数箇所に左右対称のくびれを有することが好ましい。【００５７】
（その他）
帯電防止用具は、使用前の導電性粘着剤層を保護するための保護フィルムを備えていてもよい。保護フィルムは、特に限定されず、粘着剤用の公知の保護フィルムを使用できる。
更に、帯電防止用具を皮膚に貼り付ける際又は剥離する際に、指が導電性粘着剤層に触れることで、指に粘着剤が付着することがある。付着した粘着剤は、デバイス又は機器に付着し、その結果歩留りを低下させることがある。このような粘着剤の付着を抑制するために、導電層上の一部に、非粘着剤層を設けることが好ましい。非粘着剤層は、粘着性がないこと以外はどのような材料からなる層でも使用できる。非粘着剤層は、絶縁性を有していても、導電性を有していてもよい。非粘着剤層は、帯電防止用具の長手方向の片側又は両側に位置することが好ましい。非粘着剤層を設けることで、粘着剤が指に付着することを防止できる。また、使用後の用具を保管用台紙に貼付するときに両手で位置合わせでき、貼りやすいという利点もある。【００５８】
（２端子型の帯電防止用具）
２端子型の帯電防止用具は、導電層、端子部及び導電性粘着材層の組をそれぞれ２つずつ有すること以外は、上記した帯電防止用具の構成をいずれも使用できる。【００５９】
一組の導電性粘着剤層及び導電層は、他組の導電性粘着剤層及び導電層と互いに離間している。この離間は、両組が電気的に絶縁性を保つことができさえすれば、その構成は特に限定されない。両組の離間は、空間を介して行なわれていてもよく、絶縁部材を介して行なわれていてもよい。前者は帯電防止用具を安価に提供できるという利点があり、後者は両組の絶縁性を前者より確保できるという利点がある。空間を介して離間する場合、繰り返し使用により導電性粘着剤層が変形しても絶縁性を保つことができる程度に両組が離れていることが好ましい。具体的には、導電性粘着剤層の厚さの２倍以上両組が離れていることが好ましい。また、両組が離れる距離の上限は、用具の帯電防止性が阻害されない程度であり、例えば、導電性粘着剤層の厚さの３００倍以下である。両組を離間する空間又は絶縁部材の形状は、直線状であってもよく、曲線状であってもよく、直線及び／又は曲線の組み合わせであってもよい。【００６０】
両組を構成する端子部の位置は、両組の絶縁性を保つことができさえすれば、特に限定されない。導電性スナップとの接続を考慮すると、できるだけ近接した場所に端子部が位置することが好ましい。例えば、平面視で、用具の長さ方向又は幅方向に並んで端子部を位置させてもよい。【００６１】
（モニター法）
本発明の帯電防止用具を使用した帯電状態のモニター法は、特に限定されず、公知の方法いずれも使用できる。例えば、帯電量検知センサー、増幅器、演算部、接地部、アラーム等の素子による回路を有するモニターによる方法が挙げられる。例えば、帯電量を帯電量検知センサーで検出し、検出信号を増幅器で増幅した後演算部に送り、演算部において帯電異常を検出した場合はアラームから警告を発することができる。また、帯電は、接地部を介して外部に逃がすことができる。
【実施例】
【００６２】
実施例１
図１（ａ）〜（ｃ）及び図２に実施例１の帯電防止用具の概略図を示す。図１（ａ）は実施例１の帯電防止用具の概略平面図であり、図１（ｂ）は実施例１の帯電防止用具の概略背面図であり、図１（ｃ）は実施例１の帯電防止用具のＩ−Ｉ線の概略断面図であり、図２は図１（ｃ）の端子部の概略拡大図である。また、図１（ａ）〜（ｃ）及び図２中、参照番号１は支持部材、１ａは軟質ポリエチレン層、１ｂはポリエステルフィルム、２は導電層、３は端子部、３ａは導電性スナップ、３ｂは導電部、４は被覆層、５は導電性粘着剤層、６は中間基材、７は非粘着剤層、８は保護フィルム、３ａ１は導電性スナップの凸部、３ａ２は導電性スナップの凹部、３ａ３は導電性スナップの鍔部、３ｂ１は導電部の凸部、３ｂ２は導電部の鍔部を意味する。【００６３】
図１（ａ）及び１（ｂ）に示されているように帯電防止用具は、角部が丸みを帯びた形状であり、長手方向につまみ部となる凸部が形成された瓢箪型の平面形状を有している。また、図１（ｃ）に示されているように、つまみ部には非粘着剤層が積層されている。【００６４】
図示した帯電防止用具は以下のように形成した。
まず、５０μｍの厚さのポリエステルフィルム１ｂ上に、１００μｍの厚さの軟質ポリエチレン層１ａを粘着ラミネートすることで、支持部材１を得た。得られた支持部材１は、所望の表面の平滑性、強度及び柔軟性を備えていた。また、支持部材１は塵埃が発生し難い構成であった。
次に、ポリエステルフィルム１ｂ上にカーボンインクをスクリーン印刷法により塗布し、乾燥させることで厚さ１０μｍの導電層２を得た。【００６５】
更に、ＳＵＳ３１６Ｌからなる凸部３ａ１、凹部３ａ２及び鍔部３ａ３を有する導電性スナップ３ａを、鍔部３ａ３が下になるように支持部材の表面に設置した。次いで、導電層２側から、ＳＵＳ３１６Ｌからなる凸部３ｂ１及び鍔部３ｂ２を有する導電部３ｂを、その凸部３ｂ１を支持部材を貫通させ、かつ導電性スナップ３ａの鍔部３ａ３側からその凹部３ａ２に嵌入させる（カシメる）ことにより、両者を係止した（図２参照）。なお、導電性スナップ３ａは、３ｍｍの高さ、下面が直径１０ｍｍの円形の鍔部を有し、０．３ｍｍの厚さを有している。導電部３ｂは、４．２ｍｍの高さ、下面が直径１０ｍｍの円形で、かつ０．３ｍｍの厚さの鍔部を有している。【００６６】
次いで、導電部３ｂの鍔部３ｂ２下面に、被覆層４として直径１５ｍｍのポリエステル樹脂製絶縁テープを貼り付けた。
更に、導電層２上の一方の端部に、厚さ１００μｍのポリエステル樹脂製絶縁テープを貼り付けることでつまみ部となる非粘着剤層７を形成した（図１（ｂ）及び１（ｃ））。
この後、２０重量％のアクリル系樹脂架橋体、１８重量％のイオン交換水、６１．８５重量％のグリセリン、０．１５重量％の防腐剤からなり、ナイロン製織布を中間基材６として含む導電性高分子含水ゲル製の導電性粘着剤層（積水化成品工業社製テクノゲル；比抵抗１×１０5Ωｃｍ）５を非粘着剤層７が露出するように導電層２側に貼付した。【００６７】
なお、上記導電性高分子含水ゲル中のイオウ、ケイ素及びスズの元素と、ハロゲン化物（塩化物、臭化物）のイオンとの濃度は、合計で、４１．２ｐｐｍであった。この濃度測定は、蛍光Ｘ線分析法及びイオンクロマトグラフ法により行なった。具体的には、測定対象毎に、以下の方法で測定している。【００６８】
＜イオウ、ケイ素、スズ＞
試料となる帯電防止用具の各部材に、蛍光Ｘ線分析装置（リガク社製ＲＩＸ−２１００）を用いて、分析径１０ｍｍφで、オーダー分析を行なうことで、上記元素の定量を行なう。また、水分を多量に含む導電性粘着剤層を帯電防止用具が備えている場合、導電性粘着材層をポリプロピレンフィルムで保護した後、オーダー分析を行なう。
＜ハロゲン化物＞
試料を燃焼管式空気法で燃焼させ、発生したガスを３％過酸化水素水に吸収させる。吸収液中のハロゲン化物イオンをイオンクロマトグラフ法により測定する。【００６９】
次に、導電性粘着剤層５上に保護フィルム８を貼り付け、更に、図１（ａ）及び１（ｂ）に示す形状に裁断することにより、実施例１の帯電防止用具を得た。得られた帯電防止用具の導電性粘着剤層の面積は、３０ｃｍ2であった（全面積の９５％）。【００７０】
（評価）
（１）得られた帯電防止用具のステンレス板からの引張強度は３５．５Ｎであった（皮膚からの引張強度は、測定バラツキが大きくなるが、参考値として１３〜２８Ｎであった）。また、導電性スナップから接地配線が外れるまでの引張強度は６Ｎであった。この結果から、この帯電防止用具は、皮膚から引き剥がされる前に、接地配線が外れることがわかる。【００７１】
なお、引張強度は、ＳＵＳ３０４ステンレス板に実施例の図１（ａ）に示す帯電防止用具のゲル面を貼付し、約１０秒後に帯電防止用具のスナップ部を専用治具で挟み込み、テンシロン（オリエンテック社製ＲＴＥ−２１０型）にて３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で垂直方向に引っ張った時の最大強度である。【００７２】
（２）帯電防止用具を含む人体の抵抗値は初期値が１．５ＭΩであり、着脱を２００回繰り返した後も１．５ＭΩであった。
なお、抵抗値は、次のように測定する。帯電防止用具を手首に貼り付け、１０秒後、市販のグランドコード（スリーエム社製２３１０）と端子部とを接続する。抵抗値は指でリストスラップテスター（スリーエム社製７４７）にタッチすることで測定される。着脱は、測定後、帯電防止用具を引き剥がし、５分後再び同じ位置に貼り付けることで行なう。【００７３】
（３）人体帯電圧は、着脱回数２００回までの測定で０Ｖが維持されていることを確認した。
なお、人体帯電圧は、ＪＩＳ  Ｌ  １０２３に準拠する方法で測定され、具体的には、静電気測定器（シシド静電気社製ＤＳ３）のセンサーを人体帯電測定用チャージプレートにセットすることで測定される。貼り付け時間及び着脱は上記抵抗値の測定と同じ条件である。
（４）発塵は、未使用あるいは２００回繰り返し皮膚貼付の後、０．１μｍ以上の粒子が５〜１７個／立方フィート（約２８．３リットル）であることを確認した。
なお、発塵の測定は、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２１に準拠する方法で測定する。具体的には、パーティクルカウンター（トランステック社製モデル２１００）で、１分間（１立方フィート分に相当）両手で試料の両端を持ち、交互に約５０ｍｍずつ対象に動かす（繰り返し折り曲げる）ことによって、発生した塵を機器吸引口から吸引することで測定する。【００７４】
実施例２
図３（ａ）〜（ｅ）に実施例２の２端子型の帯電防止用具の概略図を示す。図３（ａ）は実施例２の帯電防止用具の概略平面図であり、図３（ｂ）は実施例１の帯電防止用具の導電層の配置を示す図である。図３（ｂ）中、斜線部が導電層であり、中央付近にＳ字状の導電層が形成されていない部分ａが存在する。図３（ｃ）は被覆層と非粘着剤層が積層された状態を示す図である。図３（ｄ）は導電性粘着剤層が積層された状態を示す図である。図３（ｄ）中、導電性粘着剤層が形成されていない部分ｂが存在する。図３（ｅ）は実施例２の帯電防止用具のＩ−Ｉ線の概略断面図である。実施例２の帯電防止用具の端子部は、図２の拡大図で示される構造を有している。また、図３（ａ）〜（ｅ）中の参照番号で示される部材は、図１（ａ）〜（ｃ）中の参照番号で示される部材と同種である。【００７５】
図３（ａ）〜（ｄ）に示されているように帯電防止用具は、角部が適度な丸みを帯びた形状であり、長手方向の一方につまみ部となる凸部が形成されたとっくり型の平面形状を有している。また、図３（ｃ）及び（ｄ）に示されているように、つまみ部には非粘着剤層７が積層されている。【００７６】
図示した帯電防止用具は以下のように形成した。
まず、５０μｍの厚さのポリエステルフィルム１ｂ上に、１００μｍの厚さの軟質ポリエチレン層１ａを粘着ラミネートすることで、支持部材１を得た。得られた支持部材１は、所望の表面の平滑性、強度及び柔軟性を備えていた。また、支持部材１は塵埃が発生し難い構成であった。
次に、ポリエステルフィルム１ｂ上にカーボンインクをスクリーン印刷法により塗布し、乾燥させることで厚さ１０μｍの互いに離間した２つの導電層２を得た。２つの導電層の離間距離は、５ｍｍであった。【００７７】
更に、ＳＵＳ３１６Ｌからなる凸部３ａ１、凹部３ａ２及び鍔部３ａ３を有する導電性スナップ３ａを、鍔部３ａ３が下になるように支持部材の表面で、２つの導電層２のそれぞれに１つずつ設置した。次いで、導電層２側から、ＳＵＳ３１６Ｌからなる凸部３ｂ１及び鍔部３ｂ２を有する導電部３ｂを、その凸部３ｂ１を支持部材を貫通させ、かつ導電性スナップ３ａの鍔部３ａ３側からその凹部３ａ２に嵌入させる（カシメる）ことにより、両者を係止した（図２参照）。なお、導電性スナップ３ａは、３ｍｍの高さ、下面が直径１０ｍｍの円形の鍔部を有し、０．３ｍｍの厚さを有している。導電部３ｂは、４．２ｍｍの高さ、下面が直径１０ｍｍの円形で、かつ０．３ｍｍの厚さの鍔部を有している。【００７８】
次いで、導電部３ｂの鍔部３ｂ２下面に、鍔部３ｂ２及び導電層が形成されていない部分全体を覆うように、被覆層４として幅１５ｍｍのポリエステル樹脂製絶縁テープを貼り付けた。
更に、つまみ部とする導電層２上の部分に、厚さ１００μｍのポリエステル樹脂製絶縁テープを貼り付けることで非粘着剤層７を形成した（図３（ｃ）及び３（ｄ））。
この後、２０重量％のアクリル系樹脂架橋体、１８重量％のイオン交換水、６１．８５重量％のグリセリン、０．１５重量％の防腐剤からなり、ナイロン製織布を中間基材６として含む導電性高分子含水ゲル製の導電性粘着剤層（積水化成品工業社製テクノゲル；比抵抗１×１０4Ωｃｍ）５を非粘着剤層７が露出し、被覆層４の中央部で離間するように、２つの導電層２のそれぞれの上に１層ずつ貼付した。【００７９】
なお、上記導電性高分子含水ゲル中のイオウ、ケイ素及びスズの元素と、ハロゲン化物（塩化物、臭化物）のイオンとの濃度は、合計で、６．８ｐｐｍであった。この濃度測定は、実施例１と同様にして、蛍光Ｘ線分析法及びイオンクロマトグラフ法により行なった。
次に、導電性粘着剤層５上に保護フィルム８を貼り付け、更に、図３（ａ）及び３（ｂ）に示す形状に裁断することにより、実施例１の帯電防止用具を得た。得られた帯電防止用具の導電性粘着剤層の面積は、３６ｃｍ2であった（全面積の９３％）。【００８０】
（評価）
（１）得られた帯電防止用具において、一方の端子のステンレス板からの引張強度は３７．５Ｎであった（皮膚からの引張強度は、測定バラツキが大きくなるが、参考値として１３〜２８Ｎであった）。また、導電性スナップから接地配線が外れるまでの引張強度は６Ｎであった。この結果から、この帯電防止用具は、皮膚から引き剥がされる前に、接地配線が外れることがわかる。
なお、引張強度は、実施例１と同様にして測定した。【００８１】
（２）帯電防止用具を含む人体の抵抗値は初期値が１．３ＭΩであり、着脱を２００回繰り返した後も１．３ＭΩであった。
なお、抵抗値は、実施例１と同様にして測定した。
（３）人体帯電圧は、着脱回数２００回までの測定で０Ｖが維持されていることを確認した。なお、人体帯電圧は、実施例１と同様にして測定した。【００８２】
（４）発塵は、未使用あるいは２００回繰り返し皮膚貼付の後、０．１μｍ以上の粒子が５〜１８個／立方フィート（約２８．３ｍ3）であることを確認した。
なお、発塵は、実施例１と同様にして測定した。
【図１】
2009017061.tif 000003
【図２】
2009017061.tif 000004
【図３】
2009017061.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月29日(2010.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材と、
前記支持部材の少なくとも一方面側に形成された導電層と、
下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記導電層の一方面に接するよう前記支持部材を貫通させた端子部と、
前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
前記被覆層及び前記導電層上に積層された導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
【請求項２】
支持部材と、
前記支持部材の少なくとも一方面側に形成され、かつ互いに離間した２つの導電層と、
下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記２つの導電層の一方面のそれぞれに接するよう前記支持部材を貫通させた２つの端子部と、
前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
前記被覆層及び前記２つの導電層上に積層され、かつ互いに離間した２つの導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
【請求項３】
前記導電性粘着剤層が、導電性高分子含水ゲルからなる層である請求項１又は２に記載の帯電防止用具。
【請求項４】
前記導電性粘着剤層が、３〜３００ｃｍ2の表面積を有する請求項１〜３のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項５】
前記導電性粘着剤層が、イオウ、ケイ素及びスズの元素とハロゲン化物のイオンとを１０００ｐｐｍ未満の濃度で実質的に含まない導電性高分子含水ゲルからなる層である請求項１〜４のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項６】
前記帯電防止具は、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２１に準拠した測定法による０．１μｍ以上の塵埃の量が、１００個／立方フィート（約２８．３リットル）以内である請求項１〜５のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項７】
前記端子部が、凸部、凸部に対応する凹部及び凸部下端に鍔部を有する導電性スナップと、前記導電性スナップの凹部に嵌合し、かしめることにより導電性スナップを係止しうる凸部及び凸部下端に鍔部を有する導電部とからなる請求項１〜６のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項８】
前記帯電防止用具が、半導体デバイス、半導体デバイス搭載回路、情報記録機器、粉塵及び化学物質の取り扱い作業時に、作業員に静電気が帯電することを防止するための用具である請求項１〜７のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項９】
前記支持体が、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、シリコーンゴム、スチレン−ブタジエンゴムから選択される材料からなり、被着面に対する追随性を有する請求項１〜８のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項１０】
前記導電性粘着剤層が、５×１０2〜１×１０6Ωｃｍの範囲の比抵抗を有する請求項１〜９のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【請求項１１】
前記２つの導電層が、導電層の厚さの２倍以上の距離で離間している請求項１〜１０のいずれか１つに記載の帯電防止用具。
【国際調査報告】
2009017061.tif 000006
2009017061.tif 000007
2009017061.tif 000008
2009017061.tif 000009
2009017061.tif 000010
2009017061.tif 000011