(57)【要約】  本発明は、マイクロチップへの駆動液の供給状態を的確に把握することのできるマイクロチップ検査装置であって、さらに部品交換も考慮したマイクロチップ検査装置を提供することである。その解決手段として、駆動液の有無を検知する液検知手段を装置本体側に設けることにより、ポンプカートリッジの耐久期間が過ぎ交換することになっても、液検知手段を交換することがない。
2008102605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が流れる流路及び当該試料を流すための駆動液が注入される注入口を有するマイクロチップが収容可能なマイクロチップ収容部を含む装置本体と、
当該装置本体に対して着脱可能に構成され、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの注入口に向けて前記駆動液を送液する送液ポンプを含むポンプカートリッジと、
を有し、
前記装置本体は、前記送液ポンプから前記注入口に至るまでの流路に対向して設けられ、当該流路内の前記駆動液の有無を検知する液検知手段を有することを特徴とするマイクロチップ検査装置。
【請求項２】
前記液検知手段は、第１の液検知センサと所定距離離れた第２の液検知センサとを流路に沿って有し、
前記第１の液検知センサにより前記駆動液が検知された時間と前記第２の液検知センサにより前記駆動液が検知された時間との時間差に基づいて、前記送液ポンプが送液する前記駆動液の流量を制御する制御部を有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載のマイクロチップ検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記送液ポンプが送液する駆動液の流量が初期に比べて所定流量以上変化したと判断したとき、前記ポンプカートリッジを交換するよう通知することを特徴とする請求の範囲第１項又は第２項に記載のマイクロチップ検査装置。
【請求項４】
前記送液ポンプは、それぞれ独立した複数の送液ポンプから構成され、
前記液検知手段は、前記それぞれ独立した複数の送液ポンプに対応して設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項の何れか１項に記載のマイクロチップ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロチップ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロマシン技術および超微細加工技術を駆使することにより、従来の試料調製、化学分析、化学合成などを行うための装置、手段（例えばポンプ、バルブ、流路、センサなど）を微細化して１チップ上に集積化したマイクロチップを用いたシステムが注目されている。これは、μ−ＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍ）とも呼ばれ、マイクロチップ上で試薬と試料（例えば、検査を受ける被検者の尿、唾液、血液を処理して抽出したＤＮＡ処理した抽出溶液など）を合流させ、その反応を検出することにより試料の特性を調べるシステムである。【０００３】
マイクロチップを用いて試料の特性を調べる際は、検査装置にマイクロチップをセットし、検査装置に設けられた送液ポンプにより駆動液をマイクロチップの微細流路に送液する。これにより、マイクロチップ内に収容されている試薬や試料が駆動液により押し出され、試薬と試料とが反応して被検出部に導かれる。被検出部では、例えば光学的な検出方法によって目的物質の検出が行われる（例えば、特許文献１参照）。【０００４】
ここで、マイクロチップ上に加工された微細流路の流路径は、一般的に数μｍから数百μｍ程度の範囲内である。従って、このような微細な流路を流れる薬液などの液体の目視による検出は、管路径が極微小であるばかりか、扱われる液体の量が極微量であるため極めて困難である。特に、薬液が透明な液体である場合、マイクロチップ内におけるその有無を目視で確認することは殆ど不可能に近い。この問題を解決するために、特許文献２では、微細流路の内壁面の一部に光の散乱が発生するような微細な凹凸を形成した光散乱面を設け、その光散乱面の透過光又は反射光の強度により液体の有無を検出することが記載されている。
【特許文献１】特開２００６−２６６９２５号公報
【特許文献２】特開２００４−３４０７０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マイクロチップ内において所望の反応、精度良い検出を行うためには、マイクロチップへの駆動液の供給を精度良く行う必要がある。このためには、マイクロチップへの駆動液の供給状態を的確に把握することが重要となる。【０００６】
特許文献２に記載のマイクロチップ検査装置においては、マイクロチップ内の特定の部位における液体の有無の検出については記載されているが、当該検出は、マイクロチップへの駆動液の供給状態を把握するためのものではない。【０００７】
本発明の目的は、マイクロチップへの駆動液の供給状態を的確に把握することのできるマイクロチップ検査装置を提供するにあたり、部品交換も考慮したマイクロチップ検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的は、下記構成により達成できる。【０００９】
１．試料が流れる流路及び当該試料を流すための駆動液が注入される注入口を有するマイクロチップが収容可能なマイクロチップ収容部を含む装置本体と、
当該装置本体に対して着脱可能に構成され、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの注入口に向けて前記駆動液を送液する送液ポンプを含むポンプカートリッジと、
を有し、
前記装置本体は、前記送液ポンプから前記注入口に至るまでの流路に対向して設けられ、当該流路内の前記駆動液の有無を検知する液検知手段を有することを特徴とするマイクロチップ検査装置。【００１０】
２．前記液検知手段は、第１の液検知センサと所定距離離れた第２の液検知センサとを流路に沿って有し、
前記第１の液検知センサにより前記駆動液が検知された時間と前記第２の液検知センサにより前記駆動液が検知された時間との時間差に基づいて、前記送液ポンプが送液する前記駆動液の流量を制御する制御部を有することを特徴とする１に記載のマイクロチップ検査装置。【００１１】
３．前記制御部は、前記送液ポンプが送液する駆動液の流量が初期に比べて所定流量以上変化したと判断したとき、前記ポンプカートリッジを交換するよう通知することを特徴とする１又は２に記載のマイクロチップ検査装置。【００１２】
４．前記送液ポンプは、それぞれ独立した複数の送液ポンプから構成され、
前記液検知手段は、前記それぞれ独立した複数の送液ポンプに対応して設けられていることを特徴とする１乃至３の何れかに記載のマイクロチップ検査装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、駆動液の有無を検知する液検知手段を装置本体側に設けることにより、ポンプカートリッジの耐久期間が過ぎ交換することになっても、液検知手段を交換することがなく安価なマイクロチップ検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施の形態に係るマイクロチップ検査装置を示す図である。
【図２】本実施の形態のマイクロチップ検査装置の構成を上から見たブロック図である。
【図３】駆動液を検知する検知方法を示す図であり、図３（ａ）は中間流路部材の概略断面図。図３（ｂ）は、中間流路部材を上面から見た図である。
【図４】図４（ａ）は駆動液が無いときの反射軌跡を示す図。図４（ｂ）は駆動液が有るときの反射軌跡を示す図である。図４（ｃ）は、反射光を検知する電気回路図である。
【図５】制御部ＣＰが液検知センサからの信号を受けて、駆動液を所定の値で送液するように圧電素子を制御するまでのフローチャートを示す。
【符号の説明】
【００１５】
１  装置本体
２  ポンプカートリッジ
３  マイクロチップ
４  マイクロチップ挿入口
５  駆動液タンク
６  タンク装着台
７  ジョイント部
８  電磁弁
９  中間袋
１０  フィルタ部
１１  液駆動用ポンプ（マイクロポンプ）
１２  中間流路部材
１３  ベース基材
１４  中継基板
２０  液検知手段
２１  第１の液検知センサ
２２  第２の液検知センサ
２３  発光部
２４  受光部
Ｃ１、Ｃ２  接続部
Ｃ３  コネクタ部
Ｄ１  電源部
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。また、以下の、本発明の実施の形態における断定的な説明は、ベストモードを示すものであって、本発明の用語の意義や技術的範囲を限定するものではない。【００１７】
なお、本発明の実施の形態に係るマイクロチップ検査装置は、装置本体とポンプカートリッジで構成されている。装置本体は、マイクロチップを収容するマイクロチップ収容部、及びマイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの被検出部に対応して設けられた検出部を有している。さらに後述する液検知手段を本体側に設けている。また、ポンプカートリッジは、駆動液を貯蔵する駆動液タンク、マイクロポンプ、マイクロポンプとマイクロチップとの間の流路を構成する中間流路部材を有している。【００１８】
図１は本実施の形態に係るマイクロチップ検査装置を示す図である。【００１９】
図１に示すように、マイクロチップ検査装置は、破線で示した装置本体１、実線で示したポンプカートリッジ２から構成されている。【００２０】
マイクロチップ検査装置に対して、マイクロチップ３が装置本体１のマイクロチップ挿入口４から、矢印Ａの方向に着脱可能になっている。【００２１】
ポンプカートリッジ２は、装置本体１の奥側上部に装着されるように構成され、装置本体１とポンプカートリッジ２は接続部Ｃ１によって液の漏洩がないように接続されている。【００２２】
装置本体１は、装置の各部に電気を供給するための電源部Ｄ１を有しており、ポンプカートリッジ２は、ポンプカートリッジ２を装置本体１に装着した際に電源部Ｄ１と電気的に接続されるコネクタ部Ｃ３を介して電源部Ｄ１から電気が供給される。【００２３】
また、マイクロチップ３内の検体と試薬との反応状態等を検出する光発光部４１と、光受光部４２等からなる光検出部を備えている。【００２４】
マイクロチップ検査装置の制御は、装置本体１に設けられた制御部ＣＰにより実行される。
（ポンプカートリッジ）
次にポンプカートリッジ２の詳細について説明する。【００２５】
ポンプカートリッジ２には、駆動液を収容する駆動液タンク５と、駆動液タンク５を載せるタンク装着台６と、駆動液タンク５と接続して駆動液を後工程に送液するためのジョイント部７を有している。また、送液された液を制御する電磁弁８、送液された液を一旦貯蔵する伸縮可能な中間袋９、液内にある不純物を取り除くフィルタ部１０、駆動液を送液する本発明の送液ポンプとしてのマイクロポンプ１１、駆動液をマイクロチップ３に送液するための中間流路部材１２がある。さらに、マイクロポンプ１１を取り付けるベース基材１３と、コネクタＣ３から供給される電気をポンプカートリッジ２の各部に供給する中継基板１４を主な構成としている。【００２６】
本実施の形態では、駆動液タンク５をポンプカートリッジ２の上部に配置して、駆動液タンク５から送液される駆動液が、重力の作用により流れ出るようにしてある。そして、駆動液タンク５を交換するときは、蓋Ｆを開いて矢印Ｂの方向に着脱することによって行うことができる。さらに駆動液タンク５は図１に示すように下向きに傾けて載置され、駆動液タンク５の液出口が最も低い位置になるようしている。【００２７】
また、ジョイント部７は、駆動液タンク５を着脱可能とするために、本実施の形態では駆動液タンク５側にメスジョイント、タンク装着台６側にオスジョイントが設けられている。ジョイント部７は、例えば、駆動液の粘性が１〜１０ｍＰａ・ｓ（環境温度２５℃のとき）の範囲のものであれば、駆動液タンク５側の液出口部にゴムなどの弾性部材を設け、タンク装着台６側に例えば注射針のような細い針を設けることにより構成することができる。【００２８】
電磁弁８は、駆動液タンク５とマイクロポンプ１１を繋ぐ流路の途中で駆動液タンク５より低く、マイクロポンプ１１より高い位置に配置されている。また、伸縮可能な中間袋９の近傍には、その液量を検知する液量検知センサＳ１が設けられ、中間袋９の膨らみを検知しＯＮ／ＯＦＦ信号を出力する。液量検知センサＳ１からの信号は装置本体１内に有する制御部ＣＰに送られ、制御部ＣＰからの指示により電磁弁８の開閉を行うことでチューブＴ１から送液される駆動液の通過量が調整される。【００２９】
なお、駆動液タンク内の駆動液の残量を検知するために、タンク装着台６に液残量検知センサＳ２を設けている。液残量検知センサＳ２は、重さを信号情報として発信するロードセルなどが使われる。ロードセルからの信号情報は、装置本体が有する制御部ＣＰに一旦入力されその信号によって、図示しないが装置本体１の表示部に液残量を表示したり、あるいは警告ブザーを鳴らしたりして、駆動液タンク５内の駆動液の残量をユーザ（担当者）に知らせる。
（マイクロポンプ）
次に、マイクロポンプ１１について説明する。【００３０】
マイクロポンプ１１は、ポンプ室５２、ポンプ室５２の容積を変化させる圧電素子５１、ポンプ室５２の中間流路部材１２側に位置する第１絞り流路５３、ポンプ室５２のフィルタ部１０側に位置する第２絞り流路５４、等から構成され、ポンプカートリッジ２内に平置されている。第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４は絞られた狭い流路となっており、また、第１絞り流路５３は第２絞り流路５４よりも長い流路となっている。【００３１】
駆動液を順方向（中間量路部材１２に向かう方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室５２の容積を急激に減少させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、短い絞り流路である第２絞り流路５４において乱流が発生し、第２絞り流路５４における流路抵抗が長い絞り流路である第１絞り流路５３に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室５２内の駆動液は、第１絞り流路５３の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室５２の容積を緩やかに増加させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、ポンプ室５２内の容積増加に伴って駆動液が第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４から流れ込む。このとき、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて長さが短いので、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて流路抵抗が小さくなり、ポンプ室５２内には第２絞り流路５４の方から支配的に駆動液が流入する。以上の動作を圧電素子５１が繰り返すことにより、駆動液が順方向に送液されることになる。【００３２】
一方、駆動液を逆方向（フィルタ部１０に向かう方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室５２の容積を緩やかに減少させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて長さが短いので、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて流路抵抗が小さくなる。これにより、ポンプ室５２内の駆動液は、第２絞り流路５４の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室５２の容積を急激に増加させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、ポンプ室５２内の容積増加に伴って駆動液が第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４から流れ込む。このとき、短い絞り流路である第２絞り流路５４において乱流が発生し、第２絞り流路５４における流路抵抗が長い絞り流路である第１絞り流路５３に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室５２内には第１絞り流路５３の方から支配的に駆動液が流入する。以上の動作を圧電素子５１が繰り返すことにより、駆動液が逆方向に送液されることになる。【００３３】
このように、マイクロポンプ１１は、マイクロチップの溝加工を行うときと同じように、樹脂材料やガラス材料からなる基体に、フォトリソプロセスや、レーザ光を利用して溝加工し、その溝部の基体の外側下面に圧電素子５１を設けている。このような構造のマイクロポンプ１１では、圧電素子５１に与える電圧と駆動回数（周波数）を制御することにより、微量の液を極めて正確に送液することが可能となる。また、マイクロポンプ１１は、図２に示すように、１枚の基材上に複数の独立したマイクロポンプ１１１（図２では８個）が形成されている。
（液検知）
次に、本発明の液検知手段２０について図１及び図２を用いて説明する。【００３４】
図２は、本実施の形態に係るマイクロチップ検査装置の構成を上から見たブロック図であり、内容を解かり易くするために蓋などは省略してある。【００３５】
マイクロポンプ１１は、中間流路部材１２を介してマイクロチップ３に接続されている。中間流路部材１２は、マイクロチップ３の注入口１２のピッチＰ１とマイクロポンプ１１の供給口３５のピッチとを合致させるために設けられている。【００３６】
図１において、中間流路部材１２とマイクロチップ３との接続部Ｃ１、及びマイクロポンプ１１と中間流路部材１２との接続部Ｃ２は、必要なシール性を確保して駆動液の漏出を防止するために、ポリテトラフルオロエチレン、シリコン樹脂などの柔軟性（弾性、形状追随性）をもつ樹脂によって密着面が形成されることが好ましい。このような柔軟性を有する密着面は、例えばマイクロチップの構成基材自体によるものであってもよく、また、接続部Ｃ１、Ｃ２における流路開口の周囲に設けられた柔軟性を有する別途の部材によるものであってもよい。【００３７】
さらに、３１はマイクロチップ３をずれないように接続部Ｃ１に密着させるためのチップ押圧板であり、３２はチップ押圧板３１を昇降させるための押圧板駆動部である。またＧ１（図２参照）はマイクロチップ３を中間流路部材１２に対して精度良く位置決めする規制部材である。チップ押圧板３１、規制部材Ｇ１、接続部Ｃ１等で本発明のマイクロチップ収容部が構成される。【００３８】
同じく、中間流路部材１２が接続部Ｃ２でマイクロポンプ１１と密着させるために、中間流路部材１２を押し付ける押圧板３３、押圧板３３を昇降させるための押圧板駆動部３４を備えている。さらに、中間流路部材１２をマイクロポンプ１１に対して精度良く位置決めする規制部材Ｇ２（図２参照）を備えている。【００３９】
本実施の形態では、中間流路部材１２の流路内の駆動液の有無を検出する液検知手段２０を設けている。液検知手段２０は、装置本体１に設けられている。【００４０】
中間流路部材１２は、例えば、エラストマータイプのシリコン樹脂であるＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などの透明基板材料等を用いて作製される。なお、ＰＤＭＳやＰＭＭＡなどの基材は、モールド転写性や透明性、耐薬品性、生体適合性など優れた特徴を有する。従って、これらＰＤＭＳ等により形成された中間流路部材１２は、流路を形成する際に、作業が繁雑なエッチングや、切削などの機械加工などの処理プロセスが不要であり、単純かつ安価な型取りと封止だけで極めて簡単に形成することができる。【００４１】
次に駆動液を検知する検知方法について図３、図４を用いて詳述する。【００４２】
図３（ａ）は中間流路部材１２近傍の概略断面図である。透明基板１２ａの上部には、装置本体１に設けられた液検知手段２０が位置している。液検知手段２０は、駆動液が流れる方向の上流側に反射型の第１の液検知センサ２１、距離ｃ離れた下流側に反射型の第２の液検知センサ２２が配置されている。【００４３】
図３（ｂ）は、中間流路部材１２を上面から見た図であり、複数の中間流路のそれぞれに対応して液検知センサ２１，２２が配置されている。【００４４】
反射型センサである第１の液検知センサ２１及び第２の液検知センサ２２は、図４に示すように、それぞれ発光部２３及び受光部２４を有している。発光部２３は光源として可視光、赤外光、紫外光又はレーザ光などを適宜使用することができる。ＰＤＭＳの透過光の波長は３００〜１１００ｎｍの範囲でほぼ可視光全域をカバーするので、光源としては可視光を放射する発光ダイオード（ＬＥＤ）が好ましい。受光部２４の受光素子としては、アバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）、フォトダイオード（ＰＤ）、電荷結合素子（ＣＣＤ）、又はホトマルチプライヤーなどが好ましい。【００４５】
駆動液が流路を通過するとき発光部２３から発光された光は、必要に応じてコリメータレンズ２３１などにより所定の直径の平行光に収束される。また、流路からの反射光は、集光レンズ２４１を集光され受光部２４に入射する。【００４６】
ここで、図４（ａ）、（ｂ）に、例えば受光部２４としてＣＣＤを用いた場合の、流路に駆動液が無いときと、流路に駆動液が有るときの反射光の軌跡を示す。駆動液が無いときは（図４（ａ））、発光部２３から発光された光は、透明基板１２ａを通過し、対面基板１２ｂにて反射されＢ１のような光線の軌跡になる。反射した光は受光部２４に設けた集光レンズ２４１によって、ＣＣＤ面上の位置２４ａに集光される。駆動液が有るときは（図４（ｂ））、発光部２３から発光された光は、駆動液により屈折されてＢ２の軌跡を通りＣＣＤ面上の位置２４ａとは異なる位置である位置２４ｂに集光される。【００４７】
このようにＣＣＤ面上に集光された光は、駆動液が無いときの位置と駆動液が有るときの位置が異なるので、当該位置を検知することにより駆動液が流れているかどうかを判定することができる。【００４８】
駆動液が流れているかどうかを判定する他の手段として、例えば受光部２４としてフォトダイオードを用い、図４（ｃ）に示すように受光した光エネルギーを利用することもできる。すなわち受光部２４は光検出回路２５に接続されており、受光部２４で光電変換された光電流を光検出回路２５の増幅回路２５１で増幅し、コンパレータ２５２にて閾値と比較することにより、駆動液の有無を検知（判定）する。【００４９】
駆動液の流量は、中間流路部材１２内を送液される駆動液先頭が、液検知センサ２１を通過するときの時間ｔ１と、距離ｃ離れた位置に配置されている液検知センサ２２を通過するときの時間ｔ２を測定することにより求めることができる。【００５０】
図３（ｂ）に示すように、中間流路部材１２に複数の流路がある場合、各流路を流れる駆動液の流量はそれぞれの流路抵抗などによりばらつくので、この流量を同じにするように制御することが必要となる。【００５１】
すなわち、それぞれの中間流路に対応した（ｔ２−ｔ１）時間をそれぞれ測定し、その測定データを制御部ＣＰに送信する。制御部ＣＰは、それぞれの中間流路を通過する駆動液の通過時間が所定の値になっているかどうかを判定し、所定の値になっていないときはそれぞれのマイクロポンプ１１１に与える圧電素子５１の周波数を変更して、所定の値になるように流量を制御する。【００５２】
さらに制御部ＣＰは、マイクロポンプ１１が送液する駆動液の流量の履歴を管理し、流量が初期に比べて所定量以上経時的に変化したと判断したとき、ポンプカートリッジ２を交換するように表示部（不図示）などに表示する。【００５３】
マイクロポンプ１１等の部品に不良が発生した際には、交換作業を容易にするために、本実施の形態のようにポンプカートリッジ２毎交換することが好ましい。マイクロポンプ１１のみを交換しようとすると、マイクロポンプ１１の流路内に気泡やゴミが混入し、精度良い送液が行えなくなる場合がある。【００５４】
ポンプカートリッジ２を交換する際、本実施の形態では、液検知手段２０を反射型センサで構成し装置本体１側に設けているので、液検知手段２０は交換されない。このため、ポンプカートリッジ２に液検知手段２０を設けた場合に比べてコストを低減することができる。【００５５】
図５に、制御部ＣＰが液検知手段２０からの信号を受けて、駆動液を所定の値で送液するように圧電素子５１を制御するまで、のフローチャートを示す。
ステップＳ１：制御部ＣＰは、マイクロポンプ１１を順方向に駆動する。
ステップＳ２：制御部ＣＰは、駆動液が液検知センサ２１を通過したかどうかを判断する。駆動液が液検知センサ２１を通過したと判断した場合（ステップＳ１：ＹＥＳ）、ステップＳ３に進む。ステップＳ２がＮＯのときは、駆動液が液検知センサ２１を通過するまで待機する。
ステップＳ３：制御部ＣＰは、液検知センサ２１を通過したときの時間ｔ１を測定する。ステップＳ４：制御部ＣＰは、駆動液が液検知センサ２２を通過したかどうかを判断する。駆動液が液検知センサ２２を通過したと判断した場合（ステップＳ４：ＹＥＳ）、ステップＳ５に進む。ステップＳ４がＮＯのときは、駆動液が液検知センサ２２を通過するまで待機する。
ステップＳ５：制御部ＣＰは、液検知センサ２２を通過したときの時間ｔ２を測定する。ステップＳ６：制御部ＣＰは、測定した時間の差（ｔ２−ｔ１）を算出する。
ステップＳ７：制御部ＣＰは、（ｔ２−ｔ１）が所定の値かどうか判断し、所定の値のとき（ステップＳ７：ＹＥＳ）はステップＳ１０に進む。所定の値にならないとき（ステップＳ７：ＮＯ）はステップＳ８に進む。
ステップＳ８：制御部ＣＰは、マイクロポンプ１１に与える圧電素子５１の周波数を時間差（ｔ２−ｔ１）に基づいて変更する。これにより、マイクロチップ３に供給する駆動液の流量を一定にすることができる。
ステップＳ８：制御部ＣＰは、マイクロポンプ１１を逆方向に駆動し、液検知センサ２１よりも上流に液の先頭を戻した後マイクロポンプ１１の駆動を停止し、ステップＳ１に戻る。
ステップＳ１０：終了
（まとめ）
本実施の形態では、透明な中間流路部材を用いて説明したが、液検知手段２０が微細流流路を流れる駆動液を検知できれば、特に中間流路部材上に設置しなくても良く、例えばマイクロポンプ１１を透明基材で作製し、マイクロチップ３との間の流路上に液検知手段２０を設けても良い。【００５６】
本実施の形態のマイクロチップ検査装置は、中間流路部材を流れる駆動液の先頭を液検知手段２０で検知することにより、駆動液が流れているかどうかを判定することができる。また、中間流路部材１２内の流路を通過する駆動液の流量を測定し、マイクロポンプ１１に与える圧電素子５１の周波数を変更することで、マイクロチップ３に供給する駆動液の流量を一定にすることができる。【００５７】
また、液検知手段２０を装置本体１側に設けることにより、ポンプカートリッジ２の耐久期間が過ぎ交換することになっても、液検知手段２０を交換する必要がなく、その分安価なマイクロチップ検査装置を提供できる。
【図１】
2008102605.tif 000003
【図２】
2008102605.tif 000004
【図３】
2008102605.tif 000005
【図４】
2008102605.tif 000006
【図５】
2008102605.tif 000007
【国際調査報告】
2008102605.tif 000008
2008102605.tif 000009