【手続補正書】
【提出日】平成16年2月16日(2004.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶切断装置であって、
長手方向中心軸（Ｍ）を有する実質的に円筒形の単結晶（３）からウェハを切断する切断機（４）と、
前記切断装置に設けられ、前記切断機に対する前記単結晶の向きを合わせる方位合わせ装置（２４）と、
前記切断機に対して、中心軸と実質的に垂直な送り方向に前記結晶（３）を移動する送り装置（２３）と、
を備え、
前記方位合わせ装置（２４）は、前記単結晶（３）が、前記送り方向によって規定される軸を中心として、また前記長手方向中心軸（Ｍ）と前記送り方向（Ｖ）とによって規定される面に垂直な軸を中心として、回転可能なように構成されていること、及び、前記単結晶用のホルダ（１２）が設けられ、それによって、所定結晶方向（Ｋ）が前記送り方向に対して所定角度を有するように、前記切断装置において単結晶の位置決めをすること、また、前記単結晶をその長手方向中心軸を中心として回転させる回転装置を備え、及び、該回転装置に連結され、切断時に前記切断装置の振れを測定する装置を備えること
ことを特徴とする単結晶切断装置。
【請求項２】
前記切断機は、ワイヤ面を形成する切断用の複数の平行なワイヤ（４）を有するワイヤソーとして構成され、また、前記方位合わせ装置（２４）は、単結晶を前記ワイヤ面と平行な面及びワイヤ面と垂直な面において移動可能にするＸＹ位置決め装置として構成されることを特徴とする請求項１に記載の単結晶切断装置。
【請求項３】
前記ワイヤ面に対する前記単結晶（３）の端面（２）の方位を測定する角度測定装置が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の単結晶切断装置。
【請求項４】
前記角度測定装置は、前記単結晶（３）の端面（２）に固定可能なミラー（２７）と、前記切断面と垂直な光軸（Ｏ）を持つオートコリメーション・テレスコープ（２５）とを含むことを特徴とする請求項２又は３に記載の単結晶切断装置。
【請求項５】
前記ミラー（２７）は、真空装置によって、前記単結晶端面（２）に取り付け可能であることを特徴とする請求項４に記載の単結晶切断装置。
【請求項６】
前記ＸＹ位置決め装置には、基準装置（３２，２５）が設けられていることを特徴とする請求項２乃至５の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項７】
所定楔形角度を持ち、前記単結晶のＸＹ方位の所定角度偏位(angle offset)を調整する楔形板（２８）が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項８】
前記楔形板（２８）は、前記楔形角度の所定方位角方位が調節可能であるように、前記単結晶の長手方向中心軸を中心として、切断面で回転可能であることを特徴とする請求項7に記載の単結晶切断装置。
【請求項９】
前記単結晶用のホルダ（１２）が設けられ、それによって、前記単結晶の所定外側形体が前記長手方向中心軸（Ｍ）を中心として回転した所定位置に向くように、前記切断装置において単結晶の位置決めをすることを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項１０】
単結晶を切断機に対して送り方向（Ｖ）に移動させることにより、単結晶からウェハを切断する切断機において単結晶を切断する方法であって、
前記切断機の外側で前記単結晶の結晶面と外面との間の角度を測定する工程と、
前記切断機において前記単結晶の外面（２）の方位を測定する工程と、
所定の結晶面が前記送り方向に対して所定角度をなすように、前記外面の方位に基づいて単結晶を位置決めする工程と、
切断を行う工程と、
を含み、
前記単結晶の結晶面と外面（２）との間の前記角度を測定する工程は、
前記結晶外面（２）が基準軸に対してなす角度をオートコリメーション方法によって測定する工程と、
前記基準軸に対する結晶面の角度をＸ線ゴニオメータによって測定する工程と、
前記測定した角度同士を差し引く工程と、を含む
ことを特徴とする単結晶の切断方法。
【請求項１１】
前記単結晶の切断面における所定結晶方向（Ｋ）の角度位置は、単結晶切断時に、前記切断機に作用する力をできるだけ小さくするように調整されることを特徴とする請求項１０に記載の切断方法。
【請求項１２】
前記切断装置は、更に、結晶外面に対する結晶面の方位を決定する装置を含み、
該決定装置は、
単結晶（３）を、その測定する外面（２）が露出するように保持する単結晶（３）用ホルダ（１１）と、
前記測定する外面（２）が前記ホルダの基準軸に対してなす角度を測定する角度測定装置（１４、１７）と、
前記基準軸に対する結晶面の角度を測定するＸ線測定装置（１５、１６）と、
を含むことを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項１３】
前記単結晶（３）は実質的に円筒形状であると共に、前記測定する外面（２）は該円筒形の端面であり、前記ホルダ（１１）は平面（１１ａ）を含み、該平面には、前記単結晶を、前記測定する外面とは反対側の端面で固定することが可能であり、また、前記基準軸は前記平面（１１ａ）に対する垂線であることを特徴とする請求項１２に記載の単結晶切断装置。
【請求項１４】
前記測定装置（１４、１７）は、前記測定する外面（２）に配置されたミラー（１７）と、前記基準軸と一致する光軸（Ｏ）を持つオートコリメーション・テレスコープ（１４）とを含むことを特徴とする請求項１２又は１３に記載の単結晶切断装置。
【請求項１５】
前記Ｘ線測定装置は、Ｘ線管（１５）と検出器（１６）とを含むＸ線ゴニオメータとして構成され、該Ｘ線管と検出器は、前記結晶面に対するブラッグ反射を測定するため、前記基準軸を中心としてある角度範囲内で同時に移動可能であることを特徴とする請求項１２乃至１４の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項１６】
前記ホルダ（１１）は、前記基準軸の方向に移動可能であることを特徴とする請求項１２乃至１５の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項１７】
前記ホルダ（１１）は、分圧又は真空によって前記単結晶（３）を固定する真空吸引装置を備えていることを特徴とする請求項１２乃至１６の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項１８】
前記ホルダにおける前記単結晶は、前記基準軸に対して垂直な面で所定角度方位に単結晶を固定することが出来る止め具（１３）を含み、好ましくは止め具（１３）が設けられていることを特徴とする請求項１２乃至１７の何れかに記載の単結晶切断装置。
【請求項１９】
前記単結晶（３）を、その測定する外面（２）が露出するように保持する単結晶（３）用ホルダ（１１）と、
前記測定する外面（２）が前記ホルダの基準軸に対してなす角度を測定する角度測定装置（１４、１７）と、
前記基準軸に対する結晶面の角度を測定するＸ線測定装置（１５、１６）と、
前記測定装置（１４、１７）は、前記測定する外面（２）に配置されたミラー（１７）と、前記基準軸と一致する光軸（Ｏ）を持つオートコリメーション・テレスコープ（１４）と、
を含むことを特徴とする結晶外面に対する結晶面の方位を決定する装置。
【請求項２０】
前記単結晶（３）は実質的に円筒形状であると共に、前記測定する外面（２）は該円筒形の端面であり、前記ホルダ（１１）は平面（１１ａ）を含み、該平面には、前記単結晶を、前記測定する外面とは反対側の端面で固定することが可能であり、また、前記基準軸は前記平面（１１ａ）に対する垂線であることを特徴とする請求項１９に記載の決定装置。
【請求項２１】
前記Ｘ線測定装置は、Ｘ線管（１５）と検出器（１６）とを含むＸ線ゴニオメータとして構成され、該Ｘ線管と検出器は、前記結晶面に対するブラッグ反射を測定するため、前記基準軸を中心としてある角度範囲内で同時に移動可能であることを特徴とする請求項１９又は２０に記載の決定装置。
【請求項２２】
前記ホルダ（１１）は、前記基準軸の方向に移動可能であることを特徴とする請求項１９乃至２１の何れかに記載の決定装置。
【請求項２３】
前記ホルダ（１１）は、分圧又は真空によって前記単結晶（３）を固定する真空吸引装置を備えていることを特徴とする請求項１９乃至２２の何れかに記載の決定装置。
【請求項２４】
前記ホルダにおける前記単結晶は、前記基準軸に対して垂直な面で所定角度方位に単結晶を固定することが出来る止め具（１３）を含み、好ましくは止め具（１３）が設けられていることを特徴とする請求項１９乃至２３の何れかに記載の決定装置。
【請求項２５】
単結晶を切断する方法に用いられ、単結晶外面に対する結晶面の方位を決定する方法であって、
前記結晶外面（２）が基準軸に対してなす角度をオートコリメーション方法によって測定する工程と、
前記基準軸に対する結晶面の角度をＸ線ゴニオメータによって測定する工程と、
前記測定した角度同士を差し引く工程と、
を含むことを特徴とする結晶面方位の決定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的は、本願の請求項１または１９に係る装置及び請求項１０または２５に係る方法によって実現される。