【手続補正書】
【提出日】平成16年12月21日(2004.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
内部に空間部を有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、上記ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、上記半田ボールトレイ内の半田ボールを上記吸着プレートに設けられた吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドにおいて、上記吸着プレートは、上記吸着孔がエッチングにより形成された吸着板と、この吸着板に重ね合わせて張り合わせることで吸着板の補強部材としての役目をなし、上記吸着板に重ね合わせをしたときに複数の上記吸着孔に対応する位置に切り欠き窓が形成された補強板とからなることを特徴とする半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
内部に空間部を有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、上記ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、上記半田ボールトレイ内の半田ボールをその吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法において、上記吸着プレートを構成する構成要素として、吸着板とこの吸着板に重ね合わせて張り合わせることにより上記吸着板を補強する補強板とを用意し、上記吸着板には、半田ボールを吸着するための吸着孔をエッチングにより形成し、上記補強板には、この補強板を上記吸着板に重ね合わせたときに複数の上記吸着孔に対応する位置に切り欠き窓を形成し、上記吸着孔の形成された吸着板と、上記切り欠き窓が形成された補強板とを重ね合わせて張り合わせることで吸着プレートを形成すること、を特徴とする半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドは、内部に空間部を有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、半田ボールトレイ内の半田ボールを吸着プレートに設けられた吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドにおいて、吸着プレートは、吸着孔がエッチングにより形成された吸着板と、この吸着板に重ね合わせて張り合わせることで吸着板の補強部材としての役目をなし、吸着板に重ね合わせをしたときに複数の吸着孔に対応する位置に切り欠き窓が形成された補強板とから構成している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、本発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法は、内部に空間部を有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、半田ボールトレイ内の半田ボールをその吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法において、吸着プレートを構成する構成要素として、吸着板とこの吸着板に重ね合わせて張り合わせることにより吸着板を補強する補強板とを用意し、吸着板には、半田ボールを吸着するための吸着孔をエッチングにより形成し、補強板には、この補強板を吸着板に重ね合わせたときに 複数の吸着孔に対応する位置に切り欠き窓を形成し、吸着孔の形成された吸着板と、切り欠き窓が形成された補強板とを重ね合わせて張り合わせることで吸着プレートを形成するようにしている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また、ヘッドハウジング５１の側壁部５１ａには、その上端側から下端側に貫通する空気流通孔５４が設けられている。この空気流通孔５４は、吸着プレート５２を真空吸着するための空気流通路であり、真空ポンプ１０の動作によって、吸着プレート５２はヘッドハウジング５１の側壁部５１ａの下端面に真空吸着され、それによってヘッドハウジング５１に保持されるようになっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
この吸着プレート５２は、ヘッドハウジング５１に対して着脱自在に取り付け可能となっている。この実施の形態では、前述したように、円形のウエハに半田ボール１をマウントするための半田ボール供給装置についての例であり、また、その円板状のウエハのマウント対象面を幾つかの領域に分けてそれぞれの領域ごとに半田ボール１のマウントを行う場合を例にしている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
そして、このようなウエハ２１に対してマウント動作を行う場合は、まず、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに対するマウント動作を行わせる。そのマウント動作が終了したら、その第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１から取り外して、第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂに対するマウント動作を行わせる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
そのマウント動作が終了したら、その第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１から取り外して、第３の吸着プレート５２ｃをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第３のマウント対象領域２１ｃに対するマウント動作を行わせる。このように、吸着プレート５２ａ〜５２ｄを順次付け替えて半田ボール１を吸着し、それをマウント工程に搬送させてマウント動作を行わせるという操作が繰り返される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
したがって、この第１の吸着プレート５２ａを構成する第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、円形のウエハ２１の円周に沿った部分に対応できるように、切り欠き窓６０が形成される部分を全体的に見たとき凸型としている。また、切り欠き窓６０が形成される部分は、第１層から第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の長手方向に伸びる端辺Ｔとの間に所定の余白部６３を持たせた状態で形成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
なお、この第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜５２ｄにおいても、その第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑは第１の吸着プレート５２ａと同様、その切り欠き窓６０は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の長手方向に伸びる端辺Ｔとの間に所定幅の余白部６３を持たせた状態で形成される。また、切り欠き窓６０の一辺の長さや桟６１の幅、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の外形寸法などは、図５（Ａ）で示した第１の吸着プレート５２ａのものと同様である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
次に第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５について説明する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
前述したように、１つの吸着プレート５２には前述したように２万個程度の吸着孔５５が必要であるため、従来の孔あけ加工による方法では、その２万個の吸着孔５５を設けるための高度な孔あけ加工が必要であり、その製造時間は数週間となり、製造コストは数百万円がかかるとされている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
このように、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２における長手方向に伸びる端辺Ｔとの間の余白部７０を無くして、吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）の寸法を第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５よりも小さくした形状とする理由については後述する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
このように作成された第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄは、図２で示すヘッドハウジング５１に対し、着脱自在に取り付けることができる。たとえば、第１の吸着プレート５２ａを取り付ける場合は、その端部に設けられた取り付け孔ｈ１，ｈ２をピックアップヘッド５のヘッドハウジング５１に設けられた図示しない突起を差し込むようにして位置決めし、その状態で、真空ポンプ１０の作動によって減圧吸引されることでヘッドハウジング５１への取り付けがなされる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
この図１０からもわかるように、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２は、吸着孔５５の設けられている以外の部分、つまり余白部７０が存在しない分だけ、この図１０における幅方向の小さな外形寸法となっている。したがって、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２による吸着孔５５の存在する面は、第３層の吸着板Ｐ３の余白部７０に対して0.20mm（２枚の吸着板の厚みに相当する分）だけ凸状に出っ張った状態となる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
この実施の形態では、１つのウエハ２１に半田ボール１をマウントする際、４つの吸着プレート（第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄ）を用意する（図３参照）。前述したように、まず、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１に吸着によって取り付けて、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａにマウント動作を行う。次に、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１から取り外して第２の吸着プレート５２ｂを吸着によって取り付け、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂにマウント動作を行う。次に、第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１から取り外して第３の吸着プレート５２ｃを吸着によって取り付け、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１の第３のマウント対象領域２１ｃにマウント動作を行うという工程を繰り返す。この動作によって、ウエハ２１上のマウント対象領域の全面に半田ボール１のマウントを行う。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
このような半田ボール１のマウント動作を行う際、たとえば、第１の吸着プレート５２ａによるウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに半田ボール１のマウントが図１１示すように終了したあと（図１１において斜線を施した部分がマウントの終了した領域を示す）、第２の吸着プレート５２ｂによるマウント動作を行うが、このとき、もし、その第２の吸着プレート５２ｂの第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２に余白部７０（図８参照）が存在していると次のような問題が生ずる。すなわち、この第２の吸着プレート５２ｂで半田ボール１をウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂにマウントする際、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の余白部７０が、既にウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａにマウントされた半田ボール１を押し潰したり半田ボール１に接触したりしてしまうことになる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
つまり、図１１において、１点鎖線で示す第２の吸着プレート５２ｂ中の２点鎖線で示す部分が第２の吸着プレート５２ｂにおける一方の余白部７０に相当し、その余白部７０が、段差状態になっていないと、すでにマウントされた半田ボール１を押し潰したり半田ボール１に接触したりしてしまうのである。これは、第３の吸着プレート５２ｃや第４の吸着プレート５２ｄによるマウント処理の際も同様のことが言える。