(57)【要約】シリコンウェーハの研磨加工に用いられる合成砥石であって、砥粒として酸化セリウム微粒子、結合剤としての樹脂、充填剤としての塩類及び添加剤としてのナノダイヤモンドを含有する構造体であって、前記酸化セリウムの純度が６０重量％以上であり、充填剤としての塩類の含有率が１％以上２０％以下の範囲にあり、添加剤としてのナノダイヤモンドの含有率が構造全体に対する体積含有率で０．１％以上２０％未満の範囲にあり、かつ気孔率が構造全体に対し体積含有率で３０％未満の範囲にあることを特徴とする合成砥石を提供する。
2008117883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥粒としての酸化セリウム微粒子、結合材としての樹脂、充填材としての塩類および添加剤としてのナノダイヤモンドを主要成分として含有する構造体であって、前記酸化セリウムの純度は６０重量％以上であり、充填材としての塩類の含有量が構造全体に対する体積含有率で１％以上２０％未満の範囲にありかつ添加剤としてのナノダイヤモンドの含有量が構造全体に対する体積含有率で０．１％以上２０％未満の範囲にあることを特徴とする合成砥石。
【請求項２】
結合材としての樹脂が、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、硬質ウレタン系樹脂、尿素系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、アルキッド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリビニールアセタール系樹脂からなる群より選ばれる熱硬化性樹脂のうち少なくとも一つであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の合成砥石。
【請求項３】
充填材としての塩類が無機酸と無機塩基よりなる金属塩であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第２項のいずれかに記載の合成砥石。
【請求項４】
添加剤としてのナノダイヤモンドがグラファイトクラスタダイヤモンドの微粒子であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の合成砥石。
【請求項５】
グラファイトクラスタダイヤモンドの粒子径が５０オングストローム（Å）ないし３００Åであることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載の合成砥石。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン単結晶からなるシリコンウェーハ、特に、ベアウェーハ、デバイスウェーハにも適用可能な表面の加工を従来のポリシングパッドを使用した加工を含む一連の加工に代わって固定砥粒で研磨を行なうために用いる合成砥石に関するものである。本合成砥石は、表面にデバイス配線によりＩＣ回路形成された単層・多層を持つ集積回路基板が形成されたシリコンウェーハの裏面の研磨加工にも適用できる。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の基板となるシリコンウェーハ、即ち、デバイスウェーハを含むベアウェーハの表面の加工はシリコン単結晶インゴッドをスライスしたウェーハをラッピング、エッチング、プレポリシングおよびポリシング等の数段の工程を経て鏡面に仕上げるのが一般的である。ラッピング工程において平行度、平坦度等の寸法精度、形状精度を得、ついでエッチング工程においてはラッピング工程でできた加工変質層を除去し、更にプレポリシングおよびポリシング工程において良好な形状精度を維持した上で鏡面レベルの面粗さを持ったウェーハを得るのが一般的な工程である。このプレポリシングおよびポリシング工程は、通常ポリシングパッドを用い、それに砥粒スラリーを含んだ研磨用組成物の液を滴下しながら行われる。この研磨用組成物は酸性成分あるいは塩基性成分を含み、酸または塩基による化学的作用（シリコンに対する腐食作用）と、同時に含まれる微細砥粒による機械的作用を応用した作用により加工が進められる。
上述の方法は、一般的には例えば、硬質ウレタンの発泡体シートを用いたプレポリシング、ついで不織布の樹脂処理品、例えばスエード調合成皮革よりなるポリシングパッド用いたポリシングで行なわれる。これらのシート、パッド等を貼付した定盤上にシリコンウェーハ等のワークを押圧し、その表面に微細砥粒スラリーを含んだ研磨用組成物の液を供給しつつ、定盤およびワークの双方を回転させその作用で化学機械的ポリシング（ケミカルメカニカルポリシング）加工を進めるという方法が採られている。この加工のメカニズムは、その前工程であるラッピング工程で行われるような硬質な遊離状態のアルミナ系砥粒微粒子等を用いた加工のメカニズムとは異なるものであって、例えば研磨用溶液組成物中に含まれる成分である酸性成分あるいは塩基性成分の化学的作用、具体的にはシリコンウェーハ等ワークに対する腐食（浸蝕）作用を応用したものである。すなわち、酸あるいはアルカリの持つ腐食性により、シリコンウェーハ等ワーク表面に薄い軟質の浸蝕反応層が形成される。その化学的に脆弱化した薄層を微細な砥粒粒子の機械・化学的作用により除去してゆくことにより加工が進むのである。つまり通常の研磨加工はワークよりも硬度の高い研磨材粒子を用いることを必須条件とするが、この化学機械的ポリシング加工の場合はワークよりも硬度の高い研磨材粒子を用いる必要はなく、ワークに対する負荷の少ない加工と言える。
そして、この研磨用組成物の液はコロイド状シリカ（コロイダルシリカ）を主たる研磨剤成分とし酸あるいはアルカリ成分を含むもの（例えば特許文献１）、あるいはコロイド状シリカに加えて他の酸化セリウム等の砥粒を併用したもの（例えば特許文献２）が通常用いられる。この方法においては、湿潤状態で高い圧力で加圧しながら回転を行ない摩擦状態で加工を行なうのであるから、変形しやすいシートやポリシングパッドを用いることによる寸法精度、形状精度、効果の持続性及び安定性に問題があり、加工後のウェーハに見られるワークのエッジ部分のダレ（ロールオフ）現象の発生は避けられないものであった。
また、目詰りや損傷によるポリシングパッドの表面状態の変化に伴い加工レートが刻々と変化するためルーチンでの加工を定量化する技術的難度が高いという問題点もある。更に、スラリーを用いることによる加工特有の欠点、即ち、加工後のワーク自体の汚染、加工機の汚染、排液による環境汚染等は避けられず、それに伴なう洗浄工程の設置、加工機自体のメンテナンスサイクルの短縮、廃液処理設備への負荷増大等も問題点の一つとして大きく取り上げられている。
かかる問題点を回避するために、またナノメーターレベルでのより精緻な表面粗さ、形状精度、寸法精度を求める要求には寸法安定性に問題のあるポリシングパッドでは基本的に対応できないという観点から、特許文献３に示されるように、合成砥石を加工手段として用いることも行なわれている。一般的に合成砥石とは砥粒微粒子を、結合材をもって結合したものを指し、砥粒は砥石組織内に固定化されている。砥粒としては一般的に使用されているものが全て用いられ、また、結合材としては砥粒を固定する性能を有するものなら何でも使用できるが、一般的には金属、ゴム、セラミックス、樹脂等を用いることが多い。
上述の特許文献においては、具体的には例えば研削力の強いダイヤモンド砥粒を金属あるいは硬質樹脂等で固定化した合成砥石を用い、機械精度の高い転写能力を持つ、強制切り込みタイプの精密加工機を使用して鏡面仕上げを行うことも試みられている。この方法は、寸法・形状安定性に問題のあるポリシングパッドを使わないため加工におけるエッジ部分のダレ（ロールオフ）等形状精度に関する問題を起こす要因を制御可能で、かつ砥粒は砥石組織に把持された状態、即ち固定砥粒として作用するのであるから、遊離砥粒を用いた方法よりも理論精度により近く、仕上げ面の粗さも目的精度をより容易に制御し、到達できるという利点を有する。
また、ロールオフ等の加工材料の面粗さ・寸法・形状安定性に起因する問題の解決に有効であるだけでなく、ポリシング以前の工程を含めて工程を削減し、一貫加工を行なうことができるという可能性を有するが、反面、固定砥粒の使用により固定砥粒特有な方向性のある幾何学的条痕が入り、それが潜在的欠陥となる他、微小チッピングやスクラッチ等の欠点も出やすく完全なものとは云い難かった。特に、研削力に優れたダイヤモンド砥粒を使用した場合はその傾向が顕著である。更に、使用環境の変動、例えば、温度、湿度、圧力等のファクターの変動による砥石自体の形状や寸法の変化が顕著な場合、やはり面粗さ・寸法・形状・安定性に起因する問題が残ることはやむを得ないことである。
更に、特許文献４においては、合成砥石中に水に溶解して酸性あるいはアルカリ性を呈する成分を固形分としてあらかじめ含有させておき、実使用時において特定のｐＨ環境を形成せしめ、ケミカルメカニカル研削を行なう合成砥石（ＣＭ砥石）が提案されている。この合成砥石においてはダイヤモンド砥粒よりも硬度の低い砥粒を用いることも有効であることが示されており、就中、酸化セリウムを砥粒として用いることが良好な結果を与えることが記載されている。この合成砥石は良好な研磨効果を有するが、砥石構成砥石自体の均質性、静的・動的形状安定性に難点があり、使用に伴う砥石の変形、消耗が激しく、更に条件設定がやや難しいため改善が求められており、実際には、例えば３００ｍｍφの大口径ウェーハの鏡面加工を行なうには不十分であった。比較的純度の高い酸化セリウムを砥粒とした合成砥石も特許文献５あるいは特許文献６に記載されているが、特許文献５の場合の研磨対象物は非晶質（アモルファス）ガラスに限定されており、かつ砥石摩耗が高く、研削比が極めて低いために、シリコン単結晶からなるシリコンウェーハの研磨には適していない。また特許文献６の場合の研磨対象物はシリコンウェーハ上に形成されたシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）等の薄膜に限定されていて、極めて少ない除去量で均質な面を得ることを目的にするものであって、シリコンベアウェーハやデバイスウェーハの裏面研磨のように除去量の多い研磨加工には用いられないものである。
更に特許文献７においては、酸化セリウム砥石を用いた工作物表面加工方法が開示されているが、本文献は酸化セリウムを砥粒として含む砥石を用いた研磨加工方法に関するものであって、使用する砥石の組成や構造、および研磨作用については十分触れられておらず、また、酸化セリウムの純度、およびその影響、その他充填材、添加剤等の種類やその効果についても具体的には触れられていない。
また、表面がグラファイト化されたクラスタダイヤモンドを研磨用組成物の砥粒成分として用いる技術が開示されており（例えば特許文献８）、更に特許文献９にはグラファイトを固体潤滑剤として使用したメタルボンド砥石について記載されている。これらはグラファイトの本来持つ潤滑性を研磨作用に利用した技術であって、研磨の円滑性向上を目標にしたものである。
更に、かかる砥石を搭載して送り制御あるいは圧力制御により表面加工を行なう加工機としては、例えば特許文献１０に記載の超加工機械をあげることができる。
【特許文献１】米国特許３、３２８、１４１号公報
【特許文献２】米国特許５、２６４、０１０号公報
【特許文献３】特開２００１−３２８０６５号公報
【特許文献４】特開２００２−３５５７６３号公報
【特許文献５】特開２０００−３１７８４２号公報
【特許文献６】特開２００１−２０５５６５号公報
【特許文献７】特開２００５−１３６２２７号公報
【特許文献８】特開２００５−１８６２４６号公報
【特許文献９】特開２００２−０６６９２８号公報
【特許文献１０】特開２００６−２８１４１２号公報
【発明の開示】
【０００３】
本発明者等は上述の先行技術について鋭意検討を行なったものであり、本発明の目的はシリコンウェーハ、シリコンウェーハを素材とした半導体素子，特にベアウェーハの表面のポリシング、平坦化加工を無歪（加工変質層、残留応力のない）、Ｓｉ原子無欠陥の状態でより効率的に行なうことのできる合成砥石を提供することにある。
即ち、本発明者等は合成砥石を構成する主たる成分を、砥粒としての高純度酸化セリウム（ＣｅＯ２）微粒子、結合材としての樹脂、充填材としての塩類及び添加剤としてのナノダイヤモンド（ナノメーターサイズの超微粒子ダイヤモンド）とすることにより、性能機能の変化の少ない研磨効率に優れた砥石が得られることを見出したのである。即ち、このような構成の合成砥石を用いてシリコンウェーハ等の加工を行なうことにより、加工領域のＳｉ原子結合ポテンシャルを、加工瞬時において弱体化せしめ、その瞬時に選択的に−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を低圧掃き出しすることができる。ここにおいて、添加剤をナノダイヤモンドとすることによって均質性、熱や圧力に対する形状安定性、耐熱性、耐圧性、研磨熱の伝導、伝達性に優れ、使用に伴う砥石の変形、摩擦や摩耗が均質かつ定常的に小さく、性能機能の変化の少ない研磨効率に優れた砥石が得られることを見出したのである。特に酸化セリウムの純度が合成砥石の研磨力向上及びスクラッチ（条痕）等の欠点発生の抑止に効果的に貢献し、更に添加剤であるナノダイヤモンドの種類と量との選定が合成砥石の熱や圧力に対する寸法・形状安定性・砥粒（ｍ）・減衰（ｃ）・バネ（ｋ）の動的振動による吸振性、及び切削要素低減による、研磨力の向上に寄与することを見出したものである。
充填材としての塩類はＳｉ原子結合ポテンシャルを瞬時；ｐｓ（ピコ秒）オーダーで弱体化させ、引っ掻き除去機能発現効果を得る。更に、添加剤としてのナノダイヤモンドは、−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を、潤滑と熱放散により−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を選択的に低圧掻き出し効果をもつ。なお、本発明においてナノダイヤモンドとは、クラスタダイヤモンド及びそれを完全に黒鉛（グラファイト）化したものあるいは表層部分を部分的に黒鉛（グラファイト）化したもの（グラファイトクラスタダイヤモンド：ＧＣＤ）を示す。
近年、酸化セリウムとして扱われるものの酸化セリウム純分（純度）は、全体に対する希土類酸化物（ＴＲＯ）の重量％と、希土類酸化物中に含まれる酸化セリウムの重量％（ＣｅＯ２／ＴＲＯ）とを併記して表示されることが多い。本発明においては酸化セリウム純度とは、上記の両者が併記されている場合には、その積をもって酸化セリウム純度とする。例えばＴＲＯの重量％が９０％、ＣｅＯ２／ＴＲＯ重量％が５０％の場合は、（９０×５０）／１００＝４５重量％とする。
上述の目的は、砥粒としての酸化セリウム微粒子、結合材としての樹脂、充填材としての塩類および添加剤としてのナノダイヤモンドを主要成分として含有する構造体であって、前記酸化セリウムの純度が６０重量％以上であり、充填材としての塩類の含有量が構造全体に対する体積含有率で１％以上２０％未満の範囲にありかつ添加剤としてのナノダイヤモンドの含有量が構造全体に対する体積含有率で０．１％以上２０％未満の範囲にあることを特徴とする合成砥石にて達成される。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
図１は、実施例３の砥石で加工したシリコンウェーハの表面のＴＥＭ像および電子線回折図（右下図）である。
図２は、化学機械的ポリシングで加工したシリコンウェーハの表面のＴＥＭ像および電子線回折図（右下図）である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
本発明になる合成砥石の第一の肝要は、砥粒として用いる酸化セリウムの純度を６０重量％以上の高純度品とする点にある。一般的にバネストサイト鉱として産する酸化セリウムは共存する他の希土類元素やハフニウム等の不純物元素の含有率が高くまたその除去が難しいため、通常４０ないし６０重量％程度の純度のものが酸化セリウム研磨材砥粒として用いられている。本発明者等は、本発明になる合成砥石に使用する研磨材砥粒のグレードについて鋭意検討を行なった結果、ガラス等のポリシングに用いられる一般的な低純度酸化セリウムを砥粒として使用した場合において見られる被研磨体表面スクラッチ等の欠点の発生は、高純度品を用いることにより抑制され、その加工に要する時間はベアウェーハの通常の化学機械的ポリシング加工と同等あるいはそれ以下であることを見出したのである。即ち、砥粒としての酸化セリウム微粒子は、その純度が６０重量％よりも高くなるにつれて、ＳｉＯ２分子、Ｓｉ原子とＣｅＯ２との間で活発な化学反応環境が構成され、Ｓｉ−Ｏ２とＣｅ−Ｏ２において、Ｓｉ−Ｏ２にＣｅ３＋イオンが作用しＳｉ−ＣｅＯ２を瞬時に形成することが見出された。たとえば、５０〜３００ÅのＧＣＤを０．１〜２０％添加すると、ＣｅＯ２−Ｎａ２ＣＯ３−ＧＣＤ−ＣａＣＯ３−結合剤の熱伝導性、親和性、振動減衰性等の物理・化学的性質が向上、安定化する。その結果、砥粒近傍の熱停留を防止し、研削熱１５０〜２５０℃における砥粒ＣｅＯ２−ＳｉＯ２結合ポテンシャルの弱体化が０．５ｐｓ〜１ｐｓのような瞬時の定低圧加工環境下で起こる。このＣｅＯ２−ＳｉＯ２のラジカル弱体化現象は以下のように説明できる。即ち、乾式、１５０〜２５０℃の環境下においては、ＳｉＳｉＯ２−ＯＳｉＯ２の結合ポテンシャルφ（ｒ）〔ｒ：原子間距離〕は零に近づき、砥粒は通過する。この変化は、ＣｅＯ２が瞬時であるのに対して、ＳｉＯ２は極めてゆっくり続く。これにより、表面にＳｉが生成する。本発明の砥石を用いた加工において、研磨液を用いることなく化学的活性の加工環境を構成すると、自然酸化膜（ＳｉＯ２）及びＳｉ原子格子の歪みのない、同時に、残留応力のない完全な表面が得られる。
かかる効果は６０重量％以上の純度の酸化セリウムの使用により顕著になり、更に９０重量％以上の純度の酸化セリウムとすることにより極めて顕著な効果が得られるのである。格子が一定間隔で整列している、また電子線回折像にも対応し現れている。即ち、本発明の合成砥石は、純度が６０重量％以上の高純度酸化セリウム微粒子を砥粒として用いることによりはじめて達成されるのである。より好ましい酸化セリウムの純度は９５重量％以上であるが、９９重量％以上となると性能面では問題ないが経済的競争力の面でやや難点がある。
本発明において好ましい酸化セリウムの含有量は構造全体に対する体積含有率で１５ないし７０％である。１５％より少ないと砥粒としての効果が十分でなく、７０％を超えると切れ刃の過剰関与、結合剤＋充填剤＋添加剤と砥粒の最適化学反応による熱的把持力の再調整が生じ、最適加工条件の再設定が起こる、また構造的に脆弱になって砥石破壊靱性の面でも好ましくない。
高純度酸化セリウム微粒子を砥粒として用いることにより極めて高い加工精度が得られることの理由は以下の通り説明される。即ち、大略３μｍ以下の高純度酸化セリウム砥粒は、約５ナノメートル（ｎｍ）以下の超微粒子の集合体である。シリコンウェーハは珪素の単結晶であり、珪素原子はダイヤモンド構造の４面体構造で規則正しく配列されている。加工において加工点のラジカル度を上げ、結晶格子原子の振動を上げると熱励起され、熱格子振動の付加により振幅が大きくなり、原子間のポテンシャルφ（ｒ）が低下する。この状態になるとＣｅ３＋からＣｅ４＋イオンの空間密度上昇と、Ｓｉ−ＣｅＯ２の相互反応により形成されたＳｉＯ２分子の熱活性により、酸化セリウム超微粒子の加工力で珪素の原子層が除去される。即ち、（１１１）方向に格子滑りが生じ、層が剥離されて行くために極めて高い加工精度が得られるのである。この効果は加工点を特定の加工条件におくこと、具体的には８０℃ないし３００℃、好ましくは１５０℃ないし２５０℃の活性温度加工条件とすることによって得られる。
更に、本発明になる合成砥石の第二の肝要は、酸化セリウム砥粒微粒子を組織内に安定して把持結合する結合材として樹脂、好ましくは熱硬化性樹脂を用いることにある。熱硬化性樹脂の硬化体は、原料になる樹脂が熱により不可逆的に反応硬化したものであり、その後の熱変化、使用環境変化（湿度、温度等による物性変化、寸法変化）、溶剤に対する変化（溶解、膨潤、収縮、可塑化、軟化）、経時による寸法変化のない素材であるから、砥石の結合材として用いた場合、砥石のあらゆる面での、形状、寸法安定性に寄与しうるものである。かかる機能、即ち、熱安定性、耐侯性、耐溶剤性等はナノメーターレベルでのより精緻な形状精度、寸法精度を求める合成砥石にとって欠くべからざるものであり、重要なポイントである。このような性能を安定化させるためには使用する熱硬化性樹脂の硬化反応が完全に完結していることが求められる。つまり、合成砥石の実使用段階においても硬化反応が進むようなものであってはならない。使用する熱硬化性樹脂の硬化反応は、その前駆体またはプレポリマーの熱硬化によって進められるものであるが、製造工程においてその硬化を完結させるためには、樹脂の硬化温度あるいはそれより多少高い温度での熱処理時間を十分にとり、硬化反応を完結させることが肝要であり、適当な硬化（架橋）触媒を使用することも効果的である。
本発明において結合材として使用される熱硬化性樹脂としては、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、硬質ウレタン系樹脂、尿素系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、アルキッド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリビニールアセタール系樹脂からなる群より選ばれる熱硬化性樹脂のうち少なくとも一つであることが好ましく、熱安定性、強靭性（破壊靱性値ＫＩ、ＫＩＩ、ＫＩＩＩ）等の観点から、これらの熱硬化性樹脂のうち、最も好ましい熱硬化性樹脂はフェノール系樹脂（ベークライト）である。これらの樹脂は製造過程においては未硬化の前駆体あるいはプレポリマーであってもよいが、製品となった際には熱硬化が完結したものでなくてはならない。即ち、合成砥石となった後は、熱あるいはその他の条件により硬度等の物性、形状が変化するものであってはならない。本発明の合成砥石においては、製造過程において、前記熱硬化性樹脂の硬化（架橋）触媒を併用することが形状の安定性向上のためにより効果的である。
なお、本発明において樹脂率とは、樹脂の含有率を示すものであり、構造体全体に対する体積含有率で示す。
本発明になる合成砥石の第三の肝要は、充填材として塩類、特に金属塩を加えることである。本発明の合成砥石の加工能率は加工圧力に依存する。加工圧力を上げてゆくと、加工面での焼けが発生したり、スクラッチが発生するようになることが多い。かかる問題点は充填材として金属塩を加えることにより顕著に改善される。金属塩としては、無機酸と無機塩基よりなる無機質の塩を用いることが好ましく、具体的には特に限定を受けるものではないが、好ましい例としては炭酸ナトリウム（Ｎａ２ＣＯ３）、炭酸カリウム（Ｋ２ＣＯ３）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）、水ガラス（珪酸ナトリウム  Ｎａ２ＳｉＯ３）、硫酸ナトリウム（Ｎａ２ＳＯ４）、等を挙げることができる。かかる組成とすることにより、高い加工圧力に耐える合成砥石を得ることができる。即ち、熱硬化性樹脂のみを結合剤として用いた合成砥石の場合砥石面にかけ得る圧力の上限は０．０５ＭＰａ程度であり、これ以上であると加工面の焼けが発生し、研磨加工はできなくなる。金属塩を併用することによりその上限値は０．１２ＭＰａ程度にまで改善される。また、０．０５ＭＰａの加工圧力で研磨加工した場合も、両者を併用した場合の方が加工能率は良好である。
金属塩の添加量は構造体全体に対し体積含有率で１％以上２０％以下の範囲にあることが必要である。１％未満であるとその効果は十分でなく、また、２０％を超えると量的に過剰であり、砥石の強度あるいは硬度等の物性に悪影響を与えるだけでなく、熱硬化性樹脂の硬化体の結合材としての機能やＧＣＤの添加の効果を阻害するので好ましくない。特に、好ましい範囲は構造体全体に対し体積含有率で５％以上１８％以下の範囲である。
本発明になる合成砥石の第四の肝要は、添加剤としてのナノダイヤモンドを用いることにある。その含有量は構造体全体に対する体積含有率で０．１％以２０％以下の範囲にあることが必要である。本発明の合成砥石において、添加剤として加えられるナノダイヤモンドとしてはグラファイトクラスタダイヤモンド（ＧＣＤ）が好ましく用いられる。ＧＣＤとは、爆発合成方法にてクラスタダイヤモンドを製造する過程における中間体として、その表層にグラファイト層をもったものができる。即ち、表面がグラファイト化され芯はダイヤモンドの状態のもの、つまりグラファイトでコーティングされたダイヤモンド微粒子ができる。これをＧＣＤと呼ぶ。中でもその粒径が５０Å（５ｎｍ）ないし３００Å（３０ｎｍ）程度のものが好ましい結果を与える。かかるナノダイヤモンドの所定量を添加することにより、−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を低圧で掻き出す効果を与え、研磨性能の変動がなくて効果的かつ均質な研磨加工を継続的に行なうことができ、更に砥粒把持力の均質等方化、研削熱等方伝導並びに伝達性、摩擦・摩耗低減、砥粒自生発刃能力の安定維持、砥粒振動減衰（約１０倍）等の向上効果も引き出すことができる。
本発明になる合成砥石は構造体として気孔を有することができる。ここでいう気孔とは、構造体中に独立気泡あるいは連続気孔として存在するものであり、その気孔形状、サイズ等は比較的均質なものである。気孔の存在により、研磨加工中に発生する研磨屑（切粉）をこの気孔中に捕捉し、表面への研磨屑の堆積を防止し、更に研磨熱の停留蓄積を防ぐことができる。気孔の形成は、適当な気孔形成材を製造時に配合して行なう方法、あるいは原料配合、焼成時に加圧条件を加減して気孔を形成せしめる方法等がある。本発明においては、気孔率は構造全体に対する体積含有率で１％以上３０％未満であることが好ましい。
このような静的・動的砥石主要要素が揃うことによって、合成砥石に適切な研磨条件を与え、化学的にＣｅＯ２−結合材−気孔とＳｉウェーハとの研磨熱活性場を構成することにより、ほぼＳｉ原子格子の歪みが零に近く、かつ自然酸化膜ＳｉＯ２発生などの組織変化がない、Ｓｉ完全結晶の加工表面が得られる。より詳細には、砥粒ＣｅＯ２−ＳｉＯ２の２体接触滑動としての加工挙動は次式で除去能力の存在を検証可能である。砥粒の貫入深さｄ＝３／４φ（Ｐ／２ＣＥ）２／３となる。圧力Ｐ（本条件では５ｋｐａ〜５Ｍｐａ）、砥粒径φ（２．３μｍ）、砥粒集中度Ｃ（＝７０％）、Ｓｉのヤング率Ｅ（＝１７０ＧＰａ）を、式に代入すると、機械的な砥粒貫入深さが、ＣＭ砥石の場合は、０．０１〜１ｎｍ程度である。この条件では、延性モードである。そして次に述べるＳｉの共有結合力の低下により、浚うようにＳｉＯ２が排除される。さらに、合成砥石中のＣｅＯ２砥粒の熱停留を防止し、研磨熱１５０〜２５０℃におけるＳｉＯ２に対するボンドポピュレーション（分子動力学におけるＳｉ−Ｏ２結合ポテンシャルφ）の弱体化のラジカルを安定化し、持続する効果が発現することに起因すると考察できる。このような効果は分子動力学シミュレーションからも裏付けされる。結果的に確認した場合、ＣＭ砥石の貫入深さｄ＝０．０１〜１ｎｍの深さにかかわらず、毎分数ｎｍ〜数１００ｎｍ（ウェーハの厚さ変化から算定）のＳｉ除去を実現している。このように乾式研削において、化学反応が寄与していることが明らかである。例えば、Ｓｉウェーハ表面に形成されたＳｉＯ２が、ＣｅＯ２砥粒と固相反応してケイ酸塩類を成した次に示す化学反応式である。
２ＣｅＯ２＋２Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ←→２Ｓｉ−Ｏ＝Ｃｅ−Ｏ−Ｓｉ＋Ｏ２
このケイ酸塩類は非常に柔らかくなるため、加工表皮の原子層ポテンシャルφ（ｒ）のエネルギを弱体化するとみなされるので、乾式条件下でも酸化物である砥粒によって簡単に除去できる。熱停留が砥粒ＣｅＯ２−結合材（含む充填材）界面で生じると、過剰ＳｉＯ２膜が強固に発生することになり加工層が形成されるが、本発明になる合成砥石においては、ＳｉＯ２膜よりなる加工層は発生しない。この時重要なことは、前記の化学反応は、化学平衡を右方向に進行させるためには２００℃以上の高温が必要である。
本発明の合成砥石には上記のほか、通常の合成砥石に添加する添加剤を適宜加えることができる。具体的には、フィラー、カップリング剤、酸化防止剤、着色剤、滑剤等を必要に応じて加えることができる。
本発明においては、砥石を装着し加工を行なう装置、すなわち加工機のタイプについては特に限定を受けるものではない。一般的にポリシング用として用いられている装置のポリシングパッドの代わりに砥石を載置した定盤上にワーク（被研磨体）を一定圧力で押圧し、双方を回転しながら加工を行なう装置を使用することも可能である。また、砥石とワークを同一軸上に対向するように配置し、双方を高速回転させながら、予め設定された微小切込量に従って砥石およびワークの双方あるいはその一方を微小移動させ、ワークの加工を行なうといういわゆる定寸方式の超精密研削盤、あるいは同様の形式においてあらかじめ設定された一定の圧力によってワークの加工を行なう定圧方式の精密加工装置を加工手段として用いることもできる。
就中、研磨熱を前述の８０℃ないし３００℃、好ましくは１５０℃ないし２５０℃の活性温度加工条件温度に到達せしめるには、研磨装置として、定圧あるいは定寸方式の研磨加工機、例えば予め設定された微小切込量に従って砥石およびワークの双方あるいはその一方を微小移動させ、ワークの加工を行なうといういわゆる超精密研削盤を用い、回転条件等を特定の条件に設定することが好ましい。具体的には、例えば特許文献１０等に記載の超加工機械を用いることが好ましい。これらの超加工機械は加工圧力、砥石相対運動による研削温度制御が可能である。この場合砥石形状はカップ型あるいはディスク型とし、砥石とワークの双方を高速回転して用いる。後者の装置を、例えばベアウェーハの加工に用いる場合は、ポリシングのみならず、それに先立つラッピング、エッチング、プレポリシングの工程までを一貫して行なえるという利点をも有する。
本発明の合成砥石の製造については特に限定を受けるものではなく、一般的な樹脂系の砥石の製法に準じて行なうことができる。例えばフェノール系の熱硬化樹脂を結合材として用いる場合は以下のような方法で製造が可能である。即ち、原料である酸化セリウム微粒子、熱硬化性フェノール樹脂の前駆体あるいはプレポリマーの粉末、充填材、添加剤を所定量均質混合し、所定の型枠に入れて加圧成型し、然る後熱硬化性フェノール樹脂の硬化温度以上の温度にて熱処理することによって得ることができる。熱硬化性フェノール樹脂の前駆体あるいはプレポリマーは液状のもの、あるいは溶剤に溶解したものであってもよい。この場合は混合時にペースト状とすることがよい。また必要に応じて硬化触媒、気孔形成材あるいはその他の添加材を適宜加えてもよい。
本発明の合成砥石が、Ｓｉ半導体表面表皮にＳｉＯ２膜を持つＳｉ基板（単結晶）を、残留応力、組織変化なし、所謂加工層無しのＳｉウェーハを製造するには、前述の横型又は縦型の超加工機械との組み合わせ、実用的条件にて用いることが好ましい。例えば、Ｓｉ−Ｓｉ結合と、ＧＣＤでＣｅＯ２を把持充填した時の原子間ポテンシャルφ（ｒ）は、
φ（ｒ）＝Ｄ（ｅｘｐ｛−２α（ｒ−ｒ０）｝−２ｅｘｐ｛−ｄ（ｒ−ｒ０）｝）で表される。但し、ｒ：原子間距離（ｒ０初期位置）、Ｄ：材料の原子間ポテンシャル、α：材料定数（Ａ−１）とする。
仮に、φ（ｒ）＝０ｅＶの時、Ｓｉ−Ｓｉ原子、ｒ≒２．２Å、Ｓｉ−Ｃ（ＧＣＤ）原子は、ｒ≒１．８Å、また、原子間力ｆ（ｒ）＝０は、Ｓｉ−Ｓｉ原子ｒ≒２．２Å、Ｓｉ−Ｃ原子ｒ≒２．０Åであるから、ＧＣＤ添加により、Ｓｉ原子層を一層ずつ、より整然と切削機能なしに、掻き出すことがわかる。このシミュレーション結果の検証は、３．９４Å（理論値３．８４Å）の格子間隔の発現〔Ｓｉ（００１）〕からわかる。
本発明の合成砥石は、ＣｅＯ２−ＧＣＤ−結合剤−充填剤−添加剤−気孔の適性含有％において、前記砥石＋ＳｉＯ２−Ｓｉの組み合わせを構成する。その時（ＣｅＯ２）−と（ＳｉＯ２）２＋の反応が、本加工条件（加工圧力１ＭＰａ、相対速度１５ｍ／ｓ）で研磨すると、１５０〜２５０℃の研磨熱が発生する。すると砥粒とＳｉＯ２、Ｓｉの間で、
Ｓｉ＋Ｏ２→（ＳｉＯ２）２＋＋２ｅ−→ＳｉＯ２
の熱化学反応が界面で発生する。反応前後のＳｉ結合電子数の減少は、Ｓｉ共有結合力の弱体化を示しているから、この反応では、酸素を消費して、ｅ−を放出することになる。よって、
２（ＣｅＯ２）＋２ｅ−←→２（ＣｅＯ２）−←→ＣｅＯ３＋１／２Ｏ−
は右辺に進行することになる。さらに前記２つの式の中間生成物（ＣｅＯ２）−と（ＳｉＯ２）２＋が反応して、複合物（Ｃｅ−Ｏ−Ｓｉ）が形成される。
（ＳｉＯ２）２＋＋２（ＣｅＯ２）−←→Ｃｅ２Ｏ３・ＳｉＯ２
この複合物は結合強さが非常に弱い非晶質である。単結晶Ｓｉ（１００）のマイクロ強さは、１１〜１３ＧＰａに比べてＣｅＯ２の硬さはその半分（５〜７Ｇｐａ）程度である。ここでＳｉをＣｅＯ２で除去することは困難である。それ故に、ＣＭ砥石加工では切削機能はほぼ働かないために、加工層が形成されない。つまりこの条件はＣｅの〔Ｘｅ〕４ｆ１５ｄ１６Ｓ２の原子配列を有する。よってそのイオン価がＣｅ（１１１）／Ｃｅ３＋か、Ｃｅ（１Ｖ）／Ｃｅ４＋によって、２種類の酸化物ＣｅＯ２、Ｃｅ２Ｏ３が存在する固定砥石の研磨条件とＣＭ砥石の組み合わせ条件が最適加工雰囲気（加工熱１５０〜２５０℃）の付与によって加工層のないφ３００ｍｍＳｉウェーハの加工ができる。
以下、実施例および比較例に従い本発明の具体的実施態様を説明するが、それにより限定を受けるものではない。
【実施例】
【０００６】
実施例および比較例
砥石製造
砥粒として平均粒子径が１−３μｍの酸化セリウム微粒子を用いた。結合材として熱硬化性フェノール樹脂粉体、充填材として炭酸ナトリウム、添加剤として粒径約１００Åのグラファイトクラスタダイヤモンドを用い、この四者を均一に混合し所定の型枠に入れて加熱加圧成型法にて５．２×１０×４０ｍｍのサイズの実施例１−４、比較例１−４の砥石を得た。砥石成型における焼成条件は、次の通りである。
室温→８０℃昇温：１０分
８０℃保持：５分
８０℃→１００℃加圧昇温：１０分
１００℃→１９０℃昇温：１５分
１９０℃保持：１８時間
室温まで冷却：３０分
なお、実施例１−３、５及び、比較例１−３及び５で砥粒として用いた酸化セリウム微粒子はＣｅＯ２純度；９６．５重量％のもの、実施例４で砥粒として用いた酸化セリウム微粒子はＣｅＯ２純度；６５．８重量％のもの、比較例４で用いた酸化セリウム微粒子はＣｅＯ２純度；４２．５重量％のものである。実施例１−５、比較例１−５の砥石の砥粒率、樹脂率、充填材率、添加剤率、気孔率を表１に示す。
【表１】
2008117883.tif 000003
合成砥石による試験１
上述の各砥石を横型超精密研削盤に取り付け、シリコンベアウェーハ（３インチサイズ）の加工試験を行なった。ここでの試験は砥石の良否を定性的に判定するものであり、詳細な評価は行っていない。
加工条件は、砥石回転数５００ｒｐｍ、ワーク（ウェーハ）回転数５０ｒｐｍ、加工圧力０．１ｋｇｆ／ｃｍ２で行ない、加工液は使用しなかった。なお、砥石の形状安定性とは外力あるいは熱変化に対する変位の程度を示すものであり、砥石の変形、消耗とは実際の使用時の変形、消耗を示すものである。
定性的な評価結果を表２に示す。表２における評価基準は以下の通りである。
◎：非常に良好○：良好
Δ：やや不良          ×：不良
【表２】
2008117883.tif 000004
合成砥石による試験２
上述の定性的研磨試験の結果において最も優れた結果が得られた実施例５の砥石及び純度６０重量％以下の酸化セリウムを用いた比較例５の砥石を用いて、８００番のダイヤモンド砥石で一次研磨を行なった後の３００ｍｍφのベアシリコンウェーハの加工を行なった。一次研磨後のシリコンウェーハの面粗さＲａは１３．３０ｎｍであった。加工条件は、砥石回転数５００ｒｐｍ、ワーク（ウェーハ）回転数５０ｒｐｍ、加工圧力０．１ｋｇｆ／ｃｍ２で行ない、加工液は使用しなかった。加工後の表面の評価結果を第３表に示す。
参考のために同様にして準備した一次研磨後のシリコンウェーハを５０００番のダイヤモンド砥石で砥石回転数１５００ｒｐｍ、ワーク（ウェーハ）回転数５０ｒｐｍ、送り速度１０μｍｍ／ｍｉｎ、水を加工液として研磨を行なったもの、及び従来のポリシング法にて得られたポリシドウェーハの評価結果を第３表に併記する。なお、エッチングはフッ酸：硝酸：酢酸＝９：１９：２の混酸を用い、室温で３０分間行った。なお、表３において、表面粗さについてはＺＹＧＯ社製の位相干渉計（ＮｅｗＶｉｅｗ  ２００）で測定した結果を示す。また、それ以外の外観の評価は目視による評価結果である。
【表３】
2008117883.tif 000005
表３の結果から明らかな通り、本発明の砥石（実施例５）によって得られたウェーハの面粗さおよび外観は化学機械的ポリシング法にて得られたものと大差なく、ダイヤモンド砥石による面に見られる規則的条痕は全く認められなかった。加工面を混酸にてエッチングした所、本発明の砥石によって得られた面は化学機械的ポリシング法にて得られた面と大差なくエッチピットは認められなかったが、ダイヤモンド砥石による面では無数の筋状エッチピットが認められた。エッチング深さも、化学機械的ポリシング法にて得られたものと大差なかった。添加剤としてのグラファイトクラスタダイヤモンドは砥石の潤滑性、砥粒脱落性（自生発刃能力）、ＣｅＯ２（１〜３μｍ平均粒径に対し、約５０ｎｍ以上の微細粒子の単結晶構造を持つ）の微小切れ刃の平滑能力、結合剤への熱停留緩和、砥粒、結合剤、結合剤界面の振動減衰に寄与し、砥粒の研磨能力発現に必須であることが表２、表３の結果が示している。
また、純度が６０重量％以下の酸化セリウムを砥粒として用いた比較例４の砥石は僅かではあるが浅いスクラッチが不規則に発生し、実際の使用に耐え得るものではなかった。
図１は実施例３の砥石で加工したシリコンウェーハのＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）による像と電子線回折像であり、図２は通常ポリシング法（化学機械的ポリシング法）で加工したシリコンウェーハのＴＥＭによる像と電子線回折像である。この図から明らかなように本発明の合成砥石を用いた乾式研磨加工ではＳｉ単結晶の格子構造が観察できるのに対し、通常の化学機械的ポリシング法の最終仕上げでは表面に非晶質ＳｉＯ２の層が存在し格子構造は観察できない。即ち、本発明の合成ＣＭ砥石を用いた乾式研磨加工では、Ｓｉ（００１）面の格子像が整列配位し、規定の原子格子間隔を保っているのに対して、遊離砥粒による最終ポリシング（化学機械的研磨）面には、それが見られない。また、Ｓｉ（００１）面の原子格子回折は、ＣＭ砥石は所定の回折位置と角度において回折像を示すのに対して、最終ポリシング面には、ハローが現れ、非晶質ＳｉＯ２の生成を意味するｎ−パターンが認められる。ＣＭ砥石の加工層には、亀裂、塑性歪み、転位などの欠陥がないことを示している。従って、素地と同じ無欠陥、つまり加工層無しの加工がＣＭ砥石によって得られている。
本発明の合成砥石を用いて研磨試験で得られた３００ｍｍφシリコンウェーハのＴＥＭ観察（４００ＫＶ、８０万倍で観察）及び高分解能原子間力プローブ顕微鏡（Ａｓｙｌｕｍ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｉｎｃ社製、ＭＦＰ−３０）を使って３．５ｎｍ×７ｎｍの領域を測定した結果、Ｓｉ単結晶原子格子（０１１）面間隔３．９４Åで、理論空間波長３．８４Åとほぼ一致する。このことは、０．１Åの格子歪みであり、いわゆる残留応力はほぼ零ということになる。図１のＴＥＭ像（ＣＭ砥石加工による面）には、各格子面が鮮明に現れており、Ｓｉ単結晶構造を、表面から作っていることが解る。よって本発明になる合成砥石を用いることにより、シリコン単結晶の構造のまま、加工層がない３００ｍｍφシリコンウェーハの加工が実現できていることは明らかである。
本発明になるシリコンウェーハ研磨用合成砥石は、砥粒＋結合剤＋充填材＋添加剤の組成において（ＣｅＯ２）−と（ＳｉＯ２）２＋の反応が研磨過程において進み、表面にＣｅ２Ｏ３・ＳｉＯ２で示される複合物が生成する。この複合物は、結合強さが非常に弱い非晶質である。この複合物はＣｅＯ２が最適研磨排除能力を持つように設計した砥石、ＣｅＯ２＋ＧＣＤ＋結合剤＋充填材＋添加剤の組み合わせと配合比の最適条件と研磨条件の組み合わせにより最適加工環境（加工温度１５０〜２５０℃の利用）の付与によって、砥粒である高純度酸化セリウム微粒子によって容易に切削機能の作用なく、ＣＭ砥石の定圧制御加工、即ち機械精度を凌ぐことが可能な進化の加工原理を適用することによって、加工層のないシリコンウェーハができる。
【産業上の利用可能性】
【０００７】
上述の通り、本発明の砥石によれば、従来ポリシングパッドと研磨用組成物（スラリー）によって行われてきたシリコンウェーハのポリシング（化学機械的ポリシング）加工を、固定砥粒を有する合成砥石でのＣＭ砥石加工で行なうことを可能にしたものである。即ち、合成砥石を用いるＣＭ砥石加工の採用により、従来の化学機械的ポリシングにより加工されたシリコンウェーハに見られるロールオフ等形状精度の問題を一気に解決できるのみならず、ポリシングパッドと研磨用組成物を用いることに伴う２次的性能も含めた問題点も解決できる。つまり、加工の持続性に関する不安定さ、遊離砥粒を用いることによる使用装置の汚染、ワーク自体の汚染、廃液による環境汚染等ポリシング２次性能の問題点の解決も可能となる。また、アズカットウェーハからの一貫した連続加工をしかも加工液なしで行なうことも可能であり、従来の、高価な遊離砥粒やスラリーを多量に消費することによる加工コストを低減でき、半導体産業界にとって、有効なＳｉウェーハ加工技術として貢献できると考える。
【図１】
2008117883.tif 000006
【図２】
2008117883.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月23日(2009.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥粒としての酸化セリウム微粒子、結合材としての樹脂、充填材としての塩類および添加剤としてのグラファイトクラスタダイヤモンドの微粒子を主要成分として含有する構造体であって、前記酸化セリウムの純度は６０重量％以上であり、充填材としての塩類の含有量が構造全体に対する体積含有率で１％以上２０％未満の範囲にありかつ添加剤としてのグラファイトクラスタダイヤモンドの微粒子の含有量が構造全体に対する体積含有率で０．１％以上２０％未満の範囲にあることを特徴とする合成砥石。
【請求項２】
結合材としての樹脂が、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、硬質ウレタン系樹脂、尿素系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、アルキッド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリビニールアセタール系樹脂からなる群より選ばれる熱硬化性樹脂のうち少なくとも一つであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の合成砥石。
【請求項３】
充填材としての塩類が無機酸と無機塩基よりなる金属塩であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第２項のいずれかに記載の合成砥石。
【請求項４】
（削除）
【請求項５】
グラファイトクラスタダイヤモンドの粒子径が５０オングストローム（Å）ないし３００Åであることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の合成砥石。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
しめ、その瞬時に選択的に−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を低圧掃き出しすることができる。ここにおいて、添加剤をナノダイヤモンドとすることによって均質性、熱や圧力に対する形状安定性、耐熱性、耐圧性、研磨熱の伝導、伝達性に優れ、使用に伴う砥石の変形、摩擦や摩耗が均質かつ定常的に小さく、性能機能の変化の少ない研磨効率に優れた砥石が得られることを見出したのである。特に酸化セリウムの純度が合成砥石の研磨力向上及びスクラッチ（条痕）等の欠点発生の抑止に効果的に貢献し、更に添加剤であるナノダイヤモンドの種類と量との選定が合成砥石の熱や圧力に対する寸法・形状安定性・砥粒（ｍ）・減衰（ｃ）・バネ（ｋ）の動的振動による吸振性、及び切削要素低減による、研磨力の向上に寄与することを見出したものである。
充填材としての塩類はＳｉ原子結合ポテンシャルを瞬時；ｐｓ（ピコ秒）オーダーで弱体化させ、引っ掻き除去機能発現効果を得る。更に、添加剤としてのナノダイヤモンドは、−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を、潤滑と熱放散により−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を選択的に低圧掻き出し効果をもつ。なお、本発明においてナノダイヤモンドとは、クラスタダイヤモンド及びそれを完全に黒鉛（グラファイト）化したものあるいは表層部分を部分的に黒鉛（グラファイト）化したもの（グラファイトクラスタダイヤモンド：ＧＣＤ）を示す。
近年、酸化セリウムとして扱われるものの酸化セリウム純分（純度）は、全体に対する希土類酸化物（ＴＲＯ）の重量％と、希土類酸化物中に含まれる酸化セリウムの重量％（ＣｅＯ２／ＴＲＯ）とを併記して表示されることが多い。本発明においては酸化セリウム純度とは、上記の両者が併記されている場合には、その積をもって酸化セリウム純度とする。例えばＴＲＯの重量％が９０％、ＣｅＯ２／ＴＲＯ重量％が５０％の場合は、（９０×５０）／１００＝４５重量％とする。
上述の目的は、砥粒としての酸化セリウム微粒子、結合材としての樹脂、充填材としての塩類および添加剤としてのグラファイトクラスタダイヤモンドの微粒子を主要成分として含有する構造体であって、前記酸化セリウムの純度が６０重量％以上であり、充填材としての塩類の含有量が構造全体に対する体積含有率で１％以上２０％未
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
満の範囲にありかつ添加剤としてのグラファイトクラスタダイヤモンドの微粒子の含有量が構造全体に対する体積含有率で０．１％以上２０％未満の範囲にあることを特徴とする合成砥石にて達成される。
図面の簡単な説明
図１は、実施例３の砥石で加工したシリコンウェーハの表面のＴＥＭ像および電子線回折図（右下図）である。
図２は、化学機械的ポリシングで加工したシリコンウェーハの表面のＴＥＭ像および電子線回折図（右下図）である。
発明を実施するための最良の形態
本発明になる合成砥石の第一の肝要は、砥粒として用いる酸化セリウムの純度を６０重量％以上の高純度品とする点にある。一般的にバネストサイト鉱として産する酸化セリウムは共存する他の希土類元素やハフニウム等の不純物元素の含有率が高くまたその除去が難しいため、通常４０ないし６０重量％程度の純度のものが酸化セリウム研磨材砥粒として用いられている。本発明者等は、本発明になる合成砥石に使用する研磨材砥粒のグレードについて鋭意検討を行なった結果、ガラス等のポリシングに用いられる一般的な低純度酸化セリウムを砥粒として使用した場合において見られる被研磨体表面スクラッチ等の欠点の発生は、高純度品を用いることにより抑制され、その加工に要する時間はベアウェーハの通常の化学機械的ポリシング加工と同等あるいはそれ以下であることを見出したのである。即ち、砥粒としての酸化セリウム微粒子は、その純度が６０重量％よりも高くなるにつれて、ＳｉＯ２分子、Ｓｉ原子とＣｅＯ２との間で活発な化学反応環境が構成され、Ｓｉ−Ｏ２とＣｅ−Ｏ２において、Ｓｉ−Ｏ２にＣｅ３＋イオンが作用しＳｉ−ＣｅＯ２を瞬時に形成することが見出された。たとえば、５０〜３００ÅのＧＣＤを０．１〜２０％添加すると、ＣｅＯ２−Ｎａ２ＣＯ３−ＧＣＤ−ＣａＣＯ３−結合剤の熱伝導性、親和性、振動減衰性等の物理・化学的性質が向上、安定化する。その結果、砥粒近傍の熱停留を防止し、研削熱
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
ことが必要である。１％未満であるとその効果は十分でなく、また、２０％を超えると量的に過剰であり、砥石の強度あるいは硬度等の物性に悪影響を与えるだけでなく、熱硬化性樹脂の硬化体の結合材としての機能やＧＣＤの添加の効果を阻害するので好ましくない。特に、好ましい範囲は構造体全体に対し体積含有率で５％以上１８％以下の範囲である。
本発明になる合成砥石の第四の肝要は、添加剤としてのナノダイヤモンドを用いることにある。その含有量は構造体全体に対する体積含有率で０．１％以上２０％以下の範囲にあることが必要である。本発明の合成砥石において、添加剤として加えられるナノダイヤモンドとしてはグラファイトクラスタダイヤモンド（ＧＣＤ）が好ましく用いられる。ＧＣＤとは、爆発合成方法にてクラスタダイヤモンドを製造する過程における中間体として、その表層にグラファイト層をもったものができる。即ち、表面がグラファイト化され芯はダイヤモンドの状態のもの、つまりグラファイトでコーティングされたダイヤモンド微粒子ができる。これをＧＣＤと呼ぶ。中でもその粒径が５０Å（５ｎｍ）ないし３００Å（３０ｎｍ）程度のものが好ましい結果を与える。かかるナノダイヤモンドの所定量を添加することにより、−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−を低圧で掻き出す効果を与え、研磨性能の変動がなくて効果的かつ均質な研磨加工を継続的に行なうことができ、更に砥粒把持力の均質等方化、研削熱等方伝導並びに伝達性、摩擦・摩耗低減、砥粒自生発刃能力の安定維持、砥粒振動減衰（約１０倍）等の向上効果も引き出すことができる。
本発明になる合成砥石は構造体として気孔を有することができる。ここでいう気孔とは、構造体中に独立気泡あるいは連続気孔として存在するものであり、その気孔形状、サイズ等は比較的均質なものである。気孔の存在により、研磨加工中に発生する研磨屑（切粉）をこの気孔中に捕捉し、表面への研磨屑の堆積を防止し、更に研磨熱の停留蓄積を防ぐことができる。気孔の形成は、適当な気孔形成材を製造時に配合して行なう方法、あるいは原料配合、焼成時に加圧条件を加減して気孔を形成せしめる方法等がある。本発明においては、気孔率は構造全体に対する体積含有率で１％以上
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
加工条件は、砥石回転数５００ｒｐｍ、ワーク（ウェーハ）回転数５０ｒｐｍ、加工圧力０．１ｋｇｆ／ｃｍ２で行ない、加工液は使用しなかった。なお、砥石の形状安定性とは外力あるいは熱変化に対する変位の程度を示すものであり、砥石の変形、消耗とは実際の使用時の変形、消耗を示すものである。
定性的な評価結果を表２に示す。表２における評価基準は以下の通りである。
◎：非常に良好○：良好
Δ：やや不良          ×：不良
2008117883.tif 000008
合成砥石による試験２
上述の定性的研磨試験の結果において最も優れた結果が得られた実施例５の砥石及び純度６０重量％以下の酸化セリウムを用いた比較例４の砥石を用いて、８００番のダイヤモンド砥石で一次研磨を行なった後の３００ｍｍφのベアシリコンウェーハの加工を行なった。一次研磨後のシリコンウェーハの面粗さＲａは１３．３０ｎｍであった。加工条件は、砥石回転数５００ｒｐｍ、ワーク（ウェーハ）回転数５０ｒｐｍ、加工圧力０．１ｋｇｆ／ｃｍ２で行ない、加工液は使用しなかった。加工後の表面の評価結果を第３表に示す。
参考のために同様にして準備した一次研磨後のシリコンウェーハを５０００番のダイヤモンド砥石で砥石回転数１５００ｒｐｍ、ワーク（ウェーハ）回転数５０ｒｐｍ、送り速度１０μｍｍ／ｍｉｎ、水を加工液として研磨を行なったもの、及び従来のポ
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
リシング法にて得られたポリシドウェーハの評価結果を第３表に併記する。なお、エッチングはフッ酸：硝酸：酢酸＝９：１９：２の混酸を用い、室温で３０分間行った。なお、表３において、表面粗さについてはＺＹＧＯ社製の位相干渉計（ＮｅｗＶｉｅｗ  ２００）で測定した結果を示す。また、それ以外の外観の評価は目視による評価結果である。
2008117883.tif 000009
表３の結果から明らかな通り、本発明の砥石（実施例５）によって得られたウェーハの面粗さおよび外観は化学機械的ポリシング法にて得られたものと大差なく、ダイヤモンド砥石による面に見られる規則的条痕は全く認められなかった。加工面を混酸にてエッチングした所、本発明の砥石によって得られた面は化学機械的ポリシング法にて得られた面と大差なくエッチピットは認められなかったが、ダイヤモンド砥石による面では無数の筋状エッチピットが認められた。エッチング深さも、化学機械的ポリシング法にて得られたものと大差なかった。添加剤としてのグラファイトクラスタダイヤモンドは砥石の潤滑性、砥粒脱落性（自生発刃能力）、ＣｅＯ２（１〜３μｍ平均粒径に対し、約５０ｎｍ以上の微細粒子の単結晶構造を持つ）の微小切れ刃の平滑能力、結合剤への熱停留緩和、砥粒、結合剤、結合剤界面の振動減衰に寄与し、砥粒の研磨能力発現に必須であることが表２、表３の結果が示している。
また、純度が６０重量％以下の酸化セリウムを砥粒として用いた比較例４の砥石は僅かではあるが浅いスクラッチが不規則に発生し、実際の使用に耐え得るものではなかった。
【国際調査報告】
2008117883.tif 000010
2008117883.tif 000011
2008117883.tif 000012
2008117883.tif 000013