(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力する被試験信号を受け取り、被試験信号の信号レベルと、予め設定される第１の閾値及び第２の閾値との比較結果を示す論理値を出力するレベル比較部と、与えられるストローブ信号に応じて、レベル比較部が出力する論理値を取得する取得部と、取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とが一致するか否かを判定する期待値比較回路と、被試験信号のアイ開口が予め規定されるアイマスクより大きいか否かを判定するアイマスク試験を行う場合に、アイマスクの電圧の上限値及び下限値を、第１の閾値及び第２の閾値としてレベル比較部に設定する閾値制御部とを備える試験装置を提供する。
2008136301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力する被試験信号を受け取り、前記被試験信号の信号レベルと、予め設定される第１の閾値及び第２の閾値との比較結果を示す論理値を出力するレベル比較部と、
与えられるストローブ信号に応じて、前記レベル比較部が出力する論理値を取得する取得部と、
前記取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とが一致するか否かを判定する期待値比較回路と、
前記被試験信号のアイ開口が予め規定されるアイマスクより大きいか否かを判定するアイマスク試験を行う場合に、前記アイマスクの電圧の上限値及び下限値を、前記第１の閾値及び前記第２の閾値として前記レベル比較部に設定する閾値制御部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記閾値制御部は、前記被試験デバイスのアイマスク試験とは異なる機能試験を行う場合に、前記第１の閾値及び前記第２の閾値として前記レベル比較部に設定すべき値と、前記アイマスク試験を行う場合に、前記第１の閾値及び前記第２の閾値として前記レベル比較部に設定すべき前記アイマスクの電圧の上限値及び下限値とを、予め保持する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記被試験信号のそれぞれのサイクルに対して、位相の異なる複数の前記ストローブ信号を有するマルチストローブを生成するマルチストローブ発生部を更に備え、
前記取得部は、前記被試験信号のそれぞれのサイクルにおいて、前記複数のストローブ信号に対応する複数のタイミングで、前記レベル比較部が出力する論理値を取得する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記試験装置は、複数の前記被試験信号を並列に受け取る複数の信号測定ユニットを有し、
それぞれの前記信号測定ユニットは、少なくとも前記レベル比較部及び前記取得部をそれぞれ有する
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記マルチストローブ発生部は、前記アイマスクの時間方向における前後の境界に対応する２つの前記ストローブ信号を少なくとも有する、前記マルチストローブを生成する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記期待値比較回路における判定結果に基づいて、前記被試験信号のアイ開口度を算出する演算部を更に備える
請求項３に記載の試験装置。
【請求項７】
前記試験装置は、前記被試験信号を受け取る信号測定ユニットと、前記被試験デバイスが前記被試験信号と同期して出力するクロック信号を受け取るクロック測定ユニットとを有し、
前記信号測定ユニット及び前記クロック測定ユニットは、少なくとも前記レベル比較部及び前記取得部をそれぞれ有して、前記被試験信号及び前記クロック信号を並列に測定し、
前記閾値制御部は、前記信号測定ユニットの前記レベル比較部に、前記アイマスクの電圧の上限値及び下限値を、前記第１の閾値及び前記第２の閾値として設定し、前記クロック測定ユニットの前記レベル比較部に、前記クロック信号のＨレベル及びＬレベルを規定する値を、前記第１の閾値及び前記第２の閾値として設定し、
前記演算部は、前記クロック測定ユニットにおける測定結果に基づいて、前記クロック信号のジッタを算出し、前記クロック信号のジッタに更に基づいて、前記被試験信号のアイ開口度を算出する
請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
前記期待値比較回路は、前記被試験信号のサイクル毎に、前記取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とを比較し、
前記試験装置は、
前記期待値比較回路が出力する比較結果が、連続して予め定められた比較結果となる時間幅が、前記アイマスクの時間幅より大きいか否かを、前記被試験信号のサイクル毎に判定する判定処理部と、
測定した前記被試験信号の全てのサイクルにおいて、前記時間幅が、前記アイマスクの時間幅より大きいか否かを判定する演算部と
を更に備える請求項３に記載の試験装置。
【請求項９】
前記マルチストローブ発生部は、前記アイマスクの時間方向における前後の境界に対応する２つの前記ストローブ信号を、前記被試験信号のサイクル毎に生成し、
前記期待値比較回路は、前記被試験信号のサイクル毎に、前記取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とを比較し、
前記試験装置は、
測定した前記被試験信号の全てのサイクルにおいて、前記期待値比較回路における比較結果が予め定められた比較結果となるか否かを判定する演算部と
を更に備える請求項３に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記試験装置は、並列に設けられた複数の信号測定ユニットを有し、
それぞれの前記信号測定ユニットは、少なくとも前記レベル比較部及び前記取得部をそれぞれ有し、
前記試験装置は、前記被試験信号を分岐して２以上の前記信号測定ユニットに入力する入力部を更に備え、
前記閾値制御部は、前記被試験信号が分岐して入力される２以上の前記レベル比較部に対して、それぞれ異なる値を前記第１の閾値及び前記第２の閾値として設定する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項１１】
被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記被試験デバイスが出力する被試験信号を受け取り、前記被試験信号の信号レベルと、予め設定される第１の閾値及び第２の閾値との比較結果を示す論理値を出力するレベル比較部と、与えられるストローブ信号に応じて、前記レベル比較部が出力する論理値を検出する取得部と、前記取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とが一致するか否かを判定する判定部とを備える試験装置に対して、
前記被試験信号のアイ開口が予め規定されるアイマスクより大きいか否かを判定するアイマスク試験を行う場合に、前記アイマスクの電圧の上限値及び下限値を、前記第１の閾値及び前記第２の閾値として前記レベル比較部に設定する試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置及び試験方法に関する。特に本発明は、被試験デバイスが出力する信号のアイ開口度を試験する試験装置及び試験方法に関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。  
１．特願２００７−１１９１７４    出願日  ２００７年４月２７日
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ等の被試験デバイスを試験する項目として、出力波形品質の試験がある。例えば、被試験デバイスに擬似ランダムパターンを出力させて、出力信号のアイダイアグラムの開口度を測定することが考えられる。タイミング方向の開口度を測定する場合、出力信号のエッジのジッタを測定するが、電圧レベル方向及びタイミング方向の両方の開口度を測定する場合、マスクテストを行う。【０００３】
マスクテストは、アイダイアグラムの中心に、要求品質に応じたアイマスクを想定して、出力信号の全ての波形データが、アイマスクの外側にあるか否かを測定する。例えばインターフェースの標準規格として、アイマスクが設定される場合が多い。従って、マスクテストを量産試験に適用する場合、マスクテストを多チャンネルで並列に行い、また短時間で実行できることが好ましい。【０００４】
従来、マスクテストを実行するアプリケーションは、個別の測定器に組み込まれている。例えば、サンプリングオシロスコープには、マスクテスト用のアプリケーションソフトウェアが組み込まれているものがある。また、タイムインターバルアナライザ等にも、マスクテスト用のアプリケーションソフトウェアが用意されている場合がある。尚、アイ開口率を測定する先行技術を開示する文献として、以下の特許文献がある。
【特許文献１】特開２０００−２９５２９８号公報
【０００５】
しかし、サンプリングオシロスコープ、タイムインターバルアナライザ等の個別の測定器に、マスクテスト用のソフトウェアを組み込んだ装置で、量産試験のマスクテストを実現することは困難である。例えば、多チャンネルの測定を行う場合、サンプリングオシロスコープ等を多数準備する必要があり、多チャンネルの測定装置を高密度に実装することが困難である。【０００６】
また、測定した信号波形をメモリに記憶して、全ての信号波形データが、アイマスクの外側にあるかを判定する処理をプロセッサ等で行うので、プロセッサ処理に時間がかかってしまう。また、等価サンプリング方式をベースにして信号波形を測定するので、信号波形の測定に時間がかかってしまう。また、信号波形をアンダーサンプリングする場合、測定デッドバンドが生じてしまう。また、サンプリングタイミングを規定するストローブ信号の位相を徐々に変化させて走査する必要があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置及び試験方法を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力する被試験信号を受け取り、被試験信号の信号レベルと、予め設定される第１の閾値及び第２の閾値との比較結果を示す論理値を出力するレベル比較部と、与えられるストローブ信号に応じて、レベル比較部が出力する論理値を取得する取得部と、取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とが一致するか否かを判定する期待値比較回路と、被試験信号のアイ開口が予め規定されるアイマスクより大きいか否かを判定するアイマスク試験を行う場合に、アイマスクの電圧の上限値及び下限値を、第１の閾値及び第２の閾値としてレベル比較部に設定する閾値制御部とを備える試験装置を提供する。【０００９】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験方法であって、被試験デバイスが出力する被試験信号を受け取り、被試験信号の信号レベルと、予め設定される第１の閾値及び第２の閾値との比較結果を示す論理値を出力するレベル比較部と、与えられるストローブ信号に応じて、レベル比較部が出力する論理値を検出する取得部と、取得部が取得した論理値と、予め設定される期待値とが一致するか否かを判定する判定部とを備える試験装置に対して、被試験信号のアイ開口が予め規定されるアイマスクより大きいか否かを判定するアイマスク試験を行う場合に、アイマスクの電圧の上限値及び下限値を、第１の閾値及び第２の閾値としてレベル比較部に設定する試験方法を提供する。【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一つの実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】（ａ）は、被試験信号のアイダイアグラムの一例を示す図である。（ｂ）は、マルチストローブの一例を示す図である。（ｃ）は、マルチストローブの他の例を示す図である。
【図３】試験装置１００の動作の一例を説明するタイミングチャートである。
【図４】試験装置１００の他の動作例を示すタイミングチャートである。
【図５】試験装置１００の他の構成例を示す図である。
【図６】図５において説明した試験装置１００に設定される閾値の一例を示す図である。
【図７】図５において説明した試験装置１００に設定される閾値の他の例を示す図である。
【図８】図５において説明した試験装置１００に設定される閾値の他の例を示す図である。
【図９】試験装置１００の他の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００１２】
１０    測定ユニット
１２    レベル比較部
１４    閾値制御部
１６    期待値生成部
２０    マルチストローブ発生部
２２    遅延素子
３０    取得部
３２    フリップフロップ
４０    期待値比較回路
４２    排他的論理和回路
５０    判定処理部
６０    演算部
７０    入力部
１００  試験装置
２００  被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１４】
図１は、本発明の一つの実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。試験装置１００は、半導体チップ等の被試験デバイス２００を試験する装置であって、複数の測定ユニット１０を備える。それぞれの測定ユニット１０は、被試験デバイス２００が出力する被試験信号が入力され、被試験信号のアイ開口を測定する。【００１５】
本例における測定ユニット１０は、被試験信号の各サイクルにおいて、後述するマルチストローブを生成することにより、ストローブ信号の位相を変化させて走査する処理を省略して、且つ測定のデッドバンドを除去する。つまり、測定ユニット１０は、ストローブ信号の位相を走査して複数のタイミングで被試験信号をサンプリングする従来の処理に代えて、位相の異なる複数のストローブ信号（マルチストローブ）を生成する。また、被試験信号のサイクル毎にマルチストローブを生成して、被試験信号をオーバーサンプリングすることにより、測定のデッドバンドを排除する。【００１６】
また、それぞれの測定ユニット１０が被試験信号を測定するハードウェア（レベル比較部１２等）を有することにより、複数の測定ユニット１０での信号同時測定を可能とする。例えばそれぞれの測定ユニット１０は、被試験デバイス２００の異なるピンから出力される被試験信号が入力されてよく、異なる被試験デバイス２００から出力される被試験信号が入力されてもよい。それぞれの測定ユニット１０は、同一の機能及び構成を有しており、それぞれ入力される被試験信号を並列に測定する。つまり、試験装置１００は、複数の被試験信号のアイ開口を同測することができる。【００１７】
また、試験装置１００は、被試験デバイス２００の機能試験、ジッタ試験等を行う機能を有してよい。例えば被試験デバイス２００の機能試験を行う場合、試験装置１００は、被試験デバイス２００に所定の論理パターンを有する試験信号を入力する試験信号入力部を更に備えてよい。この場合、それぞれの測定ユニット１０は、試験信号に応じて被試験デバイス２００が出力する被試験信号の論理パターンを測定して、期待値パターンと比較する。試験装置１００は、機能試験を行う一般的な試験装置の構成を有してよい。また、試験装置１００は、機能試験を行う試験装置に設けられる測定ユニット１０を用いて、被試験信号のアイ開口を測定する装置であってよい。機能試験を行う試験装置は、一般に多数の測定ユニット１０を並列に有しているので、多数の被試験信号のアイ開口を並列に測定することができる。【００１８】
それぞれの測定ユニット１０は、レベル比較部１２、閾値制御部１４、期待値生成部１６、マルチストローブ発生部２０、取得部３０、期待値比較回路４０、判定処理部５０、及び演算部６０を有する。尚、少なくとも判定処理部５０及び演算部６０が、複数の測定ユニット１０に対して共通に設けられる構成であってもよい。【００１９】
レベル比較部１２は、被試験デバイス２００が出力する被試験信号を受け取り、被試験信号の信号レベルと、予め設定される閾値との比較結果を示す論理値を出力する。測定ユニット１０は、被試験信号が分岐して入力される複数のレベル比較部１２を有しており、レベル比較部１２全体で、多値の閾値と被試験信号の信号レベルとを比較する。【００２０】
本例において測定ユニット１０は、第１のレベル比較部１２−１及び第２のレベル比較部１２−２を有する。第１のレベル比較部１２−１は、第１の閾値ＶＨと被試験信号の信号レベルとを比較する。例えば第１のレベル比較部１２−１は、被試験信号の信号レベルが第１の閾値ＶＨ以上である場合に論理値Ｈを出力して、被試験信号の信号レベルが第１の閾値ＶＨより小さい場合に論理値Ｌを出力する。【００２１】
また第２のレベル比較部１２−２は、第２の閾値ＶＬと被試験信号の信号レベルとを比較する。例えば第２のレベル比較部１２−２は、被試験信号の信号レベルが第２の閾値ＶＬ以下である場合に論理値Ｈを出力して、被試験信号の信号レベルが第２の閾値ＶＬより大きい場合に論理値Ｌを出力する。このような構成により、被試験信号の信号レベルが第１の閾値ＶＨ以上である場合、被試験信号の信号レベルが第１の閾値ＶＨより小さく、且つ第２の閾値ＶＬ以上である場合、及び被試験信号の信号レベルが第２の閾値ＶＬより小さい場合の３値の出力を、レベル比較部１２全体として得ることができる。但し、第１の閾値ＶＨは、第２の閾値ＶＬより大きいとする。【００２２】
また、それぞれの測定ユニット１０は、それぞれのレベル比較部１２毎に、取得部３０及び期待値比較回路４０を有する。マルチストローブ発生部２０は、それぞれのレベル比較部１２に対して共通に設けられてよい。この場合、それぞれのレベル比較部１２には、同一のマルチストローブが供給される。また、マルチストローブ発生部２０は、それぞれのレベル比較部１２に対して個別に設けられてもよい。この場合、それぞれのマルチストローブ発生部２０は、同一のマルチストローブを発生してよい。【００２３】
マルチストローブ発生部２０は、被試験信号のそれぞれのサイクルに対して、位相の異なる複数のストローブ信号を有するマルチストローブを生成する。マルチストローブ発生部２０は、時間方向において等間隔に配置された複数のストローブ信号を生成してよく、それぞれの間隔を任意に設定した複数のストローブ信号を生成してもよい。被試験信号のサイクルとは、例えば被試験信号において１シンボルの情報を伝送する区間であってよい。【００２４】
本例におけるマルチストローブ発生部２０は、縦続接続された複数の遅延素子２２を有する。与えられるクロック信号を複数の遅延素子２２を用いて順次遅延させ、それぞれの遅延素子２２の出力を、それぞれのストローブ信号として取り出すことにより、位相の異なる複数のストローブ信号を生成することができる。【００２５】
それぞれの遅延素子２２における遅延量は、同一であってよい。この場合、等間隔に配置された複数のストローブ信号を生成できる。また、マルチストローブ発生部２０は、それぞれのストローブ信号が有するべき間隔に応じて、それぞれの遅延素子２２における遅延量を調整する調整部を更に有してよい。これにより、それぞれのストローブ信号の間隔を任意に設定することができる。【００２６】
また、マルチストローブ発生部２０は、被試験信号の１サイクル当たりに生成すべきストローブ信号の本数に応じた個数の遅延素子２２を有してよい。また、クロック信号は、例えば被試験信号の１サイクルと略同一の周期でパルスを有する信号であってよい。また、クロック信号として、試験装置１００の動作周期を規定するテストレート信号を用いてもよい。また、試験装置１００がテストレート信号に応じて動作して、テストレート信号と略同一の周期の試験信号を被試験デバイス２００に入力することにより、被試験デバイス２００は、テストレート信号と略同一の周期の被試験信号を出力してよい。これらにより、被試験信号の１サイクル毎に、遅延素子２２の個数に応じたストローブ信号を生成できる。【００２７】
取得部３０は、レベル比較部１２が出力する論理値を、与えられるストローブ信号に応じて取得する。取得部３０には、マルチストローブ発生部２０からマルチストローブが与えられる。取得部３０は、レベル比較部１２が出力する論理値を、マルチストローブに含まれるそれぞれのストローブ信号に応じたタイミングで取得する。【００２８】
本例における取得部３０は、並列に設けられた複数のフリップフロップ３２を有する。複数のフリップフロップ３２は、マルチストローブ発生部２０が被試験信号の１サイクル当たりに出力する複数のストローブ信号と、一対一に対応する。それぞれのフリップフロップ３２は、レベル比較部１２が出力する論理値が分岐して入力され、対応するストローブ信号のタイミングで当該論理値を取得する。【００２９】
期待値比較回路４０は、取得部３０が取得した論理値と、予め設定される期待値とが一致するか否かを判定する。例えば期待値比較回路４０は、被試験信号のサイクル毎に期待値が与えられ、取得部３０が当該サイクルにおいて取得した複数の論理値と、期待値とをそれぞれ比較する。【００３０】
本例における期待値比較回路４０は、複数のフリップフロップ３２と一対一に対応して設けられる複数の排他的論理和回路４２を有する。それぞれの排他的論理和回路４２は、対応するフリップフロップ３２が取得した論理値と、期待値生成部１６から与えられる期待値との排他的論理和を出力する。つまり、当該論理値と期待値とが一致する場合に論理値０を出力して、一致しない場合に論理値１を出力する。それぞれの排他的論理和回路４２には、期待値生成部１６が被試験信号のサイクル毎に出力する期待値が、分岐して与えられてよい。【００３１】
判定処理部５０及び演算部６０は、それぞれの期待値比較回路４０が出力する比較結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。このような構成により、被試験デバイス２００の機能試験、アイマスク試験等を行うことができる。【００３２】
閾値制御部１４は、それぞれのレベル比較部１２に設定する閾値を制御する。例えば被試験デバイス２００の機能試験を行う場合、閾値制御部１４は、被試験信号におけるＨレベルを規定する電圧レベルを第１の閾値ＶＨとして第１のレベル比較部１２−１に設定する。また被試験信号におけるＬレベルを規定する電圧レベルを第２の閾値ＶＬとして第２のレベル比較部１２−２に設定する。被試験信号のＨレベルは、例えば被試験信号が論理値Ｈを示す場合の電圧レベルよりわずかに小さい電圧レベルであってよい。また、被試験信号のＬレベルは、例えば被試験信号が論理値Ｌを示す場合の電圧レベルよりわずかに小さい電圧レベルであってよい。【００３３】
このような設定により、それぞれのレベル比較部１２において被試験信号の論理値を検出することができる。そして、取得部３０において被試験信号の論理値を所定のタイミングで取得する。また、期待値比較回路４０において、所定の期待値と比較する。被試験デバイス２００の機能試験を行う場合、期待値生成部１６は、被試験信号のそれぞれのサイクルにおいて示すべき論理値を、被試験信号のサイクル毎に期待値として出力する。当該期待値は、被試験デバイス２００に入力する試験信号の論理パターンから生成することができる。【００３４】
そして、期待値比較回路４０が出力する比較結果に基づいて、判定処理部５０及び演算部６０が、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば判定処理部５０及び演算部６０は、期待値比較回路４０が出力する比較結果の論理和を生成して、当該論理和が論理値０を示す場合に、被試験デバイス２００を良品として判定してよい。このような処理により、試験装置１００は、被試験デバイス２００の機能試験を行うことができる。また、被試験デバイス２００の機能試験を行う場合、マルチストローブ発生部２０は、被試験信号のサイクル毎に、サイクルの略中央に配置された一つのストローブ信号を生成してよい。またマルチストローブ発生部２０がサイクル毎に複数のストローブ信号を生成し、判定処理部５０において、サイクルの略中央に配置されたストローブ信号に対応する排他的論理和回路４２の出力を抽出してもよい。【００３５】
これに対し、被試験信号のアイ開口度を測定するアイマスク試験を行う場合、閾値制御部１４は、予め規定されるアイマスクの電圧の上限値を、第１の閾値ＶＨとして第１のレベル比較部１２−１に設定する。また、アイマスクの電圧の下限値を、第２の閾値ＶＬとして第２のレベル比較部１２−２に設定する。ここでアイマスクは、被試験信号のアイダイアグラムが、少なくとも有するべきアイ開口の大きさを規定するものであってよい。【００３６】
このような設定により、それぞれの時間における被試験信号の信号レベルが、アイマスクの電圧方向における上下限の規定を満たすか否かを示す信号を生成することができる。そして、取得部３０において当該信号の論理値を所定のタイミングで取得する。これにより、マルチストローブにより規定される複数のタイミングにおける被試験信号の信号レベルが、アイマスクの電圧方向における規定を満たすか否かを、被試験信号のサイクル毎に検出することができる。【００３７】
なお、機能試験を行う場合に第１の閾値及び第２の閾値としてレベル比較部１２に設定すべき値と、アイマスク試験を行う場合に第１の閾値及び第２の閾値としてレベル比較部１２に設定すべき値は、使用者等が予め設定してよい。閾値制御部１４は、使用者等が予め設定したそれぞれの値を保持しており、機能試験又はアイマスク試験のいずれを実行するかに応じて、対応する閾値をレベル比較部１２に設定することが好ましい。【００３８】
図２（ａ）は、被試験信号のアイダイアグラムの一例を示す図である。被試験信号のアイダイアグラムは、例えば被試験信号の各サイクルにおける波形を重ね合わせたものであってよい。アイマスク試験を行う場合、被試験信号のアイダイアグラムの開口が、アイマスクより大きいか否かを判定する。アイダイアグラムの開口とは、測定した被試験信号の全てのサイクルにおいて、被試験信号の波形が存在しない領域を指してよい。【００３９】
例えば、アイマスクの内側に、被試験信号の少なくとも一つのサイクルにおける波形が存在する場合、アイダイアグラムの開口は、アイマスクより小さいと判定できる。つまり、アイマスクにより規定される、アイダイアグラムの時間方向の範囲内に、電圧方向における規定を満たさない波形が存在する場合、アイダイアグラムの開口は、アイマスクより小さいと判定できる。【００４０】
図２（ｂ）は、マルチストローブの一例を示す図である。本例におけるマルチストローブ発生部２０は、時間方向において等間隔に配置されたストローブ信号を、被試験信号のサイクルの全体に渡って生成する。上述したように、アイマスクにより規定される時間方向の範囲内におけるそれぞれのストローブ信号のタイミングで、被試験信号が電圧方向における規定を満たすか否かを判定することにより、被試験信号のアイ開口が、アイマスクより大きいか否かを判定できる。【００４１】
上述したように、試験装置１００は、アイマスクの電圧方向における上限値及び下限値を、第１の閾値ＶＨ及び第２の閾値ＶＬとして設定する。そして、取得部３０は、マルチストローブに含まれる複数のストローブ信号のタイミングで、レベル比較部１２が出力する論理値を被試験信号のサイクル毎に取得する。そして、期待値比較回路４０は、それぞれの論理値を期待値（例えば論理値Ｈ）と比較する。被試験信号のアイマスク試験を行う場合、期待値比較回路４０は、被試験信号の全てのサイクルに対して同一の期待値を生成してよい。【００４２】
このとき、第１の期待値比較回路４０に含まれる排他的論理和回路４２のうち、アイマスクの内側のストローブ信号に対応する排他的論理和回路４２が全てパス（論理値０）を出力した場合、当該サイクルにおける被試験信号の波形は、アイマスクの上側に存在する。また、第２の期待値比較回路４０に含まれる排他的論理和回路４２のうち、アイマスクの内側のストローブ信号に対応する排他的論理和回路４２が全てパスを出力した場合、当該サイクルにおける被試験信号の波形は、アイマスクの下側に存在する。【００４３】
判定処理部５０は、第１の期待値比較回路４０−１において、アイマスクの内側のストローブ信号に対応する排他的論理和回路４２が出力する論理値の論理和（以下、第１の論理和と称する）を、被試験信号のサイクル毎に生成してよい。また、第２の期待値比較回路４０−２において、アイマスクの内側のストローブ信号に対応する排他的論理和回路４２が出力する論理値の論理和（以下、第２の論理和と称する）を、被試験信号のサイクル毎に生成してよい。判定処理部５０は、当該論理和を生成する論理和回路を有してよい。【００４４】
そして、判定処理部５０は、被試験信号のそれぞれのサイクルにおいて、第１の論理和又は第２の論理和のいずれかが論理値０を示す場合に、当該サイクルにおいて被試験信号の波形がアイマスクの外側にあると判定してよい。例えば判定処理部５０は、被試験信号のそれぞれのサイクルに対応する第１の論理和及び第２の論理和の論理和（以下、第３の論理和と称する）を更に生成する論理和回路を有してよい。第３の論理和が論理値０を示す場合、当該サイクルにおける被試験信号の波形がアイマスクの外側にあることが示される。【００４５】
そして、演算部６０は、測定したサイクルに対応する全ての第３の論理和が論理値０を示すか否かを判定する。演算部６０は、全ての第３の論理和の論理和（第４の論理和と称する）を更に生成する論理和回路を有してよい。第４の論理和が論理値０を示す場合、全てのサイクルにおける被試験信号の波形がアイマスクの外側にあることが示される。演算部６０は、第４の論理和が論理値０を示す場合に、被試験デバイス２００を良品と判定してよい。【００４６】
また演算部６０は、期待値比較回路４０が出力するサイクル毎の比較結果に基づいて、被試験信号のアイダイアグラムの時間方向（タイミング方向）の開口度を算出してもよい。例えば演算部６０は、被試験信号の全てのサイクルにおいてパスを出力する排他的論理和回路４２を検出する。そして、検出した排他的論理和回路４２の個数に、ストローブ信号の間隔を乗じることにより、時間方向のアイ開口度を算出してよい。【００４７】
また、演算部６０は、検出した排他的論理和回路４２に対応するストローブ信号の分布に基づいて、アイ開口度を算出してよい。例えば、全てのサイクルにおいてパスを出力する排他的論理和回路４２に対応するストローブ信号のうち、時間軸において連続するストローブ信号の本数を計数する。演算部６０は、当該計数値にストローブ信号の間隔を乗じることにより、被試験信号の時間方向のアイ開口度を算出してよい。【００４８】
図２（ｃ）は、マルチストローブの他の例を示す図である。本例におけるマルチストローブ発生部２０は、アイマスクの時間方向における境界に対応する２つのストローブ信号を含む、複数のストローブ信号を生成する。それぞれのストローブ信号の間隔は、同一でなくともよい。また、図２（ｃ）に示すように、マルチストローブ発生部２０は、同一の間隔で配置された複数のストローブ信号を、アイマスクの時間方向における前後の境界のそれぞれに対応して生成してよい。つまり、アイマスクの前後の境界の近傍において、それぞれ複数のストローブ信号を生成してよい。また、マルチストローブ発生部２０は、被試験信号のエッジ近傍から、アイマスクの境界近傍にかけて、同一の間隔でストローブ信号を生成してよい。【００４９】
一般的な不良の場合、被試験信号の立ち上がり、又は立ち下がりの近傍で、アイマスクの内側に被試験信号の波形が入ってしまう場合が多い。本例における試験装置１００は、被試験信号のエッジ、及びアイマスクの境界の近傍を測定することにより、係る原因による不良を検出することができる。【００５０】
以上において説明した例では、被試験信号とマルチストローブとの位相関係が、各サイクルにおいて変動しないことが好ましい。つまり、それぞれのストローブ信号の、サイクル内における時間的な位置が、各サイクルにおいて変動しないことが好ましい。この場合、各サイクルにおける所定の位相における比較結果は、所定の排他的論理和回路４２から出力される。つまり、アイマスクの時間方向における境界の位相に、いずれの排他的論理和回路４２が対応するかは、各サイクルにおいて変動しない。このため、いずれの排他的論理和回路４２が、アイマスクの時間方向における境界に対応するかを、判定処理部５０に予め設定することにより、上述したような方法でアイマスク試験を行うことができる。【００５１】
これに対し、被試験信号とマルチストローブとの位相関係が各サイクルにおいて変動すると、アイマスクの時間方向における境界に対応する排他的論理和回路４２が、一つに定まらない場合がある。係る場合、試験装置１００は、被試験信号の各サイクルにおいて、期待値比較回路４０における比較結果が連続して所定の結果となる時間幅を測定することにより、アイマスク試験を行ってもよい。【００５２】
例えば、測定ユニット１０は、被試験信号の各サイクルにおいて、期待値比較回路４０における比較結果が連続して所定の比較結果となる時間幅（例えば、パスを出力する排他的論理和回路４２の隣接数に、ストローブ信号の間隔を乗じた値）を測定する。そして、全てのサイクルにおける当該時間幅が、アイマスクの時間幅より大きい場合に、演算部６０は、被試験デバイス２００を良品と判定してよい。【００５３】
図３は、試験装置１００の動作の一例を説明するタイミングチャートである。本例における試験装置１００は、被試験信号の各サイクルにおいて、期待値比較回路４０における比較結果が連続して所定の比較結果となる時間幅を測定する。【００５４】
上述したように、第１のレベル比較器１２−１及び第２のレベル比較器１２−２には、アイマスクの電圧方向の上限値及び下限値が、第１の閾値ＶＨ及び第２の閾値ＶＬとして設定される。第１のレベル比較器１２−１は、被試験信号の信号レベルが第１の閾値ＶＨ以上である場合に、論理値Ｈを出力する。また第２のレベル比較器１２−２は、被試験信号の信号レベルが第２の閾値ＶＬ以下である大きい場合に、論理値Ｈを出力する。【００５５】
第１の取得部３０−１は、第１のレベル比較器１２−１が出力する論理値を、被測定信号の各サイクルにおいて同一の間隔で配置された複数のストローブ信号に応じて取得する。次に、期待値生成部１６は、被試験信号のサイクル毎に期待値を生成する。期待値生成部１６は、被試験信号の全てのサイクルにおいて、期待値として論理値Ｈを生成してよい。【００５６】
第１の期待値比較回路４０−１は、第１の取得部３０−１が出力する論理値と、期待値とを比較する。本例では、期待値比較回路４０のそれぞれの排他的論理和回路４２には、同一の期待値が入力される。被試験信号の各サイクルにおいて、第１の取得部３０−１が出力する論理値と、期待値とが一致する区間（Ｐ）が、当該サイクルにおいて、アイマスクの電圧方向の上限値の規定を満たす区間となる。【００５７】
同様に、第２の取得部３０−２は、第２のレベル比較器１２−２が出力する論理値を取得する。また、第２の期待値比較回路４０−２は、第２の取得部３０−２が出力する論理値と、期待値とを比較する。第２の期待値比較回路４０−２に与えられる期待値は、第１の期待値比較回路に与えられる期待値と同一であってよい。被試験信号の各サイクルにおいて、第２の取得部３０−２が出力する論理値と、期待値とが一致する区間（Ｐ）が、当該サイクルにおいて、アイマスクの電圧方向の下限値の規定を満たす区間となる。【００５８】
判定処理部５０は、被試験信号の各サイクルにおいて、期待値比較回路４０における比較結果が連続して所定の比較結果となる時間幅を測定する。ここで、所定の比較結果とは、第１の期待値比較回路４０−１又は第２の期待値比較回路４０−２が出力するいずれかの比較結果が、パス（Ｐ）を示す比較結果であってよい。【００５９】
判定処理部５０は、第１の期待値比較回路４０−１及び第２の期待値比較回路４０−２において、同一のストローブ信号に対応する２つの排他的論理和回路４２のいずれかがパスを出力するものを検出してよい。そして、判定処理部５０は、検出した排他的論理和回路４２が、時間軸において隣接する個数を検出してよい。そして、判定処理部５０は、連続して所定の比較結果となる時間幅として、当該個数に、時間軸において隣接するストローブ信号の間隔を乗算した値を算出してよい。【００６０】
本例において、それぞれの期待値比較回路４０において隣接する排他的論理和回路４２は、時間軸において隣接するストローブ信号に対応する。このため、被試験信号のサイクル毎に、第１の期待値比較回路４０−１又は第２の期待値比較回路４０−２においていずれかがパスを出力する、排他的論理和回路４２の隣接個数を検出して、当該個数にストローブ信号の間隔を乗じることにより、それぞれのサイクルにおいてパスが連続する時間幅（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）を求めることができる。【００６１】
図３における第２サイクルのように、被試験信号の波形がアイマスクの内部に存在する場合、時間幅Ｌ２はアイマスクの時間幅Ｗより小さくなる。このため、それぞれのサイクルにおける時間幅（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）が、アイマスクの時間幅Ｗより大きい場合、当該サイクルにおける被試験信号の波形が、アイマスクの外側にあると推定することができる。【００６２】
演算部６０は、測定した被試験信号の全てのサイクル（本例では第１サイクル、第２サイクル、第３サイクル）において、判定処理部５０が求めた時間幅（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）が、アイマスクの時間幅Ｗより大きいか否かを判定する。演算部６０は、全てのサイクルにおいて、判定処理部５０が求めた時間幅が、アイマスクの時間幅より大きい場合に、被試験デバイス２００を良品と判定してよい。【００６３】
図４は、試験装置１００の他の動作例を示すタイミングチャートである。本例における試験装置１００は、アイマスクの時間方向における前後の境界に対応する２つのストローブ信号（以下、第１のストローブ信号及び第２のストローブ信号と称して説明する）を用いて、被試験デバイス２００を試験する。例えば、マルチストローブ発生部２０が、当該２つのストローブ信号を、被試験信号のサイクル毎に生成してよい。また、マルチストローブ発生部２０が、当該２つのストローブ信号を含む複数のストローブ信号を、被試験信号のサイクル毎に生成して、判定処理部５０が、当該２つのストローブ信号に対応する比較結果を抽出して処理してもよい。【００６４】
判定処理部５０は、被試験信号の各サイクルにおいて、期待値比較回路４０における比較結果が所定の比較結果となるか否かを判定する。ここで、所定の比較結果とは、第１のストローブ信号に対応して第１の期待値比較回路４０−１及び第２の期待値比較回路４０−２が出力する比較結果のいずれかがパス（論理値０）であり、第２のストローブ信号のタイミングに対応して第１の期待値比較回路４０−１及び第２の期待値比較回路４０−２が出力する比較結果のいずれかがパスを示す比較結果であってよい。【００６５】
例えば判定処理部５０は、第１のストローブ信号に対応して第１の期待値比較回路４０−１が出力する比較結果と、第１のストローブ信号に対応して第２の期待値比較回路４０−２が出力する比較結果との論理積（以下、第１の論理積と称する）を出力する論理積回路を有してよい。また、判定処理部５０は、第２のストローブ信号に対応して第１の期待値比較回路４０−１が出力する比較結果と、第２のストローブ信号に対応して第２の期待値比較回路４０−２が出力する比較結果との論理積（以下、第２の論理積と称する）を出力する論理積回路を有してよい。【００６６】
そして、判定処理部５０は、それぞれのサイクル毎に、第１の論理積及び第２の論理積が共にパス（論理値０）を示すか否かを判定する。判定処理部５０は、第１の論理積及び第２の論理積の論理和（以下、第５の論理和と称する）を出力する論理和回路を有してよい。第５の論理和が論理値１を示す場合、当該サイクルにおいて被試験信号の波形が、アイマスクの時間方向の境界のタイミングにおいて、アイマスクの内部に存在する。例えば、図４の第２サイクルに示すように、アイマスクの時間方向の境界と、被試験信号の波形が交差する場合、当該サイクルに対応する第５の論理和は論理値１を示す。【００６７】
演算部６０は、全てのサイクルにおいて、第５の論理和が論理値０を示すか否かを判定する。演算部６０は、全てのサイクルにおける第５の論理和の論理和を更に演算する論理和回路を有してよい。このような処理により、被試験信号の波形が、アイマスクの時間方向の境界と交差するサイクルが存在するかを判定することができる。当該サイクルが存在する場合、被試験信号のアイ開口は、アイマスクより小さいと判定することができる。【００６８】
尚、図４の第３サイクルのように、被試験信号の波形が、アイマスクの時間方向の境界と交差せずとも、被試験信号の波形がアイマスクの内側に存在する場合も考えられる。この場合、第５の論理和は論理値０を示すので、当該サイクルでは、被試験信号の波形がアイマスクの内側にあることを検出することができない。【００６９】
しかし、一般に被試験信号のエッジの位相は徐々に変化するので、当該サイクルより前（又は後）に、被試験信号の波形が、アイマスクの時間方向の境界と交差するサイクルが存在する。このため、被試験信号の波形が、アイマスクの時間方向の境界と交差するサイクルが存在するかを判定することにより、全てのサイクルにおいて被試験信号の波形が、アイマスクの外側に存在するか否かを判定することができる。【００７０】
以上のように、本例における試験装置１００によれば、簡易な処理により、アイマスク試験を行うことができる。本例におけるアイマスク試験は、例えばアイ開口度を算出しない場合に、特に有用である。【００７１】
図５は、試験装置１００の他の構成例を示す図である。図１に関連して説明した試験装置１００は、２つの閾値ＶＨ、ＶＬを用いて、被試験信号の電圧レベルを３種の論理値に変換した。これに対し、本例における試験装置１００は、被試験信号を分岐して、複数の信号測定ユニット１０に並列に入力する。このとき、それぞれの信号測定ユニット１０に対して異なる閾値を設定することにより、被試験信号の電圧レベルをより多くの種類の論理値に変換する。【００７２】
また、本例における測定ユニット１０−１は、演算部６０をそれぞれの測定ユニット１０に対して共通に設けてよい。また、試験装置１００は、被試験信号を分岐して複数の信号測定ユニット１０に入力する入力部７０を更に備える。このような構成により、より多様な測定を行うことができる。【００７３】
例えば、それぞれの測定ユニット１０において、第１の閾値及び第２の閾値の差分がわずかずつ異なるように、第１の閾値及び第２の閾値を設定する。そして、それぞれの測定ユニット１０において、図１から図４に関連して説明したアイマスク試験を行わせる。そして、演算部６０は、被試験信号のアイ開口が、対応するアイマスクより大きいという結果が得られた測定ユニット１０に設定した第１の閾値及び第２の閾値から、被試験信号の電圧方向におけるアイ開口度を算出してよい。当該アイ開口度は、それぞれの測定ユニット１０における測定結果、及びそれぞれの第１の閾値及び第２の閾値から、演算部６０が算出してよい。【００７４】
また、以上において説明したアイマスク試験では、方形のアイマスクを規定してアイマスク試験を行った。これに対し、図５に示した構成の試験装置１００は、多様な形状のアイマスクを規定したアイマスク試験を行うことができる。【００７５】
図６は、図５において説明した試験装置１００に設定される閾値の一例を示す図である。本例における試験装置１００は、図６に示すように、六角形のアイマスクを用いてアイマスク試験を行う。当該アイマスクは、電圧方向の上限値及び下限値がＶＨ及びＶＬであり、電圧方向の中間値がＶＭであり、上限値ＶＨと中間値ＶＭの平均値がＶＨＭであり、下限値ＶＬと中間値ＶＭの平均値がＶＬＭである。また、アイマスクが上限値及び下限値を示す時間軸における位置は同一であり、ＶＨＭ及びＶＬＭを示す時間軸における位置も同一である。本例における入力部７０は、３つの測定ユニット１０に、被試験信号を並列に入力してよい。【００７６】
第１の測定ユニット１０−１は、第１の閾値及び第２の閾値として、アイマスクの電圧方向における上限値ＶＨ及び下限値ＶＬが設定される。また、第１の測定ユニット１０−１においては、アイマスクが上限値ＶＨ及び下限値ＶＬを示す時間方向の境界を基準として、上述した処理を行う。【００７７】
例えば、図３に関連して説明した処理を行う場合、判定処理部５０は、各サイクルにおいて、期待値比較回路４０が所定の比較結果を連続して出力する時間幅が、アイマスクが上限値ＶＨ及び下限値ＶＬを示す時間幅より大きいか否かを判定してよい。また、図４に関連して説明した処理を行う場合、マルチストローブ発生部２０は、アイマスクが上限値ＶＨ及び下限値ＶＬを示す時間方向の境界に対応する２つのストローブ信号ｃ及びｄを生成してよい。第１の測定ユニット１０−１における他の処理は、図３及び図４において説明した処理と同一であってよい。【００７８】
第２の測定ユニット１０−２は、第１の閾値及び第２の閾値として、アイマスクの電圧方向における中間値ＶＭが設定される。また、第２の測定ユニット１０−２においては、アイマスクがＶＭを示す時間方向の境界を基準として、上述した処理を行う。例えば第２の測定ユニット１０−２は、アイマスクが中間値ＶＭを示す時間幅を用いて図３において説明した処理を行ってよく、アイマスクが中間値ＶＭを示す時間方向の境界に対応する２つのストローブ信号ａ及びｄを用いて図４において説明した処理を行ってもよい。【００７９】
第３の測定ユニット１０−３は、第１の閾値として、上限値ＶＨ及び中間値ＶＭの平均値ＶＨＭが設定され、第２の閾値として、下限値ＶＬ及び中間値ＶＭの平均値ＶＬＭが設定される。また、第３の測定ユニット１０−３においては、アイマスクがＶＨＭ及びＶＬＭを示す時間方向の境界を基準として、上述した処理を行う。例えば第３の測定ユニット１０−３は、アイマスクがＶＨＭ及びＶＬＭを示す時間幅を用いて図３において説明した処理を行ってよく、アイマスクがＶＨＭ及びＶＬＭを示す時間方向の境界に対応する２つのストローブ信号ｂ及びｅを用いて図４において説明した処理を行ってもよい。【００８０】
そして、演算部６０は、被試験信号の全てのサイクルにおいて、全ての測定ユニット１０における判定結果がパス（良品）を示す場合に、被試験デバイス２００を良品と判定してよい。このような処理により、図６に示したような六角形のアイマスクを用いたアイマスク試験を行うことができる。【００８１】
図７は、図５において説明した試験装置１００に設定される閾値の他の例を示す図である。本例における試験装置１００は、アイマスク試験と平行して、被試験信号の電圧レベルが所定の電圧範囲内であるか否かを試験する。例えば試験装置１００は、被試験信号のオーバーシュート、アンダーシュート等が、所定の電圧レベルの範囲内であるか否かを検出する。本例における入力部７０は、２つの測定ユニット１０に、並列に被試験信号を入力する。【００８２】
第１の測定ユニット１０−１は、被試験信号のアイマスク試験を行う。第１の測定ユニット１０−１には、第１の閾値及び第２の閾値として、アイマスクの電圧方向における上限値ＶＨ及び下限値ＶＬが設定される。第１の測定ユニット１０−１は、図１から図４において説明した測定ユニット１０と同一であってよい。【００８３】
第２の測定ユニット１０−２は、第１の閾値及び第２の閾値として、規定値ＥＸＴＨ及びＥＸＴＬが設定される。規定値ＥＸＴＨは、アイマスクの上限値ＶＨより大きく、規定値ＥＸＴＬは、アイマスクの下限値ＶＬより小さくてよい。【００８４】
第２の測定ユニット１０−２は、被試験信号の全ての期間において、被試験信号の電圧レベルがＥＸＴＨ以下であり、ＥＸＴＬ以上であるか否かを判定する。例えば期待値生成部１６が、被試験信号の全ての期間において論理値Ｌを期待値として出力してよい。そして、判定処理部５０及び演算部６０は、全ての排他的論理和回路４２が、被試験信号の全ての期間において、パス（論理値０）を出力する場合に、当該試験における被試験デバイス２００を良品と判定してよい。試験装置１００は、当該試験及びアイマスク試験の双方において良品と判定した場合に、被試験デバイス２００を良品と判定してよい。【００８５】
図８は、図５において説明した試験装置１００に設定される閾値の他の例を示す図である。本例における試験装置１００は、多値伝送信号を被試験信号として出力する。例えば被試験信号は、図８に示すような論理値Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの４値のいずれかを取りうる信号である。試験装置１００は、論理値Ａ及びＢの間に規定される第１のアイマスク、論理値Ｂ及びＣの間に規定される第２のアイマスク、並びに論理値Ｃ及びＤの間に規定される第３のアイマスクを用いて、被試験信号のアイマスク試験を行う。【００８６】
入力部７０は、アイマスクの個数に応じた個数の測定ユニット１０に対して、並列に被試験信号を入力する。本例における入力部７０は、３つの測定ユニット１０に対して、並列に被試験信号を入力する。また本例では、第１のアイマスク及び第３のアイマスクの、時間方向における境界の位置を同一とする。【００８７】
第１の測定ユニット１０−１は、第１の閾値及び第２の閾値として、第１のアイマスクの電圧方向における上限値ＶＨ１及び下限値ＶＬ１が設定される。また、第１の測定ユニット１０−１においては、第１のアイマスクが上限値ＶＨ１及び下限値ＶＬ１を示す時間方向の境界を基準として、上述した処理を行う。【００８８】
例えば、図３に関連して説明した処理を行う場合、判定処理部５０は、各サイクルにおいて、期待値比較回路４０が所定の比較結果を連続して出力する時間幅が、第１のアイマスクが上限値ＶＨ１及び下限値ＶＬ１を示す時間幅より大きいか否かを判定してよい。また、図４に関連して説明した処理を行う場合、マルチストローブ発生部２０は、第１のアイマスクが上限値ＶＨ１及び下限値ＶＬ１を示す時間方向の境界に対応する２つのストローブ信号ｈ及びｉを生成してよい。第１の測定ユニット１０−１における他の処理は、図３及び図４において説明した処理と同一であってよい。【００８９】
第２の測定ユニット１０−２は、第１の閾値及び第２の閾値として、第２のアイマスクの電圧方向における上限値ＶＨ２及び下限値ＶＬ２が設定される。また、第２の測定ユニット１０−２においては、第２のアイマスクがＶＨ２及びＶＬ２を示す時間方向の境界を基準として、上述した処理を行う。例えば第２の測定ユニット１０−２は、第２のアイマスクがＶＨ２及びＶＬ２を示す時間幅を用いて図３において説明した処理を行ってよく、第２のアイマスクがＶＨ２及びＶＬ２を示す時間方向の境界に対応する２つのストローブ信号ｇ及びｊを用いて図４において説明した処理を行ってもよい。【００９０】
第３の測定ユニット１０−３は、第１の閾値及び第２の閾値として、第３のアイマスクの電圧方向における上限値ＶＨ３及び下限値ＶＬ３が設定される。また、第３の測定ユニット１０−３においては、第３のアイマスクがＶＨ３及びＶＬ３を示す時間方向の境界を基準として、上述した処理を行う。例えば第３の測定ユニット１０−３は、第３のアイマスクがＶＨ３及びＶＬ３を示す時間幅を用いて図３において説明した処理を行ってよく、第３のアイマスクがＶＨ３及びＶＬ３を示す時間方向の境界に対応する２つのストローブ信号ｈ及びｉを用いて図４において説明した処理を行ってもよい。【００９１】
そして、演算部６０は、被試験信号の全てのサイクルにおいて、全ての測定ユニット１０における判定結果がパスを示す場合に、被試験デバイス２００を良品と判定してよい。このような処理により、図８に示したような複数のアイマスクを用いたアイマスク試験を行うことができる。【００９２】
図９は、試験装置１００の他の構成例を示す図である。本例における試験装置１００は、被試験信号ＤＱのアイ開口度を算出する信号測定ユニットと、被試験信号ＤＱに同期したクロック信号ＤＱＳのジッタを測定するクロック測定ユニットとを備える。被試験デバイス２００は、被試験信号ＤＱ及びクロック信号ＤＱＳを同期して出力するソースシンクロナスデバイスであってよい。本例では、第１の測定ユニット１０−１が、被試験信号ＤＱのアイマスク試験を行う信号測定ユニットとして機能して、第２の測定ユニット１０−２が、クロック信号ＤＱＳのジッタを測定するクロック測定ユニットとして機能する。【００９３】
第１の測定ユニット１０−１は、図１から図４に関連して説明した測定ユニット１０と同一であってよい。また、図５から図８に関連して説明したように、複数の測定ユニット１０が、信号測定ユニットとして機能してもよい。また、第１の測定ユニット１０−１は、例えば図２（ｂ）に関連して説明した方法で、被試験信号ＤＱのアイ開口度を算出してよい。【００９４】
第２の測定ユニット１０−２には、第１の閾値及び第２の閾値として、クロック信号におけるＨ論理の電圧レベルを規定する値と、Ｌ論理の電圧レベルを規定する値とが設定される。また、マルチストローブ発生部２０は、同一の間隔でストローブ信号を出力する。マルチストローブ発生部２０は、ジッタを測定すべき分解能より小さい間隔で、ストローブ信号を出力することが好ましい。これにより、クロック信号の各サイクルにおける波形データを取得する。【００９５】
演算部６０は、当該波形データに基づいて、クロック信号の各サイクルにおけるエッジタイミングを検出する。そして、各サイクルにおけるエッジタイミングのばらつきから、クロック信号のジッタ量を算出する。例えば演算部６０は、エッジタイミングのばらつきのピークツゥピーク値を、クロック信号のジッタ量として算出してよい。【００９６】
また、演算部６０は、第１の測定ユニット１０−１が測定したアイ開口度を、第２の測定ユニット１０−２が測定したジッタ量に基づいて補正することにより、ソースシンクロナスデバイスとしての実効的なアイ開口度を算出する。例えば演算部６０は、電圧方向における当該アイ開口度から、当該ジッタ量を減じることにより、実効的なアイ開口度を算出してよい。【００９７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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