(57)【要約】  簡易な構成によって検査対象の電極または端子の配列間隔の狭小化にも適確に対応することができ、電極または端子との確実な接触を実現することができる導電性接触子ユニットを提供する。この目的のため、各々が板状をなし、異なる回路構造間を電気的に接続することによって各回路構造との間で電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子と、複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、を備え、導電性接触子ホルダは、複数の導電性接触子の一部を、互いの板厚方向を揃えた状態で一列に並べて保持する保持部を複数有し、複数の保持部が導電性接触子を一列に並べて保持する方向は互いに平行であることとする。
2008133089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が板状をなし、異なる回路構造間を電気的に接続することによって各回路構造との間で電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子と、
前記複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、
を備え、
前記導電性接触子ホルダは、
前記複数の導電性接触子の一部を、互いの板厚方向を揃えた状態で一列に並べて保持する保持部を複数有し、
前記複数の保持部が前記導電性接触子を一列に並べて保持する方向は互いに平行であることを特徴とする導電性接触子ユニット。
【請求項２】
前記保持部は、
前記導電性接触子の板厚方向および長手方向とそれぞれ直交する幅方向の一方の縁端部を保持する第１保持枠と、
前記複数の第１保持枠と対向する位置に設けられ、前記第１保持枠が保持する前記導電性接触子の幅方向の他方の縁端部を保持する第２保持枠と、
を有することを特徴とする請求項１記載の導電性接触子ユニット。
【請求項３】
前記導電性接触子ホルダは、
前記複数の保持部を収容する収容孔部と、
前記収容孔部の内側面から当該内側面と直交する方向にそれぞれ突起し、互いに対向する前記第１および第２保持枠の各端部が接着される複数の突起部と、
を有することを特徴とする請求項２記載の導電性接触子ユニット。
【請求項４】
前記導電性接触子は、
前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、
前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、
前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、
前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、
前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、板厚方向に貫通する開口部が形成された第２接続部と、
を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の導電性接触子ユニット。
【請求項５】
前記第２接触部は、当該導電性接触子の板厚方向および長手方向とそれぞれ直交する幅方向における前記第２接続部の縁端部よりも当該幅方向に突出していることを特徴とする請求項４記載の導電性接触子ユニット。
【請求項６】
互いに隣接する前記保持部にそれぞれ保持される前記導電性接触子の前記第２接触部同士は、互いに相反する向きに突出していることを特徴とする請求項５記載の導電性接触子ユニット。
【請求項７】
同一の前記保持部に保持される前記導電性接触子の板厚方向の配列間隔は同じであり、
異なる前記保持部に保持され、互いに最近接する前記導電性接触子の板厚方向の間隔は、前記配列間隔の１／２であることを特徴とする請求項６記載の導電性接触子ユニット。
【請求項８】
互いに隣接する前記保持部にそれぞれ保持される前記導電性接触子の前記第２接触部同士は、互いに同じ向きに突出していることを特徴とする請求項５記載の導電性接触子ユニット。
【請求項９】
同一の前記保持部に保持される前記導電性接触子が有する前記開口部を一括して貫通し、両端が前記導電性接触子ホルダにそれぞれ固着される複数の棒状部材をさらに備えたことを特徴とする請求項４記載の導電性接触子ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行う導電性接触子ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査に関する技術分野において、半導体集積回路の接続端子に対応して複数の導電性接触子を配設し、導電性接触子を接続端子に物理的に接触させることによって電気的導通を確保する機能を有する導電性接触子ユニットに関する技術が知られている。かかる導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子と、導電性接触子を保持する導電性接触子ホルダとを少なくとも備えた構造を有する。このような導電性接触子ユニットにおいては、検査対象である半導体集積回路等の微細化傾向に伴う接続端子の配列間隔の狭小化に対応可能とするために、複数の導電性接触子の配列間隔を狭小化するさまざまな技術が提案されている。【０００３】
例えば、配列間隔の狭小化を実現する導電性接触子として、板状の導電性接触子を用いた導電性接触子ユニットに関する技術が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。この技術における導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子を収容するスリットが形成されたホルダと、このホルダの上方に設けられ、導電性接触子の荷重を受け持つバネ機構とを備えている。【０００４】
また、配列間隔を狭小化する別な技術として、絶縁性を有するシートに複数の配線を設け、その配線の先端に接触子を形成したプローブシートに関する技術も開示されている（例えば、特許文献２を参照）。【０００５】
【特許文献１】特許第３７５０８３１号公報
【特許文献２】特開２００３−９８１８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来技術には、検査対象の配列間隔のさらなる狭小化に対応させようとする場合、以下に説明する問題があった。【０００７】
上記特許文献１に記載の従来技術では、導電性接触子をスリットに挿入しなければならないため、スリット幅の分のピッチを小さくするには限界があった。また、検査対象の電極を多段に千鳥配置するような場合には、その配置に合わせて導電性接触子のスリットからの突出量を調整する機構を設けることが考えられるが、そのような調整機構を設けることによって装置構成が複雑化するととともに、導電性接触子の取り付けが煩雑化するといういう問題が生じた。【０００８】
また、上記特許文献１に記載の技術を、例えば検査対象の電極が多段に千鳥配置された場合に対応させる場合、複数の導電性接触子ユニットを用いることも考えられる。ところが、この場合には、装置自体が大型化して複雑になる上、信号入出力用の配線も複雑となるため、実際の検査工程やコスト面を考慮した場合、現実的ではなかった。【０００９】
一方、上記特許文献２に記載の技術では、検査対象の配列間隔の狭小化には好適であるものの、シート自体のゆがみや反りが発生しやすく、導電性接触子と検査対象との間で均一なコンタクトを実現することが難しいという問題があった。【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡易な構成によって検査対象の電極または端子の配列間隔の狭小化にも適確に対応することができ、電極または端子との確実な接触を実現することができる導電性接触子ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る導電性接触子ユニットは、各々が板状をなし、異なる回路構造間を電気的に接続することによって各回路構造との間で電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子と、前記複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、を備え、前記導電性接触子ホルダは、前記複数の導電性接触子の一部を、互いの板厚方向を揃えた状態で一列に並べて保持する保持部を複数有し、前記複数の保持部が前記導電性接触子を一列に並べて保持する方向は互いに平行であることを特徴とする。【００１２】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記保持部は、前記導電性接触子の板厚方向および長手方向とそれぞれ直交する幅方向の一方の縁端部を保持する第１保持枠と、前記複数の第１保持枠と対向する位置に設けられ、前記第１保持枠が保持する前記導電性接触子の幅方向の他方の縁端部を保持する第２保持枠と、を有することを特徴とする。【００１３】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記導電性接触子ホルダは、前記複数の保持部を収容する収容孔部と、前記収容孔部の内側面から当該内側面と直交する方向にそれぞれ突起し、互いに対向する前記第１および第２保持枠の各端部が接着される複数の突起部と、を有することを特徴とする。【００１４】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記導電性接触子は、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、板厚方向に貫通する開口部が形成された第２接続部と、を有することを特徴とする。【００１５】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記第２接触部は、当該導電性接触子の板厚方向および長手方向とそれぞれ直交する幅方向における前記第２接続部の縁端部よりも当該幅方向に突出していることを特徴とする。【００１６】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、互いに隣接する前記保持部にそれぞれ保持される前記導電性接触子の前記第２接触部同士は、互いに相反する向きに突出していることを特徴とする。【００１７】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、同一の前記保持部に保持される前記導電性接触子の板厚方向の配列間隔は同じであり、異なる前記保持部に保持され、互いに最近接する前記導電性接触子の板厚方向の間隔は、前記配列間隔の１／２であることを特徴とする。【００１８】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、互いに隣接する前記保持部にそれぞれ保持される前記導電性接触子の前記第２接触部同士は、互いに同じ向きに突出していることを特徴とする。【００１９】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、同一の前記保持部に保持される前記導電性接触子が有する前記開口部を一括して貫通し、両端が前記導電性接触子ホルダにそれぞれ固着される複数の棒状部材をさらに備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る導電性接触子ユニットによれば、各々が板状をなし、異なる回路構造間を電気的に接続することによって各回路構造との間で電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子と、複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、を備え、導電性接触子ホルダは、複数の導電性接触子の一部を、互いの板厚方向を揃えた状態で一列に並べて保持する保持部を複数有し、複数の保持部が導電性接触子を一列に並べて保持する方向は互いに平行であることとしたため、簡易な構成によって検査対象の電極または端子の配列間隔の狭小化にも適確に対応することができ、電極または端子との確実な接触を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の矢視Ａ方向の平面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子の構成を示す図である。
【図４】図４は、図２の領域Ｉの拡大図である。
【図５】図５は、導電性接触子ホルダの保持部内部の構成を含む導電性接触子ユニットの内部構成を示す図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットを用いた検査に好適な検査対象の構成を示す図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットの要部の内部構成を示す図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットを用いた検査に好適な検査対象の構成を示す図である。
【図９】図９は、導電性接触子の別な構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２２】
１，５  導電性接触子ユニット
２，７  導電性接触子
３，６  導電性接触子ホルダ
４  棒状部材
２１，７１  第１接触部
２２，７２  第２接触部
２３，７３  弾性部
２４，７４  第１接続部
２５，７５  第２接続部
２６，７６  開口部
３１  収容部
３２  装着部
３３  収容孔部
３４，３５  保持部
３４ａ，３５ａ  第１保持枠
３４ｂ，３５ｂ  第２保持枠
３６，３７  突起部
３８，３９  固着用孔部
１００  回路基板
１１０  スペーサ
１２０  固定部材
２００，３００  検査対象
２０１，３０１  電極
３４１ａ，３５１ａ  第１ガイド溝
３４１ｂ，３５１ｂ  第２ガイド溝
Ｇ１，Ｇ２  導電性接触子群
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以後、「実施の形態」と称する）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。【００２４】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。また、図２は、図１の矢視Ａ方向の平面図である。これらの図に示す導電性接触子ユニット１は、検査対象である液晶パネル等の回路構造の導通状態検査や動作特性検査を行うものであり、検査用信号を生成する回路構造と検査対象との間の電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子２と、複数の導電性接触子２を収容して保持する導電性接触子ホルダ３と、両端部が導電性接触子ホルダ３に固着され、複数の導電性接触子２に設けられる開口部を一括して貫通する棒状部材４と、を備える。【００２５】
図３は、本実施の形態１に係る導電性接触子２の構成を示す図である。以下の説明では、図３における鉛直方向を「導電性接触子２の長手方向」、図３における水平方向を「導電性接触子２の幅方向」、これら長手方向および幅方向とそれぞれ直交する方向すなわち紙面に垂直な方向を「導電性接触子２の板厚方向」とそれぞれ称することにする。【００２６】
図３に示す導電性接触子２は、検査用信号を生成する信号処理回路と直接的にまたは間接的に接触する第１接触部２１と、液晶パネル等の検査対象と物理的に接触する第２接触部２２と、第１接触部２１および第２接触部２２の間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部２３と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第１接触部２１および弾性部２３を接続する第１接続部２４と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第２接触部２２および弾性部２３を接続し、板厚方向に貫通する開口部２６が形成された第２接続部２５と、を備える。第２接触部２２は、第２接続部２５の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出している。導電性接触子２は、導電性材料を用いて形成され、板状をなしている。【００２７】
なお、導電性接触子２の表面の一部または全部に絶縁層を形成してもよい。また、第１接続部２４および第２接続部２５が、弾性部２３と異なる幅および／または厚さを有していてもよい。【００２８】
次に、導電性接触子ホルダ３の構成を説明する。導電性接触子ホルダ３は、複数の導電性接触子２を収容する略直方体状の収容部３１と、導電性接触子ホルダ３の位置調整用のアジャスタ（図示せず）に装着されネジ止めされる装着部３２とを有する。図１に示す座標系（ｘｙｚ）で見た場合、導電性接触子ホルダ３は、導電性接触子２を、幅方向がｘ軸方向と平行であり、板厚方向がｙ軸方向と平行であり、長手方向がｚ軸方向と平行であるように保持している。【００２９】
収容部３１は、略直方体の一組の対向する面同士を貫通し、各々が複数の導電性接触子２からなる導電性接触子群Ｇ１，Ｇ２を収容する収容孔部３３と、導電性接触子群Ｇ１、Ｇ２をそれぞれ保持する保持部３４、３５を有する。保持部３４は、収容孔部３３内で互いに平行に取り付けられ、導電性接触子群Ｇ１に含まれる導電性接触子２の幅方向の異なる縁端部をそれぞれ保持する第１保持枠３４ａおよび第２保持枠３４ｂからなる。一方、保持部３５は、収容孔部３３内で互いに平行に取り付けられ、導電性接触子群Ｇ２に含まれる導電性接触子２の幅方向の異なる縁端部をそれぞれ保持する第１保持枠３５ａおよび第２保持枠３５ｂからなる。保持部３５の第１保持枠３５ａおよび第２保持枠３５ｂは、収容孔部３３内で保持部３４の第１保持枠３４ａおよび第２保持枠３４ｂと互いに平行である。保持部３４は、導電性接触子群Ｇ１に含まれる複数の導電性接触子２を、互いの板厚方向を揃えて一列に並べた状態で保持する。同様に、保持部３５は、導電性接触子群Ｇ２を構成する複数の導電性接触子２を、互いの板厚方向を揃えて一列に並べた状態で保持する。【００３０】
また、収容部３１は、収容孔部３３の表面から突起し、導電性接触子群Ｇ１を保持する第１保持枠３４ａおよび第２保持枠３４ｂの各端部が接着される２つの突起部３６と、収容孔部３３の内側面からこの内側面と直交する方向に突起し、導電性接触子群Ｇ２を保持する第１保持枠３５ａおよび第２保持枠３５ｂの各端部が接着される２つの突起部３７と、収容孔部３３が貫通していない一組の対向する側面であって収容孔部３３に収容される導電性接触子２の板厚方向と略直交する側面にそれぞれ形成され、導電性接触子群Ｇ１に含まれる導電性接触子２の開口部２６を一括して貫通する棒状部材４の両端部をそれぞれ固着する２つの固着用孔部３８と、固着用孔部３８と同様に形成され、導電性接触子群Ｇ２に含まれる導電性接触子２の開口部２６を一括して貫通する棒状部材４の両端部をそれぞれ固着する２つの固着用孔部３９と、を有する。【００３１】
図４は、図２の領域Ｉの拡大図である。図４に示すように、保持部３４の第１保持枠３４ａには、導電性接触子２を装着する際にその導電性接触子２の幅方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状の第１ガイド溝３４１ａが複数個形成されている。また、保持部３４の第２保持枠３４ｂには、第１保持枠３４ａの第１ガイド溝３４１ａと対向して位置し、第１ガイド溝３４１ａに嵌め込まれる導電性接触子２の幅方向の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状の第２ガイド溝３４１ｂが複数個形成されている。対をなす第１ガイド溝３４１ａおよび第２ガイド溝３４１ｂは、導電性接触子２をその長手方向と垂直な面方向に対して位置決めする機能を有するとともに、導電性接触子２の伸縮動作をガイドする機能を有している。また、第１ガイド溝３４１ａおよび第２ガイド溝３４１ｂのなす対のうち、隣接する対同士の間隔は全て等しく、かつ互いに平行である。【００３２】
保持部３５の第１保持枠３５ａおよび第２保持枠３５ｂには、保持部３４の第１保持枠３４ａおよび第２保持枠３４ｂとそれぞれ同様に、第１ガイド溝３５１ａおよび第２ガイド溝３５１ｂが複数個ずつ形成されている。【００３３】
図４において、保持部３４が保持する導電性接触子群Ｇ１と、保持部３５が保持する導電性接触子群Ｇ２とは、導電性接触子２の板厚方向に沿って各ガイド溝のピッチｐの半分（ｐ／２）だけシフトした態様で保持されている。また、導電性接触子群Ｇ１に含まれる導電性接触子２の第２接触部２２と導電性接触子群Ｇ２に含まれる導電性接触子２の第２接触部２２とは、幅方向（図５のｘ軸方向）に沿って互いに相反する向きに突出するように配置されている。【００３４】
第１ガイド溝３４１ａ，３５１ａ、および第２ガイド溝３４１ｂ，３５１ｂは、互いに同じ溝幅ｗを有するとともに、同じ溝深さｄを有する。このうち溝深さは、導電性接触子２が外れることなく確実に保持できればよく、互いに対向する第１および第２ガイド溝の溝深さが異なっていても構わない。各ガイド溝の溝幅ｗは、導電性接触子２の板厚ｒよりも若干大きい（ｗ＞ｒ）。この溝幅ｗは、導電性接触子２の板厚ｒと同程度の値でよく、互いに隣接するガイド溝間の間隔ｐは、隣接する導電性接触子２間の絶縁性が十分確保できる値であれば、任意の小さな値とすることができる。【００３５】
図５は、導電性接触子ホルダ３の収容部３１内部の構成を含む導電性接触子ユニット１の要部の内部構成を示す図であり、図４のＢ−Ｂ線に沿った部分断面図である。第１ガイド溝３４１ａ，３５１ａ、および第２ガイド溝３４１ｂ，３５１ｂは、図５のｚ軸方向（溝幅方向および溝深さ方向に垂直な方向）に沿って互いに平行に延伸した構造を有する。第１ガイド溝３４１ａ，３５１ａがｚ軸方向に延伸する長さは、第２ガイド溝３４１ｂ，３５１ｂがｚ軸方向に延伸する長さよりも短い。【００３６】
図５において、導電性接触子２の第１接触部２１に接触する回路基板１００は、ポリイミドなどからなるシート状の基材の一方の表面に、ニッケル等からなる多数の配線および接続用の電極が形成される。回路基板１００は、スペーサ１１０および固定部材１２０によって導電性接触子ホルダ３の上方から押圧され、取り付けられている。この状態で、回路基板１００は、導電性接触子２の第１接触部２１に当接し、導電性接触子２を押圧し、導電性接触子２に対して初期荷重を加える。回路基板１００の他端は、信号処理回路に接続されており、第２接触部２２に接触する検査対象２００との間で電気信号の送受信を行う。【００３７】
なお、図５では導電性接触子２に回路基板１００を接触させているが、この代わりとして、信号処理回路の接続用端子を導電性接触子２に対して直接接触させるような構成とすることも可能である。【００３８】
突起部３６、３７は、収容部３１の収容孔部３３の側面から方形状にそれぞれ突起して成る。突起部３６には第１保持枠３４ａおよび第２保持枠３４ｂが接着され、突起部３７には第１保持枠３５ａおよび第２保持枠３５ｂが接着される。ここでの接着に使用する接着剤としては、シアノアクリレート系接着剤などの粘性が低い瞬間接着剤が好ましい。【００３９】
以上の構成を有する導電性接触子ホルダ３は、導電性接触子２と電気的に接続して短絡が発生することを防止する観点から、絶縁性材料によって形成されることが好ましい。例えば、導電性接触子ホルダ３を、低熱膨張の合成樹脂を用いて形成し、ダイシング等によって第１ガイド溝３４１ａ，３５１ａ、および第２ガイド溝３４１ｂ，３５１ｂを形成すればよい。また、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、シリカ（ＳｉＯ2）等のセラミックス、シリコンやエポキシ等の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックなどによって導電性接触子ホルダ３の母材を形成し、エッチング等の加工技術によって第１ガイド溝３４１ａ，３５１ａ、および第２ガイド溝３４１ｂ，３５１ｂを形成してもよい。【００４０】
なお、上記のごとく絶縁性材料を用いて導電性接触子ホルダ３を形成する代わりに、他の適当な材料（絶縁性の有無は問わない）を用いて母材を形成し、導電性接触子２と接触しうる部分に対して適当な絶縁性塗料を塗布するような構成としてもよい。【００４１】
次に、棒状部材４の構成を説明する。棒状部材４は、収容部３１に装着された複数の導電性接触子２のうち、同じ導電性接触子群Ｇ１またはＧ２を構成する導電性接触子２の開口部２６を一括して貫通し、両端部が導電性接触子ホルダ３の互いに対向する側面部にそれぞれ形成された固着用孔部３８または３９に挿通され、導電性接触子ホルダ３に対して固着される。棒状部材４は、導電性接触子２の収容部３１からの抜け止め機能を果たすとともに、導電性接触子２に対して初期たわみを付与する機能を有する。このような棒状部材４は、剛性が高く、荷重が加わってもたわみが少ないセラミックスなどの絶縁性材料によって実現される。【００４２】
棒状部材４の長手方向に垂直な断面は、長方形の角を面取りした形状をなし、その面積は、導電性接触子２が有する開口部２６の面積よりも小さい。このような断面形状とすることにより、導電性接触子２に荷重を加えた際の導電性接触子２の動きを円滑にするとともに、導電性接触子２に所定の荷重を加えたときの棒状部材４における支持安定性を確保することができる。また、導電性接触子２に検査対象を接触させたとき、開口部２６が棒状部材４から離間し、棒状部材４に対して自由に移動できるようになる。この結果、導電性接触子２が微小な回転を生じることとなり、第２接触部２２の先端が検査対象の電極上を引っ掻きながら移動し、電極の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れを除去し、安定した電気的接触を得ることが可能となる。【００４３】
棒状部材４は、導電性接触子２に初期たわみを与えるとともに、導電性接触子２の抜け止めをしているため、第２接触部２２の先端が導電性接触子ホルダ３の底面部から鉛直下方に突出する突出量を少なくすることができる。このため、第２接触部２２を小さく形成することが可能となる。その結果、導電性接触子２の先端が、荷重を受けても曲がりにくくなり、導電性接触子２の位置精度を向上させるとともに、導電性接触子２の耐久性を向上させることができる。【００４４】
なお、棒状部材４の長手方向に垂直な断面形状は上述したものに限られるわけではなく、例えば多角形や正方形などでもよいし、円形でもよい。【００４５】
以上の構成を有する導電性接触子ユニット１を用いて検査を行う際には、導電性接触子ホルダ３の上方に、検査用信号を生成出力する信号処理回路との電気的な接続を確立する一方、導電性接触子ホルダ３の下方から検査対象２００を上昇させていき、導電性接触子２の第２接触部２２に検査対象２００の電極２０１を接触させる（図５を参照）。検査対象２００を上昇させる際、検査対象２００の移動速度（上昇速度）を適切に制御すれば、第２接触部２２の先端が検査対象２００の表面を大きく傷付けることがなく、導電性接触子２にも過度の荷重を加えずに済む。【００４６】
図６は、導電性接触子ユニット１を用いた検査に好適な検査対象の構成例を示す図である。同図に示す検査対象２００は、最近接する電極２０１間の配列間隔が、同じ段に列設される電極２０１の配列間隔ｐ（各保持枠で隣接するガイド溝のピッチ幅と同じ）の１／２である。したがって、本実施の形態１においては、導電性接触子ホルダ３が、幅方向に並列に配置した導電性接触子群Ｇ１，Ｇ２を保持することにより、各保持枠における導電性接触子２の配列間隔の半分のピッチしか有しない電極を備えた検査対象の検査を適確に行うことが可能となる。【００４７】
ここで、配列間隔の一例を挙げる。導電性接触子２において、各ガイド溝のピッチｐを４０〜５０μｍかそれよりも小さい値とすれば、検査対象２００で隣接する電極間のピッチｐ／２を２０〜２５μｍかそれよりも小さい値とすることができる。なお、この場合の導電性接触子２の板厚としては、１５〜２０μｍ程度が好適である。【００４８】
以上説明した本発明の実施の形態１によれば、各々が板状をなし、異なる回路構造間を電気的に接続することによって各回路構造との間で電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子と、複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、を備え、導電性接触子ホルダは、複数の導電性接触子の一部を、互いの板厚方向を揃えた状態で一列に並べて保持する保持部を複数有し、複数の保持部が導電性接触子を一列に並べて保持する方向は互いに平行であることとしたため、簡易な構成によって検査対象の電極または端子の配列間隔の狭小化にも適確に対応することができ、電極または端子との確実な接触を実現することが可能となる。【００４９】
また、本実施の形態１によれば、並列に並んだ導電性接触子群の各々に保持される導電性接触子の先端部が互いに対向する方向を指向していることに加え、異なる導電性接触子群同士で最近接する導電性接触子の配列間隔が、同じ導電性接触子群に含まれる導電性接触子の配列間隔の１／２であるため、千鳥配置された電極を有する検査対象にも対応可能である。このような千鳥配置は、電極の面積を小さくすることによって一段と狭ピッチ化することが可能である。したがって、本実施の形態１によれば、従来よりもさらに狭ピッチ化された検査対象に適用することができる。【００５０】
さらに、本実施の形態１によれば、板厚方向に並んだ導電性接触子群を幅方向に並列に配置しているため、従来のように、板厚方向に一列に並べられた導電性接触子ユニットでは検査が不可能であった狭ピッチ配置の電極や多段配置の電極の検査を実行することができる。その際、本実施の形態１においては、導電性接触子群を並列に並べるだけの構成のため、装置構成を複雑化しないで済み、低コストで所望の検査を実現することができる。【００５１】
（実施の形態２）
図７は、本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットの要部の内部構成を示す図である。同図に示す導電性接触子ユニット５は、図７で左右に並んでいる二つの導電性接触子２の第２接触部２２同士が、幅方向（図７のｘ軸方向）に沿って互いに同じ向きに突出するように配置されている。このため、導電性接触子ホルダ６には、二つの保持部３４（第１保持枠３４ａおよび第２保持枠３４ｂを有する）が設けられている。したがって、図７の断面図は、図５の断面図とは異なり、同一平面を切断面としたときの断面図である。なお、ここで説明した点を除く導電性接触子ユニット５の構成は、上記実施の形態１に係る導電性接触子ユニット１の構成と同様である。【００５２】
図８は、導電性接触子ユニット５を用いた検査に好適な検査対象の要部の構成を示す図である。同図に示す検査対象３００は、２列の電極３０１が、同じ配列間隔で並んだ構成を有するものである。このような電極の配列パターンを有するものとして、例えば半導体チップなどのワイヤボンディング用パッドなどを挙げることができる。【００５３】
以上説明した本発明の実施の形態２によれば、各々が板状をなし、異なる回路構造間を電気的に接続することによって各回路構造との間で電気信号の入出力を行う複数の導電性接触子と、複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、を備え、導電性接触子ホルダは、複数の導電性接触子の一部を、互いの板厚方向を揃えた状態で一列に並べて保持する保持部を複数有し、複数の保持部が導電性接触子を一列に並べて保持する方向は互いに平行であることとしたため、簡易な構成によって検査対象の電極または端子の配列間隔の狭小化にも適確に対応することができ、電極または端子との確実な接触を実現することが可能となる。【００５４】
なお、本実施の形態２においても、異なる導電性接触子群で最近接する導電性接触子の配列間隔を、同じ導電性接触子群に含まれる導電性接触子の配列間隔の半分としてもよい。この場合には、縦長の千鳥配置された電極を有する検査対象に適用可能となる。【００５５】
（その他の実施の形態）
ここまで、本発明を実施するための最良の形態として、実施の形態１，２を詳述してきたが、本発明はそれらの実施の形態によって限定されるべきものではない。例えば、導電性接触子の第２接触部の形状は、その導電性接触子の材質、その導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダの形状、その導電性接触子ホルダに加えるべき荷重、検査対象の種類などさまざまな条件によって定められるべきものであり、その形状の細部については適宜変更することが可能である。【００５６】
図９は、本発明で適用可能な導電性接触子の別な例を示す図である。同図に示す導電性接触子７は、第１接触部７１，第２接触部７２，弾性部７３，第１接続部７４，第２接続部７５を備える。第２接続部７５は、開口部７６を有する。この導電性接触子７は、第２接触部７２が導電性接触子の幅方向の縁端部から突出しておらず、長手方向に沿って突出している。また、第１接触部７１は、中心軸よりも幅方向で縁端部にシフトした位置に形成されている。このような構成を有する導電性接触子７を、上述した導電性接触子２と組み合わせて使用することも可能である。【００５７】
また、本発明では、導電性接触子群が３組以上の場合にも適用可能である。この場合には、多段に千鳥配置された電極を有する検査対象に適用することができる。【００５８】
さらに、本発明において、並列に配置された導電性接触子群を保持するための保持枠の一部を一つの部材によって共用することも可能である。例えば、上記実施の形態１において、導電性接触子群Ｇ１用の第２保持枠３４ｂと、導電性接触子群Ｇ２用の第１保持枠３５ａとを一体で形成してもよい。【００５９】
また、本発明において、各保持枠の位置を微調整する位置調整手段を設けることも可能である。例えば、導電性接触子群の配列方向の位置を調整するために、収容部の側面から位置決め用のネジを挿通可能な構成としてもよい。このような位置調整手段によって保持部が有する第１保持枠と第２保持枠の位置関係を微調整可能な構成とすれば、導電性接触子の位置決め精度を一段と向上させることができる。【００６０】
なお、本発明に係る導電性接触子ユニットは、液晶パネルを検査する以外にも、半導体チップを搭載したパッケージ基板やウェハレベルの検査に用いる高密度プローブユニットの検査にも適用可能である。【００６１】
このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上のように、本発明にかかる導電性接触子ユニットは、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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