(57)【要約】本発明は、ウエハに所定の半導体素子回路パターンを蒸着する際に、ウエハとメタルマスクとを極めて正確に位置合わせを行うためのアライメント装置である。  本発明のアライメント装置（１００）は、前記ウエハ（１）をｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、および所定のΘ方向に駆動可能なテーブル（６）と、前記テーブル（６）上に保磁力を有しない磁性材からなるワーク受プレート（１４）を介してウエハ（１）を載置するウエハホルダ（２）と、前記ウエハホルダ（２）に相対向して配置されるとともに、前記ウエハ（１）の表面に蒸着される半導体素子回路パターンを形成するメタルマスク（３）が張架されている吸着枠（１１′）を取り付けるマスクホルダ（４）と、前記ウエハ（１）と前記メタルマスク（３）との重合位置を合わせるための重合手段（５）と、前記重合手段（５）に直流または交流を供給することにより、前記ウエハ（１）およびメタルマスク（３）の密着あるいは離間を容易、かつ自由に行うように制御する制御手段（７）と、から少なくとも構成される。
2008047458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ１に所定の半導体素子回路パターンを蒸着する際にウエハ１とメタルマスク３との位置合わせを行うためのアライメント装置であって、
前記ウエハ１をｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、および所定のΘ方向に駆動可能なテーブル６と、
前記テーブル６上に保磁力を有しない磁性材からなるワーク受プレート１４を介してウエハ１を載置するウエハホルダ２と、
前記ウエハホルダ２に相対向して配置されるとともに、前記ウエハ１の表面に蒸着される半導体素子回路パターンを形成するメタルマスク３が張架されている吸着枠１１′を取り付けるマスクホルダ４と、
前記ウエハ１と前記メタルマスク３との重合位置を合わせるための重合手段５と、
前記重合手段５に直流または交流を供給することにより、前記ウエハ１およびメタルマスク３の密着あるいは離間を行うように制御する制御手段７と、
から少なくとも構成されていることを特徴としたメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置用のウエハのアライメント装置に係わり、特に、メタルマスクを用いてウエハを位置決めし、前記ウエハと前記メタルマスクとの重合に保持力を有しない磁性材料と電磁石による電磁力の制御でメタルマスクの超精密な位置決めを行うメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、平板状のマスクを用いてウエハに半導体素子を形成するために蒸着を行う場合、正確にマスクとウエハの位置合わせと称する位置決め作業が前記半導体素子の形成に極めて重要である。
そこで、従来のアライメント装置として、特開２００５−１０１０４０号公報（以下、特許文献１という。）の図１に示されるように、光学手段を用いて前記位置合わせを行う方法が提案されている。
また、特開２００５−８９４７号公報（以下、特許文献２という。）には、スパッタ成膜装置におけるメタルマスクとウエハとの位置合わせのために、磁性材料よりなるメタルマスクを磁力によって、被成膜用基板の成膜側の面側にメタルマスクを配し、平板状の非磁性材料からなるホルダにＮ極、Ｓ極の２組以上の多極磁石を用いたスパッタ装置が提案されている（特許文献２の図１参照）。
ところが、上述の背景技術における特許文献１および特許文献２に記載されている技術的事項は、いずれも超精密なメタルマスクを用いたアライメント装置には適していない。
すなわち、特許文献１において、位置合わせにおける精度を高くするためには、光学系の機構が煩雑で高価になるばかりでなく、その操作が容易でない欠点がある。さらに、特許文献２に記載されている技術は、メタルマスクが磁性材でホルダが非磁性材であるため、ホルダに対してメタルマスクが完全に固定されず、所期の目的であるメタルマスクとウエハとの正確な位置合わせが完全に行えない可能性がある。
そこで、本発明は、温度に対する特性である膨張係数を極めて低く設定できるメタルマスクを用いて、たとえば、１００ｍｍで±０．５μｍの精度が得られるアライメント装置を提供することを目的としている。
【発明の開示】
【０００３】
本発明のメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置は、ウエハ１に所定の半導体素子回路パターンを蒸着する際に、前記ウエハ１とメタルマスク３との位置合わせを行うためのものであり、下記の構成を有することを特徴とする。
すなわち、本発明のアライメント装置は、ウエハ１をｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、および所定のΘ方向に駆動可能なテーブル６と、前記テーブル６上に保磁力を有しない磁性材からなるワーク受プレート１４を介してウエハ１を載置するウエハホルダ２と、前記ウエハホルダ２に相対向して配置されるとともに、前記ウエハ１の表面に蒸着される半導体素子回路パターンを形成するメタルマスク３が張架されている吸着枠１６を取り付けるマスクホルダ４と、前記ウエハ１と前記メタルマスク３との重合位置を合わせるための重合手段５と、前記重合手段５に直流または交流を供給することによって前記ウエハ１およびメタルマスク３の密着あるいは離間を行うように制御する制御手段７と、から少なくとも構成されていることを特徴とする。本明細書でいう保持力を有しない磁性材とは、サマリウムコバルト、フェライト、あるいはアルニコ（鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）等からなる合金）等の材料に所定電流を流し、飽和磁化させることにより、残留磁化を一定以上にして保持力を持たせるものではなく、前記所定電流以下にして、磁化が残らないような状態にした磁性材である。
また、本発明のメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置は、ウエハ１に所定の半導体素子回路パターンを蒸着する際に、ウエハ１とメタルマスク３との位置合わせを行うためのものである。テーブル６は、ｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、および所定のΘ方向に駆動可能に構成されている。前記ウエハホルダ２に載置されたワーク受プレート１４は、前記保磁力を有しない磁性材から成り、前記メタルマスク３に相対向して配置される。また、前記マスクホルダ４は、前記ウエハ１に蒸着される半導体素子回路パターンを形成するためのメタルマスク３が吸着枠１６に張架されている。前記メタルマスク３が張架されている吸着枠１６は、たとえば、吸着手段８によって吸着固定されている。
前記重合手段５は、前記ウエハ１と前記メタルマスク３との重合位置を合わせるためのものである。前記重合手段５は、たとえば、制御手段７から送られる直流または交流の制御信号によって磁力を発生する磁性体１５及び電磁コイル５ａで構成することができる。制御手段７は、前記制御信号により、前記ウエハ１およびメタルマスク３が密着あるいは離間を行い、前記ウエハホルダ２とマスクホルダ４が密着、離間を行うように前記重合手段５の磁力を制御する。このように、本発明は、重合手段５に制御信号を送るだけでウエハホルダ１とマスクホルダ３との密着あるいは離間が行えるため、制御を行うための特別な機械的構成を無くすことができる。
また、前記重合手段５は、上記のように電磁コイル５ａが備えられており、前記ウエハ１とメタルマスク３との密着あるいは離間に対して電磁力を制御する構成において、前記ウエハ１と前記メタルマスク３との位置合わせ時に、前記電磁コイル５ａから磁力がない状態で、前記位置合わせ作業が容易に行える状態に設定することができる。一方、蒸着時に、前記制御手段７から前記電磁コイル５ａに直流の制御信号を送り、前記電磁コイル５ａと、磁性体１５として設けた保磁力を有するコアによって前記ワーク受プレート１４に磁力を発生させ、メタルマスク３を取り付けた吸着枠１６に対する磁力による吸引力で、前記ウエハ１と前記メタルマスク３とを密着固定状態に保持することができる。このように、前記ウエハ１と前記メタルマスク３とを自由に位置合わせ状態に設定するとともに、前記制御手段７からの制御信号によって両者を密着固定することができる。
或いは、前記重合手段５の他の構成として、少なくとも一つの電磁コイル５ａが備えられており、前記ウエハ１とメタルマスク３との位置合わせ時に、前記ウエハ１と前記メタルマスク３とを自由に位置合わせができる状態に設定することができる。また、前記位置合わせが終了すると、前記制御手段７は、制御信号としてワーク受プレート１４に対して吸引力を発生する極性の直流信号を前記電磁コイル５ａに供給して、前記ウエハ１と前記メタルマスク３の両者が対向する位置で密着固定させる。前記重合手段５は、前記電磁コイル５ａに対する制御信号により、ウエハ１とメタルマスク３の位置合わせおよび離間を、迅速且つ自在に行うことができる。
ワーク受プレート１４を構成する保磁力を有しない材料として、鉄−ニッケル合金等の合金を用い、磁性体１５を構成する保磁力を有する材料として、サマリウムコバルト、フェライト、あるいはアルニコを用いることが好ましい。
このような材料を用いて前記ワーク受プレート１４及び磁性体１５を構成することにより、ウエハ１とメタルマスク３の位置合わせ時、或いはウエハ１に対するマスクによる蒸着工程時、また該蒸着工程の完了後において、前記電磁コイル５ａに対する制御信号によって、重合手段５は、容易かつ迅速に、前記ウエハ１及びメタルマスク３を密着或いは離間させることができる。
前記ウエハ１と前記メタルマスク３は、前記磁性体１５が消磁状態で磁力がない状態で位置合わせを行なう。同工程が終了後、前記ウエハ１とメタルマスク３の両者を密着固定するため、電磁コイル５ａに直流の制御信号を加えてウエハホルダ２とマスクホルダ４を密着状態に設定する。次いで、ウエハ１に所定の半導体素子回路パターンの蒸着を行う。
前記重合手段５は、電磁コイルと磁性材を組み合わせ、前記制御手段７からの制御信号を前記電磁コイルに送るだけで、ウエハ１とメタルマスク３の密着あるいは離間が容易で、かつ、自由にできるだけでなく、制御信号として種々の形態が選択できるようになった。さらに、本発明の構成は、前記重合手段５に電磁コイルと前記保持力を有しない磁性材よりなる磁性体を配置し、ウエハ１とメタルマスク３との位置合わせ時に前記電磁コイルに制御手段７からの制御信号によって前記保持力を有しない磁性材よりなる磁性体を消磁し、前記ウエハ１とメタルマスク３とを自由に位置合わせできる状態に設定し、両者の位置合わせ完了後は両者を密着固定させるものである。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
第１図は、本発明のメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置の一実施例を示す要部断面概略図である。
第２図（ａ）は、本発明のメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置の全体的な構成を示す要部断面概略図である。
第２図（ｂ）は、第２図（ａ）に記載のアライメント装置を使用したウエハの製造工程において、ウエハホルダ２とマスクホルダ４が密着状態に設定された状態を示す要部断面概略図である。
第２図（ｃ）は、第２図（ａ）に記載のアライメント装置を使用したウエハの製造工程において、蒸着完了後、ウエハ１とメタルマスク３が分離された状態を示す要部断面概略図である。
第３図は、本発明におけるメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置によってウエハに対して蒸着によって回路パターンを形成するプロセスを示すフローチャートである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
次に、添付図面に基づいて、本発明に係わるメタルマスクを用いたウエハの超精密アライメント装置の実施形態について説明する。第１図は本発明のメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置の一実施例を示す要部断面概略図である。第２図（ａ）から（ｃ）は本発明のメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置におけるウエハの製造工程を示す要部断面概略図である。
第１図および第２図（ａ）乃至（ｃ）において、本発明に係わるメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置１００は、各種の電子回路を構成する半導体素子を形成するためのウエハ１と、前記ウエハ１を保持するためのウエハホルダ２と、前記ウエハ１に前記半導体素子に相当する半導体素子パターンを蒸着するためのメタルマスク３が張架された吸着枠１６と、吸着手段８の吸着力によって前記吸着枠１６を吸着するマスクホルダ４と、前記ウエハホルダ２と前記マスクホルダ４とを互いに密着させる、あるいは、離間させる重合手段５と、前記ウエハホルダ２を所定の位置に動かすｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、および所定のΘ方向の位置および角度を調整することができるテーブル６と、前記重合手段５の密着あるいは離間を制御する制御信号を発生するように電源を含む制御手段７とから少なくとも構成されている。
前記ウエハホルダ２は、上部に設けられているワーク受プレート１４と、下部に設けられている磁性体１５および電磁コイル５ａと、上部に前記ワーク受プレート１４を設ける凹部２′と、前記凹部２′に設けられたウエハ載置凹部１４′と、前記ワーク受プレート１４、磁性体１５、および電磁コイル５ａを固定する固定ホルダー１３とから少なくとも構成されている。前記ワーク受プレート１４の上部に設けられたウエハ載置凹部１４′には、ウエハ側アライメントマーク１０が設けられたウエハ１が嵌合されて位置決めされている。前記ワーク受プレート１４は、保磁力を有しない材料、たとえば、鉄−ニッケル合金等の合金を用い、一方、前記磁性体１５のコアとしては保磁力を有する材料、たとえば、サマリウムコバルト、フェライト、アルニコを用いる。
前記マスクホルダ４は、下部に設けられ、メタルマスク３をその上側から吸着して持ち上げる吸着枠１６と、前記メタルマスク３を吸着枠１６に吸着させる吸着手段８と、前記吸着手段８と吸着枠１６を結ぶエア吸着孔９と、マスク側アライメントマーク１１を観察する観察窓１８とから構成されている。
テーブル６は、駆動装置６′によって、ｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、および所定のΘ方向に駆動され、ウエハ１とメタルマスク３の位置および角度調整を行う。また、重合手段５は、前記制御手段７からの制御信号が供給されるように電気接続用のコネクタ１２が設けられている。前記磁性体１５は、磁界発生手段として電磁コイル５ａの内部に収納されているコアからなり、たとえば、前述のようにアルニコが利用される。
重合手段５は、前記電磁コイル５ａと前記磁性体１５からなり、前記制御手段７から制御信号が供給されて、前記電磁コイル５ａと前記磁性体１５とによって磁力を発生するとともに、その電磁力が制御される。二視野顕微鏡カメラ１７は、観察窓１８から前記ウエハ側アライメントマーク１０およびマスク側アライメントマーク１１が一致するように観測されるまで、前記テーブル６を移動させる。なお、前記メタルマスクを用いたウエハアライメント装置１００は、概略図であるため、一部の機構が省略されている。
次に、本発明のメタルマスクを用いたウエハアライメント装置１００によってウエハに対してメタルマスクで蒸着を行う工程について図面を参照して説明する。第３図は本発明におけるメタルマスクを用いたウエハのアライメント装置によってウエハに対して蒸着によって回路パターンを形成するプロセスを示すフローチャートである。第３図において、最初に、ウエハ１およびメタルマスク３を予め作成しておき、準備状態にしておく（ステップ３１、ステップ３２）。
本発明のメタルマスクを用いたアライメント装置１００は、マスクホルダ４を吸着手段８にエアを用いて吸着させ、ウエハ１をウエハホルダ２に設けたワーク受プレート１４上で保持し、ウエハ１に対して重合させて位置合わせするためにメタルマスク３をマスクホルダ４の吸着枠１６に張架しておき、ウエハホルダ２にマスクホルダ４を重ね合わせる。
このとき、吸着枠１６に対して前記重合手段５から磁力を発生させないようにしておけば、マスクホルダ４は、ウエハホルダ２に容易に接近可能となる。この場合、制御手段７から何等制御信号を発生させないでおいて重合手段５からの磁力を実質ゼロにして、ワーク受プレート１４を脱磁状態にする。それによって、ウエハホルダ２は、マスクホルダ４に対して何ら磁力が働かない状態に保たれているので、自由に位置決めが可能であり、前記ウエハ側アライメントマーク１０とマスク側アライメントマーク１１との位置合わせが正確に行える（ステップ３３）。
位置合わせ完了後、保持力を有する磁性材よりなる磁性体１５の磁力による吸引力が利用される。すなわち、離間していたウエハホルダ２とマスクホルダ４とは、制御手段７からの直流信号の印加によって発生した磁性体１５の電磁力で互いに吸引されて密着状態に設定され、両者が合体された状態となる（ステップ３４）。
この後、所定のプロセスを経て蒸着工程を終了すると、メタルマスク３によってウエハ１に所定の回路パターンが形成され、蒸着が完了する（ステップ３５）。前記制御手段７からの交流信号による制御信号でワーク受プレート１４を脱磁すれば、吸着枠１６との磁力がゼロとなり、ウエハ１とメタルマスク３が分離できる（ステップ３６）。次に、ウエハホルダ２内のワーク受プレート１４上に載置されたウエハ１を取り出せば、ウエハの取り出しで全工程が終了する（ステップ３７）。前記吸着枠１６は、保磁力を有する材料、たとえば、ニッケル合金、鉄合金、アルミニウム合金で磁性を有するもので構成される。
ここで、前記磁性体１５にアルニコを用いる場合、単一の電磁コイルで前記磁性体１５の磁力、磁気の方向を変化させることが可能となる。制御手段７からの交流信号の印加によってワーク受プレート１４は消磁されるので、吸着枠１６との間の脱磁状態となって吸着力はなくなり、ウエハホルダ２とマスクホルダ４とは、特に残留磁気の影響がないので、ウエハ１とメタルマスク３はスムーズに離間が行える。前記ウエハホルダ２とマスクホルダ４は、いずれも保磁力を有する材料、たとえば、ニッケル合金、鉄合金、アルミニウム合金で磁性を有するもので構成される。
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではない。そして、本発明は、特許請求の範囲に記載された事項を逸脱することがなければ、種々の設計変更を行うことが可能である。たとえば、本発明のマスクホルダあるいはウエハホルダは、ウエハおよびメタルマスクを保持し、アライメントマークが合わせ易いものであれば、設計変更が可能である。また、本発明を構成するテーブル駆動手段、吸着手段、および制御手段として、公知または周知のものを使用し、必要に応じて設計変更が可能である。また、本発明は、重合手段において、一方を保持力を有する磁性体、他方を電磁コイルとしたが、一方を電磁コイル、他方を磁性体とするその逆の組み合わせ、あるいはその他の種々の組み合わせが可能である。
また、本発明は、上記実施例において、その重合手段として、電磁コイルと、その中心に保持力を有する磁性体を配置する構成としたが、外側に磁性体を配置し、該磁性体の中心に電磁コイルを配置する構成、或いは複数の電磁コイルと磁性体を配置する等、種々の組み合わせで構成することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０００６】
以上説明したように、本発明のメタルマスクを用いたウエハの超精密アライメント装置によれば、ウエハをｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向、所定のθ方向等種々の方向に移動可能にウエハホルダに保持し、磁力が全く発生していない状態で、二視野顕微鏡カメラ等を用いてウエハとメタルマスクとを極めて正確に位置合わせを行うことができるとともに、前記メタルマスクとウエハの全面密着固定または解放が、前記磁界発生手段として設けた電磁コイルへの制御信号によって自由に選択可能となり、たとえば、１００ｍｍに対して０．５μｍの精度が得られる。さらに、メタルマスクとウエハの離間に際して、マスクホルダを脱磁状態にすることによってウエハホルダとマスクホルダとの結合を解くことができるので、ウエハ上のパターンに損傷を与えることを防止できる効果も得られる。
したがって、一般の蒸着マスクに比して温度特性の良好な、すなわち、膨張係数の低い、また、極めて精度の高いメタルマスクを用いて蒸着する場合に上述の効果は大いに発揮できるものである。
また、本発明のアライメント装置では、重合手段によるウエハホルダとマスクホルダとの密着あるいは離間の制御を電磁コイルに供給する制御信号で行えるので、機械的な構成を極減できる利点が得られる。また、前記ウエハホルダは、前記保磁力を有しない磁性材からなるワーク受プレートを介してウエハを載置しているため、前記ウエハが残留磁化の影響により浮いた状態にならず、安定した取り付けが可能になった。
さらに、本発明のアライメント装置によれば、構成素子に最適な材料を選択することよって前記重合手段に各々の磁性材料の組合せで、電気的な制御信号による電磁力の制御で、ウエハホルダとマスクホルダとの密着あるいは離間が可能となるので、制御信号として種々の形態が選択できる利点が得られる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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