【誤訳訂正書】
【提出日】平成15年12月3日(2003.12.3)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理が進むにしたがってプラズマ処理の状態条件を監視する方法であって、
プラズマ処理が進むにしたがって、プラズマ処理から放射されるＰ個の放射線波長の各々の強度を監視するステップと、
処理が進むにしたがって監視されたＰ個の波長の強度間のＰ次元の相関の指標を生成するステップと、
生成された相関指標と、プラズマ処理の過去の状態に基づき生成された所定の相関指標とを比較し、処理が進むにしたがって処理の状態条件を決定するステップと、
を含むことを特徴とするプラズマ処理の状態条件を監視する方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
監視される放射された放射線波長が、２００ｎｍから８００ｎｍの放射線波長を含むことを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、
監視される放射線波長の数Ｐが、少なくとも２であることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法であって、
監視される放射線波長の数Ｐが、少なくとも約１０であることを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項４に記載の方法であって、
監視される放射線波長の数Ｐが、少なくとも約１００であることを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法であって、
監視される放射線波長の数Ｐが、少なくとも約５００であることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法であって、
状態条件を決定する対象のプラズマ処理が、プラズマエッチング処理であることを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法であって、
状態条件を決定する対象のプラズマ処理が、プラズマエッチング処理のメインエッチング段階であることを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、
生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップが、エッチング終点の状態に達しているかを決定する比較を含むことを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の方法であって、
状態条件が決定される対象のプラズマ処理が、プラズマエッチング酸化物のために活性プラズマ種を用いるプラズマエッチング処理であることを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１に記載の方法であってさらに、
処理の状態条件の決定に応答して、プラズマ処理の処理パラメータを制御する最終ステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１に記載の方法であってさらに、
Ｐ個の放射線波長の各々の強度が監視されている間に、Ｋ個の過去プラズマ処理を実行する第一のステップと、
実行されたＫ個の過去プラズマ処理の処理状態におけるＰ個の監視された波長の強度に基づき、所定の相関指標を生成する第二のステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
請求項１に記載の方法であってさらに、
プラズマ処理の間に、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップの前に、所定の相関の指標を生成するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１４】
請求項１に記載の方法であってさらに、
プラズマ処理が進むにしたがって、Ｐ次元の相関指標を生成するために使用するデジタル強度値信号を、監視されるＰ個の放射線波長の強度の各々に対して生成するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１に記載の方法であってさらに、
生成された相関指標に基づき、所定の相関指標を更新するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法であって、
更新ステップが、過去の処理状態のドリフトに基づき、所定の相関指標に指数重み付け移動平均を適用するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１に記載の方法であって、
Ｐ個の放射線波長の強度を監視するステップが、
Ｐ個よりも多いＪ個の放射線波長の強度の各々を監視するステップと、
Ｊ個の監視された波長の強度をフィルタリングし、所定の強度基準をそれぞれ満たすＰ個の波長を選択するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１に記載の方法であって、
Ｐ次元の強度の相関指標を生成するステップが、Ｐ次元の強度相関値を生成するステップを含み、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップが、生成されたＰ次元の強度相関値の各々が、過去プラズマ処理の特徴である所定の強度相関値の変分以内であるかを決定するステップを含み、所定の強度相関値の変分以内ではないと決定された、生成された強度相関値により、処理の状態条件が変化したことを示すことを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法であって、
生成されたＰ次元の強度相関値の各々が、所定の相関値の変分以内であるかを決定するステップが、与えられた強度相関値に対して、
与えられた強度相関値と過去の処理状態の特徴である強度相関値の平均との違いの程度を生成するステップと、
この違いの程度と、相関値の最大許容変分に対して過去の処理状態に基づき生成された所定の制御限界とを比較するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の方法であって、
生成されたＰ次元の強度相関値の各々が、所定の相関値の変分以内であるかを決定するステップがさらに、最低ｃ個の違いの程度を所定の制御限界と比較し、対応する生成された強度相関値が所定の相関値変分以内ではないことを示した時に、プラズマ処理の状態条件が変化したことを示すステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２１】
請求項１９の方法であってさらに、
Ｐ個の放射線波長の各々が期間Ｔの間監視されてる時にＫ個の過去のプラズマ処理を実行する第一のステップと、
Ｋ個の過去の処理において期間Ｔの間のＰ個の波長の放射線波長強度値の平均Ｍ（Ｐ）を計算し、Ｋ個の過去の処理において期間Ｔの間のＰ個の波長の放射線波長強度値の行列の逆共分散Ｓを計算する第二のステップと、
を含み、与えられた強度相関値と強度相関値の平均との違いの程度を生成するステップが、与えられた強度相関値に対応するプラズマ処理の際の時間をｔとし、時間ｔにおいて監視されるＰ個の放射線強度の行列をＤ（Ｐ，ｔ）とし、Ｋ個の過去の処理における期間Ｔの間のＰ個の波長の放射線波長強度値の平均をＭ（Ｐ）とし、Ｋ個の過去の処理における期間Ｔの間のＰ個の波長の放射線波長強度値の行列の逆分散をＳとし、転置を上付きのＴで表した時に、
Ｔ2（ｔ）＝（Ｄ（Ｐ，ｔ）−Ｍ（Ｐ））*Ｓ*（Ｄ（Ｐ，ｔ）−Ｍ（Ｐ））T
で求められる違いの程度を生成するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の方法であって、
制御限界が、Ｋ個の過去の処理における期間Ｔの間に監視されたＰ個の放射線強度の信頼値及び分布に基づくことを特徴とする方法。
【請求項２３】
請求項２２に記載の方法であって、
制御限界が、Ｋ個の過去の処理における期間Ｔの間に監視されたＰ個の放射線強度のカイ二乗分布に基づくことを特徴とする方法。
【請求項２４】
請求項１に記載の方法であって、
Ｐ次元の強度相関の指標を生成するステップが、プラズマ処理が進むにしたがってプラズマ処理の間のＰ個の監視されている放射線波長の強度間の相関の最大変分の指標を生成するステップを含み、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップが、生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理状態の特徴である所定の最大変分指標とを比較するステップを含み、生成された最大相関変分の指標と所定の最大変分指標との不一致によりプラズマ処理の状態条件が変化したことを示すことを特徴とする方法。
【請求項２５】
請求項１に記載の方法であって、
Ｐ次元の強度相関の指標を生成するステップが、プラズマ処理が進むにしたがってプラズマ処理の間のＰ個の監視されている放射線波長の強度間の相関の最大変分の指標を生成するステップを含み、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップが、生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理状態の特徴である所定の最大変分指標とを比較するステップを含み、生成された最大相関変分の指標と所定の最大変分指標との一致によりプラズマ処理の状態条件が変化したことを示すことを特徴とする方法。
【請求項２６】
請求項２４に記載の方法であって、
Ｐ個の監視されている放射線波長の強度間の相関の最大変分の指標を生成するステップが、監視されたＰ個の放射線波長の波長強度相関の変分の主成分であって、各々がＰ個の放射線波長の一つに対応し、計算された固有値の大きさによって特徴づけされるＳ個の主成分を計算するステップを含み、生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理状態の特徴である所定の最大変分指標とを比較するステップが、Ｓ個の計算された固有値の大きさの各々と、対応するＰ個の放射線波長の共通の一つを参照する所定の固有値の大きさとを比較するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２７】
請求項２４に記載の方法であって、
Ｐ個の監視されている放射線波長の強度間の相関の最大変分の指標を生成するステップが、監視されたＰ個の放射線波長の波長強度相関の変分の主成分であって、各々がＰ個の放射線波長の一つに対応し、計算された固有ベクトルの向きによって特徴づけされるＳ個の主成分を計算するステップを含み、生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理状態の特徴である所定の最大変分指標とを比較するステップが、Ｓ個の計算された固有ベクトルの向きの各々と、対応するＰ個の放射線波長中の共通の一つを参照する所定の固有ベクトルの向きとを比較するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載の方法であってさらに、
期間Ｔの間にＰ個の放射線波長の強度の各々が監視されている間に、Ｋ個の過去のプラズマ処理を実行し、
期間Ｔの間監視されるＰ個の放射線波長のための波長強度相関の変分の過去の主成分であって、各々が過去の向き及び過去の固有値の大きさによって特徴づけられるＰ個の過去の主成分をＫ個の過去処理の各々のために計算し、
Ｋ個の過去処理の各々の過去主成分を過去の固有値の大きさに基づき降順にランク付けし、
Ｋ個の過去処理の各々に対する最初のＳ個の過去の主成分によって定義できる強度相関の変分の所定の割合に基づきＫ個の過去処理の各々に対する最初のＳ個の過去の主成分を保持し、
Ｋ個の過去処理に対して、Ｓ個の過去の主成分の各々の平均過去主成分を計算し、
過去主成分の個有ベクトルの向きの各々と、対応する計算された平均過去主成分の固有ベクトルの向きとの角度を計算する第一のステップを含み、
Ｓ個の計算された固有ベクトルの向きの各々と、対応するＰ個の放射線波長中の共通の一つを参照する所定の固有ベクトルの向きとを比較するステップが、Ｓ個の計算された固有ベクトルの向きの各々と、対応するＳ個の計算された平均過去主成分の一つの過去の固有ベクトルの向きとを比較するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２９】
請求項２８の方法であってさらに、
Ｋ個の過去処理の計算された過去固有ベクトルの向きの角度の変分の所定の割合に基づいて、所定のしきい値角度を設定するステップを含み、さらに、
Ｓ個の計算された主成分の計算された固有ベクトルの向きの各々と、Ｓ個の計算された平均過去主成分の対応する一つの過去固有ベクトルの向きとの角度を計算するステップと、
計算された角度の各々を所定のしきい値角度と比較し、計算された角度が所定のしきい値角度よりも小さいことによりプラズマ処理の状態条件の変化を示すことを特徴とする方法。
【請求項３０】
請求項１に記載の方法であって、
Ｐ次元の強度相関の指標を生成するステップがＰ次元の強度相関値を生成するステップを含み、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップが、
生成されたＰ次元の強度相関値の各々が、プラズマ処理の過去の処理条件の特徴である所定の強度相関値の変分以内であるかを決定するステップと、
所定の相関値の変分以内でないと判断された、生成された強度相関値に対して、プラズマ処理が進むにしたがってプラズマ処理の間監視されるＰ個の放射線波長の強度間の相関の最大変分の指標を生成するステップと、
生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理条件の特徴である所定の最大変分指標とを比較し、生成された相関の最大変分の指標が所定の最大変分指標と一致しないことにより、プラズマ処理の状態条件の変化を示すステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項３１】
請求項１に記載の方法であって、
Ｐ次元の強度相関表示を生成するステップがＰ次元の強度相関値を生成するステップを含み、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較するステップが、
生成されたＰ次元の強度相関値の各々が、プラズマ処理の過去の処理条件の特徴である所定の強度相関値の変分以内であるかを判断するステップと、
所定の相関値の変分以内であると判断された、生成された強度相関値に対して、プラズマ処理が進むにしたがってプラズマ処理の間監視されるＰ個の放射線波長の強度間の相関の最大変分の指標を生成するステップと、
生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理条件の特徴である所定の最大変分指標とを比較し、生成された最大相関変分の指標が所定の最大変分指標と一致しないことにより、プラズマ処理の状態条件の変化を示すステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項３２】
プラズマ処理が進むにしたがってプラズマ処理の状態条件を監視するための装置であって、
プラズマ処理が進むにしたがって、プラズマ処理から放射されるＰ個の放射線波長の各々の強度を監視する手段と、
処理が進むにしたがってＰ個の監視された波長の強度間のＰ次元の相関指標を生成する手段と、
生成された相関指標と、過去のプラズマ処理の状態に基づき生成された所定の相関指標とを比較し、処理が進むにしたがって処理の状態条件を決定する手段と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項３３】
請求項３２に記載の装置であって、
比較手段が、生成された相関指標と、過去のプラズマ処理の状態に基づき生成され所定の相関指標とを比較し、プラズマ処理が進むにしたがってプラズマエッチング処理の際にエッチング終点に達した状態であるかを決定する手段を備えることを特徴とする装置。
【請求項３４】
請求項３２に記載の装置であってさらに、
プラズマ処理の状態条件の決定に応答して、処理のパラメータを制御する手段を有することを特徴とする装置。
【請求項３５】
請求項３２に記載の装置であってさらに、
Ｐ個の放射線波長の各々の強度が監視されている間に、Ｋ個の過去プラズマ処理を実行する手段と、
Ｋ個の実行された過去処理の処理状態に対するＰ個の監視された波長の強度に基づき、所定の相関指標を生成する手段と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項３６】
請求項３２に記載の装置であってさらに、
所定の相関指標を生成された相関指標に基づき更新する手段を備えることを特徴とする装置。
【請求項３７】
請求項３２に記載の装置であってさらに、
プラズマ処理が進むにしたがって、プラズマ処理から放射される、Ｐ個よりも多いＪ個の放射線波長の各々の強度を監視する手段と、
Ｊ個の監視された波長強度をフィルタリングし、所定の強度基準を満たすＰ個の波長を選択する手段と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項３８】
請求項３２に記載の装置であって、
放射線波長強度を監視する手段が、約２００ｎｍから約８００ｎｍの間の放射線波長強度を監視する手段を備えることを特徴とする装置。
【請求項３９】
請求項３２に記載の装置であって、
Ｐ次元の強度相関指標を生成する手段が、Ｐ次元の強度相関値を生成する手段を備え、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較する手段が、生成されたＰ次元の強度相関値の各々がプラズマ処理の過去の処理状態の特徴である所定の強度相関値の変分以内であるかを決定する手段を備え、生成された強度相関値が所定の相関値の変分以内でないことにより処理の状態条件の変化を示すことを特徴とする装置。
【請求項４０】
請求項３２に記載の装置であって、
Ｐ次元の強度相関の指標を生成する手段が、プラズマ処理が進むにしたがって、プラズマ処理の間に監視されるＰ個の放射線波長の強度間の相関の最大変分の表示を生成する手段を備え、生成された相関指標と所定の相関指標とを比較する手段が、生成された相関の最大変分の指標と、過去の処理状態の特徴である所定の最大変分指標とを比較する手段を備え、生成された最大相関変分の指標が所定の最大変分指標と一致しないことによりプラズマ処理の状態条件の変化を示すことを特徴とする装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
本発明に係る分析技術によれば、プラズマ処理から放射されるＰ個の放射波長の各強度を、処理の進行につれてモニタする。処理の進行に伴って、モニタされるＰ個の波長の強度間のＰ次元相関関係の指標が生成される。こうして生成された相関関係指標を、これまでのプラズマ処理状態に基づいて生成された所定の相関関係指標と比較して、処理の状態条件(status conditions)を検出する。


【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
上記の通り、この分析は、予測される傾向や波長強度相関関係テンプレートを強度スペクトルに押し付けてプラズマ処理の状態条件を分析するのではなく、これまでの処理で発見された相関関係の指標を現在の相関関係状態の指標と比較して、プラズマ処理状態条件を検出する。


【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
本発明に係る分析技術の実施の形態において、まず、Ｋ回のプラズマ処理を実行する。各処理実行中にＰ個の放射波長の強度をモニタし、所定の相関関係指標を生成する。これは、これまでに実行されたＫ回の処理における処理条件に対する、モニタされたＰ個の波長の強度に基づいて行う。あるいは、生成された相関関係指標を所定の相関関係指標と比較するステップの前に、プラズマ処理において生成することもできる。


【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
分析技術の他の実施の形態において、生成された相関関係指標に基づいて所定の相関関係指標を更新できる。これは、例えば、これまでの処理条件の変化に基づいて、指数加重(exponentially weighted)された移動平均を所定の相関関係状態に適用して行う。本発明に係るフィルタ処理では、プラズマ処理中にＪ個の放射波長の強度をモニタする。Ｊ＞Ｐであれば、モニタされるＪ個の波長をフィルタリングして、所定の強度基準を満たすＰ個の波長を選択する。


【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
本発明に係る分析技術の実施の形態において、プラズマ処理中のＰ次元強度相関関係の指標をＰ次元強度相関関係値として生成する。ここで、生成された相関関係指標を所定の相関関係指標と比較するステップは、生成された各Ｐ次元強度相関関係値が、このプラズマ処理のこれまでの処理状態に特徴的な強度相関関係値の所定変化内にあるか否かを検出して行う。生成された強度相関関係値が相関関係値の所定変化内に無い場合、これは、この処理の状態条件に変化があったことを示す。


【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
本発明に係る分析技術の更なる実施の形態において、プラズマ処理中のＰ次元強度相関関係の指標を、モニタされるＰ個の放射波長の強度間の相関関係の最大変化の指標として生成する。ここで、生成された相関関係指標を所定の相関関係指標と比較するステップは、生成された相関関係の最大変化の指標と、これまでの処理条件に特徴的な所定の最大変化指標とを比較して行う。この生成された最大相関関係変化の指標が所定の最大変化の指標と一致しない場合、これはプラズマ処理の状態条件に変化があったことを示す。