【手続補正書】
【提出日】平成16年9月16日(2004.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能性素子基板製造装置の基板保持台に載置し、ガラス、セラミックス、もしくはプラスチックの基板上に機能性材料を含有する溶液を付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、前記機能性素子群が形成される領域の面の裏面に深さならびに幅を前記基板の厚さの５０分の１〜５分の１とした溝を設けるとともに、該溝を前記基板の端部まで設けたことを特徴とする機能性素子基板。
【請求項２】
前記溝は、前記基板形成時に同時に形成されることを特徴とする請求項１に記載の機能性素子基板。
【請求項３】
前記溝は、前記基板の裏面に２次的な加工を施して形成されることを特徴とする請求項１記載の機能性素子基板。
【請求項４】
前記溝が、複数設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載の機能性素子基板。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１の機能性素子基板と、この機能性素子基板に対向して配置されたカバープレートとを有することを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述のような機能性素子を用いた画像表示装置の機能性素子基板ならびにそれを用いた画像表示装置に関するものであり、
その第１の目的は、上述のような機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置への基板の着脱をしやすくすることにある。
また第２の目的は、上述のような機能性素子基板の製作方法を提案することにある。
また第３の目的は、上述のような機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置への基板の着脱をよりいっそうしやすくすることにある。
さらに第４の目的は、上述のごとき機能性素子基板を用いた画像表示装置を提案することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、
第１に、機能性素子基板製造装置の基板保持台に載置し、ガラス、セラミックス、もしくはプラスチックの基板上に機能性材料を含有する溶液を付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、前記機能性素子群が形成される領域の面の裏面に深さならびに幅を前記基板の厚さの５０分の１〜５分の１とした溝を設けるとともに、該溝を前記基板の端部まで設けるようにした。
第２に、上記第１の機能性素子基板において、前記溝は、前記基板形成時に同時に形成されるようにした。
第３に、上記第１の機能性素子基板において、前記溝は、前記基板の裏面に２次的な加工を施して形成されるようにした。
第４に、上記第１〜第３のいずれか１の機能性素子基板において、前記溝は、複数設けるようにした。
第５に、上記第１〜第４のいずれか１の機能性素子基板と、この機能性素子基板に対向して配置されたカバープレートとを有するような画像表示装置とした。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図７に、線状形状の例として、溝１４1ではなく裏面平面に対して突き出した形状１４２の例について説明する。
この場合は、図示のように、基板１４の裏面平面に対して突き出した形状１４２とすることにより、基板１４を基板保持台１３から浮かせる（間に薄い空気層を形成できる）ので、基板１４が基板保持台１３に密着してしまうという不具合は皆無である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
そりが出るのはやむをえないことであるとし、突き出した形状の線状形状１４2の高さを、そのそり、あるいは基板裏面の平面度より大となるようにしている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
以上の説明より、本発明の機能性素子基板は、その元になる基板の裏面に線状形状１４1（凹）を設け、基板１４と基板保持台１３の間に薄い空気層を形成し、基板１４が基板保持台１３に密着してしまうことによる不具合は皆無とし、機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置へ基板１４をセットしたり、はずしたりする際に、基板１４が機能性素子基板製造装置の基板保持台１３に密着して動かなくなってしまうというようなことをなくし、また密着状態になることを回避できるので、機能性素子基板製造の効率向上、破損事故をなくすことが実現できるものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
【発明の効果】
請求項１に対応した効果
機能性素子基板製造装置の基板保持台に載置し、ガラス、セラミックス、もしくはプラスチックの基板上に機能性材料を含有する溶液を付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、前記機能性素子群が形成される領域の面の裏面に深さならびに幅を前記基板の厚さの５０分の１〜５分の１とした溝を設けるとともに、該溝を前記基板の端部まで設けたので、裏面と機能性素子基板製造装置の基板保持台との間に薄い空気層を形成でき、機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置へ基板をセットしたり、はずしたりする際に、基板が機能性素子基板製造装置の基板保持台に密着して動かなくなってしまうというようなことが皆無となった。よって、基板の着脱、あるいは位置決め等による移動がスムーズに行えるようになり、基板製造効率を大幅に向上できるようになった。
特に基板サイズが、例えば、１００ｍｍ×１００ｍｍ程度の小さい場合には、このような不具合（密着して動きにくくなる不具合）が生じても、その解除は、それほど大きな力を必要とせず、簡単にできたが、本発明がより効果的に適用される大型サイズ（３００ｍｍ×３００ｍｍあるいはそれ以上）の基板の場合は、いったん密着状態になると、簡単に解除できなくなり、あるいは解除しようとしている間に基板を破損したりするという事故が起こったりしていたが、本発明のように裏面に物理的な溝を設け、裏面と機能性素子基板製造装置の基板保持台との間に薄い空気層を形成することにより、密着状態になることを回避でき、機能性素子基板製造の効率向上、破損事故をなくすことが実現できる。
また、前記溝を基板の端部まで設けるようにしたので、落ち込んだ溝が、空気を通す流路となり、基板の端部から、裏面と機能性素子基板製造装置の基板保持台間に、空気が通じるようになるので、裏面と機能性素子基板製造装置の基板保持台間が密着状態になることを回避でき、機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置へ基板をセットしたり、はずしたりする際に、基板が機能性素子基板製造装置の基板保持台に密着して動かなくなってしまうというようなことが皆無となった。
更には、前記溝の深さ並びに幅を基板の厚さの５０分の１〜５分の１とし、溝の深さを最適化した（上限）ことにより、溝に起因（応力集中）する基板の破損を回避できるようになった。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
請求項２に対応した効果
基板上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、機能性素子群が形成されている領域の面の裏面に、溝を設ける場合に、例えばセラミックを基板材料とする場合には、基板焼成時に同時にそのような物理的な線状形状を同時に焼成したり、あるいはガラスを基板材料とする場合には、基板外形のプレス形成時に同時に溝を形成するなどして、基板を形成する際に同時加工（形成）によって、加工コストが低く抑えられ、安価な機能性素子基板を製作できるようになった。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
請求項３に対応した効果
基板上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、機能性素子群が形成されている領域の面の裏面に溝を設ける場合に、ダイヤモンドカッター等の簡単な工具、あるいは機械装置によって、ライン状に溝加工を行うだけで実現できるので、加工コストが低く抑えられ、安価な機能性素子基板を製作できるようになった。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
請求項４に対応した効果
基板上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、機能性素子群が形成されている領域の面の裏面に溝を複数設けるようにしたので、基板サイズが大型（３００ｍｍ×３００ｍｍあるいはそれ以上）のものであっても、基板裏面と機能性素子基板製造装置の基板保持台間に、より効果的に空気が通じるようになり（＝複数あるから）、基板裏面と機能性素子基板製造装置の基板保持台間が密着状態になることを回避でき、機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置へ基板をセットしたり、はずしたりする際に、基板が機能性素子基板製造装置の基板保持台に密着して動かなくなってしまうというようなことが皆無となった。よって、基板の着脱、あるいは位置決め等による移動がスムーズに行えるようになり、基板製造効率を大幅に向上できるようになった。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
請求項５に対応した効果
機能性素子基板製作時に機能性素子基板製造装置へ基板をセットしたり、はずしたりする際に、基板が機能性素子基板製造装置の基板保持台に密着して動かなくなってしまうというようなことがなく、よって、基板の着脱、あるいは位置決め等による移動がスムーズに行え、基板製造効率が大変高いものである。よって製造時に非常に作業効率の向上が図れるため、低コストな機能性素子基板が得られるというメリットがある。したがって、このような、低コストな機能性素子基板を画像表示装置に使用するようにしたので、低コストの画像表示装置が得られるようになった。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例にかかる吐出組成物を用い機能性素子を作製する一工程を模式的に示す斜視図である。
【図２】  本発明の機能性素子基板の製造装置の一実施例を説明するための図である。
【図３】  本発明の機能性素子基板の製造に適用される液滴付与装置を示す概略構成図である。
【図４】  図３の液滴付与装置の吐出ヘッドユニットの要部概略構成図である。
【図５】  本発明の一実施形態に係る機能性素子を形成するための基板であり、基板の裏面に落ち込んだ形状の線状形状を形成した図である。
【図６】  本発明の一実施形態に係る機能性素子を形成するための基板であり、基板の裏面に他の形状（Ｖ字状）の落ち込んだ形状の線状形状を形成した図である。
【図７】  機能性素子を形成するための基板であり、基板の裏面に突き出した形状の線状形状を形成した図である。
【図８】  機能性素子を形成するための基板であり、基板の裏面の平面度より突き出した形状の線状形状の高さが大であることを説明する図である。
【符号の説明】
１…（液体噴射ヘッド）ノズル、２…吐出される有機ＥＬ材料、３…有機物（ポリイミド）障壁、４…ＩＴＯ透明電極、５…ガラス基板、１１…吐出ヘッドユニット（噴射ヘッド）、１２…キャリッジ、１３…基板保持台、１４…基板、１４１…落ち込んだ形状の線状形状、１４２…突き出した形状の線状形状、１５…機能性材料を含有する溶液の供給チューブ、１６…信号供給ケーブル、１７、２１…コントロールボックス、１８…Ｘ方向スキャンモータ、１９…Ｙ方向スキャンモータ、２０…コンピュータ、２２…基板位置決め／保持手段、３１…ヘッドアライメント制御機構、３２…検出光学系、３３…インクジェットヘッド、３４…ヘッドアライメント微動機構、３５…制御コンピュータ、３６…画像識別機構、３７…ＸＹ方向走査機構、３８…位置検出機構、３９…位置補正制御機構、４０…インクジェットヘッド駆動・制御機構、４１…光軸、４２…素子電極、４３…液滴、４４…液滴着弾位置。