【手続補正書】
【提出日】平成17年1月13日(2005.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を吐出し、この基板表面に処理液の液膜を形成する成膜装置において、
前記処理液を前記供給ノズルに送液するための、ポンプ本体とポンプ本体を押圧する押圧部材とを備え、押圧部材を引くことにより上流側からポンプ本体内に処理液が送り込まれ、押圧部材を押圧することによりポンプ本体から下流側に処理液が送り出され、押圧部材の押圧量により下流側に送り出される処理液の量が調整される押圧式ポンプと、
前記押圧式ポンプと供給ノズルとの間の処理液の流路内の圧力を検出する圧力検出部と、
前記圧力検出部からの検出値に基づいて前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を制御する制御部と、を備え、
前記押圧式ポンプと供給ノズルの間との処理液の流路内の圧力に基づいて前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を制御し、前記供給ノズルから基板表面に供給される処理液の吐出量を制御することを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を吐出し、この基板表面に処理液の液膜を形成する成膜装置において、
前記処理液を前記供給ノズルに送液するための、ポンプ本体とポンプ本体を押圧する押圧部材とを備え、押圧部材を引くことにより上流側からポンプ本体内に処理液が送り込まれ、押圧部材を押圧することによりポンプ本体から下流側に処理液が送り出され、押圧部材の押圧量により下流側に送り出される処理液の量が調整される押圧式ポンプと、
前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を検出するための変位計と、
前記変位計からの検出値に基づいてアラーム発生部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量が予め設定された基準範囲から外れたときに前記アラーム発生部を作動させることを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を吐出し、この基板表面に処理液の液膜を形成する成膜装置において、
前記処理液を前記供給ノズルに送液するための、ポンプ本体とポンプ本体を押圧する押圧部材とを備え、押圧部材を引くことにより上流側からポンプ本体内に処理液が送り込まれ、押圧部材を押圧することによりポンプ本体から下流側に処理液が送り出され、押圧部材の押圧量により下流側に送り出される処理液の量が調整される押圧式ポンプと、
前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を検出するための変位計と、
前記供給ノズルを洗浄するための洗浄部と、
前記供給ノズルを前記洗浄部まで移動させる駆動機構と、
前記変位計からの検出値に基づいて前記駆動機構の動作を制御する制御部と、を備え、
前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量が予め設定された基準範囲から外れたときに、前記供給ノズルを前記駆動機構により洗浄部まで移動させ、供給ノズルの洗浄を行うことを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
前記供給ノズル内には処理液に含まれる気泡を除去するためのフィルタが設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一に記載の成膜装置。
【請求項５】
粘度の高い処理液とこの処理液の溶剤とを混合して粘度の低い処理液を調整するための混合槽を備え、この混合槽内の粘度が調整された処理液を前記押圧式ポンプにより供給ノズルに送液することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記押圧式ポンプは、処理液を送液する押圧式ポンプの代わりに、粘度の高い処理液を送液する押圧式ポンプと前記処理液の溶剤を送液する押圧式ポンプとからなり、夫々の押圧式ポンプが同期をとりながら前記供給ノズルに送液することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記押圧式ポンプは、ダイアフラムポンプであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一に記載の成膜装置。
【請求項８】
基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を吐出し、この基板表面に処理液の液膜を形成する成膜装置において、
前記供給ノズルは、前記処理液の流路と、
前記処理液の流路に接続され、処理液を細径の線状に吐出するための吐出孔と、
前記処理液の流路を塞ぐように設けられ、処理液から気泡を除去するためのフィルタと、を備えたことを特徴とする成膜装置。
【請求項９】
前記供給ノズルは、上側部材と下側部材とを組み合わせて内部に処理液を収容可能に構成されており、前記フィルタは、この供給ノズルの内部に設けられていることを特徴とする請求項４または８記載の成膜装置。
【請求項１０】
前記フィルタは、多孔質の樹脂よりなることを特徴とする請求項４、８または９記載の成膜装置。
【請求項１１】
前記基板保持部と供給ノズルとを、基板の面方向に沿って相対的に駆動させながら、供給ノズルから処理液を吐出し、この基板表面に処理液の液膜を形成することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一に記載の成膜装置。
【請求項１２】
前記処理液はレジスト液であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか一に記載の成膜装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明では、基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を吐出し、この基板表面に処理液の液膜を形成する成膜装置において、
前記処理液を前記供給ノズルに送液するための、ポンプ本体とポンプ本体を押圧する押圧部材とを備え、押圧部材を引くことにより上流側からポンプ本体内に処理液が送り込まれ、押圧部材を押圧することによりポンプ本体から下流側に処理液が送り出され、押圧部材の押圧量により下流側に送り出される処理液の量が調整される押圧式ポンプと、前記押圧式ポンプと供給ノズルとの間の処理液の流路内の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部からの検出値に基づいて前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を制御する制御部と、を備え、
前記押圧式ポンプと供給ノズルの間との処理液の流路内の圧力に基づいて前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を制御し、前記供給ノズルから基板表面に供給される処理液の吐出量を制御することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに本発明では、前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量を検出するための変位計と、前記供給ノズルを洗浄するための洗浄部と、前記供給ノズルを前記洗浄部まで移動させる駆動機構と、前記変位計からの検出値に基づいて前記駆動機構の動作を制御する制御部と、を備え、
前記押圧式ポンプの押圧部材の押圧量が予め設定された基準範囲から外れたときに、前記供給ノズルを前記駆動機構により洗浄部まで移動させ、供給ノズルの洗浄を行うように成膜装置を構成するようにしてもよく、この場合には供給ノズルの目詰まり等の異常が発生したときに、作業者の手を煩わせることなく速やかに供給ノズルの洗浄を行うことができる。
また上述した成膜装置において、前記供給ノズル内に処理液に含まれる気泡を除去するためのフィルタを設けてもよい。さらに前記押圧式ポンプは、処理液を送液する押圧式ポンプの代わりに、粘度の高い処理液を送液する押圧式ポンプと前記処理液の溶剤を送液する押圧式ポンプとから構成されるようにしてもよく、この場合夫々の押圧式ポンプが同期をとりながら前記供給ノズルに送液することになる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらにまた本発明では、前記供給ノズルを、前記処理液の流路と、前記処理液の流路に接続され、処理液を細径の線状に吐出するための吐出孔と、前記処理液の流路を塞ぐように設けられ、処理液から気泡等を除去するためのフィルタと、を備えるように構成してもよく、この場合には前記気泡の存在が原因となる処理液の吐出圧の変動等が抑えられ、基板に対して安定した処理液の供給を行うことができ、液膜の膜厚の均一性の向上を図ることができる。また前記供給ノズルは、上側部材と下側部材とを組み合わせて内部に処理液を収納可能に構成し、前記フィルタをこの供給ノズルの内部に設けてもよい。この際前記フィルタは、多孔質の樹脂より構成することが望ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また本発明は、粘度の高い処理液とこの処理液の溶剤とを混合して粘度の低い処理液を調整するための混合槽を備え、この混合槽内の粘度が調整された処理液を前記押圧式ポンプにより供給ノズルに送液するようにしてもよく、この場合には粘度の制限を設けることなく、粘度の高い処理液を用いることができるので、汎用性が高められる。ここで処理液の例としてはレジスト液が挙げられる。また上述した押圧式ポンプにおいては、例えばダイアフラムポンプを用いることがより好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
以上において本発明では、前記ベローズポンプ８と供給ノズル６の間との供給流路７６内の圧力に基づいて前記ベローズポンプの押圧量を制御し、前記供給ノズル６からウエハＷ表面に供給されるレジスト液の吐出量を制御する構成と、前記ベローズポンプ８の押圧量が予め設定された基準範囲から外れたときに前記アラーム発生部７９を作動させる構成と、前記ベローズポンプ８の押圧量が予め設定された基準範囲から外れたときに、前記供給ノズル６の洗浄を行う構成と、レジスト液から気泡を除去するためのフィルタ６４を備えた供給ノズル６を用いる構成と、を夫々組み合わせるようにしてもよいし、別個に構成してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
さらにまた高粘度レジスト液と溶剤とを直接供給ノズル６に夫々押圧力制御を行うベローズポンプを用いて供給するようにしてもよく、この場合には夫々のベローズポンプが同期をとりながら制御される。