Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月26日(2004.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘルメット本体と、ヘルメット装着時に頭部と当接するように設けられた、骨導音を伝達するための第１の骨伝導子と、この第１の骨伝導子に伝達音信号を出力する第１の音源を接続するための第１のコネクタと、ヘルメット装着時に頭部と当接するように設けられた、骨導音を伝達するための第２の骨伝導子と、この第２の骨伝導子に伝達音信号を出力する第２の音源を接続するための第２のコネクタと、を備えたことを特徴とするヘルメット。
【請求項２】
ヘルメット本体と、第１の音源及び第２の音源を接続するためのコネクタと、前記コネクタに接続されたスピーカと、前記コネクタに接続されたマイクロホンと、を備え、
前記スピーカは、骨伝導子から構成されている、ことを特徴とするヘルメット。
【請求項３】
前記マイクロホンも骨伝導子から構成されている、ことを特徴とする請求項２記載のヘルメット。
【請求項４】
前記第１の骨伝導子と前記第２の骨伝導子とは、頭部の対象位置又はほぼ対象位置に当接するように設けられている、ことを特徴とする請求項１記載のヘルメット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するための本発明のヘルメットは、ヘルメット本体と、ヘルメット装着時に頭部と当接するように設けられた、骨導音を伝達するための骨伝導子と、この骨伝導子に伝達音信号を出力する音源を接続するためのコネクタと、を例えば基本的構成として備えているものである。また、本発明のヘルメットは、ヘルメット本体と、ヘルメット装着時に頭部と当接（あるいは接触）するように設けられた、骨導音を伝達するための第１の骨伝導子と、この第１の骨伝導子に伝達音信号を出力する第１の音源を接続するための第１のコネクタと、ヘルメット装着時に頭部と当接（あるいは接触）するように設けられた、骨導音を伝達するための第２の骨伝導子と、この第２の骨伝導子に伝達音信号を出力する第２の音源を接続するための第２のコネクタと、を備えたものである。骨伝導子は、音源から出力された伝達音信号（音信号）を受けて振動し、この振動を頭蓋骨に伝達して頭蓋骨を振動させることにより、あるいは頭蓋骨を介して内耳に音を伝えるものであり（すなわち空気を振動させて外耳道から鼓膜又は内耳に気道音を伝える伝達態様のものではない）、頬部（頬骨部）、頭頂部あるいは後頭部などの耳部以外の頭部位置に当接させて、耳を塞がないで使用することができる。骨伝導子はヘルメット本体に取り付けておくことができる。骨伝導子とコネクタとは、通常、ケーブル又はリード線で接続される。コネクタはヘルメット本体に固定しておくことができる。音源としては、無線送受信機（トランシーバや携帯電話機）等の無線機あるいはＭＤプレーヤ等の音楽プレーヤなどを用いることができ、無線送受信機を用いる場合には、通常、ヘルメット本体にマイクロホン（コネクタを介して無線送受信機に接続される）が設けられる。マイクロホンはヘルメット本体に取り付けておくことができる。  第１のコネクタと第２のコネクタとは一体的に形成されるのが普通である。通常は、第１のコネクタに接続される第１の音源と第２のコネクタに接続される第２の音源とに異なる音源を使用する。例えば、第１の音源に音楽プレーヤを用い、第２の音源に無線機を用いれば、音楽を聞くことと会話（又は通話）とを同時に行うことができる。この場合には、両音源からの振動が干渉しないように、第１の骨伝導子と第２の骨伝導子とを、頭部の対象位置又はほぼ対象位置に当接するように設けるのが好ましい。例えば、第１の骨伝導子と第２の骨伝導子とを左右の頬部に当接させたり、額部と後頭部とに当接させたりする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明のヘルメットはまた、ヘルメット本体と、第１の音源及び第２の音源を接続するためのコネクタと、前記コネクタに接続されたスピーカと、前記コネクタに接続されたマイクロホンと、を備え、前記スピーカは、骨伝導子から構成されているものである。この場合、前記マイクロホンも骨伝導子から構成されているのが好ましい。この場合のマイクロホンに用いられる骨伝導子は、着用者の発声振動を電気信号に変換し、伝送する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
オートバイ用ヘルメット１は、プラスチック製のフルフェイス型ヘルメット本体３と、着用時に頭部の左右の耳部周辺（頬部）に当接するようにヘルメット本体３内に取り付けられた一対の骨伝導子５、５（スピーカ）と、着用時に唇部前方に位置するようにヘルメット本体３内に取り付けられたマイクロホン７と、音源を接続するためのコネクタ９と、骨伝導子５、５とコネクタ９とを接続するケーブル１１、１１と、マイクロホン７とコネクタ９とを接続するケーブル１３と、を有し、ヘルメット本体３は、前側に窓１５が形成されたヘルメット本体部分１７と、両側端部がヘルメット本体部分１７に回転可能に取り付けられて、窓１５を開閉するように構成された透明なプラスチック製のゴーグル部１９と、から構成されている。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
コネクタ９に接続される音源として、ここではトランシーバ２１（第２の音源）が用いられ、このトランシーバ２１がコネクタ９のトランシーバ用端子接続部（図示せず）に接続されている。トランシーバ２１は同時会話が可能なものが好ましく、このようなトランシーバを用いることにより、送信時（送話時）と受信時（受話時）との間でオートバイのハンドルから片手を離してトランシーバを操作するといった必要がないので、ハンドル操作の安定性を損なうおそれがない。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
オートバイ用ヘルメット１では図２に示すように、トランシーバ２１にかえて、ＭＤプレーヤ２３（ミニディスクプレーヤ：音楽プレーヤ、第１の音源）をコネクタ９のプレーヤ用端子接続部（図示せず）に接続し、このＭＤプレーヤ２３を音源として用いることができる。ＭＤプレーヤ２３から出力された音楽電気信号（伝達音信号）は骨伝導子５に伝送され、骨伝導子５は音楽電気信号を受けて振動し、ヘルメット着用者の頭蓋骨に音楽振動を伝達する。骨伝導子５から頭蓋骨に伝達された音楽振動はヘルメット着用者の内耳に達し、ヘルメット着用者はＭＤプレーヤ２３の演奏を聴取することができる。なお、ＭＤプレーヤ２３などの音楽プレーヤの演奏を聞くことだけを目的としてオートバイ用ヘルメットを構成する場合には、マイクロホン７は省略される。なお、マイクロホンも骨伝導子から構成し、このマイク用骨伝導子を例えば頭頂部に当接するようにヘルメット本体３内に取り付けておき、着用者の発声振動を電気信号に変換してトランシーバ２１に伝送するようにしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月25日(2004.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置される摩擦パッドの少なくとも一方を複数のピストンで押圧してディスクロータに摺接させるマルチポット型のディスクブレーキであって、キャリパに並列配置にして設けるピストン挿入用のシリンダ穴がキャリパ内に設けた液通路によって連通せしめられ、さらに、前記液通路がキャリパに鋳ぐるまれたパイプによって形成されているディスクブレーキにおいて、前記並列配置のシリンダ穴間に位置してシリンダ穴間を連通させるパイプとキャリパとの間に、パイプ径方向の相互入り込み部を設け、かつ、前記パイプの前記シリンダ穴内周面への開口部はそのシリンダ穴内周面から引き込ませたリセス加工をしたことを特徴とするマルチポット型ディスクブレーキ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
なお、図２、図３の構造を採用する場合には、シリンダ穴２の仕上げ加工時にパイプ３及び分離パイプ３ａの切断端（シリンダ穴２の内周面への開口部）をリセス加工（１３がリセス加工部）してシリンダ穴２の内周面から少し引込ませておくのが望ましい。こうしておくと、パイプ３及び分離パイプ３ａが多少ガタついてもパイプ端がシリンダ穴２内に突出せず、パイプ３及び分離パイプ３ａと図１のピストン５の干渉が起こらない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
更に、リセス加工部１３を設けてパイプ３の切欠部（シリンダ穴２の内周面への開口部）１４をシリンダ穴２の内周面から引込ませているので、切欠部１４の縁がシリンダ穴２内に飛び出してピストン摺動の障害となることがない。
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月4日(2005.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】一体型空気流量計
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を構成するボディと、
前記流路を流れる空気流量を検出する流量検出手段と、
電気信号によって制御され、流れを絞ることによって前記空気流量を制限する絞り手段と、
前記絞り手段の下流側の圧力を検出する圧力検出手段とを備え、
前記ボディと前記流量検出手段と前記絞り手段と前記圧力検出手段とが一体となった一体型空気流量計において、
入力した前記流量検出手段及び前記圧力検出手段からの信号の補正と、前記絞り手段の制御と、を共に行う補正制御手段を備えたことを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項２】
請求項１において、
前記補正制御手段は、前記絞りの量に基づいて、前記圧力検出手段からの信号の補正を行うことを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項３】
請求項１において、
前記補正制御手段は、前記圧力検出手段の信号が目標値に近づくように前記絞り手段を制御することを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項４】
請求項１において、
前記補正制御手段は、エンジン回転数と前記絞りの量とに基づいて第２の空気流量を演算し、
エンジン回転数と前記圧力検出手段の検出値に基づいて第３の流量を演算し、
前記流量検出手段に基づいた第１の流量と、前記第２の空気流量と前記第３の空気流量とを比較し、何れかの値がある所定値以上異なる時に特異信号を外部に出力することを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項５】
請求項１において、
前記補正制御手段は、エンジン回転数と前記絞りの量とに基づいて第２の空気流量を演算し、
エンジン回転数と前記圧力検出手段の検出値に基づいて第３の流量を演算し、
前記流量検出手段に基づいた第１の流量と、前記第２の空気流量と前記第３の空気流量とを比較し、
前記第１の空気流量と他の空気流量との差がある所定値以上の時に、前記第２あるいは前記第３の空気流量を外部に出力することを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項６】
請求項１において、
前記補正制御手段は、エンジン回転数と前記絞りの量とに基づいて第２の空気流量を演算し、
エンジン回転数と前記圧力検出手段の検出値に基づいて第３の流量を演算し、
前記流量検出手段に基づいた第１の流量と、前記第２の空気流量と前記第３の空気流量とを比較し、
前記第１から第３の空気流量計測値の内、何れかひとつの空気流量計測値が他の空気流量計測値と所定値以上に差が有る時に、その空気流量のずれ補正，故障診断、または最適流量判定を行うことを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項７】
請求項１において、
前記補正制御手段は、前記絞りの量が所定値以下の場合には、エンジン回転数と前記圧力検出手段に基づいて第３の空気流量を演算し、外部に出力することを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれかにおいて、
前記補正制御手段は、入力された空気温度に基づいて前記第２及び第３の空気流量を補正することを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項９】
流路を構成するボディと、
前記流路を流れる空気流量を検出する流量検出手段と、
電気信号によって制御され、流れを絞ることによって前記空気流量を制限する絞り手段と、
前記絞り手段の下流側の圧力を検出する圧力検出手段とを備え、
前記ボディと前記流量検出手段と前記絞り手段と圧力検出手段とが一体となった一体型空気流量計において、
前記流量検出手段の検出した空気流量と、前記絞り手段の下流側の圧力を検出する圧力検出手段と、エンジン回転数と、前記絞り手段の絞り量と、空気温度とから補正された空気流量を演算する空気流量演算手段を備えたことを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項１０】
請求項４〜９のいずれかにおいて、
前記エンジン回転数は、前記流量検出手段の検出した空気流量信号の値の変化に基づいて検出されることを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項１１】
請求項４〜９のいずれかにおいて、
前記エンジン回転数は、前記圧力検出手段の検出した圧力信号の値の変化に基づいて検出されることを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項１２】
請求項８，９のいずれかにおいて、
前記空気流に曝される感温抵抗体と備え、
前記空気温度は、前記感温抵抗体を流れる電流または前記感温抵抗体の両端の電圧から演算されることを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかにおいて、
前記流量検出手段は、発熱する抵抗からの放熱量に基づいて空気流量を検出するものであり、
前記絞り手段は電制スロットルであり、
前記圧力検出手段は半導体式圧力検出装置であり、
前記補正制御手段はマイコンを備えた電気回路であることを特徴とする一体型空気流量計。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか記載の一体型空気流量計と、
前記一体型空気流量計から信号を入力し、前記信号に基づいてエンジンの供給燃料量を制御するエンジン制御手段と、を備えたエンジン制御システム。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月14日(2005.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源電圧を昇圧して第１の電圧を出力する昇圧回路と、
上記第１の電圧が供給され、この第１の電圧を用いて第１の電圧よりも値が低い少なくとも２つの電圧を出力ノードから時系列的に順次出力する第１の電圧出力回路と、
上記第１の電圧のノードと上記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間を短絡する短絡回路
とを具備したことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記短絡回路は、前記昇圧回路で昇圧動作が開始されるのに伴って前記第１の電圧のノードと前記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間の短絡を開始し、昇圧動作が開始されてから所定期間が経過した後に短絡状態を解除することを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記短絡回路は、前記昇圧回路で昇圧動作が開始されるのに伴って前記第１の電圧のノードと前記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間の短絡を開始し、昇圧動作が開始されて前記第１の電圧が所定値に達した後に短絡状態を解除することを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１の電圧出力回路の非動作時に、前記第１の電圧出力回路の出力ノードに前記第１の電圧よりも低い値の第２の電圧を出力する第２の電圧出力回路をさらに具備したことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項５】
データを記憶するデータ消去可能なメモリセルと、
上記メモリセルのゲートに第１の電圧を供給し、ドレインに第２の電圧及び第３の電圧のいずれか一方を供給して、上記メモリセルのデータ書込みを行う書込み回路と、
上記メモリセルが形成されている半導体領域に第４の電圧を供給して、上記メモリセルのデータ消去を行う消去回路と、
電源電圧を昇圧して第５の電圧を出力する昇圧回路と、
上記第５の電圧が供給され、この第５の電圧を用いて第５の電圧よりも値が低い上記第１の電圧を出力ノードから出力する第１の電圧出力回路
とを具備したことを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項６】
前記第５の電圧のノードと前記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間を短絡する短絡回路をさらに具備したことを特徴とする請求項５記載の半導体記憶装置。
【請求項７】
前記第１の電圧出力回路は、前記短絡回路によって前記第５の電圧のノードと前記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間が短絡された後に前記第１の電圧の出力動作を開始することを特徴とする請求項６記載の半導体記憶装置。
【請求項８】
前記短絡回路は、前記昇圧回路で昇圧動作が開始されるのに伴って前記第５の電圧のノードと前記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間の短絡を開始し、昇圧動作が開始されてから所定期間が経過した後に短絡状態を解除することを特徴とする請求項６記載の半導体記憶装置。
【請求項９】
前記短絡回路は、前記昇圧回路で昇圧動作が開始されるのに伴って前記第５の電圧のノードと前記第１の電圧出力回路の出力ノードとの間の短絡を開始し、昇圧動作が開始されて前記第５の電圧が所定値に達した後に短絡状態を解除することを特徴とする請求項６記載の半導体記憶装置。
【請求項１０】
前記第１の電圧出力回路の非動作時に、前記第１の電圧出力回路の出力ノードに前記第１の電圧よりも低い値の第６の電圧を出力する第２の電圧出力回路をさらに具備したことを特徴とする請求項６記載の半導体記憶装置。
【請求項１１】
データを記憶するデータ消去可能なメモリセルを有するメモリセルアレイと、
上記メモリセルに接続されたワード線と、
電源電圧を昇圧して第１の電圧を出力する昇圧回路と、
上記第１の電圧が供給され、この第１の電圧を用いて第１の電圧よりも値が低い少なくとも２つの電圧を出力ノードから時系列的に順次出力する電圧出力回路と、
上記第１の電圧のノードと上記電圧出力回路の出力ノードとの間を短絡する短絡回路と、
上記電圧出力回路から出力される電圧に基づいて上記ワード線の電位を設定するロウデコーダ
とを具備したことを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項１２】
データを記憶するデータ消去可能なメモリセルを有するメモリセルアレイと、
上記メモリセルに接続されたワード線と、
上記メモリセルのデータ書込み時に、上記メモリセルのドレインに第１の電圧を供給して、上記メモリセルのデータ書込みを行う書込み回路と、
電源電圧を昇圧して上記第１の電圧を発生し上記書込み回路に供給すると共に、上記第１の電圧よりも値が高い第２の電圧を出力する昇圧回路と、
上記第２の電圧が供給され、この第２の電圧を用いて第２の電圧よりも値が低くかつ少なくとも２つの値に変化する第３の電圧を出力ノードから出力する電圧出力回路と、
上記第２の電圧のノードと上記第３の電圧のノードとの間を短絡する短絡回路と、
上記メモリセルのデータ書込み時に、上記第３の電圧に基づいて上記ワード線の電位を設定するロウデコーダ
とを具備したことを特徴とする半導体記憶装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2001338493.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月7日(2004.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の非晶質半導体膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を選択的に導入し、
前記第１の非晶質半導体膜を加熱して結晶性半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜上に周期表の１５族に属する元素を含有する第２の非晶質半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜および前記第２の非晶質半導体膜を加熱し、
前記第２の非晶質半導体膜を除去し、
前記結晶性半導体膜にチャネル形成領域、ソース領域及びドレイン領域を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項２】
第１の非晶質半導体膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を選択的に導入し、
前記第１の非晶質半導体膜を加熱して結晶性半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜上にバリア膜を形成し、
前記バリア膜上に周期表の１５族に属する元素を含有する第２の非晶質半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜および前記第２の非晶質半導体膜を加熱し、
前記第２の非晶質半導体膜を除去し、
前記バリア膜を除去し、
前記結晶性半導体膜にチャネル形成領域、ソース領域及びドレイン領域を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、前記周期表の１５族に属する元素は、リン、砒素もしくはアンチモンであることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、前記第１の非晶質半導体膜は、非晶質珪素膜であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、前記珪素の結晶化を助長する金属元素は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、ＣｕもしくはＡｕであることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、前記第２の非晶質半導体膜の膜厚は、前記第１の非晶質半導体膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、前記第２の非晶質半導体膜は、ＳｉXＧｅ1-X（０＜Ｘ＜１）であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一において、前記結晶性半導体膜および前記第２の非晶質半導体膜の加熱は、４５０〜７５０℃の温度で行われることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一において、前記第２の非晶質半導体膜に含有された周期表の１５族に属する元素の濃度は、前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度よりも高いことを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１０】
請求項２乃至請求項９のいずれか一において、前記バリア膜は、酸化珪素膜、窒化珪素膜もしくは酸化窒化珪素膜であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一において、前記結晶性半導体膜および前記第２の非晶質半導体膜の加熱後、前記第２の非晶質半導体膜中の前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度は、前記結晶性半導体膜中の前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度よりも高くなることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一において、前記周期表の１５族に属する元素は、前記第２の非晶質半導体膜にドーピングされていることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一において、前記結晶性半導体膜および前記第２の非晶質半導体膜の加熱前、前記第２の非晶質半導体膜にレーザー光を照射することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１２のいずれか一において、前記結晶性半導体膜および前記第２の非晶質半導体膜の加熱前、前記第２の非晶質半導体膜に赤外光を照射することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４のいずれか一に記載の薄膜トランジスタは、ボトムゲート型であることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項１５のいずれか一に記載の薄膜トランジスタの作製方法を含むことを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項１７】
請求項１乃至請求項１５のいずれか一に記載の薄膜トランジスタの作製方法を含むことを特徴とするＥＬ表示装置の作製方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
レーザー照射による方法は、レーザー光が非晶質珪素膜の表面近傍で直接吸収される関係上、非晶質珪素膜の表面が瞬間的に加熱されるのみで、全体が加熱されることがない。従って、レーザー光の照射は、実質的に加熱を行わない工程とすることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月19日(2004.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置用試料ホールダ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源と、前記荷電粒子源から発生する荷電粒子線を収束するための対物レンズと、前記荷電粒子源及び前記対物レンズを収容する鏡体と、前記鏡体の側部から挿入され前記荷電粒子線に照射される試料を保持する試料ホールダと、前記試料ホールダを前記荷電粒子線に対して傾斜する傾斜機構を有する試料ステージとを備える荷電粒子線装置において、
前記試料ホールダは、前記傾斜機構の回転軸と同一方向の回転軸を有する試料受けと、前記試料受けを回転させる駆動機構とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けは、試料を保持するための凹部及び／又は試料を試料受けに固定するための試料固定手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けは、試料ホールダに設けられた凹部内に位置し、回転軸方向の一方の側面は前記凹部の対向面に回転可能に支持され、他方の側面は前記駆動機構の駆動軸に接続されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けは、前記試料ホールダの端面に位置し、前記試料ホールダの端面に対向する側面が前記駆動機構の駆動軸に接続されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けは前記対物レンズの上磁極と下磁極の間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けは前記対物レンズの磁極下部に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けの回転軸は前記傾斜機構の回転軸と一致していることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項記載の荷電粒子線装置において、前記試料受けの回転軸は前記傾斜機構の回転軸に対して偏芯していることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項記載の荷電粒子線装置において、前記駆動機構は前記試料受けの回転角度を０度から９０度の間の任意の角度に設定できることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項記載の荷電粒子線装置において、前記駆動機構は前記試料受けの回転角度を０度と９０度に設定できることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１１】
試料を保持するための試料受けを備え、前記試料受けは回転可能に構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月20日(2004.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
更に言えば、ＣＦ４ガスとＯ２との混合ガスを使用することも考えられるが、この方法では多層配線の最上層のメタル配線がダメージを受けるため、上述したようなメタル配線や多結晶シリコン配線を完全に傷付けずに残すことは難しかった。従って、本発明のエッチングを実現するには、上記ＣＨＦ３ガスが最適である。また、ＣＨＦ３ガスによるエッチングの後処理として、ＣＦ４ガスを１００Ｗ，６．７Ｐａ，３０〜６０秒程度のエッチングを追加することにより、メタル配線を形成しているアルミニウムの粒塊（グレイン）が明瞭化する。更に、エレクトロ・マイグレーション、ストレス・マイグレーションに起因するノッチやボイドが明瞭化する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明によれば、半導体シリコン基板上に形成された配線自体を、直接、ＳＥＭ観察することができるため、より確実な解析が行える。また、その解析時間も大幅に短縮化できる。更に、ＬＳＩの不良解析ではフォトエミッション顕微鏡による発光解析、ＯＢＩＣ、ＯＢＩＲＣＨ法による電流変動解析が必須である。前者においては、半導体試料内部からの発光を検出でき、後者においては、試料にレーザーを照射できることが条件であるが、多層配線プロセスが普及してきた今日では、配線に遮られて前記の条件を満足できないことがしばしばあった。即ち、発光しても配線に遮られて光が検出器に到達できないとか、レーザーを照射しても配線に遮られてレーザーが到達できないことがあった。しかし、本発明では層間絶縁膜の一部をＬＳＩの動作を損なわない範囲で除くことで、発光及びレーザー照射の遮られる量を低減する効果が得られる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月1日(2005.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（１）正極の作製
正極活物質としてのコバルト酸リチウムと、導電剤としての黒鉛粉末およびケッチェンブラックと、結着剤としてのフッ素樹脂（ＰＶｄＦ）とを、９０：３：２：５の質量比で混合したものを、ドクターブレード法により、厚み２０μｍのアルミニウム箔からなる正極集電体２２の片面に塗布した。その後、１５０℃で加熱処理して、厚み８０μｍ、表面積５２ｃｍ2の活物質層９を有する正極５を作製した。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（２）負極の作製
負極活物質としての黒鉛粉末〔Ｘ線回折法による（００２）面の面間隔ｄ002が３．３５６Å、結晶子厚みＬｃ値が８００Å以上、平均粒子径８μｍ〕と、結着剤としてのフッ素樹脂（ＰＶｄＦ）とを、９５：５の質量比で混合したものを、ドクターブレード法により、厚み１６μｍの銅箔からなる負極集電体２３の片面に塗布した。その後、１５０℃で加熱処理して、厚み６５μｍ、表面積５８ｃｍ2の負極活物質層１０を有する負極６を作製した。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月6日(2004.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発電機を駆動する原動機の回転数、冷却水温、潤滑油圧等の、前記原動機の異なる複数の状態量のうち少なくとも一つが、該状態量のそれぞれの上限設定値または下限設定値（上記上限設定値と下限設定値の二つを以下限界設定値という）に達した場合に、前記発電機の運転を停止させる発動発電機において、前記異なる複数の状態量をそれぞれのセンサーにて個々に検出する検出手段と、前記上限設定値よりも所定低値または前記下限設定値よりも所定高値（上記所定低値と所定高値の二つを以下所定値という）を記憶する標準データ記憶部と、前記検出手段で検出したそれぞれの前記状態量の検出出力と前記標準データ記憶部に記憶しているそれぞれの前記状態量の前記所定値とを比較する比較器とを有する演算手段と、前記状態量のいずれかが前記所定値に達した場合の異常時に該演算手段からの異常判定信号を受けて異常時の状態量を警報する警報手段と、を備えたことを特徴とする発動発電機監視装置。
【請求項２】
前記複数の状態量が前記所定値に達しない場合の正常時に、前記演算手段からの判定信号を受けて、それぞれの前記状態量を所定の時間毎に順次表示させる表示器を備えたことを特徴とする請求項１に記載の発動発電機監視装置。
【請求項３】
正常時の状態量が前記表示器に順次表示されている際、前記演算手段からの前記異常判定信号を受けて、正常時の状態量の表示から異常時の状態量の表示に切り替える表示切替手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載の発動発電機監視装置。
【請求項４】
前記演算手段からの前記異常判定信号を受けて、異常時の状態量を記憶し、前記発電機の運転停止後も記憶状態を保持する異常状態記憶手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の発動発電機監視装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月19日(2004.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
上記ポンプケース１の上縁に形成されたガス吸気口２の周囲のフランジ部１ａには、複数の真空チャンバ結合用ボルト穴（真空チャンバ結合用穴）３、３が設けられている。これらの真空チャンバ結合用ボルト穴３、３は、ポンプ・チャンバ結合用ボルト３０を貫通するためのものであって、上記フランジ部１ａの上面に接する真空チャンバ２００の排気口２１周縁側に設けられた複数のポンプ結合用穴２２に対応配置させてフランジ部１ａに穿設されている。この実施形態では、真空チャンバ２００のポンプ結合用穴２２は、ネジ穴となっていて、ポンプ・チャンバ結合用ボルト３０を下側から真空ポンプ１００の真空チャンバ結合用ボルト穴３に挿入し、真空チャンバ２００のポンプ結合用ネジ穴２２にねじ込んで、締め付け、真空ポンプと真空チャンバを結合している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
破壊トルクによるすべりによって、ボルトとボルト穴が相対的に接近していく側の隙間、すなわち、上記距離ｄ４、ｄ５、ｄ６は、図４の場合、それぞれボルトの胴径の１０％、５％、１５％としてある。なお、上記距離は隙間なのであるから、距離ｄ４の１０％は、図１の実施形態のボルト穴３あるいは１７の径がボルト３０あるいは１９の胴径よりも２０％大きい場合に相当する値である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
図５（ｂ）は、破壊トルクが矢印の向きに働き、真空ポンプのフランジ部１ａが図の右側にすべり、Ｐ２でのポンプ・チャンバ結合用ボルト３０の胴部が真空チャンバ結合用ボルト穴３の内壁にｃ１で当たった状態を示す。この間に、真空チャンバ２００とフランジ部１ａとのすべりによって、破壊トルクは吸収されていく。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
図５（ｃ）は、更に、残存する破壊トルクによりＰ２でのボルト３０が変形し、Ｐ１でのポンプ・チャンバ結合用ボルト３０の胴部が真空チャンバ結合用ボルト穴３の内壁にｃ２で当たった状態を示す。この間は、真空チャンバ２００とフランジ部１ａとのすべりと第２のボルト位置Ｐ２でのボルト３０の変形によって、破壊トルクはより多く吸収されていく。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
更に破壊トルクを吸収しきれない場合は、Ｐ１でのボルト３０も変形を始め、Ｐ３でのポンプ・チャンバ結合用ボルト３０の胴部が真空チャンバ結合用ボルト穴３の内壁に当たり、この間、真空チャンバ２００とフランジ部１ａとのすべりと第１、第２のボルト位置Ｐ１、Ｐ２でのボルト３０の変形によって、破壊トルクは一層多く吸収されていく。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2003214379.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月22日(2004.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
即ち、この連結板部１９の幅方向両端部に設けた１対の側壁部２ｂ、２ｂを、前記ねじ孔９ｃの側方にまで延長しているので、上記連結板部１９のうちでこのねじ孔９ｃを形成した部分の断面係数が大きくなり、上記アジャストねじ１０から加わる大きなスラスト荷重やモーメント荷重に拘らず、上記連結板部１９が変形するのを有効に防止できる。
更に、上記各側壁部２ｂ、２ｂの端縁２８、２８が、上記連結板部１９と反対側に位置して上記ロックナット２６の当接面となる、前記補助板部２０の表面２７よりも突出する事がないので、上記各側壁部２ｂ、２ｂが上記アジャストねじ１０に螺合したロックナット２６を緊締する際の妨げとなる事はない。即ち、このロックナット２６の緊締時に、スパナやボックスレンチ等の工具の一部が、上記各側壁部２ｂ、２ｂの一部と干渉して、上記ロックナット２６の緊締作業が不能若しくは面倒になる事はない。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月9日(2005.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】流路施設修復用ブロック体
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
組み立てることにより管状、角形又馬蹄形の筒状体を構成するブロック体であって、内周面を構成する内面板と、該内面板の周縁に立設された外周板とをプラスチックによって一体に形成して成る流路施設修復用ブロック体において、前記外面板の長さ方向外端面の一方に凹部を、他方に凸部をそれぞれ形成したことを特徴とする流路施設修復用ブロック体。
【請求項２】
前記外面板の周方向両端面にボルト挿通孔及びエアー抜き孔を形成したことを特徴とする請求項１記載の流路施設修復用ブロック体。
【請求項３】
流路施設の周方向に補強効果を有する補強リブを前記内面板の外面に一体に形成するとともに、該補強リブ及び前記外面板にボルト挿通孔を形成したことを特徴とする請求項１記載の流路施設修復用ブロック体。
【請求項４】
前記外面板に形成されたボルト挿通孔の内径を前記補強リブに形成されたボルト挿通孔の内径よりも大きくしたことを特徴とする請求項３記載の流路施設修復用ブロック体。
【請求項５】
長さ方向寸法よりも長いボルトを前記補強リブ及び前記外面板に形成されたボルト挿通孔に通し、該ボルトをナットにて取り付けたことを特徴とする請求項３又は４記載の管路修復用ブロック体。
【請求項６】
組み立てることにより管状、角形又馬蹄形の筒状体を構成するブロック体であって、内周面を構成する内面板と、該内面板の周縁に立設された外周板とを透明なプラスチックによって一体に形成したことを特徴とする流路施設修復用ブロック体。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流路施設修復用ブロック体に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、大口径の流路施設に対しても供用水を流しながら所望の修復作業を行うことができる流路施設修復用ブロック体を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
又、本発明は、組み立てることにより管状、角形又馬蹄形の筒状体を構成するブロック体であって、内周面を構成する内面板と、該内面板の周縁に立設された外周板とを透明なプラスチックによって一体に形成したことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、組み立てることにより管状、角形又馬蹄形の筒状体を構成するブロック体であって、内周面を構成する内面板と、該内面板の周縁に立設された外周板とをプラスチックによって一体に形成し、前記外面板の長さ方向外端面の一方に凹部を、他方に凸部をそれぞれ形成したので、大口径の流路施設に対しても供用水を流しながら所望の修復作業を行うことができるという効果が得られる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月16日(2004.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
車両に開閉自在に装着された開閉部材を自動的に開閉する車両用自動開閉装置であって、
前記車両に固定されたガイドレールと、
側面壁部に軸方向に並ぶ複数のラックギヤを備え、前記ガイドレールの外側に該ガイドレールに沿って軸方向に移動自在に装着されたスライド部材と、
前記スライド部材と前記開閉部材との間に設けられ、前記スライド部材の変位を前記開閉部材に伝達するリンク機構と、
前記ラックギヤと噛み合う出力ピニオンギヤと前記出力ピニオンギヤを回転駆動する電動モータとを有し、前記開閉部材が全閉状態となる第１の位置と前記開閉部材が全開状態となる第２の位置との間で前記スライド部材を往復動させる駆動手段とを有することを特徴とする車両用自動開閉装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の車両用自動開閉装置は、車両に開閉自在に装着された開閉部材を自動的に開閉する車両用自動開閉装置であって、前記車両に固定されたガイドレールと、側面壁部に軸方向に並ぶ複数のラックギヤを備え、前記ガイドレールの外側に該ガイドレールに沿って軸方向に移動自在に装着されたスライド部材と、前記スライド部材と前記開閉部材との間に設けられ、前記スライド部材の変位を前記開閉部材に伝達するリンク機構と、前記ラックギヤと噛み合う出力ピニオンギヤと前記出力ピニオンギヤを回転駆動する電動モータとを有し、前記開閉部材が全閉状態となる第１の位置と前記開閉部材が全開状態となる第２の位置との間で前記スライド部材を往復動させる駆動手段とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月13日(2004.8.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
屋外に設置され、冷凍サイクル構成部品と、電気部品と、送風機等の全ての必要部品を収容配置する一体型である、筐体からなる本体と、
それぞれ上記本体に一端開口部が接続され、建物の壁体を貫通して他端開口部が室内に開口する吸込みダクトおよび吹出しダクトとを具備し、
上記本体は、複数個の分割筐体に分割され、そのうちの１個の分割筐体内に、全ての上記冷凍サイクル構成部品が組み込まれることを特徴とする空気調和装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに、上記本体は、建物の壁体外面にほぼ密着させて配置するようにしてもよい。 
さらに、上記吸込みダクトの室内に開口する開口端は床面近傍に設けられる孔部に挿入され、上記吹出しダクトの室内に開口する開口端は天井面近傍に設けられる孔部に挿入され、かつ本体内に吸込みダクトと吹出しダクトおよびこれら吸込みダクトと吹出しダクトとの間に冷凍サイクル構成部品の室内熱交換器を連通する熱交換空気流通路が形成され、冷房・暖房モード等の運転モードの切換にかかわらず上記吸込みダクトから室内床面近傍の空気を本体内部に吸込み熱交換空気流通路を介して吹出しダクトから室内天井面近傍へ吹出すようにしてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、上記吸込みダクトは、エアーフィルタを備えてもよい。 
さらに、上記本体内に開放することにより外気を本体内へ導入案内して熱交換空気流通路に合流させる給気用ダンパおよび開放することにより熱交換空気流通路に沿って導かれる熱交換空気の一部を本体外部へ導出案内する排気用ダンパとを具備してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらに、上記本体内に熱交換空気流通路に沿って熱交換空気を循環させる室内送風機を備え、この室内送風機は給気用ダンパの開放時において外気を導入する作用を兼ねてもよい。 
さらに、上記本体内に冷凍サイクル構成部品である室外熱交換器へ外気を導く室外送風機を備え、この室外送風機は排気用ダンパの開放時において熱交換空気の一部を上記室外熱交換器を介して本体外部へ導出する作用を兼ねてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月9日(2004.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
エタロンの周囲環境（温度、圧力）の変化に伴い要求される校正（特に上記ダウンタイムを伴う校正）をなくすために、あるいは少なくとも校正の実施間隔を長くするために、エタロンを、例えば乾燥窒素ガスなどの安定な気体で充満した、気密性を有する筐体内に配置することが考えられる。かかる構成とすることにより、ギャップ間の気体の屈折率ｎの変動を少なくすることができる。また、筐体の周囲温度を一定にしたり、筐体内の温度、圧力をそれぞれセンサを用いて計測し、エタロンのエアーギャップ間の気体の屈折率ｎ、スペーサの熱膨張から計測波長を補正してもよい。かかる技術は、例えば、特表平１０−５０６２３２号公報、特開２０００−１３６９６４号公報に開示されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
ここで、絶対波長校正するときは、狭帯域発振エキシマレーザの発振波長を走査し、白金気泡セルにおける白金蒸気によって与えられる吸収線の光強度を観測する。その際、同時にフリンジ波形の半径ｒが観測され、白金気泡セルにより吸収する光強度が最大となる波長λ0のときのフリンジ波形の半径ｒ０として記憶することによって絶対波長校正を定期的に行う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
同様に、（２）式においても、エアーギャップ間の気体の屈折率ｎの環境変化による変動に対してＦＳＲは略一定値として扱われるが、エタロンの部分反射膜の吸水等によりエタロンの部分反射ミラー間の光路長変化を伴い、フリンジ角θがシフトし、波長の計測誤差をもたらす。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この現象は、１週間に１度、限られた時間内でしか実施できないダウンタイムを伴う、例えば、ガス交換直後の校正においては、校正を実施する作業と作業の間に波長計測の誤差が大きくなることを意味し、精度の高い計測を困難にする要因となっていた。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
波長検出装置１７は、エタロン型分光器１４と、レンズ７と、ラインセンサ１３とを含む。エタロン型分光器１４は、シールされた筐体１６と、その内部に配置されたエタロン６と、吸着部１８とを有している。エタロン６は、部分反射膜１がそれぞれ設けられた２つの光学基板２を、厚さが精密に管理されたスペーサ３を介して、所定のエアギャップを保ちつつ、部分反射膜１が対向するように配置して構成されている。各光学基板２は、適度な弾力性、保持力及び安定性を有する接着剤層４を用いて筐体１６の中に固定されている。ここで、エタロンの部分反射膜の材料としては、ＡｒＦのような真空紫外レーザの波長では光の吸収が小さいフッ素化合物（例えば、ＧｄＦ２、ＮａＡｌＦ４）を使用することが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月24日(2005.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光拡散部材、所定のパターンが形成されたマスク、及び被検光学系を順次介した後、受光用開口に到達した光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定方法であって、
前記受光用開口に到達する光に対して、前記光拡散部材、前記マスク、及び前記受光用開口の少なくとも１つの位置を変化させ、前記受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成し、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を検出するパターン像位置検出工程と；
前記パターン像位置検出工程において検出された前記複数のパターン像それぞれの位置情報に基づいて、前記被検光学系の光学特性を算出する光学特性算出工程と；を含む光学特性測定方法。
【請求項２】
前記パターン像位置検出工程では、前記マスクと前記受光用開口との前記被検光学系に関する共役位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記光拡散部材とを相対移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定方法。
【請求項３】
前記所定のパターンは円形開口であり、
前記相対移動のストロークは前記円形開口の径程度である、ことを特徴とする請求項２に記載の光学特性測定方法。
【請求項４】
前記パターン像位置検出工程では、前記光拡散部材と前記マスクとの位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記受光用開口とを相対移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定方法。
【請求項５】
前記所定のパターンは複数の開口であり、
前記マスクと前記受光用開口との相対移動は、前記受光用開口が、前記複数の開口それぞれの前記被検光学系に関する共役位置を順次巡る相対移動である、ことを特徴とする請求項４に記載の光学特性測定方法。
【請求項６】
前記パターン像位置検出工程では、前記相対移動により、前記複数の開口のそれぞれを通過した光について検出される前記複数のパターン像を合成し、合成した結果に基づいて、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を検出することを特徴とする請求項５に記載の光学特性測定方法。
【請求項７】
前記パターン像は、スポット像であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学特性測定方法。
【請求項８】
前記光学特性は、波面収差であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学特性測定方法。
【請求項９】
所定のパターンが形成されたマスク及び被検光学系を順次介した後、受光用開口に到達した光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、
入射した光を拡散させて、前記マスクへ向けて射出する光拡散部材と；
前記受光用開口を有し、該受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成し、該複数のパターン像の情報を検出する像情報検出装置と；
前記受光用開口に到達する光に対して、前記光拡散部材、前記マスク、及び前記像情報検出装置の少なくとも１つの位置を変化させる駆動装置と；
前記像情報検出装置による検出結果に基づいて、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を算出する位置情報算出装置と；
前記位置情報算出装置によって算出された前記複数のパターン像それぞれの位置情報に基づいて、前記被検光学系の光学特性を算出する光学特性算出装置と；を備える光学特性測定装置。
【請求項１０】
前記像情報検出装置は、
前記受光用開口を介した光を波面分割して前記複数のパターンを形成する波面分割部材と；
前記複数のパターン像を検出する像検出装置と；を備えることを特徴とする請求項９に記載の光学特性測定装置。
【請求項１１】
前記波面分割部材は、複数のレンズ要素が配列されたマイクロレンズアレイであることを特徴とする請求項１０に記載の光学特性測定装置。
【請求項１２】
前記マスクは、複数の開口を備え、
前記駆動装置は、前記受光用開口が前記複数の開口それぞれの前記被検光学系に関する共役位置を順次巡るように、前記マスクと前記像情報検出装置とを相対移動させることを特徴とする請求項９に記載の光学特性測定装置。
【請求項１３】
前記光学特性は、波面収差であることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか一項に記載の光学特性測定装置。
【請求項１４】
光学系の光学特性を調整する光学系の調整方法であって、
前記光学系の光学特性を、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学特性測定方法を用いて測定する光学特性測定工程と；
前記光学特性測定工程における測定結果に基づいて、前記光学系の光学特性を調整する光学特性調整工程と；を含む光学系の調整方法。
【請求項１５】
露光光を基板に照射することにより、所定のパターンを前記基板に転写する露光装置であって、
露光光の光路上に配置された投影光学系と；
前記投影光学系を被検光学系とする請求項９〜１３のいずれか一項に記載の光学特性測定装置と；を備える露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の光学特性測定方法では、前記パターン像位置検出工程において、前記マスクと前記受光用開口との前記被検光学系に関する共役位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記光拡散部材とを相対移動させることとすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
また、本第１の実施形態では、スポット像の撮像の際に、レモンスキン板ＤＦを固定し、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとを同期移動させた。これに対して、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとの位置を固定し、レモンスキン板ＤＦを移動させるようにしてもよい。こうしたレモンスキン板ＤＦの移動は、保持部材ＤＦＨを可動とし、例えば、ボイスコイルモータやピエゾ素子により、保持部材ＤＦＨを駆動するようにすればよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
なお、本第２の実施形態では、同一の開口パターン群に含まれる開口パターンごとの撮像にあたって、波面収差測定装置７０Ａが装着されたウエハステージＷＳＴを移動させたが、レチクルステージＲＳＴが十分なストロークで２次元駆動可能な場合には、レチクルステージＲＳＴを移動させることとすることもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
また、レチクルステージＲＳＴがウエハステージＷＳＴと同程度に大きなストロークで２次元駆動可能な場合には、測定用レチクルＲＴＡに代えて第１の実施形態で使用した測定用レチクルＲＴを使用し、ウエハステージＷＳＴの位置を固定した上で、標示板９１の開口９１ａの共役位置に開口パターンＰＨ1〜ＰＨNを順次移動させ、スポット像の撮像を行うこととしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月13日(2004.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
一つ一つの商品毎に、固形成分が同じ示温インクを使用して、インク膜厚が異なる複数の熱履歴識別用マークを付与しておくことにより、それぞれの商品について、内容物が変質して完全に劣化するまでの中間時点での熱履歴を、その商品の複数の熱履歴識別用マークの何れかの消色によって判断するようにしたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の示温インクによる熱履歴識別方法。