【手続補正書】
【提出日】平成16年7月8日(2004.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液と加圧された気体とを混合してミストを形成する混合部と、前記混合部によって形成された前記ミストを吐出するノズルとを備えた洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面が滑らかな表面を有することを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面は、平滑度として表面の凹凸が０．３μｍ以下の範囲である滑らかな表面を有することを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項３】
請求項１に記載の洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面は、平滑度として表面の凹凸が０．１μｍ以下の範囲である滑らかな表面を有することを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部は、気体を導入するガス導入管の外側を、洗浄液を供給する供給管が取り囲む構造で構成されていることを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面は、エッチング処理で平滑化されたものであることを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部は、気体を導入するガス導入管、および洗浄液を供給する供給管から構成され、
前記ガス導入管は、円筒形の形状で構成されていることを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの本体は、円筒形の形状で構成されていることを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部は、気体を導入するガス導入管、および洗浄液を供給する供給管から構成され、
前記ガス導入管は、前記混合部まで直線状に延びていることを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部よりも前記ミストの吐出方向の下流側に先端部を有し、
少なくとも前記先端部の内壁面が滑らかな表面を有することを特徴とする洗浄ノズル。
【請求項１０】
ミスト化した洗浄液を基板に供給して洗浄処理を施す基板洗浄装置において、
請求項１から請求項９のいずれかに記載の洗浄ノズルを備えることを特徴とする基板洗浄装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部は、気体を導入するガス導入管の外側を、洗浄液を供給する供給管が取り囲む構造で構成されていることを特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面は、エッチング処理で平滑化されたものであることを特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部は、気体を導入するガス導入管、および洗浄液を供給する供給管から構成され、
前記ガス導入管は、円筒形の形状で構成されていることを特徴とする。
また、請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項６のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記洗浄ノズルの本体は、円筒形の形状で構成されていることを特徴とする。
また、請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部は、気体を導入するガス導入管、および洗浄液を供給する供給管から構成され、
前記ガス導入管は、前記混合部まで直線状に延びていることを特徴とする。
また、請求項９に記載の発明は、請求項１から請求項８のいずれかに記載の洗浄ノズルにおいて、
前記混合部よりも前記ミストの吐出方向の下流側に先端部を有し、
少なくとも前記先端部の内壁面が滑らかな表面を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項１０に記載の発明は、ミスト化した洗浄液を基板に供給して洗浄処理を施す基板洗浄装置において、
請求項１から請求項９のいずれかに記載の洗浄ノズルを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、洗浄ノズル内の混合部は、気体を導入するガス導入管の外側を、洗浄液を供給する供給管が取り囲む構造で構成されている。上記構成を有することによって、ガス導入管内の気体は、ガス導入管の外側から供給された洗浄液と混合部にて混合されて、ミスト化して洗浄ノズルの先端にそのまま向かって、ノズル先端部から吐出される。また、気体の外側から洗浄液が供給されるので、混合部にて気体と洗浄ノズルの内壁面と直接接触する部分が低減される。以上より、洗浄ノズルの内壁面の削れはさらに抑制されて、それに伴い洗浄ノズルからのパーティクルの発塵もさらに抑制される。
請求項５に記載の発明によれば、エッチング処理で平滑化することで、少なくとも混合部の内壁面は滑らかな表面を有し、その表面の凹凸は０．１μｍ以下の範囲で平滑化される。
請求項６に記載の発明によれば、ガス導入管は、円筒形の形状で構成されているので、気体やミストとガス導入管の内壁面との衝突部分を低減して、その衝突で発生するパーティクルが抑制される。
請求項７に記載の発明によれば、洗浄ノズル本体は、円筒形の形状で構成されているので、気体やミストと洗浄ノズルの内壁面との衝突部分を低減して、その衝突で発生するパーティクルが抑制される。
請求項８に記載の発明によれば、ガス導入管は、混合部まで直線状に延びているので、気体やミストとガス導入管の内壁面との衝突部分を低減して、その衝突で発生するパーティクルが抑制される。
請求項９に記載の発明によれば、少なくとも先端部の内壁面が滑らかな表面を有しているので、先端部における衝突で発生するパーティクルが抑制される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１０に記載の発明によれば、本発明に係る洗浄ノズルによって洗浄ノズルからのパーティクルの発塵が抑制されるのに従って、洗浄時に新たに発生するパーティクルも抑制される。その結果、洗浄後も基板面に付着しているパーティクルも抑制される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、請求項４の発明に係る洗浄ノズルによれば、洗浄ノズル内の混合部は、気体を導入するガス導入管の外側を、洗浄液を供給する供給管が取り囲む構造で構成されているので、混合部にて気体と洗浄ノズルの内壁面と直接接触する部分を低減することができる。接触部分の低減に伴って、洗浄ノズルの内壁面の削れをさらに抑制することができて、その結果、洗浄ノズルからのパーティクルの発塵をもさらに抑制することができる。
また、請求項５の発明に係る洗浄ノズルによれば、エッチング処理で平滑化することで、少なくとも混合部の内壁面は滑らかな表面を有し、その表面の凹凸を０．１μｍ以下の範囲で平滑化することができる。
また、請求項６の発明に係る洗浄ノズルによれば、ガス導入管は、円筒形の形状で構成されているので、気体やミストとガス導入管の内壁面との衝突部分を低減して、その衝突で発生するパーティクルを抑制することができる。
また、請求項７の発明に係る洗浄ノズルによれば、洗浄ノズル本体は、円筒形の形状で構成されているので、気体やミストと洗浄ノズルの内壁面との衝突部分を低減して、その衝突で発生するパーティクルを抑制することができる。
また、請求項８の発明に係る洗浄ノズルによれば、ガス導入管は、混合部まで直線状に延びているので、気体やミストとガス導入管の内壁面との衝突部分を低減して、その衝突で発生するパーティクルを抑制することができる。
また、請求項９の発明に係る洗浄ノズルによれば、少なくとも先端部の内壁面が滑らかな表面を有しているので、先端部における衝突で発生するパーティクルを抑制することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、請求項１０の発明に係る基板洗浄装置によれば、本発明に係る洗浄ノズルによって洗浄ノズルからのパーティクルの発塵が抑制されるので、洗浄時に新たに発生するパーティクルを抑制することができて、その結果、洗浄後も基板面に付着しているパーティクルをも抑制することができる。