【手続補正書】
【提出日】平成16年2月5日(2004.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定されてなることを特徴とする蒸着材。
【請求項２】
蒸着材表面の凹凸を考慮した実表面積が２００ｍｍ２ 〜１２００ｍｍ２ の範囲に設定されてなることを特徴とする蒸着材。
【請求項３】
実表面積／外形表面積の値が３〜１４の範囲に設定されてなることを特徴とする蒸着材。
【請求項４】
外形体積の値が３０ｍｍ３ 〜１５００ｍｍ３ の範囲に設定されてなることを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の蒸着材。
【請求項５】
実表面積／外形体積の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定されてなることを特徴とする請求項１から４のいずれか記載の蒸着材。
【請求項６】
単位重量当たりの実表面積である比表面積の値が２０ｃｍ２ ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定されてなることを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の蒸着材。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材において、
ＭｇＯからなることを特徴とするＭｇＯ蒸着材。
【請求項８】
ＭｇＯ純度が９９．０％以上かつ相対密度が９０．０％以上であることを特徴とする請求項７記載のＭｇＯ蒸着材。
【請求項９】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成する際に、
前記原料粉末として、平均粒径５０μｍ以上の粉末または顆粒粉を使用することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１０】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成する際に、
混合および／または造粒する際のバインダ液の溶媒として、室温での表面張力が２×１０−２Ｎ／ｍ〜８×１０−２Ｎ／ｍの液を使用することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１１】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成する際に、
前記造粒粉の平均粒径を１００μｍ以上に設定することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１２】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成する際に、
前記成形体における表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１３】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成する際に、
前記焼成における温度条件および焼成時間を、焼成後の蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲にするよう設定することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１４】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成し、
前記焼成後に表面を研磨して、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１５】
請求項１から６のいずれかに記載した蒸着材を製造する方法において、
電融法によりインゴットを作成した後解砕により所定の大きさのペレットを作成し、
その後、表面を研磨して蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定することを特徴とする蒸着材の製造方法。
【請求項１６】
請求項９から１５のいずれかに記載の蒸着材の製造方法において、
原料粉末がＭｇＯとされることを特徴とするＭｇＯ蒸着材の製造方法。
【請求項１７】
ＭｇＯ純度が９９．０％以上かつ相対密度が９０．０％以上であることを特徴とする請求項１６記載のＭｇＯ蒸着材の製造方法。
【請求項１８】
請求項１から５のいずれか記載の蒸着材または請求項９から１５のいずれか記載の製造方法によって製造された蒸着材を使用することを特徴とする成膜方法。
【請求項１９】
請求項７または８記載のＭｇＯ蒸着材または請求項１６または１７記載の製造方法によって製造されたＭｇＯ蒸着材を使用することを特徴とするＭｇＯ膜の成膜方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の蒸着材においては、表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定されてなることにより上記課題を解決した。
本発明の蒸着材においては、蒸着材表面の凹凸を考慮した実表面積が２００ｍｍ２ 〜１２００ｍｍ２ の範囲に設定されてなることにより上記課題を解決した。
本発明の蒸着材においては、実表面積／外形表面積の値が３〜１４の範囲に設定されてなることにより上記課題を解決した。
本発明において、外形体積の値が３０ｍｍ３ 〜１５００ｍｍ３ の範囲に設定されてなることが望ましい。
また、本発明において、実表面積／外形体積の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定されてなる手段を採用することもできる。
本発明における単位重量当たりの実表面積である比表面積の値が２０ｃｍ２ ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定されてなることがある。
本発明のＭｇＯ蒸着材においては、上記の蒸着材において、ＭｇＯからなることにより上記課題を解決した。
また、ＭｇＯ純度が９９．０％以上かつ相対密度が９０．０％以上であることができる。
本発明の蒸着材の製造方法においては、上述した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成する際に、
前記原料粉末として、平均粒径５０μｍ以上の粉末または顆粒粉を使用する手段か、
混合および／または造粒する際のバインダ液の溶媒として、室温での表面張力が２０ｄｙｎ／ｃｍ〜８０ｄｙｎ／ｃｍ（２×１０−２Ｎ／ｍ〜８×１０−２Ｎ／ｍ）の液を使用する手段か、
前記造粒粉の平均粒径を１００μｍ以上に設定する手段か、
前記成形体における表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定する手段か、
前記焼成における温度条件および焼成時間を、焼成後の蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲にするよう設定する手段を採用することができる。
また、本発明の蒸着材の製造方法においては、上述した蒸着材を製造する方法において、
原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とし、この造粒粉をプレス成形して成形体とし、この成形体を焼成し、
前記焼成後に表面を研磨して、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定する手段を採用することもできる。
本発明において、上述した蒸着材を製造する方法において、
電融法によりインゴットを作成した後解砕により所定の大きさのペレットを製造し、
その後、表面を研磨して蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定することも可能である。
本発明におけるＭｇＯ蒸着材の製造方法では、上記の蒸着材の製造方法において、
原料粉末がＭｇＯとされることにより、上記の課題を解決した。
また、ＭｇＯ蒸着材の製造方法では、ＭｇＯ純度が９９．０％以上かつ相対密度が９０．０％以上であることがある。
本発明の成膜方法は、上記の蒸着材または上記の製造方法によって製造された蒸着材を使用することにより上記課題を解決した。
本発明のＭｇＯ膜の成膜方法においては、上記のＭｇＯ蒸着材または上記の製造方法によって製造されたＭｇＯ蒸着材を使用することにより上記課題を解決した。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明において、実表面積／外形体積の比の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定されてなることにより、上記のように、スプラッシュ程度と成膜（蒸発）速度を適性な程度に制御することができるとともに、成膜（蒸発）速度を向上することが可能となる。その結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定したことにより、
このような蒸着材を用いて、電子ビーム蒸着法またはイオンプレーティング法により成膜をおこなった場合には、蒸着材の大きさがスプラッシュ程度と成膜（蒸発）速度を適性な程度に制御することができる。すなわち、前記比の値を８ｍｍ−１以上に設定し、成膜（蒸発）速度が低下してしまい生産性が減少することを防止できる。同時に、前記比の値を３０ｍｍ−１以下に設定することにより、スプラッシュ程度を減少して、成膜に使用できる蒸着材料の使用効率を向上し、結果的には材料コストを低減することができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
さらに、本発明の蒸着材の製造方法においては、前記原料粉末として、平均粒径５０μｍ以上の粉末または顆粒粉を使用することにより、造粒粉をプレス成形して成形体とした際に表面に凹凸を形成し、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定するか、または、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するか、または、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定することが可能となり、これにより、蒸発速度が大きくなって成膜速度が上昇し、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
このため、バインダ液の溶媒の表面張力を上記の範囲に設定することにより、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定するか、または、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２ 〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するか、または、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定することが可能となり、これにより、蒸発速度が大きくなって成膜速度が上昇し、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。
ここで、バインダ液の溶媒としては、メタノール、アセトン、水、エタノールや、水とエタノールとを、重量％で水：エタノール＝９０：１０から１：９９程度の混合比で混合したものなどがあげられる。またバインダとしては、ポリエチレングリコールやポリビニールブチラール等があげられ、その量は溶媒に対して０．２〜２．５重量％添加することができる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明においては、前記造粒粉の平均粒径が１００μｍ以上に設定されることにより、造粒粉をプレス成形して成形体とした際に表面に凹凸を形成し、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定するか、または、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するか、または、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ２／ｇ〜１００ｃｍ２／ｇの範囲に設定することが可能となり、これにより、蒸発速度が大きくなって成膜速度が上昇し、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明においては、造粒粉をプレス成形する際の圧力、加圧時間等の条件を制御して成形体における表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定されてなることにより、成形体を焼成した蒸着材における表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定するか、または、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するか、または、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ2   ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定することが可能となり、これにより、蒸発速度が大きくなって成膜速度が上昇し、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明においては、成形体を焼成する際の温度条件および焼成時間が、焼成後の蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲にするよう設定されてなることにより、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定するか、または、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するか、または、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定することが可能となり、これにより、蒸発速度が大きくなって成膜速度が上昇し、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
さらに、本発明においては、上記のように、原料粉末を混合および／または造粒して造粒粉とする工程、造粒粉をプレス成形して成形体とする工程、この成形体を焼成する工程においてそれぞれ、表面粗さ等を設定する以外にも、電融法によりインゴットを作成した後解砕により所定の大きさのペレットを製造し、その後、これらのペレット表面を研磨して、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定することによっても、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するかまたは、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定することが可能となり、これにより、蒸発速度が大きくなって成膜速度が上昇し、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本実施形態の蒸着材は、ＭｇＯ蒸着材とされ、表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定されて、ＭｇＯ純度が９ ９．０％以上、さらに好ましくは９９．５％以上、９９．９％以上、かつ相対密度が９０％以上、さらに好ましくは９７％以上、９８％以上の多結晶ＭｇＯの焼結体ペレットからなる。またこの焼結体ペレットの実表面積が２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定され、外形体積の値が３０ｍｍ３  〜１５００ｍｍ３  の範囲に設定されて、実表面積／外形体積の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定され、比表面積の値が２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定されてなる。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
またこの焼結体ペレットの実表面積が２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲以外に設定した場合、および、実表面積／外形体積の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲以外に設定された場合には、上記の外形体積および表面粗さＲａの値が上記の範囲からはずれてしまい好ましくない。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
本実施形態においては、Ｍｇｏ蒸着材の表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定され、外形体積の値が３０ｍｍ３  〜１５００ｍｍ３  の範囲に設定され、実表面積が２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定され、実表面積／外形体積の比の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定され、比表面積の値が２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定されることにより、製造されたＭｇＯ蒸着材を用いて、電子ビーム蒸着法またはイオンプレーティング法によりＡＣ型ＰＤＰ等のＭｇＯ保護膜などを成膜した際に、成膜（蒸発）速度が大きくなり、結果として、１パネルあたりにかかる成膜時間を短縮することができるため、生産性を向上して生産コストの低減を測ることが可能となる。また、同じ成膜速度で成膜する場合には、電子ビーム出力を抑えることができるので、装置のランニングコスト低減が可能となる。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
本実施形態においては、表面張力が２０ｄｙｎ／ｃｍ〜８０ｄｙｎ／ｃｍのアルコール等の溶媒にバインダを１．０重量％添加してバインダ液を調整し、第１実施形態と同様に、純度が９９．０％以上のＭｇＯ顆粒粉末を撹拝機中で流動させながら、このパインダ液を滴下しつつ転動造粒法にてＭｇＯの造粒物を得て、プレス後これを焼成し、直径４．０ｍｍ〜２０．０ｍｍ程度、厚さ１．０〜５．０ｍｍ程度の円板状とされる多結晶体を作製し、表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲、蒸着材の実表面積が２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲、実表面積／外形体積の比の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲、比表面積の値が２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲となるように設定する。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
本実施形態においては、純度が９８．０％以上のＭｇＯ粉末を電融し、徐冷してインゴットとした後、このインゴットから単結晶部を取り出して破砕し、一辺３．５ｍｍ〜１１ｍｍ程度の略立方体、あるいは、１０ｍｍ×１０ｍｍ×（１ｍｍ〜１５ｍｍ）程度の略直方体とされる外形の単結晶ペレットを作製する。
その後、この単結晶ペレット表面を研磨して表面粗さＲａが１．０μｍ〜１０μｍの範囲、蒸着材の実表面積が２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲、実表面積／外形体積の比の値が８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲、比表面積の値が２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲となるように設定する。
ここで、単結晶ペレットの研磨は、ケミカルエッチングや、サンドブラスト法、サンドペーパー等による機械研磨等によりおこなうことができる。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
［成膜速度測定］
得られた蒸着材を用いて、電子ビーム蒸着装置によりＭｇＯ膜の成膜をおこない、その成膜速度を測定した。ＭｇＯ蒸着材の蒸着成膜試験は、電子ビーム蒸着装置の半球状のハース（直径５０ｍｍ、深さ２５ｍｍ）に各実験例で得られた蒸着材を仕込み、到達真空度２．６６×１０−４Ｐａ（２．０×１０−６Torr）、Ｏ２ 分圧１．３３×１０−２Ｐａ（１．０×１０−４Torr）の雰囲気にして、加速電圧１０ｋＶ、ビームスキャンエリア約４０ｍｍφの電子ビームを照射することで、ＭｇＯ蒸着材を加熱した。なお、電子ビーム電流量は９０ｍＡで固定し、電子ビーム装置に取り付けた膜厚モニタ（水晶振動子の周波数変化により膜厚変化の速度を測定できる。ＭｇＯの理論密度：３．６５ｇ／ｃｍ３ として換算）を用いることで、評価した。
その結果を図１〜図４に示す。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
上述したように、実表面積／外形面積、表面粗さ、実表面積／外形体積、比表面積、と成膜速度とは、それぞれ比例関係にあることがわかるので、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定し、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定し、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定し、比表面積の値を２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定するとともに、このようにＭｇＯ蒸着材の表面状態を制御することにより、所望の成膜速度を得て、成膜速度を制御することが可能となることがわかる。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
【発明の効果】
本発明の蒸着材、ＭｇＯ蒸着材によれば、蒸着材の表面粗さＲａを１．０μｍ〜１０μｍの範囲に設定するか、または、蒸着材の実表面積を２００ｍｍ２  〜１２００ｍｍ２  の範囲に設定するか、外形体積の値を３０ｍｍ３  〜１５００ｍｍ３  の範囲に設定するか、または、実表面積／外形体積の比の値を８ｍｍ−１〜３０ｍｍ−１の範囲に設定するか、または、比表面積の値を２０ｃｍ２  ／ｇ〜１００ｃｍ２  ／ｇの範囲に設定するか、ＭｇＯ純度が９９．０％以上かつ相対密度が９０．０％以上としたことにより、このような蒸着材（ＭｇＯ蒸着材）を用いて、電子ビーム蒸着法またはイオンプレーティング法によりＡＣ型ＰＤＰ等のＭｇＯ保護膜等を成膜した際には、成膜（蒸発）速度を向上するとともに成膜速度の制御性を向上することができる。同時に、外形体積の値が３０ｍｍ３  〜１５００ｍｍ３  の範囲に設定したことにより、スプラッシュの発生程度が低減して、保護膜として、ＭｇＯの膜密度、膜厚分布、光透過性、耐スパッタ性、放電特性（放電電圧、放電応答性等）、絶縁性等の膜特性を向上することができるという効果を奏する。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る蒸着材、ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法の実施例において、実表面積／外形面積の比と成膜速度との関係を示すグラフである。
【図２】本発明に係る蒸着材、ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法の実施例において、表面粗さＲａと成膜速度との関係を示すグラフである。
【図３】本発明に係る蒸着材、ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法の実施例において、実表面積／外形体積の比と成膜速度との関係を示すグラフである。
【図４】本発明に係る蒸着材、ＭｇＯ蒸着材およびその製造方法の実施例において、比表面積と成膜速度との関係を示すグラフである。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2004043956.tif 000001
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2004043956.tif 000002
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】削除
【補正の内容】