【手続補正書】
【提出日】平成17年3月4日(2005.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】定盤制御方法および定盤制御装置、除振装置、ステージ装置ならびに露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤を上下方向に駆動する少なくとも３個のアクチュエータと、空気の供給量によって定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを備え、前記アクチュエータおよび除振パッドによって重心位置の変化による定盤に変動を補正する定盤制御方法において、
前記定盤の重心位置の変化に応じて前記アクチュエータに送られる推力指令計算値に基づき、当該アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を前記除振パッドの推力で置換するように該除振パッドに供給される空気の供給量を調節することを特徴とする定盤制御方法。
【請求項２】
前記除振パッドへの空気の供給量を、前記定盤の動作モードから判断して調節することを特徴とする請求項１記載の定盤制御方法。
【請求項３】
前記除振パッドへの空気の供給量は、単位時間あたりの供給量Ｌ１を確保する微動側絞りと単位時間あたりの供給量Ｌ２（Ｌ２＞Ｌ１）を確保する１以上の粗動側絞りとのうち、少なくともひとつを選択して決定されることを特徴とする請求項１または２記載の定盤制御方法。
【請求項４】
前記除振パッドへの空気の供給量は、前記推力指令計算値の時間変化率を用いて変更されることを特徴とする請求項１、２、または３記載の定盤制御方法。
【請求項５】
定盤を上下方向に駆動する少なくとも３個のアクチュエータと、空気の供給量によって定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを備え、前記アクチュエータおよび除振パッドによって重心位置の変化による定盤に変動を補正する定盤制御装置において、
前記定盤の重心位置の変化に応じて前記アクチュエータに送られる推力指令計算値を記憶しておく記憶手段と、
該記憶手段から送られた推力指令計算値に基づき前記アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を前記除振パッドの推力で置換するように該除振パッドに供給される空気の供給量を調節する制御手段とを備えることを特徴とする定盤制御装置。
【請求項６】
定盤にマスク及び基板が載置され、マスクのパタ−ンを基板に転写する露光装置において、
前記定盤を上下方向に駆動する少なくとも３個のアクチュエータと、空気の供給量によって定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを有し、前記アクチュエータおよび除振パッドによって重心位置の変化による定盤に変動を補正する定盤制御装置を備え、
該定盤制御装置は、前記定盤の重心位置の変化に応じて前記アクチュエータに送られる推力指令計算値を記憶しておく記憶手段と、該記憶手段から送られた推力指令計算値に基づき前記アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を前記除振パッドの推力で置換するように該除振パッドに供給される空気の供給量を調節する制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
定盤を上下方向に駆動するアクチュエータと、空気を用いて前記定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを備えた除振装置において、
前記アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を前記除振パッドの推力に置換して、前記除振パッドを制御する制御手段を備えたことを特徴とする除振装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記除振パッドに供給する前記空気の供給量を制御することを特徴とする請求項７記載の除振装置。
【請求項９】
定盤上を移動するステージと、前記定盤を上下方向に駆動するアクチュエータと、空気を用いて前記定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを備えたステージ装置において、
前記アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を前記除振パッドの推力に置換して、前記除振パッドを制御する制御手段を備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記除振パッドに供給する前記空気の供給量を制御することを特徴とする請求項９記載のステージ装置。
【請求項１１】
前記制御手段は前記ステージの移動動作に応じて前記除振パッドを制御することを特徴とする請求項９または１０に記載のステージ装置。
【請求項１２】
基板を露光する露光装置において、
前記露光装置の除振装置として請求項７または８に記載の除振装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
前記除振装置は前記基板を保持して移動する基板ステージの除振装置であることを特徴とする請求項１２記載の露光装置。
【請求項１４】
基板を露光する露光装置において、
前記基板を保持して移動するステージとして請求項９〜１１のいずれか一項に記載のステージ装置を備えることを特徴とする露光装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記の定盤制御装置は、定盤にマスクおよび基板が載置され、マスクのパタ−ンを基板に転写する露光装置に好適である。
本発明に係る除振装置は、定盤を上下方向に駆動するアクチュエータと、空気を用いて定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを備えた除振装置であって、アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を除振パッドの推力に置換して、除振パッドを制御する制御手段を備えたことを特徴としている。
この制御手段は、除振パッドに供給する空気の供給量を制御してもよい。
本発明に係るステージ装置は、定盤上を移動するステージと、定盤を上下方向に駆動するアクチュエータと、空気を用いて定盤を上下方向に駆動する除振パッドとを備えたステージ装置であって、アクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を除振パッドの推力に置換して、除振パッドを制御する制御手段を備えたことを特徴としている。
この制御手段は、除振パッドに供給する空気の供給量を制御してもよい。
また、この制御手段は、ステージの移動動作に応じて除振パッドを制御してもよい。
請求項７または８に記載の除振装置は、基板を露光する露光装置に用いて好適である。
この除振装置は、基板を保持して移動する基板ステージの除振装置であってもよい。
請求項９〜１１のいずれか一項に記載のステージ装置は、基板を露光する露光装置において、基板を保持して移動するステージとして好適である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
除振パッドへの空気の供給量を、空圧制御回路に設けられる単位時間あたりの供給量Ｌ１を確保する微動絞りと単位時間あたりの供給量Ｌ２（Ｌ２＞Ｌ１）を確保する１以上の粗動絞りとのうち、少なくともひとつを選択して決定すること、さらには除振パッドへの空気の供給量を推力指令計算値の時間変化率を用いて変更することで、空気パッドへの供給量設定をより正確に行うことができ、除振パッドによる推力置換をアクチュエータの推力指令値の入力に対してより直線的な関数をもって行うことができる。
また、本発明の除振装置は、制御手段がアクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を除振パッドの推力に置換しているので、アクチュエータの発熱を抑えた除振装置を実現することができる。
また、本発明のステージ装置は、制御手段がアクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を除振パッドの推力に置換しているので、アクチュエータの発熱を抑えた状態でステージを移動することができる。
また、本発明の露光装置は、制御手段がアクチュエータに必要とされる推力の少なくとも一部を除振パッドの推力に置換しているので、アクチュエータの発熱を抑えて精度の高い露光をすることができる。