【手続補正書】
【提出日】平成17年3月10日(2005.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】シーズニング終了検知方法及びプラズマ処理方法並びにプラズマ処理装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理装置の処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際の上記シーズニングの終了を検知する方法において、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給し、上記処理容器内を冷却した後、再度上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給する際に得られる複数の測定データを用いて多変量解析を行ない、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成する工程と、上記予測式に基づいて上記シーズニングを行なう際のシーズニングの終了を検知する工程とを有することを特徴とするシーズニング終了検知方法。
【請求項２】
上記多変量解析として主成分分析を用いることを特徴とする請求項１に記載のシーズニング終了検知方法。
【請求項３】
上記測定データとしてプラズマの発光スペクトルを用いることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシーズニング終了検知方法。
【請求項４】
上記発光スペクトルの波長のうち、残差への寄与率の高い波長を用いることを特徴とする請求項３に記載のシーズニング終了検知方法。
【請求項５】
上記測定データとしてＶＩプローブで得られる高周波電圧を用いることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシーズニング終了検知方法。
【請求項６】
上記測定データとしてＶＩプローブで得られる高周波電流を用いることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシーズニング終了検知方法。
【請求項７】
上記測定データとしてＶＩプローブで得られる高周波電圧と高周波電流の位相差を用いることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシーズニング終了検知方法。
【請求項８】
処理装置の処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際の上記シーズニングの終了を検知する方法において、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給する際に得られる複数の測定データを用いて多変量解析を行ない、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成する工程と、上記予測式に基づいて上記シーズニングを行なう際のシーズニングの終了を検知する工程とを有することを特徴とするシーズニング終了検知方法。
【請求項９】
処理装置の処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際の上記シーズニングの終了を検知するプラズマ処理方法において、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給する際に得られる複数の測定データを用いて多変量解析を行ない、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成する工程と、上記予測式に基づいて上記シーズニングを行なう際のシーズニングの終了を検知する工程とを有する特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項１０】
上記予測式を作成する工程は、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給し、上記処理容器内を冷却した後、再度上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給する際に得られる複数の測定データを用いることを特徴とする請求項９に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１１】
上記多変量解析として主成分分析を用いることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１２】
上記測定データとしてプラズマの発光スペクトルを用いることを特徴とする請求項９〜請求項１１のいずれか１項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１３】
上記発光スペクトルの波長のうち、残差への寄与率の高い波長を用いることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１４】
被処理体を収容する処理容器と、この処理容器内のプラズマの発光スペクトルを測定する検出器と、この検出器に接続されたこの検出器からの測定データが入力される制御装置とを備え、上記制御装置は、上記処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際に、上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給して、上記検出器によって測定される複数の測定データを基に多変量解析プログラムを用いて多変量解析を行い、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成し、この予測式に基づいて上記シーズニングを行う際のシーズニング終了を検知することを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項１５】
上記測定データは、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給し、上記処理容器内を冷却した後、再度上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給する際に得られる複数の測定データであることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマ処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、エッチング処理装置等の処理装置についてのシーズニング終了検知方法及びこのシーズニング終了検知方法を用いたプラズマ処理方法並びにプラズマ処理装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、シーズニングの終了を明確に判断することができるシーズニング終了検知方法及びプラズマ処理方法並びにプラズマ処理装置を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の請求項８に記載のシーズニング終了検知方法は、処理装置の処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際の上記シーズニングの終了を検知する方法において、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給する際に得られる複数の測定データを用いて多変量解析を行ない、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成する工程と、上記予測式に基づいて上記シーズニングを行なう際のシーズニングの終了を検知する工程とを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載のプラズマ処理方法は、処理装置の処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際の上記シーズニングの終了を検知するプラズマ処理方法において、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給する際に得られる複数の測定データを用いて多変量解析を行ない、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成する工程と、上記予測式に基づいて上記シーズニングを行なう際のシーズニングの終了を検知する工程とを有する特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のプラズマ処理方法は、請求項９に記載の発明において、上記予測式を作成する工程は、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給し、上記処理容器内を冷却した後、再度上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給する際に得られる複数の測定データを用いることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載のプラズマ処理方法は、請求項９または請求項１０に記載の発明において、上記多変量解析として主成分分析を用いることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１２に記載のプラズマ処理方法は、請求項９〜請求項１１１のいずれか１項に記載の発明において、上記測定データとしてプラズマの発光スペクトルを用いることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１３に記載のプラズマ処理方法は、請求項１２に記載の発明において、上記発光スペクトルの波長のうち、残差への寄与率の高い波長を用いることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１４に記載のプラズマ処理装置は、被処理体を収容する処理容器と、この処理容器内のプラズマの発光スペクトルを測定する検出器と、この検出器に接続されたこの検出器からの測定データが入力される制御装置とを備え、上記制御装置は、上記処理容器内に試験用被処理体を供給してシーズニングを行う際に、上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給して、上記検出器によって測定される複数の測定データを基に多変量解析プログラムを用いて多変量解析を行い、上記シーズニングの終了を予測する予測式を作成し、この予測式に基づいて上記シーズニングを行う際のシーズニング終了を検知することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１５に記載のプラズマ処理装置は、請求項１４に記載の発明において、上記測定データは、上記処理容器内に上記試験用被処理体を供給し、上記処理容器内を冷却した後、再度上記処理容器内に上記試験用被処理体を複数供給する際に得られる複数の測定データであることを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項８に記載の発明によれば、シーズニングの終了を明確に判断することができるシーズニング終了検知方法を提供することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、本発明の請求項９〜請求項１５に記載の発明によれば、シーズニングを確実に検知した後、プラズマ処理を行なうことによってウエハに対して安定したエッチング処理を施すことができるプラズマ処理方法及びプラズマ処理装置を提供することができる。