【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  (ａ) シランジオール、
(ｂ) 構造
【化１】
2003529099.tif 000001
（式中、Ａｒ1は、四価の芳香族基、脂肪族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；Ａｒ2は、場合によりケイ素を含みうる二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ3は、二価の芳香族基、脂肪族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；ｘは１０〜１０００であり、そしてｙは０〜９００である）を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、
(ｃ) 感光剤、及び
(ｄ) 溶媒
を含むポジ感光性樹脂組成物。
【請求項２】  シランジオールが、組成物の総重量の０.１重量％〜１０.０重量％である請求項１記載の組成物。
【請求項３】  シランジオールが、ジアリールシランジオール、ジアルキルシランジオール及びそれらの混合物からなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
【請求項４】  シランジオールが、ジフェニルシランジオールである請求項３記載の組成物。
【請求項５】  ポリベンゾオキサゾール前駆体が、２５重量％〜４０重量％である請求項１記載の組成物。
【請求項６】  ポリベンゾオキサゾール前駆体が、１０〜１０００の重合度を有する請求項１記載の組成物。
【請求項７】  Ａｒ1が、ヘキサフルオロプロパン−２,２−ビフェニル基であり、そしてＡｒ3が、フタロイル又は１,４−オキシジベンゾイル及びそれらの混合物からなる群から選ばれる基である請求項１記載の組成物。
【請求項８】  感光剤が、組成物の総重量の２重量％〜１０重量％である請求項１記載の組成物。
【請求項９】  感光剤が、ジアゾキノン化合物、ジヒドロピリジン化合物、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
【請求項１０】  感光剤が、
【化２】
2003529099.tif 000002
【化３】
2003529099.tif 000003
【化４】
2003529099.tif 000004
（式中、Ｄは、独立してＨ又は以下の基
【化５】
2003529099.tif 000005
の一つであることができるが、但し、各化合物において、少なくとも１つのＤは、Ｈでない）
からなる群から選ばれた構造を有するジアゾキノン化合物である請求項９記載の組成物。
【請求項１１】  感光剤が、構造：
【化６】
2003529099.tif 000006
〔式中、Ｒ3基は、同じか又は異なり、Ｈ、ＯＨ、ＣＯＯ−(ＣＨ2)n−ＣＨ3、（ＣＨ2）n−ＣＨ3、Ｏ−(ＣＨ2)n−ＣＨ3、ＣＯ−(ＣＨ2)n−ＣＨ3、（ＣＦ2）n−ＣＦ3、Ｃ6Ｈ5、ＣＯＯＨ、（ＣＨ2）n−Ｏ−(ＣＨ2)m−ＣＨ3、（ＣＨ2）n−ＯＨ、（ＣＨ＝ＣＨ）p−ＣＯ−ＣＨ3、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩであり；
ｍ＝０〜１０、ｎ＝０〜１０、そしてｐ＝１〜４であり；
Ｒ4は、Ｈ、Ｃ1−Ｃ7アルキル、シクロアルキル、又はフェニル及びモノ置換されたフェニルであり；
Ｒ5は、
【化７】
2003529099.tif 000007
（式中、Ｒ6は、Ｒ3と同様に定義され、そしてＮＯ2基は、ジヒドロピリジン環に関してオルト位にある）である〕
を有するジヒドロピリジン化合物である請求項９記載の組成物。
【請求項１２】  感光剤が、
【化８】
2003529099.tif 000008
〔式中、Ｙは、−ＯＲ2（ここで、Ｒ2は、一価の置換された又は非置換の芳香族又は脂肪族基である）、ＣＮ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩである〕
の群から選ばれた構造を有するジヒドロピリジン化合物である請求項１１記載の組成物。
【請求項１３】  溶媒が、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチル−２−ピペリドン、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミド及びそれらの混合物からなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
【請求項１４】  溶媒が、γ−ブチロラクトンである請求項１３記載の組成物。
【請求項１５】  さらに、接着促進剤、均展剤及びそれらの混合物からなる群から選ばれる一つ又はそれ以上の添加剤を含む請求項１記載の組成物。
【請求項１６】  シランジオール０.１重量％〜１０.０重量％；
構造：
【化９】
2003529099.tif 000009
（式中、Ａｒ1は、四価の芳香族基、脂肪族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；Ａｒ2は、ケイ素を含みうる又は含まない二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ3は、二価の芳香族基、脂肪族基、複素環基又はそれらの混合した基であり；そして、ｘは１０〜１０００であり、ｙは０〜９００である）
を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体の１０重量％〜５０重量％；
感光剤１重量％〜２０重量％；及び
溶媒
を含むポジ感光性樹脂組成物。
【請求項１７】  ａ) シランジオール；
構造：
【化１０】
2003529099.tif 000010
（式中、Ａｒ1は、四価の芳香族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；Ａｒ2は、ケイ素を含みうる又は含まない二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ3は、二価の芳香族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；ｘは、１０〜１０００であり；ｙは、０〜９００であり；そして、ｂは０.１０〜３５０である）を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体；
感光剤；及び
溶媒
からなるポジ感光性樹脂組成物を基板上にコートし、それによってコートされた基板を形成する工程；
ｂ) 前記コートされた基板を化学放射線に露光する工程；
ｃ) 前記コートされた基板を高められた温度で露光後ベークする工程；
ｄ) 前記コートされた基板を水性現像剤で現像することにより、現像された基板を形成する工程；
ｅ) 現像された基板をすすぐ工程；及び
ｆ) すすいだ基板を高められた温度で硬化させ、これによりレリーフパターンを形成する工程：
からなるレリーフパターンの形成方法。
【請求項１８】  コートされた基板が形成された後、そしてコートされた基板を露光する前に、コートされた基板をプレベークする工程をさらに含む請求項１７記載の方法。
【請求項１９】  化学線が、Ｘ線、電子ビーム線、紫外線、及び可視光線からなる群から選ばれる請求項１７記載の方法。
【請求項２０】  化学線が４３６nm及び３６５nmの波長を有する請求項１７記載の方法。
【請求項２１】  水性現像剤が、アルカリ、第一級アミン、第二級アミン、第三級ア
ミン、アルコールアミン、第四級アンモニウム塩、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる溶液である請求項１７記載の方法。
【請求項２２】  シランジオールが、ジフェニルシランジオールである請求項１７記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
さらに、本発明は、レリーフパターンの形成方法を包含する。その方法は、
(ａ) 適切な基板上に、シランジオール、構造（Ｄ）を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、感光剤及び溶媒を含むポジ型感光性組成物をコートし、これによってコートされた基板を形成する工程；
(ｂ) このコートされた基板を化学放射線に露光する工程；
(ｃ) このコートされた基板を高められた温度で露光後ベークする工程；
(ｄ) このコートされた基板を水性現像剤で現像して現像された基板を形成する工程；
(ｅ) この現像された基板をすすぐ工程；及び
(ｆ) このすすいだ基板を高められた温度でベークし、これよりレリーフパターンを硬化させる工程
からなる。