【手続補正書】
【提出日】平成16年10月19日(2004.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装置と連動してシミュレーションを実行するシミュレーション装置であって、
前記実装置の制御時に出力される各制御対象物に関する制御コマンドを入力し、当該制御コマンドに基づいてシミュレーションを実行するシミュレーション手段と、
前記制御コマンドに対する前記各制御対象物からの返答情報を入力し、当該返答情報に基づく当該制御対象物のシミュレーション結果を表示する表示手段とを具備することを特徴とするシミュレーション装置。
【請求項２】
前記シミュレーション手段は、前記実装置とリアルタイムに連動する３次元シミュレーションを実行することを特徴とする請求項１に記載のシミュレーション装置。
【請求項３】
実装置とネットワークを介して接続され、遠隔地から操作可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載のシミュレーション装置。
【請求項４】
実装置とネットワークを介して接続され、遠隔地から操作可能であると共に、当該実装置との間でマルチユーザにて稼動することを特徴とする請求項１又は２に記載のシミュレーション装置。
【請求項５】
前記実装置は半導体製造工程に供される装置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のシミュレーション装置。
【請求項６】
前記制御コマンドによる前記制御対象物の制御中に、当該制御対象物の制御手順情報に基づいて他の制御対象物に対する相対位置関係を検出する検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のシミュレーション装置。
【請求項７】
前記制御コマンドによる前記制御対象物の制御中に動作が停止したことにより、当該制御対象物の現在位置が不定の場合、他の制御対象物に対する相対位置関係を検出する検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のシミュレーション装置。
【請求項８】
前記検出手段は、当該制御対象物の現在位置が不定の場合、現在位置が不定の当該制御対象物の停止前位置情報と目標位置情報と他の対象物の制御コマンドから当該制御対象物が存在する可能性のある不定空間を作成することを特徴とする請求項６又は７に記載のシミュレーション装置。
【請求項９】
前記検出手段により作成された不定空間から、当該対象物が他の制御対象物と干渉するか否かを判定すると共に、実装置の稼動を続行させるか判定する判定手段を更に備えることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載のシミュレーション装置。
【請求項１０】
前記シミュレーション手段は、前記判定手段の判定結果として干渉がない場合、前記制御対象物に駆動を続行させるための制御続行コマンドを出力することを特徴とする請求項９に記載のシミュレーション装置。
【請求項１１】
実装置と連動してシミュレーションを実行するシミュレーション方法であって、
前記実装置の制御時に出力される各制御対象物に関する制御コマンドを入力し、当該制御コマンドに基づいてシミュレーションを実行し、
前記制御コマンドに対する前記各制御対象物からの返答情報を入力し、当該返答情報に基づく当該制御対象物のシミュレーション結果を表示することを特徴とするシミュレーション方法。
【請求項１２】
前記シミュレーションは、前記実装置とリアルタイムに連動する３次元シミュレーションであることを特徴とする請求項１１に記載のシミュレーション方法。
【請求項１３】
前記シミュレーションは、前記実装置とネットワークを介して接続されたシミュレーション装置により遠隔地から実行可能であることを特徴とする請求項１１又は１２に記載のシミュレーション方法。
【請求項１４】
前記シミュレーションは、前記実装置とネットワークを介して接続されたシミュレーション装置により遠隔地から実行可能であると共に、当該実装置との間でマルチユーザにて稼動することを特徴とする請求項１１又は１２に記載のシミュレーション方法。
【請求項１５】
前記実装置は、半導体製造工程に供される装置であることを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
【請求項１６】
前記制御コマンドによる前記制御対象物の制御中に、当該制御対象物の制御手順情報に基づいて他の制御対象物に対する相対位置関係を検出する検出工程を更に備えることを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
【請求項１７】
前記制御コマンドによる前記制御対象物の制御中に動作が停止したことにより、当該制御対象物の現在位置が不定の場合、他の制御対象物に対する相対位置関係を検出する検出工程を更に備えることを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
【請求項１８】
前記検出工程では、当該制御対象物の現在位置が不定の場合、現在位置が不定の当該制御対象物の停止前位置情報と目標位置情報と他の対象物の制御コマンドから当該制御対象物が存在する可能性のある不定空間を作成することを特徴とする請求項１６又は１７に記載のシミュレーション方法。
【請求項１９】
前記検出工程により作成された不定空間から、当該対象物が他の制御対象物と干渉するか否かを判定すると共に、実装置の稼動を続行させるか判定する判定工程を更に備えることを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
【請求項２０】
前記シミュレーションは、前記判定手段の判定結果として干渉がない場合、前記制御対象物に駆動を続行させるための制御続行コマンドを出力することを特徴とする請求項１９に記載のシミュレーション方法。
【請求項２１】
実装置と連動してシミュレーションを実行するプログラムであって、
コンピュータを、
前記実装置の制御時に出力される各制御対象物に関する制御コマンドを入力し、当該制御コマンドに基づいてシミュレーションを実行するシミュレーション手段と、
前記制御コマンドに対する前記各制御対象物からの返答情報を入力し、当該返答情報に基づく当該制御対象物のシミュレーション結果を表示する表示手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項２２】
前記シミュレーション手段は、前記実装置とリアルタイムに連動する３次元シミュレーションを実行することを特徴とする請求項２１に記載のプログラム。
【請求項２３】
前記シミュレーション手段は、前記実装置とネットワークを介して接続され、遠隔地から操作可能であることを特徴とする請求項２１又は２２に記載のプログラム。
【請求項２４】
前記シミュレーション手段は、前記実装置とネットワークを介して接続され、遠隔地から操作可能であると共に、当該実装置との間でマルチユーザにて稼動することを特徴とする請求項２１又は２２に記載のプログラム。
【請求項２５】
前記実装置は、半導体製造工程に供される装置であることを特徴とする請求項２１乃至２４のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項２６】
前記制御コマンドによる前記制御対象物の制御中に、当該制御対象物の制御手順情報に基づいて他の制御対象物に対する相対位置関係を検出する検出手段を更に備えることを特徴とする請求項２１乃至２５のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項２７】
前記制御コマンドによる前記制御対象物の制御中に動作が停止したことにより、当該制御対象物の現在位置が不定の場合、他の制御対象物に対する相対位置関係を検出する検出手段を更に備えることを特徴とする請求項２１乃至２５のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項２８】
前記検出手段は、当該制御対象物の現在位置が不定の場合、現在位置が不定の当該制御対象物の停止前位置情報と目標位置情報と他の対象物の制御コマンドから当該制御対象物が存在する可能性のある不定空間を作成することを特徴とする請求項２６又は２７に記載のプログラム。
【請求項２９】
前記検出手段により作成された不定空間から、当該対象物が他の制御対象物と干渉するか否かを判定すると共に、実装置の稼動を続行させるか判定する判定手段を更に備えることを特徴とする請求項２６乃至２８のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項３０】
前記シミュレーション手段は、前記判定手段の判定結果として干渉がない場合、前記制御対象物に駆動を続行させるための制御続行コマンドを出力することを特徴とする請求項２９に記載のプログラム。