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【手続補正書】
【提出日】平成16年10月15日(2004.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）共役ジエン系単量体２０〜７０重量％、（ｂ）エチレン系不飽和カルボン酸単量体０．５〜１０重量％、（ｃ）その他の共重合可能なビニル系単量体２０〜７９．５重量％を含有する単量体混合物を乳化重合して得られるジエン系共重合体ラテックスであって、該乳化重合において、下記乳化剤Ａ存在下に乳化重合を開始し、次いで下記乳化剤Ｂを添加して乳化重合して得られるジエン系共重合体ラテックス。
乳化剤Ａ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれるいずれかの親水性基をひとつだけ有する乳化剤。
乳化剤Ｂ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれる親水性基のうち、同種または異種の親水性基を二つ以上有する乳化剤。
【請求項２】
（ａ）共役ジエン系単量体２０〜７０重量％、（ｂ）エチレン系不飽和カルボン酸単量体０．５〜１０重量％、（ｃ）その他の共重合可能なビニル系単量体２０〜７９．５重量％を含有する単量体混合物を乳化重合して得られるジエン系共重合体ラテックスであって、該乳化重合において、シードラテックスおよび下記乳化剤Ａ存在下に乳化重合を開始し、次いで下記乳化剤Ｂを添加して乳化重合して得られるジエン系共重合体ラテックス。
乳化剤Ａ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれるいずれかの親水性基をひとつだけ有する乳化剤。
乳化剤Ｂ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれる親水性基のうち、同種または異種の親水性基を二つ以上有する乳化剤。
【請求項３】
共重合体ラテックスが、先ず全エチレン系不飽和カルボン酸の一部または全量を含む全単量体の５〜４５重量％を一括して仕込み乳化重合させ、次いで残りの単量体を連続的もしくは間欠的に添加し乳化重合して得られる請求項１記載の紙塗工用共重合体ラテックス。
【請求項４】
共重合体ラテックスが、先ず全エチレン系不飽和カルボン酸の一部または全量を含む全単量体の５〜４５重量％、およびシードラテックスを一括して仕込み乳化重合させ、次いで残りの単量体を連続的もしくは間欠的に添加し乳化重合して得られる請求項１記載の紙塗工用共重合体ラテックス。
【請求項５】
共重合体ラテックスが、先ず全エチレン系不飽和カルボン酸の一部または全量およびシードラテックスを一括して仕込み、残りの単量体を連続的もしくは間欠的に添加し乳化重合して得られる請求項１記載の紙塗工用共重合体ラテックス。
【請求項６】
顔料および共重合体ラテックスを含有する紙塗工用組成物において、該共重合体ラテックスとして請求項１〜５記載の共重合体ラテックスを用いる紙塗工用組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
乳化剤Ａ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれるいずれかの親水性基をひとつだけ有する乳化剤。
乳化剤Ｂ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれる親水性基のうち、同種または異種の親水性基を二つ以上有する乳化剤。
２．（ａ）共役ジエン系単量体２０〜７０重量％、（ｂ）エチレン系不飽和カルボン酸単量体０．５〜１０重量％、（ｃ）その他の共重合可能なビニル系単量体２０〜７９．５重量％を含有する単量体混合物を乳化重合して得られるジエン系共重合体ラテックスであって、該乳化重合において、シードラテックスおよび下記乳化剤Ａ存在下に乳化重合を開始し、次いで下記乳化剤Ｂを添加して乳化重合して得られるジエン系共重合体ラテックス。
乳化剤Ａ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれるいずれかの親水性基をひとつだけ有する乳化剤。
乳化剤Ｂ：分子中に、硫酸基、スルホン酸基、カルボン酸基から選ばれる親水性基のうち、同種または異種の親水性基を二つ以上有する乳化剤。
３．共重合体ラテックスが、先ず全エチレン系不飽和カルボン酸の一部または全量を含む全単量体の５〜４５重量％を一括して仕込み乳化重合させ、次いで残りの単量体を連続的もしくは間欠的に添加し乳化重合して得られる１．記載の紙塗工用共重合体ラテックス。
４．共重合体ラテックスが、先ず全エチレン系不飽和カルボン酸の一部または全量を含む全単量体の５〜４５重量％、およびシードラテックスを一括して仕込み乳化重合させ、次いで残りの単量体を連続的もしくは間欠的に添加し乳化重合して得られる１．記載の紙塗工用共重合体ラテックス。
５．共重合体ラテックスが、先ず全エチレン系不飽和カルボン酸の一部または全量およびシードラテックスを一括して仕込み、残りの単量体を連続的もしくは間欠的に添加し乳化重合して得られる１．記載の紙塗工用共重合体ラテックス。
６．顔料および共重合体ラテックスを含有する紙塗工用組成物において、該共重合体ラテックスとして１．〜５．記載の共重合体ラテックスを用いる紙塗工用組成物。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【実施例４】
撹拌装置と温度調節用ジャケットを取り付けた耐圧反応容器に、水７０重量部、粒子径０．０２１５μｍのポリスチレンシードラテックス０．７５重量部、および表１に記載の量のドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、フマール酸２．５重量部を仕込み、７５℃に昇温した。次いで表１に示す単量体混合物を５時間で、また、水２０重量部、ペルオキソ二硫酸ナトリウム１重量部、水酸化ナトリウム０．２重量部、および表１に記載する量のドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸ソーダからなる開始剤系水溶液を６時間で、一定の流速で添加した。その後さらに８０℃で２時間反応させ、重合転化率９７％の共重合体ラテックスＤを得た。該共重合体ラテックスは、水酸化ナトリウムでｐＨを７に調整し
てからスチームストリッピング法により未反応の単量体を除去し、最終的に固形分濃度が５０重量％になるように調整し、共重合体ラテックスＤを得た。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月5日(2005.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一と第二の流体流を混合するための騒音抑制混合システムであって、
第一および第二の流れの境界を画定するミキサ本体を備え、
前記ミキサ本体は前縁部と後縁部とを有し、該後縁部が主混合ゾーンの前端部を画定し、ミキサ本体は交互に並ぶ複数のローブおよびトラフを有し、ローブおよびトラフはそれぞれ起点を有し、かつ長手方向に起点から後縁部まで延在し、
前記混合システムは、主混合ゾーンの手前において第一と第二の流れの間に流体連絡経路を有し、該流体連絡経路は、流れの間の差圧が一定量の流体を誘引して一方の流れから他方の流れに流入させ、これによって混合システムの騒音を抑制することができるような位置に置かれている、騒音抑制混合システム。
【請求項２】
前記流体連絡経路が一連の交差開口部からなる、請求項１の混合システム。
【請求項３】
前記起点が集合して起点部を画定し、前記交差開口部が前記起点部より長手方向で手前に位置している、請求項２の混合システム。
【請求項４】
前記交差開口部が長手方向で前縁部の手前に位置する、請求項２の混合システム。
【請求項５】
前記交差開口部が円周上で、実質的に他方の流れのトラフの部分と一致して配置されている、請求項２の混合システム。
【請求項６】
前記流体連絡経路が実質的に中断されない交差スロットからなる、請求項１の混合システム。
【請求項７】
前記起点が集合して起点部を画定し、交差スロットが前記起点部より長手方向で手前に位置する、請求項６の混合システム。
【請求項８】
前記交差スロットが長手方向で前縁部の手前に位置する、請求項６の混合システム。
【請求項９】
他方の流れに誘引されて流入する一定量の流体が他方の流れの流体と予備的に混合される、請求項１の混合システム。
【請求項１０】
前記流体流はタービンエンジン内の半径方向内側の流れと外側の流れであり、一定量の流体が誘引されて内側の流れから外側の流れに流入する、請求項１の混合システム。
【請求項１１】
前記流体流はタービンエンジン内の半径方向内側の流れと外側の流れであり、一方の流れから他方の流れに誘引されて流入する一定量の流体の量が、エンジンの他の運転特性に許容限度を超えて影響することなく、エンジンの騒音発生を抑制するのに十分である、請求項１の混合システム。
【請求項１２】
流体が内側の流れから外側の流れに誘引されて流入し、かつその流体の量が内側の流れの流量の約１パーセントである、請求項１１の混合システム。
【請求項１３】
タービンエンジンの同心の内側と外側の流れを混合するための騒音抑制混合システムであって、
内側の流れの半径方向外側の境界と、外側の流れの半径方向内側の境界を画定するミキサ本体を有し、
前記ミキサ本体は前縁部と後縁部を有し、該後縁部が主混合ゾーンの前端部を画定し、ミキサ本体は円周上に交互に並ぶ複数のローブおよびトラフを有しており、ローブおよびトラフはそれぞれ起点を有し、かつ長手方向に起点から後縁部まで延在し、起点が集合して円周方向に伸びる起点部を画定し、
前記混合システムは、長手方向で前縁部の手前の位置に置かれている、円周上に配置された一連の交差開口部を有し、流れの間の差圧が一定量の流体を誘引して内側の流れから外側の流れに流入させ、これにより混合システムの騒音を抑制することができる、騒音抑制混合システム。
【請求項１４】
長手方向に流れる、実質的に互いに隔離された第一と第二の流体流を混合する方法であって、
二つの流れの間の差圧に対応して一定量の流体を一方の流れから他方の流れに導入して、一方の流れの流量を減少し、他方の流れの流量を増加し、
二つの流れを交互に積層し、
交互に積層された、減少後および増加後の流れを合流させて、混合された集合的な流れを形成することからなる、流体流を混合する方法。
【請求項１５】
前記流体の導入が流れの交互積層に先だって行われる、請求項１４の方法。
【請求項１６】
前記一方の流れから他方の流れへの一定量の流体の導入が、他方の流れのトラフの部分に実質的に一致する位置で行われる、請求項１４の方法。
【請求項１７】
前記他方の流れに導入される一定量の流体が、他方の流れの流体と混合される、請求項１４の方法。
【請求項１８】
前記流体流はタービンエンジン内の半径方向内側の流れと外側の流れであり、一定量の流体が外側の流れに導入される、請求項１４の方法。
【請求項１９】
前記流体流はタービンエンジン内の半径方向内側の流れと外側の流れであり、導入される一定量の流体の量が、エンジンの他の運転特性に許容限度を超えて影響することなく、エンジンの騒音発生を抑制するのに十分である、請求項１４の方法。
【請求項２０】
前記流体が内側の流れから外側の流れに導入され、かつ導入される流体の量が内側の流れの流量の約１パーセントである、請求項１９の方法。
【請求項２１】
タービンエンジンの同心の内側と外側の流れを混合することから起こる騒音発生を抑制する方法において、前記エンジンは、内側の流れの半径方向外側の境界と外側の流れの半径方向内側の境界とを画定するミキサ本体を備える混合システムを有し、ミキサ本体は前縁部と後縁部とを有し、該後縁部が主混合ゾーンの前端部を画定し、ミキサ本体は円周上に交互に並ぶ複数のローブおよびトラフを有し、前記方法は、
前縁部の手前において一定量の流体を内側の流れから外側の流れに導入して、内側の流れの流量を減少し、外側の流れの流量を増加し、
二つの流れをローブおよびトラフに導いてこれらを円周方向に交互に積層し、
交互に積層された、減少後および増加後の流れを合流させて、主混合ゾーン混合された集合的な流れとすることからなる、騒音発生を抑制する方法。
【請求項２２】
二つの流体流（４２，４４）を主混合ゾーン（５４）に排出する以前に、前記二つの流体流を交互に積層するローブ式ミキサ本体（１８）と、前記主混合ゾーンの手前で、一定量の流体を誘引して前記流れの一方から前記流れの他方へと導入する流体連絡経路（８８）と、を備える流体混合システム。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースと、
このケースの内底部に形成され、潤滑油を集溜する油溜り部と、
上記ケース内部に収容され、シリンダと、このシリンダ内に配置されたローラと、このローラとシリンダとの間に介在された螺旋状ブレードとから圧縮室が構成されるヘリカルブレード式の圧縮機構部とを具備した流体圧縮機において、
上記圧縮機構部を構成する部品には、上記油溜り部に集溜される潤滑油を上記圧縮室に直接導く給油通路が設けられることを特徴とする流体圧縮機。
【請求項２】
ケースと、
このケース内部に収容され、シリンダと、このシリンダ内に配置されたローラと、このローラとシリンダとの間に介在された螺旋状ブレードとから圧縮室が構成されるヘリカルブレード式の圧縮機構部とを具備した流体圧縮機において、
上記圧縮室で圧縮されたガスを密閉ケース内に吐出するガス吐出口を、上記電動機部を構成するロータのコイルエンド内周面の内側に対向して設けたことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記第２の目的を達成するため第２の発明の流体圧縮機は、請求項２として、ケースと、このケース内部に収容され、シリンダと、このシリンダ内に配置されたローラと、このローラとシリンダとの間に介在された螺旋状ブレードとから圧縮室が構成されるヘリカルブレード式の圧縮機構部とを具備し、上記圧縮室で圧縮されたガスを密閉ケース内に吐出するガス吐出口を、上記電動機部を構成するロータのコイルエンド内周面の内側に対向して設けたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月6日(2005.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
撮影可能コマ数若しくは撮影済みコマ数を表す数字が付されており撮影毎に一方向に移動される指数板と、該指数板の数字を外部より視認可能とする指数器窓とを備え、最大撮影コマ数が第１のコマ数である第１フィルムと、最大撮影コマ数が第１のコマ数より少ない第２のコマ数である第２フィルムの少なくとも２種類のフィルムを装填可能としたレンズ付きフィルムユニットにおいて、
前記指数板には少なくとも前記第２のコマ数を表す数字が付され、該数字と、該数字の隣であって指数板移動方向に対して下流側に付された数字との間隔は、前記第２のコマ数を表す数字の全体が視認可能なように前記指数器窓の指数板移動方向に対して最も上流側に位置する状態において前記下流側に付された数字が前記指数窓から視認し難く、且つ前記第２のコマ数を表す数字の一部が視認可能なように前記指数器窓の指数板移動方向に対して最も上流側に位置する状態において前記下流側に付された数字の一部が前記指数器窓から視認可能である間隔であることを特徴とするレンズ付きフィルムユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（１）撮影可能コマ数若しくは撮影済みコマ数を表す数字が付されており撮影毎に一方向に移動される指数板と、該指数板の数字を外部より視認可能とする指数器窓とを備え、最大撮影コマ数が第１のコマ数である第１フィルムと、最大撮影コマ数が第１のコマ数より少ない第２のコマ数である第２フィルムの少なくとも２種類のフィルムを装填可能としたレンズ付きフィルムユニットにおいて、前記指数板には少なくとも前記第２のコマ数を表す数字が付され、該数字と、該数字の隣であって指数板移動方向に対して下流側に付された数字との間隔は、前記第２のコマ数を表す数字の全体が視認可能なように前記指数器窓の指数板移動方向に対して最も上流側に位置する状態において前記下流側に付された数字が前記指数窓から視認し難く、且つ前記第２のコマ数を表す数字の一部が視認可能なように前記指数器窓の指数板移動方向に対して最も上流側に位置する状態において前記下流側に付された数字の一部が前記指数器窓から視認可能である間隔であることを特徴とするレンズ付きフィルムユニット。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月11日(2004.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
音声入力部と他の入力部とを有する情報入力装置において、
前記音声入力部、他の入力部に対して、それぞれ入力すべき情報項目を設定する設定手段と、
前記音声入力部、他の入力部により入力された情報を、前記設定手段により設定された情報項目に係る情報として処理する処理手段と、
を備えたことを特徴とする情報入力装置。
【請求項２】
前記他の入力部は、キー入力部、タッチパネル等により構成されたことを特徴とする請求項１記載の情報入力装置。
【請求項３】
前記音声入力部は、音声認識手段と、該音声入力部による入力を許可する許可手段を有することを特徴とする請求項１記載の情報入力装置。
【請求項４】
前記許可手段により前記音声入力部による入力が許可されている場合は、前記処理手段は、該音声入力部と前記他の入力部により同時又は並行して入力された各情報を受理して処理することを特徴とする請求項３記載の情報入力装置。
【請求項５】
前記音声入力部と他の入力部により入力された情報を一括して確定する確定手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の情報入力装置。
【請求項６】
前記処理手段は、前記音声入力部により入力された音声入力情報が確定される前に次の音声入力情報が入力された場合、未確定の先の音声入力情報を無効として次の音声入力情報に更新する更新手段を有することを特徴とする請求項１記載の情報入力装置。
【請求項７】
前記更新手段は、前記音声認識手段による前記次の音声入力情報の認識結果がエラーの場合は、前記更新処理を実行しないことを特徴とする請求項６記載の情報入力装置。
【請求項８】
前記他の入力部として、複数種の入力部を備えたことを特徴とする請求項１記載の情報入力装置。
【請求項９】
前記情報入力装置は、携帯型の情報処理装置に適用されたことを特徴とする請求項１記載の情報入力装置。
【請求項１０】
音声入力部と他の入力部とを有する情報入力装置において、
前記音声入力部、他の入力部に対して、それぞれ入力すべき情報項目を設定する設定工程と、
前記音声入力部、他の入力部により入力された情報を、前記設定工程により設定された情報項目に係る情報として処理する処理工程と、
を備えたことを特徴とする情報入力方法。
【請求項１１】
音声入力部と他の入力部とを有する情報入力装置にて実行されるプログラムを記憶する記憶媒体であって、前記プログラムは、
前記音声入力部、他の入力部に対して、それぞれ入力すべき情報項目を設定する設定ルーチンと、
前記音声入力部、他の入力部により入力された情報を、前記設定ルーチンにより設定された情報項目に係る情報として処理する処理ルーチンと、
を含むことを特徴とする記憶媒体。  
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明では、前記音声入力部は、音声認識手段と、該音声入力部による入力を許可する許可手段を有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明では、前記許可手段により前記音声入力部による入力が許可されている場合は、前記処理手段は、該音声入力部と前記他の入力部により同時又は並行して入力された各情報を受理して処理している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明では、前記音声入力部と他の入力部により入力された情報を一括して確定する確定手段を備えている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明では、前記処理手段は、前記音声入力部により入力された音声入力情報が確定される前に次の音声入力情報が入力された場合、未確定の先の音声入力情報を無効として次の音声入力情報に更新する更新手段を有している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明では、前記更新手段は、前記音声認識手段による前記次の音声入力情報の認識結果がエラーの場合は、前記更新処理を実行しないように構成されている。
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月4日(2004.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する第１の端面と第２の端面とを備えた透光性媒体と、
前記透光性媒体の第１の端面側に設けられ、第１の端面側から入射された信号光を拡散する光拡散部と、
前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を分岐して各々出力する複数の出力部と、を備えた光分岐装置において、
透光性媒体の第１の端面と第２の端面との間の距離、光入射位置、及び光拡散角の少なくとも１つを変更可能にしたことを特徴とする光分岐装置。
【請求項２】
対向する第１の端面と第２の端面とを備えた透光性媒体と、
前記透光性媒体の第１の端面側に設けられ、第１の端面側から入射された信号光を拡散する光拡散部と、
前記透光性媒体の第２の端面側に設けられ、前記光拡散部で拡散されて伝搬されてきた光信号を反射する反射手段と、
前記反射手段で反射され、前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を分岐して各々出力する複数の出力部と、を備えた光分岐装置において、
透光性媒体の第１の端面と第２の端面との間の距離、光入射位置、及び光拡散角の少なくとも１つを変更可能にしたことを特徴とする光分岐装置。
【請求項３】
対向する第１の端面と第２の端面とを備えた透光性媒体と、
前記透光性媒体の第２の端面側に設けられ、前記透光性媒体の第１の端面の所定位置から入射され前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を反射及び拡散する反射拡散手段と、
前記反射拡散手段で反射及び拡散され、前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を分岐して各々出力する複数の出力部と、を備えた光分岐装置において、
透光性媒体の第１の端面と第２の端面との間の距離、光入射位置、及び光拡散角の少なくとも１つを変更可能にしたことを特徴とする光分岐装置。
【請求項４】
対向する第１の端面と第２の端面とを備えた透光性媒体と、
前記透光性媒体の第１の端面側に設けられ、第１の端面側から入射された信号光を拡散する光拡散部と、
前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を分岐して各々出力する複数の出力部と、
前記透光性媒体の第１の端面と第２の端面との間の距離を変更する距離変更手段と、
を備えたことを特徴とする光分岐装置。
【請求項５】
対向する第１の端面と第２の端面とを備えた透光性媒体と、
前記透光性媒体の第１の端面側に設けられ、第１の端面側から入射された信号光を拡散する光拡散部と、
前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を分岐して各々出力する複数の出力部と、
前記光拡散部の光拡散角を変更する拡散角変更手段と、
を備えたことを特徴とする光分岐装置。
【請求項６】
対向する第１の端面と第２の端面とを備えた透光性媒体と、
前記透光性媒体の第１の端面側に設けられ、第１の端面側から入射された信号光を拡散する光拡散部と、
前記透光性媒体を伝搬されてきた信号光を分岐して各々出力する複数の出力部と、
前記第１の端面への信号光の入射位置を変更する入射位置変更手段と、
を備えたことを特徴とする光分岐装置。
【請求項７】
透光性媒体の第１の端面と第２の端面との間の距離を、出射される信号光の強度が出射側の端面で均一になる距離よりも短い距離の範囲で変更する請求項１〜６のいずれか１項に記載の光分岐装置。
【請求項８】
信号光を入力する入力部を備えた請求項１〜７のいずれか１項に記載の光分岐装置。
【請求項９】
前記出力部に光導光路を用いた請求項１〜８のいずれか１項に記載の光分岐装置。
【請求項１０】
前記入力部に光導光路を用いた請求項８に記載の光分岐装置。
【請求項１１】
一端が光送信器または光受信器に接続された光ファイバからなる線路に、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光分岐装置を少なくとも１以上接続して構成した光ネットワーク。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月6日(2004.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路を試験する回路試験装置であって、
前記回路に電磁波を供給する電磁波供給部と、
前記電磁波供給部により電磁波が前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定する電源電流測定部と、
前記電源電流に基づいて、前記回路の故障の有無を判定する判定部と
を備えたことを特徴とする回路試験装置。
【請求項２】
前記回路にテストパターンを供給するパターン供給部を更に備え、
前記電源電流測定部は、前記パターン供給部により前記テストパターンが前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定することを特徴とする請求項１に記載の回路試験装置。
【請求項３】
前記電磁波供給部は、所定の周波数を有する電磁波を出力するコイルを有することを特徴とする請求項２に記載の回路試験装置。
【請求項４】
前記電磁波供給部は、第１周波数を有する電磁波を出力する第１コイルと、第２周波数を有する電磁波を出力し、前記第１コイルと異なる位置に配置される第２コイルを有することを特徴とする請求項３に記載の回路試験装置。
【請求項５】
前記電磁波供給部は、前記回路に対する前記コイルの位置または向きを調整することができるコイル可動部を有し、
前記電源電流測定部は、前記コイル可動部により位置または向きが調整された前記コイルから電磁波が前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定することを特徴とする請求項３または４に記載の回路試験装置。
【請求項６】
前記判定部は、
前記電源電流の周波数と、前記電磁波の周波数とを比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記回路の故障を検出する検出部と
を有することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の回路試験装置。
【請求項７】
前記判定部は、
前記電源電流の周波数を、前記第１周波数および前記第２周波数と比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記回路の故障箇所を検出する検出部と
を有することを特徴とする請求項４に記載の回路試験装置。
【請求項８】
回路を試験する回路試験装置であって、
前記回路に交流電界を供給する交流電界供給部と、
前記交流電界供給部により交流電界が前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定する電源電流測定部と、
前記電源電流に基づいて、前記回路の故障の有無を判定する判定部と
を備えたことを特徴とする回路試験装置。
【請求項９】
前記回路にテストパターンを供給するパターン供給部を更に備え、
前記電源電流測定部は、前記パターン供給部により前記テストパターンが前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定することを特徴とする請求項８に記載の回路試験装置。
【請求項１０】
前記交流電界供給部は、所定の周波数を有する交流電界を前記回路に供給することを特徴とする請求項８または９に記載の回路試験装置。
【請求項１１】
前記交流電界供給部は、交流電界の周波数を変化させることができる交流電源を有し、
前記電源電流測定部は、前記交流電源により周波数を変化された交流電界が前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定することを特徴とする請求項１０に記載の回路試験装置。
【請求項１２】
前記回路が複数の論理素子を有するＣＭＯＳ回路を含むとき、
前記交流電界供給部は、前記複数の論理素子中の一部の論理素子の入力に交流電界を供給する複数のプローブを有することを特徴とする請求項８から１１のいずれかに記載の回路試験装置。
【請求項１３】
前記判定部は、
前記電源電流の周波数と、前記交流電界の周波数とを比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記回路の故障を検出する検出部と
を有することを特徴とする請求項８から１２のいずれかに記載の回路試験装置。
【請求項１４】
前記回路が複数の論理素子を有するＣＭＯＳ回路を含むとき、
前記パターン供給部は、前記複数の論理素子中の一部の論理素子が有する入力に対して、一つの入力に入力される入力信号が前記論理素子の出力を決定しないように、それぞれの入力に対して定められた前記入力信号の組み合わせである前記テストパターンを、前記論理素子に供給することを特徴とする請求項１から１３に記載の回路試験装置。
【請求項１５】
前記パターン供給部は、前記回路にランダムな前記テストパターンを供給することを特徴とする請求項１から１３に記載の回路試験装置。
【請求項１６】
前記回路が複数の論理素子を有するＣＭＯＳ回路を含むとき、
前記パターン供給部は、前記回路に含まれる全てのトランジスタを少なくとも一度動作させるように、前記テストパターンを前記回路に供給することを特徴とする請求項１から１３に記載の回路試験装置。
【請求項１７】
複数の論理素子を有するＣＭＯＳ回路であって、断線故障の有無を試験するために外部から供給される電磁波を受信して、前記複数の論理素子中の少なくとも一部の論理素子の入力に、電磁波に基づいて交流波形を供給する断線故障診断用アンテナを形成されたことを特徴とするＣＭＯＳ回路。
【請求項１８】
複数の論理素子を有するＣＭＯＳ回路であって、断線故障の有無を試験するために外部から供給される交流電界により荷電量を変化させ、前記複数の論理素子中の少なくとも一部の論理素子の入力に、交流波形を供給する断線故障診断用キャパシタを形成されたことを特徴とするＣＭＯＳ回路。
【請求項１９】
回路を試験する回路試験方法であって、
前記回路に電磁波を供給する電磁波供給段階と、
前記電磁波供給段階において電磁波が前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定する電源電流測定段階と、
前記電源電流に基づいて、前記回路の故障の有無を判定する判定段階と
を備えたことを特徴とする回路試験方法。
【請求項２０】
回路を生産する回路生産方法であって、
生成した前記回路に電磁波を供給する電磁波供給段階と、
前記電磁波供給段階において電磁波が前記回路に供給されている状態において、前記回路の電源電流を測定する電源電流測定段階と、
前記電源電流に基づいて、前記回路の故障の有無を判定し、故障の無い前記回路を選別する選別段階と
を備えたことを特徴とする回路生産方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】回路試験装置、回路試験方法、及び回路生産方法
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月18日(2004.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位と、一般式（II）で表される繰り返し単位とを含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する酸分解性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。
【化１】
2001166486.tif 000001
一般式（Ｉ）中、Ｙは水素原子、メチル基、シアノ基又は塩素原子を表す。Ｌは単結合または２価の連結基を表す。Ｒ'、Ｒ''及びＲ'''はそれぞれ独立に直鎖もしくは分岐のアルキル基、フェニル基、トリアルキルシリル基またはトリアルキルシリルオキシ基を表す。
【化２】
2001166486.tif 000002
式（II）中、Ｙは水素原子、メチル基、シアノ基または塩素原子を表す。Ｍ1は単結合又はアルキレン基、置換アルキレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、エステル基、カルボニル基、アミド基、エーテル基、チオエーテル基、ウレタン基及びウレア基からなる群から選択される単独もしくは２つ以上の基の組み合わせからなる２価の連結基を表す
。Ｑは下記一般式（ｐＩ）〜（ｐVI）で表される脂環式炭化水素構造を含む基を表す。
【化３】
2001166486.tif 000003
一般式（ｐＩ）〜（ｐVI）中、Ｒ11は、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基またはｓｅｃ−ブチル基を表し、Ｚは、炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成するのに必要な原子団を表す。
Ｒ12〜Ｒ16は、各々独立に、炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基または脂環式炭化水素基を表し、但し、Ｒ12〜Ｒ14のうち少なくとも１つ、あるいはＲ15及びＲ16のうちの少なくともいずれか一方は脂環式炭化水素基を表す。
Ｒ17〜Ｒ21は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜４個の直鎖もしくは分岐のアルキル基、または脂環式炭化水素基を表す。但し、Ｒ17〜Ｒ21のうち少なくとも１つは脂環式炭化水素基を表す。また、Ｒ19及び21のうちの少なくともいずれか一方は炭素数１〜４個の直鎖もしくは分岐のアルキル基、または脂環式炭化水素基を表す。
Ｒ22〜Ｒ25は、各々独立に、炭素数１〜４個の直鎖もしくは分岐のアルキル基、または脂環式炭化水素基を表す。但し、Ｒ22〜Ｒ25のうち少なくとも１つは脂環式炭化水素基を表す。
【請求項２】
該酸によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する酸分解性ポリマーが、更に一般式（III）で表される繰り返し単位を含有することを特徴とする請求項１記載のポジ型フォトレジスト組成物。
【化４】
2001166486.tif 000004
一般式(III）中、Ｙは水素原子、メチル基、シアノ基又は塩素原子を表す。Ｍ2は、単
結合又はアルキレン基、置換アルキレン基、橋かけ構造を有していてもよいシクロアルキレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、エステル基、カルボニル基、アミド基、エーテル基、チオエーテル基、ウレタン基及びウレア基からなる群から選択される単独もしくは２つ以上の基の組み合わせからなる２価の連結基を表す。
Ｒaは、水素原子、または置換基を有していてもよい、直鎖もしくは分岐のアルキル基を表す。Ｗは、結合する炭素原子と共にラクトン構造を形成するのに必要な原子群を表す。
【請求項３】
（Ａ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、
（Ｂ）請求項１または２記載の酸分解性ポリマー、並びに
（Ｃ）上記（Ａ）および（Ｂ）を溶解する少なくとも１種の溶剤
を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型フォトレジスト組成物によりレジスト膜を形成し、当該レジスト膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月18日(2004.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式（Ｉ）で示される繰り返し構造単位と、一般式（ＩＩ）で示される繰り返し構造単位の両方を有する酸分解性ポリシロキサンを含有する事を特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。
一般式（Ｉ）
【化１】
2001166485.tif 000001
Ｌは−Ａ−ＮＨＣＯ−、−Ａ−ＮＨＣＯＯ−、−Ａ−ＮＨＣＯＮＨ−から選択される少なくとも１つの２価の連結基を表す。Ａは単結合、アルキレン基またはアリーレン基を表す。Ｘは単結合または２価の連結基を表す。
Ｚは
【化２】
2001166485.tif 000002
で表される基のいずれか一方を表す。
Ｙは水素原子を表すか、または、Ｙはアルキル基、アリール基、又はアラルキル基を示す。Ｙが示す原子団は、直鎖状でもよく、分岐状でもよく、環状でもよい。Ｒは水素原子を表す。又は、Ｒは酸で分解する基を表す。ｌは１〜３の整数、ｍも１〜３の整数を表す。
一般式（ＩＩ）
【化３】
2001166485.tif 000003
上記Ａ’、Ｘ’、Ｚ’はそれぞれ一般式（Ｉ）のＡ、Ｘ、Ｚが総称する範囲と同一の範囲を総称する。
【請求項２】
前記一般式（Ｉ）において、Ｌが−（ＣＨ2）3−ＮＨＣＯ−である事を特徴とする請求項１記載のポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項３】
（ａ）請求項１又は２に記載の酸分解性ポリシロキサンと、
（ｂ）露光により分解して酸を発生する化合物と、
（ｃ）上記（ａ）（ｂ）を共に溶解させることが可能な溶剤と、を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項４】
分子内に含まれるフェノール性水酸基の少なくとも一部が、酸分解性基で保護されたフェノール性化合物を含有することを特徴とする請求項３記載のポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項５】
分子内に含まれるカルボキシル基の少なくとも一部が、酸分解性基で保護された芳香族もしくは脂肪族カルボン酸化合物を含有することを特徴とする請求項３記載のポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型フォトレジスト組成物によりレジスト膜を形成し、当該レジスト膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月2日(2004.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
この時、物体と合成光学素子Ｐの間に配置される光学系Ｇ１Ｒについて考えると、光学系Ｇ１Ｒの配置には、偏向ミラーＭ１Ｒに対して像側に光学系Ｇ１Ｒを配置する方法と、変更ミラーＭ１Ｒよりも、より物体側に配置する方法が考えられる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
次に図１の撮影光学系（変倍光学系）の第１レンズ群Ｇ１Ｒ（Ｇ１Ｌ）以降の光路を展開したときの数値実施例１，２を表−１，表−２に示す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
収差図において、（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ広角端、望遠端の収差図を表している。また、球面収差の図中、実線はｄ線、２点鎖線はｇ線、１点鎖線はｃ線を表している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
左右の光軸ＡＸＬ，ＡＸＲ間の距離（視差）量と、第１レンズ群と絞りまでの間隔を適切に設定し、絞りによる軸外光束のケラレを考慮すると、２つの反射面ＰＲ，ＰＬの間の角度Ｑは、
６０＜Ｑ＜８０（ｄｅｇ）
であることが望ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2001166258.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2001166258.tif 000002
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2001166258.tif 000003
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2001166258.tif 000004
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2001166258.tif 000005
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2001166258.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月5日(2004.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高水準コンピュータ言語プログラムに関する最適化された目的コードを生成する方法であって、
高水準コンピュータ言語プログラムのソース・コードをコンパイルして第１の目的コードを生成するステップ(a)と、
実行の際にプロファイル情報を生成する機能を持つプロファイル作成コードを含む第２の目的コードに上記第１の目的コードを変換し(b1)、該第２の目的コードを実行してプロファイル情報を生成する(b2)ことを含む上記第１の目的コードに関するプロファイル情報を生成するステップ(b)と、
上記プロファイル情報を使用して上記ソース・コードを再コンパイルすることによって、最適化された目的コードを生成するステップ(c)と、
を含む最適目的コード生成方法。
【請求項２】
上記第１の目的コードをテストし、妥当性を検査するステップ(d)を、上記ステップ(a)の後に更に含む、請求項１に記載の最適目的コード生成方法。
【請求項３】
実行の際に追加プロファイル情報を生成する機能を持つプロファイル作成コードを含む第３の目的コードに上記最適化された目的コードを変換し(d1)、該第３の目的コードを実行して追加プロファイル情報を生成する(d2)ことを含む上記最適化された目的コードに関する追加プロファイル情報を生成するステップ(d)と、
上記追加プロファイル情報を使用して上記ソース・コードを再コンパイルすることによって、更に最適化された目的コードを生成するステップ(e)と、
を上記ステップ(c)の後にさらに含む、請求項１に記載の最適目的コード生成方法。
【請求項４】
上記ステップ(a)が上記第１の目的コードに注釈を挿入することを含む、請求項１に記載の最適目的コード生成方法。
【請求項５】
上記ステップ(b1)において、第１の目的コード内の注釈が第２の目的コード内のプロファイル作成コードの内容を決定する、請求項４に記載の最適目的コード生成方法。
【請求項６】
コンピュータ・システムであって、
高水準言語プログラムに関する第１の目的コードを第２の目的コードに変換し、実行の際にプロファイル情報を生成する機能を持つプロファイル作成コードを該第２の目的コードに追加する手段を含む、変換器と、
該第２の目的コードを実行してプロファイル情報を生成する、実行手段と、
を備えるコンピュータ・システム。
【請求項７】
ソース・コードをコンパイルして上記第１の目的コードを生成するコンパイラを更に備える、請求項６に記載のコンピュータ・システム。
【請求項８】
上記第２の目的コードのサブセットを持つモジュールを記憶する変換コード・キャッシュを更に備える、請求項６に記載のコンピュータ・システム。
【請求項９】
ブロック情報マップへのアドレスと、ブロック情報テーブルと、を更に備える、請求項８に記載のコンピュータ・システム。
【請求項１０】
上記第１の目的コードおよび上記第２の目的コードが同じ機械命令セットを利用する、請求項６に記載のコンピュータ・システム。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月7日(2005.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビームを放射する光源と、被露光面に前記光源から放射される電子ビームにより形成される中間像を縮小投影する縮小電子光学系とを有する電子ビーム露光装置において、
前記中間像を形成する要素電子光学系を、前記縮小電子光学系の光軸に直交する面内に複数配列した要素電子光学系アレイと、
各前記要素電子光学系の電子光学特性を調整することにより前記中間像の形成位置を調整する第１の調整手段と、
前記縮小電子光学系の電子光学特性を調整する第２の調整手段と、
前記要素電子光学系アレイからの電子ビームを偏向させて前記被露光面内で走査させる偏向手段と、を備え、
前記要素電子光学系アレイからの電子ビームを偏向する際に発生する偏向収差を前記第１の調整手段および前記第２の調整手段によって補正することを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項２】
前記第１の調整手段は、前記縮小電子光学系の光軸方向における前記中間像の形成位置を調整する第１中間像形成位置調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム露光装置。
【請求項３】
前記要素電子光学系は、ユニポテンシャルレンズで構成され、前記第１中間像形成位置調整手段は、前記ユニポテンシャルレンズの焦点位置を調整することを特徴とする請求項２に記載の電子ビーム露光装置。
【請求項４】
前記第２の調整手段は、前記縮小電子光学系の焦点位置を調整することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項５】
前記第１の調整手段は、前記要素電子光学系の非点収差を調整することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項６】
前記第２の調整手段は、前記縮小電子光学系の非点収差を調整することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項７】
前記第１の調整手段は、前記縮小電子光学系の光軸方向と直交する方向における前記中間像の形成位置を調整する第２中間像形成位置調整手段を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項８】
前記第２中間像形成位置調整手段は、前記要素電子光学系アレイの前記縮小電子光学系側に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の電子ビーム露光装置。
【請求項９】
前記第１の調整手段および前記第２の調整手段は、電子ビーム露光に先立ち得られたデータに基づいて、前記偏向収差を補正することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１１】
光源から放射された電子ビームにより形成される中間像を縮小電子光学系によって被露光面に縮小投影する電子ビーム露光方法において、
複数の要素電子光学系によって形成される前記中間像のそれぞれを前記縮小電子光学系の光軸に直交する方向に配列させる段階と、
前記要素電子光学系からの電子ビームを偏向させて前記被露光面内で走査させる段階と、
前記要素電子光学系からの電子ビームを偏向する際に発生する偏向収差を、各前記要素電子光学系の電子光学特性を調整することで前記中間像の形成位置を調整するとともに前記縮小電子光学系の電子光学特性を調整することにより、補正する段階とを有することを特徴とする電子ビーム露光方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電子ビーム露光方法を用いて露光された被露光物体を現像する段階を有するデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の電子ビーム露光装置のある形態は、電子ビームを放射する光源と、被露光面に前記光源から放射される電子ビームにより形成される中間像を縮小投影する縮小電子光学系とを有する電子ビーム露光装置において、前記中間像を形成する要素電子光学系を、前記縮小電子光学系の光軸に直交する面内に複数配列した要素電子光学系アレイと、各前記要素電子光学系の電子光学特性を調整することにより前記中間像の形成位置を調整する第１の調整手段と、前記縮小電子光学系の電子光学特性を調整する第２の調整手段と、前記要素電子光学系アレイからの電子ビームを偏向させて前記被露光面内で走査させる偏向手段と、を備え、前記要素電子光学系アレイからの電子ビームを偏向する際に発生する偏向収差を前記第１の調整手段および前記第２の調整手段によって補正することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記第１の調整手段は、前記中間像の前記縮小電子光学系の光軸方向における前記中間像の形成位置を調整する第１中間像形成位置調整手段を有することが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記要素電子光学系は、ユニポテンシャルレンズで構成されることが好ましく、前記第１中間像形成位置調整手段は、前記ユニポテンシャルレンズの焦点位置を調整することが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記第２の調整手段は、前記縮小電子光学系の焦点位置を調整することが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記第１の調整手段は、前記要素電子光学系の非点収差を調整することが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記第１の調整手段は、前記縮小電子光学系の光軸方向と直交する方向における前記中間像の形成位置を調整する第２中間像形成位置調整手段を有することが好ましい。さらに、前記第２中間像形成位置調整手段は、前記要素電子光学系アレイの前記縮小電子光学系側に配置されていることが好ましい。ここで、前記第１の調整手段および前記第２の調整手段は、電子ビーム露光に先立ち得られたデータに基づいて、前記偏向収差を補正することが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の電子ビーム露光方法のある形態は、光源から放射された電子ビームにより形成される中間像を縮小電子光学系によって被露光面に縮小投影する電子ビーム露光方法において、複数の要素電子光学系によって形成される前記中間像のそれぞれを前記縮小電子光学系の光軸に直交する方向に配列させる段階と、前記要素電子光学系からの電子ビームを偏向させて前記被露光面内で走査させる段階と、前記要素電子光学系からの電子ビームを偏向する際に発生する偏向収差を、各前記要素電子光学系の電子光学特性を調整することで前記中間像の形成位置を調整するとともに前記縮小電子光学系の電子光学特性を調整することにより、補正する段階とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月9日(2004.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データを入力するために操作する入力手段を備えたデータ入力装置と、このデータ入力装置から与えられた前記データに応じて所定のデータ処理を行うデータ処理装置と、を備えたデータ処理システムにおいて、
前記データ入力装置は、前記データの入力媒体として使用され、かつ一端に少なくともページ番号を表す情報が印刷されたコード部を備える複数枚のカードと、この複数枚のカードの枚数を増減可能に積層するための積層手段と、前記カードに対して位置的にオフセットされて前記コード部に臨むように前記積層手段に対して配置され、かつ前記コード部の情報を非接触で検出する検出手段と、を備え、
前記データ処理システムは、この入力情報から所定のデータ処理を行うように構成されたデータ処理システム。
【請求項２】
前記積層手段は、前記複数枚のカードを観音開き可能な状態に保持した手段である請求項２記載のシステム。
【請求項３】
前記コード部は、前記ページの情報を含むバーコードである請求項２記載のシステム。
【請求項４】
前記コード部の面積は、前記カードの積層枚数の減少に伴って拡大して形成してある請求項１乃至３のいずれか１項記載のシステム。
【請求項５】
前記検出手段は、不特定多数の光軸の光を発する発光素子と、この発光素子からの光が前記コード部で反射されたことに伴う反射光を受ける受光素子とを備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載のシステム。
【請求項６】
前記検出手段は、前記発光素子と前記コード部との間の光路および前記コード部と前記受光素子との間の光路の少なくとも一方に配置した光反射板を備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載のシステム。
【請求項７】
前記発光駆動手段は特定周波数の信号で変調させ前記光を前記発光素子から発光させる回路を備え、前記信号処理手段は前記受光素子で受けた前記反射光の中から前記特定周波数の信号を抽出する回路を備えたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載のシステム。
【請求項８】
前記コード部はそのビット毎に参照用の基準面と前記情報を持った検出面とを有し、前記受光素子は前記検出面からの前記反射光を受ける一方の受光素子と前記基準面からの前記反射光を受ける他方の受光素子とを対としてビット毎に備え、前記信号処理手段は前記一方の受光素子の出力信号と前記他方の受光素子の出力信号とを比較して前記情報を読み取る回路を備えた請求項１乃至７のいずれか１項記載のシステム。
【請求項９】
請求項１−８のいずれか１項記載のシステムに使用される請求項１記載の前記入力媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月25日(2004.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面発光装置において、
上部透明電極、下部電極、前記上部透明電極及び前記下部電極間に位置する活性膜、及び該活性膜及び前記下部電極間に位置する絶縁膜を包含する薄膜エレクトロルミネセンス積層と、
前記上部透明電極の上部にあって複数の側面と上面を有するキャップであって、出射側面とされる１つの側面の透過係数が反射側面とされる少なくとも１つの他の表面の透過係数より高く、その結果、前記活性膜から前記キャップへ伝播するエレクトロルミネセンス光の大部分が前記反射側面からよりも前記出射側面から外部へ出射されるようにしたキャップとを含んで成り、
前記活性膜、前記キャップ及び前記上部透明電極は、それぞれ相応する屈折率を有し、
前記活性膜から前記キャップへ伝播するエレクトロルミネセンス光の量を増やすため、前記キャップと前記上部透明電極の両屈折率は、実質上前記活性膜の屈折率と整合させることを特徴とする端面発光装置。
【請求項２】
前記出射側面の透過係数は、他の全ての側面及び上面の透過係数より高く、且つ上面並びに出射側面以外の全ての側面が反射表面であることを特徴とする、請求項1に記載の端面発光装置。
【請求項３】
前記上部透明電極は、硫化カドミウムから製造されることを特徴とする、請求項１に記載の端面発光装置。
【請求項４】
前記下部電極から前記活性膜中へ反射して戻される光量を増加させるため、前記出射側面の傾斜状態が制御されることを特徴とする、請求項１に記載の端面発光装置。
【請求項５】
前記下部電極から前記活性膜中へ反射して戻される光量を増加させるため、前記絶縁層の厚さが制御されることを特徴とする、請求項１に記載の端面発光装置。