(57)【要約】  ２つのデバイス間で対向する第１の電極群と第２の電極群とを電気的に接続する複数個の接続子を備える電気的接続体を、（ａ）前記接続子の前記第１の電極群の電極と接触する第１の接点は、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応し、（ｂ）前記接続子の前記第２の電極群の電極と接触する第２の接点は、少なくとも２つの群を形成する。
2008035570.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つのデバイス間で対向する第１の電極群と第２の電極群とを電気的に接続する複数個の接続子を備える電気的接続体であって、
（ａ）前記接続子の前記第１の電極群の電極と接触する第１の接点は、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応し、
（ｂ）前記接続子の前記第２の電極群の電極と接触する第２の接点は、少なくとも2つの群を形成し、隣接する２つの群内では、それぞれ前記接続子が他方の群と対向状に配列されるとともに、隣接する前記２群は、前記接続子の配列方向に沿って直接対向して配列される前記接続子の前記第２の接点が以下の式（１）で表される距離離間されて配置されている、電気的接続体。
（２ｃ＋１）√（ａ２＋（ｎｂ）２）                            （１）
（ただし、ｎは０以上の整数であり、ｃは、前記接続子の配列方向に沿う前記第１の接点間の距離に対する前記接続子における前記第１の接点と前記第２の接点間の距離の差の割合を表す。）
【請求項２】
（ｃ）前記接続子は、前記格子を構成するいずれかの格子線に対して以下の式（２）で表される角度θをなして配列される、請求項１に記載の電気的接続体。
tanθ＝ｎｂ／ａ                                      （２）
（ただし、ｎは０以上の整数である。）
【請求項３】
ｎ＝０であり、ｃ≧１である、請求項１又は２に記載の電気的接続体。
【請求項４】
ｎ＝１であり、０．２≦ｃ≦０．９である、請求項１又は２に記載の電気的接続体。
【請求項５】
ｎ≧２であり、０．２≦ｃ≦０．９である、請求項１又は２に記載の電気的接続体。
【請求項６】
ｃ≧１である、請求項１又は２に記載の電気的接続体。
【請求項７】
ｎ≧２である、請求項１又は２に記載の電気的接続体。
【請求項８】
前記接続子の第２の接点は、当該接続子の第１の接点が対応する前記格子上の交点とは異なる交点に対応する、請求項１〜７のいずれかに記載の電気的接続体。
【請求項９】
前記群を区分する境界線は、前記格子を構成するいずれかの格子線にほぼ平行である、請求項１〜８のいずれかに記載の電気的接続体。
【請求項１０】
前記群を区分する境界線は、前記格子の対角線にほぼ平行である、請求項１〜８のいずれかに記載の電気的接続体。
【請求項１１】
前記群を区分する境界線は、前記格子を構成するいずれかの格子線に対して、以下の式（２）で表される角度θをなす、請求項１〜８のいずれかに記載の電気的接続体。
tanθ＝ｎｂ／ａ                                      （２）
（ただし、ｎは０以上の整数である。）
【請求項１２】
（ｄ）前記格子を構成する格子線は、前記接続子の配列領域のいずれかの外辺に対して前記角度θをなす、請求項２に記載の電気的接続体。
【請求項１３】
ｎ≧１であり、０．２≦ｃ≦４である、請求項１２に記載の電気的接続体。
【請求項１４】
前記角度θは２５°以上６５°以下である、請求項１２又は１３に記載の電気的接続体。
【請求項１５】
ａ＝ｂである、請求項１〜１４のいずれかに記載の電気的接続体。
【請求項１６】
前記接続子を保持する担体が弾性体である、請求項１〜１５のいずれかに記載の電気的接続体。
【請求項１７】
前記接続子は、前記第１の接点及び前記第２の接点にそれぞれ接触し、板厚がバネ厚に対応する平板状ビームを備える、請求項１〜１６のいずれかに記載の電気的接続体。
【請求項１８】
前記平板状ビームは、前記第１の電極群及び前記第２の電極群に接触する負荷が付与されたときの応力が一方の面では引張応力となり他方の面では圧縮応力となるよう構成されている、請求項１７に記載の電気的接続体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気的接続体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体の集積度の向上に伴い、パッケージの電極はアレイ配置になり電極数も5000ピンクラスのものがある。アレイ型パッケージは多くの場合BGA（ボール・グリッド・アレイ）として基板に直接半田付けされるが、大型化による半田の熱応力割れや、交換・メンテナンスの要望から圧力接続によるソケットを介したLGA（ランド・グリッド・アレイ）方式が増加している。例えば、LGAパッケージにおいてはその外形サイズの大型化と電極ピッチの狭小化が進んでおり、これに対応したＬＧＡソケットなどの電気的接続体が要望されている。【０００３】
また、半導体の生産性向上のためウェハーサイズが直径300ｍｍ〜400mmへと大型化されると、同時に検査したい電極の数は数千ピンから数万ピンへ飛躍的に高まる。したがって、半導体検査装置におけるプローブなどの電気的接続体もこうしたウェハー大型化に対応し更に狭ピッチ化する必要がある。一方、製品形態が増加するなどにより、検査装置もウェハー側のプローブの電気的接続体のみを交換することが望まれている。【０００４】
このような平面電極同士を接続する薄型のLGAソケットの接続子には、ばね特性、電気特性、コスト面からカンチレバー型が主として使われている。カンチレバー型接続子は、変位や荷重の要件の充足のために、斜めに立ち上がった方向に一定のビーム長さを必要とするため、狭ピッチ化に対応するためには、接続子の配列方法を工夫しなければならなかった。【０００５】
また、カンチレバー型の場合、接続子の先端がデバイスの電極上を滑りながら、表面の酸化皮膜を破って、安定な電気接続を得るという特徴がある。しかし超多ピンの場合ビームが同じ方向を向いていると全体の滑り力が大きくなって、デバイスと接続体の間に大きな反作用が生ずる。特に接続体の基材部分がフィルム状の弾性体の場合にはこの基材部分にうねりや、変形が生じ、安定な接続を阻害することがあった。【０００６】
このような問題を解決する方法として、一列置きにビームの方向を対抗させて、全体としてスライド力のバランスを取る方法が開示されている（特許文献１、２、３等）。
【特許文献１】米国特許第6293808号明細書
【特許文献２】米国特許第6971885号明細書
【特許文献３】特開2006-49260号公報
【発明の開示】
【０００７】
しかしながら、特許文献１、２が開示する方法は、ビームの配列方向が担体の外辺に平行又は４５°で傾斜している場合に限定され、それ以外のビーム配列方向については開示されていない。また、これらの特許文献においては、いずれも接続子における上部コンタクト１と下部コンタクト２の接点は同じ位置にあり、上下のデバイスは同じ電極パターンとするのを前提としている。
【０００８】
一方、特許文献３は、1列おきではなく区域に分けて、担体の外辺に対して45°方向のコンタクトを対抗させ、更に上下の接点に位置も同じ位置にはない図を開示している。しかしながら、この方法もビーム長よりも狭ピッチ化した場合にビーム長を確保できる配列構造については開示していない。更にMEMS（Micro Electro Mechanical System）でビームを一括形成する場合、材料方向が限定され、特性や歩留まりを犠牲にすることがある。
【０００９】
そこで、本発明は、狭ピッチ化しても機械的特性や電気的特性などがこれまでのピッチと同等なカンチレバー型の接続子に要請される特性を得ることができる接続子配列構造を有する電気的接続体を提供することを一つの目的とする。また、本発明は、多ピン化に伴う摺動力による電気的接続体へ不具合の発生を回避又は抑制できる配列構造を有する電気的接続体を提供することを他の一つの目的とする。さらに、本発明は、効率的に接続子を配列させることができる接続子配列構造を有する電気的接続体を提供することを他の一つの目的とする。
【００１０】
本発明者らは、上記した課題を解決するべく検討したところ、デバイスの電極に接触する接点の配列情報や接続子に要請されるビーム長に関する情報等に基づいて、当該接続子に要請される特性を確保し摺動力を抑制することができる配列構造を決定できることを見出し、本発明を完成した。また、こうした配列構造を利用することで良好な特性を有する接続子を製造できることを見出し、本発明を完成した。すなわち、本発明によれば、以下の手段が提供される。
【００１１】
本発明によれば、２つのデバイス間で対向する第１の電極群と第２の電極群とを電気的に接続する複数個の接続子を備える電気的接続体であって、
（ａ）前記接続子の前記第１の電極群の電極と接触する第１の接点は、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応し、
（ｂ）前記接続子の前記第２の電極群の電極と接触する第２の接点は、少なくとも2つの
群を形成し、隣接する２つの群内では、それぞれ前記接続子が他方の群と対向状に配列されるとともに、隣接する前記２群は、前記接続子の配列方向に沿って直接対向して配列される前記接続子の前記第２の接点が以下の式（１）で表される距離離間されて配置されている、
電気的接続体が提供される。
（２ｃ＋１）√（ａ2＋（ｎｂ）2）                            （１）
（ただし、ｎは０以上の整数であり、ｃは、前記接続子の配列方向に沿う前記第１の接点間の距離に対する前記接続子における前記第１の接点と前記第２の接点間の距離の差の割合を表す。）
【００１２】
また、本発明の電気的接続体は、さらに、（ｃ）前記接続子は、前記格子を構成するいずれかの格子線に対して以下の式（２）で表される角度θをなして配列されていてもよい。この場合、式（２）において好ましくは、ｎは１以上である。
tanθ＝ｎｂ／ａ                                      （２）
（ただし、ｎは０以上の整数である。）
【００１３】
さらに、本発明の電気的接続体は、（ｄ）前記格子を構成する格子線は、前記接続子の配列領域のいずれかの外辺に対して前記角度θをなしていてもよい。この場合、式（２）において好ましくは、ｎは１以上である。
【００１４】
本発明の電気的接続体においては、前記接続子の第２の接点は、当該接続子の第１の接点が対応する前記格子上の交点とは異なる交点に対応していてもよい。さらに、前記接続子の第２の接点の２つの前記群を区分する境界線は、前記格子を構成するいずれかの格子線にほぼ平行であってもよいし、また、前記接続子の第２の接点の２つの前記群の区分する境界線は、前記格子の対角線にほぼ平行であってもよいし、さらに、前記接続子の第２の接点の２つの前記群の区分する境界線は、前記格子を構成する格子線に対して、上記式（２）で表される角度θをなしていてもよい。この場合、式（２）において好ましくは、ｎは１以上である。
【００１５】
また、本発明の電気的接続体においては、前記格子の構成する格子線は、前記第１の接点の形成領域の輪郭を構成するいずれかの外辺に対して上記式（２）で表される角度θをなしいてもよい。この電気的接続体においては、ｎ≧１であり、０．２≦ｃ≦４であることが好ましい。また、この電気的接続体においては、前記角度θは２５°以上６５°以下であることが好ましい。さらに、ａ＝ｂであることも好ましい。
【００１６】
本発明の電気的接続体においては、前記接続子を保持する担体が弾性体とすることができる。
【００１７】
本発明の電気的接続体においては、前記接続子は、前記第１の接点及び前記第２の接点にそれぞれ接触し、板厚がバネ厚に対応する平板状ビームを備えることができ、さらに、この平板状ビームは、第１の電極群及び第２の電極群に接触する負荷が付与されたときの応力が一方の面では引張応力となり、他方の面では圧縮応力となるよう構成されていることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の接続子と電極との関係を示す図（ａ）と電極の配列を示す図（ｂ）。
【図２】接続子を格子線を格子線に対して傾けて配列する例を示す図（ａ）〜（ｃ）。
【図３】第２の接点群における第２の接点間距離を示す図。
【図４】第１の接点と第２の接点の配列の一例を示す図。
【図５】第１の接点と第２の接点の配列の他の一例を示す図。
【図６】第１の接点と第２の接点の配列の他の一例を示す図。
【図７】第１の接点と第２の接点の配列の他の一例を示す図。
【図８】格子の角度変換を伴う第１の接点と第２の接点の配列の一例を示す図。
【図９】実施例１の接続子の配列方向についての説明図。
【図１０】実施例１における接点の配列の一例を示す図。
【図１１】実施例２の接続子の配列方向についての説明図。
【図１２】実施例２における接点の配列の一例を示す図。
【図１３】実施例３の接続子の配列方向についての説明図。
【図１４】実施例３における接点の配列についての一例を示す図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の電気的接続体は、２つのデバイス間で対向する第１の電極群と第２の電極群とを電気的に接続する複数個の接続子を備える電気的接続体であって、
（ａ）前記接続子の前記第１の電極群の電極と接触する第１の接点は、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応し、
（ｂ）前記接続子の前記第２の電極群の電極と接触する第２の接点は、少なくとも2つの群を形成し、隣接する２つの群内では、それぞれ前記接続子が他方の群と対向状に配列されるとともに、隣接する前記２群は、前記接続子の配列方向に沿って直接対向して配列される前記接続子の前記第２の接点が以下の式（１）で表される距離離間されて配置されていることを特徴としている。【００２０】
本発明の電気的接続体によれば、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点を第１の接点としてビームが指向する接続子の配列において、第２の接点の２つ以上の群を、上記式（１）で表される距離離間して備えさせることで、摺動力による反作用等による電気的接続体への不具合が回避又は抑制された電気的接続体を得ることができる。また、上記式（２）で表される角度θをなして配列させることで、接続子に要求されるビーム方向についてこれまでと同等の機械的特性（変位、ばね荷重、高温特性等）や電気的特性（導体抵抗、高周波特性）を得ることができる接続子の配列構造が得られるとともに、したがって、本発明の電気的接続体によれば、狭ピッチ化や多ピン化に容易に対応可能となっている。【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。【００２２】
（電気的接続体）
図１（ａ）には、本発明の電気的接続体２の一例の部分構造と、デバイス１００、１１０との関係を示す。電気的接続体２は、担体４と接続子１０とを備えており、接続子１０は種々の形態で担体４に保持されている。【００２３】
（接続子）
接続子１０の形状は特に限定しない。その先端側が対向されるデバイス１００、１１０の電極１０２、１０４に接触可能な接点１４ａ、１４ｂを有するコンタクト１２ａ、１２ｂを備えていてもよいし、これらのコンタクト１２ａ、１２ｂをそれぞれ別個の接続子として有するものであってもよい。コンタクト１２ａ、１２ｂは、それぞれ又は一方がカンチレバー状であってもよいし、各種形態の座屈バネ状であってもよい。しかし座屈ばねは先端の位置決めをするため新たなガイド板が必要にになることや、変位の大きさ及び接触荷重の設計自由度の観点から、カンチレバー状であることが好ましい。【００２４】
カンチレバー型接続子としては、特に限定しないが、例えば、図１（ａ）に示すように、先端に上方に配置されるデバイスの電極との接点を有するビーム状コンタクト１２ａと下方に配置されるデバイスの電極との接点を有するコンタクト１２ｂを備えるものであってもよいし、上下にビーム状コンタクトを有するものであってもよい。必要に応じて、接点１４ａ、１４ｂに半田ボールを備えるものであってもよい。【００２５】
コンタクト１２ａ、１２ｂは、平板状ビームであってもよいし、ワイヤー状ビームであってもよいが、導体抵抗を低減させる観点からは、平板状ビームであることが好ましい。また、コンタクト１２ａ、１２ｂは、板厚がバネ厚に対応する平板状ビームであることがより好ましい。こうした平板状ビームであると容易に強度と大きな変位を得ることができる。また、平板状コンタクト１２ａ、１２ｂは、デバイスの電極に接触するような負荷がかかったとき、応力が板厚の一方の面では引張応力となり、板厚の他方の面では圧縮応力となるよう構成されていることが好ましい。すなわち、電極接触時において、平板状ビームであるコンタクト１２ａ、１２ｂがそれぞれ板厚に対して一方側にのみ撓むように構成されていることが好ましい。このような平板状コンタクト１２ａ、１２ｂによれば、コンタクト１２ａ、１２ｂの長さで変位を調節するが、本発明はこうした平板状コンタクト１２ａ、１２ｂのコンタクト長をコンタクト長よりも狭いピッチ間隔でも容易に確保することができる。【００２６】
また、平板状コンタクトとしては、接続子１０の中央側から先端側に向かって幅が狭くなるように形成されていることが好ましい。ビーム幅が狭くなることで、接続子１０の表面応力をそのコンタクト１２ａ、１２ｂの長さ方向にわたって均一にしつつ大きな変位を付与することができる。平板状のカンチレバーは、平板を所定の形状に打ち抜きしたりあるいはエッチングによりに部分的に除去することにより所定形状に加工することによって得ることができる。【００２７】
接続子１０のコンタクト１２ａ、１２ｂの長さ方向は、その材料が圧延金属材料である場合には、その圧延方向に一致していることが好ましい。こうすることで好ましいバネ特性を得ることができる。【００２８】
本発明においては、コンタクト長さが異なるカンチレバー型接続子を対象とすることが好ましい。こうした接続子１０の場合、両方のコンタクトの接点位置が複雑化するため、接続子１０の配列を決定することが困難であったが、本発明を適用することにより容易に接続子１０の配列を決定することができるからである。【００２９】
こうした接続子１０を構成する材料としては、特に限定しないが、例えば、ベリリウム銅、チタン銅、銅・ニッケル・錫合金、銅・ニッケル・シリコン合金及びニッケルベリリウムから選択されるいずれかを用いることができる。なかでも、導電性と耐久性の観点からベリリウム銅を用いることが好ましい。なお、こうした材料の表面は、ニッケルなどの下地メッキなどを施した後金メッキを施すことができる。【００３０】
（担体）
接続子１０を保持する担体４についても特に限定しないで、従来公知の各種の担体を用いることができる。電気的接続体２の担体４として、特に限定しないが、ＦＲ４などのガラス繊維含有エポキシ樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などのエンジニアリングプラスチックのほか、各種セラミックスが挙げられる。特に、本発明の電気的接続体においては、担体４が弾性体であることが好ましい。弾性体であると、相手のデバイスの平面度に追従してコンタクトにかかる力によって担体４自身が（面間で）動き、コンタクトに必要以上の負荷を掛けずに良好な導通を得ることができるからである。【００３１】
（接続子の配列）
次に、電気的接続体２における接続子１０の配列について説明する。【００３２】
（第１の接点の配列）
図１（ｂ）に示すように、本発明の電気的接続体２は、対向する電極１０２に接触するコンタクト１２ａ、１２ｂの第１の接点１４ａ及び第２の接点１４ｂのいずれかは、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応していることが好ましい。ここで格子とは、周期的に並んだ方形状の仕切りからなる幾何学模様である。方形状の仕切りは、正方形でも長方形であってもよい。格子は、担体４の少なくとも一つの外辺又は接続子１０の配列領域の少なくとも一つの外辺に対して正立してもよいし、傾斜していてもよい。なお、接続子１０の配列領域の外辺とは、配列された接続子１０の接点１４ａ又は接点１４ｂの最も外側の接点１４ａ又は接点１４ｂを接続した輪郭線である。以下、格子が担体４の少なくとも一つの外辺又は接続子１０の配列領域の外辺に対して正立している場合について説明するものとする。【００３３】
格子上の交点は、すなわち、電極１０２の配置に対応している。格子上の交点を接点１４ａとすることで、接続子１０のコンタクト１２ａの方向を容易に決定することができる。好ましくは、接続子１０の両方の接点１４ａ、１４ｂがそれぞれ格子上の交点に対応し、当該交点にある電極１０２、１０４に接触するようになっている。【００３４】
格子のピッチサイズ等について特に限定しない。通常、０．５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下である。本発明を適用するのに好ましいピッチサイズは０．６５mm以上１．２７mm以下である。この範囲においては、従来カンチレバー型接続子を効果的に配列させることが困難であったからである。より好ましくは０．６５mm以上１．０mm以下である。また、ピッチサイズにおけるａ及びｂはどういった比率であってもよいが、ａ＝ｂであると電極位置を把握しやすい点で有利である。【００３５】
なお、接点１４ａ（電極１０２）の格子と接点１４ｂ（電極１０４）の格子とは多くの場合一致するが、狭ピッチ、多ピンの場合にビーム方向を対向させるとピッチサイズが一致してもその位置関係において一致する場合は、限定され、多くの場合、電極１０２と電極１０４の位置、すなわち、第１の接点１４ａと第２の接点１４ｂとは対向するデバイス１００、１１０間において異なっている（オフセットされている）。限定的に接点１４ａの格子と接点１４ｂの格子の交点がデバイス間で一部が重なる（実質的に一致する）のは、後述するように、対向配置される２つの第２の接点群の直接対向する第２の接点１４ｂの離間距離が接点間ピッチの整数倍になるときである。また、ｃが０．２以下など小さい場合には、電極１０２と電極１０４とは電極位置は実質的に同一である。【００３６】
（接続子の配列方向）
接続子１０の配列を決定するのにあたっては、配列するのがより困難と考えられるコンタクトを基準とすることが好ましい。例えば、図１（ａ）に示すように接続子１０が２つのコンタクト１２ａ、１２ｂを備える場合には、より長いコンタクト１２ａを基準として用いて接続子１０の配列方向を決定することが好ましい。以下、接続子１０のより長いコンタクト１２ａの長さ等に基づいて接続子１０の配列方向を決定する方法について説明する。【００３７】
接続子１０はコンタクト１２ａの接点１４ａが格子上の交点に到達されるように配列されていればよい。接続子１０は、格子を構成する格子線（ピッチａ方向の格子線又はピッチｂ方向の格子線）に沿って接続子１０のコンタクト１２ａを配列させてもよいし、格子線に対して傾けて配列させてもよい。特に、狭ピッチ化、多ピン化のなか、長いビーム長が要求される場合には、接続子１０のコンタクト１２ａを格子線に平行でなく傾斜させて、その接点１４ａが格子上の交点に到達するように配列することが好ましい。こうすることで、実質的に長い接点間ピッチを得ることができる。【００３８】
このためには、上記式（２）においてｎを適宜に設定して角度θを適宜に設定し、格子に対して接続子１０を角度θ傾けて配置することができる。こうすることで、電極（接点）間距離として設定されている格子のピッチ（ａ及びｂ）を変更することなく接続子１０のコンタクト１２の方向に沿う第１の接点間ピッチ（以下、単に接点間ピッチともいう。）を大きく採ることができる。【００３９】
以下、ピッチａに沿う格子線に対して接続子１０を傾ける場合について説明する。図２（ａ）に示すように、ｎが０以上の整数のとき、上記式（２）における角度θ傾けたときの接点間距離は、√（ａ2+（ｎｂ）2）で表される。したがって、ｎ＝０のときには、接点間ピッチ（√（ａ2+（ｎｂ）2））はａであり、格子ピッチａと変わらないが、図２（ｂ）に示すように、ｎ＝１のときには、接点間ピッチは格子の対角線の長さ（√（ａ2+ｂ2））となり、さらに、図２（ｃ）に示すように、ｎ＝２のときには、２つの連続する格子の対角線（√（ａ2+（２ｂ）2））が接点間ピッチとなる。このように接続子１０を傾けて格子ピッチ（ここではａ）よりも実際の接点間ピッチを大きく採ることで、長いビーム同士を互いの干渉を抑制して配列することができるようになる。長いビームを干渉なく配列することで、狭ピッチ化や多ピン化に関わらずビーム長の長い接続子１０を配列させることができる。【００４０】
なお、ｎが適切かどうか、すなわち、角度θないし接点間ピッチが接続子１０に適したものであるかどうかは、接点間ピッチが接続子１０の所定長さのコンタクト１２ａよりも長いかどうかとか、コンタクト１２ａの特性を発揮させるのに十分かどうかで判断することができる。【００４１】
（第２の接点の配列）
本発明においては、上記のように格子の交点にコンタクト１２ａの接点１４ａを到達するように接続子１０の配列方向を決定できるとともに、接続子１０が電極１０２、１０４と接触する際、摺動力を相殺できるような配列を決定することができる。すなわち、所定の配列方向で配列された接続子１０を、コンタクト１２ａが対向するように２群以上に区画して担体４上に配列することが好ましい。具体的には、隣接する２つの群に含まれる接続子１０は各群においてはコンタクト１２ａの接点１４ａが同方向を指向するように配置されるとともに、他方の群に含まれる接続子１０のコンタクト１２ａの接点１４ａと対向するように配列されている。【００４２】
対向配置される２つ以上の群は、２つの対向配置される群の境界線（中央線）が担体４上の接続子１０の形成領域の中央に位置するように配置されることが好ましい。こうすることで摺動力が効果的に相殺されるからである。境界線は、接続子１０の形成領域を上下に２分するものであってもよいし、左右に２分するものであってもよいし、さらに斜めに２分するものであってもよい。【００４３】
さらに、図３に示すように、２つの対向する群において、接続子１０の配列方向（コンタクト１２ａの伸長方向）に沿って同軸上で直接対向される接続子１０における第２の接点１４ｂが以下の式（１）で算出される距離以上離間されていることが好ましい。
（２ｃ＋１）√（ａ2＋（ｎｂ）2）                            （１）
（ただし、ｎは０以上の整数であり、ｃは、前記接続子の配列方向に沿う前記第１の接点間の距離（接点間ピッチ）に対する前記接続子における前記第１の接点と前記第２の接点間の距離の割合を表す。）【００４４】
このように対向配置される２つの接続子１０の第２の接点１４ｂが上記距離離間されていれば、接続子１０のコンタクト１２ａ同士の干渉を回避して摺動力を効果的に相殺できる。なお、上記式（１）においてｎは、既に接続子１０の配列方向を決定する際の角度θ算出式におけるｎと同一の数値が導入される。また、図１（ａ）及び図３に示すように、第１の接点と第２の接点との距離は、コンタクト１２ａの長さ−コンタクト１２ｂの長さであって、コンタクト１２ａの突出長さに相当している。したがって、ｃは、接点間ピッチに対するコンタクト１２ａの突出量の割合（コンタクト突出係数）ということができる。【００４５】
このように接続子１０の配列方向と、対向配置される第２の接点群の配置とその離間距離とによって、接続子１０について配列が決定される。対向配置される２つの群の配置例を図４〜図７に示す。【００４６】
図４は、接続子１０の配列方向がｎ＝０、すなわち、ピッチａ方向に平行であり、ｃ＝０．５程度であって、対向配置される２つの群の境界線が格子を構成するいずれかの格子線（ここではピッチｂ方向の格子線）に平行となるように２つの群を配置した例である。【００４７】
図５は、接続子１０の配列方向がｎ＝１、すなわち、格子の対角線方向に平行であり、ｃ＝０．７程度であって、対向配置される２つの群の境界線が格子を構成するいずれかの格子線（ここではピッチｂ方向の格子線）に平行となるように２つの群を配置した例である。【００４８】
図６は、接続子１０の配列方向がｎ＝２、すなわち、格子２つ分の対角線方向に平行であり、ｃ＝１．８程度であって、対向配置される２つの群の境界線が格子を構成するいずれかの格子線（ここではピッチａ方向の格子線）に平行となるように２つの群を配置した例である。【００４９】
図７は、接続子１０の配列方向がｎ＝１、すなわち、格子の対角線方向に平行であり、ｃ＝０．８程度であって、対向配置される２つの群の境界線が格子の対角線に平行となるように２つの群を配置した例である。【００５０】
また、図示はしないが（図７と図10ではないですか）、前記境界線を格子線に対して上記式（２）で表される角度θをなす線に平行となるように格子線に対して傾斜させるようにしてもよい。この場合、ｎは１以上であることが好ましいが、ｎが２以上であることがより好ましい。ｎが２以上であると、接続子１０を配置しやすいからである。また、各種の配置例においては、いずれも、対向する２群間の同軸上で直接対向する第２の接点は、上記式（１）で算出される距離以上離間されている。【００５１】
以上説明した接続子１０の配列の決定にあたっては、前記式（１）及び式（２）においてｎ＝０であり、式（１）においてｃ≧１であることが好ましい。こうすることで狭ピッチでも従来のビームのような特性を確保できるばかりでなく、組立てが容易になるからである。【００５２】
また、接続子１０の配列の決定にあたっては、前記式（１）及び式（２）においてｎ＝１であり、前記式（１）において０．２≦ｃ≦０．９であることが好ましい。こうすることでMEMS法においてもピッチよりも長いビームを配置することができるからである。【００５３】
また、接続子１０の配列の決定にあたっては、前記式（１）及び式（２）において、ｎ≧２であり、前記式（１）において０．２≦ｃ≦０．９であるおとが好ましい。こうすることでMEMS法においてもピッチよりもさらに長いビームを配置することができるからである。【００５４】
また、接続子１０の配列の決定にあたっては、前記式（１）において、ｃ≧１であることが好ましい。ｃが１以上であるようなビーム長の長いコンタクトを本発明を適用することで狭ピッチ化及び多ピン化に容易に対応できるようになる。【００５５】
（傾斜した格子）
接続子１０の配列の決定にあたっては、接点及び電極に対応する格子をアレンジしてもよい。すなわち、担体４の少なくとも一つの外辺又は接続子１０の配列領域の少なくとも一つの外辺に対して傾斜した格子を用いることで、電気的接続体２における接続子１０の配列方向を製造上都合のよい形態に配列させることが可能となる。【００５６】
例えば、図８（ａ）に示すように、接続子１０の配列方向の決定の基礎としてｎを１以上の整数とした場合、接続子１０は、格子線に対して角度θ傾いて配列されることになる。この場合に、図８（ｂ）に示すように、予め上記外辺に対して角度θ回転させた格子を用いることで、格子に対して角度θ傾けたときには、接続子１０の配列方向を上記外辺に対して平行とすることができる。こうすることで、電気的接続体２上における接続子１０の配列を複雑化させることもないし、また、接続子の材料採りも容易に行える。さらに、接続子１０の方向が金属圧延方向に一致するなど材料の方向性を考慮したいときに有利である。【００５７】
このとき上記式（２）においては、０．２≦ｃ≦４であることが好ましい。コンタクト突出係数ｃがこうした広い範囲にわたってこのような傾斜した格子の利用が有効である。また、格子を傾斜させるにあたっては、角度θは３５°以上５５°以下であることが好ましい。この範囲であると加工、組立てが容易だからである。なお、こうした格子角度変換を伴った接続子１０の配列においても、上記と同様に第２の接点の配列を決定することで、好ましい接続子１０の配列を得ることができる。【００５８】
以下、本発明を実施例を挙げて具体的に説明するが本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００５９】
本実施例は、ピッチサイズがａ×ｂ（a = b=1.27mm）である格子の交点上に所定のコンタクト長の接続子１０の第１の接点１４ａを配するとともに、第２の接点１４ｂの配列を決定して接続子１０の配列構造を決定する工程について説明する。【００６０】
まず、接続子１０のコンタクト１２ａの配列方向（傾き）を決定した。本実施例では、２．０ｍｍのコンタクト１２ａを有する接続子１０を配列するものとする。このため、接点間距離としては２ｍｍ以上あることが好ましい。ここで、本実施例では、図９に示すように、１．２７mm×１．２７mmの格子に対し、ｎ＝２となる角度θ、すなわち、約64°（tanθ＝nb/a n=2,）傾けた。これにより、接点間距離は√（a2＋(nb)2 ）（＝約2.84ｍｍ）となる。この結果から、２．０ｍｍのビーム長を有する接続子を６４°で格子に傾斜するように配置することとした。こうすることで、充分な第２の接点間ピッチが確保されるため、２．０ｍｍのビーム長であっても干渉なく配列させることができる。なお、ｎ＝２とすることで、ｎ＝１のときの角度θである45°方向の第１の接点間ピッチ（約１．８０ｍｍ）でも配列できない長さ２．０ｍｍのビームを有する接続子を配列させることができるようになった。なお、ビーム長が２．０ｍｍの接続子をこの方向で固定すると、本来のピッチ（１．２７mm）の倍のピッチ（２．５４ｍｍ）で傾斜させずにビームを固定したときと同じバネ特性が得られることになる。【００６１】
次に、第２の接点１４ｂの配列を決定した。上記のように接続子１０の角度変換を行った状態の全体の配列構造を図１０に示す。図１０に示すように、同じコンタクト方向で対向する接続子１０の第２の接点１４ｂは、（2C＋1）√a2＋(nb)2だけ離すものとする。接続子１０のコンタクト突出係数Ｃが0.8のとき、ｎ＝２とすると、この距離は2.6ｘ2.84＝7.38ｍｍとなり接点間距離の約2.6倍となった。また、コンタクト突出係数Cが1であれば、3.0倍となった。離間距離が整数倍の場合には、上下の格子点が格子点が重なるため設計製作上理解しやすいというメリットがある。なお、この場合には、コンタクト方向に第２の接点が存在しない列が２列形成されることになる。また、離間される２つの第２の接点群は、接点の配列領域をほぼ中央で二分するものとした。【００６２】
このように必要な特性を得るためのコンタクト長を確保可能にコンタクト１２ａの配列方向を決定するとともに、そのコンタクト方向に沿って対向状に接続子１０を配置するのに必要な距離に基づいて第２の接点の配列を決定することで、使用しようとする接続子１０に適した配列構造を容易に決定できる。また、こうした配列構造によれば、接続子１０の特性を発揮できるともに、摺動力による不具合も効果的に回避することができる。
【実施例２】
【００６３】
本実施例は、ピッチサイズがａ×ｂ（a=b=０．６５mm）である格子の交点上に所定のコンタクト長の接続子１０の第１の接点１４ａを配するとともに、第２の接点１４ｂの配列を決定して接続子１０の配列構造を決定する工程について説明する。【００６４】
まず、接続子１０のコンタクトの方向（傾き）を決定した。本実施例では、図１１に示すように、接続子１０のコンタクト１２ａを、傾けることなく０．６５mmピッチの本来の格子の格子線に沿って水平（ｎ＝０、tanθ＝nb/a ）方向に向けて、接点間ピッチを格子のピッチ（＝０．６５ｍｍ）として、２．０mmの長さのコンタクト１２ａを重ねるように配列した。これにより、本実施例の4倍の2.54mmピッチの格子で使用するのと同じばね特性が得られることになる。【００６５】
次に、第２の接点１４ｂの配列を決定した。図１２においてビーム方向で対向する接続子１０の第２の接点１４ｂは、コンタクト方向に（2C+1）√a2+(nb)2だけ離れるようにした。コンタクト突出係数Cを３、ｎを０とすると、7ピッチ分、すなわち、直接対向する接続子１０の第２の接点１４ｂの間に、6列第２の接点のない領域を設けるようにして２つの第２の接点群を形成すればよいことがわかった。一方、この接続子１０が接触すべきデバイスは、このような配置で電極を持つ必要があることがわかった。また、離間される２つの第２の接点群は、接点配列領域をほぼ中央で二分するものとした。【００６６】
このように本実施例によれば、第１の接点が格子の交点に対応して良好なバネ特性が得られる場合には、第２の接点を上記式（２）に従う所定距離離間させることで、接続子の好ましい配列構造が得られることわかった。
【実施例３】
【００６７】
本実施例は、ピッチサイズがａ×ｂ（a=b=１．０mm）である格子の交点上に所定のコンタクト長の接続子１０の第１の接点１４ａを配するとともに、第２の接点１４ｂの配列を決定して接続子１０の配列構造を決定する工程について説明する。【００６８】
まず、接続子１０のコンタクト方向（傾き）を決定した。すなわち、本実施例では、図１３に示すように、担体４の一辺に対して４５°で予め傾いた１．０mmピッチの格子を準備した。このような傾斜した格子は、例えば、傾きのない第１の接点群からなる格子を45°（ｎ＝１、tanθ＝nb/a）傾けて形成してもよい。【００６９】
この傾いた格子上において、コンタクト長を考慮してｎを１とし、格子線に対して４５°傾いたコンタクト方向を設定した。こうすることで、接点間ピッチは、図１０に示すように、約１．４１ｍｍ（√a2＋b2）となった。また、接続子１０のコンタクト１２ａは格子線に対しては傾くものの、担体の外辺にほぼ平行に添うものとなっていた。【００７０】
次に、第２の接点１４ｂの配列を決定した。図１４に示すように、コンタクト方向に沿って対向する接続子１０は格子の斜辺方向に（2C+1）√a2+(nb)2 だけ離れているものとした。コンタクト突出係数Cを０．８とし、ｎを１とすると、直接対向する接続子１０の第２の接点間に、約3ピッチ分、すなわち、第２の接点１４ｂのない領域を２列形成するように離間させればよいことがわかった。また、離間される２つの第２の接点群は、接点配列領域をほぼ中央で二分するものとした。【００７１】
本実施例によれば、接続子１０の配列方向を格子の方向性に依存させないで、必要に応じて格子を所定角度回転させることで、第２の接点群の境界領域を電気的接続体の接点形成領域の辺に平行なものとすることができる。これにより、接続子１０のコンタクト１２ａを格子に対して角度θ傾斜したときであっても、第２の接点群が接点形成領域内で斜めに対向したり、その結果、第２の接点群の形成領域がいびつな形状になったりすることを回避できる。【００７２】
さらに、本実施例によれば、圧延方向に沿って多くの接続子１０を効率的に採取できるような加工パターンを形成することができる。一般に、接続子１０は、同一方向に配列された複数個の接続子１０を有する接続子材料からなるキャリアを形成する。製造効率上からはできるだけ同数の接続子を有するキャリアとすることが好ましい。しかしながら、例えば、図７に示す接続子配列構造によれば、１個から８個までの接続子をそれぞれ有する８種類のキャリアが必要になる。これに対して、図１４に示す接続子配列構造によれば、６個及び７個の接続子１０をそれぞれ有する２種類のキャリアがあれば足りることになり、歩留まりの向上が実現できる。また、接続子１０を圧延金属材料で形成する場合にはコンタクト方向を圧延方向と一致させるのが好ましいが、このようなときには、図１２に示す接続子配列構造によれば、全ての接続子を圧延方向に沿った状態で金属圧延材料から取得することができ、耐久性に優れた接続子１０を有する電気的接続体を得ることができる。【００７３】
なお、本実施例では、n=1の場合を示したが、実施例1の場合のようにn=2 の場合には、その場合の角度θ（約６４°）格子を約64°傾けることによって、コンタクトピッチに沿ったビームの方向を接点形成領域のいずれかの辺と水平にすることができる。【００７４】
以上説明したように、本発明の実施例によれば、小さいピッチ間隔で格子状に第１の接点が配列されていても、必要に応じ接続子１０のコンタクト方向を格子に対して傾けることで、長いコンタクト長の接続子を配置することが可能になり、狭ピッチでも大型デバイスの接続の信頼性が確保できるようになる。さらに、多ピン化してもコンタクト方向でコンタクトの向きを対向させて配置した結果、摺動力が打ち消されて担体の変形がなく安定な接触を確保できるようになる。【００７５】
また、これらの実施例によれば、接続子１０の配列構造と第１の接点１４ａ及び第２の接点１４ｂの位置、すなわち、接触すべき電極１０２、１０４の配置を変えることにより、接続子１０として片側のカンチレバー型接続子についても容易に配列することができる
ようになる。【００７６】
これらの実施例では、第２の接点群を２つ設ける構成としたがこれに限定するものではなく、３以上の第２の接点群を設ける構成としてもよい。全ての第２の接点群において直接対向する第２の接点が所定距離離間するものであってもよいし、こうした関係を有しない第２の接点群を有していてもよい。【００７７】
なお、こうした本発明の電気的接続体が装着されるデバイスとしては、アレイ状（全体がアレイ状あるいはエリアアレイ状）に配列された前記電極を備える半導体、ＩＣチップなどが挙げられる。また、本発明の電気的接続体の用途としては、こうしたデバイスにおける電気的接続を確保するソケットやインターポーザー、プロープカードが挙げられる。さらに、本発明の電気的接続体を装着して備える電子機器としては、ＩＣチップを備えるものが挙げられる、例えば、ＰＣ、通信機器等を含んでいる。また、ＩＣチップや半導体検査装置も挙げられ、例えば、半導体検査装置などが挙げられる。【００７８】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されることなく本発明の範囲内で実施できる。例えば、固定化された接続子の有する屈曲部の形態や個数は、必要に応じ適宜変更することができるし、接続子において担体を挟持する箇所や担体表面に当接する箇所も適宜変更することができる。【００７９】
本出願は、２００６年９月２０日に出願された日本国特許出願第２００６−２５４９１１号を優先権主張の基礎としており、引用によりその内容の全てが本明細書に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は、例えば半導体デバイスを製造する電子産業などに利用可能である。
【図１】
2008035570.tif 000003
【図２】
2008035570.tif 000004
【図３】
2008035570.tif 000005
【図４】
2008035570.tif 000006
【図５】
2008035570.tif 000007
【図６】
2008035570.tif 000008
【図７】
2008035570.tif 000009
【図８】
2008035570.tif 000010
【図９】
2008035570.tif 000011
【図１０】
2008035570.tif 000012
【図１１】
2008035570.tif 000013
【図１２】
2008035570.tif 000014
【図１３】
2008035570.tif 000015
【図１４】
2008035570.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月3日(2009.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
２つのデバイス間で対向する第１の電極群と第２の電極群とを電気的に接続する複数個の接続子を備える電気的接続体であって、
（ａ）前記接続子の前記第１の電極群の電極と接触する第１の接点は、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応し、
（ｂ）前記接続子の前記第２の電極群の電極と接触する第２の接点は、少なくとも2つの群を形成し、隣接する２つの群内では、それぞれ前記接続子が他方の群と対向状に配列されるとともに、隣接する前記２群は、前記接続子の配列方向に沿って直接対向して配列される前記接続子の前記第２の接点が以下の式（１）で表される距離離間されて配置されている、電気的接続体。
（２ｃ＋１）√（ａ2＋（ｎｂ）2）                            （１）
（ただし、ｎは０以上の整数であり、ｃは、前記接続子の配列方向に沿う前記第１の接点間の距離に対する前記接続子における前記第１の接点と前記第２の接点間の距離の差の割合を表す。）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このような問題を解決する方法として、一列置きにビームの方向を対向させて、全体としてスライド力のバランスを取る方法が開示されている（特許文献１、２、３等）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
一方、特許文献３は、１列おきではなく区域に分けて、担体の外辺に対して45°方向のコンタクトを対向させ、更に上下の接点に位置も同じ位置にはない図を開示している。しかしながら、この方法もビーム長よりも狭ピッチ化した場合にビーム長を確保できる配列構造については開示していない。更にMEMS（Micro Electro Mechanical System）でビームを一括形成する場合、材料方向が限定され、特性や歩留まりを犠牲にすることがある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の電気的接続体は、２つのデバイス間で対向する第１の電極群と第２の電極群とを電気的に接続する複数個の接続子を備える電気的接続体であって、
（ａ）前記接続子の前記第１の電極群の電極と接触する第１の接点は、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点に対応し、
（ｂ）前記接続子の前記第２の電極群の電極と接触する第２の接点は、少なくとも2つの群を形成し、隣接する２つの群内では、それぞれ前記接続子が他方の群と対向状に配列されるとともに、隣接する前記２群は、前記接続子の配列方向に沿って直接対向して配列される前記接続子の前記第２の接点が上記の式（１）で表される距離離間されて配置されていることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の電気的接続体によれば、ピッチサイズがａ×ｂの格子上の交点を第１の接点としてビームが指向する接続子の配列において、第２の接点の２つ以上の群を、上記式（１）で表される距離離間して備えさせることで、摺動力による反作用等による電気的接続体への不具合が回避又は抑制された電気的接続体を得ることができる。また、上記式（２）で表される角度θをなして配列させることで、接続子に要求されるビーム方向についてこれまでと同等の機械的特性（変位、ばね荷重、高温特性等）や電気的特性（導体抵抗、高周波特性）を得ることができる接続子の配列構造が得られる。したがって、本発明の電気的接続体によれば、狭ピッチ化や多ピン化に容易に対応可能となっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
（接続子）
接続子１０の形状は特に限定しない。その先端側が対向されるデバイス１００、１１０の電極１０２、１０４に接触可能な接点１４ａ、１４ｂを有するコンタクト１２ａ、１２ｂを備えていてもよいし、これらのコンタクト１２ａ、１２ｂをそれぞれ別個の接続子として有するものであってもよい。コンタクト１２ａ、１２ｂは、それぞれ又は一方がカンチレバー状であってもよいし、各種形態の座屈バネ状であってもよい。しかし座屈ばねは先端の位置決めをするため新たなガイド板が必要になることや、変位の大きさ及び接触荷重の設計自由度の観点から、カンチレバー状であることが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、前記境界線を格子線に対して上記式（２）で表される角度θをなす線に平行となるように格子線に対して傾斜させるようにしてもよい。この場合、ｎは１以上であることが好ましいが、ｎが２以上であることがより好ましい。ｎが２以上であると、接続子１０を配置しやすいからである。また、各種の配置例においては、いずれも、対向する２群間の同軸上で直接対向する第２の接点は、上記式（１）で算出される距離以上離間されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
また、接続子１０の配列の決定にあたっては、前記式（１）及び式（２）において、ｎ≧２であり、前記式（１）において０．２≦ｃ≦０．９であることが好ましい。こうすることでMEMS法においてもピッチよりもさらに長いビームを配置することができるからである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
次に、第２の接点１４ｂの配列を決定した。上記のように接続子１０の角度変換を行った状態の全体の配列構造を図１０に示す。図１０に示すように、同じコンタクト方向で対向する接続子１０の第２の接点１４ｂは、（２Ｃ＋１）√（ａ2＋（ｎｂ）2）だけ離すものとする。接続子１０のコンタクト突出係数Ｃが0.8のとき、ｎ＝２とすると、この距離は2.6ｘ2.84＝7.38ｍｍとなり接点間距離の約2.6倍となった。また、コンタクト突出係数Cが1であれば、3.0倍となった。離間距離が整数倍の場合には、上下の格子点が格子点が重なるため設計製作上理解しやすいというメリットがある。なお、この場合には、コンタクト方向に第２の接点が存在しない列が２列形成されることになる。また、離間される２つの第２の接点群は、接点の配列領域をほぼ中央で二分するものとした。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
次に、第２の接点１４ｂの配列を決定した。図１２においてビーム方向で対向する接続子１０の第２の接点１４ｂは、コンタクト方向に（２Ｃ＋１）√（ａ2＋（ｎｂ）2）だけ離れるようにした。コンタクト突出係数Cを３、ｎを０とすると、7ピッチ分、すなわち、直接対向する接続子１０の第２の接点１４ｂの間に、6列第２の接点のない領域を設けるようにして２つの第２の接点群を形成すればよいことがわかった。一方、この接続子１０が接触すべきデバイスは、このような配置で電極を持つ必要があることがわかった。また、離間される２つの第２の接点群は、接点配列領域をほぼ中央で二分するものとした。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
この傾いた格子上において、コンタクト長を考慮してｎを１とし、格子線に対して４５°傾いたコンタクト方向を設定した。こうすることで、接点間ピッチは、図１０に示すように、約１．４１ｍｍ（√（ａ2＋ｂ2））となった。また、接続子１０のコンタクト１２ａは格子線に対しては傾くものの、担体の外辺にほぼ平行に添うものとなっていた。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
次に、第２の接点１４ｂの配列を決定した。図１４に示すように、コンタクト方向に沿って対向する接続子１０は格子の斜辺方向に（２Ｃ＋１）√（ａ2＋（ｎｂ）2）だけ離れているものとした。コンタクト突出係数Cを０．８とし、ｎを１とすると、直接対向する接続子１０の第２の接点間に、約3ピッチ分、すなわち、第２の接点１４ｂのない領域を２列形成するように離間させればよいことがわかった。また、離間される２つの第２の接点群は、接点配列領域をほぼ中央で二分するものとした。
【国際調査報告】
2008035570.tif 000017
2008035570.tif 000018
2008035570.tif 000019
2008035570.tif 000020