【手続補正書】
【提出日】平成17年4月27日(2005.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒循環路の形成された被処理体の載置台を内蔵した処理室と，前記冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うための温調回路と，を備えた処理装置において，前記載置台上の被処理体の温度を制御するための温度制御方法であって，
前記処理装置における処理に応じて，前記冷媒循環路における冷媒の入口温度と出口温度との理論的な差である目標差分値を予め決定し，
前記冷媒循環路における冷媒の入口温度および出口温度を検出して，これらの入口温度と出口温度との差である実測差分値を決定し，
前記実測差分値が前記目標差分値に追随するように，前記温調回路における冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことにより，前記載置台上の被処理体の温度を制御することを特徴とする処理装置の温度制御方法。
【請求項２】
前記目標差分値は，前記処理装置における処理に応じて被処理体に負荷される熱量に基づいて決定されることを特徴とする請求項１に記載の処理装置の温度制御方法。
【請求項３】
前記入口温度および前記出口温度は，温度検出器により検出される，前記冷媒循環路を循環する冷媒の実測入口温度および実測出口温度であることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の処理装置の温度制御方法。
【請求項４】
冷媒循環路の形成された被処理体の載置台を内蔵した処理室と，前記冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うための温調回路と，を備えた処理装置において，前記載置台上の被処理体の温度を制御するための温度制御方法であって，
前記処理装置における処理に応じて，前記冷媒循環路における冷媒の入口温度と出口温度との理論的な差である目標差分値，および前記目標差分値と前記温調回路への冷媒の目標戻り温度との関係を予め決定し，
前記冷媒循環路における冷媒の入口温度および出口温度を検出して，これらの入口温度と出口温度との差である実測差分値を決定し，
前記実測差分値が前記目標差分値に追随するように，かつ前記温調回路への冷媒の実測戻り温度が前記目標戻り温度に追随するように，前記温調回路における冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことにより，前記載置台上の被処理体の温度を制御する，ことを特徴とする処理装置の温度制御方法。
【請求項５】
前記目標差分値は，前記処理装置における処理に応じて被処理体に負荷される熱量に基づいて決定されることを特徴とする請求項４に記載の処理装置の温度制御方法。
【請求項６】
前記入口温度および前記出口温度は，温度検出器により検出される，前記冷媒循環路を循環する冷媒の実測入口温度および実測出口温度であることを特徴とする請求項４または請求項５のいずれかに記載の処理装置の温度制御方法。
【請求項７】
冷媒循環路の形成された被処理体の載置台を内蔵した処理室と，前記冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うための温調回路と，を備えた処理装置において，前記載置台上の被処理体の温度を制御するための温度制御方法であって，
前記処理装置における処理に応じて，前記冷媒循環路における冷媒の入口温度と出口温度との理論的な差である目標差分値，および前記目標差分値と前記温調回路からの冷媒の目標送り温度との関係を予め決定し，
前記冷媒循環路における冷媒の入口温度および出口温度を検出して，これらの入口温度と出口温度との差である実測差分値を決定し，
前記実測差分値が前記目標差分値に追随するように，かつ前記温調回路からの冷媒の実測送り温度が前記目標送り温度に追随するように，前記温調回路における冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことにより，前記載置台上の被処理体の温度を制御する，ことを特徴とする処理装置の温度制御方法。
【請求項８】
前記目標差分値は，前記処理装置における処理に応じて被処理体に負荷される熱量に基づいて決定されることを特徴とする請求項７に記載の処理装置の温度制御方法。
【請求項９】
前記入口温度および前記出口温度は，温度検出器により検出される，前記冷媒循環路を循環する冷媒の実測入口温度および実測出口温度であることを特徴とする請求項７または請求項８のいずれかに記載の処理装置の温度制御方法。
【請求項１０】
冷媒循環路の形成された被処理体の載置台を内蔵した処理室と，この処理室内にプラズマ発生用の高周波電力を印加するための電極と，前記冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うための温調回路と，を備えた処理装置において，前記載置台上の被処理体の温度を制御するための温度制御方法であって，
前記電極に印加される高周波の電力値に基づいて，前記載置台上の被処理体に負荷される熱量を算出し，
（ａ）前記被処理体の処理開始前には，前記温調回路からの冷媒の実測送り温度が設定処理温度になるように，前記冷媒の熱量制御および／または流量制御を行い，
（ｂ）前記被処理体の処理時には，前記温調回路への冷媒の実測戻り温度が前記熱量に基づいて決められた目標戻り温度になるように，前記冷媒の熱量制御および／または流量制御を行う，ことを特徴とする処理装置の温度制御方法。
【請求項１１】
被処理体を処理するための処理室と，
前記処理室内に設けられた，被処理体を載置する載置台と，
前記載置台に形成された冷媒循環路と，
前記冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うための温調回路と，を備えた処理装置において，
前記冷媒循環路における冷媒の入口温度を検出する入口温度検出器と，
前記冷媒循環路における冷媒の出口温度を検出する出口温度検出器と，
前記温調回路への冷媒の戻り温度を検出する戻り温度検出器と，
各温度検出器によって検出された前記入口温度と前記出口温度との差である実測差分値に基づいて，前記温調回路による熱量制御および／または流量制御を行うことにより，前記戻り温度を制御する制御器と，を更に備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項１２】
前記温調回路は，インバータ制御するインバータ回路を経由して冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことを特徴とする請求項１１に記載された処理装置。
【請求項１３】
被処理体を処理するための処理室と，
前記処理室内に設けられた，被処理体を載置する載置台と，
前記載置台に形成された冷媒循環路と，
前記冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うための温調回路と，を備えた処理装置において，
前記冷媒循環路における冷媒の入口温度を検出する入口温度検出器と，
前記冷媒循環路における冷媒の出口温度を検出する出口温度検出器と，
前記温調回路からの冷媒の送り温度を検出する送り温度検出器と，
各温度検出器によって検出された前記入口温度と前記出口温度との差である実測差分値に基づいて，前記温調回路による熱量制御および／または流量制御を行うことにより，前記送り温度を制御する制御器と，を更に備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項１４】
前記温調回路は，インバータ制御するインバータ回路を経由して冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことを特徴とする請求項１３に記載された処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，冷媒循環路を備えた載置台を処理室内に有するとともに，冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行う温調回路を備えた処理装置の温度制御方法であって，冷媒循環路の入口温度と出口温度の実測差分値に基づいて，冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことにより，載置台の温度制御を行うことを特徴とする処理装置の温度制御方法が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また，例えば，処理に応じて，冷媒循環路の入口温度と出口温度との目標差分値を予め決定し，実測差分値が目標差分値に追随するように冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことが好ましい。かかる構成によれば，予め各プロセスに応じた理想的な入口温度と出口温度との差である目標差分値を設定し，実測差分値が目標差分値と実質的に同一になるように冷媒の温度制御を行えるので，被処理体の温度管理をプロセスに応じて的確に行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに，例えば，処理に応じて，目標差分値と温調回路への冷媒の目標戻り温度との関係を予め決定し，温調回路への冷媒の実測戻り温度が目標戻り温度に追随するように冷媒の熱量制御および／または流量制御を行うことが好ましい。かかる構成によれば，目標差分値と目標戻り温度との関係を，例えば被処理体の設定温度から目標差分値を減算した値と目標戻り温度とが同一になる関係とすれば，実測戻り温度が目標戻り温度に追従するように冷媒の熱量制御や流量制御を行うことにより，処理時の熱量変化に応じた冷媒の温度制御を確実に行うことができる。この際，さらに上記実測差分値が目標差分値に追従するようにフィードバックをかけながら冷媒の熱量あるいは流量制御を行えば，被処理体の温度管理をより厳密に行うことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また，例えば，処理に応じて，目標差分値と温調回路からの冷媒の目標送り温度との関係を予め決定し，温調回路からの冷媒の実測送り温度が目標送り温度に追随するように冷媒の熱量制御および／または流量制御を行っても，被処理体の温度管理を厳密に行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また，温調回路を構成するポンプなどの駆動手段をきめ細かく制御して冷媒の熱量制御や流量制御を安定して行い，かつ駆動手段のオン・オフに伴う突入電流の発生などを防止して消費電力の軽減を図るためには，例えば，温調回路をインバータ制御することが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また，本発明の第２の観点によれば，処理室内にて被処理体を載置する載置台と，載置台に設けられた冷媒循環路と，冷媒循環路を循環する冷媒の熱量制御および／または流量制御を行う温調回路とを備えた処理装置において，冷媒循環路の入口温度を検出する入口温度検出手段と，冷媒循環路の出口温度を検出する出口温度検出手段と，冷媒循環路の入口温度と出口温度との実測差分値に基づいて温調回路を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする処理装置が提供される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また，被処理体の温度管理をより厳密に行うためには，例えば，さらに温調回路への冷媒の戻り温度を検出する戻り温度検出手段を備えて，制御手段により実測差分値に基づいて冷媒の戻り温度を制御したり，あるいは，さらに温調回路からの冷媒の送り温度を検出する送り温度検出手段を備えて，制御手段により実測差分値に基づいて冷媒の送り温度を制御することが好ましい。