【手続補正書】
【提出日】平成17年9月5日(2005.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学システムの整列方法において、
前記光学システムがＸ方向に可動の位置決めステージを配設したデバイスと、位置決めステージを配設した前記デバイスに取り付けられた目標物と、それぞれＸ方向及び該Ｘ方向にほぼ垂直なＺ方向に可動であって、それぞれ光学的エッジ検出器が取り付けられた１以上のセンサ位置決めステージとを備えており、
１以上のセンサ位置決めステージの各センサ位置決めステージに対して以下のステップを含むことからなる、方法。
前記センサ位置決めステージの光学的エッジ検出器をＸ方向において第１のＸ位置に配置するステップ。
前記センサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＺ方向に移動させて、前記目標物のエッジの第１のＺ位置を検出するステップ。
前記センサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＸ方向にある距離ｘだけ第２のＸ位置へと移動させるステップ。
前記デバイス位置決めステージをして前記目標物をＸ方向に距離ｘだけ移動させるステップ。
前記センサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＺ軸方向に移動させ、前記目標物のエッジの第２のＺ位置を検出するステップ。
前記第１のＺ位置、第２のＺ位置、及び距離ｘに従って、前記センサ位置決めステージのＸ方向と前記目標物のエッジとの間の角度を決定するステップ。
【請求項２】
光学システムを整列させるための方法であって、前記システムは、Ｘ方向及び該Ｘ方向に垂直なＺ方向に可動の第１のセンサ位置決めステージと、前記第１のセンサ位置決めステージに取り付けられた光学的エッジ検出器と、Ｘ方向及びＺ方向に直交するＹ方向の周りに回動可能な第２のセンサ位置決めステージと、前記第１のセンサ位置決めステージに取り付けられた目標物とを備えており、
前記光学的エッジ検出器をＸ方向において第１のＸ位置に配置するステップと、
前記第１のセンサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＺ方向に移動させて、前記目標物のエッジの第１のＺ位置を検出するステップと、
前記第１のセンサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＸ方向にある距離ｘだけ第２のＸ位置へと移動させるステップと、
前記第２のセンサ位置決めステージをして前記目標物をＸ方向において距離ｘだけ移動させるステップと、
前記第１のセンサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＺ方向へ移動させて、前記目標物のエッジの第２のＺ位置を検出するステップと、
前記第１のＺ位置、第２のＺ位置、及び距離ｘに従って、前記第１のセンサ位置決めステージのＸ方向と前記目標物のエッジとの間の角度を決定するステップと、
前記第１のセンサ位置決めステージのＸ方向と前記目標物のエッジとの間の角度に従って、前記第２のセンサ位置決めステージをＹ方向のまわりに回動させるステップ
を含む、方法。
【請求項３】
光学システムを較正するための方法において、
前記光学システムが、Ｘ方向に可動の位置決めステージを配設したデバイスと、位置決めステージを配設した前記デバイスに取り付けられた目標物と、それぞれがＸ方向と該Ｘ方向にほぼ垂直なＺ方向に可動で、かつ、それぞれに光学的エッジ検出器が取り付けられている複数のセンサ位置決めステージのうちの第１のセンサ位置決めステージとを備えており、
前記第１のセンサ位置決めステージの前記光学的エッジ検出器をＸ方向においてＸ位置に位置決めするステップと、
前記第１のセンサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＺ方向へ移動させて、前記目標物のエッジの第１のＺ位置を検出するステップと、
前記複数のセンサ位置決めステージのうちの他の各センサ位置決めステージについて、
前記他のセンサ位置決めステージの光学的エッジ検出器をＸ方向においてＸ位置に位置決めするステップと、
前記他のセンサ位置決めステージをして該他のセンサ位置決めステージの光学的エッジ検出器をＺ方向に移動させて、前記目標物のエッジの第２のＺ位置を検出するステップと、
前記他のセンサ位置決めステージのエッジ検出器を較正して、前記第２のＺ位置を前記第１のＺ位置に一致させるステップ
を含む、方法。
【請求項４】
光学システムを較正するための方法であって、前記システムが、Ｘ方向に可動の位置決めステージを配設したデバイスと、位置決めステージを配設した前記デバイスに取り付けられた目標物と、それぞれがＸ方向及び該Ｘ方向にほぼ直交するＺ方向へ可動で、かつ、それぞれに光学的エッジ検出器が取り付けられた複数のセンサ位置決めステージのうちの第１のセンサ位置決めステージとを備えており、
前記第１のセンサ位置決めステージの前記光学的エッジ検出器を、Ｚ方向において、Ｚ方向にほぼ平行な前記目標物のエッジ上のＺ位置に位置決めするステップと、
前記第１のセンサ位置決めステージをして前記光学的エッジ検出器をＸ方向に移動させて、Ｚ方向にほぼ平行な前記目標物のエッジの第１のＸ位置を検出するステップと、
前記複数のセンサ位置決めステージのうちの他の各センサ位置決めステージについて、
前記他のセンサ位置決めステージの光学的エッジ検出器を、Ｚ方向において、Ｚ方向にほぼ平行な前記目標物のエッジ上のＺ位置に位置決めするステップと、
前記他のセンサ位置決めステージをして該他のセンサ位置決めステージの光学的エッジ検出器をＸ方向に移動させて、Ｚ方向にほぼ平行な前記目標物のエッジの第２のＸ位置を検出するステップと、
前記他のセンサ位置決めステージのエッジ検出器を較正して、前記第２のＸ位置を前記第１のＸ位置に一致させるステップ
を含む、方法。
【請求項５】
光学システムを整列させるための方法であって、前記システムが、第１のセンサ位置決めステージと第２の位置決めステージを備え、前記第１のセンサ位置決めステージは、直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動であって、送光光ファイバが取り付けられており、前記第２の位置決めステージは、Ｘ方向とＹ方向にほぼ平坦な面を有するファイバアレイを有し、その面内で終端される受光光ファイバを含んでおり、
前記送光光ファイバから光が伝送されるようにするステップと、
前記受光光ファイバを介して受光した光を検出するステップと、
前記送光光ファイバと前記受光光ファイバの相対位置をＸ方向とＹ方向において調整して検出光が最大となるようにするステップ
を含む、方法。
【請求項６】
光学システムを整列させるための方法であって、前記システムが、第１のセンサ位置決めステージと第２のセンサ位置決めステージを備え、前記第１のセンサ位置決めステージは、直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動で、かつ送光光ファイバが取り付けられており、前記第２のセンサ位置決めステージは、Ｙ方向にほぼ平行な面を有するファイバアレイを有し、かつ、前記平行な面内で終端される２以上の受光光ファイバを含んでおり、
前記送光光ファイバから光を送り出すステップと、
前記２以上の光ファイバのうちの第１の受光光ファイバを介して受光した光を検出するステップと、
前記送光光ファイバと前記第１の受光光ファイバの相対位置をＸ方向とＹ方向において調整して、検出光を最大化し、それによって前記第１の受光光ファイバの位置を決定するステップと、
前記２以上の光ファイバのうちの第２の受光光ファイバを介して受光した光を検出するステップと、
前記送光光ファイバと前記第２の受光光ファイバの相対位置をＸ方向とＹ方向において調整して、検出光を最大化し、それによって前記第２の受光光ファイバの位置を決定するステップと、
前記第１及び第２の受光光ファイバの位置からＺ方向のまわりのファイバアレイの角度位置を求めるステップ
を含む、方法。
【請求項７】
光学システムを整列させるための方法であって、前記システムが、Ｘ方向に可動の位置決めステージを配設したデバイスと、位置決めステージを配設した前記デバイスに取り付けられた目標物と、それぞれが直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動で、かつ、それぞれに光学的エッジ検出器及びファイバアレイが取り付けられた１以上のセンサ位置決めステージとを備えており、
各センサ位置決めステージのＸ方向を前記デバイス位置決めステージのＸ方向に平行に整列させるステップと、
対応するセンサ位置決めステージをＹ方向の周りに回動させることによって、各ファイバアレイの回動を調整するステップと、
Ｚ方向に回動させることによって、ファイバアレイの少なくとも一つの回動を調整するステップと、
各センサ位置決めステージをＺ方向において較正するステップと、
各センサ位置決めステージをＸ方向において較正するステップ
を含む、方法。
【請求項８】
光学システムを試験対象デバイスに整列させるための方法であって、前記システムが、Ｘ方向に可動の位置決めステージを配設したデバイスと、位置決めステージを配設した前記デバイスにより支持される試験対象デバイスと、１以上のセンサ位置決めステージであって、各々が、直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動であり、かつ、各々に、光学的エッジ検出器及びファイバアレイが取り付けられている１以上のセンサ位置決めステージとを備えており、
前記試験対象デバイスのエッジを位置決めするステップと、
前記試験対象デバイスのエッジのＺ位置を少なくとも２つの異なるＸ位置にて計測することによって、前記試験対象デバイスのＹ方向の周りの回動を決定するステップと、
前記試験対象デバイスのエッジに平行になるように前記ファイバアレイを回動させるステップと、
前記１以上のセンサ位置決めステージの方向に対しＸ−Ｙ変換を施すステップと、
前記試験対象デバイスの面を前記ファイバアレイを用いてＸ方向とＹ方向に走査して、前記試験対象デバイス内の導波管位置を検出するステップ
を含む、方法。
【請求項９】
光学デバイスを検出するためのシステムであって、
Ｘ方向に可動で試験対象デバイスを支持可能な位置決めステージを配設するデバイスと、
直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動な第１のセンサ位置決めステージと、
直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動な第２のセンサ位置決めステージと、
前記第１のセンサ位置決めステージに取り付けられた第１の光学的エッジ検出器と、
前記第１のセンサ位置決めステージに取り付けられた第２の光学的エッジ検出器
を備える、システム。
【請求項１０】
前記第１のエッジ検出器と第２のエッジ検出器がそれぞれ、レーザ光源に光学的に結合された送光光ファイバと、光パワー検出器に光学的に結合された受光光ファイバを備える、請求項９のシステム。