【手続補正書】
【提出日】平成17年10月17日(2005.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板処理システム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  所定の処理手順に従って複数の基板に対して複数の処理を順次実施する基板処理システムであって、
基板が搬入出される複数のモジュールと、
前記複数のモジュール間において基板を搬送する基板搬送機構と、
前記複数のモジュールに対して第１の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第１ロットの基板処理を行い、連続して前記複数のモジュールに対して前記第１の搬送フローとは異なる第２の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第２ロットの基板処理を行うように前記基板搬送機構を制御する制御部と
を具備し、
前記制御部は、
前記第１ロットの基板処理及び前記第２ロットの基板処理のそれぞれにおいて、基板の搬送タイミングと当該基板が搬入出される前記モジュールとの関係を示す搬送スケジュールが格納され、所定の周期で前記基板の搬送動作が行われる搬送タイミングが設定される時間軸および前記基板が搬入出される前記モジュールが配列される搬送フロー軸を含む二次元テーブルで構成された搬送制御テーブルと、
前記搬送制御テーブル上において、特定の前記搬送タイミングおよび前記モジュールを指定して特定されるセルに対して前記モジュールに出入りする個々の基板の識別情報を設定することでロット単位の複数の基板の前記搬送スケジュールを生成する機能と、前記搬送制御テーブル上に設定された前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理の各々の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群が構成する図形の輪郭が互いに干渉しない範囲で、前記第２ロットの基板処理の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群全体を、前記時間軸方向に前詰めに移動させる機能と、前記搬送制御テーブルから前記搬送タイミング毎に読み出された前記搬送スケジュールに基づいて前記基板搬送機構を制御する機能とを含むコントローラと
を有することを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】  所定の処理手順に従って複数の半導体基板に対してレジスト塗布およびレジスト露光後の現像にともなう複数の処理を順次実施する基板処理システムであって、
半導体基板に対してそれぞれ、レジスト塗布、レジスト露光後の現像、半導体基板に対する疎水化処理、加熱処理、冷却処理、保持処理を行う複数のモジュールと、
半導体基板を前記複数のモジュール間において搬送する基板搬送機構と、
前記複数のモジュールに対して第１の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第１ロットの基板処理を行い、連続して前記複数のモジュールに対して前記第１の搬送フローとは異なる第２の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第２ロットの基板処理を行うように前記基板搬送機構を制御する制御部と
を具備し、
前記制御部は、
前記第１ロットの基板処理及び前記第２ロットの基板処理のそれぞれにおいて、半導体基板の搬送タイミングと当該半導体基板が搬入出される前記モジュールとの関係を示す搬送スケジュールが格納され、所定の周期で前記基板の搬送動作が行われる搬送タイミングが設定される時間軸および前記基板が搬入出される前記モジュールが配列される搬送フロー軸を含む二次元テーブルで構成された搬送制御テーブルと、
前記搬送制御テーブル上において、特定の前記搬送タイミングおよび前記モジュールを指定して特定されるセルに対して前記モジュールに出入りする個々の半導体基板の識別情報を設定することでロット単位の複数の半導体基板の前記搬送スケジュールを生成する機能と、前記搬送制御テーブル上に設定された前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理の各々の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群が構成する図形の輪郭が互いに干渉しない範囲で、前記第２ロットの基板処理の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群全体を、前記時間軸方向に前詰めに移動させる機能と、前記搬送制御テーブルから前記搬送タイミング毎に読み出された前記搬送スケジュールに基づいて前記基板搬送機構を制御する機能とを含むコントローラと
を有することを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】  前記コントローラは、前記モジュールの組み合わせおよび当該モジュール間の基板の搬送順序からなる搬送レシピが、前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理において互いに等しくなるように前記第１及び第２ロットの前記搬送スケジュールを前記搬送制御テーブルに設定するとき、前記搬送レシピ内の個々の前記モジュール毎に前詰めに前記搬送スケジュールを設定する機能をさらに備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板処理システム。
【請求項４】  前記コントローラは、前記モジュールの組み合わせおよび当該モジュール間の基板の搬送順序からなる搬送レシピが、前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理において互いに等しくなるように前記第１及び第２ロットの前記搬送スケジュールを前記搬送制御テーブルに設定するとき、特定の前記モジュールに対する出入りの時間が後続の前記ロットのすべての前記基板において等しくなるように、前記第２ロットの前記搬送スケジュールの開始タイミングを、最適な開始タイミングから意図的に遅らせる機能をさらに備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板処理システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理システムに関し、特に、半導体ウェハ等の基板に対する露光処理の前後の処理を行う基板処理システムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、多様な搬送レシピを連続して実行する際の搬送時間の乱れを抑止して、安定な基板搬送処理を実現可能な基板処理システムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明は、多様な搬送レシピの複数のロットの連続した処理において処理時間の短縮によるスループットの向上を実現可能な基板処理システムを提供することを目的とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明は、基板搬送処理におけるフィードフォワード制御による多様な搬送制御を実現可能な基板処理システムを提供することを目的とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明は、基板の搬送制御における操作性を向上させることが可能な基板処理システムを提供することを目的とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点では、所定の処理手順に従って複数の基板に対して複数の処理を順次実施する基板処理システムであって、基板が搬入出される複数のモジュールと、前記複数のモジュール間において基板を搬送する基板搬送機構と、前記複数のモジュールに対して第１の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第１ロットの基板処理を行い、連続して前記複数のモジュールに対して前記第１の搬送フローとは異なる第２の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第２ロットの基板処理を行うように前記基板搬送機構を制御する制御部とを具備し、前記制御部は、前記第１ロットの基板処理及び前記第２ロットの基板処理のそれぞれにおいて、基板の搬送タイミングと当該基板が搬入出される前記モジュールとの関係を示す搬送スケジュールが格納され、所定の周期で前記基板の搬送動作が行われる搬送タイミングが設定される時間軸および前記基板が搬入出される前記モジュールが配列される搬送フロー軸を含む二次元テーブルで構成された搬送制御テーブルと、前記搬送制御テーブル上において、特定の前記搬送タイミングおよび前記モジュールを指定して特定されるセルに対して前記モジュールに出入りする個々の基板の識別情報を設定することでロット単位の複数の基板の前記搬送スケジュールを生成する機能と、前記搬送制御テーブル上に設定された前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理の各々の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群が構成する図形の輪郭が互いに干渉しない範囲で、前記第２ロットの基板処理の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群全体を、前記時間軸方向に前詰めに移動させる機能と、前記搬送制御テーブルから前記搬送タイミング毎に読み出された前記搬送スケジュールに基づいて前記基板搬送機構を制御する機能とを含むコントローラとを有することを特徴とする基板処理システムを提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第２の観点では、所定の処理手順に従って複数の半導体基板に対してレジスト塗布およびレジスト露光後の現像にともなう複数の処理を順次実施する基板処理システムであって、半導体基板に対してそれぞれ、レジスト塗布、レジスト露光後の現像、半導体基板に対する疎水化処理、加熱処理、冷却処理、保持処理を行う複数のモジュールと、半導体基板を前記複数のモジュール間において搬送する基板搬送機構と、前記複数のモジュールに対して第１の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第１ロットの基板処理を行い、連続して前記複数のモジュールに対して前記第１の搬送フローとは異なる第２の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第２ロットの基板処理を行うように前記基板搬送機構を制御する制御部とを具備し、前記制御部は、前記第１ロットの基板処理及び前記第２ロットの基板処理のそれぞれにおいて、半導体基板の搬送タイミングと当該半導体基板が搬入出される前記モジュールとの関係を示す搬送スケジュールが格納され、所定の周期で前記基板の搬送動作が行われる搬送タイミングが設定される時間軸および前記基板が搬入出される前記モジュールが配列される搬送フロー軸を含む二次元テーブルで構成された搬送制御テーブルと、前記搬送制御テーブル上において、特定の前記搬送タイミングおよび前記モジュールを指定して特定されるセルに対して前記モジュールに出入りする個々の半導体基板の識別情報を設定することでロット単位の複数の半導体基板の前記搬送スケジュールを生成する機能と、前記搬送制御テーブル上に設定された前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理の各々の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群が構成する図形の輪郭が互いに干渉しない範囲で、前記第２ロットの基板処理の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群全体を、前記時間軸方向に前詰めに移動させる機能と、前記搬送制御テーブルから前記搬送タイミング毎に読み出された前記搬送スケジュールに基づいて前記基板搬送機構を制御する機能とを含むコントローラとを有することを特徴とする基板処理システムを提供する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この場合に、前記コントローラは、前記モジュールの組み合わせおよび当該モジュール間の基板の搬送順序からなる搬送レシピが、前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理において互いに等しくなるように前記第１及び第２ロットの前記搬送スケジュールを前記搬送制御テーブルに設定するとき、前記搬送レシピ内の個々の前記モジュール毎に前詰めに前記搬送スケジュールを設定する機能をさらに備えることが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、前記コントローラは、前記モジュールの組み合わせおよび当該モジュール間の基板の搬送順序からなる搬送レシピが、前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理において互いに等しくなるように前記第１及び第２ロットの前記搬送スケジュールを前記搬送制御テーブルに設定するとき、特定の前記モジュールに対する出入りの時間が後続の前記ロットのすべての前記基板において等しくなるように、前記第２ロットの前記搬送スケジュールの開始タイミングを、最適な開始タイミングから意図的に遅らせる機能をさらに備えることが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記した本発明によれば、基板の搬送タイミングと通過モジュールとの関係が、ロット内の全ウェハについて搬送制御テーブル上に設定され、この設定を時間軸方向に所定の周期で順次読み出して基板移動機構を制御することで基板の搬送が行われるので、搬送の都度、基板の搬送位置を決定する場合に比較して、搬送時間の乱れの発生を抑止できる。また、複数のモジュールに対して第１の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第１ロットの基板処理を行い、連続して前記複数のモジュールに対して前記第１の搬送フローとは異なる第２の搬送フローで搬送を行う複数の基板を含む第２ロットの基板処理を行うように前記基板搬送機構を制御するに際し、第１ロットの基板処理及び第２ロットの基板処理のそれぞれにおいて、基板の搬送タイミングと当該基板が搬入出される前記モジュールとの関係を示す搬送スケジュールが格納され、所定の周期で前記基板の搬送動作が行われる搬送タイミングが設定される時間軸および前記基板が搬入出される前記モジュールが配列される搬送フロー軸を含む二次元テーブルで構成された搬送制御テーブルを備え、コントローラにより、前記搬送制御テーブル上において、特定の前記搬送タイミングおよび前記モジュールを指定して特定されるセルに対して前記モジュールに出入りする個々の基板の識別情報を設定することでロット単位の複数の基板の前記搬送スケジュールを生成し、かつ前記搬送制御テーブル上に設定された前記第１ロットおよび第２ロットの基板処理の各々の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群が構成する図形の輪郭が互いに干渉しない範囲で、前記第２ロットの基板処理の前記搬送スケジュールに含まれる前記セル群全体を、前記時間軸方向に前詰めに移動させ、このように形成された搬送制御テーブルから前記搬送タイミング毎に読み出された前記搬送スケジュールに基づいて前記基板搬送機構を制御するので、複雑な搬送レシピの第１および第２のロットを連続して処理する際に、ロット間でのウェハの追い越し発生等の不具合を生じることなく、それぞれのロットの搬送開始のタイミングを最適化し、先行ロットの処理が完全に終了する前に、後続のロットの搬送を開始させることが可能になり、複数のロットの並行的な搬送処理による処理時間の短縮によりスループットが向上する。