Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月23日(2004.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
シリコン基板の表面にゲート犠牲酸化膜を形成し、その上にシリコン窒化物を堆積し、前記シリコン窒化物をエッチングしてＤＲＡＭセルのトランスファゲート用のＭＯＳＦＥＴのゲート電極より細く開孔する工程と、
次に、前記シリコン窒化物をマスクとして前記シリコン基板の表面に所定の不純物をイオン注入してチャネルドープ層を形成する工程と、
次に、前記シリコン窒化物の開孔部を前記ＭＯＳＦＥＴの所望のゲート長となるまでエッチバックする工程と、
次に、開孔部の底面部の前記ゲート犠牲酸化膜を除去した後、前記シリコン基板の表面にゲート酸化膜を形成する工程と、
次に、前記シリコン窒化物の開孔部にゲート電極材料を埋め込み、ゲート電極を自己整合で形成する工程と、
次に、前記シリコン窒化物を除去し、所定の不純物をイオン注入して前記ＭＯＳＦＥＴのソース・ドレイン領域を形成する工程
とを具備することを特徴とする半導体集積回路の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の半導体集積回路の製造方法（２）は、本発明の第１の半導体集積回路を製造する際、シリコン基板の表面にゲート犠牲酸化膜を形成し、その上にシリコン窒化物を堆積し、前記シリコン窒化物をエッチングしてＤＲＡＭセルのトランスファゲート用のＭＯＳＦＥＴのゲート電極より細く開孔する工程と、次に、前記シリコン窒化物をマスクとして前記シリコン基板の表面に所定の不純物をイオン注入してチャネルドープ層を形成する工程と、次に、前記シリコン窒化物の開孔部を前記ＭＯＳＦＥＴの所望のゲート長となるまでエッチバックする工程と、次に、開孔部の底面部の前記ゲート犠牲酸化膜を除去した後、前記シリコン基板の表面にゲート酸化膜を形成する工程と、次に、前記シリコン窒化物の開孔部にゲート電極材料を埋め込み、ゲート電極を自己整合で形成する工程と、次に、前記ゲート電極の両側のシリコン窒化物を除去し、所定の不純物をイオン注入して前記ＭＯＳＦＥＴのソース・ドレイン領域を形成する工程とを具備することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月9日(2004.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液晶表示装置および半導体チップ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶を介して対向配置される各基板のうち少なくとも一方の基板の液晶側の面に形成された信号線に信号を供給する半導体チップを備え、
この半導体チップはそのバンプ電極が前記信号線の端子に接続され、該バンプ電極の該端子と接続される面に導電性の突起が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記バンプ電極は第１のバンプ電極と第２のバンプ電極とを有し、前記半導体チップ上において、前記第１のバンプ電極の下地層の高さと前記第２のバンプ電極の下地層の高さとは異なっていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記バンプ電極と前記突起とは異なる材料で構成されていることを特徴とする請求項１または２のうちいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項４】
液晶を介して対向配置される各基板のうち少なくとも一方の基板の液晶側の面に形成された信号線に信号を供給する半導体チップを備え、
この半導体チップはそのバンプ電極が前記信号線の端子に接続され、該端子の該バンプ電極と接続される面に導電性の突起が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項５】
前記半導体チップと前記基板との間に熱硬化樹脂シートが介在されていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項６】
前記基板面に前記半導体チップを被って樹脂が塗布され、かつ、前記バンプ電極あるいは前記端子に形成された導電性の突起は半導体チップの内側へ前記樹脂を導く突条のパターンで形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項７】
半導体基板上に形成された金属よりなる下地層の上に形成された第１のバンプ電極と第２のバンプ電極とを有する半導体チップであって、
前記第１のバンプ電極と前記第２のバンプ電極の表面には導電性の突起が形成されており、前記第１のバンプ電極が形成された前記下地膜の前記半導体基板上における高さと、前記第２のバンプ電極が形成された下地膜の前記半導体基板上における高さとは異なっていることを特徴とする半導体チップ。
【請求項８】
前記２つのバンプ電極と前記突起とは異なる材料で構成されていることを特徴とする請求項７に記載の半導体チップ。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月28日(2004.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給治具およびフィーダを有し、駆動手段により所定の方向に駆動される部品供給部と、
装着対象物がセットされ、駆動手段により直線的に駆動される部品装着部と、
部品を保持するための部品保持機構を備え、駆動手段により上記部品装着部の移動方向と直交する方向に直線的に往復駆動され、かつ上記部品供給部にセットされた部品をピックアップし、該部品を部品装着部にセットされた装着対象物の所定の位置に装着する装着ヘッドと、
上記装着ヘッドの部品保持機構に保持された部品を、上記装着ヘッドが直線移動する過程で撮像する部品撮像手段と、
上記部品供給部，部品装着部，及び装着ヘッドをそれぞれ駆動制御する駆動制御手段と、
上記部品撮像手段による画像を演算処理する画像演算処理手段とを備えたことを特徴とする部品装着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、部品供給治具およびフィーダを有し、駆動手段により所定の方向に駆動される部品供給部と、
装着対象物がセットされ、駆動手段により直線的に駆動される部品装着部と、
部品を保持するための部品保持機構を備え、駆動手段により上記部品装着部の移動方向と直交する方向に直線的に往復駆動され、かつ上記部品供給部にセットされた部品をピックアップし、該部品を部品装着部にセットされた装着対象物の所定の位置に装着する装着ヘッドと、
上記装着ヘッドの部品保持機構に保持された部品を、上記装着ヘッドが直線移動する過程で撮像する部品撮像手段と、
上記部品供給部，部品装着部，及び装着ヘッドをそれぞれ駆動制御する駆動制御手段と、
上記部品撮像手段による画像を演算処理する画像演算処理手段とを備えたことを特徴とする部品装着装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【発明の作用効果】
本発明にかかる部品供給装置によれば、部品供給部と部品装着部とをそれぞれ独立して駆動するとともに、部品保持機構を備えた装着ヘッドを、部品装着部の移動方向と直交する方向に往復駆動し、かつ、部品保持機構に保持された部品を部品撮像手段により撮像するようにしたので、装着ヘッドの作動中に部品撮像手段により部品を撮像して装着位置の補正情報を得ることが可能になる。したがって、装着ヘッドを所定の方向に直線移動させるだけで、部品供給部から部品をピックアップして、部品装着部の装着対象物の所定の位置に精度よく装着することが可能になる。その結果、従来のように装着ヘッドを３つ，あるいは４つの位置に移動させる場合に比べて移動距離を短くすることができ、タクト時間を短縮することができとともに、設備の重複を防止して、経済性に優れ、装着位置精度の高い部品装着装置を提供することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また本発明では、部品供給部において、トレー，パレット等の部品供給治具及び振動フィーダ，バルクフィーダ，テープフィーダ，粘着シートフィーダ等のフィーダのうち１つ又は複数種を組み合わせてセットすることにより、種類，大きさの異なる部品を連続的に供給することが可能となり、自動化による生産性をさらに高めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月13日(2004.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アナログ信号を入力する入力手段と、
前記入力手段から入力した前記アナログ信号または第１の基準電位信号または第２の基準電位信号のうち１つを選択する複数の選択手段と、
一方を前記複数の選択手段のそれぞれに接続し、他方を互いに接続した、それぞれが固有の容量値を有する複数の容量手段と、
前記複数の容量素子の互いに接続した方の電位と逐次比較を行う基準電位とを比較して比較値をデジタル信号として出力する比較手段と、
前記選択手段の選択性を切り替えて、前記複数の容量手段のそれぞれに前記固有の容量値に対応した時間長の電荷再配分を行う制御手段と
を備えることを特徴とする逐次比較型ＡＤ変換器。
【請求項２】
請求項１記載の逐次比較型ＡＤ変換器において、制御手段は固有の容量値に比例した時間長の電荷再配分を行うことを特徴とする逐次比較型ＡＤ変換器。
【請求項３】
アナログ信号を入力する入力手段と、
前記入力手段から入力した前記アナログ信号または第１の基準電位信号または第２の基準電位信号のうち１つを選択する複数の選択手段と、
一方を前記複数の選択手段のそれぞれに接続し、他方を互いに接続した、それぞれが固有の容量値を有する複数の容量手段と、
前記複数の容量素子の互いに接続した方の電位と逐次比較を行う基準電位とを比較して比較値をデジタル信号として出力する比較手段と、
前記それぞれの容量手段に蓄えられた電荷の再配分と前記比較手段による前記電荷再配分に基づく比較に要する時間に応じて前記選択手段の選択時間を複数変化させた制御を行う制御手段とを備えることを特徴とする逐次比較型ＡＤ変換器。
【請求項４】
電荷配分のための待ち時間を容量に応じて変化させることを特徴とする逐次比較型ＡＤ変換方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月7日(2005.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源と、
複数の開口を備えた基板と、
前記荷電粒子源から放射される荷電粒子線を前記基板に照射する照射電子光学系と、
前記複数の開口を通過する複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、
前記複数の中間像を被露光面に縮小投影する投影電子光学系と、
前記複数の開口を通過する前記複数の荷電粒子線を個別に偏向する複数の偏向器と、
前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を変更するとともに、前記複数の偏向器を個別に制御することで、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する制御手段とを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項２】
前記照射電子光学系は複数の電子レンズを有し、前記複数の電子レンズのうち少なくとも１つの電子レンズの電子光学的パワーを調整することで前記相対位置関係を変更する請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項３】
前記制御手段は、位置調整の目標値と前記相対位置関係の変更量との差にもとづいて前記複数の偏向器を制御する請求項１または２に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項４】
前記複数の中間像が前記投影電子光学系を介して前記被露光面に投影される位置に関する情報に基づいて、前記制御手段は前記目標値を設定する請求項３に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項５】
前記複数の中間像が前記投影電子光学系を介して前記被露光面に投影される位置に関する情報に基づいて、前記制御手段は前記相対位置関係の変更を複数回行う請求項３に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の荷電粒子線露光装置を用いて被露光基板を露光する段階と、前記被露光基板を現像する段階とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項７】
荷電粒子源から荷電粒子線を放射する段階と、
照射電子光学系によって前記荷電粒子源から放射される前記荷電粒子線を複数の開口を備えた基板に照射する段階と、
前記複数の開口を通過する複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する段階と、
複数の偏向器によって前記複数の荷電粒子線を個別に偏向する段階と、
前記複数の中間像を被露光面に縮小投影する段階と、
前記複数の偏向器を個別に制御するとともに、前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を変更することで、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する段階とを有することを特徴とする荷電粒子線露光方法。
【請求項８】
前記照射電子光学系は複数の電子レンズを有し、前記複数の電子レンズのうち少なくとも１つの電子レンズの電子光学的パワーを調整することで前記相対位置関係を変更する請求項７に記載の荷電粒子線露光方法。
【請求項９】
位置調整の目標値と前記相対位置関係の変更量との差にもとづいて前記複数の偏向器を制御する請求項７または８に記載の荷電粒子線露光方法。
【請求項１０】
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報に基づいて、前記目標値を設定する請求項９に記載の荷電粒子線露光方法。
【請求項１１】
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報に基づいて、前記相対位置関係の変更を複数回行う請求項９に記載の荷電粒子線露光方法。
【請求項１２】
請求項７〜１１のいずれかに記載の荷電粒子線露光方法を用いて被露光基板を露光する段階と、前記被露光基板を現像する段階とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述した従来の改良を目的とする。本発明の一形態に係る荷電粒子線露光装置は、
荷電粒子源と、
複数の開口を備えた基板と、
前記荷電粒子源から放射される荷電粒子線を前記基板に照射する照射電子光学系と、
前記複数の開口を通過する複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、
前記複数の中間像を被露光面に縮小投影する投影電子光学系と、
前記複数の開口を通過する前記複数の荷電粒子線を個別に偏向する複数の偏向器と、
前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を変更するとともに、前記複数の偏向器を個別に制御することで、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する制御手段とを有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、本発明の別の形態に係る荷電粒子線露光方法は、
荷電粒子源から荷電粒子線を放射する段階と、
照射電子光学系によって前記荷電粒子源から放射される前記荷電粒子線を複数の開口を備えた基板に照射する段階と、
前記複数の開口を通過する複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する段階と、
複数の偏向器によって前記複数の荷電粒子線を個別に偏向する段階と、
前記複数の中間像を被露光面に縮小投影する段階と、
前記複数の偏向器を個別に制御するとともに、前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を変更することで、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する段階とを有する。
更に、本発明の別の形態に係るデバイス製造方法は、上記荷電粒子線露光方法を用いて被露光基板を露光する段階と、前記被露光基板を現像する段階とを有する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月10日(2005.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報源データに基づいてディジタル放送信号を生成し、所定のセグメントを用いて上記ディジタル放送信号を伝送するディジタル放送装置であって、
副信号を生成する副信号生成回路と、
上記副信号を伝送するセグメントの放送用周波数に基づいて設定された乱数符号の初期値を用いて疑似乱数列を発生する乱数列発生回路と、
上記乱数列発生回路により生成した上記疑似乱数列を用いて上記副信号のマッピング処理を行う副信号変調回路と、
上記情報源データに基づき生成された主信号と上記副信号変調回路の出力信号とを用いて、所定の変調方式に応じて搬送波を変調し、上記ディジタル放送信号を生成する変調回路と
を有するディジタル放送装置。
【請求項２】
上記変調回路は、上記主信号と上記副変調回路の出力信号とを用いて、ＯＦＤＭ変調を行うＯＦＤＭ変調回路である
請求項１記載のディジタル放送装置。
【請求項３】
上記情報源データは、音声信号を符号化して得られた音声データである
請求項１記載のディジタル放送装置。
【請求項４】
上記副信号を伝送するセグメントの放送用周波数は、所定の周波数帯域を複数に分割して形成されるサブチャンネルの一つに対応するものであり、各々のサブチャンネルには所定のサブチャンネル番号が付与されており、
上記乱数列発生回路は、上記セグメントにかかるサブチャンネル番号に基づき、上記疑似乱数列を発生するための乱数符号の初期値を設定する
請求項１記載のディジタル放送装置。
【請求項５】
情報源データに基づいてディジタル放送信号を生成し、所定のセグメントを用いて上記ディジタル放送信号を伝送するディジタル放送装置であって、
上記情報源データに基づき生成された主信号に対して、該主信号を伝送するセグメントの放送用周波数に基づいて設定されたパラメータを用いて周波数インターリーブを行う周波数インターリーブ回路と、
上記周波数インターリーブされた主信号を用いて、所定の変調方式に応じて搬送波を変調し、上記ディジタル放送信号を生成する変調回路と
を有するディジタル放送装置。
【請求項６】
副信号を生成する副信号生成回路と、
上記副信号を伝送するセグメントの放送用周波数に基づいて設定された乱数符号の初期値を用いて生成した疑似乱数列を用いて擬似乱数列を発生する乱数列発生回路と、
上記乱数列発生回路により生成した上記擬似乱数列を用いて上記副信号のマッピング処理を行う副信号変調回路と、
を有し
上記変調回路は、上記情報源データに基づき生成された主信号と上記副信号変調回路の出力信号とを用いて、所定の変調方式に応じて搬送波を変調し、上記ディジタル放送信号を生成する
請求項５記載のディジタル放送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のディジタル放送装置は、情報源データに基づいてディジタル放送信号を生成し、所定のセグメントを用いて上記ディジタル放送信号を伝送するディジタル放送装置であって、副信号を生成する副信号生成回路と、上記副信号を伝送するセグメントの放送用周波数に基づいて設定された乱数符号の初期値を用いて疑似乱数列を発生する乱数列発生回路と、上記乱数列発生回路により生成した上記疑似乱数列を用いて上記副信号のマッピング処理を行う副信号変調回路と、上記情報源データに基づき生成された主信号と上記副信号変調回路の出力信号とを用いて、所定の変調方式に応じて搬送波を変調し、上記ディジタル放送信号を生成する変調回路とを有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明のディジタル放送装置は、情報源データに基づいてディジタル放送信号を生成し、所定のセグメントを用いて上記ディジタル放送信号を伝送するディジタル放送装置であって、上記情報源データに基づき生成された主信号に対して、該主信号を伝送するセグメントの放送用周波数に基づいて設定されたパラメータを用いて周波数インターリーブを行う周波数インターリーブ回路と、上記周波数インターリーブされた主信号を用いて、所定の変調方式に応じて搬送波を変調し、上記ディジタル放送信号を生成する変調回路とを有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明では、好適には、副信号を生成する副信号生成回路と、上記副信号を伝送するセグメントの放送用周波数に基づいて設定された乱数符号の初期値を用いて生成した疑似乱数列を用いて擬似乱数列を発生する乱数列発生回路と、上記乱数列発生回路により生成した上記擬似乱数列を用いて上記副信号のマッピング処理を行う副信号変調回路と、を有し、上記変調回路は、上記情報源データに基づき生成された主信号と上記副信号変調回路の出力信号とを用いて、所定の変調方式に応じて搬送波を変調し、上記ディジタル放送信号を生成する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明では、好適には、上記変調回路は、上記主信号と上記副変調回路の出力信号とを用いて、ＯＦＤＭ変調を行うＯＦＤＭ変調回路であり、上記情報源データは、音声信号を符号化して得られた音声データである。上記副信号を伝送するセグメントの放送用周波数は、所定の周波数帯域を複数に分割して形成されるサブチャンネルの一つに対応するものであり、各々のサブチャンネルには所定のサブチャンネル番号が付与されており、上記乱数列発生回路は、上記セグメントにかかるサブチャンネル番号に基づき、上記疑似乱数列を発生するための乱数符号の初期値を設定する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月18日(2005.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の符号化方式で符号化された第１の画像データと上記符号化された第１の画像データを復号する際に必要な情報である付加データとを含む符号化データを、上記所定の符号化方式での符号化に対する復号化がなされた第２の画像データに変換する画像処理装置において、
上記付加データに基づいて、上記第２の画像データの注目画素を複数のクラスの一つに分類するクラス分類手段と、
上記注目画素毎に、上記クラスに対応した予測方式を決定する予測方式決定手段と、
上記クラスに対応した上記予測方式によって、上記符号化された第１の画像データに基づいて上記注目画素毎に上記第２の画像データを生成する画像データ生成手段と
を具えることを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
上記符号化は、圧縮符号化である
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
上記符号化は、ＭＰＥＧ(Moving Picture Experts Group)規格による符号化であり、
上記付加データは、ＧＯＰ(Group of Picture)層のパラメータである
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項４】
上記符号化は、ＭＰＥＧ(Moving Picture Experts Group)規格による符号化であり、
上記付加データは、ピクチャ層のパラメータである
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項５】
上記画像データ生成手段は、
上記第１の画像データを、上記所定の符号化方式に対応する復号方式で復号する復号手段と、
上記注目画素の位置に基づいて、上記復号された第１の画像データから１又は複数の画素を予測タップとして抽出する予測タップ抽出手段と
を具え、上記クラス毎の上記予測方式によって、上記予測タップに基づいて上記注目画素を生成する
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項６】
上記クラス分類手段は、
上記注目画素位置に基づいて、上記復号化された上記第１の画像データから、１又は複数の画素をクラスタップとして抽出するクラスタップ抽出手段と、
上記クラスタップに基づいて、上記注目画素に対応する特徴を検出する特徴検出手段と、
上記特徴に基づいて、上記注目画素をさらに複数のクラスの一つに分類する特徴分類手段と
を具えることを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
【請求項７】
上記予測タップ抽出手段は、
上記付加データに基づいて、上記復号された第１の画像データから予測タップを抽出する
ことを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
【請求項８】
上記クラスタップ抽出手段は、
上記付加データに基づいて、上記復号された第１の画像データからクラスタップを抽出する
ことを特徴とする請求項６に記載の画像処理装置。
【請求項９】
上記クラスに対応した予測方式では、上記各クラスに対応した予測データを用いて上記第２の画像データを生成し、上記予測データは上記第１の画像データに対応した画像データ及び上記第２の画像データに対応した画像データに基づいて上記各クラス毎に予め生成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
所定の符号化方式で符号化された第１の画像データと上記符号化された第１の画像データを復号する際に必要な情報である付加データとを含む符号化データを、上記所定の符号化方式での符号化に対する復号化がなされた第２の画像データに変換する画像処理方法において、
上記付加データに基づいて、上記第２の画像データの注目画素を複数のクラスの一つに分類するステップと、
上記注目画素毎に、上記クラスに対応した予測方式を決定するステップと、上記クラスに対応した上記予測方式によって、上記符号化された第１の画像データに基づいて上記注目画素毎に上記第２の画像データを生成するステップと
を具えることを特徴とする画像処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月5日(2004.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ここで、身長１５０ｃｍ、体重５０ｋｇの２２歳の女性が１００００歩歩いた場合を想定し、生活行動パターンによる所定値とＢＭＩを用いたこの演算方法により、歩行中の脂肪燃焼効率を求めてみる。この女性は（１）普段は運動をせず、（２）自分は痩せていて脂肪率は低いと感じているが、（３）家ではゴロゴロしており、（４）冷え性であるため、（５）長風呂が好きで、（６）趣味はカラオケで、（７）間食をよくしてしまう人であるとする。
まず、図１に示す生活行動パターンにおいて判定してみると、
１）運動量が多い                          ×（−５）
２）私は脂肪率が高い                      ×（＋５）
３）家でゴロゴロしているのが好き          ○（−５）
４）寒くても平気                          ×（−５）
５）長風呂派である                        ○（＋５）
６）カラオケに頻繁に行ってよく歌う        ○（＋５）
７）間食をよくする                        ○（−５）
となり、合計値は−５ポイントとなる。従って図３より、この生活行動パターンでは、脂肪燃焼効率は１０＋ＢＭＩで求められることになる。
更にＢＭＩを求めると、ＢＭＩ＝体重／（身長）２であるので、
ＢＭＩ＝５０／（１．５）２
よって脂肪燃焼効率（％）は
脂肪燃焼効率＝１０＋（５０／１．５２）≒３２．２
従ってこの女性の場合、歩行中の消費エネルギーのうち脂肪が占める割合の脂肪燃焼効率は、３２．２％であると求めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月1日(2005.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
加熱可能な毛細管（１）が設けられている、請求項７記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月18日(2004.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
たとえば、従来のヤード内金属製品の結露防止方法、及び結露予測装置としては、特開平４−１０５７１３号公報や特開平５−８７３７９号公報に示されているようなものがある。これらの先行技術はともに、温度測定センサーと露点温度計測手段からなり、金属コイル表面温度と露点温度を常時測定し、金属コイル表面温度と露点温度との差の絶対値、或いは差の変化率によって結露注意・警報を発令するもので、特に前者はヤード内のクレーントングにセンサーを設置して広範囲なヤードをカバーすることに特徴があり、後者は、２時間後の結露予測方法に特徴がある。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月17日(2005.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物体に向かってその下方から気体を吹き付けることによって浮揚させ、前記対象物体を浮揚させた状態で前記対象物体を熱処理空間内に移動させて前記熱処理空間内に停止させ、前記対象物体を熱処理することを特徴とする方法。
【請求項２】
対象物体の移動は、前記対象物体にその斜め下方から気体を吹き付けることにより行う請求項１記載の方法。
【請求項３】
対象物体の移動は、前記対象物体に機械的な力を加えることにより行う請求項１記載の方法。
【請求項４】
対象物体の停止は、前記対象物体にその斜め下方から気体を吹き付けることにより行う請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
求項１１記載の方法。
【請求項５】
対象物体の停止は、前記対象物体の下方に位置する吸引口から気体を吸引し、前記対象物体を吸引口に向かって引き寄せることにより行う請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
対象物体の停止は、前記対象物体に機械的な力を加えることにより行う請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
対象物体は、プラズマ・ディスプレイ・パネルである請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
対象物体に向かって気体を下から吹き付けることによって対象物体を浮揚させる手段と、前記浮揚した対象物体を移動させる手段と、前記対象物体を熱処理空間内に停止させる手段と、前記対象物体を熱処理する手段とを有して成る装置。
【請求項９】
対象物体を移動させる手段は、前記対象物体にその斜め下方から気体を吹き付ける手段である請求項８記載の装置。
【請求項１０】
対象物体を移動させる手段は、前記対象物体に機械的な力を加える手段である請求項８記載の装置。
【請求項１１】
対象物体を停止させる手段は、前記対象物体にその斜め下方から気体を吹き付ける手段である請求項８から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
対象物体を停止させる手段は、前記対象物体の下方に位置する吸引口から気体を吸引することにより、前記対象物体を吸引口に向かって引き寄せる吸引停止手段である請求項８から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
対象物体を停止させる手段は、前記対象物体に機械的な力を加える手段である請求項８から１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
熱処理空間は、対象物体を包囲する均熱シートを有して成る請求項８から１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
熱処理する手段は、対象物体と均熱シートとの間に配置されている第１の手段と、前記均熱シートの前記第一の手段が配置された側と反対側に配置された第二の手段とからなり、前記第一の手段は、電熱ヒータであり、前記第二の手段は、中を熱媒体が通過する導管である請求項１４記載の装置。
【請求項１６】
均熱シートは、高配向グラファイトシートである請求項１４または１５記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月29日(2004.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
尚、図示の例では、上記各サポート軸受９、９及びローラクラッチ１６を、回転軸３（図５〜６）の端部に外嵌固定するスリーブ８の外周面と従動プーリ７ｂの内周面との間に設ける場合に就いて示したが、上記スリーブ８を省略する事もできる。この場合には、上記各サポート軸受９、９及びローラクラッチ１６を、回転軸３の端部外周面と従動プーリ７ｂの内周面との間に設ける。又、カム面をローラクラッチ用内輪の外周面に代えて、ローラクラッチ用外輪の内周面に設ける構造でも、本発明を実施する事は可能である。この場合には、ローラクラッチ用外輪をサポート軸受用外輪と別体とし、ローラクラッチ用外輪の両端部には鍔部は設けない。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月6日(2004.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
次に、図３に示した第２例の場合には、内周面に雌ねじを形成したねじ筒６の一端部にコネクタ１ａを螺合固定し、他端部に調節ねじ７を螺合させている。そして、上記コネクタ１ａの他端面に弁体４ａを対向させ、この弁体４ａと上記調節ねじ７との間に圧縮ばね５を設けている。この様な第２例の安全弁は、上記コネクタ１ａの一端部外周面に設けたテーパねじ部９をエアタンクに設けたねじ孔に螺合させる事で、このエアタンクに組み付ける。このエアタンク内の圧力が上昇すると、上記弁体４ａが上記圧縮ばね５の弾力に抗して上記コネクタ１ａの他端面から離れ、エアタンク内の圧力を外部に逃がす。出荷検査時に於いて、上記弁体４ａが上記コネクタ１ａの他端面から離れる際のエアタンクの圧力を調整する場合には、上記調節ねじ６を回転させて上記圧縮ばね５の弾力を変える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
尚、上記係止突条２４は、断面形状が直角三角形で外周面をその斜辺とし、且つ、上記保護カバー２２の開口部に向かう程（図１の下方程）この保護カバー２２の内周面からの突出量が少なくなる方向に傾斜させている。従って、上記係止突条２４と上記係止凹溝２３とを係合させる作業は比較的容易に行なえるが、一度係合した係止突条２４と係止凹溝２３との係合を外す事は難しくなる。尚、図示の構造とは逆に、保護カバー２２の内周面に係止凹溝２３を、保持環１６の外周面に係止突条２４を、それぞれ形成しても良い。又、上記係止突条２４及び係止凹溝２３は（特に係止突条２４は）、必ずしも上記各周面の全周に亙って設ける必要はなく、円周方向複数個所（例えば３個所以上）に間欠的に設けても良い。更に、上記保護カバー２２の材質、硬度は、この保護カバー２２に要求される性能に応じて、設計的に選択する。特に、上記保護カバー２２を、金属、硬質合成樹脂等の硬い材料により造った場合には、上記係止突条２４と係止凹溝２３とを係合させた後は、上記保護カバー２２を破壊しない限り、この保護カバー２２と上記保持環１６とを分離させる事が不可能になる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
出荷検査時に安全弁の設定圧を調整する場合には、上記ロッド１２の他端部に螺合した調節ナット３ａを回転させて、このロッド１２を軸方向に変位させ、このロッド１２の一端部に設けた前記係止鍔部１３と上記コネクタ１ｂに設けた前記係止段部１１との間隔を変え、上記圧縮ばね５の弾力を調節する。上記安全弁をエアタンクに装着した状態でも、上記調節ナット３ａはエアタンク外に露出しているので、上記安全弁をエアタンクに装着したまま操作できる。従って、上記設定圧を正確に調節する作業を容易に行なえる。前記保護カバー２２は、この様な設定圧の調整作業を終了した後、前記保持環１６に被着する。又、安全弁を構成する各構成部品のうち、軸方向寸法が嵩む圧縮ばね５並びにロッド１２の一部を、エアタンク内に挿入した状態で設置できる。従って、上記安全弁をエアタンクに組み付けた状態で、この安全弁がエアタンクの外面から突出する量を少なく抑える事ができる。又、上記保護カバー２２を上記保持環１６に被着した後は、この保護カバー２２がこの保持環１６から簡単には外れない為、上記調節ナット３ａを回転させる事ができなくなる。この為、上記出荷検査時に安全弁の設定圧を調整して上記保護カバー２２を被着した後は、使用者が勝手に上記設定圧を変える事を防止できる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月6日(2004.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述の様な従来の回転速度検出装置付転がり軸受ユニットの場合、剛性の確保と小型・軽量化とを両立させる事が難しかった。この理由に就いて、本発明の実施の形態の第１例を示す図２により説明する。車輪を回転自在に支持する転がり軸受ユニットの使用時には、第一、第二の内輪１ａ、６ａの中心軸と外輪７ａの中心軸とをずらせる方向のモーメント荷重が、上記第一の内輪１ａに加わる。このモーメント荷重となる荷重の作用点は、内側の転動体１１と第二の内輪軌道５及び第二の外輪軌道９との接触角の延長線イと、上記第一、第二の内輪１ａ、６ａの中心軸Ｘとの交点Ｏとなる。そして、上記モーメント荷重は、この交点Ｏを荷重の作用点として、上記第一の内輪１ａを曲げる方向に加わる。この様に第一の内輪１ａを曲げようとするモーメント荷重の大きさは、上記交点Ｏからの距離ｘが大きくなる程大きくなり、上記接触角をθとし、上記転動体１１の転動面を上記第二の内輪軌道５に押し付ける力をＦとすると、ｘ・cos θ・Ｆとなる。従って、上記モーメント荷重に拘らず上記第一の内輪１ａが曲がる事を防止する為には、この第一の内輪１ａの軸方向寸法を小さく（ｘを小さく）したり、或は、上記交点Ｏから離れるに伴ってこの第一の内輪１ａの断面積が大きくなる様にする事が好ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
又、上記外輪７ａの外周面で上記取付孔１８ａの外端開口の周囲部分には、この取付孔１８ａの中心軸に対して直交する方向に存在する、平坦な取付面２７を形成している。そして、この取付面２７と上記取付孔１８ａの内周面との連続部に、段部２８若しくは円錐凹面状の面取り部（図示せず）を形成している。一方、上記センサ１９ａの基端部（図１の下端部）には取付部２９を固設し、この取付部２９の端部に挿通したねじ（図示せず）により、この取付部２９を上記外輪７ａに結合固定している。この状態で、上記センサ１９ａの基端部に外嵌したＯリング３０を、上記取付部２９と上記段部２８若しくは面取り部との間で弾性的に圧縮し、上記センサ１９ａを装着した部分を密封し、上記取付孔１８ａを通じて、雨水等の異物が上記外輪７ａ内に侵入する事を防止している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
又、上記第一の内輪１ａは、ナット２１を螺合させる為のねじ部を除けば、上記段部４ａ部分の直径ｄ4aが最も小さく、前記嵌合円筒面部２３の直径ｄ23、上記第一の内輪１ａの中間部でこの嵌合円筒面部２３よりも上記第一の内輪軌道３側に寄った部分の直径ｄ1aへと、次第に大きく（ｄ4a＜ｄ23＜ｄ1a）なっている。従って、上記第一の内輪１ａの断面積も、上記段部４ａから嵌合円筒面部２３、更には上記第一の内輪１ａの軸方向中間部で上記第一の内輪軌道３側に寄った部分に向けて、次第に大きくなる。前述した様に、自動車への組み付け状態で転がり軸受ユニットに加わるモーメント荷重は、内側の転動体１１と第二の内輪軌道５及び第二の外輪軌道９との接触角の延長線イと、上記第一、第二の内輪１ａ、６ａの中心軸Ｘとの交点Ｏから、外側に向かう程大きくなる。本発明の回転速度検出装置付転がり軸受ユニットの場合には、モーメント荷重が大きくなる部分程上記第一の内輪１ａの断面積が大きくなっているので、この第一の内輪１ａの容積を大きくする事なく、この第一の内輪１ａに加わるモーメント荷重に対する剛性を十分に確保できる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月27日(2005.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークアナライザシステムの較正を実施するための方法であって、
（ａ）前記ネットワークアナライザシステムの検査ポートごとに初期較正を実施するステップであって、
（ａ．１）較正基準を使用して測定較正を実施するサブステップであって、
前記較正基準は、前記ネットワークアナライザシステムの外部に配置された基準平面内に配置されており、
前記測定較正は、初期較正係数をもたらす
ことからなる、サブステップと、
（ａ．２）前記ネットワークアナライザシステム内における電子基準を測定して、初期測定電子基準を生成する、サブステップと、
（ａ．３）前記初期較正係数と前記初期測定電子基準とを使用して、初期補正電子基準を生成する、サブステップ
とを含むことからなる、ステップと、
（ｂ）前記検査ポートごとに自動再較正を実施するステップであって、
前記自動再較正は、ステップ（ａ）における全ての検査ポートの初期較正の後に実施され、且つ、前記ネットワークアナライザシステムの外部に配置された基準平面内に配置された較正基準を使用すること無く実施され、
前記自動再較正は、
（ｂ．１）前記ネットワークアナライザシステム内における前記電子基準を測定して、再較正測定電子基準を生成する、サブステップと、
（ｂ．２）前記再較正測定電子基準と前記初期補正電子基準とを使用して、再計算較正係数を生成する、サブステップ
とを含むことからなる、ステップ
とを含む、方法。
【請求項２】
前記サブステップ（ａ．２）において、前記電子基準は、開放、短絡、及び負荷を近似することからなる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記サブステップ（ａ．１）において、前記初期較正係数は、
３つの反射誤差係数、すなわち、指向性（ＤＩＲ）、ソース整合（ＳＭ）、及び反射トラッキング（ＲＴ）と、
１つの伝送誤差係数、すなわち、伝送トラッキング（ＴＴ）
とを含むことからなる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記サブステップ（ａ．１）において、反射較正基準についての測定値（Ｒ＿ＲＡＷ）は、次の式、すなわち、
Ｒ＿ＲＡＷ＝ＤＩＲ＋（Ｒ＿ＣＯＲ×ＲＴ）／（１−（ＳＭ×Ｒ＿ＣＯＲ））
に従って、該反射較正基準についての補正値（Ｒ＿ＣＯＲ）に関連付けられることからなる、請求項３に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月20日(2004.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
電源３０４はリチウム電池又は銀電池を用いるのがよい。ＬＣＤパネル３６０の代わりに、蛍光管、ＬＥＤ等を用いてもよい。レーザー光を受光する素子は、ＰＳＤであってもよいし、或いは、縦にＰＤを配列して、基準照射光が横切る位置を検出できるようにしたセンサーであってもよい。スイッチ３２１〜３２３は、電源スイッチ１５０、検出精度調整スイッチ１５２、警告ブザー音量調整スイッチ１５４にそれぞれ対応する。本発明の基準照射光検出装置は更に、ＣＰＵ３５０の指令に基づいて指標１４０を移動させるアクチュエータ３７２を有する。このアクチュエータ３７２をリニアモータを用いて構成するのがよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
1999118488.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月9日(2004.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】形状測定方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う方法において、
Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データのうち、その前後付近の平均値からの超過分が所定のしきい値をこえるＺ座標データを削除し、または、他のＺ座標データに置き換えることを特徴とする形状測定方法。
【請求項２】
測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う方法において、
Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データのうち、その設計値または推定値からの超過分が所定のしきい値をこえるＺ座標データを削除し、または、他のＺ座標データに置き換えることを特徴とする形状測定方法。
【請求項３】
測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う方法において、
Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データの設計値または推定値からの超過分の二乗平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標データの列を座標変換することを特徴とする形状測定方法。
【請求項４】
測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う方法において、
Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データの設計値または推定値からの超過分の二乗平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標データの列を座標変換し、座標変換後のＺ座標データの列を構成する各Ｚ座標データのうち、その設計値または推定値からの超過分が所定のしきい値をこえるＺ座標データを削除し、または、他のＺ座標データに置き換えることを特徴とする形状測定方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う方法に関するものであり、特に非球面レンズなどの曲面形状の測定に好適である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、非球面や自由曲面を有する測定物の形状測定においても、ホコリなどの異物の影響を受けることなく、常に正しい表面形状測定を行うことができる形状測定方法を提供することである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願第１の発明は、測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う際に、Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データのうち、その前後付近の平均値からの超過分が所定のしきい値をこえるＺ座標データを削除し、または、他のＺ座標データに置き換えることを特徴とするものである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本願第２の発明は、測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う際に、Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データのうち、その設計値または推定値からの超過分が所定のしきい値をこえるＺ座標データを削除し、または、他のＺ座標データに置き換えることを特徴とするものである。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このような構成では、各Ｚ座標データの設計値または推定値が予めわかっている場合に、上記第１の発明における平均値の代わりに、この設計値または推定値を用いるものであり、上記第１の発明と同様の作用効果を奏する。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本願第３の発明は、測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う際に、Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データの設計値または推定値からの超過分の二乗平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標データの列を座標変換することを特徴とするものである。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本願第４の発明は、測定面上でプローブをＸＹ座標方向に走査することにより、プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行う際に、Ｚ座標データの列を構成する各Ｚ座標データの設計値または推定値からの超過分の二乗平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標データの列を座標変換し、座標変換後のＺ座標データの列を構成する各Ｚ座標データのうち、その設計値または推定値からの超過分が所定のしきい値をこえるＺ座標データを削除し、または、他のＺ座標データに置き換えることを特徴とするものである。