【手続補正書】
【提出日】平成16年6月4日(2004.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材を保持するための保持装置であって、
前記光学部材の形状の変形量を検出する検出手段と、
前記変形量に基づいて、前記光学部材の形状を調整する調整ユニットとを有することを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記検出手段は、歪みゲージであることを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記光学部材上に配置されることを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項４】
前記検出手段は、ピッチ１２０°で同一円周上に配置されることを特徴とする請求項３記載の保持装置。
【請求項５】
前記調整ユニットは、前記光学部材にかかる荷重を均等にすることを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項６】
前記調整ユニットは、前記光学部材の収差を低減させるように前記光学部材にかかる荷重を調整することを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項７】
前記調整ユニットは、コイルバネを有することを特徴とする請求項５又は６記載の保持装置。
【請求項８】
前記調整ユニットは、前記コイルバネの長さを調整する調整ネジを更に有することを特徴とする請求項７記載の保持装置。
【請求項９】
前記調整ユニットは、ピッチ１２０°で同一円周上に配置されることを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項１０】
前記光学部材を略３点で支持する支持部を有することを特徴とする請求項１記載の保持装置。
【請求項１１】
前記検出手段を３つ有し、該３つの検出手段はそれぞれ前記３つの支持部の間に配置されていることを特徴とする請求項１０記載の保持装置。
【請求項１２】
前記調整ユニットを３つ有し、該３つの調整ユニットはそれぞれ前記３つの支持部の間に配置されていることを特徴とする請求項１０又は１１記載の保持装置。
【請求項１３】
前記調整ユニットの数は前記検出手段の数より多く、前記検出手段からの検出結果に基づいて前記調整ユニットを駆動することを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項記載の保持装置。
【請求項１４】
前記光学素子を略３点で支持する支持部を有しており、前記調整ユニットは前記３点の支持部の（前記光学部材の円周方向の）間隔ごとに設けられており、前記検出手段は前記３点の支持部の間隔のうち少なくとも１つの間隔に設けられていることを特徴とする請求項１乃至１３のうちいずれか１項記載の保持装置。
【請求項１５】
前記検出手段と前記調整ユニットとが一体的に設けられていることを特徴とする請求項１乃至１４のうちいずれか１項記載の保持装置。
【請求項１６】
前記検出手段は、前記調整ユニットが有する部材を用いて、前記光学部材の変形量を検出していることを特徴とする請求項１乃至１５のうちいずれか１項記載の保持装置。
【請求項１７】
前記検出手段は、前記調整ユニットが有する部材の歪み量を測定することにより、前記光学部材の変形量を検出していることを特徴とする請求項１６記載の保持装置。
【請求項１８】
光学部材を保持するための保持装置であって、
前記光学部材の形状を調整する調整ユニットと、
前記調整ユニットを構成する部材の変形量を検出する検出手段とを有し、
前記検出手段による検出結果に基づいて、前記調整ユニットにより前記光学部材の形状を調整することを特徴とする保持装置。
【請求項１９】
前記光学部材を略３点で支持する支持部を有しており、前記調整ユニットは前記略３点の支持部の間隔それぞれに配置されていることを特徴とする請求項１８記載の保持装置。
【請求項２０】
光学部材の形状を所望の形状に調整する調整方法であって、
前記所望の形状から変形した前記光学部材の形状を取得するステップと、
前記取得ステップで取得した前記光学部材の形状から前記所望の形状にするために必要な当該光学部材に付与する力を算出するステップと、
前記算出ステップで算出した前記付与する力を前記光学部材に付与するステップとを有することを特徴とする調整方法。
【請求項２１】
前記光学部材の波面収差を検出するステップと、
前記検出ステップで検出した前記波面収差が規格内となるように、前記光学部材に力を付与するステップとを更に有することを特徴とする請求項２０記載の調整方法。
【請求項２２】
請求項１乃至１９のうちいずれか１項記載の保持装置と、
前記保持装置に保持された光学部材を介してマスク又はレチクルに形成されたパターンを被処理体に露光する光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項２３】
請求項２２記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】削除
【補正の内容】