【手続補正書】
【提出日】平成16年7月9日(2004.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】投影光学系、露光装置及び露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から像側へ順に、第１のレンズ群と、正の屈折力を有する第２のレンズ群と、負の屈折力を有する第３のレンズ群と、正の屈折力を有する第４のレンズ群と、前記第３のレンズ群と前記第４のレンズ群との間に配置された開口絞りとを備える投影光学系において、
Ｌを前記光学系の物像距離とし、Ｅｎを前記光学系の物体側の第１レンズ面から測った前記光学系の入射ひとみまでの距離とし、Ｅｘを前記光学系の像側の最終レンズ面から測った前記光学系の射出ひとみまでの距離とし、βを前記光学系全系の倍率としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
｜Ｅｎ｜＞Ｌ｜Ｅｘ｜＞｜Ｌ／β｜
【請求項２】
β１を前記第１のレンズ群の倍率とし、ｆ１を前記第１のレンズ群の焦点距離としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
−２．３＜β１／β＜−１．６｜ｆ１｜＞Ｌ
【請求項３】
β４を前記第４のレンズ群の倍率とし、δ３４を前記第３のレンズ群の最終レンズ面から前記第４のレンズ群の最初のレンズ面までの軸方向距離としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
２＜β４／β＜３δ３４／Ｌ＞０．０５
【請求項４】
ｆ４を前記第４のレンズ群の焦点距離としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の投影光学系。
０．０９＜ｆ４／Ｌ＜０．１６
【請求項５】
ｆ２を前記第２のレンズ群の焦点距離としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の投影光学系。
０．１＜ｆ２／Ｌ＜０．２
【請求項６】
ｆ３を前記第３のレンズ群の焦点距離としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の投影光学系。
−０．１２＜ｆ３／Ｌ＜−０．０６
【請求項７】
前記第３のレンズ群が、互いに向合う一対の凹レンズ面と、前記一対の凹レンズ面間に配置した負の屈折力レンズを少なくとも１個含むことを特徴とする請求項１乃至の何れか一項６に記載の投影光学系。
【請求項８】
Ｃ１を前記負の屈折力レンズの物体側の面の曲率とし、Ｃ２を前記負の屈折力レンズの像側の面の曲率としたとき、前記一対の凹レンズ面間に配置した前記負の屈折力レンズのうち少なくとも１個は、以下の条件を満足することを特徴とする請求項７に記載の投影光学系。
ｑ３２＜−０．２
但し、ｑ３２は形状係数であって、
ｑ３２＝（Ｃ１＋Ｃ２）／（Ｃ１−Ｃ２）
によって決定される。前記レンズの物体側の第１のレンズ面の曲率がＣ１であり、像側の第２のレンズ面の曲率がＣ２である。
【請求項９】
前記一対の凹レンズ面間に配置した前記負の屈折力レンズのうち少なくとも１個は、以下の条件を満足することを特徴とする請求項８に記載の投影光学系。
ｑ＜−０．２
但し、ｑは形状係数であって、
ｑ＝（Ｃ１＋Ｃ２）／（Ｃ１−Ｃ２）
によって決定される。前記レンズの物体側の第１のレンズ面の曲率がＣ１であり、像側の第２のレンズ面の曲率がＣ２である。
【請求項１０】
前記第１のレンズ群は、前記物体側から順に、正の屈折力を有する前側レンズ群と、負の屈折力を有する後側レンズ群と、を含むことを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項１１】
前記第１のレンズ群の前記前側レンズ群は、正の屈折力レンズを少なくとも２個含み、かつ、前記第１のレンズ群の後側レンズ群は、負の屈折力レンズを少なくとも２個含むことを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系。
【請求項１２】
前記第２のレンズ群は、正の屈折力レンズを少なくとも３個含み、かつ、前記第２のレンズ群の最初のレンズ面は、前記物体側に面する凹レンズ面であることを特徴とする請求項１乃至１１の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項１３】
前記第４のレンズ群は、正の屈折力レンズを少なくとも６個含み、かつ、前記光学系の前記像側に面する凹レンズ面を有する負の屈折力レンズを少なくとも１個含むことを特徴とする請求項１乃至１２の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項１４】
ｆ４ｂを前記第４のレンズ群中の前記少なくとも１個の負の屈折力レンズの焦点距離としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１３記載の投影光学系。
｜ｆ４ｂ／Ｌ｜＜０．１３
【請求項１５】
前記第１のレンズ群の前記後側レンズ群は、負の屈折力レンズを少なくとも３個含むことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の投影光学系。
【請求項１６】
前記第２のレンズ群は、正の屈折力レンズを少なくとも４個含むことを特徴とする請求項１乃至１５の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項１７】
前記第４のレンズ群は、第２の負の屈折力レンズを少なくとも１個含むことを特徴とする請求項１３に記載の投影光学系。
【請求項１８】
前記第４のレンズ群の前記第２の負の屈折力レンズのうち少なくとも１個は、前記第４のレンズ群の少なくとも１個の前記負の屈折力レンズの前記物体側に配置され、
ｈ４ａを前記第２の負の屈折力レンズ少なくとも１個の各レンズ面の周辺近軸光線中最大の高さとし、ｈ４ｍａｘを前記第４のレンズ群での前記周辺近軸光線中最大の高さとしたとき、前記第４のレンズ群の前記第２の負の屈折力レンズ少なくとも１個は、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１７記載の投影光学系。
ｈ４ａ／ｈ４ｍａｘ≧０．９
【請求項１９】
ｆ４ａを前記第２の負の屈折力レンズ少なくとも１個の焦点距離とし、Ｃ３を前記第２の負の屈折力レンズ少なくとも１個の物体側の面の曲率とし、Ｃ４を前記第２の負の屈折力レンズ少なくとも１個の像側の面の曲率としたとき、前記第４のレンズ群の第２の負の屈折力レンズのうち少なくとも１個は、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１７又は１８記載の投影光学系。
ｆ４ａ／Ｌ＜−１３＜ｑ４ａ＜５
但し、ｑ４ａは、ｑ４ａ＝（Ｃ３＋Ｃ４）／（Ｃ３−Ｃ４）によって定義される形状係数である。
【請求項２０】
前記第１のレンズ群の前記前側レンズ群は、正の屈折力レンズを少なくとも３個含むことを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系。
【請求項２１】
前記第１のレンズ群の前記後側レンズ群は、負の屈折力レンズを少なくとも４個含むことを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系。
【請求項２２】
前記第２のレンズ群は、正の屈折力レンズを少なくとも５個含むことを特徴とする請求項１乃至２１の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項２３】
前記第１のレンズ群中の前記前側レンズ群は、負の屈折力レンズを少なくとも１個含むことを特徴とする請求項２０に記載の投影光学系。
【請求項２４】
前記第４のレンズ群は、負の屈折力レンズを少なくとも３個含むことを特徴とする請求項１乃至２３の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項２５】
マスク上のパターンを感光性基板上に露光する露光装置において、
前記マスクを照明するための照明光学系と、
前記マスク上の前記パターンの像を前記感光性基板上に形成する、請求項１乃至２４の何れか一項に記載の投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項２６】
マスク上のパターンを感光性基板上に露光する露光方法において、
前記マスクを照明する工程と、
請求項１乃至２４の何れか一項に記載の投影光学系を用いて、前記マスク上の前記パターンの像を前記感光性基板上に形成する工程とを備えていることを特徴とする露光方法。