【手続補正書】
【提出日】平成16年3月18日(2004.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基板を貼り合わせることによって形成されるパネルのセル内に液晶を注入するための液晶注入システムにおいて、
前記パネルが搬入されるとともに、前記パネルが搬入された後に所定の真空状態に設定される第１のチャンバと、
前記第１のチャンバに隣接され、常時所定の真空状態に設定保持されるとともに、前記第１のチャンバを通じて搬入される前記パネルのセル内を所定の真空度に設定するための第２のチャンバと、
液晶槽を備えて前記第２のチャンバに隣接され、前記第２のチャンバを通じて搬入される前記パネルを所定の真空状態で受け入れるとともに、前記パネルを受け入れた後、前記パネルのセル内に液晶を注入するために、大気圧もしくは所定の加圧雰囲気下に晒される第３のチャンバと、
を備えていることを特徴とする液晶注入システム。
【請求項２】
前記各チャンバで処理が平行して連続的に行なわれるように、前記パネルを前記各チャンバに搬送する搬送制御手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液晶注入システム。
【請求項３】
前記第２のチャンバは、前記パネルを待機させるための複数の待機スペースを有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液晶注入システム。
【請求項４】
前記セル内が液晶によって完全に満たされるまで前記パネルを待機させるための注入待機ステージが前記第３のチャンバに隣接して設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液晶注入システム。
【請求項５】
前記セル内が液晶によって完全に満たされるまで前記パネルを前記液晶槽ごと待機させるための液晶槽待機ステージが前記第３のチャンバに隣接して設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液晶注入システム。
【請求項６】
２つの基板を貼り合わせることによって形成されるパネルのセル内に液晶を注入するための液晶注入方法において、
前記パネルを第１のチャンバ内に搬入した状態で、この第１のチャンバを所定の真空状態に設定し、
前記所定の真空状態に設定された前記第１のチャンバから、常時所定の真空状態に設定保持されている第２のチャンバ内に前記パネルを搬入するとともに、搬入された前記パネルのセル内を前記所定の真空度に設定するために、前記パネルを前記第２のチャンバ内で所定時間待機させ、
前記所定の真空状態に保持された前記第２のチャンバから、前記所定の真空状態に設定されている第３のチャンバ内に前記パネルを搬入し、
前記第３のチャンバ内に搬入された前記パネルのセルに通じる注入口を、前記所定の真空状態で、前記第３のチャンバ内に設けられた液晶槽の液晶に接触させ、
前記注入口を前記液晶槽の液晶に接触させた状態で、前記第３のチャンバを大気圧もしくは所定の加圧雰囲気下に晒して、前記パネルのセル内に圧力差により液晶を注入することを特徴とする液晶注入方法。
【請求項７】
前記第１のチャンバから前記第２のチャンバ内にパネルを搬入した後、前記第１のチャンバ内に別のパネルを搬入して前記第１のチャンバを所定の真空状態に設定し、
前記第２のチャンバから前記第３のチャンバ内にパネルを搬入した後、前記第１のチャンバ内のパネルを前記第２のチャンバ内に搬入し、
セル内への液晶の注入が完了したパネルを前記第３のチャンバから搬出するとともに、前記第３のチャンバからパネルを搬出した後、前記第３のチャンバ内を所定の真空状態に設定した状態で、前記第２のチャンバ内のパネルを前記第３のチャンバ内に搬入することを特徴とする請求項６に記載の液晶注入方法。
【請求項８】
前記第１のチャンバから前記第２のチャンバ内に順次個別に搬入されたパネルを前記第２のチャンバ内で一括して待機させ、前記第２のチャンバ内に待機されているパネルを順次個別に前記第３のチャンバ内に搬入して液晶の注入作業を行なうことを特徴とする請求項６または請求項７に記載の液晶注入方法。
【請求項９】
前記注入口を液晶槽の液晶に接触させた状態で、前記第３のチャンバを大気圧もしくは所定の加圧雰囲気下に晒した後、セル内への液晶の注入が完了するまで待機することなく、直ちに、パネルを前記第３のチャンバから搬出して所定の注入待機ステージに放置することを特徴とする請求項６または請求項８に記載の液晶注入方法。
【請求項１０】
パネルを液晶槽ごと前記第３のチャンバから搬出して所定の注入待機ステージに放置することを特徴とする請求項９に記載の液晶注入方法。
【請求項１１】
２つの基板を貼り合わせることによって形成されるパネルのセル内に液晶を注入するための液晶装置の製造方法において、
前記パネルを第１のチャンバ内に搬入した状態で、前記第１のチャンバを所定の真空状態に設定する工程と、
前記第１のチャンバから、前記所定の真空状態に設定保持されている第２のチャンバ内に前記パネルを搬入する工程と、
前記パネルを前記第２のチャンバ内で所定時間待機させる工程と、
前記第２のチャンバから、前記所定の真空状態に設定されている第３のチャンバ内に前記パネルを搬入する工程と、
前記パネルの前記セルに通じる注入口を液晶に接触させた状態で、前記第３のチャンバを大気圧もしくは所定の加圧雰囲気下に晒す工程と、を具備し、
前記パネルを前記第２のチャンバ内で所定時間待機させる工程において、前記セル内を前記所定の真空状態にすることを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項１２】
互いに貼り合わされる２枚の基板間に液晶を封入して液晶装置を製造する方法において、
２つの母基板をシール材によって貼り合わせて大判パネルを形成する工程と、 前記大判パネルを割断して、短冊状のパネルを形成する１次ブレーク工程と、 前記シール材に設けられた液晶注入口を通じて、前記短冊状パネルのセル内に液晶を注入した後、前記液晶注入口を封止する工程と、
液晶が注入された前記短冊状パネルを割断して、所望の大きさのパネルを形成する２次ブレーク工程と、
を具備し、
前記シール材に設けられた液晶注入口を通じて、前記短冊状パネルのセル内に液晶を注入する前記工程は、
パネルを第１のチャンバ内に搬入した状態で、この第１のチャンバを所定の真空状態に設定し、
前記所定の真空状態に設定された前記第１のチャンバから、常時所定の真空状態に設定保持されている第２のチャンバ内にパネルを搬入するとともに、搬入されたパネルのセル内を前記所定の真空度に設定するために、パネルを前記第２のチャンバ内で所定時間待機させ、
前記所定の真空状態に保持された前記第２のチャンバから、前記所定の真空状態に設定されている第３のチャンバ内にパネルを搬入し、
前記第３のチャンバ内に搬入されたパネルのセルに通じる注入口を、前記所定の真空状態で、前記第３のチャンバ内に設けられた液晶槽の液晶に接触させ、
前記注入口を前記液晶槽の液晶に接触させた状態で、前記第３のチャンバを大気圧もしくは所定の加圧雰囲気下に晒して、パネルのセル内に圧力差により液晶を注入することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項１３】
前記第１のチャンバから前記第２のチャンバ内にパネルを搬入した後、前記第１のチャンバ内に別のパネルを搬入して前記第１のチャンバを所定の真空状態に設定し、
前記第２のチャンバから前記第３のチャンバ内にパネルを搬入した後、前記第１のチャンバ内のパネルを前記第２のチャンバ内に搬入し、
セル内への液晶の注入が完了したパネルを前記第３のチャンバから搬出するとともに、前記第３のチャンバからパネルを搬出した後、前記第３のチャンバ内を所定の真空状態に設定した状態で、前記第２のチャンバ内のパネルを前記第３のチャンバ内に搬入することを特徴とする請求項１２に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項１４】
前記第１のチャンバから前記第２のチャンバ内に順次個別に搬入されたパネルを前記第２のチャンバ内で一括して待機させ、前記第２のチャンバ内に待機されているパネルを順次個別に前記第３のチャンバ内に搬入して液晶の注入作業を行なうことを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項１５】
前記注入口を前記液晶槽の液晶に接触させた状態で、前記第３のチャンバを大気圧もしくは所定の加圧雰囲気下に晒した後、セル内への液晶の注入が完了するまで待機することなく、直ちに、パネルを前記第３のチャンバから搬出して所定の注入待機ステージに放置することを特徴とする請求項１２または請求項１４に記載の液晶装置の製造方法。