【手続補正書】
【提出日】平成17年1月19日(2005.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の表面上にある異体の存在範囲を決定する装置であって、
前記物体の前記表面に光を照射する光源を含む光学系と、
前記光に対して前記物体を相対的に移動させる移動手段と、
前記物体の前記表面で反射した前記光の光量を検出し、前記光量を示す光検出信号を生成する光検出手段であって、前記光検出手段は、第１の光検出信号を生成する第１の光検出手段と第２の光検出信号を生成する第２の光検出手段とを備える、光検出手段と、
前記第１の光検出信号と前記第２の光検出信号との差を示す差信号を発生する差信号発生手段と、
前記差信号と、使用環境下で測定された実際の光量の平均値である基準値とを比較して前記異体の周縁を示す周縁信号を発生する周縁信号発生手段と、
前記周縁信号を用いて前記異体の存在範囲を決定する異体決定手段と
を備える、装置。
【請求項２】
前記第１の光検出手段と前記第２の光検出手段とは、前記物体の移動方向に対して平行に、この順で配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記基準値は、前記異体の付着していない前記物体の前記表面で反射した前記光の光量の平均値に応じて変化する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記光学系は前記光を前記物体の表面に集光させる集光手段をさらに備え、前記集光手段は、前記集光された光が波面収差を有するように配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記光は単色光であり、前記波面収差の標準偏差が、前記単色光の波長の０．０７倍以上である、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記集光手段を前記物体の表面に対して平行に振動させる振動手段をさらに備える、請求項４に記載の装置。
【請求項７】
前記移動手段は、前記光を前記物体の表面に対して平行に往復移動させる、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記物体を回転させる回転手段をさらに備える、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記移動手段は、前記光を前記物体の回転方向に対して垂直方向に振動させる、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記移動手段は、前記物体を前記光の照射方向に対して垂直方向に往復移動させる、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
物体の表面上にある異体の存在範囲を決定する方法であって、
前記物体の前記表面に光を照射するステップと、
前記光に対して前記物体を相対的に移動させるステップと、
光検出手段を用いて前記物体の前記表面で反射した前記光の光量を検出し、前記光量を示す光検出信号を生成するステップであって、前記光検出手段は、第１の光検出信号を生成する第１の光検出手段と第２の光検出信号を生成する第２の光検出手段とを備える、ステップと、
前記第１の光検出信号と前記第２の光検出信号との差を示す差信号を発生するステップと、
前記差信号と、使用環境下で測定された実際の光量の平均値である基準値とを比較して前記異体の周縁を示す周縁信号を発生するステップと、
前記周縁信号を用いて前記異体の存在範囲を決定するステップと
を包含する、方法。
【請求項１２】
前記第１の光検出手段と前記第２の光検出手段とは、前記物体の移動方向に対して平行に、この順で配置されている、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記基準値は、前記異体の付着していない前記物体の前記表面で反射した前記光の光量の平均値に応じて変化する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記光を前記物体の前記表面に集光させるステップをさらに包含し、前記物体の前記表面に集光された前記光は波面収差を有する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記光は単色光であり、前記波面収差の標準偏差が、前記単色光の波長の０．０７倍以上である、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記集光させるステップは、前記光を前記表面上で振動させるステップを包含する、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記移動させるステップは、前記光を前記物体の前記表面に対して平行に往復移動させるステップを包含する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
前記移動させるステップは、前記物体を回転させるステップをさらに包含する、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記移動させるステップは、前記光を前記物体の回転方向に対して垂直方向に振動させるステップを包含する、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記移動させるステップは、前記物体を前記光の照射方向に対して垂直方向に往復移動させるステップを包含する、請求項１１に記載の方法。
【請求項２１】
物体の表面上にある異体の存在範囲を決定する装置であって、
前記物体の前記表面に光を照射する光源を含む光学系と、
前記光に対して前記物体を相対的に移動させる移動手段と、
前記物体の前記表面で反射した前記光の光量を検出し、前記光量を示す光検出信号を生成する光検出手段と、
前記光検出信号の平均値を演算する平均値演算手段と、
前記平均値を変数とする関数を用いて、使用環境下で測定された実際の光量の平均値である基準値を演算する基準値演算手段と、
前記光検出信号と前記基準値とを比較して、前記異体の存在の有無を示す比較信号を発生する比較信号発生手段と、
前記比較信号を用いて前記異体の存在範囲を決定する異体決定手段と
を備える、装置。
【請求項２２】
前記平均値は、前記異体の付着していない前記物体の前記表面で反射した前記光の光量を示す前記光検出信号のすべての値のうち、前記光検出信号のすべての値を平均することによって得られる平均値の標準偏差を超えない値を平均することによって得られる値である、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記基準値は、第１の基準値Ｘ１と第２の基準値Ｘ２とを含み、
前記第１の基準値Ｘ１は、前記物体の反射率ｎｏｂと前記異体の反射率ｎｖａｒとの関係がｎｏｂ＜ｎｖａｒである異体を検出するために用いられ、
前記第２の基準値Ｘ２は、前記物体の反射率ｎｏｂと前記異体の反射率ｎｖａｒとの関係がｎｏｂ＞ｎｖａｒである異体を検出するために用いられる、請求項２１に記載の装置。
【請求項２４】
前記第１の基準値Ｘ１と前記第２の基準値Ｘ２とは、
Ｘ１＝Ｘａｖ・（１＋β１）、Ｘ２＝Ｘａｖ・（１−α１）と、
Ｘ１＝Ｘａｖ／（１−α２）、Ｘ２＝Ｘａｖ／（１＋β２）と、
Ｘ１＝Ｘａｖ＋β３、Ｘ２＝Ｘａｖ−α３と
からなる群から選択される演算式からそれぞれ演算され、ここで、Ｘａｖは前記平均値であり、α１、α２、α３、β１、β２、β３＞０であり、α１、α２、α３、β１、β２、β３は定数である、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
前記移動手段は、前記光を前記物体の表面に対して平行に往復移動させる、請求項２１に記載の装置。
【請求項２６】
前記物体を回転させる回転手段をさらに備える、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記移動手段は、前記光を前記物体の回転方向に対して垂直方向に振動させる、請求項２６に記載の装置。
【請求項２８】
前記移動手段は、前記物体を前記光の照射方向に対して垂直方向に移動させる、請求項２１に記載の装置。
【請求項２９】
物体の表面上にある異体の存在範囲を決定する方法であって、
前記物体の前記表面に光を照射するステップと、
前記光に対して前記物体を相対的に移動させるステップと、
前記物体の前記表面で反射した前記光の光量を検出し、前記光量を示す光検出信号を生成するステップと、
前記光検出信号の平均値を演算するステップと、
前記平均値を変数とする関数を用いて、使用環境下で測定された実際の光量の平均値である基準値を演算するステップと、
前記光検出信号と前記基準値とを比較して、前記異体の存在の有無を示す比較信号を発生するステップと、
前記比較信号を用いて前記異体の存在範囲を決定するステップと
を包含する、方法。
【請求項３０】
前記平均値を演算するステップは、
前記異体の付着していない前記物体の前記表面で反射した前記光の光量を示す前記光検出信号のすべての値を平均することによって平均値を求めるステップと、
前記光検出信号のすべての値のうち、前記平均値の標準偏差を超えない値を平均するステップと
をさらに包含する、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記基準値は、第１の基準値Ｘ１と第２の基準値Ｘ２とを含み、
前記第１の基準値Ｘ１は、前記物体の反射率ｎｏｂと前記異体の反射率ｎｖａｒとの関係がｎｏｂ＜ｎｖａｒである異体を検出するために用いられ、
前記第２の基準値Ｘ２は、前記物体の反射率ｎｏｂと前記異体の反射率ｎｖａｒとの関係がｎｏｂ＞ｎｖａｒである異体を検出するために用いられる、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
前記基準値を演算するステップは、
Ｘ１＝Ｘａｖ・（１＋β１）、Ｘ２＝Ｘａｖ・（１−α１）と、
Ｘ１＝Ｘａｖ／（１−α２）、Ｘ２＝Ｘａｖ／（１＋β２）と、
Ｘ１＝Ｘａｖ＋β３、Ｘ２＝Ｘａｖ−α３と
からなる群から選択された演算式によって、前記第１の基準値Ｘ１と前記第２の基準値Ｘ２とをそれぞれ求めるステップをさらに包含し、ここで、Ｘａｖは前記平均値であり、α１、α２、α３、β１、β２、β３＞０であり、α１、α２、α３、β１、β２、β３は定数である、請求項３１に記載の装置。
【請求項３３】
前記移動させるステップは、前記光を前記物体の前記表面に対して平行に往復移動させるステップを包含する、請求項２９に記載の方法。
【請求項３４】
前記移動させるステップは、前記物体を回転させるステップをさらに包含する、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記移動させるステップは、前記光を前記物体の回転方向に対して垂直方向に振動させるステップを包含する、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記移動させるステップは、前記物体を前記光の照射方向に対して垂直方向に往復移動させるステップを包含する、請求項２９に記載の方法。