【手続補正書】
【提出日】平成16年11月10日(2004.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光方法、露光エネルギービームの光軸調整方法、及び露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光エネルギービームをマスクに照射し、該マスクのパターンを基板上に転写する露光方法において、
前記基板を載置するためのステージが所定の基準位置に在るときに、前記露光エネルギービームのずれ情報を検出し、
該検出結果に基づいて前記露光エネルギービームの光軸調整を行うことを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記マスクのパターンは投影光学系を介して前記基板上に転写され、
前記基板の中心と前記投影光学系の光軸とが実質的に一致するときの前記ステージの位置を前記基準位置として、前記露光エネルギービームのずれ情報を検出することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項３】
前記ステージが前記基板の受け渡し位置に在るときに前記露光エネルギービームのずれ情報を検出し、
前記ステージが前記基板の受け渡し位置に在るときと前記ステージが前記基準位置に在るときとの前記露光エネルギービームの変位情報、及び前記基準位置で検出されたずれ情報に基づいて、前記露光エネルギービームの光軸調整を行うことを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【請求項４】
マスクと基板とを同期移動しながら露光エネルギービームを前記マスクに照射して、該マスクのパターンを前記基板上に転写する露光方法において、
前記マスクを載置するためのステージが所定の基準位置に在るときに、前記露光エネルギービームのずれ情報を検出し、
該検出結果に基づいて前記露光エネルギービームの光軸調整を行うことを特徴とする露光方法。
【請求項５】
前記マスクのパターンは投影光学系を介して前記基板上に転写され、
前記ステージに載置されたマスクの中心と前記投影光学系の光軸とが実質的に一致するときの前記ステージの位置を前記基準位置として、前記露光エネルギービームのずれ情報を検出することを特徴とする請求項４記載の露光方法。
【請求項６】
前記ステージが所定の待機位置に在るときに前記露光エネルギービームのずれ情報を検出し、
前記ステージが前記待機位置に在るときと前記ステージが前記基準位置に在るときとの前記露光エネルギービームの変位情報、及び前記基準位置で検出されたずれ情報に基づいて、前記露光エネルギービームの光軸調整を行うことを特徴とする請求項４記載の露光方法。
【請求項７】
露光エネルギービームをマスクに照射し、該マスクのパターンを基板上に転写する露光方法において、
前記基板上の或る一つのショット領域に対する露光中に前記露光エネルギービームのずれ情報を検出し、
該検出結果に基づいて前記基板上の次の露光対象のショット領域に対する露光の開始前に、前記露光エネルギービームの光軸調整を行うことを特徴とする露光方法。
【請求項８】
前記次の露光対象のショット領域への露光中に前記露光エネルギービームのずれ計測、及び光軸調整を継続して行うことを特徴とする請求項７記載の露光方法。
【請求項９】
マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置において、
露光エネルギービームを発生するビーム源と、
該ビーム源と異なるベース上に設置され、前記露光エネルギービームのもとで前記マスクのパターンを前記基板上に転写するための露光本体部と、
前記露光エネルギービームの前記露光本体部に対するずれ情報を検出する検出装置と、
該検出結果に基づいて前記露光エネルギービームの光軸を補正する補正装置と、
前記露光本体部での動作に応じて、前記検出装置及び前記補正装置の動作を制御する制御システムと、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置において、
第１床上の第１ルーム内に配置され、露光エネルギービームを発生するビーム源と、
前記第１床の上に設けられた第２床上の第２ルームに配置され、前記露光エネルギービームのもとで前記マスクのパターンを前記基板上に転写するための露光本体部と、
前記第１ルームと前記第２ルームとの間で前記露光エネルギービームが通過する管部材と、
前記第２ルームに配置され、前記露光エネルギービームの変位情報を検出する検出装置と、
前記第１ルームに配置され、前記検出装置の検出結果に基づいて前記露光エネルギービームの光軸を補正する補正装置と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
前記露光エネルギービームの変位情報は、前記露光エネルギービームの位置情報と傾き情報との少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１０記載の露光装置。
【請求項１２】
前記補正装置は、前記ビーム源からの露光エネルギービームを反射する可動ミラーを有し、
前記露光エネルギービームは、前記可動ミラーで前記第１ルームから前記第２ルームの方向へ反射されることを特徴とする請求項１０又は１１記載の露光装置。
【請求項１３】
前記補正装置は、前記基板上のショット領域の露光中に、前記検出装置による検出と、該検出結果に基づく前記露光エネルギービームの光軸調整とを実行することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１４】
マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置で使用される露光エネルギービームの光軸調整方法において、
前記露光エネルギービームを発生するビーム源が第１床上の第１ルーム内に配置され；
前記露光エネルギービームのもとで前記マスクのパターンを前記基板上に転写するための露光本体部が前記第１床の上に設けられた第２床上の第２ルームに配置され；
前記第１ルーム内のビーム源から発射された露光エネルギービームを前記第２ルーム内に導き、前記第２ルーム内に配置された検出装置を使って前記露光エネルギービームの変位情報を検出し；
前記第１ルームに配置された補正装置を使って、前記検出装置の検出結果に基づいて前記露光エネルギービームの光軸を補正することを特徴とする露光エネルギービームの光軸調整方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は斯かる点に鑑み、露光本体部と露光光源とを離して設置しているような場合に、露光光源から露光本体部に入射する露光光の光量が大きく低下することが無い露光方法及び露光エネルギービームの光軸調整方法を提供することを第１の目的とする。
更に本発明は、そのような場合にウエハ毎、又はウエハの各ショット領域毎に露光光の光量をスループットを殆ど低下させることなく補正できる露光方法を提供することを第２の目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この場合、次の露光対象のショット領域への露光中にその露光エネルギービームのずれ情報の計測、及び調整を継続して行うようにしてもよい。このように、露光エネルギービームのずれの計測及び調整を露光中も継続して行うことによって、更に光軸ずれの影響が小さくなる。
また、本発明による第１の露光装置は、マスク（Ｒ）に形成されたパターンを基板（Ｗ）上に転写する露光装置において、所定のベース（２）上に設置されて露光エネルギービームを発生するビーム源（３３）と、このビーム源と異なるベース（１）上に設置され、その露光エネルギービームのもとでマスク（Ｒ）のパターンを基板（Ｗ）上に転写するための露光本体部（５）と、その露光エネルギービームの露光本体部（５）に対するずれ情報を検出する検出装置（２０）と、この検出結果に基づいてその露光エネルギービームを補正する補正装置（３５）と、露光本体部（５）での動作に応じて、検出装置（２０）及び補正装置（３５）の動作を制御する制御システム（６，１０，２２）と、を有するものである。
本発明による第２の露光装置は、マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置において、第１床（２）上の第１ルーム内に配置され、露光エネルギービームを発生するビーム源（３３）と、その第１床の上に設けられた第２床（１）上の第２ルームに配置され、その露光エネルギービームのもとでそのマスクのパターンをその基板上に転写するための露光本体部（５）と、その第１ルームとその第２ルームとの間でその露光エネルギービームが通過する管部材（２３）と、その第２ルームに配置され、その露光エネルギービームの変位情報を検出する検出装置（２０）と、その第１ルームに配置され、その検出装置の検出結果に基づいてその露光エネルギービームの光軸を補正する補正装置（３５）と、を有するものである。
斯かる本発明の露光装置によれば、本発明の露光方法が実施できる。
次に、本発明による露光エネルギービームの光軸調整方法は、マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置で使用される露光エネルギービームの光軸調整方法において、その露光エネルギービームを発生するビーム源（３３）が第１床（２）上の第１ルーム内に配置され、その露光エネルギービームのもとでそのマスクのパターンをその基板上に転写するための露光本体部（５）がその第１床の上に設けられた第２床（１）上の第２ルームに配置され、その第１ルーム内のビーム源から発射された露光エネルギービームをその第２ルーム内に導き、その第２ルーム内に配置された検出装置（２０）を使ってその露光エネルギービームの変位情報を検出し、その第１ルームに配置された補正装置（３５）を使って、その検出装置の検出結果に基づいてその露光エネルギービームの光軸を補正するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
【発明の効果】
本発明の第１の露光方法及び露光エネルギービームの光軸調整方法によれば、露光本体部とビーム源（露光光源）とを離して設置しているような場合に、ビーム源から露光本体部に入射する露光エネルギービーム（露光光）の光量が大きく低下することが無い利点がある。従って、高いスループットが得られる。