Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月18日(2005.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単相コイルに一方向の駆動電流を供給する第１駆動トランジスタと、前記単相コイルに逆方向の駆動電流を供給する第２駆動トランジスタと、を有する単相モータ駆動装置であって、
前記単相コイルの駆動電流の方向が切り替わるポイント直前において、前記第１駆動トランジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御して前記単相コイルの駆動電流を回生させる回生手段と、
単相モータの回転位置を検知するホール素子から得られる正弦波信号の大きさと基準値とを比較して、前記所定期間に使用されるタイミング信号を出力する比較手段とを備え、前記回生手段は、前記タイミング信号に基づいて、前記第１駆動トランジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御することを特徴とする単相モータ駆動装置。
【請求項２】
前記単相コイルの駆動電流を回生するための回生ダイオードを、備えたことを特徴とする請求項１記載の単相モータ駆動装置。
【請求項３】
単相コイルに一方向の駆動電流を供給する第１駆動トランジスタと、前記単相コイルに逆方向の駆動電流を供給する第２駆動トランジスタと、を有する単相モータ駆動装置であって、
前記単相コイルの駆動電流の方向が切り替わるポイント直前において、前記第１駆動トランジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御して前記単相コイルの駆動電流を回生させる回生手段と、
単相モータの回転または停止を検知して、回転信号または停止信号を出力する検知手段とを備え、
前記回生手段は、前記単相モータが起動できないとき、前記検知手段の出力が停止信号から回転信号へ変化するまで、前記単相コイルの駆動電流を回生させる動作を停止することを特徴とする単相モータ駆動装置。
【請求項４】
単相コイルに一方向の駆動電流を供給する第１駆動トランジスタと、前記単相コイルに逆方向の駆動電流を供給する第２駆動トランジスタと、を有する単相モータ駆動装置であって、
前記単相コイルの駆動電流の方向が切り替わるポイント直前において、前記第１駆動トラ
ンジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御して前記単相コイルの駆動電流を回生させる回生手段と、
単相モータの回転位置を検知するホール素子から得られる正弦波信号の大きさと基準値とを比較して、前記所定期間に使用されるタイミング信号を出力する比較手段とを備え、前記回生手段は、前記タイミング信号に基づいて、前記第１駆動トランジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御することを特徴とする単相モータ駆動方法。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかに記載の単相モータ駆動装置を有することを特徴とする集積回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされ、単相コイルに一方向の駆動電流を供給する第１駆動トランジスタと、前記単相コイルに逆方向の駆動電流を供給する第２駆動トランジスタと、を有する単相モータ駆動装置であって、前記単相コイルの駆動電流の方向が切り替わるポイント直前において、前記第１駆動トランジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御して前記単相コイルの駆動電流を回生させる回生手段と、単相モータの回転位置を検知するホール素子から得られる正弦波信号の大きさと基準値とを比較して、前記所定期間に使用されるタイミング信号を出力する比較手段とを備え、前記回生手段は、前記タイミング信号に基づいて、前記第１駆動トランジスタおよび前記第２駆動トランジスタのオンオフタイミングを制御することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月25日(2005.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】複写装置および複写方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  原稿から読み取った画像信号を入力する画像入力手段と、該入力した画像信号から付加情報を読み込む付加情報読込手段と、該読み込んだ付加情報を基に、前記原稿のオリジナルファイルを検索する検索手段とを備え、前記原稿の代わりに前記検索されたオリジナルファイルを用いて印刷する複写装置において、
前記付加情報を表示する表示手段と、
該表示された付加情報を編集する編集手段とを備え、
前記検索手段は、前記編集された付加情報を新たな付加情報として検索に用いることを特徴とする複写装置。
【請求項２】  前記検索の結果、前記オリジナルファイルが存在するか否かを判別する判別手段を備え、該判別の結果、前記オリジナルファイルが存在しない場合、前記編集手段は、前記付加情報を編集可能であることを特徴とする請求項１記載の複写装置。
【請求項３】  情報処理装置とともに、ネットワークまたは通信回線に接続され、前記検索手段は、前記ネットワークまたは前記通信回線を介して接続された他の装置も含めて前記オリジナルファイルを検索することを特徴とする請求項１または２記載の複写装置。
【請求項４】  前記付加情報は前記原稿に埋め込まれた電子透かし情報であることを特徴とする請求項１記載の複写装置。
【請求項５】  前記付加情報は前記原稿に印刷されたバーコード情報であることを特徴とする請求項１記載の複写装置。
【請求項６】  原稿から読み取った画像信号を入力し、該入力した画像信号から付加情報を読み込み、該読み込んだ付加情報を基に、前記原稿のオリジナルファイルを検索し、前記原稿の代わりに前記検索されたオリジナルファイルを用いて印刷する複写方法において、
前記付加情報を表示する表示ステップと、
該表示された付加情報を編集する編集ステップとを有し、
前記検索ステップでは、前記編集された付加情報を新たな付加情報として検索に用いることを特徴とする複写方法。
【請求項７】  前記検索の結果、前記オリジナルファイルが存在するか否かを判別する判別ステップを有し、該判別の結果、前記オリジナルファイルが存在しない場合、前記編集ステップでは、前記付加情報を編集可能であることを特徴とする請求項６記載の複写方法。
【請求項８】  情報処理装置とともに、ネットワークまたは通信回線に接続された複写装置に適用され、前記検索ステップでは、前記ネットワークまたは前記通信回線を介して接続された他の装置も含めて前記オリジナルファイルを検索することを特徴とする請求項６または７記載の複写方法。
【請求項９】  前記付加情報は前記原稿に埋め込まれた電子透かし情報であることを特徴とする請求項６記載の複写方法。
【請求項１０】  前記付加情報は前記原稿に印刷されたバーコード情報であることを特徴とする請求項６記載の複写方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばネットワークあるいは公衆回線に接続された複写装置および複写方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
そこで、本発明は、原稿の画質劣化が激しく付加情報を読み込めない場合や誤認識してしまう場合でも、オリジナルファイルを正しく検索することが可能であり、どのような状態の原稿に対しても画質劣化の無いコピーを得ることができる複写装置および複写方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の複写装置は、原稿から読み取った画像信号を入力する画像入力手段と、該入力した画像信号から付加情報を読み込む付加情報読込手段と、該読み込んだ付加情報を基に、前記原稿のオリジナルファイルを検索する検索手段とを備え、前記原稿の代わりに前記検索されたオリジナルファイルを用いて印刷する複写装置において、前記付加情報を表示する表示手段と、該表示された付加情報を編集する編集手段とを備え、前記検索手段は、前記編集された付加情報を新たな付加情報として検索に用いることを特徴とする。
また、本発明の複写方法は、原稿から読み取った画像信号を入力し、該入力した画像信号から付加情報を読み込み、該読み込んだ付加情報を基に、前記原稿のオリジナルファイルを検索し、前記原稿の代わりに前記検索されたオリジナルファイルを用いて印刷する複写方法において、前記付加情報を表示する表示ステップと、該表示された付加情報を編集する編集ステップとを有し、前記検索ステップでは、前記編集された付加情報を新たな付加情報として検索に用いることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の複写装置および複写方法の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月31日(2005.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】色処理装置およびその方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットとなる印刷等の条件に依存する色データを、印刷色プロファイルによってデバイスに依存しない色空間に変換し、出力プロファイルによって前記色空間の色データを出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに印刷色のシミュレーションを出力させる色処理装置であって、
異なる色データからなる複数のカラーパッチで構成されるカラーチャートを、前記印刷色プロファイルおよび出力プロファイルを用いて、前記出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに校正サンプルを出力させる校正手段と、
前記カラーチャートに対応するターゲットサンプル、および、前記校正サンプルの測色値を入力する入力手段と、
前記カラーパッチごとに、前記ターゲットサンプルの測色値と、前記校正サンプルの測色値との差分を演算する演算手段と、
前記差分に基づき、前記ターゲットサンプルの測色値を補正し、前記補正したターゲットサンプルの測色値から修正後の印刷色プロファイルを作成する作成手段とを有することを特徴とする色処理装置。
【請求項２】
前記ターゲットサンプルは印刷機またはカラープルーファによって出力されることを特徴とする請求項1に記載された色処理装置。
【請求項３】
さらに、前記測色値を入力するための測色デバイスを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載された色処理装置。
【請求項４】
ターゲットとなる印刷等の条件に依存する色データを、印刷色プロファイルによってデバイスに依存しない色空間に変換し、出力プロファイルによって前記色空間の色データを出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに印刷色のシミュレーションを出力させる色処理方法であって、
異なる色データからなる複数のカラーパッチで構成されるカラーチャートを、前記印刷色プロファイルおよび出力プロファイルを用いて、前記出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに校正サンプルを出力させ、
前記カラーチャートに対応するターゲットサンプル、および、前記校正サンプルの測色値を入力し、
前記カラーパッチごとに、前記ターゲットサンプルの測色値と、前記校正サンプルの測色値との差分を演算し、
前記差分に基づき、前記ターゲットサンプルの測色値を補正し、前記補正したターゲットサンプルの測色値から修正後の印刷色プロファイルを作成することを特徴とする色処理方法。
【請求項５】
情報処理装置を制御して、請求項4に記載された色処理を実行することを特徴とするプログラム。
【請求項６】
請求項5に記載されたプログラムが記録されたことを特徴とする記録媒体。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明にかかる色処理装置は、ターゲットとなる印刷等の条件に依存する色データを、印刷色プロファイルによってデバイスに依存しない色空間に変換し、出力プロファイルによって前記色空間の色データを出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに印刷色のシミュレーションを出力させる色処理装置であって、異なる色データからなる複数のカラーパッチで構成されるカラーチャートを、前記印刷色プロファイルおよび出力プロファイルを用いて、前記出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに校正サンプルを出力させる校正手段と、前記カラーチャートに対応するターゲットサンプル、および、前記校正サンプルの測色値を入力する入力手段と、前記カラーパッチごとに、前記ターゲットサンプルの測色値と、前記校正サンプルの測色値との差分を演算する演算手段と、前記差分に基づき、前記ターゲットサンプルの測色値を補正し、前記補正したターゲットサンプルの測色値から修正後の印刷色プロファイルを作成する作成手段とを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明にかかる色処理方法は、ターゲットとなる印刷等の条件に依存する色データを、印刷色プロファイルによってデバイスに依存しない色空間に変換し、出力プロファイルによって前記色空間の色データを出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに印刷色のシミュレーションを出力させる色処理方法であって、異なる色データからなる複数のカラーパッチで構成されるカラーチャートを、前記印刷色プロファイルおよび出力プロファイルを用いて、前記出力デバイスに依存する色データに変換して、前記出力デバイスに校正サンプルを出力させ、前記カラーチャートに対応するターゲットサンプル、および、前記校正サンプルの測色値を入力し、前記カラーパッチごとに、前記ターゲットサンプルの測色値と、前記校正サンプルの測色値との差分を演算し、前記差分に基づき、前記ターゲットサンプルの測色値を補正し、前記補正したターゲットサンプルの測色値から修正後の印刷色プロファイルを作成することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月31日(2005.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像入力装置の色処理パラメータを編集する色処理パラメータ編集装置であって、
前記画像入力装置により取得された入力データと、前記色処理パラメータを編集する際に使用されるターゲットデータとを入力する入力手段と、
前記入力データと前記ターゲットデータとを対比可能に表示する表示手段と、
前記表示されたターゲットデータを入力操作に応じて変更する変更手段と、
前記入力データと前記変更されたターゲットデータとに基づいて両者の差を低減するように前記色処理パラメータを調整する調整手段と、
を含む色処理パラメータ編集装置。
【請求項２】
前記表示手段は、前記入力データと前記ターゲットデータとを所定色空間の平面上に表示することを特徴とする請求項１に記載の色処理パラメータ編集装置。
【請求項３】
前記ターゲットデータは、前記色票の各色パッチを測色して得られたデータ又は前記入力データと同一のデータであることを特徴とする請求項２に記載の色処理パラメータ編集装置。
【請求項４】
前記表示手段は、前記入力データと前記ターゲットデータとを視覚的に区別可能なように表示することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の色処理パラメータ編集装置。
【請求項５】
前記入力データ又は前記ターゲットデータは同一の被写体をそれぞれ異なる露出で撮像された複数の画像データであることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の色処理パラメータ編集装置。
【請求項６】
前記表示手段は、前記異なる露出で撮像された複数のターゲットデータを同時に表示する際に、対応する複数のプロット間を結線して表示することを特徴とする請求項５に記載の色処理パラメータ編集装置。
【請求項７】
前記表示手段は、色再現の変化情報を表示することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の色処理パラメータ編集装置。
【請求項８】
画像入力装置の色処理パラメータを編集する色処理パラメータ編集方法であって、
前記画像入力装置により入力された入力データと、前記色処理パラメータを編集する際に使用されるターゲットデータとを入力するステップと、
前記入力データと前記ターゲットデータとを同時に表示するステップと、
前記表示されたターゲットデータを入力操作に応じて変更するステップと、
前記入力データと前記変更されたターゲットデータとに基づいて前記色処理パラメータを調整するステップと、
を含む色処理パラメータ編集方法。
【請求項９】
画像入力装置の色処理パラメータを編集する色処理パラメータ編集プログラムであって、
前記画像入力装置により入力された入力データと、前記色処理パラメータを編集する際に使用されるターゲットデータとを入力するステップと、
前記入力データと前記ターゲットデータとを同時に表示させるステップと、
前記表示されたターゲットデータを入力操作に応じて変更するステップと、
前記入力データと前記変更されたターゲットデータとに基づいて前記色処理パラメータを調整するステップと、
をコンピュータに実行させるための色処理パラメータ編集プログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載の色処理パラメータ編集プログラムを記録したコンピュータ可読記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月17日(2005.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１方向に配列されて複数のコマの原画像が記録された原稿の前記原画像を、１コマずつ読み取る画像読取方法であって、
前記コマの配列方向に断続的または連続的に前記原稿を搬送しつつ、前記原画像の最低濃度を測定する工程と、
前記原画像の前記最低濃度から画像読取条件を設定する工程と、
前記画像読取条件に基づいて、出力用の画像データを得るために前記原稿の前記原画像を読み取る工程と、
所定のコマ数の前記各原画像の前記出力用の画像データに基づいて画像処理条件を設定する工程とを有することを特徴とする画像読取方法。
【請求項２】
前記画像処理条件を設定する工程の後工程として、前記各出力用の画像データを前記画像処理条件により画像処理する工程と、
前記各画像データを画像処理して得られた出力画像を表示する工程とを有する請求項１に記載の画像読取方法。
【請求項３】
前記原画像の最低濃度の測定と、前記出力用の画像データを得るための前記原画像の読み取りとは、１つの測定手段によりなされる請求項１または２に記載の画像読取方法。
【請求項４】
前記原画像の最低濃度を測定する工程は、出力用の画像データを得るための画像読取よりも低い解像度で前記原画像を測定する請求項３に記載の画像読取方法。
【請求項５】
前記最低濃度の測定は、前記測定手段の読取素子を統合して測定するか、または前記測定手段の読取素子を間引いて測定する請求項４に記載の画像読取方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明においては、前記画像処理条件を設定する工程の後工程として、前記各出力用の画像データを前記画像処理条件により画像処理する工程と、前記各画像データを画像処理して得られた出力画像を表示する工程とを有することが好ましい。
この場合、前記原画像の最低濃度の測定と、前記出力用の画像データを得るための前記原画像の読み取りとは、１つの測定手段によりなされることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
さらに、本発明においては、前記原画像の最低濃度を測定する工程は、出力用の画像データを得るための画像読取よりも低い解像度で前記原画像を測定することができる。この場合、前記最低濃度の測定は、例えば、前記測定手段の読取素子を統合して測定するか、または前記測定手段の読取素子を間引いて測定する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月29日(2005.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このように本実施の形態３に係るトランシーバモジュールによれば、クロックＣ２の周波数が可変となっている。従って、周辺ＩＣ４が差し替えられた場合であっても、端子１３から入力される信号Ｓ２によって、差し替え後の周辺ＩＣ４の動作周波数に対応したクロックＣ２を供給することが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月5日(2005.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】差動増幅回路及び撮像装置、同撮像装置を用いたカメラ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の信号を入力する第１の入力素子と、第２の信号を入力する第２の入力素子と、前記第１及び第２の入力素子を駆動する定電流回路とを有し、前記第１の入力素子に入力された第１の信号と、前記第２の入力素子に入力された第２の信号の差信号を出力する差動増幅回路であって、
前記第１の入力素子と前記定電流回路とは、前記第１の抵抗素子を介して接続され、前記第２の入力素子と前記定電流回路とは、前記第２の抵抗素子を介して接続され、前記第１の抵抗素子の前記第１の入力素子と接続した側と異なる側と、前記第２の抵抗素子の前記第２の入力素子と接続した側と異なる側と、前記定電流回路と、が接続されることを特徴とする差動増幅回路。
【請求項２】
前記第１の入力素子は、前記第１の信号を制御電極に受ける第１のトランジスタを含み、前記第２の入力素子は、前記第２の信号を制御電極に受ける第２のトランジスタを含み、さらに、前記第１のトランジスタの制御電極に出力部が接続され、更に、前記第１のトランジスタの主電極に入力部が接続された第１のオペアンプと、前記第２のトランジスタの制御電極に出力部が接続され、更に、前記第２のトランジスタの主電極に入力部が接続された第２のオペアンプと、を有することを特徴とする差動増幅回路。
【請求項３】
被写体像を撮像する撮像領域と、前記撮像領域からの信号を増幅して出力する請求項１又は２に記載の差動増幅回路とを有することを特徴とする撮像装置。
【請求項４】
請求項３に記載の撮像装置と、前記撮像装置から出力の供給を受ける画像処理部と、被写体像を前記撮像装置上に結像させるレンズユニットと、を有するカメラ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１の信号を入力する第１の入力素子と、第２の信号を入力する第２の入力素子と、前記第１及び第２の入力素子を駆動する定電流回路とを有し、前記第１の入力素子に入力された第１の信号と、前記第２の入力素子に入力された第２の信号の差信号を出力する差動増幅回路であって、
前記第１の入力素子と前記定電流回路とは、前記第１の抵抗素子を介して接続され、前記第２の入力素子と前記定電流回路とは、前記第２の抵抗素子を介して接続され、前記第１の抵抗素子の前記第１の入力素子と接続した側と異なる側と、前記第２の抵抗素子の前記第２の入力素子と接続した側と異なる側と、前記定電流回路と、が接続されることを特徴とする差動増幅回路を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月25日(2005.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  互いに絶縁された一次巻線と二次巻線を有するトランスと、前記一次巻線に流れる電流を断続するスイッチング素子と、前記二次巻線の出力を整流平滑して得られる直流電圧を規定の値と比較検出する誤差検出回路と、前記誤差検出回路の出力を絶縁素子を介して前記トランスの一次側に伝達する伝達手段とを備え、前記伝達手段の出力をもとに前記スイッチング素子のスイッチングタイミングを制御するスイッチングレギュレータにおいて、
前記誤差検出回路は制御される直流電圧の目標電圧をＶ１，Ｖ２，Ｖ３（Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ３）の間で切り替え可能であり、前記スイッチングレギュレータの負荷である装置が動作中のときは、前記目標電圧Ｖ１を使用し、前記装置が休止中のときは、前記目標電圧Ｖ２，Ｖ３を周期的に切り替え使用することを特徴とするスイッチングレギュレータ。
【請求項２】  前記目標電圧Ｖ３は、ＧＮＤレベルであることを特徴とする請求項１に記載のスイッチングレギュレータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明では、スイッチングレギュレータを次の（１）、（２）のとおりに構成する。
（１）互いに絶縁された一次巻線と二次巻線を有するトランスと、前記一次巻線に流れる電流を断続するスイッチング素子と、前記二次巻線の出力を整流平滑して得られる直流電圧を規定の値と比較検出する誤差検出回路と、前記誤差検出回路の出力を絶縁素子を介して前記トランスの一次側に伝達する伝達手段とを備え、前記伝達手段の出力をもとに前記スイッチング素子のスイッチングタイミングを制御するスイッチングレギュレータにおいて、
前記誤差検出回路は制御される直流電圧の目標電圧をＶ１，Ｖ２，Ｖ３（Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ３）の間で切り替え可能であり、前記スイッチングレギュレータの負荷である装置が動作中のときは、前記目標電圧Ｖ１を使用し、前記装置が休止中のときは、前記目標電圧Ｖ２，Ｖ３を周期的に切り替え使用するスイッチングレギュレータ。
（２）前記目標電圧Ｖ３は、ＧＮＤレベルである前記（１）に記載のスイッチングレギュレータ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月8日(2004.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置情報着呼と通常着呼の着呼種別を区別するよう呼出サービス種別にオプション定義された着呼メッセージを基地局から受信する通信手段と、
通信制御を行う制御手段と、を具備し、
前記制御手段は、前記着呼メッセージが位置情報着呼の場合、呼を接続することなく、複数の基地局の電界強度をそれら複数の基地局のＩＤと共に前記通信手段から前記基地局に報告する、
ことを特徴とする無線移動局。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の無線移動局は、位置情報着呼と通常着呼の着呼種別を区別するよう呼出サービス種別にオプション定義された着呼メッセージを基地局から受信する通信手段と、通信制御を行う制御手段と、を具備し、前記制御手段は、前記着呼メッセージが位置情報着呼の場合、呼を接続することなく、複数の基地局の電界強度をそれら複数の基地局のＩＤと共に前記通信手段から前記基地局に報告する構成を採る。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月9日(2004.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像入力装置内において、撮像素子で撮像した画像について所定の画像処理を行う画像処理回路であって、
前記撮像素子で撮像されて順次入力される画素データについてラインメモリを使用して順次に接続された複数の画像処理部による実時間処理により所定の一般画像処理を行うリアルタイムプロセッシングユニットと、
少なくとも前記リアルタイムプロセッシングユニットから出力された画素データを画像フレーム単位で記憶する主メモリと、
前記主メモリ内に一旦記憶された画像に対して前記一般画像処理以外の例外的画像処理をソフトウェアプログラム処理として実行して前記主メモリ内に格納する中央制御部と
を備え、
前記リアルタイムプロセッシングユニットは、前記撮像素子からの読み出し時に外部メモリを経由することなく順次入力される各画素データに対して、シェーディング補正を含む所定の画素補正のために予め前記主メモリ内に記憶され且つダイレクトメモリアクセスで連続的に入力された所定の画素補正パラメータを乗算する画素補正機能を有することを特徴とする画像入力装置の画像処理回路。
【請求項２】
請求項１に記載の画像入力装置の画像処理回路において、前記リアルタイムプロセッシングユニットは、ダイレクトメモリアクセスにより入力されたシェーディング補正を行うためのデータを、画像１ライン分以下の記憶領域を備えるシェーディング補正用データ保持部に一旦保持し、順次入力される各画素データに対してシェーディング補正データを乗算することを特徴とする画像入力装置の画像処理回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決すべく、請求項１に記載の発明は、前記撮像素子で撮像されて順次入力される画素データについてラインメモリを使用して順次に接続された複数の画像処理部による実時間処理により所定の一般画像処理を行うリアルタイムプロセッシングユニットと、少なくとも前記リアルタイムプロセッシングユニットから出力された画素データを画像フレーム単位で記憶する主メモリと、前記主メモリ内に一旦記憶された画像に対して前記一般画像処理以外の例外的画像処理をソフトウェアプログラム処理として実行して前記主メモリ内に格納する中央制御部とを備え、前記リアルタイムプロセッシングユニットは、前記撮像素子からの読み出し時に外部メモリを経由することなく順次入力される各画素データに対して、シェーディング補正を含む所定の画素補正のために予め前記主メモリ内に記憶され且つダイレクトメモリアクセスで連続的に入力された所定の画素補正パラメータを乗算する画素補正機能を有するものである。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の画像入力装置の画像処理回路において、前記リアルタイムプロセッシングユニットは、ダイレクトメモリアクセスにより入力されたシェーディング補正を行うためのデータを、画像１ライン分以下の記憶領域を備えるシェーディング補正用データ保持部に一旦保持し、順次入力される各画素データに対してシェーディング補正データを乗算する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、シェーディング補正を含む所定の画素補正を行う場合に、画素単位の補正データを主メモリ内に予め格納しておき、撮像素子のデータのキャプチャー時に主メモリ内の補正データを複数段の縦続した処理部により実時間処理を行うリアルタイムプロセッシングユニットにダイナミックメモリアクセスで入力することにより画素単位の補正を容易に且つ高速に行なうことができる。
請求項２記載の発明によれば、リアルタイムプロセシングユニット内部に必要とされるメモリ容量を小さくすることが可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月9日(2004.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像入力装置内において、撮像素子で撮像した画像について所定の画像処理を行う画像処理回路であって、
前記撮像素子で撮像されて順次入力される画素データについてラインメモリを使用して順次に接続された複数の画像処理部による実時間処理により所定の一般画像処理を行うリアルタイムプロセッシングユニットと、
少なくとも前記リアルタイムプロセッシングユニットから出力された画素データを画像フレーム単位で記憶する主メモリと
を備え、
前記リアルタイムプロセッシングユニットは、当該リアルタイムプロセッシングユニット外の前記主メモリに格納された欠陥画素アドレスをダイレクトメモリアクセスによって読み出し、前記撮像素子からの読み出し時に外部メモリを経由することなく順次に入力した画素データの画素アドレスが前記欠陥画素アドレスに一致したときに欠陥画素補正を行う欠陥画素補正部を有することを特徴とする画像入力装置の画像処理回路。
【請求項２】
請求項１に記載の画像入力装置の画像処理回路において、欠陥画素補正を行うためのデータは外部メモリ上に補正に必要な時間位置順に配置され、ダイレクトメモリアクセスによりリアルタイムプロセッシングユニット内に転送され、欠陥画素アドレスが画素アドレスと一致する毎に新たな欠陥画素アドレスが主メモリより転送されることを特徴とする画像入力装置の画像処理回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決すべく、請求項１に記載の発明は、ディジタルスチルカメラ内において、撮像素子で撮像した画像について所定の画像処理を行う画像処理回路であって、前記撮像素子で撮像されて順次入力される画素データについてラインメモリを使用して順次に接続された複数の画像処理部による実時間処理により所定の一般画像処理を行うリアルタイムプロセッシングユニットと、少なくとも前記リアルタイムプロセッシングユニットから出力された画素データを画像フレーム単位で記憶する主メモリとを備え、前記リアルタイムプロセッシングユニットは、当該リアルタイムプロセッシングユニット外の前記主メモリに格納された欠陥画素アドレスをダイレクトメモリアクセスによって読み出し、前記撮像素子からの読み出し時に外部メモリを経由することなく順次に入力した画素データの画素アドレスが前記欠陥画素アドレスに一致したときに欠陥画素補正を行う欠陥画素補正部を有するものである。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の画像入力装置の画像処理回路において、欠陥画素補正を行うためのデータは外部メモリ上に補正に必要な時間位置順に配置され、ダイレクトメモリアクセスによりリアルタイムプロセッシングユニット内に転送され、欠陥画素アドレスが画素アドレスと一致する毎に新たな欠陥画素アドレスが主メモリより転送される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、リアルタイムプロセッシングユニット内のレジスタを使用せずに、当該リアルタイムプロセッシングユニット外の主メモリを使用して欠陥画素アドレスを格納するようにしているので、主メモリに格納された欠陥画素アドレスをダイレクトメモリアクセスによって読み出し、画像中の画素データの画素アドレスが欠陥画素アドレスに一致したときに欠陥画素補正を行うことが可能であり、且つリアルタイムプロセッシングユニット内の回路規模を低減でき、低消費電力化を図り得る。
請求項２記載の発明によれば、欠陥画素の総数が多い場合にも、リアルタイムプロセシングユニット内に必要とされる記憶領域を小さくすることが可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月4日(2005.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
同軸ケーブルのツリー状分配網（例えば図１）やスター状分配網を利用して多チャンネルのテレビ放送を提供するＣＡＴＶシステムが良く知られている。近年、このＣＡＴＶシステムをインターネットなどの高速で大容量の情報を伝送するサービスにも利用することが行われている。またデジタル放送に伴う加入者端末からのセンター局へのデータ通信も行われるようになってきた。
このようなＣＡＴＶシステムでは、センター局（ヘッドエンド）からＣＡＴＶシステム加入者端末の間に、幹線同軸ケーブルや光ファイバーケーブルなどの伝送路が敷設され、この伝送路には双方向のＣＡＴＶ信号を増幅する双方向増幅器、各端末にＣＡＴＶ信号を分配する分配器や分岐器などのＣＡＴＶ用機器が設置されている。
図２は、ＣＡＴＶシステムにおけるＣＡＴＶ用機器の利用の一例を示すブロック図である。
図２において、１５（１５ａ〜１５ｄ）は双方向増幅器であり、その内１５ａ〜１５ｃは幹線に設けられたものである。保安器１８の下り側の支線は各加入者宅に引き込まれ、双方向増幅器１５ｄ、チョークコイルなどの雑音除去装置１９、分波器２０を介してコンピュータ１６やテレビ受像機１４と接続される。一方保安器１８の上り側は、分配器１３、分岐器１２、前記双方向増幅器１５ａ〜１５ｃを介して、ヘッドエンド１０に接続される。なお、ここではコンピュータ１６に接続するＲＦモデムやテレビ受像機１４に接続するホームターミナルなどは図示していない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【表２】
2004153244.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
フェライト磁心の外径を大きくすると、それに伴ってインピーダンスの歪み発生周波数が低くなり、機械的共振周波数ｆｏの計算結果と良く一致する。なお機械的共振周波数ｆｏは磁心の厚みについて考慮されていないが、フェライト磁心の厚みを厚くするとインピーダンスの歪み発生周波数は低くなることが判った。このような検討の結果から、インピーダンス歪がフェライト磁心の磁歪振動現象に起因することを確認した。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの開口を有しプラズマが生成される容器と、
前記開口を気密に覆うように設けられた誘電性部材と、
前記容器の外部に一端側が前記誘電性部材に対向するように設けられた少なくとも１つの導波管と、
この導波管の他端側に設けられた電磁波源と、
前記導波管の前記誘電性部材との対向面に設けられた複数の穴と、
前記穴の少なくとも１つの前記穴に該穴の開口面積を調整するように設けられた穴面積調整手段と
を含む、プラズマ処理装置。
【請求項２】
前記穴面積調整手段を有する前記穴は、他の穴の穴面積より大きい穴面積である、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記穴面積の最も大きい穴は、前記導波管の終端側に位置する、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記導波管は、複数の導波管からなる、請求項１から３のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記穴のうち少なくとも１つは、前記誘電性部材の周縁の近傍に位置する、請求項１から４のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記導波管は長方形の横断面形状を有し、前記穴は長方形の四辺を有し、また、前記誘電性部材は長方形の四辺を有し、前記穴の長辺はこれに近接する前記誘電性部材の一辺と平行である、請求項１から５のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記容器の側壁面側の前記穴の穴面積を最も大きい穴面積にし、この穴に前記穴面積調整手段を設けてなる、請求項１から６のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記穴面積調整手段は、金属からなる板状部を往復動させて前記穴の開口面積を調整するように設けてなる、請求項１から７のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
少なくとも１つの開口を有しプラズマが生成される容器と、
前記開口を気密に覆うように設けられた、長方形の四辺を有する誘電性部材と、
長方形の横断面形状を有する導波管であって前記容器の外部に、前記誘電性部材に対向して設けられた少なくとも１つの導波管と、
前記導波管の前記誘電性部材に対向する面に設けられた長方形の四辺を有する複数個の穴とを含み、
前記穴のうち前記容器の側壁面側の穴の面積を他の穴の面積より大きくする、プラズマ処理装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの開口を有しプラズマが生成される容器と、
前記開口を気密に覆うように設けられた、長方形の四辺を有する誘電性部材と、
長方形の横断面形状を有する導波管であって前記容器の外部に、前記誘電性部材に対向して設けられた少なくとも１つの導波管と、
長方形の四辺を有する穴であって前記導波管に形成された、前記誘電性部材に対向して設けられた少なくとも１つの穴とを含み、
前記穴の一辺と前記誘電性部材の一辺とは平行である、プラズマ処理装置。
【請求項１１】
前記誘電性部材の互いにとなり合う二辺の一方の近傍に位置する少なくとも１つの穴と、前記二辺の他方の近傍に位置する少なくとも１つの穴とを含み、前記二辺の一方の近傍に位置する穴の長辺は前記一方と平行であり、前記二辺の他方の近傍に位置する穴の長辺は前記他方と平行である、請求項１０に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１２】
少なくとも１つの開口を有しプラズマが生成される容器と、
前記開口を気密に覆うように設けられた誘電性部材と、
この誘電性部材に対向して設けられた少なくとも１つの導波管と、
この導波管に結合されたマイクロ波発振器と、
この導波管の前記誘電性部材に対向する面に設けられた複数個の穴とを含み、
この複数個の穴の面積は、前記マイクロ波発振器から遠いほど大きくなっていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項１３】
少なくとも１つの開口を有しプラズマが生成される容器と、
前記開口を気密に覆うように設けられた誘電性部材と、
この誘電性部材に対向して設けられた少なくとも１つの導波管と、
この導波管に結合されたマイクロ波発振器と、
この導波管の前記誘電性部材に対向する面に設けられた複数個の穴とを含み、
この複数個の穴の間隔は、マイクロ波の半波長と同じであることを特徴とするプラズマ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
これは、穴３８については、終端部に位置し、進行波と反射波が存在するためにマッチングをとることを含めて大きな面積に形成されている。生成容器１２の内容積が大型液晶表示装置用基板のように大きい場合の穴３８、４０、４２、４４、４６の大きさは、マイクロ波発振器２０から遠い程、穴面積を大きくすることが望ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月7日(2005.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビーム源と前記電子ビーム源からの電子ビームを被露光面上に集束させる電子光学系とを有する電子ビーム露光装置において、
前記電子光学系の瞳面上での前記電子ビームの電子密度分布を周辺部の電子密度が中央部の電子密度より大とせしめる電子密度分布調整手段を有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項２】
前記電子光学系は、前記被露光面上にパターンを縮小投影することを特徴とする請求項１の電子ビーム露光装置。
【請求項３】
透過孔が形成された基板を前記電子ビームによって照明する手段を有し、前記電子光学系は前記基板を透過した電子ビームを用いてパターンを縮小投影することを特徴とする請求項１の電子ビーム露光装置。
【請求項４】
前記電子密度分布調整手段は、前記電子光学系の瞳面位置もしくは前記電子光学系の瞳面位置と共役な位置に設けられている絞りであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの電子ビーム露光装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかの電子ビーム露光装置を用いてウエハを露光する段階と、前記ウエハを現像する段階とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項６】
電子ビーム源と、
前記電子ビーム源から放射された電子ビームを用いて被露光面上にパターンを投影する電子光学系と、
前記電子光学系の瞳面、または、前記電子光学系の瞳面と共役な面で、前記電子光学系の光軸近傍を通過する電子を遮蔽する手段と、を備えることを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項７】
電子ビーム源と、
前記電子ビームから放射された電子ビームを用いて被露光面上にパターンを投影する電子光学系と、を備え、
前記電子光学系の瞳面位置、または、前記電子光学系の瞳面位置と共役な位置に、ホロビーム形成手段を設けたことを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項８】
電子ビーム源と、
複数の要素電子光学系を用いて、前記電子ビーム源から放射された電子ビームにより複数の中間像を形成する第１電子光学系と、
前記第１電子光学系で形成された中間像を被露光面上に投影する第２電子光学系と、を備え、
前記第１電子光学系は、前記要素電子光学系を通過する電子ビームの電子密度分布を周辺部の電子密度が中央部の電子密度より大とせしめる絞りを複数有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれかの電子ビーム露光装置を用いてウエハを露光する段階と、前記ウエハを現像する段階とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１０】
電子光学系により電子ビームを被露光面に収束させる段階を有する電子ビーム露光方法において、前記電子光学系の瞳面での前記電子ビームの電子密度分布を中央部の電子密度が周辺部の電子密度より小さい分布とすることを特徴とする電子ビーム露光方法。
【請求項１１】
絞りを用いて、前記中央部の電子密度が前記周辺部の電子密度より小さい分布を形成することを特徴とする請求項１０の電子ビーム露光方法。
【請求項１２】
前記中央部の電子密度が前記周辺部の電子密度より小さい分布を形成する電子ビーム源を用いることを特徴とする請求項１０の露光方法。
【請求項１３】
請求項１０乃至１２のいずれかの電子ビーム露光方法を用いてウエハを露光する段階と、前記ウエハを現像する段階とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（２）本発明の電子ビーム露光装置の第２の形態は、電子ビーム源と、前記電子ビーム源から放射された電子ビームを用いて被露光面上にパターンを投影する電子光学系と、前記電子光学系の瞳面、または、前記電子光学系の瞳面と共役な面で、前記電子光学系の光軸近傍を通過する電子を遮蔽する手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（３）本発明の電子ビーム露光装置の第３の形態は、電子ビーム源と、前記電子ビームから放射された電子ビームを用いて被露光面上にパターンを投影する電子光学系と、を備え、前記電子光学系の瞳面位置、または、前記電子光学系の瞳面位置と共役な位置に、ホロビーム形成手段を設けたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（４）本発明の電子ビーム露光装置の第４の形態は、電子ビーム源と、複数の要素電子光学系を用いて、前記電子ビーム源から放射された電子ビームにより複数の中間像を形成する第１電子光学系と、前記第１電子光学系で形成された中間像を被露光面上に投影する第２電子光学系と、を備え、前記第１電子光学系は、前記要素電子光学系を通過する電子ビームの電子密度分布を周辺部の電子密度が中央部の電子密度より大とせしめる絞りを複数有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
（５）本発明の電子ビーム露光方法の第１の形態は、電子光学系により電子ビームを被露光面に収束させる段階を有する電子ビーム露光方法において、前記電子光学系の瞳面での前記電子ビームの電子密度分布を中央部の電子密度が周辺部の電子密度より小さい分布とすることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月18日(2004.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体およびこれを用いた化学機械研磨方法ならびに半導体装置の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水溶性第４級アンモニウム塩と、無機酸塩と、砥粒と、水系媒体とが配合されて得られたことを特徴とするポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体。
【請求項２】
上記水溶性第４級アンモニウム塩が下記式（１）で表される化合物であって、上記ポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体に対して、該水溶性第４級アンモニウム塩の配合量は０．００５〜５質量％である請求項１に記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体。
ＮＲ4ＯＨ      （１）
［式（１）中、Ｒは炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【請求項３】
上記無機酸塩が無機アンモニウム塩であって、上記ポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体に対して、該無機アンモニウム塩の配合量が０．００５〜５質量％である請求項１または２に記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体。
【請求項４】
上記砥粒が有機無機複合粒子である請求項１乃至３のいずれかに記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体。
【請求項５】
同一条件により研磨した場合に、シリコン酸化膜の研磨速度に対する上記ポリシリコン膜の研磨速度の比が３０以上である請求項１乃至４のいずれかに記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨水系分散体。
【請求項６】
同一条件により研磨した場合に、窒化物層の研磨速度に対する上記ポリシリコン膜の研磨速度の比が５０以上である請求項１乃至５のいずれかに記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨水系分散体。
【請求項７】
請求項１乃至６のうちのいずれか１項に記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体を用いてポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜を研磨することを特徴とする化学機械研磨方法。
【請求項８】
同一条件により研磨した場合に、シリコン酸化膜の研磨速度に対する上記ポリシリコン膜の研磨速度の比が３０以上である請求項７に記載の化学機械研磨方法。
【請求項９】
同一条件により研磨した場合に、窒化物層の研磨速度に対する上記ポリシリコン膜の研磨速度の比が５０以上である請求項７に記載の化学機械研磨方法。
【請求項１０】
請求項１乃至６のうちのいずれか１項に記載のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜の研磨用化学機械研磨用水系分散体を使用して半導体基板上のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜を研磨することで半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体およびこれを用いた化学機械研磨方法に関する。さらに詳しくは、保存安定性が高く、高濃度状態での貯蔵においても経時的劣化が抑制された半導体装置の製造に有用なポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体およびこれを用いた研磨除去選択性に優れた化学機械研磨方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事情を鑑みなされたもので、その課題は、化学機械研磨による被研磨面の平坦化工程においてディッシング、エロージョン等が少なく表面平滑性に優れ、ポリシリコン：シリコン酸化物の研磨除去選択性およびポリシリコン：窒化物の研磨除去選択性に優れ、かつ濃縮状態においても長期安定性に優れるポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜の研磨用化学機械研磨用水系分散体、およびこれを用いた化学機械研磨方法、ならびに半導体装置の製造方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、本発明の上記課題は、第１に水溶性第４級アンモニウム塩と、無機酸塩と、砥粒と、水系媒体とが配合されて得られたことを特徴とするポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体によって達成される。
また、本発明の上記課題は第２に上記のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜研磨用化学機械研磨用水系分散体を用いてポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜を研磨することを研磨することを特徴とする化学機械研磨方法によって達成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜化学機械研磨用水系分散体（以下、「化学機械研磨用水系分散体」又は「水系分散体」ということもある。）の各成分について詳説する。
なお、本発明の水系分散体は後述するように濃縮状態における長期保存が可能なものであるが、以下において記載する各成分の推奨使用量はいずれも研磨時（希釈後）の値である。