【手続補正書】
【提出日】平成16年11月30日(2004.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面に、長手方向に沿って第１及び第２の電極が互いに平行に形成され、前記圧電体は、前記第１の側面に対向する第２の側面から前記第１の面に向かって分極処理が施されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記第１及び第２の電極のいずれか一方の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項２】
前記圧電体の前記第１及び第２の電極が形成された第１の側面には、前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成され、前記圧電体の第２の側面には、接地される少なくとも一の電極が形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動角速度センサー。
【請求項３】
前記圧電体の前記第１及び第２の電極が形成された第１の側面に対向する第２の面には、前記圧電体の長手方向に沿って一の電極とともにさらに他の電極が互いに平行に形成され、前記圧電体の第１の側面には、前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成され、前記圧電体の第２の側面には、前記一の電極と前記他の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動角速度センサー。
【請求項４】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面には、長手方向に沿って第１及び第２の電極が互いに平行に形成されるとともに、前記第１の側面に対向する第２の側面には、長手方向に沿って一の電極が形成され、前記第１の側面及び第２の側面に対し垂直な第３の側面及び第４の側面には、長手方向に沿ってそれぞれ一の電極が形成され、前記圧電体は、前記第１の電極から前記第３の側面に形成した一の電極と、前記第２の電極から前記第４の側面に形成した一の電極とに向かって分極処理が施されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記第１及び第２の電極のいずれか一方の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項５】
前記圧電体の第１の側面には、前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置して、長手方向に沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項４記載の圧電振動角速度センサー。
【請求項６】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面には、長手方向に沿って第１の電極が形成されるとともに、前記第１の側面に対向する第２の側面には、長手方向に沿って第２の電極が形成され、前記第１の側面及び第２の側面に対し垂直な第３及び第４の側面には、前記圧電体の長手方向に沿ってそれぞれ一の電極が形成され、前記圧電体は、前記第１の側面に形成した第１の電極から前記第３の側面に形成した一の電極の方向と、さらに前記第２の側面に形成した第２の電極から前記第３の側面に形成した一の電極の方向とに向かって分極されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記圧電体に形成した第１及び第２の電極のいずれか一方の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項７】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面には、長手方向に沿って第１及び第２の電極が互いに平行に形成され、前記第１の側面に対向する第２の側面には、長手方向に沿って第３及び第４の電極が互いに平行に形成され、前記第１の側面及び第２の側面に対し垂直な第３及び第４の側面には、前記圧電体の長手方向に沿ってそれぞれ一の電極が形成され、前記圧電体は、前記第１の側面に形成した第１の電極から前記第３の側面に形成した一の電極の方向と、前記第１の側面に形成した第２の電極から前記第３の側面に形成した一の電極の方向と、前記第２の側面に形成した第３の電極から前記第３の側面に形成した一の電極の方向と、前記第２の側面に形成した第４の電極から前記第４の側面に形成した一の電極の方向とに向かって分極処理が施されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記圧電体に形成した第１及び第２の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極と前記第３電極及び第４の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項８】
前記圧電体の前記第１及び第２の電極が形成された第１の側面及び前記第３及び第４の電極が形成された第２の側面には、それぞれ前記第１の電極と前記第２の電極との間及び前記第３の電極と前記第４の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項７記載の圧電振動角速度センサー。
【請求項９】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面には、長手方向に沿って第１及び第２の電極が互いに平行に形成されるとともに、前記第１の側面に対向する第２の側面には、長手方向に沿って一の電極が形成され、前記第１の側面及び第２の側面に対し垂直な第３の側面及び第４の側面には、長手方向に沿ってそれぞれ一の電極が形成され、前記圧電体は、前記第１の側面から第２の側面に向かって分極処理が施されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記第１及び第２の電極のいずれか一方の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項１０】
前記圧電体の前記第１及び第２の電極が形成された第１の側面には、前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項９記載の圧電振動角速度センサー。
【請求項１１】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面には、長手方向に沿って第１及び第２の電極が互いに平行に形成され、前記第１の側面に対向する第２の側面には、長手方向に沿って第３及び第４の電極が互いに平行に形成され、前記第１の側面及び第２の側面に対し垂直な第３及び第４の側面には、前記圧電体の長手方向に沿ってそれぞれ一の電極が形成され、前記圧電体は、前記第１の側面から第２の側面に向かって分極処理が施されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記圧電体に形成した第１及び第２の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極と前記第３電極及び第４の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項１２】
前記圧電体の前記第１及び第２の電極が形成された第１の側面及び前記第３及び第４の電極が形成された第２の側面には、それぞれ前記第１の電極と前記第２の電極との間及び前記第３の電極と前記第４の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項１１記載の圧電振動角速度センサー。
【請求項１３】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、
四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面には、長手方向に沿って第１の電極が形成されるとともに、前記第１の側面に対向する第２の側面には、長手方向に沿って第２の電極が形成され、前記第１の側面及び第２の側面に対し垂直な第３及び第４の側面には、前記圧電体の長手方向に沿ってそれぞれ一の電極が形成され、前記圧電体は、前記第１の側面から第２の側面に向かって分極されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、
前記圧電体の前記第３の側面に形成した一の電極と前記第４の側面に形成した一の電極のいずれか一方の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、
前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第３の側面に形成した一の電極と前記第４の側面に形成した一の電極との間の電圧差を検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
【請求項１４】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法において、
平板状の圧電体の厚さ方向の両面全面に電極を形成し、
次いで、前記圧電体の厚さ方向に分極処理を施し、
その後、前記平板状の圧電体を多数の四角柱片に切断することにより、電極形成面を有する四角柱形状の圧電体を有する振動子を得るようにした
ことを特徴とする圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項１５】
前記四角柱片の前記電極が形成された両面又はいずれか一方の面に、前記四角柱片の長手方向に延長する溝を形成し、前記電極を前記四角柱片の長手方向に沿って２分割したことを特徴とする請求項１４記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項１６】
前記溝は、前記電極から前記四角柱片に亘る深さに形成されていることを特徴とする請求項１５記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項１７】
前記四角柱片の切断と前記溝の形成は、同一の砥石を用いて連続的に行うようにしたことを特徴とする請求項１５記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項１８】
さらに、前記平板から切断された四角柱片の前記電極が形成された両面に垂直な２つの面に電極が形成されることを特徴とする請求項１４乃至１５のいずれか１に記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項１９】
振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法において、
平板状の圧電体の厚さ方向の両面全面に、それぞれ電極を形成し、
前記平板状の圧電体を多数の四角柱片に切断し、
次いで、前記切断された四角柱片の前記電極が形成された両面に垂直な２つの面にそれぞれ電極を形成し、
その後、前記四角柱片に分極処理を施し、各側面に電極が形成された四角柱形状の圧電体を有する振動子を得るようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項２０】
前記分極処理は、四角柱形状の圧電体の第１の側面に形成した電極及び前記第１の側面に対向する第２の側面に形成した電極から、前記第１及び第２の側面に垂直な第３又は第４の側面に形成した電極に向かって施されることを特徴とする請求項１９記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項２１】
前記四角柱片の第１の側面に前記四角柱片の長手方向に延長する溝を形成し、前記第１の側面に形成した電極を前記四角柱片の長手方向に沿って２分割し、
次いで、前記２分割された一方の電極から前記第３の側面に形成した電極に向かって分極処理を施し、前記２分割された他方の電極から前記第４の側面に形成した電極に向かって分極処理を施したことを特徴とする請求項１９記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項２２】
前記四角柱片の第１の側面に前記四角柱片の長手方向に延長する溝を形成し、前記第１の側面に形成した電極を前記四角柱片の長手方向に沿って２分割し、
前記四角柱片の第２の側面に前記四角柱片の長手方向に延長する溝を形成し、前記第２の側面に形成した電極を前記四角柱片の長手方向に沿って２分割し、
前記第１の側面に２分割されて形成された一方の電極から前記第３の側面に形成した電極に向かって分極処理を施し、前記第１の側面に２分割されて形成された他方の電極から前記第４の側面に形成した電極に向かって分極処理を施したことを特徴とする請求項１９記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項２３】
前記溝は、前記電極から前記四角柱片に亘る深さに形成されていることを特徴とする請求項２１又は２２記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【請求項２４】
前記四角柱片の切断と前記溝の形成は、同一の砥石を用いて連続的に行うようにしたことを特徴とする請求項２１又は２２記載の圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、本発明は、振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、四角柱状に形成された圧電体を有し、前記圧電体の第１の側面に、長手方向に沿って第１及び第２の電極が互いに平行に形成され、前記圧電体は、前記第１の側面に対向する第２の側面から前記第１の面に向かって分極処理が施されて、振動の節点で支持されてなる振動子を備え、前記第１及び第２の電極のいずれか一方の電極に励振駆動用の交流電流を印加し、前記圧電体の長手方向の両端を自由端として前記振動子を振動させ、前記振動子に回転角速度が加えられることにより発生する前記コリオリ力により生ずる前記第１及び第２の電極との間の電圧差を検出するようにしたものである。
本発明において、前記圧電体の前記第１及び第２の電極が形成された第１の側面には、前記第１の電極と前記第２の電極との間に位置して、前記圧電体の長手方向に沿って溝が形成され、前記圧電体の第２の側面には、接地される少なくとも一の電極を形成するようにしてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明は、振動子に回転角速度が加えられることにより発生するコリオリ力を検出することにより前記回転角速度を検出する圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法において、平板状の圧電体の厚さ方向の両面全面に電極を形成し、次いで、前記圧電体の厚さ方向に分極処理を施し、その後、前記平板状の圧電体を多数の四角柱片に切断することにより、電極形成面を有する四角柱形状の圧電体を有する振動子を得るようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明に係る圧電振動角速度センサーの振動子の製造方法において、前記四角柱片の前記電極が形成された両面又はいずれか一方の面に、前記四角柱片の長手方向に延長する溝を形成し、前記電極が前記四角柱片の長手方向に沿って２分割される。