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【手続補正書】
【提出日】平成17年6月22日(2005.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ピンホール及び干渉計
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、該基板の上に設けた1800℃以上の融点を有する金属の遮光膜であり、該遮光膜の一部分が除去されてピンホール部である微細開口が形成されてなる金属遮光膜と、を備えたピンホール。
【請求項２】
前記金属は、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、ルテニウム、ニオブ、レニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウム、ハフニウム、バナジウムまたはジルコニウムであるか、或いはこれらの金属を含む合金または化合物であることを特徴とする請求項１記載のピンホール。
【請求項３】
前記遮光膜及び微細開口を覆う透明な保護膜をさらに備えることを特徴とする請求項１または２記載のピンホール。
【請求項４】
前記保護膜の表面が平坦であるか、或いは少なくとも前記微細開口を覆う前記保護膜の表面部分が平坦であることを特徴とする請求項３記載のピンホール。
【請求項５】
前記保護膜の材料は、酸化珪素、酸化タンタル、アルミナ、窒化硼素、炭素、窒化珪素、炭化珪素、または炭化硼素であることを特徴とする請求項３または４に記載のピンホール。
【請求項６】
前記遮光膜と前記保護膜の間に、或いは前記基板と前記遮光膜の間に、高熱伝導性の材料からなる熱伝導層をさらに備えることを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載のピンホール。
【請求項７】
前記熱伝導層は、前記遮光膜に形成された微細開口よりも大きな開口を有することを特徴とする請求項６記載のピンホール。
【請求項８】
前記熱伝導層の材料は、銅、アルミニウム、金、または銀であることを特徴とする請求項６または７記載のピンホール。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載のピンホールを備えることを特徴とする干渉計。
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月15日(2005.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３次元形状測定機を用いて光学素子の面間の位置関係を求める方法であって、
前記３次元形状測定機を用いて前記光学素子の第１の面の形状を測定する第１の面形状測定工程と、
前記第１の面形状測定工程における第１の基準座標系を測定する第１の基準座標系測定工程と、
前記３次元形状測定機を用いて前記光学素子の第２の面の形状を測定する第２の面形状測定工程と、
前記第２の面形状測定工程における第２の基準座標系を測定する第２の基準座標系測定工程と、
前記第１及び第２の面形状と前記第１及び第２の基準座標系に基づいて前記第１の面と前記第２の面の位置関係を演算により求める演算工程とを有し、
前記基準座標系測定工程は、３つの面の各々に設けられた基準物を測定することを特徴とする光学素子の面間の位置関係を求める方法。
【請求項２】
少なくとも第１の面と第２の面を持つ光学素子を保持する保持具であり、
該保持具は前記光学素子を保持する治具と、該治具を支持する補助治具とを有しており、
前記補助治具は、第１の姿勢及び第２の姿勢で前記治具を支持可能であり、
前記治具は、第１及び第２の基準座標系を定義するための基準座標系定義部を有し、
前記第１の姿勢は、３次元形状測定機により前記第１の面を測定するときの姿勢であり、
前記第２の姿勢は、前記３次元形状測定機により前記第２の面を測定するときの姿勢であり、
前記第１の基準座標系は、前記第１の面の測定の際の基準となる座標系であり、
前記第２の基準座標系は、前記第２の面の測定の際の基準となる座標系であり、
前記基準座標系定義部は、３つの面の各々に設けられた基準物を有することを特徴とする光学素子を保持する保持具。
【請求項３】
被検物の３次元形状を測定する３次元測定機と、
前記３次元形状測定機により少なくとも第１の面と第２の面を持つ光学素子の該第１の面を測定し得る姿勢及び該第２の面を測定し得る姿勢における、前記３次元形状測定機による前記光学素子又は該光学素子の保持具に対する測定のデータから、第１及び第２の面形状測定における第１及び第２の基準座標系をそれぞれ演算する第１の演算手段と、
前記第１の面を測定し得る姿勢及び前記第２の面を測定し得る姿勢において、前記３次元形状測定機による前記光学素子の前記第１の面及び第２の面の形状の測定データと、前記第１の演算手段により得られた前記第１及び第２の基準座標系とから、前記第１及び第２の面の面間の位置関係を演算する第２の演算手段とを有している、光学素子の面間の位置関係を測定する装置。
【請求項４】
前記基準物は、１つの基準面と２つの球形状部で構成され、
前記球形状部が設けられている面は、前記基準面と直交する面であることを特徴とする請求項２に記載の光学素子を保持する保持具。
【請求項５】
被検物の３次元形状を測定する３次元測定機と、
請求項２に記載の保持具と、
前記３次元形状測定機で得た測定データに基づいて所定の処理を行うコンピュータを備え、
前記コンピュータは、請求項１に記載の測定方法を実行するプログラムを備えることを特徴とする測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明による３次元形状測定機を用いて光学素子の面間の位置関係を求める方法は、前記３次元形状測定機を用いて前記光学素子の第１の面の形状を測定する第１の面形状測定工程と、前記第１の面形状測定工程における第１の基準座標系を測定する第１の基準座標系測定工程と、前記３次元形状測定機を用いて前記光学素子の第２の面の形状を測定する第２の面形状測定工程と、前記第２の面形状測定工程における第２の基準座標系を測定する第２の基準座標系測定工程と、前記第１及び第２の面形状と前記第１及び第２の基準座標系に基づいて前記第１の面と前記第２の面の位置関係を演算により求める演算工程とを有し、前記基準座標系測定工程は、３つの面の各々に設けられた基準物を測定する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明による少なくとも第１の面と第２の面を持つ光学素子を保持する保持具は、前記光学素子を保持する治具と、該治具を支持する補助治具とを有しており、前記補助治具は、第１の姿勢及び第２の姿勢で治具治具を支持可能であり、前記治具は、第１及び第２の基準座標系を定義するための基準座標系定義部を有し、前記第１の姿勢は、３次元形状測定機により前記第１の面を測定するときの姿勢であり、前記第２の姿勢は、前記３次元形状測定機により前記第２の面を測定するときの姿勢であり、前記第１の基準座標系は、前記第１の面の測定の際の基準となる座標系であり、前記第２の基準座標系は、前記第２の面の測定の際の基準となる座標系であり、前記基準座標系定義部は、３つの面の各々に設けられた基準物を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月2日(2005.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は目標対象物を自動的に追尾する自動測量機に関し、特に反射光を追尾光、測距光、可視光に分割する望遠光学系を有する自動測量機に関するものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
而して、前記望遠鏡部４から照射された測定光が目標対象物に設けられたミラーで反射され、反射光を受光することで測定者が測量機を目標対象物に対して視準を行い、或は距離測定を行い、或は目標対象物の自動追尾が行われる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
前述した目標対象物を自動的に追尾する測量機では、照射する測定光には追尾用、測距用の異なる波長帯が含まれ、目標対象物で反射され受光した反射光を追尾用、測距用、可視光と目的毎に波長分割し、分割された測距光、追尾光を用いて距離測定、自動追尾を行っている。斯かる波長分割は前記望遠鏡部４の光学系の光路上に配置される光学手段により行われる。複数の波長帯に分割する光学手段としてはダイクロイックプリズムが多く使用される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記合焦レンズ６は光軸Ｏ上を移動可能に設けられ、前記対物レンズ５を経て入光したレーザ光線を前記焦点鏡８上に結像し、前記正立プリズム７は前記焦点鏡８に結像される像を正立像とし、前記焦点鏡８は目標対象物を視準中心に捉えるスケールを有し、前記接眼レンズ９は前記焦点鏡８に結像された目標対象物の像を前記スケールと共に測量者の網膜上に結像する。前記反射ミラー１１の反射光軸上には図示しない追尾光学系が配設され、追尾光のレーザ光線を前記反射ミラー１１を介して目標対象物に対して照射する様になっている。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月20日(2005.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  レーザ光を出射するレーザ光源と、
標本上に前記レーザ光源からのレーザ光を集束する対物レンズと、
前記レーザ光源から前記対物レンズの瞳へ入射するレーザ光の光束径を切換可能な光束径切換手段と、
前記レーザ光源からのレーザ光で標本を走査する走査手段と、
前記標本からの光を共焦点検出器の光路と非共焦点検出用の光路とに切換可能な光路切換手段と、
前記標本からの光を検出する検出器とを備えた走査型サイトメータ。
【請求項２】 細胞集団標本上でレーザを顕微鏡対物レンズで集光して二次元走査し、該レーザによって励起された細胞からの蛍光を検出器で検出し、該検出器で検出した光電信号によって形成された走査画像データをコンピュータに取り込み、該走査画像データに対する画像処理によって該細胞集団標本内の各細胞の細胞内成分量を定量測光すると共に該細胞集団標本内の各細胞の座標位置データを記録し、個々の細胞の測光値を統計的に解析し、特定の部分集合に属する個々の細胞の該座標位置データをもとにステージを制御して顕微鏡視野内に各細胞を移動させて顕微鏡観察する走査型細胞測定装置において、
対物レンズの開口数で決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段および共焦点蛍光検出する手段を有することを特徴とする走査型細胞測定装置。
【請求項３】 細胞集団標本をレーザ光で二次元走査して細胞を測定する走査型細胞測定装置において、対物レンズの開口数で決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段および共焦点蛍光検出する手段を有し、共焦点観察を可能にしたことを特徴とする走査型細胞測定装置。
【請求項４】 対物レンスの開口数て決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段および共焦点蛍光検出する手段、のうち、少なくとも一つの構成要素が少なくとも部分的に、該走査型細胞測定装置と共有されていることを特徴とする請求項２または３記載の装置。
【請求項５】 光軸（Ｚ）方向の移動手段および光軸（Ｚ）方向の光学的切断画像データ列を取得して三次元画像を構築し表示する画像処理手段を備えていることを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項６】 対物レンズの開口数で決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段のうち少なくともレーザと光偏向器が該走査型細胞測定装置と共有されており、レーザの光束径変換手段を備えていることを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項７】 共焦点蛍光検出する手段のうち少なくとも蛍光検出器が該走査型細胞測定装置と共有されており、蛍光集光レンズ切換手段と共焦点ピンホール挿脱切換手段のうち少なくとも一方を備えていることを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項８】 対物レンズの開口数で決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段および共焦点蛍光検出する手段が、マルチピンホールディスクスキャナーと撮像素子により構成されていることを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項９】 レーザ光を出射するレーザ光源と、
標本上に前記レーザ光源からのレーザ光を収束する対物レンズと、
前記レーザ光源から前記対物レンズの瞳へ入射するレーザ光の光束径を切換え可能な光束切換手段と、
前記レーザ光源からのレーザ光で標本を走査する走査手段と、
前記標本からの光を検出する検出器とを備え、
前記標本からの光を共焦点検出する手段と非共焦点検出する手段を切換えるようにしたことを特徴とする走査型細胞測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明の走査型サイトメータは、レーザ光を出射するレーザ光源と、標本上に前記レーザ光源からのレーザ光を集束する対物レンズと、前記レーザ光源から前記対物レンズの瞳へ入射するレーザ光の光束径を切換可能な光束径切換手段と、前記レーザ光源からのレーザ光で標本を走査する走査手段と、前記標本からの光を共焦点検出器の光路と非共焦点検出用の光路とに切換可能な光路切換手段と、前記標本からの光を検出する検出器とを備えている。
請求項２に対応する本発明は、細胞集団標本上でレーザを顕微鏡対物レンズで集光して二次元走査し、該レーザによって励起された細胞からの蛍光を検出器で検出し、該検出器で検出した光電信号によって形成された走査画像データをコンピュータに取り込み、該走査画像データに対する画像処理によって該細胞集団標本内の各細胞の細胞内成分量を定量測光すると共に該細胞集団標本内の各細胞の座標位置データを記録し、個々の細胞の測光値を統計的に解析し、特定の部分集合に属する個々の細胞の該座標位置データをもとにステージを制御して顕微鏡視野内に各細胞を移動させて顕微鏡観察する走査型細胞測定装置において、対物レンズの開口数で決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段および共焦点蛍光検出する手段を有することを特徴とする。
請求項３に対応する本発明は、細胞集団標本をレーザ光で二次元走査して細胞を測定する走査型細胞測定装置において、対物レンズの開口数で決定される回折限界サイズ相当の光束を標本に照射し二次元走査する手段および共焦点蛍光検出する手段を有し、共焦点観察を可能にしたことを特徴とする。
請求項９に対応する本発明は、レーザ光を出射するレーザ光源と、標本上に前記レーザ光源からのレーザ光を収束する対物レンズと、前記レーザ光源から前記対物レンズの瞳へ入射するレーザ光の光束径を切換え可能な光束切換手段と、前記レーザ光源からのレーザ光で標本を走査する走査手段と、前記標本からの光を検出する検出器とを備え、前記標本からの光を共焦点検出する手段と非共焦点検出する手段を切換えるようにしたことを特徴とする走査型細胞測定装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月15日(2004.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表面観察装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体で支持された導電性探針を試料表面に接触させて該試料表面に水平な方向に走査し、該弾性体の変位量を検出することにより前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を算出して、前記試料表面の形状を測定するようにした表面観察装置において、
前記試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、前記探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、前記探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、前記電位検出手段による電位の検出とを、前記試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するようにしたことを特徴とする表面観察装置。
【請求項２】
前記試料表面の形状を測定するための手段が、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段と、該位置制御手段と前記弾性体の変位量を検出する変位量検出手段からの信号に基づいて前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を求める探針位置算出手段と、によって試料表面の形状を算出する表面形状算出手段を構成していることを特徴とする請求項１に記載の表面観察装置。
【請求項３】
前記電位分布を測定するための手段が、前記電位検出手段と、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段からの信号に基づき前記試料表面の電位分布を算出する電位分布算出手段と、で構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面観察装置。
【請求項４】
前記電位検出手段が、可変電圧源と検流計とで構成された平衡回路による電位測定回路であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の表面観察装置。
【請求項５】
前記電位分布発生手段が、試料に電位分布を発生するタイミングを制御する電位分布発生制御手段を具備していることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の表面観察装置。
【請求項６】
前記探針が、導電性材料上に絶縁性薄膜が被覆されて形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の表面観察装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は走査型探針顕微鏡を応用した表面観察装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
そこで、本発明は、上記した従来のものにおける課題を解決し、試料表面の電圧分布をナノメートルスケールの分解能で観察することができる表面観察装置を提供することを目的としている。
また、本発明は、試料表面の電圧分布をナノメートルスケールの分解能で観察するに際して、プローブ及び試料の破壊を防ぎ安定に観察することができる表面観察装置を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、表面観察装置をつぎのように構成したことを特徴としている。
すなわち、本発明の表面観察装置は、弾性体で支持された導電性探針を試料表面に接触させて該試料表面に水平な方向に走査し、該弾性体の変位量を検出することにより前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を算出して、前記試料表面の形状を測定するようにした表面観察装置において、
前記試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、前記探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、前記探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、前記電位検出手段による電位の検出とを、前記試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するようにしたことを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記試料表面の形状を測定するための手段が、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段と、該位置制御手段と前記弾性体の変位量を検出する変位量検出手段からの信号に基づいて前記探針の試料表面に垂直な方向の位置を求める探針位置算出手段と、によって試料表面の形状を算出する表面形状算出手段を構成していることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位分布を測定するための手段が、前記電位検出手段と、前記探針と試料との位置を制御する位置制御手段からの信号に基づき前記試料表面の電位分布を算出する電位分布算出手段と、で構成されていることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位検出手段が、可変電圧源と検流計とで構成された平衡回路による電位測定回路であることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記電位分布発生手段が、試料に電位分布を発生するタイミングを制御する電位分布発生制御手段を具備していることを特徴としている。
また、本発明の表面観察装置は、前記探針が、導電性材料上に絶縁性薄膜が被覆されて形成されていることを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面観察装置によると、試料に電圧を印加し該試料中に電位分布を発生させる電位分布発生手段と、探針による該試料中の電位を検出する電位検出手段とを備え、探針の試料表面に垂直な方向の位置の算出と、電位検出手段による電位の検出とを、試料表面に水平な方向の同じ位置で行い、試料表面の形状とそれに対応した電位分布とを同時、若しくは、ほぼ同時に測定するように構成することで、試料表面の形状を観察しながらそれに対応した試料表面の電位をナノメートルスケールで観察することができる。また、本発明によると、上記した表面観察装置における前記探針を、導電性材料上に絶縁性薄膜を被覆して形成することにより、試料表面の電位分布をナノメートルスケールの分解能で観察するに際して、プローブ及び試料の破壊を防止して、安定に観察することが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月14日(2004.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小なプローブが試料表面上を走査することによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型プローブ顕微鏡において、
プローブを試料の凹凸に応じて上下に移動する駆動手段と、
プローブと試料間の距離を検出する機構およびプローブを試料表面に対して平行に走査させる微動手段を有する観察ユニットを試料表面上の任意の位置へ移動する手段と、
急峻な段差のある試料を観察する手段と、
を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】
前記観察ユニットを移動する手段は、除振または制振手段を有し、さらに、可動範囲と位置精度のうち少なくともどちらか一方、または、両方が異なる複数の移動手段を有することを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】
前記観察ユニットを移動する手段は、二つの移動手段からなり、第二の移動手段の可動範囲が少なくとも第一の移動手段の位置決め精度以上であり、第二の移動手段の位置決め精度がプローブの走査範囲以下であることを特徴とする請求項２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】
前記急峻な段差のある試料を観察する手段は、先端にプローブを持つカンチレバーを複数有し、それぞれのカンチレバーの向きが異なり、カンチレバー毎に走査方向が異なることを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】
前記急峻な段差のある試料を観察する手段は、先端にプローブを持つ二つのカンチレバーを向かい合わせて配置し、第一のプローブで走査した後、走査方向を変えて第二のプローブで第一のプローブと同じ場所を走査することを特徴とする請求項４記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】
前記急峻な段差のある試料を観察する手段は、先端にプローブを持つカンチレバーの向きを変え、走査方向を変えて、同じ場所を走査することを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項７】
前記急峻な段差のある試料を観察する手段は、試料表面の段差の側面へプローブ先端が接触するようにプローブまたは試料を傾ける手段を有することを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項８】
前記プローブを傾ける手段は、圧電素子を用いてカンチレバーを傾ける事によってプローブを傾けることを特徴とする請求項７記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項９】
前記プローブを傾ける手段は、観察ユニットを傾けることによってプローブを傾けることを特徴とする請求項７記載の走査型プローブ顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料表面の微細な構造を観察するのに用いる走査型プローブ顕微鏡に関する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
［実施の形態１］
図１において１は第一の移動手段、２は第二の移動手段、３は観察ユニット、４は除振または制振手段である。第二の移動手段は可動範囲の大きな第一の移動手段の位置決め精度不足を補うもので可動範囲は、すくなくとも第一の移動手段の位置決め精度以上であり、位置決め精度は走査型プローブ顕微鏡の走査範囲以下である。このような構成とすることでCDのディスク原盤のような大きな試料表面の任意の微小領域へ精度良くプローブを移動させることができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１  第一の移動手段
２  第二の移動手段
３  観察ユニット
４  除振または制振手段
５  カンチレバー
６  プローブ
７  急峻な段差を持つ試料
８，９  プローブを操作することによって得られる段差形状
１０  XYZトランスレータ
１１  試料ステージ
１２  試料
１３  たわみ検出器
１４  コンピュータおよびAFMコントローラ
１５，１６，１７  圧電体
１８  支点
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月20日(2005.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板の表面を照射して目視で検査する外観検査装置において、
反射ミラーを介して前記基板に対して部分照明する照明光源と、
この照明光源と前記反射ミラーの相対位置関係に応じて照明光束の照射方向を可変する照射可変手段とを具備したことを特徴とする外観検査用投光装置。
【請求項２】  基板の表面を照射して欠陥などの検査する外観検査装置において、
前記基板面積に対して小さな領域を部分照明する照明光源と、
この記照明光源の照明光路中に配置され、前記照明光源から照射される照明光を前記基板に収束させるフレネルレンズと、
このフレネルレンズを通して前記照明光源からの照明光を前記基板上で走査させるように照明光束の照射方向を可変する照射可変手段とを具備したことを特徴とする外観検査用投光装置。
【請求項３】  前記基板を保持して観察者による目視検査のために所定角度に傾斜させるホルダと、
このホルダより上方に配置され、前記基板を部分照明する照明光源と、
この照明光源と前記ホルダとの間に配置され、前記照明光源から出射された照明光を前記ホルダに保持された前記基板に向けて反射させる反射ミラーと、
この記反射ミラーと前記ホルダとの間に配置され、前記反射ミラー７で反射した前記照明光を収束させるフレネルレンズと、
前記照明光源と前記反射ミラーの相対位置関係に応じて照明光束の照射方向を可変する照射可変手段とを具備したことを特徴とする外観検査用投光装置。
【請求項４】  前記照射可変手段は、照明光軸が中心向くように前記照明光源を直線移動可能に設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の外観検査用投光装置。
【請求項５】  前記照射可変手段は、前記基板の外形データに応じて前記基板上に複数の観察区画が設定され、これらの各観察区画を照明する各照明位置に前記照明光源を移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の外観検査用投光装置。
【請求項６】  前記照射可変手段は、前記基板の外形データに応じて複数の照明位置が決められ、前記各照明位置に前記照明光源順次移動することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の外観検査用投光装置。
【請求項７】  前記照射可変手段は、前記基板の外形データに応じて前記照明光源の移動範囲が設定され、こに移動範囲内で前記照明光源を移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の外観検査用投光装置。
【請求項８】  前記照射可変手段は、前記反射ミラーの反射角度を調整して、この反射ミラーで反射された前記照明光束を前記基板上で走査させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の外観検査用投光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本願発明の外観検査用投光装置は、基板の表面を照射して目視で検査する外観検査装置において、反射ミラーを介して前記基板に対して部分照明する照明光源と、この照明光源と前記反射ミラーの相対位置関係に応じて照明光束の照射方向を可変する照射可変手段とにより構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本願発明の外観検査用投光装置は、基板の表面を照射して欠陥などの検査する外観検査装置において、前記基板面積に対して小さな領域を部分照明する照明光源と、この記照明光源の照明光路中に配置され、前記照明光源から照射される照明光を前記基板に収束させるフレネルレンズと、このフレネルレンズを通して前記照明光源からの照明光を前記基板上で走査させるように照明光束の照射方向を可変する照射可変手段とにより構成している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本願発明の外観検査用投光装置は、前記基板を保持して観察者による目視検査のために所定角度に傾斜させるホルダと、このホルダより上方に配置され、前記基板を部分照明する照明光源と、この照明光源と前記ホルダとの間に配置され、前記照明光源から出射された照明光を前記ホルダに保持された前記基板に向けて反射させる反射ミラーと、この記反射ミラーと前記ホルダとの間に配置され、前記反射ミラー７で反射した前記照明光を収束させるフレネルレンズと、前記照明光源と前記反射ミラーの相対位置関係に応じて照明光束の照射方向を可変する照射可変手段とにより構成している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月28日(2005.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マイクロセンサーデバイス作成方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次元アレイを構成する微小電極の表面に設けられた有機薄膜を有する回路、および、芳香性分子を吸収する導電性ポリマーに協働して電気的インピーダンスの変化を検出する変換素子を備えるセンサーデバイスの作成方法であって、
複数のインクジェットノズルを通して複数の薄膜材料溶液を該微小電極表面上に同時に印刷させて該微小電極上に有機薄膜を形成するステップを備え、
該複数の溶液の各々は、導電性ポリマーと溶剤とを含み、該導電性ポリマーは該複数の溶液ごとに異なるものであり、
該インクジェットノズルの各々は、圧電素子を備え、該インクジェットノズルは、マルチラインヘッドノズルであり、該溶液は、３ｃｐｓ以下の粘度を有しており、
該薄膜材料溶液を印刷するステップは、
(a)  該圧電素子に電気信号を供給することによって該圧電素子を変形させるステップと、
(b)  該微小電極上に該インクジェットノズルを介して該溶液を吐出するステップと、
(c)  該二次元アレイの異なる領域に該導電性ポリマーを付着させて化学物質のグループに特化したデバイスを生成するステップとを備え、
各該溶液における該導電性ポリマーは、少なくともポリチオフェン、ポリメチルチオフェン、およびポリフェニレンビニレンからなる群から少なくとも一つ選ばれることを特徴とするセンサーデバイス作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記微小電極および前記回路は、プラスティック基板上に形成されるセンサーデバイス作成方法。
【請求項３】
請求項２に記載の方法において、
前記回路は、ポリシリコン薄膜トランジスタを備えるセンサーデバイス作成方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、二次元アレイを構成する微小電極の表面に設けられた有機薄膜を有する回路、および、芳香性分子を吸収する導電性ポリマーに協働して電気的インピーダンスの変化を検出する変換素子を備えるセンサーデバイスの作成方法であって、複数のインクジェットノズルを通して複数の薄膜材料溶液を該微小電極表面上に同時に印刷させて該微小電極上に有機薄膜を形成するステップを備え、該複数の溶液の各々は、導電性ポリマーと溶剤とを含み、該導電性ポリマーは該複数の溶液ごとに異なるものであり、該インクジェットノズルの各々は、圧電素子を備え、該インクジェットノズルは、マルチラインヘッドノズルであり、該溶液は、３ｃｐｓ以下の粘度を有しており、該薄膜材料溶液を印刷するステップは、
(a)  該圧電素子に電気信号を供給することによって該圧電素子を変形させるステップと、(b)  該微小電極上に該インクジェットノズルを介して該溶液を吐出するステップと、(c)  該二次元アレイの異なる領域に該導電性ポリマーを付着させて化学物質のグループに特化したデバイスを生成するステップとを備え、各該溶液における該導電性ポリマーは、少なくともポリチオフェン、ポリメチルチオフェン、およびポリフェニレンビニレンからなる群から少なくとも一つ選ばれることを特徴とするセンサーデバイス作成方法が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
ここで本発明において、上記微小電極および回路は、プラスティック基板上に形成されることは好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明において、上記回路は、ポリシリコン薄膜トランジスタを備えることは好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月18日(2004.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の異常部の有無を検査する異常検出装置から試料の付属情報や異常部の座標位置，異常部の大きさが含まれた検査結果を取得する手段と、その検査結果に基づいて視野を前記試料の異常部存在領域に設定する視野設定手段と、異常部を観察する手段と、観察した画像を保存する手段と、異常部判別情報ごとの異常部参照画像リストと現在観察している試料の異常部像を同時に表示する手段を備えることを特徴とするレビュー装置。
【請求項２】
請求項１に記載したレビュー装置において、現在観察している試料の異常部像を随時異常部参照画像として異常部参照画像リストに登録することを特徴とするレビュー装置。
【請求項３】
請求項１に記載したレビュー装置において、品種や工程名等の試料の付属情報ごとに異常部参照画像リストを作成することを特徴とするレビュー装置。
【請求項４】
請求項１に記載したレビュー装置において、特定の試料を観察すると前述の異常検出装置から取得した検出結果よりその試料の品種や工程を識別し、それと同じ品種や工程の異常部参照画像リストを自動的に出力することを特徴とするレビュー装置。
【請求項５】
請求項１に記載したレビュー装置において、現在観察している試料の異常部像の異常部判別情報を特定するときに、操作画面上に示される異常部判別情報をポインティング手段で指定することによって特定する異常画像判別情報特定手段であることを特徴とするレビュー装置。
【請求項６】
請求項１に記載したレビュー装置において、前記異常部参照画像リストを任意の方向に移動する手段を備えることを特徴とするレビュー装置。
【請求項７】
請求項６に記載したレビュー装置において、前記異常部参照画像リストの大きさをポインティング手段を用いて自由に変更する手段を備えることを特徴とするレビュー装置。
【請求項８】
請求項１に記載したレビュー装置において、通常は異常部判別情報の代表画像を１つ表示し、異常部参照画像リストの参照したい異常部判別情報をポインティング手段で指定した場合には、該異常部判別情報に登録されている複数の参照画像を表示する手段を備えることを特徴とするレビュー装置。
【請求項９】
請求項６又は８に記載したレビュー装置において、特定の参照画像をポインティング手段で指定した場合には該指定された参照画像を拡大表示する手段を備えることを特徴とするレビュー装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月26日(2005.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら、従来技術には以下の問題点がある。
(1)ポンプの始動時の油圧の立ち上がりが悪い。これは、従来技術が車両上でポンプ室の鉛直上方寄りに吸込ポートを開口し、鉛直下方側に吐出ポートを開口するものであるため、ポンプの運転を長時間停止していると、ロータの上側にあるベーンが重力によってカムリングから離れ落下してしまい、吸込ポートから流体を運ばなくなり、ポンプ作用を営まないことによる。ポンプを回転させても油圧が発生しないこともあり、この現象は流体の粘度が低くベーンを遠心力では引き出せない低温時に顕著である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
(2)上記(1)を改善するため、ロータのベーン収容溝の基部に導く圧力流体のベーン背圧を増強すべく、ロータのベーン収容溝が開口しているロータの両側面と、その両側のプレッシャプレート及びサイドプレートとの隙間もれを極力小さくすることが考えられる。ところが、ロータの両側面と、その両側のプレッシャプレート及びサイドプレートとの隙間を極小化する場合には、ロータとそれらプレートとの焼付きを生ずる虞れがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明は、ポンプケーシングに挿入されるポンプ軸に固定されて回転駆動されるとともに、多数のベーンを溝に収容して半径方向に移動可能としてなるロータと、ポンプケーシングに嵌装され、ロータの外周部との間にポンプ室を形成するカムリングと、カムリングをポンプケーシング内で移動変位可能とし、且つポンプ室の容積が最大となるような付勢力をカムリングに付与するとともに、カムリングとポンプケーシングとの間に第１と第２の流体圧室を分割形成し、ポンプ室から吐出される圧力流体の吐出通路途中に設けたオリフィス前の圧力を第１流体圧室に、オリフィス後の圧力を第２流体圧室に導き、両流体圧室に作用する圧力の差圧によりカムリングを前記付勢力に抗して移動させ、ポンプ室の容積を変化させて吐出流量を制御可能とする吐出流量制御装置と、ロータのベーンを収容している溝の基部に、ポンプ室から吐出される圧力流体を導き、ベーンをカムリングに向けて加圧するベーン加圧装置とを有してなる可変容量型ポンプにおいて、車両上でポンプ室の鉛直下方寄りに吸込ポートを開口し、鉛直上方寄りに吐出ポートを開口してなるようにしたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月1日(2005.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対応するコ字形の断面をそれぞれ有し、対応する両側壁先端同士を合致させることによりチューブ形状に形成される一対のチューブ壁構成体と、
中間領域が、山部と谷部とを交互に有するジグザグ形状の断面に形成されるとともに、両側縁部が内側に折り返されて、折返し部が設けられたインナーフィンとを備え、
前記インナーフィンの中間領域が、前記一対のチューブ壁構成体のコ字溝内に収容されるとともに、両側の折返し部が、前記一対のチューブ壁構成体における対応する両側壁先端間に挟み込まれた状態で、前記一対のチューブ壁構成体及び前記インナーフィンが互いにろう付け一体化されてなることを特徴とする熱交換器用チューブ。
【請求項２】
前記インナーフィンの中間領域における山部と谷部との間に、熱交換媒体通過孔が形成されてなる請求項１記載の熱交換器用チューブ。
【請求項３】
前記インナーフィンの中間領域における山部上端及び谷部下端のうち少なくともいずれか一方の凸端部に対応して、前記チューブ壁構成体の底壁内面に凸端部収納溝が形成され、
その凸端部収納溝内に前記凸端部が収納されてなる請求項１又は２記載の熱交換器用チューブ
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱交換器チューブを備えたことを特徴とする熱交換器。
【請求項５】
カーエアコン用コンデンサであって、
請求項４に記載の熱交換器をもって構成されてなることを特徴とするカーエアコン用コンデンサ。
【請求項６】
請求項５に記載のコンデンサを備えたことを特徴とするカーエアコン。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月9日(2005.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に送り込まれる各缶蓋を、搬送スクリューにより進行方向に対して蓋面が略直交するように非接触・等間隔で搬送しながら、それぞれが独立した空間として画成された薬液噴霧部と熱風加熱部を順次通過させることで殺菌処理を施してから、缶蓋巻締装置に対して連続的に送り出すような缶蓋の殺菌装置において、該殺菌装置内での缶蓋の進行方向が下方に傾斜したものとなるように、該殺菌装置全体が傾斜した状態に設置されていることを特徴とする缶蓋の殺菌装置。
【請求項２】
搬送スクリューが、搬送される缶蓋の左右両側に一対で設けられるものであり、各缶蓋に対して上方から薬液を噴霧している薬液噴霧部において、左右両側の搬送スクリューによって搬送されて各缶蓋に対して、缶蓋の上部を案内するようなガイド部材が設けられていないことを特徴とする請求項１に記載の缶蓋の殺菌装置。
【請求項３】
熱風加熱部よりも搬送下流側に、熱風加熱部により加熱された各缶蓋を無菌水の噴霧により冷却して洗浄するための冷却・洗浄部と、冷却・洗浄部により缶蓋に噴霧された無菌水を除去するための水切り部とがそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の缶蓋の殺菌装置。
【請求項４】
薬液噴霧部よりも搬送上流側に、缶蓋の供給を遮断するためのフィードストッパーが設けられていると共に、熱風加熱部よりも搬送下流側に、殺菌済みの缶蓋を搬送経路から除外するためのリジェクト機構が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の缶蓋の殺菌装置。
【請求項５】
缶蓋巻締装置が設置されている空気清浄度が高レベルのクリーンブースに対して、熱風加熱部よりも搬送下流側がクリーンブース内となるように缶蓋の殺菌装置が設置されていると共に、クリーンブースの内側が外側よりも常に高気圧に維持されていることで、薬液噴霧部と熱風加熱部を貫通してクリーンブースの内側と外側を連通する缶蓋搬送経路が、クリーンブース内に外気を流入させないようなものとなっていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の缶蓋の殺菌装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月9日(2005.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察光学系を備えた先端部と、
環状に形成された複数の節輪を互いに回動可能に連結して成るとともに、第１、第２方向の２方向に回動される節輪を備え、上記先端部の基端側に連結されて少なくとも上記２方向に湾曲される湾曲部と、
上記第１、第２の方向に回動する節輪のうち、一部の節輪に対して上記第１の方向への回動範囲を規制する規制手段と、
上記湾曲部から基端側に延出され、上記規制手段の規制によって一部が規制された上記湾曲部を上記第１の方向に湾曲させる第１の湾曲操作ワイヤと、
上記先端部もしくは上記湾曲部から基端側に延出され、上記湾曲部を上記第２の方向に湾曲させる第２の湾曲操作ワイヤと、
上記湾曲部の中心軸に対して上記第２の湾曲操作ワイヤ側に偏心させて上記湾曲部内に配置されたチャンネルチューブと、
を具備することを特徴とする内視鏡。
【請求項２】
挿入部に湾曲部を有し、上記湾曲部は、挿入方向に並設された複数の節輪を互いに回動自在に連結し、上記湾曲部の内部にチャンネルチューブを含む内蔵物を配し、湾曲部の先端側近傍に一端を固定し、上記湾曲部内に挿通した湾曲操作ワイヤを牽引することにより、湾曲部を少なくとも２方向に湾曲する内視鏡において、
上記湾曲部中心軸に対し、上記チャンネルチューブの中心軸を偏心させると共に、上記チャンネルチューブの中心軸に近位となる湾曲方向に比し、他の湾曲方向の湾曲半径が小さくなるように構成したことを特徴とする内視鏡。
【請求項３】
請求項２において、湾曲中心に対しチャンネルチューブの中心を偏心させ、上記チャンネルチューブの中心が湾曲部中心よりも湾曲中心に対し近位となる湾曲方向に比べ、遠位となる湾曲方向の湾曲半径を小さくしたことを特徴とするもの。
【請求項４】
４方向湾曲を行う湾曲部を有する請求項２において、湾曲部中心に対しチャンネルチューブ中心を偏心させ、４方向のうち、上記チャンネルチューブ中心が湾曲部中心よりも湾曲中心に対し近位となる２つの湾曲方向に対し、遠位となる残り２つの湾曲方向のうち少なくとも１方向の湾曲半径を小さくしたことを特徴とするもの。
【請求項５】
隣り合う節輪の回動の組み合せによって構成される湾曲部を有する請求項３または請求項４において、湾曲半径が小さくなるよう、遠位となる湾曲方向への節輪の回動動作を規制する規制手段を湾曲部の一部に設けたことを特徴とするもの。
【請求項６】
挿入部が、先端から先端部、湾曲部及び可撓管部によってなり、可撓管部が操作部と連結する請求項４において、規制手段を、上記湾曲部を先端部側前半、可撓管部側後半に２分割した可撓管部側後半部分に設けたことを特徴とするもの。
【請求項７】
請求項６において、上記規制手段として、遠位となる湾曲方向に対し回動しない節輪を集約して設けたことを特徴とするもの。
【請求項８】
請求項６において、上記規制手段として、遠位となる湾曲方向に対し少ない回動角で回動する節輪を集約して設けたことを特徴とするもの。
【請求項９】
請求項８において、上記湾曲部は、チャンネルチューブ中心が近位となる湾曲方向には隣接する一対の節輪から成る回動角がθＡとなる節輪を配し、遠位となる方向には回動角がθＢ＞θＡである節輪を先端側に回動角がθＣ＜θＡである節輪を基端側に配したことを特徴とするもの。
【請求項１０】
請求項７において、上記湾曲部は、チャンネルチューブ中心が近位となる湾曲方向には、隣接する一対の節輪から成る回動角がθＡとなる節輪を配し、遠位となる方向には、回動角がθＢ＞θＡである節輪を先端側に、回動角がθＣ＝０である節輪を基端側に配したことを特徴とするもの。
【請求項１１】
請求項３において、上記チャンネルチューブを湾曲部内の下方向湾曲側に偏心させ、偏心した下方向に遠位となる上方向の湾曲半径を最も小さくしたことを特徴とするもの。
【請求項１２】
請求項１０において、上記湾曲部を１３個乃至１４個の節輪にて形成し、節輪の基端側４駒によって得られる回動角を０としたことを特徴とするもの。
【請求項１３】
請求項１２において、湾曲部のチャンネル中心に近位となる側と遠位となる側とで、隣り合う節輪の回動が組み合わさることによって湾曲部が湾曲動作を行う湾曲動作範囲に約１０ｍｍの差を設けたことを特徴とするもの。
【請求項１４】
請求項４において、チャンネルチューブを、湾曲方向で右下方向側に偏心させ、右、下以外の残りの上、左方向の湾曲半径を最も小さくしたことを特徴とするもの。
【請求項１５】
請求項４において、チャンネルチューブを、湾曲方向で右下方向側に偏心させ、上方向の湾曲半径を最も小さくしたことを特徴とするもの。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【課題を解決するための手段および作用】
本発明は、観察光学系を備えた先端部と、環状に形成された複数の節輪を互いに回動可能に連結して成るとともに、第１、第２方向の２方向に回動される節輪を備え、上記先端部の基端側に連結されて少なくとも上記２方向に湾曲される湾曲部と、上記第１、第２の方向に回動する節輪のうち、一部の節輪に対して上記第１の方向への回動範囲を規制する規制手段と、上記湾曲部から基端側に延出され、上記規制手段の規制によって一部が規制された上記湾曲部を上記第１の方向に湾曲させる第１の湾曲操作ワイヤと、上記先端部もしくは上記湾曲部から基端側に延出され、上記湾曲部を上記第２の方向に湾曲させる第２の湾曲操作ワイヤと、上記湾曲部の中心軸に対して上記第２の湾曲操作ワイヤ側に偏心させて上記湾曲部内に配置されたチャンネルチューブとを具備することを特徴とする内視鏡である。
また、本発明は、挿入部に湾曲部を有し、上記湾曲部は挿入方向に並設された複数の節輪を互いに回動自在に連結し、この内部にチャンネルチューブを含む内蔵物を配し、湾曲部の先端側近傍に一端を固定し、上記湾曲部内に挿通した湾曲操作ワイヤを牽引することにより、湾曲部を少なくとも２方向に湾曲する内視鏡において、上記湾曲部中心軸に対し、上記チャンネルチューブの中心軸を偏心させると共に、上記チャンネルチューブの中心軸に近位となる側の湾曲方向に比し、他の湾曲方向の湾曲半径が小さくなるように上記湾曲部の湾曲手段を構成したことを特徴とするものである。
本発明の湾曲手段によれば、上記チャンネルチューブが偏心した方向以外の湾曲方向にて、湾曲半径を小さく湾曲できることで、コンパクトに湾曲するため、処置の面で操作が行い易い。さらに、上記湾曲部のチャンネルチューブが偏心した側への湾曲半径が大きくなることで、上記チャンネルチューブに与えるダメージを軽減し、かつチャンネルチューブの曲げ半径を大きくすることができ、軽い力量で湾曲部を湾曲することができるという作用がある。
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月25日(2005.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線装置を搭載した移動台車を有した移動形Ｘ線装置において、前記移動台車が走行する床面を自在に移動可能な車輪を有したＸ線フィルムカセッテを収納する収納箱ユニットと、前記移動台車へ前記収納箱ユニットを連結・解除する機構とを備えたことを特徴とする移動形Ｘ線装置。
【請求項２】
前記収納箱ユニットは、前記移動台車の移動操作部側に設けられるとともに、前記移動操作部に操作者が立ったときに、前記操作者の側方に位置するように配設されることを特徴とする請求項１に記載の移動形Ｘ線装置。
【請求項３】
前記移動台車と前記収納箱ユニットとの連結・解除を検出する検出器をさらに備え、前記移動台車は前記検出器からの検出信号によりその走行スピードを制御することを特徴とする請求項１、２の何れか一項に記載の移動形Ｘ線装置。
【請求項４】
前記収納箱ユニットは、その収納箱からＸ線フィルムカセッテを取り出すにあたり、Ｘ線フィルムカセッテが一枚毎に取り出される機構を具備したことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の移動形Ｘ線装置。