【手続補正書】
【提出日】平成16年6月28日(2004.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの処理中に、ウェハキャリアによって保持されているウェハの表縁部面での、ウェハの表面上の導電層との電気的接触のためのシステムであって、
前記ウェハの表縁部面で、前記導電層と電気的に接触する、少なくとも１つの接点部材を備え、
前記少なくとも１つの接点部材と、前記ウェハの表縁部面との間の相対的な回転運動が、前記少なくとも１つの接点部材を、それぞれ異なる時間に、前記ウェハの表縁部面の異なる部分に電気的に接触させ、
前記相対的な回転運動が維持されている間に生じる、前記ウェハの横方向の動きと、前記少なくとも１つの接点部材の対応する横方向の動きとが同期して生じ、それにより、前記ウェハの横方向の動きの間、前記電気的接触が維持される、システム。
【請求項２】
前記少なくとも１つの接点部材は、前記ウェハの表縁部面の湾曲に対応する湾曲形状を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ウェハの横方向の動きに加えて、前記ウェハの回転運動以外の何らかの動きと前記少なくとも１つの接点部材の他の対応する動きとが同期して生じ、それにより、前記ウェハの電気的接触が維持される、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記少なくとも１つの接点部材は、ベース支持部材と、このベース支持部材に結合された少なくとも１つの接点要素とを備え、前記少なくとも１つの接点要素が、被加工物の表面の各露出した縁部との電気的接触を維持し続ける、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記少なくとも１つの接点部材は、前記ウェハキャリアと機械的に結合されている、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記相対的な回転運動は、前記ウェハキャリアに接続された回転可能な軸を用いて前記ウェハキャリアを回転させることによって得られ、
前記少なくとも１つの接点部材は、前記ウェハキャリアの回転不能の軸ハウジングに機械的に結合されている、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記少なくとも１つの接点部材は、さらに、被加工物面作用デバイス（ＷＳＩＤ）に対して横方向に移動するようになっており、処理中、前記ＷＳＩＤは、前記ウェハの表面に物理的に接触する、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記ＷＳＩＤは、パッドである請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記処理は、電気研磨である、請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
前記処理は、電気めっきである、請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの接点部材は、固定部材を用いて前記回転不能の軸ハウジングに機械的に結合されており、前記固定部材は、前記ウェハの横方向の動きが生じたときに、前記ＷＳＩＤに対する、前記少なくとも１つの接点部材の横方向の動きを可能にし、かつ前記少なくとも１つの接点部材の対応する横方向の動きを維持するガイド機構上に載っている、請求項７に記載のシステム。
【請求項１２】
前記ガイド機構は、レールを備え、前記固定部材は、作動ロッドによって前記レールと対向して配置されており、この作動ロッドは、前記軸ハウジングに結合されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの接点部材は、さらに、前記ＷＳＩＤに対して直交する方向に移動するようになっており、前記少なくとも１つの接点部材は回転しない、請求項７に記載のシステム。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの接点部材は、前記ウェハの表縁部面の湾曲に対応する湾曲形状を有する、請求項５に記載のシステム。
【請求項１５】
前記少なくとも１つの接点部材は、さらに、被加工物面作用デバイス（ＷＳＩＤ）に対して横方向に移動するようになっており、処理中、前記ＷＳＩＤは、前記ウェハの表面に物理的に接触する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記少なくとも１つの接点部材は、前記ウェハの表縁部面の湾曲に対応する湾曲形状を有する、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの接点要素は、ブラシを備え、このブラシは、導電性ワイヤからなる束を含む、請求項４に記載のシステム。
【請求項１８】
前記ブラシの導電性ワイヤは、前記被加工物が、前記少なくとも１つの接点部材に対して一方向に回転可能なように、傾斜した角度で、前記被加工物の表面に接触する、請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記ブラシの導電性ワイヤは、前記被加工物が、前記少なくとも１つの接点部材に対して二方向に回転可能なように、前記被加工物の表面に対して略直角になっている、請求項１７に記載のシステム。
【請求項２０】
前記ブラシの導電性ワイヤは、前記被加工物が、前記少なくとも１つの接点部材に対して直交する方向に移動可能なように、湾曲することが可能である、請求項１７に記載のシステム。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの接点要素は、ローラーを備え、前記ローラーは、前記ローラーが、前記被加工物の表面に対して略直角となるように平坦になっている接触面を有し、前記被加工物は、前記少なくとも１つの接点部材に対して二方向に回転可能である、請求項４に記載のシステム。
【請求項２２】
前記少なくとも１つの接点要素は、ローラーを備え、前記ローラーは、前記ローラーが前記被加工物の表面に接触するように構成されるように丸みを帯びている接触面を有し、前記被加工物は、前記少なくとも１つの接点部材に対して、二方向に回転可能である、請求項４に記載のシステム。
【請求項２３】
前記少なくとも１つの接点要素は、ループ状の接点を備え、前記ループ状の接点は、上方接触面を有し、前記ループ状接点は、前記被加工物の表面との電気的接触が確立されたときに撓むようになっており、前記被加工物は、前記少なくとも１つの接点部材に対して、二方向に回転可能である、請求項４に記載のシステム。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの接点要素は、接触バーを備え、前記接触バーは、フレキシブル部材によって前記各ベース支持部材に結合されており、前記フレキシブル部材は、前記被加工物の表面との電気的接触が確立されたときに撓むようになっており、前記被加工物は、前記少なくとも１つの接点部材に対して、二方向に回転可能である、請求項４に記載のシステム。
【請求項２５】
前記接触バーは、前記接触バーが、傾斜した角度で、前記被加工物の表面に接触するように構成されるように丸みを帯びている上方接触面を有する、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
ウェハキャリアによって保持されているウェハの処理中に、表縁部面を有するウェハの表面上の導電層との電気的接触の方法であって、
前記ウェハの処理中に、少なくとも１つの接点部材と、前記ウェハの表縁部面における前記導電層との間の電気的接触を維持することと、
前記電気的接触を維持させながら、前記少なくとも１つの接点部材と、前記ウェハの表縁部面との間の相対的な回転運動を維持して、前記少なくとも１つの接点部材を、それぞれ異なる時間に、前記ウェハの表縁部面の異なる部分に電気的に接触させることと、
前記電気的接触及び相対的な回転運動を維持している間に、前記ウェハの横方向の動きと、前記少なくとも１つの接点部材の別の横方向の動きとが、同期して生じ、それにより、前記ウェハの横方向の動きの間に、前記電気的接触が維持されることとを具備する方法。
【請求項２７】
前記少なくとも１つの接点部材を、被加工物面作用デバイス（ＷＳＩＤ）に対して横方向に移動させることであって、処理中に、前記ＷＳＩＤが、前記ウェハの表面に物理的に接触する工程をさらに具備する、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記ＷＳＩＤは、パッドである請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記処理は、電気研磨である、請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
前記処理は、電気めっきである、請求項２７に記載の方法。
【請求項３１】
前記少なくとも１つの接点部材を、垂直方向に動かす工程をさらに具備する、請求項２７に記載の方法。
【請求項３２】
前記電気的接触を維持する工程は、前記少なくとも１つの接点部材を回転させることなく行われる、請求項２６に記載の方法。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの接点部材を、前記ウェハの表面に対して直交する方向に動かす工程をさらに具備する、請求項２７に記載の方法。
【請求項３４】
前記ウェハの処理は、電気研磨である、請求項２６に記載の方法。
【請求項３５】
前記ウェハの処理は、電着である、請求項２６に記載の方法。
【請求項３６】
ウェハキャリアによって保持されているウェハの裏面縁部面上の導電性裏面層との電気的接触のためのシステムであって、前記裏面縁部面上の導電層が、前記ウェハの導電性ベベル縁部を介して前記ウェハの表面に設けられた導電性表面層と電気的に接触している、システムであって、
前記ウェハの裏面縁部面で、前記導電性裏面層と電気的に接触する少なくとも１つの接点部材を備え、前記少なくとも１つの接点部材と、前記ウェハの裏面縁部面との間の相対的な回転運動が、前記少なくとも１つの接点部材を、それぞれ異なる時間に、前記ウェハの裏面縁部面の異なる部分に電気的に接触させるシステム。
【請求項３７】
前記相対的な回転運動が維持されている間に生じる、前記ウェハの横方向の動きと、前記少なくとも１つの接点部材の対応する横方向の動きとが同期して生じ、それにより、前記ウェハの横方向の動きの間の前記電気的接触が維持される、請求項３６に記載のシステム。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの接点部材は、前記ウェハの縁部の湾曲に対応する湾曲形状を有する、請求項３７に記載のシステム。
【請求項３９】
前記ウェハの横方向の動きに加えて、前記ウェハの回転運動以外の何らかの動き前記少なくとも１つの接点部材の他の対応する動きとが同期して生じ、それにより、前記ウェハの電気的接触が維持される、請求項３８に記載のシステム。
【請求項４０】
前記ウェハの横方向の動きに加えて、前記ウェハの回転運動以外の何らかの動き前記少なくとも１つの接点部材の他の対応する動きとが同期して生じ、それにより、前記ウェハの電気的接触が維持される、請求項３７に記載のシステム。
【請求項４１】
ウェハキャリアによって保持されているウェハの裏面縁部面の導電層との電気的接触の方法であって、前記裏面縁部面の導電層が、前記ウェハの表面及び前記ウェハのベベル縁部まで連続的に設けられている方法であって、
少なくとも１つの接点部材と、前記ウェハの裏面縁部面における前記導電層との間の電気的接触を維持することと、
電気的接触を維持している間に、前記少なくとも１つの接点部材と、前記ウェハの裏面縁部面との間の相対的な回転運動を維持して、前記少なくとも１つの接点部材を、それぞれ異なる時間に、前記ウェハの裏面縁部面の異なる部分に電気的に接触させることとを備える方法。
【請求項４２】
前記電気的接触及び相対的な回転運動を維持している間に、前記ウェハの横方向の動きと、前記少なくとも１つの接点部材の別の横方向の動きとが、同期して生じ、それにより、前記ウェハの横方向の動きの間の前記電気的接触が維持される、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
前記少なくとも１つの接点部材を、被加工物面作用デバイス（ＷＳＩＤ）に対して横方向に移動させることであって、処理中に、前記ＷＳＩＤが、前記ウェハの表面に物理的に接触する工程をさらに含む、請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
前記ＷＳＩＤは、前記ＷＳＩＤが、処理中の前記ウェハの表面を完全に覆うような寸法を有する、請求項４３に記載の方法。