【手続補正書】
【提出日】平成17年6月29日(2005.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】平面モータ装置、駆動装置及び露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの磁石を有し、所定の移動面に沿って２次元方向に移動する磁石ユニットと；
前記磁石ユニットと対向する側に前記移動面が形成されるとともに、その内部に真空状態を保持可能な真空室を有するベースと；
前記真空室を形成する前記移動面側の第１の壁との間に所定の空隙を介してかつ前記真空室内に前記移動面に沿って２次元方向に配置された複数の電機子コイルと；
を備える平面モータ装置。
【請求項２】
前記真空室を形成する前記第１の壁と該第１の壁に対向する第２の壁との間に前記真空状態による前記ベースの変形を防止する変形防止部材を設けたことを特徴とする請求項１に記載の平面モータ装置。
【請求項３】
前記変形防止部材の少なくとも一部を断熱材により形成したことを特徴とする請求項２に記載の平面モータ装置。
【請求項４】
前記変形防止部材を、前記第２の壁との接触面の面積が当該変形防止部材の他の部分の断面積より小さくなるような形状に形成したことを特徴とする請求項２に記載の平面モータ装置。
【請求項５】
前記ベースは、前記真空室の前記移動面と反対側に前記第２の壁を介して前記真空室に接する流体通路を更に有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の平面モータ装置。
【請求項６】
前記流体通路内を流通する前記流体の温度を制御する温度制御装置を備えたことを特徴とする請求項５に記載の平面モータ装置。
【請求項７】
前記温度制御装置は、前記流体を前記ベースの雰囲気温度よりも低い温度に制御することを特徴とする請求項６に記載の平面モータ装置。
【請求項８】
前記流体通路は、該流体通路の少なくとも前記第２の壁に沿って流れる前記流体の流れが乱流となるような形状を有することを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の平面モータ装置。
【請求項９】
前記流体通路の断面積は、その全長に渡ってほぼ一定であることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載の平面モータ装置。
【請求項１０】
前記真空室を形成する前記第１の壁と前記各電機子コイルとの間に断熱材を介装したことを特徴とする請求項１に記載の平面モータ装置。
【請求項１１】
前記第１の壁はセラミックで形成されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の平面モータ装置。
【請求項１２】
少なくとも１つの磁石を有し、所定の移動面に沿って２次元方向に移動する磁石ユニットと；
前記磁石ユニットと対向する側に前記移動面が形成され、その内部に真空状態を保持可能な真空室と流体が通過する流体通路とを有するベースと；
前記真空室内に前記移動面に沿って所定間隔で２次元方向に配置された複数の電機子コイルとを備える平面モータ装置。
【請求項１３】
前記ベースの前記移動面はセラミックにより形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の平面モータ装置。
【請求項１４】
前記ベース内部には断熱材が設けられていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の平面モータ装置。
【請求項１５】
前記流体通路は、前記複数の電機子コイルの上方に設けられていることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の平面モータ装置。
【請求項１６】
前記流体通路は、前記複数の電機子コイルの下方に設けられていることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の平面モータ装置。
【請求項１７】
少なくとも１つの磁石を有し、所定の移動面に沿って移動する磁石ユニットと；
前記磁石ユニットと対向する側に前記移動面が形成され、その内部に真空状態を保持可能な真空室とその内部に流体が通過する流体通路とを有するベースと；
前記真空室内に前記移動面に沿って所定間隔で配置された複数の電機子コイルとを備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項１８】
前記ベース内部には断熱材が設けられていることを特徴とする請求項１７に記載の駆動装置。
【請求項１９】
前記流体通路は、前記複数の電機子コイルの上方に設けられていることを特徴とする請求項１７または１８に記載の駆動装置。
【請求項２０】
前記流体通路は、前記複数の電機子コイルの下方に設けられていることを特徴とする請求項１７または１８に記載の駆動装置。
【請求項２１】
所定のパターンを基板上に転写する露光装置であって、
前記基板を駆動する基板ステージ装置に請求項１〜１６のいずれか一項に記載の平面モータ装置を用いたことを特徴とする露光装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明に係る第２の平面モータ装置は、少なくとも１つの磁石（５４ａ〜５４ｄ）を有し、所定の移動面（２１ａ）に沿って２次元方向に移動する磁石ユニット（５２、５３）と；前記磁石ユニットと対向する側に前記移動面が形成され、その内部に真空状態を保持可能な真空室（４１）と流体が通過する流体通路とを有するベース（２１）と；前記真空室内に前記移動面に沿って所定間隔で２次元方向に配置された複数の電機子コイル（３８）とを備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
これによれば、磁石ユニットの磁石に対向する電機子コイルに電流が供給されると、磁石ユニットが電磁力により移動面に沿って駆動される。磁石ユニットをある方向に駆動し続ける場合は、磁石ユニットの移動位置毎に磁石に対向する電機子コイルに電流が供給されることとなる。これにより、それぞれの電流が供給された電機子コイルが発熱する。この場合、該電機子コイルはベース内部の真空室に配置されているので、電機子コイルからの伝熱は殆ど熱放射のみによって行われ、また、真空室から伝わった熱は流体通路内の流体との熱交換によって除熱される。従って、周囲環境への熱的影響を効果的に抑制することができる。この場合、流体通路内の流体はベース雰囲気より低温であることが望ましい。
本発明に係る駆動装置は、少なくとも１つの磁石を有し、所定の移動面に沿って移動する磁石ユニット（５２、５３）と；前記磁石ユニットと対向する側に前記移動面が形成され、その内部に真空状態を保持可能な真空室（４１）とその内部に流体が通過する流体通路とを有するベース（２１）と；前記真空室内に前記移動面に沿って所定間隔で配置された複数の電機子コイル（３８）とを備えている。これによれば、電機子コイルはベース内部の真空室に配置されているので、電機子コイルからの伝熱は殆ど熱放射のみによって行われ、また、真空室から伝わった熱は流体通路内の流体との熱交換によって除熱される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１〜２０に記載の各発明によれば、周囲環境への熱的影響を抑制できるという効果がある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
また、請求項２１に記載の発明によれば、高スループットを維持しつつ高精度な露光が可能になるという効果がある。