【手続補正書】
【提出日】平成17年3月11日(2005.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光光源装置及び露光光源制御方法及び露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、
前記レーザ光源の光軸に沿って複数配置された可動ミラーを有し、前記可動ミラーのそれぞれが、前記レーザ光を反射する反射位置と、前記レーザ光の光軸を外れた退避位置とに移動可能に支持され、所定の電気信号により駆動されるミラーアレイと
を所定の半導体基板上に一体に構成したことを特徴とする露光光源装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光光源装置において、前記可動ミラーのそれぞれが、前記レーザ光源の光軸の向きに対してほぼ４５度傾斜した第１の位置と、前記レーザ光源の光軸の向きとほぼ平行な向きの第２の位置との間で揺動自在に支持され、
前記半導体基板と前記可動ミラーとの間に空間を形成する間隔保持手段と、
前記可動ミラーと対向する位置に配置され、前記可動ミラーと同電位に維持される第１の電極と、
前記可動ミラーと対向する位置に配置され、前記可動ミラーを駆動するための電圧が印加される第２の電極と
を更に設けたことを特徴とする露光光源装置。
【請求項３】
請求項１記載の露光光源装置において、前記可動ミラーが動作するときには前記レーザ光源の点灯を禁止する、露光制御手段を更に設けたことを特徴とする露光光源装置。
【請求項４】
請求項１記載の露光光源装置において、前記レーザ光源に、互いに異なる波長のレーザ光を出射する少なくとも３つの光源と、それらの光源から出射される複数のレーザ光を１つの光軸上で合成する光合成手段を設けたことを特徴とする露光光源装置。
【請求項５】
請求項２記載の露光光源装置において、前記可動ミラーが前記第２の位置にある時に、前記可動ミラーに当接して前記可動ミラーの特定の方向に対する揺動を阻止する、規制部材を更に設けたことを特徴とする露光光源装置。
【請求項６】
請求項５記載の露光光源装置において、前記可動ミラーに前記規制部材と当接可能な突起を設けたことを特徴とする露光光源装置。
【請求項７】
請求項２記載の露光光源装置において、前記可動ミラーがそれの重心位置を通る軸の近傍で支持されたことを特徴とする露光光源装置。
【請求項８】
レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸に沿って複数配置された可動ミラーを有し、前記可動ミラーのそれぞれが、前記レーザ光を反射する反射位置と、前記レーザ光の光軸を外れた退避位置とに移動可能に支持され、所定の電気信号により駆動されるミラーアレイを所定の半導体基板上に一体に構成した露光光源を用いて、
前記レーザ光源を間欠的に点灯すると共に、前記複数の可動ミラーを順次に駆動し、前記可動ミラーが動作するときを除くタイミングで前記レーザ光源を点灯することを特徴とする露光光源制御方法。
【請求項９】
レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸に沿って複数配置された可動ミラーを有し、前記可動ミラーのそれぞれが、前記レーザ光源の光軸の向きに対してほぼ４５度傾斜した第１の位置と、前記レーザ光源の光軸の向きとほぼ平行な向きの第２の位置との間で揺動自在に支持され、所定の電気信号により駆動されるミラーアレイを所定の半導体基板上に一体に構成した露光光源を用いて、
前記レーザ光源を間欠的に点灯すると共に、前記複数の可動ミラーを順次に駆動し、前記レーザ光源が消灯する所定期間内に、第１の可動ミラーを前記第２の位置から第１の位置に動かす第１の制御を実施すると共に、第２の可動ミラーを、前記第１の位置から第２の位置に動かす第２の制御を実施することを特徴とする露光光源制御方法。
【請求項１０】
レーザ光源と、前記レーザ光源により照射されたレーザ光を感光材料に向けて反射させるために、所定の半導体基板上に傾斜可能に支持される複数の可動ミラーが一体的に形成されると共に、前記可動ミラーのそれぞれが所定の電気信号により駆動されるミラーアレイとを用いて、前記感光材料の露光を行うことを特徴とする露光方法。
【請求項１１】
前記各可動ミラーは、前記所定の電気信号に基づいて、前記半導体基板に形成された駆動電極を駆動することにより生成される静電吸引力によってそれぞれ傾斜され、
前記各可動ミラーは、前記各可動ミラーを支持するヒンジ部を介してそれぞれ傾斜されることを特徴とする請求項１０に記載の露光方法。
【請求項１２】
前記レーザ光源は、複数のレーザ光源を有することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の露光方法。
【請求項１３】
前記レーザ光源は、異なる波長の光を出射するために、種類の異なる複数のレーザ光源を有することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の露光方法。
【請求項１４】
所定の半導体基板上に、第１位置と第２位置との間で揺動自在に支持される複数の可動ミラーが一体的に形成されると共に、前記可動ミラーのそれぞれが所定の電気信号により駆動されるミラーアレイを用いて、感光材料の露光を行うことを特徴とする露光方法。
【請求項１５】
前記ミラーアレイは、複数の光源からの光を反射させることを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【請求項１６】
前記ミラーアレイは、異なる波長の光を出射する種類の異なる複数の光源からの光を反射させることを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項１０の露光方法では、レーザ光源と、レーザ光源により照射されたレーザ光を感光材料に向けて反射させるために、所定の半導体基板上に傾斜可能に支持される複数の可動ミラーが一体的に形成されると共に、可動ミラーのそれぞれが所定の電気信号により駆動されるミラーアレイとを用いて、感光材料の露光を行うことを特徴とする。
請求項１１の露光方法では、各可動ミラーは、所定の電気信号に基づいて、半導体基板に形成された駆動電極を駆動することにより生成される静電吸引力によってそれぞれ傾斜され、各可動ミラーは、各可動ミラーを支持するヒンジ部を介してそれぞれ傾斜されることことを特徴とする。
請求項１２の露光方法では、レーザ光源は、複数のレーザ光源を有することを特徴とする。
請求項１３の露光方法では、レーザ光源は、異なる波長の光を出射するために、種類の異なる複数のレーザ光源を有することを特徴とする。
請求項１４の露光方法では、所定の半導体基板上に、第１位置と第２位置との間で揺動自在に支持される複数の可動ミラーが一体的に形成されると共に、可動ミラーのそれぞれが所定の電気信号により駆動されるミラーアレイを用いて、感光材料の露光を行うことを特徴とする。
請求項１５の露光方法では、ミラーアレイは、複数の光源からの光を反射させることを特徴とする。
請求項１６の露光方法では、ミラーアレイは、異なる波長の光を出射する種類の異なる複数の光源からの光を反射させることを特徴とする。
（作用）
（請求項１）
レーザ光源とミラーアレイが半導体基板上に一体に構成されている。ミラーアレイに含まれる複数の可動ミラーは、前記レーザ光源の光軸に沿って配置されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
この形態の露光光源装置の構成と動作を図１〜図９に示す。この形態は、請求項１，請求項２，請求項３，請求項８,  請求項９,  請求項１０,  請求項１１及び請求項１４に対応する。
図１は露光ヘッド５０の外観を示す斜視図である。図２は図１の露光ヘッド５０に備わった１つのミラーユニット１０[１]を示す縦断面図である。図３は図２のIII−III線断面図である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
（請求項９）
第１の位置及び第２の位置に位置決めされる可動ミラーを順次に切り替えることができる。切替の際にレーザ光源が消灯されるので、露光方向の変化を抑制できる。
（請求項１０）
従来よりも小型が容易な装置によるレーザ光での露光が可能となる。
（請求項１４）
従来よりも小型が容易な装置による露光が可能となる。