【手続補正書】
【提出日】平成17年2月18日(2005.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の基本とする試料保持機は図１に示すように複数個の接触子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを可動させることによって試料２の脱着が行われる。図１で、右側半分が試料のチャックＯＮ、左側がチャックＯＦＦの状態を示している。接触子を脱着機構５ａ、５ｃによって試料周辺から遠ざけることによって上部から試料の交換を行い、チャックＯＮでは接触子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄによってバネ機構４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ(４ｂ、４ｄを図示せず)が復元して試料が保持される。試料の保持方法は接触子の一部分が試料の側面に接することによって行われる。保持された試料は回転機構８によって回転できる構成である。また、試料の裏面を保護するために試料に近接した保護板３からガスを放流した構成も本発明の特徴である。これらの機構によって試料の表面と裏面側は搬送中や保持中に他の物体と直接接することがなく、また、処理中の薬液や液体あるいはガスが試料裏面のごく短い周辺部を除いて裏面に付着することがないので試料の汚染を防止することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明の実施の形態】実施例１
図１は本発明による試料保持機の一実施例である。試料２は複数個の接触子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄによって保持され、これが回転できる構成である。これらの接触子は回転軸７にあるバネ機構４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ(４ｂ、４ｄを図示せず)と外部に設けた脱着機構５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ（５ｂ、５ｄを図示せず）によって可動できる構造が特徴である。図１では、右側半分が試料のチャックＯＮ、左側がチャックＯＦＦの状態を示している。脱着機構５ａ、他によって接触子を試料の外側に動かし、試料の交換が行われる。試料は試料保持機の上部から所定の位置に搬送し、続いて脱着機構により接触子１ａ〜１ｄを開いて試料を受入れ、ついで、接触子を復元して試料を保持する。試料の保持方法は接触子で試料の側面を動かぬよう固定しても、あるいは接触子で囲み、試料に遊びをもたして保持してもよい。本発明では裏面を保護する目的で、試料の裏面に近接して保護板３を配置し、この板の孔からＮ２ガスを放流している。このガスはＮ２ガス入口６から回転軸７の中空部を通って供給される。放流する高純度ガスはＮ２ガスに限定されることはなく、放熱性のよいＨｅガスや不活性のＡｒガスなどが使われる。試料保持機は支持台１０、固定軸９と回転部品からなり、モータ等の回転機構８によって回転軸７、バネ機構４ａ、４ｃ、保護板３、接触子１ａ、１ｃ、および試料２が回転する。上記の接触子はバネ機構によって可動する例を述べたが、電磁式や圧力式等の可動機構を用いて動作させてもよい。また脱着機構を回転部の外に設けた例を述べたが回転機構の中に組み入れてもよい。さらに、この試料保持機を試料の搬送用に用いる例では、回転機構は不用であり、また、裏面保護用のＮ２ガス放流用保護板も取り外してもよいことを付言する。また、この試料保持機は試料を接触子の中に掴んでいるのであらゆる角度から稼働でき、使用上の制約は生じないことを付言する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
実施例２
図２は本発明による試料保持機の別の実施例である。試料２２は複数個の接触子２１ａ〜２１ｈによって保持され、これが回転できる構成である。これらの接触子はそれ自身に板バネ作用があり、回転軸２７に設けた脱着機構２４ａ、２４ｅによって接触子を可動できる構造が特徴である。図２では、試料のチャックＯＮ状態を示している。脱着機構２４ａ、２４ｅは加圧されたＮ２ガスをガス入口２６ｂから供給し、ピストンによって接触子を押して可動する。チャックＯＮの状態ではこのガスの供給は不要で、脱着機構内にあるバネによってピストンが定位置に戻り、接触子はバネ作用によって復元される。試料の保持方法は接触子で試料の側面を動かぬよう固定しても、あるいは接触子で囲み、試料が逃げないようにするだけでもよい。本発明では裏面を保護する目的で、試料の裏面に近接して保護板２３を配置し、この板の孔からＮ２ガスを放流している。このガスはＮ２ガス入口２６ａから回転軸２７の中空部を通って供給される。試料保持機は支持台２０と固定軸２９と回転部品からなり、モータ等の回転機構２８によって回転軸２７、脱着機構２４ａ〜２４ｈ、保護板２３、接触子２１ａ〜２１ｈ、および試料２２が回転する。上記の接触子は圧力式の脱着機構によって可動する例を述べたが、電磁式等の可動機構を用いて動作させてもよい。また脱着機構を回転部に組み込んだ例を述べたがこれらを回転機構から分離させ外部から接触子を可動させてもよい。さらに、この試料保持機を試料の搬送用に用いる例では、回転機構は不用であり、また、裏面保護用のＮ２ガス放流用保護板も取り外してもよいことを付言する。また、この試料保持機は試料を接触子の中に掴んでいるのであらゆる角度から稼働でき、使用上の制約は生じないことを付言する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
実施例３
図３は本発明による試料保持機の他の実施例である。試料３２は複数個の接触子３１ａ〜３１ｈによって保持されている。これらの接触子はそれ自身が板バネあるいは線バネ作用があり、中心軸３４に設けた脱着機構３７によって接触子を可動できる構造が特徴である。図３では、試料のチャックＯＮ状態を示している。脱着機構３７は加圧されたＮ２ガスをガス出入口３９ｂから供給し、ピストンによって保護板３３を下方に動かし、これが接触子を押して可動する。チャックＯＮの状態ではＮ２ガスをガス出入口３９ａから供給し、図のようには保護板３３は試料の裏面近傍に配置され、接触子はバネ作用によって復元され試料を保持する。本発明では裏面を保護する目的で、試料の裏面に近接して保護板３３を配置し、この板の孔からＮ２ガスを放流している。このガスはＮ２ガス入口３６から中心軸３４の中空部を通って供給される。上記の接触子は圧力式の脱着機構によって可動する例を述べたが、電磁式等の可動機構を用いたり、手動で動作させてもよい。また、上記、板バネあるいは線バネの少なくとも一部分に形状記憶合金を用いて温度差で接触子の脱着を行ってもよい。この試料保持機は試料の搬送用のため試料の回転機構部を持たない例を示したが、これに回転機構部を取り付けてもよいことは自明である。また、この試料保持機は試料を接触子の中に掴んでいるのであらゆる角度から稼働でき、使用上の制約は生じないことを付言する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
実施例４
図４は本発明による試料保持機の他の実施例である。試料４２は複数個の接触子４１ａ〜４１ｈによって保持されている。これらの接触子はそれ自身が板バネあるいは線バネ作用があり、中心軸４５に設けた脱着機構４４、４９によって接触子を可動できる構造が特徴である。図４では、試料のチャックＯＮ状態を示している。Ａ矢視図のように脱着機構の動作は中心軸４５を、ある角度だけ正／逆方向に回転する回転機構４９と中心軸４５に取り付けた歯車４４によって接触子４１ａ〜４１ｈが可動して行われる。本発明では裏面を保護する目的で、試料の裏面に近接して保護板４３を配置し、この板の孔からＮ２ガスを放流している。このガスはＮ２ガス入口４６から中心軸４５の中空部を通って供給される。上記の接触子は手動のほか、圧力式、電磁式あるいは電動式等の可動機構を用いて動作させてもよい。また、上記、板バネあるいは線バネの少なくとも一部分に形状記憶合金を用いて温度差で接触子の脱着を行ってもよい。この試料保持機は試料の搬送用のため試料の回転機構部を持たない例を示したが、これに回転機構部を取り付けてもよいことは自明である。また、この試料保持機は試料を接触子の中に掴んでいるのであらゆる角度から稼働でき、使用上の制約は生じないことを付言する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
1999243134.tif 000001