【手続補正書】
【提出日】平成17年3月25日(2005.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部で少なくとも一つの薄型ウエハーを支えるウエハーキャリアおよび挿入体であって、
少なくとも上部と、下部と、複数のスロットを提供する複数の対向リブを有する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するキャリア部と、
前記複数のスロットの一つにフィットし、プレートを含む挿入体と、
を含んでおり、
前記プレートは一対の対向側端部を含み、それぞれの前記側端部は前記複数のスロットの前記一つと摩擦的に係合するために提供される複数のタブ構造を含み、前記プレートはさらに上方に突起した複数のウエハーサポートを有し、前記ウエハーサポートは前記ウエハーの周囲部が前記複数のスロットの分離した一つ内に位置した状態で前記挿入体の上方の薄型ウエハーを支えるように提供され、前記ウエハーサポートが提供されることによってロボットウエハー処理道具は前記挿入体と前記ウエハーとの間に挿入できることを特徴とするウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項２】
挿入体は下面を有しており、前記下面はその内部に形成された複数の補強リブを有することを特徴とする請求項１記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項３】
複数のタブ構造のそれぞれは複数の対向リブの一つの表面に対してバイアスをかけられ、前記タブ構造のそれぞれのバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項１記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項４】
薄型ウエハーは挿入体によって係合されたスロットに隣接する複数のスロットの１スロット内で支えられ、上方に突起する複数のウエハーサポートはそれぞれ隣接するスロット内へ前記隣接するスロットの高さの少なくとも半分まで突起することを特徴とする請求項１記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項５】
少なくとも一つの薄型ウエハーを内部で支えるウエハーキャリアおよび挿入体であって、
少なくとも上部と、下部と、複数の対向凹部を提供する複数の対向リブを有し、複数のスロットを形成する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するキャリア部と、
上面を有し、対面するマージンの対を有したプレートを含む通常は平面の挿入体と、
を含んでおり、
前記それぞれのマージンは前記対向側面部の一方を係合する複数の構造体を有するため、前記プレートはさらに前記上面の上方の薄型ウエハーを支持する手段を持ち、前記薄型ウエハーを支持する手段によってロボットウエハー処理部は前記挿入体と前記薄型ウエハーとの間に挿入できることを特徴とするウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項６】
挿入体は複数のスロットの一つ内にフィットでき、複数の構造体のそれぞれは複数のタブ構造を有し、前記タブ構造は複数の対向凹部の１対向凹部ペア内で係合できることを特徴とする請求項５記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項７】
複数のタブ構造のそれぞれは一対の対向凹部内で表面に対してバイアスをかけられ、前記各タブ構造のバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項６記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項８】
複数の構造体のそれぞれは複数の半径方向に沿って突起する二股部を含み、前記二股部のそれぞれはその分岐部の間で複数の対向リブの一つを係合することを特徴とする請求項５記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項９】
挿入体上面の上方の薄型ウエハーを支える手段は、前記上面から延長する上方に突起した複数のウエハーサポートを含むことを特徴とする請求項５記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項１０】
挿入体は下面を有し、該下面は内部に形成された複数の補強リブを有することを特徴とする請求項５記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項１１】
挿入体によって支えられた薄型ウエハーは前記挿入体が配置されたスロットに隣接する複数のスロット中の一スロット内で支持され、前記挿入体の上面上方の薄型ウエハーを支持する方法は前記上面から延長する上方に突起した複数のウエハーサポートを含み、各スロットは高さを有し、前記上方に突起する複数のウエハーサポートそれぞれは前記隣接するスロット内へ前記隣接するスロットの少なくとも半分の高さまで突起することを特徴とする請求項６記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項１２】
ウエハーキャリア内に少なくとも一つの薄型ウエハーを支える方法であって、
少なくとも上部と、下部と、複数のスロットを提供する複数の対向凹部を有する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するウエハーキャリアを提供するステップと、
上面と対面するマージンの対とを有し、前記複数のスロット内の一つにフィットし、薄型ウエハーを最小限の接触で前記複数のスロットの一つ内に前記ウエハー周囲部が配置された状態で前記上面の上方に支えるためのウエハーサポートを有する通常は平面の挿入体を形成し、前記それぞれのマージンは前記対向凹部の１つと摩擦係合するための複数の構造体を有していることを特徴とするステップと、
前記挿入体を前記複数のスロットの一つに配置するステップと、
薄型ウエハーを前記挿入体の前記ウエハーサポート上に搭載するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
ウエハーキャリア内で薄型ウエハーを支えるための挿入体であって、前記ウエハーキャリアは挿入および引き出し方向を有する開口前面部と、一対の側壁部と、上部と、下部とを有し、前記側壁部は複数のスロットを提供する複数の凹部ペアを有し、挿入体は、
前記ウエハーキャリアの凹部ペアを摩擦係合するように構成され、複数の構造体をそれぞれ有した一対の陥凹係合部と、
ウエハーとの接触を提供するために複数の上方に延長するウエハーサポートを有する上面と、
を有することを特徴とする挿入体。
【請求項１４】
挿入体は下面を有し、前記下面は内部に形成された複数の補強リブを有することを特徴とする請求項１３記載の挿入体。
【請求項１５】
複数の構造体は複数のタブ構造を含むことを特徴とする請求項１３記載の挿入体。
【請求項１６】
複数のタブ構造のそれぞれは凹部ペア内の表面に対してバイアスをかけられ、前記各タブ構造のバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項１５記載の挿入体。
【請求項１７】
複数の構造体は半径方向に沿って突起する複数の二股部を含み、それぞれの前記二股部は上部分岐および下部分岐を有し、前記各二股部の前記上部分岐は凹部ペアの一つを係合することを特徴とする請求項１３記載の挿入体。
【請求項１８】
内部で少なくとも一つの薄型ウエハーを支持するためのウエハーキャリアおよび挿入体であって、
少なくとも上部と、下部と、複数のスロットを提供する複数の対向凹部を有する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するキャリア部と、
上面を有し、前記一対の対向側面部の中間でフィット可能であり、前記対向側面部で支えられるように前記複数のスロットの１つと摩擦係合するための複数の構造体を有しており、薄型ウエハーを支持するために上方に突起した複数のウエハーサポートを有する通常は平面の挿入体と、
を有しており、
前記ウエハーサポートの提供によってロボットウエハー処理部は前記挿入体と前記薄型ウエハーとの間に挿入できることを特徴とするウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項１９】
挿入体は下面を有し、前記下面は内部に形成された複数の補強リブを含むことを特徴とする請求項１８記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項２０】
複数の構造体は複数のタブ構造を含むことを特徴とする請求項１８記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
【請求項２１】
複数のタブ構造のそれぞれは複数の対向凹部の一つ内で表面に対してバイアスをかけられ、前記タブ構造それぞれのバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項２０記載のウエハーキャリアおよび挿入体。