【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  (ａ)  シランジオール、
(ｂ)  下記構造
【化１】
2002526794.tif 000001
（式中、Ａｒ1は４価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、Ａｒ2は２価の芳香族、複素環式、脂環式または脂肪族基であり、これらは場合により珪素を含んでいてもよい、Ａｒ3は２価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、
Ｚは下記の基のうちの１つであり、
【化２】
2002526794.tif 000002
ｘは１０〜１０００であり、ｙは０〜９００であり、そしてｂは０.１０〜３５０であ
る）を有する１つ以上のキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体、
(ｃ)  感光剤および
(ｄ)  溶剤
を含有する、ポジ感光性樹脂組成物。
【請求項２】  シランジオールが組成物の全重量の０.１重量％〜１０.０重量％である請求項１記載の組成物。
【請求項３】  シランジオールがジアリールシランジオール、ジアルキルシランジオールおよびそれらの混合物よりなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
【請求項４】  シランジオールがジフェニルシランジオールである請求項３記載の組成物。
【請求項５】  キャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体が１０重量％〜５０重量％である請求項１記載の組成物。
【請求項６】  キャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体が１０〜１０００の重合度を有する請求項１記載の組成物。
【請求項７】  Ａｒ1がヘキサフルオロプロパン−２,２−（ビフェニル）基であり、そして
Ａｒ3がフタロイルまたは１,４−オキシジベンゾイルおよびそれらの混合物よりなる群から選ばれる基である請求項１記載の組成物。
【請求項８】  感光剤が組成物の全重量の１重量％〜２０重量％である請求項１記載の組成物。
【請求項９】  感光剤がジアゾキノン化合物、ジヒドロピリジン化合物およびそれらの混合物よりなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
【請求項１０】  感光剤が下記よりなる群から選ばれる構造をもつジアゾキノン化合物である請求項９記載の組成物。
【化３】
2002526794.tif 000003
【化４】
2002526794.tif 000004
【化５】
2002526794.tif 000005
上記式中、Ｄは独立してＨまたは下記部分
【化６】
2002526794.tif 000006
のうちの１つであるが、各化合物において少なくとも１つのＤはＨではない。
【請求項１１】  感光剤が下記構造をもつジヒドロピリジン化合物である請求項９記載の組成物。
【化７】
2002526794.tif 000007
式中、Ｒ3の基は同じかあるいは異なっており、そして下記構造を有し：Ｈ、ＯＨ、ＣＯＯ−(ＣＨ2)n−ＣＨ3、(ＣＨ2)n−ＣＨ3、Ｏ−(ＣＨ2)n−ＣＨ3、ＣＯ−(ＣＨ2)n−ＣＨ3、(ＣＦ2)n−ＣＦ3、Ｃ6Ｈ5、ＣＯＯＨ、(ＣＨ2)n−Ｏ−(ＣＨ2)m−ＣＨ3、(ＣＨ2)n−ＯＨ、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、またはＩ；
ｍ＝０〜１０、ｎ＝０〜１０；
Ｒ4はＨ、Ｃ1〜Ｃ7アルキル、シクロアルキルまたはフェニルおよび一置換フェニル；
Ｒ5は下記の基である。
【化８】
2002526794.tif 000008
上記式中、Ｒ6はＲ3と同じ定義であり、そしてＮＯ2基はジヒドロピリジン環に対してオルトの位置にある。
【請求項１２】  感光剤が下記よりなる群から選ばれた構造をもつジヒドロピリジン
化合物である請求項１１記載の組成物。
【化９】
2002526794.tif 000009
上記式中、Ｙは−ＯＲ2であり、Ｒ2は一価の置換または非置換芳香族あるいは脂肪族基、ＣＮ、Ｃｌ、ＢｒあるいはＩである。
【請求項１３】  溶剤がＮ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチル−２−ピペリドン、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミドおよびそれらの混合物よりなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
【請求項１４】  溶剤がγ−ブチロラクトンである請求項１３記載の組成物。
【請求項１５】  接着促進剤、レベリング剤およびそれらの混合物よりなる群から選ばれる１つ以上の添加剤をさらに含有する請求項１記載の組成物。
【請求項１６】  ０.１重量％〜１０.０重量％のシランジオール、
１０重量％〜５０重量％の下記構造
【化１０】
2002526794.tif 000010
（式中、Ａｒ1は４価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、Ａｒ2は珪素を含んでいてもいなくてもよい２価の芳香族、複素環式、脂環式または脂肪族基であり、Ａｒ3は２価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、
Ｚは下記の基のうちの１つであり、
【化１１】
2002526794.tif 000011
ｘは１０〜１０００であり、ｙは０〜９００であり、そしてｂは０.１０〜３５０である）を有する１つ以上のキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体、
１重量％〜２０重量％の感光剤および
溶剤
を含有する、ポジ感光性樹脂組成物。
【請求項１７】  ａ）基板上に、シランジオール、下記構造
【化１２】
2002526794.tif 000012
（式中、Ａｒ1は４価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、Ａｒ2は珪素を含んでいるかあるいは含んでいなくてもよい２価の芳香族、複素環式、脂環式または脂肪族基であり、Ａｒ3は２価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、
Ｚは下記の基のうちの１つであり、
【化１３】
2002526794.tif 000013
ｘは１０〜１０００であり、ｙは０〜９００であり、そしてｂは０.１０〜３５０である）を有する１つ以上のキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体、感光剤、および
溶剤を含有するポジ感光性樹脂組成物を塗布して塗被基板を形成する工程、
ｂ）塗被基板を化学線に露光する工程、
ｃ）塗被基板を高められた温度で後露光ベーキングする工程、
ｄ）塗被基板を水性現像剤で現像して、現像された基板を形成する工程、
ｅ）現像された基板をすすぐ工程、および
ｆ）すすいだ基板を高められた温度で硬化してレリーフパターンを形成する工程
を含む、レリーフパターンを形成する方法。
【請求項１８】  塗被基板を形成させた後かつ塗被基板を露光する前に塗被基板をプレベーキングする工程をさらに含む請求項１７記載の方法。
【請求項１９】  化学線がＸ線、電子ビーム線、紫外線および可視光線よりなる群から選ばれる請求項１７記載の方法。
【請求項２０】  化学線が４３６nmおよび３６５nmの波長をもつ請求項１７記載の方法。
【請求項２１】  水性現像剤がアルカリ類、第一アミン、第二アミン、第三アミン、アルコールアミン、第四アンモニウム塩およびそれらの混合物よりなる群から選ばれる溶液である請求項１７記載の方法。
【請求項２２】  シランジオールがジフェニルシランジオールである請求項１７記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
ポリベンゾオキサゾール前駆体は１０〜１０００の重合度を有し、塩基の存在下、単量体(Ａ)、(Ｂ)および(Ｃ)の反応により合成される。
【化１５】
2002526794.tif 000014
式中、ｘは１０〜１０００であり、ｙは０〜９００であり、Ａｒ1は４価の芳香族、脂肪族、複素環式基またはそれらの混合物であり、Ａｒ2は２価の芳香族、複素環式、脂環式、脂肪族基であり、Ａｒ3は２価の芳香族、脂肪族、複素環式基またはそれらの混合物であり、そしてＷはＣｌ、ＯＲおよびＨであり、Ｒは−ＣＨ3、−Ｃ2Ｈ5、ｎ−Ｃ3Ｈ7、ｉ−Ｃ3Ｈ7、ｎ−Ｃ4Ｈ9、ｔ−Ｃ4Ｈ9、シクロヘキシルなどである。