【手続補正書】
【提出日】平成16年11月22日(2004.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  −  アパーチャを有しかつ閉鎖された試料設置体積を画定する剛性試料エンクロージャ皿；および
−  前記エンクロージャの外側の体積から前記アパーチャにおいて前記試料設置体積を密封する、電子ビーム透過性、流体不透過性、真空寛容性カバー、を含む、試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２】  前記カバーが、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエチレン、ポリピロール、パルロジオン、コロジオン（COLLODION），カプトン（KAPTON），フォームバー（FORMVAR），ビニレック（VINYLEC），ブトバー（BUTVAR），ピロフォーム（PILOFORM），二酸化ケイ素、一酸化ケイ素および炭素から成るグループ中から選択された材料で形成されている、請求項１に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３】  １００μｍ（ミクロン）以上の少なくとも１つの寸法をもつ開口部を画定する、前記カバー用のアパーチャ付き機械的支持体をも含む、請求項１〜２のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項４】  前記エンクロージャが、前記試料設置体積内への電子の衝突および前記試料設置体積内の複数の場所からの前記電子の反射を可能にしながら、該試料エンクロージャアセンブリを通る電子ビームの透過防ぐように構築され構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５】  前記エンクロージャおよび前記カバーは、試料が前記カバーと確実に係合するように構築され構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項６】  前記カバーが一般に、少なくとも１気圧の圧力勾配までは不透気性である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項７】  前記閉鎖された試料設置体積が、全て１０μｍ（ミクロン）を超える寸法をもちこの体積と連絡しているアパーチャを画定している、請求項１〜６のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項８】  前記カバーが一般に、２−３０ＫｅＶの範囲内のエネルギーをもつ電子に対する透過性をもつ、請求項１〜７のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項９】  前記閉鎖された試料設置体積と連絡する圧力除去装置をも含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１０】  前記閉鎖された試料設置体積内の１つの場所で電子と試料の間の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置も含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１１】  −  アパーチャを有する閉鎖された試料設置体積を画定するエンクロージャ構造；
−  前記アパーチャをカバーし前記エンクロージャの外側の体積から前記試料設置体積を密封する電子ビーム透過性でかつ流体不透過性の層、
を含む試料エンクロージャアセンブリにおいて、前記エンクロージャ構造が、前記試料設置体積内への電子ビームの衝突および前記試料設置体積内の複数の場所からの前記電子ビームの反射を可能にしながら、該試料エンクロージャアセンブリを通る電子ビームの透過を防ぐように構築され構成されている、試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１２】  前記層が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエチレン、ポリピロール、パルロジオン、コロジオン），カプトン，フォームバー，ビニレック，ブトバー，ピロフォーム，二酸化ケイ素、一酸化ケイ素および炭素から成るグループ中から選択された材料で形成されている、請求項１１に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１３】  １００μｍ（ミクロン）以上の少なくとも１つの寸法をもつ開口部を画定する、前記層用のアパーチャ付き機械的支持体をも含む、請求項１１〜１２のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１４】  前記エンクロージャ構造および前記層は、試料が前記層と確実に係合するように構築され構成されている、請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１５】  前記層が一般に、少なくとも１気圧の圧力勾配までは不透気性である、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１６】  前記閉鎖された試料設置体積が、全て１０μｍ（ミクロン）を超える寸法をもちこの体積と連絡しているアパーチャを画定している、請求項１１〜１５のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１７】  前記層が一般に、２−３０ＫｅＶの範囲内のエネルギーをもつ電子に対する透過性をもつ、請求項１１〜１６のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１８】  前記閉鎖された試料設置体積と連絡する圧力除去装置をも含む、請求項１１〜１７のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項１９】  前記閉鎖された試料設置体積内の１つの場所で電子と試料の間の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置も含む、請求項１１〜１８のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２０】  前記エンクロージャ構造および前記層は、試料が前記層と確実に係合するように構築され構成されている、請求項１１〜１３および１５〜１９のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２１】  −  全て１０μｍ（ミクロン）を超える寸法を持つ閉鎖された試料設置体積を画定し、かつこの閉鎖された試料設置体積を画定するエンクロージャ構造；
−  前記アパーチャをカバーし前記エンクロージャの外側の体積から前記試料設置体積を密封する電子ビーム透過性でかつ不透気性の層、
を含む試料エンクロージャアセンブリにおいて、前記エンクロージャ構造および前記層が、前記試料設置体積内への電子ビームの衝突および前記試料設置体積内の複数の場所からの前記電子ビームの反射を可能にするように構築され構成されている、試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２２】  前記層が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエチレン、ポリピロール、パルロジオン、コロジオン，カプトン，フォームバー，ビニレック，ブトバー，ピロフォーム，二酸化ケイ素、一酸化ケイ素および炭素から成るグループ中から選択された材料で形成されている、請求項２１に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２３】  １００μｍ（ミクロン）以上の少なくとも１つの寸法をもつ開口部を画定する、前記層用のアパーチャ付き機械的支持体をも含む、請求項２１〜２２のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２４】  前記エンクロージャ構造が、前記試料設置体積内への電子の衝突および前記試料設置体積内の複数の場所からの前記電子の反射を可能にしながら、該試料エンクロージャアセンブリを通る電子ビームの透過を防ぐように構築され構成されている、請求項２１〜２３のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２５】  前記エンクロージャ構造および前記層は、試料が前記層と確実に係合するように構築され構成されている、請求項２１〜２４のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２６】  前記層が一般に、少なくとも１気圧の圧力勾配までは不透気性である、請求項２１〜２５のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２７】  前記層が一般に、２−３０ＫｅＶの範囲内のエネルギーをもつ電子に対する透過性をもつ、請求項２１〜２６のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２８】  前記閉鎖された試料設置体積と連絡する圧力除去装置をも含む、請求項２１〜２７のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項２９】  前記閉鎖された試料設置体積内の１つの場所で電子と試料の間の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置も含む、請求項２１〜２８のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３０】  −  閉鎖された試料設置体積を画定しかつこの閉鎖された試料設置体積と連結するアパーチャを画定するエンクロージャ構造；
−  前記アパーチャをカバーし前記エンクロージャの外側の体積から前記試料設置体積を密封する電子ビーム透過性でかつ不透気性の層、および
−  前記閉鎖された試料設置体積と連結する圧力除去装置、を含む試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３１】  前記層が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエチレン、ポリピロール、パルロジオン、コロジオン，カプトン，フォームバー，ビニレック，ブトバー，ピロフォーム，二酸化ケイ素、一酸化ケイ素および炭素から成るグループ中から選択された材料で形成されている、請求項３０に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３２】  １００μｍ（ミクロン）以上の少なくとも１つの寸法をもつ開口部を画定する、前記層用のアパーチャ付き機械的支持体をも含む、請求項３０〜３１のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３３】  前記エンクロージャ構造および前記層は、試料が前記層と確実に係合するように構築され構成されている、請求項３０〜３２のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３４】  前記層が一般に、少なくとも１気圧の圧力勾配までは不透気性である、請求項３０〜３３のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３５】  前記閉鎖された試料設置体積が、全て１０μｍ（ミクロン）を超える寸法をもちこの体積と連絡しているアパーチャを画定している、請求項３０〜３４のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３６】  前記層が一般に、２−３０ＫｅＶの範囲内のエネルギーをもつ電子に対する透過性をもつ、請求項３０〜３５のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３７】  前記閉鎖された試料設置体積内の１つの場所で電子と試料の間の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置も含む、請求項３０〜３６のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３８】  前記エンクロージャ構造および前記層は、試料が前記層と確実に係合するように構築され構成されている、請求項３０〜３２のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項３９】  −  水蒸気圧より低い圧力に維持された試料領域に対し電子ビームを提供する走査型電子顕微鏡；
−  水蒸気圧より低い圧力で試料領域内に配置された試料エンクロージャアセンブリであって、・アパーチャを有し閉鎖された試料設置体積を画定する剛性試料エンクロージャ、および・前記エンクロージャの外側の体積から前記アパーチャにおいて前記試料設置体積を密封する、電子ビーム透過性、流体不透過性、真空寛容性カバー、を含む試料エンクロージャアセンブリ，
を含む、走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４０】  前記カバーが、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエチレン、ポリピロール、パルロジオン、コロジオン，カプトン，フォームバー，ビニレック，ブトバー，ピロフォーム，二酸化ケイ素、一酸化ケイ素および炭素から成るグループ中から選択された材料で形成されている、請求項３９に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４１】  １００μｍ（ミクロン）以上の少なくとも１つの寸法をもつ開口部を画定する、前記カバー用のアパーチャ付き機械的支持体をも含む、請求項３９〜４０のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４２】  前記エンクロージャが、前記試料設置体積内への電子の衝突および前記試料設置体積内の複数の場所からの前記電子の反射を可能にしながら、該試料エンクロージャアセンブリを通る電子ビームの伝送防ぐように構築され構成されている、請求項３９〜４１のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４３】  前記エンクロージャおよび前記カバーは、試料が前記カバーと確実に係合するように構築され構成されている、請求項３９〜４２のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４４】  前記カバーが一般に、少なくとも１気圧の圧力勾配までは不透気性である、請求項３９〜４３のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４５】  前記閉鎖された試料設置体積が、全て１０μｍ（ミクロン）を超える寸法をもちこの体積と連絡しているアパーチャを画定している、請求項３９〜４４のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４６】  前記カバーが一般に、２−３０ＫｅＶの範囲内のエネルギーをもつ電子に対する透過性をもつ、請求項３９〜４５のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４７】  前記閉鎖された試料設置体積と連絡する圧力除去装置をも含む、請求項３９〜４６のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４８】  前記閉鎖された試料設置体積内の１つの場所で電子と試料の間の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置も含む、請求項３９〜４７のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アセンブリ。
【請求項４９】  −  閉鎖された試料設置体積を画定する試料構造；
−  前記エンクロージャの外側の体積から前記試料設置体積を密封する少なくとも電子ビーム透過性、流体不透過性かつ真空寛容性の層、および
−  前記閉鎖された試料設置体積内の１つの場所で電子と試料の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置、を含む試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５０】  前記層が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエチレン、ポリピロール、パルロジオン、コロジオン，カプトン，フォームバー，ビニレック，ブトバー，ピロフォーム，二酸化ケイ素、一酸化ケイ素および炭素から成るグループ中から選択された材料で形成されている、請求項４９に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５１】  １００μｍ（ミクロン）以上の少なくとも１つの寸法をもつ開口部を画定する、前記少なくとも１つの層用のアパーチャ付き機械的支持体をも含む、請求項４９および５０のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５２】  前記少なくとも１つの層が一般に、少なくとも１気圧の圧力勾配までは不透気性である、請求項４９〜５１のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５３】  前記閉鎖された試料設置体積が、全て１０μｍ（ミクロン）を超える寸法をもちこの体積と連絡しているアパーチャを画定している、請求項４９〜５２のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５４】  前記層が一般に、２−３０ＫｅＶの範囲内のエネルギーをもつ電子に対する透過性をもつ、請求項４９〜５３のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５５】  前記閉鎖された試料設置体積と連絡する圧力除去装置をも含む、請求項４９〜５４のいずれか１項に記載の試料エンクロージャアセンブリ。
【請求項５６】  走査型電子顕微鏡検査を行なう方法において：
−  水蒸気圧より低い圧力に維持された試料領域に対し電子ビームを提供する段階；
−  アパーチャを有し、かつ電子ビーム透過性、流体不透過性、真空寛容性カバーにより前記アパーチャにおいて密封された閉鎖された試料設置体積を画定する試料エンクロージャ内に試料を設置する段階；
−  前記電子ビーム内に前記試料エンクロージャアセンブリを設置する段階；および
−  前記試料と前記電子ビームの相互作用から、後方散乱電子を検出する段階、を含む方法。
【請求項５７】  走査型電子顕微鏡検査を行なう方法において：
−  水蒸気圧より低い圧力に維持された試料領域に対し電子ビームを提供する段階；
−  水蒸気圧より低い圧力で試料領域内に配置され；かつ
・閉鎖された試料設置体積を画定しかつこの閉鎖された試料設置体積と連絡するアパーチャを画定するエンクロージャ構造；
・  前記アパーチャをカバーしかつ前記エンクロージャの外側の体積から前記試料設置体積を密封する電子ビーム透過性および不透気性層、を含み、
前記エンクロージャ構造および前記層は前記試料設置体積内への電子ビームの衝撃を可能にするように構築され構成されている試料エンクロージャアセンブリ内に、試料を設置する段階、
−  前記電子ビーム内に前記試料エンクロージャアセンブリを設置する段階、および
−  前記試料と前記電子ビームの相互作用の結果を分析する段階、
を含む方法。
【請求項５８】  前記試料と前記電子ビームの相互作用の前記結果の分析がＸ線の検出により実施される、請求項５７に記載の走査型電子顕微鏡検査を実施する方法。
【請求項５９】  前記試料と前記電子ビームの相互作用の前記結果の分析が、紫外線から赤外線までの範囲内の光の検出により実施される、請求項５７に記載の走査型電子顕微鏡検査を実施する方法。
【請求項６０】  前記試料と前記電子ビームの相互作用の前記結果の分析が電子の検出により実施される、請求項５７に記載の走査型電子顕微鏡検査を実施する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
高エネルギーでは、ビームは、それを妨害するビーズが全くない場合、水の内側で拡散することができ、ＢＳＥによりサンプル採取される体積は深くかつ幅広である（１〜数μｍ（ミクロン））。ＢＳＥが生成する信号は、非常に幅の広い体積全体にわたる蓄積の結果であり、このような理由から、ビームが走査されるとき著しく変動しない。その上、高い倍率では、画像サイズ自体が、おおよそＢＳＥでサンプル採取された体積のサイズである場合、この深いＢＳＥ信号は、ブラックレベルの適切な選択によって除去することのできる定数である。一方、電子ビームが重量材料ビーズを横断する場合、ビームの有意な部分が妨害され得、直ちに、はるかに多くのＢＳＥが放出される（高い後方散乱係数）。かくして、得られる解像度は、ビーズの深さにおける電子ビームの空間的拡がりによって左右される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９８】
生きた細胞に適した１つの代替的方法は、飲作用反応を通してマーカーを挿入することである。細胞をその後定着させるか生きている間に観察することができる。飲作用反応は、適切な条件下で行なわれた場合、細胞の生存可能性を保存する。それは、分子（当該技術分野における既知の応用の大部分において螢光マーカー）又は（本出願にとって特に適しているような）ナノ規模の粒子を挿入することを可能にする。一部の研究者は、細胞内部にμｍ（ミクロン）規模でビーズを導入する上での成功も報告している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０３】
Molecular Probeにより与えられたプロトコルに従って、我々は、細胞内部に、Colloidal Gold、１００ナノメートルサイズの金粒子、μｍ（ミクロン）規模の螢光ビーズおよび量子ドットを導入した。細胞を定着し、観察に先立ち金又は銀を増強させることができる。この方法を用いる場合、或る程度の百分率で細胞が死滅する。実施された実験の大部分において、１０〜２０％未満の細胞が失なわれた。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１５】
定着された細胞ＮＩＨ３Ｔ３の陰極発光画像
細胞内にはいかなる発光マーカーも挿入されなかった。従って、放出された光は、図１４Ａ−Ｃに示されているように、細胞の「自然の」陰極発光の結果である。細胞の幅は約２０μｍ（ミクロン）である。