【手続補正書】
【提出日】平成16年5月17日(2004.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】リッド装着装置及び固体撮像装置の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
架台と、
この架台上に設けられた一対のガイドレールと、
前記架台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複数個のパッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供給するローダと、
前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記架台の他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送機構と、
前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ機構と、
前記架台上に設けられ前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、
前記架台上に設けられ前記接着剤塗布機構により前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射炉と、
この紫外線照射炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架台上に設けられ前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット機構と、
前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備したことを特徴とするリッド装着装置。
【請求項２】
架台と、
この架台上に設けられた一対のガイドレールと、
前記架台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複数個のパッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供給するローダと、
前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記架台の他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送機構と、
前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ機構と、
前記架台上に設けられ前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、
前記架台上に設けられ前記接着剤塗布機構により前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射炉と、
この紫外線照射炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架台上に設けられ前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット機構と、
前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備し、
前記紫外線照射炉の内部には、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ昇降機構が設けられていることを特徴とするリッド装着装置。
【請求項３】
前記紫外線照射炉は、前記ガイドレールの上方に紫外線ランプ及び前記リッドを加圧する加圧パッドを備え、
前記紫外線ランプと前記ガイドレールとの間には、紫外線透過プレートが設けられ、
前記加圧パッドは、前記紫外線透過プレートを貫通する軸と、
この軸の下端に設けられたパッド部とを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のリッド装着装置。
【請求項４】
前記パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、これらピストンロッドの上端には、前記パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられていることを特徴とする請求項２に記載のリッド装着装置。
【請求項５】
前記ボート搬送機構を駆動制御する制御手段と、
前記接着剤塗布機構と前記リッドセット機構及び前記リッドセット機構と前記紫外線照射炉との間に設けられ前記パッケージ搬送ボートに搭載された前記パッケージの上下方向の傾きを光学的に検出する傾き検出機構とを具備し、
前記制御手段は、前記傾き検出機構が前記パッケージの上下方向の傾きを検出したのに基づき前記ボート搬送機構に搬送停止信号を送出することを特徴とする請求項１又は２に記載のリッド装着装置。
【請求項６】
前記紫外線照射炉は、前記パッケージの所定部位を前記リッドに押圧する加圧機構と、この加圧機構による加圧力を制御する加圧力可変機構とを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のリッド装着装置。
【請求項７】
前記接着剤塗布機構は、前記接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと、
この接着剤ディスペンサと一体に設けられ前記接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部と、
この撮像部により得られた画像に基づき前記接着剤の塗布状態の良否を判断する判断部とを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のリッド装着装置。
【請求項８】
ガイドレールの一端側に複数個のパッケージを保持したパッケージ搬送ボートを供給するパッケージ搬送ボート供給工程と、
前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記ガイドレールの他端側へ向けて所定ピッチずつ搬送するボート搬送工程と、
前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ工程と、
前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット工程と、
前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記ガイドレールの他端側に搬送された前記パッケージ搬送ボート上の前記パッケージを回収するパッケージ回収工程とを具備したことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項２に記載された発明は、架台と、この架台上に設けられた一対のガイドレールと、前記架台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複数個のパッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供給するローダと、前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記架台の他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送機構と、前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ機構と、前記架台上に設けられ前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、前記架台上に設けられ前記接着剤塗布機構により前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射炉と、この紫外線照射炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架台上に設けられ前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット機構と、前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備し、前記紫外線照射炉の内部には、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ昇降機構が設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項３に記載された発明は、請求項１又は２に記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記ガイドレールの上方に紫外線ランプ及び前記リッドを加圧する加圧パッドを備え、前記紫外線ランプと前記ガイドレールとの間には、紫外線透過プレートが設けられ、前記加圧パッドは、前記紫外線透過プレートを貫通する軸と、この軸の下端に設けられたパッド部とを備えている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載された発明は、請求項２に記載された発明において、前記パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、これらピストンロッドの上端には、前記パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項５に記載された発明は、請求項１又は２に記載された発明において、前記ボート搬送機構を駆動制御する制御手段と、前記接着剤塗布機構と前記リッドセット機構及び前記リッドセット機構と前記紫外線照射炉との間に設けられ前記パッケージ搬送ボートに搭載された前記パッケージの上下方向の傾きを光学的に検出する傾き検出機構とを具備し、前記制御手段は、前記傾き検出機構が前記パッケージの上下方向の傾きを検出したときのに基づき前記ボート搬送機構に搬送停止信号を送出する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項６に記載された発明は、請求項１又は２に記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記パッケージの所定部位を前記リッドに押圧する加圧機構と、この加圧機構による加圧力を制御する加圧力可変機構とを備えている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項７に記載された発明は、請求項１又は２に記載された発明において、前記接着剤塗布機構は、前記接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと、この接着剤ディスペンサと一体に設けられ前記接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部と、この撮像部により得られた画像に基づき前記接着剤の塗布状態の良否を判断する判断部とを備えている。
請求項８に記載された発明は、ガイドレールの一端側に複数個のパッケージを保持したパッケージ搬送ボートを供給するパッケージ搬送ボート供給工程と、前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記ガイドレールの他端側へ向けて所定ピッチずつ搬送するボート搬送工程と、前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ工程と、前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット工程と、前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記ガイドレールの他端側に搬送された前記パッケージ搬送ボート上の前記パッケージを回収するパッケージ回収工程とを具備している。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項２に記載された発明によれば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセット機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。また、紫外光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項３に記載された発明によれば、パッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができるとともに、接着剤を使用することなく加圧パッドを紫外線透過プレートに容易に取付けることができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
請求項４に記載された発明によれば、パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、ピストンロッドの上端には、パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられているので、パッケージの上にセットされたリッドが紫外線透過プレートに片当りすることを防止できる。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項５に記載された発明によれば、パッケージの所定部位にリッドをセットする際にリッドの位置ずれを未然に防止することができる。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
請求項６に記載された発明によれば、加圧力可変機構により、パッケージの所定部位をリッドに押圧する加圧機構による加圧力を制御できるので、加圧機構を取り替えることなくパッケージの種類に応じて適正な加圧力を与えることができる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
請求項７に記載された発明によれば、接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと一体に設けられ接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部を備え、この撮像部により得られた画像に基づき接着剤の塗布状態の良否を判断することができる。
請求項８に記載された発明によれば、接着剤塗布工程と紫外線照射工程との間にリッドセット工程を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
請求項２に係る発明によれば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセット機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。また、紫外光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
請求項３に係る発明によれば、パッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができるとともに、接着剤を使用することなく加圧パッドを紫外線透過プレートに容易に取付けることができる。
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
請求項４に記載された発明によれば、パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、ピストンロッドの上端には、パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられているので、パッケージの上にセットされたリッドが紫外線透過プレートに片当りすることを防止できる。
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
請求項５に記載された発明によれば、パッケージの所定部位にリッドをセットする際にリッドの位置ずれを未然に防止することができる。
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
請求項６に記載された発明によれば、加圧力可変機構により、パッケージの所定部位をリッドに押圧する加圧機構による加圧力を制御できるので、加圧機構を取り替えることなくパッケージの種類に応じて適正な加圧力を与えることができる。
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４６】
請求項７に記載された発明によれば、接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと一体に設けられ接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部を備え、この撮像部により得られた画像に基づき接着剤の塗布状態の良否を判断することができる。
請求項８に記載された発明によれば、接着剤塗布工程と紫外線照射工程との間にリッドセット工程を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。