(57)【要約】  リチウム二次電池用負極１０は、表面に複数の凸部１１ａを有する集電体１１と、集電体１１の上に形成された第１活物質層１２と、第１活物質層１２の上に位置し、複数の活物質粒子１４を含む第２活物質層１５とを有し、複数の活物質粒子１４のそれぞれは、集電体１１における対応する凸部１１ａの上に位置し、第１活物質層１２および複数の活物質粒子１４は、それぞれ、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有する。
2008111315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の凸部を有する集電体と、
前記集電体上に形成された第１活物質層と、
前記第１活物質層上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層と
を有し、
前記複数の活物質粒子のそれぞれは、前記集電体における対応する凸部の上に位置し、
前記第１活物質層および前記複数の活物質粒子は、それぞれ、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）
で表される化学組成を有するリチウム二次電池用負極。
【請求項２】
前記複数の凸部は前記集電体の表面に規則的に配列されている請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項３】
前記第１活物質層の厚さは０．０１μｍ以上３μｍ以下である請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項４】
前記複数の活物質粒子の成長方向は、前記集電体の法線方向に対して傾斜している請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項５】
リチウムイオンを吸蔵・放出可能な正極と、
請求項１から４のいずれかに記載のリチウム二次電池用負極と、
前記正極と前記リチウム二次電池用負極との間に配置されたセパレータと、
リチウムイオン伝導性を有する電解質と
を含むリチウム二次電池。
【請求項６】
（Ａ）表面に複数の凸部を有する集電体を用意する工程と、
（Ｂ）前記集電体の表面に、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有する第１活物質層を形成する工程と、
（Ｃ）前記集電体における各凸部の上に、前記第１活物質層を介して、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有する活物質粒子を形成することにより、複数の活物質粒子を含む第２活物質層を形成する工程と
を包含するリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項７】
前記工程（Ｂ）は、前記集電体の法線方向に対して±２０°以内の角度をなす方向から前記集電体にケイ素を供給する工程を含み、
前記工程（Ｃ）は、前記集電体の法線方向に対して２０°以上９０°以下の角度をなす方向から前記集電体にケイ素を供給する工程を含む請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項８】
前記工程（Ｂ）をスパッタ法により行う請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項９】
前記工程（Ｂ）を蒸着法により行う請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リチウム二次電池用負極およびその製造方法、ならびにリチウム二次電池用負極を備えたリチウム二次電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータ、携帯電話などのポータブル機器の開発に伴い、その電源としての電池の需要が増大している。上記のような用途に用いられる電池には、高いエネルギー密度が要求される。このような要求に対して、リチウム二次電池が注目され、その正極および負極のそれぞれにおいて、従来よりも高容量の活物質の開発が行われている。なかでも、非常に高い容量が得られる負極活物質として、ケイ素（Ｓｉ）もしくは錫（Ｓｎ）の単体、酸化物または合金が有望視されている。【０００３】
しかし、これらの負極活物質を用いてリチウム二次電池用の負極を構成すると、充放電の繰り返しに伴って負極に変形が生じるという問題がある。上記のような負極活物質は、リチウムイオンと反応する際に大きな体積変化を生じるため、充放電の際の負極活物質に対するリチウムイオンの挿入および脱離の反応によって、負極活物質が大きく膨張・収縮する。そのため、充放電を繰り返すと、負極に大きな応力が発生して歪みが生じ、しわや切れ等を引き起こすおそれがある。また、負極に歪みが生じて変形すると、負極とセパレータとの間に空間が生じて、充放電反応が不均一になり、電池の特性を局部的に低下させるおそれがある。従って、上記の負極活物質を用いて、十分な充放電サイクル特性を有するリチウム二次電池を得ることは困難であった。【０００４】
このような問題を解決するために、特許文献１は、集電体上に、ケイ素からなる複数の柱状の活物質粒子を形成することを提案している。この構成によると、活物質粒子間にケイ素の膨張応力を緩和する空間を確保できるので、負極の変形を抑えることができ、サイクル特性の劣化を抑制できる。また、特許文献２は、集電体上に、リチウムと合金を形成する活物質からなる複数の柱状体を規則的に配列させた電極構造を提案している。この電極構造でも、柱状体間の空隙を埋めるように柱状体が膨張するので、膨張応力による電極特性の低下を抑えることができる。【０００５】
特許文献１および２に提案された負極では、集電体表面に選択的に複数の柱状の活物質粒子または活物質体が形成されており、これらの活物質粒子または活物質体は、集電体の法線方向に沿って直立している。しかし、このような負極を備えたリチウム二次電池では、正極活物質層の大部分が、負極活物質からなる活物質粒子や活物質体と対向せず、集電体表面のうち活物質で覆われていない部分（「集電体の露出部」とする）と対向してしまう。そのため、充電時に正極活物質層から供給されるリチウムは、負極活物質に吸蔵されずに、負極集電体の露出部に析出しやすくなる。よって、放電時に負極からリチウムを効率良く放出され難くなるので、充放電効率が低下するおそれがある。【０００６】
これに対して、本出願人による特許文献３および特許文献４や、集電体上に、負極活物質からなる複数の柱状の活物質粒子が形成された負極において、活物質粒子の長軸方向を、集電体表面の法線方向に対して傾斜させることを提案している。この構成によれば、正極活物質層のうち集電体の露出部と対向する部分の割合を小さくできるので、正極活物質と負極活物質とを十分に活用でき、特許文献１および特許文献２よりも高い容量維持率を得ることができる。
【特許文献１】特開２００３−３０３５８６号公報
【特許文献２】特開２００４−１２７５６１号公報
【特許文献３】特開２００５−１９６９７０号公報
【特許文献４】国際公開第２００７／０１５４１９号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３や特許文献４に提案された構成では、集電体表面に柱状の活物質粒子が形成されているため、各活物質粒子と集電体表面との接触面積が小さく、各活物質粒子と集電体との密着性を十分に確保できないおそれがある。従って、充放電を繰り返すと、活物質粒子および集電体の膨張率の違いによって、活物質粒子が集電体から剥離または脱落し、充放電特性を低下させる要因となり得る。【０００８】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、負極活物質の膨張応力による負極の変形を抑えるとともに、負極活物質の集電体からの剥離または脱落を抑制し、リチウム二次電池の充放電サイクル特性を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のリチウム二次電池用負極は、表面に複数の凸部を有する集電体と、集電体上に形成された第１活物質層と、第１活物質層上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層とを有する。複数の活物質粒子のそれぞれは、集電体における対応する凸部の上に位置し、第１活物質層および複数の活物質粒子は、それぞれ、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有する。【００１０】
本発明のリチウム二次電池用負極によると、活物質粒子と集電体との間に第１活物質層が形成されているので、集電体上に活物質粒子のみが形成された場合と比べて、活物質粒子と集電体との密着性を大幅に改善できる。従って、活物質粒子の集電体表面からの剥離を抑制できる。【００１１】
また、集電体表面の複数の凸部によって活物質粒子間の間隔や第２活物質層に占める空隙の体積率（空隙率）を制御できるため、充電の際、活物質粒子や第１活物質層がリチウムイオンを吸蔵して膨張しても、その膨張空間を活物質粒子間に確保できる。よって、集電体にかかる膨張応力が緩和されるため、充放電の繰り返しによる負極の変形を抑制できる。【００１２】
上述したように、充放電の繰り返しに伴う負極の変形や活物質粒子の集電体からの剥離を抑制できるので、リチウム二次電池の充放電サイクル特性を向上できる。また、活物質粒子の剥離に起因するリチウム二次電池の不可逆容量の増加を抑えることができる。【００１３】
さらに、第１活物質層および活物質粒子はＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有するので、十分な充放電容量を確保できる。また、集電体表面に第１活物質層を設けることにより、集電体上に活物質粒子のみが形成された場合に比べて、集電体表面のうち活物質で覆われていない部分（露出部）の割合を減らすことができる。従って、本発明の負極を用いてリチウム二次電池を構成することにより、正極活物質層と集電体の露出部の対向面でリチウムが析出し、充放電効率が低下することを抑制できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、集電体と活物質粒子との間に第１活物質層を設けることにより、活物質粒子と集電体との密着性を向上できるので、活物質粒子の集電体からの剥離を抑制できる。また、各活物質粒子を集電体表面の対応する凸部の上に位置させることによって、活物質粒子間に、活物質粒子や第１活物質層が膨張するための空間を確保できるので、膨張応力を緩和でき、膨張応力に起因する負極の変形を抑制できる。従って、リチウム二次電池の充放電サイクル特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による実施形態のリチウムイオン二次電池用負極を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明による他の実施形態のリチウムイオン二次電池用負極を例示する模式的な断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明による実施形態のリチウムイオン二次電池用負極の作製方法を説明するための模式的な工程断面図である。
【図４】本発明による実施形態のリチウムイオン二次電池を示す模式的な断面図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明による実施例の集電体の構造を説明するための断面図および平面図である。
【図６】（ａ）は、本発明による実施例の第１活物質層が形成された集電体における集電体表面に垂直な断面形状を示す電子顕微鏡写真であり、（ｂ）は、（ａ）の拡大写真である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、実施例で用いる蒸着装置の構成を説明するための図であり、互いに９０°異なる方向から見た模式図である。
【図８】本発明による実施例の負極における集電体表面に垂直で、かつ、ケイ素の蒸着方向を含む断面形状を示す電子顕微鏡写真である。
【図９】比較例の負極における集電体表面に垂直で、かつ、ケイ素の蒸着方向を含む断面形状を示す電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
【００１６】
１０      負極
１１      集電体
１１ａ    凸部
Ｈ        凸部の高さ
Ｗ        凸部の上面の幅
Ｌ        隣接する凸部の間の距離
１２      第１活物質層
１４      活物質粒子
１５      第２活物質層
５０      コイン型電池
３１      ケース
３２      正極集電体
３３      正極合剤層
３４      セパレータ
３５      封口板
３６      負極活物質層
３７      負極集電体
３８      ガスケット
３９      正極
４０      負極
６０      蒸着装置
６２      チャンバー
６３      固定台
６４      ノズル
６５      配管
６６      蒸着源
６７      第１活物質層が形成された集電体（サンプル）
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明によるリチウム二次電池用負極のある好ましい実施形態を説明する。【００１８】
まず、図１を参照する。図１は、本実施形態のリチウム二次電池用負極（以下、「負極」ともいう）の模式的な断面図である。【００１９】
負極１０は、集電体１１と、集電体１１の表面に形成された第１活物質層１２と、第１活物質層１２の上に形成され、複数の活物質粒子１４を含む第２活物質層１５とを備える。集電体１１の表面には複数の凸部１１ａが規則的に配列されている。これらの凸部１１ａは、集電体１１の表面に形成された溝１１ｂによって規定されている。第１活物質層１２は、集電体１１の表面を覆うように形成されており、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有している。複数の活物質粒子１４は、集電体１１の対応する凸部１１ａの上に、第１活物質層１２を介して設けられており、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有している。また、各活物質粒子１４の成長方向Ｓは、集電体１１の法線方向Ｄに対して傾斜している。集電体１１の法線方向Ｄは、集電体１１の表面における凹凸を平均化して得られる仮想的な平面に対して垂直な方向をいうものとする。【００２０】
本明細書では、活物質粒子１４および第１活物質層１２の化学組成における上記ｘは、それぞれ、活物質粒子１４および第１活物質層１２のケイ素量に対する酸素量のモル比（以下、単に「酸素比率」ともいう）の平均値を意味する。なお、活物質粒子１４および第１活物質層１２の化学組成は、活物質粒子１４や第１活物質層１２に補填または吸蔵されたリチウムを除いた組成である。また、活物質粒子１４および第１活物質層１２は、実質的に上記化学組成を有していればよく、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｔｉなどの不純物を含んでいてもよい。【００２１】
本実施形態の負極１０では、集電体１１の表面の略全体が第１活物質層１２で覆われており、第１活物質層１２と集電体１１との接触面積が大きいので、第１活物質層１２と集電体１１との密着性が極めて高い。また、活物質粒子１４は第１活物質層１２と接しているので、活物質粒子１４が集電体１１に接する構成と比べて、充放電の繰り返しによって剥離し難い。第１活物質層１２および活物質粒子１４は、何れもＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有し、充放電に伴う体積膨張率の差が小さいからである。従って、第１活物質層１２および活物質粒子１４が集電体１１から剥離することを抑制できる。【００２２】
さらに、複数の活物質粒子１４は、集電体１１の表面に所定の間隔を空けて配置された凸部１１ａの上に第１活物質層１２を介して形成されており、溝１１ｂの上には形成されない。従って、活物質粒子１４の間に活物質粒子１４の膨張のための空間を確保できるので、電池の充放電に伴う活物質粒子１４の膨張および収縮によって生じる応力を緩和し、負極の変形を抑制することができる。【００２３】
このように、本実施形態によると、充放電の繰り返しによる活物質の集電体１１からの剥離や負極の変形を抑制できるので、充放電サイクル特性および信頼性に優れた二次電池を提供することができる。【００２４】
第１活物質層１２および活物質粒子１４の化学組成は、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される。上記ｘは、上述したように、ケイ素量に対する酸素量のモル比（酸素比率）の平均値である。一般に、ケイ素を含む負極活物質では、その酸素比率が高くなるほど、理論容量は減少するが、充電による体積膨脹率が小さくなる。本実施形態では、ｘが０より大きいので、ケイ素（ｘ＝０）に比べて充放電に伴う膨張および収縮が抑えられており、従って、第１活物質層１２および活物質粒子１４の膨張応力に起因する充放電サイクル特性の低下を抑制できる。一方、ｘの値が大きくなりすぎると、電子伝導性が減少し、極板抵抗が増加するために出力特性が低下してしまう。本実施形態では、ｘは１未満であるため、極板抵抗を低く抑えることができる。【００２５】
第１活物質層１２の化学組成におけるｘの値は、０．５以上１．０未満であることが好ましい。ｘが０．５以上であれば、充放電に伴う膨張および収縮をより効果的に抑えることができ、また、ｘが１．０以下であれば、極板抵抗をより低く抑えるとともに、高い理論容量を確保できる。【００２６】
また、活物質粒子１４の化学組成におけるｘの値は０．０５以上０．７以下であることが好ましい。活物質の容量を確保するためにはｘの値を小さくする必要があるが、ｘの値を０．７以下であれば、高容量化を達成することが可能になる。なお、第１活物質層１２および活物質粒子１４におけるｘの値は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。【００２７】
本実施形態では、第１活物質層１２および活物質粒子１４における酸素濃度プロファイルは、厚さ方向に変化していてもよい。そのような場合でも、第１活物質層１２および活物質粒子１４におけるケイ素量に対する酸素量のモル比（酸素比率）の平均値ｘが上述した範囲内であればよい。【００２８】
図１に示す構成では、第１活物質層１２は、集電体１１の表面全体を覆うように形成されており、その厚さｔ２は、集電体４の表面に亘って略均一である。ここでいう「集電体１１の表面全体」は、集電体１１の表面に形成された凸部１１ａの上面および側面も含む。このように、集電体１１の表面全体に第１活物質層１２が形成されていると、集電体１１と第１活物質層１２との接触面積が増大するだけでなく、活物質粒子１４をより確実に第１活物質層１２の上の配置できるので有利である。さらに、集電体１１の表面において、第１活物質層１２が形成されていない部分が存在すると、その部分の近傍で第１活物質層１２が剥離しやすくなると考えられるが、図示する構成によると、第１活物質層１２が集電体１１の表面全体を覆っているので、第１活物質層１２の剥離を効果的に抑制できる。【００２９】
なお、本実施形態における第１活物質層１２は、集電体１１と活物質粒子１４とが直接接することがないように、集電体１１と活物質粒子１４との間に配置されていればよく、集電体１１の表面全体を覆っていなくてもよい。例えば、集電用リード部などを設けるために、必要に応じて、部分的に除去されていてもよい。また、第１活物質層１２の厚さｔ２も略均一でなくてもよい。そのような場合でも、集電体１１と第１活物質層１２との接触面積が、活物質粒子１４と第１活物質層１２との接触面積よりも十分に大きければ、活物質粒子１４が集電体１１から剥離することを効果的に抑制できる。【００３０】
第１活物質層１２の厚さｔ２は、０．０１μｍ以上３μｍ以下であることが好ましい。第１活物質層１２の厚さｔ２が０．０１μｍ未満であれば、第１活物質層１２の強度が小さくなるため、充放電の繰り返しによって第１活物質層１２に破損が生じるおそれがあり、その結果、第１活物質層１２と集電体１１との接着強度を十分に向上できない場合があるからである。一方、第１活物質層１２の厚さｔ２が３μｍを超えると、充放電時の第１活物質層１２の膨張応力が大きくなるので、負極１０にしわ、切れなどを発生させるおそれがある。厚さｔ２は、より好ましくは０．０１μｍ以上１μｍ以下、さらに好ましくは０．０１μｍ以上０．７μｍ以下、であり、これにより、第１活物質層１２の膨張応力をより小さく抑えつつ、第１活物質層１２と集電体１１との接着強度を確保できる。第１活物質層１２の厚さｔ２は、集電体１１の表面全体に亘って略均一でなくてもよく、例えば、凸部１１ａの側面で薄く、上面で厚くてもよい。その場合には、例えば、第１活物質層１２のうち凸部１１ａの上面に位置する部分の厚さが上記厚さｔ２の範囲内であることが好ましい。【００３１】
第１活物質層１２の厚さｔ２は、例えば電子顕微鏡観察を用いて簡便に測定することができる。なお、第１活物質層１２と活物質粒子１４との化学組成が略等しいために、これらの界面が特定できない場合には、第１活物質層１２の厚さｔ２として、第１活物質層１２のうち集電体１１の溝１１ｂの上に位置する部分の厚さを測定してもよい。【００３２】
活物質粒子１４は、図１に示すように、集電体１１の法線方向Ｄに対して傾斜した成長方向Ｓを有することが好ましい。このような構成により、リチウム二次電池において、正極活物質層のうち活物質粒子１４と対向する部分の面積を増加させることができるので、充放電効率を高めることができる。このような活物質粒子１４は、例えば、酸素ガスが導入されたチャンバー内で、集電体３の表面に、集電体３の法線方向に対して傾斜した方向からケイ素を入射することによって形成できる（斜め蒸着）。【００３３】
活物質粒子１４の成長方向Ｓと集電体３の法線方向Ｄとのなす角度は、１０°以上であることが好ましい。上記角度が１０°以上であれば、正極活物質層のうち活物質粒子１４と対向する部分の面積を十分に増加させることができるので、充放電効率をより確実に高めることができる。一方、上記角度は９０°未満であればよいが、９０°に近づくほど活物質粒子１４を形成することが困難となるため、８０°未満であることが好ましい。【００３４】
なお、本実施形態の活物質粒子１４は、集電体１１の法線方向Ｄに沿って成長していてもよい。前述したように、特許文献１に開示された負極では、活物質粒子が集電体の法線方向に沿って直立しており、リチウム二次電池を構成した場合に、正極活物質層の一部が集電体の露出部（集電体表面のうち活物質で覆われていない部分）と対向するために、充放電効率が低下するという問題があった。これに対し、本実施形態によると、集電体１１の表面が第１活物質層１２で覆われており、露出していないため、活物質粒子１４が法線方向Ｄに対して傾斜していない場合であっても、正極活物質層と集電体の露出部とが対向することによる充放電効率の低下を防止できる。【００３５】
また、図１に示す構成では、集電体１１の各凸部１１ａの表面に、第１活物質層１２を介して、１個ずつ活物質粒子１４が設けられているが、１個の凸部１１ａの表面に複数個の活物質粒子１４が設けられていてもよい。その場合でも、集電体１１の溝１１ｂには活物資粒子１４が存在しないので、溝１１ｂの上に活物質粒子１４の膨張空間を確保できる。【００３６】
第２活物質層１５の厚さｔ５は、活物質粒子１４の厚さと等しく、特に限定しないが、電池のエネルギー密度、生産性、信頼性などの観点から、０．５μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。第２活物質層１５の厚さｔ５が０．５μｍ以上、より好ましくは５μｍ以上であれば、より高い電池エネルギーを得ることができる。また、厚さｔ５が５０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下であれば、活物質粒子１４を形成する際に生じるクラックを低減できるので、負極１０の信頼性を高めることができる。【００３７】
第１活物質層１２および活物質粒子１４に含まれる活物質は、単結晶、多結晶、微結晶などの結晶質であってもよいし、アモルファスであってもよい。ここでいう「多結晶の活物質」とは、サイズが１００ｎｍより大きい複数の結晶子（結晶粒：ｃｒｙｓｔａｌｌｉｔｅ）を含み、「微結晶の活物質」とは、サイズが１００ｎｍ以下の複数の結晶子を含む。第１活物質層１２または活物質粒子１４に含まれる活物質が非晶質であるか、または微結晶であるかは、例えばＸ線回折（ＸＲＤ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）などを用いて確認することができる。例えば、第１活物質層１２または活物質粒子１４のＸＲＤ測定で得られる回折パターンにおいて、シャープなピークが見られず、ブロードなハローパターンだけが観測される場合、その第１活物質層１２または活物質粒子１４は実質的に非晶質であると判断できる。【００３８】
本実施形態における集電体１１は、特に限定しないが、銅、銅合金、チタン、ニッケル、ステンレスなどの金属箔の表面に、溝１１ｂおよび複数の凸部１１ａを含む規則的な凹凸パターンを形成することによって得られる。金属箔としては、例えば圧延銅箔、圧延銅合金箔、電解銅箔、電解銅合金箔などの金属箔が好適に用いられる。凹凸パターンが形成される前の金属箔の厚さは、特に限定されないが、例えば１μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。５０μｍ以下であれば、体積効率を確保でき、また、１μｍ以上であれば、集電体１１の取り扱いが容易となるからである。また、凹凸パターンの形成方法も特に限定されず、切削法、メッキ法、転写法などを用いることができる。【００３９】
集電体１１の表面にこのような規則的な凹凸パターンが形成されていると、第１活物質層１２の表面もこれを反映したパターンを有する。このような第１活物質層１２の上に、上述した斜め蒸着によってケイ素酸化物を成長させると、シャドウイング効果を利用して、凸部１１ａの上にのみ選択的に活物質粒子１４を形成できる。シャドウイング効果については、後で詳述する。従って、凹凸パターンにおける凸部１１ａや溝１１ｂの形状やサイズ、配列ピッチなどを適宜選択することにより、活物質粒子１４の配置や間隔を調整することができ、第２活物質層１５に占める空隙の体積率（空隙率）を制御できるので、活物質粒子１４の膨張による負極１０の変形を効果的に抑えることができる。なお、凹凸パターンの構成や形成方法は、本願の出願人による未公開の特許出願（特願２００６−２８４９１８号）にも例示されている。【００４０】
本実施形態における凸部１１ａは、図１に示すような柱状体に限定されない。集電体１１の法線方向Ｄから見た凸部１１ａの正投影像は、正方形、長方形、台形、菱形および平行四辺形などの多角形、円形、楕円形などであってもよい。また、集電体１１の表面に対して垂直な断面における凸部１１ａの形状は、例えば多角形、半円形、弓形などである。凸部１１ａの高さＨは、例えば２μｍ以上２０μｍ以下である。【００４１】
凸部１１ａの上面における幅Ｗは５０μｍ以下が好ましく、これにより、活物質粒子１４の膨張応力による負極１０の変形をより効果的に抑制できる。より好ましくは２０μｍ以下である。一方、凸部１１ａの上面の幅Ｗが小さすぎると、活物質粒子１４と第１活物質層１２との接触面積を十分に確保できないおそれがあるため、幅Ｗは１μｍ以上であることが好ましい。さらに、凸部１１ａが、集電体１１の表面に垂直な側面を有する柱状体である場合には、隣接する凸部１１ａの間の距離Ｌ、すなわち溝１１ｂの幅は、好ましくは凸部１１ａの幅Ｗの３０％以上、より好ましくは５０％以上であり、これにより、活物質粒子１４の間に十分な空隙を確保して膨張応力を大幅に緩和できる。一方、隣接する凸部１１ａの間の距離Ｌが大きすぎると、容量を確保するために活物質粒子１４の厚さが増大してしまうため、距離Ｌは凸部１１ａの幅Ｗの２５０％以下であることが好ましく、より好ましくは２００％以下である。なお、凸部１１ａの上面の幅Ｗおよび隣接する凸部１１ａの距離Ｌは、それぞれ、集電体１１の表面に垂直で、かつ、活物質粒子１４の成長方向を含む断面における幅および距離を指すものとする。【００４２】
また、各凸部１１ａの上面は平坦であってもよいが、凹凸を有することが好ましく、その表面粗さＲａは０．３μｍ以上５．０μｍ以下であることが好ましい。【００４３】
ここでいう「表面粗さＲａ」とは、日本工業規格（ＪＩＳＢ  ０６０１―１９９４）に定められた「算術平均粗さＲａ」を指し、例えば表面粗さ計などを用いて測定できる。凸部１１ａの上面が、表面粗さＲａが０．３μｍ以上の凹凸を有していれば、その上に形成される第１活物質層１２も同様の表面凹凸を有し、凸部１１ａの上に活物質粒子１４が成長しやすく、その結果、活物質粒子１４の間に十分な空隙を確実に形成できる。一方、表面粗さＲａが大きすぎると集電体１１が厚くなってしまうため、表面粗さＲａは５．０μｍ以下であることが好ましい。さらに、集電体１１の表面粗さＲａが上記範囲内（０．３μｍ以上５．０μｍ以下）であれば、集電体１１と第１活物質層１２との付着力を十分に確保できるので、第１活物質層１２の剥離を防止できる。【００４４】
なお、本実施形態における集電対１１の表面には凸部１１ａが規則的に配列されているが、凸部１１ａの配列が規則的でなくても本発明の効果を得ることができる。【００４５】
本実施形態の負極は、図１に示す構成に限定されない。例えば、各活物質粒子１４は一方向に成長した粒子でなくてもよく、成長方向Ｓの異なる複数の部分を有していてもよい。以下、本実施形態の負極の他の構成の一例を説明する。【００４６】
図２は、本実施形態の負極の他の構成を例示する模式的な断面図である。図２に示す例では、活物質粒子１４は、成長方向Ｓによって７つの部分ｐ１〜ｐ７に分けられる。このような活物質粒子１４は、蒸着方向を変化させて複数段階の蒸着を行うことによって得られる。各活物質粒子１４における複数の部分ｐ１〜ｐ７の成長方向は、全て異なっていてもよい。また、複数の部分ｐ１〜ｐ７の成長方向は、活物質粒子ごとに同じであってもよいし、異なっていてもよい。さらに、集電体１１の両面に、それぞれ、第１活物質層１２および活物質粒子１４が形成された負極を作製する場合には、それぞれの面に形成された活物質粒子１４の構造（成長方向や厚さなど）は同じであってもよいし、異なっていてもよい。【００４７】
次に、本実施形態の負極の製造方法を説明する。本実施形態の製造方法は、集電体の表面に第１活物質層を形成する工程と、第１活物質層の上に複数の活物質粒子を形成することにより、第２活物質層を得る工程とを含む。第１活物質層の形成は、スパッタ法または蒸着法などの真空プロセスによって行うことが好ましい。また、第２活物質層の形成には、真空プロセスの中でも成膜速度の大きい蒸着法が好適に用いられる。電池容量を確保するために第２活物質層の厚さを大きくする必要があるからである。【００４８】
以下、図面を参照しながら、図１に示す負極１０を製造する方法を具体的に説明する。図３（ａ）〜（ｅ）は、負極１０の製造方法を説明するための工程断面図である。【００４９】
まず、図３（ａ）に示すように、表面に複数の凸部１１ａを有する集電体１１を作製する。このような集電体１１は、例えば金属箔（Ｃｕ箔）の表面に、切削法を用いて所定のパターンの溝１１ｂを設けることによって作製してもよいし、メッキ法または転写法により、金属箔の表面に複数の凸部１１ａを形成することによって作製してもよい。【００５０】
次に、図３（ｂ）に示すように、集電体１１を真空チャンバー内に設置し、集電体１１の表面の法線方向Ｄに沿ってケイ素を入射させる。このとき、真空チャンバー内に酸素ガスを導入して、酸素を共存させた状態でケイ素を入射すると、集電体１１の表面にケイ素酸化物を堆積させることができる（反応性スパッタまたは反応性蒸着）。【００５１】
このようにして、図３（ｃ）に示すように、集電体１１の表面全体を覆う第１活物質層１２が得られる。第１活物質層１２はＳｉＯx（０＜ｘ＜１）の化学組成を有する。第１活物質層１２の化学組成におけるｘの値や第１活物質層１２の厚さは、成膜時の出力、時間、上記真空チャンバー内に導入する酸素ガス量（すなわち雰囲気の酸素濃度）などを調整することにより制御される。【００５２】
続いて、第１活物質層１２が形成された集電体１１を真空チャンバーに設置し、図３（ｄ）に示すように、集電体１１の法線方向Ｄに対して角度（入射角度）θをなす方向Ｅから、集電体１１の表面にケイ素を入射させる。ここでも、真空チャンバー内に酸素ガスを導入して、酸素を共存させた状態でケイ素を入射させると、ケイ素を酸素と反応させながら集電体１１の表面に蒸着させることができる（反応性蒸着）。【００５３】
このとき、Ｓｉ原子は、特定の方向Ｅから集電体１１の表面に入射するために、集電体１１の表面における凸部１１ａの上に蒸着しやすく、従って、ケイ素酸化物は凸部１１ａの上で柱状に成長する。そのため、集電体３の表面には、凸部１１ａや柱状に成長していくケイ素酸化物の影となり、Ｓｉ原子が入射せずにケイ素酸化物が蒸着しない領域が形成される（陰影効果またはシャドウイング効果）。図示する例では、このようなシャドウイング効果により、隣接する凸部１１ａの間の溝１１ｂの上にはＳｉ原子は付着せず、ケイ素酸化物は成長しない。【００５４】
従って、図３（ｅ）に示すように、集電体１１の凸部１１ａの上に、第１活物質層１２を介して、選択的に活物質粒子１４を成長させることができ、複数の活物質粒子１４から構成される第２活物質層１５を得る。活物質粒子１４の成長方向αは、ケイ素原子の入射角度θによって決まる。具体的には、成長方向αと入射角度θとは２ｔａｎα＝ｔａｎθの関係を満たす。得られた活物質粒子１４は、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）の化学組成を有する。活物質粒子１４の化学組成におけるｘの値や第２活物質層１５の厚さは、蒸着時の出力、時間、上記真空チャンバー内に導入する酸素ガス量（すなわち雰囲気の酸素濃度）などを調整することにより制御される。【００５５】
上記方法において、シャドウイング効果を利用して、凸部１１ａの上に選択的に活物質粒子を成長させるためには、集電体１１の法線方向Ｄに対するＳｉ原子の入射角度θと、集電体１１の表面に形成された凸部１１ａの高さＨおよび隣接する凸部１１ａの距離Ｌとの関係は、Ｌ＜Ｈ・ｔａｎθを満足することが好ましい。上記関係を満足するような角度θでＳｉ原子を入射させると、溝１１ｂの底面全体が凸部１１ａの影となるため、溝１１ｂの上にはＳｉ原子が入射しない。よって、凸部１１ａの上にのみ、第１活物質層１２を介して、ケイ素酸化物を蒸着させることができる。【００５６】
一方、Ｌ≧Ｈ・ｔａｎθとなる場合では、溝１１ｂの一部は凸部１１ａの影とならないために、溝１１ｂの上にもケイ素酸化物が蒸着される可能性がある。しかしながら、凸部１１ａの上では、溝１１ｂの上よりもケイ素酸化物が蒸着しやすいため、ケイ素酸化物は速く成長する。上述したように、ケイ素酸化物の成長方向αは入射角度θと２ｔａｎα＝ｔａｎθの関係を満たすために、ケイ素酸化物が成長するにつれて、Ｓｉ原子の入射方向Ｅに対して影となる領域が増加していく。溝１１ｂの全体が影となると、溝１１ｂに蒸着されたケイ素酸化物は、シャドウイング効果によってそれ以上成長しなくなる。従って、凸部１１ａの高さＨおよび間隔Ｌとケイ素の入射角度θとの関係がＬ≧Ｈ・ｔａｎθとなる場合であっても、各凸部１１ａに形成された活物資粒子１４の間に、空隙を確保することが可能である。【００５７】
上記方法の第１活物質層を形成する工程では、図３（ｂ）を参照しながら説明したように、集電体１１の法線方向Ｄに沿ってケイ素を集電体１１の表面に供給しているが、ケイ素を供給する方向（入射方向）は法線方向Ｄと略同じでなくてもよい。好ましくは、ケイ素の入射方向と集電体１１の法線方向Ｄとのなす角度（入射角度）が十分小さく、例えば±２０°以内である。ケイ素原子の入射角度が±２０°以下であれば、前述したようなシャドウイング効果がほとんど生じないので、集電体１１の表面全体、すなわち凸部１１ａの上面のみでなく、凸部１１ａの側面および溝１１ｂの上にも、より均一に第１活物質層１２を形成することができる。【００５８】
第１活物質層１２の形成には、スパッタ法または蒸着法が好適に適用され得る。スパッタ法または蒸着法で形成された第１活物質層１２は、活物質粒子１４と集電体１１との密着強度をより効果的に向上できる。また、これらのうち何れの方法を用いた場合でも、第１活物質層１２の酸素比率および厚さが同じであれば略同等の効果が得られる。なお、量産性の観点から、特に厚さの大きい（例えば０．５μｍ以上）第１活物質層１２を形成する場合には蒸着法を用いることが好ましい。【００５９】
第２活物質層を形成する工程では、図３（ｄ）を参照しながら説明したように、集電体１１の法線方向Ｄに対して６０°の角度をなす方向Ｅから集電体１１の表面にケイ素を入射させているが、ケイ素の入射角度θはこれに限定されない。入射角度θの好適な範囲は、集電体１１の表面に形成された凹凸パターンによって異なるが、例えば２０°以上９０°以下であり、これにより、所望の成長方向を有する活物質粒子を形成できる。【００６０】
第１活物質層１２の形成および第２活物質層１５の形成は、同一の真空チャンバー内で行ってもよい。あるいは、真空チャンバー内で第１活物質層１２を形成した後、その真空チャンバーから取り出し、続いて、再度同一のまたは異なる真空チャンバーに設置して第２活物質層１５の形成を行ってもよい。【００６１】
また、第１活物質層１２や第２活物質層１５の形成は、集電体１１を真空チャンバー内に固定した状態で行ってもよいし、ローラーを用いて真空チャンバー内で集電体１１を走行させて、ローラー（基板冷却ロール）の上で第１活物質層１２や第２活物質層１５を形成することもできる。ローラーの代わりに無終端ベルトを用い、無終端ベルトが直線状となる部分上を走行している集電体１１に対して第１活物質層１２や第２活物質層１５を形成してもよい。なお、集電体１１を真空チャンバー内に固定する場合であっても走行させる場合であっても、第１活物質層の形成工程では、集電体１１の表面と蒸発源（例えばケイ素）からのケイ素原子の入射方向とが略垂直になるように、集電体１１および蒸発源を配置する必要があり、第２活物質層の形成工程では、集電体１１の表面と蒸発源からのケイ素原子の入射方向Ｅとが所定の角度θをなすように、集電体１１および蒸発源を配置する必要がある。【００６２】
次に、図面を参照しながら、本実施形態の負極１０を適用して得られたリチウムイオン二次電池の構成の一例を説明する。【００６３】
図４は、本実施形態の負極を用いたコイン型のリチウムイオン二次電池を例示する模式的な断面図である。リチウムイオン二次電池５０は、負極４０と、正極３９と、負極１０および正極３９の間に設けられた微多孔性フィルムなどからなるセパレータ３４とを備えている。正極３９は、正極集電体３２と、正極活物質を含む正極合剤層３３とを有している。負極４０は、負極集電体３７と、ＳｉＯxを含む負極活物質層３６とを有している。負極４０および正極３９は、セパレータ３４を介して、負極活物質層３６と正極合剤層３３とが対向するように配置されている。セパレータ３４は正極３９の上に配置され、必要に応じて電解質溶液を含んでいる。負極４０、正極３９およびセパレータ３４は、リチウムイオン伝導性を有する電解質とともに、ガスケット３８を有する封口板３５によって、ケース３１の内部に収納されている。また、図示しないが、ケース３１の内部には、ケース３１における空間（ケース内高さの不足分）を埋めるためのステンレス製スペーサが配置されている。ケース３１は、封口板３５の周縁部をガスケット３８を介してかしめることにより密封されている。【００６４】
負極４０は、図１を参照しながら前述したような構成を有している。すなわち、負極集電体３７における正極合剤層３３と対向する側の表面は、図１を参照しながら前述したような凹凸パターンを有している。また、負極活物質層３６は、負極集電体３７の表面を覆う第１活物質層と、第１活物質層の上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層とを有している。【００６５】
本実施形態では、リチウム二次電池５０における負極４０以外の構成要素は特に限定されない。例えば、正極合剤層３３には、コバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ2）、ニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ2）、マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ2Ｏ4）などのリチウム含有遷移金属酸化物を用いることができるが、これに限定されない。また、正極合剤層３３は、正極活物質のみで構成してもよいし、正極活物質と結着剤と導電剤とを含む合剤で構成してもよい。また、正極合剤層３３は、負極活物質層３６における第２活物質層のように、複数の活物質粒子から構成されていてもよい。なお、正極集電体３２には、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｔｉなどの金属を用いることが好ましい。【００６６】
リチウムイオン伝導性の電解質には、様々なリチウムイオン伝導性の固体電解質や非水電解液が用いられる。非水電解液には、非水溶媒にリチウム塩を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。セパレータや外装ケースも特に限定されず、様々な形態のリチウム二次電池に用いられている材料を、特に限定なく、用いることができる。【００６７】
なお、本実施形態の負極は、図４に示すようなコイン型のリチウムイオン二次電池５０に限定されず、円筒型、扁平型、角形等の様々な形状のリチウム二次電池に適用可能である。また、リチウム二次電池の封止形態や電池を構成する各要素の材料も特に限定されない。さらに、リチウム二次電池以外の非水電解質二次電池にも適用できる。【００６８】
（実施例および比較例）
以下、本発明による実施例および比較例を説明する。ここでは、実施例として、第１活物質層の厚さ、酸素比率および形成方法などの異なる１０個の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０を作製し、比較例として、第１活物質層を有さない負極（負極Ａ）を作製したので、その方法および構造を説明する。また、実施例および比較例の負極およびこれらの負極を用いた電池の特性を評価し、比較を行ったので、評価方法および評価結果を説明する。【００６９】
（ｉ）実施例の負極の作製
＜集電体の作製＞
本実施例における集電体を次のような方法で作製した。まず、厚さが１８μｍの圧延銅箔の上にネガ型フォトレジスト（厚さ：例えば１０μｍ）を塗布する。次いで、菱形のパターンのネガ型マスクを用いて、銅箔上のレジストフィルムを露光、現像し、レジストフィルムに集電体の表面を露出させる複数の開口部を形成した。続いて、開口部によって露出させた集電体の表面に電解法により銅粒子を析出させて、上面が菱型の四角柱構造を有する凸部を形成した。この後、レジストフィルムを除去した。このようにして、表面に複数の四角柱状の凸部が規則的に配列された集電体を得た。【００７０】
図５（ａ）および（ｂ）は、上記方法で得られた集電体の構造を説明するための図であり、（ａ）は、集電体の表面に垂直で、後のプロセスで活物質粒子を成長させようとする方向を含む断面図であり、（ｂ）は、集電体の表面を法線方向からみた平面図である。【００７１】
本実施例における集電体１１の表面には、図５（ｂ）に示すように、複数の凸部１１ａが規則的に配列されており、各凸部１１ａの上面は、集電体１１の法線方向から見て菱形であり、菱形の対角線の長さは１２μｍ×２８μｍであった。隣接する凸部１１ａの中心間の最短距離Ｐ１は２２μｍ、菱形の各辺に平行な方向における配列ピッチＰ２は３１μｍであった。また、図５（ａ）に示す断面における隣接する凸部１１ａの間の距離Ｌは、１０μｍであった。各凸部１１ａの高さＨは１０μｍであり、凸部１１ａの上面のＲａは０．６μｍであり、十点平均高さＲｚは０．９μｍであった。なお、ここでいう十点平均高さＲｚは日本工業規格（ＪＩＳＢ  ０６０１―１９９４）に定められた十点平均粗さＲｚを指す。【００７２】
＜第１活物質層の形成＞
上記方法により１０個の集電体を作製した後、これらの集電体に第１活物質層を形成して、サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．１０を得た。【００７３】
サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．８の第１活物質層の作製は、ターゲットとしてケイ素、反応性ガスとして酸素ガスを用い、反応性スパッタ法で、集電体の表面全体を覆う酸化ケイ素膜を形成することにより行った。形成条件を以下に示す。ただし、サンプルによって、酸素ガスの導入量や成膜時間を変化させて、第１活物質層の酸素比率および厚さのそれぞれ異なる第１活物質層を形成した。【００７４】
・ＲＦスパッタ条件
集電体のサイズ：１０ｃｍ×１０ｃｍ
集電体−ターゲット間距離：７ｃｍ
導入ガス：Ａｒ（２５ｓｃｃｍ）、酸素（０ｓｃｃｍ〜５ｓｃｃｍ）
出力：１．３ｋＷ
成膜レート：１ｎｍ／秒【００７５】
一方、サンプルＮｏ．９およびＮｏ．１０の第１活物質層として、ターゲットとしてケイ素、反応性ガスとして酸素ガスを用い、反応性蒸着法で集電体の表面全体を覆う酸化ケイ素膜を形成した。ここでは、図７（ａ）および（ｂ）に示す蒸着装置６０を用い、集電体に対するケイ素の入射角度θが約０°となるように、蒸着装置６０の固定台６３を水平面６９と平行となるように固定した状態で反応性蒸着を行った。また、サンプルＮｏ．９およびＮｏ．１０では、成膜時間を変化させて、厚さの異なる第１活物質層を形成した。なお、蒸着装置６０は、後の第２活物質層の形成工程でも用いられるので、その構成については、後で詳しく説明する。【００７６】
・真空蒸着条件
集電体のサイズ：１０ｃｍ×１０ｃｍ
集電体−ターゲット間距離：１５ｃｍ
導入ガス：酸素（７０ｓｃｃｍ）
ＥＢ出力：４ｋＷ
成膜レート：８ｎｍ／秒【００７７】
各サンプルにおける第１活物質層の厚さおよび酸素比率ｘを表１に示す。第１活物質層の酸素比率ｘは、各サンプルのＳｉ量をＩＣＰ発光分析、酸素量を燃焼分析法で測定し、得られたＳｉ量および酸素量に基づいて算出した。【００７８】
【表１】
2008111315.tif 000003
【００７９】
図６は、上記サンプルのうちサンプルＮｏ．３を電子顕微鏡で観察した結果を示す図であり、（ａ）は、集電体の表面に垂直な断面図、（ｂ）は集電体の表面に形成された凸部の拡大断面図である。これらの図から、集電体１１の表面には凸部１１ａが配列されており、凸部１１ａの上面および側面を含む集電体１１の表面全体を覆うように、厚さが０．５μｍ程度の第１活物質層１２が形成されていることがわかった。【００８０】
なお、図６（ａ）に示すサンプルＮｏ．３では、集電体１１の両面に複数の凸部１１ａが形成されているが、これは、例えば円筒型のリチウム二次電池のように、正極および負極を、両者の間にセパレータを挟持しながら積層させる構造の電池に適用するためであり、例えばコイン型のリチウム二次電池に適用する場合には、集電体１１の少なくとも一方の表面が凸部１１ａを有し、第１活物資層１２で覆われていればよい。【００８１】
＜第２活物質層の形成＞
次いで、上記のサンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．１０のそれぞれに第２活物質層を形成することにより、実施例の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０を作製した。【００８２】
負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の第２活物質層の形成は、電子ビームを加熱手段（図示せず）として具備する蒸着装置（（株）アルバック製）を用い、斜方蒸着法によって行った。【００８３】
はじめに、本実施例で用いた蒸着装置の構成を説明する。図７（ａ）および（ｂ）は、本実施例で用いた蒸着装置を説明するための図であり、互いに９０°異なる方向から見た模式的な断面図である。【００８４】
図７に示す蒸着装置６０は、チャンバー６２と、チャンバー６２を排気するための排気ポンプ（図示せず）とを備えている。チャンバー６２の内部には、第１活物質層が形成された集電体（上記の各サンプル）６７を固定するための固定台６３と、チャンバー６２に酸素ガスを導入するための配管６５と、配管６５に接続され、酸素ガスを出射するためのノズル６４と、サンプル６７の表面にケイ素を供給するための蒸発源６６とが設置されている。また、図示しないが、蒸発源６６の材料を蒸発させるための電子ビーム加熱手段を備えている。配管６５は、マスフローコントローラを経由して、酸素ボンベと接続されている。ノズル６４は、ノズル６４から出射する酸素ガスが集電体６７の表面に供給されるように位置付けられている。蒸発源６６は、固定台６３の鉛直下方に配置されている。本実施例では、蒸発源６６として、純度９９．９９９９％のケイ素（（株）高純度化学研究所製）を用いた。【００８５】
次に、負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．９の第２活物質層の形成方法を説明する。ここでは、上記蒸着装置６０を用いて、サンプルＮｏ．１〜  Ｎｏ．９の第１活物質層上に、それぞれ、集電体の法線に対して６０°傾斜した方向から蒸着を行い、第２活物質層を形成した。【００８６】
まず、各サンプルを、第１活物質層が形成された側が上面になるように固定台６３に設置し、固定台６３を回転させて、図７（ｂ）に示すように、水平面６９に対する固定台４３の角度θ’が６０°（θ’＝６０°）となる位置で固定した。なお、図７（ｂ）は、集電体表面に垂直で、かつ、蒸着方向を含む断面図であり、「水平面」とは、蒸発源６６の材料（ケイ素）が気化されて固定台６３に向う方向に対して垂直な面６９をいう。従って、固定台６３の傾斜角度θ’は、固定台６３に設置されたサンプル６７に対するケイ素の入射角度θと等しく、これを調整することにより、サンプル６７における第１活物質層の表面に成長させる活物質粒子の成長方向を制御できる。【００８７】
この状態で、酸素ガスをノズル６４から導入しながら、サンプル６７における第１活物質層の表面に対してケイ素を入射させた。本実施例では、蒸発源６６に照射する電子ビームの加速電圧を−９ｋＶ、エミッションを４００ｍＡにそれぞれ設定した。蒸発源６６からのケイ素単体の蒸気は、チャンバー６２に導入された酸素（酸素ガスの流量：１０ｓｃｃｍ）とともに、固定台６３に設置されたサンプル６７の表面に供給され、その結果、サンプル６７の表面に、ケイ素と酸素とを含む化合物（ケイ素酸化物）からなる活物質粒子が成長した。このようにして、第１活物質層の上に、複数の活物質粒子から構成される第２活物質層が得られた。蒸着時間は、第２活物質層の厚さが２２μｍとなるように調整した。【００８８】
一方、負極Ｎｏ．１０の第２活物質層は、上記蒸着装置６０を用い、サンプルＮｏ．１０の第１活物質層上に、蒸着方向を切り換えながら複数段階の蒸着工程を行うことによって形成した。【００８９】
まず、サンプルＮｏ．１０を、第１活物質層が形成された側が上面になるように固定台６３に設置し、固定台６３を回転させて、図７（ｂ）に示すように、水平面６９に対する固定台４３の角度θ’が６０°（θ’＝６０°）となる位置で固定した。この状態で蒸着を行い、厚さが３μｍのケイ素酸化物を成長させた（第１段目の蒸着工程）。なお、前述したように、上記角度θ’は、固定台６３に設置されたサンプルに対するケイ素の入射角度θと等しい。次いで、固定台４３を回転させて、上記角度θ’が−６０°となる位置に固定し、さらに厚さが３μｍのケイ素酸化物を成長させた（第２段目の蒸着工程）。このようにして、角度θ’を６０°と−６０°との間で切り換えながら、第７段まで蒸着工程を繰り返し、厚さが２１μｍの第２活物質層を得た。【００９０】
上記方法で得られた実施例の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０のＳｉ量をＩＣＰ発光分析（ＩＣＰ  Ａｔｏｍｉｃ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）、酸素量を燃焼分析法でそれぞれ測定し、Ｓｉ量および酸素量の測定値から、第２活物質層における酸素比率の平均値ｘを算出した。その結果、表２に示すように、何れの負極でも酸素比率ｘは０．３であり、第２活物質層はＳｉＯ0.3で表わされる化学組成を有することがわかった。【００９１】
なお、これらの負極は、第２活物質層（活物質粒子）の他に第１活物質層も含んでいるので、上記測定で得られたＳｉ量および酸素量には第１活物質層のＳｉ量や酸素量も含まれてしまう。しかし、第１活物質層の厚さは、第２活物質層の厚さよりも極めて小さく、第１活物質層のＳｉ量や酸素量が第２活物質層の酸素比率に与える影響は非常に小さいため、本実施例では、上記の負極に含まれる活物質全体の酸素比率を、第２活物質層の酸素比率（ｘ）とした。【００９２】
図８は、上記負極のうち負極Ｎｏ．３を電子顕微鏡で観察した結果を示す図であり、集電体１１の表面に垂直で、かつ、活物質粒子を形成する際のケイ素の入射方向を含む断面図である。図８からわかるように、集電体１１の表面に複数の凸部１１ａが形成されており、この表面全体（凸部１１ａの側面も含む）を覆うように、厚さが０．５μｍ程度の第１活物質層１２が形成されていた。さらに、集電体１１の表面の各凸部１１ａの上には、第１活物質層１２を介して、活物質粒子１４が成長していることを確認した。【００９３】
（ｉｉ）比較例の負極の作製
比較例として、実施例と同様の方法で表面に複数の凸部を有する集電体を作製し、第１活物質層を形成せずに、集電体表面の凸部の上に直接活物資粒子を成長させることにより第２活物質層を形成した。比較例における第２活物質層は、図７に示す蒸着装置を用いて、実施例の第２活物質層の形成方法と同様の方法および条件で形成した。このようにして、比較例の負極Ａを得た。【００９４】
負極Ａにおける酸素比率を、実施例と同様の方法で測定したところ、実施例の各負極と同じ値（ｘ＝０．３）が得られた。【００９５】
図９は、負極Ａを電子顕微鏡で観察した結果を示す図であり、集電体１１の表面に垂直であり、かつ、ケイ素の入射方向を含む断面図である。図９から、集電体１１の凸部１１ａの上に直接活物質粒子１４が形成されていることを確認した。また、集電体１１の表面のうちケイ素の入射方向に対して影となる領域、すなわち入射方向に対して反対側に位置する凸部１１ａの側面や溝１１ｂの上は活物質で被覆されていないことを確認した。【００９６】
（ｉｉｉ）負極の評価
＜剥離強度の測定＞
上記（ｉ）（ｉｉ）の方法で作製した実施例および比較例の各負極について、タッキング試験機（株式会社レスカ製  ＴＡＣ−ＩＩ）を用いて、集電体１１に対する活物質の密着強度（剥離強度）を測定したので、測定方法および結果を説明する。【００９７】
まず、各負極から２ｃｍ×３ｃｍの剥離強度測定用サンプルを切り出した。次いで、タッキング試験機の測定子（先端直径２ｍｍ）の先端に両面テープ（日東電工製  Ｎｏ．５１５）を取り付け、剥離強度測定用サンプルの表面のうち測定子に対向する位置に、測定子を両面テープで貼付した。測定では、押し込み速度を３０ｍｍ／ｍｉｎ、押し込み時間を１０秒、荷重を４００ｇｆ、引き上げ速度を６００ｍｍ／ｍｉｎにそれぞれ設定した。測定の結果、得られた各負極の剥離強度を表２に示す。【００９８】
【表２】
2008111315.tif 000004
【００９９】
表２に示す結果から、第１活物質層を有する実施例の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０では、第１活物質層を有していない負極Ａよりも剥離強度が高くなることがわかった。よって、活物質粒子と集電体との間に第１活物資層を設ける構成により、活物質と集電体表面との密着性を向上できることが確認できた。【０１００】
また、負極Ｎｏ．８およびＮｏ．９における活物質の剥離強度は略同程度であった。この結果から、第１活物質層の厚さおよび酸素比率が同じであれば、反応性スパッタ法で第１活物質層を形成した場合（負極Ｎｏ．８）であっても、反応性蒸着で形成した場合（負極Ｎｏ．９）でも、略同等の剥離抑制効果が得られることがわかった。【０１０１】
＜電池の充放電試験＞
表２に示す負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および比較例の負極Ａを用いて、リチウム金属を対極とするコイン型電池Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および電池Ａを作製し、充放電試験を行った。なお、これらの電池では、実施例および比較例の各負極を用いて作製したコイン型電池用電極が正極となり、金属リチウムが負極となるが、上記コイン型電池用電極を負極とする電池を作製して充放電試験を行っても、以下と同様の結果が得られる。【０１０２】
まず、上記の各負極（負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および負極Ａ）を直径が１２．５ｍｍの円形状に成型し、コイン型電池用電極を作製した。次いで、直径１５ｍｍの円形状に打ち抜いた金属リチウム（厚さ：３００μｍ）を封口板に貼り付けた。この後、厚さが２０μｍの旭化成製のポリエチレンからなる微多孔性セパレータを円形状の金属リチウムの上に配置し、その上にコイン型電池用電極を配置した。続いて、１．２Ｍ  ＬｉＰＦ６，エチレンカーボネート／エチルメチルカーボネート／ジエチルカーボネート＝３／５／２（体積比）となるように調整した電解液を滴下した。厚さを調整する為に厚さが１００μｍのステンレス板を配置し、その上にケースを置いた後、かしめ機を用いて封口した。このようにして、電池Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および電池Ａが得られた。【０１０３】
得られた各電池について、充放電装置を用いて、以下の条件で充放電試験を行った。
充電：定電流充電  ０．１ｍＡ、  終止電圧  ０Ｖ、    休止時間３０分
放電：定電流放電  ０．１ｍＡ、  終止電圧  １．５Ｖ【０１０４】
上記充放電試験における１サイクル目の不可逆容量を求めたところ、表３に示すような結果が得られた。なお、不可逆容量は以下の式で与えられる。
不可逆容量（％）＝１００−｛（放電容量）／（充電容量）｝×１００
さらに、充放電試験後、これらの電池を分解して観察し、活物質の集電体からの剥離の有無を確認したので、この結果も表３に示す。【０１０５】
【表３】
2008111315.tif 000005
【０１０６】
表３に示すように、比較例の電池Ａでは、不可逆容量が７４％と非常に高くなった。これは、電池充放電後に電池Ａを分解して観察した結果からわかるように、集電体表面から活物質粒子が剥離したためと考えられる。一方、実施例の電池Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の不可逆容量は、何れも、比較例の電池Ａの不可逆容量よりも大幅に低く抑えられていた。活物質粒子と集電体との間に第１活物質層を設けることにより活物質の剥離が抑えられ、その結果、不可逆容量の低下が抑制されたためと考えられる。【０１０７】
さらに、本願発明者らの行った研究により、上記負極の第２活物質層と同じ化学組成（ＳｉＯ0.3）を有する負極活物質層では、３０〜３５％程度の不可逆容量（参照値）が生じることが確認されている。なお、この参照値は、負極活物質層の形状に関係なく、酸素導入量と成膜時間とによって決定される材料固有の値である。電池Ｎｏ．３〜Ｎｏ．１０の不可逆容量は上記参照値と同程度であり、このことから、電池Ｎｏ．３〜Ｎｏ．１０では、第２活物質層を構成する活物質を有効に利用できていることがわかった。一方、電池Ｎｏ．１およびＮｏ．２の不可逆容量は、比較例である電池Ａよりも低減されているものの、上記参照値より大きくなった。これは、第１活物質層における酸素比率が小さく（ｘ＝０．１）、第１活物質層が膨張しやすい上に、第１活物質層が比較的薄いため、電池Ｎｏ．３〜Ｎｏ．１０と比べて、第１活物質層と集電体表面との密着性が低くなったためと考えられる。【０１０８】
以上の評価結果から、集電体と活物質粒子との間に第１活物質層を形成することにより、第２活物質層と集電体との密着性を改善でき、その結果、活物質の剥離に起因する不可逆容量の増加を抑制できることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明の負極は、様々な形態のリチウム二次電池に適用することができるが、特に、高容量と良好なサイクル特性が要求されるリチウム二次電池に適用すると有利である。本発明の負極を適用可能なリチウム二次電池の形状は、特に限定されず、例えばコイン型、ボタン型、シート型、円筒型、偏平型、角型などの何れの形状でもよい。正極、負極およびセパレータからなる極板群の形態は、捲回型でも積層型でもよい。電池の大きさは、小型携帯機器などに用いる小型でも、電気自動車等に用いる大型でもよい。【０１１０】
本発明のリチウム二次電池は、例えば携帯情報端末、携帯電子機器、家庭用小型電力貯蔵装置、自動二輪車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車等の電源に用いることができるが、それらの装置の用途は特に限定されない。
【図１】
2008111315.tif 000006
【図２】
2008111315.tif 000007
【図３】
2008111315.tif 000008
【図４】
2008111315.tif 000009
【図５】
2008111315.tif 000010
【図６】
2008111315.tif 000011
【図７】
2008111315.tif 000012
【図８】
2008111315.tif 000013
【図９】
2008111315.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月27日(2008.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の凸部を有する集電体と、
前記集電体上に形成された第１活物質層と、
前記第１活物質層上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層とを有し、
前記複数の活物質粒子のそれぞれは、前記集電体における対応する凸部の上に位置し、
前記第１活物質層はＳｉＯｘ（０．１≦ｘ＜１）、前記複数の活物質粒子はＳｉＯｙ（０＜ｙ＜１）で表される化学組成を有し、
前記集電体と前記第１活物質層との接触面積は、前記複数の活物質粒子と前記第１活物質層との接触面積よりも大きいリチウム二次電池用負極。
【請求項２】
前記複数の凸部は前記集電体の表面に規則的に配列されている請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項３】
前記第１活物質層の厚さは０．０１μｍ以上３μｍ以下である請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項４】
前記複数の活物質粒子の成長方向は、前記集電体の法線方向に対して傾斜している請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項５】
リチウムイオンを吸蔵・放出可能な正極と、
請求項１に記載のリチウム二次電池用負極と、
前記正極と前記リチウム二次電池用負極との間に配置されたセパレータと、
リチウムイオン伝導性を有する電解質と
を含むリチウム二次電池。
【請求項６】
（Ａ）表面に複数の凸部を有する集電体を用意する工程と、
（Ｂ）前記集電体の表面に、ＳｉＯｘ（０．１≦ｘ＜１）で表される化学組成を有する第１活物質層を形成する工程と、
（Ｃ）前記集電体における各凸部の上に、前記第１活物質層を介して、ＳｉＯｙ（０＜ｙ＜１）で表される化学組成を有する活物質粒子を形成することにより、複数の活物質粒子を含む第２活物質層を形成する工程と
を包含するリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項７】
前記工程（Ｂ）は、前記集電体の法線方向に対して±２０°以内の角度をなす方向から前記集電体にケイ素を供給する工程を含み、
前記工程（Ｃ）は、前記集電体の法線方向に対して２０°以上９０°以下の角度をなす方向から前記集電体にケイ素を供給する工程を含む請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項８】
前記工程（Ｂ）をスパッタ法により行う請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項９】
前記工程（Ｂ）を蒸着法により行う請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年3月4日(2009.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の凸部を有する集電体と、
前記集電体上に形成された第１活物質層と、
前記第１活物質層上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層と
を有し、
前記複数の活物質粒子のそれぞれは、前記集電体における対応する凸部の上に位置し、
前記第１活物質層はＳｉＯx（０．１≦ｘ＜１）、前記複数の活物質粒子はＳｉＯy（０＜ｙ＜１）で表される化学組成を有し、
前記集電体と前記第１活物質層との接触面積は、前記複数の活物質粒子と前記第１活物質層との接触面積よりも大きいリチウム二次電池用負極。
【請求項２】
前記複数の凸部は前記集電体の表面に規則的に配列されている請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項３】
前記第１活物質層の厚さは０．０１μｍ以上３μｍ以下である請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項４】
前記複数の活物質粒子の成長方向は、前記集電体の法線方向に対して傾斜している請求項１に記載のリチウム二次電池用負極。
【請求項５】
リチウムイオンを吸蔵・放出可能な正極と、
請求項１に記載のリチウム二次電池用負極と、
前記正極と前記リチウム二次電池用負極との間に配置されたセパレータと、
リチウムイオン伝導性を有する電解質と
を含むリチウム二次電池。
【請求項６】
（Ａ）表面に複数の凸部を有する集電体を用意する工程と、
（Ｂ）前記集電体の表面に、ＳｉＯx（０．１≦ｘ＜１）で表される化学組成を有する第１活物質層を形成する工程と、
（Ｃ）前記集電体における各凸部の上に、前記第１活物質層を介して、ＳｉＯy（０＜ｙ＜１）で表される化学組成を有する活物質粒子を形成することにより、複数の活物質粒子を含む第２活物質層を形成する工程と
を包含するリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項７】
前記工程（Ｂ）は、前記集電体の法線方向に対して±２０°以内の角度をなす方向から前記集電体にケイ素を供給する工程を含み、
前記工程（Ｃ）は、前記集電体の法線方向に対して２０°以上９０°以下の角度をなす方向から前記集電体にケイ素を供給する工程を含む請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項８】
前記工程（Ｂ）をスパッタ法により行う請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【請求項９】
前記工程（Ｂ）を蒸着法により行う請求項６に記載のリチウム二次電池用負極の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リチウム二次電池用負極およびその製造方法、ならびにリチウム二次電池用負極を備えたリチウム二次電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータ、携帯電話などのポータブル機器の開発に伴い、その電源としての電池の需要が増大している。上記のような用途に用いられる電池には、高いエネルギー密度が要求される。このような要求に対して、リチウム二次電池が注目され、その正極および負極のそれぞれにおいて、従来よりも高容量の活物質の開発が行われている。なかでも、非常に高い容量が得られる負極活物質として、ケイ素（Ｓｉ）もしくは錫（Ｓｎ）の単体、酸化物または合金が有望視されている。
【０００３】
しかし、これらの負極活物質を用いてリチウム二次電池用の負極を構成すると、充放電の繰り返しに伴って負極に変形が生じるという問題がある。上記のような負極活物質は、リチウムイオンと反応する際に大きな体積変化を生じるため、充放電の際の負極活物質に対するリチウムイオンの挿入および脱離の反応によって、負極活物質が大きく膨張・収縮する。そのため、充放電を繰り返すと、負極に大きな応力が発生して歪みが生じ、しわや切れ等を引き起こすおそれがある。また、負極に歪みが生じて変形すると、負極とセパレータとの間に空間が生じて、充放電反応が不均一になり、電池の特性を局部的に低下させるおそれがある。従って、上記の負極活物質を用いて、十分な充放電サイクル特性を有するリチウム二次電池を得ることは困難であった。
【０００４】
このような問題を解決するために、特許文献１は、集電体上に、ケイ素からなる複数の柱状の活物質粒子を形成することを提案している。この構成によると、活物質粒子間にケイ素の膨張応力を緩和する空間を確保できるので、負極の変形を抑えることができ、サイクル特性の劣化を抑制できる。また、特許文献２は、集電体上に、リチウムと合金を形成する活物質からなる複数の柱状体を規則的に配列させた電極構造を提案している。この電極構造でも、柱状体間の空隙を埋めるように柱状体が膨張するので、膨張応力による電極特性の低下を抑えることができる。
【０００５】
特許文献１および２に提案された負極では、集電体表面に選択的に複数の柱状の活物質粒子または活物質体が形成されており、これらの活物質粒子または活物質体は、集電体の法線方向に沿って直立している。しかし、このような負極を備えたリチウム二次電池では、正極活物質層の大部分が、負極活物質からなる活物質粒子や活物質体と対向せず、集電体表面のうち活物質で覆われていない部分（「集電体の露出部」とする）と対向してしまう。そのため、充電時に正極活物質層から供給されるリチウムは、負極活物質に吸蔵されずに、負極集電体の露出部に析出しやすくなる。よって、放電時に負極からリチウムを効率良く放出され難くなるので、充放電効率が低下するおそれがある。
【０００６】
これに対して、本出願人による特許文献３および特許文献４や、集電体上に、負極活物質からなる複数の柱状の活物質粒子が形成された負極において、活物質粒子の長軸方向を、集電体表面の法線方向に対して傾斜させることを提案している。この構成によれば、正極活物質層のうち集電体の露出部と対向する部分の割合を小さくできるので、正極活物質と負極活物質とを十分に活用でき、特許文献１および特許文献２よりも高い容量維持率を得ることができる。
【特許文献１】特開２００３−３０３５８６号公報
【特許文献２】特開２００４−１２７５６１号公報
【特許文献３】特開２００５−１９６９７０号公報
【特許文献４】国際公開第２００７／０１５４１９号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３や特許文献４に提案された構成では、集電体表面に柱状の活物質粒子が形成されているため、各活物質粒子と集電体表面との接触面積が小さく、各活物質粒子と集電体との密着性を十分に確保できないおそれがある。従って、充放電を繰り返すと、活物質粒子および集電体の膨張率の違いによって、活物質粒子が集電体から剥離または脱落し、充放電特性を低下させる要因となり得る。
【０００８】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、負極活物質の膨張応力による負極の変形を抑えるとともに、負極活物質の集電体からの剥離または脱落を抑制し、リチウム二次電池の充放電サイクル特性を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のリチウム二次電池用負極は、表面に複数の凸部を有する集電体と、集電体上に形成された第１活物質層と、第１活物質層上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層とを有する。複数の活物質粒子のそれぞれは、集電体における対応する凸部の上に位置し、第１活物質層および複数の活物質粒子は、それぞれ、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有する。
【００１０】
本発明のリチウム二次電池用負極によると、活物質粒子と集電体との間に第１活物質層が形成されているので、集電体上に活物質粒子のみが形成された場合と比べて、活物質粒子と集電体との密着性を大幅に改善できる。従って、活物質粒子の集電体表面からの剥離を抑制できる。
【００１１】
また、集電体表面の複数の凸部によって活物質粒子間の間隔や第２活物質層に占める空隙の体積率（空隙率）を制御できるため、充電の際、活物質粒子や第１活物質層がリチウムイオンを吸蔵して膨張しても、その膨張空間を活物質粒子間に確保できる。よって、集電体にかかる膨張応力が緩和されるため、充放電の繰り返しによる負極の変形を抑制できる。
【００１２】
上述したように、充放電の繰り返しに伴う負極の変形や活物質粒子の集電体からの剥離を抑制できるので、リチウム二次電池の充放電サイクル特性を向上できる。また、活物質粒子の剥離に起因するリチウム二次電池の不可逆容量の増加を抑えることができる。
【００１３】
さらに、第１活物質層および活物質粒子はＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有するので、十分な充放電容量を確保できる。また、集電体表面に第１活物質層を設けることにより、集電体上に活物質粒子のみが形成された場合に比べて、集電体表面のうち活物質で覆われていない部分（露出部）の割合を減らすことができる。従って、本発明の負極を用いてリチウム二次電池を構成することにより、正極活物質層と集電体の露出部の対向面でリチウムが析出し、充放電効率が低下することを抑制できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、集電体と活物質粒子との間に第１活物質層を設けることにより、活物質粒子と集電体との密着性を向上できるので、活物質粒子の集電体からの剥離を抑制できる。また、各活物質粒子を集電体表面の対応する凸部の上に位置させることによって、活物質粒子間に、活物質粒子や第１活物質層が膨張するための空間を確保できるので、膨張応力を緩和でき、膨張応力に起因する負極の変形を抑制できる。従って、リチウム二次電池の充放電サイクル特性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明によるリチウム二次電池用負極のある好ましい実施形態を説明する。
【００１６】
まず、図１を参照する。図１は、本実施形態のリチウム二次電池用負極（以下、「負極」ともいう）の模式的な断面図である。
【００１７】
負極１０は、集電体１１と、集電体１１の表面に形成された第１活物質層１２と、第１活物質層１２の上に形成され、複数の活物質粒子１４を含む第２活物質層１５とを備える。集電体１１の表面には複数の凸部１１ａが規則的に配列されている。これらの凸部１１ａは、集電体１１の表面に形成された溝１１ｂによって規定されている。第１活物質層１２は、集電体１１の表面を覆うように形成されており、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有している。複数の活物質粒子１４は、集電体１１の対応する凸部１１ａの上に、第１活物質層１２を介して設けられており、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有している。また、各活物質粒子１４の成長方向Ｓは、集電体１１の法線方向Ｄに対して傾斜している。集電体１１の法線方向Ｄは、集電体１１の表面における凹凸を平均化して得られる仮想的な平面に対して垂直な方向をいうものとする。
【００１８】
本明細書では、活物質粒子１４および第１活物質層１２の化学組成における上記ｘは、それぞれ、活物質粒子１４および第１活物質層１２のケイ素量に対する酸素量のモル比（以下、単に「酸素比率」ともいう）の平均値を意味する。なお、活物質粒子１４および第１活物質層１２の化学組成は、活物質粒子１４や第１活物質層１２に補填または吸蔵されたリチウムを除いた組成である。また、活物質粒子１４および第１活物質層１２は、実質的に上記化学組成を有していればよく、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｔｉなどの不純物を含んでいてもよい。
【００１９】
本実施形態の負極１０では、集電体１１の表面の略全体が第１活物質層１２で覆われており、第１活物質層１２と集電体１１との接触面積が大きいので、第１活物質層１２と集電体１１との密着性が極めて高い。また、活物質粒子１４は第１活物質層１２と接しているので、活物質粒子１４が集電体１１に接する構成と比べて、充放電の繰り返しによって剥離し難い。第１活物質層１２および活物質粒子１４は、何れもＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される化学組成を有し、充放電に伴う体積膨張率の差が小さいからである。従って、第１活物質層１２および活物質粒子１４が集電体１１から剥離することを抑制できる。
【００２０】
さらに、複数の活物質粒子１４は、集電体１１の表面に所定の間隔を空けて配置された凸部１１ａの上に第１活物質層１２を介して形成されており、溝１１ｂの上には形成されない。従って、活物質粒子１４の間に活物質粒子１４の膨張のための空間を確保できるので、電池の充放電に伴う活物質粒子１４の膨張および収縮によって生じる応力を緩和し、負極の変形を抑制することができる。
【００２１】
このように、本実施形態によると、充放電の繰り返しによる活物質の集電体１１からの剥離や負極の変形を抑制できるので、充放電サイクル特性および信頼性に優れた二次電池を提供することができる。
【００２２】
第１活物質層１２および活物質粒子１４の化学組成は、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）で表される。上記ｘは、上述したように、ケイ素量に対する酸素量のモル比（酸素比率）の平均値である。一般に、ケイ素を含む負極活物質では、その酸素比率が高くなるほど、理論容量は減少するが、充電による体積膨脹率が小さくなる。本実施形態では、ｘが０より大きいので、ケイ素（ｘ＝０）に比べて充放電に伴う膨張および収縮が抑えられており、従って、第１活物質層１２および活物質粒子１４の膨張応力に起因する充放電サイクル特性の低下を抑制できる。一方、ｘの値が大きくなりすぎると、電子伝導性が減少し、極板抵抗が増加するために出力特性が低下してしまう。本実施形態では、ｘは１未満であるため、極板抵抗を低く抑えることができる。
【００２３】
第１活物質層１２の化学組成におけるｘの値は、０．５以上１．０未満であることが好ましい。ｘが０．５以上であれば、充放電に伴う膨張および収縮をより効果的に抑えることができ、また、ｘが１．０以下であれば、極板抵抗をより低く抑えるとともに、高い理論容量を確保できる。
【００２４】
また、活物質粒子１４の化学組成におけるｘの値は０．０５以上０．７以下であることが好ましい。活物質の容量を確保するためにはｘの値を小さくする必要があるが、ｘの値を０．７以下であれば、高容量化を達成することが可能になる。なお、第１活物質層１２および活物質粒子１４におけるｘの値は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００２５】
本実施形態では、第１活物質層１２および活物質粒子１４における酸素濃度プロファイルは、厚さ方向に変化していてもよい。そのような場合でも、第１活物質層１２および活物質粒子１４におけるケイ素量に対する酸素量のモル比（酸素比率）の平均値ｘが上述した範囲内であればよい。
【００２６】
図１に示す構成では、第１活物質層１２は、集電体１１の表面全体を覆うように形成されており、その厚さｔ２は、集電体４の表面に亘って略均一である。ここでいう「集電体１１の表面全体」は、集電体１１の表面に形成された凸部１１ａの上面および側面も含む。このように、集電体１１の表面全体に第１活物質層１２が形成されていると、集電体１１と第１活物質層１２との接触面積が増大するだけでなく、活物質粒子１４をより確実に第１活物質層１２の上の配置できるので有利である。さらに、集電体１１の表面において、第１活物質層１２が形成されていない部分が存在すると、その部分の近傍で第１活物質層１２が剥離しやすくなると考えられるが、図示する構成によると、第１活物質層１２が集電体１１の表面全体を覆っているので、第１活物質層１２の剥離を効果的に抑制できる。
【００２７】
なお、本実施形態における第１活物質層１２は、集電体１１と活物質粒子１４とが直接接することがないように、集電体１１と活物質粒子１４との間に配置されていればよく、集電体１１の表面全体を覆っていなくてもよい。例えば、集電用リード部などを設けるために、必要に応じて、部分的に除去されていてもよい。また、第１活物質層１２の厚さｔ２も略均一でなくてもよい。そのような場合でも、集電体１１と第１活物質層１２との接触面積が、活物質粒子１４と第１活物質層１２との接触面積よりも十分に大きければ、活物質粒子１４が集電体１１から剥離することを効果的に抑制できる。
【００２８】
第１活物質層１２の厚さｔ２は、０．０１μｍ以上３μｍ以下であることが好ましい。第１活物質層１２の厚さｔ２が０．０１μｍ未満であれば、第１活物質層１２の強度が小さくなるため、充放電の繰り返しによって第１活物質層１２に破損が生じるおそれがあり、その結果、第１活物質層１２と集電体１１との接着強度を十分に向上できない場合があるからである。一方、第１活物質層１２の厚さｔ２が３μｍを超えると、充放電時の第１活物質層１２の膨張応力が大きくなるので、負極１０にしわ、切れなどを発生させるおそれがある。厚さｔ２は、より好ましくは０．０１μｍ以上１μｍ以下、さらに好ましくは０．０１μｍ以上０．７μｍ以下、であり、これにより、第１活物質層１２の膨張応力をより小さく抑えつつ、第１活物質層１２と集電体１１との接着強度を確保できる。第１活物質層１２の厚さｔ２は、集電体１１の表面全体に亘って略均一でなくてもよく、例えば、凸部１１ａの側面で薄く、上面で厚くてもよい。その場合には、例えば、第１活物質層１２のうち凸部１１ａの上面に位置する部分の厚さが上記厚さｔ２の範囲内であることが好ましい。
【００２９】
第１活物質層１２の厚さｔ２は、例えば電子顕微鏡観察を用いて簡便に測定することができる。なお、第１活物質層１２と活物質粒子１４との化学組成が略等しいために、これらの界面が特定できない場合には、第１活物質層１２の厚さｔ２として、第１活物質層１２のうち集電体１１の溝１１ｂの上に位置する部分の厚さを測定してもよい。
【００３０】
活物質粒子１４は、図１に示すように、集電体１１の法線方向Ｄに対して傾斜した成長方向Ｓを有することが好ましい。このような構成により、リチウム二次電池において、正極活物質層のうち活物質粒子１４と対向する部分の面積を増加させることができるので、充放電効率を高めることができる。このような活物質粒子１４は、例えば、酸素ガスが導入されたチャンバー内で、集電体３の表面に、集電体３の法線方向に対して傾斜した方向からケイ素を入射することによって形成できる（斜め蒸着）。
【００３１】
活物質粒子１４の成長方向Ｓと集電体３の法線方向Ｄとのなす角度は、１０°以上であることが好ましい。上記角度が１０°以上であれば、正極活物質層のうち活物質粒子１４と対向する部分の面積を十分に増加させることができるので、充放電効率をより確実に高めることができる。一方、上記角度は９０°未満であればよいが、９０°に近づくほど活物質粒子１４を形成することが困難となるため、８０°未満であることが好ましい。
【００３２】
なお、本実施形態の活物質粒子１４は、集電体１１の法線方向Ｄに沿って成長していてもよい。前述したように、特許文献１に開示された負極では、活物質粒子が集電体の法線方向に沿って直立しており、リチウム二次電池を構成した場合に、正極活物質層の一部が集電体の露出部（集電体表面のうち活物質で覆われていない部分）と対向するために、充放電効率が低下するという問題があった。これに対し、本実施形態によると、集電体１１の表面が第１活物質層１２で覆われており、露出していないため、活物質粒子１４が法線方向Ｄに対して傾斜していない場合であっても、正極活物質層と集電体の露出部とが対向することによる充放電効率の低下を防止できる。
【００３３】
また、図１に示す構成では、集電体１１の各凸部１１ａの表面に、第１活物質層１２を介して、１個ずつ活物質粒子１４が設けられているが、１個の凸部１１ａの表面に複数個の活物質粒子１４が設けられていてもよい。その場合でも、集電体１１の溝１１ｂには活物資粒子１４が存在しないので、溝１１ｂの上に活物質粒子１４の膨張空間を確保できる。
【００３４】
第２活物質層１５の厚さｔ５は、活物質粒子１４の厚さと等しく、特に限定しないが、電池のエネルギー密度、生産性、信頼性などの観点から、０．５μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。第２活物質層１５の厚さｔ５が０．５μｍ以上、より好ましくは５μｍ以上であれば、より高い電池エネルギーを得ることができる。また、厚さｔ５が５０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下であれば、活物質粒子１４を形成する際に生じるクラックを低減できるので、負極１０の信頼性を高めることができる。
【００３５】
第１活物質層１２および活物質粒子１４に含まれる活物質は、単結晶、多結晶、微結晶などの結晶質であってもよいし、アモルファスであってもよい。ここでいう「多結晶の活物質」とは、サイズが１００ｎｍより大きい複数の結晶子（結晶粒：ｃｒｙｓｔａｌｌｉｔｅ）を含み、「微結晶の活物質」とは、サイズが１００ｎｍ以下の複数の結晶子を含む。第１活物質層１２または活物質粒子１４に含まれる活物質が非晶質であるか、または微結晶であるかは、例えばＸ線回折（ＸＲＤ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）などを用いて確認することができる。例えば、第１活物質層１２または活物質粒子１４のＸＲＤ測定で得られる回折パターンにおいて、シャープなピークが見られず、ブロードなハローパターンだけが観測される場合、その第１活物質層１２または活物質粒子１４は実質的に非晶質であると判断できる。
【００３６】
本実施形態における集電体１１は、特に限定しないが、銅、銅合金、チタン、ニッケル、ステンレスなどの金属箔の表面に、溝１１ｂおよび複数の凸部１１ａを含む規則的な凹凸パターンを形成することによって得られる。金属箔としては、例えば圧延銅箔、圧延銅合金箔、電解銅箔、電解銅合金箔などの金属箔が好適に用いられる。凹凸パターンが形成される前の金属箔の厚さは、特に限定されないが、例えば１μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。５０μｍ以下であれば、体積効率を確保でき、また、１μｍ以上であれば、集電体１１の取り扱いが容易となるからである。また、凹凸パターンの形成方法も特に限定されず、切削法、メッキ法、転写法などを用いることができる。
【００３７】
集電体１１の表面にこのような規則的な凹凸パターンが形成されていると、第１活物質層１２の表面もこれを反映したパターンを有する。このような第１活物質層１２の上に、上述した斜め蒸着によってケイ素酸化物を成長させると、シャドウイング効果を利用して、凸部１１ａの上にのみ選択的に活物質粒子１４を形成できる。シャドウイング効果については、後で詳述する。従って、凹凸パターンにおける凸部１１ａや溝１１ｂの形状やサイズ、配列ピッチなどを適宜選択することにより、活物質粒子１４の配置や間隔を調整することができ、第２活物質層１５に占める空隙の体積率（空隙率）を制御できるので、活物質粒子１４の膨張による負極１０の変形を効果的に抑えることができる。なお、凹凸パターンの構成や形成方法は、本願の出願人による未公開の特許出願（特願２００６−２８４９１８号）にも例示されている。
【００３８】
本実施形態における凸部１１ａは、図１に示すような柱状体に限定されない。集電体１１の法線方向Ｄから見た凸部１１ａの正投影像は、正方形、長方形、台形、菱形および平行四辺形などの多角形、円形、楕円形などであってもよい。また、集電体１１の表面に対して垂直な断面における凸部１１ａの形状は、例えば多角形、半円形、弓形などである。凸部１１ａの高さＨは、例えば２μｍ以上２０μｍ以下である。
【００３９】
凸部１１ａの上面における幅Ｗは５０μｍ以下が好ましく、これにより、活物質粒子１４の膨張応力による負極１０の変形をより効果的に抑制できる。より好ましくは２０μｍ以下である。一方、凸部１１ａの上面の幅Ｗが小さすぎると、活物質粒子１４と第１活物質層１２との接触面積を十分に確保できないおそれがあるため、幅Ｗは１μｍ以上であることが好ましい。さらに、凸部１１ａが、集電体１１の表面に垂直な側面を有する柱状体である場合には、隣接する凸部１１ａの間の距離Ｌ、すなわち溝１１ｂの幅は、好ましくは凸部１１ａの幅Ｗの３０％以上、より好ましくは５０％以上であり、これにより、活物質粒子１４の間に十分な空隙を確保して膨張応力を大幅に緩和できる。一方、隣接する凸部１１ａの間の距離Ｌが大きすぎると、容量を確保するために活物質粒子１４の厚さが増大してしまうため、距離Ｌは凸部１１ａの幅Ｗの２５０％以下であることが好ましく、より好ましくは２００％以下である。なお、凸部１１ａの上面の幅Ｗおよび隣接する凸部１１ａの距離Ｌは、それぞれ、集電体１１の表面に垂直で、かつ、活物質粒子１４の成長方向を含む断面における幅および距離を指すものとする。
【００４０】
また、各凸部１１ａの上面は平坦であってもよいが、凹凸を有することが好ましく、その表面粗さＲａは０．３μｍ以上５．０μｍ以下であることが好ましい。
【００４１】
ここでいう「表面粗さＲａ」とは、日本工業規格（ＪＩＳＢ  ０６０１―１９９４）に定められた「算術平均粗さＲａ」を指し、例えば表面粗さ計などを用いて測定できる。凸部１１ａの上面が、表面粗さＲａが０．３μｍ以上の凹凸を有していれば、その上に形成される第１活物質層１２も同様の表面凹凸を有し、凸部１１ａの上に活物質粒子１４が成長しやすく、その結果、活物質粒子１４の間に十分な空隙を確実に形成できる。一方、表面粗さＲａが大きすぎると集電体１１が厚くなってしまうため、表面粗さＲａは５．０μｍ以下であることが好ましい。さらに、集電体１１の表面粗さＲａが上記範囲内（０．３μｍ以上５．０μｍ以下）であれば、集電体１１と第１活物質層１２との付着力を十分に確保できるので、第１活物質層１２の剥離を防止できる。
【００４２】
なお、本実施形態における集電対１１の表面には凸部１１ａが規則的に配列されているが、凸部１１ａの配列が規則的でなくても本発明の効果を得ることができる。
【００４３】
本実施形態の負極は、図１に示す構成に限定されない。例えば、各活物質粒子１４は一方向に成長した粒子でなくてもよく、成長方向Ｓの異なる複数の部分を有していてもよい。以下、本実施形態の負極の他の構成の一例を説明する。
【００４４】
図２は、本実施形態の負極の他の構成を例示する模式的な断面図である。図２に示す例では、活物質粒子１４は、成長方向Ｓによって７つの部分ｐ１〜ｐ７に分けられる。このような活物質粒子１４は、蒸着方向を変化させて複数段階の蒸着を行うことによって得られる。各活物質粒子１４における複数の部分ｐ１〜ｐ７の成長方向は、全て異なっていてもよい。また、複数の部分ｐ１〜ｐ７の成長方向は、活物質粒子ごとに同じであってもよいし、異なっていてもよい。さらに、集電体１１の両面に、それぞれ、第１活物質層１２および活物質粒子１４が形成された負極を作製する場合には、それぞれの面に形成された活物質粒子１４の構造（成長方向や厚さなど）は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００４５】
次に、本実施形態の負極の製造方法を説明する。本実施形態の製造方法は、集電体の表面に第１活物質層を形成する工程と、第１活物質層の上に複数の活物質粒子を形成することにより、第２活物質層を得る工程とを含む。第１活物質層の形成は、スパッタ法または蒸着法などの真空プロセスによって行うことが好ましい。また、第２活物質層の形成には、真空プロセスの中でも成膜速度の大きい蒸着法が好適に用いられる。電池容量を確保するために第２活物質層の厚さを大きくする必要があるからである。
【００４６】
以下、図面を参照しながら、図１に示す負極１０を製造する方法を具体的に説明する。図３（ａ）〜（ｅ）は、負極１０の製造方法を説明するための工程断面図である。
【００４７】
まず、図３（ａ）に示すように、表面に複数の凸部１１ａを有する集電体１１を作製する。このような集電体１１は、例えば金属箔（Ｃｕ箔）の表面に、切削法を用いて所定のパターンの溝１１ｂを設けることによって作製してもよいし、メッキ法または転写法により、金属箔の表面に複数の凸部１１ａを形成することによって作製してもよい。
【００４８】
次に、図３（ｂ）に示すように、集電体１１を真空チャンバー内に設置し、集電体１１の表面の法線方向Ｄに沿ってケイ素を入射させる。このとき、真空チャンバー内に酸素ガスを導入して、酸素を共存させた状態でケイ素を入射すると、集電体１１の表面にケイ素酸化物を堆積させることができる（反応性スパッタまたは反応性蒸着）。
【００４９】
このようにして、図３（ｃ）に示すように、集電体１１の表面全体を覆う第１活物質層１２が得られる。第１活物質層１２はＳｉＯx（０＜ｘ＜１）の化学組成を有する。第１活物質層１２の化学組成におけるｘの値や第１活物質層１２の厚さは、成膜時の出力、時間、上記真空チャンバー内に導入する酸素ガス量（すなわち雰囲気の酸素濃度）などを調整することにより制御される。
【００５０】
続いて、第１活物質層１２が形成された集電体１１を真空チャンバーに設置し、図３（ｄ）に示すように、集電体１１の法線方向Ｄに対して角度（入射角度）θをなす方向Ｅから、集電体１１の表面にケイ素を入射させる。ここでも、真空チャンバー内に酸素ガスを導入して、酸素を共存させた状態でケイ素を入射させると、ケイ素を酸素と反応させながら集電体１１の表面に蒸着させることができる（反応性蒸着）。
【００５１】
このとき、Ｓｉ原子は、特定の方向Ｅから集電体１１の表面に入射するために、集電体１１の表面における凸部１１ａの上に蒸着しやすく、従って、ケイ素酸化物は凸部１１ａの上で柱状に成長する。そのため、集電体３の表面には、凸部１１ａや柱状に成長していくケイ素酸化物の影となり、Ｓｉ原子が入射せずにケイ素酸化物が蒸着しない領域が形成される（陰影効果またはシャドウイング効果）。図示する例では、このようなシャドウイング効果により、隣接する凸部１１ａの間の溝１１ｂの上にはＳｉ原子は付着せず、ケイ素酸化物は成長しない。
【００５２】
従って、図３（ｅ）に示すように、集電体１１の凸部１１ａの上に、第１活物質層１２を介して、選択的に活物質粒子１４を成長させることができ、複数の活物質粒子１４から構成される第２活物質層１５を得る。活物質粒子１４の成長方向αは、ケイ素原子の入射角度θによって決まる。具体的には、成長方向αと入射角度θとは２ｔａｎα＝ｔａｎθの関係を満たす。得られた活物質粒子１４は、ＳｉＯx（０＜ｘ＜１）の化学組成を有する。活物質粒子１４の化学組成におけるｘの値や第２活物質層１５の厚さは、蒸着時の出力、時間、上記真空チャンバー内に導入する酸素ガス量（すなわち雰囲気の酸素濃度）などを調整することにより制御される。
【００５３】
上記方法において、シャドウイング効果を利用して、凸部１１ａの上に選択的に活物質粒子を成長させるためには、集電体１１の法線方向Ｄに対するＳｉ原子の入射角度θと、集電体１１の表面に形成された凸部１１ａの高さＨおよび隣接する凸部１１ａの距離Ｌとの関係は、Ｌ＜Ｈ・ｔａｎθを満足することが好ましい。上記関係を満足するような角度θでＳｉ原子を入射させると、溝１１ｂの底面全体が凸部１１ａの影となるため、溝１１ｂの上にはＳｉ原子が入射しない。よって、凸部１１ａの上にのみ、第１活物質層１２を介して、ケイ素酸化物を蒸着させることができる。
【００５４】
一方、Ｌ≧Ｈ・ｔａｎθとなる場合では、溝１１ｂの一部は凸部１１ａの影とならないために、溝１１ｂの上にもケイ素酸化物が蒸着される可能性がある。しかしながら、凸部１１ａの上では、溝１１ｂの上よりもケイ素酸化物が蒸着しやすいため、ケイ素酸化物は速く成長する。上述したように、ケイ素酸化物の成長方向αは入射角度θと２ｔａｎα＝ｔａｎθの関係を満たすために、ケイ素酸化物が成長するにつれて、Ｓｉ原子の入射方向Ｅに対して影となる領域が増加していく。溝１１ｂの全体が影となると、溝１１ｂに蒸着されたケイ素酸化物は、シャドウイング効果によってそれ以上成長しなくなる。従って、凸部１１ａの高さＨおよび間隔Ｌとケイ素の入射角度θとの関係がＬ≧Ｈ・ｔａｎθとなる場合であっても、各凸部１１ａに形成された活物資粒子１４の間に、空隙を確保することが可能である。
【００５５】
上記方法の第１活物質層を形成する工程では、図３（ｂ）を参照しながら説明したように、集電体１１の法線方向Ｄに沿ってケイ素を集電体１１の表面に供給しているが、ケイ素を供給する方向（入射方向）は法線方向Ｄと略同じでなくてもよい。好ましくは、ケイ素の入射方向と集電体１１の法線方向Ｄとのなす角度（入射角度）が十分小さく、例えば±２０°以内である。ケイ素原子の入射角度が±２０°以下であれば、前述したようなシャドウイング効果がほとんど生じないので、集電体１１の表面全体、すなわち凸部１１ａの上面のみでなく、凸部１１ａの側面および溝１１ｂの上にも、より均一に第１活物質層１２を形成することができる。
【００５６】
第１活物質層１２の形成には、スパッタ法または蒸着法が好適に適用され得る。スパッタ法または蒸着法で形成された第１活物質層１２は、活物質粒子１４と集電体１１との密着強度をより効果的に向上できる。また、これらのうち何れの方法を用いた場合でも、第１活物質層１２の酸素比率および厚さが同じであれば略同等の効果が得られる。なお、量産性の観点から、特に厚さの大きい（例えば０．５μｍ以上）第１活物質層１２を形成する場合には蒸着法を用いることが好ましい。
【００５７】
第２活物質層を形成する工程では、図３（ｄ）を参照しながら説明したように、集電体１１の法線方向Ｄに対して６０°の角度をなす方向Ｅから集電体１１の表面にケイ素を入射させているが、ケイ素の入射角度θはこれに限定されない。入射角度θの好適な範囲は、集電体１１の表面に形成された凹凸パターンによって異なるが、例えば２０°以上９０°以下であり、これにより、所望の成長方向を有する活物質粒子を形成できる。
【００５８】
第１活物質層１２の形成および第２活物質層１５の形成は、同一の真空チャンバー内で行ってもよい。あるいは、真空チャンバー内で第１活物質層１２を形成した後、その真空チャンバーから取り出し、続いて、再度同一のまたは異なる真空チャンバーに設置して第２活物質層１５の形成を行ってもよい。
【００５９】
また、第１活物質層１２や第２活物質層１５の形成は、集電体１１を真空チャンバー内に固定した状態で行ってもよいし、ローラーを用いて真空チャンバー内で集電体１１を走行させて、ローラー（基板冷却ロール）の上で第１活物質層１２や第２活物質層１５を形成することもできる。ローラーの代わりに無終端ベルトを用い、無終端ベルトが直線状となる部分上を走行している集電体１１に対して第１活物質層１２や第２活物質層１５を形成してもよい。なお、集電体１１を真空チャンバー内に固定する場合であっても走行させる場合であっても、第１活物質層の形成工程では、集電体１１の表面と蒸発源（例えばケイ素）からのケイ素原子の入射方向とが略垂直になるように、集電体１１および蒸発源を配置する必要があり、第２活物質層の形成工程では、集電体１１の表面と蒸発源からのケイ素原子の入射方向Ｅとが所定の角度θをなすように、集電体１１および蒸発源を配置する必要がある。
【００６０】
次に、図面を参照しながら、本実施形態の負極１０を適用して得られたリチウムイオン二次電池の構成の一例を説明する。
【００６１】
図４は、本実施形態の負極を用いたコイン型のリチウムイオン二次電池を例示する模式的な断面図である。リチウムイオン二次電池５０は、負極４０と、正極３９と、負極１０および正極３９の間に設けられた微多孔性フィルムなどからなるセパレータ３４とを備えている。正極３９は、正極集電体３２と、正極活物質を含む正極合剤層３３とを有している。負極４０は、負極集電体３７と、ＳｉＯxを含む負極活物質層３６とを有している。負極４０および正極３９は、セパレータ３４を介して、負極活物質層３６と正極合剤層３３とが対向するように配置されている。セパレータ３４は正極３９の上に配置され、必要に応じて電解質溶液を含んでいる。負極４０、正極３９およびセパレータ３４は、リチウムイオン伝導性を有する電解質とともに、ガスケット３８を有する封口板３５によって、ケース３１の内部に収納されている。また、図示しないが、ケース３１の内部には、ケース３１における空間（ケース内高さの不足分）を埋めるためのステンレス製スペーサが配置されている。ケース３１は、封口板３５の周縁部をガスケット３８を介してかしめることにより密封されている。
【００６２】
負極４０は、図１を参照しながら前述したような構成を有している。すなわち、負極集電体３７における正極合剤層３３と対向する側の表面は、図１を参照しながら前述したような凹凸パターンを有している。また、負極活物質層３６は、負極集電体３７の表面を覆う第１活物質層と、第１活物質層の上に形成され、複数の活物質粒子を含む第２活物質層とを有している。
【００６３】
本実施形態では、リチウム二次電池５０における負極４０以外の構成要素は特に限定されない。例えば、正極合剤層３３には、コバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ2）、ニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ2）、マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ2Ｏ4）などのリチウム含有遷移金属酸化物を用いることができるが、これに限定されない。また、正極合剤層３３は、正極活物質のみで構成してもよいし、正極活物質と結着剤と導電剤とを含む合剤で構成してもよい。また、正極合剤層３３は、負極活物質層３６における第２活物質層のように、複数の活物質粒子から構成されていてもよい。なお、正極集電体３２には、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｔｉなどの金属を用いることが好ましい。
【００６４】
リチウムイオン伝導性の電解質には、様々なリチウムイオン伝導性の固体電解質や非水電解液が用いられる。非水電解液には、非水溶媒にリチウム塩を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。セパレータや外装ケースも特に限定されず、様々な形態のリチウム二次電池に用いられている材料を、特に限定なく、用いることができる。
【００６５】
なお、本実施形態の負極は、図４に示すようなコイン型のリチウムイオン二次電池５０に限定されず、円筒型、扁平型、角形等の様々な形状のリチウム二次電池に適用可能である。また、リチウム二次電池の封止形態や電池を構成する各要素の材料も特に限定されない。さらに、リチウム二次電池以外の非水電解質二次電池にも適用できる。
【００６６】
（実施例および比較例）
以下、本発明による実施例および比較例を説明する。ここでは、実施例として、第１活物質層の厚さ、酸素比率および形成方法などの異なる１０個の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０を作製し、比較例として、第１活物質層を有さない負極（負極Ａ）を作製したので、その方法および構造を説明する。また、実施例および比較例の負極およびこれらの負極を用いた電池の特性を評価し、比較を行ったので、評価方法および評価結果を説明する。
【００６７】
（ｉ）実施例の負極の作製
＜集電体の作製＞
本実施例における集電体を次のような方法で作製した。まず、厚さが１８μｍの圧延銅箔の上にネガ型フォトレジスト（厚さ：例えば１０μｍ）を塗布する。次いで、菱形のパターンのネガ型マスクを用いて、銅箔上のレジストフィルムを露光、現像し、レジストフィルムに集電体の表面を露出させる複数の開口部を形成した。続いて、開口部によって露出させた集電体の表面に電解法により銅粒子を析出させて、上面が菱型の四角柱構造を有する凸部を形成した。この後、レジストフィルムを除去した。このようにして、表面に複数の四角柱状の凸部が規則的に配列された集電体を得た。
【００６８】
図５（ａ）および（ｂ）は、上記方法で得られた集電体の構造を説明するための図であり、（ａ）は、集電体の表面に垂直で、後のプロセスで活物質粒子を成長させようとする方向を含む断面図であり、（ｂ）は、集電体の表面を法線方向からみた平面図である。
【００６９】
本実施例における集電体１１の表面には、図５（ｂ）に示すように、複数の凸部１１ａが規則的に配列されており、各凸部１１ａの上面は、集電体１１の法線方向から見て菱形であり、菱形の対角線の長さは１２μｍ×２８μｍであった。隣接する凸部１１ａの中心間の最短距離Ｐ１は２２μｍ、菱形の各辺に平行な方向における配列ピッチＰ２は３１μｍであった。また、図５（ａ）に示す断面における隣接する凸部１１ａの間の距離Ｌは、１０μｍであった。各凸部１１ａの高さＨは１０μｍであり、凸部１１ａの上面のＲａは０．６μｍであり、十点平均高さＲｚは０．９μｍであった。なお、ここでいう十点平均高さＲｚは日本工業規格（ＪＩＳＢ  ０６０１―１９９４）に定められた十点平均粗さＲｚを指す。
【００７０】
＜第１活物質層の形成＞
上記方法により１０個の集電体を作製した後、これらの集電体に第１活物質層を形成して、サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．１０を得た。
【００７１】
サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．８の第１活物質層の作製は、ターゲットとしてケイ素、反応性ガスとして酸素ガスを用い、反応性スパッタ法で、集電体の表面全体を覆う酸化ケイ素膜を形成することにより行った。形成条件を以下に示す。ただし、サンプルによって、酸素ガスの導入量や成膜時間を変化させて、第１活物質層の酸素比率および厚さのそれぞれ異なる第１活物質層を形成した。
【００７２】
・ＲＦスパッタ条件
集電体のサイズ：１０ｃｍ×１０ｃｍ
集電体−ターゲット間距離：７ｃｍ
導入ガス：Ａｒ（２５ｓｃｃｍ）、酸素（０ｓｃｃｍ〜５ｓｃｃｍ）
出力：１．３ｋＷ
成膜レート：１ｎｍ／秒
【００７３】
一方、サンプルＮｏ．９およびＮｏ．１０の第１活物質層として、ターゲットとしてケイ素、反応性ガスとして酸素ガスを用い、反応性蒸着法で集電体の表面全体を覆う酸化ケイ素膜を形成した。ここでは、図７（ａ）および（ｂ）に示す蒸着装置６０を用い、集電体に対するケイ素の入射角度θが約０°となるように、蒸着装置６０の固定台６３を水平面６９と平行となるように固定した状態で反応性蒸着を行った。また、サンプルＮｏ．９およびＮｏ．１０では、成膜時間を変化させて、厚さの異なる第１活物質層を形成した。なお、蒸着装置６０は、後の第２活物質層の形成工程でも用いられるので、その構成については、後で詳しく説明する。
【００７４】
・真空蒸着条件
集電体のサイズ：１０ｃｍ×１０ｃｍ
集電体−ターゲット間距離：１５ｃｍ
導入ガス：酸素（７０ｓｃｃｍ）
ＥＢ出力：４ｋＷ
成膜レート：８ｎｍ／秒
【００７５】
各サンプルにおける第１活物質層の厚さおよび酸素比率ｘを表１に示す。第１活物質層の酸素比率ｘは、各サンプルのＳｉ量をＩＣＰ発光分析、酸素量を燃焼分析法で測定し、得られたＳｉ量および酸素量に基づいて算出した。
【００７６】
【表１】
2008111315.tif 000015
【００７７】
図６は、上記サンプルのうちサンプルＮｏ．３を電子顕微鏡で観察した結果を示す図であり、（ａ）は、集電体の表面に垂直な断面図、（ｂ）は集電体の表面に形成された凸部の拡大断面図である。これらの図から、集電体１１の表面には凸部１１ａが配列されており、凸部１１ａの上面および側面を含む集電体１１の表面全体を覆うように、厚さが０．５μｍ程度の第１活物質層１２が形成されていることがわかった。
【００７８】
なお、図６（ａ）に示すサンプルＮｏ．３では、集電体１１の両面に複数の凸部１１ａが形成されているが、これは、例えば円筒型のリチウム二次電池のように、正極および負極を、両者の間にセパレータを挟持しながら積層させる構造の電池に適用するためであり、例えばコイン型のリチウム二次電池に適用する場合には、集電体１１の少なくとも一方の表面が凸部１１ａを有し、第１活物資層１２で覆われていればよい。
【００７９】
＜第２活物質層の形成＞
次いで、上記のサンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．１０のそれぞれに第２活物質層を形成することにより、実施例の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０を作製した。
【００８０】
負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の第２活物質層の形成は、電子ビームを加熱手段（図示せず）として具備する蒸着装置（（株）アルバック製）を用い、斜方蒸着法によって行った。
【００８１】
はじめに、本実施例で用いた蒸着装置の構成を説明する。図７（ａ）および（ｂ）は、本実施例で用いた蒸着装置を説明するための図であり、互いに９０°異なる方向から見た模式的な断面図である。
【００８２】
図７に示す蒸着装置６０は、チャンバー６２と、チャンバー６２を排気するための排気ポンプ（図示せず）とを備えている。チャンバー６２の内部には、第１活物質層が形成された集電体（上記の各サンプル）６７を固定するための固定台６３と、チャンバー６２に酸素ガスを導入するための配管６５と、配管６５に接続され、酸素ガスを出射するためのノズル６４と、サンプル６７の表面にケイ素を供給するための蒸発源６６とが設置されている。また、図示しないが、蒸発源６６の材料を蒸発させるための電子ビーム加熱手段を備えている。配管６５は、マスフローコントローラを経由して、酸素ボンベと接続されている。ノズル６４は、ノズル６４から出射する酸素ガスが集電体６７の表面に供給されるように位置付けられている。蒸発源６６は、固定台６３の鉛直下方に配置されている。本実施例では、蒸発源６６として、純度９９．９９９９％のケイ素（（株）高純度化学研究所製）を用いた。
【００８３】
次に、負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．９の第２活物質層の形成方法を説明する。ここでは、上記蒸着装置６０を用いて、サンプルＮｏ．１〜  Ｎｏ．９の第１活物質層上に、それぞれ、集電体の法線に対して６０°傾斜した方向から蒸着を行い、第２活物質層を形成した。
【００８４】
まず、各サンプルを、第１活物質層が形成された側が上面になるように固定台６３に設置し、固定台６３を回転させて、図７（ｂ）に示すように、水平面６９に対する固定台４３の角度θ’が６０°（θ’＝６０°）となる位置で固定した。なお、図７（ｂ）は、集電体表面に垂直で、かつ、蒸着方向を含む断面図であり、「水平面」とは、蒸発源６６の材料（ケイ素）が気化されて固定台６３に向う方向に対して垂直な面６９をいう。従って、固定台６３の傾斜角度θ’は、固定台６３に設置されたサンプル６７に対するケイ素の入射角度θと等しく、これを調整することにより、サンプル６７における第１活物質層の表面に成長させる活物質粒子の成長方向を制御できる。
【００８５】
この状態で、酸素ガスをノズル６４から導入しながら、サンプル６７における第１活物質層の表面に対してケイ素を入射させた。本実施例では、蒸発源６６に照射する電子ビームの加速電圧を−９ｋＶ、エミッションを４００ｍＡにそれぞれ設定した。蒸発源６６からのケイ素単体の蒸気は、チャンバー６２に導入された酸素（酸素ガスの流量：１０ｓｃｃｍ）とともに、固定台６３に設置されたサンプル６７の表面に供給され、その結果、サンプル６７の表面に、ケイ素と酸素とを含む化合物（ケイ素酸化物）からなる活物質粒子が成長した。このようにして、第１活物質層の上に、複数の活物質粒子から構成される第２活物質層が得られた。蒸着時間は、第２活物質層の厚さが２２μｍとなるように調整した。
【００８６】
一方、負極Ｎｏ．１０の第２活物質層は、上記蒸着装置６０を用い、サンプルＮｏ．１０の第１活物質層上に、蒸着方向を切り換えながら複数段階の蒸着工程を行うことによって形成した。
【００８７】
まず、サンプルＮｏ．１０を、第１活物質層が形成された側が上面になるように固定台６３に設置し、固定台６３を回転させて、図７（ｂ）に示すように、水平面６９に対する固定台４３の角度θ’が６０°（θ’＝６０°）となる位置で固定した。この状態で蒸着を行い、厚さが３μｍのケイ素酸化物を成長させた（第１段目の蒸着工程）。なお、前述したように、上記角度θ’は、固定台６３に設置されたサンプルに対するケイ素の入射角度θと等しい。次いで、固定台４３を回転させて、上記角度θ’が−６０°となる位置に固定し、さらに厚さが３μｍのケイ素酸化物を成長させた（第２段目の蒸着工程）。このようにして、角度θ’を６０°と−６０°との間で切り換えながら、第７段まで蒸着工程を繰り返し、厚さが２１μｍの第２活物質層を得た。
【００８８】
上記方法で得られた実施例の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０のＳｉ量をＩＣＰ発光分析（ＩＣＰ  Ａｔｏｍｉｃ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）、酸素量を燃焼分析法でそれぞれ測定し、Ｓｉ量および酸素量の測定値から、第２活物質層における酸素比率の平均値ｘを算出した。その結果、表２に示すように、何れの負極でも酸素比率ｘは０．３であり、第２活物質層はＳｉＯ0.3で表わされる化学組成を有することがわかった。
【００８９】
なお、これらの負極は、第２活物質層（活物質粒子）の他に第１活物質層も含んでいるので、上記測定で得られたＳｉ量および酸素量には第１活物質層のＳｉ量や酸素量も含まれてしまう。しかし、第１活物質層の厚さは、第２活物質層の厚さよりも極めて小さく、第１活物質層のＳｉ量や酸素量が第２活物質層の酸素比率に与える影響は非常に小さいため、本実施例では、上記の負極に含まれる活物質全体の酸素比率を、第２活物質層の酸素比率（ｘ）とした。
【００９０】
図８は、上記負極のうち負極Ｎｏ．３を電子顕微鏡で観察した結果を示す図であり、集電体１１の表面に垂直で、かつ、活物質粒子を形成する際のケイ素の入射方向を含む断面図である。図８からわかるように、集電体１１の表面に複数の凸部１１ａが形成されており、この表面全体（凸部１１ａの側面も含む）を覆うように、厚さが０．５μｍ程度の第１活物質層１２が形成されていた。さらに、集電体１１の表面の各凸部１１ａの上には、第１活物質層１２を介して、活物質粒子１４が成長していることを確認した。
【００９１】
（ｉｉ）比較例の負極の作製
比較例として、実施例と同様の方法で表面に複数の凸部を有する集電体を作製し、第１活物質層を形成せずに、集電体表面の凸部の上に直接活物資粒子を成長させることにより第２活物質層を形成した。比較例における第２活物質層は、図７に示す蒸着装置を用いて、実施例の第２活物質層の形成方法と同様の方法および条件で形成した。このようにして、比較例の負極Ａを得た。
【００９２】
負極Ａにおける酸素比率を、実施例と同様の方法で測定したところ、実施例の各負極と同じ値（ｘ＝０．３）が得られた。
【００９３】
図９は、負極Ａを電子顕微鏡で観察した結果を示す図であり、集電体１１の表面に垂直であり、かつ、ケイ素の入射方向を含む断面図である。図９から、集電体１１の凸部１１ａの上に直接活物質粒子１４が形成されていることを確認した。また、集電体１１の表面のうちケイ素の入射方向に対して影となる領域、すなわち入射方向に対して反対側に位置する凸部１１ａの側面や溝１１ｂの上は活物質で被覆されていないことを確認した。
【００９４】
（ｉｉｉ）負極の評価
＜剥離強度の測定＞
上記（ｉ）（ｉｉ）の方法で作製した実施例および比較例の各負極について、タッキング試験機（株式会社レスカ製  ＴＡＣ−ＩＩ）を用いて、集電体１１に対する活物質の密着強度（剥離強度）を測定したので、測定方法および結果を説明する。
【００９５】
まず、各負極から２ｃｍ×３ｃｍの剥離強度測定用サンプルを切り出した。次いで、タッキング試験機の測定子（先端直径２ｍｍ）の先端に両面テープ（日東電工製  Ｎｏ．５１５）を取り付け、剥離強度測定用サンプルの表面のうち測定子に対向する位置に、測定子を両面テープで貼付した。測定では、押し込み速度を３０ｍｍ／ｍｉｎ、押し込み時間を１０秒、荷重を４００ｇｆ、引き上げ速度を６００ｍｍ／ｍｉｎにそれぞれ設定した。測定の結果、得られた各負極の剥離強度を表２に示す。
【００９６】
【表２】
2008111315.tif 000016
【００９７】
表２に示す結果から、第１活物質層を有する実施例の負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０では、第１活物質層を有していない負極Ａよりも剥離強度が高くなることがわかった。よって、活物質粒子と集電体との間に第１活物資層を設ける構成により、活物質と集電体表面との密着性を向上できることが確認できた。
【００９８】
また、負極Ｎｏ．８およびＮｏ．９における活物質の剥離強度は略同程度であった。この結果から、第１活物質層の厚さおよび酸素比率が同じであれば、反応性スパッタ法で第１活物質層を形成した場合（負極Ｎｏ．８）であっても、反応性蒸着で形成した場合（負極Ｎｏ．９）でも、略同等の剥離抑制効果が得られることがわかった。
【００９９】
＜電池の充放電試験＞
表２に示す負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および比較例の負極Ａを用いて、リチウム金属を対極とするコイン型電池Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および電池Ａを作製し、充放電試験を行った。なお、これらの電池では、実施例および比較例の各負極を用いて作製したコイン型電池用電極が正極となり、金属リチウムが負極となるが、上記コイン型電池用電極を負極とする電池を作製して充放電試験を行っても、以下と同様の結果が得られる。
【０１００】
まず、上記の各負極（負極Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および負極Ａ）を直径が１２．５ｍｍの円形状に成型し、コイン型電池用電極を作製した。次いで、直径１５ｍｍの円形状に打ち抜いた金属リチウム（厚さ：３００μｍ）を封口板に貼り付けた。この後、厚さが２０μｍの旭化成製のポリエチレンからなる微多孔性セパレータを円形状の金属リチウムの上に配置し、その上にコイン型電池用電極を配置した。続いて、１．２Ｍ  ＬｉＰＦ６，エチレンカーボネート／エチルメチルカーボネート／ジエチルカーボネート＝３／５／２（体積比）となるように調整した電解液を滴下した。厚さを調整する為に厚さが１００μｍのステンレス板を配置し、その上にケースを置いた後、かしめ機を用いて封口した。このようにして、電池Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および電池Ａが得られた。
【０１０１】
得られた各電池について、充放電装置を用いて、以下の条件で充放電試験を行った。
充電：定電流充電  ０．１ｍＡ、  終止電圧  ０Ｖ、    休止時間３０分
放電：定電流放電  ０．１ｍＡ、  終止電圧  １．５Ｖ
【０１０２】
上記充放電試験における１サイクル目の不可逆容量を求めたところ、表３に示すような結果が得られた。なお、不可逆容量は以下の式で与えられる。
不可逆容量（％）＝１００−｛（放電容量）／（充電容量）｝×１００
さらに、充放電試験後、これらの電池を分解して観察し、活物質の集電体からの剥離の有無を確認したので、この結果も表３に示す。
【０１０３】
【表３】
2008111315.tif 000017
【０１０４】
表３に示すように、比較例の電池Ａでは、不可逆容量が７４％と非常に高くなった。これは、電池充放電後に電池Ａを分解して観察した結果からわかるように、集電体表面から活物質粒子が剥離したためと考えられる。一方、実施例の電池Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の不可逆容量は、何れも、比較例の電池Ａの不可逆容量よりも大幅に低く抑えられていた。活物質粒子と集電体との間に第１活物質層を設けることにより活物質の剥離が抑えられ、その結果、不可逆容量の低下が抑制されたためと考えられる。
【０１０５】
さらに、本願発明者らの行った研究により、上記負極の第２活物質層と同じ化学組成（ＳｉＯ0.3）を有する負極活物質層では、３０〜３５％程度の不可逆容量（参照値）が生じることが確認されている。なお、この参照値は、負極活物質層の形状に関係なく、酸素導入量と成膜時間とによって決定される材料固有の値である。電池Ｎｏ．３〜Ｎｏ．１０の不可逆容量は上記参照値と同程度であり、このことから、電池Ｎｏ．３〜Ｎｏ．１０では、第２活物質層を構成する活物質を有効に利用できていることがわかった。一方、電池Ｎｏ．１およびＮｏ．２の不可逆容量は、比較例である電池Ａよりも低減されているものの、上記参照値より大きくなった。これは、第１活物質層における酸素比率が小さく（ｘ＝０．１）、第１活物質層が膨張しやすい上に、第１活物質層が比較的薄いため、電池Ｎｏ．３〜Ｎｏ．１０と比べて、第１活物質層と集電体表面との密着性が低くなったためと考えられる。
【０１０６】
以上の評価結果から、集電体と活物質粒子との間に第１活物質層を形成することにより、第２活物質層と集電体との密着性を改善でき、その結果、活物質の剥離に起因する不可逆容量の増加を抑制できることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
本発明の負極は、様々な形態のリチウム二次電池に適用することができるが、特に、高容量と良好なサイクル特性が要求されるリチウム二次電池に適用すると有利である。本発明の負極を適用可能なリチウム二次電池の形状は、特に限定されず、例えばコイン型、ボタン型、シート型、円筒型、偏平型、角型などの何れの形状でもよい。正極、負極およびセパレータからなる極板群の形態は、捲回型でも積層型でもよい。電池の大きさは、小型携帯機器などに用いる小型でも、電気自動車等に用いる大型でもよい。
【０１０８】
本発明のリチウム二次電池は、例えば携帯情報端末、携帯電子機器、家庭用小型電力貯蔵装置、自動二輪車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車等の電源に用いることができるが、それらの装置の用途は特に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明による実施形態のリチウムイオン二次電池用負極を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明による他の実施形態のリチウムイオン二次電池用負極を例示する模式的な断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明による実施形態のリチウムイオン二次電池用負極の作製方法を説明するための模式的な工程断面図である。
【図４】本発明による実施形態のリチウムイオン二次電池を示す模式的な断面図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明による実施例の集電体の構造を説明するための断面図および平面図である。
【図６】（ａ）は、本発明による実施例の第１活物質層が形成された集電体における集電体表面に垂直な断面形状を示す電子顕微鏡写真であり、（ｂ）は、（ａ）の拡大写真である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、実施例で用いる蒸着装置の構成を説明するための図であり、互いに９０°異なる方向から見た模式図である。
【図８】本発明による実施例の負極における集電体表面に垂直で、かつ、ケイ素の蒸着方向を含む断面形状を示す電子顕微鏡写真である。
【図９】比較例の負極における集電体表面に垂直で、かつ、ケイ素の蒸着方向を含む断面形状を示す電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
【０１１０】
１０      負極
１１      集電体
１１ａ    凸部
Ｈ        凸部の高さ
Ｗ        凸部の上面の幅
Ｌ        隣接する凸部の間の距離
１２      第１活物質層
１４      活物質粒子
１５      第２活物質層
５０      コイン型電池
３１      ケース
３２      正極集電体
３３      正極合剤層
３４      セパレータ
３５      封口板
３６      負極活物質層
３７      負極集電体
３８      ガスケット
３９      正極
４０      負極
６０      蒸着装置
６２      チャンバー
６３      固定台
６４      ノズル
６５      配管
６６      蒸着源
６７      第１活物質層が形成された集電体（サンプル）
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008111315.tif 000018
【図２】
2008111315.tif 000019
【図３】
2008111315.tif 000020
【図４】
2008111315.tif 000021
【図５】
2008111315.tif 000022
【図６】
2008111315.tif 000023
【図７】
2008111315.tif 000024
【図８】
2008111315.tif 000025
【図９】
2008111315.tif 000026
【国際調査報告】
2008111315.tif 000027
2008111315.tif 000028
2008111315.tif 000029
2008111315.tif 000030