Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月29日(2004.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータ・システムを用いてデータベース・システムからの情報を統合化する方法であって、
ａ）データベース・システムの中で用いられる第１のデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第１のデータベース見本ファイルを生成するステップと、
ｂ）コンピュータ・システムの中で用いられる第２のデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第２のデータベース見本ファイルを生成するステップであって、前記第２のデータベース見本ファイルの中の前記値が前記第１のデータベース見本ファイルの中の前記値に対応しているステップと、
ｃ）前記第１のデータベース見本ファイルと前記第２のデータベース見本ファイルに基づいて、前記第１のデータベース・スキーマの前記属性名と前記の第２のデータベース・スキーマの前記属性名との間の変換マップを生成するステップと、
ｄ）前記コンピュータ・システムからの情報の問合わせに応答して、前記変換マップを用いて変換を実行するステップとを含み、
前記各ステップにより、前記第２のデータベース・スキーマの属性名を用いて構成された情報の問合わせが、前記第１のデータベース・スキーマの属性名を用いた情報の問合わせに変換され、従って、前記データベース・システムの中に格納されている値に前記コンピュータ・システムがアクセスできるようにすることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１のデータベース見本ファイルおよび前記第２のデータベース見本ファイルが、キーボードを用いて生成されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１のデータベース見本ファイルおよび前記第２のデータベース見本ファイルが、前記データベース・システムの中に格納され、前記第１のデータベース見本ファイルおよび前記第２のデータベース見本ファイルに対する前記データベース・システムへの問合わせに応答して、前記ステップｃ）が実行されるようになっていることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１のデータベース見本ファイルおよび前記第２のデータベース見本ファイルが、前記コンピュータ・システム上に格納されていることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２のデータベース見本ファイルが、前記第１のデータベース見本ファイルに基づいて、前記コンピュータ・システムにおいてユーザによって生成されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ユーザが前記データベース・システムの問合わせに基づいて前記第１のデータベース見本ファイルを生成し、前記第１のデータベース見本ファイルに基づいて、前記第２のデータベース見本ファイルを生成することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１のデータベース・スキーマがローカルのスキーマであって、前記第２のデータベース・スキーマがワールド・ビューのスキーマであることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
第１のローカルのデータベース・スキーマを有するデータベース・システムからの情報を、第２のローカルのデータベース・スキーマを有するコンピュータ・システムを用い、ワールド・ビューのデータベース・スキーマへの中間の変換を介して統合化する方法であって、
ａ）データベース・システムの中で用いられる第１のローカルのデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第１のデータベース見本ファイルを生成するステップと、
ｂ）ワールド・ビューのデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第２のデータベース見本ファイルを生成するステップであって、前記第２のデータベース見本ファイルの中の前記値が前記第１のデータベース見本ファイルの前記値に対応しているステップと、
ｃ）コンピュータ・システムの中で用いられる第２のローカルのデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第３のデータベース見本ファイルを生成するステップと、
ｄ）前記ワールド・ビューのデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第４のデータベース見本ファイルを生成するステップであって、前記第４のデータベース見本ファイルの中の前記値が前記第３のデータベース見本ファイルの前記値に対応しているステップと、
ｅ）前記第１のデータベース見本ファイルと前記第２のデータベース見本ファイルに基づいて、前記第１のローカルのデータベース・スキーマの前記属性名と前記ワールド・ビューのデータベース・スキーマの前記属性名との間の変換マップを生成するステップと、
ｆ）前記第３のデータベース見本ファイルおよび前記第４のデータベース見本ファイルに基づいて、前記第２のローカルのデータベース・スキーマの前記属性名と前記ワールド・ビューのデータベース・スキーマの前記属性名との間の変換マップを生成するステップと、
ｇ）前記コンピュータ・システムからの情報の問合わせに応答して、変換を実行するステップとを含み、
前記各ステップにより、前記第２のローカルのデータベース・スキーマの属性名を用いて構成された情報の問合わせが、前記ワールド・ビューのデータベース・スキーマへの中間の変換を介して、前記第１のローカルのデータベース・スキーマの属性名を用いた情報の問合わせへと変換され、従って、前記データベース・システムの中に格納されている値に前記コンピュータ・システムがアクセスできるようにすることを特徴とする方法。
【請求項９】
第１のデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第１のデータベース見本ファイルによって特徴付けられる、前記第１のデータベース・スキーマを用いて情報の問合わせをまとめるためのコンピュータ・システムと、
第２のデータベース・スキーマを用いて、データ・レコードの中に情報を格納するためのデータベースを含んでいるデータベース・システムであって、前記第２のデータベース・スキーマは前記第２のデータベース・スキーマのフォーマットで格納された値を有する属性名を含んでいる第２のデータベース見本ファイルによって特徴付けられ、前記第２のデータベース見本ファイルの中の前記値が前記第１のデータベース見本ファイルの中の前記値に対応している、データベース・システムと、
前記第１のデータベース見本ファイルおよび前記第２のデータベース見本ファイルに基づいて、前記第１のデータベース・スキーマと前記第２のデータベース・スキーマとの間の変換マップを生成するために、前記コンピュータ・システムと前記データベース・システムとの間に結合されているメディエータであって、前記コンピュータ・システムからの情報の問合わせに応答して変換を実行するメディエータとからなることを特徴とするシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ処理システムにおいて実施する方法において、
（ａ）第１言語の入力ストリングを読み取ることと、
（ｂ）前記入力ストリング内の少なくとも１つの所定のサブストリングの位置を決定することと、
（ｃ）前記サブストリングを修正することと、
（ｄ）前記修正したサブストリングを含めて前記ストリングを出力することと
から成る方法。
【請求項２】
請求項１の方法を実施するように適切にプログラムされた、プログラム可能なテキスト処理装置であって、プロセッサ、メモリ、および入／出力回路を備えているプログラム可能なテキスト処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の方法において、
前記入力ストリングを有限状態データ構造に適用することと、
前記所定のサブストリングを左から右に又は右から左に選択するために、及び前記所定のサブストリングの前記入力ストリング内での最長の一致又は最短の一致を決定するために、前記入力ストリングを前記有限状態データ構造に適用することと、
前記所定のサブストリングに１つ若しくはそれ以上の所定のマーキング要素を挿入することと
を含む方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法において、第１サブストリングが、適正な氏名、日付け、住所、フォーマットされた数字、空白文字のシーケンス、文字シーケンス、マルチワード表現、又は句の１つである、方法。
【請求項５】
正規の言語の入力ストリングであって少なくとも２つの記号を含む入力ストリングを修正する方法を実施するプロセッサにおいて前記入力ストリングを修正する方法において、
入力ストリングを受取ること、及び
前記入力ストリングを有限状態データ構造に適用して、前記入力ストリングの第１サブストリングが第２サブストリングに置換されている、入力ストリングの修正バージョンである出力ストリングを得ることを包含し、前記有限状態データ構造は一組の置換可能なサブストリングを示しており、該置換可能なサブストリングの組は、前記第１サブストリングを含み且つ各置換可能なサブストリングごとに置換サブストリングを示しており、前記第２サブストリングは前記第１サブストリングの前記置換サブストリングであり、前記有限状態データ構造は、前記置換可能なサブストリングの組に従って２つ若しくはそれ以上の、異なる一連のサブストリングに仕切り可能であり、該有限状態データ構造は、前記入力ストリングを、方向の制約と長さの制約とに従って、前記第１サブストリングを含む一連のサブストリングに仕切っており、前記有限状態データ構造は前記方向の制約と長さの制約とに従うだけで入力ストリングを仕切るように得られるものであり、
前記方向の制約は、前記置換可能なストリングの組が前記入力ストリングに対して左から右へ１つずつ及び右から左へ１つずつ比較されるように、前記入力ストリングの仕切りを必要としており、
前記長さの制約は、２つ若しくはそれ以上の前記置換可能なサブストリングの組が一致する場合に、一致する置換可能なサブストリングの１つが置換のために選択される（選択されたサブストリングは最長のものか又は最短のものである）ように、前記入力ストリングの仕切りを必要としており、
更に、前記出力ストリングを出力として提供することを包含する
ことを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法において、前記第２サブストリングが、前記第１サブストリングのコピーと、１つ若しくはそれ以上のマーキング要素とを含んでいることを特徴とする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
1998091630.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
1998091630.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
1998091630.tif 000003
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２０】
1998091630.tif 000004
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２】
1998091630.tif 000005
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２３】
1998091630.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月10日(2004.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械により読取り可能なディジタル情報の画像領域ディジタル通信チャネルであって、
記録媒体を含み、
前記記録媒体上で擬似六角形格子状パターンの中心に書かれた機械により読取り可能なグリフを含み、該擬似六角形格子状パターンにおいては、前記格子状パターンの中心のうちの幾つかは、中心の横列を形成しており、該横列中の中心同士が公称水平方向離間距離だけ水平方向にオフセットし、また、該横列中の中心は他の隣接する横列中の中心から公称水平方向離間距離の略半分だけ水平方向にオフセットし、該グリフが前記ディジタル情報に従って構成されることにより、機械により読取り可能な前記ディジタル情報の表現が提供される、ことを特徴とする機械により読取り可能なディジタル情報の画像領域ディジタル通信チャネル。
【請求項２】
前記グリフは、長尺状のスラッシュ状シンボルであり、該長尺状のスラッシュ状シンボルは、垂直軸に対して第一の方向及び第二の方向に傾斜して、それぞれ０値及び１値のバイナリ値を符号化する、請求項１記載の通信チャネル。
【請求項３】
前記グリフは、前記垂直軸に対して約＋４５度及び約−４５度傾斜して、それぞれ０値及び１値のバイナリ値を符号化する、請求項２記載の通信チャネル。
【請求項４】
前記グリフは約３乃至５ピクセルの長さであり、前記中心同士は互いに約５乃至７ピクセルだけ変位しており、前記グリフは約３００乃至６００ｄｐｉのプリンタ分解能で前記中心上に書かれて、これにより、前記ディジタル情報の表現は概して一様なグレースケール外観を有する、請求項３記載の通信チャネル。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様は、機械により読取り可能なディジタル情報の画像領域ディジタル通信チャネルであって、記録媒体を含み、前記記録媒体上で擬似六角形格子状パターンの中心に書かれた機械により読取り可能なグリフを含み、該擬似六角形格子状パターンにおいては、前記格子状パターンの中心のうちの幾つかは、中心の横列を形成しており、該横列中の中心同士が公称水平方向離間距離だけ水平方向にオフセットし、また、該横列中の中心は他の隣接する横列中の中心から公称水平方向離間距離の略半分だけ水平方向にオフセットし、該グリフが前記ディジタル情報に従って構成されることにより、機械により読取り可能な前記ディジタル情報の表現が提供される、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月15日(2004.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ処理システム（２００）であって：
メモリ内において複数の状態を有する命令毎のビットフィールド；および
中央演算装置（２１０）；
から成り、
前記中央演算装置は前記ビットフィールドのステータスに基づいて、複数の意味を有するオプコードを認識し；
前記ビットフィールドは前記オプコードに関連付けられ；
前記中央演算装置は、前記オプコードの実行中に、自動的に前記ビットフィールドを変更することを特徴とするデータ処理システム（２００）。
【請求項２】
命令実行方法であって：
ａ）中央演算装置による実行のために命令を取り込む段階；
ｂ）前記命令に関連して格納されたビットフィールドを検査する段階であって、複数のビットフィールド・ステータスを有する前記ビットフィールドを検査する段階；
ｃ）前記複数のビットフィールド状態に基づいて、複数の命令の意味の内どの１つを前記命令に割り当てるかを決定する段階；および
ｄ）前記命令の実行の一部として、前記ビットフィールドを自動的に更新する段階；
から成ることを特徴とする方法。
【請求項３】
データ処理システム（２００）であって：
メモリ内に複数の状態を有する命令毎のビットフィールド；および
中央演算装置（２１０）；
から成り、
前記中央演算装置は前記ビットフィールドのステータスに基づいて、複数の意味を有するオプコードを認識し；
前記ビットフィールドは前記オプコードに関連付けられ；
前記中央演算装置は、第１回目の前記オプコードの実行の間に、自動的に前記ビットフィールドを変更することを特徴とするデータ処理システム（２００）。
【請求項４】
データ処理システム（２００）であって：
キャッシュ・メモリに２つの状態が格納される命令毎の１ビット・ビットフィールド；および
中央演算装置（２１０）；
から成り、
前記中央演算装置（２１０）は、前記１ビット・ビットフィールドのステータスに基づいて、２つの意味を有するオプコードを有し；
前記１ビット・ビットフィールドは前記オプコードに関連付けられており；
前記中央演算装置（２１０）は前記オプコードの実行中に、前記１ビット・ビットフィールドを自動的に変更し；
前記中央演算装置（２１０）は、第１回目の前記オプコードの実行において、前記１ビット・ビットフィールドのステータスを自動的に変更する；
ことを特徴とするデータ処理システム（２００）。
【請求項５】
データ処理システム（２００）であって：
元の命令を含むメモリ位置を有するメモリ；
第１状態および第２状態を有する命令変更指示子；
実行部（２１１）；および
前記メモリに結合され前記元の命令を受信し、かつ前記実行部（２１１）に結合され命令の実行を行うデコード部（２１２）；
から成り、
前記デコード部（２１２）は、前記命令変更指示子が前記第１状態にある場合、前記元の命令を前記実行部（２１１）に供給し；
前記デコード部（２１２）は、前記命令変更指示子が前記第２状態にある場合、別の命令を前記実行部（２１１）に供給することを特徴とするデータ処理システム（２００）。
【請求項６】
データプロセッサ命令を実行する方法であって：
第１のデータプロセッサ命令の表現を第１のメモリ位置にロードする段階；
第２のメモリ位置を第１状態および第２状態の内の１つにセットする段階；
前記第１のメモリ位置における前記第１のデータプロセッサ命令の表現を処理しかつ前記第２のメモリ位置が前記第１状態にあることが判定された場合に前記第１のデータプロセッサ命令を実行する段階；および
前記第１のメモリ位置における前記第１のデータプロセッサ命令の表現を処理しかつ前記第２のメモリ位置が前記第２状態にあることが判定された場合に第２のデータプロセッサ命令を実行する段階、
を具備することを特徴とするデータプロセッサ命令を実行する方法。
【請求項７】
データプロセッサ命令を実行する方法であって：
あるデータプロセッサ命令の表現を第１のメモリ位置にロードする段階；
第２のメモリ位置を第１状態および第２状態の内の１つにセットする段階であって、前記第２のメモリ位置は前記第１のメモリ位置とは独立である、前記段階；
前記第１のメモリ位置における前記データプロセッサ命令の表現を処理しかつ前記第２のメモリ位置が前記第１状態にあることが判定された場合に前記データプロセッサ命令を実行して第１機能および第２機能を行なう段階；および
前記第１のメモリ位置における前記データプロセッサ命令の表現を処理しかつ前記第２のメモリ位置が前記第２状態にあることが判定された場合に第２のデータプロセッサ命令を実行して前記第２機能を行ないかつ前記第１機能は行なわない、前記段階、
を具備することを特徴とするデータプロセッサ命令を実行する方法。
【請求項８】
データ処理システムであって：
第１の命令位置を含む複数の命令位置を含むキャッシュ・ライン；
前記第１の命令位置に排他的に関連することが可能なメモリ位置；
実行部；
前記第１の命令位置、前記実行部、および前記メモリ位置に結合されたデコード部であって、前記メモリ位置は第１の値を含むよう決定され、前記デコード部は前記第１の命令位置に格納された命令を実行のために前記実行部に提供し、前記メモリ位置が第２の値を含むことが判定された場合に、前記デコード部は前記第１の命令位置に格納された命令を使用して前記命令の変更された命令を実行のために前記実行部に提供するもの、
を具備することを特徴とするデータ処理システム。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月19日(2004.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データプロセッサ（３）であって、
複数の内部アドレス信号、複数の内部データ信号、および複数の内部制御信号を内部バスに提供するための中央処理ユニット（２）、
前記内部バスと前記データプロセッサ（３）の外部の少なくとも１つの装置（２０７）との間で複数の外部制御信号および複数の外部アドレス信号を通信するための外部バスコントローラ、
前記データプロセッサ（３）が転送アクノレッジ信号を発生すべきことを選択的に指示する外部アクノレッジビットを格納するための制御レジスタ（８１０）、そして
前記内部バスに結合され前記外部アクノレッジビットが第１の論理状態にある場合に外部バスマスタによって開始されるアクセスに応じて前記転送アクノレッジ信号を肯定し、かつ前記外部アクノレッジビットが第２の論理状態にある場合に前記外部バスマスタによって開始されるアクセスに応じて前記転送アクノレッジ信号をインアクティブ状態に保つためのメモリコントローラ（８０４）であって、該メモリコントローラ（８０４）は前記制御レジスタ（８１０）に結合されて前記外部アクノレッジビットを受信しかつ前記外部バスコントローラに結合されて前記転送アクノレッジ信号を提供するもの、
を具備することを特徴とするデータプロセッサ（３）。
【請求項２】
データプロセッサ（３）を使用して外部装置（２０７）にアクセスする方法であって、
複数の集積回路ピンの内の第１の部分から外部バスマスタ（２０５）からのバス承認信号および外部アドレス値を受信する段階、
前記バス承認信号が所定の論理状態にあることを指示するためにバス調停回路（８０６）を使用して外部マスタ制御信号を選択的に肯定する段階、
前記外部マスタ制御信号が肯定されたときにデコードおよびアドレス発生回路（８０８）を使用して前記外部アドレス値をデコードする段階、
制御レジスタ（８１０）からの制御ビットにアクセスする段階であって、前記制御ビットは前記データプロセッサ（３）が転送アクノレッジ信号を発生すべきことを示すもの、
前記制御ビットが第１の論理状態にありかつ前記外部マスタ制御信号が肯定されたときに、前記デコードおよびアドレス発生回路（８０８）が前記外部アドレス値が所定の範囲内にあることを判定したことに応じて前記転送アクノレッジ信号を発生する段階、そして
前記制御ビットが前記第１の論理状態と反対の第２の論理状態にありかつ前記外部マスタ制御信号が肯定された時に、前記デコードおよびアドレス発生回路（８０８）が前記外部アドレス値が前記所定の範囲内にあることを判定したことに応じて前記転送アクノレッジ信号をインアクティブに保つ段階、
を具備することを特徴とするデータプロセッサ（３）を使用して外部装置（２０７）にアクセスする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月28日(2004.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
マイクロプロセッサ及び特別の、規定された計算を実行するための付加的計算ユニットを含むデータ処理装置であって、前記の計算ユニットは多数のレジスタを介して前記のマイクロプロセッサへ結合されており、それらのレジスタのうちの最初のレジスタがデータ移送の制御のために働くのに対して第２レジスタは命令の移送のために働くデータ処理装置において、
少なくとも２組の第１及び第２レジスタを設けられ、種々の組のレジスタがマイクロプロセッサにより選択的に書き込めること、及びマイクロプロセッサによりビット毎に選択的にも書き込めて且つそれの内容がデータ移送及び命令の移送を制御するために一組の第１及び第２レジスタの選択を指示する第３レジスタを設けられることを特徴とするマイクロプロセッサと付加的計算ユニットとを含むデータ処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月30日(2004.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像作成装置の加熱素子により消費される電力を制御する方法であって、
入力電圧を決定するステップと、
前記加熱素子により消費されることができる、前記入力電圧に関係した、電力の最大量を設定する第１設定ステップと、
前記加熱素子により消費されることができる、前記入力電圧に関係した、電力の最小量を設定する第２設定ステップと、
前記加熱素子により消費される電力を、初期量から前記最大量まで滑らかに直線的に増大させるステップと、
温度制御プロセスを呼び出して、前記加熱素子を設定温度に維持するステップと、
を含む方法。
【請求項２】
前記温度制御プロセスが適応式プロセスである、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記温度制御プロセスが、比例、積分、微分形式のプロセスである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
加熱素子の温度を制御する方法であって、
前記加熱素子に初期量の電力を消費させるステップと、
前記加熱素子の温度の変化率を測定するステップと、
前記変化率を使用して入力電圧を決定するステップと、
前記加熱素子により消費されることができる、前記入力電圧に関係した、電力の最大量を設定する第１設定ステップと、
前記加熱素子により消費されることができる、前記入力電圧に関係した、電力の最小量を設定する第２設定ステップと、
前記加熱素子により消費される電力を、前記初期量から前記最大量まで、ある期間にわたって滑らかに直線的に増大させるステップと、
適応式温度制御プロセスを呼び出して、前記加熱素子の温度を制御するステップと、
を含む方法。
【請求項５】
加熱素子の温度を制御する方法であって、
前記加熱素子に初期量の電力を消費させるステップと、
前記加熱素子の温度の変化率を測定するステップと、
前記変化率を使用して入力電圧を決定するステップと、
前記加熱素子により消費されることができる、前記入力電圧に関係した、電力の最大量を設定する第１設定ステップと、
前記加熱素子により消費されることができる、前記入力電圧に関係した、電力の最小量を設定する第２設定ステップと、
前記加熱素子により消費される電力を、前記初期量から前記最大量まで、ある期間にわたって滑らかに直線的に増大させるステップと、
比例、積分、微分形式の温度制御プロセスを呼び出して、前記加熱素子の温度を制御するステップと、
を含む方法。
【請求項６】
前記加熱素子により消費される電力の量に対する、前記入力電圧に関係した、最大変化率を設定する第３設定ステップをさらに含む、請求項１、４、または５に記載の方法。
【請求項７】
アイドルモードに入る第１入り込みステップをさらに含む、請求項１、４、または５に記載の方法。
【請求項８】
前記第１入り込みステップが、前記最大量を滑らかに減らすステップをさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
電力節約モードに入る第２入り込みステップをさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２入り込みステップが、前記加熱素子により消費される電力をゼロまで滑らかに減らすステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月31日(2005.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体基板上に、少なくとも光電変換手段、増幅手段を設けたセルを２次元上に配列した感光領域と前記セルと電気的に接続した雑音抑圧手段と前記雑音抑圧手段と電気的に接続した水平読み出し手段とを備え、前記水平読み出し手段を介して信号が読みだされている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間がある固体撮像装置の駆動方法において、
前記感光領域に与える電源電圧は前記第２の水平期間にローレベルの電位からハイレベルの電位とし、前記第２の水平期間から前記第１の水平期間へ移行時は前記ハイレベルの電位を保持することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【請求項２】  前記セルは信号電荷転送手段、信号電荷排出手段を備え、前記第２の水平期間は順次、第１副と第２副と第３副の期間を備え、
前記第１副の期間に前記信号電荷排出手段に与えるパルスの立上げと立下げからなる第１動作と、前記信号電荷転送手段に与えるパルスの立上げと立下げからなる第２動作と、前記第１副の期間あるいは前記第２副の期間に前記信号電荷排出手段に与えるパルスの立上げを行う第３動作と、前記第２副の期間に前記信号電荷排出手段に与えられたパルスの立下げを行う第４動作と、を順次行い、
前記感光領域に与える前記電源電圧は前記第１副の期間は前記ハイレベルの電位とし前記第２副の期間は前記ローレベルの電位とし前記第３副の期間は再び前記ハイレベルの電位とし、さらに前記第３副の期間に続く前記第１の水平期間も前記ハイレベルの電位を保持することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項３】  前記第１副の期間の前記第２動作により読み出された信号を前記雑音抑圧手段に出力し、さらに前記雑音抑圧手段に与えるパルスの立上げと立下げのあとに前記第２副の期間となることを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項４】  前記感光領域がｎ型基板上のｐ型ウェル内に形成されていることを特徴とする請求項１あるいは２に記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項５】  前記感光領域の対角長が８ミリメートル以上であることを特徴とする請求項１または３に記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項６】  前記信号電荷転送手段および前記信号電荷排出手段を駆動する垂直選択手段と前記増幅手段の出力を読み出す同じ列に配列した複数の垂直信号線と前記水平読み出し手段を駆動する水平選択手段とを備えたことを特徴とする請求項１〜５記載の固体撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第１の発明は、半導体基板上に、少なくとも光電変換手段、増幅手段を設けたセルを２次元上に配列した感光領域とセルと電気的に接続した雑音抑圧手段と雑音抑圧手段と電気的に接続した水平読み出し手段とを備え、水平読み出し手段を介して信号が読みだされている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間がある固体撮像装置の駆動方法において、感光領域に与える電源電圧は第２の水平期間にローレベルの電位からハイレベルの電位とし、第２の水平期間から第１の水平期間へ移行時はハイレベルの電位を保持することを特徴とする。
このような第１の発明によれば、電源ラインが変化した後、雑音抑圧処理を始めるまでに、時間Ｔを確保することができる。時間Ｔを、センサの基板の時定数に対して十分長くすることにより、雑音抑圧処理を行うときのセンサの基板の電位を各画素においてほぼ一定とすることができる。したがって、センサから雑音の少ない美しい再生画像を読み出すことができる。
第２の発明は、セルは信号電荷転送手段、信号電荷排出手段を備え、第２の水平期間は順次、第１副と第２副と第３副の期間を備え、第１副の期間に信号電荷排出手段に与えるパルスの立上げと立下げからなる第１動作と、信号電荷転送手段に与えるパルスの立上げと立下げからなる第２動作と、第１副の期間あるいは第２副の期間に信号電荷排出手段に与えるパルスの立上げを行う第３動作と、第２副の期間に信号電荷排出手段に与えられたパルスの立下げを行う第４動作と、を順次行い、感光領域に与える電源電圧は第１副の期間はハイレベルの電位とし第２副の期間はローレベルの電位とし第３副の期間は再びハイレベルの電位とし、さらに第３副の期間に続く第１の水平期間もハイレベルの電位を保持することを特徴とする。
第３の発明は、第１副の期間の第２動作により読み出された信号を雑音抑圧手段に出力し、さらに雑音抑圧手段に与えるパルスの立上げと立下げのあとに第２副の期間となることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第４の発明は、感光領域が、ｎ型基板上のｐ型ウェル内に形成されていることを特徴とする。
このような第４の発明によれば、水平ブランキング期間内に電源をパルス駆動する方法では再生画像に雑音が発生しやすい、ｎ型基板上のｐ型ウェル内に形成された感光領域を備えた固体撮像装置から、雑音の少ない美しい再生画像を読み出すことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第５の発明は、感光領域の対角長が、８ミリメートル以上であることを特徴とする。
このような第５の発明によれば、水平ブランキング期間内に電源をパルス駆動する方法では再生画像に雑音が発生しやすい、比較的大規模な固体撮像装置から、雑音の少ない美しい再生画像を読み出すことができる。
第６の発明は、信号電荷転送手段および信号電荷排出手段を駆動する垂直選択手段と増幅手段の出力を読み出す同じ列に配列した複数の垂直信号線と水平読み出し手段を駆動する水平選択手段とを備える。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月24日(2005.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
なお、高解像度モードと、通常解像度モードおよび部分読み出し動作だけのモードのとを切り替えられるように、モード切替回路３が配置されている。モード切替回路３は、ＣＰＵ８により制御されている。高解像度モード以外の時は、圧電素子３２，３５の伸縮を停止し、モード切替回路３によって映像信号が通常露光画像メモリ１４に記録されるようにし、通常画像やパーシャルスキャン（登録商標）画像などを得られるようにする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月24日(2005.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
アンテナで受信されたＶＨＦ帯以上の周波数のキャリア帯信号を１０［ｋＨｚ］単位の狭帯域でフィルタリングするアンテナフィルタとして配備された水晶フィルタと、
この水晶フィルタでフィルタリングされたキャリア帯信号に対する直接検波方式の受信処理を行う受信機構とを有する、
高周波無線機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
アンテナで受信されたＶＨＦ帯以上の周波数の信号と、前記アンテナから法律の規制対象外となる微弱電力で他の無線機に送信するＶＨＦ帯以上の周波数の信号とを、アンテナフィルタとして配備された一つの水晶フィルタにより１０［ｋＨｚ］単位の狭帯域でフィルタリングする送受信機構を有する、
高周波無線機。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
所定のデータで変調したＶＨＦ帯以上の周波数のキャリア帯信号を生成する信号処理部と、
この信号処理部で生成されたキャリア帯信号を１０［ｋＨｚ］単位の狭帯域でフィルタリングするアンテナフィルタとして配備された水晶フィルタと、
この水晶フィルタでフィルタリングされたキャリア帯信号を法律の規制対象外となる微弱電力に増幅してアンテナに導く高周波増幅部とを有する、
高周波無線機。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明が提供する高周波無線機の具体的な構成態様は、アンテナで受信されたＶＨＦ帯以上の周波数のキャリア帯信号を１０［ｋＨｚ］単位の狭帯域でフィルタリングするアンテナフィルタとして配備された水晶フィルタと、この水晶フィルタでフィルタリングされたキャリア帯信号に対する直接検波方式の受信処理を行う受信機構とを有するものである。
直接検波方式の高周波無線機では、受信信号を中間周波数にした後にそれを検波するスーパーヘテロダイン方式と比較して回路構成が簡易になり、小型化を促進することができる。従来例との比較で本発明の高周波無線機による効果が顕著なのは、キャリア帯信号が、他の無線機から法律の規制対象外となる微弱電力で送信されてアンテナに到達する信号である場合である。すなわち、微弱電力であるにも拘わらず、水晶フィルタの作用によって上記のように受信感度が高まるので、通信可能な範囲を拡げることができる。消費電力を低減する観点からは、キャリア帯信号を間歇的な信号とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明が提供する高周波無線機の別の構成態様は、アンテナで受信されたＶＨＦ帯以上の周波数の信号と、前記アンテナから法律の規制対象外となる微弱電力で他の無線機に送信するＶＨＦ帯以上の周波数の信号とを、アンテナフィルタとして配備された一つの水晶フィルタにより１０［ｋＨｚ］単位の狭帯域でフィルタリングする送受信機構を有するものである。
このような高周波無線機は、帯域幅が著しく狭く、イメージ抑圧がそれ自体で可能になるという水晶フィルタの特性を活かして、一つの水晶フィルタを送受信兼用とし、構造の簡素化及び汎用性を高めることができる。受信の場合は、例えばフィルタリング前の高周波信号の増幅利得を調整することによって、イメージ周波数を水晶フィルタを通過する段階で確実に除去できるので、後段における信号処理回路でのイメージ抑圧部等が不要になり、消費電力もその分低減化することができる。送信の場合は、水晶フィルタでイメージ周波数を抑圧した後に終段の高周波増幅部で所定電力まで増幅するので、イメージ周波数の増幅を回避することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明が提供する高周波無線機の別の構成態様は、所定のデータで変調したＶＨＦ帯以上の周波数のキャリア帯信号を生成する信号処理部と、この信号処理部で生成されたキャリア帯信号を１０［ｋＨｚ］単位の狭帯域でフィルタリングするアンテナフィルタとして配備された水晶フィルタと、この水晶フィルタでフィルタリングされたキャリア帯信号を法律の規制対象外となる微弱電力に増幅してアンテナに導く高周波増幅部とを有するものである。
信号処理部は、例えば、前記データを１次変調した後に通信相手との間で定めた拡散符号で拡散変調したＶＨＦ帯以上の周波数のキャリア帯信号を間歇的に生成するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月11日(2004.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、余剰領域を超える大きな手振れが生じた場合にも、補正端に当たる目障りな症状が発生しないようにすることができる撮像装置を提供することを課題とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月21日(2004.9.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ソフトウェア番組の伝送スケジュールの情報を含む番組案内を受信する受信手段と、前記番組案内に含まれるフトウェア番組案内から自端末に応じたソフトウェア番組を抽出するソフトウェア番組抽出手段と、端末に格納されているソフトウェア毎のバージョン情報をバージョン管理表で管理するバージョン管理手段と、前記ソフトウェア番組抽出手段が抽出したソフトウェア番組と前記バージョン管理表と照合し、前記抽出したソフトウェア番組から自端末に格納されたソフトウェアよりも新しいバージョンのソフトウェアを伝送するソフトウェア番組を判断して抽出するダウンロード判断手段と、番組の予約を番組予約表として管理する番組予約管理手段と、前記ダウンロード判断手段が抽出したソフトウェア番組と前記番組予約表とを照合し、前記抽出したソフトウェア番組から前記番組予約表に予約が入っていない時間帯に放送されるソフトウェア番組を抽出し、予約することを決定するソフトウェア番組決定手段とを備えたソフトウェアダウンロード端末。
【請求項２】
前記番組予約管理手段の管理する番組予約表に新たな番組予約が登録された場合、すでに前記番組予約表にダウンロード予約として設定されているソフトウェア番組の放送時間と重複する場合には、ソフトウェア番組決定手段に対して、前記ソフトウェア番組と同一内容で、かつ、放送時間が異なるソフトウェア番組を決定させる番組予約監視手段をさらに備えたこと特徴とする請求項１記載のソフトウェアダウンロード端末。
【請求項３】
前記ダウンロード判断手段が出力するダウンロード一覧表に記述されている番組の伝送開始時刻になったとき当該番組に記述されたファイルのダウンロードを指示する第１の番組予約管理手段と、この番組予約管理手段から渡されるダウンロード番組情報に記述してあるファイルをダウンロード
し、ダウンロードしたファイルの名前およびバージョンを前記バージョン管理表を管理するバージョン管理手段に通知するダウンロード実行手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のソフトウェアダウンロード端末。
【請求項４】
前記ダウンロード実行手段からダウンロード番組情報とダウンロードの終了の連絡を受け取り、ダウンロードの終了をセンターに通知するかどうかを判断するダウンロード終了連絡判断手段と、ダウンロード終了連絡判断手段がダウンロード終了を連絡すると判断した場合には、端末を特定する端末のシリアルナンバおよび前記ダウンロード終了連絡判断手段から受け取ったダウンロードを終了したソフトウェアの名前を送信するダウンロード終了連絡送信手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項３記載のソフトウェアダウンロード端末。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月9日(2004.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
特に、Ａサイト構成元素として、さらにアルカリ土類元素を含有することが望ましい。アルカリ土類元素としては特にＢａ、Ｓｒが高い変位を得られる点で好ましく、Ｂａを０．０２〜０．０８モル、Ｓｒを０．０２〜０．１２モル含むことが特に正方晶組成が主体の組成の場合に大きな変位を得るのに有利である。例えば、Ｐｂ1-x-yＳｒxＢａy（Ｚｎ1/3Ｓｂ2/3）a（Ｎｉ1/2Ｔｅ1/2）bＺｒ1-a-b-cＴｉcＯ3＋αｗｔ％Ｐｂ1/2ＮｂＯ3（０≦ｘ≦０．１４、０≦ｙ≦０．１４、０．０５≦ａ≦０．１、０．００２≦ｂ≦０．０１、０．４４≦ｃ≦０．５０、α＝０．１〜１．０）で表されるものが挙げられる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月30日(2004.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ウェハ、露光マスク、マーク検出方法、および露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接露光の際の位置合わせ用の検査光を散乱させるエッジを備えた位置合わせマークを露光面に設けてなるウェハであって、
前記位置合わせマークは、所定方向にドットパターンを配列してなるドットパターン群を、当該ドットパターンの配置間隔よりも広い配置間隔で当該所定方向に配列してなる
ことを特徴とするウェハ。
【請求項２】
前記ドットパターンは矩形凸状パターン、または、凹状パターンであることを特徴とする請求項１に記載のウエハ。
【請求項３】
前記ドットパターン群は前記所定方向に複数列に配列されたことを特徴とする請求項１に記載のウエハ。
【請求項４】
前記位置合わせマークは複数の箇所にそれぞれの向きで配置されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ。
【請求項５】
近接露光の際の位置合わせ用の検査光を散乱させるエッジを備えた位置合わせマークを表面に設けてなる露光マスクであって、
前記位置合わせマークは、所定方向にドットパターンを配列してなるドットパターン群を、当該ドットパターンの配置間隔よりも広い配置間隔で当該所定方向に配列してなる
ことを特徴とする露光マスク。
【請求項６】
前記ドットパターン群は前記所定方向に複数列に配列されたことを特徴とする請求項５に記載の露光マスク。
【請求項７】
前記位置合わせマークは複数の箇所にそれぞれの向きで配置されていることを特徴とする請求項５に記載の露光マスク。
【請求項８】
所定方向にドットパターンを配列してなるドットパターン群を当該ドットパターンの配置間隔よりも広い配置間隔で所定方向に配列してなる位置合わせマークを有するウェハ上に、
前記位置合わせマークと同じパターン配列の位置合わせマークを有する露光マスクを、前記位置合わせマークの配列方向が同一方向に揃えられた所定の配置状態となるように配置した状態で、
位置合わせ用の検査光を前記露光マスクを透過して前記ウェハの露光面に入射させ、当該ウェハおよび露光マスクのドットパターンのエッジでの散乱光を検出する
ことを特徴とする位置合わせマーク検出方法。
【請求項９】
前記露光マスクおよび前記ウエハに対して前記位置合わせ用の検査光が斜めから入射されることを特徴とする請求項８に記載の位置合わせマーク検出方法。
【請求項１０】
前記位置合わせ用の検査光の入射面は、前記ドットパターンの配列方向に平行に保たれるような斜め上方から入射されることを特徴とする請求項８に記載の位置合わせマーク検出方法。
【請求項１１】
前記露光は、近接露光であることを特徴とする請求項８に記載の位置合わせマーク検出方法。
【請求項１２】
前記検査光の散乱を前記ドットパターンの配列方向の信号強度の微分処理により行うことを特徴とする請求項８に記載の位置合わせマーク検出方法。
【請求項１３】
前記検査光の散乱が多く信号強度が高い部分が配列方向に周期的に配置されることを特徴とする請求項８に記載の位置合わせマーク検出方法。
【請求項１４】
所定方向にドットパターンを配列してなるドットパターン群を当該ドットパターンの配置間隔よりも広い配置間隔で所定方向に配列してなる位置合わせマークを有するウェハ上に、前記位置合わせマークと同じパターン配列の位置合わせマークを有する露光マスクを、前記位置合わせマークの配列方向が同一方向に揃えられた所定の配置状態となるように配置した状態で、位置合わせ用の検査光を前記露光マスクを透過して前記ウェハの露光面に入射させ、当該ウェハおよび露光マスクのドットパターンのエッジでの散乱光を検出することによって当該ウェハおよび露光マスクとの位置合わせを行い、
次いで、前記露光マスクを介して前記ウェハに露光を行う
ことを特徴とする露光方法。
【請求項１５】
前記露光マスクおよび前記ウエハに対して前記位置合わせ用の検査光が斜めから入射されることを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【請求項１６】
前記位置合わせ用の検査光の入射面は、前記ドットパターンの配列方向に平行に保たれるような斜め上方から入射されることを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【請求項１７】
前記露光は、近接露光であることを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【請求項１８】
前記検査光の散乱を前記ドットパターンの配列方向の信号強度の微分処理により行うことを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【請求項１９】
前記検査光の散乱が多く信号強度が高い部分が配列方向に周期的に配置されることを特徴とする請求項１４に記載の露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、近接露光の際に用いる位置合わせマークを有するウェハおよび露光マスク並びにマーク検出方法および露光マスクに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
そこで本発明は、ウェハ−露光マスク間のギャップの補正を含むアライメント精度の向上を図ることが可能なウェハおよび露光マスク並びにマーク検出方法および露光マスクを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明は、このような位置合わせマークを有する露光マスク並びにマーク検出方法および露光マスクでもある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のウェハおよび露光マスク並びにマーク検出方法および露光マスクによれば、ＳＬＡ方式のアライメントを行う場合に、ｘ-ｙ成分、θ成分、および倍率成分のずれを検出するための信号強度を高めることができ、かつウェハ−露光マスク間のギャップを検出するためフォーカス位置の検出精度を高めることができる。したがって、ウェハ−露光マスク間のギャップの制御を含むアライメント精度の向上を図ることが可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月22日(2004.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスフローにおいて上流側の第１の処理部から被処理基板を受け取るための第１の受け渡しユニットと、
プロセスフローにおいて下流側の第２の処理部へ前記基板を受け渡すための第２の受け渡しユニットと、
前記第１の受け渡しユニットおよび前記第２の受け渡しユニットのそれぞれの上または下に多段に積層配置される１つまたは複数の処理ユニットと、
前記基板を一時的に留め置いて保管するために前記第１の受け渡しユニットおよび／または前記第２の受け渡しユニットと前記処理ユニットを含む多段ユニット部の最上段に配置されるバッファユニットと、
前記第１および第２の受け渡しユニット、前記処理ユニットならびに前記バッファユニットの間で前記基板を搬送する搬送手段と
を有する処理システム。
【請求項２】
前記多段ユニット部の最下段に、前記処理ユニットに対して所定の用力を供給するための用力供給ユニットを配置する請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】
前記搬送手段が、垂直方向に昇降可能な昇降搬送体と、前記昇降搬送体上で垂直軸の回りに旋回可能な旋回搬送体と、前記旋回搬送体上で前記基板を支持しながら水平面内で前後方向に伸縮可能な搬送アームとを含む請求項１または２に記載の処理システム。
【請求項４】
前記バッファユニットが、前記基板を複数枚多段に収納可能な基板収納空間を与える筐体と、前記基板を１枚ずつ載置するために前記筐体の基板収納空間を横断して設けられる複数の支持板と、前記基板をピン先端で支持するために各々の前記支持板上に離散的に設けられる複数の支持ピンとを有する請求項１〜３のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項５】
前記第１の処理部が、前記基板をほぼ水平な姿勢で水平方向に搬送するための第１の搬送路と、前記第１の搬送路上を搬送される前記基板に一連の処理を施す第１の処理手段とを含む請求項１〜４のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項６】
前記第２の処理部が、前記基板をほぼ水平な姿勢で水平方向に搬送するための第２の搬送路と、前記第２の搬送路上を搬送される前記基板に一連の処理を施す第２の処理手段とを含む請求項１〜５のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項７】
前記処理ユニットが、前記基板に対して前記第１または第２の処理部の処理に付随する熱的な処理を施すための熱処理ユニットである請求項１〜６のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項８】
各々の前記多段ユニット部において、全ての前記処理ユニットがユニット収納部に着脱可能に収納され、前記バッファユニットが前記ユニット収納部の上に分離可能に配置される請求項１〜７のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項９】
前記基板の前記処理ユニットのいずれかまたは前記第２の処理部への搬入が不可のときに、前記搬送手段が前記第１の受け渡しユニットで受け取った前記基板を前記バッファユニットの１つに格納する請求項１〜８のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項１０】
搬入不可となった前記処理ユニットまたは前記第２の処理部で行われるべき処理の１つ前または複数前の工程の処理まで済ませてから前記基板を前記バッファユニットに格納する請求項９に記載の処理システム。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月25日(2005.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気配線プラス電気配線（２４）陽電子素子体（圧電素子プラス部分）（１１）に、電気を、通して陽電子（１１）は、プラス陽電子固形窒素冷却装置（２８）を、備えて同じく陰電子素子体（圧電素子マイナス部分）（１６）に、電気を、通して陰電子（１６）は、マイナス陰電子固形窒素冷却装置（２９）を、備えて、電気の通りを、スムーズムにした電気装置。
【請求項２】
電気抵抗を減らすため陽電子素子体（１１）に、プラス陽電子固形窒素冷却装置を、用いて中間電子素子体（プラス側）を、備えて陽電子（１１）中間電子（電気抵抗）別々に、使用する事を、目的として同じく陰電子素子体（１６）に、陰電子固形窒素冷却装置（２９）を、用いて中間電子素子体（マイナス側）（２３）を、備えて、それぞれの電気は、陽電子（１１）陽電子中間電子（１１，１０）に、別れ、陰電子（１６）陰電子中間電子（１６，２３）に、それぞれ別れて使用される、但し陽電子中間電子（１１，１０）そして陰電子中間電子（１６，２３）は、戻りリサイクルプラス電気冷却装置（６）そして、戻りリサイクルマイナス電気冷却装置（１７）を、経てリサイクル電気として、再利用される。
【請求項３】
電気抵抗を、減らすこの装置は陽電子（１１）を、同じプラス電気絶縁体（８）陽電子中間電子（１１，１０）を区別して、使用され陰電子（１６）陰電子中間電子（１６，２３）は、マイナス電気絶縁体（２１）それぞれが、プラス電気絶縁体（８）マイナス電気絶縁体（２１）それぞれの役目を、果たす絶縁体である。
【請求項４】
電気の流れを、スムーズムにするため陽電子素子体（１１）陽電子（１１）だけの電気抵抗を、はずしてプラス陽電子固形窒素冷却装置（２８）に、よって電気の流れを、スムーズムに、する。陰電子素子体は、（１６）陰電子（１６）だけの電気抵抗を、はずしてマイナス陰電子固形窒素冷却装置（２９）に、よって電気の流れスムーズムに、するための、それぞれの、電気固形窒素冷却装置。
陽電子（１１）プラス中間電子（１０）は、中間電子リサイクルプラス電気配線（２）は、リサイクルプラス電気固形窒素冷却装置（６）で、電気融合を、果たす。陰電子（１６）マイナス中間電子（２３）は、中間電子リサイクルマイナス電気配線（２０）は、リサイクルマイナス電気固形窒素冷却装置（１７）それぞれに、よってそれぞれ電気融合を、果たす冷却装置  リサイクル電気冷却装置である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】  電気抵抗を、減らして電気を、長持ちさせ、電気製品に無理を、かけない電気装置の、あり方。