Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月3日(2005.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線を持つと共に、複数段のタービン・バケットを取付けるリムを持つ複数個のタービン・ホィール(38,40,42,44)、及びリム(104)を持つスペーサ円板(39,41,43)を含み、該スペーサ円板が前記ホィールの間に交互に配置されて、その間にホィール空所(84,86)を限定し、前記ホィール及びスペーサ円板が互いに固着されている多段回転子と、
該回転子に冷却媒質を供給する貯蔵槽(96)と、
前記冷却媒質を供給する貯蔵槽(96)に連通すると共に、ホィール及びスペーサ円板のリムを軸方向に通り抜けて、前記回転子の少なくとも１段のタービン・バケットに冷却媒質を供給する複数個の全体的に軸方向に伸びる通路(106)と、
前記１段のタービン・バケットと連通している複数個の半径方向内向きの溝孔(129)と、
使用済みの冷却媒質を流すため、前記溝孔(129)と連通している軸方向に伸びる戻り通路(120)とを有するタービン。
【請求項２】
前記軸方向に伸びる通路が、少なくとも１つのスペーサ円板の両側にあるタービン・ホィールのリムに入口及び出口(108, 110)を含み、該入口及び出口は、前記入口からの冷却媒質を前記１つのスペーサ円板の片側に沿って半径方向内向きに流れさせ、且つ前記出口へ流れる様に、前記スペーサ円板の反対側に沿って半径方向外向きに流れさせる様に位置ぎめされている請求項１記載のタービン。
【請求項３】
前記ホィールのリムの間を半径方向外向きに伸びる半径方向外向き溝孔(115)を有し、半径方向外向き溝孔が前記ホィール空所を介して前記軸方向に伸びる通路と連通し、かつ前記軸方向に伸びる通路と連通して、前記ホィール空所及び軸方向に伸びる通路からの冷却媒質をタービン・バケットに差し向ける請求項１又は請求項２記載のタービン。
【請求項４】
前記タービン・ホィールのリムの間に供給高圧室(117)と前記ホィールのリムの間を半径方向外向きに伸びる半径方向外向き溝孔(115)があり、前記半径方向外向きの溝孔(115)が前記ホィール空所を介して前記軸方向に伸びる通路と連通し、かつ前記軸方向に伸びる通路(106)と連通して、前記ホィール空所及び軸方向通路からの冷却媒質を、前記タービン・バケットへ流れる様に前記供給高圧室へ差し向ける請求項１又は請求項２記載のタービン。
【請求項５】
前記タービン・ホィールのリムの間にある戻り高圧室(123, 125)が前記タービン・バケットと連通して、使用済みの冷却媒質を受取り、少なくとも１つの戻り通路が前記回転子によって担持されており、前記溝孔が前記戻り高圧室と連通して、該戻り高圧室からの使用済み冷却媒質を前記戻り通路へ差し向け、前記供給高圧室及び戻り高圧室は、前記タービン・ホィールのリムの間にあるスペーサ円板の両面に形成されている請求項１記載のタービン。
【請求項６】
前記タービン・バケットは、燃焼室に一番近い第１及び第２の段のバケットである請求項３，請求項４又は請求項５に記載のタービン。
【請求項７】
前記タービン・バケットと組合せて、前記１段を形成する１つのスペーサ円板及びホィールの間にあるスペーサ板が前記軸方向に伸びる通路及び前記軸方向に伸びる通路と連通する複数個の冷却媒質流れポートを持ち、前記バケットは、その中に冷却媒質を通す為に、前記スペーサ板のポートと整合した複数個の冷却媒質ポートを持ち、更に、前記スペーサ板及び前記バケットのポートの間を密封して、冷却媒質がその中を流れることが出来る様にする移行集成体を有し、各々の移行集成体は、バケット及びスペーサ板の継目で、一端が前記整合するポートに密封して固定された一対の筒形ブッシング(144, 146)を含み、前記一端から遠い場所にあるブッシングは前記ポートの内壁から隔たっており、更に、同軸の筒形要素(148)が前記ブッシング内及び該ブッシングの間を伸びて、それが終端する端が前記ブッシングと係合して、前記バケット及びスペーサ板の間の熱的な不整合による応力を減少して、冷却媒質が前記筒形要素を通ってポートを流れることが出来る様にする封じを形成している請求項１記載のタービン。
【請求項８】
前記軸方向に伸びる通路が、少なくとも１つのスペーサ円板の両側にある隣接したホィール・リムに円周方向に相隔たる複数個の入口及び出口を含んでおり、前記入口及び出口は、前記入口からの冷却媒質を前記１つのスペーサ円板の片側(84)に沿って全体的に内向きに流れさせると共に、前記１つのスペーサ円板の反対側(86)に沿って全体的に外向きに流れて出口に流れる様にし、こうして前記流路及び前記内向き及び外向きの流れが全体的に蛇行通路を形成している請求項１記載のタービン。
【請求項９】
タービン・バケットと組合せて、前記１段のホィールを形成する部分が、前記軸方向に伸びる通路及び前記軸方向に伸びる通路と連通する複数個の冷却媒質流れポートを持ち、前記バケットが、その中に冷却媒質が流れる様にする為に、前記ホィールのポートと整合する複数個の冷却媒質ポートを持ち、前記ホィール及びバケットのポートの間を密封して、その中を冷却媒質が流れることが出来る様にする移行集成体(206)が設けられ、
各々の移行集成体は、バケット及びホィールの接続部に隣接して前記ホィールの整合するポートに摺動自在に且つ密封して固着された筒形ブッシング、該ブッシングを前記バケットに向かって移動する様に偏圧するばね(212)、その一端で前記ブッシングによって担持された球形封じ面(208)、及びその整合するポート内に前記バケットによって担持された座を含んでおり、前記ブッシングは、前記バケットがホィールと摺動係合する時に、前記ばねの偏圧に逆らって、バケットから遠ざかる向きにホィールのポート内で摺動自在であると共に、前記バケットが前記ホィール上に最終的に位置ぎめされたことに応答して、ブッシングの球形面及び前記座を互いに密封する様に前記ばねの偏圧のもとに前記バケットに向かう方向に摺動自在である請求項１記載のタービン。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月24日(2005.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】複合型ソーラーカー
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池と他の動力を組み合わせた自動車を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来は、太陽電池だけのソーラーカーしか無かった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
太陽電池は、確かに無料のエネルギーを使うので有益であるが、夜間や悪天候の時、十分な動力を得られない。本発明は、この課題を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
太陽電池と次にあげる動力（１）〜（３）のどれか１つを組み合わせる。即ち、
ガソリンエンジンを組み合わせる。エンジン駆動とモーター駆動を使い分けて自動車を動かす。
燃料電池を組み合わせる。同じ電気を利用するのでエンジンは、いらない。現在２００ｋｍぐらいまで航続距離が伸びている。
バッテリーを組み合わせる。航続距離は、ガソリンエンジンに遠く及ばないが小型高性能化により現実味を帯びてくる。エンジンは、いらない。
【発明の効果】
【０００５】
太陽電池の電力が十分でない時は、他の動力を使用することにより、天候に左右されない自動車ができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月26日(2005.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
開放された安全ドア８を閉じると、ドア下縁により抑えられていたエアバルブ３０のスイッチ３０ａが元に復して、エアバルブ３０はエアパージからエア圧入に切り替わる。エアシリンダ２５ａでは流入したエアの圧力により、リターンスプリング２５ｂが圧縮され、ピストンロッド２５ｃが縮小してストッパ２２を引き戻す。これにより係合穴２６の小径部が安全部材２１から離れて係合が解除され、その状態がエアの圧力により維持される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図６は、駆動装置が油圧シリンダ５０とピストンロッド５１とからなる実施形態を示すものである。該油圧シリンダ５０はピストンロッド５１を前記受圧盤１の内側に位置させて、該受圧盤１の中央部に内設してある。ピストンロッド５１の先端部には、受圧盤１と可動盤５との間の前記リンク１１と、前記作動リンク１５を介して連結したクロスヘッド５２が取付けて固定してあり、そのクロスヘッド５２の前部中央に、管体の前記安全部材２１が係止段部２１ａを可動盤５に向けて取付けてある。また受圧盤１の内側に前記支持部材２３が設けてあり、その支持部材２３の先端部に、図では省略するが、図２と同様にストッパや蓋部材及び駆動手段が設けてある。なお、安全部材２１は軸体であってもよく、また取付け箇所もクロスヘッド５２の前部に限られず、ピストンロッド５１の先端であってもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2005271287.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月25日(2005.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この結果、幅５０ｍｍの板状体が、肩部を経由することなく形成された。板状体の長さが５０ｍｍに達するまで、ニオブ酸リチウムの原料粉末を供給しながら、育成を継続した。次いで、板状体をノズル部１３から切り離し、冷却した。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月16日(2004.7.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
更に、本発明に係るシート供給装置は、このシート供給装置から供給されるシートに画像を形成する画像形成ユニット６を具備した画像形成装置に適用することが好ましく、このような態様にあっては、前記判別手段４の判別結果に基づいて前記画像形成ユニット６の画像形成プロセスを制御する制御手段７を具備させることが好ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
前記サイドガイド６１に対応させて配置するセンサ保持フレーム６３には、図３〜５に示すように、トレイ底板６７に設けられたガイド溝６５を介してサイドガイド６１から挿入ピン６８を突出させて設けており、前記挿入ピン６８をセンサ保持フレーム６３に設けた挿入孔６９に挿入して取り付けている。そして、前記サイドガイド６１を手差しトレイ３５の幅方向に移動させる動作に追従させて、センサ保持フレーム６３を移動させ、前記センサ保持フレーム６３の内部の固定位置に設けた抵抗部材７０に対してスライド部材７１を摺動させ、抵抗部材７０における抵抗値の情報を用いて、用紙サイズの検知を行わせるようにしている。前記抵抗部材７０に対して摺動可能に設けるスライド部材７１は、上部にピン部材７２を突出させて配置し、前記ピン部材７２をガイドレール６２に押圧して摺動させるようにする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
更に、図１２に示すように、用紙ホルダ８０の底面下側に用紙排出方向に沿ってレール９５を設けると共に、図８に示す手差しトレイ３５の対応する部位に当該レール９５が係合する溝９６（図８参照）を設けるようにすれば、常に手差しトレイ３５の同一位置に用紙ホルダ８０を装着することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2001253549.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月20日(2004.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
前記スライド部材７１をガイドレール６２に押圧するために、図４、図５に示すように、揺動アーム７３を配置し、前記揺動アーム７３を支軸７４を介して揺動可能に設け、スプリング７５により揺動アーム７３を支軸７４を介して時計方向に付勢する。また、前記揺動アーム７３の先端部には長孔７６を配置し、前記長孔７６に対してスライド部材７１のピン部材７２を挿入して、スライド部材７１を用紙搬送方向の下流部側に向けて付勢する手段を構成している。従って、前記スプリング７５により付勢される揺動アーム７３を介して、スライド部材７１に対する支持手段を構成することにより、スライド部材７１のピン部材７２には、常時ガイドレール６２に押圧する作用が加えられるので、サイドガイド６１の移動に追従させて、スライド部材７１を位置決めする動作を正確に行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月20日(2004.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
ここで、本実施の形態では、エンドガイド５２ａの一時移動機構は、ガイド壁９１１、ストッパ爪９１２、ストッパ壁９１３を有するアウタガイドプレート９１、係止孔９２２を有する移動自在なインナガイドプレート９２、付勢スプリング１５０にて構成される。
また、エンドガイド５２ａの可動範囲の設定については、実施の形態１と同様に選定され、インナガイドプレート９２の可動範囲（所定寸法ｅ）はエンドガイド５２ａの可動範囲を考慮して設定される。尚、インナガイドプレート９２の可動範囲ｅについては予め一定に設定してもよいし、調整可能に設定してもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月22日(2005.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
硬度の低いソフトタイプの先端チップと硬度の高いハードタイプの先端チップ、または硬度の低いソフトタイプの先端チップを備えたホルダと硬度の高いハードタイプの先端チップを備えたホルダとを設けたことを特徴とする入力ペン。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の入力ペンは、硬度の低いソフトタイプの先端チップと硬度の高いハードタイプの先端チップ、または硬度の低いソフトタイプの先端チップを備えたホルダと硬度の高いハードタイプの先端チップを備えたホルダとを設けてなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
なお、入力ペン用のホルダ４は先端開口部にソフトタイプまたはハードタイプの先端チップ５が、圧入・装着されている。より詳しく述べると、このホルダ４は可撓性の例えば合成樹脂のパイプからなり、先端チップ５の後部圧入部の外径はホルダ４先端部の内径よりやや大きめに形成されている。即ち、先端チップ５が、ホルダ４に装着された時にホルダ４より落下しない程度でかつ他の先端チップ５と交換可能な程度の嵌合力関係を有している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
なお、入力ペンの先端チップ５が、ソフトタイプまたはハードタイプのいずれかである場合、ユーザーの好みによってセットされた先端チップ５をホルダ４から引き抜いて、他のタイプの先端チップ５をホルダ４に圧入すれば良い。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
あるいは、先軸２を例えば右に数回程度回転させて、クリップの付いている後軸３から先軸２を取り外す。その後、後軸３側にあるホルダ４ごと受け部材であるスライドカム９から引き抜いて、替わりに他のタイプの先端チップ５が装着されたホルダ４を圧入すれば良い。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
なお、先端チップ５のホルダ４への取り付けおよびホルダ４の受け部材としてのスライドカム９への取り付けは、上記実施の形態では圧入方法について述べたが、この圧入に限定されるものではなく、螺合構造、カシメ方式等でも良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、複合筆記具としての操作方法としては、必ずしも回転式のものでなくても良く、側面に出た突出部を軸方向にプッシュして先端部を突出させる等の公知の操作方法でも良い。即ち、複合筆記具としての操作方法及び出没構造についてはいかなるものにも限定されないことは勿論である。
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月15日(2005.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる色に発光する複数のＥＬ素子を有し、
前記複数のＥＬ素子のうち、少なくとも１つのＥＬ素子はトリプレットにより発光し、その他のＥＬ素子はシングレットにより発光することを特徴とする発光装置。
【請求項２】
互いに異なる色に発光する複数の画素を有し、
前記複数の画素のうち、少なくとも１つの画素はトリプレットにより発光し、その他の画素はシングレットにより発光することを特徴とする発光装置。
【請求項３】
互いに異なる色に発光する複数のＥＬ素子を有し、
前記複数のＥＬ素子のうち、少なくとも１つのＥＬ素子はトリプレット化合物を有し、その他のＥＬ素子はシングレット化合物を有することを特徴とする発光装置。
【請求項４】
互いに異なる色に発光する複数の画素を有し、
前記複数の画素のうち、少なくとも１つの画素はトリプレット化合物を有し、その他の画素はシングレット化合物を有することを特徴とする発光装置。
【請求項５】
赤色に発光するＥＬ素子と、緑色に発光するＥＬ素子と、青色に発光するＥＬ素子とを有し、
前記赤色に発光するＥＬ素子はトリプレット化合物を有し、前記緑色に発光するＥＬ素子及び前記青色に発光するＥＬ素子はシングレット化合物を有することを特徴とする発光装置。
【請求項６】
赤色に発光する画素と、緑色に発光する画素と、青色に発光する画素とを有し、
前記赤色に発光する画素はトリプレット化合物を有し、前記緑色に発光する画素及び前記青色に発光する画素はシングレット化合物を有することを特徴とする発光装置。
【請求項７】
赤色に発光するＥＬ素子と、緑色に発光するＥＬ素子と、青色に発光するＥＬ素子とを有し、
前記赤色に発光するＥＬ素子及び前記緑色に発光するＥＬ素子はトリプレット化合物を有し、前記青色に発光するＥＬ素子はシングレット化合物を有することを特徴とする発光装置。
【請求項８】
赤色に発光する画素と、緑色に発光する画素と、青色に発光する画素とを有し、
前記赤色に発光する画素及び前記緑色に発光する画素はトリプレット化合物を有し、前記青色に発光する画素はシングレット化合物を有することを特徴とする発光装置。
【請求項９】
請求項５または請求項６において、
前記トリプレット化合物は、式１で示される有機化合物であることを特徴とする発光装置。
【式１】
2002062824.tif 000001
【請求項１０】
請求項５または請求項６において、
前記トリプレット化合物は、式２で示される有機化合物であることを特徴とする発光装置。
【式２】
2002062824.tif 000002
【請求項１１】
請求項９または請求項１０において、
前記周期表の８〜１０属に属する元素は、白金、イリジウム、ニッケル、コバルトもしくはパラジウムであることを特徴とする発光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月18日(2005.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンとピストンを摺動可能に収容するシリンダからなるシリンジと、ピストンをシリンダ内で摺動させるステッピングモータとを備え、シリンダが、先端にシース液の注入・注出孔を、側壁にシリンダ内へ気体を導入するための気体導入孔をそれぞれ有するシース液供給装置。
【請求項２】
シリンダが側壁にシリンダ内へ陰圧を導入する陰圧導入孔をさらに備えてなる請求項１記載のシース液供給装置。
【請求項３】
ピストンとシリンダからなるシリンジを用いてシースフローセルにシース液を供給する方法であって、シリンダ内に気体とシース液とを収容し、シース液とピストンとの間に気体を介在させながらステッピングモータでピストンを駆動してシリンダからシース液をシースフローセルへ供給することを特徴とするシース液供給方法。
【請求項４】
ピストンとシリンダからなるシリンジを用いてシースフローセルにシース液を供給する方法であって、シリンダ内に気体とシース液とを収容した状態で、ステッピングモータでピストンを駆動することによって、ステッピングモータによるピストンの脈動を気体によって吸収させながら、シリンダからシース液をシースフローセルへ供給することを特徴とするシース液供給方法。
【請求項５】
ピストンとピストンを摺動可能に収容するシリンダからなるシリンジと、ピストンをシリンダ内で摺動させるステッピングモータとを備えたシース液供給装置であって、シリンダ内に気体とシース液とを収容した状態で、ステッピングモータでピストンを駆動することによって、ステッピングモータによるピストンの脈動を気体によって吸収させながら、シリンダからシース液をシースフローセルへ供給することを特徴とするシース液供給装置。
【請求項６】
ピストンとピストンを摺動可能に収容するシリンダからなるシリンジと、シリンジに接続されるシースフローセルと、ピストンを駆動することによって、シリンダ内にシース液と気体とを導入し、シリンダ内に導入したシース液をシースフローセルに供給するためのステッピングモータと、シースフローセルに試料を供給する試料供給部と、シースフローセルに供給された試料の光学特性を測定する測定部と、を備える試料分析装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、この発明は、ピストンとシリンダからなるシリンジを用いてシースフローセルにシース液を供給する方法であって、シリンダ内に気体とシース液とを収容し、シース液とピストンとの間に気体を介在させながらステッピングモータでピストンを駆動してシリンダからシース液をシースフローセルへ供給することを特徴とするシース液供給方法を提供するものである。
さらに、この発明は、ピストンとシリンダからなるシリンジを用いてシースフローセルにシース液を供給する方法であって、シリンダ内に気体とシース液とを収容した状態で、ステッピングモータでピストンを駆動することによって、ステッピングモータによるピストンの脈動を気体によって吸収させながら、シリンダからシース液をシースフローセルへ供給することを特徴とするシース液供給方法を提供するものである。
さらに、この発明は、ピストンとピストンを摺動可能に収容するシリンダからなるシリンジと、ピストンをシリンダ内で摺動させるステッピングモータとを備えたシース液供給装置であって、シリンダ内に気体とシース液とを収容した状態で、ステッピングモータでピストンを駆動することによって、ステッピングモータによるピストンの脈動を気体によって吸収させながら、シリンダからシース液をシースフローセルへ供給することを特徴とするシース液供給装置を提供するものである。
さらに、この発明は、ピストンとピストンを摺動可能に収容するシリンダからなるシリンジと、シリンジに接続されるシースフローセルと、ピストンを駆動することによって、シリンダ内にシース液と気体とを導入し、シリンダ内に導入したシース液をシースフローセルに供給するためのステッピングモータと、シースフローセルに試料を供給する試料供給部と、シースフローセルに供給された試料の光学特性を測定する測定部と、を備える試料分析装置を提供するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月13日(2004.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポートの出力状態を切り替える切替手段と、センサの出力経路から前記切替手段のポートまで抵抗により接続する調整回路とを有する計測機器の零点調整方法において、前記調整回路の抵抗と、前記切替手段のポートの出力状態と、調整量の大きさの段階を表す調整レベルとの関係を参照するとともに、算出用データに基づいて前記調整レベルを算出し、前記調整回路の抵抗と前記切替手段のポートの出力状態とを特定することを特徴とする計測機器の零点調整方法。
【請求項２】
前記切替手段のポートは、マイコンのポートであることを特徴とする請求項１記載の計測機器の零点調整方法。
【請求項３】
前記算出用データは、前記センサからの出力である零点データと、調整範囲内にするために目標とする調整目標点と、前記調整レベルが一段階変化する変化量とであることを特徴とする請求項１または２記載の計測機器の零点調整方法。
【請求項４】
ポートの出力状態を切り替える切替手段と、センサの出力経路から前記切替手段のポートまで抵抗により接続する調整回路とを有する計測機器の零点調整装置において、前記調整回路の抵抗と、前記切替手段のポートの出力状態と、調整量の大きさの段階を表す調整レベルとの関係を記憶するポート調整テーブル記憶手段と、算出用データに基づいて前記調整レベルを算出し、前記調整回路の抵抗と前記切替手段のポートの出力状態とを特定する調整レベル算出手段と、を備えたことを特徴とする計測機器の零点調整装置。
【請求項５】
前記切替手段のポートは、マイコンのポートであることを特徴とする請求項４記載の計測機器の零点調整装置。
【請求項６】
前記算出用データは、前記センサからの出力である零点データと、調整範囲内にするために目標とする調整目標点と、前記調整レベルが一段階変化する変化量とであることを特徴とする請求項４または５記載の計測機器の零点調整装置。
【請求項７】
前記調整レベル算出手段は、前記零点データが調整範囲の上限を超えている場合に、前記零点データから、調整範囲の上限を示す前記調整目標点を減算し、前記調整レベルが一段落変化したときの零点データの変化量で除算し、１を加算し、現在設定されている調整レベルに加算した結果が、このときの調整レベルである調整回路の抵抗と切替手段のポートの出力状態の関係に前記切替手段のポートを切替えしていくことにより行うことを特徴とする請求項６記載の計測機器の零点調整装置。
【請求項８】
更に、前記調整レベル算出手段は、前記零点データが調整範囲の上限を超えていなく、かつ、調整範囲の下限未満である場合に、調整範囲の下限を示す前記調整目標点から、前記零点データを減算し、前記調整レベルが一段落変化したときの零点データの変化量で除算し、１を加算し、現在設定されている調整レベルに加算した結果が、このときの調整レベルである調整回路の抵抗と切替手段のポートの出力状態の関係に前記切替手段のポートを切替えしていくことにより行うことを特徴とする請求項７記載の計測機器の零点調整装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月12日(2004.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図１２は、この発明の実施の形態の腕時計の縁取付構造の他の例２を  示す断面図である。この他の例２の腕時計は、縁７０側にバヨネット部品７１を取り付  け、溝７２ａ等と、クリック穴７３ａ等を内胴７４に設けた構造である。つまり、その  バヨネット部品７１には、前記ばね突起部３４ａ等に相当するばね突起部７１ａ等を一  体に形成してあり、また、内胴７４の周縁には、前記溝１１ａ等に相当する溝７２ａ等  を形成し、前記クリック穴１２ａ等に相当するクリック穴７３ａを設けた構造である。  なお、外胴７５は、前記内胴１０とクリック穴等が無い点が相違する。なお、図中、内  胴７４のガラス体や裏ぶたは省略してある。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月26日(2004.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止輪の周面と回転輪の周面との間に存在する空間部の開口端部を塞ぐと共に、この回転輪の回転速度を検出する為に使用するエンコーダ付組み合わせシールリングであって、
上記静止輪の周面に固定されるシールリングと、上記回転輪の周面に固定される金属製のスリンガと、このスリンガに支持固定されるエンコーダとを備え、
上記シールリングは、上記静止輪の周面に嵌合固定される固定円筒部及びこの固定円筒部の端縁から上記回転輪の周面に向け折れ曲がった固定円輪部から成る芯金と、この芯金の全周に亙って添着された、シールリップを有する弾性材とを備え、
上記スリンガは、磁性金属板製で、上記回転輪の周面に嵌合固定される回転円筒部と、この回転円筒部の端縁から上記静止輪の周面に向け折れ曲がった回転円輪部とを備えて、シールリップを有する弾性材は備えず、上記回転円筒部の周面及び上記回転円輪部の片側面で上記シールリップの先端縁を摺接させる部分を平滑面とすると共に、上記回転円輪部の他側面で上記エンコーダを支持固定すべき面を上記周面及び片側面よりも表面粗さの値が大きい粗面としており、
上記エンコーダは、円周方向に亙ってＳ極とＮ極とを交互に配置したゴム磁石製で、上記回転円輪部の他側面に結合固定されている、
事を特徴とするエンコーダ付組み合わせシールリング。
【請求項２】
固定円筒部は、固定円輪部から遠い側の先端部の外径が中間部の外径よりも小さくなっており、この先端部の外周面が弾性材の一部により被覆されている、請求項１に記載したエンコーダ付組み合わせシールリング。
【請求項３】
静止側周面に静止側軌道を有する静止輪と、回転側周面に回転側軌道を有し、車輪を支持固定自在とした回転輪と、これら静止側軌道と回転側軌道との間に転動自在に設けられた複数の転動体と、上記静止側周面の端部と上記回転側周面の端部との間に設けられた、請求項１〜２の何れかに記載したエンコーダ付シールリングとから成るエンコーダ付組み合わせシールリングを組み込んだ車輪支持用転がり軸受ユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決する為の手段】
本発明のエンコーダ付組み合わせシールリングとこれを組み込んだ車輪支持用転がり軸受ユニットとのうち、請求項１に記載したエンコーダ付組み合わせシールリングは、静止輪の周面と回転輪の周面との間に存在する空間部の開口端部を塞ぐと共に、上記回転輪の回転速度を検出する為に使用する。
そして、上記静止輪の周面に固定されるシールリングと、上記回転輪の周面に固定される金属製のスリンガと、このスリンガに支持固定されるエンコーダとを備える。
又、上記シールリングは、上記静止輪の周面に嵌合固定される固定円筒部及びこの固定円筒部の端縁から上記回転輪の周面に向け折れ曲がった固定円輪部から成る芯金と、この芯金の全周に亙って添着された、シールリップを有する弾性材とを備える。
又、上記スリンガは、磁性金属板製で、上記回転輪の周面に嵌合固定される回転円筒部と、この回転円筒部の端縁から上記静止輪の周面に向け折れ曲がった回転円輪部とを備えて、シールリップを有する弾性材は備えず、上記回転円筒部の周面及び上記回転円輪部の片側面で上記シールリップの先端縁を摺接させる部分を平滑面とすると共に、上記回転円輪部の他側面で上記エンコーダを支持固定すべき面を上記周面及び片側面よりも表面粗さの値が大きい粗面としている。尚、本明細書で言う粗面とは、上記シールリップの先端縁を摺接させる平滑面に比較して粗い面を言い、必ずしも一般的に言われる粗面程粗くない場合も含む。
更に、上記エンコーダは、円周方向に亙ってＳ極とＮ極とを交互に配置したゴム磁石製で、上記回転円輪部の他側面に結合固定されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
又、請求項３に記載したエンコーダ付組み合わせシールリングを組み込んだ車輪支持用転がり軸受ユニットは、静止側周面に静止側軌道を有する静止輪と、回転側周面に回転側軌道を有し、車輪を支持固定自在とした回転輪と、これら静止側軌道と回転側軌道との間に転動自在に設けられた複数の転動体と、上記静止側周面の端部と上記回転側周面の端部との間に設けられた、請求項１に記載したエンコーダ付シールリングとから成る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
又、上記スリンガ３は、上記内輪６の端部外周面に締り嵌めにより外嵌固定される回転円筒部１２と、この回転円筒部１２の軸方向端縁から上記外輪５の内周面に向け直径方向外方に折れ曲がった回転円輪部１３とを備える。又、上記スリンガ３は、シールリップを有する弾性材は備えず、上記回転円筒部１２の外周面及び上記回転円輪部１３の片側面（図１〜２の左側面）で上記各シールリップ１１ａ〜１１ｃの先端縁を摺接させる部分を、表面粗さが０．３Ｒａ程度の平滑面としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
又、上記外輪５の内側に、回転輪であるハブ１７及び内輪６を、この外輪５と同心に配置している。これらハブ１７及び内輪６は、組み合わされて回転輪を構成するもので、回転側周面であるこれらハブ１７及び内輪６の外周面には、それぞれ上記外輪軌道１５、１５と対向する、回転側軌道である内輪軌道１８、１８を形成している。又、上記ハブ１７の中心部には、スプライン孔１９を形成している。自動車への組み付け状態でこのスプライン孔１９には、図示しない等速ジョイントに付属のスプライン軸を挿入する。そして、この等速ジョイントに設けたハウジングの外端面と、このスプライン軸の先端部に螺合したナットとの間で、上記ハブ１７及び内輪６を軸方向両側から挟持する。尚、上記ハブ１７の外端開口部は、ナットの螺合緊締作業の後、図示しない蓋体を嵌着する事により塞ぐ。又、上記ハブ１７の外寄り（外とは、自動車への組み付け状態で幅方向外側となる部分を言い、図２で左）部分で、上記外輪５の外端開口から突出した部分に、車輪を支持する為のフランジ２２を設けている。図示しない車輪は、このフランジ２２に固設した図示しないスタッドにより、このフランジ２２に結合固定される。従って上記ハブ１７は、自動車の走行に伴って、上記車輪と共に回転する。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月15日(2004.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に複数の段差を設けることにより形成された、光信号を入射又は出射若しくは入射及び出射するための複数の入出射部を有する透光性媒体と、
前記透光性媒体の他端に配置され、前記入出射部から入射された光信号を、前記複数の入出射部方向に反射する反射手段と、
を備えた光信号伝達装置。
【請求項２】
前記反射手段は、前記入出射部から入射される光信号を、前記複数の入出射部方向に拡散反射すること、を特徴とする請求項１に記載の光信号伝達装置。
【請求項３】
前記反射手段は、前記入出射部から入射される光信号を、前記複数の入出射部方向に鏡面反射すること、を特徴とする請求項１に記載の光信号伝達装置。
【請求項４】
前記透光性媒体の側面は、前記反射手段により反射された光信号の内、前記入出射部に直接入射する光信号以外の光信号を、前記入出射部に導くように反射することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の光信号伝達装置。
【請求項５】
前記透光性媒体の側面は、前記反射手段により反射された光信号の内、前記入出射部に直接入射する光信号以外の光信号を、前記複数の入出射部全域に導くように反射することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の光信号伝達装置。
【請求項６】
前記複数の入出射部は、前記透光性媒体の一端に複数の段差を階段状に設けることにより形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の光信号伝達装置。
【請求項７】
前記透光性媒体は板状であって、前記透光性媒体の互いに対向する、前記透光性媒体の一端に複数の入出射部と前記透光性媒体の他端に反射手段を設けた請求項１乃至６の何れか１項に記載の光信号伝達装置。
【請求項８】
前記複数の入出射部の端面の各々は、前記透光性媒体の上面、該上面に対向する下面、幅方向奥側側面、及び幅方向手前側側面の何れか一の面に対して傾斜を有して形成されている反射面である、請求項１乃至７の何れか一項に記載の光信号伝達装置。
【請求項９】
前記入出射部の端面の各々は、前記透光性媒体の上面に対して４５°に形成されている反射面である、請求項１乃至７の何れか一項に記載の光信号伝達装置。
【請求項１０】
前記入出射部の端面の各々は、前記透光性媒体の上面に対向する下面に対して４５°に形成されている反射面である、請求項１乃至７の何れか一項に記載の光信号伝達装置。
【請求項１１】
前記入出射部の端面の各々は、前記透光性媒体の上面及び該上面に対向する下面の何れかに対して４５°に形成されている反射面である、請求項１乃至７の何れか一項に記載の光信号伝達装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れか１項に記載の光信号伝達装置と、前記光信号伝達装置が設けられる支持基板と、光信号の入出射手段を有する回路基板が接続されたときに前記入出射手段が前記透光性媒体の一端に形成された前記入出射部に対向して配置される取り付け構造、
を備える光データバスシステム。
【請求項１３】
前記透光性媒体の一端に形成された前記複数の入出射部の一部に、光ファイバの一端が光結合され、該光ファイバの他端には外部機器との光接続用のコネクタが設けられたことを特徴とする請求項１２に記載の光データバスシステム。
【請求項１４】
前記透光性媒体の一端に形成された前記複数の入出射部の一部に、外部機器との光接続用のコネクタが設けられ、外部機器と接続される光ファイバとの光結合がされることを特徴とする請求項１２に記載の光データバスシステム。
【請求項１５】
請求項１乃至１１の何れか１項に記載の光信号伝達装置と、
前記入出射部に対向するように配置された光信号を入出射する入出射手段を有する回路基板と、
を備えた信号処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的達成のため本発明は、一端に複数の段差を設けることにより形成された、光信号を入射又は出射若しくは入射及び出射するための複数の入出射部を有する透光性媒体と、前記透光性媒体の他端に配置され、前記入出射部から入射された光信号を、前記複数の入出射部方向に反射する反射手段と、を備えた光信号伝達装置を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月23日(2004.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
一方、従来例２では、ガラスの反りが最小となる焼成条件では、ガラスとＣＣＤのシリコン基板の固着性を高めることができず、一方、固着強度が保たれる焼成条件では、ガラスに反りが発生するため、結果的にＣＣＤに反りが生じて、撮影時の焦点がぼけてしまう問題があった。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
次に、図２を参照して、ＣＣＤ２の回路構成を説明する。本実施形態のＣＣＤ２はＦＦＴ方式のＣＣＤであり、５０μｍ×５０μｍ程度の大きさの画素をシリコン基板１上に２次元的に多数個（例えば、水平方向５１２個、垂直方向１０２４個）配列して構成されている。垂直方向に並んだ１列の画素がそれぞれ垂直転送チャネル２０を形成し、これに直交して垂直転送電極群２１が接続されて、垂直シフトレジスタを形成している。一方、垂直転送チャネル２０はそれぞれ水平転送チャネル２２に接続されており、これに直交して水平転送電極群２３が接続されて、水平シフトレジスタを形成している。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
この第２の実施形態の製造工程を図１２〜図１８を用いて説明する。図１２〜図１８は、本実施形態の製造工程を断面図により示したものである。図１２に示されるように、厚さ約３００μｍのシリコン基板１の受光面と反対の表面上にＣＣＤ２を形成する。このＣＣＤ２は前述したようにｎ型埋め込みチャンネル３、シリコン酸化膜４、転送電極５が積層され、シリコン酸化膜４上に転送電極５に接続されたポリシリコン配線３１が設けられ、全体の表面にＰＳＧ膜６、シリコン窒化膜８が形成されている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施形態の断面構成図である。
【図２】図１の実施形態のＣＣＤの構成図である。
【図３】図１の実施形態の製造工程を示す断面構成図である。
【図４】図３の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図５】図４の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図６】図５の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図７】図６の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図８】図７の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図９】図８の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図１０】図１の実施形態の使用形態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態の断面構成図である。
【図１２】図１１の実施形態の製造工程を示す断面構成図である。
【図１３】図１２の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図１４】図１３の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図１５】図１４の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図１６】図１５の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図１７】図１６の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【図１８】図１７の製造工程の次の工程を示す断面構成図である。
【符号の説明】
１…シリコン基板、２…ＣＣＤ、３…Ｎ型埋め込みチャネル、４…シリコン酸化膜、５…ポリシリコン転送電極、６…ＰＳＧ膜、７…アルミニウム配線、８…シリコン窒化膜、９…シリコン酸化膜、１０…アキュムレーション層、１１…ポリイミド膜、１２…アルミニウム膜、１３…ガラス基板、１４…電極パッド、１５…金ワイヤー、１６…基板、１７…配線パターン、２０…垂直転送チャネル、２１…垂直転送電極群、２２…水平転送チャネル、２３…水平転送電極群、２４…アウトプットゲート、２５…リセットゲート、２６…フローティングダイオード、２７…ＦＥＴ、２８…負荷抵抗、２９…出力端子、３０…リセットドレイン、３１…ポリシリコン配線、３２…無機ガラス膜、３３…ポリシリコン膜、５０…第１の実施形態の裏面入射型受光デバイス、５１…第２の実施形態の裏面入射型受光デバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月19日(2005.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱を消散させるための装置において、
第１の吸熱部材と、
前記第１の吸熱部材に担持され、かつ該第１の吸熱部材を発熱素子に固定して該発熱部材からの熱を前記吸熱部材が受け取るようにした保持構造と、
複数のセグメント及びピボット軸と、前記吸熱部材に固定された第１の部分と、該第１の部分から離間した第２の部分であって、サポート構造に固定可能な折り畳み型連結構造と
からなり、
前記保持構造は、
前記第１の吸熱部材に向かう方向及びその逆方向に移動可能な第２の吸熱部材と、
前記第２の吸熱部材を前記第１の吸熱部材に向かう方向及びその逆方向に移動させて、前記発熱素子を前記第１の吸熱部材及び前記第２の吸熱部材の間に解除自在にクランプするクランプ部材と
を含んでいることを特徴とする熱消散装置。
【請求項２】
請求項１記載の熱消散装置において、前記クランプ部材は、前記第１及び第２の吸熱部材の間に相互接続される、解除自在にロック可能な第１及び第２のスプリング・クリップ構造を含むことを特徴とする熱消散装置。
【請求項３】
請求項２記載の熱消散装置において、
前記第１及び第２の吸熱部材は、該部材上に形成された第１及び第２の突出部を有し、
前記第１及び第２のスプリング・クリップ構造は、これらのスプリング・クリップ構造を前記第１の突出部と接触させると共に、前記第１及び第２の吸熱部材を互いに向かって移動させるように、手動で互いの方向に移動可能であり、更に、これらのスプリング・クリップ構造を前記第２の突出部と接触させると共に、前記第１及び第２の吸熱部材を互いから遠ざけるように、手動で互いから離れる方向に移動可能である別個のスプリング部分を有する
ことを特徴とする熱消散装置。
【請求項４】
請求項１記載の装置において、前記第１及び第２の吸熱部材の少なくとも一方は、液冷式の冷却板部材であることを特徴とする装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月2日(2004.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の同一パターンの回路を一枚の基板内に設けた回路基板に対し部品実装を行う部品実装装置であって、
所定の部品を回路基板上の所定の位置に実装する部品実装手段と、実装する部品を指定した生産プログラムを切り替えるプログラム切り替え手段と、生産プログラム毎に生産予定回路数を指定する回路数指定手段と、順次未実装回路パターンへの実装を行いながら、生産回路数をカウントし、前記生産回路数が前記生産予定回路数に達したときに次の生産プログラムに切り替えるように制御する実装動作制御手段とを備えたことを特徴とする部品実装装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明の部品実装装置は、複数の同一パターンの回路を一枚の基板内に設けた回路基板に対し部品実装を行う部品実装装置において、
未実装回路パターンへの実装を順次行いながら、生産回路数をカウントし、前記生産回路数が前記生産予定回路数に達したときに次の生産プログラムに切り替えるようにすることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、複数の同一パターンの回路を一枚の基板内に設けた回路基板に対し部品実装を行う部品実装装置であって、
所定の部品を回路基板上の所定の位置に実装する部品実装手段と、実装する部品を指定した生産プログラムを切り替えるプログラム切り替え手段と、生産プログラム毎に生産予定回路数を指定する回路数指定手段と、順次未実装回路パターンへの実装を行いながら、生産回路数をカウントし、前記生産回路数が前記生産予定回路数に達したときに次の生産プログラムに切り替えるように制御する実装動作制御手段とを設けたことを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月14日(2004.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】検査装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に対して電気特性試験を行い、該電子部品のうち動作不良が生じている領域を特定し、該領域の位置情報を得る動作不良領域特定手段と、
前記電子部品のうち前記動作不良領域特定手段から与えられた前記位置情報によって表される領域に対して検査を行い、該領域のうち不良が存在する部分を更に特定する不良箇所特定手段と
を備える、検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置であって、
前記不良箇所特定手段によって特定された部分に対して前記不良の解析を行う不良解析手段を更に備える、検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置であって、
前記不良箇所特定手段は、外観検査を行うことによって特定する手段であり、
前記不良解析手段は、前記外観検査の結果に前記電気特性試験の結果を加味することによって、前記解析を前記不良の種類に関して行う、検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置であって、
前記不良箇所特定手段によって特定された部分に対し、前記解析の結果に応じて修繕を行う修繕手段を更に備える、検査装置。
【請求項５】
請求項３に記載の検査装置であって、
前記不良は、前記外観検査及び前記電気特性試験各々の前記結果毎に選別されることによって分類される、検査装置。
【請求項６】
請求項２又は請求項３に記載の検査装置であって、
前記不良の原因は、前記電子部品に付着した付着異物と、該電子部品の製造の際における製造不良とを含んでなり、
前記不良解析手段は、
前記不良のうち前記付着異物と認定済のものの集合である第１の集合と、前記製造不良と認定済のものの集合である第２の集合との境界について、誤った判定をした不良についての情報を与えることによって、前記境界の修正を行う、検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品に生じた不良を検査する検査装置に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、以上の問題点に鑑み、短い時間で信頼性の高い検査を行う検査装置を提供することを目的とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
【発明の効果】
請求項１に記載の構成によれば、動作不良が生じている領域以外の領域に対して不良が存在する部分を特定するための手間を投ずるという無駄を省くことが可能となる。これによって、特定のために要する時間が短縮される。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
請求項２に記載の構成によれば、請求項１に記載の構成によって得られる効果と同様に、動作不良が生じている領域を精度高く解析視野内にいれることができるため、不良部を探す手間を省くことが可能となる。不良の解析に要する時間が短縮され、これに伴って電子部品の工期が短縮される。更に、短縮された分の時間を動作不良が生じている部分の検査に振り替えることが可能となり、この部分に対して行う検査を詳細にすることができる。これによって、解析の信頼性が向上され、ひいては検査の信頼性が向上される。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
請求項３に記載の構成によれば、例えば配線の形成後に付着した異物とエッチングの際に生じた不良とのように、外観は類似しつつも種類は異なる不良を、電気特性試験と外観検査との情報を処理することによって、互いに識別することが可能となる。これによって、不良の解析の信頼性が更に向上される。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
請求項４に記載の構成によれば、請求項３に記載の構成によって種類の識別が的確に行われた不良に対して修繕が行われることになり、修繕が適切に為される。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月27日(2004.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機金属気相成長法（ＭＯＶＰＥ法）にて半導体からなる積層構造体を形成する工程と、
連続的にＭＯＣＶＤ法にて前記積層構造体の表面層に再蒸発層を積層する工程と、
前記再蒸発層を分子線エピタキシャル（ＭＢＥ）装置内にて蒸発させる工程と、
前記再蒸発層を蒸発させることによって露出した前記積層構造体上にＭＢＥ法にて成長層を再成長する工程と、を包含することを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
【請求項２】
前記再蒸発層を形成する工程と、前記再蒸発層を蒸発させる工程の間に、前記積層構造体の表面がエッチング等により加工される工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
【請求項３】
前記再蒸発層がＩｎzＧａ1-zＮ（０＜ｚ≦１）から構成されたことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
【請求項４】
前記再蒸発層を蒸発させる工程での、基板温度を４００℃以上１１００℃以下とすることを特徴とする請求項３に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
【請求項５】
前記有機金属気相成長法（ＭＯＶＰＥ法）にて半導体からなる積層構造体を形成する工程において、
ｐ型不純物ドープの窒化ガリウム系化合物半導体を積層する工程を含み、
前記再蒸発層を蒸発させる工程にて、前記ｐ型不純物ドープの窒化ガリウム系化合物半導体をｐ型窒化ガリウム系化合物半導体に改質することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
【請求項６】
前記再蒸発層はさらにＭｇを含んでいることを特徴とする請求項３に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。