【手続補正書】
【提出日】平成17年2月14日(2005.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  光活性成分及びポリマー成分を含むポジ型のフォトイメージ可能な組成物であって、
前記ポリマー成分が、Ｓｉ基とフェニル基と少なくとも３種の異なった繰り返し単位、すなわち、
１）光酸不安定性基を含む単位、
２）光酸不安定性基及び水性現像性基をもたない単位、及び、
３）前記組成物の水性アルカリ現像性に寄与する単位、
を含むフォトイメージ可能な組成物。
【請求項２】  コーティングされた基材であって、
ａ）基材表面上に塗布されたポリマー組成物のコーティング層、
ｂ）前記ポリマー組成物のコーティング層の上に配された請求項１に記載のフォトイメージ可能な組成物のコーティング層、
を含む基材。
【請求項３】  前記ポリマー組成物がフェノール性樹脂を含む、請求項２に記載のコーティングされた基材。
【請求項４】  電子デバイスを形成する方法であって、
（ａ）基材の上にポリマー組成物のコーティング層を塗布すること、
（ｂ）前記ポリマー組成物のコーティング層の上に、請求項１又は２に記載のフォトイメージ可能な組成物を塗布すること、
（ｃ）前記フォトイメージ可能な組成物のコーティング層を活性エネルギー線照射で露光し、そして、その露光させたフォトイメージ可能な層を現像すること、を含む方法。
【請求項５】  バインダーポリマー及び光活性成分を含むフォトイメージ可能な組成物であって、該バインダーポリマーには、下記一般式（Ｉ）の１種又はそれ以上のモノマー及び一般式（ＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーが重合単位として含まれる組成物。
【化１】
2005507087.tif 000001
【化２】
2005507087.tif 000002
（式中、Ｒ１は、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、置換（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、置換（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、フェニル、Ｃ６（Ｒ７）５、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６（Ｒ７）４）、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６Ｈ４ＯＺ）、ビニル及び置換ビニルより選択され；Ｚは、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルスルホネートエステル又はアリールスルホネートエステルより選択され；Ｒ７は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ４は、それぞれ独立して、Ｒ７及びＯＨより選択され；Ｒ５は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ６は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；そして、ｍ＝０〜２である。）
【請求項６】  請求項５に記載の組成物であって、
ここで、前記バインダーポリマーには、下記一般式（ＩＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーが重合単位としてさらに含まれる組成物。
【化３】
2005507087.tif 000003
（式中、Ｒ２は酸分解可能基（ａｃｉｄ  ｃｌｅａｖａｂｌｅ  ｇｒｏｕｐ）であり；Ｒ８は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ９は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ１０は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；そして、ｐ＝０〜２である。）
【請求項７】  レリーフ画像を形成させる方法であって、フォトイメージ可能な組成物を基材の上に析出させる工程、及び、マスクを介してフォトイメージ可能な組成物をイメージングし、レリーフ画像を得る工程が含まれ、
ここで、該フォトイメージ可能な組成物にはバインダーポリマーと光活性成分とが含まれ、
ここで、該バインダーポリマーには、下記一般式（Ｉ）の１種又はそれ以上のモノマー及び下記一般式（ＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーが重合単位として含まれる方法。
【化４】
2005507087.tif 000004
【化５】
2005507087.tif 000005
（式中、Ｒ１は、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、置換（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、置換（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、フェニル、Ｃ６（Ｒ７）５、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６（Ｒ７）４）、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６Ｈ４ＯＺ）、ビニル及び置換ビニルより選択され；Ｚは、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルスルホネートエステル又はアリールスルホネートエステルより選択され；Ｒ７は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ４は、それぞれ独立して、Ｒ７及びＯＨより選択され；Ｒ５は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ６は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；そして、ｍ＝０〜２である。）
【請求項８】  請求項７に記載の方法であって、前記バインダーポリマーには一般式（ＩＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーが重合単位としてさらに含まれる方法。
【化６】
2005507087.tif 000006
（式中、Ｒ２は酸分解可能基（ａｃｉｄ  ｃｌｅａｖａｂｌｅ  ｇｒｏｕｐ）であり；Ｒ８は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ９は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ１０は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；そして、ｐ＝０〜２である。）
【請求項９】  バインダーポリマー及び光活性成分を含むフォトイメージ可能な組成物であって、該バインダーポリマーには、下記一般式（Ｉ）の１種又はそれ以上のモノマー、下記一般式（ＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマー、及び下記一般式（ＩＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーが重合単位として含まれる組成物。
【化７】
2005507087.tif 000007
【化８】
2005507087.tif 000008
【化９】
2005507087.tif 000009
（式中、Ｒ１は、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、置換（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、置換（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、フェニル、Ｃ６（Ｒ７）５、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６（Ｒ７）４）、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６Ｈ４ＯＺ）、ビニル及び置換ビニルより選択され；Ｚは、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルスルホネートエステル又はアリールスルホネートエステルより選択され；Ｒ２は酸分解可能基であり；Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ４は、それぞれ独立して、Ｒ７及びＯＨより選択され；Ｒ５及びＲ９は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ６及びＲ１０は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；ｍ＝０〜２であり；そして、ｐ＝０〜２である。）
【請求項１０】  下記一般式（Ｉ）の１種又はそれ以上のモノマー及び下記一般式（ＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーを重合単位として含むポリマー。
【化１０】
2005507087.tif 000010
【化１１】
2005507087.tif 000011
（式中、Ｒ１は、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、置換（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、置換（Ｃ２〜Ｃ６）アルケニル、フェニル、Ｃ６（Ｒ７）５、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６（Ｒ７）４）、（Ｃ１〜Ｃ５）アルキル（Ｃ６Ｈ４ＯＺ）、ビニル及び置換ビニルより選択され；Ｚは、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルスルホネートエステル又はアリールスルホネートエステルより選択され；Ｒ７は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ４は、それぞれ独立して、Ｒ７及びＯＨより選択され；Ｒ５は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ６は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；そして、ｍ＝０〜２である。）
【請求項１１】  請求項１０に記載のポリマーであって、下記一般式（ＩＩＩ）の１種又はそれ以上のモノマーを重合単位としてさらに含むポリマー。
【化１２】
2005507087.tif 000012
（式中、Ｒ２は酸分解可能基（ａｃｉｄ  ｃｌｅａｖａｂｌｅ  ｇｒｏｕｐ）であり；Ｒ８は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、ヒドロキシ−ハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル又はハロ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシより選択され；Ｒ９は、それぞれ独立して、Ｈ又はＦより選択され；Ｒ１０は、それぞれ独立して、Ｈ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＨＦ２、及びＣＨ２Ｆより選択され；そして、ｐ＝０〜２である。）