【手続補正書】
【提出日】平成16年8月11日(2004.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体源と結合した入口及び流体源からの出口を備えたポンプ、渦流型ノズル組立体を備えたハウジング、ポンプの出口及びハウジングに結合されたマニホールド、前記ハウジングを支持するフレームを含み、
前記マニホールドは、前記ポンプからの流体の流れを受入れ、その流体の流れを前記ハウジングへ分配される第１及び第２の流体流れに分ける流体の処理装置。
【請求項２】
更にポンプを支持するポンプ支持体を含む請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項３】
前記ポンプ支持体は長さにおいてポンプより長く、ポンプのモーターがポンプのハウジングから解放されたときポンプ支持体に沿って摺動することができる請求項２記載の流体の処理装置。
【請求項４】
前記ポンプ支持体は長さにおいてポンプより長く、ポンプのモーターがポンプのハウジングから解放されたときポンプ上で回転することができる請求項２記載の流体の処理装置。
【請求項５】
前記ポンプはポンプインぺラをステージングさせるように垂直に向けられる請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項６】
更にフレームを有する請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項７】
前記フレームは流体源をポンプに配管接続する重量がポンプ上に置かれることがないようにポンプを支持する請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項８】
前記フレームはハウジングを支持する請求項６記載の流体の処理装置。
【請求項９】
更にハウジングからフレームへのノイズの伝達を阻止するようにフレームとハウジングとの間にブッシュを含む請求項８記載の流体の処理装置。
【請求項１０】
前記マニホールドはポンプから流体の流れを受け、流体の流れを第１流体の流れと第２流体の流れとに分ける請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項１１】
前記マニホールドはポンプの出口と結合した入口を備える請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項１２】
前記マニホールドは入口と結合した流れ分割装置を備え、それにより流れ分割装置が、ポンプから入口を介して流体の流れを受け、流体の流れを第１流体の流れと第２流体の流れとに分ける請求項１１記載の流体の処理装置。
【請求項１３】
前記流れ分割装置が、流体の流れを入口から第１流体の流れ及び第２流体の流れに平滑に遷移させるようにＹ字状に構成される請求項１２記載の流体の処理装置。
【請求項１４】
前記マニホールドは流れ分割装置と結合されかつ第１流体の流れを受けるようにされた第１エルボを備える請求項１２記載の流体の処理装置。
【請求項１５】
前記マニホールドは、流れ分割装置と結合されかつ第２流体の流れを受けるようにされた第２エルボを備える請求項１４記載の流体の処理装置。
【請求項１６】
前記マニホールドは、第１エルボに結合した第１継手を備え、それにより第１継手が第１流体の流れを受け、第１流体の流れをハウジングへ供給する請求項１４記載の流体の処理装置。
【請求項１７】
前記第１継手はマニホールドからハウジングへの音の伝達を低減するように可撓性である請求項１６記載の流体の処理装置。
【請求項１８】
前記マニホールドは第２エルボに結合した第２継手を備え、それにより第２継手が第２流体の流れを受け、第２流体の流れをハウジングへ供給する請求項１５記載の流体の処理装置。
【請求項１９】
前記第２継手は、マニホールドからハウジングへの音の伝達を低減するように可撓性である請求項１８記載の流体の処理装置。
【請求項２０】
前記ハウジングは、第１流体の流れを受ける第１入口及び第２流体の流れを受ける第２入口を備える請求項１０記載の流体の処理装置。
【請求項２１】
前記渦流型ノズル組立体は第１渦流型ノズルを備え、第１渦流型ノズルは、ハウジング内に位置決めした第２渦流型ノズルに相対して、ハウジング内に位置決めされる請求項２０記載の流体の処理装置。
【請求項２２】
前記ハウジングは第１流体の流れを第１渦流型ノズルへ供給する第１空洞を画定し、それにより第１渦流型ノズルが流体を受けて流体を回転させ、それにより第１回転流体の流れを生じさせる請求項２１記載の流体の処理装置。
【請求項２３】
前記ハウジングは、第２流体の流れを第２渦流型ノズルへ供給する第２空洞を画定し、それにより第２渦流型ノズルが流体を受けて流体を回転させ、それにより第２回転流体の流れを生じさせる請求項２１記載の流体の処理装置。
【請求項２４】
前記第２渦流型ノズルに相対して第１渦流型ノズルをハウジング内に位置決めすることで、第１回転流体の流れと第２回転流体の流れとを衝突させる衝突室を画定する請求項２１記載の流体の処理装置。
【請求項２５】
前記衝突室はハウジングの出口に連通する請求項２４記載の流体の処理装置。
【請求項２６】
前記ハウジングの出口は、衝突室内に洪水状態を維持するように衝突室の上方に配置される請求項２５記載の流体の処理装置。
【請求項２７】
前記ハウジングの出口は、衝突室からの流体の流れを水平に再指向させるエルボを備える請求項２５記載の流体の処理装置。
【請求項２８】
前記ハウジングは、渦流型ノズル組立体内の真空度を測定させる開口を備える請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項２９】
前記ハウジングは、開口を覆って配置される自己作動シールを備え、自己作動シールは導管の一端が渦流型ノズル組立体の空洞内に位地されることを可能にする請求項２８記載の流体の処理装置。
【請求項３０】
前記自己作動シールは端部キャップ内に嵌合する案内シールである請求項２９記載の流体の処理装置。
【請求項３１】
更に前記ポンプ、ハウジング、マニホルド及びフレーム上に配置できるキャビネットを含む請求項１記載の流体の処理装置。
【請求項３２】
前記キャビネットはマニホールド及びハウジング内を動く流体によって発生した雑音を低減する音響壁を備える請求項３１記載の流体の処理装置。
【請求項３３】
第１渦流型ノズルを第２渦流型ノズルに対向して位置決めする段階、第１渦流型ノズルを取り巻く空洞内に第１流体の流れを流入させる段階、第１流体の流れから第１渦流型ノズルへ流体を流入して第１回転流体の流れを生じさせる段階、第２渦流型ノズルを取り巻く空洞内に第２流体の流れを流入させる段階、第２流体の流れから第２渦流型ノズルへ流体を流入して第２回転流体の流れを生じさせる段階、及び衝突室で第１回転流体の流れを第２回転流体の流れに衝突させる段階を含む流体の処理方法。
【請求項３４】
更に前記衝突室から衝突室の上方に位置した出口を通って流体を送出する段階を含む請求項３３記載の流体の処理方法。
【請求項３５】
更に流体源から流体の流れを供給する段階、及び流体の流れをマニホールドに流入して第１流体の流れと第２流体の流れとに分ける段階を含む請求項３３記載の流体の処理方法。
【請求項３６】
前記マニホールドは流体の流れを第１流体の流れ及び第２流体の流れに平滑に遷移させるようにＹ字状流れ分割装置を備える請求項３５記載の流体の処理方法。
【請求項３７】
前記マニホールドは音減衰を行うように可撓性である継手を備える請求項３５記載の流体の処理方法。
【請求項３８】
真空測定を行う渦流型ノズルを製造する方法であって、
内部に渦流型ノズルを備えるハウジングへ開口を介し導管を挿入する段階、渦流型ノズルの空洞内に導管の一端を配置する段階、開口上に自己作動シールを固定する段階を含む方法。