(57)【要約】  タングステンワイヤからなるコイル部材の製造方法において、タングステンワイヤをマンドレル周囲にコイリングするコイリング工程と、コイリング工程後タングステンワイヤを切断する第１の切断工程と、マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元雰囲気中にて熱処理するアニール工程と、熱処理後にコイルからマンドレルを抜取る抜取り工程と、を具備することを特徴とする。また、マンドレルの抜取り工程後、コイル部材を切断する第２の切断工程を行うことが好ましい。上記構成によれば、マグネトロン用フィラメントカソードなどに用いるコイル部材が寸法精度良く得られる。
2009013919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タングステンワイヤからなるコイル部材の製造方法において、
タングステンワイヤをマンドレル周囲にコイリングするコイリング工程と、
コイリング工程後タングステンワイヤを切断する第１の切断工程と、
マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元雰囲気中にて熱処理するアニール工程と、
熱処理後にコイルからマンドレルを抜取る抜取り工程と、
を具備することを特徴とするコイル部材の製造方法。
【請求項２】
前記抜取り工程後にコイル部材を切断する第２の切断工程を行うことを特徴とする請求項１記載のコイル部材の製造方法。
【請求項３】
前記タングステンワイヤの線径を１ｍｍ以下とすることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項４】
前記タングステンワイヤにトリウムを酸化物換算で０．４〜３質量％含有させることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項５】
前記コイリング工程は、タングステンワイヤに３ｋｇ／ｃｍ以上のバックテンションをかけながらタングステンワイヤを供給する工程を具備することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項６】
前記コイリング工程は、回転速度３００〜１０００ｒｐｍでタングステンワイヤをマンドレル周囲にコイリングする工程を具備することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項７】
前記コイル部材の外径Ｄ１と前記マンドレルの外径Ｄ２の比（Ｄ１／Ｄ２）が１．２〜１．５の範囲内であることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項８】
前記コイリング工程前に前記タングステンワイヤを加熱する工程を具備することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項９】
前記タングステンワイヤを加熱する工程をバーナー炎で行うことを特徴とする請求項８記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１０】
前記バーナー炎は燃焼ガスを燃焼させた炎であることを特徴とする請求項９記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１１】
前記燃焼ガスは大気との混合ガスであることを特徴とする請求項１０記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１２】
前記アニール工程を実施する還元性雰囲気が水素ガス雰囲気であることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１３】
前記水素ガスの雰囲気中への供給量が７００ノルマルリットル／時間以上であることを特徴とする請求項１２記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１４】
前記アニール工程での熱処理温度は１０００〜１５００℃であることを特徴とする請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１５】
前記アニール工程での熱処理時間が５〜３０分であることを特徴とする請求項１ないし請求項１４のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１６】
前記第２の切断工程は、コイル部材の中空部に固定治具を挿入し、切断治具を固定治具に対し直交方向に動かすことによりコイル部材を切断する工程であることを特徴とする請求項２記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１７】
前記コイル部材がマグネトロン用フィラメントカソード部材であることを特徴とする請求項１ないし請求項１６のいずれか１項に記載のコイル部材の製造方法。
【請求項１８】
線径１ｍｍ以下のタングステンワイヤからなるコイル部材において、平均外径をＤ１（ｍｍ）としたとき、外径のばらつきがＤ１±０．１ｍｍの範囲内であることを特徴とするコイル部材。
【請求項１９】
前記タングステンワイヤの線径が０．７ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１８に記載のコイル部材。
【請求項２０】
前記外径のばらつきがＤ１±０．０５ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１８または請求項１９のいずれか１項に記載のコイル部材。
【請求項２１】
前記タングステンワイヤがトリウムを酸化物換算で０．４〜３質量％含有していることを特徴とする請求項１８ないし請求項２０のいずれか１項に記載のコイル部材。
【請求項２２】
前記コイル部材の長さが１０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１８ないし請求項２１のいずれか１項に記載のコイル部材。
【請求項２３】
前記コイル部材がマグネトロン用フィラメントカソード部材であることを特徴とする請求項１８ないし請求項２２のいずれか１項に記載のコイル部材。
【請求項２４】
前記タングステンワイヤの表面部の結晶粒の平均アスペクト比が３未満であると共に、中心部の結晶粒の平均アスペクト比が３以上であることを特徴とする請求項１８ないし請求項２３のいずれか１項に記載のコイル部材。
【請求項２５】
前記タングステンワイヤを構成するタングステンの平均結晶粒径が６μｍ以下であることを特徴とする請求項２４記載のコイル部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマグネトロン用フィラメントカソード部材等に用いられるコイル部材およびその製造方法に係り、特にコイル部材の断線を防止でき、形状精度が高く、製造歩留りを大幅に改善することが可能なコイル部材およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からマグネトロン用フィラメントカソード部材として、タングステン等の高融点金属ワイヤ（線材）が用いられている。マグネトロンは電子レンジなどに用いられており、例えば特開平６−５１９７号公報（特許文献１）に記載された構造を有している。特許文献１に記載されているようにマグネトロン用フィラメントカソード部材は、高融点金属線等をコイル形状に成形したコイル部材である。【０００３】
コイル部材を製造する前のタングステンワイヤはタングステン棒を線引き加工して直径１ｍｍ以下、さらには０．７ｍｍ以下の細線にしている。線引き加工の際にワイヤが断線しないように、例えば特開平１１−８６８００号公報（特許文献２）ではワイヤに潤滑剤を塗布して線引き治具との摩擦力を低減している。このようにタングステンワイヤは応力により断線し易いので何らかの対策をとらねばならないのが現状である。【０００４】
また、タングステンワイヤをコイル形状に成形するには特許文献２に記載されているようにマンドレルにワイヤを巻きつけて螺旋状に成形するコイリング方法が一般的に用いられている。特許文献２では上記コイリング工程を機械化することにより、コイル部材の量産性を向上させている。上記コイリング工程で使用するコイリング装置の一例として特開平７−１４５５８号公報（特許文献３）に記載のものが例示できる。すなわち、特許文献３では、タングステンワイヤを線材スプールから供給し、マンドレルに巻回してコイリングし、得られたコイルを必要な長さに切断することによりコイル部材を製造している。特許文献３のようなコイリング装置を用いることにより量産性は大幅に向上したと報告されている。【０００５】
しかしながら、上記従来の製造装置で製造したコイル部材では、出来上がったコイル部材の外径にばらつきが大きく、製品毎にまたはロット毎に特性のばらつきが大きくなって製品品質が一定にならない欠点があった。さらに、タングステンワイヤ自体の剛性（バネ性）が強いために、単にマンドレルにワイヤ材を巻き付けるだけでは目的の形状を安定して得ることができないという問題点もあった。【０００６】
また、このような不具合を改善するためにタングステンワイヤに強い応力を負荷しながらコイリングすることも試行されたが、タングステンワイヤの断線が発生し易くなり、コイル部材の製造歩留り低下し易い問題も生じていた。
【特許文献１】特開平６−５１９７号公報
【特許文献２】特開平１１−８６８００号公報
【特許文献３】特開平７−１４５５８号公報
【０００７】
発明の開示
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、タングステンワイヤを用いたコイル部材の製造方法において、コイル形状のばらつきおよびタングステンワイヤの断線を抑制することが可能であり、コイル部材の歩留りを大幅に向上させることができ、またコイル部材の外径のばらつきが少なく特性が均一なコイル部材およびその製造方法を提供することを目的とする。【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係るコイル部材の製造方法は、タングステンワイヤからなるコイル部材の製造方法において、タングステンワイヤをマンドレル周囲にコイリングするコイリング工程と、コイリング工程後タングステンワイヤを切断する第１の切断工程と、マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元雰囲気中にて熱処理するアニール工程と、熱処理後にコイルからマンドレルを抜取る抜取り工程とを具備することを特徴とする。【０００９】
上記製造方法によれば、マンドレル周囲にコイリングした状態でタングステンワイヤを切断する一方、マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元雰囲気中にて熱処理しているために、コイル部材の形状がマンドレルによって保持されるので、変形が少なく寸法精度に優れたコイル部材が得られる。【００１０】
また上記コイル部材の製造方法において、前記抜取り工程後にコイル部材を切断する第２の切断工程を行うことが好ましい。１本のタングステンワイヤを連続して巻き付けて長尺のコイル部材を形成した後に、所要長さ（製品長さＬ）に切断することにより、寸法精度が均一な複数のコイル部材を効率的に製造できる。【００１１】
さらに上記コイル部材の製造方法において、前記タングステンワイヤの線径を１ｍｍ以下とすることが好ましい。ワイヤの線径を１ｍｍ以下とすることにより、ワイヤの剛性が低くなりコイルへの加工が容易になる。また、ワイヤ内部に発生する応力を低減することが可能になり、製造工程において断線が少ないコイル部材を得ることができる。【００１２】
また上記コイル部材の製造方法において、前記タングステンワイヤにトリウムを酸化物（トリア）換算で０．４〜３質量％含有させることが好ましい。トリウムを酸化物換算で０．４〜３質量％含有させることにより、ＴｈＯ２の分散による高い高温強度、耐振性および電子放出性に優れ、高温変形を生じにくいタングステンワイヤが得られる。上記トリウム酸化物の含有量が０．４質量％未満の場合には、上記高温強度の改善効果が不十分である一方、含有量が３質量％を超えるように過量になると、Ｔｈをそれ以上添加する効果が得られないばかりか、ＴｈはＷと比べて高価であることから、コストアップの要因になる。したがって、トリウムの含有量は酸化物換算で０．４〜３質量％の範囲に設定される。特に、高い耐高温変形性および電子放出性を実現するためにはＴｈＯ２の含有量を０．８〜１．８質量％の範囲に規定するとよい。また高い耐振動性を実現するためには、トリア（ＴｈＯ２）の含有量は０．６〜０．８質量％の範囲に設定するとよい。【００１３】
さらに、上記コイル部材の製造方法において、前記コイリング工程は、タングステンワイヤに３ｋｇ／ｃｍ以上のバックテンション（張力）をかけながらタングステンワイヤを供給する工程を具備することが好ましい。タングステンワイヤに所定のバックテンションをかけながら供給することにより、供給経路におけるワイヤのたるみを解消し、巻き付け形状の精度を高めることができる。上記バックテンションが３ｋｇ／ｃｍ未満の場合には、上記ワイヤのたるみの解消効果が不十分である。【００１４】
また上記コイル部材の製造方法において、前記コイリング工程は、回転速度３００〜１０００ｒｐｍでタングステンワイヤをマンドレル周囲にコイリングする工程を具備することが好ましい。ワイヤの巻き付け速度に対応する上記回転速度が３００ｒｐｍ未満であるとコイル部材の製造効率が低い一方、上記回転速度が１０００ｒｐｍを超えると、タングステンワイヤに作用する応力が過大になる場合があり、ワイヤの断線を生じ易くなる。そのため、上記回転速度は３００〜１０００ｒｐｍの範囲に設定することが好ましい。【００１５】
さらに、上記コイル部材の製造方法において、前記コイル部材の外径Ｄ１と前記マンドレルの外径Ｄ２の比（Ｄ１／Ｄ２）が１．２〜１．５の範囲内であることが好ましい。上記外径比（Ｄ１／Ｄ２）が１．２未満である場合には、コイル部材の外径Ｄ１に対する線径が過小になり、断線し易くなる上に製品としてのコイル部材の保形性が低下してしまう。一方、上記外径比（Ｄ１／Ｄ２）が１．５を超えるように過大になると、断線は減少するがコイル部材の仕上がり寸法のばらつきが大きくなる。またマンドレルに対する線材の曲げ半径が小さくなり、曲げによって線材に割れ等が発生し易くなる。【００１６】
また、上記コイル部材の製造方法において、コイリング工程前に前記タングステンワイヤを加熱する工程を具備することが好ましい。【００１７】
上記加熱工程は、例えば、温度８００〜１０００℃でタングステンワイヤを１〜１０分程度加熱する工程である。この加熱工程を具備することにより、タングステンワイヤの延性を高めることができ、ワイヤの断線を効果的に防止できる。【００１８】
さらに上記コイル部材の製造方法において、前記タングステンワイヤを加熱する工程をバーナー炎で行うことが好ましい。バーナー炎は小型のバーナーを装備すれば簡単に形成できるので、加熱装置の大型化を防止できる。【００１９】
また上記コイル部材の製造方法において、前記バーナー炎は燃焼ガスを燃焼させた炎であることが好ましい。さらに、前記燃焼ガスは大気との混合ガスであることが好ましい。燃焼ガスと大気との混合比率を変えることにより、燃焼温度、燃焼速度を調整できる。【００２０】
また上記コイル部材の製造方法において、前記アニール工程を実施する還元性雰囲気が水素ガス雰囲気であることが好ましい。水素ガス雰囲気に調整することにより、コイル部材の酸化が防止できると共に、組織の歪取り効果が得られる。さらに表面に残存する炭素などの不純物が低減され、不純物に起因するコイル部材の劣化を防止できる。【００２１】
また、上記コイル部材の製造方法において、前記水素ガスの雰囲気中への供給量が７００ノルマルリットル／時間以上であることが好ましい。上記供給量が７００ノルマルリットル／時間未満であると、上記酸化防止効果、歪取り効果が不十分である。【００２２】
さらに、上記コイル部材の製造方法において、前記アニール工程での熱処理温度は１０００〜１５００℃であることが好ましい。アニール工程は、コイリングしたコイル部材内に生じた残留応力を除去し組織の歪みを取り除き、コイル部材の形状を安定化させるための熱処理である。この熱処理温度が１０００℃未満の場合には、上記残留応力除去効果、歪取り効果および形状の安定化効果が不十分である。一方、上記熱処理温度が１５００℃を超える場合には、タングステン組織が再結晶化してしまう。【００２３】
また、上記コイル部材の製造方法において、前記アニール工程での熱処理時間が５〜３０分であることが好ましい。上記熱処理時間内の範囲で、上記残留応力除去効果、歪取り効果および形状の安定化効果が十分となる。【００２４】
さらに上記コイル部材の製造方法において、前記第２の切断工程は、コイル部材の中空部に固定治具を挿入し、切断治具を固定治具に対し直角方向に動かすことによりコイル部材を切断する工程であることが好ましい。コイル部材の中空部に固定治具を挿入することにより切断箇所が効果的に固定され、この状態で切断治具を固定治具に対し直角方向に動かすことにより、コイル部材が正確に切断される。また、切断治具による切断方向が一定であるために切り口が同じになり、取り付けの際の方向性が問題にならない。【００２５】
また、上記コイル部材の製造方法において、前記コイル部材がマグネトロン用フィラメントカソード部材であることが好ましい。上記コイル部材をマグネトロン用フィラメントカソード部材に適用した場合に、優れた耐久性および形状安定性を発揮する。【００２６】
本発明に係るコイル部材は、上記のような各製造方法から製造されるものであり、線径１ｍｍ以下のタングステンワイヤからなるコイル部材において、平均外径をＤ１（ｍｍ）としたときに、外径のばらつきがＤ１±０．１ｍｍの範囲内であることを特徴とする。すなわち、外径の寸法精度が高いコイル部材が得られる。【００２７】
また上記コイル部材において、前記タングステンワイヤの線径が０．７ｍｍ以下であることが好ましい。本発明ではコイル部材を構成するタングステンワイヤの線径は１ｍｍ以下と規定されている。この線径が１ｍｍを超えるとワイヤの剛性が高くなりコイル形状に形成することが困難になる。この線径を０．７ｍｍ以下とすることにより、材料としての剛性を低下させることができ、コイル形状への加工がさらに容易になる。【００２８】
さらに、上記コイル部材において、前記外径のばらつきがＤ１±０．０５ｍｍの範囲内であることが、形状精度を高める上でより好ましい。【００２９】
また、上記コイル部材において、前記タングステンワイヤがトリウムを酸化物換算で０．４〜３質量％含有していることが好ましい。上記トリウムを酸化物換算で０．４〜３質量％含有させることにより、ＴｈＯ２の分散による高い高温強度、耐振性および電子放出性に優れ、高温変形を生じにくいタングステンワイヤが得られる。【００３０】
さらに上記コイル部材において、前記コイル部材の長さが１０ｍｍ以上であることが好ましい。コイル部材の長さＬが１０ｍｍ以上であれば、連続してコイリングする回数が多くなり、コイル部材の量産性が高まる。【００３１】
また、上記コイル部材において、前記コイル部材がマグネトロン用フィラメントカソード部材であることが好ましい。上記コイル部材をマグネトロン用フィラメントカソード部材に適用した場合に、優れた耐久性および形状安定性が発揮される。【００３２】
さらに、上記コイル部材において、前記タングステンワイヤの表面部の結晶粒の平均アスペクト比が３未満であると共に、中心部の結晶粒の平均アスペクト比が３以上であることが好ましい。【００３３】
ここで、上記タングステンワイヤの表面部および中心部の結晶粒の平均アスペクト比は以下のように測定される。すなわち、第８図に示すように、タングステンワイヤの表面部および中心部の組織からそれぞれ単位面積５０μｍ×５０μｍの領域の拡大写真を撮り、そこに写る各タングステン粒子の最長軸の長さを長軸長さ(Ｌ１)とし、最長軸の中点から垂直に線を引いて、この垂直線が粒子に含まれる部分の長さを短軸長さ(Ｓ１)とし、長軸長さ／短軸長さを計算して各粒子のアスペクト比を求める。平均アスペクト比は、上記領域に含まれる全粒子のアスペクト比の平均値である。【００３４】
上記タングステンワイヤの表面部の結晶粒の平均アスペクト比が３未満であると共に、中心部の結晶粒の平均アスペクト比が３以上であれば、タングステンワイヤの曲げ加工に伴う歪みの発生を効果的に防止でき、コイル部材の外径のばらつきを小さくすることができる。【００３５】
上記タングステンワイヤの表面部の結晶粒の平均アスペクト比を、好ましくは２未満とする一方、中心部のアスペクト比が、好ましくは５以上となるように、熱処理を実施することによりコイル部材の外径のばらつきをさらに小さくすることができる。【００３６】
上記タングステンワイヤの表面部の結晶粒の平均アスペクト比を３未満とする共に、中心部の結晶粒の平均アスペクト比を３以上とするためには、以下のような処理が必要である。すなわち、前述のアニール工程での熱処理条件として温度を１０００〜１５００℃とし、時間を５〜３０分とすればよい。残留応力除去、歪取り、形状安定化などの効果が得られる温度で３０分以下の短時間熱処理することにより表面部と中心部とのアスペクト比を変えることができる。言い換えれば、表面部と中心部の結晶粒の平均アスペクト比が所定の大きさになるようにアニール処理を施すことが好ましい。【００３７】
また上記コイル部材において、前記タングステンワイヤを構成するタングステンの平均結晶粒径が６μｍ以下であることが好ましい。上記タングステンの平均結晶粒径を６μｍ以下にすることにより、コイル部材の構造強度を高め、断線を防止することができる。【００３８】
なお上記平均結晶粒径は、前記の第８図に示すように、タングステンワイヤの表面部および中心部の組織からそれぞれ単位面積５０μｍ×５０μｍの領域の拡大写真を撮り、そこに写る各タングステン結晶粒子の長軸長さ(Ｌ１)と短軸長さ(Ｓ１)との平均値を結晶粒径（（長軸長さ＋短軸長さ）÷２＝結晶粒径））として算出し、この結晶粒径をタングステンワイヤの表面部の１箇所および中心部の１箇所について求め、両者の平均値とする。【００３９】
［発明の効果］
本発明によれば、タングステンワイヤからなるコイル部材の外径のばらつきやタングステンワイヤの断線を大幅に低減できる。そのため、寸法精度が高いコイル部材の製造歩留りを大幅に向上させることができる。また、コイル部材の外径のばらつきを低減し特性が安定した高品質のコイル部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係るコイル部材の製造方法の工程順の一例を示す流れ図である。
【図２】本発明に係るコイル部材の製造方法のコイリング工程を示す正面図である。
【図３】本発明に係るコイル部材の製造方法の第１の切断工程の具体例を示す正面図である。
【図４】長尺のコイル部材を製造した状態を示す正面図である。
【図５】コイル部材を巻き付けた複数のマンドレルを一括して熱処理炉でアニール処理を行っている状態を示す断面図である。
【図６】マンドレルを抜き去った本発明に係るコイル部材の外径を示す正面図である。
【図７】本発明に係るコイル部材の製造方法の第２切断工程を示す部分断面図である。
【図８】本発明で使用するタングステンワイヤの結晶組織を模式的に示す組織図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
本発明のコイル部材の製造方法は、タングステンワイヤから成るコイル部材の製造方法において、タングステンワイヤをマンドレル周囲にコイリングするコイリング工程と、コイリング工程後タングステンワイヤを切断する第１の切断工程と、マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元雰囲気中にて熱処理するアニール工程と、熱処理後にコイルからマンドレルを抜取る抜取り工程と、を具備することを特徴とするものである。【００４２】
タングステンワイヤはタングステンを主成分とするワイヤ（線材）であり、純タングステンやタングステン合金を使用しても良い。タングステン合金としては、トリウムを含有したＷ合金、レニウムを含有したＷ合金、Ａｌ，Ｓｉ，Ｋなどのドープ剤を含有したＷ合金などがある。この中で特にトリウムを含有したタングステン合金は、トリア（酸化トリウム）が高融点物質であるためにその分散強化効果によって高温での機械的特性を高め、高温変形に強く、電子放出性に優れているのでマグネトロン用フィラメントカソード部材として好適である。【００４３】
また、上記トリウムは酸化トリウム（ＴｈＯ２）として添加することが好ましく、トリウムを酸化物換算で０．４〜３質量％含有していることが好ましい。０．４質量％未満では添加の効果が小さく、３質量％を超えるように過量に添加しても、それ以上の効果が得られない。【００４４】
また、タングステンワイヤの線径は特に限定されるものではないが１ｍｍ以下であることが好ましい。ワイヤの線径が１ｍｍを越えると剛性が強すぎてコイル形状に加工し難くなる。ワイヤのコイル形状への加工のし易さを考慮すると線径は０．２〜０．７ｍｍが好ましい。０．２ｍｍ未満であっても良いがあまり細いと断線事故が増加する。【００４５】
図１に本発明の製造方法の工程の一例を示す。以下、工程順に説明する。【００４６】
初めにコイリング工程について説明する。コイリング工程は、図２に示すように、外径がＤ２であるマンドレル２の周囲に螺旋状にタングステンワイヤ１を巻き付け、長尺のコイル部材３を形成する工程である。上記マンドレル２はタングステン、モリブデン等の高融点金属から構成されることが好ましい。【００４７】
例えば、マグネトロン用フィラメントカソードに用いるコイル部材３を製造する場合、コイル外径Ｄ１やコイルのピッチ（隣り合うコイルの隙間）Ｐにばらつきが生じるとカソードとしての性能にばらつきが生じるおそれがある。カソード性能にばらつきを生じると、それを用いたマグネトロン、さらには電子レンジ等の機器の性能にばらつきが出現し所定の性能が確保できない場合がある。このため、安定した性能を保証するためには、コイル外径やコイルの巻き幅等の寸法のばらつきを極力低減する必要がある。【００４８】
一方で、タングステンワイヤ１は、扱い方によっては断線を発生するおそれが高く、製造工程の中断が頻発して製造効率が低下し易い上に、材料が無駄になる場合もある。したがって、コイル部材３の製品歩留りおよび製造効率を向上させるためには、コイル部材３の寸法のばらつきを低減する対策とワイヤ１の断線を低減する対策との両方を行う必要がある。【００４９】
まず、コイリング工程において、タングステンワイヤ１をマンドレル２の周囲に供給するときに３ｋｇ／ｃｍ以上のバックテンションを掛けながら供給する工程を具備することが好ましい。タングステンワイヤ１は線材スプール等のリール部に巻かれた状態のものからワイヤが供給される。このときワイヤ１が弛んでいるとマンドレル２に螺旋状に巻回するときに安定的にワイヤ１を供給できず、また巻きつける状態が一定にならないおそれがある。【００５０】
そこで、供給するタングステンワイヤ１にはバックテンション（張力）を付与することが好ましい。このバックテンションの上限はタングステンワイヤ１の線径にもよるが、線径１ｍｍ以下の場合は７ｋｇ／ｃｍ以下が好ましい。バックテンションが過度に大きいとワイヤの断線発生の可能性が高くなる。このバックテンションのより好ましい範囲は４〜６ｋｇ／ｃｍである。【００５１】
また、ワイヤ１を供給しマンドレル２の周囲を巻回するとき、ワイヤ１の先端を把持してマンドレルの周囲を回転してワイヤを捲回する回転ドラムの回転速度が３００〜１０００ｒｐｍの範囲となるようにタングステンワイヤ１をマンドレル２にコイリングする工程を具備することが好ましい。上記回転速度が１０００ｒｐｍを超えるとワイヤ１に作用する負荷が大きくなり断線の可能性が高くなる。また、コイル部材３のピッチ（巻線間隔）Ｐにばらつきが生じ易い。一方、回転速度が遅い分には断線の可能性が低くなるが、あまり遅いと生産性が悪くなる。特にトリウムを含有したタングステンワイヤ１は強度が高く断線し難くなっているので７００〜９００ｒｐｍと比較的回転速度を早くして巻回することが可能となる。【００５２】
また、コイル部材３の外径Ｄ１とマンドレル２の外径Ｄ２の比（Ｄ１／Ｄ２）が１．２〜１．５の範囲内であることが好ましい。【００５３】
ここで、上記コイル部材の外径Ｄ１は、コイル部材の外径を軸方向の任意の５箇所で測定してその平均値として算出される。【００５４】
タングステンワイヤ１は前述のように剛性が強いのでマンドレル２を外した後はコイル外径が外側に大きくなるように戻ってしまう傾向がある。このため、最終的なコイル部材の外径Ｄ１とマンドレルの外径Ｄ２とを、線径差のみの違いでほぼ一致させることは難しく、仮に一致させるにはかなりの応力を負荷しながら成形しなければならないが、応力が大きくなると断線の可能性が高くなる。【００５５】
しかしながら、コイル部材３の外径Ｄ１とマンドレル２の外径Ｄ２の比、すなわち（Ｄ１／Ｄ２）比を１．２〜１．５の範囲内に調整することにより、断線が効果的に防止でき、形状戻りも少ないので、コイル部材３の寸法のばらつきを低減することができる。上記（Ｄ１／Ｄ２）比が１．２未満ではマンドレル２に巻回する際のワイヤ１への応力負荷が大きくなるので断線の可能性が高くなる。一方、（Ｄ１／Ｄ２）比が１．５を超えると断線の可能性は低くなるが、出来上がったコイル部材３の寸法ばらつきが大きくなる。より好ましい（Ｄ１／Ｄ２）比の範囲は１．３〜１．４である。【００５６】
また、コイリング工程におけるワイヤ１の断線事故を効果的に防止するためには、タングステンワイヤを予め加熱する工程を具備することが好ましい。マンドレル２に巻回するためにタングステンワイヤ１を供給する工程、つまりは線材スプールからマンドレル２近傍までワイヤを搬送する途中に上記タングステンワイヤ１を加熱する工程を備えることが好ましい。【００５７】
タングステンワイヤ１には、前述のバックテンション（張力）、ワイヤ自身の重量、巻回時の応力など様々な応力が作用している。これら応力による断線を防止するために、予めタングステンワイヤ１を加熱することが好ましい。加熱によりワイヤ１に生じる応力が緩和され、また延性が向上するために断線し難くなる。【００５８】
また、タングステンワイヤ１を加熱する工程をバーナー炎で行うことが好ましい。また、バーナー炎は水素含有ガスまたは燃焼性ガスを燃焼させた炎であることが好ましい。また、水素含有ガスが水素ガスと大気の混合ガスであることが好ましい。【００５９】
加熱によりタングステンワイヤ１に延性が向上するので断線を防止することができる。また、バーナー炎を用いることにより、加熱装置の大型化を防ぐことができる。また、水素ガス等の還元性ガスを用いることにより不純物除去または歪取り効果をも得ることができる。また、本加熱工程はワイヤの断線防止が目的のため、水素ガス中に大気を混合した混合ガスを用いてもよい。また、燃焼性ガスとして都市ガスに使われるメタンガス、エタンガスやプロパンガスまたはこれらの混合ガスなどが挙げられる。また、断線防止という観点であれば燃焼性ガスでも十分効果が得られる。【００６０】
図２に示すように、マンドレル２の周囲に所定の軸方向長さ（２Ｌ）でコイリングした後に、タングステンワイヤ１を切断する第１の切断工程を実施する。第１の切断工程は、通常ではコイリング操作の終点となる位置でタングステンワイヤ１を切断する工程であるが、図３に示すように、コイル部材３をマンドレル２に装着した状態で、外側から固定治具４をコイル部材３の切断位置に装着し、固定治具４間で往復動する切断治具５によって切断することも可能である。上記切断位置はコイル部材３が製品となる場合に要求される所要長さＬによって決定される。【００６１】
１回のコイリング操作によって形成するコイル部材３の長さ（コイリング長さ）はマンドレル２の長さにもよるが、３００ｍｍ以上が好ましく、より好ましくは４００ｍｍ以上である。つまり、図４に示すように、長尺のマンドレル２ａの外周にタングステンワイヤを巻回して長尺のコイル部材３ａを形成することが好ましい。１回のコイリング操作でコイリングする長さが長ければ、その長さに比例して量産性が上がる。【００６２】
なお、図２で示す実施形態におけるコイリング長さは、製品として要求されるコイル部材の長さＬの２倍の長さ２Ｌで形成した例を示している。【００６３】
上記第１の切断工程を実施した後に、次にコイル部材３がマンドレル２に巻回された状態のままでアニール工程を行う。すなわち、マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元雰囲気中にて熱処理するアニール工程を実施する。【００６４】
具体的には、図４に示すような長尺のマンドレル２ａの外周にタングステンワイヤを巻回して長尺のコイル部材３ａを形成したものを多数調製し、次に図５に示すように、各マンドレル２ａの両端部にスペーサ６を介して積層し、得られた積層体を所定の還元雰囲気に調整した熱処理炉に投入し所定の条件で熱処理する工程である。【００６５】
上記アニール工程の還元性雰囲気が水素ガス雰囲気であることが好ましい。また、アニール工程の熱処理温度は１０００〜１５００℃であり、熱処理時間が５〜３０分であることが好ましい。【００６６】
前述のようにタングステンワイヤは剛性が強いのでコイリング工程によりマンドレルから外した後に形状の戻りがある。つまり、マンドレルに巻回したときよりも最終製品の外径は大きくなる。また、コイリング作業によりワイヤには残留応力が作用する。そこで、上記アニール工程を実施することにより、残留応力を緩和すると共に歪取りを行う必要がある。【００６７】
上記歪取り熱処理を実施せずにコイル部材をマグネトロンに組み込むと、マグネトロン組立て時のろう付け等の熱による変形が大きくなりマグネトロンの歩留りが悪化する。また、マグネトロン使用時の熱による変形が発生するおそれもある。【００６８】
本実施形態ではマンドレルからコイル部材を外した後の戻りによる寸法ばらつきの低減および歪取りを目的として、マンドレルにコイルを巻き付けた状態で還元性雰囲気中にて熱処理（アニール処理）を実施するものである。【００６９】
図５に示すように、マンドレル２ａにコイル部材３ａを巻き付けた状態のまま一括して熱処理するので、コイルの形状戻り・変形が少ない状態で熱処理できるので、コイル部材の寸法のばらつきが低減され、寸法精度も上昇する。また、還元性雰囲気によって歪取り効果や不純物の還元除去効果も得られる。また、還元性雰囲気でアニールすることによりワイヤの表面変色を抑制することも可能となる。【００７０】
上記アニール工程における還元性雰囲気としては水素ガスが好ましい。水素ガスであればワイヤ表面に付着した炭素などの不純物を還元除去し易くなり、不純物によるタングステン線材の脆化を防止することができる。また、熱処理温度は１０００〜１５００℃が好ましい。１０００℃未満では歪取り効果が小さく、１５００℃を超えてもそれ以上の歪取り効果が得られず、またタングステンが再結晶化されて特性が劣化するおそれがある。【００７１】
また、熱処理時間は５〜３０分が好ましい。熱処理時間が５分未満では歪取り効果が不十分であり、３０分以上ではそれ以上の効果が得られない。好ましくは、１０５０〜１３５０℃の温度で１０〜２０分間である。【００７２】
また、アニール工程の雰囲気に供給する水素ガスの供給量は７００ノルマルリットル（ＮＬ）／時間（Ｈ）以上であることが好ましい。水素ガス等の還元性ガスは前述のように不純物除去の効果も発揮する。そのため、アニール工程中に水素ガスを熱処理炉に循環させコイル部材の表面に水素ガスが接触する状態を維持することが好ましい。水素ガスの供給量の上限は特に限定されるものではないが、供給装置への負荷を考慮すると１７００ノルマルリットル／時間以下が好ましい。より好ましくは９００〜１３００ノルマルリットル／時間である。【００７３】
また、本実施形態ではマンドレルにコイル部材を巻いた状態でアニール処理しているので製品の取扱性が良好である。アニール工程前にマンドレルを外して多数のコイル部材を一つの容器に入れてアニール処理するとコイル部材同士が絡み合ってしまい、アニール後に絡み合ったコイル部材を取り外す煩雑な作業が必要になる。【００７４】
これに対して本実施形態では、図５に示すように、マンドレル２ａにコイル部材３ａを巻いた状態でアニール処理しているので、コイル部材同士が絡み合うことがない。そのため、アニール容器（熱処理炉）中に縦横、さらには高さ方向にもコイル部材３ａが巻き付いたマンドレル２ａを並べることができ、一度にアニールできる処理量が増加し、量産性が極めて向上する。【００７５】
次に、アニール熱処理工程が終了した後に、マンドレルを抜取る工程を実施する。【００７６】
図６は、図２に示す状態から第１の切断工程およびアニール工程を経て、さらにマンドレル２をコイル部材３から抜き取った状態を示す正面図である。この図６で示す実施形態におけるコイリング長さは、製品として要求されるコイル部材の長さＬの２倍の長さ２Ｌで形成した例を示している。【００７７】
また、抜取り工程後に必要に応じ、得られたコイル部材３をさらに切断する第２の切断工程を行っても良い。図６に示す、抜取り工程後のコイル部材が、そのままマグネトロン用フィラメントカソードとして使用できる場合、すなわちコイリング長さ２Ｌがそのまま製品長さである場合には、第２の切断工程は実施する必要は無い。【００７８】
一方、図２および図６に示すように、マグネトロン用フィラメントカソードとして必要なコイル部材３の長さをＬとしたとき、マンドレル２にコイリングするコイル部材の長さを２倍（２Ｌ）以上にしておけば量産性が向上する。【００７９】
また上記第２の切断工程は、図７に示すような切断操作で行うことができる。すなわち、コイル部材３の中空部に、コイル部材３の切断部を固定する固定治具４ａを挿入し、切断治具５を固定治具４ａに対し直交方向に動かすことによりコイル部材３を切断する工程を具備することが好ましい。コイル部材３の中空部に固定治具４ａを挿入し、コイル部材３を固定した後、切断治具５を固定治具４ａに対し直交方向に押し付けることによりコイル部材３を所定の製品長さＬで切断する。切断治具５による切断方向を一定方向にしておけばコイル部材３の切口が同じになる。切口が同じであればマグネトロンに組み込む際に方向性を問わなくなるのでマグネトロンの組み立て製造性が向上する。【００８０】
以上のような本実施形態のコイル部材の製造方法によれば、コイル部材の平均外径Ｄ１のばらつきをＤ１±０．１ｍｍ、さらにはＤ１±０．０５ｍｍにすることが可能となる。例えば、コイル部材の平均外径Ｄ１を４ｍｍに設定したときに得られるコイル部材の外径Ｄ１は４±０．１ｍｍの範囲内となる。また、断線不良も低減できる。そのため、タングステンワイヤの初期投入量を１００としたとき９０以上をコイル部材にすることが可能であり、９０％以上、さらには９５％以上の製造歩留りを達成することができる。【００８１】
また、コイル部材は、必要に応じ、第２の切断工程後に洗浄工程を行っても良いものとする。なお、図６に示すコイル部材の平均外径Ｄ１は、コイル部材３の直径を、軸方向の任意の５箇所で測定してその平均値を求める。また、コイル部材３の外径のばらつきはコイル部材３の最も大きな外径と最も小さな外径を選択し、平均外径Ｄ１と比較する。【００８２】
このようなコイル部材はマグネトロン用フィラメントカソード部材として好適である。マグネトロン用フィラメントカソードに用いるコイル部材の寸法は特に限定されるものではないが、例えば電子レンジ用マグネトロンに用いる場合は外径２〜６ｍｍ、長さ１０〜２０ｍｍが好ましい。言い換えれば、本発明はこのような寸法を具備するコイル部材の量産性に優れた製造方法である。【００８３】
上記製造方法によれば、線径が１ｍｍ以下、さらには０．７ｍｍ以下と細いタングステンワイヤを用いて、コイル長さ（Ｌ）１０ｍｍ以上のコイル部材を製造したとしても、平均外径Ｄ１に対する外径のばらつきが±０．１ｍｍの範囲内、さらには±０．０５ｍｍの範囲内に収まるような、外径のばらつきが少ないコイル部材を提供することができる。なお、最終製品としてのコイル部材の長さ（Ｌ）の上限は特に限定されるものではないが、コイル長さの上限は５０ｍｍ以下、さらには２０ｍｍ以下が好ましい。【００８４】
次に本発明の具体的な実施形態について、以下の実施例を参照して具体的に説明する。【００８５】
（実施例１〜４、比較例１〜３）
トリウムを酸化物換算で１．０質量％含有するタングステンワイヤ（線径０．５ｍｍ）を用意した。このタングステンワイヤを用いて外径が４ｍｍであり、長さが１３ｍｍであるマグネトロン用フィラメントカソードに用いるコイル部品をそれぞれ下記の工程を組み合わせて製造した。【００８６】
そして各製法によって調製された各コイル部材を構成するタングステンワイヤの結晶粒子の平均粒径およびタングステンワイヤの表面部および中心部における結晶粒子のアスペクト比、コイル部材の外径寸法のばらつき（寸法精度）および製品歩留りを測定した。【００８７】
なお、各タングステンワイヤの結晶粒子の平均粒径およびタングステンワイヤの表面部および中心部における結晶粒子のアスペクト比は、図８に示す要領で測定した。またコイル部材の外径寸法のばらつき（寸法精度）は、外径４ｍｍのマンドレルの外径からのコイル部材外径のズレの最大値、製品歩留りは投入したタングステンワイヤの重量に対する得られたコイル部材の合計重量の比（得られたコイル部材の総重量／投入したタングステンワイヤの総重量）として求めた。【００８８】
コイル部品を形成するための工程は以下の通りである。【００８９】
工程Ａ１：線材スプールからマンドレル近傍まで４．５ｋｇ／ｃｍのバックテンションをかけながらタングステンワイヤを供給する。【００９０】
工程Ａ２：線材スプールからマンドレル近傍まで４．５ｋｇ／ｃｍのバックテンションをかけながらタングステンワイヤを供給する際に、水素と大気を混合した混合ガスを用いたバーナー炎によりタングステンワイヤを加熱する工程を有する。【００９１】
工程Ａ３：線材スプールからマンドレル近傍までバックテンションを掛けずにタングステンワイヤを供給する。【００９２】
工程Ｂ１：回転速度８００ｒｐｍでマンドレル（外径２．９ｍｍ×長さ２００ｍｍ）にタングステンワイヤを巻き付ける。【００９３】
工程Ｂ２：回転速度１３００ｒｐｍでマンドレル（外径２．９ｍｍ×長さ２００ｍｍ）にタングステンワイヤを巻き付ける。【００９４】
工程Ｃ１：コイル部材の長さが１３０ｍｍになるまでコイリングを行い、その後、切断工程を行う。また、コイリングはピッチＰを１．１〜１．２ｍｍになるように調整した。【００９５】
工程Ｄ１：マンドレルにコイルを巻回した状態のものを４０本、アニール容器に入れ、水素ガスの供給量１０００ノルマルリットル／時間とし、熱処理温度１３００℃×１５分のアニール処理を行った。【００９６】
工程Ｄ２：アニール処理を行わない。【００９７】
工程Ｄ３：マンドレルにコイルを巻回した状態のものを４０本、アニール容器(熱処理炉)に入れ、大気中で１３００℃×１５分のアニール処理を行った。【００９８】
工程Ｅ１：マンドレルを抜取る。【００９９】
工程Ｆ１：コイル部材の中空部に固定治具を挿入し、切断治具を固定治具に対し直交方向に動かすことにより、コイル部材を切断し長さ１３ｍｍのコイル部材を得る。【０１００】
実施例１：工程Ａ１→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ１→工程Ｅ１→工程Ｆ１
実施例２：工程Ａ２→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ１→工程Ｅ１→工程Ｆ１
実施例３：工程Ａ３→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ１→工程Ｅ１→工程Ｆ１
実施例４：工程Ａ１→工程Ｂ２→工程Ｃ１→工程Ｄ１→工程Ｅ１→工程Ｆ１
比較例１：工程Ａ１→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ２→工程Ｅ１→工程Ｆ１
比較例２：工程Ａ３→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ２→工程Ｅ１→工程Ｆ１
比較例３：工程Ａ１→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ３→工程Ｅ１→工程Ｆ１
上記工程の組み合わせを経て製造された各実施例および比較例に係るコイル部材について、特性を測定し以下に示す結果を得た。
【表１】
2009013919.tif 000003
【０１０１】
上記表１に示す結果から明らかな通り、本実施例にかかる製造方法により得られたコイル部材は寸法精度がいずれも±０．１の範囲内であり、高い寸法精度が得られた。また、実施例１と実施例３とを比較するとバックテンションを掛けながらワイヤを捲回した方が、断線が少なく歩留りが向上した。また、実施例１と実施例２との比較から明らかなように、ワイヤをバーナー炎で加熱した実施例２の方が、断線が減少し歩留りが向上した。また、実施例４のように、回転速度（巻き速度）が１０００ｒｐｍを超えると、断線が増加して歩留りは低下した。【０１０２】
また、実施例１と比較例１との比較から明らかなように、還元性雰囲気中にてアニールすることによりコイル部材の寸法精度が大幅に向上することが判明した。【０１０３】
また、比較例１〜３における歩留りは、コイル部材として使えるものはすべて良品としてカウントしたが、寸法精度の許容範囲を±０．１ｍｍとした場合、比較例１の歩留りは０．７０、比較例２は０．５４、比較例３は０．５５と大幅に低下した。【０１０４】
（実施例５〜７）
下記の各工程を組み合わせて実施例５〜７に係るコイル部材を製造した。【０１０５】
工程Ｂ３：回転速度５００ｒｐｍでタングステンワイヤをマンドレル（外径２．９ｍｍ×長さ２００ｍｍ）の周囲に巻き付けた。【０１０６】
工程Ｂ４：回転速度８００ｒｐｍでタングステンワイヤをマンドレル（外径２．２ｍｍ×長さ２００ｍｍ）の周囲に巻き付けた。【０１０７】
工程Ｄ４：マンドレルにコイルを巻回した状態のものを４０本調製してアニール容器に入れ、水素ガスの供給量１０００ノルマルリットル／時間とし、熱処理温度が１２００℃で時間２０分のアニール処理を行った。【０１０８】
実施例５：工程Ａ２→工程Ｂ３→工程Ｃ１→工程Ｄ１→工程Ｅ１→工程Ｆ１
実施例６：工程Ａ２→工程Ｂ４→工程Ｃ１→工程Ｄ１→工程Ｅ１→工程Ｆ１
実施例７：工程Ａ２→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ４→工程Ｅ１→工程Ｆ１
上記工程の組み合わせをたて製造された各実施例に係るコイル部材について、特性を測定し以下に示す結果を得た。
【表２】
2009013919.tif 000004
【０１０９】
上記表２に示す結果から明らかな通り、マンドレルの外径に対するコイル部材の外径の比が本発明の好ましい範囲内である製造方法を用いた実施例５および実施例７の場合は、寸法精度および歩留りの双方で良好な結果が得られた。【０１１０】
一方、実施例６のように、上記比（コイル部材の外径／マンドレルの外径）が好ましい範囲を外れている場合には寸法精度が低下した。【０１１１】
（実施例８〜９）
コイル部材の外径Ｄ１を５．０ｍｍとし、マンドレルの外径Ｄ２を３．８ｍｍとした点以外は実施例２と同様の製造工程を用い処理して実施例８に係るコイル部材を調製した。一方、コイル部材の外径Ｄ１を３．５ｍｍとし、マンドレルの外径を２．７ｍｍとした点以外は実施例２と同様の工程を用い処理して実施例９に係るコイル部材を調製した。得られた各コイル部材について、同様の特性測定を行い下記表３に示す結果を得た。
【表３】
2009013919.tif 000005
【０１１２】
上記表３に示す結果から明らかな通り、コイル部材の外径を変化させた場合においても、各実施例に係るコイル部材は良好な寸法精度および歩留りが得られることが判明した。【０１１３】
（実施例１０〜１１）
次にタングステンワイヤを、トリウムを酸化物換算で０．５質量％含有したワイヤ（線径０．７ｍｍ）に変えた点以外は実施例２と同様の工程を用い処理して実施例１０に係るコイル部材を調製した。一方、タングステンワイヤを、トリウムを酸化物換算で２．０質量％含有したワイヤ（線径０．３ｍｍ）に変えた点以外は実施例２と同様の工程を用い処理して実施例１１に係るコイル部材を調製した。得られた各コイル部材について、同様の特性測定を行い下記表４に示す結果を得た。
【表４】
2009013919.tif 000006
【０１１４】
上記表４に示す結果から明らかな通り、タングステンワイヤの線径またはトリウム含有量を変化させた場合においても、各実施例に係るコイル部材は良好な寸法精度および歩留りが得られることが判明した。【０１１５】
（実施例１２〜１６）
実施例１または実施例２の製造工程を用いる一方、コイル部材の長さ（Ｌ）を表５に示すように変化させて各実施例１２〜１６に係るコイル部材を調製した。なお、実施例１５および実施例１６は工程Ａ２で使用するバーナー炎用の混合ガスとして都市ガス（メタンガスを主とした燃焼性ガス）を使用した。得られた各コイル部材について、同様の特性測定を行い下記表５に示す結果を得た。
【表５】
2009013919.tif 000007
【０１１６】
表５に示す結果から明らかな通り、コイル部材の長さが変化しても寸法精度が良く（外径のばらつきが小さい）、高い歩留りでコイル部材が得られることが判明した。【０１１７】
（実施例１７、１８）
工程Ｄ１を以下の工程Ｄ５、工程Ｄ６に変えた以外は実施例１と同様の工程でコイル部材を製造し、同様の測定を行った。【０１１８】
工程Ｄ５：マンドレルにコイルを巻回した状態のものを４０本、アニール容器に入れ、水素ガスの供給量１０００ノルマルリットル／時間とし、熱処理温度１７００℃で３０分間のアニール処理を行った。【０１１９】
工程Ｄ６：マンドレルにコイルを巻回した状態のものを４０本、アニール容器に入れ、水素ガスの供給量１０００ノルマルリットル／時間とし、熱処理温度１５００℃で１００分間のアニール処理を行った。【０１２０】
実施例１７：工程Ａ１→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ５→工程Ｅ１→工程Ｆ１
実施例１８：工程Ａ１→工程Ｂ１→工程Ｃ１→工程Ｄ６→工程Ｅ１→工程Ｆ１
【表６】
2009013919.tif 000008
【０１２１】
上記表６に示す結果から明らかなように、実施例１７，１８のように好ましい製造条件を満たさないものは、タングステン結晶の粒成長が大きく外形のばらつきが大きいことが判明した。
【産業上の利用可能性】
【０１２２】
本発明によれば、タングステンワイヤからなるコイル部材の外径のばらつきやタングステンワイヤの断線を大幅に低減できる。そのため、寸法精度が高いコイル部材の製造歩留りを大幅に向上させることができる。また、コイル部材の外径のばらつきを低減し特性が安定した高品質のコイル部材を提供することができる。
【図１】
2009013919.tif 000009
【図２】
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【図３】
2009013919.tif 000011
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2009013919.tif 000016
【国際調査報告】
2009013919.tif 000017
2009013919.tif 000018
2009013919.tif 000019
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