【手続補正書】
【提出日】平成16年5月13日(2004.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記一対の圧搾ロールのうち、少なくとも一方の圧搾ロールを回動させて、濾布を走行せしめる請求項４または５記載の真空濾過方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、濾過機およびこれを用いた濾過方法に関し、さらに詳しくは、上面にスラリーの供給された濾布を挟んで上面および下面側に一対の圧搾ロールを設けた点に特徴のある真空濾過機およびこれを用いた濾過方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の真空濾過機には、主に、真空箱の真空吸引を連続的に行うタイプと真空箱の真空吸引および大気圧への開放を繰り返すタイプとがある。
真空吸引を連続的に行うタイプには、例えば多孔性のエンドレスゴム（またはプラスティック）ベルトで濾布を支持しつつ真空箱上を走行させるものがある。また、特開平４−２２７８０７号公報の図５に記載されるように、真空箱を無端状に多数連結して、その外側に無端状濾布を配して、濾布および真空箱を同方向に循環移動させつつ真空濾過を行う濾過機がある。
【０００３】
一方、真空吸引および大気圧への開放を繰り返すタイプには、例えば、特公昭５５−２６８８６号公報に記載の水平式ベルトフィルター装置がある。この装置は、上面の開放した真空箱を固定した状態に配置し、この真空箱の上面に接する濾布を設けたものである。この装置は、バルブの切替えによって真空箱の真空吸引および大気圧への開放を繰り返すとともに、この大気圧への開放時に濾布を移動させて、間欠的に濾過を行うものである。
【０００４】
これと同じタイプのものとして、例えば、特公昭５５−３３３６８号公報に記載の濾過装置もある。この装置は、上面の開放した真空箱を往復動作が可能なように設け、この真空箱の上面に接する濾布を設けたものである。この装置は、真空箱の真空吸引時において濾布および真空箱を同方向かつ同速度で移動させ、真空箱が一定距離移動したならば、バルブの切替えによって真空箱内を大気圧に戻すとともに、真空箱を元位置に急速に戻すものである。
【０００５】
ところで、これらの真空濾過機は、真空箱内の真空圧を最大で１kg/cm2程度に保持することによって、濾布上のスラリーまたはケーキに含まれる液分を濾布下側から吸引し濾過を行うものであるが、その脱液性はあまり高いものではなった。したがって、濾過処理物の種類によってはさらに液体の除去を必要とする等の問題点があった。
【０００６】
かかる問題点を解決すべく、特開平４−２２７８０７号公報には、上面の開放した真空箱を往復動作が可能なように設け、この真空箱の上面に接し液体を透過する濾布を設け、さらに、濾布上方にケーキの加圧ローラを設けた濾過機が提案されている（以下、先行例１という）。この濾過機は、濾布と真空箱とが相対的に静止しているとき、つまり濾布および真空箱が同方向かつ同速度で移動しているとき及び濾布および真空箱が静止しているときにおいて、濾布上に供給されたスラリーについて、真空箱を負圧にして濾布下側からの吸引濾過を行って、濾布上にケーキを生成させ、このケーキに対して、濾布上方の加圧ローラによる加圧濾過を行うものである。
【０００７】
また、本出願人も、実公平８−４０８８において、濾布上面にスラリーを供給するとともに、吸引箱を真空圧にして濾布下側からの吸引濾過を行って、濾布上にケーキを生成させ、このケーキに対して、濾布上方に設けられた加圧板による加圧濾過を行う水平型真空フィルターを提案している（以下、先行例２という）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、先行例１においては、真空箱の元位置への復帰移動の際に、加圧ローラを濾布から離間させなければならないため、濾布を連続的に走行させる場合に、固液混合物を全面にわたって加圧濾過することができなかった。これに対して、先行例１では、真空箱の元位置への復帰移動の際に濾布の走行を停止させることを提案しているが、この場合濾過処理効率が低くなるという問題点があった。
【０００９】
先行例１において脱液率を向上させるためには、加圧ローラの押し付け圧力を大きくする必要があるが、押し付け圧力を過度に大きくすると、濾布の張力が増大して破損する虞れがあった。このため、先行例１の装置では、さらなる脱液性の向上を図ることはできなかった。
【００１０】
また、先行例１においては、真空箱上面に対して加圧ローラを押し付けるため、濾布と真空箱とを同速度で同調させて移動させるための装置を設けることも提案されているが、かかる装置を設けるのは装置全体のコストアップにつながるため好ましくない。
【００１１】
さらに、先行例１においては、加圧ローラは真空箱の移動範囲内に設けられ、かつケーキを直接に加圧するものであるため、ケーキが濾布上に保持されずに加圧ローラに付着したときには、真空箱内が大気圧となってしまうという問題点があった。その結果、当該真空箱上にあるケーキについて真空吸引による濾過がなされないという問題点があった。これに対して、先行例１では、ケーキと加圧ローラとの間に、ケーキの付着しにくい圧力ベルトを巻き掛けることを提案しているが、圧力ベルト自体の他、圧力ベルトの走行安定性を確保する蛇行修正装置等の付帯装置が必要とされ、装置コストの増加は免れない。また、ケーキもその種類によっては圧力ベルトに付着することがあるため、圧力ベルトの洗浄装置や付着物の剥離のためのスクレーパ装置等を設ける必要もあり、装置コストのさらなる増加が問題となる。
【００１２】
一方、先行例２においては、平面板を用いて加圧濾過を行うために、間欠的にしか濾過を行うことができず、根本的に濾過処理効率が低いという問題点があった。
【００１３】
また、先行例２では、平面板を用いてケーキ全体にわたって加圧濾過を行うには、一度加圧濾過した被処理物の後端部を次の加圧濾過において再度重複して加圧しなければならない。このため、濾過処理効率の低下が問題となっていた。
【００１４】
さらに、先行例２では、平面板の全体に一定圧力を加えるには、これに相応する非常に大きな圧力を加えなければならない。したがって、特に幅の大きな濾布を備える濾過機に適用することが困難である点、および大型の圧力源を必要とするため装置コストが高くなる点が問題となっていた。
【００１５】
そこで、本発明の主たる課題は、これら先行例における問題点を解決し、脱液性が高く、安価な真空濾過機を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決した本発明に係る真空濾過機は、濾布と真空箱とを備え、上面にスラリーが供給された前記濾布を、前記真空箱の上に当接させた状態で走行させて、前記スラリーの濾過を行う真空濾過機において、
前記濾布と前記真空箱とが離間する位置から、前記濾過によって生じたケーキが前記濾布から排出される位置までの間に、前記濾布を挟んで上面側および下面側に一対の圧搾ロールを設け、
この一対の圧搾ロールのうち、少なくとも一方の圧搾ロールを、これに対向する他方の圧搾ロールに向けて加圧する加圧手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１７】
この真空濾過機において、前記濾布の上面側の圧搾ロールに対して、前記濾布の両側端部を加圧接触させる手段を設けたり、前記一対の圧搾ロールのうち、少なくとも一方の圧搾ロールを回動させる駆動手段を設けるのは好ましい。
【００１８】
一方、本発明の真空濾過機を用いた濾過方法も提案される。すなわち、請求項４記載の発明は、請求項２記載の真空濾過機を用いる濾過方法であって、
少なくとも、前記ケーキの始端が前記一対の圧搾ロールによる圧搾位置を通過するまでの間、
前記濾布の上面側の圧搾ロールに対して、前記濾布の両側端部を加圧接触させることを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項２記載の真空濾過機を用いる濾過方法であって、
前記ケーキの始端が前記一対の圧搾ロールによる圧搾位置を通過するまでの間、前記一対の圧搾ロールによる圧搾を行わずに、前記濾布の上面側の圧搾ロールに対して、前記濾布の両側端部を加圧接触させ、
前記ケーキの始端が前記一対の圧搾ロールによる圧搾位置を通過したならば、前記濾布の上面側の圧搾ロールに対する濾布両側端部の加圧接触を解くとともに、前記一対の圧搾ロールによる圧搾を開始することを特徴とするものである。
【００２０】
これらの濾過方法において、前記一対の圧搾ロールのうち、少なくとも一方の圧搾ロールを回動させて、濾布を走行せしめるのは好ましい。
【００２１】
＜作用＞
前述した先行例は、いずれも、真空箱の移動域上において加圧ローラ等の加圧手段により濾布上のケーキを加圧するものであって、真空濾過と加圧濾過とを平行して行うものである。このため、濾布と真空箱とが同方向に同速度で移動している時にしか加圧を行うことができない。
【００２２】
本発明は、これら先行例とは発想が全く異なるものであって、真空濾過と加圧濾過とを平行して行うものではない。すなわち、本発明の真空濾過機は、濾布と真空箱とが離間する位置から、真空濾過によって生じたケーキが濾布から排出される位置までの間において、濾布を挟んで上面側および下面側に設けられた一対の圧搾ロールによって、真空濾過が終了した後の固液混合物についてさらに加圧濾過を行うものである。したがって、前述の先行例のように濾布と真空箱とが同方向に同速度で移動している時にのみ加圧を行う等の制約が実質的に無く、連続して濾過処理を行うことができる。
【００２３】
また、本発明の真空濾過機は、装置構成がシンプルであり、装置コスト、信頼性および脱液性の面で優れるものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照しつつ詳述する。
図１は、本発明に係る真空濾過機のフローシートであり、従来の真空箱が往復動作するタイプの真空濾過機に対して、真空箱２，２…の濾布１出側において、濾布１の上側および下側に一対の圧搾ロール３，４を設け、これら対向する圧搾ロール３，４によって真空濾過後のケーキＣ２をさらに加圧濾過するものである。
【００２５】
先ず、装置構成について詳述する。
無端状の濾布１がリターンロール５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄに巻き掛けられており、濾布１の上側走行経路において、濾布１の下面に接して上面が開放構造の真空箱２，２…が相互に連結されて配される。この真空箱２，２…の下面には車輪２ａ，２ａが設けられて、レール７上を濾布走行方向に移動自在に構成されるとともに、一端側（図中左側）の真空箱２にエアシリンダー６が連結される。また、真空箱２，２…は、管８ａ，８ｂ，８ｃによって各貯留タンクＴ１，Ｔ２，Ｔ３に通じている。貯留タンクＴ１，Ｔ２は、その上部において管９を介して真空吸引ポンプＰ５に連結されるとともに、その下部において管１１ａ，１１ｂを介して液体排出ポンプＰ１，Ｐ２に連結されている。同様に貯留タンクＴ３上部は管９を介して真空吸引ポンプＰ５に連結されるが、その下部は管１１ｃを介して一次洗浄液循環ポンプＰ３に連結される。
【００２６】
また、本例の濾過装置では、上側走行経路の濾布１上面に臨む位置において、真空箱２，２…の始端側にスラリー供給装置１２が配置され、このスラリー供給装置から濾布１の走行方向に、ケーキの洗浄液供給装置１３ａ，１３ｂが適宜の間隔で並んで配置されている。前側の洗浄液供給装置１３ａは管１０ａを介して一次洗浄液循環ポンプＰ３の出側に連結され、後側の洗浄液供給装置１３ｂは管１０ｂを介して濾布洗浄装置４０（後述する）にて回収される洗浄液を循環させる二次洗浄液循環ポンプＰ４の出側に連結されている。
【００２７】
さらに、濾布１の上側走行経路の終端側には、上側圧搾ロール３と下側圧搾ロール４とが対向して配置されており、真空箱２，２…の真空濾過領域を通過した濾布１が、上側圧搾ロール３と下側圧搾ロール４との間に案内されるよう構成されている。
【００２８】
図２および図３に詳しいように、上側圧搾ロール３は、回転軸３ａおよび軸受３ｂによって上フレーム１５に対して回転自在に支持されており、図示しない回転駆動源に連結されている。特徴的には、上側圧搾ロール３の前後にガイドロール１４およびリターンロール５Ｂが配置されており、上側圧搾ロール３の最下部がガイドロール１４およびリターンロール５Ｂの最上部よりも下側となるように構成されている。かかる位置関係によって、濾布１がその張力に応じて上側圧搾ロール３に対して加圧状態で接することとなる。また、かかる位置関係とするために、上側圧搾ロール３を上フレーム１５に対して任意の高さに調節できるようにすることもできる。
【００２９】
これに対して、下側圧搾ロール４は、回転軸４ａ，４ａおよび軸受４ｂ，４ｂによってレバー１６，１６上に回転自在に支持される。レバー１６，１６は、縦フレーム１７，１７（一方のみ図示）に設けられた凸部１７Ａ，１７Ａに対して、下側圧搾ロール４の配設位置よりも後端側（図中左側）においてピン１８，１８（一方のみ図示）により回転自在に軸支されるとともに、その後端部にシリンダー１９，１９のピストンロッド１９ａ，１９ａの先端が連結されている。シリンダー後端１９ｂ，１９ｂは下フレーム２０に回動自在に連結される。したがって、レバー１６，１６は、シリンダー１９，１９の収縮動作によって、その下側圧搾ロール４の設けられた先端側が上側圧搾ロール３に向かって移動するようにピン１８，１８を中心にして回動し、逆に、シリンダー１９，１９の伸長動作によって、その下側圧搾ロール４の設けられた先端側が上側圧搾ロール３から離間するようにピン１８，１８を中心にして回動する。
【００３０】
また、本例の装置では、図４にも示すように、濾布１の両側端を上側圧搾ロール３に対して加圧接触させる手段として、一対の側端加圧ロール３０，３０が設けられている。これら側端加圧ロール３０、３０は、図５に詳しいように、濾布１の両側端の下側に位置するように、レバー１６，１６上に回転自在に軸支される。３０ａは、側端加圧ロールの回転軸であり、３０ｂはその軸受である。
【００３１】
図示の例では、同一のレバー１６上に下側圧搾ロール４および側端加圧ロール３０が設けられており、シリンダー１９，１９の収縮動作により、濾布１および上側圧搾ロール３の接触域の終端側において、濾布１が下側圧搾ロール４によって上側圧搾ロール３に押し付けられるとともに、側端加圧ロール３０，３０が上側圧搾ロール３から離間し、逆に、シリンダー１９，１９の伸長動作によって、上側圧搾ロール３における濾布１の接触開始位置に側端加圧ロール３０，３０が押し付けられるとともに、下側圧搾ロール４が上側圧搾ロール３から離間するように構成されている。
【００３２】
この他に、本例の真空濾過機においては、上側圧搾ロール３に付着したケーキを剥離するためのスクレーパＳ１、濾布１からのケーキ剥離を行うスクレーパ２、濾布１の下側走行経路において、ケーキ排出後の濾布１を洗浄する濾布洗浄装置４０、同様に濾布１の下側走行経路において、濾布１をＳ字状に案内する一対の張力調整ロール５０Ａ，５０Ｂ（互いの水平方向の離間距離を調節することによって濾布１の張力を調整する）が設けられている。濾布洗浄装置４０にて回収される洗浄液は、二次洗浄液循環ポンプＰ４によって後側のケーキ洗浄液供給装置１３ｂに循環利用される。
【００３３】
以上に説明した濾過機において、固液混合物の濾過を行うには、先ず、図示しない回転駆動源を作動させて上側圧搾ロール３を駆動し、濾布１を図中時計回りに循環走行させる一方で、真空吸引ポンプＰ５によって真空箱２，２…内を負圧状態に維持するとともに、スラリー供給装置１２から濾布１上にスラリーを供給する。
【００３４】
濾布１上のスラリーは、真空箱２，２…内が負圧に維持されることによって、濾布１の走行に伴って移送されつつ濾布１を介して脱液されケーキＣ１となる。また、この際、洗浄液供給装置１３ａ，１３ｂから洗浄液（例えば水）が供給されてケーキ洗浄も行われる。真空箱２，２…は、真空吸引時には真空圧により濾布１と一体化されるとともに、エアシリンダー６の伸長動作によって濾布１と同方向かつ同速度で移動する。真空箱２，２…が一定距離移動したならば、バルブＢ１，Ｂ２，Ｂ３を開けるとともに、バルブＢ４，Ｂ５，Ｂ６を閉じて真空箱２，２…内を大気圧に戻す。この際、エアシリンダー６の収縮動作によって真空箱２，２…を元位置に急速に復帰させる。以降は、この真空箱２，２…の往復動作が繰り返し行われる。
【００３５】
真空箱２，２…内には、スラリー（およびケーキＣ１）中の液分、ケーキ洗浄液が吸引・導入される。これら液分およびケーキ洗浄液は、貯留タンクＴ１，Ｔ２に一時的に貯留された後、液体排出ポンプＰ１，Ｐ２によって排出される。ただし、本例の装置では、いわゆる向流洗浄が行われる。すなわち、先ず、濾布洗浄装置４０において濾布１の洗浄に用いた洗浄液は、二次洗浄液循環ポンプＰ４により後側のケーキ洗浄液供給装置１３ｂに循環利用される。続いて、この後側のケーキ洗浄液供給装置１３ｂからの洗浄液は、真空箱２，２…のうち終端側の真空箱２，２…に吸引導入された後、貯留タンクＴ３および管１１ｃを介して、一次洗浄液循環ポンプＰ３により前側の洗浄液供給装置１３ａに循環供給される。
【００３６】
濾布１の移動によって真空箱２，２…の往復動作範囲を通過したケーキＣ２は、一対の圧搾ロール３，４により加圧され、さらに濾過される。
すなわち、図２および図３に詳しいように、真空濾過後のケーキＣ２は、濾布１と上側圧搾ロール３との間に挟み込まれ、（ａ）部から（ｃ）部へと圧搾されつつ移送される。（ａ）部から（ｂ）部においては、ケーキＣ２に対して、上側圧搾ロール３の中心方向に濾布１の張力に応じた面圧が加えられ、ケーキＣ２の圧搾脱液が徐々に進行する。
【００３７】
続いて（ｂ）部においては、シリンダー１９，１９のピストンロッド１９ａ，１９ａの収縮により下側圧搾ロール４が上側圧搾ロール３に対して押し付けられている。このため、（ａ）部から（ｂ）部においてある程度まで脱液されたケーキＣ２は、上側圧搾ロール３とこれに向かって下側圧搾ロール４によって加圧された濾布１との間において圧搾され脱液される。
【００３８】
ここに、本装置において特筆すべきことは、濾布１は下側圧搾ロール４により上側圧搾ロール３方向に押し付けられるため、この押し付け力を高める程に、上側圧搾ロール３の回転駆動に伴う濾布１の走行が確実になることである。したがって、本装置では、圧搾による脱液性を高める程に、濾布１のスリップが生じにくくなるのである。
また、本装置では、上側および下側圧搾ロール３，４は、ともに濾布１の走行とともに回動するため、下側圧搾ロール４による上側圧搾ロール３方向の押し付け力を高めたとしても、濾布１の張力が高まることが実質的に無い。したがって、本装置では、濾布１の破断を考慮する必要なく、圧搾圧力すなわち下側圧搾ロール４による上側圧搾ロール３方向の押し付け力を高めることができる。
【００３９】
さて、（ｃ）部を通過後のケーキＣ３は、上側圧搾ロール３に付着した分についてはスクレーパＳ１により濾布１上に掻き落とされ、濾布１上の残りのケーキとともに、スクレーパＳ２により排出される。Ｃ４は排出ケーキを示す。
【００４０】
ケーキ排出後の濾布１は、リターンロール５Ｃ，５Ｄによって、再びスラリー供給装置１２の下方に返送される。この際、濾布洗浄装置４０において濾布１の洗浄が行われる。
【００４１】
本例の装置では、特に運転初期においても、下側圧搾ロール４により濾布１を上側圧搾ロール３に押し付けていると、真空濾過済みのケーキＣ２の始端が当該押し付け部分（つまり（ｂ）部）を通過できないことが想定される。この場合、当該押し付け部分に至る部分（つまり（ａ）部から（ｂ）部）にケーキが堆積し、運転を継続することができなくなる。かかる場合に、下側圧搾ロール４による押し付け圧力を弱めれば、ケーキＣ２が当該押し付け部分を通過することは可能となるが、脱液性が低下するだけでなく、濾布１のスリップが生じ易くなる。
【００４２】
かかる問題を解決すべく、本例の装置では濾布１の両側端を上側圧搾ロール３に加圧接触させる側端加圧ロール３０，３０が設けられている。すなわち、図４および図５に示すように、運転初期においては、シリンダー１９，１９のピストンロッド１９ａ，１９ａを伸長させて側端加圧ロール３０，３０を上昇させることにより濾布１の両側端を上側圧搾ロール３に押し付けておく。この場合、シリンダー１９，１９の伸長動作により下側圧搾ロール４は上側圧搾ロール３から離間するため、下側圧搾ロール４による圧搾脱液は行われない。したがって、濾布１の両側端が上側圧搾ロール３に確実に押し付けられるとともに、濾布１の中央部においてケーキＣ２の移送および脱水が行われる。これによって、運転初期における濾布１のスリップが生じることはない。
【００４３】
この状態は、少なくとも、ケーキＣ２の始端が下側圧搾ロール４による濾布１の押し付け部分を通過するまで保持する。そして、ケーキＣ２の始端が当該押し付け部分を通過したならば、シリンダー１９，１９のピストンロッド１９ａ，１９ａを収縮させて側端加圧ロール３０，３０を上側圧搾ロール３から離間させるとともに、下側圧搾ロール４を上側圧搾ロール３に押し付けてケーキＣ２の圧搾を開始する。このシリンダー１９，１９の伸縮の切り替えタイミングは、例えば前述のケーキＣ２の下側圧搾ロール４による濾布１の押し付け部分通過タイミングを、例えばタイマー等により判断して、自動的あるいは人為的に行うことができる。
【００４４】
＜他の例＞
本発明の範囲において、側端加圧ロール３０，３０または下側圧搾ロール４を、上記例とは異なる位置に設けたり、複数設けたりすることもできる。例えば、上記例において、側端加圧ロールをレバーの支点よりも先端側に下側圧搾ロールと並べて配置し、側端加圧ロールによる濾布の駆動補助と、下側圧搾ロールによる圧搾脱水とを同時に行うようにすることもできる。
【００４５】
上記例では、レバー１本に対して下側圧搾ロール４および側端加圧ロール３０，３０の両方を設けたが、個々のロール専用のレバーをそれぞれ設けることもできる。この場合、下側圧搾ロールおよび側端加圧ロールをそれぞれ別個に動作させることができ、例えば、側端加圧ロールによる濾布の駆動補助と、下側圧搾ロールによる圧搾脱水とを同時にあるいは間断なく行うようにすることもできる。
【００４６】
また、上記例では、上側圧搾ロール３を駆動して濾布の駆動を行うこととしたが、上側圧搾ロールおよび下側圧搾ロールの両方、あるいは下側圧搾ロールのみを駆動することもできる。
【００４７】
さらに、上記例における上側圧搾ロール３を下側圧搾ロール４の方向に移動自在とし、自重によってあるいは別途設けた加圧手段によって、下側圧搾ロール４に押し付けるように構成したり、上記例における上側圧搾ロール３および下側圧搾ロール４を上下逆に配置したりすることもできる。
【００４８】
他方、上記例は真空箱２，２…が往復動作するタイプの真空濾過機であるが、本発明は、これに限定されるものではなく、他の真空濾過機、例えば前述した連続的に真空を保持するタイプの真空濾過機にも用いることが可能である。
【００４９】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明によれば、安定して連続的に濾過を行うことができるとともに、脱液性の高い、安価な真空濾過機となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１…濾布、２…真空箱、３…上側圧搾ロール、４…下側圧搾ロール、５Ａ〜５Ｄ…リターンロール、６…エアシリンダー、７…レール、１２…スラリー供給装置、１３ａ，１３ｂ…ケーキ洗浄液供給装置、１４…ガイドロール、１６…レバー、１８…ピン、１９…シリンダー、３０…側端加圧ロール、Ｂ１〜Ｂ６…バルブ、Ｔ１〜Ｔ３…貯留タンク、Ｐ１，Ｐ２…液体排出ポンプ、Ｐ３…一次洗浄液循環ポンプ、Ｐ４…二次洗浄液循環ポンプ、Ｐ５…真空吸引ポンプ。