【手続補正書】
【提出日】平成16年4月19日(2004.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室とを有し、前記ゲッタ処理は、前記ゲッタ処理室におけるパネル部材の温度を、前記ベーク処理室においてベーク処理されるパネル部材の温度よりも低い温度に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項２】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面浄化処理がなされる表面浄化処理室と、前記表面浄化処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室とを有し、前記ゲッタ処理は、前記ゲッタ処理室におけるパネル部材の温度を、前記ベーク処理室においてベーク処理されるパネル部材の温度よりも低い温度に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項３】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理がなされる第１のゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされる、前記第１のゲッタ処理室と隣接した第２のゲッタ処理室とを有し、前記パネル部材へのゲッタ処理は、前記第２のゲッタ処理室におけるパネル部材の温度を、前記ベーク処理室においてベーク処理されるパネル部材の温度よりも低い温度に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項４】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面浄化処理がなされる表面浄化処理室と、前記表面浄化処理後に前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理がなされる第１のゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされる、前記第１のゲッタ処理室と隣接した第２のゲッタ処理室とを有し、前記パネル部材へのゲッタ処理は、前記第２のゲッタ処理室におけるパネル部材の温度を、前記ベーク処理室においてベーク処理されるパネル部材の温度よりも低い温度に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項５】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室とを有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項６】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面浄化処理がなされる表面浄化処理室と、前記表面浄化処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室とを有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理後に前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理がなされる第１のゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされる、前記第１のゲッタ処理室に隣接した第２のゲッタ処理室とを有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項８】
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、
前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材を冷却する冷却処理室と、前記冷却処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材の表面浄化処理がなされる表面浄化処理室と、前記表面浄化処理後に前記パネル部材が搬送され、当該処理室内のゲッタ処理がなされる第１のゲッタ処理室と、前記ゲッタ処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされる、前記第１のゲッタ処理室に隣接された第２のゲッタ処理室とを有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項９】
画像表示装置の製造方法において、
ａ：蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを真空雰囲気のベーク処理室に搬入し、加熱してベーク処理する工程と、
ｂ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方をゲッタ処理する工程と、
ｃ：前記第１の部材と前記第２の部材とを真空雰囲気の封着処理室に真空雰囲気下で搬入し、加熱して封着する工程と、を有し、
前記工程ｂは、ゲッタ処理される部材の温度が、前記工程ａにおける加熱温度よりも低い温度にて行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１０】
画像表示装置の製造方法において、
ａ：蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを真空雰囲気のベーク処理室に搬入し、加熱してベーク処理する工程と、
ｂ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の冷却処理室に真空雰囲気下で搬入し、冷却処理する工程と、
ｃ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方をゲッタ処理する工程と、
ｄ：前記第１の部材と前記第２の部材とを真空雰囲気の封着処理室に真空雰囲気下で搬入し、加熱して封着する工程と、
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１１】
画像表示装置の製造方法において、
ａ：蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを真空雰囲気のベーク処理室に搬入し、加熱してベーク処理する工程と、
ｂ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の表面浄化処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方を表面浄化処理する工程と、
ｃ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方をゲッタ処理する工程と、
ｄ：前記第１の部材と前記第２の部材とを真空雰囲気の封着処理室に真空雰囲気下で搬入し、加熱して封着する工程と、
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１２】
画像表示装置の製造方法において、
ａ：蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを真空雰囲気のベーク処理室に搬入し、加熱してベーク処理する工程と、
ｂ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の表面浄化処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方を表面浄化処理する工程と、
ｃ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の第１のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、前記第１のゲッタ処理室内のゲッタ処理を行う工程と、
ｄ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の第２のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方をゲッタ処理する工程と、
ｅ：前記第１の部材と前記第２の部材とを真空雰囲気の封着処理室に真空雰囲気下で搬入し、加熱して封着する工程と、
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１３】
画像表示装置の製造方法において、
ａ：蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを真空雰囲気のベーク処理室に搬入し、加熱してベーク処理する工程と、
ｂ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の冷却処理室に真空雰囲気下で搬入し、冷却処理する工程と、
ｃ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の表面浄化処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方を表面浄化処理する工程と、
ｄ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方をゲッタ処理する工程と、
ｅ：前記第１の部材と前記第２の部材とを真空雰囲気の封着処理室に真空雰囲気下で搬入し、加熱して封着する工程と、
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１４】
画像表示装置の製造方法において、
ａ：蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを真空雰囲気のベーク処理室に搬入し、加熱してベーク処理する工程と、
ｂ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の冷却処理室に真空雰囲気下で搬入し、冷却処理する工程と、
ｃ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の表面浄化処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方を表面浄化処理する工程と、
ｄ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の第１のゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、前記第１のゲッタ処理室内のゲッタ処理を行う工程と、
ｅ：前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を真空雰囲気の第２ゲッタ処理室に真空雰囲気下で搬入し、搬入した一方の部材又は搬入した両方の部材のうちの一方又は両方をゲッタ処理する工程と、
ｆ：前記第１の部材と前記第２の部材とを真空雰囲気の封着処理室に真空雰囲気下で搬入し、加熱して封着する工程と、
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１５】
画像表示装置の製造装置において、
真空雰囲気下に、蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材のうちの一方又は両方の部材をゲッタ処理するためのゲッタ処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材とを加熱して封着処理するための封着処理室と、を有するとともに、前記第１の部材及び前記第２の部材を、前記ゲッタ処理室から前記封着処理室へと搬送可能な搬送手段を備え、
前記ゲッタ処理室と前記封着処理室との間には熱遮蔽部材が設けられていることを特徴とする画像表示装置の製造装置。
【請求項１６】
画像表示装置の製造装置において、
真空雰囲気下に、蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを加熱してベーク処理するためのベーク処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材をゲッタ処理するためのゲッタ処理室と、を有するとともに、前記第１の部材及び前記第２の部材を、前記ベーク処理室から前記ゲッタ処理室へと搬送可能な搬送手段を備え、
前記ベーク処理室と前記ゲッタ処理室との間には熱遮蔽部材が設けられていることを特徴とする画像表示装置の製造装置。
【請求項１７】
画像表示装置の製造装置において、
真空雰囲気下に、蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを加熱してベーク処理するためのベーク処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材をゲッタ処理するためのゲッタ処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材とを加熱して封着処理するための封着処理室と、を有するとともに、前記第１の部材及び前記第２の部材を、ベーク処理室、ゲッタ処理室、封着処理室の順で搬送可能な搬送手段を備え、
前記各処理室間には熱遮蔽部材が設けられていることを特徴とする画像表示装置の製造装置。
【請求項１８】
画像表示装置の製造装置において、
真空雰囲気下に、蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを加熱してベーク処理するためのベーク処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を徐冷するための冷却処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材をゲッタ処理するためのゲッタ処理室と、を有するとともに、前記第１の部材及び前記第２の部材を、前記ベーク処理室、前記冷却処理室、前記ゲッタ処理室の順に搬送可能な搬送手段を備えることを特徴とする画像表示装置の製造装置。
【請求項１９】
画像表示装置の製造装置において、
真空雰囲気下に、蛍光体励起手段を配置した基板を含む第１の部材と蛍光体を配置した基板を含む第２の部材とを加熱してベーク処理するためのベーク処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材を徐冷するための冷却処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材のうちの一方又は両方の部材をゲッタ処理するためのゲッタ処理室と、前記第１の部材と前記第２の部材とを加熱し封着処理するための封着処理室と、を有するとともに、前記第１の部材及び前記第２の部材を、前記ベーク処理室、前記冷却処理室、前記ゲッタ処理室、前記封着処理室の順に搬送可能な搬送手段とを備えることを特徴とする画像表示装置の製造装置。