【手続補正書】
【提出日】平成16年9月28日(2004.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の有無を検査する検査装置であって、基板を固定して載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージと、基板の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステージ上の基板のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージとは独立して、基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動できる移動部と、前記移動部にてそれぞれ所定のＹ方向位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、４個のプローブヘッド部とを有し、前記４個のプローブヘッド部は、それぞれ、互いに接触しない範囲で、移動部に固定されるＹ方向位置を独立に制御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプローブカードを有し、プローブカードのＸ、Ｙ位置とＸ方向とＹ方向に直交するＺ位置を所定の範囲で調整できるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電極配線の検査装置において、ステージには、ＸＹ平面における回転方向を調整するための回転方向位置制御部を備えていることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項３】
請求項１ないし２に記載の電極配線の検査装置において、プローブヘッド部のプローブカードの端子が針からなり、各針の先端部を基板の電極配線に接触させるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし３に記載の電極配線の検査装置において、ステージは、少なくとも基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に移動できるもので、Ｘ方向に沿って、被検査基板が所定の検査領域に供給されるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項５】
請求項１ないし４に記載の電極配線の検査装置において、移動部は、ステージのＸ方向の２つの辺部に沿いそれぞれ設けられた、２つのＸ方向移動する支持部により支持されて、Ｘ方向を移動するものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項６】
請求項１ないし５に記載の電極配線の検査装置において、移動部は４個のプローブヘッド部のＹ方向移動用の支持軸となるもので、各プローブヘッド部は、サーボモータ駆動ないしステッピングモータ駆動により位置制御されて、移動部における所定のＹ方向位置に移動されるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電極配線の検査装置において、各プローブヘッド部のプローブカードは、ステッピングモータ駆動により位置制御されて所定のＸ方向位置に調整されるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電極配線の検査装置において、各プローブヘッド部のプローブカードは、ＭＨモータによりＸＹ平面における回転方向（θ軸）の位置制御がされて、所定の回転方向位置に制御されるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項９】
請求項１ないし８に記載の電極配線の検査装置において、基板上の基板位置を認識するための絵柄および基板上の電極配線を認識するためのカメラを備えていることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の電極配線の検査装置において、基板位置を認識するためのカメラは、プローブヘッド部に一体となり、設けられていることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電極配線の検査装置において、基板位置を認識するためのカメラを、それぞれ、４個のプローブヘッド部のうちの、Ｙ方向の両端の各１個にそれぞれ備えていることを特徴とする電極配線の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の有無を検査するために使用される電極配線の検査装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
ここで、ＰＤＰの構成を、図８に示すＡＣ型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。図８はＰＤＰの構成を示した斜視図であるが、分かり易くするために前面板（ガラス基板８１０）と背面板（ガラス基板８２０）とを実際より離して示してある。図８に示すように、２枚のガラス基板８１０、８２０が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板８２０上に互いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）８３０により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガラス基板８１０の背面側には、放電維持電極である透明電極８４０とバス電極である金属電極８５０とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、誘電体層８６０が形成されており、更にその上に保護層（ＭｇＯ層）８７０が形成されている。また、背面板となるガラス基板８２０の前面側には前記複合電極と直交するように障壁８３０間に位置してアドレス電極８８０が互いに平行に形成されており、更に障壁８３０の壁面とセル底面を覆うように螢光体８９０が設けられている。障壁８３０は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加して放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により螢光体８９０を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。また、図８に示すものは、ガラス基板８２０の一面に下地層８６７を設けその上に誘電体層８６５を設けた構造となっているが、下地層８６７、誘電体層８６５は必ずしも必要としない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
従来より、電極配線の断線、短絡を検査する方法としては、図５に示すように、タングステン等を針状にした針（５１１〜５１３）２本ないし３本を用いて、それぞれ１方向になぞりながら、断線、短絡を検査するなぞり方式が知られている。液晶表示装置（ＬＣＤ）等の基板の検査にも用いられているものである。この方法では、針１本のなぞる方向を１軸として、通常、針２本の２軸ないし針３本の３軸による検査が行われている。このなぞり方式により、図５にその一部を示すような所定ピッチの直線状の電極配線を検査する場合の例を説明する。針５１１が配線５４１上に、針５１２が配線５４２上に接する場合には、導通がなければ両配線間には短絡がなく、導通があれば両配線間には短絡があると判断される。また、針５１１が配線５４１上に、針５１２も配線５４１上に接する場合には、導通がなければ両針間で配線５４１に断線があり、導通があれば両針間では配線には断線がないと判断できる。このような前提のもとで、例えば、針５１１と針５１２を、配線５４１上にともに接する状態から、それぞれ (1)方向、 (2)方向（図面の丸付き数字は括弧付き数字で記す。以下同様。）に同じスピードで移動させると, 両針間には、配線に異常がなければ、配線のピッチに対応した所定の電圧波形（矩形波）が得られるが、配線に断線がある場合には、電圧波形に異常が出る。これにより配線の断線を確認できる。また、例えば、針５１１が配線５４１上に接し、針５１３が配線５４２上に接する状態から、それぞれ (1)方向、 (3)方向に同じスピードで移動させると、両針間の導通に異常がなければ、所定の電圧が得られるが、隣接する２配線に導通がある場合には、電圧に異常が出る。これにより配線間の導通を確認できる。このような、なぞり方式は、針先を電極パターンに接するために位置精度は比較的ゆるくてすむが、針間のタイミングをとることが難しく、針の圧痕が残るという問題があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このプローブカードを用いた検査方法は、例えば、図６（ｂ）に示すような、直線状の電極配線を所定ピッチに多数配設した場合については以下のように行う。図６（ｂ）に示すように、はじめに、 (1)の領域の配線の両端部を、プローブカード６１０Ａ、６１０Ｂの針端子にて、それぞれ、接触させる。プローブカード６１０Ａの針Ｐ１とプローブカード６１０Ｂの針Ｐ２とがともに配線６４１に接触しており、各プローブカードの針は順次隣の配線に接触している。この状態で、プローブカード６１０Ａの所定の１針とプローブカード６１０Ｂの所定の１針の、所定の２針を選択し、この２針間に電圧をかけ、その間の電圧をチェックすることにより、該２針間の断線ないし導通状態を知ることができる。即ち、図６（ｂ）に示す２針Ｐ１、Ｐ２を指定すれば配線６４１の断線の有無を確認でき、２針Ｐ１、Ｐ３を指定すれば、隣接する配線６４１、配線６４２間の導通の有無を確認することができる。実際には、検査する２針の指定は、図示していない検出部により、順に変え（走査し）て行う。そして、得られた電圧波形を処理部にて処理して配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無を検出する。このようにして (1)の領域の各配線について全て、配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無を検出する。次いで、 (2)の領域の各配線全てについては、プローブカード６１０Ａを矢印の方向に、Ｐ１がＰ５の位置にくるまで移動させ、プローブカード６１０Ｂを矢印の方向に、Ｐ２がＰ６の位置にくるまで移動させ、各針を配線に接するようにする。尚、プローブカード６１０Ａ、６１０Ｂの移動を行う際には、一旦針を配線から離した状態とする。前述のようにして、 (2)の領域の各配線について全て、配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無を検出する。このプローブカードを用いた検査方法は、このようにして、２個のプローブをそれぞれプローブの端子数（針の数）と針間のピッチに対応する所定のピッチでそれぞれ、配線に直交する方向に、順送りしながら基板全域の全ての配線について検査を行うものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
しかし、この方法の場合、例えば、後述する図３（ａ）や図３（ｂ）に示すような形状の電極配線については、プローブカードを３個としても、１度で基板全域の全ての配線の断線、短絡の検査を行うことができず、検査効率が落ちるという問題があった。また、図３（ａ）や図３（ｂ）に示す形状の電極配線はともに、外側と内側では、即ち点線(1) 側と点線(2) 側とでは、プローブカードのプローブ全体に対する位置が異なるため、また配線のピッチが異なるため、外側と内側では、それぞれオフセット量を考慮し、且つ針ピッチの異なる別のプローブカードを用意する必要があるが、プローブカードは高価であるため、この対応はコスト的に問題が多かった。また、プローブの針（ピン）数増加はコスト高につながるという問題もある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、ＰＤＰ用基板（背面板、前面板）の電極パターンの断線、短絡を検査する別の方法としては、図７に示すように、フレキシブルなベースフィルム７２５上に端子用電極配線７２７が形成された配線フィルム（ＦＰＣとも言う、Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）からなるプローブカード７２０を固定した、１２８個ないし２５６個の端子をもつプローブヘッド７１０を用いるもので、図６（ａ）に示す針を用いたプローブカード６１０と同様に、各プローブを配線方向に直交する方向に、所定のピッチで順送り移動させながら、断線、短絡を検査する配線フィルムからなるプローブによる検査方法も試みられた。尚、図７（ｂ）は図７（ａ）のＥ１側からみた図である。この方法は、図６に示す針を端子としたプローブカードに代え、ＦＰＣの配線部を端子としたもので、基板の電極パターンとＦＰＣの配線とを面接触させるものである。この方法の場合は、ＦＰＣを基板の電極パターンと面接触させる際に、接触不良の発生を防止させることが難しい上に、プローブの端子用電極パターンを用いるため、針を用いた場合に比べその位置精度は厳しく求められるようになるという問題があり、すでに限界が見えている。また、一般には、上記針を固定したプローブカードを用いた検査方法と同様、検査の対象となる基板の電極配線の形状によっては、検査に手間取る問題があった。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【発明が解決しようすとる課題】
上記のように、従来の図５に示すなぞり式の検査方法の場合には、そのタイミングのとり方が難しく、且つ電極パターンに圧痕跡が残るという問題があり、図６（ｂ）に示す針を固定したプローブカードを用いた検査方法の場合には、電極配線の絵柄によっては効率的な検査ができないという問題があり、ＦＰＣ配線を端子としたプローブカードを用いた検査方法においては、端子位置精度の点や、端子の接触不良の発生ということから限界が見えている。このため、ますますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電極配線の形状も多種となるＰＤＰ用の電極配線を始めとして、いわゆる基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査においては、上記の検査方法とは異なる、効率的にかつ、各種電極配線の絵柄に対応できる方法が求められていた。本発明は、これに対応するためのもので、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査する検査装置であって、効率的にかつ、各種電極配線の絵柄に対応できる検査装置を提供しようとするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の電極配線の検査装置は、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の有無を検査する検査装置であって、基板を固定して載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージと、基板の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステージ上の基板のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージとは独立して、基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動できる移動部と、前記移動部にてそれぞれ所定のＹ方向位置にに固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、４個のプローブヘッド部とを有し、前記４個のプローブヘッド部は、それぞれ、互いに接触しない範囲で、移動部に固定されるＹ方向位置を独立に制御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプローブカードを有し、プローブカードのＸ、Ｙ位置とＸ方向とＹ方向に直交するＺ位置を所定の範囲で調整できるものであることを特徴とするものである。そして、上記において、ステージには、ＸＹ平面における回転方向を調整するための回転方向位置制御部を備えていることを特徴とするものである。そしてまた、上記におけるプローブヘッド部のプローブカードの端子が針からなり、各針の先端部を基板の電極配線に接触させるものであることを特徴とするものである。また、上記におけるステージは、少なくとも基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に移動できるもので、Ｘ方向に沿って、被検査基板が所定の検査領域に供給されるものであることを特徴とするものである。また、上記における移動部は、ステージのＸ方向の２つの辺部に沿いそれぞれ設けられた、２つのＸ方向移動する支持部により支持されて、Ｘ方向を移動するものであることを特徴とするものである。また、上記における移動部は４個のプローブヘッド部のＹ方向移動用の支持軸となるもので、各プローブヘッド部は、サーボモータ駆動ないしステッピングモータ駆動により位置制御されて、移動部における所定のＹ方向位置に移動されるものであり、該各プローブヘッド部のプローブカードは、ステッピングモータ駆動により位置制御されて所定のＸ方向位置に調整されるものであることを特徴とするものである。また、該各プローブヘッド部のプローブカードは、ＭＨモータによりＸＹ平面における回転方向（θ軸）の位置制御がされて、所定の回転方向位置に制御されるものであることを特徴とするものである。また、上記において、基板上の基板位置を認識するための絵柄および基板上の電極配線を認識するためのカメラを備えていることを特徴とするものであり、該基板位置を認識するためのカメラは、プローブヘッド部に一体となり、設けられていることを特徴とするものである。更に、該基板位置を認識するためのカメラを、それぞれ、４個のプローブヘッド部のうちの、Ｙ方向の両端の各１個にそれぞれ備えていることを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【作用】
本発明の電極配線の検査装置は、このような構成にすることにより、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査装置であって、効率的にかつ、各種電極配線の絵柄に対応できる、検査装置の提供を可能としている。また、大型基板にも対応できるものとしている。具体的には、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の有無を検査する検査装置であって、基板を固定して載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージと、基板の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステージ上の基板のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージとは独立して、基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動できる移動部と、前記移動部にてそれぞれ所定のＹ方向位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、４個のプローブヘッド部とを有し、前記４個のプローブヘッド部は、それぞれ、互いに接触しない範囲で、移動部に固定されるＹ方向位置を独立に制御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプローブカードを有し、プローブカードのＸ、Ｙ、Ｚ位置を所定の範囲で調整できるものであることにより、これを達成している。即ち、４個のプローブヘッド部を互いに接触しない範囲でＹ方向位置を独立に制御可能で、且つ、各プローブヘッド部はプローブカードのＸ、Ｙ位置とＸ方向とＹ方向に直交するＺ位置を所定の範囲で調整できることにより、更には、ステージに、ＸＹ平面における回転方向を調整するための回転方向位置制御部を備えていることにより、各種絵柄の電極配線に、効率的に対応できるようにしている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の電極配線の検査装置の実施の形態を挙げて説明する。図１は実施の形態の１例の概略平面図で、図２は図１のＡ１−Ａ２からみた概略断面図で、図３は基板の配線状態と、各プローブヘッド部のプローブカードの位置を示した図で、図４はプローブヘッド部の概要を分かり易く示した斜視図である。尚、図３においては、形状を分かり易くするために配線の数は極度に少なくしてあるが、その数は通常、数百本に及ぶ。また、図１〜図４中、Ｙ方向は配線の方向を示し、Ｘ方向は配線に直交する基板面に沿う方向、Ｚ方向はＸＹ平面に直交する方向を示している。図１〜図４中の点線矢印は、各部の移動できる方向を示したものである。図１〜図４中、１００は検査装置、１１０はステージ、１１１はステージ支持部、１１３は回転駆動部、１１５はレール、１２０は移動部、１２１は支持部、１２３、１２５はレール、１２７はモータ、１２９はネジ部、１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ、１３０Ｄはプローブヘッド部、１３３、１３３Ａ、１３３Ｂ、１３３Ｃ、１３３Ｄはプローブカード、１３４は針、１３６は固定部、１３７は（Ｚ移動用）レール、１３８はＸ移動部、１３９はＹ移動部、１５０はベンチ、１８０は基板、１９０は基板供給装置、１９５は検査ブースである。図１、図２に示す装置は、ＰＤＰ用の背面基板用の電極配線を設けた基板の、配線の断線、短絡の有無を検査する検査装置であり、基板１８０を固定して載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージ１１０と、基板１８０の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステージ１１０上の基板１８０のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージ１１０とは独立して、基板１８０の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動できる移動部１２０と、移動部１２０にてそれぞれ所定の位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、４個のプローブヘッド部１３０とを有している。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
プローブヘッド部１３０のプローブカード１３３としては、図５や図６（ａ）に示す端子が針からなり、各針の先端部を基板の電極配線に接触させるものが好ましいが、特にこれに限定はされない。検査原理については、図６に示すものと同じであるが、本装置１００は、各プローブカード１３３Ａ〜１３３Ｄの位置をそれぞれ独立に調整できる。ステージ１１０は、少なくとも基板１８０の配線方向に略直交するＸ方向に移動できるもので、本装置１００においては、検査対象となる基板１８０は、基板供給装置１９０にてステージ１１０上に載せられ、レール１１５上を走行し、検査を行う検査ブース１９５内へと運ばれて検査される。尚、必要に応じ、検査対象となる基板の供給位置や、検査後の基板の排出位置を図１に示す位置と変えても良い。例えば、図１に於いて検査ブース１９５の右側に基板供給位置を設け、検査良品は検査後基板供給位置に戻し、検査不良品は、検査ブース１９５の左側に排出するようにしても良い。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
ステージ１１０には、ＸＹ平面における回転方向を調整するための回転方向位置制御部（回転駆動部１１３）を備えている。また、ステージ１１０は、図示はしていないが、真空引き用の吸着溝を設けて基板１８０を吸着固定している。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
次いで、装置１００を用いて図３に示すような形状の配線を有するガラス基板を検査する場合について、その動作の１例を簡単に説明しておく。先ず、移動部１２０を第１の位置Ｐ１０に固定した状態で、点線 (1)、 (2)、 (3)、 (4)の位置にプローブヘッド１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ、１３０Ｄを合わせ、各プローブヘッドに対応するプローブカード１３３Ａ、１３３Ｂ、１３３Ｃ、１３３ＤのＸ、Ｙ、Ｚ方向位置および回転方向（θ軸）位置を調整し、図６（ｂ）に示すのと同様に、端子（針）が配線と電気的に接するようにする。尚、 (1)における位置と (2)における位置では、また、 (3)における位置と (4)における位置では、１つの配線でもそのＸ方向位置が異なるため、この異なるＸ方向のオフセット量を各プローブヘッド毎にそれぞれ調整する。この調整は、前述したように、図４に示すＸ移動部１３８の移動により行う。この状態で、図６（ｂ）に示す方法と同様にして、 (1)の位置と (2)の位置の間のプローブカードの端子（針）が接している各配線については、それぞれ断線、短絡の有無が確認できる。また、 (3)の位置と (4)の位置のプローブカードの端子（針）が接している各配線についても、それぞれ断線、短絡の有無が確認できる。同様に、 (2)の位置のプローブカードの端子（針）が接している各配線と (3)の位置のプローブカードの端子（針）が接している各配線の断線と短絡の有無についても確認できる。このようにして第１の位置Ｐ１０における測定（検査）を終了した後、各プローブカードのＺ方向位置を変えて、配線から離れるようにしてから、図６（ｂ）の方法と同様に、配線のピッチ、プローブカードの端子（針）ピッチに対応した所定のピッチで、移動部１２０を配線方向に直交するＸ方向に沿い、第２の位置（図示していない）へと順送りする。第２の位置においても、第１の位置Ｐ１０における場合と同様に、プローブカード１３３Ａ、１３３Ｂ、１３３Ｃ、１３３ＤのＸ、Ｙ、Ｚ方向位置および回転方向（θ軸）位置を調整し、端子（針）が配線と電気的に接するようにし、第１の位置Ｐ１０における場合と同様にプローブカードの端子（針）が接している各配線の断線、短絡の有無を検査する。この操作を繰り返し、ガラス基板全域の配線について、断線、短絡の有無を確認できる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図３（ｂ）に示すような形状の配線を有するガラス基板を検査する場合は、移動部１２０におけるプローブヘッド１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ、１３０ＤのＹ方向位置を、それぞれ (5)、 (6)、 (7)、 (8)として上記と同様にして検査できる。