【手続補正書】
【提出日】平成16年12月10日(2004.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長の光を発生するレーザ光発生部と、前記レーザ光発生部が発生した光を増幅する少なくとも１つの光ファイバ増幅器を備える光増幅部とを含む光源装置において、
前記光増幅部が備える第１の光ファイバ増幅器は、
前記第１の波長とは異なる第２の波長の光によって励起される元素が添加され、入射した前記第１の波長の光を増幅するとともに、前記第１の波長の光及び前記第２の波長の光をほぼ透過し、前記第１の波長の光の増幅に伴って発生するノイズ光の伝搬量を低減させるブラッグ回折格子が形成された第１増幅用光ファイバと；
前記第２の波長の光を前記第１増幅用光ファイバに供給する励起光発生器と；を備えることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記光増幅部は、
前記第１増幅用光ファイバを介した前記第２の波長の光を分岐して射出する第１光分岐器と；
前記第２の波長の光によって励起される元素が添加され、入射した前記第１の波長の光を増幅する第２増幅用光ファイバと、前記第１光分岐器から射出された前記第２の波長の光を前記第２増幅用光ファイバに供給する励起光供給器とを備える第２の光ファイバ増幅器と；を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
第１の波長の光を発生するレーザ光発生部と、前記レーザ光発生部が発生した光を増幅する複数の光ファイバ増幅器を含む光増幅部とを備える光源装置において、
前記光増幅部は、
前記第１の波長とは異なる第２の波長の光によって励起される元素が添加され、入射した前記第１の波長の光を増幅する第１増幅用光ファイバと、前記第２の波長の光を励起光として前記第１増幅用光ファイバに供給する励起光発生器とを備える第１の光ファイバ増幅器と；
前記第１増幅用光ファイバを介した前記第２の波長の光を分岐して射出する第１光分岐器と；
前記第２の波長の光によって励起される元素が添加され、入射した前記第１の波長の光を増幅する第２増幅用光ファイバと、前記第１光分岐器から射出された前記第２の波長の光を前記第２増幅用光ファイバに供給する励起光供給器とを備える第２の光ファイバ増幅器と；を更に備えることを特徴とする光源装置。
【請求項４】
前記光増幅部は、前記第１増幅用光ファイバにおける前記第２の波長の光の入射端側とは反対側の端部付近に設けられ、前記第２の波長の光を反射する第１のファイバ型ブラッグ回折格子を更に備え、
前記第１光分岐器は、前記第１のファイバ型ブラッグ回折格子により反射され、前記第１増幅用光ファイバにおける前記第２の波長の光の入射端から射出された前記第２の波長の光を分岐する、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記第２の光ファイバ増幅器は、
前記第２増幅用光ファイバにおける前記第１の波長の光の入射端側とは反対側の端部付近に設けられ、前記第１の波長の光を反射する第２のファイバ型ブラッグ回折格子と；
前記第２のファイバ型ブラッグ回折格子により反射され、前記第２増幅用光ファイバにおける前記第１の波長の光の入射端から射出された前記第１の波長の光を分岐する第２光分岐器と；を更に備えることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項６】
前記第２の光ファイバ増幅器は、前記第２増幅用光ファイバにおける前記第２の波長の光の入射端側とは反対側の端部付近に設けられ、前記第２の波長の光を反射する第３のファイバ型ブラッグ回折格子を更に備える、ことを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項７】
前記第１の波長は１．５５μｍ帯の波長であり、前記第２の増幅用光ファイバに添加された元素はエルビウムである、ことを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項８】
前記第１の光ファイバ増幅器は、
前記第１増幅用光ファイバにおける前記第１の波長の光の入射端側とは反対側の端部付近に設けられ、前記第１の波長の光を反射する第４のファイバ型ブラッグ回折格子と；
前記第４のファイバ型ブラッグ回折格子により反射され、前記第１増幅用光ファイバにおける前記第１の波長の光の入射端から射出された前記第１の波長の光を分岐する第３光分岐器と；を更に備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項９】
前記光増幅部は、前記第１の光ファイバ増幅器を最終段として、直列に接続された複数の光ファイバ増幅器を備えることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１０】
前記第１の波長は１．５５μｍ帯の波長であり、前記第１の増幅用光ファイバに添加された元素はエルビウムである、ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１１】
前記光増幅部によって増幅された前記第１の波長の光を第３の波長の光に波長変換する波長変換部を更に含む、ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１２】
前記第１の波長は、前記第３の波長の光が該第３の波長の光路の媒質成分の吸収ピーク波長と異なる波長とする波長であるとともに、国際電気通信連合により標準的に定められた複数の波長の中の１つの波長である、ことを特徴とする請求項１１に記載の光源装置。
【請求項１３】
対象物に光を照射する光照射装置であって、
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光源装置と；
前記光源装置から射出された光を前記対象物に向けて射出する照射光学系と；を備える光照射装置。
【請求項１４】
前記対象物は、回路パターンが形成された基板であることを特徴とする請求項１３に記載の光照射装置。
【請求項１５】
前記対象物は、デバイス製造工程で用いられるウエハであることを特徴とする請求項１３に記載の光照射装置。
【請求項１６】
前記対象物は、デバイス製造工程で用いられるマスク又はレチクルであることを特徴とする請求項１３に記載の光照射装置。
【請求項１７】
前記対象物は、微細構造の検査又は微細加工の対象となる物体であることを特徴とする請求項１３に記載の光照射装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
しかし、増幅用光ファイバ１３５1には、前述したように、図６に示される透過特性を有する損失型ファイバグレーティング１３９が形成されており、ノイズ光の増幅用光ファイバ１３５1における伝搬量が低減されるようになっている。このため、ノイズ光が増幅用光ファイバ１３５1を伝搬することによるノイズ光の増幅が制限されるので、増幅用光ファイバ１３５1の増幅パワーがノイズ光の増幅に振り向けられることが抑制される。したがって、増幅用光ファイバ１３５1の増幅パワーが効率良く信号光すなわち波長λSの光の増幅に使われ、効率良く波長λSの光が増幅される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
以上説明したように、本実施形態に係る光源装置１６によれば、光増幅部１６１が備える第１の光ファイバ増幅器１３１の増幅媒体である増幅用光ファイバ１３５1に、増幅対象光の波長λS及び励起光の波長λEの光を透過し、光増幅に伴って発生するノイズ光の増幅用光ファイバ１３５1における伝搬を低減する損失型ファイバグレーティング１３９が形成されているので、励起光として供給された増幅用のパワーのノイズ光による消費量が低減され、励起光として供給された増幅用のパワーを効率良く信号光の増幅用に活用することができる。