【手続補正書】
【提出日】平成16年6月18日(2004.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及び収束レンズの制御方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
上記レーザ光源から出射されたレーザ光が入射され、露光用の原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズと、
上記収束レンズの先端面で反射されたレーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、
上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する制御部と
を備えることを特徴とする露光装置
【請求項２】
上記検出部は、上記収束レンズの先端面で反射されたレーザ光のうち、上記レーザ光源から出射されたレーザ光と同じ直線偏光成分を検出することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
上記収束レンズは、対物レンズと上記対物レンズと上記露光面との間に配されるソリッドイマージョンレンズとを備えていることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
更に上記レーザ光源と上記収束レンズとの間の光路中に配される偏光ビームスプリッタと上記偏光ビームスプリッタと上記収束レンズとの間に配される１／４波長板とを備えていることを特徴とする請求項３記載の露光装置。
【請求項５】
更に上記レーザ光源から出射されたレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタで反射された光を吸収する光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
更に上記先端面で反射されたレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタで反射された光を吸収する光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
更に上記レーザ光源と上記偏光ビームスプリッタとの光路中に配されたビームスプリッタを備えていることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項８】
上記ビームスプリッタは、無偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項９】
更に上記レーザ光源から出射されたレーザ光のうち上記ビームスプリッタで反射された光を吸収する光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項１０】
上記検出部は、上記先端面で反射されたレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタを透過し、上記ビームスプリッタで反射された光を検出することを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項１１】
更に上記ビームスプリッタと上記偏光ビームスプリッタとの間の光路中に配されたビームエキスパンダを備えていることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項１２】
露光用の原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズの先端面で反射されたレーザ光の一方の直線偏光成分を検出し、
上記検出された結果得られる検出信号に基づいて上記収束レンズを光軸方向に移動させることによって上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する
ことを特徴とする収束レンズの制御方法。
【請求項１３】
上記収束レンズの先端面で反射されたレーザ光のうち、上記レーザ光源から出射されたレーザ光と同じ直線偏光成分を検出することを特徴とする請求項１２記載の収束レンズの制御方法。
【請求項１４】
上記収束レンズは、対物レンズと上記対物レンズと上記露光面との間に配されるソリッドイマージョンレンズとを備えていることを特徴とする請求項１３記載の収束レンズの制御方法。
【請求項１５】
上記レーザ光源から出射されたレーザ光と同じ直線偏光成分を透過し、上記同じ直線偏光成分と直交する直線偏光成分を反射する偏光ビームスプリッタと１／４波長板を用い、上記収束レンズの先端面に臨界角以下で入射した光を上記１／４波長板によって上記直交する直線偏光成分とすることによって上記偏光ビームスプリッタで反射させることを特徴とする請求項１４記載の収束レンズの制御方法  。
【請求項１６】
上記偏光ビームスプリッタによって反射された光は光吸収部材によって吸収されることを特徴とする請求項１５記載の収束レンズの制御方法。
【請求項１７】
上記レーザ光源から出射されたレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタで反射された光を吸収する更なる光吸収部材を備えていることを特徴とする請求項１６記載の収束レンズの制御方法。
【請求項１８】
上記先端面で反射されたレーザ光のうち上記偏光ビームスプリッタを透過した光を検出することを特徴とする請求項１４記載の収束レンズの制御方法。
【請求項１９】
上記レーザ光源と上記対物レンズとの間に配されたビームエキスパンダを用いて上記対物レンズによる上記レーザ光源から出射されたレーザ光の集光点が上記先端面にあるように調整することを特徴とする請求項１４記載の収束レンズの制御方法。
【請求項２０】
上記ビームエキスパンダは、凸レンズと凹レンズから構成され、上記凸レンズと上記凹レンズとの間の距離を調整することによって上記対物レンズによる集光点の位置を調整することを特徴とする請求項１９記載の  収束レンズの制御方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、近接場光を利用して露光用原盤の露光を行う露光装置及び収束レンズの制御方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る露光装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、上記レーザ光源から出射されたレーザ光が入射され、露光用の原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズと、上記収束レンズの先端面で反射されたレーザ光の一方の直線偏光成分を検出する検出部と、上記検出部からの検出信号に基づいて上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する制御部とを備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係る収束レンズの制御方法は、露光用の原盤の露光面の近接場領域に配される収束レンズの先端面で反射されたレーザ光の一方の直線偏光成分を検出し、上記検出された結果得られる検出信号に基づいて上記収束レンズを光軸方向に移動させることによって上記収束レンズの先端面と上記露光面との間の距離を制御する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明に係る露光装置及び収束レンズの制御方法は、収束レンズの先端面において反射された露光レーザ光の戻り光のうち、露光レーザ光の偏光状態と同じ偏光状態の成分の光強度を検出することにより、収束レンズの先端面に臨界角以上の角度で入射した露光レーザ光の戻り光の光強度のみを検出する。例えば、露光レーザ光の偏光状態がＰ偏光である場合に、収束レンズの先端面に臨界角以上の角度で入射した露光レーザ光の戻り光のうちＰ偏光成分の光強度のみ検出するようにできる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、近接場光を利用した露光において、収束レンズの先端面に臨界角以上の角度で入射した露光レーザ光の戻り光の成分の光強度のみを検出してギャップ制御を行うようにしたので、精度良く安定したギャップ制御を行うことができる。