【手続補正書】
【提出日】平成17年8月10日(2005.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ水平に配置される被処理基板に対して所望の微小なギャップを隔てて所定の走査方向に相対的に水平移動して前記基板上に塗布液を塗布するための塗布ノズルであって、
前記塗布液を吐出するための吐出口が形成された下端面と、前記吐出口の走査方向の後方側で前記下端面から上方に延び、塗布処理中に前記吐出口より前記基板上に吐出された塗布液で部分的にぬれる背面とを有する長尺状のノズル本体を具備し、
塗布処理中に前記ノズル本体の背面をぬらす前記塗布液の定常的な頂上位置を所望のウエットラインに揃えるための物理的な境界部を前記ノズル本体の背面に設けている塗布ノズル。
【請求項２】
前記ノズル本体の背面における境界部が、一定の高さ位置で前記ノズル本体の長手方向に直線状に延在している請求項１に記載の塗布ノズル。
【請求項３】
前記ノズル本体の背面における境界部が段差部によって形成される請求項１または請求項２に記載の塗布ノズル。
【請求項４】
前記ノズル本体の背面における段差部が、前記ノズル本体の下端面の一端から一定の高さ位置まで実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第１の背面部と、前記第１の背面部の上端から実質的に下方を向いて走査方向の後方に延びる第２の背面部と、前記第２の背面部の突出端から実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第３の背面部とで形成され、前記第２の背面部で前記ウエットラインを規定する請求項３に記載の塗布ノズル。
【請求項５】
前記第３の背面部の下端が、前記第１の背面部の上端とほぼ同じ高さの位置か、またはそれよりも低い位置に設定される請求項４に記載の塗布ノズル。
【請求項６】
前記ノズル本体の背面における段差部が、前記ノズル本体の下端面の一端から一定の高さ位置まで実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第１の背面部と、前記第１の背面部の上端から実質的に上方を向いて走査方向の前方に延びる第２の背面部と、前記第２の背面部の走査方向前方側の端から実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第３の背面部とで形成され、前記第１の背面部と前記第２の背面部との間に形成される角部で前記ウエットラインを規定する請求項３に記載の塗布ノズル。
【請求項７】
前記第３の背面部の下端が、前記第１の背面部の上端とほぼ同じ高さの位置か、またはそれよりも低い位置に設定される請求項６に記載の塗布ノズル。
【請求項８】
前記第１の背面部が平坦な面に形成される請求項４〜７のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
【請求項９】
前記第１の背面部が、前記ノズル本体の下端面の一端から水平面に対して鋭角で上方に延びる請求項４〜８のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
【請求項１０】
前記ノズル本体の背面における境界部が、表面状態の違いにより上下に２分割される上部背面部と下部背面部との境界によって形成される請求項１または請求項２に記載の塗布ノズル。
【請求項１１】
前記下部背面部が前記塗布液に対して親水性の表面を有し、前記上部背面部が前記塗布液に対して疎水性の表面を有する請求項１０に記載の塗布ノズル。
【請求項１２】
前記下部背面部がざらざらした表面を有し、前記上部背面部がすべすべした表面を有する請求項１０に記載の塗布ノズル。
【請求項１３】
前記下部背面部が前記ノズル本体の下端面の一端から第１の高さ位置まで斜め上方に延び、前記上部背面部が前記第１の高さ位置から第２の高さ位置まで斜め上方に延びる請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
【請求項１４】
前記下部背面部が水平面となす角度と前記上部背面部が水平面となす角度が異なる請求項１３に記載の塗布ノズル。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の塗布ノズルと、
前記塗布ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と
被処理基板をほぼ水平に支持する基板支持部と、
前記基板支持部に支持される前記基板に対して所望の微小なギャップを隔てて前記塗布ノズルを支持するノズル支持部と、
前記塗布ノズルが前記ギャップを維持したまま前記基板上を所定の走査方向に相対的に水平移動するように前記基板支持部と前記ノズル支持部との間で相対的な水平移動を行わせる走査部と
を有する塗布装置。
【請求項１６】
さらに、前記境界部に向けて洗浄液を噴きつけて前記境界部付近の付着物を洗い落とすための洗浄ノズルを有する請求項１５に記載の塗布装置。
【請求項１７】
さらに、洗浄液をしみ込ませたパッドを押し当てながら前記ノズルの長手方向に移動させることによって前記ノズル部の汚れを拭き取るノズル洗浄機構を有する請求項１５に記載の塗布装置。
【請求項１８】
さらに、前記ノズルの一端から他端までスキャン撮像し、前記ノズルの塗布液による汚れ又はパーティクルの付着の有無を画像処理によって検査する検査手段を有する請求項１５に記載の塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の好適な一態様によれば、ノズル本体の背面における境界部が、表面状態の違いにより上下に２分割される上部背面部と下部背面部との境界によって形成される。具体的には、下部背面部が塗布液に対して親水性の表面を有する一方で上部背面部が塗布液に対して疎水性の表面を有する構成や、下部背面部がざらざらした表面を有する一方で上部背面部がすべすべした表面を有する構成が好ましい。下部背面部はノズル本体の下端面の一端から第１の高さ位置まで斜め上方に延び、上部背面部は第１の高さ位置から第２の高さ位置まで斜め上方に延びるものであってよい。本発明の好適な一態様においては、下部背面部が水平面となす角度が上部背面部が水平面となす角度と異なるように形成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の塗布装置は、本発明の塗布ノズルと、この塗布ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と、被処理基板をほぼ水平に支持する基板支持部と、前記基板支持部に支持される前記基板に対して所望の微小なギャップを隔てて前記塗布ノズルを支持するノズル支持部と、本発明の塗布ノズルが前記ギャップを維持したまま前記基板上を所定の走査方向に相対的に水平移動するように前記基板支持部と前記ノズル支持部との間で相対的な水平移動を行わせる走査部とを有する。かかる構成においては、本発明の塗布ノズルを用いることにより、ウエットラインを一定の高さ位置に安定化ないし固定し、塗布膜の膜厚および膜質管理の向上をはかることができる。本発明の好適な一態様によれば、境界部に向けて洗浄液を噴きつけて境界部付近の付着物を洗い落とすための洗浄ノズル、洗浄液をしみ込ませたパッドを押し当てながらノズルの長手方向に移動させることによってノズル部の汚れを拭き取るノズル洗浄機構および／またはノズルの一端から他端までスキャン撮像し、ノズルの塗布液による汚れ又はパーティクルの付着の有無を画像処理によって検査する検査手段が設けられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
たとえば、図２に示すように、上流側のオーブンタワー（ＴＢ）４４には、基板搬入用のパスユニット（ＰＡＳＳL）５０、脱水ベーク用の加熱ユニット（ＤＨＰ）５２，５４およびアドヒージョンユニット（ＡＤ）５６が下から順に積み重ねられる。ここで、パスユニット（ＰＡＳＳL）５０は、スクラバ洗浄ユニット（ＳＣＲ）４２からの洗浄処理の済んだ基板Ｇを第１の熱的処理部２６内に搬入するためのスペースを提供する。下流側のオーブンタワー（ＴＢ）４８には、基板搬出用のパスユニット（ＰＡＳＳR）６０、基板温度調整用の冷却ユニット（ＣＯＬ）６２，６４およびアドヒージョンユニット（ＡＤ）６６が下から順に積み重ねられる。ここで、パスユニット（ＰＡＳＳR）６０は、第１の熱的処理部２６で所要の熱処理の済んだ基板Ｇを下流側の塗布プロセス部２８へ搬出するためのスペースを提供する
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図９に、ノズルリフレッシュ部１２４（図４）の一構成例を示す。このノズルリフレッシュ部１２４は、たとえばレジストノズル１２０のホームポジションに設置されてよく、レジストノズル１２０を出し入れするための開口を上面に設けた長尺状の桶型処理室１７２を有している。この処理室１７２の中には、室内の所定位置に収容されたレジストノズル１２０のノズル部１５６、特に吐出口１５２ないし背面１６０の段差部１６２に向けて洗浄液（たとえばシンナー）を噴き付けるための洗浄ノズル１７４が配置されている。この洗浄ノズル１７４は、垂直支持部材１７６および水平支持部材１７８を介して洗浄ノズル走査機構１８０の走査駆動によってノズル長手方向（Ｙ方向）に水平移動し、同方向においてノズル部１５６の全体または要部の隅々まで洗浄液を当てる。使用済みの洗浄液は処理室１７２の底に設けられたドレイン口１８２より廃液部（図示せず）へ送られる。かかるノズル洗浄により、レジストノズル１２０の吐出口１５２や段差部１６２付近に付着していたゴミや固形レジスト等は洗い落とされる。なお、洗浄液供給ラインは洗浄液供給源（図示せず）からの洗浄液供給管１８４で構成され、たとえば垂直支持部材１７６を筒状体で構成してその中に洗浄液供給管１８４を通して洗浄ノズル１７４に接続してよい。また、洗浄液供給管１８４の途中にノズル洗浄のオン・オフを制御するための開閉弁１８６を設けてよい。洗浄ノズル走査機構１８０は、たとえばガイド付きのボールねじ機構で構成することができる。