(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、試験信号に応じた出力電圧を、被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、入出力ピンの電圧を分圧電圧と比較する比較部と、比較部による比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、抵抗分圧部の分圧比を調整して、分圧電圧を、メイン駆動部から出力電圧が出力され且つ被試験デバイスの信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部とを備える試験装置を提供する。
2009011252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、
前記試験信号に応じた出力電圧を、前記被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、
前記入出力ピンの電圧を前記分圧電圧と比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記被試験デバイスの前記信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧を測定する電圧測定部を更に備え、
前記調整部は、前記電圧測定部の測定結果に基づき、前記抵抗分圧部の分圧比を調整する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記電圧測定部は、前記被試験デバイスの直流特性を試験する直流試験中において、前記出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧を測定し、
前記調整部は、前記試験信号の論理を変化させて前記被試験デバイスの機能を試験する機能試験に先立って、前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を前記電圧測定部により測定された電圧に一致させる
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、
前記試験信号に応じた出力電圧を、前記被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記被試験デバイスの前記信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧に一致させる調整部と
を備える試験装置。
【請求項５】
前記比較部は、
前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＨ論理であるか否かを判別するＨ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する第１比較部と、
前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＬ論理であるか否かを判別するＬ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較するＬ第２比較部と
を有する請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記メイン駆動部は、前記試験信号がＨ論理の場合にＨ側出力電圧を出力し、前記試験信号がＬ論理の場合にＬ側出力電圧を出力し、
前記レプリカ駆動部は、前記試験信号がＨ論理の場合にＨ側比較電圧を出力し、前記試験信号がＬ論理の場合にＬ側比較電圧を出力し、
前記調整部は、
前記Ｈ側比較電圧を、前記Ｈ側出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と一致させ、
前記Ｌ側比較電圧を、前記Ｌ側出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と一致させる
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記メイン駆動部は、前記試験信号がＨ論理の場合にＨ側出力電圧を出力し、前記試験信号がＬ論理の場合にＬ側出力電圧を出力し、前記試験信号が終端を表す値の場合には終端電圧を出力し、
前記第１比較部は、前記試験信号が終端を表す値以外の場合、前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＨ論理であるか否かを判別するＨ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較し、前記試験信号が終端を表す値の場合、前記入出力ピンの電圧を前記Ｈ側閾値電圧と比較し、
第２比較部は、前記試験信号が終端を表す値以外の場合、前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＬ論理であるか否かを判別するＬ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較し、前記試験信号が終端を表す値の場合、前記入出力ピンの電圧を前記Ｌ側閾値電圧と比較する
を有する請求項５に記載の試験装置。
【請求項８】
対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、
送信信号に応じた出力電圧を、前記対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、
前記入出力ピンの電圧を前記分圧電圧と比較する比較部と、
前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記対象装置の前記信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部と
を備える伝送装置。
【請求項９】
対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、
送信信号に応じた出力電圧を、前記対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、
前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記対象装置の前記信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧に一致させる調整部と
を備える伝送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置および伝送装置に関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
１．特願２００７−１８４１３２    出願日  ２００７年７月１３日
【背景技術】
【０００２】
半導体等の被試験デバイス（ＤＵＴ）を試験する試験装置が知られている。試験装置は、ドライバから試験信号を発生してＤＵＴに供給し、当該試験信号に応じてＤＵＴから出力された応答信号を入力し、入力した応答信号の論理をコンパレータにより検出する。そして、試験装置は、検出結果に基づきＤＵＴの良否を判定する。また、ＤＵＴの一つの端子に対して供給する試験信号と、当該一つの端子から出力される応答信号とを、単一の伝送線路により伝送する結線方法（シングルトランスミッション結線）を用いた試験装置が知られている。【０００３】
ここで、試験装置は、試験信号の発生間隔をより短くして、試験時間を短縮化することが望まれる。しかしながら、試験信号の発生間隔を、伝送経路の伝播時間の２倍とＤＵＴの応答時間とを加算した時間よりも短くすると、ＤＵＴから出力された応答信号をコンパレータが入力するタイミングと、次の試験信号をドライバから出力するタイミングが重複する。このため、シングルトランスミッション結線型の試験装置は、試験信号の発生間隔を短くしすぎると、コンパレータに入力される応答信号に、ドライバから出力された次に与えるべき試験信号が重畳してしまい、当該応答信号のレベルを正確に検出することができない。【０００４】
このような問題を解決するシングルトランスミッション結線型の試験装置が、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載された試験装置は、試験信号に応じた電圧を発生するドライバと、ドライバの出力電圧と論理判定用の閾値電圧と加算した電圧を発生するレプリカドライバと、ドライバとＤＵＴとの出力抵抗の比によりレプリカドライバの出力電圧を抵抗分圧する分圧回路と、応答信号の論理レベルを検出するコンパレータとを備える。そして、この試験装置では、コンパレータが、ＤＵＴからの応答信号を、分圧回路により分圧された分圧電圧と比較して、応答信号の論理を検出する。これにより、この試験装置によれば、応答信号の入力タイミングと、次に発生すべき試験信号の出力タイミングとが一致した場合であっても、ドライバの出力電圧をキャンセルして、ＤＵＴの応答信号を閾値電圧と精度良く比較することができる。
【特許文献１】特開２００６−２３２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ＤＵＴの出力抵抗は、個体毎の誤差が大きい。例えば、ＤＵＴの出力抵抗は、個体毎に２０％程度の誤差が生じる。このため、特許文献１に記載された試験装置では、ドライバの出力抵抗とＤＵＴの出力抵抗との抵抗比と、分圧回路の分圧比とを一致させることが困難であった。このため、特許文献１に記載された試験装置では、ＤＵＴの全ての個体について、ドライバの出力電圧を精度良くキャンセルすることが困難であった。【０００６】
また、ＤＵＴの種類によっては、出力抵抗の仕様が他の種類のＤＵＴの出力抵抗と大きく異なる場合もある。このような場合も、特許文献１に記載された試験装置では、出力抵抗の仕様が他と異なるＤＵＴについては、ドライバの出力電圧を精度良くキャンセルすることができなかった。【０００７】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置および伝送装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、試験信号に応じた出力電圧を、被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、入出力ピンの電圧を分圧電圧と比較する比較部と、比較部による比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、抵抗分圧部の分圧比を調整して、分圧電圧を、メイン駆動部から出力電圧が出力され且つ被試験デバイスの信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部とを備える試験装置を提供する。【０００９】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、試験信号に応じた出力電圧を、被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、比較部による比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、レプリカ駆動部から出力される比較電圧を、メイン駆動部から出力電圧が出力され且つ被試験デバイスの信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における入出力ピンの電圧に一致させる調整部とを備える試験装置を提供する。【００１０】
本発明の第３の形態においては、対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、送信信号に応じた出力電圧を、対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、入出力ピンの電圧を分圧電圧と比較する比較部と、抵抗分圧部の分圧比を調整して、分圧電圧を、メイン駆動部から出力電圧が出力され且つ対象装置の信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部とを備える伝送装置を提供する。【００１１】
本発明の第４の形態においては、対象装置を試験する試験装置であって、送信信号に応じた出力電圧を、対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、レプリカ駆動部から出力される比較電圧を、メイン駆動部から出力電圧が出力され且つ対象装置の信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における入出力ピンの電圧に一致させる調整部とを備える伝送装置を提供する。【００１２】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ２００と共に示す。
【図２】図２は、本実施形態に係る信号入出力部１４の構成を示す。
【図３】図３は、本実施形態の試験装置１０の試験フローの一例を示す。
【図４】図４は、本実施形態に係る第２抵抗６２の構成の一例を示す。
【図５】図５は、本実施形態の第１変形例に係る信号入出力部１４の構成を示す。
【図６】図６は、本実施形態の第２変形例に係る信号入出力部１４の構成を示す。
【図７】図７は、本実施形態の第３変形例に係る信号入出力部１４の構成を示す。
【図８】図８は、本実施形態の第４変形例に係る信号入出力部１４の構成を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１５】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ２００と共に示す。試験装置１０は、被試験デバイス２００（以下、ＤＵＴ２００と称する。）を試験する。試験装置１０は、試験信号発生部１２と、信号入出力部１４と、判定部１６と、伝送線路３００とを備える。【００１６】
試験信号発生部１２は、ＤＵＴ２００に与える試験信号を発生する。試験信号発生部１２は、一例として、Ｈ論理またはＬ論理を表す試験信号を発生してよい。【００１７】
信号入出力部１４は、試験信号を試験信号発生部１２から入力し、入力した試験信号の論理に応じた出力電圧をＤＵＴ２００に印加する。信号入出力部１４は、一例として、入力した試験信号がＨ論理を表す場合、Ｈ論理に応じた出力電圧をＤＵＴ２００に印加し、入力した試験信号がＬ論理を表す場合、Ｌ論理に応じた出力電圧をＤＵＴ２００に印加する。【００１８】
また、信号入出力部１４は、試験信号に応じた出力電圧をＤＵＴ２００に印加したことによって当該ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から出力された応答信号の電圧を、予め定められた閾値電圧と比較する。信号入出力部１４は、一例として、応答信号の電圧を、当該応答信号の論理レベルがＨ論理であるか否かを判別するための予め定められたＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較してよい。また、信号入出力部１４は、応答信号の電圧を、当該応答信号の論理レベルがＬ論理であるか否かを判別するための予め定められたＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較してよい。【００１９】
判定部１６は、信号入出力部１４による比較結果に基づいてＤＵＴ２００の良否を判定する。判定部１６は、一例として、信号入出力部１４による比較結果を所定のストローブタイミングにおいて取り込み、取り込んだ比較結果を期待値と比較することにより、ＤＵＴ２００の良否を判定してよい。なお、判定部１６は、一例として、取り込んだ比較結果がＨ論理でもＬ論理でもない場合には、応答信号の論理が不定であると判断してよい。【００２０】
伝送線路３００は、信号入出力部１４とＤＵＴ２００とを接続する。より詳しくは、信号入出力部１４の入出力ピン２０と、ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０との間を接続する。これにより、伝送線路３００は、信号入出力部１４から出力された試験信号に応じた出力電圧を、ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０に印加することができる。更に、伝送線路３００は、試験信号に応じた出力電圧が印加されたことによってＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から出力された応答信号を、信号入出力部１４の入出力ピン２０に供給することができる。【００２１】
このような試験装置１０によれば、ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０に対して供給するべき試験信号と当該信号入出力端子２２０から入力すべき応答信号とを一の伝送線路３００により伝送して、ＤＵＴ２００を試験することができる。なお、試験装置１０は、伝送線路３００に直列に設けられたマッチング抵抗３１０を更に備えてもよい。【００２２】
図２は、本実施形態に係る信号入出力部１４の構成を、ＤＵＴ２００および伝送線路３００とともに示す。信号入出力部１４は、メイン駆動部３２と、出力抵抗３４と、第１レプリカ駆動部３６と、第１抵抗分圧部４０と、第１比較部４２と、第２レプリカ駆動部４４と、第２抵抗分圧部４８と、第２比較部５０と、電圧測定部５２と、リレー５４と、調整部５６とを有する。【００２３】
メイン駆動部３２は、試験信号発生部１２から出力された試験信号を入力し、試験信号に応じた出力電圧を、ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０に接続された入出力ピン２０に対して出力する。本実施形態においては、メイン駆動部３２は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側出力電圧（ＶＩＨ）を入出力ピン２０に出力し、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側出力電圧（ＶＩＬ）を入出力ピン２０に出力する。メイン駆動部３２は、一例として、ドライバ回路であってよい。【００２４】
出力抵抗３４は、メイン駆動部３２と入出力ピン２０との間に設けられた抵抗である。出力抵抗３４は、入出力ピン２０からＤＵＴ２００側を見た場合の抵抗値と、入出力ピン２０からメイン駆動部３２側を見た場合の抵抗値とをマッチングさせることを目的として設けられる。出力抵抗３４は、一例として、ＤＵＴ２００の仕様等により予め定められた抵抗値（例えば、５０Ω）であってよい。また、出力抵抗３４は、メイン駆動部３２の内部に設けられてもよい。【００２５】
第１レプリカ駆動部３６は、試験信号発生部１２から出力された試験信号を入力し、試験信号に応じた比較電圧を出力する。本実施形態においては、第１レプリカ駆動部３６は、メイン駆動部３２から出力される出力電圧と、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）に所定値（ｎ）を乗じた電圧とを加算した比較電圧を出力する。すなわち、第１レプリカ駆動部３６は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ側出力電圧（ＶＩＨ）と、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）に所定値（ｎ）を乗じた電圧とを加算した比較電圧（ＶＩＨ＋（ｎ×ＶＯＨ））を出力する。また、第１レプリカ駆動部３６は、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ側出力電圧（ＶＩＬ）と、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）に所定値（ｎ）を乗じた電圧とを加算した比較電圧（ＶＩＬ＋（ｎ×ＶＯＨ））を出力する。【００２６】
なお、所定値（ｎ）は、一例として、メイン駆動部３２からＤＵＴ２００側を見た仕様上の抵抗値（例えば、１００Ω）に対する、入出力ピン２０からＤＵＴ２００側を見た仕様上の抵抗値（例えば、５０Ω）の割合の、逆数であってよい。所定値（ｎ）は、出力抵抗３４の仕様上の抵抗値が５０Ω、ＤＵＴ２００の出力抵抗２１０の仕様上の抵抗値が５０Ωである場合、ｎ＝２{＝１／（５０Ω／１００Ω）}であってよい。【００２７】
第１レプリカ駆動部３６は、一例として、メイン駆動部３２と同性能を有するドライバ回路であってよい。これにより、第１レプリカ駆動部３６は、メイン駆動部３２の出力電圧に精度良く同期させた比較電圧を出力することができる。【００２８】
第１抵抗分圧部４０は、第１レプリカ駆動部３６から出力された比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する。第１抵抗分圧部４０は、分圧比が調整部５６により調整される。【００２９】
第１抵抗分圧部４０は、一例として、第１レプリカ駆動部３６の出力端と接続点ａとの間に接続された第１抵抗６０と、接続点ａとグランドとの間に接続された第２抵抗６２とを含んでよい。第１抵抗分圧部４０は、接続点ａから分圧電圧を発生する。更に、第１抵抗６０は、出力抵抗３４と同一の抵抗値であってよい。また、第２抵抗６２は、調整部５６により調整可能な可変抵抗であってよい。【００３０】
第１比較部４２は、入出力ピン２０の電圧を、第１抵抗分圧部４０から出力された分圧電圧と比較する。本実施形態において、第１比較部４２は、ＤＵＴ２００から出力された応答信号がＨ論理であるか否かを表す比較結果を出力する。【００３１】
第２レプリカ駆動部４４は、試験信号発生部１２から出力された試験信号を入力し、試験信号に応じた比較電圧を出力する。本実施形態においては、第２レプリカ駆動部４４は、メイン駆動部３２から出力される出力電圧と、Ｌ側閾値電圧（ＶＯＬ）に所定値（ｎ）を乗じた電圧とを加算した比較電圧を出力する。すなわち、第２レプリカ駆動部４４は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ側出力電圧（ＶＩＨ）と、Ｌ側閾値電圧（ＶＯＬ）に所定値（ｎ）を乗じた電圧とを加算した比較電圧（ＶＩＨ＋（ｎ×ＶＯＬ））を出力する。また、第２レプリカ駆動部４４は、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ側出力電圧（ＶＩＬ）と、Ｌ側閾値電圧（ＶＯＬ）に所定値（ｎ）を乗じた電圧とを加算した比較電圧（ＶＩＬ＋（ｎ×ＶＯＬ））を出力する。なお、所定値（ｎ）は、第１レプリカ駆動部３６の場合と同様であってよい。【００３２】
第２レプリカ駆動部４４は、一例として、メイン駆動部３２と同性能を有するドライバ回路であってよい。これにより、第２レプリカ駆動部４４は、メイン駆動部３２の出力電圧に精度良く同期させた比較電圧を出力することができる。【００３３】
第２抵抗分圧部４８は、第２レプリカ駆動部４４から出力された比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する。第２抵抗分圧部４８は、分圧比が調整部５６により調整される。第２抵抗分圧部４８は、一例として、第１抵抗分圧部４０と同様の構成であってよい。【００３４】
第２比較部５０は、入出力ピン２０の電圧を、第２抵抗分圧部４８から出力された分圧電圧と比較する。本実施形態において、第２比較部５０は、ＤＵＴ２００から出力された応答信号がＬ論理であるか否かを表す比較結果を出力する。【００３５】
電圧測定部５２は、試験信号に応じた出力電圧がメイン駆動部３２から出力され、且つ、ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧（無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂ）を測定する。これにより、電圧測定部５２によれば、メイン駆動部３２から出力された出力電圧を、入出力ピン２０からＤＵＴ２００側を見た場合の抵抗値と入出力ピン２０からメイン駆動部３２側を見た場合の抵抗値とで抵抗分圧した電圧を、測定することができる。ここで、入出力ピン２０からＤＵＴ２００側を見た場合の抵抗値は、出力抵抗３４の抵抗値となる。また、入出力ピン２０からＤＵＴ２００側を見た場合の抵抗値は、伝送線路３００、マッチング抵抗３１０および出力抵抗２１０の合成抵抗値となる。【００３６】
電圧測定部５２は、一例として、メイン駆動部３２から、Ｈ側出力電圧（ＶＩＨ）およびＬ側出力電圧（ＶＩＬ）の少なくとも一方を出力させた場合における、入出力ピン２０の電圧を測定してよい。また、出力抵抗３４が既知の場合には、電圧測定部５２は、入出力ピン２０とグランド間との抵抗値を測定し、測定した抵抗値から無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂを換算して算出してもよい。【００３７】
リレー５４は、電圧測定部５２が入出力ピン２０の電圧を測定する場合、入出力ピン２０と電圧測定部５２の測定端とを接続し、それ以外の場合、入出力ピン２０と電圧測定部５２の測定端とを開放する。このようなリレー５４は、電圧測定部５２の動作時以外において、入出力ピン２０に対する電圧測定部５２の影響を除去することができる。【００３８】
調整部５６は、電圧測定部５２による測定結果に基づき第１抵抗分圧部４０の分圧比、および、第２抵抗分圧部４８の分圧比をそれぞれ調整する。より詳細には、調整部５６は、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８の分圧比を調整して、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８のそれぞれから出力される分圧電圧を、メイン駆動部３２から出力電圧が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧（無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂ）と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる。【００３９】
すなわち、調整部５６は、第１抵抗分圧部４０から出力される分圧電圧Ｖｂ´を、無応答状態の入出力ピン電圧ＶｂとＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）とを加算した電圧とするように、当該第１抵抗分圧部４０の分圧比を調整する。また、調整部５６は、第２抵抗分圧部４８から出力される分圧電圧Ｖｂ´´を、無応答状態の入出力ピン電圧ＶｂとＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）とを加算した電圧とするように、当該第２抵抗分圧部４８の分圧比を調整する。【００４０】
調整部５６は、一例として、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８の分圧電圧を直接検出して、当該分圧電圧が対応する値となるように、分圧比を調整してよい。また、調整部５６は、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８の一方のみの分圧電圧を検出し、当該分圧電圧が対応する値となるように一方の分圧比を調整し、他方については一方の分圧比と同じ分圧比としてもよい。また、調整部５６は、一例として、無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂの各値に対応する分圧比が記述されたテーブルを予め記憶し、電圧測定部５２の測定結果に応じた分圧比を当該テーブルから検出してよい。【００４１】
以上のような試験装置１０によれば、メイン駆動部３２の出力電圧と閾値電圧とを加算した比較電圧と、入出力ピン２０の電圧とを比較する。従って、試験装置１０によれば、ＤＵＴ２００により出力された応答信号が伝送線路３００を伝播して入出力ピン２０に入力するタイミングと、次にＤＵＴ２００に与えるべき試験信号の出力タイミングとが一致し、応答信号と試験信号とが入出力ピン２０において重畳された場合であっても、入出力ピン２０の電圧から試験信号に応じた電圧をキャンセルして、閾値電圧と比較することができる。これにより、試験装置１０によれば、試験信号の発生間隔を短くした場合であっても、精度良く試験することができる。【００４２】
さらに、試験装置１０によれば、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８の分圧比を調整するので、ＤＵＴ２００の固体毎またはＤＵＴ２００の種類毎に出力抵抗２１０の値が異なる場合であっても、メイン駆動部３２の出力電圧と閾値電圧とを加算した比較電圧を精度良く発生することができる。これにより、固体毎にＤＵＴ２００の出力抵抗２１０に誤差がある場合、および、出力抵抗２１０の仕様上の値が他の種類と異なるＤＵＴ２００を試験する場合等であっても、試験装置１０によれば、精度良く入出力ピン２０の電圧から試験信号に応じた電圧をキャンセルして、閾値電圧と比較することができる。【００４３】
図３は、本実施形態の試験装置１０の試験フローの一例を示す。まず、試験装置１０は、ＤＵＴ２００の直流特性を試験する（Ｓ１）。試験装置１０は、一例として、所定の直流電圧をＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０に印加した場合における電流量を測定してもよいし、所定の直流電流を供給した場合のＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０の電圧を測定してもよい。【００４４】
さらに、電圧測定部５２は、直流試験中において、出力電圧が出力され且つ応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧を測定する。電圧測定部５２は、一例として、メイン駆動部３２からＨ側出力電圧（ＶＩＨ）およびＬ側出力電圧（ＶＩＬ）を出力させた場合における、入出力ピン２０の電圧を測定する。また、出力抵抗３４が既知の場合には、電圧測定部５２は、入出力ピン２０とグランド間との抵抗値を測定し、測定した抵抗値から無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂを換算して算出してもよい。【００４５】
次に、調整部５６は、直流試験中において測定された無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂに基づき、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８を調整する（Ｓ２）。次に、試験装置１０は、試験信号の論理を変化させてＤＵＴ２００の機能を試験する機能試験を実行する（Ｓ３）。【００４６】
このように調整部５６は、ＤＵＴ２００に対する機能試験に先立って、第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８の分圧比を調整して、分圧電圧を電圧測定部５２により測定された電圧に一致させる。これにより、試験装置１０によれば、効率良く第１抵抗分圧部４０および第２抵抗分圧部４８の分圧比を調整することができる。【００４７】
図４は、本実施形態に係る第２抵抗６２の構成の一例を示す。第２抵抗６２は、一例として、値の異なる複数の抵抗６４（６４−１、６４−２、…、６４−ｍ）と、スイッチ６６とを含んでよい。複数の抵抗６４のそれぞれは、一端がグランドに接続されている。【００４８】
スイッチ６６は、接続点ａと、複数の抵抗６４のグランドが接続されていない方の端のいずれか１つとを、調整部５６による制御に応じて接続する。このようなスイッチ６６によれば、調整部５６による制御に応じて抵抗値を変化させることができる。【００４９】
図５は、本実施形態の第１変形例に係る信号入出力部１４の構成を、ＤＵＴ２００および伝送線路３００とともに示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１および図２に示した試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、以下、略同一の構成および機能を採る部材については図中において同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００５０】
本変形例に係る信号入出力部１４は、第１レプリカ駆動部３６、第１抵抗分圧部４０、第２レプリカ駆動部４４および第２抵抗分圧部４８に代えて、レプリカ駆動部７０と、駆動電圧供給部７２と、第１閾値発生部７４と、第２閾値発生部７６とを備える。【００５１】
レプリカ駆動部７０は、試験信号に応じた比較電圧を出力する。本実施形態において、レプリカ駆動部７０は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ）を出力する。レプリカ駆動部７０は、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）を出力する。【００５２】
更に、レプリカ駆動部７０は、出力電圧のレベルが外部から調整可能とされている。レプリカ駆動部７０は、一例として、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ）およびＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）が外部から調整可能とされている。本実施形態においては、レプリカ駆動部７０は、当該レプリカ駆動部７０を駆動するための駆動電圧が増減されることにより、出力電圧のレベルが調整される。【００５３】
レプリカ駆動部７０は、一例として、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ）およびＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）を切り換えて出力するセレクタであってよい。このようなレプリカ駆動部７０は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ）を選択して出力し、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ側比較電圧（ＲＶＩＬ）を選択して出力する。なお、レプリカ駆動部７０は、一例として、メイン駆動部３２と同性能を有するドライバ回路であってもよい。これにより、レプリカ駆動部７０は、メイン駆動部３２の出力電圧に精度良く同期させた比較電圧を出力することができる。【００５４】
駆動電圧供給部７２は、レプリカ駆動部７０に対して駆動電圧を供給する。駆動電圧供給部７２は、調整部５６による制御に応じてレプリカ駆動部７０の駆動電圧を増減する。これにより、駆動電圧供給部７２は、調整部５６による制御に応じて、レプリカ駆動部７０の出力電圧のレベルを調整することができる。【００５５】
第１閾値発生部７４は、予め定められたＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）を発生する。第２閾値発生部７６は、予め定められたＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）を発生する。【００５６】
第１比較部４２は、入出力ピン２０の電圧を、予め定められたＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較電圧とを加算した電圧と比較する。そして、第１比較部４２は、ＤＵＴ２００から出力された応答信号がＨ論理であるか否かを表す比較結果を出力する。【００５７】
第１比較部４２は、一例として、第１差動増幅器８２と、第２差動増幅器８４と、第３差動増幅器８６とを含んでよい。第１差動増幅器８２は、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）から入出力ピン２０の電圧を減じた電圧を出力する。第２差動増幅器８４は、例えばバッファ８０を介して与えられたＤＵＴ２００のグランド電位から、比較電圧を減じた電圧を出力する。第３差動増幅器８６は、第１差動増幅器８２の出力電圧から第２差動増幅器８４の出力電圧を減じた電圧を出力する。このようにして、第１比較部４２は、ＤＵＴ２００から出力された応答信号のレベルとＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）とを比較して、応答信号がＨ論理であるか否かを表す比較結果を出力することができる。【００５８】
第２比較部５０は、入出力ピン２０の電圧を、予め定められたＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較電圧とを加算した電圧と比較する。そして、第２比較部５０は、ＤＵＴ２００から出力された応答信号がＬ論理であるか否かを表す比較結果を出力する。【００５９】
第２比較部５０は、一例として、第４差動増幅器８８と、第５差動増幅器９０と、第６差動増幅器９２とを含んでよい。第４差動増幅器８８は、入出力ピン２０の電圧からＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）を減じた電圧を出力する。第５差動増幅器９０は、比較電圧から、例えばバッファ８０を介して与えられたＤＵＴ２００のグランド電位を減じた電圧を出力する。第６差動増幅器９２は、第４差動増幅器８８の出力電圧から第５差動増幅器９０の出力電圧を減じた電圧を出力する。このようにして、第２比較部５０は、ＤＵＴ２００から出力された応答信号のレベルとＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）とを比較して、応答信号がＬ論理であるか否かを表す比較結果を出力することができる。【００６０】
電圧測定部５２は、メイン駆動部３２から出力電圧が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧（無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂ）を測定する。電圧測定部５２は、一例として、次のように無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂを測定してよい。【００６１】
まず、電圧測定部５２は、ＤＵＴ２００を終端モードに設定して、ＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０を終端させる。続いて、電圧測定部５２は、ＤＵＴ２００を終端モードにした状態において、メイン駆動部３２からＨ側出力電圧（ＶＩＨ）を出力させた場合の入出力ピン２０の電圧ＶＶＨ、および、メイン駆動部３２からＬ側出力電圧（ＶＩＬ）を出力させた場合の入出力ピン２０の電圧ＶＶＬを測定する。更に、電圧測定部５２は、ＤＵＴ２００を終端モードにした状態において、メイン駆動部３２を終端させた場合の入出力ピン２０の電圧ＶＶＴを測定する。そして、電圧測定部５２は、電圧ＶＶＨから電圧ＶＶＴを減じた電圧を、メイン駆動部３２からＨ側出力電圧（ＶＩＨ）が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧として算出する。また、電圧測定部５２は、電圧ＶＶＬから電圧ＶＶＴを減じた電圧を、メイン駆動部３２からＬ側出力電圧（ＶＩＬ）が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧として算出する。【００６２】
調整部５６は、電圧測定部５２による測定結果に基づき駆動電圧供給部７２を制御して、レプリカ駆動部７０から出力される比較電圧を、無応答状態の入出力ピン電圧Ｖｂに一致させる。調整部５６は、一例として、試験信号がＨ論理の場合にレプリカ駆動部７０から出力されるＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ）を、電圧測定部５２により測定された電圧ＶＶＨから電圧ＶＶＴを減じた電圧に一致させる。また、調整部５６は、一例として、試験信号がＬ論理の場合にレプリカ駆動部７０から出力されるＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）を、電圧測定部５２により測定された電圧ＶＶＬから電圧ＶＶＴを減じた電圧に一致させる。【００６３】
調整部５６は、一例として、レプリカ駆動部７０の出力電圧を直接検出して、比較電圧が対応する値となるように、レプリカ駆動部７０に与える駆動電圧を調整してよい。また、調整部５６は、Ｈ側出力電圧（ＶＩＨ）またはＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）の一方のみを検出し、一方の検出結果に応じてＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ）およびＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）の両者を調整してもよい。【００６４】
このような第１変形例に係る試験装置１０によれば、レプリカ駆動部７０から出力する比較電圧と閾値電圧とを加算した電圧と、入出力ピン２０の電圧とを比較する。従って、第１変形例に係る試験装置１０によれば、図１に示した試験装置１０と同様の効果を得ることができる。さらに、第１変形例に係る試験装置１０によれば、複数の比較部（第１比較部４２および第２比較部５０）に対して１つのレプリカ駆動部７０を備えるので、消費電力を小さくすることができる。【００６５】
図６は、本実施形態の第２変形例に係る信号入出力部１４の構成を、ＤＵＴ２００および伝送線路３００とともに示す。本変形例に係る試験装置１０は、第１変形例に係る試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、以下、略同一の構成および機能を採る部材については図中において同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００６６】
本変形例に係る信号入出力部１４は、レプリカ駆動部７０、第１閾値発生部７４および第２閾値発生部７６に代えて、第１のレプリカ駆動部７０−１と、第２のレプリカ駆動部７０−２と、第１の駆動電圧供給部７２−１と、第２の駆動電圧供給部７２−２とを備える。【００６７】
第１のレプリカ駆動部７０−１は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ１）を出力する。第１のレプリカ駆動部７０−１は、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ１）を出力する。【００６８】
第１の駆動電圧供給部７２−１は、調整部５６による制御に応じて第１のレプリカ駆動部７０−１に対して駆動電圧を供給する。第１の駆動電圧供給部７２−１は、第１のレプリカ駆動部７０−１の駆動電圧を増減する。これにより、第１の駆動電圧供給部７２−１は、調整部５６による制御に応じて、第１のレプリカ駆動部７０−１の出力電圧のレベルを調整することができる。【００６９】
第２のレプリカ駆動部７０−２は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ２）を出力する。第２のレプリカ駆動部７０−２は、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ２）を出力する。【００７０】
第２の駆動電圧供給部７２−２は、調整部５６による制御に応じて第２のレプリカ駆動部７０−２に対して駆動電圧を供給する。第２の駆動電圧供給部７２−２は、第２のレプリカ駆動部７０−２の駆動電圧を増減する。これにより、第２の駆動電圧供給部７２−２は、調整部５６による制御に応じて、第２のレプリカ駆動部７０−２の出力電圧のレベルを調整することができる。【００７１】
そして、調整部５６は、電圧測定部５２による測定結果に基づき、第１のレプリカ駆動部７０−１および第２のレプリカ駆動部７０−２のそれぞれから出力される比較電圧を調整する。より詳しくは、調整部５６は、第１のレプリカ駆動部７０−１から出力される比較電圧を、無応答状態の入出力ピン電圧ＶｂとＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）とを加算した電圧に調整する。これにより、第１のレプリカ駆動部７０−１は、試験信号がＨ論理の場合には、メイン駆動部３２からＨ側出力電圧（ＶＩＨ）が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧とＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）とを加算した比較電圧（ＲＶＩＨ１）を、第１比較部４２に出力することできる。また、第１のレプリカ駆動部７０−１は、試験信号がＬ論理の場合には、メイン駆動部３２からＬ側出力電圧（ＶＩＬ）が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧とＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）とを加算した比較電圧（ＲＶＩＬ１）を第１比較部４２に出力することができる。【００７２】
また、調整部５６は、第２のレプリカ駆動部７０−２から出力される比較電圧を、無応答状態の入出力ピン電圧ＶｂとＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）とを加算した電圧に調整する。これにより、第２のレプリカ駆動部７０−２は、試験信号がＨ論理の場合には、メイン駆動部３２からＨ側出力電圧（ＶＩＨ）が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧とＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）とを加算した比較電圧（ＲＶＩＬ２）を第２比較部５０に出力することができる。また、第２のレプリカ駆動部７０−２は、試験信号がＬ論理の場合には、メイン駆動部３２からＬ側出力電圧（ＶＩＬ）が出力され且つＤＵＴ２００の信号入出力端子２２０から応答信号が出力されていない状態における入出力ピン２０の電圧とＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）とを加算した比較電圧（ＲＶＩＬ２）を第２比較部５０に出力することができる。【００７３】
このような変形例に係る信号入出力部１４によれば、第１閾値発生部７４および第２閾値発生部７６を備えなくてよく、また、第１比較部４２および第２比較部５０を簡易なコンパレータにより構成できるので、構成を簡単にすることができる。【００７４】
図７は、本実施形態の第３変形例に係る信号入出力部１４の構成を、ＤＵＴ２００および伝送線路３００とともに示す。本変形例に係る信号入出力部１４は、図５に示した第１変形例に係る信号入出力部１４と略同一の構成および機能を採るので、以下、略同一の構成および機能を採る部材については図中において同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００７５】
本変形例に係る信号入出力部１４は、Ｈ論理およびＬ論理に加え、終端を表す値を示す試験信号を入力する。信号入出力部１４は、試験信号として、例えばＰＡＴ信号およびＤＲＥ信号を入力する。ＰＡＴ信号は、Ｈ論理およびＬ論理を表す。ＤＲＥ信号は、Ｈ論理の場合にはＰＡＴ信号に応じた電圧を出力することを示し、Ｌ論理の場合には終端を表す値を示す。【００７６】
メイン駆動部３２は、３値ドライバである。すなわち、メイン駆動部３２は、試験信号がＨ論理の場合にはＨ側出力電圧（ＶＩＨ）を出力し、試験信号がＬ論理の場合にはＬ側出力電圧（ＶＩＬ）を出力し、試験信号が終端を表す値の場合には終端電圧（ＶＩＴ）を出力する。終端電圧（ＶＩＴ）は、伝送線路３００を終端させる電圧であって、例えばＨ側出力電圧（ＶＩＨ）とＬ側出力電圧（ＶＩＬ）との中間値であってよい。【００７７】
メイン駆動部３２は、一例として、ＤＲＥ信号がＨ論理であり且つＰＡＴ信号がＨ論理の場合には、Ｈ側出力電圧（ＶＩＨ）を出力し、ＤＲＥ信号がＨ論理であり且つＰＡＴ信号がＬ論理の場合には、Ｌ側出力電圧（ＶＩＬ）を出力する。更に、メイン駆動部３２は、ＤＲＥ信号がＬ論理である場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、終端電圧（ＶＩＴ）を出力する。【００７８】
レプリカ駆動部７０は、一例として、ＰＡＴ信号に応じた比較電圧を出力する。レプリカ駆動部７０は、ＰＡＴ信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ）を出力し、ＰＡＴ信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ）を出力する。【００７９】
第１比較部４２は、試験信号が終端を表す値以外の場合、入出力ピン２０の電圧を、予め定められたＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較電圧とを加算した電圧と比較する。さらに、第１比較部４２は、試験信号が終端を表す値の場合、入出力ピン２０の電圧をＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較する。このような第１比較部４２は、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合、入出力ピン２０の電圧をＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較するので、正しい比較結果を出力することできる。【００８０】
第１比較部４２は、一例として、第２差動増幅器８４に代えて、第７差動増幅器９４を含んでよい。第７差動増幅器９４は、ＤＲＥ信号がＨ論理である場合（すなわち、メイン駆動部３２からＨ側出力電圧（ＶＩＨ）またはＬ側出力電圧（ＶＩＬ）が出力されている場合）、ＤＵＴ２００のグランド電位から比較電圧を減じた電圧を出力する。第７差動増幅器９４は、ＤＲＥ信号がＬ論理である場合（すなわち、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力されている場合）、グランド電圧（電圧値０）を出力する。第３差動増幅器８６は、第１差動増幅器８２の出力電圧から第７差動増幅器９４の出力電圧を減じた電圧を出力する。このようにして、第１比較部４２は、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、入出力ピン２０の電圧をＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較することができる。【００８１】
第２比較部５０は、試験信号が終端を表す値以外の場合、入出力ピン２０の電圧を、予め定められたＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較電圧とを加算した電圧と比較する。さらに、第２比較部５０は、試験信号が終端を表す値の場合、入出力ピン２０の電圧をＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較する。このような第２比較部５０は、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合、入出力ピン２０の電圧をＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較するので、正しい比較結果を出力することできる。【００８２】
第２比較部５０は、一例として、第５差動増幅器９０に代えて、第８差動増幅器９６を含んでよい。第８差動増幅器９６は、ＤＲＥ信号がＨ論理である場合（すなわち、メイン駆動部３２からＬ側出力電圧（ＶＩＨ）またはＨ側出力電圧（ＶＩＬ）が出力されている場合）、比較電圧からＤＵＴ２００のグランド電位を減じた電圧を出力する。第８差動増幅器９６は、ＤＲＥ信号がＬ論理である場合（すなわち、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力されている場合）、グランド電圧（電圧値０）を出力する。第６差動増幅器９２は、第４差動増幅器８８の出力電圧から第８差動増幅器９６の出力電圧を減じた電圧を出力する。このようにして、第２比較部５０は、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、入出力ピン２０の電圧をＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較することができる。【００８３】
このような第３変形例に係る試験装置１０によれば、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合、閾値電圧を入出力ピン２０の電圧と比較する。従って、第３変形例に係る試験装置１０によれば、メイン駆動部３２が３値ドライバであっても、図１に示した試験装置１０と同様の効果を得ることができる。【００８４】
なお、本変形例において、信号入出力部１４は、遅延素子９８を更に備えてよい。遅延素子９８は、ＤＲＥ信号を遅延して第７差動増幅器９４および第８差動増幅器９６に与える。遅延素子９８は、一例として、メイン駆動部３２の終端電圧ＶＩＴの応答遅延に応じた時間分、ＤＲＥ信号を遅延してよい。このような遅延素子９８は、メイン駆動部３２による終端電圧ＶＩＴの発生および停止タイミングと、第７差動増幅器９４によるグランド電圧の発生および停止タイミングとを一致させることができる。【００８５】
図８は、本実施形態の第４変形例に係る信号入出力部１４の構成を、ＤＵＴ２００および伝送線路３００とともに示す。本変形例に係る信号入出力部１４は、図７に示す第３変形例に係る信号入出力部１４と略同一の構成および機能を採るので、以下、略同一の構成および機能を採る部材については図中において同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００８６】
本変形例に係る信号入出力部１４は、レプリカ駆動部７０に代えて、第１のレプリカ駆動部７０−１と、第２のレプリカ駆動部７０−２と、第１の駆動電圧供給部７２−１と、第２の駆動電圧供給部７２−２とを備える。【００８７】
第１のレプリカ駆動部７０−１は、３値ドライバである。第１のレプリカ駆動部７０−１は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ１）を出力し、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ１）を出力する。そして、第１のレプリカ駆動部７０−１は、試験信号が終端を表す値の場合には、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）を出力する。【００８８】
第１のレプリカ駆動部７０−１は、一例として、ＤＲＥ信号がＨ論理であり且つＰＡＴ信号がＨ論理の場合には、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ１）を出力し、ＤＲＥ信号がＨ論理であり且つＰＡＴ信号がＬ論理の場合には、Ｌ側比較電圧（ＲＶＩＬ１）を出力する。更に、第１のレプリカ駆動部７０−１は、ＤＲＥ信号がＬ論理である場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）を出力する。第１のレプリカ駆動部７０−１は、一例として、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ１）、Ｌ側比較電圧（ＲＶＩＬ１）またはＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）を切り換えて出力するセレクタであってよい。【００８９】
第２のレプリカ駆動部７０−２は、３値ドライバである。第２のレプリカ駆動部７０−２は、試験信号がＨ論理の場合には、Ｈ論理に応じたＨ側比較電圧（ＲＶＩＨ２）を出力し、試験信号がＬ論理の場合には、Ｌ論理に応じたＬ側比較電圧（ＲＶＩＬ２）を出力する。そして、第２のレプリカ駆動部７０−２は、試験信号が終端を表す値の場合には、Ｌ側閾値電圧（ＶＯＬ）を出力する。【００９０】
第２のレプリカ駆動部７０−２は、一例として、ＤＲＥ信号がＨ論理であり且つＰＡＴ信号がＨ論理の場合には、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ２）を出力し、ＤＲＥ信号がＨ論理であり且つＰＡＴ信号がＬ論理の場合には、Ｌ側比較電圧（ＲＶＩＬ２）を出力する。更に、第２のレプリカ駆動部７０−２は、ＤＲＥ信号がＬ論理である場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、Ｌ側閾値電圧（ＶＯＬ）を出力する。第２のレプリカ駆動部７０−２は、一例として、Ｈ側比較電圧（ＲＶＩＨ１）、Ｌ側比較電圧（ＲＶＩＬ１）またはＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）を切り換えて出力するセレクタであってよい。【００９１】
第１の駆動電圧供給部７２−１は、図６に示す第２変形例に係る第１の駆動電圧供給部７２−１と同様であるので詳細な説明を省略する。第２の駆動電圧供給部７２−２は、図６に示す第２変形例に係る第２の駆動電圧供給部７２−２と同様であるので詳細な説明を省略する。【００９２】
第１比較部４２は、第７差動増幅器９４に代えて、第９差動増幅器１０２を含んでよい。第９差動増幅器１０２は、Ｈ側閾値電圧（ＶＯＨ）から、第１のレプリカ駆動部７０−１により出力された比較電圧を減じた電圧を出力する。第３差動増幅器８６は、第１差動増幅器８２の出力電圧から第９差動増幅器１０２の出力電圧を減じた電圧を出力する。このようにして、第１比較部４２は、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、入出力ピン２０の電圧をＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）と比較することができる。【００９３】
第２比較部５０は、第８差動増幅器９６に代えて、第１０差動増幅器１０４を含んでよい。第１０差動増幅器１０４は、第２のレプリカ駆動部７０−２により出力された比較電圧からＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）を減じた電圧を出力する。第６差動増幅器９２は、第４差動増幅器８８の出力電圧から第１０差動増幅器１０４の出力電圧を減じた電圧を出力する。このようにして、第２比較部５０は、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合には、ＰＡＴ信号の論理に関わらず、入出力ピン２０の電圧をＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）と比較することができる。【００９４】
調整部５６は、電圧測定部５２による測定結果に基づき、第１のレプリカ駆動部７０−１および第２のレプリカ駆動部７０−２のそれぞれから出力される比較電圧を調整する。より詳しくは、調整部５６は、試験信号が終端を表す値以外の場合（例えばＤＲＥ信号がＨ論理の場合）における第１のレプリカ駆動部７０−１から出力される比較電圧を、第２変形例と同様に、無応答状態の入出力ピン電圧ＶｂとＨ側閾値電圧（ＶＯＨ）とを加算した電圧に調整する。【００９５】
また、調整部５６は、試験信号が終端を表す値以外の場合（例えばＤＲＥ信号がＨ論理の場合）における第２のレプリカ駆動部７０−２から出力される比較電圧を、第２変形例と同様に、無応答状態の入出力ピン電圧ＶｂとＬ側閾値電圧（ＶＯＬ）とを加算した電圧に調整する。【００９６】
このような第４変形例に係る試験装置１０によれば、メイン駆動部３２から終端電圧（ＶＩＴ）が出力される場合、閾値電圧を入出力ピン２０の電圧と比較する。従って、第４変形例に係る試験装置１０によれば、メイン駆動部３２が３値ドライバであっても、図１に示した試験装置１０と同様の効果を得ることができる。【００９７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。【００９８】
例えば、実施形態に係る信号入出力部１４は、対象装置と信号を送受信する伝送装置として機能させてもよい。この場合、信号入出力部１４は、ＤＵＴ２００に代えて上記の対象装置と伝送線路３００を介して接続される。そして、入出力ピン２０には、メイン駆動部３２が発生する送信信号に応じた出力電圧、および、対象装置が出力した受信信号に応じた電圧が印加される。
【図１】
2009011252.tif 000003
【図２】
2009011252.tif 000004
【図３】
2009011252.tif 000005
【図４】
2009011252.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2009011252.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月4日(2010.1.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、
前記試験信号に応じた出力電圧を、前記被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、
前記入出力ピンの電圧を前記分圧電圧と比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記抵抗分圧部の分圧比を調整する調整部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記調整部は、前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記被試験デバイスの前記信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧を測定する電圧測定部を更に備え、
前記調整部は、前記電圧測定部の測定結果に基づき、前記抵抗分圧部の分圧比を調整する
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記電圧測定部は、前記被試験デバイスの直流特性を試験する直流試験中において、前記出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧を測定し、
前記調整部は、前記試験信号の論理を変化させて前記被試験デバイスの機能を試験する機能試験に先立って、前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を前記電圧測定部により測定された電圧に一致させる
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、
前記試験信号に応じた出力電圧を、前記被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を調整する調整部と
を備える試験装置。
【請求項６】
前記調整部は、前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記被試験デバイスの前記信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧に一致させる
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記比較部は、
前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＨ論理であるか否かを判別するＨ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する第１比較部と、
前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＬ論理であるか否かを判別するＬ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較するＬ第２比較部と
を有する請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
前記メイン駆動部は、前記試験信号がＨ論理の場合にＨ側出力電圧を出力し、前記試験信号がＬ論理の場合にＬ側出力電圧を出力し、
前記レプリカ駆動部は、前記試験信号がＨ論理の場合にＨ側比較電圧を出力し、前記試験信号がＬ論理の場合にＬ側比較電圧を出力し、
前記調整部は、
前記Ｈ側比較電圧を、前記Ｈ側出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と一致させ、
前記Ｌ側比較電圧を、前記Ｌ側出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と一致させる
請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
前記メイン駆動部は、前記試験信号がＨ論理の場合にＨ側出力電圧を出力し、前記試験信号がＬ論理の場合にＬ側出力電圧を出力し、前記試験信号が終端を表す値の場合には終端電圧を出力し、
前記第１比較部は、前記試験信号が終端を表す値以外の場合、前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＨ論理であるか否かを判別するＨ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較し、前記試験信号が終端を表す値の場合、前記入出力ピンの電圧を前記Ｈ側閾値電圧と比較し、
第２比較部は、前記試験信号が終端を表す値以外の場合、前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がＬ論理であるか否かを判別するＬ側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較し、前記試験信号が終端を表す値の場合、前記入出力ピンの電圧を前記Ｌ側閾値電圧と比較する
を有する請求項７に記載の試験装置。
【請求項１０】
対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、
送信信号に応じた出力電圧を、前記対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、
前記入出力ピンの電圧を前記分圧電圧と比較する比較部と、
前記抵抗分圧部の分圧比を調整する調整部と
を備える伝送装置。
【請求項１１】
前記調整部は、前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記対象装置の前記信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる
請求項１０に記載の伝送装置。
【請求項１２】
対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、
送信信号に応じた出力電圧を、前記対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、
前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を調整する調整部と
を備える伝送装置。
【請求項１３】
前記調整部は、前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記対象装置の前記信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧に一致させる
請求項１２に記載の伝送装置。
【国際調査報告】
2009011252.tif 000011
2009011252.tif 000012