(57)【要約】隣のペレットに割れが生じにくく、しかも剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。  粘着シート（１２）上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（１１）を、粘着シート（１２）から順次剥離して取り出すものである。剥離すべきペレット（１１）を上方から保持した状態で、粘着シート（１２）を下方から吸引して、このエアの吸引及び上方からのペレットの保持を行うとともに、隙間（１９）に突入される突起（２５）にて粘着シート（１２）を下方から支持しつつ受け部（１７）を水平方向に沿って移動させて、ペレット（１１）を剥離して行く。
2008041273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間に突入される突起にて粘着シートの一部を下方から支持しつつ隙間のエアを吸引して、受け部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、突起にて粘着シートを支持するとともに上方からペレットを保持しつつ、前記受け部を水平方向に沿って移動させて、ペレットを剥離して行くことを特徴とするピックアップ方法。
【請求項２】
粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記隙間内に突入されて下方から前記粘着シートの一部を支持する突起と、前記受け部を水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【請求項３】
前記突起を、上下動可能なピンにて構成したことを特徴とする請求項２のピックアップ装置。
【請求項４】
前記受け部が配置されるステージに、前記突起を一体的に設けたことを特徴とする請求項２又は請求項３のピックアップ装置。
【請求項５】
前記突起を剥離すべきペレットのコーナ部に対応させて配置したことを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれかのピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップ方法およびピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着シートからピックアップする必要がある。従来のピックアップ装置として、粘着シートを保持するステージと、このステージに対して進退する突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備えたものがある。すなわち、突き上げ台によって突き上げられたニードルによりステージの粘着シートを裏面側から突いて、ペレットを粘着シートから離脱させるように構成されている。【０００３】
しかしながら、ニードルを使用するピックアップ装置では、ニードルが粘着シートを突き破ってペレットを突き上げて粘着シートから剥離する際に、ニードルの先端部が磨滅したり破損していたり曲がっていたりする場合がある。このような場合には、破損したニードルがペレット突き上げ時にペレット裏面を傷付けるおそれがある。また、磨滅や破損によって各ニードルの長さが相違することになって、ペレットが傾いて突き上げられる状態になり、隣合うペレット同士が衝突して傷付け合うおそれがある。【０００４】
さらに、ペレットはコレットにて吸着されて取り出される。しかしながら、ペレットが傾いて突き上げられれば、コレットによるペレットの吸着ミスが発生する。コレットのペレット吸着ミスが発生すると、その後の作業に支障を来たすことになる。また、ニードルの突き上げによって、ペレットが損傷する場合もあった。【０００５】
そこで、近年このようなニードルを使用しないピックアップ装置（特許文献１）が提案されている。このピックアップ装置は、図８と図９に示すように、ペレット１が貼り付けられている粘着シート２を保持するステージ３を備える。また、ステージ３には、その上面４ａがステージ上面３ａより突出する受け部４が付設される。このため、受け部４の外周側には、粘着シート２との間に図９に示すように隙間６が形成される。さらに、ステージ３には、前記隙間６に連通される吸引孔５が設けられている。なお、この吸引孔５、５は、図８に示すように平面視において、その一部がペレット１の第１辺８ａよりも外側に突出している。【０００６】
次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ装置を説明する。まず、上方からコレット（吸着コレット）７にてペレット１を吸着（保持）した状態で、吸引孔５を介して粘着シート２を吸引する。これによって、隙間６のエアが矢印Ａのように、吸引され、受け部４の周りの粘着シート２が吸引され、ペレット１の外周側において粘着シート２が剥離する。【０００７】
その後、図１０に示すように、受け部４を矢印Ｂの方向へ移動させる。つまり、第１辺８ａに対面する第２辺８ｂ側へ移動させる。これによって、受け部４にて受けられているペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート２の吸着（吸引）面積が増加して、最終的にこのペレット１から粘着シート２を完全に剥離させることができる。
【特許文献１】特許第３２０９７３６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、前記ピックアップ装置を使用した場合、剥離の初期段階で、受け部４の周りの吸着シート２を剥がす必要があるので、この吸着によるチップ（ペレット）１周辺の剥離に時間が掛かる場合があり、しかも、吸着によるチップ周りの剥離に必要な力（応力）は、受け部４の３辺８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ（図１１参照）に沿って分散するので弱い。【０００９】
また、図１１に示すように、第１辺８ａからこれに対面する第２辺８ｂ側に向かって粘着シート２が剥離されて行くことになる。このため、第１辺８ａの長さ分ずつはがすことになって、比較的大きな剥離力を必要とする。しかしながら、剥離時のチップ１の保持はコレット７の吸着力のみであるので、スライド時の剥離する力に対してチップ（ペレット）１側が負けてコレット７からチップ１が外れたり、受け部４のスライド動作により粘着シート２が引っ張られてチップ１に位置ずれが発生したりするおそれがある。【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みて、剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のピックアップ方法は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間に突入される突起にて粘着シートの一部を下方から支持しつつ隙間のエアを吸引して、受け部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、突起にて粘着シートを支持するとともに上方からペレットを保持しつつ、前記受け部を水平方向に沿って移動させて、ペレットを剥離して行くものである。【００１２】
本発明のピックアップ方法によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引すれば、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。その後は、受け部を、水平方向に沿って移動することによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していく。これによって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加し、最終的には、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。【００１３】
しかも、この剥離作業においては、受け部の外周側に形成される隙間に突入される突起にて、前記粘着シートを下方から支持するので、隙間のエアを吸引した場合、この突起近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレットの剥離が容易となる。また、吸引によって、突起が粘着シートに食い込むことになる。【００１４】
本発明のピックアップ装置は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記隙間内に突入されて下方から前記粘着シートの一部を支持する突起と、前記受け部を水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたものである。【００１５】
本発明のピックアップ装置によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受け部にて受けることができる。そして、受け部にてペレットを受けるとともに保持手段にて上方からペレットを保持した状態で、受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアをエア吸引手段にて吸引することによって、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。また、受け部を駆動手段にて水平方向に沿って移動させることができる。これによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加していく。このため、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。【００１６】
しかも、この剥離作業においては、受け部の外周側に形成される隙間に突入される突起にて、前記粘着シートを下方から支持するので、隙間のエアを吸引した場合、この突起近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレットの剥離が容易となる。このため、前記ピックアップ方法を確実に実行することができる。【００１７】
前記突起を、上下動可能なピンにて構成することができる。これにより、ピンの高さ位置を調整することができる。また、受け部が配置されるステージに、突起を一体的に付設することが可能である。この場合、上下方向に延びるものであっても、横方向（水平方向）に延びるものであってもよい。【００１８】
突起をペレットのコーナ部（角部）に対応させて配置するのが好ましく、このように配置することによって、剥離の容易なペレットの角部に応力を集中させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、隙間のエアを吸引した場合、突起近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレットの剥離が容易となる。すなわち、剥離初期において比較的小さい力で、剥離が可能となって、剥離開始時間の短縮を図ることができる。【００２０】
また、この剥離作業においては、吸引によって、突起が粘着シートに食い込むことになり、突起が粘着シートに対してアンカーとなる。このため、剥離作業が安定するとともに、受け部のスライドによっても粘着シートが引っ張られず、スライド時の剥離する力に対してチップ（ペレット）側が負けない。したがって、コレット（保持手段）からペレットが外れないとともに、粘着シートが引っ張られてペレットに位置ずれが発生するおそれがない。【００２１】
突起を、上下動可能なピンにて構成することによって、ピンの高さ位置を調整することができるので、粘着シートの肉厚や受け部が配置されるステージの高さ等に応じて、ピンの高さ位置を調整することによって、剥離すべきペレットに対して最適な剥離性能を発揮することができる。【００２２】
ステージに対して一体的に突起を形成した場合、装置全体の構成の簡略化を図ることができる。また、上下方向に延びるものであっても、横方向（水平方向）に延びるものであっても、粘着シートを下方から支持することができ、剥離性の向上を図る機能を確実に発揮することができる。【００２３】
突起をペレットのコーナ部（角部）に対応させて配置することによって、剥離の容易なペレットの角部に応力を集中させることができる。このため、剥離開始を安定して確実に行うことができ、剥離作業の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態のピックアップ方法を示す簡略工程図である。
【図２】本発明の実施形態のピックアップ装置を示し、この装置を使用したピックアップの簡略断面図である。
【図３】粘着シートに貼り付けたペレットを示す簡略平面図である。
【図４】ピックアップ装置の突起と受け部との関係を示す簡略図である。
【図５】本発明の他の実施形態のピックアップ装置の断面図である。
【図６】本発明の実施形態の別のピックアップ装置を使用したピックアップ方法を示す簡略工程図である。
【図７】ピックアップ装置の突起の変形例を示す簡略図である。
【図８】従来のピックアップ装置の簡略平面図である。
【図９】従来のピックアップ装置の簡略断面図である。
【図１０】従来のピックアップ装置を使用した剥離工程を示す簡略断面図である。
【図１１】従来のピックアップ装置を使用したピックアップ方法の問題点を示す簡略図である。
【符号の説明】
【００２５】
１１ ペレット
１２ 粘着シート
１５ 保持手段
１６ ステージ
１７ 受け部
１８ エア吸引手段
１９ 隙間
２５ 突起
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図７に基づいて説明する。【００２７】
図２に本発明のピックアップ装置を示す。このピックアップ装置は、粘着シート１２上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（半導体チップ）１１を、前記粘着シート１２から順次剥離して取り出す装置である。【００２８】
ペレット１１は、ウェーハＷ(図３参照)を素材とし、この素材を矩形状に切断することによって最終製品となる。このため、ペレット１１には正方形や短冊状のもの等がある。すなわち、図３に示すように、ウェーハＷは全体として円形であり、ダイシングにより個々のペレット１１に分割され、このペレット１１が粘着シート１２に貼り付けられている。また、粘着シート１２の外周側にはリング体からなるフレーム１３が貼着されている。すなわち、このフレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている。そして、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態で、このピックアップ装置にてペレット１１が取り出される。【００２９】
ピックアップ装置は、図２に示すように、剥離すべきペレット１１を上方から保持する保持手段１５と、粘着シート１２が載置されるステージ１６と、ペレット１１を粘着シート１２を介して受ける受け部１７と、この受け部１７の外周側において粘着シート１２との間に形成される隙間１９のエアを吸引するエア吸引手段１８と、受け部１７を移動させる図示省略の駆動手段とを備える。【００３０】
保持手段１５は、ペレット１１を吸着するヘッド２０を有する吸着部材（コレット）２１にて構成している。ヘッド２０は、その下端面２０ａに吸着孔が設けられ、この吸着孔を介してペレット１１が真空吸引され、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１が吸着する。このため、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、ヘッド２０からペレット１１が外れる。そして、この吸着部材２１は例えばロボットのアームに連結され、鉛直方向（図２の矢印Ｃ、Ｄ方向）、水平方向(図２の矢印Ｅ方向)、およびこれらを組み合わせた方向の移動が可能とされる。【００３１】
ステージ１６の上面には凹所２２が設けられ、この凹所２２に受け部１７が配置されている。凹所２２は、矩形状の本体部２２ａと、本体部２２ａの外周側に配設されるテーパ部２２ｂとを備える。また、受け部１７は、凹所２２の本体部２２ａに嵌合する矩形平板体であり、厚さ寸法が本体部２２ａの深さ寸法が略同一に設定されている。また、図１に示すように、受け部１７の幅寸法Ｗは、正方形であるペレット１１の一辺の長さ（幅寸法）Ｗ１よりも小さく設定されている。この場合、受け部１７の一方の長辺１７ａが剥離すべきペレット１１の第１辺２３ａに対応し、受け部１７の他方の長辺１７ｂが剥離すべきペレット１１の第２辺２３ｂ（第１辺２３ａに対面する辺）に対応し、受け部１７の先端側の短辺１７ｃがペレット１１の第３辺２３ｃ（第１辺２３ａと第２辺２３ｂとに対して直角を成す辺）に対応している。【００３２】
前記凹所２２には、図１に示すように、第１辺２３ａの中間部と第２辺２３ｂの中間部と、第３辺２３ｃの中間部に対応して吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃが設けられている。そして、各吸引孔３０は、平面視で分かるように、一部がペレット１１より外側へ突出している。【００３３】
そして、図２（Ａ）に示すように、ステージ１６上に、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２を配置することによって、受け部１７の外周側、具体的には少なくとも受け部１７の先端側の短辺１７ｃの前方側において粘着シート１２との間に隙間１９が形成される。【００３４】
吸引手段１８は、前記吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃを有し、この吸引孔３０ａ等に図示省略の真空ポンプが接続されてなる。すなわち、真空ポンプが駆動することによって、吸引孔３０ａ等を介して隙間１９内の空気が吸引される。【００３５】
受け部１７は、駆動手段を介して、受け部１７の先端側の短辺１７ｃがペレット１１の第３辺２３ｃと平行を保持しつつ水平方向に沿って移動する。なお、駆動手段としては、ボルト軸部材とこれに螺合するナット部材からなる往復動機構やシリンダ機構等の種々の機構を用いることができる。また、この受け部１７には支持部材３１が連設され、この受け部１７と支持部材３１とで、移動ブロック体３２を構成している。【００３６】
また、ステージ１６には、前記隙間１９に突入される突起２５が付設されている。すなわち、剥離すべきペレット１１の第１辺２３ａと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）と、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）にそれぞれ突起２５としてのピン（先端がアール状とされた小径の円柱体）（図４参照）が配置されている。【００３７】
この場合、ステージ１６に上下方向に孔部（図示省略）が設けられ、この孔部に突起２５としてのピンが上下動可能に配置されている。突起２５は、図示省略のシリンダ機構やボールねじ機構等の上下動機構によって上下動する。このため、図４（Ａ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置と受け部１７の上面２７の高さ位置とが一致する状態としたり、図４（Ｂ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置が受け部１７の上面２７の高さ位置より高くなる状態としたり、図４（Ｃ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置が受け部１７の上面２７の高さ位置より低くなる状態としたりすることができる。なお、突起２５としては、剥離すべきペレット１１の大きさや肉厚寸法、粘着シート１２の肉厚寸法等によって相違するが、例えば、０．６ｍｍ〜０．７ｍｍ程度であって、先端のアール部の曲率半径としては、例えば、２００μｍ〜３００μｍ程度である。【００３８】
次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ方法を説明する。まず、図３に示すように、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態において、図１に示すように、１辺（この場合、第４辺２３ｄ）に、他のペレット１１が対応しないペレット１１ａを選択して、このピックアップ装置のステージ１６をこのペレット１１ａの下方に位置させて、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２を介して、移動ブロック体３２の受け部１７にて受ける。【００３９】
このため、受け部１７の少なくとも前方側には、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２の下方側に隙間１９が形成される。また、隙間１９には、ペレット１１の第１辺２３ａと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）と、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）とに対応した突起２５を突入させる。この際、例えば、図４（ａ）に示すように、突起２５の先端２６の高さ位置と受け部１７の上面２７の高さ位置とが一致する状態とする。この状態で、保持手段１５のコレット２１を、矢印Ｄのように下降させ、ヘッド２０をペレット１の上面に当接するとともに、吸着孔を介してペレット１１ａを真空吸引して、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１ａを吸着させる。【００４０】
前記隙間１９は、前記したように、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃに連通されている。そこで、吸引手段１８を駆動することによって、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃを介して隙間１９のエアを吸引する。これによって、図２（Ｂ）に示すように、粘着シート１２の一部が突起２５に支持された状態で、この突起２５の周りの粘着シート１２の一部が吸引され、突起２５の近傍の粘着シート１２をペレット１１ａから剥離する。【００４１】
その後、図１（Ｂ）（Ｃ）および図２（Ｃ）（Ｄ）に示すように、受け部１７を矢印Ｆのように移動（スライド）させる。これによって、受け部１７によるペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、ペレット１１ａはコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次ペレット１１ａから剥離していく。このため、図２（Ｄ）に示すように、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレット１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。【００４２】
そして、剥離後は、図２（Ｅ）に示すように、コレット２１を矢印Ｃのように上昇させてステージ１６から離すことによって、ペレット１１ａを粘着シート１２から取り出すことができる。その後は、図２（Ｆ）に示すように、受け部１７を矢印Ｇのように戻して待機状態とし、次に剥離すべきペレット１１を受け部１７にて受けるように配置する。この場合、図１の１１ｂのペレット１１に対応することになる。【００４３】
このように、順次ペレット１１にこのピックアップ装置を対応させて行けば、粘着シート１２上のすべてのペレット１１を粘着シート１２から剥離して取り出すことができる。【００４４】
なお、各ペレット１１にピックアップ装置を対応させる場合、ピックアップ装置側を移動させても、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２側を移動させても、さらには両者を移動させてもよい。【００４５】
本発明では、受け部１７の外周側に形成される隙間１９に突入される突起２５にて、粘着シート１２を下方から支持するので、隙間１９のエアを吸引した場合、この突起２５近傍において応力を集中させることができ、吸着によるペレット１１の剥離が容易となる。すなわち、剥離初期において比較的小さい力で、剥離が可能となって、剥離開始時間の短縮を図ることができる。【００４６】
また、この剥離作業においては、吸引によって、突起２５が粘着シート１２に食い込むことになり、突起２５が粘着シート１２に対してアンカーとなる。このため、剥離作業が安定するとともに、受け部１７のスライドによっても粘着シート１２が引っ張られず、スライド時の剥離する力に対してチップ（ペレット）１側が負けない。したがって、コレット２１（保持手段）からペレット１１が外れないとともに、粘着シート１２が引っ張られてペレット１１に位置ずれが発生するおそれがない。【００４７】
突起２５を、上下動可能なピンにて構成することによって、ピンの高さ位置を調整することができるので、粘着シート１２の肉厚や受け部１７が配置されるステージ１６の高さ等に応じて、ピンの高さ位置を調整することによって、剥離すべきペレット１１に対して最適な剥離性能を発揮することができる。【００４８】
突起２５をペレット１１のコーナ部（角部）に対応させて配置することによって、剥離の容易なペレット１１の角部に応力を集中させることができる。このため、剥離開始を安定して確実に行うことができ、剥離作業の信頼性が向上する。【００４９】
次に、図５は他の実施形態を示し、この場合、受け部１７がステージ１６の上面より突出している。このため、受け部１７にて剥離すべきペレット１１を受けた場合、ステージ１６の上面よりも上位でペレット１１を受けることになる。【００５０】
従って、この図５に示すピックアップ装置であっても、隙間１９に突入する上下動可能な突起２５が付設されている。このため、コレット２１にてペレット１１を上方から保持した状態で、隙間１９にエアを吸引すれば、受け部１７の前方側において、突起２５にて粘着シート１２の一部を支持した状態でペレット１１から粘着シート１２を剥離することができる。そこで、この状態で受け部１７を、水平方向に沿って移動させれば、図２に示すピックアップ装置と同様、粘着シート１２を容易に剥離して行くことができる。【００５１】
ところで、前記各実施形態では、受け部１７をステージ１６に対して移動させていたが、別の実施形態として、受け部１７をステージ１６に一体的に設けて、ステージ１６を移動させることによって、受け部１７をペレット１１に対して移動させるようにしてもよい。【００５２】
次に図６は別の実施形態を示し、この場合、受け部１７は、先端に向かって細くなる先細部３５を備える。すなわち、先細部３５は、ペレット１１の第２辺２３ｂに平行な第１辺３６と、ペレット１１の第２辺２３ｃに平行な第２辺３７にて構成され、この第１辺３６と第２辺３７とは９０度を成す。そして、先細部３５の角部３８が、剥離しようとする一のペレット角部３９に対応する。この一のペレット角部３９は、前記第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとがなす接合部である。【００５３】
この実施形態においては、ペレット角部３９とこれに対向する他のペレット角部４０（第１辺２３ａと第４辺２３ｄとがなす角部）を結ぶ対角線Ｌ上に前記受け部１７の角部３８が配置される。【００５４】
この実施形態においては、第２辺２３ｂと第４辺２３ｄとの角部に対応して吸引孔３０ｄが設けられ、第２辺２３ａの中間部に対応して吸引孔３０ｅが設けられ、第３辺２３ｃの中間部に対応して吸引孔３０ｇが設けられ、第３辺２３ｃと第１辺２３ａとの角部に対応して吸引孔３０ｈが設けられている。そして、各吸引孔３０は、平面視で分かるように、一部がペレット１１より外側へ突出している。この場合、隙間１９に突入する上下動可能な突起２５が、第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとの角部３９に対応して付設されている。【００５５】
次に、図６に示すピックアップ装置を使用したピックアップ方法を説明する。まず、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態において、２辺（この場合、第１辺２３ａと第４辺２３ｄ）に、他のペレット１１が対応しないペレット１１ａを選択して、このピックアップ装置のステージ１６をこのペレット１１ａの下方に位置させて、粘着シート１２を介して、移動ブロック体３２の受け部１７にて受ける。この際、受け部１７の第１辺３６がペレット１１ａの第２辺２３ｂに対して平行となるとともに、受け部１７の第２辺３７がペレット１１ａの第３辺２３ｃに対して平行となるように、受け部１７の角部３８をペレット１１ａの対角線Ｌ上に配置する。また、角部３８がペレット１１ａの角部３９に対して、図６の矢印αの方向、つまり対角線Ｌに沿って、角部３９に対向する角部４０側にずれている。【００５６】
このため、受け部１７の先細部３５の前方側（第１辺３６及び第２辺３７の前方側）には、粘着シート１２の下方側に隙間１９が形成され、突起２５にて粘着シート１２の一部を支持している。この状態で、図２の（Ａ）と同様、保持手段１５のコレット２１にてペレット１１ａを吸着させる。【００５７】
前記隙間１９は、吸引孔３０ｄ、３０ｅ、３０ｇ、３０ｈを介して隙間１９のエアを吸引する。これによって、隙間１９に対応する粘着シート１２の一部が吸引され、突起２５の近傍の粘着シート１２をペレット１１ａから剥離する。【００５８】
その後、受け部１７を前記対角線Ｌに沿って矢印αのように移動（スライド）させる。これによって、受け部１７によるペレット１１の受け面積が減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、ペレット１１ａはコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次ペレット１１ａから剥離していく。このため、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレット１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。【００５９】
図６に示すピックアップ装置では、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することになる。このため、ペレット１１の一辺の長さ分ずつ剥離する場合と相違して、その剥離力が小さくて済み、粘着シートの剥離が容易となる。しかも、剥離して行く際には、剥離を開始するペレット１１のペレット角部を構成する２辺に対応する隣のペレット１１の辺に対して、受け部１７が離れて行くことになる。これによって、隣接するペレット１１に動的な曲げ応力を掛けることがなくなり、隣接するペレット１１（特に、剥離すべきペレットに対応する辺）に割れを生じさせない。また、一のペレット角部から剥離して行くものであるので、粘着シート１２を吸引する吸着応力が１箇所に集中させることができ、薄くてしなりやすいペレット１１であっても、剥離が可能となり、剥離させることができるペレット１１の適用範囲が拡大する利点がある。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シート１２が剥がれていき、剥離性能の向上を図ることができる。【００６０】
特に、剥離作業開始においては、受け部１７の角部を、剥離すべきペレット１１の一のペレット角部に対応させればよいので、その幅寸法をペレット１１の一辺よりも僅かに小さい寸法等に設定して受け部１７をその都度製作する必要がない。すなわち、受け部１７を、ペレット１１の寸法に合わせることなく、一種類の受け部にて位置調整するのみで種々のサイズのペレットに合わせることができ、汎用性にすぐれ、コスト低減に寄与する。また、受け部１７の移動方向が、ペレット角部３９を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向であるので、粘着シート１２に対して均等な剥離力で剥離していくことができ、製品（ペレット）への不要な負荷を掛けずに済み、製品損傷を防止できる。しかも、突起２５が、剥離しやすいペレット角部に対応して設けられているので、剥離を確実に開始することができ、しかも、対角線Ｌに沿って剥離することと相俟って、粘着シート１２の剥離が一層容易となる利点がある。【００６１】
図６に示すように、ペレット１１に対して受け部１７を斜め方向にスライドする場合、移動方向の変更も可能である。このように、受け部１７の移動方向の変更を可能とすれば、剥離するペレット１１の性質等に応じて移動方向を変更することができる。すなわち、結晶方位によってペレット１１には割れやすい方向があるので、受け部１７の移動方向を、隣接するペレット１に対して割れにくい方向の力が作用するように設定できる。このため、隣接するペレットの損傷（割れ）を一層安定して防止できる。【００６２】
ところで、突起２５として、図７に示すように、ステージ１６に対して一体に形成されたものであってもよい。この場合、突起２５は凹所２２に横方向から水平に突出するものであって、上下方向に延びるものであってもよい。このように、ステージ１６に対して一体に突起を形成した場合、装置全体の構成の簡略化を図ることができる。また、上下方向に延びるものであっても、横方向（水平方向）に延びるものであっても、粘着シート１２を下方から支持することができ、剥離性の向上を図る機能を確実に発揮することができる。【００６３】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ステージ１６に設けられる吸引孔３０としては、大きさ、数、形状等を、隙間１９のエアの吸引可能範囲で任意に設定できる。このため、吸引孔３０は１個であってもよい。また、剥離すべきペレット１１として、正方形に限るものではなく、短辺と長辺とを有する長方形であっても、さらには、短辺に比べて長辺が極めて長い短冊状であってもよい。粘着シート１２の厚さとしても、吸引力等によって相違するが、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できるように、湾曲変形できるものであればよい。【００６４】
受け部１７の肉厚としても、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できる範囲によって、任意に設定できる。また、図６に示すような受け部１７である場合、受け部１７の角部の角度として９０度に限るものではなく、多少鋭角であっても鈍角であってもよい。【００６５】
粘着シート１２上に貼り付けられているペレット１１の数としても任意であり、本発明では、数に影響されることなく、粘着シート１２上の全てのペレット１１を順次剥離して行くことができる。また、図１に示すものでは、剥離すべきペレット１１の第４辺２３ｄに他のペレット１１が対応していなければよく、図６に示すものでは、剥離すべきペレット１１の第２辺２３ｂと第４辺２３ｄとに他のペレット１１が対応していなければよいので、剥離して行く順序としてはこの条件を満たす範囲で任意に設定できる。【００６６】
図１では、突起２５を、剥離すべきペレット１１の第１辺２３ａと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）と、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃとが成すコーナ部（角部）とに配置し、図６では、ペレット１１の第２辺２３ｂと第３辺２３ｃのコーナ部（角部）３９に配置しているが、それぞれ、突起２５の配置位置や数等は任意に変更することができる。すなわち、第１辺２３ａの中間部や第２辺２３ｂの中間部や第３辺２３ｃの中間部等であってもよい。なお、突起２５を配置する場合、吸引孔３０に対応して設けても、吸引孔３０を避けてもうけてもよい。また、図２のように突起２５をピンにて構成する場合であっても、上下動しない固定型のものであってもよい。この場合、ピン構成部材をステージ１６に植設等すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
切断されたウェーハ、もしくは最終製品になる前の板材を、粘着シートに貼り付けて、この状態でダイシングソー等にて切断することによって、複数枚のペレットを形成することができる。そして、このピックアップ装置には、粘着シートからペレットを一枚ずつ剥離させて取り出すことができる。取り出したペレットは、リードフレームの所定のランドに供給することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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