【手続補正書】
【提出日】平成17年9月1日(2005.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  照明光学系の光路内のスリットを介してスリット状の照射領域を持つ光を第１物体に照射し、第１物体と第２物体を同期走査して前記第１物体上のパターンを前記第２物体上に投影光学系を介して結像転写する投影露光装置において、
２次光源の有効半径をＲ、前記スリットと前記第１物体、若しくはその共役面の光学的な距離をｄ、前記照明光学系の焦点距離をｆ、光源のパルス発振周波数をＦ、走査露光時の前記第１物体の走査速度をＶとするとき、
Ｒ，ｄ，ｆ，Ｆ，Ｖのいずれかのパラメータに応じて走査方向における積算露光強度を一定化するように、残りのパラメータのいずれかを変更する制御手段を有することを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】  ２ｄＲ／ｆ  ＝  ｎＶ／Ｆ                （ただしｎは整数）
が成立することを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】  請求項１又は２記載の投影露光装置を用いて基板を露光する工程と、該露光された基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項４】  照明光学系の光路内のスリットを介してスリット状の照射領域を持つ光を第１物体に照射し、第１物体と第２物体を同期走査して前記第１物体上のパターンを前記第２物体上に投影光学系を介して結像転写する投影露光方法において、
２次光源の有効半径をＲ、前記スリットと前記第１物体、若しくはその共役面の光学的な距離をｄ、前記照明光学系の焦点距離をｆ、光源のパルス発振周波数をＦ、走査露光時の前記第１物体の走査速度をＶとするとき、
Ｒ，ｄ，ｆ，Ｆ，Ｖのいずれかのパラメータに応じて走査方向における積算露光強度を一定化するように、残りのパラメータのいずれかを変更することを特徴とする投影露光方法。
【請求項５】  ２ｄＲ／ｆ  ＝  ｎＶ／Ｆ                （ただしｎは整数）
が成立することを特徴とする請求項４記載の投影露光方法。
【請求項６】  請求項４又は５記載の投影露光方法を用いて基板を露光する工程と、該露光された基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の投影露光装置は、照明光学系の光路内のスリットを介してスリット状の照射領域を持つ光を第１物体に照射し、第１物体と第２物体を同期走査して前記第１物体上のパターンを前記第２物体上に投影光学系を介して結像転写する投影露光装置において、
２次光源の有効半径をＲ、前記スリットと前記第１物体、若しくはその共役面の光学的な距離をｄ、前記照明光学系の焦点距離をｆ、光源のパルス発振周波数をＦ、走査露光時の前記第１物体の走査速度をＶとするとき、
Ｒ，ｄ，ｆ，Ｆ，Ｖのいずれかのパラメータに応じて走査方向における積算露光強度を一定化するように、残りのパラメータのいずれかを変更する制御手段を有することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、
２ｄＲ／ｆ  ＝  ｎＶ／Ｆ                （ただしｎは整数）
が成立することを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３の発明のデバイス製造方法は、請求項１又は２記載の投影露光装置を用いて基板を露光する工程と、該露光された基板を現像する工程と、を有することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４の発明の投影露光装置は、照明光学系の光路内のスリットを介してスリット状の照射領域を持つ光を第１物体に照射し、第１物体と第２物体を同期走査して前記第１物体上のパターンを前記第２物体上に投影光学系を介して結像転写する投影露光方法において、
２次光源の有効半径をＲ、前記スリットと前記第１物体、若しくはその共役面の光学的な距離をｄ、前記照明光学系の焦点距離をｆ、光源のパルス発振周波数をＦ、走査露光時の前記第１物体の走査速度をＶとするとき、
Ｒ，ｄ，ｆ，Ｆ，Ｖのいずれかのパラメータに応じて走査方向における積算露光強度を一定化するように、残りのパラメータのいずれかを変更することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、
２ｄＲ／ｆ  ＝  ｎＶ／Ｆ                （ただしｎは整数）
が成立することを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項６の発明のデバイス製造方法は、請求項４又は５記載の投影露光方法を用いて基板を露光する工程と、該露光された基板を現像する工程と、を有することを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】