【手続補正書】
【提出日】平成16年6月3日(2004.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子から出力される光の光軸傾きを検出する光軸傾き検出方法において、
前記発光素子から出力される発光パターンを撮像手段により撮像して、この発光パターンの中心位置を求める第１の発光パターン撮像工程と、
前記発光素子と前記撮像手段との相対距離を変化させる距離変化工程と、
この距離変化工程による前記発光素子と前記撮像手段との相対距離の変化後に、前記発光素子から出力される発光パターンを前記撮像手段により撮像して、この発光パターンの中心位置を求める第２の発光パターン撮像工程と、
前記第１及び第２の発光パターン撮像工程によりそれぞれ求められた各発光パターンの各中心位置及び前記距離変化工程による前記発光素子と前記撮像手段との距離変化量に基づいて前記発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出工程と、
を有することを特徴とする光軸傾き検出方法。
【請求項２】
発光素子から出力される光の光軸傾きを検出する光軸傾き検出装置において、
前記発光素子から出力される発光パターンを撮像する撮像手段と、
前記発光素子と前記撮像手段との相対距離を変化させる距離変化手段と、
この距離変化手段により前記発光素子と前記撮像手段との相対距離を変化させる前後に撮像された第１及び第２の発光パターンの各中心位置を求め、かつこれら発光パターンの各中心位置及び前記距離変化手段による前記発光素子と前記撮像手段との距離変化量に基づいて前記発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出手段と、
を具備したことを特徴とする光軸傾き検出装置。
【請求項３】
前記発光素子は、レーザダイオードであることを特徴とする請求項２記載の光軸傾き検出装置。
【請求項４】
発光素子の光軸傾きを補正してボンディング位置にてボンディングするボンディング方法において、
前記発光素子から出力される発光パターンを撮像手段により撮像して、この発光パターンの中心位置を求める第１の発光パターン撮像工程と、
前記発光素子と前記撮像手段との相対距離を変化させる距離変化工程と、
この距離変化工程による前記発光素子と前記撮像手段との相対距離の変化後に、前記発光素子から出力される発光パターンを前記撮像手段により撮像して、この発光パターンの中心位置を求める第２の発光パターン撮像工程と、
前記第１及び第２の発光パターン撮像工程によりそれぞれ求められた各発光パターンの各中心位置及び前記距離変化工程による前記発光素子と前記撮像手段との距離変化量に基づいて前記発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出工程と、
この光軸傾き算出工程により求められた前記発光素子の光軸傾きに基づいて前記発光素子の姿勢を修正する姿勢修正工程と、
この姿勢修正された前記発光素子の発光点の位置情報を得る位置情報取得工程と、
この位置情報取得工程により得られた前記発光素子の発光点の位置情報に基づいて前記発光素子を前記ボンディング位置に搭載してボンディングするボンディング工程と、
を有することを特徴とするボンディング方法。
【請求項５】
発光素子の光軸傾きを補正してボンディング位置にてボンディングするボンディング装置において、
前記発光素子から出力される発光パターンを撮像する第１の撮像手段と、
前記発光素子と前記撮像手段との相対距離を変化させる距離変化手段と、
この距離変化手段により前記発光素子と前記撮像手段との相対距離を変化させる前後に撮像された第１及び第２の発光パターンの各中心位置を求め、かつこれら発光パターンの各中心位置及び前記距離変化手段による前記発光素子と前記撮像手段との距離変化量に基づいて前記発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出手段と、
この光軸傾き算出手段により求められた前記発光素子の光軸傾きに基づいて前記発光素子の姿勢を修正する姿勢修正手段と、
前記発光素子に対向して配置され、かつ前記発光素子に対して対向方向に移動自在な自動焦点機能を有する第２の撮像手段と、
この第２の撮像手段を前記発光素子に対して対向方向に移動させて姿勢修正された前記発光素子の発光点を撮像して前記発光素子の発光点の位置情報を得る位置情報取得手段と、
前記発光素子を所定位置にボンディングするためのボンディング機構と、
前記位置情報取得手段により得られた前記発光素子の発光点の位置情報に基づいて前記ボンディング機構を駆動制御し、前記発光素子を前記ボンディング位置に搭載してボンディングするボンディング制御手段と、
を具備したことを特徴とするボンディング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項２において、発光素子から出力される光の光軸傾きを検出する光軸傾き検出装置において、
発光素子から出力される発光パターンを撮像する撮像手段と、
発光素子と撮像手段との相対距離を変化させる距離変化手段と、
この距離変化手段により発光素子と撮像手段との相対距離を変化させる前後に撮像された第１及び第２の発光パターンの各中心位置を求め、かつこれら発光パターンの各中心位置及び距離変化手段による発光素子と撮像手段との距離変化量に基づいて発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出手段と、
を備えた光軸傾き検出装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３によれば、請求項２記載の光軸傾き検出装置において、発光素子は、レーザダイオードである。
請求項４によれば、発光素子の光軸傾きを補正してボンディング位置にてボンディングするボンディング方法において、
発光素子から出力される発光パターンを撮像手段により撮像して、この発光パターンの中心位置を求める第１の発光パターン撮像工程と、
発光素子と撮像手段との相対距離を変化させる距離変化工程と、
この距離変化工程による発光素子と撮像手段との相対距離の変化後に、発光素子から出力される発光パターンを撮像手段により撮像して、この発光パターンの中心位置を求める第２の発光パターン撮像工程と、
第１及び第２の発光パターン撮像工程によりそれぞれ求められた各発光パターンの中心位置及び距離変化工程による発光素子と撮像手段との距離変化量に基づいて発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出工程と、
この光軸傾き算出工程により求められた発光素子の光軸傾きに基づいて発光素子の姿勢を修正する姿勢修正工程と、
この姿勢修正された発光素子の発光点の位置情報を得る位置情報取得工程と、
この位置情報取得工程により得られた発光素子の発光点の位置情報に基づいて発光素子をボンディング位置に搭載してボンディングするボンディング工程と、
を有するボンディング方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項５によれば、発光素子の光軸傾きを補正してボンディング位置にてボンディングするボンディング装置において、
発光素子から出力される発光パターンを撮像する第１の撮像手段と、
発光素子と撮像手段との相対距離を変化させる距離変化手段と、
この距離変化手段により発光素子と撮像手段との相対距離を変化させる前後に撮像された第１及び第２の発光パターンの各中心位置を求め、かつこれら発光パターンの各中心位置及び距離変化手段による発光素子と撮像手段との距離変化量に基づいて発光素子から出力される光の光軸傾きを求める光軸傾き算出手段と、
この光軸傾き算出手段により求められた発光素子の光軸傾きに基づいて発光素子の姿勢を修正する姿勢修正手段と、
発光素子に対向して配置され、かつ発光素子に対して対向方向に移動自在な自動焦点機能を有する第２の撮像手段と、
この第２の撮像手段を発光素子に対して対向方向に移動させて姿勢修正された発光素子の発光点を撮像して発光素子の発光点の位置情報を得る位置情報取得手段と、
発光素子を所定位置にボンディングするためのボンディング機構と、
位置情報取得手段により得られた発光素子の発光点の位置情報に基づいてボンディング機構を駆動制御し、発光素子をボンディング位置に搭載してボンディングするボンディング制御手段と、
を備えたボンディング装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明の請求項１によれば、光軸の傾きを正確に検出できる光軸傾き検出方法を提供できる。
又、本発明の請求項２及び３によれば、光軸の傾きを正確に検出できる光軸傾き検出装置を提供できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
又、本発明の請求項４によれば、光軸の傾きを正確に検出して、自動的に、精度高くしかも傷付けることなく位置合わせ及び角度合わせしてボンディングできるボンディング方法を提供できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
又、本発明の請求項５によれば、光軸の傾きを正確に検出して、自動的に、精度高くしかも傷付けることなく位置合わせ及び角度合わせしてボンディングできるボンディング装置を提供できる。