【手続補正書】
【提出日】平成17年8月11日(2005.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器の前記出力端における電気的特性を解析するインピーダンス整合器の出力端特性解析方法であって、
前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを予め取得しておき、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出するとともに、前記出力端の高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出し、前記入力端の検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と前記出力端の検出値と予め取得された前記データとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、
前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に関する情報と、予め取得された前記データと、この取得済のデータを用いて補間演算により算出されるサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報のデータと、前記出力端の検出値とに基づいて解析されることを特徴とする、請求項１に記載のインピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、
前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、
前記出力端から出力される高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出する出力側検出器と、
前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、前記記憶部に記憶されたそのリアクタンス値に対応するインピーダンスに関する情報と前記出力側検出器から検出される高周波電圧もしくは高周波電流とに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部と、
を備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、
前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、
前記出力端から出力される高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出する出力側検出器と、
前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波供給回路と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを入力する入力部と、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報、前記出力側検出器から検出される高周波電圧もしくは高周波電流および前記入力部から入力されるデータに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部と、
を備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
請求項７に記載のインピーダンス整合器において、
予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、前記取得済のデータを用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を算出する補間演算部をさらに備え、
前記解析部は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に対応する前記記憶部に記憶されたインピーダンスに関する情報もしくは前記補間演算部により算出されるインピーダンスに関する情報と前記出力側検出器から検出される高周波電圧もしくは高周波電流とに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とするインピーダンス整合器。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
高周波電源が接続される入力端と、負荷が接続される出力端と、前記入力端と出力端との間に設けられ、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるための少なくとも１の可変リアクタンス素子と、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記出力端から出力される高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出する出力側検出器と、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるべく、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値を調整する制御部と、前記制御部により調整された前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値に関する情報と前記出力側検出器の検出結果とを外部に出力する出力部とを備えたインピーダンス整合器と、
前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、前記インピーダンス整合器の出力部から出力されるリアクタンス値に関する情報を入力する入力部と、前記入力部から入力されるリアクタンス値に関する情報、前記出力端の高周波電圧もしくは高周波電流および前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えた出力端特性解析器と
からなることを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析システム。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の第１の側面によれば、入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器の前記出力端における電気的特性を解析するインピーダンス整合器の出力端特性解析方法であって、前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを予め取得しておき、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出するとともに、前記出力端の高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出し、前記入力端の検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報と前記出力端の検出値と予め取得された前記データとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とするインピーダンス整合器の出力解析方法が提供される（請求項１）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
さらに、予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に関する情報と予め取得された前記データと、この取得済のデータを用いて補間演算により算出されるサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報のデータと、前記出力端の検出値とに基づいて、解析されるようにしてもよい（請求項４）。この場合、前記補間演算は、補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に隣接する少なくとも２個のサンプリング可変値のインピーダンス測定値を用いて比例計算により、前記補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に対するインピーダンスを算出するとよい（請求項５）。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この明細書において、「解析」とは、目的の情報の絶対的あるいは相対的な数値を、与えられた各種の情報に検索や演算などの各種の処理を施すことにより得ることをいう。また、「可変リアクタンス素子のリアクタンス値に関する情報」とは、可変リアクタンス素子のリアクタンス値の他、可変リアクタンス素子のリアクタンス値を可変させるための各種モータの位置情報など、可変リアクタンス素子のリアクタンス値を直接あるいは間接に特定可能な情報をいう。また、「インピーダンス整合器の出力インピーダンスに関する情報」とは、インピーダンス整合器の出力インピーダンス値の他、インピーダンス整合器の出力端から負荷側を見たインピーダンス値など、インピーダンス整合器の出力インピーダンス値を直接あるいは間接に特定可能な情報をいう。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の第２の側面によれば、入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記出力端から出力される高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出する出力側検出器と、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、前記記憶部に記憶されたそのリアクタンス値に対応するインピーダンスに関する情報と前記出力側検出器から検出される高周波電圧もしくは高周波電流とに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えたことを特徴とする、インピーダンス整合器が提供される（請求項７）。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の第３の側面によれば、入力端と出力端との間に少なくとも１の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器であって、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記出力端から出力される高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出する出力側検出器と、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて前記可リアクタンス素子のリアクタンス値を調整することにより前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる制御部と、前記入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを入力する入力部と、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値に関する情報、前記出力側検出器から検出される高周波電圧もしくは高周波電流および前記入力部から入力されるデータに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えたことを特徴とするインピーダンス整合器が提供される（請求項８）。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
さらに、予め取得される前記データは、前記可変リアクタンス素子の変更可能な値の一部をサンプリングし、そのサンプリング値を順次変化させつつ、各サンプリング可変値における前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を測定したもので、前記取得済のデータを用いて補間演算によりサンプリングされなかった前記可変リアクタンス素子の残りの可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報を算出する補間演算部をさらに備え、前記解析部は、前記可変リアクタンス素子の前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるリアクタンス値に対応する前記記憶部に記憶されたインピーダンスに関する情報もしくは前記補間演算部により算出されるインピーダンスに関する情報と前記出力側検出器から検出される高周波電圧もしくは高周波電流とに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析するようにしてもよい（請求項１１）。この場合、前記補間演算は、補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に隣接する少なくとも２個のサンプリング可変値のインピーダンス測定値を用いて比例計算により、前記補間すべき可変リアクタンス素子の可変値に対するインピーダンスを算出するとよい（請求項１２）。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明の第４の側面によれば、高周波電源が接続される入力端と、負荷が接続される出力端と、前記入力端と出力端との間に設けられ、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるための少なくとも１の可変リアクタンス素子と、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出する入力側検出器と、前記出力端から出力される高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出する出力側検出器と、前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させるべく、前記入力側検出器からの検出情報に基づいて、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値を調整する制御部と、前記制御部により調整された前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値に関する情報と前記出力側検出器の検出結果とを外部に出力する出力部とを備えたインピーダンス整合器と、前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で、予め測定された前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを記憶する記憶部と、前記インピーダンス整合器の出力部から出力されるリアクタンス値に関する情報を入力する入力部と、前記入力部から入力されるリアクタンス値に関する情報、前記出力端の高周波電圧もしくは高周波電流および前記記憶部に記憶されたデータとに基づいて前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析する解析部とを備えた出力端特性解析器とからなることを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析システムが提供される（請求項１５）。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本発明によれば、インピーダンス整合器の入力端に高周波電源を接続するとともに、出力端に負荷を接続し、高周波電源から高周波電力が出力されると、入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流が検出されるとともに、前記出力端の高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方が検出され、入力端の検出情報に基づいて可変リアクタンス素子のリアクタンス値が高周波電源と負荷とのインピーダンスを整合させるように調整される。そして、その調整されたリアクタンス値に関する情報と出力端の検出値と記憶部に記憶されたデータとに基づいて、インピーダンス整合器の出力端における電気的特性（インピーダンス整合器の出力端における出力インピーダンスもしくは負荷のインピーダンスなどの電気的特性）が解析される。そして、その解析結果は外部にモニタ出力される。