【手続補正書】
【提出日】平成17年8月11日(2005.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】試料研磨装置、及び研磨方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に、試料を研磨する研磨室と研磨された試料を洗浄する洗浄室とを、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設し、前記隔壁に形成された搬出入口を経てロード室に搬入される試料を、研磨室での研磨及び洗浄室での洗浄を経てロード室に戻し、前記搬出入口を経てクリーンルームに搬出する構成とした試料研磨装置において、
前記ロード室、研磨室及び洗浄室の夫々に付設され、これらの室内にクリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を各別に供給する給気手段を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項２】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に、試料を研磨する研磨室と研磨された試料を洗浄する洗浄室とを、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設し、前記隔壁に形成された搬出入口を経てロード室に搬入される試料を、研磨室での研磨及び洗浄室での洗浄を経てロード室に戻し、前記搬出入口を経てクリーンルームに搬出する構成とした試料研磨装置において、
前記ロード室、研磨室及び洗浄室の夫々に付設され、これらの室内を各別に強制排気する排気手段を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項３】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に、試料を研磨する研磨室と研磨された試料を洗浄する洗浄室とを、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設し、前記隔壁に形成された搬出入口を経てロード室に搬入される試料を、研磨室での研磨及び洗浄室での洗浄を経てロード室に戻し、前記搬出入口を経てクリーンルームに搬出する構成とした試料研磨装置において、
前記ロード室、研磨室及び洗浄室の内圧を、前記クリーンルームの内圧よりも低く、ロード室、洗浄室、研磨室の順に低くなるように制御する圧力制御手段を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項４】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置において、
クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記ロード室の内部に供給して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入する手段と、
クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記研磨室へ供給して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨する手段と、
クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記洗浄室へ供給して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄する手段と、
前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出する手段と
を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項５】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置において、
前記ロード室の室内を強制排気して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入する手段と、
前記研磨室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨する手段と、
前記洗浄室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄する手段と、
前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出する手段と
を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項６】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置において、
前記ロード室の内圧を前記クリーンルームの内圧より低くして、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入する手段と、
前記研磨室の内圧を前記ロード室の内圧より低くして、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨する手段と、
前記洗浄室の内圧を前記ロード室の内圧より低く且つ前記研磨室の内圧より高くして、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄する手段と、
前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出する手段と
を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項７】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置で試料を研磨する研磨方法において、
クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記ロード室の内部に供給して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入し、
クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記研磨室へ供給して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨し、
クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記洗浄室へ供給して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄し、
前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出することを特徴とする研磨方法。
【請求項８】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置で試料を研磨する研磨方法において、
前記ロード室の室内を強制排気して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入し、
前記研磨室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨し、
前記洗浄室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄し、
前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出することを特徴とする研磨方法。
【請求項９】
一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置で試料を研磨する研磨方法において、
前記ロード室の内圧を前記クリーンルームの内圧より低くして、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入し、
前記研磨室の内圧を前記ロード室の内圧より低くして、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨し、
前記洗浄室の内圧を前記ロード室の内圧より低く且つ前記研磨室の内圧より高くして、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄し、
前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出することを特徴とする研磨方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の試料の表面研磨に使用される試料研磨装置に関し、特に、クリーンルーム内に設置して用いられる試料研磨装置、及び研磨方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は斯かる事情を鑑みてなされたものであり、クリーンルームとの間での試料の直接的な搬出入を、クリーンルームの内部環境の汚染を招くことなく実現でき、クリーンルームの内部への配置、又はクリーンルームの内部と連通させた配置が可能となり、半導体装置の生産性の向上に寄与することができる試料研磨装置、及び研磨方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１発明に係る試料研磨装置は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に、試料を研磨する研磨室と研磨された試料を洗浄する洗浄室とを、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設し、前記隔壁に形成された搬出入口を経てロード室に搬入される試料を、研磨室での研磨及び洗浄室での洗浄を経てロード室に戻し、前記搬出入口を経てクリーンルームに搬出する構成とした試料研磨装置において、前記ロード室、研磨室及び洗浄室の夫々に付設され、これらの室内にクリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を各別に供給する給気手段を具備することを特徴とする。
また、第４発明に係る試料研磨装置は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置において、クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記ロード室の内部に供給して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入する手段と、クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記研磨室へ供給して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨する手段と、クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記洗浄室へ供給して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄する手段と、前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出する手段とを具備することを特徴とする。
さらに、第７発明に係る研磨方法は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置で試料を研磨する研磨方法において、クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記ロード室の内部に供給して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入し、クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記研磨室へ供給して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨し、クリーンルームの内部と同等の清浄度を有する空気を前記洗浄室へ供給して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄し、前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また第２発明に係る試料研磨装置は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に、試料を研磨する研磨室と研磨された試料を洗浄する洗浄室とを、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設し、前記隔壁に形成された搬出入口を経てロード室に搬入される試料を、研磨室での研磨及び洗浄室での洗浄を経てロード室に戻し、前記搬出入口を経てクリーンルームに搬出する構成とした試料研磨装置において、前記ロード室、研磨室及び洗浄室の夫々に付設され、これらの室内を各別に強制排気する排気手段を具備することを特徴とする。
さらに、第５発明に係る試料研磨装置は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置において、前記ロード室の室内を強制排気して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入する手段と、前記研磨室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨する手段と、前記洗浄室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄する手段と、前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出する手段とを具備することを特徴とする。
さらにまた、第８発明に係る研磨方法は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置で試料を研磨する研磨方法において、前記ロード室の室内を強制排気して、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入し、前記研磨室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨し、前記洗浄室の室内を強制排気して、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄し、前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
更に第３発明に係る試料研磨装置は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に、試料を研磨する研磨室と研磨された試料を洗浄する洗浄室とを、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設し、前記隔壁に形成された搬出入口を経てロード室に搬入される試料を、研磨室での研磨及び洗浄室での洗浄を経てロード室に戻し、前記搬出入口を経てクリーンルームに搬出する構成とした試料研磨装置において、前記ロード室、研磨室及び洗浄室の内圧を、前記クリーンルームの内圧よりも低く、ロード室、洗浄室、研磨室の順に低くなるように制御する圧力制御手段を具備することを特徴とする。
また、第６発明に係る試料研磨装置は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置において、前記ロード室の内圧を前記クリーンルームの内圧より低くして、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入する手段と、前記研磨室の内圧を前記ロード室の内圧より低くして、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨する手段と、前記洗浄室の内圧を前記ロード室の内圧より低く且つ前記研磨室の内圧より高くして、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄する手段と、前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出する手段とを具備することを特徴とする。
さらに、第９発明に係る研磨方法は、一側の隔壁を介してクリーンルームに隣接するロード室の他側に研磨室及び洗浄室を、各室間に開閉自在に設けたゲート部を介して試料の授受可能に連設した試料研磨装置で試料を研磨する研磨方法において、前記ロード室の内圧を前記クリーンルームの内圧より低くして、前記隔壁に形成された搬出入口を経てクリーンルームから前記ロード室へ試料を搬入し、前記研磨室の内圧を前記ロード室の内圧より低くして、前記ゲート部を経て前記ロード室から前記研磨室へ搬入した試料を研磨し、前記洗浄室の内圧を前記ロード室の内圧より低く且つ前記研磨室の内圧より高くして、前記ゲート部を経て前記研磨室から前記洗浄室へ搬入した試料を洗浄し、前記ゲート部を経て前記洗浄室から前記ロード室へ搬入した試料を前記搬出入口を経てクリーンルームへ搬出することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
【発明の効果】
以上詳述した如く本発明の第１、４、７発明においては、ロード室、研磨室及び洗浄室の夫々に清浄空気を給気する給気手段を備えたから、各室の清浄度が他室の影響を受けることなく可及的に高められ、ロード室とこれに隣接するクリーンルームとの間での試料の直接的な搬出入を、該クリーンルームの内部環境を汚染することなく実現できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また第２、５、８発明においては、ロード室、研磨室、洗浄室の夫々に排気手段を付設し、これらにより各室の内部を各別に強制排気する構成としたから、試料と共に生じる各室間での微粒子の移行を防止して、各室内部の清浄度を他室の影響を受けることなく高めることができ、ロード室とこれに隣接するクリーンルームとの間での試料の直接的な搬出入を、該クリーンルームの内部環境を汚染することなく実現できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
更に第３、６、９発明においては、ロード室、研磨室、洗浄室の内圧が、クリーンルームの内圧よりも低く保ち、ロード室、洗浄室、研磨室の順に低くなるように制御したから、各室の内圧が、微粒子の含有率が高い順に高くなり、各室間での試料の移行に際し、清浄度の高い室から清浄度の低い室への微粒子の漏れ出しを抑制することができ、ロード室とこれに隣接するクリーンルームとの間での試料の直接的な搬出入を、該クリーンルームの内部環境を汚染することなく実現できる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
これにより本発明は、クリーンルームの内部への配置、又はクリーンルームの内部と連通させた配置が可能となり、半導体装置の生産性の向上に寄与することができる等、本発明は優れた効果を奏する。