【手続補正書】
【提出日】平成16年10月20日(2004.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部と基端部を有するプローブと、
観測装置本体と、
画像表示装置と、
サンプルに照射するための照明光を発生する光源と、
前記照明光に照射されサンプルから戻ってくる検出光を検出する光検出手段とを備えた光走査型観測装置であって、
前記プローブは、光伝送路と、
前記先端部に配置される対物光学系と、
前記検出光の少なくとも一部を前記照明光から分離する検出光分離手段と、
前記照明光をサンプルに対して走査するスキャナとを具備し、
前記検出光分離手段は前記プローブ内に配置されており、
前記プローブは前記プローブ基端部で前記観測装置本体に対して着脱自在であることを特徴とする光走査型観測装置。
【請求項２】
前記光分離手段は前記プローブ基端部近傍に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光走査型観測装置。
【請求項３】
前記検出光分離手段は、一部の光を透過し、一部の光を反射する部分透過反射材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査型観測装置。
【請求項４】
前記光伝送路は光ファイバで、前記光ファイバは前記照明光の波長においてシングルモードで動作することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の光走査型観測装置。
【請求項５】
前記光伝送路は光ファイバで、前記光ファイバは前記照明光の波長においてマルチモードで動作することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の光走査型観測装置。
【請求項６】
前記検出光分離手段と前記光検出器の間および前記光分離手段と前記光源との間にそれぞれ別の光ファイバが設けられていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の光走査型観測装置。
【請求項７】
前記観測装置本体は、前記光源と前記光検出手段とを少なくとも具備していることを特徴とする請求項６に記載の光走査型観測装置。
【請求項８】
前記検出光分離手段と前記光検出器の間に光ファイバを設けたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の光走査型観測装置。
【請求項９】
前記観測装置本体は、少なくとも前記光検出手段を具備し、前記光源は前記光分離手段に光学的に接続されるよう前記プローブ内の基端部近傍に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の光走査型観測装置。
【請求項１０】
前記光分離手段と前記光源との間に光ファイバを設けたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の光走査型観測装置。
【請求項１１】
前記観測装置本体は、少なくとも前記光源を具備し、前記光検出手段は前記プローブ内の基端部近傍で前記光分離手段に光学的に接続されるよう配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の光走査型観測装置。
【請求項１２】
前記光伝送路に偏光特性変換手段を設け、かつ前記検出光分離手段は、偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項３に記載の光走査型観測装置。
【請求項１３】
前記偏光特性変換手段は、前記光伝送路に応力をかけたものであることを特徴とする請求項１２に記載の光走査型観測装置。
【請求項１４】
前記対物光学系中に光伝送路にλ／４板を設けられ、かつ前記光伝送路は偏波面保持光ファイバ、前記検出光分離手段は偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項３に記載の光走査型観測装置。
【請求項１５】
前記光分離手段はファイバ光カップラで、前記光伝送手段は光ファイバであることを特徴とする請求項２に記載の光走査型観測装置。
【請求項１６】
ファイバ光カップラの少なくとも１つの端面に無反射終端を設けたことを特徴とする請求項１５に記載の光走査型観測装置。
【請求項１７】
前記光伝送路に用いられる前記光ファイバの開口数または前記対物光学系の光伝送路側の開口数のうちどちらか小さいほうの開口数をNA'、照明光波長をλ、前記ファイバのコア直径をφとすると、
φ＜１．２λ／NA'
であることを特徴とする請求項４または５に記載の光走査型観測装置。
【請求項１８】
前記対物光学系は、準共焦点光学系であることを特徴とする請求項４または５に記載の光走査型観測装置。
【請求項１９】
前記光伝送路に用いられる前記光ファイバの開口数または前記対物光学系の光伝送路側の開口数のうちどちらか小さい方の開口数をNA’、照明光波長をλ、前記ファイバのコア直径をφとすると、
２λ／NA'＜φ＜３．６λ／NA'
であることを特徴とする請求項１８に記載の光走査型観測装置。
【請求項２０】
先端部と基端部を有するプローブと、
観測装置本体と、
画像表示装置と、
低コヒーレンス光を発生する光源と、
前記光源で発生した光を参照光とサンプルを照明する照明光に分離する光分離手段と、
前記サンプルから戻ってくる検出光を前記参照光と合成して干渉光を発生させる光合成手段と、
前記干渉光を検出する光検出手段と、
前記参照光、照明光及び検出光のうち、少なくとも１つの光の位相を変調させる位相変化手段とを備えた光走査型観測装置であって、
前記プローブは、前記照明光と検出光を伝送するサンプル光伝送路と、前記参照光を伝送する参照光伝送路と、
前記先端部に配置される対物光学系と、
前記照明光をサンプルに対して走査するスキャナとを具備し、
前記光分離手段及び前記光合成手段は前記プローブ内に配置されており、
前記プローブは前記プローブ基端部で前記観測装置本体に対して着脱自在であることを特徴とする光走査型観測装置。
【請求項２１】
前記光分離手段および前記光合成手段はシングルモードファイバ光カップラであることを特徴とする請求項２０に記載の光走査型観測装置。
【請求項２２】
前記参照光が通過する参照光路中に光路長を調整する機構を設けたことを特徴とする請求項２０または２１に記載の光走査型観測装置。
【請求項２３】
前記参照光が通過する参照光路の終端部に反射手段を設けたことを特徴とする請求項２０乃至２２の何れかに記載の光走査型観測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明による光走査型観測装置は、先端部と基端部を有するプローブと、観測装置本体と、画像表示装置と、サンプルに照射するための照明光を発生する光源と、前記照明光に照射されサンプルから戻ってくる検出光を検出する光検出手段とを備えた光走査型観測装置であって、前記プローブは、光伝送路と、前記先端部に配置される対物光学系と、前記検出光の少なくとも一部を前記照明光から分離する検出光分離手段と、前記照明光をサンプルに対して走査するスキャナとを具備し、前記検出光分離手段は前記プローブ内に配置されており、前記プローブは前記プローブ基端部で前記観測装置本体に対して着脱自在であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光分離手段は前記プローブ基端部近傍に配置されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明による光走査型観測装置は、前記検出光分離手段は、一部の光を透過し、一部の光を反射する部分透過反射材であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光伝送路は光ファイバで、前記光ファイバは前記照明光の波長においてシングルモードで動作することを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光伝送路は光ファイバで、前記光ファイバは前記照明光の波長においてマルチモードで動作することを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記検出光分離手段と前記光検出器の間および前記光分離手段と前記光源との間にそれぞれ別の光ファイバが設けられていることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記観測装置本体が、前記光源と前記光検出手段とを少なくとも具備していることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記検出光分離手段と前記光検出器の間に光ファイバを設けたことを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記観測装置本体は、少なくとも前記光検出手段を具備し、前記光源は前記光分離手段に光学的に接続されるよう前記プローブ内の基端部近傍に配置されていることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光分離手段と前記光源との間に光ファイバを設けたことを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記観測装置本体が、少なくとも前記光源を具備し、前記光検出手段が前記プローブ内の基端部近傍で前記光分離手段に光学的に接続されるよう配置されていることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光伝送路に偏光特性変換手段を設け、かつ前記検出光分離手段は、偏光ビームスプリッタであることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記偏光特性変換手段が、前記光伝送路に応力をかけたものであることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記対物光学系中に光伝送路にλ／４板を設けられ、かつ前記光伝送路は偏波面保持光ファイバ、前記検出光分離手段が偏光ビームスプリッタであることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光分離手段はファイバ光カップラで、前記光伝送手段は光ファイバであることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、ファイバ光カップラの少なくとも１つの端面に無反射終端を設けたことを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光伝送路に用いられる前記光ファイバの開口数または前記対物光学系の光伝送路側の開口数のうちどちらか小さいほうの開口数をNA'、照明光波長をλ、前記ファイバのコア直径をφとすると、
φ＜１．２λ／NA'
であることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記対物光学系は、準共焦点光学系であることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光伝送路に用いられる前記光ファイバの開口数または前記対物光学系の光伝送路側の開口数のうちどちらか小さい方の開口数をNA’、照明光波長をλ、前記ファイバのコア直径をφとすると、
２λ／NA'＜φ＜３．６λ／NA'
であることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、先端部と基端部を有するプローブと、観測装置本体と、画像表示装置と、低コヒーレンス光を発生する光源と、前記光源で発生した光を参照光とサンプルを照明する照明光に分離する光分離手段と、前記サンプルから戻ってくる検出光を前記参照光と合成して干渉光を発生させる光合成手段と、前記干渉光を検出する光検出手段と、前記参照光、照明光及び検出光のうち、少なくとも１つの光の位相を変調させる位相変化手段とを備えた光走査型観測装置であって、前記プローブは、前記照明光と検出光を伝送するサンプル光伝送路と、前記参照光を伝送する参照光伝送路と、前記先端部に配置される対物光学系と、前記照明光をサンプルに対して走査するスキャナとを具備し、前記光分離手段及び前記光合成手段は前記プローブ内に配置されており、前記プローブは前記プローブ基端部で前記観測装置本体に対して着脱自在であることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記光分離手段および前記光合成手段はシングルモードファイバ光カップラであることを特徴とする。
また、本発明による光走査型観測装置は、前記参照光が通過する参照光路中に光路長を調整する機構を設けたことを特徴とする。
更に、本発明による光走査型観測装置は、前記参照光が通過する参照光路の終端部に反射手段を設けたことを特徴とする。