(57)【要約】  信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部とを備え、コネクタ部は、ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、信号線と電気的に接触する信号端子と、端子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部と電気的に接触する接地端子と、ケーブル部の端部、信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを有する同軸ケーブルユニットを提供する。
2008072322.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、
前記ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部と
を備え、
前記コネクタ部は、
前記ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、前記信号線と電気的に接触する信号端子と、
前記端子延伸方向に延伸して設けられ、前記シールド部と電気的に接触する接地端子と、
前記ケーブル部の端部、前記信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジングと
を有する同軸ケーブルユニット。
【請求項２】
前記信号端子は、前記端子延伸方向に延伸する側面が、前記信号線の外周と電気的に接触し、
前記接地端子は、前記端子延伸方向に延伸する側面が、前記シールド部の外周と電気的に接触する
請求項１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項３】
前記ケーブル延伸方向と略垂直な前記ケーブル部の断面において、前記ケーブル部の中心の位置と、前記信号端子及び前記信号線の接触点を前記断面に投影した位置と、前記接地端子及び前記シールド部の接触点を前記断面に投影した位置とが、略一直線となるように前記信号端子及び前記接地端子を設けた
請求項２に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項４】
前記ハウジングの内部において、前記信号端子及び前記接地端子の少なくとも一方を湾曲させて設けた
請求項１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項５】
前記接地端子は、
前記シールド部の外周と電気的に接触し、前記ハウジングの内部から前記ハウジングの外部まで、前記端子延伸方向に延伸して設けられた第１の接触部と、
前記第１の接触部の前記ハウジングの内部における端部から、前記端子延伸方向及び前記ケーブル延伸方向の双方に垂直な方向に、前記ハウジングの内部において延伸して設けられ、前記シールド部の外周と電気的に接触する第２の接触部と、
前記第２の接触部の、前記第１の接触部側でない端部から、前記端子延伸方向に、前記ハウジングの内部において延伸して設けられ、前記シールド部の外周と電気的に接触する第３の接触部と
を有する請求項２に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項６】
前記ハウジングの外部において、前記接地端子が２つ表出するように設け、前記ハウジングの外部において、前記信号端子を前記接地端子の間に設けた
請求項１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項７】
前記ハウジングは、前記信号端子及び前記接地端子が突出する面の少なくとも一辺に切り欠きを有する
請求項１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項８】
前記ハウジングの表面が導電材料でメッキされている
請求項１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項９】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを載置するソケットボードと、
前記被試験デバイスに供給する試験信号を生成する本体部と、
前記本体部から前記ソケットボードに前記試験信号を伝送する同軸ケーブルユニットと
を備え、
前記同軸ケーブルユニットは、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、
前記ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部と
を有し、
前記コネクタ部は、
前記ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、前記信号線と電気的に接触する信号端子と、
前記端子延伸方向に延伸して設けられ、前記シールド部と電気的に接触する接地端子と、
前記ケーブル部の端部、前記信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジングと
を含む試験装置。
【請求項１０】
前記ソケットボードは、前記試験信号を受け取る複数のサブボードを有し、
それぞれのサブボードは、前記信号端子及び前記接地端子が挿入される受側端子が表面に設けられ、且つ隣接する前記サブボードの表面と裏面とが対向して設けられる
請求項９に記載の試験装置。
【請求項１１】
信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド部を有する第１ケーブル部及び第２ケーブル部と、
前記第１ケーブル部及び前記第２ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ部と
を備え、
前記コネクタ部は、
前記第１ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第１信号端子と、
前記第２ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第２信号端子と、
前記第１ケーブル部の前記シールド部、及び前記第２ケーブル部の前記シールド部の双方に電気的に接触し、且つ前記第１信号端子及び前記第２信号端子の間に設けられる接地端子と、
前記第１ケーブル部の端部、前記第２ケーブル部の端部、前記第１信号端子、前記第２信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジングと
を有する同軸ケーブルユニット。
【請求項１２】
前記第１ケーブル部及び前記第２ケーブル部は、前記ハウジングに略平行に挿入され、
前記第１ケーブル部の前記シールド部、及び前記第２ケーブル部の前記シールド部は、前記接地端子を挟んで設けられ、
前記第１ケーブル部の前記信号線は、前記ハウジングの内部において、前記第１ケーブル部の挿入方向に対して略垂直な方向に延伸して前記第１信号端子と接触し、
前記第２ケーブル部の前記信号線は、前記ハウジングの内部において、前記第１ケーブル部の前記信号線と逆方向に延伸して前記第２信号端子と接触する
請求項１１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項１３】
前記ハウジングの表面が導電材料でメッキされている
請求項１１に記載の同軸ケーブルユニット。
【請求項１４】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを載置するソケットボードと、
前記被試験デバイスに供給する試験信号を生成する本体部と、
前記本体部から前記ソケットボードに前記試験信号を伝送する同軸ケーブルユニットと
を備え、
前記同軸ケーブルユニットは、
信号線、前記信号線の外周を覆う絶縁部、及び前記絶縁部の外周を覆うシールド部を有する第１ケーブル部及び第２ケーブル部と、
前記第１ケーブル部及び前記第２ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ部と
を有し、
前記コネクタ部は、
前記第１ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第１信号端子と、
前記第２ケーブル部の前記信号線と電気的に接触する第２信号端子と、
前記第１ケーブル部の前記シールド部、及び前記第２ケーブル部の前記シールド部の双方に電気的に接触する接地端子と、
前記第１ケーブル部の端部、前記第２ケーブル部の端部、前記第１信号端子、前記第２信号端子、及び前記接地端子を固定するハウジングと
を含む試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同軸ケーブルユニット及び当該同軸ケーブルユニットを用いた試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置において、同軸ケーブルにより信号を伝送することが考えられる。例えば試験装置は、被試験デバイスを載置するソケットボードと、被試験デバイスに供給すべき試験信号を生成する本体部とを備え、ソケットボードと本体部との狭い空間には、数千本以上にも及ぶ同軸ケーブルを用いることが考えられる。【０００３】
ソケットボードに同軸ケーブルを接続する場合、半田付けにより同軸ケーブルを固定することが考えられる。例えば、ソケットボードの複数の端子に、それぞれ同軸ケーブルを半田付けすることが考えられる。尚、関連する先行技術文献として、以下の特許文献がある。
【特許文献１】特開平８−３１４７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ソケットボードには、数千本以上にも及び同軸ケーブルの端子が狭ピッチで設けられているので、絶縁を保って同軸ケーブルを半田付けするが難しくなっている。このため、これらの端子に同軸ケーブルをそれぞれ半田付けすることは熟練を要する。【０００５】
また、同軸ケーブルを半田付けした後に、接続不安定、隣接間のショート等の不具合が発生した場合、特定の同軸ケーブルだけを取り外すことが困難である。このため、特定の同軸ケーブルの交換等を行う場合に、周辺の同軸ケーブルも取り外す必要がある。【０００６】
また、ソケットボードは、複数のサブボードを有する場合がある。この場合、複数のサブボードは、それぞれの面が対向するように並列に設けられる。そして、それぞれのサブボードの表面に設けられたスルーホール等に同軸ケーブルの信号線が挿入されて半田付けされる。【０００７】
しかし、同軸ケーブルの信号線をサブボード表面に挿入して半田付けした場合、それぞれのサブボードを狭ピッチで並列に配置することが困難である。つまり、サブボード表面に対して略垂直に同軸ケーブルを挿入するので、サブボードの外部に同軸ケーブルを引き回すべく、同軸ケーブルをサブボード表面と略平行な方向に９０度曲げる必要がある。このため、当該曲げ部分に応じて、隣接するサブボードとの間隔を広くする必要がある。【０００８】
このため本発明の一つの側面においては、上述した課題を解決することのできる同軸ケーブルユニット、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部とを備え、コネクタ部は、ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、信号線と電気的に接触する信号端子と、端子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部と電気的に接触する接地端子と、ケーブル部の端部、信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを有する同軸ケーブルユニットを提供する。【００１０】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを載置するソケットボードと、被試験デバイスに供給する試験信号を生成する本体部と、本体部からソケットボードに試験信号を伝送する同軸ケーブルユニットとを備え、同軸ケーブルユニットは、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有するケーブル部と、ケーブル部の端部に設けられたコネクタ部とを有し、コネクタ部は、ケーブル部が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、信号線と電気的に接触する信号端子と、端子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部と電気的に接触する接地端子と、ケーブル部の端部、信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを含む試験装置を提供する。【００１１】
本発明の第３の形態においては、信号を伝送する同軸ケーブルユニットであって、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有する第１ケーブル部及び第２ケーブル部と、第１ケーブル部及び第２ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ部とを備え、コネクタ部は、第１ケーブル部の信号線と電気的に接触する第１信号端子と、第２ケーブル部の信号線と電気的に接触する第２信号端子と、第１ケーブル部のシールド部、及び第２ケーブル部のシールド部の双方に電気的に接触し、且つ第１信号端子及び第２信号端子の間に設けられる接地端子と、第１ケーブル部の端部、第２ケーブル部の端部、第１信号端子、第２信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを有する同軸ケーブルユニットを提供する。【００１２】
本発明の第４の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを載置するソケットボードと、被試験デバイスに供給する試験信号を生成する本体部と、本体部からソケットボードに試験信号を伝送する同軸ケーブルユニットとを備え、同軸ケーブルユニットは、信号線、信号線の外周を覆う絶縁部、及び絶縁部の外周を覆うシールド部を有する第１ケーブル部及び第２ケーブル部と、第１ケーブル部及び第２ケーブル部の端部に共通に設けられたコネクタ部とを有し、コネクタ部は、第１ケーブル部の信号線と電気的に接触する第１信号端子と、第２ケーブル部の信号線と電気的に接触する第２信号端子と、第１ケーブル部のシールド部、及び第２ケーブル部のシールド部の双方に電気的に接触する接地端子と、第１ケーブル部の端部、第２ケーブル部の端部、第１信号端子、第２信号端子、及び接地端子を固定するハウジングとを含む試験装置を提供する。【００１３】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る同軸ケーブルユニット１００の一例を示す図である。図１（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の側面図の一例を示す図であり、図１（ｂ）は、同軸ケーブルユニット１００の下面図の一例を示す図である。
【図２】コネクタ部５０の内部構造の一例を示す図である。図２（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の側面から見たコネクタ部５０の内部構造の一例を示す図であり、図２（ｂ）は、同軸ケーブルユニット１００の下面から見たコネクタ部５０の内部構造の一例を示す図である。
【図３】コネクタ部５０の断面の一例を示す図である。図３（ａ）は、図２（ａ）におけるＡ−Ａ'断面を示す図であり、図３（ｂ）は、図２（ａ）におけるＢ−Ｂ'断面を示す図である。
【図４】接地端子５４の他の例を示す図である。
【図５】コネクタ部５０の他の例を示す図である。図５（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の下面図の一例を示す図であり、図５（ｂ）は、コネクタ部５０の内部構造の下面図の一例を示す図であり、図５（ｃ）は、コネクタ部５０の断面の一例を示す図である。
【図６】同軸ケーブルユニット１００の他の例を示す図である。図６（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の下面図の一例を示す図であり、図６（ｂ）は、コネクタ部５０の断面の一例を示す図である。
【図７】ハウジング５２の構造の一例を示す図である。
【図８】被試験デバイス３００を試験する試験装置２００の構成の一例を示す図である。図８（ａ）は、試験装置２００の構成例の概略を示す図であり、図８（ｂ）は、ソケットボード１１０と同軸ケーブルユニット１００との接続例を示す図である。
【図９】同軸ケーブルユニット１００の他の構造例を示す図である。図９（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の上面図の一例を示す図であり、図９（ｂ）は、同軸ケーブルユニット１００の正面図の一例を示す図であり、図９（ｃ）は、同軸ケーブルユニット１００の側面図の一例を示す図である。
【図１０】コネクタ部５０の内部構造の一例を示す図である。
【図１１】試験装置２００の他の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００１５】
１０・・・ケーブル部、１２・・・シールド部、１４・・・絶縁部、１６・・・信号線、５０・・・コネクタ部、５２・・・ハウジング、５４・・・接地端子、５６・・・信号端子、５８、６２・・・膨張部、６０・・・接地接触部、６４・・・信号接触部、６６、６８・・・側面、７０・・・第１の接触部、７２・・・第２の接触部、７４・・・第３の接触部、８０・・・切り欠き、８２、８４・・・端子孔、１００・・・同軸ケーブルユニット、１１０・・・ソケットボード、１１２・・・サブボード、１２０・・・本体部、１５０・・・端子部材、１５２・・・共通部、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明の一つの側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１７】
図１は、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルユニット１００の一例を示す図である。図１（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の側面図の一例を示す図であり、図１（ｂ）は、同軸ケーブルユニット１００の下面図の一例を示す図である。図１に示すように、同軸ケーブルユニット１００は、ケーブル部１０及びコネクタ部５０を備える。【００１８】
ケーブル部１０は、信号を伝送する。ケーブル部１０は、信号を伝送する信号線、信号線の周囲に設けられたシールド部、信号線とシールド部との間に設けられた絶縁部、及びシールド部を被覆するシースを有してよい。ケーブル部１０は、例えば同軸ケーブルであってよい。コネクタ部５０は、ケーブル部１０の端部に設けられ、ケーブル部１０が伝送した信号を外部に伝送する。例えば、ケーブル部１０は、信号を伝送すべき方向に延伸して設けられており、ケーブル部１０の端部とは、信号を伝送する方向における、ケーブル部１０の一端であってよい。コネクタ部５０は、信号端子５６、接地端子５４、及びハウジング５２を有する。【００１９】
接地端子５４は、プレスフィット型の端子であり、ケーブル部１０が延伸するケーブル延伸方向に対して略垂直な端子延伸方向に延伸して設けられ、ケーブル部１０のシールド部と接触する。信号端子５６は、プレスフィット型の端子であり、端子延伸方向に延伸して設けられ、ケーブル部１０の信号線と接触する。ハウジング５２は、ケーブル部１０の端部を保持固定して、信号端子５６、及び接地端子５４を所定の配設位置で保持固定する。ハウジング５２は、例えば樹脂、液晶ポリマ等の絶縁材料で形成されてよい。また、ハウジング５２は、ハウジング５２が形成されるべき領域に、当該絶縁材料を充填することにより形成されてよい。【００２０】
ハウジング５２は、例えば信号端子５６と接地端子５４とがケーブル部１０に接続された状態のものを実装可能な開口部位を備えた箱型の形状としてよい。また、ハウジング５２は、樹脂等を当該形状に充填硬化することにより形成してよい。また、ハウジング５２は、例えばハウジング５２の外形を有する金型に、ケーブル部１０に接続された信号端子５６及び接地端子５４を実装してよい。そして、当該金型に樹脂等を充填硬化させた後、当該金型から離型して形成してもよい。これにより、ハウジング５２の厚みは、ケーブル部１０の直径に対してわずかに厚くなる程度で済む。このため、狭い空間に高密度で圧入して実装することができ、且つ、個別に取り外すことも容易にできる。【００２１】
また、信号端子５６及び接地端子５４は、導電材料で形成される。信号端子５６及び接地端子５４は、金属の板材をプレス加工して形成してよい。また、信号端子５６及び接地端子５４の一方又は双方の端子形状は、ケーブル部１０の同軸ケーブルの特性インピーダンス、例えば５０オームに近づくように、端子形状を形成することが望ましい。【００２２】
尚、ケーブル部１０は、湾曲可能な同軸ケーブルであってよい。この場合、ケーブル延伸方向とは、ケーブル部１０の端部における延伸方向であってよい。例えばケーブル延伸方向とは、ケーブル部１０がコネクタ部５０に挿入されている方向であってよい。また、ハウジング５２は、ほぼ直方体の形状であってよい。ケーブル部１０は、ハウジング５２のいずれかの面に対して垂直なケーブル延伸方向に延伸して、ハウジング５２に挿入される。また、接地端子５４及び信号端子５６は、ケーブル部１０が挿入されるハウジング５２の面と直交するいずれかの面に対して垂直な端子延伸方向に延伸して、ハウジング５２に挿入される。【００２３】
また、図１（ｂ）に示すように、接地端子５４及び信号端子５６を結ぶ直線が、ケーブル延伸方向と略平行となるように、接地端子５４及び信号端子５６を設けてよい。接地端子５４及び信号端子５６は、ハウジング５２に挿入される面の略中央に設けられてよく、図１（ｂ）に示すように、ハウジング５２に挿入される面の外周に沿って設けられてもよい。コネクタ部５０は、接続するべき受け側の孔状の端子に接地端子５４及び信号端子５６を挿入することにより、受け側の端子（例えば、基板に設けられるスルーホール等）に接続される。このように、ケーブル部１０の端部に、接地端子５４及び信号端子５６を有するコネクタ部５０を設けることにより、半田付け等を行わずに、コネクタ部５０を受け側の端子に接続することができる。【００２４】
図２は、コネクタ部５０の内部構造の一例を示す図である。図２（ａ）は、図１（ａ）と同様に、同軸ケーブルユニット１００の側面から見たコネクタ部５０の内部構造の一例を示す。また図２（ｂ）は、図１（ｂ）と同様に、同軸ケーブルユニット１００の下面から見たコネクタ部５０の内部構造の一例を示す。【００２５】
ケーブル部１０は、コネクタ部５０が設けられる端部側から順に、信号線１６が表出する信号領域、絶縁部１４が表出する絶縁領域、及びシールド部１２が表出するシールド領域を、ハウジング５２の内部において有する。シールド部１２には接地電位が与えられてよい。また信号線１６には、伝送すべき信号が与えられてよい。例えばケーブル部１０の他端において、シールド部１２が接地され、信号線１６に信号が与えられてよい。【００２６】
ケーブル部１０は、信号線１６、絶縁部１４、シールド部１２、及びシース（絶縁被覆）が同心円状に設けられる。信号線１６及びシールド部１２は導電材料で形成され、絶縁部１４及びシースは絶縁材料で形成される。シールド領域においては、シースが除去されてシールド部１２が表出される。また絶縁領域においては、シース及びシールド部１２が除去されて絶縁部１４が表出される。また信号領域においては、シース、シールド部１２、及び絶縁部１４が除去されて信号線が表出される。【００２７】
接地端子５４は、シールド領域においてシールド部１２と接触する。例えば図２に示すように、接地端子５４は、シールド部１２の外周と電気的に接触してよい。接地端子５４は、端子延伸方向に延伸する側面を有しており、当該側面においてシールド部１２の外周と電気的に接触してよい。接地端子５４は、ハウジング５２の内部において、他の部分より幅の大きい接地接触部６０を有してよい。ここで、接地接触部６０の幅とは、ケーブル延伸方向における接地接触部６０の幅を指してよい。接地端子５４は、接地接触部６０の側面において、シールド部１２の外周と電気的に接触する。また接地端子５４は、半田付け、溶接等の方法で、シールド部１２に対して固定されてよい。例えばシールド部１２及び接地接触部６０の接触部位の周囲に半田を固着させてよい。【００２８】
また信号端子５６は、信号領域において信号線１６と接触する。例えば図２に示すように、信号端子５６は、信号線１６の外周と電気的に接触してよい。信号端子５６は、端子延伸方向に延伸する側面を有しており、当該側面において信号線１６の外周と電気的に接触してよい。信号端子５６は、ハウジング５２の内部において、他の部分より幅の大きい信号接触部６４を有してよい。ここで、信号接触部６４の幅とは、ケーブル延伸方向における信号接触部６４の幅を指してよい。信号端子５６は、信号接触部６４の側面において、信号線１６の外周と電気的に接触する。また信号端子５６は、半田付け、溶接等の方法で、信号線１６に対して固定されてよい。例えば信号線１６及び信号接触部６４の接触部位の周囲に半田を固着させてよい。また、信号接触部６４は、Ｖ字状の切り込み溝（図示しない）を形成して、信号線１６を当該Ｖ字溝に圧入させて電気的に接触させてよい。【００２９】
このように、接地端子５４及び信号端子５６の側面と、シールド部１２及び信号線１６の外周とを電気的に接触させることにより、シールド部１２及び信号線１６の外周に対して垂直に圧力がかかることを防ぐことができる。例えば、コネクタ部５０を受け側の端子に挿入する場合、接地端子５４及び信号端子５６には、端子延伸方向に力が加わる。しかし、接地端子５４及び信号端子５６の側面と、シールド部１２及び信号線１６の外周とが接触するので、シールド部１２及び信号線１６に対する押圧力を低減することができる。このため、シールド部１２及び信号線１６が変形することを防ぐことができる。【００３０】
また、ケーブル延伸方向における、接地端子５４と信号端子５６との距離は、絶縁性を保つことを条件として、できるだけ短いことが好ましい。これにより、信号端子５６におけるインピーダンスの不整合を低減することができる。例えば接地接触部６０と信号接触部６４との距離は、０．８ｍｍ程度であってよい。【００３１】
また、接地端子５４及び信号端子５６は、ハウジング５２の外部に表出する領域の一部において、ハウジング５２の外部に表出する領域の他の部分の断面より大きい断面を有することが好ましい。本例において接地端子５４及び信号端子５６は、ハウジング５２の外部に表出する領域の一部に膨張部５８及び膨張部６２を有する。【００３２】
膨張部５８は、弾性を有して、接続相手の基板のスルーホール等へ圧入して、電気的な接触を行う。膨張部５８は、接地端子５４のハウジング５２の外部に表出する領域の中間部分に設けられ、膨張部６２は、信号端子５６のハウジング５２の外部に表出する領域の中間部分に設けられる。つまり、接地端子５４は、ハウジング５２の外部に表出する領域において、比較的に断面積の小さい接地先端部と、比較的に断面積の大きい膨張部５８と、比較的に断面積の小さい接地挿入部とが、先端側から順に設けられる。また、信号端子５６は、ハウジング５２の外部に表出する領域において、比較的に断面積の小さい信号先端部と、比較的に断面積の大きい膨張部５８と、比較的に断面積の小さい信号挿入部とが、先端側から順に設けられる。【００３３】
膨張部５８及び膨張部６２は、弾性を有することが好ましい。例えば膨張部５８及び膨張部６２は空洞を有してよい。このような構成により、コネクタ部５０を受け側の端子に接続したあとに、コネクタ部５０が脱落することを低減することができる。このため、半田等を用いてコネクタ部５０を固定せずとも、コネクタ部５０と受け側の端子との接続を保つことができる。【００３４】
また、シールド部１２及び信号線１６の直径が異なるので、図２（ｂ）に示すように、ハウジング５２の内部における接地端子５４及び信号端子５６を結ぶ直線は、ケーブル延伸方向に対して平行とならない。ハウジング５２の外部における接地端子５４及び信号端子５６を結ぶ直線がケーブル延伸方向に対して略平行となるように、接地端子５４及び信号端子５６の少なくとも一方を湾曲させて設けてよい。この場合、接地端子５４及び信号端子５６における湾曲部位は、ハウジング５２の内部に設けられることが好ましい。これにより、接地端子５４及び信号端子５６の強度が劣化することを防ぐことができる。【００３５】
図３は、コネクタ部５０の断面の一例を示す図である。図３においては、ケーブル延伸方向と略垂直な断面を示す。また、図３（ａ）は、図２（ａ）におけるＡ−Ａ'断面を示す図であり、図３（ｂ）は、図２（ａ）におけるＢ−Ｂ'断面を示す図である。【００３６】
図３（ａ）に示すように、接地端子５４は、端子延伸方向に延伸する側面６６において、シールド部１２の外周と電気的に接触する。また、図３（ｂ）に示すように、信号端子５６は、端子延伸方向に延伸する側面６８において、信号線１６の外周と電気的に接触する。【００３７】
また、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、ケーブル延伸方向と略垂直な所定の断面に、ケーブル部１０の中心の位置（例えば信号線１６の中心の位置）と、接地端子５４及びシールド部１２の接触点と、信号端子５６及び信号線１６の接触点とを投影した位置が、略一直線となるように、接地端子５４及び信号端子５６を設けてよい。【００３８】
また、上述したように、信号線１６と接触する信号端子５６の側面６８のうち、ハウジング５２の外部に表出する部分と、シールド部１２と接触する接地端子５４の側面６６のうち、ハウジング５２の外部に表出する部分とが略同一の面内に設けられるように、信号端子５６及び接地端子５４の少なくとも一方を湾曲させて設けてよい。本例では、信号端子５６及び接地端子５４の双方を、逆方向に同程度に湾曲させて設けている。【００３９】
図４は、接地端子５４の他の例を示す図である。図４は、図３（ａ）と同様の断面を用いて、接地端子５４を説明する。本例における接地端子５４は、図２（ａ）に示した接地接触部６０に代えて、第１の接触部７０、第２の接触部７２、及び第３の接触部７４を有する。本例における接地端子５４の他の部位は、図１から図３において説明した接地端子５４の対応する部位と同一であってよい。【００４０】
第１の接触部７０、第２の接触部７２、及び第３の接触部７４は、シールド部１２の外周の例えば３／４を囲むように設けられ、それぞれがシールド部１２の外周と電気的に接触する。また、第１の接触部７０、第２の接触部７２、及び第３の接触部７４は、図２（ａ）に示した接地接触部６０と同様に、ハウジング５２の内部及び外部の境界における接地端子５４の幅より大きい幅を有してよい。【００４１】
第１の接触部７０は、ハウジング５２の内部からハウジング５２の外部まで、端子延伸方向に延伸して設けられ、シールド部１２の外周と電気的に接触する。第１の接触部７０は、ハウジング５２の内部及び外部の境界の近傍において比較的に幅の小さい領域と、シールド部１２の外周と電気的に接触する接触部位の近傍において比較的に幅の大きい領域とを有してよい。【００４２】
また、第１の接触部７０の、ハウジング５２の内部及び外部の境界近傍における比較的に幅の小さい領域は、図３（ａ）に関連して説明したように、湾曲して設けられてよい。また、第１の接触部７０の、シールド部１２の外周と電気的に接触する接触部位の近傍における領域は、平面形状であってよい。当該平面形状の領域は、ハウジング５２の対向する面と略平行に設けられてよい。【００４３】
第２の接触部７２は、第１の接触部７０のハウジング５２の内部における端部から、端子延伸方向及びケーブル延伸方向の双方に垂直な方向に、ハウジング５２の内部において延伸して設けられる。例えば第２の接触部７２は、ハウジング５２の対向する面と略平行な平面形状であってよい。【００４４】
第３の接触部７４は、第２の接触部７２の、第１の接触部７０の側でない端部から、端子延伸方向に、ハウジング５２の内部において延伸して設けられる。例えば第３の接触部７４は、ハウジング５２の対向する面と略平行な平面形状であってよい。【００４５】
また、第１の接触部７０、第２の接触部７２、及び第３の接触部７４は、一体に成形されてよい。また、第１の接触部７０、第２の接触部７２、及び第３の接触部７４と、シールド部１２のそれぞれの接触部位は、それぞれ半田付け等により固着されてよい。このような構成により、接地端子５４とシールド部１２との電気的な接触性を向上させることができ、また物理的な接触強度を向上させることができる。【００４６】
図５は、コネクタ部５０の他の例を示す図である。図１から図４において説明したコネクタ部５０は、ハウジング５２の外部に表出する接地端子５４及び信号端子５６を結ぶ直線が、ケーブル延伸方向と略平行であるが、本例におけるコネクタ部５０は、当該直線が、ケーブル延伸方向と略平行でない点で異なる。本例におけるコネクタ部５０の他の構造は、図１から図４において説明したコネクタ部５０と同一であってよい。【００４７】
図５（ａ）は、図１（ｂ）と同様に、同軸ケーブルユニット１００の下面図の一例を示す。また図５（ｂ）は、図２（ｂ）と同様に、コネクタ部５０の内部構造の下面図の一例を示す。また図５（ｃ）は、図３と同様に、コネクタ部５０の断面の一例を示す。尚、図５（ｃ）においては、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示した異なる位置における二つの断面を、模式的に一つの断面図で示す。本例では、図３（ａ）に示した断面と同様の断面に、信号端子５６を投影した断面図を図５（ｃ）に示す。【００４８】
図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、本例における接地端子５４及び信号端子５６は、ケーブル部１０の中心に対して互いに逆側で、シールド部１２及び信号線１６と接触する。つまり、信号端子５６及び信号線１６の接触点を所定の断面に投影した位置と、接地端子５４及びシールド部１２の接触点を当該断面に投影した位置との間に、ケーブル部１０の中心が配置されるように、信号端子５６及び接地端子５４が設けられてよい。【００４９】
これに対し、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示した例では、接地端子５４及び信号端子５６は、ケーブル部１０の中心に対して同一側で、シールド部１２及び信号線１６と接触する。つまり、ケーブル部１０の中心と、接地端子５４及びシールド部１２の接触点を所定の断面に投影した位置との間に、信号端子５６及び信号線１６の接触点を当該断面に投影した位置が配置されるように、信号端子５６及び接地端子５４が設けられる。【００５０】
また、信号端子５６及び接地端子５４は、ハウジング５２の面における所定の位置で、ハウジング５２の外部に表出するように、ハウジング５２の内部で湾曲して設けられてよい。また、図１から図５に示した例では、信号端子５６及び接地端子５４は、ケーブル延伸方向及び端子延伸方向の双方に垂直な方向に湾曲して設けられている。つまり、信号端子５６及び接地端子５４は、信号線１６及びシールド部１２に接触する面に垂直な方向に湾曲して設けられ、ハウジング５２の面において表出する位置を調整する。【００５１】
信号端子５６及び接地端子５４は、信号線１６及びシールド部１２に接触する面に垂直な方向とは異なる方向に湾曲して設けられてもよい。例えば、信号端子５６及び接地端子５４は、ケーブル延伸方向に湾曲して設けられてよい。例えば図５（ａ）に示した例では、信号端子５６及び接地端子５４は、ケーブル延伸方向に湾曲していないので、信号端子５６及び接地端子５４がハウジング５２の外部に表出する位置は、ケーブル部１０の信号線１６及びシールド部１２の位置に応じた位置となる。このため、信号端子５６及び接地端子５４がハウジング５２の外部に表出する位置の、ケーブル延伸方向を軸とする座標は異なっている。これに対し、信号端子５６及び接地端子５４の少なくとも一方を、ケーブル延伸方向に湾曲させることにより、信号端子５６及び接地端子５４がハウジング５２の外部に表出する位置の、ケーブル延伸方向を軸とする座標が略同一となるようしてもよい。【００５２】
このように、信号端子５６及び接地端子５４をハウジング５２の内部で湾曲させることにより、信号端子５６及び接地端子５４がハウジング５２の外部に表出する位置を任意の位置とすることができる。【００５３】
図６は、同軸ケーブルユニット１００の他の例を示す図である。図６（ａ）は、図１（ｂ）と同様に、同軸ケーブルユニット１００の下面図の一例を示す。また図６（ｂ）は、図５（ｃ）と同様に、コネクタ部５０の断面の一例を示す。【００５４】
本例におけるコネクタ部５０は、ハウジング５２の外部において、接地端子５４が２つ表出するように設けられている。また、信号端子５６は、ハウジング５２の外部において、２つの接地端子５４−１及び５４−２の間に設けられる。このような構成により、信号端子５６を伝送する信号に重畳されるノイズを低減することができる。２つの接地端子５４及び信号端子５６の少なくともいずれかは、上述したように、ハウジング５２の内部においてケーブル延伸方向に湾曲して設けられてよい。同軸ケーブルユニット１００の他の箇所の構造は、図１から図５において説明した同軸ケーブルユニット１００と同一であってよい。【００５５】
また、２つの接地端子５４は、図３（ａ）に示したような接地端子５４を、シールド部１２の両側に接触させて設けてよい。また、２つの接地端子５４は、図６（ｂ）に示すように、一体に成形されていてもよい。この場合、接地端子５４は、図４において説明した第３の接触部７４が、ハウジング５２の外部に表出するまで延伸して形成されてよい。図１から図６において説明した例において、ハウジング５２の外部に表出する接地端子５４及び信号端子５６の、端子延伸方向における長さは略同一であってよい。【００５６】
図７は、ハウジング５２の構造の一例を示す図である。図７は、ハウジング５２の正面図及び下面図の一例を示す。ハウジング５２の正面図は、ハウジング５２において、ケーブル部１０が挿入される面に対向する面を示す。ハウジング５２は、信号端子５６及び接地端子５４が突出する面（本例では下面）の少なくとも一辺に切り欠き８０を有する。例えばハウジング５２は、下面と正面との境界線において、下面及び正面の一部の絶縁材料を切り欠いた切り欠き８０を有する。切り欠き８０を設けることにより、コネクタ部５０を受け側の端子に接続した後に、コネクタ部５０を受け側の端子から容易に取り外すことができる。例えば当該切り欠き８０にドライバ等を挿入することにより、コネクタ部５０を容易に受け側の端子から取り外すことができる。当該一辺における切り欠き８０の幅は、ドライバ等の取り外し治具を挿入できる程度の長さを有することが好ましい。これにより、狭い空間に高密度で実装していても、コネクタ部５０を個別に取り外すことが容易にできる。【００５７】
また、ハウジング５２は、表面が導電材料でメッキされていていよい。メッキ部は、接地されることが好ましい。例えばメッキ部は、シールド部１２と電気的に接続されてよい。また、ハウジング５２の下面には、接地端子５４が挿入される端子孔８４及び信号端子５６が挿入される端子孔８２が形成される。端子孔８２の近傍は、導電材料でメッキされないことが好ましい。例えばハウジング５２の下面はメッキされず、ハウジング５２の他の面がメッキされていてよい。また、端子孔８２から、所定の距離の領域は、メッキされなくてよい。例えば当該所定の距離は、図２において説明した、接地接触部６０と信号接触部６４との距離と略等しくてよい。【００５８】
図８は、被試験デバイス３００を試験する試験装置２００の構成の一例を示す図である。図８（ａ）は、試験装置２００の構成例の概略を示す。また図８（ｂ）は、ソケットボード１１０と同軸ケーブルユニット１００との接続例を示す。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、ソケットボード１１０、本体部１２０、及び同軸ケーブルユニット１００を備える。【００５９】
ソケットボード１１０は、被試験デバイス３００を載置する。また、ソケットボード１１０は、プローブピン等により、被試験デバイス３００の入出力ピンと電気的に接続される。【００６０】
本体部１２０は、被試験デバイス３００に供給する試験信号を生成する。また本体部１２０は、被試験デバイス３００の出力信号に基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定する。本体部１２０は、同軸ケーブルユニット１００を介してソケットボード１１０との間で信号を受け渡す。またソケットボード１１０は、プローブピン等を介して被試験デバイス３００との間で信号を受け渡す。【００６１】
同軸ケーブルユニット１００は、本体部１２０からソケットボード１１０に試験信号を伝送する。また同軸ケーブルユニット１００は、ソケットボード１１０から本体部１２０に、被試験デバイス３００の出力信号を伝送する。試験装置２００は、伝送すべき信号の本数に応じた複数の同軸ケーブルユニット１００を備える。同軸ケーブルユニット１００は、図１から図７に関連して説明した同軸ケーブルユニット１００と同一であってよい。【００６２】
ソケットボード１１０は、同軸ケーブルユニット１００と接続される複数のサブボード１１２を有する。複数のサブボード１１２は、ソケットボード１１０に対して垂直に設けられる。また複数のサブボード１１２は、同軸ケーブルユニット１００の信号端子５６及び接地端子５４が挿入される受側端子が表面に設けられる。また複数のサブボード１１２は、隣接するサブボード１１２同士の表面と裏面とが対向して設けられる。例えばそれぞれのサブボード１１２は、受側端子が設けられる表面に対向して、隣接するサブボード１１２の裏面が配置される。受側端子は、信号端子５６及び接地端子５４が挿入される孔を有してよい。【００６３】
本例における同軸ケーブルユニット１００は、信号端子５６及び接地端子５４が、ケーブル延伸方向に対して、略垂直に設けられる。このため、ケーブル部１０を、サブボード１１２の表面に対して平行に配置した状態で、コネクタ部５０を受側端子に接続することができる。このため、隣接するサブボード１１２の間隔は、信号端子５６及び接地端子５４の長さと、コネクタ部５０の長さの和より大きければよい。このため、複数のサブボード１１２を、小さい間隔で設けることができる。このため、多数のサブボード１１２を小さい領域に設けることができ、試験装置２００の設計を容易に行うことができる。【００６４】
これに対し、例えば信号端子５６及び接地端子５４が、ケーブル延伸方向に対して平行に設けられている場合、同軸ケーブルユニット１００のケーブル部１０の端部を、サブボード１１２の表面に対して垂直に配置する必要がある。そして、それぞれのサブボード１１２の間で、ケーブル部１０を湾曲させ、本体部１２０の方向にケーブル部１０を引き回す必要がある。このため、それぞれのサブボード１１２は、ケーブル部１０を湾曲させることができる間隔で配置する必要があり、小さい間隔で設けることが困難である。【００６５】
図９は、同軸ケーブルユニット１００の他の構造例を示す図である。図９（ａ）は、同軸ケーブルユニット１００の上面図の一例を示す図であり、図９（ｂ）は、同軸ケーブルユニット１００の正面図の一例を示す図であり、図９（ｃ）は、同軸ケーブルユニット１００の側面図の一例を示す図である。【００６６】
本例における同軸ケーブルユニット１００は、第１ケーブル部１０−１、第２ケーブル部１０−２、及びコネクタ部５０を備える。第１ケーブル部１０−１及び第２ケーブル部１０−２のそれぞれは、図１から図８において説明したケーブル部１０と同一であってよい。【００６７】
コネクタ部５０は、第１ケーブル部１０−１及び第２ケーブル部１０−２の端部に共通に設けられる。つまり、コネクタ部５０には、第１ケーブル部１０−１及び第２ケーブル部１０−２が、同一の面から平行に挿入される。【００６８】
コネクタ部５０は、ハウジング５２、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４を有する。ハウジング５２の構造は、図１から図８において説明したコネクタ部５０と同様であってよい。ハウジング５２は、第１ケーブル部１０−１、第２ケーブル部１０−２、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４を固定する。但し、本例におけるハウジング５２は、ケーブル部１０が挿入される面に対向する面（正面）から、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４を表出させる。【００６９】
第１信号端子５６−１は、第１ケーブル部１０−１の信号線１６と電気的に接触する。また第２信号端子５６−２は、第２ケーブル部１０−２の信号線１６と電気的に接触する。また、第１信号端子５６−１及び第２信号端子５６−２の形状は、図１から図８において説明した信号端子５６と同様であってよい。【００７０】
接地端子５４は、第１ケーブル部１０−１のシールド部１２、及び第２ケーブル部１０−２のシールド部１２の双方に電気的に接触する。接地端子５４の形状は、図１から図８において説明した接地端子５４と同様であってよい。【００７１】
図９（ａ）及び図９（ｃ）に示すように、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４は、ハウジング５２の内部から外部に、略同一の方向に延伸して設けられる。本例では、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４は、ハウジング５２の内部から、ハウジング５２の正面を介してハウジング５２の外部に、ケーブル延伸方向と略同一方向の端子延伸方向に延伸して設けられる。また、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、接地端子５４は、第１信号端子５６−１及び第２信号端子５６−２の間に設けられる。例えばハウジング５２の外部において、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４は略直線上に設けられ、接地端子５４は、第１信号端子５６−１及び第２信号端子５６−２の略中央に設けられてよい。【００７２】
図１０は、コネクタ部５０の内部構造の一例を示す図である。図１０は、図９（ａ）と同様に、同軸ケーブルユニット１００の上面から見た、コネクタ部５０の内部構造の一例を示す。【００７３】
第１ケーブル部１０−１及び第２ケーブル部１０−２は、ハウジング５２の背面から略平行に挿入される。また、第１信号端子５６−１、第２信号端子５６−２、及び接地端子５４は、ハウジング５２の正面から略平行に挿入される。第１ケーブル部１０−１のシールド部１２及び第２ケーブル部１０−２のシールド部１２は、ハウジング５２の内部において、接地端子５４を挟んで設けられてよい。【００７４】
本例では、第１ケーブル部１０−１のシールド部１２及び第２ケーブル部１０−２のシールド部１２は、接地端子５４の接地接触部６０の一部を挟んで設けられる。接地接触部６０は、これらのシールド部１２の双方と電気的に接触して、また半田付け等により固着される。接地接触部６０は、図２において説明したように平面形状であってよく、また曲面形状であってよく、円柱形状であってもよい。【００７５】
第１ケーブル部１０−１の信号線１６は、ハウジング５２の内部において、第１ケーブル部１０−１の挿入方向に対して略垂直な方向に延伸して設けられる。例えば、絶縁部１４で被覆されている領域を湾曲させ、信号線１６を当該方向に延伸させてよい。第１ケーブル部１０−１の信号線１６は、第１信号端子５６−１の信号接触部６４の表面と平行な方向に延伸してよい。信号線１６は、第１信号端子５６−１の信号接触部６４の表面に接触して、また半田付け等により固着される。【００７６】
第２ケーブル部１０−２の信号線１６は、ハウジング５２の内部において、第１ケーブル部１０−１の信号線１６と略逆方向に延伸して設けられる。例えば、絶縁部１４で被覆されている領域を湾曲させ、信号線１６を当該方向に延伸させてよい。第２ケーブル部１０−２の信号線１６は、第２信号端子５６−２の信号接触部６４の表面に接触して、また半田付け等により固着される。このような構成により、２つのケーブル部１０を、狭い間隔で配置された受側端子に接続することができる。このため、狭い領域で、多数の信号を伝送することができる。【００７７】
図１１は、試験装置２００の他の構成例を示す図である。本例における試験装置２００の構成は、ソケットボード１１０がサブボード１１２を有さない点で、図８において説明した試験装置２００の構成と異なる。他の構成は、図８において説明した試験装置２００と同様であってよい。【００７８】
本例におけるソケットボード１１０は、表面に被試験デバイス３００を載置して、裏面において同軸ケーブルユニット１００と接続される。同軸ケーブルユニット１００は、図９から図１０において説明した同軸ケーブルユニット１００であってよい。ソケットボード１１０の裏面には、同軸ケーブルユニット１００と接続される受側端子が設けられる。当該受側端子は、信号端子５６及び接地端子５４が挿入される孔状の端子であってよい。【００７９】
本例における試験装置２００によれば、２つのケーブル部１０に対して、受側端子における接地端子を一つ設ければよい。このため、小さい領域に多数の受側端子を設けることができ、多数の信号を伝送することができる。【００８０】
以上、本発明の一つの側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。【００８１】
以上から明らかなように、本発明の実施形態によれば、同軸ケーブルユニット１００と受側端子とを、半田付け等を用いずに接続することができる。また、小さい領域で多数の信号を伝送することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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