【手続補正書】
【提出日】平成17年6月13日(2005.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータに備えた複数の保持部材によって基板の周縁を保持し，前記ロータによって基板を回転させて処理する基板処理装置であって，
前記保持部材のいずれかに，基板の周縁に押圧力を与える押圧装置を設け，
前記各押圧装置は，基板の周縁に当接する当接部と，前記当接部の移動に伴って弾性変形する変形部とを備えることを特徴とする，基板処理装置。
【請求項２】
前記各押圧装置は，前記当接部を基板の周縁に当接する位置と基板の周縁から離隔する位置との間で移動させるシリンダ機構を備え，
前記変形部は，前記シリンダ機構を前記基板周囲の雰囲気から隔離させることを特徴とする，請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記当接部を基板の周縁から離隔させる位置に向かって弾性力を与える弾性部材を備えることを特徴とする，請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記シリンダ機構に導入及び導出する流体の圧力を検出する圧力センサーを備えることを特徴とする，請求項２又は３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記各押圧装置は，前記変形部の弾性変形に伴い膨張及び収縮する変形空間を備えることを特徴とする，請求項２，３又は４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記シリンダ機構に，前記流体が前記変形空間に流入することを抑制するパッキンリングを備えることを特徴とする，請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記変形部は，前記当接部を支持し，弾性変形して前記当接部を基板の周縁に当接する位置と基板の周縁から離隔する位置との間で移動させ，
前記各押圧装置は，前記変形部を覆い，前記当接部を基板の周縁に向かって移動させる前記変形部の変形を制限するストッパー部材を備えることを特徴とする，請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記押圧装置は，前記変形部の弾性変形に伴い膨張及び収縮する変形空間と，前記変形空間に対して流体を導入及び導出する流体路を備えることを特徴とする，請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記変形空間に導入及び導出する流体の圧力を検出する圧力センサーを備えることを特徴とする，請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記ストッパー部材に，前記変形部と前記ストッパー部材との間に付着する液体を排出する排出溝を設けたことを特徴とする，請求項７，８又は９に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記複数の保持部材は，前記ロータに基板を装入させる際，及び，前記ロータから基板を退出させる際に開かれる保持部材と，固定された保持部材とを備え，
前記押圧装置は，前記固定された保持部材に設けられていることを特徴とする，請求項１〜１０のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記ロータに基板を装入させる際，及び，前記ロータから基板を退出させる際，前記当接部は，基板の周縁から離隔する位置に移動させられることを特徴とする，請求項１〜１１のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項１３】
前記ロータは，２以上の基板を互いに平行に並べて保持することを特徴とする，請求項１〜１２のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項１４】
前記２以上の基板のそれぞれに対応させて，２以上の押圧装置を設けたことを特徴とする，請求項１３に記載の基板処理装置。
【請求項１５】
前記複数の保持部材は，前記２以上の基板のうち偶数番目の基板にそれぞれ対応する押圧装置を備えた保持部材と，奇数番目の基板にそれぞれ対応する押圧装置を備えた保持部材とを備えることを特徴とする，請求項１３又は１４に記載の基板処理装置。
【請求項１６】
ロータに備えた複数の保持部材によって基板の周縁を保持し，前記ロータによって基板を回転させて処理する基板処理方法であって，
基板をロータに装入し，前記ロータに備えた保持部材によって基板の周縁を保持すると共に，前記ロータに備えた押圧装置によって基板の周縁に押圧力を与えることにより，基板の周縁と各保持部材との間にずれが生じないように保持し，
基板とロータを一体的に回転させながら基板を処理し，
前記押圧装置の押圧を解除し，基板の慣性力によって，基板の周縁と各保持部材との間にずれを生じさせ，基板の周縁を前記処理時と異なる部分において保持し，
再び前記押圧装置によって基板の周縁に押圧力を与えることにより，基板の周縁と各保持部材との間にずれが生じないように保持し，基板とロータを一体的に回転させながら基板を処理することを特徴とする，基板処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明によれば，ロータに備えた複数の保持部材によって基板の周縁を保持し，前記ロータによって基板を回転させて処理する基板処理装置であって，前記保持部材のいずれかに，基板の周縁に押圧力を与える押圧装置を設け，前記各押圧装置は，基板の周縁に当接する当接部と，前記当接部の移動に伴って弾性変形する変形部とを備えることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記各押圧装置は，前記当接部を基板の周縁に当接する位置と基板の周縁から離隔する位置との間で移動させるシリンダ機構を備え，前記変形部は，前記シリンダ機構を前記基板周囲の雰囲気から隔離させることとしても良い。かかる基板処理装置によれば，例えば変形部としてのダイアフラムに過大な荷重がかかる心配がない。さらに，前記当接部を基板の周縁から離隔させる位置に向かって弾性力を与える弾性部材を備えることが好ましい。また，前記シリンダ機構に導入及び導出する流体の圧力を検出する圧力センサーを備えることが好ましい。この場合，前記圧力の変化によって，前記変形部に穴が発生したことを検知することが可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記変形部は，前記当接部を支持し，弾性変形して前記当接部を基板の周縁に当接する位置と基板の周縁から離隔する位置との間で移動させ，前記各押圧装置は，前記変形部を覆い，前記当接部を基板の周縁に向かって移動させる前記変形部の変形を制限するストッパー部材を備えるとしても良い。かかる基板処理装置によれば，ダイアフラムが過大に変形して破損することを防止できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらにまた，本発明の基板処理装置にあっては，前記複数の保持部材は，前記ロータに基板を装入させる際，及び，前記ロータから基板を退出させる際に開かれる保持部材と，固定された保持部材とを備え，前記押圧装置は，前記固定された保持部材に設けられているとしても良い。また，前記ロータに基板を装入させる際，及び，前記ロータから基板を退出させる際，前記当接部は，基板の周縁から離隔する位置に移動させられることとしても良い。前記ロータは，２以上の基板を互いに平行に並べて保持するものであっても良く，前記２以上の基板のそれぞれに対応させて，２以上の押圧装置を設けても良い。また，前記複数の保持部材は，前記２以上の基板のうち偶数番目の基板にそれぞれ対応する押圧装置を備えた保持部材と，奇数番目の基板にそれぞれ対応する押圧装置を備えた保持部材とを備えるとしても良い。