(57)【要約】  半導体発光素子からの出射光を光制御部に効率よく導入することが可能であり、かつ、レンズと発光素子との位置合わせが不要となるとともに、半導体発光素子からの出射光を効率的に取り出して利用に供することができるガラス被覆発光素子を提供する。  基板面上に実装され発光領域から所定波長帯域の光を出射する半導体発光素子１と、光を出射する表面が半球面より広い球面の一部を有するとともに、球面以外の表面において半導体発光素子１と対向・配置した状態で半導体発光素子１の発光領域を被覆するように一体化され、発光ピーク波長における屈折率が１．７以上で、直径に対する半導体発光素子の基板面の最大径の比が少なくとも１．８以上であるガラス２と、ガラス２の表面から出射されずにガラス２内部に存在する光を屈折させる光散乱部である接合面２Ａとを備えた。
2008143183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体発光素子と、
当該半導体発光素子から出射された光を出射する表面を有し、当該表面が半球面より広い球形状で一部に球欠部を有するとともに、前記球欠部において前記半導体発光素子に取り付けられ、前記半導体発光素子の発光ピーク波長における屈折率が１．７以上で、直径に対する前記球欠部の最大径の比が少なくとも１．８以上であるガラスと、
前記ガラスの前記表面から出射されずに前記ガラス内部に存在する光を屈折させる光散乱部と、
を備えるガラス被覆発光素子。
【請求項２】
請求項１に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記光散乱部は、前記ガラスの前記半導体発光素子の発光面を被覆する面に形成された凹凸であることを特徴とするガラス被覆発光素子。
【請求項３】
請求項１に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記光散乱部は、前記ガラスの前記半導体発光素子の発光面を被覆する面と前記半導体発光素子の前記発光面との間に設けた光散乱部材より構成されるガラス被覆発光素子。
【請求項４】
請求項１に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記光散乱部は、前記半導体発光素子に形成された光反射機能を有する電極であることを特徴とするガラス被覆発光素子。
【請求項５】
請求項１に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記光散乱部は、前記半導体発光素子が接続される配線基板上に設けられた散乱反射面であることを特徴とするガラス被覆発光素子。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記屈折率が２．３以下であるガラス被覆発光素子。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記屈折率が１．８〜２．２、前記比が３．５以下であるガラス被覆発光素子。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記半導体発光素子が発光ダイオードであるガラス被覆発光素子。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載のガラス被覆発光素子であって、
前記半導体発光素子の発光ピーク波長が４５０〜４８０ｎｍであるガラス被覆発光素子。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載のガラス被覆発光素子と、フィールドレンズより構成される照明装置。
【請求項１１】
光源として請求項１０記載の照明装置を有するプロジェクタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスによって被覆されている半導体発光素子、つまりガラス被覆発光素子、照明装置およびプロジェクタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
発光ダイオード（ＬＥＤ；Light Emitting Diode）に代表される半導体発光素子は、小型、高効率、長寿命などの特徴を有し、様々な用途に使用されている。たとえばＬＥＤをプロジェクタ光源に用いるとＬＥＤが小型であるため照明系をコンパクトにできる反面、ＬＥＤからの出射光は無指向性であるので、出射光を効率よく液晶パネル、マイクロミラーアレイなどの光制御部に導入する必要がある。【０００３】
従来、このような出射光を効率よく光制御部に導入するためにレンズ付き発光素子、すなわち目的に応じた放射角や強度分布を有するように、別に製作した種々のレンズを金属等のホルダーを介してＬＥＤなど発光素子の位置に合わせて調整固定したものが使用されている。【０００４】
しかし、このような従来のレンズ付き発光素子は、発光素子、レンズおよびそれらの固定ホルダーの３点部品がセットとなっており、かつ、それらの部品の調整固定工程も必要であり、費用の高いものであった。また、その放射強度分布も通常のレンズ形状では必ずしも効率のよいものとはならない問題もあった。【０００５】
このような問題を解決するべくライトパイプを用いた照明系が提案されている（特許文献１参照）。このような照明系においては、前記レンズ付き発光素子を用いる場合に比べて放射強度分布は効率がよいものになると考えられるが、ライトパイプと発光素子または光制御部との位置合わせがやはり必要であり、前記問題の解決には不十分であった。
【特許文献１】特表２００６−５０５８３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、半導体発光素子からの出射光を前記光制御部に効率よく導入することが可能であり、かつ、先に述べたようなレンズまたはライトパイプと発光素子との位置合わせが不要となるとともに、半導体発光素子からの出射光を発光用の光として効率的に取り出して利用に供することができるガラス被覆発光素子、照明装置およびプロジェクタ装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、半導体発光素子と、当該半導体発光素子から出射された光を出射する表面を有し、当該表面が半球面より広い球形状で一部に球欠部を有するとともに、前記球欠部において前記半導体発光素子に取り付けられ、前記半導体発光素子の発光ピーク波長における屈折率が１．７以上で、直径に対する前記球欠部の最大径の比が少なくとも１．８以上であるガラスと、前記ガラスの前記表面から出射されずに前記ガラス内部に存在する光を屈折させる光散乱部と、を備えるガラス被覆発光素子を提供する。【０００８】
また、本発明は、前記ガラス被覆発光素子とフィールドレンズを備える照明装置、光源として当該照明装置を有するプロジェクタ装置をも提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被覆ガラスが前記レンズまたはライトパイプと同様の作用を有し、そのために先に述べたような位置合わせが不要となる。すなわち、従来はレンズを用いて指向性を高める場合、半導体発光素子とレンズを別々に配置しなければならなかったのでそれらを位置合わせする必要があったが、そのような位置合わせが不要となる。【００１０】
また、本発明においては、発光素子から球状のガラスに光が入射する場合に、ガラスと外部の空気との界面（以下、「ガラス界面」）での入射角度が臨界角を超えている場合には全反射によって再度半導体発光素子の発光面に戻るが、光散乱部での散乱により光路が変化してガラス界面での全反射条件を崩してガラスから出射させることができる。従って、本発明によれば、半導体発光素子からの出射光を発光用の光として効率的に取り出し増大させた光量で（被照射面を所望の照射パターンで）照明させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るガラス被覆発光素子の発光素子及び配線基板の断面の概念図である。
【図２】（Ａ）はそのガラス被覆発光素子の発光素子及び配線基板の断面の拡大概念図、（Ｂ）はその発光素子の電極などの形状を示す概略平面図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）は球状ガラスの屈折率が１．５の場合の計算結果（光量分布）を示す図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）は球状ガラスの屈折率が２．０の場合の計算結果（光量分布）を示す説明図である。
【図５】（Ａ）は指向性のない発光素子から照射面への照射光路及び照射面での光量分布を示すグラフ、（Ｂ）は本発明のガラス被覆発光素子から照射面への照射光路及び照射面での光量分布を示すグラフである。
【図６】本発明のガラス被覆発光素子の出射光の角度依存性を示す図である。
【図７】（Ａ）は発光素子の発光点Ａが球レンズの最後方点のときの球レンズを出射後の光路、（Ｂ）は発光点Ａが球レンズの最後方点よりも照射方向の前方側にずれているときの光路を示す説明図である。
【図８】本発明のガラス被覆発光素子における球面収差による光路の偏移を示す説明図である。
【図９】（Ａ）は本発明のガラス被覆発光素子におけるガラス内で全反射領域を示す説明図、（Ｂ）はそのガラス内から出射するときの照明光の光路を示す光路図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るガラス被覆発光素子の断面の概念図である。
【図１１】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の第３の実施形態に係るガラス被覆発光素子の断面の概念図およびその変形例である。
【図１２】本発明の第４の実施形態に係るガラス被覆発光素子の断面の概念図である。
【図１３】本発明のガラス被覆発光素子を用いて照度分布を調べるシミュレーションを行うときの設定条件を示すモデル図である。
【図１４Ａ】反射板での散乱率を０％（この場合には、１００％正反射する）に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図１４Ｂ】反射板での散乱率を０％（この場合には、１００％正反射する）に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図１４Ｃ】反射板での散乱率を０％（この場合には、１００％正反射する）に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図１４Ｄ】図１４Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図１５Ａ】反射板での散乱率を１０％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図１５Ｂ】反射板での散乱率を１０％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図１５Ｃ】反射板での散乱率を１０％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図１５Ｄ】図１５Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図１６Ａ】反射板での散乱率を３０％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図１６Ｂ】反射板での散乱率を３０％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図１６Ｃ】反射板での散乱率を３０％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図１６Ｄ】図１６Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図１７Ａ】反射板での散乱率を５０％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図１７Ｂ】反射板での散乱率を５０％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図１７Ｃ】反射板での散乱率を５０％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図１７Ｄ】図１７Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図１８Ａ】反射板での散乱率を６０％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図１８Ｂ】反射板での散乱率を６０％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図１８Ｃ】反射板での散乱率を６０％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図１８Ｄ】図１８Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図１９Ａ】反射板での散乱率を７０％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図１９Ｂ】反射板での散乱率を７０％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図１９Ｃ】反射板での散乱率を７０％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図１９Ｄ】図１９Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図２０Ａ】反射板での散乱率を９０％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図２０Ｂ】反射板での散乱率を９０％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図２０Ｃ】反射板での散乱率を９０％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図２０Ｄ】図２０Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図２１Ａ】反射板での散乱率を９９％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図２１Ｂ】反射板での散乱率を９９％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図２１Ｃ】反射板での散乱率を９９％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図２１Ｄ】図２１Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図２２Ａ】反射板での吸収率を１００％に設定してシミュレーションを行ったときの照度分布を示すグラフである。
【図２２Ｂ】反射板での吸収率を１００％に設定してシミュレーションを行ったときの輝度分布を示すグラフである。
【図２２Ｃ】反射板での吸収率を１００％に設定してシミュレーションを行ったときの平面内照度分布を示すグラフである。
【図２２Ｄ】図２２Ｃを模式的に示す等高線図である。
【図２３】反射板での散乱率と全光束量との関係を示すグラフである。
【図２４】本発明の照明装置を示す構成図及び正面図である。
【図２５】本発明のプロジェクタ装置を示す構成図である。
【符号の説明】
【００１２】
１  半導体発光素子（発光素子）
１Ａ、１Ｂ  電極
1Ｃ、1Ｄ、１Ｅ  ミラー電極
１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ  透明電極
１０、２０、３０Ａ、３０Ｂ、４０  ガラス被覆発光素子
１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂ  ガラス被覆発光装置
１４  透明基板
２  球状ガラス（ガラス）  
２Ａ  接合面
３  配線基板
３１  基板
３１Ａ  反射面（散乱反射面）
３２  配線パターン
３３  バンプ
４  フィラー
５  モールド部
５０  照明装置
６０  フィールドレンズ（対物レンズ）
７０Ｒ、７０Ｇ、７０Ｂ  ＬＣＤ（液晶表示装置）
８０  合波素子
９０  プロジェクションレンズ
１００  プロジェクタ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。【００１４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るガラス被覆発光素子（第１の発光素子）の構成を示す断面図である。このガラス被覆発光素子１０は、半導体発光素子１とガラス２とを備え、配線基板３上に配置されている。また、このガラス被覆発光素子１０のガラス２の半導体発光素子１との接合面２Ａには、細かい凹凸からなる微細加工が施してある。この微細加工（光散乱部）は、半導体発光素子１から出射してガラス２内の球面で全反射して戻る光を散乱させる。この微細加工は、例えば、サンドブラスト、エッチングなどを用いてガラス２の接合面２Ａを荒らすことによって形成される。【００１５】
半導体発光素子（発光素子）１は、発光領域を有する面（以下、発光面）から所定波長帯域の光を２次元的に出射するものであり、配線基板３上に実装されている。ここで、図２を用いて、発光素子１の構成について説明する。発光素子１は、透明基板１４と、透明基板１４上に形成されたｎ層１２と、ｎ層１２上に形成された発光層１３と、発光層１３上に形成されたｐ層１１とを有する。ｐ層１１とｎ層１２上には電極１Ａ、１Ｂが設けられている。発光素子１はいわゆるフリップチップ実装されている。電極１Ａ、１Ｂは、バンプ３３を介して配線基板３の配線パターン３２に接続されている。【００１６】
第１の実施形態において、発光素子１の発光面は透明基板１４の裏面（ガラス２の接合面２Ａに対向する面）である。発光層１３で生成された光は、図２（Ａ）の矢印Ａ方向に進行し、透明基板１４を介して出射する。電極１Ａ、１Ｂは、ガラス２の表面にて全反射してガラス２の表面から外部に出射されずに電極１Ａ、１Ｂに戻ってきた光を反射させるためのミラーとしての機能も有する。第１の実施形態では、発光素子１として青色ＬＥＤを用いて説明しているが、他の色のＬＥＤ、レーザーダイオードなどでも良いことは言うまでもない。【００１７】
発光素子１は、上方から見て長方形または正方形であることが一般的である。発光素子１の発光面である透明基板１４の裏面も長方形または正方形であっても良い。発光層１３から発生した光が透明基板１４を介して発光素子１から出射されることから、透明基板１４の裏面が発光素子１の発光領域と考えられる。そして、その発光領域は電極の形状（図２（Ｂ）の斜線で示される領域）と相似である。従って、所望の投影形状を得るためには、電極の形状を所望の投影形状とすることが良い。後述するように、本発明のガラスは指向性が良い。言い換えると、入射した光の形状をほぼそのままの形状として外部に投影することができる。つまり、本発明のガラス被覆発光素子の発光面は、所望の投影面に合わせた発光面とすることできる。例えば、発光面を矩形や丸形とし、その発光面の形状が照射される。これにより、被照射面に対し、種々の形状パターンを持った光を照射・照明することができることとなり、照明光源の応用を広げることができる。【００１８】
なお、上方から見た発光素子２の形状が長方形または正方形である場合、その最大径Ｌは対角線の長さであり、Ｌは典型的には４００〜１５００μｍである。【００１９】
ガラス２は、発光素子１を被覆するものであり、この表面は半球面よりも広い球面の一部を有しており、球形状である（以下、「球状ガラス」）。このような形状のため、第１の実施形態のガラス被覆発光素子は、出射光の指向性と均一性の両者を向上させることができる。球状ガラス２は発光素子1との接合面（第１の実施形態では、接合面２Ａに相当する部分）において球が切断された形状であり、その球の切断された部分は球欠（球欠部２Ｃ；図７（Ｂ）及び図８参照）と言われるものである。【００２０】
球状ガラス２としてたとえば、酸化物基準のモル％表示で、ＴｅＯ２  ４０〜５３％、ＧｅＯ２  ０〜１０％、Ｂ２Ｏ３  ５〜３０％、Ｇａ２Ｏ３  ０〜１０％、Ｂｉ２Ｏ３  ０〜１０％、ＺｎＯ  ３〜２０％、Ｙ２Ｏ３  ０〜３％、Ｌａ２Ｏ３  ０〜３％、Ｇｄ２Ｏ３  ０〜７％、Ｔａ２Ｏ５  ０〜５％、から本質的になるガラスが使用される。このガラスは本発明の目的を損なわない範囲で上記成分以外の成分を含有してもよいが、その場合そのような成分の含有量は合計で好ましくは１０％以下、より好ましくは５％以下である。ここで、たとえば「ＧｅＯ２  ０〜１０％」とはＧｅＯ２は必須ではないが１０％まで含有してもよい、の意である。【００２１】
発光素子１の発光ピーク波長λｐにおける球状ガラス２の屈折率ｎｐは１．７以上である。１．７未満では後述する最大照度または照度分布が小さくなる。好ましくは１．８以上、より好ましくは１．９以上である。また、ｎｐは２．３以下、好ましくは２．２以下である。なお、λｐは青色ＬＥＤにおいては４５０〜４８０ｎｍ、特には４５０〜４６０ｎｍが一般的である。また、発光素子１は、青色ＬＥＤに限定されるものではなく、各種固有波長或いは特定波長帯域の光を出射するものが使用可能である。【００２２】
球状ガラス２の球面の直径をｄ、球欠部の直径をＬとして、ｄ／Ｌ（球欠比；直径に対する球欠部の最大径の比）は少なくとも１．８以上、好ましくは１．８〜３．５とされる（なお、ｄは図７（Ｂ）に示す球状ガラス２の球欠部２Ｃの水平方向の幅の最大値に等しい）。【００２３】
本発明者らの先に行った実験によれば、最大照度は３×１０−５以上、照度分布は０．３５以上であることが好ましい。この実験は、球状ガラスが光散乱部材を有していないが、測定結果については何ら影響はない。具体的には、光源の前方すなわち出射光側に受光面を配置しその受光面における照度を計算した。発光素子からの出射光線は出射光側空間の全１８０度方向について無指向性、非コヒーレント性とし、出射光線の屈折、反射については、屈折・反射の法則（スネルの法則）にしたがって計算をした。また、光源全強度は１ｍＷに規格化し、出射光線数は全部で１００万本として計算した。なお、光源全強度を１ｍＷに規格化して計算したのは便宜上そのようにしただけであって本発明はこれに限定されず、また、本計算では偏光は考慮せず、多重反射による光線強度低下は０．０００１％まで有効とした。【００２４】
Ｌを１ｍｍ、受光面を１辺が１５ｍｍの正方形、球状ガラスがその一部を構成するところの球面の受光面から最も離れている点と受光面との距離が１９ｍｍとなるようにした場合の受光面における照度を、ｎｐが１．５、１．７５、２．０、２．２５、ｄが１ｍｍ、２ｍｍ、３ｍｍ、４ｍｍすなわちｄ／Ｌが１（球状ガラスが半球の場合）、２、３、４である場合について計算した。【００２５】
計算によって得られた照度から最大照度（単位：ｍＷ）および照度分布（単位：％）を読み取った。結果を表１（最大照度）および表２（照度分布）に示す。【００２６】
なお、照度分布は次のようにして読み取った。すなわち、受光面上の実効的に照射されている部分の横方向の長さａと照度が記最大照度の８０％以上である横方向の長さｂを求め、ｂ／ａを照度分布とした。ｄ＝１ｍｍにおける照度分布は実効的に照射されている部分が受光面よりも広くなったために読み取ることができなかった。【００２７】
以上の計算により得られた光量分布を図３（Ａ）〜図３（Ｄ）、図４（Ａ）〜図４（Ｄ）に示す。各図中の滑らかに引かれた曲線をもとにｎｐが１．５および２．０でのｄが２ｍｍ、３ｍｍ，４ｍｍすなわちｄ／Ｌが２、３，４の場合における前記照度分布を読み取った。読み取りの補助線もあわせて示す。【００２８】
【表１】
2008143183.tif 000003
【００２９】
【表２】
2008143183.tif 000004
【００３０】
最大照度は３×１０−５以上、照度分布は０．３５以上であることが好ましい。先にも述べたようにｎｐが１．７未満では最大照度または照度分布が小さい。ｄ／Ｌが１．８未満では最大照度または照度分布が小さく、３．５超では最大照度または照度分布が小さくなることがある。好ましくは２．０〜３．２である。【００３１】
球状ガラス２は発光素子１の上面（透明基板１４の裏面）だけでなく側面（透明基板１４、ｎ層１２及び発光層１３の側面）も被覆することが好ましい。球状ガラス２が発光素子１の側面を被覆することにより、発光素子１の側面から外部に漏れていた光を所望の方向（図２（Ａ）の矢印Ａ方向）に出射することができ、出射光の利用効率を向上させることができる。なお、球状ガラス２が半導体発光素子１の電極１Ａ、１Ｂの側面を被覆していてもよいことは言うまでもない。【００３２】
図１に示されるように、配線基板３は、たとえばアルミナなどで構成される基板３１と、この基板３１上にペーストを用いて形成されたＡｕ配線やＡｇ配線、銅箔などで形成された配線パターン３２とを備えている。【００３３】
図１に示されるように、ガラス被覆発光素子１０の電極１Ａ、１Ｂは、金などのバンプ３３を介して配線基板３の配線パターン３２と電気的に接続されている。図１において、球状ガラス２は配線基板３と接触していないが配線基板３と接触しても良いことは言うまでもない。【００３４】
図５（Ａ）に示すように、通常のＬＥＤなどの指向性のない発光素子２００では、光量分布の均一化のための光学素子（インテグラルレンズなど）がない限り、コリメータ２０１で平行光となった光束の光強度Ｉは、コサイン４乗則（ＣＯＳ４θＺ）によって中央部が最大分布を呈する正規分布（ガウス分布）となってしまう（図６のｄ＝１．０２ｍｍのデータ参照）。θＺはコリメータ２０１に入射する前の光線の光軸となす角度、Ｉｚは光源のある１点から出射してレンズを通過後、被照明面内に達する全光線の強度分布、ΣＩｚは光源の全点から出射して被照明面内に達する全光線の強度分布である。【００３５】
一方、本発明では、同図（Ｂ）に示すように、その発光素子１を光散乱部である接合面２Ａを設けてある球状ガラス２で被覆したガラス被覆発光素子１０で構成している。これにより、たとえ従来と同じ指向性のない発光特性を有する正規分布の発光特性を有する通常のＬＥＤを発光素子１として使用しても、コリメータ２０１で平行光となった光束の光強度Ｉは、光量分布がほぼ平均化される（図６のＢａｒｅｃｈｉｐ、ｄ＝０．５５ｍｍ、ｄ＝０．７２ｍｍのデータ参照）。これは、指向性のある光源の場合、球状ガラス２内を通過する角度θｚは大きくとも、球状ガラス２を通過後、指向性のある細い光束に変換されるのでコリメータ２０１を通過する光束の角度差は小さくなり、それぞれの射出方向のコリメータ２０１の一部しか通過しないので、コサイン４乗則で低下するθｚは小さくなるからである。【００３６】
ここで、球欠形状の球状ガラス２のレンズ作用について以下で説明する。【００３７】
（イ）発光素子１からの出射光のうち球状ガラス２で全反射した戻り光を散乱手段で散乱させることについて：
発光素子１から出射する発光ピーク波長λｐの光、たとえば４６０ｎｍの青色光は発光素子１の後方を除く出射光側空間の略全周３６０度にわたる領域に面発光する。ここで、出射直後（球状ガラス１入射時）の照射パターンは、図６のｄ＝１．０２ｍｍの線として示すように、ほぼ正規分布に対応する中央が最大ピークの山型である。この発光素子１からの出射光は、出射後、空気中を透過することなく直ちに球状ガラス２の内部を進行し、その後、球状ガラス２を透過する際に、空気との界面に対して全反射角（臨界角）以下で入射する光線のみが、球状ガラス２の外部へ出射していく。一方、空気との界面に対して全反射角以上で入射する光線は、全反射し、接合面２Ａに戻ってくる。接合面２Ａに戻ってきた光は、光散乱部である球状ガラス２の接合面２Ａで散乱され、その後は光路を変更する。そして、全反射角以下の入射角度でガラス−空気界面に到達した光となり、外部へ出射される。【００３８】
（ロ）光源である発光素子１の発光点Ａ’を球状ガラス２を真球とした場合の仮想最後方点Ａよりも照射方向の前方側にずらすことで、球状ガラス２を透過する際に光束が拡散する方向に広がることについて：
たとえば、かりに、図７（Ａ）に示すように球欠部のない球状ガラス２’の球面収差を無視できるような無収差の近軸条件が成り立つとすれば、発光素子１の発光点Ａが球状ガラス２’の最後方点Ａにあれば、球状ガラス２’を出射後の光束は平行光束で進行する。なお、実際には、発光点Ａから出て球状ガラス２’から出射する光線は、球状ガラス２’から出射する位置が光軸から離れれば離れるほど球面収差が大きくなるため、無収差の場合の光線の進行方向に比べて光軸に近い方向に向かって収斂する。一方、本発明の発光素子１は、同図（Ｂ）に示すように、発光点Ａ’を球状ガラス１の最後方点Ａよりも照射方向の前方側（Ｚ軸方向）にずらしているので、光束が拡散する方向に広がる効果（以下、第１効果という）を付与することができる。【００３９】
（ハ）球状ガラス２を透過する際に、屈折率ｎをたとえば１．７以上とすることで光束を拡散方向に広がらせることができること、あるいはｎをたとえば２．２以下とすることで光束を収斂方向に狭めることができることについて：
一般に、両面球レンズの中心を通る光軸を含む断面内で、レンズ面半径をそれぞれｒ１、ｒ２、球面レンズの屈折率をｎ、光軸方向のレンズ厚をｔとすると、屈折力（１／ｆ；ただしｆは焦点距離。）は（１）式で表される。【００４０】
１／ｆ＝［（ｎ−１）／ｒ１］＋［（１−ｎ）／ｒ２］
＋［｛（ｎ−１）２ｄ｝／（ｎ・ｒ１・ｒ２）］      ・・・（１）【００４１】
球面レンズでは、ｒ１＝−ｒ２＝ｄ／２である。【００４２】
球状ガラス２のように球の一部を平面で切取った形状すなわち球欠形状であるものについては、球の一部が切取られた側の半球の半径、ここでは便宜的にこれをｒ１とすると、ｒ１が∞となり１／ｒ１→０となるので、（１）式は次の（２）式になる。【００４３】
ｒ２＝（１−ｎ）・ｆ                                    ・・・（２）【００４４】
そして、近軸条件を十分満足する理想的な場合において、ｎが２のときにｒ２＝−ｆとなり、すなわち焦点距離がｒ２に等しくなり、レンズの中心からｒ２の位置に物点が置かれた場合に出射光が平行光となる。【００４５】
したがって、このような理想的な場合においては球状ガラス２の屈折率が２未満であれば光束が拡散し、２超であれば光束が収斂する効果（以下、第２効果という）を付与することができる。【００４６】
（ニ）球状ガラス２の球面収差により、球状ガラス２を透過する際に、前述した（ロ）、（ハ）における効果を相殺（調整）するような、収束する方向の作用が発生することについて：
周知のように、近軸条件が十分に満足するほど理想的な場合を除き、図８に示すように、光軸（Ｚ）上の物点から平行に進行する光は、一般に、光軸（Ｚ）に垂直な方向（Ｘ）に関して、光軸（Ｚ）からより離れた物点での光ほど、理想的な焦点位置よりも近くに像を結ぶ作用が発生する（球面収差）。【００４７】
そこで、本発明では、前述した第１、第２の効果の合算値を、この作用でキャンセルさせるべく、球状ガラス２のｄ／Ｌと屈折率ｎｐとを適正な値に設定するようにしている。すなわち、本発明ではこれを具体的に実現するべく、
ａ）発光素子１の発光点Ａ’が球状ガラス２の最後方点Ａよりも照射方向の前方側にずらすことと、
ｂ）球状ガラス２としてｎｐが１．７以上、好ましくは１．８〜２．２、典型的には１．９〜２．２であるものを使用すること、としている。【００４８】
従って、本実施形態によれば、図９（Ａ）に示すように、半導体発光素子１からの光が球状ガラス２内部を進行し、球状ガラス２と外部の空気との界面（ガラス界面）に入射する際に入射角度が臨界角を超えている場合（破線で示す範囲δの領域外）、全反射によって再度発光素子１の発光面近傍まで戻る場合がある。図９（Ａ）では、太線矢印Ｂで示された光路をたどった反射光が、全反射により球状ガラス２から出射されず、半導体発光素子１の存在領域に戻ってきた光に相当する。そして、本実施形態によれば、光散乱部を備えている。そのため、全反射によって発光素子１近傍に戻ってきた光は、光散乱部である接合面２Ａ（図１参照）に入射すると、そこで屈折することにより光路が変化する。このため、屈折された戻り光は、ガラス界面での全反射条件が崩れ、球状ガラス２の界面に入射する入射角度が臨界角δの範囲内に入ることにより、同図（Ｂ）の太線矢印Ｂに示すような光路を辿り、球状ガラス２から出射される。その結果、第１の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、今まで全反射によりガラス外部へ出射されなかった光をガラス外部へ出射することができるので、光量を増加させることができるという効果を有する。【００４９】
これにより、従来のランプ光源などに代わる高輝度平行光源が実現でき、しかもその照射面の形状を所望の形状に自由に設定することもできる。【００５０】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。【００５１】
図１０は、本発明の第２の実施形態に係るガラス被覆発光素子（第２の発光素子）２０を示すものであり、このガラス被覆発光素子２０には、半導体発光素子１から出射して球状ガラス２内の球面で全反射して戻る光を散乱させるための光散乱部として、接合面２Ａに細かい凹凸からなる微細加工を施す代わりに、球状ガラス２と半導体発光素子１との間の空間２Ｂに、アルミナからなる多数の細かいビーズ状の光散乱部材としてのフィラー４を介装させるとともに、これらのフィラー４を介装させた状態で、球状ガラス２と半導体発光素子１とがＵＶ接着剤で一体に接合されている。ここで、フィラーの粒径は１００μｍから２００ｎm程度にするのが好ましい。小さすぎると散乱能が落ち、大きすぎると、単位体積当たりの散乱能が落ちるからである。しかしながら、特に粒径は限定されるものではない。【００５２】
従って、本実施形態でも、半導体発光素子１からの光が球状ガラス２内部を進行し、全反射によって再度半導体発光素子の発光面近傍に戻る。そして、その戻り光が、ちょうど光散乱部である多数の細かいビーズ状のフィラー４に入射すると、そこで散乱することにより光路が変化する。このため、屈折された戻り光は、ガラス界面での全反射条件が崩れ、球状ガラス２の界面に入射する入射角度が臨界角δの範囲内に入ることにより、球状ガラス２から出射される。その結果、第２の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、今まで全反射によりガラス外部へ出射されなかった光をガラス外部へ出射することができるので、光量を増加させることができるという効果を有する。更に、第２の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、球状ガラス２と半導体発光素子１との間に光散乱部が介在することにより、球ガラスの全反射ロスを解消し、出射光量が増加する若しくは光の取り出し効率が向上するだけでなく、フィラーの粒径、屈折率、充填率をパラメータとして散乱層の散乱特性を変えることが可能になる。よって、第２の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、出射輝度分布をより均一化したり、最適化できるという効果がある。【００５３】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。【００５４】
図１１は、本発明の第３の実施形態に係るガラス被覆発光素子（第３の発光素子）３０Ａを示すものであり、このガラス被覆発光素子３０Ａでは、半導体発光素子１から出射してガラス２内の球面で全反射して戻る光を散乱させるための光散乱部として、接合面２Ａに細かい凹凸からなる微細加工が施してある代わりに、半導体発光素子１の電極に微細加工した反射面を有する（光反射機能を有する）ミラー電極1Ｃ，1Ｄを用いてある。ここで、ミラー電極１DにはP電極として、Ｎｉ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈなどホール注入性に優れ、かつ反射率の良い金属を用いる。【００５５】
このミラー電極1Ｃ，1Ｄは、光反射性の高い材料で形成されているとともに、それぞれ、ｐ層やｎ層との接合面側である発光面寄りの接合面（上面）に凹凸の微細加工が施してある。【００５６】
従って、本実施形態でも、球状ガラス２内部を進行し、全反射によって再度半導体発光素子１に戻る戻り光のうち、ミラー電極1Ｃ，1Ｄに向かうものが、ミラー電極1Ｃ，1Ｄの上面に設けた微細加工の凹凸部分で散乱反射されるので、光路が変更されて球状ガラス２内部へ戻る。その結果、第３の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、今まで全反射によりガラス外部へ出射されなかった光をガラス外部へ出射することができるので、光量を増加させることができるという効果を有する。更に、第３の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、電極をミラー電極とすることにより、新たな部品を必要とせず、低コスト化という効果がある。【００５７】
また、本実施形態のガラス被覆発光素子３０Ａに類似する同図（Ｂ）に示すタイプのガラス被覆発光素子３０Ｂの場合には、電極が半導体発光素子１の片面ではなく両面に設けられている。これらの電極１Ｅ，１Ｆのうち発光する光が出射する球状ガラス２寄りにある方の（負）電極１Ｆは透明電極で構成されている。一方、反対側の（正）電極１Ｅは、ミラー電極で構成されているとともに、ｐ層に接する一面（上面）に凹凸の微細加工が施されている。なお、（負）電極１Ｆは、配線基板３の配線パターン３２に対し金線３４を用いたワイヤボンディングにて接続され、半導体発光素子１の発光面である上面には金線３４ごと透明樹脂で封止されたモールド部５が設けられている。【００５８】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。【００５９】
図１２は、本発明の第４の実施形態に係るガラス被覆発光素子（第４の発光素子）４０を示すものであり、このガラス被覆発光素子４０では、半導体発光素子１が透明基板１４上に搭載された表面実装型の半導体チップで構成されているとともに、半導体発光素子１の電極部分が透明電極１Ｇ、１Ｈで構成されている。そして、この半導体発光素子１の透明電極１Ｇ、１Ｈと配線基板３の配線パターン３２との間は、金線３４などでワイヤボンディングにより接続された構成となっている。また、本実施形態のガラス被覆発光素子４０では、半導体発光素子１の発光面である上面には、透明樹脂で封止されたモールド部５が設けられている。【００６０】
さらに、このガラス被覆発光素子４０では、光散乱部として、少なくとも、半導体発光素子１での発光領域に対応する発光領域直下の配線基板３の上面に、半導体発光素子１を透過して入射する光を反射させる反射面３１Ａを形成している。また、その反射面３１Ａには微細な凹凸加工が施されており、散乱反射面を構成している。【００６１】
従って、本実施形態でも、球状ガラス２内部を進行し、全反射によって再度半導体発光素子１に戻る戻り光のうち、半導体発光素子１を透過して配線基板３に向かうものが、その配線基板３の上面に設けた微細加工の凹凸部分の反射面３１Ａで散乱反射される。これにより、光路が変更されて球状ガラス２内部へ戻る戻り光のうち、全反射条件が崩れて球状ガラス２のガラス界面での入射角度が臨界角以下になる戻り光が、球状ガラス２から出射される。その結果、第４の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、今まで全反射によりガラス外部へ出射されなかった光をガラス外部へ出射することができるので、光量を増加させることができるという効果を有する。更に、第４の実施形態のガラス被覆発光素子によれば、表面実装型の半導体発光素子にも適用できるという効果がある。なお、第４の実施形態と第２の実施形態と組み合わせ、金線３４を封止するモールド部５に光散乱性を有する構造としても問題はない。【００６２】
次に、本発明のガラス被覆発光素子を用いてこれから一定距離離れた場所での照度分布についてシミュレーションを行った。なお、このシミュレーションでは、ガラス被覆発光素子として第１の実施形態のガラス被覆発光素子１０を用いた。但し、このガラス被覆発光素子１０では、図１３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、発光素子１の一辺が０．３２ｍｍ□（ここで、□は正方形の意味。以下同じ。）のＬＥＤ光源を、球ガラス２には屈折率２．０（λ＝５４６ｎｍのとき）を有する直径１．０ｍｍのものを用いた。また、同図（Ｃ）に示すように、発光素子１から５０ｍｍだけ離間した正面位置に一辺１００ｍｍ□のフォトディテクタＤを設置して照度分布図をシミュレーションにより作成した。なお、発光素子１の背面には、反射板Ｒを設置してある。【００６３】
このシミュレーションによれば、散乱率が０％（この場合には、１００％正反射する）、１０％（残りの９０％が正反射する。以下、同様。）、３０％、５０％、６０％、７０％、９０％、９９％のときの光学特性を調べた結果、それぞれ、図１４Ａ〜図２１Ａに示すような照度分布、図１４Ｂ〜図２１Ｂに示すような輝度分布、及び図１４Ａ〜図２１Ａの照度分布を平面（被照射面）で表した平面照度分布の図１４Ｃ〜図２１Ｃが得られた。また、図１４Ｄ〜図２１Ｄは、図１４Ｃ〜図２１Ｃを模式的に示した等高線図である。なお、比較のために、図２２には反射板での吸収が１００％とした場合の各グラフを同時に示す。【００６４】
このシミュレーションによれば、図１４Ａ〜図２１Ａ及び図１４Ｃ〜図２１Ｃに示されているように、散乱率（散乱比率）と照度の分布の間に所定の相関関係があることが理解される。例えば図１４〜図１７のように散乱率が小さい場合は、照射領域内の中央部で照度が小さく、外縁部では大きくなることが示されている。一方、図２０、図２１のように散乱率が大きい場合は、照射領域内の中央部で照度が大きく、外縁部では小さくなることが示されている。【００６５】
そして、図１８Ａ、図１８Ｃ、図１９Ａ、図１９Ｃに示すように、散乱率が一定割合（おおよそ６０％から７０％）のときに、発光素子１の形状に相似する（正方形又は長方形を有する）照射領域において、外縁部と面内で照度がほぼ等しい照度になることが理解される。このように、散乱率を調整することにより、照射領域内の照度を均一なものとすることが可能となることが理解される。このような制御は、発光素子１の仕様、実施形態の変更にかかわらず可能である。【００６６】
また、このシミュレーションによれば、散乱比率と照度（全光束量）との間には、例えば図２３に示すような相関性があり、散乱率が一定割合（このシミュレーションでは凡そ２０％の散乱率）を超えると、所定値以上の照度が安定して得られることがわかった。【００６７】
次に、本発明の照明装置について、図２４を参照しながら説明する。【００６８】
本発明の照明装置５０は本発明のガラス被覆発光素子１０と、その前方に配置されたフィールドレンズ（対物レンズ）６０とを備えている。ガラス被覆発光素子１０は、通常、その電極がバンプによって配線基板の配線パターンに電気的に接続されている。【００６９】
本発明の照明装置５０によれば、ガラス被覆発光素子１０を出射した各光線は、ＬＥＤの発光点位置とガラス被覆発光素子１０の中心点とで決まる主光線に沿ったＺ方向に、あるまとまった指向性のある光束となって進行し、フィールドレンズ６０に達する。そして、フィールドレンズ６０に達したそれぞれの光束は、さらにフィールドレンズ６０の到達点の高さにおいて、その屈折力によってレンズの光軸に平行に近くなる方向に偏向されて被照明体（図示せず）に達する。【００７０】
ここで、ガラス被覆発光素子１０の球状レンズとフィールドレンズ２０とが理想的な無収差レンズであれば、全方向の光線が被照明体に垂直に入射することも可能となるが、実際にはいずれのレンズも大きな球面収差を有するため、被照明体にある程度斜めに入射する光線が存在することは避けられない。【００７１】
しかし、球状レンズとフィールドレンズ６０の光線のばらつき状態を見ながら、図２３のように中心と周辺付近の光束がほぼ被照明体面内に入射するようにフィールドレンズ６０の屈折力と位置とを最適化することにより、ガラス被覆発光素子１０から出射する光線をほとんど被照明体面内にその収差の範囲内でできるだけ垂直に近い状態で入射させることができる。【００７２】
更に、通過する光束をできるだけ平行光化する手段として、フィールドレンズを、安価な平凸球面レンズに代えて、最適な非球面形状を有する（平凸または両面）非球面レンズにすることにより、より垂直にすることも可能である。この場合、非球面レンズについては、照明光の均一化、輝度向上の効果との比較において、採用の可否を考慮できる。【００７３】
そして、その被照明体に入射する光線位置はガラス被覆発光素子１０の発光点位置に対応して決まるので、ガラス被覆発光素子１０の光線強度が一様であれば、被照明体の各点に到達する光線強度も一様に近い状態になる。このため、たとえば一般の建築照明部材や液晶テレビ、プロジェクタ画面等のディスプレイ等の分野において、従来のインテグレータレンズ系のような高価な均一化光学系等の高価な追加光学系を用いることなく、必要な場合でも薄い拡散板のような安価な均一化素子を追加する程度でほぼ均一な光線強度の照射面やスクリーンを実現できる。【００７４】
しかも、本発明では、ガラス被覆発光素子１０に光散乱部を備えているので、照明領域の内部を外縁部とほぼ同等の照度で照明することができるとともに、発光素子１の発光領域が発光素子1の形状に対応する形状を有するので、被照明体の照明すべき形状に合わせた形状に発光素子1を形成することで、被照明体での照明領域を自由に形成することができる。【００７５】
次に、本発明のプロジェクタ装置（以下、単にプロジェクタという。）について図２５を参照しながら説明するが、本発明はこの図に示すようなものに限定されない。【００７６】
本発明のプロジェクタ１００は、本発明のガラス被覆発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、フィールドレンズ６０と、ＬＣＤ（液晶表示装置）７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂと、合波素子８０と、プロジェクションレンズ９０とを備えている。なお、ガラス被覆発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは通常それらの電極がバンプによって配線基板の配線パターンに電気的に接続されている。各ガラス被覆発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、各ＬＣＤ７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂより、照明装置５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂが構成される。【００７７】
このような構成のプロジェクタ１００によれば、ＲＧＢの各光源として設けたガラス被覆発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂからの光は、それぞれフィールドレンズ６０を透過したのち、ＬＣＤ（液晶表示装置）７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂに背面から入射してバックライトを構成する。そして、このＬＣＤ（液晶表示装置）７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂにおいて、ＲＧＢのそれぞれの光成分に対応する画像が形成された後、それらの画像成分が合波素子８０で合波されてから、投影レンズ９０に入射する。【００７８】
本発明のプロジェクタ１００によれば、発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと１枚のフィールドレンズ６０という構成だけで三原色のそれぞれのＬＣＤを、従来の複雑で、ある大きさを持ったインテグレータ光学系等の均一化光学系を用いることなく、照明領域の内部を外縁部とほぼ同等の照度で均一に照明する光学エンジン部を構成できる。したがって、従来の３枚のＬＣＤプロジェクタ光学系を、その部品点数を大幅に減らし、かつ、小さく、安価に製作できるようになる。【００７９】
本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は、２００７年５月１７日出願の日本特許出願（特願２００７−１３２１９４）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明のガラス被覆発光素子は、照射効率が良好であるとともに出射光を所望の方向に効率よく導光することが可能であり、かつ、レンズまたはライトパイプとの位置合わせが不要となる効果を有するばかりでなく、半導体発光素子からの出射光を光散乱部によって発光用の光として効率的に取り出して利用に供することができるので、ガラス被覆発光素子の前方にフィールドレンズ（対物レンズ）が配置されている照明光源やこの照明光源を有するプロジェクタ装置等に有用である。
【図１】
2008143183.tif 000005
【図２】
2008143183.tif 000006
【図３】
2008143183.tif 000007
【図４】
2008143183.tif 000008
【図５】
2008143183.tif 000009
【図６】
2008143183.tif 000010
【図７】
2008143183.tif 000011
【図８】
2008143183.tif 000012
【図９】
2008143183.tif 000013
【図１０】
2008143183.tif 000014
【図１１】
2008143183.tif 000015
【図１２】
2008143183.tif 000016
【図１３】
2008143183.tif 000017
【図１４Ａ】
2008143183.tif 000018
【図１４Ｂ】
2008143183.tif 000019
【図１４Ｃ】
2008143183.tif 000020
【図１４Ｄ】
2008143183.tif 000021
【図１５Ａ】
2008143183.tif 000022
【図１５Ｂ】
2008143183.tif 000023
【図１５Ｃ】
2008143183.tif 000024
【図１５Ｄ】
2008143183.tif 000025
【図１６Ａ】
2008143183.tif 000026
【図１６Ｂ】
2008143183.tif 000027
【図１６Ｃ】
2008143183.tif 000028
【図１６Ｄ】
2008143183.tif 000029
【図１７Ａ】
2008143183.tif 000030
【図１７Ｂ】
2008143183.tif 000031
【図１７Ｃ】
2008143183.tif 000032
【図１７Ｄ】
2008143183.tif 000033
【図１８Ａ】
2008143183.tif 000034
【図１８Ｂ】
2008143183.tif 000035
【図１８Ｃ】
2008143183.tif 000036
【図１８Ｄ】
2008143183.tif 000037
【図１９Ａ】
2008143183.tif 000038
【図１９Ｂ】
2008143183.tif 000039
【図１９Ｃ】
2008143183.tif 000040
【図１９Ｄ】
2008143183.tif 000041
【図２０Ａ】
2008143183.tif 000042
【図２０Ｂ】
2008143183.tif 000043
【図２０Ｃ】
2008143183.tif 000044
【図２０Ｄ】
2008143183.tif 000045
【図２１Ａ】
2008143183.tif 000046
【図２１Ｂ】
2008143183.tif 000047
【図２１Ｃ】
2008143183.tif 000048
【図２１Ｄ】
2008143183.tif 000049
【図２２Ａ】
2008143183.tif 000050
【図２２Ｂ】
2008143183.tif 000051
【図２２Ｃ】
2008143183.tif 000052
【図２２Ｄ】
2008143183.tif 000053
【図２３】
2008143183.tif 000054
【図２４】
2008143183.tif 000055
【図２５】
2008143183.tif 000056
【国際調査報告】
2008143183.tif 000057
2008143183.tif 000058
2008143183.tif 000059
2008143183.tif 000060