(57)【要約】  本発明の実施形態の形態のダイシング装置（１）は、Ｘテーブル（１６、１８）の真下にオイルパン（２０）を配置することにより、オイルパン（２０）の容積を十分に確保し、排水性を向上させている。また、Ｘテーブル（１６、１８）をＸ方向に移動自在に案内するガイドレール（２２、３６）と、ボールねじ（２４、３８）とをオイルパン（２０）の側面に沿って配置し、ガイドレール（２２、３６）と、ボールねじ（２４、３８）とを覆うそれぞれ一対の蛇腹（３４、４６）も同様にオイルパン（２０）の側面に沿って鉛直方向に配置した。蛇腹（３４、４６）に付着した端材は自重により蛇腹（３４、４６）に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパン（２０）に落下して排出される。したがって、蛇腹（３４、４６）には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹（３４、４６）の破損を防止できる。
2009028364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを載置したワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、前記ワークテーブルをθ方向に回転させるθ回転軸と、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを備え、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、
前記Ｘテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、
前記オイルパンの側面には該側面に沿って、前記ＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内するガイド機構と前記ＸテーブルをＸ方向に移動させる駆動機構とが配置され、
前記θ回転軸は、前記ワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記Ｘテーブルに固定され、
前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記Ｘテーブル側にその他端部が固定され、Ｘテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材が前記オイルパンの側面に配置されている、ダイシング装置。
【請求項２】
ワークを載置した第１のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第１のＸテーブルと、ワークを載置した第２のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第２のＸテーブルと、前記第１のワークテーブルをθ方向に回転させる第１のθ回転軸と、前記第２のワークテーブルをθ方向に回転させる第２のθ回転軸と、先端に回転刃が各々取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされる第１のスピンドル、及び第２のスピンドルとを有し、前記各々回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、
前記第１のＸテーブル、及び第２のＸテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、
前記オイルパンの一方の側面には該一方の側面に沿って、前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第１のガイド機構と前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動させる第１の駆動機構とが配置され、
前記第１のθ回転軸は、前記第１のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第１のＸテーブルに固定され、
前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第１のＸテーブル側にその他端部が固定され、第１のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第１のガイド機構及び第１の駆動機構を覆う第１の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの一方の側面に配置され、
前記オイルパンの他方の側面には該他方の側面に沿って、前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第２のガイド機構と前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動させる第２の駆動機構とが配置され、
前記第２のθ回転軸は、前記第２のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第２のＸテーブルに固定され、
前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第２のＸテーブル側にその他端部が固定され、第２のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第２のガイド機構及び第２の駆動機構を覆う第２の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの他方の側面に配置されている、ダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に関し、特に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行うダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工（以下、加工と称する）を行うダイシング装置においては、高速で回転するブレードと称する薄型砥石で研削水をかけながらワークを加工する。【０００３】
図５に示す従来のダイシング装置１００は、特開２００３−１９７５６０号公報（特許文献１）において従来の技術を説明するために開示されたものである。同図に示すように、研削水ノズル１０１から薄型砥石（ブレード）１０２に向けて研削水が供給され、ワークＷの加工ポイントで加工に寄与した研削水は、その後ワークテーブル１０３を囲うように配置された溝状のオイルパン１０４に流れ込む。オイルパン１０４に流れ込んだ研削水は、オイルパン１０４の四隅の内の一つの隅に形成された排水口１０５から排水ダクト１０６を経由して工場ラインの排水溝に排水される。【０００４】
図６は、ダイシング装置１００のワークテーブル１０３まわりの断面図である。図５、図６に示すように、このダイシング装置１００は、マシンベース１０７上に設けられたＸ軸ガイドレール１０８、１０８と、これらのＸ軸ガイドレール１０８、１０８に係合するスライダ１０９、１０９と、ボールねじ１１０と、ボールナット１１１とによってＸ方向に研削送りされるＸテーブル１１２とを有している。このＸテーブル１１２にはθテーブル１１３が載置され、θテーブル１１３にはワークＷを吸着保持するワークテーブル１０３が取り付けられている。また、ワークテーブル１０３を囲うようにして、オイルパン１０４がその脚板１０４Ａ、１０４Ａを介してマシンベース１０７のブラケット１１４、１１４にネジ止めされている。このオイルパン１０４には蛇腹支持板１１５、１１５が設けられており、蛇腹支持板１１５、１１５上には、Ｘ軸ガイドレール１０８、１０８等のガイド機構やボールねじ１１０等の駆動機構を覆うようにして一対の蛇腹１１６、１１６が載っている。【０００５】
図７は、オイルパン１０４と一対の蛇腹１１６、１１６の形状を示した組立斜視図である。このオイルパン１０４には、底板１１７と、底板１１７の中央部の開口部１１８を囲む内側フェンス１１９と、外側フェンス１２０とが形成されている。また、底板１１７の一隅には排水口１０５が形成され、排水口１０５に排水ダクト１２１が溶接されている。オイルパン１０４の開口部１１８の上方にはテーブルカバー１２２を挟んで蛇腹１１６、１１６が両側に設けられている。加工にあたってワークＷに供給された研削水や先浄水は、蛇腹１１６、１１６の溝を伝わってオイルパン１０４に流れ落ち、排水口１０５から排水ダクト１２１に排水される。
【特許文献１】特開２００３−１９７５６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のダイシング装置１００は、Ｘテーブル１１２のガイド機構と駆動機構とがＸテーブル１１２の下方に配置され、Ｘテーブル１１２上にθテーブル１１３が載置される構造であるため、オイルパン１０４の底板１１７には開口部１１８が必要であった。そして、この開口部１１８から研削水や先浄水が入り込まないように、開口部１１８をテーブルカバー１２２及び蛇腹１１６、１１６で覆う構造であった。【０００７】
このため、従来のダイシング装置のオイルパン１０４は、実質的に底板１１７の中央部の開口部１１８を囲む溝状のものであり、その容積が小さいため排水効率が悪く、ワークの加工の際に生じた端材が堆積するという問題があった。【０００８】
また、従来のダイシング装置１００は、蛇腹１１６、１１６が水平に配置されているため、前述した端材が蛇腹１１６、１１６の溝に堆積し易く、堆積した端材と蛇腹の伸縮動作とによって蛇腹が破損するという欠点もあった。【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、排水効率が向上するとともに、端材に起因する蛇腹の破損を防止することができるダイシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明の第１態様に係るダイシング装置は、ワークを載置したワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、前記ワークテーブルをθ方向に回転させるθ回転軸と、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを備え、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、前記Ｘテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、前記オイルパンの側面には該側面に沿って、前記ＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内するガイド機構と前記ＸテーブルをＸ方向に移動させる駆動機構とが配置され、前記θ回転軸は、前記ワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記Ｘテーブルに固定され、前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記Ｘテーブル側にその他端部が固定され、Ｘテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材が前記オイルパンの側面に配置されている。【００１１】
第１態様に係るダイシング装置では、Ｘテーブルの下方（真下）にオイルパンを配置することにより、オイルパンの容積を十分に確保し、排水性を向上させている。また、第１態様に係るダイシング装置では、ＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内するガイド機構とＸテーブルをＸ方向に移動させる駆動機構とをオイルパンの側面に沿って配置することにより、ガイド機構と駆動機構とによってＸテーブルを片持ち支持し、かつ、ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材も同様にオイルパンの側面に沿って鉛直方向に配置している。そのため、蛇腹部材に付着した端材は自重により蛇腹部材に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパンに落下して排出される。したがって、蛇腹部材には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹部材の破損を防止することができる。また、第１態様に係るダイシング装置では、蛇腹部材を鉛直方向（縦型）に配置し、蛇腹部材の上下縁部を、オイルパンに対して上下方向に接触させて摺動させる構造とする。そのため、その摺動部にミストの堆積による水溜まりはできるもののミストが蛇腹部材の内側に浸入するのを防止できる。ひいては、ミスト浸入に起因するガイド機構と駆動機構の不具合を防止することができる。【００１２】
また、本発明の第２態様に係るダイシング装置は、ワークを載置した第１のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第１のＸテーブルと、ワークを載置した第２のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第２のＸテーブルと、前記第１のワークテーブルをθ方向に回転させる第１のθ回転軸と、前記第２のワークテーブルをθ方向に回転させる第２のθ回転軸と、先端に回転刃が各々取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされる第１のスピンドル、及び第２のスピンドルとを有し、前記各々回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、前記第１のＸテーブル、及び第２のＸテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、前記オイルパンの一方の側面には該一方の側面に沿って、前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第１のガイド機構と前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動させる第１の駆動機構とが配置され、前記第１のθ回転軸は、前記第１のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第１のＸテーブルに固定され、前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第１のＸテーブル側にその他端部が固定され、第１のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第１のガイド機構及び第１の駆動機構を覆う第１の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの一方の側面に配置され、前記オイルパンの他方の側面には該他方の側面に沿って、前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第２のガイド機構と前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動させる第２の駆動機構とが配置され、前記第２のθ回転軸は、前記第２のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第２のＸテーブルに固定され、前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第２のＸテーブル側にその他端部が固定され、第２のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第２のガイド機構及び第２の駆動機構を覆う第２の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの他方の側面に配置されている。【００１３】
第２態様に係るダイシング装置では、Ｘテーブルを２台備えたツインテーブル仕様のダイシング装置を対象としており、その基本的なオイルパン構造、及びガイド機構、駆動機構、蛇腹部材の構造は第１態様に係るダイシング装置と同様である。よって、このツインテーブル仕様のダイシング装置によっても、排水効率が向上するとともに、端材に起因する蛇腹の破損を防止でき、さらに、ミスト浸入に起因するガイド機構と駆動機構の不具合を防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に態様に係るダイシング装置によれば、Ｘテーブルの下方にオイルパンを配置したので、オイルパンの容積を十分に確保でき、排水性を向上させることができる。また、ガイド機構及び駆動機構をオイルパンの側面に沿って配置し、かつ、ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材も同様にオイルパンの側面に沿って鉛直方向に配置したため、端材の堆積に起因する蛇腹部材の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係るダイシング装置の外観を示す斜視図であり；
【図２】図２は、図１に示したダイシング装置の加工部の構造を示した斜視図であり；
【図３】図３は、図２に示した加工部の要部構造を示した断面図であり；
【図４】図４は、図２に示した加工部の平面図であり；
【図５】図５は、従来のダイシング装置の加工部の側断面図であり；
【図６】図６は、図５に示した加工部の正面断面図であり；
【図７】図７は、図５に示した加工部のオイルパンの組立斜視図である。
【符号の説明】
【００１６】
１…ダイシング装置
５…顕微鏡
９…回転ブレード
１０…スピンドル
１２、１４…ワークテーブル
１６、１８…Ｘテーブル
２０…オイルパン
２２…ガイドレール
２４…ボールねじ
２６…サーボモータ
２８…ボールナット
３０…スライダ
３２…θテーブル
３４…蛇腹
３６…ガイドレール
３８…ボールねじ
４０…サーボモータ
４４…θテーブル
４６…蛇腹
４８…ガイドベース
５０…スピンドルＹガイド
５２…スピンドルＹテーブル
５４…スピンドルＺテーブル
５６…ホルダ
５８、６０…顕微鏡駆動装置
６２…顕微鏡Ｙガイド
６４…顕微鏡Ｙテーブル
６６…顕微鏡Ｚテーブル
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。【００１８】
図１に示した実施の形態に係るダイシング装置１は、複数のワークが収納されたカセットを外部装置との間で受け渡すロードポート２、吸着部３を有しワークを装置各部に搬送する搬送装置４、ワークの上面を観察する一対の顕微鏡５、５、加工部６、加工後のワークを洗浄し乾燥させるスピンナ７、及び装置各部の動作を制御するコントローラ８等を備える。加工部６は、２本対向して配置され、回転ブレード９が取り付けられた高周波モータ内蔵型のエアーベアリング式スピンドル（若しくはメカスピンドル）１０、１０を備える。これらのスピンドル１０、１０は３０，０００ｒｐｍ〜６０，０００ｒｐｍで高速回転されるとともに、互いに独立して図のＹ方向のインデックス送りとＺ方向の切込み送りとがなされる。回転ブレード９は手前側と下方が開口した図示しないフランジカバーで囲われ、フランジカバーに設けられた研削ノズルから研削水が加工ポイントに向けて供給される。また、フランジカバーは、不図示の洗浄ノズルを備え、この洗浄ノズルから加工ポイントに向けて洗浄水が供給される。回転ブレード９は薄い円盤状の砥石であり、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレード、又は樹脂で結合したレジンブレードが用いられる。更に、加工部６は、ワークを吸着載置する２台の同形状のワークテーブル１２、１４を備え、これらは後述する図２のＸテーブル１６、１８の移動によって図１のＸ方向に研削送りされる。【００１９】
図２は、ダイシング装置１の加工部６の主要部を示した斜視図である。【００２０】
同図に示すように加工部６のワークテーブル１２、１４の下方には、２台のワークテーブル１２、１４を十分に囲むように箱状のオイルパン２０が水平に配置されている。このオイルパン２０の左側面には、２本で一対のガイドレール（ガイド機構）２２、２２が図の矢印Ｘ方向に沿って配設されており、これらのガイドレール２２、２２の間には、駆動機構を構成するボールねじ２４がガイドレール２２、２２と平行に、かつオイルパン２０の左側面に沿って配設されている。【００２１】
また、このボールねじ２４を回転駆動するサーボモータ２６がボールねじ２４の端部側に配置されている。更に、ガイドレール２２、２２で案内され、サーボモータ２６によるボールねじ２４の回転でＸ方向に駆動されるＸテーブル１６が縦方向に配置されている。Ｘテーブル１６には、図３に示すようにボールねじ２４と螺合するボールナット２８と、ガイドレール２２、２２に摺動自在に係合するスライダ３０、３０とが設けられるとともにＺ方向（図１参照）を軸にθ回転するθテーブル（θ回転軸）３２が搭載され、このθテーブル３２にワークテーブル１２が取り付けられている。θテーブル３２の回転軸は、ワークテーブル１２が水平面上でθ方向に回転するようにＸテーブル１６に固定されている。【００２２】
更にまた、Ｘテーブル１６のＸ方向の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール２２、２２、及びボールねじ２４を覆う一対の蛇腹（蛇腹部材）３４、３４がオイルパン２０の左側面に配置されている。一方の蛇腹３４は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手前側に固定され、他端がＸテーブル１６の奥行き方向手前側縁部に固定されている。また、他方の蛇腹３４は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手奥側に固定され、他端がＸテーブル１６の奥行き方向奥側縁部に固定されている。なお、図２では、他方の蛇腹３４を省略している。また、Ｘテーブル１６に対する一対の蛇腹３４、３４の配置関係、取付構造は図５に示した従来のものと基本的に同一である。【００２３】
一方で、図２の如くオイルパン２０の右側面にも同様に、２本で一対のガイドレール（ガイド機構）３６、３６が図１の矢印Ｘ方向に沿って配設され、これらのガイドレール３６、３６の間にも、駆動機構を構成するボールねじ３８がガイドレール３６、３６と平行に、かつオイルパン２０の右側面に沿って配設されている。【００２４】
また、このボールねじ３８を回転駆動するサーボモータ４０がボールねじ３８の端部側に配置されている。更に、ガイドレール３６、３６で案内され、サーボモータ４０によるボールねじ３８の回転でＸ方向に駆動されるＸテーブル１８が配置されている。Ｘテーブル１８には、ボールねじ３８と螺合するボールナット（不図示）と、ガイドレール３６、３６に摺動自在に係合するスライダ（不図示）とが設けられるとともにＺ方向（図１参照）を軸にθ回転するθテーブル（θ回転軸）４４が搭載され、このθテーブル４４にワークテーブル１４が取り付けられている。θテーブル４４の回転軸は、ワークテーブル１４が水平面上でθ方向に回転するようにＸテーブル１８に固定されている。【００２５】
更にまた、Ｘテーブル１８のＸ方向の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール３６、３６、及びボールねじ３８を覆う一対の蛇腹（蛇腹部材）４６、４６がオイルパン２０の右側面に配置されている。一方の蛇腹４６は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手前側に固定され、他端がＸテーブル１８の奥行き方向手前側縁部に固定されている。また、他方の蛇腹４６は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手奥側に固定され、他端がＸテーブル１８の奥行き方向奥側縁部に固定されている。なお、図２では、他方の蛇腹４６を省略している。また、Ｘテーブル１８に対する一対の蛇腹４６、４６の配置関係、取付構造は図５に示した従来のものと基本的に同一である。【００２６】
また、図４に示すように、加工部６には門型形状のガイドベース４８が立設されている。ガイドベース４８の図４中左側面には、図の矢印Ｙ方向に向けて水平にスピンドルＹガイド５０が取り付けられ、さらに、そのスピンドルＹガイド５０にガイドされ、図示しない駆動機構によってＹ方向にインデックス送りされるスピンドルＹテーブル５２、５２が２台設けられている。各々のスピンドルＹテーブル５２には、図示しないガイドレールと駆動機構によって図１の矢印Ｚ方向に切込み送りされるスピンドルＺテーブル５４が設けられる。各々のスピンドルＺテーブル５４には、ホルダ５６を介してスピンドル１０が取り付けられている。２本のスピンドル１０、１０は互いに対向するように配置され、各々のスピンドル１０には先端に回転ブレード９が取り付けられている。このような機構により、２枚の回転ブレード９、９は各々独立してＺ方向の切込み送りとＹ方向のインデックス送りとがされる。また、スピンドルＹテーブル１６、１８、及びスピンドルＺテーブル５４の駆動機構としては、リニアモータが用いられてもよいし、サーボモータとリードスクリューが用いられてもよい。【００２７】
ガイドベース４８の図４中右側面には、２台の顕微鏡駆動装置５８、６０が設けられている。これらの顕微鏡駆動装置５８、６０は、ガイドベース４８の右側面に取り付けられ、図の矢印Ｙ方向に向けて水平に配置された顕微鏡Ｙガイド６２、顕微鏡Ｙガイド６２にガイドされ、図示しない駆動機構によってＹ方向に移動される顕微鏡Ｙテーブル６４、及び顕微鏡Ｙテーブル６４に設けられた図示しないガイドレールと駆動機構によって図の矢印Ｚ方向に送られる顕微鏡Ｚテーブル６６を備える。顕微鏡Ｚテーブル６６には、ワークＷの上面を観察する顕微鏡５が取り付けられている。【００２８】
このように構成された顕微鏡駆動装置５８、６０により、顕微鏡５、５は図のＹ方向とＺ方向とに送られる。なお、顕微鏡Ｙガイド６２、及び顕微鏡Ｚテーブル６６の駆動機構も、リニアモータあるいは、サーボモータとリードスクリュー等の既知の駆動装置が用いられる。顕微鏡５には図示しないＣＣＤカメラが組み込まれており、そのＣＣＤカメラで撮像したワークＷの画像を図１のコントローラ８内に設けられた画像処理装置でパターンパッチング処理をして、ワークＷのアライメントが行われる。これら各部の駆動装置の制御、アライメント動作の制御、加工部６の制御、搬送装置４の制御等は全てコントローラ８によって行われる。【００２９】
次に、このように構成されたダイシング装置１の作用について説明する。【００３０】
まず、ワークが収納されたカセットが、外部搬送装置によってダイシング装置１のロードポート２に受け渡される。このカセットには、ダイシングテープを介してフレームに貼着されたワークＷが複数枚収納されている。次に、ワークＷはダイシング装置１の搬送装置４によって１枚ずつカセットから引き出され、ワークテーブル１２に吸着される。その後、ワークテーブル１２が顕微鏡Ｙガイド６２の下方に移動するとともに、顕微鏡５、５が顕微鏡Ｙテーブル６４によってワークの真上に搬送される。ここで顕微鏡Ｚテーブル６６によって顕微鏡５、５の焦点が合わされる。次いで、ワークＷの上面に形成されているパターン部分が顕微鏡５、５に組み込まれたＣＣＤカメラで撮像され、既知のパターンマッチング手法を用いてアライメントされる。なお、このワークアライメントされている時に、次のワークＷがワークテーブル１４に載置される。【００３１】
アライメントされたワークＷは、ワークテーブル１２によって加工部６に搬送される。ここでは、２枚の回転ブレード９、９が夫々必要な切り込み送りがされ、ワークテーブル１２のＸ方向研削送りによって２本の加工領域（ストリート）が同時に加工される。次に、回転ブレード９、９がＹ方向に必要ピッチ分インデックス送りされて次のストリートに位置付けられ、ワークテーブル１２のＸ方向研削送りによってこの２本のラインも加工される。この動作が繰り返されてワークＷの１方向の全てのストリートが加工される。１方向の全ラインが加工されると、θテーブル３２の回転によりワークは９０度回転され、先程のストリートと直行するストリートが加工される。最初のワークＷが加工部６で加工されている間に、次のワークＷが顕微鏡Ｙガイド６２の下に移動され、顕微鏡５、５が顕微鏡Ｙテーブル６４によってこのワークＷの真上に搬送される。ここでも同様にして、顕微鏡Ｚテーブル６６によって顕微鏡５、５の焦点が合わされ、次のワークＷの上面に形成されているパターン部分が顕微鏡５、５に組み込まれているＣＣＤカメラで撮像されてアライメントが行われる。最初のワークＷの加工が終了すると、アライメントの終了した次のワークＷが加工部６に搬入され、同様に加工される。【００３２】
全加工終了した最初のワークＷは、必要により顕微鏡５、５の下で加工溝の形状やチッピング状況が計測されて評価される。加工溝の評価が終了すると、ワークＷは搬送装置４によってスピンナ７に搬送され、ここでスピン洗浄とスピン乾燥とが行われる。洗浄及び乾燥が終了したワークＷは、再び搬送装置４によって元のカセットに収納される。次のワークＷも同様にして、加工、洗浄、及び乾燥されて、元のカセットに収納される。以上のような動作が次々と繰り返されて、カセット内の全部のワークＷが加工される。以上が本発明に係るダイシング装置によってワークＷを加工するときの流れである。【００３３】
ところで、実施の形態に係るダイシング装置１は、Ｘテーブル１６、１８の下方に、研削水や洗浄水の廃水を受ける十分な容積を有するオイルパン２０が配置されている。そして、このオイルパン２０の側面には、Ｘテーブル１６、１８をＸ方向に移動自在に案内するそれぞれ一対のガイドレール２２、３６とＸテーブル１６、１８をＸ方向に移動させるボールねじ２４、３８とが配置される。さらに、一対の蛇腹３４、４６がオイルパン２０の両側面に配置される。一対の蛇腹３４、４６は、それぞれ、その一端部がオイルパン２０側に固定され、その他端部がＸテーブル１６、１８側に固定され、Ｘテーブル１６、１８の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８とを覆う。【００３４】
すなわち、実施の形態に係るダイシング装置１によれば、Ｘテーブル１６、１８の真下にオイルパン２０を配置することにより、オイルパン２０の容積を十分に確保し、排水性を向上させている。【００３５】
また、Ｘテーブル１６、１８をＸ方向に移動自在に案内するガイドレール２２、３６と、ボールねじ２４、３８とをオイルパン２０の側面に沿って配置することにより、ガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８とによってＸテーブル１６、１８を片持ち支持し、かつ、ガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８とを覆うそれぞれ一対の蛇腹３４、４６も同様にオイルパン２０の側面に沿って鉛直方向に配置した。蛇腹３４、４６に付着した端材は自重により蛇腹３４、４６に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパン２０に落下して排出される。これにより、蛇腹３４、４６には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹３４、４６の破損を防止することができる。【００３６】
また、蛇腹３４、４６を鉛直方向（縦型）に配置し、蛇腹３４、４６の上下縁部を、オイルパン２０に対して上下方向に接触させて摺動させる構造とすることにより、その摺動部にミストの堆積による水溜まりはできるものの、ミストが蛇腹３４、４６の内側に浸入することを防止できるので、ミスト浸入に起因するガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８の不具合を防止することができる。【００３７】
なお、本実施の形態ではワークテーブル１２、１４を２台設けたが、これに限らず、１台であってもよい。この場合には、オイルパン２０の一方側の側面にガイド機構、駆動機構、蛇腹部材を設ければよい。【００３８】
本発明の実施形態について説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更が可能であることはいうまでもない。
【図１】
2009028364.tif 000003
【図２】
2009028364.tif 000004
【図３】
2009028364.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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