【手続補正書】
【提出日】平成17年6月30日(2005.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧雰囲気とする蒸着室内に設けた固定部に基板を固定し、蒸着源より発生する成膜材料が基板上に堆積して薄膜が形成されるように構成した蒸着装置において、
蒸着源移動機構を設けて、前記蒸着源移動機構により蒸着時に前記蒸着源を前記基板に対して自由に移動させるように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
減圧雰囲気とする蒸着室内に設けた固定部に基板を固定し、蒸着源より発生する成膜材料が基板上に堆積して薄膜が形成されるように構成した蒸着装置において、
前記蒸着源をＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向の異なる複数方向に若しくはこれら複数方向の合成方向に移動させる蒸着源移動機構を設けて、前記蒸着源移動機構により蒸着時に前記蒸着源を前記基板に対して移動させるように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
減圧雰囲気とする蒸着室内に設けた固定部に基板を固定し、蒸着源より発生する成膜材料が基板上に堆積して薄膜が形成されるように構成した蒸着装置において、
前記蒸着源をＸ，Ｙ方向に移動させる蒸着源移動機構を設けて、前記蒸着源移動機構により蒸着時に前記蒸着源を前記基板に対して移動させるように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項３において、前記蒸着源移動機構にθ方向の移動手段を設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４において、前記蒸着源移動機構にＺ方向の移動手段を設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
減圧雰囲気とする蒸着室内に設けた固定部に基板を固定し、蒸着源より発生する成膜材料が基板上に堆積して薄膜が形成されるように構成した蒸着装置において、
前記蒸着源移動機構は、前記蒸着室に対し固定する固定側と、ガイド部と駆動部との組み合わせにより所定方向に駆動移動する移動側とから構成され、
前記移動側に前記蒸着源を固定して、前記蒸着源を前記所定方向に移動制御するように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
請求項６において、前記移動側にロボットアームを設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項８】
減圧雰囲気とする蒸着室内に設けた固定部に基板を固定し、蒸着源より発生する成膜材料が基板上に堆積して薄膜が形成されるように構成した蒸着装置において、
前記蒸着源移動機構は、前記蒸着室に対し固定する固定側と移動側とを有し、
前記移動側は、第１の駆動源によって駆動制御された第１の水平アームと、第２の駆動源によって駆動制御された第２の水平アームと、第３の駆動源によって駆動制御された水平板とを有し、
前記第１の水平アームと前記第２の水平アームと前記水平板は前記基板と平行かつそれぞれ水平回動方向に制御され、
前記水平板に前記蒸着源を固定して、前記蒸着源を移動制御するように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
請求項６乃至請求項８のいずれか１項において、前記蒸着源移動機構に前記基板と前記蒸着源との距離を調整する蒸着距離調整機構を設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１０】
請求項９において、前記蒸着距離調整機構は昇降駆動源と昇降ガイドとを有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか１項において、前記蒸着源移動機構は、前記蒸着源の移動速度を制御し得る機能を有することを特徴とする蒸着装置。
【請求１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか１項において、前記蒸着源は取付傾斜角度を調整自在に構成し、前記蒸着源の蒸発中心が前記基板上の一点に合うように調整固定し得るように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれか１項において、前記蒸着源に膜厚センサー若しくはモニターを配設して、前記蒸着源移動機構により前記蒸着源と共に移動して常に膜厚レートを測定若しくはモニターして蒸着状況を把握できるように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか１項において、前記蒸着源移動機構の移動側に複数の前記蒸着源を設けて、二元蒸着若しくは多元蒸着し得るように構成したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４のいずれか１項において、少なくとも前記基板の面方向に対する前記蒸着源移動機構による前記蒸着源の移動範囲を、前記基板の寸法より大きく設定したことを特徴とする蒸着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、上記発明において、前記蒸着源移動機構８は、固定側に対して移動側がガイド部と駆動部との組み合わせにより前記所定方向に駆動移動するように構成し、この移動側に前記蒸着源７を固定して、蒸着源７を前記所定方向に移動制御するように構成したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、上記発明において、前記蒸着源７を前記所定方向に移動する前記蒸着源移動機構８の駆動部を制御して、前記蒸着源７の移動速度を制御し得るように構成したことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、上記発明において、前記蒸着源７は取付傾斜角度を調整自在に構成し、この蒸着源７の蒸発中心が前記基板３上の一点に合うように調整固定し得るように構成したことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上記発明において、前記蒸着源７に膜厚センサー若しくはモニター５を配設して、前記蒸着源移動機構８により前記蒸着源７と共に移動して常に膜厚レートを測定若しくはモニターして蒸着状況を把握できるように構成したことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、上記発明において、前記蒸着源移動機構８の移動側に複数の前記蒸着源７を設けて、二元蒸着若しくは多元蒸着し得るように構成したことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、上記発明において、少なくとも前記基板３の面方向に対する前記蒸着源移動機構８による前記蒸着源７の移動距離を、前記基板３の寸法より大きく設定したことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記発明において、前記蒸着源移動機構８に前記基板３と前記蒸着源７との距離を調整する蒸着距離調整機構６を設けたことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、上記発明においては、一層容易に実現でき、一層実用性に秀れた蒸着装置となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
また、上記発明においては、蒸着源の移動速度を制御することで精度の良い膜厚分布を実現できることとなる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、上記発明においては、蒸着源の取付角度を調整して蒸着源の蒸発中心を基板上の一点に合うようにセットすることで、一層前記作用・効果を良好に発揮させることとなる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
また、上記発明においては、蒸着源に膜厚センサーやモニターを配設すれば、蒸着源移動機構により蒸着源と共にこの膜厚センサーやモニターを常に一緒に移動制御でき、常に各カ所での膜厚レート測定あるいは蒸着状況を把握できるため、一層膜厚の均一化を図れ、移動制御の精度も向上できることとなる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また、上記発明においては、複数の蒸着源を蒸着源移動機構により一緒に移動するように構成することも容易で、この場合には例えばホスト蒸着源とドーパント蒸着源を並べて移動することで精度の高い二元蒸着やその他同様にして多元蒸着も可能となることとなる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、上記発明においては、基板の端部での薄膜の均一化も図れ、できるだけ基板外へ無駄に材料が飛ぶ量を少なくできることとなる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、上記発明においては、適切な距離に基板と蒸着源を調整設定でき、できるだけ基板と蒸着源との距離を短くして、均一化と材料使用効率の向上を一層図れることになる一層秀れた蒸着装置となる。