【手続補正書】
【提出日】平成17年5月25日(2005.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた露光装置において、
前記照明光学系は前記マスクに照射される露光光の出射角が各々異なる複数種のオプチカルインテグレータと、該オプチカルインテグレータを前記照明光学系の光路内から光路外に選択的に切り替えるための切り替え機構とを備え、前記マスクステージは複数のマスク保持部と、該マスク保持部をＸ又はＹ方向に駆動する駆動機構とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた露光装置において、
前記照明光学系は前記マスクに照射される露光光の出射角が各々異なる複数種のオプチカルインテグレータと、該オプチカルインテグレータの一つが前記照明光学系の光軸上に位置するように前記オプチカルインテグレータの位置を選択的に切り替える切り替え機構とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項３】
被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた露光装置において、
前記マスクステージは複数のマスク保持部と、該マスク保持部をＸ又はＹ方向に駆動する駆動機構とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
前記マスクステージは、マスクステージベースと、該マスクステージベースの中央部に形成された開口を取り囲むように前記マスクステージベース上に移動可能に配置された四つのマスク保持部材と、該四つのマスク保持部材のうち前記開口を挟んで対向する二つのマスク保持部材をＸ方向に進退駆動するマスク保持部材Ｘ方向駆動機構と、前記四つのマスク保持部材のうち残りのマスク保持部材をＹ方向に進退駆動するマスク保持部材Ｙ方向駆動機構と、を備えて構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項５】
前記切り替え機構は、前記オプチカルインテグレータを支持する交換用ステージを有し、該交換用ステージを所定方向に直線移動させて前記オプチカルインテグレータの位置を切り替えるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項６】
前記切り替え機構は、前記オプチカルインテグレータを保持する回転ホルダと、該回転ホルダを回転させて前記オプチカルインテグレータの一つを前記照明光学系の光軸上に位置させるホルダ駆動機構と、を備えて構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に係る発明は、被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた露光装置において、前記照明光学系は前記マスクに照射される露光光の出射角が各々異なる複数種のオプチカルインテグレータと、該オプチカルインテグレータを前記照明光学系の光路内から光路外に選択的に切り替えるための切り替え機構とを備え、前記マスクステージは複数のマスク保持部と、該マスク保持部をＸ又はＹ方向に駆動する駆動機構とを備えていることを特徴とする。
請求項２に係る発明は、被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた露光装置において、前記照明光学系は前記マスクに照射される露光光の出射角が各々異なる複数種のオプチカルインテグレータと、該オプチカルインテグレータの一つが前記照明光学系の光軸上に位置するように前記オプチカルインテグレータの位置を選択的に切り替える切り替え機構とを備えていることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、被露光材を支持するワークステージと、該ワークステージに対向して配置されたマスクステージと、該マスクステージに保持されたマスクに対して露光光を前記ワークステージの反対側から照射する照明光学系とを備えた露光装置において、前記マスクステージは複数のマスク保持部と、該マスク保持部をＸ又はＹ方向に駆動する駆動機構とを備えていることを特徴とする。
本発明の請求項１〜３に係る発明において、前記マスクステージは、マスクステージベースと、該マスクステージベースの中央部に形成された開口を取り囲むように前記マスクステージベース上に移動可能に配置された四つのマスク保持部材と、該四つのマスク保持部材のうち前記開口を挟んで対向する二つのマスク保持部材をＸ方向に進退駆動するマスク保持部材Ｘ方向駆動機構と、前記四つのマスク保持部材のうち残りのマスク保持部材をＹ方向に進退駆動するマスク保持部材Ｙ方向駆動機構と、を備えていることが好ましい。
また、前記切り替え機構は、前記オプチカルインテグレータを支持する交換用ステージを有し、該交換用ステージを所定方向に直線移動させて前記オプチカルインテグレータの位置を切り替えるように構成されるものでもよい。さらに、前記切り替え機構は、前記オプチカルインテグレータを保持する回転ホルダと、該回転ホルダを回転させて前記オプチカルインテグレータの一つを前記照明光学系の光軸上に位置させるホルダ駆動機構と、を備えて構成されるものでもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
続いて、マスクステージ２０の構成について説明する。図４は、本実施形態の可動のマスク保持部付きマスクステージ２０の平面図で、当該可動のマスク保持部の前進位置を示す上半分と、後退位置を示す下半分とを合成した図である。図において、符号２１は固定部であるマスクステージベースで、４か所に設けた取り付けフランジ部２１１を図外の基台上にボルト止めして固定支持される。そのマスクステージベース２１の中央部には開口２１２を設けてあり、その開口２１２を取り囲んでマスク保持部としてのＸ方向可動の２枚のマスク保持部材２２Ｘ1，２２Ｘ2 及びＹ方向可動の２枚のマスク保持部材２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 が、それぞれリニアガイド２３を介して移動可能に装着されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
すなわち、Ｘ方向可動の一対のマスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 は、開口２１２を挟んで（左右）両側に対向配置されており、各保持部材毎にそれぞれ、Ｘ軸に沿ってマスクステージベース２１上に平行に配設した例えば３台のリニアガイド２３の案内レール２３１に取り付けてあるスライダ２３２に固定支持されている。また、マスクステージベース２１上には、Ｘ方向の可動マスク保持部の駆動機構としてのシリンダ装置２４Ｘを配設している。このシリンダ装置２４Ｘは、一方のマスク保持部材２２Ｘ1 の最前進位置ＦＸと最後退位置ＢＸとの２通りの設定位置に合わせて移動距離が決められるスライダ２４１と、そのスライダ２４１を駆動するためのシリンダ２４２を有しており、当該スライダ２４１とマスク保持部材２２Ｘ1 とが連結されている。なお、他方のマスク保持部材２２Ｘ2 の方のエアシリンダ装置２４Ｘについては、図示を省略している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
一方、Ｙ方向可動の一対のマスク保持部材２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 は、同じく開口２１２を挟んで（上下）両側に対向配置されており、各保持部材毎にそれぞれ、Ｙ軸に沿ってマスクステージベース２１上に平行に配設した３台のリニアガイド２３の案内レール２３１に取り付けてあるスライダ２３２に固定支持されている。また、マスクステージベース２１上には、Ｙ方向のマスク保持部駆動手段としてのシリンダ装置２４Ｙを配設している。このシリンダ装置２４Ｙは、一方のマスク保持部材２２Ｙ1 の最前進位置ＦＹと最後退位置ＢＹとの２通りの設定位置に合わせて移動距離が決められるスライダ２４１と、そのスライダ２４１を駆動するためのシリンダ２４２を有しており、当該スライダ２４１とマスク保持部材２２Ｙ1とが連結されている。なお、他方のマスク保持部材２２Ｙ2 の方のエアシリンダ装置２４Ｙについては、図示を省略している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記の各マスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 及び２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 は、図示しないがその前進方向の先端部に、マスクＭを吸着保持するマスク保持手段を備えている。そして、各マスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 及び２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 の最前進位置ＦＸ，ＦＹと最後退位置ＢＸ，ＢＹは、使用されるマスクＭのサイズに応じて予め設定される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
次に、本実施形態の作用を述べる。マスクサイズが大小２種類のマスクＭを切り換えて使用する場合について説明する。例えば初めに、サイズの大きい方のマスクＭを用いてワークＷの感光剤塗布面に所定のマスクパターンを露光するなら、マスクステージ２０の各マスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 及び２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 はいずれも最後退位置ＢＸ，ＢＹまで下げておく。そのとき、マスクステージベース２１の開口２１２の開口面積は最大である。その可動マスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 ，２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 に、所定のマスクパターンが描かれている大きい方のマスクＭを、パターン面を下にして図外の真空式吸着装置により吸着保持させる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
次いで、ワークステージ７を操作してワークＷを移動させた後、よりサイズの小さいマスクＭのパターンの露光を行う。その場合、マスクステージ２０の真空を一旦解除して、初めに使用したサイズの大きい方のマスクＭをマスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 ，２２Ｙ1 ，２２Ｙ2から外す。その後、マスク保持部駆動機構であるシリンダ装置２４Ｘ及び２４Ｙを作動させて、そのスライダ２４１を最前進位置まで前進させる。これにより、最後退位置ＢＸに位置していたＸ方向可動部である一対のマスク保持部材２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 がリニアガイド２３に案内されつつ最前進位置ＦＸまで前進移動する。同時に、Ｙ方向可動部である一対のマスク保持部材２２Ｙ1 ，２２Ｙ2 も、同様にして最前進位置ＦＸまで前進移動する。かくして、マスクステージベース２１の開口２１２の開口面積が最小になる。その可動マスク保持枠２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 ，２２Ｙ1 ，２２Ｙ2の下面に、小さい方のマスクＭを、パターン面を下にして吸着保持させる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１  光源
２  凹面鏡
３  ミラー
４  オプチカルインテグレータ
５  球面ミラー
６  照明光学系
６Ａ  照明光学系
７  ワークステージ
１０  オプチカルインテグレータ切り替え機構
１０Ａ  オプチカルインテグレータ切り替え機構
２０  マスクステージ
２１  マスクステージベース
２２Ｘ1 ，２２Ｘ2 ，２２Ｙ1 ，２２Ｙ2  マスク保持部材
２４Ｘ  シリンダ装置（マスク保持部材Ｘ方向駆動機構）
２４Ｙ  シリンダ装置（マスク保持部材Ｙ方向駆動機構）
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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