(57)【要約】  ハウジング(３)内にクランプロッド(５)を上下移動可能に挿入し、そのクランプロッド(５)の軸心とほぼ同心上で上記ハウジング(３)の下端壁(３ｂ)に検出孔(５８)を形成する。その検出孔(５８)の周面に圧縮空気供給用の入口孔(７１，７２)を開口する。上記の検出孔(５８)に、上記の入口孔(７１，７２)の開口部(７１ａ，７２ａ)を閉じる閉止面(６８)と、上記の開口部(７１ａ，７２ａ)を外気へ連通させる凹所(６９)とを設けた検出具(６２)を、上下移動可能に嵌入する。上記の検出具(６２)を上記クランプロッド(５)の下向きの突出部(５ａ)に連結する。上記の検出具(６２)を弾性体(９１)によって上記の開口部(７１ａ，７２ａ)に向けて付勢する。
2008102757.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング(３)内にクランプロッド(５)を軸心方向へ移動可能に挿入し、上記のクランプロッド(５)の軸心とほぼ同心上で上記ハウジング(３)の一端壁(３ｂ)に検出孔(５８)を形成し、その検出孔(５８)の周面に圧力流体供給用の入口孔(７１，７２)を開口し、
上記の検出孔(５８)に、上記の入口孔(７１，７２)の開口部(７１ａ，７２ａ)を閉じる閉止面(６８)と上記の開口部(７１ａ，７２ａ)を外気へ連通させる連通部(６９)とを設けた検出具(６２)を、軸心方向へ移動可能に嵌入し、
上記クランプロッド(５)の一端部に操作部(５ａ)を設けて、その操作部(５ａ)を上記の検出具(６２)に連結し、
上記の検出具(６２)を弾性体(９１)によって上記の開口部(７１ａ，７２ａ)に向けて付勢した、ことを特徴とするクランプの動作検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載したクランプの動作検出装置において、
前記の弾性体(９１)の付勢力を、前記の開口部(７１ａ，７２ａ)から前記の閉止面(６８)に作用する前記の圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面(６８)を前記の検出孔(５８)に接当させる、ことを特徴とするクランプの動作検出装置。
【請求項３】
ハウジング(３)内にクランプロッド(５)を軸心方向へ移動可能に挿入し、上記のクランプロッド(５)の軸心とほぼ同心上で上記ハウジング(３)の一端壁(３ｂ)に検出孔(５８)を形成し、その検出孔(５８)の周面に圧力流体供給用の入口孔(７１，７２)を開口し、
上記の検出孔(５８)に、上記の入口孔(７１，７２)の開口部(７１ａ，７２ａ)を閉じる閉止面(６８)と上記の開口部(７１ａ，７２ａ)を外気へ連通させる連通部(６９)とを設けた検出具(６２)を、軸心方向へ移動可能に嵌入し、
上記クランプロッド(５)の一端部に操作部(５ａ)を設けて、その操作部(５ａ)を上記の検出具(６２)に連結し、
上記の検出具(６２)を、直径方向へ拡大および縮小可能なコレットによって構成し、そのコレットからなる上記の検出具(６２)を縮径させた状態で上記の検出孔(５８)に挿入することにより、その検出具(６２)自体が備える弾性復元力によって上記の閉止面(６８)を上記の開口部(７１ａ，７２ａ)に向けて押す、ことを特徴とするクランプの動作検出装置。
【請求項４】
請求項３に記載したクランプの動作検出装置において、
前記の検出具(６２)の前記の弾性復元力を、前記の開口部(７１ａ，７２ａ)から前記の閉止面(６８)に作用する前記の圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面(６８)を前記の検出孔(５８)に接当させる、ことを特徴とするクランプの動作検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワークなどを固定するクランプの動作状態を検出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クランプの動作検出装置には、クランプロッドが軸心方向に移動可能に挿入されたハウジングの下端壁に、クランプロッドの軸心とほぼ同心上で検出孔を形成し、上記の検出孔に検出具が軸心方向へ移動可能に嵌入されたものがある（例えば、特許文献１参照）。上記の検出具の外周面には、検出孔の周面に開口された圧力流体供給用の入口孔の開口部を閉じる閉止面と上記の開口部を外気へ連通させる凹所とが設けられている。ここで、圧力流体が入口孔に供給されたときの圧力は、入口孔の開口部が検出具の凹所に対面している場合と検出具の閉止面で閉じられた場合とで異なることから、上記の動作検出装置では圧力流体の圧力を検出することによりクランプロッドの動作状態が検出される。
【特許文献１】特開２００３−３０５６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の従来技術は、クランプロッドの動作状態を簡素な構成で確実に検出できる点で優れるが、次の点で改善の余地が残されていた。
例えば、上記クランプを長期間または高頻度で使用した場合には、上記の検出具の閉止面と上記の検出孔の周面の両者の少なくとも一方が摩耗して、これら両者の隙間が大きくなっていく。
そして、入口孔の開口部を検出具の閉止面で閉じるときに、上記の隙間が許容値よりも大きい場合には、圧力流体の漏れ量が多くなって検出圧力が低くなるので、クランプロッドの動作状態を正確に判別することができなくなる。特に、供給圧力に対する圧力降下値が大きい複数のクランプが接続された場合には、検出圧力が極端に低くなるので、誤判別が発生しやすくなる。
このような問題を解消するには、入口孔の開口部が検出具の閉止面で閉じられたときに検出される圧力を高くすればよいが、そのためには上記の隙間を狭い設定範囲内に保持する必要がある。従って、部品製造時に加工精度を高めると共に部品公差の管理を厳しく行わなければならないので、加工コストが増加してしまう。また、部品を公差別に層別管理等を行うことも考えられるが、歩留まりが低下して加工コストが増加する。
本発明の目的は、クランプロッドの動作状態を正確に検出することと、加工コストの増加を防止することとを、両立させることにある。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００４】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図５Ｃ、図６及び図７、図８及び図９、図１０の各図に示すように、クランプの動作検出装置を次のように構成した。
ハウジング３内にクランプロッド５を軸心方向へ移動可能に挿入し、上記のクランプロッド５の軸心とほぼ同心上で上記ハウジング３の一端壁３ｂに検出孔５８を形成し、その検出孔５８の周面に圧力流体供給用の入口孔７１(７２)を開口し、
上記の検出孔５８に、上記の入口孔７１(７２)の開口部７１ａ(７２ａ)を閉じる閉止面６８と上記の開口部７１ａ(７２ａ)を外気へ連通させる連通部６９とを設けた検出具６２を、軸心方向へ移動可能に嵌入し、
上記クランプロッド５の一端部に操作部５ａを設けて、その操作部５ａを上記の検出具６２に連結し、
上記の検出具６２を弾性体９１によって上記の開口部７１ａ(７２ａ)に向けて付勢した。
【０００５】
本発明は、次の作用効果を奏する。
クランプの動作を検出するときには、前記の入口孔に圧縮空気等の圧力流体を供給する。上記の入口孔の開口部が前記の検出具の前記の連通部に対面している場合には、その入口孔に供給された圧力流体が上記の連通部を通って外部へ排出され、その圧力流体の圧力が設定圧力よりも低下する。これに対して、上記の入口孔の開口部が上記の検出具の前記の閉止面によって閉じられた場合には、上記の圧力流体の排出が阻止されて、その圧力流体が設定圧力に保持される。従って、上記の圧力流体の圧力を検出することにより、上記の検出具の切換え状態を検出でき、これにより、前記クランプロッドの動作状態を判別できる。
ここで、上記の検出具は、弾性体によって、上記の入口孔の開口部に向けて付勢されている。このため、前記の検出具の閉止面と検出孔の内周との少なくとも一方が摩耗した場合でも、上記の閉止面と検出孔の周面の開口部近傍との間に隙間がほとんど形成されず、入口孔の開口部が閉じられるときの検出圧力を高い状態に維持できるので、クランプロッドの動作状態を正確に判別することができる。
しかも、検出具の閉止面と検出孔の周面の開口部近傍との間に隙間がほとんど形成されないので、部品製造時に部品公差の管理を厳しく行わなくても、入口孔の開口部が閉じられたときに検出される圧力を高い状態に維持できる。従って、クランプロッドの動作状態を正確に判別できる。
このように、クランプロッドの動作状態を正確に検出することと、加工コストの増加を防止することとを、両立させることができる。
【０００６】
本発明では、前記の弾性体９１の付勢力を、前記の開口部７１ａ(７２ａ)から前記の閉止面６８に作用する前記の圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面６８を前記の検出孔５８に接当させることが好ましい。これにより、上記の検出具が上記の開口部に向けて押圧された状態で円滑に移動可能になる。
【０００７】
また、前記の目的を達成するために、本件の別の発明は、例えば、図１１Ａと図１１Ｂ（及び図１）に示すように、クランプの動作検出装置を次のように構成した。
ハウジング３内にクランプロッド５を軸心方向へ移動可能に挿入し、上記のクランプロッド５の軸心とほぼ同心上で上記ハウジング３の一端壁３ｂに検出孔５８を形成し、その検出孔５８の周面に圧力流体供給用の入口孔７１(７２)を開口し、
上記の検出孔５８に、上記の入口孔７１(７２)の開口部７１ａ(７２ａ)を閉じる閉止面６８と上記の開口部７１ａ(７２ａ)を外気へ連通させる連通部６９とを設けた検出具６２を、軸心方向へ移動可能に嵌入し、
上記クランプロッド５の一端部に操作部５ａを設けて、その操作部５ａを上記の検出具６２に連結し、
上記の検出具６２を、直径方向へ拡大および縮小可能なコレットによって構成し、そのコレットからなる上記の検出具６２を縮径させた状態で上記の検出孔５８に挿入することにより、その検出具６２自体が備える弾性復元力によって上記の閉止面６８を上記の開口部７１ａ(７２ａ)に向けて押す。
【０００８】
本件の別の発明は、次の作用効果を奏する。
クランプの動作を検出するときには、前記の入口孔に圧縮空気等の圧力流体を供給する。上記の入口孔の開口部が前記の検出具の前記の連通部に対面している場合には、その入口孔に供給された圧力流体が上記の連通部を通って外部へ排出され、その圧力流体の圧力が設定圧力よりも低下する。これに対して、上記の入口孔の開口部が上記の検出具の前記の閉止面によって閉じられた場合には、上記の圧力流体の排出が阻止されて、その圧力流体が設定圧力に保持される。従って、上記の圧力流体の圧力を検出することにより、上記の検出具の切換え状態を検出でき、これにより、前記クランプロッドの動作状態を判別できる。
ここで、上記の検出具には、自己の弾性復元力によって、上記の閉止面を上記の開口部に向けて押す力が作用する。このため、前記の検出具の閉止面と検出孔の内周との少なくとも一方が摩耗した場合でも、上記の閉止面と検出孔の周面の開口部近傍との間に隙間がほとんど形成されず、入口孔の開口部が閉じられるときの検出圧力を高い状態に維持できるので、クランプロッドの動作状態を正確に判別することができる。
しかも、検出具の閉止面と検出孔の周面の開口部近傍との間に隙間がほとんど形成されないので、部品製造時に部品公差の管理を厳しく行わなくても、入口孔の開口部が閉じられたときに検出される圧力を高い状態に維持できる。従って、クランプロッドの動作状態を正確に判別できる。
このように、クランプロッドの動作状態を正確に検出することと、加工コストの増加を防止することとを、両立させることができる。
【０００９】
上記の別の発明では、前記の検出具６２の前記の弾性復元力を、前記の開口部７１ａ(７２ａ)から前記の閉止面６８に作用する前記の圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面６８を前記の検出孔５８に接当させることが好ましい。これにより、上記の検出具の一部が上記の開口部に向けて押圧された状態で円滑に移動可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態を示し、リンク式クランプの立面視の部分断面図である。
【図２】上記のリンク式クランプに設けた動作検出装置のアンクランプ状態の断面図である。
【図３】上記の図２中のIII−III線矢視の断面図である。
【図４】図４Ａは、上記の図２中の４Ａ−４Ａ線矢視図に相当する図であって、検出具のアンクランプ状態を示している。図４Ｂは、上記の検出具のクランプ状態を示し、上記の図４Ａに類似する図である。図４Ｃは、同上の検出具の空クランプ状態を示し、同上の図４Ａに類似する図である。
【図５】図５Ａは、上記の図４Ａ中の５Ａ−５Ａ線矢視断面図に相当する図である。図５Ｂは、同上の図４Ａ中の５Ｂ−５Ｂ線矢視断面図に相当する図である。図５Ｃは、同上の図４Ａ中の５Ｃ−５Ｃ線矢視断面図に相当する図である。
【図６】上記の実施形態の第１変形例を示し、前記の図２に類似する断面図である。
【図７】上記の図６中のVII−VII線矢視の断面図である。
【図８】第２変形例を示し、前記の図２に類似する断面図である。
【図９】上記の図８中のIX−IX線矢視の断面図である。
【図１０】第３変形例を示し、前記の図３に類似する断面図である。
【図１１】図１１Ａ及び図１１Ｂは、第４変形例を示し、図１１Ａは検出具の斜視図であり、図１１Ｂは前記の図３に類似する断面図である。
【符号の説明】
【００１１】
３…ハウジング、３ｂ…ハウジング３の一端壁(下端壁)、５…クランプロッド、５ａ…操作部(突出部)、５８…検出孔、６２…検出具(コレット)、６８…閉止面、６９…連通部(凹所)、７１…入口孔(第１入口孔)、７１ａ…開口部、７２…入口孔(第２入口孔)、７２ａ…開口部、９１…弾性体。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１から図５は、本発明の実施形態を示し、本発明をリンク式クランプに適用した場合を例示している。まず、図１の立面視の部分断面図によって上記クランプの全体構造を説明する。【００１３】
工作機械のテーブル１の取付け穴１ａに上記のクランプ２のハウジング３が挿入され、そのハウジング３が複数のボルト(図示せず)によって上記テーブル１の上面に固定される。そのハウジング３の筒孔４にクランプロッド５が挿入される。そのクランプロッド５の上部にアーム６の長手方向の左部が第１ピン４５によって垂直面内で揺動自在に連結される。そのアーム６の長手方向の途中部が第２ピン４６によって一対のリンク部材４７の上部に揺動自在に連結され(ここでは一方のリンク部材４７だけを示している)。さらに、上記リンク部材４７の下部が、ハウジング３の上端壁３ａにネジ止めしたボルト４８の頭部に、第３ピン４９によって揺動自在に連結される。また、アーム６の先端部分に押ボルト７が固定される。【００１４】
上記のハウジング３の上端壁３ａに上記クランプロッド５の上摺動部分１１が摺動自在で保密状に支持される。ハウジング３の下端壁（一端壁）３ｂには蓋部材５５が固定され、その蓋部材５５に同上クランプロッド５の下摺動部分１２が摺動自在に支持される。【００１５】
また、上記クランプロッド５を駆動する手段は次のように構成されている。前記の上摺動部分１１と下摺動部分１２との間で、上記クランプロッド５の途中高さ部にピストン１５が固定される。そのピストン１５が前記の筒孔４に保密状に挿入される。
前記の上端壁３ａと上記ピストン１５との間にアンクランプ室１７が形成され、そのアンクランプ室１７に対してアンクランプ用の圧油給排口１８から圧油が給排可能とされる。また、前記の下端壁(一端壁)３ｂと同上ピストン１５との間にクランプ室１９が形成される。上記のクランプ室１９に対してクランプ用の圧油給排口(図示せず)と油路２０とを介して圧油が給排可能とされる。【００１６】
上記のクランプ２は次のように作動する。図１で示すクランプ時には、上記アンクランプ室１７の圧油を排出すると共に上記クランプ室１９へ圧油を供給してある。これにより、前記クランプロッド５が上昇して前記アーム６を第２ピン４６の回りに時計回りの方向へ駆動し、そのアーム６の右部に設けた押ボルト７がワークＷを下向きに押圧する。これとは逆に、アンクランプ時には上記クランプ室１９の圧油を排出すると共に上記アンクランプ室１７へ圧油を供給する。すると、上記クランプロッド５が下降して前記アーム６を反時計回りの方向へ退避させる。【００１７】
上記構成のクランプ２の動作状態を検出する装置が設けられる。その動作検出装置５１について、上記の図１を参照しながら図２から図５Ｃによって説明する。【００１８】
前記テーブル１の前記の取付け穴１ａは、上下に形成した大径穴５２および小径穴５３とを備える。前記ハウジング３の前記の下端壁(一端壁)３ｂは、前記の筒孔４の周壁４ａに保密状にネジ止めした蓋部材５５と、その蓋部材５５に複数のボルト５４(ここでは１本だけ示している)によって固定した筒部材５６とを備える。上記の筒部材５６が前記の小径穴５３に保密状に挿入されている。また、上記の筒部材５６は、前記クランプロッド５の軸心とほぼ同心上に配置されており、その筒部材５６の内周面によって検出孔５８が構成されている。その検出孔５８の下端は、カバー板５９の出口孔６０を介して外気へ連通されている。【００１９】
上記クランプロッド５の下向きの突出部(操作部)５ａが上記の蓋部材５５に保密状に挿入される。その突出部５ａの下部が、支持ボルト６３を介して筒状の検出具６２に半径方向かつ上下方向へ相対移動可能で軸心回りの相対回転を阻止した状態で連結される。その検出具６２が上記の検出孔５８に上下方向へ移動自在に嵌入されている。【００２０】
より詳しくいえば、主として図３に示すように、上記の突出部５ａの下部に正方形状の外周面８２が形成されると共に、上記の検出具６２に正方形状の筒孔８３が形成される。その正方形状の外周面８２に上記の正方形状の筒孔８３が所定の隙間をあけて外嵌される。また、上記の検出具６２は、上記の筒孔８３内に挿入した前記の支持ボルト６３下部と前記の突出部５ａの下面との間で上下方向へ移動可能になっている。参照符号８４は、スペーサである。【００２１】
主として、図４Ａから図４Ｃと図５Ａから図５Ｃに示すように、上記の検出具６２の外周面に閉止面６８および凹所(連通部)６９が設けられる。より詳しく言えば、上記の検出具６２の上下の両端面に連通溝８６が開口される。その連通溝８６の一方の外側(図４Ａ中の右外側)にクランプ検出用の第１閉止面８７と第１逃し溝８８とが上下に形成されると共に、上記の連通溝８６の他方の外側(図４Ａ中の左外側)にアンクランプ検出用の第２閉止面８９と第２逃し溝９０とが上下に形成される。上記の第１閉止面８７と上記の第２閉止面８９とによって前記の閉止面６８が構成され、上記の連通溝８６と上記の第１逃し溝８８と第２逃し溝９０とによって前記の凹所(連通部)６９が構成されている。【００２２】
前記の検出孔５８には、クランプ状態検出用の第１入口孔７１とアンクランプ状態検出用の第２入口孔７２とが、上下方向へ間隔をあけると共に水平方向へ所定の間隔をあけて開口される(図２と図３を参照)。上記の第１入口孔７１が前記テーブル１の第１供給孔７５を経て圧縮空気の供給源(図示せず)へ接続され、上記の第２入口孔７２も同上テーブル１の第２供給孔７９を経て上記の圧縮空気の供給源へ接続される。【００２３】
また、上記の突出部５ａの下部の外周面８２のうちの、上記の開口部７１ａ，７２ａに近接する面には、平面視で半円状の凹部８２ａが形成される。また、検出具６２の筒孔８３の内周面には、上記の凹部８２ａに対面するように、半円状の凹部８３ａが形成される。そして、上記の凹部８２ａ，８３ａの間には円柱状でゴム製の弾性体９１が配置される。従って、検出具６２は、弾性体９１の付勢力により上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて付勢される。つまり、上記の検出具６２の閉止面６８が上記の開口部７１ａ，７２ａに対面したときには、閉止面６８は上記の開口部７１ａ，７２ａを閉止する方向に押圧される。ここで、検出具６２を上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて押圧する弾性体９１の付勢力は、上記の開口部７１ａ，７２ａから上記の閉止面６８に作用する圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面６８を前記の検出孔５８に接当させることが好ましい。また、上記の弾性体９１は、例示したゴムに代えてプラスチックや板バネ等であってもよい。
なお、上記の弾性体９１を収容する前記の凹部は、突出部５ａの下部の外周面８２と検出具６２の筒孔８３との、いずれか一方だけに形成してもよい。また、その弾性体９１は、円柱状に代えて角柱状に形成してもよい。
ちなみに、上記の開口部７１ａ，７２ａから供給される圧力流体の圧力が２kgf／cm2 で、開口部７１ａ，７２ａの直径が１mmである場合には、１つの開口部に対して必要な弾性体９１の付勢力Ｆは、次式の値以上に設定することが好ましい。
Ｆ＝π×[０．１(cm)]2×[１／４]×２(kgf／cm2)≒１６gf【００２４】
上記構成の動作検出装置５１は次のように作動する。前記クランプロッド５がアンクランプ状態のときには、図２および図４Ａに示すように、上記の検出具６２がアンクランプ位置Ｅとなり、その検出具６２の第２閉止面８９が前記の第２入口孔７２の第２開口部７２ａを閉じている。これにより、上記の第２入口孔７２へ供給された圧縮空気の圧力が設定圧力に保持され、その第２入口孔７２に連通させた第２圧力スイッチ(図示せず)によって上記の検出具６２がアンクランプ位置Ｅであることを検出している。【００２５】
上記クランプロッド５を上向きにクランプ駆動すると、上記の図４Ａのアンクランプ位置Ｅの検出具６２が図４Ｂのクランプ位置Ｆへ上昇し、その検出具６２の第１閉止面８７が前記の第１入口孔７１の第１開口部７１ａを閉じる。これにより、上記の第１入口孔７１へ供給された圧縮空気の圧力が設定圧力に保持され、その第１入口孔７１に連通させた第１圧力スイッチ(図示せず)によって上記の検出具６２がクランプ位置Ｆであることを検出している。図４Ａから図４Ｃにおいて、参照符号Ｊはクランプストロークを示し、参照符号Ｋは余裕ストロークを示し、参照符号Ｌは全ストロークを示している。【００２６】
上記クランプ駆動時において、前記ワークＷ(図１参照)の装着ミス等によって前記アーム６(図１参照)が空クランプした場合には、上記の検出具６２が図４Ｃの空クランプ位置Ｇへ上昇する。すると、その図４Ｃに示すように、上記の第１入口孔７１の第１開口部７１ａが前記の第１逃し溝８８に対面する。このため、その第１入口孔７１へ供給された圧縮空気は、上記の第１開口部７１ａと上記の第１逃し溝８８と前記の出口孔６０(図２参照)とを経て外部へ排出される。これにより、上記の第１入口孔７１の圧力が設定圧力よりも低くなり、その第１入口孔７１に連通させた第１圧力スイッチ(図示せず)によって上記の検出具６２が空クランプ位置Ｇであることを検出する。【００２７】
また、同上クランプ駆動時において、何らかの原因により、上記の検出具６２が図４Ｂのクランプ位置Ｆへ上昇せず、上記の第１閉止面８７の上端が上記の第１開口部７１ａよりも低い場合には、上記の第１入口孔７１へ供給された圧縮空気は、上記の第１開口部７１ａと前記の連通溝８６と前記の出口孔６０(図２参照)とを経て外部へ排出される。これにより、上記の第１入口孔７１の圧力が設定圧力よりも低くなり、前記の第１圧力スイッチ(図示せず)によって上記の検出具６２がクランプ位置Ｆではないことを検出する。【００２８】
さらに、上記の検出具６２を図４Ｂのクランプ位置Ｆから図４Ａのアンクランプ位置Ｅへ移動させるときにおいて、何らかの原因により、上記の検出具６２が図４Ａのアンクランプ位置Ｅへ下降せず、前記の第２逃し溝９０が前記の第２開口部７２ａに対面した場合には、前記の第２入口孔７２へ供給された圧縮空気は、上記の第２開口部７２ａと上記の第２逃し溝９０と前記の出口孔６０(図２参照)とを経て外部へ排出される。これにより、上記の第２入口孔７２の圧力が設定圧力よりも低くなり、前記の第２圧力スイッチ(図示せず)によって上記の検出具６２がアンクランプ位置Ｅではないことを検出する。【００２９】
図６から図１１Ｂは、上記の実施形態の第１変形例から第４変形例を示している。これらの各変形例においては、上記の実施形態の構成部材と同じ部材（又は類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。【００３０】
図６と図７は、第１変形例を示している。図６は、前記の図２に類似する断面図である。図７は、上記の図６中のVII−VII線矢視の断面図である。この場合、検出具６２の外周面には凹部９２が開口される。その凹部９２は、検出具６２の外周面のうちの、閉止面６８および凹所(連通部)６９とは反対側に設けられる。つまり、凹部９２は、上記の突出部５ａを挟んで上記の開口部７１ａ，７２ａとは反対側に設けられる。そして、上記の検出具６２の凹部９２の底面と上記の検出孔５８の周面との間には、バネ製の弾性体９１及びプラスチック製の押圧材９３が配置される。その押圧材９３は、弾性体９１の付勢力により凹部９２の底面から半径方向の外側に向けて付勢され、上記の検出孔５８の周面に押圧される。従って、検出具６２は、弾性体９１の付勢力により上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて付勢される。ここで、押圧材９３には、例えばテフロンやポリエチレン等の低摩擦樹脂等が用いられる。【００３１】
図８と図９は、第２変形例を示している。図８は、前記の図２に類似する断面図である。図９は、上記の図８中のIX−IX線矢視の断面図である。この場合、上記の突出部５ａの下部の外周面８２のうちの、上記の開口部７１ａ，７２ａに近接する面には、凹部９４が形成される。さらに、上記の検出具６２の筒孔８３の周面には、凹部９４に対面するように、凹部９５が形成される。そして、上記の突出部５ａの凹部９４の底面と上記の検出具６２の周面の凹部９５との間にはバネ製の弾性体９１が配置される。従って、検出具６２は、弾性体９１の付勢力により上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて付勢される。【００３２】
図１０は、第３変形例を示し、前記の図３に類似する断面図である。この場合、筒部材５６には、水平方向へ延びる貫通孔９６が形成される。その貫通孔９６は、上記の突出部５ａを挟んで上記の開口部７１ａ，７２ａとは反対側に設けられる。そして、貫通孔９６の外側は閉鎖ボルト９８で塞がれ、貫通孔９６内には、バネ製の弾性体９１及び押圧材９７が配置される。つまり、弾性体９１及び押圧材９７は、閉鎖ボルト９８と上記の検出具６２の外周面との間に配置される。押圧材９７は、弾性体９１の付勢力により内側に向けて付勢され、上記の検出具６２の外周面に押圧される。従って、検出具６２は、弾性体９１の付勢力により上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて付勢される。ここで、押圧材９７には、例えばテフロンやポリエチレン等の低摩擦樹脂等が用いられる。また、押圧材９７が上記の検出具６２の外周面に押圧されることで、その押圧材９７との間の摩擦力(ブレーキ力)によって上記の検出具６２のオーバーランが防止されるので、クランプロッド５の動作状態が正確に検出される。この点は、前記の図６及び図７の第１変形例についても同様である。【００３３】
図１１Ａ及び図１１Ｂは、第４変形例を示している。図１１Ａは検出具６２の斜視図であり、図１１Ｂは前記の図３に類似する断面図である。この場合、上記の検出具６２は、１つの環状の合成樹脂製のコレットによって構成され、その周壁の一部にスリット９９を形成することにより、直径方向へ拡大および縮小可能になっている。ここでは、上記スリット９９が前記の連通部６９の一部分を構成している。
上記の検出具６２が拡径された通常状態では、その外径は上記の検出孔５８の内径よりも大きくなっている。そして、上記の検出具６２は、その周壁が縮径した状態で上記の検出孔５８に嵌入される。そのため、上記の検出具６２には、自己の弾性復元力により、上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて拡径する方向の力が作用する。ここで、検出具６２に作用する上記の拡径方向の力(検出具６２の弾性復元力)は、上記の開口部７１ａ，７２ａから上記の閉止面６８に作用する圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面６８を前記の検出孔５８に接当させることが好ましい。ここでは、上記の検出具６２の材質は、合成樹脂で例示したが、これに代えて、例えば鋼や非鉄金属や特殊合金などであってもよい。
また、環状のコレットで構成される上記の検出具６２は、例示した形状に限定されるものでなく、各種の形状を適用できることは勿論である。【００３４】
ちなみに、前記の突出部５ａの下部の外周面８２を円形に形成すると共に検出具６２の筒孔８３を円形に形成してもよい。この場合には、上記の突出部５ａから半径方向の外方へ突出させたピン(図示せず)を上記の検出具６２の前記スリット９９内へ挿入して、その検出具６２を回り止めすればよい。
なお、上記の第４変形例において、上記の環状の検出具６２の周壁にスリット９９を形成する位置は、前記の開口部７１ａ，７２ａとオーバーラップしない位置であればよい。【００３５】
上記の実施形態や変形例は次の長所を奏する。
上記の検出具６２は弾性体９１によって上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて付勢されているか、または、上記の検出具６２には自己の弾性復元力によって上記の閉止面６８を上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて押す力が作用する。このため、前記の検出具６２の閉止面６８と検出孔５８の内周との少なくとも一方が摩耗した場合でも、上記の閉止面６８と検出孔５８の周面の開口部７１ａ，７２ａ近傍との間に隙間がほとんど形成されず、入口孔７１，７２の開口部７１ａ，７２ａが閉じられるときの検出圧力を高い状態に維持できるので、クランプロッド５の動作状態を正確に判別することができる。
しかも、検出具６２の閉止面６８と検出孔５８の周面の開口部７１ａ，７２ａ近傍との間に隙間がほとんど形成されないので、部品製造時に部品公差の管理を厳しく行わなくても、入口孔７１，７２の開口部７１ａ，７２ａが閉じられたときに検出される圧力を高い状態に維持できる。従って、クランプロッド５の動作状態を正確に判別できる。
このように、クランプロッド５の動作状態を正確に検出することと、加工コストの増加を防止することとを、両立させることができる。【００３６】
また、検出具６２を上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて押圧する弾性体９１の付勢力は、上記の開口部７１ａ，７２ａから上記の閉止面６８に作用する圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面６８を前記の検出孔５８に接当させることで、上記の検出具６２が上記の開口部７１ａ，７２ａに向けて押圧された状態で円滑に移動可能になる。また、上述の検出具６２が環状のコレットで構成されている場合において、検出具６２の弾性復元力は、上記の開口部７１ａ，７２ａから上記の閉止面６８に作用する圧力流体の圧力による力よりも大きい値に設定し、これにより、上記の閉止面６８を前記の検出孔５８に接当させた場合も、同様の効果が得られる。【００３７】
なお、上記の実施形態や変形例は次のように変更可能である。前記の閉止面６８や凹所（連通部）６９は、例示した形状に限定されるものでなく、各種の形状を適用できることは勿論である。ちなみに、上記の開口部７１ａ，７２ａを外気へ連通させる連通部は、上記の検出具６２の外周面に設けることに代えて、上記の検出具６２の周壁内に設けてもよい。なお、上記の第１入口孔７１と上記の第２入口孔７２とは、両方を設けることに代えて、いずれか一方だけを設けるようにしてもよい。前記のクランプ室１７とアンクランプ室１９とに給排される流体は、圧油に代えて、他の種類の液体や空気等の気体であってもよい。【００３８】
また、本発明に係る動作検出装置は、リンク式クランプに適用することに代えて、スイングクランプ(旋回式クランプ)又は他の種類のアクチュエータに適用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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