(57)【要約】【課題】従来の情報処理装置においては、半導体プロセスに関する時系列データから、半導体プロセスの状態を精度良く検知することができないという課題があった。【解決手段】半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける第一入力受付部１０１と、半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける第二入力受付部１０２と、第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る窓関数処理部１０３と、窓関数処理部１０７が取り出した窓取得情報と、第二情報との相互相関関数を算出する相関算出部１０９と、相関算出部１０９の算出結果に応じた情報を出力する出力部１１１とを備えた。【選択図】図１
2009034967.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける第一入力受付部と、
半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける第二入力受付部と、
前記第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る窓関数処理部と、
前記窓関数処理部が取り出した窓取得情報と、前記第二情報との相互相関関数を算出する相関算出部と、
前記相関算出部の算出結果に応じた情報を出力する出力部とを備えた情報処理装置。
【請求項２】
前記第一情報を正規化する第一正規化処理部をさらに備え、
前記窓関数処理部は、前記第一正規化処理部が処理した前記第一情報から前記窓取得情報を取り出す請求項１記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記第二情報を正規化する第二正規化処理部をさらに備え、
前記相関算出部は、前記窓取得情報と、前記第二正規化処理部が処理した第二情報との相互相関関数を算出する請求項１または請求項２記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記第一情報に対して、フィルタ処理を行う第一フィルタ部を、さらに備え、
前記窓関数処理部は、前記第一フィルタ部が処理した前記第一情報から前記窓取得情報を取り出す請求項１から請求項３いずれか記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記第一フィルタ部は、前記第一情報に対し、伸縮フィルタ処理を行う伸縮フィルタ手段、またはＡＲＸフィルタ処理を行うＡＲＸフィルタ手段、またはエンベロープフィルタ手段、またはゼロクロスフィルタ手段の少なくとも一つを備えている請求項４記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記第二情報に対して、フィルタ処理を行う第二フィルタ部を、さらに備え、
前記相関算出部は、前記窓取得情報と、前記第二フィルタ部が処理した第二情報との相互相関関数を算出する請求項１から請求項５記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記第二フィルタ部は、前記第二情報に対し、伸縮フィルタ処理を行う伸縮フィルタ手段、またはＡＲＸフィルタ処理を行うＡＲＸフィルタ手段、またはエンベロープフィルタ手段、またはゼロクロスフィルタ手段の少なくとも一つを備えている請求項４記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記相関算出部の算出結果を用いて、前記第二情報に、前記窓取得情報と相関の高い情報が含まれるか否かを判断して、前記第二情報が正常であるか否かを判断する判断部をさらに備え、
前記出力部は、前記判断部の判断結果を出力する請求項１から請求項７いずれか記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記第一入力受付部および第二入力受付部は、伝達経路毎に出力される前記第一情報および第二情報を、異なる複数の伝達経路についてそれぞれ受け付け、
前記窓関数処理部は、前記第一入力受付部が受け付けた前記各伝達経路から出力された前記第一情報から、前記各伝達経路毎に前記窓取得情報を取得し、
前記相関算出部は、一の伝達経路から出力された第一情報から取得された窓取得情報と、同じ伝達経路から出力された第二情報と、の相互相関関数を、前記複数の伝達経路毎にそれぞれ算出し、
前記相関算出部が各伝達経路について算出した相互相関関数を用いて、各伝達経路毎に、第二情報と窓取得情報との相関の高い部分を検出する相関検出部と、
前記相関検出部が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士が、関連するか否かを判断する関連判断部と、を更に備え、
前記出力部は、前記関連判断部の判断結果に応じた出力を行う請求項１から請求項７いずれか記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記第一入力受付部および第二入力受付部は、同一または異なる伝達経路から出力される前記第一情報および第二情報をそれぞれ受け付け、
前記第一情報および第二情報が出力される伝達経路とは異なる一以上の伝達経路から出力される時系列データである一以上の第三情報を受け付ける第三入力受付部と、
前記相関算出部が算出した相互相関関数を用いて、第二情報と窓取得情報との、相関の高い部分を検出する相関検出部と、
前記相関検出部が検出した相関の高い部分に対して関連する前記第三情報の期間内に、異常を示す情報が検出されたか否かを判断する情報判断部と、をさらに備え、
前記出力部は、前記情報判断部の判断結果に応じた出力を行う請求項１から請求項７いずれか記載の情報処理装置。
【請求項１１】
前記第三情報に対して、フィルタ処理を行う第三フィルタ部を、さらに備え、
前記情報判断部は、前記第三フィルタ部が処理した第三情報の、前記相関検出部が検出した相関の高い部分に対して関連する期間内に、異常を示す情報が検出されたか否かを判断する請求項１０記載の情報処理装置。
【請求項１２】
前記第三フィルタ部は、前記第三情報に対し、伸縮フィルタ処理を行う伸縮フィルタ手段、またはＡＲＸフィルタ処理を行うＡＲＸフィルタ手段、またはエンベロープフィルタ手段、またはゼロクロスフィルタ手段の少なくとも一つを備えている請求項１１記載の情報処理装置。
【請求項１３】
前記第一情報の、前記所定の期間の指定を受け付ける指定受付部をさらに備え、
前記窓関数処理部は、前記第一情報の、前記指定受付部が受け付けた所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る請求項１から請求項１２いずれか記載の情報処理装置。
【請求項１４】
第一入力受付部と、第二入力受付部と、窓関数処理部と、相関算出部と、出力部とにより処理される情報処理方法であって、
前記第一入力受付部が、半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける第一入力受付ステップと、
前記第二入力受付部が、半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける第二入力受付ステップと、
前記窓関数処理部が、前記第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る窓関数処理ステップと、
前記相関算出部が、前記窓関数処理ステップで取り出した窓取得情報と、前記第二情報との相互相関関数を算出する相関算出ステップと、
前記出力部が、前記相関算出ステップの算出結果に応じた情報を出力する出力ステップとを備えた情報処理方法。
【請求項１５】
コンピュータを、
半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける第一入力受付部と、
半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける第二入力受付部と、
前記第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る窓関数処理部と、
前記窓関数処理部が取り出した窓取得情報と、前記第二情報との相互相関関数を算出する相関算出部と、
前記相関算出部の算出結果に応じた情報を出力する出力部として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスに関する時系列データを処理する情報処理装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスに関する測定データ等の加工方法として、従来、測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工する方法が知られていた（例えば、特許文献１参照）。この測定データ加工方法は、測定データを加工する計算式を予め登録しておき、測定データを受信したとき、この測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、測定データが有するレシピ名称に基づいて、登録された計算式の中から測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。【０００３】
一方、通常、測定データ等の時系列データ、例えば波形等を目視等で監視することで、半導体製造プロセスにおける異常を検知することが可能である。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような時系列データにおける異常の検出を、情報処理装置等で自動化させ、半導体製造装置の状態を精度良く検知することは非常に困難であるという課題があった。例えば、波形データ等の測定データにはノイズ等が入ったり、プロセスの制御のばらつきや外的な環境の変動等による波形のばらつきが生じることが多い。このようなノイズや波形のばらつき等が波形等に含まれることにより、予め用意された正常な場合や異常な場合の半導体プロセス実行時の測定データである参照データの全体と、判断対象となる実際の半導体プロセス実行時の測定データである対象データとの全体とを、単に並べて比較しても、両者が一致しているか否かを精度よく検知することは困難である。したがって、参照データと対象データとが一致するか否かを判断して、半導体プロセスが正常であったか否かを判断することは困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかる情報処理装置は、半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける第一入力受付部と、半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける第二入力受付部と、前記第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る窓関数処理部と、前記窓関数処理部が取り出した窓取得情報と、前記第二情報との相互相関関数を算出する相関算出部と、前記相関算出部の算出結果に応じた情報を出力する出力部とを備えた情報処理装置である。【０００６】
かかる構成により、精度よく半導体プロセスの状態をユーザが検知可能となる。例えば、第一情報の特徴を示す部分等を窓関数で取り出し、この取り出した部分と、第二情報との相互相関関数を算出することで、第一情報の必要な部分だけの相関を求めることができ、半導体プロセスの状態を精度よく検知することが可能となる。【０００７】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第一情報を正規化する第一正規化処理部をさらに備え、前記窓関数処理部は、前記第一正規化処理部が処理した前記第一情報から前記窓取得情報を取り出す情報処理装置である。【０００８】
かかる構成により、第一情報と第二情報との相関が適切に求められるようになり、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【０００９】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第二情報を正規化する第二正規化処理部をさらに備え、前記相関算出部は、前記窓取得情報と、前記第二正規化処理部が処理した第二情報との相互相関関数を算出する情報処理装置である。【００１０】
かかる構成により、第一情報と第二情報との相関が適切に求められるようになり、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００１１】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第一情報に対してフィルタ処理を行う第一フィルタ部を、さらに備え、前記窓関数処理部は、前記第一フィルタ部が処理した前記第一情報から前記窓取得情報を取り出す情報処理装置である。【００１２】
かかる構成により、フィルタ処理で第一情報と第二情報との信号変化の違いを吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。例えば、フィルタ処理で伝送経路の違いによる第一情報と第二情報との信号変化を吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００１３】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第一フィルタ部は、前記第一情報に対し、伸縮フィルタ処理を行う伸縮フィルタ手段、またはＡＲＸフィルタ処理を行うＡＲＸフィルタ手段、またはエンベロープフィルタ手段、またはゼロクロスフィルタ手段の少なくとも一つを備えている情報処理装置である。【００１４】
かかる構成により、フィルタ処理で第一情報と第二情報との信号変化の違いを吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。例えば、フィルタ処理で伝送経路の違いによる第一情報と第二情報との信号変化を吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００１５】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第二情報に対してフィルタ処理を行う第二フィルタ部を、さらに備え、前記相関算出部は、前記窓取得情報と、前記第二フィルタ部が処理した第二情報との相互相関関数を算出する情報処理装置である。【００１６】
かかる構成により、フィルタ処理で第一情報と第二情報との信号変化の違いを吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。例えば、フィルタ処理で伝送経路の違いによる第一情報と第二情報との信号変化を吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００１７】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第二フィルタ部は、前記第二情報に対し、伸縮フィルタ処理を行う伸縮フィルタ手段、またはＡＲＸフィルタ処理を行うＡＲＸフィルタ手段、またはエンベロープフィルタ手段、またはゼロクロスフィルタ手段の少なくとも一つを備えている情報処理装置である。【００１８】
かかる構成により、フィルタ処理で第一情報と第二情報との信号変化の違いを吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。例えば、フィルタ処理で伝送経路の違いによる第一情報と第二情報との信号変化を吸収でき、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００１９】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記相関算出部の算出結果を用いて、前記第二情報に、前記窓取得情報と相関の高い情報が含まれるか否かを判断して、前記第二情報が正常であるか否かを判断する判断部をさらに備え、前記出力部は、前記判断部の判断結果を出力する情報処理装置である。【００２０】
かかる構成により、半導体プロセスの状態についての判断結果を知ることができる。【００２１】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第一入力受付部および第二入力受付部は、伝達経路毎に出力される前記第一情報および第二情報を、異なる複数の伝達経路についてそれぞれ受け付け、前記窓関数処理部は、前記第一入力受付部が受け付けた前記各伝達経路から出力された前記第一情報から、前記各伝達経路毎に前記窓取得情報を取得し、前記相関算出部は、一の伝達経路から出力された第一情報から取得された窓取得情報と、同じ伝達経路から出力された第二情報と、の相互相関関数を、前記複数の伝達経路毎にそれぞれ算出し、前記相関算出部が各伝達経路について算出した相互相関関数を用いて、各伝達経路毎に、第二情報と窓取得情報との相関の高い部分を検出する相関検出部と、前記相関検出部が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士が、関連するか否かを判断する関連判断部と、を更に備え、前記出力部は、前記関連判断部の判断結果に応じた出力を行う情報処理装置である。【００２２】
かかる構成により、伝達経路の異なる信号の関連性を評価することができる。例えば、伝達経路の異なる信号の特徴部分、例えば異常を示している部分が、同じ原因から派生した信号であるか否かを認知することが可能となる。この結果、例えば、伝達経路の異なる信号から、関連性のある信号の特徴部分を検出して、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００２３】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第一入力受付部および第二入力受付部は、同一または異なる伝達経路から出力される前記第一情報および第二情報をそれぞれ受け付け、前記第一情報および第二情報が出力される伝達経路とは異なる一以上の伝達経路から出力される時系列データである一以上の第三情報を受け付ける第三入力受付部と、前記相関算出部が算出した相互相関関数を用いて、第二情報と窓取得情報との、相関の高い部分を検出する相関検出部と、前記相関検出部が検出した相関の高い部分に対して関連する前記第三情報の期間内に、異常を示す情報が検出されたか否かを判断する情報判断部と、をさらに備え、前記出力部は、前記情報判断部の判断結果に応じた出力を行う情報処理装置である。【００２４】
かかる構成により、異なる伝達経路により出力されるデータの関連性を評価することができる。これにより、例えば、半導体製造プロセス等において一の原因により発生した異常を適切に検出することが可能となる。例えば、各伝達経路の関連のない期間に検出された異常を示す情報については、個別の伝達経路において発生したノイズ等の情報である可能性が高いため、これらの情報が検出されても異常と判断しないようにして、異常の検出精度を向上させることができる。この結果、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【００２５】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第三情報に対して、フィルタ処理を行う第三フィルタ部を、さらに備え、前記情報判断部は、前記第三フィルタ部が処理した第三情報の、前記相関検出部が検出した相関の高い部分に対して関連する期間内に、異常を示す情報が検出されたか否かを判断する情報処理装置である。【００２６】
かかる構成により、フィルタ処理で第一情報と第二情報との信号変化の違いを吸収でき、異なる伝達経路により出力されるデータの関連性を精度良く評価することができる。【００２７】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第三フィルタ部は、前記第三情報に対し、伸縮フィルタ処理を行う伸縮フィルタ手段、またはＡＲＸフィルタ処理を行うＡＲＸフィルタ手段、またはエンベロープフィルタ手段、またはゼロクロスフィルタ手段の少なくとも一つを備えている情報処理装置である。【００２８】
かかる構成により、フィルタ処理で第一情報と第二情報との信号変化の違いを吸収でき、異なる伝達経路により出力されるデータの関連性を精度よく評価することができる。【００２９】
また、本発明にかかる情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記第一情報の、前記所定の期間の指定を受け付ける指定受付部をさらに備え、前記窓関数処理部は、前記第一情報の、前記指定受付部が受け付けた所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る情報処理装置である。【００３０】
かかる構成により、第一情報の、ユーザが指定した部分、例えば第一情報の特徴を示す部分等を窓関数で取り出し、この取り出した部分と、第二情報との相互相関関数を算出することで、第一情報の必要な部分だけの相関を求めることができ、半導体プロセスの状態を精度よく検知することが可能となる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明による情報処理装置によれば、半導体プロセスに関する時系列データから、半導体プロセスの状態を精度良く検知することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、情報処理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。【００３３】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態における情報処理装置のブロック図である。【００３４】
また、図２は、本実施の形態における情報処理装置を備えた半導体製造装置管理システムの概念図である。【００３５】
情報処理装置１０は、製造装置１１と、通信回線等を介して、情報の送受信が可能となるように、直接または間接的に接続されている。情報処理装置１０と、製造装置１１とは、例えば、インターネットや、無線や有線のＬＡＮ等のネットワークで接続されていてもよいし、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信により接続されていても良い。また、信号線で直接接続されていても良い。【００３６】
製造装置１１は、被処理基板、例えば、半導体ウエハや液晶パネル基板等、に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、半導体ウエハ製造装置等の半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、プラズマディスプレイ用パネル製造装置等である。【００３７】
図３は、製造装置１１の一例である半導体ウエハ製造装置を示す図である。図３の半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数、例えば、３つのプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚、例えば、５０枚のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されるとともに、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。【００３８】
製造装置１１は、例えば、ウエハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピを格納しており、当該レシピを用いて製造プロセスの制御を行う。レシピとは、通常、装置に対するプロセス条件値や命令、装置のレイアウトについての情報等の集合である。【００３９】
また、製造装置１１は、自装置の状況に関する時系列のデータ（以下時系列データと称す）を１以上取得し、情報処理装置１０に出力、例えば送信する。ここで述べる各時系列データは、例えば、時間に対応した複数のデータにより構成されるデータであり、具体例としては波形データである。状況に関する時系列のデータとは、具体的には、センサやマイク、計測器等により時系列に沿って取得された製造装置の利用状況に関連したデータや、動作状況に関連したデータである。利用状況に関連したデータとは、例えば、製造装置１１がどのような処理や制御を開始したか、実行中か等を示すデータや、製造装置１１を制御する際の制御値の変動を示すデータ等である。製造装置１１の動作状況に関連したデータとは、例えば、一の半導体プロセス実行時において、製造装置１１内の温度や圧力、製造装置に供給される電力量、材料ガスの流量等の製造装置の動作時等に実測された測定データ等である。この測定データは、１以上の温度センサや、１以上の振動センサや、１以上の流量センサ等を用いて取得される。製造装置１１は、通常、時系列データに、当該時系列データが構成された時刻や、当該時系列データを構成する測定情報や利用状況を示すデータが取得された時刻等を示す情報である時刻データを、測定データや利用状況を示すデータと対応付けて付加して出力する。ただし、時系列データを受信した情報処理装置１０が時系列データを受信した時間に対応する時刻データを、状況データに対応付けて付加するようにしても良い。また、時系列データに「温度」、「圧力」等の測定データの種類を示す情報を付加して出力しても良い。通常は、一の製造装置１１は、異なる種類の複数の時系列データを送信する。ただし、複数の製造装置１１が、一以上の時系列データを送信しても良い。また、製造装置１１が複数存在する場合、各製造装置１１から出力される時系列データを識別できるように、時系列データに各製造装置１１を識別するための識別情報を付加して送信しても良い。【００４０】
なお、製造装置１１が、ウエハ等の被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成や、状況データを取得して送信する構成等については、公知技術であるので、詳細な説明は省略する。【００４１】
情報処理装置１０は、第一入力受付部１０１、第二入力受付部１０２、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６、窓関数処理部１０７、指定受付部１０８、相関算出部１０９、判断部１１０、出力部１１１を具備する。【００４２】
第一フィルタ部１０５は、第一伸縮フィルタ手段１０５１、第一ＡＲＸ（ａｕｔｏｒｅｇｒｅｓｓｉｖｅ  ｍｏｄｅｌ  ｗｉｔｈ  ｅｘｏｇｅｎｏｕｓ  ｉｎｐｕｔ）フィルタ手段１０５２、第一エンベロープフィルタ手段１０５３、及び第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４を具備する。【００４３】
第二フィルタ部１０６は、第二伸縮フィルタ手段１０６１、第二ＡＲＸフィルタ手段１０６２、第二エンベロープフィルタ手段１０６３、及び第二ゼロクロスフィルタ手段１０６４を具備する。【００４４】
第一入力受付部１０１は、半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける。半導体プロセスに関する時系列データとは、半導体プロセスに関した時系列データであれば、どのようなデータであっても良く、例えば、半導体プロセスの処理時（実行時）の状態を示す時系列のデータであり、具体的には、一のプロセス実行時等に、製造装置１１等の半導体関連の製造装置内外等に設けられたセンサやマイク等が出力する複数のデータにより構成される波形データ等である。例えば、これらのデータを第一入力受付部１０１が製造装置１１等から直接または間接的に受け付けても良い。また、これらのデータを加工して得られたデータ、例えば統計処理したデータ等であっても良い。また、予めシミュレーション等により作成された、半導体プロセスの実行時に得られると考えられる時系列データでも良い。なお、ここでは、特に、第一情報が、後述する第二情報に対するなんらかの判断、例えば、第二情報が正常な情報であるか否か等の判断を行う際に参照される情報（以下参照情報と称す）である場合について説明する。この参照情報は、比較対象の基準となるデータと考えても良い。ここで述べる受付とは、外部からネットワーク等を介して送信される情報の受信や、信号線等を介した情報の入力や、第一情報が記録されている記録媒体等からの情報の読み出し等である。第一入力受付部１０１は、有線または無線の通信手段や、信号入力のための入力インターフェース及びそのドライバや、記録媒体から情報を読み出すデバイス等のデバイスドライバ等により実現される。【００４５】
第二入力受付部１０２は、半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける。第二情報は、第一情報と同様の半導体プロセスに関した時系列データである。例えば、これらのデータを第二入力受付部１０２が製造装置１１等から直接または間接的に受け付けても良い。ここでは、特に、第二情報が、半導体プロセス実行時に測定された実測データ等の、半導体プロセスの状態を検知するための対象となる情報（以下対象情報と称す）である場合について説明する。対象情報は、検査対象の情報と考えても良い。ただし、第一情報と第二情報とは、特に、後述する第一フィルタ部１０５を用いる場合、伝達経路、具体的には情報が伝達する経路や測定項目や測定位置や測定手段や測定単位等が同じ情報であっても、異なる情報であっても良い。例えば、第一情報が製造装置１１の温度センサの測定値の情報で、第二情報が製造装置１１の内部の音をマイクで集音した波形情報であってもよい。第二入力受付部１０２の構成は、第一入力受付部１０１の構成と同様であるので、ここでは説明を省略する。【００４６】
第一正規化処理部１０３は、第一情報を正規化する正規化処理を行う。正規化処理とは、比較や演算などの操作のために望ましい性質を持った一定の形を持たない第一情報や第二情報、すなわち正規形を持たない第一情報や第二情報を正規形に変形する処理である。具体例としては、平均が０、分散が１となるように第一情報の補正を行う平均値分散値正規化を行う処理が挙げられる。後述する窓関数処理部１０７は、第一正規化処理部１０３が処理した第一情報から、後述する窓取得情報を取り出す。ただし、第一正規化処理部１０３で正規化処理された第一情報が、そのまま直接、窓関数処理部１０７に入力されてもよいし、他の処理部等を介して間接的に入力されても良い。第一正規化処理部１０３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。第一正規化処理部１０３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、第一情報を正規化する必要がない場合、第一正規化処理部１０３は省略可能である。【００４７】
第二正規化処理部１０４は、第二情報を正規化する正規化処理を行う。後述する相関算出部１０９は、後述する窓取得情報と、第二正規化処理部１０４が処理した第二情報との相互相関関数を算出する。相互相関関数とは、２つの信号の類似性等を表すのに用いる関数である。ただし、第二正規化処理部１０４が処理した第二情報が、そのまま直接、相関算出部１０９に入力されても良いし、他の処理部等を介して間接的に入力されてもよい。第二正規化処理部１０４の構成については、第一正規化処理部１０３と同様であるので説明は省略する。なお、第二情報を正規化する必要がない場合、第二正規化処理部１０４は省略可能である。【００４８】
第一フィルタ部１０５は、第一情報に対してフィルタ処理を行う。例えば、第一情報に対して、第二情報との伝達経路の違いによる信号変化を吸収するフィルタ処理を行う。ただし、その他の目的のためにフィルタ処理を行っても良い。例えば、同一の伝達経路から出力される情報であっても、必ずしも、情報が、比較や演算等の処理のために望ましい性質を持った一定の形、例えば波形、を有していない場合がある。このような場合に、処理のための望ましい性質を持った一定の形の情報を得るために、フィルタ処理等を行うようにしてもよい。このような目的のフィルタ処理としては、例えば、ノイズ除去や波形のばらつきの除去等の処理が効果的である。後述する窓関数処理部１０７は、第一フィルタ部１０５が処理した第一情報から後述する窓取得情報を取り出す。なお、第一フィルタ部１０５が処理した第一情報は、そのまま直接、窓関数処理部１０７に入力されても良いし、他の処理部等を介して間接的に入力されてもよい。また、ここでは、第一正規化処理部１０３が処理した第一情報に対してフィルタ処理を行う場合を例に挙げて示しているが、第一入力受付部１０１が受け付けた第一情報を、直接、フィルタ処理するようにしてもよい。さらに、このフィルタ処理された第一情報を、第一正規化処理部１０３等で正規化処理するようにしても良い。すなわち、第一正規化処理部１０３と第一フィルタ部１０５との処理の順番は問わない。第一フィルタ部１０５がフィルタ処理を行なうタイミングやトリガー等は問わない。なお、第一情報にどのようなフィルタ処理を行うかについては、例えば、フィルタ処理の適用対象となる第一情報や、第二情報との関係とに応じて、予め、情報の特性や、過去の実験結果等に基づいて決定しておくようにしてもよいし、適宜ユーザが選択したり切り替えて適用できるようにしてもよい。また、各フィルタ処理におけるパラメータ等は、例えば、予め情報の特性や、過去の実験結果や、シミュレーション結果等に応じて予め設定しておくようにすればよい。【００４９】
伝達経路とは、製造装置１１あるいは製造プロセスにおける、ある要因に関する情報がどのように伝達するかを示す経路のことであり、例えばある要因について測定した同じ測定項目の複数の情報がそれぞれ情報処理装置１０に伝わる経路であっても良いし、ある要因に関する情報を異なる形で測定した情報が伝達することと考えても良い。例えば、ある要因に関して異なる測定項目、例えば音と振動等で測定した情報が伝達することと考えても良い。伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するフィルタ処理とは、第一情報と第二情報とが異なる伝達経路で取得された情報である場合等において、第一情報と第二情報との伝達経路の違いによって生じる二つの情報の信号の違い、例えば、伝達経路の違いによる遅延や時間の伸長、信号を伝える周波数帯の違い等を補正し吸収するための処理である。このような信号の変化を吸収するフィルタ処理としては、例えば、伸縮フィルタ処理やＡＲＸフィルタ処理、等がある。例えば、第一フィルタ部１０５は、伝達経路の違いによる波形の違いを修正するためのフィルタ処理として、伸縮フィルタ処理、ＡＲＸフィルタ処理、エンベロープフィルタ処理、またはゼロクロスフィルタ処理の少なくとも一つを実行するようにしてもよい。伸縮フィルタ処理やＡＲＸフィルタ処理、エンベロープフィルタ処理、及びゼロクロスフィルタ処理については後述する。ここでは、第一フィルタ部１０５が、伝達経路の違いによる波形の違いを吸収するためのフィルタ処理を行う手段として、伸縮フィルタ処理を行う第一伸縮フィルタ手段１０５１と、ＡＲＸフィルタ処理を行う第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２と、エンベロープフィルタ処理を行う第一エンベロープフィルタ手段１０５３と、ゼロクロスフィルタ処理を行う第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４とを備えている場合について説明する。ただし、第一フィルタ部１０５は、第一伸縮フィルタ手段１０５１と、第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２と、第一エンベロープフィルタ手段１０５３と、第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４とのうちの少なくとも一以上を備えているようにしても良い。また、第一フィルタ部１０５は、第一伸縮フィルタ手段１０５１と、第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２と、第一エンベロープフィルタ手段１０５３と、第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４との処理順番は必要に応じて変更可能である。また、これらの手段のうち、第一情報に対して適用する必要がない手段については、処理を行わないようにしても良い。第一フィルタ部１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。第一フィルタ部１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、第一フィルタ部１０５は、第一情報と第二情報とが同じ要因から発生した伝達経路の異なる情報である場合に特に有効なものであり、第一情報と第二情報とが同じ伝達経路で得られる情報である場合のように、第一情報に対して、伝達経路の違いを吸収するためのフィルタ処理が不要な場合、第一フィルタ部１０５は省略可能である。【００５０】
第一伸縮フィルタ手段１０５１は、第一情報に対して第二情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するための伸縮フィルタ処理を行う。伸縮フィルタは非線形フィルタであり、伝達経路によって信号が間延びするような場合に、第一情報を時間軸方向に変形させることで、伝達経路毎の信号変化を吸収する処理である。具体的には、第一伸縮フィルタ手段１０５１は、図４に示すように、信号を補間して伸ばしたり、間引きして縮めることで、時間的に伸縮させた信号を作成する。伸縮フィルタの構成については、公知技術であるので詳細な説明は省略する。【００５１】
第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２は、第一情報に対して第二情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するためのＡＲＸフィルタ処理を行う。第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２は、第一情報と第二情報との伝達経路の差分をＡＲＸモデルで表現し、第一情報から第二情報を予測することで、伝達経路毎の信号変化を吸収する処理である。ＡＲＸフィルタは線形フィルタであり、ＡＲＸフィルタの計算式は以下のように表される。
【数１】
2009034967.tif 000003
【００５２】
ＡＲＸフィルタでは、予めサンプルとなるような第一情報と、第二情報とから、ＡＲＸモデル係数を計算し、実際に使用する際には、第一情報から第二信号を推定する処理を行う。なお、ＡＲＸフィルタの構成については、公知技術であるので詳細な説明は省略する。【００５３】
第一エンベロープフィルタ手段１０５３は、第一情報に対して、第二情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するためのエンベロープフィルタ処理を行う。エンベロープフィルタは、非線形フィルタであり、信号を伝える周波数帯が異なる場合において信号全体の強弱変化に着目した相関を取ることで、伝達経路毎の信号変化を吸収するものである。第一エンベロープフィルタ手段１０５３は、具体的には、第一エンベロープフィルタ手段１０５３は、図５に示すように、入力信号の絶対値の移動平均を取ることで擬似的に信号の強弱を表す信号を出力するものである。なお、エンベロープフィルタの構成については、公知技術であるので詳細な説明は省略する。【００５４】
第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４は、第一情報に対して、第二情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するためのゼロクロスフィルタ処理を行う。ゼロクロスフィルタ処理は、非線形フィルタであり、信号の強弱があまり変化しない信号に対して、周波数変化に着目した相関を取ることで、伝達経路毎の信号変化を吸収するものである。第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４は、具体的には、図６に示すように、第一信号が単位時間当たりに何回、０値と交差するかをカウントして、擬似的に信号の周波数変化を表す信号を出力するものである。なお、エンベロープフィルタの構成については、公知技術であるので詳細な説明は省略する。【００５５】
第二フィルタ部１０６は、第二情報に対してフィルタ処理を行う。例えば、第二情報に対して、第一情報との伝達経路の違いによる信号変化を吸収するフィルタ処理を行う。ただし、第一フィルタ部１０５と同様に、その他の目的のためにフィルタ処理を行っても良い。第二フィルタ部１０６の構成等については、第一フィルタ部１０５と、処理対象となる情報等が異なる点を除けば、同様であるので、ここでは説明を省略する。なお、ここでは、例として、第二フィルタ部１０６が、第二伸縮フィルタ手段１０６１と、第二ＡＲＸフィルタ手段１０６２と、第二エンベロープフィルタ手段１０６３と、第二ゼロクロスフィルタ手段１０６４とを備えているものとする。これらの処理順番等が変更可能であることや、第二フィルタ部１０６が、これらの手段を全て備えていなくても良いこと等は、第一フィルタ部１０５と同様である。また、第二情報が適用するフィルタ処理の種類や、パラメータ等は、第一情報と同様に過去の実験結果等に基づいて予め設定したり、適宜切り替えたりできるようにすればよい。【００５６】
第二伸縮フィルタ手段１０６１は、第二情報に対して第一情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するための伸縮フィルタ処理を行う。なお、第一フィルタ部１０５が、第一伸縮フィルタ手段１０５１を備えている場合、この第二伸縮フィルタ手段１０６１は省略しても良い。第二伸縮フィルタ手段１０６１の構成は、第一伸縮フィルタ手段１０５１の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。【００５７】
第二ＡＲＸフィルタ手段１０６２は、第二情報に対して第一情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するためのＡＲＸ処理を行う。なお、第一フィルタ部１０５が、第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２を備えている場合、この第二ＡＲＸフィルタ手段１０６２は省略しても良い。第二ＡＲＸフィルタ手段１０６２の構成は、第一ＡＲＸフィルタ手段１０５２の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。【００５８】
第二エンベロープフィルタ手段１０６３は、第二情報に対して第一情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するためのエンベロープ処理を行う。なお、通常、エンベロープ処理は、第一フィルタ部１０５と、第二フィルタ部１０６の両方において行われる。従って、第一フィルタ部１０５が第一エンベロープフィルタ手段１０５３を備えている場合、第二フィルタ部１０６にも第二エンベロープフィルタ手段１０６３が設けられる。第二エンベロープフィルタ手段１０６３の構成は、第一エンベロープフィルタ手段１０５３の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。【００５９】
第二ゼロクロスフィルタ手段１０６４は、第二情報に対して第一情報との伝達経路の違いによる信号の変化を吸収するためのゼロクロスフィルタ処理を行う。なお、通常、ゼロクロスフィルタ処理は、第一フィルタ部１０５と、第二フィルタ部１０６の両方において行われる。従って、第一フィルタ部１０５が第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４を備えている場合、第二フィルタ部１０６にも第二ゼロクロスフィルタ手段１０６４が設けられる。第二ゼロクロスフィルタ手段１０６４の構成は、第一ゼロクロスフィルタ手段１０５４の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。【００６０】
窓関数処理部１０７は、第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出す。この取り出して得られた情報が窓取得情報である。ここでの取り出す対象となる第一情報は、第一フィルタ部１０５が処理した第一情報である。ただし、第一フィルタ部１０５が省略されている場合、取り出す対象となる第一情報は、第一正規化処理部１０３が正規化した第一情報であっても良い。また、第一正規化処理部１０３も省略されている場合、取り出す対象は、第一入力受付部１０１が受け付け、出力した第一情報であっても良い。窓関数とは、時系列データの指定された期間内の情報を切り出すための関数である。あるデータに窓関数を掛け合わせると、ユーザ等により指定された期間外は値が０となり、指定された期間のデータだけが残る結果、指定された期間のデータを取り出すことができる。この指定された期間は、第一情報のうちの、所望の特徴を表していると考えられる期間であることが好ましい。所望の特徴とは、例えば、製造装置１１あるいはその特定の箇所が異常であることを示す特徴や、製造装置１１あるいはその特定の箇所が正常であることを示す特徴である。窓関数としては、指定された期間のデータを取り出すものや、期間内の位置に応じて重み付けを行ってデータを取り出すもの等がある。窓関数の具体例としてはハミング窓等がある。ここでは、どのような窓関数を用いても良い。ただし、指定された期間の両端のデータの重み付けを小さくして、データを取り出すことができる窓関数を用いることが好ましい。指定された両側の期間の両端は、重要度が高くない場合が多いからである。なお、窓関数は公知技術であるので、説明は省略する。窓関数を用いて情報を切り出す期間の指定は、どのように行われても良く、予め指定されていても良いし、ユーザ等から随時指定を受け付けても良い。ここでは、後述する指定受付部１０８が受け付けた期間を指定する情報を用いて、この指定された期間内の第一情報を予め設定されている窓関数を用いて取り出す場合を例に挙げて説明する。窓関数処理部１０７が処理を行なうタイミングやトリガー等は問わない。窓関数処理部１０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。窓関数処理部１０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【００６１】
指定受付部１０８は、第一情報の、窓関数を用いて取り出す期間である所定の期間の指定を受け付ける。この期間の指定は、始点と終点の指定や、始点と期間の長さの指定等、どのような指定であっても良い。期間の指定は数値等で入力されても良いし、マウス等の入力手段を用いて、第一情報の所定の期間をドラッグする等によって、グラフィカルに入力されても良い。期間の指定に用いられる入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指定受付部１０８は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。【００６２】
相関算出部１０９は、窓関数処理部１０７が取り出した情報である窓取得情報と、第二情報との相互相関関数を算出する。ここでの第二情報は、第二フィルタ部１０６が処理した第二情報である。ただし、第二フィルタ部１０６が省略されている場合、取り出す対象となる第二情報は、第二正規化処理部１０４が正規化した第二情報であっても良い。また、第二正規化処理部１０４も省略されている場合、取り出す対象は、第二入力受付部１０２が出力した第二情報であっても良い。例えば、相関算出部１０９は、第二情報が示す波形で表すことが可能な時系列情報の各部分と、波形で表すことが可能な窓情報が出力した時系列情報との相関を算出する。相互相関関数は、2つの信号波形の類似性，時間差を表すのに用いる関数であり、公知技術であるので、ここでは説明を省略する。相関算出部１０９は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。相関算出部１０９の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【００６３】
判断部１１０は、相関算出部１０９の算出結果を用いて、第二情報に、窓取得情報と相関の高い情報が含まれるか否かを判断して、第二情報が正常であるか否かを判断する。例えば、相関算出部１０９が算出する相互相関関数に対して、予め閾値等を設定しておき、この閾値を超えた場合、この閾値を超えた部分、あるいは、第二情報が、第一情報の窓関数処理部１０７が取り出した部分と、十分に相関があると判断して、第二情報のこの部分について、予め指定された判断結果を出力するようにしても良い。予め指定された判断結果は、窓関数により取り出す第一情報に応じて予め指定しておくようにすればよい。例えば、窓関数処理部１０７が窓関数を用いて取り出す部分が、製造プロセスに異常が生じたことを示す特徴を示す期間の情報である場合、相関算出部１０９が算出する相互相関関数が閾値を超えた場合には、この期間内にプロセス等の異常が生じたことを示す判断結果を出力するようにしても良い。あるいは、窓関数処理部１０７が窓関数を用いて取り出す部分が、製造プロセスが正常であることを示す特徴を示す期間の情報である場合、相関算出部１０９が算出する相互相関関数が閾値を超えた場合には、プロセスが正常に行われていることを示す判断結果を出力するようにしても良い。判断部１１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。判断部１１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。ただし、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、判断が不要の場合は、判断部１１０は省略しても良い。【００６４】
出力部１１１は、相関算出部１０９の算出結果に応じた情報を出力する。相関算出部１０９の算出結果に応じた情報は、通常、相関算出部１０９の算出結果について判断部１１０が判断した判断結果である。例えば、出力部１１１は、判断部１１０の判断結果、例えば、プロセスに異常が生じていることを示す情報を出力する。ただし、相関算出部１０９の算出結果に応じた情報は、相関算出部１０９の算出結果であっても良い。例えば、出力部１１１は、判断部１１０が省略されている場合や、判断をユーザが目視等で行いたい場合等には、相関算出部１０９の算出した相互相関関数を、例えば波形を示すグラフを用いて表示や印刷しても良い。また、判断結果と共に、相互相関関数を出力するようにしても良い。ここで述べる出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、異常発生を示す音出力、記録媒体への蓄積、外部の解析装置等への送信等を含む概念である。出力部１１１は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部１１１は、出力デバイスのドライバソフトまたは、出力デバイスのドライバソフトと出力デバイス等で実現され得る。【００６５】
次に、情報処理装置の動作について図７のフローチャートを用いて説明する。【００６６】
（ステップＳ７０１）第一入力受付部１０１が入力を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ７０２に進む。受け付けていない場合、ステップＳ７０１に戻る【００６７】
（ステップＳ７０２）第一正規化処理部１０３は、ステップＳ７０１において受け付けた第一情報に対して正規化処理を行う。正規化処理が不要の場合、このステップは省略される。【００６８】
（ステップＳ７０３）第一フィルタ部１０５は、ステップＳ７０２で正規化された第一情報に対してフィルタ処理を行う。フィルタ処理は複数のフィルタ処理をどのような順番で行うようにしても良い。フィルタ処理が不要の場合、このステップは省略される。【００６９】
（ステップＳ７０４）指定受付部１０８は、第一情報について、窓関数で取り出す期間の指定を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ７０５に進み、受け付けていない場合、ステップＳ７０４に戻る。【００７０】
（ステップＳ７０５）窓関数処理部１０７は、ステップＳ７０３においてフィルタ処理を行った第一情報に対して、窓関数を適用して、ステップＳ７０４において指定された期間の第一情報を取り出す。取り出した第一情報は例えばメモリ等に一時記憶しておく。【００７１】
（ステップＳ７０６）第二入力受付部１０２が入力を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ７０７に進む。受け付けていない場合、ステップＳ７０６に戻る【００７２】
（ステップＳ７０７）第二正規化処理部１０４は、ステップＳ７０６において受け付けた第二情報に対して正規化処理を行う。正規化処理が不要の場合、このステップは省略される。【００７３】
（ステップＳ７０８）第二フィルタ部１０６は、ステップＳ７０７で正規化された第二情報に対してフィルタ処理を行う。フィルタ処理は複数のフィルタ処理をどのような順番で行うようにしても良い。フィルタ処理を行った第二情報は、例えばメモリ等に一時記憶しておく。フィルタ処理が不要の場合、このステップは省略される。【００７４】
（ステップＳ７０９）相関算出部１０９は、ステップＳ７０５で窓関数により取り出された第一情報と、ステップＳ７０８でフィルタ処理された第二情報とを用いて、相互相関関数を算出する。【００７５】
（ステップＳ７１０）判断部１１０は、図示しないメモリ等に蓄積されている閾値を読み出す。なお、ここでは、窓関数で取得した窓取得情報が、製造プロセス等が異常であることを示す情報であって、製造プロセスが正常であると判断できる相互相関関数の値の範囲の最大値が閾値である場合を例に挙げて説明する。【００７６】
（ステップＳ７１１）判断部１１０は、算出された相互相関関数において、閾値よりも大きい値があるか否かを判断する。大きい値がある場合、ステップＳ７１２へ進み、ない場合、ステップＳ７１３に進む。なお、場合によっては、判断部１１０は、算出された相互相関関数において、閾値よりも小さい値があるか否かを判断しても良い。例えば、窓関数で取得した窓取得情報が、製造プロセス等が正常であることを示す情報であって、第一情報が異常であると判断できる相互相関関数の値の範囲の最大値を閾値とした場合等には、判断部１１０は、閾値よりも小さい値があるか否かを判断しても良い。【００７７】
（ステップＳ７１２）判断部１１０は、製造プロセスに異常が生じたことを判断する。そして、ステップＳ７１４に進む。【００７８】
（ステップＳ７１３）判断部１１０は、製造プロセスが正常であることを判断する。そして、ステップＳ７１４に進む。【００７９】
（ステップＳ７１１）出力部１１１は、ステップＳ７１２またはステップＳ７１３の判断結果を出力する。なお、ステップＳ７０９で算出された相互相関関数も出力するようにしても良い。また、判断部１１０による判断が不要な場合、ステップＳ７１０からステップＳ７１３までの処理は省略してもよい。そして、処理を終了する。【００８０】
なお、図７のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。【００８１】
以下、本実施の形態における情報処理装置の具体的な動作について説明する。【００８２】
（具体例１）
本具体例は、第一情報及び第二情報についての正規化処理とフィルタ処理とを省略した場合の、異常検出を行う処理を説明するものである。【００８３】
本実施の形態における情報処理装置を備えた半導体製造装置管理システムの概念図は図２である。【００８４】
ここでは、説明を簡単にするために、予め用意された、製造プロセスに異常が生じた場合に製造装置１１の所定の項目について測定された時系列データを参照先の情報である第一情報、製造装置１１による製造プロセス実行時に測定された、解析の対象となる測定データを第二情報とする。また、ここでは、正規化処理及びフィルタ処理は省略した場合について説明する。なお、この具体例に示される第一情報及び第二情報は、説明の便宜上用意されたものであり、必ずしも実際の測定値を正確に示したものではない。【００８５】
図８は、第一情報を、時系列の波形グラフで表した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は測定値を示す。第一情報は、時間と値とが対応付けられた情報、すなわち（ｘ、ｔ）の集合（ただしｘは値、ｔは時間）である。ここでは、図８に示すような第一情報が図示しないメモリ等に格納されているものとする。【００８６】
まず、ユーザが第一情報を表示する指示を与えたとすると、図８に示すような第一情報の波形のグラフが、情報処理装置１０の図示しないモニタ画面等に表示される。次に、ユーザがマウス等を操作して、モニタ画面に表示された第一情報上の窓関数で取り出す部分を、ドラッグ等により選択したとする。これにより、図８に示すように、選択された領域８１が他の領域とは異なる色でハイライト表示される。この窓関数により取り出す部分は、第一情報の特徴を含む部分である。ここでの特徴とは、第一情報のうちの、製造プロセスが異常な時にのみ現れる特徴的な波長の部分であるとする。なお、通常、第一情報のような測定データにおいては、端部はノイズ成分が支配的な部分となるため、端部付近を選択しないことが好ましい。【００８７】
次に、ユーザがこの選択した領域８１を窓関数で取り出す指示を情報処理装置に与えると、この選択された領域８１の期間を指定する指示と、この指定された期間の第一情報を窓関数で切り出す指示を、指定受付部１０８が受け付ける。なお、ここでは、ユーザの指示に応じて指定受付部１０８が指示を受け付けるようにしたが、指定受付部１０８が指示を受け付けるトリガー等は問わない。例えば、ユーザによる領域の指定が終了した時点で、窓関数で切り出す指示を受け付けてもよい。【００８８】
ここでは、正規化処理やフィルタ処理は省略されているため、窓関数処理部１０７は、これらの指示に応じて、第一情報のうちの、指定受付部１０８により指定された期間の情報である窓取得情報を、窓関数を用いて取り出す。【００８９】
図９は、第一情報に対して、窓関数を適用して得られた情報の波形をグラフで示した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は窓関数適用後の値を示す。【００９０】
窓関数を用いることで、第一情報の特徴的な部分を取り出すことができる。なお、ここでは、窓関数として、指定された領域の端部の重みが小さくなるような重み付けを行なって第一情報を切り出す窓関数を適用した場合を例に挙げて示している。但し、窓関数として、どのような窓関数を用いてもよい。そしてこの取り出した窓取得情報を、図示しないメモリ等の記憶媒体に一時記憶する。【００９１】
次に、解析の対象となる測定データである第二情報を受け付けたとする。【００９２】
図１０は、第二情報を波形グラフで示した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は測定値を示す。第二情報は、時間と値とが対応付けられた情報、すなわち（ｘ、ｔ）の集合（ただしｘは値、ｔは時間）である。例えば、製造装置１１が測定情報である第二情報を、順次情報処理装置１０に送信し、この第二情報を、第二入力受付部１０２が受け付けたとする。ここでは、第二正規化処理部１０４や第二フィルタ部１０６による正規化処理やフィルタ処理は省略されているため、受け付けられた第二情報は、図示しないメモリ等に一時記憶する。【００９３】
次に、相関算出部１０９が、メモリから、窓取得情報と第二情報とをそれぞれ読み出し、窓取得情報を用いて、比較対象となる第二情報との相互相関関数を算出する。この算出される相互相関情報は、比較対象となる第二情報に、第一情報の特徴を示す部分と同じ特徴が含まれているか否かを表す情報である。【００９４】
図１１は、相関算出部１０９が算出した相互相関関数を、波形グラフで示した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は相関の値を示す。【００９５】
図１１においては、時間が「０．００３０６」の付近が最も窓取得情報と第二情報との相関が高い部分であることを示している。【００９６】
次に、判断部１１０は、図１１に示した相互相関関数の算出結果において、予め設定した閾値よりも高い値があるか否かを判断する。例えば、ここでは、「１」を、製造プロセスが正常に行われたか否かを判断するための閾値に予めメモリ等に格納されていたとすると、図１１における時間が「０．００３０６」の付近において、判断部１１０が、閾値である「１」を超える値を検出する。これにより、判断部１１０は、製造プロセスに異常が生じたことを判断する。【００９７】
出力部１１１は、判断部１１０による判断結果を、モニタ画面等に表示する。図１２は、出力部１１１がモニタ画面１２０に表示した判断部１１０による判断結果を示す図である。図１２に示すように、判断部１１０が、相互相関関数の算出結果が閾値を超えた時間を検出して、この検出結果である時間等を出力部１１１がモニタ画面等に表示するようにしてもよい。また、出力部１１１は、図１１に示すような相互相関関数をモニタ画面等に表示するようにしてもよい。【００９８】
なお、例えば、相互相関関係の値が最も高い時点の時間を、相関算出部１０９等が検出し、出力部１１１がこの相互相関関係の値が最も高い時点の時間と、図１０に示したような第二情報とをディスプレイ等に表示するようにしてもよい。このような表示をユーザが参照することで、この相互相関関係の値が最も高い時点で、第二情報に製造プロセスの異常が生じているか否かをユーザが短時間で判断することが可能となる。【００９９】
この具体例においては、第一情報から窓関数を用いて取り出した窓取得情報と、第二情報との相互相関関数を算出し、算出結果に応じた情報を出力するようにしている。これにより、相互相関関数で、窓取得情報と第二情報との相関をみることができ、精度良く半導体プロセスに関する時系列データから、半導体プロセスの状態をユーザが検知することが可能となる。【０１００】
特に、本実施の形態においては、第一情報から窓関数を用いて取り出した窓取得情報と、第二情報との相互相関関数を算出するようにしている。例えば、仮に、第一情報の全領域と第二情報の全領域との相互相関関数を算出した場合、参照情報となる第一情報における製造プロセス等の特徴を示す部分以外の部分やノイズ等の不要な部分も相互相関関数の計算に含まれるため、精度のよい波形の比較ができないことが考えられる。【０１０１】
しかしながら、本実施の形態においては、第一情報の特徴を示す部分等を、窓関数で取り出し、この取り出した部分と、第二情報との相互相関関数を算出するようにしたので、第一情報の不要な部分等について、第二情報との相関を求める必要が無くなる。この結果、精度よく、必要な部分だけの相関を求めることができ、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。また、窓関数を用いることで、比較の際に参照する情報のデータ量を減らすことができ、比較の際の処理時間を短縮して、処理速度の向上を図ることができる。【０１０２】
なお、上記具体例において、第一入力受付部１０１や第二入力受付部１０２が受け付けた第一情報や第二情報に対して、正規化処理を行うようにしてもよいことは言うまでもない。【０１０３】
（具体例２）
以下、本実施の形態の第二の具体例について説明する。【０１０４】
この具体例は、上記具体例において、第一情報及び第二情報は伝達経路が異なる情報であり、情報処理装置１０が第一情報及び第二情報にフィルタ処理を行なうようにしたものである。【０１０５】
図１３は、第一情報を、時系列の波形グラフで表した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は測定値を示す。ここでは、図１３に示すような第一情報が図示しないメモリ等に格納されているものとする。【０１０６】
まず、ユーザが第一情報を表示する指示を与えたとすると、図１３に示すような第一情報が、情報処理装置１０の図示しないモニタ画面等に表示される。次に、ユーザがマウス等を操作して、モニタ画面に表示された第一情報上の窓関数で取り出す部分を、ドラッグ等により選択したとする。これにより、図１３に示すように、選択された領域１３１が他の領域とは異なる色でハイライト表示される。この窓関数により取り出す部分は、第一情報の特徴を含む部分である。ここでの特徴とは、第一情報のうちの、製造プロセスが異常な時にのみ現れる特徴的な波長の部分であるとする。ここでは、第一情報が、振動的な信号の強度が複数回、強弱を繰り返している特徴を有しているとする。【０１０７】
ここで、この具体例においては、第一情報に対して、第一情報の特徴を捉えるために、図１４に示すような第一情報における信号の強弱を表す包括線１４１を擬似的に計算するエンベロープフィルタ処理を、第一フィルタ部１０５が、第一情報に対して適用する。このエンベロープフィルタ処理により得られた第一情報を、図１５に示す。図において横軸は時間を示し、縦軸はエンベロープフィルタ適用後の値を示す。なお、このフィルタ処理がどのようなトリガー等で行なわれるようにしてもよい。例えば、ユーザの指示に応じてフィルタ処理を行なってもよいし、ユーザが領域１３１を指定した時点等に自動的にフィルタ処理を行なうようにしてもよい。【０１０８】
次に、例えば、ユーザがこの選択した領域１３１を窓関数で取り出す指示を情報処理装置に与えると、この選択された領域１３１の期間を指定する指示と、この指定された期間の第一情報を窓関数で切り出す指示を、指定受付部１０８が受け付ける。【０１０９】
図１６は、エンベロープフィルタ処理した第一情報に対して、窓関数を適用して得られた情報である窓取得情報の波形をグラフで示した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は窓関数適用後の値を示す。そしてこの取り出した窓取得情報を、図示しないメモリ等の記憶媒体に一時記憶する。【０１１０】
次に、解析の対象となる測定データである第二情報を受け付けたとする。【０１１１】
図１７は、第二情報を波形グラフで示した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は測定値を示す。【０１１２】
次に、この第二情報に対しても、第二フィルタ部１０６が第一フィルタ部１０５と同様のエンベロープフィルタを適用する。【０１１３】
図１８は、エンベロープフィルタを適用した第二情報の波形グラフを示す図である。図において横軸は時間を示し、縦軸はエンベロープフィルタ適用後の値を示す。この第二情報が、例えばメモリ等に一時記憶される。【０１１４】
次に、相関算出部１０９が、メモリから、窓取得情報と第二情報とをそれぞれ読み出し、窓取得情報を用いて、比較対象となる第二情報との相互相関関数を算出する。【０１１５】
図１９は、相関算出部１０９が算出した相互相関関数を、波形グラフで示した図である。図において横軸は時間を示し、縦軸は相関の値を示す。【０１１６】
図１９においては、時間が「０．００１６２」の付近が最も窓取得情報と第二情報との相関が高い部分であることを示しており、この部分に、第一情報のうちの見つけたい特徴と同じような信号があることがわかる。なお、単に第二情報にエンベロープフィルタを適用して得られた図１８に示すような情報において、値が最も高い部分、例えば時間が「０．００１７２」の部分であっても、図１６に示すような窓関数で切り出された第一情報のパターンと同じように変化しない場合には、相関値は低く、見つけたい特徴部分とは判断されない。【０１１７】
その後、上記具体例と同様に、相互相関情報に応じた判断や出力等が行なわれるが、ここでは説明を省略する。【０１１８】
例えば、同じ要因から発生した信号であっても、伝達経路が異なる時系列データでは信号の波形が大きく異なり、相互相関関数を計算しても関連性を検出できないことが考えられる。【０１１９】
このような場合においては、同じ要因から発生した伝達経路が異なる時系列信号に対し、適切なフィルタ処理を行なうことで伝達経路の違いによる波形の違いを修正し、正しく関連性を検出することが可能となる。【０１２０】
また、２つの時系列信号に対してノイズが大きな場合も、伝達経路が異なることで異なるノイズ要因が独立なことを利用して、正しく関連性を検出できる。【０１２１】
一方で、製造プロセスにおいて、何らかの原因でトラブルが発生した場合、そのトラブルに関連するデータを直接測定し観察することができない場合がある。このような場合においても、そのトラブルの信号が何らかの機械的な振動や電気的変動の信号として伝わって測定することができることがある。【０１２２】
このような場合には、元の信号が信号の伝達経路の違いにより異なる信号に変形したり、信号の伝達経路に特有なノイズが載ることが考えられる。また、伝達経路の違いによる信号の変形によってどの区間が捉えたい現象なのか明確に区切ることが困難である。そのため、単一の信号を観測しただけでは本来捕らえたい現象を捉えることは難しく、異なった変形が加わった信号で相関をみる必要がある。しかし、本実施の形態に示すように、第一情報や第二情報に対して、線形もしくは非線形なフィルタ処理を行なうことで、フィルタ処理により伝達経路が異なることによる信号変形を吸収し、また窓関数により信号変形による信号区間の曖昧さを吸収することができ、第一情報と第二情報とのデータの相関を求めることが可能となる。【０１２３】
例えば、回転機構を持ったモジュール、例えば、ポンプ等において、正常時の振動データをリファレンスデータ、すなわち第一情報とし、これを線形／非線形フィルタ処理することで振動データと異なる信号特徴量を有する正常時の時系列パターンを作成する。これを用いて、製造装置のリアルタイムな振動測定データである第二情報に対して同様の線形／非線形フィルタ処理したデータとのリアルタイムな相関を計算することで、回転系の正常／異常の判定を行なうことが可能となる。逆に異常時の振動データをリファレンスとなる第一情報として、同様の正常異常の判定を行なうことも可能となる。【０１２４】
また、電気的な放電を利用した製造装置において、放電生成器の電流電圧などの電気的な信号と、放電生成器付近の音響的な信号を測定することで、異常放電の発生を、電気的な信号と、音響的な信号と、の異なる伝達経路を持つ複数の信号として検出する。そして、これらの信号に対し、電気的信号と音響的信号の波形の違いを修正するため、線形／非線形のフィルタを使用し、相互の波形の違いを吸収する。そして、一方を第一情報、他方を第二情報として、第一情報から、窓関数により短時間的な現象を切り出し、この切り出して得られた窓取得情報と第二情報との相関関数を求めることで、２つの信号に現れる特異な信号を検出することが可能となる。これにより、例えば、一方の信号を参照情報として、異なる信号である他方の信号を用いて、製造プロセスの状態を判断することが可能となる。【０１２５】
なお、上記具体例においては、エンベロープフィルタ処理を行う場合について説明したが、本発明においては、他のフィルタ処理を行うようにしても良いことは言うまでもない。また、第一入力受付部１０１や第二入力受付部１０２が受け付けた第一情報や第二情報に正規化処理を行うようにしてもよいことは言うまでもない。【０１２６】
以上、本実施の形態によれば、第一情報から窓関数を用いて取り出した窓取得情報と、第二情報との相互相関関数を算出し、算出結果に応じた情報を出力するようにしたことにより、相互相関関数で、窓取得情報と第二情報との相関をみることができ、精度良く半導体プロセスに関する時系列データから、半導体プロセスの状態をユーザが検知することが可能となる。【０１２７】
特に、本実施の形態においては、第一情報の特徴を示す部分等を、窓関数で取り出し、この取り出した部分と、第二情報との相互相関関数を算出するようにしたので、第一情報の必要な部分だけの相関を求めることができ、精度よく半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。また、窓関数を用いることで、比較の際に参照する情報のデータ量を減らすことができ、比較の際の処理時間を短縮して、処理速度の向上を図ることができる。【０１２８】
また、本実施の形態においては、第一情報や第二情報に対してフィルタ処理を行なうようにしたことにより、伝達経路の違い等をフィルタ処理で吸収して、伝達経路の異なる時系列データから、精度良く半導体プロセスの状態を検知することが可能となる。【０１２９】
（実施の形態２）
本実施の形態は上記実施の形態１において示した情報処理装置において、製造装置１１の異なる複数の伝達経路からそれぞれ出力される第一情報および第二情報の組を用いて、伝達経路毎に上記実施の形態１と同様に、相互相関関数を算出し、これらの相互相関関数の相関が高いと判断される部分同士が、関連があるか否かを判断することで、製造装置１１の異常等の検出を行えるようにしたものである。【０１３０】
図２２は、本実施の形態の情報処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本実施の形態の情報処理装置２０は、図示していないが、上記実施の形態の情報処理装置と同様に、例えば、製造装置１１と、通信回線等を介して、情報の送受信が可能となるように、直接または間接的に接続される。【０１３１】
情報処理装置２０は、第一入力受付部１０１、第二入力受付部１０２、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６、窓関数処理部１０７、指定受付部１０８、相関算出部１０９、相関検出部２２１、関連判断部２２２、判断用情報格納部２２３、および出力部２２４を具備する。【０１３２】
第一入力受付部１０１、第二入力受付部１０２、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６、窓関数処理部１０７、指定受付部１０８、相関算出部１０９の構成については、上記実施の形態１と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。【０１３３】
ただし、ここでは、第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２は、製造装置１１等の異なる複数の伝達経路毎にそれぞれ出力される第一情報および第二情報の組を、異なる複数の伝達経路についてそれぞれ受け付けるものとする。また、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６は、複数の伝達経路からそれぞれ受け付けた第一情報および第二情報について、例えば、伝達経路毎に正規化処理やフィルタ処理を行うものとする。また、窓関数処理部１０７は、第一入力受付部１０１が受け付けた各伝達経路から出力された第一情報から、各伝達経路毎に上述したような窓取得情報を取得するものとする。また、指定受付部１０８は、第一入力受付部１０１が受け付けた各伝達経路から出力された第一情報に対して、窓関数を用いて取得するための所定の期間の指定を受け付けるものとする。特に、指定受付部１０８は、各伝達経路から出力される第一情報について、製造装置１１等に発生した異常を示している部分、例えば、異常を示す波形部分の期間を指定する情報を受け付けることが好ましい。また、相関算出部１０９は、一の伝達経路から出力された第一情報から窓関数処理部１０７により取得された窓取得情報と、同じ伝達経路から出力された第二情報と、の相互相関関数を、複数の伝達経路毎にそれぞれ算出するものとする。なお、第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２が受け付けた伝達経路毎の第一情報および第二情報や、正規化処理やフィルタ処理が行われた第一情報および第二情報や、伝達経路毎に取得された窓取得情報や、伝達経路毎に算出された相互相関関数等の上記の処理により得られる情報等は、適宜、図示しないメモリ等の記憶媒体に蓄積し、読み出せるようにしてよい。また、伝達経路毎の上述したような第一情報や第二情報を受け付ける処理や、正規化処理や、フィルタ処理や、窓取得情報を取得する処理や、相互相関関数を算出する処理は、時分割により行うようにしても良い。また、第一入力受付部１０１、第二入力受付部１０２、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６、窓関数処理部１０７、指定受付部１０８、および相関算出部１０９等を、伝達経路毎に複数も受けるようにして、並列に処理を行うようにしても良い。【０１３４】
なお、正規化処理やフィルタ処理が不要な場合、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６等は省略可能である。また、第一フィルタ部１０５や第二フィルタ部１０６に含まれる１以上のフィルタ手段を、適宜省略しても良い。【０１３５】
相関検出部２２１は、相関算出部１０９が各伝達経路について算出した相互相関関数を用いて、各伝達経路毎に、第二情報と窓取得情報との相関の高い部分を検出する。相関検出部２２１が、相関の高い部分の検出をどのように行うかは問わない。例えば、相関算出部１０９が算出する相互相関関数に対して、伝達経路毎に、予め閾値等を図示しない格納部等に蓄積しておき、この閾値を超えた場合、相互相関関数のうちのこの閾値を超えた部分を、第一情報の窓関数処理部１０７が取得した窓取得情報と第二情報との相関が高い部分として検出する。相関検出部２２１は、相互相関関数を閾値等を用いて２値化して、２値化したデータの信号の立ち上がり位置等を検出することで相関の高い部分を検出しても良い。あるいは、所定の期間内において、最も値の高い部分のみを検出しても良い。相関が高い部分とは、相関がある部分と考えても良い。そして、相関検出部２２１は、例えば、相関が高いとして検出した部分を指定する情報を取得する。例えば、相関検出部２２１は、相関の高い部分を指定する時間の情報を取得する。ここで述べる相関があるとして検出する部分は、一点であってもよいし、期間、あるいは領域であっても良い。なお、相関検出部２２１は、必要に応じて、伝達経路毎に、相互相関関数から相関が高いとして検出した部分の情報、例えば波形だけを、取り出した情報を構成するようにしてもよい。相関検出部２２１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。相関検出部２２１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。ただし、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【０１３６】
関連判断部２２２は、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士が、関連しているか否かを判断する。ここで述べる関連している、ということは、相関の高い部分同士が、一の原因から派生した信号であることであり、関連しているか否かの判断は、相関の高い部分同士が、一の原因から派生した信号であるか否かの判断と考えても良い。【０１３７】
関連判断部２２２は、例えば、各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士が、関連していると判断した場合には、製造装置１１等に異常が発生したと判断し、関連していないと判断した場合には、各伝達経路から出力される第二情報に含まれる相関の高い部分は、単にノイズ等と判断して、製造装置１１等に異常は発生したと判断しないようにしても良い。関連判断部２２２は、関連しているか否かの判断だけを行っても良いし、関連していると判断した場合に、製造装置１１や製造プロセス等に異常が発生したことを判断するようにしても良い。【０１３８】
関連判断部２２２は、関連しているか否かの判断として、例えば、予め指定された関係を満たすか否かの判断を行う。予め指定された関係とは、異なる伝達経路から出力された第二情報の、窓取得情報との相関の高い部分同士が、同じ原因により派生した信号である場合に満たすこととなる関係である。具体的には、製造装置１１等における一の原因から発生した信号が、それぞれ複数の異なる伝達経路を経て複数の派生信号となって出力される場合において、複数の派生信号に含まれる一の原因に起因する部分（例えば波形）同士が満たすこととなると考えられる関係である。即ち、関連判断部２２２は、相関検出部２２１が各伝達経路について取得した相関の高い部分がこの予め指定された関係を満たす場合、各伝達経路から取得した第二情報のうちの、相関の高い部分が、一の原因から発生した信号を示す部分であると判断する。【０１３９】
予め指定された関係を満たすか否かの判断は、例えば、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士の時間や位相等の特徴量に関して行われる。予め指定された関係とは、例えば、各伝達経路毎に検出された相関の高い部分同士の、発生する時間や、位相差の変化量や、遅延量（発生時刻の時間差）、減衰量、波形形状等の関係である。例えば関連判断部２２２は、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士が、予め指定された時間内に発生したか否かを判断し、予め指定された時間内に発生した場合に、予め指定された関係を満たすと判断してよい。また、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士の遅延量（時間差）が予め指定した範囲内であるか否かを判断し、予め指定した範囲内である場合に、予め指定された関係を満たすと判断してよい。例えば、第一の伝達経路から出力された第二情報に、窓取得情報との相関が高い信号が検出されてから、予め指定された所定の期間が経過するまでの間に、第二の伝達経路から出力された第二情報に、窓取得情報との相関が高い信号が検出された場合に、予め指定された関係を満たすと判断してもよい。相関の高い部分の発生時刻等は、相関検出部２２１の検出結果から取得可能である。また、関連判断部２２２は、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分の位相を検出し、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士の位相差が予め指定した範囲内であるか否かを判断し、位相差が予め指定した範囲内である場合に、予め指定された関係を満たすと判断してよい。【０１４０】
予め指定された関係を満たすか否かを判断することは、予め指定された条件を満たすか否かを判断することと考えて良い。予め指定された関係（条件）を定義する情報は、例えば、各伝達経路の伝達関数や、伝達経路のモデル化やシミュレーション等を用いて算出することが可能である。また、実際に製造装置１１等に対して検査用の信号を発生させ、この信号を異なる伝達経路から取得すること等の実験によって、同じ原因により発生した信号が満たすための関係（条件）を定義する情報を取得するようにしても良い。例えば、製造装置内で、サンプルとなる音を発生させ、この音を、異なる伝達経路にそれぞれ取り付けられたアコースティックエミッションセンサー等でそれぞれ検出し、この検出結果を用いて、同じ原因に起因する信号が異なる伝達経路を伝わって出力された場合における、出力された信号同士が満たすと考えられる関係を定義する情報を取得しても良い。また、ユーザ等の経験により得られた値を、予め指定された関係を定義する情報として用いるようにしても良い。誤差等の発生による値の変動も考慮した期間を示す情報であることが好ましい。このような予め指定された関係、あるいは条件を満たすか否かを判断するために用いられる判断条件を定義する情報をここでは判断用情報と呼ぶ。このような判断用情報は、例えば、後述する判断用情報格納部２２３に予め格納されている。また、このような予め指定された関係や条件を、異なる伝達経路から出力された第二情報の相関の高い部分を、同じ原因により発生した信号と判断するための期待値と考えても良い。なお、判断用情報は、誤差等の発生による値の変動も考慮した期間を示す情報であることが好ましい。また、判断用情報は、判断対象となる二以上の伝達経路の組毎に設けられていることが好ましい。ただし、複数の判断対象となる伝達経路の組に共通する判断用情報を用意しておくようにしても良い。【０１４１】
関連判断部２２２は、は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。関連判断部２２２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。ただし、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【０１４２】
判断用情報格納部２２３には、上述したような判断用情報が格納され得る。判断用情報は、上述したように、伝達関数や伝達経路のモデル化や、実験等によって取得される。判断用情報は、ユーザにより蓄積されても良いし、工場出荷時等に蓄積されても良い。判断用情報は、例えば、複数の伝達経路の組み合わせに対応付けられて蓄積される。判断用情報格納部２２３は、不揮発性または揮発性の記憶媒体等により実現可能である。【０１４３】
出力部２２４は、相関算出部１０９の算出結果に応じた情報を出力する。ここでは特に、相関算出部１０９の算出結果を用いて、関連判断部２２２が判断を行った判断結果に応じた出力を行う。出力部２２４は、関連判断部２２２の判断結果を示す情報を出力しても良い。また、関連判断部２２２の判断結果が、相関検出部２２１が各伝達経路毎に検出した相関の高い部分同士が、予め指定された関係を満たすことを示す情報である場合、製造装置１１やプロセスに異常が発生したことを示す情報を出力しても良い。なお、出力部２２４の他の構成については、上述した出力部１１１と同様であるので、ここでは説明を省略する。【０１４４】
次に、本実施の形態の情報処理装置の動作の一例について図２３のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、説明を簡単にするために、異なる伝達経路から得られた予め指定された期間の第二情報を、順次第二入力受付部１０２に入力する場合について説明する。なお、図２３において、図７と同一符号は同一または相当するステップを示している。【０１４５】
（ステップＳ２３００）情報処理装置２０は、カウンターｋに１を代入する。そして、ステップＳ２３０１に進む。【０１４６】
（ステップＳ２３０１）第一入力受付部１０１は、ｋ番目の伝達経路から第一情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ７０１に進む。受け付けていない場合、ステップＳ２３０１に戻る。【０１４７】
（ステップＳ２３０２）第二入力受付部１０２は、ｋ番目の伝達経路から第二情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ７０７に進み、受け付けていない場合、ステップＳ２３０２に戻る。【０１４８】
（ステップＳ２３０３）相関検出部２２１は、図示しない格納部に蓄積されている閾値を読み出す。【０１４９】
（ステップＳ２３０４）相関検出部２２１は、ステップＳ７０９において取得した相互相関関数について、閾値よりも大きい値があるか否かを判断する。大きい値がある場合、ステップＳ２３０５に進み、大きい値がない場合、ステップＳ２３０６に進む。【０１５０】
（ステップＳ２３０５）相関検出部２２１は、相互相関関数の閾値よりも大きい値を示す部分を示す情報である時刻を示す情報を取得する。そして、取得した時刻の情報を図示しない格納部等に蓄積する。この時刻が、ここでは、第二情報の、窓取得情報に対して相関の高い部分を指定する情報である。【０１５１】
（ステップＳ２３０６）情報処理装置２０は、カウンターｋを１インクリメントする。【０１５２】
（ステップＳ２３０７）情報処理装置２０は、ｋ番目の伝達経路があるか否かを判断する。ある場合、ステップＳ２３０１に戻り、ない場合、ステップＳ２３０８に進む。【０１５３】
（ステップＳ２３０８）関連判断部２２２は、判断用情報格納部２２３に予め格納されている判断用情報を読み出す。【０１５４】
（ステップＳ２３０９）関連判断部２２２は、ステップＳ２３０５により複数の伝達経路から取得した複数の時刻の情報同士が、判断用情報が示す関係を満たすか否かを判断する。例えば、ステップＳ２３０８により取得した判断用情報が指定する発生期間内に、ステップＳ２３０５において複数の伝達経路からそれぞれ取得した時刻の情報が示す時刻が、一の伝達経路につき少なくとも１つ含まれているか否かを判断してもよい。あるいは、判断用情報等により指定された一の伝達経路から取得された一の時刻の情報が示す時刻に対して、判断用情報が示す遅延時間が示す期間内に、残りの伝達経路から取得された時刻の情報が示す時刻が、伝達経路につき少なくとも一つ含まれているか否かを判断しても良い。関係を満たすと判断した場合、ステップＳ２３１０に進み、関係を満たさないと判断した場合、ステップＳ２３１１に進む。【０１５５】
（ステップＳ２３１０）関連判断部２２２は、プロセス異常が発生したと判断する。【０１５６】
（ステップＳ２３１１）関連判断部２２２は、プロセスが正常であることを判断する。【０１５７】
（ステップＳ２３１２）出力部２２４は、関連判断部２２２の判断結果を出力する。例えばモニタ等に表示する。そして、処理を終了する。【０１５８】
なお、上記フローチャートにおいて、ステップＳ２３０９で関係を満たさないと判断した時点で処理を終了するようにしても良い。【０１５９】
なお、上記のフローチャートにおいて、異なる伝達経路から出力される連続した第二情報を、時分割で第二入力受付部１０２が受け付けるようにして、処理を繰り返し行うようにしても良いし、異なる伝達経路から出力される連続した第二情報を、繰り返し並列処理するようにしても良い。また、各伝達経路からそれぞれ出力される第一情報を予め取得して窓取得情報を取得する処理を行った後、各伝達経路からそれぞれ出力される第二情報について相互相関関数を算出する処理を行うようにしてもよい。【０１６０】
また、上記のフローチャートにおいて、判断用情報が異常の発生期間等の期間を指定する情報である場合、ステップＳ２３０３やステップＳ２３０４の処理を、ステップＳ２３０８等の処理の後に実行するようにし、判断用情報を取得後に、相互相関関数の判断用情報が示す期間内についてだけ、閾値よりも値が大きい部分が存在するか否かの判断を行い、閾値よりも値が大きい部分の時刻情報を取得するようにしても良い。【０１６１】
次に、本実施の形態の具体例について説明する。
図２４は、本実施の形態による情報処理装置により、異なる伝達経路から出力される信号から、異常を検出する構成の概略を説明するための図である。この図においては、伝達経路をモデル化して示している。【０１６２】
図２４に示すように、一の原因に起因する入力信号が、異なる伝達経路２４１および２４２を経てチャンネル１（ＣＨ１）、チャンネル２（ＣＨ２）から出力された場合、各経路から出力される信号同士は、伝達経路の経路長や伝達関数等の違いに応じて、通常、異なる信号となる。しかしながら、一の入力信号から派生した信号同士は、通常、関連性を有している。このため、一の入力信号に対応して異なる伝達経路を経て出力される異なる信号間の関連性を示す条件を、伝達経路毎の伝達関数や、伝達経路のモデルを用いることで予測したり、実験等により求めることが可能である。従って、このような一の入力信号から異なる伝達経路を経て派生した複数の信号同士の関連性を判断するための、信号の特徴量、例えば時間領域、遅延量、位相差、減衰量、モデルとなる波形等についての条件を示す情報、言い換えれば期待値を、伝達経路毎の伝達関数や伝達経路のモデルを用いて算出したり、実験等により取得することで予め用意し判断用情報格納部２２３等に格納しておく。そして、各伝達経路からそれぞれ取得される異常の発生等を示す部分同士が、このような予め指定した関連性を判断する条件を満たす特徴量を有する場合に、これらの信号が、一の入力信号から複数の伝達経路を経て派生した信号であると判断することが可能となる。この結果、異なる伝達経路２４１および２４２から取得した信号の異常の発生等を示す部分同士が、関連性がある場合には、例えば、一の原因から発生した信号であると判断できる。また、関連性がない、もしくは少ない場合には、一の原因から発生した信号ではない信号であると判断できる。【０１６３】
以下、ここでは、図示しないアコースティックエミッションセンサーを用いて、２つの異なる伝達経路（図示せず）から、それぞれ、製造装置１１において発生する信号波を取得するようにし、当該センサーが取得した信号を、伝達経路毎に第一情報、および第二情報として、第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２に入力する場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは、二つの異なる伝達経路を、第一の伝達経路および第二の伝達経路と呼ぶ。【０１６４】
まず、第一および第二の伝達経路からそれぞれ出力される、第一情報および第二情報を受け付け、ユーザから伝達経路毎に入力される、第一情報のうちの窓関数を用いて取り出す期間を指定する情報を用いて、上記実施の形態１と同様に、相互相関関数を算出する。ここでは、例として、第一情報の、異常が発生した箇所を窓関数を用いて取り出し、この取り出した窓取得情報との相互相関関係を算出した。【０１６５】
図２５は、第一および第二の伝達経路からそれぞれ取得した第一情報および第二情報を用いて算出した相互相関関数を示す図である。相互相関関数２５１は、第一の伝達経路から取得した第一情報および第二情報を用いて算出した相互相関関数を示すグラフであり、相互相関関数２５２は、第二の伝達経路から取得した第一情報および第二情報を用いて算出した相互相関関数を示すグラフである。横軸は時間、縦軸は相関度を示す。【０１６６】
また、相関検出部２２１は、図示しない記憶媒体等に予め蓄積されている相関の度合いを判断するための閾値を読み出して、相互相関関数２５１と相互相関関数２５２のそれぞれについて、第一情報から取得した窓取得情報との相関の高い部分を検出する。ここでは、例えば、まず、各相互相関関数を取得後に、相互相関関数を、閾値を用いて２値化し、値が"Ｈ"である部分を検出する。そして、検出した値が"Ｈ"である部分の時刻の情報を取得する。この時刻の情報が、相互相関関数の相関の高い部分を示す情報である。そして、取得した相関の高い部分を示す時間の情報を、各伝達経路に対応付けて図示しない記憶媒体等に蓄積する。また、ここでは、相互相関関数を二値化した情報も、図示しない記憶媒体に蓄積する。【０１６７】
次に、関連判断部２２２は、相互相関関数２５１の相関が高い部分と、相互相関関数２５２の相関が高い部分とが、関連性があるか否かを判断するための判断用情報を判断用情報格納部２２３から読み出す。ここで読み出した判断用情報は、伝達経路のモデルを用いて求められた、一の原因に基づく異常が発生した場合に、その異常を示す信号波形が、第一および第二の伝達経路からそれぞれ出力される第二情報に現れると期待される期間を指定する情報であるとする。ここでは期間の開始時刻Ｔａと終了時刻Ｔｂとを指定する情報であるとする。【０１６８】
図２６は、相関検出部２２１が取得して蓄積した、相互相関関数２５１を二値化した情報２６１と相互相関関数２５２を二値化した情報２６２と、判断用情報が示す、異常を示す信号波形が検出されると期待される期間２６３とを示した図の一例である。二値化した信号２６１、２６２の、信号が"Ｈ"である位置、即ち信号のピークが存在する位置が、相互相関関数における相関が高いと判断される部分であり、この位置を示す時間情報が、相関の高い部分を示す情報として、図示しない記憶媒体に蓄積されている。【０１６９】
関連判断部２２２は、判断用情報が示す開始時刻Ｔａから終了時刻Ｔｂまでの期間内に、相互相関関数２５１および相互相関関数２５２からそれぞれ閾値を用いて取得した、相関の高い部分を示す情報が示す時刻が、少なくとも一つずつ存在するか否かを判断する。即ち、図２６に示した判断用情報が示す期間２６３内に、相互相関関数２５１を二値化した情報２６１と、相互相関関数２５２を二値化した情報２６２との、信号が"Ｈ"である部分が、それぞれ少なくとも一つずつ含まれているか否かを判断することとなる。ここでは、図２６に示すように、判断用情報が示す期間２６３内に、相互相関関数２５１を二値化した情報２６１の、信号が"Ｈ"である部分２６１ａと、相互相関関数２５２を二値化した情報２６２の、信号が"Ｈ"である部分２６２ａとがそれぞれ含まれるため、判断用情報が示す期間内に、相関の高い部分を示す情報が示す時刻が、少なくとも一つずつ存在すると判断される。このため、関連性を判断するための判断用情報が示す関係を満たしたこととなるため、相互相関関数２５１を二値化した情報２６１の、信号が"Ｈ"である部分２６１ａと、相互相関関数２５２を二値化した情報２６２の、信号が"Ｈ"である部分２６２ａとは、関連があると判断される。具体的には、部分２６１ａと部分２６２ａとは、同じ原因により発生した異常を示す信号であると判断されることとなる。このため、関連判断部２２２は、製造装置１１に異常が発生したと判断する。一方で、判断用情報が示す期間内に含まれていない、信号が"Ｈ"である部分については、結果的に、異常の発生とは判断されない。なぜならば、製造装置１１において異常が発生した場合、各伝達経路から、関連性のあるデータとして出力されることとなるはずであるが、関連性が判断されないということは、相互相関関数における関連性の高い部分は、異常に起因する信号ではなく、伝達経路等において発生したノイズ等である可能性が高いからである。【０１７０】
次に、出力部２２３は、関連判断部２２２の判断結果を示す情報を出力する。ここでは、例えば、製造装置の異常が検出されたことを示す情報を、例えば、判断用情報が示す期間を示す情報とともに、図２７に示すように、モニタ等に表示する。【０１７１】
また、出力部２２３は、図２８に示すように、図２６に示した相互相関関数２５１を二値化した情報２６１と相互相関関数２５２を二値化した情報２６２とから、判断用情報が示す期間の情報だけを取り出した情報を、モニタ等に表示する。【０１７２】
なお、異常の発生が判断されなかった場合、出力部２２３は、異常が発生しなかった旨を出力するようにしても良い。【０１７３】
以上のように、本実施の形態によれば、異なる伝達経路から出力される、一の原因により発生した異常を示す信号から派生した信号間の関係を示す判断用情報を予め用意しておき、異なる複数の伝達経路から出力される情報の、窓取得情報との相関が高い部分同士の関係が、判断用情報が示す関係を満たすか否かを判断するようにした。これにより、伝達経路の異なる信号の関連性を評価することができる。例えば、伝達経路の異なる信号の特徴部分、例えば異常を示している部分が、同じ原因から派生した信号であるか否かを認知することが可能となる。この結果、例えば、伝達経路の異なる信号から、関連性のある信号の特徴部分を検出して、製造プロセス等のプロセス異常を正確に判断することが可能となる。【０１７４】
（実施の形態３）
本実施の形態は、上記実施の形態１において示した情報処理装置において、製造装置１１の同一または異なる伝達経路から出力される第一情報および第二情報を用いて、上記実施の形態１と同様に、相互相関関数を算出し、この相互相関関数の相関が高いと判断される部分に対して関連する期間に、他の伝達経路から出力される第三情報の異常を示す情報が存在するか否かを判断するようにしたものである。【０１７５】
図２９は、本実施の形態の情報処理装置の構成を示すブロック図である。なお、本実施の形態の情報処理装置３０は、図示していないが、上記実施の形態の情報処理装置と同様に、例えば、製造装置１１と、通信回線等を介して、情報の送受信が可能となるように、直接または間接的に接続される。【０１７６】
情報処理装置３０は、第一入力受付部１０１、第二入力受付部１０２、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６、窓関数処理部１０７、指定受付部１０８、相関算出部１０９、第三入力受付部３０１、第三正規化処理部３０２、第三フィルタ部３０３、相関検出部３０４、情報判断部３０５、期間指定情報格納部３０６，および出力部３０７を備えている。【０１７７】
第一入力受付部１０１、第二入力受付部１０２、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６、窓関数処理部１０７、指定受付部１０８、相関算出部１０９の構成については、上記実施の形態１と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。【０１７８】
第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２は、製造装置１１等の同一または異なる伝達経路から出力される第一情報および第二情報を受け付けるものとする。また、窓関数処理部１０７は、第一入力受付部１０１が受け付けた一の伝達経路から出力された第一情報から上述したような窓取得情報を取得するものとする。また、指定受付部１０８は、第一入力受付部１０１が受け付けた一の伝達経路から出力された第一情報に対して、窓関数を用いて取得するための所定の期間の指定を受け付けるものとする。特に、指定受付部１０８は、一の伝達経路から出力される第一情報について、製造装置１１等における異常が発生している部分を指定する情報、例えば異常が発生していることを示す波形部分の期間を指定する情報を受け付けることが好ましい。また、相関算出部１０９は、一の伝達経路から出力された第一情報から窓関数処理部１０７により取得された窓取得情報と、同一または異なる伝達経路から出力された第二情報と、の相互相関関数を算出するものとする。なお、第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２が受け付けた第一情報および第二情報や、正規化処理やフィルタ処理が行われた第一情報および第二情報や、取得された窓取得情報や、算出された相互相関関数等の、上記の処理により得られる情報等は、適宜、図示しないメモリ等の記憶媒体に蓄積し、読み出せるようにしてよい。なお、以下、実施の形態においては、主として、第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２が、製造装置１１等の同一の伝達経路から出力される第一情報および第二情報を受け付ける場合を例に挙げて説明する。ただし、第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２は、製造装置１１等の異なる伝達経路から出力される第一情報および第二情報を受け付けるようにしてもよい。【０１７９】
なお、正規化処理やフィルタ処理が不要な場合、第一正規化処理部１０３、第二正規化処理部１０４、第一フィルタ部１０５、第二フィルタ部１０６等は省略可能である。また、第一フィルタ部１０５や第二フィルタ部１０６に含まれる１以上のフィルタ手段を、適宜省略しても良い。正規化処理やフィルタ処理が不要な場合は、例えば、第一の情報および第二の情報が、同一の伝達経路から出力される、同一の要因により生じた情報であって、比較や演算等の操作のために望ましい性質を持った一定の形を有する情報である場合等である。【０１８０】
第三入力受付部３０１は、第一情報および第二情報が出力される伝達経路とは異なる一以上の伝達経路から出力される時系列データである一以上の第三情報を受け付ける。第三入力受付部３０１が受け付ける第三情報は、伝達経路が異なる点を除けば、上述した第二入力受付部１０２が受け付ける第二情報と同様である。第三入力受付部３０１は、受け付ける情報が、第一情報および第二情報を出力する伝達経路とは、異なる伝達経路から出力される第三情報である点、また、一以上の第三情報を受け付ける点を除けば、上述した第二入力受付部３０２等と同様の構成を有しており、ここでは説明を省略する。なお、第三入力受付部３０１は、複数の第三情報を、時分割で受け付けても良いし、また、当該第二入力受付部３０１を、並列に複数設けて、並列処理により受け付けるようにしても良い。【０１８１】
第三正規化処理部３０２および第三フィルタ部３０３は、第三入力受付部３０１が受け付けた一以上の第三情報に対して、正規化処理や、フィルタ処理を行う点を除けば、上記実施の形態の第二正規化処理部１０４および第二フィルタ部１０６と同様の構成を有しているため、ここでは説明を省略する。【０１８２】
また、第三フィルタ部３０３が有している第三伸縮フィルタ手段３０３１、第三ＡＲＸフィルタ手段３０３２、第三エンベロープフィルタ手段３０３３、第三ゼロクロスフィルタ手段３０３４についても、第三正規化処理部３０２が出力する第三情報に対してフィルタ処理を行う点を除けば、上述した第二伸縮フィルタ手段１０６１、第二ＡＲＸフィルタ手段１０６２、第二エンベロープフィルタ手段１０６３、および第二ゼロクロスフィルタ手段１０６４と同様の構成を有しており、ここでは説明を省略する。【０１８３】
なお、第三情報に対して、正規化処理やフィルタ処理が不要な場合、第三正規化処理部３０２、第三フィルタ部３０３等は省略可能である。また、第三フィルタ部３０３に含まれる１以上のフィルタ手段を、適宜省略しても良い。【０１８４】
相関検出部３０５は、伝達経路から出力される第一情報と第二情報とを用いて算出した相互相関関数における、相関の高い部分を検出するものであり、上記実施の形態の相関検出部２２１と同様であるので、説明は省略する。【０１８５】
情報判断部３０５は、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分に対して関連する第三情報の期間内に、異常を示す情報が検出されたか否かを判断する。相関検出部３０４が検出した相関の高い部分に対して関連する期間は、第二情報内の、窓取得情報に対する相関の高い部分に対して予め指定された時間関係にある期間と考えても良い。ここで述べる関連する期間とは、例えば、相関検出部３０４が検出した第二情報内の相関の高い部分の信号と同一の原因から派生した信号が、第三情報内において得られると予測される期間である。同一の原因に基づく異常を示す信号が、異なる伝達経路を経て出力される場合、第二情報の異常が発生したことを示す部分と、第三情報の異常が発生した箇所は、所定の時間の関係を有していると考えられる。従って、一の伝達経路から取得された第二情報の相関の高い部分が、製造装置１１等において発生した異常を示す部分である場合、一の伝達経路とは異なる伝達経路から得られる第三情報については、この第二情報の相関の高い部分に対して、所定の時間の関係を有している期間にも異常が発生したことを示す信号が含まれるはずである。このため、情報判断部３０５は、第三情報の、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分に対して関連する期間内に、異常を示す情報が検出されたか否かを判断する。この関連する期間は、例えば、上記実施の形態２において、伝達経路の異なる第二情報から取得した、窓取得情報に対して相関の高い部分同士の関連性を判断する際に用いた、１の原因から異なる伝達経路を経て派生した信号がともに含まれることとなる期間と同様の期間である。【０１８６】
情報判断部３０５は、上述した関連する期間をどのように決定しても良い。例えば、予め、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分を示す時刻に対する、関連する第三情報の期間を指定するための、時間差や、経過時間や、相対的な時刻等の情報を予め用意しておき、この情報を用いて、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分を示す時刻に対する関連する期間を取得するようにしても良い。このような関連する期間を指定する情報は、上述した判断用情報のうちの、相関の高い部分同士の遅延量等を指定する情報等と同様の情報と考えても良い。ここではこの期間を指定する情報を期間指定情報と呼ぶ。期間指定情報は、ユーザ等によって予め指定されているものとする。期間指定情報は、誤差等の発生による値の変動も考慮した期間を示す情報であることが好ましい。期間指定情報は、伝達経路別に用意されていても良いし、複数の伝達経路に共通して用意されていても良い。伝達経路別に期間指定情報が用意されている場合、伝達経路別に関連を判断する際に、判断対象となる伝達経路に対応した期間指定情報を読み出して利用する。なお、ここでは、期間指定情報は、後述する期間指定情報格納部３０６に、予め格納されているものとする。このような関連する期間を指定する期間指定情報は、上記実施の形態と同様に、伝達経路のモデル化や、伝達関数等を用いて取得することが可能である。また、実際に検査信号等を用いて、試験的に遅延時間等を実測すること等により、実験的に取得することが可能である。【０１８７】
情報判断部３０５は、例えば、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分に対して関連する期間を、相関の高い部分の時間を示す情報と、期間指定情報とを用いて取得する。そして、第三情報内の、この関連する期間内に、異常を示す情報が含まれるか否かを判断する。情報判断部３０５は、異常を示す情報を、第三情報内からどのように検出しても良い。情報判断部３０５は、例えば、第三情報に対してエッジの検出を行い、エッジの立ち上がりが検出された場合、このエッジの立ち上がりが検出された部分を、異常を示す情報として判断する。波形情報からエッジ検出を行う処理については公知技術であるので説明は省略する。また、情報判断部３０５は、第三情報に予め指定した閾値より大きい信号が検出された場合、この検出された部分を、異常を示す信号として判断する。そして、異常を示す情報が含まれると判断した場合、情報判断部３０５は、異常が発生したと判断するようにしても良い。情報判断部３０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。情報判断部３０５はの処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。ただし、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。【０１８８】
期間情報格納部３０６には、情報判断部３０５が、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分に対して関連する第三情報の期間を指定する際に用いる上述したような期間指定情報が格納され得る。期間指定情報は、第三情報を出力する伝達経路別に用意されていてもよく、複数の伝達経路に共通の期間指定情報が用意されていても良い。期間指定情報は、ユーザ等により予め用意された情報である。期間情報格納部３０６は、揮発性または不揮発性の記憶媒体等により実現可能である。【０１８９】
出力部３０７は、相関算出部１０９の算出結果に応じた情報を出力する。ここでは特に、相関算出部１０９の算出結果を用いて、情報判断部３０５が判断を行った判断結果に応じた出力を行う。出力部３０７は、情報判断部３０７の判断結果を示す情報を出力しても良い。また、情報判断部３０７の判断結果が、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分に対して関連する第三情報の期間内に、異常を示す情報が検出されたことを示す判断結果である場合、製造装置１１やプロセスに異常が発生したことを示す情報を出力しても良い。なお、出力部３０７の他の構成については、上述した出力部１１１と同様であるので、ここでは説明を省略する。【０１９０】
次に、本実施の形態の情報処理装置の動作について、図３０のフローチャートを用いて説明する。なお、図３０において、図７と同一符号は同一または相当するステップを示しており、ここでは説明を省略する。【０１９１】
（ステップＳ３００１）第一入力受付部１０１は、第一の伝達経路から第一情報を受け付けたか否かを判断する。ここでは、便宜上、第一情報および第二情報を出力する伝達経路を、第一の伝達経路と呼ぶ。受け付けた場合、ステップＳ７０２に進み、受け付けていない場合、ステップＳ３００１に戻る。【０１９２】
（ステップＳ３００２）第二入力受付部１０２は、第一の伝達経路から第二情報を受け付けたか否かを判断する。ただし、第二入力受付部１０２は、第一の伝達経路とは異なる伝達経路から第二情報を受け付けてもよい。受け付けた場合、ステップＳ７０７に進み、受け付けていない場合、ステップＳ３００２に戻る。【０１９３】
（ステップＳ３００３）情報処理装置３０は、カウンターｋに２を代入する。【０１９４】
（ステップＳ３００４）第三入力受付部３０１は、第ｋの伝達経路から、第三情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ３００５に進み、受け付けていない場合、ステップＳ３００４に戻る。【０１９５】
（ステップＳ３００５）第三正規化処理部３０２は、ステップＳ３００４において受け付けた第三情報に対して正規化処理を行う。【０１９６】
（ステップＳ３００６）第三フィルタ部３０３は、ステップＳ３００５で正規化処理した第三情報に対してフィルタ処理を行う。【０１９７】
（ステップＳ３００７）情報処理装置３０は、ステップＳ３００６で処理した第三情報を、図示しない記憶媒体等に蓄積する。【０１９８】
（ステップＳ３００８）情報処理装置３０は、カウンターｋの値を１インクリメントする。【０１９９】
（ステップＳ３００９）情報処理装置３０は、第ｋの伝達経路があるか否かを判断する。この判断は、第ｋの伝達経路からの第三情報の入力を受け付けるか否かの判断と考えても良い。第ｋの伝達経路が存在する場合、ステップＳ３００４に戻り、ない場合、ステップＳ３０１０に進む。【０２００】
（ステップＳ３０１０）情報処理装置３０は、ステップＳ７０９において取得した相互相関関数の、相関の高い箇所と、第三情報との関連を判断する処理を行う。この処理の詳細については後述する。そして、処理を終了する。【０２０１】
次に、図３０のステップＳ３０１０において示した関連を判断する処理の詳細について、図３１のフローチャートを用いて説明する。【０２０２】
（ステップＳ３１０１）相関検出部３０４は、図示しない格納部等から、相互相関関数の相関の高い部分を判断するための閾値を読み出す。【０２０３】
（ステップＳ３１０２）相関検出部３０４は、カウンターｎに１を代入する。【０２０４】
（ステップＳ３１０３）相関検出部３０４は、ステップＳ３１０１で読み出した閾値を用いて、図３０のステップＳ７０９で算出した相互相関関数に、閾値よりも値の大きいｎ番目の値を有する部分が存在するか否かを判断する。この値の検出は、相互相関関数の時刻の早い側から行っていくことが好ましい。存在する場合、閾値よりも値の高い部分を示す時間の情報を取得し、ステップＳ３１０４に進み、存在しない場合、ステップＳ３１１４に進む。【０２０５】
（ステップＳ３１０４）情報判断部３０５は、期間指定情報格納部３０５に格納されている期間指定情報を読み出す。【０２０６】
（ステップＳ３１０５）情報判断部３０５は、ステップＳ３１０３で検出した閾値よりも値の大きいｎ番目の部分の時間の情報と、ステップＳ３１０４で読み出した期間指定情報とを用いて、関連する情報が存在するか否かを判断する期間を設定する。例えば、ステップＳ３１０３で検出した閾値よりも値の大きいｎ番目の部分の検出開始時間がＴｆであり、期間指定情報が示す情報が、関連を判断する期間の、検出開始時間を基準とした相対的な開始時刻Ｔｓおよび終了時刻Ｔｅであった場合、関連を判断する期間は、Ｔｆ＋ＴｓからＴｆ＋Ｔｅに設定される。【０２０７】
（ステップＳ３１０６）情報判断部３０５は、カウンターｍに２を代入する。【０２０８】
（ステップＳ３１０７）情報判断部３０５は、第ｍの伝達経路から受けた第三情報を読み出し、この第三情報に対して、ステップＳ３１０５により設定した期間を検出の対象範囲として、異常の発生を示す情報の検出を行う。例えば、ステップＳ３１０５により設定した期間内において、異常と判断される信号のエッジ検出を行う。【０２０９】
（ステップＳ３１０８）情報判断部３０５は、ステップＳ３１０７の検出処理において、異常の発生を示す情報が検出されたか否かを判断する。検出された場合、ステップＳ３１０９に進み、研修されなかった場合、ステップＳ３１１３に進む。【０２１０】
（ステップＳ３１０９）情報判断部３０５は、カウンターｍを１インクリメントする。【０２１１】
（ステップＳ３１１０）情報判断部３０５は、第ｍの伝達経路から取得した第三情報があるか否かを判断する。ある場合、ステップＳ３１０７に戻り、ない場合、ステップＳ３１１１に進む。【０２１２】
（ステップＳ３１１１）情報判断部３０５は、ステップＳ３１０３において判断した、相互相関関数が示すｎ番目の相関の高い部分については、プロセス異常を示す部分であると判断する。【０２１３】
（ステップＳ３１１２）情報判断部３０５は、プロセス異常の判断結果を、図示しない記憶媒体等の格納部に蓄積する。蓄積される判断結果は、例えば、異常と判断されたｎ番目の相関の高い部分を示すことができる情報、例えば時間の情報を含むことが好ましいが、単に異常が有ることを示す情報であっても良い。【０２１４】
（ステップＳ３１１３）相関検出部３０４は、カウンターｎの値を１インクリメントする。そして、ステップＳ３１０３に戻る。【０２１５】
（ステップＳ３１１４）情報判断部３０５は、ステップＳ３１１２による、プロセス異常の判断結果が蓄積されているか否かを判断する。蓄積されている場合、ステップＳ３１１５に進み、蓄積されていない場合、ステップＳ３１１６に進む。【０２１６】
（ステップＳ３１１５）出力部３０７は、プロセス異常が発生したことを示す出力を行う。そして、上位の処理にリターンする。【０２１７】
（ステップＳ３１１６）出力部３０７は、プロセスが正常であることを示す出力を行う。そして、上位の処理にリターンする。【０２１８】
なお、上記のフローチャートにおいて、第１の伝達経路から出力される連続した第二情報や一以上の伝達経路から出力される連続した第三情報を、時分割で受け付けるようにして、処理を繰り返し行うようにしても良いし、異なる伝達経路から出力される連続した第二情報を、繰り返し並列処理するようにしても良い。【０２１９】
また、ステップＳ３１１４でプロセス異常の判断結果を示す情報が蓄積されていなかった場合、上位の処理にリターンするようにしても良い。【０２２０】
また、ここでは、伝達経路に共通した期間指定情報を用いる場合について説明したが、伝達経路毎に、異なる期間指定情報が用意されている場合、ステップＳ３１０４およびステップＳ３１０５の処理をステップＳ３１０６とステップＳ３１０７の処理の間に行うようにし、ステップＳ３１０４においては、第ｍの伝達経路に対応した期間指定情報を読み出すようにしても良い。【０２２１】
また、ステップＳ３１１２やステップＳ３１１４〜ステップＳ３１１６の処理を省略して、ステップＳ３１１１においてプロセス異常を判断した場合に、判断結果を出力して、ステップＳ３１１３に進むようにしても良い。【０２２２】
次に、本実施の形態の具体例について説明する。
本実施の形態においても、図２４に示したような伝達経路のモデル化によって、予め作成された期間指定情報が、期間指定情報格納部３０６に格納されているものとする。【０２２３】
図３２は、期間指定情報格納部３０６に格納されている期間指定情報の一例である。この期間指定情報は、相互相関関数における相関の高い部分を０秒とした場合、関連の判断を行う期間の「開始時刻」と「終了時刻」とを指定する情報である。なお、ｔｓ、ｔｅは時間を示す値であり、ｔｅ＞ｔｓであるとする。また、ここでは、ｔｓ、ｔｅは負の値であるとする。【０２２４】
以下、ここでは一例として、図示しないアコースティックエミッションセンサーを用いて、第一から第四の伝達経路（図示せず）から、それぞれ、製造装置１１において発生する信号波を取得するものとする。そして、第一の伝達経路からは、第一情報および第二情報を取得し、第二から第四の伝達経路からは、それぞれ、第三情報を取得する場合について説明する。ただし、第二情報を、第一の伝達経路以外の伝達経路から取得しても良い。【０２２５】
図３３は、第一から第四の伝達経路から受け付けた第一情報、第二情報、第三情報、および第一情報及び第二情報を用いて算出した相互相関関数を示すグラフである。グラフにおいて、横軸は時間を示している。チャンネル（ＣＨ）１は、情報取得の開始時刻と終了時刻とを示す信号である。【０２２６】
まず、上記実施の形態１において説明したように、情報処理装置３０の第一入力受付部１０１および第二入力受付部１０２が、第一の伝達経路からそれぞれ出力される測定データである第一情報および第二情報を受け付ける。図３３においてＣＨ２は第二情報を示す。次に、ユーザから入力される、第一情報のうちの窓関数を用いて取り出す期間を指定する情報を用いて窓取得情報を取得し、第二情報との相互相関関数を算出する。ここでは、例として、第一情報の、異常が発生した部分、即ちピークが存在する部分を、窓関数を用いて窓取得情報として取り出し、この取り出した窓取得情報との相互相関関数を算出する。【０２２７】
つぎに、第二から第四の伝達経路からそれぞれ出力される測定データである第三情報を受け付ける。そして、各第三情報に対して正規化処理やフィルタ処理を行う。第二から第四の伝達経路からそれぞれ受け付けた第三情報は、図３３のＣＨ６からＣＨ８のデータである。【０２２８】
次に、相関検出部３０４は、予め用意された、相互相関関数のうちの相関の高い部分を検出するための閾値を、図示しない記憶媒体等から読み出し、相互相関関数の値が、閾値よりも大きい部分を検出し、その部分を示す情報、例えば時間の情報、を取得する。図３３のＣＨ３は、相互相関関数を、上述した相関の高い部分を検出するための閾値で二値化したグラフである。このグラフの値が"Ｈ"の部分が、相関の高い部分である。なお、ここではＣＨ２の各ピークである異常が発生した部分が、ＣＨ３の相関の高い部分、即ち二値化した値が"Ｈ"である部分に相当する。具体的にはｔ２１とｔ３１，ｔ２２とｔ３２，ｔ２３とｔ３３，ｔ２４とｔ３４とがそれぞれ対応している。なお、ＣＨ２の各ピークと、二値化した相互相関関数の"Ｈ"の部分とのずれは、相互相関関数を演算により求める際の遅延によるものである。【０２２９】
次に、情報判断部３０５は、図３２に示した期間指定情報を読み出す。そして、相関検出部３０４が相互相関関数から検出した相関の高い部分の一つめについて、この相関の高い部分の立ち上がりが検出された時刻と、期間指定情報とを用いて、第三情報との関連性を判断するための期間を示す開始時刻と終了時刻とを算出する。例えば、相関の高い部分の一つめが検出された時刻がｔ３１であったとすると、関連性を判断する期間の開始時刻であるｔ３１＋ｔｓ、終了時刻であるｔ３１＋ｔｅを取得する。【０２３０】
次に、情報判断部３０５は、第二から第四の伝達経路からそれぞれ取得した第三情報について、ｔ３１＋ｔｓからｔ３１＋ｔｅまでの期間（即ち図３３のＥ１の期間）内の立ち上がりのエッジを検出する。そして、全ての第三情報についてエッジの立ち上がりが検出された場合、第一の伝達経路が異常と考えられる信号を出力した時間に対して関連している期間内に、第二から第四の伝達経路の全てが、異常が発生したことを示す信号を出力したこととなる。ここでの関連している期間は、一の原因により派生した異常を示す信号が含まれると予測される期間に予め設定されているため、各伝達経路から出力される異常が発生したことを示す信号が、関連している期間内に検出されたことにより、これらの異常を示す信号は、各伝達経路において個別に発生したノイズ等ではなく、一の原因により派生した信号であることが判断される。この結果、プロセスの異常が検出される。そしてプロセス異常の検出結果を図示しない記憶媒体に蓄積する。ここで蓄積する検出結果は、第二情報内の、相関検出部３０４が検出した相関の高い部分（時刻ｔ３１の部分）に対応した部分の時刻ｔ２１を示す情報であるとする。【０２３１】
同様の処理が、相関検出部３０４が相互相関関数から検出した他の相関の高い部分についても実行される。【０２３２】
例えば、図３３におけるＣＨ３のピークＰ１〜Ｐ４が上述したように相互相関関数の相関の高い部分であり、各相関の高い部分に対応する領域Ｅ１〜Ｅ４が、ピークＰ１〜Ｐ４に対応する関連を判断するための領域である。領域Ｅ１および領域Ｅ３においては、第二から第四の伝達経路からそれぞれ取得した第三情報、即ちＣＨ６からＣＨ８の全ての情報において、立ち上がりのエッジが検出され、情報判断部３０５は、全ての伝達経路から得られた信号間の関連性があると判断して、プロセス異常の発生を検出する。また、領域Ｅ２および領域Ｅ４については、ＣＨ６からＣＨ８の情報において、立ち上がりのエッジが検出されないものが存在するため、情報判断部３０５は、異常の発生を検出しない。また、ＣＨ６からＣＨ８までの情報のうちの、関連性を判断するための期間内に存在しない情報については、関連性の判断が行われず、異常の発生を示す情報とは判断されない。【０２３３】
出力部３０７は、情報判断部３０５が蓄積した異常の発生を示す情報を図示しない格納部等から読み出して出力する。【０２３４】
図３４は、出力部３０７がモニタに表示した異常の発生を示す情報の表示例を示す図である。【０２３５】
なお、プロセス異常が検出されなかった場合、その旨を出力しても良いし、出力しなくても良い。【０２３６】
以上のように、本実施の形態によれば、同一または異なる伝達経路から出力される第一情報および第二情報を用いて、相互相関関数を算出し、この相互相関関数の相関が高いと判断される部分に対して関連する期間に、他の伝達経路から出力される第三情報の異常を示す情報が存在するか否かを判断するようにした。これにより、異なる伝達経路により出力されるデータの関連性を評価することができ、例えば、製造装置等において一の原因により発生した異常を適切に検出することが可能となる。例えば、各伝達経路の関連のない期間に検出された異常を示す情報については、個別の伝達経路において発生したノイズ等の情報である可能性が高いため、これらの情報が検出されても異常と判断しないようにして、異常の検出精度を向上させることができる。【０２３７】
また、相互相関関数が相関の高いことを示す部分と、第三情報から検出した異常と考えられる箇所との関連から、プロセス異常を検出するようにしたことにより、第三情報については相互相関関数を算出する必要等がないため、演算時間等を短縮して高速な処理が可能となる。【０２３８】
なお、上記各実施の形態において、情報処理装置と製造装置１１とがネットワーク等で接続されている場合について説明したが、情報処理装置が製造装置１１内に設けられているようにしても良い。【０２３９】
なお、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。【０２４０】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。【０２４１】
なお、上記各実施の形態におけるデータ表示装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、半導体プロセスに関する時系列データである第一情報を受け付ける第一入力受付部と、半導体プロセスに関する時系列データである第二情報を受け付ける第二入力受付部と、前記第一情報の所定の期間内の情報を、窓関数を用いて取り出し、窓取得情報を得る窓関数処理部と、前記窓関数処理部が取り出した窓取得情報と、前記第二情報との相互相関関数を算出する相関算出部と、前記相関算出部の算出結果に応じた情報を出力する出力部として機能させるためのプログラムである。【０２４２】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、情報を取得する取得部や、情報を出力する出力部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には含まれない。【０２４３】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。【０２４４】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。【０２４５】
図２０は、上記プログラムを実行して、上記各実施の形態によるデータ表示装置を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図である。上記実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムによって実現される。【０２４６】
図２０において、コンピュータシステム５００は、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ５０５、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）ドライブ５０６を含むコンピュータ５０１と、キーボード５０２と、マウス５０３と、モニタ５０４とを備える。【０２４７】
図２１は、コンピュータシステムを示す図である。図２１において、コンピュータ５０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ５０５、ＦＤドライブ５０６に加えて、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）５１１と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）５１２と、ＣＰＵ５１１に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶すると共に、一時記憶空間を提供するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）５１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するハードディスク５１４と、ＣＰＵ５１１、ＲＯＭ５１２等を相互に接続するバス５１５とを備える。なお、コンピュータ５０１は、ＬＡＮへの接続を提供する図示しないネットワークカードを含んでいてもよい。【０２４８】
コンピュータシステム５００に、上記実施の形態によるデータ表示装置の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ５２１、またはＦＤ５２２に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ５０５、またはＦＤドライブ５０６に挿入され、ハードディスク５１４に転送されてもよい。これに代えて、そのプログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ５０１に送信され、ハードディスク５１４に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ５１３にロードされる。なお、プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ５２１やＦＤ５２２、またはネットワークから直接、ロードされてもよい。【０２４９】
プログラムは、コンピュータ５０１に、上記実施の形態によるデータ表示装置の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティプログラム等を必ずしも含んでいなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいてもよい。コンピュータシステム５００がどのように動作するのかについては周知であり、詳細な説明は省略する。【０２５０】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（要求情報送信部や、データ受信部等）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。【０２５１】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０２５２】
以上のように、本発明にかかる情報処理装置は、半導体プロセスに関する時系列データを処理する情報処理装置に適用可能なものであり、特に、時系列データから製造プロセスの状態を検知するための情報処理装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０２５３】
【図１】実施の形態１における情報処理装置のブロック図
【図２】同情報処理装置を備えた半導体製造装置管理システムの概念図
【図３】同半導体製造装置管理システムにおける、製造装置の一例を示す図
【図４】同情報処理装置のフィルタ処理を説明する図
【図５】同情報処理装置のフィルタ処理を説明する図
【図６】同情報処理装置のフィルタ処理を説明する図
【図７】同情報処理装置の動作について説明するフローチャート
【図８】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図９】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１０】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１１】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１２】同情報処理装置の表示例を示す図
【図１３】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１４】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１５】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１６】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１７】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１８】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図１９】同情報処理装置における情報の表示例を示す図
【図２０】本発明の情報処理装置を実現するコンピュータシステムの外観一例を示す模式図
【図２１】本発明の情報処理装置を実現するコンピュータシステムの構成の一例を示す図
【図２２】実施の形態２における情報処理装置のブロック図
【図２３】同情報処理装置の動作について説明するフローチャート
【図２４】同情報処理装置の構成の概略を示す図
【図２５】同情報処理装置の情報の表示例を示す図
【図２６】同情報処理装置の情報の表示例を示す図
【図２７】同情報処理装置の表示例を示す図
【図２８】同情報処理装置の情報の表示例を示す図
【図２９】実施の形態３における情報処理装置のブロック図
【図３０】同情報処理装置の動作について説明するフローチャート
【図３１】同情報処理装置の動作について説明するフローチャート
【図３２】同情報処理装置の動作を説明するための期間指定情報の一例を示す図
【図３３】同情報処理装置の情報の表示例を示す図
【図３４】同情報処理装置の表示例を示す図
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【国際調査報告】
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