【手続補正書】
【提出日】平成17年6月10日(2005.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】シリコンウェーハ及び熱処理用ボート、チューブの評価方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェーハに熱処理を施し、前記シリコンウェーハをフッ化水素酸に浸漬し、純水によるリンスの後、SC−１洗浄液に浸漬し、更に純水リンス及び乾燥の後、前記シリコンウェーハ表面のエッチピットを光学的方法によって検出し、この検出結果に基づいてシリコンウェーハの金属汚染の有無を評価することを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
【請求項２】
シリコンウェーハの表層に無欠陥層を形成するための熱処理を施し、前記シリコンウェーハをフッ化水素酸に浸漬し、純水によるリンスの後、SC−１洗浄液に浸漬し、更に純水リンス及び乾燥の後、前記シリコンウェーハ表面のエッチピットを光学的方法によって検出し、この検出結果に基づいてシリコンウェーハの金属汚染の有無を評価することを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
【請求項３】
非酸化性雰囲気中でシリコンウェーハに熱処理を施し、前記シリコンウェーハをフッ化水素酸に浸漬し、純水によるリンスの後、SC−１洗浄液に浸漬し、更に純水リンス及び乾燥の後、前記シリコンウェーハ表面のエッチピットを光学的方法によって検出し、この検出結果に基づいてシリコンウェーハの金属汚染の有無を評価することを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
【請求項４】
請求項１乃至３記載のフッ化水素酸の濃度が０．１〜５０ｗｔ％であり、シリコンウェーハの浸漬時間が１秒〜１０時間であることを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
【請求項５】
請求項１乃至３記載の光学的方法が、光学的パーティクル測定器による方法であり、シリコンウェーハの全面にわたってエッチピットの密度分布を測定可能とする測定方法であることを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
【請求項６】
請求項１乃至３記載の評価方法を用いてエッチピットの密度分布を測定したシリコンウェーハにおいて、高密度のエッチピットの分布パターンにより、金属汚染が熱処理用ボートによるものか、熱処理用チューブによるものか、もしくは前記両者によるものかを判断することを特徴とする熱処理用ボート、チューブの評価方法。
【請求項７】
請求項１乃至３記載の評価方法を用いてエッチピットの密度分布を測定したシリコンウェーハにおいて、熱処理用ボートとの接触部に高密度のエッチピットが検出された場合には、前記ボートが金属汚染されているものと判定することを特徴とする熱処理用ボートの評価方法。
【請求項８】
請求項１乃至３記載の評価方法を用いてエッチピットの密度分布を測定したシリコンウェーハにおいて、リング状または円弧状に高密度のエッチピットが検出された場合には、熱処理用チューブが金属汚染されているものと判定することを特徴とする熱処理用チューブの評価方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、シリコンウェーハと、熱処理に使用したボートならびにチューブの金属汚染の有無についての評価方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は上記従来の問題点に着目してなされたもので、熱処理を施したシリコンウェーハに対する金属汚染の有無の評価及びシリコンウェーハに金属汚染をもたらす熱処理用ボート、チューブに対する金属汚染の有無の評価を的確、迅速に行うことができるシリコンウェーハの評価方法及び熱処理に使用するボート、チューブの評価方法を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係るシリコンウェーハの評価方法は、シリコンウェーハに熱処理を施し、前記シリコンウェーハをフッ化水素酸に浸漬し、純水によるリンスの後、ＳＣ−１洗浄液に浸漬し、更に純水リンス及び乾燥の後、前記シリコンウェーハ表面のエッチピットを光学的方法によって検出し、この検出結果に基づいてシリコンウェーハの金属汚染の有無を評価することを特徴とする。シリコンウェーハに熱処理を施すことにより、表層近傍は無欠陥状態となる。このようなウェーハをフッ化水素酸に浸漬し、更にＳＣ−１洗浄液に浸漬することによって生じたエッチピットは、熱処理時に受けた金属汚染によるものに限定される。ウェーハ表面の汚染金属部はフッ化水素酸により溶解してピットとなり、このピットはＳＣ−１洗浄液により拡大されるため、光学的方法による検出が容易になる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記シリコンウェーハの評価方法において、フッ化水素酸の濃度が０.１〜５０wt％であり、シリコンウェーハの浸漬時間が１秒〜１０時間であることを特徴とする。フッ化水素酸の濃度とウェーハ浸漬時間とは互いに反比例する関係にあり、前記濃度及び浸漬時間を前記の範囲内で適宜設定すればよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明に係るシリコンウェーハの評価方法において、ウェーハ表面のエッチピットを検出する光学的方法が、光学式パーティクル測定器による方法であり、シリコンウェーハの全面にわたってエッチピットの密度分布を測定可能とする測定方法であることを特徴とする。フッ化水素酸への浸漬によってシリコンウェーハの金属汚染部が溶解してピットとなり、ＳＣ−１洗浄液への浸漬によって拡大された前記ピットは、光学式パーティクル測定器により明確に検出することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
更に、本発明に係る熱処理用ボート、チューブの評価方法は、上記評価方法を用いてエッチピットの密度分布を測定したシリコンウェーハにおいて、高密度のエッチピットの分布パターンにより、金属汚染が熱処理用ボートによるものか、熱処理用チューブによるものか、もしくは前記両者によるものかを判定することを特徴とする。熱処理を施したシリコンウェーハの金属汚染原因は、主として熱処理に使用した熱処理用ボート、熱処理用チューブのいずれかまたは前記両者によるものである。そして、フッ化水素酸及びＳＣ−１洗浄液によるエッチングによりウェーハ表面に現れた高密度エッチピットの分布パターンにより、汚染源を特定することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る熱処理用ボートの評価方法は、上記評価方法を用いてエッチピットの密度分布を測定したシリコンウェーハにおいて、熱処理用ボートとの接触部に高密度のエッチピットが検出された場合には、前記ボートが金属汚染されているものと判定することを特徴とする。熱処理用ボートに装填されたシリコンウェーハは、縁部の複数箇所で前記ボートの溝に接触する。従って、ウェーハ縁部の複数箇所またはそれらのうちの一部の箇所に高密度のエッチピットが独立して検出されれば、金属汚染が熱処理用ボートによるものであると判定してよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明に係る熱処理用チューブの評価方法は、上記評価方法を用いてエッチピットの密度分布を測定したシリコンウェーハにおいて、リング状または円弧状に高密度のエッチピットが検出された場合には、熱処理用チューブが金属汚染されているものと判定することを特徴とする。熱処理用チューブが金属汚染されている場合は、熱処理を施したシリコンウェーハの表面に検出される高密度のエッチピットがリング状または円弧状となる。従って、熱処理用ボートによる金属汚染との識別は容易である。