【手続補正書】
【提出日】平成17年4月13日(2005.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被冷却装置（２,２０,３０,４０）に直接あるいは間接に取り付けられる冷凍機（５）と、配管（１１,１２; １１ａ,１１ｂ,１２ａ,１２ｂ）を介して上記冷凍機（５）に接続され、高圧の冷媒ガスを上記冷凍機（５）に供給すると共に、低圧の冷媒ガスが上記冷凍機（５）から戻される圧縮機（９）とを備えて、上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）を極低温に冷却する極低温冷凍装置において、
上記被冷却装置は超伝導マグネット（２）であり、
変換した周波数の信号を上記圧縮機（９）のモータに出力する周波数変換手段（１４）と、
上記超伝導マグネット（２）の状況に応じて上記周波数変換手段（１４）を制御するコントローラ（７）とを備えたことを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項２】
被冷却装置（２,２０,３０,４０）に直接あるいは間接に取り付けられる冷凍機（５）と、配管（１１,１２; １１ａ,１１ｂ,１２ａ,１２ｂ）を介して上記冷凍機（５）に接続され、高圧の冷媒ガスを上記冷凍機（５）に供給すると共に、低圧の冷媒ガスが上記冷凍機（５）から戻される圧縮機（９）とを備えて、上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）を極低温に冷却する極低温冷凍装置において、
上記被冷却装置は容器（２０）であり、
変換した周波数の信号を上記圧縮機（９）のモータに出力する周波数変換手段（１４）と、
上記容器（２０）の状況に応じて上記周波数変換手段（１４）を制御するコントローラ（７）とを備えたことを特徴とする各種の極低温実験のために使用される極低温冷凍装置。
【請求項３】
被冷却装置（２,２０,３０,４０）に直接あるいは間接に取り付けられる冷凍機（５）と、配管（１１,１２; １１ａ,１１ｂ,１２ａ,１２ｂ）を介して上記冷凍機（５）に接続され、高圧の冷媒ガスを上記冷凍機（５）に供給すると共に、低圧の冷媒ガスが上記冷凍機（５）から戻される圧縮機（９）とを備えて、上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）を極低温に冷却する極低温冷凍装置において、
上記被冷却装置はチャンバ（３１）内を真空排気するためのポンプ容器（３０）であり、
変換した周波数の信号を上記圧縮機（９）のモータに出力する周波数変換手段（１４）と、
上記ポンプ容器（３０）の状況に応じて上記周波数変換手段（１４）を制御するコントローラ（７）とを備えたことを特徴とするクライオポンプとして使用される極低温冷凍装置。
【請求項４】
被冷却装置（２,２０,３０,４０）に直接あるいは間接に取り付けられる冷凍機（５）と、配管（１１,１２; １１ａ,１１ｂ,１２ａ,１２ｂ）を介して上記冷凍機（５）に接続され、高圧の冷媒ガスを上記冷凍機（５）に供給すると共に、低圧の冷媒ガスが上記冷凍機（５）から戻される圧縮機（９）とを備えて、上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）を極低温に冷却する極低温冷凍装置において、
上記被冷却装置は液溜容器（４０）であり、
変換した周波数の信号を上記圧縮機（９）のモータに出力する周波数変換手段（１４）と、
上記液溜容器内（４０）部の状況に応じて上記周波数変換手段（１４）を制御するコントローラ（７）とを備えたことを特徴とする簡易液化機として使用される極低温冷凍装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つに記載の極低温冷凍装置において、
上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）の温度を検出する温度検出手段（６）をさらに備え、
上記コントローラ（７）は、上記温度検出手段（６）からの信号に基づき、上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）の温度が所定温度よりも高いときには、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記被冷却装置（２,２０,３０,４０）が上記所定温度まで冷却された後は、減少した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記周波数変換手段（１４）を制御することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項６】
請求項１に記載の極低温冷凍装置において、
上記超伝導マグネットは容器（３）内に収納されていることを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項７】
請求項２乃至６のいずれか１つに記載の極低温冷凍装置において、
上記容器（３,２０,３０,４０）内の圧力を検出する圧力検出手段をさらに備え、
上記コントローラ（７）は、上記圧力検出手段からの信号に基づき、上記容器（３,２０,３０,４０）内の圧力が所定圧力よりも高いときには、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記容器（３,２０,３０,４０）内の圧力が上記所定圧力まで低下した後は、減少した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記周波数変換手段（１４）を制御することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つに記載の極低温冷凍装置において、
上記コントローラ（７）は、装置起動時、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように上記周波数変換手段（１４）を制御することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項９】
請求項３，５，７または８に記載の極低温冷凍装置において、
上記コントローラ（７）は、再生プロセス中は、減少した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記再生プロセスの終了後には、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記周波数変換手段（１４）を制御することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１０】
請求項３，５，または７〜９のいずれか１つに記載の極低温冷凍装置において、
上記コントローラ（７）は、上記チャンバ（３１）の排気時に、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記周波数変換手段（１４）を制御することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１１】
請求項４，５，７または８に記載の極低温冷凍装置において、
上記液溜容器（４０）内部の液面を検出する液面検出手段（４２,４３）を備え、
上記コントローラ（７）は、上記液面検出手段（４２,４３）からの信号に基づいて、上記液溜容器（４０）内部の液面が所定の高レベルよりも低いときには、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記液溜容器（４０）内部の液面が上記所定の高レベルに達した後には、減少した周波数の信号を上記周波数変換手段（１４）が出力するように、上記周波数変換手段（１４）を制御することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１つに記載の極低温冷凍装置において、
上記圧縮機（９）は第１の熱交換器と共にハウジング内に収容されて屋外設置型の圧縮機ユニット（２１）を構成しており、この圧縮機ユニット（２１）と上記冷凍機（５）との間に第２の熱交換器を備えた室内設置型の中間ユニット（２３）を介在させていることを特徴とする極低温冷凍装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項１の発明は、上記被冷却装置が超伝導マグネットであり、変換した周波数の信号を上記圧縮機のモータに出力する周波数変換手段と、上記超伝導マグネットの状況に応じて上記周波数変換手段を制御するコントローラとを備えたことを特徴としている。
上記超伝導マグネットは容器内に収容されていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この構成によれば、被冷却装置の温度変化に応じてきめ細かな運転制御が行なわれる。
温度検出手段に代えて、あるいは、温度検出手段に加えて、容器内の圧力を検出する圧力検出手段を設けてもよい。この場合、上記コントローラは、上記圧力検出手段からの信号に基づき、容器内の圧力が所定圧力よりも高いときには、増加した周波数の信号を上記周波数変換手段が出力するように、上記容器内の圧力が上記所定圧力まで低下した後は、減少した周波数の信号を上記周波数変換手段が出力するように、上記周波数変換手段を制御する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
請求項５の発明によれば、上述の各極低温冷凍装置において、上記コントローラが、温度検出手段からの信号に基づき上記周波数変換手段を制御するので、被冷却装置の温度変化に応じたきめ細かな運転制御を行なうことができる。
温度検出手段の代わりに圧力検出手段を用いても同様の効果がある。