【手続補正書】
【提出日】平成17年1月24日(2005.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードロック室内に配置された基板を水平面上の直行する２つのＸ、Ｙ軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なＺ軸まわりに回転できる支持手段により下方から支持し、カメラにより撮像した基板の角から基板の位置と傾きの画像を認識し、位置のずれや傾きがあるとき支持手段のＸ、Ｙ軸方向の移動とＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を所定位置に位置決めすることを特徴とする真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項２】
角型の基板を取り扱い、対角線の中点を基板の中心として前記位置決めを行なう請求項１に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項３】
基板の角部が面取りなどされて欠けているとき、基板における角部の両側のエッジがなす線分を延長した交点を仮想頂点とし、２つの仮想頂点座標の中点を基板の中心とする請求項２に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項４】
前記線分または仮想頂点の傾きを基板の回転角度として位置決めする請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項５】
位置決め後の基板が真空処理室または外部に移載された都度、支持手段を所定の原点に復帰させる請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項６】
真空処理室から移載された基板の位置決めは、その基板が外部から移載されたときの位置に位置決めする請求項１〜５のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項７】
Ｘ、Ｙ軸のいずれかとＺ軸とが同一の駆動系により駆動される支持手段を用いる請求項１〜６のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法。
【請求項８】
ロードロック室内に配置された基板を下方から支持し、水平面上の直行する２つのＸ、Ｙ軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なＺ軸まわりに回転できる支持手段と、支持手段により支持される基板を撮像して画像認識に供する認識カメラと、認識カメラが撮像した画像データから基板の位置ずれおよび傾きを演算する演算手段と、演算の結果基板に位置のずれや傾きがあるとき支持手段のＸ、Ｙ軸方向の移動とＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を所定位置に位置決めする制御手段とを備えたことを特徴とする真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項９】
演算手段は、角型の基板に対して対角線の中点を演算し、これを基板の中心として位置ずれを演算する請求項８に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１０】
演算手段は、基板の角部が面取りなどされて欠けているとき、基板における角部の両側のエッジがなす線分を延長した交点を仮想頂点とし、２つの仮想頂点座標の中点を基板の中心とする請求項９に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１１】
制御手段は、前記線分または仮想頂点の傾きを基板の回転角度として位置決めする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１２】
制御手段は、位置決め後の基板が真空処理室または外部に移載された都度、支持手段を所定の原点に復帰させる請求項８〜１１のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１３】
基板の位置を記憶する記憶手段を備え、制御手段は、基板が外部から支持手段上に移載されたときの基板の位置を認識カメラと演算手段による位置および傾きの画像認識が行なわれるようにし、画像認識された基板の位置および傾きを前記記憶手段に記憶しておき、真空処理室から移載された基板の位置決めは、その基板が外部から移載されたときの記憶手段に記憶された位置に位置決めする請求項８〜１２のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１４】
支持手段は、そのＸ、Ｙ軸のいずれかとＺ軸とが同一の駆動系により駆動される請求項８〜１３のいずれか１項に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１５】
Ｚ軸およびこれと同一の駆動系により駆動されるＸ、Ｙいずれかの軸に対し、駆動系からの駆動力を双方に伝達したり、一方に伝達して他方には遊ばせる駆動伝達断接手段を備えた請求項１４に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【請求項１６】
駆動伝達断接手段は、駆動の断接に伴い非駆動軸を停止状態に保つブレーキを備えている請求項１５に記載の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の真空処理装置のロードロック室での基板位置決め方法は、ロードロック室内に配置された基板を水平面上の直行する２つのＸ、Ｙ軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なＺ軸まわりに回転できる支持手段により下方から支持し、カメラにより撮像した基板の角から基板の位置と傾きの画像を認識し、位置のずれや傾きがあるとき支持手段のＸ、Ｙ軸方向の移動とＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を所定位置に位置決めすることを主たる特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような構成では、ロードロック室内に配置された基板を支持手段によって下方から支持し、支持した基板の認識カメラにより画像認識した位置および傾きに応じて、支持手段自体の、水平面上の直行するＸ、Ｙ軸２方向の移動と、これらに直角なＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を位置決めして、真空処理室または外部へ移載され真空処理やカセットへの収納に供することができ、位置決めのために基板にクランプ方式による場合のような負荷を与えることがなく、基板の大判化や薄型化によっても正確に位置決めできるとともに、基板にダメージを与えたりダスト発生の原因になったりすることがなく位置決めの信頼性が向上する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記のような主たる特徴の方法を達成する位置決め装置としては、ロードロック室内に配置された基板を下方から支持し、水平面上の直行する２つのＸ、Ｙ軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なＺ軸まわりに回転できる支持手段と、支持手段により支持される基板を撮像して画像認識に供する認識カメラと、認識カメラが撮像した画像データから基板の位置ずれおよび傾きを演算する演算手段と、演算の結果基板に位置のずれや傾きがあるとき支持手段のＸ、Ｙ軸方向の移動とＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を所定位置に位置決めする制御手段とを備えたことを主たる特徴とするもので足り、前記主たる特徴の方法をプログラムに従い自動的に安定して達成することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図２にそのような真空処理室１とロードロック室２との関係構造の具体例を示してあり、ロードロック室２は真空処理室１と外部３との間に設けられ、真空処理室１の真空状態を保って基板４を移載する。この移載ために、ロードロック室２と真空処理室１および外部３との間の出し入れ口５、６にゲート弁７、８が設けられ、それぞれ個別のアクチュエータ９によって開閉できるようにされる。ロードロック室２に外部３から基板４が移載されるとき、外部３との出し入れ口６はゲート弁８によって開くが、真空処理室１の出し入れ口５はゲート弁７によって閉じ真空状態を保てるようにする。外部３には多数の基板４を収容したカセットが位置し、これに収容された基板４が移載機構によって出し入れ口６を通じ移載される。ロードロック室２内では移載、配置される基板４を支持手段１１により下方から支持し、位置決め後に真空処理室１へ移載して真空処理に供する。このときの移載は外部３側の出し入れ口６を閉じた後、真空処理室１側の出し入れ口５を開くことにより真空処理室１内の真空状態が大幅に低下するのを防止しながら、前記基板４を真空処理室１内に移載し、移載後出し入れ口５を閉じて所定の真空度を確保して真空処理が行なわれるようにする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、ロードロック室内に配置される基板を支持手段によって下方から支持し、支持した基板の認識カメラにより画像認識した位置および傾きに応じて、支持手段自体の、水平面上の直行するＸ、Ｙ軸２方向の移動と、これらに直角なＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を位置決めして、真空処理室または外部へ移載され真空処理やカセットへの収納に供することができ、位置決めのために基板にクランプ方式による場合のような負荷を与えることがなく、基板の大判化や薄型化によっても正確に位置決めできるとともに、基板にダメージを与えたりダスト発生の原因になったりすることがなく位置決めの信頼性が向上する。