【手続補正書】
【提出日】平成17年5月31日(2005.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
このようにＣＺ法でシリコンの単結晶体を製造するときに、石英るつぼ２が内挿された黒鉛るつぼ３が使用されているが、この黒鉛るつぼ３は次のとおり（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の条件を具える所謂分割型が望まれている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（ａ）、黒鉛るつぼ３は、ＣＺ法によるシリコンの単結晶体の製造に用いるときは、通常のもののように一体に構成することなく、図８ならびに図９に示すように、少なくとも２つ以上の分割支片１３０、１３０、１３０を組み合わせた所謂分割型黒鉛るつぼとして構成されている。すなわち、各分割支片１３０、１３０、１３０は黒鉛るつぼの中心軸１０１を通る垂直断面で少なくとも２つ以上に切断し、各分割支片の断面は、後記のように、通常扇形断面のものとして構成すること、
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（ｂ）、少なくとも２つ以上の分割支片１３０、１３０を組み合わせて構成し、この組み合わせた所謂分割型黒鉛るつぼ３は、図９に示すとおり、内部の底面１３２は球面状を成し、なかでも、底面１３２と内壁面１３１の境界部分は円弧状をなし、いずれの場合であっても、その黒鉛るつぼの内壁面１３１と底面１３２とは、図９に示すとおり、全く境い目がなく連続化した球面状のものとして構成すること。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
（ｃ）、各分割支片１３０、１３０、１３０の素材となる円柱状黒鉛材料としては、高密度で等方性を具える高密度の黒鉛材料を用いる必要があり、このような材料であると、各分割支片１３０、１３０、１３０を一体に組み合わせて接合する手段が見当らない。このことがあって、各分割支片１３０、１３０の製作は機械的な切削加工によらなければならない。このため、適正で材料ロスのない製作法が望まれていること。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
まず、（ａ）の条件についてみると、ＣＺ法に供せられる所謂分割型黒鉛るつぼはシリコン原料の加熱溶融に直接供せられるものでなく、石英るつぼを外周から保護するものである。しかしながら、黒鉛るつぼは石英るつぼと一体を成し、シリコン単結晶の成長に使用されるため、この間に黒鉛るつぼと石英るつぼとの密着面からシリコン蒸気などが侵入し、黒鉛るつぼの外周面がシリコン蒸気などにさらされる。このため、黒鉛るつぼは一体に構成することなく、少なくとも２分割または３分割し、このような分割支片を組み合わせ、黒鉛るつぼは分割型として構成することが必要となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
このようなところからも、黒鉛るつぼは一体のものとして構成することはできず、少なくとも２分割か３分割に分けた分割支片を合わせて所謂分割型黒鉛るつぼとして構成し、組み合わされた分割支片間の間隙によって上記の問題点を除去している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
次に、（ｂ）の条件についてみると、ＣＺ法に用いるために、（ａ）の条件のように、少なくとも２つ以上に分割された分割支片が組み合わされた黒鉛るつぼとして構成すると、その内面では、底面１３２は、図９に示すように、半球面状か皿型に構成し、底面１３２と内壁面１３１が境い目なく連続化しているものとして構成されていることが必要となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
すなわち、少なくとも２つの分割支片１３０を一体に組み合わせて構成した内面が円筒状の分割型黒鉛るつぼ３では、従来例では、内壁面１３１と底面１３２とが連続せずに分割支片１３０の境界面に境い目が存在している。このため、加熱がくり返されると、境界部分に応力が集中し、さらに、くり返して使用されると、境界部分で破損され易い。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、ＣＺ法による単結晶成長の間に黒鉛るつぼに生成されるＳｉＣは、内壁面１３１と底面１３２が連続しない境界部分に集中し易く、それにともなって内部応力も集中し、この部分から黒鉛るつぼは割れることが多い。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
これに対し、底面１３２を球面化し境い目なく連続したものとなるように分割支片１３０を製作し、これを組み合わせると、シリコン溶融浴４の中に含まれる酸素などの溶存濃度を均一化でき、品質のすぐれた単結晶体を成長させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
このところから、分割型黒鉛るつぼでは、その構成する各分割支片１３０についても、一体化したときに、図９に示すように、底面１３２は球面状又は皿型になって、内壁面１３１と底面１３２の間には境界部分がなく連続したものとなるように、製作上の配慮が払われている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
要するに、ＣＺ法に供せられる黒鉛るつぼ３は、上記条件（ａ）および（ｃ）に示したように、少なくとも２つ以上に分割された分割支片を組み合わせた分割型として構成し、各分割支片１３０はその内部の球面状底面１３２は境い目なく連続したものとして製作することが必要である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
しかし、このような構造の黒鉛るつぼを製造するのは多大な手間がかかり、どうしても、生産性や経済性を度外視して機械的な切削手段によることになる。とくに、用いる黒鉛材料そのものはＣＺ法などに供せられる黒鉛るつぼではきわめて高価な等方性黒鉛材料を用いることから、きわめて高能率で材料の無駄もない製作法が（ｃ）の条件として望まれ、とくに、機械的切削によって黒鉛るつぼの内側の表面が連続した球形状に構成できる黒鉛材料の切削装置が望まれている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
このように切削装置１２０によっての切削の結果、中間素材１１０から分割支片１３０が取出される一方、この分割支片１３０から分離されて中抜き材１４０（図５参照）が取出される。分割支片１３０は、図６に示すとおり、内壁面１３１が円筒面を成し、内部の底面１３２は球面形として創成される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
図１ならびに図２に示す切削装置を用いて中間素材を切削して各分割支片を製造する際の一つの切削態様の説明図である。