【手続補正書】
【提出日】平成16年10月20日(2004.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフィルム・フレームを保持するカセットであって、前記カセットは、閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び開口前部を有する容器部を備え、前記容器部は、前記複数のフィルム・フレームを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚、及び軸部と保持部とを備える一対の回動可能な保持部材を備え、前記フィルム・フレーム保持部材は、垂直な回転軸を有し、且つ前記容器部の前記側壁に隣接して軸旋回可能に配置され、且つ前記棚上のフィルム・フレームを保持する保持位置と引込み位置との間で回動可能である、カセット。
【請求項２】
保持されるべきウエハがフィルム・フレームに接着され、前記カセットは、開口前部を覆うために、スライド可能且つ前記容器部と係合可能なドアを更に備える、請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
前記ドアは、前記容器部の上方から、前記容器部とスライド可能に垂直に係合する、請求項２に記載のカセット。
【請求項４】
前記容器部は開口前部と隣接する内面を有し、前記ドアは、前記ドアが容器部に配置された状態で前記容器部の内部に向って内側に延出する構造体を備え、前記ドアが、容器部の内面との摩擦密着により前記開口前部に保持される、請求項２に記載のカセット。
【請求項５】
前記フィルム・フレーム保持部材の各々はそれと連結されたハンドルを有し、前記ハンドルにより、前記保持部材は保持位置から引込み位置へ手動で移動可能である、請求項１に記載のカセット。
【請求項６】
前記カセットは前記フィルム・フレーム保持部材に連結された一対の螺旋カム機構を更に備え、前記螺旋カム機構の各々は前記容器部の前記閉底部の下方に延出する係合部を有し、前記カセットが自由面に配置された時、前記係合部により前記保持部材が作動し、前記部材が引込み位置から保持位置へ移動する、請求項１に記載のカセット。
【請求項７】
前記容器部は、フィルム・フレームの挿入及び離脱の領域、並びに前記挿入及び離脱の領域を貫通する保持部材の回転軸を有する、請求項１に記載のカセット。
【請求項８】
各保持部材はＣ字型であり、前記保持部材が引込み位置にある時、前記フィルム・フレームは前記容器部に対して挿入及び離脱可能である、請求項７に記載のカセット。
【請求項９】
前記カセットは、延出した使用位置から引込み位置へ引込み可能な一対の取っ手を更に備える、請求項８に記載のカセット。
【請求項１０】
各取っ手は少なくとも二つの爪を形成する少なくとも二つの弾性柔軟突起を備え、前記容器部は、前記弾性柔軟突起を受承し、且つ各取っ手を前記容器部に回転軸連結状態に係止する少なくとも二つの開口を有する、請求項８に記載のカセット。
【請求項１１】
前記閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び複数の水平な棚は全て一体であり、且つ樹脂から構成される、請求項１に記載のカセット。
【請求項１２】
複数のウエハを保持するカセットであって、前記カセットは容器部及びドアを備え、前記容器部は、閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び開口前部を有し、前記容器部は、前記複数のウエハを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚、及び軸部と保持部とを備える一対の回動可能な保持部材を更に備え、前記ウエハ保持部材は、垂直な回転軸を有し、且つ前記容器部の前記側壁に隣接して軸旋回可能に配置され、且つ前記棚上のウエハを保持する保持位置と引込み位置との間で回動可能である、カセット。
【請求項１３】
前記容器部は、ウエハを複数のフィルム・フレームに接着することによりウエハを保持するように構成されている、請求項１２に記載のカセット。
【請求項１４】
前記閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び複数の水平な棚は全て一体であり、且つ樹脂から構成される、請求項１２に記載のカセット。
【請求項１５】
前記カセットは、前記保持部材及び前記容器部に連結する螺旋カム機構を更に備え、前記螺旋カム機構は、前記容器部の前記底部に設けられた孔を貫通して延出する係合部を備える、請求項１２に記載のカセット。
【請求項１６】
フィルム・フレーム・カセットは、互いに隣接し、且つＵ字型の取っ手を受承する一対のブラケットを各々が備える二つの側面を有する一体化外殻部を備え、前記取っ手は、上方の搬送位置と下方の非使用位置との間で垂直にスライドするように構成されている、フィルム・フレーム・カセット。
【請求項１７】
カセットと、そこに収容される複数のフィルム・フレーム又はウエハとの組合せ品であって、前記カセットは容器部及びドアを備え、前記容器部は、一体化された閉上部と、閉背部と、閉底部と、対向する閉側壁と、前記複数のウエハを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚と、開口前部と、開口内部とを備え、前記容器部は開口前部に隣接する内面を有し、前記ドアは、前記開口内部へ内側に延出し、且つ前記開口前部に隣接する内面と摩擦密着して前記ドアを前記容器部内に固定するように配置された複数の構造体を有する単一の硬質な一体化された構成要素を備え、前記構造体の一方は前記カセットの内部の一方の側面において上方へ延出し、前記構造体の他方は前記カセットの内部の他方の側面において上方へ延出し、前記構造体はドア開口部の前方の縁よりも少なくとも１と１／２インチ（３．８１センチメートル）延出する、組合せ品。
【請求項１８】
前記ドアは単一の基準壁を有する、請求項１７に記載の組合せ品。
【請求項１９】
ウエハを保持するカセットであって、前記カセットは、閉上部、閉底部、対向する閉側壁、閉背部、及び開口前部を有する容器部を備え、前記カセットは、前記ウエハを水平に且つ離間した状態で且つ垂直方向に積み重なった配置に保持する複数の水平な棚と、垂直な回転軸を有し、且つフィルム・フレームの外殻部の側壁に隣接して軸旋回可能に配置され、且つ前記棚上のフィルム・フレームを保持するように内側に軸旋回可能な一対の回動可能な保持部材と、使用位置と引込み位置との間で展開可能な容器部に設けられた一対の取っ手とを有する、カセット。
【請求項２０】
本明細書において開示され、例示されたウエハ・カセット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
図３，７〜１３を参照して、カセットの第二の好ましい実施形態の詳細を説明する。本実施形態では、螺旋カム・ガイド１５１と、カセットの下方に延出してカセットが配置される自由面と接触する係合部１５４を備える保持部材に設けられたカム受動部１５２とを備える螺旋カム機構１５０により、保持部材５２．１が自動的に作動してもよい。螺旋カム・ガイド１５１は、係合部１５４を備える下軸部１６８を受承する中心孔１６０を有する。フランジ１６６及び爪１６８により、カム・ガイド１５１がカセットの底部の孔１７２に挿入され、爪がカセットの底部の上面１７６に係合することによりカム・ガイド１５１をそこに固定することができる。保持部材は、容器部の上部に設けられた受承部１７９内に受承される上軸部１７８を備える。場合に応じてフィルム・フレーム又はウエハＷを備えた状態で、カム・ガイドは、カム１５２を案内し、Ｃ字型の保持部材５２．１を回転させ、作動状態及び非作動状態にするカム面１８０を有する。なお、図においては、フィルム・フレームが配置されている。このことは、係合部がカセットに対して上昇又は下降した時に生じる。例えば、カセットが装置の一部の上に設置された時、係合部が押圧され即ち上昇してカムを駆動させ、保持部材が上昇しながら、カセット内に固定された対象物に向かって回転する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005508274.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2005508274.tif 000002