(57)【要約】  ストローク範囲の全域に亘って確実な防塵機能を発揮することの可能な防塵機構付きリニアアクチュエータを提供する。  防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、ボールねじと、ボールねじに係合するボールねじナットを有し、ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージ４と、少なくともボールねじを覆って設置されるハウジング部材２と、移動ステージ４の移動軌跡に沿ってハウジング部材２に形成される開口部２７，２８と、開口部２７，２８を封鎖するためにハウジング部材２の内側に配置される防塵ベルト２９，３０と、を備える装置である。そして、この防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、ハウジング部材２の端部側を覆うエンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂを備えることにより、高い防塵性能を有している。
2009034804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールねじと、
前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、
少なくとも前記ボールねじを覆って設置されるハウジング部材と、
前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、
前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の内側に配置される防塵ベルトと、
を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記ハウジング部材の端部側を覆うエンドプレートカバーを備えることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記エンドプレートカバーは、前記ハウジング部材と接する箇所に弾性部材を備えることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記エンドプレートカバーは、前記ハウジング部材における前記防塵ベルトの配置箇所の近傍領域を他の領域よりもより広く覆う形状にて構成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記エンドプレートカバーは鍔部を有して構成されており、当該鍔部が前記ハウジング部材における前記防塵ベルトの配置箇所との対向位置に配置されることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項５】
ボールねじと、
前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、
少なくとも前記ボールねじを覆って設置されるハウジング部材と、
前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、
前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の内側に配置される防塵ベルトと、
を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記ハウジング部材の端部側に前記ハウジング部材の内部の粉塵を密封する集塵手段を備えることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記集塵手段は、前記ハウジング部材の端部に気密に形成された集塵室と、前記集塵室の内部と前記ハウジング部材の内部とを連通する連通孔と、前記集塵室の内部の粉塵を排出する吸引口を備えることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項６に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記連通孔には、排気手段が形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項８】
請求項７に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記排気手段は、ファンであることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記防塵ベルトは、前記ハウジング部材との固定を実現するための取付孔を有しており、
当該取付孔は、少なくとも前記防塵ベルトの両端部側に１対ずつ合計４箇所形成されるとともに、前記取付孔のそれぞれが前記防塵ベルトの端位置に寄せて形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
前記移動ステージに設けられた前記迂回手段は、回転自在の状態で設置されるとともに前記防塵ベルトが架け渡される複数のローラを有しており、
前記複数のローラは、少なくともローラ表面が樹脂材料によって構成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防塵機構付きリニアアクチュエータに係り、例えば、クリーンルーム内において使用する駆動機構として用いるのに適した防塵機構付きのリニアアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
これまで本出願人やその関連法人では、下記特許文献１，２等に開示されるような防塵機構を備える種々のアクチュエータ（移動対象が運動するのを案内する運動案内装置を含む。）を提案している。例えば、下記特許文献１において提案した防塵機構付きリニアアクチュエータは、アクチュエータハウジングの開口部からの粉塵漏出を確実に防止することのできる機能を備えるものであり、アクチュエータハウジングの開口部での防塵ベルトと移動ステージの突出部との干渉を避けるために、移動ステージに対して防塵ベルトの迂回手段を設けたことを特徴とするものである。【０００３】
この下記特許文献１に開示される防塵機構付きリニアアクチュエータについて、図１０を用いて説明する。なお、図１０は、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成を説明するための図であり、図中（ａ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの上面を示し、図中（ｂ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの正面を示し、図中（ｃ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの横断面を示している。【０００４】
図１０に示すように、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１は、細長い箱形のハウジング部材２と、この中に回転自在の状態で支持されたボールねじ３と、このボールねじ３の回転運動に応じて往復直線運動する移動ステージ４と、ボールねじ３を回転させるための駆動モータ５とを有している。【０００５】
ハウジング部材２は、水平基板２１と、この水平基板２１の上面から垂直に起立してボールねじ３と平行に延びる左右一対の垂直側板２２，２３と、これら垂直側板２２，２３の前端及び後端に取り付けられた端部ブロック２４，２５とを備えている。一方の端部ブロック２４によってボールねじ３の一端が回転自在の状態で支持されている。また、ボールねじ３の他端側の部分は、他方の端部ブロック２５によって回転自在の状態で支持されているとともに、当該ブロック２５を貫通して駆動モータ５の側に連結されている。【０００６】
左右の垂直側板２２，２３の上端部分は内側に向けて直角に折曲がり、左右の水平上板部分２２ａ，２３ａとなっている。これら左右の水平上板部分２２ａ，２３ａの中間には、中央仕切り板２６が配置されており、この中央仕切り板２６の前後端はそれぞれ端部ブロック２４，２５に取り付け固定されている。この結果、水平上板部分２２ａ及び中央仕切り板２６の間に、ボールねじ３の軸線方向、すなわち移動ステージ４の移動方向に延びる左側開口部２７が形成されている。同様に、水平上板部分２３ａと中央仕切り板２６の間には右側開口部２８が形成されている。【０００７】
各開口部２７，２８は、これらの開口部よりも広幅の防塵ベルト２９，３０によって封鎖されている。これらの防塵ベルト２９，３０は、それぞれ水平上板部分２２ａ，２３ａ及び中央仕切り板２６の下面側に沿って、端部ブロック２４，２５の間に架け渡されている。【０００８】
以上のように、ハウジング部材２は、水平基板２１、垂直側板２２，２３（水平上板部分２２ａ，２３ａ）、中央仕切り板２６、端部ブロック２４，２５、及び開口部２７，２８を封鎖している防塵ベルト２９，３０によって箱形に仕切られた区画室となっており、ボールねじ３を覆うことによってアクチュエータから発生する粉塵を当該区画室内に留める役割を担っている。【０００９】
次に、移動ステージ４は、ボールねじ３に螺合しているボールねじナットが形成されているナットブロック４１と、このナットブロック４１の上面に固定されている下プレート４２、この下プレート４２の上面に固定されている中プレート４３、及びこの中プレート４３の上面に固定されている上プレート４４とを備えている。ナットブロック４１の両側面は、ハウジング部材２の内部に取り付けられているリニアガイドレール３１によって、ボールねじ３の軸線方向に向けて摺動自在に支持されている。【００１０】
移動ステージ４は、上プレート４４がハウジング部材２の外側に位置し、中プレート４３、下プレート４２及びナットブロック４１がハウジング部材２の内部に位置するように構成されている。つまり、上プレート４４は各開口部２７，２８から外部に突出して構成されており、案内対象物と接続することによって案内対象物に移動力を付与できるようになっている。【００１１】
また、移動ステージ４におけるハウジング部材２の内側に位置する左右側面には、防塵ベルト２９，３０を迂回させるための迂回手段として、それぞれ水平に張り出したローラ６１〜６６が回転自在の状態で設置されている。これらローラ６１〜６６の配置位置については、軸方向両端側のローラ６１，６２，６５，６６に比べて、中央部のローラ６３，６４が一段低い位置となるように配置されている（なお、符号６５のローラは、ローラ６６と対向する位置に設置されているが、図１０中では表れない。そこで、以下の説明では括弧書きで記すこととする。）。【００１２】
そして、各開口部２７，２８から外部に突出する上プレート４４と、防塵ベルト２９，３０とが干渉することが無いように、各ローラ６１〜６６には、各防塵ベルト２９，３０が架け渡されている。すなわち、防塵ベルト２９，３０は、上プレート４４の突出部分の下方を迂回するように各ローラ６１〜６６に対して架け渡されており、具体的には、左側（図１０中の（ａ）における紙面上側）の防塵ベルト２９が、前側のローラ６１の上側を通り、中央のローラ６３の下側に架け渡され、更に、後側のローラ（６５）の上側を通っている。また、右側（図１０中の（ａ）における紙面下側）の防塵ベルト３０についても同様に、前側のローラ６２の上側を通り、中央のローラ６３の下側に架け渡され、更に、後側のローラ６６の上側を通っている。【００１３】
従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１は、以上のような構成を備えているので、移動ステージ４の移動軌跡に沿って形成されている開口部２７，２８が、防塵ベルト２９，３０による封鎖状態を常に維持することが可能となっている。したがって、ボールねじ３とナットブロック４１が有するボールねじナットとの摺動部分や、ナットブロック４１とリニアガイドレール３１との摺動部分等から発生した粉塵は、ハウジング部材２が有する開口部２７，２８を介して外部に漏れ出すことがないようになっている。【００１４】
また、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１では、防塵ベルト２９，３０がハウジング部材２の内側に配置されており、開口部２７，２８に沿って移動する移動ステージ４に対して各防塵ベルト２９，３０が移動ステージ４の下方に迂回できるようになっているので、移動ステージ４が移動する際にも、防塵ベルト２９，３０による開口部２７，２８の封鎖状態を常に維持できるようになっている。【００１５】
さらに、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１においては、上記の構成に加えて、ハウジング部材２内から空気を吸引する吸気口が備わっている。すなわち、図１０に示すように、左右一対の垂直側板２２，２３にはハウジング吸気口２２ｂ，２３ｂが形成されており、これらのハウジング吸気口２２ｂ，２３ｂを介して、ハウジング部材２内の空気を吸引することが可能となっている。【００１６】
また、垂直側板２２、２３の上端に形成されている水平上板部分２２ａ、２３ａには、吸気用ダクト７，８が取り付けられており、各吸気用ダクト７，８と水平上板部分２２ａ，２３ａの間には、開口部２７，２８に沿って延びる狭い幅のダクト用吸気口７ｂ，８ｂが開いている。したがって、ハウジング内で発生した粉塵は左右の垂直側板２２，２３に形成したハウジング吸気口２２ｂ，２３ｂから外部の集塵機等（不図示）に吸引されて、当該ハウジング部材２内から除去される。【００１７】
なお、クリーンルーム等では一般にダウンフロー状態の空気流が形成されている。したがって、開口部２７，２８の隣接位置に配置したダクト用吸気口７ｂ，８ｂを介して吸気動作を行うと、開口部２７，２８から漏れ出た粉塵がダウンフローの空気流と共に当該ダクト用吸気口７ｂ，８ｂに吸引される。よって、粉塵を周囲に飛散させることなく、確実に吸引除去できるようになっている。【００１８】
【特許文献１】特開２０００−２６６１５１号公報
【特許文献２】特開２００５−１８８６００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
ところが、上記特許文献１に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、一般的な条件下で用いられる場合には適切な防塵機能を発揮することができたのであるが、高速化を要求される場合には、防塵機能が低下してしまうという問題を有するものであった。【００２０】
すなわち、リニアアクチュエータによる案内運動の高速化を図る場合には、移動ステージの高速移動によってアクチュエータハウジングの内圧が急激に上昇してしまい、特にアクチュエータハウジングの両端側で粉塵が漏れやすくなってしまうという問題が発生した。【００２１】
本発明は、上記課題の存在に鑑みて成されたものであって、その目的は、たとえ高速化がされたアクチュエータであっても、ストローク範囲の全域に亘って確実な防塵機能を発揮することの可能な防塵機構付きリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、ボールねじと、前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、少なくとも前記ボールねじを覆って設置されるハウジング部材と、前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の内側に配置される防塵ベルトと、を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータであって、前記ハウジング部材の端部側を覆うエンドプレートカバーを備えることを特徴とする。【００２３】
本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記エンドプレートカバーは、前記ハウジング部材と接する箇所に弾性部材を備えることが好適である。【００２４】
また、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記エンドプレートカバーは、前記ハウジング部材における前記防塵ベルトの配置箇所の近傍領域を他の領域よりもより広く覆う形状にて構成されていることとすることができる。【００２５】
さらに、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記エンドプレートカバーは鍔部を有して構成されており、当該鍔部が前記ハウジング部材における前記防塵ベルトの配置箇所との対向位置に配置されることが好適である。【００２６】
またさらに、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、ボールねじと、前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、少なくとも前記ボールねじを覆って設置されるハウジング部材と、前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の内側に配置される防塵ベルトと、を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記ハウジング部材の端部側に前記ハウジング部材の内部の粉塵を密封する集塵手段を備えることを特徴とする。【００２７】
さらにまた、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記集塵手段は、前記ハウジング部材の端部に気密に形成された集塵室と、前記集塵室の内部と前記ハウジング部材の内部とを連通する連通孔と、前記集塵室の内部の粉塵を排出する吸引口を備えることができる。【００２８】
また、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記連通孔には、排気手段が形成されていることができる。【００２９】
さらに、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記排気手段は、ファンであると好適である。【００３０】
またさらに、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記防塵ベルトは、前記ハウジング部材との固定を実現するための取付孔を有しており、当該取付孔は、少なくとも前記防塵ベルトの両端部側に１対ずつ合計４箇所形成されるとともに、前記取付孔のそれぞれが前記防塵ベルトの端位置に寄せて形成されていることとすることができる。【００３１】
さらにまた、本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記移動ステージに設けられた前記迂回手段は、回転自在の状態で設置されるとともに前記防塵ベルトが架け渡される複数のローラを有しており、前記複数のローラは、少なくともローラ表面が樹脂材料によって構成されていることとすることができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、例えば高速化がされたアクチュエータであっても、ストローク範囲の全域に亘って確実な防塵機能を発揮することの可能な防塵機構付きリニアアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観構成を説明するための図であり、図中（ａ）は上面を、図中（ｂ）は正面を、図中（ｃ）はモータ側側面を、図中（ｄ）は反モータ側側面を示している。
【図３】第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの内部構成を説明するための透視図であり、図中（ａ）は上面視を、図中（ｂ）は正面視を、図中（ｃ）はモータ側側面視を、図中（ｄ）は反モータ側側面視を描いている。
【図４】反モータ側に設置されるエンドプレートカバーを示す図であり、図中（ａ）が上面を、図中（ｂ）が正面を、図中（ｃ）が側面を示している。
【図５】モータ側に設置されるエンドプレートカバーを示す図であり、図中（ａ）が上面を、図中（ｂ）が正面を、図中（ｃ）が側面を示している。
【図６】第１の実施形態に係るエンドプレートカバーの作用を説明するための図である。
【図７】第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成および作用を説明するための図である。
【図８】従来技術に係る防塵ベルトの構成を示す図であり、図中（ａ）は防塵ベルトに設けられた取付孔の位置を説明するための図であり、図中（ｂ）は防塵ベルトの取付状態を示した断面図である。
【図９】本実施形態の改良形態に係る防塵ベルトの構成を示す図であり、図中（ａ）は防塵ベルトに設けられた取付孔の位置を説明するための図であり、図中（ｂ）は防塵ベルトの取付状態を示した断面図である。
【図１０】従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成を説明するための図であり、図中（ａ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの上面を示し、図中（ｂ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの正面を示し、図中（ｃ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの横断面を示している。
【符号の説明】
【００３４】
１  従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ、２  ハウジング部材、３  ボールねじ、４  移動ステージ、５  駆動モータ、７，８  吸気用ダクト、７ｂ，８ｂ  ダクト用吸気口、２１  水平基板、２２，２３  垂直側板、２２ａ，２３ａ  水平上板部分、２２ｂ，２３ｂ  ハウジング吸気口、２４，２５  端部ブロック、２６  中央仕切り板、２７，２８  開口部、２９，３０  防塵ベルト、３１  リニアガイドレール、４１  ナットブロック、４２  下プレート、４３  中プレート、４４  上プレート、５０  集塵室、５１  連通孔、５２  吸気口、５３  ファン（排気手段）、６１，６２，６３，６４，（６５），６６  ローラ、１００  第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ、１０５ａ，１０５ｂ  エンドプレートカバー、１０６ａ，１０６ｂ  端部側プレート、１０７ａ，１０７ｂ  上面側プレート、１０８ａ，１０８ｂ，１０９ａ，１０９ｂ  側面側プレート、１１０ａ，１１０ｂ  垂下プレート、１１１ａ，１１１ｂ  弾性部材、１２０  （従来技術に係る）取付孔、１２１  （本発明に係る）取付孔、２００  第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。さらに、以下で行う実施形態の説明では、背景技術の欄で説明した部材と同一又は類似する部材について、同一符号を付して説明を省略する。【００３６】
［第１の実施形態］
図１乃至図６を用いて、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の説明を行う。ここで、図１は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の外観斜視図である。また、図２は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の外観構成を説明するための図であり、図中（ａ）は上面を、図中（ｂ）は正面を、図中（ｃ）はモータ側側面を、図中（ｄ）は反モータ側側面を示している。さらに、図３は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の内部構成を説明するための透視図であり、図中（ａ）は上面視を、図中（ｂ）は正面視を、図中（ｃ）はモータ側側面視を、図中（ｄ）は反モータ側側面視を描いている。また、図４は、反モータ側に設置されるエンドプレートカバー１０５ａを示す図であり、図５は、モータ側に設置されるエンドプレートカバー１０５ｂを示す図である。なお、図４及び図５ではいずれも、図中（ａ）が上面を、図中（ｂ）が正面を、図中（ｃ）が側面を示している。またさらに、図６は、第１の実施形態に係るエンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂの作用を説明するための図である。【００３７】
第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、上述した従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１とほぼ同様の構成を有しているが、防塵機能のより一層の向上のために、図１乃至図３に示すように、ハウジング部材２の両端部側を覆うことが可能なエンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂを備えている。【００３８】
これらエンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂについて、図４及び図５を参照してより詳細に説明をすると、エンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂは、ハウジング部材２の端部側と上面側、及び側面側のそれぞれの一部分に跨るように形成された部材であり、ハウジング部材２の端部上方側近傍を覆うように構成されている。すなわち、エンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂは、ハウジング部材２の端部側において、防塵ベルト２９，３０の配置箇所の近傍領域を他の領域よりもより広く覆う形状にて構成されていることを特徴とする部材である。【００３９】
反モータ側に設置されるエンドプレートカバー１０５ａを例にして、その形状をより具体的に説明すると、図４において示されるように、エンドプレートカバー１０５ａは、ハウジング部材２の端部側を覆う略長方形をした端部側プレート１０６ａと、ハウジング部材２の上面側を覆うこれも略長方形をした上面側プレート１０７ａと、これら端部側プレート１０６ａと上面側プレート１０７ａとに接続するとともにハウジング部材２の側面側を覆う略直角三角形状をした一対の側面側プレート１０８ａ，１０９ａとによって構成されている。側面側プレート１０８ａ，１０９ａは、略直角三角形状の直角を形成する２辺が端部側プレート１０６ａ及び上面側プレート１０７ａと接続するように形成されており、直角の角と向き合う斜辺がハウジング部材２の中央側下方向を向くように配置される構成が採られている。つまり、エンドプレートカバー１０５ａには、上面側プレート１０７ａと一対の側面側プレート１０８ａ，１０９ａとによって形成される鍔部を有する構造が採用されている。【００４０】
さらに、上面側プレート１０７ａの先端部分、すなわち端部側プレート１０６ａとの接続側とは反対側の部分には、下方に延びる垂下プレート１１０ａが形成されている。この垂下プレート１１０ａは、ハウジング部材２のうちで外郭形状が複雑なために密封性の向上が難しい上面側の防塵性を向上させるために設けられた部材である。この垂下プレート１１０ａの存在によって、ハウジング部材２の上面側とエンドプレートカバー１０５ａの上面側プレート１０７ａとの間、すなわちエンドプレートカバー１０５ａの鍔部の位置に隙間が形成されることとなる。【００４１】
この隙間は、ハウジング部材２の上面側と、エンドプレートカバー１０５ａの上面側プレート１０７ａ、端部側プレート１０６ａ、一対の側面側プレート１０８ａ，１０９ａ、及び垂下プレート１１０ａとによって全方位を囲まれた空間として構成されている。また、隙間が形成される位置、すなわち鍔部の設置位置は、防塵ベルト２９，３０の配置箇所との対向位置であるため、移動ステージ４が高速で移動した際にハウジング部材２の内部圧力が高まって粉塵が最も漏れやすくなる位置と重なっている。しかしながら、仮にハウジング部材２の内部から粉塵が漏れ出したとしても、この隙間に粉塵が滞留し、粉塵が直接的に外部に漏れ出すことが防止されるので、直ちに外部の粉塵環境を悪化させることがない。また、発明者らの調査・研究の結果、この隙間に滞留した粉塵は、その多くがそのまま隙間に留まるか、あるいはハウジング部材２の内部に再び吸引されてしまうことが確認されており、隙間の存在が大いに防塵性の向上に寄与していることが明らかとなっている（図６参照）。【００４２】
さらに、エンドプレートカバー１０５ａには、ハウジング部材２と接する箇所に弾性部材１１１ａが設置されており、ハウジング部材２とエンドプレートカバー１０５ａとの密着性の向上が図られている。図４に示す本実施形態に係る弾性部材１１１ａには、モルトプレーンと呼ばれる特殊ポリウレタンフォームが採用されているが、弾力性のある素材であればゴムやスポンジなどの公知のあらゆる弾性材料を採用することが可能である。エンドプレートカバー１０５ａに弾性部材１１１ａが設置されることにより、防塵機構付きリニアアクチュエータ１００のさらなる防塵性能の向上が実現している。【００４３】
なお、図５に示すモータ側に設置されるエンドプレートカバー１０５ｂについては、上述した反モータ側に設置されるエンドプレートカバー１０５ａとほぼ同様の構造を有しているが、モータ５を避けて設置する必要性から、端部側プレート１０６ｂの形状が略長方形をしたプレートに切り欠きを施した、略逆Ｕ字形をした形状となっている点が異なっている。【００４４】
［第２の実施形態］
上述した第１の実施形態では、粉塵を周囲に飛散させることがないようにハウジング部材の端部側を覆うエンドプレートカバーを備えた防塵機構付きリニアアクチュエータ１００について説明を行った。次に説明する第２の実施形態では、さらに防塵機能を高めるための構成を採用した防塵機構付きリニアアクチュエータについて説明を行う。【００４５】
図７は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成および作用を説明するための図である。図７に示すように、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ２００は、ハウジング部材２の端部に集塵室５０が気密に形成されており、集塵室５０の内部とハウジング部材２の内部とは、排気手段５３を介して連通孔５１で連通していることを特徴とするものである。また、集塵室５０には吸気口５２が形成されており、集塵室５０の内部の粉塵を外部に排出することができるようになっていることを特徴とするものである。【００４６】
集塵室５０は、箱状の部材により形成されており、ハウジング部材２の端部に気密に取り付けられている。集塵室５０の内部とハウジング部材２の内部とは、連通孔５１によって連通しており、ハウジング部材２の内部の粉塵が集塵室５０の取付面から漏れることのないように取り付けられている。【００４７】
排気手段５３は、ファンによって構成されており、ハウジング部材２の内部の粉塵をハウジング部材２の内部の空気と共に常時集塵室５０へ導入して密封することができるようになっている。また、排気手段５３は、ハウジング部材２の内圧の変化に応じて開閉作動する逆止弁などを用いることもできる。【００４８】
集塵室５０には、集塵室５０内から空気を吸引する吸気口５２が形成されている。従って、集塵室５０内に捕集された粉塵は、空気と共に吸気口５２からクリーンルーム外へ排出することができるようになっており、周囲に粉塵を飛散させることがないように形成されている。【００４９】
上述したように、リニアアクチュエータによる案内運動の高速化を図る場合には、移動ステージの高速移動によってアクチュエータハウジングの内圧が急激に上昇してしまい、特にアクチュエータハウジングの両端側で粉塵が漏れやすくなっている。従って、第２の実施形態では、粉塵が漏れやすいアクチュエータハウジングの端部に集塵室５０を形成している。また、吸気口５２から吸引される空気の量は、常に一定であるから、ハウジング部材２の内圧が急激に上昇した場合には、一時的に空気を集塵室５０に密封して捕集し、集塵室５０の内部の空気を吸引するように構成すれば、吸引する空気量を一定に保ったまま、ハウジング部材２の内部に残留した粉塵が、アクチュエータハウジングの任意の隙間から粉塵が外部に漏れ出すことを防止することができる。【００５０】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は上記各実施形態に記載の範囲には限定されない。上記各実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。【００５１】
[防塵ベルトの改良]
例えば、従来技術に係る防塵ベルト２９，３０は、図８中の（ａ）に示すように、ハウジング部材２との固定を実現するための取付孔１２０を有しているが、この取付孔１２０については、取り付けや加工の容易性から、防塵ベルト２９，３０の中央側に寄った位置に形成されていた。【００５２】
しかしながら、図８の（ａ）に示すような位置に取付孔１２０を形成した場合には、図８中の（ｂ）に示すように、防塵ベルト２９，３０の幅方向で弛みが発生してしまい、ハウジング部材２と防塵ベルト２９，３０との間の密封性能が低下してしまうという危険性があった。【００５３】
そこで、本発明者らは、図９に示すように、取付孔１２１のそれぞれを防塵ベルト２９，３０の端位置に寄せて形成する改良を施すこととした。特に、取付孔１２１は、防塵ベルト２９，３０の両端部側に１対ずつ合計４箇所形成されることが多いので、本改良のように取付孔１２１を防塵ベルト２９，３０の端位置に寄せて形成する構成は、取付孔１２１が防塵ベルト２９，３０の四隅を引っ張る形で固定することになるので、非常に好ましい形態である。かかる構成の採用によって、ハウジング部材２と防塵ベルト２９，３０との間の密封性能を、従来技術に比べて飛躍的に向上することが可能となった。【００５４】
[ローラの改良]
また、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１においては、移動ステージ４に設置される防塵ベルト２９，３０の迂回手段として、移動ステージ４から水平に張り出す回転自在なローラ６１〜６６が採用されている。そして、従来技術の場合、このローラ６１〜６６には、金属材料のみで形成された金属ローラが採用されていた。【００５５】
しかしながら、樹脂材料から成る防塵ベルト２９，３０と、金属材料から成るローラ６１〜６６とが、特に高速で繰り返し摺動を繰り返すと、テンションの上昇と速度上昇とが相まって、防塵ベルト２９，３０に汚れが付着することが明らかとなった。【００５６】
この現象から、発明者らは、特に防塵機構付きリニアアクチュエータ１を高速駆動した際に、汚れ発生という観点で樹脂製の防塵ベルト２９，３０と金属製のローラ６１〜６６との相性が悪いことを見出した。そして、発明者らは、鋭意研究を行った結果、ローラ６１〜６６のローラ表面を樹脂材料で形成し、樹脂同士で摺動動作を行わせることによって、汚れの発生を抑えることができることを見出した。【００５７】
以上から、迂回手段として移動ステージ４に設置されるローラ６１〜６６については、少なくともローラ表面が樹脂材料によって構成されていることが好適である。具体的な実現手段としては、金属材料から成るローラに対して樹脂カバーを圧入することによって、ローラ表面を樹脂材料で構成することもできるし、ローラ自体を樹脂材料で構成することも可能である。かかる構成の採用によって、防塵ベルト２９，３０やローラ６１〜６６に付着する汚れを抑えることができるので、粉塵の発生を抑えた防塵機構付きリニアアクチュエータを得ることができる。【００５８】
以上の様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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