【手続補正書】
【提出日】平成16年7月21日(2004.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の回転軸の周りの回転を検出するための、前記回転軸を交差する平面に分布する振動系（１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ）を有する回転検出用の振動子であって、
複数の振動系が駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）であり、振動子の重心の周りに対称に設けられており、前記回転軸の周りに回転していない時に、駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）の各々は、駆動振動系の重心が振動子の重心に関連して前記平面内で径方向に振動する振動モードを有し、
他の振動系が検出振動系（２Ａ、２Ｂ）であり、検出振動系は、その重心が振動子の重心に関連して前記平面内で周方向成分を有する経路に沿って振動する振動モードを有し、前記検出振動系（２Ａ、２Ｂ）の前記振動モードが、前記回転軸の周りの振動子の回転により、前記駆動振動系の振動によって励起され、以下のケースのいずれかが適用されることを特徴とする、振動子：
（ａ）前記振動子が振動子の中心に位置する中央部（１１、１１Ａ、１１Ｆ）を有し、前記駆動および検出振動系（１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ）が前記中央部に接続されるとともに、そこから放射状に延びているケース、
（ｂ）前記振動子が振動子の中心に位置する中央部（１１Ａ、１１Ｆ、１１Ｈ）を有し、互いに反対の方向に前記中央部（１１Ｆ）に接続され、中央部から放射状に延びる第一の屈曲片（４４Ｃ、４４Ｄ）の形の２つの検出振動系（２Ａ、２Ｂ）と、前記第一の屈曲片（４４Ｃ、４４Ｄ）に平行に延びて、前記中央部（１１Ａ、１１Ｆ、１１Ｈ）から離れた前記第一の屈曲片（４４Ｃ、４４Ｄ）の端部に接続した第二の屈曲片（２３Ａ、２３Ｂ）の形の２つの駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）と、が存在するケース、
（ｃ）前記振動子が前記振動系を囲むフレーム部（１９、１９Ｃ）を有し、前記フレームから振動子の重心に向かって突出する、２つの駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）および２つの検出振動系（２Ａ、２Ｂ）が存在するケース。
【請求項２】
前記ケース（ａ）が適用される場合に、駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）が中央部（１１Ａ）を介して検出振動系（２Ａ、２Ｂ）に接続されていることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
【請求項３】
前記中央部（１１Ａ）の反対側に設けられた２つの駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）を有することを特徴とする、請求項１または２記載の振動子。
【請求項４】
振動子（１１Ａ）の中心の周りに対称的に設けられた複数の検出振動系（２Ａ、２Ｂ）を有することを特徴とする、請求項１、２または３記載の振動子。
【請求項５】
前記回転軸が前記平面と直角に交差することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項６】
駆動振動系の各々が、その振動が径方向振動成分を与える第一の屈曲振動部材（１３Ｃ、１３Ｄ、２３Ｃ、２３Ｄ）を備えることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項７】
第一の屈曲振動部材（２３Ｃ、２３Ｄ）が両端に固定端を有することを特徴とする、請求項６記載の振動子。
【請求項８】
駆動振動系が複数の第一の屈曲振動部材（１３Ｃ、１３Ｄ）を有することを特徴とする、請求項６記載の振動子。
【請求項９】
前記ケース（ａ）が適用される場合に、駆動振動系（１Ａ、１Ｂ）の各々が、中央部（１１Ａ）から放射状に伸長する方向に延びる伸長支持部材（１２Ａ、１２Ｂ）を備え、第一の屈曲振動部材（１３Ｃ、１３Ｄ）が、支持部材の長手方向に対し垂直な方向に延びていることを特徴とする、請求項６記載の振動子。
【請求項１０】
第一の屈曲振動部材（１３Ｃ、１３Ｄ）が、ある長手方向の側面（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）において、伸長支持部材（１２Ａ、１２Ｂ）に接続した長方形のループであることを特徴とする、請求項９記載の振動子。
【請求項１１】
第一の屈曲振動部材（１３Ｃ、１３Ｄ）は、中央において前記平面内において曲げることのできる前記伸長支持部材（１２Ａ、１２Ｂ）に接続された、前記平面内において曲げることのできるバーであり、前記バーは前記伸長支持部材（１２Ａ、１２Ｂ）から離れた位置に開放端を有することを特徴とする、請求項９記載の振動子。
【請求項１２】
前記バーの前記開放端（９５）が、前記平面内において平面を見たとき、バーの幅に対し幅方向に拡大されていることを特徴とする、請求項１１記載の振動子。
【請求項１３】
前記ケース（ａ）が適用される場合に、駆動振動系が接続部材（３９Ａ、３９Ｂ、３９Ｃ、３９Ｄ）により互いに接続され、振動子の重心を囲む振動ループ系を形成することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項１４】
検出振動系（２Ａ、２Ｂ）の各々が、その振動が周方向振動成分を与える第二の屈曲振動部材（１４Ｃ、１４Ｄ、１４Ｅ）を備えることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項１５】
第二の振動部材（１４Ｃ、１４Ｄ）が振動子の重心に対して放射状に延びることを特徴とする、請求項１４記載の振動子。
【請求項１６】
前記第二の振動部材（１４Ｃ、１４Ｄ）が前記平面内において曲げることの出来、前記中央部（１１Ａ）から離れた位置に開放端を有すバーであることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項１７】
前記第二の検出振動系の前記バー（１４Ｃ、１４Ｄ）の開放端（９６）が、バーの幅に対し、前記平面内において平面を見たとき、幅方向に拡大されていることを特徴とする、請求項１６記載の振動子。
【請求項１８】
駆動振動系の各々が、その長手方向に向かって延びる、凹部または貫通孔または溝を設けた第一の屈曲振動部材を備えていることを特徴とする、請求項１〜１７のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項１９】
検出振動系が、その長手方向に向かって延びる、凹部または貫通孔または溝を設けた第二の屈曲振動部材を備えていることを特徴とする、請求項１〜１８のいずれか一つの請求項に記載の振動子。
【請求項２０】
電極が、第一または第二の屈曲振動部材の凹部または貫通孔または溝に面する内面に設けられており、電極によって、電圧が前記前記平面内の屈曲振動部材に印加されることを特徴とする、請求項１８または１９記載の振動子。
【請求項２１】
回転系の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、請求項１〜２０のいずれか一つの請求項に記載の振動子と、振動子に駆動振動を励振するために、駆動振動系に設けられた励振手段と、振動子が前記回転軸の周りに回転した時に、振動子に発生する検出振動を検出するために、検出振動系に設けられた検出手段とを備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項２２】
振動子に励起される検出振動モードにおける振動の振幅が振動子において最小となる領域で、振動子を支持するための支持部材を備えていることを特徴とする、請求項２１記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項２３】
振動子が振動の重心が位置する箇所に中央部（１１Ａ）を備えており、振動子がその重心の近傍で支持されていることを特徴とする、請求項２２記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項２４】
振動子が、駆動振動系から振動子の重心に対して遠ざかる位置に設けられた固定片部（３８）を備えており、振動子が固定片部（３８）で支持されていることを特徴とする、請求項２２記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項２５】
振動子が圧電性単結晶からなり、励振手段および検出手段が共に電極を備えることを特徴とする、請求項２１〜２４のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項２６】
駆動振動系の各々が、励振手段または検出手段が設けられておらず、励振手段または検出手段よりも部材の端部に近い場所に設けられた、凹部または貫通孔または溝を備えた第一の屈曲振動部材を備えることを特徴とする、請求項２１記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項２７】
検出振動系が、励振手段または検出手段が設けられておらず、励振手段または検出手段よりも部材の端部に近い場所に設けられた、凹部または貫通孔または溝を備えた第二の屈曲振動部材を備えることを特徴とする、請求項２１または２６記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項２８】
振動子を用いて回転系の回転角速度を検出する方法であって、前記振動子が少なくとも複数の駆動振動系と一つ以上の検出振動系とを備えており、これらの振動系が前記回転軸に対して交差する所定面内に延びるように形成されており、この振動子を前記回転軸を中心として回転させ、この際前記複数の駆動振動系に同時に駆動振動を励起させ、各駆動振動系の振動の少なくとも一部を相殺し、前記検出振動系において前記振動子の検出振動を検出することを特徴とする、回転角速度の測定方法。
【請求項２９】
振動子を用いて回転系の回転角速度を検出する方法であって、前記振動子が複数の振動系を備えており、これらの振動系が前記回転軸に対して交差する所定面内に延びるように形成されており、この際前記振動子の重心を中心としたときに径方向振動成分を前記振動系の一つ以上に励起し、前記振動子が回転する際に前記径方向振動成分によって周方向のコリオリ力を生じさせ、このコリオリ力によって前記振動子に発生する振動を、他の振動系において検出することを特徴とする、回転角速度の測定方法。
【請求項３０】
振動子を用いて回転系の回転角速度を検出する方法であって、前記振動子が複数の振動系を備えており、これらの振動系が前記回転軸に対して交差する所定面内に延びるように形成されており、この際前記振動子の重心を中心としたときに周方向振動成分を前記振動系の一つ以上に励起し、前記振動型ジャイロスコープが回転する際に前記周方向振動成分によって径方向のコリオリ力を生じさせ、このコリオリ力によって前記振動子に発生する振動を、他の振動系において検出することを特徴とする、回転角速度の測定方法。
【請求項３１】
直線加速度を検出するための直線加速度計であって、請求項１〜２０のいずれか一つの請求項に記載の振動子と、この振動子に直線加速度が加わったときに前記振動子に加わるニュートンの力による前記振動子の変形を検出するための検出手段とを備えることを特徴とする、直線加速度計。