【手続補正書】
【提出日】平成16年10月28日(2004.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｓｉ基板と、インク滴を吐出する複数個のオリフィスと、該複数個のオリフィスのそれぞれに対応して該Ｓｉ基板上に設けられた複数個の個別インク通路と、該個別インク通路の全てが連通するべく前記Ｓｉ基板上に設けられた共通インク通路とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記共通および個別インク通路を形成する工程と、
その表面が撥水性被膜となっている２層構造の樹脂フイルムを前記インク通路の上に貼りつける工程と、
該樹脂フイルムに前記複数個のオリフィスを形成加工する工程とにより、
前記複数個のオリフィスが形成されているオリフィスプレートが形成されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記オリフィスプレートの表面を、更にドライエッチングまたは酸素ガスによる反応性プラズマエッチングによって加工して超撥水性被膜とする工程を追加することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記製造方法の一連の工程が、５インチ径サイズ以上のＳｉ基板単位で行なわれることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記共通および個別インク通路を形成する工程は、前記Ｓｉ基板上に隔壁層を形成し、前記共通および個別インク通路を前記隔壁層によって形成する工程であり、
前記樹脂フイルムを前記インク通路の上に貼りつける工程は、前記オリフィスプレートとなる前記樹脂フィルムの撥水性被膜でない側を前記隔壁層上に貼り付ける工程であることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク液滴を記録媒体に向けて飛翔させる形式の記録装置に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
このパルス加熱の最も簡便な方法は薄膜ヒータにパルス通電する方法であるが、パルス通電するための駆動用ＬＳＩと薄膜ヒータを同一Ｓｉ基板上に形成して、従来にない小型、高熱効率のインクジェット記録ヘッドを実現できることは、本出願人が特開平０６−７１８８８号、特開平０６−２９７７１４号、特開平０７−２２７９６７号、特開平０８−２０１１０号、特開平０８−２０７２９１号公報等に記載しているとおりである。そして、この技術を適用すると、インク吐出用オリフィスを２次元的に大規模、且つ高密度に集積して形成することが可能となり、例えば、３０〜６０ｐｐｍ（ページ／分）のＡ４版フルカラープリンタさえ実現することが可能となった（現状は１〜２ｐｐｍ）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、Ｓｉ基板と、インク滴を吐出する複数個のオリフィスと、該複数個のオリフィスのそれぞれに対応して該Ｓｉ基板上に設けられた複数個の個別インク通路と、該個別インク通路の全てが連通するべく前記Ｓｉ基板上に設けられた共通インク通路とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記共通および個別インク通路を形成する工程と、その表面が撥水性被膜となっている２層構造の樹脂フイルムを前記インク通路の上に貼りつける工程と、該樹脂フイルムに前記複数個のオリフィスを形成加工する工程とにより、前記複数個のオリフィスが形成されているオリフィスプレートが形成されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するものである。
本発明においては、前記オリフィスプレートの表面を、更にドライエッチングまたは酸素ガスによる反応性プラズマエッチングによって加工して超撥水性被膜とする工程を追加することが好ましい。
また、本発明においては、前記製造方法の一連の工程が、５インチ径サイズ以上のＳｉ基板単位で行なわれることが好ましい。
また、本発明においては、前記共通および個別インク通路を形成する工程は、前記Ｓｉ基板上に隔壁層を形成し、前記共通および個別インク通路を前記隔壁層によって形成する工程であり、前記樹脂フイルムを前記インク通路の上に貼りつける工程は、前記オリフィスプレートとなる前記樹脂フィルムの撥水性被膜でない側を前記隔壁層上に貼り付ける工程であることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
図１は、約５０μｍ径のオリフィス１３が図１の紙面の垂直の方向に約７０μｍピッチで並んでいるヘッドの断面図を示す。この断面図には、駆動用ＬＳＩ１４を含む１列分（１色分）のヘッドが示されている。インクはインク供給穴９から供給され、インク溝１０、共通インク通路１１、個別インク通路１２を経由してオリフィス１３から吐出される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さて、本発明のヘッドの特徴は、オリフィスプレートとなる樹脂フィルム７の表面に撥水性被膜８が付着しており、その製造方法が図３に示されているように合理化されていることである。すなわち、本発明者によって開発された従来技術による製造方法（特願平０８−３１１５６０号参照）を図４に示すが、大幅に工程が合理化されていることが理解できよう。以下、これらの工程を詳しく説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
このようにして製造された、例えば図５に示すようなＳｉウエハ１’をマスク通りに切断すれば、オリフィス１３が５列並ぶフルカラー用ヘッドチップ１６（黒インクのオリフィスは１２８個×２列としている）が８．５×１０．０ｍｍ2サイズで得られる。このチップは、図４に示す従来方法によって製造したものと特性上は同一のもので、撥水処理の工程を持たない分だけ製造工程が大幅に合理化されていることが理解できよう。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
このヘッドチップ１６を４色のインクが内臓できるインクカートリッジに貼りつけ、駆動用ＬＳＩ１４との接焼端子であるボンディングパッド１５に配線接続して実装すれば、インクジェットプリント用フルカラー記録ヘッド（４色）が完成する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この記録ヘッドにブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色のインクを充填し、フルカラープリンタに装着して印刷評価した。その際、インクカートリッジのインク圧力を２０ｍｍＨｇの負圧、外気圧と同じ常圧、５ｍｍＨｇの加圧、の３条件で印字テストした。その結果、吐出周波数については、負圧の場合の６〜７ｋＨｚに対し、常圧と加圧カートリッジの場合は７〜８ｋＨｚに向上することが分かった。そして、常圧、加圧の場合においてもインク垂れはみられず、ヘッド面のクリーニング回数を大幅に削減できることも確認できた。しかし、インクカートリッジの加圧力を１０ｍｍＨｇに高くするとインク垂れが見られるようになった。これらの結果は、オリフィスプレート表面を超撥水性化しても変わらず、オリフィスプレート表面のインク濡れがほとんど認められなくなるという良好な結果を得た。すなわち、本発明の方法で製造したインクジェット記録ヘッドは、カートリッジのインク圧力を外気圧と同じ常圧としてもインク垂れがなく、吐出周波数は約１５％向上し、ヘッド面のクリーニングを大幅に軽減できることが分かった。そして、この製造方法が工程数を大幅に削減できるものであり、しかもその製造が現在のＬＳＩ製造の主流である５〜６インチのＳｉウエハを用いて多くのヘッドチップを一括して製造できるという特徴を持っている。もちろん、これより大きなＳｉウエハを用いて製造できることは言うまでもない。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【発明の効果】
本発明により、オリフィスプレート表面の撥水処理、または超撥水処理が容易となり、吐出周波数の向上、構造が簡単でインク垂れのないインクカートリッジの採用、ヘッドクリーニングの大幅な軽減、大口径Ｓｉウエハによるヘッドの一括製造、等の効果が得られ、小型、低コスト、高速印刷が可能なインクジェット記録装置を提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１はＳｉ基板、１’はＳｉウエハ、２はＳｉ０2 断熱層、３は薄膜抵抗体、４は個別薄膜導体、５は共通薄膜導体、６は隔壁、７は樹脂フィルム、８は撥水性被膜、９はインク供給穴、１０はインク溝、１１は共通インク通路、１２は個別インク通路、１３はオリフィス、１４は駆動用ＬＳＩ、１５はボンディングパッド、１６はヘッドチップである。