【手続補正書】
【提出日】平成16年6月25日(2004.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が外部から電圧または信号を受ける第１〜第Ｎ（Ｎは３以上の整数である）のパッドと、
前記第１〜第Ｎのパッドのうちの少なくとも１つのパッドを介して外部から与えられる電圧または信号に基づいて動作する内部回路と、
それらの入力電極がそれぞれ前記第２〜第Ｎ−１のパッドに接続され、前記第１および第Ｎのパッド間に直列接続され、前記第２〜第Ｎ−１のパッドの各々に導通信号が与えられたことに応じて導通する第１〜第Ｎ−２のトランジスタを含むコンタクトチェック回路とを備える、半導体装置。
【請求項２】
前記第２〜第Ｎ−１のパッドのうちの１つのパッドは、チップを選択状態にするチップ選択信号が前記導通信号として与えられるチップ選択パッドであり、
前記第１〜第Ｎ−２のトランジスタのうちの入力電極が前記チップ選択パッドに接続されたトランジスタは、前記チップ選択パッドに前記チップ選択信号が与えられたことに応じて導通する第１のチップ選択トランジスタである、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記コンタクトチェック回路は、さらに、前記第１〜第Ｎ−２のトランジスタの入力電極と前記第１のパッドとの間にそれぞれ接続された第１〜第Ｎ−２の抵抗素子を含み、
前記第２〜第Ｎ−１のパッドのうちのいずれかのパッドに前記導通信号が与えられない場合、前記第１のパッドに与えられた所定の電圧が前記第１〜第Ｎ−２の抵抗素子のうちのいずれかの抵抗素子を介して前記導通信号が与えられないパッドに与えられ、そのパッドに入力電極が接続されたトランジスタが非導通にされる、請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記コンタクトチェック回路は、さらに、それらの入力電極がともに前記チップ選択パッドに接続され、それらの第１の電極が前記第１〜第Ｎ−２のトランジスタのうちの前記第１のチップ選択トランジスタ以外のトランジスタの入力電極にそれぞれ接続され、それらの第２の電極がともに前記第１のパッドに接続された第２〜第Ｎ−２のチップ選択トランジスタを含み、
前記第２〜第Ｎ−１のパッドのうちのいずれかのパッドに前記導通信号が与えられない場合、前記第１のパッドに与えられた所定の電圧が、前記チップ選択パッドに前記チップ選択信号が与えられて導通した第２〜第Ｎ−２のチップ選択トランジスタのうちのいずれかのチップ選択トランジスタを介して前記導通信号が与えられないパッドに与えられ、そのパッドに入力電極が接続されたトランジスタが非導通にされる、請求項２に記載の半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体装置は、各々が外部から電圧または信号を受ける第１〜第Ｎ（Ｎは３以上の整数である）のパッドと、第１〜第Ｎのパッドのうちの少なくとも１つのパッドを介して外部から与えられる電圧または信号に基づいて動作する内部回路と、それらの入力電極がそれぞれ第２〜第Ｎ−１のパッドに接続され、第１および第Ｎのパッド間に直列接続され、第２〜第Ｎ−１のパッドの各々に導通信号が与えられたことに応じて導通する第１〜第Ｎ−２のトランジスタを含むコンタクトチェック回路とを備えることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
好ましくは、第２〜第Ｎ−１のパッドのうちの１つのパッドは、チップを選択状態にするチップ選択信号が前記導通信号として与えられるチップ選択パッドであり、第１〜第Ｎ−２のトランジスタのうちの入力電極がチップ選択パッドに接続されたトランジスタは、チップ選択パッドにチップ選択信号が与えられたことに応じて導通する第１のチップ選択トランジスタである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また好ましくは、コンタクトチェック回路は、さらに、それぞれ第１〜第Ｎ−２のトランジスタの入力電極と第１のパッドとの間に接続された第１〜第Ｎ−２の抵抗素子を含み、第２〜第Ｎ−１のパッドのうちのいずれかのパッドに導通信号が与えられない場合、第１のパッドに与えられた所定の電圧が第１〜第Ｎ−２の抵抗素子のうちのいずれかの抵抗素子を介して導通信号が与えられないパッドに与えられ、そのパッドに入力電極が接続されたトランジスタが非導通にされる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また好ましくは、コンタクトチェック回路は、さらに、それらの入力電極がともにチップ選択パッドに接続され、それらの第１の電極が第１〜第Ｎ−２のトランジスタのうちの第１のチップ選択トランジスタ以外のトランジスタの入力電極にそれぞれ接続され、それらの第２の電極がともに第１のパッドに接続された第２〜第Ｎ−２のチップ選択トランジスタを含み、第２〜第Ｎ−１のパッドのうちのいずれかのパッドに導通信号が与えられない場合、第１のパッドに与えられた所定の電圧が、チップ選択パッドにチップ選択信号が与えられて導通した第２〜第Ｎ−２のチップ選択トランジスタのうちのいずれかのチップ選択トランジスタを介して導通信号が与えられないパッドに与えられ、そのパッドに入力電極が接続されたトランジスタが非導通にされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
【発明の効果】
以上のように、この発明では、コンタクトチェック回路は、第１および第Ｎのパッド間に直列接続された第１〜第Ｎ−２のトランジスタを含む。第１〜第Ｎ−２のトランジスタの入力電極は、それぞれ第２〜第Ｎ−１のパッドに接続される。コンタクトチェック時は、半導体試験装置の第１〜第Ｎのプローブ針がそれぞれ第１〜第Ｎのパッドにコンタクトされ、第２〜第Ｎ−１のプローブ針の各々に第１〜第Ｎ−２のトランジスタの各々を導通させるための導通信号が与えられるとともに、第１および第Ｎのプローブ針間の導通状態がチェックされる。第１および第Ｎのプローブ針間が導通している場合はプローブ針群とパッド群は正常にコンタクトしていると判別され、導通していない場合はプローブ針群とパッド群は正常にコンタクトしていないと判別される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
したがって、プローブ針群とパッド群のコンタクトチェック状態を１回でチェックすることができ、１パッドごとにチェックしていた従来に比べ、コンタクトチェックを迅速に行うことができる。また、第２〜第Ｎ−１のプローブ針に導通信号を与えるとともに第１および第Ｎのプローブ針間の導通状態がチェックするだけなので、半導体試験装置の複雑化、高コスト化を招くこともない。また、トランジスタとしてＮチャネルＭＯＳトランジスタを使用すれば導通信号として正電位の信号を使用できるので、正電位の信号が印加されるパッドのコンタクトチェックを行なう場合でも、従来のよう不都合が生じることもない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
好ましくは、第２〜第Ｎ−１のパッドのうちの１つのパッドは、チップを選択状態にするチップ選択信号が導通信号として与えられるチップ選択パッドであり、第１〜第Ｎ−２のトランジスタのうちの入力電極がチップ選択パッドに接続されたトランジスタは、チップ選択パッドにチップ選択信号が与えられたことに応じて導通する第１のチップ選択トランジスタである。この場合は、ウェハ上に形成された複数のチップを順次選択してチェックすることができ有利である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また好ましくは、コンタクトチェック回路は、さらに、それぞれ第１〜第Ｎ−２のトランジスタの入力電極と第１のパッドとの間に接続された第１〜第Ｎ−２の抵抗素子を含み、第２〜第Ｎ−１のパッドのうちのいずれかのパッドに導通信号が与えられない場合、第１のパッドに与えられた所定の電圧が第１〜第Ｎ−２の抵抗素子のうちのいずれかの抵抗素子を介して導通信号が与えられないパッドに与えられ、そのパッドに入力電極が接続されたトランジスタが非導通にされる。この場合は、たとえば第２のプローブ針と第２のパッドが正常にコンタクトしていない場合に第１のパッドを所定の電圧にして第１のトランジスタを確実に非導通にすることができ、第２のパッドが帯電して第１のトランジスタが導通しチェックミスが生じるのを防止することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また好ましくは、コンタクトチェック回路は、さらに、それらの入力電極がともにチップ選択パッドに接続され、それらの第１の電極が第１〜第Ｎ−２のトランジスタのうちの第１のチップ選択トランジスタ以外のトランジスタの入力電極にそれぞれ接続され、それらの第２の電極がともに第１のパッドに接続された第２〜第Ｎ−２のチップ選択トランジスタを含み、第２〜第Ｎ−１のパッドのうちのいずれかのパッドに導通信号が与えられない場合、第１のパッドに与えられた所定の電圧が、チップ選択パッドにチップ選択信号が与えられて導通した第２〜第Ｎ−２のチップ選択トランジスタのうちのいずれかのチップ選択トランジスタを介して導通信号が与えられないパッドに与えられ、そのパッドに入力電極が接続されたトランジスタが非導通にされる。この場合は、チップのコンタクトチェック時以外のとき、すなわちチップ選択パッドにチップ選択信号が与えられないときに、第２〜第Ｎのパッドと第１のパッドとの間に電流が流れるのを防止することができ、消費電流の低減化が図られる。