(57)【要約】制御対象に供給する制御信号と、制御信号を供給する時間とを、外部から受け取る状態に対応させて記憶し、外部から受け取る状態に応じて、記憶されている制御信号、時間を読み出し、制御対象に供給する。
2009028138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象を動作させる制御信号のシーケンスを出力するシーケンス制御装置であって、
外部から受け取る状態のそれぞれに対応して、前記制御対象に順次供給する複数の前記制御信号と、それぞれの前記制御信号を前記制御対象に供給する時間を示す時間情報とを含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、
外部から状態を受け取ったことに応じて、当該状態に応じた前記シーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、
選択された前記シーケンスデータに含まれる前記制御信号および前記時間情報を順次読み出して、前記制御信号を前記制御対象に順次供給するシーケンス読出部と、
順次読み出された前記時間情報に応じて、対応する前記制御信号を前記制御対象に供給する時間を制御する時間制御部と
を備えるシーケンス制御装置。
【請求項２】
前記時間制御部は、前記シーケンス読出部が直前の前記制御信号を読み出して前記制御対象に供給してから直前の前記時間情報により指定された時間の経過後に、前記シーケンス読出部により次の前記制御信号を読み出させて前記制御対象に供給させる請求項１に記載のシーケンス制御装置。
【請求項３】
前記シーケンス記憶部は、外部から受け取る状態のそれぞれに対応して、予め定められた個数の前記制御信号および前記時間情報を含むシーケンスデータを記憶し、
前記シーケンス読出部は、前記シーケンスデータ選択部により選択された前記シーケンスデータに含まれる前記予め定められた個数の前記制御信号および前記時間情報を順次読み出して前記制御信号を前記制御対象に順次供給した後、最後の前記制御信号を前記制御対象に供給したまま前記シーケンスデータの処理を終了し、
一の状態に対応して前記制御対象に供給すべき前記制御信号の変化の回数が前記予め定められた個数未満である場合に、前記シーケンス記憶部は、前記一の状態に対応して、少なくとも１つの前記制御信号が直前の前記制御信号と同一である前記シーケンスデータを記憶する
請求項１から２の何れかに記載のシーケンス制御装置。
【請求項４】
前記シーケンス記憶部は、前記一の状態に対応して、少なくとも１つの前記制御信号が直前の前記制御信号と同一であり、かつ前記少なくとも１つの制御信号に対応する前記時間情報が、設定可能な最小時間を示す前記シーケンスデータを記憶する請求項３に記載のシーケンス制御装置。
【請求項５】
前記シーケンス記憶部は、前記一の状態に対応して、前記シーケンスデータの末尾から連続する２以上の前記制御信号が同一である前記シーケンスデータを記憶する請求項４に記載のシーケンス制御装置。
【請求項６】
前記シーケンス記憶部は、外部から受け取る状態のそれぞれについて、更に直前に受け取った状態のそれぞれに対応する前記シーケンスデータを記憶し、
前記シーケンスデータ選択部は、
直前の状態を記憶する外部状態記憶部と、
新たに受け取った状態が前記外部状態記憶部に記憶された直前の状態と異なる場合に状態変化を検出する状態監視部と、
状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に応じた前記シーケンスデータを選択する選択部と、
を有する
請求項１から５の何れかに記載のシーケンス制御装置。
【請求項７】
前記シーケンス記憶部は、新たな状態および直前の状態の組のそれぞれに対応して、前記シーケンスデータ中の複数の前記制御信号および前記時間情報を、連続する複数のアドレスに記憶し、
前記シーケンス読出部は、新たな状態および直前の状態の組に基づいて対応する前記シーケンスデータが記憶されたアドレスを求める請求項６に記載のシーケンス制御装置。
【請求項８】
前記選択部は、新たな状態の状態値および直前の状態の状態値のビット列を連結してデータを出力し、
前記シーケンス読出部は、前記選択部から出力されたデータを対応する前記シーケンスデータが記憶されたアドレスの上位ビットフィールドとし、対応する前記シーケンスデータの先頭アドレスの下位ビットフィールドを予め定められた初期値として、対応する前記シーケンスデータのアドレスを算出する請求項７に記載のシーケンス制御装置。
【請求項９】
新たな状態および直前の状態の組のそれぞれに対応して、前記シーケンスデータが記憶された先頭アドレスを格納した変換テーブルを記憶するテーブル記憶部を更に備え、
前記シーケンスデータ選択部は、新たな状態および直前の状態の組に対応する前記シーケンスデータの先頭アドレスを前記テーブル記憶部から読み出す請求項６から８の何れかに記載のシーケンス制御装置。
【請求項１０】
前記シーケンス記憶部は、新たな状態および直前の状態の組のそれぞれに対応して、予め定められた個数の前記制御信号および前記時間情報を含む前記シーケンスデータを記憶し、
前記シーケンス読出部が新たな状態および直前の状態の組に対応して前記予め定められた個数を超える制御信号のシーケンスを出力する場合において、前記シーケンスデータ選択部は、新たな状態を受け取ったことに応じて第１の前記シーケンスデータに含まれる前記予め定められた個数の前記制御信号が前記制御対象に供給された後、当該新たな状態を前記外部状態記憶部に格納するのに代えて中間状態を前記外部状態記憶部に格納し、
前記状態監視部は、新たな状態が前記外部状態記憶部に記憶された中間状態と異なる場合に状態変化を検出し、
前記選択部は、状態変化が検出された場合に、新たな状態および中間状態の組に応じた第２の前記シーケンスデータを選択する
請求項６から８の何れかに記載のシーケンス制御装置。
【請求項１１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスの試験を制御するシステム制御装置と、
前記被試験デバイスとの間で信号を授受し、前記被試験デバイスを試験する試験部と、
前記試験部と前記被試験デバイスとの間の接続を切り替える複数の切替スイッチと、
前記複数の切替スイッチを動作させる制御信号のシーケンスを出力して、前記複数の切替スイッチのそれぞれの接続を制御する切換制御装置と、
を備え、
前記システム制御装置は、順次実行する各試験の前に、前記複数の切替スイッチのそれぞれの接続または非接続の組み合わせの種類を示す接続状態情報を前記切換制御装置に供給し、
前記切換制御装置は、
外部から受け取る状態のそれぞれに対応して、前記複数の切替スイッチに順次供給する複数の前記制御信号と、それぞれの前記制御信号を前記複数の切替スイッチに供給する時間を示す時間情報とを含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、
外部から状態を受け取ったことに応じて、当該状態に応じた前記シーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、
選択された前記シーケンスデータに含まれる前記制御信号および前記時間情報を順次読み出して、前記制御信号を前記複数の切替スイッチに順次供給するシーケンス読出部と、
順次読み出された前記時間情報に応じて、対応する前記制御信号を前記複数の切替スイッチに供給する時間を制御する時間制御部とを有する
試験装置。
【請求項１２】
制御対象を動作させる制御信号のシーケンスを出力するシーケンス制御装置であって、
外部から受け取る状態および直前に受け取った状態の組のそれぞれに対応して、前記制御対象に順次供給する複数の前記制御信号を含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、
外部から状態を受け取ったことに応じて、新たに受け取った状態および直前の状態の組に応じた前記シーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、
選択された前記シーケンスデータに含まれる前記制御信号を順次読み出して、前記制御対象に順次供給するシーケンス読出部と、
を備え、
前記シーケンスデータ選択部は、
直前の状態を記憶する外部状態記憶部と、
新たに受け取った状態が前記外部状態記憶部に記憶された直前の状態と異なる場合に状態変化を検出する状態監視部と、
状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に応じた前記シーケンスデータを選択する選択部と、
を有するシーケンス制御装置。
【請求項１３】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスの試験を制御するシステム制御装置と、
前記被試験デバイスとの間で信号を授受し、前記被試験デバイスを試験する試験部と、
前記試験部と前記被試験デバイスとの間の接続を切り替える複数の切替スイッチと、
前記複数の切替スイッチを動作させる制御信号のシーケンスを出力して、前記複数の切替スイッチのそれぞれの接続を制御する切換制御装置と、
を備え、
前記システム制御装置は、順次実行する各試験の前に、前記複数の切替スイッチのそれぞれの接続または非接続の組み合わせの種類を示す接続状態情報を前記切換制御装置に供給し、
前記切換制御装置は、
外部から受け取る状態および直前に受け取った状態の組のそれぞれに対応して、前記複数の切替スイッチに順次供給する複数の前記制御信号を含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、
外部から状態を受け取ったことに応じて、新たに受け取った状態および直前の状態の組に応じた前記シーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、
選択された前記シーケンスデータに含まれる前記制御信号を順次読み出して、前記複数の切替スイッチに順次供給するシーケンス読出部と、
を有し、
前記シーケンスデータ選択部は、
直前の状態を記憶する外部状態記憶部と、
新たに受け取った状態が前記外部状態記憶部に記憶された直前の状態と異なる場合に状態変化を検出する状態監視部と、
状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に応じた前記シーケンスデータを選択する選択部とを含む
試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シーケンス制御装置および試験装置に関する。特に、本発明は、制御対象を動作させる制御信号のシーケンスを出力するシーケンス制御装置およびこれを用いた試験装置に関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
１．特願２００７−２１９４８１    出願日  ２００７年８月２７日
【背景技術】
【０００２】
制御対象の状態を制御するシーケンサが知られている（例えば、特許文献１、２，３）。特許文献１には、プログラム終了処理時の条件に応じて次に処理すべき状態をチャネル毎に保持する状態レジスタを有し、チャネル毎に順次に状態レジスタに保持されている状態に応じたプログラムを実行するシーケンス制御用マイクロコントローラが記載されている。特許文献２には、プログラムの全体を工程毎に分割し、ユーザプログラムを工程間の遷移条件を表すプログラムと工程内の処理を表すプログラムとに分離して、アクティブ状態にある工程に属するプログラムを実行するプログラマブルコントローラが記載されている。特許文献３には、制御対象を制御する制御装置であって、当該制御装置の状態が遷移した場合（例えば外部からのコマンドを実行した場合）にシステムイベントを発生して、発生したシステムイベントに対応するイベントタスクを実行する制御装置が記載されている。
【特許文献１】特許第３８７１４６１号公報
【特許文献２】特許第２６２１６３１号公報
【特許文献３】特許第３５９７３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、シーケンサは、例えば複数のリレーのオン／オフパターンを、ある状態（状態Ｘ）から次の状態（状態Ｙ）に遷移させる場合、状態Ｘから状態Ｙに直接遷移させるのではなく、状態Ｘから１又は複数の中間状態を経由して状態Ｙに遷移させる場合がある。さらに、シーケンサは、各中間状態の維持時間も制御する場合がある。このような制御を実行する場合、特許文献１、２，３に記載されたシーケンサでは、中間状態毎に制御回路および制御プログラムを備えなければならなく、規模が大きくなってしまう。【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできるシーケンス制御装置および試験装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、制御対象を動作させる制御信号のシーケンスを出力するシーケンス制御装置であって、外部から受け取る状態のそれぞれに対応して、制御対象に順次供給する複数の制御信号と、それぞれの制御信号を制御対象に供給する時間を示す時間情報とを含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、外部から状態を受け取ったことに応じて、当該状態に応じたシーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、選択されたシーケンスデータに含まれる制御信号および時間情報を順次読み出して、制御信号を制御対象に順次供給するシーケンス読出部と、順次読み出された時間情報に応じて、対応する制御信号を制御対象に供給する時間を制御する時間制御部とを備えるシーケンス制御装置を提供する。【０００６】
本発明の第２の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスの試験を制御するシステム制御装置と、被試験デバイスとの間で信号を授受し、被試験デバイスを試験する試験部と、試験部と被試験デバイスとの間の接続を切り替える複数の切替スイッチと、複数の切替スイッチを動作させる制御信号のシーケンスを出力して、複数の切替スイッチのそれぞれの接続を制御する切換制御装置と、を備え、システム制御装置は、順次実行する各試験の前に、複数の切替スイッチのそれぞれの接続または非接続の組み合わせの種類を示す接続状態情報を切換制御装置に供給し、切換制御装置は、外部から受け取る状態のそれぞれに対応して、複数の切替スイッチに順次供給する複数の制御信号と、それぞれの制御信号を複数の切替スイッチに供給する時間を示す時間情報とを含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、外部から状態を受け取ったことに応じて、当該状態に応じたシーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、選択されたシーケンスデータに含まれる制御信号および時間情報を順次読み出して、制御信号を複数の切替スイッチに順次供給するシーケンス読出部と、順次読み出された時間情報に応じて、対応する制御信号を複数の切替スイッチに供給する時間を制御する時間制御部とを有する試験装置を提供する。【０００７】
本発明の第３の態様においては、制御対象を動作させる制御信号のシーケンスを出力するシーケンス制御装置であって、外部から受け取る状態および直前に受け取った状態の組のそれぞれに対応して、制御対象に順次供給する複数の制御信号を含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、外部から状態を受け取ったことに応じて、新たに受け取った状態および直前の状態の組に応じたシーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、選択されたシーケンスデータに含まれる制御信号を順次読み出して、制御対象に順次供給するシーケンス読出部と、を備え、シーケンスデータ選択部は、直前の状態を記憶する外部状態記憶部と、新たに受け取った状態が外部状態記憶部に記憶された直前の状態と異なる場合に状態変化を検出する状態監視部と、状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に応じたシーケンスデータを選択する選択部と、を有するシーケンス制御装置を提供する。【０００８】
本発明の第４の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスの試験を制御するシステム制御装置と、被試験デバイスとの間で信号を授受し、被試験デバイスを試験する試験部と、試験部と被試験デバイスとの間の接続を切り替える複数の切替スイッチと、複数の切替スイッチを動作させる制御信号のシーケンスを出力して、複数の切替スイッチのそれぞれの接続を制御する切換制御装置と、を備え、システム制御装置は、順次実行する各試験の前に、複数の切替スイッチのそれぞれの接続または非接続の組み合わせの種類を示す接続状態情報を切換制御装置に供給し、切換制御装置は、外部から受け取る状態および直前に受け取った状態の組のそれぞれに対応して、複数の切替スイッチに順次供給する複数の制御信号を含むシーケンスデータを記憶するシーケンス記憶部と、外部から状態を受け取ったことに応じて、新たに受け取った状態および直前の状態の組に応じたシーケンスデータを選択するシーケンスデータ選択部と、選択されたシーケンスデータに含まれる制御信号を順次読み出して、複数の切替スイッチに順次供給するシーケンス読出部と、を有し、シーケンスデータ選択部は、直前の状態を記憶する外部状態記憶部と、新たに受け取った状態が外部状態記憶部に記憶された直前の状態と異なる場合に状態変化を検出する状態監視部と、状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に応じたシーケンスデータを選択する選択部とを含む試験装置を提供する。【０００９】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本実施形態に係るシーケンス制御装置１０を制御対象１００と共に示す。
【図２】図２は、複数のリレー（ＲＬ１〜ＲＬ４）を有する制御対象１００に対して出力する制御シーケンスの一例を示す。
【図３】図３は、本実施形態に係る制御対象１００の構成を示す。
【図４】図４は、本実施形態に係るシーケンス記憶部１２に記憶されたデータの一例を示す。
【図５】図５は、シーケンス記憶部１２に記憶されたシーケンスデータの一例を示す。
【図６】図６の（Ａ）は、シーケンス制御装置１０内のクロックのタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｂ）は、新たな状態のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｃ）は、直前の状態のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｄ）は、スタート信号のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｅ）は、アドレス（下位）のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｆ）は、制御信号のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｇ）は、時間情報のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｈ）は、タイムエンド信号のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｉ）は、アドレスエンド信号のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ｊ）は、出力信号のタイミングチャートの一例を示す。
【図７】図７は、本実施形態の変形例に係るシーケンスデータ選択部１４の構成を示す。
【図８】図８は、本実施形態に係る試験装置２００の構成を被試験デバイス３００とともに示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１２】
図１は、本実施形態に係るシーケンス制御装置１０を制御対象１００と共に示す。シーケンス制御装置１０は、制御対象１００を動作させる制御信号のシーケンスを出力する。より詳しくは、シーケンス制御装置１０は、外部から制御対象１００の状態を受け取り、制御対象１００を現在の状態から受け取った状態へ遷移させる制御信号のシーケンスを出力する。シーケンス制御装置１０は、一例として、複数のリレー（ＲＬ１、ＲＬ２、ＲＬ３、ＲＬ４）を有する制御対象１００における各リレーのオン／オフ状態を遷移させてよい。【００１３】
図２は、複数のリレー（ＲＬ１〜ＲＬ４）を有する制御対象１００に対して出力する制御シーケンスの一例を示す。シーケンス制御装置１０は、制御対象１００をある状態（状態Ｘ）から次の状態（状態Ｙ）に遷移させる場合、ある状態（状態Ｘ）から１又は複数の中間状態を順次に経由して次の状態（状態Ｙ）に遷移させる。【００１４】
例えば、シーケンス制御装置１０は、制御対象１００である複数のリレー（ＲＬ１、ＲＬ２、ＲＬ３、ＲＬ４）が状態Ｘ（オン、オフ、オフ、オン）の場合に、外部から状態Ｙ（オフ、オン、オフ、オン）にすべき命令を受け取ると、図２に示されるような中間状態を経由したシーケンスで制御対象１００を遷移させる。すなわち、例えばシーケンス制御装置１０は、複数のリレーを、状態Ｘ（オン、オフ、オフ、オン）から、（オン、オフ、オフ、オフ）→（オン、オフ、オン、オフ）→（オフ、オフ、オン、オフ）→（オフ、オフ、オフ、オフ）→（オフ、オン、オフ、オフ）を経由して、状態Ｙ（オフ、オン、オフ、オン）に遷移させてよい。【００１５】
シーケンス制御装置１０は、以上のように制御対象１００を制御をすべく、外部から受け取った状態と直前の状態との組に応じて定まる制御信号のシーケンスを、制御対象１００に対して出力する。さらに、この場合において、シーケンス制御装置１０は、各中間状態の維持時間を、制御信号とともに定められた時間情報に応じて制御する。【００１６】
図３は、本実施形態に係る制御対象１００の構成を示す。図４は、本実施形態に係るシーケンス記憶部１２に記憶されたデータの一例を示す。【００１７】
シーケンス制御装置１０は、シーケンス記憶部１２と、シーケンスデータ選択部１４と、シーケンス読出部１６と、時間制御部１８とを備える。シーケンス制御装置１０は、外部から状態を受け取り、制御対象１００を受け取った状態に遷移させるべく、制御信号を順次に出力する。【００１８】
シーケンス記憶部１２は、外部から受け取る状態のそれぞれと直前に受け取った状態のそれぞれとに対応して、制御対象１００に順次供給する複数の制御信号とそれぞれの制御信号を制御対象１００に供給する時間を示す時間情報とを含むシーケンスデータを記憶する。すなわち、シーケンス記憶部１２は、外部から受け取る状態および直前に受け取った状態の組のそれぞれに対応して、シーケンスデータを記憶する。シーケンス記憶部１２は、一例として、データ領域を上位ビットフィールドおよび下位ビットフィールドに分割した場合における、一方のビットフィールド（例えば上位ビットフィールド）に制御信号を記憶して、他方のビットフィールド（例えば下位ビットフィールド）に対応する時間情報を記憶してよい。【００１９】
本実施形態においては、シーケンス記憶部１２は、図４に示されるように、シーケンスデータ中の複数の制御信号および時間情報を連続する複数のアドレスに記憶する。これにより、シーケンス記憶部１２は、例えば先頭アドレスを指定して、続いて先頭アドレスから１ずつインクリメントしてアドレスを指定することにより、シーケンスデータ中の複数の制御信号および時間情報を連続して読み出させることができる。【００２０】
更に、本実施形態においては、シーケンス記憶部１２は、図４に示されるように、予め定められた個数の制御信号および時間情報を含むシーケンスデータを記憶する。これにより、シーケンス記憶部１２は、例えば先頭アドレスから１ずつインクリメントしてアドレスを指定する場合、先頭アドレスからのアドレス増加量が予め定められた値に達したときに停止することにより、シーケンスデータ中の複数の制御信号および時間情報を全て確実に読み出させることができる。より具体的には、シーケンス記憶部１２は、図４に示されるように、２のべき乗個（例えば２のｎ乗個：ｎは１以上の整数。）の制御信号および時間情報を含むシーケンスデータを記憶する。これにより、シーケンス記憶部１２は、２進数で表されるアドレスの下位ｎビットのビットフィールドにより、シーケンスデータに含まれる各制御信号および時間情報を指定することができる。【００２１】
さらに、シーケンス記憶部１２は、一例として、図４に示されるように、複数のシーケンスデータのそれぞれを、ｎビット目より上位の上位ビットフィールドが対応する新たな状態の状態値および対応する直前の状態の状態値のビット列を連結したアドレス領域に記憶してよい。これにより、シーケンス記憶部１２は、新たな状態および直前の状態の組のそれぞれに対応したシーケンスデータを、簡単に指定することができる。なお、このようなシーケンス記憶部１２は、制御対象１００の制御に先立って、内部に記憶すべきシーケンスデータがバスインターフェイス等を介して外部から書き込まれてよい。【００２２】
シーケンスデータ選択部１４は、外部から状態を受け取ったことに応じて、当該状態および直前に受け取った状態の組に応じたシーケンスデータを選択する。シーケンスデータ選択部１４は、一例として、外部状態記憶部２２と、状態監視部２４と、選択部２６とを有する。【００２３】
外部状態記憶部２２は、直前に受け取った状態を記憶する。本実施形態においては、外部状態記憶部２２は、状態保持用フリップフロップ回路２８を含む。状態保持用フリップフロップ回路２８は、入力端を介して外部から与えられた状態を入力する。状態保持用フリップフロップ回路２８は、イネーブル信号として、直前に出力されたシーケンスデータの最後の制御信号が出力されたことに応じて発生されるアドレスエンド信号を入力する。このような状態保持用フリップフロップ回路２８は、当該シーケンスデータ選択部１４が新たな状態を外部から受け取った場合において、直前の状態を保持することができる。【００２４】
状態監視部２４は、新たに受け取った状態が外部状態記憶部２２に記憶された直前の状態と異なる場合に状態変化を検出する。本実施形態において、状態監視部２４は、状態変化を検出すると、スタート信号を発生する。【００２５】
選択部２６は、状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に応じたシーケンスデータを選択する。本実施形態においては、選択部２６は、新たな状態の状態値および直前の状態の状態値のビット列を連結して、新たな状態および直前の状態の組に応じたシーケンスデータを指定する情報として出力する。これに代えて、選択部２６は、新たな状態の状態値および直前の状態の状態値の組に基づき別途の新たなデータ列を生成して、対応するシーケンスデータを指定する情報として出力してもよい。【００２６】
シーケンス読出部１６は、シーケンスデータ選択部１４により選択されたシーケンスデータに含まれる制御信号および時間情報をシーケンス記憶部１２から順次読み出す。そして、シーケンス読出部１６は、読み出した制御信号を制御対象１００に順次供給する。さらに、シーケンス読出部１６は、選択されたシーケンスデータの最後の制御信号を制御対象１００に供給したままシーケンスデータの処理を終了する。さらに、シーケンス読出部１６は、読み出した時間情報を時間制御部１８に供給する。【００２７】
シーケンス読出部１６は、一例として、選択されたシーケンスデータに含まれる複数の制御信号および時間情報が記憶されたシーケンス記憶部１２上のアドレスを指定して、制御信号および時間情報を順次に読み出してよい。この場合において、シーケンス読出部１６は、一例として、新たな状態および直前の状態の組に基づいて対応するシーケンスデータが記憶されたアドレスを求めてよい。より具体的には、シーケンス読出部１６は、シーケンスデータ選択部１４から出力された新たな状態の状態値および直前の状態の状態値のビット列を連結したデータを対応するシーケンスデータが記憶されたアドレスの上位ビットフィールドとしてよい。さらに、シーケンス読出部１６は、対応するシーケンスデータの先頭アドレスの下位ビットフィールドを予め定められた初期値として、対応するシーケンスデータのアドレスを順次に算出してよい。【００２８】
本実施形態においては、シーケンス記憶部１２のアドレスを指定することを目的とした回路として、シーケンス読出部１６は、アドレスポインタ３２と、合成部３４とを有する。アドレスポインタ３２は、スタート信号およびタイムエンド信号を入力する。タイムエンド信号は、シーケンス読出部１６が直前の制御信号を読み出して制御対象１００に供給してから、直前の時間情報により指定された時間を経過したタイミングを表す。【００２９】
アドレスポインタ３２は、スタート信号を入力したことに応じて、シーケンスデータの先頭アドレスの下位ビットフィールドを表す値（例えば０）を内部に保持する。また、アドレスポインタ３２は、タイムエンド信号を入力したことに応じて、内部に保持している値を１ずつインクリメントする。そして、アドレスポインタ３２は、内部に保持している値を合成部３４に供給する。【００３０】
さらに、アドレスポインタ３２は、内部に保持している値が対応するシーケンスデータに含まれる制御信号の個数に対応する数に一致したタイミングで、アドレスエンド信号を発生する。これにより、アドレスポインタ３２は、シーケンスデータに含まれる最後の制御信号が出力されることに応じて、アドレスエンド信号を出力することができる。【００３１】
合成部３４は、シーケンスデータ選択部１４から出力されたデータとアドレスポインタ３２の内部に保持されている値とに基づき、シーケンス記憶部１２に対してアドレスを指定する。より詳しくは、合成部３４は、シーケンスデータ選択部１４から出力された新たな状態の状態値および直前の状態の状態値のビット列を連結したデータを上位ビットフィールドの値、アドレスポインタ３２により保持されている値を下位ビットフィールドの値としたアドレスデータを生成する。そして、合成部３４は、生成したアドレスデータをシーケンス記憶部１２に与える。【００３２】
このようにして本実施形態に係るシーケンス読出部１６は、シーケンス記憶部１２のアドレスを指定することができる。そして、シーケンス読出部１６によりアドレスが指定されたシーケンス記憶部１２は、指定されたアドレスに記憶した制御信号および時間情報を出力する。【００３３】
さらに、本実施形態においては、シーケンス読出部１６は、シーケンス記憶部１２から出力された制御信号を外部に出力することを目的とした回路として、ＯＲ回路３６と、タイミング調整用フリップフロップ３８と、出力信号保持用フリップフロップ４０とを有する。ＯＲ回路３６は、スタート信号とタイムエンド信号との論理和を表す信号を出力する。タイミング調整用フリップフロップ３８は、ＯＲ回路３６により出力された信号を保持する。このようなＯＲ回路３６およびタイミング調整用フリップフロップ３８は、シーケンス記憶部１２に与えられたアドレスデータが変更したタイミングを表す信号を出力することができる。【００３４】
出力信号保持用フリップフロップ４０は、シーケンス記憶部１２により出力された制御信号を入力する。出力信号保持用フリップフロップ４０は、一例として、シーケンス記憶部１２から出力されたビット列の全ビットフィールドのうち、制御信号を表す部分のビットフィールド（例えば、上位ビットフィールド）の値を入力してよい。【００３５】
さらに、出力信号保持用フリップフロップ４０は、タイミング調整用フリップフロップ３８により出力された信号をイネーブル信号として入力する。これにより、出力信号保持用フリップフロップ４０は、シーケンス記憶部１２に与えられたアドレスデータが変更したタイミングで、シーケンス記憶部１２から出力された制御信号を入力することができる。そして、出力信号保持用フリップフロップ４０は、内部に保持している制御信号を出力信号として、制御対象１００に対して供給する。【００３６】
このようにして本実施形態に係るシーケンス読出部１６は、シーケンスデータ選択部１４により選択されたシーケンスデータに含まれる予め定められた個数の制御信号および時間情報を順次読み出して制御信号を制御対象１００に順次供給することができる。さらに、シーケンス読出部１６は、選択されたシーケンスデータの最後の制御信号を制御対象１００に供給したままシーケンスデータの処理を終了することができる。【００３７】
時間制御部１８は、シーケンス読出部１６により順次読み出された時間情報に応じて、対応する制御信号を制御対象１００に供給する時間を制御する。時間制御部１８は、一例として、シーケンス記憶部１２から出力されたビット列の全ビットフィールドのうち、時間情報を表す部分のビットフィールド（例えば、下位ビットフィールド）の値を入力してよい。【００３８】
また、時間制御部１８は、一例として、シーケンス読出部１６が直前の制御信号を読み出して制御対象１００に供給してから直前の時間情報により指定された時間の経過後に、シーケンス読出部１６により次の制御信号を読み出させて制御対象１００に供給させてよい。本実施形態においては、時間制御部１８は、タイマ４２を有する。タイマ４２は、シーケンス読出部１６が直前の制御信号を読み出して制御対象１００に供給してから直前の時間情報により指定された時間の経過後に、タイムエンド信号を発生する。そして、タイマ４２は、発生したタイムエンド信号をアドレスポインタ３２およびＯＲ回路３６に与える。【００３９】
以上のような構成のシーケンス制御装置１０によれば、外部から受け取った状態と直前の状態との組に応じて定まる制御信号のシーケンスを、制御対象１００に対して出力することができる。さらに、このような構成のシーケンス制御装置１０によれば、直前の状態から新たな状態への遷移中における各中間状態の維持時間を、定められた時間に制御することができる。【００４０】
図５は、シーケンス記憶部１２に記憶されたシーケンスデータの一例を示す。本実施形態において、シーケンス記憶部１２は、新たな状態および直前の状態の一つ組に対応して、予め定められた個数（例えば、８個）の制御信号および時間情報を含むシーケンスデータを記憶する。【００４１】
ここで、新たな状態および直前の状態の一つ組に対応して制御対象１００に供給すべき制御信号の変化の回数が予め定められた個数未満である場合、シーケンス記憶部１２は、新たな状態および直前の状態の一つ組に対応して、少なくとも１つの制御信号が直前の制御信号と同一であるシーケンスデータを記憶してよい。これにより、シーケンス記憶部１２は、予め定められた個数の制御信号をシーケンスデータに含まなければならない場合であっても、制御信号の変化の回数が予め定められた個数未満とされたシーケンスデータを記憶することができる。【００４２】
さらに、シーケンス記憶部１２は、一例として、新たな状態および直前の状態の一つ組に対応して、少なくとも１つの制御信号が直前の制御信号と同一であり、かつ少なくとも１つの制御信号に対応する時間情報が、設定可能な最小時間を示すシーケンスデータを記憶してよい。さらに、シーケンス記憶部１２は、一例として、新たな状態および直前の状態の一つ組に対応して、シーケンスデータの末尾から連続する２以上の制御信号が同一であるシーケンスデータを記憶してよい。このようなシーケンス記憶部１２によれば、制御信号の変化の回数が予め定められた個数未満とされた場合、シーケンスデータを簡単なアルゴリズムで生成可能とすることができる。【００４３】
図６は、シーケンス制御装置１０内の各信号のタイミングチャートの一例を示す。図６の（Ａ）は、クロックを示す。図６の（Ｂ）は、外部から与えられた新たな状態を示す。図６の（Ｃ）は、直前の状態を示す。図６の（Ｄ）は、スタート信号を示す。【００４４】
図６の（Ｅ）は、アドレスポインタ３２から発生される値（すなわち、シーケンス記憶部１２に与えられるアドレスデータの下位ビットフィールド）を示す。図６の（Ｆ）は、シーケンス記憶部１２から出力される制御信号を示す。図６の（Ｇ）は、シーケンス記憶部１２から出力される時間情報を示す。【００４５】
図６の（Ｈ）は、タイムエンド信号を示す。図６の（Ｉ）は、アドレスエンド信号を示す。図６の（Ｊ）は、制御対象１００に与えられる出力信号を示す。【００４６】
まず、外部から受け取った状態が変化すると（例えば０ｘ９から０ｘＡに変化）、状態監視部２４は、スタート信号を発生する（Ｓ０）。これとともに、選択部２６は、新たな状態の状態値（例えば０ｘＡ）および直前の状態の状態値（例えば０ｘ９）のビット列を連結したデータを、シーケンス記憶部１２のアドレスの上位ビットフィールドとして出力する。【００４７】
アドレスポインタ３２は、スタート信号を受けると、シーケンス記憶部１２のアドレスの下位ビットフィールドの値を初期値（例えば０ｘ０）にリセットする（Ｓ１）。この結果、シーケンス記憶部１２は、指定されたアドレスから制御信号（例えば０ｘ１）および時間情報（ｔ１）を出力する。そして、出力信号保持用フリップフロップ４０は、シーケンス記憶部１２から出力された制御信号（例えば０ｘ１）を制御対象１００に供給する。【００４８】
続いて、時間制御部１８は、時刻Ｓ１からｔ１時間経過後に、タイムエンド信号を発生する。アドレスポインタ３２は、タイムエンド信号を受けると、アドレスの下位ビットフィールドの値を１インクリメントする（Ｓ２）。この結果、シーケンス記憶部１２は、指定されたアドレスから制御信号（例えば０ｘ５）および時間情報（ｔ２）を出力する。そして、出力信号保持用フリップフロップ４０は、シーケンス記憶部１２から出力された制御信号（例えば０ｘ５）を出力する。そして、以後時刻Ｓ６まで、シーケンス制御装置１０は、時刻Ｓ１からＳ２までと同様の処理を繰り返す（Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６）。【００４９】
続いて、時間制御部１８は、時刻Ｓ６から最小時間（例えば１クロック）経過後に、タイムエンド信号を発生する。アドレスポインタ３２は、タイムエンド信号を受けると、アドレスの下位ビットフィールドの値を１インクリメントする（Ｓ７）。この結果、シーケンス記憶部１２は、直前の制御信号と同一であって且つ新たな状態の状態値を表す制御信号（例えば０ｘＡ）を出力する。これとともに、シーケンス記憶部１２は、最小時間を表す時間情報（例えば０）を出力する。そして、出力信号保持用フリップフロップ４０は、直前と同一の制御信号（例えば０ｘＡ）を制御対象１００に供給する。【００５０】
続いて、時間制御部１８は、時刻Ｓ７から最小時間（例えば１クロック）経過後に、タイムエンド信号を発生する。アドレスポインタ３２は、タイムエンド信号を受けると、アドレスの下位ビットフィールドの値を１インクリメントする（Ｓ８）。この結果、シーケンス記憶部１２は、直前の制御信号と同一であって且つ新たな状態の状態値を表す制御信号（例えば０ｘＡ）を出力する。これとともに、シーケンス記憶部１２は、最小時間を表す時間情報を出力する。そして、出力信号保持用フリップフロップ４０は、直前と同一の制御信号（例えば０ｘＡ）を制御対象１００に供給する。【００５１】
続いて、アドレスポインタ３２は、タイムエンド信号を受けたことに応じて、アドレスエンド信号を発生する（Ｓ９）。すなわち、アドレスポインタ３２は、時刻Ｓ８においてアドレスの下位ビットフィールドの値を１インクリメントした結果、シーケンスデータに含まれる制御信号の個数に対応する数（例えば０ｘ７）に一致するので、最後の制御信号が出力されたことを表すアドレスエンド信号を出力する。更に、この場合において、アドレスポインタ３２は、アドレスの下位ビットフィールドの値を変化させない。この結果、出力信号保持用フリップフロップ４０は、以後、直前の制御信号と同一であって且つ新たな状態の状態値を表す制御信号（例えば０ｘＡ）を、制御対象１００に供給し続ける。これにより、以後、シーケンス制御装置１０は、制御対象１００を新たな状態に保持し続けることができる。【００５２】
続いて、状態保持用フリップフロップ回路２８は、アドレスエンド信号を受けたことに応じて、外部から受け取った状態（例えば０ｘＡ）を、直前の状態として取り込む（Ｓ１０）。これにより、シーケンス制御装置１０は、以後、新たな状態の入力の待機動作に入ることができる。【００５３】
図７は、本実施形態の変形例に係るシーケンスデータ選択部１４の構成を示す。本変形例は、本実施形態と略同一の構成および機能を採るので、本実施形態に係るシーケンス制御装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。【００５４】
本変形例に係るシーケンスデータ選択部１４は、テーブル記憶部５０を更に有してよい。テーブル記憶部５０は、新たな状態および直前の状態の組のそれぞれに対応して、シーケンスデータが記憶された先頭アドレスを格納した変換テーブルを記憶する。そして、本変形例において、選択部２６は、状態変化が検出された場合に、新たな状態および直前の状態の組に対応して、シーケンスデータの先頭アドレスをテーブル記憶部５０から読み出す。【００５５】
このような本変形例に係るシーケンス制御装置１０によれば、シーケンス記憶部１２上の任意の位置に各シーケンスデータを記憶させることができる。従って、本変形例に係るシーケンス制御装置１０は、外部から与えられることが無いような新たな状態および直前の状態の組み合わせに対応したシーケンスデータの記憶領域を、シーケンス記憶部１２に設けなくてよい。また、本変形例に係るシーケンス制御装置１０は、シーケンスデータに含まれる制御信号の個数を、シーケンスデータ毎に変えることができる。これにより、本変形例に係るシーケンス制御装置１０によれば、シーケンス記憶部１２に対して効率良くシーケンスデータを記憶させることができる。【００５６】
また、シーケンス記憶部１２が新たな状態および直前の状態の組のそれぞれに対応して予め定められた個数の制御信号および時間情報を含むシーケンスデータを記憶する場合であって、シーケンス読出部１６が予め定められた個数を超える制御信号のシーケンスを出力する場合、シーケンスデータ選択部１４は、次のような処理を実行してよい。すなわち、シーケンスデータ選択部１４は、新たな状態を受け取ったことに応じて第１のシーケンスデータに含まれる予め定められた個数の制御信号が制御対象に供給された後、当該新たな状態を外部状態記憶部２２に格納するのに代えて中間状態を外部状態記憶部２２に格納する。次に、状態監視部２４は、新たな状態が外部状態記憶部２２に記憶された中間状態と異なる場合に状態変化を検出する。そして、選択部２６は、状態変化が検出された場合に、新たな状態および中間状態の組に応じた第２のシーケンスデータを選択する。【００５７】
このようなシーケンスデータ選択部１４は、外部から新たな状態が入力された場合、まず、対応した第１のシーケンスデータを選択する。続いてシーケンスデータ選択部１４は、対応する第２のシーケンスデータを選択することができる。これにより、シーケンス制御装置１０によれば、予め定められた個数を超える制御信号のシーケンスを出力することができる。【００５８】
図８は、本実施形態に係る試験装置２００の構成を被試験デバイス３００とともに示す。なお、図８の説明にあたり、図１〜図７において説明した部材と略同一の構成および機能を有する部材については、同一の符号を付けて、相違点を除き詳細な説明を省略する。【００５９】
試験装置２００は、被試験デバイス３００を試験する。試験装置２００は、システム制御装置２１０と、試験部２２０と、複数の切替スイッチ２３０と、切換制御装置２４０とを備える。システム制御装置２１０は、被試験デバイス３００の試験を制御する。試験部２２０は、被試験デバイス３００との間で信号を授受して、被試験デバイス３００を試験する。【００６０】
複数の切替スイッチ２３０は、試験部２２０と被試験デバイス３００との間の接続を切り替える。複数の切替スイッチ２３０は、一例として、試験部２２０から被試験デバイス３００に与える試験信号、被試験デバイス３００から試験部２２０に出力される応答信号、試験部２２０から被試験デバイス３００に与えられる直流電圧信号等の信号線の接続（オン）／非接続（オフ）を切り換えてよい。【００６１】
切換制御装置２４０は、複数の切替スイッチ２３０を動作させる制御信号のシーケンスを出力して、複数の切替スイッチ２３０のそれぞれの接続を制御する。切換制御装置２４０は、図３に示したシーケンス制御装置１０と略同一の構成および機能を有する。切換制御装置２４０は、複数の切替スイッチ２３０を制御対象１００として動作させる。【００６２】
このような構成のシーケンス制御装置１０において、システム制御装置２１０は、順次実行する各試験の前に、複数の切替スイッチ２３０のそれぞれの接続または非接続の組み合わせの種類を示す接続状態情報を、複数の切替スイッチ２３０の状態として複数の切替スイッチ２３０に供給する。そして、切換制御装置２４０は、図３に示したシーケンス制御装置１０と同様に、システム制御装置２１０から与えられた新たな状態と直前の状態との組に応じて、複数の制御信号を順次に複数の切替スイッチ２３０に与える。このようなシーケンス制御装置１０によれば、各試験の前に、適切なシーケンスで複数の切替スイッチ２３０を切り換えることができる。【００６３】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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