【手続補正書】
【提出日】平成17年1月20日(2005.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下の保持板（１，２）に対して夫々着脱自在に保持された二枚の基板（Ａ，Ｂ）を真空中で重ね合わせ、これら両基板（Ａ，Ｂ）を相互に密接させて両者間に封止空間（Ｓ２）が形成され、両基板（Ａ，Ｂ）の内外に生じる気圧差で所定のギャップまで潰す基板貼り合わせ装置において、
前記上方保持板（１）及び下方保持板（２）の背後にＺ方向へ相対的に移動自在に配設した上下一対の取付体（３，４）と、
これら取付体（３，４）の接近移動によって取付体（３，４）の間に上下保持板（１，２）が囲まれるように区画形成した閉空間（Ｓ１）と、
上記閉空間（Ｓ１）内を真空状態に維持しながら取付体（３，４）に対して上下保持板（１，２）のどちらか一方又は両方をＺ方向へ平行移動させる基板間隔調整手段（７）とを備え、
上記基板間隔調整手段（７）を周方向へ間隔毎に複数配設し、この基板間隔調整手段（７）により上下保持板（１，２）のどちらか一方又は両方のみを取付体（３，４）と関係なく上下動させて、両基板（Ａ，Ｂ）の貼り合わせ面を封止空間（Ｓ２）が形成されるように密接させたことを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記取付体（３，４）の間に基板間隔調整手段（７）を配設した請求項１記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記取付体（３，４）の対向する周縁部（３ａ，４ａ）間を密閉状態に維持したまま相対的にＸＹθ方向へ移動自在に支持する移動シール手段（６）と、
この移動シール手段（６）と上下取付体（３，４）のどちらか一方とをＸＹθ方向へ係合して一体化させる係合手段（８）と、
上記移動シール手段（６）をＸＹθ方向へ調整移動させる水平移動手段（９）とを備え、
上記係合手段（８）で移動シール手段（６）と上下取付体（３，４）のどちらか一方を係合させると共に、水平移動手段（９）でＸＹθ方向へ移動させることにより、上下保持板（１，２）に保持した基板（Ａ，Ｂ）を相対的にＸＹθ方向へ調整移動して両基板（Ａ，Ｂ）同士の位置合わせを行う請求項１または２記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記上下保持板（１，２）の相対的なＸＹθ方向への調整移動に伴って同方向へ移動可能な鉛直方向へ大きな剛性を有する位置調整手段（１０）を、移動シール手段（６）から取付体（３，４）のどちらか一方に亘って架設した請求項３記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項５】
基板搬送用ロボットで非貼り合せ面（Ａ１）を吸着して搬入された上側基板（Ａ）を上方保持板（１）に保持するため、上方の取付体（３）から上方保持板（１）に亘りＺ方向へ移動自在に貫通する受け渡し用吸着保持手段（５ｃ）を設け、この受け渡し用吸着保持手段（５ｃ）を上側基板（Ａ）の非貼り合せ面（Ａ１）へ向け伸長させて、上記基板搬送用ロボットの吸着位置と干渉しない位置で吸着し直して受け取り、上方保持板（１）の基板保持面まで短縮移送させる請求項１、２、３または４記載の基板貼り合わせ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明のうち請求項１記載の発明は、大気圧による保持板の歪み変形を追加補強なしで防止することを目的としたものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の目的に加えて、ＸＹθステージを用いずに閉空間の外部から真空中の両基板同士の位置合わせを行うことを目的としたものである。
請求項４記載の発明は、請求項３に記載の発明の目的に加えて、両基板同士の位置合わせをスムーズに行うことを目的としたものである。
請求項５記載の発明は、請求項１、２、３または４に記載の発明の目的に加えて、基板が大型化しても膜面を傷付けることなく搬入することを目的としたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、上方保持板及び下方保持板の背後にＺ方向へ相対的に移動自在に配設した上下一対の取付体と、
これら取付体の接近移動によって取付体の間に上方保持板及び下方保持板が囲まれるように区画形成した閉空間と、
上記閉空間内を真空状態に維持しながら取付体に対して上下保持板のどちらか一方又は両方をＺ方向へ平行移動させる基板間隔調整手段とを備え、
上記基板間隔調整手段を周方向へ間隔毎に複数配設し、この基板間隔調整手段により上下保持板のどちらか一方又は両方のみを取付体と関係なく上下動させて、両基板の貼り合わせ面を封止空間が形成されるように密接させたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成に、前記取付体の間に基板間隔調整手段を配設した構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の構成に、前記取付体の対向する周縁部間を密閉状態に維持したまま相対的にＸＹθ方向へ移動自在に支持する移動シール手段と、
この移動シール手段と上下取付体のどちらか一方とをＸＹθ方向へ係合して一体化させる係合手段と、
上記移動シール手段をＸＹθ方向へ調整移動させる水平移動手段とを備え、
上記係合手段で移動シール手段と上下取付体のどちらか一方を係合させると共に、水平移動手段でＸＹθ方向へ移動させることにより、上下保持板に保持した基板を相対的にＸＹθ方向へ調整移動して両基板同士の位置合わせを行う構成を加えたことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明の構成に、前記上下保持板の相対的なＸＹθ方向への調整移動に伴って同方向へ移動可能な鉛直方向へ大きな剛性を有する位置調整手段を、移動シール手段から取付体のどちらか一方に亘って架設した構成を加えたことを特徴とする。
請求項５記載の発明は、請求項１、２、３または４記載の発明の構成に、前記基板搬送用ロボットで非貼り合せ面を吸着して搬入された上側基板を上方保持板に保持するため、上方の取付体から上方保持板に亘りＺ方向へ移動自在に貫通する受け渡し用吸着保持手段を設け、この受け渡し用吸着保持手段を上側基板の非貼り合せ面へ向け伸長させて、上記基板搬送用ロボットの吸着位置と干渉しない位置で吸着し直して受け取り、上方保持板の基板保持面まで短縮移送させる構成を加えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【作用】
請求項１の発明は、閉空間内を真空状態に維持しながら、基板間隔調整手段で上下保持板のどちらか一方又は両方のみを取付体と関係なく上下動させて、両基板の貼り合わせ面を封止空間が形成されるように密接させることにより、これら上方保持板及び下方保持板を囲む取付体には大気圧が作用して変形する可能性があるものの、閉空間内の上方保持板及び下方保持板には大気圧が全く作用しないものである。
請求項３の発明は、請求項１または２記載の発明の作用に加えて、係合手段で移動シール手段と上下取付体のどちらか一方を係合させ、これらを他方に対し水平調整手段でＸＹθ方向へ移動させることにより、上下保持板に保持した基板が相対的にＸＹθ方向へ調整移動されて、両基板同士が位置合わされる。
請求項４の発明は、請求項３記載の発明の作用に加えて、取付体に大気圧が作用しても位置調整手段が有する鉛直方向への大きな剛性によって、取付体の周縁部間が所定間隔に保持されるため、移動シール手段が受ける支持抵抗は低減される。
請求項５の発明は、請求項１、２、３または４記載の発明の作用に加えて、基板搬送用ロボットで上側基板の非貼り合せ面を吸着して移送すると共に、この吸着位置と干渉しない位置を受け渡し用吸着保持手段で吸着し直すことにより、該非貼り合せ面のみの吸着で基板搬送用ロボットから上方保持板の基板保持面への受け渡しが可能となって、基板の大型化に伴い上側基板の中央部分が垂れ下がらない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のうち請求項１記載の発明は、閉空間内を真空状態に維持しながら、基板間隔調整手段で上下保持板のどちらか一方又は両方のみを取付体と関係なく上下動させて、両基板の貼り合わせ面を封止空間が形成されるように密接させることにより、これら上方保持板及び下方保持板を囲む取付体には大気圧が作用して変形する可能性があるものの、閉空間内の上方保持板及び下方保持板には大気圧が全く作用しないので、大気圧による保持板の歪み変形を追加補強なしで防止できる。
従って、上方保持板及び下方保持板に大気圧が作用する従来のものに比べ、基板が大型化しても大気圧の影響を完全に排除でき、上方保持板及び下方保持板を厚くしたり別部材を連設するなどの追加補強が必要ないから装置全体を小型化できて軽量化が図れる。
請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、取付体の間に基板間隔調整手段を配設したので、上方保持板及び下方保持板が真空チャンバ内に配置される従来のものに比べ、上下保持板のいずれか一方と連絡するシャフトと真空チャンバとの間を気密に保持するための弾性シール部材が必要なくなって構造を簡素化でき、しかも基板の出し入れやメンテナンスも行い易く、操作性能が優れる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明の効果に加えて、係合手段で移動シール手段と上下取付体のどちらか一方を係合させ、これらを他方に対し水平調整手段でＸＹθ方向へ移動させることにより、上下保持板に保持した基板が相対的にＸＹθ方向へ調整移動されて、両基板同士が位置合わされるので、ＸＹθステージを用いずに閉空間の外部から真空中の両基板同士の位置合わせを行うことができる。
従って、基板同士の位置合わせにＸＹθステージが用いられる従来のものに比べ、水平調整手段の構造を簡素化して小型化でき、それにより摩耗の低減化が図れて繰返し調整に対する耐久性の向上が期待でき、メンテナンスも容易になって輸送コストの低減化も図れる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
請求項４の発明は、請求項３の発明の効果に加えて、取付体に大気圧が作用しても位置調整手段が有する鉛直方向への大きな剛性によって、取付体の周縁部間が所定間隔に保持されるため、移動シール手段が受ける支持抵抗は低減されるので、両基板同士の位置合わせをスムーズに行うことができる。
従って、水平移動手段の駆動源を小型化できると共にＸＹθ方向への調整移動範囲を拡大でき、またＸＹθ方向への調整移動に伴って摩擦接触する部分が無いため、この摩擦接触により塵が発生せず、両基板同士の位置合わせにおいて発塵による両基板への悪影響を防止できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
請求項５の発明は、請求項１、２、３または４の発明の効果に加えて、基板搬送用ロボットで上側基板の非貼り合せ面を吸着して移送すると共に、この吸着位置と干渉しない位置を受け渡し用吸着保持手段で吸着し直すことにより、該非貼り合せ面のみの吸着で基板搬送用ロボットから上方保持板の基板保持面への受け渡しが可能となって、基板の大型化に伴い上側基板の中央部分が垂れ下がらないので、基板が大型化しても膜面を傷付けることなく搬入できる。