【手続補正書】
【提出日】平成16年12月6日(2004.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源及び反射フィルタシステムを有すると共に、該光源からの光のビームが、複数の反射を実行しつつ該反射フィルタシステムを通過する形式の照明装置において、
前記反射フィルタシステム（４、１４）の入射ビーム（１１）は、該反射フィルタシステム（４、１４）の射出ビーム（１２）に対し、光学的ビーム路のずれ（１３）及び／又は方向変化を有するよう構成されること
を特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記反射フィルタシステム（４、１４）における各反射の際の反射角は、それぞれ、少なくともほぼ同一であること
を特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記光源（３）からの光の他の波長を選択するために、前記（第１の）反射フィルタシステム（４、１４）と切換え可能に配設される第２の反射フィルタシステム（４、１４）を備えること
を特徴とする請求項１又は２に記載の照明装置。
【請求項４】
機械的及び／又はモータ駆動的切換装置が配設されること
を特徴とする請求項３に記載の照明装置。
【請求項５】
前記光源（３）は、ハウジング（１９）に配設されること
を特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項６】
前記１又は複数の反射フィルタシステム（４、１４）は、ハウジング（１５）に配設されること
を特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項７】
前記ハウジング（１５、１９、２０）は、機械的インタフェース（２１）を有すること
を特徴とする請求項５又は６に記載の照明装置。
【請求項８】
前記反射フィルタシステム（４、１４）内の光及び／又は該反射フィルタシステム（４、１４）から射出する際の光は、少なくとも大幅にコリメートされて推移すること
を特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項９】
前記反射フィルタシステム（４、１４）は、反射フィルタ（２２）を有すること
を特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１０】
１つの反射フィルタシステム（４、１４）が、少なくとも２つの反射フィルタ（２２）を有すること
を特徴とする請求項９に記載の照明装置。
【請求項１１】
前記反射フィルタシステム（４）は、透光要素（２３）を有し、該透光要素（２３）において光を反射するために、少なくとも２つの境界面（２４）が（それぞれ）反射層（２５）を有すること
を特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１２】
前記複数の境界面（２４）は、互いに対向するよう構成されること
を特徴とする請求項１１に記載の照明装置。
【請求項１３】
前記複数の境界面（２４）が少なくとも互いにほぼ平行をなし又は互いに僅かに楔状をなすような形状になるよう前記透光要素（２３）は構成されること
を特徴とする請求項１１又は１２に記載の照明装置。
【請求項１４】
前記透光要素（２３）は、主として、ガラス、石英ガラス、ＣａＦ２（ホタル石）、プレクシグラス等から製造されること
を特徴とする請求項１１〜１３の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１５】
前記透光要素（２３）は、前記光源（３）からの光のための入射面（２６）及び射出面（２７）を有すること
を特徴とする請求項１１〜１４の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１６】
前記反射フィルタシステム（４、１４）の光路又は該反射フィルタシステム（４、１４）のハウジング（１５）に、ビーム形状成形要素（２８、２９）を有すること
を特徴とする請求項１〜１５の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１７】
前記反射フィルタシステム（４、１４）に、受動的（パッシブ）及び／又は能動的（アクティブ）冷却要素（３０）を有すること
を特徴とする請求項１〜１６の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１８】
前記反射フィルタシステム（４、１４）において少なくとも２回反射が実行されるよう構成されること
を特徴とする請求項１〜１７の何れか１項に記載の照明装置。
【請求項１９】
請求項１〜１８の何れか１項に記載の照明装置を備えることを特徴とする顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明の一視点によれば、請求項１の特徴部に記載の特徴により解決される。即ち、本発明の照明装置は、反射フィルタシステムの入射ビームが、該反射フィルタシステムの射出ビームに対し、光学的ビーム路のずれないし変位（Versatz）及び／又は方向変化をなすよう構成されることを特徴とする（形態１・基本構成）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の教示を有利に構成・展開する態様は幾つもある。そのため、一方では特許請求項１に従属する各請求項を、他方では以下に図面を用いて説明する本発明の好ましい実施例を参照することができる。図面を用いた本発明の好ましい実施例の説明と関連して、本発明の教示の有利な形態及び発展形態も一般的に説明される。
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、上記基本構成を形態１として示すが、これらは従属請求項の対象でもある。
（２）上記形態１の照明装置において、前記反射フィルタシステムにおける各反射の際の反射角は、それぞれ、少なくともほぼ同一であることが好ましい（形態２）。
（３）上記形態１又は２の照明装置において、前記光源からの光の他の波長を選択するために、前記（第１の）反射フィルタシステムと切換え可能に配設される第２の反射フィルタシステムを備えることが好ましい（形態３）。
（４）上記形態３の照明装置において、機械的及び／又はモータ駆動的切換装置が配設されることが好ましい（形態４）。
（５）上記形態１〜４の照明装置において、前記光源は、ハウジングに配設されることが好ましい（形態５）。
（６）上記形態１〜５の照明装置において、前記１又は複数の反射フィルタシステムは、ハウジングに配設されることが好ましい（形態６）。
（７）上記形態５又は６の照明装置において、前記ハウジングは、好ましくは規格化された、機械的インタフェースを有することが好ましい（形態７）。
（８）上記形態１〜７の照明装置において、前記反射フィルタシステム内の光及び／又は該反射フィルタシステムから射出する際の光は、少なくとも大幅にコリメートされて推移することが好ましい（形態８）。
（９）上記形態１〜８の照明装置において、前記反射フィルタシステムは、好ましくは反射ノッチフィルタとして構成される、反射フィルタを有することが好ましい（形態９）。
（１０）上記形態９の照明装置において、１つの反射フィルタシステムが、少なくとも２つの反射フィルタを有することが好ましい（形態１０）。
（１１）上記形態１〜８の照明装置において、前記反射フィルタシステムは、透光要素を有し、該透光要素において光を反射するために、少なくとも２つの境界面が（それぞれ）反射層を有することが好ましい（形態１１）。
（１２）上記形態１１の照明装置において、前記複数の境界面は、互いに対向するよう構成されることが好ましい（形態１２）。
（１３）上記形態１１又は１２の照明装置において、前記複数の境界面が少なくとも互いにほぼ平行をなし又は互いに僅かに楔状をなすような形状になるよう前記透光要素は構成されることが好ましい（形態１３）。
（１４）上記形態１１〜１３の照明装置において、前記透光要素は、主として、ガラス、石英ガラス、ＣａＦ２（ホタル石）、プレクシグラス等から製造されることが好ましい（形態１４）。
（１５）上記形態１１〜１４の照明装置において、前記透光要素は、前記光源からの光のための、好ましくは反射防止膜を備える、入射面及び射出面を有することが好ましい（形態１５）。
（１６）上記形態１〜１５の照明装置において、前記反射フィルタシステムの光路又は該反射フィルタシステムのハウジングに、例えばレンズから構成されるビーム形状成形要素を有することが好ましい（形態１６）。
（１７）上記形態１〜１６の照明装置において、前記反射フィルタシステムに、受動的（パッシブ）及び／又は能動的（アクティブ）冷却要素を有することが好ましい（形態１７）。
（１８）上記形態１〜１７の照明装置において、前記反射フィルタシステムにおいて少なくとも２回反射が実行されるよう構成されることが好ましい（形態１８）。
（１９）とりわけ半導体検査ないし半導体測定顕微鏡等の顕微鏡は、上記形態１〜１８の照明装置を備えることが好ましい（形態１９）。