【手続補正書】
【提出日】平成16年11月12日(2004.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザでワークピースにホールを穿孔する方法であって、
所定の角度方向を有するビーム断面を有し、前記ビーム断面内に位置するビーム軸に沿って方向付けられたレーザビームを受け取る工程と、
前記ビーム軸に実質的に平行な回転軸の周りに前記レーザビームを回転させ、前記回転するレーザビームを前記ワークピースへ方向付ける工程であって、前記ビームが回転するにつれて前記ビーム断面の前記角度方向が変化する、工程と
を包含する、方法。
【請求項２】
前記ビームを回転させる工程は、奇数個の反射表面間で前記ビームを反射する工程を包含し、前記反射表面の数は３以上である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の屈折表面で前記ビームを屈折させる工程と、
奇数個の反射表面から連続的に前記屈折したビームを反射する工程であって、前記反射表面の数は１以上である、工程と、
第２の屈折表面で前記ビームを前記ワークピースに向かって屈折させる工程と
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面から第２の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第３の表面から前記ワークピースへ前記ビームを反射する工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記回転するレーザビームが前記第３の表面から反射された後に前記回転するレーザビームを集束し、前記集束された回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記回転するレーザビームを回折して複数の回転するレーザビームを形成し、前記複数の回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面で前記ビームを第２の表面へ屈折させる工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第３の表面で前記ビームを前記ワークピースへ屈折させる工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
レーザでワークピースにホールを穿孔する方法であって、
所定の角度方向を有するビーム断面を有し、前記ビーム断面内に位置するビーム軸に沿って方向付けられたレーザビームを受け取る工程と、
前記ビーム軸に実質的に平行な回転軸の周りに前記レーザビームを回転させ、前記回転するレーザビームを前記ワークピースへ方向付ける工程であって、前記ビームが回転するにつれて前記ビーム断面の前記角度方向が変化する、工程と
を包含し、
前記ビームを回転させる工程は、奇数個の反射表面間で前記ビームを反射する工程を包含し、前記反射表面の数は３以上である、方法。
【請求項９】
レーザでワークピースにホールを穿孔する方法であって、
所定の角度方向を有するビーム断面を有し、前記ビーム断面内に位置するビーム軸に沿って方向付けられたレーザビームを受け取る工程と、
前記ビーム軸に実質的に平行な回転軸の周りに前記レーザビームを回転させ、前記回転するレーザビームを前記ワークピースへ方向付ける工程と
を包含し、
前記ビームを回転させる工程は、
第１の屈折表面で前記ビームを屈折させる工程と、
奇数個の反射表面から連続的に前記屈折したビームを反射する工程であって、前記反射表面の数は１以上である、工程と、
第２の屈折表面で前記ビームを前記ワークピースに向かって屈折させる工程と
を包含する、方法。
【請求項１０】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面から第２の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第３の表面から前記ワークピースへ前記ビームを反射する工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記回転するレーザビームが前記第３の表面から反射された後に前記回転するレーザビームを集束し、前記集束された回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記回転するレーザビームを回折して複数の回転するレーザビームを形成し、前記複数の回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面で前記ビームを第２の表面へ屈折させる工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第３の表面で前記ビームを前記ワークピースへ屈折させる工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
レーザでワークピースにホールを穿孔する方法であって、
所定の角度方向を有するビーム断面を有し、前記ビーム断面内に位置するビーム軸に沿って方向付けられたレーザビームを受け取る工程と、
前記ビーム軸に実質的に平行な回転軸の周りに前記レーザビームを回転させ、前記回転するレーザビームを前記ワークピースへ方向付ける工程であって、前記ビームが回転するにつれて前記ビーム断面の前記角度方向が変化する、工程と
を包含し、
前記回転軸が前記ビーム断面内である、方法。
【請求項１５】
前記ビームを回転させる工程は、奇数個の反射表面間で前記ビームを反射する工程を包含し、前記反射表面の数は３以上である、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の屈折表面で前記ビームを屈折させる工程と、
奇数個の反射表面から連続的に前記屈折したビームを反射する工程であって、前記反射表面の数は１以上である、工程と、
第２の屈折表面で前記ビームを前記ワークピースに向かって屈折させる工程と
を包含する、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面から第２の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
前記回転するレーザビームが前記第３の表面から反射された後に前記回転するレーザビームを集束し、前記集束された回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記回転するレーザビームを回折して複数の回転するレーザビームを形成し、前記複数の回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面で前記ビームを第２の表面へ屈折させる工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第３の表面で前記ビームを前記ワークピースへ屈折させる工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項１４に記載の方法。
【請求項２１】
レーザでワークピースにホールを穿孔する方法であって、
所定の角度方向を有するビーム断面を有し、前記ビーム断面内に位置するビーム軸に沿って方向付けられたレーザビームを受け取る工程と、
前記ビーム軸に実質的に平行な回転軸の周りに前記レーザビームを回転させ、前記回転するレーザビームを前記ワークピースへ方向付ける工程であって、前記ビームが回転するにつれて前記ビーム断面の前記角度方向が変化する、工程と
を包含し、
それによって、前記レーザビームの不規則性が環状のパターンとして前記ワークピースへ付与される、方法。
【請求項２２】
前記ビームを回転させる工程は、奇数個の反射表面間で前記ビームを反射する工程を包含し、前記反射表面の数は３以上である、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の屈折表面で前記ビームを屈折させる工程と、
奇数個の反射表面から連続的に前記屈折したビームを反射する工程であって、前記反射表面の数は１以上である、工程と、
第２の屈折表面で前記ビームを前記ワークピースに向かって屈折させる工程と
を包含する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面から第２の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２５】
前記回転するレーザビームが前記第３の表面から反射された後に前記回転するレーザビームを集束し、前記集束された回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記回転するレーザビームを回折して複数の回転するレーザビームを形成し、前記複数の回転するレーザビームを前記ワークピースへ付与する工程をさらに包含する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２７】
前記ビームを回転させる工程は、
第１の表面で前記ビームを第２の表面へ屈折させる工程と、
前記第２の表面から第３の表面へ前記ビームを反射する工程と、
前記第３の表面で前記ビームを前記ワークピースへ屈折させる工程と、
前記第１の表面、前記第２の表面、および前記第３の表面を前記回転軸の周りに回転させる工程と
を包含する、請求項２１に記載の方法。