【手続補正書】
【提出日】平成16年2月17日(2004.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ワークの固定装置および固定方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置されるワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台と上記各穴部に連通する減圧手段とを備え、該減圧手段を駆動して上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定装置において、
上記ワークの種類に応じて、上記複数の穴部のうちワークで覆われない穴部を閉塞する閉塞手段を設けたことを特徴とするワークの固定装置。
【請求項２】
上記閉塞手段がワーク支持面にセットされることを特徴とする請求項１記載のワークの固定装置。
【請求項３】
上記閉塞手段が、ワーク支持面にセットされ、駆動手段で駆動されることを特徴とする請求項１記載のワークの固定装置。
【請求項４】
ワークが載置されるワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台と上記各穴部に連通する減圧手段とを備え、該減圧手段を駆動して上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定装置において、
上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものにバルブ手段を設けたことを特徴とするワークの固定装置。
【請求項５】
上記各穴部または上記分離した各減圧経路に圧力検出手段を設け、その検出結果によって上記ワークに覆われない穴部を検出することを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一に記載のワークの固定装置。
【請求項６】
ワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台にワークを支持し、上記各穴部に連通する減圧手段を駆動し、上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定方法において、
上記ワークの種類に応じて、上記複数の穴部のうちワークで覆われない穴部を閉塞手段にて閉塞することを特徴とするワークの固定方法。
【請求項７】
ワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台にワークを支持し、上記各穴部に連通する減圧手段を駆動し、上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定方法において、
上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものをバルブ手段にて開閉させるようにしたことを特徴とするワークの固定方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワーク支持面に設けた複数の開口穴の内部を減圧して支持面上のワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定装置および固定方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明は、上記技術的課題を解消するためになされたもので、ワークの種類が変わった場合でも、ワーク支持台を取り替える必要なしに、所要の吸着力を得ることができるワークの固定装置および固定方法を提供することを目的とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このため、本願発明に係るワークの固定装置は、ワークが載置されるワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台と上記各穴部に連通する減圧手段とを備え、該減圧手段を駆動して上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定装置において、上記ワークの種類に応じて、上記複数の穴部のうちワークで覆われない穴部を閉塞する閉塞手段を設けたものである。
この場合、上記閉塞手段はワーク支持面にセットされることが好ましい。また、上記閉塞手段が、ワーク支持面にセットされ、駆動手段で駆動されることがより好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本願の他の発明に係るワークの固定装置は、ワークが載置されるワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台と上記各穴部に連通する減圧手段とを備え、該減圧手段を駆動して上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定装置において、上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものにバルブ手段を設けたものである。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以上の発明において、上記各穴部または上記分離した各減圧経路に圧力検出手段を設け、その検出結果によって上記ワークに覆われない穴部を検出するように構成することができる。
また、本願発明に係るワークの固定方法は、ワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台にワークを支持し、上記各穴部に連通する減圧手段を駆動し、上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定方法において、上記ワークの種類に応じて、上記複数の穴部のうちワークで覆われない穴部を閉塞手段にて閉塞するようにしたものである。
更に、本願の他の発明に係るワークの固定方法は、ワーク支持面に開口する複数の穴部を有するワーク支持台にワークを支持し、上記各穴部に連通する減圧手段を駆動し、上記各穴部内を減圧することにより、上記ワーク支持面上に載置されて上記穴部を覆うワークに吸着力を作用させるようにしたワークの固定方法において、上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものをバルブ手段にて開閉させるようにしたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【作用】
本願発明に係るワークの固定装置では、上記閉塞手段を設けたことにより、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部を閉塞して、この穴部から減圧経路に大気圧のエアが流入することを防止でき、減圧手段による減圧作用が阻害されることは無くなる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本願の他の発明に係るワークの固定装置では、上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものにバルブ手段を設けたことにより、取り扱うワークの種類に応じて、そのサイズや形状に適応する各穴部に連通する減圧経路を除く他の減圧経路については、上記バルブ手段を閉じるように設定することができる。これにより、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部に連通する減圧経路を遮断することができ、減圧手段による減圧作用が阻害されることは無くなる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
以上の固定装置において、上記各穴部または上記分離した各減圧経路に圧力検出手段を更に設け、その検出結果によって上記ワークに覆われない穴部を検出することにより、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、吸着力を作用させる必要のない穴部を自動的に検出することができる。
また、本願発明に係るワークの固定方法では、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部を上記閉塞手段にて閉塞することで、この穴部から減圧経路に大気圧のエアが流入することを防止でき、減圧手段による減圧作用が阻害されることは無くなる。
更に、本願の他の発明に係るワークの固定方法では、上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものをバルブ手段にて開閉させるようにしたことで、取り扱うワークの種類に応じて、そのサイズや形状に適応する各穴部に連通する減圧経路を除く他の減圧経路については、上記バルブ手段を閉じるように設定することができる。これにより、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部に連通する減圧経路を遮断することができ、減圧手段による減圧作用が阻害されることは無くなる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
【発明の効果】
本願発明に係るワークの固定装置によれば、上記閉塞手段を設けたので、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部を閉塞して、この穴部から減圧経路に大気圧のエアが流入することを防止でき、減圧手段による減圧作用が阻害されることは無くなる。
すなわち、取り扱うワークの種類が変わった場合でも、ワーク支持台を取り替える必要なしに、所要の吸着力を得ることができる。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本願の他の発明に係るワークの固定装置によれば、上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものにバルブ手段を設けたので、取り扱うワークの種類に応じて、そのサイズや形状に適応する各穴部に連通する減圧経路を除く他の減圧経路については、上記バルブ手段を閉じるように設定することができる。これにより、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部に連通する減圧経路を遮断することができ、減圧手段による減圧作用が阻害されることを防止できる。
すなわち、取り扱うワークの種類が変わった場合でも、ワーク支持台を取り替える必要なしに、所要の吸着力を得ることができる。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
以上の固定装置において、上記各穴部または上記分離した各減圧経路に圧力検出手段を更に設け、その検出結果によって上記ワークに覆われない穴部を検出するようにしたので、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、吸着力を作用させる必要のない穴部を自動的に検出することができる。
すなわち、取り扱うワークの種類が変わったこと及びその種類のサイズや形状を自動的に検出することができ、その種類の変化に応じた上記閉塞手段またはバルブ手段の駆動の自動化を図ることが可能になる。
また、本願発明に係るワークの固定方法によれば、上記閉塞手段を設けたので、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部を上記閉塞手段にて閉塞することで、この穴部から減圧経路に大気圧のエアが流入することを防止でき、減圧手段による減圧作用が阻害されることは無くなる。すなわち、取り扱うワークの種類が変わった場合でも、ワーク支持台を取り替える必要なしに、所要の吸着力を得ることができる。
更に、本願の他の発明に係るワークの固定方法によれば、上記複数の穴部と上記減圧手段とを連通させる減圧経路を、相互に独立した複数の減圧経路に分離して構成し、これら減圧経路のうち少なくとも所定のものをバルブ手段にて開閉するようにしたので、取り扱うワークの種類に応じて、そのサイズや形状に適応する各穴部に連通する減圧経路を除く他の減圧経路については、上記バルブ手段を閉じるように設定することができる。これにより、取り扱うワークの種類が変わってワークから外れる（つまりワークで覆われない）穴部が生じた場合には、このワークの種類に応じて、ワークで覆われない穴部に連通する減圧経路を遮断することができ、減圧手段による減圧作用が阻害されることを防止できる。すなわち、取り扱うワークの種類が変わった場合でも、ワーク支持台を取り替える必要なしに、所要の吸着力を得ることができる。