Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月10日(2005.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスタービンエンジン（１２、１３）におけるエンジン性能をモニタする方法であって、
前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の運転及び性能に関連するデータを感知する段階と、
エンジン始動シーケンスの完了に先立って、前記感知データから選択データパラメータを連続してサンプリングする段階と、
規定の基準が満たされたかどうかを判定するために前記データパラメータを評価する段階と、
前記規定の基準が満たされているとき評価データを捕捉する段階と、
該評価データを用いて前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の特定の温度状態に対してエンジン性能データを正規化する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
ガスタービンエンジン（１２、１３）におけるエンジン性能をモニタする方法であって、
複数のセンサ（２０、２１）を用いて前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の運転及び性能に関連するデータを感知する段階と、
前記ガスタービンエンジン（１２、１３）のエンジン始動シーケンスを開始させる段階と、
該エンジン始動シーケンスの完了に先立って、前記感知データから選択データパラメータを連続してサンプリングする段階と、
前記感知データからエンジン性能データパラメータを連続してサンプリングする段階と、
規定の基準が満たされたかどうかを判定するために前記選択データパラメータを評価する段階と、
前記規定の基準が満たされているとき評価データを捕捉する段階と、
該評価データを用いてエンジン始動時における前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の温度状態を評価する段階と、
該温度状態に対する前記エンジン性能データパラメータを正規化する段階と、
該正規化したエンジン性能データパラメータを前記ガスタービンエンジン（１２、１３）のパラメータ基準線と比較することにより、前記正規化したエンジン性能パラメータの傾向をみる段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項３】
前記選択データパラメータは、コア速度及び燃料流量のうちの１つ又はそれ以上を含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記ガスタービンエンジン（１２、１３）は始動弁を含み、前記基準は、前記始動弁が開いていることを含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記基準は、コア速度が所定の値を超えていることを含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記基準は、燃料流量が停止されていることを含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記評価データは、オイル温度、高圧タービンシュラウド温度、周囲温度、排気ガス温度、及びコア速度のうちの１つ又はそれ以上を含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項８】
前記正規化したエンジン性能データを前記ガスタービンエンジン（１２、１３）のパラメータ基準線と比較することにより、前記正規化したエンジン性能データの傾向をみる段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項９】
ガスタービンエンジン（１２、１３）におけるエンジン性能をモニタするシステム（１０）であって、
前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の運転及び性能に関連するデータを感知するための複数のセンサ（２０、２１）と、
エンジン始動シーケンスの完了に先立って、前記センサ（２０、２１）から選択データパラメータを連続してサンプリングするための手段（１６、１８、２６）と、
規定の基準が満たされたかどうかを判定するために前記データパラメータを評価するための手段（１６、１８、２６）と、
前記規定の基準が満たされているとき評価データを捕捉するための手段（１６、１８、２６）と、
前記評価データを用いて前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の特定の温度状態に対してエンジン性能データを正規化するための手段（１６、１８、２６）と、
を含むことを特徴とするシステム（１０）。
【請求項１０】
前記評価データを用いて前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の特定の温度状態に対してエンジン性能データを正規化するための前記手段（１６、１８、２６）は、前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の温度状態を判定するための手段（１６、１８、２６）を含むことを特徴とする、請求項９に記載のシステム（１０）。
【請求項１１】
ガスタービンエンジン（１２、１３）の運転及び性能に関連する所定のパラメータ値を感知するための複数のセンサ（２０、２１）を有するコンピュータ利用システム（１０）を制御して方法を実行するための命令を含むプログラム記録媒体であって、該方法は、
エンジン始動シーケンスの完了に先立って、前記センサ（２０、２１）から選択データパラメータを連続してサンプリングする段階と、
規定の基準が満たされたかどうかを判定するために前記データパラメータを評価する段階と、
前記規定の基準が満たされているとき評価データを捕捉する段階と、
該評価データを用いて前記ガスタービンエンジン（１２、１３）の特定の温度状態に対してエンジン性能データを正規化する段階と、を含む、
ことを特徴とするプログラム記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
従って、全体のエンジン性能特性を正規化するために、エンジン始動に先立ってガスタービンエンジンにおけるエンジン温度状態の特性をモニタできることが望ましい。
【特許文献１】米国特許５，８４５，４８３号公報
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月25日(2005.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】排気ガス処理装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガスに含まれる微粒子を捕捉するための、かさ密度１．５〜５の捕捉粒子が堆積した捕集体と、
前記捕集体の下方に前記排気ガスを導入する排気導入路と、
この導入された排気ガスを多数の貫通したノズル孔から捕集体内に噴射する分散板と、
前記捕集体を通過した排気ガスを捕集体の上方から排出する排気導出路とを備え、
前記排気ガスの圧力と捕集体にかかる重力とのバランスによって捕集体を固定層としたり、流動化させて流動層とし、捕集体の層内で微粒子を燃焼させるようにしたことを特徴とする排気ガス処理装置。
【請求項２】
請求項１において、前記排気ガスの速度が、排気ガスによる捕集体の流動化に必要な所定値よりも低い場合には前記微粒子を捕捉粒子に捕捉させ、前記所定値以上の場合は排気ガスにより捕集体を流動化して、その流動層内で微粒子を燃焼させるようにした排気ガス処理装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記捕捉粒子は、アルミナ、シリカ、ゼオライト、ジルコニア及び焼結金属の少なくともいずれかを主成分とする粒子または表面粗度の粗い粒子である排気ガス処理装置。
【請求項４】
請求項１、２または３において、前記捕捉粒子の径が２００μｍ〜１ｍｍである排気ガス処理装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記捕捉粒子に、排気ガス中の窒素酸化物を除去する脱硝触媒と、排気ガス中の硫黄酸化物を除去する脱硫剤の少なくとも一方を担持又は混合させた排気ガス処理装置。
【請求項６】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記捕集体に排気ガスを導く上流側排気通路に酸化触媒を充填した箱を設けるか、あるいは排気導入路の内面及び分散板下面に酸化触媒を塗布し、排気ガス中のＮＯをＮＯ2に変えて、前記流動層内で燃焼促進剤として活用するようにした排気ガス処理装置。
【請求項７】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記流動層を複数の区画層に区画する金属板または金網からなる仕切りを設けた排気ガス処理装置。
【請求項８】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記捕捉粒子の粒子径よりも目の細かい金網をフィルタとし、これを前記流動層の上方に設置して、捕捉粒子の通過を阻止するようにした排気ガス処理装置。
【請求項９】
請求項８において、前記捕捉粒子の粒子径が２００μｍ〜１ｍｍであり、前記フィルタを形成する金網が４０〜１５０メッシュである排気ガス処理装置。
【請求項１０】
請求項１から４のいずれかにおいて、エンジン、ガスタービン、ボイラまたは焼却炉等のエンジンの燃焼膨張過程での燃料２次噴射を促進し、後燃え現象により排気ガスの温度を上げるか、またはエンジン出口と排気ガス処理装置の入口との間に燃焼器を設けて、間歇的に短時間排気ガスを再燃焼させることにより、排気ガスの温度を上げて前記捕捉粒子に付着した微粒子の燃焼を促進させるようにした排気ガス処理装置。
【請求項１１】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記分散板は孔径０．３〜１．０ｍｍの孔を複数個有し、この分散板に４０〜１５０メッシュの金網を付設するか、あるいは前記捕捉粒子の径を前記分散板の孔径よりも大きくするか、あるいは分散板板厚を孔径の３倍以上にしてブリッヂ効果により落下を防止することにより、前記捕捉粒子が分散板の孔から落下するのを防止するようにした排気ガス処理装置。
【請求項１２】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記分散板の上流側に孔径５〜１５ｍｍの孔を複数個設けた多孔板を配置するか、あるいは前記排気導入路の内部に多孔板で構成される円筒または楕円状の管を挿入するか、あるいは拡大角を片側で３〜１５度にしたディフューザを前記排気導入路に挿入し、前記流動層内における排気ガスの偏流を抑制するようにした排気ガス処理装置。
【請求項１３】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記分散板の下部に設ける排気導入路の内部を複数の区画に分割するか、あるいは排気ガスを流動層に導入する散気管の複数個を流動層内に設置し、分割された各区画あるいは各散気管の入口に切換弁を設置して、排気流量の変動に伴い分割された各区画の使用区画あるいは使用散気管を変え、排気ガスが流入する区画あるいは散気管における排気ガスの最大流量と最小流量の比率を小さくした排気ガス処理装置。
【請求項１４】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記分散板の下部に設ける排気導入路の内部を１対２から１対１の間の比率で２分割するか、あるいは排気ガスを流動層に導入する散気管２本を流動層内に設置し、分割された各区画あるいは各散気管の入口に切換弁を設置して、排気量の変動が１対６から１対４の間の比率の範囲では、分割された区画あるいは散気管におけるガス量が常に設計値の１／２以上となるように設定した排気ガス処理装置。
【請求項１５】
請求項１から４のいずれかにおいて、前記流動層の上方に直径数ｍｍから数十ｍｍの孔をあけた管を４０〜１５０メッシュの金網で覆ったフィルタを設置した排気ガス処理装置。
【請求項１６】
請求項１から４のいずれかにおいて、同一垂直面内に直列に流動層を２段または３段にわたって設けた排気ガス処理装置。
【請求項１７】
請求項１から４のいずれかにおいて、排気ガス処理装置の出口側に排気ガス中の窒素酸化物を除去する脱硝触媒を組み込んだ反応器を設けた排気ガス処理装置。
【請求項１８】
請求項１から４のいずれかにおいて、排気ガス処理装置と別個に排ガス温度が６０〜２００℃程度の低温部にアイアンカーバイドを全部又は一部用いた固定層又は流動層からなる排ガス処理器を設けた排気ガス処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月3日(2004.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】卵母細胞または卵細胞への試料導入方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が導入される前の卵母細胞または卵細胞の静止膜電位を計測する計測工程と、
前記卵母細胞または卵細胞を静止膜電位の計測結果に基づいて選別する工程と、
最上面開口部の最大径が両生類卵母細胞の直径の１０５−１５０％である複数の穴を有するトレイに、前記選別された複数の卵母細胞または卵細胞を移す工程と、
前記穴上の前記卵母細胞または卵細胞に、試料を導入する導入針を有する装置を用い、上記トレイに対する上記導入針の相対的位置を移動させながら、前記選別された複数の卵母細胞または卵細胞の各々に、実質的に同じ導入深度で、試料を導入する工程とを有することを特徴とする試料導入方法。
【請求項２】
上記計測工程が細胞内電極法または膜電位感受性色素法を用いた計測工程であることを特徴とする請求項１に記載の試料導入方法。
【請求項３】
静止膜電位が−７０ｍＶ以上−４０ｍＶ以下の前記卵母細胞または卵細胞を選別することを特徴とする請求項１に記載の試料導入方法。
【請求項４】
前記導入深度は、細胞表面から0.02〜0.1mmの範囲内であることを特徴とする請求項１記載の試料導入方法。
【請求項５】
前記導入深度は、細胞表面から0.05〜0.2mmの範囲内であることを特徴とする請求項１記載の試料導入方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は卵母細胞または卵細胞を選別する装置及び方法、ならびに該選別された細胞に試料を導入する方法に関する。また、特定の膜電位を有する卵母細胞または卵細胞集団、及びこれらを販売または譲渡する方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
さらに上記の従来技術では、選別した細胞の情報を保存することへの配慮がされておらず、選別基準の情報とその後の細胞反応との相関を得ることが困難であった。従って本発明の目的はこれらの相関を得ることにある。また、従来は卵母細胞を手作業で選別していたため、大量生産は不可能であった。従って本発明の他の目的は、一定の基準で選別したことを保証した卵母細胞または卵細胞を、生産・販売及び輸送すること、ならびに該細胞に試料を導入することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、卵母細胞または卵細胞を選別するための計測手段と、計測結果に基づいて前記卵母細胞または卵細胞を選別する選別手段を有する卵母細胞または卵細胞の選別装置及び方法、ならびに該選別された細胞に試料を導入する方法を提供するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月12日(2005.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可変表示装置の変動表示領域に複数の識別情報を変動表示する変動表示ゲームの制御を行う表示制御手段を備え、前記変動表示ゲームの結果態様に関連して特定の遊技価値を付与可能な遊技機において、
前記複数の識別情報には、輪郭表示図柄の中抜き部分に複数のテクスチャの内の何れかをマッピングすることにより合成される合成図柄を含み、
前記表示制御手段は、
前記合成図柄以外の識別情報と前記輪郭表示図柄とから構成される図柄列を循環的にスクロール表示する第一の変動表示態様と、
前記輪郭表示図柄が変動表示領域で停止状態となった場合に、前記中抜き部分で複数のテクスチャを切り替え表示する第２の変動表示態様と、
を制御することを特徴とする遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、可変表示装置の変動表示領域に複数の識別情報を変動表示する変動表示ゲームの制御を行う表示制御手段を備え、前記変動表示ゲームの結果態様に関連して特定の遊技価値を付与可能な遊技機において、
前記複数の識別情報には、輪郭表示図柄の中抜き部分に複数のテクスチャの内の何れかをマッピングすることにより合成される合成図柄を含み、
前記表示制御手段は、
前記合成図柄以外の識別情報と前記輪郭表示図柄とから構成される図柄列を循環的にスクロール表示する第一の変動表示態様と、
前記輪郭表示図柄が変動表示領域で停止状態となった場合に、前記中抜き部分で複数のテクスチャを切り替え表示する第２の変動表示態様と、
を制御する構成とした。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月12日(2005.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可変表示装置の複数の変動表示領域に識別情報を変動表示する変動表示ゲームの制御を行う表示制御手段を備え、前記変動表示ゲームの結果態様に関連して特定の遊技価値を付与可能な遊技機において、
前記表示制御手段は、
前記識別情報の後側に重ねて配置される背景画像を視認可能とするように識別情報を透過表示させる透過表示手段と、
変動表示している識別情報を停止状態としたときに、該識別情報を別の変動表示領域に重なるように拡張表示する拡張表示手段と、を備え、
前記透過表示手段は、前記識別情報の拡張度が大きいほど識別情報の透明度が高くなるようにすることを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記透過表示手段は、前記識別情報が輪郭を残した中抜き状態となるように中抜き部分の透明度を高くすることを特徴とする請求項１記載の遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、可変表示装置の複数の変動表示領域に識別情報を変動表示する変動表示ゲームの制御を行う表示制御手段を備え、前記変動表示ゲームの結果態様に関連して特定の遊技価値を付与可能な遊技機において、
前記表示制御手段は、
前記識別情報の後側に重ねて配置される背景画像を視認可能とするように識別情報を透過表示させる透過表示手段と、
変動表示している識別情報を停止状態としたときに、該識別情報を別の変動表示領域に重なるように拡張表示する拡張表示手段と、を備え、
前記透過表示手段は、前記識別情報の拡張度が大きいほど識別情報の透明度が高くなるようにすることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の遊技機において、前記透過表示手段は、前記識別情報が輪郭を残した中抜き状態となるように中抜き部分の透明度を高くすることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
【発明の効果】
本発明によれば、識別情報に対する遊技者の関心を引くことができるとともに、迫力ある変動表示を実現することができる。さらに、識別情報の視認性及び該識別情報の後側に重ねて表示される背景画像の視認性を損なうことがなく、可変表示装置の限られた表示領域を有効に活用することができる。従って、限られた大きさの可変表示装置において迫力ある変動表示を演出しながらも、キャラクタ表示などの演出表示を効果的に行うことが可能となり、変動表示ゲームの高い興趣を確保することが可能となる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月7日(2004.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面に吸込口を有する吸込具本体と、該吸込具本体の前部両側に設けられた起毛布と、前記吸込口に臨ませて前記吸込具本体内に収納される回転ブラシと、該回転ブラシを駆動するモータとを備え、
前記吸込具本体の前壁を弾性体で形成すると共に、前記回転ブラシを前記弾性体側に寄せて配置したことを特徴とする電気掃除機用床用吸込具。
【請求項２】
前記弾性体として、バンパーを利用したことを特徴とする請求項１記載の電気掃除機用床用吸込具。
【請求項３】
前記バンパーは、被掃除面に向けて垂下された弾性体から成るひれ部を有し、前記回転ブラシは、その回転軌跡が前記バンパーのひれ部に当接もしくは近接する位置に配置されて成ることを特徴とする請求項２記載の電気掃除機用床用吸込具。
【請求項４】
前記回転ブラシのブラシ体やブレードを螺旋状に形成したことを特徴とする請求項３記載の電気掃除機用床用吸込具。
【請求項５】
前記バンパーのひれ部に溝状の薄肉部を形成したことを特徴とする請求項３又は請求項４記載の電気掃除機用床用吸込具。
【請求項６】
前記回転ブラシの回転中心より上に位置して、前記バンパーのひれ部の付け根部分を支持する支持部材を備えたことを特徴とする請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の電気掃除機用床用吸込具。
【請求項７】
前記回転ブラシは、その回転方向が前記バンパーのひれ部に対して先端部が上から下に向けて回転するように設定されて成ることを特徴とする請求項３ないし請求項６のいずれかに記載の電気掃除機用床用吸込具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記のような目的を達成するために、本願発明は、下面に吸込口を有する吸込具本体と、該吸込具本体の前部両側に設けられた起毛布と、前記吸込口に臨ませて前記吸込具本体内に収納される回転ブラシと、該回転ブラシを駆動するモータとを備え、前記吸込具本体の前壁を弾性体で形成すると共に、前記回転ブラシを前記弾性体側に寄せて配置したことを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月24日(2005.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】航空機のための座席
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
調整可能な座板（７）及び背もたれ（６）が固定される固定された構造体を備える航空機のための座席であって、該座席は、
−予め定められた小さいサイズの乗客に適した第１の極端位置（Ａ）と、
−予め定められた大きいサイズの乗客に適した第２の極端位置（Ｂ）と、
−中間のサイズの乗客に適した２つの極端位置（Ａ、Ｂ）の間の中間位置（Ｃ）との間で前記座板（７）の運動を制御するための第１の制御手段を備え、任意の位置において、
−前記背もたれ（６）と前記座板（７）の前縁端（７ａ）との間の距離（ｄ１、ｄ２、ｄ３）が、前記座席上で着座姿勢をとり且つ前記位置の１つに対応するサイズである前記乗客の背中の基部と膝の窪んだ部分との間の距離に対応すると同時に、
−前記座板の前記前縁端（７ａ）と床（５）との間の距離（ａ１、ａ２、ａ３）が、前記位置に対応するサイズの前記乗客の膝の窪んだ部分と足裏との間の距離に対応するようになっていることを特徴とする座席。
【請求項２】
前記背もたれ（６）が腰支え（８）を備え、該腰支えは、前記背もたれ（６）に対して固定されており、任意の位置において、前記座板（７）と前記腰支えの中央との間の距離（ｂ１、ｂ２、ｂ３）が前記位置に対応するサイズの乗客の臀部と腰部領域の中央との間の距離に対応するように、前記第１の制御手段によって前記座板（７）と同時に調整可能となっていることを特徴とする、請求項１に記載の座席。
【請求項３】
前記背もたれ（６）及び前記座板（７）の並進運動がそれぞれスライド装置（１０、１１）によって案内されていることを特徴とする、請求項２に記載の座席。
【請求項４】
前記座席は、作動器（１３）を備えており、該作動器（１３）の出口軸（１４）は、前記座席に対して横断方向に延び、接続ロッド（１６）によって前記背もたれの並進スライド装置（１０）の本体に関節状に結合されこれに連結されている上側アーム（１５）と、他の接続ロッド（１８）によって前記座板（７）に関節状に結合されこれに連結されている下側アーム（１７）とを支持していることを特徴とする、請求項３に記載の座席。
【請求項５】
前記座板（７）が入れ子状になっており、該座板（７）の後縁端が前記背もたれ（６）と一体的になった軸（１４ａ）周りに関節状に結合され、該座板（７）の前縁端（７ａ）が前記固定された構造体（１）に対して上方及び前方へ向かってスライド運動するように配置され、前記座板が該座板（７）の入れ子式動作を保証するように構成された作動器（１３）を備えていることを特徴とする、請求項１に記載の座席。
【請求項６】
前記作動器（１３）が、前記座板（７）の前縁端（７ａ）に配置されており、ラック（３０ｂ）と関連付けられている作動ピニオン（３０ａ）を含んでいることを特徴とする、請求項５に記載の座席。
【請求項７】
前記背もたれ（６）が腰支え（８）を備え、該腰支え（８）は、前記背もたれ（６）に対して固定されており、前記座板（７）と独立して調整され得ることを特徴とする、請求項１又は請求項６に記載の座席。
【請求項８】
前記座板（７）の持ち上げ運動が前記座板の前縁端（７ａ）に隣接して位置する２つの固定されたスライド装置（１２）によって制御され、該スライド装置（１２）は、前記座板の前縁端と協働して、前記座板（７）が前方へ並進する際に前記座板を傾き約４５°で持ち上げるようになっていることを特徴とする、請求項３から請求項７の何れか一項に記載の座席。
【請求項９】
前記極端位置（Ａ、Ｂ）は、該極端位置並びに前記中間位置が前記乗客の身長の約９５％に適合するように決定されることを特徴とする、請求項１から請求項８の何れか一項に記載の座席。
【請求項１０】
前記座席は、前記背もたれが後方へ僅かに傾けられ且つ前記座板（７）が下方へ僅かに傾けられた第１の「離着陸」位置と、前記背もたれ（６）がさらに後方へ傾けられ且つ前記座板（７）がさらに下方へ傾けられた「休息」位置（Ｒ１、Ｒ２、・・・）との間で、前記背もたれ（６）及び前記座板（７）の運動を同時に制御するための第２の制御手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項１から請求項９の何れか一項に記載の座席。
【請求項１１】
前記第２の制御手段は前記第１の制御手段と独立しており、前記第２の制御手段の作動が、前記第１の制御手段の作動によって得られた前記乗客のサイズに適合した調整を変更させることがないようになっていることを特徴とする、請求項１０に記載の座席。
【請求項１２】
前記背もたれ（６）がその下側部分においてジャッキ（２０）の本体に接続されており、該ジャッキ（２０）のロッドが前記座席の前記構造体（１）に関節状に結合、固定されていることを特徴とする、請求項１１に記載の座席。
【請求項１３】
前記制御手段が手動で又はモータによって駆動されることを特徴とする、請求項１から請求項１２の何れか一項に記載の座席。
【請求項１４】
前記背もたれ（６）が、前記乗客のサイズに従って、前記背もたれ（６）と独立して手動で又はモータによって駆動される調整可能な頭支えを備えていることを特徴とする、請求項１から請求項１３の何れか一項に記載の座席。
【請求項１５】
前記座席が、前記乗客のサイズに合わせて調整され得るレッグレスト（９）を備え、該レッグレストの傾きが手動で又はモータで駆動される手段によって調整され得ることを特徴とする、請求項１から請求項１４の何れか一項に記載の座席。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
航空機の座席は固定された構造体（以下、固定構造体）１を備え、この固定構造体１は、フック形状要素２と、脚部として知られる要素３とを含んでおり、両要素は点４で交差している。
背もたれ６及び調整可能な座板７は固定構造体１に取り付けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第１の実施形態（図３参照）によれば、背もたれ６及び座板７の並進運動はそれぞれスライド装置（滑動装置）１０、１１によって案内されている。背もたれ６及び座板７は背もたれ及び座板の構造の一部を形成する２つの平行なスライド装置を備えることが可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
「休息」位置への運動の際に、背もたれ６の後方への傾斜及び座板７の下方への傾斜が軸のジャック２０によって制御される。
第２の実施形態による座席の機能は、当該実施形態には設けられていない腰支え８の調整を除いて、既に記載された座席の機能と類似である。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月26日(2004.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め登録された複数種類の帳票についての枠、罫線または文字行の中心点座標に関する特徴と入力された帳票の特徴とを、位置座標を基に照合して帳票の種類を識別する帳票識別方法であって、入力帳票から、帳票内に含まれる１または複数の枠、罫線または文字行を抽出し、帳票の特徴として枠、罫線または文字行の中心点座標を入力特徴として抽出し、前記入力特徴あるいは予め登録されている帳票の登録特徴のいずれかを９０度単位で回転させ、枠、罫線または文字行から検出した微小傾き角に基づいて、前記入力特徴を微小角度補正し、入力特徴と登録特徴とを照合し、最も一致した角度を入力帳票の向きとし、最も一致した登録特徴を持つ帳票種類を帳票識別結果とすることを特徴とする帳票識別方法。
【請求項２】
前記最も一致した角度を持つ入力帳票の向きを出力することを特徴とする請求項１記載の帳票識別方法。
【請求項３】
登録された帳票種毎あるいは帳票の枠毎に枠の線種を有効・無効にする識別制御情報を備え、入力帳票から枠線の種類を抽出し、予め登録されている帳票の枠線の種類との一致を求め、枠の形が同一であっても枠線の種類が異なる帳票を別の種類の帳票として識別する制御、及び、枠の形が同じであれば枠線の種類が異なっていても同じ種類の帳票として識別する制御を切り替えることを特徴とする帳票識別方法。
【請求項４】
予め登録された複数の帳票の特徴と入力された帳票の特徴とを、位置座標を基に照合して帳票の種類を識別する帳票識別方法であって、入力帳票の入力特徴として抽出した各位置を、予め登録されている帳票の登録特徴の基準位置から、横方向及び縦方向に一定幅で平行移動させながら前記基準位置と照合し、最も登録特徴と一致した平行移動位置を入力帳票の位置とし、最も一致した登録特徴を持つ帳票種類を帳票識別結果とすることを特徴とする帳票識別方法。
【請求項５】
前記最も登録特徴と一致した平行移動位置を入力帳票の位置として出力することを特徴とする請求項４記載の帳票識別方法。
【請求項６】
予め登録された複数の帳票の特徴と入力された帳票の特徴とを、位置座標を基に照合して帳票の種類を識別する帳票識別方法であって、入力帳票の入力特徴として抽出した各位置座標を、一定倍率ずつ横方向及び縦方向に、あるいは、横方向または縦方向に複数個の伸縮率を仮定し、前記仮定した伸縮率によって入力特徴を伸縮させ、予め登録されている帳票の登録特徴に最も一致した伸縮率を入力帳票の伸縮率とし、最も一致した登録特徴を持つ帳票種類を帳票識別結果とすることを特徴とする帳票識別方法。
【請求項７】
前記最も一致した伸縮率を入力帳票の伸縮率として出力することを特徴とする請求項６記載の帳票識別方法。
【請求項８】
予め登録された複数の帳票の特徴と入力された帳票の特徴とを、位置座標を基に照合して帳票の種類を識別する帳票識別方法であって、入力帳票の特徴に点座標を付与した入力点と、登録帳票の特徴に点座標を付与した辞書点とを備え、前記入力点と辞書点との距離を算出し、前記距離が所定値以下であれば入力点に対応付けられた辞書点が存在すると判定し、対応付けられた点数、入力点数及び辞書点数に基づいて、入力帳票の特徴と登録帳票の特徴とを照合して照合の一致の程度を求めて、入力帳票の種類を識別することを特徴とする帳票識別方法。
【請求項９】
前記入力点、辞書点は、帳票内に含まれる１または複数の枠、罫線または文字行の中心点であることを特徴とする請求項８記載の帳票識別方法。
【請求項１０】
予め登録された複数の帳票の特徴と入力された帳票の特徴とを照合して帳票の種類を識別する帳票識別のために、帳票の特徴を予め登録する帳票登録方法であって、登録対象となった入力帳票画像と帳票識別により類似すると判定された登録済みの帳票画像とを画面に表示し、前記入力帳票が既に登録済みか、未登録であるかの使用者の判断情報を入力させ、新規帳票として対象帳票を登録するため対象帳票のデータを編集、印刷して再度登録試行を行うことを特徴とする帳票登録方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
また、特徴量として文字行の位置を利用する従来技術として、例えば、特願平５−２６２１００号公報等に記載された技術が知られている。この従来技術は、診療報酬請求明細書の様式を識別するため、抽出した文字行の位置に基づいて帳票識別を行うものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
従来、帳票に伸縮があっても帳票識別を可能にする方法として、例えば、特開２０００−３０６０３０号公報等に記載された技術が知られている。この従来技術は、基準点を順次移動させて隣接する帳票の枠を照合することによって、帳票全体の伸縮による位置ずれによる照合誤りを防止するというものである。しかし、この従来技術は、枠が欠落していて枠を抽出することができない場合や、偽の矩形が発生している場合に、枠毎の照合に誤りが発生するという問題点があり、また、基準位置がずれることについて考慮されていないものである。また、同種の技術として、特開２０００−１２３１７４号公報、特開平８−３１５０６８号公報、特開平７−２４９０９９号公報等に記載された技術が知られている。これらの従来技術は、一定領域内に含まれる罫線の間隔を照合し、その照合結果から帳票画像の伸縮率を推定する方法に関するものであるが、罫線同士の照合において、罫線の欠落や偽の罫線の発生がある場合、照合自体が誤り、そのため、推定した伸縮率の値が誤るという問題について解決されておらず、罫線の照合に依存して伸縮に対処する方法であるため、罫線の照合が誤ると伸縮に誤りが発生するという問題がある。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月2日(2005.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】発熱部品取付構造
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を接続できる部品接続面を有する回路基板と、前記部品接続面と交わる平面に取付面を有する放熱フィンと、回路部品及びこの回路部品から生じる熱を放出する放熱板を有し、前記部品接続面に接続される発熱部品とを備え、
前記放熱板を形成する面のうち、少なくとも最も狭い面積の面より広い面積の面が、前記取付面に沿うように配置されていることを特徴とする発熱部品取付構造。
【請求項２】
回路基板を覆って、前記回路基板側である内側と、外側とを仕切るシャーシを備え、
このシャーシに、前記外側から、発熱部品及び放熱フィンを取り付けることを特徴とする請求項１記載の発熱部品取付構造。
【請求項３】
シャーシに、放熱フィン及び放熱板が、共締めされていることを特徴とする請求項２記載の発熱部品取付構造。
【請求項４】
シャーシに伝達された熱が、放熱板を介して、放熱フィンから放熱できるように構成されていることを特徴とする請求項２記載の発熱部品取付構造。
【請求項５】
シャーシと放熱フィンとの間に、
前記シャーシから前記放熱フィンへの放熱方向における回路部品の厚みに相当する厚みを少なくとも有する伝熱補助部材が配置されていることを特徴とする請求項４記載の発熱部品取付構造。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る発熱部品取付構造は、部品を接続できる部品接続面を有する回路基板と、部品接続面と交わる平面に取付面を有する放熱フィンと、回路部品及びこの回路部品から生じる熱を放出する放熱板を有し、部品接続面に接続される発熱部品とを備え、放熱板を形成する面のうち、少なくとも最も狭い面積の面より広い面積の面が、取付面に沿うように配置されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、回路基板を覆って、回路基板側である内側と、外側とを仕切るシャーシを備え、このシャーシに、外側から、発熱部品及び放熱フィンを取り付けることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、シャーシに、放熱フィン及び放熱板が、共締めされていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、シャーシに伝達された熱が、放熱板を介して、放熱フィンから放熱できるように構成されていることを特徴とする。
また、シャーシと放熱フィンとの間に、シャーシから放熱フィンへの放熱方向における回路部品の厚みに相当する厚みを少なくとも有する伝熱補助部材が配置されていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【発明の効果】
以上のように、この発明は、部品を接続できる部品接続面を有する回路基板と、前記部品接続面と交わる平面に取付面を有する放熱フィンと、回路部品及びこの回路部品から生じる熱を放出する放熱板を有し、前記部品接続面に接続される発熱部品とを備え、前記放熱板を形成する面のうち、少なくとも最も狭い面積の面より広い面積の面が、前記取付面に沿うように配置されているので、効率の良い放熱を行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月25日(2005.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性層が設けられた基板と、
該活性層と電気接続され、該基板に設けられた下部電極と、
少なくともPb、Zr及びTiを含み、下面から上面へ連続的に広がって柱状微構造を形成する多数の結晶粒子を含み、該結晶粒子はピンホールを有する、ペロブスカイト型の強誘電体膜と、
該強誘電体膜に設けられ、Sr及びRuを含有するペロブスカイト型の導電酸化物膜の上部電極と、
を備え、
該強誘電体膜は、Ca及びSrを更に含有し、該強誘電体膜は、１μｍ２当たり３４個を超えない密度でピンホールが設けられている、
強誘電体ランダムアクセスメモリ装置。
【請求項２】
該強誘電体膜は、含まれている結晶粒子に対応した凹凸を有する、請求項１記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置。
【請求項３】
該ピンホールは数十ナノメートルのサイズを有する、請求項１記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置。
【請求項４】
該強誘電体膜は、１μｍ２当たり１７個の密度でピンホールが設けられている、請求項１記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置。
【請求項５】
少なくともPb、Zr、Ti、Ca及びSrを含有するターゲットを使用してスパッタ法を用いてペロブスカイト型の強誘電体膜を下部電極に成膜する工程と、
低い分圧のO2を含有する第１の不活性雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程と、
第２の酸化雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程と、
Sr及びRuを含有するペロブスカイト型の導電膜を該強誘電体膜に成膜する工程と、
を含み、
該ターゲットは、該ターゲット中のZr原子及びTi原子の和で正規化された濃度で表わしたときに、０．０３５を超えない濃度のCaと、０．０２５を超えない濃度のSrを含有する、
強誘電体ランダムアクセスメモリ装置の製造方法。
【請求項６】
該強誘電体膜を該下部電極に成膜する工程は、該第２の酸化雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程の後に、該強誘電体膜が１μｍ２当たりに３４個未満の密度でピンホールが含まれるように行なわれる、請求項５記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置の製造方法。
【請求項７】
該第１の不活性雰囲気は、O2を含有するAr雰囲気であり、
該第２の雰囲気は、O2雰囲気であり、
該第１の不活性雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程は、第１の温度で行なわれ、該第２の雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程は、第１の温度よりも高い第２の温度で行なわれる、
請求項６記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置の製造方法。
【請求項８】
Pb、Zr及びTiを含有する強誘電体膜をスパッタ法により下部電極に成膜する工程と、
低い分圧のO2を含有する第１の不活性雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程と、
Sr及びRuを含有するペロブスカイト型の導電膜の上部電極を、該強誘電体膜に成膜する工程と、
第２の酸化雰囲気中で該強誘電体膜及び該上部電極を熱処理する工程と、
を含む、強誘電体ランダムアクセスメモリ装置の製造方法。
【請求項９】
該第１の不活性雰囲気は、O2を含有するAr雰囲気であり、
該第２の酸化雰囲気は、O2雰囲気であり、
該第１の不活性雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程は、第１の温度で行なわれ、
該第２の雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程は、第１の温度よりも高い第２の温度で行なわれ、
該第１の温度は、該第１の温度で行なわれる熱処理の工程の後に、該強誘電体膜にピンホールが形成されないように選択される、
請求項８記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置の製造方法。
【請求項１０】
該第１の不活性雰囲気は、O2を含有するAr雰囲気であり、
該第２の酸化雰囲気は、O2雰囲気であり、
該第１の不活性雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程は、第１の温度で行なわれ、
該第２の雰囲気中で該強誘電体膜を熱処理する工程は、第１の温度よりも高い第２の温度で行なわれ、
該第１の温度は、該第１の温度で行なわれる熱処理の工程の後に、該強誘電体膜の上面に滑らかで平坦な表面が維持されるように選択される、
請求項８記載の強誘電体ランダムアクセスメモリ装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月26日(2005.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（３）また、何度も吸着保持作業を繰り返していると、バックグラインド工程等でウエーハに付着した塵埃が吸着テーブルの環状壁３、４やオリフラ部５、６、７の上面に蓄積され、これがウエーハに再付着して該ウエーハに悪影響を及ぼす原因となりかねない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
更に、各環状壁２３、２４や仕切り壁２９〜３２は極薄い板厚になっていると共に、各オリフラ部２５〜２８はエアの噴出ができるので、バックグラインド工程等でウエーハに付着した塵埃が環状壁２３、２４やオリフラ部２５〜２８の上面に蓄積されることがなく、塵埃がウエーハに再付着して該ウエーハに悪影響を及ぼすこともない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、各環状壁や仕切り壁は極薄い板厚になっていると共に、各オリフラ部はエアの噴出ができるので、吸着テーブル面からの離脱時に密着状態の解除が確実に行え、リフターピンに当接するウエーハ部分にストレスをかけたり割れが生じることがないと共に、バックグラインド工程等でウエーハに付着した塵埃が環状壁やオリフラ部の上面に蓄積されることがなく、塵埃がウエーハに再付着して該ウエーハに悪影響を及ぼすこともなく、極薄ウエーハの吸着保持が可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月5日(2005.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の面と相互作用する層形成性ないしは反応性粒子を含むガスを面に作用させて行う物体の面の処理ないしは被覆、例えば太陽電池のような半導体部品の基板表面の被覆のための方法において、物体の面を垂直線に対して角度αをなすように設定し、ガスが対流により該物体の面の底部区域から始まって、これに沿って流れるように、ガスを該面に導くことを特徴とする方法。
【請求項２】
物体の面は、垂直線に対して角度αをなし、該角度αは０°≦α＜９０°、特に０°≦α≦６０°の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ガスを物体の面に沿って層流として、又はおおむね層流として導くことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
物体の面が、物体の面と平行又はおおむね平行に延びる縦境界面、底面、頂面及び側面を有する、特に直方体状の室の境界面であり、ガスがこの室の頂面区域に導入され、縦側面及び底面に沿って導かれ、その際加熱されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
物体の面に直接沿って流れるガスの一部を室から排出し、残りの部分を室内で循環させることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
物体の処理又は被覆される面の温度Ｔ2より低い温度Ｔ1でガスを室に導入することを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項７】
室から排出されるガスの一部が拡散帯の幅の３倍より小さい層厚を有することを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項８】
室から排出されるガスの一部が、物体の面と相互作用する粒子がある拡散帯の幅にほぼ等しい層厚を有することを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項９】
室の縦境界面を冷却することを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項１０】
物体の面又は物体を赤外線放射器、マイクロ波により、又は誘導的に加熱することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
ガスが室内で、物体の処理又は被覆される面に沿って層状に又はおおむね層状に流れる対流循環の形で流れることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項１２】
ガスが重力に基づき縦境界面に沿って流れような温度で室の頂部区域に導入され、縦境界面区域ないしは室の底部区域で加熱され、次いで対流に基づき物体の面に沿って流れることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項１３】
炭化ケイ素ないしは窒化ケイ素含有層の析出のために、ガスとしてＣＨ3ＳｉＣｌ3とＨ2ないしはＮＨ3、又はＳｉＨ2Ｃｌ2、ＳｉＨＣｌ3、ＳｉＣｌ4とＨ2ないしはＮＨ3のガス混合物が物体の面に沿って流れることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
シリコン層の析出のために、ＳｉＨＣｌ3とＨ2のガス混合物が物体の面に沿って層状に流れることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
好ましくはジボラン又は三塩化ホウ素又は三塩化アルミニウム又は塩化ガリウム又は塩化インジウムからなるドーピングガスを適当な配合率でガス混合物に添加することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の方法。
【請求項１６】
ガラス基板の上にＣｕＩｎＧａＳｅ2層を形成するために、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｇａ層を析出し、これに沿ってＨ2Ｓｅ含有ガスを導くことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
ガラス基板の上にＣｕＩｎＧａＳｅ2層を形成するために、Ｃｕ、ｉｎ、Ｇａ層を形成し、これに沿ってＨ2Ｓ含有ガスを導くことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
酸化スズ層を形成するために、四塩化スズ及びＨ2Ｏを含むガス混合物をガラス基板の上に導くことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
酸化ケイ素層を形成するために、四塩化ケイ素及びＨ2Ｏを含むガス混合物をガラス基板の上に導くことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
シリコン層に沿ってＰＯＣｌ3含有ガスを導き、こうして形成された燐ガラス層を燐の拡散のために熱処理することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
物体の面又はその上に被着された層をこれに沿って流れるＨＣｌ含有ガスにより除去することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
物体の面又はその上に被着された層をこれに沿って流れるＨＦ又はＨＣｌ含有ガスにより除去することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２３】
酸化ケイ素層をこれに沿って流れるＨＦ又はＨ2Ｏ含有ガスにより除去することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２４】
基板、例えばシリコン、セラミックス又は黒鉛の上にまずＳｉＣないしは窒化ケイ素含有層を基板温度９００℃ないし２０００℃、特に１２００℃ないし１６００℃でＣＶＤ（化学蒸着法）により析出し、こうして形成された層の上に周期律表ＩＩＩ族の元素をドープしたシリコン層（ｐ＋）を被着し、続いてこれを融解して結晶させ、次に好ましくは０．１ｍｍないし１０ｍｍの範囲の結晶領域を有する層に感光性シリコン層をエピタキシャル成長により被着することを特徴とする、半導体積層システムの製造のための請求項１に記載の方法。
【請求項２５】
周期律表ＩＩＩ族の元素をドープしたシリコン層の融解の前に、その上に好ましくは厚さ０．１μｍないし５μｍ、特に１μｍないし２μｍの酸化ケイ素層を被着し、特に融解の後に帯域溶融法で再結晶したこのドープ処理シリコン層を、特に０．１−１０ｍｍの大きさの粒を有する多結晶構造の結晶核層の形成のために、ＨＦないしはＨ2含有ガスでエッチングして除去することを特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
被覆又は処理のために必要な粒子を含むガスを作用させて物体、例えば基板（４４）の面（２８）を被覆ないしは処理するために、頂面（２６）、底面（２４）、側面、被覆又は処理される該面及びこれと平行又はほぼ平行に延びる縦境界面（３０）により画定された室（１２）と、ガス入口及び出口（３２、３４）と、物体の面を加熱する少なくとも１個の熱源（５２、５４）とを具備する装置において、物体の面（２８）が、室（１２）の境界面であるとともに垂直線に対して角度αをなし、該角度αは、０°≦α＜９０°の範囲にあり、ガス入口及び出口（３２、３４）が室（１２）の頂部区域に配設され、ガスが室を貫流するときに対流により該面（２８）に沿って導かれることを特徴とする装置。
【請求項２７】
ガスが室（１２）の中で重力と対流によって導かれることを特徴とする請求項２６に記載の装置。
【請求項２８】
面（２８）に対して垂直なガス出口（３４）の寸法が、面と相互作用するガス粒子がある拡散帯の幅の３倍以下、特に拡散帯の幅の１倍以下であることを特徴とする請求項２６に記載の装置。
【請求項２９】
ガス出口（３４）が面（２８）のほぼ全幅にわたり、これと平行に延びていることを特徴とする請求項２６に記載の装置。
【請求項３０】
物体（２０）の面（２８）が室（１２）の開口部を密閉することを特徴とする請求項２６に記載の装置。
【請求項３１】
入口（３２）ないしは出口（３４）が、物体の面（２８）ないしはこの面と平行又はほぼ平行な縦境界壁（３０）に対して間隔をおいて延びる偏向部材（５６）によって、室（１２）から仕切られていることを特徴とする請求項２６に記載の装置。