(57)【要約】  この発明のＸ線発生装置によれば、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極のうち、カソードに最も近い第１電極に、容器と同電位の電位を与えることで、第１電極の熱容量を大きくして容器に接触したとしても、Ｘ線発生装置の機能を損なうことはない。その結果、放熱対策として第１電極を大きくする、あるいは第1電極を容器に接触させることができるなどの第１電極は構造の制約が受け難くなる。また、第１電極を容器に接触させることで電子銃と容器との位置関係が決まり、Ｘ線発生装置の組み立てが容易となる。さらには、第１電極の電位に対してカソード、中間電極（例えば第２電極、第３電極）、ターゲットなど全ての電位が正極性になり、電源管理が容易となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子銃とターゲットとを容器内に収容し、前記電子銃から照射された電子ビームを前記ターゲットに衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を前記容器に設けられたＸ線窓から取り出すように構成されたＸ線発生装置であって、電子銃を、前記電子ビームを出射するカソードと、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極とで構成し、これら中間電極のうち前記カソードに最も近い第１電極に、容器と同電位の電位を与えることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸ線発生装置において、前記容器および第１電極の電位を接地電位にすることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＸ線発生装置において、前記カソード、ターゲットおよび前記中間電極を含めた装置内の全ての電極の電位が０または正の電位であることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極を前記容器に当接させることで直接的に接触させることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極と容器との間に単数または互いに当接した複数の導電部材を配設し、その導電部材を第１電極に当接させるとともに容器に当接させることで、導電部材を介して第１電極を容器に間接的に接触させることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極をＭｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）、Ｗ（タングステン）、Ｉｒ（イリジウム）あるいはそれらのいずれかを含む物質で形成することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極をステンレス鋼で形成することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項８】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極を低融点金属あるいはそれを含む物質で形成することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項９】
請求項８に記載のＸ線発生装置において、前記低融点金属は、Ｔｉ（チタン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｎｉ（ニッケル）あるいはそれらのいずれかを含む合金であることを特徴とするＸ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、工業分野、医療分野などに用いられるＸ線発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線発生装置（Ｘ線管）は工業分野、医療分野などに用いられ、例えば非破壊検査機器に用いられる。非破壊検査機器に搭載されたＸ線管は、開放型Ｘ線管と密閉型Ｘ線管とに大別される。開放型Ｘ線管の場合には、ターボ分子ポンプなどを用いて容器を真空引きする構造となっており、カソードを形成するフィラメントやターゲットなどの消耗品の交換が可能である。密閉型Ｘ線管の場合には、真空ポンプが不要で容器内が真空封止されている。このうち、密閉型Ｘ線管の電子銃には、長期安定性の観点からブラウン管に使用されているような平面型陰極がカソードとして搭載されることが多い。【０００３】
図６は、平面型陰極の電子ビームの引き出し部分を模式化したものである。図６に示すように、電子ビームＢを出射するカソード１０２ａ・ターゲット間には、２つ以上の中間電極を配設している。これら中間電極のうちカソード１０２ａ側から順に第１電極１０２ｂ、第２電極１０２ｃとする。カソード１０２ａの電位を基準電位として、第１電極１０２ｂの電位には負の電位が、第２電極１０２ｃには正の電位がそれぞれ印加される。カソード１０２ａから出射した電子ビームＢはこれらの電極の近傍（図６中の符号「ＤＳ」を参照）でクロスオーバー（仮想光源）を形成する。【０００４】
この電子銃をＸ線管に搭載した従来の模式図を図７または図８に示す。図７または図８に示すように、真空容器１０１内に電子銃１０２とターゲット１０３とを収納し、電子銃１０２から照射された電子ビームＢをターゲット１０３に衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を真空容器１０１に設けられたＸ線窓１０１ｂから取り出すようにＸ線管Ｔは構成されている。電子銃１０２は、電子ビームＢを出射するカソード１０２ａと、第１電極１０２ｂや第２電極１０２ｃなどの中間電極とで構成されている。実際のＸ線管では、上述したクロスオーバー像を目標の焦点径でターゲット１０３上に結像する必要があるので、中間電極として第３電極（「集束電極」とも呼ばれる）１０２ｄをさらに組み込んで電子光学系を構成する。【０００５】
Ｘ線管Ｔの組み立ての構造上、電子銃１０２のカソード１０２ａと第１電極１０２ｂ、第１電極１０２ｂと第２電極１０２ｃは機械的にそれぞれ接続されているが、それぞれの別の電位を独立に印加する必要があるので、カソードや各電極は、例えばアルミナやサファイア、ビードガラスなどのような電気的絶縁物を介して組み立てられている。また、カソードや各電極に電位を印加する方法としては、図７または図８に示すように、ステム１０４のピン１０５（図７または図８を参照）と目的の電極とを細い支柱もしくはリボン電極１０６（図８を参照）を介して、電気的、機械的に接続してＸ線管Ｔ外から電位を与える。これら電極やおよびカソードには最大で数ｋＶの電位が印加される可能性があるので、電子銃１０２部分と真空容器１０１とは最低でも１ｍｍ程度の空間ギャップで隔絶されている。なお、真空容器１０１は接地されている。また、これら電極の電位を規定したものとして、上述した第３電極を真空容器に当接して同電位とする方法が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特開２０００−３０６４１号公報（第２，３，５頁、図１）
【特許文献２】特開２０００−４８７４６号公報（第２，３，５頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
Ｘ線管Ｔが搭載される非破壊検査機器では、図７または図８に示すようにＸ線窓１０１ｂ近傍に試料Ｓを近接させて拡大投影して、より精密な検査を行う。拡大投影すべく拡大率を大きく取るためには、電子ビームＢのターゲット１０３への衝突部位（「Ｘ線発生点」とも呼ばれる）からＸ線窓１０１ｂまでの距離（図７または図８中の符号「Ｌ」を参照）をできるかぎり小さくする必要がある。図７または図８のような構造では、電子ビームＢがターゲット１０３に衝突した後に電子ビームＢの光軸Ｏに対して直交方向にＸ線が発生する。したがって、光軸Ｏとターゲット１０３の軸とが機械的に直交配置されるので、上述した距離Ｌを小さくするということは電子銃１０２部分の電極サイズを小さくすることを意味している。また、各電極に上述したように独立して電位を与える必要があるので、各電極サイズは必然的に小さくなり、熱容量も小さくなる。【０００７】
一方、非破壊検査機器で電子部品等の微細構造を観察する場合、クリアな画像を得るためには焦点も微細化する必要があり、焦点径がミクロンオーダー、サブミクロンオーダーのＸ線管（「マイクロフォーカスＸ線管」とも呼ばれている）が必要である。このＸ線管の場合には、電子光学系の電極配置についても所定の位置に高精度で配置されることが必要条件となる。【０００８】
このようなＸ線管の焦点の微小化を図る場合、球面収差を低減させてクロスオーバー径を小さくするという目的から、図６に示される電子銃寸法（ディメンジョン）のうち、第１電極１０２ｂの開口（図６中の符号「Ｄ１」を参照）を小さくする必要がある。その結果、カソード１０２ａに対して正の電位を有する第２電極（「引き出し電極」とも呼ばれる）１０２ｃの電界が開口Ｄ１の微小化によってカソード１０２ａ面へ到達しにくくなる。第２電極１０２ｃの電界をカソード１０２ａ面へ到達させるために、カソード１０２ａと第１電極１０２ｂとの距離（図６中の符号「ｄ１」を参照）をできるかぎり小さくして、カソード１０２ａと第１電極１０２ｂとをサブミリオーダーで近接させる必要が生じる。また、同じ観点から、第１電極の厚み（図６中の符号「ｔ１」を参照）もできる限り薄い方が好ましく、厚みｔ１もサブミリオーダーまで薄くする必要がある。【０００９】
その結果、約１０００℃で点灯・制御されているカソード１０２ａ面が第１電極１０２ｂの近傍に配置されることになり、輻射熱によって薄板である第１電極１０２ｂの温度も大きく上昇することになる。このとき、第１電極１０２ｂと接合されているアルミナなどの絶縁物は一般的に熱伝導が悪く、また細い支柱やリボン電極１０６からの熱の逃げ（放熱）も悪いので、第１電極およびその近傍部品の温度上昇による熱膨張により所定の光学ディメンジョンが得られない。また、第１電極からカソードへの再輻射でカソード温度が設定以上に上昇し、寿命が劣化するという不都合が生じる。【００１０】
しかるに、各電極の熱容量を大きくして放熱を図ろうとしても、上述したように各電極サイズが小さく設定されている構造上、電子銃ディメンジョンの制約を受けてしまう。【００１１】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、構造の制約が受け難いＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、この発明のＸ線発生装置は、電子銃とターゲットとを容器内に収容し、前記電子銃から照射された電子ビームを前記ターゲットに衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を前記容器に設けられたＸ線窓から取り出すように構成されたＸ線発生装置であって、電子銃を、前記電子ビームを出射するカソードと、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極とで構成し、これら中間電極のうち前記カソードに最も近い第１電極に、容器と同電位の電位を与えることを特徴とするものである。【００１３】
この発明のＸ線発生装置によれば、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極のうち、カソードに最も近い第１電極に、容器と同電位の電位を与える。したがって、第１電極の熱容量を大きくして容器に接触したとしても、容器と同電位の電位が第１電極に与えられているので、Ｘ線発生装置の機能を損なうことはない。その結果、放熱対策として第１電極を大きくする、あるいは第1電極を容器に接触させることができるなどの第１電極は構造の制約が受け難くなる。【００１４】
上述した発明の一例は、上述した容器および第１電極の電位を接地電位にすることである。元来、容器は接地されているので、第１電極の電位を接地電位にすれば、容器と同電位の電位を第１電極に簡易に与えることができる。容器および第１電極の電位を接地電位にすると、上述したカソード、ターゲットおよび中間電極を含めた装置内の全ての電極の電位を０または正の電位にすることが可能である。また、０または正の電位にすることで第１電極の電位に対してカソード、中間電極（例えば第２電極、第３電極）、ターゲットなどの全ての電極の電位が正極性になり、電源管理が容易となる。【００１５】
上述したこれらの発明において、第１電極を容器に当接させることで直接的に接触させてもよいし、第１電極と容器との間に単数または互いに当接した複数の導電部材を配設し、その導電部材を第１電極に当接させるとともに容器に当接させることで、導電部材を介して第１電極を容器に間接的に接触させてもよい。このように積極的に接触させることで、接触させた時点で第１電極と容器とが電気的に接続されて、第１電極に、容器と同電位の電位を簡易に与えることができる。また、電子銃と容器との位置関係が決まり装置の組み立てが容易となる。【００１６】
第１電極の物質の好適な一例として、第１電極をＭｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）、Ｗ（タングステン）、Ｉｒ（イリジウム）あるいはそれらのいずれかを含む物質で形成する。モリブデン、タンタル、タングステン、イリジウム、あるいはそれらを含む物質は蒸気圧が低く高融点であるので、第１電極中のガスがアウトガスとなって放出され難い。その結果、容器内にアウトガスが放出されずに容器内に悪影響を与えない。ここで、高融点とは融点が２０００℃以上を言う。【００１７】
また、第１電極の物質の好適な他の一例として、第１電極をステンレス鋼で形成する。ステンレス鋼の場合には、モリブデンなどと比較すると蒸気圧が高く１５００℃〜１６００℃と低融点であるので、本来であれば、ステンレス鋼のクロムのガスが高温によってアウトガスとなって放出されるが、第１電極の熱容量を大きくすることで高温になり難くなってアウトガスが放出され難くなる。その結果、容器内にアウトガスが放出されずに容器内に悪影響を与えない。また、モリブデンは高価で難削材であるのに対して、ステンレス鋼は安価で加工性が良いので、第１電極のサイズや形状を自在に設定することができる。また、ここで、低融点とは融点が２０００℃未満を言う。【００１８】
他の低融点の材料として、Ｔｉ（チタン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｎｉ（ニッケル）あるいはそれらのいずれかを含む合金も適用可能である。
【発明の効果】
【００１９】
この発明に係るＸ線発生装置によれば、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極のうち、カソードに最も近い第１電極に、容器と同電位の電位を与えることで、第１電極の熱容量を大きくして容器に接触したとしても、Ｘ線発生装置の機能を損なうことはない。その結果、放熱対策として第１電極を大きくする、あるいは第１電極を容器に接触させることができるなどの第１電極は構造の制約が受け難くなる。【００２０】
また、第１電極と容器に接触させることで電子銃と容器との位置関係が決まり、Ｘ線発生装置の組み立てが容易となる。さらには、第１電極の電位に対してカソード、中間電極（例えば第２電極、第３電極）、ターゲットなど全ての電位が正極性になり、電源管理が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施例に係るＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【図２】変形例に係るＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【図３】さらなる変形例に係るＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【図４】さらなる変形例に係るＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【図５】さらなる変形例に係るＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【図６】平面型陰極方電子銃の３極管部（アノード、第１および第２電極）の模式図である。
【図７】従来のＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【図８】従来のＸ線管の構成を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  …  真空容器
１ｂ  …  Ｘ線窓
２  …  電子銃
２ａ  …  カソード
２ｂ  …  第１電極
２ｃ  …  第２電極
２ｄ  …  第３電極
３  …  ターゲット
８  …  導電部材
Ｔ  …  Ｘ線管
【実施例】
【００２３】
以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。図１は、実施例に係るＸ線管の構成を示す概略断面図である。なお、本実施例では、電子ビームの光軸に対して直交方向にＸ線を出射するように電子銃およびターゲットを配設して、ターゲットで電子ビームＢを衝突および反射させてＸ線を発生させる反射型Ｘ線管を例に採って説明する。また、本実施例では、容器内が真空封止されて構成された密閉型Ｘ線管を例に採って説明する。【００２４】
図１に示すように、真空容器１内に電子銃２とターゲット３とを収納し、電子銃２から照射された電子ビームＢをターゲット３に衝突させ、衝突部位（Ｘ線発生点）から発生したＸ線を真空容器１に設けられたＸ線窓１ｂから取り出すようにＸ線管Ｔは構成されている。Ｘ線管Ｔは、この発明におけるＸ線発生装置に相当し、真空容器１は、この発明における容器に相当し、電子銃２は、この発明における電子銃に相当し、ターゲット３は、この発明におけるターゲットに相当し、Ｘ線窓１ｂは、この発明におけるＸ線窓に相当する。【００２５】
電子銃２は、電子ビームＢを出射するカソード２ａと、第１電極１０２ｂや第２電極１０２ｃや第３電極１０２ｄの中間電極とで構成されている。これら中間電極のうちカソード２ａ側から順に第１電極２ｂ、第２電極２ｃ、第３電極２ｄとする。カソード２ａは、この発明におけるカソードに相当し、第１電極２ｂ、第２電極２ｃおよび第３電極２ｄは、この発明における中間電極に相当する。【００２６】
カソード２ａとして、ブラウン管に使用されているような平面型陰極が用いられる。この陰極は、タングステンで形成されたフィラメントと比較すると長寿命である。カソード２ａには、正の電位が印加されて与えられる。第２電極２ｃは「引き出し電極」とも呼ばれており、本実施例では、第２電極２ｃには正の電位が印加されて与えられる。第３電極２ｄは「集束電極」とも呼ばれており、クロスオーバー像を目標の焦点径でターゲット３上に結像する電子光学レンズの機能を有する。目標とする焦点径や各電極間の距離に応じて第３電極２ｄには、０または正の電位が印加されて与えられる。【００２７】
本実施例では、第１電極２ｂは接地されており、同じく接地されている真空容器１と同電位になる。第１電極２ｂを形成する物質としては、好ましくはＭｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）、Ｗ（タングステン）、Ｉｒ（イリジウム）あるいはそれらのいずれかを含む物質等に代表される高融点金属、または低融点の材料であるステンレス鋼、Ｔｉ（チタン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｔｉ（チタン）やステンレス鋼以外の各種の合金である。【００２８】
カソードや各電極に電位を印加するには、ステム４のピン５と目的の電極とを細い支柱もしくはリボン電極（図示省略）を介して、電気的、機械的に接続してＸ線管Ｔ外から電位を与える。本実施例ではピン５に第１電極保持部材７を取り付け、この第１電極保持部材７を第１電極２ｂに当接あるいは溶接させる。第１電極保持部７は導電部材で形成され、導電部材の材料については特に限定されない。この第１電極保持部７によって、第１電極２ｂの熱容量を大きくすることができる。【００２９】
なお、第１電極２ｂの熱容量を大きくする構造は、ピン５に取り付けられた第１電極保持部７に限定されず、第１電極２ｂそのものを大きな構造体で構成すればよい。また、構造体は、光軸Ｏに軸対称な円盤、円筒状でもよい。【００３０】
第１電極保持部７は、真空容器１に接触していないが、第１電極２ｂの熱容量をできる限り大きくするために、真空容器１に近接させる程度にまで第１電極保持部７を大きくして取り付けている。したがって、真空容器１に接触する可能性があるが、第１電極２ｂには真空容器１と同電位の電位がＸ線管Ｔ外から与えられているので、真空容器１に仮に接触したとしても問題はない。【００３１】
本実施例に係るＸ線管Ｔによれば、カソード２ａ・ターゲット３間に配設された３つの中間電極のうち、カソード２ａに最も近い第１電極２ｂに、真空容器１と同電位の電位を与える。一方、本実施例では、第１電極保持部材７を第１電極２ｂに当接あるいは溶接させることで、第１電極２ｂの熱容量を大きくしている。したがって、第１電極２ｂの熱容量を大きくして真空容器１に接触したとしても、真空容器１と同電位の電位が第１電極２ｂに与えられているので、Ｘ線管Ｔの機能を損なうことはない。その結果、放熱対策として第１電極２ｂを大きくする、あるいは第1電極２ｂを真空容器１に接触させることができるなどの第１電極２ｂは構造の制約が受け難くなる。【００３２】
本実施例では、真空容器１および第１電極２ｂの電位を接地電位にしている。元来、真空容器１は接地されているので、第１電極２ｂの電位を接地電位にすれば、真空容器１と同電位の電位を第１電極２ｂに簡易に与えることができる。真空容器１および第１電極２ｂの電位を接地電位にすると、上述したカソード２ａ、ターゲット３および中間電極を含めたＸ線管Ｔ内の全ての電極の電位を０または正の電位にすることが可能である。また、０または正の電位にすることで第１電極２ｂに対してカソード２ａ、中間電極（例えば第２電極２ｃ、第３電極２ｄ）、ターゲット３などの全ての電極の電位が正極性になり、電源管理が容易となる。【００３３】
また、第１電極２ｂをＭｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）、Ｗ（タングステン）、Ｉｒ(イリジウム)、あるいはそれらのいずれかを含む物質等に代表される高融点金属で形成した場合、これらの材料は蒸気圧が低く高融点であるので、第１電極２ｂ中のガスがアウトガスとなって放出され難い。その結果、真空容器１内にアウトガスが放出されずに真空容器１内に悪影響を与えない。【００３４】
また、第１電極２ｂをステンレス鋼で形成した場合、ステンレス鋼の場合には、モリブデン等に代表される高融点金属と比較すると蒸気圧が高く低融点であるので、本来であれば、ステンレス鋼のクロムのガスが高温によってアウトガスとなって放出されるが、第１電極２ｂの熱容量を大きくすることで高温になり難くなってアウトガスが放出され難くなる。その結果、真空容器１内にアウトガスが放出されずに真空容器１内に悪影響を与えない。また、モリブデンは高価で難削材であるのに対して、ステンレス鋼は安価で加工性が良いので、第１電極２ｂのサイズや形状を自在に設定することができる。この他の低融点材料として、ＴｉやＺｒ、Ｎｉあるいはそれらのいずれかを含む合金が挙げられる。【００３５】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。【００３６】
（１）上述した実施例では、非破壊検査機器などの工業用装置を例に採って説明したが、この発明は、Ｘ線診断装置などの医用装置にも適用することができる。【００３７】
（２）上述した実施例では、カソードとして、平面型陰極を用いたが、これ以外の陰極を用いてもよい。【００３８】
（３）上述した実施例では、真空容器１に近接させる程度にまで第１電極保持部７を大きくして取り付けており、第１電極２ａを真空容器１に積極的に接触させなかったが、この変形例（３）も含めて、下記変形例（４）、（５）のように第１電極２ａを真空容器１に積極的に接触させてもよい。例えば、図２に示すように、第１電極２ｂを真空容器１に当接させることで直接的に接触させる。このように積極的に接触させることで、接触させた時点で第１電極２ｂと真空容器１とが電気的に接続されて、第１電極２ｂに、真空容器１と同電位の電位を簡易に与えることができる。また、電子銃２と真空容器１との位置関係が決まり、Ｘ線管Ｔの組み立てが容易となる。この場合には、Ｘ線管Ｔ外からステム４やピン５を介して第１電極１ｂに電位を印加する必要はない。【００３９】
（４）上述した実施例では、真空容器１に近接させる程度にまで第１電極保持部７を大きくして取り付けており、第１電極２ａを真空容器１に積極的に接触させなかったが、上述した変形例（３）も含めて、この変形例（４）および下記変形例（５）のように第１電極２ａを真空容器１に積極的に接触させてもよい。例えば、図３に示すように、第１電極２ｂと真空容器１との間に単数の導電部材８を配設し、その導電部材８を第１電極２ｂに当接させるとともに真空容器１に当接させることで、導電部材８を介して第１電極２ｂを真空容器１に間接的に接触させてもよい。導電部材８はこの発明における導電部材に相当する。このように積極的に接触させることで、接触させた時点で第１電極２ｂと真空容器１とが電気的に接続されて、第１電極２ｂに、真空容器１と同電位の電位を簡易に与えることができる。また、電子銃２と真空容器１との位置関係が決まり、Ｘ線管Ｔの組み立てが容易となる。この場合にも、Ｘ線管Ｔ外からステム４やピン５を介して第１電極１ｂに電位を印加する必要はない。【００４０】
（５）上述した変形例（４）では、第１電極２ｂと真空容器１との間に単数の導電部材８を配設し、その導電部材８を第１電極２ｂに当接させるとともに真空容器１に当接させることで、導電部材８を介して第１電極２ｂを真空容器１に間接的に接触させたが、第１電極２ｂと真空容器１との間に互いに当接した複数の導電部材を配設し、その導電部材を第１電極２ｂに当接させるとともに真空容器１に当接させることで、導電部材を介して第１電極２ｂを真空容器１に間接的に接触させてもよい。例えば、図４に示すように、第１電極２ｂと真空容器１との間に互いに当接した２つの導電部材８ａ，８ｂを配設し、導電部材８ａを第１電極２ｂに当接させるとともに導電部材８ｂを真空容器１に当接させることで、導電部材８ａ，８ｂを介して第１電極２ｂを真空容器１に間接的に接触させる。互いに当接した３つ以上の導電部材においても同様である。【００４１】
（６）上述した実施例では、電子ビームの光軸に対して直交方向にＸ線を出射するように電子銃およびターゲットを配設して、ターゲットで電子ビームＢを衝突および反射させてＸ線を発生させる反射型Ｘ線管を例に採って説明したが、電子ビームの光軸に対して平行にＸ線を出射するように電子銃およびターゲットを配設して、ターゲットで電子ビームＢを衝突および透過させてＸ線を発生させる透過型Ｘ線管に適用してもよい。例えば、図５に示すように、実施例１と同様に真空容器１に近接させる程度にまで第１電極保持部７を大きくして取り付けてもよい。もちろん、透過型Ｘ線管に上述した変形例（３）〜（５）を組み合わせて、第１電極２ｂを真空容器１に積極的に接触させてもよい。【００４２】
（７）上述した実施例では、真空容器１は接地されていたが、正または負の電位を真空容器１に与えてもよい。その場合には、第１電極２ｂも真空容器１と同電位の正または負の電位が印加される。【００４３】
（８）従来のＸ線管でも述べたように、リボン電極を介してカソードや各電極に電圧を印加してもよい。【００４４】
（９）上述した実施例では、密閉型Ｘ線管を例に採って説明したが、開放型Ｘ線管にも適用できる。【００４５】
（１０）上述した実施例では、中間電極は３つであったが、中間電極の数が複数であれば、特に限定されない。例えば中間電極は４つ以上であってもよいし、中間電極は２つのみであってもよい。中間電極が２つのみの場合には、第３電極である集束電極の機能を第２電極が兼用して、第１電極および第２電極のみで中間電極を構成すればよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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2008062519.tif 000012
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