【手続補正書】
【提出日】平成16年10月27日(2004.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板、
上記基板に対して移動するようにされた、マイクロマシン化されたプラットフォーム、
上記プラットフォームを、上記基板に対して、第１の位置から第２の位置に移動させるアクチュエーション機構（ａｃｔｕａｔｉｏｎ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ）、及び、
第１の入力と第２の入力を有する導波管ネットワークであって、当該導波管ネットワークが上記プラットフォームとともに移動するようにして当該導波管ネットワークが上記プラットフォームに結合され、それによって、当該プラットフォームが上記第１の位置にあるときに、光信号が当該第１の入力に入って当該導波管ネットワーク内の第１の光経路に沿って伝搬し、そして上記プラットフォームが上記第２の位置にある時に、光信号が当該第２の入力に入って当該導波管ネットワーク内の第２の光経路に沿って伝搬する、導波管ネットワーク、
を備える、第１の光経路から第２の光経路へ光信号をスイッチングするための装置。
【請求項２】  上記プラットフォームが、上記基板に対して垂直に移動するようにされた、請求項１に記載の装置。
【請求項３】  上記プラットフォームが、上記基板に対して横方向に移動するようにされた、請求項１に記載の装置。
【請求項４】  上記プラットフォームが、上記基板に対して回転移動するようにされた、請求項１に記載の装置。
【請求項５】  上記導波管ネットワークが複数の導波管を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】  上記複数の導波管が少なくとも第１の及び第２の導波管を含み、上記基板に対するそれらの垂直位置に応じて、上記プラットフォームの移動が当該第１の及び第２の導波管の間を選択（ｓｅｌｅｃｔｓ ｂｅｔｗｅｅｎ）するように、当該第１の及び第２の導波管が互いに垂直に配置された、請求項５に記載の装置。
【請求項７】  上記複数の導波管が少なくとも第１の及び第２の導波管を含み、上記基板に対するそれらの横方向位置に応じて、上記プラットフォームの移動が当該第１の及び第２の導波管の間を選択（ｓｅｌｅｃｔｓ ｂｅｔｗｅｅｎ）するように、当該第１の及び第２の導波管が互いに横方向に配置された請求項５に記載の装置。
【請求項８】  上記複数の導波管が少なくとも第１の及び第２の導波管を含み、それらの角度オフセット（ａｎｇｕｌａｒ ｏｆｆｓｅｔ）に応じて、上記プラットフォームの移動が当該第１の及び第２の導波管の間を選択（ｓｅｌｅｃｔｓ ｂｅｔｗｅｅｎ）するように、お互いが角度オフセットで配置された、請求項５に記載の装置。
【請求項９】  上記プラットフォームを上記基板の上に（ｏｖｅｒ）吊るすための支持構造を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】  上記基板が、その上に（ｏｖｅｒ）上記プラットフォームが吊るされる空洞（ｃａｖｉｔｙ）あるいは空隙（ａｉｒ ｇａｐ）を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】  上記基板に結合され、上記導波管ネットワークから上記光信号を受け取るように配置された、入力静止導波管を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】  上記基板に結合され、上記光信号を、上記導波管ネットワークの上記第１の入力又は上記第２の入力か、のいずれかに送信するように配置された、出力静止導波管を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】  基板に結合され、上記導波管ネットワークから上記光信号を受け取るように配置された、出力静止導波管を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１４】  上記プラットフォームに結合されたアクティベーション電極（ａｃｔｉｖａｔｉｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）を更に備え、上記アクチュエーション機構が、当該アクティベーション電極と静電的に相互作用するように配置されたアクチュエーション電極（ａｃｔｕａｔｉｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１５】  上記アクチュエーション電極及びアクティベーション電極が交互嵌合された、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】  上記導波管ネットワークへの入力か、上記導波管ネットワークの出力か、のいずれか、に配置される光コネクタ、を更に備え、
当該光コネクタが、光信号のアライメント軌跡エラー(alignment trajectory error)を訂正するアライメント訂正表面(alignment correction surface)を含む、
請求項１に記載の装置。
【請求項１７】  上記導波管ネットワークが、頂部，底部，及び側部，を有する導波管を含み、上記導波管の当該頂部及び側部が真空あるいは空気と接触する一方、当該底部が上記導波管のそれより低い屈折率を持つ中間材料と接着される、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】  上記導波管ネットワークが、上記基板と単一構造に形成された導波管を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１９】  上記プラットフォームの位置を判断するためのセンシング電極を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項２０】  もし上記プラットフォームが上記第１の位置にあるならば、上記導波管ネットワークを通じて伝搬中に上記光信号が上記第１の光経路から上記第２の光経路にスイッチし、そして、もし上記プラットフォームが上記第２の位置にあるならば上記光信号が真っ直ぐ上記導波管ネットワークを通じて通過する、請求項１に記載の装置。
【請求項２１】  もし上記プラットフォームが上記第１の位置にあるならば、上記光信号が上記導波管ネットワ−クを通じて真っ直ぐ通過され、もし上記プラットフォームが第２の位置にあるならば、上記導波管ネットワークを通じた送出中に上記光信号が上記第１の光経路から上記第２の光経路にスイッチする、請求項１に記載の装置。
【請求項２２】  光信号を第１の光経路から第２の光経路にスイッチングする方法であって、
上記光信号を、基板に対して移動するようにされたプラットフォームに向かって伝搬させるステップであって、当該プラットフォームは第１の入力及び第２の入力を有する導波管ネットワークを含んでいるものであり、当該導波管ネットワークは当該導波管ネットワークが当該プラットフォームとともに移動するように当該プラットフォームに結合されており、
上記光信号が、上記第１のあるいは第２の光経路に沿って伝搬させるべきものか否かを判断するステップ、そして、
上記プラットフォームを、上記基板に対して第１の位置あるいは第２の位置に選択的に移動させるステップであって、それによって、上記プラットフォームが当該第１の位置にあるときに上記光信号が上記第１の入力に入って上記導波管ネットワーク内の上記第１の光経路に沿って伝搬し、そして上記プラットフォームが当該第２の位置にあるときに上記光信号が上記第２の入力に入って上記導波管ネットワーク内の上記第２の光経路に沿って伝搬する、
ステップを含む方法。
【請求項２３】  光信号のアライメント軌跡エラー（ａｌｉｇｎｍｅｎｔ ｔｒａｊｅｃｔｏｒｙ ｅｒｒｏｒ）を是正するステップを更に含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】  光信号のアライメント軌跡エラーを是正するステップが、上記エラーを是正ために球状の表面を使用する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】  上記プラットフォームを移動させるステップが上記プラットフォームを上記基板に対して垂直に移動させる、請求項２２に記載の方法。
【請求項２６】  上記プラットフォームを移動させるステップが上記プラットフォームを、上記基板に対して横方向に移動させる、請求項２２に記載の方法。
【請求項２７】  上記プラットフォームを移動させるステップが上記プラットフォームを、上記基板に対して回転移動させる、請求項２２に記載の方法。
【請求項２８】  上記導波管ネットワークが第１の及び第２の導波管を含み、当該第１の及び第２の導波管が、上記基板に対するそれらの垂直位置に応じて、上記プラットフォームの移動が当該第１の及び第２の導波管の間を選択（ｓｅｌｅｃｔｓ ｂｅｔｗｅｅｎ）するように、互いに垂直に配置された、請求項２２に記載の方法。
【請求項２９】  上記導波管ネットワークが第１の及び第２の導波管を含み、上記基板に対するそれらの横方向位置に応じて、プラットフォームの移動が当該第１の及び第２の導波管の間を選択（ｓｅｌｅｃｔｓ ｂｅｔｗｅｅｎ）するように、当該第１の及び第２の導波管がお互いに（ｗｉｔｈ ｒｅｓｐｅｃｔ ｔｏ ｅａｃｈ ｏｔｈｅｒ）横方向に（ｌａｔｅｒａｌｌｙ）配置された、請求項２２に記載の方法。
【請求項３０】  上記導波管ネットワークが第１の及び第２の導波管を含み、当該第１の及び第２の導波管が、それらの角度オフセットに応じて、上記プラットフォームの移動が当該第１の及び第２の導波管との間を選択（ｓｅｌｅｃｔｓ ｂｅｔｗｅｅｎ）するように、お互いに、角度オフセットで配置された請求項２２に記載の方法。
【請求項３１】  上記プラットフォームの位置をセンシングするステップを更に含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項３２】  上記基板が半導体である請求項１に記載の装置。
【請求項３３】  上記光コネクターが光−電気−光コネクターを備える、請求項１６に記載の光スイッチングシステム。
【請求項３４】  上記光コネクターが光ファイバーの束を備える、請求項１６に記載の光スイッチングシステム。
【請求項３５】  上記光コネクターが複数のミラーを備える、請求項１６に記載の光スイッチングシステム。