(57)【要約】  コンパクトな直動軸で搬送軌跡精度を向上させたロボットを提供すること。  エンドエフェクタ（９４）を最先端のアーム（３７）に対して直線状に駆動する直動機構部（９３）を備え、アーム部（９２）と直動機構部（９３）を駆動して基板（９５）を所望の位置に搬送する搬送ロボット（９０）において、直動機構部（９３）が、最先端のアーム（３７）に搭載される第１及び第２のプーリ（３４）、（３７）と、第１及び第２のプーリ（３４）、（３７）に巻装されるベルト（３６）と、ベルト（３６）の近傍に設置される案内ガイド（３９）と、案内ガイド（３９）とベルト（３６）に連結されるとともに、エンドエフェクタ（９４）を搭載するエンドエフェクタ搭載部（４０）と、から構成され、第１または第２のプーリ（３４）、（３７）を回転させる直動機構駆動用モータ（５）を、本体部（９１）に設けるよう構成した。
2008111410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載するエンドエフェクタと、複数のアームが互いに回動自在に連結されて、前記複数のアームのうち最先端のアームに前記エンドエフェクタが設けられたアーム部と、前記複数のアームを回転駆動するモータを収納した本体部と、前記エンドエフェクタを前記最先端のアームに対して直線状に駆動する直動機構部と、を備え、前記アーム部と前記直動機構部を駆動して前記基板を所望の位置に搬送する搬送ロボットにおいて、
前記直動機構部が、前記最先端のアームに搭載される第１及び第２のプーリと、前記第１及び第２のプーリに巻装されるベルトと、前記ベルトの近傍に設置される案内ガイドと、前記案内ガイドと前記ベルトに連結されるとともに、前記エンドエフェクタを搭載するエンドエフェクタ搭載部と、から構成され、前記第１または第２のプーリを回転させる直動機構駆動用モータを、前記本体部に設けたこと、を特徴とする搬送ロボット。
【請求項２】
前記直動機構駆動用モータを、前記本体部に代えて、前記最先端のアーム以外のアーム内部に設けたこと、を特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。
【請求項３】
前記直動機構駆動用モータは、前記複数のアームのそれぞれに収容された直動機構駆動用プーリ及びベルトを介し、前記第１または第２のプーリを回転させること、を特徴とした請求項１または２記載の搬送ロボット。
【請求項４】
前記複数のアームを回転駆動するモータの回転を伝達するアーム駆動用プーリが、前記複数のアームの各々の基端側と先端側の連結軸において、前記直動機構駆動用プーリと同軸となるよう構成されたこと、を特徴とする請求項３記載の搬送ロボット。
【請求項５】
前記最先端のアームを前記最先端のアームの基端側が連結されたアームに対して回転させる方向及び回転速度と、前記第１または第２のプーリを回転させる方向及び回転速度と、を一致させることにより、前記エンドエフェクタの前記最先端のアームに対する相対的位置を維持させながら、前記最先端のアームを前記最先端のアームの基端側が連結されたアームに対して所望の位置に回転させること、を特徴とした請求項１記載の搬送ロボット。
【請求項６】
請求項１記載の搬送ロボットと、前記搬送ロボットを制御するコントローラと、を備えたこと、を特徴とするロボットシステム。
【請求項７】
請求項６記載のロボットシステムを備えたこと、を特徴とする半導体製造装置または基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造装置及び基板検査装置に使用され、該装置において半導体、液晶、及びレチクルといった基板を搬送する基板搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいて、昨今の微細化の進歩により、それに使用される搬送ロボットに対する基板の搬送精度や搬送時の軌跡精度向上の要求は高い。特にカセットに対して基板を搬送する際、カセットと基板との隙間が非常に狭い場合に軌跡精度が高く求められる。
例えば露光装置におけるレチクル（フォトマスク）を搬送する際、それを収納するケースとレチクルとの隙間は、非常に狭い（隙間は片側約１ｍｍ程度である）。つまり、そこに搬送（アクセス）する際には、ロボットアームの運動の軌跡精度が高くないと、ケースとレチクルが干渉する恐れがある。一方、従来のリンクロボット（アームの回転運動によって搬送物の搭載部を直線運動にして搬送物を搬送するロボット）の構成による軌跡精度の実力では、こういった要求に応えるのは厳しく、更に搬送スピードも向上しなければならない場合は、従来のリンクロボットではまず対応できない。
そこで、基板を高精度に搬送するため、従来のリンクロボットのアーム先端に、直動案内軸を搭載することが考えられる。つまり概ねの搬送をリンク式のアームの移動で行い、その後さらにアーム先端の直動案内軸を使用することにより、軌跡精度を向上させ、上記のようなレチクルをケースに対して干渉させること無く搬送できると考えられる構成である。【０００３】
上記のように、リンクロボットのアーム先端にさらに直動案内軸を備えたものに、例えば特許文献１のような構成がある。特許文献１では、この直動案内軸（直動軸）付近に駆動用モータなどの駆動部を備えているが、直動軸は作業半径を縮小させるための構成として開示されている。目的は異なるものの、直動軸を備えれば上記搬送軌跡は向上するものと思われる。
また、水平多関節式のアームの運動と直動軸とを組み合わせたものに、特許文献２のような構成がある。特許文献２では、直動軸を含んだ機構がアーム先端と分離可能に構成されており、アーム先端が当該機構に合体されたときだけアーム運動の正確さを向上させている。
【特許文献１】特開２００４−１０６１６７号公報
【特許文献２】特開２００５−２３６３０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
軌跡精度を向上させることを考えれば、上記特許文献らのようにリンクロボットに直動軸を備えればそれが達成できることは容易に想到する。
そしてこの構成を考えたとき、特許文献１のようにリンクロボットの先端に直動軸を備え、さらにこの直動軸付近に直動軸の駆動部を配置するのが一般的構成である。しかし、この構成では直動軸付近のサイズが大きくなることはいうまでもない。また、直動軸の駆動用モータが直動軸付近に配置されるため、様々な箇所（特にアーム内）に駆動用モータらのケーブルを通す必要があり、リンクロボットのアームの関節のような捻り動作のある箇所にケーブルを通した場合、断線する可能性もあり信頼性に問題がある。また、直動軸の駆動用モータが直動軸付近に配置されれば、アームが駆動する負荷が大きくなるので、アームの高剛性化が必要となり、アームを駆動するモータ容量なども増大させる必要がでてくる。
一方、特許文献２は、直動軸を分離可能にしているため、特許文献１のような問題がないが、直動軸の機構の補助が得られる箇所だけでしかリンクロボットの軌跡精度が向上しない。
そこで、本発明の目的は上述した従来の問題点を解消し、コンパクトな直動軸で搬送軌跡精度を向上させたロボットを提供することにある。つまり、半導体製造装置や基板検査装置に使用される搬送ロボットおいて、アームにコンパクトな直動軸を有することで広範囲にわたって、高速かつ高い軌跡精度で基板を搬送させることを可能とするロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、基板を搭載するエンドエフェクタと、複数のアームが互いに回動自在に連結されて、前記複数のアームのうち最先端のアームに前記エンドエフェクタが設けられたアーム部と、前記複数のアームを回転駆動するモータを収納した本体部と、前記エンドエフェクタを前記最先端のアームに対して直線状に駆動する直動機構部と、を備え、前記アーム部と前記直動機構部を駆動して前記基板を所望の位置に搬送する搬送ロボットにおいて、前記直動機構部が、前記最先端のアームに搭載される第１及び第２のプーリと、前記第１及び第２のプーリに巻装されるベルトと、前記ベルトの近傍に設置される案内ガイドと、前記案内ガイドと前記ベルトに連結されるとともに、前記エンドエフェクタを搭載するエンドエフェクタ搭載部と、から構成され、前記第１または第２のプーリを回転させる直動機構駆動用モータを、前記本体部に設けた搬送ロボットとした。
請求項２に記載の発明は、前記直動機構駆動用モータを、前記本体部に代えて、前記最先端のアーム以外のアーム内部に設けた請求項１記載の搬送ロボットとした。
請求項３に記載の発明は、前記直動機構駆動用モータは、前記複数のアームのそれぞれに収容された直動機構駆動用プーリ及びベルトを介し、前記第１または第２のプーリを回転させる請求項１または２記載の搬送ロボットとした。
請求項４に記載の発明は、前記複数のアームを回転駆動するモータの回転を伝達するアーム駆動用プーリが、前記複数のアームの各々の基端側と先端側の連結軸において、前記直動機構駆動用プーリと同軸となるよう構成された請求項３記載の搬送ロボットとした。
請求項５に記載の発明は、前記最先端のアームを前記最先端のアームの基端側が連結されたアームに対して回転させる方向及び回転速度と、前記第１または第２のプーリを回転させる方向及び回転速度と、を一致させることにより、前記エンドエフェクタの前記最先端のアームに対する相対的位置を維持させながら、前記最先端のアームを前記最先端のアームの基端側が連結されたアームに対して所望の位置に回転させる請求項１記載の搬送ロボットとした。
請求項６に記載の発明は、請求項１記載の搬送ロボットと、前記搬送ロボットを制御するコントローラと、を備えたロボットシステムとした。
請求項７に記載の発明は、請求項６記載のロボットシステムを備えた半導体製造装置または基板検査装置とした。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１または２記載の発明によれば、直動軸を駆動するモータをロボットの本体部或いは直動軸から離れたアーム内部に配置しているため、直動軸をコンパクトに構成でき、広範囲にわたって高速で高い軌跡精度による搬送を可能に出来る。
また、直動軸を駆動するモータを本体部に配置すれば、直動軸付近にモータ配置しているロボットと比べるとアーム内にケーブルを這い回す必要がないため、ケーブル断線などの問題が解消され、信頼性が向上する。
請求項３記載の発明によれば、直動機構駆動用モータの回転を直動機構部に伝達するのにプーリとベルトを使用し、それらを各アーム内部に収納したのでこれらから発生する粉塵を外部に流出するのを抑えることができる。
請求項４記載の発明によれば、直動機構用プーリとアーム駆動用プーリを、各アームの連結軸において上下に連なるよう同軸に構成したので、アーム部全体がコンパクトになる。
請求項５記載の発明によれば、エンドエフェクタの最先端のアームに対する相対的位置を維持させながら、最先端のアームを最先端のアームの基端側が連結されたアームに対して所望の位置に回転させることができる。
請求項６及び７記載の発明によれば、高精度軌跡であって直動機構部がコンパクトなロボットシステムあるいは製造装置、検査装置が構築できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の搬送ロボットの側断面図である。
【図２】本発明の搬送ロボットの上面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
【図３】本発明の搬送ロボットにおける第３アームのみを回転させるときの説明図。
【図４】本発明の搬送ロボットにおける直動機構部のみを動作させるときの説明図。
【符号の説明】
【０００８】
１、２、３、４  モータ出力軸プーリ
５、６、７、８  モータ
９、１０、１１、１２、２４、２５、２６、３０、３１、３６  ベルト
１３  第２アーム駆動用プーリＣ
１４  直動機構駆動用プーリＧ
１５  第３アーム駆動用プーリＥ
１６  第１アーム駆動用プーリ
１７  第３アーム駆動用プーリＤ
１８  直動機構駆動用プーリＦ
１９  第２アーム駆動用プーリＢ
２０  第１アーム
２１  第３アーム駆動用プーリＣ
２２  直動機構駆動用プーリＥ
２３  第２アーム駆動用プーリＡ
２７  直動機構駆動用プーリＤ
２８  第３アーム駆動用プーリＢ
２９  第２アーム
３２  直動機構駆動用プーリＣ
３３  第３アーム駆動用プーリＡ
３４  直動機構駆動用プーリＢ
３５  ブロック
３７  第３アーム
３８  直動機構駆動用プーリＡ
３９  案内ガイド
４０  エンドエフェクタ搭載部
４１  ケーシング
４２  開口
９０  搬送ロボット
９１  本体部
９２  アーム部
９３  直動機構部
９４  エンドエフェクタ
９５  基板（搬送物）
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００１０】
本発明の直動軸付搬送ロボットは、ロボットの最先端のアーム内にエンドエフェクタを直線状に案内する直動軸を有し、エンドエフェクタ上に搭載したウエハ及び基板を精度よく搬送するように構成されている。以下、本発明の具体的な構成例を説明する。
本発明の搬送ロボット９０は、図２に示すように概ね、本体部９１と、本体部９１に回転自在に連結された複数のアームからなるアーム部９２と、アーム部９２の最先端のアームに搭載された直動機構部９３と、直動機構部９３によって直線状に案内されるエンドエフェクタ９４とから構成されている。９５はエンドエフェクタ９４に搭載されて搬送される基板９５である。なお、図２（ａ）はロボットの上面図、（ｂ）は側面図を示している。【００１１】
以下、各部の詳細を図１にて説明する。図１は本発明の搬送ロボットの側断面図である。エンドエフェクタ９４の図示は省略している。
本体部９１の構成について説明する。本体部９１は、円筒または直方体状に形成されたロボットの胴体にあたる部分である。
本体部９１を形成するケーシング４１の内部に、アーム部９２及び直動機構部９３を回転させるモータ５、６、７、８が収納されている。各モータ５〜８には適当な減速機が装着され、その出力軸にモータ出力軸プーリ１、２、３、４がそれぞれ接続されている。また、これらプーリにはそれぞれベルト９、１０、１１、１２が巻装されている。なお、図１では図示しないが、これらモータ一式とアーム部９２とを上下動させる機構（上下動機構）がケーシング４１の内部に収容される場合もある。あるいは、本体部９１とアーム部９２の全体を上下動機構が上下させるようにしてもよい。また、モータ５、６、７、８は、各モータ内にあるエンコーダの情報を図示しないコントローラに送出し、一方電源が供給されてその回転が制御される。よって搬送ロボットはこの図示しないコントローラとともにロボットシステムとして使用されて、上記モータがコントローラで制御され、アーム部９２と直動機構部９３を所望の位置に操作して基板９５を搬送する。【００１２】
アーム部９２の構成について説明する。アーム部９２は、複数のアームが連結された水平多関節型のリンク式アームである。アーム部９２は、概ね第１アーム２０と第２アーム２９と第３アーム３７と直動機構部９３とエンドエフェクタ９４とから構成されている。各アームは下記に説明するプーリやベルトを収納するよう箱船形状に形成されていて、その上部がカバーで覆われている。なお、下記に説明する各プーリは、当然ながら図示しない軸受などで適宜回転可能に支持されていることを前提としている。
第１アーム２０の基端側は、ケーシング４１に対して図示しない軸受で回転可能に支持されている。第１アーム２０の基端側の回転中心が、アーム部９２の旋回中心となる。また、第１アーム２０の基端側はケーシング４１の内部に設けられた第１アーム駆動用プーリ１６に連結されており、第１アーム駆動用プーリ１６は上記ベルト１２に巻装されている。よって、第１アーム２０は上記モータ８の回転によって回転する。
第２アーム２９の基端側は、第１アーム２０の先端側に図示しない軸受で回転可能に支持されている。第２アーム２９の基端側は第１アーム２０内部の先端側に内蔵された第２アーム駆動用プーリＡ２３に連結されており、第２アーム駆動用プーリＡ２３にはベルト２６が巻装されている。また、第１アーム２０の基端側内部には第２アーム駆動用プーリＢ１９が設けられており、ベルト２６はこれにも巻装されている。第２アーム駆動用プーリＢ１９は、これと同軸となるようケーシング４１の内部に設けられた第２アーム駆動用プーリＣ１３と棒状の支柱で連結されている。そして、第２アーム駆動用プーリＣ１３は、上記ベルト１０に巻装されている。よって、第２アーム２９は上記モータ６の回転によって回転する。
第３アーム３７の基端側は、第２アーム２９の先端側に図示しない軸受で回転可能に支持されている。第３アーム３７の基端側は第２アーム２９内部の先端側に内蔵された第３アーム駆動用プーリＡ３３に連結されており、第３アーム駆動用プーリＡ３３にはベルト３１が巻装されている。また、第２アーム２９の基端側内部には第３アーム駆動用プーリＢ２８が設けられており、ベルト３１はこれにも巻装されている。第３アーム駆動用プーリＢ２８は、これと同軸となるよう第１アーム２０の先端側内部に設けられた第３アーム駆動用プーリＣ２１と棒状の支柱で連結されている。そして、第３アーム駆動用プーリＣ２１は、ベルト２４に巻装されている。また、第１アーム２０の基端側に内蔵された第３アーム駆動用プーリＤ１７にもベルト２４が巻装されている。第３アーム駆動用プーリＤ１７は、これと同軸となるようケーシング４１の内部に設けられた第３アーム駆動用プーリＥ１５と棒状の支柱で連結されている。第３アーム駆動用プーリＥ１５には上記ベルト１１が巻装されている。よって、第３アーム３７は上記モータ７の回転によって回転する。
以上の構成によって、アーム部９２の各アーム（第１アーム２０、第２アーム２９、第３アーム３７）はそれぞれの基端側で上記モータによって回動される。【００１３】
直動機構部９３について説明する。直動機構部９３は、エンドエフェクタ９４を第３アーム３７の延在方向に精密に案内しながら駆動する機構である。
エンドエフェクタ９４は、エンドエフェクタ搭載部４０の一端に固定されている。エンドエフェクタ搭載部４０の他端は、第３アーム３７の延在方向に収容された案内ガイド３９に接続されている。案内ガイド３９は、例えば精密なリニアガイドであって、ガイド部材とガイド部材に案内されるブロック３５から構成されている公知のものである。なお、第３アーム３７の側面には図２（ｂ）のように延在方向に長手の開口４２が設けられている。この側面の開口４２を介してエンドエフェクタ搭載部４０の他端がブロック３５に接続固定されている。開口４２は第３アーム３７の側面でも上面でもよいが、この開口から案内ガイド３９や後述する直動機構駆動用プーリなどの可動部からの粉塵が飛散するため、できるだけ開口を小さく、かつ基板（搬送物）から遠ざかる位置がよい。また、エンドエフェクタ搭載部４０はエンドエフェクタ９４と一体に形成しても良い。
一方、第３アーム３７の先端側内部には、直動機構駆動用プーリＡ３８が設けられている。また、第３アーム３７の基端側内部には直動機構駆動用プーリＢ３４が設けられている。これらのプーリ間にはベルト３６が巻装されている。ベルト３６が直線状に張られる間の空間に上記案内ガイド３９が設けられている。そして、エンドエフェクタ搭載部４０が、上記のようにブロック３５に接続されるとともにベルト３６の直線状に張られる部分にも接続されている。
直動機構駆動用プーリＢ３４は、これと同軸となるよう第２アーム２９の先端側に内蔵された直動機構駆動用プーリＣ３２と棒状の支柱で連結されている。直動機構駆動用プーリＣ３２にはベルト３０が巻装されている。また、第２アーム２９の基端側には直動機構駆動用プーリＤ２７が設けられており、ベルト３０はこれにも巻装されている。直動機構駆動用プーリＤ２７は、これと同軸となるよう第１アーム２０の先端側に内蔵された直動機構駆動用プーリＥ２２に棒状の支柱で連結されている。直動機構駆動用プーリＥ２２にはベルト２５が巻装されている。また、第１アーム２０の基端側には直動機構駆動用プーリＦ１８が設けられており、ベルト２５はこれにも巻装されている。直動機構駆動用プーリＦ１８は、これと同軸となるようケーシング４１の内部に設けられた直動機構駆動用プーリＧ１４に棒状の支柱で連結されている。直動機構駆動用プーリＧ１４には上記ベルト９が巻装されている。よって、エンドエフェクタ搭載部４０及びエンドエフェクタ９４は、上記モータ５の回転によって、ベルト３６に引っ張られ、案内ガイド３９に案内されながら、第３アーム３７の延在方向で直線状に精密に移動する。【００１４】
以上のように、本発明では直動機構部９３の案内ガイド３９が第３アーム３７に収容されている。また、案内ガイド３９によって直線状に精密に案内されるエンドエフェクタ搭載部４０及びエンドエフェクタ９４を駆動するプーリ及びベルトがすべてアームに収容され、さらにこれらを駆動する直動機構駆動用モータが本体部９１に収容されている。【００１５】
以上の構成に関する補足説明をする。
本実施例では半導体製造において嫌気される粉塵の発生を抑制できるので上述のように各アームはカバーなどで封止している。これにより、案内ガイド３９らも第３アーム３７の内部に収容しているが、必ずしも収容した形態をとる必要はない。
また、例えば、第３アーム駆動用プーリＢ２８と直動機構駆動用プーリＤ２７とは、第２アーム２９の基端側で同軸となるよう設けられているので、第３アーム駆動用プーリＢ２８と第３アーム駆動用プーリＣ２１とを連結する棒状の支柱と、直動機構駆動用プーリＤ２７と直動機構駆動用プーリＥ２２とを連結する棒状の支柱とは当然ながら同軸となるが、これらの支柱は、直動機構駆動用プーリＤ２７と直動機構駆動用プーリＥ２２とを連結する棒状の支柱を円筒状に形成し、その内部に第３アーム駆動用プーリＢ２８と第３アーム駆動用プーリＣ２１とを連結する棒状の支柱を挿入し、互いの支柱を図示しない回転軸受で支持している。各アームの基端部における同様な構成も上記で説明した構造となっている。
また、本実施例では第１〜３アームと第３アームに搭載された直動機構との構成を説明したが、アームの数はこれに限られるものではない。
また、直動機構を駆動するモータ５は、本体部９１に収納した例を示したが、これを例えば第１アーム２０の基端側内部などアームの内部に設けてもよい。最先端のアームである第３アーム３７の直動機構部をコンパクトに形成することが目的であれば、このように直動機構部がある最先端のアーム以外のアームの内部に設ければよい。しかし、後述するようにモータ５のケーブル類が可動部であるアーム内に存在することになるので、ケーブル断線の危険性は増す。【００１６】
以上で説明した本発明の搬送ロボット９０の動作について、図３及び図４で説明する。ロボットの動作を制御するのは上述のコントローラである。以下、コントローラの制御について説明する。
まず、第３アーム３７に対するエンドエフェクタ９４の相対的な位置を変化させずに、第３アーム３７を第２アーム２９に対して回転させる動作、すなわち図３で示す動作について説明する。このときの動作は、直動機構駆動用プーリＣ３２と第３アーム駆動用プーリＡ３３とが、同方向、同速度、同角度で協調して回転するようにモータ５とモータ７とを動作させればよい。当該動作によれば、図３のように第３アーム３７上の移動子（エンドエフェクタ搭載部４０とエンドエフェクタ９４）を、第３アーム３７との相対的な前後位置を維持しながら第３アーム３７の方向を変えることが出来る。
また、各アームの姿勢状態を維持したまま、第３アーム３７に対して移動子を移動させる動作、すなわち図４で示す動作について説明する。このときの動作は、第１アーム２０、第２アーム２９、第３アーム３７を動かさずに、すなわちモータ６、７、８を回転させずに、各アームの姿勢状態（ポーズ）を維持したまま、直動機構駆動用プーリＣ３２を回す（モータ５を回転させる）ことによって、第３アーム３７上の移動子が、第３アーム３７に対してその延在方向の前後に動作することが出来る。
なお、この直動機構駆動用プーリＣ３２と第３アーム駆動用プーリＡ３３については、プーリの歯数や直径は同じにする必要はなく、プーリ３２とプーリ３３の回転方向と回転速度と回転角度が同じであれば上記の動作が成立する。
また、アーム部９２の旋回動作（各アームのポーズ及び直動機構を第３アーム３７に対して移動させずに、これらすべてを本体部９１に対して回転させる動作）や伸縮動作（各アームが互いになす角度を広げる動作）を行う場合には、従来の制御方法と同じであるのでこの点は特に説明しないが、直動機構部９３の直動機構駆動用プーリＣ３２は、上記のように第３アーム３７を駆動する第３アーム駆動用プーリＡ３３の回転に協調させなければならない。【００１７】
以上で説明した本発明の搬送ロボット９０及びコントローラを使用すれば、例えばエンドエフェクタ９４にレチクル（フォトマスク）を搭載して搬送する際、それを収納するケースとレチクルとの隙間が非常に狭くとも、上記直動機構部の作用によって、ケースとレチクルを干渉させることなくレチクルを搬送できる。
また、本発明によれば従来のリンクロボットの搬送スピードで搬送物を搬送でき、搬送物を精密に搬送したいときに直動機構部を使用して高精度の軌跡で目的の箇所に搬送できる。
また、本発明によれば直動機構部を駆動する部品（ベルトやプーリ）をアームの内部にすべて収納しているので、粉塵を周囲に飛散させることも少ない。
また、本発明の直動機構部の構成によれば、従来のように直動機構部が大きな構成となることもないので、駆動部への負担も少なく、駆動部自体も小さく構成でき、制御性の良いロボットとすることができる。
また、直動機構部を駆動するモータを本体部の内部に収納すれば、ケーブル類がアーム部を這い回ることも無い。つまりアームのような可動部に直動機構部を駆動するケーブル類が無いのでケーブル断線などにおいて信頼性が向上する。
【図１】
2008111410.tif 000003
【図２】
2008111410.tif 000004
【図３】
2008111410.tif 000005
【図４】
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【国際調査報告】
2008111410.tif 000007
2008111410.tif 000008