(57)【要約】  試料ガスをイオン化するイオン化部２１１と、前記イオン化部２１１からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部２１１を挟んで設けられ、前記イオン化部２１１からのイオンを検出する第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３と、前記イオン化部２１１及び前記第１イオン検出部２１２の間に設けられ、前記イオン化部２１１からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部２１４と、前記第１イオン検出部２１２により得られる試料ガスの第１の全圧ＴＰ１、及び前記第２イオン検出部２１３により得られる試料ガスの第２の全圧ＴＰ２を用いて、前記第１イオン検出部２１２により得られる前記フィルタ極部２１４により選択された特定成分の分圧ＰＰ１を補正する演算装置３と、を備え、四重極質量分析法等を用いたガス分析計において、分解能を維持しながら、測定値が雰囲気圧力の変化に追従しなくなった領域においても補正可能にする。
2008129929.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料ガスをイオン化するイオン化部と、
前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、
前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、
前記第１イオン検出部により得られる試料ガスの第１の全圧、及び前記第２イオン検出部により得られる試料ガスの第２の全圧を用いて、前記第１イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正する演算装置と、を具備するガス分析計。
【請求項２】
前記演算装置が、前記第１の全圧と前記第２の全圧との比を用いて、前記分圧を補正するものである請求項１記載のガス分析計。
【請求項３】
試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化されたイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、前記第１イオン検出部及び第２イオン検出部からの検出信号を受信して前記試料ガスを分析する演算装置と、を具備するガス分析計の補正方法であって、
前記第１イオン検出部により前記試料ガスの第１の全圧を測定する第１全圧測定ステップと、
前記第２イオン検出部により、前記試料ガスの第２の全圧を測定する第２全圧測定ステップと、
前記第１イオン検出部により、前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を測定する分圧測定ステップと、
前記第１の全圧及び前記第２の全圧を用いて、前記分圧を補正する補正ステップと、を備えたガス分析計の補正方法。
【請求項４】
前記補正ステップにおいて、前記第１の全圧と前記第２の全圧との比を用いて、前記分圧を補正することを特徴とする請求項３記載のガス分析計の補正方法。
【請求項５】
試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、演算装置とを備えたガス分析計で実行されるガス分析計用補正プログラムであって、
前記第１イオン検出部により得られる試料ガスの第１の全圧、及び前記第２イオン検出部により得られる試料ガスの第２の全圧を用いて、前記第１イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正する機能を前記演算装置に備えさせることを特徴とするガス分析計用補正プログラム。
【請求項６】
試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、を備えたガス分析計に用いられるガス分析計用演算装置であって、
前記第１イオン検出部により得られる試料ガスの第１の全圧、及び前記第２イオン検出部により得られる試料ガスの第２の全圧を用いて、前記第１イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正するガス分析計用演算装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス分析計に関し、特に、四重極質量分析法等を用いたガス分析計の測定値の補正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の残留ガス分析計は、イオン化部、質量分析部、検出部を有するセンサ部及び交流発生器部を備えるセンサユニットと、このセンサユニットに対してケーブル接続される装置本体と、を具備して成るものが知られている（例えば、非特許文献１参照）。【０００３】
そしてこの残留ガス分析計によれば、まず、イオン化部に導入された残留ガスは、高温のフィラメントから放出された熱電子に影響されイオン化される。生成されたイオンは、レンズで加速・収束されて、質量分析部に導かれる。質量分析部では、例えば４本の円柱形電極（四重極）に直流及び交流電圧を印加し、イオンがふるい分けられる。分離されたイオンは、検出部のファラデーカップで電流として検出される。このイオン電流は、残留ガスの量（分圧）に応じて変化するため、残留ガスを精度良く測定することができる。【０００４】
しかしながら、四重極質量分析計のイオン電流は、残留ガスの量（分圧）に比例して増加するとき、雰囲気圧力が高くなると、四重極部内を飛行するイオンと気体との衝突確率が高くなり、イオンが検出部に到達しにくくなり、また、空間電荷の影響などにより検出感度が変化するという問題がある。そのため、四重極部が配置された雰囲気圧力が所定値（例えば約１×１０−２〜１×１０−１Ｐａ）より高くなると、イオン電流の増加が鈍る。したがって、イオン電流は、ピーク値を超えると、減少してしまう（図６参照）。【０００５】
一方、四重極部を構成する円柱形電極を短くすると、雰囲気圧力が高くても四重極部内を通過するイオンと気体との衝突確率は小さく、雰囲気圧力が前記所定値以上になっても、測定することができる。【０００６】
しかしながら、円柱形電極を短くしてしまうと、分解能が低下してしまうという問題がある。【０００７】
そして、従来、特許文献１に示すように、イオン化部近傍に全圧を測定するための全圧測定部（特許文献１において符号１１）を設け、イオン化部近傍の全圧を用いて測定値である分圧を補正するガス分析計がある。【０００８】
しかしながら、このようなものでは、補正に用いる全圧の測定値が正確でなければ、その全圧を用いて分圧を補正しても、正確な補正を行うことができないという問題がある。実際、このように測定した全圧も前述したように、雰囲気圧力が所定値（約１×１０−１〜１Ｐａ）より高くなると、雰囲気圧力の変化に比例しなくなってしまう。特に、全圧がピーク値を越えると全圧を用いて分圧を補正することができないという問題ある。
【非特許文献１】池田亨、「特集論文  超小型残留ガス分析計ＰｒｅｓｓｕｒｅＭａｓｔｅｒ  ＲＧＡシリーズ」、ＨＯＲＩＢＡ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｒｅｐｏｒｔｓ、株式会社堀場製作所、２００４年３月、第２８号、ｐ．１２−１５
【特許文献１】特開平１１−３１４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、分解能を維持しながらも、測定値が雰囲気圧力の変化に比例して増加しなくなった領域において補正可能にすることをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明に係るガス分析計は、試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、前記第１イオン検出部により得られる試料ガスの第１の全圧、及び前記第２イオン検出部により得られる試料ガスの第２の全圧を用いて、前記第１イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正する演算装置と、を具備することを特徴とする。【００１１】
このようなものであれば、イオン化部からの距離が異なる第１イオン検出部及び第２イオン検出部により得られた試料ガスの第１の全圧及び第２の全圧を用いて、選択イオンの分圧を補正するので、分解能を維持しつつ、例えば雰囲気圧力の上昇に対して、２つのイオン検出部の測定値がピーク値を超えて減少するような圧力領域においても、補正を行うことができる。つまり、従来において分圧を測定することができる限界値（分圧測定限界値）を可及的に高圧側にシフトすることができる。また、第１イオン検出部とイオン化部との間にフィルタ部が配置される構造であるので、四重極質量分析法等の質量分析法を用いた従来のガス分析計の構成に、第２イオン検出部を第１イオン検出部との関係で、イオン化部を挟むように設けるだけで良いので、既存のガス分析計をそのまま用いることができる。【００１２】
具体的な補正方法としては、前記演算装置が、前記第１の全圧と前記第２の全圧との比を用いて、前記分圧を補正するものであることが考えられる。【００１３】
また、上記ガス分析計を用いた測定結果の補正方法は、前記第１イオン検出部により前記試料ガスの第１の全圧を測定する第１全圧測定ステップと、前記第２イオン検出部により、前記試料ガスの第２の全圧を測定する第２全圧測定ステップと、前記第１イオン検出部により、前記フィルタ部により選択された選択イオンの分圧を測定する分圧測定ステップと、前記第１の全圧及び前記第２の全圧を用いて、前記分圧を補正する補正ステップと、を備えていることを特徴とする。【００１４】
さらに、本発明のガス分析計用補正プログラムは、試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、演算装置とを備えたガス分析計で実行されるガス分析計用補正プログラムであって、前記第１イオン検出部により得られる試料ガスの第１の全圧、及び前記第２イオン検出部により得られる試料ガスの第２の全圧を用いて、前記第１イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正する機能を前記演算装置に備えさせることを特徴とする。【００１５】
本発明のガス分析計用演算装置は、試料ガスをイオン化するイオン化部と、前記イオン化部からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部を挟んで設けられ、前記イオン化部からのイオンを検出する第１イオン検出部及び第２イオン検出部と、前記イオン化部及び前記第１イオン検出部の間に設けられ、前記イオン化部からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部と、を備えたガス分析計に用いられるガス分析用演算装置であって、前記第１イオン検出部により得られる試料ガスの第１の全圧、及び前記第２イオン検出部により得られる試料ガスの第２の全圧を用いて、前記第１イオン検出部により得られる前記フィルタ部により選択された特定成分の分圧を補正することを特徴とする。【００１６】
また、本発明のガス分析計を用いた半導体製造装置であれば、半導体製造を好適に行うことができる。具体的には、本発明のガス分析計は、スパッタや真空蒸着中の特定ガスのモニタリングやスパッタや真空蒸着後の残留ガスの測定に好適に用いられる。また、エッチング後、ＣＶＤ後又はチャンバクリーニング後の残留ガスの測定にも好適に用いられる。
【発明の効果】
【００１７】
このように構成した本発明によれば、分解能を維持しながらも、測定値が雰囲気圧力の変化に比例して増加しなくなった領域において補正可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るガス分析計の模式的構成図である。
【図２】同実施形態におけるセンサ部の内部構成図である。
【図３】試料ガスに含まれるＮ２の分圧を測定した場合の補正結果を示す図である。
【図４】試料ガスに含まれるＡｒの分圧を測定した場合の補正結果を示す図である。
【図５】変形実施形態に係るセンサ部の内部構成図である。
【図６】従来のガス分析計の測定結果を示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
１・・・・・ガス分析計
ＴＰ１・・・第１の全圧
ＴＰ２・・・第２の全圧
ＰＰ１・・・特定成分の分圧
２・・・・・センサユニット
２１・・・・センサ部
２１１・・・イオン化部
２１２・・・第１イオン検出部
２１３・・・第２イオン検出部
２１４・・・四重極部
２２・・・・交流発生器部
３・・・・・演算装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図１は、本実施形態に係るガス分析計１を示す模式的構成図である。図２は、センサ部２１の内部構成図である。【００２１】
＜装置構成＞
本実施形態に係るガス分析計１は、例えば半導体製造プロセス中及び装置クリーニング後の真空チャンバ１００内のガスモニタに用いられるものであり、図１に示すように、真空チャンバ１００内のプロセスガス又は残留ガス等の試料ガスを検知するセンサ部２１を有するセンサユニット２と、前記センサ部２１を制御するとともに、前記センサ部２１の出力に基づいて残留ガスの分析処理等を行う演算装置３と、を備えている。【００２２】
以下に各部２、３について説明する。【００２３】
センサユニット２は、図１に示すように、センサ部２１と当該センサ部２１の後端部に設けられた交流発生器部２２等を備えている。また、交流発生器部２２の後端部には、演算装置３と該センサユニット２とを接続するケーブルＣＡが接続されている。【００２４】
センサ部２１は、図２に示すように、真空チャンバ１００に取り付けられた際に真空チャンバ１００内の残留ガスを導入するためのガス導入口（図示しない）を備え、当該ガス導入口からセンサ部２１内に導入された試料ガスである残留ガスをイオン化するイオン化部２１１と、前記イオン化部２１１からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部２１１を挟んで設けられ、前記イオン化部２１１からのイオンを検出する第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３と、前記イオン化部２１１及び前記第１イオン検出部２１２の間に設けられ、前記イオン化部２１１からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部としての四重極部２１４と、を備えている。【００２５】
イオン化部２１１は、内部にフィラメントを備え、フィラメントから放出される熱電子により試料ガスをイオン化するものである。そして、イオン化部２１１により、生成されたイオンは、第１引出電極２１５又は第２引出電極２１６によって引き出される。第１引出電極２１５及び第２引出電極２１６は共に単一又は複数の電極により構成されている。第１引出電極２１５は、イオン化部２１１と四重極部２１４との間に設けられ、イオン化部２１１により生成されたイオンを四重極部２１４及び第１イオン検出部２１２側に引き出すとともに、そのイオンを加速・収束させるものである。第２引出電極２１６は、イオン化部２１１と第２イオン検出部２１３との間に設けられ、イオン化部２１１により生成されたイオンを第２イオン検出部２１３側に引き出すとともに、そのイオンを加速・収束させるものである。【００２６】
四重極部２１４は、第１引出電極２１５で加速・収束されたイオンビームをイオンの電荷対質量比に応じて分離するものである。具体的には、四重極部２１４は、９０°間隔で配置した２組の対向電極（円柱形電極）からなり、対向するもの同士を同電位とした上で、９０°異なるそれぞれの組の間に直流電圧Ｕと高周波電圧Ｖｃｏｓωｔとを重畳した電圧を印加し、そのＵ／Ｖ比を一定にするとともにＶを変化させて、その対向電極内に入射したイオンを（質量／電荷数）の比に応じて選択通過させるものである。【００２７】
第１イオン検出部２１２は、四重極部２１４により分離されたイオンを捕らえてイオン電流として検出するファラデーカップである。具体的に第１イオン検出部２１２は、四重極部２１４により分離された特定成分のイオンを検出して、その特定成分の試料ガスにおける分圧ＰＰ１を検出するためのものである。また、イオン化部２１１によりイオン化された試料ガスのイオンを全て検出して、試料ガスの全圧ＴＰ１を検出するためのものである。【００２８】
第２イオン検出部２１３は、第２引出電極２１６により収束されたイオンを捕らえてイオン電流として検出するファラデーカップである。具体的に第２イオン検出部２１３は、イオン化された全てのイオンを検出して、試料ガスの全圧ＴＰ２を検出するためのものである。【００２９】
第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３の具体的な配置態様について説明する。【００３０】
前述したように、第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３は、イオン化部２１１を挟んでイオン化部２１１に対向するように設けられている。つまり、第１イオン検出部２１２は、四重極部２１４に対して前記イオン化部２１１の反対側に設けられている。前記第２イオン検出部２１３は、前記イオン化部２１１に対して前記四重極部２１４の反対側に設けられている。そして、イオン化部２１１、四重極部２１４、第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３が一直線上に配置されるようにしている。また、イオン化部２１１からの距離Ｘが互いに異なるように配置されている。詳細には、イオン化部２１１から第１イオン検出部２１２までの距離Ｘ１が、イオン化部２１１から第２イオン検出部２１３までの距離Ｘ２よりも大きくなるように配置している。【００３１】
交流発生器部２２は、前記第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３で検出したイオン電流を、電圧値を示すデジタル電圧信号に変換して、その電圧信号を演算装置３に出力するものである。【００３２】
演算装置３（装置本体）は、ＣＰＵや内部メモリ等を搭載した回路部（図示せず）を内蔵し、その内部メモリに記憶されたプログラムにしたがって、前記ＣＰＵや周辺機器を作動し、当該演算装置３が、前記センサ部２１の出力に基づいて試料ガスの分析処理等を行うものである。【００３３】
以下に、演算装置３の具体的な説明とともに試料ガス中の特定成分の分圧ＰＰ１、試料ガスの全圧ＴＰ１の補正方法について説明する。【００３４】
＜第１全圧測定ステップ＞
第１全圧測定ステップは、イオン化部２１１により生成されたイオンを第１イオン検出部２１２により検出して、試料ガスの第１の全圧ＴＰ１を測定するステップである。つまり、演算装置３は、イオン化部２１１により生成された試料ガスの全てのイオンを第１イオン検出部２１２に導くために、第１引出電極２１５に電圧を印加するとともに、四重極部２１４及び第２引出電極２１６には電圧を印加しないように、図示しない電源を制御する。これにより、生成された全てのイオンが第１イオン検出部２１２により検出されることになる。そして、第１イオン検出部２１２からのイオン電流は、交流発生器部２２によりデジタル電圧信号に変換されて、演算装置３に出力される。さらに、演算装置３は、デジタル電圧信号を受信して、第１の全圧ＴＰ１を算出するとともに、その第１の全圧データを図示しない格納部に格納する。【００３５】
＜第２全圧測定ステップ＞
第２全圧測定ステップは、イオン化部２１１により生成されたイオンを第２イオン検出部２１３により検出して、試料ガスの第２の全圧ＴＰ２を測定するステップである。つまり、演算装置３は、イオン化部２１１により生成された試料ガスの全てのイオンを第２イオン検出部２１３に導くために、第２引出電極２１６に電圧を印加するとともに、第１引出電極２１５及び四重極部２１４には、電圧を印加しないように図示しない電源を制御する。これにより、生成された全てのイオンが第２イオン検出部２１３により検出されることになる。そして、第２イオン検出部２１３からのイオン電流は、交流発生器部２２によりデジタル電圧信号に変換されて、演算装置３に出力される。また、演算装置３は、デジタル電圧信号を受信して、第２の全圧ＴＰ２を算出するとともに、その第２の全圧データを図示しない格納部に格納する。【００３６】
＜分圧測定ステップ＞
分圧測定ステップは、生成されたイオンのうち、特定成分のイオン（選択イオン）のみを第１イオン検出部２１２により検出して、その特定成分の分圧ＰＰ１を測定するステップである。つまり、演算装置３は、イオン化部２１１により生成された試料ガスの全てのイオンを四重極部２１４に導くために、第１引出電極２１５に電圧を印加するとともに、四重極部２１４により全てのイオンの内、特定成分のイオンのみが四重極部２１４を通過するように、電源を制御する。これにより、特定成分のイオンのみが第１イオン検出部２１２により検出されることになる。そして、第１イオン検出部２１２からのイオン電流は、交流発生器部２２によりデジタル電圧信号に変換されて、演算装置３に出力される。また、演算装置３は、デジタル電圧信号を受信して、特定成分の分圧ＰＰ１を算出するとともに、その特定成分の分圧データを図示しない格納部に格納する。【００３７】
なお、上記第１全圧測定ステップ、第２全圧測定ステップ及び分圧測定ステップを行う順序は、上記に限られず、何れの順序で行っても構わない。【００３８】
＜補正ステップ＞
補正ステップは、前記分圧測定ステップにより算出された特性成分の分圧ＰＰ１、及び第１全圧測定ステップにより算出された試料ガスの全圧ＴＰ１を補正するステップである。具体的には、演算装置３は、前記第１全圧ステップにより得られた第１の全圧ＴＰ１と前記第２全圧ステップにより得られた第２の全圧ＴＰ２との比（ＴＰ２／ＴＰ１又はＴＰ１／ＴＰ２）及びイオン化部２１１から第１イオン検出部２１２までの距離Ｘ１及びイオン化部２１１から第２イオン検出部２１３までの距離Ｘ２を用いて、以下の式により分圧ＰＰ１を補正する。なお、式中においてＰＰ０は、補正後の分圧を示す。【００３９】
【数１】
2008129929.tif 000003
【００４０】
ここで、Ｘ１は、イオン化部２１１から第１イオン検出部２１２までの距離、Ｘ２は、イオン化部２１１から第２イオン検出部２１３までの距離を示す。【００４１】
より具体的には、以下の式により分圧ＰＰ１を補正する。【００４２】
【数２】
2008129929.tif 000004
【００４３】
また、演算装置３は、以下の式により全圧ＴＰ１を補正する。なお、式中においてＴＰ０は、補正後の全圧を示す。【００４４】
【数３】
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【００４５】
ここで、Ｘ１は、イオン化部２１１から第１イオン検出部２１２までの距離、Ｘ２は、イオン化部２１１から第２イオン検出部２１３までの距離を示す。【００４６】
より具体的には、以下の式により全圧ＴＰ１を補正する。【００４７】
【数４】
2008129929.tif 000006
【００４８】
そして、演算装置３は、このようにして補正した特定成分の分圧ＰＰ０及び試料ガスの全圧ＴＰ０を図示しない表示部に出力等する。【００４９】
次に本実施形態のガス分析計１を用いて、試料ガスに含まれるＮ２及びＡｒを測定した場合の測定結果について図３及び図４に示す。【００５０】
図３は、試料ガス中に含まれる窒素ガス（Ｎ２）の分圧ＰＰ１の補正結果を示す図である。図３から、第１の全圧ＴＰ１及び第２の全圧ＴＰ２の増加が鈍る圧力範囲（約０．６〜１０２Ｐａ）、特に、第１の全圧ＴＰ１及び第２の全圧ＴＰ２の測定値がピークを越える圧力範囲（約１Ｐａ〜１０２Ｐａ）において、試料ガス中のＮ２の分圧ＰＰ１が補正されていることが分かる。なお、第１の全圧ＴＰ１及び第２の全圧ＴＰ２がほぼ等しい（ＴＰ２／ＴＰ１≒１）圧力範囲（１０−７〜０．６Ｐａ）においては、実際の圧力に比例して測定値ＰＰ１が比例して増加するので補正する必要は無い。【００５１】
また、図４は、試料ガス中に含まれるアルゴンガス（Ａｒ）の分圧ＰＰ１の補正結果を示す図である。図４から、第１の全圧ＴＰ１及び第２の全圧ＴＰ２の増加が鈍る圧力範囲（約１０−１〜１０２Ｐａ）、特に、第１の全圧ＴＰ１及び第２の全圧ＴＰ２の測定値がピークを越える圧力範囲（約１Ｐａ〜１０２Ｐａ）において、試料ガス中のＡｒの分圧ＰＰ１が補正されていることが分かる。【００５２】
＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態に係るガス分析計１によれば、イオン化部２１１からの距離Ｘが異なる第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３により得られた第１の全圧ＴＰ１及び第２の全圧ＴＰ２を用いて、特定成分の分圧ＰＰ１を補正するので、分解能を維持しつつ、例えば雰囲気圧力の上昇に対して、２つのイオン検出部２１２、２１３の測定値がピーク値を超えて減少するような圧力領域（約１Ｐａ〜１０２Ｐａ）においても、補正を行うことができる。つまり、従来において分圧を測定することができる限界値（分圧測定限界値）を可及的に高圧側にシフトすることができる。【００５３】
また、第１イオン検出部２１２が、試料ガスの全圧ＴＰ１の測定用及び特定成分の分圧ＰＰ１の測定用を兼ねていること、及び、第１イオン検出部２１２とイオン化部２１１との間に四重極部２１４が配置される構造であるので、装置構成を簡単化することができるとともに、四重極質量分析法を用いた従来のガス分析計１の構成に、第２イオン検出部２１３を第１イオン検出部２１２との関係で、イオン化部２１１を挟むように設けるだけで良いので、既存のガス分析計１をそのまま用いることができる。【００５４】
＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。【００５５】
例えば、前記実施形態では、第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３は、イオン化部２１１、四重極部２１４と一直線上に配置されているが、第２イオン検出部２１３は、第１イオン検出部２１２との関係でイオン化部２１１を挟み込むように配置すれば、例えば図５に示すように、その配置態様は、前記実施形態に限られない。【００５６】
また、イオン検出部にはファラデーカップの他に、２次電子倍増器を用いても良い。これならば、より検出感度を向上させることができる。【００５７】
さらに、未知の試料ガスを測定する場合には、予めクラッキングパターンをデータベース化しておき、試料ガスに含まれる特定成分をそのデータベースを参照することより同定し、測定した分圧ＰＰ１を補正するようにしても良い。【００５８】
加えて、前記実施形態では、フィルタ部として四重極部を用いたが、その他、扇形磁場型、電場磁場二重収束型、飛行時間型等のイオン透過型のものであっても良い。またそれらを組み合わせたものであっても良い。【００５９】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明によって、分解能を維持しながらも、測定値が雰囲気圧力の変化に比例して増加しなくなった領域において補正可能にすることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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