【手続補正書】
【提出日】平成17年2月14日(2005.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光ディスク原盤露光装置および露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射されたレーザー光を露光用光学系及び集光手段を通して、基台に固定された回転機構に搭載されて回転される光ディスク原盤に照射し、当該光ディスク原盤に所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、前記集光手段を搭載し前記基台に移動可能に取り付けられたスライダーと、前記基台に固定され当該基台に対して前記集光手段の送り方向の加振を行う加振手段と、前記回転機構の回転に伴う前記基台への送り方向伝達力を計測する基台伝達力計測手段と、前記基台伝達力計測手段の計測結果に基づいて前記基台の受ける前記送り方向伝達力をうち消す加振を前記加振手段に起こさせる制御手段と、を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項２】
光源から出射されたレーザー光を露光用光学系及び集光手段を通して、基台に固定された回転機構に搭載されて回転される光ディスク原盤に照射し、当該光ディスク原盤に所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、前記集光手段を搭載し前記基台に移動可能に取り付けられたスライダーと、前記スライダーの送り検出を行う光学式リニアエンコーダと、前記基台に固定され当該基台に対して前記集光手段の送り方向の加振を行う加振手段と、前記回転機構の回転に伴う前記光学式リニアエンコーダへの送り方向伝達力を計測するリニアエンコーダ伝達力計測手段と、前記リニアエンコーダ伝達力計測手段の計測結果に基づいて前記光学式リニアエンコーダの受ける前記送り方向伝達力をうち消す加振を前記加振手段に起こさせる制御手段と、を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項３】
光源から出射されたレーザー光を露光用光学系及び集光手段を通して、基台に固定された回転機構に搭載されて回転される光ディスク原盤に照射し、当該光ディスク原盤に所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、前記集光手段を搭載し前記基台に移動可能に取り付けられたスライダーと、前記基台に固定され当該基台に対して前記集光手段の送り方向の加振を行う加振手段と、前記回転機構の回転に伴う前記基台への送り方向伝達力を計測する基台伝達力計測手段と、前記回転機構の回転に伴う前記光学式リニアエンコーダへの送り方向伝達力を計測するリニアエンコーダ伝達力計測手段と、前記基台伝達力計測手段の計測結果及び前記リニアエンコーダ伝達力計測手段の計測結果に基づいて前記基台の受ける送り方向伝達力及び前記光学式リニアエンコーダの受ける送り方向伝達力をうち消す加振を前記加振手段に起こさせる制御手段と、を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項４】
前記制御手段は、制御量を力量とし、前記基台伝達力計測手段、前記リニアエンコーダ伝達力計測手段、あるいは、前記基台伝達力計測手段と前記リニアエンコーダ伝達力計測手段の双方の計測結果を見掛け上ゼロに収束させる加振を前記加振手段に起こさせるフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項５】
前記加振手段は、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、その動作軸が前記基台への固定面に対して直角の状態で前記基台に固定されたコイル移動型あるいは磁石移動型のボイスコイルモータであり、前記支持バネのバネ定数は、当該加振手段の固有角周波数ωｃを使用回転角周波数ω／ωｃが２1/2の近傍となるバネ定数に設定されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項６】
前記加振手段は、前記可動部の質量が前記回転機構に搭載される前記光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定されていることを特徴とする請求項５記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項７】
集光手段を搭載したスライダーを基台に移動可能に取り付け、光源から出射されたレーザー光を露光用光学系及び前記集光手段を通して、前記基台に固定された回転機構に搭載されて回転される光ディスク原盤に照射し、当該光ディスク原盤に所定の情報を記録する光ディスク原盤露光方法において前記回転機構の回転に伴う前記基台への送り方向伝達力を計測し、計測結果に基づいて前記基台の受ける前記送り方向伝達力をうち消す振動を前記基台に加えることを特徴とする光ディスク原盤露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク原盤露光装置および露光方法に関し、詳細には、光ディスク原盤の回転に伴う送り方向の振動をうち消す加振を行って、光ディスク原盤の隣接するトラックの溝間隔を高精度に露光する光ディスク原盤露光装置および露光方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項６記載の発明は、加振手段を、その可動部の質量が回転機構に搭載される光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定されたものとすることにより、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとし、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
請求項７記載の発明は、光源から出射されたレーザー光を集光手段を通して、基台に固定された回転機構に搭載されて回転される光ディスク原盤に照射し、当該光ディスク原盤に所定の情報を記録するに際して、回転機構の回転に伴う基台への送り方向伝達力を計測し、当該計測結果に基づいて基台の受ける送り方向伝達力をうち消す加振を起こさせることにより、振動源となる回転機構上に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の送り方向成分を抑制し、送り精度を向上させて、露光品質を向上させる光ディスク原盤露光方法を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
上記構成によれば、加振手段を、その可動部の質量が回転機構に搭載される光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定されたものとしているので、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとすることができ、より安価に送り精度を向上させて、より安価に露光品質を向上させることができる。
請求項７記載の発明の光ディスク原盤露光方法は、集光手段を搭載したスライダーを基台に移動可能に取り付け、光源から出射されたレーザー光を露光用光学系及び前記集光手段を通して、前記基台に固定された回転機構に搭載されて回転される光ディスク原盤に照射し、当該光ディスク原盤に所定の情報を記録する光ディスク原盤露光方法において前記回転機構の回転に伴う前記基台への送り方向伝達力を計測し、計測結果に基づいて前記基台の受ける前記送り方向伝達力をうち消す振動を前記基台に加えることにより、上記目的を達成している。
上記構成によれば、回転機構の回転に伴う基台への送り方向伝達力を計測し、制御手段により、当該計測結果に基づいて基台の受ける送り方向伝達力をうち消す振動を発生させるので、振動源となる回転機構上に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の送り方向成分を抑制することができ、送り精度を向上させて、露光品質を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
請求項６記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振手段を、その可動部の質量が回転機構に搭載される光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定されたものとしているので、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとすることができ、より安価に送り精度を向上させて、より安価に露光品質を向上させることができる。
請求項７記載の発明の光ディスク原盤露光方法によれば、振動源となる回転機構上に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の送り方向成分を抑制することができ、送り精度を向上させて、露光品質を向上させることができる。