【手続補正書】
【提出日】平成16年2月25日(2004.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レーザー光照射装置及びレーザー光照射方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群と、他のシリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーを有することを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項２】
放物面と直線とで形成されるレンズの形を斜めに平行移動させることにより形成される平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群、
又は或特定の波長をもつ２次元空間の平行光線を一点に集めることの出来るレンズの形を斜めに平行移動させることにより形成される平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群を有することを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
平行四辺形は長方形でないことを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項４】
請求項１又は２において、
平行四辺形の内角の１つは８９度から３０度の範囲であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項５】
請求項１又は２において、
平行四辺形の内角の１つは８７度から４５度の範囲であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項６】
所定の断面形状を所定の方向に平行移動させることにより形成される形状を有するシリンドリカルレンズを複数組み合わせたシリンドリカルレンズ群を有し、
前記シリンドリカルレンズ群は、レーザー光の光路に挿入されており、
前記断面形状は、或特定の波長をもつ２次元空間の平行光線を一点に集めることの出来る形状であり、
前記シリンドリカルレンズの焦点の集合で形成される線は、前記レーザー光の光路に垂直な平面に含まれ、かつ前記断面形状を含む平面に垂直でないことを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項７】
所定の断面形状を所定の方向に平行移動させることにより形成される形状を有する複数のシリンドリカルレンズを組み合わせたシリンドリカルレンズ群を有し、
前記シリンドリカルレンズ群は、レーザー光の光路に挿入されており、
前記断面形状は、或特定の波長をもつ２次元空間の平行光線を一点に集めることの出来る形状であり、
前記シリンドリカルレンズの焦点の集合で形成される線は、前記レーザー光の光路に垂直な平面に含まれ、かつ前記断面形状を含む平面に垂直でなく、
前記複数のシリンドリカルレンズの焦点の集合で形成される線のそれぞれは、互いに平行であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項８】
請求項６または７において、
シリンドリカルレンズの焦点の集合で形成される線と断面形状を含む面とがなす角度は８９度から３０度であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項９】
請求項６または７において、
シリンドリカルレンズの焦点の集合で形成される線と断面形状を含む面とがなす角度は８７度から４５度であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１０】
レーザビームを発生させる手段と、
前記レーザービームを分割後拡大しつつ線状レーザービームの線方向のエネルギー分布を均一化させる平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群と、シリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーと、
レーザービームを線状に収束させるシリンドリカルレンズと、
被照射基板が載置され、一方向に動く移動テーブルと、を有することを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１１】
レーザビームを発生させる手段と、
前記レーザービームを分割後拡大しつつ線状レーザービームの線方向のエネルギー分布を均一化させる平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群と、シリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーと、
レーザービームを分割後再結合させることにより線状に収束させるシリンドリカルレンズ群と、シリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーと、
被照射基板が載置され、一方向に動く移動テーブルと、を有することを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１２】
レーザビームを発生させる手段と、
前記レーザービームを分割後拡大しつつ線状レーザービームの線方向のエネルギー分布を均一化させる平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群と、シリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーと、
該レーザービームを線状に収束させるシリンドリカルレンズと、
被照射基板が載置され、移動方向が可変である移動テーブルと、を有することを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１３】
レーザビームを発生させる手段と、
前記レーザービームを分割後拡大しつつ線状レーザービームの線方向のエネルギー分布を均一化させる平行四辺形状のシリンドリカルレンズ群と、シリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーと、
レーザービームを分割後再結合させることにより線状に収束させるシリンドリカルレンズ群とシリンドリカルレンズとから構成されるビームホモジェナイザーと、
被照射基板が載置され、移動方向が可変である移動テーブルと、を有することを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１４】
請求項１０から請求項１３のいずれか一項において、
レーザービームを発生させる手段は、エキシマレーザーであることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１５】
請求項１０から請求項１３のいずれか一項において、
平行四辺形は長方形でないことを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１６】
請求項１０から請求項１３のいずれか一項において、
平行四辺形の内角の１つは８９度から３０度の範囲であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１７】
請求項１０から請求項１３のいずれか一項において、
平行四辺形の内角の１つは８７度から４５度の範囲であることを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項１８】
レーザービームを、平行四辺形状のシリンドリカルレンズを有するビームホモジェナイザーを含む光学系によりレーザービームのエネルギー分布を均質化しつつ線状レーザービームに加工し、
該線状レーザービームを、該ビームの線方向と直交しかつ該線状レーザービームが形成する平面を含む方向に走査させながら被照射基板に対して照射することを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項１９】
レーザービームを、平行四辺形状のシリンドリカルレンズを有するビームホモジェナイザーを含む光学系によりレーザービームのエネルギー分布を均質化しつつ線状レーザービームに加工し、
該線状レーザービームを、該ビームの線方向と直交しかつ該線状レーザービームが形成する面を含む方向より該平面内で角度ｙだけずれた方向に走査させながら被照射基板に対して照射するレーザー光照射方法であって、
前記角度ｙは｜ｔａｎ  ｙ｜≦０．１の範囲であることを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項２０】
レーザービームを、平行四辺形状のシリンドリカルレンズを有するビームホモジェナイザーを含む光学系によりレーザービームのエネルギー分布を均質化しつつ線状レーザービームに加工し、
該線状レーザービームを、被照射基板に対して走査させながら照射することを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項２１】
レーザービームを、平行四辺形状のシリンドリカルレンズを有するビームホモジェナイザーを含む光学系によりレーザービームのエネルギー分布を均質化しつつ線状レーザービームに加工し、
該線状レーザービームを、被照射基板に対して走査させながら照射するレーザー光照射方法であって、
該線状レーザービームの走査方向と該線状レーザービームの幅方向とのなす角度はｙであり、
前記角度ｙは｜ｔａｎ  ｙ｜≦０．１の範囲であることを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項２２】
レーザービームを、平行四辺形状のシリンドリカルレンズを有するビームホモジェナイザーを含む光学系及びレーザー光遮光板によりレーザービームのエネルギー分布を均質化しつつ線状レーザービームに加工し、
該線状レーザービームを、被照射基板に対して走査させながら照射することを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項２３】
レーザービームを、平行四辺形状のシリンドリカルレンズを有するビームホモジェナイザーを含む光学系及びレーザー光遮光板によりレーザービームのエネルギー分布を均質化しつつ線状レーザービームに加工し、
該線状レーザービームを、被照射基板に対して走査させながら照射するレーザー光照射方法であって、
該線状レーザービームの走査方向と該線状レーザービームの幅方向とのなす角度はｙであり、
前記角度ｙは｜ｔａｎ  ｙ｜≦０．１の範囲であることを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項２４】
請求項１８から請求項２３のいずれか一項において、
平行四辺形は長方形でないことを特徴とするレーザー光照射装置。
【請求項２５】
請求項１８から請求項２３のいずれか一項において、
平行四辺形の内角の１つは８９度から３０度の範囲であることを特徴とするレーザー光照射方法。
【請求項２６】
請求項１８から請求項２３のいずれか一項において、
平行四辺形の内角の１つは８７度から４５度の範囲であることを特徴とするレーザー光照射方法。