(57)【要約】  圧電基板の洗浄作業を不要として被搬送物質の搬送作業の効率を向上させることができるとともに、幅広い種類の被搬送物質を取り扱うことができ、かつ弾性表面波の伝播方向に沿って物理的に離れて存在する２つ以上の被搬送物質を同時に搬送可能とすることで弾性波デバイスの適用範囲・適応分野を拡大することができる弾性波デバイスを提供する。  弾性波デバイス１００は、圧電効果により弾性表面波を発生する圧電基板１０１上に、同弾性表面波を励振するための励振電極１０２を備えている。圧電基板１０１上には、励振電極１０２に隣接して搬送路プレート１０５が水層Ｗを介して配置されている。励振電極１０２が通電されると、圧電基板１０１上には弾性表面波が発生する。弾性表面波は、水層Ｗに縦波を放射し減衰する。水層Ｗ内に放射された縦波は搬送路プレート１０５に伝播され、同搬送路プレート１０５上に配置された液滴Ｄｐを放射圧によって変位させる。
2009031290.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電効果により弾性表面波を発生する圧電基板と、
前記圧電基板の表面に前記弾性表面波を励振する励振電極と、
前記励振電極により前記圧電基板の表面に発生した前記弾性表面波を用いて被搬送物質を搬送する弾性波デバイスにおいて、
前記被搬送物質の搬送路を構成する搬送路プレートを、前記圧電基板の表面に発生した前記弾性表面波が伝播する伝播面に液層を介して配置したことを特徴とする弾性波デバイス。
【請求項２】
請求項１に記載した弾性波デバイスにおいて、さらに、
前記搬送路プレート上の前記被搬送物質に関する物理量を検出するセンサを備える弾性波デバイス。
【請求項３】
請求項２に記載した弾性波デバイスにおいて、
前記センサは、前記搬送路プレート上に配置された弾性波デバイス。
【請求項４】
請求項３に記載した弾性波デバイスにおいて、さらに、
前記搬送路プレート上に配置されたセンサに対応する前記圧電基板上の位置に、前記励振電極を配置した弾性波デバイス。
【請求項５】
請求項２ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、さらに、
前記励振電極および前記センサの作動を制御する制御装置を備えた弾性波デバイス。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、
前記搬送路プレートは、前記伝播面から張り出した状態で配置された弾性波デバイス。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、
前記励振電極は、前記圧電基板に複数配置された弾性波デバイス。
【請求項８】
請求項７に記載した弾性波デバイスにおいて、
前記複数の励振電極は、互いに異なる前記励振電極によりそれぞれ励起された前記弾性表面波の合成または組み合わせによって前記搬送物質を搬送するための位置および向きで配置される弾性波デバイス。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、
前記搬送路プレートは、前記被搬送物質を所定の方向に導くためのガイドを備える弾性波デバイス。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、
前記搬送路プレートは、光線を透過する物体で構成された弾性波デバイス。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、
前記液層は、水である弾性波デバイス。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載した弾性波デバイスにおいて、
前記液層は、数μｍ以上ないし数十μｍ以下の厚さで形成された弾性波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電効果により基板上に発生させた弾性表面波を利用して被搬送物質を搬送するとともに、同搬送される被搬送物質のセンシングを行うことができる弾性波デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、弾性表面波を利用して液滴などの被搬送物質を搬送する弾性波デバイスがある。被搬送物質を搬送する弾性波デバイスは、例えば、下記特許文献１に示されるように、圧電効果により弾性表面波を発生する圧電基板に同弾性表面波を励振するための励振電極を配置して構成されている。そして、励振電極に高周波信号を印加することにより圧電基板上に弾性表面波を発生させて、圧電基板上に配置した被搬送物質を変位させる。なお、弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）とは、弾性体の表面を伝播する縦波と横波からなる波である。また、圧電効果とは、水晶などの結晶に力または電場を加えると、応力または電場に応じた電圧または歪が生じる現象である。
【特許文献１】特開２００６−２４８７５１号公報
【０００３】
しかしながら、このような被搬送物質を搬送する弾性波デバイスにおいては、圧電基板上に被搬送物質を配置して搬送するため、被搬送物質の搬送ごとに被搬送物質が搬送される搬送経路を洗浄する必要がある。特に、被搬送物質が液体の場合においては、搬送経路上に搬送した被搬送物質の一部が残存し易いため、洗浄作業が煩雑である。このため、被搬送物質を弾性デバイスによって搬送する作業全体の効率が悪いという問題があった。また、圧電基板を劣化または損傷させる性質を有する被搬送物質の搬送が困難であり、実質的に被搬送物質の選択の幅が制限されるという問題あった。【０００４】
さらに、従来の弾性波デバイスにおいては、弾性表面波の伝播方向に沿って物理的に離れて存在する２つ以上の被搬送物質を同時に搬送することができない。これは、弾性表面波が伝播する上流側に位置する被搬送物質によって弾性表面波が減衰するためと考えられる。このため、弾性波デバイスの適用範囲・適応分野が制限されるという問題もあった。【０００５】
なお、搬送経路の洗浄作業の煩雑性を解消するため、下記特許文献２には、圧電基板上における被搬送物質の搬送経路上に同被搬送物質の物理量を検出するセンシング領域を設けるとともに、同搬送経路およびセンシング領域に洗浄液を供給するための励振電極を備えた弾性波デバイスが提案されている。しかしながら、搬送経路およびセンシング領域に洗浄液を通過させるのみでは充分な洗浄効果が発揮されないことがあるとともに、搬送経路およびセンシング領域に残存した洗浄液を除去する作業が必要であり、洗浄作業の煩雑性を解消する解決手法としては不十分である。
【特許文献２】特開２００６−２２６９４２号公報
【発明の開示】
【０００６】
本発明は上記問題に対処するためなされたもので、その目的は、圧電基板の洗浄作業を不要として被搬送物質の搬送作業の効率を向上させることができるとともに、幅広い種類の被搬送物質を取り扱うことができ、かつ弾性表面波の伝播方向に沿って物理的に離れて存在する２つ以上の被搬送物質を同時に搬送可能とすることで弾性波デバイスの適用範囲・適応分野を拡大することができる弾性波デバイスを提供することにある。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の特徴は、圧電効果により弾性表面波を発生する圧電基板と、圧電基板の表面に弾性表面波を励振する励振電極と、励振電極により圧電基板の表面に発生した弾性表面波を用いて被搬送物質を搬送する弾性波デバイスにおいて、被搬送物質の搬送路を構成する搬送路プレートを、圧電基板の表面に発生した弾性表面波が伝播する伝播面に液層を介して配置したことにある。
【０００８】
この場合、前記弾性波デバイスにおいて、前記液層は、例えば、数μｍ以上ないし数十μｍ以下の厚さで形成するとよい。また、前記液層は、揮発し難い非圧縮性流体、例えば、水で構成するとよい。この場合、非圧縮性流体とは、圧縮率が１５℃の雰囲気中において概ね２×１０−９（１／Ｎ／ｍ２）以下の流体である。なお、圧縮率とは体積歪／圧力（１／Ｎ／ｍ２）であり、体積歪は圧縮による流体の体積変化／流体の圧縮前の体積である。また、水の圧縮率は、１５℃で雰囲気中において５×１０−１０（１／Ｎ／ｍ２）である。
【０００９】
このように構成した本発明の特徴によれば、被搬送物質の搬送路を構成する搬送路プレートを弾性表面波が伝播する伝播面上に液層を介して配置している。これによれば、圧電基板の表面に発生させた弾性表面波は、液層を介して搬送路プレートに伝播して同搬送路プレート上の被搬送物質を変位させる。この場合、搬送路プレートは、液層の表面張力によって伝播面上に固定されているだけである。すなわち、伝播面上に対する搬送路プレートの脱着は極めて容易である。したがって、複数の被搬送物質を順次搬送する場合においては、被搬送物質の搬送ごとに新たな搬送路プレートに取り替えることによって新たな搬送路を容易に形成することができる。また、被搬送物質の特性に応じて搬送プレートを用意することができるため、従来のように圧電基板を劣化・損傷させる物質であっても搬送することができる。この結果、圧電基板の洗浄作業が不要となり被搬送物質の搬送作業の効率が向上するとともに、幅広い種類の被搬送物質を取り扱うことができる。
【００１０】
また、圧電基板に発生させた弾性表面波は水層Ｗに縦波を放射する。この縦波は、水層内を伝播しながら搬送プレートに伝播される。すなわち、搬送路プレートには、水層と接している部分から縦波が伝播される。このため、弾性表面波が伝播する下流側に位置する被搬送物質であっても変位させることができる。この結果、弾性表面波の伝播方向に沿って物理的に離れて存在する２つ以上の被搬送物質を同時に搬送することができ、弾性波デバイスの適用範囲・適応分野を拡大することができる。
【００１１】
また、この場合、前記弾性波デバイスにおいて、前記搬送路プレートは、例えば、光線を透過する物体で構成するとよい。これによれば、被搬送物質の搬送後、搬送路プレートを伝播面から取り外して被搬送物質に光を照射して被搬送物質の特性を調べることができる。また、被搬送物質を顕微鏡等で観察することもできる。さらに、使用済みの搬送路プレートを洗浄して再利用する場合においても、搬送プレートの劣化・損傷・洗浄の程度を確認し易い。これらにより、弾性波デバイスの適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【００１２】
また、本発明の他の特徴は、前記弾性波デバイスにおいて、さらに、搬送路プレート上の被搬送物質に関する物理量を検出するセンサを備えたことにある。この場合、被搬送物質に関する物理量とは、被測定対象物固有の客観的に計測できる量、またはその量から計算できる量であり、例えば、質量、長さ、温度、位置、速度、磁界、電気抵抗や電気容量などの電気的特性、光の透過率・反射率などの光学的特性、放射能量などのＸ線的特性などである。
【００１３】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、上記した効果に加えて、被搬送物質の搬送に加えて被搬送物質の性状を調べることができ、弾性波デバイスの適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【００１４】
また、この場合、前記弾性波デバイスにおいて、前記センサは、例えば、搬送路プレート上に配置するとよい。これによれば、被搬送物質の計測の種類ごとに搬送路プレートを用意しておけば、励振電極が配置された圧電基板を複数の計測に共通して用いることができる。すなわち、経済的に被搬送物質の各種計測を行うことができる。
【００１５】
また、この場合、前記弾性波デバイスにおいて、さらに、搬送路プレート上に配置されたセンサに対応する圧電基板上の位置に、励振電極を配置するとよい。これによれば、被搬送物質を計測する位置が同計測位置に被測定物質を搬送する励振電極から離れていた場合であっても、計測後の被搬送物質を更に次の領域に搬送することができる。これにより、弾性波デバイスの適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【００１６】
また、この場合、前記弾性波デバイスにおいて、さらに、前記励振電極および前記センサの作動を制御する制御装置を備えるようにするとよい。これによれば、被搬送物質の計測領域への搬送、同計測領域での計測、および同計測領域からの排出を自動化することができる。これにより、弾性波デバイスによる計測を効率的に行うことができるとともに、弾性波デバイスの適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【００１７】
また、前記した各弾性波デバイスにおいて、前記搬送路プレートは、例えば、伝播面から張り出した状態で配置してもよい。これによれば、被搬送物質の搬送可能範囲が圧電基板上に限定されていた従来の弾性波デバイスに比べて、経済的に被搬送物質の搬送範囲を拡げることができる。この結果、弾性波デバイスの適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【００１８】
また、前記した各弾性波デバイスにおいて、前記励振電極は、例えば、圧電基板に複数配置してもよい。これによれば、例えば、複数の被搬送物質ごとに励振電極を設けることにより、各被搬送物質ごとに搬送することができるとともに、各被搬送物質を混合して搬送することもできる。また、この場合、前記複数の励振電極は、互いに異なる励振電極によりそれぞれ励起された弾性表面波の合成または組み合わせによって搬送物質を搬送するための位置および向きで配置されるとよい。これによれば、例えば、複数の励振電極による複数の弾性表面波を合成または組み合わせることにより、被搬送物質の搬送方向を制御することができる。
【００１９】
なお、この場合、弾性表面波を合成して被搬送物質を搬送する場合とは、伝播方向や大きさの異なる２つ以上の弾性表面波を同時に特定の被搬送物質に与えるとことにより、同搬送物質の搬送方向および搬送速度を調整しながら搬送することである。また、弾性表面波を組み合わせて被搬送物質を搬送する場合とは、伝播方向や大きさの異なる２つ以上の弾性表面波を互いに異なるタイミングで被搬送物質に与えるとことにより、同搬送物質の搬送方向および搬送速度を調整しながら搬送することである。これらの結果、弾性波デバイスの適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【００２０】
また、前記した各弾性波デバイスにおいて、前記搬送路プレートは、例えば、被搬送物質を所定の方向に導くためのガイドを備えるとよい。この場合、ガイドとしては、例えば、案内溝がある。また、被搬送物質が液体の場合には、親水性の物質を搬送路プレート上における搬送路に沿って塗布することができる。これによれば、被搬送物質を精度良く搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（Ａ），（Ｂ）は本発明の一実施形態に係る弾性波デバイスの構成を模式的に示しており、（Ａ）は弾性波デバイスの概略平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す弾性波デバイスをＡ−Ａ線方向から見た断面形状を示す概略断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略平面図である。
【図３】本発明の変形例に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略断面図である。
【図４】本発明の他の変形例に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略平面図である。
【図５】本発明の他の変形例に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略断面図である。
【図６】本発明の他の変形例に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略平面図である。
【図７】本発明の他の変形例に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略断面図である。
【図８】本発明の他の変形例に係る弾性波デバイスの構成を模式的に概略平面図である。
【符号の説明】
【００２２】
Ｄｐ…液滴、Ｗ…水層、１００，２００，３００，４００…弾性波デバイス、１０１…圧電基板、１０２…励振電極、１０３…電気配線、１０４…交流電源、１０５，２０５…搬送路プレート、１０７…ガイド、１０８ａ…レーザ光源、１０８ｂ…フォトディテクタ、２０６ａ，２０６ｂ…電極、２０７…ＬＣＲメータ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係る弾性波デバイスの一実施形態について図面を参照しながら説明する。図１（Ａ），（Ｂ）は、本発明に係る弾性波デバイス１００の構成を模式的に示す概略図である。なお、図１（Ａ），（Ｂ）を含む各実施形態および各変形例に示す図は模式図であり、本発明の理解を容易にするために一部の構成要素を誇張して表わすなど、各構成要素間の寸法や比率は異なっている。この弾性波デバイス１００は、弾性表面波を利用して液滴Ｄｐを所定の方向（図示矢印方向）に搬送する装置である。ここで、弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）とは、弾性体の表面を伝播する縦波と横波からなる波である。【００２４】
弾性波デバイス１００は、四角板状に形成された圧電基板１０１を備えている。圧電基板１０１は、圧電効果によって弾性表面波または擬似弾性波を発生させる結晶体、例えば、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂｏ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａｏ３）、水晶、ランガサイトなどにより構成されている。なお、圧電基板１０１は、縦波を含む弾性波を発生する基板、例えば、ＰＺＴなどの圧電セラミックスや酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などからなる圧電薄膜をガラスやシリコンなどからなる基板表面の全面または部分的に積層したものを用いてもよい。また、圧電効果を生じる高分子基板を用いることもできる。なお、圧電効果とは、水晶などの結晶に力または電場を加えると、応力または電場に応じた電圧または歪が生じる現象であるが、本実施形態では、圧電基板１０１に電場を加えることにより電場に応じた電歪が生じる現象をいう。【００２５】
圧電基板１０１の一方の端部（図示左側）の上面には、一対の励振電極１０２が設けられている。励振電極１０２は、圧電基板１０１に弾性表面波を励振するための電極であり、２つの櫛状の電極によって構成されている。具体的には、直線状に延びる基部から直交する方向に互いに平行に延びる複数の電極指によって構成された２つの電極が、互いの電極指間に入り込んだ状態で形成されている。この励振電極１０２は、Ａｌ，Ａｕ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｐｔなどの金属単体、またはこれらの合金によって構成されており、液滴Ｄｐを搬送する方向に弾性表面波を励振させる向きで設けられている。励振電極１０２は、フォトリソグラフィー、スパッタ法などにより圧電基板１０２の表面に形成される。【００２６】
励振電極１０２には、電気配線１０３を介して交流電源１０４が接続されている。交流電源１０４は、所定の周波数の交流電気信号を出力する電源装置である。本実施形態においては、５０ｋＨｚの周波数による交流電気信号を出力する。なお、これらの電気配線１０３および交流電源１０４は、図１（Ｂ）以後の図面においてその記載を省略する。【００２７】
圧電基板１０１上における励振電極１０２により励振される弾性表面波の進行方向上には、水層Ｗを介して搬送路プレート１０５が配置されている。搬送路プレート１０５は、液滴Ｄｐが搬送される面を構成する板材であり、四角板状に形成されたガラス材により構成されている。この搬送路プレート１０５と圧電基板１０１との間に設けられている水層Ｗは、厚さ約５０μｍの水の層である。この搬送路プレート１０５は、水層Ｗの表面張力によって圧電基板１０１上に固定されている。【００２８】
次に、このように構成した弾性波デバイスの作動について説明する。まず、作業者は、搬送路プレート１０５と水とを用意する。そして、作業者は、搬送路プレート１０５における液滴Ｄｐが載置される面とは反対の面に水を塗布した後、同水を塗布した面を圧電基板１０１の上面に対向する状態で載置する。これにより、圧電基板１０１と搬送路プレート１０５との間に水層Ｗが形成されるとともに、同水層Ｗの表面張力によって搬送路プレート１０５が圧電基板１０１上に固定されている。【００２９】
次に、作業者は、搬送路プレート１０５上における励振電極１０２側の端部に液滴Ｄｐを配置する。本実施形態においては、直径約３ｍｍの水滴を液滴Ｄｐとする。そして、作業者は、搬送路プレート１０５上に載置した液滴Ｄｐの搬送を開始する。本実施形態においては、液滴Ｄｐを搬送路プレート１０５における図示左端から図示右端に向けて搬送する。作業者は、交流電源１０４の作動を開始させることにより、圧電基板１０１上に弾性表面波を発生させる。圧電基板１０１上に発生した弾性表面波は、圧電基板１０１の表面を搬送路プレート１０５側（図示左側）に向かって伝播する。そして、水層Ｗに達した弾性表面波は、水層Ｗに縦波を放射しながら５〜１０波長で減衰し消滅する。【００３０】
水層Ｗに伝播した縦波は、水層Ｗ内において圧電基板１０１と搬送路プレート１０５との間を反射しながら図示左側に向けて伝播する。この場合、水層Ｗ中を伝播する縦波の一部が搬送路プレート１０５を介して搬送路プレート１０５上の液滴Ｄｐに達する。これにより、液滴Ｄｐは、同液滴Ｄｐ内に生じた放射圧によって搬送路プレート１０５上を図示左側に向かって変位を開始する。本発明者の実験によれば、液滴Ｄｐは約１ｃｍ／ｓの速さで変位した。変位を開始した液滴Ｄｐは、弾性表面波が生じている間図示左側に向かって変位を続ける。したがって、作業者は、液滴Ｄｐが搬送路プレート１０５上における所望する位置（液滴Ｄｐを二点鎖線で示した位置）に達した際には、交流電源１０４の作動を停止させることにより弾性表面波の発生を停止させる。これにより、変位を続ける液滴Ｄｐの変位が停止する。【００３１】
作業者は、停止した液滴Ｄｐに対して所定の処理、例えば、顕微鏡による観察や各種計測などを行う。そして、新たな液滴Ｄｐを搬送させる場合には、作業者は、圧電基板１０１に固定された搬送路プレート１０５を取り外し、新たな搬送路プレート１０５を圧電基板１０１上に固定する。この場合、圧電基板１０１に固定された搬送路プレート１０５は、水層Ｗの表面張力によって固定されているのみであるため、容易に取り外すことができる。また、新たな搬送路プレート１０５を圧電基板１０１上にセットする際には、前記と同様に新たな搬送路プレート１０５における液滴Ｄｐが載置される面とは反対の面に水を塗布した後、同水を塗布した面を圧電基板１０１の上面に対向する状態で載置する。この場合、先に取り外した搬送路プレート１０５の水層Ｗによって圧電基板１０１の表面が濡れていることがある。このため、新たな搬送路プレート１０５を載置する前に圧電基板１０１の表面を拭き取った後、新たな搬送路プレート１０５を載置するようにするとよい。【００３２】
上記作動説明からも理解できるように、上記実施形態によれば、液滴Ｄｐの搬送路を構成する搬送路プレート１０５を弾性表面波が伝播する圧電基板１０１上に液層Ｗを介して配置している。これによれば、圧電基板１０１の表面に発生させた弾性表面波は、液層Ｗを介して搬送路プレート１０５に伝播して同搬送路プレート１０５上の液滴Ｄｐを変位させる。この場合、搬送路プレート１０５は、液層Ｗの表面張力によって圧電基板１０１上に固定されているだけである。すなわち、圧電基板１０１に対する搬送路プレート１０５の脱着は極めて容易である。したがって、複数の液滴Ｄｐを順次搬送する場合においては、液滴Ｄｐの搬送ごとに新たな搬送路プレート１０５に取り替えることによって新たな搬送路を容易に形成することができる。また、液滴Ｄｐの特性に応じて搬送プレート１０５を用意することができるため、従来例のように圧電基板１０１を劣化・損傷させる物質であっても搬送することができる。この結果、圧電基板１０１の洗浄作業が不要となり液滴Ｄｐの搬送作業の効率が向上するとともに、幅広い種類の液滴Ｄｐを取り扱うことができる。【００３３】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。上記実施形態においては、液滴Ｄｐを搬送するための弾性波デバイス１００について説明した。しかし、液滴Ｄｐの搬送に加えて搬送路プレート１０５上にて同液滴Ｄｐを計測することも可能である。搬送路プレート１０５上にて液滴Ｄｐを計測することができる弾性波デバイス２００を図２に示す。図２において、上記実施形態における弾性波デバイス１００と同様の構成部分については同一の符号を付し、その説明は省略する。【００３４】
この弾性波デバイス２００における圧電基板１０１上には、前記搬送路プレート１０５と同様に、水層Ｗを介して搬送路プレート２０５が配置されている。搬送路プレート２０５は、前記搬送路プレート１０５と同様の四角板状に形成されたガラス材により構成されている。搬送路プレート２０５上における上面中央部には、図示上下方向に対向した状態で一対の電極２０６ａ，２０６ｂがそれぞれ設けられている。これらの電極２０６ａ，２０６ｂには、ＬＣＲメータ２０７が接続されている。ＬＣＲメータ２０７は、電極２０６ａと電極２０６ｂとの間に位置した物質に通電することにより、同物質の電気的特性、具体的には、リアクタンスＬ，キャパシタンスＣ，レジスタンスＲをそれぞれ測定する測定器である。すなわち、電極２０６ａ，２０６ｂは、液滴Ｄｐの電気的特性を計測するためのセンサである。【００３５】
このように構成した弾性波デバイス２００を作動について説明する。まず、作業者は、上記実施形態と同様にして搬送路プレート２０５を圧電基板１０１上にセットする。そして、搬送路プレート２０５における電極２０６ａ，２０６ｂをＬＣＲメータ２０７に半田付けなどによりそれぞれ接続する。次に、作業者は、上記実施形態と同様にして搬送路プレート２０５上における励振電極１０２側の端部に液滴Ｄｐを配置する。そして、作業者は、上記実施形態と同様にして搬送路プレート２０５上に載置した液滴Ｄｐの搬送を開始する。すなわち、作業者は、交流電源１０４の作動を開始させることにより、圧電基板１０１上に弾性表面波を発生させて液滴Ｄｐの変位を開始させる。【００３６】
次に、作業者は、液滴Ｄｐを電極２０６ａ，２０６ｂ上、すなわち、計測領域に位置決めする。具体的には、作業者は、搬送路プレート２０５上を変位する液滴Ｄｐが電極２０６ａ，２０６ｂ上に位置したとき、交流電源１０４の作動を停止させて液滴Ｄｐの変位を停止させる（図において中央の二点鎖線で示す）。次に、作業者は、ＬＣＲメータ２０７を操作して液滴Ｄｐに電流を流すことによりリアクタンスＬ，キャパシタンスＣ，レジスタンスＲを測定する。これにより、作業者は、液滴Ｄｐの電気的特性に基づいて同液滴Ｄｐの性状を調べることができる。次に、作業者は、再び、交流電源１０４の作動を開始させることにより、圧電基板１０１上に弾性表面波を発生させて液滴Ｄｐの変位を開始させる。これにより、液滴Ｄｐは、計測領域外に搬送される（図において右端の二点鎖線で示す）。【００３７】
そして、新たな液滴Ｄｐについて計測する場合においては、上記実施形態と同様に、搬送路プレート２０５を新たなものに取り替えた後、前記と同様にして計測を行う。すなわち、電極２０６ａ，２０６からＬＣＲメータ２０７を取り外した後、搬送路プレート２０５を圧電基板１０１から取り外す。そして、新たな搬送路プレート２０５を圧電基板１０１上にセットするとともに、電極２０６ａ，２０６ｂにＬＣＲメータ２０７をそれぞれ接続する。【００３８】
上記作動説明からも理解できるように、上記他の実施形態によれば、搬送路プレート２０５は、液層Ｗの表面張力によって圧電基板１０１上に固定されているだけである。すなわち、圧電基板１０１に対する搬送路プレート２０５の脱着は極めて容易である。したがって、複数の液滴Ｄｐを順次搬送する場合においては、液滴Ｄｐの搬送ごとに新たな搬送路プレート２０５に取り替えることによって新たな搬送路を容易に形成することができる。また、この新たな搬送路プレート２０５においては、先に計測した液滴Ｄｐが付着していることが全くないため、新たな液滴Ｄｐを精度良く測定することができる。さらに、上記実施形態と同様に、液滴Ｄｐの特性に応じた搬送プレート２０５を用意することができるため、従来例のように圧電基板１０１を劣化・損傷させる物質であっても搬送および計測を行うことができる。この結果、圧電基板１０１の洗浄作業が不要となり液滴Ｄｐの搬送作業および計測作業の効率が向上するとともに、幅広い種類の液滴Ｄｐを取り扱うことができる。【００３９】
さらに、本発明の実施にあたっては、上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の応用・変更が可能である。【００４０】
上記各実施形態においては、圧電基板１０１上に水層Ｗを介して搬送路プレート１０５，２０５を配置した。しかし、搬送路プレート１０５，２０５は、圧電基板１０１によって生じた弾性表面波が伝播する面であれば、その配置位置は限定されるものではない。例えば、図３に示すように、圧電基板１０１に同圧電基板１０１によって生じた弾性表面波が伝播可能な部材１０６を接続し、同部材１０６上に搬送路プレート１０５（２０５）を配置するように構成してもよい。これによっても、上記各実施形態と同様の効果が期待できる。【００４１】
また、上記各実施形態においては、水層Ｗを水で構成した。しかし、水層Ｗは、弾性表面波から放射された縦波を伝播できる液体であれば、これに限定されるものではない。具体的には、揮発し難い液体であって非圧縮性の液体であればよい。この場合、非圧縮性流体とは、圧縮率が１５℃の雰囲気中において概ね２×１０−９（１／Ｎ／ｍ２）以下の流体である。なお、圧縮率とは体積歪／圧力（１／Ｎ／ｍ２）であり、体積歪は圧縮による流体の体積変化／流体の圧縮前の体積である。したがって、例えば、油圧装置内に用いられる油圧用の油などを用いることもできる。【００４２】
また、液層Ｗの厚さも弾性表面波から放射された縦波を搬送路プレート１０５，２０５に伝播できる厚さであれば、上記各実施形態に限定されるものではない。本発明者による種々の実験によれば、直径が数ｍｍの液滴Ｄｐを周波数約５０ｋＨｚの交流電気信号で搬送する場合、液層Ｗの厚さは、数μｍ以上ないし数十μｍ以下が好適であった。【００４３】
また、上記各実施形態においては、液滴Ｄｐが搬送される搬送面を平滑に形成した搬送路プレート１０５，２０５を用いた。しかし、液滴Ｄｐを精度良く搬送するために搬送路プレート１０５，２０５上における液滴Ｄｐの搬送面上に液滴Ｄｐを案内するためのガイドを設けるようにしてもよい。例えば、図４に示すように、搬送路プレート１０５（２０５）上に液滴Ｄｐを搬送させる搬送路に沿って親水性の物質からなるガイド１０７を設ける。これによれば、搬送路プレート１０５（２０５）上を変位する液滴Ｄｐはガイド１０７に沿って変位するため、液滴Ｄｐを精度良く目的位置（図において二点鎖線で示した位置）に導くことができる。また、この場合、搬送路プレート１０５（２０５）におけるガイド１０７が設けられた以外の部分に疎水性の物質を塗布しておいてもよい。これによれば、疎水性物質が塗布された部分における液滴Ｄｐが弾かれ、より精度良く液滴Ｄｐを目的位置に導くことができる。なお、被搬送物質が粒子などの固体である場合には、親水性のガイド１０７に代えて凹状形成した案内溝をガイド１０７とすることができる。このようなガイド１０７は、被搬送物質の搬送方向を変化させながら搬送する場合に特に有効である。【００４４】
また、上記各実施形態においては、搬送路プレート１０５，２０５は圧電基板１０１の上面内に収まるように配置した。しかし、搬送路プレート１０５，２０５の配置位置は、圧電基板１０１で生じた弾性表面波に起因する縦波が伝播されるように配置されていれば、これに限定されるものではない。すなわち、図５に示すように、搬送路プレート１０５（２０５）を圧電基板１０１の端部から張り出した状態で配置してもよい。これによれば、液滴Ｄｐの搬送可能範囲が圧電基板１０１上に限定されていた従来の弾性波デバイスに比べて、経済的に液滴Ｄｐの搬送範囲を拡げることができる。この結果、弾性波デバイス１００，２００の適用範囲・適用分野を拡げることができる。【００４５】
例えば、前記図５に示すように、搬送路プレート１０５（２０５）における圧電基板１０１の端部から張り出した部分の下方にレーザ光源１０８ａを配置するとともに、同張り出した部分の上方にフォトディテクタ１０８ｂを配置する。そして、搬送路プレート１０５（２０５）における圧電基板１０１の端部から張り出した部分に搬送した液滴Ｄｐ（図において二点鎖線で示す）に対してレーザ光源１０８ａからレーザ光を照射するとともに、液滴Ｄｐを透過したレーザ光の光量をフォトディテクタ１０８ｂにて受光する。これにより、液滴Ｄｐの光学的特性を計測することができる。すなわち、液滴Ｄｐの光学的特性に基づいて液滴Ｄｐの性状を調べることができる。なお、このような液滴Ｄｐの光学的特性を計測できるセンサとして、前記レーザ光源１０８ａおよびフォトディテクタ１０８ｂの他に表面プラズモンセンサなどを用いることができる。【００４６】
また、上記各実施形態においては、搬送路プレート１０５，２０５を透明なガラス材で構成した。しかし、搬送路プレート１０５，２０５は、圧電基板１０１で生じた弾性表面波に起因する放射圧によって液滴Ｄｐを変位させることができる物質であれば、これに限定されるものではない。すなわち、ガラス系の材料以外に、鉄系、非鉄系の材料によって搬送路プレート１０５，２０５を構成してもよい。これらによっても、上記各実施形態と同様の効果が期待できる。なお、弾性波デバイス１００，２００による搬送後に、液滴Ｄｐに対して光学的計測または顕微鏡観察などを行う場合には、搬送路プレート１０５，２０５は、光線を透過する材料で構成するとよい。また、使用済みの搬送路プレート１０５，２０５を洗浄して再利用する場合においても、搬送プレート１０５，２０５の劣化・損傷・洗浄の程度を確認し易く都合がよい。【００４７】
また、上記各実施形態においては、搬送路プレート１０５，２０５上に一滴の液滴Ｄｐを配置して搬送するように構成した。しかし、本発明に係る弾性波デバイス１００，２００においては、弾性表面波の伝播方向に沿って物理的に離れて存在する２つ以上の液滴Ｄｐを同時に搬送することも可能である。具体的には、例えば、前記図２に示す弾性波デバイス２００において、電極２０６ａ，２０６ｂに液滴Ｄｐを位置（図において中央の二点鎖線で示す）させた状態で、新たな液滴Ｄｐを搬送路プレート２０５の図示左端（図において実線で示す）に配置する。そして、交流電源１０４を作動させることにより、圧電基板１０１から弾性表面波を発生させる。これにより、水層Ｗに放射された縦波は、水層Ｗ内を伝播しながら搬送プレート２０５に伝播される。すなわち、搬送路プレート２０５には、水層Ｗと接している部分から縦波が伝播される。このため、弾性表面波が伝播する下流側に位置する液滴Ｄｐ（電極２０６ａ，２０６ｂ上に位置する液滴Ｄｐ）は、同液滴Ｄｐより上流側から伝播する縦波によって変位する。このため、弾性表面波の伝播方向に沿って物理的に離れて存在する２つ以上の液滴Ｄｐを同時に搬送することができる。これによれば、搬送路プレート２０５上に連続的に液滴Ｄｐを供給することができるため、液滴Ｄｐの搬送および計測を効率的に行うことができる。この結果、弾性波デバイス２００（１００）の適用範囲・適応分野を拡大することができる。【００４８】
また、上記各実施形態においては、圧電基板１０１上に一つの励振電極１０２を設けた構成としたが、これに限定されるものではない。すなわち、複数の励振電極１０２を圧電基板１０１上に配置した構成であってもよい。例えば、図６には、前記図２に示した弾性波デバイス２００における圧電基板１０１上に３つの励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃを設けた弾性波デバイス３００を示している。これら３つの励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃには、図示しない交流電源１０４が接続されており、それぞれ独立して作動が制御できるように構成されている。また、この弾性波デバイス３００における圧電基板１０１上には、励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ側から電極２０６ａ，２０６ｂに向けて前記親水性を有するガイド１０７が設けられている。【００４９】
このように構成された弾性波デバイス３００を使用するに際しては、作業者は、励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃの配置位置に対応する搬送路プレート２０５上に液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３をそれぞれ配置する。そして、作業者は、交流電源１０４の作動を開始させることにより、圧電基板１０１上に弾性表面波を発生させる。これにより、搬送路プレート２０５上の液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３は、ガイド１０７に沿って変位を開始する。そして、励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ側から延びるガイド１０７が合流する点Ｐにて３つの液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３が一つの液滴Ｄｐ（図において左端の二点鎖線で示す）となる。この場合、一体となった液滴Ｄｐは、搬送路プレート２０５に伝播される縦波により均一に撹拌され混合される。【００５０】
次に、作業者は、交流電源１０４を操作して励振電極１０２ｂ，１０２ｃの作動を停止させる。これにより、液滴Ｄｐは、励振電極１０２ａによって生じる弾性表面波のみによって電極２０６ａ，２０６ｂに向けて搬送される（図において中央の二点鎖線で示す）。以後の作動については、上記他の実施形態と同様であるので、その説明は省略する。このように、液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３ごとに励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃを設けることにより、各液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３ごとに搬送することができるとともに、各液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３を混合して搬送することもできる。【００５１】
また、上記変形例に代えて、または加えて、複数の励振電極１０２によって生じる各弾性表面波を合成することにより液滴Ｄｐを搬送することもできる。この場合、各励振電極１０２により生じさせる弾性表面波の伝播方向や強度をそれぞれ調整することにより、搬送する液滴Ｄｐの搬送方向や搬送速度を変更することも可能である。また、さらに、上記変形例に代えて、または加えて、複数の励振電極１０２によって生じる各弾性表面波を組み合わせて液滴Ｄｐを搬送することもできる。例えば、液滴Ｄｐの搬送方向ごとに励振電極１０２を配置することにより、所定の経路を辿って液滴Ｄｐを搬送することもできる。これらの結果、弾性波デバイス３００の適用範囲・適用分野を拡げることができる。【００５２】
また、さらに、上記各変形例に代えて、または加えて、搬送路プレート１０５，２０５が配置される圧電基板１０１上に励振電極１０２を設けてもよい。例えば、図７に示すように、前記図２に示す弾性波デバイス２００における搬送路プレート２０５に設けられた電極２０６ａ，２０６ｂの配置位置に対応する圧電基板１０１上の位置に励振電極１０２ｄを設けてもよい。これによれば、電極２０６ａ，２０６ｂによる液滴Ｄｐの計測後（図において左側の二点鎖線で示す）、励振電極１０２ｄを作動させることにより電極２０６ａ，２０６ｂ上の液滴Ｄｐを変位させることができる（図において右側の二点鎖線で示す）。このように搬送路プレート１０５，２０５が配置される圧電基板１０１上に励振電極１０２を設ける構成は、励振電極１０２から離れた位置、換言すれば励振電極１０２によって生じる弾性表面波が伝播し難い位置に位置する液滴Ｄｐを更に次の領域に搬送する場合に特に有効である。これにより、弾性波デバイス１００，２００の適用範囲・適用分野を拡げることができる。【００５３】
また、上記各実施形態においては、直径約３ｍｍの液滴Ｄｐを被搬送物質とした。しかし、弾性表面波を利用して搬送路プレート１０５，２０５上で搬送可能な物質であれば、これに限定されるものではい。例えば、粒子状、粉状の被搬送物質を複数または単数で搬送することも可能である。これらによっても、上記各実施形態と同様の効果が期待できる。【００５４】
また、上記各実施形態においては、搬送路プレート１０５，２０５の略全面に水層Ｗが接するように水層Ｗを形成した。しかし、搬送路プレート１０５，２０５上に配置した液滴Ｄｐを変位させることが可能であれば、必ずしも搬送路プレート１０５，２０５の略全面に水層Ｗが接するように水層Ｗを形成する必要はない。すなわち、液滴Ｄｐの搬送経路に応じて部分的に水層Ｗを形成するように構成してもよい。これによっても、上記各実施形態と同様の効果が期待できる。【００５５】
また、上記実施形態においては、交流電源１０４から出力される交流電気信号の周波数を５０ｋＨｚとしたが、当然、これに限定されるものではない。交流電源１０４から出力される交流電気信号の周波数は、弾性波デバイス１００，２００，３００，４００を構成する各部材、搬送の対象となる被搬送物質(液滴)Ｄｐの特性、および搬送速度などの搬送条件などに応じて適宜設定されるものである。【００５６】
また、上記他の実施形態においては、液滴Ｄｐの電気的特性を計測するためにＬＣＲメータ２０７を用いるとともに、同ＬＣＲメータ２０７のセンサを構成する電極２０６ａ，２０６ｂを搬送路プレート２０５上に配置した。しかし、ＬＣＲメータ２０７および電極２０６ａ，２０６ｂは、液滴Ｄｐの物理的特性を計測する一例であり、これらに限定されるものではない。すなわち、計測装置やセンサは、液滴Ｄｐについて計測を望む物理量に応じて適宜選定されるものである。ここで、液滴Ｄｐに関する物理量には、液滴Ｄｐ固有の客観的に計測できる量、またはその量から計算できる量であり、例えば、質量、長さ、温度、位置、速度、磁界、電気抵抗や電気容量などの電気的特性、光の透過率・反射率などの光学的特性、放射能量などのＸ線的特性などがある。【００５７】
例えば、上記他の実施形態において、液滴Ｄｐを変位させる前に予めＬＣＲメータ２０７を作動させておく。そして、作業者は、液滴Ｄｐの変位を開始させＬＣＲメータ２０７によるリアクタンスＬ，キャパシタンスＣ，レジスタンスＲの各測定値の変化を監視することにより、液滴Ｄｐが電極２０６ａ，２０６ｂ上に位置したことを確認することができる。すなわち、電極２０６ａ，２０６ｂは、搬送プレート２０７上を変位する液滴Ｄｐの位置を検出するためのセンサとしても用いることができる。【００５８】
したがって、例えば、前記図５に示すように、液滴Ｄｐを透過する光線の光量を測定するためにレーザ光源１０８ａおよびフォトディテクタ１０８ｂを搬送路プレート１０５とは異なる部分に配置して弾性波デバイス１００の構成の一部として用いることもできる。これらによれば、液滴Ｄｐの搬送に加えて同液滴Ｄｐの性状を調べることができ、弾性波デバイス１００の適用範囲・適用分野を拡げることができる。なお、液滴Ｄｐを計測する種類が複数存在する場合においては、上記他の実施形態のように、液滴Ｄｐの計測の種類ごとに搬送路プレート２０５を用意するとともに同搬送路プレート２０５にセンサを配置すれば、励振電極１０２が配置された圧電基板１０１を複数の計測に共通して用いることができる。すなわち、経済的に液滴Ｄｐの各種計測を行うことができる。また、複数のセンサを一つの搬送路プレート２０５上に配置することもできる。これによれば、一つの搬送路プレート２０５上にて複数の計測を行うことができ、一つの液滴Ｄｐに対して様々な性状を調べることができる。【００５９】
また、上記他の実施形態においては、交流電源１０４およびＬＣＲメータ２０７の各作動を作業者による手動操作により制御した。しかし、これらの各作動をコンピュータにより総合的に制御することも可能である。すなわち、液滴Ｄｐの計測領域への搬送、同計測領域での計測、および同計測領域からの排出をコンピュータ制御によって自動化することができる。これによれば、弾性波デバイス２００による計測作業を効率的に行うことができるとともに、弾性波デバイス２００の適用範囲・適用分野を拡げることができる。【００６０】
なお、本発明において、上記した実施形態、他の実施形態および各変形例は、適宜組み合わせて実施できることは当然である。例えば、図８に示す弾性波デバイス４００は、前記図６に示す弾性波デバイス３００を２つ用意し、搬送路プレート２０５を共通として２つの弾性波デバイス３００，３００’を互いに対向した向きで配置するとともに、搬送路プレート２０５の中央部を挟むように前記レーザ光源１０８ａおよびフォトディテクタ１０８ｂを配置して構成したものである。換言すれば、弾性波デバイス４００は、弾性波デバイス３００と弾性デバイス３００’とに搬送路プレート２０５を架設したブリッジ状に構成されている。【００６１】
この弾性波デバイス４００は、図示左側の励振電極１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃによる弾性表面波によって液滴Ｄｐ１，Ｄｐ２，Ｄｐ３を搬送し混合して液滴Ｄｐ（図において左端の二点鎖線で示す）を生成するとともに、同生成した液滴Ｄｐを更に搬送して電極２０６ａ，２０６ｂにて電気的特性を計測する。その後、液滴Ｄｐは更に搬送されて搬送路プレート２０５の中央部に位置決めされる（図において中央の二点鎖線で示す）。一方、弾性波デバイス４００は、図示右側の励振電極１０２ａ’，１０２ｂ’，１０２ｃ’による弾性表面波によって液滴Ｄｐ１’，Ｄｐ２’，Ｄｐ３’を搬送し混合して液滴Ｄｐ’
（図において右端の二点鎖線で示す）を生成するとともに、同生成した液滴Ｄｐ’を更に搬送して電極２０６ａ’，２０６ｂ’にて電気的特性を計測する。その後、液滴Ｄｐ’は更に搬送されて搬送路プレート２０５の中央部に位置決めされる（図において中央の二点鎖線で示す）。【００６２】
すなわち、液滴Ｄｐと液滴Ｄｐ’は、搬送路プレート２０５の中央部にて混合される（図において中央の二点鎖線で示す）。そして、同混合された液滴Ｄｐ’’は、レーザ光源１０８ａおよびフォトディテクタ１０８ｂによって光学的特性が計測される。このように、上記した実施形態、他の実施形態および各変形例は、適宜組み合わせることにより、更に弾性波デバイス１００，２００，３００，４００の適用範囲・適用分野を拡げることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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