【手続補正書】
【提出日】平成16年12月9日(2004.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  非導電層を有する試験物品のガス透過可能な損傷箇所を検出する方法であって、前記非導電層は２つの側を有し、前記非導電層の一方の側に導電層が対向して配置され、かつ、前記非導電層の他方の側にガス環境が対向して配置される方法において、
所与の圧力に真空引きされかつ前記圧力に維持される試験チャンバ内に少なくとも１つの試験物品を配置し、
ガス環境が対向して配置された前記非導電層の他方の側において、高電圧による電気ガス放電によって、並びに、ガス環境内の暗放電による衝突電離によってガスを電離させ、
導電層が対向して配置された前記非導電層の一方の側に位置する導電層と、試験チャンバ内に配置された対向電極との間に電圧を印加して、この電圧により、非導電層の領域内に、ガス透過可能な損傷箇所の存在しない非導電層の絶縁耐力より小さい電界強度を発生させ、
非導電層にガス透過可能な損傷箇所が存在する場合には、衝突電離および電気ガス放電を維持しつつ、導電層と試験チャンバ内に配置された対向電極との間で電離ガスを通って流れる電流を測定し、該電流は非導電層のガス透過可能な損傷箇所のインジケータとして機能することを特徴とする方法。
【請求項２】  導電層と少なくとも１つの非導電層とを備えた多層複合材を含む試験物品を検査することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】  多層複合材で作られ、かつ、開口を備える容器として存在する試験物品を検査することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】  非導電フィルムまたは板を含み、かつ、前記フィルムまたは前記板の一方の側に導電層が配置されている試験物品を検査することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】  電離ガスの圧力は、０．５ｈＰａ〜５０ｈＰａ（０．５ミリバール〜５０ミリバール）であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項６】  電極により供給される高電圧電気エネルギーによりガス放電を行なうことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】  ０．５ｋＶ〜１０ｋＶのＤＣ電圧でガス放電を行なうことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】  ０．５ｋＶ〜１０ｋＶのＡＣ電圧でガス放電を行なうことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】  １０Ｈｚ〜３０ｋＨｚの周波数のＡＣ電圧でガス放電を行なうことを特徴とする請求項１又は８に記載の方法。
【請求項１０】  高周波ＡＣ電圧でガス放電を行なうことを特徴とする請求項１又は８に記載の方法。
【請求項１１】  ３０ｋＨｚ〜１ＧＨｚのＡＣ電圧でガス放電を行なうことを特徴とする請求項１又は１０に記載の方法。
【請求項１２】  ガス透過可能な損傷箇所が非導電層に存在するときは、５０〜５０００Ｖの電圧を印加することにより、試験チャンバ内の電離ガス中に電流を発生させ、前記５０Ｖ〜５０００Ｖの電圧は、非導電層の領域内に、ガス透過可能な損傷箇所の存在しない非導電層の絶縁耐力より小さい電界強度を発生させることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１３】  試験チャンバ内でのＤＣ電圧および衝突電離による電気ガス放電によりガスを電離させ、導電層と、試験チャンバ内に配置された対向電極との間にＡＣ電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１４】  試験チャンバから電気的にスクリーニングされており、かつ、チャネルを介して試験チャンバに連結されたガス放電チャンバ内で、高電圧および衝突電離によってガスを電離させることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１５】  試験チャンバから電気的にスクリーニングされておりかつワイヤグリッドの開口を介して試験チャンバに連結されたガス放電チャンバ内で、高電圧および衝突電離によってガスを電離させることを特徴とする請求項１又は１４に記載の方法。
【請求項１６】  対向電極と導電層との間の領域内の電界強度が、ガス透過可能な損傷箇所が存在しない非導電層の電界強度より低くなり、かつ、絶縁破壊により、非導電層のガス透過可能な損傷箇所に認識可能な変化が生じ、これにより、ガス透過可能な損傷箇所の位置が光学的にマークされる値に、ガス圧力および試験電流回路の電圧を設定することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１７】  サンプルキャリヤとして構成されかつ非導電性材料からなるカバーによって、容器として形成された試験チャンバ内の試験物品を覆うことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１８】  容器のシームにおいて、内側の導電層および外側の各非導電層を備えた３つの層を穿刺することによって、３層の複合材のうちの導電層への電気的接続を行なうことを特徴とする請求項１又は１７に記載の方法。
【請求項１９】  非導電層を有する試験物品のガス透過可能な損傷箇所を試験する装置において、
非導電層の一方の側に配置された導電層と、
非導電層の他方の側に配置されたガス環境と、
ガス環境を真空引きする手段と、
ガス環境内に設けられた対向電極と、
該対向電極が設けられた試験電流回路と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項２０】  非導電層の一方の側に配置された導電層と、
対向電極を収容しかつ非導電層の他方の側に配置された試験チャンバ（１）と、
少なくとも１つのチャネル（１１）を介して試験チャンバに連結されておりかつガス放電を発生させる電極を収容するガス放電チャンバ（１０）と、
ガス放電チャンバに連結され、かつ真空引きしかつガス放電チャンバおよび試験チャンバを含むガス環境内に所与のガス圧力を設定すべく機能する手段（１４〜１７）と、
対向電極（５）と協働して試験電流回路を形成する電圧源（９）および表示装置（８）とを有し、試験電流回路は、非導電層にガス透過可能な損傷箇所が存在する場合に、導電層と試験チャンバ内に配置された対向電極との間で電離ガスを通って流れる電流を測定するように機能し、
ガス放電チャンバの電気的スクリーン（１２）を更に有することを特徴とする請求項１９記載の装置。
【請求項２１】  ガス環境としての試験チャンバ（１０１）を有し、試験チャンバを真空引きして該試験チャンバ内に所与のガス圧力を設定する手段（１４〜１７）が、前記試験チャンバ（１０１）に連結され、
試験チャンバ内に配置された、電気ガス放電を発生させるための電極（１１３）と、
試験チャンバ内に配置された対向電極（１０５）とを更に有し、該対向電極は、非導電層にガス透過可能な損傷箇所が存在する場合に試験チャンバ内に配置された導電層と対向電極との間の電離ガスを通って流れる電流を測定するための電圧源（９）および表示装置（８）に接続されることを特徴とする請求項１９記載の装置。
【請求項２２】  前記表示装置（８）はスイッチ装置として構成され、かつ、試験電流回路で所与の電流閾値を超えたときに信号を省略するか、或いは、トリガ効果を発揮させることを特徴とする請求項２０又は２１に記載の装置。
【請求項２３】  圧力補償容器（１８）を有することを特徴とする請求項２０又は２１に記載の装置。
【請求項２４】  ガス放電チャンバと試験チャンバとの間のチャネル（１１）に設けられた遮断弁を有することを特徴とする請求項２２記載の装置。
【請求項２５】  サンプルキャリヤとして構成されかつ非導電性材料からなるカバー（４）を有することを特徴とする請求項２０又は２１に記載の装置。