(57)【要約】  第２カメラ６ｂにより、被試験ＴＣＰのテストパッドを撮影して当該テストパッドの座標データを取得するとともに、プローブカード８のプローブ８１の接触面の位置情報に関連付けてプローブカード８に設けられた特徴部８４の座標データを取得し、その特徴部８４の座標データからプローブ８１の接触面の位置情報を推定し、上記取得したテストパッドの座標データおよび推定したプローブ８１の接触面の位置情報から、テストパッドとプローブ８１の接触面との位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量に基づいてプローブカードステージ７によりプローブカード８を移動させ、被試験ＴＣＰのテストパッドに対するプローブ８１の位置合わせを自動的に行う。これにより、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを極めて正確に行うことができる。
2008056418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記測定部を移動させることのできる測定部移動装置および／または前記測定部に対するキャリアテープの位置を変更することのできるテープ移動装置と、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部および被試験ＴＣＰの所定部位を撮影することのできる撮像装置とを備えており、
前記撮像装置により、被試験ＴＣＰの所定部位を撮影して当該所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部を撮影して当該特徴部の座標データを取得し、
前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および／または前記テープ移動装置により前記測定部および／またはキャリアテープを移動させ、被試験ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行う
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向に移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向に移動させることのできるものであることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記測定部移動装置は、前記測定部をその垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープを当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向および垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向および当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
第１に、前記被試験ＴＣＰの所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および／または前記テープ移動装置により前記測定部および／またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、
第２に、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および／または前記テープ移動装置により前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向に移動させる
ことを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記撮像装置により、被試験ＴＣＰの２箇所以上の所定部位を撮影して２箇所以上の所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の２箇所以上の特徴部を撮影して２箇所以上の特徴部の座標データを取得することを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの所定部位の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記測定部の特徴部の２箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の２箇所以上の位置情報から得られる第２の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項６に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、
前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、２箇所以上の前記被試験ＴＣＰの所定部位および２箇所以上の前記測定部の特徴部を撮影する
ことを特徴とする請求項６に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
前記特徴部は、前記測定部における複数の接続端子の接触面の位置情報に関連付けられていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１０】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
被試験ＴＣＰの所定部位の座標データを取得し、
前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得し、
前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および／またはキャリアテープを移動させる
ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。
【請求項１１】
前記位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量であり、前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向に移動させることを特徴とする請求項１０に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項１２】
前記位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および／またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させることを特徴とする請求項１０に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項１３】
前記位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向および垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向および垂直軸回りに移動させることを特徴とする請求項１０に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項１４】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
被試験ＴＣＰの所定部位の座標データを取得し、
前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および／またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、
再度前記測定部の特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向に移動させる
ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。
【請求項１５】
前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの所定部位の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記測定部の特徴部の２箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の２箇所以上の位置情報から得られる第２の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれかに記載の接続端子の位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置、当該装置における接続端子の位置合わせ方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
ところで、ＴＣＰハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。【０００５】
このようなことから、ＴＣＰハンドラを使用する場合には、実稼動させて試験を行う前に、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとが確実にコンタクトできるように、予めＴＣＰハンドラについて初期設定を行い、その設定を登録する作業を行っている。【０００６】
ＴＣＰハンドラの初期設定は、例えば、次のように行われる。まず、ＴＣＰを試験位置まで搬送し、搬送したＴＣＰをプッシャユニットで保持する。そして、ＴＣＰがカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動し、ＴＣＰのテストパッドをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見て、ＴＣＰの回転角を目視で把握する。次に、プローブカードのプローブをカメラによって明瞭に認識するために、ＴＣＰがカメラによって明瞭に認識できない高さまでプッシャユニットを移動してから、プローブカードのプローブをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージを回転させて、ＴＣＰの回転角に対するプローブカードの回転角を調整する。そして、ＴＣＰがプローブとともにカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージをＸ軸方向および／またはＹ軸方向に移動して、ＴＣＰの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できるか確認する。このようにして設定した位置を初期設定として登録する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、プローブカードのプローブを撮影するカメラは、ＴＣＰハンドラ内のスペース的な問題から、プローブカードの下側に設置される。しかし、ＴＣＰのテストパッドに対するプローブの接触面は、プローブカードの上側に位置するため、上記カメラではプローブの接触面を撮影することはできない。そのため、プローブの接触面の位置（プローブの真の位置）を把握することができず、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードのプローブとの位置合わせを正確に行うことが困難であった。ＴＣＰとプローブとの位置合わせが正確でないと、それが原因で実稼動中にコンタクト不良、接触抵抗の不安定化、隣接ピン間のショートなどが発生することもある。【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、測定部の接続端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせを正確に行うことができるＴＣＰハンドリング装置、およびＴＣＰハンドリング装置において位置合わせ処理を正確に行うことができる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部（例えばプローブカード）に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記測定部を移動させることのできる測定部移動装置および／または前記測定部に対するキャリアテープの位置を変更することのできるテープ移動装置と、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部および被試験ＴＣＰの所定部位（例えば一又は複数の外部端子、所定のマーク、デバイスの一部等）を撮影することのできる撮像装置とを備えており、前記撮像装置により、被試験ＴＣＰの所定部位を撮影して当該所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部を撮影して当該特徴部の座標データを取得し、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および／または前記テープ移動装置により前記測定部および／またはキャリアテープを移動させ、被試験ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【００１０】
測定部の接続端子の接触面は、通常、撮像装置によって撮影することは困難であるが、上記発明（発明１）によれば、撮影可能な特徴部の座標データを介して、接続端子の接触面の位置情報を高い精度で推定することができるため、ＴＣＰの外部端子と測定部の接続端子との位置合わせを極めて正確に行うことができる。したがって、ＴＣＰハンドリング装置を使用する際、その初期設定を短時間で効率良く行うことができる。【００１１】
上記発明（発明１）において、前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向に移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向に移動させることのできるものであってもよいし（発明２）、前記測定部移動装置は、前記測定部をその垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープを当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであってもよいが（発明３）、前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向および垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向および当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることが好ましい（発明４）。【００１２】
上記発明（発明４）においては、第１に、前記被試験ＴＣＰの所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および／または前記テープ移動装置により前記測定部および／またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、第２に、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および／または前記テープ移動装置により前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向に移動させることが好ましい（発明５）。【００１３】
上記発明（発明５）によれば、垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、ＴＣＰと測定部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００１４】
上記発明（発明１）においては、前記撮像装置により、被試験ＴＣＰの２箇所以上（特に互いに離れた２箇所以上）の所定部位を撮影して２箇所以上の所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の２箇所以上（特に互いに離れた２箇所以上）の特徴部を撮影して２箇所以上の特徴部の座標データを取得することが好ましい（発明６）。かかる発明（発明６）によれば、１箇所だけの座標データを取得する場合と比較して、より高い精度で外部端子および特徴部の位置を特定することができる。【００１５】
上記発明（発明６）において、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの所定部位の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記測定部の特徴部の２箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の２箇所以上の位置情報から得られる第２の直線の角度との差から好ましく求めることができる（発明７）。【００１６】
上記発明（発明６）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、２箇所以上の前記被試験ＴＣＰの所定部位および２箇所以上の前記測定部の特徴部を撮影することが好ましい（発明８）。かかる発明（発明８）によれば、撮像装置が所定部位の互いに遠い位置にある複数部位および特徴部の互いに遠い位置にある複数部位を撮影することができるため、ＴＣＰと測定部との位置ずれ量をより高い精度で求めることができ、ＴＣＰと測定部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００１７】
上記発明（発明１）において、前記特徴部は、前記測定部における複数の接続端子の接触面の位置情報に関連付けられていることが好ましい（発明９）。かかる発明（発明９）によれば、特徴部が一のみの接続端子の接触面の位置情報に関連付けられる場合と比較して、より高い精度で測定部全体における接続端子の接触面の位置情報を推定することができる。【００１８】
第２に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、被試験ＴＣＰの所定部位の座標データを取得し、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得し、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および／またはキャリアテープを移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する（発明１０）。【００１９】
上記発明（発明１０）において、前記位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量であり、前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向に移動させてもよいし（発明１１）、前記位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および／またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させてもよいが（発明１２）、前記位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向および垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向および垂直軸回りに移動させることが好ましい（発明１３）。【００２０】
第３に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、被試験ＴＣＰの所定部位の座標データを取得し、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および／またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験ＴＣＰの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および／またはキャリアテープを平面方向に移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する（発明１４）。【００２１】
上記発明（発明１２〜１４）において、前記被試験ＴＣＰの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験ＴＣＰの所定部位の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記測定部の特徴部の２箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の２箇所以上の位置情報から得られる第２の直線の角度との差から好ましく求めることができる（発明１５）。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のＴＣＰハンドリング装置または接続端子の位置合わせ方法によれば、測定部の接続端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせを極めて正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。
【図３】図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。
【図４】図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。
【図５】図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。
【図６】図６は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードの底面図である。
【図７】図７は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードの側面図である。
【図８Ａ】図８Ａは、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その１）である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その２）である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その３）である。
【符号の説明】
【００２４】
１    ＴＣＰ試験装置
２    ＴＣＰハンドラ
３    プッシャユニット
４    プッシャステージ
５    キャリアテープ
６ｂ  第２カメラ（撮像装置）
７    プローブカードステージ
８    プローブカード
８１    プローブ（接続端子）
８４    特徴部
１０    テストヘッド
２１    巻出リール
２２    巻取リール
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図であり、図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図であり、図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図であり、図６は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードの底面図であり、図７は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードの側面図である。【００２６】
まず、本発明の実施形態に係るＴＣＰハンドラを備えたＴＣＰ試験装置の全体構成について説明する。ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成されている。【００２７】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにＴＣＰを１個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ５上において直列方向および／または並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。【００２８】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００２９】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００３０】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００３１】
巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００３２】
そして、イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられている。【００３３】
図１および図２に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド（以下「ＬＭガイド」という。）３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。【００３４】
このプッシャ本体部３３の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられており、所望の張力でキャリアテープ５を保持するようになっている。【００３５】
図２および図３に示すように、プッシャフレーム３６におけるプッシャ本体部３３の背面側には、基台３８に載せられるようにしてプッシャステージ４が設置されており、プッシャステージ４の回転台であるトップテーブル４８はプッシャフレーム３６に固定されている。【００３６】
プッシャステージ４のベース４０上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ４２ａを回転させるサーボモータ４１ａと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｂを回転させるサーボモータ４１ｂと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｃを回転させるサーボモータ４１ｃとが設けられており、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃは、それぞれベース４０上の両端部に位置している。【００３７】
ボールねじ４２ａには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４３ａ，４３ａにガイドされてＸ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ａが螺合している。摺動ブロック４４ａには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４５ａを介して摺動板４６ａがＹ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ａの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ａが固定されており、回転部材４７ａは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００３８】
ボールねじ４２ｂには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｂ，４３ｂにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｂが螺合している。摺動ブロック４４ｂには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｂを介して摺動板４６ｂがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｂの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｂが固定されており、回転部材４７ｂは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００３９】
ボールねじ４２ｃには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｃ，４３ｃにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｃが螺合している。摺動ブロック４４ｃには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｃを介して摺動板４６ｃがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｃの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｃが固定されており、回転部材４７ｃは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００４０】
このような構成を有するプッシャステージ４においては、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａ、摺動板４６ｂおよび摺動板４６ｃをＸ軸方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＸ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂ、摺動ブロック４４ｃおよび摺動板４６ａをＹ軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＹ軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａをＸ軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂおよび摺動ブロック４４ｃを互いにＹ軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材４７ａ，４５ｂ，４５ｃを回転させることにより、トップテーブル４８をその垂直軸回りに回転させることができる。このようなプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる。【００４１】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。ここで、プローブカードステージ７は、モーター駆動機構で移動制御できるものと、手動調整機能のみを有するものとがあるが、本実施形態では、モーター駆動機構を有するものとする。【００４２】
図４および図５に示すように、プローブカードステージ７の基台７１上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ７１２を回転させるサーボモータ７１１と、４つのＸ軸方向のＬＭガイド７１３とが設けられている。それら４つのＬＭガイド７１３上には、各ＬＭガイド７１３によりＸ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＸベース７２が設けられている。このＸベース７２の一側部には、ボールねじ７１２が螺合している螺合部７２１が形成されている。【００４３】
Ｘベース７２上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７２３を回転させるサーボモータ７２２と、２本のＹ軸方向のＬＭガイド７２４とが設けられている。それら２本のＬＭガイド７２４上には、各ＬＭガイド７２４によりＹ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＹベース７３が設けられている。このＹベース７３の一側部には、ボールねじ７２３が螺合している螺合部７３１が形成されている。【００４４】
Ｙベース７３上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７３３を回転させるサーボモータ７３２と、カードリング７３５を回転自在に支持する接続リング７３４とが設けられている。カードリング７３５の一部には、ボールねじ７３３が螺合している螺合部７３６が形成されている。プローブカード８は、４本のピン８２によって、上記カードリング７３５に着脱自在に取り付けられている。【００４５】
このような構成を有するプローブカードステージ７においては、サーボモータ７１１を駆動することにより、Ｘベース７２、ひいてはプローブカード８をＸ軸方向に移動させることができ、サーボモータ７２２を駆動することにより、Ｙベース７３、ひいてはプローブカード８をＹ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ７３２を駆動してボールねじ７３３を回転させ、螺合部７３６を移動させることにより、カードリング７３５およびプローブカード８をその垂直軸回りに回転させることができる。なお、ＴＣＰハンドラ２は、サーボモータ７１１，７２２，７３２の駆動を自動で制御し得る制御装置を備えており、これによりプローブカード８をＸ軸方向、Ｙ軸方向、および垂直軸回りに自動で移動させることができる。【００４６】
図４〜図７に示すように、プローブカード８は、複数のプローブ８１を備えており、各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。本実施形態におけるプローブカード８の中央部には、矩形の開口部８５が形成されており、開口部８５の四隅近傍には、凸片８３が設けられている。そして、図６に示すように、各凸片８３の底面には特徴部８４が設けられている。このように、プローブカード８における特徴部８４は、それぞれできるだけ離れた位置に複数設けることが好ましい。【００４７】
なお、図６に示すように、本実施形態における特徴部８４は、円形のマークとなっているが、これに限定されるものではなく、例えば十字形のマークであってもよい。また、プローブカード８における特徴部８４の数は合計４個となっているが、これに限定されるものではない。【００４８】
各特徴部８４は、プローブ８１の接触面（ＴＣＰのテストパッドと接触する接触面）の座標データに関連付けられた位置に形成されている。すなわち、各特徴部８４の座標データを取得することにより、プローブ８１の接触面の座標データを推定することが可能となっている。推定精度をより上げるために、各特徴部８４の位置は、複数のプローブ８１の接触面の座標データに関連付けられていることが好ましく、例えば、それぞれの特徴部８４の近傍に位置する数本のプローブ８１の接触面の座標データに関連付けられていることが好ましい。【００４９】
各特徴部８４の座標データとプローブ８１の接触面の座標データとを関連付ける情報は、後述する画像処理部に記憶される。この情報は、プローブカード８があらかじめ持っており、プローブカード８をＴＣＰハンドラ２にセットするときに、ＴＣＰハンドラ２（画像処理部）に記憶させてもよいし、ＴＣＰハンドラ２側で積極的に取得するようにしてもよい。【００５０】
図１に示すように、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）に第１カメラ６ａが、テストヘッド１０の下側に第２カメラ（撮像装置）６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）に第３カメラ６ｃが、それぞれ設けられている。なお、テストヘッド１０には、第２カメラ６ｂがプローブカード８を撮影することのできる間隙が形成されている。【００５１】
プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００５２】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なように表示装置９に表示させる。これらのカメラのうち、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものである。そして、第２カメラ６ｂは、ＴＣＰとプローブカード８との間の位置ずれ情報を取得するためのものであり、視野内の複数の対象について位置ずれ情報を取得できるようになっている。【００５３】
また、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１上に搭載されており、カメラステージ６１が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。第２カメラ６ｂが平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）に移動することで、第２カメラ６ｂがＴＣＰの互いに遠い位置にある複数のテストパッドおよびプローブカード８の互いに遠い位置にある特徴部８４を撮影することができるため、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができる。また、第２カメラ６ｂが上下方向（Ｚ軸方向）に移動することで、第２カメラ６ｂの焦点位置を変更して、撮像目標であるテストパッドまたは特徴部８４の所望部位に焦点を合わせることができる。これにより撮像目標部位の明瞭な輪郭画像を取得でき、テストパッドまたは特徴部８４の座標データを的確に求めることができる。なお、第２カメラ６ｂ自身が焦点調節機能を備えて、第２カメラ６ｂの焦点位置を外部制御し、撮像目標であるテストパッドまたは特徴部８４の所望部位に焦点を合わせることができるようにしてもよい。【００５４】
そして、表示装置９は、画像処理部と、第２カメラ６ｂが撮影した画像を表示するモニターとを有している。【００５５】
次に、ＴＣＰハンドラ２の使用方法および動作について説明する。なお、ここでは、説明の簡略化のために、プローブカード８における２個の特徴部８４を利用するが、本発明はこれに限定されるものではなく、４個またはそれ以上の特徴部８４を利用することもできる。【００５６】
ＴＣＰハンドラ２を使用する場合には、ＴＣＰハンドラ２を実稼動させる前に、予めプローブカード８の全てのプローブ８１が、対応するテストパッドの中央位置へ位置決めされるようにプローブカード８を移動させる初期設定を行う必要がある。すなわち、ＴＣＰの品種を変更した場合や、異なる生産ロットのＴＣＰを試験する場合、あるいはプローブカード８を変更した場合には、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８のプローブ８１とがコンタクトするように、プローブカードステージ７のＸ軸位置／Ｙ軸位置／θ回転角の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。【００５７】
図８Ａ〜図８Ｃは、上記ＴＣＰハンドラ２の初期設定の動作を示すフローチャート図である。
ＴＣＰハンドラ２は、初期設定の動作を開始すると、基準となるＴＣＰを試験位置まで搬送し（ステップＳ０１）、第２カメラ６ｂによって、ＴＣＰにおいて多数のテストパッドの中の一端部に位置する複数のテストパッドを撮影する（ステップＳ０２）。なお、本実施形態では、第２カメラ６ｂが撮影するのはＴＣＰのテストパッドであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＴＣＰに付されている所定のマークを撮影してもよいし、パッケージの角部等、特徴的な部位を撮影してもよい。【００５８】
ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第１画像）に基づいて、当該第１画像に含まれる複数のテストパッドの中心部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）を取得する（ステップＳ０３）。なお、本動作で得られる各座標データは、カメラステージ６１の座標系にマッピングするものとする。【００５９】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、ＴＣＰにおいて多数のテストパッドの中の別の端部に位置する複数のテストパッドを撮影する（ステップＳ０４）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第２画像）に基づいて、当該第２画像に含まれる複数のテストパッドの中心部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）を取得する（ステップＳ０５）。【００６０】
ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、取得した座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）および（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）に基づいて、第１画像に含まれるテストパッドの中心部の位置座標および第２画像に含まれるテストパッドの中心部の位置座標を通る直線（テストパッドの配列）のＸ軸方向の直線（図７中水平線）との角度（第１の角度θｐｄ１）を演算する（ステップＳ０６）。【００６１】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第１画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部８４を撮影する（ステップＳ０７）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第３画像）に基づいて、当該第３画像に含まれる特徴部８４の座標データ（Ｘｃ１，Ｙｃ１）を取得する（ステップＳ０８）。そして、当該特徴部８４の座標データ（Ｘｃ１，Ｙｃ１）に関連付けられている複数のプローブ８１の接触面の座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）を推定する（ステップＳ０９）。【００６２】
ここで、プローブ８１の接触面は、第２カメラ６ｂによって撮影できないものの、第２カメラ６ｂによって明確に撮影することのできる特徴部８４の座標データ（Ｘｃ１，Ｙｃ１）を介して、プローブ８１の接触面の座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）を高い精度で推定することができる。これにより、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを、極めて正確に行うことができる。【００６３】
ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第２画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部８４を撮影する（ステップＳ１０）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第４画像）に基づいて、当該第４画像に含まれる特徴部８４の座標データ（Ｘｃ２，Ｙｃ２）を取得する（ステップＳ１１）。そして、当該特徴部８４の座標データ（Ｘｃ２，Ｙｃ２）に関連付けられている複数のプローブ８１の接触面の座標データ（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）を推定する（ステップＳ１２）。【００６４】
ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、推定したプローブ８１の接触面の座標データ座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）および（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）に基づいて、第３画像に対応するプローブ８１の接触面の位置座標および第４画像に対応するプローブ８１の接触面の位置座標を通る直線（プローブ８１の配列）のＸ軸方向の直線との角度（第２の角度θｐｂ２）を演算する（ステップＳ１３）。【００６５】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、ステップＳ０６，Ｓ１３で得られた第１の角度θｐｄ１および第２の角度θｐｂ２の差分値Δθを演算する（ステップＳ１４）。そして、得られた差分値Δθの絶対値が所定値Ｄよりも大きい場合には（ステップＳ１５，Ｙｅｓ）、ＴＣＰハンドラ２は、差分値Δθに基づいてプローブカードステージ７を回転移動させ（ステップＳ１６）、差分値Δθの絶対値が所定値Ｄ以下になった場合に（ステップＳ１７，Ｙｅｓ）、プローブカードステージ７の回転移動を停止する（ステップＳ１８）。一方、ステップＳ１５において、差分値Δθの絶対値が所定値Ｄ以下である場合には（ステップＳ１５，Ｎｏ）、プローブカードステージ７を回転移動させずに、ステップＳ１９に進む。【００６６】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第１画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部８４を再度撮影する（ステップＳ１９）。これにより、ステップＳ１５でプローブカード８が垂直軸回りに移動して、目的とするプローブ８１が第２カメラ６ｂの視野から外れた場合であっても、再度撮影することができる。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第５画像）に基づいて、当該第５画像に含まれる特徴部８４の座標データ（Ｘｃ３，Ｙｃ３）を取得する（ステップＳ２０）。そして、当該特徴部８４の座標データ（Ｘｃ３，Ｙｃ３）に関連付けられている複数のプローブ８１の接触面の座標データ（Ｘｐｂ３，Ｙｐｂ３）を推定する（ステップＳ２１）。【００６７】
同様に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第２画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部８４を再度撮影する（ステップＳ２２）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第６画像）に基づいて、当該第６画像に含まれる特徴部８４の座標データ（Ｘｃ４，Ｙｃ４）を取得する（ステップＳ２３）。そして、当該特徴部８４の座標データ（Ｘｃ４，Ｙｃ４）に関連付けられている複数のプローブ８１の接触面の座標データ（Ｘｐｂ４，Ｙｐｂ４）を推定する（ステップＳ２４）。【００６８】
続いて、ＴＣＰハンドラ２は、テストパッドの２箇所の座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）および（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）と、プローブ８１の接触面の２箇所の座標データ（Ｘｐｂ３，Ｙｐｂ３）および（Ｘｐｂ４，Ｙｐｂ４）とから、テストパッドとプローブ８１の接触面とのＸ成分およびＹ成分の差分値ΔＸ，ΔＹを演算する（ステップＳ２５）。そして、得られた差分値ΔＸ，ΔＹの絶対値が所定値Ｐよりも大きい場合に（ステップＳ２６，Ｙｅｓ）、ＴＣＰハンドラ２は、差分値ΔＸ，ΔＹに基づいてプローブカードステージ７をＸ軸方向および／またはＹ軸方向に移動させ（ステップＳ２７）、差分値ΔＸ，ΔＹの絶対値が所定値Ｐ以下になった場合に（ステップＳ２８，Ｙｅｓ）、プローブカードステージ７の移動を停止し（ステップＳ２９）、プローブカードステージ７のその位置を登録する（ステップＳ３０）。一方、ステップＳ２６において、差分値ΔＸ，ΔＹの絶対値が所定値Ｐ以下である場合には（ステップＳ２６，Ｎｏ）、プローブカードステージ７を移動させることなく、その位置を登録する（ステップＳ３０）。このようにして、ＴＣＰハンドラ２は初期設定を終了する。【００６９】
以上のように、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２によれば、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを自動的に、かつ特徴部８４を利用して極めて正確に行うことができる。特に本実施形態では、垂直軸回りの位置合わせとＸ軸方向・Ｙ軸方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、ＴＣＰのテストパッドとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせをより正確に行うことができる。したがって、ＴＣＰハンドラ２の初期設定を短時間で効率良く行うことができる。【００７０】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００７１】
例えば、上記実施形態では、ＴＣＰおよびプローブカード８の垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に行うようにしたが、本発明はこれに限定されることなく、両者を同時に行ってもよい。具体的には、ステップＳ０３，Ｓ０５で取得したテストパッドの座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）および（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）と、ステップＳ０９，Ｓ１２で推定したプローブ８１の接触面の座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）および（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）とに基づいて、垂直軸回りの位置ずれ量ならびにＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、プローブカードステージ７を垂直軸回り／Ｘ軸方向／Ｙ軸方向に移動させて、テストパッドとプローブ８１との位置合わせを行ってもよい。これにより、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ補正の作業時間が、より短縮される。【００７２】
また、上記実施形態では、ＴＣＰおよびプローブカード８の位置合わせを、プローブカードステージ７によるプローブカード８の移動によって行うようにしたが、本発明はこれに限定されることなく、プッシャステージ４によるプッシャユニット３・キャリアテープ５の移動によって行うようにしてもよいし、プローブカードステージ７によるプローブカード８の移動およびプッシャステージ４によるプッシャユニット３・キャリアテープ５の移動の両者によって行うようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置の初期設定時において、測定部（プローブカード）の接続端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせ作業を正確に行うのに有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【国際調査報告】
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