【手続補正書】
【提出日】平成16年7月5日(2004.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも３個の空気式除振パッドを介して水平に保持された除振台と；
前記除振台上で移動する少なくとも１つのステージと；
前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動する少なくとも３つのアクチュエータを含む複数のアクチュエータと；
前記除振台の変位を検出する１又は２以上の変位センサと；
前記除振台の振動を検出する１又は２以上の振動センサと；
前記変位センサおよび振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する第１制御系と；
前記除振台の位置制御ループのゲインが可変な空圧制御回路を有し、前記ステージ移動時の重心位置の移動により生じる前記除振台の傾き量に応じて前記位置制御ループのゲインを切り替えて、前記除振パッドに供給される空気流量を制御する第２制御系とを有する除振装置。
【請求項２】
前記第２制御系は、前記空圧制御回路による除振パッドに対する空気流量の制御により前記除振台の傾き補正を行なうとともに低い周波数成分の振動を除去し、
前記第１制御系は高い周波数成分の振動のみを前記アクチュエータを用いて除去するような制御を行なうことを特徴とする請求項１に記載の除振装置。
【請求項３】
前記除振台の傾き量の補正及び制振の際に、前記各アクチュエータに発生させる推力又は前記各アクチュエータに流れる電流を一定とする制御回路を更に有する請求項１に記載の除振装置。
【請求項４】
前記各除振パッドと前記空圧制御回路との間に、バッファタンクを介在させたことを特徴とする請求項１又は２に記載の除振装置。
【請求項５】
少なくとも３個の空気式除振パッドを介して水平に保持された除振台と；
前記除振台上で移動する少なくとも１つのステージと；
前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動する少なくとも３つのアクチュエータを含む複数のアクチュエータと；
前記除振台の変位を検出する１又は２以上の変位センサと；
前記除振台の振動を検出する１又は２以上の振動センサと；
前記変位センサおよび振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する第１制御系と；
前記各除振パッドに供給される空気流量を制御するための空圧制御回路とを有し、前記除振台の傾きを補正する第２制御系と；
前記各除振パッドと前記空圧制御回路との間に介在されたバッファタンクとを有する除振装置。
【請求項６】
前記空圧制御回路は、空気路上に配置された微小な径を持つオリフィスと、この空気路内の圧力を設定するレギュレータと、前記空気路の開閉を行なう電磁弁とをそれぞれ備えた給気側回路及び排気側回路とを有することを特徴とする請求項５に記載の除振装置。
【請求項７】
マスクに形成されたパタ−ンを投影光学系を介して基板ステージ上の感光基板に転写する露光装置であって、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の除振装置を露光本体部の除振装置として具備することを特徴とする露光装置。
【請求項８】
少なくとも３個の空気式の除振パッドを介して水平に保持された除振台と；
前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動するアクチュエータと；
前記除振台の変位を検出する変位センサと；
前記除振台の振動を検出する振動センサと；
前記変位センサもしくは振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動のうち高い周波数成分の振動を抑制するように前記アクチュエータを制御する第１制御系と；
前記除振台の振動のうち低い周波数成分の振動が除去されるように前記除振パッドに供給される空気流量を制御する第２制御系とを有する除振装置。
【請求項９】
前記除振パッドと前記第２制御系との間に設けられたバッファタンクを備えたことを特徴とする請求項８に記載の除振装置。
【請求項１０】
４つの空気式の除振パッドを介して水平に保持された除振台と；
前記４つの空気式の除振パッドのうち第１と第２の除振パッドに供給される空気流量を制御する２つの第１空圧制御回路と；
前記４つの空気式の除振パッドのうち第３と第４の除振パッドに供給される空気流量を制御する１つの第２空圧制御回路とを有する除振装置。
【請求項１１】
空気式の除振パッドを介して水平に保持された除振台と；
発磁体とコイルとを有し、前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動するアクチュエータと；
前記除振台の振動のうち高い周波数成分の振動を抑制するように前記アクチュエータを制御する第１制御系と；
前記除振台の振動のうち低い周波数成分の振動が除去されるように前記除振パッドに供給される空気流量を制御する第２制御系とを有する除振装置。
【請求項１２】
投影光学系を用いて感光基板にパターンを露光する露光装置であって、前記露光装置の除振装置として請求項８〜１１のいずれか一項に記載の除振装置を用いたことを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項７に記載の発明は、マスクに形成されたパタ−ンを投影光学系を介して基板ステージ上の感光基板に転写する露光装置であって、請求項１〜６のいずれか一項に記載の除振装置を露光本体部の除振装置として具備することを特徴とする。これによれば、上記各請求項に記載の発明に係る除振装置の作用・効果により、露光精度が向上する。
請求項８に記載の除振装置は、少なくとも３個の空気式の除振パッドを介して水平に保持された除振台と；前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動するアクチュエータと；前記除振台の変位を検出する変位センサと；前記除振台の振動を検出する振動センサと；前記変位センサもしくは振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動のうち高い周波数成分の振動を抑制するように前記アクチュエータを制御する第１制御系と；前記除振台の振動のうち低い周波数成分の振動が除去されるように前記除振パッドに供給される空気流量を制御する第２制御系とを有している。
請求項９に記載の除振装置は、前記除振パッドと前記第２制御系との間に設けられたバッファタンクを備えている。
請求項１０に記載の除振装置は、４つの空気式の除振パッドを介して水平に保持された除振台と；前記４つの空気式の除振パッドのうち第１と第２の除振パッドに供給される空気流量を制御する２つの第１空圧制御回路と；前記４つの空気式の除振パッドのうち第３と第４の除振パッドに供給される空気流量を制御する１つの第２空圧制御回路とを有している。
請求項１１に記載の除振装置は、空気式の除振パッドを介して水平に保持された除振台と；発磁体とコイルとを有し、前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動するアクチュエータと；前記除振台の振動のうち高い周波数成分の振動を抑制するように前記アクチュエータを制御する第１制御系と；前記除振台の振動のうち低い周波数成分の振動が除去されるように前記除振パッドに供給される空気流量を制御する第２制御系とを有している。
請求項１２に記載の露光装置は、投影光学系を用いて感光基板にパターンを露光する露光装置であって、前記露光装置の除振装置として請求項８〜１１のいずれか一項に記載の除振装置を用いている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
また、請求項７に記載の発明によれば、上記請求項１ないし６に記載の発明に係る除振装置の効果の発揮により、露光精度を向上させることができるという効果がある。
請求項８、９および１１に記載の各除振装置によればアクチュエータの発熱量を抑制することができる。
請求項１０に記載の除振装置によれば、除振パッドの数よりも少ない数の空圧制御回路により複数の除振パッドを制御することができる。
請求項１２に記載の露光装置は、請求項８ないし１１に記載の各発明に係る除振装置の効果の発揮により、露光精度を向上させることができるという効果がある。