【手続補正書】
【提出日】平成15年4月3日(2003.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
混合システムにおいて、
第一の材料供給管と、
第二の材料供給管と、
前記第一及び第二の材料供給管の下流側に流体的に接続されたスタティックミキサーと、
前記第一及び第二の材料供給管の少なくとも一方に配置された第一の流れ制御装置と、
前記スタティックミキサーの下流に配置された第一のセンサと、該第一のセンサから発信されたセンサ信号に基づいて制御信号を前記第一の流れ制御装置に提供するための論理コードを有するコントローラとを有するプロセス制御システムと、
入口及び出口を有する保持容器と、
前記入口及び前記出口に流体的に接続された再循環管と、
前記再循環管及び前記第一及び第二の材料供給管の１つに流体的に接続された第二の流れ制御装置と、を備える混合システム。
【請求項２】
請求項１の混合システムにおいて、前記第一のセンサは、密度センサ、固体率センサ、粒子カウンタ、ｐＨセンサ、導電率センサ、酸化及び還元電位センサ、屈折率センサ及びその組み合わせ体から成る群から選ばれる、混合システム。
【請求項３】
請求項２の混合システムにおいて、前記第一のセンサは密度センサである、混合システム。
【請求項４】
請求項２の混合システムにおいて、前記第一のセンサは固体率センサである、混合システム。
【請求項５】
請求項２の混合システムにおいて、前記第一のセンサは粒子カウンタである、混合システム。
【請求項６】
請求項２の混合システムにおいて、前記第一のセンサはｐＨセンサである、混合システム。
【請求項７】
請求項２の混合システムにおいて、前記第一のセンサは酸化及び還元電位センサである、混合システム。
【請求項８】
請求項２の混合システムにおいて、前記第一のセンサは屈折率センサである、混合システム。
【請求項９】
請求項１の混合システムにおいて、前記プロセス制御システムは、前記コントローラに接続され、所望のプロセス材料の混合体を表わす入力信号を発信する入力装置を更に備える、混合システム。
【請求項１０】
請求項１の混合システムにおいて、前記コントローラは、前記センサ信号及び前記入力信号に基づいて前記第一の流れ制御装置に対し制御信号を発信するための論理コードを有する、混合システム。
【請求項１１】
請求項１の混合システムにおいて、前記第二の流れ制御装置は前記第一の流れ制御装置と同じ流れ制御装置である、混合システム。
【請求項１２】
請求項１の混合システムにおいて、前記再循環管に接続された流れ制御装置を更に備える、混合システム。
【請求項１３】
請求項１の混合システムにおいて、前記再循環管に接続されると共に、密度センサ、固体率センサ、粒子カウンタ、ｐＨセンサ、導電率センサ、酸化及び還元電位センサ、屈折率センサ及びその組み合わせ体から成る群から選ばれた第二のセンサを更に備える、混合システム。
【請求項１４】
請求項１の混合システムにおいて、前記スタティックミキサーの下流側に流体的に接続された半導体製造装置を更に備える、混合システム。
【請求項１５】
請求項１の混合システムにおいて、前記第一の材料供給管、前記第二の材料供給管及び前記再循環管の１つに配置された粒子分離器を更に備える、混合システム。
【請求項１６】
請求項１の混合システムにおいて、前記スタティックミキサーの下流側に流体的に接続された保持容器を更に備える、混合システム。
【請求項１７】
混合システムにおいて、
複数の材料供給管と、
前記複数の材料供給管の下流に配置され且つ該複数の材料供給管に流体的に接続されたスタティックミキサーと、
コントローラと、該コントローラと連通して所望のプロセス材料の混合体を表わす入力信号を発信する入力装置と、前記複数の材料供給管及び前記コントローラの一方に接続された第一の弁とを有するプロセス制御システムと、
分配サブシステムであって、入口及び出口を有する保持容器と、該入口及び出口に流体的に接続された再循環管と、該再循環管に及び前記複数の材料供給管の１つに流体的に接続され、該再循環管からの材料を前記材料供給管に選択的に向けることができるようにする第二の弁とを有する前記分配サブシステムと、を備える混合システム。
【請求項１８】
請求項１７の混合システムにおいて、前記第二の弁は前記第一の弁と同じ弁である、混合システム。
【請求項１９】
請求項１７の混合システムにおいて、前記再循環管に接続されたポンプを更に備える、混合システム。
【請求項２０】
請求項１７の混合システムにおいて、前記再循環管に接続されると共に、密度センサ、ｐＨセンサ、導電率センサ、酸化及び還元電位センサ、粒子カウンタ、屈折率センサ、固体率センサ及びその組み合わせ体から成る群から選ばれたセンサを更に備える、混合システム。
【請求項２１】
請求項１７の混合システムにおいて、前記第一の材料供給管、前記第二の材料供給管及び前記再循環管の１つに配置された粒子分離器を更に備える、混合システム。
【請求項２２】
請求項１７の混合システムにおいて、前記第一の弁は複数の弁を備え、該弁の各々は複数の材料供給管の１つ及びコントローラに接続された、混合システム。
【請求項２３】
請求項１７の混合システムにおいて、前記スタティックミキサーの下流側に設けられると共に、前記コントローラに連通するセンサを更に含む、混合システム。
【請求項２４】
請求項２３の混合システムにおいて、前記センサは、密度センサ、ｐＨセンサ、導電率センサ、酸化及び還元電位センサ、粒子カウンタ、屈折率センサ、固体率センサ及びその組み合わせ体から成る群から選ばれると共に、前記再循環管に接続される、混合システム。
【請求項２５】
請求項２３の混合システムにおいて、前記コントローラが前記センサから発信された信号に基づいて前記第一の弁に対し信号を提供するための論理コードを有する、混合システム。
【請求項２６】
混合したプロセス材料を供給する方法において、
第一のプロセス材料を第一の材料供給管を通じて供給することと、
第二のプロセス材料を第二の材料供給管を通じて供給することと、
前記第一及び第二の材料供給管の下流側に流体的に接続されたスタティックミキサー内で前記第一及び第二のプロセス材料を混合することと、
前記スタティックミキサーの下流に配置されたセンサから発信されたセンサ信号に基づいて前記第一及び第二の材料供給管の一方に配置された第一の弁によって前記第一及び第二のプロセス材料の一方の供給量を調節することと、
入口及び出口を有する保持容器内で前記第一及び第二のプロセス材料の一方を保持することと、
前記保持容器の前記入口及び出口に接続された再循環管内で前記第一及び第二のプロセス材料の一方を再循環させることと、
前記再循環管及び前記第一及び第二の材料供給管の一方に接続された第二の弁によって前記第一及び第二のプロセス材料の一方の少なくとも一部を前記第一及び第二の材料供給管の一方に向けることと、を備える混合したプロセス材料を供給する方法。
【請求項２７】
請求項２６の混合したプロセス材料を供給する方法において、前記センサは、密度、固体率、粒子数、ｐＨ、導電率、酸化及び還元電位、混合したプロセス材料の屈折率及びその組み合わせ体から成る群から選ばれた性質に相応するセンサ信号を提供する、混合したプロセス材料を供給する方法。
【請求項２８】
請求項２６の混合したプロセス材料を供給する方法において、前記コントローラに接続された入力装置からプロセス材料の所望の混合体を表わす入力信号を受け取ることを更に備える、混合したプロセス材料を供給する方法。
【請求項２９】
混合したプロセス材料を供給する方法において、
複数のプロセス材料を複数の材料供給管を通じて供給することと、
前記複数の材料供給管の下流に配置されたスタティックミキサー内で前記複数のプロセス材料を混合することと、
コントローラと、前記プロセス材料の所望の混合体を表わす入力信号を提供すべく前記コントローラに接続された入力装置と、前記複数の材料供給管の一方及び前記コントローラに接続された第一の弁とを備えるプロセス制御システムにより前記複数のプロセス材料の供給量を調節することと、
入口及び出口を有する保持容器内で前記複数のプロセス材料の１つ又は２つ以上を保持することと、
前記保持容器の前記入口及び出口に接続された再循環管内で前記複数のプロセス材料の１つ又は２つ以上を再循環させることと、
前記再循環管及び前記複数の材料供給管の１つ又は２つ以上に接続された第二の弁により前記複数のプロセス材料の１つ又は２つ以上の一部を前記複数の材料供給管の１つに向けることと、を備える混合したプロセス材料を供給する方法。
【請求項３０】
請求項２９の方法において、前記第一の弁は前記第二の弁と同じ弁である、方法。
【請求項３１】
請求項２９の方法において、再循環させることが前記プロセス材料を圧送することを含む、方法。
【請求項３２】
請求項２９の方法において、前記複数のプロセス材料の１つ又は２つ以上を再循環させることが、密度、ｐＨ、導電率、酸化及び還元電位、固体率、粒子数、屈折率及びその組み合わせ体から成る群から選ばれた、複数のプロセス材料の１つ又は２つ以上の性質を測定することを更に備える、方法。
【請求項３３】
請求項２９の方法において、微粒子を再循環管から分離することを更に備える、方法。
【請求項３４】
請求項２９の方法において、前記プロセス制御システムにより前記複数のプロセス材料の供給量を調節することが、前記スタティックミキサーの下流のセンサから発信されたセンサ信号に基づいて前記第一の弁を制御することを更に備える、方法。