【手続補正書】
【提出日】平成17年3月7日(2005.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状の極性有機化合物をプロセスチャンバー内の蒸発増進手段に導入する工程を備え、前記液状の極性有機化合物を蒸発させてプロセスチャンバー内に乾燥用蒸気を形成する、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための方法において、
前記極性有機液体化合物を前記蒸発増進手段内に押し入れるための不活性ガスを用いる工程を更に備えていることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記蒸発増進手段は、多孔質チューブ、フィルターエレメントを有するフィルターハウジング、あるいは開口トラフであることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法において、
前記不活性ガスは、窒素であることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法において、
極性有機化合物の蒸気は、前記プロセスチャンバー内でのみ発生されることを特徴とする方法。
【請求項５】
液状の極性有機化合物をプロセスチャンバー内の蒸発増進手段に導入する工程を備え、前記液状の極性有機化合物を蒸発させてプロセスチャンバー内に乾燥用蒸気を形成する、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための方法において、
前記蒸発増進手段は、直径が略２０乃至５０ミクロンの微小孔を有するチューブであることを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法において、
前記極性有機液体化合物は、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）であることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項５に記載の方法において、
極性有機化合物の蒸気は、前記プロセスチャンバー内でのみ発生されることを特徴とする方法。
【請求項８】
液状の極性有機化合物をプロセスチャンバー内の蒸発増進手段に導入する工程を備え、前記液状の極性有機化合物を蒸発させてプロセスチャンバー内に乾燥用蒸気を形成する、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための方法において、
前記蒸発増進手段は、極性有機液体化合物で湿らすことが可能な、略１００乃至８００ｃｍ2の表面積を有するフィルターエレメントを備えていることを特徴とする方法。
【請求項９】
液状の極性有機化合物をプロセスチャンバー内の蒸発増進手段に導入する工程を備え、前記液状の極性有機化合物を蒸発させてプロセスチャンバー内に乾燥用蒸気を形成する、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための方法において、
前記極性有機液体化合物は、略２０乃至２５℃の周囲の条件のもとで、前記プロセスチャンバー内で蒸発されることを特徴とする方法。
【請求項１０】
液状の極性有機化合物をプロセスチャンバー内の蒸発増進手段に導入する工程を備え、前記液状の極性有機化合物を蒸発させてプロセスチャンバー内に乾燥用蒸気を形成する、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための方法において、
前記極性有機液体化合物の前記蒸発増進手段への導入率を制御する工程を更に備えていることを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法において、
前記蒸発増進手段は、多孔質チューブ、フィルターエレメントを有するフィルターハウジング、あるいは開口トラフであることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の方法であって、
極性有機化合物の蒸気は、前記プロセスチャンバー内でのみ発生されることを特徴とする方法。
【請求項１３】
液状の極性有機化合物をプロセスチャンバー内の蒸発増進手段に導入する工程を備え、前記液状の極性有機化合物を蒸発させてプロセスチャンバー内に乾燥用蒸気を形成する、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための方法において、
前記蒸発増進手段は、吸い上げ作用による毛管力によってアルコールを蒸発させることを特徴とする方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法において、
前記蒸発増進手段は、多孔質チューブ、フィルターエレメントを有するフィルターハウジング、あるいは開口トラフであることを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の方法において、
極性有機化合物の蒸気は、前記プロセスチャンバー内でのみ発生されることを特徴とする方法。
【請求項１６】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置において、
前記蒸発増進手段は、前記極性有機化合物を蒸発させるために、毛管力による吸上作用を提供するのに適合されていることを特徴とする装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の装置において、
前記蒸発増進手段は、開口トラフ、フィルターエレメント、あるいは微孔質チューブであることを特徴とする装置。
【請求項１８】
請求項１６に記載の装置において、
前記蒸発増進手段は、フィルター媒体を有するフィルターアッセンブリ、平坦底部付きのトラフあるいは微孔質チューブであることを特徴とする装置。
【請求項１９】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置において、
液状の前記極性有機化合物を導入する前記手段は、プロセッサーと該プロセッサーによって制御される一連のバルブとを備え、液状の極性有機化合物の流量を正確に計量することを特徴とする装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の装置において、
前記バルブは、チューブの長さによって隔てられた二つの三方バルブを備えており、
前記極性有機化合物を導入する前記手段は、加圧された不活性ガスの供給源と、液状の前記極性有機化合物の供給源と、前記加圧された不活性ガスが、液状の前記極性有機化合物を制御された率でタンク内に押し入れるように前記バルブを切り換えるための制御システムとを更に備えていることを特徴とする装置。
【請求項２１】
請求項１９に記載の装置において、
前記蒸発増進手段は、開口トラフ、フィルターエレメント、あるいは微孔質チューブであることを特徴とする装置。
【請求項２２】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置であって、
前記極性有機化合物をイオン化する手段を更に備えていることを特徴とする装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載の装置であって、イオン化装置と、前記プロセスチャンバー内で蒸気が発生している間、該イオン化装置を作動させる手段とを備えていることを特徴とする装置。
【請求項２４】
請求項２２に記載の装置において、
前記蒸発増進手段は、開口トラフ、フィルターエレメント、あるいは微孔質チューブであることを特徴とする装置。
【請求項２５】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置において、
前記蒸発増進手段は、
ポリ弗化ビニリデン（ＰＶＤＦ）でつくられた平坦底部付きのトラフと、
液状の極性有機化合物を前記トラフに導入するためのチューブと、
極性有機化合物の前記トラフへの流量を制御するための、プロセッサーによって制御されるバルブとであることを特徴とする装置。
【請求項２６】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置において、
前記蒸発増進手段は、直径が略２０乃至５０ミクロンの微小孔を有する多孔質チューブであることを特徴とする装置。
【請求項２７】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置において、
前記蒸発増進手段は、フルオロポリマーのフィルターエレメントを備えているフィルターアッセンブリであることを特徴とする装置。
【請求項２８】
プロセスチャンバーと、プロセスチャンバー内で極性有機化合物の蒸発を増進する蒸発増進手段と、液状の極性有機化合物を前記蒸発増進手段に導入する手段とを備え、それによって、前記極性有機化合物が前記プロセスチャンバー内で液体から気体に変えられる、半導体ウェーハーすなわち基板を乾燥させるための装置において、
前記蒸発増進手段は、前記プロセスチャンバーの上部領域に配置されていることを特徴とする装置。