(57)【要約】  レンズ光軸が水平方向に向いているカメラ本体６１と、レンズ光軸を垂直方向に曲げる反射ミラー６２と、それらを保持しているフレーム６３と、フレーム６３に接続されている第１のモータ６４と、反射ミラー６２に接続されている第２のモータ６５とを備え、第１のモータ６４または第２のモータ６５の駆動により光軸が傾斜可能となっている第２カメラ６ｂを、プローブカード８の下側に配置する。かかるＴＣＰハンドラ２によれば、プローブカード８のプローブ８１の先端を明瞭に撮影することができる。
2008132934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記測定部の接続端子の基端部側に位置し、前記測定部の接続端子およびキャリアテープ上のＴＣＰの外部端子を撮影する撮像装置と、前記撮像装置で撮影した画像を表示するモニターとを備えており、
前記撮像装置は、光軸を傾けることができることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記測定部における一群の接続端子の先端部は直線上に並んでおり、
前記撮像装置は、前記直線と並行する直線を軸として、光軸を傾けることができることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記撮像装置は、当該撮像装置と前記測定部の接続端子とを結ぶ直線に対して直交するレンズ光軸を有する本体部と、
前記レンズ光軸を前記接続端子の方向に曲げる反射ミラーと、
前記本体部および前記反射ミラーを前記レンズ光軸回りに回転させる回転装置および／または反射角を変えるように前記反射ミラーを回転させる回転装置と
を備えていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記撮像装置は、前記測定部の接続端子の方向に向いているレンズ光軸を有する本体部と、
前記レンズ光軸が傾くように前記本体部を回転させる回転装置と
を備えていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
ＴＣＰの品種毎に前記撮像装置の光軸の基準傾斜角度を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、前記撮像装置の光軸を前記基準傾斜角度に傾けることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記撮像装置は、前記測定部の複数の接続端子の先端部が形成する面と並行な面方向に移動可能となっていることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記測定部の接続端子およびキャリアテープ上のＴＣＰの外部端子を照らす複数の照明装置を備えており、前記撮像装置の光軸の傾斜角度に応じて、各照明装置のオン／オフを切り換えることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
ところで、ＴＣＰハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。【０００５】
このようなことから、ＴＣＰハンドラを使用する場合には、実稼動させて試験を行う前に、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとが確実にコンタクトできるように、予めＴＣＰハンドラについて初期設定を行い、その設定を登録する作業を行っている。【０００６】
ＴＣＰハンドラの初期設定は、例えば、次のように行われる。まず、ＴＣＰを試験位置まで搬送し、搬送したＴＣＰをプッシャユニットで保持する。そして、ＴＣＰがカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動し、ＴＣＰのテストパッドをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見て、ＴＣＰの回転角を目視で把握する。次に、プローブカードのプローブをカメラによって明瞭に認識するために、ＴＣＰがカメラによって明瞭に認識できない高さまでプッシャユニットを移動してから、プローブカードのプローブをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージを回転させて、ＴＣＰの回転角に対するプローブカードの回転角を調整する。そして、ＴＣＰがプローブとともにカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージをＸ軸方向および／またはＹ軸方向に移動して、ＴＣＰの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できるか確認する。このようにして設定した位置を初期設定として登録する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図６に示すように、キャリアテープ５上のＴＣＰ５１のテストパッド５２およびプローブカード８のプローブ８１を撮影するカメラ６ｐは、ＴＣＰハンドラ内のスペース的な問題からプローブカード８の下側に設置され、真上を撮影する。しかし、プローブ８１はプローブカード８の上側（キャリアテープ５側）に設けられており、図６および図７に示すように、プローブ８１は途中で屈曲してキャリアテープ５に向かって立ち上がっている。したがって、真上を撮影するカメラ６ｐでは、図８のモニター画像に示すように、プローブ８１の屈曲部が邪魔になって、テストパッド５２との接触部であるプローブ８１の先端を明瞭に撮影することができない。【０００８】
そのため、オペレータは、プローブ８１の先端の位置を的確に把握することができず、ＴＣＰ５１のテストパッド５２とプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを正確に行うことが困難であった。ＴＣＰ５１とプローブ８１との位置合わせが正確でないと、それが原因で実稼動中にコンタクト不良、接触抵抗の不安定化、隣接ピン間のショートなどが発生することもある。【０００９】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、測定部の接続端子の先端を明瞭に撮影することのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記測定部の接続端子の基端部側に位置し、前記測定部の接続端子およびキャリアテープ上のＴＣＰの外部端子を撮影する撮像装置と、前記撮像装置で撮影した画像を表示するモニターとを備えており、前記撮像装置は、光軸を傾けることができることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【００１１】
なお、「測定部の接続端子の基端部側に位置」するとは、測定部の接続端子の基端部側において、測定部の近傍下側に位置する場合も、測定部から離隔した下方に位置する場合も含むが、測定部に近い位置の方が、光軸に角度を付け易く好ましい。【００１２】
上記発明（発明１）によれば、光軸を傾けることにより、接続端子を斜めから撮影することができるため、接続端子が屈曲して立ち上がっている場合でも、屈曲部が邪魔にならず、接続端子の先端を明瞭に撮影することが可能となる。したがって、オペレータは、測定部の接続端子の先端の位置を的確に把握することができ、測定部の接続端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせを正確に行うことができる。【００１３】
上記発明（発明１）において、前記測定部における一群の接続端子の先端部が直線上に並んでいる場合には、前記撮像装置は、前記直線と並行する直線を軸として、光軸を傾けることが好ましい。かかる発明によれば、直線上に並んでいる複数の接続端子の先端を同じピントで撮影することができる。【００１４】
上記発明（発明１，２）において、前記撮像装置は、当該撮像装置と前記測定部の接続端子とを結ぶ直線に対して直交するレンズ光軸を有する本体部と、前記レンズ光軸を前記接続端子の方向に曲げる反射ミラーと、前記本体部および前記反射ミラーを前記レンズ光軸回りに回転させる回転装置および／または反射角を変えるように前記反射ミラーを回転させる回転装置とを備えているものであってもよいし（発明３）、前記測定部の接続端子の方向に向いているレンズ光軸を有する本体部と、前記レンズ光軸が傾くように前記本体部を回転させる回転装置とを備えているものであってもよい（発明４）。【００１５】
上記発明（発明１〜４）においては、ＴＣＰの品種毎に前記撮像装置の光軸の基準傾斜角度を記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、前記撮像装置の光軸を前記基準傾斜角度に傾けることが好ましい（発明５）。かかる発明によれば、品種切り替え時における初期設定時間を短縮することができる。【００１６】
上記発明（発明１〜５）において、前記撮像装置は、前記測定部の複数の接続端子の先端部が形成する面と並行な面方向に移動可能となっていることが好ましい（発明６）。かかる発明によれば、撮像装置は、ＴＣＰにおける所望の外部端子および測定部における所望の接続端子を撮影することができ、特に、互いに遠い位置にある外部端子および接続端子を撮影することができるため、ＴＣＰと測定部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００１７】
上記発明（発明１〜６）において、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記測定部の接続端子およびキャリアテープ上のＴＣＰの外部端子を照らす複数の照明装置を備えており、前記撮像装置の光軸の傾斜角度に応じて、各照明装置のオン／オフを切り換えるようにしてもよい（発明７）。かかる発明によれば、撮像装置が測定部の接続端子の先端を明瞭に撮影できるように、接続端子の影の位置や明暗を適宜調整することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、測定部の接続端子の先端を明瞭に撮影することができるため、測定部の接続端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせを正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードおよびカメラの側面図である。
【図３】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードの平面図である。
【図４】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるモニター画像の図である。
【図５】他の実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードおよびカメラの側面図である。
【図６】従来のＴＣＰハンドラにおけるプローブカードおよびカメラの側面図である。
【図７】プローブの先端部の形状を示す側面図である。
【図８】従来のＴＣＰハンドラにおけるモニター画像の図である。
【符号の説明】
【００２０】
１…ＴＣＰ試験装置
２…ＴＣＰハンドラ（ＴＣＰハンドリング装置）
５…キャリアテープ
５１…ＴＣＰ
５２…テストパッド（外部端子）
６ｂ，６ｂ’…第２カメラ（撮像装置）
６１…カメラ本体（本体部）
６２…反射ミラー
６４，６５，６６…モータ（回転装置）
８…プローブカード（測定部）
８１…プローブ（接続端子）
９…照明装置
１０…テストヘッド
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２（ａ）〜（ｃ）は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードおよびカメラの側面図であり、図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードの平面図であり、図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるモニター画像の図である。【００２２】
まず、本発明の実施形態に係るＴＣＰハンドラを備えたＴＣＰ試験装置の全体構成について説明する。ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成されている。【００２３】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにＴＣＰを１個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ５上において直列方向および／または並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。【００２４】
なお、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２において、Ｘ軸は、テストヘッド１０上のキャリアテープ５の搬送方向（図１中左右方向）を示し、Ｙ軸は、水平面においてＸ軸と直交する方向（図１中紙面を貫通する方向）を示し、Ｚ軸は、垂直方向（図１中上下方向）を示す。【００２５】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００２６】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００２７】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００２８】
巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００２９】
そして、イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられている。【００３０】
図１に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。【００３１】
このプッシャ本体部３３の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられており、所望の張力でキャリアテープ５を保持するようになっている。【００３２】
プッシャフレーム３６の背面側には、図示しないプッシャステージが設けられている。このプッシャステージによれば、プッシャユニット３をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸回りに移動させることができる。したがって、プッシャユニット３のプッシャ本体部３３が、吸着プレート３４によってキャリアテープ５を吸着保持している状態でプッシャユニット３を上記のように移動させることにより、キャリアテープ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸回りに移動させて、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブ８１との位置合わせを行うことができる。【００３３】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。このプローブカードステージ７によれば、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、およびＺ軸回りに回転移動させることができる。【００３４】
図２（ａ）〜（ｃ）および図３に示すように、プローブカード８は、複数のプローブ８１を備えており、各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。各プローブ８１は、途中から屈曲してキャリアテープ５の方向に向かって立ち上がっており、プローブ８１の先端がＴＣＰ５１のテストパッドとの接触部となっている。【００３５】
なお、本実施形態におけるＴＣＰ５１は、矩形の四辺に外部端子（テストパッド）を有する形状となっており、図３に示すように、プローブカード８のプローブ８１は、そのＴＣＰ５１のテストパッドに対応する配列で設けられている。すなわち、複数のプローブ８１の先端を結ぶ線は、矩形状となっている。【００３６】
図１に示すように、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）に第１カメラ６ａが、プローブカード８の下側近傍に第２カメラ（撮像装置）６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）に第３カメラ６ｃが、それぞれ設けられている。【００３７】
プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００３８】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なようにモニター（図示せず）に表示させる。【００３９】
上記のカメラのうち、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものである。一方、第２カメラ６ｂは、ＴＣＰとプローブ８１との位置関係を見たり、両者の位置ずれ情報を取得するためのものである。【００４０】
本実施形態における第２カメラ６ｂは、図２に示すように、カメラ本体６１と、反射ミラー６２と、それらを保持しているフレーム６３と、フレーム６３に接続されている第１のモータ６４と、反射ミラー６２に接続されている第２のモータ６５とを備えている。【００４１】
カメラ本体６１は、レンズ光軸がＹ軸方向に向くように横たわって設けられている。反射ミラー６２は、そのレンズ光軸を直角に曲げる（Ｚ軸方向に曲げる）位置を基準として設けられているが、図２（ｂ）に示すように、レンズ光軸の反射角を変えるように、第２のモータ６５によって回転可能となっている。この第２のモータ６５（反射ミラー６２）の回転軸は、Ｘ軸方向に沿っている。【００４２】
また、第１のモータ６４は、フレーム６３をレンズ光軸回りに回転させるように設けられている。したがって、図２（ｃ）に示すように、カメラ本体６１および反射ミラー６２は、第１のモータ６４によって、レンズ光軸回りに回転可能となっている。この第１のモータ６４（フレーム６３）の回転軸は、Ｙ軸方向に沿っている。【００４３】
第２カメラ６ｂは、図示しないカメラステージ上に搭載されており、カメラステージが有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）に移動可能となっている。これにより、第２カメラ６ｂは、ＴＣＰにおける所望のテストパッドおよびプローブカード８における所望のプローブ８１を撮影することができ、特に、互いに遠い位置にあるテストパッドおよびプローブ８１を撮影することができるため、ＴＣＰとプローブカード８との位置合わせをより正確に行うことができる。【００４４】
上記第２カメラ６ｂは、図２（ａ）に示すように、プローブカード８のプローブ８１およびキャリアテープ５上のＴＣＰ５１のテストパッドを撮影する。前述した通り、プローブ８１は途中から屈曲して立ち上がっているため、第２カメラ６ｂの光軸（レンズ光軸を曲げた光軸）が垂直であると、プローブ８１の屈曲部が邪魔になって、ＴＣＰ５１のテストパッドとの接触部であるプローブ８１の先端を明瞭に撮影することができない。しかし、図２（ｂ）に示すように、第２のモータ６５によって反射ミラー６２を回転させ、第２カメラ６ｂの光軸を垂直から傾けることにより、Ｘ軸方向に並んでいるプローブ８１を斜めから撮影することができ、図４のモニター画像に示すように、プローブ８１の屈曲部に邪魔されず、プローブ８１の先端を明瞭に撮影することが可能となる。特に本実施形態では、光軸をＸ軸を回転軸として傾けることにより、Ｘ軸方向に並んでいる複数のプローブ８１の先端を同じピントで撮影することができる。【００４５】
同様に、図２（ｃ）に示すように、第１のモータ６４によってフレーム６３（カメラ本体６１および反射ミラー６２）を回転させ、第２カメラ６ｂの光軸を垂直から傾けることにより、Ｙ軸方向に並んでいるプローブ８１を斜めから撮影することができ、図４のモニター画像に示すように、プローブ８１の屈曲部に邪魔されず、プローブ８１の先端を明瞭に撮影することが可能となる。特に本実施形態では、光軸をＹ軸を回転軸として傾けることにより、Ｙ軸方向に並んでいる複数のプローブ８１の先端を同じピントで撮影することができる。【００４６】
上記モニター画像（図４）により、オペレータは、プローブ８１の先端の位置、ひいてはプローブ８１の先端とテストパッド５２との位置関係を的確に把握することができる。したがって、オペレータは、上記モニター画像を見ながら、プッシャステージおよび／またはプローブカードステージ７をＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸回りに移動させて、プローブ８１の先端とテストパッド５２との位置合わせを正確に行うことができる。【００４７】
第２カメラ６ｂの光軸の傾斜角度および第２カメラ６ｂのＸ軸−Ｙ軸方向の位置は、プローブ８１の先端が見易いように、オペレータが適宜調整すればよい。この調整によって第２カメラ６ｂの光軸の最適な傾斜角度および第２カメラ６ｂの最適な位置が決まったら、ＴＣＰハンドラ２は、これらの情報をＴＣＰの品種毎に基準情報として記憶しておき、ＴＣＰの品種切り替えのときに、被試験ＴＣＰの種類に応じてその基準情報を読み出し、当該基準情報に従って第２カメラ６ｂを移動させ、光軸を傾けることが好ましい。これにより、品種切り替え時における初期設定時間を短縮することができる。【００４８】
なお、第２カメラ６ｂの光軸を傾けることにより、第２カメラ６ｂとプローブ８１との焦点距離が変わるため、第２カメラ６ｂのピントを調整する必要がある。第２カメラ６ｂがオートフォーカス機能を有しない場合には、最適なピントについても、上記のようにＴＣＰの品種毎に基準情報として記憶し、利用することが好ましい。【００４９】
ここで、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２は、図２（ａ）に示すように、プローブカード８のプローブ８１およびＴＣＰ５１のテストパッドを照らす照明装置９を複数備えている。これら照明装置９のオン／オフによって、プローブ８１の影ができる位置が変わってくるが、第２カメラ６ｂの光軸の傾斜角度に応じて、第２カメラ６ｂがプローブ８１の先端を明瞭に撮影できるよう、各照明装置９のオン／オフを適宜切り換えることが好ましい。また、第２カメラ６ｂがプローブ８１およびテストパッドを明瞭に撮影できるよう、各照明装置９の明るさを適宜調整することが好ましい。各照明装置９の最適なオン／オフの情報および明るさの情報は、上記のようにＴＣＰの品種毎に基準情報として記憶し、利用することが好ましい。【００５０】
以上のように、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２によれば、プローブ８１の先端を明瞭に撮影することができるため、ＴＣＰハンドラ２の初期設定時に、ＴＣＰ５１のテストパッド５２とプローブ８１との位置合わせを正確に行うことができる。【００５１】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００５２】
例えば、図５に示すように、第２カメラ６ｂ’は、レンズ光軸がＺ軸方向に向いているカメラ本体６１と、そのレンズ光軸が傾くようにカメラ本体６１を回転させるモータ６６とを備えているものであってもよい。【００５３】
また、キャリアテープ上のＴＣＰが、矩形の対向する二辺に外部端子を有する形状となっている場合には、プローブカード８のプローブ８１もそれに対応する配列となるが、この場合には、上記実施形態における第２カメラ６ｂの第１のモータ６４または第２のモータ６５は省略されてもよい。具体的には、複数のプローブ８１が並んでいる方向に回転軸を有するモータを残し、他方のモータを省略することが好ましい。【００５４】
さらには、モータ６４，６５，６６の替わりに、例えばエアシリンダ等の直動アクチュエータとクランクとの組み合わせを回転装置として使用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置の初期設定時において、測定部（プローブカード）の接続端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせ作業を正確に行うのに有用である。
【図１】
2008132934.tif 000003
【図２】
2008132934.tif 000004
【図３】
2008132934.tif 000005
【図４】
2008132934.tif 000006
【図５】
2008132934.tif 000007
【図６】
2008132934.tif 000008
【図７】
2008132934.tif 000009
【図８】
2008132934.tif 000010
【国際調査報告】
2008132934.tif 000011
2008132934.tif 000012