【手続補正書】
【提出日】平成16年3月18日(2004.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１及び第２基板間に電気光学物質が挟持されてなり、
前記第１及び第２基板間に、平面的に見てそれらの周囲に沿ったシール領域で前記第１及び第２基板を相接着するシール材を備えており、
前記第１基板上に、平面的に見て前記シール領域で包囲された画像表示領域に配置された複数の画素電極と、前記第２基板上の対向電極と上下導通するための上下導通パッドとを備えており、
前記上下導通パッドは、前記画素電極下の層間絶縁膜と共に平坦化されて、前記対向電極と上下導通していることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記上下導通パッドは、前記シール材に含まれる導電性材料を介して前記対向電極と上下導通することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記上下導通パッドは、前記層間絶縁膜下に配置された対向電極信号線に接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記対向電極信号線下の層間絶縁膜は、平坦化されていることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記対向電極信号線は、画素電極に対応して設けられた薄膜トランジスタに接続されるデータ線と同一膜で形成されることを特徴とする請求項３又は４に記載の電気光学装置。
【請求項６】
電気光学装置を製造する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１基板上に第１層間絶縁膜を形成し、前記第１層間絶縁膜と前記上下導通パッドを形成し、前記第１層間絶縁膜と前記上下導通パッドの表面を共に平坦化する工程と、
前記第２基板上に前記対向電極を形成する工程と、
前記第１基板及び前記第２基板を前記シール材により相接着する工程とを含み、
前記前記上下導通パッドと前記対向電極とを導通させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
光源と、
請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置でなるライトバルブと、
前記光源から発生した光を前記ライトバルブに導光する導光部材と、
前記ライトバルブで変調された光を投射する投射光学部材とを備えることを特徴とする投射型表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上下導通領域を小さくすることにより基板の小型化或いは画像表示領域の大型化を図ろうとすれば、上下導通自体の信頼性が低下してしまう。或いは、この問題に対し、シール領域を小さくすることにより、基板の小型化或いは画像表示領域の大型化を図ろうとすれば、両基板の貼り合わせの信頼性や基板間のギャップ制御の信頼性が低下してしまう。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、一対の基板を貼り合わせるシール材に係る構成及び一対の基板間の上下導通に係る構成の簡略化を図ることが可能であり且つ該上下導通の信頼性を高めることが可能である電気光学装置及びその製造方法を提供することを課題とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、一対の第１及び第２基板間に電気光学物質が挟持されてなり、前記第１及び第２基板間に、平面的に見てそれらの周囲に沿ったシール領域で前記第１及び第２基板を相接着するシール材を備えており、前記第１基板上に、平面的に見て前記シール領域で包囲された画像表示領域に配置された複数の画素電極と、前記第２基板上の対向電極と上下導通するための上下導通パッドとを備えており、前記上下導通パッドは、前記画素電極下の層間絶縁膜と共に平坦化されて、前記対向電極と上下導通していることを特徴とする。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の電気光学装置の一態様は、前記上下導通パッドは、前記シール材に含まれる導電性材料を介して前記対向電極と上下導通することを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の電気光学装置の一態様は、前記上下導通パッドは、前記層間絶縁膜下に配置された対向電極信号線に接続されていることを特徴とする。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の電気光学装置の一態様は、前記対向電極信号線下の層間絶縁膜は、平坦化されていることを特徴とする。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の電気光学装置の一態様は、前記対向電極信号線は、画素電極に対応して設けられた薄膜トランジスタに接続されるデータ線と同一膜で形成されることを特徴とする。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、前記第１基板上に第１層間絶縁膜を形成し、前記第１層間絶縁膜と前記上下導通パッドを形成し、前記第１層間絶縁膜と前記上下導通パッドの表面を共に平坦化する工程と、前記第２基板上に前記対向電極を形成する工程と、前記第１基板及び前記第２基板を前記シール材により相接着する工程とを含み、前記前記上下導通パッドと前記対向電極とを導通させることを特徴とする。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】