【手続補正書】
【提出日】平成17年4月25日(2005.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式Ｉ又はII：
【化１】
2005504013.tif 000001
〔式中、
Ｒ1は、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、水素、ＯＲ9、ＮＲ10Ｒ11、ＳＲ12であるか、あるいは非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1〜Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ12アルコキシによって置換されたフェニルであり；
Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4及びＲ5は、互いに独立して、水素、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ13、ＮＲ14Ｒ15、ＳＲ16、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ2〜Ｃ6アルカノイル、ベンゾイル、−（ＣＯ）ＯＲ9、−（ＣＯ）ＮＲ10Ｒ11又は−（ＣＯ）ＳＲ12であり；
Ｒ6は、Ｃ1〜Ｃ18アルキルスルホニル、Ｃ1〜Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり、ここで、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルスルホニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル及びフェナントリルスルホニル基のシクロアルキル、フェニル、ナフチル、アントラシル及びフェナントリル基は、非置換であるか、又は１つ以上の、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、ＯＲ13、（ＣＯ）ＯＲ9、Ｃ1〜Ｃ4アルキル−（ＣＯ）Ｏ−、Ｒ9ＯＳＯ2−及び／若しくは−ＮＲ14Ｒ15で置換されており；あるいはＲ6は、Ｃ2〜Ｃ6ハロアルカノイル、ハロベンゾイルであり；あるいはＲ6は、下記式：
【化２】
2005504013.tif 000002
で示される基であり、
Ｘ1、Ｘ2及びＸ3は、互いに独立してＯ又はＳであり；
Ｒ′6は、フェニレンジスルホニル、ナフチレンジスルホニル、
【化３】
2005504013.tif 000003
ジフェニレンジスルホニル、又はオキシジフェニレンジスルホニルであり、ここで、これらの基は、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ12アルキルで置換されており；あるいはＲ′6は、Ｃ2〜Ｃ12アルキレンジスルホニルであり；
Ｒ7及びＲ8は、互いに独立して、水素、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ6アルキル、Ｃ1〜Ｃ6アルコキシ、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ2〜Ｃ6アルカノイル、ベンゾイル、フェニル、−Ｓ−フェニル、ＯＲ13、ＳＲ16、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ2〜Ｃ6アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｃ1〜Ｃ6アルキル、Ｓ（Ｏ）ｎ−Ｃ6〜Ｃ12アリール、Ｃ1〜Ｃ12アルキル置換されたＳ（Ｏ）ｎ−Ｃ6〜Ｃ12アリール、ＳＯ2Ｏ−Ｃ1〜Ｃ6アルキル、ＳＯ2Ｏ−Ｃ6〜Ｃ10アリール又はＮＨＣＯＮＨ2であり；
ｎは、０、１又は２であり；
Ｒ9は、水素、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ1〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ9は、１つ以上の−Ｏ−によって中断され、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ2〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ9は、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1〜Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ12アルコキシによって置換されたフェニルであり；
Ｒ10、Ｒ11、Ｒ14及びＲ15は、互いに独立して、水素であるか、あるいは非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチル−フェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ1〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ10、Ｒ11、Ｒ14及びＲ15は、１つ以上の−Ｏ−によって中断され、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1〜Ｃ4アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ2〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ10及びＲ11は、非置換であるか、又はＯＨ、Ｃ1〜Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ12アルコキシによって置換されたフェニルであり；あるいはＲ10、Ｒ11、Ｒ14及びＲ15は、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ2〜Ｃ18アルカノイルであり；あるいはＲ10、Ｒ11、Ｒ14及びＲ15は、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、フェニルアミノ、フェニルアミノカルボニル、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり；あるいはＲ10、Ｒ11、Ｒ14及びＲ15は、非置換であるか、又は１つ以上の、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシによって置換されたフェニルスルホニルであり；あるいはＲ10、Ｒ11、Ｒ14及びＲ15は、ベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；あるいはＲ10及びＲ11、又はＲ14及びＲ15は、これらに結合する窒素原子と一緒になって、−Ｏ−若しくは−ＮＲ13−によって場合により中断されている５−、６−又は７−員環を形成し；
Ｒ12は、水素、フェニル、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6−アルカノイルで置換されたＣ1〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ12は、１つ以上の−Ｏ−によって中断され、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ2〜Ｃ18アルキルであり；
Ｒ13は、Ｒ9に関して与えられた意味の１つを有するか、あるいは非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ2〜Ｃ18アルカノイルであり；あるいはＲ13は、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり；あるいはＲ13は、非置換であるか、又は１つ以上の、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ及び／又はフェノキシによって置換されたフェニルスルホニルであり；あるいはＲ13は、ベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ16は、Ｒ12に関して与えられた意味の１つを有するか、あるいは非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ2〜Ｃ18アルカノイルであり；あるいはＲ16は、非置換であるか、又はフェニル、ＯＨ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ、Ｃ2〜Ｃ12アルコキシカルボニル、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ14Ｒ15、Ｃ1〜Ｃ12アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、及び／若しくはＣ2〜Ｃ6アルカノイルによって置換されたＣ1〜Ｃ18アルキルスルホニルであり；あるいはＲ16は、非置換であるか、又は１つ以上の、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ16アルキル、フェニル、Ｃ1〜Ｃ4アルキルチオ、Ｃ1〜Ｃ12アルコキシ及び／若しくはフェノキシによって置換されたフェニルスルホニルであり；あるいはＲ16は、ベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルスルホニル、Ｃ3〜Ｃ30シクロアルキルスルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであり；
Ｒ17、Ｒ18、Ｒ19及びＲ20は、互いに独立して、非置換であるか、又はハロゲンによって置換されたＣ1〜Ｃ6アルキルであり；あるいはＲ17、Ｒ18、Ｒ19及びＲ20は、非置換であるか又はＣ1〜Ｃ4アルキル若しくはハロゲンによって置換されたフェニルであり；あるいはＲ19及びＲ20は、共に１，２−フェニレンあるいは非置換であるか又はＣ1〜Ｃ4アルキル若しくはハロゲンによって置換されたＣ2〜Ｃ6アルキレンであり；
Ａは、Ｓ、Ｏ、ＮＲ13、又は下式Ａ1、Ａ2又はＡ3：
【化４】
2005504013.tif 000004
で示される基であり、
Ｒ21及びＲ22は、互いに独立して、Ｒ7に関して与えられた意味の１つを有するか、あるいはＲ21及びＲ22は共に、−ＣＯ−ＮＲ13ＣＯ−であるか、
あるいはＲ21及びＲ22はともに、−Ｃ（Ｒ23）＝Ｃ（Ｒ24）−Ｃ（Ｒ25）＝Ｃ（Ｒ26）−であり；
Ｒ23、Ｒ24、Ｒ25及びＲ26は、互いに独立して、水素、Ｃ1〜Ｃ4アルキル、ハロゲン、フェニル、ＯＲ13、ＳＲ16、ＮＲ14Ｒ15、−Ｓ−フェニル、Ｃ2〜Ｃ6アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、ＣＮ、ＮＯ2、Ｃ1〜Ｃ4ハロアルキル、Ｓ（Ｏ）nＣ1〜Ｃ6アルキル、Ｓ（Ｏ）n−Ｃ6〜Ｃ12アリール、Ｃ1〜Ｃ12アルキル置換されたＳ（Ｏ）n−Ｃ6〜Ｃ12アリール、ＳＯ2Ｏ−Ｃ1〜Ｃ6アルキル、ＳＯ2Ｏ−Ｃ6〜Ｃ10アリール又はＮＨＣＯＮＨ2であり；
Ｚは、ＣＲ22又はＮであり；そして
Ｚ1は、−ＣＨ2−、Ｓ、Ｏ又はＮＲ13である〕
で示される化合物。
【請求項２】
Ｒ1が、ＯＲ9又はＮＲ10Ｒ11であり；
Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4及びＲ5が、互いに独立して、水素、Ｃ1〜Ｃ12アルキル、ハロゲン、ＯＲ13又は−（ＣＯ）ＯＲ9であり；
Ｒ6が、Ｃ1〜Ｃ18アルキルスルホニル、Ｃ1〜Ｃ10ハロアルキルスルホニル、カンホリルスルホニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、又はナフチルスルホニルであり、ここで、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル及びナフチルスルホニル基のフェニル及びナフチル基は、非置換であるか、又は１つ以上の、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ16アルキル及び／若しくはＯＲ13によって置換されており；
Ｒ′6が、フェニレンジスルホニルであり；
Ｒ7及びＲ8が、互いに独立して、水素、ハロゲン、Ｃ1〜Ｃ6アルキル、Ｃ1〜Ｃ6アルコキシ又はＯＲ13であり；
Ｒ9が、水素、Ｃ1〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ9が、非置換であるか、又はＣ1〜Ｃ18アルキル、ハロゲン及び／若しくはＣ1〜Ｃ12アルコキシによって置換されたフェニルであり；
Ｒ10及びＲ11が、互いに独立して、水素又はＣ1〜Ｃ18アルキルであり；あるいはＲ10及びＲ11が、それらに結合する窒素原子と一緒になって、−Ｏ−若しくは−ＮＲ13−によって場合により中断されている５−、６−又は７−員環を形成し；
Ｒ13が、水素、Ｃ1〜Ｃ18アルキル又はフェニルであり；
Ａが、Ｓ又は式Ａ１の基であり、
Ｒ21及びＲ22が、互いに独立して、Ｒ7に関して与えられた意味の１つを有し；そして
Ｚが、ＣＲ22である、
請求項１に記載の式Ｉ又はIIの化合物。
【請求項３】
（ａ）酸の作用によって硬化する化合物又は酸の作用によってその溶解性が増大する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、請求項１に記載の式Ｉ又はIIの少なくとも１つの化合物
を含む化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項４】
ポジ型レジストである、請求項３に記載の化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項５】
ネガ型レジストである、請求項３に記載の化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項６】
成分（ａ）及び（ｂ）に加えて、更なる添加剤（ｃ）、更なる感光性の酸供与化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）、及び／又は増感剤（ｅ）を含む、請求項３〜５のいずれか１項に記載の化学的に増幅されたフォトレジスト組成物。
【請求項７】
（１）請求項３〜６のいずれか１項記載の組成物を基板に塗布すること；
（２）組成物を６０〜１６０℃の温度で塗布後ベークすること；
（３）波長１５０〜１５００nmの光で画像どおりに照射すること；
（４）場合により組成物を６０〜１６０℃の温度で露光後ベークすること；及び
（５）溶媒又は水性アルカリ現像溶液で現像すること
を含む、フォトレジストの調製方法。
【請求項８】
式III：
【化５】
2005504013.tif 000005
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ7、Ｒ8及びＡは、請求項１に定義されたとおりである）
で示される化合物。
【請求項９】
（ａ）酸の作用によって硬化する化合物又は酸の作用によってその溶解性が増大する化合物；及び
（ｂ）感光性酸供与体として、請求項１に記載の式Ｉ又はIIの少なくとも１つの化合物
を含む組成物。
【請求項１０】
酸の作用によって架橋できる化合物の架橋方法であって、請求項１に記載の式Ｉ及び／又はＩＩの化合物を前記酸の作用によって架橋できる化合物に添加することと、波長１５０〜１５００nmを有する光で画像どおりに又は全領域にわたって照射することとを含む、方法。
【請求項１１】
表面コーティング剤、印刷インキ、印刷版、歯科用組成物、カラーフィルタ、レジスト、画像記録材料、又はホログラフ画像記録用画像記録材料の調製のための請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
式III
【化２１】
2005504013.tif 000006
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ7、Ｒ8及びＡは、請求項１に定義されたとおりである）
で示される化合物を、不活性溶媒中、塩基の存在下で式IV、Ｖ又はVI
【化２２】
2005504013.tif 000007
（式中、Ｒ6及びＲ′6は、請求項１に定義されたとおりである）
で示される酸ハロゲン化物又は酸無水物と反応させることにより、
式Ｉ、又はII
【化２３】
2005504013.tif 000008
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ′6、Ｒ7、Ｒ8及びＡは、請求項１に定義されたとおりである）
で示される化合物の調製方法。
【請求項１３】
２−ニトロチオフェンを塩基の存在下でＲ1−２−シアノメチルベンゾエート（Ｒ1は、請求項１に定義されたとおりである）と反応させることによる、式III
【化２４】
2005504013.tif 000009
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ7、Ｒ8及びＡは、請求項１に定義されたとおりである）
で示される化合物の調製方法。
【請求項１４】
２−ニトロチオフェンを塩基の存在下でＲ1−２−シアノメチルベンゾエートと反応させて対応する遊離オキシムを与え、次いで前記遊離オキシムを不活性溶媒中、塩基の存在下でハロゲン化物Ｒ6Ｃｌ又は無水物Ｒ6−Ｏ−Ｒ6（式中、Ｒ1及びＲ6は、請求項１に定義されたとおりである）と反応させることにより得られる生成物。