【手続補正書】
【提出日】平成16年6月8日(2004.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  流体の分配を可能にするマニホルド装置において、
マニホルドブロックの各々が共通の面にアクセスする入口及び出口ポートを有する流体路を持つ複数の個々のマニホルドブロックと、
それぞれの流体路を相互接続し得るように位置決めすることを作用可能に許容すべく一対の隣接するマニホルドブロックを取り外し可能に相互に係止する手段とを備え、
前記手段が、前記複数の個々のマニホルドブロックの第一のマニホルドブロック上において、本体中央部分と、前記本体中央部分から一方向に伸びる第一のフランジと、前記本体中央部分から他方向に伸びる第二のフランジとを含むことを特徴とするマニホルド装置。
【請求項２】  請求項１のマニホルド装置において、前記一方向は前記他方向の反対方向である、マニホルド装置。
【請求項３】  請求項１又は２のマニホルド装置において、前記第一のフランジが、前記第一のマニホルドブロックの前記本体中央部分の上面から片持ち式に伸び、前記第二のフランジが、前記第一のマニホルドブロックの前記本体中央部分の下面から片持ち式に伸びる、マニホルド装置。
【請求項４】  請求項３のマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロックの前記本体中央部の前記上面が、前記共通の面に対して共通の平面である、マニホルド装置。
【請求項５】  請求項１乃至４の何れかのマニホルド装置において、前記第一のフランジ及び第二のフランジは、前記第一のマニホルドブロックが隣接するマニホルドブロックに対して相互に係止されることを許容する相補的な形態を有する、マニホルド装置。
【請求項６】  請求項１又は２のマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロックの前記本体中央部分が、前記流体路を受け入れるリブを有する、マニホルド装置。
【請求項７】  請求項１乃至６の何れかのマニホルド装置において、前記入口及び出口ポートの１つが、前記第一のマニホルドブロックの前記第一のフランジの上に伸びる、マニホルド装置。
【請求項８】  請求項１乃至７の何れかのマニホルド装置において、前記第一のフランジが、隣接するマニホルドブロックの片持ちフランジに対して、前記第一のフランジの接続を可能にする少なくとも一つの開孔を有する、マニホルド装置。
【請求項９】  請求項１乃至８の何れかのマニホルド装置において、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジのそれぞれが、支持面に対して前記第一のマニホルドブロックの取り付けを可能にする少なくとも１つの穴を有する、マニホルド装置。
【請求項１０】  請求項１乃至９の何れかのマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロックは、作用可能な部品と密封係合状態で、前記第一のマニホルドブロックに対して、前記作用可能な部品を直接取り付けることを許容する締結開孔を有する、マニホルド装置。
【請求項１１】  請求項１０のマニホルド装置において、前記締結開孔は、前記作用可能な部品と密封係合状態で、当該作用可能な部品を前記第一のマニホルドに直接取り付けることを許容する一方、隣接するマニホルドブロックにも密封接続される、マニホルド装置。
【請求項１２】  請求項１乃至１０の何れかのマニホルド装置において、前記複数のマニホルドブロックのそれぞれが、前記共通の面を形成する水平な上面上にのみ、入口及び出口ポートを有する、マニホルド装置。
【請求項１３】  請求項１乃至５の何れかのマニホルド装置において、前記第一のフランジが雄型の形態を有し、前記第二のフランジが雌型の形態を有する、マニホルド装置。
【請求項１４】  請求項１３のマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロックの前記入口及び出口ポートの１つが前記第一のフランジに位置する、マニホルド装置。
【請求項１５】  請求項１３又は１４のマニホルド装置において、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジの一方が整合開孔を有し、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジの他方が相補的な形態の整合ポストを有する、マニホルド装置。
【請求項１６】  請求項１３又は１４のマニホルド装置において、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジの一方が円形の形態の一対の整合開孔を有し、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジの他方が円筒状の形態の一対の整合ポストを有し、前記整合開孔及び前記整合ポストが合わさったとき、共通の面が前記第一のマニホルドブロックと隣接するマニホルドブロックとの間にて同一の平面内を伸び、前記第一のマニホルドブロックと前記隣接するマニホルドブロックとが共通の長手方向軸線に沿って維持されるような、前記整合開孔のそれぞれの深さ及び前記整合ポストの高さであるようにした、マニホルド装置。
【請求項１７】  請求項１乃至５の何れかのマニホルド装置において、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジの一方が、当該フランジから伸びる垂直整合装置を備え、前記第一のフランジ及び前記第二のフランジの他方が、隣接するマニホルドブロック上における垂直整合装置と相互作用する相補的な垂直受け部装置を有する、マニホルド装置。
【請求項１８】  請求項１乃至５、又は、請求項１２乃至１６の何れかのマニホルド装置において、前記複数の個々のマニホルドブロックが前記第一のマニホルドブロックと同一の第二のマニホルドブロックを含み、前記第一のマニホルドブロックの前記第一のフランジが前記第二のマニホルドブロックの前記第二のフランジの上方になる、マニホルド装置。
【請求項１９】  請求項１乃至１８の何れかのマニホルド装置において、前記複数の個々のマニホルドブロックの少なくとも１つが、複数の出口ポート及び複数の入口ポートの一方を有する、マニホルド装置。
【請求項２０】  請求項１乃至１９の何れかのマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロックと密封係合する状態で配置される少なくとも一つの作用可能な部品と接続する、マニホルド装置。
【請求項２１】  請求項２０のマニホルド装置において、前記少なくと一つの作用可能な部品が前記第一のマニホルドブロック及び隣接するマニホルドブロックを渡って架橋する、マニホルド装置。
【請求項２２】  請求項２０又は２１のマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロック及び前記作用可能な部品が、作用可能なガススティックの少なくとも一部分を形成し、ガスを半導体工具に供給する、マニホルド装置。
【請求項２３】  請求項２０乃至２２の何れかのマニホルド装置において、シールアセンブリが、前記第一のマニホルドブロックを渡って伸び、且つ、前記第一のマニホルドブロックの前記共通の面に対する共通の平面内に位置し、前記作用可能な部品が、前記シールアセンブリに取り付けられ、且つ、前記第一のマニホルドブロックに締結され、前記作用可能な部品が前記第一のマニホルドブロックを渡って隣接するマニホルドブロックに伸びる、マニホルド装置。
【請求項２４】  請求項１乃至５、及び請求項１３乃至１８の何れかのマニホルド装置において、前記第一のマニホルドブロックが、作用可能な部品を前記第一のマニホルドブロックにのみ直接、取り付けることを許容する一組の締結開孔を有する一方、前記第一のマニホルドに隣接するマニホルドブロックの第二のフランジの上方に前記第一のマニホルドブロックの第一のフランジが位置する状態で、前記第一のマニホルドブロック及び前記隣接するマニホルドブロックの双方に密封接続される、マニホルド装置。