【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に移動するガラス板に対してレーザービームを照射し、長円のレーザースポットを形成する光学系と、
前記長円のレーザースポットの移動方向の後方の部位に冷媒を吹き付けるノズルと、を具備し、
前記ガラス板の内部に熱歪みを生じさせて、前記ガラス板をレーザービームの照射ラインに沿って切断するガラス切断装置において、
前記ガラス板のレーザービームの照射ラインに鉛直な面で、かつ前記ガラス板の移動方向側の上面を角度０°とするとき、前記ノズルのガラス板に対する吹き付け角度θ１を７５°〜１２０°とし、前記長円のレーザスポットへの冷媒の流れ込みを制御することを特徴とするガラス切断装置。
【請求項２】
上記ノズルを随意の支点を中心に回動もしくは傾動自在とする１軸移動回動機構を備えた請求項１記載のガラス切断装置。
【請求項３】
１軸移動回動機構を更に備えた請求項２記載のガラス切断装置。
【請求項４】
２軸移動回動機構を更に備えた請求項２記載のガラス切断装置。
【請求項５】
３軸移動回動機構を更に備えた請求項２記載のガラス切断装置。
【請求項６】
４軸移動回動機構を更に備えた請求項２記載のガラス切断装置。
【請求項７】
一方向に移動するガラス板に対してレーザービームを照射し、長円のレーザスポットを形成する光学系と、
前記長円のレーザースポットの移動方向の後方の部位に冷媒を吹き付けるノズルと、を具備し、
前記ガラス板の内部に熱歪みを生じさせて、前記ガラス板をレーザービームの照射ラインに沿って切断するガラス切断装置において、
前記ノズルを前記レーザービームの照射ラインの両側にそれぞれ設け、前記長円のレーザスポットへの冷媒の流れ込みを制御することを特徴とするガラス切断装置。
【請求項８】
前記レーザービームの照射ラインに直角な鉛直面で、かつ前記ガラス板の上面を角度０°とするとき、２台のノズルのガラス板に対するそれぞれの吹き付け角度θ２を３０°〜８５°とし、さらに、前記ガラス板のレーザービームの照射ラインで、かつ前記ガラス板の移動方向側の上面を角度０°とするとき、上方から見たときの２台の前記ノズルがなす角度θ３を３０°〜３３０°とする請求項７に記載のガラス切断装置。
【請求項９】
前記２台のノズルの冷媒吹き付けの条件に差を持たせるか、および／または設置条件を互いに異ならせてガラス板を分断する請求項８記載のガラス切断装置。
【請求項１０】
前記レーザービームの照射ラインが閉曲線である請求項７記載のガラス切断装置。
【請求項１１】
前記２台のノズルの一方から冷媒を吹き付け、他方のノズルからエアーを吹き付け、前記冷媒を所定の方向に導く請求項８記載のガラス切断装置。
【請求項１２】
前記冷媒は気体もしくは気体と液体の混合物である請求項１〜１１のいずれかに記載のガラス切断装置。
【請求項１３】
一方向に移動するガラス板に対して長円のレーザースポットを照射し、長円のレーザスポットの形成するステップと、
前記長円のレーザースポットの移動方向の後方の部位にノズルを用いて冷媒を吹き付けるステップと、を包含し、
前記ガラス板の内部に熱歪みを生じさせて、前記ガラス板をレーザービームの照射ラインに沿って切断するガラス切断方法において、
前記ガラス板のレーザービームの照射ラインに鉛直な面で、かつ前記ガラス板の移動方向側の上面を角度０°とするとき、前記ノズルのガラス板に対する吹き付け角度θ１を７５°〜１２０°とし、前記長円のレーザースポットへの冷媒の流れ込みを制御することを特徴とするガラス切断方法。
【請求項１４】
一方向に移動するガラス板に対して長円のレーザースポットを照射し、長円のレーザースポットの形成するステップと、
前記長円のレーザースポットの移動方向の後方の部位にノズルを用いて冷媒を吹き付けるステップと、を包含し、
前記ガラス板の内部に熱歪みを生じさせて、前記ガラス板をレーザービームの照射ラインに沿って切断するガラス切断方法において、
前記ノズルを上記レーザービームの照射ラインの両側にそれぞれ設け、前記長円のレーザースポットへの冷媒の流れ込みを制御することを特徴とするガラス切断方法。
【請求項１５】
前記レーザービームの照射ラインに直角な鉛直面で、かつ前記ガラス板の上面を角度０°とするとき、２台のノズルのガラス板に対するそれぞれの吹き付け角度θ２を３０°〜８５°とし、さらに、前記ガラス板のレーザービームの照射ラインで、かつ前記ガラス板の移動方向側の上面を角度０°とするとき、上方から見たときの２台の前記ノズルがなす角度θ３を３０°〜３３０°とする請求項１４に記載のガラス切断方法。
【請求項１６】
前記２台のノズルの冷媒吹き付けの条件に差を持たせるか、および／または設置条件を互いに異ならせてガラス板を分断する請求項１５記載のガラス切断方法。
【請求項１７】
上前記冷媒は気体もしくは気体と液体の混合物である請求項１３〜１６のいずれかに記載のガラス切断方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１態様は、請求項１にあるように、一方向に移動するガラス板に対してレーザービームを照射して加熱し、その加熱部位の下流側においてノズルを用いて冷媒を吹き付け急速冷却することでガラス板を分断するガラス切断装置のレーザー照射のラインＱの垂直な面において、ガラス板の移動方向側のガラス板上面を角度０°として前記ノズルのガラス板に対する吹き付け角度θ１を７５°〜１２０°とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【発明の実施の形態】
図２は本発明の第１態様を示しており、１本のノズル５を用いている。そのノズル５は、図１の場合と同様に、レーザー照射ラインのラインＱ上に光学系２とガラス板１の移動方向(Ｘ方向)は一列に並ぶ。そしてノズル５は、随意の支点を中心に傾動自在に設けられ、レーザー照射ラインＱに鉛直な面において、ガラス板上のＸ方向のガラス板上面を角度０°として吹き付け角度θ１が７５°〜１２０°の範囲に保持される。ノズル５の設置角度がこの範囲内であれば、吹き付けた冷媒ジェットが加熱部位における加熱に悪影響を及ぼさないことがわかった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図１２は本発明の第２態様の第１実施形態を示した斜視図であり、ノズルを５、５’のごとく２台用いている。これらのノズル５、５’は、レーザー照射のラインＱを境として両側方から冷媒ジェットを吹き付けるように設置される。ガラス面に対するノズル５、５’の吹き付け角度θ２、θ２’は互いに等しく、レーザー照射ラインＱに直角な鉛直面でガラス板上面を０°としたときに、３０°〜８５°の範囲である。図１３は上方から眺めた図であり、上方から眺めたときの、両ノズル５、５’のなす角度θ３(下流側でなす角度)は、分断するガラス板上面においてレーザー照射のラインＱ上のガラス板の移動方向側を０°とすると、図１４に示すように、３０°〜３３０°の広範囲にできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第１態様では、レーザー照射のラインＱに鉛直な面において、ノズルの吹き付け角度をガラス板の移動方向側のガラス板上面を角度０°として７５°〜１２０°としており、ノズルの吹き付け角度がこの範囲内であれば、吹き付けた冷媒ジェットが加熱部位における加熱に悪影響を及ぼすことはない。
本発明の第２態様では、ノズルを分断ラインの両側にそれぞれ設け、一方のノズルからの冷媒の流れを他方のノズルからの冷媒流で制御するか、もしくは打ち消すようにしたので、冷媒の加熱部位への流れ込みをなくせる。