【手続補正書】
【提出日】平成17年3月29日(2005.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】  工程間搬送装置の搬送順序の決定方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体等の搬送物を工程間で搬送する場合、定常的に搬送要求から搬送開始までの時間遅れが存在する工程間搬送装置の搬送順序の決定方法において、搬送要求が発生してから搬送車が割り当てられるまでの間に滞留した搬送物の中から搬送物を選択する際に、運転状況に応じて搬送物を選択する選択基準を変更するようにしたことを特徴とする工程間搬送装置の搬送順序の決定方法。
【請求項２】  搬送要求をキューに一時的にある時間滞留させ、該キューに滞留蓄積させた搬送要求を優先順位の高い順に並べ替え、優先順位の高い搬送物を選択するようにしたことを特徴とする請求項１記載の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工程間搬送装置の搬送順序の決定方法に関し、特に、運転状況に応じて搬送物を選択する選択基準を変更して、常に適正な搬送が行えるようにした工程間搬送装置の搬送順序の決定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場等において、搬送物を工程間で搬送する場合、搬送順序は事前に決められた方法に従って、例えば、搬送物のＳＩＭ等の上位コンピュータで管理している各搬送物に対する特急、普通等の優先順位、搬送要求の発生時刻、搬送物の生成時刻等で構成された搬送物の優先度情報をある特定の優先順位に従い降順に並べ替えた後、この並べ替え結果の上位の搬送物から選択して搬送するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法では、例えば、同一の搬送物優先順位の搬送物が複数存在する場合、搬送要求の古い順に搬送し、また、同一搬送要求時間の場合には搬送物の生成時刻の古いものから順に搬送することとなる。
この場合、時刻情報は年月日、時分秒までのより詳しい情報を持っていると、同一時刻で複数の搬送要求が発生することは希となり、搬送物の優先度情報をある特定の優先順位に従い降順に並べ替えたところで、搬送物生成時刻がソート結果に寄与することがほとんどないという問題があった。
また、ソート方法が固定されているため、搬送量優先の運転、システム内の滞留時間最小の運転、特定の搬送物を優先的に運ぶ、あるいは特定の工程の製造装置が停止していた後の復旧時点で特定工程の搬送を優先的に行う等の搬送の優先順位を状況に応じて可変にすることができないという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記従来の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法の有する問題点に鑑み、運転状況に応じて搬送物を選択する選択基準を変更し、搬送物の優先度情報を特定の優先順位に従って並べ替えて、常に適正順序で搬送することができるようにした工程間搬送装置の搬送順序の決定方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法は、半導体等の搬送物を工程間で搬送する場合、定常的に搬送要求から搬送開始までの時間遅れが存在する工程間搬送装置の搬送順序の決定方法において、搬送要求が発生してから搬送車が割り当てられるまでの間に滞留した搬送物の中から搬送物を選択する際に、運転状況に応じて搬送物を選択する選択基準を変更するようにしたことを特徴とする。
そして、具体的には、搬送要求をキューに一時的にある時間滞留させ、該キューに滞留蓄積させた搬送要求を優先順位の高い順に並べ替え、優先順位の高い搬送物を選択するようにする。
【０００６】
この工程間搬送装置の搬送順序の決定方法は、搬送要求が発生してから搬送車が割り当てられるまでの間に滞留した搬送物の中から搬送物を選択する際に、運転状況に応じて搬送物を選択する選択基準を変更し、搬送物の優先度情報を特定の優先順位に従って並べ替えて、常に適正順序で搬送することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００８】
図１に、工程間搬送システムにおいて、搬送物の優先度情報を特定の優先順位に従って並べ替えて、搬送物の搬送を運転状況に応じて行うように構成した本発明の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法を実施する工程間搬送装置の概略を示す。
複数台の搬送車３は、予め配設された工程間搬送装置の搬送軌道１上を走行し、指定された搬送車３により搬送物の積み卸しを、搬送軌道１に沿って配設したステーション２で行うように構成されている。
また、各搬送車３は、上位のＳＩＭ等の制御コンピュータにより制御される搬送車制御装置により、搬送物の搬送元、搬送先を指示されて、搬送及び搬送物の積み卸しを行うように構成されている。
【０００９】
搬送車制御装置は、上位のＳＩＭ等の制御コンピュータからの指示に基づき、搬送車の配置、搬送の優先順位を考慮し、空車走行している搬送車、あるいは搬送元のステーションに荷を積載して走行している搬送車の何れかの搬送車を確保し、この搬送車で搬送するように搬送要求に従って搬送車を制御する。
【００１０】
このようにして各ステーションで搬送要求が発生した場合、搬送要求を出したステーションに最初に到着する搬送車を割り付けるようにするが、ステーションの搬送要求に直ちに応じられない場合、図２に示すように、搬送要求をキュー４ａ，４ｂ，４ｃ（キュー：バッファと同様に、これから実行されるべき命令群を、前の命令の処理が終わって処理装置が次の命令を受ける準備が整うまで一時的に保管しておく待ち行列をいう。以下同じ。）に滞留させる。
【００１１】
搬送要求をキュー４ａ，４ｂ，４ｃに一時的にある時間滞留させ、常時蓄積するようにするとともに、あるステーション２ａ，２ｂ，２ｃで発生した搬送要求に対して、このキュー４ａ，４ｂ，４ｃに滞留蓄積させた搬送要求の中からその時点で、最も優先順位の高い搬送物の搬送要求に応じて搬送車に指示を与える。
【００１２】
すなわち、各ステーション２ａ，２ｂ，２ｃに対し、キュー４ａ，４ｂ，４ｃをそれぞれ設け、各ステーション２ａ，２ｂ，２ｃで発生する搬送要求を各キュー４ａ，４ｂ，４ｃに滞留させる。
各キュー４ａ，４ｂ，４ｃに滞留している搬送要求ａ１，ｂ１，ｃ１を、搬送システムの運転運転状況に応じ，生産ラインの操作員、あるいは上位コンピュータの指示で優先順位の高い順に、それぞれ並べ替える。
【００１３】
ここでは、搬送要求を、キューに追加する際に以下の方法でデータの変換を行うことにより、単一方法の並べ替えで多様な運転に対応する優先順位の組み替えを提供することができるようにする。
【００１４】
［キューイングデータの変換］
搬送物情報は下記の要素から構成される。
（１）搬送物を特定するためのロット識別情報（ロットＩＤ）：複数バイトの文字列で表現する。
（２）搬送物が搬送系に投入された時刻で、年月日、時分秒の時刻情報：各項目は、１バイトの数値で表現する。なお、年については、西暦をそのまま表示する場合には、２バイトの数値で表現することもできる。
（３）次工程への搬送要求の発生した時刻で、年月日、時分秒の時刻情報：各項目は、１バイトの数値で表現する。なお、年については、西暦をそのまま表示する場合には、２バイトの数値で表現することもできる。
（４）ロット識別情報に対応した搬送の優先順位で、「特急」「急」「普通」等の優先順位、あるいは１〜９の数値による優先順位：１バイトの数値で表現する。
（５）搬送の搬送元ステーションの優先処理で、ステーションから優先的に次工程に送り出し搬送元ステーションの搬送物の滞留を消化するために使用する１バイトの数値。
（６）搬送先のステーションの優先処理で、次工程で搬送物が不足し、製造装置の空きができるのを回避するために使用する１バイトの数値。
（７）特定の搬送物を指定して搬送する場合に指定する１バイトの数値。
【００１５】
キューに追加する各情報は、直接キューに追加するのではなく、各項目毎にデータ変換を行い、さらにデータの並ぶ順序を順序変換情報に従い変換する。
【００１６】
以下、図３に基づいて、データ変換方法を説明する。
搬送元ステーションの優先処理情報は、変換関数ｆ１で数値情報に変換する。文字列と変換値の対応は文字列に対応した変換値の表を検索し、変換する。変換値の大小関係を反転する場合は、変換表で変換後、補数をとる。
搬送先のステーションの優先処理情報は、特定のステーションに対し優先順位を高くする変換表を作成し、変換関数ｆ２で数値に変換する。変換表は装置の各ステーションの工程に設置された製造装置の運転状況に応じリアルタイムに変換表を更新する。
以下同様に、次工程への搬送要求の発生した時刻情報１９までを各項目の変換関数で数値に変換し、大小関係を反転させる場合には、その数値の補数をとる。
【００１７】
変換関数ｆ５，ｆ６は時刻を数値に変換する関数で、指定の時刻情報よりも細かい情報をマスクするマスク関数も併せ持つ。一例として各詳細項目が１バイトの数値で年月日、時までの情報を有効にする場合、項目全体で６バイトの数値で表される数値と０ｘｆｆｆｆｆｆｆｆ００００の１６進数とのビット毎の論理積をとり、分、秒の桁を無効にする。
【００１８】
各項目の変換関数で変換された数値は、バイト単位で順序変換テーブルに従いデータの中の項目の並ぶ順序を変換する。
【００１９】
時刻情報は、６バイト、その他の項目は１バイトの数値であり、これをバイト単位で順序を組み替えることにより搬送の優先順序を変換する。
例えば、生産のターンアラウンドタイム（ＴＡＴ）の短縮を優先する場合には、搬送物が搬送系に投入された時刻情報１８を上位バイトに配置し、搬送要求の発生時間１９を下位バイトに配置する。
さらに、ロット識別情報に対応した搬送の優先順位情報の変換関数ｆ４に搬送物の発生時刻から現在までの経過時間で優先順位を上げていく要素を付加することで実現できる。
【００２０】
搬送要求に対する追従性を上げることは、搬送元の優先情報１４、搬送先の優先情報１５を上位に配置し、搬送物の優先情報１７を下位バイトに配置することにより実現可能である。
【００２１】
また、時刻情報の途中に他の情報を割込ませることにより、１日単位での優先順位の重み付けや時間単位での優先順位の重み付けが可能である。
【００２２】
このようにして元の情報を変換し、データの並ぶ順序を変更した搬送物情報を一意的な降順ソートで大きい順に並べ替え、キューの先頭に位置するデータからデータを取り出すことにより、搬送の優先順位を任意に変更可能な優先順位付きキュー（プライオリティーキュー）を実現できる。
【００２３】
なお、本発明は半導体の工程間搬送の優先順位付けだけでなく、液晶の工程間搬送や他の分野の搬送要求が一時的に滞留する搬送に対しも、広範囲に適用することができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法によれば、搬送要求が発生してから搬送車が割り当てられるまでの間に滞留した搬送物の中から搬送物を選択する際に、運転状況に応じて搬送物を選択する選択基準を変更し、搬送物の優先度情報を特定の優先順位に従って並べ替えて、常に適正順序で搬送することができ、効率的な工程間搬送を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の工程間搬送装置の搬送順序の決定方法を実施する工程間搬送装置の一例を示す説明図である。
【図２】
搬送キューを示す説明図である。
【図３】
データ変換方法の説明図である。
【符号の説明】
１    搬送軌道
２    ステーション
３    搬送車
４ａ，４ｂ，４ｃ  キュー
１４  搬送元ステーションの優先処理情報
１５  搬送先のテーションの優先処理情報
１６  特定の搬送物指定情報
１７  ロット識別情報に対応した搬送の優先順位情報
１８  搬送物が搬送系に投入された時刻情報
１９  次工程への搬送要求の発生した時刻情報
２０  搬送物を特定するためのロット識別情報
２１  順序変換テーブル
ｆ１  搬送元ステーションの優先処理情報の変換関数
ｆ２  搬送先のステーションの優先処理情報の変換関数
ｆ３  特定の搬送物指定情報の変換関数
ｆ４  ロット識別情報に対応した搬送の優先順位情報の変換関数
ｆ５  搬送物が搬送系に投入された時刻情報の変換関数
ｆ６  次工程への搬送要求の発生した時刻情報の変換関数