【手続補正書】
【提出日】平成17年2月4日(2005.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】磁気装置製造方法、磁気装置、及びステージ装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石を有する第１磁石ユニットと、前記磁石に対応する磁石を有する第２磁石ユニットと、板状の磁性体とを含む磁気装置を製造する磁気装置製造方法において、
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとを対向配置するステップと、
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとの間に前記磁性体を配置するステップと、
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとを相対的に回転させるステップと
を含むことを特徴とする磁気装置製造方法。
【請求項２】
前記対向配置するステップは、前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとは円板状であって、該円板状の第１磁石ユニットの中心と該円板状の第２磁石ユニットの中心とが同軸となるように対向配置するステップであることを特徴とする請求項１記載の磁気装置製造方法。
【請求項３】
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとを相対的に回転させるステップは、前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとを前記同軸を中心として回転させるステップであることを特徴とする請求項２記載の磁気装置製造方法。
【請求項４】
前記回転させるステップは、前記第１磁石ユニットと前記磁性体との間に働く磁力と、前記第２磁石ユニットと前記磁性体との間に働く磁力との少なくとも一方に応じて回転させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気装置製造方法。
【請求項５】
磁石を有する第１磁石ユニットと、前記磁石に対応する磁石を有する第２磁石ユニットと、磁性体とを含む磁気装置を製造する磁気装置製造方法において、
前記第１磁石ユニットの前記磁石と前記第２磁石ユニットの前記磁石との同極同士を対向させて前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとを対向配置するステップと、
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとの間に、前記対向する方向の厚さが前記対向する方向と直交する面に沿って変化する板状の前記磁性体を配置するステップと、
前記磁性体と、前記第１磁石ユニット及び前記第２磁石ユニットとを相対的に移動させるステップと
を含むことを特徴とする磁気装置製造方法。
【請求項６】
前記移動させるステップは、前記磁性体を回転させるステップであることを特徴とする請求項５記載の磁気装置製造方法。
【請求項７】
前記移動させるステップは、前記対向する方向と平行な軸の円周方向に沿って前記磁性体の厚さと前記磁性体の透磁率との少なくとも一方が変化する円板状の前記磁性体を回転させるステップであることを特徴とする請求項５記載の磁気装置製造方法。
【請求項８】
前記回転させるステップは、前記第１磁石ユニットと前記磁性体との間に働く磁力と、前記第２磁石ユニットと前記磁性体との間に働く磁力との少なくとも一方に応じて回転させることを特徴とする請求項６又は請求項７記載の磁気装置製造方法。
【請求項９】
異なる極が隣り合うように配列された少なくとも２つの磁石と該磁石を保持する第１のヨークとを有する第１磁石ユニットと、
異なる極が隣り合うように配列された少なくとも２つの磁石と該磁石を保持する第２のヨークとを有し、前記磁石が前記第１磁石ユニットの磁石と所定の間隙をもって対向するように配置された第２磁石ユニットと、
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとの間の前記間隙に配置された磁性体と
を備えたことを特徴とする磁気装置。
【請求項１０】
前記磁性体は板状の部材であり、前記第１磁石ユニットの前記磁石と前記第２磁石ユニットの前記磁石との同極同士が対向した場合に、前記磁性体内を通過する磁束が飽和する厚さよりも薄く形成されたことを特徴とする請求項９記載の磁気装置。
【請求項１１】
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとは、対向する前記磁石の対向関係が変わるように相対的に移動可能であることを特徴とする請求項９又は請求項１０記載の磁気装置。
【請求項１２】
前記第１磁石ユニットの前記磁石は、所定の軸を中心として円環状に配置され、
前記第２磁石ユニットの前記磁石は、前記所定の軸を中心として円環状に配置され、
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとは前記所定の軸を中心に同軸上に配置されて前記軸を中心として相対的に回転可能であることを特徴とする請求項９から請求項１１の何れか一項に記載の磁気装置。
【請求項１３】
前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとは、それぞれが有する磁石の同極同士が対向するように配置され、
前記磁性体は、飽和磁束数が場所に応じて異なる部材であることを特徴とする請求項９記載の磁気装置。
【請求項１４】
前記第１磁石ユニットの前記磁石は、所定の軸を中心として円環状に配置され、
前記第２磁石ユニットの前記磁石は、前記所定の軸を中心として円環状に配置され、
前記磁性体は前記所定の軸を中心として回転可能に構成され、前記所定の軸を中心とした円周方向に沿って厚さが異なる円板状の部材であることを特徴とする請求項１３記載の磁気装置。
【請求項１５】
一方向に移動可能なステージと、前記ステージと連結され前記一方向に沿って弾性力を発生する弾性部材と、前記磁性体が前記ステージと連結された請求項９から請求項１４の何れか一項に記載の磁気装置とを有するステージ装置において、
前記ステージの変位に応じて前記弾性部材が発生する弾性力と、前記磁気装置の前記磁性体と前記第１又は第２磁石ユニットとの間に生じる吸引力とが略同等であることを特徴とするステージ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁力を発生させる磁気装置及びその製造方法並びに当該磁気装置を備えるステージ装置に係り、特に物体を載置した状態で移動可能に構成されたステージの上下方向に働く力を調整するために用いて好適な磁気装置及びその製造方法並びに当該磁気装置を備えるステージ装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、発生する磁力を高精度且つ容易に調整することができる磁気装置及びその製造方法並びに当該磁気装置を備えるステージ装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１発明は、磁石（２４ａ、２４ｂ）を有する第１磁石ユニット（２１）と、前記磁石（２４ａ、２４ｂ）に対応する磁石（２６ａ、２６ｂ）を有する第２磁石ユニット（２２）と、板状の磁性体（３１）とを含む磁気装置（１０）を製造する磁気装置製造方法において、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とを対向配置するステップ（Ｓ１０）と、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）との間に前記磁性体（３１）を配置するステップ（Ｓ１１）と、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とを相対的に回転させるステップ（Ｓ１２）とを含むことを特徴としている。
この発明によれば、第１磁石ユニットと第２磁石ユニットとを対向配置して、これらの間に磁性体を配置し、第１磁石ユニットと第２磁石ユニットとを相対的に回転させるだけで、極めて容易に磁性体と第１磁石ユニットとの間で生ずる磁力及び磁性体と第２磁石ユニットとの間で生ずる磁力を調整することができる。また、第１磁石ユニットと第２磁石ユニットとの相対的な回転量を細かく調整すれば、上記の磁力を高精度かつ連続的に調整することができる。
また、第１発明においては、前記対向配置するステップが、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とは円板状であって、該円板状の第１磁石ユニット（２１）の中心と該円板状の第２磁石ユニット（２２）の中心とが同軸となるように対向配置するステップであることが好ましい。
更に、第１発明においては、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とを相対的に回転させるステップが、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とを前記同軸を中心として回転させるステップであることがの望ましい。
また更に、前記回転させるステップが、前記第１磁石ユニット（２１）と前記磁性体（３１）との間に働く磁力と、前記第２磁石ユニット（２２）と前記磁性体（３１）との間に働く磁力との少なくとも一方に応じて回転させることが好適である。
上記課題を解決するために、第２発明は、磁石（２４ａ、２４ｂ）を有する第１磁石ユニット（２１）と、前記磁石（２４ａ、２４ｂ）に対応する磁石（２６ａ、２６ｂ）を有する第２磁石ユニット（２２）と、磁性体（３６）とを含む磁気装置（１０）を製造する磁気装置製造方法において、前記第１磁石ユニット（２１）の前記磁石（２４ａ、２４ｂ）と前記第２磁石ユニット（２２）の前記磁石（２６ａ、２６ｂ）との同極同士を対向させて前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とを対向配置するステップ（Ｓ２０）と、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）との間に、前記対向する方向の厚さが前記対向する方向と直交する面に沿って変化する板状の前記磁性体（３６）を配置するステップ（Ｓ２１）と、前記磁性体（３６）と、前記第１磁石ユニット（２１）及び前記第２磁石ユニット（２２）とを相対的に移動させるステップ（Ｓ２２）とを含むことを特徴としている。
この発明によれば、第１磁石ユニットが備える磁石と第２磁石ユニットが備える磁石との同極同士を対向配置して、これらの間に対向する方向の厚さが対向する方向と直交する面に沿って変化する板状の磁性体を配置し、磁性体と第１磁石ユニット及び第２磁石ユニットとを相対的に回転させるだけで、極めて容易に磁性体と第１磁石ユニットとの間で生ずる磁力及び磁性体と第２磁石ユニットとの間で生ずる磁力を調整することができる。また、第１磁石ユニットと第２磁石ユニットとの相対的な回転量を細かく調整すれば、上記の磁力を高精度かつ連続的に調整することができる。
また、第２発明においては、前記移動させるステップが、前記磁性体（３６）を回転させるステップであることが好ましい。
更に、第２発明においては、前記移動させるステップが、前記対向する方向と平行な軸の円周方向に沿って前記磁性体（３６）の厚さと前記磁性体（３６）の透磁率との少なくとも一方が変化する円板状の前記磁性体（３６）を回転させるステップであることが望ましい。
更に、第２発明においては、前記回転させるステップが、前記第１磁石ユニット（２１）と前記磁性体（３６）との間に働く磁力と、前記第２磁石ユニット（２２）と前記磁性体（３６）との間に働く磁力との少なくとも一方に応じて回転させることが好適である。
上記課題を解決するために、本発明に係る磁気装置は、異なる極が隣り合うように配列された少なくとも２つの磁石（２４ａ、２４ｂ）と該磁石を保持する第１のヨーク（２５）とを有する第１磁石ユニット（２１）と、異なる極が隣り合うように配列された少なくとも２つの磁石（２６ａ、２６ｂ）と該磁石を保持する第２のヨーク（２７）とを有し、前記磁石（２６ａ、２６ｂ）が前記第１磁石ユニットの磁石（２４ａ、２４ｂ）と所定の間隙をもって対向するように配置された第２磁石ユニット（２２）と、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）との間の前記間隙に配置された磁性体（３１）とを備えたことを特徴としている。
この発明によれば、磁性体に対し、第１磁石ユニットと第２磁石ユニットとの両方から磁力（吸引力）を発生することができる。
この場合において、前記磁性体（３１）は板状の部材であり、前記第１磁石ユニット（２１）の前記磁石（２４ａ、２４ｂ）と前記第２磁石ユニット（２２）の前記磁石（２６ａ、２６ｂ）との同極同士が対向した場合に、前記磁性体内を通過する磁束が飽和する厚さよりも薄く形成することができる。
また、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とは、対向する前記磁石の対向関係が変わるように相対的に移動可能とすることができる。
この場合、前記第１磁石ユニットの前記磁石（２４ａ、２４ｂ）を、所定の軸（ＡＸ）を中心として円環状に配置し、前記第２磁石ユニットの前記磁石（２６ａ、２６ｂ）を、前記所定の軸を中心として円環状に配置し、前記第１磁石ユニットと前記第２磁石ユニットとを前記所定の軸を中心に同軸上に配置して前記軸を中心として相対的に回転可能な構成としても良い。
また、前記第１磁石ユニット（２１）と前記第２磁石ユニット（２２）とは、それぞれが有する磁石（２４ａ、２４ｂ、２６ａ、２６ｂ）の同極同士が対向するように配置され、前記磁性体（３１）は、飽和磁束数が場所に応じて異なる部材とすることができる。
この場合において、前記第１磁石ユニットの前記磁石（２４ａ、２４ｂ）は、所定の軸（ＡＸ）を中心として円環状に配置され、前記第２磁石ユニットの前記磁石（２６ａ、２６ｂ）は、前記所定の軸（ＡＸ）を中心として円環状に配置され、前記磁性体（３１）は前記所定の軸（ＡＸ）を中心として回転可能に構成され、前記所定の軸を中心とした円周方向に沿って厚さが異なる円板状の部材とされてもよい。
また、本発明に係るステージ装置は、一方向に移動可能なステージ（４３）と、前記ステージと連結され前記一方向に沿って弾性力を発生する弾性部材（４２、４５）と、前記磁性体（３１）が前記ステージと連結された磁気装置（１０）とを有するステージ装置において、前記ステージの変位に応じて前記弾性部材が発生する弾性力と、前記磁気装置の前記磁性体と前記第１又は第２磁石ユニットとの間に生じる吸引力とが略同等であることを特徴としている。
この発明によれば、ステージを一方向に移動させる際に必要な力は、ステージの変位量に関わらず、ほぼ一定にすることができる。