【手続補正書】
【提出日】平成16年10月21日(2004.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  品物の表面に材料を堆積させる方法であって、
一つが前記品物を形成する、間隔を隔てられた一対の電極と電解液を収容する槽とを準備する段階と；
前記品物を形成している前記電極の周囲に泡領域が形成されるように、前記電解液内に堆積すべき材料のソースを含む泡の流れを生成する段階と；
各前記電極間に電位差を与え、前記泡領域にプラズマグロー放電が形成されかつ前記品物に前記材料がプラズマ堆積されるまで、前記電位差を増加させる段階と；
からなることを特徴とする方法。
【請求項２】  請求項１記載の方法において、
前記泡の生成は、電気分解、沸騰、キャビテーション、気水共発、散布、化学反応、電子による解離、及びイオン衝突からなる群のうちの少なくとも一つによって達成され；
前記泡は、前記電解液内の成分から、あるいは、気体、蒸気、又は気体・液体混合物を前記槽に導入することによって、生成され；
ることを特徴とする方法。
【請求項３】  請求項２記載の方法において、
前記グロー放電を形成することは、マグネトロン・フィールド、電子放出可能な熱フィラメント、レーザー、マイクロ波放射、及び電波放射からなる群より選択された他の手段によって補助されることを特徴とする方法。
【請求項４】  請求項２記載の方法において、
前記泡内の気体分子は電解液に由来し、前記プラズマは前記泡内にイオン化した化学種を生み出し、前記電解液は前記プラズマの封じ込め手段として用いられる、ことを特徴とする方法。
【請求項５】  請求項１記載の方法において、
前記電解液は、水性アルコールであるキャリヤーリキッドと、一の前記電極上に堆積すべき材料のソース又は前駆体とからなり、前記方法は、約大気圧で実施されることを特徴とする方法。
【請求項６】  請求項５記載の方法において、
前記電解液は、該電解液の電気伝導を増大させるための添加物、前記電解液の表面張力を減少させるための界面活性剤、堆積率を増加させるための触媒、及び前記堆積を増大させるための試薬からなる群より選択された少なくとも一つの添加物をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項７】  請求項６記載の方法において、
前記電解液の伝導を増大させるための前記添加物は、有機塩及び無機塩からなる群より選択されることを特徴とする方法。
【請求項８】  請求項１記載の方法において、
前記材料は、炭素、ホウ素、シリコン、及び炭素及びチタン・窒化物、チタン、アルミニウム、バナジウム、タングステン、マンガン、モリブデン、ネオジウム、クロム化合物半導体、三元半導体、ポリマー、機能性生物作用剤、及び生物材料からなる群より選択されることを特徴とする方法。
【請求項９】  請求項８記載の方法において、
前記化合物半導体は、ＧａＰ，ＩｎＰ，ＧａＡｓ，ＣｄＳ，ＣｄＳｅ，ＣｄＴｅ，Ｂｉ２Ｓ３，Ｃｕ２Ｓ，ＺｎＳｅ，ＩｎＳｅ，ＩｎＴｅ，ＭｏｘＳｅｙ，ＷｘＳｅｙ，ＳｉＯｘ，Ｃｕ２Ｏ，及びＴｉＯ２からなる群より選択され、
前記生物作用剤は、Ｉｒ２Ｏ３，Ｒｂ２Ｏ３，及びＲｕＯ２からなる群より選択され、
前記生物材料は、ヒドロキシアパタイトである、
ことを特徴とする方法。
【請求項１０】  請求項１記載の方法において、
前記材料は、クロム（Ｃｒ），亜鉛（Ｚｎ），銅（Ｃｕ），ニッケル（Ｎｉ），鉄（Ｆｅ），コバルト（Ｃｏ），カドミウム（Ｃｄ），錫（Ｓｎ），鉛（Ｂｂ），銀（Ａｇ），金（Ａｕ），インジウム（Ｉｎ），及び白金（Ｐｔ）、並びにこれらのうちの２つ又はそれ以上からなる混合物、からなる群より選択されることを特徴とする方法。
【請求項１１】 請求項１記載の方法において、
前記品物を形成する一の電極はカソードであり、前記材料は、プラズマ電気めっきによって前記カソード上に堆積されることを特徴とする方法。
【請求項１２】 請求項１記載の方法において、
前記品物を形成する一の電極はアノードであり、前記材料は、電気泳動又はプラズマ陽極酸化によって前記アノード上に堆積されることを特徴とする方法。
【請求項１３】 請求項１記載の方法において、
前記一の電極は、前記材料が堆積される品物を形成し、前記電極間を電流が流れるとき、前記他の電極は、前記電解液へ入るとともに、前記方法によって前記一の電極に堆積される材料のソースを与える、イオンを生じることを特徴とする方法。
【請求項１４】  品物の表面に材料を堆積させる装置であって、
槽を有するセルと、該セル内に浸漬された、一つが前記品物で形成された間隔を隔てられた一対の電極と；
前記セル内の電解液と；
前記品物の付近で泡の流れを生成する手段と；
グロー放電が前記品物の近くの泡で形成される箇所まで増加され得る電位差を各前記電極間に与える手段と；
からなることを特徴とする方法。
【請求項１５】  請求項１４記載の装置において、
前記泡の流れを生成する手段は、電気分解により泡を放出する前記電極、又は沸騰によって泡を生成するよう前記電解液を加熱する手段、又は超音波を前記電解液に伝えるための超音波発生器、又は気体、蒸気、又は気体・液体混合物を前記槽に導入する手段であることを特徴とする装置。
【請求項１６】  請求項１４記載の装置において、
各前記電極間に電位差を与える手段は、約３０００Ｖまでの電位差を与えることのできる電源からなることを特徴とする装置。
【請求項１７】  請求項１４記載の装置において、
前記槽を冷却領域と再循環領域とに分割する分割手段と、
電解液を前記槽の前記冷却領域から汲み出し、熱交換によって前記電解液を冷却し、次いで前記電解液を前記槽へ戻すための手段と、
所望されたときかつ所望されたように前記槽内の電解液の高さの上を覆う手段と、前記電解液内の一つ又は複数の成分の濃度を調整する手段と、
をさらに含むことを特徴とする装置。
【請求項１８】  請求項１４記載の装置において、
前記電解液は、キャリヤーリキッドと、一の前記電極上に堆積すべき前記材料のソースとからなることを特徴とする装置。
【請求項１９】  請求項１８記載の装置において、
前記電解液は、該電解液の電気伝導を増大させるか又は泡の形成を補助するか又はｐＨを調整するための少なくとも一つの添加物をさらに含むことを特徴とする装置。
【請求項２０】  請求項１４記載の装置において、
前記品物を形成する前記電極はカソードであり、他の前記電極はアノードであり、該アノードは前記カソードから外方へ向けて隔離され、
前記槽は側壁、床、開口頂部を有し、前記電極は前記開口頂部を介しかつ前記槽へ延在していることを特徴とする装置。
【請求項２１】 請求項１４記載の装置において、
前記カソードを形成する前記電極は、導電性材料又は非導電性材料から構成され、
前記電極が非導電性材料から構成される場合、該電極は、導電性表面を常に有するように導電性材料でコーティングされ、かつ
前記カソードに堆積される材料は、次いで前記導電性表面に堆積される導電性材料であることを特徴とする装置。
【請求項２２】 イン・リキッドプラズマを生成する方法であって、
電解液及び一対の離隔された電極を含む槽を準備する段階と；
少なくとも一つの前記電極の周囲に泡領域を形成するように、イオン化され得る気体状材料を含む泡の流れを前記電解液内に生成する段階と；
各前記電極間に電位差を与え、プラズマグロー放電が前記泡領域に形成されるまで、各前記電極間の電位差を増加させる段階と；
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２３】 請求項２２記載の方法において、
前記泡の生成は、電気分解、沸騰、キャビテーション、気水共発、散布、化学反応、電子による解離、及びイオン衝突からなる群のうちの少なくとも一つによって達成されることを特徴とする方法。
【請求項２４】 請求項２２記載の方法において、
前記泡は、前記電解液内の成分から、あるいは、気体、蒸気、又は気体・液体混合物を前記槽に導入することによって、生成されることを特徴とする方法。
【請求項２５】 請求項２４記載の方法において、
前記泡内の気体分子は前記電解液から生じ、前記プラズマは前記泡内における化学種のイオン化をもたらし、かつ前記電解液は前記プラズマの封じ込め手段として用いられる、ことを特徴とする方法。
【請求項２６】 請求項２２記載の方法において、
約大気圧で実施され、
前記電解液は水性アルコールであり、
前記プラズマによって生成された過剰熱を除去するために、前記電解液を冷却する段階をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項２７】 請求項２２記載の方法において、
前記電解液は、該電解液の電気伝導を増大させるための有機塩又は無機塩である添加物、及び前記電解液の表面張力を減少させるための界面活性剤からなる群より選択された少なくとも一つの添加物をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項２８】 イン・リキッドプラズマを生成する装置であって、
槽を画定するセルと、該槽内に収容された一対の離隔された電極と；
前記セル内の電解液と；
前記電極の少なくとも一つの近くでイオン化され得る気体状材料を含む泡の流れを生成する手段と；
グロー放電が前記泡の領域で形成されるように各前記電極間に電位差を与える手段と；
を含むことを特徴とする装置。
【請求項２９】 請求項２８記載の装置において、
前記泡の流れを生成する手段は、電気分解により泡を放出する前記電極、又は超音波を前記電解液に伝えるための超音波発生器、又は前記電解液を加熱することによって生じる沸騰、又は気体、蒸気、又は気体・液体混合物を前記槽に導入する手段であることを特徴とする装置。
【請求項３０】 請求項２８記載の装置において、
前記電極間に電位差を与える手段は、約３０００Ｖまでの電位差を与えることのできる電源を含み、
前記装置は、前記槽を冷却領域と再循環領域とに分割する分割手段をさらに含み、かつ電解液を前記槽の前記冷却領域から汲み出し、熱交換によって前記電解液を冷却し、次いで前記電解液を前記槽へ戻すための手段をも含むことを特徴とする装置。