【手続補正書】
【提出日】平成17年4月11日(2005.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の特性を有するラインおよび第２の特性を有して概ね交番するラインの列を具備するインクリメンタルスケールのトラックを具えた測定スケールであって、
コードワードを形成するパターンにおいて、前記特性の一方を有するラインを前記特性の他方を持つものに比べて追加もしくは少なくすることによって、前記インクリメンタルスケールのトラック内に離散的なコードワードの形態のアブソリュートデータを組み込んでなる測定スケール。
【請求項２】
第１の特性を有する前記ラインは光反射性または光透過性ラインであり、第２の特性を有する前記ラインは非光反射性または非光透過性ラインである請求項１に係る測定スケール。
【請求項３】
前記第１または第２の特性を有する前記ラインが前記スケールの幅をほぼ横切って延在している請求項１または請求項２に係る測定スケール。
【請求項４】
前記スケール上の前記アブソリュートデータは回文式である請求項１ないし請求項３のいずれかに係る測定スケール。
【請求項５】
各コードワードの始点はスタートシンボルによってマーキングされ、各スタートシンボルを等しくしてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに係る測定スケール。
【請求項６】
前記コードワードはスケールのある範囲にわたってＮ個の特有位置を定義し、第（Ｎ+１）番目の位置が第１番目の位置と同等となるよう前記範囲が繰り返されてなる請求項１ないし請求項５のいずれかに係る測定スケール。
【請求項７】
前記アブソリュートデータはバイナリコードからなる請求項１ないし請求項６のいずれかに係る測定スケール。
【請求項８】
各コードワードはほぼ等しい数の１および０を有する請求項７に係る測定スケール。
【請求項９】
各コードワードは６個以下の連続した１または０の並びを含んでいる請求項７に係る測定スケール。
【請求項１０】
所定範囲のスケールのどの範囲内でもほぼ等しい数の１があるように前記コードワードが配列されてなる請求項７に係る測定スケール。
【請求項１１】
互いに相対的に移動可能な測定スケールおよびスケールリーダを具え、
前記測定スケールは、第１の特性を有するラインおよび第２の特性を有して概ね交番するラインの列を具備するインクリメンタルスケールのトラックを具え、コードワードを形成するパターンにおいて、前記特性の一方を有するラインを前記特性の他方を持つものに比べて追加もしくは少なくすることによって、前記インクリメンタルスケールのトラック内に離散的なコードワードの形態のアブソリュートデータを組み込んでなるものであり、
前記スケールリーダは、前記スケールを照射する光源と、インクリメンタル位置を決定するためのインクリメンタル読取ヘッドと、前記アブソリュート位置を決定するための検出器システムおよびイメージングシステムとを含むものである、アブソリュート位置の測定システム。
【請求項１２】
第１の特性を有する前記ラインは光反射性または光透過性ラインであり、第２の特性を有する前記ラインは非光反射性または非光透過性ラインである請求項１１に係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項１３】
前記インクリメンタル位置を決定するのに用いられる読取ヘッドはフィルタリング読取ヘッドである請求項１１または請求項１２に係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項１４】
前記検出器システムはリニアアレイの画素を具える請求項１１ないし請求項１３のいずれかに係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項１５】
マイクロレンズアレイを用いて前記スケールを前記検出器システム上に結像させる請求項１１ないし請求項１４のいずれかに係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項１６】
各アブソリュートデータビットは１または０の値を有し、
各アブソリュートデータビット間に０の値をもつクロックビットがあり、
前記スケールのあるビットがアブソリュートデータビットであるかクロックビットであるかを、当該ビットのいずれの側でも（ｍ+１）番目（ｍは任意の偶数）までのビットの値を測定することで決定し、
これらビットの値を互いに加算して、当該加算値が所定値より小である場合に当該ビットがアブソリュートビットであるとされるようにした請求項１１ないし請求項１５のいずれかに係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項１７】
各コードワードの始点はスタートシンボルによってマーキングされ、前記スケール上でアブソリュートコードワードの位置を決めるために前記スケール上の前記スタートシンボルの識別を用いる請求項１１ないし請求項１６のいずれかに係る測定システム。
【請求項１８】
ルックアップテーブルを用い、前記スケールから抽出したアブソリュート位置データを前記ルックアップテーブル内のアブソリュートコードワードと比較することによって、粗いアブソリュート位置の決定を行う請求項１１ないし請求項１７のいずれかに係る測定システム。
【請求項１９】
前記ルックアップテーブル内の前記コードワードと前記スケールから抽出した前記コードワードとの整合性の良さを、抽出データのｎビットのブロックの並びを前記ルックアップテーブル内のｎビットと比較することによって決定するものであって、
抽出データの各ビットを、前記ルックアップテーブル内の前記コードワードにおいて対応するビットが１であれば反転し、
抽出データのｎビットの値を互いに加算し、
当該加算値が小であれば前記整合性が良いとする、
請求項１８に係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項２０】
前記粗いアブソリュート位置を、前記検出器システムによって抽出されたデータ内の第１コードワードのスタート位置および前記検出器システムによって抽出されたデータ内の第１の完全なデータビットの位置に組み合わせることによって、一インクリメンタルスケールピッチの範囲内に対し前記アブソリュート位置を決定可能である請求項１８または請求項１９に係るアブソリュート位置の測定システム。
【請求項２１】
前記アブソリュート位置をインクリメンタル位置に組み合わせることによって、スケールピッチの端数の範囲内に対し前記アブソリュート位置を決定可能である請求項２０に係るアブソリュート位置の測定システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第１の形態は、第１の特性を有するラインおよび第２の特性を有して概ね交番するラインの列を具備するインクリメンタルスケールのトラックを具えた測定スケールであって、コードワードを形成するパターンにおいて、前記特性の一方を有するラインを前記特性の他方を持つものに比べて追加もしくは少なくすることによって、前記インクリメンタルスケールのトラック内に離散的なコードワードの形態のアブソリュートデータを組み込んでなる測定スケールを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第２の形態は、互いに相対的に移動可能な測定スケールおよびスケールリーダを具え、
前記測定スケールは、第１の特性を有するラインおよび第２の特性を有して概ね交番するラインの列を具備するインクリメンタルスケールのトラックを具え、コードワードを形成するパターンにおいて、前記特性の一方を有するラインを前記特性の他方を持つものに比べて追加もしくは少なくすることによって、前記インクリメンタルスケールのトラック内に離散的なコードワードの形態のアブソリュートデータを組み込んでなるものであり、
前記スケールリーダは、前記スケールを照射する光源と、インクリメンタル位置を決定するためのインクリメンタル読取ヘッドと、前記アブソリュート位置を決定するための検出器システムおよびイメージングシステムとを含むものである、測定システムを提供する。