(57)【要約】  ガラスディスクの内周面及び外周面の縁取り加工及び研磨加工を簡単且つ低コストで行うための方法を提供する。複数のガラスディスク１２が積層されたガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６に新鮮なエッチング液７２，７４を絶えず供給することによって、前記内周面及び外周面を研磨加工する。
2008035666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラスディスクが積層されたガラスディスク積層体の内周面及び外周面に対して新鮮な内周エッチング液及び外周エッチング液を絶えず供給することによって、前記内周面及び外周面を研磨加工することを特徴とする、ガラスディスクの加工方法。
【請求項２】
前記内周エッチング液と外周エッチング液とのエッチング能力が相違していて、内周エッチング液の方が、外周エッチング液よりもエッチング能力が高いことを特徴とする、請求項１記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項３】
前記エッチング能力の相違は、エッチング液の濃度変化、温度変化、添加物の種類の中から選ばれた少なくとも一つによって実現されることを特徴とする、請求項１記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項４】
前記内周エッチング液及び外周エッチング液の供給は、浸漬方法、シャワー吹き付け方法、噴霧方法又は塗布方法の少なくとも一つを含む方法によって行われることを特徴とする、請求項１記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項５】
前記内周エッチング液及び外周エッチング液とガラスディスク積層体との間で相対的な回転運動を行うことを特徴とする、請求項２記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項６】
前記ガラスディスク積層体が回転軸を中心に自転運動することを特徴とする、請求項５記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項７】
前記回転軸が、前記ガラスディスク積層体の内面を貫通していることを特徴とする、請求項６記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項８】
前記回転軸の外周面と前記ガラスディスク積層体の内周面とによって形成される内側空間に内周エッチング液が流されることを特徴とする、請求項７記載のガラスディスクの加工方法。
【請求項９】
前記回転軸が公転運動又は往復直線運動することを特徴とする、請求項６記載のガラスディスクの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のガラスディスクが積層されたガラスディスク積層体の内周面及び外周面を研磨加工するというガラスディスクの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクの小型・高密度化に伴い、表面平滑性及び機械的強度の優れたガラスディスクが情報記録媒体用ガラスディスクとして利用されることが多くなっている。情報記録媒体用ガラスディスクの加工は、ダイヤモンドカッターやコアドリルを用いた粗加工を行い、ダイヤモンド砥石を用いた精密仕上げ加工を行ったあと、研磨パッドあるいはブラシによってガラスディスクの内周面及び外周面を研磨加工を行うことが一般に行われている。【０００３】
近年、情報をより高密度で記録・再生するために、磁気ヘッドとガラスディスクの記録面との間隔をより狭小にすることが図られている。その結果、磁気ヘッドが横方向に移動する際に、ちょっとした出っ張りでも存在すると磁気ヘッドがガラスディスクの側周面に衝突することがある。このような衝突を回避するために、上下の記録面と側周面とが交わるコーナー部には、面取加工や丸め加工等の縁取り加工が施されている。コーナー部におけるこのような縁取り加工として、所定形状に加工された砥石で側周面を研削加工したあとに、研磨液を供給しながら研磨パッドやブラシを側周面に当接させることによって研磨加工することが開示されている（例えば、特許文献１を参照のこと）。【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４２３０７号公報（対応する米国特許第６２８０２９４号）
【０００５】
ガラスディスクのコーナー部では、専用の精密機械加工装置によって面取加工や丸め加工等の縁取り加工が一枚一枚行われているために、ガラスディスクのセッティングに非常に手間がかかるとともに特殊な専用加工装置を必要とするので、多大なコストがかかってしまうという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明の解決すべき技術的課題は、ガラスディスクの内周面及び外周面の縁取り加工及び研磨加工を簡単且つ低コストで行うための方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記技術的課題を解決するために、本発明によれば、以下のガラスディスクの加工方法が提供される。【０００８】
すなわち、本発明に係るガラスディスクの加工方法は、
複数のガラスディスクが積層されたガラスディスク積層体の内周面及び外周面に対して新鮮な内周エッチング液及び外周エッチング液を絶えず供給することによって、前記内周面及び外周面を研磨加工することを特徴とする。【０００９】
上記方法によれば、新鮮な内周エッチング液及び外周エッチング液がそれぞれガラスディスク積層体の内周面及び外周面に対して絶えず供給されることによって、内周面及び外周面がエッチングされるとともに、内周面及び外周面のコーナー部が丸められるので、研磨加工及び縁取り加工を同時に行うことができ、側周面加工の効率化を図ることができる。【００１０】
好ましくは、内周エッチング液と外周エッチング液とのエッチング能力が相違していて、内周エッチング液の方が、外周エッチング液よりもエッチング能力が高い。【００１１】
内周面によって形成される内側空間は、外周面によって形成される外側空間よりも狭いために、新鮮なエッチング液の行き渡りが不十分になりやすいために、内側空間でのエッチング能力は、外側空間でのエッチング能力よりも劣ってしまう傾向がある。そこで、上記方法によれば、内周エッチング液の方を、外周エッチング液よりもエッチング能力を高くすることによって、内側空間でのエッチング能力と外側空間でのエッチング能力とがほとんど等しくなる。したがって、ガラスディスク積層体の内周面及び外周面の均質な縁取り加工及び研磨加工を簡単且つ低コストで行うことができる。【００１２】
新鮮な内周エッチング液及び外周エッチング液の供給は、浸漬方法、シャワー吹き付け方法、噴霧方法又は塗布方法の少なくとも一つを含む方法によって行われる。【００１３】
新鮮なエッチング液を内周面及び外周面に対してより均一に供給するために、内周エッチング液及び外周エッチング液とガラスディスク積層体との間で相対的な回転運動を行うことが好ましい。【００１４】
エッチング液の供給手段がガラスディスクの周りを回転することも可能であるが、コンパクトな構成とするために、ガラスディスク積層体が回転軸を中心に自転運動することが好ましい。【００１５】
回転軸が、前記ガラスディスク積層体の内面を貫通している。【００１６】
回転軸の外周面と前記ガラスディスク積層体の内周面とによって形成される内側空間に内周エッチング液が流される。【００１７】
新鮮な内周エッチング液及び外周エッチング液をそれぞれ内周面及び外周面に対してより均一に供給するために、回転軸が公転運動又は往復直線運動することが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明に係る情報記録媒体用ガラスディスク１２（以下、ガラスディスク１２という。）の加工方法の第一実施形態を、図１を参照しながら詳細に説明する。【００１９】
図１は、ガラスディスク１２の浸漬型加工装置１の一実施形態を説明する模式図である。【００２０】
浸漬型加工装置１は、円筒状のチャンバ４の中にガラスディスク積層体１０を密閉状態で収納して、ガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６に対して新鮮なエッチング液を絶えず供給することによってガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６を研磨加工するというものである。【００２１】
チャンバ４の下面の左端部に設けられた液入口８と、チャンバ４の上面の右端部に設けられた液出口６とによって、チャンバ４の内部に連通する流通経路が形成されている。ガラスディスク積層体１０を含む回転軸２０を軸支する軸固定部材２６，３６が、チャンバ４の上面側及び下面側の中央にそれぞれ設けられている。【００２２】
加工の対象であるガラスディスク１２は、様々なサイズのものが該当するが、例えば、ハードディスクドライブに内蔵される磁気記録用ガラスディスクであって、０．８５インチサイズのものや１．８インチサイズのものや２．５インチサイズのものである。加工時においては、ガラスディスク１２の間には、隣り合うガラスディスク１２同士が擦り合うことを防止するために、軟質な材料からなるディスク状のスペーサ層（例えば、厚みが０．２ｍｍ）や接着層が介装されている。接着層やスペーサ層は、樹脂材料やゴム材料等の軟質な材料からなる。したがって、ガラスディスク積層体１０は、ガラスディスク１２の間に接着層やスペーサ層を介在した状態で多数枚（例えば、１０乃至２００枚）のガラスディスク１２を積層したものである。【００２３】
ガラスディスク積層体１０は、その両端に配置されたディスク押さえ板４４，５４を介して固定板４０，５０で挟持されている。ディスク押さえ板４４，５４や固定板４０，５０は、使用するエッチング液に対して耐食性のある材料が使用されるが、ディスク押さえ板４４，５４はダミーのガラスディスク１２を使用しても良い。固定板４０，５０の中央には、チャンバー内部に連通する流通路４２，５２が設けられている。【００２４】
回転軸２０は不図示のモータによって時計方向又は反時計方向に回転駆動され、その結果、ガラスディスク積層体１０が浸漬型加工装置１のチャンバ４内で回転運動する。回転軸２０の回転数は、５０乃至２０００min−１（ｒｐｍ）である。【００２５】
浸漬型加工装置１の中にガラスディスク積層体１０をセッティングすると、回転軸２０の外周面とガラスディスク積層体１０の内周面１４とによって内側空間６０が形成されるとともに、チャンバ４の内周面とガラスディスク積層体１０の外周面１６とによって外側空間９が形成される。したがって、浸漬型加工装置１においては、内側空間６０の流路と外側空間９の流路とが、流通路４２，５２を介して連通している。【００２６】
使用されるエッチング液７０，７２は、フッ酸をベースとしたものであり、その中に、塩酸や硝酸や硫酸等の強酸、炭酸やシュウ酸や酢酸や蟻酸やクエン酸等の弱酸、あるいは珪フッ酸やフッ化アンモニウム等のフッ素を含む添加物を適宜加えたものである。エッチング液の濃度は、１乃至５０重量％である。エッチング液の温度は、２０乃至８０℃である。エッチング時間は、０．１乃至５時間である。エッチング加工に供されるエッチング液は、エッチング時に発生するエッチングカスや不純物がフィルタで除去され、液の濃度や温度が所定の範囲に入っているかをチェックし、範囲外であれば、液の補充や加温を行って適切な状態にしたあと、加工装置１に戻して循環使用される。内周エッチング液７０及び外周エッチング液７２は、基本的には、同じエッチング液である。【００２７】
内周エッチング液７０は、流通路５２から導入されて、内側空間６０を通った後、流通路４２から排出される。内周エッチング液７０が内側空間６０を通過する際に、新鮮な内周エッチング液７０の流れがガラスディスク積層体１０の内周面１４に接触することによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４がエッチングされる。内周面１４がエッチングされるときに、内周面１４上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とそのガラスディスク１２に当接している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために内周面１４のコーナ部が徐々に除去されて内周面１４のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の内周面１４において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００２８】
同様に、外周エッチング液７２は、外周用入口８から導入されて、外側空間９の下方から上方を順次通った後、液出口６から排出される。外周エッチング液７２の流れが外側空間９を通過する際に、新鮮な外周エッチング液７２がガラスディスク積層体１０の外周面１６に接触することによって、ガラスディスク積層体１０の外周面１６がエッチングされる。外周面１６がエッチングされるときに、外周面１６上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とガラスディスク１２に接触している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために外周面１６のコーナ部が徐々に除去されて外周面１６のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の外周面１６において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００２９】
次に、本発明の第二実施形態に係る加工方法を、図２を参照しながら詳細に説明する。なお、上述した第一実施形態に係る加工方法と重複する部分を省略して、両者の相違点を中心に説明する。【００３０】
図２は、ガラスディスク１２の吹き付け型加工装置２の一実施形態を説明する模式図である。【００３１】
吹き付け型加工装置２は、ガラスディスク積層体１０の内周面１４に対してエッチング液の流れを供給するとともに、ガラスディスク積層体１０の外周面１６に対してシャワー状又は霧状のエッチング液を吹き付けることによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６を研磨加工するというものである。エッチング液の供給をシャワー状又は霧状にすることで、使用する液量を低減することができる。【００３２】
ガラスディスク積層体１０は、開放されたあるいは密閉された雰囲気中に配置されている。ガラスディスク積層体１０の斜め上方には、ガラスディスク積層体１０の外周面１６に対してシャワー状又は霧状の外周エッチング液７４を吹き付けるための吹き付け手段７３が設けられている。吹き付け手段７３は、多数の噴出孔を備えており、噴出孔の開口サイズを大きくすると外周エッチング液７４がシャワー状に噴出され、噴出孔の開口サイズを小さくすると外周エッチング液７４が霧状に噴出される。吹き付け手段７３は、複数の吹き付け手段７３をガラスディスク積層体１０の外周面１６に臨むように配置したり、ガラスディスク積層体１０の外周面１６を臨む円環体に構成したりすることができる。【００３３】
ガラスディスク積層体１０を含む回転軸２０を軸支する軸固定部材２６，３６がチャンバ４の上面側及び下面側の中央にそれぞれ設けられている。好適には、ガラスディスク積層体１０は、不図示のモータによって時計方向又は反時計方向に回転駆動される。内周エッチング液７０及び外周エッチング液７４は、基本的には、同じエッチング液である。【００３４】
外周エッチング液７４が、吹き付け手段７３からシャワー状又は霧状に斜め下向きに噴出される。シャワー状又は霧状に噴出された外周エッチング液７４は、回転しているガラスディスク積層体１０の外周面１６の上部を濡らすが、上部を濡らした外周エッチング液７４は液状に凝集し、液状に凝集した外周エッチング液７４は、外周面１６に沿って下方に流れ落ちる。したがって、ガラスディスク積層体１０の外周面１６の全面が新鮮な外周エッチング液７４の流れに接する。そして、吹き付け手段７３から外周エッチング液７４が次から次へと噴出されるので、新鮮な外周エッチング液７４が絶えず外周面１６に供給され、外周面１６がエッチングされる。外周面１６がエッチングされるときに、外周面１６上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とそのガラスディスク１２に当接している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために外周面１６のコーナ部が徐々に除去されて外周面１６のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の外周面１６において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００３５】
内周エッチング液７０は、流通路５２から導入されて、内側空間６０を通った後、流通路４２から排出される。内周エッチング液７０が内側空間６０を通過する際に、新鮮な内周エッチング液７０の流れがガラスディスク積層体１０の内周面１４に接触することによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４がエッチングされる。内周面１４がエッチングされるときに、内周面１４上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とそのガラスディスク１２に当接している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために内周面１４のコーナ部が徐々に除去されて内周面１４のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の内周面１４において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００３６】
次に、本発明の第三実施形態に係る加工方法を、図３を参照しながら詳細に説明する。なお、上述した実施形態に係る加工方法と重複する部分を省略して、第三実施形態の特徴部分を中心に説明する。【００３７】
図３は、ガラスディスク１２の加工装置の一実施形態を説明する模式図である。【００３８】
図３は、ガラスディスク積層体１０が自転している浸漬型加工装置１又は吹き付け型加工装置２を公転させて、ガラスディスク積層体１０が遊星回転するようにしたものである。ガラスディスク積層体１０が遊星回転することによって、内周面１４及び外周面１６に接触しているエッチング液の流動性が高まるので、より均質なエッチング加工が可能になる。【００３９】
さらに、本発明の第四実施形態に係る加工方法を、図４を参照しながら詳細に説明する。なお、上述した実施形態に係る加工方法と重複する部分を省略して、第四実施形態の特徴部分を中心に説明する。【００４０】
図４は、ガラスディスク１２の加工装置の一実施形態を説明する模式図である。【００４１】
図４は、ガラスディスク積層体１０が回転している浸漬型加工装置１又は吹き付け型加工装置２を直線的に往復運動させて、ガラスディスク積層体１０が回転・往復運動するようにしたものである。ガラスディスク積層体１０が回転・往復運動することによって、内周面１４及び外周面１６に接触しているエッチング液の流動性が高まるので、より均質なエッチング加工が可能になる。【００４２】
なお、図３及び４に示した実施形態では、いずれも、回転軸２０が水平方向に延在する横型のものであるが、図１及び２に示した実施形態のように、回転軸２０が垂直方向に延在する縦型とすることもできる。逆に、図１及び２に示した縦型装置は、回転軸２０が水平方向に延在する横型装置にすることもできる。縦型装置は、ガラスディスク１２の荷重が回転軸２０に負荷されにくいので、高い回転精度が得られるというメリットがある反面、エッチング液の供給が不均一になりやすいというデメリットがある。横型装置は、ガラスディスク１２の荷重が回転軸２０に負荷されるので、回転精度が劣るために多数のガラスディスク１２を積層することには不適であるが、エッチング液を均一に供給することができるというメリットがある。また、エッチング液を供給しながら刷毛やブラシを使ってガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６にエッチング液を塗布することによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６を研磨加工することもできる。【００４３】
以下に、本発明に係る情報記録媒体用ガラスディスク１２（以下、ガラスディスク１２という。）の加工方法の第五実施形態を、図５を参照しながら詳細に説明する。【００４４】
図５は、ガラスディスク１２の浸漬型加工装置１の一実施形態を説明する模式図である。【００４５】
浸漬型加工装置１は、円筒状のチャンバ４の中にガラスディスク積層体１０を密閉状態で収納して、ガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６に対して新鮮なエッチング液を絶えず供給することによってガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６を研磨加工するというものである。【００４６】
チャンバ４の下面の左端部には、外周用入口８が設けられていて、チャンバ４の上面の右端部には、外周用出口６が設けられている。ガラスディスク積層体１０を含む回転軸２０を軸支する密閉軸支部材２４，３４がチャンバ４の上面及び下面の中央にそれぞれ設けられている。密閉軸支部材３４の側面には、内周用入口３８が設けられていて、密閉軸支部材２４の側面には、内周用出口２８が設けられている。内周用入口３８は、軸固定部材３６の外壁面と密閉軸支部材３４の内壁面とによって形成される液溜空間３９に連通している。同様に、外周用出口２８は、軸固定部材２６の外壁面と密閉軸支部材２４の内壁面とによって形成される液溜空間２９に連通している。【００４７】
加工の対象であるガラスディスク１２は、様々なサイズのものが該当するが、例えば、ハードディスクドライブに内蔵される磁気記録用ガラスディスクであって、０．８５インチサイズのものや１．８インチサイズのものや２．５インチサイズのものである。加工時においては、ガラスディスク１２の間には、隣り合うガラスディスク１２同士が擦り合うことを防止するために、軟質な材料からなるディスク状のスペーサ層（例えば、厚みが０．２ｍｍ）や接着層が介装されている。接着層やスペーサ層は、樹脂材料やゴム材料等の軟質な材料からなる。したがって、ガラスディスク積層体１０は、ガラスディスク１２の間に接着層やスペーサ層を介在した状態で多数枚（例えば、１０乃至２００枚）のガラスディスク１２を積層したものである。【００４８】
ガラスディスク積層体１０は、その両端に配置されたディスク押さえ板４４，５４を介して固定板４０，５０で挟持されている。ディスク押さえ板４４，５４や固定板４０，５０は、使用するエッチング液に対して耐食性のある材料が使用されるが、ディスク押さえ板４４，５４はダミーのガラスディスク１２を使用しても良い。固定板４０，５０の中央には、内側空間６０と液溜空間２９，３９とを連通する流通路４２，５２が設けられている。【００４９】
回転軸２０は不図示のモータによって時計方向又は反時計方向に回転駆動され、その結果、ガラスディスク積層体１０が浸漬型加工装置１のチャンバ４内で回転運動する。回転軸２０の回転数は、５０乃至２０００min−１（ｒｐｍ）である。【００５０】
浸漬型加工装置１の中にガラスディスク積層体１０をセッティングすると、回転軸２０の外周面とガラスディスク積層体１０の内周面１４とによって内側空間６０が形成されるとともに、チャンバ４の内周面とガラスディスク積層体１０の外周面１６とによって外側空間９が形成される。したがって、浸漬型加工装置１においては、ガラスディスク積層体１０によって、内側空間６０への流路と外側空間９への流路とに隔てられていて、内側空間６０への流路と外側空間９への流路という独立した２つの流路が形成されている。【００５１】
使用されるエッチング液は、フッ酸をベースとしたものであり、その中に、塩酸や硝酸や硫酸等の強酸、炭酸やシュウ酸や酢酸や蟻酸やクエン酸等の弱酸、あるいは珪フッ酸やフッ化アンモニウム等のフッ素を含む添加物を適宜加えたものである。エッチング液の濃度は、１乃至５０重量％である。エッチング液の温度は、２０乃至８０℃である。エッチング時間は、０．１乃至５時間である。エッチング加工に供されるエッチング液は、エッチング時に発生するエッチングカスや不純物がフィルタで除去され、液の濃度や温度が所定の範囲に入っているかをチェックし、範囲外であれば、液の補充や加温を行って適切な状態にしたあと、加工装置１に戻して循環使用される。【００５２】
内周面１４によって形成される内側空間６０は、外周面１６によって形成される外側空間９よりも狭いために、新鮮なエッチング液の行き渡りが不十分になりやすいために、内側空間６０でのエッチング能力は、外側空間９でのエッチング能力よりも劣ってしまう傾向がある。そこで、内周エッチング液７０’のエッチング能力を、外周エッチング液７２’のそれよりも高くなるように調製されている。内周エッチング液７０’と外周エッチング液７２’との間でエッチング能力に差を持たせるために、エッチング液の濃度変化、温度変化、添加物の種類の中から少なくとも一つが選択される。例えば、内周エッチング液７０’の温度を５０℃にして、外周エッチング液７２’の温度を３０℃にすること、内周エッチング液７０’の濃度を３０重量％にして、外周エッチング液７２’の濃度を１５重量％にすること、内周エッチング液７０’をフッ酸と硫酸の混酸にして、外周エッチング液７２’をフッ酸とシュウ酸の混酸にすること、あるいはこれらの組合せたものとすることができる。【００５３】
内周エッチング液７０’は、内周用入口３８から導入されて、液溜空間３９、流通路５２、内側空間６０、流通路４２、液溜空間２９を順次通った後、内周用出口２８から排出される。内周エッチング液７０’が内側空間６０を通過する際に、新鮮な内周エッチング液７０’の流れがガラスディスク積層体１０の内周面１４に接触することによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４がエッチングされる。内周面１４がエッチングされるときに、内周面１４上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とそのガラスディスク１２に当接している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために内周面１４のコーナ部が徐々に除去されて内周面１４のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の内周面１４において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００５４】
同様に、外周エッチング液７２’は、外周用入口８から導入されて、外側空間９の下方から上方を順次通った後、外周用出口６から排出される。外周エッチング液７２’の流れが外側空間９を通過する際に、新鮮な外周エッチング液７２’がガラスディスク積層体１０の外周面１６に接触することによって、ガラスディスク積層体１０の外周面１６がエッチングされる。外周面１６がエッチングされるときに、外周面１６上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とガラスディスク１２に接触している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために外周面１６のコーナ部が徐々に除去されて外周面１６のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の外周面１６において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００５５】
次に、本発明の第六実施形態に係る加工方法を、図６を参照しながら詳細に説明する。なお、上述した第五実施形態に係る加工方法と重複する部分を省略して、両者の相違点を中心に説明する。【００５６】
図６は、ガラスディスク１２の吹き付け型加工装置２の一実施形態を説明する模式図である。【００５７】
吹き付け型加工装置２は、ガラスディスク積層体１０の内周面１４に対してエッチング液の流れを供給するとともに、ガラスディスク積層体１０の外周面１６に対してシャワー状又は霧状のエッチング液を吹き付けることによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６を研磨加工するというものである。エッチング液の供給をシャワー状又は霧状にすることで、使用する液量を低減することができる。【００５８】
ガラスディスク積層体１０は、開放されたあるいは密閉された雰囲気中に配置されている。ガラスディスク積層体１０の斜め上方には、ガラスディスク積層体１０の外周面１６に対してシャワー状又は霧状の外周エッチング液７４’を吹き付けるための吹き付け手段７３が設けられている。吹き付け手段７３は、多数の噴出孔を備えており、噴出孔の開口サイズを大きくすると外周エッチング液７４’がシャワー状に噴出され、噴出孔の開口サイズを小さくすると外周エッチング液７４’が霧状に噴出される。吹き付け手段７３は、複数の吹き付け手段７３をガラスディスク積層体１０の外周面１６に臨むように配置したり、ガラスディスク積層体１０の外周面１６を臨む円環体に構成したりすることができる。【００５９】
ガラスディスク積層体１０を含む回転軸２０を軸支する密閉軸支部材２４，３４がチャンバ４の上面及び下面の中央にそれぞれ設けられている。密閉軸支部材３４の側面には、内周用入口３８が設けられていて、密閉軸支部材２４の側面には、内周用出口２８が設けられている。内周用入口３８は、軸固定部材３６の外壁面と密閉軸支部材３４の内壁面とによって形成される液溜空間３９に連通している。好適には、ガラスディスク積層体１０は、不図示のモータによって時計方向又は反時計方向に回転駆動される。【００６０】
内周エッチング液７０’よりもエッチング能力の低い外周エッチング液７４’が、吹き付け手段７３からシャワー状又は霧状に斜め下向きに噴出される。シャワー状又は霧状に噴出された外周エッチング液７４’は、回転しているガラスディスク積層体１０の外周面１６の上部を濡らすが、上部を濡らした外周エッチング液７４’は液状に凝集し、液状に凝集した外周エッチング液７４’は、外周面１６に沿って下方に流れ落ちる。したがって、ガラスディスク積層体１０の外周面１６の全面が新鮮な外周エッチング液７４’の流れに接する。そして、吹き付け手段７３から外周エッチング液７４’が次から次へと噴出されるので、新鮮な外周エッチング液７４’が絶えず外周面１６に供給され、外周面１６がエッチングされる。外周面１６がエッチングされるときに、外周面１６上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とそのガラスディスク１２に当接している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために外周面１６のコーナ部が徐々に除去されて外周面１６のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の外周面１６において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００６１】
外周エッチング液７４’よりもエッチング能力の高い内周エッチング液７０’は、内周用入口３８から導入されて、液溜空間３９、流通路５２、内側空間６０、流通路４２、液溜空間２９を順次通った後、内周用出口２８から排出される。内周エッチング液７０’が内側空間６０を通過する際に、新鮮な内周エッチング液７０’の流れがガラスディスク積層体１０の内周面１４に接触することによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４がエッチングされる。内周面１４がエッチングされるときに、内周面１４上に存在している微小な凹凸部分が徐々に除去されて平坦化される（研磨加工）。それとともに、ガラスディスク１２とそのガラスディスク１２に当接している接着層やスペーサ層との間で画定される境界部分までエッチング液がしみ込むために内周面１４のコーナ部が徐々に除去されて内周面１４のコーナ部が丸められる（丸め加工）。したがって、ガラスディスク１２の内周面１４において、丸め加工といった縁取り加工と研磨加工とが同時に行われる。【００６２】
次に、本発明の第七実施形態に係る加工方法を、図３を参照しながら詳細に説明する。なお、上述した実施形態に係る加工方法と重複する部分を省略して、第七実施形態の特徴部分を中心に説明する。【００６３】
図３は、ガラスディスク１２の加工装置の一実施形態を説明する模式図である。【００６４】
図３は、ガラスディスク積層体１０が自転している浸漬型加工装置１又は吹き付け型加工装置２を公転させて、ガラスディスク積層体１０が遊星回転するようにしたものである。ガラスディスク積層体１０が遊星回転することによって、内周面１４及び外周面１６に接触しているエッチング液の流動性が高まるので、より均質なエッチング加工が可能になる。【００６５】
さらに、本発明の第八実施形態に係る加工方法を、図４を参照しながら詳細に説明する。なお、上述した実施形態に係る加工方法と重複する部分を省略して、第八実施形態の特徴部分を中心に説明する。【００６６】
図４は、ガラスディスク１２の加工装置の一実施形態を説明する模式図である。【００６７】
図４は、ガラスディスク積層体１０が回転している浸漬型加工装置１又は吹き付け型加工装置２を直線的に往復運動させて、ガラスディスク積層体１０が回転・往復運動するようにしたものである。ガラスディスク積層体１０が回転・往復運動することによって、内周面１４及び外周面１６に接触しているエッチング液の流動性が高まるので、より均質なエッチング加工が可能になる。【００６８】
なお、図３及び４に示した実施形態では、いずれも、回転軸２０が水平方向に延在する横型のものであるが、図５及び６に示した実施形態のように、回転軸２０が垂直方向に延在する縦型とすることもできる。逆に、図５及び６に示した縦型装置は、回転軸２０が水平方向に延在する横型装置にすることもできる。縦型装置は、ガラスディスク１２の荷重が回転軸２０に負荷されにくいので、高い回転精度が得られるというメリットがある反面、エッチング液の供給が不均一になりやすいというデメリットがある。横型装置は、ガラスディスク１２の荷重が回転軸２０に負荷されるので、回転精度が劣るために多数のガラスディスク１２を積層することには不適であるが、エッチング液を均一に供給することができるというメリットがある。また、エッチング液を供給しながら刷毛やブラシを使ってガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６にエッチング液を塗布することによって、ガラスディスク積層体１０の内周面１４及び外周面１６を研磨加工することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラスディスクの加工方法を説明する模式図である。
【図２】本発明の第二実施形態に係るガラスディスクの加工方法を説明する模式図である。
【図３】本発明の第三実施形態及び第七実施形態に係るガラスディスクの加工方法を説明する模式図である。
【図４】本発明の第四実施形態及び第八実施形態に係るガラスディスクの加工方法を説明する模式図である。
【図５】本発明の第五実施形態に係るガラスディスクの加工方法を説明する模式図である。
【図６】本発明の第六実施形態に係るガラスディスクの加工方法を説明する模式図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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