【手続補正書】
【提出日】平成16年3月31日(2004.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱源から放射される赤外線を受光することにより、前記熱源の温度についての測温値を得る測温計であって、
前記赤外線を受光する熱吸収体の温度に基づいて電圧を発生する熱電堆を複数有し、前記複数の熱電堆が同一の半導体基板の主面上に受光位置が互いに異なる所定の配置で形成された赤外線検出手段と、
前記複数の各熱電堆からの各出力電圧に対応する複数の測温値候補のうちの最大値を、前記測温値として決定する測温値決定手段と、
を備えたことを特徴とする測温計。
【請求項２】
前記測温値決定手段は、
前記複数の各熱電堆からの各出力電圧のうちの最大値を最大出力電圧として選択する最大出力電圧選択手段と、
前記最大出力電圧に基づいて前記測温値を算出する測温値算出手段と、
を有することを特徴とする、請求項１に記載の測温計。
【請求項３】
前記赤外線を集光する赤外線レンズをさらに備え、
前記赤外線レンズは、各熱電堆の熱吸収体に前記赤外線を集光する多段構成のバイナリエレメントを、前記複数の熱電堆に対応して複数有することを特徴とする、請求項１または２に記載の測温計。
【請求項４】
前記複数の各熱電堆に対応する各バイナリエレメントは、その光学的中心と対応する各熱電堆の熱吸収体の中心とを結ぶ線が、各熱電堆の熱吸収体に集光する集光対象の赤外線の光軸と一致し、
前記集光対象の赤外線の光軸が、前記半導体基板の主面からその法線方向に所定距離離れた同一点を通過するように構成されたことを特徴とする、請求項３に記載の測温計。
【請求項５】
前記赤外線レンズは、受光する赤外線の波長を絞る赤外線コーティングが施されていることを特徴とする、請求項３または４に記載の測温計。
【請求項６】
前記複数の熱電堆のうち、中心に立てた法線が前記赤外線レンズの光学的中心を通る熱吸収体に基づく熱電堆を主熱電堆とし、その他の熱電堆を副熱電堆として、前記副熱電堆が前記主熱電堆の周辺に配置されたことを特徴とする、請求項３ないし５のいずれかに記載の測温計。
【請求項７】
前記複数の各熱電堆の電圧出力の２極のうちの一方は、共通接続されていることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載の測温計。
【請求項８】
前記複数の各熱電堆からの各出力電圧に対応する測温値候補は、基準温度に前記各出力電圧に対応する温度の差分を加えた温度を示すことを特徴とする、請求項１ないし７のいずれかに記載の測温計。
【請求項９】
前記熱源の温度が、人間の鼓膜温度であることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれかに記載の測温計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の測温計は、熱源から放射される赤外線を受光することにより、前記熱源の温度についての測温値を得る測温計であって、前記赤外線を受光する熱吸収体の温度に基づいて電圧を発生する熱電堆を複数有し、前記複数の熱電堆が同一の半導体基板の主面上に受光位置が互いに異なる所定の配置で形成された赤外線検出手段と、前記複数の各熱電堆からの各出力電圧に対応する複数の測温値候補のうちの最大値を、前記測温値として決定する測温値決定手段と、を備えたことを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、上述の測温計において、前記赤外線を集光する赤外線レンズをさらに備えたことが好ましい。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上述の測温計において、前記赤外線レンズは、バイナリレンズであることが好ましい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、上述の測温計において、前記赤外線レンズは、各熱電堆の熱吸収体に前記赤外線を集光する多段構成のバイナリエレメントを、前記複数の熱電堆に対応して複数有することが好ましい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、上述の測温計において、前記複数の各熱電堆に対応する各バイナリエレメントは、その光学的中心と対応する各熱電堆の熱吸収体の中心とを結ぶ線が、各熱電堆の熱吸収体に集光する集光対象の赤外線の光軸と一致するように構成されたことが好ましい。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、上述の測温計において、前記複数の各熱電堆に対応する各バイナリエレメントは、前記集光対象の赤外線の光軸が、前記半導体基板の主面からその法線方向に所定距離離れた同一点を通過するように構成されたことが好ましい。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、前記赤外線レンズを備えた上述の各測温計において、前記赤外線レンズは、半導体から成るレンズ基板をレンズとして加工形成したものであることが好ましい。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、上述の測温計において、前記レンズ基板は、シリコン基板であることが好ましい。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、前記赤外線レンズを備えた上述の各測温計において、前記赤外線レンズが、前記半導体基板の主面上に接合されたことが好ましい。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、前記赤外線レンズを備えた上述の各測温計において、前記赤外線レンズは、受光する赤外線の波長を絞る赤外線コーティングが施されていることが好ましい。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、前記赤外線レンズを備えた上述の各測温計において、前記複数の熱電堆のうち、中心に立てた法線が前記赤外線レンズの光学的中心を通る熱吸収体に基づく熱電堆を主熱電堆とし、その他の熱電堆を副熱電堆として、前記副熱電堆が前記主熱電堆の周辺に配置されたことが好ましい。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、上述した各測温計において、前記複数の各熱電堆の電圧出力の２極のうちの一方は、共通接続されていることが好ましい。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、上述した各測温計において、前記半導体基板は、シリコン基板であることが好ましい。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、上述した各測温計において、前記測温値決定手段は、前記複数の各熱電堆からの各出力電圧のうちの最大値を最大出力電圧として選択する最大出力電圧選択手段と、前記最大出力電圧に基づいて前記測温値を算出する測温値算出手段と、を有することが好ましい。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、上述した各測温計において、前記複数の各熱電堆からの各出力電圧に対応する測温値候補は、基準温度に前記各出力電圧に対応する温度の差分を加えた温度を示すことが好ましい。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、上述の測温計において、前記基準温度を検出する基準温度検出手段をさらに備えたことが好ましい。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、上述の測温計において、前記基準温度は、前記複数の熱電堆の冷接点の温度であることが好ましい。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、前記基準温度検出手段を備えた上述の各測温計において、前記基準温度検出手段の感温部が、前記複数の熱電堆を形成した半導体構造内に一体形成されたことが好ましい。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、前記基準温度検出手段を備えた上述の各測温計において、前記基準温度検出手段は、その感温部として、入出力特性が前記基準温度の温度変化に応じて変化する半導体素子を複数有し、前記複数の半導体素子からの出力に基づいて、前記基準温度を検出することが好ましい。


【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、前記基準温度検出手段を備えた上述の各測温計において、前記基準温度検出手段の感温部は、前記半導体構造内においてダイオードとして機能するように構成されたことが好ましい。


【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、上述した各測温計において、前記熱源の温度が、人間の鼓膜温度であることが好ましい。