【手続補正書】
【提出日】平成16年10月4日(2004.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に、少なくともポリイミド膜およびＩＴＯ膜が、ポリイミド膜が外層側になるように形成されており、所定の剥離液を使用して該ポリイミド膜を除去するガラス基板の再生方法であって、
前記所定の剥離液が、
炭素数４〜１０の環状エステルおよび炭素数３〜１０の水酸基が置換した脂肪族エーテルから選ばれる少なくとも一つを含有する有機系溶媒、
または該有機系溶媒および多価アルコールおよび／または水を含有する溶媒であり、
前記ガラス基板を前記剥離液に浸漬し、ポリイミド膜を選択的に除去することを特徴とするガラス基板の再生方法。
【請求項２】
炭素数４〜１０の環状エステルおよび炭素数３〜１０の水酸基が置換した脂肪族エーテルが、γ−ブチロラクトンおよびメチルセロソルブから選ばれる１以上であることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の再生方法。
【請求項３】
ガラス基板に、少なくともＩＴＯ膜およびＯＣ膜および／またはカラーフィルタ膜が、ＩＴＯ膜が外層側になるように形成されており、所定の剥離液を使用して該ＩＴＯ膜を除去するガラス基板の再生方法であって、
前記所定の剥離液がハロゲン系無機酸または有機酸、および多価アルコール類を含有する水溶液であり、
前記ハロゲン系無機酸が塩酸、臭化水素酸、沃化水素酸およびクロロスルホン酸から選ばれる１以上のハロゲン系無機酸であり、
前記有機酸が蓚酸、酢酸および蟻酸から選ばれる１以上の有機酸を含有する水溶液であり、前記ガラス基板を前記剥離液に浸漬し、ＩＴＯ膜を選択的に除去することを特徴とするガラス基板の再生方法。
【請求項４】
ガラス基板に、少なくともオーバーコート膜、カラーフィルタ膜、及び、ブラックマトリックス膜が、オーバーコート膜が外層側になるように形成されており、所定の剥離液を使用して該オーバーコート膜およびカラーフィルタ膜を除去するガラス基板の再生方法であって、
前記所定の剥離液が、
（１）塩酸、硝酸、硫酸およびリン酸から選ばれる１以上を含有する無機酸水溶液、
または（２）Ｎ−メチルー２−ピロリドン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、水酸化カリウム、およびヒドラジンから選ばれる１以上を含有するアルカリ性水溶液であり、
前記ガラス基板を前記剥離液に浸漬し、オーバーコート膜およびカラーフィルタ膜を除去することを特徴とするガラス基板の再生方法。
【請求項５】
前記ブラックマトリックス膜が金属および／または金属酸化物を含むブラックマトリックス膜であり、（１）塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、クロロスルホン酸、蓚酸、酢酸および蟻酸から選ばれる少なくとも１を含有する水溶液、または（２）硝酸第２セリウムアンモニウム液を含有する水溶液に前記ガラス基板を浸漬し、前記ブラックマトリックス膜を除去することを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の再生方法。
【請求項６】
ポリイミド膜が外層側となるようにブラックマトリックス膜、カラーフィルタ膜、オーバーコート膜、ＩＴＯ膜およびポリイミド膜が順次形成してあるガラス基板の形成膜を除去するガラス基板の再生方法であって、
炭素数４〜１０の環状エステルおよび炭素数３〜１０の水酸基が置換した脂肪族エーテルから選ばれる少なくとも一つを含有する有機系溶媒、または該有機系溶媒および多価アルコールおよび／または水を含有する溶媒に前記ガラス基板を浸漬してポリイミド膜を選択的に除去するポリイミド膜除去工程と、
塩酸、臭化水素酸、沃化水素酸およびクロロスルホン酸から選ばれる１以上のハロゲン系無機酸または蓚酸、酢酸および蟻酸から選ばれる１以上の有機酸、および多価アルコール類を含有する水溶液に前記ガラス基板を浸漬してＩＴＯ膜を選択的に除去するＩＴＯ膜除去工程と、
塩酸、硝酸、硫酸およびリン酸から選ばれる１以上を含有する無機酸水溶液、または、Ｎ−メチルー２−ピロリドン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、水酸化カリウムおよびヒドラジンから選ばれる１以上を含有するアルカリ性水溶液に前記ガラス基板を浸漬してオーバーコート膜およびカラーフィルタ膜を除去するオーバーコート膜およびカラーフィルタ膜除去工程と、
を備えていることを特徴とするガラス基板の再生方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ブラックマトリックス膜、カラーフィルタ膜、オーバーコート膜、ＩＴＯ膜およびポリイミド膜から選ばれる少なくとも１以上が、その表面上に順次形成されているガラス基板から、１または複数の膜を選択的に除去する該ガラス基板の再生方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、所定の剥離液を用いることにより、品質基準を満たさない１または複数の膜のみを選択的に除去することができ、残存させるべき膜に損傷を与える、ガラス基板がエッチングされる、などの問題がない液晶表示用ガラス基板の再生方法を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス基板に、少なくともＰＩ膜およびＩＴＯ膜が、ＰＩ膜が外層側になるように形成されており、所定の剥離液を使用して該ＰＩ膜を除去するガラス基板の再生方法であって、前記所定の剥離液が、炭素数４〜１０の環状エステルおよび炭素数３〜１０の水酸基が置換した脂肪族エーテルから選ばれる少なくとも一つを含有する有機系溶媒、または該有機系溶媒および多価アルコールおよび／または水を含有する溶媒であり、前記ガラス基板を前記剥離液に浸漬し、ＰＩ膜を選択的に除去することを特徴とするガラス基板の再生方法である。ここで、ＩＴＯ膜は透明電極として設けられ、ＰＩ膜は液晶を配向させるための配向膜として設けられている。この発明により、ＩＴＯ膜に電気抵抗値の変化などをもたらす損傷および汚れを生じることなく、ＰＩ膜のみを選択的に除去することができる。この発明が適用できるガラス基板としては、液晶表示装置用のカラーフィルタ側ガラス基板およびＴＦＴ側ガラス基板が挙げられ、外層側がＰＩ膜であるならば、ＰＩ膜、ＩＴＯ膜以外の膜または素子などを有するものでもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
前記炭素数４〜１０の環状エステルおよび炭素数３〜１０の水酸基が置換した脂肪族エーテルは、中性の有機系溶媒であり、γ−ブチロラクトン、メチルセロソルブなどが例示される。ガラス基板を浸漬する溶媒としては、γ−ブチロラクトン、メチルセロソルブおよびこれらの混合溶媒が好ましく、特にγ−ブチロラクトンを５０重量％以上含有する溶媒が好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明は、ガラス基板に、少なくともＩＴＯ膜およびＯＣ膜および／またはＣＦ膜が、ＩＴＯ膜が外層側になるように形成されており、所定の剥離液を使用して該ＩＴＯ膜を除去するガラス基板の再生方法であって、前記所定の剥離液がハロゲン系無機酸または有機酸、および多価アルコール類を含有する水溶液であり、前記ハロゲン系無機酸が塩酸、臭化水素酸、沃化水素酸およびクロロスルホン酸から選ばれる１以上のハロゲン系無機酸であり、前記有機酸が蓚酸、酢酸および蟻酸から選ばれる１以上の有機酸を含有する水溶液であり、前記ガラス基板を前記剥離液に浸漬し、ＩＴＯ膜を選択的に除去することを特徴とするガラス基板の再生方法である。ここで、ＩＴＯ膜は透明電極として設けられている。この発明により、ＣＦ膜に透過率および色度の変化などをもたらす損傷を与えることなく、ＩＴＯ膜のみを選択的に除去することができる。この発明が適用できるガラス基板としては、液晶表示装置用カラーフィルタ側ガラス基板が挙げられ、外層側がＩＴＯ膜であるならば、ＣＦ膜、ＩＴＯ膜、ＯＣ膜以外の膜を有するものでもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明は、ガラス基板に、少なくともＯＣ膜、ＣＦ膜、及び、ＢＭ膜が、ＯＣ膜が外層側になるように形成されており、所定の剥離液を使用して該ＯＣ膜およびＣＦ膜を除去するガラス基板の再生方法であって、前記所定の剥離液が、（１）塩酸、硝酸、硫酸およびリン酸から選ばれる１以上を含有する無機酸水溶液、または（２）Ｎ−メチルー２−ピロリドン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、水酸化カリウム、およびヒドラジンから選ばれる１以上を含有するアルカリ性水溶液であり、前記ガラス基板を前記剥離液に浸漬し、ＯＣ膜およびＣＦ膜を除去することを特徴とするガラス基板の再生方法である。ここで、ＢＭ膜は各色のカラーフィルタ間を遮光するためのもので、通常、格子状または帯状に形成されているがこれに限定されるものではない。ＣＦ膜は、Ｒ、Ｂ、Ｇ各色のカラーフィルタからなり、ガラス基板上に形成され所定の色を表示するが、各色のカラーフィルター間の遮光を確実にするため、図１２に示されるように、ＢＭ膜に架け渡されて形成されることが好ましい。ＯＣ膜は該ＣＦ膜の表面を覆うために設けられている。この発明により、ガラス基板に損傷を与えることなく、ＯＣ膜、ＣＦ膜などの他の膜を除去することができる。この発明が適用できるガラス基板としては、液晶表示装置用カラーフィルタ側ガラス基板が挙げられる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
前記ＢＭ膜が金属および／または金属酸化物を含むＢＭ膜であるとき、（１）塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、クロロスルホン酸、蓚酸、酢酸および蟻酸から選ばれる少なくとも１を含有する水溶液、または（２）硝酸第２セリウムアンモニウム液を含有する水溶液に前記ガラス基板を浸漬し、前記ＢＭ膜を除去すると良い。この場合、ガラス基板がエッチングされることなく、ＢＭ膜を除去することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明は、ＰＩ膜が外層側となるようにＢＭ膜、ＣＦ膜、ＯＣ膜、ＩＴＯ膜およびＰＩ膜が順次形成してあるガラス基板の形成膜を除去するガラス基板の再生方法であって、炭素数４〜１０の環状エステルおよび炭素数３〜１０の水酸基が置換した脂肪族エーテルから選ばれる少なくとも一つを含有する有機系溶媒、または該有機系溶媒および多価アルコールおよび／または水を含有する溶媒に前記ガラス基板を浸漬してＰＩ膜を選択的に除去するＰＩ膜除去工程と、塩酸、臭化水素酸、沃化水素酸およびクロロスルホン酸から選ばれる１以上のハロゲン系無機酸または蓚酸、酢酸および蟻酸から選ばれる１以上の有機酸、および多価アルコール類を含有する水溶液に前記ガラス基板を浸漬してＩＴＯ膜を選択的に除去するＩＴＯ膜除去工程と、塩酸、硝酸、硫酸およびリン酸から選ばれる１以上を含有する無機酸水溶液、または、Ｎ−メチルー２−ピロリドン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、水酸化カリウムおよびヒドラジンから選ばれる１以上を含有するアルカリ性水溶液に前記ガラス基板を浸漬してＯＣ膜およびＣＦ膜を除去するＯＣ膜およびＣＦ膜除去工程と、を備えていることを特徴とするガラス基板の再生方法である。ここで、ＢＭ膜は各色のカラーフィルタ間を遮光するためのもので、通常、格子状または帯状に形成されているがこれに限定されるものではない。ＣＦ膜は、Ｒ、Ｂ、Ｇ各色のカラーフィルタからなり、ガラス基板上に形成され所定の色を表示するが、各色のカラーフィルター間の遮光を確実にするため、図１２に示されるように、ＢＭ膜に架け渡されて形成されることが好ましい。ＯＣ膜は該ＣＦ膜の表面を覆うために設けられている。この発明により、ガラス基板に損傷を与えることなく、ＯＣ膜、ＣＦ膜などの他の膜を除去することができる。この発明が適用できるガラス基板としては、液晶表示装置用カラーフィルタ側ガラス基板が挙げられる。このＰＩ膜除去工程、ＩＴＯ膜除去工程、及び、ＯＣ膜およびＣＦ膜除去工程を備え方法によれば、ガラス基板をエッチングすることなくＰＩ膜、ＩＴＯ膜、ＯＣ膜、及び、ＣＦ膜を除去することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
所定の剥離液を使用することによって、品質基準を満たさなくなった１または複数の膜のみを選択的に除去することができ、品質基準を満たす膜などを残した状態で、ガラス基板を有効に再利用することができる。ＩＴＯ膜上にＰＩ膜が形成されているガラス基板から、所定の剥離液を使用することで、ＩＴＯ膜に電気抵抗値の変化などをもたらす損傷および汚れが生じることなく、ＰＩ膜のみを選択的に除去することができ、ガラス基板もエッチングされない。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、ガラス基板上にＣＦ膜及びＯＣ膜が形成され、更にＩＴＯ膜が形成されているカラーフィルタ側ガラス基板などにおいては、所定の剥離液を使用することにより、ＣＦ膜に透過率および色度の変化などをもたらす損傷を与えることなく、ＩＴＯ膜のみを選択的に除去することかでき、ガラス基板もほとんどエッチングされない。ＢＭ膜、ＣＦ膜、ＯＣ膜が形成されているガラス基板においては、所定の剥離液を使用することにより、ガラス基板がほとんどエッチングされることなく、品質基準を満たさないＢＭ膜以外の膜を除去することができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】