【手続補正書】
【提出日】平成16年9月3日(2004.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性成分、並びに、１）フェノール単位及び２）ポリマー骨格から直接懸吊しかつ該感光性成分の光活性化の時に反応可能なアセタールエステル又はケタールエステル単位を有するポリマーから成る樹脂バインダーを含有してなるフォトレジスト組成物。
【請求項２】
ポリマーが次式（Ｉ）で示される１個以上の単位を含有してなる請求項１に記載のフォトレジスト組成物。
【化１】
2000029215.tif 000001
（式中、Ｕ及びＶは、各々独立して、水素；ハロゲン；置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換の炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換の複素環基又は芳香複素基を示し、
Ｒは、置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換の炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換の複素環基又は芳香複素環基を示すか、或いは、Ｒ、並びに、Ｕ及びＶの少なくとも１つが一緒になって、隣接する酸素原子と環を形成してもよく、Ｚは橋架け基を示す。
【請求項３】
ポリマーが、複数のアセタールエステル又はケタールエステル基から成る繰返し単位を有する請求項１に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項４】
ポリマーが、次式（II）で示される１個以上の単位を含有してなる請求項１に記載のフォトレジスト組成物。
【化２】
2000029215.tif 000002
（式中、Ｗはリンカーを示し、
Ｚは、ポリマー単位間の橋架け基を示し、
Ｕ及びＶは、各々独立して、水素；ハロゲン；置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換の炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換型複素環基又は芳香複素環基を示し、
Ｒは、置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換型炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換型複素環基又は芳香複素環基を示すか、或いは、Ｒ、並びに、Ｕ及びＶの少なくとも１つが一緒になって、隣接する酸素原子と環を形成してもよい。）
【請求項５】
ポリマーが、次式（III）で示される構造を含有してなる請求項１に記載のフォトレジスト組成物。
【化３】
2000029215.tif 000003
（式中、Ｚは、独立してポリマー単位間の橋架け基を示し、
Ｕ及びＶは、各々独立して、水素；ハロゲン；置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換の炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換の複素環基又は芳香複素環基を示し、
Ｒは、置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換型炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換の複素環基又は芳香複素環基を示すか、或いは、Ｒ、並びに、Ｕ及びＶの少なくとも１つが一緒になって、隣接する酸素原子と環を形成してもよく、
Ｒ１は、独立して、ハロゲン、置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルコキシ基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルキルチオ基；シアノ基；ニトロ基；アミノ基；ヒドロキシル基、或いは、隣接する炭素上の２個のＲ１基が一緒になって、環当たり４から約８員環を有する１個以上の縮合芳香環又は脂環式環を形成してもよく、
ｎは０から４までの整数を示し、
ｘ及びｙは前記ポリマー単位のモルパーセントを示す。）
【請求項６】
ポリマーが次式（IV）で示される構造を含有してなる請求項１に記載のフォトレジスト組成物。
【化４】
2000029215.tif 000004
（式中、各Ｚは、独立してポリマー単位間の橋架け基を示し、
Ｕ及びＶは、各々独立して、水素；ハロゲン；置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換型炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換型複素環基又は芳香複素環基を示し、
Ｒは、置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換型炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換型複素環基又は芳香複素環基を示すか、或いは、Ｒ、並びに、Ｕ及びＶの少なくとも１つが一緒になって、隣接する酸素原子と環を形成してもよく；
Ｔは、少なくとも約７５モルパーセントの炭素を含有する基を示し、
各Ｒ１は、独立して、ハロゲン；置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルコキシ基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルキルチオ基；シアノ基；ニトロ基；アミノ基；ヒドロキシル基、或いは、隣接する炭素上の２個のＲ１基が一緒になって、環当たり４から約８員環を有する１個以上の縮合芳香環又は脂環式環を形成してもよく、
ｎは０から４までの整数を示し、
ｘ’ｙ’及びｚ’は前記各ポリマー単位のモルパーセントを示す。）
【請求項７】
ａ）基板上に請求項１のフォトレジスト組成物の塗布層を塗布すること、及び、
ｂ）該フォトレジスト塗布層を露光及び現像してポジ型レリーフ画像を作製すること、
からなるポジ型フォトレジストレリーフ画像の形成方法。
【請求項８】
フェノール単位、及び、次式（Ｉ）で示される１個以上の単位を含有してなるポリマー。
【化５】
2000029215.tif 000005
（式中、Ｕ及びＶは、各々独立して、水素；ハロゲン；置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換の炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換の複素環基又は芳香複素環基を示し、
Ｒは、置換もしくは非置換のアルキル基；置換もしくは非置換のアルケニル基；置換もしくは非置換のアルキニル基；置換もしくは非置換のアルカノイル基；置換もしくは非置換の炭素環式アリール基；置換もしくは非置換のアラルキル基；１ないし３個の環でかつ１ないし約３個のヘテロ原子を有する置換もしくは非置換の複素環基又は芳香複素環基を示すか、或いは、Ｒ、並びに、Ｕ及びＶの少なくとも１つが一緒になって、隣接する酸素原子と環を形成してもよく、
Ｚは、ポリマー単位間の橋架け基を示す。）