【手続補正書】
【提出日】平成17年5月31日(2005.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原板を覆うペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに設けられ、当該ペリクルに関する情報が記録されている情報発生部と、
前記情報を検出する検出手段とを具備することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項２】
請求項１記載のペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに関する情報はペリクルを識別する情報であることを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項３】
請求項１記載のペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに関する情報は前記ペリクルの使用履歴またはペリクル膜の材質であることを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項４】
原板を覆うペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに設けられた識別マークを検出する検出手段と、
前記識別マークに対応づけて前記ペリクルに関する情報を記憶した記憶手段と、
前記検出手段で検出された識別マークに基づいて前記記憶手段から前記ペリクルに関する情報を読み出し、その結果を出力する出力手段とを具備することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項５】
請求項４記載のペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに関する情報は前記ペリクルの使用履歴であることを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項６】
請求項４記載のペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに関する情報はペリクル膜の材質であることを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項７】
原板を覆うペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに設けられ前記ペリクルの使用履歴を記憶した記憶手段と、
前記記憶手段から前記使用履歴を読み出す読み出し手段と、
この読み出し手段で読み出された使用履歴を出力する出力手段とを具備することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項８】
原板を覆うペリクルの管理装置において、
前記ペリクルに設けられた識別マークを検出する検出手段と、
前記検出手段で検出された識別マークに基づいて前記ペリクルが使用不可のものであると判定したときに、その結果を出力する出力手段とを具備することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれかに記載のペリクルの管理装置において、前記出力手段からの出力結果に基づいて、ペリクルで覆われた原板の使用を禁止する禁止手段を具備することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載のペリクルの管理装置において、
前記検出手段もしくは読み出し手段を、前記原板を搬送する搬送装置に設けたことを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項１１】
原板に形成されたパターンの像を基板上に露光する投影露光装置において、
前記原板を覆うペルクルに設けられた識別マークを検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記ペリクルが当該露光装置で使用可能か否かを判定する判定手段とを具備することを特徴とする投影露光装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の露光装置において、
前記判定手段は、前記検出手段で検出した検出結果に対応づけられているペリクルの使用履歴に基づいて前記判定を行うことを特徴とする投影露光装置。
【請求項１３】
請求項１１記載の露光装置において、
前記判定手段は、前記検出手段で検出した検出結果に対応づけられているペリクル膜の材質に基づいて前記判定を行うことを特徴とする投影露光装置。
【請求項１４】
原板に形成されたパターンの像を基板上に露光する投影露光方法において、
前記原板を覆うペルクルに設けられた識別マークを検出する検出工程と、
前記検出工程の検出結果に基づいて、前記ペリクルが当該露光装置で使用可能か否かを判定する判定工程とを具備することを特徴とする投影露光方法。
【請求項１５】
原板を覆うペリクルの管理装置において、
前記原板上に設けられた原板情報部から前記原板に関する情報を検出する第１検出手段と、
前記ペリクル上に設けられたペリクル情報部から前記ペリクルに関する情報を検出する第２検出手段と、
前記第１検出手段によって検出された前記原板情報に基づいて、前記第２検出手段で情報を検出されたペリクルの適否を判定する判定手段とを含むことを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載のペリクルの管理装置において、
前記判定手段は、
前記第１検出手段によって検出される原板情報から算出されるペリクルの使用履歴に基づいて前記ペリクルの透過率を推定し、推定された前記ペリクルの透過率に基づいて前記ペリクルの適否を判定することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載のペリクルの管理装置において、
前記第1検出手段によって検出される原板情報は、１ショットの時間、ショット数、露光光の強度、に関する情報を含み、
前記判定手段は、前記原板情報に基づいて、前記ペリクルの透過率を推定することを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項１８】
請求項１５に記載のペリクルの管理装置において、
前記第２検出手段によって検出されるペリクル情報は、ペリクルの材質に関する情報を含むことを特徴とするペリクルの管理装置。
【請求項１９】
請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項２０】
請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とする検査装置。
【請求項２１】
請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とするペリクル貼り付け装置。
【請求項２２】
請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とするレチクル保管装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第１の目的は、ペリクル膜の材質やその透過率の低下などに応じてペリクルを効果的に管理する管理装置を提供することにある。
本発明の第２の目的は、ペリクル膜の材質やその透過率の低下などを検出して不適切なペリクルの使用を回避するようにした投影露光装置および投影露光方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
一実施の形態を示す図面に対応づけて本発明を説明する。
（１）請求項１の発明は、原板Ｒを覆うペリクル２の管理装置に適用され、上述した目的は、ペリクル２に設けられ、当該ペリクル２に関する情報が記録されている情報記録部２Ｂと、情報を検出する検出手段４とを具備することにより達成される。
（２）請求項２の発明は、請求項１記載のペリクルの管理装置において、ペリクルに関する情報をペリクルを識別する情報としたものである。
（３）請求項３の発明は、請求項１記載のペリクルの管理装置において、ペリクルに関する情報をペリクル２の使用履歴やペリクル膜の材質としたものである。
（４）請求項４の発明は、原板Ｒを覆うペリクルの管理装置に適用され、上述した目的は、ペリクル２に設けられた識別マーク２Ｂを検出する検出手段４と、識別マーク２Ｂに対応づけてペリクル２に関する情報を記憶した記憶手段４１と、検出手段４で検出された識別マーク２Ｂに基づいて記憶手段４１からペリクルに関する情報を読み出し、その結果を出力する出力手段４０，２０１，２０２とを具備することにより達成される。
（５）請求項５の発明は、請求項４記載のペリクルの管理装置において、ペリクル２に関する情報をペリクルの使用履歴としたものである。
（６）請求項６の発明は、請求項４記載のペリクルの管理装置において、ペリクル２に関する情報をペリクル膜の材質としたものである。
（７）請求項７の発明は、原板Ｒを覆うペリクルの管理装置に適用され、上述した目的は、ペリクル２に設けられその使用履歴を記憶した記憶手段２Ｃと、記憶手段２Ｃから使用履歴を読み出す読み出し手段４Ａと、この読み出し手段４Ａで読み出された使用履歴を出力する出力手段２０１，２０２とを具備することにより達成される。
（８）請求項８の発明は、原板Ｒを覆うペリクルの管理装置に適用され、上述した目的は、ペリクル２に設けられた識別マーク２Ｂを検出する検出手段４と、検出手段４で検出された識別マーク２Ｂに基づいてペリクル２が使用不可のものであると判定したときに、その結果を出力する出力手段４０，２０１，２０２とを具備することにより達成される。
（９）請求項９の発明は、請求項４〜８のいずれかに記載のペリクルの管理装置において、出力手段４０，２０１，２０２からの出力結果に基づいてそのペリクル２で覆われた原板Ｒの使用を禁止する禁止手段１０を具備するものである。
（１０）請求項１０の発明は、請求項１〜９のいずれかに記載のペリクルの管理装置において、検出手段４もしくは読み出し手段４Ａを原板Ｒを搬送する搬送装置１０に設けたものである。
（１１）請求項１１の発明は、原板Ｒに形成されたパターンの像を基板Ｗ上に露光する投影露光装置に適用され、上述した目的は、原板Ｒを覆うペルクル２に設けられた識別マーク２Ｂを検出する検出手段４と、検出手段４の検出結果に基づいて、ペリクル２が当該露光装置で使用可能か否かを判定する判定手段４０とを具備することにより達成される。
（１２）請求項１２の発明は、請求項１１記載の露光装置において、判定手段４０が、検出手段４の検出結果に対応づけられたペリクル２の使用履歴に基づいて判定を行うようにしたものである。
（１３）請求項１３の発明は、請求項１１記載の露光装置において、判定手段４０が、検出手段４の検出結果に対応づけられたペリクル２のペリクル膜の材質に基づいて判定を行うようにしたものである。
（１４）請求項１４の発明は、原板Ｒに形成されたパターンの像を基板Ｗ上に露光する投影露光方法に適用され、上述した目的は、原板Ｒを覆うペルクル２に設けられた識別マーク２Ｂを検出する検出工程と、検出工程の検出結果に基づいて、ペリクル２が当該露光装置で使用可能か否かを判定する判定工程とを具備することにより達成される。
（１５）請求項１５の発明は、原板を覆うペリクルの管理装置において、原板Ｒ上に設けられた原板情報部ＢＣから原板Ｒに関する情報を検出する第１検出手段３と、ペリクル上に設けられたペリクル情報部２Ｂからペリクル２に関する情報を検出する第２検出手段４と、第１検出手段３によって検出された原板情報に基づいて、第２検出手段４で情報を検出されたペリクル２の適否を判定する判定手段４０とを含むことを特徴とする。
（１６）請求項１６の発明は、請求項１５に記載のペリクルの管理装置において、判定手段４０は、第１検出手段３によって検出される原板情報から算出されるペリクル２の使用履歴に基づいてペリクル２の透過率を推定し、推定されたペリクル２の透過率に基づいてペリクル２の適否を判定することを特徴とする。
（１７）請求項１７の発明は、請求項１６に記載のペリクルの管理装置において、第１検出手段３によって検出される原板情報は、１ショットの時間、ショット数、露光光の強度、に関する情報を含み、判定手段４０は、原板情報に基づいて、ペリクル２の透過率を推定することを特徴とする。
（１８）請求項１８の発明は、請求項１５に記載のペリクルの管理装置において、第２検出手段４によって検出されるペリクル情報は、ペリクル２の材質に関する情報を含むことを特徴とする。
（１９）請求項１９の発明による露光装置は、請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とする。
（２０）請求項２０の発明による検査装置は、請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とする。
（２１）請求項２１の発明によるペリクル２貼り付け装置は、請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とする。
（２２）請求項２２の発明によるレチクル保管装置は、請求項１５乃至１８いずれか一項に記載のペリクル管理装置を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば次のような効果を奏する。
（１）請求項１〜１４の発明によれば、原板を覆うペリクルに設けられた情報発生部からペリクルの各種情報を検出することができ、露光工程でのペリクルの使用の適否などを知ることができる。またペリクルの張替え時期を適切に管理することができる。
（２）請求項２，３，５，６の発明によれば、ペリクルの使用履歴やペリクル膜の材質を読み出すことができ、透過率の低下したペリクル付き原板や露光光に適さないペリクル付き原板を露光前に排除できる。
（３）請求項４，５，６の発明によれば、原板を覆うペリクルに設けられた識別マークで記憶手段をアクセスしてペリクルの使用履歴やペリクル膜の材質を読み出し、その結果を出力するようにしたので、作業者は使用履歴やペリクル膜の材質に基づいてペリクルの状態を把握することができる。その結果、透過率が所定値以下のペリクル付き原板や露光光に適さないペリクル膜を使用したペリクル付き原板の使用を禁止することができる。記憶素子をペリクルに設ける場合に比べて記憶できる情報量に制限がないという利点もある。
（４）請求項７の発明によれば、ペリクルに記憶素子を設けので、ペリクルの使用履歴情報の記憶領域をホストコンピュータに予め設ける必要がなく、管理装置を簡単に設けることができる。
（５）請求項８の発明は、原板を覆うペリクルに設けられた識別マークを検出してペリクルが使用不可のものであると判定されたときに、その結果を出力するようにしたから、作業者はその出力結果に基づいてそのペリクル付き原板の使用を中止することができる。
（６）請求項９の発明によれば、請求項４〜８のいずれかに記載のペリクルの管理装置において、使用不可と判定されたペリクル付き原板の使用が禁止されるから、作業者がその結果を見誤っても確実にその使用不可のペリクルの使用を禁止できる。
（７）請求項１０の発明によれば、請求項１〜９のいずれかに記載のペリクルの管理装置において、検出手段もしくは読み出し手段が搬送装置に設けられるから、ペリクル情報を検出するためのスペースを設ける必要がない。
（８）請求項１１〜１４の発明によれば、原板を覆うペルクルに設けられた識別マークを検出してそのペリクルが当該露光装置で使用可能か否かを判定するようにしたので、不適切なペリクル付き原板の使用を確実に禁止できる。
（９）請求項１５〜２２の発明によれば、原版に設けられた原板情報に基づいて、ペリクル上に設けられたペリクル情報部のペリクルに関する情報を読み出すことができ、ペリクルの適否を判定することができる。