(57)【要約】  気相法で結晶をｍ面成長させることができる安価な基板を実現する。  サファイア基板１において、ＧａＮ等の結晶２を成長させるにあたって、その結晶２のテンプレートとなる成長面３として、研磨工程によって、ｍ面４から予め定める微小角度だけ傾斜したオフ角面を作成し、ステップ５とテラス６とを有する階段状のステップ基板とする。したがって、通常ではｍ面（無極性面）ＧａＮ膜を作らない安価なサファイア基板１を結晶成長用の基板として用いても、デバイス作成に有利な気相法で、ａ面となる各ステップ５面からテラス６上に、ｃ軸成長させ、ｍ面がテラス６の表面とは反対側となるようにエピタキシャル成長した良好なＧａＮ単結晶を成長させ、やがて各ステップ５間が一体化（融合）して、貫通転位の少ないＧａＮ単結晶の基板からデバイスを作製できる。また、ｍ面を用いることでピエゾ電界の影響を無くすことができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶成長用のサファイア基板において、
成長面として、ｍ面から予め定める微小角度だけ傾斜したオフ角面を有することを特徴とするサファイア基板。
【請求項２】
前記傾斜の角度は、
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方向に対して０．２〜１０度であることを特徴とする請求項１記載のサファイア基板。
【請求項３】
前記傾斜の角度は、前記
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方向に対して０．５〜４度であることを特徴とする請求項２記載のサファイア基板。
【請求項４】
前記成長面は、サファイア原料のアルミニウムと酸素との内、アルミニウムリッチであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のサファイア基板。
【請求項５】
前記成長面が、アルミニウムリッチであることで、窒化していないことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のサファイア基板。
【請求項６】
前記請求項１〜５のいずれか１項に記載のサファイア基板を用いることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
【請求項７】
結晶成長用にサファイア基板を用い、そのサファイア基板上に窒化物半導体発光素子を結晶成長させる窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記結晶成長の工程の前に、成長面として前記サファイア基板のｍ面を用いるにあたって、前記ｍ面から予め定める微小角度だけ傾斜した面を作成する切断工程を含むことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項８】
前記切断工程の後に、前記切断ダメージを軽減するアニール工程と、
前記アニールによって酸化した前記成長面をアルミニウムリッチとすることで、窒化を阻止する工程とをさらに含むことを特徴とする請求項６記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サファイア基板およびそれを用いる窒化物半導体発光素子ならびにその窒化物半導体発光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、III−Ｖ族などの窒化物半導体で構成された発光層を有する窒化物半導体発光素子が注目されている。この発光素子の構造は、一例として、サファイア基板を用い、発光層をＩｎＧａＮなどで形成し、その発光層の下部にシリコン（Ｓｉ）がドーピングされたｎ＋−ＧａＮ層から成るコンタクト層、前記発光層の上部にマグネシウム（Ｍｇ）がドーピングされたｐ−ＡｌｘＧａ１−ｘＮから成る電子ブロック層、電子ブロック層の上部にｐ−ＧａＮのコンタクト層がそれぞれ形成されて構成されている。【０００３】
このようなＧａＮデバイスは、現状、ｃ面成長の基板上に形成されている。しかしながら、ＬＥＤやＬＤのより高性能化を目指すためには、ｃ面に代わりｍ面の成長が有望である。ｍ面はｃ面に比べ２０倍の高い電気伝導度を持つｐ層が報告されており、電流拡散の向上や順方向電圧の低下などで、電気特性の向上に大きく寄与する。さらにｍ面は、結晶の極性が結晶成長面に垂直であり、結晶内に内在している高電界を打ち消すことができる無極性面であり、結晶成長をその無極性のｍ面で行うことで、電子と正孔との波動関数の重なりを大きくして、種々の利点を得ることができる。それは、より高効率な内部量子効率の実現（発光再結合効率を高めることができる）、より高い注入効率の実現等である。しかしながら、現在まで、前記ｍ面のＧａＮの発光には、非常に高価なＳｉＣ基板やＬｉＡｌＯ２基板などが必要であった。【０００４】
そこで、特許文献１では、ソルボサーマル法を用い、種結晶と溶媒の対流方向との角度を調整することによって、ＺｎＯの結晶成長を前記ｍ面で行うことが示されている。【０００５】
上述の従来技術では、ＺｎＯなどの種結晶を液相法（ソルボサーマル法）で成長させている。したがって、デバイスを作成するには、一度炉から出して再度ＭＯＣＶＤ法などによってデバイス化する必要があり、基板作成からデバイス作成を連続して行える気相法に比べて工程が煩雑である。【０００６】
また、非特許文献１には非極性ＧａＮを成長させる方法として、ｍ面サファイア基板を用いる方法が示されているが、ｍ面ＧａＮは成長せず、半極性ＧａＮしか得られていない。
【特許文献１】特開２００６−１２４２６８号公報
【非特許文献１】Japanese  Journal  of  Applied  Physics,  45,  L154  (2006)
【発明の開示】
【０００７】
本発明の目的は、気相法で窒化物半導体結晶をｍ面成長させることができるサファイア基板およびそれを用いる窒化物半導体発光素子ならびに窒化物半導体発光素子の製造方法を提供することである。
【０００８】
本発明のサファイア基板およびそれを用いる窒化物半導体発光素子ならびに窒化物半導体発光素子の製造方法は、結晶成長用にサファイア基板を用い、かつ成長面として前記サファイア基板のｍ面を用いるにあたって、結晶成長の工程の前に、前記ｍ面から予め定める微小角度だけ傾斜した面を作成する切断工程を含む。このように構成することで、通常ではｍ面（無極性面）ＧａＮ膜を作らない安価なサファイア基板を結晶成長用の基板として用いても、そのステップを制御することによって、ＭＯＣＶＤ法などの気相法で、ａ面となる各ステップ面からテラス上にＧａＮのｃ面が成長し、ｍ面がテラス面とは反対側となるようにエピタキシャル成長した良好なＧａＮ単結晶が成長してゆき、やがて各ステップ間が一体化（融合）して、ｍ面ＧａＮ単結晶の成長を行うことができる。また、ｍ面を用いることでピエゾ電界の影響を無くし、電子と正孔との波動関数の重なりを大きくすることができる。こうして、発光再結合効率、すなわち内部量子効率を高めることができる基板およびデバイスを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の一形態に係るサファイア基板を用いた窒化物半導体発光素子の成長過程を示す斜視図である。
【図２】図１の縦断面図である。
【図３】本発明の条件外での成長過程を示す斜視図である。
【図４】図３の縦断面図である。
【図５】Ｘ線回折の結果を示すグラフである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。【００１１】
図１は本発明の実施の一形態に係るサファイア基板１を用いた窒化物半導体発光素子の成長過程を示す斜視図であり、図２はその縦断面図である。注目すべきは、本実施の形態のサファイア基板１では、ＧａＮ等のIII−Ｖ族などの窒化物半導体である結晶２を成長させるにあたって、先ずその結晶２のテンプレートとなる成長面３として、切断工程によって、ｍ面４から予め定める微小角度θ、好ましくは
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方向、すなわちｍ面からａ面に向う方向に対して、０．２〜１０度、より好ましくは０．５〜４度、特に好ましくは２度程度だけ傾斜したオフ角面が作成されることである。すなわち、オフ角を制御したサファイア基板１を用いることである。【００１２】
詳しくは、本件発明者の実験により、サファイアｃ面上にはＧａＮがａ軸成長し、すなわちサファイアａ面上にはＧａＮがｃ軸成長することが明らかになり、そのためサファイアｍ面から前記
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方向にオフ角をつけて切断することで、該サファイア基板１は、前記成長面３に、ａ面のステップ５と、ｍ面のテラス６とを有する階段状のステップ基板となり、該ａ面のステップ５から、ＧａＮをｃ軸成長させることができるからである。【００１３】
たとえば、θ＝１度とすると、前記テラス６の長さは１２ｎｍ程度、ステップ５の高さは１ｎｍ程度となる。こうして作成した成長面３において、ステップ５は前述のようにサファイアのａ面となり、その各ステップ５面からテラス６上に結晶２のａ面が成長し（ステップ５面からＧａＮがｃ軸成長し）、ｍ面がテラス６の表面とは反対側（図１や２では上側）となるようにエピタキシャル成長した良好な結晶２が成長してゆく。このような成長が起るのは、結晶２を成長させると、それが核から島状になるときに結晶成長エネルギーを最小にするために、同一面内の結晶成長が起こるためと推測される。この結晶２が種結晶となり、やがて各ステップ５間が一体化（融合）して、窒化物のｍ面成長を利用してデバイスを得ることができる。【００１４】
ここで、θを前記０．２度より小さく、すなわちテラス６の長さを長くすると、２次元および３次元的に結晶成長の核形成が起こり、一例として、図３および図４で示すように、各結晶２の面は、ｍ面４内に２つ以上の結晶方位を示し、テラス６上に（１１−２２）や（１０−１３）面などのｍ面でない面が成長することになり、欠陥の少ないｍ面成長を実現できない。【００１５】
また、θが１０度を超えると、テラス６の長さが短くなって通常の凹凸の激しい基板と同様となり、良好な結晶を成長させることができない。【００１６】
次に注目すべきは、前記切断工程の後に、前記切断ダメージを軽減するアニール工程と、前記アニールによって酸化した前記成長面をアルミニウムリッチとして、窒化してしまうことを阻止する工程とをさらに行うことである。【００１７】
以下に、本件発明者による具体的な実験方法および結果を詳述する。【００１８】
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方向に０．５〜４度の適度のオフ角をもったｍ面サファイア基板１を、ＭＯＣＶＤ装置に入れ、水素雰囲気中で７００℃から１０００℃に加熱し、表面の不純物を取り除く。このとき、表面がアンモニアに晒されることを最小限にする。サファイアの前記
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方向を選んだ理由は、この向きのサファイアステップからのステップフロー（ステップに沿って結晶が成長する）が、ｍ面（１０−１０）方向のＧａＮにとって好ましいと思えたためである。【００１９】
そして、基板を５００℃まで冷却し、高いＶ／III比のガス条件により膜厚２０〜１００ｎｍのＡｌＮの核形成層を形成する。さらに基板を１０００〜１１００℃に加熱し、ＧａＮ層を通常のｃ面ＧａＮ成長と同じ条件で形成する。【００２０】
図５に、本発明の方法で作製したサファイア基板１上にＧａＮ結晶を成長させ、そのＸ線回折による２θ／ωスキャンモードの結果を示す。ｍ面サファイアと、ｍ面ＧａＮとに由来するそれぞれ３本のピークのみが観察されたことから、ｍ面以外の結晶成長がなく、ｍ面のみの成長が起っていることが確認された。こうして、安価なサファイア基板１を結晶成長用の基板として用いても、気相法で、良好な窒化物結晶をｍ面成長させることができる。【００２１】
また、前記ＡｌＮ層からＧａＮ層の形成前に、切断によってステップ５が形成された前記サファイア基板１に対して、(i)何も処理しないもの、(ii)１４００℃でアニールしただけもの、(iii)１４００℃でアニールした後、ＴＭＡ（トリメチルアルミニウムニウム）を流し、表面を前記アルミニウムリッチの状態にしたものを用い、それぞれにＡｌＮを成長させた結果、前記(i)何も処理しないもの、および(iii)アルミニウムリッチの状態にしたものでは、ｍ面（１０−１０）ＧａＮが成長したのに対して、(ii)１４００℃でアニールしただけのサファイア基板１の表面が酸素リッチになっているものでは、ｍ面でない（１１−２２）面ＧａＮが成長した。【００２２】
これは、サファイア基板１にＡｌＮ層を付ける際に、その最表面が窒化していないためである。すなわち、ＡｌＮ層を付ける際に、先にＮのみで付着することを防止することで、ＡｌＮの形で付着できるようになるためである。したがって、アニール処理後に成長面３、すなわち最表面を、窒化させないようにアルミニウムリッチとすることで、ｍ面が成長したＧａＮ単結晶を効率良く成長させることができる。【００２３】
ここで、特開２００５−３４３７１３号公報には、ステップ基板を用いることで結晶性を良くすることが示されているが、ｃ面を成長させており、前記電子と正孔との波動関数の重なりを大きくできるｍ面を成長させるものではない。【００２４】
本発明のサファイア基板は、結晶成長用のサファイア基板において、成長面として、ｍ面から予め定める微小角度だけ傾斜したオフ角面を有することを特徴とする。【００２５】
また、本発明の窒化物半導体発光素子の製造方法は、結晶成長用にサファイア基板を用い、そのサファイア基板上に窒化物半導体発光素子を結晶成長させる窒化物半導体発光素子の製造方法において、前記結晶成長の工程の前に、成長面として前記サファイア基板のｍ面を用いるにあたって、前記ｍ面から予め定める微小角度だけ傾斜した面を作成する切断工程を含むものとすることが好ましい。【００２６】
上記の構成によれば、ＧａＮ発光ダイオードなどに用いられ、前記ＧａＮなどの結晶成長用のサファイア基板において、その結晶のテンプレートとなる成長面として、切断などによって、ｍ面から予め定める微小角度、好ましくは
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方向に対して０．２〜１０度、より好ましくは０．５〜４度、特に好ましくは２度程度だけ傾斜した面を作成する。したがって、該サファイア基板は、前記成長面にステップとテラスとを有する階段状のステップ基板となる。【００２７】
したがって、通常ではｍ面（無極性面）ＧａＮ膜を作らない安価なサファイア基板を結晶成長用の基板として用いても、そのステップを制御することによって、ＭＯＣＶＤ法などの気相法で、サファイアａ面となる各ステップ面からテラス上にＧａＮのａ面が成長し、ｍ面がテラス面とは反対側となるようにエピタキシャル成長した良好なＧａＮ単結晶が成長してゆき、やがて各ステップ間が一体化（融合）して、ｍ面のＧａＮ単結晶の基板からデバイスを得ることができる。また、ｍ面を用いることでピエゾ電界の影響を無くし、電子と正孔との波動関数の重なりを大きくすることができる。こうして、発光再結合効率、すなわち内部量子効率を高めることができる基板およびデバイスを実現することができる。【００２８】
さらにまた、本発明のサファイア基板では、前記成長面は、サファイア原料のアルミニウムと酸素との内、アルミニウムリッチであるものとすることが好ましい。【００２９】
また、本発明のサファイア基板では、前記成長面が、アルミニウムリッチであることで、窒化していないものとすることが好ましい。【００３０】
さらにまた、本発明の窒化物半導体発光素子の製造方法は、前記切断工程の後に、前記切断ダメージを軽減するアニール工程と、前記アニールによって酸化した前記成長面をアルミニウムリッチとすることで窒化を阻止する工程とをさらに含むものとすることが好ましい。【００３１】
上記の構成によれば、前記成長面、すなわち最表面をアルミニウムリッチとすることで、ｍ面が成長したＧａＮ単結晶を効率良く成長させることができる。【００３２】
さらにまた、本発明の窒化物半導体発光素子は、前記のサファイア基板を用いるものとすることが好ましい。【００３３】
上記の構成によれば、発光再結合効率、すなわち内部量子効率を高めることができる窒化物半導体発光素子を実現することができる。【００３４】
前記サファイア基板１において、使用する面は、前記
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面に限らず、［０００１］面であってもよい。しかしながらｍ面から［０００１］方向にオフ角をつけて切断した場合、図１のステップ５はｃ面となり、ステップ５面と直交する方向にＧａＮがａ軸成長するためである。【００３５】
なお、本願明細書の中で、何らかの機能を達成する手段として記載されているものは、それらの機能を達成する明細書記載の構成に限定されず、それらの機能を達成するユニット、部分等の構成も含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明によれば、安価なサファイア基板を結晶成長用の基板として用いても、ｍ面のＧａＮ結晶を成長させることができ、優れた特性を有するデバイスを得ることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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