【手続補正書】
【提出日】平成16年4月19日(2004.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】研磨装置及び被研磨物の製造方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物を保持する保持手段と、
被研磨物を研磨する研磨手段と、
前記研磨手段を供給する供給手段と、
前記供給手段により供給された前記研磨手段を被研磨物の表面に押し付ける押し付け手段と、
電磁力により前記押し付け手段を加圧する加圧手段とを備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記加圧手段は、前記供給手段により前記研磨手段に加わる力の方向とほぼ直角の方向に前記押し付け手段を加圧することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記押し付け手段は回転ローラからなることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記保持手段は、被研磨面が鉛直方向に配置されるように被研磨物を保持することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記加圧手段は、前記押し付け手段を支持する鉛直方向に配置された回転アームを備えたことを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記加圧手段は、可動部が直線方向に移動する直進型ボイスコイルモータを備え、前記可動部に前記押し付け手段を接続したことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記加圧手段は、可動部が回転する回転型ボイスコイルモータを備え、前記可動部に前記押し付け手段を接続したことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記保持手段により保持された被研磨物の下方へ前記研磨手段を回収する回収手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記加圧手段は、前記押し付け手段を加圧する加圧力を発生するボイスコイルモータを備え、前記ボイスコイルモータに所定の電圧を印加して電圧駆動することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記加圧手段の動きを検出する検出手段と、
前記加圧手段へ所定の電磁力を発生させる電気信号を供給し、前記検出手段の検出結果に基づいて前記電気信号を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記加圧手段へ所定の電磁力を発生させる電気信号に高周波信号を重ねて供給する制御手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１に記載の研磨装置を用いて被研磨物を製造することを特徴とする被研磨物の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被研磨物の表面を研磨する研磨装置及び被研磨物の製造方法に係り、特に被研磨面が磁気ディスク等のように極めて薄い被研磨物を研磨するのに好適な研磨装置及び被研磨物の製造方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、研磨手段を所望の低圧力で被研磨物の表面に押し付けることのできる研磨装置及び被研磨物の製造方法を提供することを目的とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、加圧手段が、供給手段により研磨手段に加わる力の方向とほぼ直角の方向に押し付け手段を加圧するものである。研磨手段に加わる力と押し付け手段に加えられる加圧力とがほぼ直角であるため、押し付け手段に加えられる加圧力は研磨手段に加わる力の影響を受けない。従って、押し付け手段が研磨手段を被研磨物の表面に押し付ける力が安定する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項４に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、保持手段が、被研磨面が鉛直方向に配置されるように被研磨物を保持するものである。被研磨面から発生した研磨くずは、鉛直方向に配置された被研磨面から落下し、被研磨面上に堆積しない。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５に記載された研磨装置は、請求項４のものにおいて、加圧手段が、押し付け手段を支持する鉛直方向に配置された回転アームを備えたものである。鉛直方向に配置された回転アームは、重力バランスにより押し付け手段を被研磨面と平行に支持し、回転することによって研磨手段を被研磨物の表面に押し付ける方向に押し付け手段を移動する。回転アームによる簡単な構成で、押し付け手段を移動可能に支持することができる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、加圧手段が、可動部が直線方向に移動する直進型ボイスコイルモータを備え、その可動部に押し付け手段を接続したものである。直進型ボイスコイルモータの可動部に押し付け手段が接続されているので、回転アーム等が不要で構造が簡単となる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項７に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、加圧手段が、可動部が回転する回転型ボイスコイルモータを備え、その可動部に押し付け手段を接続したものである。回転型ボイスコイルモータの可動部に押し付け手段が接続されているので、回転アーム等が不要で構造が簡単となり、また直進型ボイスコイルモータに比べて装置が小型となる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項８に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、保持手段により保持された被研磨物の下方へ研磨手段を回収する回収手段を備えたものである。研磨手段には研磨後に研磨くずが付着するが、回収手段により研磨手段は被研磨物の下方へ回収されるので、研磨手段から研磨くずが離れても被研磨面の付近に浮遊しない。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項９に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、加圧手段が、押し付け手段を加圧する加圧力を発生するボイスコイルモータを備え、ボイスコイルモータに所定の電圧を印加して電圧駆動するものである。被研磨物の振動によりにボイスコイルモータに機械的振動が発生したとき、電圧駆動されたボイスコイルモータの内部では、振動により逆起電力が発生し、振動エネルギーが熱として消費される。従って、ボイスコイルモータの機械的振動が減衰し、押し付け手段が研磨手段を被研磨物の表面に押し付ける力が安定する。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１０に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、加圧手段の動きを検出する検出手段と、加圧手段へ所定の電磁力を発生させる電気信号を供給し、検出手段の検出結果に基づいて電気信号を制御する制御手段とを備えたものである。加圧手段の動きを検出して、電磁力を発生させる電気信号にフィードバックしているので、加圧手段の振動が減衰し、押し付け手段が研磨手段を被研磨物の表面に押し付ける力が安定する。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項１１に記載された研磨装置は、請求項１のものにおいて、加圧手段へ所定の電磁力を発生させる電気信号に高周波信号を重ねて供給する制御手段を備えたものである。電磁力を発生させる電気信号に高周波信号を重ねることにより、加圧手段で発生する加圧力に高周波成分が加わり、押し付け手段が研磨手段を被研磨物の表面に押し付ける力が高周波変動して研磨性能が向上する。
請求項１２に記載された被研磨物の製造方法は、請求項１乃至１１のいずれか１に記載の研磨装置を用いて被研磨物を製造することを特徴とするものである。この被研磨物の製造方法によれば、請求項１から１１までのいずれか１の研磨装置を用いているので、被研磨物の表面を均一に研磨することができる。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
本発明の研磨装置及び被研磨物の製造方法によれば、加圧手段が押し付け手段を加圧する加圧力を電磁力により発生しているので、電流値を制御することにより微小な加圧力を設定することができ、また加圧力の微調整を電気信号の制御により容易に行うことができる。従って、研磨手段を所望の低圧力で被研磨物の表面に押し付けることができる。