(57)【要約】  粘着性を有するフォトレジストに密着して繰り返し使用しても剥離性が低下せず使用が可能であるフォトマスク保護用粘着テープを提供する。  透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と、その片面に形成された粘着剤層（Ｂ）と、粘着剤層（Ｂ）の面とは反対側の面に形成された表面層（Ｃ）とを含むフォトマスク保護用粘着テープであって、表面層（Ｃ）は、イソシアネートシラン（ｘ）と末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）とを含有する混合物から得られる特定の硬化物からなる。
2008117677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と、その片面に形成された粘着剤層（Ｂ）と、粘着剤層（Ｂ）の面とは反対側の面に形成された表面層（Ｃ）とを含むフォトマスク保護用粘着テープであって、
表面層（Ｃ）は、下記の（ｘ）および（ｙ）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。
（ｘ）：イソシアネートシラン
（ｙ）：末端に水酸基を持つシロキサン
【請求項２】
基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との間に中間層（Ｄ）を設けるときは、中間層（Ｄ）は、下記の（ｚ１）および／または（ｚ２）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
（ｚ１）：メラミン系化合物
（ｚ２）：グアナミン系化合物
【請求項３】
基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との間に中間層（Ｄ）を設けないときは、表面層（Ｃ）は、前記（ｘ）および（ｙ）に加え、下記の（ｚ１）および／または（ｚ２）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
（ｚ１）：メラミン系化合物
（ｚ２）：グアナミン系化合物
【請求項４】
イソシアネートシラン（ｘ）は、３および／または４官能イソシアネートシランであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項５】
前記３および／または４官能イソシアネートシランは、メチルトリイソシアネートシランおよび／またはテトライソシアネートシランであることを特徴とする請求項４に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項６】
末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）は、末端に水酸基を２個有するジオールであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項７】
メラミン系化合物（ｚ１）は、メチロールメラミンおよび／またはその誘導体であることを特徴とする請求項２または３に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項８】
前記メチロールメラミンは、ヘキサメチロールメラミンであることを特徴とする請求項７に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項９】
グアナミン系化合物（ｚ２）は、ベンゾグアナミンおよび／またはその誘導体であることを特徴とする請求項２または３に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク保護用粘着テープに関し、さらに詳しくは、プリント基板形成工程において使用されるフォトマスクを保護するフォトマスク保護用粘着テープであって、粘着性を有するフォトレジストに密着して繰り返し使用しても剥離性が低下せず使用が可能であるフォトマスク保護用粘着テープに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板を作製する際に、液状ソルダーレジスト等のフォトレジストが使用されている。このフォトレジストに密着して使用される露光用フォトマスクの表面の汚れや損傷等から保護する目的で、従来からポリエステル基材よりなるフォトマスク保護用粘着テープが用いられている。しかし、液状ソルダーレジストは機能性発現のために粘着性を有するタイプが多く使用されているため、フォトマスク保護用粘着テープ表面にフォトレジストが付着したりして、露光後レジストからフォトマスクを剥離し難くなり機械が停止してしまうという問題点があった。
このような問題点を解決するために、フォトマスク保護用粘着テープの表面に離型層をコーティングしたものが検討されてきた。例えば、白金系触媒を用いたＳｉ−ＣＨ＝ＣＨ２とＳｉ−Ｈとの付加反応の剥離剤や、錫触媒系を用いたＳｉ−ＯＨ同士の縮合反応の剥離剤を用いた場合では、初期剥離性は優れているが密着露光を繰り返すと、液状ソルダーレジストに含有されている溶剤や添加剤の浸透により、密着性が低下し離型剤の脱落が生じる。このため、剥離層に特定の剥離剤と密着向上剤を添加した硬化物を用いてかつ下引き層をもうけた特許文献１が開示されている。しかしながら、この場合繰り返し使用回数を増やしたい顧客要望に対して、十分に対応できていなかった。【０００３】
また離型剤層付きフォトマスク保護用粘着テープは、離型層の密着力不足から表面に付着した汚染物をアルコール等の溶剤により洗浄する際、離型層が脱落し離型効果が持続できないことも問題になっていた。
【特許文献１】特開２００３−９６４０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、従来技術の問題点に鑑み、密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して剥離性を持続するフォトマスク保護用粘着テープを提供することにある。さらには、フォトマスク保護用粘着テープの表面層のレジストからの汚染付着物があった場合、アルコール等の溶剤により洗浄しても表面層の脱落がないフォトマスク保護用粘着テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記目的を達成するために、鋭意研究を重ねた結果、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と、その片面に形成された粘着剤層（Ｂ）と、粘着剤層（Ｂ）の面とは反対側の面に形成された表面層（Ｃ）とを含むフォトマスク保護用粘着テープにおいて、表面層（Ｃ）に特定の組成物から形成される層を用いたところ、粘着性を有するフォトレジストに密着して繰り返し使用しても剥離性が低下せず使用が可能であるフォトマスク保護用粘着テープとなることを見出した。それらの知見に、さらに検討を重ね、本発明を完成するに至った。【０００６】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と、その片面に形成された粘着剤層（Ｂ）と、粘着剤層（Ｂ）の面とは反対側の面に形成された表面層（Ｃ）とを含むフォトマスク保護用粘着テープであって、
表面層（Ｃ）は、下記の（ｘ）および（ｙ）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
（ｘ）：イソシアネートシラン
（ｙ）：末端に水酸基を持つシロキサン【０００７】
また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との間に中間層（Ｄ）を設けるときは、中間層（Ｄ）は、下記の（ｚ１）および／または（ｚ２）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
（ｚ１）：メラミン系化合物
（ｚ２）：グアナミン系化合物【０００８】
また、本発明の第３の発明によれば、第１の発明において、基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との間に中間層（Ｄ）を設けないときは、表面層（Ｃ）は、前記（ｘ）および（ｙ）に加え、下記の（ｚ１）および／または（ｚ２）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
（ｚ１）：メラミン系化合物
（ｚ２）：グアナミン系化合物【０００９】
また、本発明の第４の発明によれば、第１〜３のいずれかの発明において、イソシアネートシラン（ｘ）は、３および／または４官能イソシアネートシランであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。【００１０】
また、本発明の第５の発明によれば、第４の発明において、前記３または４官能イソシアネートシランは、メチルトリイソシアネートシランおよび／またはテトライソシアネートシランであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。【００１１】
また、本発明の第６の発明によれば、第１〜３のいずれかの発明において、末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）は、末端に水酸基を２個有するジオールであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。【００１２】
また、本発明の第７の発明によれば、第２または３の発明において、メラミン系化合物（ｚ１）は、メチロールメラミンおよび／またはその誘導体であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。【００１３】
また、本発明の第８の発明によれば、第７の発明において、前記メチロールメラミンは、ヘキサメチロールメラミンであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。【００１４】
また、本発明の第９の発明によれば、第２または３の発明において、グアナミン系化合物（ｚ２）は、ベンゾグアナミンおよび／またはその誘導体であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープによれば、第１の発明においては、（Ｃ）の表面層を用いることにより、密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して剥離性を持続することができるフォトマスク保護用粘着テープであるという効果がある。【００１６】
また、第２の発明においては、（Ａ）（Ｃ）（Ｄ）の特定の層を組合せることにより、表面層の密着性が向上して密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して剥離性を持続することができ、またフォトマスク保護用粘着テープの表面層のレジストからの汚染付着物があった場合のアルコール等の溶剤により洗浄しても表面層の脱落がないフォトマスク保護用粘着テープであるという効果があり、効率的・経済的に優れた方法によりプリント配線板を得ることができる。【００１７】
また、第３の発明においては、表面層（Ｃ）が、（ｘ）、（ｙ）および、（ｚ１）および／または（ｚ２）を含有する特定の混合物から形成されてなることにより、離型性および耐溶剤性を同時に兼ね備えた表面層を有するフォトマスク保護用粘着テープであり、密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して軽剥離性を持続し再剥離性に優れる上に、アルコール等の溶剤により洗浄しても離型層の脱落がなく、したがって離型効果が低下せず、繰り返し露光・使用時の耐久性も良好であるフォトマスク保護用粘着テープであるという効果があり、効率的・経済的に優れた方法によりプリント配線板を得ることができる。【００１８】
また、第４の発明においては、イソシアネートシラン（ｘ）は、３および／または４官能イソシアネートシランであると特定しているので、末端に水酸基を持つシロキサンを架橋する性能が優れるという効果がある。【００１９】
また、第５の発明においては、前記３または４官能イソシアネートシランは、メチルトリイソシアネートシランおよび／またはテトライソシアネートシランであると特定しているので、末端に水酸基を持つシロキサンを架橋する性能がさらに優れるという効果がある。【００２０】
また、第６の発明においては、末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）は、末端に水酸基を２個有するジオールであると特定しているので、イソシアネートとの架橋反応性が優れるという効果がある。【００２１】
また、第７の発明においては、メラミン系化合物（ｚ１）は、メチロールメラミンおよび／またはその誘導体であると特定しているので、表面層（Ｃ）または中間層（Ｄ）が、基材フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴとの密着性に優れるという効果がある。【００２２】
また、第８の発明においては、前記メチロールメラミンは、ヘキサメチロールメラミンであると特定しているので、表面層（Ｃ）または中間層（Ｄ）の原料である硬化性混合物において、反応性に優れるという効果がある。【００２３】
また、第９の発明においては、グアナミン系化合物（ｚ２）は、ベンゾグアナミンおよび／またはその誘導体であると特定しているので、表面層（Ｃ）または中間層（Ｄ）が、基材フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴとの密着性に優れるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明のフォトマスク保護用粘着テープの一例の構成を示す模式断面図である。（実施例１、実施例５、実施例６）
【図２】図２は、本発明のフォトマスク保護用粘着テープの一例の構成を示す模式断面図である。（実施例２、実施例３、実施例４）
【符号の説明】
【００２５】
Ａ    透明な基材フィルムまたはシート
Ｂ    粘着剤層
Ｃ    表面層
Ｄ    中間層
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明のフォトマスク保護用粘着テープについて、詳細に説明する。
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と、その片面に形成された粘着剤層（Ｂ）と、粘着剤層（Ｂ）の面とは反対側の面に形成された表面層（Ｃ）とを含むフォトマスク保護用粘着テープであって、
表面層（Ｃ）は、下記の（ｘ）および（ｙ）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とするものである。
（ｘ）：イソシアネートシラン
（ｙ）：末端に水酸基を持つシロキサン【００２７】
１．基材フィルムまたはシート（Ａ）
上記基材フィルムまたはシート（Ａ）としては、露光の際に使われる紫外線の透過率の高いものであれば良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリイミド、アクリル等の樹脂からなる透明性に優れる高分子フィルムが好適に用いられる。特に二軸延伸されたＰＥＴフィルムが機械的強度、寸法安定性に優れているために好適に用いられる。【００２８】
上記基材フィルムまたはシート（Ａ）の厚みは、光透過性、取扱い性等を考慮して、適宜決定することが好ましいが、具体的には２〜１００μｍであることが好ましく、さらに好ましくは４〜２５μｍである。２μｍ未満であるとテープの強度が不足して取扱いが困難になったり、貼り付け時にシワになったりすることがあり、１００μｍを超えると、充分な光透過性が得られなくなることがある。【００２９】
また本発明においては、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）もしくは中間層（Ｄ）および／または粘着剤層（Ｂ）との密着性を向上させるために表面処理を行うことができる。
例えばコロナ処理、プラズマ処理等の放電処理があり、薄い基材へ均一な処理を施すには、基材破れ、穴あき等の不具合が発生防止のため処理エネルギーの低い弱い放電が望ましい。また他の方法としてのアルカリによるケン化処理が知られている。【００３０】
２．表面層（Ｃ）
表面層（Ｃ）は、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）の上または中間層（Ｄ）の上に設けられるものであり、この表面層（Ｃ）がフォトレジスト表面に貼着されることにより、フォトレジストがフォトマスク保護用粘着テープに転着され汚れが生じるのを防止する離型層の働きをする。【００３１】
（１）硬化性混合物
（ｘ）：イソシアネートシラン
本発明の表面層（Ｃ）に用いられる、架橋剤のイソシアネートシラン（ｘ）はＳｉ（ＮＣＯ）４ＲｎＳｉ（ＮＣＯ）４−ｎ、（ＲＯ）ｎＳｉ（ＮＣＯ）４−ｎ等がある。ここで、Ｒは炭化水素基で、ｎは１、２または３の数である。
このような化合物の中でも、メチルトリイソシアネートシラン、テトライソシアネートシラン等の３または４官能のイソシアネートシランが反応性の観点から好ましい。イソシアネートシランは単独でも２種類以上の混合物でも使用することができる。【００３２】
（ｙ）：末端に水酸基を持つシロキサン
末端水酸基をもつシロキサン（ｙ）としては、シラノール変性、カルビノール変性したジメチルポリシロキサンがある。イソシアネートとの架橋反応の観点から、水酸基を２個有するジオールが好ましい。【００３３】
（ｚ１）：メラミン系化合物
本発明において、基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との間に中間層（Ｄ）を設けないときは、表面層（Ｃ）は、前記（ｘ）および（ｙ）に加え、メラミン系化合物（ｚ１）および／またはグアナミン系化合物（ｚ２）を含有する混合物から得られる硬化物であることが好ましい。
本発明で使用されるメラミン系化合物（ｚ１）としては、メラミンをホルムアルデヒドと反応させて得られるメチロール化メラミン、例えばモノメチロールメラミンからヘキサメチロールメラミン、或いはその誘導体のアルキルエーテル化体が挙げられる。これらの中でも、ヘキサメチロールメラミンは、ＯＨ基が多くＰＥＴとの密着性の観点から望ましい。
メラミン系化合物は、単独で用いても、２種類以上併用して用いても良い。
メラミン系化合物の配合により、透明な基材フィルム（Ａ）との密着向上が図られ下引き層等を用いなくてもアルコール等の溶剤による洗浄の際、表面層（Ｃ）が脱落しにくいという特徴がある。【００３４】
（ｚ２）：グアナミン系化合物
本発明で使用されるグアナミン系化合物としては、ベンゾグアナミン、アセトグアナミン、シクロヘキサンカルボグアナミン、シクロヘキセンカルボグアナミン、ノルボルネンカルボグアナミン、およびその誘導体のメチロール化グアナミンまたはアルキルエーテル化体が挙げられる。
グアナミン系化合物を含有した硬化物のなかでとくにベンゾグアナミンおよびその誘導体を用いた硬化物は、フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴおよび表面層（Ｃ）との密着性がよいので好ましい。
メラミン系化合物は、単独で用いても、２種類以上併用して用いても良い。
グアナミン系化合物の配合により、透明な基材フィルム（Ａ）との密着向上が図られ下引き層等を用いなくてもアルコール等の溶剤による洗浄の際、表面層（Ｃ）が脱落しにくいという特徴がある。【００３５】
（２）配合比
イソシアネートシラン（ｘ）とシロキサン（ｙ）との配合比は、イソシアネートシラン１００重量部に対しシロキサン５〜２００重量部で、好ましくは１０〜１００重量部、より好ましくは１０〜５０重量部である。５重量部以下であると離型性の発現が疎外され、２００量部以上では基材フィルムまたはシート（Ａ）との密着性が低下する場合がある。
また、表面層（Ｃ）にメラミン系化合物（ｚ１）および／またはグアナミン系化合物（ｚ２）を混合するときの配合比は、イソシアネートシラン（ｘ）とシロキサン（ｙ）の混合量１００重量部に対して５重量部〜６０重量部で、好ましくは１０〜５０重量部である。５重量部以下ではアルコール等の溶剤による洗浄での耐溶剤性が低下し、６０重量部以上では剥離性が低下する。【００３６】
（３）表面層（Ｃ）の製造
本発明の表面層（Ｃ）は、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）または中間層（Ｄ）の一面に形成され、イソシアネートシラン（ｘ）および末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）の混合物、または、イソシアネートシラン（ｘ）および末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）に加えメラミン系化合物（ｚ１）および／またはグアナミン系化合物（ｚ２）を含有する混合物を有機溶剤に希釈し塗布後加熱乾燥して得られる硬化物を得ることにより形成される。その際、各成分の配合の順番は、特に限定されず、また、塗布方法としては、例えば、スピンコート、スプレーコート、グラビア等のロールコート、ダイコートなどを用いることができる。【００３７】
表面層（Ｃ）の厚さは、塗布均一性、硬化性、密着性等の理由から、０．０１〜２μｍであることが好ましく、さらに好ましくは０．０２〜０．５μｍである。０．０１μｍ未満であると均一に塗布することが困難になり離型性にばらつきが発生するおそれがあり、２μｍを超えると、硬化不良や脱落しやすくなるおそれがある。【００３８】
イソシアネートシランは、末端に水酸基を含むシロキサンの架橋剤として作用するものである。末端に水酸基を含むシロキサンとその架橋剤であるイソシアネートシランとの架橋反応機構としては、
（ｉ）透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）に塗布されたイソシアネートシランが、乾燥段階で空気中の水分と反応して加水分解しシラノール基を形成
Ｓｉ−ＮＣＯ＋Ｈ２Ｏ→Ｓｉ−ＯＨ＋ＨＮＣＯ
（ｉｉ）形成されたシラノールとシロキサンの水酸基との脱水縮合反応により架橋
Ｓｉ−ＯＨ＋Ｓｉ−ＯＨ→Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ＋Ｈ２Ｏ
（ｉｉｉ）同時に末端に水酸基を含むシロキサンと反応
Ｓｉ−ＯＨ＋ＨＯ−Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ〜→Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ３）２−Ｏ〜＋Ｈ２Ｏ
（ｉｖ）（ｉｉ）と（ｉｉｉ）で生成された水分がイソシアネートシランに供給されて架橋反応が進行すると考えられる。
架橋反応によりイソシアネート基はＨＮＣＯになり水と反応して二酸化炭素とアンモニアを発生するため反応系の外に排出されると考えられる。
ＨＮＣＯ＋Ｈ２Ｏ→ＮＨ３＋ＣＯ２【００３９】
またメラミン系化合物（ｚ１）またはグアナミン系化合物（ｚ２）の反応基である−ＮＨ２や−ＯＨがイソシアネートシランまたはシラノール基と同時に反応することにより得られる本発明の表面層（Ｃ）は、離型性および耐溶剤性を有することにより、アルコール等の溶剤により洗浄しても脱落がなく、離型効果が低下せず、繰り返し露光・使用時の耐久性も良好である。
そのため、プリント基板形成工程において粘着性を有するフォトレジストに密着して使用される露光用フォトマスクの表面を保護するためのフォトマスク保護用粘着テープの表面層（Ｃ）として、好適に用いることができる。【００４０】
３．中間層（Ｄ）
本発明において、基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との間に中間層（Ｄ）を設けるときは、中間層（Ｄ）は特に限定されないが、下記のメラミン系化合物（ｚ１）および／またはグアナミン系化合物（ｚ２）を含有する混合物から得られる硬化物からなるものであることが好ましい。【００４１】
（１）（ｚ１）：メラミン系化合物
中間層にメラミン系化合物を用いる場合、基材フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴおよび／または表面層（Ｃ）との密着性向上が主な理由である
中間層１００重量部中に含有されるメラミン系化合物としては、５重量％以上、より好ましくは１５重量％以上含有することによって、基材フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴおよび／または表面層（Ｃ）との密着性を向上させることができる。５重量％以下であると十分な密着性を得られないことがある。
メラミン系化合物としては基材フィルムまたはシート（Ａ）と表面層（Ｃ）との密着力の観点から反応性の良い末端にＯＨ基のあるメチロール系メラミンが望ましい。メチロール系メラミンとしてはモノメチロールメラミンからヘキサメチロールメラミンまである。メチロールメラミンの中ではヘキサメチロールメラミンが反応性の観点からより好ましい。
メラミン系化合物は、単独で用いても、２種類以上併用して用いても良い。【００４２】
中間層（Ｄ）には、メラミン系化合物の接着向上作用を阻害しない範囲で、メラミン系化合物以外にも他のバインダー樹脂等を含有させることができる。
バインダー樹脂としては、基材の種類に対応させて基材との接着性に優れるものを選定することができる。望ましくはメラミン系化合物と硬化可能な樹脂を採用することが好ましい。このようにメラミン系化合物と硬化可能な樹脂を含有させることにより、中間層（Ｄ）の耐溶剤性や中間層（Ｄ）と基材（Ａ）および／または表面層（Ｃ）との密着性を発現することができる。ここでメラミン系化合物と硬化する樹脂としては、アクリル系樹脂、アルキド系樹脂、ポリエステル系樹脂、シリコーン系樹脂などがある。【００４３】
中間層（Ｄ）として、メラミン化合物を含有した硬化物層を形成する方法としては、透明基材フィルムまたはシート（Ａ）の片面に混合物を有機溶剤に希釈し塗布後加熱乾燥して得ることができる。塗布方法としては、スピンコート、スプレーコート、グラビア等のロールコート、ダイコートなどの方法を用いることができる。【００４４】
（２）（ｚ２）：グアナミン系化合物
中間層（Ｄ）にグアナミン系化合物を用いる場合、基材フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴおよび／または表面層（Ｃ）との密着性向上が主な理由である。
中間層１００重量部中に含有されるグアナミン系化合物としては、５重量％以上、より好ましくは１５重量％以上含有することによって、基材フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴおよび／または表面層（Ｃ）との密着性を向上させることができる。５重量％未満であると十分な密着性を得られないことがある。
グアナミン系化合物は、単独で用いても、２種類以上併用して用いても良い。
本発明で使用されるグアナミン系化合物としては、ベンゾグアナミン、アセトグアナミン、シクロヘキサンカルボグアナミン、シクロヘキセンカルボグアナミン、ノルボルナンカルボグアナミンおよびその誘導体のメチロール化グアナミンまたはアルキルエーテル化体が挙げられる。
グアナミン系化合物を含有した硬化物のなかでとくにベンゾグアナミンおよびその誘導体を用いた硬化物は、フィルムまたはシート（Ａ）として用いられるＰＥＴおよび／または表面層（Ｃ）との密着性がよいので望ましい。【００４５】
中間層（Ｄ）には、メラミン系化合物を用いる場合と同様にグアナミン系化合物による接着向上作用を阻害しない範囲で、他のバインダー樹脂等を含有させることができる。
バインダー樹脂としては、基材の種類に対応させて基材との接着性に優れるものを選定することができる。望ましくはグアナミン系化合物と硬化可能な樹脂を採用することが好ましい。このようにグアナミン系化合物と硬化可能な樹脂を含有させることにより、中間層（Ｃ）の耐溶剤性や中間層（Ｄ）と基材（Ａ）および／または表面層（Ｃ）との密着性を発現することができる。
グアナミン系化合物と硬化する樹脂としては、アクリル系樹脂、アルキド系樹脂、ポリエステル系樹脂、シリコーン系樹脂などがある。たとえば、メチロール化されたグアナミン系化合物との反応としてはシラノール基をもったシリコーン系樹脂が加熱することにより縮合反応して硬化させることができる。【００４６】
中間層（Ｄ）として、グアナミン系化合物を含有した硬化物層を形成する方法としては、透明基材フィルムまたはシート（Ａ）の片面に混合物を有機溶剤に希釈し塗布後加熱乾燥して得ることができる。塗布方法としては、スピンコート、スプレーコート、グラビア等のロールコート、ダイコートなどの方法を用いることができる。【００４７】
４．粘着剤層（Ｂ）
本発明で用いられる粘着剤層（Ｂ）はフォトマスクである露光用原稿の表面に貼着されるものであり、特に制限はないが、透明性を考慮するとアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸エステルモノマーと官能基含有モノマーとの共重合体からなるアクリル系ポリマーを主成分とするものが好ましく、重合方法については特に制限はない。
（メタ）アクリル酸エステルはとしては、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、などが挙げられ、単独で用いられても、二種以上を併用することもできる。なかでも、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシルが低Ｔｇで粘弾性の点から好ましい。
官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。
上記アクリル系粘着剤としては、アクリル系ポリマー内部に一部架橋構造をもつものが好ましい。架橋構造をもつことによって粘着剤の凝集力が高められるので、テープ剥離時に糊残りし難くなる。このような架橋構造は、前記官能基含有モノマーと反応し得る架橋剤の使用によって形成することができ、架橋剤としては、例えば、エポキシ架橋剤、脂肪族または芳香族イソシアネート系架橋剤等が好適に用いられる。
粘着剤層（Ｂ）を形成する方法としては、グラビア等のロールコーター、コンマコーター、ダイコーター等を用いて、セパレータの片面に粘着剤を直接塗工し乾燥する方法や、一旦離型紙上に同様の方法で粘着剤層を設けた後セパレータの片面へ転写する方法などを用いることができる。
上記粘着剤層（Ｂ）の厚さは、粘着力等により適宜決定することが好ましいが、具体的には１〜５０μｍであることが好ましく、さらに好ましくは２〜２５μｍである。
１μｍ未満であると、フォトマスクへの接着強度が不足することがあったり、フォトマスクの凹凸に対して接着時に気泡を巻き込んだりすることがあり、一方、５０μｍを超えると、充分な光透過性が得られなくなったり、散乱光の光源を用いたときに光散乱によりパターン解像度の低下の原因になることがある。【００４８】
本発明においては、粘着力を向上させるために、いわゆる粘着付与樹脂（タッキファイヤー）成分を配合して用いることもできる。タッキファイヤー成分とは、粘着付与剤ともいい、エラストマーに配合されて粘着性の機能を向上させる物質であり、通常、分子量が数百から数千の無定形オリゴマーで、常温で液状または固形の熱可塑性樹脂である。
タッキファイヤーの種類は、特に限定されず、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂に代表される天然樹脂系や、脂肪族系、芳香族系、共重合系の石油樹脂、フェノール系樹脂、キシレン樹脂等の合成樹脂系が例示される。これらは単独で用いても、２種類以上併用して用いても良い。
タッキファイヤーは、通常、光の透過を阻害するため、ヘイズ値を大きくさせず、かつ好適な粘着性能を達成するためには、ロジン系樹脂、テルペンフェノール系樹脂を併用して用いることが好ましい。
タッキファイヤー成分の配合量は、粘着剤成分１００重量部に対して、５〜８０重量部が好ましく、８〜５０重量部であることがより好ましい。タッキファイヤーの配合量が少なすぎると、必要な粘着力が得られず、逆に多すぎると、再剥離した際に表面に基材と共に粘着層が剥がれない、即ち糊残りの問題が生じやすくなり、事実上使用することが困難になる。【００４９】
５．その他の層
（１）帯電防止層
上記基材の粘着剤層（Ｂ）が設けられた面とは反対側の面には、光透過性に影響しない限りにおいて、帯電防止層等が設けられることができる。上記帯電防止層は、テープが帯電して空気中のゴミ等を引き寄せることを防止する役割を有する。【００５０】
上記帯電防止層としては、表面層（Ｃ）の密着性を損なわない範囲で自由に選ぶことができる。
帯電防止剤としては、例えば第４級アンモニウム塩、第１〜３級アミノ基などのカチオン性帯電防止剤、スルホン酸塩基、硝酸エステル塩基、リン酸エステル塩基などのアニオン性帯電防止剤、アミノ酸系の両性帯電防止剤、グリセリン系またはポリエチレングリコール系のノニオン性帯電防止剤などを、単独または組合せて用いてもよい。
またアクリル等の樹脂に導電性微粒子を分散させたもの等が挙げられる。上記導電性微粒子としては、特に限定されないが、例えば、アンチモンドープ酸化スズ微粒子等は光透過性に影響を与えにくいことから好ましい。
上記の帯電防止剤を、プラスチック製品の表面に塗布したり、内部に混入させたりすることにより帯電防止層を得ることができる。【００５１】
（２）保護フィルム層
また、粘着剤層（Ｂ）側の最外には、粘着剤層を保護し、取扱いを容易にするために、保護層が積層されていることが好ましい。上記保護層としては、特に限定されず、例えば、シリコーン系離型層が形成されたポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。この保護層は、本発明のフォトマスク保護用粘着テープをフォトマスクに貼付する前に、粘着テープから剥離される。保護フィルムの厚さは、特に限定されないが一般的には１２〜７５μｍの範囲のものが使用されている。【００５２】
６．フォトマスク保護用粘着テープ
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、透明な基材フィルムまたはシート（Ａ）と、その片面に形成された粘着剤層（Ｂ）と、粘着剤層（Ｂ）の面とは反対側の面に形成された表面層（Ｃ）とを含むフォトマスク保護用粘着テープであって、表面層（Ｃ）は、イソシアネートシラン（ｘ）および末端に水酸基を持つシロキサン（ｙ）を含有する混合物から得られる硬化物からなることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープである。
また、さらに、中間層（Ｄ）や、その他の層として、帯電防止層、保護層等を設けることもできる。
したがって、本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して剥離性を持続することができる。またフォトマスク保護用粘着テープの表面層のレジストからの汚染付着物がある場合にアルコール等の溶剤により洗浄しても表面層の脱落がないフォトマスク保護用粘着テープであるという効果があり、効率的・経済的に優れた方法によりプリント配線板を製造することがきるという特徴を有する。
【実施例】
【００５３】
以下に、本発明の実施例および比較例によって、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。【００５４】
１．評価方法
実施例および比較例で得られたフォトマスク保護用粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。【００５５】
（１）エタノール磨耗試験：
エタノール１ｇを吸収させて湿らせた脱脂綿で２００ｇの重りをくるんだものを、フォトマスク保護用粘着テープの表面層に載せ５０回および１００回往復移動させた。この試験面にアクリル系粘着テープ（日東電工社製「＃３１Ｂ」）を２ｋｇのローラーで押圧して貼合わせ、評価用試料を作製した。この評価用試料を常温で３０分放置後、剥離速度３００ｍｍ／分でフォトマスク保護用粘着テープの１８０度剥離試験を行い、剥離強度を測定した。初期値に比べて剥離強度増加量の少ないものが好ましい。【００５６】
（２）密着露光試験：
はじめに、フォトマスク保護用粘着テープを、パターンのない無地の現像済みフォトマスク（富士写真フィルム社製「ＩＰＬ１７５ＳＨＧ」）に貼り付ける。
次に、０．８ｍｍ厚のガラスエポキシ基板の上部に銅箔厚３５μｍのテストパターンが施されたテスト基板を用いて、スクリーン印刷機により現像型ソルダーレジストインキフォトレジスト（太陽インキ社製  ＰＳＲ−４０００  ＡＵＳ３０８／ＣＡ−４０  ＡＵＳ３０８＝７０／３０）を塗布し、８０℃で３０分乾燥後の膜厚がおおよそ３０μｍになるようにテスト基板を作成した。この基板を用いて、オーク製作所社製ＨＭＷ−２０Ｄにて密着露光試験を紫外線照度４００ｍＪ／ｃｍ２、真空引き７５０ｍｍＨｇの条件にて実施した。【００５７】
密着露光試験を１００回および５００回実施した後、フォトマスク保護用粘着テープについて下記の評価を実施した。
・外観目視観察
白化の表面の変化を観察した。
・光学特性
密着露光試験を実施したフォトマスク保護用粘着テープ付きフォトマスクについてＪＩＳ  Ｋ  ７１０５に準じ、分球式濁度計（日本電色工業社製、ＮＤＨ−２０）を用いてヘイズ値（％）を測定した。フォトマスク保護用粘着テープのついていないフォトマスクのヘイズは５で、フォトマスク保護用粘着テープ付きフォトマスクは６であった。密着露光試験後のヘイズ値の変化が少ないものが良好である。９を越えるものを不良とした。
・剥離強度
エタノール摩耗試験と同様のテープ剥離試験を実施した。初期値に比べて剥離強度増加量の少ないものが良好である。１．０Ｎ／２５ｍｍを越えると装置トラブルになる可能性が高いため不良とした。【００５８】
（３）総合評価：
使用可能であるもの（良品）を「○」、とくに優れているものを「◎」、使用上問題があるもの（不良）を「×」とした。【００５９】
２．実施例および比較例
［実施例１］
ＰＥＴ基材の片面にシリコーン離型剤層が形成された厚み２５μｍセパレータ（リンテック社製）上に、イソシアネート架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製「ＳＫダイン１４２５」）をトルエンで１０重量％の固形分濃度に希釈して塗工後１２０℃で３０秒間乾燥して乾燥後の厚み５μｍの粘着剤層を設けた。次いで上記粘着剤層を、厚さ６μｍの２軸延伸した透明ＰＥＴ基材フィルム（東レ社製「Ｆ５３＃６Ｃ」）を積層し粘着テープを作成した。
次に上記粘着テープの透明ＰＥＴ基材表面を、和光純薬工業社製「ぬれ張力試験用混合液Ｎｏ４８．０」のはじきがないようにコロナ処理を施した後、その上面にメチルトリイソシアネート（松本製薬社製「ＳＩ−３１０」）８０重量部とジオールシロキサン（信越化学社製「ＫＦ−９７０１」）２０重量部の混合物を酢酸エチルで２重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１１０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍの表面層を設けフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００６０】
［実施例２］
実施例１と同様にコロナ処理を施し作成した粘着テープの上面に、シリコーン樹脂としてシリコーンレジン（東レ・ダウコーニング社製「ＳＲ２４１０」）６０重量部とメラミン樹脂としてメチロール基型メチル化メラミン樹脂（三井サイテック社製「サイメル３７０」）４０重量部の混合物をＭＥＫで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１３０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍのシリコーン系樹脂とメラミン樹脂からなる中間層を得た。
上記中間層の上面にメチルトリイソシアネート（松本製薬社製「ＳＩ−３１０」）８０重量部とジオールシロキサン（信越化学社製「ＫＦ−９７０１」）２０重量部の混合物を酢酸エチルで２重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１１０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍの表面層（離型層）を設けフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００６１】
［実施例３］
中間層を、シリコーン系樹脂（東レ・ダウコーニング社製「ＳＲ２４１０」）６０重量部とグアナミン化合物としてメチルおよびｎ−ブチル混合エーテル化ベンゾグアナミン（三和ケミカル社製「ニカラックＢＸ−４０００」）４０重量部との混合物をＭＥＫ、ブタノールで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１３０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍのフォトマスク保護用粘着テープを作成した以外は実施例２と同じとした。評価結果を表１に示す【００６２】
［実施例４］
表面層（離型層）を、メチルトリイソシアネートシラン（松本製薬社製「ＳＩ−３１０」）７０重量部とテトライソシアネートシラン（松本製薬社製「ＳＩ−４００」）１０重量部とジオールシロキサン（信越化学社製「ＫＦ−９７０１」）２０重量部との混合物を酢酸エチルで２重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１１０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍの表面層（離型層）を設けフォトマスク保護用粘着テープを作成した以外は実施例３と同じとした。評価結果を表１に示す。【００６３】
［実施例５］
実施例１と同様にコロナ処理を施し作成した粘着テープの上面に、メチルトリイソシアネート（松本製薬社製「ＳＩ−３１０」）８０重量部とジオールシロキサン（信越化学社製「ＫＦ−９７０１」）２０重量部、メラミン系化合物としてメチロール基型メチル化メラミン樹脂（三井サイテック社製「サイメル３７０」）４０重量部の混合物をＭＥＫで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１３０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍの表面コーティング層を設けたフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００６４】
［実施例６］
実施例１と同様にコロナ処理を施し作成した粘着テープの上面に、メチルトリイソシアネート（松本製薬社製「ＳＩ−３１０」）８０重量部とジオールシロキサン（信越化学社製「ＫＦ−９７０１」）２０重量部、グアナミン系化合物としてメチルおよびｎ−ブチル混合エーテル化ベンゾグアナミン（三和ケミカル社製「ニカラックＢＸ−４０００」）３０重量部の混合物をＭＥＫおよびブタノールで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１３０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．１μｍの表面コーティング層を設けたフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００６５】
［比較例１］
上記作成実施例１の表面層を付加反応型シリコーン（東レ・ダウコーニング社製「ＬＴＣ７５０Ａ」）１００重量部と白金触媒（東レ・ダウコーニング社製ＳＲＳ２１２）１重量部およびシランカップリング剤（γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（モメンティブマテリアルジャパン社製「ＴＳＬ８３５０」））１重量部の混合物をトルエンで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１１０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．３μｍに変更したフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００６６】
［比較例２］
上記作成実施例２の中間層上面に、付加反応型シリコーン（東レ・ダウコーニング社製「ＬＴＣ７５０Ａ」）１００重量部と白金触媒（東レ・ダウコーニング社製ＳＲＳ２１２）１重量部およびシランカップリング剤（γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（モメンティブマテリアルジャパン社製「ＴＳＬ８３５０」））１重量部の混合物
をトルエンで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１１０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．３μｍの表面層（離型層）を設けフォトマスク保護用粘着テープを作成した以外は同じとした。評価結果を表１に示す。【００６７】
［比較例３］
上記作成実施例３の中間層上面に、比較例２の表面離型層（表面層）を設けフォトマスク保護用粘着テープを作成した以外は実施例３と同じとした。評価結果を表１に示す。【００６８】
［比較例４］
実施例５と同様にコロナ処理を施し作成した粘着テープの上面に、付加反応型シリコーン（東レ・ダウコーニング社製「ＬＴＣ７５０Ａ」）１００重量部と白金触媒（東レ・ダウコーニング社製「ＳＲＳ２１２」）１重量部、メラミン系化合物としてメチロール基型メチル化メラミン樹脂（三井サイテック社製「サイメル３７０」）４０重量部の混合物をＭＥＫで５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１３０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．３μｍの表面コーティング層を設けたフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００６９】
［比較例５］
実施例５と同様にコロナ処理を施し作成した粘着テープの上面に、付加反応型シリコーン（東レ・ダウコーニング社製「ＬＴＣ７５０Ａ」）１００重量部と白金触媒（東レ・ダウコーニング社製「ＳＲＳ２１２」）１重量部、グアナミン系化合物としてメチルおよびｎ−ブチル混合エーテル化ベンゾグアナミン（三和ケミカル社製「ニカラックＢＸ−４０００」）３０重量部の混合物をトルエンおよびＭＥＫ混合溶液で５重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１３０℃で１２０秒間乾燥して乾燥後の厚み０．３μｍの表面コーティング層を設けたフォトマスク保護用粘着テープを作成した。評価結果を表１に示す。【００７０】
【表１】
2008117677.tif 000003
【００７１】
３．評価結果
表１の評価結果から、発明特定事項を満たさない比較例と比べた。
実施例１は中間層（Ｄ）をもたない構成で、エタノール磨耗試験５０往復でもほとんどテープ剥離力の変化がなく、繰り返し密着露光試験１００回後においても外観変化およびテープ剥離性においてもほとんど変化しなかった。エタノール磨耗試験１００往復および、繰り返し密着露光試験１００回後においては、外観変化はないがテープ剥離性がやや上昇傾向にあるが十分使用できる良品の範囲であった。
比較例１は中間層（Ｄ）をもたない、本発明のものではない表面層の構成であるが、エタノール磨耗試験５０回でテープ剥離力の変化が大きく、繰り返し密着露光試験１００回後の外観は白化、レジスト成分付着、レジストに対する剥離性が著しく低下した。ヘイズの変化も著しいため、テープによる剥離力も初期の１０倍以上になっていたため不良である。
実施例２は中間層（Ｄ）をもつ構成のもので、エタノール磨耗試験１００および５００往復してもほとんどテープ剥離力の変化がなく、実施例１の品質をさらに向上していた。また繰り返し密着露光試験１００回および５００回後の外観変化およびテープ剥離性についてもほとんど変化しなかった非常に優れた良品であった。
比較例２は中間層（Ｄ）をもつ、本発明のものではない表面層の構成であるが、エタノール磨耗試験５０回および１００回でのテープ剥離力の変化は小さく良好であった。しかし繰り返し密着露光試験１００回後の外観は白化し、レジスト成分付着、レジストに対する剥離性が著しく低下した。ヘイズの変化も著しいためテープによる剥離力も初期の１０倍以上になっていたため不良である。
実施例３は中間層（Ｄ）を実施例２のメラミン系樹脂からグアナミン系樹脂を含有するものに変更した構成のもので、実施例２同様にエタノール磨耗試験１００および５００往復と繰り返し密着露光試験１００回および５００回後の外観変化およびテープ剥離性についてもほとんど変化しなかった非常に優れた良品であった。
実施例４は実施例３のイソシアネートシランをメチルトリイソシアネートシランに加えてテトライソシアネートシランを配合したもので、繰り返し密着露光試験５００回後のテープ剥離性についてやや変化がちいさいものになっている非常に優れた良品であった。
比較例３は中間層（Ｄ）を比較例２のメラミン系樹脂からグアナミン系樹脂を含有するものに変更した構成のものである。比較例２と同様にエタノール磨耗試験５０回および１００回でのテープ剥離力の変化は小さく良好であった。しかし繰り返し密着露光試験１００回後の外観は白化し、レジスト成分付着、レジストに対する剥離性が著しく低下した。ヘイズの変化も著しいためテープによる剥離力も初期の１０倍以上になっていたため不良である。
実施例５は、中間層（Ｄ）をもたない構成のものであるが、エタノール磨耗試験１００および５００往復してもほとんどテープ剥離力の変化がない。また繰り返し密着露光試験１００回および５００回後の外観変化およびテープ剥離性についてもほとんど変化がなく、実施例２と同等の品質をえている非常に優れた良品であった。
比較例４は、実施例５の表面層を本発明のものではない表面層に変更した構成であるが、エタノール磨耗試験５０回でテープ剥離力の変化が大きく、繰り返し密着露光試験１００回後の外観は白化、レジスト成分付着、レジストに対する剥離性が著しく低下した。ヘイズの変化も著しいため、テープによる剥離力も初期の１０倍以上になっていたため不良である。
実施例６は、中間層（Ｄ）をもたない構成のものであり、実施例５のメラミン系樹脂からグアナミン系樹脂へ変更したものである。エタノール磨耗試験１００および５００往復してもほとんどテープ剥離力の変化がない。また繰り返し密着露光試験１００回および５００回後の外観変化およびテープ剥離性についてもほとんど変化がなく、実施例３と同等の品質をえている非常に優れた良品であった。
比較例５は、実施例６の表面層を本発明のものではない表面層に変更した構成であるが、エタノール磨耗試験５０回でテープ剥離力の変化が大きく、繰り返し密着露光試験１００回後の外観は白化、レジスト成分付着、レジストに対する剥離性が著しく低下した。ヘイズの変化も著しいため、テープによる剥離力も初期の１０倍以上になっていたため不良である。
したがって、表１の評価結果から、実施例で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、比較例で得られたフォトマスク保護用粘着テープよりも、耐溶剤性に優れ、離型性に優れているため、優れたフォトマスク保護用粘着テープであることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
以上より明らかなように、本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して剥離性を持続することができる。またフォトマスク保護用粘着テープの表面層のレジストからの汚染付着物がある場合にアルコール等の溶剤により洗浄しても表面層の脱落がないフォトマスク保護用粘着テープであるという効果があり、効率的・経済的に優れた方法によりプリント配線板を製造することがきるという特徴を有する。したがって、特にフォトマスク保護用粘着テープとして好適である。
【図１】
2008117677.tif 000004
【図２】
2008117677.tif 000005
【国際調査報告】
2008117677.tif 000006
2008117677.tif 000007
2008117677.tif 000008
2008117677.tif 000009