【手続補正書】
【提出日】平成17年8月19日(2005.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光学部品を第２の光学部品と対向する位置に搬送する搬送装置と、
前記第１の光学部品と前記第２の光学部品との距離を測定する距離測定装置と、
前記距離測定装置の測定情報に基き前記第１の光学部品の前記第２の光学部品に対する位置を調整する制御装置と、を備えることを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品装着装置において、
前記第２の光学部品の装着面に充填液を供給するための充填液供給装置と、を備えることを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光学部品装着装置において、
前記搬送装置は、前記第１の光学部品を把持するアームと、前記アームの位置を変更するアーム位置変更装置と、を含むことを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光学部品装着装置において、
前記距離測定装置は、前記第２の光学部品に形成された前記第１の検出位置に向けて第１の検出光を、前記第２の光学部品に形成された前記第２の検出位置に向けて第２の検査光をそれぞれ射出するための検査光射出装置を含むことを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光学部品装着装置において、
前記第１の検出位置と前記第２の検出位置とが前記第２の光学部品の装着面において点対称に配置されていることを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の光学部品装着装置において、
前記距離測定装置は、前記第前記第１の検出光が前記第２の光学部品の装着面を通過して前記第１の光学部品の装着面に反射して生じる第１の反射光を検出することを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項７】
請求項４乃至６のいずれかに記載の光学部品装着装置において、
前記距離測定装置は、前記第１の検査光を射出する位置から前記第２の検査光を射出する位置へと前記検出光射出装置を移動する検出位置変更装置とを備えることを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項８】
請求項４乃至７のいずれかに記載の光学部品装着装置において、
前記制御装置は、前記距離測定装置の測定情報に基き、前記第１の検出位置における前記第１の光学部品の装着面と前記第２の光学部品の装着面と間の第１の距離と、前記第２の検出位置における前記第１の光学部品の装着面と前記第２の光学部品の装着面との間の第２の距離との差を調整することを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項９】
請求項８に記載の光学部品装着装置において、
前記制御装置は、前記第１の距離と前記第２の距離とが等しくなるよう前記第１の光学部品と前記第２の光学部品との距離を調整することを特徴とする光学部品装着装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の光学部品装着装置を備え、
前記第１の光学部品がホログラムマスクであり、前記第２の光学部品がプリズムであることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
第１の光学部品を第２の光学部品と対向する位置に搬送する工程と、
前記第２の光学部品に形成された第１の検出位置に向けて第１の検出光を射出し、前記第１の検出光が前記第２の光学部品を通過して前記第１の光学部品に反射して生じる第１の反射光を検出し、前記第１の光学部品と前記第２の光学部品と間の第１の距離を測定する工程と、
前記第２の光学部品に形成された第２の検出位置に向けて第２の検出光を射出し、前記第２の検出光が前記第２の光学部品を通過して前記第１の光学部品に反射して生じる第２の反射光を検出し、前記第１の光学部品と前記第２の光学部品と間の第２の距離を測定する工程と、
前記第１の距離の測定情報と前記第２の距離の測定情報とに基き前記第１の光学部品の前記第２の光学部品に対する位置を調整する工程と、を含むことを特徴とする光学部品装着方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係る光学部品装着装置は、第１の光学部品を第２の光学部品と対向する位置に搬送する搬送装置と、前記第１の光学部品と前記第２の光学部品との距離を測定する距離測定装置と、前記距離測定装置の測定情報に基き前記第１の光学部品の前記第２の光学部品に対する位置を調整する制御装置と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに上記の光学部品装着装置において、前記第２の光学部品の装着面に充填液を供給するための充填液供給装置を備えることは好ましい。上記の構成によれば、充填液供給装置が充填液を光学部品に供給し、搬送装置が光学部品を搬送し圧着し、距離測定装置が検出した複数の検出位置における光学部品と装着面との距離に基づいて制御装置が搬送距離を補償するので、従来熟練した手作業によっていた装着作業を自動化できる。また、搬送距離の補償が確実に行われるので、作業を失敗する確率を十分低減できる。
ここで「検出位置」は、光学部品の光の通過面のいずれかの場所をいうが、上記の光学部品装着装置では複数の検出位置間のずれに基づいて搬送距離を調節するため、検出位置間をより離した方がより大きなずれが得られ、制御しやすいといえる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記の光学部品装着装置では、前記搬送装置は、前記第１の光学部品を把持するアームと、前記アームの位置を変更するアーム位置変更装置と、を含むように構成してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また上記の光学部品装着装置において、前記距離測定装置は、前記第２の光学部品に形成された前記第１の検出位置に向けて第１の検出光を、前記第２の光学部品に形成された前記第２の検出位置に向けて第２の検査光をそれぞれ射出するための検査光射出装置を含むことは好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また上記の光学部品装着装置において、前記第１の検出位置と前記第２の検出位置とが前記第２の光学部品の装着面において点対称に配置されていることは好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また上記の光学部品装着装置において、前記距離測定装置は、前記第前記第１の検出光が前記第２の光学部品の装着面を通過して前記第１の光学部品の装着面に反射して生じる第１の反射光を検出することは好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また上記の光学部品装着装置において、前記距離測定装置は、前記第１の検査光を射出する位置から前記第２の検査光を射出する位置へと前記検出光射出装置を移動する検出位置変更装置とを備えることは好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また上記の光学部品装着装置において、前記制御装置は、前記距離測定装置の測定情報に基き、前記第１の検出位置における前記第１の光学部品の装着面と前記第２の光学部品の装着面と間の第１の距離と、前記第２の検出位置における前記第１の光学部品の装着面と前記第２の光学部品の装着面との間の第２の距離との差を調整することは好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また上記の光学部品装着装置において、前記制御装置は、前記第１の距離と前記第２の距離とが等しくなるよう前記第１の光学部品と前記第２の光学部品との距離を調整することは好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また本発明に係る露光装置は、上記の光学部品装着装置を備え、前記第１の光学部品がホログラムマスクであり、前記第２の光学部品がプリズムであることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また本発明に係る光学部品装着方法は、第１の光学部品を第２の光学部品と対向する位置に搬送する工程と、前記第２の光学部品に形成された第１の検出位置に向けて第１の検出光を射出し、前記第１の検出光が前記第２の光学部品を通過して前記第１の光学部品に反射して生じる第１の反射光を検出し、前記第１の光学部品と前記第２の光学部品と間の第１の距離を測定する工程と、前記第２の光学部品に形成された第２の検出位置に向けて第２の検出光を射出し、前記第２の検出光が前記第２の光学部品を通過して前記第１の光学部品に反射して生じる第２の反射光を検出し、前記第１の光学部品と前記第２の光学部品と間の第２の距離を測定する工程と、前記第１の距離の測定情報と前記第２の距離の測定情報とに基き前記第１の光学部品の前記第２の光学部品に対する位置を調整する工程と、を含むことを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記の方法によれば、検出した複数の検出位置における光学部品と装着面との距離に基づいて搬送距離が補償されるので、従来熟練した手作業によっていた装着作業を自動化できる。また、搬送距離の補償が確実に行われるので、作業を失敗する確率を十分低減できる。
本発明に係る第２の光学部品装着装置は、少なくともいずれか一方の光学部品の装着面に所定量の充填液を供給するための充填液供給装置と、少なくともいずれか一方の光学部品を搬送し、両光学部品の装着面を対向させて圧着するための搬送装置と、一方の光学部品の装着面上における複数の検出位置について、他方の光学部品の装着面との距離を各々測定するための距離測定装置と、距離測定装置で測定された、他方の光学部品の装着面との距離が複数の検出位置間で異なっていた場合に、互いに等しい距離になるよう搬送装置における搬送距離を補償するための制御装置と、を備えることを特徴とする。
上記の光学部品装着装置の構成によれば、充填液供給装置が充填液を光学部品に供給し、搬送装置が光学部品を搬送し圧着し、距離測定装置が検出した複数の検出位置における光学部品と装着面との距離に基づいて制御装置が搬送距離を補償するので、従来熟練した手作業によっていた装着作業を自動化できる。また、搬送距離の補償が確実に行われるので、作業を失敗する確率を十分低減できる。
ここで「充填液」は光学部品間に気泡が入ることを排除するために、または／及び光学部品同士を屈折率を大きく変化させずに接着するため等に利用されるもので、マッチングリキッドとも言われるものである。但し、光学部品間に満たされる液体であればその種類に限定はない。
また「光学部品」は、光に何らかの作用を与える部品をいい、プリズム、マスク、レンズ、偏光板、１／ｎ波長板、フィルタ、フィルム、基板等、部品の機能に特に限定はない。光学部品同士は同じ種類である必要はなく、異なる種類や機能を有する光学部品同士を装着する場合も含む。
「検出位置」は、光学部品の光の通過面のいずれかの場所をいうが、上記の光学部品装着装置では複数の検出位置間のずれに基づいて搬送距離を調節するため、検出位置間をより離した方がより大きなずれが得られ、制御しやすいといえる。
例えば充填液供給装置は、光学部品の装着面の一部（例えば略中央部）に所定量の充填液を供給してもよい。
また、例えば充填液供給装置は、光学部品の装着面上の複数箇所に所定量の充填液を供給してもよい。
例えば、前記搬送装置は、一方の光学部品を把持するアームと、アームを任意の空間位置に搬送するアーム位置変更装置と、を備える。
例えば、上記の光学部品装着装置において前記距離測定装置は、一方の光学部品の装着面に略垂直に検査光を射出するための検査光射出装置と、装着面上における複数の検査位置に検査光を射出させるために検査光射出装置を搬送するための検出位置変更装置と、を備える。
また、例えば前記距離測定装置は、光学部品の装着面における中心点を通る軸上で当該中心点を介して対向する当該装着面の周辺部に複数の検出位置を設けてもよい。
例えば前記制御装置は、総ての検出位置における距離が所定の範囲に入った場合に、搬送装置における搬送を停止させるようにしてもよい。
本発明に係る露光装置は、上記の光学部品装着装置を備え、複数の光学部品をホログラムマスクおよびプリズムとすることを特徴とする。
本発明に係る第２の光学部品装着方法において、少なくともいずれか一方の光学部品の装着面に所定量の充填液を供給するステップと、複数の光学部品のいずれか一方を少なくとも搬送し、両光学部品の装着面を対向させて圧着するステップと、一方の光学部品の装着面における複数の検出位置について、他方の光学部品の装着面との距離を各々測定するステップと、測定された他方の光学部品の装着面との距離が複数の検出位置間で異なっていた場合に、互いに等しい距離になるよう搬送距離を補償するステップと、を備える。
上記の方法によれば、充填液を光学部品に供給し、光学部品を搬送して圧着し、検出した複数の検出位置における光学部品と装着面との距離に基づいて搬送距離が補償されるので、従来熟練した手作業によっていた装着作業を自動化できる。また、搬送距離の補償が確実に行われるので、作業を失敗する確率を十分低減できる。