【手続補正書】
【提出日】平成16年6月4日(2004.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１物体の像を第２物体に投影光学系により露光転写する投影露光装置おいて、該投影光学系が像を形成する投影面内の一軸方向に任意の投影倍率差を発生させる縦横倍率補正機構と、該縦横倍率補正機構を前記投影光学系の光軸を中心にして任意の方向に回転させる回転機構とを備えていることを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記投影光学系が倍率補正機構を備えていることを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記縦横倍率補正機構が第１物体と前記投影光学系との間に配置されていることを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項４】
前記縦横倍率補正機構が平行平板を所定の量、可変にたわませる機構により構成されていることを特徴とする請求項３記載の投影露光装置。
【請求項５】
前記縦横倍率補正機構が平行平板を所定の軸に対して対称な２次曲線状にたわませることを特徴とする請求項４記載の投影露光装置。
【請求項６】
前記縦横倍率補正機構の平行平板のたわみ量が正負２方向に制御可能なことを特徴とする請求項５記載の投影露光装置。
【請求項７】
第１物体の像を第２物体に投影光学系により露光転写する投影露光方法において、該投影光学系が像を形成する投影面内の一軸方向に投影倍率差を発生させる縦横倍率補正機構を駆動する工程と、該縦横倍率補正機構を前記投影光学系の光軸を中心にして任意の方向に回転させる回転工程とを有し、該投影倍率差を制御しながら露光することを特徴とする投影露光方法。
【請求項８】
前記縦横倍率補正機構を駆動する際、前記投影光学系の倍率補正機構を同時に駆動することを特徴とする請求項７記載の投影露光方法。
【請求項９】
前記縦横倍率補正機構を駆動する際、前記投影光学系に備えられた倍率補正機構の駆動と前記第１又は第２物体の回転を合わせて行なうことを特徴とする請求項８記載の投影露光方法。
【請求項１０】
前記縦横倍率補正機構の軸を前記投影露光装置の投影面内に設定されたｘ、ｙ軸に対し概ね４５度方向に設定することを特徴とする請求項９記載の投影露光方法。
【請求項１１】
前記縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構と前記第１または第２物体の回転補正の駆動量を、ＴＴＬアライメントスコープによる計測値を用いて決定することを特徴とする請求項９記載の投影露光方法。
【請求項１２】
前記ＴＴＬアライメントスコープの計測を基準となる第１物体上に設けられた１つ以上のマークと投影面上に設けられた１つ以上の基準マークで行なうことを特徴とする請求項１１記載の投影露光方法。
【請求項１３】
前記ＴＴＬアライメントスコープの計測を、露光したフォトクロミック材料を用いて行なうことを特徴とする請求項１１記載の投影露光方法。
【請求項１４】
前記縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構の駆動量を、オフアクシスアライメントスコープによる計測値を用いて決定することを特徴とする請求項９記載の投影露光方法。
【請求項１５】
前記縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構と前記第１または第２物体の回転補正駆動量を、オフアクシスアライメントスコープによる計測値を用いて決定することを特徴とする請求項９記載の投影露光方法。
【請求項１６】
前記オフアクシススコープによる計測を露光されたフォトクロミック材料を用いて行なうことを特徴とする請求項１４又は１５記載の投影露光方法。
【請求項１７】
前記オフアクシススコープによる計測をウエハー上に形成されたアライメントマークを観察して行なうことを特徴とする請求項１４又は１５記載の投影露光方法。
【請求項１８】
前記観察するアライメントマークが複数のショット内の複数個のマークであることを特徴とする請求項１７記載の投影露光方法。
【請求項１９】
前記オフアクシスアライメントスコープによる計測に従い、前記ショットの配列に関しては第２物体の搭載されたステージの座標で補正し、該ショット内の補正に関しては該縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構と前記第１または第２物体の回転機構を駆動して行なうことを特徴とする請求項１８記載の投影露光方法。
【請求項２０】
前記第１物体と第２物体の位置合わせ露光において、先行して露光した第２物体の評価に基づいて、該ショット内誤差については第１または第２物体の回転補正と前記投影光学系の倍率補正及び縦横倍率補正を一定値で行ない、ショット配列の誤差のみを前記第２物体の搭載されたステージの座標で補正することを特徴とする請求項１９記載の投影露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
補正に際してはステッパーに座標を測定する手段を持ち、該測定手段による測定値により投影倍率、縦横倍率差、スキュー等を決定して補正を行なうことができ、重ね合わせ精度の大幅な向上が可能としている。
具体的に各請求項の発明の構成要件を示すと次のとおりになる。
請求項１の発明の投影露光装置は、第１物体の像を第２物体に投影光学系により露光転写する投影露光装置おいて、該投影光学系が像を形成する投影面内の一軸方向に任意の投影倍率差を発生させる縦横倍率補正機構と、該縦横倍率補正機構を前記投影光学系の光軸を中心にして任意の方向に回転させる回転機構とを備えていることを特徴としている。
請求項２の発明は請求項１の発明において、前記投影光学系が倍率補正機構を備えていることを特徴としている。
請求項３の発明は請求項１の発明において、前記縦横倍率補正機構が第１物体と前記投影光学系との間に配置されていることを特徴としている。
請求項４の発明は請求項３の発明において、前記縦横倍率補正機構が平行平板を所定の量、可変にたわませる機構により構成されていることを特徴としている。
請求項５の発明は請求項４の発明において、前記縦横倍率補正機構が平行平板を所定の軸に対して対称な２次曲線状にたわませることを特徴としている。
請求項６の発明は請求項５の発明において、前記縦横倍率補正機構の平行平板のたわみ量が正負２方向に制御可能なことを特徴としている。
請求項７の発明の投影露光方法は、第１物体の像を第２物体に投影光学系により露光転写する投影露光方法において、該投影光学系が像を形成する投影面内の一軸方向に投影倍率差を発生させる縦横倍率補正機構を駆動する工程と、該縦横倍率補正機構を前記投影光学系の光軸を中心にして任意の方向に回転させる回転工程とを有し、該投影倍率差を制御しながら露光することを特徴としている。
請求項８の発明は請求項７の発明において、前記縦横倍率補正機構を駆動する際、前記投影光学系の倍率補正機構を同時に駆動することを特徴としている。
請求項９の発明は請求項８の発明において、前記縦横倍率補正機構を駆動する際、前記投影光学系に備えられた倍率補正機構の駆動と前記第１又は第２物体の回転を合わせて行なうことを特徴としている。
請求項１０の発明は請求項９の発明において、前記縦横倍率補正機構の軸を前記投影露光装置の投影面内に設定されたｘ、ｙ軸に対し概ね４５度方向に設定することを特徴としている。
請求項１１の発明は請求項９の発明において、前記縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構と前記第１または第２物体の回転補正の駆動量を、ＴＴＬアライメントスコープによる計測値を用いて決定することを特徴としている。
請求項１２の発明は請求項１１の発明において、前記ＴＴＬアライメントスコープの計測を基準となる第１物体上に設けられた１つ以上のマークと投影面上に設けられた１つ以上の基準マークで行なうことを特徴としている。
請求項１３の発明は請求項１１の発明において、前記ＴＴＬアライメントスコープの計測を、露光したフォトクロミック材料を用いて行なうことを特徴としている。
請求項１４の発明は請求項９の発明において、前記縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構の駆動量を、オフアクシスアライメントスコープによる計測値を用いて決定することを特徴としている。
請求項１５の発明は請求項９の発明において、前記縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構と前記第１または第２物体の回転補正駆動量を、オフアクシスアライメントスコープによる計測値を用いて決定することを特徴としている。
請求項１６の発明は請求項１４又は１５の発明において、前記オフアクシススコープによる計測を露光されたフォトクロミック材料を用いて行なうことを特徴としている。
請求項１７の発明は請求項１４又は１５の発明において、前記オフアクシススコープによる計測をウエハー上に形成されたアライメントマークを観察して行なうことを特徴としている。
請求項１８の発明は請求項１７の発明において、前記観察するアライメントマークが複数のショット内の複数個のマークであることを特徴としている。
請求項１９の発明は請求項１８の発明において、前記オフアクシスアライメントスコープによる計測に従い、前記ショットの配列に関しては第２物体の搭載されたステージの座標で補正し、該ショット内の補正に関しては該縦横倍率補正機構と前記倍率補正機構と前記第１または第２物体の回転機構を駆動して行なうことを特徴としている。
請求項２０の発明は請求項１９の発明において、前記第１物体と第２物体の位置合わせ露光において、先行して露光した第２物体の評価に基づいて、該ショット内誤差については第１または第２物体の回転補正と前記投影光学系の倍率補正及び縦横倍率補正を一定値で行ない、ショット配列の誤差のみを前記第２物体の搭載されたステージの座標で補正することを特徴としている。