Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月4日(2004.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラ本体部とカメラレンズ部とを取り付ける一対の中空状の回転部材が回転可能に連結され、これら一対の回転部材内に接続部材が巻かれた状態で収納され、この接続部材の一端部が一方の前記回転部材の回転中心部側から前記カメラ本体と前記カメラレンズ部とのいずれか一方に導出され、前記接続部材の他端部が他方の前記回転部材の周辺部側から前記カメラ本体と前記カメラレンズ部とのいずれか他方に導出され、これにより前記カメラ本体と前記カメラレンズ部とを電気的に接続する回転接続機構において、
前記一対の回転部材内に、前記接続部材をガイドする渦巻状の隔壁を設けたことを特徴とする電子カメラの回転接続機構。
【請求項２】
前記接続部材は、複数の信号線を平行に配列させたフラットケーブルであることを特徴する請求項１に記載の電子カメラの回転接続機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、カメラ本体部とカメラレンズ部とを取り付ける一対の中空状の回転部材が回転可能に連結され、これら一対の回転部材内に接続部材が巻かれた状態で収納され、この接続部材の一端部が一方の前記回転部材の回転中心部側から前記カメラ本体と前記カメラレンズ部とのいずれか一方に導出され、前記接続部材の他端部が他方の前記回転部材の周辺部側から前記カメラ本体と前記カメラレンズ部とのいずれか他方に導出され、これにより前記カメラ本体と前記カメラレンズ部とを電気的に接続する回転接続機構において、前記一対の回転部材内に、前記接続部材をガイドする渦巻状の隔壁を設けたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明によれば、カメラ本体部とカメラレンズ部との相対的な回転に伴って一対の回転部材が相対的に回動したときに、一対の回転部材内に収納された接続部材が巻き付く方向に縮んだり、あるいは外周側に向けて広がる方向に緩んだりしても、一対の回転部材内に設けられた渦巻状の隔壁によって接続部材がガイドされるので、接続部材の動作を安定させることができ、また渦巻状の隔壁により接続部材同士が重なり合って接触するのを防ぐことができ、これにより接続部材同士の接触によって生じるノイズや電磁誘導などによる誤動作を防止することができる。この場合、請求項２に記載のごとく、前記接続部材は、複数の信号線を平行に配列させたフラットケーブルであることにより、信号線の本数が多くても、フラットケーブル同士が重なって接触することがないため、各信号線によって生じるノイズや電磁誘導などによる誤動作を防ぐことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【発明の効果】  
以上説明したように、この発明によれば、カメラ本体部とカメラレンズ部とを取り付ける一対の中空状の回転部材が回転可能に連結され、これら一対の回転部材内に収納された接続部材によってカメラ本体部とカメラレンズ部とを電気的に接続する回転接続機構において、回転部材内に接続部材をガイドする渦巻状の隔壁を設けたことにより、カメラ本体部とカメラレンズ部との相対的な回転に伴って一対の回転部材が相対的に回転したときに、接続部材が巻き付く方向に縮んだり、外周側に向けて広がる方向に緩んだりしても、回転部材内の渦巻状の隔壁によって接続部材がガイドされるので、接続部材の動作を安定させることができるとともに、接続部材同士が重なり合って接触するのを防ぐことができ、これにより接続部材同士の接触によって生じるノイズや電磁誘導などによる誤動作を防止することができる。この場合、接続部材が複数の信号線を平行に配列させたフラットケーブルであり、その信号線の本数が多くても、フラットケーブル同士が重なって接触することがないため、各信号線によって生じるノイズや電磁誘導などによる誤動作を防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月24日(2004.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図１７および図１８は、ランプ１と光学ユニット２０との光軸合わせを説明する側面図および平面図である。これらの図においても理解容易のため光軸合わせに関連する部分のみを示している。ランプハウス１３は、図１７中矢印Ａ１７にて示す方向に挿嵌され、Ｖ字型部材４５がランプホルダー３２の円弧状壁面３２ｆに接点Ｐ１，Ｐ２の２点で外接する。上述の如く、ランプホルダー３２は右側板３７に固定されておらず、従ってランプハウス１３に固定されていないものではあるが、引っ張りバネ６３によってランプホルダー３２がＶ字型部材４５に押圧されることとなるため、ランプハウス１３がランプケース１４に装着されているときは常に円弧状壁面３２ｆがＶ字型部材４５に当接する。そして、Ｖ字型部材４５が円弧状壁面３２ｆに外接するそれぞれの外接点Ｐ１，Ｐ２を通り、各外接点Ｐ１，Ｐ２における接線（つまり、Ｖ字型部材４５のＶ字の２辺）と垂直な２本の直線Ｌ１，Ｌ２の交点が光学ユニット２０の光軸２０ｘ上に位置するようにＶ字型部材４５は光学ユニット２０の摺動基準面２０ａに固設されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
一方、引っ張りバネ６３によってランプホルダー３２は摺動基準面２０ａにも押圧されることとなるため、ランプハウス１３がランプケース１４に装着されているときは常に３個の凸部３２ａのそれぞれが摺動基準面２０ａに当接される。ここで、摺動基準面２０ａは光学ユニット２０の光軸２０ｘに対して垂直な平滑面である。また、３個の凸部３２ａが形成する平面がランプ１の光軸１ｘと垂直となるように、ランプ１はランプホルダー３２に固着されている。従って、ランプハウス１３がランプケース１４に装着され、３個の凸部３２ａが摺動基準面２０ａに当接すると、３個の凸部３２ａが形成する平面と摺動基準面２０ａとが一致し、ランプ１の光軸１ｘと光学ユニット２０の光軸２０ｘとが平行になる。すなわち、３個の凸部３２ａは、ランプホルダー３２の姿勢を規制することによってランプ１の光軸１ｘと光学ユニット２０の光軸２０ｘとを平行にするランプ姿勢規制手段としての機能を有している。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月18日(2004.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示装置を用いた情報表示システム


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部を有する投射型表示装置と、前記投射型表示装置の表示部に沿って配置され少なくとも１つの画像領域と前記投射型表示装置からの表示情報を視認可能にする表示領域を有するスクリーンとを含む複数の表示装置と、
各前記表示装置に表示情報を送信する情報供給部とを備えたことを特徴とする情報表示システム。
【請求項２】
前記表示装置と前記情報供給部は回線を介して双方向に情報を通信することを特徴とする請求項２記載の情報表示システム。
【請求項３】
前記表示装置はセルフチェック機能を備え、異常を判別した時に前記情報供給部に前記表示装置の異常情報を送信することを特徴とする請求項１または２の情報表示システム。
【請求項４】
前記表示装置のスクリーンが外光に影響を受ける状況と、外光に影響を受けない状況に応じて、前記表示装置の表示方式を切り換えるよう制御されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の情報表示システム。
【請求項５】
前記表示装置の前記投射型表示装置は、リアプロジェクタであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の情報表示システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、表示部を有する投射型表示装置と、前記投射型表示装置の表示部に沿って配置され少なくとも１つの画像領域と前記投射型表示装置からの表示情報を視認可能にする表示領域を有するスクリーンとを含む複数の表示装置と、各前記表示装置に表示情報を送信する情報供給部とを備えたことを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、この構成によれば、１つの情報供給部から複数の表示装置に情報を提供することができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、発明において、前記表示装置と前記情報供給部は回線を介して双方向に情報を通信することを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この構成によれば、表示装置と情報供給部との間で、双方向に情報交換が可能になり、表示装置の固有の状況を把握することが可能になる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、発明において、前記表示装置はセルフチェック機能を備え、異常を判別した時に前記情報供給部に前記表示装置の異常情報を送信することを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この構成によれば、表示装置の異常を発見することができ、表示装置を効率よく点検することが可能になる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明は、前記表示装置のスクリーンが外光に影響を受ける状況と、外光に影響を受けない状況に応じて、前記表示装置の表示方式を切り換えるよう制御されることを特徴とする。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明は、前記表示装置の前記投射型表示装置は、リアプロジェクタであることを特徴とする。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月21日(2004.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１２】
ここで、回数券情報６２０は、回数券ＩＤ６２１と、入り口ＩＤ６２２と、出口ＩＤ６２３と、料金６２４と、残り回数６２５とを含む。なお、回数券情報６２０は有効期限を含んでもよい。定期券情報６３０は、定期券ＩＤ６３１と、入り口ＩＤ６３２と、出口ＩＤ６３３と、料金６３４と、有効期限６３５とを含む。ここで、回数券ＩＤ６２１および定期券ＩＤ６３１とは、自動料金徴収センタまたは各料金所が送信する回数券情報および定期券情報に与えられた固有の識別番号である。入り口ＩＤ６２２および６３２と出口ＩＤ６２３および６３３とは、入り口および出口の料金所ＩＤである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１６】
ステップＳ６１６５において、地図データ合成部４は、回数券を使用する処理を行う。具体的には、使用される回数券に対応する回数券情報６２０に含まれる残り回数６２５の値を１だけ減算する。ここで、残り回数６２５の値が０になった場合には、回数券情報６２０を削除ないし初期化してもよい。その後、図３９のサブルーチン処理は終了して、図３７の処理へ復帰する。なお、ここでも、定期券の場合と同様に、回数券が使用された旨のメッセージやアニメーション等が表示されてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月31日(2005.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記感光層に用いられる電荷発生物質が、アゾ顔料もしくはフタロシアニン顔料であることを特徴とする請求項４に記載のフルカラー電子写真装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
したがって、上記課題は、本発明の（１）「少なくとも帯電手段、画像露光手段、現像手段、転写手段、および電子写真感光体を具備してなる画像形成要素を複数配列したフルカラー電子写真装置であって、黒色トナー像を形成する画像形成要素に搭載された感光体の感光層の膜厚が、黒色以外のトナー像を形成する画像形成要素に搭載された感光体の感光層の膜厚より厚いことを特徴とするフルカラー電子写真装置」、（２）「すべての画像形成要素に搭載された感光体の感光層が、電荷発生層と電荷輸送層の積層構成からなり、黒色トナー像を形成する画像形成要素に搭載された感光体の電荷輸送層の膜厚が、黒色以外のトナー像を形成する画像形成要素に搭載された感光体の電荷輸送層の膜厚より厚いことを特徴とする前記第（１）項に記載のフルカラー電子写真装置」、（３）「前記フルカラー電子写真装置のすべての画像形成要素に搭載された感光体の感光層が、有機系感光層であることを特徴とする前記第（１）項または第（２）項に記載のフルカラー電子写真装置」、（４）「前記フルカラー電子写真装置のすべての画像形成要素に搭載された感光体の感光層が、同一の組成物からなることを特徴とする前記第（１）項乃至第（３）項の何れか１に記載のフルカラー電子写真装置」、（５）「前記感光層に用いられる電荷発生物質が、アゾ顔料もしくはフタロシアニン顔料であることを特徴とする前記第（４）項に記載のフルカラー電子写真装置」、（６）「前記アゾ顔料が下記（ＸＩ）式で表わされるアゾ顔料であることを特徴とする前記第（５）項に記載のフルカラー電子写真装置、
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月1日(2004.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
そして、上記各環状板２３、２３に設けた各柱部１５、１５及び本体部分２５の一部に、両側面を貫通する通孔２７、２７を、上記各環状板２３、２３の円周方向に関して交互に、上記各柱部１５、１５の内径側と外径側とに、それぞれ配置された状態で形成している。従って、上記各通孔２７、２７は、前記各ころ７ａ、７ａのピッチ円から径方向に外れた部分で、上記各環状板２３、２３の円周方向に亙り千鳥状に形成されている。又、上記本体部分２５の一部に、一端を上記各通孔２７、２７の内周面に、他端を上記各柱部１５、１５の内、外両周面のうち、上記各通孔２７、２７を形成した側の周面に、それぞれ開口させた複数のねじ孔２８、２８を形成している。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
尚、図示の例の場合、前記各凹部１６、１６を構成する複数の凹面２６、２６の曲率中心を、上記各環状板２３、２３の外周縁と同じく内周縁との間の中心を結んで成る仮想円（各環状板２３、２３のピッチ円）α上に位置させている。従って、本例の場合、上記各ころ７ａ、７ａの端部を上記複数の凹部１６、１６内に挿入しつつころ軸受２１を組み立てた状態で、上記仮想円αが、前記外輪６ａの内周面と内輪４ｃの外周面との丁度中央に位置する。但し、上記各凹面２６、２６の形状は、この様な形状に限定するものではなく、図７〜１０に示す形状の様にしても良い。例えば、図７〜８に、本発明の実施の形態の第２例として示すころ軸受２１の場合、凹部型保持器１４ｂの各環状板２３ａに形成した各凹面２６ａ、２６ａの曲率中心は、これら各環状板２３ａの外周縁と同じく内周縁との丁度中央に位置する仮想円αよりも内周側に位置する。又、図９〜１０に、本発明の実施の形態の第３例として示すころ軸受２１の場合、凹部型保持器１４ｃの各環状板２３ｂに形成した各凹面２６ｂ、２６ｂの曲率中心は、これら各環状板２３ｂの外周縁と同じく内周縁との丁度中央に位置する仮想円αよりも外周側に位置する。何れにしてもこれら第２、３例によれば、各柱部１５、１５の直径方向長さを同じとした場合に、これら各柱部１５、１５の外径寄り部分又は内径寄り部分の断面積を大きくできる。この為、隣り合うころ７ａ、７ａ同士が最も近づく部分に存在する柱部１５、１５の幅を、これら各柱部１５、１５の強度を低下させる事なく、更に小さくできる。従って、これら第２、３例によれば、隣り合うころ７ａ、７ａ同士の間の距離を上述した第１例よりも更に短くできて、ころ軸受２１の負荷容量を更に増大できる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
次に、図１２は、本発明の実施の形態の第５例を示している。本例のころ軸受３５の場合は、上述した第４例の場合のころ軸受２１ａ（図１１）と同様の構造を有するころ軸受２１ｂ、２１ｂを２個、互いに軸方向に組み合わせて成る。又、本例の場合に用いるころ軸受２１ｂ、２１ｂを構成する各外輪６、６の両端部には、つば部２２、２２（図１１）を形成していない。そして、上記各ころ軸受２１ｂ、２１ｂを構成する各内輪４ａ、４ａの端面を、互いに突き合わせた状態で、これら各ころ軸受２１ｂ、２１ｂを構成する各外輪６、６同士の間に、つば輪８ｂを挟持している。又、上記ころ軸受３５の両端部に位置する、上記各外輪６、６の端部に、つば輪８ａ、８ａを固定している。複数のころ７ａ、７ａは、これら各つば輪８ａ、８ｂと、上記各外輪６、６の中間部に形成した中つば部３３とにより、軸方向に関するずれ防止を図っている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
次に、図１４は、本発明の実施の形態の第７例を示している。上述した第６例の場合は、ころ７ｂを単列に配置していたが、本例のころ軸受２１ｄでは、ころ７ｂ、７ｂを２列に配置している。この為、本例の場合は、外輪６ｂ、６ｂを２個、それぞれの内径が大きくなる側の端面同士を互いに対向させた状態で配置している。又、これら両外輪６ｂ、６ｂ同士の間には、その中間部に内、外両周面同士を貫通する給油孔３９を形成した外輪間座４０を挟持している。そして、上記両外輪６ｂ、６ｂの内側に設ける内輪４ｅの外周面に、複列の内輪軌道３ａ、３ａを形成している。又、上記内輪４ｅの中間部外周面で、上記両内輪軌道３ａ、３ａの間部分に、全周に亙り直径方向外方に向け突出する中つば部４１を形成している。上記各列のころ７ｂ、７ｂは、この中つば部４１と、上記内輪４ｅの両端部外周面に設けたつば部３６ａ、３６ａとにより、軸方向に関するずれ防止を図っている。上述の様に構成する本例のころ軸受２１ｄでは、ころ７ｂ、７ｂを複列に設けているので、上述の第６例の場合よりも、ころ軸受２１ｄの負荷容量を更に増大できる。
その他の構成及び作用に就いては、上述した第６例の場合と同様である為、同等部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
次に、図１５は、本発明の実施の形態の第８例を示している。本例のころ軸受３５ａは、上述した第７例のころ軸受２１ｄ（図１４）を２個、互いに軸方向に組み合わせた如き構造を有する。即ち、本例のころ軸受３５ａは、２個の外輪６ｂ、６ｂ同士の間に、これら両外輪６ｂ、６ｂを一体に結合した如き形状を有する１個の外輪６ｃを、外輪間座４０、４０を介して挟持する事により構成している。又、ころ軸受３５ａの中間部に位置する外輪６ｃの中間部には、内、外両周面同士を貫通する給油孔３４を形成している。そして、上記各外輪６ｂ、６ｃの内側に、２個の内輪４ｅ、４ｅと、これら両内輪４ｅ、４ｅ同士の間に挟持した内輪間座４２とを、それぞれ配置している。上述の様に構成する本例のころ軸受３５ａでは、ころ７ａ、７ａを４列に設けているので、上述した第７例の場合よりも、ころ軸受３５ａの負荷容量を更に増大できる。
その他の構成及び作用に就いては、上述した第７例の場合と同様である為、同等部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月2日(2005.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
レーザダイオードによって画像を書き込む光書込手段と、前記レーザダイオードを複数個内蔵し、かつ、サンプル／ホールド信号に基いた断続的なＡＰＣによってＬＤ制御を行ない、有効走査期間内にはホールドモードで定電流駆動を行ない、非有効走査期間内でそれぞれのＬＤを時間的に独立にサンプルモードに移行させることでオートマチック・パワーコントロールによる光量調節を行なう制御手段と、光書込によって書き込まれた潜像を顕像化して画像を形成する画像形成手段とを備えた画像形成装置において、
前記制御手段は、それぞれのレーザダイオードのオートマチック・パワーコントロール間隔の間の主走査回数を設定することを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため第１の手段は、レーザダイオードによって画像を書き込む光書込手段と、前記レーザダイオードを複数個内蔵し、かつ、サンプル／ホールド信号に基いた断続的なＡＰＣによってＬＤ制御を行ない、有効走査期間内にはホールドモードで定電流駆動を行ない、非有効走査期間内でそれぞれのＬＤを時間的に独立にサンプルモードに移行させることでオートマチック・パワーコントロールによる光量調節を行なう制御手段と、光書込によって書き込まれた潜像を顕像化して画像を形成する画像形成手段とを備えた画像形成装置において、前記制御手段は、それぞれのレーザダイオードのオートマチック・パワーコントロール間隔の間の主走査回数を設定することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月24日(2004.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
路側アンテナから放射され路面で反射される1次反射波を、当該路側アンテナの通信領域内外の所望の方向へ反射する反射板を備えた反射構造体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、第２の発明の反射構造体は、路側アンテナと路側アンテナ周囲に設けられた反射構造体との位置に依存する距離及び当該反射構造体の入射波の入射角度に基づいて設定された反射面の角度を有する反射板を、下面に取付けたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、第３の発明の反射構造体は、路側アンテナから放射され路面で反射される1次反射波を、当該路側アンテナの通信領域内外の所望の方向へ反射する反射板を備えたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
半導体基板を含む被処理基板上に膜を堆積する工程と、
前記膜に対して、エッチングと化学的機械研磨とを順次を行って、前記膜の表面を平坦化する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
［構成］
本発明は、上記目的を達成するために以下のように構成されている。  
（１）本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板を含む被処理基板上に膜を堆積する工程と、前記膜に対して、エッチングと化学的機械研磨とを順次を行って、前記膜の表面を平坦化する工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月18日(2004.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）半導体基板の主面上に素子を形成する工程と、
（ｂ）前記素子上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
（ｃ）前記第1の絶縁膜上に導電性膜を形成し、所望の形状にパターニングすることによって配線層を形成する工程と、
（ｄ）前記配線層上にプラズマＣＶＤ法により窒化シリコン膜を形成した後、第３の絶縁膜を高密度プラズマＣＶＤ法により堆積させることにより、前記配線層端部上にテーパー形状を有する前記第３の絶縁膜を形成し、次いで前記第３の絶縁膜上にプラズマＣＶＤ法で第４の絶縁膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項２】
（ａ）半導体基板の主面上に素子を形成する工程と、
（ｂ）前記素子上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
（ｃ）前記第1の絶縁膜上に導電性膜を形成し、所望の形状にパターニングすることによって配線層を形成する工程と、
（ｄ）前記配線層上に第２の絶縁膜としてシリコン酸化膜をプラズマＣＶＤ法により形成する工程と、
（ｅ）前記第２の絶縁膜上に第３の絶縁膜としてシリコン酸化膜を高密度プラズマＣＶＤ法により堆積させることにより、前記配線層端部上にテーパー形状を有する前記第３の絶縁膜を形成し、次いで前記第３の絶縁膜上にプラズマＣＶＤ法で第４の絶縁膜としてシリコン酸化膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項３】
（ａ）半導体基板の主面上に素子を形成する工程と、
（ｂ）前記素子上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
（ｃ）前記第1の絶縁膜上に窒化チタン、アルミニウム、および窒化チタンの積層膜からなる導電性膜を形成し、所望の形状にパターニングすることによって低抵抗配線を形成する工程と、
（ｄ）前記低抵抗配線上に第２の絶縁膜として窒化シリコン膜をプラズマＣＶＤ法により形成する工程と、
（ｅ）前記第２の絶縁膜上に第３の絶縁膜としてシリコン酸化膜を高密度プラズマＣＶＤ法により堆積させることにより、前記配線層端部上にテーパー形状を有する前記第３の絶縁膜を形成し、次いで前記第３の絶縁膜上にプラズマＣＶＤ法で第４の絶縁膜としてシリコン酸化膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項４】
（ａ）半導体基板の主面上に素子を形成する工程と、
（ｂ）前記素子と電気的に接続される複数層の配線を形成する工程と、
（ｃ）前記複数層の配線のうち最上層配線上に、第１の絶縁膜としてシリコン窒化膜をプラズマＣＶＤ法により形成する工程と、
（ｄ）前記第１の絶縁膜上に、絶縁膜を高密度プラズマＣＶＤ法により堆積させることにより、前記配線層端部上にテーパー形状を有する第２の絶縁膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項５】
（ａ）半導体基板の主面上に素子を形成する工程と、
（ｂ）前記素子と電気的に接続される複数層の配線を形成する工程と、
（ｃ）前記複数層の配線のうち最上層配線上に、第１の絶縁膜をプラズマＣＶＤ法により形成する工程と、
（ｄ）前記第１の絶縁膜上に、絶縁膜を高密度プラズマＣＶＤ法により堆積させることにより、前記配線層端部上にテーパー形状を有する第２の絶縁膜を形成する工程と、
（ｅ）前記第１および第２の絶縁膜をエッチングすることにより前記最上層配線の表面を露出させる工程と、
（ｆ）前記最上層配線の露出部に、下地電極を形成する工程と、
（ｇ）前記最上層配線の露出部上の下地電極上にバンプ電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
さらに、このコーナー部の発生を解消すべく、絶縁膜上にＳＯＧ膜を塗布しベークすることによって、絶縁膜を平坦化する方法も考え得るが、前述のごとく最上層配線は、膜厚が大きいため配線間の絶縁膜の膜厚が局所的に大きくなり、この部分における膜応力により、クラックを生じさせ得る。特開平９−２４６３７７号公報にはタングステン配線上に高密度プラズマにより絶縁膜を形成する開示がある。特開平１０−１６３１９２号公報には配線上にフッ素添加絶縁膜を高密度プラズマＣＶＤ法により形成する開示がある。特開平１１−１５４６７３号公報には配線上に高周波高密度プラズマＣＶＤ法により絶縁膜を形成したのち低周波高密度プラズマＣＶＤ法により絶縁膜を埋め込む開示がある。特開平１１−３４０２２１号公報には配線上に高密度プラズマＣＶＤで絶縁膜を形成した後に配線間を高密度プラズマＣＶＤ法により埋め込む開示がある。特開平９−２６６２０７号公報には配線上を酸化膜で覆った後Ｆ含有絶縁膜を高密度プラズマＣＶＤ法により形成する開示がある。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月19日(2004.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｅ−メールを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付Ｅ−メールを受信者に読ませるために選別する選別装置において、
Ｅ−メールの受信者によって該付加価値に対して設定された閾値を記憶する閾値記憶手段と、
送信者側から送られるＥ−メールに添付された付加価値が該閾値記憶手段に記憶されている閾値以上である時、該Ｅ−メールの到着を受信者に通知するＥ−メール到着通知手段とを備えることを特徴とする付加価値添付Ｅ−メール選別装置。
【請求項２】
前記閾値記憶手段が前記付加価値の複数の種類に対してそれぞれ閾値を記憶し、
前記Ｅ−メール到着通知手段が、前記Ｅ−メールに添付された付加価値が前記閾値記憶手段に記憶されている同一種類の付加価値に対する閾値以上である時、該Ｅ−メールの到着を受信者に通知することを特徴とする請求項１記載の付加価値添付Ｅ−メール選別装置。
【請求項３】
前記付加価値添付Ｅ−メール選別装置がＥ−メールの送信者と受信者の間に介在するＥ−メール受信仲介業者に備えられると共に、
受信者が前記通知されたＥ−メールを読んだ時点で該Ｅ−メールに添付されていた付加価値の清算を行う付加価値清算手段を更に備えることを特徴とする請求項１、２、または３記載の付加価値添付Ｅ−メール選別装置。
【請求項４】
Ｅ−メールを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付Ｅ−メールを送信する装置において、
Ｅ−メールの受信者によって該付加価値に対して設定された閾値であって、外部から与えられる閾値以上の付加価値をＥ−メールに添付して, 該閾値を設定した受信者に対して送信するＥ−メール送信手段を備えることを特徴とする付加価値添付Ｅ−メール送信装置。
【請求項５】
Ｅ−メールを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付Ｅ−メールが送受信されるＥ−メールシステムにおいて、
Ｅ−メールの受信者によって該付加価値に対して設定され、Ｅ−メール送信者側に公開された閾値を記憶する閾値記憶手段と、
該閾値記憶手段の記憶内容を参照して、該公開された閾値以上の付加価値を添付したＥ−メールを、該閾値を公開した受信者に対して送信するＥ−メール送信手段とを備えることを特徴とする付加価値添付Ｅ−メール送受信システム。
【請求項６】
ウェブページを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付ウェブページを受信者に読ませるために選別する選別装置において、
ウェブページの受信者によって該付加価値に対して設定された閾値を記憶する閾値記憶手段と、
送信者側から送られるウェブページに添付された付加価値が該閾値記憶手段に記憶されている閾値以上である時、該ウェブページの到着を受信者に通知するウェブページ到着通知手段とを備えることを特徴とする付加価値添付ウェブページ選別装置。
【請求項７】
Ｅ−メールを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付Ｅ−メールを受信者に読ませるために選別する選別方法において、
Ｅ−メールの受信者によって該付加価値に対して設定された閾値を記憶し、
送信者側から送られたＥ−メールに添付された付加価値が該記憶されている閾値以上である時、該Ｅ−メールの到着を受信者に通知することを特徴とする付加価値添付Ｅ−メール選別方法。
【請求項８】
Ｅ−メールを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付Ｅ−メールを受信者に読ませるために選別する計算機で使用される記憶媒体において、
Ｅ−メールの受信者によって該付加価値に対して設定された閾値を記憶するステップと、
送信者側から送られたＥ−メールに添付された付加価値が該記憶されている閾値以上である時、該Ｅ−メールの到着を受信者に通知するステップとを計算機に実行させるためのプログラムを格納した計算機読み出し可能可搬型記憶媒体。
【請求項９】
Ｅ−メールを受信者が読んだ時点で受信者に対して有効となる付加価値が添付された付加価値添付Ｅ−メールを送受信するシステム内の計算機で使用されるプログラムにおいて、
Ｅ−メールの受信者によって該付加価値に対して設定され、Ｅ−メール送信者側に公開されるべき閾値の入力を受け取る手順と、
該受け取った閾値を記憶する手順とを計算機に実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月4日(2004.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】パケット転送装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークに接続され、
再生可能なデータ単位を示す識別子を含んだ、映像データ又は音声データの複数のパケットを受信可能な受信部と、
上記受信した複数のパケットを上記識別子毎に選択的に廃棄可能な選択伝送部と、
上記選択伝送部で廃棄されなかったパケットを送信可能な送信部と
を備えたパケット転送装置。
【請求項２】
映像または音声の再生における必要度を示す識別子を含んだ、映像データ又は音声データの複数のパケットを受信可能な受信部と、
上記受信した複数のパケットを上記識別子毎に選択的に廃棄可能な選択伝送部と、
上記選択伝送部で廃棄されなかったパケットを送信可能な送信部と
を備えたパケット転送装置。
【請求項３】
上記パケットに含まれる識別子は、該パケットがMPEGにおけるIピクチャの高周波成分データ又は低周波成分データ、Pピクチャの高周波成分データ又は低周波成分データ、もしくはBピクチャの高周波成分データまたは低周波成分データのいずれであるかを識別する識別子であることを特徴とする請求項２記載のパケット転送装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月7日(2004.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ついで、上述と同様の渦巻状電極群に溶接された負極集電体を溶接するとともに、渦巻状電極群の下面に正極集電体を溶接した後、この渦巻状電極群を鉄にニッケルメッキを施した有底筒状の外装缶（この場合、底面の外面は正極外部端子となる）内に挿入して収納する。この後、封口体３０の封口板３５の底面に負極集電体から延出する負極集電リードをスポット溶接し、外装缶の上方外周部に絞り加工を施して絞り部を形成した後、この絞り部の上に絶縁ガスケット３７を載置して、外装缶の開口部に封口体を装着する。ついで、外装缶の開口端縁を内方にカシメつけることによって電池を密封して、ニッケル−カドミウム蓄電池を作製する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
さらに、弾性体をゴム状弾性体とする変形例を図１０に示す。この図に示す封口体７０は、封口板７５と電極キャップ７６の間に、感圧導電性ゴム７１を内蔵する弁体８１とゴム状弾性体である弾性体８２とからなる圧力弁装置８０を備える。弁体８１は、弾性体８２の下端に連結される板材８３の下面に感圧導電性ゴム７１を固定しており、板材８３と筒体８４と耐アルカリ性ゴム板７４とで形成される空間内に感圧導電性ゴム７１を配設している。弁体８１は、弾性体８２を介して、封口板７５の開孔７５ａを閉塞するように配設される。ゴム状弾性体である弾性体８２は、例えば、接着して弁体８１と電極キャップ７６に固定して所定の位置に配置できる。感圧導電性ゴム７１に接続されたリード線７２は、電極キャップ７６の貫通孔７６ｂから電池外部に延出されており、感圧導電性ゴム７１で検出した圧力検出信号を出力している。この封口体７０も、封口板７５の周辺部７５ｂを折り曲げてカシメ付けることにより、封口板５５と電極キャップ５６とを連結している。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月18日(2005.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性を有し電解液を保持するセパレータに挟まれた第１の活物質層と第１の集電体とを備えた第１の電極の端部は第１の集電端子に接続され、電解液を保持する接着層に挟まれた第２の活物質層と第２の集電体とを備えた第２の電極の端部は第２の集電端子に接続され、前記第１の電極と前記第２の電極とを巻き込み、前記第１の電極を挟むセパレータと前記第２の電極とを、前記第２の電極を挟む接着層を介して一体化する電池であって、
前記第１の電極、あるいは第２の電極を巻き込む中心部には、前記第１の電極の第１の集電端子と、この第１の電極の第１の集電端子に半周遅れた位置に前記第２の電極の第２の集電端子とが配置されており、前記巻き込む中心部の前記第２の電極の端部は前記第２の集電体の露出した部位を有し、この露出した部位が折曲部を構成することを特徴とする電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる第１の電池は、絶縁性を有し電解液を保持するセパレータに挟まれた第１の活物質層と第１の集電体とを備えた第１の電極の端部は第１の集電端子に接続され、電解液を保持する接着層に挟まれた第２の活物質層と第２の集電体とを備えた第２の電極の端部は第２の集電端子に接続され、前記第１の電極と前記第２の電極とを巻き込み、前記第１の電極を挟むセパレータと前記第２の電極とを、前記第２の電極を挟む接着層を介して一体化する電池であって、前記第１の電極、あるいは第２の電極を巻き込む中心部には、前記第１の電極の第１の集電端子と、この第１の電極の第１の集電端子に半周遅れた位置に前記第２の電極の第２の集電端子とが配置されており、前記巻き込む中心部の前記第２の電極の端部は前記第２の集電体の露出した部位を有し、この露出した部位が折曲部を構成したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る電池は、絶縁性を有し電解液を保持するセパレータに挟まれた第１の活物質層と第１の集電体とを備えた第１の電極の端部は第１の集電端子に接続され、電解液を保持する接着層に挟まれた第２の活物質層と第２の集電体とを備えた第２の電極の端部は第２の集電端子に接続され、前記第１の電極と前記第２の電極とを巻き込み、前記第１の電極を挟むセパレータと前記第２の電極とを、前記第２の電極を挟む接着層を介して一体化する電池であって、前記第１の電極、あるいは第２の電極を巻き込む中心部には、前記第１の電極の第１の集電端子と、この第１の電極の第１の集電端子に半周遅れた位置に前記第２の電極の第２の集電端子とが配置されており、前記巻き込む中心部の前記第２の電極の端部は前記第２の集電体の露出した部位を有し、この露出した部位が折曲部を構成する構造としたので、巻芯に接着剤が付着するのを防止して電池の生産性及び信頼性、エネルギー密度を向上させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月8日(2005.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ニオブまたはタンタル粉末およびその製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニオブまたはタンタルの一次粒子が凝集した凝集粒からなり、水銀圧入法で測定した空孔分布が１〜２０μｍの範囲内にピークを有することを特徴とするニオブまたはタンタル粉末。
【請求項２】
５０〜１００００ｐｐｍの窒素を含有することを特徴とする請求項１に記載のニオブまたはタンタル粉末。
【請求項３】
リンまたはホウ素の少なくとも一方を含有し、それぞれの含有量が１０〜５００ｐｐｍであることを特徴とする請求項１または２に記載のニオブまたはタンタル粉末。
【請求項４】
ニオブまたはタンタルの一次粒子に、熱分解性または熱昇華性であって、粒状、フィルム状、箔状、フレーク状、繊維状のうちの少なくとも１種の形状を有する空孔形成材を添加し、ついで熱処理して空孔形成材を除去するとともに凝集粒を形成することを特徴とするニオブまたはタンタル粉末の製造方法。
【請求項５】
ニオブまたはタンタルの一次粒子に、酸溶解性であって、粒状、フィルム状、箔状、フレーク状、繊維状のうちの少なくとも１種の形状を有する空孔形成材を添加し、ついで熱処理および酸処理して、空孔形成材を除去するとともに凝集粒を形成することを特徴とするニオブまたはタンタル粉末の製造方法。
【請求項６】
空孔形成材が、マグネシウム、マグネシウム水素化物、カルシウム、カルシウム水素化物、アルミニウムのうちの少なくとも１種であることを特徴とする請求項５に記載のニオブまたはタンタル粉末の製造方法。
【請求項７】
空孔形成材が、プラスチックポリマーおよび／または有機バインダーであることを特徴とする請求項４に記載のニオブまたはタンタル粉末の製造方法。
【請求項８】
空孔形成材が、直径２〜６μｍの粒、厚さ１〜２０μｍのフィルムまたは箔、直径１〜２０μｍで長さ１００μｍ〜１ｃｍの繊維のうちの少なくとも１種であることを特徴とする請求項４ないし７のいずれかに記載のニオブまたはタンタル粉末の製造方法。
【請求項９】
空孔形成材の添加量が、ニオブまたはタンタルに対して少なくとも３体積％以上であることを特徴とする請求項４ないし８のいずれかに記載のニオブまたはタンタル粉末の製造方法。
【請求項１０】
空孔率が６０体積％以上であり、水銀圧入法で測定した空孔分布が０．０８〜０．５μｍの範囲内と１〜２０μｍの範囲内にそれぞれピークを有し、さらに、全空孔容積のうちの５体積％以上が１〜２０μｍの空孔径を有する空孔であることを特徴とするニオブまたはタンタルの多孔質成形体。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月17日(2004.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体集積回路装置の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハ保持器の底部に開口部を有し、前記開口部の内壁の中間部に屈筋部材からなるフレクサに固定された複数の開口部を有するサポート板と、前記サポート板の下に空間を有する弾性膜が固定され、上記弾性膜の固定部よりも下側において上記開口部の内壁の表面がフッ素樹脂で構成されたリテーナを有する前記ウエーハ保持器により、研磨定盤上の研磨パッドの上に配置された半導体ウエーハの側部及び裏面を覆い、上記開口部を通して上記弾性膜の空間に導入された流体によって上記弾性膜を膨らませ上記半導体ウエーハの裏面に上記研磨定盤に向かう方向の圧力を加え前記弾性膜の側面が前記リテーナの内面に接触した状態で上記研磨定盤と上記半導体ウエーハとを相対運動させ上記半導体ウエーハの表面を研磨することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項２】
上記フッ素樹脂で構成されたリテーナの内壁の表面には前記ウエーハ面に平行方向の複数の溝または垂直方向の複数の溝が設けられ、当該内壁表面に上記弾性膜の側面が接触した状態で上記半導体ウエーハの表面を研磨することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項３】
ウエーハ保持器の底部に開口部を有し、前記開口部の内壁の中間部に屈筋部材からなるフレクサに固定された複数の開口部を有するサポート板と、前記サポート板の下に空間を有する弾性膜が固定され、上記弾性膜の固定部よりも下側において上記開口部の内壁の表面に溝が設けられたリテーナを有する前記ウエーハ保持器により、研磨定盤上の研磨パッドの上に配置された半導体ウエーハの側部及び裏面を覆い、上記開口部を通して上記弾性膜の空間に導入された流体によって上記弾性膜を膨らませ上記半導体ウエーハの裏面に上記研磨定盤に向かう方向の圧力を加え前記弾性膜の側面が前記リテーナの内面に接触した状態で上記研磨定盤と上記半導体ウエーハとを相対運動させ上記半導体ウエーハの表面を研磨することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項４】
上記溝が設けられている上記リテーナの内壁の表面はフッ素樹脂で構成されていることを特徴とする請求項３記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項５】
上記溝は上記研磨定盤の主表面に沿った横方向に複数設けられていることを特徴とする請求項３記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項６】
上記溝は上記研磨定盤の主表面に直交する縦方向に複数設けられていることを特徴とする請求項３記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項７】
ウエーハ保持器の底部に開口部を有し、前記開口部の内壁の中間部に硬度の高い屈筋部材からなるフレクサに固定された複数の開口部を有するサポート板と、前記サポート板の下に空間を有する弾性膜が固定され、上記弾性膜の固定部よりも下側において上記開口部の内壁がフッ素樹脂で構成されたリテーナを有する前記ウエーハ保持器により、研磨定盤上の研磨パッドの上に配置された半導体ウエーハの側部及び裏面を覆い、上記開口部を通して上記弾性膜の上部の空間に流体を導入して上記弾性膜を膨張させ上記半導体ウエーハの裏面に上記研磨定盤に向かう方向の圧力を加え前記弾性膜の側面を前記リテーナの内面に接触しない状態で、実質的に砥粒を含まない研磨剤を用いて上記研磨定盤と上記半導体ウエーハとを相対運動させ上記半導体ウエーハの表面を研磨することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月25日(2004.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】化学機械研磨方法、化学機械研磨装置及び半導体ウエハ  
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜が堆積された基板の前記膜の全部あるいは一部をエッチング除去するエッチング工程と；
エッチング工程の後に、前記基板を化学機械研磨する工程とを備える；
化学機械研磨方法。
【請求項２】
膜が堆積された基板の前記膜をエッチングするエッチング機構と；
前記基板を化学機械研磨する化学機械研磨機構と；
前記基板を前記エッチング機構から前記化学機械研磨機構に搬送する搬送機構とを備える；
化学機械研磨装置。
【請求項３】
前記エッチング機構は、前記基板を保持し回転させる基板保持部と、前記膜に該膜をエッチングするエッチング液を供給するノズルとを有する、請求項２に記載の化学機械研磨装置。
【請求項４】
膜が堆積された半導体ウエハであって；
前記堆積された膜の一部をエッチング工程により除去し、
前記エッチング工程後に前記半導体ウエハを化学機械研磨することにより前記膜が除去された半導体ウエハ。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に、半導体素子を形成する半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板を含む被処理基板の主面の端部を選択的に研磨する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記被処理基板の主面の端部の研磨は、
該被処理基板に凹凸が形成される工程の後に行われることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記被処理基板に凹凸が発生する工程が、ドライエッチング工程であることを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記被処理基板の主面の端部の研磨は、
前記半導体基板、或いは該被処理基板に対して所定の処理を行うプロセス装置の汚染となる材料の成膜工程の後に行われることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【課題を解決するための手段】
［構成］
本発明は、上記目的を達成するために以下のように構成されている。  
本発明は、半導体基板に、半導体素子を形成する半導体装置の製造方法において、前記半導体基板を含む被処理基板の主面の端部を選択的に研磨する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月23日(2005.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１波長の光を出力する発光素子と、前記第１波長の光により励起され、第２波長の光を出力する蛍光体とを具備し、前記蛍光体は、板状又はフィルム状であり、かつ、塩化ビニル、樹脂、テフロン及びポリプロピレンを含む弾性又は延性を持つ材料から構成されることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記蛍光体は、ＹＡＧ蛍光体を含む１つ以上の蛍光体の集合から構成されていることを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項３】
前記第１及び第２波長の光は、共に、可視光であることを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項４】
前記第１波長の光は、紫外光であり、前記第２波長の光は、可視光であることを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項５】
前記合成光は、白色光であることを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項６】
側面が反射板となる凹部を有するパッケージと、前記パッケージの凹部内に搭載される半導体発光素子と、前記半導体発光素子上において前記凹部を覆うように配置されるフィルム状又は板状の蛍光体とを具備し、前記半導体発光素子から出力される光と前記蛍光体から出力される光の合成光を放射することを特徴とする発光装置。
【請求項７】
凹部を形成する第１及び第２リードと、前記凹部の側面を形成する反射板と、前記凹部内において前記第１及び第２リードに跨って配置される半導体発光素子と、前記半導体発光素子上において前記凹部を覆うように配置されるフィルム状又は板状の蛍光体と、前記第１及び第２リードの一部並びに前記蛍光体を覆う樹脂とを具備し、前記半導体発光素子から出力される光と前記蛍光体から出力される光の合成光を放射することを特徴とする発光装置。
【請求項８】
不可視光によって励起され、可視光を出力する蛍光体を有する表示体と、前記表示体に向けて前記不可視光を放射する光源とを具備し、前記光源は、半導体発光素子により構成されていることを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項９】
不可視光によって励起され、可視光を出力するフィルム状又は板状の蛍光体と、前記蛍光体の表示面の裏側となる裏面に配置され、前記蛍光体に向けて前記不可視光を放射する半導体発光素子からなる光源とを具備することを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項１０】
前記光源は、規則的に配置される複数のＬＥＤランプから構成されることを特徴とする請求項８又は９記載の蛍光表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月8日(2004.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱電気品を一側面に取り付け、他側面にヒートパイプの受熱部を取り付けた冷却ブロックを備え、前記ヒートパイプの放熱部に間隔をとって複数枚の第一の放熱フィンを備えた発熱電気品の冷却装置において、
前記第一の放熱フィン間に第一の放熱フィンよりも表面積の小さな第二の放熱フィンを設け、前記第二の放熱フィンは、走行風と垂直になる方向の長さを第一の放熱フィンより短くしたことを特徴とする車両用発熱電気品の冷却装置。
【請求項２】
前記第二の放熱フィンは、前記第一の放熱フィンの設けられている範囲内の一部に設けることを特徴とする請求項１記載の車両用発熱電気品の冷却装置。
【請求項３】
前記第二の放熱フィンは、前記第一の放熱フィン間に複数、及び／又は複数種類設けることを特徴とする請求項１又は２記載の車両用発熱電気品の冷却装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【発明の効果】
本発明の車両用電気品の冷却装置は、自冷・空冷に対してより高効率に放熱するために第二の（小形）放熱フィンを挿入することでより、高密度なフィン実装とし、外形として従来構成よりコンパクトにすることが可能である。
また、それに伴い冷却ブロック、ヒートパイプ等もフィンの高密度化により、縮小可能となり、軽量化、コスト低減を図ることができる。
また、放熱効率によって依存される冷却ブロック上の電気品実装が、熱抵抗値の改善により高密度実装が可能となり、電気品回路の回路長の縮小化を図ることができる。