【手続補正書】
【提出日】平成16年3月30日(2004.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロエレクトロニクス基板を洗浄するための洗浄組成物であって：
重量で約０.０５％ないし３０％の、非求核性、正荷電対イオンを含有する１種またはそれ以上の非アンモニウム産生強塩基；
重量で約０.５ないし約９９.９５％の、１種またはそれ以上の腐食阻害溶媒化合物、該腐食阻害溶媒化合物は、金属と錯体形成できる少なくとも２つの部位を有する；
重量で約０ないし約９９.４５％の、水または他の有機共溶媒；
重量で約０ないし４０％の立体障害アミンまたはアルカノールアミン；
重量で約０ないし４０％の有機または無機酸；
重量で約０ないし４０％の他の金属腐食阻害化合物；
重量で約０ないし５％の界面活性剤；
重量で約０ないし１０％の金属イオン不含珪酸塩化合物；
重量で約０ないし５％の金属キレート剤；および
重量で約０ないし１０％のフッ化化合物
を含む、洗浄組成物。
【請求項２】
非アンモニウム産生強塩基がテトラアルキルアンモニウム水酸化物またはその塩である、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項３】
テトラアルキルアンモニウム水酸化物または塩が、式：
［（Ｒ）４Ｎ＋］ｐ［Ｘ−ｑ］
式中、各Ｒは、独立して置換または非置換アルキル基であり；ＸはＯＨまたは塩陰イオンであり；そしてｐおよびｑは等しく、１ないし３の整数である、
の化合物である、請求項２に記載の洗浄組成物。
【請求項４】
Ｒが炭素数１ないし２２のアルキル基であり、ＸがＯＨである、請求項３に記載の洗浄組成物。
【請求項５】
Ｒが炭素数１ないし６のアルキル基である、請求項４に記載の洗浄組成物。
【請求項６】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項７】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項２に記載の洗浄組成物。
【請求項８】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項３に記載の洗浄組成物。
【請求項９】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項４に記載の洗浄組成物。
【請求項１０】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項５に記載の洗浄組成物。
【請求項１１】
ＲないしＲ５の定義において、アルキル基が炭素数１ないし６であり、アリール基が炭素数３ないし１４である、請求項１０に記載の洗浄組成物。
【請求項１２】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項１３】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項２に記載の洗浄組成物。
【請求項１４】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項３に記載の洗浄組成物。
【請求項１５】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項４に記載の洗浄組成物。
【請求項１６】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項５に記載の洗浄組成物。
【請求項１７】
水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される他の有機共溶媒を含む、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項１８】
水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される他の共溶媒を含む、請求項６に記載の洗浄組成物。
【請求項１９】
水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される他の有機共溶媒を含む、請求項１１に記載の洗浄組成物。
【請求項２０】
水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される他の有機共溶媒を含む、請求項１６に記載の洗浄組成物。
【請求項２１】
テトラメチルアンモニウム水酸化物、トリエタノールアミン、トランス−１,２−シクロヘキサンジアミンテトラ酢酸、スルホランおよび水を含む、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項２２】
テトラメチルアンモニウム水酸化物、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノンおよび水を含む、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項２３】
テトラメチルアンモニウム水酸化物、ジメチルスルホキシド、トリエタノールアミンおよび水を含む、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項２４】
テトラメチルアンモニウム水酸化物、トリエタノールアミン、エチレングリコール、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）および水を含む、請求項１に記載の洗浄組成物。
【請求項２５】
多孔性誘電体、低κまたは高κの誘電体および銅金属被覆の少なくとも１つを有するマイクロエレクトロニクス基板の洗浄方法であって、該方法が、基板を洗浄するのに十分な時間、基板を洗浄組成物と接触させることを含み、洗浄組成物が、
重量で約０.０５％ないし３０％の、非求核性、正荷電対イオンを含有する１種またはそれ以上の非アンモニウム産生強塩基；
重量で約０.５ないし約９９.９５％の、１種またはそれ以上の腐食阻害溶媒化合物、該腐食阻害溶媒化合物は、金属と錯体形成できる少なくとも２つの部位を有する；
重量で約０ないし約９９.４５％の、水または他の有機共溶媒；
重量で約０ないし４０％の立体障害アミンまたはアルカノールアミン；
重量で約０ないし４０％の有機または無機酸；
重量で約０ないし４０％の他の金属腐食阻害化合物；
重量で約０ないし５％の界面活性剤；
重量で約０ないし１０％の金属イオン不含珪酸塩化合物；
重量で約０ないし５％の金属キレート剤；および
重量で約０ないし１０％のフッ化化合物
を含むものである、方法。
【請求項２６】
非アンモニウム産生強塩基がテトラアルキルアンモニウム水酸化物またはその塩である、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
テトラアルキルアンモニウム水酸化物または塩が、式：
［（Ｒ）４Ｎ＋］ｐ［Ｘ−ｑ］
式中、各Ｒは、独立して置換または非置換アルキル基であり；ＸはＯＨまたは塩陰イオンであり；そしてｐおよびｑは等しく、１ないし３の整数である、
の化合物である、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
Ｒが炭素数１ないし２２のアルキル基であり、ＸがＯＨまたは炭酸塩である、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
Ｒが炭素数１ないし６のアルキル基である、請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項２５に記載の方法。
【請求項３１】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項２６に記載の方法。
【請求項３２】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項２７に記載の方法。
【請求項３３】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項２８に記載の方法。
【請求項３４】
腐食阻害溶媒化合物が、式
Ｗ−（ＣＲ１Ｒ２）ｎ１−Ｘ−［（ＣＲ１Ｒ２）ｎ２−Ｙ］ｚ
または
Ｔ−［（ＣＲ３Ｒ４）ｍ−Ｚ］ｙ
式中、ＷおよびＹは、＝Ｏ、−ＯＲ、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ、−Ｓ（Ｏ）−Ｒ、−ＳＲ、−Ｓ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２−Ｒ、−Ｓ（Ｏ）２、−Ｎ、−ＮＨ−Ｒ、−ＮＲ１Ｒ２、−Ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ、−ＮＲ１−Ｃ（Ｏ）−Ｒ２、−Ｐ（Ｏ）、−Ｐ（Ｏ）−ＯＲおよび−Ｐ（Ｏ）−（ＯＲ）２からなる群から各々独立して選択され；Ｘは、アルキレン、シクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレン、アリーレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンからなる群から選択され；各Ｒ、Ｒ１およびＲ２は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｎ１およびｎ２の各々は、独立して０ないし６の整数であり；そして、Ｘがアルキレン、シクロアルキレンまたはアリーレンであるとき、ｚは１ないし６の整数であり；ＸがＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキレンまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリーレンであるとき、ｚは０ないし５の整数であり；Ｔは、−Ｏ、−Ｓ、−Ｎおよび−Ｐからなる群から選択され；Ｚは、水素、−ＯＲ５、−Ｎ（Ｒ５）２および−ＳＲ５からなる群から選択され；Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の各々は、水素、アルキル、シクロアルキルまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するシクロアルキル、およびアリールまたはＯ、Ｓ、ＮおよびＰ原子から選択される１つまたはそれ以上のヘテロ原子を含有するアリールからなる群から各々独立して選択され；ｍは０ないし６の整数であり、そしてｙは１ないし６の整数である、
から選択される化合物である、請求項２９に記載の方法。
【請求項３５】
ＲないしＲ５の定義において、アルキル基が炭素数１ないし６であり、アリール基が炭素数３ないし１４である、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項２５に記載の方法。
【請求項３７】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項２６に記載の方法。
【請求項３８】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項２７に記載の方法。
【請求項３９】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項２８に記載の方法。
【請求項４０】
腐食阻害溶媒が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ,Ｎ−ジメチルエタノールアミン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（メチルアミノ）エタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）−エタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アセトアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）スクシンイミドおよび３−（ジエチルアミノ）−１,２−プロパンジオールからなる群から選択される、請求項２９に記載の方法。
【請求項４１】
洗浄組成物が、水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される少なくとも１種の他の有機共溶媒を含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項４２】
洗浄組成物が、水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される少なくとも１種の他の共溶媒を含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項４３】
洗浄組成物が、水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される少なくとも１種の他の有機共溶媒を含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項４４】
洗浄組成物が、水または、ジメチルスルホキシド、スルホランおよびジメチルピペリドンからなる群から選択される少なくとも１種の他の有機共溶媒を含む、請求項４０に記載の方法。
【請求項４５】
洗浄組成物が、テトラメチルアンモニウム水酸化物、トリエタノールアミン、トランス−１,２−シクロヘキサンジアミンテトラ酢酸、スルホランおよび水を含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項４６】
洗浄組成物が、テトラメチルアンモニウム水酸化物、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノンおよび水を含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項４７】
テトラメチルアンモニウム水酸化物、ジメチルスルホキシド、トリエタノールアミンおよび水を含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項４８】
洗浄組成物が、テトラメチルアンモニウム水酸化物、トリエタノールアミン、エチレングリコール、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）および水を含む、請求項２５に記載の方法。