【手続補正書】
【提出日】平成17年3月24日(2005.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して所定の分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理フィルタを備え、
前記分布関数は、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定され、
前記信号処理フィルタは、前記ディジタル信号値に対して成分ごとに前記分布関数を乗算することにより成分ごとのフィルタ出力値を得るフィルタ演算実行部を有する
ことを特徴とする信号処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して所定の分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理方法であって、
前記分布関数は、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定され、
前記ディジタル信号値の各信号値に対する重み因子を算出する重み因子算出工程と、
前記ディジタル信号に対して、成分ごとに前記重み因子算出工程にて算出された重み因子と前記分布関数とに関する積和演算を実行するフィルタ演算実行工程とを備えている
ことを特徴とする信号処理方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定された分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータに、
前記ディジタル信号値の各信号値に対する重み因子を算出する重み因子算出工程と、
前記ディジタル信号に対して、成分ごとに前記分布関数と前記重み因子算出工程にて算出された重み因子とに関する積和演算を実行するフィルタ演算実行工程と、
を実行させることを特徴とした信号処理プログラム。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定された分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータに、
前記ディジタル信号値の各信号値に対する重み因子を算出する重み因子算出工程と、
前記ディジタル信号に対して、成分ごとに前記分布関数と前記重み因子算出工程にて算出された重み因子とに関する積和演算を実行するフィルタ演算実行工程と、
を実行させる信号処理プログラムを記録したコンピュータ読み出し可能な記録媒体。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
ここで、Δｘはｘ軸に沿ったサンプリングピッチであり、λcはカットオフ波長である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の信号処理装置は、所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して所定の分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理フィルタを備え、前記分布関数は、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定され、前記信号処理フィルタは、前記ディジタル信号値に対して成分ごとに前記分布関数を乗算することにより成分ごとのフィルタ出力値を得るフィルタ演算実行部を有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このような構成によれば、所定次元のディジタル信号値、例えば二次元、三次元のディジタル信号値に対して成分ごとに信号処理が行われる。この信号処理において、フィルタ演算実行部は、入力されたディジタル信号に分布関数を乗算して線形に足し合わせてフィルタ出力値を得る。ここで、分布関数が、ディジタル信号を抽出する経路に沿ったサンプリングピッチおよびカットオフ波長で規定されている。つまり、分布関数がディジタル信号の抽出経路に沿って移動しながらディジタル信号の積和演算が行われる。その結果、信号を抽出する経路に従った忠実な信号処理が行われる。
このようにサンプリング経路に沿った分布関数でディジタル信号の成分ごとに信号処理を行うことにより、一次元時系列データのみならず、二次元、三次元のディジタルデータについても適切に信号処理を行うことができる。その結果、例えば、被測定物表面の形状データについて信号処理を行う場合でも、測定経路に沿った形状解析を行うことができるので、形状の変化点をより正確に捉えるなど形状解析の精度を向上させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項７に記載の信号処理方法は、所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して所定の分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理方法であって、前記分布関数は、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定され、前記ディジタル信号値の各信号値に対する重み因子を算出する重み因子算出工程と、前記ディジタル信号に対して、成分ごとに前記重み因子算出工程にて算出された重み因子と前記分布関数とに関する積和演算を実行するフィルタ演算実行工程とを備えていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項１０に記載の信号処理プログラムは、所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定された分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータに、前記ディジタル信号値の各信号値に対する重み因子を算出する重み因子算出工程と、前記ディジタル信号に対して、成分ごとに前記分布関数と前記重み因子算出工程にて算出された重み因子とに関する積和演算を実行するフィルタ演算実行工程と、を実行させることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
請求項１１に記載の記録媒体は、所定の経路に沿って測定された所定次元のディジタル信号値に対して、前記所定の経路に沿ったサンプリングピッチおよび前記所定の経路に沿ったカットオフ波長によって規定された分布関数に関する積和演算により信号処理を行う信号処理装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータに、前記ディジタル信号値の各信号値に対する重み因子を算出する重み因子算出工程と、前記ディジタル信号に対して、成分ごとに前記分布関数と前記重み因子算出工程にて算出された重み因子とに関する積和演算を実行するフィルタ演算実行工程と、を実行させる信号処理プログラムを記録したことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ガウス分布関数は、第１実施形態と同様に、測定経路に沿ったサンプリングピッチΔｌおよび測定経路に沿ったカットオフ波長λ'cを用いて式（４）と同様に表される。
このような変形例１によれば、第１実施形態の効果と同様の効果を奏することができる。すなわち、測定データが三次元データである場合についてもガウシアン回帰処理によって適切なフィルタ処理を施すことができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
なお、ガウス分布関数s'ikは、測定経路に沿ったサンプリングピッチΔｌと測定経路に沿ったカットオフ波長λ'cとにより式（４）と同様に表される。ただし、次の式で規格化される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
また、ガウス分布関数s'ikは、第１実施形態と同様に、測定経路に沿ったサンプリングピッチΔｌおよび測定経路に沿ったカットオフ波長λ'cを用いて式（４）と同様に表される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
なお、本発明の信号処理装置、信号処理方法および測定機は、上記実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることはもちろんである。
例えば、演算処理部５２をＣＰＵ（中央処理装置）やメモリ（記憶装置）等を備えたコンピュータで構成して、フィルタ演算実行部５７や重み因子算出部５６、収束判定部５８としての各機能を実現させてもよい。この際、このコンピュータにフィルタ演算実行部５７や重み因子算出部５６、収束判定部５８として機能させるための信号処理プログラムをインターネット等の通信手段や、ＣＤ-ＲＯＭ,メモリカード等の記録媒体を介してインストールしてもよい。あるいは、記録媒体を読み取る機器を外付けで接続してもよい。このように、演算処理部５２をコンピュータで構成し、信号処理をソフト的に行う構成とすれば、所定のパラメータ、例えば、サンプリングピッチやカットオフ波長、収束条件などを適宜変更することが容易となる。