【手続補正書】
【提出日】平成16年9月30日(2004.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置及びその洗浄方法並びに情報記録媒体の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱した化学強化処理液に円盤状をなすガラス基板を浸漬して化学強化処理を施した後、当該ガラス基板の表面に付着した付着物を洗浄して除去するための情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置であって、
上面に開口部を有する略四角箱状をなし、内部には前記ガラス基板の表面に対する付着物の親和力を低減させる洗浄液が貯留され、同洗浄液にガラス基板を浸漬させた状態でその内部に収容するための洗浄槽と、当該洗浄槽の内底面上に配設され、洗浄槽内にガスを放出して貯留された洗浄液中に泡を発生させるためのガス供給管とを備え、前記洗浄液にガラス基板が浸漬された状態で洗浄液中に泡を発生させることにより、同泡が洗浄液中を移動して当該洗浄液を攪拌しながらガラス基板の表面に接触して付着物を除去するように構成することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄槽には洗浄液の流入口及び流出口をそれぞれ設け、これら流入口と流出口との間を循環配管で接続し、同循環配管にポンプを連結して洗浄槽内の洗浄液を流出口から吸い込み、循環配管を介して流入口から洗浄槽内に戻すように構成するとともに、当該循環配管にヒーターを連結し、同ヒーターで循環配管内を流れる洗浄液を加熱して洗浄槽内に戻すように構成することを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置。
【請求項３】
前記循環配管にはフィルターを連結し、同フィルターで洗浄槽内に戻される洗浄液中に存在する一定以上の粒径の微粒子を除去することを特徴とする請求項２に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置。
【請求項４】
前記泡の径は１〜４０ｍｍであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置を使用してガラス基板に洗浄処理を施すことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法。
【請求項６】
加熱した化学強化処理液に浸漬して化学強化処理を施した後の円盤状をなすガラス基板に対し、当該ガラス基板の表面に付着した付着物を洗浄して除去するための洗浄処理を施す情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法であって、
開口部を有し、内部には前記ガラス基板の表面に対する付着物の親和力を低減させる洗浄液が貯留され、同洗浄液にガラス基板を浸漬させた状態でその内部に収容するための洗浄槽と、当該洗浄槽内に配設され、洗浄槽内にガスを放出して貯留された洗浄液中に泡を発生させるためのガス供給孔とを備える洗浄装置を使用し、
前記洗浄液にガラス基板が浸漬された状態で洗浄液中に泡を発生させ、同泡が洗浄液中を移動して当該洗浄液を攪拌しながらガラス基板の表面に接触して付着物を除去するように洗浄処理を施すことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法における洗浄処理を含むことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の作製方法。
【請求項８】
円盤状をなすガラス基板を加熱した化学強化処理液に浸漬して同ガラス基板に化学強化処理を施す工程を含み、化学強化処理を施した後に洗浄処理を施すことを特徴とする請求項７に記載の情報記録媒体用ガラス基板の作製方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載の作製方法で得られた情報記録媒体用ガラス基板に少なくとも磁性層を設ける工程を含むことを特徴とする情報記録媒体の作製方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばハードディスク等のような情報記録装置の磁気記録媒体である磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク等といった情報記録媒体に用いられる情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置及びその洗浄方法並びに情報記録媒体の作製方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、洗浄槽内に貯留された洗浄液全体に付着物を均一に分散又は溶解させて十分な洗浄能力を維持することができ、付着物の再付着を抑制することができるとともに、一作業当たりの処理量の向上を図ることができる情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置及びその洗浄方法並びに情報記録媒体の作製方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明において、前記泡の径は１〜４０ｍｍであることを特徴とするものである。
請求項５に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法の発明は、請求項１から請求項４の何れか一項に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置を使用してガラス基板に洗浄処理を施すことを特徴とするものである。
請求項６に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法の発明は、加熱した化学強化処理液に浸漬して化学強化処理を施した後の円盤状をなすガラス基板に対し、当該ガラス基板の表面に付着した付着物を洗浄して除去するための洗浄処理を施す情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法であって、開口部を有し、内部には前記ガラス基板の表面に対する付着物の親和力を低減させる洗浄液が貯留され、同洗浄液にガラス基板を浸漬させた状態でその内部に収容するための洗浄槽と、当該洗浄槽内に配設され、洗浄槽内にガスを放出して貯留された洗浄液中に泡を発生させるためのガス供給孔とを備える洗浄装置を使用し、前記洗浄液にガラス基板が浸漬された状態で洗浄液中に泡を発生させ、同泡が洗浄液中を移動して当該洗浄液を攪拌しながらガラス基板の表面に接触して付着物を除去するように洗浄処理を施すことを特徴とするものである。
請求項７に記載の情報記録媒体用ガラス基板の作製方法の発明は、請求項５又は請求項６に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法における洗浄処理を含むことを特徴とするものである。
請求項８に記載の情報記録媒体用ガラス基板の作製方法の発明は、請求項７に記載の発明において、円盤状をなすガラス基板を加熱した化学強化処理液に浸漬して同ガラス基板に化学強化処理を施す工程を含み、化学強化処理を施した後に洗浄処理を施すことを特徴とするものである。
請求項９に記載の情報記録媒体の作製方法の発明は、請求項７又は請求項８に記載の作製方法で得られた情報記録媒体用ガラス基板に少なくとも磁性層を設ける工程を含むことを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
請求項４に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄装置の発明によれば、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明の効果に加えて、ガラス基板の損傷を抑制しつつ、付着物の除去及び水の攪拌をより良好に行うことができる。
請求項５に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法の発明によれば、洗浄槽内に貯留された洗浄液全体に付着物を均一に分散又は溶解させて十分な洗浄能力を維持することができ、付着物の再付着を抑制することができるとともに、一作業当たりの処理量の向上を図ることができる。
請求項６に記載の情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法の発明によれば、洗浄槽内に貯留された洗浄液全体に付着物を均一に分散又は溶解させて十分な洗浄能力を維持することができ、付着物の再付着を抑制することができるとともに、一作業当たりの処理量の向上を図ることができる。
請求項７に記載の情報記録媒体用ガラス基板の作製方法の発明によれば、情報記録媒体用ガラス基板の洗浄時において、洗浄槽内に貯留された洗浄液全体に付着物を均一に分散又は溶解させて十分な洗浄能力を維持することができ、付着物の再付着を抑制することができるとともに、一作業当たりの処理量の向上を図ることができる。
請求項８に記載の情報記録媒体用ガラス基板の作製方法の発明によれば、請求項７に記載の発明の効果に加えて、化学強化処理を施す際に付着する付着物を好適に除去することができる。
請求項９に記載の情報記録媒体の作製方法の発明によれば、好適な情報記録媒体を得ることができる。