(57)【要約】  ディスク（１０４）に情報を記録又は再生するヘッド（１２２）を搭載し、回転する前記ディスク（１０４）の表面から浮上可能であり、前記ディスク（１０４）に対向する浮上面（１２３）に、前記回転するディスク（１０４）によって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部（１２４ａ、１２５ａ、１２８ａ）を有するスライダ（１２１）において、前記浮上面（１２３）に、前記正圧部（１２４ａ、１２５ａ、１２８ａ）と同一の高さを有し、前記浮上面（１２３）における前記正圧部による正圧力の重心位置を識別する第１の識別部（１６０）を有することを特徴とするスライダ（１２１）を提供する。
2009031222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、前記回転するディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部を有するスライダにおいて、
前記浮上面に、前記正圧部と同一の高さを有し、前記浮上面における前記正圧部による正圧力の重心位置を識別する第１の識別部を有することを特徴とするスライダ。
【請求項２】
前記第１の識別部は、前記浮上面に垂直な方向から見ると円形形状を有することを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
【請求項３】
前記第１の識別部は、一又は複数のマークを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のスライダ。
【請求項４】
前記浮上力を低下させる負圧部を規定する壁部と、
前記浮上面に、前記壁部と同一の高さを有し、前記浮上面における前記負圧部による負圧力の重心位置を識別する第２の識別部と、を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載のスライダ。
【請求項５】
前記第２の識別部は、前記浮上面に垂直な方向から見ると円形形状を有することを特徴とする請求項４に記載のスライダ。
【請求項６】
前記第２の識別部は、一又は複数のマークを含むことを特徴とする請求項４又は５に記載のスライダ。
【請求項７】
ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、回転する前記ディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部を有するスライダを製造するステップと、
前記スライダを支持すると共に当該スライダに前記ディスクに向かって弾性力を加える突起を有するサスペンションに前記スライダを搭載するステップとを有し、
前記スライダ製造ステップは、前記正圧部と、前記浮上面における前記正圧部による正圧力の重心位置を識別する第１の識別部を同一のマスクを利用して形成するステップを有することを特徴とするサスペンションアッセンブリの製造方法。
【請求項８】
ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、回転する前記ディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部よりも前記ディスクに対して離れた位置に形成され、前記浮上力を低下させる負圧部を規定する壁部を有するスライダを製造するステップと、
前記スライダを支持すると共に当該スライダに前記ディスクに向かって弾性力を加える突起を有するサスペンションに前記スライダを搭載するステップとを有し、
前記スライダ製造ステップは、前記壁部と、前記浮上面における前記負圧部による負圧力の重心位置を識別する第２の識別部を同一のマスクを利用して形成するステップを有することを特徴とするサスペンションアッセンブリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、記憶装置に係り、特に、記録媒体としてのディスクに情報を記録又は再生を施すヘッドを搭載してディスク面上を浮上するスライダの浮上制御に関する。本発明は、例えば、ハードディスク装置（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｃ Ｄｒｉｖｅ：ＨＤＤ）におけるスライダに好適である。
【技術背景】
【０００２】
近年の電子機器の小型化と高性能化の要請に伴って小型のＨＤＤを安定して使用する需要が増加している。ＨＤＤにおいては（ヘッド）スライダがディスク面から浮上した状態でヘッドがディスクに記録再生を施す。ディスクが回転すると空気流が発生し、かかる空気流はスライダをディスク面から浮上させる浮力を生成する。一方、スライダを支持するサスペンションは突起を有し、スライダの浮力と対向する弾性力（加圧力又は荷重）を、突起を介してスライダに加える。従来のＨＤＤはかかる浮力（正圧）と弾性力との釣り合い（即ち、正圧＝荷重）により、スライダの浮上量を制御していた。
【０００３】
弾性力は一定であるのに対して正圧は空気の濃度、温度、湿度、粘性などの状態に敏感に変化するため、従来の構成では浮上量が安定しない虞がある。そこで、最近ではスライダに負圧部を設けて正圧＝負圧＋荷重となるように構成することが提案されている。負圧は正圧と同様に空気の性質によって変動し、その変動量は正圧の変動量と相殺する。この結果、空気の状態に影響されず浮上量を安定化することができるという利点がある。
【０００４】
正圧部と負圧部はそれぞれ異なるマスクにより、スライダの媒体対向面（「浮上面」ともいう。）に露光、エッチングなどの工程を経て形成される。従来はスライダをサスペンションの基準穴であるツーリングホールを基準として搭載していた。図１１（ａ）は、従来のスライダ１０のサスペンション１３０への搭載方法を示し、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の拡大平面図である。
【０００５】
図１１に示すように、サスペンション１３０のツーリングホール１３４の中心１３４ａはサスペンション１３０の長手方向の中心軸Ｃ上に配置される。スライダ１０をサスペンション１３０に搭載する際には、スライダ１０のツーリングホール１３４に最も近い辺１２とツーリングホール１３４の中心１３４ａまでの距離は距離Ａに設定される。また、スライダ１０の幅Ｂの中心を中心軸Ｃと一致させ、辺１２及び１４の垂直二等分線と中心軸Ｃとを一致させる。また、スライダ１０の浮上面１１の外形中心として、スライダ１０の浮上面１１の対角線Ｄ１及びＤ２の交点Ｖを考えることができる。
【０００６】
サスペンション１３０は、図１２に示すように、スライダ１０にディスクに向かって、即ち、Ｚ方向下向きに弾性力を加える突起１３２を有する。ここで、図１２（ａ）は、サスペンション１３０の上面図である。図１２（ｂ）は、サスペンション１３０の側面図である。上述のようにしてスライダ１０をサスペンション１３０に搭載すると、スライダ１０の浮上面１１の外形中心と、サスペンション１３０の突起１３２がスライダ１０と接触する加圧点ＣＰとがＺ方向に整列し、浮上姿勢が安定していた。
【０００７】
従来技術としては特許文献１がある。
【特許文献１】登録実用新案第２５７５９２６号公報
【発明の開示】
【０００８】
スライダは小型にされるにつれて浮上量や浮上姿勢に敏感になる。特に、マスクと浮上面との位置合わせ誤差から正圧部が本来の位置からずれると、ツーリングホールを利用してスライダの外形中心と加圧点とをＺ方向に整列させても、スライダの浮上姿勢が安定しなくなり、浮上安定性が損なわれる。
【０００９】
本発明は、スライダの浮上安定性を与えるスライダ、それを有するサスペンションアッセンブリ、並びに記憶装置に関する。
【００１０】
本発明の一側面としてのスライダは、ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、前記回転するディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部を有するスライダにおいて、前記浮上面に、前記正圧部と同一の高さを有し、前記浮上面における前記正圧部による正圧力の重心位置を識別する第１の識別部を有することを特徴とする。ここで、「浮上面における正圧部による正圧力の重心位置」は、サスペンションの加圧点に対応する浮上面の位置、即ち、スライダがサスペンションに搭載されて記憶装置に搭載されて駆動された場合に、第１の識別部が識別する位置は加圧点と鉛直方向に同一直線状に整列する点である。ある実施例では、サスペンションの加圧点に対応する浮上面の位置は、浮上面の外形中心であるが、別の実施例では浮上面の外形中心からオフセットされた位置である。
【００１１】
前記第１の識別部は、前記浮上面に垂直な方向から見ると円形形状を有していてもよい。予め円形形状であることが分かっていれば、第１の識別部の中心を見つけ易くなる。前記第１の識別部は、一又は複数のマークを含んでもよい。２つのマークを使用すれば各マークの中心又は重心を結んだ線分の中点を基準とすることができる。３つのマークを使用すれば各マークの中心又は重心を結んだ三角形の重心、内心、外心などを基準とすることができる。また、冗長性により位置検出の信頼性を確保することができる。前記スライダは、前記浮上力を低下させる負圧部を規定する壁部と、前記浮上面に、前記壁部と同一の高さを有し、前記浮上面における前記負圧部による負圧力の重心位置を識別する第２の識別部と、を更に有してもよい。第２の識別部を設けることにより、第１の識別部が識別する正圧力の重心位置だけでなく、負圧力の重心位置も識別可能となるため、これらを考慮することにより、第１の識別部のみを設けたスライダよりも安定した浮上量を得ることが可能となる。
【００１２】
本発明の別の側面としてのスライダは、ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、前記回転するディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部よりも前記ディスクに対して離れた位置に形成され、前記浮上力を低下させる負圧部を規定する壁部を有するスライダにおいて、前記浮上面に、前記壁部と同一の高さを有し、前記浮上面における前記負圧部の位置を識別する第２の識別部を設けたことを特徴とする。第２の識別部を設けることにより、負圧部を規定する壁部がずれて形成された場合でも、その壁部を識別できるため負圧部の位置を識別することが可能となる。前記第２の識別部は、前記浮上面に垂直な方向から見ると円形形状を有していてもよい。前記第２の識別部は、一又は複数のマークを含んでもよい。
【００１３】
上述のスライダと、前記スライダを支持すると共に前記スライダをディスクに向かって弾性力を加える突起を有するサスペンションとを有することを特徴とするサスペンションアッセンブリも本発明の一側面を構成する。
【００１４】
また、かかるサスペンションアッセンブリを有することを特徴とする記憶装置も本発明の一側面を構成する。この場合、前記第１の識別部によって識別される浮上面の位置と、前記突起が前記スライダと接触する加圧点の両方が、鉛直方向に平行な同一直線上にあるように設定することが好ましい。これによって、正圧部を形成する際のマスクの位置合わせ誤差の影響を相殺することができる。
【００１５】
上述のスライダと、前記スライダを支持すると共に前記スライダにディスクに向かって弾性力を加える突起を有するサスペンションとを有するサスペンションアッセンブリとを有し、前記第１の識別部によって識別される浮上面の位置と正圧力と、前記第２の識別部によって識別される浮上面の位置と負圧力とから算出されるモーメントの中心位置と、前記突起が前記スライダと接触する加圧点の両方が、鉛直方向に平行な同一直線上にあることを特徴とするサスペンションも本発明の一側面を構成する。これにより、正圧部や負圧部を形成する際のマスクの位置合わせ誤差の影響を相殺することができる。
【００１６】
本発明の別の側面としてのスライダの製造方法は、ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、前記回転するディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部を有するスライダの製造方法において、  前記正圧部と、前記浮上面における前記正圧部による正圧力の重心位置を識別する第１の識別部を同一のマスクを利用して形成するステップを有することを特徴とする。同様に、本発明の別の側面としてのサスペンションアッセンブリの製造方法は、かかるスライダを製造するステップと、前記スライダを支持すると共に当該スライダに前記ディスクに向かって弾性力を加える突起を有するサスペンションに前記スライダを搭載するステップとを有する。かかるスライダやサスペンションアッセンブリの製造方法においては、スライダの製造ステップが正圧部と第１の識別部とを同一のマスクを利用して形成することによって第１の識別部にマスクの位置合わせ誤差の影響を含ませることができる。
【００１７】
更に、本発明の別の側面としての記憶装置の製造方法は、かかるサスペンションアッセンブリを製造するステップと、当該サスペンションアッセンブリを筐体に搭載するステップとを有する。かかる記憶装置の製造方法においては、スライダの製造ステップが正圧部と第１の識別部とを同一のマスクを利用して形成することによって第１の識別部にマスクの位置合わせ誤差の影響を含ませることができる。また、前記スライダ搭載ステップは、前記第１の識別部によって識別される前記浮上面の位置と前記突起が前記スライダと接触する加圧点の両方が鉛直方向に平行な同一直線上になるように前記スライダを前記サスペンションに搭載することが好ましい。これによって、正圧部を形成する際のマスクの位置合わせ誤差の影響を相殺することができる。
【００１８】
本発明の別の側面としてのスライダの製造方法は、ディスクに情報を記録又は再生するヘッドを搭載し、回転する前記ディスクの表面から浮上可能であり、前記ディスクに対向する浮上面に、前記回転するディスクによって形成される空気流と協働して浮上力を生成する正圧部よりも前記ディスクに対して離れた位置に形成され、前記浮上力を低下させる負圧部を規定する壁部を有するスライダの製造方法において、前記壁部と、前記浮上面における前記負圧部による負圧力の重心位置を識別する第２の識別部を同一のマスクを利用して形成するステップを有することを特徴とする。同様に、本発明の別の側面としてのサスペンションアッセンブリの製造方法は、かかるスライダを製造するステップと、前記スライダを支持すると共に当該スライダに前記ディスクに向かって弾性力を加える突起を有するサスペンションに前記スライダを搭載するステップとを有する。かかるスライダやサスペンションアッセンブリの製造方法においては、スライダの製造ステップが壁部と第２の識別部とを同一のマスクを利用して形成することによって第２の識別部にマスクの位置合わせ誤差の影響を含ませることができる。
【００１９】
更に、本発明の別の側面としての記憶装置の製造方法は、かかるサスペンションアッセンブリを製造するステップと、当該サスペンションアッセンブリを筐体に搭載するステップとを有する。かかる記憶装置の製造方法においては、スライダの製造ステップが壁部と第２の識別部とを同一のマスクを利用して形成することによって第２の識別部にマスクの位置合わせ誤差の影響を含ませることができる。また、前記スライダ製造ステップは、前記正圧部と、前記浮上面における前記正圧部による正圧力の重心位置を識別する第１の識別部を同一のマスクを利用して形成するステップを更に有し、前記スライダ搭載ステップは、前記第１の識別部によって識別される浮上面の位置と正圧力と、前記第２の識別部によって識別される浮上面の位置と負圧力とから算出されるモーメントの中心位置と、前記突起が前記スライダと接触する加圧点の両方が、鉛直方向に平行な同一直線上になるように前記スライダを前記サスペンションに搭載することが好ましい。これにより、浮上面に正圧部や負圧部を形成する際のマスクの位置合わせ誤差の影響を相殺することができる。
【００２０】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例としてのハードディスク装置の内部構造を示す平面図である。
【図２】図１に示すハードディスク装置の磁気ヘッド部の拡大平面図である。
【図３】図２に示す磁気ヘッド部の変形例の拡大平面図である。
【図４】図２に示す磁気ヘッド部の別の変形例の拡大平面図である。
【図５】図２に示す磁気ヘッド部の別の変形例の拡大平面図である。
【図６】図３に示す磁気ヘッド部の別の変形例の拡大平面図である。
【図７】図４に示す磁気ヘッド部の別の変形例の拡大平面図である。
【図８】図１に示すハードディスク装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図９】図８に示すステップ１０１０の詳細を説明するためのフローチャートである。
【図１０】図９の各工程に対応した概略断面図である。
【図１１】図１１（ａ）は、従来のスライダのサスペンションへの搭載方法を示す平面図であり、図１１(ｂ)はず１１（ａ）の拡大平面図である。
【図１２】図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、図１１に示すサスペンションの上面図、側面図、底面図である。
【図１３】正圧力の重心位置と負圧力の重心位置がずれていた場合の補正方法を説明するための概略図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施例としてのＨＤＤ（記憶装置）１００について説明する。ＨＤＤ１００は、図１に示すように、筐体１０２内に、記録媒体としての一又は複数の磁気ディスク１０４と、ヘッドスタックアッセンブリ（Ｈｅａｄ Ｓｔａｃｋ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＨＳＡ）１１０と、スピンドルモータ１５０とを収納する。ここで，図１は、ＨＤＤ１００の内部構造の概略平面図である。【００２３】
筐体１０２は、例えば、アルミダイカストベースやステンレスなどから構成され、直方体形状を有し、内部空間を密閉する図示しないカバーが結合される。磁気ディスク１０４は高い面記録密度、例えば、１００Ｇｂ／ｉｎ２以上を有する。磁気ディスク１０４は、その中央に設けられた孔を介してスピンドルモータ１５０のスピンドルに装着される。【００２４】
ＨＳＡ１１０は、磁気ヘッド部１２０と、サスペンション１３０と、キャリッジ１４０とを有する。なお、磁気ヘッド部１２０とサスペンション１３０からなる部材をヘッドジンバルアッセンブリ（Ｈｅａｄ Ｇｉｍｂａｌ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＨＧＡ）と呼ぶ場合がある。本出願において、サスペンションアッセンブリは、磁気ヘッド部１２０とサスペンション１３０を含み、ＨＳＡやＨＧＡを含む概念である。【００２５】
磁気ヘッド部１２０は、図２に示すように、スライダ１２１とヘッド１２２とを備える。ここで、図２は、磁気ヘッド部１２０のスライダ１２１の浮上面１２３を示す平面図である。【００２６】
スライダ１２１は、略直方体に形成されるＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製であり、ヘッド１２２を支持して回転するディスク１０４の表面から浮上可能に構成されている。【００２７】
ヘッド１２２は、スライダ１２１の空気流出端ＯＥ近傍に搭載され、ディスク１０４に情報を記録すると共に情報を再生するリード／ライトヘッドである。ヘッド１２２は内蔵するＡｌ２Ｏ３（アルミナ）製のヘッド素子内蔵膜として形成される。本実施例のヘッド１２２は、例えば、図示しない導電コイルパターンで生起される磁界を利用して磁気ディスク１０４に２値情報を書き込む誘導書き込みヘッド素子（以下、「インダクティブヘッド素子」という。）と、磁気ディスク１０４から作用する磁界に応じて変化する抵抗に基づき２値情報を読み取る磁気抵抗効果（以下、「ＭＲ」という。）ヘッド素子とを有するＭＲインダクティブ複合ヘッドである。【００２８】
スライダ１２１及びヘッド１２２は、磁気ディスク１０４に対向する媒体対向面としての浮上面１２３を規定する。磁気ディスク１０４の回転に基づき生成される空気流ＡＦは浮上面１２３に受け止められる。【００２９】
スライダ１２１の浮上面１２３には、第１の正圧部１２４と、第２の正圧部１２５と、壁部１２６と、負圧部１２７と、第３の正圧部１２８と、壁部１２９とが形成される。スライダ１２１の浮上面１２３には、第１の識別部１６０、第２の識別部１６１が更に形成される。【００３０】
ここで、浮上面１２３において空気流入端ＩＥから空気流出端ＯＥまでの方向をＸ、Ｘ方向に直交する方向をＹ、Ｘ方向に沿った浮上面１２３の距離を長さＬ、Ｙ方向に沿った浮上面１２３の距離を幅Ｗとする。長さＬ及び幅Ｗは、より詳細には、浮上面１２３を図２のＸＹ平面のように浮上面１２３に平行な面に投射した距離であり、浮上面１２３上に形成される段差の影響を受けない。直線Ｓは、幅Ｗを半分にすると共にＸ方向に平行な直線である。【００３１】
対角線Ｄ１及びＤ２の交点Ｖは浮上面１２３の外形の中心である。浮上面１２３とは反対の図示しないスライダ１２１の面における点Ｖに対応する点又はこの点からオフセットされた点はサスペンション１３０の加圧点である。サスペンション１３０は、スライダ１２１にディスク１０４に向かって弾性力を加える突起１３２を有し、加圧点ＣＰは、突起１３２がスライダ１２１と接触する点である。なお、突起１３２と加圧点ＣＰは図１２に示すサスペンション１３０のものと同じである。【００３２】
本実施例では、スライダ１２１はロングフェムト（Ｌｏｎｇ Ｆｅｍｔｏ）型で長さＬ、幅Ｗ及び奥行きＨが、０．８５ｍｍ≦Ｌ≦１．８５ｍｍ、Ｗ＝０．７０ｍｍ、Ｈ＝０．２３ｍｍを有する。【００３３】
ロングフェムト型はフェムト型（０．８５ｍｍ×０．７０ｍｍ×０．２３ｍｍ）に比べて奥行き（スライダ１２１の長手方向）が長い。また、フェムト型はウェハから切り出すときに大きめのサイズを削ることによって形成するため、フェムト型からロングフェムト型に変更しても１枚のウェハから切り出すことができる個数はフェムト型と同数にすることができる。その一方、ピコ（Ｐｉｃｏ）型（１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍ）に比べて浮上面１２３の面積が半分に程度になっており、正圧量及び負圧量も大幅に減少し、浮上低下量も大きい。本実施例は高精度な浮上制御が要求されるロングフェムト型スライダに有効である。【００３４】
第１の正圧部１２４、第２の正圧部１２５及び第３の正圧部１２８は、いずれも、回転するディスク１０４によって形成される気流ＡＦと協働してスライダ１２１を浮上させる浮上力（正圧）を発生させる機能を有する。【００３５】
第１の正圧部１２４はスライダ１２１のピッチ角を規定する。第１の正圧部１２４は、直線Ｓに関して対称な略直方体形状を有する。第１の正圧部１２４は、正圧効果を発揮する空気軸受け面（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ：ＡＢＳ）部１２４ａとＡＢＳ部１２４ａによる浮力発生機能を高めるステップ部１２４ｂとを有する。ステップ部１２４ｂはＡＢＳ部１２４ａの空気流入端側に設けられる。【００３６】
ＡＢＳ部１２４ａは空気流入端ＩＥ近傍に直線Ｓに関して左右一対円形に形成されると共にステップ部１２４ｂの直後に直線Ｓに関してほぼ対称に矩形状に形成される。ステップ部１２４ｂは空気流入端ＩＥから直線Ｓに関してほぼ対称にＹ方向に亘って形成される。ＡＢＳ部１２４ａはステップ部１２４ｂよりも高さが高い。【００３７】
なお、ＡＢＳ部１２４ａと壁部１２６との間であって、直線Ｓに関して略対称な領域は負圧部１２７と同じ高さを有する。【００３８】
第２の正圧部１２５は、スライダ１２１のＹ方向のバランスを取る機能を有し、後述する直線Ｓに関して左右一対設けられる。かかる対はサイド島とも呼ばれる。第２の正圧部１２５は、正圧効果を発揮するＡＢＳ部１２５ａとＡＢＳ部１２５ａによる浮力発生機能を高めるステップ部１２５ｂとを有する。ステップ部１２５ｂはＡＢＳ部１２５ａの空気流入端側に設けられる。ＡＢＳ部１２５ａはＡＢＳ部１２４ａと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。ステップ部１２５ｂはステップ部１２４ｂと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。【００３９】
壁部１２６は、本実施例ではステップ部１２４ｂと同一の高さを有し、負圧部１２７を規定する。壁部１２６と第２の正圧部１２５のステップ部１２５ｂの境界は点線で示す境界線Ｊであるが、両者は同じ高さであり、同一プロセスで形成される。また、壁部１２６は、図２においてはＡＢＳ部１２４ａとも結合して略Ｙ字形状を有するが、図５乃至図７に示すように、ＡＢＳ部１２４ａと結合せずに略Ｕ字形状を有してもよい。ここで、図５乃至図７は、図２乃至図４に示す磁気ヘッド部１２０の変形例としての磁気ヘッド部１２０Ａの概略平面図である。より詳細には、図５と図２、図６と図３、図７と図４は、それぞれ正圧部と負圧部の形状のみが異なる。【００４０】
負圧部（キャビティ部）１２７は、空気流ＡＦと協働してスライダ１２１の浮上を低下させる機能を有し、壁部１２６と一対の第２の正圧部１２５の間に形成される。負圧部１２７は、空気流入側と側面を塞ぐことによって負圧を発生させる。負圧部１２７は、ステップ部１２４ａ及び壁部１２６よりも高さが低い。実際に負圧効果を発揮する負圧部１２７の実効領域は壁部１２６で規定されたＵ字部に近い領域である。従って、壁部１２６の位置が変化すると負圧部１２７の位置が変化することになる。【００４１】
第３の正圧部１２８は浮上量を得る機能を有し、ヘッド１２２に隣接してその空気流出端側に設けられる。第３の正圧部１２８は、正圧効果を発揮するＡＢＳ部１２８ａとＡＢＳ部１２８ａによる浮力発生機能を高めるステップ部１２８ｂとを有する。ステップ部１２８ｂはＡＢＳ部１２８ａの空気流入端側に設けられる。ＡＢＳ部１２８ａはＡＢＳ部１２４ａと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。ステップ部１２８ｂはステップ部１２４ｂと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。【００４２】
壁部１２９は、空気流出端ＯＥ近傍に直線Ｓに関して左右対称に設けられている。壁部１２９は壁部１２６と同じ高さを有し、スライダ１２１の直線Ｓに関する左右のバランスを取る機能を有する。【００４３】
第１の識別部１６０は浮上面１２３の位置を識別する。第１の識別部１６０は、浮上面１２３に形成され、正圧部、より詳細には、ＡＢＳ部１２４ａ、１２５ａ、１２８ａと同一の高さを有する。第１の識別部１６０が識別する浮上面１２３の位置は、正圧部のＡＢＳ部１２４ａ、１２５ａ、１２８ａによって発生する正圧力の中心又は重心位置（以下、単に「重心位置」と呼ぶ場合がある。）である。本実施例では設計時には、正圧力の重心位置は、浮上面１２３の外形中心Ｖの位置に設定されているため、後述する第１のマスク１６２の位置ずれがなければ正圧力の重心位置は外形中心である交点Ｖに一致する。【００４４】
第２の識別部１６１は壁部１２６によって主として規定される負圧部１２７を識別する。第２の識別部は浮上面１２３に形成され、正圧部のステップ部１２４ｂ、１２５ｂ、１２８ｂ、壁部１２６、１２９と同一の高さを有する。第２の識別部１６１が識別する負圧部１２７の位置は、主に壁部１２６によって発生する浮上面１２３上の負圧力の中心又は重心位置（以下、単に「重心位置」と呼ぶ場合がある。）である。スライダ１２１の浮上量をより安定させるためには、正圧力の正圧重心だけでなく、圧力としては小さい負圧力も考慮しなければいけない。本実施例では設計時には、負圧力の重心位置は、浮上面１２３の外形中心Ｖの位置に設定されているため、後述する第２のマスク１６４の位置ずれがなければ負圧力の重心位置は外形中心である交点Ｖに一致する。【００４５】
正圧部のＡＢＳ部１２４ａ、１２５ａ、１２８ａを形成する後述する第１のマスク１６２と、負圧部１２７を主として規定する壁部１２６を形成する後述する第２のマスク１６４の、それぞれ位置ずれが全くないと仮定する。この場合は、正圧力及び負圧力の重心位置は、浮上面１２３の外形の中心である交点Ｖに一致するため、図１１及び図１２に示す従来の方法でスライダ１２１をサスペンション１３０に搭載してもスライダ１２１の浮上姿勢は安定する。しかし、第１のマスク１６２に位置ずれがあると、正圧力の重心位置と交点Ｖがずれ、第２のマスク１６４に位置ずれがあると、負圧力の重心位置と交点Ｖがずれることになる。従って、従来方法のように単に交点Ｖを加圧点ＣＰに一致させたのでは、それが正圧、負圧の中心に一致せずにモーメントが発生してスライダ１２１の浮上姿勢が安定しない場合がある。【００４６】
第１の識別部１６０によって識別される正圧力の重心位置、第２の識別部１６１によって識別される負圧力の重心位置、サスペンション１３０の加圧点ＣＰの位置、これら３点の相対位置及び３つの力の大きさを考慮することでスライダ１２１の浮上量を安定されることが可能となる。なお、負圧力は正圧力に比較してその絶対値が小さいので、正圧力の重心位置のみを第１の識別部１６０によって把握する場合も本発明の範囲とする。この場合は、スライダ１２１がサスペンション１３０に搭載されてＨＤＤ１００に搭載されて駆動された場合に、第１の識別部１６０が識別する位置は加圧点ＣＰと鉛直方向に同一直線状に整列する。【００４７】
負圧部１２７は壁部１２６が主として規定するため、壁部１２６の位置を第２の識別部１６１が識別することにより、負圧部１２７の位置又は負圧力の重心位置を識別することができる。負圧部１２７のずれを考慮する場合は、負圧力の重心位置が正圧力の重心位置からずれている場合、ずれた距離及び正圧力、負圧力の力の比率に応じて、正圧力の重心位置からサスペンション１３０の加圧点ＣＰの位置を補正すればよい。【００４８】
例えば、正圧力が＋４．０ｇｆ、負圧力が−１．０ｇｆ、サスペンション１３０の加圧力が−３．０ｇｆ、正圧力の重心位置と負圧力の重心位置が５μｍずれた場合、図１３に示すように、５μｍ×（１ｇｆ／４ｇｆ）＝１．２５μｍだけ正圧力の重心位置から負圧力の重心位置の方向とは逆方向へサスペンション１３０の加圧点ＣＰの位置をずらすよう補正する。この位置はモーメントの中心位置であり、かかる補正することにより、スライダ１２１の浮上量、浮上姿勢をより安定させることができる。【００４９】
図２は、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を一つの円形のマークとして設けた磁気ヘッド部１２０の例を示す平面図である。このように、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を、浮上面１２３に垂直な方向から見ると円形形状を有することが予め分かっていれば、第１の識別部１６０の中心（又は重心）１６０ａ及び第２の識別部１６１の中心（又は重心）１６１ａを見つけ易くなる。図２では、第１の識別部１６０の中心１６０ａは正圧力の重心位置（第１のマスク１６２の位置ずれがなければ交点Ｖ）とＸ座標が一致し、第２の識別部１６１の中心１６１ａは負圧力の重心位置（第２のマスク１６４の位置ずれがなければ交点Ｖ）とＸ座標が一致している。【００５０】
図３は、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を一対の円形のマークとして設けた磁気ヘッド部１２０の例を示す平面図である。図４は、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を三つの円形のマークとして設けた磁気ヘッド部１２０の例を示す平面図である。【００５１】
このように、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を構成するマークの数は限定されない。２つのマークを使用すれば各マークの中心又は重心を結んだ線分の中点を基準とすることができる。３つのマークを使用すれば各マークの中心又は重心を結んだ三角形の重心、内心、外心などを基準とすることができる。また、冗長性により位置検出の信頼性を確保することができる。【００５２】
なお、図２に示すように、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を構成するマークの数が一つであれば、浮上面１２３の外形中心である交点Ｖ又はそれからオフセットした点にマークを形成することも考えられる。しかし、図２においては、その位置は負圧部１２７の中であるので負圧効果を妨げないように壁部１２６の外部に設けている。本実施例では、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１のマークの中心又は重心からそれぞれＸ方向及びＹ方向に所定距離だけ移動した位置を交点Ｖ又はそれからオフセットした点に設定している。特に、図２においては、第１及び第２の識別部１６０を直線Ｓに関して反対側に、かつ、幅方向に等距離に設けて浮上の直線Ｓに関する両側のバランスを維持している。【００５３】
もっとも、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１が負圧部１２７に設けることができないわけではなく、負圧部１２７に設けても負圧効果に与える影響が許容範囲であり、また、浮上姿勢を維持する上で負圧部１２７に設けることが好ましいと判断される場合には図４に示すように負圧部１２７に第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１を構成するマークの一部又は全部を設けてもよい。【００５４】
サスペンション１３０は、磁気ヘッド部１２０を支持すると共に磁気ヘッド部１２０に対して磁気ディスク１０４に抗して弾性力を加える突起１３２を有する。また、サスペンション１３０は磁気ヘッド部１２０を片持ち支持するフレキシャー（ジンバルばねその他の名称で呼ばれる場合もある）とベースプレートに接続されるロードビーム（ロードアームその他の名称で呼ばれる場合もある）とを有する。また、サスペンション１３０は磁気ヘッド部１２０にリード線などを介して接続される図示しない配線部も支持する。かかるリード線を介して、ヘッド１２２と配線部との間でセンス電流、書き込み情報及び読み出し情報が供給及び出力される。【００５５】
第１の識別部１６０によって識別される浮上面１２３の位置と、第２の識別部１６１によって識別される負圧部の位置と、突起１３２がスライダ１２１と接触する加圧点ＣＰのそれぞれが、鉛直方向に平行な同一直線上にある場合、正圧部を形成する際のマスクの位置合わせ誤差の影響を相殺することができる。なお、鉛直方向は、図２に示す紙面に垂直なＺ方向である。【００５６】
正圧部を形成する際のマスクとスライダ１２１の浮上面１２３との間に位置合わせ誤差があれば、正圧部がＸＹ方向にずれることになる。一方、従来は、図１１に示すように、寸法Ａ及びＢに基づいてスライダ１０をサスペンション１３０に一律に搭載していた。従って、図１１における加圧点ＣＰの位置は、マスクの位置合わせ誤差の有無に拘らず一定の位置である。換言すれば、加圧点ＣＰは、マスクの位置合わせ誤差がないものと仮定してスライダ１２１の浮上面１２３とは反対の面における、見かけの浮上面１２３の外形中心である交点Ｖ又はそれからオフセットした点を押圧している。このため、マスクの位置合わせ誤差が存在すれば、浮上姿勢やピッチ角が崩れたりして浮上安定性が損なわれる。【００５７】
そこで、本実施例では、加圧点ＣＰを見かけの浮上面１２３の外形中心である交点Ｖ又はそれからオフセットした点にＺ方向において整列させるのではなく、加圧点ＣＰを、交点Ｖ又はそれからオフセットした点が位置合わせ誤差によりずれた点にＺ方向において整列させている。そして、このずれた点を、第1の識別部１６０及び第２の識別部１６１を用いて識別している。後述するように、第１の識別部１６０は正圧部のＡＢＳ部を形成する際のマスク１６２と同一のマスクを用いて形成され、第２の識別部１６１は正圧部のステップ部及び壁部を形成する際のマスク１６４と同一のマスクを用いて形成されるので、ずれた点を精度良く識別することができる。【００５８】
キャリッジ１４０は、図示しないボイスコイルモータによって支軸１４４周りに揺動する。キャリッジ１４０は、アクチュエータ、断面がほぼＥ字形状であるためにＥブロック、若しくは、アクチュエータ（ＡＣ）ブロックとも呼ばれる。キャリッジ１４０の支持部はアーム１４２と呼ばれ、支軸１４４の周りに回転又は揺動可能に設けられるアルミニウム製の剛体である。キャリッジ１４０には、配線部に制御信号及びディスク１０４に記録されるべき信号並びに電力を供給すると共にディスク１０４から再生された信号を受信するフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）が更に設けられている。【００５９】
スピンドルモータ１５０は、例えば、１００００ｒｐｍなどの高速で磁気ディスク１０４を回転する。【００６０】
以下、図８を参照して、ＨＤＤ１００の製造方法について説明する。ここで、図８は、ＨＤＤ１００の製造方法を説明するためのフローチャートである。まず、スライダ１２１を製造する（ステップ１０１０）。次に、スライダ１２１をサスペンション１３０に搭載する(ステップ１０２０)。次に、ＨＳＡ１１０を筐体１０２に搭載する(ステップ１０３０)。なお、ステップ１０１０はスライダの製造方法として機能し、ステップ１０１０と１０２０はサスペンションアッセンブリの製造方法として機能する。【００６１】
ステップ１０１０の詳細を、図９及び図１０を参照して説明する。ここで、図９は、ステップ１０１０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１０は、図９に示す各ステップの状態を示す概略断面図である。【００６２】
まず、図１０（ａ）に示すように、スライダ１２１のベース１２１ａを作成する(ステップ１０１１)。次に、図１０（ｂ）に示すように、ベース１２１ａの浮上面１２３にレジストＲを塗布する(ステップ１０１２)。次に、図１０(ｃ)に示すように、ベース１２１ａの浮上面１２３を第１のマスク１６２を使用して露光する（ステップ１０１３）。第１のマスク１６２は、正圧部１２４、１２５及び１２８のＡＢＳ部１２４ａ、１２５ａ及び１２８ａと第１の識別部１６０を遮光部のパターンＰ１として有する。もちろんレジストＲの種類をポジ形からネガ形に変更すれば第１のマスク１６２の遮光部と光透過部を入れ替えてもよい。ステップ１０１３により、正圧部１２４、１２５及び１２８と、第１の識別部１６０を同一のマスク１６２を利用して形成することができる。【００６３】
次に、図１０(ｄ)に示すように、ベース１２１ａの浮上面１２３を第２のマスク１６４を使用して露光する（ステップ１０１４）。第２のマスク１６４は、正圧部１２４、１２５及び１２８のステップ部１２４ｂ、１２５ｂ、１２８ｂ、壁部１２６、１２９と、第２の識別部１６１を遮光部のパターンＰ２として有する。もちろんレジストＲの種類をポジ形からネガ形に変更すれば第２のマスク１６４の遮光部と光透過部を入れ替えてもよい。【００６４】
次に、ベース１２１ａを現像(ステップ１０１５)、エッチングして(ステップ１０１６)、図２乃至図７のいずれか一つに示すスライダ１２１を得る。【００６５】
ステップ１０３０は、圧力が小さい負圧部１２７の影響を無視する場合、第１の識別部１６０によって識別される浮上面１２３における正圧部による正圧力の重心位置と突起１３２がスライダ１２１と接触する加圧点ＣＰとの各点がＺ方向に平行な同一直線上になるようにスライダ１２１をサスペンション１３０に搭載する。負圧部１２７からの負圧の影響を考慮する場合は、上述したような第１の識別部１６０によって識別される浮上面１２３における正圧部による正圧力及びその重心位置、第２の識別部１６１によって識別される負圧部１２７による負圧力及びその重心位置から求めたモーメントの中心位置と突起１３２がスライダ１２１と接触する加圧点ＣＰとの各点がＺ方向に平行な同一直線上になるようにスライダ１２１をサスペンション１３０に搭載する。かかる搭載は、一又は複数のカメラを使用して加圧点ＣＰと第１の識別部１６０が識別する位置又は加圧点ＣＰとモーメントの中心位置とをＺ方向において一致させるようにすればよい。【００６６】
ＨＤＤ１００の動作において、スピンドルモータ１５０を駆動してディスク１０４を回転させる。ディスク１０４の回転に伴う空気流をスライダ１２１とディスク１０４との間に巻き込み微小な空気膜を形成する。かかる空気膜と第１乃至第３の正圧部１２４、１２５及び１２８により、スライダ１２１にはディスク面から浮上する浮力が作用する。一方、空気膜と負圧部１２７によりスライダ１２１には浮力を低下する負圧が発生する。また、サスペンション１３０はスライダ１２１の浮力と対向する方向に弾性押付力を突起１３２を介してスライダ１２１に加える。この結果、浮力（正圧）＝負圧＋弾性力の釣り合いが形成される。【００６７】
本実施例では、第１のマスク１６２のパターンを浮上面１２３上のレジストＲに露光する際に第１のマスク１６２と浮上面１２３との位置合わせに誤差が発生したり、第２のマスク１６４のパターンを浮上面１２３上のレジストＲに露光する際に第２のマスクと浮上面１２３との位置合わせに誤差が発生した場合であっても、第１の識別部１６０及び第２の識別部１６１が識別する位置に応じて加圧点ＣＰに対応する位置を補正することができるので浮上姿勢が崩れるなどがなく浮上が安定する。【００６８】
上述の釣り合いにより、磁気ヘッド部１２０とディスク１０４との間が一定距離だけ離間する。次に、キャリッジ１４０を支軸１４４回りに回動させ、ヘッドをディスク１０４の目的のトラック上にシークさせる。書き込み時には、インターフェースを介して図示しないＰＣなどの上位装置から得たデータを受信し、これを変調してインダクティブヘッドに供給し、インダクティブヘッドを介して目的のトラックにデータを書き込む。読み出し時には、ＭＲヘッドに所定のセンス電流が供給され、ＭＲヘッドはディスク１０４の所望のトラックから所望の情報を読み出す。【００６９】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。
【産業上の利用の可能性】
【００７０】
本発明によれば、異なる使用環境に対する動作安定性と経済性に優れたヘッド装置及びそれを有するディスク装置を提供することを提供することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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