【手続補正書】
【提出日】平成16年3月22日(2004.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、
所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、
前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、
前記圧電発振器の温度を測定し出力する温度検出手段と、
前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、
前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段と
を備えることを特徴とする圧電発振器の検査システム。
【請求項２】
前記判定手段は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、
前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と
前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、
前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電発振器の検査システム。
【請求項３】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、
所定の時点において所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、
前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、
前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、
前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段とを備える
ことを特徴とする圧電発振器の検査システム。
【請求項４】
前記判定手段は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時点における連続する３つの時間間隔において、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、
前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、
前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、
前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする請求項３に記載の圧電発振器の検査システム。
【請求項５】
前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電発振器の検査システム。
【請求項６】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、
所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、
前記圧電発振器の温度を測定する温度測定工程と、
前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、
前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程と
を備えることを特徴とする圧電発振器の検査方法。
【請求項７】
前記判定工程は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、
前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、
前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、
前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする請求項６に記載の圧電発振器の検査方法。
【請求項８】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、
所定の時点における所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、
前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、
前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程と
を備えることを特徴とする圧電発振器の検査方法。
【請求項９】
前記判定工程は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時点における連続する３つの時間間隔において、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、
前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、
前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、
前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする請求項８に記載の圧電発振器の検査方法。
【請求項１０】
前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器である
ことを特徴とする請求項６乃至請求項９のいずれか１項に記載の圧電発振器の検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の圧電発振器の検査システムは、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、前記圧電発振器の温度を測定し出力する温度検出手段と、前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記構成によれば、周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振器の良否を判定する判定手段を備えているので、周波数温度特性を近似する近似式の値と周波数偏差の実測値の差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定でき、その検出率を高めることができるという効果を有する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項６に記載の圧電発振器の検査方法は、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、前記圧電発振器の温度を測定する温度測定工程と、前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程とを備えることを特徴とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記構成によれば、周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振器の良否を判定する判定工程を備えているので、周波数温度特性を近似する近似式の値と実測値との差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定でき、その検出率をさらに高めることができるという効果を有する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項８に記載の圧電発振器の検査方法は、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、所定の時点における所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程とを備えることを特徴とする。