【手続補正書】
【提出日】平成17年8月26日(2005.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１次コイルを有する検査装置であって、
前記１次コイルと、素子基板が有する２次コイルとを、一定の間隔をもって重ね合わせる手段と、
前記１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電界の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
１次コイルを有する検査装置であって、
前記１次コイルと、素子基板が有する２次コイルとを、一定の間隔をもって重ね合わせる手段と、
前記１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電界の情報を収集する手段と、
前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、前記収集した情報が、ある一定の範囲外である回路素子を、欠陥と判断する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記電界の情報を収集する手段とは、電界の強さを測定する手段であることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３において、前記電界の強さを測定する手段とは、電気光学素子を備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記電気光学素子とは、ポッケルス・セルであることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
１次コイルを有する検査装置であって、
前記１次コイルと、素子基板が有する２次コイルとを、一定の間隔をもって重ね合わせる手段と、
前記１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項７】
１次コイルを有する検査装置であって、
前記１次コイルと、素子基板が有する２次コイルとを、一定の間隔をもって重ね合わせる手段と、
前記１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集する手段と、
前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、前記収集した情報が、ある一定の範囲外である回路素子を、欠陥と判断する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７において、前記電磁波の情報を収集する手段とは、電磁波の強さを測定する手段であることを特徴とする検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項において、
前記一定の間隔とは、前記１次コイルが形成された絶縁表面と、前記素子基板との間に気体または液体を流すことで制御していることを特徴とする検査装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項において、
前記１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記複数の２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電界の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１２】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記複数の２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電界の情報を収集する手段と、
前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、前記収集した情報が、ある一定の範囲外である回路素子を、欠陥と判断する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１３】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記素子基板が有する検査専用回路において生じる電界の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えており、
前記複数の２次コイルの出力は、その電圧の波形が整形されて、前記素子基板が有する複数の回路素子に入力され、前記複数の回路素子の出力は、前記検査専用回路に入力されることを特徴とする検査装置。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記検査専用回路は、
前記複数の回路素子の出力のレベルが全て同じであるとき第１のレベルの信号を出力し、前記複数の回路素子の出力のうち、少なくとも１つの出力のレベルが異なっているとき、前記第１のレベルの信号とは異なる第２のレベルの信号を出力する第１の手段と、
前記第１の手段からの出力を増幅する第２の手段と、
前記第２の手段からの出力を入力する端子とを有することを特徴とする検査装置。
【請求項１５】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記素子基板が有する検査専用回路に設けられた端子において生じる電界の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えており、
前記複数の２次コイルの出力は、その電圧の波形が整形されて、前記素子基板が有する複数の回路素子に入力され、前記複数の回路素子の出力は、前記検査専用回路に入力されており、
前記検査専用回路は、前記複数の回路素子の出力のレベルが全て同じであるとき第１のレベルの信号を出力し、前記複数の回路素子の出力のうち、少なくとも１つの出力のレベルが異なっているとき、前記第１のレベルの信号とは異なる第２のレベルの信号を出力する第１の手段と、前記第１の手段からの出力を増幅する第２の手段とを有し、
前記第２の手段からの出力は前記端子に入力されることを特徴とする検査装置。
【請求項１６】
請求項１１乃至請求項１５のいずれか１項において、前記電界の情報を収集する手段とは、電界の強さを測定する手段であることを特徴とする検査装置。
【請求項１７】
請求項１６において、前記電界の強さを測定する手段とは、電気光学素子を備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項１８】
請求項１７において、
前記電気光学素子とは、ポッケルス・セルであることを特徴とする検査装置。
【請求項１９】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記複数の２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２０】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記複数の２次コイルに接続された、前記素子基板が有する複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集する手段と、
前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、前記収集した情報が、ある一定の範囲外である回路素子を、欠陥と判断する手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２１】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記素子基板が有する検査専用回路において生じる電磁波の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えており、
前記複数の２次コイルの出力は、その電圧の波形が整形されて、前記素子基板が有する複数の回路素子に入力され、前記複数の回路素子の出力は、前記検査専用回路に入力されることを特徴とする検査装置。
【請求項２２】
請求項２１において、
前記検査専用回路は、
前記複数の回路素子の出力のレベルが全て同じであるとき第１のレベルの信号を出力し、前記複数の回路素子の出力のうち、少なくとも１つの出力のレベルが異なっているとき、前記第１のレベルの信号とは異なる第２のレベルの信号を出力する第１の手段と、
前記第１の手段からの出力を増幅する第２の手段と、
前記第２の手段からの出力を入力する端子とを有することを特徴とする検査装置。
【請求項２３】
複数の１次コイルを有する検査装置であって、
前記複数の１次コイルと、素子基板が有する複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせる手段と、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加するための手段と、
前記素子基板が有する検査専用回路に設けられた端子において生じる電磁波の情報を収集する手段と、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定する手段と、
を備えており、
前記複数の２次コイルの出力は、その電圧の波形が整形されて、前記素子基板が有する複数の回路素子に入力され、前記複数の回路素子の出力は、前記検査専用回路に入力されており、
前記検査専用回路は、前記複数の回路素子の出力のレベルが全て同じであるとき第１のレベルの信号を出力し、前記複数の回路素子の出力のうち、少なくとも１つの出力のレベルが異なっているとき、前記第１のレベルの信号とは異なる第２のレベルの信号を出力する第１の手段と、前記第１の手段からの出力を増幅する第２の手段とを有し、
前記第２の手段からの出力は前記端子に入力されることを特徴とする検査装置。
【請求項２４】
請求項１９乃至請求項２３のいずれか１項において、前記電磁波の情報を収集する手段とは、電磁波の強さを測定する手段であることを特徴とする検査装置。
【請求項２５】
請求項１１乃至請求項２４のいずれか１項において、
前記一定の間隔とは、前記複数の１次コイルが形成された絶縁表面と、前記素子基板との間に気体または液体を流すことで制御していることを特徴とする検査装置。
【請求項２６】
請求項１１乃至請求項２５のいずれか１項において、
前記複数の１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査装置。
【請求項２７】
第１の絶縁表面上に形成された、交流の電圧が印加されている１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された２次コイルとを、一定の間隔をもって重ね合わせ、前記２次コイルに接続されている、前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子において生じる電界の情報を収集し、前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項２８】
請求項２７において、
前記１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査方法。
【請求項２９】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記直流の電圧を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項３０】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧から駆動信号を生成し、
前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項３１】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を用い、前記第２の絶縁表面上に形成された波形整形回路において駆動信号を生成し、
前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項３２】
第１の絶縁表面上に形成された複数の第１の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第１の２次コイルとを、また前記第１の絶縁表面上に形成された複数の第２の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第２の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の第１の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の第１の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記複数の第２の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の第２の２次コイルにおいて生じた電圧から駆動信号を生成し、
前記直流の電圧及び前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項３３】
第１の絶縁表面上に形成された複数の第１の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第１の２次コイルとを、また前記第１の絶縁表面上に形成された複数の第２の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第２の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の第１の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の第１の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記複数の第２の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の第２の２次コイルにおいて生じた電圧を用い、前記第２の絶縁表面上に形成された波形整形回路において駆動信号を生成し、
前記直流の電圧及び前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項３４】
請求項２７乃至請求項３３のいずれか１項において、
前記複数の１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査方法。
【請求項３５】
請求項２７乃至請求項３４のいずれか１項において、前記電界の情報を収集する手段とは、電界の強さを測定する手段であることを特徴とする検査方法。
【請求項３６】
請求項３５において、前記電界の強さを測定する手段とは、電気光学素子を備えていることを特徴とする検査方法。
【請求項３７】
請求項３６において、
前記電気光学素子とは、ポッケルス・セルであることを特徴とする検査方法。
【請求項３８】
第１の絶縁表面上に形成された、交流の電圧が印加されている１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された２次コイルとを、一定の間隔をもって重ね合わせ、前記２次コイルに接続されている、前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集し、前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項３９】
請求項３８において、
前記１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査方法。
【請求項４０】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記直流の電圧を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４１】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧から駆動信号を生成し、
前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４２】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を用い、前記第２の絶縁表面上に形成された波形整形回路において駆動信号を生成し、
前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４３】
第１の絶縁表面上に形成された複数の第１の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第１の２次コイルとを、また前記第１の絶縁表面上に形成された複数の第２の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第２の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の第１の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の第１の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記複数の第２の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の第２の２次コイルにおいて生じた電圧から駆動信号を生成し、
前記直流の電圧及び前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４４】
第１の絶縁表面上に形成された複数の第１の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第１の２次コイルとを、また前記第１の絶縁表面上に形成された複数の第２の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の第２の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の第１の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の第１の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記複数の第２の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の第２の２次コイルにおいて生じた電圧を用い、前記第２の絶縁表面上に形成された波形整形回路において駆動信号を生成し、
前記直流の電圧及び前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４５】
請求項３８乃至請求項４４のいずれか１項において、前記電磁波の情報を収集する手段とは、電磁波の強さを測定する手段であることを特徴とする検査方法。
【請求項４６】
請求項３８乃至請求項４５のいずれか１項において、
前記複数の１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査方法。
【請求項４７】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記直流の電圧を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子の出力は、検査専用回路に入力されており、
前記検査専用回路が有する端子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４８】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を用い、前記第２の絶縁表面上に形成された波形整形回路において駆動信号を生成し、
前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子の出力は、検査専用回路に入力されており、
前記検査専用回路が有する端子において生じる電界の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項４９】
請求項４７または請求項４８において、
前記検査専用回路は、
前記複数の回路素子の出力のレベルが全て同じであるとき第１のレベルの信号を出力し、前記複数の回路素子の出力のうち、少なくとも１つの出力のレベルが異なっているとき、前記第１のレベルの信号とは異なる第２のレベルの信号を出力する第１の手段と、
前記第１の手段からの出力を増幅する第２の手段とを有し、
前記第２の手段からの出力は前記端子に入力されることを特徴とする検査方法。
【請求項５０】
請求項４７乃至請求項４９のいずれか１項において、前記電界の情報を収集する手段とは、電界の強さを測定する手段であることを特徴とする検査方法。
【請求項５１】
請求項５０において、前記電界の強さを測定する手段とは、電気光学素子を備えていることを特徴とする検査方法。
【請求項５２】
請求項５１において、
前記電気光学素子とは、ポッケルス・セルであることを特徴とする検査方法。
【請求項５３】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに、互いに位相の異なる交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を、整流化した後加算することで、直流の電圧を生成し、
前記直流の電圧を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子の出力は、検査専用回路に入力されており、
前記検査専用回路が有する端子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項５４】
第１の絶縁表面上に形成された複数の１次コイルと、第２の絶縁表面上に形成された複数の２次コイルとを、一定の間隔をもってそれぞれ重ね合わせ、
前記複数の１次コイルに交流の電圧を印加し、
前記複数の２次コイルにおいて生じた電圧を用い、前記第２の絶縁表面上に形成された波形整形回路において駆動信号を生成し、
前記駆動信号を前記第２の絶縁表面上に形成された複数の回路素子に印加し、
前記複数の回路素子の出力は、検査専用回路に入力されており、
前記検査専用回路が有する端子において生じる電磁波の情報を収集し、
前記収集した情報から、前記素子基板が有する複数の回路素子のうち、欠陥を有する回路素子を特定することを特徴とする検査方法。
【請求項５５】
請求項５３または請求項５４において、
前記検査専用回路は、
前記複数の回路素子の出力のレベルが全て同じであるとき第１のレベルの信号を出力し、前記複数の回路素子の出力のうち、少なくとも１つの出力のレベルが異なっているとき、前記第１のレベルの信号とは異なる第２のレベルの信号を出力する第１の手段と、
前記第１の手段からの出力を増幅する第２の手段とを有し、
前記第２の手段からの出力は前記端子に入力されることを特徴とする検査方法。
【請求項５６】
請求項５３乃至請求項５５のいずれか１項において、前記電磁波の情報を収集する手段とは、電磁波の強さを測定する手段であることを特徴とする検査方法。
【請求項５７】
請求項４７乃至請求項５６のいずれか１項において、
前記複数の１次コイルが有する配線は同一平面上に形成され、且つ前記配線は渦を巻いていることを特徴とする検査方法。
【請求項５８】
請求項２７乃至請求項５７のいずれか１項において、
前記一定の間隔とは、前記第１の絶縁表面と、前記第２の絶縁表面との間に気体または液体を流すことで制御していることを特徴とする検査方法。