【手続補正書】
【提出日】平成16年3月25日(2004.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物平面に位置付けられたパターンを像面上にイメージし、
光軸と
凹面鏡とビームスプリッタ表面を有する物理ビームスプリッタを有する第１反射屈折レンズセクションと、
このビームスプリッタに続いて配置される第２レンズセクションを有し、
第１及び第２レンズセクションが物平面と像面の間に配置され、
物平面が投影レンズの第１光学表面からの作動距離に配置され、
正の屈折力が物平面の光学的近視野に配置され、そこでの外縁光線高さが凹面鏡での外縁光線高さの約３０％より小さく、
ビームスプリッタが低い外縁光線高さを有するゾーンに配置され、光軸と直交する平面上への外縁光線高さの投影が、ビームスプリット表面が光軸と交差するところで、凹面鏡での外縁光線高さの約１０％から約７０％の範囲にある、反射屈折投影レンズ。
【請求項２】
少なくとも１つの実中間像を作るように設計され、これが好ましくは自由にアクセス可能であることを特徴とする請求項１に記載の投影レンズ。
【請求項３】
中間像の光学的近視野内での外縁光線高さが、凹面鏡での外縁光線高さの約３０％より小さく、ビームスプリッタが、中間像の光学的近視野における中間像の近傍に配置されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影レンズ。
【請求項４】
ビームスプリッタが、両方向の伝播のための外縁光線高さが凹面鏡での外縁光線高さの約７０％より小さいゾーンに、配置されることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項５】
ビームスプリッタが、キューブ形状から離れた形状を有するビームスプリッタブロックで構成され、その形状が好ましくは矩形であり、その体積が最小化されるように寸法が好ましくは最適化されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項６】
光軸を横断するビームスプリッタの最大延長部が、凹面鏡の直径の７０％より小さいことを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項７】
正の屈折力が、物平面とビームスプリッタの間に配置され、好ましくは、正の屈折力を有する明確に１つのレンズが物平面とビームスプリッタの間に配置されることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項８】
物平面とビームスプリッタの間のゾーンに本質的に正の屈折力が無く、及び／又は物平面とビームスプリッタの間のゾーンに自由に起立したレンズが配置されないことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項９】
正の屈折力が、ビームスプリッタに続いて、中間像及び／又は物平面の光学的近視野内に配置されることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１０】
中間像が、ビームスプリッタの背後に距離を置いて配置され、好ましくは正の屈折力がビームスプリッタと中間像の間に配置されることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１１】
ビームスプリッタにおいて、外縁光線と光軸の間のエア内での角度が、少なくとも１つの伝播方向に沿って１０°より小さく、好ましくは５°より小さいことを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１２】
反射屈折レンズセクションが、ビームスプリッタと凹面鏡の間に負の屈折力を有するレンズだけを含んでいることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１３】
反射屈折セクションが、ビームスプリッタと凹面鏡の間で負の屈折力を有する少なくとも２つのレンズを含むことを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１４】
反射屈折セクションが、ビームスプリッタと凹面鏡の間に４より少ない、特に３より少ないレンズを含むことを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１５】
ビームスプリッタと凹面鏡の間の反射屈折レンズセクションの１部が、縦色収差のためにオーバーコレクトされ、他のレンズコンポーネントのオーバーコレクションの少なくとも７０％、好ましくは８５％を超えて補償されるようになっていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１６】
正の屈折力を有するレンズが、凹面鏡の近視野に位置付けられておらず、近視野内での外縁光線高さが、凹面鏡での外縁光線高さの好ましくは７０％を超えていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１７】
ビームスプリッタ表面が、４５°と異なる物平面に直交する光軸のセグメントに関して傾斜角度をもって配置されており、傾斜角度と４５°の間の差異が、好ましくは約１°から約１０°の範囲にあることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項１８】
物平面に直交する光軸のセグメントとビームスプリット表面での折れ曲がりに続けて配置される光軸のセグメントの間に含められた偏向角度が９０°を超えるように、傾斜角度が設定されていて、この偏向角度が好ましくは約９２°から約１０５°の範囲にあることを特徴とする請求項１７に記載の投影レンズ。
【請求項１９】
レンズ第２セクションに、光軸に関して４５°とは異なる傾斜角度で配置される少なくとも１つの偏向ミラーが配置されていて、そこで好ましくは偏向ミラーの傾斜角度とビームスプリット表面の傾斜角度が互いに合うように適合されて、像面が物平面に対し平行又は直交のいずれかで並べられていることを特徴とする請求項１７又は請求項１８に記載の投影レンズ。
【請求項２０】
第２レンズセクションの少なくとも１つのレンズが、ビームスプリット表面と中間像の間に配置されていて、好ましくは正の屈折力がビームスプリット表面と中間像の間に配置されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２１】
全ての透過光学コンポーネント、特に全てのレンズとビームスプリッタが、同じ材料から、特に結晶性フッ化物、好ましくはフッ化カルシウム、又は合成水晶ガラスから製造されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２２】
ビームスプリッタが、本質的にフッ化リチウムからなることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２３】
約０．７を超える像端部開口数を有し、その像端部開口数が好ましくは少なくとも０．８であり、特に約０．８５であることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２４】
約２６０ｎｍより短い波長における、特に約１５７ｎｍ又は約１９３ｎｍの波長における紫外光の使用のために設計されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２５】
少なくとも１つの光学コンポーネント、特に少なくとも１つのレンズが、少なくとも１つの非球面を有し、好ましくは少なくとも１つの非球面が、少なくとも１つのストップの平面の近傍に設けられていて、この非球面での外縁光線高さと系ストップの開口の半径との比が約０．８から約１．２の範囲にあるようにこの非球面が配置されており、及び／又は少なくとも１つの非球面が物平面の近傍に、及び／又は像面の近傍に、及び／又は少なくとも１つの中間像の近傍に設けられ、この非球面での外縁光線高さと系ストップの開口の半径の比が約０．８より小さくなるようにこの非球面が配置されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２６】
少なくとも１つの非球面がストップの平面の近傍に配置され、少なくとも１つの非球面が物平面、及び／又は像面、及び／又は少なくとも１つの中間像の近傍に配置されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２７】
系ストップが、ビームスプリッタから距離をおいて、好ましくは縮小倍率第２レンズセクション内に配置され、及び／又は自由にアクセス可能なストップ面が設けられていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２８】
物平面に最も近接して位置付けられた第１光学エレメント及び／又は像面に最も近接して位置付けられた最終光学エレメントが、実質的に平面平行板からそれぞれ形成されていることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項２９】
少なくとも１つの全反射偏向ミラーが設けられていて、特に、その第２レンズセクションが少なくとも１つの偏向ミラーを含んでいることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項３０】
ビームスプリッタに続くその第２セクションの第１光学コンポーネントが、偏向ミラーで構成されることを特徴とする先述の請求項のいずれか１項に記載の投影レンズ。
【請求項３１】
照射系と反射屈折投影レンズを有し、投影レンズが請求項１〜３０のいずれか１項に合わせて構成されている、マイクロリソグラフィでの使用のための投影露光系。
【請求項３２】
照射系が、部分偏光を放射するために設計されていることを特徴とする請求項３１に記載の投影露光系。
【請求項３３】
指定されたパターンを有するマスクを設け、
このマスクを予め決められた波長を有する紫外光で照射し、
そのパターンの像を、請求項１〜３０のいずれか１項による反射屈折投影レンズを使用する投影レンズの像面の近傍に配置された感光性基板上に投影する、半導体装置又は他のタイプの微小装置の製造方法。