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【手続補正書】
【提出日】平成17年7月25日(2005.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
滅菌処理された軟膏基剤及び薬効成分とγ線照射滅菌された固体状添加剤とを無菌的条件下において混合することを特徴とする、軟膏基剤中に薬効成分及び固体状添加剤を含有する無菌軟膏製剤の製造法。
【請求項２】
固体状添加剤が、乾燥水酸化アルミニウムゲルである請求項１記載の製造法。
【請求項３】
薬効成分がサイクリックＡＭＰ誘導体である請求項１又は２記載の製造法。
【請求項４】
軟膏基剤が、ポリエチレングリコール類を含有する基剤である請求項１〜３のいずれか１項記載の製造法。
【請求項５】
軟膏基剤に、水に溶解した時のpHが３〜７となるような塩又は２種以上の塩の混合物が配合されている請求項１〜４のいずれか１項記載の製造法。
【請求項６】
乾燥加熱滅菌又はγ線照射滅菌された水に溶解した時のpHが３〜７となるような塩又は２種以上の塩の混合物が配合されるものである請求項５記載の製造法。
【請求項７】
水に溶解した時のpHが３〜７となるような塩又は２種以上の塩の混合物がリン酸塩である請求項５又は６記載の製造法。
【請求項８】
軟膏基剤及び薬効成分の滅菌処理が、加熱滅菌及び／又は濾過滅菌である請求項１〜６のいずれか１項記載の製造法。
【請求項９】
加熱滅菌及び／又は濾過滅菌された軟膏基剤及びサイクリックＡＭＰ誘導体と、乾燥加熱滅菌及び／又はγ線照射滅菌された水に溶解した時のpHが３〜７となるような塩又は２種以上の塩の混合物と、γ線照射滅菌された乾燥水酸化アルミニウムゲルとを無菌条件下において混合することを特徴とする軟膏基剤中に水に溶解した時のpHが３〜７となるような塩又は２種以上の塩の混合物、乾燥水酸化アルミニウムゲル及びサイクリックＡＭＰ誘導体を含有する無菌軟膏製剤の製造法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項記載の製造法により得られた無菌軟膏製剤。
【請求項１１】
平均分子量４０００のポリエチレングリコール、平均分子量４００のポリエチレングリコール及び平均分子量３００のポリエチレングリコール、又は平均分子量４０００のポリエチレングリコール及び平均分子量４００のポリエチレングリコールからなる加熱滅菌及び／又は濾過滅菌した軟膏基剤；加熱滅菌及び／又は濾過滅菌したナトリウムＮ6−２′−Ｏ−ジブチリルアデノシン−３′，５′−サイクリックホスフェート；加熱滅菌及び／又はγ線照射滅菌した無水リン酸二水素ナトリウム；並びにγ線照射滅菌した乾燥水酸化アルミニウムゲルを無菌的条件下において混合することにより製造された無菌軟膏製剤。
【請求項１２】
平均分子量４０００のポリエチレングリコール、平均分子量４００のポリエチレングリコール及び平均分子量３００のポリエチレングリコールからなる、それぞれ単独で又は二種以上混合後に加熱滅菌及び／又は濾過滅菌した軟膏基剤、又は平均分子量４０００のポリエチレングリコール及び平均分子量４００のポリエチレングリコールからなる、それぞれ単独で又は二種混合後に加熱滅菌及び／又は濾過滅菌した軟膏基剤；加熱滅菌及び／又は濾過滅菌したナトリウムＮ6−２′−Ｏ−ジブチリルアデノシン−３′，５′−サイクリックホスフェート；加熱滅菌及び／又はγ線照射滅菌した無水リン酸二水素ナトリウム；並びにγ線照射滅菌した乾燥水酸化アルミニウムゲルを無菌的条件下において混合することにより製造された無菌軟膏製剤。
【請求項１３】
加熱滅菌及び／又は濾過滅菌された平均分子量４０００のポリエチレングリコール、加熱滅菌及び／又は濾過滅菌された平均分子量４００のポリエチレングリコール及び加熱滅菌及び／又は濾過滅菌された平均分子量３００のポリエチレングリコールからなる軟膏基剤、又は加熱滅菌及び／又は濾過滅菌された平均分子量４０００のポリエチレングリコール及び加熱滅菌及び／又は濾過滅菌された平均分子量４００のポリエチレングリコールからなる軟膏基剤；加熱滅菌及び／又は濾過滅菌したナトリウムＮ6−２′−Ｏ−ジブチリルアデノシン−３′，５′−サイクリックホスフェート；乾燥加熱滅菌及び／又はγ線照射滅菌された無水リン酸二水素ナトリウム；並びにγ線照射滅菌された乾燥水酸化アルミニウムゲルを無菌的条件下において混合することにより製造された無菌軟膏製剤。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
これら軟膏基剤及び薬効成分の滅菌処理手段としては、γ線照射滅菌でもよいが、加熱滅菌及び／又は濾過滅菌が好ましい。加熱滅菌は蒸気加熱滅菌（例えば１１０〜１３０℃、蒸気１０〜３０分）、乾燥加熱滅菌（例えば１３０〜２００℃、２０分〜５時間加熱）のいずれでもよい。また濾過滅菌には、ろ孔（又は孔径）０．４５μｍのメンブランフィルターが用いられる。ただし、前記の安定化のために使用される塩は、粉末状で添加されるので濾過滅菌できず、また吸湿性のあるものが多いので、乾燥加熱滅菌又はγ線照射滅菌が好ましい。更に、これらの成分の滅菌処理は、各成分ごとに行ってもよいし、数種類を混合後に行ってもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月12日(2005.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  球形核粒子の表面に薬物を担持させた素顆粒を、（Ａ）エチルセルロースと（Ｂ）アクリルポリマーを含み、前記成分（Ａ）と前記成分（Ｂ）の固形分の重量比が１．０：０．１〜０．２：１．０であるフィルムで被覆してなり、且つ薬物の溶出性が、溶出試験における溶出試験開始１分までの薬物溶出率が１５％未満であり、溶出試験開始２０分後には薬物溶出率が５０％以上になることを特徴とする、破裂溶出型フィルムコーティング顆粒。
【請求項２】  球形核粒子の表面に薬物を担持させた素顆粒を、（Ａ）エチルセルロースと（Ｂ）アクリルポリマーを含み、前記成分（Ａ）と前記成分（Ｂ）の固形分の重量比が１．０：０．１〜０．２：１．０であるフィルムで被覆してなることを特徴とする、請求項１記載の破裂溶出型フィルムコーティング顆粒の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者はこうした現状に鑑み、素顆粒の性質、および、膜の組成を鋭意検討した結果、本発明に到達したものである。
即ち、本発明は：
（１）球形核粒子の表面に薬物を担持させた素顆粒を、（Ａ）エチルセルロースと（Ｂ）アクリルポリマーを含み、前記成分（Ａ）と前記成分（Ｂ）の固形分の重量比が１．０：０．１〜０．２：１．０であるフィルムで被覆してなり、且つ薬物の溶出性が、溶出試験における溶出試験開始１分までの薬物溶出率が１５％未満であり、溶出試験開始２０分後には薬物溶出率が５０％以上になる破裂溶出型フィルムコーティング顆粒を提供する。また、
（２）球形核粒子の表面に薬物を担持させた素顆粒を、（Ａ）エチルセルロースと（Ｂ）アクリルポリマーを含み、前記成分（Ａ）と前記成分（Ｂ）の固形分の重量比が１．０：０．１〜０．２：１．０であるフィルムで被覆してなる、（１）記載の破裂溶出型フィルムコーティング顆粒の製造方法を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
〔ＩＩ〕フィルムコーティング顆粒
本発明のフィルムコーティング顆粒は、球形核粒子の表面に薬物を担持させた素顆粒の外側に(A) エチルセルロースと(B) アクリルポリマーを含み、前記成分(A) と前記成分(B) の固形分の重量比が１．０：０．１〜０．２：１．０であるフィルムを有する必要がある。
(i) コーティング材の配合比率
エチルセルロース（Ａ）の重量１．０に対してアクリルポリマー（Ｂ）の重量が０．１未満の場合、可塑剤等の配合にもよるが、アクリルポリマー（Ｂ）の配合効果が低いため、溶出試験開始直後から急激に薬物が溶出したり、逆にある時間が経過した後も溶出速度が速くならず、破裂型溶出を示し難いため好ましくない。
また、アクリルポリマー（Ｂ）の重量１．０に対してエチルセルロース（Ａ）の重量が０．２未満である場合、ある時間が経過した後も溶出速度が速くならず、破裂型溶出を示し難いため好ましくない。
エチルセルロース（Ａ）とアクリルポリマー（Ｂ）の重量比が１．０：０．２〜０．４：１．０である場合、破裂型溶出の効果が高いため好ましく、更に好ましくは、（Ａ）と（Ｂ）の重量比が１．０：０．２５〜０．５：１．０である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【実施例】
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
＜物性の測定方法＞
球形核粒子などの物性の測定方法を以下にまとめて記す。
（１）  結晶セルロースの重合度
第１３改正日本薬局方結晶セルロースの確認試験（３）を用いた。
（２）  素顆粒、球形核粒子、エチルセルロースを主成分とした球形固体粒子の球形度［−］
粒子形状を光学顕微鏡、電子顕微鏡などを用いて撮影し、その５０個の粒子の短径と長径の比（短径／長径）の平均値をとった。
（３）  球形核粒子の吸水能［ｇ／ｇ］
球形核粒子１０ｇ（乾燥物換算）に蒸留水３０ｇを加え、１時間室温で放置後、ろ取し、表面付着水をろ紙で軽くふき取った後、重量を測定し、含水量を１０で除した。繰り返し数は５で、その平均値をとった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
【表２】
2000128776.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月16日(2005.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
コントラスト判断手段323は、比較パターンの投影像である第2の投影像161a, 161bのそれぞれの線幅の寸法W2a, W2b及び第3の投影像162a, 162bのそれぞれの線幅の寸法W3a, W3bを比較する。ここで、図6及び図7に示したようにW2a ≧ W2bかつ W3a ＞ W3bであれば、図1に示す縮小投影露光装置3aは縮小投影露光装置3bよりも透過光の抜け性がよく、コントラストがよいと判断し、縮小投影露光装置3aを序列化1番目の露光装置、縮小投影露光装置3bを序列化2番目の露光装置と定義する。なお、ここでは第1のコントラスト判定パターン60を基準パターンと定義したが、第2のコントラスト判定パターン61あるいは第3のコントラスト判定パターン62を基準パターンと定義し、他の比較パターンの線幅の寸法を比較してコントラストの良否を序列化しても良い。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月14日(2004.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【発明を実施するための最良の形態】
図１を参照するに、ガスタービンエンジン（図示せず）用の燃料流量制御弁１０は、スリーブ１４内に配置した弁体１２と、スリーブ１４及び弁体１２の一方を他方に対して移動せしめる手段１６と、このスリーブ１４及び弁体１２の一方の他方に対する移動を検出する手段１７とを包含し、本実施例では、弁体１２をスリーブ１４に対して移動せしめるようになっている。スリーブ１４は、ガスタービンエンジンの外周部に取付けたコンポーネントハウジング１８内に設けられている。このスリーブ１４は、円筒形の形状とされていると共に、一対の入口ポート２０と、一対の出口ポート２２と、内部空どう２４とを包含する。各入口ポート２０は、他方の入口ポート２０にスリーブ１４の直径方向で対面している。各出口ポート２２も、他方の出口ポート２２にスリーブ１４の直径方向で対面している。そして、スリーブ１４の外側表面３０に形成した複数の溝２８内に設けた複数の“Ｏ”リング２６が、コンポーネントハウジング１８とスリーブ１４との間を密封している。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
全開の位置においては、図２に示されるように、入口ゲート３２は入口ポート２０を通してスリーブ１４の空どう２４に入る燃料の流れ５７を阻止しない。同様に、出口ゲート３４も開口３６及び出口ポート２２を通してスリーブ１４の空どう２４を出る燃料の流れ５９を阻止しない。そして、最大燃料流量よりも少ない燃料流量は、弁体１２をスリーブ１４に対して移動させて（又はその逆）、ゲート３２，３４の一部分をポート２０，２２に整合させ、これによりポート２０，２２を通しての流れの通路を制限することによって得られる。すべての場合において、制御器（図示せず）に蓄えられている基準信号が、弁の特定の開き位置及び燃料流量の大きさと比較される。そして、弁体１２は、ＬＶＤＴ１９の信号が基準信号の値に達するまで、移動させられる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
以上本発明をその実施例に関して図示し詳述してきたけれども、本発明の精神及び範囲を逸脱することなく、その形態及び詳部においてさまざまな変更ができることは当業者にとって理解されるであろう。例えば、弁体１２及びスリーブ１４の一方の他方に対しての移動は軸方向移動、すなわち直線移動として説明してきた。しかし、これに代えて、弁体１２及びスリーブ１４の一方を他方に対して回転させて、弁１０のポート２０，２２を開閉することもできるものである。弁体１２及びスリーブ１４の一方の他方に対する回転移動は、半径方向移動と称することができる。また、上述の最良の形態において、スリーブ１４及び弁体１２の両方は円筒形の形状として説明してきた。しかし、これに代えて、スリーブ１４及び弁体１２の一方又は両方を非円筒形の形状とすることもできるものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月17日(2004.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計量弁装置（１０）において、
入口ポート（１１）と、
出口ポート（１３）と、
一対の制御ポート（１６、１７）と、
前記入口ポートと制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第１と第２の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）と、
前記出口ポートと制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第３と第４の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）と、
前記制御ポートに接続された一対の作動室（１８、１９）を有し、かつ、前記制御ポートの一方と前記作動室の一方の間に配設されたスプール弁（２６ｅ）を含む油圧アクチュエータ（２１）とを具備し、
前記スプール弁の各々が、第１と第２の端部（２７、２８）を有するパイロットにより作動するスプール（２６）と、前記スプールの一方の端部に接続されたソレノイド作動式弁（３４）とを具備する計量弁装置。
【請求項２】
入口ポート（１１）と一対の制御ポート（１６、１７）の間に配設され、独立に作動させるとのできる第１と第２の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）と、出口ポート（１３）と前記制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第３と第４の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）とを有した計量弁装置の操作方法において、
前記第３と第４のスプール弁を開いて前記制御ポートの双方を前記出口ポートに連通させ、
前記第１と第２のスプール弁の一方を開いて前記入口ポートを前記制御ポートの一方に連通させることを含む方法。
【請求項３】
ポンプ（１２）に接続された入口ポート（１１）と油圧アクチュエータ（２１）のヘッド側作動室（１８）に接続された第１の制御ポート（１６）との間に配設され、独立に作動させることのできる第１の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ）と、前記入口ポートと油圧アクチュエータのロッド側作動室（１９）に接続された第２の制御ポート（１７）との間に配設され、独立に作動させることのできる第２の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ｂ）と、出口ポート（１３）と前記第１と第２の制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第３と第４の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）とを具備する計量弁装置の操作方法において、
前記第２のスプール弁を開いて前記入口ポートを前記第２の制御ポートに連通させる段階と、
前記第１のスプール弁を開いて前記第１の制御ポートを前記入口ポートに連通させる段階と、
前記第４のスプール弁を開いて前記出口ポートを前記第２の制御ポートに連通させる段階と、
前記第３のスプール弁を開いて前記第１の制御ポートを前記出口ポートに連通させる段階とを含む計量弁装置の操作方法。
【請求項４】
入口ポート（１１）と第１と第２の制御ポート（１６、１７）の間に配設され、独立に作動させるとのできる第１と第２の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）と、出口ポート（１３）と前記制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第３と第４の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）とを有した計量弁装置の操作方法において、
前記第１と第２のスプール弁を開いて前記入口ポートを前記制御ポートの双方に連通させることを含む計量弁装置の操作方法。
【請求項５】
前記第３のスプール弁（２２ｃ）は、前記出口ポートと、油圧アクチュエータ（２１）のヘッド側作動室（１８）に接続された第１の制御ポート（１６）との間に配設されており、前記方法が、前記第３のスプール弁を開いて前記第１の制御ポートを前記出口ポートに連通させることを更に含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】
ポンプ（１２）に接続された入口ポート（１１）と油圧アクチュエータ（２１）のヘッド側作動室（１８）に接続された第１の制御ポート（１６）との間に配設され、独立に作動させることのできる第１の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ）と、前記入口ポートと油圧アクチュエータのロッド側作動室（１９）に接続された第２の制御ポート（１７）との間に配設され、独立に作動させることのできる第２の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ｂ）と、出口ポート（１３）と前記第１と第２の制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第３と第４の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）とを具備する計量弁装置の操作方法において、
前記第１のスプール弁を開いて前記第１の制御ポートを前記入口ポートに連通させる段階と、
前記第４のスプール弁を開いて前記出口ポートを前記第２の制御ポートに連通させる段階とを含む計量弁装置の操作方法。
【請求項７】
ポンプ（１２）に接続された入口ポート（１１）と油圧アクチュエータ（２１）のヘッド側作動室（１８）に接続された第１の制御ポート（１６）との間に配設され、独立に作動させることのできる第１の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ）と、前記入口ポートと油圧アクチュエータのロッド側作動室（１９）に接続された第２の制御ポート（１７）との間に配設され、独立に作動させることのできる第２の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ｂ）と、出口ポート（１３）と前記第１と第２の制御ポートの間に配設され、独立に作動させるとのできる第３と第４の電気油圧式変位制御型スプール弁（２２ａ、２２ｂ）とを具備する計量弁装置の操作方法において、
前記第２のスプール弁を開いて前記入口ポートを前記第２の制御ポートに連通させる段階と、
前記第３のスプール弁を開いて前記第１の制御ポートを前記出口ポートに連通させる段階とを含む計量弁装置の操作方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月31日(2005.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学増幅器の雑音指数測定システムであって、
信号を使用禁止するためのディスエーブル手段と、
前記信号の波長とは異なる少なくとも１つの波長においてパワーを追加することによって、実質的に前記信号を置換する信号置換手段と、
を有する光学増幅器の雑音指数測定システム。
【請求項２】
前記信号置換手段が、前記使用禁止された信号の波長に近い少なくとも１つの波長において追加パワーを加えることによって、該使用禁止された信号の入力パワーを置換するための手段を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記信号置換手段が、マルチチャネル用途において、前記使用禁止された信号のチャネルの近接チャネルに追加パワーを加えるために用いられる、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記信号置換手段が、下記の式（Ａ）及び式（Ｂ）に基づいて、前記使用禁止された信号のチャネルの近接チャネルに追加パワーを加えるために用いられる、請求項３に記載のシステム。
△Ｐin,i-1
＝  Ｐin,iＧi  ／  ２Ｇi-1        （Ａ）
△Ｐin,i+1
＝  Ｐin,iＧi  ／  ２Ｇi+1        （Ｂ）
【請求項５】
光学増幅器の雑音指数測定システムであって、
信号を使用禁止するためのディスエーブル手段と、
前記信号の波長と異なる少なくとも１つの波長において、前記使用禁止された信号のパワーにほぼ等しい、同等のパワーを分配するためのパワー分配手段と、
を有する光学増幅器の雑音指数測定システム。
【請求項６】
光学増幅器の雑音指数測定方法であって、
信号を使用禁止にするステップと、
前記信号の波長とは異なる少なくとも１つの他の波長においてパワーを追加することによって、実質的に前記信号を置換するステップと、
を含む、光学増幅器の雑音指数測定方法。
【請求項７】
前記実質的に信号を置換するステップが、前記使用禁止された信号の波長に近い少なくとも１つの波長において追加パワーを加えることによって、前記使用禁止された信号の入力パワーを置換するステップを含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記使用禁止された信号の入力パワーを置換するステップが、前記使用禁止された信号のチャネルの近接チャネルに追加パワーを加えるステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記使用禁止された信号の入力パワーを置換するステップが、下記の式（Ｃ）及び式（Ｄ）に基づいて、前記使用禁止された信号のチャネルの近接チャネルに追加パワーを加えるステップを含む、請求項８に記載の方法。
△Ｐin,i-1
＝  Ｐin,iＧi  ／  ２Ｇi-1        （Ｃ）
△Ｐin,i+1
＝  Ｐin,iＧi  ／  ２Ｇi+1        （Ｄ）
【請求項１０】
光学増幅器の雑音指数測定方法であって、
信号を使用禁止するステップと、
少なくとも１つの他の波長において、前記使用禁止された信号のパワーにほぼ等しい、同等のパワーを分配するステップと
を含む、光学増幅器の雑音指数測定方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月11日(2004.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
ロッド１０には緩衝板１７の外においてピストン２５を結合し、これを嵌合させるシリンダ２６を緩衝板１７を挟んで端板１６に取付けている。２７、２８、２９は緩衝板１７、ピストン２５、シリンダ２６の端板に取付けたシール材、３０、３１はシリンダ２６への圧力流体給排管である。３２は、シール材２７からの漏洩を検知するための管で、漏洩検知器へ接続される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
圧力流体給排管３０から圧縮空気等の圧力流体をシリンダ２６内に供給してピストン２５を滅菌器側へ押してロッド１０を縦動させると、弁２０が開き、窓２１を通して滅菌器１内の湿度を測定することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
圧力流体給排管３１から圧力流体を入れて弁２０を閉じると、受感部２２ａと滅菌器内とを遮断し測定を停止することができる。第１例のアクチュエータ１９、連結部材１８の代りにピストン２５、シリンダ２６を使用し、ベローズを使用しない外は、第１例と同様である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１  滅菌器
１ａ  器壁
２  導管
３  弁
４  受感部
６  ジャケット
７、８  孔
９  基体
１０  ロッド
１１  孔
１２  シール材
１３  大径部
１４  ベローズ
１４ａ  閉塞端
１４ｂ  開口端
１５  大径部
１６  端板
１７  緩衝板
１８  連結部材
１９  アクチュエータ
１９ａ  駆動軸
２０  弁
２１  窓
２２  湿度センサ
２２ａ  受感部
２２ｂ  測定部
２３  ベアリング
２５  ピストン
２６  シリンダ
２７、２８、２９  シール材
３０、３１  圧力流体給排管
３２  管
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月22日(2005.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高分子分散液晶を用いた液晶光学素子であって、
０．０１≦｜ｎo ′−ｎLC′｜≦１０
を満足することを特徴とする液晶光学素子。
ただし、ｎo ′は、常光線の平均屈折率であり、ｎLC′は、液晶分子の平均屈折率である。
【請求項２】
高分子分散液晶を用いた液晶光学素子であって、
７ｎｍ≦Ｄ≦５００λ
を満足することを特徴とする液晶光学素子。
ただし、Ｄは、高分子分散液晶層を構成する液晶分子を含む高分子セルの平均の直径であり、λは、使用波長である。
【請求項３】
対向する一対の電極と、前記電極の間に設けられたツイストネマチック液晶層とを有する液晶光学素子であって、
前記ツイストネマチック液晶層は、ツイストネマチック状態において、入射光が自然光の場合に等方媒質としてふるまう値に設定された螺旋ピッチを有する液晶分子からなることを特徴とする液晶光学素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明によれば、高分子分散液晶を用いた液晶光学素子であって、
０．０１≦｜ｎo ′−ｎLC′｜≦１０
を満足することを特徴とする液晶光学素子を提供できる。ただし、ｎo ′は、常光線の平均屈折率であり、ｎLC′は、液晶分子の平均屈折率である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、この発明によれば、高分子分散液晶を用いた液晶光学素子であって、
７ｎｍ≦Ｄ≦５００λ
を満足することを特徴とする液晶光学素子を提供できる。ただし、Ｄは、高分子分散液晶層を構成する液晶分子を含む高分子セルの平均の直径であり、λは、使用波長である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、この発明によれば、対向する一対の電極と、電極の間に設けられたツイストネマチック液晶層とを有する液晶光学素子であって、ツイストネマチック液晶層は、ツイストネマチック状態において、入射光が自然光の場合に等方媒質としてふるまう値に設定された螺旋ピッチを有する液晶分子からなることを特徴とする液晶光学素子を提供できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
【発明の効果】
この発明に係る液晶光学素子によれば、例えば、電界の印加によって屈折率を迅速に変化させて、その光学特性を変更することができる。したがって、液晶光学素子を介する光線の光路を迅速に変更することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月6日(2004.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する透明基板間に液晶が封入され、透明基板上には透明導電性の酸化物である導電膜からなる入力電極および引き出し電極と、導電膜からなる表示電極とが形成されてなる液晶表示装置であって、
前記相対向する透明基板のうち、すくなくとも一方の透明基板上における表示電極の膜厚は前記入力電極および引き出し電極の導電膜より薄いことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記相対向する透明基板のうち、すくなくとも一方の透明基板上における表示電極の膜厚は、０．０１μｍ〜０．１μｍの範囲で、かつ可視光領域における分光透過率が８５％以上であり、前記入力電極および引き出し電極の膜厚が０．１μｍ〜０．４μｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記相対向する透明基板の表示電極に形成するそれぞれの導電膜は、いずれも透明導電性の酸化物であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月14日(2004.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対する絶縁基板上に電極と配向膜とスペーサーとを備え相対する絶縁基板間には液晶と液晶を封じ込めるシール材とを備える液晶表示装置であって、スペーサーは、シール材で囲まれる領域の内側領域の表示画面部とシール材部とシール材で囲まれる領域の外周領域部とに配置されていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記スペーサーは、表示画面部においては相対する絶縁基板上の直交する電極で構成する画素に位置していない部分に対応するすくなくとも一部に配置されていることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項３】
相対する絶縁基板上に電極と配向膜とスペーサーとを形成し相対する絶縁基板間に液晶をシール材にて封じ込めてなる液晶表示装置の製造方法であって、
スペーサーの形成工程は配向処理をした配向膜上にスペーサー材料である感光性樹脂を塗布する工程と、フォトマスクを介して感光性樹脂を露光する工程と、未露光部の感光性樹脂を現像除去する工程とを有し、前記スペーサーは、シール材で囲まれる領域の内側領域の表示画面部と、シール材部と、シール材で囲まれる領域の外周領域部とに一括して形成されることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記相対する絶縁基板間に液晶をシール材にて封じ込めた後にシール材で囲まれる領域の外周領域部のスペーサーを除去する工程を有すること特徴とする請求項３記載の液晶表示装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月3日(2004.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、樹脂を溶媒、界面活性剤等により処理するとその内部応力が大きくなり、より容易にクレイズを形成することができる（特開平９-１６６７０２号参照）。プラスチックフィルムの溶媒、界面活性剤等による処理は、溶媒、界面活性剤及びその溶液等に浸漬することにより行うことができる。このような処理に使用される溶媒としては、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等のアルコール、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、これらの混合物等が挙げられ、界面活性剤としてはポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンフェニルエーテル、アルキルベンゼンスルホネート、ジアルキルスルホサクシネート等が挙げられる。このような溶媒等により処理する場合はこれらの溶媒等の中に着色物質を存在させ、その溶媒等の中でクレイズを形成することもできる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
実施例３，４及び比較例２の視野選択性フィルムを目視評価したところ、実施例３，４で作製したフィルムは透過性に明確な角度依存性が有り、斜めから見た場合の透過性が落ちるという視野選択性効果を示したが、比較例２で作製したフィルムは透過性の変化が少なく視野選択性効果が弱かった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
実施例７，８及び比較例４の視野選択性フィルムを目視評価したところ、実施例７，８で作製したサンプルは透過性及び散乱性に明確な角度依存性が有り、斜めから見た場合の透過性が落ち、さらに散乱性を増すという視野選択性効果を示したが、比較例４で作製したサンプルは透過性及び散乱性の変化が少なく視野選択性効果が弱かった。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月9日(2004.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
15はレンズ保持枠で、撮影レンズ16が保持されており、その外周部に形成された腕部15ａには先端が半球形状の支持軸17が光軸と平行に固定され、該支持軸１７の半球形状部が前記カムギヤ１２のカム面12ａに当接することで、光軸方向に支持されている。さらに、該レンズ保持枠15の腕部15ａには光軸と平行な透孔15ｂが形成され、後記するガイド軸18が摺動可能に嵌合している。
18はガイド軸で、前記シャッタユニット１１の透孔１１ａを貫通して、その後端部が該シャッタユニット１１に形成された孔１１ｃに、その先端部が後記する鏡筒枠１９に形成された孔19ｂにそれぞれ固定されている。
１９は鏡筒枠で、該シャッタユニット１１及びレンズ保持枠15並びにモータ13及び駆動ギヤ系14を覆っており、該シャッタユニット１１の外周側に固定されており、撮影レンズ16に対する撮影開口部１９ａが形成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
以上の構成の本実施例において、まず、レンズ保持枠１５の動作、すなわちフォーカス駆動について説明する。
モータ13が図3に示す状態で時計方向に回転すると、駆動ギヤ系１４を介してカムギヤ１２は反時計方向に回転する。この時、レンズ保持枠15はカムギヤ12のカム面１２ａにより図1の二点鎖線で示すように光軸方向に沿い前方に繰り出されると同時に、スプリング20と防砂ゴム21はレンズ保持枠15によってチャージされる。
そして、スプリング20と防砂ゴム21が組みとなってレンズ保持枠１５と鏡筒枠1９との間に配置しているので、レンズ保持枠15を一方向に付勢しながら、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠1９の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入した異物を確実にくい止めることができ、鏡筒駆動部の動作に支障を生じることはない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、防砂ゴム２１の材質が遮光性を有することにより、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠1９の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入する光線を遮光することができるので、鏡筒内部の構造を複雑にする必要がない。
さらに、このようなレンズ鏡筒をカメラに取り付けることにより、砂や塵の多い場所でもスムースなフォーカス駆動による撮影を行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図4及び図5は本発明の第2実施例を示すものである。説明を簡単にするために、前述第1実施例と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、相違する点のみを説明する。
図４は本実施例のレンズ鏡筒の縦断面図、図5は図4のＢ部の拡大図である。
本実施例では、前述第1実施例におけるスプリング20と防砂ゴム21とが各別に組み込まれているのに代えて、スプリング20と防砂ゴム21ａが一体化された防止部材で形成されている。その他の構成は前述第1実施例と同様である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
以上の構成の本実施例は、防止部材によりレンズ保持枠１５を一方向に付勢しながら、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠19の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入した異物を確実にくい止めることができ、鏡筒駆動部の動作に支障が生じることはない。
しかも、防止部材はスプリング20と防砂ゴム21ａが一体化しているので、スプリング20と防砂ゴム21ａとを各別に組み込むことが不要となり、コストアップすることがない。
また、防砂ゴム２１ａの材質が遮光性を有することにより、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠19の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入する光線を遮光することができるので、鏡筒内部の構造を複雑にする必要がない。
さらに、このようなレンズ鏡筒をカメラに取り付けることにより、砂や塵の多い場所でもスムースなフォーカス駆動による撮影を行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以上の構成の本実施例は、スプリング20と防砂ゴム21ｂが組みとなってレンズ保持枠15と鏡筒枠19との間に配置しているので、レンズ保持枠15を一方向に付勢しながら、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠19の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入した異物を確実にくい止めることができ、鏡筒駆動部の動作に支障が生じることはない。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
しかも、防砂ゴム２１ｂは伸縮自在な蛇腹形状にしているので、レンズ保持枠15が光軸方向に繰り出された時、正確に防砂ゴム21ｂを圧縮することができる。
また、防砂ゴム21ｂの材質が遮光性を有することにより、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠19の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入する光線を遮光することができるので、鏡筒内部の構造を複雑にする必要がない。
さらに、このようなレンズ鏡筒をカメラに取り付けることにより、砂や塵の多い場所でもスムースなフォーカス駆動による撮影を行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
以上の構成の本実施例は、弾性を有する伸縮自在の蛇腹形状の防砂ゴム21ｃでレンズ保持枠15の外周と鏡筒枠19の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入した異物を確実にくい止めることができるとともに、レンズ保持枠１５が光軸方向に繰り出された時、正確に防砂ゴム21ｃを圧縮させることができ、鏡筒駆動部の動作に支障が生じることはない。
さらに、防砂ゴム21ｃが弾性を有するので、前述の各実施例のようなスプリングが不要となり、コストダウンを図ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、防砂ゴム２１ｃの材質が遮光性を有することにより、レンズ保持枠15の外周と鏡筒枠1９の撮影開口部１９ａとの隙間から侵入する光線を遮光することができるので、鏡筒内部の構造を複雑にする必要がない。
さらに、このようなレンズ鏡筒をカメラに取り付けることにより、砂や塵の多い場所でもスムースなフォーカス駆動による撮影を行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月10日(2004.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影レンズと、
被写体からの光束を受光し、該光束の強度に応じた信号列を出力する、複数の光電変換素子からなるイメージセンサーと、
記録媒体上の、互いに寸法の異なる第１記録領域と第２記録領域のそれぞれに対応する撮影画面を切り替えることが可能な撮影画面設定手段と、
前記信号列の出力が所定の条件を満たしている場合に、前記撮影レンズの焦点調節状態を求める焦点検出演算手段、とを有するカメラの焦点検出装置において、
前記所定の条件を、前記撮影画面設定手段により設定された撮影画面に応じて設定する制御手段を備えることを特徴とするカメラの焦点検出装置。
【請求項２】
前記所定の条件は、前記被写体のコントラストに関する条件であり、前記撮影画面設定手段により設定された撮影画面の大きさが小さいほど、より高い前記コントラストを要求する条件に設定することを特徴とする請求項１に記載のカメラの焦点検出装置。
【請求項３】
前記コントラストに関する条件は、前記被写体のコントラストに依存する値であり、第１の撮影画面において設定されている第１のコントラストに依存する値を、前記第１の撮影画面より大きい第２の撮影画面において設定されている第２のコントラストに依存する値より大きくすることを特徴とする請求項２に記載のカメラの焦点検出装置。
【請求項４】
前記所定の条件は、一対の前記信号列の一致度であり、前記撮影画面設定手段により設定された撮影画面の大きさが小さいほど、より高い前記一致度を要求する条件に設定することを特徴とする請求項１に記載のカメラの焦点検出装置。
【請求項５】
前記一致度は、一対の前記信号列の相関量の極小値を前記被写体のコントラストに依存する値で割った数値であり、第１の撮影画面において設定されている第１の数値を、前記第１の撮影画面より大きい第２の撮影画面において設定されている第２の数値より小さくすることを特徴とする請求項４に記載のカメラの焦点検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１の発明は、撮影レンズ１００と、被写体からの光束を受光し、該光束の強度に応じた信号列を出力する、複数の光電変換素子からなるイメージセンサー２と、記録媒体上の、互いに寸法の異なる第１記録領域と第２記録領域のそれぞれに対応する撮影画面を切り替えることが可能な撮影画面設定手段４と、前記信号列の出力が所定の条件を満たしている場合に、撮影レンズ１００の焦点調節状態を求める焦点検出演算手段３、とを有するカメラの焦点検出装置において、前記所定の条件を、撮影画面設定手段４により設定された撮影画面に応じて設定する制御手段５を備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項４の発明は、一対の前記信号列の一致度であり、撮影画面設定手段４により設定された撮影画面の大きさが小さいほど、より高い前記一致度を要求する条件に設定する。
請求項５の発明は、前記一致度は、一対の前記信号列の相関量の極小値Ｃｅｘを前記被写体のコントラストに依存する値Ｅで割った数値Ｃｅｘ／Ｅであり、第１の撮影画面において設定されている第１の数値を、前記第１の撮影画面より大きい第２の撮影画面において設定されている第２の数値より小さくする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月14日(2004.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、少なくとも１つの正レンズを含み全体として負のパワーを有する前群と、開口絞りと、少なくとも１つの負レンズと正のパワーの回折面を有する回折光学素子とを含み、全体として正のパワーを有する後群とで構成され、以下の条件式を満足することを特徴とする広角レンズ。
０．００５＜ｆ／ｆDOE ＜０．０３                      ・・・（１）
ただし、ｆは全系の焦点距離、ｆDOE は前記回折面の焦点距離であり、基板のパワーは含まない。
【請求項２】
請求項１の広角レンズであって、さらに以下の条件式を満足することを特徴とする広角レンズ。
−１．５＜ｆDOE ／ν1 ＜０                            ・・・（２）
−０．５＜ｆDOE ／ν2 ＜０．７                        ・・・（３）
ただし、ν1 は前記前群の等価アッベ数、ν2 は前記後群の等価アッベ数であり、前記等価アッベ数は、前記回折面を除いた屈折レンズの焦点距離とアッベ数の関数であり、以下の式で定義する。
1999064726.tif 000001
ここで、νijは前記第ｉ群にあるｊ番目のレンズのアッベ数、ｆijは前記第ｉ群にあるｊ番目のレンズの焦点距離である。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の広角レンズであって、以下の条件を満足することを特徴とする広角レンズ。
−１．１＜ｆ／ｆ1 ＜−０．１                          ・・・（８）
０．３＜ｆ／ｆ2 ＜０．７                              ・・・（９）
ただし、ｆ1 は前記前群の焦点距離、ｆ2 は前記後群の焦点距離である。
【請求項４】
請求項１又は２記載の広角レンズであって、以下の条件を満足することを特徴とする広角レンズ。
−２．１＜ｆ1r／ｆ2f＜−０．５                      ・・・（１１）
ただし、ｆ1rは前記前群の最も像側に配されるレンズの焦点距離、ｆ2fは前記後群の最も物体側に配されるレンズの焦点距離である。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１項に記載の広角レンズを撮影レンズとして用いたことを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
さらに、色収差に関しては、近軸的に軸上色収差は開口絞りより物体側にある上記前群で正の色収差を、開口絞りより像面側にある上記後群で負の色収差を発生させる。また、倍率色収差に関しては、前群で負の色収差を、後群においても負の色収差を発生させてしまう。そのため、軸上色収差は前後群で補正することが可能であるが、倍率色収差の補正ができない。そこで、従来のレトロフォーカスタイプの撮影レンズは、それぞれの群の中を正負複数のレンズで構成し、各群にて軸上色収差と倍率色収差の発生量を小さく保ち、目標性能を達成しようとしていた。このような撮影レンズは、例えば特開平７−２７９７３号や特開平９−４９９６８号のように接合レンズを使用して補正を行っていた。しかし、これらの実施例は倍率色収差が非常に大きく、特にｇ線に関しては画角周辺になるにつれて非常に大きくなってしまう。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月11日(2004.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】照明光学装置、並びに露光方法及び装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長２２０ｎｍ以下の照明光を供給する光源と、該光源からの照明光の照度分布を均一化するためのオプティカル・インテグレータと、該オプティカル・インテグレータを通過した照明光を被照明体に導くコンデンサレンズ系と、を有する照明光学装置において、
前記光源からの照明光を前記オプティカル・インテグレータに導く送光光学系を備え、
該送光光学系内に全反射を利用して前記照明光の光路を偏向する反射光学素子を配置したことを特徴とする照明光学装置。
【請求項２】
請求項１記載の照明光学装置であって、
前記光源はパルス発光のレーザ光源であることを特徴とする照明光学装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の照明光学装置であって、
前記反射光学素子は、前記照明光の波長に対して１．４４以上の屈折率を有する直角プリズムであることを特徴とする照明光学装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項記載の照明光学装置であって、
前記反射光学素子の光学材料は、フッ化カルシウム、石英、フッ化マグネシウム、又はフッ化リチウムであることを特徴とする照明光学装置。
【請求項５】
請求項４記載の照明光学装置であって、
前記反射光学素子の光学材料は、フッ化カルシウムであることを特徴とする照明光学装置。
【請求項６】
請求項５記載の照明光学装置であって、
前記反射光学素子の入射面及び射出面と前記フッ化カルシウムの結晶面との関係は、前記フッ化カルシウムの歪みの影響を低減するように定められていることを特徴とする照明光学装置。
【請求項７】
請求項６記載の照明光学装置であって、
前記反射光学素子の入射面及び射出面は、前記フッ化カルシウムの結晶の（１１１）面に平行であることを特徴とする照明光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか一項記載の照明光学装置であって、
前記光源により供給される前記照明光の開き角は２°以下であることを特徴とする照明光学装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項記載の照明光学装置であって、
前記光源は、ＡｒＦエキシマレーザ又はＦ2レーザを有することを特徴とする照明光学装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９の何れか一項記載の照明光学装置において、
前記送光光学系は、前記光源からの照明光の断面積を拡大させるビーム拡大手段を備え、
前記全反射を利用して前記照明光の光路を偏向する反射光学素子は、前記光源と前記ビーム拡大手段との間の光路に配置されることを特徴とする照明光学装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０の何れか一項記載の照明光学装置において、
前記全反射を利用して前記照明光の光路を偏向する反射光学素子に入射する前記照明光の偏光状態は、直線偏光であることを特徴とする照明光学装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れか一項記載の照明光学装置であって、
前記照明光学装置の照明光路を外気から遮断するためのサブチャンバをさらに備え、
前記サブチャンバ内に酸素含有率の極めて低いガスを供給することを特徴とする照明光学装置。
【請求項１３】
レチクルのパターンをウエハへ露光する露光装置において、
前記レチクルの前記パターンを照明するための、請求項１乃至１２の何れか一項記載の照明光学装置を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
レチクルのパターンをウエハへ露光する露光方法において、
請求項１乃至１２の何れか一項記載の照明光学装置を用いて、前記レチクルの前記パターンを照明する工程と、
前記レチクルの前記パターンを前記ウエハへ転写する工程とを備えていることを特徴とする露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は斯かる点に鑑み、遠紫外域、更には真空紫外域等の短波長の照明光の光路を偏向して使用する場合に、その照明光の損失を少なくできる照明光学装置と、この照明光学装置を用いた露光方法及び装置とを提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、ＡｒＦエキシマレーザ光の波長における、ＣａＦ2 及び石英の屈折率は共に１．４４以上であり、それ以下の波長に対する屈折率は次第に大きくなるため、ＣａＦ2 、又は石英を直角プリズムにした場合には、それぞれＡｒＦエキシマレーザ光程度より短い波長で開き角が２°までの垂直入射する照明光を全て全反射できる。
また、本発明において、その反射光学素子の光学材料としてフッ化マグネシウム又はフッ化リチウムも使用できる。
また、そのその反射光学素子の光学材料が、フッ化カルシウムである場合に、その反射光学素子の入射面及び射出面とそのフッ化カルシウムの結晶面との関係は、そのフッ化カルシウムの歪みの影響を低減するように定めてもよい。この場合、その反射光学素子の入射面及び射出面は、そのフッ化カルシウムの結晶の（１１１）面に平行であってもよい。
また、本発明において、一例として、その光源により供給されるその照明光の開き角は２°以下である。
また、一例として、その光源は、ＡｒＦエキシマレーザ又はＦ2レーザを有する。
また、その送光光学系は、その光源からの照明光の断面積を拡大させるビーム拡大手段を備え、その全反射を利用してその照明光の光路を偏向する反射光学素子は、その光源とそのビーム拡大手段との間の光路に配置されてもよい。
また、その全反射を利用してその照明光の光路を偏向する反射光学素子に入射するその照明光の偏光状態は、直線偏光であってもよい。
また、その照明光学装置の照明光路を外気から遮断するためのサブチャンバをさらに備え、そのサブチャンバ内に酸素含有率の極めて低いガスを供給してもよい。
次に、本発明による露光装置は、レチクル（Ｒ）のパターンをウエハ（Ｗ）へ露光する露光装置において、そのレチクルのそのパターンを照明するために、本発明の照明光学装置を備えているものである。
また、本発明による露光方法は、レチクル（Ｒ）のパターンをウエハ（Ｗ）へ露光する露光方法において、本発明の照明光学装置を用いて、そのレチクルのそのパターンを照明する工程と、そのレチクルのそのパターンをそのウエハへ転写する工程とを備えているものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、その反射光学素子の光学材料が、フッ化カルシウム又は石英である場合には、照明光としてＡｒＦエキシマレーザ光が使用できる。更に、その反射光学素子の光学材料が、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、又はフッ化リチウムであれば、Ｆ2 レーザ光についても照明光として使用できる。