【手続補正書】
【提出日】平成16年8月24日(2004.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図１５(a1)に熱引き法による光ファイバーの先鋭化工程を示す。熱引き法の場合には光ファイバー301に張力を掛けた状態で、CO2レーザなどのレーザビーム302を光ファイバー301に集光する。このときレーザ光によるエネルギーが集光された部分において熱エネルギーに変わり、局所的な融解がおこる。このとき、光ファイバーの両端からさらに張力を掛け続けると、光ファイバーがペンシル型に引き伸ばされて、最後に破断する。照射するレーザビームの強度と照射面積、張力の大きさによって破断面の形状とテーパー角度を調整することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本装置を使用して、ベント型光ファイバープローブ1の撓み量をモニターしながら、粗動機構3によりサンプル2をプローブ1に近接させる。プローブ1とサンプル2間に原子間力が作用する領域まで近づけ、あらかじめ設定した撓み量になると粗動機構3をストップさせ、Z微動機構4aにより、この撓み量が一定となるようにフィードバックを掛ける。この撓み量の初期設定値でのプローブ先端が受ける押圧力は先端が破壊されない程度の力である。この後、制御装置の撓み量のパラメータを変えていき、プローブとサンプル間の距離をZ微動機構4aにより徐々に近接させて先端に掛かる押圧力を増していき先端を破壊し、開口部を形成する。本実施形態では、あらかじめ開口径と撓み量の関係を実験により定量化しているため、撓み量を設定することにより任意の径を持つ開口部を形成することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
本装置を使用して、カンチレバー10を共振周波数近傍で励振し、振幅量をモニターしながら、粗動機構3によりサンプル11を探針10aに近接させる。サンプル11と探針10a間に原子間力が作用する領域まで近づけ、あらかじめ設定した量だけ振幅が減衰すると粗動機構3をストップさせ、Z微動機構4aにより、この振幅量が一定となるようにフィードバックを掛ける。この振幅量の初期設定値での探針先端が受ける押圧力は先端が破壊されない程度の力である。この後、制御装置14の振幅減衰率のパラメータを変えていき、探針とサンプル間の距離をZ微動機構4aにより徐々に近接させて先端に掛かる押圧力を増していき先端を破壊し、開口部を形成する。本実施形態においても、あらかじめ開口径と振幅減衰率の関係を実験により定量化しているため、振幅減衰率を設定することにより任意の径を持つ開口部を形成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本装置を使用して、プローブ20をサンプル表面と平行な面内で共振周波数近傍で加振し、振幅量をモニターしながら、粗動機構3によりサンプル21をプローブ20に近接させる。サンプル21とプローブ20間にシアフォース力が作用する領域まで近づけ、あらかじめ設定した量だけ振幅が減衰すると粗動機構3をストップさせ、Z微動機構4aにより、この振幅量が一定となるようにフィードバックを掛ける。この振幅量の初期設定値でのプローブ先端が受ける押圧力とシアフォース力は先端が破壊されない程度の力である。この後、制御装置の振幅減衰率のパラメータを変えていき、プローブとサンプル間の距離をZ微動機構4aにより徐々に近接させて先端に掛かる押圧力とシアフォース力を増していき先端を破壊し、開口部を形成する。本実施形態においても、あらかじめ開口径と振幅減衰率の関係を実験により定量化しているため、振幅減衰率を設定することにより任意の径を持つ開口部を形成することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
本装置を使用して、電流量をモニターしながら、粗動機構3によりサンプル31をプローブ30に近接させる。プローブ30とサンプル31間にトンネル電流が流れる領域まで近づけ、トンネル電流値があらかじめ設定した量になると、粗動機構3をストップさせ、Z微動機構4 aにより、このトンネル電流値が一定となるようにフィードバックを掛ける。このトンネル電流値の初期設定値でのプローブ先端が受ける押圧力は先端が破壊されない程度の力である。この後、制御装置35のトンネル電流のパラメータを変えていき、プローブ30とサンプル31間の距離をZ微動機構4aにより徐々に近接させて先端に掛かる押圧力を増していき先端を破壊し、開口部30aを形成する。本実施形態においても、あらかじめ開口径とトンネル電流値の関係を実験により定量化しているため、トンネル電流値を設定することにより任意の径を持つ開口部を形成することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
本装置を使用して、開口を形成する場合、レーザビームをプリズム41の下方から全反射条件で入射させ、プリズム表面にエバネッセント場を形成する。次に粗動機構3によりプリズム41を探針4 0aに近接させる。探針40aがエバネッセント領域まで近づくと、探針先端で、エバネッセント光が散乱され、伝播光に変換される。この伝播光はエバネッセント場発生領域の斜め上方に設置された集光レンズ46により集光され光電子増倍管44aにより強度が測定される。エバネッセント光強度はプリズム表面からの距離に依存するため、この散乱光強度が一定となるようにフィードバックを掛ければ、探針とプリズム表面間の距離制御が可能となる。散乱光強度があらかじめ設定した量になると、粗動機構3をストップさせ、Z微動機構4aにより、この散乱光強度が一定となるようにフィードバックを掛ける。この散乱光強度の初期設定値での探針先端が受ける押圧力は先端が破壊されない程度の力である。この後、制御装置の散乱光強度のパラメータを変えていき、探針40aとプリズム41間の距離をZ微動機構4aにより徐々に近接させて先端に掛かる押圧力を増していき先端を破壊し、開口部を形成する。本実施形態においても、あらかじめ開口径と散乱光強度の関係を実験により定量化しているため、散乱光強度を設定することにより任意の径を持つ開口部を形成することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
本装置を使用して、開口を形成する場合、レーザビームを集光レンズ58により集光して、光ファイバープローブの末端50bから入射させ、プローブ先端に設けられた微小開口部50a近傍にエバネッセント場を形成する。次に粗動機構3によりサンプル51をプローブ50に近接させる。サンプル51がプローブ50の先端まで近づくと、サンプル表面で、エバネッセント光が散乱され、伝播光に変換される。この伝播光はプローブ先端の斜め上方に設置された集光レンズ57により集光され光電子増倍管54aにより強度が測定される。エバネッセント光強度はサンプル表面からの距離に依存するため、この散乱光強度が一定となるようにフィードバックを掛ければ、プローブとサンプル表面間の距離制御が可能となる。散乱光強度があらかじめ設定した量になると、粗動機構3をストップさせ、Z微動機構4aにより、この散乱光強度が一定となるようにフィードバックを掛ける。この散乱光強度の初期設定値でのプローブ先端が受ける押圧力は先端が破壊されない程度の力である。この後、制御装置の散乱光強度のパラメータを変えていき、プローブ50とサンプル51間の距離をZ微動機構4aにより徐々に近接させて先端に掛かる押圧力を増していき先端を押し広げ、所望の径を持つ開口部を形成する。本実施形態においても、あらかじめ開口径と散乱光強度の関係を実験により定量化しているため、散乱光強度を設定することにより任意の径を持つ開口部を形成することができる。