Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月22日(2005.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２５】
ステータ鉄心と、
このステータ鉄心の内周側に配置されたロータ鉄心と、
前記ステータ鉄心の両側に設けられたベアリングブラケット及びハウジングと、
前記ベアリングブラケット及び前記ハウジングに内蔵された軸受により支持されるロータシャフトと、
前記ステータ鉄心の外周部に設けられ前記ステータ鉄心を介して前記ステータ鉄心に設けられたコイルを冷却するように冷却風が通る風穴と
を具備することを特徴とする車両用全閉形電動機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図１４は、一般的な冷却構造を示しており、シャフト５に取り付けられたファン１９がかご形回転子の回転と共に回転し、吐き出し口２０から機内（以下機内）の空気を排出する。これにより機内には吸入口２１から多量の外気が矢印のように流入するので電動機は十分冷却され、絶縁物の劣化や電導材の強度低下を招かずに長期的に性能を維持しつづけることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
図１１及び図１２に示す車両用全閉形電動機は、図１のロータ部に永久磁石を用いるものの代りに、図１４で述べた従来形のかご形回転子で構成したもので、回転子の部分の発熱を冷却するため、ロータシャフト１０５に風穴２１１を設けものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月9日(2005.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペニバチルス属に属し、プラスチック分解能を有する微生物、または、プラスチック分解能を有するその変異株。
【請求項２】
ペニバチルス属に属する微生物がペニバチルスアミロリチカスである、請求項１記載の微生物。
【請求項３】
ペニバチルス属に属する微生物がペニバチルスアミロリチカス TB−13株（受託番号ＦＥＲＭ  Ｐ−１９１０４）である、請求項１記載の微生物。
【請求項４】
プラスチックが分子構造中にエステル結合を有するものである、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の微生物。
【請求項５】
プラスチックがポリウレタンである、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の微生物。
【請求項６】
プラスチックがポリ乳酸、ポリブチレンサクシネート、ポリブチレンサクシネート−ｃｏ−アジペート、またはポリエチレンサクシネートである、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の微生物。
【請求項７】
ペニバチルス属に属し、プラスチック分解能を有する微生物またはその変異株をプラスチックと接触させる工程を含む、プラスチックの分解方法。
【請求項８】
ペニバチルス属に属する微生物がペニバチルス アミロリチカスである、請求項７記載の分解方法。
【請求項９】
ペニバチルス属に属する微生物がペニバチルスアミロリチカス TB−13株（受託番号ＦＥＲＭ  Ｐ−１９１０４）である、請求項７記載の分解方法。
【請求項１０】
プラスチックがポリウレタンである、請求項７乃至９のいずれか一項に記載の分解方法。
【請求項１１】
プラスチックが分子構造中にエステル結合を有するものである、請求項７乃至９のいずれか一項に記載の分解方法。
【請求項１２】
プラスチックがポリ乳酸、ポリブチレンサクシネート、ポリブチレンサクシネート−ｃｏ−アジペート、またはポリエチレンサクシネートである、請求項７乃至９のいずれか一項に記載の分解方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月3日(2005.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、ヘッド部の下部に設けた接続部にも上記と同様の釣り針を接続するが、この接続は挿入杆をソフトルアーに挿入する前であっても良いし、上述の如く挿入杆をソフトルアーに挿入した後であっても良い。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、前記ヘッド部(１)は、図４に示す如く、釣り針(６)の接続部を設けた下部面(９)の両側を、両側方向に膨出してエラ部(１８)としている。このエラ部(１８)は下部面(９)とともに、接続部(７)の両側に一定幅の幅広な平面を形成することになり、接続部(７)に接続した釣り針(６)が、ヘッド部(１)の上面側に反転することを防止して、メインライン(４)への釣り針(６)の絡みを防止するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１    ヘッド部
４    メインライン
５    連結部
６    釣り針
７    接続部
８    尾部
９    下部面
１０    ソフトルアー
１１    挿入杆
１２    スナップ
１５    腹部
１６    係合部
１８    エラ部
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月1日(2005.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【特許文献１】米国特許第3,220,929号
【特許文献２】米国特許第3,563,857号
【特許文献３】特開平5-244970号
【特許文献４】特公昭45-25273号公報
【特許文献５】特開昭49-125590号公報
【特許文献６】特開昭50-25790号公報
【特許文献７】特開昭52-18886号公報
【特許文献８】特開平4-91793号公報
【特許文献９】特表平3-505284号公報
【特許文献１０】国際公開パンフレット第00/61723号（WO 00/61723 A1）
【特許文献１１】国際公開パンフレット第01/02542号（WO 01/02542 A1）
【特許文献１２】国際公開パンフレット第01/48146号（WO 01/48146 A1）
【特許文献１３】国際公開パンフレット第01/02543号（WO 01/02543 A1）
【非特許文献１】アミノ酸発酵、学会出版センター、１９５〜２１５頁、１９８６年
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
RSFD80に含まれている変異型dapAは、配列番号１３に示す野生型dapAの塩基配列において塩基番号623のＣがＴに変化した配列を有し、それによって、コードされる変異型DDPSは、配列番号１４に示すアミノ酸配列において118位のヒスチジン残基がチロシン残基に置換された配列を有する。また、RSFD80に含まれている変異型lysCは、野生型lysCの塩基配列において塩基番号1638のＣがＴに変化した配列を有し、それによって、コードされる変異型AKIIIは、352位のスレオニン残基がイソロイシン残基に置換された配列を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月1日(2005.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【特許文献１】特公昭45-25273号公報
【特許文献２】特開昭49-125590号公報
【特許文献３】特開昭50-25790号公報
【特許文献４】特開昭52-18886号公報
【特許文献５】特開平4-91793号公報
【特許文献６】特表平3-505284号公報
【特許文献７】国際公開第00/61723号パンフレット（WO 00/61723）
【特許文献８】特開2001-120269号
【特許文献９】国際公開第97/23597号パンフレット（WO 97/23597）
【特許文献１０】特開平2000-189180号
【特許文献１１】欧州特許出願公開第885962号
【非特許文献１】Molecular Microbiology 22:815-826(1996)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
（１）前記変異体をコードするＤＮＡをメタノール資化性菌に導入したときに、同細菌にＬ−リジンアナログに対する耐性を付与する機能。
前記細菌に「Ｌ−リジンアナログに対する耐性を付与する」とは、前記変異体をコードするＤＮＡが導入されたメタノール資化性菌が、同ＤＮＡを保持しない細菌、例えばメタノール資化性菌の野生株よりも高濃度のＬ−リジンアナログ存在下で生育できるようになることをいう。例えば、一定濃度のＬ−リジンアナログを含有する寒天培地で一定時間培養し、前記ＤＮＡが導入されたメタノール資化性菌の形質転換株がコロニーを形成し、非形質転換株がコロニーを形成しないときは、前記形質転換株はＬ−リジンアナログに対する耐性が付与されている。Ｌ−リジンアナログとしては、Ｓ−（２−アミノエチル）−システインが挙げられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
lysE564がコードするタンパク質のアミノ酸配列は、配列番号２に示す野生型LysEのものと比較すると、アミノ末端から５６番目のグリシンがセリンへ変化しており、lysE562がコードするタンパク質のアミノ酸配列は、配列番号２に示す野生型LysEと比較して、アミノ末端から５６番目のグリシンがセリンへ、１３７番目のアスパラギン酸がグリシンへ、そして、lysE565がコードするタンパク質のアミノ酸配列は、野生型LysEのものと比較すると、アミノ末端から５６番目のグリシンがセリンへ、５５番目のアラニンがスレオニンへ置換したアミノ酸配列を持っていることがわかった。そして、それらに共通する変異点は、５６番目のグリシンからセリンへの変化であることが発見された。この位置における変化が、特にメチロトローフでのＬ−リジン排出に活性のある排出担体を作製する上で、重要なものと推察された。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
dapA及びlysCとメタノール資化性細菌で機能するベクターを連結して組み換えＤＮＡを調製するには、dapA及びlysCを含むＤＮＡ断片の末端に合うような制限酵素でベクターを切断する。連結は、Ｔ４ ＤＮＡリガーゼ等のリガーゼを用いて行うのが普通である。dapA及びlysCは、それぞれ別個のベクターに搭載してもよく、同一のベクターに搭載してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
RSFD80に含まれている変異型dapAは、配列番号３に示す野生型dapAの塩基配列において塩基番号623のＣがＴに変化した配列を有し、それによって、コードされる変異型DDPSは、配列番号４に示すアミノ酸配列において118位のヒスチジン残基がチロシン残基に置換された配列を有する。また、RSFD80に含まれている変異型lysCは、野生型lysCの塩基配列において塩基番号1638のＣがＴに変化した配列を有し、それによって、コードされる変異型AKIIIは、352位のスレオニン残基がイソロイシン残基に置換された配列を有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
【表１】
2004166592.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
【表２】
2004166592.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月1日(2005.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【特許文献１】特公昭45-25273号公報
【特許文献２】特開昭49-125590号公報
【特許文献３】特開昭50-25790号公報
【特許文献４】特開昭52-18886号公報
【特許文献５】特開平4-91793号公報
【特許文献６】特表平3-505284号公報
【特許文献７】国際公開パンフレット第00/61723号
【特許文献８】国際公開パンフレット第97/23597号
【特許文献９】特開平2000-189180号
【特許文献１０】欧州特許公開第885962号公報
【非特許文献１】Vrljic M., Sahm H., Eggeling L. Molecular Microbiology 22:815-826(1996)
【非特許文献２】Bellmann A., Vrljic M., Patek M., Sahm H., Kramer R., Eggeling L. Microbiology 147:1765-1774(2001)
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月15日(2005.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
置換または欠損の導入対象である染色体ＤＮＡ上の領域の両外側に有するＤＮＡまたは該ＤＮＡと相同性を有するＤＮＡを薬剤耐性遺伝子の両端に有する直鎖ＤＮＡを用いて微生物を形質転換することを特徴とする、染色体ＤＮＡ上の１０ｋｂ以上の領域が置換または欠損した微生物の製造法。
【請求項２】
請求項１記載の製造法で得られた染色体ＤＮＡ上の１０ｋｂ以上の領域が置換または欠損した微生物に、請求項１で用いられる置換または欠損の導入対象である染色体ＤＮＡ上の領域の両外側に存在するＤＮＡまたは該ＤＮＡと相同性を有するＤＮＡをその両端に有する直鎖ＤＮＡを導入することにより、染色体ＤＮＡ上に挿入された薬剤耐性遺伝子を削除することを特徴とする、染色体ＤＮＡ上の１０ｋｂ以上の領域が置換または欠損した微生物の製造法。
【請求項３】
以下の［１］〜［３］の工程を含む染色体ＤＮＡ上の１０ｋｂ以上の領域が置換または欠損した微生物の製造法。
［１］置換または欠損の導入対象である染色体ＤＮＡ上の領域の両外側に存在するＤＮＡまたは該ＤＮＡと相同性を有するＤＮＡを、薬剤耐性遺伝子およびネガティブセレクションに用いることができる遺伝子の両端に有する直鎖ＤＮＡを用いて微生物を形質転換する工程
［２］上記［１］で用いた置換または欠損の導入対象である染色体ＤＮＡ上の領域の両外側に存在するＤＮＡまたは該ＤＮＡと相同性を有するＤＮＡをその両端に有する直鎖ＤＮＡを該形質転換体に導入する工程
［３］染色体ＤＮＡ上から、[１]で用いた薬剤耐性遺伝子およびネガティブセレクションに用いることができる遺伝子が削除された形質転換体を選択する工程
【請求項４】
請求項３の［１］〜［３］の工程を繰り返すことを特徴とする染色体ＤＮＡ上の異なる位置に存在する２以上の１０ｋｂｐ以上の領域が置換または欠損した微生物の製造法。
【請求項５】
置換または欠損の導入対象である染色体ＤＮＡ上の領域の両外側に位置するＤＮＡまたは該ＤＮＡと相同性を有するＤＮＡが、各々５００ｂｐ〜５ｋｂｐの長さを有するＤＮＡである請求項１〜４記載の製造法。
【請求項６】
微生物が、Escherichia属に属する微生物である請求項１〜５記載の製造法。
【請求項７】
薬剤耐性遺伝子が、カナマイシン耐性遺伝子、クロラムフェニコール耐性遺伝子、ゲンタマイシン耐性遺伝子、スペクチノマイシン耐性遺伝子、テトラサイクリン耐性遺伝子およびアンピシリン耐性遺伝子からなる群より選ばれる遺伝子である請求項１〜６記載の製造法。
【請求項８】
ネガティブセレクションに用いることができる遺伝子が、Bacillus属に属する微生物由来のｓａｃＢ遺伝子またはEscherichia属に属する微生物由来のｒｐｓＬ遺伝子である請求項３〜７記載の製造法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月21日(2005.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
〔カウンターリールの動作とカウンター機能〕
以上のように、ハンドル部２が本体部材１の右側に装着されている両軸受リールを使用する場合、クラッチ操作レバー１４をＯＮにしてハンドル部２からスプール１０への回転力の伝達を有効にした状態でハンドル部２を操作すると、ハンドル部２の回転に応じて、スプール１０が回転するとともに、レベルワインド駆動機構４０も同時に動作し、ラインガイド５０から案内される釣り糸が、スプール３の外周に前後方向に均一に巻き取られる。このとき、ガイド筒４１の下方に形成されたリブ５２によって、ラインガイド５０への糸がらみが防止される。また、クラッチ操作レバー１４をＯＦＦにしてハンドル部２からスプール１０への回転力の伝達を無効にすると、スプール１０がハンドル部２とは独立に回転可能となり、釣り糸に取り付けられた仕掛けの重みによって釣り糸は前方に繰り出される。このとき、制御部３０では、釣り糸の巻き取り時・繰り出し時ともに、スプール１０の回転数から棚位置や現在の仕掛けの水深等が計測される。また、計測結果が、記憶部３３に保存されつつ、７セグメント方式の表示面５ａに表示される。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月12日(2005.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３９】
カメラ本体１Ａおよび外付け閃光器１１間の通信１の処理について、図２３のフローチャートを参照して説明する。図２３のステップＳ５０１において、演算回路１０１Ａは、時間ｔの計時を開始してステップＳ５０２へ進む。ｔの初期値は０である。ステップＳ５０２において、演算回路１０１Ａは、コントローラ２０１との間の通信が成立したか否かを判定する。通信成立の判定は、所定のプロトコルチェックによって行う。演算回路１０１Ａは、通信成立の場合にステップＳ５０２を肯定判定してステップＳ５０３へ進む。一方、演算回路１０１Ａは、通信不成立の場合にステップＳ５０２を否定判定してステップＳ５０７へ進む。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2004166046.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2004166046.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２０】
2004166046.tif 000003
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４】
2004166046.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月3日(2005.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
請求項７において、
前記圧縮アルゴリズム選択手段は、前記各圧縮アルゴリズムごとに、前記印刷データ生成手段で生成した印刷データを当該圧縮アルゴリズムに従って圧縮し、その圧縮結果に基づいて前記印刷データの圧縮率を算出し、算出した圧縮率が最大となる圧縮アルゴリズムを前記複数の圧縮アルゴリズムのなかから選択するようになっていることを特徴とする印刷要求端末。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
請求項７において、
前記圧縮アルゴリズム選択手段は、前記各圧縮アルゴリズムごとに、前記印刷データ生成手段で生成した印刷データを当該圧縮アルゴリズムに従って圧縮し、その圧縮結果に基づいて、前記印刷装置へのデータ転送時間および前記印刷データ伸長手段での伸長時間を含む処理時間を推定し、推定した処理時間が最小となる圧縮アルゴリズムを前記複数の圧縮アルゴリズムのなかから選択するようになっていることを特徴とする印刷要求端末。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
請求項８および９のいずれかにおいて、
前記圧縮アルゴリズム選択手段は、前記複数の圧縮アルゴリズムのなかから前記圧縮アルゴリズムを選択し、選択した圧縮アルゴリズムに従って前記印刷データを圧縮し、印刷要求を入力したときは、当該入力までに行った圧縮結果に基づいて前記圧縮アルゴリズムを選択するようになっていることを特徴とする印刷要求端末。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
請求項１０において、
前記圧縮アルゴリズム選択手段は、当該圧縮アルゴリズム選択手段の選択履歴を示す選択履歴情報を選択履歴情報記憶手段に記憶し、前記選択履歴情報記憶手段の選択履歴情報に基づいて、当該圧縮アルゴリズム選択手段による選択頻度が高い順に前記圧縮アルゴリズムを選択するようになっていることを特徴とする印刷要求端末。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
請求項１０において、
前記文書データ編集手段を複数有し、
前記圧縮アルゴリズム選択手段は、前記各文書データ編集手段ごとに、当該圧縮アルゴリズム選択手段の選択履歴を示す選択履歴情報を選択履歴情報記憶手段に記憶し、前記選択履歴情報記憶手段の選択履歴情報に基づいて、前記複数の文書データ編集手段のうち前記文書データの取得先となったものについて当該圧縮アルゴリズム選択手段による選択頻度が高い順に前記圧縮アルゴリズムを選択するようになっていることを特徴とする印刷要求端末。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月2日(2005.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体上の情報及び関連情報の再生を制御するプログラムであって、
記録媒体上に記録されている所定の情報に関連した特定情報を外部から取得するステップと、
記録媒体の媒体識別情報を取得するステップとを有し、
特定情報を取得した場合には、再生装置内の記憶装置に、前記媒体識別情報との関連付けを行い、記憶するように制御を行うことを特徴とするプログラム。
【請求項２】
請求項１に記載のプログラムにおいて、
前記特定情報を再生装置内の記憶装置に記憶する場合には、前記媒体識別情報との関連付けに加えて、特定情報の内容に関する符号を付して記憶するように制御を行うことを特徴とするプログラム。
【請求項３】
記録媒体上の情報及び関連情報の再生を制御するプログラムであって、
記録媒体の媒体識別情報を取得するステップを有し、
記録媒体上に記録されている所定の情報に関連した特定情報を再生する場合には、再生装置内の記憶装置に、前記媒体識別情報と関連付けられた特定情報が記憶されているかどうかに応じて、特定情報の取得先を切替えるように制御を行うことを特徴とするプログラム。
【請求項４】
記録媒体上の情報及び関連情報の再生を制御するプログラムであって、
記録媒体の媒体識別情報を取得するステップを有し、
再生装置内の記憶装置に記憶された前記媒体識別情報、または媒体識別情報に関連付けられた特定情報に付随する符号を用いて、所望の特定情報の検索をするように制御を行うことを特徴とするプログラム。
【請求項５】
情報を記録した記録媒体であって、
請求項１ないし請求項４に記載のプログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。
【請求項６】
記録媒体から情報を再生する再生装置であって、
記録媒体に記録された媒体識別情報を読み取る識別情報取得手段と、
外部から情報を取得する外部情報取得手段と、
前記媒体識別情報及び前記外部情報取得手段により取得された特定情報を記憶する記憶装置と、
記録媒体に記録された所定の情報、及び前記記憶装置に記憶された特定情報を再生する再生手段とを有することを特徴とする再生装置。
【請求項７】
請求項６に記載の再生装置において、
さらに記録媒体に記録されたプログラムを読み出して実行を行うプログラム実行手段を備え、
前記記録媒体は、請求項５に記載のものであることを特徴とする再生装置。
【請求項８】
請求項６に記載の再生装置において、
請求項１ないし請求項４に記載のプログラムを内蔵したことを特徴とする再生装置。
【請求項９】
請求項７あるいは請求項８に記載の再生装置であって、
記録媒体が挿入されていない場合でも、前記再生手段は前記記憶装置に記憶された特定情報の再生を行うことを特徴とする再生装置。
【請求項１０】
請求項６乃至請求項９のいずれかに記載の再生装置であって、
前記外部情報取得手段の情報取得対象である外部とは、ネットワークであることを特徴とする再生装置。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月9日(2005.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源からの複数パルスからなるレーザビームを光ディスクに照射してマークを記録する光ディスク記録方法であって、
前記複数パルスのうち先頭パルスの位置及び幅を、記録するマーク長さ及び前スペース長さに応じて独立制御して記録することを特徴とする光ディスク記録方法。
【請求項２】
請求項１記載の光ディスク記録方法であって、前記マーク長さを２Ｔ、３Ｔ、４Ｔ以上の３種類に分類し、かつ前記前スペース長さを２Ｔ、３Ｔ、４Ｔ、５Ｔ以上の４種類に分類し、
前記３種類のマーク長さ及び前記４種類の前スペース長さの組み合わせに基づいて前記先頭パルスの位置及び幅を独立制御することを特徴とする光ディスク記録方法。
【請求項３】
複数パルスからなるレーザビームを光ディスクに照射するレーザ光源と、
前記レーザ光源を有する光ピックアップと、
前記レーザ光源を制御する制御手段と、
前記光ディスクを保持する保持機構とを有する光ディスク装置であって、
前記レーザ光源が、前記複数パルスからなるレーザビームを前記光ディスクに照射してマークを記録する際、
前記制御手段が、前記複数パルスのうち先頭パルスの位置及び幅を、記録するマーク長さ及び前スペース長さに応じて独立制御して記録することを特徴とする光ディスク装置。
【請求項４】
請求項３記載の光ディスク装置であって、前記マーク長さを２Ｔ、３Ｔ、４Ｔ以上の３種類に分類し、かつ前記前スペース長さを２Ｔ、３Ｔ、４Ｔ、５Ｔ以上の４種類に分類し、
前記制御手段が、前記３種類のマーク長さ及び前記４種類の前スペース長さの組み合わせに基づいて前記先頭パルスの位置及び幅を独立制御することを特徴とする光ディスク装置。
【請求項５】
複数パルスからなるレーザビームを照射することにより情報を記録可能な記録膜を備えた光ディスクであって、
前記複数パルスのうち先頭パルスの位置及び幅を、記録するマーク長さ及び前スペース長さに応じて独立制御するためのディスク情報が予め記録されていることを特徴とする光ディスク。
【請求項６】
請求項５記載の光ディスクであって、前記マーク長さを２Ｔ、３Ｔ、４Ｔ以上の３種類に分類し、かつ前記前スペース長さを２Ｔ、３Ｔ、４Ｔ、５Ｔ以上の４種類に分類し、
前記ディスク情報は、前記３種類のマーク長さ及び前記４種類の前スペース長さの組み合わせに基づいて前記先頭パルスの位置及び幅を独立制御するための情報であることを特徴とする光ディスク。
【請求項７】
請求項５または６記載の光ディスクであって、
前記ディスク情報は前記光ディスクのコントロールゾーンに記録されていることを特徴とする光ディスク。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
線方向の最短マーク長はＤＶＤ−ＲＡＭが約０．４２μｍであるのに対し、該次世代光ディスクでは約０．１５μｍであって、隣接するマーク及びスペース間隔が物理的に、より接近する構造となっている。そのためマークを記録する際に注入するエネルギーによる熱の干渉が発生しやすいという問題がある。特に将来高速記録が可能な記録媒体が出てきた際には、該記録媒体を下位互換のために低速の記録装置で記録することが望まれるが、このような高速記録可能な記録媒体は記録感度を向上するために蓄熱しやすい特性となり、上述した熱干渉の問題はより深刻となることが予想される。このため記録時のマークエッジシフトはより顕著になるという問題がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
しかしながら、前述したように、特に本発明で想定している次世代光ディスクのように最短マーク長及び最短スペース長が０．２μｍ以下となるような場合においては、記録時において隣接したマーク間の熱的な干渉は更に大きくなり、常に安定した記録をすることが困難である。追記型の記録膜は特に熱干渉の影響を受けやすい特性があり、前スペース長の違いによるマークの前エッジシフトが顕著である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
光ディスク記録方法として、レーザ光源からの複数パルスからなるレーザビームを光ディスクに照射してマークを記録する光ディスク記録方法であって、前記複数パルスのうち先頭パルスの位置及び幅を、記録するマーク長さ及び前スペース長さに応じて独立制御して記録することを特徴とする光ディスク記録方法とした。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
光ディスク装置として、複数パルスからなるレーザビームを光ディスクに照射するレーザ光源と、前記レーザ光源を有する光ピックアップと、前記レーザ光源を制御する制御手段と、前記光ディスクを保持する保持機構とを有する光ディスク装置であって、前記レーザ光源が、前記複数パルスからなるレーザビームを前記光ディスクに照射してマークを記録する際、前記制御手段が、前記複数パルスのうち先頭パルスの位置及び幅を、記録するマーク長さ及び前スペース長さに応じて独立制御して記録することを特徴とする光ディスク装置とした。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また光ディスクとして、複数パルスからなるレーザビームを照射することにより情報を記録可能な記録膜を備えた光ディスクであって、前記複数パルスのうち先頭パルスの位置及び幅を、記録するマーク長さ及び前スペース長さに応じて独立制御するためのディスク情報が予め記録されていることを特徴とする光ディスクとした。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
本実施例においては、２Ｔｗの記録パルスの時刻（位置）及び照射時間（幅）の定義を、３Ｔｗ以上とは独立して定義する。すなわちパルスの立ち上がり位置をｄＴｔｏｐ２、照射時間をＴｔｏｐ２とする。ｄＴｔｏｐ２およびＴｔｏｐ２に関し、各々独立に、前スペース長及び後スペース長の組み合わせに応じて図８に示すような参照テーブルを定義する構成とした。なおｄＴｔｏｐ及びＴｔｏｐの参照テーブルについては、記録マーク長に関し、３Ｔｗ以上で定義する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
また最終パルスを規定するｄＴｌｐおよびＴｌｐの参照テーブルに関し、図９に示すように２Ｔｗマークを含めて、記録マーク長を３種類に分類した。それ以外の構成は前記第１の実施形態と同様であり、ここではそれらの構成および機能の説明は省略する。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月18日(2004.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、及び回転させる被測定物位置決め部と、上記被測定物を照明する照明部と、上記被測定物の欠陥位置を指示するレーザビームを発生するレーザビーム照明部と、該レーザビーム照明部からのレーザビームが上記被測定物の欠陥位置を照明するよう制御するレーザビーム位置決め部と、該レーザビーム位置決め部の各回転角と上記被測定物位置決め部の傾斜、回転角とに基づき、上記被測定物上の欠陥位置を算出するコンピュータ部を具備していることを特徴とする板状物体目視検査装置。
【請求項２】
請求項１の板状物体目視検査装置において、上記レーザビーム位置決め部が被測定物の中央直上にあり、上記照明部と干渉しない様に配置されていることを特徴とする板状物体目視検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の板状物体目視検査装置において、欠陥位置を含む欠陥情報を他の装置へ転送するインタフェース部を具備することを特徴とする板状物体目視検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載の板状物体目視検査装置において、欠陥位置情報を含む欠陥情報を保持するメモリ部と、表示する表示部を具備することを特徴とする板状物体目視検査装置。
【請求項５】
被測定物を被測定物位置決め部に固定し、該被測定物位置決め部をポジション決め部を用いて種々の角度に傾斜、回転させ、照明光を該被測定物に照射して欠陥位置の目視検査を行う目視検査装置において、
欠陥位置を発見した場合に、上記被測定物位置決め部を操作してレーザビームの角度に傾斜させて発見した該欠陥位置を該レーザビームで指示し、
該指示されたレーザビームの移動量を計算し、
上記被測定物位置決め部の移動量を計算し、
上記被測定物位置決め部の移動量と上記レーザビームの移動量とから、上記レーザビームで指示された上記被測定物の平面位置座標を算出することを特徴とする目視検査装置の欠陥位置算出方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月18日(2005.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光入力経路(12)と、
ある面積を有する感光面(23)と、ある面積を有し、光に応答して電気信号を生成する複数の光検出器(22)とを有する光検出器アレイ(16)と、
前記光入力経路を介して受信した光入力信号を集束させ、前記光検出器アレイ(16)の感光面に、該感光面の面積よりも小さく、前記光検出器１つの面積よりも大きい面積のスポットを形成するように配置された光集束素子(14)と、
前記電気信号のうちの少なくとも１つから電気情報信号(40)を生成する情報信号発生器(18)と
からなる光レシーバ。
【請求項２】
前記情報信号発生器は、光信号に応答して生成された前記電気信号を識別し、前記電気信号から前記電気情報信号を生成し、該電気情報信号から、前記電気信号のうちの光入力信号に応答して生成されたものではないものとして識別された電気信号を除外するように動作する、請求項１に記載の光レシーバ。
【請求項３】
前記情報信号発生器は、
前記光検出器アレイから前記電気信号を受信し、該電気信号の受信に応答して、光入力信号に応答して生成された電気信号を識別する識別情報を生成する被照射検出器識別器(50)と、
前記電気信号を加算して前記電気情報信号を生成する加算器（５４）と、
前記加算器によって加算される前記電気信号から、前記識別情報によって光入力信号に応答して生成されたものではないものとして識別された電気信号を除外する電気信号セレクタ(52)と
を含む、請求項１または請求項２に記載の光レシーバ。
【請求項４】
前記情報信号発生器は、
前記光検出器アレイから前記電気信号を受信し、該電気信号の受信に応答して、光入力信号に応答して生成された電気信号を識別する識別情報を生成する被照射検出器識別器(50)と、
前記識別情報により光入力信号に応答して生成されたものとして識別された前記電気信号のうちの１つを前記電気情報信号として選択する電気信号セレクタ(52)と
を含む、請求項１または請求項２に記載の光レシーバ。
【請求項５】
前記光検出器により生成された電気信号のサンプルを情報信号発生器に送るサンプリング及び多重化回路をさらに含む、請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の光レシーバ。
【請求項６】
情報信号で変調された光入力信号から電気情報信号を生成する方法であって、
ある面積を有する感光面と、ある面積を有し、光に応答して電気信号を生成する複数の光検出器とを有する光検出器アレイを設けるステップ(502)と、
光入力信号を光学的に集束させ、前記光検出器アレイの感光面に、該感光面の面積よりも小さく、前記光検出器１つの面積よりも大きい面積のスポットを形成するステップ(504)と、
前記光検出器によって生成された電気信号のうちの少なくとも１つから電気情報信号を生成するステップ(506)と
からなる方法。
【請求項７】
前記光検出器によって生成された電気信号をサンプリングして多重化するステップをさらに含む、請求項６に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月4日(2005.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）レンズ本体部と、
（ｂ）前記レンズ本体部の第１の端に設けられた３次元基準面と、
（ｃ）前記３次元基準面を切り取って設けられた第１の光学表面と、
（ｄ）前記レンズ本体部の第２の端の近傍に設けられた第２の光学表面と、
を含むことを特徴とする成形されたレンズ要素。
【請求項２】
前記３次元基準面と凸状の光学表面との間の略円柱形の本体部に、機械加工により設けられた環状のくぼみデータムを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の成形されたレンズ要素。
【請求項３】
略円柱形のレンズ本体部と前記第２の光学表面との間の略円柱形のレンズ本体部の第２の端に、成形により設けられた第２の３次元基準面を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の成形されたレンズ要素。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月28日(2004.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に被検査土壌の投入口を備えた筒体と、その内周壁に螺旋状に周設したトラックと、この筒体のトラックに上方への送り振動を発生する振動発生器から構成され、前記筒体内には複数の圧砕子が常置されており、前記振動発生器の駆動により圧砕子を被検査土壌と共にトラック上を振動させながら移動させることによって被検査土壌を粉砕する土壌調製装置において、前記トラックの上端には第２の粉砕手段が設けられており、その第２の粉砕手段は、トラックから送られる被検査土壌をその間に受容可能に軸支して回転する少なくとも１対の圧砕用の角柱体から構成され、その角柱体は、対向方向に弾圧され且つ離開可能に設けられていることを特徴とする土壌調製装置
【請求項２】
前記第２の粉砕手段が、トラック上端に設けられたふるい部でふるわれず、表面を通過した被検査土壌を受容できる位置に設けられていることを特徴とする請求項１の土壌調製装置
【請求項３】
前記角柱体が、被検査土壌の進行方向に対して直角に軸支されていることを特徴とする請求項１の土壌調製装置
【請求項４】
前記角柱体が所定の高さで角部の回転位相を変え、且つ回転の際に周壁の角部をオーバーラップさせて回転するように設けられていることを特徴とする請求項１の土壌調製装置
【請求項５】
前記角柱体が所定の間隙を残して、接触せずに回転することを特徴とする請求項１の土壌調製装置
【請求項６】
水平方向に軸支された少なくとも１対の圧砕用の角柱体と、被検査土壌の移送路等に取り付ける固定ブランケットから構成されており、前記角柱体は、送られる被検査土壌をその間に受容可能に軸支して、回転し、また対抗方向に離開可能に設けられていることを特徴とする圧砕装置
【請求項７】
被検査土壌を貯留するホッパーの投入口から供給された被検査土壌を、一対で設けられた圧砕ローラで粉砕する圧砕装置を有し、これに、適当な傾斜角度を付けてフルイ部が設置され、このフルイ部に、粉砕した被検査土壌を震動によって振り分けるメッシュがあり、このメッシュを通過した土壌を、試料土壌として落下回収することを特徴とする土壌調製装置
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月27日(2005.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースと、このケース内に設けられ回転により気体を前記ケース内に吸い込み外部に吹き出す羽根車と、この羽根車の前記気体の吹き出し側に羽根車に対向して前記回転軸にほぼ垂直に設けられ羽根車外周縁の描く円よりも外枠が大きくかつ径方向に延びた側方吹出風路を形成した吹出流制御板とを備え、前記吹出流制御板には前記羽根車と対向する位置に羽根車の外周縁よりも小さい口径の正面吹出風路が形成され、前記ケースに吸い込まれた気体は、前記側方吹出風路及び前記正面吹出風路から外部に吹き出されるようになっている送風装置。
【請求項２】
羽根車の翼外周縁の吹出側端部は、ケースの気体吹き出し側に設けられたファンリングの最内周部の点よりも気体の吹き出し側に突出している請求項１に記載の送風装置。
【請求項３】
ケースと、このケース内に設けられ回転により気体を前記ケース内に吸い込み外部に吹き出す羽根車と、この羽根車の前記気体の吹き出し側に羽根車に対向して前記回転軸にほぼ垂直に設けられ羽根車外周縁の描く円よりも外枠が大きくかつ径方向に延びた側方吹出風路を形成した吹出流制御板と、この吹出流制御板の周縁部に設けられ前記羽根車から吹き出された前記気体を前記側方吹出風路の吹出口に導き、かつ吹出口に向かうに従って拡大した気体の流路断面積を形成した案内壁とを備え、前記ケースの前記気体の吸い込み側に設けられる圧力抵抗体を通過した気体は前記側方吹出風路から外部に吹き出されるようになっている送風装置。
【請求項４】
吹出口は二方向に設けられている請求項３に記載の送風装置。
【請求項５】
羽根車の回転中心はケースの両側面の何れかに片寄っている請求項３または請求項４に記載の送風装置。
【請求項６】
吹出流制御板には、羽根車と対向する位置に正面吹出風路が形成されている請求項３ないし請求項５の何れかに記載の送風装置。
【請求項７】
正面吹出風路の口径は羽根車の外径よりも小さい請求項６に記載の送風装置。
【請求項８】
吹出流制御板にはファンガードが設けられている請求項１,2，６，７の何れかに記載の送風装置。
【請求項９】
吹出流制御板とファンガードとは一体である請求項８に記載の送風装置。
【請求項１０】
ケースの吸い込み側に設けられる圧力抵抗体は、熱交換器である請求項１ないし請求項９の何れかに記載の送風装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る送風装置は、ケースと、このケース内に設けられ回転により気体を前記ケース内に吸い込み外部に吹き出す羽根車と、この羽根車の前記気体の吹き出し側に羽根車に対向して前記回転軸にほぼ垂直に設けられ羽根車外周縁の描く円よりも外枠が大きくかつ径方向に延びた側方吹出風路を形成した吹出流制御板とを備え、前記吹出流制御板には前記羽根車と対向する位置に羽根車の外周縁よりも小さい口径の正面吹出風路が形成され、前記ケースに吸い込まれた気体は前記側方吹出風路及び前記正面吹出風路から外部に吹き出されるようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この発明に係る送風装置では、ケースの吸い込み側に設けられる圧力抵抗体は、熱交換器である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
この発明に係る送風装置によれば、ケースと、このケース内に設けられ回転により気体を前記ケース内に吸い込み外部に吹き出す羽根車と、この羽根車の前記気体の吹き出し側に羽根車に対向して前記回転軸にほぼ垂直に設けられ羽根車外周縁の描く円よりも外枠が大きくかつ径方向に延びた側方吹出風路を形成した吹出流制御板とを備え、前記吹出流制御板には前記羽根車と対向する位置に羽根車の外周縁よりも小さい口径の正面吹出風路が形成され、前記ケースに吸い込まれた気体は前記側方吹出風路及び前記正面吹出風路から外部に吹き出されるようになっているので、気体の吹き出し流れの速度エネルギを静圧に変換することができ、必要動力を小さくすることができる。
また、気体の吹き出し流れの一部を正面吹出風路から放出するので、側方吹出風路の羽根車の軸線方向の寸法を小さくでき、軸線方向の装置全体の寸法を小さくすることができる。
さらに、吹出流制御板からケースの内部へ反射される音を小さくでき、騒音を低減することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月20日(2004.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に堆積された有機絶縁膜をエッチングして、接続孔又は配線溝の少なくとも一方を形成するドライエッチング方法において、
酸素比率の小さいエッチャントを用いることを特徴とする、ドライエッチング方法。
【請求項２】
前記酸素比率の小さいエッチャントは、有機系のガス若しくは炭素ラジカルを発生するガス、又は酸化窒素、又は酸素に窒素系化合物を添加したガス、又は酸素に酸素系化合物を添加したガスのいずれかであることを特徴とする、請求項１記載のドライエッチング方法。
【請求項３】
前記有機系のガス若しくは前記炭素ラジカルを発生するガスは、アルコール、エーテル、ケトン、アルデヒド、カルボン酸のうち少なくとも１種を主成分とするガスであることを特徴とする、請求項２記載のドライエッチング方法。
【請求項４】
前記窒素系化合物は、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミンのいずれかであり、
前記酸素系化合物は、水、過酸化水素、一酸化炭素、二酸化炭素のいずれかであることを特徴とする、請求項２記載のドライエッチング方法。
【請求項５】
前記有機絶縁膜は、不飽和炭素結合を有する化合物からなることを特徴とする、請求項１又は２記載のドライエッチング方法。
【請求項６】
前記不飽和炭素結合を有する化合物は、芳香環、又は炭素の２重結合、又は炭素の３重結合のうち少なくとも１種類を有する化合物であることを特徴とする、請求項５記載のドライエッチング方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のドライエッチング方法は、基板上に堆積された有機絶縁膜をエッチングして、接続孔又は配線溝の少なくとも一方を形成するドライエッチング方法において、酸素比率の小さいエッチャントを用いることを特徴とする。
請求項２記載のドライエッチング方法は、請求項１記載のドライエッチング方法において、酸素比率の小さいエッチャントは、有機系のガス若しくは炭素ラジカルを発生するガス、又は酸化窒素、又は酸素に窒素系化合物を添加したガス、又は酸素に酸素系化合物を添加したガスのいずれかであることを特徴とする。
請求項３記載のドライエッチング方法は、請求項２記載のドライエッチング方法において、有機系のガス若しくは炭素ラジカルを発生するガスは、アルコール、エーテル、ケトン、アルデヒド、カルボン酸のうち少なくとも１種を主成分とするガスであることを特徴とする。
請求項４記載のドライエッチング方法は、請求項２記載のドライエッチング方法において、窒素系化合物は、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミンのいずれかであり、酸素系化合物は、水、過酸化水素、一酸化炭素、二酸化炭素のいずれかであることを特徴とする。
請求項５記載のドライエッチング方法は、請求項１又は２記載のドライエッチング方法において、有機絶縁膜は、不飽和炭素結合を有する化合物からなることを特徴とする。
請求項６記載のドライエッチング方法は、請求項５記載のドライエッチング方法において、不飽和炭素結合を有する化合物は、芳香環、又は炭素の２重結合、又は炭素の３重結合のうち少なくとも１種類を有する化合物であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明のドライエッチング方法によれば、上記のエッチングガスを用いることにより、プラズマ中で過剰な酸素ラジカルが発生せず、接続孔や配線溝に面した有機絶縁膜の側壁の過剰酸化を抑えたエッチングが可能になり、有機絶縁膜へのダメージを抑え、かつ良好な異方性形状が得られる。また、炭素ラジカルを発生するガスを用いると発生する炭素ラジカルにより有機絶縁膜の側壁に高分子側壁保護膜を形成しながらエッチングが進行するため、有機絶縁膜へのダメージを抑え、かつ、良好な異方性形状を形成するうえで、より効果がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月31日(2005.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１導電形の半導体基板上に形成された前記第１導電形と反対の第２導電形の第１半導体領域と、
前記第１半導体領域内に分離されて形成された前記第１導電形の第２、第３半導体領域と、
前記第２半導体領域内に形成された前記第２導電形の第４半導体領域と、
前記第３半導体領域内に形成された前記第２導電形の第５半導体領域と、
前記第２半導体領域と前記第３半導体領域との間の前記第１半導体領域内に形成された、前記第１半導体領域より高濃度の第６半導体領域と、
前記第４半導体領域と前記第６半導体領域との間の前記第２半導体領域上部に形成された第１チャネル領域と、
前記第５半導体領域と前記第６半導体領域との間の前記第３半導体領域上部に形成された第２チャネル領域と、
前記第１チャネル領域上に形成された第１制御電極と、
前記第２チャネル領域上に形成された第２制御電極と、
を具備することを特徴とする交流用スイッチ素子。
【請求項２】  第１導電形の半導体基板上に形成された前記第１導電形と反対の第２導電形の第１半導体領域と、
前記第１半導体領域内に分離されて形成された前記第１導電形の第２、第３半導体領域と、
前記第２半導体領域内に形成された前記第２導電形の第４半導体領域と、
前記第３半導体領域内に形成された前記第２導電形の第５半導体領域と、
前記第４半導体領域と前記第５半導体領域との間の前記第２半導体領域上部に形成された第１チャネル領域と、
前記第４半導体領域と前記第５半導体領域との間の前記第３半導体領域上部に形成された第２チャネル領域と、
前記第１チャネル領域上に形成された第１制御電極と、
前記第２チャネル領域上に形成された第２制御電極と、
を具備することを特徴とする交流用スイッチ素子。
【請求項３】  ｐ形半導体基板上に形成された第１のｎ形半導体領域と、
前記第１のｎ形半導体領域内に分離されて形成された第１、第２のｐ形半導体領域と、
前記第１のｐ形半導体領域内に形成された第２のｎ形半導体領域と、
前記第２のｐ形半導体領域内に形成された第３のｎ形半導体領域と、
前記第１のｐ形半導体領域と前記第２のｐ形半導体領域間の前記第１のｎ形半導体領域内に形成された、前記第１のｎ形半導体領域より高濃度の第４のｎ形半導体領域と、
前記第２のｎ形半導体領域と前記第４のｎ形半導体領域間の前記第１のｐ形半導体領域上部に形成された第１のチャネル領域と、
前記第３のｎ形半導体領域と前記第４のｎ形半導体領域間の前記第２のｐ形半導体領域上部に形成された第２のチャネル領域と、
前記第１のチャネル領域上に形成された第１の制御電極と、
前記第２のチャネル領域上に形成された第２の制御電極と、
を具備することを特徴とする交流用スイッチ素子。
【請求項４】  ｐ形半導体基板上に形成された第１のｎ形半導体領域と、
前記第１のｎ形半導体領域内に分離されて形成された第１、第２のｐ形半導体領域と、
前記第１のｐ形半導体領域内に形成された第２のｎ形半導体領域と、
前記第２のｐ形半導体領域内に形成された第３のｎ形半導体領域と、
前記第２のｎ形半導体領域と前記第３のｎ形半導体領域間の前記第１のｐ形半導体領域上部に形成された第１のチャネル領域と、
前記第２のｎ形半導体領域と前記第３のｎ形半導体領域間の前記第２のｐ形半導体領域上部に形成された第２のチャネル領域と、
前記第１のチャネル領域上に形成された第１の制御電極と、
前記第２のチャネル領域上に形成された第２の制御電極と、
を具備することを特徴とする交流用スイッチ素子。
【請求項５】  交流電源からの出力電流の流れを通過状態あるいは遮断状態にするスイッチ素子を有する交流回路において、
前記スイッチ素子は、第１導電形の半導体基板上に形成された前記第１導電形と反対の第２導電形の第１半導体領域と、
前記第１半導体領域内に分離されて形成された前記第１導電形の第２、第３半導体領域と、
前記第２半導体領域内に形成された前記第２導電形の第４半導体領域と、
前記第３半導体領域内に形成された前記第２導電形の第５半導体領域と、
前記第２半導体領域と前記第３半導体領域との間の前記第１半導体領域内に形成された、前記第１半導体領域より高濃度の第６半導体領域と、
前記第４半導体領域と前記第６半導体領域との間の前記第２半導体領域上部に形成された第１チャネル領域と、
前記第５半導体領域と前記第６半導体領域との間の前記第３半導体領域上部に形成された第２チャネル領域と、
前記第１チャネル領域上に形成された第１制御電極と、
前記第２チャネル領域上に形成された第２制御電極と、
を具備することを特徴とする交流回路。
【請求項６】  交流電源からの出力電流の流れを通過状態あるいは遮断状態にするスイッチ素子を有する交流回路において、
前記スイッチ素子は、第１導電形の半導体基板上に形成された前記第１導電形と反対の第２導電形の第１半導体領域と、
前記第１半導体領域内に分離されて形成された前記第１導電形の第２、第３半導体領域と、
前記第２半導体領域内に形成された前記第２導電形の第４半導体領域と、
前記第３半導体領域内に形成された前記第２導電形の第５半導体領域と、
前記第４半導体領域と前記第５半導体領域との間の前記第２半導体領域上部に形成された第１チャネル領域と、
前記第４半導体領域と前記第５半導体領域との間の前記第３半導体領域上部に形成された第２チャネル領域と、
前記第１チャネル領域上に形成された第１制御電極と、
前記第２チャネル領域上に形成された第２制御電極と、
を具備することを特徴とする交流回路。