(57)【要約】  本発明は、構造が単純で製造が容易であり、かつ小型で高感度の加速度センサに関する。圧電振動素子１０の両主面の一方端に配置された一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを介して間隔をあけて配置された一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂと、主面保護部材３１ａ，３１ｂの他方端の端面に配置された一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂを介して前記圧電振動素子１０と間隔をあけて配置された端面保護部材３２と、圧電振動素子１０の両側面の一方端および一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ，端面保護部材３２，一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ，端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの両側面に配置された一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを介して間隔をあけて配置された一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂとを備える加速度センサである。
2008093680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材と、
前記一対の主面保護部材の長手方向における他方端の端面のそれぞれに配置された一対の端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子および前記一対の主面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面ならびに前記一対の主面保護部材および前記端面保護部材の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
該一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子、前記一対の主面保護部材および前記端面保護部材の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された一対の側面保護部材とを備えることを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面および前記一対の主面保護部材の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
矩形状の一対の側面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子および前記一対の主面保護部材の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材と、
前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面に配置された端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子、前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材とを備えることを特徴とする加速度センサ。
【請求項３】
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
矩形状の一対の側面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面およびこれら両主面側の前記一対の側面保護部材の両面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面およびこれら両主面側の前記一対の側面保護部材の両面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材と、
前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面に配置された端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子、前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材とを備えることを特徴とする加速度センサ。
【請求項４】
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
矩形状の一対の側面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材と、
前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面のそれぞれに配置された一対の端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面ならびにこれら両主面側の前記一対の側面保護部材および前記端面保護部材の両面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
該一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面ならびにこれら両主面側の前記一対の側面保護部材および前記端面保護部材の両面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材とを備えることを特徴とする加速度センサ。
【請求項５】
前記各電荷検出電極は、前記圧電振動素子の長手方向における一方端の端面に引き出され、前記圧電振動素子の一方端の端面には前記各電荷検出電極に電気的に接続される外部端子が形成されることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれかに記載の加速度センサ。
【請求項６】
一方の電荷検出電極は第１の外部端子に電気的に接続され、他方の電荷検出電極は第２の外部端子に電気的に接続され、
第１の外部端子と第２の外部端子とは相互に離間して形成され、
第１の外部端子は、前記一方の電荷検出電極から、前記圧電振動素子の一方端の端面を含む第１の仮想平面と一方の電荷検出電極に近接する側の一方の主面保護部材において露出する面を含む第２の仮想平面とによって規定される第１の交線まで延び、かつ、前記一方の電荷検出電極から、前記第１の仮想平面と一方の電荷検出電極に近接する側の一方の側面保護部材において露出する面を含む第３の仮想平面とによって規定される第２の交線まで延びるように形成され、
第２の外部端子は、前記他方の電荷検出電極から前記第１の交線まで延び、かつ、前記他方の電荷検出電極から前記第２の交線まで延びるように形成されることを特徴とする請求項５記載の加速度センサ。
【請求項７】
請求項１記載の加速度センサを製造する方法において、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる二次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板の両主面の、圧電振動素子の長手方向における一方端となる位置に、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
圧電振動集合基板、主面スペーサ集合部材および主面保護集合部材から成る集合体を、素子領域の短辺に沿って切断し、素子領域の長辺が連なった状態の短冊状の第１の集合基板体に分離する工程と、
複数の第１の集合基板体を、圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置する工程と、
主面保護集合部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
端面スペーサ集合部材に、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を固定する工程と、
複数の第１の集合基板体および端面保護集合部材を、積み重ねる方向に見て各素子領域の長辺とその延長線に沿って切断し、第２の集合基板体を形成する工程と、
第２の集合基板体における、圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護部材および端面保護集合部材および一対の主面スペーサ部材および端面スペーサ集合部材の両側面のそれぞれに、切断によって側面スペーサ部材となる側面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの側面スペーサ集合部材に、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材をそれぞれ固定する工程と、
側面スペーサ集合部材、側面保護集合部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を主面保護部材同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とする加速度センサの製造方法。
【請求項８】
請求項２記載の加速度センサを製造する方法において、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる二次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板の両主面の、圧電振動素子の長手方向における一方端となる位置に、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
圧電振動集合基板、主面スペーサ集合部材および主面保護集合部材から成る集合体を、素子領域の長辺に沿って切断し、素子領域の短辺が連なった状態の第３の集合基板体に分離する工程と、
複数の第３の集合基板体を、圧電振動素子となる部分の長手方向に垂直な幅方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置する工程と、
圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護集合部材および一対の主面スペーサ部材の両側面のそれぞれに、切断によって一対の側面スペーサ部材となる一対の側面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの側面スペーサ集合部材に、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材を固定する工程と、
第３の集合基板体および側面保護集合部材を、積み重ねる方向に見て各素子領域の短辺とその延長線に沿って切断し、第４の集合基板体を形成する工程と、
第４の集合基板体における、主面保護部材、側面スペーサ集合部材および側面保護集合部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
端面スペーサ集合部材に、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を固定する工程と、
側面スペーサ集合部材、側面保護集合部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を、主面保護部材同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とする加速度センサの製造方法。
【請求項９】
請求項３記載の加速度センサを製造する方法において、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる長辺方向に一次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する短冊状の圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板において、圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両側面に一対の側面スペーサ部材を形成する工程と、
圧電振動集合基板と同じ厚みの、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材を準備し、それぞれの側面スペーサ部材に、側面保護集合部材を、圧電振動集合基板の主面と側面保護集合基板の面とが同一面となるように固定して第５の集合基板体を形成する工程と、
圧電振動集合基板の圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両主面ならびに一対の側面保護集合部材および一対の側面スペーサ部材の両面のそれぞれに、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
圧電振動集合基板、側面スペーサ部材、側面保護集合部材、主面スペーサ集合部材および主面保護集合部材から成る集合体を、圧電振動素子となる部分の主面側から見て各素子領域の短辺とその延長線に沿って切断し、第６の集合基板体に分離する工程と、
複数の第６の集合基板体を、圧電振動素子の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように整列配置する工程と、
第６の集合基板体の主面保護部材および側面保護部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
端面スペーサ集合部材に、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を固定する工程と、
端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を主面保護部材同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とする加速度センサの製造方法。
【請求項１０】
請求項４記載の加速度センサを製造する方法において、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる長辺方向に一次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する短冊状の圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板において、圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両側面に一対の側面スペーサ部材を形成する工程と、
圧電振動集合基板と同じ厚みの、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材を準備し、それぞれの側面スペーサ部材に、側面保護集合部材を、圧電振動集合基板の主面と側面保護集合部材の面とが同一面となるように固定して第５の集合基板体を形成する工程と、
第５の集合基板体を、圧電振動素子となる部分の主面側から見て各素子領域の短辺とその延長線に沿って切断し、第７の集合基板体を形成する工程と、
複数の第７の集合基板体を、圧電振動素子の一方の主面同士および他方の主面同士が同一平面に位置するとともに、圧電振動素子の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように整列配置する工程と、
側面保護部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
圧電振動素子と同じ厚みの、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を準備し、端面スペーサ集合部材に端面保護集合部材を、圧電振動素子の主面および側面保護部材の面と端面保護集合部材の面とが同一面となるように固定する工程と、
圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面ならびに側面スペーサ部材、側面保護部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材の両面のそれぞれに、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
主面スペーサ集合部材、主面保護集合部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を側面保護基板同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とする加速度センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は加速度センサに関し、特に構造が単純で容易に製造でき、かつ小型で加速度の検出感度が高い加速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ハードディスクドライブ等の電子機器に外部から加わる衝撃の検出などの用途に加速度センサが用いられている。この加速度センサとしては、たとえば特開２００５−３１５８４７号公報に開示されるように、短冊状の圧電基板を貼り合わせて両主面に電荷検出電極を配置した圧電振動素子の長手方向における一方の端部を支持部材によって支持した片端支持構造のものが知られている。
圧電振動素子を用いる加速度センサにおいては、作用した加速度によって圧電振動素子が撓むことにより圧電基板に歪みが生じ、圧電効果によって発生した電荷を両主面の電荷検出電極によって取り出すことにより加速度を検出する。このため、前述した圧電振動素子の長手方向における一方の端部を支持する片端支持構造の加速度センサによれば、圧電振動素子の長手方向における両端を支持した両端支持構造の加速度センサと比較して作用した加速度による圧電振動素子の撓みが大きくなるため、より高い加速度の検出感度を得ることが可能となる。
しかしながら、特開２００５−３１５８４７号公報にて提案された加速度センサにおいては、１つの面が開口した箱状のケースの開口部に、貫通孔を有した固定枠を設置し、その貫通孔に圧電振動素子を挿入して位置を合わせて固定した構造をしていることから、いくつかの問題点を有している。
１つ目は小型化が困難であるという問題点である。箱状のケースの一面の開口部に設けられた固定枠の貫通孔に圧電振動素子を挿入した構造であることにより、組立て時に貫通孔に挿入した圧電振動素子の先端とケースの内壁面との間隔を正確に把握できないため、圧電振動素子の先端とケースの内壁面との間隔を狭く設定することができず、そのため小型化が困難である。
２つ目は構造が複雑で製造が難しいという問題点である。一面が開口した箱状のケースや、それに設置する貫通孔を有した固定枠など、複雑な形状の部品を多数用いて組み立てる複雑な構造であったことから、製造が難しいという問題点がある。
【発明の開示】
【０００３】
本発明はこのような従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、構造が単純で製造が容易であり、かつ小型で加速度の検出感度が高い加速度センサを提供することにある。
本発明の第１の加速度センサは、
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材と、
前記一対の主面保護部材の長手方向における他方端の端面のそれぞれに配置された一対の端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子および前記一対の主面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面ならびに前記一対の主面保護部材および前記端面保護部材の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
該一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子、前記一対の主面保護部材および前記端面保護部材の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された一対の側面保護部材とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の第２の加速度センサは、
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面および前記一対の主面保護部材の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
矩形状の一対の側面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子および前記一対の主面保護部材の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材と、
前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面に配置された端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子、前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材とを備えることを特徴とするものである。
さらに、本発明の第３の加速度センサは、
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
矩形状の一対の側面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面およびこれら両主面側の前記一対の側面保護部材の両面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面およびこれら両主面側の前記一対の側面保護部材の両面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材と、
前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面に配置された端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子、前記一対の主面保護部材および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材とを備えることを特徴とするものである。
またさらに、本発明の第４の加速度センサは、
矩形平板状の複数の圧電基板が厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その両主面にそれぞれ電荷検出電極が配置された圧電振動素子と、
該圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材と、
矩形状の一対の側面保護部材であって、長手方向における一方端および他方端の端面が前記圧電振動素子の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、前記一対の側面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材と、
前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面のそれぞれに配置された一対の端面スペーサ部材と、
該端面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子および前記一対の側面保護部材の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材と、
前記圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面ならびにこれら両主面側の前記一対の側面保護部材および前記端面保護部材の両面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材と、
矩形状の一対の主面保護部材であって、該一対の主面スペーサ部材を介して前記圧電振動素子の両主面ならびにこれら両主面側の前記一対の側面保護部材および前記端面保護部材の両面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材とを備えることを特徴とするものである。
本発明において、前記各電荷検出電極は、前記圧電振動素子の長手方向における一方端の端面に引き出され、前記圧電振動素子の長手方向における一方端の端面には前記各電荷検出電極に電気的に接続される外部端子が形成されることが好ましい。
本発明において、一方の電荷検出電極は、第１の外部端子に電気的に接続され、他方の電荷検出電極は第２の外部端子に電気的に接続され、
第１の外部端子と第２の外部端子とは相互に離間して形成され、
第１の外部端子は、前記一方の電荷検出電極から、前記圧電振動素子の一方端の端面を含む第１の仮想平面と一方の電荷検出電極に近接する側の一方の主面保護部材において露出する面を含む第２の仮想平面とによって規定される第１の交線まで延び、かつ、前記一方の電荷検出電極から、前記第１の仮想平面と一方の電荷検出電極に近接する側の一方の側面保護部材において露出する面を含む第３の仮想平面とによって規定される第２の交線まで延びるように形成され、
第２の外部端子は、前記他方の電荷検出電極から前記第１の交線まで延び、かつ、前記他方の電荷検出電極から前記第２の交線まで延びるように形成されることが好ましい。
本発明の第１の加速度センサを製造する方法は、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる二次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板の両主面の、圧電振動素子の長手方向における一方端となる位置に、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
圧電振動集合基板、主面スペーサ集合部材および主面保護集合部材から成る集合体を、素子領域の短辺に沿って切断し、素子領域の長辺が連なった状態の短冊状の第１の集合基板体に分離する工程と、
複数の第１の集合基板体を、圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置する工程と、
主面保護集合部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
端面スペーサ集合部材に、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を固定する工程と、
複数の第１の集合基板体および端面保護集合部材を、積み重ねる方向に見て各素子領域の長辺とその延長線に沿って切断し、第２の集合基板体を形成する工程と、
第２の集合基板体における、圧電振動素子の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護部材および端面保護集合部材および一対の主面スペーサ部材および端面スペーサ集合部材の両側面のそれぞれに、切断によって側面スペーサ部材となる側面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの側面スペーサ集合部材に、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材をそれぞれ固定する工程と、
側面スペーサ集合部材、側面保護集合部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を主面保護部材同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とするものである。
本発明の第２の加速度センサを製造する方法は、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる二次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板の両主面の、圧電振動素子の長手方向における一方端となる位置に、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
圧電振動集合基板、主面スペーサ集合部材および主面保護集合部材から成る集合体を、素子領域の長辺に沿って切断し、素子領域の短辺が連なった状態の第３の集合基板体に分離する工程と、
複数の第３の集合基板体を、圧電振動素子となる部分の長手方向に垂直な幅方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置する工程と、
圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護集合部材および一対の主面スペーサ部材の両側面のそれぞれに、切断によって一対の側面スペーサ部材となる一対の側面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの側面スペーサ集合部材に、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材を固定する工程と、
第３の集合基板体および側面保護集合部材を、積み重ねる方向に見て各素子領域の短辺とその延長線に沿って切断し、第４の集合基板体を形成する工程と、
第４の集合基板体における、主面保護部材、側面スペーサ集合部材および側面保護集合部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
端面スペーサ集合部材に、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を固定する工程と、
側面スペーサ集合部材、側面保護集合部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を、主面保護部材同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とするものである。
本発明の第３の加速度センサを製造する方法は、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる長辺方向に一次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する短冊状の圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板において、圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両側面に一対の側面スペーサ部材を形成する工程と、
圧電振動集合基板と同じ厚みの、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材を準備し、それぞれの側面スペーサ部材に、側面保護集合部材を、圧電振動集合基板の主面と側面保護集合基板の面とが同一面となるように固定して第５の集合基板体を形成する工程と、
圧電振動集合基板の圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両主面ならびに一対の側面保護集合部材および一対の側面スペーサ部材の両面のそれぞれに、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
それぞれの主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
圧電振動集合基板、側面スペーサ部材、側面保護集合部材、主面スペーサ集合部材および主面保護集合部材から成る集合体を、圧電振動素子となる部分の主面側から見て各素子領域の短辺とその延長線に沿って切断し、第６の集合基板体に分離する工程と、
複数の第６の集合基板体を、圧電振動素子の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように整列配置する工程と、
第６の集合基板体の主面保護部材および側面保護部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
端面スペーサ集合部材に、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を固定する工程と、
端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を主面保護部材同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とするものである。
本発明の第４の加速度センサを製造する方法は、
分極済みの圧電母基板が絶縁性接着剤によって接合されて形成される圧電振動集合基板であって、切断することによって複数の圧電振動素子となる長辺方向に一次元配列された複数の矩形状の素子領域を有する短冊状の圧電振動集合基板を作成する工程と、
圧電振動集合基板において、圧電振動素子となる部分の長手方向における一方端の両側面に一対の側面スペーサ部材を形成する工程と、
圧電振動集合基板と同じ厚みの、切断によって側面保護部材となる側面保護集合部材を準備し、それぞれの側面スペーサ部材に、側面保護集合部材を、圧電振動集合基板の主面と側面保護集合部材の面とが同一面となるように固定して第５の集合基板体を形成する工程と、
第５の集合基板体を、圧電振動素子となる部分の主面側から見て各素子領域の短辺とその延長線に沿って切断し、第７の集合基板体を形成する工程と、
複数の第７の集合基板体を、圧電振動素子の一方の主面同士および他方の主面同士が同一平面に位置するとともに、圧電振動素子の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように整列配置する工程と、
側面保護部材の長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材となる端面スペーサ集合部材を形成する工程と、
圧電振動素子と同じ厚みの、切断によって端面保護部材となる端面保護集合部材を準備し、端面スペーサ集合部材に端面保護集合部材を、圧電振動素子の主面および側面保護部材の面と端面保護集合部材の面とが同一面となるように固定する工程と、
圧電振動素子の長手方向における一方端の両主面ならびに側面スペーサ部材、側面保護部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材の両面のそれぞれに、切断によって主面スペーサ部材となる主面スペーサ集合部材を形成する工程と、
主面スペーサ集合部材に、切断によって主面保護部材となる主面保護集合部材を固定する工程と、
主面スペーサ集合部材、主面保護集合部材、端面スペーサ集合部材および端面保護集合部材を側面保護基板同士が重なる面に沿って切断し、個々の加速度センサ片を得る工程と、
加速度センサ片の長手方向における一方端の端面に外部端子を形成する工程とを含むことを特徴とするものである。
本発明の加速度センサによれば、圧電振動素子の長手方向における一方端が、圧電振動素子の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材によって支持された片端支持構造とされていることから、両端支持構造の加速度センサと比較して加速度による圧電振動素子の撓みが大きくなるため、加速度の検出感度が高い加速度センサを得ることができる。
また、本発明の加速度センサによれば、圧電振動素子が振動するために必要な空間（以下、振動空間と称する。）を、一対の主面スペーサ部材、一対の側面スペーサ部材および端面スペーサ部材によって圧電振動素子の周囲に確保していることから、圧電振動素子の周囲に確保する振動空間の大きさを、一対の主面スペーサ部材、一対の側面スペーサ部材および端面スペーサ部材のそれぞれの厚みによって容易に設定することができる。このため、圧電振動素子の周囲に確保する振動空間の大きさを容易に必要最小限に設定することが可能となり、小型の加速度センサを得ることができる。特に、前述した従来の加速度センサでは、圧電振動素子の長手方向における支持されていない側の端部とケース内壁との間隔を小さくすることが困難であったが、本発明の加速度センサによれば、圧電振動素子の長手方向における他方端の端面と同一平面上に配置された端面スペーサ部材の厚みによって、圧電振動素子の長手方向における他方端と端面保護部材との間隔を容易に最小限に設定することができる。
さらに、本発明の加速度センサによれば、一対の主面スペーサ部材、一対の側面スペーサ部材および端面スペーサ部材によって振動空間が圧電振動素子の周囲の全てに確保されることから、一対の主面保護部材、一対の側面保護部材および端面保護部材には振動空間を確保するための凹部が一切必要ないため、それら部材の形状を単純化することができる。よって、加速度センサを単純な形状を有する部品によって構成することが可能となるため、構造が単純で製造が容易な加速度センサを得ることができる。
さらに本発明の加速度センサによれば、外部端子が電荷検出電極が引き出される圧電振動素子の長手方向における一方端の端面に形成されるので、他方端に延出するためのリード電極の配置または電極パターンの引き回しの必要がなく、小型化が可能で、かつ、構造が単純で製造が容易となる。
さらに本発明の加速度センサによれば、第１の外部端子は一方の電荷検出電極から、圧電振動素子の主面に対向する加速度センサの一方主面側まで延びるとともに、該一方主面とに隣接し、加速度センサの一方端の端面に連なる加速度センサの一方側面側まで延び、第２の外部端子は他方の電荷検出電極から、前記加速度センサの一方主面側まで延びるとともに、前記加速度センサの一方側面側まで延びるので、加速度センサが前記一方主面で実装されても前記一方側面で実装されても、圧電振動素子からの電気信号を各外部端子を介して取り出すことができる。したがって、加速度検出軸方向が実装面に対して垂直方向であっても水平方向であっても、１つの端子パターンでいずれかの方向の加速度を検出できるように、加速度センサを配置することができる。
さらに本発明の加速度センサの製造方法によれば、加速度の検出感度が高く、小型かつ構造が単純で製造が容易な加速度センサを１度の製造プロセスで多数製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
本発明の目的、特色、および利点は、下記の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
図１は、本発明の第１の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。
図２Ａは図１に示す加速度センサの外部端子を取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図２Ｂは図１のＡ−Ａ’線断面図であり、図２Ｃは図１のＢ−Ｂ’線断面図である。
図３は、図１に示す加速度センサに用いられる圧電振動素子を模式的に示す外観斜視図である。
図４は、図３に示す圧電振動素子の分解斜視図である。
図５は、圧電振動素子の正面図である。
図６は、図１に示す加速度センサを模式的に示す正面図である。
図７は、本発明の第２の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。
図８Ａは図７に示す加速度センサの外部端子を取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図８Ｂは図７のＣ−Ｃ’線断面図であり、図８Ｃは図７のＤ−Ｄ’線断面図である。
図９は、本発明の第３の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。
図１０Ａは図９に示す加速度センサの外部端子を取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図１０Ｂは図９のＥ−Ｅ’線断面図であり、図１０Ｃは図９のＦ−Ｆ’線断面図である。
図１１は、本発明の第４の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。
図１２Ａは図１１に示す加速度センサの外部端子４１，４１を取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図１２Ｂは図１１のＧ−Ｇ’線断面図であり、図１２Ｃは図１１のＨ−Ｈ’線断面図である。
図１３Ａは本発明の第１の加速度センサの実施形態の他の例を模式的に示す外観斜視図であり、図１３Ｂは図１３Ａに示す加速度センサの構造を説明するための模式的な正面図である。
図１４Ａおよび図１４Ｂは、本発明の第１の加速度センサの実施形態のさらに他の例を模式的に示す正面図である。
図１５Ａ〜図１５Ｌは、本発明の第１の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。
図１６Ａ〜図１６Ｌは、本発明の第２の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。
図１７Ａ〜図１７Ｋは、本発明の第３の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。
図１８Ａ〜図１８Ｋは、本発明の第４の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下図面を参考にして本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
以下、本発明の加速度センサを添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
（実施形態の第１の例）
図１は本発明の第１の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。図２Ａは図１に示す加速度センサの外部端子４１ａ，４１ｂを取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図２Ｂは図１のＡ−Ａ’線断面図であり、図２Ｃは図１のＢ−Ｂ’線断面図である。図３は図１に示す加速度センサに用いられる圧電振動素子を模式的に示す外観斜視図である。図４は図３に示す圧電振動素子の分解斜視図である。図５は、圧電振動素子の正面図である。図６は、図１に示す加速度センサを模式的に示す正面図である。なお図６において、外部端子４１ａ，４１ｂは、電荷検出電極１５ａ，１５ｂとの位置関係の理解を容易にするために、ハッチングを入れて示している。
本例の加速度センサは、図１および図２Ａ〜図２Ｃに示すように、圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂと、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ,３１ｂであって、長手方向における一方端および他方端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを介して圧電振動素子１０の両主面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂとを有している。また、本例の加速度センサは、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの長手方向における他方端の端面にそれぞれ配置された一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂと、端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂを介して圧電振動素子１０および一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材３２とを有している。さらに、本例の加速度センサは、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび端面保護部材３２および一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの両側面のそれぞれに配置された一対の環状の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂと、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを介して圧電振動素子１０、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、端面保護部材３２、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂとを備えている。なお、圧電振動素子１０、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび端面保護部材３２の両側面は、それぞれ同一平面上に位置している。
このようにして、本例の加速度センサは、圧電振動素子１０が長手方向における一方端の両主面を一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよびそれを介して一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂによって挟持されて支持されることによって、片端支持構造の加速度センサとされている。
また、本例の加速度センサに用いられる圧電振動素子１０は、図３〜図５に示すように、矩形平板状の一対の圧電基板１１ａ，１１ｂが厚み方向に積層されてなる圧電振動素子であって、その、両主面にそれぞれ電荷検出電極１５ａ，１５ｂが配置された構造を有している。さらに、本例の加速度センサに用いられる圧電振動素子１０においては、一対の圧電基板１１ａ，１１ｂの互いに対向する側の主面にもそれぞれ電荷検出電極１５ａ，１５ｂが配置されており、間に絶縁性接着剤１９を介して厚み方向に積層されている。そして、それぞれの圧電基板１１ａ，１１ｂにおいて、その両主面に形成された電荷検出電極１５ａ，１５ｂは、圧電基板１１ａ，１１ｂを介して一部が互いに対向するように配置されている。また、電荷検出電極１５ａ，１５ｂは、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の端面において、互いに幅方向の逆側に引き出されており、図１および図６に示す外部端子４１ａ，４１ｂにそれぞれ接続されている。本実施形態において、外部端子４１ａ，４１ｂは、一方の主面保護部材３１ｂから他方の主面保護部材３１ａに向かう方向に沿って相互に平行となりかつ相互に離間するように、加速度センサの長手方向における一方端の端面に形成されている。
このような構造を有する本例の加速度センサは、圧電振動素子１０の主面に垂直な方向の成分を有する加速度が作用すると、圧電振動素子１０が一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂによって挟持されて支持されている部分を支点として厚み方向に撓むことになり、圧電基板１１ａ，１１ｂに歪みが生じて圧電効果によって発生した電荷を電荷検出電極１５ａ，１５ｂによって取り出すことができる。このようにして、作用した加速度に応じた電気信号を電荷検出電極１５ａ，１５ｂにそれぞれ接続された外部端子４１ａ，４１ｂを通して外部へ出力することができるので、加速度センサとして機能する。このように、外部端子４１ａ，４１ｂが電荷検出電極１５ａ，１５ｂが引き出される圧電振動素子１０の長手方向における一方端の端面、すなわち加速度センサの長手方向における一方端の端面に形成されるので、他方端に延出するためのリード電極の配置または電極パターンの引き回しの必要がなく、小型化が可能で、かつ、構造が単純で製造が容易となる。
なお、加速度センサの回路基板等への実装に際して、圧電振動素子１０の主面が実装面と平行になるようにした場合には、実装面に垂直な方向の成分を有する加速度を検出することが可能となり、圧電振動素子１０の主面が実装面と垂直になるようにした場合には、実装面に平行かつ圧電振動素子１０の主面に垂直な方向の成分を有する加速度を検出することが可能となる。
本例の加速度センサによれば、圧電振動素子１０の長手方向における一方端が、両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよびそれを介して一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂによって挟持されて支持された片端支持構造とされていることから、両端支持構造の加速度センサと比較して加速度による圧電振動素子１０の撓みが大きくなるため、加速度の検出感度が高い加速度センサを得ることができる。
また、本例の加速度センサによれば、圧電振動素子１０が振動するために必要な空間である振動空間を、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂによって圧電振動素子１０の周囲に確保していることから、圧電振動素子１０の周囲に確保する振動空間の大きさを、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの厚みによって容易に設定することができる。このため、圧電振動素子１０の周囲に確保する振動空間の大きさを容易に必要最小限に設定することが可能となり、小型の加速度センサを得ることができる。特に、圧電振動素子１０の長手方向における他方端と端面保護部材３２との間隔についても、圧電振動素子１０の長手方向における他方端の端面と同一平面上にある一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの長手方向における他方端の端面に配置された一対の端面スペーサ部材２２ａ２２ｂの厚みによって容易に設定することができるので、最小限に設定することができる。
さらに、本例の加速度センサによれば、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂによって振動空間が圧電振動素子１０の周囲の全てに確保されることから、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２には振動空間を確保するための凹部が一切必要ないため、それらの形状を単純化することができる。図１および図２Ａ〜図２Ｃに示す本例の加速度センサでは、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２が全て矩形平板状とされており、同じく矩形平板状の圧電振動素子１０を含めて、加速度センサを単純な形状を有する部品によって構成することが可能となるため、構造が単純で製造が容易な加速度センサを得ることができる。さらに、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを硬化させた接着剤によって形成することにより、加速度センサを矩形平板状の部品および接着剤のみで構成することが可能となり、さらに構造が単純で製造が容易な加速度センサを得ることができる。
本例の加速度センサにおいて、一対の圧電基板１１ａ，１１ｂは、例えばチタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸鉛等の圧電セラミック材料から成り、その形状は、例えば、長さが０．５ｍｍ〜５ｍｍ程度、幅が０．２ｍｍ〜１ｍｍ程度、厚みが０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度の短冊状とされ、それぞれ厚み方向に分極されている。このような圧電基板１１ａ，１１ｂは、原料粉末にバインダを加えてプレスする方法、あるいは、原料粉末を水や分散剤と共にボールミルを用いて混合した後に乾燥し、バインダ，溶剤，可塑剤等を加えてドクターブレードにより成型する方法等によってシート状とし、それを必要に応じて積層しプレスした後に、例えば１１００℃〜１４００℃程度のピーク温度で焼成することによって基板を形成し、その厚み方向に、例えば６０℃〜１５０℃程度の温度にて３ｋＶ／ｍｍ〜１５ｋＶ／ｍｍ程度の電圧をかけて分極処理を施すことによって作製することができる。
電荷検出電極１５ａ，１５ｂは、例えば金，銀，銅，クロム，ニッケル，錫，鉛，アルミニウム等の良導電性の金属から成り、その厚みは、例えば０．１μｍ〜３μｍ程度とされ、圧電基板１１ａ，１１ｂを介してその一部が互いに対向するように形成されている。このような電荷検出電極１５ａ，１５ｂは、金属材料を従来周知の真空蒸着やスパッタリング法等によって圧電基板１１ａ，１１ｂの両主面に被着させるか、あるいは、前述した金属材料を含む所定の導体ペーストを従来周知の印刷法等によって所定パターンに塗布して、高温で焼き付けることによって形成することができる。
絶縁性接着剤１９としては、例えば、ガラス布基材エポキシ樹脂，無機質ガラス，エポキシ樹脂等の絶縁材料を用いることができる。例えば、ガラス繊維の間にエポキシ樹脂を含浸させたプリプレグであるガラス布基材エポキシ樹脂を用いる場合には、両主面に電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された一対の圧電基板１１ａ，１１ｂの間にガラス布基材エポキシ樹脂を挟み、加圧しながら加熱することによってエポキシ樹脂を所定の厚みに圧縮して硬化させるとよい。また、無機質ガラスを用いる場合には、両主面に電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された一対の圧電基板１１ａ，１１ｂの間に、ガラスペーストを印刷法によって塗布した後に重ね合わせ、荷重を加えながら焼成炉を用いて溶融一体化するとよい。焼成炉のピーク温度３００℃〜７００℃程度でよく、また、真空炉を用いて焼成を行なうことによりガラス中への気泡の混入を抑制することができる。但し、３００℃以上の温度で接合した場合には、圧電基板１１ａ，１１ｂの分極が消失するので、接合後に再び分極処理をする必要がある。
一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂは、圧電振動素子１０の周囲に振動空間を確保し、それぞれの厚みによって振動空間の大きさを決定する機能を有する。それぞれの厚みは、加速度センサの小型化の必要性の程度や実現可能な寸法精度等に応じて適宜設定されるが、本例の加速度センサにおいては、圧電振動素子１０の両主面と一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂとの間隔を、圧電振動素子１０の長手方向における一方端のみに配置された一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂで確保する必要がある。そこで、本例の加速度センサにおいては、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの厚みを一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの厚みよりも厚く設定するのが望ましく、これにより圧電振動素子１０の両主面の外側の振動空間を確実に確保しつつ加速度センサを極限まで小型化することができる。また、本例の加速度センサにおいては、加速度センサに作用した加速度によって圧電振動素子１０が厚み方向に撓み振動をすることから、圧電振動素子１０の厚み方向では、長手方向および幅方向よりも必要な振動空間が大きいため、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの厚みを一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの厚みよりも厚く設定するのが望ましく、これにより圧電振動素子１０の両主面の外側の振動空間を確実に確保しつつ加速度センサを極めて小型化することができる。よって、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの厚みは、例えば６０μｍ〜１００μｍ程度に設定され、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの厚みは、例えば２０μｍ〜５０μｍ程度に設定される。また、圧電振動素子１０の両主面の外側の振動空間を確実に確保するため、および圧電振動素子１０の両主面をしっかりと支持するために、例えば圧電振動素子１０の長手方向における一方端から０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度の範囲に渡る両主面に一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを形成するのが好ましい。さらに、主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの弾性率を主面保護部材３１ａ，３１ｂの弾性率よりも小さくすることにより、圧電振動素子１０が一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂによって挟持されている領域内においても撓みやすくなり、一対の圧電基板１１ａ，１１ｂのそれぞれにおいて歪みが発生する領域が増加するので、加速度の検出感度を高くすることができる。
このような一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂとしては、各種セラミックスや合成樹脂等の絶縁性材料を用いることができるが、絶縁性の接着剤を用いることによって製造工程を大幅に簡略化することができる。特に、炭素繊維やガラス繊維に樹脂を含浸させたプリプレグや、半硬化状態（Ｂステージ）を有する接着剤を用いることにより、圧電振動素子１０の周囲に所望の大きさの振動空間を形成することが容易になる。例えば熱硬化型のエポキシ系接着剤を使用する場合には、例えば、接合すべき部材の一方の接着面に印刷法を用いて塗布した後に、５０℃〜７０℃程度の温度で１時間〜２時間程度保持して半硬化状態とし、接合すべき部材の他方を貼り合わせて必要に応じて部材間の間隔を調整した後に、１００℃〜２００℃程度の温度で１時間〜２時間程度保持して本硬化させればよい。
一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、端面保護部材３２および一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂは、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの厚みによって決定される振動空間を圧電振動素子１０の周囲に確保して圧電振動素子１０を保護する機能を有する。また、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂは、圧電振動素子１０の両主面を一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを介して支持する機能も併せて有しているため、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２よりも厚みを厚くするのが望ましく、これによって圧電振動素子１０を確実に支持しつつ加速度センサをできるだけ小型化することができる。よって、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの厚みは、例えば０．６ｍｍ〜０．８ｍｍ程度に設定され、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２の厚みは、例えば０．１５ｍｍ〜０．２ｍｍ程度に設定される。
このような主面保護部材３１ａ，３１ｂ、端面保護部材３２および側面保護部材３３ａ，３３ｂとしては、各種セラミックスや合成樹脂等の絶縁性材料を用いることができるが、絶縁性，耐湿性，耐熱性，接着性等に優れたエポキシ系の樹脂を使用することが望ましい。例えば、三井化学（株）製の「ＥＰＯＸ」（登録商標）等を好適に使用することができる。
外部端子４１ａ，４１ｂとしては、例えば、樹脂中に導電性フィラーを含有した導電性接着剤が使用できる。導電性接着剤における導電性フィラーとしては銀，銅など導電性の良いものが望ましい。また、導電性接着剤における接着樹脂としては、圧電基板１１の分極の消失を防止するために３００℃未満で硬化するものが望ましく、例えばエポキシ系樹脂等を好適に使用することができる。
（実施形態の第２の例）
図７は本発明の第２の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。図８Ａは図７に示す加速度センサの外部端子４１ａ，４１ｂを取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図８Ｂは図７のＣ−Ｃ’線断面図であり、図８Ｃは図７のＤ−Ｄ’線断面図である。なお、本例においては基本的な構成のみについて説明し、実施形態の第１の例と同様の構成要素については同一の参照符号を用いて重複する説明を省略する。
本例の加速度センサは、図７および図８Ａ〜図８Ｃに示すように、圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂと、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ,３１ｂであって、長手方向における一方端および他方端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを介して圧電振動素子１０の両主面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂとを有している。また、本例の加速度センサは、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂと、矩形状の一対の側面保護部材３３ａ,３３ｂであって、長手方向における一方端および他方端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを介して圧電振動素子１０、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂとを有している。さらに、本例の加速度センサは、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面に配置された環状の端面スペーサ部材２２と、端面スペーサ部材２２を介して圧電振動素子１０、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材３２とを備えている。なお、圧電振動素子１０、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの両側面は、それぞれ同一平面上に位置している。
このような構造を有する本例の加速度センサによれば、前述した実施形態の第１の例の加速度センサと同様に、片端支持構造であることから圧電振動素子１０による加速度の検出感度が高く、また、振動空間を一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、端面スペーサ部材２２および一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂによって圧電振動素子１０の周囲に確保していることから小型化が可能であり、さらに、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２に振動空間を確保するための凹部が一切必要ないことから、構造が単純で製造が容易な加速度センサを得ることができる。
（実施形態の第３の例）
図９は本発明の第３の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。図１０Ａは図９に示す加速度センサの外部端子４１ａ，４１ｂを取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図１０Ｂは図９のＥ−Ｅ’線断面図であり、図１０Ｃは図９のＦ−Ｆ’線断面図である。なお、本例においては基本的な構成のみについて説明し、実施形態の第１および第２の例と同様の構成要素については同一の参照符号を用いて重複する説明を省略する。
本例の加速度センサは、図９および図１０Ａ〜図１０Ｃに示すように、圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂと、矩形状の一対の側面保護部材３３ａ,３３ｂであって、長手方向における一方端および他方端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを介して圧電振動素子１０の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂとを有している。また、本例の加速度センサは、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面ならびにこれら両主面側の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの両面のそれぞれに配置された一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂと、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ,３１ｂであって、長手方向における一方端および他方端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを介して圧電振動素子１０の両主面ならびにこれら両主面側の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの両面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂとを有している。なお、圧電振動素子１０の両主面ならびにこれら両主面側の一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの両面は、それぞれ同一平面上に位置している。さらに、本例の加速度センサは、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面に配置された環状の端面スペーサ部材２２と、端面スペーサ部材２２を介して圧電振動素子１０、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材３２とを有している。
このような構造を有する本例の加速度センサによれば、前述した実施形態の第１，第２の例の加速度センサと同様に、片端支持構造であることから圧電振動素子１０による加速度の検出感度が高く、また、振動空間を一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、端面スペーサ部材２２および一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂによって圧電振動素子１０の周囲に確保していることから小型化が可能であり、さらに、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２に振動空間を確保するための凹部が一切必要ないことから、構造が単純で製造が容易な加速度センサを得ることができる。
また、本例の加速度センサは、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂが、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面だけでなく、これら両主面側の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの両面のそれぞれに、圧電振動素子１０の長手方向の全体に渡って配置されており、かつ一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂが配置されている両面は、圧電振動素子１０の両主面とそれぞれ同一平面上にある。これにより、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの厚みに相当する振動空間を、長手方向の全体に渡る圧電振動素子１０の両主面の外側に確実に確保することができるので、作用した加速度により圧電振動素子１０が撓み振動する方向にある、圧電振動素子１０の両主面の外側の振動空間を容易に確実に確保することができる。
（実施形態の第４の例）
図１１は本発明の第４の加速度センサの実施形態の一例を模式的に示す外観斜視図である。図１２Ａは図１１に示す加速度センサの外部端子４１ａ，４１ｂを取り除いた状態を模式的に示す正面図であり、図１２Ｂは図１１のＧ−Ｇ’線断面図であり、図１２Ｃは図１１のＨ−Ｈ’線断面図である。なお、本例においては基本的な構成のみについて説明し、実施形態の第１〜第３の例と同様の構成要素については同一の参照符号を用いて重複する説明を省略する。
本例の加速度センサは、図１１および図１２Ａ〜図１２Ｃに示すように、圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両側面のそれぞれに配置された一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂと、矩形状の一対の側面保護部材３３ａ,３３ｂであって、長手方向における一方端および他方端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における一方端および他方端の端面とそれぞれ同一平面上にあり、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを介して圧電振動素子１０の両側面のそれぞれと間隔をあけて配置された矩形状の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂとを有している。また、本例の加速度センサは、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面のそれぞれに配置された一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂと、端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂを介して圧電振動素子１０および一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面と間隔をあけて配置された端面保護部材３２とを有している。さらに、本例の加速度センサは、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面ならびにこれら両主面側の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２および一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの両面のそれぞれに配置された一対の環状の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂと、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを介して圧電振動素子１０の両主面ならびにこれら両主面側の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２および一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの両面のそれぞれと間隔をあけて配置された、矩形状の一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂとを備えている。
このような構造を有する本例の加速度センサによれば、前述した実施形態の第１〜第３の例の加速度センサと同様に、片端支持構造であることから圧電振動素子１０による加速度の検出感度が高く、また、振動空間を一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂによって圧電振動素子１０の周囲に確保していることから小型化が可能であり、さらに、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２に振動空間を確保するための凹部が一切必要ないことから、構造が単純で製造が容易な加速度センサを得ることができる。
また、本例の加速度センサは、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂが、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面だけでなく、これら両主面側の一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２の両面のそれぞれに全体に渡って配置されており、かつ一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２の一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂが配置されている両面は、圧電振動素子１０の両主面とそれぞれ同一平面上にある。これにより、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの厚みに相当する振動空間を長手方向の全体に渡る圧電振動素子１０の両主面の外側に確実に確保することができるので、作用した加速度により圧電振動素子１０が撓み振動する方向にある圧電振動素子１０の両主面の外側の振動空間を容易に確実に確保することができる。
（実施形態の第５の例）
図１３Ａは本発明の第１の加速度センサの実施形態の他の例を模式的に示す外観斜視図であり、図１３Ｂは図１３Ａに示す加速度センサの構造を説明するための模式的な正面図である。なお、図１３Ａおよび図１３Ｂにおいては、構造を分かり易くするために、図１に示した外部端子４１ａ，４１ｂが省略されている。また、本例においては前述した第１の例と異なる点のみについて説明し、同様の構成要素については同一の参照符号を用いて重複する説明を省略する。
本例の加速度センサにおける特徴的な部分は、図１３Ａに示すように、圧電振動素子１０の主面が加速度センサの４つの側面に対して傾いていることである。
本例の加速度センサによれば、検出が可能な加速度の方向である圧電振動素子１０の主面に垂直な方向が、圧電振動素子１０の長手方向における両端面と直交する加速度センサの４つの側面のそれぞれに対して傾いていることから、その４つの側面のいずれを加速度センサの実装面とした場合においても、圧電振動素子１０の主面に垂直な方向が実装面に対して傾くことになる。よって、実装面に対して水平な方向の加速度および垂直な方向の加速度の両方が圧電振動素子１０の主面に垂直な方向の成分を持つことになるため、実装面に対して水平な方向の加速度および垂直な方向の加速度の両方を検出することができる。
なお、本例の加速度センサは、前述した実施形態の第１の例の加速度センサを、図１１Ｂに示すように、Ｊ−Ｊ’線，Ｋ−Ｋ’線，Ｌ−Ｌ’線，Ｍ−Ｍ’線で切断することによって容易に得ることができる。また、本例の加速度センサにおいても、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの圧電振動素子１０に対向する面の形状は矩形状になっている。また、前述した実施形態の第２〜第４の例の加速度センサについても容易に本例のように変形することができる。
（変形例）
本発明は前述した実施形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更や改良が可能である。
例えば、前述した実施形態の例においては、電荷検出電極１５ａ，１５ｂの両方が加速度センサの長手方向における一方端の端面に引き出されて、その端面に配置された外部端子４１ａ，４１ｂにそれぞれ接続された例を示したが、外部端子４１ａ，４１ｂの一方を加速度センサの長手方向における他方端の端面に配置し、それと電荷検出電極１５ａ，１５ｂの一方とを内部配線導体を介して接続するようにしても構わない。また、そのような場合等において、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂまたは端面スペーサ部材２２，２２ａ，２２ｂの一部に導電性材料からなる導電部を設け、その導電部を内部配線導体の一部として利用することも可能である。例えば、図１および図２Ａ〜図２Ｃに示した実施形態の第１の例の加速度センサにおいて、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの一方の圧電振動素子１０に対向する面に内部配線パターンを形成し、その内部配線パターンと電荷検出電極１５ａ，１５ｂの一方とを、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの一方の導電部を介して接続し、内部配線パターンによって加速度センサの長手方向における他方端の端面に引き出した後に、その端面に配置した外部端子４１ａ，４１ｂの一方に接続することもできる。これによって、長手方向における両端の端面に外部端子４１ａ，４１ｂを形成することが可能となるので、外部端子４１ａ，４１ｂ間の半田等による電気的短絡が防止された信頼性の高い加速度センサを得ることができる。
また、前述した実施形態の例においては、加速度センサの長手方向における端面のみに外部端子４１ａ，４１ｂを配置したが、その端面に直交する加速度センサの４つの側面のいずれかに外部端子４１ａ，４１ｂを配置しても構わない。
さらに、前述した実施形態の例においては、一対の圧電基板１１ａ，１１ｂが厚み方向に積層されて圧電振動素子１０が構成された例を示したが、さらに多くの圧電基板１１ａ，１１ｂが厚み方向に積層されて圧電振動素子１０が構成されるようにしても構わない。
またさらに、前述した実施形態の例においては、両主面に電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された一対の圧電基板１１ａ，１１ｂが絶縁性接着材１９を介して接合されて圧電振動素子１０が構成された例を示したが、複数の圧電基板と電荷検出電極とが交互に積層されて一体化されて構成された圧電振動素子１０でもよく、複数の圧電基板が厚み方向に積層された積層体の両主面に一対の電荷検出電極１５ａ，１５ｂが配置されて構成された圧電振動素子１０でもよい。なお、これらの場合は、隣り合う圧電基板の分極方向が互いに逆になるようにする。
さらにまた、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび端面スペーサ部材２２，２２ａ，２２ｂは、それらが介在する各部材間の接着固定や気密封止の機能も持たせるようなものとして例示したが、それらスペーサ部材には球状や棒状，細片状等の微小なスペーサ部材を用いてもよい。その場合には、圧電振動素子１０、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂおよび端面保護部材３２の間の接着固定や気密封止には、接着剤や封止材等を併用して、その中にスペーサ部材を配置したものとすればよい。
さらにまた、外部電極４１ａ，４１ｂは、一方の主面保護部材３１ｂから他方の主面保護部材３１ａに向かう方向に沿って相互に平行となり、かつ相互に離間するように、加速度センサの長手方向における一方端の端面に形成されているが、これに限定されない。図１４Ａおよび図１４Ｂは、本発明の第１の加速度センサの実施形態のさらに他の例を模式的に示す正面図である。なお、図中において、外部端子４１ａ，４１ｂは、電荷検出電極１５ａ，１５ｂとの位置関係の理解を容易にするために、ハッチングを入れて示している。
図１４Ａおよび図１４Ｂに示されるように、第１の外部端子４１ｂは矩形状に形成され、第２の外部端子４１ａは略Ｌ字状に形成されてもよい。さらに詳しくは、一方の電荷検出電極１５ｂは第１の外部端子４１ｂに電気的に接続され、他方の電荷検出電極１５ａは第２の外部端子４１ａに電気的に接続される。第１の外部端子４１ｂと第２の外部端子４１ａとは相互に離間して、加速度センサの長手方向における一方端の端面に形成される。第１の外部端子４１ｂは、一方の電荷検出電極１５ｂから、加速度センサの長手方向における一方端の端面を規定する第１の交線Ｌ１および第２の交線Ｌ２とにまで延びるように形成される。第１の交線Ｌ１は、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の端面を含む第１の仮想平面と、一方の電荷検出電極１５ｂに近接する側の一方の主面保護部材３１ｂにおいて露出する面を含む第２の仮想平面とによって規定される。第２の交線Ｌ２は、前記第１の仮想平面と、一方の電荷検出電極１５ｂに近接する側の一方の側面保護部材３３ｂにおいて露出する面を含む第３の仮想平面とによって規定される。第２の外部端子４１ａは、他方の電荷検出電極１５ａから第１の交線Ｌ１まで延び、かつ、他方の電荷検出電極１５ａから第２の交線Ｌ２まで延びるように形成される。
本実施形態において、第１の交線Ｌ１および第２の交線Ｌ２は直交している。すなわち、第１の交線Ｌ１は図示される加速度センサの加速度検出軸方向に対して垂直であり、第２の交線Ｌ２は図示される加速度センサの加速度検出軸方向に対して水平である。図１４Ａに示されるように、第１の交線Ｌ１を実装面に平行となるように加速度センサを配置することで、加速度センサは実装面に対して垂直な方向の加速度を検出し、外部端子４１ａ，４１ｂを介して電気信号を外部に出力することができる。また図１４Ｂに示されるように、第２の交線Ｌ２を実装面に平行となるように加速度センサを配置することで、加速度センサは実装面に対して水平な方向の加速度を検出し、外部端子４１ａ，４１ｂを介して電気信号を外部に出力することができる。このように、加速度センサが端面に垂直でかつ第１の交線Ｌ１を含む一方主面で実装されても、端面に垂直でかつ第２の交線Ｌ２を含む一方側面で実装されても、圧電振動素子からの電気信号を各外部端子を介して取り出すことができる。したがって、加速度検出軸方向が実装面に対して垂直方向であっても水平方向であっても、１つの端子パターンでいずれかの方向の加速度を検出できるように、加速度センサを配置することができる。
なお、本実施形態においては、第１の外部端子４１ｂは矩形状に形成され、第２の外部端子４１ａは略Ｌ字状に形成されている。しかしながら、第１の外部端子４１ｂは一方の電荷検出電極１５ｂから第１の交線Ｌ１および第２の交線Ｌ２に向かって延びるように形成され、また第２の外部端子４１ａが他方の電荷検出電極１５ａから第１の交線Ｌ１および第２の交線Ｌ２に向かって延びるように形成されさえしていれば、外部端子４１ａ，４１ｂの形状は図示した形状に限定されない。
（具体例）
次に、本発明の加速度センサの具体例について、図１および図２Ａ〜図２Ｃに示した実施形態の第１の例の加速度センサを例にとって説明する。
まず、チタン酸ジルコン酸鉛の原料粉末にバインダを加えてプレスし、１２００℃のピーク温度で焼成して、圧電体のブロックを得た。
次に、ワイヤーソーを用いてスライスし、さらにラップ機を用いて両面をラップすることによって、分割されて圧電基板１１ａ，１１ｂとなる複数の素子領域を有する圧電母基板を作製した。圧電母基板の厚みは１００μｍとした。
次に、パターニングされて電荷検出電極１５ａ，１５ｂとなる金属薄膜をスパッタ装置を用いて圧電母基板の両主面に形成した。それぞれの金属薄膜はクロムと銀との２層構造とし、クロム薄膜を０．３μｍの厚みで形成した後に、その上に銀薄膜０．３μｍの厚みで形成した。
次に、両主面に金属薄膜が形成された圧電母基板を分極槽に投入し、３００Ｖの電圧を１０秒間印加して、圧電母基板を厚み方向に分極処理した。
次に、スクリーン印刷法を用いて金属薄膜の表面にレジストパターンを形成した後に、エッチング液に浸漬して金属薄膜のパターニングを行ない、その後、トルエンに浸漬してレジストを除去することによって、圧電母基板の各素子領域の両主面に電荷検出電極１５ａ，１５ｂを形成した。
次に、両主面の各素子領域に電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された２枚の圧電母基板を真空オーブンに投入して、両者の間にガラス布基材エポキシ樹脂のプリプレグを介在させて貼り合わせ、荷重を加えながら１８０℃の温度で２時間保持して接合した。なお、プリプレグの厚みは０．１ｍｍ程度になるようにし、２枚の圧電母基板の分極の向きが互いに逆向きになるようにして貼り合わせた。
次に、圧電母基板をダイシングソーを用いて各素子領域の境界に沿って切断して個片に分割し、図３〜図５に示すような圧電振動素子１０を複数個同時に得た。なお、圧電振動素子１０の形状は、長さが３ｍｍ，幅が０．５ｍｍ，厚みが０．３ｍｍの矩形平板状とした。
次に、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の端部から１ｍｍの範囲の両主面に、主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂとなるエポキシ樹脂を塗布し、６０℃の温度で１時間程度保持して半硬化状態にした。なお、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの厚みはそれぞれ１００μｍに設定した。
次に、長さおよび幅が圧電振動素子１０と同じで厚みが０．６ｍｍの矩形平板状である一対の主面保護部材３１ａ，３１ａを、長手方向における両端の端面が圧電振動素子１０の長手方向における両端の端面と同一平面上に位置し、半硬化状態の一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ａを介して圧電振動素子１０の両主面と間隔をあけて対向するように貼付し、１５０℃の温度で１時間保持して主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂを本硬化させることによって固定した。
次に、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの長手方向における他方端部に、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂとなるエポキシ樹脂を塗布し、６０℃の温度で１時間程度保持して半硬化状態にした。なお、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの厚みはそれぞれ５０μｍに設定した。
次に、半硬化状態の一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂを介して一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂの長手方向における他方端および圧電振動素子１０の長手方向における他方端の端面と間隔をあけて対向するように端面保護部材３２を貼付し、１５０℃の温度で１時間保持して一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂを硬化させることによって固定した。なお、端面保護部材３２の形状は、長さ１．７ｍｍ，幅０．５ｍｍ，厚み０．２ｍｍの矩形平板状とした。また、圧電振動素子１０、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂおよび端面保護部材３２の両側面がそれぞれ同一平面上に位置するようにした。
次に、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび端面保護部材３２および一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂの両側面のそれぞれに、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂとなるエポキシ樹脂を環状に塗布し、６０℃の温度で１時間程度保持して半硬化状態にした。なお、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの厚みはそれぞれ５０μｍに設定した。
次に、半硬化状態の一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを介して、圧電振動素子１０、一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、端面保護部材３２、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび一対の端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂと間隔をあけて対向するように一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂを貼付し、１５０℃の温度で１時間保持して一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを本硬化させることによって固定して、加速度センサ片を得た。なお、一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂの形状は、それぞれ長さ３．２５ｍｍ，幅１．７ｍｍ，厚み０．２ｍｍの矩形平板状とした。
次に、加速度センサ片の長手方向における一方端の端面において、端面に引き出された電荷検出電極１５ａ，１５ｂとそれぞれ接続するように、一対の外部端子４１ａ，４１ｂとなる導電性樹脂を塗布し、１５０℃の温度で１時間保持して硬化させることにより、一対の外部端子４１ａ，４１ｂを形成して加速度センサを完成させた。なお、導電性樹脂としては、導電性フィラーとして銀粒子を含んだエポキシ樹脂系の導電性接着剤を用いた。
（製造方法の例）
次に、本発明の加速度センサを一度の製造プロセスで多数個製造する方法について以下に説明する。以下の説明において、各部材の材料、寸法および処理については上述の具体例と同様であり、詳細な説明を省略する。
図１５Ａ〜図１５Ｌは、本発明の第１の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。まず、図１５Ａに示されるように、圧電振動集合基板１０Ａを作成する。圧電振動集合基板１０Ａは、上述の具体例で説明したような、分極済みの圧電母基板がプリプレグによって接合され、電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された基板である。この圧電振動集合基板１０Ａは、切断することによって複数の圧電振動素子１０となる二次元配列された複数の矩形状の素子領域１０ａを有する。
次に、図１５Ｂに示されるように、圧電振動集合基板１０Ａの両主面の、圧電振動素子１０の長手方向における一方端となる位置に、切断によって主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂとなる主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂを形成する。
次に、図１５Ｃに示されるように、それぞれの主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂに、切断によって主面保護部材３１ａ，３１ｂとなる主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂを固定する。これによって、圧電振動集合基板１０Ａ、主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂおよび主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂから成る集合体５０が形成される。
次に、図１５Ｄに示されるように、この集合体５０を、素子領域１０ａの短辺に沿って切断する。これによって、集合体５０は、素子領域１０ａの長辺が連なった状態の短冊状の第１の集合基板体５１に分離される。
次に、図１５Ｅに示されるように、複数の第１の集合基板体５１を、圧電振動素子１０となる部分の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置する。
次に、図１５Ｆに示されるように、主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂの長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂとなる端面スペーサ集合部材２２Ａを形成する。
次に、図１５Ｇに示されるように、端面スペーサ集合部材２２Ａに、切断によって端面保護部材３２となる端面保護集合部材３２Ａを固定する。これによって、複数の第１の集合基板体５１、端面スペーサ集合部材２２Ａおよび端面保護集合部材３２Ａから成る集合体５２が形成される。
次に、図１５Ｈに示されるように、この集合体５２を、第１の集合基板体５１を積み重ねる方向に見て各素子領域１０の長辺とその延長線に沿って切断する。これによって、集合体５２は分離されて、複数の第２の集合基板体５３が形成される。
次に、図１５Ｉに示されるように、第２の集合基板体５２における、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護部材３１ａ，３１ｂ、端面保護集合部材３２Ａ、一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび端面スペーサ集合部材２２Ａの両側面のそれぞれに、切断によって側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂとなる側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂを形成する。
次に、図１５Ｊに示されるように、それぞれの側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂに、切断によって側面保護部材３３ａ，３３ｂとなる側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂをそれぞれ固定する。
次に、図１５Ｋに示されるように、側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂ、側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂ、端面スペーサ集合部材２２Ａおよび端面保護集合３２Ａ部材を主面保護部材３１ａ，３１ｂ同士が重なる面に沿って切断する。これによって、個々の加速度センサ片Ｓ１が得られる。
次に、図１５Ｌに示されるように、加速度センサ片Ｓ１の長手方向における一方端の端面に外部端子４１ａ，４１ｂを形成する。このようにして、本発明の第１の加速度センサが製造される。
図１６Ａ〜図１６Ｌは、本発明の第２の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。まず、図１６Ａに示されるように、上述の図１５Ａに示される工程と同様に、圧電振動集合基板１０Ａを作成する。すなわち、圧電振動集合基板１０Ａは、上述の具体例で説明したような、分極済みの圧電母基板がプリプレグによって接合され、電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された基板である。この圧電振動集合基板１０Ａは、切断することによって複数の圧電振動素子１０となる二次元配列された複数の矩形状の素子領域１０ａを有する。
次に、図１６Ｂに示されるように、上述の図１５Ｂに示される工程と同様に、圧電振動集合基板１０Ａの両主面の、圧電振動素子１０の長手方向における一方端となる位置に、切断によって主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂとなる主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂを形成する。
次に、図１６Ｃに示されるように、上述の図１５Ｃに示される工程と同様に、それぞれの主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂに、切断によって主面保護部材３１ａ，３１ｂとなる主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂを固定する。これによって、圧電振動集合基板１０Ａ、主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂおよび主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂから成る集合体５０が形成される。
次に、図１６Ｄに示されるように、この集合体５０を、素子領域１０ａの長辺に沿って切断する。これによって集合体５０は、素子領域１０ａの短辺が連なった状態の第３の集合基板体６１に分離される。
次に、図１６Ｅに示されるように、複数の第３の集合基板体６１を、圧電振動素子１０となる部分の長手方向に垂直な幅方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置する。
次に、図１６Ｆに示されるように、圧電振動素子１０となる部分の長手方向における一方端の両側面ならびに一対の主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂおよび一対の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂの両側面のそれぞれに、切断によって一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂとなる一対の側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂを形成する。
次に、図１６Ｇに示されるように、それぞれの側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂに、切断によって側面保護部材３３ａ，３３ｂとなる側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂを固定する。これによって、複数の第３の集合基板体６１、側面スペーサ集合部材２３Ａ,２３Ｂ、側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂから成る集合体６２が形成される。
次に、図１６Ｈに示されるように、この集合体６２を、第３の集合基板体６１を積み重ねる方向に見て各素子領域１０ａの短辺とその延長線に沿って切断する。これによって、集合体６２は分離されて、複数の第４の集合基板体６３が形成される。
次に、図１６Ｉに示されるように、第４の集合基板体６３における、主面保護部材３１ａ，３１ｂ、側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂおよび側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂの長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材２２となる端面スペーサ集合部材２２Ａを形成する。
次に、図１６Ｊに示されるように、端面スペーサ集合部材２２Ａに、切断によって端面保護部材３２となる端面保護集合部材３２Ａを固定する。
次に、図１６Ｋに示されるように、側面スペーサ集合部材２３Ａ，２３Ｂ、側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂ、端面スペーサ集合部材２２Ａおよび端面保護集合部材３２Ａを、主面保護部材３１ａ，３１ｂ同士が重なる面に沿って切断する。これによって、個々の加速度センサ片Ｓ２が得られる。
次に、図１６Ｌに示されるように、加速度センサ片Ｓ２の長手方向における一方端の端面に外部端子４１ａ，４１ｂを形成する。このようにして、本発明の第２の加速度センサが製造される。
図１７Ａ〜図１７Ｋは、本発明の第３の加速度センサの製造工程を示す斜視図である。まず、図１７Ａに示されるように、短冊状の圧電振動集合基板１０Ｂを作成する。すなわち、圧電振動集合基板１０Ｂは、上述の具体例で説明したような、分極済みの圧電母基板がプリプレグによって接合され、電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された短冊状の基板である。さらに詳しくは、圧電振動集合基板１０Ｂは、図１５Ａおよび図１６Ａに示されるような圧電振動集合基板１０Ａを、素子領域１０ａの長辺に沿って切断することによって作成された短冊状の基板である。したがって、この圧電振動集合基板１０Ｂは、切断することによって複数の圧電振動素子１０となる長辺方向に一次元配列された複数の矩形状の素子領域１０ａを有する。
次に、図１７Ｂに示されるように、圧電振動集合基板１０Ｂにおいて、圧電振動素子１０となる部分の長手方向における一方端の両側面に一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを形成する。
次に、図１７Ｃに示されるように、圧電振動集合基板１０Ｂと同じ厚みの、切断によって側面保護部材３３ａ，３３ｂとなる側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂを準備し、それぞれの側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂに、側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂを、圧電振動集合基板１０Ｂの主面と側面保護集合基板３３Ａ，３３Ｂの面とが同一面となるように固定する。これによって、圧電振動集合基板１０Ｂ、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび一対の側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂから成る第５の集合基板体７１が形成される。
次に、図１７Ｄに示されるように、圧電振動集合基板１０Ｂの圧電振動素子１０となる部分の長手方向における一方端の両主面ならびに一対の側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂおよび一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂの両面のそれぞれに、切断によって主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂとなる主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂを形成する。
次に、図１７Ｅに示されるように、それぞれの主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂに、切断によって主面保護部材３１ａ，３１ｂとなる主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂを固定する。これによって、圧電振動集合基板１０Ｂ、側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂ、側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂ、主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂおよび主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂから成る集合体７２が形成される。
次に、図１７Ｆに示されるように、この集合体７２を、圧電振動素子１０となる部分の主面側から見て各素子領域１０ａの短辺とその延長線に沿って切断する。これによって、集合体７２は、圧電振動素子１０、側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂ、側面保護部材３３ａ，３３ｂ、主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂおよび主面保護部材３１ａ，３１ｂから成る第６の集合基板体７３に分離される。
次に、図１７Ｇに示されるように、複数の第６の集合基板体７３を、圧電振動素子１０の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように整列配置する。図示の例において、複数の第６の集合基板体７３をその側面同士が当接するように配置しているが、これに限定されず、複数の第６の集合基板体７３を、圧電振動素子１０の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように積み重ねて配置してもよい。
次に、図１７Ｈに示されるように、第６の集合基板体７３の主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂ、主面保護部材３１ａ，３１ｂおよび側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材２２となる端面スペーサ集合部材２２Ａを形成する。
次に、図１７Ｉに示されるように、端面スペーサ集合部材２２Ａに、切断によって端面保護部材３２となる端面保護集合部材３２Ａを固定する。
次に、図１７Ｊに示されるように、端面スペーサ集合部材２２Ａおよび端面保護集合部材３２Ａを主面保護部材３１ａ，３１ｂ同士が重なる面に沿って切断する。これによって、個々の加速度センサ片Ｓ３が得られる。
次に、図１７Ｋに示されるように、加速度センサ片Ｓ３の長手方向における一方端の端面に外部端子４１ａ，４１ｂを形成する。このようにして、本発明の第３の加速度センサが製造される。
図１８Ａ〜図１８Ｋは、本発明の第４の加速度センサＳ４の製造工程を示す斜視図である。まず、図１８Ａに示されるように、上述の図１７Ａに示される工程と同様に、短冊状の圧電振動集合基板１０Ｂを作成する。すなわち、圧電振動集合基板１０Ｂは、上述の具体例で説明したような、分極済みの圧電母基板がプリプレグによって接合され、電荷検出電極１５ａ，１５ｂが形成された短冊状の基板である。さらに詳しくは、圧電振動集合基板１０Ｂは、図１５Ａおよび図１６Ａに示されるような圧電振動集合基板１０Ａを、素子領域１０ａの長辺に沿って切断することによって作成された短冊状の基板である。したがって、この圧電振動集合基板１０Ｂは、切断することによって複数の圧電振動素子１０となる長辺方向に一次元配列された複数の矩形状の素子領域１０ａを有する。
次に、図１８Ｂに示されるように、上述の図１７Ｂに示される工程と同様に、圧電振動集合基板１０Ｂにおいて、圧電振動素子１０となる部分の長手方向における一方端の両側面に一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂを形成する。
次に、図１８Ｃに示されるように、上述の図１７Ｃに示される工程と同様に、圧電振動集合基板１０Ｂと同じ厚みの、切断によって側面保護部材３３ａ，３３ｂとなる側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂを準備し、それぞれの側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂに、側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂを、圧電振動集合基板１０Ｂの主面と側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂの面とが同一面となるように固定する。これによって、圧電振動集合基板１０Ｂ、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび一対の側面保護集合部材３３Ａ，３３Ｂから成る第５の集合基板体８１が形成される。
次に、図１８Ｄに示されるように、第５の集合基板体８１を、圧電振動素子１０となる部分の主面側から見て各素子領域１０ａの短辺とその延長線に沿って切断する。これによって、圧電振動素子１０、一対の側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂおよび一対の側面保護部材３３ａ，３３ｂから成る第７の集合基板体８２が形成される。
次に、図１８Ｅに示されるように、複数の第７の集合基板体８２を、圧電振動素子１０の一方の主面同士および他方の主面同士が同一平面に位置するとともに、圧電振動素子１０の長手方向における一方端同士および他方端同士がそれぞれ同一平面に位置するように整列配置する。
次に、図１８Ｆに示されるように、側面保護部材３３ａ，３３ｂの長手方向における他方端の端面に、切断によって端面スペーサ部材２２ａ，２２ｂとなる端面スペーサ集合部材２２Ａを形成する。
次に、図１８Ｇに示されるように、圧電振動素子１０と同じ厚みの、切断によって端面保護部材３２となる端面保護集合部材３２Ａを準備し、端面スペーサ集合部材２２Ａに端面保護集合部材３２Ａを、圧電振動素子１０の主面および側面保護部材３３ａ，３３ｂの面と端面保護集合部材３２Ａの面とが同一面となるように固定する。
次に、図１８Ｈに示されるように、圧電振動素子１０の長手方向における一方端の両主面ならびに側面スペーサ部材２３ａ，２３ｂ、側面保護部材３３ａ，３３ｂ、端面スペーサ集合部材２２Ａおよび端面保護集合部材３２Ａの両面のそれぞれに、切断によって主面スペーサ部材２１ａ，２１ｂとなる主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂを形成する。
次に、図１８Ｉに示されるように、主面スペーサ集合部材２１Ａ，２１Ｂに、切断によって主面保護部材３１ａ，３１ｂとなる主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂを固定する。
次に、図１８Ｊに示されるように、主面スペーサ集合部材２１Ａ,２１Ｂ、主面保護集合部材３１Ａ，３１Ｂ、端面スペーサ集合部材２２Ａおよび端面保護集合部材３２Ａを側面保護基板３１ａ，３１ｂ同士が重なる面に沿って切断する。これによって、個々の加速度センサ片Ｓ４が得られる。
加速度センサ片Ｓ４の長手方向における一方端の端面に外部端子４１ａ，４１ｂを形成する。このようにして、本発明の第４の加速度センサが製造される。
このようにして得られた本発明の加速度センサは、構造が単純で製造が容易であり、かつ小型で加速度の検出感度が高い優れた加速度センサであった。
また、上述した製造方法によれば、加速度の検出感度が高く、小型かつ構造が単純で製造が容易な加速度センサを１度の製造プロセスで多数製造することができる。
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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【図１５Ｇ】
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【図１５Ｈ】
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【図１５Ｉ】
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【図１５Ｊ】
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【図１５Ｋ】
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【図１５Ｌ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【図１６Ｄ】
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【図１６Ｅ】
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【図１６Ｆ】
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【図１６Ｇ】
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【図１６Ｈ】
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【図１６Ｉ】
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【図１６Ｊ】
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【図１６Ｋ】
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【図１６Ｌ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１７Ｄ】
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【図１７Ｅ】
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【図１７Ｆ】
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【図１７Ｇ】
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【図１７Ｈ】
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【図１７Ｉ】
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【図１７Ｊ】
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【図１７Ｋ】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１８Ｃ】
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【図１８Ｄ】
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【図１８Ｅ】
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【図１８Ｆ】
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【図１８Ｇ】
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【図１８Ｈ】
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【図１８Ｉ】
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【図１８Ｊ】
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【図１８Ｋ】
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【国際調査報告】
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