【手続補正書】
【提出日】平成17年8月5日(2005.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】載置台の駆動装置及びプローブ方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置する載置台を水平方向に移動させる第１水平駆動機構と、上記載置台を上下方向に移動させる昇降駆動機構とを備えた載置台の駆動装置において、上記昇降駆動機構は、上記第１水平駆動機構を支持し且つ上記第１水平駆動機構を昇降させる第１昇降機構と、上記第１水平駆動機構上で上記載置台を支持し且つ上記載置台を昇降させる第２昇降機構とを有することを特徴とする載置台の駆動装置。
【請求項２】
上記第２昇降機構は、上記載置台を複数箇所で支持し且つ直線方向に駆動する駆動部材を有し、これらの駆動部材を直線方向に駆動させて上記載置台を昇降させることを特徴とする請求項１に記載の載置台の駆動装置。
【請求項３】
上記駆動部材は、圧電効果部材からなることを特徴とする請求項２に記載の載置台の駆動装置。
【請求項４】
上記第２昇降機構は、水平方向の駆動力を発生する少なくとも一つの第２水平駆動機構と、第２水平駆動機構の水平方向の駆動力を上下方向の駆動力に変換する少なくとも一つの方向変換手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の載置台の駆動装置。
【請求項５】
上記方向変換手段は、上記載置台の下面に径方向に傾斜して形成された傾斜面と、上記第２水平駆動機構を介して上記傾斜面に従って移動する楔部材とを有し、上記楔部材の水平方向の移動を、上記傾斜面を介して上記載置台の上下方向の移動に変換することを特徴とする請求項４に記載の載置台の駆動装置。
【請求項６】
上記方向変換手段は、一端が上記載置台と係合すると共に他端が上記第２水平駆動機構と係合し、上記第２水平駆動機構の駆動力を得て旋回する旋回部材と、この旋回部材を旋回自在に支持する支持部材とを有し、上記楔部材の水平方向の移動を、上記旋回部材を介して上記載置台の上下方向の移動に変換することを特徴とする請求項４に記載の載置台の駆動装置。
【請求項７】
上記第２水平駆動機構は、圧電効果部材を有することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の載置台の駆動装置。
【請求項８】
上記第１昇降機構は、上記第１水平駆動機構を支持する支持体と、この支持体を上下方向にガイドする少なくとも一つのガイド部材と、このガイド部材に従って上記支持体を昇降させるボールネジと、このボールネジを駆動するモータとを有することを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の載置台の駆動装置。
【請求項９】
上記第１昇降機構は、上記載置台の載置面と上記載置台の上方に配置されたプローブカードとの平行度を調整するように構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の載置台の駆動装置。
【請求項１０】
被検査体を載置する載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、上記載置台を水平方向に移動させる水平駆動機構と、上記載置台を上下方向に移動させる第１、第２昇降機構とを備えたプローブ装置を用いて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法であって、
上記水平駆動機構を介して上記被検査体が載置された載置台を水平方向に移動させて上記被検査体と上記プローブカードとの位置合わせを行う工程と、
上記第１昇降機構を介して上記載置台を上昇させて、上記載置台上の上記被検査体を上記プローブカードの間近まで上昇させる工程と、
上記第２昇降機構を介して上記載置台を第１昇降機構による上昇位置からオーバードライブさせて、上記載置台上の上記被検査体と上記プローブカードとを電気的に接触させる工程と、
上記被検査体の電気的特性検査を行う工程と、
上記第２昇降機構を介して上記載置台を下降させて上記被検査体を上記プローブカードから離す工程と、
を備えたことを特徴とするプローブ方法。
【請求項１１】
上記第２昇降機構を介して上記載置台上の上記被検査体と上記プローブカードとの平行度を調整する工程を備えたことを特徴とする請求項１０に記載のプローブ方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、載置台の駆動装置及びプローブ方法に関し、更に詳しくは、被検査体の検査を高速化することができる載置台の駆動装置及びこの載置台の駆動装置を備えたプローブ装置を用いるプローブ方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、プローブカードが多様化しコンタクト荷重が増加しても載置台を高速に駆動することができ、検査の高速化を実現することができる載置台の駆動装置及びプローブ方法を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の載置台の駆動装置は、被検査体を載置する載置台を水平方向に移動させる第１水平駆動機構と、上記載置台を上下方向に移動させる昇降駆動機構とを備えた載置台の駆動装置において、上記昇降駆動機構は、上記第１水平駆動機構を支持し且つ上記第１水平駆動機構を昇降させる第１昇降機構と、上記第１水平駆動機構上で上記載置台を支持し且つ上記載置台を昇降させる第２昇降機構とを有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項２に記載の載置台の駆動装置は、請求項１に記載の発明において、上記第２昇降機構は、上記載置台を複数箇所で支持し且つ直線方向に駆動する駆動部材を有し、これらの駆動部材を直線方向に駆動させて上記載置台を昇降させることを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項３に記載の載置台の駆動装置は、請求項２に記載の発明において、上記駆動部材は、圧電効果部材からなることを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項４に記載の載置台の駆動装置は、請求項１に記載の発明において、上記第２昇降機構は、水平方向の駆動力を発生する少なくとも一つの第２水平駆動機構と、第２水平駆動機構の水平方向の駆動力を上下方向の駆動力に変換する少なくとも一つの方向変換手段とを有することを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項５に記載の載置台の駆動装置は、請求項４に記載の発明において、上記方向変換手段は、上記載置台の下面に径方向に傾斜して形成された傾斜面と、上記第２水平駆動機構を介して上記傾斜面に従って移動する楔部材とを有し、上記楔部材の水平方向の移動を、上記傾斜面を介して上記載置台の上下方向の移動に変換することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項６に記載の載置台の駆動装置は、請求項４に記載の発明において、上記方向変換手段は、一端が上記載置台と係合すると共に他端が上記第２水平駆動機構と係合し、上記第２水平駆動機構の駆動力を得て旋回する旋回部材と、この旋回部材を旋回自在に支持する支持部材とを有し、上記楔部材の水平方向の移動を、上記旋回部材を介して上記載置台の上下方向の移動に変換することを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項７に記載の載置台の駆動装置は、請求項５または請求項６に記載の発明において、上記第２水平駆動機構は、圧電効果部材を有することを特徴とするものである。
【請求項７】  載置台の駆動装置。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の請求項８に記載の載置台の駆動装置は、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の発明において、上記第１昇降機構は、上記第１水平駆動機構を支持する支持体と、この支持体を上下方向にガイドする少なくとも一つのガイド部材と、このガイド部材に従って上記支持体を昇降させるボールネジと、このボールネジを駆動するモータとを有することを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項９に記載の載置台の駆動装置は、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記第１昇降機構は、上記載置台の載置面と上記載置台の上方に配置されたプローブカードとの平行度を調整するように構成されていることを特徴とするものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の請求項１０に記載のプローブ方法は、被検査体を載置する載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、上記載置台を水平方向に移動させる水平駆動機構と、上記載置台を上下方向に移動させる第１、第２昇降機構とを備えたプローブ装置を用いて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法であって、上記水平駆動機構を介して上記被検査体が載置された載置台を水平方向に移動させて上記被検査体と上記プローブカードとの位置合わせを行う工程と、上記第１昇降機構を介して上記載置台を上昇させて、上記載置台上の上記被検査体を上記プローブカードの間近まで上昇させる工程と、上記第２昇降機構を介して上記載置台を第１昇降機構による上昇位置からオーバードライブさせて、上記載置台上の上記被検査体と上記プローブカードとを電気的に接触させる工程と、上記被検査体の電気的特性検査を行う工程と、上記第２昇降機構を介して上記載置台を下降させて上記被検査体を上記プローブカードから引き離す工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項１１に記載のプローブ方法は、請求項１０に記載の発明において、上記第２昇降機構を介して上記載置台上の上記被検査体と上記プローブカードとの平行度を調整する工程を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
Ｘテーブル１２は、図１に示すように、Ｙテーブル１３上に配置された一対のＸ方向ガイドレール１２Ａに従って往復移動し、Ｙテーブル１３は後述の支持板上に配置された一対のＹ方向ガイドレール１３Ａに従って往復移動する。Ｘ、Ｙテーブル１２、１３はいずれも従来と同様にボールネジ（図示せず）を介してＡＣサーボモータ等のモータ（図示せず）に連結され、モータ及びボールネジを介してＸ、Ｙ方向に移動する。従って、Ｘ、Ｙテーブル１２、１３は、載置台１１をＸＹ面（水平面）内で移動させる第１水平駆動機構が水平駆動機構１７として構成されているため、以下では必要に応じて両テーブル１２、１３を一括して水平駆動機構１７と称する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図５は本発明の他の実施形態の第２昇降機構を模式的に示す断面図である。本実施形態のプローブ装置は、第２昇降機構以外は上記実施形態に準じて構成されている。本実施形態の第２昇降機構３０は、載置台１１の外周縁部下方に周方向に等間隔を隔てて３箇所に水平に配置された圧電効果を呈するピエゾ素子３１と、これらのピエゾ素子３１の伸縮を上下方向の移動に変換する３箇所の方向変換手段３２とを有し、各ピエゾ素子３１を伸縮制御して載置台１１を昇降させる。尚、ピエゾ素子３１は、第２水平駆動機構として機能する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本実施形態の方向変換手段３２は、載置台１１の下面に径方向外側から内側に向けて下降傾斜させて設けられた傾斜面３２Ａと、この傾斜面３２Ａにボールベアリング３２Ｂを介して径方向に進退動自在に設けられた楔部材３２Ｃとを有している。ピエゾ素子３１の一端には楔部材３２Ｃが連結され、ピエゾ素子３１の他端はＸテーブル１２上の固定部３３に固定されている。また、固定部３３には載置台１１の昇降距離を検出するレーザ変位センサや静電容量型センサ等からなる昇降検出器３４が設けられ、昇降検出器３４の検出値に基づいて載置台１１の昇降距離を制御することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、図６は本発明の他の実施形態の第２昇降機構を模式的に示す断面図である。本実施形態のプローブ装置は、第２昇降機構以外は上記各実施形態に準じて構成されている。本実施形態の第２昇降機構４０は、載置台１１下方の中央部から水平に放射状に配置された圧電効果を呈するピエゾ素子４１と、これらのピエゾ素子４１の伸縮を上下方向の移動に変換する３箇所の方向変換手段４２とを有し、各ピエゾ素子４１を伸縮制御して載置台１１を昇降させる。また、載置台１１下面の中央部にはスペーサ１１Ａを介して板バネ１１Ｂが設けられ、Ｘテーブル１２の中心に立設された支柱１２Ａが板バネ１１Ｂに接触している。尚、ピエゾ素子４１は、第２水平駆動機構として機能する。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項１１に記載の発明によれば、プローブカードが多様化すると共にコンタクト荷重が増加しても載置台を高速に駆動制御して検査の高速化を実現することができる載置台の駆動装置及びプローブ方法を提供することができる。