(57)【要約】【課題】構造が簡単で、かつ吐出圧力を高くできる圧電ポンプを提供する。【解決手段】ポンプ本体１０の中央部に第１開口部１１を形成し、中央から離れた位置に第２開口部１２を形成する。ポンプ本体１０に金属製ダイヤフラム２０の外周部を固定し、ダイヤフラム２０の背面中央部に第１開口部１１を覆いかつ第２開口部１２まで達しない大きさの圧電素子２３を貼り付ける。圧電素子２３に共振周波数付近の電圧を印加することにより、第１開口部１１に対向するダイヤフラム２０の部分と第２開口部１２に対向するダイヤフラム２０の部分とを相反方向に屈曲変形させ、第１開口部１１および第２開口部１２の一方から流体を吸込み、他方から吐出する。これにより、吐出圧力を高くでき、吐出側の圧力が高い条件下でも流体を確実に吐出できる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体と、外周部がポンプ本体に対して固定されたダイヤフラムと、このダイヤフラムの中央部に貼り付けられた圧電素子と、前記ダイヤフラムの略中央部と対向するポンプ本体の部位に形成された第１開口部と、前記ダイヤフラムの中央部と外周部との中間領域又はこの中間領域と対向するポンプ本体の部位に形成された第２開口部とを備え、
前記ダイヤフラムは金属板であり、
前記圧電素子は前記第１開口部を覆い、かつ第２開口部まで達しない大きさに形成され、
前記圧電素子に所定周波数の電圧を印加することにより、第１開口部に対向するダイヤフラムの部分と第２開口部に対向するダイヤフラムの部分とを相反方向に屈曲変形させ、前記第１開口部および第２開口部の一方から流体を吸込み、他方から吐出することを特徴とする圧電ポンプ。
【請求項２】
前記流体は圧縮性流体であり、前記圧電素子に前記ダイヤフラム及び前記圧電素子からなる変位部材の１次共振周波数付近の電圧を印加することにより、第１開口部から流体を吸込み、第２開口部から流体を吐出することを特徴とする請求項１に記載の圧電ポンプ。
【請求項３】
前記流体は圧縮性流体であり、前記圧電素子に前記ダイヤフラム及び前記圧電素子からなる変位部材の３次共振周波数付近の電圧を印加することにより、第２開口部から流体を吸込み、第１開口部から流体を吐出することを特徴とする請求項１に記載の圧電ポンプ。
【請求項４】
前記第２開口部は、前記ダイヤフラムの最大変位位置またはそれより外周側に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電ポンプ。
【請求項５】
前記第２開口部は、第１開口部を中心とする同一円周上に複数個形成されていることを特徴とする請求項３または４に記載の圧電ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電ポンプ、特に圧電素子によって屈曲変形するダイヤフラムを用いた圧電ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ノートパソコンなどの小型電子機器の冷却用ポンプや燃料電池の燃料輸送用ポンプなどに、圧電ポンプが用いられる。圧電ポンプは、圧電素子への電圧印加により屈曲変形するダイヤフラムを用いたポンプであり、構造が簡単で薄型に構成でき、かつ低消費電力であるという利点がある。圧電素子を駆動源として用いた圧電ポンプの場合、その流入口および流出口に逆止弁が設けられるが、逆止弁の長期間の使用による信頼性の低下や、逆止弁にゴミ等の異物が付着して流体を十分に輸送できないという問題があった。また、逆止弁にごみ等の異物が付着して圧電素子を高い周波数で駆動した時に逆止弁が追従動作できず、流体を輸送できない等の問題があった。【０００３】
特許文献１や２には、流入口と流出口とを有するポンプ本体上に、ダイヤフラムを接触状態で取り付けるとともに、ダイヤフラム上に流入口から流出口に向かって並ぶように複数の圧電素子を取り付けた圧電ポンプが提案されている。このポンプの場合には、流入口側に近い圧電素子から流出口側に近い圧電素子へと順次に駆動することにより、ダイヤフラムを流入口から流出口に向かって順次撓ませ、流体を流入口から流出口に向かって押し出すことができる。そして、圧電素子への電圧印加を停止すると、ダイヤフラムの復元によって流入口と流出口との間の流路を閉じるので、流入口および流出口の逆止弁を省略することができる。【０００４】
ところが、この構造の圧電ポンプでは、複数の圧電素子を平面状に配列する必要があるため、圧電ポンプが大型かつ複雑となるとともに、圧電素子を順番に駆動するためのドライバ回路も複雑になり、高価となるという問題がある。【０００５】
特許文献３には、逆止弁を有しない流体ポンプが開示されている。特に、特許文献３の図１０には、ポンプ本体とダイヤフラムとの間にポンプ室を形成し、ポンプ本体の中央部に第１開口部を設け、周辺部に第２開口部を設け、ダイヤフラムに弾性バッファを形成し、ダイヤフラムの中央部を別の駆動手段によって往復駆動することによって、ダイヤフラムを屈曲変形させる流体ポンプが開示されている。ダイヤフラムが第１開口部を開いた時に第１開口部から流体をポンプ室に吸込み、第１開口部を閉じた時に第２開口部に対応するバッファ部を撓ませ、バッファ部の弾性復元力によって第２開口部から流体を排出するようになっている。【０００６】
特許文献３の場合には、単一の駆動源でダイヤフラムを往復駆動するだけであるから、構造が簡単になる。しかし、ダイヤフラムの第１開口部と対向した部位、つまりダイヤフラムの中央部だけを変位させ、その変位に遅れてダイヤフラムの周辺部（バッファ部）を屈曲変形させるので、ダイヤフラムとして柔らかい材料を使用しなければならず、吐出圧力を高くできない。例えば、流体が空気のような圧縮性流体の場合、ダイヤフラムのバッファ部を弾性変形させるには、ゴムや樹脂のような非常に柔らかい材料を使用しなければならず、吐出圧力は低下する。その結果、ポンプ室外の圧力が高い条件では流体を確実に吐出できない場合がある。
【特許文献１】特開平２−１４９７７８号公報
【特許文献２】特開平４−８６３８８号公報
【特許文献３】特表平１０−５１１１６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明の好ましい実施形態の目的は、構造が簡単で、かつ吐出圧力を高くできる圧電ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、本発明は、ポンプ本体と、外周部がポンプ本体に対して固定されたダイヤフラムと、このダイヤフラムの中央部に貼り付けられた圧電素子と、前記ダイヤフラムの略中央部と対向するポンプ本体の部位に形成された第１開口部と、前記ダイヤフラムの中央部と外周部との中間領域又はこの中間領域と対向するポンプ本体の部位に形成された第２開口部とを備え、前記ダイヤフラムは金属板であり、前記圧電素子は前記第１開口部を覆い、かつ第２開口部まで達しない大きさに形成され、前記圧電素子に所定周波数の電圧を印加することにより、第１開口部に対向するダイヤフラムの部分と第２開口部に対向するダイヤフラムの部分とを相反方向に屈曲変形させ、前記第１開口部および第２開口部の一方から流体を吸込み、他方から吐出することを特徴とする圧電ポンプを提供する。【０００９】
本発明では、特許文献３のようにダイヤフラム自身の弾性復元力を利用して流体を押し出すのではなく、ダイヤフラムとしてヤング率の高い金属板を使用し、このダイヤフラムを圧電素子によって強制的に屈曲変形させることで、流体を吐出するものである。特に、圧電素子の大きさを第１開口部を覆いかつ第２開口部まで達しない大きさとすることで、第１開口部に対向するダイヤフラムの部分と第２開口部に対向するダイヤフラムの部分とを相反方向に効率よく屈曲変形させることができる。そのため、吐出圧力を高くでき、吐出側の圧力が高い条件下でも流体を確実に吐出できる。特に、ヤング率の高い金属板をダイヤフラムとしている為、ダイヤフラムの圧電体への追従性が良好であり、従って高い周波数で動作させることが可能である。【００１０】
圧電素子に印加する電圧の周波数は任意に選定できるが、圧電素子を、ダイヤフラム及び圧電素子からなる変位部材の共振周波数付近の周波数で駆動した場合には、ダイヤフラムの変位体積が非常に大きくなり、大流量が得られる点で望ましい。１次共振モード（１次共振周波数）で駆動すると、第１開口部から流体を吸込み、第２開口部から流体を吐出することができ、３次共振モード（３次共振周波数）を利用した場合には、第２開口部から流体を吸込み、第１開口部から流体を吐出することができる。前記１次共振モード及び３次共振モードのいずれも高い周波数で駆動できるが、特に、３次共振モードを利用した場合には、１次共振モードの約３倍という非常に高い周波数で動作可能であり、これにより、可聴領域を越えた周波数で駆動できるため、騒音を防ぐことができる。これについては、例えば、特許文献３のようにダイヤフラムとして柔らかい材料を使用した場合、ダイヤフラムの中央部の変位とダイヤフラムの周辺部の変位の遅れ時間が生じているため、特許文献３の流体ポンプは遅れ時間に対応する周波数以上では駆動できない。一方、本発明の圧電ポンプは、ダイヤフラムとしてヤング率の高い金属板を使用しているため、１次共振モード及び３次共振モードといった高い共振周波数で駆動することができ、特に、人間の可聴領域を越えた３次共振モードで駆動した場合には、騒音が生じず、かつ、高い流量が得られる。また、変位が少ない分、ポンプ本体とダイヤフラムとの固定部分で生じるストレスが減り、信頼性が高くなる。なお、ダイヤフラムのヤング率は１００ＧＰａ以上が好ましい。１００ＧＰａ以上の場合、１次共振モード、３次共振モードのいずれで駆動させた場合にも優れた追従性があり、さらに駆動時に損失が少ないので、発熱量が少なく、電力効率がよい。【００１１】
本発明の圧電ポンプは空気のような圧縮性流体を輸送するのに適している。液体のような非圧縮性流体を吐出する圧電ポンプの場合、流入口および流出口にそれぞれゴムや樹脂のような柔らかい材料を用いた逆止弁を設け、数十Ｈｚ程度の低い周波数で圧電素子を駆動するのが一般的である。この圧電ポンプを空気のような圧縮性流体を吐出するためのポンプとして用いた場合、圧電素子の変位量が非常に小さく、流体を殆ど吐出できない。圧電素子をダイヤフラム及び圧電素子からなる変位部材の共振周波数（１次共振周波数又は３次共振周波数）付近で駆動すると、最大変位が得られるが、共振周波数はｋＨｚのオーダーの高周波数のため、逆止弁が追従動作できない。本発明では逆止弁を有しないので、圧電素子を共振周波数付近の周波数で駆動しても、逆止弁による制約がなく、非圧縮性流体を効率よく輸送できる。また、逆止弁にゴミ等が付着して動作不良が生じる懸念もなく、信頼性の高い圧電ポンプを提供できる。【００１２】
第２開口部を、３次共振モードでのダイヤフラムの最大変位位置またはそれより外周側に形成するのがよい。３次共振モードでのダイヤフラムの最大変位位置は、圧電素子とダイヤフラムの面積比やダイヤフラムのヤング率などによって異なるが、最大変位位置またはそれより外側に第２開口部（流入口）を設けることにより、圧電ポンプの動作サイクルにおいて、第１開口部（吐出口）から流体を吐出する際の第２開口部（流入口）のシール性を十分に得ることができ、吐出するべき流体の逆流を防ぐことができるので、吐出圧力だけでなく、吐出流量も高くなる。【００１３】
第２開口部は、第１開口部を中心とする同一円周上に複数個形成されているものでもよい。３次共振モードで駆動した場合、第２開口部が流入側となるが、この第２開口部が１個であると、ポンプ本体とダイヤフラムの周辺部との間に形成される環状のポケット空間に速やかに流体が流入せず、十分な流量を吐出できない場合がある。これに対し、第２開口部を同一円周上に複数個形成した場合には、環状のポケット空間に速やかに流体を流入させることができ、吐出流量を増大させることができる。
【発明の好ましい実施形態の効果】
【００１４】
本発明によれば、金属製ダイヤフラムの中央部に、第１開口部を覆いかつ第２開口部まで達しない大きさの圧電素子を貼り付け、この圧電素子を所定周波数の電圧で駆動することにより、第１開口部に対向するダイヤフラムの部分と第２開口部に対向するダイヤフラムの部分とを相反方向に屈曲変形させるようにしたので、吐出圧力を高くでき、吐出側の圧力が高い条件下でも流体を確実に吐出できる。しかも、圧電ポンプをポンプ本体と圧電素子を貼り付けたダイヤフラムだけで構成でき、逆止弁のような補助部品を必要としないので、構造が非常に簡単になり、小型・薄型で、高信頼性の圧電ポンプを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、実施例に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１〜図３は圧電ポンプの第１実施例を示す。ここで、図１は本発明に係る圧電ポンプの全体斜視図、図２は図１に示す圧電ポンプの分解斜視図、図３は図１のＡ−Ａ線断面図である。【００１７】
本実施例の圧電ポンプＰは、ポンプ本体を構成する天板１０と、ダイヤフラム２０と、環状の押え板３０とを順に積層した構造よりなり、これら部品が積層接着されている。天板１０は剛性のある平板状に形成されたものであり、その中心位置に第１開口部１１が形成され、第１開口部１１を中心とする同一円周上に複数の第２開口部１２が形成されている。ここでは、流量を確保するため第２開口部１２を８個形成したが、第２開口部１２の個数は必要とする流量に応じて任意に設定できる。【００１８】
ダイヤフラム２０はばね弾性を持つ薄肉な金属板で形成されている。図２に示すように、ダイヤフラム２０には円弧状の複数のスリット２１が形成され、スリット２１より外側領域の表裏面に接着剤が塗布され、天板１０と押え板３０とでダイヤフラム２０の外側領域が接着固定されている。接着剤の塗布領域がスリット２１により隔てられているので、接着剤がスリット２１より内側の円形領域２２まで拡がることがない。押え板３０の内周縁３１はダイヤフラム２０の円形領域２２より僅かに小径であり、この内周縁３１で囲まれた円形領域２２が屈曲変形できる領域である。【００１９】
ダイヤフラム２０は天板１０の下面側に接触状態で配置されている。ダイヤフラム２０の背面（下面）であって、円形領域２２の中央部に円形の圧電素子２３が貼り付けられている。ダイヤフラム２０の円形領域２２の中心（圧電素子２３の中心）と天板１０の第１開口部１１の中心とは、同軸上に位置している。圧電素子２３の半径は、第１開口部１１と第２開口部１２との距離Ｌより小さいため、第２開口部１２は圧電素子２３より外周側に位置している。なお、第２開口部１２の位置は、３次共振モードでのダイヤフラム２０の最大変位位置と同一位置またはそれよりやや外周側とするのがよい。【００２０】
押え板３０は後述する圧電素子２３の厚みとダイヤフラム２０の変位量との合計より厚肉に形成されており、圧電ポンプＰを基板などに搭載した場合に、圧電素子２３が基板と接触するのを防止している。なお、押え板３０の一部には切溝３２が形成されているが、これは圧電ポンプＰを基板などに搭載した場合に、ダイヤフラム２０の下面側が密閉空間になるのを防止するとともに、圧電素子への配線を引き出すための溝である。【００２１】
この実施例では、圧電素子２３として表裏面に電極を持つ単板の圧電セラミックスを使用し、これをダイヤフラム２０の裏面（天板１０と逆側の面）に貼り付けて変位部材としてのユニモルフ振動板を構成した。圧電素子２３に交番電圧（正弦波または矩形波）を印加することにより、圧電素子２３が平面方向に伸縮するので、圧電素子２３を含むダイヤフラム２０全体が板厚方向に屈曲変形する。ダイヤフラム及び圧電素子からなる変位部材の３次共振モード（約１５ｋＨｚ）で駆動する場合には、第２開口部１２とほぼ対応するダイヤフラム２０の周辺部が最大変位となるように屈曲変形する。ダイヤフラム及び圧電素子からなる変位部材の１次共振モード（約５ｋＨｚ）で駆動する場合には、ダイヤフラム２０の中心部が最大変位となるように屈曲変形する。圧電素子２３の投入電圧は、±６０Ｖ（１２０Ｖｐｐ）〜±１２０Ｖ（２４０Ｖｐｐ）程度が望ましい。【００２２】
図３の（ａ）〜（ｅ）は圧電ポンプＰの３次共振モードでのポンピング動作、すなわち、圧電素子２３に３次共振周波数付近の電圧を印加した場合の動作を示す。図３の（ａ）は初期状態であり、ダイヤフラム２０の全面がポンプ本体１０に接触しており、第１開口部１１および第２開口部１２は閉じられている。図３の（ｂ）は圧電素子２３への印加電圧の最初の１／４周期を示し、ダイヤフラム２０が上に凸に屈曲するので、ダイヤフラム２０の中央部がポンプ本体１０に押しつけられ、ダイヤフラム２０の周辺部がポンプ本体１０から離れる。そのため、第１開口部１１は閉じられ続けるが、ダイヤフラム２０の周辺部とポンプ本体１０との間に環状のポケット空間が形成されるので、このポケット空間に第２開口部１２から流体が吸い込まれる。次の１／４周期では、ダイヤフラム２０の圧電素子２３が貼り付けられていない領域よりも、圧電素子２３が貼り付けられた領域の方が、圧電素子２３が存在するため質量が大きく、これに伴って慣性効果が大きいため、図３の（ｃ）のようにダイヤフラム２０が圧電素子２３の重心の位置に合わせて初期状態よりもダイヤフラム側（下方）で平坦状態に戻る。このとき、ダイヤフラム２０とポンプ本体１０との間に連続したポケット空間が形成されることになるので、流体はダイヤフラム２０とポンプ本体１０との間に形成されたポケット空間の中を中心方向に移送される。この時、第１開口部１１と第２開口部１２はともに僅かに開いている。次の１／４周期では、図３の（ｄ）のようにダイヤフラム２０が下に凸に屈曲するので、ダイヤフラム２０の周辺部がポンプ本体１０に押しつけられ、第２開口部１２が閉じられる。そのため、ダイヤフラム２０とポンプ本体１０との間に入った流体は中央部に集められ、第１開口部１１から押し出される。次の１／４周期では、図３（ｅ）のように圧電素子２３が平坦状態に戻ろうとするが、圧電素子２３の重心位置の関係で、図３（ｃ）に形成されるポケット空間よりも厚み方向に小さいポケット空間が形成された状態となる。流体の流出は、図３の（ｂ）のようにダイヤフラム２０が再び第１開口部１１と接触状態に戻るまでの間続く。その後、ダイヤフラム２０の動作は図３の（ｂ）に戻り、それ以後（ｂ）〜（ｅ）の動作を周期的に繰り返す。このように圧電素子２３を３次共振モードで駆動した場合には、流体を第２開口部１２から吸込み、中心部の第１開口部１１から吐出することができる。【００２３】
図４の（ａ）〜（ｄ）は圧電ポンプＰの１次共振モードでのポンピング動作を示す。図４の（ａ）は初期状態であり、図４の（ｂ）は圧電素子２３への印加電圧の最初の１／４周期を示す。ダイヤフラム２０が下に凸に屈曲するので、ダイヤフラム２０の中央部とポンプ本体１０との間にポケット空間が形成され、このポケット空間に第１開口部１１から流体が吸い込まれる。次の１／４周期では、ダイヤフラム２０の圧電素子２３が貼り付けられていない領域よりも、圧電素子２３が貼り付けられた領域の方が、圧電素子２３が存在するため質量が大きく、これに伴って慣性効果が大きいため、図４の（ｃ）のようにダイヤフラム２０が圧電素子２３の重心の位置に合わせて初期状態よりも若干ダイヤフラム側で平坦状態に戻る。このとき、流体はダイヤフラム２０とポンプ本体１０との間に形成されたポケット空間の中を外周方向に移送される。この時、第１開口部１１と第２開口部１２はともに僅かに開いている。次の１／４周期では、図４の（ｄ）のようにダイヤフラム２０が上に凸に屈曲するので、ダイヤフラム２０の中央部がポンプ本体１０に押しつけられ、第１開口部１１が閉じられる。そのため、ダイヤフラム２０とポンプ本体１０との間に入った流体は周辺部に集められ、第２開口部１２から押し出される。次の１／４周期では、図４（ｅ）のように圧電素子２３が平坦状態に戻ろうとしたとき、圧電素子２３に下向きに慣性が生じるため、図４（ｃ）に形成されるポケット空間よりも厚み方向に小さいポケット空間が形成された状態となる。流体の流出は、次の１／４周期で図４の（ｂ）のようにダイヤフラム２０が再び第２開口部１２と接触状態に戻るまでの間、続く。その後、ダイヤフラム２０の動作は図４の（ｂ）に戻り、それ以後（ｂ）〜（ｅ）の動作を周期的に繰り返す。このように圧電素子２３を１次共振モードで駆動した場合には、流体を中心部の第１開口部１１から吸込み、周辺部の第２開口部１２から吐出することができる。【００２４】
本圧電ポンプＰを燃料電池の空気供給用ポンプとして用い、下記の条件で実験を行った。なお、本実験例は３次共振モードで駆動させた例である。
投入電圧：１５．５ｋＨｚ、±６０Ｖ〜±９０Ｖの矩形波電圧
ダイヤフラム：厚み０．１ｍｍのＳＵＳ板
圧電素子：直径１２．７ｍｍのＰＺＴ板
第１開口部の直径：１．３ｍｍ
第２開口部の直径：０．８ｍｍ×８個
距離Ｌ：８．４２５ｍｍ
ダイヤフラムの変位領域の直径：２０ｍｍ
前記条件で圧電ポンプＰを駆動したところ、静圧：７．５ｋＰａ、無負荷流量：２ｍｌ／ｓを得ることができた。その結果、高い吐出圧力の圧電ポンプが得られることが確かめられた。また、３次共振モードを利用した高周波駆動であり、この周波数では聴覚感度が低いため、騒音を防ぐことができた。
【実施例２】
【００２５】
図５は本発明の第２実施例の３次共振モードでのポンピング動作を示す。図３と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。第１実施例では第２開口部１２をポンプ本体１０に設けたが、この実施例はダイヤフラム２０に第２開口部２５を設けたものである。この場合には、３次共振モードで駆動すると、流体を圧電ポンプの裏側の第２開口部２５から吸込み、表側の第１開口部１１から排出することができる。この構造は、燃料電池の空気供給用０ンプまたは冷却用ポンプとして好適な構造となる。
【実施例３】
【００２６】
図６は本発明の第３実施例の３次共振モードでのポンピング動作を示す。図３と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この実施例は、ポンプ本体１０の一部をダイヤフラム２０より外方へ延長し、この延長部１５の下面側に、ダイヤフラム２０の外周部内側から外側まで延びる凹溝状の第２開口部１６を形成したものである。第２開口部１６の内側端は圧電素子２３の外周より外側でかつダイヤフラム２０の外周固定部より内側にあり、外側端が延長部１５から下面側に開口している。なお、第２開口部１６は凹溝状とする必要はなく、内側端が圧電素子２３より外側でかつダイヤフラム２０の外周固定部より内側に開口し、外側端がダイヤフラム２０の外周固定部より外側に開口した連通穴としてもよい。この場合、実施例２のようなダイヤフラム２０に開口部を設ける場合に比べて、より高い強度を維持することが可能であり、かつ、３次共振モードで駆動したとき、流体を圧電ポンプの裏側（下側）から吸込み、表側（上側）から排出することができるため好ましい。
【実施例４】
【００２７】
図７は本発明の第４実施例を示す。この実施例は、第２開口部１２を第１開口部１１を中心とする円弧状の穴としたものである。この場合も、複数の第２開口部１２が円周状に配列されているので、ダイヤフラムの周辺部とポンプ本体との間に形成される環状のポケット空間を流体で速やかに満たすことができ、流量を増大させることができる。【００２８】
第１〜第４実施例では、電圧印加により平面方向に伸縮する圧電素子をダイヤフラムの片面に貼り付けたユニモルフ型を示したが、ダイヤフラムの両面のそれぞれに逆方向に伸縮する圧電素子を貼り付けたバイモルフ型や、ダイヤフラムの片面にそれ自体が屈曲変形するバイモルフ型の圧電素子を貼り付けたものでもよい。【００２９】
圧電ポンプの構造として、図２では天板とダイヤフラムと押え板との積層構造としたが、これに限るものではない。また、天板、ダイヤフラムおよび押え板の外形形状は四角形に限らず、円形でもよい。【００３０】
図３に示す実施例では、初期状態においてダイヤフラムとポンプ本体とが接触状態である例を示したが、ポンプ本体に浅い凹部を設け、ダイヤフラムとポンプ本体との間に狭い空間（ポンプ室）が形成されていてもよい。但し、初期状態では第１開口部と第２開口部とがダイヤフラムによって閉じられているのがよい。【００３１】
前記実施例では、本発明の圧電ポンプを空気のような圧縮性流体の輸送用ポンプとして用いた例を示したが、液体のような非圧縮性流体にも適用することができる。本発明の圧電ポンプは吐出圧力が高いので、例えば冷却機等のコンプレッサ用ポンプとしての用途にも使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る圧電ポンプの第１実施例の全体斜視図である。
【図２】図１に示す圧電ポンプの分解斜視図である。
【図３】図１に示す圧電ポンプの３次共振モードでのポンピング動作を示すＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図１に示す圧電ポンプの１次共振モードでのポンピング動作を示すＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明に係る圧電ポンプの第２実施例のポンピング動作を示す断面図である。
【図６】本発明に係る圧電ポンプの第３実施例のポンピング動作を示す断面図である。
【図７】本発明に係る圧電ポンプの第４実施例の斜視図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０                ポンプ本体（天板）
１１                第１開口部
１２                第２開口部
１６                第２開口部
２０                ダイヤフラム
２２                円形領域
２３                圧電素子
２５                第２開口部
３０                押え板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2008069264.tif 000011
2008069264.tif 000012
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