【手続補正書】
【提出日】平成15年2月14日(2003.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロコンポーネントの処理方法であって、
製造基盤（５００）から分離した少なくとも一つのマイクロコンポーネント（５０２）を製造するステップと、
前記分離した少なくとも一つのマイクロコンポーネントを予め決められた領域に拘束するステップとを有する
ことを特徴とするマイクロコンポーネントの処理方法。
【請求項２】
マイクロコンポーネントの処理装置であって、
前記処理装置は、
少なくとも一つのマイクロコンポーネント（５０２）が分離するベース（５００）と、
前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを前記ベースに拘束する少なくとも一つの拘束要素（５０４，５０６，５０８，５１０，６００）とを備える
ことを特徴とするマイクロコンポーネントの処理装置。
【請求項３】
基盤（５００）から分離した少なくとも一つのマイクロコンポーネント（５０２）と、
前記マイクロコンポーネントをベースに拘束するための手段（６００）とを備え、
前記拘束するための手段は、前記ベースに対して移動可能である
ことを特徴とするシステム。
【請求項４】
請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法において、
前記基盤から分離した少なくとも一つのマイクロコンポーネントを製造するステップは、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントと前記基盤との間の物理的連結を破壊するステップを有さない
ことを特徴とするマイクロコンポーネントの処理方法。
【請求項５】
前記少なくとも一つの拘束要素は、前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを予め決められた領域に拘束するように配置されている請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置、または前記拘束するための手段は、前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを予め決められた領域に拘束するように配置されている請求項３に記載されたシステム。
【請求項６】
前記拘束するステップは、前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを別のマイクロコンポーネントに拘束するステップを有する請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法、または前記ベースは、別のマイクロコンポーネントである請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置、または前記ベースは、別のマイクロコンポーネントである請求項３に記載されたシステム。
【請求項７】
前記拘束するステップは、更に、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの垂直方向の動作を拘束するために、前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの上を垂直拘束要素の少なくとも一部が突き出るステップを有する請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法、または前記少なくとも一つの拘束要素は、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの垂直方向の動作を拘束するために、前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの上を少なくとも一部が突き出るように配置されている少なくとも一つの垂直拘束要素を含む請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置、または前記拘束するための手段は、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの垂直方向の動作を拘束するように配置されている少なくとも一つの垂直拘束手段を含む請求項３に記載されたシステム。
【請求項８】
前記拘束するステップは、更に、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの水平方向の動作を拘束するために、少なくとも一つの水平拘束要素を配置するステップを有する請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法、または前記少なくとも一つの拘束要素は、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの水平方向の動作を拘束するための少なくとも一つの水平拘束要素（５１２，５１４，５１６，５１８，６２０）を含む請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置、または前記拘束するための手段は、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの水平方向の動作を拘束するように配置されている少なくとも一つの水平拘束要素を含む請求項３に記載されたシステム。
【請求項９】
前記拘束するステップは、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの許容される程度の動きを許す請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法、または前記少なくとも一つの拘束要素は、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの許容される程度の動きを許すように配置されている請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置、または前記拘束するための手段は、前記ベースに対する前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの許容される程度の動きを許すように配置されている請求項３に記載されたシステム。
【請求項１０】
前記拘束するステップは、前記一つの分離したマイクロコンポーネントが前記ベースの垂直方向に約１μｍ動くことを許容する請求項９に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法。
【請求項１１】
前記拘束するステップは、前記一つの分離したマイクロコンポーネントが前記ベースの水平方向に約１μｍ動くことを許容する請求項９に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法。
【請求項１２】
前記拘束するステップは、前記製造するステップの間に、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを拘束するステップを有する請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法、または前記少なくとも一つの拘束要素は、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを基盤から分離する間、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを拘束するように配置されている請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置、または前記拘束するための手段は、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを基盤から分離する間、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを拘束するように配置されている請求項３に記載されたシステム。
【請求項１３】
前記拘束するステップは、更に、前記マイクロコンポーネントを前記基盤から分離するために前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを分離主体にさらす間、前記少なくとも一つのマイクロコンポーネントを拘束するステップを有する請求項１２に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法。
【請求項１４】
前記拘束するステップは、更に、前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの拘束を解くステップを有する請求項１に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法、または前記少なくとも一つの拘束要素は、望まれた時に前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントの拘束を解くことを許すように配置されている請求項２に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置。
【請求項１５】
前記拘束を解くステップは、前記少なくとも一つの拘束要素の拘束から前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを解放するために、前記少なくとも一つの拘束要素を移動させるステップを有する請求項１４に記載されたマイクロコンポーネントの処理方法。
【請求項１６】
前記少なくとも一つの拘束要素は、移動可能である請求項１４に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置。
【請求項１７】
前記少なくとも一つの拘束要素は、前記ベースから前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを解放するために移動可能である請求項１６に記載されたマイクロコンポーネントの処理装置。
【請求項１８】
前記拘束するための手段は、前記ベースから前記少なくとも一つの分離したマイクロコンポーネントを解放するために移動可能である請求項３に記載されたシステム。