【手続補正書】
【提出日】平成17年9月7日(2005.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】試料研磨装置、及び試料研磨方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料保持面を有する保持定盤の前記試料保持面に裏面が保持された平板状の試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨する試料研磨装置において、
前記試料保持面は、前記試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層を略全面に亘って具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項２】  前記弾性層は、前記試料の裏面と対面する表面に負圧吸引用の吸引路を有する請求項１記載の試料研磨装置。
【請求項３】  試料保持面を有する保持定盤の前記試料保持面に裏面が保持された平板状の試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨する試料研磨装置において、
前記試料保持面は、前記試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層と、
該弾性層に積層され、前記試料の裏面を吸着保持する吸着層と
を具備することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項４】  前記吸着層は、前記試料の裏面と対面する表面に負圧吸引用の吸引路を有する合成樹脂板により形成してある請求項３記載の試料研磨装置。
【請求項５】  前記吸着層はバッキングフィルムにより形成してある請求項３記載の試料研磨装置。
【請求項６】  前記バッキングフィルムの前記試料と対面する表面に負圧吸引用の吸引路を形成してある請求項５記載の試料研磨装置。
【請求項７】  前記弾性層はショア硬度が４０以下の材料を用いてなる請求項１乃至請求項６の何れかに記載の試料研磨装置。
【請求項８】  試料研磨装置が有する保持定盤の試料保持面に試料の厚さのばらつきを吸収する弾性層を接合し、
該弾性層の表面に平板状の試料の裏面を対面させて試料を保持し、
試料の表面に研磨パッドを押付けて試料を研磨することを特徴とする試料研磨方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板等の平板状の試料を研磨する試料研磨装置及び試料研磨方法に関し、更に詳しくは、前記試料の裏面を保持し、表面を研磨パッドに押付ける保持定盤における試料保持面部分の構成に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、保持定盤の試料保持面に、試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層を略全面に亘って設けることにより、試料の厚さのばらつきを弾性層によって吸収し、研磨するとき試料の表面に加わる押圧力のばらつきを小さくし、試料の研磨量の均一性を良好にすることができる試料研磨装置を提供することを目的とし、また、前記試料保持面に、試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層と、該弾性層に積層され、前記試料の裏面を吸着保持する吸着層とを設けることにより、試料の研磨量の均一性を良好にできるとともに、試料の吸着保持性を良好にすることができる試料研磨装置及び試料研磨方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る試料研磨装置は、試料保持面を有する保持定盤の前記試料保持面に裏面が保持された平板状の試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨する試料研磨装置において、前記試料保持面は、前記試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層を略全面に亘って具備することを特徴とする。
本発明に係る試料研磨装置は、前記弾性層は、前記試料の裏面と対面する表面に負圧吸引用の吸引路を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係る試料研磨装置は、試料保持面を有する保持定盤の前記試料保持面に裏面が保持された平板状の試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨する試料研磨装置において、前記試料保持面は、前記試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層と、該弾性層に積層され、前記試料の裏面を吸着保持する吸着層とを具備することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る試料研磨装置は、前記吸着層は、前記試料の裏面と対面する表面に負圧吸引用の吸引路を有する合成樹脂板により形成してあることを特徴とする。
本発明に係る試料研磨装置は、前記吸着層はバッキングフィルムにより形成してあることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明に係る試料研磨装置は、前記バッキングフィルムの前記試料と対面する表面に負圧吸引用の吸引路を形成してあることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明に係る試料研磨装置は、前記弾性層はショア硬度が４０以下の材料を用いてなることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明に係る試料研磨方法は、試料研磨装置が有する保持定盤の試料保持面に試料の厚さのばらつきを吸収する弾性層を接合し、該弾性層の表面に平板状の試料の裏面を対面させて試料を保持し、試料の表面に研磨パッドを押付けて試料を研磨することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明にあっては、平板状の試料の厚さのばらつきを吸収する弾性層に試料の裏面を全面に亘って対面させ、該試料を全面に亘って弾性層に弾性的に保持させることができるため、試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨するとき、試料の厚さのばらつきに見合って弾性層が撓み、試料は研磨パッドと接触する表面が研磨パッドの表面に沿って平坦状に倣いながら変形し、試料の表面に加わる押圧力のばらつきを小さくでき、この押圧力のばらつきが小さい状態で試料を研磨することができる。従って、試料の表面を全面に亘ってほぼ均一の研磨量で研磨することができ、試料の研磨量の均一性を良好にすることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明にあっては、試料の裏面を吸着層に対面させて試料を良好に吸着することができ、しかも、吸着層は試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層に積層されているため、試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨するとき、試料の厚さのばらつきに見合って弾性層が撓み、試料は研磨パッドと接触する表面が研磨パッドの表面に沿って平坦状に倣いながら変形することができる。その結果、試料の表面に加わる押圧力のばらつきを小さくでき、この押圧力のばらつきが小さい状態で試料を研磨することができる。従って、試料の表面を全面に亘ってほぼ均一の厚さに研磨することができ、試料の研磨量の均一性を良好にすることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明にあっては、試料が弾性層に直接接触しないため、弾性層のショア硬度を例えば３０以下に小さくし、研磨量の均一性をより良好にした場合における弾性層の耐久性を高めることができる。また試料の吸着層を弾性層に比べて硬質な材料で形成できるため、吸着層の表面に負圧吸引用の溝や孔を設けたとしても、弾性層に設ける場合に比べて、この溝や孔の周辺部の変形による試料の引き込まれ現象を抑えることができる。その結果、この試料の引き込まれによる均一性悪化の問題の発生を抑えることができる。これは、弾性層のショア高度が３０以下と小さい場合、特に有効である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明にあっては、バッキングフィルムによる吸着力及び負圧吸引力によって試料を吸着することができるため、バッキングフィルムによる吸着力によって吸着するだけの場合に比較して試料Ｗの吸着力を高くすることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明にあっては、弾性層のショア硬度を４０とすることによって試料の研磨量の均一性を９．６％に改善でき、また、ショア硬度を３０とすることによって前記均一性を８．６％に改善でき、さらに、ショア硬度を２０とすることによって前記均一性を７．３％に改善でき、ショア硬度を小さくすることによって前記均一性をより一層良好にできるのであるが、弾性層のショア硬度が例えば５０である場合、試料の研磨量の均一性は２２％であり、ショア硬度が４０を超えるのは好ましくない。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【発明の効果】
以上詳述した如く本発明によれば、試料の厚さのばらつきを吸収する弾性層に試料の裏面を全面に亘って対面させ、該試料を全面に亘って弾性層に弾性的に保持させることができるため、試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨するとき、前記試料の厚さのばらつきを前記弾性層によって良好に吸収でき、研磨するとき試料の表面に加わる押圧力のばらつきを小さくでき、試料の研磨量の均一性を良好にすることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
本発明によれば、試料の裏面を吸着層に対面させて試料を良好に吸着することができ、しかも、吸着層は試料の厚さのばらつきを裏面側で吸収する弾性層に積層されているため、試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨するとき、前記試料の厚さのばらつきを前記弾性層によって良好に吸収でき、研磨するとき試料の表面に加わる押圧力のばらつきを小さくでき、試料の研磨量の均一性を良好にすることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
本発明によれば、ショア硬度が４０以下の比較的軟質の材料が試料を保持するため、試料の表面を研磨パッドに押付けて研磨するとき、前記試料の厚さのばらつきを前記材料によってより一層良好に吸収でき、研磨するとき試料の表面に加わる押圧力のばらつきをより一層小さくでき、試料の研磨量の均一性をより一層良好にすることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
本発明によれば、試料が弾性層に直接接触しないため、弾性層のショア硬度を例えば３０以下に小さくし、研磨量の均一性をより良好にした場合における弾性層の耐久性を高めることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
本発明によれば、バッキングフィルムによる吸着力及び負圧吸引力によって試料Ｗを吸着することができるため、バッキングフィルムの吸着力によって吸着するだけの場合に比較して試料の吸着力を高くすることができる。