【手続補正書】
【提出日】平成17年5月30日(2005.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を分岐し、分岐されたレーザ光を異なる周波数で変調し、基準面と測定面に照射し、そこからのそれぞれの反射光の干渉成分を受光することによって測定面における基準面からの高さを検出する光干渉計の干渉位相検出方式において、
前記反射光の干渉成分を受光するライン型センサで構成され、測定面兼用の複数の画素群と、この画素群の両側に設けられた基準面専用の複数の画素群とを有する受光素子手段と、
前記測定面兼用の画素群の中の測定点の画素に対する基準面位相信号を、前記測定点の画素を中心に左右対称に位置する所定数の画素群の信号の平均値に基づいて算出する基準面位相算出手段と、
前記測定点の画素の信号に基づいて前記測定点の画素に入射した前記反射光の測定点位相信号を算出する測定点位相算出手段と、
前記測定点位相信号から前記基準面位相信号を減算することによって前記測定点の高さに相当する信号を算出する高さ算出手段と
を備えたことを特徴とする光干渉計の干渉位相検出方式。
【請求項２】
前記基準面専用の画素は前記測定面兼用の画素よりも大きな画素面積で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光干渉計の干渉位相検出方式。
【請求項３】
前記基準面位相算出手段は、算出された基準面位相信号の所定時間分の平均値を算出することによって、前記測定点位相信号を中心とする基準面位相信号を生成し、
前記測定点位相算出手段は、前記測定点の画素の信号を前記所定時間の半分だけ遅延した前記測定点位相信号に基づいて前記測定点の画素に入射した前記反射光の測定点位相信号を算出することを特徴とする請求項１に記載の光干渉計の干渉位相検出方式。
【請求項４】
前記測定面兼用の画素群を所定数のグループに分割し、そのグループ毎に前記基準面位相算出手段によって基準面位相信号を算出し、算出された基準面位相信号及び前記グループ内に属する画素信号に基づいて前記グループ内の測定点の高さに相当する信号を算出することを特徴とする請求項１に記載の光干渉計の干渉位相検出方式。
【請求項５】
測定面における基準面からの高さを検出する光干渉計の干渉位相検出システムの受光素子であって、
各群が反射光の干渉成分を受光する複数の画素からなる測定面兼用の複数の第１の画素群と、
各群が反射光の干渉成分を受光する複数の画素からなり、前記複数の第１の画素群の一端に配置された基準面専用の複数の第２の画素群と、
各群が反射光の干渉成分を受光する複数の画素からなり、前記複数の第１の画素群の他端に配置された基準面専用の複数の第３の画素群と
で構成され、前記第１、第２及び第３の画素群によりライン型のセンサを形成したことを特徴とする光干渉計の干渉位相検出システムの受光素子。
【請求項６】
前記第２及び第３の画素群は、それを構成する画素の数が同じであることを特徴とする請求項５に記載の光干渉計の干渉位相検出システムの受光素子。
【請求項７】
前記基準面専用の画素は前記測定面兼用の画素よりも大きな画素面積で構成されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の光干渉計の干渉位相検出システムの受光素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
偏光ビームスプリッタ３Ａはレーザ光ｆ４を反射して４分の１波長板３Ｄを介して参照面３Ｂに照射し、またレーザ光ｆ５を透過して４分の１波長板３Ｅを介して測定面３Ｃに照射する。４分の１波長板３Ｄ及び３Ｅを通過した直線偏光は円偏光に変換される。参照面３Ｂで反射したレーザ光ｆ４は、直線偏光から円偏光に変換されているので、偏光ビームスプリッタ３Ａを透過して偏光板２を介して受光素子３Ｍに入射する。一方、測定面３Ｃで反射したレーザ光ｆ５も同じく直線偏光から円偏光に変換されているので、偏光ビームスプリッタ３Ａで反射して偏光板２を介して受光素子３Ｍに入射する。すなわち、４分の１波長板３Ｄ及び３Ｅは入射光と戻り光の偏光を直交させ、戻り光を偏光板２へ導く。偏光板２は参照面３Ｂで反射したレーザ光ｆ４と測定面３Ｃで反射したレーザ光ｆ５とから干渉成分を取り出し、それを受光素子３Ｍに出力する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
受光素子３Ｍは、図２に示すように測定面兼用画素群Ｍ１と基準面専用画素群Ｍ２，Ｍ３とからなるライン形センサで構成されている。測定面兼用画素群Ｍ１は長手方向に並んだ６４個の画素で構成されている。測定面兼用画素群Ｍ１を構成する６４個の画素は８個を１グループとする画素グループＡ〜Ｈに分割される。各グループＡ〜Ｈの画素はＡ０〜Ａ７，Ｂ０〜Ｂ７，Ｃ０〜Ｃ７，Ｄ０〜Ｄ７，Ｅ０〜Ｅ７，Ｆ０〜Ｆ７，Ｇ０〜Ｇ７，Ｈ０〜Ｈ７の符号で区別することとする。各画素グループＡ〜Ｈの各画素は連続的に配置されている。基準面専用画素群Ｍ２は、測定面兼用画素群Ｍ１の画素グループＡ〜Ｈの１画素の８個分の大きさの画素からなる４つの画素Ｌ０〜Ｌ３で構成されており、全体として画素グループＡ〜Ｈの画素数に換算して３２画素分のサイズからなる。同じく、基準面専用画素群Ｍ３も、測定面兼用画素群Ｍ１の画素グループＡ〜Ｈの１画素の８画素分の大きさの画素からなる４つの画素Ｒ０〜Ｒ３で構成されている。これは基準面専用画素群Ｍ２，Ｍ３を磁気ディスクの半径方向におけるレーザ光の入力信号を平均化するための用いるためである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
半径方向平均回路１Ａは、測定点である画素グループＡを中心として対称とみなせる区間（例えば左右に３２画素相当分）の画素出力を平均化するものである。すなわち、半径方向平均回路１Ａは、画素グループＡの左側に位置する３２画素相当分の画素Ｌ０〜Ｌ３の画素出力と、その右側に位置する３２画素分の画素Ｂ０〜Ｂ７，Ｃ０〜Ｃ７，Ｄ０〜Ｄ７，Ｅ０〜Ｅ７の画素出力とを入力し、これらの出力の平均値を算出するものであり、磁気ディスクの半径方向における画素出力を平均化するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
位相検出器２Ａは、この半径方向平均回路１Ａから出力される画素出力の平均値に基づいた位相信号を出力する。位相検出方式は従来と同様の処理にて行われるので、ここでは省略する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
位相検出器５０〜５７は画素グループＡの各画素Ａ０〜Ａ７の画素出力を入力し、それに基づいた位相信号を出力する。遅延回路６０〜６７は各位相検出器５０〜５７からの位相信号を移動平均回路４Ａの遅延時間の半分だけ遅延するものである。これは、移動平均回路４Ａが測定点を平均エリアの中心に位置するために所定時刻遅延しているものに対応させたものであり、測定点についてみれば所定時刻の半分だけ遅延することによって対応つけることができる。減算回路７０〜７７は、各遅延回路６０〜６７の出力から移動平均回路４Ａの出力を減算することによって各画素Ａ０〜Ａ７の入射光に対応する地点の高さ信号Ｔ０〜Ｔ７を出力するようになる。他の画素グループＢ〜Ｈについても同様の処理にて、高さ信号を出力する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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