【手続補正書】
【提出日】平成17年9月13日(2005.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】被検査基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダに前記被検査基板の側縁に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出部と、
を備えた基板検査装置。
【請求項２】被検査基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを所定角度まで立ち上げる駆動機構と、
前記基板ホルダに前記被検査基板の側縁の少なくとも２方向に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出部と、
ミクロ観察ユニットを支持し、前記被検査基板の面上を移動するように設けられた観察ユニット支持部と、
前記位置座標検出部により検出された欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察ユニット支持部のミクロ観察ユニットを前記被検査基板上の対応する欠陥部上に位置するように移動制御する制御部と、
を備えた基板検査装置。
【請求項３】装置本体の上面に対して水平な状態で移動不能に配置され、被検査基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダに前記被検査基板の側縁の少なくとも２方向に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出部と、
前記被検査基板面上の各欠陥部の位置座標を記憶する記憶部と、
前記基板ホルダの対向する２辺の両側に沿って前記装置本体上にそれぞれ設けられた一対のガイドレールと、
前記それぞれのガイドレール上を走行する一対の支柱とこれら一対の支柱との間を連結する水平アーム部とを備えた観察ユニット支持部と、
前記水平アーム部に沿って前記ガイドレールと直行する方向に移動可能に設けられ、前記基板ホルダ上に保持された前記被検査基板面を拡大視する対物レンズを有するミクロ検査ユニットと、
前記記憶部から読み出された各欠陥部の位置座標に基づいて、前記被検査基板上の各欠陥部上に前記ミクロ検査ユニットの対物レンズの観察光軸が合致するように前記観察ユニット支持部と前記ミクロ検査ユニットを移動制御する制御部と、
を具備した基板検査装置。
【請求項４】前記位置座標検出部は、前記被検査基板の側縁に沿って設けられたガイドスケールと、前記ガイドスケールに沿って移動可能に設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置を検出する位置検出部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載した基板検査装置。
【請求項５】前記座標検出部は、前記被検査基板の側縁に沿って設けられたガイドスケールと、光を照射する光源と、前記ガイドスケールに沿って移動可能に設けられ、前記光源から出射された光を前記被検査基板側に向けて反射する反射体と、前記反射体で反射された光を前記欠陥部に照射したときの前記反射体の位置を基に前記欠陥部の位置座標を検出する検出部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載した基板検査装置。
【請求項６】前記座標検出部は、前記被検査基板の側縁に沿って２方向に設けられた２つのガイドスケールと、光を出射する１つの光源と、前記光源から出射された光を前記２方向に分割する分割手段と、前記各ガイドスケールに沿って移動可能に設けて前記分割手段により分割された各光を前記被検査基板側に反射させる２つの反射体と、前記２つの反射体で反射された２つの光が前記欠陥部に照射したときの前記反射体の位置を基に前記欠陥部の位置座標を検出する検出部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載した基板検査装置。
【請求項７】前記座標検出部は、前記被検査基板の側縁に沿って２方向に設けられた２つのガイドスケールと、光を出射する２つの光源と、前記各ガイドスケールに沿って移動可能に設けられ前記２つの光源から照射された光をそれぞれ前記被検査基板側に反射させる２つの反射体と、前記２つの反射体で反射された２つの光が前記欠陥部に照射したときの前記反射体の位置を基に前記欠陥部の位置座標を検出する検出部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載した基板検査装置。
【請求項８】前記座標検出部は、前記被検査基板の側縁に沿って２方向に設けられた２つのガイドスケールと、前記各ガイドスケールに沿って移動可能に設けられ前記被検査基板側に向けて光を出射する２つの光源と、前記２つの光源から出射された２つの光が前記欠陥部に照射したときの前記反射体の位置を基に前記欠陥部の位置座標を検出する検出部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載した基板検査装置。
【請求項９】前記一対のガイドレールは、前記基板ホルダの後端より後方に延長して設けられ、前記制御部は、ガイドレールの延長部分に前記観察ユニット支持部を前記被検査基板の供給時に退避させるように移動制御することを特徴とする請求項３記載の基板検査装置。
【請求項１０】前記ミクロ検査ユニットは、前記対物レンズにより取込まれた前記被検査基板面の像を撮像するＴＶカメラを備え、このＴＶカメラで撮像された像をＴＶモニタ上に表示させることを特徴とする請求項２又は３記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の基板検査装置は以下の如く構成されている。
本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダに前記被検査基板の側縁に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出部と、から構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを所定角度まで立ち上げる駆動機構と、前記基板ホルダに前記被検査基板の側縁の少なくとも２方向に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出部と、ミクロ観察ユニットを支持し、前記被検査基板の面上を移動するように設けられた観察ユニット支持部と、前記位置座標検出部により検出された欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察ユニット支持部のミクロ観察ユニットを前記被検査基板上の対応する欠陥部上に位置するように移動制御する制御部と、から構成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の基板検査装置は、装置本体の上面に対して水平な状態で移動不能に配置され、被検査基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダに前記被検査基板の側縁の少なくとも２方向に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出部と、前記被検査基板面上の各欠陥部の位置座標を記憶する記憶部と、前記基板ホルダの対向する２辺の両側に沿って前記装置本体上にそれぞれ設けられた一対のガイドレールと、前記それぞれのガイドレール上を走行する一対の支柱とこれら一対の支柱との間を連結する水平アーム部とを備えた観察ユニット支持部と、  前記水平アーム部に沿って前記ガイドレールと直行する方向に移動可能に設けられ、前記基板ホルダ上に保持された前記被検査基板面を拡大視する対物レンズを有するミクロ検査ユニットと、前記記憶部から読み出された各欠陥部の位置座標に基づいて、前記被検査基板上の各欠陥部上に前記ミクロ検査ユニットの対物レンズの観察光軸が合致するように前記観察ユニット支持部と前記ミクロ検査ユニットを移動制御する制御部と、から構成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
以上に述べた各実施の形態に記載した手段を講じた結果、以下のような作用が生じる。
（１）被検査基板を保持した基板保持手段を所定角度立ち上げることで、検査者の目に近い位置で被検査基板面のマクロ観察を行なうことができるので、精度の高い欠陥検査を行なうことができる。また、被検査基板上で検出された欠陥部の位置座標を位置座標検出手段で検出することにより、この位置座標に基づいてミクロ観察系を被検査基板の対応する欠陥部上に移動制御できるので、マクロ観察に続けてミクロ観察を速やかに行なうことができ、これらマクロ観察およびミクロ観察による欠陥検査を効率よく行なうこともできる。
（２）被検査基板の側縁に沿って設けられるガイドスケールに沿って位置検出部を移動しながら欠陥部に一致する位置を求めるだけで欠陥部の位置座標を簡単に検出することができる。
（３）基板保持手段に対し、観察ユニット支持手段の被検査基板面上の一方向に沿った移動と、観察ユニットの被検査基板面上の観察ユニット支持手段の移動方向と直行する方向への移動により、観察ユニットを被検査基板上のいずれの位置にも移動させることができるので、基板保持手段を被検査基板の面積とほぼ同じ大きさに止めることができ、装置の小型化を実現できるとともに、装置の設置面積も大幅に小さくすることができる。
（４）反射手段を移動させることで、光源をガイドスケールに設けるための電気的配線が省略されるとともに、そのために必要となる空間も減らすことができ、装置の小型化を実現できる。また、光源を一つだけ用いて構成することができるため、装置を安価に構成できる。
（５）検査者が手元で所定の操作をすることにより、反射手段の動作をコントロールすることができる。よって、特に大型の被検査基板を検査する場合、検査者から遠く離れた欠陥部に対しても容易に位置情報を取り出すことができる。
（６）基板保持手段の揺動のために連結手段を用いることにより、基板保持手段を約３０°の角度まで立ち上げて傾斜させることができ、立ち上げた際に連結手段により基板保持手段が支持されるため、基板保持手段をより安定させた状態でマクロ観察を行なうことができる。
（７）複数の連結部材を用いて連結手段を構成することにより、約６０°の角度まで基板保持手段を揺動させ立ち上げることができ、かつ、短い連結部材を複数用いてリンク機構を構成できるため、装置の省スペース化を図ることができる。
なお、上記第５，６の実施の形態に示したリンク機構は、上記第１〜第４の実施の形態に示した基板検査装置に適用できる。本発明は上記各実施の形態のみに限定されず、要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施できる。