【手続補正書】
【提出日】令和3年6月16日(2021.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に離間して設けられた多数の導体を有する電気回路の検査システムであって、
前記多数の導体のうち空間的に近接した複数の導体それぞれに異なる電圧を印加するよう動作する電圧ドライバと、
前記電気回路に関して、規定されたテスト領域の少なくとも一つの特性を検出するよう動作し、前記複数の導体それぞれの位置間隔を区別するには十分な空間解像度を有していないセンサと、
前記センサからの少なくとも一つの出力に応答して、前記複数の導体に欠陥があるかどうかを確認するための欠陥インジケータと、を有することを特徴とする電気回路の検査システム。
【請求項２】
前記電圧ドライバは、前記複数の導体に欠陥がない場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとなるように前記異なる電圧を選定し印加することを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項３】
前記電圧ドライバは、前記複数の導体に欠陥がある場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとはならないように前記異なる電圧を選定し印加することを特徴とする請求項２に記載の電気回路の検査システム。
【請求項４】
前記欠陥インジケータは、前記センサにより検出された前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果に基づいて、欠陥の位置を確認することを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項５】
前記欠陥インジケータは、前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果に基づいて、前記欠陥の位置を確認することを特徴とする請求項４に記載の電気回路の検査システム。
【請求項６】
前記テスト領域は前記複数の導体の上に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項７】
前記センサは、電界センサであることを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項８】
前記センサは、電気光学センサであることを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項９】
前記センサは、光学センサであることを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１０】
前記欠陥インジケータは、前記欠陥を人間が視認可能に表示し、前記欠陥の位置を示すことを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１１】
相互に離間して設けられた多数の導体を有する電気回路の検査システムであって、
前記電気回路に関して、規定されたテスト領域の少なくとも一つの特性を検出するよう動作するセンサと、
前記多数の導体のうち空間的に近接した複数の導体それぞれに異なる電圧を印加するよう動作する電圧ドライバと、
前記センサからの出力に応答して、前記複数の導体に欠陥があるかどうかを確認するための欠陥インジケータと、を有することを特徴とする電気回路の検査システム。
【請求項１２】
前記センサは、前記複数の導体それぞれの位置間隔を区別するには十分な空間解像度を有していないことを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１３】
前記電圧ドライバは、前記複数の導体に欠陥がある場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとはならないように、前記異なる電圧を選定し印加することを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１４】
前記欠陥インジケータは、前記センサにより検出された前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果に基づいて、欠陥位置を確認することを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１５】
前記欠陥インジケータは、前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果に基づいて、前記欠陥位置を確認することを特徴とする請求項１４に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１６】
前記テスト領域は前記複数の導体の上に設定されていることを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１７】
前記センサは、電界センサであることを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１８】
前記センサは、電気光学センサであることを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項１９】
前記センサは、光学センサであることを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２０】
前記欠陥インジケータは、前記欠陥を人間が視認可能に表示し、前記欠陥の位置を示すことを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２１】
前記センサは電気光学モジュレータを有することを特徴とする請求項１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２２】
前記欠陥インジケータは、
前記電気光学モジュレータを画像化し、カメラ出力を提供するカメラと、
前記カメラ出力を受け取り、向上した画像出力を提供する画像向上回路と、
前記向上した画像出力を表示するディスプレイと、を有することを特徴とする請求項２１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２３】
前記多数の導体は、相互に離間し全体的に平行に配列された多数の導体を有し、
前記電圧ドライバは、前記平行に配列された多数の導体に対し、交互にかつ同時に異なる電圧を印加することを特徴とする請求項２１に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２４】
前記平行に配列された導体の隣接する導体間位置にある前記テスト領域における重畳電界は、前記隣接した導体に欠陥がない場合にはほぼゼロとなることを特徴とする請求項２３に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２５】
前記センサは、所定の導体の位置ではなく、前記平行に配列された導体のうちの隣接す
る導体間の前記テスト領域における重畳電界全体を検出することを特徴とする請求項２３に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２６】
前記センサは前記電気回路から垂直距離だけ隔てた位置にあり、前記垂直距離は相互に離間した平行配列された導体のうちの隣接する導体を隔てる距離の倍数であることを特徴とする請求項２３に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２７】
前記倍数は、２よりも大きいことを特徴とする請求項２６に記載の電気回路の検査システム。
【請求項２８】
相互に離間して設けられた多数の導体を有する電気回路の検査方法であって、
前記多数の導体のうち空間的に近接した複数の導体それぞれに異なる電圧を印加するステップと、
前記複数の導体それぞれの位置間隔を区別するには十分な空間解像度を有していないセンサを用いて、前記電気回路に関して、規定されたテスト領域の少なくとも一つの特性を検出するステップと、
前記検出ステップの検出結果に応答して、前記複数の導体に欠陥があるかどうかを確認するステップと、を有することを特徴とする電気回路の検査方法。
【請求項２９】
前記複数の導体に欠陥がない場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとなるように、また前記複数の導体に欠陥がある場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとはならないように、前記異なる電圧を選定するステップを更に有することを特徴とする請求項２８に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３０】
前記検出ステップは、電界センサ、電気光学センサ、及び光学センサの少なくともいずれか一つのセンサを用いて検出するステップを有することを特徴とする請求項２８に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３１】
前記複数の導体に欠陥が検出された場合、当該欠陥の位置を確認するステップを更に有することを特徴とする請求項２８に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３２】
欠陥が検出された場合、当該欠陥とその位置を人間が視認可能な表示を提供するステップと、
欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかったことを人間が視認可能な表示を提供するステップと、を更に有することを特徴とする請求項３１に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３３】
相互に離間して設けられた多数の導体を有する電気回路の検査方法であって、
前記多数の導体のうち空間的に近接した複数の導体それぞれに異なる電圧を印加するステップと、
前記複数の導体中に欠陥がない場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとなるように、また前記複数の導体中に欠陥がある場合には前記テスト領域に現れる複数の電界全体を重畳した結果がゼロとはならないように、前記異なる電圧を選定するステップと、
前記電気回路に関し、規定されたテスト領域の少なくとも一つの特性を検出するステップと、
前記検出ステップの検出結果に応答して、前記複数の導体中に欠陥があるかどうかを確認するステップと、を有することを特徴とする電気回路の検査方法。
【請求項３４】
前記検出ステップは、電界センサ、電気光学センサ、及び光学センサの少なくともいず
れか一つのセンサを用いて検出するステップを有することを特徴とする請求項３３に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３５】
前記複数の導体中に欠陥が検出された場合、当該欠陥の位置を確認するステップを更に有することを特徴とする請求項３３に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３６】
欠陥が検出された場合、当該欠陥とその位置を人間が視認可能な表示を提供するステップと、
欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかったことを人間が視認可能な表示を提供するステップと、を更に有することを特徴とする請求項３５に記載の電気回路の検査方法。
【請求項３７】
前記センサは、電子光学モジュレータを含むことを特徴とする請求項１１に記載の電気回路の検査システム。