【手続補正書】
【提出日】平成17年10月17日(2005.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  上面に研磨布を貼ったターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて所定の力で押圧することによって該ポリッシング対象物を研磨し、平坦且つ鏡面化するポリッシング装置において、
前記トップリングがポリッシング対象物を保持する保持面に、加圧流体が噴出可能な複数の開口を設け、前記複数の開口を複数の領域に分割し、前記領域毎に加圧流体を供給可能にしたことを特徴とするポリッシング装置。
【請求項２】  前記複数の領域は同心状の環状の領域からなることを特徴とする請求項１に記載のポリッシング装置。
【請求項３】  前記トップリングがポリッシング対象物に与える押圧力と前記加圧流体の圧力は、それぞれ独立に変更可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載のポリッシング装置。
【請求項４】  前記加圧流体の圧力は、前記領域毎に変更可能であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項５】  前記トップリングの周囲に押圧リングを上下動自在に配置し、前記押圧リングを研磨布に対して押圧する押圧手段を設け、該押圧手段の押圧力を可変にしたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項６】  前記トップリングはポリッシング対象物の外周部を保持する保持部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項７】  上面に研磨布を貼ったターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて所定の力で押圧することによって該ポリッシング対象物を研磨し、平坦且つ鏡面化するポリッシング方法において、
前記トップリングがポリッシング対象物を保持する保持面に、加圧流体が噴出可能な複数の開口を設け、前記複数の開口を複数の同心状の領域に分割し、前記同心状の領域毎に加圧流体を供給可能にし、
前記加圧流体によるポリッシング対象物の研磨布への押圧力を、ポリッシング対象物の中央部側と外周部側とで変えて研磨することを特徴とするポリッシング方法。
【請求項８】  前記トップリングの周囲に押圧リングを上下動自在に配置し、ポリッシング対象物が接触する研磨布の周囲を、押圧リングにより押圧しながら研磨することを特徴とする請求項７記載のポリッシング方法。
【請求項９】  前記押圧リングが研磨布に与える押圧力は、前記加圧流体によるポリッシング対象物の研磨布への押圧力の傾向に基づいて決定することを特徴とする請求項８に記載のポリッシング方法。
【請求項１０】  研磨面を有するターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて押圧することで該ポリッシング対象物を研磨するポリッシング装置において、
前記トップリングが同心状の環状領域に分割されていることを特徴とするポリッシング装置。
【請求項１１】  前記環状領域は３つの領域に分割されていることを特徴とする請求項１０記載のポリッシング装置。
【請求項１２】  前記分割された環状領域はチャンバを形成していることを特徴とする請求項１０記載のポリッシング装置。
【請求項１３】  前記環状領域には領域毎に加圧流体が供給されることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項１４】  前記環状領域には中央の環状領域から外周部の環状領域に向かって順次圧力勾配をもたせたことを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項１５】  前記環状領域に供給される加圧流体の圧力はそれぞれ独立に変更可能であることを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項１６】  前記トップリングはポリッシング対象物の外周部を保持する保持部を有することを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれか１項に記載のポリッシング装置。
【請求項１７】  前記環状領域に供給される加圧流体の圧力と前記保持部の押圧力は独立に変更できることを特徴とする請求項１６に記載のポリッシング装置。
【請求項１８】  前記環状領域の内、外周部の環状領域のトップリング半径方向の幅は中央の環状領域のトップリング半径方向の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１０に記載のポリッシング装置。
【請求項１９】  上面に研磨布を貼ったターンテーブルとトップリングとを有し、前記トップリングの保持面にポリッシング対象物を保持させて該研磨布に対して所定の力で押圧させることによって該ポリッシング対象物を研磨し、平坦化するポリッシング装置において、
前記トップリングを押圧する押圧力を空気圧により調節する第一のレギュレータと、
前記トップリングに連結された押圧リングと、
前記押圧リングを押圧する押圧力を空気圧により調節する第２のレギュレータと、
前記トップリングの保持面に設けられた開口と、
前記開口から圧縮空気を噴出させるための圧縮空気源とを有することを特徴とするポリッシング装置。
【請求項２０】  前記押圧リングは前記トップリングに対して上下動自在であることを特徴とする請求項１９記載のポリッシング装置。
【請求項２１】  研磨面を有するターンテーブルとトップリングとを有し、
前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて押圧することで該ポリッシング対象物を研磨するポリッシング方法において、
前記トップリングは同心状の環状領域を有し、前記トップリングは前記同心状の環状領域毎に加圧流体を供給してポリッシング対象物を研磨することを特徴とするポリッシング方法。
【請求項２２】  前記環状領域に供給される加圧流体には、中央領域と外周部領域との間に圧力勾配を持たせたことを特徴とする請求項２１記載のポリッシング方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また本発明の第２の態様は、上面に研磨布を貼ったターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて所定の力で押圧することによって該ポリッシング対象物を研磨し、平坦且つ鏡面化するポリッシング方法において、前記トップリングがポリッシング対象物を保持する保持面に、加圧流体が噴出可能な複数の開口を設け、前記複数の開口を複数の同心状の領域に分割し、前記同心状の領域毎に加圧流体を供給可能にし、前記加圧流体によるポリッシング対象物の研磨布への押圧力を、ポリッシング対象物の中央部側と外周部側とで変えて研磨することを特徴とするものである。
また本発明の第３の態様は、研磨面を有するターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて押圧することで該ポリッシング対象物を研磨するポリッシング装置において、前記トップリングが同心状の環状領域に分割されていることを特徴とするものである。
前記環状領域は３つの領域に分割されていることを特徴とする。
前記分割された環状領域はチャンバを形成していることを特徴とする。
前記環状領域には領域毎に加圧流体が供給されることを特徴とする。
前記環状領域には中央の環状領域から外周部の環状領域に向かって順次圧力勾配をもたせたことを特徴とする。
前記環状領域に供給される加圧流体の圧力はそれぞれ独立に変更可能であることを特徴とする。
前記トップリングはポリッシング対象物の外周部を保持する保持部を有することを特徴とする。
前記環状領域に供給される加圧流体の圧力と前記保持部の押圧力は独立に変更できることを特徴とする。
前記環状領域の内、外周部の環状領域のトップリング半径方向の幅は中央の環状領域のトップリング半径方向の幅よりも狭いことを特徴とする。
また本発明の第４の態様は、上面に研磨布を貼ったターンテーブルとトップリングとを有し、前記トップリングの保持面にポリッシング対象物を保持させて該研磨布に対して所定の力で押圧させることによって該ポリッシング対象物を研磨し、平坦化するポリッシング装置において、前記トップリングを押圧する押圧力を空気圧により調節する第一のレギュレータと、前記トップリングに連結された押圧リングと、前記押圧リングを押圧する押圧力を空気圧により調節する第２のレギュレータと、前記トップリングの保持面に設けられた開口と、前記開口から圧縮空気を噴出させるための圧縮空気源とを有することを特徴とするものである。
前記押圧リングは前記トップリングに対して上下動自在であることを特徴とする。
また本発明の第５の態様は、研磨面を有するターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて押圧することで該ポリッシング対象物を研磨するポリッシング方法において、前記トップリングは同心状の環状領域を有し、前記トップリングは前記同心状の環状領域毎に加圧流体を供給してポリッシング対象物を研磨することを特徴とするものである。
前記環状領域に供給される加圧流体には、中央領域と外周部領域との間に圧力勾配を持たせたことを特徴とする。