(57)【要約】【課題】  フィルムロール状に巻き取った際に、シワやクラックになりにくい金属蒸着ポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】ポリエステルフィルム層（Ｆ層）の少なくとも片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）を設けた金属蒸着ポリエステルフィルムであって、Ｍ層の光学濃度ＯＤが０．７〜８．０であり、幅方向の蒸着厚みムラが２０％以下である金属蒸着ポリエステルフィルムとする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリエステルフィルム層（Ｆ層）の少なくとも片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）を設けた金属蒸着ポリエステルフィルムであって、Ｍ層の光学濃度ＯＤが０．７〜８．０であり、幅方向の蒸着厚みムラが２０％以下である金属蒸着ポリエステルフィルム。
【請求項２】
Ｍ層の厚みが２０〜２００ｎｍである、請求項１に記載の金属蒸着ポリエステルフィルム。
【請求項３】
Ｆ層の厚みが３〜６μｍである、請求項１または２に記載の金属蒸着ポリエステルフィルム。
【請求項４】
長手方向および幅方向のヤング率がいずれも４〜１３ＧＰａであり、かつ長手方向と幅方向のヤング率の比（長手方向／幅方向)が０．４〜１．０である、請求項１〜３のいずれかに記載の金属蒸着ポリエステルフィルム。
【請求項５】
Ｍ層がＡｌ元素を含んでいる、請求項１〜４のいずれかに記載の金属蒸着ポリエステルフィルム。
【請求項６】
Ｆ層の両面にＭ層を設けてなる、請求項１〜５のいずれかに記載の金属蒸着ポリエステルフィルム。
【請求項７】
磁気記録媒体用支持体として用いる、請求項１〜６のいずれかに記載の金属蒸着ポリエステルフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録材料、電子材料、製版フィルム、昇華型リボン、包装材料などに用いた際に有用で、特に高容量の磁気記録媒体用支持体として用いたときに有用な金属蒸着ポリエステルフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、データストレージやデジタルビデオテープ用などの磁気記録媒体においては、高密度化、高容量化が進んでいる。ＬＴＯ（Ｌｉｎｅａｒ  Ｔａｐｅ  Ｏｐｅｎ）、ＳＤＬＴ（Ｓｕｐｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｌｉｎｅａｒ  Ｔａｐｅ）、エンタープライズ用などのリニア記録方式の磁気記録媒体では、１巻で３００ＧＢ以上の高容量を有するものが開発されている。
【０００３】
高容量化のために、延伸倍率アップによるベースフィルムの高強度化、テープ幅方向の温度膨張係数や湿度膨張係数の最適化、添加粒子の小径化等これまで数多くの検討がなされてきた。しかし、これらの技術を用いても１巻で３００ＧＢ以上の高容量を有する磁気記録媒体用としては十分な特性が得られなかった。それらの中でも特に厳しい、ベースフィルムの高強度化、温度や湿度に対する寸法安定性向上の要求に応えるため、ポリエステルフィルムの片面または両面に金属などの補強層を設ける方法（特許文献１）が開示されている。しかしながら、補強層が金属の場合、酸化物と比較して一般に強度が弱く、さらには光が十分に透過しないため磁性層の膜厚管理が困難である。一方、補強層が酸化物やその他の化合物の場合、硬いがもろいため、張力によってクラックを生じやすかった。検討の結果、金属を完全に酸化させるのではなく、補強層の酸化度を制御することで、ベースフィルムの高強度化、及び耐クラック性の向上が可能であることが分かってきた。
【０００４】
酸化金属層を蒸着する技術として、図１に示すような真空蒸着装置が開示されている（特許文献２）。この真空蒸着装置１１においては、真空チャンバ１２の内部をポリエステルフィルムが巻出しロール部１３から冷却ドラム１６を経て巻取りロール部１８へと走行する。このときに、るつぼ２１内の金属材料１９を電子ビーム加熱２５により蒸発させるとともに、酸素供給ノズル２２から酸素ガスを導入し、蒸発した金属を酸化反応させながら冷却ドラム１６上のポリエステルフィルムに蒸着する。しかしながら、これらの技術においては、幅方向の蒸着厚みムラに関する考慮は一切されていない。蒸着厚みムラが存在するとフィルムロールとして巻き取った際に、シワやクラックが入りやすく、例えば磁気記録媒体用として、使用が困難である。
【０００５】
一方で、蒸着厚みムラを補正する技術として補正板を使用する技術が知られている（特許文献３、４）。しかしこれらの技術では、蒸着原料そのものに完全な酸化物を使用しており、本願の特徴とする酸化度の調整ができない。そのため、磁気記録媒体用支持体として求められる高強度化および耐クラック性を両立することが困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２１６１９５号公報
【特許文献２】特開２００７−１５７２４４号公報
【特許文献３】特開平９−２８７０６９号公報
【特許文献４】特開平９−２８７０７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、フィルムロール状に巻き取った際にシワやクラックになりにくい金属蒸着ポリエステルフィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、ポリエステルフィルム層（Ｆ層）の少なくとも片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）を設けた金属蒸着ポリエステルフィルムであって、Ｍ層の光学濃度ＯＤが０．７〜８．０であり、幅方向の蒸着厚みムラが２０％以下である金属蒸着ポリエステルフィルムである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、フィルムロール状に巻き取った際に、シワやクラックになりにくい金属蒸着ポリエステルフィルムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】金属蒸着ポリエステルフィルムを製造する際に用いられる真空蒸着装置の概略模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）が形成されている。金属酸化物とは、例えば、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｆｅ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｉｎ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｖ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｃｅ、Ｇａ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｙ、Ｗなどの金属成分を酸化させたものであり、本発明においてはＭ層にこれら金属酸化物が含まれている。このような金属酸化物は、蒸着工程中において酸化させたものであることが好ましい。
【００１２】
上記の金属酸化物は、光学濃度が後述するような範囲内であれば両表面で異なる金属成分を含んでいてもよく、また、複数種の金属成分を混合して含んでいても構わないが、より好ましくは両表面で同一種の金属成分を含む方が平面性などを制御しやすいため好ましい。さらに、酸化度の制御性、寸法安定性、生産性、環境性の観点から、金属種としては、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｇ、Ｓｉ元素の少なくとも一種を含んでいることが好ましく、より好ましくはＡｌ元素を含んでいることが好ましい。
【００１３】
また、Ｍ層の厚みは２０〜２００ｎｍであることが好ましい。Ｍ層の厚みが２０ｎｍより小さい場合、補強効果が小さくなる傾向にある。Ｍ層の厚みの下限は、好ましくは３０ｎｍ、より好ましくは４０ｎｍである。一方、Ｍ層の厚みが２００ｎｍより大きい場合は、熱負けなどにより蒸着が困難になることがある。Ｍ層の厚みの上限は、好ましくは１８０ｎｍ、更に好ましくは１６０ｎｍである。
【００１４】
幅方向の蒸着厚みムラは２０％以下、好ましくは１５％以下、更に好ましくは８％以下である。蒸着厚みムラが２０％よりも大きいと、フィルムロール状として巻き取る際に、幅方向の応力バランスが不均一となり、シワが入ったり、金属蒸着層にクラックが入りやすくなる。
【００１５】
また、本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムにおいて、各Ｍ層の光学濃度は０．７〜８．０であることが好ましい。光学濃度とは、下記式（１）のように光線透過率と蒸着厚み（各Ｍ層の厚み）から算出される。光学濃度が小さいほど酸化が進んでいることを示し、大きいほど酸化が不完全であることを示す。
【００１６】
光学濃度ＯＤ［１／μｍ］＝
−（１／蒸着厚み［μm］）ｌｏｇ（全光線透過率［％］／１００）    ・・・（１）
光学濃度が０．７より小さい場合、酸化が進みすぎているため、脆く割れやすくなる。光学濃度の下限はより好ましくは０．８、さらに好ましくは１．０である。一方、８．０より大きい場合、酸化が不充分であるため、強度が弱く、補強効果が小さくなるばかりか、透過率が小さくなるため、磁気記録媒体用支持体として用いた場合に膜厚制御が困難になることがある。光学濃度の上限はより好ましくは７．０、さらに好ましくは６．０である。
【００１７】
本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、全光線透過率が１〜８０％であることが好ましい。８０％より高い場合、酸化が進みすぎているため、Ｍ層が硬くて脆く、金属蒸着フィルムをロール状に巻き取った際にクラックを生じやすい。上限は７５％が好ましく、さらに好ましくは７０％である。全光線透過の下限は、より好ましくは２％であり、さらに好ましくは３％である。より好ましい範囲としては、２〜７５％、さらに好ましい範囲としては、３〜７０％である。Ｍ層として金属を蒸着した場合、光線透過率が小さくなるため、磁性層やバックコート層の塗布厚みのコントロールがしにくい。
【００１８】
本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムにおいて、Ｆ層は２層以上の積層構成であることが好ましい。特に、本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、磁気記録媒体用支持体として用いた時に有用であり、一方の表面には優れた電磁変換特性を得るための平滑さが求められ、他方の表面には、製膜・加工工程での搬送や、磁気テープの走行性や走行耐久性を付与するための粗さが求められる。
【００１９】
磁性層を設ける側の表面（Ａ）の表面粗さＳＲａは０．５ｎｍ〜１０ｎｍであることが好ましい。磁性層を設ける側の表面（Ａ）のＳＲａが０．５ｎｍより小さい場合は、フィルム製造、加工工程などで、搬送ロールなどとの摩擦係数が大きくなり、工程トラブルを起こすことがある。また、ＳＲａが１０ｎｍより大きい場合は、高密度記録の磁気テープとして用いる場合に、電磁変換特性を低下させることがある。磁性層を設ける側の表面（Ａ）のＳＲａの下限は、１ｎｍであることが好ましく、より好ましくは２ｎｍ、さらに好ましくは３ｎｍであり、上限は９ｎｍ、さらに好ましくは８ｎｍである。より好ましい範囲としては、２〜９ｎｍ、さらに好ましい範囲としては、３〜８ｎｍである。
【００２０】
一方、バックコート層を設ける側の表面（Ｂ）の表面粗さＳＲａは２ｎｍ〜３０ｎｍであることが好ましい。バックコート層側の表面（Ｂ）のＳＲａが２ｎｍより小さい場合は、搬送ロールなどとの摩擦係数が大きくなり、工程トラブルを起こすことがある。また、ＳＲａが３０ｎｍより大きい場合は、フィルムロールやパンケーキとして保管する際に、表面突起が反対側の表面に転写し、電磁変換特性が低下することがある。バックコート層側の表面（Ｂ）のＳＲａの下限は、より好ましくは３ｎｍ、さらに好ましくは４ｎｍであり、上限は２０ｎｍ、さらに好ましくは１５ｎｍである。より好ましい範囲としては、３〜２５ｎｍ、さらに好ましい範囲としては４〜２０ｎｍである。
【００２１】
ＳＲａを上記範囲内とするためには、Ｆ層の表面粗さを制御することが有効である。Ｆ層の表面粗さを制御するためには、層内に不活性粒子を添加することが好ましく、本発明において層（Ａ）に不活性粒子Ｉを用いる場合、その平均粒径ｄＩは好ましくは０．０４〜０．３０μｍ、より好ましくは０．０５〜０．１５μｍで、その層における含有量は好ましくは０．００１〜０．３０質量％、より好ましくは０．０１〜０．２５質量％である。磁気記録用媒体においては平均粒径が０．３０μｍよりも大きな粒子を用いると電磁変換特性が悪化する場合がある。一般に平均粒径および添加量を小さくするほどＳＲａは小さくなり、平均粒径および添加量を大きくするほどＳＲａは大きくなる。
【００２２】
２層構造のＦ層において、表面（Ｂ）を構成する層（Ｂ）の厚みｔＢは好ましくは０．１〜２．０μｍであり、より好ましくは０．２〜１．５μｍである。この厚みが、０．１μｍよりも小さくなると蒸着工程などで粒子が脱落しやすくなり、２．０μｍよりも大きくなると添加粒子の突起形成効果が減少する場合がある。
【００２３】
２層構造のＦ層において、層（Ｂ）に粒子を含める場合、その粒子は１種類であっても２種類以上であってもよい。層（Ｂ）に添加する最も大きい不活性粒子を不活性粒子ＩＩとしたとき、その平均粒径ｄＩＩは、好ましくは０．１μｍ〜１．０μｍで、より好ましくは０．４μｍ〜０．９μｍ、その層における含有量は好ましくは０．００２質量％〜０．１０質量％、より好ましくは０．００５〜０．０５質量％であり、さらに不活性粒子ＩＩＩを含有せしめる場合、その平均粒径は不活性粒子ＩＩよりも小さく平均粒径は好ましくは０．０５μｍ〜０．５μｍ、より好ましくは０．２μｍ〜０．４μｍで、含有量は好ましくは０．１質量％〜１．０質量％、より好ましくは０．２〜０．４質量％である。
【００２４】
２層構造のＦ層において、層（Ｂ）および、表面（Ａ）を構成する層（Ａ）に含まれる不活性粒子は、球状シリカ、ケイ酸アルミニウム、二酸化チタン、炭酸カルシウムなどの無機粒子を用いることができ、またその他有機系高分子粒子としては、架橋ポリスチレン樹脂粒子、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン−アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子、ポリイミド粒子、メラミン樹脂粒子等が好ましい。これらの１種もしくは２種以上を選択して用いるとよい。
【００２５】
２層構造のＦ層において、層（Ａ）および層（Ｂ）に含まれる不活性粒子は、粒子形状・粒子分布は均一なものが好ましく、体積形状係数は好ましくはｆ＝０．３〜π／６であり、より好ましくはｆ＝０．４〜π／６である。体積形状係数ｆは、次式で表される。
【００２６】
ｆ＝Ｖ／Ｄｍ３
ここでＶは粒子体積（μｍ３），Ｄｍは粒子の投影面における最大径（μｍ）である。
【００２７】
なお、体積形状係数ｆは粒子が球の時、最大のπ／６（＝０．５２）をとる。必要に応じて粗大粒子や介在物を除去するため、濾過などを行うことが好ましい。中でも、球状シリカは単分散性に優れ、突起形成を容易に制御でき、本発明の効果がより良好となるため好ましい。また必要に応じて、地肌補強の観点から一次粒径が０．００５〜０．１０μｍ、好ましくは０．０１〜０．０５μｍのα型アルミナ、γ型アルミナ、δ型アルミナ、θ型アルミナ、ジルコニア、シリカ、チタン粒子などから選ばれる不活性粒子を表面突起形成に影響を及ぼさない範囲で含有してもよい。
【００２８】
本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、長手方向および幅方向のヤング率がいずれも４〜１３ＧＰａであることが好ましい。長手方向のヤング率が４ＧＰａより小さい場合、テープドライブ内での長手方向への張力によって長手方向に伸び、この伸び変形により幅方向に収縮し、記録トラックずれという問題が発生しやすい。長手方向のヤング率の下限は、より好ましくは４．５ＧＰａ、さらに好ましくは５ＧＰａである。一方、長手方向のヤング率が１３ＧＰａより大きい場合、幅方向のヤング率を好ましい範囲に制御することが難しくなり、幅方向のヤング率が不足し、エッジダメージの原因となる。長手方向のヤング率の上限は、より好ましくは１２ＧＰａ、さらに好ましくは１０ＧＰａである。より好ましい範囲としては、４．５〜１２ＧＰａ、さらに好ましい範囲としては５〜１０ＧＰａである。
【００２９】
本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、幅方向のヤング率が４〜１３ＧＰａの範囲であることが好ましい。幅方向のヤング率が４ＧＰａより小さい場合、エッジダメージの原因となったりすることがある。幅方向のヤング率の下限は、より好ましくは５ＧＰａ、さらに好ましくは６ＧＰａである。一方、幅方向のヤング率が１３ＧＰａより大きい場合、長手方向のヤング率を好ましい範囲に制御することが難しくなる。幅方向のヤング率の上限は、より好ましくは１２．５ＧＰａ、さらに好ましくは１２ＧＰａである。より好ましい範囲としては、５〜１２．５ＧＰａ、さらに好ましい範囲としては６〜１２ＧＰａである。
【００３０】
また、長手方向と幅方向のヤング率の比（長手方向／幅方向）は０．３〜１．０、好ましくは０．４〜０．９、さらに好ましくは０．５〜０．８である。ヤング率の比が０．３よりも小さいと、磁気テープとして十分な長手方向の強度が得られず、一方１．０よりも大きいと、横方向の強度が十分に得られないことがある。
【００３１】
金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向及び幅方向のヤング率は、ポリエステルフィルムのヤング率、Ｍ層の厚み、酸化度などによって制御できる。一般に、ポリエステルフィルムのヤング率を大きく、Ｍ層の厚みを厚く、更に酸化度を大きくするほど金属蒸着フィルムのヤング率は大きくなる傾向にある。逆にフィルムのヤング率を小さく、Ｍ層の厚みを薄く、更に酸化度を小さくするほど金属蒸着フィルムのヤング率は小さくなる傾向にある。
【００３２】
なお、本発明において長手方向とは、一般的にＭＤ方向といわれる方向であって、ポリエステルフィルム製造工程時の長手方向と同じ方向を指し、幅方向とは、一般的にＴＤ方向といわれる方向であって、ポリエステルフィルム製造工程時の幅方向（ＭＤ方向と直交する方向）と同じ方向を指す。
【００３３】
本発明におけるポリエステルフィルムとは、分子配向により高強度フィルムとなるポリエステルを使用したものであれば特に限定しないが、主としてベンゼン環、ナフタレン環を主鎖骨格にもつポリエステルであるポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートなどからなることが好ましい。特に好ましくはクリープ特性が良好であるポリエチレンテレフタレートである。エチレンテレフタレート以外のポリエステル共重合体成分としては、例えばジエチレングリコール、プロピレングリコール（１，２−プロパンジオール）、１，３−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ポリエチレングリコール、ｐ−キシリレングリコール、１，２−シクロヘキサンジメタノール、１，３−シクロヘキサンジメタノール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２’−ビス（４’−β−ヒドロキシエトキシフェニル）プロパンなどのジオール成分、テレフタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、６，６’−（アルキレンジオキシ）ジ−２−ナフトエ酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルスルホンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、スベリン酸、ドデカンジオン酸、フタル酸、イソフタル酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸などのジカルボン酸成分、トリメリット酸、ピロメリット酸などの多官能ジカルボン酸成分、ｐ−オキシエトキシ安息香酸などが使用できる。さらに、エステル結合を生成するモノマーとして、ジカルボン酸成分、ジオール成分以外に、カルボキシル基とヒドロキシ基を一分子内に有するモノマーである、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、２，６−ヒドロキシナフトエ酸などの芳香族ヒドロキシカルボン酸を共重合せしめることができる。これら共重合ポリマーの構成モノマー分率はＮＭＲ法（核磁気共鳴法）や顕微ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換顕微赤外分光法）などの分光法を用いて調べることができる。
【００３４】
また、本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは、３〜６μｍであることが好ましい。この厚みが３μｍより小さい場合は、磁気記録媒体用支持体として十分な強度が得られないことがある。ポリエステルフィルムの厚みの下限は、より好ましくは３．５μｍ、さらに好ましくは４．０μｍである。一方、ポリエステルフィルムの厚みが６μｍより大きい場合は、テープ１巻あたりのテープ長さが短くなるため、磁気テープの小型化、高容量化が困難になる場合がある。ポリエステルフィルムの厚みの上限は、より好ましくは５．５μｍ、さらに好ましくは５．０μｍである。より好ましい範囲としては３．５〜５．５μｍ、さらに好ましい範囲としては４．０〜５．０μｍである。
【００３５】
上記したような本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、たとえば次のように製造される。
【００３６】
まず、金属蒸着ポリエステルフィルムを構成するポリエステルフィルムを製造する。以下、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）をポリエステルとして用いた例を代表例として説明するが、本願はＰＥＴフィルムを用いた金属蒸着ポリエステルフィルムに限定されるものではない。
【００３７】
ポリエステルに不活性粒子を含有させる方法としては、例えばジオール成分であるエチレングリコールに不活性粒子Ｉを所定割合にてスラリーの形で分散させ、このエチレングリコールスラリーをポリエステル重合完結前の任意段階で添加する。ここで、粒子を添加する際には、例えば、粒子を合成時に得られる水ゾルやアルコールゾルを一旦乾燥させることなく添加すると粒子の分散性が良好であり、滑り性、電磁変換特性を共に良好とすることができる。また粒子の水スラリーを直接所定のポリエステルペレットと混合し、ベント方式の２軸混練押出機に供給しポリエステルに練り込む方法も本発明の効果に有効である。
【００３８】
このようにして準備した、粒子含有ペレットおよび粒子などを実質的に含有しないペレットを所定の割合で混合し、乾燥したのち、公知の溶融積層用押出機に供給し、ポリマーをフィルターにより濾過する。
【００３９】
また、非常に薄い磁性層を塗布する高密度磁気記録媒体用途においては、ごく小さな異物も磁気記録欠陥であるＤＯ（ドロップアウト）の原因となるため、フィルターには例えば１．５μｍ以上の異物を９５％以上捕集する高精度の繊維焼結ステンレスフィルターを用いることが有効である。続いてスリット状のスリットダイからシート状に押し出し、キャスティングロール上で冷却固化せしめて未延伸フィルムを作る。すなわち、１から３台の押出機、１から３層のマニホールドまたは合流ブロック（例えば矩形合流部を有する合流ブロック）を用いて必要に応じて積層し、口金からシートを押し出し、キャスティングロールで冷却して未延伸フィルムを作る。この場合、背圧の安定化および厚み変動の抑制の観点からポリマー流路にスタティックミキサー、ギヤポンプを設置する方法は有効である。
【００４０】
続いて、上記未延伸フィルムを長手方向と幅方向の二軸に延伸した後、熱処理する。延伸工程は、特に限定されないが、各方向において２段階以上に分けることが好ましい。すなわち再縦、再横延伸を行う方法が高密度記録の磁気テープとして最適な高強度のフィルムが得られ易いために好ましい。
【００４１】
延伸方法は同時二軸延伸であっても逐次二軸延伸であってもよい。同時二軸延伸においてはロールによる延伸を伴わないため、フィルム表面の局所的な加熱が発生せず、表面性が制御しやすいため延伸方法としてより好ましい。同時二軸延伸においては未延伸フィルムを、まず長手および幅方向に延伸温度は、例えば８０〜１６０℃、好ましくは８５〜１３０℃、更に好ましくは９０〜１１０℃で同時に延伸する。延伸温度が８０℃よりも低くなるとフィルムが破断しやすく、延伸温度が１６０℃よりも高くなると磁気記録媒体として用いた時に十分な強度が得らにくい場合がある。また、延伸ムラを防止する観点から、長手方向・横方向の合計延伸倍率は、例えばベンゼン環やテレフタル酸など単環系芳香族基を主要な成分とするポリエステルでは８〜３０倍、好ましくは９〜２５倍、更に好ましくは１０〜２０倍とすることが好ましい。また、ナフタレン環など二環系芳香族基を主要な成分とするポリエステルでは１０〜４０倍とすることが好ましく、より好ましくは１０〜３５倍、更に好ましくは１０〜３２倍とする。延伸倍率が８倍よりも小さいと本発明の対象とする高密度磁気記録媒体用として必要十分な強度が得られにくい。一方、倍率が３０倍よりも大きくなると、フィルムが破れ、製造が難しい場合がある。高密度磁気記録媒体に必要な強度を得るためには、必要に応じて、好ましくは温度１４０〜２１０℃、より好ましくは１６０〜２００℃で、好ましくは、１．０５〜１．８、より好ましくは１．２〜１．６倍で再度長手及び／又は幅方向に延伸を行うことが好ましい。１．０５よりも小さいと十分な強度が得られない場合があり、１．８倍よりも大きいとフィルムが破れ、製造が難しい場合がある。その後、例えば１８０〜２３５℃好ましくは１９０〜２２０℃で、例えば０．５〜２０秒、好ましくは１〜１５秒熱固定を行う。熱固定温度が１８０℃よりも低いとフィルムの結晶化が進まないため構造が安定しにくい。一方、２３５℃よりも大きくすると、ポリエステル非晶鎖部分の緩和が進み、ヤング率が小さくなるため磁気記録媒体用途として十分な強度が得られにくい。その後、長手方向及び又は幅方向に０．５〜７．０％の弛緩処理を施す。逐次二軸延伸においても、上述の温度範囲・合計延伸倍率範囲が好適に用いられる。
【００４２】
その後、公知の方法により所定の幅、長さに巻き取ったポリエステルフィルムロールは水分を吸湿しないように、低湿度の環境下で保存することが好ましく、輸送時などもできるだけ吸湿を防ぐような包装が好ましい。包装内の湿度は、ブロッキングによるフィルム切れ防止として２０％ＲＨ以下、好ましくは１５％ＲＨ以下、さらに好ましくは１０％ＲＨ以下で保持することが好ましい。包装内の湿度は包装材や乾燥剤の種類を変更することで達成できる。
【００４３】
次に、上記のようにして得られたポリエステルフィルムの少なくとも片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）を設ける。このとき、光学濃度ＯＤを上述のとおりとするために、金属酸化物の膜厚と酸化状態を制御する。Ｍ層の形成方法としては物理蒸着法や化学蒸着法を用いることができる。ポリエステルフィルムへの物理蒸着法には真空蒸着法、スパッタリング法があり、特に酸化度の制御しやすさから真空蒸着法が好ましく、具体的には誘導加熱蒸着法や、金属蒸気の高エネルギー化が可能な電子ビーム蒸着法が好ましい。更には、幅方向の金属蒸気分布を制御しやすい電子ビーム蒸着法が好ましい。金属蒸気の蒸発量は、金属材料上での電子ビームの滞在時間を幅方向の位置で変化させることにより制御可能である。すなわち、電子ビームの滞在時間を長くした位置では金属蒸気の蒸発量が多くなり蒸着膜厚は厚くなる。一方、滞在時間を短くした位置では金属蒸気の蒸発量が少なくなり、蒸着膜厚は薄くなる。
【００４４】
Ｍ層を構成する金属酸化物の酸化度を制御するには、基本的には金属蒸発量と酸素ガス導入量を制御する必要がある。金属蒸発量が一定であれば、酸素ガス導入量を減らせば酸化度が低くなり、酸素ガス導入量を増やせば酸化度が高くなる。逆に酸素ガス導入量が一定であれば、金属蒸発量を減らせば酸化度が高くなり、金属蒸発量を増やせば酸化度が低くなる。
【００４５】
一般に幅方向に均一な酸素導入、均一な金属蒸発を行えば、幅方向について均一な膜厚が得られる、すなわち厚みムラの小さな蒸着膜が得られると推定されるが、現実には中央と比較して端部の厚みが大幅に小さくなることが多い。検討した結果、端部には中央より多くの金属蒸気の蒸発、および酸素導入が必要であり、蒸発源近傍の蒸発条件を逆に不均一にすることによって初めて幅方向均一な膜厚の金属蒸着ポリエステルフィルムが得られることが分かってきた。原因は明らかではないが、端部の金属蒸気はフィルムへ到達する前に一部がフィルム以外の部分に拡散、もしくは排気されるものと推定される。本願の手法は、不均一な制御により蒸着ムラを均一に制御するものであり、極めて特徴のある手法である。
【００４６】
なお、本発明においては、ポリエステルフィルムやそのポリエステルフィルムを用いて得られた金属蒸着ポリエステルフィルムに、必要に応じて、熱処理、マイクロ波加熱、成形、表面処理、ラミネート、コーティング、印刷、エンボス加工、エッチング、などの任意の加工を行ってもよい。
【００４７】
ポリエステルフィルム表面にＭ層を形成するには、前述の図１に示すような真空蒸着装置を用いる。蒸着は両面であっても片面であっても良いが、両面の場合高強度のフィルムが得られやすいため好ましい。両面にＭ層が必要な場合、片方の表面（１面目）に金属酸化物を蒸着した後巻取りロール部１８から片面蒸着ポリエステルフィルムを取り外し、それを巻出しロール部１３にセットし同じように反対側の表面（２面目）に金属酸化物を蒸着してもよいし、もしくは両面を１パスで蒸着してもよい。なお、この真空蒸着装置１１は、酸化度を容易に制御でき、かつ効率的に酸化反応を行わせるため、酸素供給ノズル２４をるつぼ２１と冷却キャン１６の間に図のように設置している。
【００４８】
ここで、真空チャンバ１２の内部は１．０×１０−８〜１．０×１０２Ｐａに減圧することが好ましい。より緻密で良好なＭ層を形成させるために好ましくは、１．０×１０−６〜１．０×１０−１Ｐａに減圧することが好ましい。１．０×１０−８Ｐａよりも低くすることは実用上難しく、１．０×１０２よりも大きいと、金属蒸気が蒸発しにくくなるため、所望の蒸着厚みを形成することが困難である。
【００４９】
冷却ドラム１６は、その表面温度を−４０〜６０℃の範囲内にすることが好ましい。より好ましくは−３５〜４０℃、さらに好ましくは−３０〜０℃である。−４０℃よりも低くすることは実用上難しく、６０℃よりも大きいと冷却不足となり、ポリエステルフィルム表面が溶けやすくなる。また、冷却効率をあげるため、ポリエステルフィルムを静電印加等の公知の手法により冷却キャンに密着させることも有効である。
【００５０】
酸素ガスは、ガス流量制御装置２４を用いて導入する。酸素ノズルは幅方向、特に端部の流量が調整できるように、好ましくは３点、更に好ましくは５点以上独立して流量が制御できることが好ましい。
【００５１】
真空チャンバ１２の内部におけるポリエステルフィルムの搬送張力は４０〜１５０Ｎ／ｍが好ましい。４０Ｎ／ｍよりも小さいと熱負けしやすく、１５０Ｎ／ｍよりも大きいと巻き締まりによるシワが発生しやすくなる。より好ましくは５０〜１４０Ｎ／ｍ、さらに好ましくは６０〜１３０Ｎ／ｍである。フィルム幅は５００〜１，２００ｍｍが好ましく、長さは５，０００ｍ〜６０，０００ｍが好ましい。フィルム幅が５００ｍｍよりも小さいと生産効率が悪く、１，２００ｍｍよりも大きいと、熱負けによる破れが発生しやすくなる。また、長さが５，０００ｍよりも小さいと、生産効率が悪く、６０，０００ｍよりも大きいと、シワになりやすい。
【００５２】
次に本発明のフィルムロールを巻き取る際には、下記のような条件が一般的に用いられている。すなわち、巻取張力３０〜１５０Ｎ／ｍ、巻取接圧２００〜１，０００Ｎ／ｍ、巻取速度５０〜２００ｍ／分とするとフィルムロールの外観の点で好ましい。特に、幅１ｍ、長さ１０，０００ｍ程度のフィルムを巻き取る場合には、巻取張力５０〜１３０Ｎ／ｍ、巻取接圧３００〜８００Ｎ／ｍ、巻取速度５０〜１８０ｍ／分の範囲にすることが巻き取り中のシワを防止する点で好ましい。
【００５３】
金属蒸着ポリエステルフィルムの幅、長さについては特に限定されないが、幅が１００ｍｍに満たない場合や、長さが３００ｍに満たない場合、応力の集中が起こりにくいため、シワやクラックには至りにくい。ただし、フィルム幅が６，０００ｍｍを超える場合や、長さが１００，０００ｍを超える場合、自重による偏心の影響が大きくなるため、本発明の効果が発現しにくい。金属蒸着ポリエステルフィルム幅は１００ｍｍ〜６，０００ｍｍ、好ましくは３００ｍｍ〜３，０００ｍｍ、更に好ましくは５００ｍｍ〜２，０００ｍｍである。金属蒸着ポリエステルフィルムの長さは、３００ｍ〜１００，０００ｍ、好ましくは５００ｍ〜８０，０００ｍ、更に好ましくは１，０００ｍ〜６０，０００ｍである。
【００５４】
本発明の金属蒸着ポリエステルフィルムは、磁気記録材料、電子材料、製版フィルム、昇華型リボン、包装材料として用いた時に有用で、特に１巻で３００ＧＢ以上の高容量を有する磁気記録媒体用支持体として用いた時に有用である。
【実施例】
【００５５】
（物性の測定方法ならびに効果の評価方法）
本発明における特性値の測定方法並びに効果の評価方法は次の通りである。
【００５６】
（１）Ｍ層の厚み
下記条件にて蒸着厚みの測定を行う。幅方向の中央、および中央から両端へ向けて１００ｍｍおきに測定する。例えば、１ｍ幅のサンプルであれば幅方向９点測定する。
【００５７】
測定装置：蛍光X線分析装置  理学製  ZSX PrimusII
測定電圧：３０ｋＶ
Ｘ線管  ：縦型Ｒｈ管
サンプル径：３０ｍｍφ
測定回数：各測定箇所につき３回。
【００５８】
各測定個所におけるｎ＝３のデータを平均し、得られる値をその測定個所における厚み値とした。
【００５９】
また、この平均した厚み値のうち最大のものをＭ層の最大厚み、最小のものをＭ層の最小厚み、平均したものをＭ層の平均厚み、とした。
【００６０】
（２）蒸着厚みムラ
下記式にて蒸着厚みムラを算出した。
【００６１】
蒸着厚みムラ（％）＝（（Ｍ層の最大厚み−Ｍ層の最小厚み）／Ｍ層の平均厚み）×１００
（厚みの単位はいずれもｎｍ）
（３）全光線透過率
ＪＩＳ−Ｋ７１０５（１９８１）に準拠し、下記測定装置を用いて測定する。幅方向の中央、および中央から両端へ向けて１００ｍｍおきに測定する。例えば、１ｍ幅のサンプルであれば幅方向９点測定する。なお、両面に蒸着したサンプルは、測定しない面の蒸着膜をフッ酸、あるいは塩酸で拭き取り除去し、全光線透過率を測定する。
【００６２】
測定装置  ：ヘーズメーター  ＨＺ−２  スガ試験機社製
測定回数  ：５回
測定環境  ：温度２３℃、湿度６５％ＲＨ
サンプル径：３０ｍｍφ
各測定個所におけるｎ＝５のデータを平均し、得られる値をその測定個所における全光線透過率とした。また、幅方向の各測定箇所における全光線透過率を平均したものをＭ層の全光線透過率、とした。
【００６３】
（４）光学濃度
（１）と（２）の方法にて求められる蒸着膜厚と全光線透過率から（式１）を用いて、各Ｍ層の光学濃度を別々に算出する。
【００６４】
光学濃度ＯＤ［１／μm］＝
−（１／蒸着厚み［μm］）ｌｏｇ（全光線透過率［％］／１００）    ・・・（１）
（５）三次元表面粗さ  ＳＲａ
小坂研究所の三次元微細形状測定器（型式ＥＴ−３５０Ｋ）および三次元表面粗さ解析システム（型式ＴＤＡ−２２）を用いて三次元表面粗さＳＲａ（中心面平均粗さ）を測定した。条件は下記の通りであり、３回の測定の平均値をもって値とした。
【００６５】
・触針径          ：２μｍ
・触針の荷重      ：０．０４ｍＮ
・縦倍率          ：５万倍
・カットオフ      ：０．０８ｍｍ
・送りピッチ      ：５μｍ
・測定長          ：０．５ｍｍ
・測定面積        ：０．２ｍｍ２  
・測定速度        ：０．１ｍｍ／秒
（６）ヤング率
ＪＩＳ−Ｋ７１６１（１９９４）に準拠して測定する。なお、インストロンタイプの引張試験機を用い、条件は下記のとおりとする。５回の測定結果の平均値を本発明におけるヤング率とする。
【００６６】
試料サイズ：幅１０ｍｍ×試長間１００ｍｍ
引張り速度：２００ｍｍ／分
測定環境：温度２３℃、湿度６５％ＲＨ
測定回数：５回測定し、平均値から算出する。
【００６７】
（７）粒子の平均粒径
蒸着前のポリエステルフィルムからポリマーをプラズマ低温灰化処理法で除去し、粒子を露出させた。処理条件は、ポリマーは灰化されるが粒子は極力ダメージを受けない条件を選択した。その粒子を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察し、粒子画像をイメージアナライザで処理した。ＳＥＭの倍率は２０，０００倍で、観察箇所をかえて粒子数１００個以上で粒径とその体積分率から、次式で体積平均径ｄを得た。粒径の異なる２種類以上の粒子を含有している場合には、それぞれの粒子について同様の測定を行い、粒径を求めた。
【００６８】
ｄ＝Σ（ｄｉ・Ｎｖｉ）
ここで、ｄｉは粒径、Ｎｖｉはその体積分率である。粒子がプラズマ低温灰化処理法で大幅にダメージを受ける場合には、フィルム断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で、２０，０００倍で観察した。ＴＥＭの切片厚さは約１００ｎｍとし、場所をかえて粒子数１００個以上測定し、上記式から体積平均径ｄを求めた。
【００６９】
（８）粒子の体積形状係数
走査型電子顕微鏡で、粒子の写真を２０，０００倍で１０視野撮影した。さらに画像解析処理装置を用いて、投影面最大径および粒子の平均体積を算出し、下記式により体積形状係数を得た。
【００７０】
ｆ  ＝  Ｖ  ／  Ｄｍ３
ここで、Ｖは粒子の平均体積（μｍ３）、Ｄｍは投影面の最大径（μｍ）である。
【００７１】
（９）フィルム積層厚み
フィルム断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、２０，０００倍で観察した。ＴＥＭの切片厚さは約１００ｎｍとし、含有粒子径および粒子濃度をもとに界面の観察結果から各層の厚みを評価した。また、上記による観察が困難な場合、ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析装置）を用いて評価することもできる。表面からエッチングしながら、粒子もしくは耐熱性熱可塑性樹脂に起因する元素濃度のデプスプロファイルを測定し、各層の厚みを評価する。
【００７２】
（１０）クラックの評価
得られたフィルムロールを張力８０Ｎ、面圧５００Ｎで１ｍ幅で１０，０００ｍ巻き取った。巻き取り後、フィルムロール表面でクラックの有無を目視で確認した。１０，０００ｍの表層でクラックがあった場合、内層を確認した。
【００７３】
◎  ；  １０，０００ｍでクラック無し
○  ；  ５，０００ｍ以上１０，０００ｍ未満でクラック有り
×  ；  ５，０００ｍ未満でクラック有り
（１１）シワの評価
得られたフィルムロールを張力８０Ｎ、面圧５００Ｎで１ｍ幅で１０，０００ｍ巻き取った。巻き取り中、及び巻き上がった後、シワの発生状況を目視で確認した。
【００７４】
◎  ；  １０，０００ｍでシワ無し
○  ；  ５，０００ｍ以上１０，０００ｍ未満でシワ有り
×  ；  ５，０００ｍ未満でシワ有り
次の実施例に基づき、本発明の実施形態を説明する。
【００７５】
（実施例１）
平均粒径０．１０μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１の球状シリカ粒子を含有するポリエチレンテレフタレートと実質上粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートのペレットを作り、球状シリカ粒子の含有量が０．２質量％となるよう２種のペレットを混合することにより熱可塑性樹脂Ａを調製した。また、平均粒径０．３μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５２のジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子を含有するポリエチレンテレフタレートと、平均粒径０．８μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５２のジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子を含有するポリエチレンテレフタレート、および実質上粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートのペレットを、０．３μｍの粒子含有量が０．２６質量％、０．８μｍの粒子含有量が０．０１質量％となるよう混合した熱可塑性樹脂Ｂを調製した。
【００７６】
これらの熱可塑性樹脂をそれぞれ１６０℃で８時間減圧乾燥した後、別々の押出機に供給し、２７５℃で溶融押出して高精度濾過した後、矩形の２層用合流ブロックで合流積層し、２層積層とした。
【００７７】
その後、２９５℃に保ったスリットダイを介し冷却ロール上に静電印加キャスト法を用いて表面温度２５℃のキャスティングドラムに巻き付け冷却固化し、未延伸積層フィルムを得た。
【００７８】
この未延伸積層フィルムをリニアモーター式の同時二軸延伸機により９５℃で長手及び幅方向にそれぞれ３．５倍、トータルで１２．３倍延伸しその後、再度１９０℃で長手方向に１．２倍、幅方向に１．４倍延伸し、定長下、２０５℃で３秒間熱処理し、その後幅方向に２％の弛緩処理を施し、全厚み４．５μｍ、層（Ｂ）の厚み０．５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。
【００７９】
長手方向のヤング率は５ＧＰａ、幅方向のヤング率は７ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が１１ｎｍであった。得られたポリエステルフィルムロールは、２３℃×１０％ＲＨで保管した。
【００８０】
次に、図１に示す真空蒸着装置１１で、減圧度を１．０×１０-2Ｐａ、冷却ドラム表面温度を−２０℃、搬送張力１００Ｎ、フィルムのＡ面側に膜厚１００ｎｍ、光学濃度ＯＤが２．２になるよう蒸着した。アルミニウムは電子ビームで加熱蒸発させた。端部における電子ビームの滞在時間を中央と比較して長くすることで端部の金属蒸気蒸発量を増加させ、さらに酸素を導入する際、幅方向５点で独立に制御し、端部の導入酸素量を中央と比較して多くすることでフィルム幅方向の蒸着膜厚が均一になるよう調整した。次にフィルムのＢ面側の上に同様に膜厚１００ｎｍ、光学濃度ＯＤ３．５である蒸着膜を設けた。
【００８１】
このフィルム原反を繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）コアに幅１ｍで１０，０００ｍ巻き上げた。巻き取り条件は、巻取張力８０Ｎ／ｍ、巻取接圧５００Ｎ／ｍ、巻取速度１００ｍ／分とした。特性は表１の通りであり、得られた金属蒸着フィルムロールにクラック及びシワはなかった。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７ＧＰａ、幅方向のヤング率は９ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が１０ｎｍであった。
【００８２】
（実施例２）
蒸着工程で蒸着膜厚を５０ｎｍ、Ａ面及びＢ面の光学濃度が４．４および６．９となるよう調整する以外は、実施例１と同様の方法にて金属蒸着ポリエステルフィルムロールを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は６ＧＰａ、幅方向のヤング率は８ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が６ｎｍ、層（Ｂ）側が１０ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、クラック及びシワはなかった。
【００８３】
（実施例３）
蒸着工程で蒸着膜厚を１３０ｎｍ、Ａ面およびＢ面の光学濃度を共に１．０、またポリエステルフィルムの厚みを変更する以外は、実施例１と同様の方法にて金属蒸着ポリエステルフィルムロールを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が６ｎｍ、層（Ｂ）側が１２ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、シワはなかったが、８，０００ｍでクラックが発生した。
【００８４】
（比較例１）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せずに蒸着する以外は、実施例１と同様にして金属蒸着ポリエステルフィルムを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７ＧＰａ、幅方向のヤング率は９ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が１０ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に３，０００ｍでクラックが発生し、８，０００ｍでシワが発生した。
【００８５】
（比較例２）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せず、Ａ面およびＢ面の光学濃度を０．５および８．４にして蒸着する以外は、実施例３と同様にして金属蒸着ポリエステルフィルムを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が６ｎｍ、層（Ｂ）側が１２ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に３，０００ｍでクラック及びシワが発生した。
【００８６】
（実施例４）
実施例１のポリエステルフィルムを以下のように調製した以外は、同条件で蒸着膜を設けるとともに、巻き取って金属蒸着フィルムロールを得た。
【００８７】
芳香族酸成分の７３モル％が２，６−ナフタレンジカルボン酸成分、残り２７モル％が６，６’−（アルキレンジオキシ）ジ−２−ナフトエ酸成分となるよう、２，６−ナフタレンジカルボン酸ジメチル、６，６’−（エチレンジオキシ）ジ−２−ナフトエ酸、およびエチレングリコールの混合物を調製した。これをチタンテトラブトキシドをエステル化触媒としてエステル化およびエステル交換反応とを進行させたのち、重縮合反応を行ってナフタレン骨格ポリエステルＮ２を得た。
【００８８】
このナフタレン骨格ポリエステルＮ２に平均粒径０．２０μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１の球状シリカ粒子を含有させたペレット、実質上粒子を含有しないナフタレン骨格ポリエステルＮ２のペレットを作り、球状シリカ粒子の含有量が０．１５質量％となるよう２種のペレットを混合することにより熱可塑性樹脂Ａ２を調製した。
【００８９】
また、平均粒径０．５０μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５２の球状架橋シリコーン粒子を含有する固有粘度０．６２ｄｌ／ｇのポリエチレンナフタレレート（ＰＥＮ）、平均粒径０．２０μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１の球状シリカ粒子を含有するＰＥＮ、および実質上粒子を含有しないＰＥＮのペレットを、球状架橋シリコーン粒子と球状シリカ粒子の含有量がそれぞれ０．０２質量％と０．１５質量％となるよう混合した熱可塑性樹脂Ｂ２を調製した。
【００９０】
これらの熱可塑性樹脂をそれぞれ１８０℃で５時間減圧乾燥した後、別々の押出機に供給し、２９５℃で溶融押出して高精度濾過した後、矩形の２層用合流ブロックで合流積層し、２層積層とした。
【００９１】
その後、２９５℃に保ったスリットダイを介し冷却ロール上に静電印加キャスト法を用いて表面温度２５℃のキャスティングドラムに巻き付け冷却固化し、未延伸積層フィルムを得た。
【００９２】
この未延伸積層フィルムを、回転速度が異なるロール間で１３５℃で長手方向に５．３倍延伸したのち、両端を把持してオーブン内に導き、１４５℃で幅方向に６．０倍延伸、トータルで３１．８倍延伸した。その後、定長下、１９０℃で５秒間熱処理し、その後幅方向に２％の弛緩処理を施し、全厚み４．５μｍ、層（Ｂ２）の厚み０．５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。
【００９３】
長手方向のヤング率は５．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は７．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ２）側が４ｎｍ、層（Ｂ２）側が８ｎｍであった。得られたポリエステルフィルムロールは、２３℃×１０％ＲＨで保管した。
【００９４】
実施例１と同様に蒸着膜を設けたのち、フィルム原反を巻き上げて、金属蒸着フィルムロールを得た。得られた金属蒸着フィルムロールにクラック及びシワはなかった。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が４ｎｍ、層（Ｂ）側が８ｎｍであった。
【００９５】
（実施例５）
実施例４において、芳香族酸成分の８２モル％が２，６−ナフタレンジカルボン酸成分、残り１８モル％が６，６’−（アルキレンジオキシ）ジ−２−ナフトエ酸成分となるよう変更して、ナフタレン骨格ポリエステルＮ３を得た。
【００９６】
このナフタレン骨格ポリエステルＮ３に平均粒径０．２０μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１の球状シリカ粒子を含有させたペレット、実質上粒子を含有しないナフタレン骨格ポリエステルＮ３のペレットを作り、球状シリカ粒子の含有量が０．１０質量％となるよう２種のペレットを混合することにより熱可塑性樹脂Ａ３を調製した。
【００９７】
また、平均粒径０．６０μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１の球状シリカ粒子を含有するＰＥＮ、および実質上粒子を含有しないＰＥＮのペレットを、シリカ粒子含有量が０．１０質量％となるよう混合した熱可塑性樹脂Ｂ３を調製した。
【００９８】
これらの熱可塑性樹脂を実施例４と同様の条件で製膜し、全厚み４．５μｍ、層（Ｂ３）の厚み０．５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。長手方向のヤング率は５．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は７．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ３）側が５ｎｍ、層（Ｂ３）側が１４ｎｍであった。
【００９９】
実施例１と同様に蒸着膜を設けたのち、フィルム原反を巻き上げて、金属蒸着フィルムロールを得た。得られた金属蒸着フィルムロールにクラック及びシワはなかった。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が１３ｎｍであった。
【０１００】
（実施例６）
実施例５のナフタレン骨格ポリエステルＮ３を固有粘度０．６２ｄｌ／ｇのＰＥＮに変更してＡ・Ｂ側ともにＰＥＮ系の層とし、実施例５の条件で乾燥・溶融の後、長手方向に５．０倍、幅方向に６．４倍、トータルで３２．０倍延伸を行う以外は実施例５と同様にして、全厚み４．５μｍ、層（Ｂ３）の厚み０．５μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。長手方向のヤング率は５．３ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ３）側が８ｎｍであった。
【０１０１】
実施例１と同様に蒸着膜を設けたのち、フィルム原反を巻き上げて、金属蒸着フィルムロールを得た。得られた金属蒸着フィルムロールにクラック及びシワはなかった。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．０ＧＰａ、幅方向のヤング率は１１．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が８ｎｍであった。
【０１０２】
（比較例３）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せずに蒸着する以外は、実施例４と同様にして金属蒸着ポリエステルフィルムを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が４ｎｍ、層（Ｂ）側が８ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に２，５００ｍでクラックが発生し、４，０００ｍでシワが発生した。
【０１０３】
（比較例４）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せず、蒸着工程でＡ面およびＢ面の光学濃度を０．５および８．４に変更する以外は、実施例４と同様の方法にて金属蒸着ポリエステルフィルムロールを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は８．０ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が４ｎｍ、層（Ｂ）側が８ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に２，０００ｍでクラックが発生し、３，０００ｍでシワが発生した。
【０１０４】
（比較例５）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せずに蒸着する以外は、実施例５と同様にして金属蒸着ポリエステルフィルムを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が１４ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に３，０００ｍでクラックが発生し、８，０００ｍでシワが発生した。
【０１０５】
（比較例６）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せず、蒸着工程でＡ面およびＢ面の光学濃度を０．５および８．４に変更する以外は、実施例５と同様の方法にて金属蒸着ポリエステルフィルムロールを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は８．０ＧＰａ、幅方向のヤング率は９．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が１３ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に３，０００ｍでクラックが発生し、６，０００ｍでシワが発生した。
【０１０６】
（比較例７）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せずに蒸着する以外は、実施例６と同様にして金属蒸着ポリエステルフィルムを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は７．５ＧＰａ、幅方向のヤング率は１１．５ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が８ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に４，０００ｍでクラックおよびシワが発生した。
【０１０７】
（比較例８）
幅方向の金属蒸気の蒸発量及び酸素流量を調整せず、蒸着工程でＡ面およびＢ面の光学濃度を０．５および８．４に変更する以外は、実施例６と同様の方法にて金属蒸着ポリエステルフィルムロールを得た。得られた金属蒸着ポリエステルフィルムの長手方向のヤング率は８．０ＧＰａ、幅方向のヤング率は１２．０ＧＰａ、表面粗さＳＲａは層（Ａ）側が５ｎｍ、層（Ｂ）側が７ｎｍであった。他の特性は表１の通りであり、巻取中に３，０００ｍでクラックが発生し、４，０００ｍでシワが発生した。
【０１０８】
【表１】
2010221698.tif 000003
【符号の説明】
【０１０９】
１１：真空蒸着装置
１２：真空チャンバ
１３：巻出しロール部
１４：ポリエステルフィルム
１５：ガイドロール
１６：冷却ドラム
１７：蒸着チャンバ
１８：巻取りロール部
１９：金属材料
２０：酸素ガスボンベ
２１：るつぼ
２２：酸素供給ノズル
２３：マスク
２４：ガス流量制御装置
２５；電子ビーム加熱装置
【図１】
2010221698.tif 000004