【手続補正書】
【提出日】平成17年4月19日(2005.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アライナーの精度測定装置、その方法およびそのプログラムを記憶した記憶媒体
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ載置台上に載置されるウエハの姿勢合わせを行うアライナーの精度を測定する精度測定装置であって、前記ウエハ載置台上の基準位置に着脱可能に取り付けられる精度測定用ウエハの測定表面に所定間隔を隔てて設けられた一対の目印を、該ウエハが基準位置に有るときと該ウエハをアライナーによって姿勢合わせしたときとにおいて撮像する撮像手段と、前記それぞれの撮像から得られる画像情報を基にアライナーの精度を測定する画像処理装置とからなるアライナーの精度測定装置。
【請求項２】
ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときに該一対の目印を撮像し、この撮像によって得られた画像情報を処理して該一対の目印を結ぶ基準の直線を求め、また該目印を付けたウエハをアライナーにて姿勢合わせを行った後に撮像し、この撮像によって得られた画像情報を処理し該一対の目印を結ぶ姿勢合わせの後の直線を求め、前記基準の直線と姿勢合わせ後の直線との成す角度からアライナーの姿勢合わせのずれ角度を測定することを特徴とするアライナーの精度測定方法。
【請求項３】
ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときにこれを撮像して得た画像情報を基準画像とし該基準画像から該一対の目印の中間点を算出し、また該ウエハをアライナーによって姿勢合わせを行ったときの姿勢合わせ後にこれを撮像し得た画像情報を作業後画像とし、該作業後画像から一対の目印の中間点を算出し、これら中間点を比較することによりアライナーの姿勢合わせのずれ量を算出することを特徴とするアライナーの精度測定方法。
【請求項４】
ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときの前記一対の目印の画像情報から該一対の目印を結ぶ基準の直線を求める手順、該目印を付けたウエハをアライナーにて姿勢合わせを行った後の画像情報から該一対の目印を結ぶ姿勢合わせの後の直線を求める手順、前記基準の直線と姿勢合わせ後の直線との成す角度からアライナーの姿勢合わせのずれ角度を算出する手順を実行するためのプログラムを記憶させたアライナーの精度測定装置で読み取り可能な記憶媒体。
【請求項５】
ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときの画像情報を基準画像とし該基準画像から該一対の目印の中間点を算出する手順、該ウエハをアライナーによって姿勢合わせを行ったときの姿勢合わせ後の画像情報を作業後画像とし、該作業後画像から一対の目印の中間点を算出する手順、これら中間点を比較することによりアライナーの姿勢合わせのずれ量を算出する手順を実行するためのプログラムを記憶させたアライナーの精度測定装置で読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項３においては、ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときにこれを撮像して得た画像情報を基準画像とし該基準画像から該一対の目印の中間点を算出し、また該ウエハをアライナーによって姿勢合わせを行ったときの姿勢合わせ後にこれを撮像し得た画像情報を作業後画像とし、該作業後画像から一対の目印の中間点を算出し、これら中間点を比較することによりアライナーの姿勢合わせのずれ量を算出するものである。
請求項４においては、ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときの前記一対の目印の画像情報から該一対の目印を結ぶ基準の直線を求める手順、該目印を付けたウエハをアライナーにて姿勢合わせを行った後の画像情報から該一対の目印を結ぶ姿勢合わせの後の直線を求める手順、前記基準の直線と姿勢合わせ後の直線との成す角度からアライナーの姿勢合わせのずれ角度を算出する手順を実行するためのプログラムを記憶させたアライナーの精度測定装置で読み取り可能な記憶媒体としたものである。
請求項５においては、ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときの画像情報を基準画像とし該基準画像から該一対の目印の中間点を算出する手順、該ウエハをアライナーによって姿勢合わせを行ったときの姿勢合わせ後の画像情報を作業後画像とし、該作業後画像から一対の目印の中間点を算出する手順、これら中間点を比較することによりアライナーの姿勢合わせのずれ量を算出する手順を実行するためのプログラムを記憶させたアライナーの精度測定装置で読み取り可能な記憶媒体としたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項３に示す如く、ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときにこれを撮像して得た画像情報を基準画像とし該基準画像から該一対の目印の中間点を算出し、また該ウエハをアライナーによって姿勢合わせを行ったときの姿勢合わせ後にこれを撮像し得た画像情報を作業後画像とし、該作業後画像から一対の目印の中間点を算出し、これら中間点を比較することによりアライナーの姿勢合わせのずれ量を算出するので、従来の１つの目印による画像処理に比し、処理すべき画像のずれ量が大きく現れるため、画像処理手段の分解能を向上させずともアライナーの精度測定装置の精度を向上させることができる。
請求項４に示す如く、ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときの前記一対の目印の画像情報から該一対の目印を結ぶ基準の直線を求める手順、該目印を付けたウエハをアライナーにて姿勢合わせを行った後の画像情報から該一対の目印を結ぶ姿勢合わせの後の直線を求める手順、前記基準の直線と姿勢合わせ後の直線との成す角度からアライナーの姿勢合わせのずれ角度を算出する手順を実行するためのプログラムを記憶させたアライナーの精度測定装置で読み取り可能な記憶媒体としたので、従来の１つの目印による画像処理に比し、処理すべき画像のずれ角が大きく現れるため、画像処理手段の分解能を向上させずともアライナーの精度測定装置の精度を向上させることができる。
請求項５に示す如く、ウエハの姿勢合わせを行うアライナーのウエハ載置台に一対の所定間隔を隔てた目印を設けた精度測定用ウエハを基準位置に置いたときの画像情報を基準画像とし該基準画像から該一対の目印の中間点を算出する手順、該ウエハをアライナーによって姿勢合わせを行ったときの姿勢合わせ後の画像情報を作業後画像とし、該作業後画像から一対の目印の中間点を算出する手順、これら中間点を比較することによりアライナーの姿勢合わせのずれ量を算出する手順を実行するためのプログラムを記憶させたアライナーの精度測定装置で読み取り可能な記憶媒体としたので、従来の１つの目印による画像処理に比し、処理すべき画像のずれ量が大きく現れるため、画像処理手段の分解能を向上させずともアライナーの精度測定装置の精度を向上させることができる。