【手続補正書】
【提出日】平成17年7月11日(2005.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性シートと、この絶縁性シートにその面方向に互いに離間して配置された、当該絶縁性シートの厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体とを有するシート状コネクターであって、
前記電極構造体の各々は、前記絶縁性シートの表面に露出し、当該絶縁性シートの表面から突出する表面電極部と、前記絶縁性シートの裏面に露出する裏面電極部と、前記表面電極部の基端から連続して前記絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸び、前記裏面電極部に連結された短絡部と、前記表面電極部の基端部分から連続して前記絶縁性シートの表面に沿って外方に伸びる保持部とよりなり、
前記保持部の厚みが３〜１２μｍであることを特徴とするシート状コネクター。
【請求項２】
電極構造体における表面電極部は、その基端から先端に向かうに従って小径となる形状のものであることを特徴とする請求項１に記載のシート状コネクター。
【請求項３】
電極構造体における表面電極部の基端の径Ｒ1 に対する表面電極部の先端の径Ｒ2 の比Ｒ2 ／Ｒ1 の値が０．１１〜０．５５であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート状コネクター。
【請求項４】
電極構造体における表面電極部の基端の径Ｒ1 に対する表面電極部の突出高さｈの比ｈ／Ｒ1 の値が０．２〜３であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項５】
電極構造体における短絡部は、絶縁性シートの裏面から表面に向かうに従って小径となる形状のものであることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項６】
絶縁性シートはエッチング可能な高分子材料よりなることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項７】
絶縁性シートはポリイミドよりなることを特徴とする請求項６に記載のシート状コネクター。
【請求項８】
少なくとも絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に形成された第１の表面側金属層と、この第１の表面側金属層の表面に形成された絶縁層と、この絶縁層の表面に形成された第２の表面側金属層とを有する積層体を用意し、
この積層体における絶縁性シート、第１の表面側金属層および絶縁層の各々に互いに連通する厚み方向に伸びる貫通孔を形成することにより、当該積層体の裏面に電極構造体形成用凹所を形成し、
この積層体に対し、その第２の表面側金属層を電極としてメッキ処理を施して電極構造体形成用凹所に金属を充填することにより、絶縁性シートの表面から突出する表面電極部およびその基端から連続して当該絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸びる短絡部を形成し、
この積層体から前記第２の表面側金属層および前記絶縁層を除去することにより、前記表面電極部および前記第１の表面側金属層を露出させ、その後、当該第１の表面側金属層にエッチング処理を施すことにより、前記表面電極部の基端部分から連続して前記絶縁性シートの表面に沿って外方に伸びる保持部を形成する工程を経由して得られることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項９】
少なくとも絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に形成された表面側金属層と、この表面側金属層の表面に形成された絶縁層と、前記絶縁性シートの裏面に形成された裏面側金属層とを有する積層体を用意し、
この積層体における絶縁層、表面側金属層および絶縁性シートの各々に互いに連通する厚み方向に伸びる貫通孔を形成することにより、当該積層体の表面に電極構造体形成用凹所を形成し、
この積層体に対し、裏面側金属層を電極としてメッキ処理を施して電極構造体形成用凹所に金属を充填することにより、絶縁性シートの表面から突出する表面電極部およびその基端から連続して当該絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸びる短絡部を形成し、
この積層体から絶縁層を除去することにより、前記表面電極部および前記表面側金属層を露出させ、その後、当該表面側金属層にエッチング処理を施すことにより、前記表面電極部の基端部分から連続して前記絶縁性シートの表面に沿って外方に伸びる保持部を形成する工程を経由して得られることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項１０】
検査対象である回路装置とテスターとの電気的接続を行うための回路検査用プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極に対応して複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板上に配置された異方導電性コネクターと、この異方導電性コネクター上に配置された、請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のシート状コネクターとを具えてなることを特徴とする回路検査用プローブ。
【請求項１１】
検査対象である回路装置が多数の集積回路が形成されたウエハであり、
異方導電性コネクターは、検査対象であるウエハに形成された全ての集積回路または一部の集積回路における被検査電極が配置された電極領域に対応して複数の開口が形成されたフレーム板と、このフレーム板の各開口を塞ぐよう配置された異方導電性シートとを有してなることを特徴とする請求項１０に記載の回路検査用プローブ。
【請求項１２】
請求項１０または請求項１１に記載された回路検査用プローブを具えてなることを特徴とする回路装置の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明のシート状コネクターは、絶縁性シートと、この絶縁性シートにその面方向に互いに離間して配置された、当該絶縁性シートの厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体とを有するシート状コネクターであって、
前記電極構造体の各々は、前記絶縁性シートの表面に露出し、当該絶縁性シートの表面から突出する表面電極部と、前記絶縁性シートの裏面に露出する裏面電極部と、前記表面電極部の基端から連続して前記絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸び、前記裏面電極部に連結された短絡部と、前記表面電極部の基端部分から連続して前記絶縁性シートの表面に沿って外方に伸びる保持部とよりなり、
前記保持部の厚みが３〜１２μｍであることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明のシート状コネクターによれば、電極構造体には、表面電極部の基端部分から連続して絶縁性シートの表面に沿って外方に伸びる保持部が形成されているため、当該表面電極部の径が小さいものであっても、当該電極構造体が絶縁性シートから脱落することがなくて高い耐久性が得られる。
また、小さい径の表面電極部を形成することが可能であることにより、隣接する表面電極部の間の離間距離が十分に確保されると共に、保持部の厚みが３〜１２μｍであるため、絶縁性シートによる柔軟性が十分に発揮され、その結果、小さいピッチで電極が形成された回路装置に対しても安定な電気的接続状態を確実に達成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、裏面電極部１７の外径Ｒ5 は、当該裏面電極部１７に連結された短絡部１８の他端の径Ｒ4 より大きく、かつ、電極構造体１５のピッチより小さいものであればよいが、可能な限り大きいものであることが好ましく、これにより、例えば異方導電性シートに対しても安定な電気的接続を確実に達成することができる。
また、裏面電極部１７の厚みＤ2 は、強度が十分に高くて優れた繰り返し耐久性が得られる点で、１０〜４０μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜３５μｍである。
また、短絡部１８の他端の径Ｒ4 に対する一端の径Ｒ3 の比Ｒ3 ／Ｒ4 は、０．４５〜１であることが好ましく、より好ましくは０．７〜０．９である。
また、短絡部１８の一端の径Ｒ3 は、当該電極構造体１５のピッチの３０〜７０％であることが好ましく、より好ましくは３５〜６０％である。
また、保持部１９の径Ｒ6 は、当該電極構造体１５のピッチの３０〜７０％であることが好ましく、より好ましくは４０〜６０％である。
また、保持部１９の厚みＤ1 は、３〜１２μｍであり、好ましくは５〜９μｍである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
このようなシート状コネクター１０によれば、電極構造体１５には、表面電極部１６の基端部分から連続して絶縁性シート１１の表面に沿って外方に伸びる保持部１９が形成されているため、当該表面電極部１６の径が小さいものであっても、当該電極構造体１６が絶縁性シート１１の裏面から脱落することがなくて高い耐久性が得られる。
また、径の小さい表面電極部１６を有することにより、隣接する表面電極部１６の間の離間距離が十分に確保されると共に、保持部１９の厚みＤ1 が３〜１２μｍであるため、絶縁性シート１１による柔軟性が十分に発揮され、その結果、小さいピッチで電極が形成された回路装置に対しても安定な電気的接続状態を確実に達成することができる。