(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電素子と、圧電素子を駆動するための駆動回路とを、ぞれぞれの圧電素子ユニットごとにフレキシブルケーブルを用いて接合する際に、ヘッドにおけるノズル列と交わる方向の幅が大きくなることを防ぐことのできるインクジェット式記録ヘッドの提供。【解決手段】圧力変動によりノズル開口１３からインクを吐出するように並設された圧力発生室１１と、圧力変動を発生させる圧電素子１７と、インクが吐出される方向Ｄ３に伸びるＣＯＦ３７と、圧電素子１７を駆動するための駆動回路に接合され、インクが吐出される方向Ｄ３に伸び、レーザー光Ｂを透過するフレキシブルケーブル７０と、を備え、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０とは、ノズル列と交わる方向Ｄ２に重なり、フレキシブルケーブル７０側から照射されたレーザー光Ｂによって溶融されたハンダ７３を介して接合されているヘッド１を提供する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が並ぶノズル列から液滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドであって、  圧力変動により前記ノズル開口から前記液滴を吐出するように並設された圧力発生室と、
前記圧力発生室に対応して並設され、前記圧力変動を発生させる圧力発生部と、
端部が前記圧力発生部に接合され、前記液滴が吐出される方向に伸びる第１の配線基板と、前記圧力発生部を駆動するための駆動回路に接合され、前記方向に伸び、レーザー光を透過する第２の配線基板と、を備え、
前記第１の配線基板の接合部と前記第２の配線基板の接合部とは、前記ノズル列と交わる方向に重なり、前記第２の配線基板側から照射されたレーザー光によって溶融された接合用金属を介して接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
ノズル開口が並ぶノズル列から液滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、
圧力変動により前記ノズル開口から前記液滴を吐出するように並設された圧力発生室と、前記圧力発生室に対応して並設され、前記圧力変動を発生させる圧力発生部と、端部が前記圧力発生部に接合され、前記液滴が吐出される方向に伸びる第１の配線基板と、前記圧力発生部を駆動するための駆動回路に接合され、前記方向に伸び、レーザー光を透過する第２の配線基板と、を備えたインクジェット式記録ヘッドを準備する準備工程と、
前記第１の配線基板の接合部と、前記第２の配線基板の接合部とが、前記ノズル列と交わる方向に重なるように接合用金属を介して当接する当接工程と、
前記方向における前記第２の配線基板側からレーザー光を照射して前記接合用金属を溶融する溶融工程と、を含むことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式記録装置では、圧力変動を発生させる圧力発生手段を備え、ヘッドに形成されたノズル開口から液滴を噴射する。圧力発生手段として、例えば、ノズル開口に対応する圧電素子が備えられる。圧電素子は、圧電素子を駆動するための駆動回路に配線基板を介して電気的に接続される。例えば、特許文献１では、圧電素子に接合された配線基板としてのフレキシブルケーブルと、駆動回路としてのドライバー基板とが、ハンダ付けにより接合される。特許文献２では、駆動回路に接続された配線基板としての外部配線ケーブルと、圧電素子とが、レーザー光により溶融された金属を介して接合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−５３９７０号公報
【特許文献２】特開２００３−６３００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ノズル列方向に複数の圧電素子が並んで圧電素子ユニットが構成される。複数のノズル列が形成されたヘッドでは、ノズル列と交わる方向に複数の圧電素子ユニットが並んで構成される。このようなヘッドでは、圧電素子と、圧電素子を駆動するための駆動回路とを、ぞれぞれの圧電素子ユニットごとにフレキシブルケーブルを用いて接合する。そのため、ヘッドにおけるノズル列と交わる方向の幅が大きくなるという課題が生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］ノズル開口が並ぶノズル列から液滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドであって、圧力変動により前記ノズル開口から前記液滴を吐出するように並設された圧力発生室と、前記圧力発生室に対応して並設され、前記圧力変動を発生させる圧力発生部と、端部が前記圧力発生部に接合され、前記液滴が吐出される方向に伸びる第１の配線基板と、前記圧力発生部を駆動するための駆動回路に接合され、前記方向に伸び、レーザー光を透過する第２の配線基板と、を備え、前記第１の配線基板の接合部と前記第２の配線基板の接合部とは、前記ノズル列と交わる方向に重なり、前記第２の配線基板側から照射されたレーザー光によって溶融された接合用金属を介して接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【０００７】
この構成によれば、第１の配線基板と第２の配線基板は、液滴が吐出される方向に伸びた状態で、それぞれの接合部がノズル列と交わる方向に重なり、第２の配線基板側から照射されたレーザー光によって溶融された接合用金属を介して接合されている。これにより、インクジェット式記録ヘッドにおけるノズル列と交わる方向の幅が大きくなることを抑制できる。
【０００８】
［適用例２］ノズル開口が並ぶノズル列から液滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、圧力変動により前記ノズル開口から前記液滴を吐出するように並設された圧力発生室と、前記圧力発生室に対応して並設され、前記圧力変動を発生させる圧力発生部と、端部が前記圧力発生部に接合され、前記液滴が吐出される方向に伸びる第１の配線基板と、前記圧力発生部を駆動するための駆動回路に接合され、前記方向に伸び、レーザー光を透過する第２の配線基板と、を備えたインクジェット式記録ヘッドを準備する準備工程と、前記第１の配線基板の接合部と、前記第２の配線基板の接合部とが、前記ノズル列と交わる方向に重なるように接合用金属を介して当接する当接工程と、前記方向における前記第２の配線基板側からレーザー光を照射して前記接合用金属を溶融する溶融工程と、を含むことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】記録ヘッドの外観斜視図。
【図２】記録ヘッドの断面図。
【図３】記録ヘッドを構成するヘッドの断面図。
【図４】記録ヘッドの製造工程を示す図。
【図５】ＣＯＦとフレキシブルケーブルとを接合する様子を説明する図。
【図６】（ａ）は、フレキシブルケーブルを、折り曲げた状態からノズル列と交わる方向に開いた状態にした図、（ｂ）は、フレキシブルケーブルとＣＯＦとが当接している部分を、ノズル列方向から見た図。
【図７】レーザー光をフレキシブルケーブルとＣＯＦの接合部に照射しているときの記録ヘッドの断面図。
【図８】インクジェット式記録装置の一例を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（実施形態）
以下、本実施形態について図を用いて説明する。図１は、本実施形態におけるインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１と称する。）の外観斜視図である。記録ヘッド１のケース２０の図面上部には、コネクター６０が備えられる。
【００１１】
コネクター６０の開口部６１から吐出方向Ｄ３に突き出た第２の配線基板として、柔軟で変形可能なフレキシブルケーブル７０が備えられる。本実施形態のフレキシブルケーブル７０は、ポリイミドのフィルム基材に配線が形成される。ケース２０の図面下部には、方向Ｄ１にノズル列（不図示）が形成されており、液滴が方向Ｄ３に吐出される。
【００１２】
図２は、記録ヘッド１の概略構成を説明するための、ノズル列方向Ｄ１から見た記録ヘッド１の断面図である。図２は、図１の記録ヘッド１から、コネクター６０とフレキシブルケーブル７０を取り除いた図である。
【００１３】
ケース２０の図面上側の中央部には、コネクター６０を取り付けたときに支持するためのホルダー６２が備えられる。
【００１４】
液滴が吐出されるノズル開口１３が、ノズルプレート１４に形成される。弾性膜２５を介して圧力発生室１１内の圧力変動を発生させるための圧力発生部としての圧電素子１７が、固定基板３５に備えられる。圧電素子１７は、ケース２０に備えられた固定基板３５によって固定される。
【００１５】
インク導入路２１がケース２０に形成される。インクがインク導入路２１から流路形成基板１２に形成された圧力発生室１１を介してノズル開口１３から吐出される。
【００１６】
第１の配線基板としてのＣＯＦ（Ｃｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）３７は、一方の端部が圧電素子１７に接合され、他方の端部がホルダー６２を挟むようにして、液滴の吐出方向Ｄ３に伸びるようにして備えられる。
【００１７】
圧電素子１７、固定基板３５、ＣＯＦ３７は、中心線Ａを中央とする線対称の位置に備えられ、インク導入路２１、圧力発生室１１、ノズル開口１３は、同様に、中心線Ａを中央とする線対称の位置に形成される。
【００１８】
図３は、図２のホルダー６２を取り除いたもので、記録ヘッド１の構成を詳細に説明するための、図２の中心線Ａより図面左側の断面図である。
【００１９】
記録ヘッド１は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。圧電素子１７は、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられ、ノズル列方向Ｄ１に複数並設される。記録ヘッド１は、圧電素子１７と固定基板３５とからなる圧電素子ユニット１８と、圧電素子ユニット１８が収容される収容部１９を有するケース２０とを有する。
【００２０】
流路形成基板１２には、圧力発生室１１が隔壁によって区画されてノズル列方向Ｄ１に複数並設されている。各圧力発生室１１の図面左側には、ケース２０外部のインク供給手段（図示せず）に連通するインク導入路２１を介してインクが供給されるリザーバ２２が、流路形成基板１２を吐出方向Ｄ３に貫通して設けられている。
【００２１】
リザーバ２２と各圧力発生室１１とは、インク供給路２３を介して連通され、各圧力発生室１１には、インク供給手段からインク導入路２１及びリザーバ２２を介してインクが供給される。インク供給路２３は、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバ２２から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。
【００２２】
圧力発生室１１のリザーバ２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を吐出方向Ｄ３貫通するノズル連通孔２４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１２に液体流路として、圧力発生室１１、リザーバ２２、インク供給路２３、ノズル連通孔２４が設けられている。
【００２３】
このような流路形成基板１２は、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。
【００２４】
流路形成基板１２の図面下側にはノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４が接着剤５０を介して接着され、各ノズル開口１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。一方、流路形成基板１２の図面上側、すなわち圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されている。各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。
【００２５】
ここで、振動板１５は、例えば樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば金属材料等からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。この圧電素子１７の先端面は、接着剤２８によって島部２７に接合されている。
【００２６】
また、振動板１５のリザーバ２２に対向する領域に支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２５のみで構成されるコンプライアンス部２９が設けられている。なお、このコンプライアンス部２９は、リザーバ２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２９の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバ２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。さらに、振動板１５にはインク導入路２１とリザーバ２２とが連通するように開口部３０が設けられている。この振動板１５は流路形成基板１２に接着剤５１を介して接着されている。
【００２７】
圧電素子１７は、一つの圧電素子ユニット１８において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを吐出方向Ｄ３に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子１７が形成されている。
【００２８】
この圧電素子１７の振動に寄与しない不活性領域、すなわち圧電素子１７の基端部側が固定基板３５に固着されている。本実施形態では、これら圧電素子１７と固定基板３５とで圧電素子ユニット１８が構成されている。そして、圧電素子１７の基端部近傍には、固定基板３５とは反対側の面に、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給する配線を有する第１の配線基板としてのＣＯＦ３７が接合されている。
【００２９】
このような圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述したように振動板１５上にケース２０が固定されており、圧電素子ユニット１８は、このケース２０の収容部１９内に収容されて、圧電素子１７が固定された固定基板３５が、圧電素子１７とは反対面側でケース２０に固定されている。具体的には、ケース２０の収容部１９内には、段差部３８が設けられており、固定基板３５は、このケース２０の段差部３８に接着剤３９によって接合されている。
【００３０】
上部基板４１には、ケース２０の収容部１９に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、ＣＯＦ３７は、この上部基板４１の開口部４２から収容部１９の吐出方向Ｄ３の外側に引き出されている。図２の中心線Ａより図面右側も、上述したように構成される。
【００３１】
次に、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０とを接合する方法について説明する。図４は、記録ヘッド１の製造工程を示す図である。準備工程１００では、ＣＯＦ３７が圧電素子１７に接合された状態の二つのヘッド１０からなる記録ヘッド１を準備する。図２に示すように、この時点では、フレキシブルケーブル７０は、ＣＯＦ３７と接合されていない状態である。
【００３２】
図５は、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０とを接合する様子を説明する図である。レーザー光を照射するレーザー照射装置８０，８１は、移動機構装置８２，８３に備えられ、ノズル列方向Ｄ１に移動することができる。
【００３３】
図４の当接工程１１０では、図５に示すように、折り曲げた状態のフレキシブルケーブル７０を、ＣＯＦ３７に当接させる。
【００３４】
図６（ａ）は、フレキシブルケーブル７０を、図５の折り曲げた状態からノズル列と交わる方向Ｄ２に開いた状態にした図である。フレキシブルケーブル７０の中央部には、長手方向をノズル列方向Ｄ１とする開口部７１が形成される。開口部７１におけるノズル列方向Ｄ１の長さＬ１は、ＣＯＦ３７のノズル列方向Ｄ１の長さより長い。
【００３５】
方向Ｄ２における開口部７１の両端部７２には、圧電素子１７を動作させるための信号を送る配線が形成されている。
【００３６】
図６（ｂ）は、図５の折り曲げた状態でのフレキシブルケーブル７０とＣＯＦ３７とが当接している部分を、ノズル列方向Ｄ１から見た図である。図６（ｂ）に示すように、Ｕ字上に折り曲げた状態のフレキシブルケーブル７０の開口部７１から、吐出方向Ｄ３に伸びるＣＯＦ３７を突き出す。そして、フレキシブルケーブル７０の接合部とＣＯＦ３７の接合部をノズル列と交わる方向Ｄ２に重ね、フレキシブルケーブル７０に形成された接合用金属としてのハンダ７３を介して当接させる。
【００３７】
図４のレーザー照射工程１２０では、図５に示すように、レーザー照射装置８０，８１からレーザー光をフレキシブルケーブル７０とＣＯＦ３７の接合部に照射する。図７は、図５のレーザー光Ｂをフレキシブルケーブル７０とＣＯＦ３７の接合部に照射しているときの記録ヘッド１の断面図である。
【００３８】
図７に示すように、ハンダ７３に対して、図面右側と左側からレーザー光Ｂを照射させる。フレキシブルケーブル７０は、レーザー光Ｂを透過する。これにより、レーザー光Ｂは、フレキシブルケーブル７０を透過し、ハンダ７３は過熱されて溶融される。溶融されたハンダ７３は常温で冷却され、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０とは接合される。
【００３９】
本実施形態では、出力が１５Ｗから２０Ｗ程度の半導体レーザーを用い、図５の移動機構装置８２，８３によってレーザー照射装置８０，８１がノズル列方向Ｄ１に移動することにより、レーザー光Ｂは、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０との接合部をノズル列方向Ｄ１に１秒間から２秒間走査する。
【００４０】
以上、本実施形態で説明した記録ヘッド１は、ノズル開口１３が並ぶノズル列から液滴としてのインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドであって、圧力変動によりノズル開口１３からインクを吐出するように並設された圧力発生室１１と、圧力発生室１１に対応して並設され、圧力変動を発生させる圧力発生部としての圧電素子１７と、端部が圧電素子１７に接合され、インクが吐出される方向Ｄ３に伸びる第１の配線基板としてのＣＯＦ３７と、圧電素子１７を駆動するための駆動回路に接合され、インクが吐出される方向Ｄ３に伸び、レーザー光Ｂを透過する第２の配線基板としてのフレキシブルケーブル７０と、を備え、ＣＯＦ３７の接合部とフレキシブルケーブル７０の接合部とは、ノズル列と交わる方向Ｄ２に重なり、フレキシブルケーブル７０側から照射されたレーザー光Ｂによって溶融された接合用金属としてのハンダ７３を介して接合されている。
【００４１】
この構成によれば、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０は、インクが吐出される方向Ｄ３に伸びた状態で、それぞれの接合部がノズル列と交わる方向Ｄ２に重なり、フレキシブルケーブル７０から照射されたレーザー光Ｂによって溶融されたハンダ７３を介して接合されている。これにより、記録ヘッド１におけるノズル列と交わる方向Ｄ２の幅が大きくなることを抑制できる。
【００４２】
本実施形態のフレキシブルケーブル７０はレーザー光Ｂを透過することができる。そのため、レーザー光Ｂは、フレキシブルケーブル７０を透過し、ハンダ７３に照射され、ハンダ７３が溶融される。もし、レーザー光Ｂを透過することができないフレキシブルケーブルを用いると、レーザー光Ｂの照射によって、フレキシブルケーブルが加熱されて溶融されてしまう場合がある。あるいは、フレキシブルケーブルに熱が奪われてしまい、ハンダ７３が溶融されない場合がある。そのため、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブルとが接合できない場合がある。
【００４３】
また、本実施形態では、フレキシブルケーブル７０は、ノズル列と交わる方向Ｄ２において、ＣＯＦ３７のそれぞれ外側すなわちレーザー照射装置８０，８１側に配置される。これにより、記録ヘッド１におけるノズル列と交わる方向Ｄ２の幅が大きくなることを抑制できる。もし、フレキシブルケーブル７０が、ノズル列と交わる方向Ｄ２において、ＣＯＦ３７のそれぞれ内側すなわちレーザー照射装置８０，８１と反対側に配置されると、図７のホルダー６２とＣＯＦ３７との距離Ｌ２は、フレキシブルケーブル７０の長さより長い距離を設けなくてはならない。そのため、記録ヘッド１におけるノズル列と交わる方向Ｄ２の幅が大きくなってしまう。
【００４４】
また、本実施形態の接合方法によれば、ＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０とを接合したときの状態でそのままＣＯＦ３７とフレキシブルケーブル７０が備えられる。そのため、ＣＯＦ３７が断線してしまうことを抑制することができる。
【００４５】
もし、接合する前や接合した後にＣＯＦ３７を曲げたり伸ばしたりして変形すれば、ＣＯＦ３７が断線してしまう場合がある。例えば、それぞれのＣＯＦ３７のケース２０から突き出た部分がノズル列と交わる方向Ｄ２になるように外側に曲げて、ノズル列と交わる方向Ｄ２に伸びるフレキシブルケーブル７０に重ね、インクが吐出される方向Ｄ３におけるノズル開口１３の反対側から、レーザー光を照射したり、加熱した金属を当接したりしてハンダ７３を溶融し接合すると、ＣＯＦ３７が断線してしまう場合がある。
【００４６】
本実施形態に係る記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク導入路を具備する記録ヘッドの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッド１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッド１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出する。
【００４７】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に沿って搬送されるようになっている。
【００４８】
本実施形態では、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を有する、インクジェット式記録ヘッドについて説明したが、リザーバを有するものであればインクジェット式記録ヘッドの種類には限定されない。例えば、厚膜型の圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッド、例えばゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッド、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエーターを有するインクジェット式記録ヘッド、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏する。
【００４９】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５０】
１，１Ａ，１Ｂ…記録ヘッド、１１…圧力発生室、１３…ノズル開口、１７…圧電素子、３７…ＣＯＦ、７０…フレキシブルケーブル、７３…ハンダ、１００…準備工程、１１０…当接工程、１２０…レーザー照射工程、Ｂ…レーザー光、Ｄ２…ノズル列と交わる方向、Ｄ３…インクが吐出される方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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