【手続補正書】
【提出日】平成17年2月8日(2005.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ハロゲンガスを含むガスレーザ装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)と、
前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)とは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)の内周側をカバーし、レーザガスが前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)と接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁(24)と、
前記内輪磁性体(10,10)及び前記ロータ(48)とは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記内輪磁性体(10,10)及び前記ロータ(48)の外周側をカバーし、レーザガスが前記内輪磁性体(10,10)及び前記ロータ(48)と接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁(29)と、
を備えたハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
【請求項２】
チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)とを備え、
前記外輪電磁コイル(11,11)、前記内輪磁性体(10,10)、前記ロータ(48)及び前記ステータ(47)は、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されているハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
【請求項３】
チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)とを備え、
前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)は、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)とは別の部材で、かつレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周側をカバーする薄い円筒状隔壁(24)により、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収容され、
前記前記内輪磁性体(10,10)は、Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータ(48)は、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されているハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
【請求項４】
チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)とを備え、
前記外輪電磁コイル(11,11)、前記内輪磁性体(10,10)及び前記ステータ(47)は、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータ(48)は、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されているハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハロゲンガスを含むガスレーザ装置に関し、より詳細には貫流ファンを支承する磁気軸受及び貫流ファンを駆動するモータに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータと、
前記外輪電磁コイル及び前記ステータとは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記外輪電磁コイル及び前記ステータの内周側をカバーし、レーザガスが前記外輪電磁コイル及び前記ステータと接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁と、
前記内輪磁性体及び前記ロータとは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記内輪磁性体及び前記ロータの外周側をカバーし、レーザガスが前記内輪磁性体及び前記ロータと接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁と、
を備えている。
また、第２構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル、前記内輪磁性体、前記ロータ及び前記ステータは、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第１、第２構成に記載の発明によれば、外輪電磁コイル、内輪磁性体、ロータ、及びステータのそれぞれが、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収納されているか、又はバルク材料からの加工によって形成され、それらの表面に、レーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングを施されるかしている。これにより、磁気軸受やモータを構成する部品がレーザガスと接触することがなく、腐食したりレーザガスを汚損したりすることがない。従って、エキシマレーザ装置の故障が少なくなるとともに、レーザガスの長寿命化が達成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、第３構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル及び前記ステータは、前記外輪電磁コイル及び前記ステータとは別の部材で、かつレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、かつ前記外輪電磁コイルの内周側をカバーする薄い円筒状隔壁により、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収容され、
前記前記内輪磁性体は、Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータは、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
また、第４構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル、前記内輪磁性体及び前記ステータは、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータは、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第３、第４構成に記載の発明によれば、外輪電磁コイル、内輪磁性体、及びステータを、第１構成と同様にレーザガスから遮蔽しており、かつロータを籠型形状として、その表面に耐フッ素性のコーティングを施している。これにより、ロータを着磁処理する必要がなく、着磁処理の手間が省略される。また、ロータの磁力が弱くなってモータの駆動力が弱くなるということがなく、常に一定の駆動力が確保される。さらに、ロータが籠型であるので、軽量化でき、モータを駆動する電力が省力化される。