【手続補正書】
【提出日】令和3年6月28日(2021.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造体の変形を、光学検査デバイスで捕捉された前記構造体の表面の多次元画像データから検出するためのコンピュータ実装方法であって、
プロセッサで前記多次元画像データを提供することであって、前記画像データが、前記光学検査デバイスを使用して測定された複数のデータ点を含み、各データ点が、
それぞれのデータ点が捕捉された前記表面上のそれぞれの場所と、
前記検査デバイスを使用して測定された前記それぞれのデータ点に対するそれぞれの特徴値ｚと、を含む、提供することと、
前記プロセッサを用いて、前記画像データによって表される前記表面を複数の平面に分割することと、
前記プロセッサを用いて、前記平面に対する近似特徴値Ｚを計算することであって、それぞれの平面に対する前記近似特徴値が、前記それぞれの平面内の前記データ点のうちの１つ以上の前記測定された特徴値に基づいて計算される、計算することと、
前記プロセッサを用いて、前記特徴値に基づいて、前記複数のデータ点に対する調整された特徴値Ｖを計算することであって、それぞれのデータ点に対する前記調整された特徴値が、前記それぞれのデータ点に対する前記測定された特徴値ｚ、および前記それぞれのデータ点が中にある平面に対する前記計算された近似特徴値Ｚに基づいて計算される、計算することと、
前記プロセッサを用いて、前記調整された特徴値Ｖに基づいて、前記表面の処理された多次元画像を生成することであって、前記処理された多次元画像のデータセットが、前記提供された画像データのデータセットとは異なる、生成することと、
図形表示を使用して前記プロセッサを用いて、前記表面の前記処理された多次元画像を出力することであって、前記処理された多次元画像が、前記分割された画像データのそれぞれの平面内の前記表面の前記検出された変形を図形表現で示す、出力することと、を含む、方法。
【請求項２】
前記処理された多次元画像に含めるために前記調整された特徴値Ｖを計算する前記ステップが、所定の平面およびそのそれぞれのデータ点の各々について、前記それぞれのデータ点ごとに、前記測定された特徴値ｚからの前記計算された近似特徴値Ｚの基線の減算をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記表面が三角形平面に分割され、前記それぞれの三角形平面に対する前記近似特徴値Ｚが、三角形平面方程式に従って、かつ前記それぞれの三角形平面のそれぞれの頂点に対応する測定されたデータ点に基づいて計算される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記調整された特徴値Ｖに基づいて生成された、前記処理された多次元画像が、複数の平面を含む領域で発生する、測定された特徴値ｚの変化と比較してより大きな強調を有する所定の平面内で発生する、測定された特徴値ｚの変化を図形表現で示す、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記分割するステップは、表面分割モデルを適用することによって実行され、
前記プロセッサを用いて、前記画像データによって表される前記表面の寸法および前記画像データから検出される変形に対応する特徴のサイズの関数として、前記平面の数を特定する前記表面分割モデルを生成することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記提供するステップが、
前記検査デバイスを使用して、前記光学検査デバイスを使用して前記複数のデータ点を測定することと、
前記多次元画像データを生成することと、を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
特徴値データが、前記検査デバイスを使用して捕捉された回折放射の色相の測定値である、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記画像データによって表される前記表面が、複数の平行四辺形平面に分割される、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記平行四辺形平面が、それぞれ２つの三角形平面に細分される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
各平行四辺形平面が、その２つの頂点間に延びる対角線に沿ってさらに分割され、その結果、前記対角線が２つのそれぞれの三角形平面の共有エッジを画定する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
それぞれの平面に対する前記計算された近似特徴値Ｚが、値、ベクトル、および方程式のうちの１つ以上として表され、前記それぞれの平面内に位置付けられている１つ以上のデータ点の前記測定された特徴値ｚから計算される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記それぞれの平面に対する前記近似特徴値Ｚが、前記それぞれの平面の頂点に位置付けられているデータ点の前記測定された特徴値ｚから計算される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
構造体の変形を、光学検査デバイスで捕捉された前記構造体の表面の多次元画像データから検出するためのシステムであって、
コンピュータ可読記憶媒体と、
通信インターフェースと、
ディスプレイと、
前記記憶媒体にアクセスするように構成され、前記通信インターフェースおよび前記ディスプレイと動作可能に通信する１つ以上のプロセッサと、
前記記憶媒体に記憶され、前記プロセッサによって実行可能なソフトウェアモジュールと、を備え、前記ソフトウェアモジュールが、
前記プロセッサによって実行されたとき、前記通信インターフェースを使用して、前記光学検査デバイスを使用して測定された複数のデータ点を含む前記多次元画像データを受信するように前記プロセッサを構成し、前記データ点が、それぞれのデータ点が捕捉された前記表面上のそれぞれの場所、および前記検査デバイスを使用して測定された前記それぞれのデータ点のそれぞれの特徴値ｚを含む、通信モジュールと、
前記プロセッサによって実行されたとき、前記画像データによって表される前記表面を、複数の平面に分割するように前記プロセッサを構成する、表面分割モジュールと、
前記プロセッサによって実行されたとき、前記平面の各々に対するそれぞれの近似特徴値Ｚを計算するように前記プロセッサを構成し、それぞれの平面に対する前記近似特徴値Ｚが、前記それぞれの平面内の前記データ点のうちの１つ以上の前記測定された特徴値ｖに基づいて計算される、特徴検出モジュールであって、前記複数のデータ点の各々に対する調整された特徴値Ｖを計算するように前記プロセッサをさらに構成し、それぞれのデータ点に対する前記調整された特徴値Ｖが、前記それぞれのデータ点に対する前記測定された特徴値ｚおよび前記それぞれのデータ点が中にある平面に対する前記計算された近似特徴値Ｚに基づいて計算される、特徴検出モジュールと、
前記プロセッサによって実行されたとき、各データ点の前記調整された特徴値Ｖに基づいて、処理された多次元画像のデータセットが前記受信された画像データの前記データセットとは異なる、前記表面の前記処理された多次元画像を生成するように前記プロセッサを構成し、前記ディスプレイを使用して、前記表面の前記処理された多次元画像を出力するように前記プロセッサをさらに構成する、画像生成モジュールであって、前記処理された多次元画像が、前記表面のそれぞれの平面内の前記検出された前記表面の変形を図形表現で示す、画像生成モジュールと、を含む、システム。
【請求項１４】
前記平面が三角形であり、前記それぞれの平面に対する前記近似特徴値Ｚが、三角形平面方程式に従って、かつ前記それぞれの平面のそれぞれの頂点に対応する測定されたデータ点に基づいて計算される、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記処理された多次元画像に含まれる前記調整された特徴値Ｖが、所定の平面について、前記所定の平面のそれぞれのデータ点に対する前記測定された特徴値ｚから、前記計算された近似特徴値Ｚの基線の減算によってさらに計算される、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１６】
前記複数のデータ点を測定し、前記多次元画像データを生成するように構成された光学検査デバイスをさらに備える、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１７】
前記表面分割モジュールが、前記画像データによって表される前記表面の寸法および前記画像データから検出される変形に対応する特徴のサイズの関数として、平面の数を特定する表面分割モデルを生成するように前記プロセッサをさらに構成する、請求項１３に記載のシステム。