【手続補正書】
【提出日】令和3年4月12日(2021.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルチャンバ内のターゲットを調整可能に支持するように構成されたターゲット支持体であって、
支持フレーム内に配置された支持プラットフォームと、
支持フレームに挿入されるとき、支持フレームに対する支持プラットフォームの位置および方向の少なくとも一方を調整するように構成され、支持フレームおよび支持プラットフォームに連結されるプラットフォーム調整システムと、
を備える、ターゲット支持体。
【請求項２】
前記プラットフォーム調整システムは、さらに、
１以上のプラットフォーム調整ノブと１以上のねじの第１端の間に配置され、１以上のねじに螺合する１以上の調整ロッドと、
前記１以上のねじのねじ山と螺合するように構成され、ブラケットにより支持フレームに連結された１以上のねじ穴と、
１以上のねじの対応する第２端に接続され、１以上のねじが１以上のねじ穴に対して回転すると、ｘ軸に沿って変位するように構成された１以上の先端部と、
支持プラットフォームの下面に固定され、相対薄肉端部、相対厚肉端部、および相対薄肉端部から相対厚肉端部まで延びる傾斜面を有し、支持フレームに対する支持プラットフォームの位置を変更するように構成された１以上の楔と、
を備える、請求項１に記載のターゲット支持体。
【請求項３】
前記１以上の楔は、前記傾斜面上に設けられ、前記１以上の先端部の一部を受け入れるように構成された溝を含む、請求項２に記載のターゲット支持体。
【請求項４】
前記１以上のねじのねじピッチおよびねじれ角、前記１以上のねじ穴のねじピッチおよびねじれ角、ならびに前記１以上の楔の傾斜面の勾配は、サンプルチャンバに向けられたレーザーパルスの集束ビームの焦点深度に対する支持プラットフォームの１以上の領域の位置を修正するように構成されている、請求項１に記載のターゲット支持体。
【請求項５】
１以上のねじのねじピッチとねじれ角、１以上のねじ穴のねじピッチとねじれ角、および１以上の楔の傾斜面の勾配は、プラットフォーム調整ノブを１回転させる毎に、ｚ軸に沿って１μｍから１ｍｍの範囲で支持プラットフォームの位置を変更するように構成されている、請求項１に記載のターゲット支持体。
【請求項６】
ｘ軸およびｙ軸によって規定される平面に沿った支持プラットフォームの動きを部分的に制限するように構成されたレールおよび溝のシステムをさらに含む、請求項１に記載のターゲット支持体。
【請求項７】
サンプルチャンバ内のターゲットを支持するように構成されたターゲット支持体を調整することを含む方法であって、
前記ターゲット支持体は、
サンプルチャンバに挿入されるように構成された支持フレームと、
前記支持フレーム内に配置された支持プラットフォームと、
前記支持フレームと前記支持プラットフォームに連結されるプラットフォーム調整システムと、
を備え、
前記プラットフォーム調整システムは、前記支持フレームが前記サンプルチャンバに挿入されるとき、前記支持フレームに対する前記支持プラットフォームの位置および方向の少なくとも一方を調整するように構成されている方法。
【請求項８】
前記支持プラットフォームをｘ軸に沿って調整し、前記支持プラットフォームをｙ軸に沿って調整し、前記支持プラットフォームをｚ軸に沿って調整することをさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記プラットフォーム調整システムは、さらに、
１以上のねじに係合するように回転可能である１以上のプラットフォーム調整ノブと、前記１以上のねじの第１端部との間に配置された１以上の調整ロッドと、
前記１以上のねじのねじ山に係合するように構成された１以上のねじ山を形成された穴と、
前記１以上のねじの第２端部に連結され、前記１以上のねじが前記１以上のネジ山を形成された穴に対して回転すると、ｘ軸に沿って変位するように構成される１以上の先端部と、
前記支持プラットフォームの下面に固定される１以上の楔と、
を備え、
前記１以上の楔は、相対的薄肉端部、相対的厚肉端部、および相対的薄肉端部から相対的厚肉端部まで延びる傾斜面を備え、前記支持フレームに対する前記支持プラットフォームの位置を変更するように構成される、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記１以上の楔は、前記傾斜面上に設けられ、前記１以上の先端部の一部を受け入れるように構成された溝を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記１以上のねじのねじピッチおよびねじれ角、前記１以上のねじ穴のねじピッチおよびねじれ角、ならびに前記１以上の楔の傾斜面の勾配は、サンプルチャンバに向けられたレーザーパルスの集束ビームの焦点深度に対する支持プラットフォームの１つ以上の領域の位置を修正するように構成される、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
前記１以上のねじのねじピッチおよびねじれ角、前記１以上のねじ穴のねじピッチおよびねじれ角、ならびに前記１以上の楔の傾斜面の勾配は、プラットフォーム調整ノブを1回転するごとに、ｚ軸に沿って１μｍから１ｍｍの範囲で支持プラットフォームの位置を変更するように構成される、請求項７に記載の方法。
【請求項１３】
前記ターゲット支持体が、ｘ軸およびｙ軸によって規定される平面に沿った支持プラットフォームの動きを部分的に制限するように構成されたレールおよび溝のシステムをさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１４】
ターゲットを収容するように構成されたサンプルチャンバであって、
サンプルチャンバ本体と、
送信窓と、
サンプル補足セルと、
内部に前記ターゲットを調整可能に支持するように構成されたターゲット支持体と、
を備え、
前記ターゲット支持体は、
前記サンプルチャンバに挿入されるように構成された支持フレームと、
前記支持フレームと前記支持プラットフォームに連結され、前記支持フレームが前記サンプルチャンバに挿入されるとき、前記支持フレームに対して前記支持プラットフォームの位置及び方向の少なくとも一方を調整するように構成されているプラットフォーム調整システムと、
を備える、サンプルチャンバ。
【請求項１５】
前記支持プラットフォームの少なくとも位置および方向を調整するように構成された前記プラットフォーム調整システムは、前記支持プラットフォームをｘ軸に沿って調整し、前記支持プラットフォームをｙ軸に沿って調整し、支持プラットフォームをｚ軸に沿って調整する請求項１４に記載のサンプルチャンバ。
【請求項１６】
前記プラットフォーム調整システムは、
１以上のプラットフォーム調整ノブと１以上のねじの第１端との間に配置され、前記１以上のプラットフォーム調整ノブが１以上のねじに螺合するように回転可能である１以上の調整ロッドと、
前記１以上のねじのねじ山に螺合するように構成され、ブラケットによって前記支持フレームに連結された１以上のねじ穴と、
前記１以上のねじの対応する第２端に接続され、１以上のねじが１以上のねじ穴に対して回転すると、ｘ軸に沿って変位するように構成される１以上の先端部と、
支持プラットフォームの下面に固定され、相対薄肉端部、相対厚肉端部、および相対薄肉端部から相対厚肉端部まで延びる傾斜面を備え、前記支持フレームに対する前記支持プラットフォームの位置を変更するように構成された１以上の楔と、
をさらに備える請求項１４に記載のサンプルチャンバ。
【請求項１７】
前記１以上の楔は、前記傾斜面上に設けられ、前記１以上の先端部の一部を受け入れるように構成された溝を含む、請求項１４に記載のサンプルチャンバ。
【請求項１８】
前記１以上のねじのねじピッチおよびねじれ角、１以上のねじ穴のねじピッチおよびねじれ角、ならびに１以上の楔の傾斜面の勾配は、サンプルチャンバに向けられたレーザーパルスの集束ビームの焦点深度に対する支持プラットフォームの１以上の領域の位置を修正するように構成される、請求項１４に記載のサンプルチャンバ。
【請求項１９】
前記１以上のねじのねじピッチおよびねじれ角、前記１以上のねじ穴のねじピッチおよびねじれ角、ならびに前記１以上の楔の傾斜面の勾配は、プラットフォーム調整ノブを1回転するごとに、ｚ軸に沿って１μｍから１ｍｍの範囲で前記支持プラットフォームの位置を変更するように構成される、請求項１４に記載のサンプルチャンバ。
【請求項２０】
前記支持プレットフォームの位置及び方向の少なくとも１つを調整するために構成された前記プラットフォーム調整システムはさらに、ｘ軸に沿って前記支持プラットフォームを調整し、ｙ軸に沿って前記支持プラットフォームを調整し、ｚ軸に沿って前記支持プラットフォームを調整することを含む、請求項１に記載のターゲット支持体。