【手続補正書】
【提出日】平成17年7月15日(2005.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】  ヒートパイプの製造方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】  コンテナの作動液封入部内に作動液注入口を通して作動液を注入した後、コンテナの作動液注入口を圧潰し、この圧潰部において重なりあっている金属平板状部どうしを摩擦攪拌接合法により接合することを特徴とするヒートパイプの製造方法。
【請求項２】  圧潰部の両面のうち少なくとも片面に当て板を配し、当て板と金属平板状部とを、金属平板状部どうしの接合と同時に摩擦攪拌接合法により接合する請求項１記載のヒートパイプの製造方法。
【請求項３】  コンテナが、一端が閉鎖されるとともに他端が開口し、かつ全体が作動液封入部となされた金属管からなり、金属管の他端開口が作動液注入口となっている請求項１または２記載のヒートパイプの製造方法。
【請求項４】  コンテナが、互いに積層状に接合された複数の金属板で形成された金属基板からなり、隣接する２枚の金属板間に所要パターンの中空状作動液封入部が形成され、作動液封入部に連なって先端が金属基板の周縁に開口した中空状作動液注入部が設けられ、作動液注入部の先端開口が作動液注入口となされている請求項１または２記載のヒートパイプの製造方法。
【請求項５】  金属基板が、複数の金属板からなりかつ隣接する２枚の金属板間に所要パターンの非圧着部を有する合せ板で形成されており、非圧着部内への流体圧の導入により、金属板が外方に膨出されて作動液封入部および作動液注入部が形成されている請求項４記載のヒートパイプの製造方法。
【請求項６】  請求項１〜５のうちのいずれかに記載された方法により製造されたヒートパイプ。
【請求項７】  請求項６に記載されたヒートパイプが、電子機部品から発せられる熱を放熱する放熱器として適用されている電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、たとえばパーソナルコンピュータのような電子機器において、電子機器の構成要素であるＣＰＵ、ＭＰＵ等の電子部品から発せられる熱を放熱する放熱器に適用されるヒートパイプの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種ヒートパイプの製造方法として、一端が閉鎖されるとともに他端が開口し、かつ全体が作動液封入部となされた金属管からなり、金属管の他端開口が作動液注入口となっているコンテナを用意し、コンテナの作動液封入部内に作動液注入口を通して作動液を注入した後、コンテナの作動液注入口を圧潰し、この圧潰部をレーザ溶断することにより作動液注入口を封止する方法が知られている。さらに詳しく述べると、両端が開口した金属管の一端開口を縮径するとともにＴＩＧ溶接法によって封止することにより、全体が作動液封入部となされた金属管からなり、かつ作動液注入口を有するコンテナを形成し、作動液注入口からのコンテナの作動液封入部内への作動液の注入後に作動液注入口を圧潰し、この圧潰部をレーザにより溶断して封止するヒートパイプの製造方法が知られている（特開平９−８９４８０号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の方法により製造されたヒートパイプでは、コンテナを形成する金属管の表面に酸化皮膜が存在していたり、あるいは加工油が残存していたりすることに起因して、次のような問題があることが判明した。すなわち、図９に示すように、ヒートパイプ(50)におけるレーザ溶断による封止部(51)では、酸化皮膜や加工油膜が分断されるもののその分断片(52)は比較的大きく、封止部(51)において分断片(52)がコンテナ(53)の内外にまたがって残存することがあり、分断片(52)が残存している部分では完全な溶着が行われないため、ヒートパイプ(50)を長期間にわたって使用した場合に洩れ（スローリーク）が発生するおそれがある。しかも、このようなスローリークの発生を防止するには、予め酸化皮膜等の除去処理を施す必要があり、その作業が面倒である。
【０００４】
この発明の目的は、上記問題を解決し、スローリークの発生を防止しうるヒートパイプの製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
第１の発明によるヒートパイプの製造方法は、コンテナの作動液封入部内に作動液注入口を通して作動液を注入した後、コンテナの作動液注入口を圧潰し、この圧潰部において重なりあっている金属平板状部どうしを摩擦攪拌接合法により接合することを特徴とするものである。
【０００６】
上記において、摩擦攪拌接合とは、次のような方法である。すなわち、コンテナにおける作動液注入口の圧潰部においては、複数の金属平板状部が重なりあっていることになるので、まずコンテナよりも硬質の材料からなりかつ先端がドリルと同様な形状とされたプローブを回転させながら、最も上側の金属平板状部の上面側から先端が最も下側の金属平板状部の下面側に達するまで差込む。ついで、プローブを回転させながらプローブとコンテナとを相対的に移動させる。すると、プローブと金属平板状部との摺接により発生する摩擦熱によってプローブとの接触部近傍において金属平板状部が可塑化させられるとともに攪拌され、さらにプローブの相対的移動に伴って可塑化撹拌部分がプローブの進行圧力を受けてプローブ通過溝を埋めるようにプローブの進行方向後方へと回り込むように塑性流動し、ここで摩擦熱を急速に失って冷却固化される。上記において、金属平板状部が可塑化させられるとともに攪拌されることにより、酸化皮膜や加工油膜が細かく砕かれる。この現象がプローブの移動に伴って順次繰返され、最終的に金属平板状部どうしの境界面が摩擦攪拌接合される。
【０００７】
第１の発明の方法によれば、コンテナの作動液封入部内に作動液注入口を通して作動液を注入した後、コンテナの作動液注入口を圧潰し、この圧潰部において重なりあっている金属板状部どうしを上述したような摩擦攪拌接合法により封止しているので、コンテナを形成する金属材料の表面に存在する酸化皮膜や加工油膜が細かく砕かれる。したがって、コンテナの内外にまたがった酸化皮膜や加工油膜の分断片は存在せず、コンテナの内外にまたがった非溶着部は生じない。その結果スローリークの発生が防止される。しかも、酸化皮膜や加工油膜等の除去作業は不要になる。
【０００８】
第２の発明によるヒートパイプの製造方法は、第１の発明において、圧潰部の両面のうち少なくとも片面に当て板を配し、当て板と金属平板状部とを、金属平板状部どうしの接合と同時に摩擦攪拌接合法により接合するものである。この場合、接合部の板厚が大きくなり、酸化皮膜や加工油膜の分断片の拡散範囲が拡がるので、スローリークの発生防止効果が一層向上する。したがって、スローリークの発生防止効果を向上させるには、圧潰部の両面に当て板を配することが望ましい。
【０００９】
第３の発明によるヒートパイプの製造方法は、第１または第２の発明において、コンテナが、一端が閉鎖されるとともに他端が開口し、かつ全体が作動液封入部となされた金属管からなり、金属管の他端開口が作動液注入口となっているものである。この場合、作動液注入口の圧潰は、金属管の他端部を所定面積にわたって平坦になるように変形させ、２つの金属平板状部を積層状態で密着させることにより行われる。
【００１０】
第４の発明によるヒートパイプの製造方法は、第１または第２の発明において、コンテナが、互いに積層状に接合された複数の金属板で形成された金属基板からなり、隣接する２枚の金属板間に所要パターンの中空状作動液封入部が形成され、作動液封入部に連なって先端が金属基板の周縁に開口した中空状作動液注入部が設けられ、作動液注入部の先端開口が作動液注入口となされているものである。この場合、作動液注入口の圧潰は、作動液封入部を形成している隣接する２枚の金属板を互いに密着させることにより行い、両金属板を摩擦攪拌接合法により接合する。
【００１１】
第５の発明によるヒートパイプの製造方法は、第４の発明において、上記金属基板が、複数の金属板からなりかつ隣接する２枚の金属板間に所要パターンの非圧着部を有する合せ板で形成されており、非圧着部内への流体圧の導入により、金属板が外方に膨出されて作動液封入部が形成されているものである。この場合、非圧着部は、複数の金属板を圧着する前に、所定の面に圧着防止剤を塗布しておくことにより形成される。したがって、非圧着部においては金属板の表面には圧着防止剤も存在していることになる。従来のＴＩＧ溶接やレーザ溶断の場合には、酸化皮膜や加工油膜と同様に、圧着防止剤の比較的大きい分断片が生成し、圧着防止剤の分断片も封止部においてコンテナの内外にまたがって残存することがあるので、スローリークが発生する可能性は一層高くなる。しかしながら、この発明のように摩擦攪拌接合法により金属板どうしを接合すると、圧着防止剤も細かく砕かれ、その結果コンテナの内外にまたがる非溶着部の発生が防止されてスローリークの発生も防止される。
【００１２】
第６の発明によるヒートパイプは、第１〜第５の発明のうちのいずれかの方法により製造されたものである。
【００１３】
第７の発明による電子機器は、第６の発明のヒートパイプが、電子機部品から発せられる熱を放熱する放熱器として適用されているものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００１５】
以下の説明において、「アルミニウム」という語には、純アルミニウムの他にアルミニウム合金を含むものとする。また、以下の説明において、図１および図６の左右を左右といい、図１および図６の下側を前、これと反対側を後というものとする。
【００１６】
図１〜図４はこの発明の方法の第１の実施形態を示す。
【００１７】
まず、図１に示すような平板状コンテナ(1)をつくる。このコンテナ(1)は上下２枚のアルミニウム板(2)(3)よりなり、かつ中空状作動液封入部(4)および中空状作動液注入部(5)を有するアルミニウム合せ板(6)（金属基板）からなる。作動液封入部(4)は、左右方向に伸びる複数の並列状直線部(4a)と、直線部(4a)の左右両端部どうしを連通させる前後方向に伸びた直線状連通部(4b)とよりなる。なお、作動液封入部(4)のパターンは上述したものに限られない。作動液注入部(5)は、右側の連通部(4b)の長さの中央部から右方に伸びかつその先端が合せ板(6)の右側縁に開口しており、その先端開口が作動液注入口(7)となっている。コンテナ(1)は、作動液封入部(4)を複雑なパターンにすることができる。作動液の洩れが生じない、量産性に優れている、寸法形状の自由度が大きい等の理由によって、上下２枚のアルミニウム板(2)(3)を用意し、これら２枚のアルミニウム板(2)(3)の合せ面のうちの少なくともいずれか一方の面に圧着防止剤を所要パターンに印刷し、この状態で両アルミニウム板(2)(3)を圧着して所要パターンの非圧着部を有するアルミニウム合せ板(6)をつくり、合せ板(6)の非圧着部に流体圧を導入することによって非圧着部において少なくともいずれか一方のアルミニウム板、この実施形態の場合は上側アルミニウム板(2)を外方に膨出させて作動液封入部(4)および作動液注入部(5)を一挙に形成する、いわゆるロールボンド法により製造される。しかしながら、コンテナ(1)の製造方法はこれに限られるものではない。
【００１８】
コンテナ(1)をつくった後、作動液注入口(7)から作動液注入部(5)を通して作動液封入部(4)内に、ＰＦＣ、ＨＦＣ１３４ａ、ＣＦＣ１１３、ＨＣＦＣ１２３等からなる作動液を所定量注入する。ついで、コンテナ(1)の作動液注入口(7)を圧潰して上側アルミニウム板(2)を平坦にし、下側アルミニウム板(3)に密着させる。
【００１９】
その後、圧潰部(8)において上下のアルミニウム板(2)(3)（平板状部）どうしを、図２に示すようにして摩擦攪拌接合法により接合する。まず、円柱状回転子(11)と、回転子(11)の端部軸線上に突出して設けられかつドリルの先端部と同様な形状のピン状プローブ(12)とを有する摩擦攪拌接合装置(10)を用意する。プローブ(12)は上下のアルミニウム板(2)(3)よりも硬質の材料から形成されている。ついで、接合装置(10)の回転子(11)およびプローブ(12)を回転させながら、圧潰部(8)よりも前側の部分に上方からプローブ(12)を差込む。このとき、プローブ(12)の先端が下側アルミニウム板(3)の下面まで達するようにしておく。ついで、回転子(11)およびプローブ(12)を回転させながら、接合装置(10)を後方（図２矢印Ａ参照）に移動させる。すると、プローブ(12)と上下アルミニウム板(2)(3)との摺接により発生する摩擦熱によって、プローブ(12)との接触部近傍において上下アルミニウム板(2)(3)が可塑化されるとともにプローブ(12)により攪拌され、さらにプローブ(12)の移動に伴って可塑化撹拌部分がプローブ(12)の進行圧力を受けてプローブ(12)の通過溝を埋めるようにプローブ(12)の進行方向後方へ回り込むように塑性流動し、ここで摩擦熱を急速に失って冷却固化される。上下アルミニウム板(2)(3)が可塑化させられるとともに攪拌されることにより、アルミニウム板(2)(3)の表面に存在する酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤が細かく砕かれる。この現象がプローブ(12)の移動に伴って順次繰返され、プローブ(12)が圧潰部(8)を通過し終わると、圧潰部(8)において上下のアルミニウム板(2)(3)間の界面が摩擦攪拌接合される。このとき、回転子(11)の下面により上側アルミニウム板(2)の上面を押圧し、接合時の材料の飛散を防止するとともに、接合部上面を平滑にする。その後、プローブ(12)を上方に抜くことにより、作動液封入部(4)内に作動液が封入されたヒートパイプ(15)が製造される（図３参照）。なお、摩擦攪拌接合部を(16)で示す。摩擦攪拌接合部(16)においては、図４に詳細に示すように、酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤等の細かく砕かれた分断片(17)は存在するものの、コンテナ(1)の内外にまたがった酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤の分断片は存在せず、コンテナ(1)の内外にまたがった非溶着部は生じない。したがって、スローリークの発生が防止される。しかも、酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤等の除去作業は不要になる。
【００２０】
図５はこの発明の方法の第２の実施形態を示す。
【００２１】
この場合、コンテナ(1)をつくった後、作動液注入口(7)から作動液注入部(5)を通して作動液封入部(4)内に作動液を所定量注入し、ついでコンテナ(1)の作動液注入口(7)を圧潰して上側アルミニウム板(2)を平坦にし、下側アルミニウム板(3)に密着させるまでの工程は、上述した第１の実施形態の場合と同じである。
【００２２】
その後、圧潰部(8)での上下アルミニウム板(2)(3)どうしの摩擦攪拌接合を次のようにして行う。すなわち、圧潰部(8)において、上側アルミニウム板(2)の上面および下側アルミニウム板(3)の下面に、それぞれプローブ(12)を形成する材料よりも軟質の材料からなるアルミニウム製当て板(20)を沿わせる。当て板(20)は前後方向に長い長方形状で、その長さは圧潰部(8)の前後方向の幅よりも長くなっており、その前後両端部が圧潰部(8)の前後両側縁よりも前後方向外側に位置するように配する。ついで、接合装置(10)の回転子(11)およびプローブ(12)を回転させながら、上側当て板(20)の前端部の幅方向の中央部に上方からプローブ(12)を差込む。このとき、プローブ(12)の先端が下側当て板(20)の下面まで達するようにしておく。ついで、回転子(11)およびプローブ(12)を回転させながら、接合装置(10)をコンテナ(1)に対して後方（図５矢印Ｂ参照）に移動させる。すると、プローブ(12)と上下当て板(20)および上下アルミニウム板(2)(3)との摺接により発生する摩擦熱によって、プローブ(12)との接触部近傍において上下当て板(20)および上下アルミニウム板(2)(3)が可塑化されるとともにプローブ(12)により攪拌され、さらにプローブ(12)の移動に伴って可塑化撹拌部分がプローブ(12)の進行圧力を受けてプローブ(12)の通過溝を埋めるようにプローブ(12)の進行方向後方へ回り込むように塑性流動し、ここで摩擦熱を急速に失って冷却固化される。上下当て板(20)および上下アルミニウム板(2)(3)が可塑化させられるとともに攪拌されることにより、アルミニウム板(2)(3)の表面に存在する酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤が細かく砕かれる。この現象がプローブ(12)の移動に伴って順次繰返され、プローブ(12)が当て板(20)の後端部に達すると、上側当て板(20)と上側アルミニウム板(2)との間の界面、上下アルミニウム板(2)(3)間の界面、下側アルミニウム板(3)と下側当て板(20)との間の界面がそれぞれ摩擦攪拌接合される。このとき、回転子(11)の下面により上側当て板(20)の上面を押圧し、接合時の材料の飛散を防止するとともに、接合部上面を平滑にする。その後、プローブ(12)を上方に抜くことにより、ヒートパイプ(15)が製造される。
【００２３】
この実施形態の場合、摩擦攪拌接合部の板厚が大きくなるので、酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤等の細かく砕かれた分断片の拡散範囲が拡がり、その結果摩擦攪拌接合部には上記分断片が存在するものの、コンテナ(1)の内外にまたがった酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤の分断片は存在せず、コンテナ(1)の内外にまたがった非溶着部は生じない。したがって、スローリークの発生が防止される。しかも、酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤等の除去作業は不要になる。なお、この実施形態においては、圧潰部(8)の両面に当て板(20)を沿わせているが、圧潰部(8)の片面だけに当て板(20)を沿わせておいてもよい。
【００２４】
図６および図７はこの発明の方法の第３の実施形態を示す。
【００２５】
まず、図６に示すような管状コンテナ(25)をつくる。このコンテナ(25)は、左端が閉鎖されたアルミニウム管(26)からなり、かつ全体が中空状作動液封入部(27)となされ、コンテナ(25)の右端開口が作動液注入口(28)となされている。コンテナ(25)は、両端が開口したアルミニウム管の左端開口を上下から圧潰し、この圧潰部(29)において重なりあった２つの平板状部どうしを、上記第２の実施形態と同様にして摩擦攪拌接合することにより製造される。すなわち、圧潰部(29)の上下両面に、それぞれ摩擦攪拌接合装置(10)のプローブ(12)を形成する材料よりも軟質の材料からなるアルミニウム製当て板(30)を沿わせる。当て板(30)は前後方向に長い長方形状で、その長さは圧潰部(29)の前後方向の長さよりも長くなっており、その前後両端部が圧潰部(29)の前後両端よりも前後方向外側に位置するように配する。ついで、接合装置(10)の回転子(11)およびプローブ(12)を回転させながら、上側当て板(30)の一端部の幅方向の中央部に上方からプローブ(12)を差込む。このとき、プローブ(12)が圧潰部(29)の前後両端部を貫通し、かつその先端が下側当て板(30)の下面まで達するようにしておく。ついで、回転子(11)およびプローブ(12)を回転させながら、接合装置(10)をコンテナ(25)に対して当て板(30)の他端部まで移動させることにより、上記第２の実施形態の場合と同様にして上側当て板(30)と圧潰部(29)の上側の平板状部との間の界面、圧潰部(29)の上下の平板状部どうしの間の界面、圧潰部(29)の下側の平板状部と下側当て板(30)との間の界面をそれぞれ摩擦攪拌接合する。その後、プローブ(12)を上方に抜くことにより、コンテナ(25)がつくられる。摩擦攪拌接合部を(31)で示す。しかしながら、コンテナ(25)の製造方法はこれに限られるものではない。
【００２６】
コンテナ(25)をつくった後、作動液注入口(28)から作動液封入部(27)内に、ＰＦＣ、ＨＦＣ１３４ａ、ＣＦＣ１１３、ＨＣＦＣ１２３等からなる作動液を所定量注入する。ついで、コンテナ(25)の作動液注入口(28)を上下から圧潰し、この圧潰部(32)において重なりあった２つの平板状部どうしを、上述した左端側と同同様にして摩擦攪拌接合する。こうして、図７に示すように、作動液封入部(27)内に作動液が封入されたヒートパイプ(35)が製造される。
【００２７】
この実施形態の場合も、摩擦攪拌接合部においては、酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤等の細かく砕かれた分断片は存在するものの、コンテナ(25)の内外にまたがった酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤の分断片は存在せず、コンテナ(25)の内外にまたがった非溶着部は生じない。したがって、スローリークの発生が防止される。しかも、酸化皮膜や加工油膜や圧着防止剤等の除去作業は不要になる。
【００２８】
次に、この発明の方法により製造されるヒートパイプの性能を評価するために行った具体的実験例を、図８を参照して比較実験例とともに示す。
【００２９】
実験例１
上記第１の実施形態の方法において、コンテナ(1)をつくるさいに、作動液封入部(4)および作動液注入部(5)に加えて、作動液注入部(5)が設けられているのとは反対側の連通部(4b)の長さの中央部から合せ板(6)の左側縁に伸びて先端が合せ板(6)の左側縁に開口した空気導入部(40)を形成しておいた。空気導入部(40)も作動液封入部(4)および作動液注入部(5)と同様に、合せ板(6)の非圧着部において上側アルミニウム板(2)を上方に膨出させることにより形成した。その後、作動液封入部(4)内に作動液を注入することなく、上記第１の実施形態の方法と同様にして、摩擦攪拌接合法によりコンテナ(1)の作動液注入口(7)を封止した。
【００３０】
そして、空気導入部(40)の先端開口に空気導入管(41)の先端を差込み、コンテナ(1)を空気導入部(40)が上方にくるように水槽(42)内の水(43)中に浸漬し、空気導入管(41)から空気導入部(40)を通して、コンテナ(1)の作動液封入部(4)内に内部圧力が３ｋｇ／ｃｍ２  になるように空気を送り込み、摩擦攪拌接合部(16)から気泡が発生するか否かを観察した。このような、洩れ試験を１００個のコンテナ(1)について行ったところ、気泡が発生したコンテナ(1)は５個であった。
【００３１】
実験例２
コンテナ(1)をつくるさいに、上記実験例１と同様に、作動液封入部(4)および作動液注入部(5)に加えて空気導入部(40)を形成しておき、作動液封入部(4)内に作動液を注入することなく、上記第２の実施形態の方法と同様にして、摩擦攪拌接合法によりコンテナ(1)の作動液注入口(7)を封止した。
【００３２】
そして、実験例１と同様にして、洩れ試験を１００個のコンテナについて行ったところ、気泡が発生したコンテナは２個であった。
【００３３】
比較実験例１
作動液注入口を圧潰した後、圧潰部において上下のアルミニウム板どうしを交流ＴＩＧ溶接法により接合することによって、作動液注入口を封止した他は、上記実験例１と同様にしてコンテナをつくった。
【００３４】
そして、実験例１と同様にして、洩れ試験を１００個のコンテナについて行ったところ、気泡が発生したコンテナは３０個であった。
【００３５】
比較実験例２
作動液注入口を圧潰した後、圧潰部において上下のアルミニウム板どうしをレーザ溶接法により接合することによって、作動液注入口を封止した他は、上記実験例１と同様にしてコンテナをつくった。
【００３６】
そして、実験例１と同様にして、洩れ試験を１００個のコンテナについて行ったところ、気泡が発生したコンテナは３５個であった。
【図面の簡単な説明】
【図１】
この発明の方法の第１の実施形態におけるコンテナをつくった段階を示す斜視図である。
【図２】
同じく第１の実施形態におけるコンテナの作動液注入口を摩擦攪拌接合法により封止する段階を示す一部を切り欠いた部分拡大斜視図である。
【図３】
同じく第１の実施形態におけるコンテナの作動液注入口を封止した後の段階、すなわち製造されたヒートパイプを示す斜視図である。
【図４】
図３のIV−IV線拡大断面図である。
【図５】
この発明の第２の実施形態におけるコンテナの作動液注入口を摩擦攪拌接合法により封止する段階を示す一部を切り欠いた部分拡大斜視図である。
【図６】
この発明の第３の実施形態におけるコンテナをつくった段階を示す斜視図である。
【図７】
同じく第３の実施形態におけるコンテナの作動液注入口を封止した後の段階、すなわち製造されたヒートパイプを示す斜視図である。
【図８】
この発明の方法により製造されるヒートパイプの性能を評価するために行った洩れ試験方法を示す垂直断面図である。
【図９】
従来の方法により製造されたヒートパイプの作動液注入口の封止部を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
(1)(25)：コンテナ
(2)：上側アルミニウム板
(3)：下側アルミニウム板
(4)(27)：作動液封入部
(6)：アルミニウム合せ板（金属基板）
(7)(28)：作動液注入口
(8)(29)：圧潰部
(15)(35)：ヒートパイプ