【手続補正書】
【提出日】平成17年1月7日(2005.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】  基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、基板洗浄用ロールブラシ及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】  長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシの梱包方法であって、
清浄雰囲気中で前記ブラシ体表面をフィルムで密封して覆ったことを特徴とする基板洗浄用ロールブラシの梱包方法。
【請求項２】  長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシの梱包方法であって、
清浄雰囲気中で前記ブラシ体表面をフィルムで密封して覆い、その後、該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを梱包材で梱包することを特徴とする基板洗浄用ロールブラシの梱包方法。
【請求項３】  長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシであって、
前記ブラシ体表面を密封してフィルムで覆ったことを特徴とする基板洗浄用ロールブラシ。
【請求項４】  長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシであって、
前記ブラシ体表面を密封してフィルムで覆うと共に、該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを梱包材で覆ったことを特徴とする基板洗浄用ロールブラシ。
【請求項５】  請求項３又は４に記載の基板洗浄用ロールブラシであって、
前記ブラシ体表面を覆ったフィルムには引き剥がし用つまみと、切取り線が設けられており、該引き剥がし用つまみを引くことにより、該フィルムは該切取り線に沿って引き裂かれて前記ブラシ体から取り外されるようになっていることを特徴とする基板洗浄用ロールブラシ。
【請求項６】  請求項４又は５に記載の基板洗浄用ロールブラシにおいて、
前記梱包材の内部には前記ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が形成され、該凹部に該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを収納していることを特徴とする基板洗浄用ロールブラシ。
【請求項７】  請求項４乃至６のいずれかに１項に記載の基板洗浄用ロールブラシの洗浄装置への取り付け方法であって、
前記梱包材を取外した後、前記ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを前記洗浄装置のブラシ取り付け位置に装着し、その後該フィルムを前記ブラシ体から取り外すことを特徴とする基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウエハ等の基板を洗浄する洗浄装置に用いる基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、基板洗浄用ロールブラシ及び基板洗浄用ロールブラシを洗浄装置に取り付ける基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板洗浄用ロールブラシは、ブラシ体の汚染を極度に嫌うため、メーカーで製造した基板洗浄用ロールブラシの梱包には汚染されないように細心の注意が払われている。例えば、図３に示すように、複数本の基板洗浄用ロールブラシ３０が載置される載架台３１を準備し、載架台３１の両側板３２、３３の上端の凹部３２ａ、３３ａに基板洗浄用ロールブラシ３０の両端の取付部３０ａ、３０ｂを装着して、複数本の基板洗浄用ロールブラシ３０を載置し、その後この複数本の基板洗浄用ロールブラシ３０を載架台３１ごと真空容器等（図示せず）に収納して梱包している。
【０００３】
そして上記真空容器等に収納して梱包した基板洗浄用ロールブラシ３０を基板洗浄装置が設置してある現場まで輸送し、該現場で真空容器から、載架台３１ごと基板洗浄用ロールブラシ３０を取り出し、その後、図４（ａ）に示すように、基板洗浄装置２０のブラシ取付部２１に基板洗浄用ロールブラシ３０の両端の取付部３０ａ、３０ｂを装着して取り付けている。取り付け後、図４（ｂ）に示すように基板洗浄用ロールブラシ３０が軽く回るのを手２２で確認している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記梱包方法では、洗浄装置２０が配置されている現場で梱包を解梱し、基板洗浄用ロールブラシ３０のスポンジ状の多孔質体からなるブラシ体を手２２で掴んで取り付けるため、ブラシ体３４が汚染される恐れがあり、半導体ウエハ等の基板の汚染の原因となるという欠点があった。
【０００５】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着するに際し、解梱から装着まで基板洗浄用ロールブラシのブラシ体に手で触ることなく、基板洗浄装置に装着できる基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項１に記載の発明は、長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシの梱包方法であって、清浄雰囲気中でブラシ体表面をフィルムで密封して覆ったことを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシの梱包方法であって、清浄雰囲気中で前記ブラシ体表面をフィルムで密封して覆い、その後、該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを梱包材で梱包することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明は、長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシであって、ブラシ体表面を密封してフィルムで覆ったことを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４に記載の発明は、長尺の芯体に長手方向外周に筒状に形成されたブラシ体を有する基板洗浄用ロールブラシであって、ブラシ体表面を密封してフィルムで覆うと共に、該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを梱包材で覆ったことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項５に記載の発明は、請求項３又は４に記載の基板洗浄用ロールブラシであって、ブラシ体表面を覆ったフィルムには引き剥がし用つまみと、切取り線が設けられており、該引き剥がし用つまみを引くことにより、該フィルムは該切取り線に沿って引き裂かれて前記ブラシ体から取り外されるようになっていることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の基板洗浄用ロールブラシにおいて、梱包材の内部にはブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が形成され、該凹部に該ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを収納していることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項７に記載の発明は、請求項４乃至６のいずれかに１項に記載の基板洗浄用ロールブラシの洗浄装置への取り付け方法であって、梱包材を取外した後、ブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシを洗浄装置のブラシ取り付け位置に装着し、その後該フィルムを前記ブラシ体から取り外すことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図１（ａ）は基板洗浄用ロールブラシの外観を示す図で、図１（ｂ）は基板洗浄用ロールブラシをフィルムで覆った状態を示す外観図である。基板洗浄用ロールブラシ１０は長尺の芯体１１を具備し、該芯体１１の外周に長手方向に筒状のスポンジ状の多孔質体からなるブラシ体１２が形成された構成である。そして芯体１１の両端には洗浄装置への取付部１４が設けられている。
【００１４】
上記構成の基板洗浄用ロールブラシ１０のブラシ体１２の表面はフィルム１３で密封して覆われている。即ち、芯体１１の両端に設けられた洗浄装置への取付部１４を残して、全面をフィルム１３で密封している。該フィルム１３には、電荷を帯びにくい材質の樹脂フィルムを用いる。また、フィルム１３の端部には該フィルム１３を引き剥がすための引き剥がし用つまみ１３−１と、該引き剥がし用つまみ１３−１を引くことにより該フィルム１３が破れるように切取り線（ミシン目）１３−２が設けられている。また、上記フィルム１３によるブラシ体１２の密封はブラシ体１２とフィルム１３の間にパーティクル等の異物が入りこまないように、クリーンルーム内等の清浄雰囲気中で行う。
【００１５】
上記のように、ブラシ体１２の表面をフィルム１３で密封して覆っている基板洗浄用ロールブラシ１０を図２に示すように、梱包材１５に収納する。該梱包材１５は上下に区分され、内部に基板洗浄用ロールブラシ１０と略同形状の凹部が形成されており、該凹部に前記ブラシ体１２の表面をフィルム１３で覆った基板洗浄用ロールブラシ１０を収納する。これにより、基板洗浄用ロールブラシ１０は梱包材１５の中に安定して収まる。
【００１６】
上記のように、フィルム１３によるブラシ体１２の密封を清浄雰囲気中で行うことにより、ブラシ体１２はパーティクル等の汚染物で汚染されることがなく、更に基板洗浄用ロールブラシ１０を上記のような構成の梱包材１５に収納して梱包するので、基板洗浄用ロールブラシ１０は安定し輸送中にフィルム１３が破損して汚染されるという心配は殆どなくなる。
【００１７】
基板洗浄用ロールブラシ１０を図４の洗浄装置２０に装着する場合は、洗浄装置２０で梱包材１５を解梱し、ブラシ体１２の表面をフィルム１３で覆っている基板洗浄用ロールブラシ１０を手２２で掴み、基板洗浄用ロールブラシ１０の両端の取付部１４を洗浄装置２０のブラシ取付部２１に装着して取り付け、図４（ｂ）に示すように基板洗浄用ロールブラシ１０が軽く回転するのを手２２で確認する。
【００１８】
上記基板洗浄用ロールブラシ１０が軽く回転するのを確認したら、フィルム１３の引き剥がし用つまみ１３−１を引くと、該フィルム１３は切取り線１３−２に沿って引き裂かれる。従って、フィルム１３を容易に取り外すことができる。
【００１９】
なお、上記実施形態例では、フィルム１３の端部に引き剥がし用つまみ１３−１と、フィルム１３に切取り線を設けているが、フィルム１３が容易に剥がせるようになっている場合は、引き剥がし用つまみ１３−１及び切取り線は必要ではない。
【００２０】
また、上記実施形態例では基板洗浄用ロールブラシ１０のブラシ体１２をスポンジ状の多孔質体で構成したが、ブラシ体１２の材料はこれに限定されるものではなく、基板洗浄に適した材質の材料であれば良い。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に記載の発明によれば、清浄雰囲気中でブラシ体表面をフィルムで密封して覆ったので、ブラシ体表面が汚染されるない。また、ブラシ体表面をフィルムで覆った状態で、基板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着し、その後フィルムを除去できるから、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着するのに、ブラシ体表面が手で触られることなく、ブラシ体表面が汚染することがない。
【００２２】
請求項２に記載の発明によれば、清浄雰囲気中でブラシ体表面をフィルムで密封して覆い、その上を梱包材で梱包するので、梱包材を取外し、ブラシ体表面をフィルムで覆った状態で、基板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着し、その後フィルムを除去できるから、梱包材を取外し、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着するのに、ブラシ体表面が手で触られることなく、ブラシ体表面が汚染することがない。
【００２３】
また、請求項３に記載の発明によれば、ブラシ体表面を密封してフィルムで覆ったので、ブラシ体表面が汚染されるない。また、ブラシ体表面をフィルムで覆った状態で、基板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着し、その後フィルムを除去できるから、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着するのに、ブラシ体表面が手で触られることなく、ブラシ体表面が汚染することがない。
【００２４】
また、請求項４に記載の発明によれば、ブラシ体表面をフィルムで密封して覆い、その上を梱包材で梱包するので、梱包材を取外し、ブラシ体表面をフィルムで覆った状態で、基板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着し、その後フィルムを除去できるから、梱包材を取外し、基板洗浄用ロールブラシを基板洗浄装置に装着するのに、ブラシ体表面が手で触られることなく、ブラシ体表面が汚染することがない。
【００２５】
請求項５に記載の発明によれば、ブラシ体表面を密封するフィルムには引き剥がし用つまみと切取り線が設けられているので、基板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着してから後のフィルムの除去が容易となる。
【００２６】
また、請求項６に記載の発明によれば、梱包材の内部にはブラシ体表面をフィルムで覆った基板洗浄用ロールブラシが収納される略同形状の凹部が形成されているので、基板洗浄用ロールブラシは安定し輸送中にフィルムが破損してブラシ体が汚染するという心配がない。
【００２７】
また、請求項７に記載の発明の基板洗浄用ロールブラシの洗浄装置への取り付け方法を実施すれば基板洗浄用ロールブラシのブラシ体が汚染されることはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の基板洗浄用ロールブラシの梱包方法を説明するための図で、図１（ａ）は基板洗浄用ロールブラシの外観を示す図で、図１（ｂ）は基板洗浄用ロールブラシをフィルムで覆った状態を示す外観図である。
【図２】
本発明の基板洗浄用ロールブラシの梱包状態を示す外観図である。
【図３】
従来の基板洗浄用ロールブラシの梱包状態を示す図である。
【図４】
図４（ａ）、（ｂ）は基板洗浄装置に基板洗浄用ロールブラシを装着する状態を示す図である。
【符号の説明】
１０          基板洗浄用ロールブラシ
１１          芯体
１２          ブラシ体
１３          フィルム
１４          取付部
１５          梱包材