(57)【要約】【課題】簡易な構成で、出力が大きく、安定なサーボパターンを形成すること。【解決手段】サーボパターンを第１パターン群と第２パターン群に分け、サーボ情報エリアでは磁気ヘッドの進行方向に対して第１パターンと第２パターンとを交互に配置し、サーボ情報エリア以外の場所において前記第１パターンのみを配置した所定領域を設け、全ての第１パターンが所定領域に配置された部分とサーボ情報エリアに配置された部分とを有するように構成する。かかるサーボパーンに対し、一旦全体を同一方向に磁化した後、所定領域を選択的に磁化することで、第１パターン群と第２パターン群との磁化方向を反転させる。【選択図】        図１
2010146687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドの位置決めに用いるサーボパターンを垂直磁気記録面上に形成した磁気記録媒体であって、
前記サーボパターンは、互いに異なる方向に磁化された第１パターン群と第２パターン群とを有し、
前記サーボパターンのうち、前記磁気ヘッドに位置決め用の情報を提供するサーボ情報エリアにおいて、前記磁気ヘッドの進行方向に対して第１パターンと第２パターンとを交互に配置し、
前記サーボパターンのうち、前記サーボ情報エリア以外の場所において前記第１パターンのみを配置した１または複数の所定領域を有し、
全ての第１パターンが前記所定領域に配置された部分と前記サーボ情報エリアに配置された部分とを有することを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記所定領域に、複数の第１パターンを磁気的に連結する連結部を有することを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記第１パターンと第２パターンとは同一方向に磁化された後、前記所定領域に対する選択的な磁化によって逆方向に着磁した上で、交互に向きの異なる磁界を印加したものであることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
磁気転写モールドを用いて前記選択的な磁化を行なったことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記向きの異なる磁界を交互に印加する際に、印加する磁界の強さは、前記サーボパターンの保磁力と飽和磁束密度との差の値とほぼ同一であることを特徴とする請求項３または４に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
磁気情報の読み書きを行なう磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドの位置決めに用いるサーボパターンを垂直磁気記録面上に形成した磁気記録媒体とを有し、
前記サーボパターンは、互いに異なる方向に磁化された第１パターン群と第２パターン群とを有し、
前記サーボパターンのうち、前記磁気ヘッドに位置決め用の情報を提供するサーボ情報エリアにおいて、前記磁気ヘッドの進行方向に対して第１パターンと第２パターンとを交互に配置し、
前記サーボパターンのうち、前記サーボ情報エリア以外の場所において前記第１パターンのみを配置した１または複数の所定領域を有し、
全ての第１パターンが前記所定領域に配置された部分と前記サーボ情報エリアに配置された部分とを有することを特徴とする磁気記録装置。
【請求項７】
磁気ヘッドの位置決めに用いるサーボパターンを垂直磁気記録面上に形成した磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁気ヘッドの進行方向に対して交互に配置された第１パターンと第２パターンについて、第１パターン群と第２パターン群の双方を同一方向に磁化する同方向磁化ステップと、
前記第１パターンを含み、前記第２パターンを含まない所定領域に対し、選択的に、かつ前記同方向磁化ステップの磁化方向とは反対方向の磁化を行なう選択磁化ステップと、
前記第１パターン群と前記第２パターン群の双方に対し、向きの異なる磁界を交互に印加する異方向磁化ステップと、
を含んだことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドの位置決めに用いるサーボパターンを垂直磁気記録面上に形成した磁気記録媒体、磁気記憶装置および磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクなどの磁気記憶装置は大容量化しており、磁気記録媒体の記録密度向上が求められてきた。かかる高密度化の要望に応えるため、記録面に対して垂直方向に磁化を行なう垂直磁気記録方式が用いられている。
【０００３】
そして近年では、さらなる記録密度の改善を実現するため、ＤＴＭ（Discreet Track Media）やＢＰＭ（Bit Patterned Media）に関する研究開発が盛んに行われている。
【０００４】
ＤＴＭは記録トラックの間に物理的な溝や磁気特性のことなるラインを設けることで、隣接トラックの情報を消してしまうＡＴＩ（Adjacent Track Interference）耐性を大幅に改善することが出来る。また、ＢＰＭは、ダウントラック方向にも構造を設けた３次元的な磁気ビットを形成することにより、前記ＡＴＩ耐性に加えて、ダウントラック方向の記録再生特性を飛躍的に向上することができるために、次世代情報記録媒体として注目されている。
【０００５】
ＤＴＭやＢＰＭのように情報記録用の構造を予め形成する場合、磁気ヘッドの位置制御のためのサーボパターンも予め形成することとなる。
【０００６】
ここで、垂直磁気記録方式においては、隣接磁化領域（隣接ビット）からの静磁界が反磁界として作用し、磁化を反転させる方向に働く。ユーザデータを書き込む領域については、磁化方向が比較的ばらつくので、磁化反転が発生する可能性は比較的低いが、サーボパターンではユーザデータに比して同一の磁化方向が連続することが多く、磁化反転が発生する可能性が高くなるので、書き込んだ情報は不安定となる。
【０００７】
加えて、ＤＴＭやＢＰＭでは、データ部の情報はＮ極とＳ極の出力の差分で検出されるが、サーボパターンで全体を一括して磁化し、所定の磁化方向の有無を検出することとすると、Ｎ極とＳ極の双方が存在するデータ部に比して出力が半分になり、サーボ情報の検出精度が低下してしまう。
【０００８】
そこで従来、サーボパターンの下に磁性層を新たに設けることで、記録媒体の深さ方向に対して磁化の方向を変化させ、サーボ部の信号出力の確保と磁化状態の安定性を確保する手段が提案されていた。
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−９５１１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、磁性層を新たに加えることとすると、磁性層の間で磁化の方向を変えるように保磁力や飽和磁化等の特性を精密に調整する必要がある。また、実際にユーザーが情報を記録するユーザデータエリアとサーボパターンとで積層構造を変えることはプロセス上非常に難しい。また、ユーザデータエリアの構造をサーボパターンに合わせると、ユーザーが情報を記録するエリアの特性が制限を受けてしまうといった問題がある。
【００１１】
そのため、積層構造に変更を加えることなく、出力が大きく、安定なサーボパターンを形成することが重要な課題となっていた。
【００１２】
本磁気記録媒体、磁気記憶装置および磁気記録媒体の製造方法は、上述した従来技術の問題点を解消し、課題を解決するためになされたものであり、簡易な構成で、出力が大きく、安定なサーボパターンを形成した磁気記録媒体、磁気記憶装置および磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、開示の媒体、装置および方法では、サーボパターンを第１パターン群と第２パターン群に分け、サーボ情報エリアでは磁気ヘッドの進行方向に対して第１パターンと第２パターンとを交互に配置し、サーボ情報エリア以外の場所において第１パターンのみを配置した所定領域を設け、全ての第１パターンが所定領域に配置された部分とサーボ情報エリアに配置された部分とを有するように構成する。かかるサーボパーンに対し、一旦全体を同一方向に磁化した後、所定領域を選択的に磁化することで、第１パターン群と第２パターン群との磁化方向を反転させる。
【発明の効果】
【００１４】
開示の媒体、装置および方法によれば、簡易な構成で、磁化方向が交互に変化することで、大出力かつ安定なサーボパターンを形成した磁気記録媒体、磁気記憶装置および磁気記録媒体の製造方法を得ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本実施例にかかる磁気記録媒体、磁気記憶装置および磁気記録媒体の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。
【実施例】
【００１６】
図１は、本実施例にかかるサーボパターン形成の概要について説明する説明図である。図１に示したサーボパターンは、第１パターンであるパターンＰ１と、第２パターンであるパターンＰ２を有する。このパターンＰ１，Ｐ２は、磁気ヘッドがダウントラック方向に移動すると、パターンＰ１上とパターンＰ２上とを交互に通過するように配置する。パターンＰ１のみが存在し、パターンＰ２が存在しない領域を選択着磁領域として有する。この選択着時領域は、サーボパターンのうち、磁気ヘッドに位置決め用の情報を提供するサーボ情報エリア以外の場所、すなわちガードバンドに設ける。
【００１７】
かかる配置のサーボパターン全体を同一方向に磁化した上で、選択着磁領域のみ逆方向に着磁すると、パターンＰ１のうち、選択着時領域に属する部分のみ逆方向に磁化される。
【００１８】
その後、サーボパターン全体に対し、向きの異なる磁界を交互に複数回印加すると、パターンＰ２の磁化状態を維持したまま、パターンＰ１全体が逆方向に磁化される。
【００１９】
この結果、ダウントラック方向に対して磁化方向の異なるパターンＰ１，Ｐ２を交互に配置することができる。
【００２０】
図２は、本実施例にかかるサーボパターンを利用するハードディスク装置の概要構成を説明する概要構成図である。図２に示したように、ハードディスク装置１は、ベース１０内部に、磁気情報を記録する記録媒体１１、記録媒体１１を回転させるスピンドルモータ１７、磁気記録媒体１１に対して磁気情報の読み書きを行なう磁気ヘッド１２、磁気ヘッド１２を保持するサスペンション１４、サスペンション１４を揺動させて磁気ヘッド１２の位置制御を行なうボイスコイルモータ１６、磁気記憶装置１全体を制御する制御回路１５を有する。
【００２１】
磁気記録媒体１１の記録面には、図３に示したように、ユーザデータを格納する情報記録領域トラック１１ｂをほぼ同心円状に形成し、また情報記録領域トラック１１ｂに対してセクター状にヘッド位置制御用のサーボパターン１１ａを形成する。磁気ヘッド１２は、このサーボパターン１１ａの情報に基づいて位置制御されることで、磁気記録媒体１１上の所望の位置への情報の記録再生を行なうことができる。
【００２２】
また、磁気記録媒体１１は、ＤＴＭあるいはＢＰＭである。図４は、ＤＴＭにおける情報記録領域トラック１１ｂの形状を説明する説明図である。図４に示した構成では、トラック間に物理的に溝を設けることで、トラック同士を磁気的に分離している。図５は、ＢＰＭにおける情報記録領域トラック１１ｂの形状を説明する説明図である。図５に示した構成では、トラック間に加え、ダウントラック方向についても溝を設けて各ビットを磁気的に分離している。
【００２３】
図６は、従来のサーボパターンの一部を模式的に示した模式図である。一般にサーボパターンは、情報を記録するトラックのダウントラック方向に対して垂直な方向に連なるパターンを有している。そして、ＢＰＭやＤＴＭの場合には、一般にサーボパターン部では、一定の方向に着磁されている。
【００２４】
その際、図４に示したように、従来の構成では部分的に磁化反転部が生じていた。この磁化反転の発生について、図７を参照して説明する。図７では、基板３０上にサーボ部磁性層３１を形成し、全体を同一方向に磁化している。この時、垂直磁気記録方式で各々を垂直方向に磁化すると、隣からの静磁界が反磁界として作用し、磁化を反転させる方向に働く。このようにサーボパターンで磁化反転が生じると、磁気ヘッドの位置制御するうえで誤った位置情報を与えることになる。
【００２５】
そのため、図８に示すように、サーボパターンがクロストラック方向に対して、磁化の方向が交互に反転するような構成が望ましい。この構成では、隣との磁化方向が互いに異なるため、互いの磁化方向を強める作用となるので、磁化反転を防ぐことができる。
【００２６】
また、ＤＴＭやＢＰＭでは、情報記録領域トラック１１ｂ、すなわち、ユーザデータを格納するデータ部の情報はＮ極とＳ極の出力の差分で検出されるが、図７に示したサーボパターン構成では、出力がその半分になり、サーボパターンの検出精度が低下する。
【００２７】
図９に示したように、サーボ部磁性層３１と基板３０との間に磁性層３２を設け、記録媒体の深さ方向に対して磁化の方向が変化する構成とすれば、サーボパターンの信号出力の確保と磁化状態の安定性を確保することができるが、サーボ部磁性層３１と磁性層３２との間で保磁力や飽和磁化等の特性の精密な調節を要する。
【００２８】
このような従来技術に対し、本実施例に係るサーボパターンでは、サーボパターンの形状と磁化処理によって、積層構造を変化させることなく図８に示したように交互に磁化方向が反転するパターンを得ることができる。
【００２９】
つぎに、図１０〜図１３を参照し、本実施例に係るサーボパターンの形状と磁化処理についてさらに詳細に説明する。図１０はサーボパターンの具体的な形状の一例である。サーボパターンは、プリアンブル、グレーコードによるアドレス部および位相部を有する。
【００３０】
ブリアンブルは、サーボパターンの開始を示す領域であり、アドレス部はアドレス自体を示し、位相部は同一アドレスの範囲内での位置ずれを示す。以下の説明では、説明を簡明にするため、主にプリアンブル部を例に説明を行なう。
【００３１】
図１０に示したパターンでは、磁気ヘッドが移動するダウントラック方向に対して垂直な、クロストラック方向にブリアンブル部分のパターンが延びている。また、ダウントラック方向には、連結部が伸びている。
【００３２】
そして、クロストラック方向に伸びたパターンは、ダウントラック方向に一つ置きに連結部に繋がっており、櫛歯形状のパターンを組み合わせた形をしている。換言するならば、各連結部からは、ダウントラック方向の両側にプリアンブル部のパターンが伸びている。この各連結部は、一つおきにパターンＰ１，Ｐ２に対応しており、連結部から伸びたブリアンブル部のパターンもそれぞれパターンＰ１，Ｐ２のいずれかに属する。
【００３３】
ブリアンブル部に属するいずれのパターンも、パターンＰ１，Ｐ２の双方に属することは無く、連結部はそれぞれのパターンについて他方のパターンを含まない所定領域となる。
【００３４】
さらに、図１０の状態は、サーボパターン全体、すなわちパターンＰ１，Ｐ２の双方を同一方向に着磁している。ここでは、図１０を磁気ヘッド浮上面から見た上面図とし、磁気ヘッド側から基板側に垂直なＮ極→Ｓ極の一様な磁界で着磁したものとする。
【００３５】
次に図１１に示すように、パターンＰ１の連結部に対して逆の方向、すなわち磁気ヘッド側から基板側に垂直なＮ極→Ｓ極の方向に着磁すると、連結部のみＳ極となる。
【００３６】
さらに、外部より磁気ヘッド側から基板側に垂直なＮ極→Ｓ極の一様な磁界を印加すると、図１２に示したようにＳ極に着磁された領域が拡大する。次にＳ極→Ｎ極の磁界を印加し、さらに反転させた磁界Ｎ極→Ｓ極を印加することを繰り返すと、図１３にように、交互に磁化の反転したプリアンブル部が形成される。なお、アドレス部および位相部に関しても原理的には同じように交互に反転したパターンが形成される。
【００３７】
この磁化プロセスについて、フローチャートを参照して説明する。図１４は、磁気転写用のモールドを用いる磁化プロセスについて説明するフローチャートである。磁気転写用モールドは、図１５に示すように、同心円状に着磁用パターン４２が形成されている。
【００３８】
図１４に戻り、まず、磁気記録媒体の全体に対し、電磁石または永久磁石を用いて、記録面の上方からＮ極→Ｓ極方向に着磁させる（Ｓ１０１）。次に、図１５に示した磁気転写用モールド４０を磁気記録媒体に近接させて配置する（Ｓ１０２）。図１５には図示していないが、磁気記録媒体と、磁気転写用モールド４０には、内周領域および外周領域に位置会わせ用の十字マークを予め形成しておき、この位置を合わせるようにモールドを配置する。これによりＸ−Ｙ方向にそれぞれ±１０μｍ以下の精度で位置を合わせることができる。
【００３９】
つぎに、磁気転写用モールド４０を配置した状態で、記録面上方からＳ極→Ｎ極に磁界を印加する（Ｓ１０３）。この磁界の印加によって連結部の選択的着磁ができる。
【００４０】
その後、磁気転写用モールド４０を退避させ（Ｓ１０４）、記録面上方からＳ極→Ｎ極方向の磁界の印加（Ｓ１０５）と、記録面上方からＮ極→Ｓ極方向の磁界を行なう（Ｓ１０６）。このステップＳ１０５，Ｓ１０６の実行回数Ｎを規定回数Ｎ０と比較し（Ｓ１０７）、規定回数に達していなければ（Ｓ１０７，Ｙｅｓ）、実行回数Ｎに１を加えて（Ｓ１０８）、ステップＳ１０５に戻る。そして、実行回数Ｎが規定回数に達した場合に（Ｓ１０７，Ｎｏ）、処理を終了する。
【００４１】
なお、図１４では磁気転写モールドを用いる選択的着磁を例示したが、例えば図１６に示した着磁装置を用い、磁気ヘッドにより連結部を選択的に磁化することもできる。図１６に示した着磁装置５０は、その内部にメインコントローラユニット５１、メモリ５２、データバッファメモリ５３、プリアンプ５４およびサーボコントローラ５５を有する。
【００４２】
データバッファメモリ５３は、ＢＰＭの着時箇所、すなわち連結部の位置データを記憶している。メインコントローラユニット５１は、この連結部の位置データを読み出し、メモリ５２を主記憶装置として使用しつつ、プリアンプ５４やサーボコントローラ５５を制御して、ＢＰＭの着磁を行なう。
【００４３】
サーボコントローラ５５は、スピンドルモータ６１を動作させてＢＰＭを回転させるとともに、ボイスコイルモータ６２を動作させることでサスペンション６３に取り付けられた磁気ヘッド６４の位置制御を行なう。そして、プリアンプ５４は、磁気ヘッド６４の磁界を制御して、ＢＰＭに対する着磁を実行する。
【００４４】
図１７は、着磁装置５０を用いる磁化プロセスについて説明するフローチャートである。この磁化プロセスでは、まず、磁気記録媒体の全体に対し、電磁石または永久磁石を用いて、記録面の上方からＮ極→Ｓ極方向に着磁させる（Ｓ２０１）。次に、図１６に示した磁気ヘッド６４をロードする（Ｓ２０２）。
【００４５】
つぎに、磁気ヘッド６４の位置を制御しつつ、記録面上方からＳ極→Ｎ極に磁界を印加する（Ｓ２０３）。この磁界の印加によって連結部の選択的着磁ができる。
【００４６】
その後、磁気ヘッド６４を退避させ（Ｓ２０４）、記録面上方からＳ極→Ｎ極方向の磁界の印加（Ｓ２０５）と、記録面上方からＮ極→Ｓ極方向の磁界を行なう（Ｓ２０６）。このステップＳ２０５，Ｓ２０６の実行回数Ｎを規定回数Ｎ０と比較し（Ｓ２０７）、規定回数に達していなければ（Ｓ２０７，Ｙｅｓ）、実行回数Ｎに１を加えて（Ｓ２０８）、ステップＳ２０５に戻る。そして、実行回数Ｎが規定回数に達した場合に（Ｓ２０７，Ｎｏ）、処理を終了する。
【００４７】
つぎに、ＢＰＭの作製について説明する。図１８は、ＢＰＭ作製プロセスを説明する説明図である。ＢＰＭ作製においては、まず、精密に研磨したガラス原盤上に厚み数十ｎｍの厚みのレジストを塗布し（Ｓ３０１）、電子線露光（Ｓ３０２）後にエッチング（Ｓ３０３）によりビットパターンを形成する。その後アッシング等でレジスト除去（Ｓ３０４）を行い、洗浄により原盤が完成する（Ｓ３０５）。
【００４８】
電子ビーム露光に当たっては、例えば図１９に示した構成の露光装置を用いる。図１９に示した露光装置では、メインコントローラ７１がスピンドルモータドライバ７５とステージドライバ７６を制御してＢＰＭ原盤の位置を制御するとともに、電子源コントローラ７３および電子ビームコントローラ７４を制御することで、ＢＰＭに照射する電子線を制御する。
【００４９】
具体的には、レジストを塗布し、プリベークを行ったBPM用原盤をエアースピンドルモータ７８に取り付け、所望の回転数で回転させる。一方、電子源からの電子線を電磁界による電子線調整系を介した後、同じく電磁石により構成された電子線集束系により、ＢＰＭ原盤上に集束させる。メインコントローラ７１は、フォーマッタ７２からの情報に基づきスピンドルモータドライバ７５により原盤の回転位置を調整するとともに、ステージドライバ７６を用いて電子線集束位置に対するポジションを調整する。さらに、フォーマッタ７２からの情報に基づいて、電子線の強弱と位置を高速で変調して、ビット情報の記録を行なう。
【００５０】
図１８に戻り、説明を続けると、ＢＰＭ媒体に使用するガラス基板（Ｓ３１１）上に密着層成膜（Ｓ３１２）、ＳＵＬ（Soft Under Layer）層成膜（Ｓ３１３）、下地層と中間層成膜（Ｓ３１４）、垂直磁性層成膜（Ｓ３１５）、保護層成膜（Ｓ３１６）を順次実行する。この各成膜については、たとえばスパッタリング法などを用いることができる。
【００５１】
この基板に対して、上述したＢＰＭ原盤を用いて、ナノインプリント用のレジストを充填し（Ｓ３１７）、ＵＶを照射し（Ｓ３１８）、原盤の剥離（Ｓ３１９）を行なうことで、基板上にビットを形成する。
【００５２】
さらに、形成されたレジストビットに対して、エッチングを行い（Ｓ３２０）、アッシングによりレジストを除去する（Ｓ３２１）ことで、磁性ビットパターンが形成される。さらに金属等の充填層を製膜した（Ｓ３２２）後、逆スパッタリング等により前記BPM媒体の平坦化（Ｓ３２３）を行なう。そして洗浄（Ｓ３２４）後に保護膜を形成して（３２５）潤滑剤を塗布する（Ｓ３２６）ことで、図２０に示したＢＰＭの構造が形成できる。
【００５３】
本実施例では、垂直磁性層として、ＣｏとＰｄをサブナノメーターの厚みで交互に積層した人工格子膜を使用している。特にプリアンブル部に関しては、図２１に示す構成からなっている。詳細なパラメータの一例は、
保磁力Hc：0.3 T（＝3ｋOe）
飽和磁束密度 Bs：0.08T(800 emu/cc)
磁性層厚：15 nm
プリアンブルピッチ：60nm
プリアンブル幅：40nm
Lp：2.4μｍ
Lk：300μm
トラックピッチ：100nm
トラックセクター数：220
である。
【００５４】
図２２は、選択着磁後に交互に印加する磁界強度を３通りに変えてプリアンブル部の磁化反転エラー率を磁化印加サイクルに対してプロットしたものである。H＝Hc-Bs = 0.22Tにすることで、10サイクルの印加で、ほぼエラーのない磁化反転が達成できる。それ以上の磁界では、磁化の印加ごとに反転位置が大きく移動するため、エラーが減少しない。また、H＝Hc-Bs 未満の磁界では、サイクル数をさらに増やさないとエラー率が低下しない。H＝Hc-Bsとすることで安定に素早く所望の磁化状態が実現できる。
【００５５】
以上説明してきたように、本実施例にかかるサーボパターンは、磁気的に連続して形成されているライン形状部をほぼ平行に形成された磁気バターンを有し、且つ、該複数の磁気パターンのうちライン形状とほぼ直角方向に隣接するパターンが１つ置きに連結されている構成を有する。これにより、ライン形状を連結した磁気パターンは、ライン形状を歯、連結部を背とする櫛歯形状を有し、かつ連結部が情報を記録するトラックと平行である構成となる。
【００５６】
そして、磁気パターンは、第一のステップとして全体を一方向に磁化した後、第二のステップとして、特定の連結部を反対方向に磁化させ、第三のステップとして外部より交互に向きのことなる磁界を複数回印加させることにより、ライン形状部が隣接ライン形状間で磁化方向が反転している構成となる。
【００５７】
このように、サーボパターンを第１パターン群と第２パターン群に分け、サーボ情報エリアでは磁気ヘッドの進行方向に対して第１パターンと第２パターンとを交互に配置し、サーボ情報エリア以外の場所において前記第１パターンのみを配置した所定領域を設け、全ての第１パターンが所定領域に配置された部分とサーボ情報エリアに配置された部分とを有するように構成すれば、一旦全体を同一方向に磁化した後、所定領域を選択的に磁化することで、第１パターン群と第２パターン群との磁化方向を反転させることができる。
【００５８】
このため、簡易な構成で、出力が大きく、安定なサーボパターンを形成することができる。これにより、信頼性が高く、高密度記録可能な情報記録媒体が安価に提供できる。
【００５９】
なお、本実施例はあくまで一例であり、本発明は適宜その構成および手順を変形して実施することができる。例えば、本実施例では、第１パターンと第２パターンの双方に連結部を持たせ、第１パターンの連結部のみを選択的に磁化する場合を例に説明を行なったが、パターンの形状は適宜変更して実施することが可能である。
【００６０】
例えば、図２３に示すように、第１パターンＰ１と第２パターンＰ２の双方の形状を、短いライン部分の長手がクロストラック方向に間隙を有して並ぶ形状とし、第１パターンＰ１と第２パターンＰ２とがダウントラック方向に交互に、かつ間隙の位置をずらして配置するようにしても良い。この場合、第２パターンＰ２の間隙部分は、第１パターンＰ１のみが存在する所定領域となり、この所定領域を選択的な着磁に用いることができる。
【００６１】
また、図２４に示すように、第２パターンＰ２の形状を、短いライン部分の長手がクロストラック方向に間隙を有して並ぶ形状とし、第１パターンＰ１はクロストラック方向に連続して延びる形状としても良い。そして、第１パターンＰ１と第２パターンＰ２とをダウントラック方向に交互に配置すれば、第２パターンＰ２の間隙部分は、第１パターンＰ１のみが存在する所定領域となり、この所定領域を選択的な着磁に用いることができる。
【００６２】
また、図２５に示すように、第２パターンＰ２の形状を、短いライン部分の長手がクロストラック方向に間隙を有して並ぶ形状とし、第１パターンＰ１はクロストラック方向に連続して延び、かつダウントラック方向に連結した形状としても良い。この構成では、第２パターンＰ２の間隙部分は、第１パターンＰ１の連結部のみが存在する所定領域となり、この所定領域を選択的な着磁に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１は、本実施例にかかるサーボパターン形成の概要について説明する説明図である。
【図２】図２は、本実施例にかかるサーボパターンを利用するハードディスク装置の概要構成を説明する概要構成図である。
【図３】図３は、磁気記録媒体の記録面について説明する説明図である。
【図４】図４は、ＤＴＭにおける情報記録領域トラックの形状を説明する説明図である。
【図５】図５は、ＢＰＭにおける情報記録領域トラックの形状を説明する説明図である。
【図６】図６は、従来のサーボパターンの一部を模式的に示した模式図である。
【図７】図７は、磁化反転の発生について説明する説明図である。
【図８】図８は、磁化方向が交互に反転するサーボパターンについて説明する説明図である。
【図９】図９は、記録媒体の深さ方向に対して磁化の方向が変化する構成について説明する説明図である。
【図１０】図１０は、サーボパターンの具体的な形状を説明する説明図である。
【図１１】図１１は、連結部を選択的に着磁したサーボパターンについて説明する説明図である。
【図１２】図１２は、連結部の磁化方向の拡大について説明する説明図である。
【図１３】図１３は、交互に磁化の反転したプリアンブル部について説明する説明図である。
【図１４】図１４は、磁気転写用のモールドを用いる磁化プロセスについて説明するフローチャートである。
【図１５】図１５は、磁気転写用モールドの構成について説明する説明図である。
【図１６】図１６は、着磁装置の構成について説明する説明図である。
【図１７】図１７は、着磁装置５０を用いる磁化プロセスについて説明するフローチャートである。
【図１８】図１８は、ＢＰＭ作製プロセスを説明する説明図である。
【図１９】図１９は、露光装置の構成について説明する説明図である。
【図２０】図２０は、ＢＰＭの断面構造について説明する説明図である。
【図２１】図２１は、ブリアンブル部の構成について説明する説明図である。
【図２２】図２２は、磁界強度とプリアンブル部の磁化反転エラー率の関係について説明する説明図である。
【図２３】図２３は、サーボパターン形状の変形例である。（その１）
【図２４】図２４は、サーボパターン形状の変形例である。（その２）
【図２５】図２５は、サーボパターン形状の変形例である。（その３）
【符号の説明】
【００６４】
１    磁気ディスク装置
１０    ベース
１１    記録媒体
１１ａ  サーボパターン
１１ｂ  情報記録領域トラック
１２    磁気ヘッド
１４    サスペンション
１５    制御回路
１６    ボイスコイルモータ
１７    スピンドルモータ
３０    基板
３１    サーボ部磁性層
３２    磁性層
５０    着磁装置
５１    メインコントローラユニット
５２    メモリ
５３    データバッファメモリ
５４    プリアンプ
５５    サーボコントローラ
６１    スピンドルモータ
６２    ボイスコイルモータ
６３    サスペンション
６４    磁気ヘッド
７１    メインコントローラ
７２    フォーマッタ
７３    電子源コントローラ
７４    電子ビームコントローラ
７５    スピンドルモータドライバ
７６    ステージドライバ
７７    ステージ
７８    スピンドルモータ
Ｐ１  第１パターン
Ｐ２  第２パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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