【手続補正書】
【提出日】平成16年9月2日(2004.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィンガー・テスター・プローブであって、
試験中の回路基板の接点に電気的に接触するためのプローブ素子と、
それぞれが互いに対して運動することができる、永久に予め磁化されたコアおよびソレノイド素子を含むアクチュエータであって、前記二つの部材の一方が固定され、他方の部材が移動できるようになっているアクチュエータとを備え、
励起された場合に、前記移動できる部材は前記プローブ素子と一緒に運動するように、前記移動できる部材がプローブ素子に機械的に接続され、
前記移動できる部材は前記固定部材に対して自由に移動できるように配置され、そして
前記プローブ素子は案内通路を案内される弾性ワイヤであり、この案内通路は、前記弾性ワイヤがそれが導入されるときに湾曲することができる少なくとも一つの空洞を備えている、フィンガー・テスター・プローブ。
【請求項２】
請求項１に記載の試験プローブにおいて、前記永久に予め磁化したコアが固定され、前記ソレノイド素子が移動することができる、前記プローブ素子に機械的に接続されている試験プローブ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の試験プローブにおいて、前記ソレノイド素子および前記プローブ素子が、前記試験プローブの移動できるユニットのコンポーネントであり、その質量が１０グラムより軽く、好適には、５グラムより軽いことが好ましい試験プローブ。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れかに記載の試験プローブにおいて、前記ソレノイド素子が、前記コア上に垂直方向に移動できるように配置されている試験プローブ。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れかに記載の試験プローブにおいて、前記コアが永久磁石である試験プローブ。
【請求項６】
請求項１ないし４の何れかに記載の試験プローブにおいて、前記コアが軟らかい磁気材料から形成されていて、前記コアが永久に予め磁化されるように、前記コアに磁気的に接続している少なくとも一つの磁石を備える試験プローブ。
【請求項７】
請求項６に記載の試験プローブにおいて、前記コアが二つのプレート形状の永久磁石の間に配置されており、前記コアおよび前記永久磁石が、ヨークを通してその上部および下部縁部のところで相互に磁気的に接続されている試験プローブ。
【請求項８】
請求項７に記載の試験プローブにおいて、前記プレート形状の永久磁石が側壁部および前記二つのヨークの一方を形成し、ハウジングの底壁部と他方のヨークが、スライドに固定できるサポートの水平方向の装着プレートを形成する試験プローブ。
【請求項９】
請求項１ないし８の何れかに記載の試験プローブにおいて、アルミニウムの薄いしートからできている前記ソレノイド素子と、前記支持本体の周囲に巻かれたソレノイドを備える試験プローブ。
【請求項１０】
請求項１ないし９の何れかに記載の試験プローブにおいて、前記プローブ素子を試験中の回路基板の接点と接触させるために、前記ソレノイド素子が移動した場合に、前記ソレノイド素子がストップに対して移動するように、前記ソレノイド素子の移動距離を制限するために、ストップが設置されている試験プローブ。
【請求項１１】
ストップにより形成された前記ソレノイド素子の接点位置に対して、予め定めたストロークだけ前記ソレノイド素子がシフトするように、ゼロ位置において前記ソレノイド素子に一定の保持電流を供給するステップと、
前記ソレノイド素子が、回路基板の接点に接触するために前記ストップに対してシフトするように、前記保持電流の極性とは反対の電流を提供するステップとを備える、請求項１ないし１０の何れかに記載のように構成された試験プローブを作動するための方法。
【請求項１２】
請求項１に記載の試験プローブにおいて、前記ワイヤの太さが５０ミクロンよりも細い試験プローブ。
【請求項１３】
請求項１または１２に記載の試験プローブにおいて、前記案内通路が、一定の中心間隔で配置されている、少なくとも三つの空洞を内蔵する試験プローブ。
【請求項１４】
請求項１、１２又は１３の何れかに記載の試験プローブにおいて、前記案内通路がプローブ・ヘッドに形成され、前記プローブ・ヘッドが、プラスチック本体および二つのセラミック・パッドを備える試験プローブ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の試験プローブにおいて、前記プラスチック本体が、上から見た場合、ほぼ三角形の断面を持ち、前記プラスチック本体の一方の垂直方向を向いている縁部が、狭い案内平面を形成し、前記セラミック・パッドが前記案内平面に隣接し、そこから突出している側面に固定されていて、それらが、前記案内平面および前記セラミック・パッドが前記案内通路を形成するように相互に鋭角で交わっている試験プローブ。
【請求項１６】
請求項１５に記載の試験プローブにおいて、前記案内通路が前記空洞を備えるように、前記案内平面の側面が波形に形成されている試験プローブ。
【請求項１７】
フィンガー・テスター・プローブであって、
試験中の回路基板の接点に電気的に接触するためのプローブ素子と、
ワイヤが作動ピストンにより湾曲し、前記回路基板に接触するために延びるように、前記プローブ素子を作動させる作動ピストンが割り当てられる前記プローブ素子としての前記ワイヤとを備えるフィンガー・テスター・プローブ。
【請求項１８】
請求項１７に記載のフィンガー・テスター・プローブにおいて、前記ワイヤが上部および下部案内チューブ部分を案内され、前記案内チューブ部分が、一列にまた相互間に間隔を置いて配置され、前記ワイヤが、前記作動ピストンが前記ワイヤを湾曲させるために往復運動をする、前記中央部分上を延びる試験プローブ。
【請求項１９】
回路基板を試験するためのフィンガー・テスターであって、
請求項１ないし１８の何れかに記載のように、特別に構成された試験プローブと、
試験領域上を、水平方向にシフト可能な少なくとも二つのスライドと、
各スライドに固定できる試験プローブと、
前記試験プローブの垂直位置を調整するための手段とを含み、
前記試験プローブが、回路基板の接点に接触するために、前記試験プローブの垂直位置を、垂直方向に調整するための前記手段とは独立して、プローブ素子を作動することができるアクチュエータを備えるフィンガー・テスター。
【請求項２０】
請求項１９に記載のフィンガー・テスターにおいて、接点に接触するための前記アクチュエータの作動ストロークが、２ミリよりも小さく、好適には、１ミリよりも小さいフィンガー・テスター。
【請求項２１】
請求項１９または２０により詳細に記載したフィンガー・テスターにおいて、複数の試験プローブがマトリックス・アレーに設置され、前記完全なマトリックス・アレーが、試験中の回路基板上を水平方向に移動し、各試験プローブが、垂直方向に一つのプローブ素子をそれぞれ作動するために、アクチュエータにより作動することができ、前記試験プローブが相互に独立して作動することができる、請求項１ないし１９の何れかに記載のように形成される試験プローブ。
【請求項２２】
請求項１９に記載のフィンガー・テスターにおいて、前記マトリックス・アレーがいくつかのサブマトリックスに分割され、前記サブマトリックスが相互にシフトできるように形成されるフィンガー・テスター。
【請求項２３】
請求項１９ないし２１のいずれかに記載のフィンガー・テスターにおいて、いくつかのプローブ素子を一つのアクチュエータにより作動することができるフィンガー・テスター。