(57)【要約】【課題】入力情報に従って形成された静電潜像を、入力情報との関係で画像評価する画像評価方法を実現する。【解決手段】帯電させた光導電性の感光体１５７に対し、入力パターンの形状および面積に関する情報を少なくとも有する入力情報に基づき、光画像書き込みを行なって、入力パターンに対応する対応静電潜像１６１を形成し、この対応静電潜像１６１の面積を測定し、入力情報の面積と対応静電潜像１６１の面積との面積差を測定することにより画像評価を行なう。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電させた光導電性の感光体に対し、入力パターンの形状および面積に関する情報を少なくとも有する入力情報に基づき、光画像書き込みを行なって、上記入力パターンに対応する対応静電潜像を形成し、この対応静電潜像の面積を測定し、
上記入力情報の面積と上記対応静電潜像の面積との面積差を測定することを特徴とする画像評価方法。
【請求項２】
請求項１記載の画像評価方法において、
階調：Ｉの異なるＮ（≧２）個の入力パターンＰＩに対応するＮ個の対応静電潜像を形成し、入力パターンＰＩに対応する対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩと、上記入力パターンＰＩの面積：ＳＰＩとの面積差を、階調：Ｉごとに測定することを特徴とする画像評価方法。
【請求項３】
請求項２記載の画像評価方法において、
入力パターンＰＩの面積：ＳＰＩを、階調：Ｉに対して直線的に変化させ、
対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩの上記階調：Ｉに対する変化の、上記面積ＳＰＩの直線的変化に対する差を測定することを特徴とする画像評価方法。
【請求項４】
請求項１〜３の任意の１に記載の画像評価方法を実施する装置であって、  
光導電性の感光体を帯電させる帯電手段と、
上記感光体に作用させる入力パターンの入力情報を生成する入力情報生成手段と、
上記感光体に上記入力情報に基づき光画像書き込みを行なって、入力パターンに対応する対応静電潜像を形成する対応静電潜像形成手段と、
対応静電潜像の面積を測定する面積測定手段と、
対応静電潜像の測定された面積を用い、少なくとも入力パターンの面積との差を含む演算処理を行なう演算処理手段とを有することを特徴とする画像評価装置。
【請求項５】
帯電させた光導電性の感光体に対し、入力パターンの形状および面積に関する情報を少なくとも有する入力情報に基づき、光画像書き込みを行なって、上記入力パターンに対応する対応静電潜像を形成し、
この対応静電潜像の面積を測定し、
上記入力情報と同一内容の入力情報により可視像用静電潜像を形成し、  
形成された可視像用静電潜像をトナーにより可視化してトナー画像とし、このトナー画像の面積を測定し、
上記対応静電潜像の面積と、上記トナー画像の面積の差を測定することを特徴とする画像評価方法。
【請求項６】
請求項５記載の画像評価方法において、
階調：Ｉの異なるＮ（≧２）個の入力パターンＰＩに対応するＮ個の対応静電潜像を形成し、これらＮ個の対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩを測定し、
上記Ｎ個の入力パターンＰＩと同一内容の入力情報により形成されたＮ個の可視像用静電潜像をトナーにより可視化してＮ個のトナー画像ＴＩとし、このトナー画像の面積：ＳＴＩを測定し、
面積：ＳＩとＳＴＩとを、階調：Ｉごとに測定することを特徴とする画像評価方法。
【請求項７】
請求項６記載の画像評価方法において、
入力パターンＰＩを階調：Ｉ（Ｎ≧Ｉ≧１）応じて変化させ、対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩを上記階調：Ｉに対して直線的に変化させ、
同一内容の入力パターンにより形成されたＮ個の可視像用静電潜像をトナーにより可視化してＮ個のトナー画像ＴＩとし、このトナー画像の面積：ＳＴＩを測定し、
上記面積：ＳＩの階調：Ｉに対する変化の、上記面積ＳＴＩの変化に対する差を測定することを特徴とする画像評価方法。
【請求項８】
請求項５〜７の任意の１に記載の画像評価方法を実施する装置であって、
光導電性の感光体を帯電させる帯電手段と、
上記感光体に作用させる入力パターンの入力情報を生成する入力情報生成手段と、
上記感光体に上記入力情報に基づき光画像書き込みを行なって、入力パターンに対応する対応静電潜像を形成する対応静電潜像形成手段と、
対応静電潜像の面積を測定する面積測定手段と、
上記入力情報生成手段による上記入力パターンと同一内容の入力情報を用いて可視像用静電潜像を形成し、この可視像用静電潜像をトナーによるトナー画像として可視化する可視像形成手段と、
上記可視像形成手段により形成されたトナー画像のトナー画像面積を測定する可視像面積測定手段と、
上記面積測定手段により測定された対応静電潜像面積と、上記可視像面積測定手段により測定されたトナー画像面積を用い、少なくとも、対応静電潜像面積とトナー画像面積の差を含む演算処理を行なう演算処理手段とを有することを特徴とする画像評価装置。
【請求項９】
電子写真プロセスを利用する画像形成装置において、
請求項１、２、３、５、６、７の何れかに記載の画像評価方法、もしくは請求項４または８に記載の画像評価装置により得られた前記入力情報と対応静電潜像との面積差情報、対応静電潜像面積とトナー画像面積との面積差情報の少なくとも一方に応じて、画像形成条件を調整制御する制御手段を有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、画像評価方法および装置・画像形成装置、より詳しくは、電子写真プロセスを利用した画像形成における静電潜像やトナー画像の評価、これらの評価を利用する画像形成の向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真プロセスを利用した画像形成は、従来からアナログ複写機やデジタル複写機、レーザプリンタ等の光プリンタ装置等の画像形成装置として広く実施されている。
【０００３】
近時、主流となっている光走査や発光ダイオードアレイを用いる光書き込みによる画像形成により説明すると、電子写真プロセスでは「光導電性の感光体」が用いられる。
【０００４】
光導電性の感光体はその表面が均一に帯電され、均一に帯電した感光体表面に対し光走査等による「光画像書き込み」が行なわれる。
【０００５】
この光画像書き込みにより光照射された感光体部分では「光導電性」が生じて帯電電圧が減衰し、感光体表面に「書き込まれた画像に対応する電位分布」として「静電潜像」が形成される。
【０００６】
形成された静電潜像は、トナーと呼ばれる微粒子を用いる現像により「トナー画像」として可視化される。  
静電潜像を可視化したトナー画像は、一般には、シート状の記録媒体（以下「記録シート」と呼ぶ。）上に転写されたのち、記録シート状に定着される。
【０００７】
画像形成の良否は、画像書き込みされる画像（オリジナル画像と称する。）がトナー画像としてどれほど良好に再現されるかにより定まる。この場合、「良好に再現される」ことは、必ずしも「形成された画像がオリジナル画像に忠実である」ことを意味しない。
【０００８】
例えば、複写すべきオリジナルの原稿をスキャナで読み取って画像信号を生成し、この画像信号により光走査して静電潜像を形成する場合を考えると、オリジナルの原稿画像は必ずしも「理想的に良い画像」であるとは限らず、画像が擦れているものや汚れているもの、画像の濃さが十分でないものもある。
【０００９】
このような場合には、読み取った画像情報信号を適宜に加工し、オリジナル画像の画質を高めるようにして画像信号を生成し、この画像信号により画像書き込みを行なう。
【００１０】
このように、静電潜像を形成するのに用いる画像信号を「入力情報」と呼ぶ。
【００１１】
そうすると、画像形成の良否は「入力情報にどれほど忠実な画像を形成できるか」により定まる。形成された画像を「出力画像」と呼ぶことにする。
【００１２】
入力信号と出力画像との間には、静電潜像を形成する工程、形成された静電潜像をトナー画像とする現像工程、トナー画像を記録シート上に転写・定着する転写・定着工程等があり、これらの工程は何れも最終的に得られる出力画像の良否に影響する。しかし、出力画像の良否に最も大きく影響するのは、静電潜像の良否とトナー画像の良否とである。
【００１３】
従って、画像形成を良好に実現するには、電子写真プロセスにおいて「入力信号に応じて形成される静電潜像が入力信号に対してどれほど忠実であるか」、また「静電潜像に対し、これを可視化したトナー画像がどれほど忠実であるか」を評価することが好ましい。
【００１４】
しかしながら、現状では「入力情報と出力画像（トナー画像）との比較」のみに留まっている。
【００１５】
電子写真プロセスにおいて光導電性の感光体に形成される静電潜像は、その名のとおり潜像であって、肉眼で直接にこれを見ることはできず、トナー画像として可視化されたものが目視できる。
【００１６】
静電潜像は上記の如く肉眼により直接に目視できるものではないが、出願人は先に、静電潜像をディスプレイ上に表示して目視できるようにするとともに、静電潜像における電位の分布等を測定できる技術を提案した（特許文献１）。
【００１７】
また、記録シート上のトナー画像の反射特性や階調性についての評価は、特許文献２、３等により知られている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、入力情報に従って形成された静電潜像を、入力情報との関係で画像評価できる画像評価方法の実現、さらに、出力画像であるトナー画像を、静電潜像との関係で画像評価できる画像評価方法の実現、これらの方法を実施するための画像評価装置の実現、このようにして実現される画像評価を画像形成に生かすことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
請求項１記載の画像評価方法は「帯電させた光導電性の感光体に対し、入力パターンの形状および面積の情報を少なくとも有する入力情報に基づき、光画像書き込みを行なって、入力パターンに対応する対応静電潜像を形成し、形成された対応静電潜像の面積を測定し、入力情報の面積と対応静電潜像の面積との面積差を測定する」ことを特徴とする。
【００２０】
上記のように、入力情報は「入力パターンの形状および面積の情報」を少なくとも有する。
【００２１】
光導電性の感光体は均一に帯電され、入力情報に基づき光画像書き込みにより「入力パターンの形状・面積」に対応する形状・面積を持つ「対応静電潜像」が形成される。  
「光画像書き込み」としては、光走査による書き込みや、発光素子アレイを用いる画像書き込みを用いることができる。
【００２２】
光画像書き込みのための「入力パターンを構成する情報」即ち「入力情報」は、例えばコンピュータ等で生成させることができる。あるいは、入力情報として面積・形状を設定された可視パターン画像をスキャナで読み取った画像信号もしくはこの画像信号を適宜に加工した信号を「入力情報」とすることもできる。
【００２３】
請求項１記載の画像評価方法では、上記の如く、入力パターンに応じ手形成された対応静電潜像の面積が測定され、入力パターンの面積（入力情報の一部として与えられる。）との面積差が測定される。
【００２４】
上記面積差が０に近いほど、対応静電潜像は入力パターンに忠実であると考えられる。
【００２５】
入力パターンの面積は、入力情報をコンピュータ等で生成する場合であれば「生成データの１つ」として与えることができる。また、所定のパターンをスキャナで読み取って入力パターンの情報の一部とする場合には、スキャナ上において「パターンの像を構成している受光素子の数」をカウントするなどして面積を知ることができる。
【００２６】
また入力パターンの形状は、光画像書き込みにおける「画素ごとの発光情報」として与えることができる。
【００２７】
対応静電潜像の面積の測定に関しては、具体的な例に即して後述する。
【００２８】
請求項１記載の画像評価方法は、入力パターンが均一の画像濃度のものである場合に実施できることは勿論であるが、入力パターンに階調性を持たせることもできる。
【００２９】
即ち、請求項２記載のように「階調：Ｉの異なるＮ（≧２）個の入力パターンＰＩに対応するＮ個の対応静電潜像を形成し、入力パターンＰＩに対応する対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩと、入力パターンＰＩの面積：ＳＰＩとの面積差を、階調：Ｉごとに測定することができる。
【００３０】
この請求項２記載の画像評価方法において、入力パターンＰＩの面積：ＳＰＩを、階調：Ｉに対して直線的に変化させ、対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩの「階調：Ｉに対する変化」の「面積：ＳＰＩの直線的変化に対する差」を測定することができる（請求項３）。
【００３１】
請求項４記載の画像評価装置は上記請求項１〜３の任意の１に記載の画像評価方法を実施する装置であって、帯電手段と、入力情報生成手段と、対応静電潜像形成手段と、面積測定手段と、演算処理手段とを有する。  
「帯電手段」は、光導電性の感光体を帯電させる手段である。帯電手段としては、従来から知られているコロナ放電器等の非接触型のものや、帯電ブラシ・帯電ローラ等の接触型のもの、さらには実施例において後述する「荷電粒子を走査する方式のもの」等を適宜用いることができる。
【００３２】
「入力情報生成手段」は、感光体に作用させる入力パターンの入力情報を生成する手段であり、例えば、入力情報を直接に生成するコンピュータや、前述の画像をスキャナで読み取った読み取り信号に基づいて入力情報を生成する構成のものを適宜用いることができる。勿論、入力情報は少なくとも「入力パターンの形状・面積との情報」を含んで生成される。
【００３３】
「対応静電潜像形成手段」は、均一に帯電された感光体に対して「入力情報に基づいて光画像書き込み」を行い、入力パターンに対応する対応静電潜像を形成する手段であり、例えば、光走査装置等を用いることができる。
【００３４】
「面積測定手段」は、対応静電潜像の面積を測定する手段である。面積測定手段については、実施例に即して詳述する。
【００３５】
「演算処理手段」は、対応静電潜像の測定された面積を用い、少なくとも入力パターンの面積（入力情報として与えられている。）との差を含む演算処理を行なう。  
演算処理手段が行なう演算処理には、面積差の演算（請求項２の場合における階調：Ｉごとの面積差も含む）のみならず、請求項３の場合における「対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩの階調：Ｉに対する変化の、面積：ＳＰＩの直線的変化に対する差」を求める演算を含めることができることは言うまでも無い。
【００３６】
請求項５記載の画像評価方法は以下の如き方法である。  
帯電させた光導電性の感光体に対し、入力パターンの形状および面積の情報を少なくとも有する入力情報に基づき、光画像書き込みを行なって、入力パターンに対応する対応静電潜像を形成し、この対応静電潜像の面積を測定する。  
一方、上記入力情報と同一内容の入力情報により可視像用静電潜像を形成し、形成された可視像用静電潜像をトナーにより可視化してトナー画像とし、このトナー画像の面積を測定する。
【００３７】
そして、対応静電潜像の面積と、トナー画像の面積の差を測定する。
【００３８】
対応静電潜像と可視像用静電潜像とは、同一の感光体もしくは同一種の感光体に形成される。「同一種の感光体」は、同一の入力情報による光画像書き込みにより「少なくとも同じ面積の対応静電潜像」を形成される感光体であり、互いに異なる感光体である。この場合には、対応静電潜像を形成するときの入力情報と、可視像用静電潜像を形成するときの入力情報は「内容的には同一」であるが、光画像書き込みは「異なる感光体」に対してなされる。このとき、入力情報の内容が同一であるので、対応静電潜像と可視像用静電潜像とは、静電潜像の面積・形状は同一である。
【００３９】
換言すれば、互いに異なる感光体に形成される対応静電潜像と可視像用静電潜像が同一になるような入力情報が「内容的に同一の入力情報」であり、対応静電潜像をトナー画像として可視化したものとすれば、この可視化されたトナー画像は可視像用静電潜像を可視化したトナー画像と同じものになる。
【００４０】
「同一の感光体」の場合には、同一の感光体に対して対応静電潜像が形成され、この対応静電潜像が可視像用静電潜像でもありうる。勿論、対応静電潜像と可視像用静電潜像とは、同一の感光体に対して、同一内容の入力情報を別個に用いて、別個の静電潜像として形成することもできる。
【００４１】
請求項５記載の画像評価方法はまた、階調：Ｉの異なるＮ（≧２）個の入力パターンに対応するＮ個の対応静電潜像を形成し、これらＮ個の対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩを測定し、上記Ｎ個の入力パターンと同一内容の入力情報により形成されたＮ個の可視像用静電潜像をトナーにより可視化してＮ個のトナー画像ＴＩとし、このトナー画像ＴＩの面積：ＳＴＩを測定し、面積：ＳＩとＳＴＩとを、階調：Ｉごとに測定する構成とすることができる（請求項６）。
【００４２】
請求項６記載の画像評価方法においては、入力パターンＰＩを階調：Ｉ（Ｎ≧Ｉ≧１）応じて変化させ、対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩを階調：Ｉに対して直線的に変化させ、同一内容の入力パターンにより形成されたＮ個の可視像用静電潜像をトナーにより可視化してＮ個のトナー画像ＴＩとし、このトナー画像の面積：ＳＴＩを測定し、面積：ＳＩの階調：Ｉに対する変化の、面積ＳＴＩの階調性：Ｉに対する変化に対する差を測定する構成とすることができる（請求項７）。
【００４３】
請求項８記載の画像評価装置は、請求項５〜７の任意の１に記載の画像評価方法を実施する装置であって、帯電手段と、入力情報生成手段と、対応静電潜像形成手段と、面積測定手段と、可視像形成手段と、可視像面積測定手段と、演算処理手段とを有する。
【００４４】
「帯電手段」は、光導電性の感光体を帯電させる手段である。  
「入力情報生成手段」は、感光体に作用させる入力パターンの入力情報を生成する手段である。
【００４５】
「対応静電潜像形成手段」は、感光体に上記入力情報に基づき光画像書き込みを行なって、入力パターンに対応する対応静電潜像を形成する手段である。
【００４６】
「面積測定手段」は、対応静電潜像の面積を測定する手段である。
【００４７】
「可視像形成手段」は、入力情報生成手段による対応静電潜像形成用の入力パターンと同一内容の入力情報を用いて可視像用静電潜像を形成し、この可視像用静電潜像をトナーによるトナー画像として可視化する手段である。
【００４８】
「可視像面積測定手段」は、可視像形成手段により形成されたトナー画像のトナー画像面積を測定する手段である。
【００４９】
「演算処理手段」は、面積測定手段により測定された対応静電潜像面積と、可視像面積測定手段により測定されたトナー画像面積を用い、少なくとも「対応静電潜像面積とトナー画像面積の差を含む演算処理」を行なう。
【００５０】
この発明の画像形成装置は「電子写真プロセスを利用する画像形成装置」であって、上記請求項１、２、３、５、６、７の何れかに記載の画像評価方法、もしくは請求項４または８に記載の画像評価装置により得られた入力情報と対応静電潜像との面積差情報、対応静電潜像面積とトナー画像面積との面積差情報の少なくとも一方に応じて、画像形成条件を調整制御する制御手段を有することを特徴とする（請求項９）。
【発明の効果】
【００５１】
以上に説明したように、この発明によれば、新規な画像評価方法および装置・画像形成装置を実現できる。  
この発明の画像評価方法・装置によれば、電子写真プロセスを用いる画像形成おいて、入力情報とこれに対応する対応静電潜像の面積の差を測定することにより、入力パターンとの関係で静電潜像の画像評価が可能になる。あるいは、対応静電潜像の面積と「対応静電潜像を形成する入力情報と同一内容の入力情報をもつ入力パターンにより形成される可視像用静電潜像を可視化したトナー画像の面積」の差を測定することにより、入力パターンに応じた対応静電潜像との関係でトナー画像の画像評価が可になる。
【００５２】
そして、このような画像評価を利用して画像形成の質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】画像評価装置の実施の１形態を説明するための図である。
【図２】光導電性の感光体の構成の１例を説明するための図である。
【図３】光画像書き込み手段の１例としての光走査装置を説明するための図である。
【図４】入力情報と対応静電潜像を説明するための図である。
【図５】対応静電潜像の面積測定を説明するための図である。
【図６】対応静電潜像を形成するための光画像書き込みを説明するための図である。
【図７】入力パターンの１例を説明する図である。
【図８】階調の異なる入力情報と対応静電潜像の関係を説明する図である。
【図９】入力パターンの１例を示す図である。
【図１０】互いに等価な入力情報を示す図である。
【図１１】階調と面積との関係を説明するための図である。
【図１２】トナー画像の面積測定を説明するための図である。
【図１３】階調再現性における「明度の再現性」の好ましい例を示す図である。
【図１４】対応静電潜像とトナー画像の対応を説明する図である。
【図１５】静電潜像面積とトナー画像面積との関係を示す図である。
【図１６】入力情報に対する対応静電潜像とトナー画像との画像評価を行なう装置の１例のシステム図を示す。
【図１７】画像評価の結果を制御因子にフィードバックし、最適・好適値を探すプロセス示すダイヤグラムである。
【図１８】図１３に示された「階調に対する明度：Ｌ＊」を、明度Ｌ＊を「その最大値で規格化」したグラフである。
【図１９】入力情報に対応する階調に対し、この入力情報により形成された対応静電潜像の面積を「その最大値で規格化」したグラフを示す図である。
【図２０】ドット面積率を説明する図である。
【図２１】画像形成装置の１例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００５４】
図１に、画像評価装置の実施の１形態を示す。  
符号１５１は「帯電手段と、対応静電潜像形成手段と、面積測定手段の一部とを収納したケーシング」を示している。
【００５５】
ケーシング１５１内には、電子銃１５２、コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５、光照射光学系１５６、試料ステージ１６４、電子検出器１６３が収納されている。また、符号１５７は「光導電性の感光体」を試料としたものである。
【００５６】
符号１５９は真空ポンプ、符号１５８はインタフェース、符号１６０は制御手段を示している。真空ポンプ１５９はケーシング１５１の内空間を「真空に近い低圧状態(以下「実質的な真空状態」もしくは単に「真空状態」という。)」に減圧する。
【００５７】
制御手段１６０は、コンピュータとディスプレイにより構成されており、コンピュータは、インタフェース１５８を介して装置全体を制御するとともに、画像評価に関わる演算処理を行い、演算結果をディスプレイに表示する。図１において符号１６１は、ディスプレイに表示された「対応静電潜像の様子」を模式的に示している。
【００５８】
光導電性の感光体である試料１５７は、図１においては平板状に形成され、試料ステージ１６４上に平面的に定置され、試料ステージ１６４により、独立した３方向（図の上下方向、図面に直交する平面内の直交２方向）へ変位されるようになっており、ケーシング１５１内で３次元的に位置調整できるようになっている。
【００５９】
試料１５７を構成する光導電性の感光体は、種々の形態のものが可能であるが、一般的な構成としては、導電性基体の上に光導電層を形成した構成である。光導電層は、単一層構造のものであることもできるし、電荷発生層と電荷輸送層（あるいはさらに保護層）を積層した所謂「機能分離型」のものであることもできる。また、電荷発生物質と電荷輸送物質とを混合させた材料を用いた単層感光体であることもできる。
【００６０】
試料としての光導電性の感光体の形態は、図１に示す平板状のものに限らず、ドラム状のものやベルト状のものであることができる。即ち「実際に画像形成装置において使用するドラム状のものやベルト状のもの」も、試料として適宜用いることができる。
【００６１】
試料としての光導電性の感光体の１例として、上記機能分離型のものを、図２（１２）を参照して簡単に説明する。  
近来、光導電性の感光体は、低コスト性、加工容易性の観点から「有機光導電性感光体（以下「ＯＰＣ」と言う。）」の使用が主流となっている。  
図２に示すＯＰＣは、導電性基体１２１上に、図示されない中間層（電荷リークの防止等のために設けられる。）が設けられ、その上に、電荷発生層１２２と電荷輸送層１２３がこの順序に積層された構成となっている。  
この構成では、感光体表面は負極性に帯電されるが、電荷発生層と電荷輸送層の積層順序を逆にする構成も可能であり、その場合には感光体表面は正極性に帯電される。
【００６２】
電荷輸送層１２３の表面を「負に均一帯電」させ、光１２４を照射すると、電荷輸送層１２３を透過した光１２４が電荷発生層１２２に入射して、電荷発生層１２２内で電子１２６と正孔（ホール）１２７を発生させる。
【００６３】
発生した電子１２６は、電荷輸送層１２２の表面を帯電させている負電荷に反発されて導電性基体１２１に吸収される。またこのとき、導電性基体１２１の「電荷発生層１２２との境界面部分」には、電荷輸送層１２３表面を帯電させている負電荷にバランスする正電荷が誘起しており、電子１２６を吸引する。
【００６４】
ホール１２７は、電荷輸送層１２２の表面を帯電させている負電荷に引かれて電荷輸送層１２３中を矢印１２５の向きに移動し、電荷輸送層１２３表面の負の帯電電荷と相殺する。光１２４の照射を２次元的に行なって光画像書き込みを行なうことにより、感光体表面に２次元的な静電潜像が形成される。
【００６５】
電荷発生層１２２の厚さは一般に「サブμｍ」程度、電荷輸送層１２３の厚さは一般に「数十μｍ」である。形成される静電潜像のパターンは文字・画像であるが「最小単位はドット」である。
【００６６】
図１に戻ると、「帯電手段」は、電子銃１５２、コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５を有する。
【００６７】
帯電手段を構成する電子銃１５２や上記各種レンズとしては、例えば、走査電子顕微に用いられるものを利用することができる。電子銃としては熱フィラメント型のものやフィールドエミッション等、適宜のものを用いることができる。
【００６８】
試料ステージ１６４上にセットされた試料１５７の表面を帯電するに当たっては、真空ポンプ１５９によりケーシング１５１内部を吸気し、ケーシング内部を真空状態に減圧する。  
なお、真空ポンプ１５９は、実際には、達成させる真空度に応じ、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンスパッタポンプ等複数を併用することができる。
【００６９】
コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５はいずれも「磁界レンズ」或いは「静電レンズ」である。  
電子銃１５２から放射される電子ビームを、コンデンサレンズ１５３、走査レンズ１５４、対物レンズ１５５により試料１５７表面に収束させつつ、走査レンズ１５４により電子ビームを試料上１５７で２次元的に走査し、試料１５７の表面を均一帯電させる。
【００７０】
なお、電子銃１５２に代えて、イオン銃を用い「イオン粒子ビーム」を生成して帯電に供することができる。例えば、イオン流をなすイオン粒子としてＧａ＋を発生するイオン銃を用いれば、試料表面を正帯電させることができ、帯電特性が正極性である光導電性の感光体の帯電を行なうことができる。
【００７１】
電子銃１５２を用いて試料１５７の表面を帯電させる場合、試料表面の帯電電位は主として「電子の加速電圧と照射時間」に依存し、電子の加速電圧が高いほど試料表面の帯電電位は高くなる。
【００７２】
静電潜像を画像評価するためには、試料表面に形成される静電潜像が、実際の「電子写真プロセスを利用する画像形成」において形成される静電潜像と同等のものである必要がある。
【００７３】
このような「画像形成において実際に形成される静電潜像」と同等な静電潜像を試料１５７に形成するために、帯電条件として「加速電圧を１．０〜数ｋＶ程度」、「照射時間を数十秒から数十分程度」の範囲で調整する。このようにして帯電される試料の帯電電位は「汎用の表面電位計」を用いて測定した値で「−６００〜−１０００Ｖ程度（複写装置等の実際の画像形成装置での帯電電位と同等）」にする。
【００７４】
即ち、予め、帯電条件を変化させ、上記の帯電電位を実現できるような帯電条件を求め、この条件での帯電を行なう。
【００７５】
帯電条件の調整は、インタフェース１５８を介して前述のコンピュータが行なう。
【００７６】
なお、加速電圧を変える代りに、あるいは加速電圧の調整とともに「試料にバイアス電圧」を印加してバイアス電圧を調整するなどして帯電電位を調整することもできる。
【００７７】
このように均一帯電された試料１５７に対して、光照射光学系１７６により「光画像書き込み」を行なって、静電潜像を形成する。
【００７８】
光照射光学系１７６は「対応静電潜像形成手段」を構成する。  
光照射光学系１７６としては、周知の光走査装置や「発光素子アレイを用いる光画像書き込み装置」を適宜に用いることができる。  
光照射光学系１７６の１例として、従来からよく知られている光走査装置の場合を、図３（１１）を参照して説明する。  
以下、このような光照射光学系を「光画像書き込み手段」とも言う。
【００７９】
図３に示すように、光走査装置は、光源１１１から放射されるレーザ光束を、図示されないアパーチャを介してコリメートレンズ１１２に入射させて平行光束化し、シリンドカルレンズ１１３により副走査方向に集光させ、第一ミラー１１４を介してポリゴンミラー１１５の偏向反射面に入射させ、偏向反射面近傍に主走査方向に長い線像に結像させる。
【００８０】
ポリゴンミラー１１５を等速回転させて得られる偏向光束を、走査結像レンズ（所謂ｆθレンズ）と折り曲げミラー１１８とを介して、ドラム状の感光体１１９に集光させて光スポットを形成し、この光スポットを感光体の母線方向を主走査方向として走査して「主走査」を行なう。また感光体１１９を回転軸１１９１の周りに等速回転させることにより副走査を行なう。
【００８１】
感光体１１９の表面は図示されない適宜の帯電手段により均一帯電されており、上記光走査により２次元的な静電潜像が形成される。  
図３には、光走査により画像書き込みされた３種の「ドットパターン（ワンドットを誇張して大きく描いてある。）による静電潜像」を符号１１９２により示している。
【００８２】
光源１１１としては、レーザダイオード（ＬＤ）を用いることができるほか、また発光ダイオード（ＬＥＤ）、垂直面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）を用いることもできる。
【００８３】
ＶＣＳＥＬを用いて「走査線間隔の微小なマルチビーム走査」を行なうことができ、高解像度の静電潜像を短時間で形成できる。
【００８４】
なお、図１においては、光導電性の感光体である試料１５７は、図３に示すドラム状の感光体１１９とは異なり「平板状」であるから、副走査を行なうに際しては、試料ステージ１６４により試料１５７を、試料の面に平行で、光走査の主走査方向と直交する方向へ等速で移動させて２次元的な走査を実現する。
【００８５】
前述のように「試料としての光導電性の感光体」の形態は、図１に示す平板状のものに限らず、ドラム状のものやベルト状のものであることができるのであり、図１の構成において、試料ステージ１６４と試料１５７とに代えて、図３に示すドラム状の感光体１１９とこれを回転させる回転駆動手段をケーシング１５１内に組み込むようにしても良い。
【００８６】
このようなドラム状の試料を用いる場合、前述の汎用の表面電位計をケーシング１５１内に組み込み、試料を回転させつつ「帯電手段で帯電された試料表面」の電位測定を行なうようにすることができる。
【００８７】
光走査の条件は、光源として、例えば波長：６５０ｎｍのＬＤを用い、露光エネルギ密度として「１ドットあたり１ｍＪ／ｃｍ２以下」が好ましく、このような条件で光走査を行なうことにより、１ドットあたりの面積：５０００μｍ２程度の光画像書き込みを実施できる。
【００８８】
なお、図１においては光照射手段１５６がケーシング１５１内に設けられているが、この部分をケーシング１５１の外部に儲け、ケーシング１５１に開口を形成し、この開口を透過率の高いガラスなどで密封し、このガラスを介して外部からの光で光走査を行なうようにしてもよい。
【００８９】
次に、静電潜像の測定について説明する。静電潜像の測定には、上述の帯電手段と、電子検出器１６３が用いられる。
【００９０】
電子銃１５２からの電流値を「帯電時（数ｎＡ）に比して１／１０００程度の数ｐＡ」に小さくし、このような「弱い電子ビーム」により試料１５７の表面を２次元走査する。
【００９１】
このように電子ビームの電流値を小さくするのは、電流値の電子ビームの電流値が大きいと「静電潜像の消失が速い」のでこれを防ぐためである。
【００９２】
電子検出器１６３は「２次電子検出器」である。静電潜像測定用の弱い電子ビームで試料１５７を２次元走査すると、試料１５７から２次電子が放出されるが、２次電子の放出量は「静電潜像が形成されている部分」で少なく、「静電潜像が形成されていない部分」で多い。
【００９３】
従って、弱い電子ビームで２次元しつつ、発生する２次電子を電子検出器１６３で検出（電子検出器１６３内に吸引した２次電子を蛍光体に当てて蛍光を発生させ、この蛍光の強弱を電子増倍する）ことにより、静電潜像に対応する信号を得る。なお、この測定は、特許文献１により公知である。
【００９４】
このように電子検出器１６３による検出信号を、インタフェース１５８を介して制御手段１６０のコンピュータに取り込み、データ処理して、静電潜像のパターンをディスプレイ上に表示する。図１は、試料１５７に形成された３種の静電潜像１６１をディスプレイに表示した状態を示している。
【００９５】
図１に示す如き画像評価装置で、請求項１の画像評価方法を実施する場合について説明すると、試料１５７を試料ステージ１６４上にセットしたのち、制御手段１６０のコンピュータにより装置各部を制御し、まず真空ポンプ１５９によりケーシング１５１内を真空状態とし、上述の如くして試料１５７の表面を均一に負帯電させ、光照射光学系１５６による光走査（光画像書き込み）で静電潜像の形成を行なう。
【００９６】
その際、制御手段１６０のコンピュータにおいて「入力パターンの形状と面積」を有する入力情報を生成し、この入力情報を「光画像書き込み情報」として光照射光学系１５６による光画像書き込みを行なう。この光画像書き込みにより入力情報に対応する「対応静電潜像」が形成される。
【００９７】
入力情報と対応静電潜像の１例を図４（１）に示す。  
図４（ａ）は「入力情報を持つ入力パターン」であり「一辺の長さ：ａの正方形」が１６個、４×４（４行４列）に配列され、そのうち４つの正方形が黒い。  
入力パターンの全面積：１６ａ２に対し、黒い部分の全面積は４ａ２であり「全面積：１６ａ２に対する黒い部分の占める面積率」は２５％である。  
全面積：１６ａ２が白い場合を「階調：零」、全面積が黒い場合を階調：１５とすると全部で１６階調を表現でき、図４（ａ）に示す場合の階調は「４」である。  
このように「入力情報には少なくとも入力パターンの形状（黒い部分と白い部分との配列パターン）と面積」が含まれる。
【００９８】
正方形の一辺の長さ：ａは任意であるが、これは「電子写真プロセスを利用する画像形成で実現させたい所望の解像度」により決定される。
【００９９】
例えば、所望の解像度として６００ｄｐｉを考えると、入力パターンにおける正方形１個の１辺の長さ：ａ＝４２．３μｍ、解像度：１２００ｄｐｉならａ＝２１．１７μｍ、２４００ｄｐｉの解像度ならａ＝１０．５８μｍとなる。
【０１００】
表現しようとする階調を２５６階調とすると、少なくとも１６×１６（＝２５６）の正方形の配列が必要となる。階調をより滑らかに表現しようとすると、さらに多数の正方形の配列が必要となる。
【０１０１】
図４（ａ）に示す入力パターンの入力情報により、上記のようにして試料１５７上に形成される静電潜像が入力パターンに対応する「対応静電潜像」であるが、この対応静電潜像は例えば図４（ｂ）に示す如きものとなる。  
この例では、入力パターンの「１個の黒い正方形に対応する静電潜像部分」は「楕円形状」であるが、実際には、円形となる場合もあるし、矩形に近い形状やあるいは「さらに複雑な形状」になることも有る。
【０１０２】
上記静電潜像部分（対応静電潜像において、入力パターンにおける１個の黒い正方形に対応する線像部分）の大きさも、図４（ｃ）に示すように、１辺：ａの正方形の大きさをはみ出す場合や、図４（ｄ）に示すように上「正方形内に収まる場合」もある。  
静電潜像部分の面積：Ｓｄは、図４（ｃ）の場合：Ｓｄ＞ａ２であり、（ｄ）の場合：Ｓｄ＜ａ２である。
【０１０３】
静電潜像部分の面積：Ｓｄ≠ａ２であるため、対応静電潜像の階調は、所望値：４からずれる。
【０１０４】
このように「対応静電潜像の階調が、入力パターンにおける階調と異なる」と、対応静電潜像をトナー画像として可視化した場合における「可視像の階調再現性」を損なう１因となる。
【０１０５】
対応静電潜像において、入力パターンの「１個の黒い正方形部分」に対応する静電潜像部分の大きさは、光画像書き込みにおける照射光強度、照射時間、感光体の特性、帯電電位等の制御因子よっても変るものであるから、これら制御因子の値を変えることにより、ドット（１個の黒い正方形部分に対応する静電潜像部分）の大きさを変えることが可能である。
【０１０６】
従って、画像評価により対応静電潜像の面積と入力パターンの面積との「面積差」を、画像形成の電子写真プロセスにフィードバックすることにより階調性再現を向上させることが可能となる。
【０１０７】
入力パターンの面積情報は、例えば、図４（ａ）に示す場合であれば、入力パターンの１個の「黒い正方形」の大きさ：ａ２として与えられるので、上記面積差を得るには、対応静電潜像の面積（上記１ドットに対応する「静電潜像部分」の面積）を測定する必要がある。
【０１０８】
この面積測定を、図５（２）に即して説明する。  
図５（ａ）において、符号２０は、図４（ａ）に示した入力パターンにおける「１辺の長さ：ａの正方形」に相当し、符号２１は、対応静電潜像における１ドットの静電潜像部分（上記１個の正方形に対応する静電潜像）の輪郭を示している。  
図５（ａ）における符号２２は「測定解像度の最小単位」を表す１ピクセルである。  
１ピクセルは一辺の長さ：ｐの正方形であり、「ｐ＜ａ」である。  
図５（ａ）では「ａ＝１２ｐ」としているが、これに限らず、対応静電潜像の形状（説明中の例で１ドットの静電潜像部分の形状）を表現するのに適当な数であれば良い。  
図５においてはピクセル全体が「１６×１６」のピクセル配列となっているが、この図は「対応静電潜像の一部」を切り出したものであり、全体は例えば７２０×４８０ピクセル程度である。  
測定装置の解像度は、走査型の電子検出器を用いて「ＮＴＳＣ（National Television Standards Committee）の規格であればこの程度の解像度となる。  
図５は「１ドットのみの静電潜像部分」を示しているが、図４（ａ）、（ｂ）で示したように「周囲にあるドットも同時に測定」する場合、最低で４８×４８ピクセル必要である。
【０１０９】
測定装置の検出手段（電子検出器）は、得られる物理量の強度を階調に変換して画像を出力するものである（例えば２５６階調）。
【０１１０】
上記のように、対応静電潜像は階調を有し、例えば、図５（ａ）の静電潜像部分の中心と周囲とでは階調数が異なる。そこで、階調に閾値を設け、静電潜像部分を零、バックグランド部分を１として「２値化」する。この２値化により、対応静電潜像（部分）の輪郭も明確に決定できる。
【０１１１】
対応静電潜像の面積は、このように２値化した対応静電潜像における「階調：０」のピクセル数をカウントすればよい。図５（ｂ）に示す静電潜像部分の例では、その面積はピクセル数にして１２０ピクセルである。
【０１１２】
一方、入力パターンにおける１辺：ａの正方形は１４４ピクセルで構成されているので、この正方形に対応する対応静電潜像の面積を表すピクセル数：１２０とのピクセル数の差は２４ピクセルである。
【０１１３】
即ち、対応静電潜像の面積は、入力パターンの面積に対して面積率：８３．３％であることになる。また１ドットの対応静電潜像部分の面積に当たる１２０ピクセルは、これを正方形形状に換算した場合、換算正方形の１辺が「０．９１ａ２」となる。
【０１１４】
対応静電潜像の面積率：１００％を理想値とすると、実際の対応静電潜像は１６．７％小さい値である。このように、入力パターンに対応する対応静電潜像の面積を測定することにより、入力情報と対応静電潜像の差を把握できる。
【０１１５】
また、上記の場合において、対応静電潜像の階調は、入力パターンの階調：４に対して略３．３であり、入力パターンに対する対応静電潜像の「階調のずれ」を見積ることができる。  
図５（ｂ）は「１ドットの静電潜像部分」であるが、図４（ｂ）のように対応静電潜像が４ドットを有する場合も同様にして「上記の差」を求める。
【０１１６】
４ドットを有する場合について、入力情報と対応静電潜像の差は「誤差の範囲で同じ」場合もあるが、誤差以上に異なる場合も有りうる。
【０１１７】
４ドット全体での評価は、４つのドットの総和を取ったり「平均値を取る」などして差を求めることができる。ドット数が増えた場合も同様である。
【０１１８】
図６(３)(ａ)に示すように、４×４の正方形で構成される入力パターンにおいて、１６個の正方形の配列を、図の如く番号１〜１６のようにナンバリングする。
【０１１９】
光画像書き込みを「正方形１〜１６の順に光走査」して行なうものとし、光照射する場合を「１（オン）」、光照射しない場合を「０（オフ）」とする。  
そうすると、図６（ｂ）に示す入力パターンの光画像書き込みの際の光照射のオン・オフは「１，０，１，０，０，０，０，０，１，０，１，０，０，０，０，０」となる。
【０１２０】
これは、入力パターンの形状を与える情報である。勿論、実際の配列総数は１６よりもはるかに多い。
【０１２１】
上の説明では、光画像書き込み手段として説明した光走査装置は、単一の光源を有し、光走査は所謂「シングルビーム走査」で行なわれるが、複数の光源を用いるマルチビーム走査により、入力パターンの対応静電潜像を形成するようにしても良いことは言うまでもない。
【０１２２】
例えば、光源を２個用い、上記４×４個の入力パターンを、奇数行と偶数行に分け、一方の光源のオン・オフ信号を「１，０，１，０，１，０，１，０」として奇数行の光走査を行い、他方の光源のオン・オフ信号を「０，０，０，０，０，０，０，０」として、図６（ｂ）の入力パターンを光画像書き込みできる。光源を４個用いるマルチビーム走査により４行の光走査を１度に行なうこともできる。
【０１２３】
上の例では、隣接ドット間の光走査に要する時間は一定である。光源にレーザダイオード（ＬＤ）を用い、ポリゴンミラーを用いて光画像書き込みを行なう場合、ＬＤの発光時間及びポリゴンミラーの回転数により上記時間が決定され、電子写真プロセスの制御因子の一つとなる。
【０１２４】
特許文献１に記載された静電潜像測定方法では評価されるのは「ドットの評価」のみであるが、この発明では、上記実施の形態のように、入力パターンを構成する網点の入力値と静電潜像部分の面積の差を測定することが可能となる。
【０１２５】
図１の装置で上記の評価を行なうに際して、各手段の制御は、インタフェース１５８を介してコンピュータ１６０で行なう。各手段の詳細な制御はコンピュータ内のソフトウェアで行う。
【０１２６】
図５に即して説明したデータ・画像処理をコンピュータにより行い、対応静電潜像の面積・面積率・入力パターンとの差を求める。  
このデータ処理・画像処理や「面積差の算出」等の演算は特別なものでなく、汎用のデータ・画像処理ソフト等を用いても行うことが可能である。
【０１２７】
画像評価装置に関して「装置の制約」がある場合もある。  
例えば「電子ビームを走査する範囲を広くできない」とか「試料（光導電性の感光体）のサイズに制約がある」などの制約である。  
電子ビームの走査範囲に関しては、汎用ＳＥＭと比較して「数ｎｍという分解能」を犠牲にすれば、ある程度（数ｍｍ×数ｍｍ）の範囲を走査することは可能であるが、実際に使用される感光体は「直径：数ｃｍ、長手方向：数十ｃｍの大きさのドラム状」のものが多い。  
このような感光体の全面を一度に走査することは難しく、感光体を動かして部分的な走査を繰り返すことになる。また、この程度の大きさの感光体を試料とすると「試料をセットする部分」が大型になり、真空槽も大容量にする必要がある。従って、実際の感光体の一部を切り出して試料としたものについて測定するなどの工夫が必要になる。この場合、電子ビームの走査はごく狭い範囲で構わなくなる。
【０１２８】
「具体例」
市販の電子複写装置やレーザプリンタに用いられる機能分離型の「光導電性の感光体」を「２ｃｍ×２ｃｍ程度」に切り出して試料とした。  
ＣＴＬの厚みは約３０μｍである。
【０１２９】
電子ビームの加速電圧を１．８ｋＶとして試料表面を均一帯電させた。
【０１３０】
「入力パターン」として、図７に示す「１辺：ａの正方形の２×２配列」を採用し、図３に示すタイプの光走査装置により光画像書き込みを行なった。光源として発光波長：λ＝６５０ｎｍのＬＤを２個用い、２ラインを同時走査するマルチビーム走査により光画像書き込みを行なった。
【０１３１】
２個のＬＤの一方からのレーザ光束で１行目を書き込み、他方からのレーザ光束で２行目を書き込む。従って、１行目を書き込むための光源オン・オフ信号は「１，０」、２行目を書き込むための光源オン・オフ信号は「０，０」である。  
露光エネルギ密度は１ｍＪ／ｃｍ２以下とした。
【０１３２】
ポリゴンミラーによる偏向で１ドットを書き込むのに要する時間：Ｔに対し、ＬＤが発光している時間をＴ／２（デューティ比：５０％）とした。
【０１３３】
上記の如き面積測定を３０回程度行い、対応静電潜像の面積（黒部分の１ドット）を求めたところ「５６００±１００μｍ２」であった。  
解像度：６００ｄｐｉを目標値として、入力パターンの面積：１７９２μｍ２であり、対応静電潜像との面積差は３８０８μｍ２となった。
【０１３４】
上記の如く、ある１つの階調について「入力パターンと対応静電潜像の面積差」の測定は、階調再現性を向上させる上で重要であるが「階調再現性」は、複数の「異なる階調」間で成り立つものであるから、異なる階調のそれぞれでの差を把握する必要がある。
【０１３５】
図８（５）を参照して説明すると、図８上図は「階調が異なる３つ入力パターン」の入力情報であり、これをもとに対応静電潜像を形成する。形成の順序は矢印の如く、階調：４(図８上左図）、８（同中図）、１２(同右図)の順でも良いし、これと逆でも良い。
【０１３６】
対応静電潜像の形成位置は、試料である光導電性の感光体上の同じ位置でも、異なる位置でも良い。同じ位置に形成する場合は、先に形成された対応静電潜像を消去するための除電手段が必要となる。
【０１３７】
除電は、例えば「光画像書き込みに用いられるのと同じ波長の光」を、試料全面に照射することにより実施でき、例えば、発光素子（ＬＥＤ）を試料設置位置に近接させて配置して試料全面を光照射するようにすればよい。ＬＥＤの発光波長は、試料の光感度特性も考慮して、例えばλ＝６５０ｎｍとすればよい。除電後、試料を再度帯電させ、光画像書き込みにより対応静電潜像を形成する。
【０１３８】
図８下図は、同上図に示す３種類の入力パターンにそれぞれ対応する対応静電潜像を示している。このように形成された３種の対応静電潜像の面積を上述の例と同様にして測定し、各入力パターンの面積（入力情報として入力パターンごとに定まっている。）との差を求める。
【０１３９】
このようにして、図８では３階調（図８上図の左図・中図・右図）の入力パターンに対して面積差が求まる。図８の例では、説明の簡単のために階調数を「３」としているが、実際の場合として、必要な階調数が例えば２５６（１６×１６）であれば、入力パターンとその入力情報は２５６種あり、対応静電潜像の形成・面積測定も２５６回行う。
【０１４０】
入力パターンは、図９に示すような大きな配列にあるものを用いる。ただし、必要とする階調数は間引いても１２８、６４、３２、１６などであっても良い。
【０１４１】
図８の入力パターンの個々は４×４の配列であるが、図１０の右側に示す「８×２」の配列も、同図左側の「４×４の配列」に等価である。  
図１０右側に示す「８×２」の入力パターンであれば、２つのＬＤを光源とする２ライン同時走査のマルチビーム走査方式の１光走査で各対応静電潜像を形成できる。
【０１４２】
このようにして、対応静電潜像のレベルにおいて「階調再現性の評価」が可能となる。
【０１４３】
入力パターンの入力情報に「必要とする階調数」に対し、入力パターン（上の例で言えば「黒い正方形部分の集合」）の面積は直線的に増加もしくは減少する。  
階調を横軸にとり、入力パターンの面積を縦軸にとってグラフを作成すると、図１１に示すようになる。  
図１１において「入力情報」とあるのは入力パターンに関するものである。
【０１４４】
この入力情報は、解像度：６００ｄｐｉとして「面積(縦軸)」を算出している。入力情報を表す直線の傾き：１７９２．１は、入力パターンの面積／階調で表され、切片は零で原点を通る。  
理想的な対応静電潜像が形成できれば、階調に対する対応静電潜像の面積変化は、この「入力情報の直線」と一致する。  
しかし実際には、上述のように、対応静電潜像のドット(静電潜像部分)面積は、入力情報の面積値からずれる。例えば、図４（ｄ）に示す場合のように、対応静電潜像の１ドットが一辺：ａの正方形内に収まり、その面積が「ａ２よりも小さい」場合には、階調に対する面積変化は、図１１の「静電潜像１」で示すようになる。
【０１４５】
この場合の「対応静電潜像の１ドットの面積」は０．８３３ａ２としている。この直線の傾きは１２４３．５となり、入力情報を表す直線の傾きと異なる。従って、これを「入力情報の直線からのずれ」として測定可能である。  
図１１における静電潜像１の直線は、原点を通る。
【０１４６】
次に、図８に示す階調数：１２の対応静電潜像(図８下右図)の場合を考えると、この対応静電潜像における１ドットの面積は「ａ２よりも小さい」が、上下に隣接するドットが互いに重なっている。対応静電潜像を構成するドットは全部で１２ドットある。  
１ドットの面積を「Ｓｄ」とすれば、全面積：１２Ｓｄが理想であるが、ドット相互に重なりが生じているため全面積は「１２Ｓｄよりも小さく」なる。  
対応静電潜像を構成するドットの数が増えて「重なるドットが多くなる」ほど、対応静電潜像を構成する全ドットの面積は小さくなる。従って、この場合の、階調・面積の関係は、図１１の「静電潜像２」のようなグラフ線(破線)となる。  
このグラフ線「静電潜像２」は、厳密には直線ではなく「近似直線」である。
【０１４７】
「静電潜像２」を表す直線は、傾き：１１７３．８であって「入力情報を表す直線の傾き（１７９２．１）」と異なり、また切片：１５７７．１μｍ２となる。従って「入力情報とのずれ」として、「傾き」のほかに「切片」の測定が可能となる。
【０１４８】
図１１において「入力情報」のグラフ線の相関係数は１で「直線」である（これを「理想直線」と呼ぶ。）  
次に、「静電潜像１」のグラフ線の相関係数を求めると１となりこれも直線であるが、理想直線とは「傾きのずれ」がある。「静電潜像２」のグラフ線の相関係数は０．９９５６と成り、僅かに直線からずれることが分る。これも「入力情報と対応静電潜像の面積とのずれ」の１つの形態であり測定できる。
【０１４９】
即ち、請求項３において、入力パターンＰＩの面積：ＳＰＩを、階調：Ｉに対して直線的に変化させたとき、対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩの「階調：Ｉに対する変化の、面積ＳＰＩの直線的変化に対する差」は、この場合、近似直線（静電潜像１、静電潜像２）の傾き・切片・相関係数の３つである。
【０１５０】
画像を印刷物として紙に印刷した場合、印刷画像の階調再現性評価には「明度：Ｌ＊」を用いる場合が多い。人が知覚し得る「隣り合う階調間の明度差」は、明度によらず一定値を取ることが知られており、従って「階調に対する明度の変化は直線的である」ことが好ましい。静電潜像の面積についても同じことが言え、階調に対して静電潜像の面積が直線的に変化することが好ましい。
【０１５１】
図４（ａ）の入力パターンに基づいて対応静電潜像(図４（ｂ）)を形成し、この対応静電潜像を現像してトナー画像とし「最終的に記録シート上に出力画像として出力」した場合における「出力画像」を構成するトナー粒子の大きさを「極端に誇張」して描くと、図１２（ａ）の如くになる。  
勿論、トナーの粒径は１０μｍ以下であるから目視でトナー粒子の個々は見えないし、図のように「トナー粒子間に大きな隙間が多数空いている」訳ではない。
【０１５２】
図１２（ａ）に示すような「ドット状のトナー画像」は、光学顕微鏡やレーザ顕微鏡などを用いて詳細を観察でき、顕微鏡にデジタルカメラ等の撮像機器を装着し、観察画像を電子データにすれば、その後のデータ・画像処理を行うことが容易になる。  
汎用の画像処理ソフトを用いれば「トナー画像の面積」を容易に求めることができる。
【０１５３】
例えば、入力パターンから対応静電潜像を経て、図１２（ｂ）のように取得した「出力画像」であるトナー画像の輪郭を抽出して面積を求めることができる。この面積の求め方は「図５に即して説明」したのと同様である。  
このように求められる「トナー画像の面積」と、前述の如くして求めた対応静電潜像との面積の差：Δｓを求めることができる（図１２（ｃ））。
【０１５４】
入力パターンに対する対応静電潜像の形成とトナー画像の形成とは「同時に行う」ことが好ましい。  
対応静電潜像の形成とトナー画像の形成は別々の手段で行ってもよい。  
例えば、適宜のデジタル複写装置あるいはプリンタで、記録シート上にトナー画像を出力画像として形成する一方、対応静電潜像は上述した図１の装置を用いて、上記複写装置またはプリンタでの静電潜像形成と同じ条件（帯電電位等の帯電条件・走査光学系による光画像書き込み等）で形成できる。
【０１５５】
勿論、対応静電潜像形成に用いる光導電性の感光体と、現像によりトナー画像を形成する感光体とは、同一の物性（同一条件での静電潜像形成で、同一の静電潜像が形成される感光体としての特性）を持つものを用いる。勿論、同一の感光体に対し、対応静電潜像の形成と現像とを行なうようにすることができる。
【０１５６】
同一の感光体を用いる場合を簡単に説明すると、上に説明した試料としての感光体として「実際にデジタル複写装置等で用いられるドラム状の感光体」を用い、これを図１の装置に試料としてセットし、帯電条件・光画像書き込みの条件を設定して、上と同様にして入録パターンに対応する対応静電潜像の形成と形成された対応静電潜像の測定（面積・階調等）を行なう。
【０１５７】
その後「同じ感光体」をデジタル複写装置にセットし、上記帯電条件・光画像書き込み条件により上記入力パターンと同一の入力情報で静電潜像形成を行なって「可視像用静電潜像」を形成し、形成された可視像用静電潜像に対し現像・転写を行い、入力情報に応じたトナー画像を得る。そして、このトナー画像に対し、上記の如く面積測定等を行なう。
【０１５８】
このようにすることにより、入力パターンの入力情報と対応静電潜像との関係に加え、対応静電潜像とこれを可視化したトナー画像との関係を知ることが可能になる。
【０１５９】
ここで、トナー画像を形成するトナーと、トナー画像を転写・定着する記録媒体について説明する。
【０１６０】
静電潜像を現像する方式としては、乾式現像方式・湿式現像方式があるが、現在では高速性に優れた「乾式現像方式」が主流となっている。しかし、この発明の実施については乾式現像方式に限らず、湿式現像方式を利用することも勿論可能である。
【０１６１】
乾式現像方式に用いられる粉黛の現像剤には「１成分現像剤と２成分現像剤」が知られ、１成分現像剤を構成するトナーには「非磁性トナー」と「磁性トナー」がある。また、２成分現像剤は「トナー粒子とキャリア粒子」とからなり、この場合も、トナーには非磁性トナー、磁性トナーがある。  
トナー粒子はポリマーを主成分とし着色剤等が含まれ、粒径は数μｍから十数μｍである。キャリア粒子は鉄粉などの金属系材料で粒径は数十μｍから数百μｍである。
【０１６２】
トナー画像を最終的に担持することになる記録シートは、転写紙であることが一般的であるが、それ以外に厚紙や、ＯＨＰシート（オーバヘッドプロジェクタ用のプラスチックシート）等であることもできる。
【０１６３】
従来、紙等の記録シート上のトナー画像の階調再現性は巨視的に「反射率、濃度、明度など」を測定して行われている。
【０１６４】
特に、階調再現性における「明度の再現性」は、図１３に示すように、横軸の階調の変化とともに、直線的に変化することが好ましい。  
図１４を参照して対応静電潜像（可視像用静電潜像）とトナー画像の対応を説明する。  
図１４の上図には、階調の異なる３種の対応静電潜像が示されている。この対応静電潜像は、図８下図に示したのと同じものであり、図８上図に示す３種の入力情報により「可視像用静電潜像」として形成されたものである。
【０１６５】
図１４下図は、同上図の静電潜像に対応するトナー画像(図中は「トナー像」)である。
【０１６６】
上記の如くして、静電潜像の面積とトナー画像の面積を階調ごとに求め、「静電潜像面積とトナー画像面積」の差を求める。
【０１６７】
図１４では、説明の簡単のために、階調数を３としているが、これに限らず、２５６階調等であっても良いことは言うまでもない。
【０１６８】
例えば、２５６階調の入力情報について測定を行なう場合であれば、例えば、図９に示す如き「１６×１６の配列」の入力情報を用いれば良く、この例では、黒い正方形部分の全面積は４８ａ２であり、全面積：２５６ａ２に対する面積率：１８．８％、階調：４８である。
【０１６９】
上述の如く、対応静電潜像の面積が「入力情報の面積」からずれる。従って、対応静電潜像を用いて形成されるナー画像の面積は、入力情報の面積から「さらにずれる」のが一般的である。  
入力情報でなく「対応静電潜像を基準」として、トナーが「静電潜像に理想的に付着」する場合を考えれば、トナー画像の面積は対応静電潜像と同面積になる。この場合を、図１５に「Ａ」で表すグラフ線であらわす。
【０１７０】
図１５の横軸は静電潜像面積を表し、縦軸はトナー画像の面積（図中「トナー像面積」）を表している。上記理想的な場合ならば、静電潜像面積とトナー画像面積とは同一であるから、グラフ線：Ａの傾きは「１」であり、切片は０で座標原点を通る。
【０１７１】
「傾き」は「面積／面積」で無次元である。図１５では、解像度：６００ｄｐｉの場合を例として面積を算出した。
【０１７２】
入力画像の１ドットに対応する静電潜像部分(対応静電潜像における１ドット状の部分)の面積は、入力情報の面積の８３．３％とした。  
対応静電潜像と等価な可視像用静電潜像へのトナーの付着が少なく、トナー画像面積が対応静電潜像面積の７０％になる場合を図１５にグラフ線「Ｂ」で示す。グラフ線「Ｂ」は、傾き：０．７で原点を通る。
【０１７３】
従って、傾き：１のグラフ線「Ａ」とグラフ線「Ｂ」との傾きの差は「０．３」であり「対応静電潜像とトナー画像との差」の１つである。
【０１７４】
図１５のグラフ線「Ｃ」は、対応静電潜像に対して「±数％の面積のばらつき」をランダムに有するトナー画像の場合を示す。このグラフ線「Ｃ」を破線で示す直線で近似した近似直線は傾き：１．０９５７で、傾き：１のグラフ線「Ａ」に対して０．０９５７のずれ(差)がある。
【０１７５】
上記近似直線の切片は−１４１２．２であり、これは対応静電潜像とトナー画像の差の１つである。  
このように、入力パターンＰＩを階調：Ｉ（Ｎ≧Ｉ≧１）応じて変化させ、対応静電潜像ＭＩの面積：ＳＩを階調：Ｉに対して直線的に変化させ、同一内容の入力パターンにより形成されたＮ個の可視像用静電潜像をトナーにより可視化してＮ個のトナー画像ＴＩとし、このトナー画像の面積：ＳＴＩを測定し、面積：ＳＩの階調：Ｉに対する変化の、面積ＳＴＩの変化に対する差として、上記傾き・切片・相関係数を測定することができる。
【０１７６】
従来「階調再現性の評価」は、入力情報に対するトナー画像の明度の直線性のみによっていたが、この発明により「階調再現性における静電潜像とトナー画像とのずれ」を用いることにより高精度の測定が可能である。
【０１７７】
図１６に、入力情報に対する対応静電潜像とトナー画像との画像評価を行なう装置の１例のシステム図を示す。
【０１７８】
図１６において符号１４１、１４５で示す部分は、図１に即して説明したのと同様の画像評価を行なう部分であり、符号１４１で示す部分で試料に対する対応静電潜像の形成と形成された対応静電潜像の面積の測定を、図１の場合と同様にして行なう。
【０１７９】
図１６において、符号１４２は電子写真プロセスによる画像形成を行なう画像形成部であり、対応静電潜像の形成と面積測定を行なわれる試料と「静電潜像形成条件」を同一に設定された感光体が用いられる。
【０１８０】
入力パターンに関する入力情報は、コンピュータ１４５で生成され、ディスプレイに表示される。このようにして、入力情報により試料に対応静電潜像が形成されてその面積が測定される。
【０１８１】
一方、画像形成部１４２は、その感光体を試料と同一条件で帯電し、試料に対する光画像書き込みと同一の条件で光画像書き込みを行なって入力情報に対応する可視像用静電潜像を形成し、これを現像して得られるトナー画像を紙等の記録シート上に転写・定着して出力画像として出力する。
【０１８２】
従って「画像評価を行なう部分で試料に形成される対応静電潜像」と同一の静電潜像が画像形成部１４２の感光体に形成され、トナー画像として可視化される。試料に形成される対応静電潜像の面積が測定され、入力情報の面積との差が取られる。この面積の差は、所望の階調数の各階調に対して行なわれる。
【０１８３】
画像形成部１４２としては、市販の光プリンタやデジタル複写装置を用いて良い。
【０１８４】
図１６に符号１４６で示すのは、入力情報に応じて記録シート上に形成されたトナー画像である。図では、異なる３階調のものを例示しているが、図示の簡単のためであり、階調数はさらに多くても良いことは言うまでもない。
【０１８５】
図６のトナー画像１４６は、数ｍｍ〜数ｃｍの巨視的なサイズで見た様子を描いており、数十μｍといった微視的なサイズで見ると、図１２（ａ）に示すような小さなドットの集合パターンで出来ている。
【０１８６】
このトナー画像によるパターン１４６の評価を説明する。
【０１８７】
トナー画像によるパターン１４６は、２種の観察・測定装置により測定される。  
第１の観察・測定手段１４３は「主としてパターンの反射率を測定」する装置である．基本的に光源１４８及び検出器１４９を有し、光源１４８から測定試料１５０に光照射し、反射光を検出器１４９により検出する。
【０１８８】
測定試料１５０は、トナー画像のパターン１４６を持つ記録媒体である。この装置では測定試料１５０の反射率が測定されるが、反射率の測定に代え、あるいは反射率とともに「明度」を測定しても良い。
【０１８９】
第２の観察・測定手段１４４は「顕微鏡」であり、同じ測定試料１５０の微視的状態を観察・測定する。即ち、第１、第２の観察・測定装置における前者は「巨視的な観察・測定」を行い、後者は「微視的な観察・測定」を行なう。
【０１９０】
前述の如く、入力パターンを特定する入力情報は、コンピュータ１４５で生成し、対応静電潜像の形成・観察は装置１４１で行い、観察結果をコンピュータ１４５に返し、同じ入力情報を用いて画像形成部１４２で紙等の記録媒体上にトナー画像１４６を形成し、その観察・測定を第１、第２の観察・測定手段１４３、１４４で行い、観察結果をコンピュータ１４５に返し、コンピュータ１４５内で対応静電潜像とトナー画像との面積差を算出する。なお、対応静電潜像の形成とトナー画像の形成、観察は同時でも時間差があっても良い。
【０１９１】
このようにして、入力情報と対応静電潜像、対応静電潜像とトナー画像、入力情報とトナー画像とのそれぞれの差・ずれを高精度で測定・評価することが可能になる。  
入力情報が有る関数：Ｆ０で、これに対応する対応静電潜像がＦ１、トナー画像がＦ２で表されるものとする。
【０１９２】
このとき、入力情報と対応静電潜像との差：ΔＦ１はＦ１−Ｆ０で表され、対応静電潜像とトナー画像像との差：ΔＦ２はＦ２−Ｆ１で表される。
【０１９３】
従来は、入力情報とトナー画像との差：ΔＦ０＝Ｆ２−Ｆ０求めていた。ここで、ΔＦ０＝ΔＦ１＋ΔＦ２ある。  
入力情報とこれに最終的に対応するトナー画像との間には、電子写真プロセス上の多くの制御因子（パラメータ、条件）がある。従来のように、入力情報とトナー画像との差：ΔＦ０のみであると、電子写真プロセスに対する好適な制御因子（パラメータ、条件）を探す効率が悪い。
【０１９４】
上記ΔＦ１は「入力情報と対応静電潜像との差」で、主として「走査光学系に関する制御因子」に関する。ΔＦ２は「対応静電潜像とトナー画像との差」で、主として「現像に関する制御因子」に関する。
【０１９５】
この発明の画像評価では、従来「ΔＦ０のみ」に依っていたのを「ΔＦ１とΔＦ２の２つを用い」て評価でき、プロセスも走査光学系と現像系を分離することができるので、制御因子を探す効率を有効に工場させることができる。
【０１９６】
上の関数に対してさらに階調を考慮する。  
ある階調を「ｉ」と表すと、階調：ｉに対して上記のＦ０、Ｆ１、Ｆ２は、Ｆ０ｉ、Ｆ１ｉ、Ｆ２ｉである。それらの差はそれぞれ、ΔＦ０i、ΔＦ１i、ΔＦ２iであり、階調：ｉの範囲（例えば０≦ｉ≦２５５）においてＦ、ΔＦを各々求めれば良い。
【０１９７】
図１７は、上記の測定結果を制御因子にフィードバックし、最適・好適値を探すプロセス示すダイヤグラムであり、このようなフィードバックの手段を電子写真プロセスに組み込めば良い。
【０１９８】
また、図１６のシステムを応用すれば、画像形成部１４２の検査システムとすることもできる。画像形成部１４２以外は固定とし、画像形成部１４２の部分を順次換えて測定・評価、調整を行うことができる。
【０１９９】
このように、入力情報とトナー画像に加えて「静電潜像も含めた評価」の結果を制御因子に反映することにより「より階調再現性の良い画像」とともに、かかる画像を形成できる装置を実現できる。
【０２００】
「具体例」
図１３に、階調再現性における「明度の再現性」の好ましい例（横軸の階調の変化とともに、明度が直線的に変化する場合）を示したが、図１３に示された「階調に対する明度：Ｌ＊」を、明度Ｌ＊を「その最大値で規格化」したグラフを図１８に示す。  
図１８において、例えば、階調：１００において、直線１９１からずれた値：１９２が得られたものとし、この値：１９２の「直線１９１からのずれ」を「ΔＬ＊’」と記す。
【０２０１】
ΔＬ＊は「規格化された明度差」である。  
図１９は、入力情報に対応する階調に対し、この入力情報により形成された対応静電潜像の面積を「その最大値で規格化」したグラフを示す。  
このグラフは、対応静電潜像の面積が「階調に対して理想的に増加」する場合を表している。
【０２０２】
この図において、例えば、階調：１００において、対応静電潜像の面積が「直線２０１からずれた値：２０２」が得られたものとする。このとき、値：２０２の「直線２０１からのずれ」を「ΔＳ’」とすると、この「ΔＳ’」は、階調：１００における「対応静電潜像面積の規格化された面積」の理想値からの差である。
【０２０３】
また、明度差と対応静電潜像面積との差：ΔＬ＊’−ΔＳ’を求めると、これは現像プロセスにおけるトナー画像形成の寄与を表し、上記ΔＦ２を含んでおり、上記の如く測定した差・ずれの各値と、従来技術の明度による評価方法を結びつけるものである。  
階調全体での評価は、階調をｉとして「ΔＬｉ＊’ −ΔＳｉ’」である。
【０２０４】
従来、階調再現性の評価は「横軸に階調数、縦軸に明度の実測値」をプロットして直線近似し、その相関係数の値により「階調再現性の優劣」を評価していたが、評価値が１つであり評価方法に課題があった。
【０２０５】
これに対し、この発明のように、相関係数の外に「近似直線の傾きのずれ」や「切片の値（原点からのずれ）」を評価値に加えることにより、より精度の高い評価方法を実現できる。
【０２０６】
また、得られた評価結果を電子写真プロセスの制御因子に反映させることにより、さらに階調再現性の良い画質及びその画質を形成する画像形成装置を実現できる。
【０２０７】
図１６に即して説明した評価装置において、トナー画像の反射率を測定し、網点面積率：Ａｔを求める場合を考える。
【０２０８】
周知の如く、記録シート上に表現されたトナー画像の階調再現性の評価は、反射率：Ｒを測定することにより行われることが多い。光学濃度：Ｄで表現する場合、反射率：Ｒと光学濃度：Ｄとの関係は、  
Ｄ＝ｌｏｇ１０（１／Ｒ）
で表される。
【０２０９】
白色の記録媒体上にトナーが存在しないとき「濃度：０」であり、記録媒体全体がトナーで覆われた所謂「ベタ画像」での濃度は２．０前後の値となることが多い。
【０２１０】
光画像書き込みを用いる電子写真プロセスで形成されるトナー画像は「ドットの集合」による所謂網点画像であり、一定面積に対して網点の面積率は、濃度：０に対して０％、上記ベタ画像に対して１００％であり、この間に「異なる濃度をいくつ表現できるか」により階調の数（階調数）が決まる。
【０２１１】
図２０（ａ）において、基準となる面積をＳｓ、トナー画像におけるドット像の面積をＳｄとすると、トナー画像における網点面積率：Ａｔは「Ａｔ＝Ｓｄ／Ｓｓ」で与えられる。
【０２１２】
従来においては、反射率の測定において、トナー画像の網点占有率が測定されているが、この場合に「オプティカルドットゲイン（測定用の光が記録媒体である紙の内部まで浸透して拡散したり、トナー表面で反射したり、トナー内部で多重散乱することにより生じ、測定される網点面積を増やす効果を有する。）をどのように補正するかの問題がある。
【０２１３】
面積階調と網点面積率との関係は「Ｍｕｒｒａｙ−Ｄａｖｉｓの式」により表され、オプティカルドットゲイン：ｎの補正をしたＹｕｌｅ−Ｎｉｅｓｅｎの式があるが、光学的測定により得られる反射率・網点面積率には原理的にオプティカルドットゲインが含まれる。
【０２１４】
昨今、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）により電子的に文章・画像を作成し、この画像をレーザプリンタやデジタル複写装置を用いてアウトプット画像を出力する場合には、一般的に２５６階調（８ｂｉｔ，２８）が用いられており、これが必要とされる階調数になるが、情報機器や電子機器の性能及び作像技術のレベルに依存する所が大きい。業務用の画像形成ではより多くの階調数が必要であり、将来的に階調数はさらに増えると考えられる。
【０２１５】
図１６に示したような画像評価装置では、トナー画像のみならず、対応静電潜像に対しても面積測定が行なわれる。
【０２１６】
図２０（ａ）のように、トナー画像の反射率から網点面積率：Ａｔ（＝Ｓｓ／Ｓｄ）にはオプティカルドットゲイン：ｎが含まれるが、図２０（ｂ）のように、対応静電潜像の１ドット画像の面積：Ｓｅを測定し、静電潜像に対する網点面積率：Ａｓ（Ａｓ＝Ｓｅ／Ｓｓ）を求めると、この場合の面積測定は光学測定でないので、網点面積率：Ａｓはオプティカルドットゲインを含まない。
【０２１７】
従って、光学的に測定される網点面積率：Ａｔ、非光学的に測定される網点面積率：Ａｓの差：（Ａｔ−Ａｓ）或いは比：（Ａｔ／Ａｓ）から、オプティカルドットゲイン：ｎを求めることができ、網点面積率：Ａｔを有効に補正することができる。
【０２１８】
電子写真プロセスにより形成される画像(トナー画像)は、感光体帯電電位、光画像書き込み時の光強度・照射時間、静電潜像へのトナー付着量の多少等の制御因子（パラメータ、条件）により制御される。
【０２１９】
この発明においては、画像形成すべきパターンである入力パターンの入力情報により形成される対応静電潜像の面積や、この面積の階調に対する依存性が測定され、また、対応静電潜像とこれを可視化したトナー画像の面積や、その階調に対する依存性が測定されるので、上記電子写真プロセスの制御因子をより精緻に設定することが可能となり、これら制御因子でより良好な制御をおこなって良好な画像形成を実現できる。
【０２２０】
図２１に、画像形成装置の１形態を説明図的に示す。
【０２２１】
図２１において、感光体（ＯＰＣ）７１が矢印方向へ等速回転しつつ、帯電チャージャ７２により均一帯電され、走査ビーム７３により光画像書き込みが行なわれて静電潜像が形成される。
【０２２２】
形成された静電潜像はトナー７４により可視化されてトナー画像となり、記録媒体である転写紙７５上に転写チャージャ７６により静電転写され、トナー画像を転写された転写紙７６は定着装置７７によりトナー画像を定着されて装置外へ排出される。
【０２２３】
トナー画像転写後の感光体７１はクリーナ７８により表面を清掃され、除電ランプ７９により除電される。
【０２２４】
上記の如くして決定された制御因子により、帯電チャージャ７２の帯電電位、光画像書き込みの際の光強度や照射時間、現像装置におけるバイアス電圧やトナー帯電量等の現像条件等を制御することにより良好な画像形成を行なうことができる。
【符号の説明】
【０２２５】
１５２      電子銃  
１５３      コンデンサレンズ      
１５４      走査レンズ  
１５５      対物レンズ  
１５７      試料（光導電性の感光体）  
１５９      真空ポンプ    
１５８      インタフェース    
１６０      制御手段  
１６５      光照射光学系  
１６４      試料ステージ  
１６３      電子検出器    
【先行技術文献】
【特許文献】
【０２２６】
【特許文献１】特開２００３−２９５６９６号公報
【特許文献２】特許第３８６５６７６号公報
【特許文献３】特開２００５−３１１９５２号公報
【図１】
2010191216.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2010191216.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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