(57)【要約】【課題】複数の放電ランプ（群）からの放射光をインテグレーターによって重ね合わせて光た利用して、簡便な構成と簡便な制御手順によって、放電ランプ（群）の照度を測定することのできる露光用光照射装置を提供する。【解決手段】複数の放電ランプ（群）１１から放射される光をインテグレーター２によって重ね合わせて光照射領域４に照射する露光用光照射装置において、インテグレーター２から出射された光の照度を測定する照度測定手段７と、評価すべき全ての放電ランプ（群）１１が点灯している状態において、１つの放電ランプ（群）１１が消灯する前に照度測定手段７によって測定された照度と、前記１つの放電ランプ（群）１１が消灯した後に照度測定手段７によって測定された照度との照度差を検出する処理工程を、評価すべき全ての放電ランプ（群）１１について順次行う制御手段６と、を備えることを特徴とする露光用光照射装置である。【選択図】図１
2010034293.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の放電ランプ又は複数の放電ランプ群から放射される光をインテグレーターによって重ね合わせて光照射領域に照射する露光用光照射装置において、
前記インテグレーターから出射された光の照度を測定する照度測定手段と、
評価すべき全ての放電ランプ又は全ての放電ランプ群が点灯している状態において、１つの放電ランプ又は１つの放電ランプ群が消灯する前に前記照度測定手段によって測定された照度と、前記１つの放電ランプ又は前記１つの放電ランプ群が消灯した後に前記照度測定手段によって測定された照度との照度差を検出する処理工程を、評価すべき全ての放電ランプ又は全ての放電ランプ群について順次行う制御手段と、
を備えることを特徴とする露光用光照射装置。
【請求項２】
前記制御手段によって検出された照度差を表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光用光照射装置。
【請求項３】
前記インテグレーターと前記光照射領域との間に反射鏡を設けると共に、該反射鏡に光透過部を設け、該光透過部に対向する前記反射鏡の背後に前記照度測定手段を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光用光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光用光照射装置に係わり、半導体素子や液晶表示基板の製造用の露光装置等に使用される露光用光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子や液晶表示基板の露光装置に用いられる光源として、主に数ｋＷから数１０ｋＷの大型の高圧水銀ランプが用いられてきた。これらの光源は、信頼性も高くかなり以前から用いられている。しかし、近年、液晶表示基板の大面積化が要求されており、それに伴って露光装置においても光照射領域の拡大が望まれており、露光用光源の大型化も要求されている。露光用光源は、１ｋＷ程度の高圧水銀ランプから使用され始め、現在は、液晶露光用光源に２５ｋＷの高圧水銀ランプを１個使用している。今後さらに大型化が要求されるが、光源の大型化はランプを構成するバルブや電極材料の大型化に直結し、製造コストと製作工数の大幅な増加に繋がり、超高圧水銀ランプの大型化は限界に近づきつつある。
【０００３】
その対策として、例えば、特許文献１に記載されているように、１個の大型のランプではなく、複数の小型の超高圧水銀ランプ（以下、単にランプとも呼ぶ）で光照射領域を照射する光照射装置が提案されている。しかし、このような光照射装置では、複数のランプを用いるために、それぞれのランプの固体差により、各ランプの紫外線放射強度の維持率にバラツキが生じ、短時間で維持率が低下するランプや、比較的、長時間にわたって維持率が低下しないランプが存在し、各ランプの紫外線放射強度の維持率を一定にすることが困難であった。
【０００４】
この維持率低下の主な原因は、ランプ点灯中に、電極が熱的影響を受け、先端が蒸発して電極間距離が規定の距離より伸びることに起因するものであり、電極間距離が伸びると、ランプ電圧値が大きくなる方向に変化する。そこで、特許文献２にも見られるように、予めランプ電圧値と紫外線放射強度との関係を求めておいて、この関係を基に、各ランプの電圧値を検出して各ランプの紫外線放射強度を算出し、検出された電圧値が大きくなっているランプは、紫外線放射強度が低下していると判断し、ランプを交換して、露光面において最適の紫外線照度が得られるようにしていた。このようにランプ電圧値を検出する理由は、紫外線は目視で確認することができず、紫外線放射強度が低下した不適合なランプを特定することができないためである。
【特許文献１】特開２００６−２７８９０７号公報
【特許文献２】特開２００７−３３３９６５号公報
【特許文献３】特開平６−８４７５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ランプは、点灯していると、発光管が白濁や黒化を起こすものであり、ランプの電圧値を測定していただけでは、ランプの紫外線放射強度を把握することはできない。実際、発光管に白濁や黒化が発生したランプは、発光管からの紫外線の透過率が減少し、紫外線の放射強度が低下していた。つまり、個々のランプの電圧値を検出しても、各ランプから放射される正確な紫外線放射強度を知ることができず、紫外線放射強度が基準値より低下した不適合ランプを特定することができず、紫外線放射強度が低下したランプを用いて、露光し、露光不足が起こる問題が生じていた。
本発明の目的は、上記の問題点に鑑みて、複数の放電ランプ又は複数の放電ランプ群からの放射光をインテグレーターによって重ね合わせた光を利用して、簡便な構成と簡便な制御手順によって、放電ランプまたは放電ランプ群の照度を測定することを可能にした露光用光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第１の手段は、複数の放電ランプ又は複数の放電ランプ群から放射される光をインテグレーターによって重ね合わせて光照射領域に照射する露光用光照射装置において、前記インテグレーターから出射された光の照度を測定する照度測定手段と、評価すべき全ての放電ランプ又は全ての放電ランプ群が点灯している状態において、１つの放電ランプ又は１つの放電ランプ群が消灯する前に前記照度測定手段によって測定された照度と、前記１つの放電ランプ又は前記１つの放電ランプ群が消灯した後に前記照度測定手段によって測定された照度との照度差を検出する処理工程を、評価すべき全ての放電ランプ又は全ての放電ランプ群について順次行う制御手段と、を備えることを特徴とする露光用光照射装置である。
第２の手段は、第１の手段において、前記制御手段によって検出された照度差を表示する表示手段を備えることを特徴とする露光用光照射装置である。
第３の手段は、第１の手段または第２の手段において、前記インテグレーターと前記光照射領域との間に反射鏡を設けると共に、該反射鏡に光透過部を設け、該光透過部に対向する前記反射鏡の背後に前記照度測定手段を設けたことを特徴とする露光用光照射装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本願発明によれば、複数の放電ランプ又は複数の放電ランプ群から放射された紫外線がインテグレーターによって重ね合わされた光照射領域に、光を実測する照度測定手段を配置し、評価すべき全てのランプを点灯した状態から順次、消灯しながら、各放電ランプまたは放電ランプ群の照度を測定するものであり、簡便な構成と簡便な制御手順によって、放電ランプまたは放電ランプ群の照度を容易に測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の一実施形態を図１ないし図１０を用いて説明する。
図１は、本実施形態の発明に係る露光用光照射装置の概略構成を示す図である。
同図に示すように、光源部１は、放電ランプ１１と反射鏡１２からなる光源ユニット１０が複数並んで配置されたものである。光源部１の前方には、インテグレーター２が配置されており、インテグレーター２に、複数の光源ユニット１０からの光が入射する。インテグレーター２を透過した光は、重ね合わされるようにして出射され、折返し反射鏡３で受光後反射して、露光面４に均一に紫外線を照射する。ここで、インテグレーター２とは、特許文献３に記載されているフライアイ・インテグレータのように、複数の方向から受光した光を重ね合わせて照射面において均一な照度を得る機能を有するものである。また、露光面４には、レジスト等の感光剤が塗布された液晶パネルや半導体素子等の被処理物が位置している。
【０００９】
また、同図に示すように、各放電ランプ１１は、それぞれ個別に点灯電源５を有しており、それぞれの点灯電源５は、制御装置６によって各放電ランプ１１の点灯が制御される。また、折返し反射鏡３には、例えば、直径５ｍｍ程度の貫通孔である光透過部３１が設けられており、この光透過部３１の背後には、照度測定装置７が配置されている。折返し反射鏡３は石英ガラスからなり、その表面に紫外線を反射する紫外線反射膜が形成されたものである場合には、紫外線反射膜の一部を取り除き、石英ガラスを露出させることによって、露出した部分を光透過部３１としてもよい。照度測定装置７をインテグレーター２から出射された光を測定する位置に設ける理由は、インテグレーター２から出射された紫外線は、全ての光源ユニット１０から放射された紫外線が重ね合わされて重畳した状態になっているからであり、ある放電ランプ１１を消灯すると、必ず、紫外線照度が低下するものである。仮に、照度測定装置７を放電ランプ１１とインテグレーター２との間に配置すると、照度測定装置７に照射されない光が存在し、その放電ランプ１１を消灯しても、紫外線照度の低下を検知することはできない。
【００１０】
ここで、照度測定装置７が、紫外線を測定するものに限定されない理由を図２及び図３を用いて説明する。
図２は、放電ランプ１１の分光分布を示すグラフであり、図３は、放電ランプ１１の点灯初期（実線表示）と点灯末期（３０００時間経過後、点線表示）の分光分布を示すグラフである。
本発明の露光用光照射装置は、露光装置に用いられるものであり、複数の放電ランプ１１から放射された光がインテグレーター２を透過して、出射された光は、全ての放電ランプ１１から放射された光が重ね合わされて重畳した状態になって露光面４に均一に照射される。放電ランプ１１から放射される光は、図２に示すように、紫外線だけでなく可視光（３８０〜７８０ｎｍ）も含むものであるが、波長３００〜４５０ｎｍの紫外線から可視光の一部を露光に利用している。
一方、放電ランプ１１から放射される紫外線が低下する原因の一つである発光管の白濁や黒化は、紫外線のみならず可視光も低下させるものであり、可視光の照度低下と紫外線の照度低下には、図３に示すように、相関関係がある。露光に利用する波長３００〜４５０ｎｍの範囲では、いずれかの波長の光だけが急減に変化するものではなく、大凡全ての波長の光において一様に変化するものであり、可視光（例えば、４０５ｎｍ）の照度変化と紫外線（例えば、３６５ｎｍ）の照度変化に相関関係があることが分かる。３０００時間経過後とは、通常、ランプの寿命末期であり、ランプの寿命末期まで、相関関係が維持されていることが分かる。
そのため、本発明の露光用光照射装置においては、ある放電ランプ１１を消灯すると、必ず、インテグレーター２を透過して重畳された紫外線照度の低下と共に、紫外線照度と相関関係にある可視光照度も低下するので、予め求めておいた可視光の照度に対する紫外線の照度との関係を基に、消灯した放電ランプ１１の紫外線照度を算出することが可能になる。つまり、可視光を測定して照度を求めることにより、目視で確認できない紫外線の照度を可視光の照度に換算して知ることができる。
【００１１】
再び、図１に戻って説明すると、制御装置６は、制御手段６１と、記憶手段６２と、照度差検出手段６３を有しており、制御装置６には、照度差検出手段６３によって検出された照度差を表示する表示装置８が接続されている。また、照度測定装置７には紫外線を検知するための光センサーが設けられている。なお、制御装置６における詳細な制御手順は後述する。
【００１２】
図４は、図１に示した光源ユニット１０の拡大断面図である。
同図に示すように。光源ユニット１０は、放電ランプ１１、反射鏡１２、及びそれらを取り囲む収納ケース１３より構成される。なお、放電ランプ１１は点灯電源５により点灯される。反射鏡１２は放電ランプ１１を取り囲む凹面反射鏡であり、放電ランプ１１の電極軸と反射鏡１２の光軸とが一致するように配置される。反射鏡１２は、例えば、楕円反射鏡または放物反射鏡が使われる。収納ケース１３は放電ランプ１１と反射鏡１２を内蔵する下駄箱状のものであり、後方壁あるいは側壁に冷却ファン１４によって通風される冷却風用開口１５が設けられる。
【００１３】
図５は、図４に示した放電ランプ１１の拡大断面図である。
同図に示すように、放電ランプ１１は、石英ガラスからなる放電容器によって形成された概略球形の発光部１１１を有し、この発光部１１１の中には発光空間Ｓが形成されており、発光空間Ｓ内には、同一の電極１１２が１ｍｍ〜２ｍｍの間隔で対向配置している。発光部１１１の両端部には側管部１１３が形成され、側管部１１３には、モリブデンよりなる導電用金属箔１１４が、例えば、シュリンクシールにより気密に埋設されている。金属箔１１４の一端には電極１１２の軸部１１５が接合されており、また、金属箔１１４の他端には外部リード１１６が接合されている。発光部１１１内には、水銀と、希ガスと、ハロゲンガスが封入されている。水銀は、必要な紫外光波長、例えば、波長３００〜４５０ｎｍの放射光を得るためのもので、０．０８〜０．２５ｍｇ／ｍｍ３封入されている。この封入量は、温度条件によっても異なるが、点灯時、８０気圧以上の高い蒸気圧となる。希ガスは、例えば、アルゴンガスが約１３ｋＰａ封入される。その機能は点灯始動性を改善することにある。ハロゲンは、沃素、臭素、塩素等が水銀又はその他の金属と化合物の形態で封入される。ハロゲンの封入量は、１×１０−５〜７×１０−３μｍｏｌ／ｍｍ３の範囲から選択される。ハロゲンの機能は、いわゆるハロゲンサイクルを利用した長寿命化を図ることであるが、本発明の放電ランプのように極めて小型で極めて高い点灯蒸気圧のものは、放電容器の失透防止という作用もある。ランプの数値例を示すと、例えば、発光部１１１の最大外径は９．５ｍｍ、電極間距離は１．５ｍｍ、発光管内容積は７５ｍｍ３であり、定格電圧７０Ｖ、定格電力２００Ｗ、３５０Ｈｚで交流点灯される。
【００１４】
図６は、図１に示した点灯電源５の回路構成を示す図である。
同図に示すように、点灯電源５は、直流電圧が供給される降圧チョッパ回路５１と、降圧チョッパ回路５１の出力側に接続され直流電圧を交流電圧に変化させて放電ランプ１１に供給するフルブリッジ型インバータ回路５２（以下、「フルブリッジ回路」ともいう）と、スタータ回路５３と、放電ランプ１１を点灯制御するランプ制御部５４と、放電ランプ１１に直列接続されたコイルＬ１及びコンデンサＣ１とから構成される。
【００１５】
降圧チョッパ回路５１は、直流電源ＶＤＣに接続され、スイッチング素子Ｑｘと、ダイオードＤｘと、コイルＬｘと、平滑コンデンサＣｘと、スイッチング素子Ｑｘの駆動回路Ｇｘから構成される。スイッチング素子Ｑｘは、駆動回路Ｇｘによりオン／オフ駆動される。この駆動によって、スイッチング素子Ｑｘのディーテユ比が調整されて、放電ランプ１１に供給される電流あるいは電力が制御される。すなわち、抵抗Ｒ１、Ｒ２で検出された電圧信号Ｓｖ、Ｒ３で検出された電流信号Ｓｉに基づいてランプ制御部５４が駆動回路Ｇｘを介して、スイッチング素子Ｑｘをフィードバック制御する。これにより、初期点灯期間においてはランプ電流を所定値とする定電流制御が、定常点灯時にはランプの点灯電力を一定値とする定電力制御がそれぞれ実施される。
【００１６】
フルブリッジ回路５２は、ブリッジ状に接続されたトランジスタやＦＥＴのスイッチング素子Ｑ１〜Ｑ４と、スイッチング素子Ｑ１〜Ｑ４の駆動回路Ｇ１〜Ｇ４から構成される。なお、スイッチング素子Ｑ１〜Ｑ４には、各々に並列にダイオードが逆並列に接続されることもあるが、この実施例においてダイオードは省略されている。スイッチング素子Ｑ１〜Ｑ４は、図示略の制御部を介して駆動回路Ｇ１〜Ｇ４により駆動される。フルブリッジ回路５２の動作は、スイッチング素子Ｑ１、Ｑ４と、スイッチング素子Ｑ２、Ｑ３を交互にオン、オフを繰り返す。スイッチング素子Ｑ１、Ｑ４がオンするときは、降圧チョッパ回路５１→スイッチング素子Ｑ１→コイルＬ１→放電ランプ１１→スイッチング素子Ｑ４→降圧チョッパ回路５１の経路で電流が流れる。一方、スイッチング素子Ｑ２，Ｑ３がオンするときは、降圧チョッパ回路５１→スイッチング素子Ｑ３→放電ランプ１１→コイルＬ１→スイッチング素子Ｑ２→降圧チョッパ回路５１の経路で電流が流れる。このようにして、放電ランプ１１に交流矩形波電流を供給する。
【００１７】
スタータ回路５３は、スイッチ素子Ｑ５、駆動回路Ｇ５、抵抗Ｒ１、コンデンサＣ２、トランスＴ２より構成される。放電ランプ１１の始動時にコンデンサＣ２に蓄積したエネルギーをスイッチ素子Ｑ５をオンすることによりトランスＴ２に印加し昇圧して放電ランプ１１に高電圧を印加し始動させる。この実施例では、放電ランプ１１の外表面に高電圧印加用の導体Ｅｔを配置した、いわゆる外部トリガ方式を示す。  
【００１８】
ランプ制御部５４には、制御手段６１によって制御されると共に、定電流制御するための回路構成や定電力制御するための回路構成、及びこれらを切替えるための回路構成が内蔵される。また、定電流制御するための回路構成では基準となる電流値を切替えるための機構も具備されている。さらに、定電力制御回路では、電力値を一定にするための回路構成が具備されるが、電流値が所定の上限値を超えないようにするリミッター機能も具備している。定電力制御の状態において、何らかの理由でランプ電圧が低下した場合に、ランプ電流が極端に大きくなることを防止するためである。ランプ制御部５４は、制御手段６１の信号に基づき、駆動回路Ｇｘを介して、スイッチング素子Ｑｘを制御して、放電ランプ１１を点灯・消灯する。
【００１９】
次に、本発明の露光用光照射装置における処理手順を図１、図７及び図８を用いてについて説明する。
図７は、制御装置６における処理手順を示すフローチャートである。
制御装置６を動作させるタイミングは、通常、液晶パネルや半導体素子といった被処理物を露光している最中には行われず、１日の露光作業が終了した際等の、放電ランプ１１が十分に長い時間点灯して安定した状態において行い、実際の露光作業とは別の作業となる。勿論、制御装置６を動作させるタイミングは、前記のタイミングに限定されず、１日の任意の時間、例えば、露光作業を開始する前であってもよい。
（１）まず、ステップＳ１において、評価すべき全ての放電ランプ１１が点灯しているかを確認する。評価すべき全ての放電ランプ１１が点灯している場合は、ステップＳ３に移行し、評価すべき全ての放電ランプ１１が点灯していない場合は、ステップＳ２に移行する。
（２）ステップＳ２において、制御装置６の制御手段６１から、評価すべき全ての放電ランプ１１の点灯電源５のランプ制御部５４に対して、放電ランプ１１を点灯させるための信号が出力される。これによって、評価すべき全ての放電ランプ１１が点灯する。ステップＳ３への移行の際は、評価すべき全ての放電ランプ１１が十分に長い時間点灯して安定した状態になってから移行する。
（３）次に、ステップＳ３において、評価すべき全ての放電ランプ１１が十分に長い時間点灯して安定した状態になった後（例えば、露光作業の終了後）、制御手段６１から照度測定装置７に対して、照度を測定させるための信号を出力する。照度測定装置７は、測定した照度Ｋ０を制御装置６の記憶手段６２に送信し、記憶手段６２は照度Ｋ０を記憶する。
（４）次に、ステップＳ４において、制御手段６１から、１つの放電ランプ１１（ランプ番号１）を消灯するために、点灯電源５のランプ制御部５４に対して、消灯させるための信号を出力する。これによって、指定された点灯電源５に繋がる放電ランプ１１（ランプ番号１）が消灯する。
（５）次に、ステップＳ５において、制御手段６１から照度測定装置７に対して、照度を測定させるための信号を出力する。照度測定装置７は、測定した照度Ｋ１を記憶手段６２に送信し、記憶手段６２は照度Ｋ１を記憶する。
（６）次に、ステップＳ６において、制御手段６１から、他の１つの放電ランプ１１（ランプ番号２）を消灯するために、点灯電源５のランプ制御部５４に対して、消灯させるための信号を出力する。これによって、指定された点灯電源５に繋がる放電ランプ１１（ランプ番号２）が消灯する。
（７）次に、ステップＳ７において、制御手段６１から照度測定装置７に対して、照度を測定させるための信号を出力する。照度測定装置７は、測定した照度Ｋ２を記憶手段６２に送信し、記憶手段６２は照度Ｋ２を記憶する。
（８）次に、他の点灯状態にある放電ランプ１１について、ステップＳ６及びステップＳ７と同様の処理を繰り返し、ステップＳ８において、制御手段６１から、他の１つの放電ランプ１１（ランプ番号ｎ）を消灯するために、点灯電源５のランプ制御部５４に対して、消灯させるための信号を出力する。これによって、指定された点灯電源５に繋がる放電ランプ１１（ランプ番号ｎ）が消灯する。
（９）次に、ステップＳ９において、制御手段６１から照度測定装置７に対して、照度を測定させるための信号を出力する。照度測定装置７は、測定した照度Ｋｎを記憶手段６２に送信し、記憶手段６２は照度Ｋｎを記憶する。
（１０）次に、ステップＳ１０において、制御装置６の照度差検出手段６３は、記憶手段６２に記憶されている照度Ｋ０、Ｋ１、Ｋ２、・・・Ｋｎを読み込み、各ランプ番号１，２、・・・ｎ毎の照度差Ｋ０−Ｋ１、Ｋ１−Ｋ２、・・・Ｋ（ｎ−１）−Ｋ（ｎ）を算出する。
（１１）次に、表示装置８は、照度差検出手段６３によって検出された各ランプ番号１，２、・・・ｎ毎の照度差Ｋ０−Ｋ１、Ｋ１−Ｋ２、・・・Ｋ（ｎ−１）−Ｋ（ｎ）を表示する。
【００２０】
なお、照度差検出手段６３によって検出された各ランプ番号毎の照度差を基準値と比較して、ランプ番号毎の照度差が基準値より下回る場合は、不適合放電ランプ１１として表示装置８に表示するようにしてもよい。また、制御装置６内の処理において、評価すべき全ての放電ランプ１１の照度が得られてから、各ランプ番号毎の照度差を算出したが、評価すべき放電ランプ１１の照度が得られる毎に、照度差検出手段６３において各ランプ番号毎の照度差を算出するようにしてもよい。
【００２１】
図８は、制御装置６によって、評価すべき全ての放電ランプ１１を順次消灯しながら、順次放電ランプ１１の紫外線照度を測定していく様子を示す図である。
同図において、一例として、放電ランプ１１のうちｎ−１番目の放電ランプ１１を消灯したとき、消灯前後の照度差が小さいことから、この放電ランプ１１は、紫外線放射強度が低下した不適合ランプであると判断することができる。
【００２２】
図９は、複数の放電ランプ１１を１つの放電ランプ群（例えば、１群当たり３５個のランプユニット１０）を構成し、このような放電ランプ群を数群備えた放電ランプ群１１Ａ（例えば、Ａ〜Ｊの１０群）を示す図である。
本発明の露光用光照射装置においては、光源部１として、複数の放電ランプ１１を用いる場合について説明したが、複数の放電ランプ１１に代えて、複数のランプユニット１０からなる放電ランプ群１１Ａを用いることも可能である。制御装置６によって、複数の放電ランプ群１１Ａの照度を検出する場合は、放電ランプ１１を１つづつ消灯して行うのではなく、複数の放電ランプ群毎に順次消灯して、放電ランプ群毎の照度を求める。この場合、各放電ランプ群に属する点灯電源に一斉にランプを消灯する信号を送り、その放電ランプ群に属する放電ランプを同時に消灯する。不適合放電ランプ群が検出された際には、放電ランプ群ごとに交換すればよく、交換の作業が簡素化される。
【００２３】
図１０は、インテグレーター２と光照射領域となる露光面４との間に、複数の折返し反射鏡３、３Ａを設けて露光長を伸ばした場合の露光用光照射装置の概略構成を示す図である。
同図に示すように、光照射領域に対して直近となる折返し反射鏡３に光透過部３１を設け、その光透過部３１と対向する折返し反射鏡３の背後に、照度測定装置７を設けることにより、インテグレーター２と光照射領域との間に存在する折返し反射鏡３、３Ａによって紫外線が減衰しても、光照射領域に照射される最後の紫外線照度を測定することができ、光照射領域に照射される実際の紫外線との差が殆どなく、光照射領域に照射される紫外線を正確に測定することができる。
【００２４】
図１及び図１０に示した露光用光照射装置においては、照度測定装置７は、折返し反射鏡３の背面に設けたが、紫外線を測定する作業は実際の露光工程中では行わないために、適宜の手段によって、照度測定装置７をインテグレーター２から出た紫外線が進行する箇所に移動して持ってくる構造であってもよい。具体的には、折返し反射鏡３の前面に照度測定装置７を移動して持ってくる構造であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る露光用光照射装置の概略構成を示す図である。
【図２】放電ランプ１１の分光分布を示すグラフである。
【図３】放電ランプ１１の点灯初期（実線表示）と点灯末期（３０００時間経過後、点線表示）の分光分布を示すグラフである。
【図４】図１に示した光源ユニット１０の拡大断面図である。
【図５】図４に示した放電ランプ１１の拡大断面図である。
【図６】図１に示した点灯電源５の回路構成を示す図である。
【図７】図１に示した制御装置６における処理手順を示すフローチャートである。
【図８】制御装置６によって、評価すべき全ての放電ランプ１１を順次消灯しながら、順次放電ランプ１１の紫外線照度を測定していく様子を示す図である。
【図９】複数の放電ランプ１１を１つの放電ランプ群を構成し、このような放電ランプ群を数群備えた放電ランプ群１１Ａを示す図である。
【図１０】インテグレーター２と光照射領域となる露光面４との間に、複数の折返し反射鏡３、３Ａを設けて露光長を伸ばした場合の露光用光照射装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  光源部
１０  光源ユニット
１１  放電ランプ
１１Ａ  放電ランプ群
１１１  発光部
１１２  電極
１１３  側管部
１１４  導電用金属箔
１１５  軸部
１１６  外部リード
１２  反射鏡
１３  収納ケース
１４  冷却ファン
１５  冷却風用開口
２  インテグレーター
３  折返し反射鏡
３１  光透過部
４  露光面
５  点灯電源
５１  降圧チョッパ回路
５２  フルブリッジ型インバータ回路
５３  スタータ回路
５４  ランプ制御部
６  制御装置
６１  制御手段
６２  記憶手段
６３  照度差検出手段
７  照度測定装置
８  表示装置
Ｓ  発光空間
【図１】
2010034293.tif 000003
【図２】
2010034293.tif 000004
【図３】
2010034293.tif 000005
【図４】
2010034293.tif 000006
【図５】
2010034293.tif 000007
【図６】
2010034293.tif 000008
【図７】
2010034293.tif 000009
【図８】
2010034293.tif 000010
【図９】
2010034293.tif 000011
【図１０】
2010034293.tif 000012