(57)【要約】【課題】インク中の溶剤の揮散を抑え、連続的に配線パターンの印刷を繰り返しても、配線パターンに対する凹凸の発生、または断線の発生が起こり難いスクリーンマスクを提供する。【解決手段】被印刷体に対して溶剤を含有するインクを用いてパターンを形成するためのスクリーンマスクであって、枠体１内に外周部を保持されたスクリーンメッシュ体２と、スクリーンメッシュ体２の印刷面側に設けられ、パターンに対応する第１の開口パターンを有する第１のマスク体３ａと、スクリーンメッシュ体２のスキージ面側に設けられ、スキージ面側から上面視したときに第１の開口パターンに対応する第２の開口パターンを有するとともに、少なくともスキージ面側が溶剤に対して撥溶剤性を有する、第２のマスク体３ｂと、を具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被印刷体に対して溶剤を含有するインクを用いてパターンを形成するためのスクリーンマスクであって、
枠体内に外周部を保持されたスクリーンメッシュ体と、
前記スクリーンメッシュ体の印刷面側に設けられ、前記パターンに対応する第１の開口パターンを有する第１のマスク体と、
前記スクリーンメッシュ体のスキージ面側に設けられ、前記スキージ面側から上面視したときに前記第１の開口パターンに対応する第２の開口パターンを有するとともに、少なくとも前記スキージ面側が前記溶剤に対して撥溶剤性を有する、第２のマスク体と、を具備する、スクリーンマスク。
【請求項２】
前記第２のマスク体が、前記溶剤に対して撥溶剤性を呈するように、表面に対して撥溶剤処理を行なった金属材である、請求項１に記載のスクリーンマスク。
【請求項３】
前記第２のマスク体が、前記溶剤に対して撥溶剤性を有する樹脂材である、請求項１に記載のスクリーンマスク。
【請求項４】
前記第２の開口パターンの内壁および前記第１の開口パターンの内壁が、前記溶剤に対して撥溶剤性を有する、請求項１乃至３のいずれかに記載のスクリーンマスク。
【請求項５】
前記第１のマスク体の表面の撥溶剤性が、前記第２のマスク体、前記第１および第２の開口パターン内壁の少なくとも一つの撥溶剤性よりも小さい、請求項４に記載のスクリーンマスク。
【請求項６】
前記スクリーンメッシュ体は、上面透視したときに、前記第１の開口パターンおよび前記第２の開口パターンが重畳して構成される重畳パターン部の周囲を囲繞する溶剤浸透防止体がメッシュ内に設けられている、請求項１乃至５のいずれかに記載のスクリーンマスク。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のスクリーンマスクを用いて被印刷物に所定のパターンを印刷する印刷方法であって、
前記スクリーンマスクのスキージ面にインクを配置する工程Ａと、
前記インクにスキージを押圧させながらスクリーンマスクの印刷面側に配置した被印刷物に対して、前記第２および第１の開口パターンを経由させて、所定のパターンを印刷する工程Ｂと、
前記工程Ａと前記工程Ｂとを繰り返して、新しい被印刷物に対して連続的に所定のパターンを印刷する工程Ｃと、
を具備する印刷方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載のスクリーンマスクを用いて被印刷物に所定のパターンを印刷する印刷方法であって、
前記スクリーンマスクのスキージ面にインクを配置する工程Ａと、
前記インクにスキージを押圧させながらスクリーンマスクの印刷面側に配置した被印刷物に対して、前記第１および第２の開口パターンを経由させて、所定のパターンを印刷する工程Ｂと、
前記スクリーンマスク上のインクを回収する工程Ｄと、
を具備する印刷方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のスクリーンマスクを用いて配線基板を製造する方法であって、
前記スクリーンマスクの印刷面側にセラミックグリーンシートを配置する工程と、
前記スクリーンマスクのスキージ面に導体ペーストのインクを配置するとともに、このインクをスキージで押圧し、前記セラミックグリーンシートに対して、この導体ペーストのインクを所定のパターン形状となるように印刷して塗布する工程と、
前記導体ペーストを乾燥させた後、前記セラミックグリーンシートを複数積層してグリーンシート積層体を作製する工程と、
前記グリーンシート積層体を焼成する工程と、
を具備する配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、積層セラミック配線基板を製造する工程において導体パターンを形成する際に用いられる印刷用のスクリーンマスク、このスクリーンマスクを用いた印刷方法、および配線基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層型セラミック基板を作製する場合、セラミックグリーンシート上に内部電極となる導電膜を形成し、導電膜が形成された複数枚のセラミックグリーンシートを積層してセラミック積層体を得、このセラミック積層体を焼成することにより製造されている。そして、セラミックグリーンシート上に内部電極となる導電膜を形成する手法としては、コストやタクト、厚膜形成などの問題から、通常スクリーン印刷方法が用いられている。
【０００３】
このスクリーン印刷方法では、主として、メッシュに乳剤で所定のパターンを形成したスクリーン版や、メッシュに対してメタルマスクを組合せたスクリーン版が使用され、配線パターンが、導電性のインクを用いてセラミックグリーンシート上に印刷・形成される。このとき版のパターンへの目詰まりを防止し、長時間にわたり安定したインク透過性を得るために、特許文献１には製版材料として撥油性および撥水性に優れた樹脂材料を用いる技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３２６０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したようなインク透過性に優れた製版材料を用いたとしても、連続的に印刷を繰返すと、配線上に凹凸が発生し出したり、断線したりする問題があった。特に近年、幅が３０μｍ以下程度の超微細配線を連続的に歩留まり良く形成することが求められているが、このような超微細配線の形成においては、凹凸や断線の発生がさらに顕著となり、実用化の障害となっている。
【０００６】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、連続的に印刷を繰り返しても、印刷される配線パターンに対して、凹凸や断線の発生をしにくくすることが可能な印刷用のスクリーンマスク、このスクリーンマスクを用いた印刷方法、およびこれを用いた配線基板の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態の一例に係るスクリーンマスクは、
被印刷体に対して溶剤を含有するインクを用いてパターンを形成するためのスクリーンマスクであって、
枠体内に外周部を保持されたスクリーンメッシュ体と、
前記スクリーンメッシュ体の印刷面側に設けられ、前記パターンに対応する第１の開口パターンを有する第１のマスク体と、
前記スクリーンメッシュ体のスキージ面側に設けられ、前記スキージ面側から上面視したときに前記第１の開口パターンに対応する第２の開口パターンを有するとともに、少なくとも前記スキージ面側が前記溶剤に対して撥溶剤性を有する、第２のマスク体と、を具備するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態の一例に係るスクリーンマスクによれば、連続的に配線パターンの印刷を繰り返したとき、この印刷される配線パターンに対する凹凸の発生、または断線の発生を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態の一例に係るスクリーンマスクを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線矢視断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るマスク体の構造の一例を示す図であり、図１（ｂ）のＢ部を拡大した模式的な断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るマスク体の構造の変形例を示す図であり、図１（ｂ）のＢ部を拡大した模式的な断面図である。
【図４】図３に示した本発明の実施形態の一例において、効果を説明するための模式図であり、（ａ）は被印刷物側のマスク体の表面に撥溶剤処理がなされている場合、（ｂ）は被印刷物側のマスク体の表面に発溶剤処理がなされていない場合を示す。
【図５】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態に係るマスク体の構造の変形例を示す図であり、図１（ｂ）のＢ部を拡大した模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率は現実のものとは必ずしも一致していない。
【００１１】
図１は、本発明の実施形態の一例に係るスクリーンマスクを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線矢視断面図であり、図の上方がスキージ面側、下方が印刷面側を示している。
【００１２】
本発明の対象であるスクリーンマスクは、被印刷体に対して溶剤を含有するインクを用いてパターンを形成するために用いられる。図１に示す実施形態では、スクリーンマスク１０は、枠体１と、この枠体１の内側に外周部を保持されたスクリーンメッシュ体２とを有している。そして、スクリーンメッシュ体２の中央部には、印刷するパターンに対応する形状の開口部を有するマスク体３が設けられている。本実施形態によれば、このマスク体３は、スクリーンメッシュ体２を挟んで印刷面側に設けられる第１のマスク体３ａとスキージ面側に設けられる第２のマスク体３ｂとを備える。これらのマスク体３には、作製したい配線パターンの形状に対応した形状を有する開口パターン（不図示）が設けられている。
【００１３】
以下、図１（ｂ）のＢ部を拡大した模式的な断面図である図２を用いて、本実施形態に係る第１のマスク体３ａおよび第２のマスク体３ｂについてさらに詳細に説明する。
【００１４】
第１のマスク体３ａには、配線パターンに対応した第１の開口パターン４ａが設けられており、第２のマスク体３ｂにも、配線パターンに対応した第２の開口パターン４ｂが設けられている。そして、スキージ面側から上面視すると、これらの開口パターン同士がちょうど重なるように設けられている。したがって、このスクリーンマスクのスキージ面側にインクを配置して、スキージにより被印刷体に対して押圧して開口パターンにインクを押し込みつつ、このスキージをスクリーンマスクに対して平行移動させる動作（スキージング）を行なうことにより、第２の開口パターン４ｂ、スクリーンメッシュ体２、第１の開口パターン４ａを経て、印刷面側の被印刷体に対して、開口パターンに対応するパターン形状でインクが転写される。
【００１５】
本発明に係るスクリーンマスクは、第２のマスク体３ｂのスキージ面側が印刷に用いるインクの溶剤に対して撥溶剤性を有することを特徴としている。本実施形態では、第２のマスク体３ｂのスキージ面側に撥溶剤性コーティング５が設けられている例を示す。
【００１６】
以下、本発明の特徴的な構成に到った経緯と、この構成による作用効果について説明する。
【００１７】
発明者は、従来のスクリーンマスクを用いて連続的に配線パターンの印刷を繰り返すと、印刷中のインク中から溶剤が徐々に失われてインクの粘弾性（レオロジー）が変動し、これに起因して配線パターンに断線や凹凸が発生していることを突き止めた。特に超微細配線を高精度に印刷する用途では、スクリーンマスクとしてメッシュ数の大きなものを用いるため、メッシュの開口の一つ一つが小さく、そもそもインクが抜け難いという問題がある。このとき印刷に使用するインクから溶剤が失われると、インクの弾性的性質が上昇するので、さらにインクがメッシュを抜けにくくなり、パターン断線が生じたり、仮にメッシュを抜けたとしても、その後のレベリング性（平滑化）が低下して、メッシュ自体の形状を反映して凹凸が顕著になってしまったりするものと考えられる。
【００１８】
なお、当初、溶剤が失われる原因としては、インク溶剤が揮発したり、被印刷物への溶剤が浸透したりすることにより、スクリーンマスク上に供給されているインクが減少するものと推測していたが、高沸点溶剤を使用して揮発を抑えようとしても顕著な効果は得られなかった。これに関して、検討を重ねた結果、スクリーンマスクの表面にインク中の溶剤が濡れ広がることが主原因であることがわかった。
【００１９】
具体的には、インクの溶剤がスクリーンマスクの表面に濡れ広がると、
（ａ）メッシュが細かい線材から構成された３次元構造のため、実質の表面積は大きく、インク中の溶剤が表面に捕捉される量が大きい（スキージ面側は、通常メッシュが剥き出し状態であるため、このメッシュとメッシュの隙間及びメッシュと乳剤（メタルレジスト）の隙間に毛細管力などにより、溶剤が浸透しメッシュ間や乳剤に捕捉される）
（ｂ）スクリーンマスクの表面に広がるため、単位面積当たりの蒸発量（揮発量）が大きくなる
といった問題が生じるため、溶剤が早く失われてしまうものと考えられる。
【００２０】
本発明のスクリーンマスクの構成によれば、スクリーンメッシュ体２上のスキージ面側に第２のマスク体３ｂが設けられており、スキージ面側のメッシュが剥き出しになっていないから、インクの溶剤がメッシュの表面に捕捉されるのを抑えられる。また、第２のマスク体３ｂの表面が、印刷に用いるインクの溶剤に対して撥溶剤性を有するので、溶剤自体が第２のマスク体３ｂの表面上で濡れ広がりにくく、はじかれた状態で液滴状となりやすい。このため、撥溶剤性を有さない場合と比べて、実質的な表面積は小さく、揮発量を小さく抑えられる。
【００２１】
以上のように、本発明のスクリーンマスクの構成によれば、印刷中の溶剤量の減少によるインクの粘度上昇を抑制することができ、配線パターンに断線や凹凸が発生することを抑止でき、安定した配線印刷が可能となる。
【００２２】
ここでいう「撥溶剤性」とは、溶剤をはじく性質を意味するが、具体的には、この第２のマスク体３ｂのスキージ面側の表面に対する溶剤の接触角θが撥溶剤性の指標となる。本明細書では、この接触角θが９０°以上の場合に、撥溶剤性を有するものと定義する。
【００２３】
通常、インクの溶剤としては、所定のレオロジーを得やすく、印刷中に乾きにくいことから高沸点の有機溶剤が用いられるが、作業環境性の観点から水溶性のインクが用いられる場合もある。そこで、本明細書では、スクリーン印刷に用いるインクに最も多く含まれる液体（水・有機溶剤を問わず）を広義の溶剤とみなすものとする。
【００２４】
なお、接触角の測定は、ＪＩＳ  Ｒ  ３２５７（１９９９）「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」に規定されている静滴法による試験方法を用いることができる。
【００２５】
次に、以上に説明した本実施形態の各構成要素について、具体的に説明する。
【００２６】
枠体１は、ステンレスやアルミニウム合金などの金属部材により四角形状に形成される。大きさは、例えば、２０００ｍｍ角を超える大型サイズから、１５０ｍｍ角程度の小型サイズまで、被印刷体に応じて自由に変更することができる。
【００２７】
スクリーンメッシュ体２は、マスク体３を保持するものであり、通常はステンレスなどの金属や、ナイロン，ポリエステルなどの合成繊維を編んだものが用いられる。高い精度の配線パターンを得るためには、寸法精度の変動が少ないステンレス製のメッシュを用いることが好ましい。このとき、求められる被印刷物の精度や厚み、あるいはインクの特有の粘弾性などに応じて、メッシュの線径やメッシュ数を選定することができる。一般的には、メッシュ数を大きく、かつ線径を細くすることにより、寸法精度を維持しつつインクが通過する部分のメッシュのオープニング率を大きくすることができ、微細な被印刷物をスクリーン印刷するのに適している。例えば、２９０メッシュで２０μｍの線径で織り込まれた平織りメッシュの場合、約６８％のオープニング率を得ることができる。
【００２８】
なお、スクリーンメッシュ体２としては、マスク体３が設けられる中央部のメッシュとその周辺部の枠体１と接続されるメッシュとでそれぞれが異なる種類の材質のメッシュを編組したものとしてもよい。このとき、周辺部のメッシュを弾力性に富む合成繊維のメッシュとし、中央部のメッシュとして金属製のものを用いたコンビネーションスクリーン版としてもよい。このようなコンビネーションスクリーン版は、高精度な印刷を行なうのに適している。さらに、金属メッシュに対してメッキを被覆するリジタイズド処理を行なってもよい。
【００２９】
マスク体３を構成する、第１のマスク体３ａ、第２のマスク体３ｂの双方とも従来周知のマスク材料を用いることが可能である。具体的には、乳剤マスク、金属を用いたサスペンドメタルマスクなどを用いることができる。
【００３０】
乳剤マスクは、メッシュに感光性樹脂を塗布した後、フォトプロセスを用いて所定の開口パターンを形成したものである。感光基の種類により、ジアゾ系、ＳＢＱ系の２つに大別されるが、特に限定されるものではない。
【００３１】
また、サスペンドメタルマスクは、ステンレスメッシュに対して、ニッケル板をニッケルの電気メッキ（エレクトロプレーティング）により接合した金属マスクであり、乳剤マスクよりも高寸法精度、高耐久性を有している。ニッケル板へのパターン描画は、レーザ加工や、フォトプロセスを用いてネガレジストにパターンを形成し、金属マスクの非開口部となる領域に電気メッキでニッケルを成長させて形成する方法（エレクトロフォーミング）などがある。
【００３２】
マスク体３の厚みは、必要とされる配線パターンの厚みが得られるよう、スクリーンメッシュ体自体の厚みやオープニング率を考慮して定めることができる。具体的には、第１のマスク体３ａの厚さは、７μｍ〜３０μｍの範囲とすることが望ましい。また、第２のマスク体３ｂの厚さは２μｍ〜２０μｍの範囲とすることが望ましい。その理由としては以下の通りである。
【００３３】
まず、被印刷物に直接接する第１のマスク体３ａは、印刷されるパターンのエッジをシャープにするため、被印刷物側の面には平坦性が求められる。これに対して、第１のマスク体３ａの厚みを上述した範囲を超えて小さくし過ぎると、印刷時にメッシュの形状が浮き出てしまい、マスク体表面の平坦性が低下するので、パターンのエッジが滲む恐れがある。逆に、この範囲を超えて厚くし過ぎると、開口部にインクが残ってしまい、連続印刷時に滲みが発生する恐れがある。
【００３４】
一方、第２のマスク体３ｂの厚みが上述した上限値を超えると、メッシュ上に通過し切れなかった余剰インクが多く残り、次回の印刷時に転写量が増加し滲みなどが発生する恐れがある。さらに、第２のマスク体３ｂのスキージ側の表面は、インクが配置され、スキージにより加圧されつつ摺動するスキージングの作用を受けるため、耐久性および耐摩耗性を有することが望ましく、上述した下限値よりも大きくすることが望ましい。また、このような耐久性および耐摩耗性の観点からも、第２のマスク体３ｂとしては、金属材のものを好適に利用することができる。
【００３５】
また、スキージングの際に、インクのローリング流動を効率的に起こさせるため、第２のマスク体３ｂの表面が凹凸を有していることが望ましい。凹凸のレベルとしては、Ｒｍａｘ２μｍ〜１０μｍ程度とすればよく、この範囲であれば、スキージが磨耗し過ぎることなく、良好なインクのローリング流動を起こし、マスク体３の開口に効率的にインクを充填することができる。
【００３６】
スクリーン印刷に用いるインクの溶剤としては、高沸点の有機溶剤が好適に用いられ、例えば、α−テルピネオール（ターピネオール）、イソプロピルアルコール、ブチルカルビトールアセテート（ＢＣＡ）、ブチルカルビトール（ＢＣ）、トルエン、シクロヘキサン、メチルエチルケトンなどを用いることができる。その他、水溶性のインクを用いる場合、水も広義の溶剤として本発明の範疇に含まれる。
【００３７】
撥溶剤性コーティング５としては、フッ化ビニリデン共重合体、含フッ素アクリル酸エステル共重合体、含フッ素ケイ素ゴム、含フッ素ポリエステルゴム、含フッ素ジエン共重合体、シリコン樹脂などを用いることができ、いずれも上述した溶剤に対しては、良好な撥溶剤性を呈する。コーティング方法としては、例えば、スプレーにより塗布乾燥させたり、溶液の中に浸漬した後、取り出し乾燥させたりすることによって形成することができる。
【００３８】
以上、図１，２に示す本発明のスクリーンマスクの実施形態の例について説明した。次に、本発明のスクリーンマスクを用いた印刷方法について、説明する。ここでは、図１，２に示したスクリーンマスク１０を用いた例によって説明する。
【００３９】
本発明のスクリーンマスクを用いた印刷方法は、以下に示す工程Ａ〜Ｃ、もしくは工程Ｃに代わる工程Ｄを有し、この工程Ｃ、工程Ｄにおいて、良好に発明の効果を奏する。
【００４０】
（工程Ａ）
まず、スクリーンマスク１０を印刷機にセットし、スキージ面にインクを配置する。このとき、例えば、スクリーンマスク１０間に適度の間隔を設けたスクレーパ（金属ブレード）により、インクが適度な厚みとなるようマスク体３上にコートしてもよい。
【００４１】
（工程Ｂ）
次に、所定の印圧でスキージを被印刷物に対して押圧させながら、マスク体３上のパターン上を動かすスキージングの動作を行い、スクリーンマスク１０の印刷面側に配置した被印刷物に対して、インクを第２の開口パターン４ｂから第１の開口パターン４ａを経由させて、所定のパターンを印刷する。スキージは通常はウレタンゴム製のものが利用される。
【００４２】
なお、高精細印刷を行なう場合、スクリーンマスク１０と被印刷物とが所定のクリアランスで配置されるオフコンタクト印刷とすることが望ましい。オフコンタクト印刷の場合、スキージが通り過ぎると、スクリーンメッシュ体２のテンションにより、マスク体３と被印刷物が速やかに離れる。その結果、印刷されたインクのパターンがマスク体３と被印刷物との間に引き込まれて滲む現象を抑制できるからである。
【００４３】
（工程Ｃ）
工程Ａと工程Ｂとを繰り返して、新しい被印刷物に対して連続的に所定のパターンを印刷する。このとき、上述したスクレーパによって、スキージングによって片側に掃引されたインクを反対側に戻すようにする。この繰り返しにより、連続的に印刷を行ない、スクリーンマスク上のインクが減少したら、新たにインクを補充して、印刷を続行する。
【００４４】
従来のスクリーンマスクでは、この工程Ｃにおいて、インクの溶剤が、剥き出しとなったスキージ面側のメッシュに捕捉されたり、スキージングとスクレーパによるコートとの繰り返しにより、溶剤がスクリーンマスク上で濡れ拡がって揮発されたりするなどの問題が生じていた。本発明に係るスクリーンマスクを用いた場合、これらの問題を解決することができ、インク中の溶剤が失われにくくなるので連続印刷中のインクの粘弾性の変動を抑えることができる。その結果、配線パターンに断線や凹凸の発生を抑えて、安定した配線印刷が可能となる。
【００４５】
（工程Ｄ）
連続的に所定のパターンを行なう必要がない場合、工程Ｃに代えて、スクリーンマスク１０上のインクを回収するようにしてもよい。この場合も同様に、スクリーンマスクのメッシュ体への溶剤の濡れ拡がりによる、溶剤の揮散を抑止することができるので、回収されるインクの粘弾性変動を抑えることができる。
【００４６】
最後に、本発明に係るスクリーンマスクを用いた配線基板の製造方法について述べる。ここでは、図１，２に示したスクリーンマスク１０を用いた例によって説明する。
【００４７】
スクリーンマスク１０の印刷面側に被印刷物としてセラミックグリーンシートを配置する。セラミックグリーンシートとしては、例えば、アルミナの原料粉末をバインダでテープ状に成形したものが挙げられる。
【００４８】
次に、スクリーンマスク１０のスキージ面に導体ペーストのインクを配置する。上述した印刷方法で述べたように、スクレーパを用いてインクをコートしてもよい。
【００４９】
その後、配置したインクをスキージで押圧しつつ、スキージングの動作を行い、セラミックグリーンシートに対して、この導体ペーストのインクを所定のパターン形状となるように印刷して塗布する。この印刷工程を連続的に繰り返して行ない、次々とセラミックグリーンシートに対して導体ペーストのパターンを形成する。
【００５０】
このとき、本発明に係るスクリーンマスク１０を用いることにより、インク中の溶剤の揮散が抑えられるので、連続印刷中の粘弾性の変動を少なくすることができる。その結果、高品質な配線パターンを連続的に得ることができる。
【００５１】
次に、このグリーンシート上に形成した導体ペーストを乾燥させた後、セラミックグリーンシートを複数積層してグリーンシート積層体を作製する。この際、各グリーンシートに設けられた導体パターン同士が焼成後接続されて、所望の回路を構成するように、適切に位置合わせをしつつ積層を行なう。
【００５２】
最後にこのグリーンシート積層体を所定の温度で焼成して、セラミックスを焼結させ、配線基板を得ることができる。
【００５３】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
【００５４】
例えば、図２では、第２のマスク体３ｂのスキージ面側のみに撥溶剤性コーティング５を設けていたが、図３の変形例に示すように、第２の開口パターン４ｂの内壁および第１の開口パターン４ａの内壁が、溶剤に対して撥溶剤性を有するように、それぞれの内壁に撥溶剤性コーティング５ａ，５ｂを設けるようにしても構わない。この構成によれば、開口部からのインクの抜け性が向上し、高精細なパターンの断線を防止する効果がある。
【００５５】
また、このとき、第１のマスク体３ａの被印刷物表面側の撥溶剤性が、第２のマスク体３ｂ、第１のおよび第２の開口パターン内壁５ａ，５ｂの少なくとも一つの撥溶剤性よりも小さくなるようにすることが望ましい。このような構成とすることにより、被印刷物への転写量のばらつきを抑え、安定した印刷結果を得ることができる。
【００５６】
図４の模式図を用いて、この理由について考察する。図４（ａ）は被印刷物側のマスク体の表面に撥溶剤処理がなされている場合、（ｂ）は被印刷物側のマスク体の表面に発溶剤処理がなされていない場合を示す。
【００５７】
実際には、スキージングによるマスク開口部へのインク充填と被印刷物への表面のインク接触は完全に同時ではなく、スキージの移動速度やスクリーンマスクと被印刷物とのクリアランスに応じて若干の時間のずれがある。
【００５８】
図４（ａ）は、被印刷物側のマスク体の表面に撥溶剤処理がなされている場合であり、インクによる被印刷物とマスク体との接着がほとんど見られない。この場合、スキージが通り過ぎると、インクの充填が不十分だったとしても、スクリーンメッシュのテンションにより、版離れが即時に進行し、マスク体と被印刷物とは、すぐに引き離されてしまう。もしマスク開口部に対してインクが十分に充填される前に版離れが進行してしまった場合、被印刷物に対するインクの転写量が不足する恐れがある。
【００５９】
これに対して、被印刷物側のマスク体の表面に発溶剤処理がなされていない場合では、逆に、インクによって被印刷物とマスク体との接着が起こるため、版離れがすぐには進行しない。具体的には、図示したように、インクが充填される際に、マスク体の印刷面側のエッジ部と被印刷物との間にインクが微小に流れ込み、短時間ではあるが、マスク開口部と被印刷物が接着され、スキージが通り過ぎる間、版離れの力に抗した状態となる。この作用により、図４（ａ）の場合よりも、版離れが遅れて進行するため、マスク開口部へのインクが充填するために必要な時間を稼ぐことができ、被印刷物に対してインクの転写量のばらつきが小さくなるものと思われる。なお、撥溶剤性の大小関係については、上述したように、溶剤との接触角θの大きさにより相対的に比較が可能である。
【００６０】
次に、図５に、本発明のマスク体のさらに別の変形例を示す。図５（ａ）に示す実施形態では、第２のマスク体１３ｂとして、インクの溶剤に対して撥溶剤性を有する樹脂体そのものをマスク体に用いている。樹脂の種類としては、上述した撥溶剤性コーティングと同じ樹脂を用いることができる。
【００６１】
また、図５（ｂ）に示す実施形態では、スクリーンメッシュ体２を、上面透視したときに、第１の開口パターン４ａおよび第２の開口パターン４ｂが重畳して構成される重畳パターン部の周囲を囲繞する溶剤浸透防止体６がスクリーンメッシュ体２の内部に設けられている。溶剤浸透防止体６をこの開口パターン部の周囲のスクリーンメッシュ体２の内部に設けておくことにより、この開口パターン部内のメッシュからの溶剤の浸透を防止することができ、発明の効果をさらに高めることができる。この溶剤浸透防止体６の機能は、マスク体３の間に挟まれたスクリーンメッシュ体２の内部への溶剤の浸透を防止するものであって、特に撥溶剤性を有するものでなくても構わない。例えば、スクリーンメッシュ体２の内部に乳剤樹脂層を設けるようにしてもよい。また、開口パターン部の周囲を囲繞すると書いたが、これも最低限この領域に設けられていればよく、開口パターン部以外の全体に設けられていてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１    枠体
２    スクリーンメッシュ体
３    マスク体
３ａ  第１のマスク体
３ｂ  第２のマスク体
４ａ  第１の開口パターン
４ｂ  第２の開口パターン
５，５ａ，５ｂ  撥溶剤性コーティング
６    溶剤浸透防止体
１０  スクリーンマスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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