【手続補正書】
【提出日】平成16年8月27日(2004.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドレッサ本体と、上記ドレッサ本体の表面に植毛されたブラシと、上記ブラシが植毛された面に突設された所定長さの刃状のスクレーパとを具備することを特徴とするドレッサ。
【請求項２】
請求項１に記載のドレッサにおいて、上記ドレッサ本体の上面部及び下面部のそれぞれに、上記ブラシを植毛すると共に直長状の上記スクレーパを突設した、ことを特徴とするドレッサ。
【請求項３】
請求項２に記載のドレッサにおいて、上記ドレッサ本体の上面部及び下面部のそれぞれに、直長状の孔を設け、上記各スクレーパを上記ドレッサ本体の内側から上記各孔に嵌め、これらのスクレーパを付勢部材によって上記ドレッサ本体の外方に突出するように付勢した、ことを特徴とするドレッサ。
【請求項４】
請求項１に記載のドレッサにおいて、上記ドレッサ本体を両面研磨装置のサンギアとインターナルギアとに噛合可能なギア形状に形成し、このドレッサ本体の両面にそれぞれ、上記ブラシを植毛すると共に上記スクレーパを突設した、ことを特徴とするドレッサ。
【請求項５】
請求項４に記載のドレッサにおいて、上記スクレーパを、上記ドレッサ本体の中心と略同心をなす円形状又は上記ドレッサ本体の中心から半径方向に延出する直線形状に形成した、ことを特徴とするドレッサ。
【請求項６】
請求項１に記載のドレッサにおいて、上記ドレッサ本体を、片面研磨装置のヘッドのワーク保持部に収納可能な円盤形状に形成し、このドレッサ本体の下面に、上記ブラシを植毛すると共に上記スクレーパを突設した、ことを特徴とするドレッサ。
【請求項７】
請求項６に記載のドレッサにおいて、上記スクレーパを上記ドレッサ本体の中心と略同心をなす円形状又は上記ドレッサ本体の中心から半径方向に延出する直線形状に形成した、ことを特徴とするドレッサ。
【請求項８】
請求項２または請求項３に記載のドレッサと、両面研磨装置の上定盤及び下定盤に挟まれ且つ上記スクレーパが上定盤及び下定盤の半径方向を向く上記ドレッサを上記半径方向に揺動させる揺動機構とを具備することを特徴とするドレッシング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、ドレッサ本体としては、円柱状等の形状だけでなく、円盤状等の形状のものも適用することができる。その一例として、請求項４の発明は、請求項１に記載のドレッサにおいて、ドレッサ本体を両面研磨装置のサンギアとインターナルギアとに噛合可能なギア形状に形成し、このドレッサ本体の両面にそれぞれ、ブラシを植毛すると共に、スクレーパを突設した構成としてある。かかる構成により、ドレッサ本体を両面研磨装置のサンギアとインターナルギアとに噛合させ、その両面を挟んだ状態で、上及び下定盤を回転させることで、ドレッサ本体が自転しながらサンギア周りで公転する。この結果、自公転するブラシとスクレーパとによって、上及び下定盤の表面がドレッシングされる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
ドレッサ本体の両面に突設されるスクレーパの形状は任意である。その一例として、請求項５の発明は、請求項４に記載のドレッサにおいて、スクレーパを、ドレッサ本体の中心と略同心をなす円形状又はドレッサ本体の中心から半径方向に延出する直線形状に形成した構成としてある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、この発明のドレッサは、両面研磨装置だけでなく、片面研磨装置にも適用可能である。その一例として、請求項６の発明は、請求項１に記載のドレッサにおいて、ドレッサ本体を、片面研磨装置のヘッドのワーク保持部に収納可能な円盤形状に形成し、このドレッサ本体の下面に、ブラシを植毛すると共にスクレーパを突設した構成としてある。かかる構成により、ドレッサ本体をヘッドのワーク保持部に収納し、ドレッサ本体を押圧しながらヘッドを回転させることで、定盤表面がドレッサ本体下面に設けられたブラシとスクレーパとによってドレッシングされる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項７の発明は、請求項６に記載のドレッサにおいて、スクレーパをドレッサ本体の中心と略同心をなす円形状又はドレッサ本体の中心から半径方向に延出する直線形状に形成した構成としてある。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、上記課題を解決するために、請求項８の第２の発明に係るドレッシング装置は、請求項２または請求項３に記載のドレッサと、両面研磨装置の上定盤及び下定盤に挟まれ且つスクレーパが上定盤及び下定盤の半径方向を向くドレッサを半径方向に揺動させる揺動機構とを具備する構成とした。かかる構成により、揺動機構でドレッサを上及び下定盤の半径方向に揺動させると、揺動方向に研磨剤等が掻き出される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、この発明の第１の実施形態に係るドレッシング装置を示す斜視図である。図１において、符号１がドレッシング装置であり、符号１００が下定盤であり、符号１１０が上定盤である。図１に示すように、ドレッシング装置１はドレッサ２とドレッサ駆動装置３とにより構成されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図１１は、上記第１の実施形態の変形例を示す側断面図である。すなわち、スクレーパは単一部材であることを要しない。図１１に示すように、複数のスクレーパ片１２ａ１〜１２ａｎ，１２ｂ１〜１２ｂｎに分割し、各スクレーパ片１２ａｘ，１２ｂｘ（ｘ＝１〜ｎ）をガイドシャフト１８で支持すると共にスプリング１９で付勢した構成とすることもできる。図１２は、スクレーパ片の追従状態を示す概略図である。上記構成により、図１２に示すように、各スクレーパ片１２ｂｘ〜１２ｂｙ（１２ａｘ〜１２ａｙ）がパッド１０１（１１１）の凹凸に追従し、ドレッシング効果がさらに向上する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
（第２の実施形態）
図１３は、この発明の第２の実施形態に係るドレッシング装置を示す平面図である。
この実施形態は、ドレッサを回転させるだけで、ドレッサを揺動させると同様の効果を生じる構成とした点が、上記第１の実施形態と異なる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
（第３の実施形態）
図１４は、この発明の第３の実施形態に係るドレッサを示す平面図であり、図１５はその側断面図である。これらの図において、符号８がこの実施形態のドレッサであり、このドレッサ８は、両面研磨装置のキャリアの機能を利用したものであり、そのドレッサ本体８０は、サンギア１２０とインターナルギア１２１とに噛合可能なギア形状を呈している。そして、ドレッサ本体８０の両面に、ブラシ８１が植毛されると共に、一対のスクレーパ８２，８３が突設されている。一対のスクレーパ８２，８３は平面視において、ドレッサ本体８０の中心と同心をなす円形状に形成されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
（第４の実施形態）
図１７は、この発明の第４の実施形態に係るドレッサを示す側断面図である。図１７において、符号９がこの実施形態のドレッサであり、このドレッサ９は、片面研磨装置の定盤をドレッシングするための構成を有している。すなわち、ドレッサ本体９０が片面研磨装置のヘッド１３０の下面に設けられているワーク保持部１３１に収納可能な円盤形状を呈しており、その下面にブラシ９１が植毛されると共に、一対のスクレーパ９２，９３が突設されている。これらスクレーパ９２，９３は、上記第３の実施形態のスクレーパ８２，８３と同様に、ドレッサ本体９０の中心と同心をなす円形状に形成成されている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項１及び請求項２の発明によれば、定盤表面のパッドなどに詰まった研磨剤等がブラシとスクレーパとの協働作用によって掻き出されるので、充分なドレッシング効果を得ることができる。また、請求項３の発明によれば、スクレーパがパッド等の傾斜に追従するので、ドレッシング不足やパッド等の破損を回避することができ、この結果、ドレッシングの正確性が向上する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また、請求項４及び請求項５の発明によれば、両面研磨装置を駆動させるだけで、自公転するドレッサによって、上，下定盤のパッド等が自動的にドレッシングされるので、ドレッサを駆動させる機構を特設する必要が無く、この結果、作業の省略化と製品コストの低減化とを図ることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、請求項６及び請求項７の発明においても、片面研磨装置を駆動させるだけで、パッド等が自動的にドレッシングされるので、作業の省略化と製品コストの低減化とを図ることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、請求項８の発明によれば、ブラシとスクレーパとの協働作用によって掻き出された研磨剤等を揺動機構によって自動的に排出することができるので、ドレッシング作業のさらなる省略化を図ることができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】