Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月27日(2004.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリアミド樹脂１００重量部と無機充填材１０〜２００重量部とからなる組成物であり、上記ポリアミド樹脂が末端基濃度差０＜｛［ＮＨ2］−［ＣＯＯＨ］（ミリグラム当量／キログラム）｝≦１００であり、ポリアミド樹脂と無機充填材との界面にグラフト化ポリアミド樹脂が存在し、該グラフト化ポリアミド樹脂の量が無機充填材１００重量部あたり０．０５〜０．７重量部で、かつ、グラフト化ポリアミド樹脂の無機充填材表面被覆率が６０〜１００％であることを特徴とするポリアミド樹脂組成物。
【請求項２】
ポリアミド樹脂が、ポリヘキサメチレンアジパミド（ナイロン６６）樹脂である請求項１記載のポリアミド樹脂組成物。
【請求項３】
ポリアミド樹脂がポリアミド６６樹脂と他のポリアミド樹脂とのコポリマーもしくはブレンド物である請求項１記載のポリアミド樹脂組成物。
【請求項４】
ポリアミド樹脂がポリアミド６６樹脂とポリカプロアミド（ナイロン６）樹脂とのコポリマーもしくはブレンド物である請求項１記載のポリアミド樹脂組成物。
【請求項５】
ポリアミド樹脂がポリアミド６６樹脂とポリヘキサメチレンイソフタラミド（ナイロン６Ｉ）樹脂とのコポリマーもしくはブレンド物である請求項１記載のポリアミド樹脂組成物。
【請求項６】
無機充填材が、ガラス繊維である請求項１、２、３、４または５記載のポリアミド樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のポリアミド樹脂組成物を成形してなる成形品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
すなわち、本発明は下記の通りである。
（１）ポリアミド樹脂１００重量部と無機充填材１０〜２００重量部とからなる組成物であり、上記ポリアミド樹脂が末端基濃度差０＜｛［ＮＨ2］−［ＣＯＯＨ］（ミリグラム当量／キログラム）｝≦１００であり、ポリアミド樹脂と無機充填材との界面にグラフト化ポリアミド樹脂が存在し、該グラフト化ポリアミド樹脂の量が無機充填材１００重量部あたり０．０５〜０．７重量部で、かつ、グラフト化ポリアミド樹脂の無機充填材表面被覆率が６０〜１００％であることを特徴とするポリアミド樹脂組成物。
（２）ポリアミド樹脂がポリヘキサメチレンアジパミド（ナイロン６６）樹脂である上記（１）のポリアミド樹脂組成物。
（３）ポリアミド樹脂がポリアミド６６樹脂と他のポリアミド樹脂とのコポリマーもしくはブレンド物である上記（１）のポリアミド樹脂組成物。
（４）ポリアミド樹脂がポリアミド６６樹脂とポリカプロアミド（ナイロン６）樹脂とのコポリマーもしくはブレンド物である上記（１）のポリアミド樹脂組成物。
（５）ポリアミド樹脂がポリアミド６６樹脂とポリヘキサメチレンイソフタラミド（ナイロン６Ｉ）樹脂とのコポリマーもしくはブレンド物である上記（１）のポリアミド樹脂組成物。
（６）無機充填材が、ガラス繊維である上記（１）〜（５）のいずれかに記載のポリアミド樹脂組成物。
（７）上記（１）〜（６）のいずれかに記載のポリアミド樹脂組成物を成形してなる成形品。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に用いるポリアミド樹脂は、末端基濃度差０＜｛［ＮＨ2］−［ＣＯＯＨ］（ミリグラム当量／キログラム）｝≦１００の末端アミノ基過剰のものである。
末端基濃度差｛［ＮＨ2］−［ＣＯＯＨ］（ミリグラム当量／キログラム）｝が０以下の時、ポリアミド樹脂と無機充填材（例えばガラス繊維）との界面層に存在するポリアミド樹脂の耐久性が低下し、組成物の耐久性が低下してしまい好ましくない。また、末端基濃度差が１００を越えるとき、成形時にアミノ由来の分解ガスを発生しやすくなり成形性が低下するため好ましくない。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月11日(2004.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式
【化１】
1998316827.tif 000001
［式中、Ｒ1 は−ＣＨ2 ＣＨ（−ＯＨ）ＣＨ2 ＯＣＨ2 ＣＨ＝ＣＨ2 を示し、ｘは０≦ｘ＜１を示し、ｙは０≦ｙ≦１を示し、ｚは０≦ｚ≦１を示し、ｘ，ｙ，ｚはそれぞれの構成単位のモル分率を示し、ｙとｚが共に０であることはない］を主要構成成分として含むポリアリルアミン誘導体と、水とを含むことを特徴とする熱可逆型材料。
【請求項２】
ポリアリルアミンの水溶液と、ポリアリルアミンのモノマー単位に対し２００モル％以下のアリルグリシジルエーテルとを２０〜６０℃で反応させることを特徴とする請求項１記載のポリアリルアミン誘導体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
高分子と水との混合物とを含む親水性−疎水性熱可逆型材料は知られている。このような材料は、低温域では高分子の水溶液の状態で水に溶解し、高温域では不溶となり、再びそれを冷却すると溶解する。例えば、そのような親水性−疎水性熱可逆型材料に用いる高分子として、ポリ（Ｎ−ｎ−プロピルメタアクリルアミド）が特公昭６１−２３９３７号公報に記載されている。また、ポリ（Ｎ−アルキルアクリルアミド）、ポリビニルメチルエーテル、ポリエチレンオキシド、メチルセルロース及びポリビニルメチルオキサゾリジノンが知られている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【化２】
1998316827.tif 000002
［式中、Ｒ1 は−ＣＨ2 ＣＨ（−ＯＨ）ＣＨ2 ＯＣＨ2 ＣＨ＝ＣＨ2 を示し、ｘは０≦ｘ＜１を示し、ｙは０≦ｙ≦１を示し、ｚは０≦ｚ≦１を示し、ｘ，ｙ，ｚはそれぞれの構成単位のモル分率を示し、ｙとｚが共に０であることはない］を主要構成成分として含むポリアリルアミン誘導体と、水とを含むことを特徴とする熱可逆型材料である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明に用いるポリアリルアミン誘導体は、特開昭６２−２５６８０１号公報に記載のように、ポリアリルアミンのメタノール溶液にアリルグリシジルエーテルを加えることにより製造することができる。しかし、本発明者らは、ポリアリルアミンの水溶液に、ポリアリルアミンのモノマー単位に対し２００モル％以下のアリルグリシジルエーテル（ＩＩ）を２０〜６０℃で加えるだけで、簡単に、式（Ｉ）で表わされるポリアリルアミン誘導体を製造できることを見出した。これを下記の化学反応式で示す。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月5日(2004.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機充填剤を含有するポリプロピレン樹脂に、ポリプロピレン樹脂及び無機充填剤の合計量１００重量部に対して、モンモリロナイト０．０１〜５重量部、及び酸化防止剤０．０１〜５重量部を含有せしめてなることを特徴とするポリプロピレン樹脂組成物。
【請求項２】
無機充填剤の含有量が、無機充填剤及びポリプロピレン樹脂の合計量の１重量％以上５０重量％以下である請求項１のポリプロピレン樹脂組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月21日(2005.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも３種の下記式のジケトピロロピロールを含有する物質組成物
【化１】
1998316876.tif 000001
［式中、
Ａは下記式の基
【化２】
1998316876.tif 000002
Ｂは下記式のいずれかの基
【化３】
1998316876.tif 000003
Ｒ１はＣ1−Ｃ6−アルキル、Ｃ1−Ｃ6−アルコキシ、Ｃ1−Ｃ6−アルキルチオ、ハロゲンまたはフェニル、
Ｒ2はＣＯＸ基
（ここで、ＸはＮＲ4Ｒ5、または、少なくとも２個のＮ原子を含有しそのうちの１つのＮ原子がカルボニル基とアミドを形成している複素環式基を意味し、そしてＲ4とＲ5は後記の意味を有する）、
Ｒ3は水素、ハロゲンまたはＣ1−Ｃ6−アルキル、
Ｒ4は水素、−（ＣＨ2）ｍ−ＣＨ3基、またはＲ5を意味し、
Ｒ5は下記式のいずれかの基
【化４】
1998316876.tif 000004
【化５】
1998316876.tif 000005
ここで、
Ｇは直接結合、 -ＣＨ2-、 -ＣＨ（ＣＨ3）- 、 -Ｃ（ＣＨ3）2-， -ＣＨ＝Ｎ- ， -Ｎ＝Ｎ- ， -Ｏ- 、 -Ｓ- 、 -ＳＯ- ， -ＳＯ2-または -ＮＲ9- であり得、
Ｒ6はＣ1−Ｃ6−アルキル、
Ｒ7とＲ8は互いに独立的に水素、ハロゲン、Ｃ1−Ｃ6−アルキル、
Ｒ9は水素またはメチル、
ｍはゼロまたは１乃至１７の数、
ｎは２乃至６の数である］。
【請求項２】
下記成分（ａ）と（ｂ）を含有する顔料組成物：
（ａ）少なくとも１種の１，４−ジケトピロロ［３，４−ｃ］ピロール顔料８０乃至９９．９重量％、
（ｂ）請求項１記載の式I、II、 III の３種のジケトピロロピロールを含有する物質組成物または式IIのジケトピロロピロール０．１乃至２０重量％。
【請求項３】
成分（ａ）が下記式の１，４−ジケトピロロ［３，４−ｃ］ピロールを含有する請求項２記載の顔料組成物
【化６】
1998316876.tif 000006
（式中、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３は互いに独立的に水素、Ｃｌ，Ｂｒ，ＣＨ3，ＯＣＨ3，Ｃ（ＣＨ3）3，ＣＮまたはフェニルである）。
【請求項４】
高分子有機材料と請求項２記載の顔料組成物とを含有する組成物。
【請求項５】
高分子有機材料に着色有効量の請求項２記載の顔料組成物を配合することを特徴とする高分子有機材料の着色方法。
【請求項６】
高分子有機材料が塗料または印刷インクである請求項５記載の方法によって着色された高分子有機材料。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月9日(2005.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１種のジエン系ポリマー及び補強用充填剤として表面に固定されたシリカを有するカーボンブラックを含む加硫可能なゴム組成物であって、該ジエン系ポリマーが、連鎖の末端にシラノール官能基を、または末端シラノール基を有するポリシロキサンブロックをもつジエン系官能化ポリマー、または連鎖に沿ってシラノール官能基により変性されたジエン系官能化ポリマーであることを特徴とする、上記ゴム組成物。
【請求項２】
該末端シラノール基を有するポリシロキサンブロックが、以下の一般式：
[-(Si1R2O)x-H]
で表されるものであり、該一般式において、R1およびR2は同一または異なっており、炭素原子数１〜８のアルキル基を表し、またｘは１〜1500の範囲の整数である、ことを特徴とする請求項１記載の組成物。
【請求項３】
R1、R2が炭素原子数１〜５のアルキル基であり、また好ましくはメチル基である、請求項２記載の組成物。
【請求項４】
該ジエン系ポリマーが、ブタジエン−スチレンコポリマーまたはブタジエン−スチレン−イソプレンコポリマーである、請求項１〜３の何れか１項に記載の組成物。
【請求項５】
更に、ポリブタジエンおよび／またはブタジエン−イソプレンコポリマーおよび／または天然ゴムをも含む、請求項４記載の組成物。
【請求項６】
該カーボンブラックの表面に存在する該シリカの含有量が、0.1 〜50重量％の範囲である、請求項１〜５の何れか１項に記載の組成物。
【請求項７】
該カーボンブラックの表面に存在する該シリカの含有量が、0.3 〜30重量％の範囲である、請求項６記載の組成物。
【請求項８】
表面に固定されたシリカを有する該カーボンブラックを、他の補強用充填剤との混合物として使用する、請求項１〜７の何れか１項に記載の組成物。
【請求項９】
少なくとも１種のジエン系ポリマー、補強用充填剤として、表面に固定されたシリカを有するカーボンブラックを含有する加硫化ゴム組成物を含むタイヤであって、該ジエン系ポリマーが、連鎖端部にシラノール官能基をもつ、または末端シラノール基を有するポリシロキサンブロックもつジエン系官能化ポリマー、または連鎖に沿ってシラノール官能基により変性されたジエン系官能化ポリマーであることを特徴とする、上記タイヤ。
【請求項１０】
該組成物がタイヤトレッドの構造中に含まれる、請求項９記載の組成物。
【請求項１１】
少なくとも１種のジエン系ポリマー、表面に固定されたシリカを有するカーボンブラックを含有する加硫化ゴム組成物により構成される、タイヤトレッドであって、該ジエン系ポリマーが、連鎖末端部にシラノール官能基を、または末端シラノール基を有するポリシロキサンブロックもつジエン系官能化ポリマー、または連鎖に沿ってシラノール官能基により変性されたジエン系官能化ポリマーであることを特徴とする、上記タイヤトレッド。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月2日(2004.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【発明の効果】
本発明によって、柔軟で取扱い易く、しかも自然環境下での分解速度が改善され廃棄やコンポスト化が容易なごみ袋が提供可能となり、環境保護に大きく貢献することが期待される。また本発明品は原料樹脂、繊維及びフィルムの生産性が改善されるため、工業生産が容易でコストが低くなるという利点もあげられる。さらに本発明品の主要な原料は空気中の炭酸ガスを固定し得たでんぷんが粗原料である為に、廃棄時に焼却したとしても、現行の石油系原料からなるポリオレフィン、ポリエステル製のごみ袋の焼却と異なり、空気中の炭酸ガスを増加させることが少なく、地球の温暖化防止にも貢献することが期待される。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月9日(2005.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有効量の芳香族オレフィン化合物を樹脂と反応させることにより、樹脂中の遊離モノマー含有量を低減する方法。
【請求項２】
(a)二価フェノール、多価フェノール、二価フェノール樹脂及び多価フェノール樹脂からなる群から選択される１又は２以上の樹脂；
(b)二価フェノール、多価フェノール、二価フェノール樹脂及び多価フェノール樹脂からなる群から選択される１以上の化合物と、モノオキシラン化合物及びポリオキシラン化合物からなる群から選択される１以上の化合物との付加生成物；及び
(c)二価フェノール、多価フェノール、二価フェノール樹脂及び多価フェノール樹脂のうち少なくとも一種以上からなる群から選択された樹脂のフェノール又はアルキル又はアラリキル置換された一価又は二価フェノール変性樹脂、からなる群から選択される樹脂を用いる請求項１の方法。
【請求項３】
二価フェノール、多価フェノール、二価フェノール樹脂及び多価フェノール樹脂からなる群から選択される１以上の化合物と、モノオキシラン化合物及びポリオキシラン化合物からなる群から選択される１以上の化合物との付加生成物は、各群から選択される１以上の化合物を、トリアルキルホスフィン、トリアリールホスフィン、トリアルキルアミン、ジアルキルアミノメチレーテッドフェノール、4-ジメチルアミノピリジン及び第４級アンモニウム化合物からなる群から選択される触媒の存在下で反応させることにより調製される請求項２の方法。
【請求項４】
触媒としてトリフェニルホスフィンを用いる請求項３の方法。
【請求項５】
反応は、約１３０〜１８０℃の温度にて約３〜５時間行われる請求項３の方法。
【請求項６】
二価フェノール又は多価フェノールは、レゾルシノール、カテコール、ジヒドロキシビフェノール、トリヒドロキシビフェノール、ヒドロキノン、炭素原子が約１〜１２のアルキリデンビスフェノール及びチオビスフェノールからなる群から選択されたものを使用し、前記二価フェノール又は多価フェノールは、炭素原子約１〜１２のアルキル基、炭素原子約６〜１２のアラルキル基、炭素原子約２〜１８のアルカノイル基、炭素原子約７〜１１のアロイル基、又は塩素及び臭素からなる群から選択されるハロゲンのうち少なくとも１の基と選択的に置換されたものを使用する請求項２の方法。
【請求項７】
モノオキシラン化合物は、炭素原子約２〜１８の飽和又は不飽和アルキレンオキシド、グリシジルエーテル化合物、グリシジルエステル化合物、及びそれらの混合物からなる群から選択される化合物を使用し、ポリオキシラン化合物は、4-ビニルシクロヘキセンジオキシド、不飽和脂肪酸のエポキシ化グリセリド、エポキシ化された窒素含有物質、エポキシタレート、ポリグリシジルエーテル、ポリグリシジルエステル、及びそれらの混合物からなる群から選択される化合物を使用する請求項２の方法。
【請求項８】
多価フェノールとしてレゾルシノールを使用し、ポリオキシラン化合物としてビスフェノールＡのジグリシジルエーテルを使用する請求項２の方法。
【請求項９】
反応中、アモルファスシリカを加える工程を含んでいる請求項３の方法。
【請求項１０】
二価又は多価フェノール又は二価又は多価フェノール樹脂と、モノオキシラン又はポリオキシラン化合物とのモル比は、約１：０.０５乃至１：１.５である請求項３の方法。
【請求項１１】
樹脂と芳香族オレフィン化合物との反応は、Ｈ2ＳＯ4，Ｈ3ＰＯ4、芳香族スルホン酸及び脂肪族スルホン酸からなる群から選択される触媒の存在下で行なわれる請求項１の方法。
【請求項１２】
触媒として、ｐ-トルエンスルホン酸を使用する請求項１１の方法。
【請求項１３】
アルファ-メチルスチレン、ベータ-メチルスチレン、ｐ-メチルスチレン、アルファ-クロロスチレン、ジビニルベンゼン及びビニルナフタレンからなる群から選択される芳香族オレフィン化合物を使用する請求項１の方法。
【請求項１４】
芳香族オレフィン化合物としてスチレンを使用する請求項１３の方法。
【請求項１５】
反応は、約１３０〜１８０℃の温度にて約３〜５時間行われる請求項１１の方法。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項１５の何れかに記載の方法から得られる付加生成物を含んでいる、遊離レゾルシノールの少ない樹脂。
【請求項１７】
ゴムのコンパウンディングに有用なものとして特徴づけられる請求項１６の樹脂。
【請求項１８】
(a)天然ゴム、合成ゴム又はそれらの複合物の中から選択されるゴム成分；
(b)メチレン供与体；及び
(c)メチレン受容体を含んでおり、該メチレン受容体は、請求項１乃至請求項１５の何れかに記載の方法から得られる付加生成物である、加硫可能なゴム配合物。
【請求項１９】
メチレン受容体は、ゴム成分１００重量部に対し、約１〜２５重量部の量がゴム成分の中に含まれている請求項１８の配合物。
【請求項２０】
メチレン受容体は、ゴム成分１００重量部に対し、約１〜５重量部の量がゴム成分の中に含まれている請求項１９の配合物。
【請求項２１】
メチレン受容体とメチレン供与体の重量比は、約１：１０乃至１０：１である請求項１８の配合物。
【請求項２２】
メチレン供与体は、ヘキサメチレンテトラミン、ジ-、トリ-、テトラ-、ペンタ-、又はヘキサ-Ｎ-メチロール-メラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、オキサゾリジン又はＮ-メチル-1,3,5-ジオキシゼンからなる群から選択される請求項１８の配合物。
【請求項２３】
(d)補強材をさらに含んでいる請求項１８の配合物。
【請求項２４】
補強材は、フィラメント、ファイバー、コード又はファブリックの形態であるナイロン、レーヨン、ポリエステル、アラミド、ガラス及びスチールからなる群から選択される請求項２３の配合物。
【請求項２５】
硫黄、カーボンブラック、酸化亜鉛、シリカ、酸化防止剤、ステアリン酸塩、促進剤、油又は粘着促進剤からなる群から選択される添加剤をさらに含んでいる請求項１８の配合物。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月9日(2005.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式Ｉ
【化１】
1998316662.tif 000001
の化合物および（または）式Ｉの化合物の立体異性形態および（または）式Ｉの化合物の生理学的に許容し得る塩。
上記式において、
Ｒ1は、１．フェニル、
２．１個または２個の
2.1.  線状、環状または分枝鎖状の(Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
2.2.  −ＯＨ、
2.3.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル−Ｃ(Ｏ)−Ｏ−、
2.4.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル−Ｏ−、
2.5.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル−Ｏ−(Ｃ1〜Ｃ4)−アルキル−Ｏ−、
2.6.  ハロゲン、
2.7.  −ＣＦ3、
2.8.  −ＣＮ、
2.9.  −ＮＯ2、
2.10.  ＨＯ−Ｃ(Ｏ)−、
2.11.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル−Ｏ−Ｃ(Ｏ)−、
2.12.  メチレンジオキソ、
2.13.  Ｒ5−(Ｒ6)Ｎ−Ｃ(Ｏ)−（式中、Ｒ5およびＲ6は、同一または異なりそして水素原子または(Ｃ1〜Ｃ6)−アルキルを示す）、または
2.14.  Ｒ5−(Ｒ6)Ｎ−（式中、Ｒ5およびＲ6は同一または異なりそして水素原子または(Ｃ1〜Ｃ6)−アルキルを示す）
によって置換されたフェニル、
３．置換されないまたは２.１〜２.１４に記載したような置換分によって置換された次の基３.１〜３.１５
3.1.  ピロール、
3.2.  ピラゾール、
3.3.  イミダゾール、
3.4.  トリアゾール、
3.5.  チオフェン、
3.6.  チアゾール、
3.7.  オキサゾール、
3.8.  イソキサゾール、
3.9.  ピリジン、
3.10.  ピリミジン、
3.11.  インドール、
3.12.  ベンゾチオフェン、
3.13.  ベンズイミダゾール、
3.14.  ベンゾキサゾールまたは
3.15.  ベンゾチアゾール
からのヘテロ芳香族基、
４．−ＯＨでＡは共有結合、
５．−ＯＲ14でＡは共有結合、−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−（式中、Ｒ14は、
(１)  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
(２)  (Ｃ3〜Ｃ6)−シクロアルキル、
(３)  ベンジルまたは
(４)  フェニルである）
６．−ＣＯＯＨでＡは共有結合、−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−、
７．(Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
８．(Ｃ3〜Ｃ6)−シクロアルキル−Ｏ−(Ｃ1〜Ｃ4)−アルキル、
９．ハロゲンでＡは共有結合、−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−、
１０．−ＣＮでＡは共有結合、−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−、
１１．−ＮＯ2でＡは共有結合、−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−または
１２．−ＣＦ3
であり、
Ｒ2は、１．ＨＯ(Ｈ)Ｎ−または
２．Ｒ7−Ｏ−（式中、Ｒ7は
2.1.  水素原子
2.2.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
2.3.  アリルまたは
2.4.  ベンジルである）
であり、
Ｒ3およびＲ4は、同一または異なりそして
１．水素原子、
２．(Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
３．フェニル−(ＣＨ2)m−（式中、フェニルは置換されていないかまたは１個または２個の２.１〜２.１４に記載した置換分により置換されておりそしてｍは０、１、２または３の整数である）、
４．Ｒ8−(ＣＯ)−〔式中、Ｒ8は
4.1.  (Ｃ1〜Ｃ8)−アルキル、
4.2.  フェニル−(ＣＨ2)m−（式中、フェニルは置換されていないかまたは１個または２個の２.１〜２.１４に記載した置換分により置換されておりそしてｍは０、１、２または３の整数である）、
4.3.  Ｒ7−Ｏ−Ｃ(Ｏ)−(ＣＨ2)n−（式中、Ｒ7は上述した通りでありそしてｎは０、１、２、３、４、５または６の整数である）、
4.4  Ｒ7−Ｎ(Ｈ)−(Ｒ9)−Ｃ(Ｈ)−（式中、Ｒ7は上述した通りでありそしてＲ9は、蛋白質原性α−アミノ酸の特有の基でありそしてＲ9は、置換されていないかまたは酸素または硫黄原子上において１個または２個の(Ｃ1〜Ｃ4)−アルキル、ベンジルまたはアリルにより置換されているかまたはＮ−保護基により置換されている）、
4.5.  Ｒ7−Ｃ(Ｏ)−Ｎ(Ｈ)−(Ｒ9)−Ｃ(Ｈ)−（式中、Ｒ7およびＲ9は、４.４において定義した通りである）、
4.6.  Ｒ10−Ｏ−Ｃ(Ｏ)−Ｎ(Ｈ)−(Ｒ9)−Ｃ(Ｈ)−（式中、Ｒ9は４.４において定義した通りでありそしてＲ10は、
4.6.1.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
4.6.2.  アリル、
4.6.3.  ベンジルまたは
4.6.4.  （９−フルオレニル）メチルである）である〕
５．Ｒ10−Ｏ−Ｃ(Ｏ)−（式中、Ｒ10は４.６.１〜４.６.４において定義した通りである）、
６．Ｒ15−ＳＯ2−（式中、Ｒ15は、
6.1.  (Ｃ1〜Ｃ6)−アルキル、
6.2.  アリルまたは
6.3.  フェニル−(ＣＨ2)m−（式中、フェニルは置換されていないかまたは１個または２個の２.１〜２.１４に記載した置換分により置換されておりそしてｍは０、１、２または３の整数である）、または
７.  Ｈ2Ｎ−Ｃ(＝ＮＨ)−であるか、または
Ｒ3およびＲ4は、窒素原子と一緒になって、式ＸａまたはＸｂ
【化２】
1998316662.tif 000002
の基を形成し、
Ａは、（ａ）共有結合、
（ｂ）−Ｏ−、
（ｃ）−ＣＨ＝ＣＨ−または
（ｄ）−Ｃ≡Ｃ−であり、
Ｂは、（ａ）−(ＣＨ2)m−（式中、ｍは上述した意義を有す）、
（ｂ）−Ｏ−(ＣＨ2)q（式中、ｑは１、２、３、４または５の整数である）、または
（ｃ）−ＣＨ＝ＣＨ−であり、そして
Ｘは、−ＣＨ＝ＣＨ−、酸素原子または硫黄原子である。
【請求項２】
医薬的に適当なそして生理学的に許容し得る賦形剤、添加剤および（または）他の活性化合物および補助剤と一緒にした請求項１記載の式Ｉの少なくとも１種の化合物の有効量からなる医薬。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月9日(2005.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）１以上の毛髪染色剤；
（ｂ）毛染め剤組成物の全重量を基準として少なくとも０．１重量％の、少なくとも一つの疎水変性非イオン性ポリオール；
（ｃ）毛染め剤組成物の全重量を基準として少なくとも０．１重量％の、少なくとも一つの会合剤；および
（ｄ）水；
を含む毛染め剤組成物。
【請求項２】
０．３ｒｐｍ以下の剪断速度における組成物の粘度が少なくとも６０００センチポイズである請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
（ａ）１以上の毛髪染色剤、並びに、疎水変性非イオン性ポリオール、会合剤及びこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも一つの第１の化合物を含む染色剤ローションを形成し；
（ｂ）少なくとも一つの酸化剤、水、並びに、疎水変性非イオン性ポリオール、会合剤及びこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも一つの第２の化合物を含む顕色剤溶液を形成し；そして
（ｃ）染色剤ローション及び顕色剤溶液を合わせて毛染め剤組成物を形成する；
工程を含む請求項１に記載の毛染め剤組成物を製造する方法。
【請求項４】
（ａ）１以上の毛髪染色剤、並びに、疎水変性非イオン性ポリオール、会合剤及びこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも一つの第１の化合物を含む染色剤ローション；及び
（ｂ）少なくとも一つの酸化剤、水、並びに、疎水変性非イオン性ポリオール、会合剤及びこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも一つの第２の化合物を含む顕色剤溶液；
を含む多成分毛染め剤組成物であって、多成分毛染め剤組成物の成分を合わせて配合毛染め剤組成物を形成したときに、配合毛染め剤組成物が少なくとも一つの疎水変性非イオン性ポリオール及び少なくとも一つの会合剤を含むことを特徴とする多成分毛染め剤組成物。
【請求項５】
疎水変性非イオン性ポリオールが、ポリエトキシル化ウレタン、疎水変性セルロース、疎水変性スターチ及びこれらの組合せからなる群から選択される請求項１又は４に記載の組成物。
【請求項６】
ポリエトキシル化ウレタンが、少なくとも一つのイソシアネートと少なくとも一つのポリエーテルポリオールとの反応生成物を含む請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
ポリエトキシル化ウレタンが、少なくとも一つのポリアルキレングリコール、少なくとも一つの水不溶性有機ジイソシアネート及び単官能性活性水素含有化合物の反応生成物を含む請求項５に記載の組成物。
【請求項８】
ポリエトキシル化ウレタンが、少なくとも二つの末端基を有し、それぞれの末端基が末端イソシアネート及びポリエーテルを含む第１のポリウレタン；少なくとも二つの末端基を有し、それぞれの末端基が末端イソシアネート基及び非官能性基を含む第２のポリウレタン；及び、少なくとも二つの末端基を有し、一つの末端基は末端イソシアネート及びポリエーテルを含み、他方の一つの末端基は末端イソシアネート及び非官能性基を含む第３のポリウレタン；を含むポリウレタンの混合物である請求項５に記載の組成物。
【請求項９】
会合剤が、１５以下の平均ＨＬＢを有し、６〜３０個の炭素原子を有する少なくとも一つの疎水性基を有する請求項１又は４に記載の組成物。
【請求項１０】
会合剤が、アルコールエトキシレート、アルキルフェノールエトキシレート及びこれらの組合せからなる群から選択される請求項１又は４に記載の組成物。
【請求項１１】
請求項１又は４に記載の毛染め剤組成物を毛髪上に施すことを特徴とする毛髪を染色する方法。
【請求項１２】
１以上の毛髪染色剤、水、少なくとも０．１重量％の少なくとも一つの疎水変性非イオン性ポリオール、及び少なくとも０．１重量％の少なくとも一つの会合剤を合わせて毛染め剤組成物を形成することを特徴とする毛染め剤組成物の増粘方法。
【請求項１３】
０．３ｒｐｍ以下の剪断速度における組成物の粘度が少なくとも６０００センチポイズである請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
疎水変性非イオン性ポリオールが、ポリエトキシル化ウレタン、疎水変性セルロース、疎水変性スターチ及びこれらの組合せからなる群から選択される請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
ポリエトキシル化ウレタンが、少なくとも一つのイソシアネートと少なくとも一つのポリエーテルポリオールとの反応生成物を含む請求項１４に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月26日(2004.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
腫瘍細胞壊死因子−II（Tumor Cytotoxic Factor−II; ＴＣＦ−II) を有効成分とする、悪液質予防及び／又は治療剤。
【請求項２】
腫瘍細胞壊死因子−II（Tumor Cytotoxic Factor−II; ＴＣＦ−II) を有効成分とする、癌を要因として発症した悪液質の予防及び／又は治療剤。
【請求項３】
肝細胞増殖因子(Hepatocyte Growth Factor;ＨＧＦ) を有効成分とする、悪液質予防及び／又は治療剤。
【請求項４】
肝細胞増殖因子(Hepatocyte Growth Factor;ＨＧＦ) を有効成分とする、感染症またはエンドトキシン血症を要因として発症した悪液質の予防及び／又は治療剤。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月20日(2005.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
０．１〜１０重量％の量のチボロン、および製薬上許容され得る担体からなり、しかも該担体が水不溶性デンプン製品を含有する製薬投与単位体において、該担体中のデンプン含有率が少なくとも４０重量％であることを特徴とする上記投与単位体。
【請求項２】
担体中のデンプン含有率が少なくとも５０重量％である、ことを特徴とする請求項１に記載の投与単位体。
【請求項３】
担体中のデンプン含有率が９０〜１００重量％である、ことを特徴とする請求項２に記載の投与単位体。
【請求項４】
デンプン製品が、変性デンプン、凝集化デンプンおよび粒状化デンプンを含めて、スターチ１５００、ジャガイモデンプン、トウモロコシデンプン、コムギデンプンおよびそれらの混合物から成る群から選択される、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の投与単位体。
【請求項５】
チボロンが２重量％またはそれ以下の量にて存在する、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の投与単位体。
【請求項６】
投与単位体中のチボロン医薬薬剤の重量百分率と担体中のデンプン製品の重量百分率の商が多くとも０．０２である、ことを特徴とする請求項５に記載の投与単位体。
【請求項７】
該商が多くとも０．０１である、ことを特徴とする請求項６に記載の投与単位体。
【請求項８】
５重量％までの、抗酸化剤、キレート剤およびそれらの混合物から成る群から選択された安定剤を含有する、ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の投与単位体。
【請求項９】
安定剤がアスコルビルパルミテート、アスコルビルステアレート、ナトリウムアスコルベートおよびそれらの混合物から成る群から選択される、ことを特徴とする請求項８に記載の投与単位体。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の投与単位体を作る方法であって、所望組成の担体を用意し、最終的に必要とされる量の担体の一部とチボロンおよび随意に安定剤を混合して予備混合物を得、この予備混合物を篩分けし、それを担体の残部と更に混合し、そして最後に滑沢剤と混合する工程からなる上記方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月18日(2005.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
頂部の開口された複数の液体充填済み容器を搬送するコンベヤ装置であって、
複数の液体充填済み容器を支持するコンベヤと、
コンベヤを駆動するために連結されたサーボモーターと、
移動部分と休止部分とを含み、その移動部分は実質的に非急動制限（non-jerklimited ）のプログラムされた動作プロファイルにしたがって、割り出された段階においてサーボモーターの動作を制御するために連結されたプログラム可能サーボモーター制御装置とを含むことを特徴とする液体充填済み容器を搬送するサーボ制御されたコンベヤ装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたコンベヤ装置であって、動作プロファイルの移動部分がその開始部およびその終了部において実質的に非急動制限の液体充填済み容器を搬送するサーボ制御されたコンベヤ装置。
【請求項３】
容器に液体を充填して、その容器を密封する液体パッケージング機械であって、
容器が頂部を開口された状態のときにその容器に液体を充填する充填ステーションと、
頂部の開口された液体充填済み容器をその後密封する密封ステーションと、
頂部の開口された液体充填済み容器が充填ステーションから密封ステーションへ運ばれるとき、その容器を支持するコンベヤと、
コンベヤを駆動するために連結されたサーボモーターと、
容器が充填ステーションと密封ステーションとの間を移送されるときに、移動部分と休止部分とを含み、その移動部分が実質的に非急動制限のプログラムされた動作プロファイルにしたがって、割り出された段階においてサーボモーターの動作を制御するために連結されたプログラム可能サーボモーター制御装置とを含む液体パッケージング機械。
【請求項４】
請求項３に記載された液体パッケージング機械であって、動作プロファイルの移動部分はその開始部およびその終了部において実質的に非急動制限の液体パッケージング機械。
【請求項５】
頂部の開口された液体充填済み容器を搬送するために割り出しサイクルでコンベヤを移動させるのに使用される動作プロファイルを選定する方法であって、
（ａ）割り出しサイクルに関する休止時間、移動長さＸLを選定し、
（ｂ）製造時に頂部の開口された液体充填済み容器が移動される多数の割り出しサイクルを選定し、
（ｃ）製造時に使用されるレベルにまで製品に似た液体を製品に似た容器に充填し、
（ｄ）製品に似た液体を充填された製品に似た容器をコンベヤ上に載置し、
（ｅ）割り出されたサイクルの移動長さＸLにわたってコンベヤを移動し、割り出されたサイクルの各々にわたるコンベヤの移動は、急動制限の移動部分と、選択された休止部分とで定められる動作プロファイルにしたがって行われるようになされ、
（ｆ）製品に似た容器内の製品に似た液体の擾乱特性を観察しつつ動作プロファイルの移動部分の継続時間を変化させ、
（ｇ）異なる移動部分の継続時間を使用して段階（ｆ）を繰り返し、
（ｈ）割り出されたサイクルの移動長さＸLにわたってコンベヤを移動し、割り出されたサイクルの各々にわたるコンベヤの移動は、非急動制限の移動部分と、選択された休止部分とで定められる動作プロファイルにしたがって行われるようになされ、
（ｉ）製品に似た容器内の製品に似た液体の擾乱特性を観察しつつ動作プロファイルの移動部分の継続時間を変化させ、
（ｊ）異なる移動部分の継続時間を使用して段階（ｉ）を繰り返し、
（ｋ）段階ｆおよび段階ｉでの観察に少なくとも一部基づいて動作プロファイルを選定する段階を含む動作プロファイルを選定する方法。
【請求項６】
請求項５に記載された方法であって、段階ｆ、ｇ、ｈ及びｉが複数の異なる急動制限の動作プロファイルを使用して繰り返される動作プロファイルを選定する方法。
【請求項７】
頂部の開口された液体充填済み容器を搬送するために割り出しサイクルでコンベヤを移動させるのに使用される動作プロファイルを選定する方法であって、
製造に似た実験のもとで少なくとも一つの形式の急動制限の動作プロファイルを液体充填済み容器に加えて、その間液体充填済み容器における擾乱状態を監視し、
製造に似た実験のもとで少なくとも一つの形式の非急動制限の動作プロファイルを液体充填済み容器に加えて、その間液体充填済み容器における擾乱状態を監視し、
監視した擾乱特性に少なくとも一部基づいて急動制限の動作プロファイルか非急動制限の動作プロファイルかを選定する段階を含む動作プロファイルを選定する方法。
【請求項８】
請求項７に記載された方法であって、少なくとも一つの急動制限の動作プロファイルが修正正弦加速プロファイル、修正台形加速プロファイルおよび傾斜加速プロファイルを含んでなる群から選ばれる動作プロファイルを選定する方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月19日(2004.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
このような測定検査機では、上記ターンテーブルの溝に載置された試験紙が、ターンテーブルの回転にともなって周回移動することとなり、反射光の測定を行う測光部の所定位置へと周回移動してきた試験紙は、その位置において反射光の測定が行われた後、上記排除機構によりターンテーブルの周外方向に溝から引き出されて廃棄される。さらにその後、ターンテーブルが回転して空となった溝に試験紙が載置される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、請求項７に記載の短片体搬送装置では、押出アームが回転すると、短片体の周回中心から放射状に等間隔をもって配置された複数本のアームが、一定した周期で回転移動するとともに、搬送レール上では、複数本のアームとこれらアーム間の空き間とが順次一定した周期で回転移動する。そして、この空き間となった搬送レール上への短片体の載置が一定したタイミングのもとで繰り返し行われる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
接触アーム部１２ｂは、上記複数本の水平アーム部１２ａそれぞれから各２本ずつ鉛直下方に向けて形成されており、接触アーム部１２ｂの２本のうちの一方は、水平アーム部１２ａの先端を屈曲して形成されているとともに、他方は、上記第１および第２のレール１１ａ，１１ｂの間に配置されるように設けられている。そして、接触アーム部１２ｂは、搬送レール１１上に載置された試験紙７の長辺一側に当接する状態となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
1998316291.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月15日(2004.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被露光基板を保持して移動する基板ステージと、この基板ステージを駆動するモータと、前記基板ステージの位置を計測する干渉計とを備えた露光装置において、
前記モータの温度を、前記基板ステージ部分の空調温度に基づいて制御する温度調整手段を設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記温度調整手段は、前記モータの表面温度を、前記空調温度＋１度以内に制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記温度調整手段は、前記空調温度に対する前記モータの表面温度を、前記干渉計に要求される計測精度に応じて定まる温度範囲内に制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
被露光基板を保持する保持部材と、前記被露光基板上にマスクのパターンを投影露光する投影光学系と、前記被露光基板の前記投影光学系の光軸方向の位置を計測する焦点検出系とを備えた露光装置において、
前記保持部材の温度上昇量を、露光前の定常状態を基準として前記焦点検出系に要求される検出精度に応じて定まる温度範囲内に制御する温度調整手段を設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記温度調整手段は、前記保持部材の温度上昇量を、露光前の定常状態から０．３度以下に制御することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
被露光基板を保持して移動する基板ステージと、前記基板ステージを駆動するモータと、前記基板ステージ近傍を所定温度に空調する空調部とを備えた露光装置において、
前記モータの温度が前記所定温度とほぼ同じになるように、前記モータの温度を制御する温度調整手段を設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記温度調整手段は、前記モータの温度を前記所定温度＋１度以内に制御することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記モータはリニアモータであり、前記温度調整手段は、前記リニアモータの内部を流れる冷却液の温度を調整して前記リニアモータの表面温度を調整することを特徴とする請求項６又は７に記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この場合において、温度調整手段は、モータ表面温度と基板ステージ部分の空調温度とがほぼ同一になるようにモータの温度を制御しても良いが、必ずしもその必要はなく、例えば、請求項２に記載の発明の如く、前記温度調整手段（５０）は、前記モータ（２０Ａ、２０Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ）の表面温度を、前記空調温度＋１度以内に制御するようにしても良い。発明者は、リニアモータの場合でも、モータの表面温度を基板ステージ部分の空調温度＋１℃以内にした場合に、干渉計の空気揺らぎによる計測誤差を３ｎｍ以下に抑えられることを実験により確認した。あるいは、前記温度調整手段（５０）は、前記空調温度に対する前記モータ（２０Ａ、２０Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ）の表面温度を、前記干渉計（３２Ｘ、３２Ｙ）に要求される計測精度に応じて定まる温度範囲内に制御するようにしてもよい。これによれば、温度調整手段によりモータの表面温度が、干渉計の計測精度に影響を与えない温度範囲で制御されるので、干渉計の計測精度の低下を無視できる程度にまで低減することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４に記載の発明は、被露光基板（Ｗ）を保持する保持部材（２８）と、前記被露光基板上にマスクのパターンを投影露光する投影光学系（ＰＬ）と、前記被露光基板の前記投影光学系の光軸方向の位置を計測する焦点検出系（４０）とを備えた露光装置において、前記保持部材の温度上昇量を、露光前の定常状態を基準として前記焦点検出系に要求される検出精度に応じて定まる温度範囲内に制御する温度調整手段（５０）を設けたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この場合において、温度調整手段は保持部材の温度を露光前の定常状態の温度にほぼ保つような制御を行っても良いが、必ずしもこのようにする必要はなく、例えば請求項５に記載の発明の如く、前記温度調整手段（５０）は、前記保持部材（２８）の温度上昇量を、露光前の定常状態の温度から０．３度以下に制御するようにしても良い。発明者は、保持部材としてのホルダを上記の露光前の定常状態から０．３℃以下に制御すると、焦点検出系の空気揺らぎに起因する検出誤差を３０ｎｍ以下に抑えられることを確認した。
請求項６に記載の発明は、被露光基板（Ｗ）を保持して移動する基板ステージ（１８）と、前記基板ステージを駆動するモータ（２０Ａ、２０Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ）と、前記基板ステージ近傍を所定温度に空調する空調部（５２）とを備えた露光装置において、前記モータの温度が前記所定温度とほぼ同じになるように、前記モータの温度を制御する温度調整手段（５０）を設けたことを特徴とする。これによれば、モータの表面温度を基板ステージ近傍の空調温度とほぼ同一に制御することにより、ステージ近傍の空気に温度揺らぎ（空気揺らぎ）が発生するのを抑制することができる。この場合において、温度調整手段は、前記モータの温度を前記所定温度＋１度以内に制御するのが好ましい。また、前記モータはリニアモータであり、前記温度調整手段は、前記リニアモータの内部を流れる冷却液の温度を調整して前記リニアモータの表面温度を調整するようにすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１から３に記載の各発明によれば、ステージ駆動用のモータの温度調整に起因する干渉計の計測精度の低下を抑制することが可能な露光装置を提供するができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、請求項４及び５に記載の各発明によれば、基板を保持する保持部材（ホルダ又はステージ）の温度調整に起因する焦点検出系の検出精度の低下を抑制することが可能な露光装置を提供することができる。また、請求項６から８に記載の各発明によれば、ステージ近傍の空気に温度揺らぎ（空気揺らぎ）が発生するのを抑制することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月2日(2005.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスト装置をプロービングするためのプローブステーションにおいて、
（ａ）テスト装置をプロービングする間、テスト装置を支持するための支持面を持つチャック装置素子を有するチャック装置と、
（ｂ）このチャック装置素子を少なくとも一部包囲し、このチャック装置素子に対し絶縁された導電外側シールド包囲体と、
（ｃ）前記外側シールド包囲体と前記チャック装置素子との間に介挿され、これ等外側シールド包囲体とチャック装置素子とに対し絶縁され、前記チャック装置素子を少なくとも一部包囲する導電内側シールド包囲体と、
（ｄ）前記内側シールド包囲体と前記チャック装置素子とが相互に独立したそれぞれのポテンシャルを有するよう前記チャック装置素子と前記内側シールド包囲体とにそれぞれ接続されたそれぞれの電気導体とを具え、
（ｅ）前記内側シールド包囲体は、前記外側シールド包囲体に対してほぼ移動不能に取り付けた第１部分と、前記外側シールド包囲体に対して移動可能に取り付けた第２部分とを有するものとして構成し、前記チャック装置素子および前記第２部分を相互連結して前記第１部分に対して一緒に移動する構成とした
ことを特徴とするプローブステーション。
【請求項２】
前記内側シールド包囲体にそれぞれ異なるポテンシャルを選択的に生ぜしめることができる選択コネクタ装置を有する請求項１に記載のプローブステーション。
【請求項３】
前記チャック装置に関する電気的雑音源を更に具え、この電気的雑音源と前記内側シールド包囲体との間に前記外側シールド包囲体を介挿した請求項１に記載のプローブステーション。
【請求項４】
前記支持面が側方に延びており、前記チャック装置は前記外側シールド包囲体に対し側方に選択的に移動可能に構成されており、前記チャック装置の側方移動に応動して前記外側シールド包囲体に対し側方に移動できる導電材料を前記内側シールド包囲体が有する請求項１に記載のプローブステーション。
【請求項５】
前記導電材料が可撓性である請求項４に記載のプローブステーション。
【請求項６】
前記導電材料がひだ付きである請求項５に記載のプローブステーション。
【請求項７】
前記外側シールド包囲体が前記内側シールド包囲体を絶縁して離間する関係に支持している請求項１に記載のプローブステーション。
【請求項８】
テスト装置をプロービングする方法において、
（ａ）テスト装置をプロービングする間、このテスト装置を支持するための支持面を有する第１チャック装置素子と、前記支持面に対し離間した関係に導電材料を有する第２チャック装置素子とを相互に電気的に絶縁して有するチャック装置を設け、
（ｂ）前記第１チャック装置素子と第２チャック装置素子に対して絶縁された導電外側シールド包囲体によってこれ等第１チャック装置素子と第２チャック装置素子とを少なくとも部分的に包囲し、
（ｃ）前記第１チャック装置素子と第２チャック装置素子との間の漏洩電流を最小にするようこれ等第１チャック装置素子と第２チャック装置素子とにほぼ等しいポテンシャルを有せしめ、
（ｄ）前記外側シールド包囲体と、前記第１チャック装置素子、及び第２チャック装置素子との間に、これ等外側シールド包囲体と第１チャック装置素子、及び第２チャック装置素子とに対し絶縁して導電内側シールド包囲体を介挿し、この内側シールド包囲体は、前記外側シールド包囲体に対してほぼ移動不能に取り付けた第１部分と、前記外側シールド包囲体に対して移動可能に取り付けた第２部分とを有するものとして構成し、前記チャック装置素子および前記第２部分を相互連結して前記第１部分に対して一緒に移動する構成とし、前記内側シールド包囲体によって前記第１チャック装置素子、及び第２チャック装置素子を少なくとも一部包囲することを特徴とするテスト装置をプロービングする方法。
【請求項９】
それぞれ異なるポテンシャルを前記内側シールド包囲体に選択的に発生させ得るようにする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
電気的雑音源が前記チャック装置に関連しており、前記外側シールド包囲体を前記雑音源と前記内側シールド包囲体との間に介挿する請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
導電部材を前記支持面に離間した関係に対向させ、この導電部材を前記第２チャック装置素子に電気的に接続し、前記外側シールド包囲体と前記導電部材との間に前記内側シールド包囲体を介挿し、この内側シールド包囲体を前記導電部材に対し絶縁する請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記支持面を側方に延在し、前記チャック装置を前記外側シールド包囲体に対し側方に選択的に移動可能にし、前記チャック装置の側方移動に応動して前記外側シールド包囲体に対し側方に移動し得る導電材料を前記内側シールド包囲体に設ける請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
前記導電材料が可撓性である請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記導電材料がひだ付きである請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記外側シールド包囲体が前記内側シールド包囲体を絶縁して離間する関係に支持する請求項８に記載の方法。
【請求項１６】
テスト装置をプロービングするためのプローブステーションであって、
（ａ）テスト装置を支持するための支持面を持つチャックと、
（ｂ）前記支持面から電気的に絶縁しかつこの支持面を少なくとも部分的に包囲する導電内側部材と、
（ｃ）前記支持面から電気的に絶縁しかつこの支持面を少なくとも部分的に包囲する導電外側部材と
を具える該プローブステーションにおいて、
（ｄ）第１位置および第２位置をとる選択部材であって、前記第１位置では前記内側部材を前記外側部材に電気的に相互接続し、また前記第２位置では前記内側部材を前記外側部材から電気的に絶縁する該選択部材を設けた
ことを特徴とするプローブステーション。
【請求項１７】
前記内側部材および前記支持面は、それぞれ互いに異なるポテンシャルを有するものとした請求項１６記載のプローブステーション。
【請求項１８】
前記選択部材が第２位置をとるとき、前記内側部材および前記外側部材は、互いに異なるポテンシャルを有するものとした請求項１６記載のプローブステーション。
【請求項１９】
テスト装置をプロービングする方法であって、
（ａ）前記テスト装置を支持するための支持面を有するチャックを設け、
（ｂ）前記支持面から電気的に絶縁した導電内側部材により前記支持面を少なくとも部分的に包囲し、
（ｃ）前記支持面から電気的に絶縁した導電外側部材により前記支持面を少なくとも部分的に包囲することよりなる該プロービングにおいて、
（ｄ）第１位置および第２位置をとる選択部材であって、前記第１位置では前記内側部材を前記外側部材に電気的に相互接続し、また前記第２位置では前記内側部材を前記外側部材から電気的に絶縁する該選択部材を設ける
ことよりなることを特徴とするプロービング方法。
【請求項２０】
前記内側部材および前記支持面は、それぞれ互いに異なるポテンシャルを有するものとした請求項１９記載のプロービング方法。
【請求項２１】
前記選択部材が第２位置をとるとき、前記内側部材および前記外側部材は、互いに異なるポテンシャルを有するものとした請求項１９記載のプロービング方法。