【手続補正書】
【提出日】平成16年4月7日(2004.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
長手方向壁面に互いに対向する軌道溝をそれぞれ形成した互いに相対移動する一対の軌道台，対向する前記軌道台の前記軌道溝間に形成される軌道路に配設された複数の転動体を保持する保持器，前記軌道溝に形成された逃げ溝内にそれぞれ設けられたラック，及び対向する前記ラックに噛み合う歯部を備え且つ前記保持器に回転自在に支持されたピニオンを有し，前記ラックは，前記ピニオンが噛み合うための予め決められた間隔に隔置して設けられた歯部，及び前記歯部の両側面で長手方向に連続して延び且つ少なくとも隣接する前記歯部を互いに連結する側壁部から形成されていることから成る保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
前記ラックの前記歯部の先端角部は，凸状アール部に形成されていることから成る請求項１〜１２のいずれか１項に記載の有限直動案内ユニット。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明による保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニットの実施例を説明する。この有限直動案内ユニットは，本出願人に係る特願２００１−２１６２３５号に開示されたものにおけるラックを改良したものである。従って，この有限直動案内ユニットは，基本的には，上記特許出願の明細書に開示された有限直動案内ユニットと同等の構成を有し，特に，ラック４について特徴を有するものであり，ラック４以外のピニオン５等については同様のものを適用できるものである。それ故に，この有限直動案内ユニットでは，特に，ラック４の特徴とする構成を説明し，ピニオン５等の構成については簡単な説明にする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この有限直動案内ユニットは，ラック４が配設される軌道台１，２における軌道溝１０に形成された逃げ溝２０の底面が軌道台１，２に形成されたテーブル，ベッド，基台，摺動台，機台等の物体に取り付けるための取付けねじ孔２４に近接する位置に達するような小形の軌道台１，２に適用できるものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図１及び図２に示すように，この有限直動案内ユニットは，長手方向の互いに対向する壁面でなる対向面１５，１６に軌道溝１０をそれぞれ形成し，互いに相対移動する少なくても一対の軌道台１，２，軌道台１，２の軌道溝１０間の軌道路７に配設された複数の転動体１７，転動体１７を保持する板状の保持器３，軌道溝１０の逃げ溝２０に配設されたラック４，及び対向するそれぞれのラック４に噛み合って保持器３に回転自在に装着されたピニオン５を有する。この実施例では，一対の軌道台１，２には，断面矩形状で一辺の長手方向に沿って軌道溝１０が対向面１５，１６の壁面にそれぞれ形成され，対向した軌道溝１０に円筒ころである転動体１７が介在され，転動体１７を介して軌道台１，２が互いに相対移動するものである。また，軌道台１，２には，長手方向に所定ピッチで形成されたザグリ孔，ねじ孔等の取付け用孔２４が形成され，一方の軌道台１又は２が固定側のベッド等の固定体（図示せず）に固着され，また，他方の軌道台２又は１が可動側のテーブル等の移動台（図示せず）に固着されるように，軌道台１，２が丁度１８０度回転した状態で配列されている。従って，この有限直動案内ユニットでは，ベッドの固定体に固設された軌道台１又は２は，軌道台２又は１に取り付けられたテーブル等の移動台が直線運動で案内されることになる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図３には，軌道台１，２の対向面１５，１６に配設される保持器組立体２５が示されている。保持器組立体２５は，円筒ころの転動体１７を保持して転動させる保持器３，保持器３に固着されたホルダ６，及びホルダ６に回転自在に取り付けられたピニオン５から構成されている。保持器３には，その中央部の嵌着孔３０にホルダ６の凸部３５が嵌着し，また，ホルダ６のホルダ部３８にピニオン５の軸部３６が回転自在に嵌合し，ホルダ６の嵌挿孔３３にピニオン５の円板部１３が嵌挿し，ピニオン５がホルダ６を介して保持器３に取り付けられている。ホルダ６は，ホルダ６のフランジ部１８に設けた複数のピン３４を保持器３のピン孔に嵌入した後に，ピン３４の端部を工具等でカシメ加工し，ピン３４によるかしめ部によってホルダ６が保持器３に固着されている。ピニオン５は，保持器３に固着されたホルダ６の嵌挿孔３３に，円板部１３を嵌挿すると共にホルダ部３８の貫通孔４０にピニオン５の軸部３６を押し込むことによって，ホルダ６を介して保持器３に回転自在に保持される。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
次に，図６と図７を参照して，ラック４の第２実施例について説明する。第２実施例のラック４を配設する逃げ溝２０の奥は矩形状に幅広になっており，更に，一側の壁面９Ｌが他側の壁面９Ｓよりも幅広に形成されている。それに伴って，ラック４は一方の側壁部８Ｌが他方の側壁部８Ｓよりも幅広に肉厚な形状に形成されている。即ち，図７の（ａ）と（ｂ）に示すラック４の一方の側壁部８Ｌは他方の側壁部８Ｓよりも幅広に肉厚な形状に形成されている。軌道台１，２の逃げ溝２０は，図６に示すように，深さ方向に矩形状即ち断面四角形状の幅広の壁面９Ｌ，９Ｓに形成され，逃げ溝２０の両側で同一又は異なった切り込み量に形成されている。ラック４は，その側壁部８Ｌ，８Ｓは，逃げ溝２０の壁面９Ｌ，９Ｓに対応して肉厚に形成されている。即ち，逃げ溝２０の壁面９Ｌは，大きな断面四角形状を持つ幅広に形成され，ラック４の側壁部８Ｌは逃げ溝２０の壁面９Ｌに対応して大きな断面四角形状を持つ幅広に形成されている。また，逃げ溝２０の壁面９Ｓは，小さな断面四角形状を持つ幅広に形成され，ラック４の側壁部８Ｓは逃げ溝２０の壁面９Ｓに対応して小さな断面四角形状を持つ幅広に形成されている。また，ラック４は，図７（ｂ）に示すように，歯部２２と側壁部８Ｌ，８Ｓのみから一体構造に形成されている。或いは，ラック４は，上記の構成に限らず，図７の（ｃ）に示すように，歯部２２と側壁部８Ｌ，８Ｓに加えて，極めて薄肉の歯底部１９が歯部２２と側壁部８Ｌ，８Ｓとに一体構造に形成することもできる。更に，図６と図７に示すラック４の機能及び歯底部１９の機能は，図４と図５に示すものと同様であるので，その説明は省略する。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
次に，図８と図９を参照して，ラック４の第３実施例について説明する。第３実施例のラック４を配設する逃げ溝２０の奥は，図８に示すように，凹曲面状に幅広の壁面９Ａに形成されている。それに伴って，ラック４には，歯部２２の深さ方向の全長に延びて中央部が肉厚になるように，凸曲面状即ち円弧状に幅広の側壁部８Ａが形成されている。従って，ラック４の歯部２２は，深さ方向に全長にわたって側壁部８Ａによって互いに確実に安定して連結されている。即ち，ラック４は，図８及び図９の（ａ）と（ｂ）に示すように，側壁部８Ａが中央部が逃げ溝２０の壁面９Ａに対応して歯部２２の全深さに延びて中央部が肉厚に形成されている。ラック４は，図９の（ａ）と（ｂ）に示すように，歯部２２と側壁部８Ａ，８Ａのみから一体構造に形成されている。或いは，ラック４は，上記の構成に限らず，図９の（ｃ）に示すように，歯部２２と側壁部８Ａに加えて，極めて薄肉の歯底部１９が歯部２２と側壁部８Ａとに一体構造に形成することもできる。更に，図８と図９に示すラック４の機能及び歯底部１９の機能は，図４と図５に示すものと同様であるので，その説明は省略する。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この有限直動案内ユニットでは，ラック４は，適宜な材料で形成することができるが，小形な直動案内ユニットでは樹脂製の材料で十分である。また，ラック４は，樹脂材料の他に，低温溶融金属で形成することもできる。ラック４の作製は，図１２，図１３及び図１４に示すように，例えば，軌道台１，２の逃げ溝２０に充填された樹脂又は低温溶融金属を切削加工して形成されている。即ち，軌道台１，２の逃げ溝２０にラック形成の材料，例えば，樹指，低温溶融金属等の材料を流し込んで，その後，エンドミル，ドリル等によって切削加工してラック４を軌道溝１０の逃げ溝２０に形成するものである。このラック形成方法では，逃げ溝２０には，ラック４の側壁部８Ｘの肉厚部が残され，それによって，側壁部８Ｘの肉厚部が逃げ溝２０の壁面９Ｘに接して形成されることになり，また，薄肉の歯底部が形成される場合もあるが，歯部２２間には歯底部の一部が貫通した形状に形成されることもある。また，図１４のラック４の平面図に示すように，歯部２２間は丸穴状に凹部３９に形成され，また，ラック４の歯部２２の先端角部は凸状アール部３２に形成されている。図１２，図１３及び図１４に示す実施例では，ピニオン５は，上記のピニオンとは形状を異にし，先端部３７が丸捧状に突出し先端球面状に形成された形状になっている。なお，ラック４の歯部２２の先端形状は先の実施例に適用できることはもちろんである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
【発明の効果】
この発明による有限直動案内ユニットは，上記のように，ラックの歯部が少なくとも側壁部によって互いに連結されて長手方向に連続して延びるように形成され，ラックの深さ方向の長さを短く構成することができ，軌道台における軌道溝に形成された転動体の逃げ溝が取付けねじ孔に干渉しないように浅く形成されていたとしても，ラックを逃げ溝，即ち逃げ溝内に適性に且つ強固に設けることができる。また，ラックの歯部は，歯底部がほとんど肉厚を有していなかったとしても側壁部によって強固に連結保持することができ，ラックとしての機能を果たすことができる。また，この有限直動案内ユニットは，上記のようなラックに形成されているので，半導体製造装置，精密機械等の小形の機器に適用して好ましいものであり，保持器に嵌着孔を形成するだけで，ラックとピニオンから成る保持器ずれ防止機構を簡単に且つ正確に設けることができ，小形なものにも適用でき，軌道台に取り付けるテーブル等の移動体を確実に高精度に直動移動させることができ，テーブル等の移動体の高速移動や高加減速移動に対応でき，装置そのものをコンパクトに構成でき，しかも低摺動抵抗等の性能を発揮させることができる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１，２  軌道台
３    保持器
４    ラック
５    ピニオン
６    ホルダ
７    軌道路
８，８Ｌ，８Ｓ，８Ａ，８Ｂ，８Ｘ  ラックの側壁部
９，９Ｌ，９Ｓ，９Ａ，９Ｂ，９Ｘ  逃げ溝の壁面
１０  軌道溝
１１，１２  軌道面
１５，１６  対向面
１７  転動体
１９  歯底部
２０  逃げ溝
２１  凹部
２２  歯部
２４  取付ねじ孔
３２  凸状アール部
３９  穴部