【手続補正書】
【提出日】平成16年9月3日(2004.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の検査装置において、上記被検査体と接触するプローブカードと、このプローブカードのプローブを研磨する針研磨具と、この針研磨具を認識する認識装置とを備え、上記認識装置によって上記針研磨具の高さを認識する方法であって、上記認識装置として荷重センサを用い、上記針研磨具が移動して上記針研磨具と上記荷重センサが接触した後荷重を検出し、この検出荷重に基づいて上記針研磨具の高さを認識することを特徴とする針研磨具の認識方法。
【請求項２】
上記被検査体を載置する移動可能な載置台に上記針研磨具を付設し、上記載置台を介して上記針研磨具を移動させることを特徴とする請求項１に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項３】
上記検出荷重により上記荷重センサのスイッチ機構が作動することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項４】
上記スイッチ機構が電源を切ることを特徴とする請求項３に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項５】
上記載置台に付設された上記針研磨具を認識することを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項６】
上記針研磨具上に載置された上記針研磨具を認識することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項７】
ブラシ状またはプレート状の針研磨具を認識することを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項８】
被検査体の検査装置において、上記被検査体と接触するプローブカードと、このプローブカードのプローブを研磨する研磨具とを備えたプローブ装置の針研磨具を認識する装置であって、上記針研磨具が移動して上記針研磨具と接触した後の荷重に基づいて上記針研磨具の高さを認識する荷重センサを備えたことを特徴とする針研磨具の認識装置。
【請求項９】
上記被検査体を載置する移動可能な載置台に上記針研磨具を付設したことを特徴とする請求項８に記載の針研磨具の認識方法。
【請求項１０】
上記荷重センサを、上記被検査体と上記プローブを位置合わせするアライメント機構のアライメントブリッジに取り付けたことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の針研磨具の認識装置。
【請求項１１】
上記荷重センサは、上記荷重に基づいて作動するスイッチ機構を有することを特徴とする請求項８〜請求項１０のいずれか１項に記載の針研磨具の認識装置。
【請求項１２】
上記荷重センサは、導電性材料によって形成された第１の筒体と、第１の筒体の内側に絶縁体を介して同軸に配置され且つ導電性材料によって一端を封止して形成された第２筒体と、第２の筒体内に弾性部材を介して一端が挿入され且つ他端が拡径部として形成された導電性材料からなるプランジャと、このプランジャの拡径部外周面から突出する導電性材料からなるスイッチとを有し、第１の筒体の開口端には上記弾性部材を介して付勢された上記プランジャの上記スイッチを係止する係止部が形成されていることを特徴とする請求項８〜請求項１１のいずれか１項に記載の針研磨具の認識装置。
【請求項１３】
上記スイッチを一箇所に設けたことを特徴とする請求項１２に記載の針研磨具の認識装置。
【請求項１４】
第１の筒体と第２の筒体を電源に接続したことを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の針研磨具の認識装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の針研磨具の認識方法は、被検査体の検査装置において、上記被検査体と接触するプローブカードと、このプローブカードのプローブを研磨する針研磨具と、この針研磨具を認識する認識装置とを備え、上記認識装置によって上記針研磨具の高さを認識する方法であって、上記認識装置として荷重センサを用い、上記針研磨具が移動して上記針研磨具と上記荷重センサが接触した後荷重を検出し、この検出荷重に基づいて上記針研磨具の高さを認識することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項２の記載の針研磨具の認識方法は、請求項１に記載の発明において、上記被検査体を載置する移動可能な載置台に上記針研磨具を付設し、上記載置台を介して上記針研磨具を移動させることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の請求項３に記載の針研磨具の認識方法は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記検出荷重により上記荷重センサのスイッチ機構が作動することを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の請求項４に記載の針研磨具の認識方法は、請求項３に記載の発明において、上記スイッチ機構が電源を切ることを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の請求項５に記載の針研磨具の認識方法は、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記載置台に付設された上記針研磨具を認識することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項６に記載の針研磨具の認識方法は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記針研磨具上に載置された上記針研磨具を認識することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項７に記載の針研磨具の認識方法は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、ブラシ状またはプレート状の針研磨具を認識することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の請求項８に記載の針研磨具の認識装置は、被検査体の検査装置において、上記被検査体と接触するプローブカードと、このプローブカードのプローブを研磨する研磨具とを備えたプローブ装置の針研磨具を認識する装置であって、上記針研磨具が移動して上記針研磨具と接触した後の荷重に基づいて上記針研磨具の高さを認識する荷重センサを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載の針研磨具の認識装置は、請求項８に記載の発明において、上記被検査体を載置する移動可能な載置台に上記針研磨具を付設したことを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項１０に記載の針研磨具の認識装置は、請求項８または請求項９に記載の発明において、上記荷重センサを、上記被検査体と上記プローブを位置合わせするアライメント機構のアライメントブリッジに取り付けたことを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の請求項１１に記載の針研磨具の認識装置は請求項８〜請求項１０のいずれか１項に記載の発明において、上記荷重センサは、上記荷重に基づいて作動するスイッチ機構を有することを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項１２に記載の針研磨具の認識装置は、請求項８〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記荷重センサは、導電性材料によって形成された第１の筒体と、第１の筒体の内側に絶縁体を介して同軸に配置され且つ導電性材料によって一端を封止して形成された第２筒体と、第２の筒体内に弾性部材を介して一端が挿入され且つ他端が拡径部として形成された導電性材料からなるプランジャと、このプランジャの拡径部外周面から突出する導電性材料からなるスイッチとを有し、第１の筒体の開口端には上記弾性部材を介して付勢された上記プランジャの上記スイッチを係止する係止部が形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項１３に記載の針研磨具の認識装置は、請求項１２に記載の発明において、上記スイッチを一箇所に設けたことを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の請求項１４に記載の針研磨具の認識装置は、請求項１２または請求項１３に記載の発明において、第１の筒体と第２の筒体を電源に接続したことを特徴とするものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項１４に記載の発明によれば、種類に関係なく針研磨具の研磨表面を正確に認識して針研磨具の表面高さを正確且つ確実に再現性良く検出することができる針研磨具の認識方法及び針研磨具の認識装置を提供することができる。