【手続補正書】
【提出日】平成17年4月13日(2005.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
内側の第１リンクと外側の第２リンクとを一対の第１の中間リンクで連結した第１の平行四節リンクと、前記第２リンクとハンド用リンクとを一対の第２の中間リンクで連結した第２の平行四節リンクとよりなる平行クランク機構を有する搬送用ロボット装置において、
固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわりで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１および第２の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、前記第１および第２の回転軸に各々連結された第１および第２の回転駆動機とを具備し、
前記平行クランク機構は、第１の平行四節リンクにおける一個の関節が前記第１支点と同軸に配置されて、第１の中間リンクの基端部の一方側と旋回台をなす第１リンクとが前記第１および第２の回転軸に取付けられ、第１および第２の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、第２の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対して前記水平旋回軸側にオフセットされ、ハンド用リンクの自由端部にハンド部材が水平方向に突設され、第１および第２の中間リンク間に回転伝達機構が配置されて、ハンド部材が第１支点を通る水平方向に適宜に直線移動されると共に、ハンド部材が第１支点を中心として自在に旋回されることを特徴とする搬送用ロボット装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
従来、搬送用ロボット装置としては、例えば、図１５乃至図１７に示される装置が提言されている。
すなわち、図１５乃至図１７において、８１は、適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアームで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられた適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。
８３は第１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固定された第１の回転伝達部材、
８６は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアーム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４の回転伝達部材、
８９および９０は、第１の回転伝達部材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設された第１および第２の連結具である。なお、第１および第２の支点の間隔Ｓと、第２および第３の支点の間隔Ｓとが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の回転伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成されている。
勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８８は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に用いられ、これらに応じて第１および第２の連結具８９，９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用いられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
今、第１の回転伝達部材８５は固定状態にあり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θだけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のうち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつき、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻された状態となる。
すなわち、図１６において第１の連結具８９はａ1 およびａ2 の方向に移動する。これにより第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心として時計方向に回動される。
ところで第１の回転伝達部材８５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１であるため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ1 を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回動される。
この場合、第２の回転伝達部材８６は第２のアーム８３に固定されているため、第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第２支点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動される。
すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動されると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動されるが、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回動される。
このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12の位置に回動される。
従って、上記のごとく第１のアーム８２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置は、第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、ハンド部材８４を直線移動させるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載されて、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆動機には固定の枠体側から給電用のケーブルが配線されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、すなわち旋回回数が制限されていた。
このため、初期設置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｐ1 に対する時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例えば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装置としての使い勝手が悪かった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
＜作用＞
上記のごとく、本第１の発明においては、内側の第１リンクと外側の第２リンクとを一対の第１の中間リンクで連結した第１の平行四節リンクと、前記第２リンクとハンド用リンクとを一対の第２の中間リンクで連結した第２の平行四節リンクとよりなる平行クランク機構を有する搬送用ロボット装置において、
固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわりで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１および第２の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、前記第１および第２の回転軸に各々連結された第１および第２の回転駆動機とを具備し、
前記平行クランク機構は、第１の平行四節リンクにおける一個の関節が前記第１支点と同軸に配置されて、第１の中間リンクの基端部の一方側と旋回台をなす第１リンクとが前記第１および第２の回転軸に取付けられ、第１および第２の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、第２の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対して前記水平旋回軸側にオフセットされ、ハンド用リンクの自由端部にハンド部材が水平方向に突設され、第１および第２の中間リンク間に回転伝達機構が配置されて、
ハンド部材が第１支点を通る水平方向に適宜に直線移動されると共に、ハンド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるため、
ハンド部材が第１支点を通る水平方向に直線移動される際に、すなわち、第１の回転軸の回転と共に第１および第２の平行四節リンクが平行移動して、ハンド部材が水平方向に直線移動されるが、この場合、第２の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対して前記水平旋回軸側にオフセットされているため、前記第２リンク側に着目すれば、第２リンクと前記第１の中間リンクとの関節部に対して、第２リンクと前記第２の中間リンクとの関節部の方が水平旋回軸側に接近した状態となる。
すなわち、第２の平行四節リンクが水平方向に平行移動する際に、第２リンクと第１の中間リンクとの関節部よりも水平旋回軸側に接近した、第２リンクと第２の中間リンクとの関節部を支点として第２の平行四節リンクが平行移動するため、第２の平行四節リンクが突出するように水平搬送方向に直線移動する場合、第２リンクから前方に傾動して突出する第２の中間リンクの傾動動作領域が、平面的にみて可及的に小さくなる。
このように、前記平行クランク機構の動作により、特に、ハンド部材が第１支点を通る水平方向に直線移動される場合に、第２の平行四節リンクにおける第２の中間リンクの平面的に必要な傾動動作領域が可及的に小さくなるため、すなわち、上記第２の中間リンクの傾動動作に必要な、平面的にみた搬送中心からの空間が小さくすみ、このため、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓の幅を可及的に小さくすることができる。