【手続補正書】
【提出日】平成16年7月21日(2004.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形された照明野を形成する照明装置において、
１つの電磁放射のソースと、
前記ソースからの電磁放射を受け取る第１のファセットされたミラーと、
前記第１のファセットされたミラーから反射される電磁放射を受ける第２のファセットされたミラーとを含み、
前記第２のファセットされたミラーは複数の異なる傾斜をもったファセットを有しており、電磁放射は前記傾斜において再分布させられ、成形された照明野内に実質的に一様な放射照度が提供され、
それによって、前もって決められた照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記ソースからの電磁放射を集め、そして反射し、そして電磁放射を前記第１のファセットしたミラーに向けるために位置決めされる１つの反射器をさらに含む、請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
第２のファセットされたミラーからの電磁放射を受け取るために位置決めされた中継器をさらに含む、請求項１記載の照明装置。
【請求項４】
前記第１のファセットされたミラーが前記第２のファセットされたミラーの上に複数の前記ソースのイメージを形成し、
前記第２のファセットされたミラーが望ましい放射強度の、前もって決定された形状を持っている照明野を形成するために電磁放射を向け直す、請求項１記載の照明装置。
【請求項５】
前記第１および第２のファセットされたミラーが複数の凹面ミラー表面を含んでいる、請求項１記載の照明装置。
【請求項６】
前記第１のファセットされたミラーの複数の凹面ミラーのそれぞれがアーチ状の形状を持っている、請求項５記載の照明装置。
【請求項７】
前記第２のファセットされたミラーの複数の凹面ミラーのそれぞれが長方形の形状を持つ、請求項５記載の照明装置。
【請求項８】
必要な照射分布が提供される、請求項５記載の照明装置。
【請求項９】
前記複数の凹形のミラーが、異なった光パワーを有している、請求項５記載の照明装置。
【請求項１０】
電磁放射は極紫外線域における波長を有している、請求項１記載の照明装置。
【請求項１１】
前記第１のファセットされたミラーは少なくとも３×１０のミラーアレイを含み、
前記第２のファセットは、少なくとも６×６のミラーアレイを含む、請求項１記載の照明装置。
【請求項１２】
照明装置において、
１つの電磁放射のソースと、
前記ソースからの電磁放射を受け取る第１のファセットされたミラーと、
前記第１のファセットされたミラーから反射される電磁放射を受ける第２のファセットされたミラーとを含み、
前記第１および第２のファセットされたミラーは複数の凹面ミラー表面を含んでおり、
前記第１のファセットされたミラーの前記複数の凹面ミラーは全体的に凹形の形状を形成し、
それによって、前もって決められた照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項１３】
照明装置において、
１つの電磁放射のソースと、
前記ソースからの電磁放射を受け取る第１のファセットされたミラーと、
前記第１のファセットされたミラーから反射される電磁放射を受ける第２のファセットされたミラーとを含み、
前記第１および第２のファセットされたミラーは複数の凹面ミラー表面を含んでおり、
前記第２のファセットされたミラーの前記複数の凹面ミラーは全体的に凸の形状を形成し、
それによって、前もって決められた照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項１４】
照明装置において、
１つの電磁放射のソースと、
前記ソースからの電磁放射を受け取る第１のファセットされたミラーと、
前記第１のファセットされたミラーから反射される電磁放射を受ける第２のファセットされたミラーとを含み、
前記第１および第２のファセットされたミラーは複数の凹面ミラー表面を含んでおり、
前記複数の凹面ミラーは傾斜配置されており、それによって、エネルギーが望み通りに分布され、
それによって、前もって決められた照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項１５】
照明装置において、
１つの極紫外線の電磁放射のソースと、
前記ソースの多数のイメージを形成するために前記ソースからの電磁放射を受けるように位置決めされた第１の反射形蝿の目装置と、
前記第１の反射形蝿の目装置から受け取られたソースの多数のイメージを重ね合わせ再分布させるために、そして前もって決められた放射強度と前もって決められた形状を持つ照明野を形成するために、前記第１の反射形蝿の目装置によって反射され、そしてイメージされた電磁放射を受けるために位置決めされた第２の反射形蝿の目装置とを含む、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項１６】
前記ソースからの電磁放射を集め、そして電磁放射を前記第１の反射形蝿の目装置に向けて反射させるために、前記ソースからの電磁放射を受けるように位置決めされた反射装置をさらに含む、請求項１５記載の照明装置。
【請求項１７】
前記第２の蝿の目装置から反射された電磁放射を受けるために位置決めされた中継器を含む、請求項１５記載の照明装置。
【請求項１８】
前記第１の反射形蝿の目装置は、多くの凹面ミラーを含む第１のミラーアレイを含んでおり、
前記第２の反射形の蝿の目装置は、多くの凹面ミラーを含む第２のミラーアレイを含んでいる、請求項１５記載の照明装置。
【請求項１９】
必要な照射分布が提供される、請求項１８記載の照明装置。
【請求項２０】
前記第１および第２のミラーアレイ内の複数の凹形のミラーは、異なる光パワーを有し、
それによって、焦点は第２のミラーアレイおよび照明野において維持される、請求項１８記載の照明装置。
【請求項２１】
照明装置において、
１つの極紫外線の電磁放射のソースと、
前記ソースの多数のイメージを形成するために前記ソースからの電磁放射を受けるように位置決めされた第１の反射形蝿の目装置と、
前記第１の反射形蝿の目装置から受け取られたソースの多数のイメージを重ね合わせるために、そして前もって決められた放射強度と前もって決められた形状を持つ照明野を形成するために、前記第１の反射形蝿の目装置によって反射され、そしてイメージされた電磁放射を受けるために位置決めされた第２の反射形蝿の目装置とを含み、
前記第１の反射形蝿の目装置は、１つの総合的全体的な凹表面を含み、
前記第２の反射形の蝿の目装置は、総合的全体的な凸状表面を含む、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項２２】
前記総合的全体的な凹形の表面が放物線である、請求項２１記載の照明装置。
【請求項２３】
照明装置において、
１つの極紫外線の電磁放射のソースと、
前記ソースの多数のイメージを形成するために前記ソースからの電磁放射を受けるように位置決めされた第１の反射形蝿の目装置と、
前記第１の反射形蝿の目装置から受け取られたソースの多数のイメージを重ね合わせるために、そして前もって決められた放射強度と前もって決められた形状を持つ照明野を形成するために、前記第１の反射形蝿の目装置によって反射され、そしてイメージされた電磁放射を受けるために位置決めされた第２の反射形蝿の目装置とを含み、
前記第１の反射形蝿の目装置は、多くの凹面ミラーを含む第１のミラーアレイを含んでおり、前記第１ミラーアレイの複数の凹形のミラーのそれぞれは傾けられており、
前記第２の反射形蝿の目装置は、多くの凹面ミラーを含む第１のミラーアレイを含んでおり、前記第２ミラーアレイの複数の凹面ミラーのそれぞれは、照明野においてイメージが重ね合わせられるように傾けられている、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項２４】
照明装置において、
１つの極紫外線の電磁放射のソースと、
電磁放射を反射する１つの反射器と、
第１のベースとを含み、
前記第１のベースは第１の形状の表面を有し、
第１の形状である表面上に形成された、そして電磁放射を受けてそれを反射するために位置決めされている、第１の複数のアーチ形のファセットを有する第１の反射形蝿の目と、
第２のベースとを含み、
前記第２のベースは第２の形状の表面を有し、
第２の形状の表面上に形成され、そして電磁放射を受けて、そして反射するために位置決めされている、第２の複数のファセットを持つ第２の反射形の蝿の目と、
第２の複数のファセットに前記ソースをイメージするために位置決めされた第１の複数のファセットと、
必要な照射と放射強度を持っているアーチ形の照明野を形成するために位置決めされている第２の複数のファセットとを含む、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項２５】
第１の複数のアーチ形のファセットは、ランダムに傾けられていて、第２の複数のファセット上にエネルギーを分布する、請求項２４記載の照明装置。
【請求項２６】
前記第１および第２の反射形の蝿の目における複数のファセットは、異なる光パワーを有し、
それによって、焦点が維持されて、そして前記第１および第２のベース表面における変更は、製造および整列における支援を得て行うことができる、請求項２４記載の照明装置。
【請求項２７】
前記第２の反射形蝿の目から反射された電磁放射を受けるために位置決めされた中継器をさらに含む、請求項２４記載の照明装置。
【請求項２８】
照明装置において、
１つの極紫外線の電磁放射のソースと、
電磁放射を反射する１つの楕円の反射鏡と、
凹面形状の表面を持っている第１のベースと、
凹形の形状の表面に形成された、第１の複数のアーチ形の凹形ファセットのある第１の反射形蝿の目とを含み、
第１の複数のアーチ形の凹面ファセットのそれぞれは、前もって決められた位置と傾きとを持っていて、電磁放射を受けて、そしてそれを反射し、
凸状形状表面を持っている第２のベースを含み、
前記第２のベースは前記第１の反射形蝿の目から反射した電磁放射を受けるために位置決めされており、
凸状形状表面上に形成された第２の複数の凹形のファセットを持つ第２の反射形蝿の目を含み、
第２の複数の凹形のファセットのそれぞれは、電磁放射を受けて、そして反射するような、前もって決められた位置と傾斜を持っており、
第一の複数のファセットのそれぞれは、前もって決められた位置と傾斜を持っていて、第２の複数のファセット上に前記ソースをイメージし、
それによって必要な照射と放射強度を持っているアーチ形の照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項２９】
第１の複数のアーチ形の凹形のファセットのそれぞれは、基準平面に対して負の１１．５度と正の１６度との間の傾斜範囲を有している、請求項２８記載の照明装置。
【請求項３０】
第２の複数の凹形のファセットのそれぞれは、基準平面に対して負の１０度と正の１０度との間の傾斜範囲を有している、請求項２８記載の照明装置。
【請求項３１】
前記第１の反射形の蝿の目は、少なくとも３×１０のミラーアレイを含み、
前記第２の反射形の蝿の目は、少なくとも６×６ミラーアレイを含む、請求項２８記載の照明装置。
【請求項３２】
前記第１および第２の反射形の蝿の目におけるミラーが、異なる光パワーを有している、請求項２８記載の照明装置。
【請求項３３】
前記第２の反射形蝿の目から反射した電磁放射を受けるために位置決めされている中継器をさらに含む、請求項２８記載の照明装置。
【請求項３４】
レチクルのイメージを感光性の基板上に投影する照明装置のためのコンデンサにおいて、
ソースの多数のイメージを形成するためにソースからの電磁放射を受けるように位置決めされている第１の反射形蝿の目装置と、
前記第１の反射形蝿の目装置によって形成された多数のイメージを重ね合わせ、再分布させ、そして前もって決められた放射強度と形状とを持っている照明野を形成するために、前記第１の反射形蝿の目装置によって反射され、イメージされた電磁放射を受けるように位置決めされた第２の反射形の蝿の目装置とを含む、
ことを特徴とする照明装置のためのコンデンサ。
【請求項３５】
ソースからの電磁放射を集め、そして電磁放射を前記第１の反射形蝿の目装置に反射するために、ソースからの電磁放射を受けるように位置決めされている反射器装置をさらに含む、請求項３４記載のコンデンサ。
【請求項３６】
前記第２の反射形の蝿の目装置から反射された電磁放射を受けるために位置決めされている中継器をさらに含む、請求項３４記載のコンデンサ。
【請求項３７】
前記第１および第２の反射形の蝿の目装置はそれぞれミラーアレイを含む、請求項３４記載のコンデンサ。
【請求項３８】
ミラーアレイ内のミラーが、異なる光パワーを有している、請求項３７記載のコンデンサ。
【請求項３９】
レチクルのイメージを感光性の基板上に投影する照明装置のためのコンデンサにおいて、
ソースの多数のイメージを形成するためにソースからの電磁放射を受けるように位置決めされている第１の反射形蝿の目装置と、
前記第１の反射形蝿の目装置によって形成された多数のイメージを重ね合わせ、再分布させ、そして前もって決められた放射強度と形状とを持っている照明野を形成するために、前記第１の反射形蝿の目装置によって反射され、イメージされた電磁放射を受けるように位置決めされた第２の反射形の蝿の目装置とを含み、
前記第１及び第２の反射形の蠅の目装置はそれぞれミラーアレイを含んでおり、
第１の反射形蝿の目装置のミラーアレイ内の各ミラーは、前もって決められた範囲の中でランダムに傾けられており、
第２の反射形蝿の目装置のミラーアレイ内のミラーの傾斜は、照明野を補償し、そして形成するのに使用される、
ことを特徴とする照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４０】
レチクルのイメージを感光性の基板上に投影するのに用いられる照明装置のためのコンデンサにおいて、
１つのアレイを形成する第１の複数のミラーを含む第１の反射形蝿の目を含み、
第１の複数のミラーのそれぞれは、前もって決められた転置および角度傾斜を有しており、
１つのアレイを形成する第２の複数のミラーを含む第２の反射形の蝿の目を含み、
第２の複数のミラーのそれぞれは、前もって決められた転置および角度傾斜を有しており、
第１の複数のミラーから反射された電磁放射は、第２の複数のミラーによって受け取られ、
その結果、第１および第２の複数のミラーの前もって決められた転置と角度的な傾斜とは、必要な放射強度を持つ前もって決められた形状の照明野を形成する結果を生じさせる、
ことを特徴とする照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４１】
前記第２の反射形蝿の目から反射それた電磁放射を受けるために位置決めされた中継器をさらに含む、請求項４０記載のコンデンサ。
【請求項４２】
第１および第２の複数のミラーの角度的な傾斜が前もって決められた範囲の中でランダムである、請求項４０記載のコンデンサ。
【請求項４３】
レチクルのイメージを感光性の基板上に投影するのに用いられる照明装置のためのコンデンサにおいて、
ソースからの電磁放射を受けて、ソースの多数のイメージを形成するために位置決めされた第１のファセットされたミラーと、
前記第１のファセットミラーによって形成されたソースの多数のイメージを受け取るために、そして前記第１のファセットされたミラーによって形成された多数のイメージを重ね合わせるために、位置決めされた第２のファセットされたミラーとを含み、
それによって、前もって決められた放射強度と形状を持っている照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４４】
前記第１のファセットされたミラーがアーチ形のファセットを含む、請求項４３記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４５】
前記第１および第２のファセットされたミラーが、かなりの数のファセットを有しており、
それによって、照明野における一様性を調整するためにファセットの数が変えられる、請求項４３記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４６】
前記第１のファセットされたミラーによって受け取られる照明領域は、サイズ的に調整される、請求項４３記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４７】
前記第１および第２のファセットされたミラーにはそれぞれ、かなりの数のファセットがあり、
照明野における放射強度を変更するためにファセットの数が変えられる、請求項４３記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４８】
第１および第２のファセットされたミラーのファセットの数の間の相関関係が変更され、
それによって、放射強度を変更することができる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項４９】
第２のファセットされたミラーのかなりの数のファセットのサイズ、形状およびロケーションが変更できる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５０】
前記第２のファセットされたミラーによって受け取られる多数のイメージの焦点が、前記第１のファセットされたミラーのかなりの数のファセットの軸位置を変えることによって得られる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５１】
前記第２のファセットされたミラーによって受け取られる多数のイメージの焦点が、前記第１のファセットされたミラーのかなりの数のファセットの光パワーを変えることによって得られる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５２】
前記第２のファセットされたミラーによって受け取られる多数のイメージの焦点が、前記第１のファセットされたミラーのかなりの数のファセットの軸位置および光パワーの組み合わせを変えることによって得られる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５３】
照明野において形成された多数のイメージの焦点が、前記第２のファセットされたミラーのかなりの数のファセットの軸位置を変えることによって得られる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５４】
照明野において形成された多数のイメージの焦点が、前記第２のファセットされたミラーのかなりの数のファセットの光パワーを変えることによって得られる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５５】
照明野において形成された多数のイメージの焦点が、前記第２のファセットされたミラーのかなりの数のファセットの軸位置および光パワーの組み合わせを変えることによって得られる、請求項４７記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５６】
望ましくない掩蔽は、前もって決められたエネルギーを受ける第１のファセットミラーのファセットの数を、第２のファセットされたミラーに相関させることによって排除され、
それによって、望ましくない掩蔽の無意味なエネルギーが排除される、請求項４３記載の照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５７】
レチクルのイメージを感光性の基板上に投影するのに用いられる照明装置のためのコンデンサにおいて、
ソースからの電磁放射を受けて、ソースの多数のイメージを形成するために位置決めされた第１のファセットされたミラーと、
前記第１のファセットミラーによって形成されたソースの多数のイメージを受け取るために、そして前記第１のファセットされたミラーによって形成された多数のイメージを重ね合わせるために、位置決めされた第２のファセットされたミラーとを含み、
前記第１および第２のファセットされたミラーにはそれぞれ、かなりの数のファセットがあり、
照明野における放射強度を変更するためにファセットの数が変えられ、
第２のファセットされたミラー上に形成されたソースの多数のイメージの位置が、第１のファセットされたミラーのかなりの数のファセットのそれぞれを傾けることによって変えられ、
それによって、前もって決められた放射強度と形状を持っている照明野が形成される、
ことを特徴とする照明装置のためのコンデンサ。
【請求項５８】
前もって決められた形状をもつ照明野を形成する照明装置において、
平行化されていない電磁放射のソースと、
凹形ベースと、
前記凹形ベース上に配置された第１の複数のミラーと、
凸形ベースと、
前記凸形ベース上に配置された第２の複数のミラーと、
前記第２の複数のミラーの付近に位置している絞りストップのイメージを、投影光学装置のピューピル内に中継するよう位置決めされた中継器とを有しており、
前記第１の複数のミラーの各々は前もって決められた形状の照明野を有しており、
前記第２の複数のミラーの各々は異なる傾斜角度を有しており、電磁放射はこれにより前記の前もって決められた形状の照明野上に再分布させられ、
それにより実質的に一様な放射照度を有する前もって決められた形状の照明野が即座に形成される、
ことを特徴とする前もって決められた形状をもつ照明野を形成する照明装置。