【手続補正書】
【提出日】平成16年7月2日(2004.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に開口部を有するカソード支持部材によって、内部がカソード配置空間と基板配置空間との２つの空間に分けられた真空チャンバーと、
前記カソード支持部材の開口部の周縁に設けられた絶縁性のカソード載置部と、
ターゲットおよびこれを保持するバッキングプレートで構成されるカソードと、
前記カソードに対し密着状態に接触して電気的に接続され、前記カソード配置空間に出入り可能に配置された電流導入用プレートとを備え、
成膜時に、前記カソードのバッキングプレートが前記カソード支持部材のカソード載置部上に載置され、前記カソードのターゲットが前記開口部を通して、前記基板配置空間内に配置された基板に対向するように構成されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
電流導入用プレートに対し接離自在に接触して磁気的に結合されたマグネトロン方式スパッタリング用磁石を備えている請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
請求項１に記載の成膜装置のターゲットの交換方法であって、
使用済みターゲットを有するカソードから電流導入用プレートを離して真空チャンバーの外部に引き出す工程と、
カソード支持部材のカソード載置部に載置されているカソードを真空チャンバーの外部に取り出す工程と、
新たなターゲットを有するカソードを前記カソード載置部上に載置する工程と、
前記電流導入用プレートを前記カソードに密着状態に接触させる工程とを有することを特徴とする成膜装置のターゲットの交換方法。
【請求項４】
請求項２に記載の成膜装置のターゲットの交換方法であって、
磁石を電流導入用プレートから離間させる工程と、
使用済みターゲットを有するカソードから前記電流導入用プレートを離して真空チャンバーの外部に引き出す工程と、
カソード支持部材のカソード載置部に載置されているカソードを真空チャンバーの外部に取り出す工程と、
新たなターゲットを有するカソードを前記カソード載置部上に載置する工程と、
前記電流導入用プレートを前記カソードに密着状態に接触させる工程と、
前記磁石を前記電流導入用プレートに接触させる工程とを有することを特徴とする成膜装置のターゲットの交換方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の成膜装置は、中央に開口部を有するカソード支持部材によって、内部がカソード配置空間と基板配置空間との２つの空間に分けられた真空チャンバーと、前記カソード支持部材の開口部の周縁に設けられた絶縁性のカソード載置部と、ターゲットおよびこれを保持するバッキングプレートで構成されるカソードと、前記カソードに対し密着状態に接触して電気的に接続され、前記カソード配置空間に出入り可能に配置された電流導入用プレートとを備え、成膜時に、前記カソードのバッキングプレートが前記カソード支持部材のカソード載置部上に載置され、前記カソードのターゲットが前記開口部を通して、前記基板配置空間内に配置された基板に対向するように構成されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この成膜装置では、ターゲットを有するカソードが、カソード支持部材のカソード載置部上に載置されて、このカソード載置部と電流導入用プレートとによる挟持固定により支持された構成になっているから、ターゲットの交換に際しては、電流導入用プレートを真空チャンバーの外部に引き出せば、真空チャンバー内においてカソード載置部上に載置されて残っているカソードを手作業などにより新たな物と容易に交換することができる。そのため、従来装置においてカソードを電流導入用プレートに固定していた固定用ボルトの取り外しおよび取り付けの作業が不要となり、ターゲットの交換のための作業時間を大幅に短縮することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
これにより、磁石の発生する磁界でプラズマを閉じ込めるマグネトロン方式のスパッタリングを行え、プラズマ密度を向上させて成膜レートの増大を図れる。この成膜装置では、磁石を備えているが、この磁石が電流導入用プレートに対し離間可能に設けられているから、ターゲットが磁性体である場合には、先ず磁石を電流導入用プレートから離間させておくことにより、電流導入用プレートをカソードから容易に離間させることができ、真空チャンバー内において前記カソード載置部上に載置されて残っているカソードを手作業などにより新たな物と容易に交換することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の成膜装置のターゲットの交換方法は、使用済みターゲットを有するカソードから電流導入用プレートを離して真空チャンバーの外部に引き出す工程と、カソード支持部材のカソード載置部に載置されているカソードを真空チャンバーの外部に取り出す工程と、新たなターゲットを有するカソードを前記カソード載置部上に載置する工程と、前記電流導入用プレートを前記カソードに密着状態に接触させる工程とを有している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の成膜装置のターゲットの他の交換方法は、磁石を電流導入用プレートから離間させる工程と、使用済みターゲットを有するカソードから前記電流導入用プレートを離して真空チャンバーの外部に引き出す工程と、カソード支持部材のカソード載置部に載置されているカソードを真空チャンバーの外部に取り出す工程と、新たなターゲットを有するカソードを前記カソード載置部上に載置する工程と、前記電流導入用プレートを前記カソードに密着状態に接触させる工程と、前記磁石を前記電流導入用プレートに接触させる工程とを有している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この実施の形態では、非磁性体のターゲット１１を用いる場合を例示してある。真空チャンバー１の内周壁面には円板状のカソード支持部材２０が嵌め込み固定されており、このカソード支持部材２０は、その外径が真空チャンバー１の内径にほぼ等しく設定され、中央部にターゲット１１から放出されるスパッタ粒子を通過させるための開口部２１が設けられている。また、カソード支持部材２０の取付高さは、基板１２に対してターゲット１１を最も適切な離間距離で保持できる位置に設定されている。真空チャンバー１は前記カソード支持部材２０によって、上方内部空間がカソード配置空間となり、下方内部空間が基板配置空間となるように２つの空間に分けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
カソード支持部材２０における開口部２１の周縁部上面には、図３に示すように、リング形状となった絶縁部材（カソード載置部）２２が載置固定されている。この絶縁部材２２は、図３に明示するように、バッキングプレート１０の径とほぼ等しい外径を有し、且つ内径がターゲット１１を隙間を存して挿入させることのできる値に設定されている。カソード６は、ターゲット１１を絶縁部材２２の内部に挿入させてバッキングプレート１０を絶縁部材２２上に載置して設置される。また、バッキングプレート１０は、従来装置のように固定用ボルト１４により電流導入用プレート９に接合されずに、電流導入用プレート９が電気的接続状態に上方から密着されているだけである。すなわち、蓋体１３が真空チャンバー１に対し気密状態に連結されて施蓋した状態では、電流導入用プレート９が蓋体１３により支持体１７を介してバッキングプレート１０に押し付けられるようになっている。それにより、カソード６は、絶縁部材２２と電流導入用プレート９とにより挟持固定されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
【発明の効果】
以上のように、本発明の成膜装置によれば、ターゲットを有するカソードを、カソード支持部材のカソード載置部上に載置して、このカソード載置部と電流導入用プレートとにより挟持固定して支持する構成としたので、ターゲットの交換に際しては、電流導入用プレートを真空チャンバーの外部に引き出せば、前記カソード載置部上に載置されて残っているカソードを手作業などにより新たな物と容易に交換することができ、固定用ボルトの取り外しおよび取り付けなどの作業が不要となることから、ターゲットの交換のための作業時間を大幅に短縮することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の成膜装置のターゲットの交換方法によれば、ターゲットを有するカソードの交換を容易に、且つ迅速に行うことができる。