(57)【要約】【課題】作業者の負担を軽減させ且つ設備の小型化を図ることができる単結晶棒製造設備を提供する。【解決手段】坩堝搬送手段１８を複数の育成装置１の並び方向に沿う直線状の坩堝搬送用移動経路Ｌ１に沿って移動させて単結晶棒４の原料を収納した坩堝３を受け取る坩堝受取位置及び育成装置１に対して坩堝３を供給する複数の坩堝供給位置に移動させ、かつ、単結晶棒搬送手段１９を複数の育成装置１の並び方向に沿う直線状の単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２に沿って移動させて育成装置にて育成された単結晶棒４を受け取る単結晶棒受取位置及び当該単結晶棒を供給する単結晶棒供給位置に移動させるべく、坩堝搬送手段１８及び単結晶棒搬送手段１９の移動を制御する。【選択図】図１
2010132508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶棒を育成する育成装置が設けられている単結晶棒育成設備であって、
前記育成装置が、直線状に複数並べて設けられ、
前記複数の育成装置に沿う直線状の坩堝搬送用移動経路に沿って移動自在な坩堝搬送手段が、前記単結晶棒の原料を収納した坩堝を受け取る坩堝受取位置と前記育成装置に対して前記坩堝を供給する複数の坩堝供給位置とに移動自在に構成され、
前記複数の育成装置に沿う直線状の単結晶棒搬送用移動経路に沿って移動自在な単結晶棒搬送手段が、前記育成装置にて育成された前記単結晶棒を受け取る単結晶棒受取位置と当該単結晶棒を供給する単結晶棒供給位置とに移動自在に構成され、
前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段の移動を制御する制御手段が、前記坩堝搬送手段を前記坩堝搬送用移動経路に沿って前記坩堝受取位置と前記坩堝供給位置とに移動させ、かつ、前記単結晶棒搬送手段を前記単結晶棒搬送用移動経路に沿って前記単結晶棒受取位置と前記単結晶棒供給位置とに移動させるべく、前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段の移動を制御するように構成されている単結晶棒育成設備。
【請求項２】
前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段が、前記複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ坩堝支持用の坩堝支持部と単結晶棒支持用の単結晶棒支持部とを備えた単一の移動体にて構成され、
前記制御手段が、前記単一の移動体の作動を制御するように構成されている請求項１記載の単結晶棒育成設備。
【請求項３】
前記坩堝搬送手段が、前記複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ坩堝支持用の坩堝支持部を備えた坩堝搬送用移動体にて構成され、
前記単結晶棒搬送手段が、前記複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ単結晶棒支持用の単結晶棒支持部を備えた単結晶棒搬送用移動体にて構成され、
前記制御手段が、前記坩堝搬送用移動体及び前記単結晶棒搬送用移動体のそれぞれの作動を制御するように構成されている請求項１記載の単結晶棒育成設備。
【請求項４】
前記坩堝搬送用移動経路を形成する移動用通路と前記単結晶棒搬送用移動経路を形成する移動用通路とが兼用されている請求項３記載の単結晶棒育成設備。
【請求項５】
前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段が、直線状に２列に並べて設けられた前記育成装置の間を移動するように設けられている請求項１〜４のいずれか１項記載の単結晶棒育成設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単結晶棒を育成する育成装置が設けられている単結晶棒育成設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる単結晶棒育成設備は、多結晶シリコン等の単結晶棒の原料を収納した坩堝を育成装置に設置し、溶融させた原料に種結晶を浸け、その種結晶を回転させながら引き上げて単結晶棒を育成させ、その単結晶棒を育成装置から取り出して外部に搬出するようにして、シリコン単結晶棒等の単結晶棒を製造するものである。
単結晶棒育成設備において、従来では、育成装置の近くまで搬送した坩堝を育成装置に取り付ける坩堝取付装置が設けられており、作業者が坩堝取付装置を操作して育成装置に坩堝を取り付けていた（例えば、特許文献１参照。）。
そして、従来では、坩堝を坩堝搬送用の台車に載置させ、その台車を作業者が押引操作して育成装置の近くまで坩堝を搬送していた。また、育成された単結晶棒についても、育成装置から取り出した単結晶棒を単結晶棒搬送用の台車に載置させ、その台車を作業者が押引操作して単結晶棒を搬送していた。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１７２９７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、原料を収容した坩堝や単結晶棒は重量物であるため、坩堝や単結晶棒の台車による搬送は作業者にとって負担が大きいものであり、作業者の負担の軽減が求められていた。
また、作業者の負担を軽減する単結晶棒育成設備を提供する場合に、その単結晶棒育成設備は設置に有利な小型であることが望ましい。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、作業者の負担を軽減でき且つ設備の小型化を図ることができる単結晶棒製造設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる単結晶棒製造設備は、単結晶棒を育成する育成装置が設けられている設備であって、その第１特徴構成は、
前記育成装置が、直線状に複数並べて設けられ、前記複数の育成装置に沿う直線状の坩堝搬送用移動経路に沿って移動自在な坩堝搬送手段が、前記単結晶棒の原料を収納した坩堝を受け取る坩堝受取位置と前記育成装置に対して前記坩堝を供給する複数の坩堝供給位置とに移動自在に構成され、前記複数の育成装置に沿う直線状の単結晶棒搬送用移動経路に沿って移動自在な単結晶棒搬送手段が、前記育成装置にて育成された前記単結晶棒を受け取る単結晶棒受取位置と当該単結晶棒を供給する単結晶棒供給位置とに移動自在に構成され、前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段の移動を制御する制御手段が、前記坩堝搬送手段を前記坩堝搬送用移動経路に沿って前記坩堝受取位置と前記坩堝供給位置とに移動させ、かつ、前記単結晶棒搬送手段を前記単結晶棒搬送用移動経路に沿って前記単結晶棒受取位置と前記単結晶棒供給位置とに移動させるべく、前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段の移動を制御するように構成されている点にある。
【０００７】
すなわち、複数の育成装置に沿う直線状の坩堝搬送用移動経路に沿って移動自在な坩堝搬送装置が、単結晶棒の原料を収納した坩堝を受け取る坩堝受取位置と育成装置に対して坩堝を供給する複数の坩堝供給位置とに移動自在に構成されているため、坩堝搬送装置を坩堝受取位置に移動させて外部から坩堝を搬入する搬入装置等から坩堝を受け取った後、坩堝搬送装置を坩堝供給位置に移動させて育成装置に対して坩堝を供給するようにして、坩堝搬送装置にて坩堝を搬送することができる。
また、複数の育成装置に沿う直線状の単結晶棒搬送用移動経路に沿って移動自在な単結晶棒搬送装置が、育成装置にて育成された単結晶棒を受け取る単結晶棒受取位置と当該単結晶棒を供給する単結晶棒供給位置とに移動自在に構成されているため、単結晶棒搬送装置を単結晶棒受取位置に移動させて育成装置から単結晶棒を受け取った後、単結晶棒搬送装置を単結晶棒供給位置に移動させて外部に単結晶棒を搬送する搬出装置等に単結晶棒を供給するようにして、単結晶棒搬送手段にて単結晶棒を搬送することができる。
【０００８】
しかも、坩堝搬送手段及び単結晶棒搬送手段は、坩堝搬送手段を坩堝搬送用移動経路に沿って坩堝受取位置及び坩堝供給位置に移動させ、かつ、単結晶棒搬送手段を単結晶棒搬送用移動経路に沿って単結晶棒受取位置及び単結晶棒供給位置に移動させるべく、制御手段にて作動が制御されているため、坩堝搬送手段による坩堝の搬送や単結晶棒搬送手段による単結晶棒の搬送を自動的に行うことができるため、作業者の負担を軽減させることができる。
また、育成装置を直線状に複数並べて設けることで複数の育成装置を集約させて省スペースに配設することができ、また、坩堝搬送手段の坩堝搬送用移動経路や単結晶棒搬送手段の単結晶棒搬送用移動経路を複数の育成装置に沿う直線状とすることにより、移動経路が無駄に迂回することなく移動経路の長さを短くすることができるため、これら複数の育成装置を省スペースに配設することができることや移動経路を短くすることができることにより、単結晶棒搬送装置の小型化を図ることができる。
従って、作業者の負担を軽減させ且つ設備の小型化を図ることができる単結晶棒製造設備を提供することができるに至った。
【０００９】
本発明にかかる単結晶棒育成設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段が、前記複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ坩堝支持用の坩堝支持部と単結晶棒支持用の単結晶棒支持部とを備えた単一の移動体にて構成され、前記制御手段が、前記単一の移動体の作動を制御するように構成されている点にある。
【００１０】
すなわち、坩堝搬送手段及び単結晶棒搬送手段が、単一の移動体に坩堝支持用の坩堝支持部と単結晶棒支持部の単結晶棒支持部とを備えて構成されているため、坩堝支持部にて坩堝を支持した状態で移動体を移動させることにより坩堝を搬送することができ、また、単結晶棒支持部にて単結晶棒を支持した状態で移動体を移動させることにより単結晶棒を搬送することができるので、単一の移動体にて坩堝の搬送と単結晶棒の搬送とを行うことができる。よって、例えば、坩堝搬送用の移動体と単結晶棒搬送用の移動体との２台の移動体を設けて坩堝と単結晶棒とを異なる移動体にて搬送するように構成した場合に比べて、移動体の数を少なくして単結晶棒育成設備の構成の簡素化を図ることができる。ちなみに、単結晶棒の育成には数十時間かかる場合もあり、坩堝の搬送や単結晶棒の搬送の要求頻度は高くないため、単一の移動体にて搬送効率が低下しない又は殆ど低下しないように坩堝の搬送と単結晶棒の搬送とを行うことができる。
従って、構成の簡素化を図ることができる単結晶棒育成設備を提供することができるに至った。
【００１１】
本発明にかかる単結晶棒育成設備の第３特徴構成は、第１特徴構成において、前記坩堝搬送手段が、前記複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ坩堝支持用の坩堝支持部を備えた坩堝搬送用移動体にて構成され、前記単結晶棒搬送手段が、前記複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ単結晶棒支持用の単結晶棒支持部を備えた単結晶棒搬送用移動体に構成され、前記制御手段が、前記坩堝搬送用移動体及び前記単結晶棒搬送用移動体のそれぞれの作動を制御するように構成されている点にある。
【００１２】
すなわち、坩堝搬送手段が、坩堝搬送用移動体に坩堝支持用の坩堝支持部を備えて構成され、単結晶棒搬送手段が、単結晶棒搬送用移動体に単結晶棒支持用の単結晶棒支持部を備えて構成されているから、坩堝支持部にて坩堝を支持した状態で坩堝搬送用移動体を移動させることにより坩堝を搬送することができ、また、単結晶棒支持部にて単結晶棒を支持した状態で単結晶棒搬送用移動体を移動させることにより単結晶棒を搬送することができる。そして、坩堝搬送用移動体に単結晶棒支持部を備える必要がなく、また、単結晶棒搬送用移動体に坩堝支持部を備える必要がないため、坩堝支持部と単結晶棒支持部との両方を備えた移動体に比べて、坩堝搬送用移動体や単結晶棒搬送用移動体を軽量なものとすることができるので、これらの移動体を小さな動力で移動させることができる。よって、坩堝を搬送する際には坩堝搬送用移動体のみを移動させ、単結晶棒を搬送する際には単結晶棒搬送用移動体のみを移動させるようにすることで、坩堝や単結晶棒を搬送する際に坩堝搬送用移動体又は単結晶棒搬送用移動体を小さな動力で移動させることができるため、ランニングコストを抑えることができる。
従って、ランニングコストを抑えることができる単結晶棒育成装置を提供することができるに至った。
【００１３】
本発明にかかる単結晶棒育成設備の第４特徴構成は、第３特徴構成において、前記坩堝搬送用移動経路を形成する移動用通路と前記単結晶棒搬送用移動経路を形成する移動用通路とが兼用されている点にある。
【００１４】
すなわち、坩堝搬送用移動経路を形成する移動用通路と単結晶棒搬送用移動経路を形成する移動用通路とが兼用されているため、坩堝搬送用移動経路と単結晶棒搬送用移動経路とを形成するためのスペースが小さくなる。そのため、単結晶棒育成設備のより一層の小型化を図ることができ、もって、より一層の小型化を図ることができる単結晶棒育成設備を提供することができるに至った。
【００１５】
本発明にかかる単結晶棒育成設備の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記坩堝搬送手段及び前記単結晶棒搬送手段が、直線状に２列に並べて設けられた前記育成装置の間を移動するように設けられている点にある。
【００１６】
すなわち、育成装置が２列に並べて設けられ、その間を移動するように坩堝搬送手段及び単結晶棒搬送手段が設けられているため、多数の育成装置に対して短い坩堝搬送用移動経路及び短い単結晶棒搬送用移動経路移動経路で育成装置に対する坩堝の供給や育成装置からの単結晶棒の受け取りを行うことができるので、単結晶棒育成設備のより一層の小型化を図ることができ、もって、より一層の小型化を図ることができる単結晶棒育成設備を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係る単結晶棒育成設備について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、単結晶棒育成設備には、単結晶棒４を育成する育成装置としての引上げ装置１と、単結晶棒４の原料を収納した坩堝３を外部から搬入する搬入装置５と、単結晶棒４を外部に搬出する搬出装置６と、搬入装置５から受け取った坩堝３を引き上げ装置１に対して供給し且つ引上げ装置１から受け取った単結晶棒４を搬出装置６に対して供給するスタッカークレーン２とが設けられている。
ちなみに、坩堝３は、石英製の坩堝で多結晶シリコンを原料として収容しており、単結晶棒４は、シリコン単結晶棒である。また、搬入装置５にて搬入される坩堝３は、図４及び図５に示すように、水平方向に位置決めされた状態で坩堝用パレット７上に載置支持され且つ上部の開口を蓋部材８にて塞いだ状態（以下、搬入用状態と称する）で搬入される。
【００１８】
図１に示すように、引上げ装置１は、２つの平行な列を形成するように直線状に複数並べて設けられており、搬入装置５は、引上げ装置１の並び方向の一方側にその引上げ装置１と一列に並ぶ状態で設けられており、搬出装置６は、引上げ装置１の並び方向の他方側にその引上げ装置１と一列に並ぶ状態に設けられている。また、スタッカークレーン２は、複数の引上げ装置１の並び方向に沿う直線状の走行経路Ｌに沿って走行自在に構成されている。
【００１９】
走行経路Ｌは、経路幅方向で引上げ装置１の各列の略中間に位置し、直線状に並ぶ複数の引上げ装置１の各列と並行となるように設定されている。引上げ装置１の各列は、走行経路Ｌの経路幅に対応した距離だけ間隔を隔てて走行経路Ｌの両側に配設されているため、走行経路Ｌは引上げ装置１の各列に対して近接した状態となっている。
【００２０】
そして、搬入装置５にて搬入される搬入用状態の坩堝３は、搬入装置５からスタッカークレーン２に受け渡され、スタッカークレーン２にて複数の引上げ装置１のいずれかに供給される。また、引上げ装置１に坩堝３が取り付けられることにより残った坩堝用パレット７及び蓋部材８は、坩堝用パレット７上に蓋部材８を載置させた状態で引上げ装置１からスタッカークレーン２に受け渡され、スタッカークレーン２にて搬入装置５に供給され、搬入装置５にて外部に搬出される。また、引上げ装置１にて育成された単結晶棒４は、引上げ装置１からスタッカークレーン２に受け渡され、スタッカークレーン２にて搬出装置６に供給され、搬出装置６にて外部に搬出される。
ちなみに、図３に示すように、搬出装置６にて搬出される単結晶棒４は単結晶棒用パレット２０に載置支持された状態で外部に搬出される。
【００２１】
図５及び図６に示すように、引上げ装置１の夫々は、床Ｆから所定高さだけ上方に設けられた設置台Ｐに載置支持されており、各列を形成する複数の引上げ装置１の夫々は、坩堝３を受取る側及び単結晶棒４を受け渡す側が他方の列を形成する引上げ装置１と互いに対向する状態で直線状に並べて設けられている。スタッカークレーン２は、直線状に２列に並べられた引上げ装置１の間に形成された移動用通路において走行経路Ｌに沿って床面上を走行するように設けられており、スタッカークレーン２にて２列のいずれの引上げ装置１に対しても坩堝３を供給することができ、また、スタッカークレーン２にて２列のいずれの引上げ装置１からも単結晶棒４を受け取ることができるように構成されている。
【００２２】
図４〜図７に示すように、引上げ装置１の夫々は、坩堝３を取り付ける下チャンバ９と単結晶棒４を引き上げて収容する上チャンバ１０とを備えて構成されている。図７に示すように、上チャンバ１０には、先端に種結晶を支持するワイヤーケーブル１１を巻取り及び繰出し自在な巻取り装置１２が備えられており、この上チャンバ１０は、下チャンバ９の上部開口を閉塞して単結晶棒４を育成する引上げ位置（図７（ａ）参照）と単結晶棒用箇所１７の上方に位置する退避位置（図７（ｂ）参照）とに移動自在に構成されている。ちなみに、下チャンバ９には、取り付けられた坩堝３を加熱するためのヒータ（図示せず）等が設けられている。
【００２３】
また、図２〜図４に示すように、引上げ装置１には、スタッカークレーン２から搬入用状態の坩堝３を受け取る坩堝用箇所１６が設けられており、この坩堝用箇所１６は、２台の引上げ装置１にて１箇所の坩堝用箇所１６を共用するように隣接する２台の引上げ装置１の間に設けられており、隣接する２台の引上げ装置１に対して１箇所設けられている。そして、坩堝用箇所１６の夫々には、作業者が押引操作して搬入用状態の坩堝３を載置搬送するための台車１４がレールに沿って移動自在に備えられており、図５に示すように、スタッカークレーン２にて引上げ装置１に供給される搬入用状態の坩堝３は台車１４上に載せられる。この坩堝用箇所１６は、坩堝用パレット７と蓋部材８とをスタッカークレーン２に受け渡す際にも利用され、台車１４上に載せられた蓋部材８を載置する坩堝用パレット７は、スタッカークレーン２にて掬い取られる。
また、引上げ装置１には、単結晶棒４をスタッカークレーン２に受け渡す単結晶棒用箇所１７が設けられており、この単結晶棒用箇所１７は、複数の引上げ装置１の夫々各別に設けられている。そして、単結晶棒用箇所１７の夫々には、その箇所に位置する単結晶棒４に接続されているワイヤーケーブル１１を切断するための切断装置１５が設けられている。
【００２４】
つまり、スタッカークレーン２にて台車１４上に供給された坩堝３は、坩堝用パレット７及び蓋部材８が外されて引上げ装置１の下チャンバ９に取り付けられ、外された坩堝用パレット７と蓋部材８とは、坩堝用パレット７に蓋部分８を載置させた状態で台車１４上に載せられる。坩堝３の下チャンバ９への取り付けは、上チャンバ１０を退避位置に移動させた状態で、台車１４の押引操作や図外の坩堝設置装置を用いて作業者の手作業にて行われる。
また、引上げ装置１にて育成された単結晶棒４は、上チャンバ１０内に収容されており、上チャンバ１０を退避位置に移動させた後に単結晶棒４を吊り下げているワイヤーロープ１１を巻取り装置１２にて繰出すことにより単結晶棒用箇所１７に単結晶棒４が降ろされ、切断装置１５にてワイヤーケーブル１１が切断されてスタッカークレーン２に受け渡される。
【００２５】
次に、スタッカークレーン２について説明を加える。
図４に示すように、スタッカークレーン２は、複数の引上げ装置１の並び方向に沿って走行自在な走行台車２１と、その走行台車２１に立設された支柱２２に沿って昇降自在な昇降台２３と、坩堝３を搬入装置５又は引上げ装置１と自己との間で坩堝３を移載する坩堝移載装置２４と、引上げ装置１又は搬出装置６と自己との間で単結晶棒４を移載する単結晶棒移載装置２５と、スタッカークレーン２の作動を制御する制御手段ｈ（図８参照）とを備えて構成されている。坩堝移載装置２４は、フォーク装置２６にて構成されており、フォーク装置２６に坩堝支持部２６ａが備えられている。また、単結晶棒移載装置２５は、載置支持用フォーク装置２７と転倒規制用フォーク装置２８とで構成されており、載置支持用フォーク装置２７に単結晶棒支持部２７ａが備えられている。
つまり、スタッカークレーン２が、坩堝支持部２６ａと単結晶棒支持部２７ａとを備えた移動体に相当し、本実施形態では坩堝搬送手段１８及び単結晶棒搬送手段１９がスタッカークレーン２（移動体）に相当する。また、スタッカークレーン２の走行経路Ｌが、坩堝搬送用移動経路Ｌ１及び単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２に相当する。尚、走行経路Ｌを形成する移動用通路は、直線状に２列に並べて設けられた引上げ装置１の間に形成されている。
【００２６】
また、スタッカークレーン２は、走行経路Ｌに沿って走行することにより、搬入装置５から坩堝３を受け取る坩堝受取位置と、引上げ装置１に対して坩堝３を供給する複数の坩堝供給位置と、引上げ装置１にて育成された単結晶棒４を受け取る複数の単結晶棒受取位置と、搬出装置６に対して単結晶棒４を供給する単結晶棒供給位置とに走行自在に構成されている。
図２及び図３に示すように、坩堝移載装置２４と単結晶棒移載装置２５とは、搬入装置５が位置する走行方向の一方側に坩堝移載装置２４が位置し、搬出装置６が位置する走行方向の他方側に単結晶移載装置２５が位置するように、スタッカークレーン２の走行方向に並べた状態で昇降台２３に支持されている。
【００２７】
坩堝移載装置２４は、搬入用状態の坩堝３を載置支持する坩堝支持用の坩堝支持部２６ａをスタッカークレーン２の走行経路Ｌの横幅方向の両側に出退自在なフォーク装置２６にて構成されており、搬入装置５における搬入用昇降台５ａにて載置支持された搬入用状態の坩堝３を搬入装置５から自己に移載可能であり、且つ、自己から引上げ装置１の台車１４に移載可能に構成されている。
また、図７に示すように、単結晶棒移載装置２５は、単結晶棒４を起立姿勢で支持する単結晶棒支持用の単結晶棒支持部２７ａを走行経路Ｌの横幅方向の両側に出退自在な載置支持用フォーク装置２７と、この載置支持用フォーク装置２７にて載置支持された単結晶棒４の転倒を規制する転倒規制用フォーク装置２８とで構成されており、起立姿勢の単結晶棒４を引上げ装置１から自己に移載可能であり、且つ、搬出装置６における姿勢変更機構６ａに受け渡すように起立姿勢の単結晶棒４を自己から搬出装置６に移載可能に構成されている。
【００２８】
単結晶棒移載装置２５について説明を加えると、載置支持用フォーク装置２７と転倒規制用フォーク装置２８とは走行方向に並べて設けられており、載置支持用フォーク装置２７には、単結晶棒支持部２７ａとこの単結晶棒支持部２７ａに支持された単結晶棒４が走行方向の一方側に転倒することを規制する一方側規制部材２７ｂとが設けられており、転倒規制用フォーク装置２８は、単結晶棒支持部２７ａに支持された単結晶棒４が走行方向の他方側に転倒することを規制する他方側規制部材２８ａが設けられている。そして、一方側規制部材２７ｂは、上下方向に複数並べて設けられており、下方側に位置する複数の一方側規制部材２７ｂは、上方側に位置する複数の一方側規制部材２７ｂよりも上下方向に隣接するものとの間隔が狭くなる状態で設けられている。また、他方側規制部材２８ａも、一方側規制部材２７ｂと同様の配置状態で上下方向に複数並べて設けられている。
そして、単結晶棒移載装置２５は、載置支持用フォーク装置２７と転倒規制用フォーク装置２８とを互いに走行方向に遠近移動自在に構成されており、載置支持用フォーク装置２７と転倒規制用フォーク装置２８とを互いを離間させた状態で突出させた後に互いに近接させて単結晶棒４を受け取り、この互いに近接させた状態で単結晶棒４を支持するように構成されている。
【００２９】
次に、制御手段ｈについて説明を加える。
図８に示すように、制御手段ｈは、上位のコントローラＨからの指令に基づいて、スタッカークレーン２の作動を制御するように構成されており、スタッカークレーン２を走行経路Ｌに沿って坩堝受取位置及び坩堝供給位置に走行させて搬入装置５から受け取った坩堝３を引上げ装置１に供給する坩堝搬送制御を実行し、かつ、スタッカークレーン２を走行経路Ｌに沿って単結晶棒受取位置と単結晶棒供給位置とに走行させて引上げ装置１から受け取った単結晶棒４を搬出装置６に供給する単結晶棒搬送制御を実行するべく、スタッカークレーン２の作動を制御するように構成されている。
【００３０】
坩堝搬送制御では、上位コントローラＨからの坩堝搬入指令に基づいて、スタッカークレーン２を坩堝受取位置まで走行させ、スタッカークレーン２を坩堝受取位置に停止させた状態での昇降台２３の昇降及び坩堝移載装置２４の作動により坩堝３を搬入装置５から受け取り、その後、スタッカークレーン２を坩堝３を供給する引上げ装置１に対応する坩堝供給位置まで走行させ、スタッカークレーン２を坩堝停止位置に停止させた状態での昇降台２３の昇降及び坩堝移載装置２４の作動により坩堝３を引上げ装置１に供給させるべく、スタッカークレーン２の作動が制御される。
【００３１】
また、単結晶棒搬送制御では、引上げ装置１における単結晶棒４の育成が完了した際に作業者にて操作される育成完了スイッチ２９の操作に基づく上位コントローラＨからの単結晶棒搬入指令に基づいて、スタッカークレーン２を単結晶棒４を受け取る引上げ装置１に対応する単結晶棒受取位置まで走行させ、スタッカークレーン２を単結晶棒受取位置に停止させた状態での昇降台２３の昇降及び単結晶棒移載装置２５の作動により単結晶棒４を引上げ装置１から受け取り、その後、スタッカークレーン２を単結晶棒供給位置まで走行させ、スタッカークレーン２を単結晶棒供給位置に停止させた状態での昇降台２３の昇降及び単結晶棒移載装置２５の作動により単結晶棒４を搬出装置６に供給させるべく、スタッカークレーン２の作動が制御される。
ちなみに、単結晶棒搬送制御では、単結晶棒４を引上げ装置１から受け取る途中（具体的には、スタッカークレーン２を単結晶棒供給位置に停止させた状態において、載置支持用フォーク装置２７と転倒規制用フォーク装置２８とを互いに離間させた状態で突出させた後に互いに近接させ、昇降台２３を上昇させて単結晶棒支持部２７ａにて単結晶棒４を下方から受け止め支持し且つ規制部材２７ｂ，２８ａにて単結晶棒４の転倒を規制した状態）でスタッカークレーン２の作動を一端停止させる。停止後は、切断完了スイッチが操作されるまで停止状体が維持される。作業者が切断装置１５を用いてワイヤーケーブル１１を切断した後に切断完了スイッチが操作されるとスタッカークレーン２の作動が再開される。
【００３２】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、坩堝搬送手段及び単結晶棒搬送手段を、複数の育成装置１の並び方向に沿って移動自在で且つ坩堝支持用の坩堝支持部と単結晶棒支持用の単結晶棒支持部とを備えた移動体にて構成したが、坩堝搬送手段を、複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ坩堝支持用の坩堝支持部を備えて構成し、単結晶棒搬送用移動体を、複数の育成装置の並び方向に沿って移動自在で且つ単結晶棒支持用の単結晶棒支持部を備えた単結晶棒搬送用移動体にて構成してもよい。
具体的には、図９に示すように、搬入装置５から受け取った坩堝３を引き上げ装置１に対して供給する坩堝搬送手段１８としての坩堝用スタッカークレーン３１と、引上げ装置１から受け取った単結晶棒４を搬出装置６に対して供給する単結晶棒搬送手段としての単結晶棒用スタッカークレーン３２とを設け、坩堝用スタッカークレーン３１及び単結晶棒用スタッカークレーン３２の作動を制御する制御手段ｈを、坩堝用スタッカークレーン３１を走行経路Ｌ（坩堝搬送用移動経路Ｌ１）に沿って坩堝受取位置及び坩堝供給位置に走行させて搬入装置５から受け取った坩堝３を引上げ装置１に供給するべく坩堝搬送制御を実行し、かつ、単結晶棒用スタッカークレーン３２を走行経路Ｌ（単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２）に沿って単結晶棒受取位置と単結晶棒供給位置とに走行させて引上げ装置１から受け取った単結晶棒４を搬出装置６に供給するべく単結晶棒搬送制御を実行して、坩堝用スタッカークレーン３１及び単結晶棒用スタッカークレーン３２の作動を制御するように構成してもよい。
【００３３】
（２）  上記別実施の形態（１）では、坩堝搬送用移動経路Ｌ１を移動する坩堝搬送手段１８と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２を移動する単結晶棒搬送手段１９とを同じ走行経路Ｌを移動させて、坩堝搬送用移動経路Ｌ１を形成する移動用通路と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２を形成する移動用通路とを兼用するように構成したが、坩堝搬送用移動経路Ｌ１を形成する移動用通路と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２を形成する移動用通路とを兼用しないように構成してもよい。
つまり、坩堝搬送手段１８と単結晶棒搬送手段１９とのうちのいずれか一方を床Ｆ側を複数の育成装置１の並び方向に沿う直線状に移動させ、残る他方を天井側を複数の育成装置１の並び方向に沿う直線状に移動させるようにして、坩堝搬送用移動経路Ｌ１と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２とを上下方向にずらし、坩堝搬送用移動経路Ｌ１を形成する移動用通路と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２を形成する移動用通路とを兼用しないように構成してもよい。
また、坩堝搬送用移動体３１を育成装置１における走行経路Ｌの横幅方向の一方側を複数の育成装置１の並び方向に沿う直線状に移動させ、単結晶棒用移動体３２を育成装置１における走行方向Ｌの横幅方向の他方側を複数の育成装置１に沿って直線状に移動させるようにして、坩堝搬送用移動経路Ｌ１と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２とを横幅方向にずらし、坩堝搬送用移動経路Ｌ１を形成する移動用通路と単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２を形成する移動用通路とを兼用しないように構成してもよい。
【００３４】
（３）  上記実施の形態では、走行経路Ｌ（坩堝搬送用移動経路Ｌ１及び単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２）に対して、育成装置１を直線状に２列に並べて設けたが、走行経路Ｌ（坩堝搬送用移動経路Ｌ１及び単結晶棒搬送用移動経路Ｌ２）に対して、育成装置１を直線状に一列に並べて設けてもよい。
【００３５】
（４）  上記実施の形態では、育成装置１を水平方向に直線状に並べて設けたが、育成装置を鉛直方向に直線状に並べて設けてもよい。この場合、坩堝搬送手段１８及び単結晶棒搬送手段１９としては、床Ｆに立設された支柱に沿って昇降移動する昇降体にて構成することが考えられる。
【００３６】
（５）  上記実施の形態では、坩堝搬送手段１８及び単結晶棒搬送手段１９としては、スタッカークレーンや、床Ｆを走行する走行体に昇降台を昇降移動させるリンク機構を備えた物品搬送車や、天井を走行する走行体に昇降台を昇降案内する支柱を吊り下げ支持した天井搬送車にて構成してもよい。
また、上記実施の形態では、坩堝搬送手段１８及び単結晶棒搬送手段１９にフォーク装置２６等の移載装置を備え、フォーク装置２６等を用いて坩堝支持部２６ａにて支持された坩堝３を自己から育成装置１に移載し且つ単結晶棒４を単結晶棒支持部２７ａにて支持するように引上げ装置１から自己に移載するように構成したが、作業者や床側に設けた移載装置を用いて坩堝支持部２６ａにて支持された坩堝３を自己から育成装置１に移載し且つ単結晶棒４を単結晶棒支持部２７ａにて支持するように引上げ装置１から自己に移載するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】単結晶棒育成設備の平面図
【図２】単結晶棒育成設備の搬入側の平面図
【図３】単結晶棒育成設備の搬出側の平面図
【図４】単結晶棒育成設備の縦断側面図
【図５】単結晶棒育成設備の縦断正面図
【図６】単結晶棒育成設備の縦断正面図
【図７】引上げ装置の側面図
【図８】制御ブロック図
【図９】別実施の形態の単結晶棒育成設備の
【符号の説明】
【００３８】
１    育成装置
２    移動体
３    坩堝
４    単結晶棒
１８    坩堝搬送手段
１９    単結晶棒搬送手段
２６ａ  坩堝支持部
２７ａ  単結晶棒支持部
３１    坩堝搬送用移動体
３２    単結晶棒搬送用移動体
ｈ    制御手段
Ｌ１  坩堝搬送用移動経路
Ｌ２  単結晶棒搬送用移動経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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