(57)【要約】【課題】板状部材を厚み方向に沿った線を中心として回動させる場合にもタクトを短縮できる板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法を提供する。【解決手段】搬送装置１０は、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することによりガラス基板１１を浮上させる浮上部材２１を有する浮上手段２０と、浮上手段２０によりガラス基板１１が浮上部材２１から浮上した状態でガラス基板１１を保持するとともに搬送方向に沿って下流側に向かってガラス基板１１を搬送する搬送手段３０とを備える。搬送手段３０は、搬送方向に沿って移動可能であるとともにガラス基板１１の厚み方向に沿った線を中心として軸回転可能な吸着パッド３４を有する。パッド３４は、ガラス基板１１の平面中央部に吸着する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することにより板状部材を浮上させる浮上部材を有する浮上手段と、
前記浮上手段により前記板状部材が前記浮上部材から浮上した状態で前記板状部材を保持するとともに前記搬送方向に沿って下流側に向かって前記板状部材を搬送する搬送手段とを備える板状部材の搬送装置であって、
前記搬送手段が、前記搬送方向に沿って移動可能であるとともに前記板状部材の厚み方向に沿った線を中心として軸回転可能な吸着パッドを有し、
前記吸着パッドが前記板状部材の平面中央部に吸着することを特徴とする板状部材の搬送装置。
【請求項２】
前記搬送手段が前記搬送方向に沿って移動可能な回転軸を有し、
前記吸着パッドが前記回転軸に連結されていることを特徴とする請求項１に記載した板状部材の搬送装置。
【請求項３】
板状部材を水平に維持する維持手段と、
前記板状部材を保持するとともに搬送方向上流側から搬送方向下流側に搬送する搬送手段とを備える板状部材の搬送装置であって、
前記搬送手段が、前記搬送方向に沿って移動可能であるとともに前記板状部材に吸着可能な吸着パッドと、
前記吸着パッドに連動して前記板状部材を支持する支持部材とを有していることを特徴とする板状部材の搬送装置。
【請求項４】
前記支持手段が、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することにより前記板状部材を浮上させる浮上部材を有し、
前記支持部材が、前記浮上部材と同等機能を備える移動浮上部材であることを特徴とする請求項３に記載した板状部材の搬送装置。
【請求項５】
前記支持部材が、前記板状部材に対して接触するとともに回動可能な転動体を備えていることを特徴とする請求項３に記載した板状部材の搬送装置。
【請求項６】
前記支持部材が前記搬送方向に沿うとともに前記吸着パッドを挟んで搬送方向上流側および搬送方向下流側に設けられていることを特徴とする請求項３に記載した板状部材の搬送装置。
【請求項７】
上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射する浮上部材が搬送方向に沿って平行、かつ、前記搬送方向に対して直交する方向に沿って所定間隔で複数配列された浮上手段における搬送方向上流側に板状部材を投入し、
前記浮上手段により前記板状部材が前記浮上部材から浮上した状態で、前記各浮上部材間において吸着パッドを前記板状部材の下面における中央部に吸着させることにより保持し、
次いで、前記吸着パッドと、前記吸着パッドを挟んで搬送方向上流側および搬送方向下流側に設けられた移動浮上部材とを前記搬送方向上流側から前記搬送方向下流側に移動させることにより前記板状部材を搬送し、
前記搬送手段における搬送経路の途中において前記板状部材の表面平坦度向上手段を設けた領域により、前記板状部材の表面を平坦化させながら処理部により前記板状部材の表面に所定の処理を行い、
前記処理部を通過させた後に前記搬送手段の前記吸着パッドを回動させることにより前記板状部材を回動させることを特徴とする板状部材の搬送方法。
【請求項８】
前記吸着パッドを前記搬送方向下流側に移動させている間に、前記搬送方向上流側に次の板状部材を投入することを特徴とする請求項７に記載の板状部材の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばディスプレイに用いられるガラス基板等の板状部材を搬送するための板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ディスプレイに用いられるガラス基板等の板状部材を搬送するために、基板搬送装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１は、複数の空気孔が形成された浮上ブロックによりガラス基板を浮上させ、浮上させたガラス基板の搬送方向に沿った下流側の裏面を吸着パッドにより吸着することにより保持し、引っ張りながら搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００３−８６９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、通常、矩形状のガラス基板の周部に沿って枠状に露光処理を行う場合、まず互いに平行な一対の縁部に対して露光処理を行った後、厚み方向に沿った線を中心としてガラス基板を所定角度回動させ、残りの一対の縁部に対して露光処理を行うことが多い。すなわち、矩形状のガラス基板の周部に沿って枠状に露光処理を行う場合、ガラス基板を所定角度回動させる工程が必須となる。
【０００５】
しかしながら、前述した特許文献１では、ガラス基板の搬送方向に沿った下流側の裏面を吸着パッドにより吸着して支持するため、ガラス基板を所定角度回動させる工程の前に、一時的に吸着パッドをガラス基板から離反させ、ガラス基板を所定角度回動させる工程の後に再び吸着パッドをガラス基板に吸着させる必要があり、タクトを短縮できないという問題がある。
【０００６】
以上のような問題は、ディスプレイに用いられるガラス基板を搬送するにあたって露光処理を行う場合にのみ生ずるものではなく、板状部材を搬送するにあたって、搬送経路の途中において生ずるものである。
【０００７】
本発明は、前述した問題を解決するためになされたもので、板状部材を厚み方向に沿った線を中心として回動させる場合にタクトを短縮できる板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の板状部材の搬送装置は、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することにより板状部材を浮上させる浮上部材を有する浮上手段と、前記浮上手段により前記板状部材が前記浮上部材から浮上した状態で前記板状部材を保持するとともに前記搬送方向に沿って下流側に向かって前記板状部材を搬送する搬送手段とを備える板状部材の搬送装置であって、前記搬送手段が、前記搬送方向に沿って移動可能であるとともに前記板状部材の厚み方向に沿った線を中心として軸回転可能な吸着パッドを有し、前記吸着パッドが前記板状部材の平面中央部に吸着することを特徴とする。
【０００９】
ここで、平面中央部としては、板状部材が矩形状である場合、対角線の交点を中心として所定の半径で描いた円内を指す。
そして、所定の半径とは、厚み方向に沿った線を中心として板状部材を所定角度回動させる工程を行う回動工程領域において、板状部材の角部が他の構造物に干渉しない半径としている。
【００１０】
このような本発明においては、吸着パッドが板状部材の平面中央部に吸着するため、板状部材の搬送方向に沿った下流側の裏面を吸着パッドにより吸着する場合に比較して、厚み方向に沿った線を中心として板状部材を所定角度回動させる工程を行うにあたって、一時的に吸着パッドを板状部材から離反させ、再び吸着パッドを板状部材に吸着させる必要がなく、これによりタクトを短縮できることになる。
【００１１】
また、本発明の板状部材の搬送装置は、前記搬送手段が前記搬送方向に沿って移動可能な回転軸を有し、前記吸着パッドが前記回転軸に連結されていることを特徴とする。
【００１２】
このような本発明においては、搬送方向に沿って移動可能な回転軸に吸着パッドが連結されているため、搬送方向上流側に供給された板状部材に吸着パッドを吸着させれば、搬送方向下流側から板状部材を搬出するまで吸着パッドを離反、再吸着させる必要がなく、これによりタクトを短縮できることになる。
【００１３】
さらに、本発明の板状部材の搬送装置は、板状部材を水平に維持する維持手段と、前記板状部材を保持するとともに搬送方向上流側から搬送方向下流側に搬送する搬送手段とを備える板状部材の搬送装置であって、前記搬送手段が、前記搬送方向に沿って移動可能であるとともに前記板状部材に吸着可能な吸着パッドと、前記吸着パッドに連動して前記板状部材を支持する支持部材とを有していることを特徴とする。
【００１４】
このような本発明においては、吸着パッドを移動させるために維持手段を配設できない領域があっても、吸着パッドに連動する支持部材により、板状部材を確実に支持させた状態で搬送できることになる。
【００１５】
そして、本発明の板状部材の搬送装置は、前記支持手段が、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することにより前記板状部材を浮上させる浮上部材を有し、前記支持部材が、前記浮上部材と同等機能を備える移動浮上部材であることを特徴とする。
【００１６】
このような本発明においては、支持部材を移動浮上部材とすることで、板状部材を確実に浮上させた状態で搬送できることになる。
【００１７】
また、本発明の板状部材の搬送装置は、前記支持部材が、前記板状部材に対して接触するとともに回動可能な転動体を備えていることを特徴とする。
【００１８】
このような本発明においては、支持部材に回動可能な転動体を備えることで、板状部材に対して転動体を接触させ、板状部材を確実に支持させた状態で搬送できることになる。
【００１９】
さらに、本発明の板状部材の搬送装置は、前記支持部材が前記搬送方向に沿うとともに前記吸着パッドを挟んで搬送方向上流側および搬送方向下流側に設けられていることを特徴とする。
【００２０】
このような本発明においては、吸着パッドを挟んで支持部材が搬送方向上流側および搬送方向下流側に設けられているため、吸着パッドを板状部材の平面中央部に吸着させた場合にも、板状部材を均等に支持させることができることになる。
【００２１】
また、本発明の板状部材の搬送方法は、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射する浮上部材が搬送方向に沿って平行、かつ、前記搬送方向に対して直交する方向に沿って所定間隔で複数配列された浮上手段における搬送方向上流側に板状部材を投入し、前記浮上手段により前記板状部材が前記浮上部材から浮上した状態で、前記各浮上部材間において吸着パッドを前記板状部材の下面における中央部に吸着させることにより保持し、次いで、前記吸着パッドと、前記吸着パッドを挟んで搬送方向上流側および搬送方向下流側に設けられた移動浮上部材とを前記搬送方向上流側から前記搬送方向下流側に移動させることにより前記板状部材を搬送し、前記搬送手段における搬送経路の途中において前記板状部材の表面平坦度向上手段を設けた領域により、前記板状部材の表面を平坦化させながら処理部により前記板状部材の表面に所定の処理を行い、前記処理部を通過させた後に前記搬送手段の前記吸着パッドを回動させることにより前記板状部材を回動させることを特徴とする。
【００２２】
このような本発明においては、吸着パッドが板状部材の平面中央部に吸着するため、厚み方向に沿った線を中心として板状部材を所定角度回動させる工程を行うにあたって、一時的に吸着パッドを板状部材から離反させ、再び吸着パッドを板状部材に吸着させる工程を不要にできる。
【００２３】
さらに、本発明の板状部材の搬送方法は、前記吸着パッドを前記搬送方向下流側に移動させている間に、前記搬送方向上流側に次の板状部材を投入することを特徴とする。
【００２４】
このような本発明においては、吸着パッドを移動させている間に次の板状部材を投入することで、連続した作業が可能になり、工程タクトの短縮が図れることになる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は、吸着パッドが板状部材の平面中央部に吸着するため、厚み方向に沿った線を中心として板状部材を所定角度回動させる工程を行うにあたって、一時的に吸着パッドを板状部材から離反させ、再び吸着パッドを板状部材に吸着させる必要がなく、これによりタクトを短縮できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る第１実施形態の搬送装置を示す平面図
【図２】第１実施形態の搬送手段を示す要部斜視図
【図３】第１実施形態の処理部を示す側面図
【図４】板状部材の中央部の概念を示す模式平面図
【図５】（Ａ）は第１実施形態のモータに代えて変形例１の回転機構を示す斜視図、（Ｂ）は変形例２の回転機構を示す斜視図、（Ｃ）は変形例３の回転機構を示す斜視図
【図６】第１実施形態の移動浮上部材に代えて変形例４の移動浮上部材を示す斜視図
【図７】第１実施形態の移動浮上部材に代えて変形例５の支持部材を示す斜視図
【図８】本発明に係る第２実施形態の表面平坦度向上手段を示す平面図
【図９】第２実施形態の処理部を示す側面図
【図１０】第３実施形態の処理部を示す側面図
【図１１】第３実施形態の表面平坦度向上手段を示す斜視図
【図１２】第４実施形態の処理部を示す側面図
【図１３】第４実施形態の表面平坦度向上手段による気体の流れを説明する断面図
【図１４】第５実施形態の処理部を示す側面図
【図１５】第５実施形態の表面平坦度向上手段による気体の流れを説明する断面図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明に係る板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示す第１実施形態の搬送装置１０は、ディスプレイに用いられる板状部材であるガラス基板１１を図１中左方から右方に向かって搬送するためのものである。
この搬送装置１０は、ガラス基板１１を浮上させるための浮上手段２０と、ガラス基板１１を搬送するための搬送手段３０と、搬送手段３０における搬送経路の途中に設けられた処理部４０とを備える。
【００２８】
浮上手段２０は、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することによりガラス基板１１を浮上させる浮上部材２１を複数有する。
浮上部材２１は、略扁平角筒状とされ、上面に複数の噴射口が規則的な等間隔で設けられている。これらのような浮上部材２１は、搬送方向（図１中、左右方向）に沿って平行、かつ、搬送方向に対して直交する方向に沿って所定間隔で複数配列されている。
なお、このような浮上手段２０は、搬送手段３０と干渉しないように、中央部に空隙２２が設けられている。
【００２９】
図２にも示すように、搬送手段３０は、前述した空隙２２の直下に設けられたレール３１と、レール３１に沿って移動可能な案内部材３２と、案内部材３２に支持されているとともに、回転軸３６（図３参照）が垂直に配向されたモータ３３と、モータ３３の回転軸３６に連結された吸着パッド３４と、案内部材３２に支持された一対の移動浮上部材（支持部材）３５，３５とを有している。
【００３０】
移動浮上部材３５，３５は、前述した浮上部材と同様に略扁平角筒状とされ、上面に複数の噴射口が規則的な等間隔で設けられている。これらの移動浮上部材３５，３５は、搬送方向に沿うとともに吸着パッド３４を挟んで設けられ、吸着パッド３４に連動して搬送方向に沿って移動可能となっている。
図１に戻って、このような搬送手段３０は、吸着パッドがガラス基板１１の平面中央部に吸着可能に配置されている。
【００３１】
図３にも示すように、処理部４０は、ガラス基板１１の全表面（上向き全面）に露光処理を行うために、搬送方向に対して直交する方向に沿う門型の支持部材４１と、支持部材４１に沿って移動可能な露光装置４２とを備える。
このような処理部４０は、ガラス基板１１の表面平坦度が求められる処理を行うために、搬送方向に対して交差する方向に沿って噴射口の密集度を均一としている。
具体的には、処理部４０は、支持部材４１に沿って、すなわち搬送方向に対して交差する方向に沿って、空隙２２を避けて一対の横置浮上部材（表面平坦度向上手段）４３，４３が設けられている。
【００３２】
次に、以上のような搬送装置１０における搬送手順を説明する。
図１に示すように、あらかじめ浮上部材２１の噴射口から空気を噴射させた状態で、図１中、左上方から下方に向けて浮上手段２０における搬送方向上流側（図１中、左方）にガラス基板１１を投入し、浮上手段２０によりガラス基板１１が浮上部材２１から浮上した状態で、空隙２２に配置された吸着パッド３４をガラス基板１１の下面における中央部に吸着させることにより保持させる。
【００３３】
図４に示すように、吸着パッドをガラス基板の下面における中央部とは、対角線の交点を中心として所定の半径で描いた円Ａ内を指す。
図４における円Ｂは、吸着パッドをガラス基板の中心、すなわち、対角線の交点に吸着させて回動させた場合のガラス基板の角部の軌跡を示し、図４における円Ｃは、安全を見込んで、他の構造物にガラス基板が干渉しない半径である。
そして、図４における円Ａの半径は、ガラス基板の中心に対してずれた位置に吸着パッドが吸着しても、ガラス基板の角部の軌跡が図４における円Ｃから突出しない距離に設定されている（図４中、円Ｄ参照）。
【００３４】
再び図１に戻って、搬送手段３０の吸着パッド３４を回動させることによりガラス基板１１を所定角度回動させた後、吸着パッド３４と、吸着パッド３４を挟んで搬送方向の上流側および下流側に設けられた移動浮上部材３５，３５とを搬送方向に沿って上流側から下流側に移動させることによりガラス基板１１を搬送し、処理部４０の支持部材４１に沿って設けられた横置浮上部材４３，４３によりガラス基板１１の表面を平坦化させながら処理部４０により露光処理を行う。
【００３５】
その後、搬送手段３０の吸着パッド３４を回動させることによりガラス基板１１を回動させ、次工程に搬出する。
なお、搬送手段３０が搬送方向下流側に移動している間、搬送方向上流側に次のガラス基板１１を投入し、浮上手段２０によりガラス基板１１が浮上部材２１から浮上した状態で、搬送手段３０が初期位置（上流側）に復帰するまで待機させる。
【００３６】
以上のような第１実施形態によれば、ガラス基板１１の表面平坦度が求められる処理を行う処理部４０おいて、搬送方向に対して交差する方向に沿って噴射口の密集度を均一としたため、従来に比較して処理部４０においてガラス基板１１の表面が波打つ虞が少なく、露光処理等を高精度に行える。
特に、搬送方向に対して交差する方向に沿って横置浮上部材４３，４３を配設することにより噴射口の密集度を均一としたため、処理部４０においてガラス基板１１の表面が波打つ虞を確実に少なくできる。
【００３７】
また、吸着パッド３４がガラス基板１１の平面中央部に吸着するため、厚み方向に沿った線を中心としてガラス基板１１を所定角度回動させる工程を行うにあたって、一時的に吸着パッド３４をガラス基板１１から離反させ、再び吸着パッド３４をガラス基板１１に吸着させる必要がなく、これによりタクトを短縮できる。
【００３８】
特に、搬送方向に沿って移動可能なモータ３３の回転軸３６（図３参照）に吸着パッド３４が連結されているため、搬送方向上流側に供給されたガラス基板１１を搬送方向下流側から搬出するまで吸着パッド３４を離反、再吸着させる必要がなく、これにより更にタクトを短縮できる。
さらに、搬送手段３０が搬送方向下流側に移動している間、搬送方向上流側に次のガラス基板１１を投入することで、連続した作業が可能になり、タクトを一層短縮できる。
【００３９】
また、搬送手段３０が、吸着パッド３４に連動して搬送方向に沿って移動可能な移動浮上部材３５，３５を有しているため、搬送経路に空隙２２があっても、ガラス基板１１を確実に浮上させた状態で搬送できる。
特に、吸着パッド３４を挟んで移動浮上部材３５，３５が一対設けられているため、吸着パッド３４をガラス基板１１の平面中央部に吸着させ場合にも、ガラス基板１１を均等に浮上させることができる。
【００４０】
つぎに、第１実施形態の搬送装置１０に対する変形例１〜変形例５を図５〜図７に基づいて説明する。なお、変形例１〜変形例５において、搬送装置１０と同一・類似部材については同じ符号を付して説明を省略する。
（変形例１）
第１実施形態の搬送装置１０は、回転軸３６を回転させる手段としてモータ３３で回転軸３６を直接回転させるダイレクトドライブモータ構成について説明したが、図５（Ａ）に示す回転機構５０を用いることも可能である。
回転機構５０は、モータ５１およびギヤ５２を組み合わせたものである。回転機構５０によれば、モータ５１を回転することでギヤ５２が回転し、ギヤ５２が回転することで回転軸３６とともに吸着パッド３４が回転する。
変形例１の回転機構５０によれば、ダイレクトドライブモータを使用する必要がないため、搬送装置１０の製造コストを低くできるという効果が得られる。
【００４１】
（変形例２）
また、第１実施形態の搬送装置１０に用いたダイレクトドライブモータ構成に代えて、図５（Ｂ）に示す回転機構５５を用いることも可能である。
回転機構５５は、エア駆動源５６およびギヤ５７を組み合わせたものである。回転機構５５によれば、エア駆動源５６を駆動することでギヤ５７が回転し、ギヤ５７が回転することで回転軸３６とともに吸着パッド３４が回転する。
変形例２の回転機構５５によれば、ダイレクトドライブモータを使用する必要がないため、搬送装置１０の製造コストを低くできるという効果が得られる。
【００４２】
（変形例３）
さらに、第１実施形態の搬送装置１０に用いたダイレクトドライブモータ構成に代えて、図５（Ｃ）に示す回転機構６０を用いることも可能である。
回転機構６０は、モータ６１および無端状ベルト６２を組み合わせたものである。回転機構６０によれば、モータ６１を回転することで無端状ベルト６２が回転し、無端状ベルト６２が回転することで回転軸３６とともに吸着パッド３４が回転する。
変形例３の回転機構６０によれば、ダイレクトドライブモータを使用する必要がないため、搬送装置１０の製造コストを低くできるという効果が得られる。
【００４３】
（変形例４）
第１実施形態の搬送装置１０は、吸着パッド３４を挟んで搬送方向上流側および搬送方向下流側に一対の移動浮上部材３５，３５を設けたが、これに限らないで、例えば、図６に示すように、搬送方向上流側に移動浮上部材３５，３５を並列に複数本配置し、かつ、搬送方向下流側に移動浮上部材３５，３５を並列に複数本配置することも可能である。
変形例４によれば、搬送方向上流側および搬送方向下流側にそれぞれ移動浮上部材３５，３５が並列に複数本配置されているため、浮上部材２１間の隙間を広く確保でき、その結果、吸着パッド３４を大きくでき、ガラス基板１１に対する吸着力をあげることができる。
また、これらにより、より大きなガラス基板１１も回転させることが可能となる。
【００４４】
（変形例５）
また、第１実施形態の搬送装置１０の移動浮上部材３５，３５に代えて、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、支持部材６５を用いることも可能である。
支持部材６５は、ガラス基板１１に対して接触するとともに回動可能な複数の転動体６６と、複数の転動体６６を回転可能に支持するベース６７とを備えている。
変形例５によれば、浮上部材を用いないため、部材コストを低減できるとともに、エア消費量を抑えることができる。
【００４５】
つぎに、第２実施形態〜第５実施形態の板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法を図８〜図１５に基づいて説明する。なお、第２実施形態〜第５実施形態において、第１実施形態の搬送装置１０と同一・類似部材については同じ符号を付して説明を省略する。
【００４６】
（第２実施形態）
図８、図９に示す第２実施形態の搬送装置７０は、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３に代えて、表面平坦度向上手段７１を備えたものであり、その他の構成は第１実施形態の搬送装置１０と同じである。
表面平坦度向上手段７１は、処理部４０において、浮上部材２１が搬送方向に対して直交する方向に沿って所定間隔で連続的に複数配列され、浮上部材２１間に区間浮上部材７２が備えられている。
【００４７】
区間浮上部材７２は、図９に示すように、処理部４０の領域４０Ａのみに配置されるように長さ寸法がＬと短く形成されている。
この区間浮上部材７２は、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３と同様に、上面７２Ａの複数の噴射口から上方に向かって気体を噴射することによりガラス基板１１を浮上させる機能を備えている。
よって、浮上部材２１間に区間浮上部材７２を備えることで、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３と同様に、噴射口の密集度を均一として処理部４０においてガラス基板１１の表面が波打つ虞を確実に少なくできる。
【００４８】
これにより、第２実施形態の搬送装置７０によれば、第１実施形態と同様に、ガラス基板１１の表面平坦度が求められる処理を行う処理部４０おいて、ガラス基板１１の表面が波打つ虞が少なく、露光処理等を高精度に行える。
【００４９】
（第３実施形態）
図１０、図１１に示す第３実施形態の搬送装置８０は、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３に代えて、表面平坦度向上手段８１を備えたものであり、その他の構成は第１実施形態の搬送装置１０と同じである。
表面平坦度向上手段８１は、処理部４０において、浮上部材２１が搬送方向に対して直交する方向に沿って所定間隔で連続的に複数配列されるとともに、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射するサポートパッド８２を複数有し、各サポートパッド８２が各浮上部材２１間に敷設されている。
【００５０】
各サポートパッド８２は、処理部４０の領域４０Ａ（図８参照）のみに配置されている。
このサポートパッド８２は、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３と同様に、上面８２Ａの複数の噴射口から上方に向かって気体を噴射することによりガラス基板１１を浮上させる機能を備えている。
よって、浮上部材２１間にサポートパッド８２を複数敷設することで、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３と同様に、噴射口の密集度を均一として処理部４０においてガラス基板１１の表面が波打つ虞を確実に少なくできる。
【００５１】
これにより、第３実施形態の搬送装置８０によれば、第１実施形態と同様に、ガラス基板１１の表面平坦度が求められる処理を行う処理部４０おいて、ガラス基板１１の表面が波打つ虞が少なく、露光処理等を高精度に行える。
【００５２】
（第４実施形態）
図１２、図１３に示す第４実施形態の搬送装置９０は、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３に代えて、表面平坦度向上手段９１を備えたものであり、その他の構成は第１実施形態の搬送装置１０と同じである。
表面平坦度向上手段９１は、浮上手段２０における処理部４０に対応する領域４０Ａ（図８参照）において、上面９２Ａに、気体を上方に噴射する噴射口と、外気を吸引する吸引口とをそれぞれ備える噴射吸引部材９２を有している。
噴射吸引部材９２に外気を吸引する吸引口を備えることで、ガラス基板１１の下方の気体を適正に保ち、領域４０Ａにおいてガラス基板１１の表面が波打つ虞を確実に少なくできる。
【００５３】
これにより、第４実施形態の搬送装置９０によれば、第１実施形態と同様に、ガラス基板１１の表面平坦度が求められる処理を行う処理部４０おいて、ガラス基板１１の表面が波打つ虞が少なく、露光処理等を高精度に行える。
【００５４】
（第５実施形態）
図１４、図１５に示す第５実施形態の搬送装置１００は、第１実施形態の横置浮上部材４３，４３に代えて、表面平坦度向上手段１０１を備えたものであり、その他の構成は第１実施形態の搬送装置１０と同じである。
表面平坦度向上手段１０１は、浮上手段２０における処理部４０に対応する領域４０Ａ（図８参照）において、浮上部材２１が、搬送方向に対して直交する方向に沿って所定間隔で複数配列されているとともに、各浮上部材２１間の隙間を覆う被覆部材１０２を有している。
各浮上部材２１間の隙間を覆う被覆部材１０２を備えることで、ガラス基板１１の下方の気体を適正に保ち、領域４０Ａにおいてガラス基板１１の表面が波打つ虞を確実に少なくできる。
【００５５】
これにより、第４実施形態の搬送装置１０１によれば、第１実施形態と同様に、ガラス基板１１の表面平坦度が求められる処理を行う処理部４０おいて、ガラス基板１１の表面が波打つ虞が少なく、露光処理等を高精度に行える。
【００５６】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものでなく、前述した実施形態において例示した板状部材，浮上部材，浮上手段，搬送手段，処理部，吸着パッド，モータ，移動浮上部材，回転機構，支持部材，表面平坦度向上手段等の適宜な変形，改良等が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１０，７０，８０，９０，１００  搬送装置
１１  ガラス基板（板状部材）
２０  浮上手段
２１  浮上部材
３０  搬送手段
４０  処理部
３３  モータ
３４  吸着パッド
３５  移動浮上部材（支持部材）
４３  横置浮上部材（表面平坦度向上手段）
６５  支持部材
７１，８１，９１，１０１  表面平坦度向上手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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