【手続補正書】
【提出日】平成17年9月13日(2005.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料を保持する試料ステージと、
前記試料の表面に沿って走査されるカンチレバーと、
前記カンチレバーを保持するカンチレバーホルダと、
前記カンチレバーにレーザ光を照射するレーザ照射手段と、
前記カンチレバーに照射されたレーザ光を検出する光検出器と、
前記カンチレバーホルダを着脱自在に保持する着脱部材と、
前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させる照射停止手段と、
を備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】  前記着脱部材は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されるときに前記カンチレバーホルダを一方向に誘導するガイドをさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】  前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段と、前記電力供給手段と前記レーザ照射手段とを含む照射回路とをさらに有し、
前記照射停止手段は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに前記照射回路を遮断して前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】  前記照射停止手段は、電気的に接続されているか否かに応じて前記照射回路が開閉する２つの開閉電極と、導体で形成された接続部材とを含む遮断機構をさらに有し、
前記遮断機構は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに前記接続部材が前記２つの開閉電極から離間して前記照射回路を遮断することを特徴とする請求項３に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】  前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段をさらに備えており、
前記照射停止手段は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに信号を発生する検知手段と、
前記検知手段からの信号を受けたときに前記電力供給手段による電力の供給を停止させる処理部と、
を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】  本体と、
前記本体に取り付けられ、試料を保持する試料ステージと、
前記試料の表面に沿って走査されるカンチレバーと、
前記カンチレバーを保持するカンチレバーホルダと、
前記カンチレバーにレーザ光を照射するレーザ照射手段と、
前記カンチレバーに照射されたレーザ光を検出する光検出器と、
少なくとも１つの対物レンズと、
前記本体に回動可能に取り付けられ、前記カンチレバーホルダと前記対物レンズとを保持し、これらの内の１つを選択的に前記試料ステージに対向させるレボルバと、
前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記レボルバの回動により前記試料ステージから遠ざけられたときに前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させる照射停止手段と、
を備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項７】  前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段と、前記電力供給手段と前記レーザ照射手段と含む照射回路とをさらに有し、
前記照射停止手段は、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記レボルバの回動により前記試料ステージから遠ざけられたときに前記照射回路を遮断して前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させることを特徴とする請求項６に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項８】  前記照射停止手段は、前記本体に固定された本体側電極と、前記レボルバに固定されたレボルバ側電極とを含む遮断機構をさらに有し、
前記遮断機構は、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記試料ステージから遠ざけられたときに前記レボルバ側電極が前記本体側電極から離れて前記照射回路を遮断することを特徴とする請求項７に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項９】  前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段をさらに備えており、
前記照射停止手段は、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記試料ステージから遠ざけられたときに信号を発生する検知手段と、
前記検知手段からの信号を受けたときに前記電力供給手段による電力の供給を停止させる処理部と、
を有していることを特徴とする請求項６に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係わる走査型プローブ顕微鏡は、試料を保持する試料ステージと、前記試料の表面に沿って走査されるカンチレバーと、前記カンチレバーを保持するカンチレバーホルダと、前記カンチレバーにレーザ光を照射するレーザ照射手段と、前記カンチレバーに照射されたレーザ光を検出する光検出器と、前記カンチレバーホルダを着脱自在に保持する着脱部材と、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させる照射停止手段とを備えている。
本発明の請求項２に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記着脱部材は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されるときに前記カンチレバーホルダを一方向に誘導するガイドをさらに備えている。
本発明の請求項３に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段と、前記電力供給手段と前記レーザ照射手段とを含む照射回路とをさらに有し、前記照射停止手段は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに前記照射回路を遮断して前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させるよう構成されている。
本発明の請求項４に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記照射停止手段は、電気的に接続されているか否かに応じて前記照射回路が開閉する２つの開閉電極と、導体で形成された接続部材とを含む遮断機構をさらに有し、前記遮断機構は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに前記接続部材が前記２つの開閉電極から離間して前記照射回路を遮断するよう構成されている。
本発明の請求項５に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段をさらに備えており、前記照射停止手段は、前記カンチレバーホルダが前記着脱部材から取り外されたときに信号を発生する検知手段と、前記検知手段からの信号を受けたときに前記電力供給手段による電力の供給を停止させる処理部とを有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の請求項６に係わる走査型プローブ顕微鏡は、本体と、前記本体に取り付けられ、試料を保持する試料ステージと、前記試料の表面に沿って走査されるカンチレバーと、前記カンチレバーを保持するカンチレバーホルダと、前記カンチレバーにレーザ光を照射するレーザ照射手段と、前記カンチレバーに照射されたレーザ光を検出する光検出器と、少なくとも１つの対物レンズと、前記本体に回動可能に取り付けられ、前記カンチレバーホルダと前記対物レンズとを保持し、これらの内の１つを選択的に前記試料ステージに対向させるレボルバと、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記レボルバの回動により前記試料ステージから遠ざけられたときに前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させる照射停止手段とを備えている。
本発明の請求項７に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段と、前記電力供給手段と前記レーザ照射手段と含む照射回路とをさらに有し、前記照射停止手段は、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記レボルバの回動により前記試料ステージから遠ざけられたときに前記照射回路を遮断して前記レーザ照射手段によるレーザ光の照射を停止させるよう構成されている。
本発明の請求項８に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記照射停止手段は、前記本体に固定された本体側電極と、前記レボルバに固定されたレボルバ側電極とを含む遮断機構をさらに有し、前記遮断機構は、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記試料ステージから遠ざけられたときに前記レボルバ側電極が前記本体側電極から離れて前記照射回路を遮断するよう構成されている。
本発明の請求項９に係わる走査型プローブ顕微鏡は、前記レーザ照射手段に電力を供給する電力供給手段をさらに備えており、前記照射停止手段は、前記試料ステージに対向している前記カンチレバーホルダが前記試料ステージから遠ざけられたときに信号を発生する検知手段と、前記検知手段からの信号を受けたときに前記電力供給手段による電力の供給を停止させる処理部とを有している。