【手続補正書】
【提出日】平成17年5月9日(2005.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】搬送システムの搬送位置合わせ方法及び処理システム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置された被搬送物の中心位置の位置ずれ量を検出する位置合わせ機構と、前記被搬送物を搬送時に中継するための第１、第２中継部と、前記被搬送物を保持するピックを少なくとも１つ有し、且つ前記位置合わせ機構及び前記第１、第２中継部にアクセス可能な第１搬送機構と、前記被搬送物を保持するピックを少なくとも１つ有し、且つ前記第１、第２中継部にアクセス可能な第２搬送機構とを有する搬送システムの搬送位置合わせ方法において、
前記各搬送機構の各ピックの、前記被搬送物を搬送するときの搬送位置座標を粗い精度で仮に決定する工程と、
前記位置合わせ機構に対する前記第１搬送機構の各ピックの搬送位置座標を確定する第１確定工程と、
前記位置合わせ機構以外に対する前記各搬送機構の各ピックの搬送位置座標の内の一部の搬送位置座標を確定する第２確定工程と、
位置合わせ用搬送物を、仮に決定されている搬送位置座標のポイントを１つ通る搬送経路を経由して前記位置合わせ機構へ搬送して、その位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基づいて前記仮に決定されている搬送位置座標を確定する第３確定工程と、
前記仮に決定されている搬送位置座標が全て確定されるまで前記第３確定工程を繰り返して行う第４確定工程と、
を有することを特徴とする搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項２】
前記仮に決定されている搬送位置座標のポイントを１つ通る搬送経路は、前記第１搬送機構のいずれかのピックにより前記位置合わせ用被搬送物を前記位置合わせ機構から前記第１中継部に搬送する経路と、前記第２搬送機構のいずれかのピックにより前記位置合わせ用被搬送物を前記第１中継部から前記第２中継部に搬送する経路と、前記第１搬送機構のいずれかのピックにより前記位置合わせ用被搬送物を前記第２中継部から前記位置合わせ機構に搬送する経路とからなることを特徴とする請求項１に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項３】
前記仮に決定されている搬送位置座標のポイントを１つ通る搬送経路においては、この搬送経路中の１つの搬送位置座標のみが仮に決定されており、他の搬送位置座標は全て確定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項４】
前記搬送システムは前記第２搬送機構がアクセス可能な位置に配された前記被搬送物を処理するための処理部を更に具備し、且つ前記第２搬送機構は２つのピックを有し、
少なくとも一方の中継部に対する第２搬送機構の２つのピックの搬送位置座標及び当該中継部に対する第１搬送機構の少なくとも一方のピックの搬送位置座標が確定した後に、前記位置合わせ用被搬送物を前記第２搬送機構の第１ピックにより前記処理部に対する前記第１ピックの仮に決定された搬送位置座標に搬送する工程と、
この位置合わせ用被搬送物を前記第２搬送機構の第２ピックにより前記処理部に対する前記第２ピックの仮に決定された搬送位置座標から搬出し、更に前記位置合わせ機構に搬送する工程と、
前記位置合わせ機構により前記位置合わせ用被搬送物の位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基いて前記処理部に対する前記第２搬送機構のいずれか一方または両方のピックの搬送位置座標を補正し、且つ前記両ピックの搬送位置座標を確定する工程と、
を有することを特徴とする請求項１乃至３に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項５】
前記搬送システムは前記第１搬送機構がアクセス可能な位置に配された前記被搬送物を収納するための収納部を更に具備し、
前記収納部に収納された前記位置合せ用被搬送物に対する前記第１搬送機構の各ピックの搬送位置座標を確定する工程を更に有することを特徴とする請求項４に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項６】
載置された被搬送物の中心位置の位置ずれ量を検出する位置合わせ機構と、前記被搬送物を搬送時に載置するための載置部と、前記被搬送物を保持するピックを２つ有する搬送機構とを有する搬送システムの搬送位置合わせ方法において、
前記搬送機構の各ピックの、前記被搬送物を搬送するときの搬送位置座標を粗い精度で仮に決定する工程と、
前記位置合わせ機構に対する前記搬送機構の各ピックの搬送位置座標を確定する工程と、
前記載置部の正規位置に位置合わせ用被搬送物を載置し、この位置合わせ用被搬送物を前記搬送機構の第１ピックにより前記位置合わせ機構に搬送する工程と、
前記位置合わせ機構により前記位置合わせ用被搬送物の位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基いて前記載置部に対する前記搬送機構の第１ピックの搬送位置座標を確定する工程と、
前記位置合わせ機構に載置されている前記位置合わせ用被搬送物を前記搬送機構のいずれか一方のピックにより前記載置部に搬送する工程と、
前記位置合わせ用被搬送物を前記搬送機構の他方のピックにより前記位置合わせ機構に搬送する工程と、
前記位置合わせ機構により前記位置合わせ用被搬送物の位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基いて前記載置部に対する前記搬送機構の第２ピックの搬送位置座標を確定する工程と、
を有することを特徴とする搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項７】
前記第１、第２ピックの搬送位置座標を確定する工程は、前記位置ずれ量を相殺するように前記載置部に対する各ピックの仮に決定された搬送位置座標を補正することにより行なわれることを特徴とする請求項６に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項８】
被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理装置と、
前記処理装置に共通に接続される共通搬送室と、
載置された前記被処理体の中心位置の位置ずれ量を検出する位置合わせ機構と、
前記被処理体を搬送時に中継するために前記共通搬送室に接続される第１、第２中継部と、
前記被処理体を保持するピックを少なくとも１つ有し、且つ前記位置合わせ機構及び前記第１、第２中継部にアクセス可能な第１搬送機構と、
前記共通搬送室内に設けられて、前記被処理体を保持するピックを少なくとも１つ有し、且つ前記第１、第２中継部と前記各処理装置とにアクセス可能な第２搬送機構と、
処理システムの動作の制御を行なう制御部と、
を有する処理システムにおいて、
前記制御部は、前記各搬送機構の各ピックの、前記被処理体を搬送するときの搬送位置座標を粗い精度で仮に決定する工程と、前記位置合わせ機構に対する前記第１搬送機構の各ピックの搬送位置座標を確定する第１確定工程と、前記位置合わせ機構以外に対する前記各搬送機構の各ピックの搬送位置座標の内の一部の搬送位置座標を確定する第２確定工程と、位置合わせ用搬送物を、仮に決定されている搬送位置座標のポイントを１つ通る搬送経路を経由して前記位置合わせ機構へ搬送して、その位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基づいて前記仮に決定されている搬送位置座標を確定する第３確定工程と、前記仮に決定されている搬送位置座標が全て確定されるまで前記第３確定工程を繰り返して行う第４確定工程とを行なうように制御することを特徴とする処理システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体を搬送するための搬送システムの位置合わせ方法及び処理システムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、位置合わせ精度の粗い、いわゆるラフティーチングで仮に決定された精度の粗い搬送位置座標を、オリエンタのような位置合わせ機構を用いて１つずつ補正して精度の高い搬送位置座標として確定することにより、オペレータが位置精度良くマニュアルで調整する箇所を少なく済ますことができ、ティーチング操作を迅速に行い、且つウエハが通過する搬送径路に依存することなくサセプタ上の同一位置に高い精度で載置をすることができる搬送システムの位置合わせ方法及び処理システムを提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この場合、例えば請求項７に規定するように、前記第１、第２ピックの搬送位置座標を確定する工程は、前記位置ずれ量を相殺するように前記載置部に対する各ピックの仮に決定された搬送位置座標を補正することにより行なわれる。
請求項８に規定する発明は、被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理装置と、前記処理装置に共通に接続される共通搬送室と、載置された前記被処理体の中心位置の位置ずれ量を検出する位置合わせ機構と、前記被処理体を搬送時に中継するために前記共通搬送室に接続される第１、第２中継部と、前記被処理体を保持するピックを少なくとも１つ有し、且つ前記位置合わせ機構及び前記第１、第２中継部にアクセス可能な第１搬送機構と、前記共通搬送室内に設けられて、前記被処理体を保持するピックを少なくとも１つ有し、且つ前記第１、第２中継部と前記各処理装置とにアクセス可能な第２搬送機構と、処理システムの動作の制御を行なう制御部と、を有する処理システムにおいて、前記制御部は、前記各搬送機構の各ピックの、前記被処理体を搬送するときの搬送位置座標を粗い精度で仮に決定する工程と、前記位置合わせ機構に対する前記第１搬送機構の各ピックの搬送位置座標を確定する第１確定工程と、前記位置合わせ機構以外に対する前記各搬送機構の各ピックの搬送位置座標の内の一部の搬送位置座標を確定する第２確定工程と、位置合わせ用搬送物を、仮に決定されている搬送位置座標のポイントを１つ通る搬送経路を経由して前記位置合わせ機構へ搬送して、その位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基づいて前記仮に決定されている搬送位置座標を確定する第３確定工程と、前記仮に決定されている搬送位置座標が全て確定されるまで前記第３確定工程を繰り返して行う第４確定工程とを行なうように制御することを特徴とする処理システムである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る搬送システムの搬送位置合わせ方法及び処理システムの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１は本発明方法を実施する搬送システムを含む処理システムの一例を示す概略構成図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の搬送システムの搬送位置合わせ方法及び処理システムによれば次のように優れた作用効果を発揮することができる。
被搬送物の搬送すべき位置として粗い精度で決定されていた搬送位置座標を、位置合わせ機構を用いてその位置ずれ量を求めて補正することにより搬送位置座標を１つずつ確定するようにしたので、位置決め精度の高いティーチング操作を迅速に行うことができる。また、オペレータにとって負担の大きいマニュアルによる位置合わせ操作を行う箇所が少なくて済むので、その分、オペレータの負担を大幅に低減することができる。