【手続補正書】
【提出日】平成17年1月28日(2005.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の光源と、
このそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、
この偏向手段と前記第１または第２の光源の間に配置され、光源からの光を前記第１の方向と直交する第２の方向の任意の位置に変位させる光路変位手段と、
を有するマルチビーム露光装置において、
前記光路変位手段は、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記光路変位手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項２】
第１および第２の光源と、
この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、
この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、
この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源からの光を、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、
前記偏向手段と前記第１のレンズ群と間に配置され、前記それぞれの光源からの光を前記第２の方向の任意の位置に変位させる光路変位手段と、
を有するマルチビーム露光装置において、
前記光路変位手段は、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記光路変位手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項３】
第１および第２の光源と、
この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、
この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、
この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源からの光を、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、
前記偏向手段と前記第１のレンズ群と間に配置され、前記それぞれの光源からの光を前記第２の方向に、所定間隔で配列させる光路変位手段と、
を有するマルチビーム露光装置において、
前記光路変位手段は、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記光路変位手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項４】
前記支持手段の前記反射手段の反射面を含む面と平行な面は、前記支持手段が有する複数の壁面のうちの最も前記反射手段の反射面に近接した面であることを特徴とする請求項１ないし３のいづれかに記載のマルチビーム露光装置。
【請求項５】
前記固定保持手段は、前記支持手段が有する複数の壁面のうちの３面を用いて前記反射手段を位置決めすることを特徴とする請求項１ないし３のいづれかに記載のマルチビーム露光装置。
【請求項６】
ΣＮｉ（Ｎ１＋Ｎ２＋Ｎ３＋，・・・＋ＮＭで、Ｍは１以上の整数でＭが１のときにΣＮｉ＝Ｎｉ、かつＮｉのうちの少なくとも１つは２以上の整数の）個すなわちＭ組からなりその１組は少なくとも２本以上の光を出射するＮ１＋Ｎ２＋Ｎ３＋，・・・＋ＮＭ個の光源と、
前記ΣＮｉ個のそれぞれの光源から出射されたそれぞれの光を収束光あるいは平行光に変換するΣＮｉ個の第１レンズと、前記ΣＮｉ個の第１レンズを通ったΣＮｉ本の光のそれぞれを少なくとも前記それぞれの光が進む方向を含む所定の面内と直交する第１の方向に収束させるために前記第１の方向に関してのみ正のパワーが与えられたＭ組の第２レンズと、を含む第一の光学手段と、
前記それぞれの光が進む面内に平行で、前記第１の方向に対して直交する第２の方向に回転可能に形成された反射面を有し、前記それぞれの光を、前記第２の方向に連続して反射する偏向装置と、
この偏向装置により連続して反射されたそれぞれの光を前記偏向装置の反射面が回転される速度の関数として所定位置に等速で連続して結像させるとともに、前記偏向装置の反射面と前記それぞれの光が進む面のなす角が非直角である場合に前記それぞれの光が前記所定位置に結像される際に生じる前記第１の方向への変位を補正する第３レンズを含む、第二の光学手段と、
前記Ｍ組の光のうちの少なくとも２本の光を出射する光源のうちの一方からの光を所定方向に反射する反射装置と、この反射装置を前記第１の方向および前記第２の方向の少なくとも一方に変位可能に支持する支持部材と、この支持部材を前記第１の方向に平行に延出された面を基準面として保持する保持部材と、を含む光路変更機構と、
を有することを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項７】
前記光路変更機構の前記支持部材の前記反射装置の反射面を含む面と平行な面は、前記支持部材が有する複数の壁面のうちの最も前記反射装置の反射面に近接した面であることを特徴とする請求項６記載のマルチビーム露光装置。
【請求項８】
前記光路変更手段の前記保持部材は、前記支持部材が有する複数の壁面のうちの３面を用いて前記反射装置を位置決めすることを特徴とする請求項６記載のマルチビーム露光装置。
【請求項９】
第１および第２の光源と、
この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、
この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ連続して反射することにより偏向走査する偏向手段と、
この偏向手段により偏向走査された前記それぞれの光源からの光を、前記偏向装置の反射面が回転される速度の関数として所定位置に等速で連続して結像させるとともに、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、
前記偏向手段と前記第１のレンズ群と間に配置され、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記反射手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定された前記それぞれの光源からの光を前記第２の方向に、所定間隔で配列させる光路変位手段と、
を有するマルチビーム露光装置。
【請求項１０】
第１および第２の光源と、
このそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、
前記各光源を保持する保持手段と、
この保持手段を、第１の面と第１の面に直交する方向に延出された２つの突起により形成される第２の面の双方により位置決めする位置決め手段と、
を、有することを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項１１】
第１および第２の光源と、
この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、
この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、
この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源からの光を、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、
前記各光源と各光源からの光を所定の断面形状に成形する前記レンズを一体として保持する保持手段と、
を有するマルチビーム露光装置において、
前記保持手段は、２つの突起により形成される面により位置決めする位置決め手段に向けて所定方向から与えられる固定力により、固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項１２】
第１および第２の光源と、
この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、
この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、
この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源からの光を、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、
前記各光源と各光源からの光を所定の断面形状に成形する前記レンズを一体として保持する保持手段と、
を有するマルチビーム露光装置において、
前記保持手段は、２つの突起により形成される面により位置決めする位置決め手段に向けて、各面の間の方向からの固定力により、固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置。
【請求項１３】
第１および第２の光源と、
この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、
この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ連続して反射することにより偏向走査する偏向手段と、
この偏向手段により偏向走査された前記それぞれの光源からの光を、前記偏向装置の反射面が回転される速度の関数として所定位置に等速で連続して結像させるとともに、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、
前記各光源を保持する保持手段と、
前記偏向手段と前記第１のレンズ群と間に配置され、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記反射手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定された前記それぞれの光源からの光を前記第２の方向に、所定間隔で配列させる光路変位手段と、
前記保持手段を、２つの突起により形成される面により位置決めする位置決め手段と、
を有するマルチビーム露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記した問題点に基づきなされたもので、第１および第２の光源と、このそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、この偏向手段と前記第１または第２の光源の間に配置され、光源からの光を前記第１の方向と直交する第２の方向の任意の位置に変位させる光路変位手段と、を有するマルチビーム露光装置において、前記光路変位手段は、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記光路変位手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置を提供するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらにまた、この発明は、第１および第２の光源と、この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ連続して反射することにより偏向走査する偏向手段と、この偏向手段により偏向走査された前記それぞれの光源からの光を、前記偏向装置の反射面が回転される速度の関数として所定位置に等速で連続して結像させるとともに、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、前記偏向手段と前記第１のレンズ群と間に配置され、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記反射手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定された前記それぞれの光源からの光を前記第２の方向に、所定間隔で配列させる光路変位手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらにまた、この発明は、第１および第２の光源と、この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源からの光を、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、前記各光源と各光源からの光を所定の断面形状に成形する前記レンズを一体として保持する保持手段と、を有するマルチビーム露光装置において、前記保持手段は、２つの突起により形成される面により位置決めする位置決め手段に向けて所定方向から与えられる固定力により、固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置を提供するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
またさらに、この発明は、第１および第２の光源と、この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源からの光を、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、前記各光源と各光源からの光を所定の断面形状に成形する前記レンズを一体として保持する保持手段と、を有するマルチビーム露光装置において、前記保持手段は、２つの突起により形成される面により位置決めする位置決め手段に向けて、各面の間の方向からの固定力により、固定されることを特徴とするマルチビーム露光装置を提供するものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらにまた、この発明は、第１および第２の光源と、この第１および第２の光源を出射された光のそれぞれを所定の断面形状および大きさに整形する第１のレンズ群と、この第１のレンズ群を出射されたそれぞれの光源からの光を第１の方向へ連続して反射することにより偏向走査する偏向手段と、この偏向手段により偏向走査された前記それぞれの光源からの光を、前記偏向装置の反射面が回転される速度の関数として所定位置に等速で連続して結像させるとともに、前記第１の方向と直交する第２の方向に、所定間隔で位置させた状態で所定位置に収束させる第２のレンズ群と、前記各光源を保持する保持手段と、前記偏向手段と前記第１のレンズ群と間に配置され、前記第２の方向と直交する軸線を回動中心として回動可能な反射手段を含み、その反射手段は、反射手段の反射面を含む面と平行な面を有する支持手段により支持され、その支持手段は、前記反射手段を固定保持する固定保持手段の所定位置に設けられた支持手段位置決め部材に押しつけられて固定された前記それぞれの光源からの光を前記第２の方向に、所定間隔で配列させる光路変位手段と、前記保持手段を、２つの突起により形成される面により位置決めする位置決め手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供するものである。