【手続補正書】
【提出日】平成17年3月24日(2005.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に試料溶液を流す流路を有する透明基板を備え、前記試料溶液に熱レンズを生成するための励起光が照射されるマイクロ化学システム用チップにおいて、
前記流路の底面は、前記励起光の光軸方向と垂直な平面部分を有することを特徴とするマイクロ化学システム用チップ。
【請求項２】
前記流路の深さは９０μｍ以上であることを特徴とする請求項１記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項３】
前記流路の深さは１５０μｍ以上であることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項４】
前記流路は、流路断面のアスペクト比が０．７以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項５】
前記アスペクト比は１．１以上であることを特徴とする請求項４記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項６】
前記透明基板は、前記流路を構成するスリットを有し、当該透明基板は、２つの他の透明基板で挟着されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項７】
前記スリットはサンドブラストによる加工で形成されることを特徴とする請求項６記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項８】
前記透明基板は、多段に重ねられた複数の透明基板から成ることを特徴とする請求項６又は７記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項９】
前記マイクロ化学システム用チップは、前記試料溶液が注入される注入部と、前記励起光及び検出光が照射される照射部と、前記試料溶液が排出される排出部とを有し、
前記流路は、複数の流路から成り、
前記複数の流路間のピッチが前記注入部より前記照射部の方が狭くなるように形成されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のマイクロ化学システム用チップを用いて光熱変換分光分析法を実行することを特徴とするマイクロ化学システム。
【請求項１１】
前記励起光は、前記試料溶液へ対物レンズを介して照射され、
前記対物レンズの開口角（ＮＡ値）は０．１〜０．３５であることを特徴とする請求項１０記載のマイクロ化学システム。
【請求項１２】
前記対物レンズは屈折率分布型のロッドレンズであることを特徴とする請求項１１記載のマイクロ化学システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
一方、ガラスの光線透過率は一般によいため上記問題は生じないが、エキシマレーザによる加工でガラス部材に流路を形成すると加工速度が非常に遅く、さらに加工装置が高価であるという問題がある。また、ウェットエッチング加工でガラス部材に流路を形成すると、流路の底が曲面となるので、集光照射される光の焦点位置や、流路の幅方向に対する集光照射される光の位置がわずかにずれるだけでＴＬＭ出力が大きく変動し、再現性のある安定した測定を行うのは困難であるという問題がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の目的は、励起光の照射位置が流路の幅方向に関してずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを防止することができ、測定を高精度で且つ安定的に行うことができ、また深い溝の場合でも溝幅を小さくし、必要な試料を少なくすることができるマイクロ化学システム用チップ及びマイクロ化学システムを提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載のマイクロ化学システム用チップは、内部に試料溶液を流す流路を有する透明基板を備え、前記試料溶液に熱レンズを生成するための励起光が照射されるマイクロ化学システム用チップにおいて、前記流路の底面は、前記励起光の光軸方向と垂直な平面部分を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項１記載のマイクロ化学システム用チップによれば、内部に試料溶液を流す流路の底面は、励起光の光軸方向と垂直な平面部分を有するので、励起光の照射位置が流路の幅方向に関してずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを防止することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項２記載のマイクロ化学システム用チップは、請求項１記載のマイクロ化学システム用チップにおいて、前記流路の深さは９０μｍ以上であることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項２記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路の深さは９０μｍ以上であるので、励起光の焦点位置が流路の深さ方向に関してわずかにずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを防止することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３記載のマイクロ化学システム用チップは、請求項１又は２記載のマイクロ化学システム用チップにおいて、前記流路の深さは１５０μｍ以上であることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項３記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路の深さは１５０μｍ以上であるので、励起光の照射位置が流路の幅方向に関してずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを防止することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項４記載のマイクロ化学システム用チップは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のマイクロ化学システム用チップにおいて、前記流路は、流路断面のアスペクト比が０．７以上であることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項４記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路は、流路断面のアスペクト比が０．７以上であるので、測定を高精度で且つ安定的に行うことができ、また深い溝の場合でも溝幅を小さくし、必要な試料を少なくすることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項５記載のマイクロ化学システム用チップは、請求項４記載のマイクロ化学システム用チップにおいて、前記アスペクト比は１．１以上であることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項５記載のマイクロ化学システム用チップによれば、上記アスペクト比は１．１以上であるので、測定をより高精度で且つ安定的に行うことができ、また深い溝の場合でも溝幅を小さくし、必要な試料を少なくすることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項８記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路が形成された透明基板は、多段に重ねられた複数の透明基板から成るので、底が平らで高アスペクト比の流路を形成することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
【発明の実施の形態】
本発明者は、内部に試料溶液を流す流路を有する透明基板を備え、試料溶液に熱レンズを生成するための励起光が照射されるマイクロ化学システム用チップにおいて、内部に試料溶液を流す流路の底面は、励起光の光軸方向と垂直な平面部分を有し、且つ流路の深さは９０μｍ以上、好ましくは１５０μｍ以上であると、励起光の焦点位置が流路の深さ方向に関してわずかにずれたとしてもＴＬＭ出力が大きく変動するのを防止することができることを見出した。さらに、流路は、流路断面のアスペクト比が０．７以上、好ましくは１．１以上であると、測定を高精度で且つ安定的に行うことができ、また深い溝の場合でも溝幅を小さくし、必要な試料を少なくすることができることを見出した。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１記載のマイクロ化学システム用チップによれば、内部に試料溶液を流す流路の底面は、励起光の光軸方向と垂直な平面部分を有するので、励起光の照射位置が流路の幅方向に関してずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを防止することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
請求項２記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路の深さは９０μｍ以上であるので、励起光の焦点位置が流路の深さ方向に関してわずかにずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを防止することができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
請求項３記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路の深さは１５０μｍ以上であるので、励起光の焦点位置が流路の深さ方向に関してわずかにずれたとしてもＴＬＭ出力が変動するのを確実に防止することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
請求項４記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路は、流路断面のアスペクト比が０．７以上であるので、測定を高精度で且つ安定的に行うことができ、また深い溝の場合でも溝幅を小さくし、必要な試料を少なくすることができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
請求項５記載のマイクロ化学システム用チップによれば、上記アスペクト比は１．１以上であるので、測定をより高精度で且つ安定的に行うことができ、また深い溝の場合でも溝幅を小さくし、必要な試料を少なくすることができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
請求項８記載のマイクロ化学システム用チップによれば、流路が形成された透明基板は、多段に重ねられた複数の透明基板から成るので、底が平らで高アスペクト比の流路を形成することができる。