【手続補正書】
【提出日】令和3年4月22日(2021.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法であって、
上記方法は、互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）を基板（１０）の上に形成することを含み、
上記複数の導電性構造物（４０）を形成することは、バルブ金属層（１１）の少なくとも一部を、第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）を備えるテンプレート（２０）に変換（２０１）することを含み、
上記変換することは、
上記バルブ金属層（１１）の少なくとも一部を厚さ方向に陽極処理し、複数のチャネル（１３）を備えるバルブ金属酸化物の多孔質層（１２）を形成する第１の陽極処理ステップ（１０１）であって、各チャネルは、上記第１の方向に沿って長手方向を有して整列したチャネル壁（１４）を有し、かつ、チャネル底部（１５）を有し、上記チャネル底部（１５）は、上記第１の陽極処理ステップ（１０１）の結果として得られる第１の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２１）によってコーティングされる第１の陽極処理ステップ（１０１）と、
上記チャネル壁（１４）及び上記チャネル底部（１５）に疎水面を誘導する保護処置（１０２）と、
上記保護処置の後の第２の陽極処理ステップ（１０３）であって、上記チャネル底部（１５）から上記第１の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２１）を実質的に除去し、上記複数のチャネル（１３）の底部（１５）のみにおいて陽極処理を誘導し、上記チャネル底部（１５）において第２の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２２）を生成する第２の陽極処理ステップ（１０３）と、
上記チャネル底部（１５）から上記第２の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２２）を除去するエッチング液におけるエッチングステップ（１０４）とを含み、
上記方法は、
それによって、上記テンプレート（２０）及び上記基板（１０）を形成し、上記テンプレート（２０）のチャネル（１３）の内部に固体機能材料を堆積させ（２０２）、それによって、互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）の内部において、上記第１の方向に沿って長手方を有して整列した互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を形成することと、
上記複数の導電性構造物（４０）の上において、上記複数の導電性構造物（４０）の面をコンフォーマルにコーティングする活性電極材料の第１の層（４３，７２）を形成することと、
上記活性電極材料の第１の層（４３，７２）の上に電解質層（７３）を堆積することと、
上記電解質層（７３）の上に活性電極材料の第２の層（７４）を形成することとを含み、
上記活性電極材料の第１の層（７２）及び上記活性電極材料の第２の層（７３）のうちの一方は、上記ソリッドステートバッテリーセル（８０）の陰極層を形成し、他方は陽極層を形成する、
ソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項２】
上記バルブ金属層（１１）は、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、タンタル、又はタンタル合金の層を備える、
請求項１記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項３】
上記保護処置（１０２）は、３００°Ｃ及び５５０°Ｃの間の範囲の温度においてアニーリング（１０２１）を行うことを含む、
請求項１または２記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項４】
上記保護処置（１０２）は、上記チャネル壁（１４）及び上記チャネル底部（１５）の上に保護層（３１）を堆積すること（１０２２）を含み、
上記第２の陽極処理ステップ（１０３）は、上記チャネル底部（１５）からのみ上記保護層（３１）をさらに除去する、
請求項１〜３のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項５】
上記保護層（３１）は、疎水性のシラン、又は、エッチング液に耐性を有するポリマーを備える、
請求項４記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項６】
上記保護層（３１）は、ポリスチレン、ポリ（メチル２−メチルプロパノアート）、及びポリ（ジメチルシロキサン）から選択されたポリマーを含む、
請求項４記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項７】
上記エッチング液は、リン酸、硫酸、シュウ酸、クロム酸、アンモニア、過酸化水素、又は水酸化カリウムを含む水性のエッチング液である、
請求項１〜６のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項８】
上記エッチング液は表面張力調整剤を含む、
請求項１〜７のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項９】
上記第２の陽極処理ステップ（１０３）の間に超音波を提供することをさらに含む、
請求項１〜８のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項１０】
上記第１の陽極処理ステップ（１０１）は、上記バルブ金属層（１１）の一部のみを上記厚さ方向に陽極処理し、それによって、上記テンプレート（２０）と、上記テンプレートを支持する基板（１０）とを形成し、
上記基板（１０）は、上記バルブ金属層（１１）の残りの陽極処理されなかった部分を含む、
請求項１〜９のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項１１】
上記固体機能材料を堆積すること（２０２）は、導電性材料、半導体材料、電気絶縁性材料、又はそれらの組み合わせを堆積することを含む、
請求項１〜１０のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項１２】
請求項１〜１０のうちのいずれかに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法（２００）であって、
上記固体機能材料を堆積すること（２０２）は、定電流又は定電位の電着又はめっきによって導電性材料を堆積し、それによって、互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）を形成することを含む、
方法。
【請求項１３】
上記基板（１０）は導電性基板であり、
上記互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物と、上記基板との間において、１オーム  ｃｍ２未満の接触抵抗を有する電気的な接触が確立される、
請求項１２記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法（２００）。
【請求項１４】
上記テンプレート（２０）をエッチングによって除去することをさらに含む、
請求項１〜１３のうちの１つに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法（２００）。
【請求項１５】
上記活性電極材料の第１の層（４３，７２）を形成することは、
遷移金属酸化物、貴金属、又は貴金属酸化物を含み、０．５ｎｍ及び３０ｎｍの間の範囲における厚さを有する中間層（４１）を、上記基板の上に堆積すること（３０１）と、
上記中間層（４１）の上に機能材料前駆体層（４２）を堆積すること（３０２）と、
上記機能材料前駆体層（４２）をアニーリングによって活性化し（３０３）、それによって、機能材料の層（４３）を形成することとを含む、
請求項１記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項１６】
ソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法であって、
上記方法は、
互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）を基板（１０）の上に形成することと、
上記互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）の上に活性電極材料の第１の層（４３，７２）を形成することとを含み、
上記活性電極材料の第１の層（４３，７２）を形成することは、
遷移金属酸化物、貴金属、又は貴金属酸化物を含み、０．５ｎｍ及び３０ｎｍの間の範囲における厚さを有する中間層（４１）を、上記基板の上に堆積すること（３０１）と、
上記中間層（４１）の上に機能材料前駆体層（４２）を堆積すること（３０２）と、
上記機能材料前駆体層（４２）をアニーリングによって活性化し（３０３）、それによって、機能材料の層（４３）を形成することとを含み、
上記活性電極材料の第１の層（４３，７２）は、上記互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）の面をコンフォーマルにコーティングし、
上記方法は、
上記活性電極材料の第１の層（４３，７２）の上に電解質層（７３）を堆積することと、
上記電解質層（７３）の上に活性電極材料の第２の層（７４）を形成することとを含み、
上記活性電極材料の第１の層（７２）及び上記活性電極材料の第２の層（７４）のうちの一方は、上記ソリッドステートバッテリーセル（８０）の陰極層を形成し、他方は陽極層を形成する、
方法。
【請求項１７】
上記機能材料前駆体層（４２）を堆積すること（３０２）は、電極材料前駆体層を堆積することを含み、
上記機能材料前駆体層を活性化することは、イオン含有前駆体が存在するときにアニーリングし、それによって、活性電極材料の層を形成することを含む、
請求項１５又は１６記載の方法。
【請求項１８】
上記機能材料前駆体層（４２）を堆積（３０２）することは、陽極の電着を含む、
請求項１５〜１７のうちのいずれかに記載のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造する方法。
【請求項１９】
上記基板は遷移金属基板である、
請求項１５〜１７のうちのいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
上記基板は、第１の方向に沿って長手方向を有して整列した複数の導電性構造物（６１）を備える３次元的基板である、
請求項１５〜１９のうちのいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
上記基板は、上記第１の方向とは異なる第２の方向に向けられた複数の導電性相互接続構造物をさらに備える、
請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
上記中間層（４１）は遷移金属酸化物を備え、
上記中間層（４１）を堆積すること（３０１）は、７〜１２の範囲のｐＨを有する溶液における電着を含む、
請求項１５〜２１のうちのいずれかに記載の方法。
【請求項２３】
ソリッドステートバッテリー（９０）を製造する方法であって、上記方法は、
請求項１〜２２のうちの１つに記載の方法によって複数のソリッドステートバッテリーセル（８０）を製造することと、
互いに隣接するソリッドステートバッテリーセルの間に電解質を提供して、複数のソリッドステートバッテリーセル（８０）のスタックを形成することとを含む、
方法。
【請求項２４】
互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（７０）と、
上記互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）の面をコンフォーマルにコーティングする活性電極材料の第１の層（７２）と、
上記活性電極材料の第１の層（７２）の上における電解質層（７３）と、
上記電解質層（７３）の上における活性電極材料の第２の層（７４）と、
を備えるソリッドステートバッテリーセル（８０）であって、
上記活性電極材料の第１の層（７２）及び上記活性電極材料の第２の層（７４）のうちの一方は、上記ソリッドステートバッテリーセル（８０）の陰極層を形成し、他方は陽極層を形成し、
上記ソリッドステートバッテリーセルは、上記互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（７０）と、上記活性電極材料の第１の層（７２）との間において、０．５ｎｍから３０ｎｍの厚さの中間層（７１）をさらに備え、
上記中間層（７１）は、遷移金属酸化物、貴金属、又は貴金属酸化物を含む、
ソリッドステートバッテリーセル（８０）。
【請求項２５】
請求項２４に記載の少なくとも１つのソリッドステートバッテリーセル（８０）を備える、ソリッドステートバッテリー（９０）。