【手続補正書】
【提出日】令和2年11月10日(2020.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または工作物から複数のウェハを切削するためのワイヤソー（１０）であって、
切削ワイヤ（６）から形成される切削領域（５）を支持するためのワイヤガイドローラ（１３，１４）が配置される第１区画（１）と、
切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール（１１）が配置される第２区画（２）と、
前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の一つから前記第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する第１切削ワイヤ経路（７）と、を包含し、
前記第２区画（２）が、前記第１区画（１）の少なくとも部分的に下方に配置され、
切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプール（１２）が配置される第３区画（３）と、
前記ワイヤガイドローラの一つ（１４）から前記第２切削ワイヤスプール（１２）まで延在する第２切削ワイヤ経路（８）と、を更に備え、
前記第３区画（３）が、前記第１区画（１）の少なくとも部分的に下方に配置され、
前記第２切削ワイヤスプール（１２）が、前記第１区画（１）の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、
および／または、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が、前記切削領域（５）の少なくとも部分的、好ましくは完全に下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、
ワイヤソー（１０）。
【請求項２】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が前記第１区画（１）の垂直方向下方に配置される、請求項１に記載のワイヤソー。
【請求項３】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が前記切削領域（５）の垂直方向下方にほぼ配置される、請求項１又は２に記載のワイヤソー。
【請求項４】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が垂直方向において前記第１区画（１）と完全に重複する、請求項１から３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項５】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が垂直方向において前記切削領域（５）と少なくとも部分的に、好ましくは完全に重複する、請求項１から４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項６】
前記第１区画（１）の底壁が前記第２区画（２）の天井および／または前記第３区画（３）の天井を形成する、請求項１から５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項７】
前記第２区画（２）と前記第３区画（３）とが並んで配置されて、好ましくは垂直の隔壁（２２）により互いに分離され、好ましくは前記隔壁（２２）が前記第１区画（１）の下方に、好ましくは中央下方に延在する、請求項１から６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項８】
前記第２区画（２）と前記第３区画（３）とが、好ましくは前記隔壁（２２）に形成される少なくとも一つの開口部を介して互いと連通する、請求項１から７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項９】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）が好ましくは少なくとも一つのねじによって前記隔壁（２２）の第１側に回転可能に取り付けられ、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が好ましくは少なくとも一つのねじによって前記隔壁（２２）の第２側に回転可能に取り付けられ、第２側が第１側と反対にある、請求項７または８に記載のワイヤソー。
【請求項１０】
前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）を支持するフレーム（２３）を包含するワイヤソー（１０）であって、前記隔壁（２２）が前記フレーム（２３）の負荷支承部分を形成する、請求項７から９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１１】
前記隔壁（２２）が、前記第１区画（１）の垂直方向下方に配置される少なくとも一つの脚部（２４）を有する、請求項７から１０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１２】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）が第１駆動部、好ましくはモータを有するか前記第１駆動部に接続され、好ましくは前記第１駆動部が前記第２区画（２）に配置される、
および／または、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が第２駆動部、好ましくはモータを有するか前記第２駆動部に接続され、好ましくは前記第２駆動部が前記第３区画（３）に配置される、
請求項１から１１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１３】
前記切削領域（５）を形成して前記第１切削ワイヤ経路（７）に延在する切削ワイヤ（６）を包含するワイヤソー（１０）であって、好ましくは前記切削ワイヤ（６）が固定研磨ワイヤ、より好ましくはダイヤモンドワイヤである、請求項１から１２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１４】
ワイヤソー（１０）の重量が少なくとも４０００ｋｇに、好ましくは少なくとも５５００ｋｇに達する、
および／または、前記第１区画（１）の垂直方向下方に配置される前記脚部（２４）に支承される重量が少なくとも１８００ｋｇに、好ましくは少なくとも２２００ｋｇに達する、
および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の少なくとも一つの直径が少なくとも１２ｃｍに、好ましくは少なくとも１５ｃｍに達する、
および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の少なくとも一つのワイヤ受容面が複数のワイヤ案内溝から形成される、
および／または、前記ワイヤ案内ローラ（１３，１４）の少なくとも一つが、少なくとも一つのボールベアリングおよび／または少なくとも一つのローラベアリングによってワイヤソー（１０）の前記フレーム（２３）に回転可能に取り付けられる、
および／または、前記ワイヤ案内ローラ（１３，１４）および／または前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）のうち少なくとも一つが、金属、好ましくは鋼から、および／または、ポリマー、好ましくは強化ポリマーから少なくとも部分的に形成される、
請求項１から１３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１５】
ワイヤソーのフレームの水平断面がＴ形状部分を包含し、好ましくは前記Ｔ形状部分が前記隔壁（２２）の少なくとも一部を形成する、請求項１から１４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１６】
前記隔壁（２２）が金属、好ましくは鋼から、および／またはミネラルキャストから製作される、
および／または、前記隔壁（２２）の厚さが少なくとも４ｃｍに、好ましくは少なくとも７ｃｍに達する、
および／または、前記隔壁（２２）が中空プロフィールを有する、
請求項１から１５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項１７】
ハウジング（４）と、
切削ワイヤ（６）から形成される切削領域（５）を支持するためのワイヤガイドローラ（１３，１４）が配置される第１区画（１）と、
を包含する、材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または、工作物から複数のウェハを切削するための、特に請求項１から１６のいずれか１項に記載のワイヤソー（１０）であって、
切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール（１１）が配置される第２区画（２）と、
前記ワイヤガイドローラの一つ（１３）から前記第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する第１切削ワイヤ経路（７）と、
を包含するワイヤソー（１０）であることを特徴とし、
前記第１切削ワイヤ経路（７）の少なくとも一部分が、ワイヤソー（１０）の前記ハウジング（４）に形成される第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、
好ましくは前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記部分が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、
ワイヤソー（１０）。
【請求項１８】
前記第１切削ワイヤ経路（７）全体が、ワイヤソー（１０）の前記ハウジング（４）に形成される前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である、請求項１７に記載のワイヤソー。
【請求項１９】
前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって前記第１切削ワイヤスプール（１１）で終わる前記第１切削ワイヤ経路（７）の各点が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満に配置される、請求項１７または１８に記載のワイヤソー。
【請求項２０】
前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって前記第１切削ワイヤスプール（１１）で終わる前記第１切削ワイヤ経路（７）の各点が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側から、好ましくはワイヤソー（１０）の外側の一点から視認可能である、請求項１７から１９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２１】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する前記第１切削ワイヤ経路（７）の始点である前記ワイヤガイドローラ（１３）の表面部分が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満に配置される、請求項１７から２０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２２】
前記第１切削ワイヤ経路（７）の一部分が前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記ワイヤガイドローラ（１３）に最も近いプーリである第１転向プーリ（９ａ）で終わり、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記部分が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、好ましくは、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記部分の各点が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、請求項１７から２１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２３】
―前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって前記第１切削ワイヤスプール（１１）で終わる―前記第１切削ワイヤ経路（７）の長さが、前記ワイヤガイドローラ（１３）の長さの３倍未満、好ましくは前記ワイヤガイドローラ（１３）の長さの２倍未満である、
および／または、―前記ワイヤガイドローラ（１４）から始まって前記第２切削ワイヤスプール（１２）で終わる―前記第２切削ワイヤ経路（８）の長さが、前記ワイヤガイドローラ（１４）の長さの３倍未満、好ましくは前記ワイヤガイドローラ（１４）の長さの２倍未満である、
請求項１から２２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２４】
前記第１切削ワイヤ経路（７）の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％が前記ワイヤガイドローラ（１３）の傍に、および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３）と平行に延在する、
および／または、前記第２切削ワイヤ経路（８）の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％が前記ワイヤガイドローラ（１４）の傍に、および／または、前記ワイヤガイドローラ（１４）と平行に延在する、
請求項１から２３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２５】
切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプール（１２）が配置される第３区画（３）と、
前記ワイヤガイドローラの一つ（１４）から前記第２切削ワイヤスプール（１２）まで延在する第２切削ワイヤ経路（８）と、
を包含するワイヤソー（１０）であって、
前記第２切削ワイヤ経路（８）の少なくとも一部分、好ましくは前記第２切削ワイヤ経路（８）全体が、ワイヤソー（１０）の前記ハウジング（４）に形成される第２開口部（２０）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、
好ましくは前記第２切削ワイヤ経路（８）の前記部分が、前記第２開口部（２０）の平面から後方へ、および／または前記第２開口部（２０）を被覆する開閉カバーから後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、
請求項１から２４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２６】
前記第１開口部（１９）がワイヤソー（１０）の第１側に形成されて前記第２開口部（２０）がワイヤソー（１０）の第２側に形成され、好ましくは前記第２側が前記第１側と反対であり、好ましくは前記第１側と前記第２側とが前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する、請求項２５に記載のワイヤソー。
【請求項２７】
前記第１切削ワイヤ経路（７）が前記切削ワイヤ（６）を転向させるための回転可能な転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）を少なくとも一つ、好ましくは少なくとも二つ、より好適には少なくとも三つ包含し、前記少なくとも一つ、好ましくは少なくとも二つ、より好適には少なくとも三つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からオペレータによりアクセス可能であり、好ましくは前記少なくとも一つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、請求項１７から２６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２８】
前記第１切削ワイヤ経路（７）が、前記切削ワイヤ（６）を転向させるための回転可能な転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）を包含し、前記転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）の各々が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からオペレータによりアクセス可能であり、好ましくは前記少なくとも三つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、請求項１７から２７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項２９】
前記第１切削ワイヤ経路（７）の主要部分が、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記ワイヤガイドローラの一つ（１３）に最も近いプーリである第１転向プーリ（９ａ）と、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記第１切削ワイヤスプール（１１）に最も近いプーリである第２転向プーリ（９ｃ）との間に延在し、
前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記主要部分が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、
好ましくは、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記主要部分の各点が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、
請求項１７から２８のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３０】
前記第１切削ワイヤ経路（７）が、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記第１転向プーリ（９ａ）と前記第２転向プーリ（９ｃ）との間に配置される第３転向プーリ（９ｂ）を包含し、好ましくは前記第３転向プーリ（９ｃ）が前記切削ワイヤ（６）に張力付与するための張力プーリである、請求項１７から２９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３１】
前記少なくとも一つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）の回転軸線が、前記第１切削ワイヤスプール（１１）の回転軸線に対して、および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に対して横向き、好ましくは垂直に延在する、および／または、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記少なくとも一つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）、好ましくはすべての転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が前記第２区画（２）に配置される、請求項１７から３０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３２】
前記第１切削ワイヤ経路（７）の少なくとも２５％、好ましくは少なくとも５０％が、転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）、好ましくは第２転向プーリ（９ｃ）の好ましくは少なくとも一つの位置で、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する、請求項１７から３１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３３】
前記第１開口部（１９）がワイヤソー（１０）の第１側に形成され、前記第１側が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは平行に延在する、請求項１７から３２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３４】
前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の少なくとも一つが、前記第１開口部（１９）を通して、好ましくは全長にわたって、アクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である、
および／または、前記第１切削ワイヤスプール（１１）が、前記第１開口部（１９）を通して、好ましくは全長にわたって、アクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である、
請求項１７から３３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３５】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）が、ワイヤソー（１０）の第１側から全長にわたって、好ましくは前記第１開口部（１９）を通してアクセス可能であり、前記第１側が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する、請求項１７から３４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３６】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）の端面が、ワイヤソー（１０）の第３側から好ましくは前記第１開口部（１９）を通してアクセス可能であり、前記第３側が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に対して横向き、好ましくは垂直に延在し、好ましくは前記第１切削ワイヤスプール（１１）がワイヤソー（１０）に着脱可能に取り付けられ、前記第１切削ワイヤスプール（１５）が軸移動のみによりワイヤソー（１０）から取り外される、請求項１７から３５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３７】
前記第１切削ワイヤスプール（１１）の回転軸線および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）の回転軸線が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に対して本質的に平行である、請求項１７から３６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３８】
前記ハウジング（４）が、閉止状態で前記第１開口部（１９）を少なくとも部分的に被覆する少なくとも一つの開閉カバー（１５，１６）を包含する、請求項１７から３７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項３９】
前記切削ワイヤ（６）を前記第１区画（１）から前記第２区画（２）へ、または前記第３区画（３）へ案内するための少なくとも一つの切削ワイヤ貫通部（２１）を包含するワイヤソー（１０）である、請求項１７から３８のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項４０】
好ましくは可撓性シール部またはリップの形の第１エッジ（１７）を有する第１開閉カバー（１５）を包含するワイヤソー（１０）であって、前記第１カバー（１５）が、閉止状態で好ましくは静止の第２エッジ（１８）と対向するか対置されるとともに、前記第１カバー（１５）の開口状態において前記第２エッジ（１８）から離間し、前記切削ワイヤ貫通部（２１）が前記第１エッジ（１７）と前記第２エッジ（１８）との間に延在する、請求項１７から３９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項４１】
前記ハウジング（４）が第１開閉カバー（１５）と第２開閉カバー（１６）とを包含し、前記第１カバー（１５）が前記第１区画（１）を少なくとも部分的に、好ましくは概ね被覆し、前記第２カバー（１６）が前記第２区画（２）を少なくとも部分的に、好ましくは概ね被覆する、請求項１７から４０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項４２】
前記カバー（１５，１６）の前記閉止状態において、前記第１カバー（１５）と前記第２カバー（１６）とが互いに隣接し、好ましくは互いに接触する、請求項４１に記載のワイヤソー。
【請求項４３】
前記第１切削ワイヤ経路（７）が―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の軸方向において―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）を越えて延出しない、および／または、前記第２切削ワイヤ経路（８）が―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の軸方向において―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）を越えて延出しない、請求項１から４２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項４４】
前記隔壁（２２）と前記第１区画（１）を包囲する前記壁の少なくとも一部とがミネラルキャストから製作され、好ましくは前記隔壁（２２）と前記第１区画（１）を包囲する前記壁の少なくとも一部とが、一つの大型部材を形成するように鋳造され、好ましくは一回で鋳造される、請求項１から４３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項４５】
前記第２区画（２）および／または前記第３区画（３）が、第１方向と、前記第１方向と異なる第２方向とに前記区画（２，３）を画定する少なくとも一つのドアにより（それぞれ）画定され、好ましくは前記第１方向と前記第２方向との間の角度が少なくとも４５°、より一層好ましくは本質的に９０°など少なくとも８０°に達する、請求項１から４４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
【請求項４６】
略Ｌ形状を有する前記少なくとも一つのドアにより前記第２区画および／または第３区画（３）が（それぞれ）画定され、前記Ｌ形状ドアの両脚部が前記区画（２，３）を画定する、請求項１から４５のいずれか１項に記載のワイヤソー。