【手続補正書】
【提出日】令和2年12月23日(2020.12.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バックプレーンと、
各画素が赤色発光ダイオード、緑色発光ダイオードおよび青色発光ダイオードを含む前記バックプレーン上に配置される画素のアレイであって、各画素内の前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、それぞれのボンディング構造を通って前記バックプレーンにボンディングされる、画素のアレイと、
前記画素のアレイ内の前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれを横方向に取り囲み、かつ、前記それぞれのボンディング構造を横方向に取り囲む誘電体マトリクスと、
前記誘電体マトリクス上に配置され、各画素の前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれのコンタクトノードに電気的に接続された共通の前側透明導電性酸化物層と、を含むことを特徴とする直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記前側透明導電性酸化物層に接触し、第１の導電型のドーピングを有する、それぞれの半導体バッファ層を含むことを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項３】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記それぞれの半導体バッファ層に接触し、前記第１の導電型のドーピングを有し、前記それぞれの半導体バッファ層によって前記前側透明導電性酸化物層から垂直に間隔を置いて配置される、それぞれの化合物半導体材料層を含むことを特徴とする請求項２に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項４】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、それぞれのピーク波長で光を発するように構成される層のスタックを含む、それぞれのナノワイヤを含むことを特徴とする請求項２に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項５】
前記それぞれのナノワイヤは、前記それぞれの半導体バッファ層とエピタキシャルアライメントしたそれぞれのナノワイヤコアを含み、前記第１の導電型のドーピングを有することを特徴とする請求項４に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項６】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記それぞれのナノワイヤが延在して通る開口部を含むパターニングされた、それぞれの誘電体マスク層を含むことを特徴とする請求項４に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項７】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、
光を発するように構成されるそれぞれの活性発光層と、
前記それぞれの活性発光層に接触し、前記第１の導電型とは反対の第２の導電型のドーピングを有するそれぞれの第２の導電型の半導体材料層と、
を含むことを特徴とする請求項２に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項８】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記それぞれの第２の導電型の半導体材料層に電気的に接続される少なくとも１つの金属バリア層を含むことを特徴とする請求項７に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項９】
前記少なくとも１つの金属バリア層は、前記それぞれのボンディング構造に接触し、取り付けられることを特徴とする請求項８に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１０】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記少なくとも１つの金属バリア層に接触し、前記それぞれの活性発光層を横方向に取り囲む、それぞれの導電性反射層を含むことを特徴とする請求項８に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１１】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記それぞれの第２の導電型の半導体材料層を横方向に取り囲み、前記それぞれの導電性反射層に横方向に取り囲まれる、それぞれの誘電体材料層を含むことを特徴とする請求項１０に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１２】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードの前記導電性反射層のそれぞれは、前記誘電体マトリクスに横方向に取り囲まれ、かつ、接触することを特徴とする請求項１０に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１３】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記それぞれの第２の導電型の半導体材料層に接触し、前記少なくとも１つの金属バリア層に電気的に接続される、それぞれの透明導電性酸化物層を含み、前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオード内の各透明導電性酸化物層は、インジウムスズ酸化物またはアルミニウムドープ酸化亜鉛から選択される材料を含むことを特徴とする請求項８に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１４】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、前記それぞれの第２の導電型の半導体材料層に接触し、前記少なくとも１つの金属バリア層に電気的に接続される、それぞれの銀層を含むことを特徴とする請求項８に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１５】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードの各半導体バッファ層は、前記誘電体マトリクスに接触し、かつ、横方向に取り囲まれることを特徴とする請求項２に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１６】
前記前側透明導電性酸化物層は、前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードの前記半導体バッファ層の各々と直接、接触することを特徴とする請求項２に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１７】
前記誘電体マトリクスは、前記画素のアレイ内の前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードを横方向に取り囲み、かつ、前記ボンディング構造のそれぞれを横方向に取り囲む共通のポリマー材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１８】
前記誘電体マトリクスは、ポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）を含むことを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項１９】
前記誘電体マトリクスは、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）を含むことを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２０】
前記前側透明導電性酸化物層上に配置され、前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれの上にあり、前記前側透明導電性酸化物層によって前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれから垂直に間隔を置いて配置される、透明パッシベーション誘電体層をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２１】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードのそれぞれは、それぞれ前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードからの光を、前記バックプレーンから離れて前記前側透明導電性酸化物層に向かって反射するように構成される、それぞれの導電性反射層を含むことを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２２】
前記それぞれの導電性反射層は、前記それぞれの導電性反射層の上にある前記それぞれのボンディング構造に電気的に接続されることを特徴とする請求項２１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２３】
前記バックプレーン上に配置されるボンディングパッドをさらに含み、前記ボンディング構造のそれぞれは、それぞれのボンディングパッドにボンディングされていることを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２４】
前記バックプレーンは、基板上に配置され、それぞれの前記ボンディングパッドに電気的に接続される、金属相互接続構造を含むことを特徴とする請求項２３に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２５】
前記ボンディング構造のそれぞれは、はんだ材料を含むことを特徴とする請求項２３に記載の直視型ディスプレイデバイス。
【請求項２６】
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオードおよび前記青色発光ダイオードは、共通の前記前側透明導電性酸化物層を通して前記直視型ディスプレイデバイスから外へ光を発するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の直視型ディスプレイデバイス。