Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月21日(2005.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面に配置された複数のエアマウントを介して支持された除振台と、
前記各エアマウントに対して個別に空圧を供給し、前記除振台に対して支持方向に推力を発生させる空圧供給源と、
前記各エアマウントへの空圧の供給を個別に調整する空圧調節手段と、
前記各エアマウントにそれぞれ併設されて前記除振台に対して前記支持方向に推力を発生するアクチュエータと、
前記各エアマウントの内圧を計測する圧力計と、
前記除振台の変位を補正するように前記アクチュエータを駆動するとともに、前記圧力計の出力に基づいて前記各エアマウントの推力を調節してアクチュエータの推力と置換させる除振台制御系とを備えることを特徴とする除振装置。
【請求項２】
床面に配置された複数のエアマウントを介して支持された除振台と、
前記各エアマウントに対して個別に空圧を供給し、前記除振台に対して支持方向に推力を発生させる空圧供給源と、
前記各エアマウントへの空圧の供給を個別に調整する空圧調節手段と、
前記各エアマウントにそれぞれ併設されて前記除振台に対して前記支持方向に推力を発生するアクチュエータと、
所定の内圧を保つように調節されるモニタ用空圧タンクと、
該モニタ用空圧タンクの内圧と前記各エアマウントの内圧との差圧を計測する差圧計と、
前記除振台の変位を補正するように前記アクチュエータを駆動するともに、前記差圧計の出力に基づいて前記各エアマウントの推力を調節してアクチュエータの推力と置換させる除振台制御系とを備えることを特徴とする除振装置。
【請求項３】
前記モニタ用空圧タンクは、前記複数のエアマウントのいずれかであることを特徴とする請求項２記載の除振装置。
【請求項４】
マスクのパターン像を基板上に転写する露光装置において、
前記マスクまたは基板を載置するとともに床面に配置された複数のエアマウントを介して支持された除振台と、
前記各エアマウントに対して個別に空圧を供給し、前記除振台に対して支持方向に推力を発生させる空圧供給源と、
前記各エアマウントへの空圧の供給を個別に調整する空圧調節手段と、
前記各エアマウントにそれぞれ併設されて前記除振台に対して前記支持方向に推力を発生するアクチュエータと、
前記除振台の変位を補正するように前記アクチュエータを駆動するとともに、前記各エアマウントの推力を調節してアクチュエータの推力と置換させる除振台制御系とを備える除振装置を具備することを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記除振台制御系は、前記除振台の重心位置の変動に伴って駆動される前記アクチュエータが発生する推力の一部を前記エアマウントの推力と置換させることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
空圧供給源から供給される空圧により防振台を支持する支持方向に推力を発生する複数のエアマウントと、
前記複数のエアマウントのそれぞれに併設され、前記支持方向に推力を発生する複数のアクチュエータと、
前記複数のエアマウントのそれぞれの内圧を計測する圧力計と、
該圧力計の出力に基づいて、前記複数のアクチュエータのぞれぞれの推力を前記複数のエアマウントのそれぞれの推力に置換するように、前記複数のエアマウントのそれぞれに供給される空圧を個別に制御する制御手段と、を備えることを特徴とする除振装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記圧力計の出力と、前記防振台を支持するエアマウントの支持面積とに基づいて、前記複数のエアマウントの推力を発生させることを特徴とする請求項６記載の除振装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記複数のアクチュエータの推力の低周波成分に基づいて前記複数のエアマウントによる推力の置換の要否を判断することを特徴とする請求項６記載の除振装置。
【請求項９】
マスクのパターンを基板に露光する露光装置において、
前記マスクを載置するマスクステージと前記基板を載置する基板ステージとの少なくとも一方の除振装置として請求項６〜８のいずれか一項に記載の除振装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
投影光学系によりパターンを基板に露光する露光装置において、
前記投影光学系の除振装置として請求項６〜８のいずれか一項に記載の除振装置を備えることを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この露光装置においては、各アクチュエータを駆動させて除振台に生じた変位を補正する場合、各アクチュエータの推力を各アクチュエータにそれぞれ併設された各エアマウントに個別に置換させることで推力置換後の除振台の歪みが防止される。これにより、投影光学系やレーザ干渉計の支持部等に撓みを生じなくなり、露光ショットずれが防止される。
請求項６記載の除振装置は、空圧供給源から供給される空圧により防振台を支持する支持方向に推力を発生する複数のエアマウントと；前記複数のエアマウントのそれぞれに併設され、前記支持方向に推力を発生する複数のアクチュエータと；前記複数のエアマウントのそれぞれの内圧を計測する圧力計と；該圧力計の出力に基づいて、前記複数のアクチュエータのぞれぞれの推力を前記複数のエアマウントのそれぞれの推力に置換するように、前記複数のエアマウントのそれぞれに供給される空圧を個別に制御する制御手段と、を備えている。
請求項７記載の除振装置は、前記制御手段が前記圧力計の出力と、前記防振台を支持するエアマウントの支持面積とに基づいて、前記複数のエアマウントの推力を発生させている
請求項８記載の除振装置は、前記制御手段が、前記複数のアクチュエータの推力の低周波成分に基づいて前記複数のエアマウントによる推力の置換の要否を判断している。
請求項９記載の露光装置は、マスクのパターンを基板に露光する露光装置において、前記マスクを載置するマスクステージと前記基板を載置する基板ステージとの少なくとも一方の除振装置として請求項６〜８のいずれか一項に記載の除振装置を備えている。
請求項１０記載の露光装置は、投影光学系によりパターンを基板に露光する露光装置において、前記投影光学系の除振装置として請求項６〜８のいずれか一項に記載の除振装置を備えている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
請求項５記載の露光装置によれば、除振台の重心位置の変動に伴って駆動されるアクチュエータが発生する推力の一部をエアマウントの推力と置換させることにより、走査露光中における除振台の姿勢を常に一定に保持することができる。これにより、重心の移動に伴って除振台に発生する不要な揺れを抑制して露光精度の向上を図ることができる。
請求項６および７記載の除振装置によれば、圧力計の出力に基づいて、複数のアクチュエータのぞれぞれの推力を複数のエアマウントのそれぞれの推力に置換しているので、複数のアクチュエータの発熱を抑制することができる。
請求項８記載の除振装置によれば、複数のアクチュエータの推力の低周波成分に基づいて複数のエアマウントによる推力の置換の要否を判断することができる。
請求項９および１０記載の露光装置によれば、除振装置の複数のアクチュエータによる発熱の影響を抑制することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月1日(2005.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上述の様に構成するラジアル転がり軸受付ローラクラッチ１は、１対のラジアル転がり軸受３ａ、３ｂにより、上記保持部材と上記軸８とを相対回転自在に支持しつつ、前記ローラクラッチ２の働きにより、上記外輪４を内嵌固定した保持部材と上記軸８との所定方向の回転力のみを伝達する。例えば、図２で外輪４が固定で軸８のみが回転すると仮定すれば、この軸８が同図の時計方向に回転する場合には、上記各ローラ５がこの軸８の外周面から受ける力に基づき、上記各ばね６、６の弾力に抗して、上記各凹部１０が深くなった側に変位する傾向になる。そして、上記各ローラ５が、上記円筒状隙間１７内で転動可能な状態となって、上記外輪４と軸８との間で回転力の伝達が行なわれなくなる、所謂オーバラン状態となる。反対に、この軸８が図２の反時計方向に回転する場合には、上記各ローラ５が、上記軸８の外周面から受ける力と上記各ばね６、６の弾力とに基づき、上記各凹部１０が浅くなった側にくさび状に食い込み、上記外輪４と軸８とを一体的に結合して、これら外輪４と軸８との間で回転力の伝達を自在とする、所謂ロック状態となる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月15日(2005.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸方向に移動可能な枠部材と、
上記枠部材と別体であって、上記枠部材に対して係合及び離反状態となるように光軸方向に移動自在に設けられていて、上記枠部材を光軸方向に移動させるカムフォロワ部材と、
上記カムフォロワ部材を光軸方向に駆動するカム手段と、
を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項２】
第１の枠部材と、
上記第１の枠部材を光軸周りの回動を伴わずに光軸方向に直進移動可能に支持する第２の枠部材と、
上記第１の枠部材を上記第２の枠部材に対して光軸方向に離反する方向に付勢する付勢手段と、
光軸方向に直進移動可能に上記第１の枠部材もしくは上記第２の枠部材に支持されていて、上記付勢手段により付勢された上記第１の枠部材と係合して上記第１の枠部材の光軸方向位置を規制可能な係合部を有し、上記第１の枠部材を光軸方向に一体的となって移動させるため上記第１の枠部材と上記係合部が係合する係合状態と、上記第１の枠部材と光軸方向に別体となって移動するように上記第１の枠部材と光軸方向に上記係合部が離反する離反状態と、になり得るカムフォロア部材と、
上記カムフォロワ部材を光軸方向に駆動するカム手段と、
を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項３】
上記カムフォロア部材は、上記第１の枠部材もしくは第２の枠部材の周囲方向における一部空間に直進移動可能に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のレンズ鏡筒。
【請求項４】
上記枠部材は、撮影使用時の撮影領域と上記撮影領域よりも光軸方向に後退した収納位置との間を移動可能であって、
上記収納位置では上記枠部材と上記カムフォロア部材とが光軸方向で離反し、上記撮影領域では上記枠部材と上記カムフォロア部材とが光軸方向で一体的に移動可能に係合することを特徴とする請求項１に記載のレンズ鏡筒。
【請求項５】
上記第１及び第２の枠部材は、撮影使用時の撮影領域と上記撮影領域よりも光軸方向に後退した収納位置との間を移動可能であって、
上記収納位置では上記第１の枠部材と上記カムフォロア部材とが光軸方向で離反し、上記撮影領域では上記第１の枠部材と上記カムフォロア部材とが光軸方向で一体的に移動可能に係合することを特徴とする請求項２に記載のレンズ鏡筒。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
従来、撮影レンズを支持する移動可能な枠部材を内蔵するレンズ鏡筒として提案された特開平４−５２６２８号公報に開示のズームレンズ鏡筒は、内側ズーム環および外側ズーム環の光軸周りの回動により、全てのレンズ群を光軸方向に進退させて、焦点距離を変化させ、さらに、外側ズーム環の進退により合焦レンズ群枠を進退させて合焦動作を行わせるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明は、上述の不具合を解決するためになされたものであり、移動可能な枠部材を有するレンズ鏡筒において、小型化が可能であり、枠部材の円滑で確実な動きが得られるレンズ鏡筒を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様によるレンズ鏡筒は、光軸方向に移動可能な枠部材と、上記枠部材と別体であって、上記枠部材に対して係合及び離反状態となるように光軸方向に移動自在に設けられていて、上記枠部材を光軸方向に移動させるカムフォロワ部材と、上記カムフォロワ部材を光軸方向に駆動するカム手段と、を備えている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の別の態様のレンズ鏡筒は、第１の枠部材と、上記第１の枠部材を光軸周りの回動を伴わずに光軸方向に直進移動可能に支持する第２の枠部材と、上記第１の枠部材を上記第２の枠部材に対して光軸方向に離反する方向に付勢する付勢手段と、光軸方向に直進移動可能に上記第１の枠部材もしくは上記第２の枠部材に支持されていて、上記付勢手段により付勢された上記第１の枠部材と係合して上記第１の枠部材の光軸方向位置を規制可能な係合部を有し、上記第１の枠部材を光軸方向に一体的となって移動させるため上記第１の枠部材と上記係合部が係合する係合状態と、上記第１の枠部材と光軸方向に別体となって移動するように上記第１の枠部材と光軸方向に上記係合部が離反する離反状態と、になり得るカムフォロア部材と、上記カムフォロワ部材を光軸方向に駆動するカム手段と、を備えている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
上記可動フォロワ２８は、３群枠２３の進退位置を規制する部材であり、２群枠２２のガイド軸２７が摺動自在に嵌入する軸孔２８ａと、カムフォロワ２８ｂと、３群枠２３と係合して該枠２３の光軸方向位置を規制する係合部である係止爪２８ｃとが設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
（５）  付記４において、
上記カムフォロワ部材は、上記第１の枠部材と係合して上記第１の枠部材の光軸方向位置を規制する係合部を有し、さらに上記カムのカム部に接するカムフォロワを備えていることを特徴とするレンズ鏡筒。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
【発明の効果】
本発明によれば、枠部材を進退駆動する場合に、別体のカムフォロア部材を介して駆動するため、スムーズで、精度良く進退移動させることが可能であり、また、レンズ鏡筒の小型化も実現できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月1日(2005.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側より正の屈折力の対物レンズ系と、該対物レンズ系により形成した物体像を正立像とする像反転光学系と、該正立像を観察する接眼レンズ系とを有し、該対物レンズ系は負の第１群、正の第２群、第３群、そして正の第４群の４つのレンズ群を有し、該第２群を光軸上移動させて変倍を行い、変倍に伴う視度変化を該第１群及び第３群より補正する変倍ファインダーであって、該第２群は両レンズ面が凸面で、非球面形状のレンズを有し、該第３群は物体側に凹面を向けた１つのレンズより成っており、該第３群のレンズの物体側と像面側のレンズ面の曲率半径を各々ｒ７，ｒ８とするとき
−０．８＜（ｒ７−ｒ８）／（ｒ７＋ｒ８）＜０．５
なる条件を満足することを特徴とする変倍ファインダー。
【請求項２】
前記第１群、第２群、第３群、そして第４群は各々単一のレンズより成っていることを特徴とする請求項１の変倍ファインダー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の変倍ファインダーは、物体側より正の屈折力の対物レンズ系と、該対物レンズ系により形成した物体像を正立像とする像反転光学系と、該正立像を観察する接眼レンズ系とを有し、該対物レンズ系は負の第１群、正の第２群、第３群、そして正の第４群の４つのレンズ群を有し、該第２群を光軸上移動させて変倍を行い、変倍に伴う視度変化を該第１群及び第３群より補正する変倍ファインダーであって、該第２群は両レンズ面が凸面で、非球面形状のレンズを有し、該第３群は物体側に凹面を向けた１つのレンズより成っており、該第３群のレンズの物体側と像面側のレンズ面の曲率半径を各々ｒ７，ｒ８とするとき
−０．８＜（ｒ７−ｒ８）／（ｒ７＋ｒ８）＜０．５
なる条件を満足することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第３群の単一のレンズの物体側と像面側のレンズ面の曲率半径を各々ｒ７，ｒ８としたとき、
−０．８＜（ｒ７−ｒ８）／（ｒ７＋ｒ８）＜０．５‥‥‥（１）
とし、主に球面収差とコマ収差を良好に補正している。
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月31日(2005.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  検査試料の形状を測定する試料検査装置において、前記検査試料の測定表面及び測定裏面を除く部分を保持する保持手段と、該保持手段に保持された検査試料の測定表面に可干渉光を投光して第１参照面と測定表面との光干渉により干渉縞を形成し該干渉縞を撮像素子により撮像する第１検査光学系と、前記保持手段に保持された検査試料の測定裏面に可干渉光を投光して第２参照面と測定裏面との光干渉により干渉縞を形成し該干渉縞を撮像素子により撮像する第２検査光学系と、前記第１及び第２検査光学系によりそれぞれ得られる干渉縞画像に基づいて前記検査試料の面形状情報を得る解析手段と、を備えることを特徴とする試料検査装置。
【請求項２】  請求項１の試料検査装置において、前記第１及び第２検査手段の撮像素子は、それぞれ得る干渉縞画像を同期して撮像することを特徴とする試料検査装置。
【請求項３】  請求項１の試料検査装置は、さらに前記第１参照面と第２参照面との相対的平行度を検出する平行度検出手段を備え、前記解析手段は検出された平行度情報に基づいて検査試料の表裏面の相対的な面形状情報を補正することを特徴とする試料検査装置。
【請求項４】  請求項１の試料検査装置において、さらに前記第１及び第２検査光学系に対して前記保持手段に保持された検査試料を相対移動させる移動手段を備え、第１及び第２検査光学系は該移動手段により相対移動される前記検査試料の測定面の干渉縞画像を参照面の大きさに応じて分割して得ることを特徴とする試料検査装置。
【請求項５】  請求項４の試料検査装置は、さらに分割して得られる干渉縞画像に基づく面形状情報を得ると共に、該面形状情報を繋ぎ合わせて全体の面形状情報を得る分割画像解析手段を備えることを特徴とする試料検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１）  検査試料の形状を測定する試料検査装置において、前記検査試料の測定表面及び測定裏面を除く部分を保持する保持手段と、該保持手段に保持された検査試料の測定表面に可干渉光を投光して第１参照面と測定表面との光干渉により干渉縞を形成し該干渉縞を撮像素子により撮像する第１検査光学系と、前記保持手段に保持された検査試料の測定裏面に可干渉光を投光して第２参照面と測定裏面との光干渉により干渉縞を形成し該干渉縞を撮像素子により撮像する第２検査光学系と、前記第１及び第２検査光学系によりそれぞれ得られる干渉縞画像に基づいて前記検査試料の面形状情報を得る解析手段と、を備えることを特徴とする。
（２）  （１）の試料検査装置において、前記第１及び第２検査手段の撮像素子は、それぞれ得る干渉縞画像を同期して撮像することを特徴とする。
（３）  （１）の試料検査装置は、さらに前記第１参照面と第２参照面との相対的平行度を検出する平行度検出手段を備え、前記解析手段は検出された平行度情報に基づいて検査試料の表裏面の相対的な面形状情報を補正することを特徴とする。
（４）  （１）の試料検査装置において、さらに前記第１及び第２検査光学系に対して前記保持手段に保持された検査試料を相対移動させる移動手段を備え、第１及び第２検査光学系は該移動手段により相対移動される前記検査試料の測定面の干渉縞画像を参照面の大きさに応じて分割して得ることを特徴とする。
（５）  （４）の試料検査装置は、さらに分割して得られる干渉縞画像に基づく面形状情報を得ると共に、該面形状情報を繋ぎ合わせて全体の面形状情報を得る分割画像解析手段を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月5日(2005.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料の表面を走査するスキャニングプローブにおいて、
前記スキャニングプローブの少なくとも先端部を被覆する光触媒の膜が形成されていることを特徴とするスキャニングプローブ。
【請求項２】  前記光触媒の膜は、紫外線と光触媒反応を起こす性質を有する請求項１に記載のスキャニングプローブ。
【請求項３】  前記光触媒の膜の下に金属膜が形成されている請求項１または２に記載のスキャニングプローブ。
【請求項４】  前記金属膜は、光ファイバの表面に形成され、該光ファイバの先端面から近接場光を滲み出させる請求項３に記載のスキャニングプローブ。
【請求項５】  前記金属膜は、光ファイバの表面に形成され、光を前記試料に照射させることで生じた近接場光内に、前記光ファイバの先端部を挿入することで生じた散乱光を前記光ファイバへ導光させる請求項３に記載のスキャニングプローブ。
【請求項６】  光源から照射された光を試料に照射させることで生じた近接場光内において、微小粒子をトラップするための光を照射するトラップ用光源から照射されたトラップ光により、トラップされることで散乱光を発生させ、かつ、光触媒機能を有する前記微小粒子からなることを特徴とするスキャニングプローブ。
【請求項７】  請求項１ないし６のいずれか１項に記載のスキャニングプローブと、
前記スキャニングプローブ及び前記試料の表面を相対的に走査させる走査手段とを有することを特徴とする走査装置。
【請求項８】  位置決めのためのアライメントマークが設けられた被露光物の前記アライメントマークに光を照射する光照射手段と、
前記被露光物を露光するための前記露光光を発生させる露光光発生手段と、
前記光照射手段、前記露光光発生手段及び前記試料の表面を相対的に走査させる走査手段とを有する露光装置において、
前記光照射手段は、請求項４に記載のスキャニングプローブを位置決め用プローブとして有することを特徴とする露光装置。
【請求項９】  位置決めのためのアライメントマークが設けられた被露光物の前記アライメントマークに光を照射する光照射手段と、
前記被露光物を露光するための前記露光光を発生させる露光光発生手段と、
前記光照射手段、前記露光光発生手段及び前記試料の表面を相対的に走査させる走査手段とを有する露光装置において、
前記露光光発生手段は、請求項５に記載のスキャニングプローブを露光用プローブとして有することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】  試料に光を照射させることで近接場光を生じさせる励起光照射手段と、
前記試料の表面を観察するための観察手段と、
前記観察手段と前記試料の表面とを相対的に走査させる走査手段とを有する近接場顕微鏡において、
前記観察手段は、請求項４または６に記載のスキャニングプローブを有することを特徴とする近接場顕微鏡。
【請求項１１】  導電性の試料の表面とプローブとの間に流れるトンネル電流が一定値となるように前記導電性の試料と前記プローブとの距離を保持しながら、前記導電性の試料の表面を走査することで前記導電性の試料の表面を観察する観察手段と、
前記導電性の試料の表面と前記プローブとを相対的に走査させる走査手段とを有する走査型トンネリング顕微鏡において、
前記プローブは、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のスキャニングプローブであることを特徴とする走査型トンネリング顕微鏡。
【請求項１２】  試料の表面に接触する接触プローブと、
前記試料の表面と前記プローブとを相対的に走査させる走査手段とを有する原子間力顕微鏡において、
前記接触プローブは、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のスキャニングプローブであることを特徴とする原子間力顕微鏡。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月10日(2004.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
アルミニウム板に親水化処理を施した支持体上に、付加重合可能なエチレン性二重結合を有する化合物と可視光で活性化する光重合開始系と架橋性基を側鎖に有する重合体とを含有する光重合性感光層を有する平版印刷版用原版を、レーザー光で画像露光後、アニオン系界面活性剤を含有するｐＨ１２以下のアルカリ水溶液で現像することを特徴とする平版印刷版の作成法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究の結果、アルミニウム板に親水化処理を施した支持体上に、付加重合可能なエチレン性二重結合を有する化合物と可視光で活性化する光重合開始系と架橋性基を側鎖に有する重合体とを含有する光重合性感光層を有する平版印刷版用原版をレーザー光で画像露光後、アニオン系界面活性剤を含有するｐＨ１２以下のアルカリ水溶液で現像することで、汚れ性と耐刷性の両立が可能であることを見出した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
光重合開始剤としては、使用する光源の波長により、特許、文献等で公知である種々の光開始剤、あるいは２種以上の光開始剤の併用系（光開始系）を適宜選択して使用することができる。可視光線、Ａｒレーザー、半導体レーザーの第２高調波、ＳＨＧ−ＹＡＧレーザーを光源とする場合にも、種々の光開始系が提案されており、例えば米国特許第２，８５０，４４５号に記載のある種の光還元性染料、例えばローズべンガル、エオシン、エリスロシンなど、あるいは、染料と開始剤との組み合わせによる系、例えば染料とアミンの複合開始系（特公昭４４−２０１８９号）、ヘキサアリールビイミダゾールとラジカル発生剤と染料との併用系（特公昭４５−３７３７７号）、ヘキサアリールビイミダゾールとｐ−ジアルキルアミノベンジリデンケトンの系（特公昭４７−２５２８号、特開昭５４−１５５２９２号）、環状シス−α−ジカルボニル化合物と染料の系（特開昭４８−８４１８３号）、環状トリアジンとメロシアニン色素の系（特開昭５４−１５１０２４号）、３−ケトクマリンと活性剤の系（特開昭５２−１１２６８１号、特開昭５８−１５５０３号）、ビイミダゾール、スチレン誘導体、チオールの系（特開昭５９−１４０２０３号）、
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
かくして得られた平版印刷版は、Ａｒレーザー、半導体レーザーの第２高調波光、ＹＡＧ−ＳＨＧレーザーなどの可視光レーザーにより直接露光された後、現像処理される。かかる現像処理に使用される現像液としては、アニオン系界面活性剤を含有するｐＨ１２以下のアルカリ水溶液が使用し、より好ましくはｐＨ８〜１１のアルカリ水溶液が使用される。例えば、第３リン酸ナトリウム、同カリウム、同アンモニウム、第二リン酸ナトリウム、同カリウム、同アンモニウム、炭酸ナトリウム、同カリウム、同アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、同カリウム、同アンモニウム、ほう酸ナトリウム、同カリウム、同アンモニウム、水酸化ナトリウム、同アンモニウム、同カリウムおよび同リチウムなどの無機アルカリ剤が挙げられる。また、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、トリイソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、エチレンイミン、エチレンジアミン、ピリジンなどの有機アルカリ剤も用いられる。これらのアルカリ剤は単独もしくは２種以上を組み合わせて用いられる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月20日(2004.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
［Ａ］（ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物、
（ａ２）エポキシ基含有不飽和化合物、および
（ａ３）前記（ａ１）および（ａ２）以外のオレフィン系不飽和化合物、
の共重合体、
［Ｂ］エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに
［Ｃ］感放射線重合開始剤
を含有することを特徴とするカラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物。
【請求項２】
以下の工程を以下に記載順で実施することを特徴とする保護膜の形成方法。
（１）請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、
（２）該塗膜に所定のマスクを介して放射線を照射する工程、
（３）現像工程、
（４）該現像後の膜の全面に放射線を照射する工程、および
（５）加熱工程。
【請求項３】
請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物から形成された保護膜。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用のカラーフィルター保護膜として好適な感放射線性樹脂組成物保護膜およびその形成方法に関する。特にギャップ制御用柱状スペーサーを有する保護膜を形成するのに好適な感放射線性樹脂組成物保護膜およびその形成方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
それ故、本発明の目的は、ラビングにより表示不良が生じないようラビング耐性が高く、さらに、熱により形状が変化しないよう耐熱寸法安定性が高くそして、液晶パネルにかかる外部圧力により形状が変化しないよう圧縮強度が高い、ギャップ制御用柱状スペーサーを有する保護膜を形成するのに好適な感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
本発明の他の目的は、本発明の感放射線性樹脂組成物から保護膜を形成する方法および形成された保護膜を提供することにある。
本発明の他の目的および利点は以下の説明から明らかになろう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、本発明の上記目的および利点は、第２に、
以下の工程を以下に記載順で実施することを特徴とする保護膜の形成方法によって達成される。
（１）本発明の感放射線性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、
（２）該塗膜に所定のマスクを介して放射線を照射する工程、
（３）現像工程、
（４）該現像後の膜の全面に放射線を照射する工程、および
（５）加熱工程。
本発明によれば、本発明の上記目的および利点は、第３に、
本発明の感放射線性樹脂組成物から形成された保護膜によって達成される。
以下、本発明のカラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物について詳述する。
本発明のカラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物は、上記のとおり、共重合体［Ａ］、重合性化合物［Ｂ］および重合開始剤［Ｃ］からなることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
合成例１
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、２,２’−アゾビス（２,４−ジメチルバレロニトリル）７重量部およびジエチレングリコールメチルエチルエーテル２００重量部を仕込んだ。引き続きスチレン２５重量部、メタクリル酸１０重量部、メタクリル酸ジシクロペンタニル２０重量部およびメタクリル酸グリシジル４５重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに攪拌を始めた。溶液の温度を７０℃に上昇させ、この温度を５時間保持し共重合体［Ａ−１］を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は３３.０重量％であり、重合体の重量平均分子量は、２４,０００であった（重量平均分子量はＧＰＣ（ゲルパーミエイションクロマトグラフィー）  ＨＬＣ−８０２０（東ソー（株）製）を用いて測定したポリスチレン換算分子量である）。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月5日(2005.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  現像剤を収容した収容容器と、
この収容容器の現像剤出口を密閉すべく貼り付けられた帯状のシール部材と、
このシール部材を介して上記現像剤出口に対向した第１面および上記現像剤出口から離間した第２面を有し、上記シール部材を介して上記現像剤出口に対向した閉塞位置と、この閉塞位置から上記シール部材の長手方向に沿って退避した開放位置と、の間で移動可能に設けられ、上記閉塞位置から開放位置へ向う移動方向に沿った先端および後端を有し、この後端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第１のスリット、および上記先端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第２のスリットを有する蓋体と、を備え、
上記シール部材の一端は、上記蓋体の後端を介して上記第２面側から上記第１のスリットに挿通され、上記現像剤出口を密閉したシール部材と上記蓋体の第１面との間を通って上記第２のスリットに挿通され、上記蓋体の先端を介して上記シール部材の他端に接続されていることを特徴とする現像剤補給容器。
【請求項２】  現像剤を収容した収容容器と、
この収容容器の現像剤出口を密閉すべく貼り付けられた帯状のシール部材と、
このシール部材を介して上記現像剤出口に対向した第１面および上記現像剤出口から離間した第２面を有し、上記シール部材を介して上記現像剤出口に対向した閉塞位置と、この閉塞位置から上記シール部材の長手方向に沿って退避した開放位置と、の間で移動可能に設けられ、上記閉塞位置から開放位置へ向う移動方向に沿った先端および後端を有し、この後端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第１のスリット、および上記先端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第２のスリットを有する蓋体と、を備え、
上記シール部材の一端は、上記蓋体の後端を介して上記第２面側から上記第１のスリットに挿通され、上記現像剤出口を密閉したシール部材と上記蓋体の第１面との間を通って上記第２のスリットに挿通され、上記蓋体の先端を介して上記シール部材の他端に接続されており、上記シール部材の両端が上記現像剤出口に固定されていることを特徴とする現像剤補給容器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のトナーカートリッジでは、カートリッジをトナーホッパに装着した後、スライド蓋をスライドさせ、さらにシールフィルムの先端を引っ張るといった２度の動作が必要であり、面倒であった。また、２度の動作が必要であることから、スライド蓋を開けた後、シールフィルムを引っ張る動作を忘れてしまい、トナー放出口が途中までしか開かれていない状態でトナー補給がなされ、トナー補給に多くの時間がかかってしまう場合があった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の現像剤補給容器は、現像剤を収容した収容容器と、この収容容器の現像剤出口を密閉すべく貼り付けられた帯状のシール部材と、このシール部材を介して上記現像剤出口に対向した第１面および上記現像剤出口から離間した第２面を有し、上記シール部材を介して上記現像剤出口に対向した閉塞位置と、この閉塞位置から上記シール部材の長手方向に沿って退避した開放位置と、の間で移動可能に設けられ、上記閉塞位置から開放位置へ向う移動方向に沿った先端および後端を有し、この後端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第１のスリット、および上記先端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第２のスリットを有する蓋体と、を備え、上記シール部材の一端は、上記蓋体の後端を介して上記第２面側から上記第１のスリットに挿通され、上記現像剤出口を密閉したシール部材と上記蓋体の第１面との間を通って上記第２のスリットに挿通され、上記蓋体の先端を介して上記シール部材の他端に接続されていることを特徴とする。
また、この発明の現像剤補給容器は、現像剤を収容した収容容器と、この収容容器の現像剤出口を密閉すべく貼り付けられた帯状のシール部材と、このシール部材を介して上記現像剤出口に対向した第１面および上記現像剤出口から離間した第２面を有し、上記シール部材を介して上記現像剤出口に対向した閉塞位置と、この閉塞位置から上記シール部材の長手方向に沿って退避した開放位置と、の間で移動可能に設けられ、上記閉塞位置から開放位置へ向う移動方向に沿った先端および後端を有し、この後端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第１のスリット、および上記先端近くで上記移動方向を横切る方向に延び且つ上記第１面と第２面を連通した第２のスリットを有する蓋体と、を備え、上記シール部材の一端は、上記蓋体の後端を介して上記第２面側から上記第１のスリットに挿通され、上記現像剤出口を密閉したシール部材と上記蓋体の第１面との間を通って上記第２のスリットに挿通され、上記蓋体の先端を介して上記シール部材の他端に接続されており、上記シール部材の両端が上記現像剤出口に固定されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月5日(2005.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、基材として合成樹脂フィルムを用いる場合には、必要に応じ、その片面又は両面をマット加工することにより、ハレーション防止効果を向上させることができる。このマット加工は、例えば化学的エッチング法やサンドブラスト法、合成樹脂と粗面化形成剤とを用いるケミカルマット法などにより行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月2日(2005.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアとを有し、焦点検出ポイント選択手段により前記複数の焦点検出ポイントを選択可能とするカメラであって、
前記焦点検出ポイント選択手段で選択された複数の焦点検出ポイントに対応の測光エリアでの測光値を平均化する平均化手段とを有することを特徴とするカメラ。
【請求項２】  複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアとを有し、焦点検出ポイント選択手段により前記複数の焦点検出ポイントを選択可能とするカメラであって、
前記焦点検出ポイント選択手段で選択された焦点検出ポイントに対応の測光エリアでの測光値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前回までの測光値と今回の測光値を平均化する平均化手段とを有することを特徴とするカメラ。
【請求項３】  複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアとをファインダー画面内に備え、前記焦点検出ポイントを選択する手段と、測光された測光値を記憶する手段と、前回までの記憶した測光値と今回の測光値を平均化する手段と、前記平均化した測光値を表示する手段と、前記記憶した測光値と平均値との偏差を表示する手段を備えたカメラであって、
焦点検出ポイントが変更された時に、変更された焦点検出ポイントを含む測光エリアの測光値を算出する手段を備えたことを特徴とするカメラ。
【請求項４】  撮影モードが特定のモードに設定されている場合には、前記焦点検出ポイントを変更しても測光エリアは所定の位置に固定されていることを特徴とする請求項１、２または３に記載のカメラ。
【請求項５】  前記特定のモードとは、マニュアルフォーカスモードであることを特徴とする請求項４に記載のカメラ。
【請求項６】  前記特定のモードとは、焦点検出ポイント自動選択モードであることを特徴とする請求項４に記載のカメラ。
【請求項７】  前記所定の位置を変更可能な手段を有することを特徴とする請求項４に記載のカメラ。
【請求項８】  複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアと、使用に供する焦点検出ポイント数を変更可能とする焦点検出ポイント数変更手段とを有するカメラであって、
前記焦点検出ポイント数変更手段により焦点検出ポイント数が変更された際、変更された焦点検出ポイントの中で、焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在する場合には、該包含する焦点検出ポイントに対応の測光エリアの測光値を算出し、変更された焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在しなかった場合には、特定の測光エリアを用いて測光値を算出することを特徴とするカメラ。
【請求項９】  複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアと、使用に供する焦点検出ポイント数を変更可能とする焦点検出ポイント数変更手段と、前記複数の焦点検出ポイントを選択可能とする焦点検出ポイント選択手段と、測光された測光値を記憶する手段と、前回までの記憶した測光値と今回の測光値を平均化する手段と、前記平均化した測光値を表示する手段と、前記記憶した測光値と平均値との偏差を表示する手段を備えたカメラであって、
前記焦点検出ポイント数変更手段により焦点検出ポイント数が変更された際、変更された焦点検出ポイントの中で、焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在する場合には、該包含する焦点検出ポイントに対応の測光エリアの測光値を算出し、変更された焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在しなかった場合には、特定の測光エリアを用いて測光値を算出することを特徴とするカメラ。
【請求項１０】  前記特定の測光エリアとは、ファインダー画面中央の測光エリアであることを特徴とする請求項８又は９に記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本出願に係る発明の目的を実現する第２の構成は、複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアとを有し、焦点検出ポイント選択手段により前記複数の焦点検出ポイントを選択可能とするカメラであって、前記焦点検出ポイント選択手段で選択された焦点検出ポイントに対応の測光エリアでの測光値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前回までの測光値と今回の測光値を平均化する平均化手段とを有するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本出願に係る発明の目的を実現する第８の構成は、複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアと、使用に供する焦点検出ポイント数を変更可能とする焦点検出ポイント数変更手段とを有するカメラであって、前記焦点検出ポイント数変更手段により焦点検出ポイント数が変更された際、変更された焦点検出ポイントの中で、焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在する場合には、該包含する焦点検出ポイントに対応の測光エリアの測光値を算出し、変更された焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在しなかった場合には、特定の測光エリアを用いて測光値を算出するようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本出願に係る発明の目的を実現する第９の構成は、複数の焦点検出ポイントと、前記複数の焦点検出ポイントに対応した複数の測光エリアと、使用に供する焦点検出ポイント数を変更可能とする焦点検出ポイント数変更手段と、前記複数の焦点検出ポイントを選択可能とする焦点検出ポイント選択手段と、測光された測光値を記憶する手段と、前回までの記憶した測光値と今回の測光値を平均化する手段と、前記平均化した測光値を表示する手段と、前記記憶した測光値と平均値との偏差を表示する手段を備えたカメラであって、前記焦点検出ポイント数変更手段により焦点検出ポイント数が変更された際、変更された焦点検出ポイントの中で、焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在する場合には、該包含する焦点検出ポイントに対応の測光エリアの測光値を算出し、変更された焦点検出ポイントを包含する測光エリアが存在しなかった場合には、特定の測光エリアを用いて測光値を算出するようにしたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本出願に係る発明の目的を実現する第１０の構成は、前記特定の測光エリアを、ファインダー画面中央の測光エリアとするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月26日(2004.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型アレイを備えたインクジェット印字装置であって、
少なくともプリントヘッドの一部を画定する単一のモノリシック基板と、
第１の材料から作成された前記単一の基板上に形成されたインク噴出要素の大型アレイと、及び
前記単一のモノリシック基板に取り付けられ、かつ電気的に結合されるパネル基板と一体化された駆動装置回路であって、前記パネル基板が前記第１の材料と異なる第２の材料から作成されている、駆動装置回路とを含む、大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項２】
前記インク噴出要素の大型アレイの長さが、2.54cm（１インチ）よりも大きい、請求項１に記載の大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項３】
入力線が、前記基板の周辺位置に沿って配置され、かつ前記基板の外部の回路と電気的に通信するパッドを含む、請求項２に記載の大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項４】
前記入力線が、データ線、電力線、及び接地線を更に含む、請求項３に記載の大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項５】
大型アレイを備えたインクジェット印字装置であって、
少なくともプリントヘッドの一部を画定する単一のモノリシック基板と、
長さが、2.54cm（１インチ）よりも大きく、非晶質材料から作成された前記単一のモノリシック基板上に形成されたインク噴出要素の大型アレイと、及び
前記単一のモノリシック基板に電気的に結合される駆動装置回路を有するフリップチップフラットパネル基板とを含み、
前記フリップチップフラットパネル基板が、結晶材料から作成されている、大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項６】
前記モノリシック基板が、非晶質材料からなる、請求項５に記載の大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項７】
前記モノリシック基板上に配置された複数の薄膜と、
前記複数の薄膜によって画定される複数のインク供給穴と、及び
前記モノリシック基板上に形成され、前記モノリシック基板の裏面から前記複数のインク供給穴まで通るインク供給スロットとを更に含む、請求項６に記載の大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項８】
前記モノリシック基板に隣接する抵抗器層と、
前記抵抗器層に隣接しインク供給穴を有するバリヤー層と、
前記モノリシック基板上に配置され、前記インク供給穴を通じて前記抵抗器層にインクを供給する、インク供給チャネルと、及び
オリフィス層上に配置され、インクを噴出することができるノズルとを更に含む、請求項６に記載の大型アレイを備えたインクジェット印字装置。
【請求項９】
大型アレイを備えたプリントヘッドの製造方法であって、
単一のモノリシック基板を少なくとも前記プリントヘッドの一部として画定するステップと、
前記単一のモノリシック基板上に薄膜をパターニングするステップと、
前記単一のモノリシック基板上にサーマルインクジェットインク滴発生器とインク供給の幾何学的形状とを形成して、層状薄膜構造を形成するステップと、
多重化装置を別個に製作するステップと、及び
前記層状薄膜構造の形成後に前記多重化装置を取り付けるステップとを含む、大型アレイを備えたプリントヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記サーマルインクジェットインク滴発生器の長さが2.54cm（１インチ）よりも大きい、請求項９に記載の大型アレイを備えたプリントヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記モノリシック基板を平坦化するステップを更に含む、請求項１０に記載の大型アレイを備えたプリントヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記層状薄膜構造に複数のインク供給穴を形成するステップと、及び
前記モノリシック基板の裏面から前記複数のインク供給穴まで通るインク供給スロットを前記モノリシック基板に形成するステップとを更に含む、請求項１０に記載の大型アレイを備えたプリントヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2001138518.tif 000001