【手続補正書】
【提出日】平成17年8月11日(2005.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】研磨装置の洗浄方法、研磨装置、及び洗浄治具
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧により試料を吸着保持する吸着保持面を有する試料保持台の前記吸着保持面に吸着保持された試料を、研磨液により研磨する研磨装置の前記吸着保持面を洗浄する洗浄方法において、
前記吸着保持面にアルカリ性溶液を供給するとともに、前記吸着保持面に洗浄治具を接触させ、該洗浄治具及び前記試料保持台を相対移動させることにより前記吸着保持面を洗浄することを特徴とする研磨装置の洗浄方法。
【請求項２】
前記研磨液はシリカの粒子を含有する請求項１記載の研磨装置の洗浄方法。
【請求項３】
前記アルカリ性溶液はｐＨが１１以上である請求項１又は請求項２記載の研磨装置の洗浄方法。
【請求項４】
前記洗浄治具は前記吸着保持面に面接触することが可能な接触面を有している請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の研磨装置の洗浄方法。
【請求項５】
前記洗浄治具は前記吸着保持面に接触するブラシを有している請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の研磨装置の洗浄方法。
【請求項６】
試料保持台の吸着保持面に負圧により吸着保持した試料を、研磨液により研磨する研磨装置において、
洗浄治具と、
前記吸着保持面にアルカリ性溶液を供給する手段と、
前記吸着保持面に前記洗浄治具を接触させる手段と、
該洗浄治具及び前記試料保持台を相対移動させて前記吸着保持面を洗浄する手段と
を備えていることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
負圧により試料を吸着保持することが可能な吸着保持面を有する試料保持台と、前記吸着保持面と向き合うように配置される研磨定盤と、該研磨定盤に研磨液を供給する研磨液供給部とを備えた研磨装置において、
前記吸着保持面に接触することが可能な洗浄治具と、
前記吸着保持面に洗浄液としてアルカリ性溶液を供給する洗浄液供給部と
を備えていることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
前記洗浄治具は前記吸着保持面に面接触する接触面を有している請求項６又は請求項７記載の研磨装置。
【請求項９】
前記洗浄治具は前記吸着保持面に接触するブラシを有している請求項６乃至請求項８のいずれか１つに記載の研磨装置。
【請求項１０】
研磨される試料が吸着保持される被吸着保持面を洗浄する洗浄部と、
該洗浄部に設けてあり、被吸着保持面に接触する接触面と、
前記洗浄部に開口してある洗浄液供給部と
を備えていることを特徴とする洗浄治具。
【請求項１１】
前記洗浄部に配してあるブラシを備えている請求項１０に記載の洗浄治具。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶基板、光学用レンズ、半導体用フォトマスク等の試料を研磨する研磨装置の洗浄方法、研磨装置及び洗浄治具に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第６発明に係る研磨装置は、試料保持台の吸着保持面に負圧により吸着保持した試料を、研磨液により研磨する研磨装置において、洗浄治具と、前記吸着保持面にアルカリ性溶液を供給する手段と、前記吸着保持面に前記洗浄治具を接触させる手段と、該洗浄治具及び前記試料保持台を相対移動させて前記吸着保持面を洗浄する手段とを備えていることを特徴とする。また、第７発明に係る研磨装置は、負圧により試料を吸着保持することが可能な吸着保持面を有する試料保持台と、前記吸着保持面と向き合うように配置される研磨定盤と、該研磨定盤に研磨液を供給する研磨液供給部とを備えた研磨装置において、前記吸着保持面に接触することが可能な洗浄治具と、前記吸着保持面に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第１発明、第２発明、第６発明、及び第７発明にあっては、吸着保持面に固着したゲル状の研磨粒子が、吸着保持面に供給するアルカリ性溶液によって柔化する。この柔化したゲル状の研磨粒子に洗浄治具が接触し、該洗浄治具及び試料保持台の相対移動によって洗浄治具がゲル状の研磨粒子を擦り落すことになり、吸着保持面のゲル状の研磨粒子を効率的に除去することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第８発明に係る研磨装置は、前記洗浄治具は前記吸着保持面に面接触する接触面を有していることを特徴とする。
また、第１０発明に係る洗浄治具は、研磨される試料が吸着保持される被吸着保持面を洗浄する洗浄部と、該洗浄部に設けてあり、被吸着保持面に接触する接触面と、前記洗浄部に開口してある洗浄液供給部とを備えていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
第４発明、第８発明、及び第１０発明にあっては、洗浄治具の接触面がアルカリ性溶液により柔化したゲル状の研磨粒子に接触し、該研磨粒子を吸着保持面に沿って擦り落すとともに、吸着保持面に残留することなくすくい取ることになり、研磨粒子の除去効果がより一層向上する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
第９発明に係る研磨装置は、前記洗浄治具は前記吸着保持面に接触するブラシを有していることを特徴とする。
また、第１１発明に係る洗浄治具は、前記洗浄部に配してあるブラシを備えていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
第５発明、第９発明、及び第１１発明にあっては、洗浄治具のブラシが吸着保持面に固着したゲル状の研磨粒子と接触し、吸着保持面に供給されたアルカリ性溶液を前記ブラシにより前記研磨粒子の全体に触れさせるとともに、ゲル状部の内部にもアルカリ性溶液を十分に行き渡らせることになり、研磨粒子の柔化の効率を上げることができる。この柔化した研磨粒子の全体が前記ブラシにより効率的に取り除かれる。また、吸着保持面に吸引溝が設けられている場合においても、アルカリ性溶液により柔化した吸引溝の研磨粒子はブラシにより吸引溝から良好に取り除かれる。また、洗浄治具が前記接触面及びブラシを備えることにより、吸着保持面及び吸引溝に固着した研磨粒子の除去効果がより一層向上する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
【発明の効果】
以上詳述した如く第１発明、第２発明、第６発明、及び第７発明によれば、吸着保持面に供給するアルカリ性溶液によってゲル状の研磨粒子を良好に柔化させることができ、しかも、柔化したゲル状の研磨粒子を洗浄治具により擦り落すことができるため、吸着保持面のゲル状の研磨粒子を効率的に除去することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
第４発明、第８発明、及び第１０発明によれば、アルカリ性溶液により柔化したゲル状の研磨粒子に洗浄治具の接触面が接触し、該接触面が前記研磨粒子を吸着保持面に沿って擦り落すとともに、吸着保持面に残留することなくすくい取ることができ、研磨粒子の除去効果をより一層向上することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
第５発明、第９発明、及び第１１発明によれば、吸着保持面に供給されたアルカリ性溶液をブラシにより研磨粒子の全体に触れさせ、ゲル状部の内部にもアルカリ性溶液を十分に行き渡らせることが可能であり、研磨粒子の柔化の効率を上げることができるとともに、この柔化した研磨粒子の全体をブラシにより効率的に取り除くことができ、研磨粒子の除去効果をより一層向上することができる。しかも、吸着保持面に吸引溝が設けられている場合においても、アルカリ性溶液により柔化した吸引溝の研磨粒子を良好に取り除くことができる。