(57)【要約】【課題】８００℃以上の高温のプラズマ窒化処理工程を含んでトンネル絶縁膜を形成することにより、トラップサイト(trap site)を減少させ、シリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）の形成によってホウ素浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性などを改善することが可能なフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法の提供。【解決手段】半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、８００〜９００℃のプラズマ窒化処理工程によって前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記窒素含有絶縁膜の形成された前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を提供する。【選択図】図１Ｃ
2010034552.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、
前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、
前記半導体基板と前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含んでなることを特徴とする、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項２】
前記酸化膜は、ラジカル酸化(Radical Oxidation)工程で形成されることを特徴とする、請求項１に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項３】
前記ラジカル酸化工程は、８００〜９５０℃の温度で行われることを特徴とする、請求項２に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項４】
前記ラジカル酸化工程は、Ｏ２、Ｈ２およびＡｒガス雰囲気の下で行われることを特徴とする、請求項２に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項５】
前記窒素含有絶縁膜は、プラズマ窒化処理工程で形成されることを特徴とする、請求項１に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項６】
プラズマ窒化処理工程は、ＡｒおよびＮ２ガス雰囲気の下で行われることを特徴とする、請求項５に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項７】
前記プラズマ窒化処理工程は、８００〜９００℃の温度で行われることを特徴とする、請求項５に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項８】
前記プラズマ窒化処理工程は、３〜１０Ｐａの圧力および１５０〜２００Ｗのパワーで行われることを特徴とする、請求項５に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項９】
前記窒素含有絶縁膜は、シリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）を含んで形成されることを特徴とする、請求項１に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項１０】
前記窒素蓄積層は、Ｎ２Ｏガスを用いたアニーリング工程で形成されることを特徴とする、請求項１に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項１１】
前記アニーリング工程は、常圧および９００〜１１００℃の温度で行われることを特徴とする、請求項１０に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項１２】
前記アニーリング工程は、プリ活性チャンバー（Pre Activation Chamber、ＰＡＣ）を用いて行われることを特徴とする、請求項１０に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項１３】
前記アニーリング工程は、前記窒素含有絶縁膜を形成する段階の後、エクスシチュー(ex-situ)で行われることを特徴とする、請求項１０に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【請求項１４】
前記窒素蓄積層形成後の前記窒素含有絶縁膜は、窒素濃度が５〜３０ａｔ％であることを特徴とする、請求項１３に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法に係り、特に漏れ電流(Leakage Current)および絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage)特性などを改善することが可能なフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子であるフラッシュメモリ素子は、電源供給が遮断されても、そのメモリセルに格納されている情報を維持するうえ、回路基板に取り付けられている状態で高速の電気的消去が可能な不揮発性メモリ素子であって、高集積化に有利な構造のため、最近多く研究されて開発されるメモリ素子である。このようなフラッシュメモリ素子の単位セルは、半導体基板の活性領域上にトンネル酸化膜、フローティングゲート、誘電体膜およびコントロールゲートが順次積層されて形成される。これらの中でも、トンネル酸化膜は、一般なトランジスタのゲート酸化膜とは異なり、薄膜自体がデータを移動させる通路の役割を果たすので、非常に優れた薄膜特性が要求される。
【０００３】
ＮＡＮＤフラッシュ素子は、プログラム動作と消去動作の両方ともＦＮトンネリング方式を使用するので、数多くのプログラム動作と消去動作が繰り返し行われると、トンネル酸化膜の劣化現象が発生して機能を正常的に発揮することができなくなる。よって、トンネル酸化膜の厚さは出来る限り薄く形成してプログラムスピード特性を向上させるが、薄膜特性の劣化を防止するために薄膜内に窒素を注入させている。既存では、酸化工程を行って純粋な酸化膜を成長させた後、後続でＮ２ＯまたはＮＯガスを用いたアニーリング(Annealing)工程によってトンネル酸化膜と半導体基板との界面に２〜３ａｔ％の窒素を分布させて薄膜の特性を改善する方法を使用してきた。
【０００４】
ところが、最近の急速に薄くなったトンネル酸化膜に２〜３ａｔ％の窒素を分布させる程度では、満足すべき絶縁破壊電圧特性または漏れ電流特性を確保することができなくなっており、ＰＭＯＳトランジスタの場合にはホウ素浸透(penetration)の誘発によりゲート絶縁膜特性が劣化するという問題点が生じた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、８００℃以上の高温のプラズマ窒化処理工程を含んでトンネル絶縁膜を形成することにより、トラップサイト(trap site)を減少させ、シリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）の形成によってホウ素浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性などを改善することが可能なフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法は、半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、８００〜９００℃のプラズマ窒化処理工程によって前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記窒素含有絶縁膜の形成された前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む。
【０００７】
前記において、酸化膜はラジカル酸化(Radical Oxidation)工程によって形成される。ラジカル酸化工程は、Ｏ２、Ｈ２およびＡｒガス雰囲気の下に８００〜９５０℃の温度で行われる。
【０００８】
プラズマ窒化処理工程は、ＡｒおよびＮ２ガス雰囲気の下に３〜１０Ｐａの圧力および１５０〜２００Ｗのパワーで行われる。
【０００９】
窒素含有絶縁膜は、シリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）を含んで形成される。
【００１０】
窒素蓄積層は、Ｎ２Ｏガスを用いたアニーリング工程によって形成される。アニーリング工程は、常圧および９００〜１１００℃の温度でプリ活性チャンバー（Pre ActivationChamber、ＰＡＣ）を用いて行われる。アニーリング工程は、プラズマ窒化処理工程の後、エクスシチュー(ex-situ)で行われる。
【００１１】
窒素蓄積層形成後の窒素含有絶縁膜は、窒素濃度が５〜３０ａｔ％である。
【００１２】
本発明の他の実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法は、半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、前記酸化膜の表面を窒化処理させて窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む。
【００１３】
前記において、窒素含有絶縁膜はプラズマ窒化処理工程を用いる。プラズマ窒化処理工程は８００〜９００℃の温度、ＡｒおよびＮ２ガス雰囲気、３〜１０Ｐａの圧力並びに１５０〜２００Ｗのパワーで行われる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、次の効果がある。
【００１５】
一つ目、８００℃以上の高温におけるプラズマ窒化処理工程を含んでトンネル絶縁膜を形成することにより、トラップサイト(Trap Site)を著しく減少させ、窒素の含有量が大きいシリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）の形成によってホウ素浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性を改善することができる。
【００１６】
二つ目、プラズマ窒化処理工程の適用によるトンネル絶縁膜の有効酸化膜厚さ(Equivalent Oxide Thickness：ＥＯＴ)の減少によってトンネル絶縁膜の物理的な厚さを増加させてサイクリング(cycling)およびリテンション(retention)特性を改善することができる。
【００１７】
三つ目、既存のプラズマ窒化処理工程適用時の後続のＯ２アニーリング工程を行う代わりに、トンネル絶縁膜の製造の際に使用するＮ２Ｏアニーリング工程をプラズマ窒化処理工程の後に行うことにより、工程数を減少させることができる。
【００１８】
四つ目、Ｎ２Ｏアニーリング工程を行い、半導体基板と酸化膜の界面に窒素蓄積層が形成されることにより、窒素の損失が防止され、酸化膜の表面の窒素含有絶縁膜が緻密化されてしきい値電圧シフト（Vt shift）、およびしきい値電圧変化（Vt variation）の特性劣化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１Ａ】本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を説明するための断面図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を説明するための断面図である。
【図１Ｃ】本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を説明するための断面図である。
【図２】本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜の深さによる窒素濃度を示すＳＩＭＳグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。
【００２１】
図１Ａ〜図１Ｃは本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を説明するための断面図、図２は本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜の深さによる窒素濃度を示すＳＩＭＳ(Secondary Ion Mass Spectrometry)グラフである。
【００２２】
図１Ａを参照すると、ウェル領域（図示せず）の形成された半導体基板１０を準備する。ウェル領域はトリプル(Triple)構造で形成できる。この場合、ウェル領域は半導体基板１０上にスクリーン酸化膜（図示せず）を形成した後、ウェルイオン注入工程およびしきい値電圧イオン注入工程によって形成する。
【００２３】
スクリーン酸化膜を除去した後には、ウェル領域の形成された半導体基板１０上に、トンネル絶縁膜形成のための酸化膜形成前の洗浄工程をさらに行うことができる。洗浄工程は、自然酸化膜(Natural Oxide)および不純物を除去するために、ＨＦ溶液およびＳＣ−１(Standard Cleaning-1)溶液を用いて行うことができる。
【００２４】
次いで、スクリーン酸化膜を除去した後、ウェル領域の形成された半導体基板１０上に酸化膜１２を形成する。酸化膜１２は、ラジカル酸化(Radical Oxidation)工程によって形成することができる。この場合、ラジカル酸化工程はＯ２、Ｈ２およびＡｒガス雰囲気下に８００〜９５０℃の温度で行うことができる。これにより、酸化膜１２は純粋なシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）で形成される。酸化膜１２は６０〜８０Åの厚さに形成することができる。
【００２５】
このようにラジカル酸化工程を用いて酸化膜１２を形成する場合には、より緻密な薄膜を得ることができるため、後続の高温工程でトンネル絶縁膜の膜質が低下することを防止することができる。
【００２６】
図１Ｂを参照すると、酸化膜１２の表面を窒化処理する。窒化処理工程はプラズマ窒化処理工程によって行う。この場合、プラズマ窒化処理工程は、既存より化学反応が活発に起るように、８００〜９００℃の高温で行うことが好ましい。また、プラズマ窒化処理工程はＡｒおよびＮ２ガス雰囲気の下に３〜１０Ｐａの圧力および１５０〜２００Ｗのパワーで行うことができる。
【００２７】
これにより、プラズマ窒化処理工程によって酸化膜表面のＳｉ−Ｏ結合の酸素部位に窒素が置換されて酸化膜１２の表面に窒素含有絶縁膜１２ａが形成される。よって、酸化膜１２の表面に一つの窒素ピークが形成される。
【００２８】
このような窒素含有絶縁膜１２ａはシリコン窒化膜（Ｓｉ３Ｎ４）および／またはシリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）で形成できるが、プラズマ窒化処理によっては窒素含有量の大きいシリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）が主に形成される。これにより、以後に形成されるトンネル絶縁膜へのホウ素の浸透を抑制して絶縁破壊電圧特性または漏れ電流特性を改善することができる。
【００２９】
また、８００℃以上の高温におけるプラズマ窒化処理工程を用いる場合には、既存の５００℃以下の低温におけるプラズマ窒化処理工程を用いる場合より化学反応が容易に起るので、低温プラズマ窒化処理工程に比べてトラップサイト(Trap Site)を著しく減少させることができる。したがって、以後に形成されるトンネル絶縁膜の絶縁破壊電圧特性または漏れ電流特性をさらに改善することができる。
【００３０】
一方、プラズマ窒化処理の際に、酸化膜１２の表面が反応して窒素含有絶縁膜１２ａが形成されるので、酸化膜１２の厚さは初期形成時に比べて一部の厚さだけ低くなる。
【００３１】
図１Ｃを参照すると、半導体基板１０と酸化膜１２との界面に窒素を蓄積させるための工程を行う。この際、窒素蓄積工程は、Ｎ２Ｏガスを用いたアニーリング工程によって行うことができ、窒素含有絶縁膜１２ａの形成後にエクスシチューで行う。この場合、Ｎ２Ｏアニーリング工程は、Ｎ２Ｏガス雰囲気の下に常圧および９００〜１１００℃の温度で行うことができ、プリ活性チャンバー（Pre Activation Chamber：ＰＡＣ）を用いてＮ２Ｏガスの分解を助ける。
【００３２】
これにより、半導体基板１０と酸化膜１２との界面に、窒素の注入された窒素蓄積層１２ｂが形成される。その結果、半導体基板１０と酸化膜１２との界面にもう一つの窒素ピーク(Nitrogen Peak)が形成される。このような窒素蓄積層１２ｂによって半導体基板１０と酸化膜１２との界面に必然的に発生する界面トラップ電荷(Interface Trap Charge)の密度を減少させ、ＳＩＬＣ(Stress Induced Leakage Current)およびＣＶ(Current-Voltage)特性などを改善することにより、以後に形成されるトンネル絶縁膜のサイクリング特性およびリテンション特性を向上させることができる。
【００３３】
特に、本発明の一実施例では、Ｎ２Ｏアニーリング工程の後、窒素含有絶縁膜１２ａ内の窒素濃度を５〜３０ａｔ％を調節することにより、以後に形成されるトンネル絶縁膜の絶縁破壊電圧特性を向上させ、漏れ電流を減らして漏れ電流特性を向上させる。
【００３４】
一般に、プラズマ窒化処理工程の後でＮ２Ｏアニーリング工程を行ったとき、酸化膜１２の表面に形成された窒素含有絶縁膜１２ａ内の窒素濃度が４０〜５０％減少する。よって、Ｎ２Ｏアニーリング工程の後、窒素含有絶縁膜１２ａにおいて最終的に所望する窒素濃度を得るためには、Ｎ２Ｏアニーリング工程条件をチューニングすると同時に、プラズマ窒化処理の際に窒素濃度を調節しなければならない。
【００３５】
一方、Ｎ２Ｏアニーリング工程によって酸化膜１２の厚さが窒素含有絶縁膜１２ａの形成後に比べて１０〜２０Å程度増加できる。ところが、Ｎ２Ｏアニーリング工程の際に工程条件を適切に調節することにより、Ｎ２Ｏアニーリング工程の完了後、酸化膜１２の厚さ増加量が１Å以下に制御されるようにする。また、Ｎ２Ｏアニーリング工程によって窒素含有絶縁膜１２ａの厚さが一部増加できる。
【００３６】
通常、プラズマ窒化処理工程の後には、酸化膜１２の表面のダメージ問題と、結合していない窒素などの不安定性のため、窒素ピークの利点を生かすことができないので、窒化処理工程の後、後続のＯ２アニーリング工程を行う。ところが、本発明ではＮ２Ｏアニーリング工程をプラズマ窒化処理工程の後で行うことにより、窒化処理の後、Ｏ２アニーリング工程を省略して工程数を減少させると同時に、窒素の損失と窒素含有絶縁膜１２ａの緻密化を助けて、以後に形成されるトンネル絶縁膜のしきい値電圧シフト特性およびしきい値電圧変化の特性の劣化を防止することができる。
【００３７】
最終的に、酸化膜１２の形成後、順次行われる高温のプラズマ窒化処理工程とＮ２Ｏアニーリング工程によって、窒素蓄積層１２ｂ、酸化膜１２および窒素含有絶縁膜１２ａの積層膜からなるトンネル絶縁膜１４が形成される。
【００３８】
上述したように、本発明の一実施例によれば、８００℃以上の高温におけるプラズマ窒化処理工程によってトラップサイトが著しく減少し、窒素含有量の大きいシリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）からなる窒素含有絶縁膜１２ａを含むトンネル絶縁膜１４を形成することにより、トンネル絶縁膜１４へのホウ素の浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性を改善することができる。
【００３９】
一般に、シリコン窒化膜（Ｓｉ３Ｎ４）、シリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）などの窒化膜は誘電率が約７程度であって、誘電率３．９のシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）に比べて高い誘電率を持つ。よって、トンネル絶縁膜１４がシリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）からなる窒素含有絶縁膜１２ａを含んで形成される場合、トンネル絶縁膜１４の等価酸化膜厚さ（Equivalent Oxide Thickness：ＥＯＴ）の減少によってトンネル絶縁膜１４の物理的な厚さを増加させてサイクリングおよびリテンション特性を改善することができる。
【００４０】
図２を参照すると、図１Ａ〜図１Ｃに示すように、本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜１４は、Ｎ２Ｏアニーリングを行う前には、プラズマ窒化処理工程による窒素含有絶縁膜１２ａによってトンネル絶縁膜１４の表面にＡのように一つの窒素ピークを持つ。Ｎ２Ｏアニーリングの後には、トンネル絶縁膜１４の表面に窒素含有絶縁膜１２ａによってＢのようにＡより減少した窒素濃度を持つ一つの窒素ピークとＮ２Ｏアニーリング工程による窒素蓄積層１２ｂによって半導体基板１０とトンネル絶縁膜１４との界面にＣのようにもう一つの窒素ピークを介してトンネル絶縁膜１４が二重窒素ピーク(Double Nitrogen Peak)を持つ。この際、最終トンネル絶縁膜１４の表面の窒素ピークＢにおける窒素濃度は７ａｔ％以上に高く維持されることを確認することができた。
【００４１】
したがって、本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜１４は、二重窒素ピークを有するが、トンネル絶縁膜１４の表面の窒素濃度が５ａｔ％以上と高く維持され、窒素含有量の大きいシリコン酸化窒化膜（ＳｉＯＮ）からなる窒素含有絶縁膜１２ａを含んで緻密化されて形成されることにより、絶縁破壊電圧、漏れ電流、サイクリング、リテンション、しきい値電圧シフトおよびしきい値電圧変化の特性などが向上するので、素子の信頼性を向上させることができる。
【００４２】
図示していないが、後続でトンネル絶縁膜１４上にフローティングゲート用ポリシリコン膜を形成した後、後続の工程を行って半導体素子を完成する。
【００４３】
本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、相異なる多様な形態で実現できる。これらの実施例は、本発明の開示を完全たるものにし、通常の知識を有する者に本発明の範疇を完全に知らせるために提供される。したがって、本発明の範囲は特許請求の範囲によって理解されるべきである。
【符号の説明】
【００４４】
１０    半導体基板
１２    酸化膜
１２ａ    窒素含有絶縁膜
１２ｂ    窒素蓄積層
１４    トンネル絶縁膜
【図１Ａ】
2010034552.tif 000003
【図１Ｂ】
2010034552.tif 000004
【図１Ｃ】
2010034552.tif 000005
【図２】
2010034552.tif 000006