【手続補正書】
【提出日】平成17年4月12日(2005.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】  ボールベアリングの洗浄方法および各種部品の洗浄方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ボールベアリングの内輪の洗浄方法であって、
前記内輪の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記内輪を回転させるか、もしくは前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記内輪の回りに回転させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記内輪の外周面全体に隙間なく当てて、前記内輪のボール転動面を含む外周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするボールベアリングの内輪の洗浄方法。
【請求項２】  ボールベアリングの外輪の洗浄方法であって、
前記外輪の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記外輪と前記高圧液体ジェット噴射ノズルとを相対的に回転させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記外輪の内周面全体に隙間なく当てて、前記外輪のボール転動面とグルーブ面とを含む内周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするボールベアリングの外輪の洗浄方法。
【請求項３】  前記高圧液体ジェットとして、純水が使用されることを特徴とする請求項１に記載のボールベアリングの内輪の洗浄方法または請求項２に記載のボールベアリングの外輪の洗浄方法。
【請求項４】  特に高い精度が求められる軸体の洗浄方法であって、
前記軸体の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記軸体を回転させるか、もしくは前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記軸体の回りに回転させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記軸体の周面全体に隙間なく当てて、前記軸体の周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とする軸体の洗浄方法。
【請求項５】  特に高い精度が求められる軸体の端面に形成された孔の洗浄方法であって、
前記孔の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記軸体と前記高圧液体ジェット噴射ノズルとを相対的に回転させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記孔の周面全体に隙間なく当てて、前記孔の周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とする軸体の端面に形成された孔の洗浄方法。
【請求項６】  特に高い精度が求められるスリーブ体の洗浄方法であって、  前記スリーブ体の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記スリーブ体を回転させるか、もしくは前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記スリーブ体の回りに回転させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記スリーブ体の外周面全体に隙間なく当てて、前記スリーブ体の外周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするスリーブ体の洗浄方法。
【請求項７】  特に高い精度が求められるスリーブ体の洗浄方法であって、  前記スリーブ体の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記スリーブ体と前記高圧液体ジェット噴射ノズルとを相対的に回転させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記スリーブ体の内周面全体に隙間なく当てて、前記スリーブ体の内周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするスリーブ体の洗浄方法。
【請求項８】  特に高い精度が求められる平面体の洗浄方法であって、
前記平面体の表面の上方で高圧液体ジェット噴射ノズルを旋回させながら、前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記平面体の表面と平行に移動させ、
前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記平面体の表面全体に隙間なく当てて、前記平面体の表面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とする平面体の洗浄方法。
【請求項９】  前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットの噴射圧力が３００〜７００kgf/cm２とされたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のボールベアリングの内外輪の洗浄方法または請求項４ないし請求項８のいずれかに記載の各種部品（軸体、スリーブ体、平面体）の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本願の発明は、ボールベアリングの洗浄方法および各種部品の洗浄方法に関し、特にコンピュータのハードディスクドライブ装置を駆動するスピンドルモータ等精密機械の回転部に使用されるボールベアリング、およびその他精密仕上げが求められる部位に使用されて、特に高い精度が求められる各種部品の洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータのハードディスクドライブ装置においては、磁気ディスクの高密度化、回転速度の高速化に伴って、磁気ディスクを駆動するスピンドルモータの軸受に、高い回転精度、低摩擦、低騒音および長寿命が要求されている。そこで、この分野における軸受として従来から広く使用されているボールベアリング（玉軸受）においても、これらの要求を満たすべく、様々な角度から改良が重ねられてきている。
【０００３】
ボールベアリングの構成要素をなす内輪、外輪、ボール等の部品の洗浄、錆止め、乾燥作業は、これらの部品を組み立ててボールベアリングに仕上げる前の一連の作業工程の最終段階をなす。これらの作業のうち、洗浄作業の良否を表す洗浄度は、洗浄の前後におけるゴミ除去の度合いを示すが、これが低いと、部品表面に多くのゴミが除去されないで残り、部品が組み立てられてボールベアリングとして使用されたとき、部品同志の接触面（ボール転動面）が傷付き、面荒れが生ずる。
【０００４】
従来、ボールベアリングの内輪、外輪の洗浄装置、洗浄方法が種々提案されている（特開２００１−１２９４９７号公報、特開２００１−１０５２４６号公報、特開２００１−２３２５２４号公報、特許第２９３４４４７号公報等参照）。これらの中では、洗浄槽に超音波発振器を取り付け、超音波で加振された洗浄液中にこれらの部品を浸漬して行なう浸漬・超音波洗浄方法が多く採用されている。この方法によると、ワークは、洗浄液中への浸漬による洗浄作用に加え、洗浄液のキャビテーション振動に基づく空洞破壊力を利用した超音波洗浄作用を受けて、ワークに付着するゴミ、油分等が比較的良好に分離される。この場合の洗浄液としては、純水や超純水、ＲＯ（逆浸透）水等が使用されている。なお、これらの部品に残る切削によるバリの除去には、別途、バレル工程が実行されている。
【０００５】
しかしながら、このような浸漬・超音波洗浄方法では、内輪、外輪の各転動面に超音波による洗浄効果が十分に行き渡らず、汚れが落ちにくく、特に砥粒が落ちにくい。この砥粒は、硬いために、転動面やボールを傷付け、面荒れ発生の原因となる。また、グルーブの溝に溜まったゴミも落ちにくく、これが転動面に入り込んで、面荒れを一層助長させる。さらに、転動面に付着する結晶物や微小加工バリは、全く落とすことができない。
【０００６】
これらゴミ、砥粒、結晶物、微小加工バリ等が残留することにより生ずる内外輪やボールの面荒れは、回転振動、摩擦、ノイズの原因となり、高い回転精度、低摩擦、低騒音および長寿命が求められる磁気ディスクを駆動するスピンドルモータ用の軸受として、致命的な欠陥となる。このように、従来のボールベアリングの内外輪の洗浄方法では、それらの全面に及ぶ洗浄効果の満足が得られていないのが現状である。
【０００７】
ボールベアリングの内外輪のボール転動面のような部品同志が擦れ合う面のみならず、部品同志が静的に接触し合う面や自由面についても、その表面に前記のようなゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物等が付着していると、組立精度の悪化、誤作動等の原因となり、精密機械の性能の低下を招くので、これらの面への付着物も、擦れ合い面の場合と同様に、可能な限り除去されなければならない。
【０００８】
このように、精密機械において特に精密仕上げが求められる部位に使用される部品は、その表面が擦れ合い面であるか、静的接触面であるか、自由面であるかを問わず、その表面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物等を可能な限り除去することが、精密機械の性能の維持、耐久性の向上のために不可欠なことである。
【０００９】
このような部品の例としては、前述のボールベアリングの内輪、外輪のほかに、コンピュータのハードディスクドライブ装置におけるディスク読み出し・書き込み用スイングアームの回転部に使用されるピボットを構成する中心軸体、スリーブ体等があり、また、同ハードディスクドライブ装置を駆動するスピンドルモータの関連部品である中心軸体、スリーブ体、ハブ等がある。これらの部品の洗浄方法についても、従来は、前述のボールベアリングの内輪、外輪の洗浄方法と同じ洗浄方法（浸漬・超音波洗浄方法）が採用されており、ボールベアリングの内輪、外輪の場合と同様に、十分に満足の行く洗浄効果が得られていないのが現状である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本願の発明は、従来のボールベアリングの洗浄方法が有する前記のような問題点を解決して、ボールベアリングの内輪、外輪のボール転動面やグルーブ面を含む全面からゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を落とすことができて、これにより、面荒れの発生を防いで、高い回転精度、低摩擦、低騒音および長寿命のボールベアリングを実現することができるボールベアリングの洗浄方法を提供することを課題とする。
【００１１】
また、本願の発明は、従来の各種部品の洗浄方法が有する前記のような問題点を解決して、精密機械の精密仕上げが求められる部位に使用されて特に高い精度が求められる各種部品の表面からゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を落とすことができて、これにより、面荒れの発生を防ぎ、部品組立体の組立精度の悪化を防ぎ、また、誤作動の発生を防止して、高性能で長寿命の精密機械を実現することができる各種部品の洗浄方法を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決したボールベアリングの洗浄方法および各種部品の洗浄方法に係り、その請求項１に記載された発明は、ボールベアリングの内輪の洗浄方法であって、前記内輪の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記内輪を回転させるか、もしくは前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記内輪の回りに回転させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記内輪の外周面全体に隙間なく当てて、前記内輪のボール転動面を含む外周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするボールベアリングの内輪の洗浄方法である。
【００１３】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
内輪のボール転動面を含む外周面は、高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、この場合、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、面が傷付けられる虞もない。これにより、ボールベアリング完成品が使用されたとき、内輪自体および該内輪と接触する他の部品の面荒れの発生が防がれ、高い回転精度、低摩擦、低騒音および長寿命のボールベアリングを実現することができる。
【００１４】
また、その請求項２に記載された発明は、ボールベアリングの外輪の洗浄方法であって、前記外輪の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記外輪と前記高圧液体ジェット噴射ノズルとを相対的に回転させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記外輪の内周面全体に隙間なく当てて、前記外輪のボール転動面とグルーブ面とを含む内周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするボールベアリングの外輪の洗浄方法である。
【００１５】
請求項２に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
外輪のボール転動面とグルーブ面とを含む内周面は、高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、この場合、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、面が傷付けられる虞もない。これにより、ボールベアリング完成品が使用されたとき、外輪自体および該外輪と接触する他の部品の面荒れの発生が防がれ、高い回転精度、低摩擦、低騒音および長寿命のボールベアリングを実現することができる。
【００１６】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項１に記載のボールベアリングの内輪の洗浄方法または請求項２に記載のボールベアリングの外輪の洗浄方法において、その高圧液体ジェットとして、純水が使用されることを特徴としている。
【００１７】
この結果、ボールベアリングの内輪の洗浄後またはボールベアリングの外輪の洗浄後に、洗浄液を落とすために、さらにこれらを洗浄する必要が解消される。また、純水を使用するので、市水等に含まれる各種イオンや不純物によって、高圧液体ジェット噴射ノズル、高圧配管等に垢溜まり、腐食、詰まりが生ずることがなく、洗浄物の洗浄中の錆び発生の防止効果もある。
【００１８】
さらに、その請求項４に記載された発明は、特に高い精度が求められる軸体の洗浄方法であって、前記軸体の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記軸体を回転させるか、もしくは前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記軸体の回りに回転させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記軸体の周面全体に隙間なく当てて、前記軸体の周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とする軸体の洗浄方法である。
【００１９】
また、その請求項５に記載された発明は、特に高い精度が求められる軸体の端面に形成された孔の洗浄方法であって、前記孔の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記軸体と前記高圧液体ジェット噴射ノズルとを相対的に回転させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記孔の周面全体に隙間なく当てて、前記孔の周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とする軸体の端面に形成された孔の洗浄方法である。
【００２０】
また、その請求項６に記載された発明は、特に高い精度が求められるスリーブ体の洗浄方法であって、前記スリーブ体の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記スリーブ体を回転させるか、もしくは前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記スリーブ体の回りに回転させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記スリーブ体の外周面全体に隙間なく当てて、前記スリーブ体の外周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするスリーブ体の洗浄方法である。
【００２１】
さらに、その請求項７に記載された発明は、特に高い精度が求められるスリーブ体の洗浄方法であって、前記スリーブ体の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズルを移動させながら、前記スリーブ体と前記高圧液体ジェット噴射ノズルとを相対的に回転させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記スリーブ体の内周面全体に隙間なく当てて、前記スリーブ体の内周面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とするスリーブ体の洗浄方法である。
【００２２】
また、その請求項８に記載された発明は、特に高い精度が求められる平面体の洗浄方法であって、前記平面体の表面の上方で高圧液体ジェット噴射ノズルを旋回させながら、前記高圧液体ジェット噴射ノズルを前記平面体の表面と平行に移動させ、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットを前記平面体の表面全体に隙間なく当てて、前記平面体の表面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を除去することを特徴とする平面体の洗浄方法である。
【００２３】
請求項４ないし請求項８に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
軸体の周面、軸体の端面に形成された孔の周面、スリーブ体の外周面、スリーブ体の内周面および平面体の表面は、それぞれ高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、この場合、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、面が傷付けられる虞もない。これにより、当該軸体、スリーブ体および平面体が使用されるそれぞれの部品組立体の組立精度が向上し、また、部品相互間の擦れ合いによる面荒れも防がれ、誤作動も防がれて、高性能で長寿命の精密機械の実現に資することができる。
【００２４】
特に軸体の端面に形成された孔の周面や底面（この孔の底面の洗浄方法は、請求項８に記載された発明における平面体の洗浄方法の極端な例として理解することができる。）は、従来の浸漬・超音波洗浄方法による洗浄効果が行き届きにくいが、本洗浄方法が適用されることによる効果は顕著である。
【００２５】
さらに、その請求項９に記載された発明は、前記高圧液体ジェット噴射ノズルの噴射口から噴射される高圧液体ジェットの噴射圧力が３００〜７００kgf/cm２とされたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のボールベアリングの内外輪の洗浄方法または請求項４ないし請求項８のいずれかに記載の各種部品（軸体、スリーブ体、平面体）の洗浄方法である。
【００２６】
請求項９に記載された発明は、前記のように構成されているので、ボールベアリングの内輪の外周面、同外輪の内周面、軸体の周面、軸体の端面に形成された孔の周面、スリーブ体の内外周面、平面体の表面の各面に付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物を、その強力な高圧液体ジェットの衝撃力により、確実に効果的に吹き飛ばして除去することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
次に、本願の発明の実施形態について説明する。
先ず、図１ないし図６に図示される本願の請求項１ないし請求項３および請求項９に記載された各発明の実施形態について説明する。
図１は、これらの実施形態におけるボールベアリングの洗浄方法が適用されるボールベアリングの断面図、図２は、同ボールベアリングの内輪の洗浄方法の一例を説明する図、図３は、同ボールベアリングの内輪の洗浄方法の他の例を説明する図、図４は、同ボールベアリングの外輪の洗浄方法を説明する図、図５は、同ボールベアリングの内輪を複数個同時に洗浄する場合の洗浄方法を説明する図、図６は、同ボールベアリングの外輪を複数個同時に洗浄する場合の洗浄方法を説明する図である。
【００２８】
これらの実施形態におけるボールベアリングの洗浄方法が適用されるボールベアリングは、コンピュータのハードディスクドライブ装置を駆動するスピンドルモータ等精密機械の回転部に使用され、特に精巧に製作されるもので、高い回転精度と低摩擦、低騒音、長寿命等の優れた特性を備えている。
【００２９】
その基本構成について説明すると、ボールベアリング１は、図１に図示されるように、内輪２と、外輪３と、これら内輪２と外輪３の各転動溝（各ボール転動面２a 、３a を形成する溝）間に介装されて、それら間を転走する複数のボ−ル４と、これら複数のボ−ル４を所定間隔に保持する保持器５と、外輪３の内周面に固定されたシール手段６とから成っている。シール手段６は、外輪３の内周面の両端縁近傍に該両端縁に沿って穿設された２条のグル−ブ７内に、それぞれその基端部が埋め込まれて固定されており、軸受内に封入されたグリースの漏洩を防止する。以上のようなボールベアリング１の基本構成は、一般のボールベアリングと異ならない。
【００３０】
このように、その基本構成が一般のボールベアリングと異ならない本実施形態のボールベアリング１にあっては、その部品である内輪２、外輪３の各製造工程の略最終段階において行なわれる洗浄工程において、以下に説明するような独特の洗浄方法が採用されている。
【００３１】
先ず、内輪２の洗浄方法について、図２および図３を参照しつつ、詳細に説明する。
図２に図示される内輪２の洗浄方法は、内輪２の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズル８を移動させながら、内輪２を回転させ、高圧ポンプ９から供給される高圧液体を高圧液体ジェット噴射ノズル８の噴射口８a から噴射させ、この高圧液体ジェットを内輪２の外周面全体に隙間なく当てて、内輪２のボール転動面２a を含む外周面を洗浄するようにしている。
【００３２】
このとき、高圧液体ジェットとして純水を用い、噴射ノズル８の噴射口直径を０．２５mm程度、噴射圧力を噴射ノズル８と内輪２との距離に応じて３００〜７００kgf/cm２とする。内輪２の回転速度Ａ(rpm) 、噴射ノズル８の送り速度Ｆ(mm/sec)、噴射ノズル８の噴射口直径ｄ(mm)とすると、これらの関係をＦ×（６０／Ａ）≦ｄとなるようにすることにより、ワーク（内輪２）の被洗浄面全体に隙間なく高圧液体ジェットを噴射することができる。噴射ノズル８は、１回以上往復させるようにするとよい。
【００３３】
なお、ここでは、噴射口直径ｄ(mm)が採用されているが、正確には、噴射流直径が測定されるのが望ましい。但し、直進噴射の場合、噴射口直径≒噴射流直径としてよい。用途によっては、拡散噴射を採用することができ、この場合には、噴射流直径が測定されなければならない。そして、これをもって上記式中のｄに代える必要がある。このような事情は、以下に説明するボールベアリング１の内外輪２、３の洗浄方法および各種部品の洗浄方法に共通することである。
【００３４】
これにより、内輪２のボール転動面２a を含む外周面は、高圧液体ジェット噴射ノズル８の噴射口８a から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が確実に効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、この場合、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、内輪２の外周面が傷付かないようにすることができる。
【００３５】
図３には、内輪２の他の洗浄方法が図示されている。
この洗浄方法によると、内輪２の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズル８を移動させながら、高圧液体ジェット噴射ノズル８を内輪２の回りに半径Ｒで回転させ、高圧ポンプ９から供給される高圧液体を高圧液体ジェット噴射ノズル８の噴射口８a から噴射させ、この高圧液体ジェットを内輪２の外周面全体に隙間なく当てて、内輪２のボール転動面２a を含む外周面を洗浄するようにしている。
【００３６】
この場合も、噴射ノズル８の噴射口直径を０．２５mm程度、噴射圧力を噴射ノズル８と内輪２との距離に応じて３００〜７００kgf/cm２とする。噴射ノズル８の回転速度Ｂ(rpm) 、噴射ノズル８の送り速度Ｇ(mm/sec)、噴射ノズル８の噴射口直径ｄ(mm)とすると、これらの関係をＧ×（６０／Ｂ）≦ｄとなるようにすることにより、ワークの被洗浄面全体に隙間なく高圧液体ジェットを噴射することができる。なお、噴射ノズル８は、１回以上往復させるようにする。
【００３７】
この方法によっても、内輪２のボール転動面２a を含む外周面は、高圧液体ジェット噴射ノズル８の噴射口８a から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が確実に効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、この場合、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、内輪２の外周面が傷付けられる虞もない。
【００３８】
次に、外輪３の洗浄方法について、図４を参照しつつ、詳細に説明する。
図４に図示される外輪３の洗浄方法は、外輪３の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズル10を移動させながら、外輪３と高圧液体ジェット噴射ノズル10とを相対的に回転させ、高圧ポンプ11から供給される高圧液体を高圧液体ジェット噴射ノズル10の噴射口10a から噴射させ、この高圧液体ジェットを外輪３の内周面全体に隙間なくに当てて、外輪３のボール転動面３a とグルーブ面（グル−ブ７を画成する面）７a とを含む内周面を洗浄するようにしている。
【００３９】
外輪３と噴射ノズル10とを相対的に回転させるのには、外輪３を固定して噴射ノズル10を回転させてもよく、また、噴射ノズル10を固定して外輪３を回転させてもよい。噴射ノズル10の噴射口10a は、高圧液体ジェットの噴射圧力による反力をバランスさせるために、噴射ノズル10の軸心に対して対称な位置に２個設けられている。
【００４０】
このとき、高圧液体ジェットとして純水を用い、噴射ノズル10の噴射口直径を０．２５mm程度、噴射圧力を噴射ノズル10と外輪３との距離に応じて３００〜７００kgf/cm２とする。外輪３と噴射ノズル10との相対回転速度Ｃ(rpm) 、噴射ノズル10の送り速度Ｈ(mm/sec)、噴射ノズル10の噴射口直径ｄ(mm)とすると、これらの関係をＨ×（６０／２Ｃ）≦ｄとなるようにすることにより、ワーク（外輪３）の被洗浄面全体に隙間なく高圧液体ジェットを噴射することができる。なお、噴射ノズル10は、１回以上往復させるようにするとよい。
【００４１】
これにより、外輪３のボール転動面３a とグルーブ面７a とを含む内周面は、高圧液体ジェット噴射ノズル10の噴射口10a から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が確実に効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、この場合も、ジェットの噴射圧力を適切に選択することにより、外輪３の内周面が傷付けられる虞はない。
【００４２】
複数個の内輪２を一度に洗浄するのには、図５に図示されるように、それらを積み重ね、中心に軸棒25を通して、両端で座板26を介して締め付けて固定する。そして、１個の内輪２を洗浄したときと同じ方法により、内輪２群の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズル12を移動させながら、内輪２群を回転させるか、高圧液体ジェット噴射ノズル12を内輪２群の回りに回転させ、高圧ポンプから供給される高圧液体を高圧液体ジェット噴射ノズル12の噴射口12a から噴射させ、この高圧液体ジェットを内輪２群の外周面に当てて、内輪２群のボール転動面２a 群を含む外周面全体を洗浄するようにする。これによっても、１個ずつ内輪２の外周面を洗浄したときと同様に、各内輪２の外周面を洗浄することができる。
【００４３】
さらに、また、複数個の外輪３を一度に洗浄するのには、図６に図示されるように、それらを送り装置13上に１列に並べて固定し、間歇的に搬送しながら、その停止時に上方から１本もしくは複数本の高圧液体ジェット噴射ノズル24を各外輪３の内部に挿入して、外輪３の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズル24を移動させながら、高圧液体ジェット噴射ノズル24を回転させ、高圧液体ジェット噴射ノズル24の２つの噴射口24a から噴射される高圧液体ジェットを外輪３の内周面全体に隙間なく当てて、外輪３のボール転動面３a とグルーブ面７a とを含む内周面を洗浄するようにする。これにより、１個ずつ外輪３の内周面を洗浄したときと同様に、各外輪３の内周面を洗浄することができる。
【００４４】
これらの実施形態におけるボールベアリング１の洗浄方法は、それぞれ前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
内輪２のボール転動面２a を含む外周面、外輪３のボール転動面３a とグルーブ面７a とを含む内周面は、それぞれ高圧液体ジェット噴射ノズル８、12、10の噴射口８a 、12a 、10a から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、このときに、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、面が傷付けられる虞もない。これにより、ボールベアリング１の完成品が使用されたとき、内輪２、外輪３自体および該内輪２、外輪３と接触する他の部品（ボール）の面荒れの発生が防がれ、高い回転精度、低摩擦、低騒音および長寿命のボールベアリング１を実現することができる。
【００４５】
特に、高圧液体ジェットの噴射圧力が３００〜７００kgf/cm２に調節されているので、面を傷付けることなく、前記のようなゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物の吹き飛ばし、切断、除去が確実に行なわれる。
【００４６】
また、高圧液体ジェットとして純水が使用されるので、ボールベアリング１の内輪２の洗浄後またはボールベアリング１の外輪３の洗浄後に、洗浄液を落とすために、さらにこれら内輪２および外輪３を洗浄する必要がない。さらに、純水を使用するので、市水等に含まれる各種イオン、不純物によって、高圧液体ジェット噴射ノズル８、12、10、高圧配管等に垢溜まり、腐食、詰まりが生ずることがなく、洗浄物の洗浄中の錆び発生を防止することもできる。
【００４７】
次に、図７ないし図１１に図示される本願の請求項４ないし請求項８に記載された各発明の一実施形態について説明する。
先に述べた、請求項１ないし請求項３および請求項９に記載された各発明の実施形態におけるボールベアリング１の内輪２、外輪３の各洗浄方法は、精密機械の精密仕上げが求められる部位に使用されて、特に高い精度が求められる各種部品、例えば、コンピュータのハードディスクドライブ装置におけるディスク読み出し・書き込み用スイングアームの回転部に使用されるピボットを構成する部品である中心軸体、スリーブ体、同ハードディスクドライブ装置を駆動するスピンドルモータの関連部品である中心軸体、スリーブ体、ハブ（平面体）等の各面の洗浄方法として、広く応用が可能である。
【００４８】
例えば、図７および図９に図示されるように、特に高い精度が求められる軸体14の周面14a やスリーブ体18の外周面18b の洗浄には、先に述べた、ボールベアリング１の内輪２の洗浄方法がそのまま適用できる。すなわち、これらの洗浄は、軸体14やスリーブ体18の軸心と平行に高圧液体ジェット噴射ノズル15、20を移動させながら、軸体14やスリーブ体18を回転させ、高圧液体ジェット噴射ノズル15、20の噴射口から噴射される高圧液体ジェットを軸体14の周面14a やスリーブ体18の外周面全体に隙間なく当てることにより行なうことができる。なお、軸体14やスリーブ体18を回転させる代わりに、高圧液体ジェット噴射ノズル15、20を軸体 14やスリーブ体18の回りに回転させるようにしてもよいことはもちろんである。
これら図７および図９に図示される軸体14の周面14a およびスリーブ体18の外周面18b の洗浄方法は、請求項４および請求項６に記載された各発明の一実施形態を示している。
【００４９】
また、図８および図１０に図示されるように、特に高い精度が求められる軸体 16の端部の孔16a の周面16b およびスリーブ体18の内周面18a の洗浄には、先に述べた、ボールベアリング１の外輪３の洗浄方法がそのまま適用できる。すなわち、これらの洗浄は、孔16a やスリーブ体18の軸心に沿って高圧液体ジェット噴射ノズル17、19を移動させながら、軸体16やスリーブ体18を回転させ、高圧液体ジェット噴射ノズル17、19の噴射口から噴射される高圧液体ジェットを孔16a の周面16b やスリーブ体18の内周面18a全体に隙間なく当てることにより行なうことができる。なお、軸体16やスリーブ体18を回転させる代わりに、高圧液体ジェット噴射ノズル17、19を回転させるようにしてもよいことはもちろんである。
これら図８および図１０に図示される軸体16の端部の孔16a の周面16b およびスリーブ体18の内周面18a の洗浄方法は、請求項５および請求項７に記載された各発明の一実施形態を示している。
【００５０】
さらに、図１１に図示されるように、特に高い精度が求められる平面体21の表面21a の洗浄には、先に述べた、ボールベアリング１の内輪２の洗浄方法を応用することができる。すなわち、高圧液体ジェット噴射ノズル８を内輪２の回りに回転させて行なわれる場合のボールベアリング１の内輪２の洗浄方法（図３参照）において、噴射ノズル８の移動方向を内輪２の軸心と直交する方向に変更し、噴射ノズル８の回転（旋回）が一平面内で行なわれるように変更する。次いで、噴射ノズル８の噴射口から噴射される高圧液体ジェットの噴射方向を、この一平面と直交する方向に変更すればよい。
【００５１】
以下に、この平面体21の表面21a の洗浄方法について、若干詳しく説明しておく。
なお、ここで、「平面体」とは、部品の少なくとも一部形状に平面を有する部品を意味しており、部品全体が平面体形状をなしている必要はない。例えば、図８に図示される軸体16の端部の孔16a の底部に近似的に平面と見做すことができる底面を有する場合の軸体16は、ここで言う「平面体」の極端な例であり、このような軸体16の端部の孔16a の底面も、以下に述べる平面体21の表面21a の洗浄方法を適用することによって洗浄することができる。特に孔16a の径が小さい場合には、後述する高圧液体ジェット噴射ノズル22を孔16a の中心に置き、旋回半径Ｒ＝０として、これを洗浄することができる。
この図１１に図示される平面体21の表面21a の洗浄方法は、請求項８に記載された発明の一実施形態を示している。
【００５２】
この平面体21の表面21a の洗浄方法においては、表面21a の上方で高圧液体ジェット噴射ノズル22を半径Ｒで旋回させながら、高圧液体ジェット噴射ノズル22を表面21a と平行に移動させ、高圧ポンプ23から供給される高圧液体を高圧液体ジェット噴射ノズル22の噴射口22a から噴射させ、この高圧液体ジェットを表面
21a全体に隙間なく当てて、該表面21a を洗浄するようにする。半径Ｒの大きさは、表面21aの周縁に接する最大円の半径（Ｘ／２）よりもやや大きくされる。
【００５３】
この場合も、高圧液体ジェットとして純水を用い、噴射ノズル22の噴射口直径を０．２５mm程度、噴射圧力を噴射ノズル22の噴射口22a と表面21a との距離に応じて３００〜７００kgf/cm２とする。噴射ノズル22の旋回速度Ｄ(rpm) 、噴射ノズル22の送り速度Ｊ(mm/sec)、噴射ノズル22の噴射口直径ｄ(mm)とすると、これらの関係をＪ×（６０／Ｄ）≦ｄとなるようにすることにより、ワークの被洗浄面全体に隙間なく高圧液体ジェットを噴射することができる。なお、噴射ノズル
22は、１回以上往復させるようにする。
【００５４】
これにより、平面体21の表面21a は、高圧液体ジェット噴射ノズル22の噴射口 22a から噴射される強力な高圧液体ジェットの衝撃力を受けて、そこに付着するゴミ、油分、金属粉、砥粒、結晶物が確実に効果的に吹き飛ばされて除去される。なお、ジェットの噴射圧力を適切に調節することにより、表面21a が傷付けられる虞もない。
【００５５】
以上に述べたとおり、本願の発明は、特に高い精度が求められる各種部品の面の洗浄方法として効果的であり、以上に述べた部品のほかにも、同様の品質が求められる種々の部品の洗浄に応用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本願の請求項１ないし請求項３および請求項９に記載された各発明の実施形態におけるボールベアリングの洗浄方法が適用されるボールベアリングの断面図である。
【図２】
同ボールベアリングの内輪の洗浄方法の一例を説明する図である。
【図３】
同ボールベアリングの内輪の洗浄方法の他の例を説明する図である。
【図４】
同ボールベアリングの外輪の洗浄方法を説明する図である。
【図５】
同ボールベアリングの内輪を複数個同時に洗浄する場合の洗浄方法を説明する
図である。
【図６】
同ボールベアリングの外輪を複数個同時に洗浄する場合の洗浄方法を説明する
図である。
【図７】
請求項４に記載された発明の一実施形態における軸体の洗浄方法を説明する図である。
【図８】
請求項５に記載された発明の一実施形態における軸体端の孔の洗浄方法を説明する図である。
【図９】
請求項６に記載された発明の一実施形態におけるスリーブ体の洗浄方法を説明する図である。
【図１０】
請求項７に記載された発明の一実施形態におけるスリーブ体の洗浄方法を説明する図である。
【図１１】
請求項８に記載された発明の一実施形態における平面体の洗浄方法を説明する図である。
【符号の説明】
１…ボールベアリング、２…内輪、２a …転動面、３…外輪、３a …転動面、４…ボ−ル、５…保持器、６…シール手段、７…グル−ブ、７a …グルーブ面、８…高圧液体ジェット噴射ノズル、８a …噴射口、９…高圧ポンプ、10…高圧液体ジェット噴射ノズル、10a …噴射口、11…高圧ポンプ、12…高圧液体ジェット噴射ノズル、12a …噴射口、13…送り装置、14…軸体、14a …周面、15…高圧液体ジェット噴射ノズル、16…軸体、16a …孔、16b …孔周面、17…高圧液体ジェット噴射ノズル、18…スリーブ体、18a …内周面、18b …外周面、19、20…高圧液体ジェット噴射ノズル、21…平面体、21a …表面、22…高圧液体ジェット噴射ノズル、22a …噴射口、23…高圧ポンプ、24…高圧液体ジェット噴射ノズル、24a …噴射口、25…軸棒、26…座板。