(57)【要約】【課題】歩留まりを低下させることなく、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極を有するプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】第１のバス電極２２ａと第１の透明電極２２ｂとを有する走査電極２２と、第２のバス電極２３ａと第２の透明電極２３ｂとを有する維持電極２３とを、前面基板２１上に形成したプラズマディスプレイパネルであって、第１のバス電極２２ａおよび第２のバス電極２３ａは、それぞれ前面基板２１上に形成され、第１の透明電極２２ｂは少なくとも第１のバス電極２２ａの一部を覆うように、第２の透明電極２３ｂは少なくとも第２のバス電極２３ａの一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成された。【選択図】図２Ｂ
2010034031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したプラズマディスプレイパネルであって、
前記第１のバス電極および前記第２のバス電極は、それぞれ前記前面基板上に形成され、
前記第１の透明電極は少なくとも前記第１のバス電極の一部を覆うように、前記第２の透明電極は少なくとも前記第２のバス電極の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成されたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記微粒子は、インジウムおよび錫を含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記分散液をインクジェット法で印刷したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１の透明電極および前記第２の透明電極の少なくとも１つは、櫛歯状または梯子状の形状であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第１のバス電極および前記第２のバス電極は、それぞれ前記前面基板上に形成し、
前記第１の透明電極は少なくとも前記第１のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、前記第２の透明電極は少なくとも前記第２のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示デバイス等に用いる交流面放電型プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、単に「パネル」と略記する）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、ガラス製の前面基板と、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対と、それらを覆う誘電体層および保護層を有する。背面板は、ガラス製の背面基板と、データ電極と、それを覆う誘電体層と、隔壁と、蛍光体層とを有する。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このように構成されたパネルの各放電セル内でガス放電を発生させ、赤、緑、青各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００３】
走査電極および維持電極のそれぞれは、例えば幅の広いストライプ状の透明電極の上に幅の狭いストライプ状のバス電極を積層して形成されている。透明電極は、例えばスパッタ法等を用いて前面基板上に形成されたＩＴＯ薄膜を、フォトリソグラフィー法等によりストライプ状にパターニングして形成する。またバス電極は、透明電極上に銀ペーストをストライプ状に印刷し焼成して形成する（例えば、特許文献１参照）。しかしながらスパッタ法等でＩＴＯ薄膜を形成するためには真空装置や露光機等の設備が必要となり、生産設備が大型になるだけでなく、生産性が低いという問題点があった。
【０００４】
これらの課題を解決するために、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛から選ばれた金属の微粒子を含む分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１５６１６８号公報
【特許文献２】特開２００５−１８３０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、金属の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極は、スパッタ法等で形成したＩＴＯ薄膜に比較して機械的強度が弱く、剥れやすい、傷がつきやすい等の欠点があり、従来のＩＴＯ薄膜と単純に置き換えると歩留まりが大幅に低下するという課題があった。
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、歩留まりを低下させることなく、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成した透明電極を有するパネルおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明は、第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したパネルであって、第１のバス電極および第２のバス電極は、それぞれ前面基板上に形成され、第１の透明電極は少なくとも第１のバス電極の一部を覆うように、第２の透明電極は少なくとも第２のバス電極の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成されたことを特徴とする。この構成により、歩留まりを低下させることなく、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極を有するパネルを提供することができる。
【０００９】
また本発明のパネルの前記微粒子は、インジウムおよび錫を含むことが望ましい。
【００１０】
また本発明のパネルは、前記分散液をインクジェット法で印刷して形成してもよい。この構成により、分散液を無駄なく、かつ精度よくパターニングすることができる。
【００１１】
また本発明のパネルの第１の透明電極および第２の透明電極の少なくとも１つは、櫛歯状または梯子状の形状であってもよい。この構成により、分散液の使用量をさらに抑えることができる。
【００１２】
本発明は第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したパネルの製造方法であって、第１のバス電極および第２のバス電極は、それぞれ前面基板上に形成し、第１の透明電極は少なくとも第１のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、第２の透明電極は少なくとも第２のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成することを特徴とする。この方法により、歩留まりを低下させることなく、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極を有するパネルの製造方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、歩留まりを低下させることなく、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極を有するパネルおよびその製造方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態１におけるパネルの構造を示す分解斜視図である。
【図２Ａ】同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板側から見た正面図である。
【図２Ｂ】同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。
【図３Ａ】同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。
【図３Ｂ】同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。
【図３Ｃ】同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。
【図３Ｄ】同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。
【図３Ｅ】同パネルの前面板の製造方法を説明するための図である。
【図４Ａ】同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。
【図４Ｂ】同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。
【図４Ｃ】同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。
【図４Ｄ】同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。
【図４Ｅ】同パネルの背面板の製造方法を説明するための図である。
【図５Ａ】本発明の実施の形態２におけるパネルの表示電極対の詳細を示す前面板側から見た正面図である。
【図５Ｂ】同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。
【図６Ａ】本発明の実施の形態３におけるパネルの表示電極対の詳細を示す前面板側から見た正面図である。
【図６Ｂ】同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。
【図７Ａ】本発明の実施の形態４におけるパネルの表示電極対の詳細を示す前面板側から見た正面図である。
【図７Ｂ】同パネルの表示電極対の詳細を示す前面板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態におけるパネルについて、図面を用いて説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の構造を示す分解斜視図である。パネル１０は、前面板２０と背面板３０とを対向配置し、周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。
【００１７】
前面板２０は、ガラス製の前面基板２１と、走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４と、ブラックストライプ２５と、誘電体層２６と、保護層２７とを有する。前面基板２１上には１対の走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４が互いに平行に複数形成されている。そして隣り合う表示電極対２４の間にはブラックストライプ２５が形成されている。図１には表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されている図を示した。しかし表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されていてもよい。
【００１８】
そしてそれら表示電極対２４およびブラックストライプ２５を覆うように誘電体層２６が形成され、誘電体層２６上に保護層２７が形成されている。
【００１９】
背面板３０は、ガラス製の背面基板３１と、データ電極３２と、誘電体層３３と、隔壁３４と、蛍光体層３５とを有する。背面基板３１上には、複数のデータ電極３２が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極３２を覆うように誘電体層３３が形成され、さらにその上に井桁状の隔壁３４が形成され、誘電体層３３の表面と隔壁３４の側面とに赤、緑、青各色の蛍光体層３５が形成されている。
【００２０】
そして、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように前面板２０と背面板３０とが対向配置され、表示電極対２４とデータ電極３２とが対向する部分に放電セルが形成される。放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で、低融点ガラスを用いて前面板２０と背面板３０とが封着され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。
【００２１】
図２Ａおよび図２Ｂは、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の表示電極対２４の詳細を示す図であり、図２Ａは、パネル１０を前面板２０側から見た正面図、図２Ｂは前面板２０の断面図である。
【００２２】
走査電極２２は、不透明な第１のバス電極２２ａと、透明な第１の透明電極２２ｂとを有する。第１のバス電極２２ａは黒色層２２ｃと導電層２２ｄとからなる。維持電極２３も同様に第２のバス電極２３ａと第２の透明電極２３ｂとを有し、第２のバス電極２３ａは黒色層２３ｃと導電層２３ｄとからなる。以下、第１のバス電極２２ａおよび第２のバス電極２３ａをそれぞれ単に「バス電極２２ａ」および「バス電極２３ａ」と称する。また第１の透明電極２２ｂおよび第２の透明電極２３ｂをそれぞれ単に「透明電極２２ｂ」および「透明電極２３ｂ」と称する。
【００２３】
黒色層２２ｃ、２３ｃは、パネル１０を表示面側から見たときにバス電極２２ａ、２３ａを黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１の上に幅の狭いストライプ状に形成したものである。そして導電層２２ｄ、２３ｄは、バス電極２２ａ、２３ａの導電性を高めるために設けられており、黒色層２２ｃ、２３ｃの上に銀を含むペーストを印刷し焼成して形成したものである。
【００２４】
ブラックストライプ２５は、パネル１０を表示面側から見たときに表示面を黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１上に形成したものである。
【００２５】
透明電極２２ｂ、２３ｂは、放電空間に強い電界を発生して放電を発生させるとともに、蛍光体層３５で発生した光をパネル１０外部へ取り出すために設けられている。そして透明電極２２ｂはバス電極２２ａの少なくとも一部を覆うように、また透明電極２３ｂはバス電極２３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を幅の広いストライプ状に塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。
【００２６】
次にパネル１０の製造方法について説明する。図３Ａ〜図３Ｅは、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の前面板２０の製造方法を説明するための図である。
【００２７】
前面板２０を製造するには、まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄する。その後、酸化ルテニウムや黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２ｃ、２３ｃの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、およびブラックストライプ２５の前駆体２５ｘを前面基板２１上に形成する。これら前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２５ｘはスクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて形成することができる。その後、銀を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘの上に導電層２２ｄ、２３ｄの前駆体２２ｄｘ、２３ｄｘを形成する（図３Ａ）。
【００２８】
次に、前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２５ｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、バス電極２２ａ、２３ａ、ブラックストライプ２５を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０℃〜６００℃が望ましく、本実施の形態においては５８０℃である。またバス電極２２ａ、２３ａの厚みは、１μｍ〜６μｍが望ましく、本実施の形態においては４μｍである（図３Ｂ）。
【００２９】
次に、透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。透明電極２２ｂ、２３ｂを形成するには、まず、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍであって、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛の中の少なくとも１つの金属の微粒子、またはこれらの合金の微粒子、またはこれらの中の少なくとも１つの金属の酸化物の微粒子、または上記の微粒子の混合物を含む分散液を作成する。本実施の形態においては、平均粒径が１０ｎｍのインジウム−錫の合金微粒子を１２ｗｔ％の濃度で分散剤と共に有機溶媒中に分散させ、分散液を作成した。なお、有機溶媒としては、デカヒドロナフタレンを用いたが、これ以外にも、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、テトラデカンのような無極性溶媒、芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、トリメチルペンタン等の長鎖アルカン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等の環状アルカン等を用いることができる。
【００３０】
次に、インクジェット塗布装置を用いて、バス電極２２ａの少なくとも一部を覆う幅の広いストライプ状に分散液を塗布して透明電極２２ｂの前駆体２２ｂｘを形成し、バス電極２３ａの少なくとも一部を覆う幅の広いストライプ状に分散液を塗布して透明電極２３ｂの前駆体２３ｂｘを形成する。本実施の形態においては、多数穴の微細ノズルを有するインクジェット塗布装置を用いて、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成した。このとき、透明電極２２ｂの前駆体２２ｂｘはバス電極２２ａを覆うように塗布し、透明電極２３ｂの前駆体２３ｂｘはバス電極２３ａを覆うように塗布した（図３Ｃ）。
【００３１】
その後、前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃〜６００℃で焼成して、８０ｎｍ〜１０００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。本実施の形態においては、前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を１×１０−３Ｐａの減圧下において２３０℃、１０ｍｉｎの条件で乾燥した。そして大気中で５００℃、６０ｍｉｎの条件で焼成し、厚さ約３００ｎｍのＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した（図３Ｄ）。
【００３２】
次に、走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が形成された前面基板２１上に、印刷法等の公知技術により、誘電体層の前駆体を形成する。そして誘電体層の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ〜５０μｍの誘電体層２６を形成する。
【００３３】
本実施の形態においては、酸化硼素３５ｗｔ％、酸化硅素１．４ｗｔ％、酸化亜鉛２７．６ｗｔ％、酸化物バリウム３．３ｗｔ％、酸化ビスマス２５ｗｔ％、酸化アルミニウム１．１ｗｔ％、酸化モリブデン４．０ｗｔ％、酸化タングステン３．０ｗｔ％を含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。このようにして作成された誘電体ガラスの軟化点は約５７０℃である。次に走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が生成された前面基板２１上にダイコート法により誘電体ペーストを塗布して誘電体層の前駆体を形成した。そして誘電体層の前駆体を約５９０℃で焼成して誘電体層２６を形成した。このときの誘電体層２６の厚みは約４０μｍである。
【００３４】
なお、誘電体ペーストとしては、上記以外にも、例えば、酸化硼素、酸化硅素、酸化亜鉛、アルカリ土類酸化物、アルカリ金属酸化物、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化セリウム等の中からいくつかを含んだ軟化点５２０℃〜５９０℃の誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを用いることができる。
【００３５】
そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層２７を、真空蒸着法等の公知技術により形成する（図３Ｅ）。
【００３６】
なお、本実施の形態においては、インジウム−錫の合金微粒子を用いてＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成したが、上記以外にも、例えば錫の微粒子を用いて酸化錫膜からなる透明電極を形成してもよく、また亜鉛の微粒子を用いて酸化亜鉛膜からなる透明電極を形成してもよい。
【００３７】
また本実施の形態では、黒色層２２ｃ、２３ｃおよび導電層２２ｄ、２３ｄの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘを焼成後、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成し焼成した。しかし、例えば黒色層２２ｃ、２３ｃおよび導電層２２ｄ、２３ｄの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘの上にさらに透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成し、その後これらの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘ、２２ｂｘ、２３ｂｘを同時に焼成して走査電極２２、維持電極２３を形成してもよい。
【００３８】
次に背面板３０の製造方法について説明する。図４Ａ〜図４Ｅは、本実施の形態におけるパネル１０の背面板３０の製造方法を説明するための図である。
【００３９】
まず、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて、背面基板３１上に、銀を主成分とする導電層用ペーストを一定間隔でストライプ状に塗布し、データ電極３２の前駆体３２ｘを形成する（図４Ａ）。
【００４０】
次に、前駆体３２ｘが形成された背面基板３１を焼成して、データ電極３２を形成する。データ電極３２の厚みは、例えば２μｍ〜１０μｍである（図４Ｂ）。
【００４１】
続いて、データ電極３２を形成した背面基板３１上に誘電体ペーストを塗布し、この後焼成して誘電体層３３を形成する。誘電体層３３の厚みは、例えば約５μｍ〜１５μｍである（図４Ｃ）。
【００４２】
続いて、誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性の誘電体ペーストを塗布した後、焼成して隔壁３４の前駆体を形成する。その後、露光マスクを用いて感光し、エッチングして隔壁３４を形成する。隔壁３４の高さは、例えば１００μｍ〜１５０μｍである（図４Ｄ）。
【００４３】
そして、隔壁３４の壁面および誘電体層３３の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。その後乾燥、焼成して蛍光体層３５を形成する。
【００４４】
赤色蛍光体としては、例えば（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、（Ｙ，Ｖ）ＰＯ４：Ｅｕ等を、緑色蛍光体としては、例えばＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｔｂ、（Ｙ，Ｇｄ）Ａｌ３（ＢＯ３）４：Ｔｂ等を、青色蛍光体としては、例えばＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、Ｓｒ３ＭｇＳｉ２Ｏ８：Ｅｕ等をそれぞれ用いることができる（図４Ｅ）。
【００４５】
そして上述した前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、パネル１０が完成する。
【００４６】
本実施の形態においては、透明電極２２ｂはバス電極２２ａの少なくとも一部を覆うように、透明電極２３ｂはバス電極２３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれインジウム、錫等の金属微粒子を含む分散液を幅の広いストライプ状に塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成した。そしてその次の工程において透明電極２２ｂ、２３ｂを覆うように誘電体層２６を形成した。そのため、たとえ透明電極２２ｂ、２３ｂの機械的強度が低くても、傷がついたり剥れたりする可能性が非常に小さくなる。
【００４７】
また本実施の形態において、平均粒径が１０ｎｍのインジウム−錫の合金微粒子を高濃度で分散させた分散液を塗布後、５００℃の高温で焼成した透明電極２２ｂ、２３ｂは、抵抗が低く、透過率が高く、かつ前面基板２１やバス電極２２ａ、２３ａとの密着性も良好であった。この理由としては、例えば焼成によりインジウムが酸化インジウムに変化する際に微粒子が膨張することにより、粒子間の密着性や基板との密着性がより向上したためではないかと考えられる。
【００４８】
また本実施の形態において、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍの金属の微粒子を用いて透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。これは、平均粒径が５ｎｍ以下では、微粒子と誘電体ガラスとの反応が生じやすく、また、銀を含むバス電極２２ａ、２３ａとの段差部に亀裂が生じやすくなるためである。また、平均粒径が１００ｎｍ以上になると、インクジェット塗布装置の微細ノズルに目詰まりが起こりやすくなるためである。また平均粒径が大きすぎると、粒子間の接触面積が減少しシート抵抗が大きくなるためである。
【００４９】
また本実施の形態においては、金属の微粒子を含む分散液をインクジェット法によりストライプ状に塗布した。このようにインクジェット法を用いることにより、分散液を無駄なく、かつ精度よくパターニングすることができる。
【００５０】
なお、透明電極の形状を工夫することにより、以下のように分散液の使用量をさらに抑えることができる。
【００５１】
（実施の形態２）
図５Ａおよび図５Ｂは、本発明の実施の形態２におけるパネルの表示電極対５４の詳細を示す図であり、図５Ａはパネルを前面板５０側から見た正面図、図５Ｂは前面板５０の断面図である。実施の形態２におけるパネルが実施の形態１におけるパネル１０と異なる点は、前面基板５１上に形成された透明電極５２ｂ、５３ｂの形状である。実施の形態１と同様の構成要素については、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５２】
走査電極５２は、バス電極２２ａと透明電極５２ｂとを有する。維持電極５３も同様にバス電極２３ａと透明電極５３ｂとを有する。
【００５３】
透明電極５２ｂはバス電極２２ａの少なくとも一部を覆うように、また透明電極５３ｂはバス電極２３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれインジウム、錫等の金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。実施の形態２における透明電極５２ｂ、５３ｂは、図５Ａに示したように、梯子状の形状に形成されている。そして放電セルのそれぞれに対応して梯子形状の横木部分が形成されている。このように透明電極５２ｂ、５３ｂを梯子状の形状に形成することにより、分散液の使用量をさらに抑えることができる。
【００５４】
（実施の形態３）
図６Ａおよび図６Ｂは、本発明の実施の形態３におけるパネルの表示電極対８４の詳細を示す図であり、図６Ａはパネルを前面板８０側から見た正面図、図６Ｂは前面板８０の断面図である。前面基板８１上に形成された走査電極８２は、バス電極２２ａと透明電極８２ｂとを有する。維持電極８３も同様にバス電極２３ａと透明電極８３ｂとを有する。
【００５５】
透明電極８２ｂはバス電極２２ａの少なくとも一部を覆うように、また透明電極８３ｂはバス電極２３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれインジウム、錫等の金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。実施の形態３における透明電極８２ｂ、８３ｂは、図６Ａに示したように、櫛歯状の形状に形成されている。そして放電セルのそれぞれに対応して櫛歯形状の櫛の部分が形成されている。このように透明電極８２ｂ、８３ｂを櫛歯状の形状に形成することにより、分散液の使用量をさらに抑えることができる。
【００５６】
（実施の形態４）
図７Ａおよび図７Ｂは、本発明の実施の形態４におけるパネルの表示電極対９４の詳細を示す図であり、図７Ａはパネルを前面板９０側から見た正面図、図７Ｂは前面板９０の断面図である。前面基板９１上に形成された走査電極９２は、バス電極９２ａと透明電極９２ｂとを有する。維持電極９３も同様にバス電極９３ａと透明電極９３ｂとを有する。
【００５７】
透明電極９２ｂはバス電極９２ａの少なくとも一部を覆うように、また透明電極９３ｂはバス電極９３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれインジウム、錫等の金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。実施の形態４における透明電極９２ｂ、９３ｂは、図７Ａに示したように、櫛歯状の形状に形成されている。そして放電セルのそれぞれに対応して櫛歯形状の櫛の部分が形成されている。このように実施の形態４においても、透明電極９２ｂ、９３ｂを櫛歯状の形状に形成することにより、実施の形態３と同様に分散液の使用量を抑えることができる。
【００５８】
実施の形態４におけるパネルが実施の形態３におけるパネルと異なる点は、放電セル内部の走査電極９２と維持電極９３とが対向する部分、すなわち放電ギャップ９９を形成する部分がバス電極９２ａ、９３ａで形成されている点である。
【００５９】
一般に放電ギャップ９９の距離は、その放電セルの放電特性を大きく左右する。そのため放電ギャップ９９の距離のばらつきが大きいと、放電セル毎の放電特性のばらつきも大きくなり表示画面にむらが発生するおそれがある。しかしながら実施の形態４によれば、印刷精度の高いスクリーン印刷法を用いてバス電極９２ａ、９３ａが形成されているので、放電ギャップ９９の距離のばらつきも小さくなり、放電セル毎の放電特性のばらつきも抑えることができる。
【００６０】
また上述したように、透明電極９２ｂはバス電極９２ａの少なくとも一部を覆うように、透明電極９３ｂはバス電極９３ａの少なくとも一部を覆うように形成されている。ここで、透明電極９２ｂ、９３ｂは、バス電極９２ａ、９３ａの幅の半分以上、バス電極９２ａ、９３ａの幅未満の重なり幅を有することが望ましい。すなわち、バス電極９２ａ、９３ａの幅Ｗ、透明電極９２ｂ、９３ｂとバス電極９２ａ、９３ａとの重なり幅Ｄに対して、
１／２Ｗ≦Ｄ＜Ｗ
を満たすことが望ましい。
【００６１】
バス電極９２ａ、９３ａを完全に覆うように透明電極９２ｂ、９３ｂを形成すると、バス電極９２ａ、９３ａの焼成時にバス電極材料の銀粒子の焼結が不十分となる可能性がある。そのため重なり幅Ｄをバス電極９２ａ、９３ａの幅Ｗ未満に設定することが望ましい。ただし、重なり幅Ｄがバス電極９２ａ、９３ａの幅Ｗの半分より小さい場合、バス電極９２ａ、９３ａと透明電極９２ｂ、９３ｂとの接触抵抗が大きくなり、その結果、走査電極９２、維持電極９３の抵抗値が大きくなりすぎて画像表示品質を低下させるおそれがある。そのために重なり幅Ｄをバス電極９２ａ、９３ａの幅Ｗの半分未満に設定することは望ましくない。
【００６２】
なお、本実施の形態においては、図７Ａに示したように、透明電極材料を用いて櫛歯形状の櫛の部分を形成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、櫛歯形状の櫛の部分を、例えばバス電極材料を用いて形成してもよい。
【００６３】
また、実施の形態１〜４において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの仕様等に合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明によれば、歩留まりを低下させることなく、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極を有するパネルを実現することができ、パネルおよびその製造方法として有用である。
【符号の説明】
【００６５】
１０    パネル
２０，５０，８０，９０    前面板
２１，５１，８１，９１    前面基板
２２，５２，８２，９２    走査電極
２２ａ，９２ａ    （第１の）バス電極
２２ｂ，５２ｂ，８２ｂ，９２ｂ    （第１の）透明電極
２２ｂｘ，２３ｂｘ    （透明電極の）前駆体
２２ｃ，２３ｃ    黒色層
２２ｃｘ，２３ｃｘ    （黒色層の）前駆体
２２ｄ，２３ｄ    導電層
２２ｄｘ，２３ｄｘ    （導電層の）前駆体
２３，５３，８３，９３    維持電極
２３ａ，９３ａ    （第２の）バス電極
２３ｂ，５３ｂ，８３ｂ，９３ｂ    （第２の）透明電極
２４，５４，８４，９４    表示電極対
２５    ブラックストライプ
２５ｘ    （ブラックストライプの）前駆体
２６    誘電体層
２７    保護層
３０    背面板
３１    背面基板
３２    データ電極
３２ｘ    （データ電極の）前駆体
３３    誘電体層
３４    隔壁
３５    蛍光体層
９９    放電ギャップ
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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