(57)【要約】【課題】チップをアライメントすることなく、的確にダイスボンディングする。【解決手段】角錐型コレット部３４の内部には、平型コレットの機能を有する上下可動式のノズル４０が、上下動可能で且つ水平方向の移動が可能な状態で、吊設されている。そのため、チップピックアップ時には、上下可動式のノズル４０により、例えば、トレイのポケットにくっついたチップ等を、そのポケットとの干渉を起こすことなく、ダイレクトに吸引してピックアップすることができる。しかも、チップ固着時には、上下可動式のノズル４０が持ち上がり、このノズル４０に吸着されたチップが位置決めされて角錐型コレット部３４に吸引保持されるので、チップが所定の位置からずれた場合でも、正確な位置合わせが可能になる。従って、角錐型コレット部３４により、チップを損傷させることなく、的確にスクラブ・ダイスボンディングを行うことができる。【選択図】図１
2010034354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のコレット部本体を有し、前記コレット部本体の先端に複数の傾斜面で囲まれた凹部が形成され、且つ、前記凹部と連通し、バキューム吸引されるノズル収容孔が形成されたコレット部と、
先端が平らな筒状をなし、前記筒状の先端が、前記ノズル収容孔の中心軸方向に沿って前記コレット部本体の先端に対して突出後退が可能で、前記ノズル収容孔内に設けられたノズルと、を有し、
前記コレット部本体における外周には、前記コレット部本体の前記中心軸方向に延びる一対の長孔が一方の長孔と他方の長孔とが対向するように設けられており、
前記ノズルには、前記ノズルの中心軸方向に対して直行する方向に延びるピンが設けられ、
前記ピンが、前記一対の長孔内に遊嵌状態で挿着されていることを特徴とするボンディングコレット。
【請求項２】
前記コレット部は、角錐型構造、又は、２面の前記傾斜面を有する下駄型構造になって
いることを特徴とする請求項１記載のボンディングコレット。
【請求項３】
請求項１又は２のいずれか１項に記載のボンディングコレットを有することを特徴とするボンディング装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のボンディングコレットを用いた部品の実装方法であって、
前記バキューム吸引によって前記ノズルの先端で部品を吸着する工程と、
前記コレット部における前記コレット部本体の先端によって前記部品を被着体へ押し当て、前記バキューム吸引によって前記部品を前記凹部で吸引保持しつつ、前記部品をスクラブして前記被着体に固着する工程と、
を有することを特徴とするボンディングコレットを用いた部品の実装方法。
【請求項５】
前記部品を吸着する工程では、前記バキューム吸引により前記ノズルの先端で前記部品を吸着して前記部品をピックアップすることを特徴とする請求項４記載のボンディングコレットを用いた部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置等の組み立て時に部品（例えば、集積回路チップ（以下「ＩＣチップ」という。）や、チップコンデンサ、チップ抵抗、サーミスタ等の部品類）を吸引保持するためのボンディングコレット（以下単に「コレット」という。）と、このコレットを有するボンディング装置と、半導体素子等の部品をリードフレーム、半導体パッケージ（以下「ＰＫＧ」という。）、サブストレイト（基板）等の被着体に固着（ダイスボンディング、以下「ＤＢ」という。）するためのコレットを用いた部品の実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体装置の組み立てにおいて、ＤＢ工程では、コレットによりチップ部品（例えば、ＩＣチップやチップコンデンサ等の部品類）を吸引保持して基板等の被着体に固着している。コレットには、チップ部品（以下単に「チップ」という。）を吸引保持して、スクラブ（擦り付け）無しで被着体にＤＢ等を行うための平型コレットと、チップを吸引保持して、スクラブを行って被着体にＤＢするための角錐型コレット又は２面（下駄）型コレットとがある。
【０００３】
図５（ａ）〜（ｃ）は、従来の平型コレットを用いた部品の実装方法（例えば、ＤＢ工程）を示す図である。
【０００４】
平型コレット１は、底面が平坦なほぼ円筒状又は四角形をなし、この中心軸にバキューム孔１ａが形成されている。バキューム孔１ａの上端には、例えば、図示しないバキューム配管等が連結されている。
【０００５】
このような平型コレット１を使用してスクラブ無しでＤＢする場合、図５（ａ）のチップピックアップ（持ち上げ）時において、樹脂製等のトレイ１０に収納された直方体状のチップ１１上に、平型コレット１を移動し、この平型コレット１を降下させる。図５（ｂ）のチップバキューム時において、バキューム孔１ａを真空引きして平型コレット１の底面にチップ１１を吸着させ、基板等の被着体１２が載置された位置へ移動させる。
【０００６】
図５（ｃ）のチップＤＢ時において、被着体１２上に位置決めされた平型コレット１を降下させ、この平型コレット１の底面に吸着されたチップ１１を、表面に接着剤が塗布された被着体１２上に押し付け、そのチップ１１を被着体１２上に接着する。その後、バキューム孔１ａの真空引きを停止し、平型コレット１を上昇させてチップ１１から引き離し、原点位置に復帰させる。これにより、ＤＢ工程が終了する。
【０００７】
図６（ａ）〜（ｄ）は、従来の平型コレット及び角錐型コレットを用いた部品の実装方法（例えば、ＤＢ工程）を示す図である。
平型コレット１を使用して一旦アライメント（配置調整）してから角錐型コレット３でスクラブＤＢする場合、表面にアライメント爪４ａが突設されたアライメントステージ４を使用又は光学系認識を行うための回転テーブルなどを使用する。角錐型コレット３は、ほぼ角筒状をなし、この中心軸にバキューム孔３ａが形成されている。バキューム孔３ａの上端には、例えば、図示しないバキューム配管等が連結されている。角錐型コレット３の下端部には、複数（例えば、４つ）の傾斜面３ｂで囲まれた凹部３ｃが形成されている。各傾斜面３ｂは、下端から上方へと向かうにつれて、徐徐に対向する傾斜面３ｂ間の距離が小さくなるように傾いている。凹部３ｃは、バキューム孔３ａと連通している。
【０００８】
スクラブＤＢを行う場合、図６（ａ）のチップピックアップ時において、トレイ１０に収納された直方体状のチップ１１を平型コレット１により吸着してアライメントステージ４へ移動させる。図６（ｂ）のチップアライメント時において、平型コレット１に吸着されたチップ１１をアライメントステージ４上に載せ、真空引きを停止して平型コレット１を原点位置に復帰させた後、アライメント爪４ａにより、アライメントステージ４上において水平方向及び回転方向の位置決めを行う。図６（ｃ）のチップ再ピックアップ時において、角錐型コレット３をアライメントステージ４へ移動させ、この角錐型コレット３を降下させて、凹部３ｃを形成する各傾斜面３ｂをチップ１１の表面の４辺に当接し、バキューム孔３ａを真空引きしてチップ１１を吸引保持する。
【０００９】
このように、チップ１１をアライメントステージ４に載せ、アライメントしてから角錐型コレット３にて持ち直してから被着体１２へ移動させる。図６（ｄ）のチップＤＢ時において、被着体１２上に位置決めされた角錐型コレット３を降下させ、この角錐型コレット３に吸引保持されたチップ１１を被着体１２の表面に載せた後、角錐型コレット３を水平方向に移動させてチップ１１を被着体１２の表面にスクラブし、接着する。その後、バキューム孔３ａの真空引きを停止し、角錐型コレット３を上昇させてチップ１１から引き離し、原点位置に復帰させる。これにより、ＤＢ工程が終了する。
【００１０】
しかし、このような図６（ａ）〜（ｄ）のＤＢ工程では、トレイ１０に収納されたチップ１１を平型コレット１にて一旦取ってアライメントステージ４に載せてアライメントした後、角錐型コレット３にて持ち直してからスクラブＤＢを行うため、工程数が多くなって作業効率が低下するという欠点がある。
そこで、このような欠点を解消して作業効率を向上させるために、例えば、次の２つのＤＢ方法（１）、（２）が考えられる。
【００１１】
（１）  第１のＤＢ方法
図６のＤＢ工程において、角錐型コレット３のみを使用し、この角錐型コレット３にてトレイ１０内のチップ１１をピックアップし、アライメント工程を省略して直接、チップ１１を被着体１２上にスクラブＤＢする。
【００１２】
（２）  第２のＤＢ方法
例えば、下記の文献に記載されたコレットを使用し、アライメント工程を省略して直接、チップ１１を被着体１２上にスクラブＤＢする。このコレットは、角錐型コレット部と、この角錐型コレット部内の中心軸に沿って上下に摺動自在に装着された平型コレット部とを有し、平型コレット部の平らな底面が、角錐型コレット部の下端から突出後退可能な構造になっている。
【００１３】
【特許文献１】特開２００５−９３６８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、従来のＤＢ方法（１）、（２）では、以下の（Ａ）、（Ｂ）のような課題があった。
【００１５】
（Ａ）  第１のＤＢ方法（１）の課題
図７（ａ）〜（ｃ）は、従来の第１のＤＢ方法（１）における課題を説明するためのＤＢ工程図である。
【００１６】
角錐型コレット３のみを使用してスクラブＤＢを行う場合、図７（ａ）のチップピックアップ時において、トレイ１０に収納されたチップ１１上に、角錐型コレット３を移動し、この角錐型コレット３を降下させる。この際、トレイ１０内に収納されたチップ１１の位置がずれてトレイ１０のポケット１０ａの隅に寄って載置されている場合、角錐型コレット３の下端とポケット１０ａとが接触箇所１３において接触して干渉が起こるという問題があった。このような干渉が起こると、図７（ｂ）のチップバキューム時において、チップ１１が角錐型コレット３の下端部の傾斜面３ｂに傾いた状態で吸引保持され、被着体１２方向へ運ばれる。すると、図７（ｃ）のチップＤＢ時において、角錐型コレット３により、チップ１１が傾いたままで被着体１２に対してスクラブされるため、チップ１１の底面にチップ欠けが発生するという課題があった。
【００１７】
（Ｂ）  第２のＤＢ方法（２）の課題
特許文献１に記載されたコレットを使用してＤＢを行う場合、チップピックアップ時において、角錐型コレット部内の上方に平型コレット部を後退させておき、この角錐型コレット部の下端部の傾斜面をチップ表面の４辺に当接させて、チップの水平方向及び回転方向の位置ずれを規制した状態で、バキューム吸引によってチップを吸引保持してピックアップする。そして、平型コレット部を下降させて角錐型コレット部の下端から突出させ、平型コレット部の底面をチップ表面に当接させてこのチップを平型コレット部の底面にバキューム吸着させる。この際、チップは、角錐型コレット部の傾斜面から引き離され、平型コレット部の底面のみに吸着されている。その後、チップＤＢ時において、平型コレット部の底面に吸着されたチップが被着体上に押圧されて接着される。そのため、平型コレット部にてチップをスクラブしてＤＢを行うことができず、スクラブＤＢ工程には対応できないという課題があった。
【００１８】
前記（Ａ）、（Ｂ）の課題は、角錐型コレットに代えて、２面（下駄）型コレットを使用する場合にも生じる。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明のコレットは、筒状のコレット部本体を有し、前記コレット部本体の先端に複数の傾斜面で囲まれた凹部が形成され、且つ、前記凹部と連通し、バキューム吸引されるノズル収容孔が形成されたコレット部と、先端が平らな筒状をなし、前記筒状の先端が、前記ノズル収容孔の中心軸方向に沿って前記コレット部本体の先端に対して突出後退が可能で、前記ノズル収容孔内に設けられたノズルと、を有し、前記コレット部本体における外周には、前記コレット部本体の前記中心軸方向に延びる一対の長孔が一方の長孔と他方の長孔とが対向するように設けられており、前記ノズルには、前記ノズルの中心軸方向に対して直行する方向に延びるピンが設けられ、前記ピンが、前記一対の長孔内に遊嵌状態で挿着されている。
【００２０】
本発明のボンディング装置は、前記発明のコレットを有している。
本発明のコレットを用いた部品の実装方法は、前記発明のコレットを用いた部品の実装方法であって、前記バキューム吸引によって前記ノズルの先端で部品を吸着する工程と、前記コレット部における前記コレット部本体の先端によって前記部品を被着体へ押し当て、前記バキューム吸引によって前記部品を前記凹部で吸引保持しつつ、前記部品をスクライブして前記被着体にＤＢする工程とを有している。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、先端が平らなノズルが上下動可能で且つ水平方向の移動が可能な状態で、コレット部の内部に吊設されているので、部品のピックアップ時には、ノズルにより、例えば、トレイのポケットにくっついた部品を、そのポケットとの干渉を起こすことなく、ダイレクトに（直接）吸引してピックアップすることができる。しかも、部品を被着体にＤＢする時には、ノズルが持ち上がり、このノズルに吸着された部品が位置決めされてコレット部の凹部に吸引保持されるので、部品が所定の位置からずれた場合でも、正確な位置合わせが可能になる。従って、コレット部により、部品を損傷させることなく、的確にスクラブＤＢを行うことができる。
【００２２】
更に、スクラブＤＢの際には、部品上にノズルの自重が掛かるが、コレット部により水平方向のスクラブが行われるので、仮に、部品上に外部端子等が形成されていても、この外部端子等が損傷を受けることが無い。そのため、種々の形態の部品に対してスクラブＤＢを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明を実施するための最良の形態は、以下の好ましい実施例の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、明らかになるであろう。但し、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の範囲を限定するものではない。
【実施例１】
【００２４】
（実施例１の構成）
図１は、本発明の実施例１におけるボンディング装置の構成例を示す概略の断面図である。
【００２５】
このボンディング装置は、水平なＸ軸方向及びＹ軸方向と垂直なＺ軸方向とに移動可能なヘッドアーム２１を有し、このヘッドアーム２１には、Ｚ軸方向に上下動可能にほぼ筒状の支柱２２が軸着されている。支柱２２の下部外周には、フランジ部２２ａが形成され、更に、この支柱２２の中心軸にそって下方から上方に、コレット装着孔２２ｂと、このコレット装着孔２２ｂに連通するバキューム孔２２ｃとが形成されている。バキューム孔２２ｃの上端には、図示しないドライポンプ、ロータポンプ、又はフレキシブルなバキューム配管等が接続されて、バキューム吸引される構造になっている。ヘッドアーム２１の先端には、ばね係止部２３が設けられ、これに対応して、支柱２２におけるフランジ部２２ａの外周にも、ばね係止部２４が設けられている。
【００２６】
ばね係止部２３，２４間には、コイル状の引っ張りばね２５が張設され、この引っ張りばね２５により、支柱２２がヘッドアーム２１に支持されている。フランジ部２２ａの外周には、コレット固定用の螺子２６が螺着されている。支柱２２の外周において、ヘッドアーム２１の下方に位置する箇所には、コレット加熱用のヒータ２７と、フランジ部２２ａを下方向に押下して加重を加えるためのコイル状の圧縮ばね２８とが設けられている。支柱２２のコレット装着孔２２ｂには、コレット３０が挿入され、螺子２６で固定されるようになっている。コレット３０の下端部内には、上下可動式のノズル４０が遊動自在に装着されている。
【００２７】
図２（ａ）〜（ｄ）は、図１中のコレット３０及びノズル４０を示す構成図であり、同図（ａ）は外観図、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＩ１−Ｉ２線断面図、同図（ｃ）は同図（ａ）の底面図、及び、同図（ｄ）は同図（ａ）中のＩ１１−Ｉ１２線断面図である。更に、図３（ａ）、（ｂ）は、図２中のコレット下端部付近の拡大断面図であり、同図（ａ）はノズル４０が自重によりコレット下端部から下方向へ突出している状態を示す図、及び、同図（ｂ）はバキューム吸引によりノズル４０がチップ１１（例えば、ＩＣチップやチップコンデンサ等の部品類）を吸着してコレット下端部内に収容された状態を示す図である。
【００２８】
コレット３０は、筒状のコレット部本体３１を有し、このコレット部本体３１の外周のほぼ中間にフランジ部３２が形成されている。コレット部本体３１の中心軸には、バキューム孔３３が形成され、このバキューム孔３３が、支柱２２側のバキューム孔２２ｃと連通している。コレット部本体３１の下端部には、コレット部（例えば、角錐型コレット部）３４が形成されている。角錐型コレット部３４は、ほぼ角筒状をなし、この外周の対向する位置には、上下に延びる一対の長孔３４ａ、３４ｂが形成されている。角錐型コレット部３４の中心軸には、ノズル収容孔３４ｃが形成され、このノズル収容孔３４ｃがバキューム孔３３と連通している。
【００２９】
角錐型コレット部３４の下端部には、複数（例えば、４つ）の傾斜面３４ｄで囲まれた凹部３４ｅが形成されている。各傾斜面３４ｄは、下端から上方へと向かうにつれて、徐徐に対向する傾斜面３４ｄ間の距離が小さくなるように傾いている。各傾斜面３４ｄ間の外縁付近には、図２（ｃ）に示されるように、チップ係止用の切り欠き部３４ｆがそれぞれ形成されている。凹部３４ｅは、ノズル収容孔３４ｃと連通している。ノズル収容孔３４ｃ内には、平型コレットの機能を有する上下可動式のノズル４０が、上下動可能で且つ水平方向の移動が可能な状態で、吊設されている。
【００３０】
ノズル４０は、底面が平坦な円筒状をなし、この中心軸にバキューム孔４１が形成されている。バキューム孔４１の上端は、ノズル収容孔３４ｃを介してバキューム孔３３と連通している。ノズル４０の上部には、水平方向に貫通するピン（例えば、平行ピン）４２が装着され、この平行ピン４２が、対向する一対の長孔３４ａ，３４ｂ内に遊嵌状態で貫挿されている。
【００３１】
平行ピン４２は、図３（ａ）、（ｂ）の矢印で示されるように、長孔３４ａ，３４ｂ内において上下に移動可能な状態で貫挿されており、この長孔３４ａ，３４ｂの上下方向の長さの範囲内において、ノズル４０が上下動可能になっている。通常は、ノズル４０の自重により、平行ピン４２が長孔３４ａ，３４ｂ内の下端で係止され、ノズル４０の底面が、角錐型コレット部３４の凹部３４ｅから下方向に突出している。更に、ノズル４０の口径は、ノズル収容孔３４ｃの口径よりも小さく、ノズル４０の外周面とノズル収容孔３４ｃの内周面との間には間隙が設けられ、この間隙の範囲内において、ノズル４０が水平方向に移動可能な構造になっている。
【００３２】
このような角錐型コレット部３４及びノズル４０を有するコレット３０は、金属、樹脂等により形成されている。
【００３３】
（実施例１のスクラブＤＢ工程）
図４（ａ）〜（ｄ）は、図１のボンディング装置を用いた部品の実装方法（例えば、スクラブＤＢ工程）を示す図である。なお、この図４（ａ）〜（ｄ）では、使用する図１のボンディング装置におけるコレット付近の部分図が模式的に示されている。
【００３４】
本実施例１のコレット３０を用いて、直方体状のチップ１１（例えば、ＩＣチップやチップコンデンサ等の部品類）を被着体１２（例えば、リードフレーム、ＰＫＧ、基板等）に対してスクラブＤＢを行う場合、図１に示すように、予め、コレット３０をボンディング装置へセットする。即ち、コレット３０におけるコレット部本体３１の上部を、支柱２２のコレット装着孔２２ｂへ挿入し、螺子２６によりコレット部本体３１を固定する。これにより、ノズル４０のバキューム孔４１、角錐型コレット部３４のノズル収容孔３４ｃ、コレット部本体３１内のバキューム孔３３、及び支柱２２のバキューム孔２２ｃが連通し、このバキューム孔２２ｃの上端からバキューム吸引が可能になる。
【００３５】
図４（ａ）のチップピックアップ時において、ポケット１０ａを有する樹脂製等のトレイ１０に収納されたチップ１１上に、図１のボンディング装置におけるヘッドアーム２１及び支柱２２を介してコレット３０を移動させ、このコレット３０を降下させる。コレット３０の下端部に位置する角錐型コレット部３４の底面から下方向に、ノズル４０の底面が突出しているので、このノズル４０の底面をチップ１０の表面に接触させる。この際、トレイ１０内に載置されたチップ１１が位置ずれしていて、チップ１０がトレイ１０のポケット１０ａに接触していても、ポケット１０ａとの干渉を起こすことなく、ノズル４０の底面をチップ１０の表面に接触させてピックアップをすることが可能になる。
【００３６】
図４（ｂ）のチップバキューム時において、ノズル収容孔３４ｃ及びノズル４０のバキューム孔４１を真空引きしてノズル４０の底面にチップ１１を吸着させ、ヘッドアーム２１及び支柱２２を介してノズル４０によりチップ１１をピックアップし、被着体１２が載置された位置へ移動させる。この際、チップ１１の底面は、この自重により、角錐型コレット部３４の底面から下方向に突出している。
【００３７】
図４（ｃ）のチップＤＢ時において、ヘッドアーム２１及び支柱２２を介してコレット３０を被着体１２上まで移動させてここで位置決めした後、コレット３０を降下させて、ノズル４０の底面に吸着されたチップ１１を被着体１２上に載置する。ヘッドアーム２１を徐々に降下させていくと、圧縮ばね２８を介して支柱２２のフランジ部２２ａが下方向へ押圧され、コレット３０の下端部に位置する角錐型コレット部３４も降下していく。角錐型コレット部３４が降下していくと、チップ１１上のノズル４０に上方向の力が働き、水平ピン４２が長孔３４ａ，３４ｂ内を上昇すると共にノズル４０が持ち上げられる。ノズル４０が持ち上げられると、この下端に吸着されたチップ１１の表面の角が角錐型コレット部３４の傾斜面３４ｄに接触し、この傾斜面３４ｄを案内面としてチップ１１及びノズル４０にほぼ水平方向の力が働く。
【００３８】
このような水平方向の力により、ノズル４０の平行ピン４２が長孔３４ａ，３４ｂ内を水平方向に移動しつつ、ノズル４０が持ち上げられ、このノズル４０に吸着されたチップ１１の表面の角が、傾斜面３４ｄに形成された切り欠き部３４ｆに係止する。これにより、チップ１１が位置決めされて角錐型コレット部３４の凹部３４ｅに収まり、このチップ１１が吸引保持される。更に、ヘッドアーム２１を降下し、圧縮ばね２８及び支柱２２を介して角錐型コレット部３４を下方向に押圧した後、ヘッドアーム２１を水平方向に移動させ、角錐型コレット部３４に吸引保持したチップ１１を、被着体１２の表面に対してスクラブし、チップ１１を樹脂、半田材等で被着体１２上に接着する。
【００３９】
図４（ｄ）のＤＢ終了時において、バキューム孔２２ｃ，３３に対する真空引きを停止し、ヘッドアーム２１を上昇させると、引っ張りばね２５を介して支柱２２及びコレット３０が持ち上がり、コレット３０がチップ１１から引き離される。ヘッドアーム２１が水平方向へ移動し、支柱２２を介してコレット３０が原点位置に復帰する。これにより、スクラブＤＢ工程が終了する。
【００４０】
（実施例１の効果）
本実施例１によれば、次の（ａ）〜（ｃ）のような効果がある。
【００４１】
（ａ）  角錐型コレット部３４の内部には、平型コレットの機能を有する上下可動式のノズル４０が、上下動可能で且つ水平方向の移動が可能な状態で、吊設されている。即ち、ノズル４０に設けられた平行ピン４２が、角錐型コレット部３４に形成された長孔３４ａ，３４ｂに緩く差し込まれ、この平行ピン４２が長孔３４ａ，３４ｂ内で遊ぶように動く構造になっている。そのため、チップピックアップ時には、上下可動式のノズル４０により、例えば、トレイ１０のポケット１０ａにくっついたチップ１１等を、そのポケット１０ａとの干渉を起こすことなく、ダイレクトに吸引してピックアップすることができる。しかも、チップＤＢ時には、上下可動式のノズル４０が持ち上がり、このノズル４０に吸着されたチップ１１が位置決めされて角錐型コレット部３４に吸引保持されるので、チップ１１が所定の位置からずれた場合でも、正確な位置合わせが可能になる。従って、角錐型コレット部３４により、チップ１１を損傷させることなく、的確にスクラブＤＢを行うことができる。
【００４２】
（ｂ）  スクラブＤＢの際には、チップ１１上にノズル４０の自重が掛かるが、角錐型コレット部３４により水平方向のスクラブが行われるので、仮に、チップ１１上に外部端子等が形成されていても、この外部端子等が損傷を受けることが無い。そのため、種々の形態のチップ１１に対してスクラブＤＢを行うことができる。
（変形例）
【００４３】
本発明は、上記実施例１に限定されず、種々の利用形態や変形が可能である。この利用形態や変形例としては、例えば、次の（ｉ）、（ｉｉ）のようなものがある。
【００４４】
（ｉ）  コレット３０を構成する角錐型コレット部３４及びノズル４０は、図示以外の形状や構造等に変更してもよい。又、角錐型コレット部３４を、２面の傾斜面を有する下駄型コレット部に置き換えても、実施例１とほぼ同様の作用効果を奏することが可能である。
【００４５】
（ｉｉ）  実施例１では、角錐型コレット部３４及びノズル４０をボンディング装置に適用した例を説明したが、ＣＡＰ付け機等、トレイ１０に収納された各種部品のピックアップが可能であり、且つ樹脂やハンダ材等で接着する際にスクラブを必要とする場合に有効な構造である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施例１におけるボンディング装置の構成例を示す概略の断面図である。
【図２】図１中のコレット３０及びノズル４０を示す構成図である。
【図３】図２中のコレット下端部付近の拡大断面図である。
【図４】図１のボンディング装置を用いた部品の実装方法（例えば、スクラブＤＢ工程）を示す図である。
【図５】従来の平型コレットを用いた部品の実装方法（例えば、ＤＢ工程）を示す図である。
【図６】従来の平型コレット及び角錐型コレットを用いた部品の実装方法（例えば、ＤＢ工程）を示す図である。
【図７】従来の第１のＤＢ方法（１）における課題を説明するためのＤＢ工程図である。
【符号の説明】
【００４７】
３０      コレット
３１      コレット部本体
３３，４１      バキューム孔
３４      角錐型コレット部
３４ａ，３４ｂ      長孔
３４ｃ      ノズル収容孔
３４ｄ      傾斜面
３４ｅ      凹部
４０      ノズル
４１      平行ピン
【図１】
2010034354.tif 000003
【図２】
2010034354.tif 000004
【図３】
2010034354.tif 000005
【図４】
2010034354.tif 000006
【図５】
2010034354.tif 000007
【図６】
2010034354.tif 000008
【図７】
2010034354.tif 000009