【手続補正書】
【提出日】平成17年3月30日(2005.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット・プリンタ用のノズル・プレートを製作する方法であって、接着層及び該接着層上の保護層を含む高分子材層から形成された高分子材フィルムを提供し、前記ノズル・プレートの数々のフロー・フィーチャーを画成すべく、前記保護層及び前記接着層に通ずるように前記フィルム内に、インク流チャネル、発射チャンバー、ノズル孔、並びに、インク供給領域をレーザ融蝕し、前記フィルムから前記保護層を除去し、前記フィルムから個々別々にノズル・プレートを分離して、それらノズル・プレートを半導体基板に取付ける方法であり、前記ノズル・プレートの前記インク供給領域内における前記高分子材の内の少なくとも一部を前記レーザ融蝕後に残存することによって、前記融蝕段階中に作り出される破片を低減し、その残存させられた高分子から成る残存高分子部が、前記破片が前記発射チャンバーへ向けて前記インク流チャネルに入る前にそれら破片を捕獲するに充分な距離だけ前記インク流チャネルと隣接する未融蝕領域から離間され、前記高分子層及び前記接着層の組み合わせ厚み未満の高さを有し、前記インク流チャネルと略直交する長尺部を取り囲んでいる融蝕部を有する高分子材から成る長尺部と、前記インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている部分的に融蝕されて相互に離間されている複数の長尺フィンガー部と、前記インク流チャネルと隣接する交互配置アレイ状で相互に離間された高分子材から成る複数の突起とから成るグループから選択されることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記残存高分子部が前記長尺部を取り囲んでいる融蝕部を有する高分子材から成る長尺部であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記残存高分子部が前記インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている複数の相互に離間されている長尺フィンガー部から成る第１集合であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記インク流チャネルと平行すると共に該インク流チャネルから前記インク供給領域に向かって延在する複数の相互に離間されている長尺フィンガー部から成る第２集合を融蝕して、該第２集合が前記インク供給領域内において前記第１集合の複数の相互に離間されているフィンガー部とオフセットされることによって、交互配置アレイ状のフィンガー部を提供していることを特徴とする、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記残存高分子部が前記インク流チャネルと隣接する交互配置アレイ状の相互に離間された高分子材から成る複数の突起であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記複数の突起が相互に離間していて、隣接突起間にそこを通るインク流のためのゲートを画成して、それら突起の各々が約２０ミクロンから約２８ミクロンまでの幅を有し、前記ゲートが約１３ミクロンから約２６ミクロンまでの幅を有することを特徴とする、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
インクジェット印刷ヘッド用のノズル・プレートであって、高分子層と、ノズル・プレート厚みを画成するように該高分子層に結着した接着層と、インク流チャネル、発射チャンバー、ノズル孔、並びに、インク供給領域を含むノズル・プレートのフロー・フィーチャーを画成している高分子層及び接着層の複数の融蝕部とを有しており、当該ノズル・プレートが、当該ノズル・プレートの前記インク供給領域内の高分子から成る１つ或はそれ以上の突起を含み、その１つ或はそれ以上の突起が、前記破片が前記発射チャンバーへ向けて前記インク流チャネルに入る前にそれら破片を捕獲するに充分な距離だけ前記インク流チャネルと隣接する未融蝕領域から離間され、前記高分子層及び前記接着層の組み合わせ厚み未満の高さを有し、前記インク流チャネルと略直交する長尺部を取り囲んでいる融蝕部を有する高分子材から成る長尺部と、前記インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている部分的に融蝕されて相互に離間されている複数の長尺フィンガー部と、前記インク流チャネルと隣接する前記フロー・フィーチャー面から延出している交互配置アレイ状で相互に離間された複数の突起とから成るグループから選択されることを特徴とするノズル・プレート。
【請求項８】
高分子材から成る前記１つ或はそれ以上の突起が、前記長尺部を取り囲んでいる融蝕部を有する高分子材から成る長尺部であることを特徴とする、請求項７に記載のノズル・プレート。
【請求項９】
高分子材から成る前記１つ或はそれ以上の突起が、前記インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている複数の相互に離間されている長尺フィンガー部から成る第１集合であることを特徴とする、請求項７に記載のノズル・プレート。
【請求項１０】
前記インク供給領域内において前記第１集合の複数の相互に離間されているフィンガー部とオフセットされることによって交互配置アレイ状のフィンガー部を提供している、前記インク流チャネルと平行すると共に該インク流チャネルから前記インク供給領域に向かって延在する複数の相互に離間されている長尺フィンガー部から成る第２集合を特徴とする、請求項９に記載のノズル・プレート。
【請求項１１】
高分子材から成る前記１つ或はそれ以上の突起が、前記インク流チャネルと隣接する前記フロー・フィーチャー面から延出している交互配置アレイ状の複数の相互に離間されている突起であることを特徴とする、請求項７に記載のノズル・プレート。
【請求項１２】
隣接する前記突起間の間隔がケートを画成し、それら突起の各々が約２０ミクロンから約２８ミクロンまでの幅を有し、前記ゲートが約１４ミクロンから約２２ミクロンまでの幅を有することを特徴とする、請求項１１に記載のノズル・プレート。
【請求項１３】
前記インク流チャネルの各々と隣接する少なくとも２つの突起を特徴とする、請求項１１に記載のノズル・プレート。
【請求項１４】
請求項７に記載のノズル・プレートを有することを特徴とするインクジェット印刷ヘッド。
【請求項１５】
半導体基板であり、インクを加熱する抵抗と前記基板に結着されたノズル・プレートとを含む半導体基板を有するインクジェット印刷ヘッドであって、高分子層を含む前記ノズル・プレートと、前記高分子層に結着された接着層と、前記高分子層から成る融蝕部であり、前記接着層と共に、インク流チャネル、発射チャンバー、ノズル孔、並びに、インク供給領域を提供する複数の融蝕領域を含んでいる前記ノズル・プレートのフロー・フィーチャーを画成している融蝕部とを含む印刷ヘッドが、前記ノズル・プレートの前記インク供給領域と隣接する１つ或はそれ以上の高分子突起を画成している略未融蝕領域を有し、その略未融蝕部が、破片が前記発射チャンバーへ向けて前記インク流チャネルに入る前にそれら破片を捕獲するに充分な距離だけ前記インク流チャネルと隣接する未融蝕領域から離間され、前記高分子層及び前記接着層の組み合わせ厚み未満の高さを有し、前記インク流チャネルと略直交する前記融蝕部によって取り囲まれた高分子材から成る中央長尺部と、前記インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている相互に離間されている複数の長尺フィンガー部と、前記インク流チャネルと隣接する前記フロー・フィーチャー面から延出している交互配置アレイ状で相互に離間された複数の突起とから成るグループから選択されることを特徴とする印刷ヘッド。
【請求項１６】
前記略未融蝕領域が、前記融蝕領域によって取り囲まれた高分子材から成る中央長尺部であることを特徴とする、請求項１５に記載の印刷ヘッド。
【請求項１７】
前記略未融蝕領域が、前記インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている複数の相互に離間されている長尺フィンガー部から成る第１集合であることを特徴とする、請求項１５に記載の印刷ヘッド。
【請求項１８】
前記インク供給領域内において前記第１集合の複数の相互に離間されているフィンガー部とオフセットされることによって交互配置アレイ状のフィンガー部を提供している、前記インク流チャネルと平行すると共に該インク流チャネルから前記インク供給領域に向かって延在する複数の相互に離間されている長尺フィンガー部から成る第２集合を特徴とする、請求項１７に記載の印刷ヘッド。
【請求項１９】
前記略未融蝕部が、前記インク流チャネルと隣接する前記フロー・フィーチャー面から延出している交互配置アレイ状の相互に離間されている複数の突起であることを特徴とする、請求項１５に記載の印刷ヘッド。
【請求項２０】
隣接する前記突起間の間隔がケートを画成し、それら突起の各々が約２０ミクロンから約２８ミクロンまでの幅を有し、前記ゲートが約１４ミクロンから約２２ミクロンまでの幅を有することを特徴とする、請求項１９に記載の印刷ヘッド。
【請求項２１】
前記インク流チャネル各々と隣接する少なくとも２つの突起を有することを特徴とする、請求項１９に記載の印刷ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、改善されたフロー特性を有するインクジェット・ノズル・プレートやそうしたノズル・プレートを含むインクジェット印刷ヘッドに関すると共に、インクジェット・プリンタ用のノズル・プレートを製作する方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
インクジェット・プリンタの導入以降、ノズル・プレートは、インク噴出の効率増大及びそれら製造コスト低減のために相当な設計変更が行われてきた。ノズル・プレート設計における変更は、印刷画像のより高速の印刷及びより高度の解像度を達成するための試みが為され続けられている。
下記の特許文献１はインクジェット・プリンタ用のノズル・プレートを製作する１つの方法を記載しており、レーザ融蝕中に形成された破片がノズル・プレートから除かれるようになっている。ノズル・プレートは接着層で覆われているポリイミド・テープから形成されている。接着層は、該接着層とは相互作用しない溶剤で除去可能である犠牲層で被覆されている。分配チャネル、フロー・チャネル、泡チャンバー、並びに、ノズルを含む数々のフィーチャー（又は構成）はレーザ融蝕を用いてポリイミド・テープ内に形成される。ポリイミド・テープ内にこれらフィーチャーを形成した後、犠牲層はそのテープから除去される。接着層を用いて、それらフィーチャーを含むそのポリイミド・テープをシリコン基板に結着する。
【特許文献１】欧州出願第７６１，４４８号（Jackson等）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上述の目的及び長所や他の目的及び長所に対して、本発明は改善された設計を有するインクジェット・プリンタ用のノズル・プレートを提供する。ノズル・プレートは、高分子材層、ノズル・プレート厚みを画成すべく該高分子材層に取付けられた接着層、並びに、ノズル・プレートのフロー・フィーチャーを画成する前記高分子材層及び接着層の融蝕部分を備え、それらフロー・フィーチャーが、インク流チャネル、発射チャンバー、ノズル孔、並びに、インク供給領域を含む。高分子材から成る１つ或はそれ以上の突起がノズル・プレートのインク供給領域内に残存している。それら１つ或はそれ以上の突起は、破片が発射チャンバーへ向けてインク流チャネルに入る前にそれら破片を捕獲するに充分な距離だけインク流チャネルと隣接する未融蝕領域から離間され、高分子層及び接着層の組み合わせ厚み未満の高さを有し、インク流チャネルと略直交する長尺部を取り囲んでいる融蝕部を有する高分子材から成る長尺部と、インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている部分的に融蝕されて相互に離間されている複数の長尺フィンガー部と、インク流チャネルと隣接するフロー・フィーチャー面から延出している交互配置アレイ状で相互に離間された複数の突起とから成るグループから選択される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の他の局面は、インクジェット・プリンタ用のノズル・プレートを製作する方法を提供することである。この方法は、接着層及び該接着層上の保護層を含む高分子材層から形成される高分子材フィルムを提供し、インク流チャネル、発射チャンバー、ノズル孔、並びにインク供給領域を前記フィルム内に前記保護層を通じてレーザ融蝕して、ノズル・プレートのフロー・フィーチャーを画成することを含む。ひとたびフロー・フィーチャーが形成されると、保護層はそのフィルムから除去され、個々別々のノズル・プレートがそのフィルムから分離されて該ノズル・プレートが半導体基板に取付け可能となる。ノズル・プレートのインク供給領域内における高分子材の内の少なくとも一部が融蝕後に残存されて、融蝕段階中に発生する破片等を低減している。その残存する高分子部分は、破片が発射チャンバーへ向けてインク流チャネルに入る前にそれら破片を捕獲するに充分な距離だけインク流チャネルと隣接する未融蝕領域から離間され、高分子層及び接着層の組み合わせ厚み未満の高さを有し、インク流チャネルと略直交する長尺部を取り囲んでいる融蝕部を有する高分子材から成る長尺部と、インク流チャネルと平行すると共にオフセットされている部分的に融蝕されて相互に離間されている複数の長尺フィンガー部と、インク流チャネルと隣接する交互配置アレイ状で相互に離間された高分子材から成る複数の突起とから選択される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
更なる他の局面において、本発明はプリンタ用のインクジェット印刷ヘッドを提供する。この印刷ヘッドは、インクを加熱する抵抗要素を含む半導体基板と、該基板に取付けられたノズル・プレートとを備える。ノズル・プレートは、高分子材層、該高分子材層に取付けられた接着層、並びに、ノズル・プレートのフロー・フィーチャーを画成する前記高分子材層及び接着層の融蝕部分から構成されている。フロー・フィーチャーは、インク流チャネル、発射チャネル、ノズル孔、並びに、インク供給領域を提供する融蝕領域と、ノズル・プレートのインク供給領域に隣接する１つ或はそれ以上の高分子材突起を提供する略未融蝕領域とを含む。その略未融蝕領域は、破片が発射チャンバーへ向けてインク流チャネルに入る前にそれら破片を捕獲するに充分な距離だけインク流チャネルと隣接する未融蝕領域から離間され、高分子層及び接着層の組み合わせ厚み未満の高さを有し、インク流チャネルと略直交する融蝕領域によって取り囲まれた高分子材から成る中央長尺部と、インク流チャネルと平行すると共にオフセットされて相互に離間されている複数の長尺フィンガー部と、インク流チャネルと隣接するフロー・フィーチャー面から延出している交互配置アレイ状で相互に離間された複数の突起とから成るグループから選択される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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