【手続補正書】
【提出日】令和3年8月2日(2021.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセッサと、
該プロセッサに結合され、フラックス制御ルーチンを含むメモリユニットと、を備える装置であって、
前記フラックス制御ルーチンは、前駆体の流れを監視するために前記プロセッサ上で動作し、フラックス計算プロセッサを備え、
該フラックス計算プロセッサは、前駆体を送達するためにガス送達システムの電池から受け取った検出された光の強度の変化に基づいて、前駆体のフラックス値を決定する、前駆体の流れを制御するための装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置であって、前記フラックス計算プロセッサは、該第１の基準信号は、光源からの光の強度を検出するための前記第１の過程における検出器の性能を示す、
第１の過程において生成された前記電池内の第１の基準信号を受信することであって、該第１の基準信号は、光源からの光の強度を検出する検出器のための前記第１の過程における検出器の性能を示す、第１の基準信号を受信することと、
前記検出器により前記第１の過程において生成されたバックグラウンド信号を受信することと、
前記第１の過程に続いて第２の過程において生成された第２の基準信号を受信することであって、該第２の基準信号は、前記検出器のための前記第２の過程における前記検出器の性能を示す、第２の基準信号を受信することと、
前記前駆体が前記電池内を流れているときに、前記第１の過程に続いて第３の過程において生成された前駆体信号を受信することと、により前記前駆体のフラックス値を決定する、装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、前記フラックス計算プロセッサは、
複数の過程において前記前駆体のフラックス値を決定することにより、前記前駆体の積分フラックスを計算する、装置。
【請求項４】
請求項２に記載の装置であって、前記フラックス制御ルーチンは、温度制御プロセッサをさらに備え、該温度制御プロセッサは、
前記前駆体のフラックス値に基づいて警戒帯域条件を決定し、該警戒告帯域条件に基づいてアンプルの温度を調整する、装置。
【請求項５】
請求項４に記載の装置であって、前記温度制御プロセッサは、
温度調整ΔTを決定することにより前記温度を調整し、
【数１】
2021508768.tif 000001
であり、ここで、P、I、Dは比例、積分、微分ゲインであり、ここで
2021508768.tif 000002
はアンプルの現在の温度限界に基づく誤差である、装置。
【請求項６】
請求項４に記載の装置であって、前記温度制御プロセッサは、
前記前駆体のフラックス値に基づいて誤差値を決定することと、
該誤差値に基づいて温度調整ΔTを決定することと、
アンプルに適用される温度設定値の新しいセットを計算することと、
該温度設定値の新しいセットが温度限界の所定のセット内にあるときに、前記アンプルの加熱を制御するために前記温度設定値の新しいセットを適用することと、により前記温度を調整する、装置
【請求項７】
請求項６に記載の装置であって、前記フラックス制御ルーチンは、寿命末期プロセッサをさらに備え、該寿命末期プロセッサは、
前記温度設定値の新しいセットが前記温度限界の所定のセット内にないときに、アンプルの寿命末期状態をチェックし、
アンプル寿命末期条件が満たされていないときに、最も控えめな限界に基づいてΔTを再計算して、控えめなΔTを生成し、
該控えめなΔTに基づいて前記アンプルに適用する前記温度設定値の新しいセットを計算する、装置。
【請求項８】
請求項１に記載の装置であって、前記フラックス制御ルーチンは、偏位プロセッサをさらに備え、該偏位プロセッサは、
前記前駆体のフラックス値に基づいて故障状態を決定し、該故障状態の間に処理されている基板が第１の基板でないときに、偏位の通知信号を送信する、装置。
【請求項９】
請求項１に記載の装置であって、前記フラックス制御ルーチンは、詰まり検出プロセッサをさらに備え、該詰まり検出プロセッサは、
前記電池用の電池の圧力の読み取りを受信し、
前記前駆体のフラックス値を受信し、
前記電池の圧力の読み取り値及び前記前駆体のフラックス値に基づいて詰まり位置を決定する、装置。
【請求項１０】
前駆体の流れを制御する方法であって、
ガス送達システムを通る前駆体の流れを供給するステップと、
前記前駆体の流れによって生じる、前記ガス送達システムの電池内の検出された光の強度の変化を測定するステップと、
検出された光の強度の前記変化に基づいて、前駆体のフラックス値を決定するステップと、を有する、方法。
【請求項１１】
前記電池は、前記前駆体を含むアンプルの下流に配置される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の方法であって、
前記変化を測定する前記ステップは、
第１の過程において前記電池内の第１の基準信号を受信するステップであって、該第１の基準信号は、光源からの光の強度を検出する検出器のための前記第１の過程における検出器の性能を示す、ステップと、
前記検出器により前記第１の過程において生成されたバックグラウンド信号を受信するステップと、
前記第１の過程に続いて第２の過程において生成された第２の基準信号を受信することであって、該第２の基準信号は、前記検出器のための前記第２の過程における前記検出器の性能を示す、第２の基準信号を受信するステップと、
前記前駆体が前記電池内を流れているときに、前記第１の過程に続いて第３の過程において生成された前駆体信号を受信するステップと、を有する、方法。
【請求項１３】
請求項１０に記載の方法であって、
前記前駆体の流れを供給する前記ステップは、
前記前駆体の複数の過程において複数のパルスを供給するステップを有し、
前記方法は、前記複数の過程において前記前駆体のフラックス値を決定するステップに基づいて、前記前駆体の積分フラックスを計算するステップをさらに有する、方法。
【請求項１４】
請求項１０に記載の方法であって、
該方法は、さらに、
前記前駆体のフラックス値に基づいて故障状態を決定するステップと、
該故障状態の間に処理されている基板が第１の基板でないときに、偏位の通知信号を送信するステップと、を有する、方法。
【請求項１５】
前駆体の流れを制御するための装置であって、該装置は、
前駆体を出力するソースと、
該ソースに通信可能に結合されたセンサアセンブリであって、該センサアセンブリは、
前記ソースに結合され、前駆体を受けて伝導する電池と、
該電池の第１の側面に配置され、前記電池内に光を伝達する光源と、
前記電池を通って伝達した光を検出するために、前記光源とは反対側の前記電池の第２の側面に配置される検出器と、を備える、センサアセンブリと、
前記電池を通る前記前駆体の流れの間に前記電池から受信した検出された光の強度の変化に基づいて、前駆体のフラックス値を決定するように配置される制御システムと、を備える、装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】前駆体の流れを制御するための装置及び方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図３Ａ及び図３Ｂにさらに示されるように、センサアセンブリは、また、基準信号１３２を収集することができ、ここで、基準信号１３２は、経時的に検出器１２２の検出器性能における相対的変化を示す。参照信号１３２の強度の変化は、検出器１２２の性能の劣化を示すことができる。バックグラウンド信号１３０及び前駆体信号１３４の測定と関連して、種々の例で基準信号１３２を収集することによって、前駆体１２６の量を経時的に正確に決定することができる。特に、前駆体１２６による光の吸収は、電池１２４内の前駆体１２６の分圧に正比例してもよい。そのように、物理的モデリングは、前駆体信号１３４の繰り返し測定に基づいて、複数の例で前駆体フラックスを計算するために採用され得、前駆体１２６を含む化学蒸着プロセスのより良い制御を容易にする。前駆体フラックスの測定に加えて、電池１２４内の全圧などの電池圧力も測定することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１Ａ】
2021508768.tif 000003
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ａ】
2021508768.tif 000004
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｂ】
2021508768.tif 000005
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2021508768.tif 000006
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９Ａ】
2021508768.tif 000007