(57)【要約】【課題】電子部品と工程処理機構の処理位置とが適切かつ良好に接触することが可能な電子部品保持手段の保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムを提供する。【解決手段】制御装置１４０５は、サーボモータ１４０３を駆動源として操作ロッド１４０１を下方駆動させることで、吸着ノズル１１０１に保持された電子部品３が駆動制御パターンに記憶された動作を実行する位置に到達し、この際の駆動電流を検知する。その後、当該サーボモータ１４０３の駆動電流値が上昇し始め、当該駆動電流値は電子部品３に加える適切な荷重に相当する所定の基準値に達する。この電流値の状態を、制御装置１４０５は、サーボモータ１４０３による操作ロッド１４０１の下方駆動が適正に行われている、すなわち、適切に電子部品が工程処理と接触していると判断する。【選択図】図３
2010132378.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の搬送機構に設けられ当該電子部品を保持する複数の電子部品保持手段に対して、工程処理機構にて工程処理を行うために上下方向に駆動する操作ロッドを押下することで、この搬送機構上の位置と工程処理機構による処理位置との間で前記電子部品を上下方向に移動させる保持手段駆動装置であって、
前記操作ロッドを上下方向に駆動させる駆動源と、
前記駆動源を通じて前記操作ロッドの上下方向の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記駆動源に流れる電流量を検知する検出手段を備え、
前記駆動源を通じて前記操作ロッドを下方駆動させ、前記検知手段により検知した当該駆動源の電流量が一定になると判定する場合に、前記工程処理機構における工程処理を開始するよう制御することを特徴とする保持手段駆動装置。
【請求項２】
前記操作ロッドの位置情報を検出する位置検出部と、
警告情報を通知する警告手段と、を備え、
前記制御部は、前記電流量が一定となると判定する場合に、前記位置検出部を通じて検出した前記操作ロッドの位置が予め設定した停止基準位置よりも下方にあると判断すると、前記警告手段を通じて警告情報を通知するよう制御することを特徴とする請求項１に記載の保持手段駆動装置。
【請求項３】
前記駆動源は、サーボモータからなることを特徴とする請求項１に記載の保持手段駆動装置。
【請求項４】
コンピュータ又は電子回路が、電子部品の搬送機構に設けられ当該電子部品を保持する複数の電子部品保持手段に対して、工程処理機構にて工程処理を行うために上下方向に駆動する操作ロッドを押下することで、この搬送機構上の位置と工程処理機構による処理位置との間で前記電子部品を上下方向に移動させる保持手段駆動装置の制御方法であって、
前記操作ロッドを上下方向に駆動させる駆動源を備え、
前記コンピュータ又は電子回路は、前記駆動源を通じて前記操作ロッドを下方駆動させ、検知した当該駆動源の電流量が一定になると判定する場合に、前記工程処理機構における工程処理を開始するよう制御することを特徴とする保持手段駆動装置の制御方法。
【請求項５】
前記操作ロッドの位置情報を検出する位置検出ステップと、
警告情報を通知する警告ステップと、を含み、
前記コンピュータ又は電子回路は、前記電流量が一定となると判定する場合に、前記位置検出ステップで検出した前記操作ロッドの位置が予め設定した停止基準位置よりも下方にあると判断すると、前記警告ステップにより警告情報を通知するよう制御することを特徴とする請求項４に記載の保持手段駆動装置の制御方法。
【請求項６】
コンピュータを用いて、電子部品の搬送機構に設けられ当該電子部品を保持する複数の電子部品保持手段に対して、工程処理機構にて工程処理を行うために上下方向に駆動する操作ロッドを押下することで、この搬送機構上の位置と工程処理機構による処理位置との間で前記電子部品を上下方向に移動させる保持手段駆動装置の制御プログラムであって、
前記操作ロッドを上下方向に駆動させる駆動源を備え、
前記プログラムは前記コンピュータに、
前記駆動源に流れる電流量を検知させ、
前記駆動源を通じて前記操作ロッドを下方駆動させ、検知した当該駆動源の電流量が一定になると判定する場合に、前記工程処理機構における工程処理を開始させることを特徴とする保持手段駆動装置の制御プログラム。
【請求項７】
前記プログラムは前記コンピュータに、
前記操作ロッドの位置情報を検出する位置検出処理と、
警告情報を通知する警告処理と、を実行させ、
前記電流量が一定となると判定する場合に、検出した前記操作ロッドの位置が予め設定した停止基準位置よりも下方にあると判断させると、前記警告処理を通じて警告情報を通知させることを特徴とする請求項６に記載の保持手段駆動装置の制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品に対して各種の工程処理を施す電子部品製造装置に関するものであり、特に、電子部品を保持する電子部品保持手段を駆動制御するための保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子等の電子部品は、電極切断、電極加工、電気特性測定、マーキング、外観検査、テープ梱包等の複数の工程処理を順次施して製造される。このような各種の工程処理を施す電子部品製造装置としては、例えば、ダイレクトドライブモータによって間欠的に駆動されるターンテーブルの周囲に複数の工程処理機構を順次配置し、電子部品を個別に保持する複数の電子部品保持手段を複数の工程処理機構に順次移動させることにより工程処理を施すタイプのものがある。
【０００３】
このタイプの電子部品製造装置における動作の概略は以下の通りである。まず、ターンテーブルを駆動するダイレクトドライブモータと別駆動の回転モータ又はリニアモータによって同時に上下に駆動される電子部品保持手段は、電子部品搬入部から電子部品を受け取り、搬送機構であるターンテーブルを介して工程処理機構に搬送する。電子部品が工程処理機構に達すると搬送が停止され、この工程処理機構により電子部品に所定の工程処理が施される。
【０００４】
所定の工程処理機構による工程処理の完了後、電子部品は電子部品保持手段により再び保持され、次の工程処理機構に搬送される。繰り返しこの動作が行われることによって電子部品には所定の工程が順次施され、すべての工程が終了した電子部品が電子部品搬出部から搬出される。
【０００５】
また、このタイプの電子部品製造装置においては、電子部品が搬送中に衝突してダメージを受けないよう、工程処理機構により工程処理を施される電子部品の処理位置は、電子部品のターンテーブルから上下方向、または水平方向に離して設けられる。従って、工程処理機構により電子部品に工程処理を施すためには、電子部品をターンテーブル上の搬送位置から工程処理機構による処理位置に移動させ、工程処理完了後、再びターンテーブルに戻す必要がある。
【０００６】
このように電子部品を搬送位置と工程処理機構の処理位置との間で移動させるために、所定の制御態様によりターンテーブルにより移動する電子部品保持手段を移動させるための駆動装置を各電子部品保持手段または各工程処理機構側に設けた装置が、特許文献１に開示されている。この装置では、電子部品を搬送位置から処理位置に下方移動させる場合に、駆動装置に内蔵されるエンコーダにより電子部品保持手段の下方移動位置を検知し、この検知した位置が予め設定した基準位置に達するかで当該電子部品が処理位置に到達したかを判断する。
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００７／０１５３００号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、工程処理機構において各種工程処理を行うためには、電子部品に損傷を加えない程度の適切な荷重による当該電子部品と工程処理位置との接触が必要である。特に、電気特性試験を行う場合、高信頼を維持するために、電子部品の電極と工程処理位置の接触子とが低抵抗により接触する必要が生じ、例えば、３０ｇｆ程度の荷重で接触を行う必要があった。
【０００８】
前記特許文献１に示した技術では、上述した通り、工程処理機構において電子部品にこのような接触荷重を加える場合、電子部品を保持する電子部品保持手段の移動位置を検知し、予め設定した基準位置に達したかの判断による間接制御により実現していた。
【０００９】
しかしながら、小型化が急速に進んだ電子部品は一層精密に構成されていることから、複数の工程処理を順次行う場合、搬送機構や工程処理機構等との接触により電極や樹脂モールドされたで部品本体に損傷が生じ、バラツキが発生し易い。そのため、予め設定した基準位置に電子部品保持手段を制御する前記特許文献１のような技術では、バラツキが生じた電子部品に加える接触荷重が小さくなり、当該電子部品の電極と工程処理機構の接触子との間で適切な接触が保てず、良好な電気特性試験を実現できないといった問題が生じた。
【００１０】
また、電子部品の電極と接触する工程処理機構の接触子は摩耗等が原因で頻繁に劣化してしまうので、この点でも、前記特許文献１のような技術では、電子部品に加える接触荷重が低下し、当該電子部品と接触子との良好な接触が保てないでいた。
【００１１】
さらに、電気特定検査などを行う上では、位置決めに対してより一層の精密さが要求されるため、電子部品を保持し工程処理機構へ搬送する保持手段等の装置の動作精度に起因する位置精度のバラツキにより、電子部品の電極は工程処理機構の接触子に適切に接触できないでいた。これにより、電気特性検査を高精度に行えない状況を誘発することになっていた。
【００１２】
本発明の目的は、直接的に電子部品に加える荷重を検知し、当該電子部品と工程処理機構の処理位置とが適切な接触荷重で高精度な電気特性試験を実施可能な電子部品保持手段の保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムを提供することにある。また、本発明は、電子部品の搬送位置−処理位置間の移動時間、移動量、移動速度、移動タイミング、荷重、位置等を、各工程処理ごとに独立駆動させる駆動制御パターンを設け、この保持手段駆動装置により電子部品を工程処理機構に受け渡す制御を各工程処理ごとに独立に行うことで、装置全体としての処理効率、電子部品の生産性、品質の向上に貢献可能とする点も目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、電子部品の搬送機構に設けられ当該電子部品を保持する複数の電子部品保持手段に対して、工程処理機構にて工程処理を行うために上下方向に駆動する操作ロッドを押下することで、この搬送機構上の位置と工程処理機構による処理位置との間で前記電子部品を上下方向に移動させる保持手段駆動装置であって、前記操作ロッドを上下方向に駆動させる駆動源と、前記駆動源を通じて前記操作ロッドの上下方向の駆動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記駆動源に流れる電流量を検知する検出手段を備え、前記駆動源を通じて前記操作ロッドを下方駆動させ、前記検知手段により検知した当該駆動源の電流量が一定になると判定する場合に、前記工程処理機構における工程処理を開始するよう制御することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、前記操作ロッドの位置情報を検出する位置検出部と、警告情報を通知する警告手段と、を備え、前記制御部は、前記電流量が一定となると判定する場合に、前記位置検出部を通じて検出した前記操作ロッドの位置が予め設定した停止基準位置よりも下方にあると判断すると、前記警告手段を通じて警告情報を通知するよう制御することを特徴とする点も一態様として包含する。
【００１５】
なお、本発明は、保持手段駆動装置としてのみならず、保持手段駆動装置の制御方法やコンピュータを用いて保持手段駆動装置を制御する制御プログラムとしても把握可能である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、電子部品保持手段を実質的に駆動させる操作ロッドの駆動源であるモータの駆動電流を検知することで、直接的に電子部品に加える荷重を取得することが可能となり、適切な接触荷重を当該電池部品に加えることが可能な保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムを提供することができる。これにより、電子部品にバラツキが生じている場合や工程処理機構の処理位置が摩耗等により劣化していた場合であっても、当該電子部品と工程処理機構との接触を正常に保つことができ、電気特性試験を行う際も電子部品の電極と接触子との良好な接触を実現することができる。
【００１７】
特に、本発明では、上記のように検知したサーボモータの駆動電流値に基づいて、電子部品の電極と接触子との良好な接触状態を判断することができるので、これと同時に、電気特性試験を開始するよう制御することが可能となる。そのため、高精度の電気特性試験を人手によることなく自動的に長時間維持管理することができるので、当該電気特性試験の高信頼性を確保することが可能となる。
【００１８】
また、本発明によれば、工程処理機構毎に個別に設けた駆動装置により、各工程処理機構に対応する電子部品保持手段を、独立かつ個別の駆動制御パターンで駆動制御できるため、どの工程処理機構においても高精度の工程処理を実施でき、電子部品の品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明の電子部品保持手段の保持手段駆動装置、その制御方法並びに制御プログラムを実施するための最良の実施形態（以下「本実施形態」と呼ぶ）について図を参照して説明する。なお、背景技術や課題で既に示した内容と共通の前提事項の説明は省略する。
【００２０】
［本実施形態］
［１．構成］
図１に示す保持手段駆動装置を備えた電子部品製造装置１は、円弧状に等間隔で順次配置された複数の工程処理ユニット（工程処理機構）２に対して、複数の電子部品３を順次搬送するための装置である。ここで、この電子部品製造装置１は、図１に示すように、まず、電子部品３を保持する可動の吸着ノズル１１０１をそれぞれ有する複数の保持ユニット（電子部品保持手段）１１と、保持ユニット１１を工程処理ユニット２に搬送するターンテーブル（搬送機構）１２を備えている。
【００２１】
電子部品製造装置１は、また、ターンテーブル１２を駆動するダイレクトドライブモータ（搬送用の駆動源）１３、保持ユニット１１を個別に駆動するように互いに独立して設けられた複数の駆動ユニット（保持手段駆動装置）１４、等を備えている。各部の詳細は次の通りである。
【００２２】
まず、保持ユニット１１は、図１に示すように、吸着ノズル１１０１と、この吸着ノズル１１０１を上下方向に可動に支持する支持部１１０２とから構成されており、この支持部１１０２がターンテーブル１２に取り付けられている。また、ターンテーブル１２は、円弧状に配置された複数の工程処理ユニット２の上方に、工程処理ユニット２と離間し、かつ、その外周部で工程処理ユニット２と重なるようにして水平配置されており、当該ターンテーブル１２の外周部には、複数の保持ユニット１１が複数の工程処理ユニット２と同じ間隔で配置されている。
【００２３】
この場合、複数の保持ユニット１１は、図１（ｂ）に示すように、１つの保持ユニット１１が１つの工程処理ユニット２と重なる場合に、他の保持ユニット１１も、いずれかの工程処理ユニット２とそれぞれ重なるようにして、ターンテーブル１２の外周部に配置されている。より詳細には、複数の工程処理ユニット２は、図１に示すように、電子部品３に工程処理を施す工程処理部２０１を備えており、工程処理部２０１の水平面上における中心が、ターンテーブル１２と同軸の１つの円上に等間隔で位置するようにして配置されている。そして、複数の保持ユニット１１は、その吸着ノズル１１０１のノズル先端部１１０１ａの水平面上における中心が、工程処理部２０１の水平面上における中心に位置するようにして配置されている。
【００２４】
また、この工程処理ユニット２は、ボールフィーダ並びにリニアフィーダから整列搬送されてくる電子部品３はエスケープから保持ユニット１１に受け渡すエスケープ工程２Ａと、電子部品の極性を判別する極性判別工程２Ｂと、この極性判別に基づいて、電子部品を極性を入れ替えるように回転させる左右反転工程２Ｃと、電子部品の電気特性を検査するテストコンタクト工程２Ｄと、マーキング工程２Ｅと、外観検査工程２Ｆと、前記工程において不良品と判定された電子部品を取り除くソート工程２Ｇと、テーピング工程２Ｈと、残留部品を取り除く不良品除去工程２Ｉとから構成される。電子部品３は吸着ノズル１１０１に保持されて、上記工程２Ａ〜２Ｉの順で回転搬送されるようになっている。なお、ダイレクトドライブモータ１３は、図１に示すように、ターンテーブル１２の下方に同軸上に配置されており、ターンテーブル１２を直接駆動するようになっている。
【００２５】
複数の駆動ユニット１４は、複数の工程処理ユニット２の各々に対応して設けられており、図１に示すように、ターンテーブル１２の上方に、保持ユニット１１の搬送経路から離間し、かつ、このターンテーブル１２を介して、対応する工程処理ユニット２の上方に各々重なるようにして配置されている。
【００２６】
この駆動ユニット１４は、図２に示すように、保持ユニット１１の吸着ノズル１１０１の上端部に当接して当該吸着ノズル１１０１を下方に押下する操作ロッド１４０１と、この操作ロッド１４０１を上下方向（昇降方向とも言う）に駆動させる駆動部１４０２を有している。また、この駆動部１４０２の駆動源としてサーボモータ１４０３を有し、エンコーダ１４０４を介して制御装置１４０５が接続されている。
【００２７】
なお、各駆動ユニット１４において、その操作ロッド１４０１の水平面上における中心が、対応する各工程処理ユニット２の工程処理部２０１の水平面上における中心と重なるように配置されている。
【００２８】
駆動部１４０２は、操作ロッド１４０１の駆動源となるサーボモータ１４０３に接続され、当該操作ロッド１４０１を上下方向に駆動させる。また、当該サーボモータ１４０３の回転に合わせてエンコーダ１４０４は回転する。すなわち、この送り用の駆動源のサーボモータ１４０３の駆動力により操作ロッド１４０１が電子部品３のＺ軸方向、すなわち上下方向に動作し、当該サーボモータ１４０３に合わせて回転するエンコーダ１４０４が、自身の回転角度により上下方向に移動した操作ロッド１４０１の位置情報を取得する。
【００２９】
さらに、駆動ユニット１４は制御装置１４０５を備え、この制御装置１４０５がエンコーダ１４０４にて取得した操作ロッド１４０１の位置情報に基づいて、駆動源であるサーボモータ１４０３のトルクを制御する。
【００３０】
ここで、本実施形態の制御装置１４０５では、サーボモータ１４０３のトルクと駆動電流は正比例の関係にあることを利用し、この駆動電流値を検知することでサーボモータ１４０３のトルクを管理している。そのため、駆動源をサーボモータ１４０３とする操作ロッド１４０１の上下方向の駆動、及び当該操作ロッド１４０３を介して電子部品３に加えるの荷重の大きさは、このサーボモータ１４０３に流れる駆動電流値を検知することで取得することができる。
【００３１】
つまり、制御装置１４０５では、サーボモータ１４０３を流れる駆動電流値の変化を検知することで、当該操作ロッド１４０１を介して保持ユニット１１が電子部品３に加える荷重を直接的に管理する。これにより、電子部品３が工程処理ユニット２の工程処理部２０１に適切に接触しているかを判断可能である。
【００３２】
特に、この制御装置１４０５は、工程処理機構における工程処理の実施を制御する制御機構とも連動しているので、例えば、電気特性試験を行う際は、当該制御装置１４０５が、サーボモータを流れる駆動電流を検知することで、電子部品の電極と工程処理部２０１の接触子とが良好に接触していると判断する場合に、電気特性試験を実施を制御する制御機構を通じて、当該電気特性試験を開始するよう制御する。なお、もちろん制御装置１４０５では、電気特性試験の実施を制御する制御機構を介さずとも、検知したサーボモータ１４０３の駆動電流値に基づいて直接的に当該試験の実施を制御することも可能である。
【００３３】
また、本実施形態では、図示しないが、制御装置１４０５により検知したサーボモータ１４０３に流れる駆動電流値を、保持手段駆動装置とは別に設けたＰＣ等において、サーボアンプを介してデジタル化されたデータによりリアルタイムでモニタリングする。そのため、モニターにて駆動電流値を通じた適切な接触荷重を確認した上で、電気特性試験を実施することが可能となる。
【００３４】
なお、制御装置１４０５は、サーボモータ１４０３の駆動によって、操作ロッド１４０１を上下動させることにより、吸着ノズル１１０１を上方位置と下方位置との間で昇降させているが、吸着ノズル１１０１の下降時、すなわち、電子部品３を工程処理部２０１に位置決めする際には、制御装置１４０５は、サーボモータ１４０３の電流を制御している。
【００３５】
例えば、工程処理部２０１が金型等の場合に電子部品３を接触させたりすることによって衝撃荷重が発生するため、操作ロッド１４０１を充分に減速させた後、電子部品３を工程処理部２０１に接触させることにより、衝撃荷重は緩和するよう駆動源であるサーボモータ１４０３の電流が監視される。また、吸着ノズル１１０１の上昇時、すなわち、吸着ノズル１１０１を工程処理ユニット２から離す際には、サーボモータ１４０３の電流が監視されることで、操作ロッド１４０１を上方駆動させて当該吸着ノズル１１０１を上昇させている。
【００３６】
また、複数の駆動ユニット１４による吸着ノズル１１０１の駆動制御パターン、すなわち、操作ロッド１４０１の動作による吸着ノズル１１０１の上方位置−下方位置間の移動時間、移動量、移動速度、移動タイミング、荷重等の駆動制御パターンは、各駆動ユニット１４に対応する工程処理ユニット２に応じて、工程ごとに個別に設定されている。そのため、制御装置１４０５では、エンコーダ１４０４により取得する操作ロッド１４０１の上下方向の位置情報及びサーボモータ１４０３の回転始動からの経過時間と、予め設定されたエンコーダ１４０４の回転角度に基づく位置情報及び経過時間の駆動制御パターンと、を比較し、解析することにより最適な位置制御・速度制御を行うように設定されている。
【００３７】
［２．作用］
以上のような構成を有する本実施形態の電子部品製造装置１の作用は、次の通りである。
【００３８】
［２．１．全体作用］
まず、複数の保持ユニット１１の吸着ノズル１１０１により複数の電子部品３を保持した状態で、ターンテーブル１２を回転させることにより、複数の電子部品３を複数の工程処理ユニット２に順次搬送する。電子部品３を保持した各保持ユニット１１が個々の工程処理ユニット２に対応する各停止位置に達した時点で、ターンテーブル１２を停止させる。
【００３９】
この場合、個々の工程処理ユニット２に対応する各停止位置にある各保持ユニット１１の吸着ノズル１１０１の水平面上における中心は、当該工程処理ユニット２の水平面上における中心、及びその工程処理ユニット２に対応する駆動ユニット１４の操作ロッド１４０１の水平面上における中心と重なる。すなわち、各停止位置にある各保持ユニット１１の吸着ノズル１１０１を、各駆動ユニット１４の操作ロッド１４０１によって駆動できる状態となる。
【００４０】
このような状態から、各駆動ユニット１４において、操作ロッド１４０１を下方向に駆動させることにより、電子部品３を、ターンテーブル１２による搬送経路上の搬送位置と工程処理ユニット２の工程処理部２０１上の処理位置との間で移動させる。
【００４１】
そして、各工程処理ユニット２により各電子部品３に工程処理を施した後、各保持ユニット１１の吸着ノズル１１０１により各電子部品３を保持した状態で、各駆動ユニット１４において、駆動源であるサーボモータ１４０３を駆動させることにより操作ロッド１４０１を上昇させ、吸着ノズル１１０１を下方位置から上方位置に押し上げる。
以上のような作用により、電子部品３を各工程処理２に対して順次搬送し、各種工程処理を施す。
【００４２】
［２．２．サーボモータの駆動電流値検知及び電気特性試験開始制御］
ここで、上記工程処理ユニット２による工程処理が電気特性試験の場合において、サーボモータ１４０３に流れる駆動電流値の変化を検知することで、電気特性試験の開始に至るまでの制御手順を図３及び４を参照して以下に説明する。なお、図３は、吸着ノズル１１０１に保持された電子部品３の位置情報とサーボモータ１４０３の駆動電流値との対応関係図であり、図４は、電子部品３に荷重が加わることで、当該電子部品３の電極３ａが工程処理部２０１の接触子２０１ａに接触される状態を示した図である。
【００４３】
まず、図３（ａ）には、保持ユニット１１の吸着ノズル１１０１の水平面上における中心が、工程処理ユニット２の工程処理部２０１の水平面上における中心と重なり、サーボモータ１４０３を駆動源として操作ロッド１４０１が下方駆動された場合の制御装置１４０５により検知した駆動電流値が示されている。
【００４４】
特に、図３（ａ）は、吸着ノズル１１０１に保持された電子部品３が駆動制御パターンに記憶された動作を実行する位置（例えば、電子部品３の少なくとも一部が工程処理部２０１の水平面上に達する位置）に到達するまでに検知した当該サーボモータ１４０３の駆動電流値を示している。この図３（ａ）に示す通り、制御装置１４０５において検知する当該サーボモータ１４０３に流れる駆動電流値は１８０ｍＡまで急激に増加し、その後、減速するため−７０ｍＡまで急激に減少する。なお、この状況下における保持ユニット２に保持された電子部品３は、図４（ａ）に示されるように、工程処理部２０１に向かい下方駆動している。
【００４５】
そして、サーボモータ１４０３に流れる電流の監視が実行されると、制御装置１４０５は、図３（ｂ）に示すような、緩やかに上昇する当該サーボモータ１４０３に流れる駆動電流値を検知する。なお、この駆動電流値の緩やかな上昇は、工程処理部２０１に到達した電子部品３に対して操作ロッド１４０３及び吸着ノズル１１０１を介して荷重を加えている状態に対応する。具体的には、図４（ｂ）の通り、電子部品３の電極３ａが工程処理部２０１の接触しと接触し始め、操作ロッド１４０３及び吸着ノズル１１０１を通じて荷重が加わえられた状態に該当する。
【００４６】
サーボモータ１４０３の電流を監視し始めてから所定時間経過後、図３（ｃ）に示すように、サーボモータ１４０３に流れる駆動電流値が所定の基準値となったところで、制御装置１４０５は、当該サーボモータ１４０３に流れる電流を制御することにより、駆動部２を通じた操作ロッド１４０１の下降動作を停止させる。なお、この検知した駆動電流値が所定の基準値に達した状態が、サーボモータ１４０３による操作ロッド１４０１の下方駆動が適正に行われている、すなわち、適切に電子部品３が工程処理部２０１と接触している状態に相当する。
【００４７】
つまり、この駆動電流値が所定の基準値に達したということは、図４（ｃ）に示すような、電子部品３の電極３ａが工程処理部２０１の接触子２０１ａに適切かつ十分に接触している状態を示している。
【００４８】
ここで、制御装置１４０５は、サーボモータ１４０３に流れる駆動電流値が図３（ｃ）のような所定の基準値に達したことを検出することで、当該電子部品３に加える荷重が適正であると判断すると共に、工程処理ユニット２において電気特性検査を開始するよう制御する。具体的には、制御装置１４０５は、検知していたサーボモータ１４０３に流れる駆動電流値が図３（ｃ）のような所定の基準値に達することで、例えば、工程処理ユニット２における工程処理の実施を制御する制御機構を通じて、電気特性試験を開始するよう制御する。すなわち、この検知したサーボモータ１４０３の駆動電流が基準値を示す図３（ｃ）の間に、工程処理部２０１に適切に接触された電子部品３に対して電気特性試験が行われる。
【００４９】
なお、電子部品３に対して電気特性試験が施されると、図示しないが、サーボモータ１４０３を通じて操作ロッド１４０１が上方駆動することで電子部品３は上昇し、工程処理部２０１から離間する。。
【００５０】
このように、本実施形態では、制御装置１４０５において、サーボモータ１４０３に流れる駆動電流値を検知することで、操作ロッド１４０１及び吸着ノズル１１０１を介して電子部品３の電極３ａが適切に工程処理部２０１の接触子２０１ａに接触しているかを判断し、良好な接触荷重により高精度の電気特性試験を開始制御することが可能である。
【００５１】
［２．３．異常状態の警告通知制御］
ここで、以上のようなサーボモータの駆動電流値により適切な接触荷重を加えている状況下において、電子部品３のバラツキや工程処理位置２０１の摩耗等の異常状態を警告する手順についても説明する。
【００５２】
サーボモータの駆動電流値に基づいて電子部品３に対して適切な接触荷重を加えている状況下において、駆動ユニット１４の制御装置１４０５が、エンコーダ１４０４を通じて下方駆動した操作ロッド１４０１の位置情報を検出する。そして、当該制御装置１４０５は、この位置情報をもとに、操作ロッド１４０１の下方への移動量が予め設定した異常を示す基準値以上に達すると判断する場合に、アラーム等の警告情報を通知する警告手段により、接触子やその他の部品の交換時期を事前に促す警告を発する。これにより、工程処理機構の破損や電子部品の損傷を事前に予防することができ、かつ、自己診断機能の向上に寄与する。
【００５３】
［３．効果］
上記のようなサーボモータに流れる駆動電流値により電子部品に加わる荷重を検知する保持手段駆動装置の効果は、次の通りである。
本実施形態によれば、制御装置において、サーボモータに流す駆動電流を検知することにより、操作ロッドを介して電子部品が適切に工程処理ユニットに対して接触しているかを判断することができる。すなわち、サーボモータの電流値を取得することで、直接的に操作ロッドを介して電子部品に適切な接触荷重を加えているかを判定することができるので、その荷重をもとに電子部品が適切に工程処理ユニットの処理位置に接触しているかを判断することが可能となる。
【００５４】
そのため、バラツキが生じた電子部品にバラツキが生じている場合や工程処理ユニットの工程処理部が摩耗等により劣化していた場合であっても、当該電子部品と工程処理ユニットとの接触を正常に保つことができ、電気特性試験を行う際も電子部品の電極と工程処理部の接触子との良好な接触を実現することができる。
【００５５】
具体的には、図３で言えば、例えば操作ロッドの位置情報により電子部品に加える荷重を検知する場合、電子部品にバラツキが生じたり工程処理部が摩耗等により損傷していると、図３（ａ）や（ｂ）の状態で、電子部品と工程処理ユニットが十分に接触していると判断してしまう可能性もあり、実際には両者が適切に接触しない。しかし、本実施形態では、サーボモータに流れる駆動電流値を検知しているので、図３（ｃ）に示すような駆動電流値が一定となる箇所を検出することで、電子部品と工程処理ユニットとの確実な接触を実現及び確認することが可能となる。
【００５６】
特に、本実施形態では、制御装置が、上記のように検知したサーボモータの駆動電流値に基づいて、電子部品の電極と接触子との良好な接触状態を判断することができるので、これと同時に、電気特性試験を開始するよう制御することが可能となる。そのため、高精度の電気特性試験を人手によることなく自動的に長時間維持管理することができるので、当該電気特性試験の高信頼性を確保することが可能となる。
【００５７】
また、サーボモータの駆動電流値により適切な接触荷重を加えている状況下において、操作ロッドの下方への移動量が予め設定した一定値以上に達していた場合には、アラーム等の警告手段により、接触子やその他の部品の交換時期を事前に促す警告を発することができ、工程処理機構の破損や電子部品の損傷を事前に予防することができ、かつ、自己診断機能の向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態における保持手段駆動装置を有する電子部品保持手段の電子部品製造装置の全体構成を示す模式図。
【図２】本発明の実施形態における保持手段駆動装置の構成を示す拡大図。
【図３】本発明の実施形態におけるサーボモータの駆動電流値と電子部品の位置情報との関係図。
【図４】本発明の実施形態における電子部品の電極と工程処理部の接触子との接触状態を示した図。
【符号の説明】
【００５９】
１…電子部品製造装置
２…工程処理ユニット
２０１…工程処理部
２０１ａ…接触子
２Ａ…エスケープ工程
２Ｂ…極性判別工程
２Ｃ…左右反転工程
２Ｄ…テストコンタクト工程
２Ｅ…マーキング工程
２Ｆ…外観検査工程
２Ｇ…ソート工程
２Ｈ…テーピング工程
２Ｉ…不良品除去工程
３…電子部品
３ａ…電極
１１…保持ユニット
１１０１…吸着ノズル
１１０１ａ…ノズル先端部
１１０２…支持部
１２…ターンテーブル
１３…ダイレクトドライブモータ
１４…駆動ユニット
１４０１…操作ロッド
１４０２…駆動部
１４０３…サーボモータ
１４０４…エンコーダ
１４０５…制御装置
【図１】
2010132378.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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