(57)【要約】【課題】積層状態にあるシート材を吸着して引き上げるときに、最上位にある１枚目のシート材だけでなく２枚目以降のシート材まで一緒に引き上げてしまうことがある。【解決手段】キャリアケース２０に分離板３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを配設する。そして、各吸着パッド４０によって吸着して引き上げたシート材１０を水平方向に搬送する。このとき、シート材１０の両端部が分離板３０ａ，３０ｃに当接して変形した状態で、分離板３０ａ，３０ｃの間を通過するようにする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された複数のシート材を分離して搬送するシート材搬送方法であって、
前記シート材を引き上げる工程と、
前記引上げたシート材を分離部材に当接させて前記シート材を変形させる工程と、を有することを特徴とするシート材搬送方法。
【請求項２】
前記分離部材は、前記複数のシート材が収容されるケースに設けられている分離板であることを特徴とする請求項１に記載のシート材搬送方法。
【請求項３】
前記分離板は前記ケースに複数設けられ、
前記シート材を変形させる工程において、前記引上げたシート材を前記複数の分離板の間を通過させることにより、前記シート材を前記分離板に当接させて前記シート材を変形させることを特徴とする請求項２に記載のシート材搬送方法。
【請求項４】
前記シート材を複数引上げたときに、前記シート材を変形させる工程において、前記シート材を前記分離板に当接させて前記シート材を変形させることにより、前記シート材と当該シート材に接する他のシート材との接触面に応力を生じさせることを特徴とする請求項２又は３に記載のシート材搬送方法。
【請求項５】
前記シート材を引き上げる工程において、前記シート材を真空吸着により引き上げることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のシート材搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート材搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層状態にあるシート材を吸着して引き上げるときに、最上位にある１枚目のシート材だけでなく２枚目以降のシート材まで一緒に引き上げてしまうことがある。これは、主にシート材の加工時のバリによる機械的な付着、静電気による付着、さらには各シート材間の真空発生に伴う吸着効果等によるものが原因と考えられている。
これらに対応するため、例えば下記の特許文献１及び特許文献２に記載されているシート材の分離方法では、吸着時にシート材を変形させることにより、１枚目のシート材だけを引き上げる方法を提供している。また、例えば下記の特許文献３に記載されている真空吸着装置では、吸着パッドの内側に吸着溝が形成された凸形状の支持部を付加することによって吸着時におけるシート材の変形を抑え、シート材間に真空が発生するのを防止している。さらに、他の対応方法として、吸着時にシート材の側面からエアーを吹きかけたり、シート材の側面に除電ブラシを設けたりする等の対応も行われている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１７９５３５号公報
【特許文献２】特開平９−２５５１７５号公報
【特許文献３】特開２００３−９４３７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した特許文献１及び特許文献２のように吸着時にシート材を変形させる方法では、吸着パッド形状に倣って容易に変形する薄いシートについては、シート材間の真空の発生を完全に防止することが難しく有効ではない。また、特許文献３のように凸形状の支持部を内部に付加した吸着パッドでは、吸着パッドの径が大きくなることから、径の小さな吸着パッドでの実用化には適していない。また、エアーによる分離では、エアーの力が弱いと分離ができず、逆に強過ぎると吸着状態のシート材を外してしまうことになり調整が難しく確実性が得られない。また、除電ブラシについては、シートがある程度大きくなると除電効果がシート中央まで達することがなく、これも確実とは言えない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例に係るシート材搬送方法は、積層された複数のシート材を分離して搬送するシート材搬送方法であって、前記シート材を引き上げる工程と、前記引上げたシート材を分離部材に当接させて前記シート材を変形させる工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
このシート材搬送方法によれば、積層された複数のシート材を分離して搬送するときに、シート材を引き上げて、この引き上げたシート材を分離部材に当接させて変形させる工程を有する。ここで、シート材を複数引き上げてしまったときに、これらのシート材を分離部材に当接させて変形させることにより、シート材に対して当接及び変形に伴う応力等を作用させ、最上位となる１枚目のシート材から２枚目以降のシート材を分離することができる。
【０００８】
［適用例２］
上記適用例に係るシート材搬送方法において、前記分離部材は、前記複数のシート材が収容されるケースに設けられている分離板であることが望ましい。
【０００９】
このシート材搬送方法によれば、複数のシート材が収容されるケースに分離部材となる分離板が設けられている。これにより、シート材に当接して変形させる分離部材を容易に設置することができる。また、分離した２枚目以降のシート材を元のケースの位置に戻す構成も容易に実現することができる。
【００１０】
［適用例３］
上記適用例に係るシート材搬送方法において、前記分離板は前記ケースに複数設けられ、前記シート材を変形させる工程において、前記引上げたシート材を前記複数の分離板の間を通過させることにより、前記シート材を前記分離板に当接させて前記シート材を変形させることが望ましい。
【００１１】
このシート材搬送方法によれば、複数の分離板をケースに設けて、シート材をこれらの分離板の間を通過させるだけの簡単な搬送方法により、引上げた複数のシート材を分離することができる。
【００１２】
［適用例４］
上記適用例に係るシート材搬送方法において、前記シート材を複数引上げたときに、前記シート材を変形させる工程において、前記シート材を前記分離板に当接させて前記シート材を変形させることにより、前記シート材と当該シート材に接する他のシート材との接触面に応力を生じさせることが望ましい。
【００１３】
このシート材搬送方法によれば、シート材を複数引き上げたときに、１枚目のシート材と２枚目のシート材との接触面に応力を生じさせて、この応力によって１枚目のシート材から２枚目以降のシート材を分離することができる。
【００１４】
［適用例５］
上記適用例に係るシート材搬送方法において、前記シート材を引き上げる工程では、前記シート材を真空吸着により引き上げるようにしても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（第１実施形態）
以下、第１実施形態に係るシート材搬送方法について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、第１実施形態に係るシート材搬送方法におけるシート材搬送装置１及びキャリアケース２０の例を示す概略図である。同図に示す例では、半導体ウエハーを保護するための複数枚のシート材１０が、キャリアケース２０内に積層された状態で収納されている。また、キャリアケース２０の外周側面には、４枚の分離板３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが配設されている。分離板３０ａ，３０ｂと分離板３０ｃ，３０ｄとは、キャリアケース２０の外周においてそれぞれが対向する位置関係にある。
【００１７】
シート材搬送装置１は、キャリアケース２０に収容されたシート材１０を１枚１枚取り出して搬送する装置である。これらのシート材１０は、薄く柔らかい樹脂により構成されている。シート材搬送装置１は、４つの吸着パッド４０と、各吸着パッド４０を支持して通気用の配管を兼ねる支持部材５０と、各支持部材５０に接続される図示しない真空ポンプ機構等により構成されている。また、シート材搬送装置１は、昇降及び水平移動が可能な図示しない移動アームに取り付けられている。キャリアケース２０からシート材１０を取り出す際には、図１に示すように、移動アームによってシート材搬送装置１が垂直方向（下矢印方向）に下降する。
【００１８】
図２は、積層されたシート材１０を引き上げる工程を示す図である。同図に示す工程では、シート材搬送装置１が垂直方向に下降して、各吸着パッド４０が最上面となる１枚目のシート材１０の表面に接触する。そして、真空ポンプ機構が、各支持部材５０を介して空気を吸引することによって各吸着パッド４０の内部が負圧状態になり、各吸着パッド４０が１枚目のシート材１０を吸着した状態になる。この各吸着パッド４０の吸着により、シート材１０は各吸着パッド４０に分散保持された状態になる。そして、シート材１０を引き上げるときには、この状態で、移動アームによってシート材搬送装置１が垂直方向（上矢印方向）に上昇し、各吸着パッド４０によって分散保持されたシート材１０も共に上昇する。
【００１９】
このとき、１枚目のシート材１０だけでなく２枚目以降のシート材１０も一緒に引き上げられてしまうことがある。これは、例えば、シート材１０の加工時におけるバリによる機械的な付着、静電気による付着、さらには各シート材１０間の真空発生に伴う吸着効果によるものが考えられる。
【００２０】
図３は、引き上げたシート材１０を水平方向に搬送する工程を示す図である。同図に示す工程では、シート材搬送装置１が水平方向（右矢印方向）に移動して、引き上げたシート材１０も共に移動する。このとき、図３に示すように、引き上げたシート材１０の両端部がキャリアケース２０に配設された２枚の分離板３０ａ，３０ｃに当接して、これらの間を通過することになる。これは、シート材１０の直径よりも、分離板３０ａと分離板３０ｃとの対向間隔が狭いことによる。
【００２１】
図４及び図５は、２枚のシート材１０ａ，１０ｂを引き上げた例を示す図であり、これらのシート材１０ａ，１０ｂを水平方向（図３に示す右矢印方向）から見た図を示している。ここで、図４は、シート材１０ａ，１０ｂが水平方向に移動する前の状態を示し、図５は、シート材１０ａ，１０ｂが水平方向に移動して分離板３０ａ，３０ｃに当接したときの状態を示している。図４ではシート材１０ａ，１０ｂにおける対向表面の全体が貼り付いた状態にある。この状態で、シート材１０ａ，１０ｂの両端部が２枚の分離板３０ａ，３０ｃを通過すると、シート材１０ａ，１０ｂの両端部が分離板３０ａ，３０ｃに当接して変形する。このとき、シート材１０ａ，１０ｂに対して、分離板３０ａ，３０ｃとの衝突による衝撃力、及び分離板３０ａ，３０ｃによる変形応力が加わることになる。
【００２２】
これらの衝撃力及び変形応力がシート材１０ａ，１０ｂの接触面に作用することにより、図５に示すように、１枚目のシート材１０ａから２枚目のシート材１０ｂが両端から内側へと次々と分離していく。これは、各吸着パッド４０に吸着されている１枚目のシート材１０ａの吸着力よりも、２枚目のシート材１０ｂの吸着力の方が弱いことによる。この結果、最終的には２枚目のシート材１０ｂが完全に分離して落下することになる。落下したシート材１０ｂは、分離板３０ａ，３０ｂと分離板３０ｃ，３０ｄにより両側からガイドされて元のキャリアケース２０内に積層される。
【００２３】
なお、図４及び図５では２枚のシート材１０ａ，１０ｂを引き上げた例を示しているが、シート材１０の枚数はこれに限られず、３枚以上のシート材１０を引き上げた場合にも適用される。この場合、１枚目のシート材から２枚目以降のシート材を分離して落下させることになる。
【００２４】
上述したように、本実施形態に係るシート材搬送方法においては、キャリアケース２０に分離板３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが配設されている。そして、引き上げたシート材１０を水平方向に搬送するときに、シート材１０の両端部を分離板３０ａ，３０ｃに当接して変形させた状態で、分離板３０ａ，３０ｃの間を通過させるようにしている。
これにより、シート材１０を複数枚引き上げた場合に、これらのシート材１０を分離板３０ａ，３０ｃの間を通過させるときの衝撃力及び変形応力の作用により、１枚目のシート材１０ａから２枚目以降のシート材１０を容易に分離することができる。
また、吸着パッド、エアー、除電ブラシ等の対応により、シート材１０の引き上げ時に分離する従来の方法とは異なり、キャリアケース２０に分離板を配設した簡易な構造によってシート材１０の引き上げ後に容易に分離することができる。
【００２５】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係るシート材搬送方法について図面を参照して説明する。
【００２６】
図６は、第２実施形態に係るシート材搬送装置の例を示す概略図である。ここで、第１実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。同図に示すキャリアケース２１と、図１等に示す第１実施形態におけるキャリアケース２０とは、４枚の分離板の各形状が異なる。図６に示すように、第２実施形態におけるキャリアケース２１では、先端部分がキャリアケース２１の内側に折れ曲がった形状の分離板３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄが配設されている。
【００２７】
また、図６では、引き上げたシート材１０を垂直方向（上矢印方向）に搬送する工程を示している。同図に示す工程では、シート材搬送装置１が垂直方向に上昇して、引き上げたシート材１０も共に上昇する。このとき、引き上げたシート材１０の両端部がキャリアケース２１に配設された４枚の分離板３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの折れ曲がった各先端部分に当接して、各先端部分の間を通過することになる。これは、シート材１０の直径よりも、分離板の各先端部分の対向間隔が狭いことによる。
【００２８】
ここで、図４に示すように２枚のシート材１０ａ，１０ｂを引き上げた場合、シート材１０ａ，１０ｂの両端部が分離板３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの各先端部分に当接して変形する。このとき、シート材１０ａ，１０ｂに対して、各先端部分との衝突による衝撃力、及び各先端部分による変形応力が加わることになる。この結果、図５に示すように、１枚目のシート材１０ａから２枚目のシート材１０ｂが両端から内側に分離していくことになり、最終的には２枚目のシート材１０ｂが完全に分離して落下することになる。
【００２９】
上述したように、本実施形態に係るシート材搬送方法においては、キャリアケース２１に先端部分が折れ曲がった分離板３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄが配設されている。そして、引き上げたシート材１０を垂直方向に上昇させて搬送するときに、シート材１０の両端部を各先端部分に当接して変形させた状態で、各先端部分の間を通過させるようにしている。
これにより、シート材１０を複数枚引き上げた場合に、これらのシート材１０を各先端部分の間を通過させるときの衝撃力及び変形応力の作用により、１枚目のシート材１０ａから２枚目以降のシート材１０を容易に分離することができる。
【００３０】
なお、上記実施形態では、キャリアケースに４枚の分離板を配設する例について説明したが、配設する分離板の枚数及び配設位置はこれに限られない。例えば、上記した第１実施形態におけるキャリアケース２０において、シート材１０ａ，１０ｂを図３に示す右矢印方向に搬送する場合は、２枚の分離板３０ａ，３０ｃのみ配設しても良い。逆に、シート材１０ａ，１０ｂを図３に示す右矢印方向とは反対方向に搬送する場合は、２枚の分離板３０ｂ，３０ｄのみ配設しても良い。
【００３１】
また、上記実施形態では、半導体ウエハーのシート材に係るシート材搬送方法の例について説明したが、これに限られず、他の搬送対象物についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第１実施形態に係るシート材搬送方法におけるシート材搬送装置及びキャリアケースの例を示す概略図。
【図２】積層されたシート材を引き上げる工程を示す図。
【図３】引き上げたシート材を水平方向に搬送する工程を示す図。
【図４】水平方向に移動する前のシート材の状態を示す図。
【図５】水平方向に移動して分離板に当接したときのシート材の状態を示す図。
【図６】第２実施形態に係るシート材搬送方法におけるシート材搬送装置及びキャリアケースの例を示す概略図。
【符号の説明】
【００３３】
１…シート材搬送装置、１０…シート材、１０ａ…１枚目のシート材、１０ｂ…２枚目のシート材、２０…第１実施形態におけるキャリアケース、２１…第２実施形態におけるキャリアケース、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ…第１実施形態における分離板、３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ…第２実施形態における分離板、４０…吸着パッド、５０…支持部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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