【手続補正書】
【提出日】平成17年2月18日(2005.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、ロータ(21)の軸方向外側に少なくとも１個配置したことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
【請求項２】
複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、ロータ(21)の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置したことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
【請求項３】
請求項２記載の貫流ファン(1) において、
ロータ(21)と翼部(6) との間に配置された磁気軸受(7) の磁力を、他の磁気軸受(7,7) の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用貫流ファン(1) 。
【請求項４】
請求項２記載の貫流ファン(1) において、
ロータ(21)と翼部(6) との間に配置された磁気軸受(7) の軸方向長さを、他の磁気軸受(7,7) の軸方向長さよりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
【請求項５】
複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、翼部（6）の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の磁力を、他の磁気軸受（7,7）の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
【請求項６】
複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、翼部（6）の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の軸方向長さを、他の磁気軸受（7,7）の軸方向長さよりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
【請求項７】
複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、翼部（6）の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の磁力を、他の磁気軸受（7,7）の磁力よりも大きくするとともに、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の軸方向長さを、他の磁気軸受（7,7）の軸方向長さよりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、回転軸を支える磁気軸受を、ロータの軸方向外側に少なくとも１個配置している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第１構成記載の発明によれば、磁気軸受をロータの外側に配置している。これにより、大重量を有するロータが、回転軸を支承する磁気軸受の内側に配置されるので、ロータの重量を安定に支承することが可能になり、貫流ファンの振動が小さくなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、第２の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
翼部の回転によってチャンバ 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、回転軸を支える磁気軸受を、ロータの軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第２構成記載の発明によれば、ロータの両側に磁気軸受を配置している。これにより、駆動源であり、かつ大重量を有するロータを２個の磁気軸受の内側に配置しているので、ロータがより安定に支承され、その振動が小さくなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、第３の発明は、
第２構成記載の貫流ファンにおいて、
ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第３構成記載の発明によれば、ロータと翼部の間に、他の磁気軸受よりも磁力が強力な磁気軸受を配置している。
即ち、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央部付近に、最も強力な磁力の磁気軸受を配置しているので回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、第４の発明は、
第３構成記載の貫流ファンにおいて、
ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第４構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第５の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン。
第５構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央部付近に、最も強力な磁力の磁気軸受を配置しているので回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第６の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第６構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第７発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受(を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第７構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも
大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、この磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をさらに効果的に抑えることが可能となる。