(57)【要約】【課題】モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部の破損を防止することが可能な、太陽電池及びその製造方法を提供する。【解決手段】発電部と、金属製の第１電極と、発電部の他面側に配設された第２電極とを有し、発電部の一面側の表面の一部と第１電極とが接触し、第１電極と接触していない発電部の一面側の表面の少なくとも一部に第１電極と同じ厚さの光を吸収しない炭素層が配設され、該炭素層の硬さは第１電極の硬さ以上である太陽電池とし、凸部を有する金属基板の凸部側に凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する工程と、作製された炭素層の金属基板が設けられていない側の表面へ発電部を作製する工程と、作製された発電部の炭素層が設けられていない表面へ第２電極を作製する工程と、金属基板の凸部以外の部位を溶解させて除去することにより第１電極を作製する工程と、を有する太陽電池の製造方法とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光照射により電子及び正孔を発生する発電部と、前記発電部の一面側に配設された金属製の第１電極と、前記発電部に接続された第２電極と、を有し、
前記発電部の前記一面側の表面の一部と前記第１電極とが接触し、
前記第１電極と接触していない前記発電部の前記一面側の表面の少なくとも一部に、前記第１電極と同じ厚さの、光を吸収しない炭素層が配設され、
前記炭素層の硬さは前記第１電極の硬さ以上であることを特徴とする、太陽電池。
【請求項２】
凸部を有する金属基板の前記凸部側に、前記凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する、炭素層作製工程と、
前記炭素層作製工程で作製された前記炭素層の、前記金属基板が設けられていない側の表面へ、光照射により電子及び正孔を発生する発電部を作製する、発電部作製工程と、
前記発電部作製工程で作製された前記発電部の、前記炭素層が設けられていない表面へ、第２電極を作製する、第２電極作製工程と、
少なくとも前記炭素層作製工程の後に、前記金属基板の前記凸部以外の部位を溶解させて除去することにより第１電極を作製する、第１電極作製工程と、
を有することを特徴とする、太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は、発電量当たりの二酸化炭素排出量が少なく、発電用の燃料が不要という利点を有している。そのため、様々な種類の太陽電池に関する研究が、盛んに進められている。現在、実用化されている太陽電池の中では、単結晶シリコン又は多結晶シリコンを用いた、一組のｐｎ接合を有する単接合太陽電池が主流となっている。
【０００３】
これまでに提案されている太陽電池に、いわゆるｐｉｎ接合を有する太陽電池がある。この形態の太陽電池では、主にｉ層で光吸収が行われ、生成された電子及び正孔を、ｐ層及びｎ層によって発生する内部電界により分離して発電する。
【０００４】
このような太陽電池（光起電力装置も含む）に関する技術として、例えば特許文献１には、くし形形状の表面電極を用いたシリコン太陽電池が開示されている。また、特許文献２には、炭素膜によって構成される上部電極層を有する太陽電池が開示されている。また、特許文献３には、くし形形状の集電極を有する光起電力装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２４３５９７号公報
【特許文献２】特開２００３−５１６０３号公報
【特許文献３】特開平７−３８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されている技術によれば、金属製のくし形形状の表面電極を用いているので、表面電極によって遮られる光の量を低減することができる。しかしながら、特許文献１に開示されているシリコン太陽電池では、表面電極側の表面に凹凸が存在する。そのため、このような形態の太陽電池をモジュール化するために樹脂でラミネートすると、樹脂の熱収縮により、電子及び正孔が生成する発電部と表面電極との接触界面等に応力が集中し、発電部が破損する虞があるという問題があった。また、特許文献２に開示されている技術のように、炭素膜を電極に用いると、電極が光を吸収してしまうため、太陽電池の効率が低下しやすいという問題があった。この問題を解決するために、バンドギャップの大きい炭素材料からなる電極を用いると、電極を介して電子を取り出す際の抵抗が増大して太陽電池の効率が低下しやすいという問題があった。また、発電部の表面に電極のみを配置し、発電部の表面を剥き出しにすると、表面で電子及び正孔の再結合が生じ、太陽電池の効率が著しく低下するという問題もあった。これらの問題は、特許文献１に開示されている技術と、特許文献２〜特許文献３に開示されている技術とを単に組み合わせたとしても、解決することが困難であった。
【０００７】
そこで本発明は、モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部の破損を防止することが可能な太陽電池及びその製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は、効率の低下を抑制することが可能な太陽電池及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段をとる。すなわち、
本発明の第１の態様は、光照射により電子及び正孔を発生する発電部と、発電部の一面側に配設された金属製の第１電極と、発電部に接続された第２電極と、を有し、発電部の一面側の表面の一部と第１電極とが接触し、第１電極と接触していない発電部の一面側の表面の少なくとも一部に、第１電極と同じ厚さの、光を吸収しない炭素層が配設され、炭素層の硬さは第１電極の硬さ以上であることを特徴とする、太陽電池である。
【０００９】
ここに、本発明において、「発電部に接続された第２電極」とは、発電部で発生した電子又は正孔を集めることが可能な形態で発電部に接続された電極をいう。例えば、発電部がｐｎ接合やｐｉｎ接合を有し、第１電極がｐ層側に配設されている場合、ｎ層の電子が移動可能な形態で接続された電極が、第２電極に相当する。同様に、第１電極がｎ層側に配設されている場合には、ｐ層の正孔が移動可能な形態で接続された電極が、第２電極に相当する。さらに、本発明において、「発電部の一面側の表面の一部と第１電極とが接触し」とは、発電部の一面側の表面全体が第１電極によって覆われるのではなく、発電部の一面側の表面の一部と第１電極とが接触することにより、発電部の一面側から照射された光が発電部へと入射可能なように構成されていることをいう。さらに、本発明において、「第１電極と同じ厚さの、光を吸収しない炭素層」とは、発電部の一面側に配設されている第１電極の厚さと、発電部の一面側に配設されている炭素層の厚さとが、同一（略同一も含む）であることをいう。さらに、本発明において、「光を吸収しない炭素層」とは、例えば、バンドギャップが４．５ｅＶ以上の炭素層をいう。さらに、本発明において、「硬さ」とは、例えばビッカース硬さ（ＨＶ）をいう。
【００１０】
本発明の第２の態様は、凸部を有する金属基板の凸部側に凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する炭素層作製工程と、該炭素層作製工程で作製された炭素層の金属基板が設けられていない側の表面へ、光照射により電子及び正孔を発生する発電部を作製する発電部作製工程と、該発電部作製工程で作製された発電部の炭素層が設けられていない表面へ第２電極を作製する第２電極作製工程と、少なくとも炭素層作製工程の後に、金属基板の凸部以外の部位を溶解させて除去することにより第１電極を作製する第１電極作製工程と、を有することを特徴とする、太陽電池の製造方法である。
【００１１】
ここに、本発明において、「金属基板の凸部側に凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する」とは、凹凸を有する金属基盤の表面の、凹んでいる箇所の少なくとも一部に、凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製することをいう。すなわち、炭素層作製工程で、例えば、凹んでいる箇所の全てに炭素層を作製すると、金属基板の凸部側の表面は、平らな面となる。さらに、本発明において、「炭素層の金属基板が設けられていない側の表面」とは、金属基板が配設されている炭素層の表面とは反対側の表面をいう。すなわち、炭素層の下面に金属基板が配設されている場合には、炭素層の上面側の表面が、炭素層の金属基板が設けられていない側の表面、に相当する。さらに、本発明において、「発電部の炭素層が設けられていない表面」とは、炭素層が配設されている発電部の一面を除く、発電部の表面をいい、例えば、炭素層が配設されている発電部の表面とは反対側の表面（裏面側の表面）をいう。すなわち、発電部の下面に炭素層が配設されている場合には、発電部の側面や上面の表面が、発電部の炭素層が設けられていない表面、に相当する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の太陽電池では、発電部の同一面側に、同じ厚さの第１電極及び炭素層が配設されている。くし形形状の第１電極が備えられる場合のように、発電部の表面の一部と第１電極とが接触する場合であっても、炭素層によって、発電部表面の凹凸を解消することができる。そのため、かかる形態とすることにより、応力集中を防止して発電部の破損を防止することが可能になる。さらに、例えば、発電部の一面側の表面のうち、第１電極と接触していない全表面に炭素層を配設することにより、発電部の表面が剥き出しになる事態を防止することができるので、太陽電池の効率低下を抑制することが可能になる。さらに、炭素層によって光が吸収されないので、効率の低下を抑制することが可能になる。さらに、炭素層の硬さが第１電極の硬さ以上なので、発電部の一面側から応力が付与された場合であっても、第１電極にのみ応力が集中する事態を回避することができる。したがって、本発明によれば、モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部の破損を防止することが可能な、太陽電池を提供することができる。また、本発明によれば、効率の低下を抑制することが可能な、太陽電池を提供することができる。
【００１３】
本発明の太陽電池の製造方法は、金属基板の凸部側に凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する炭素層作製工程、及び、金属基板の凸部以外の部位を溶解させて除去することにより第１電極を作製する第１電極作製工程を有している。かかる形態とすることにより、本発明の第１の態様にかかる太陽電池を製造することが可能になる。したがって、本発明によれば、モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部の破損を防止し得る太陽電池を提供することが可能な、太陽電池の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、効率の低下を抑制し得る太陽電池を提供することが可能な、太陽電池の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】太陽電池１０の形態例を示す断面図である。
【図２】太陽電池１０の形態例を示す上面図である。
【図３】太陽電池の製造方法に含まれる工程の流れを示すフローチャートである。
【図４】太陽電池の製造方法を簡略化して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
耐環境性及び機械的特性に優れた太陽電池を提供する等の観点から、電子及び正孔を発生させる発電部のみならず、電極も炭素材料によって構成した太陽電池が検討されている。ところが、炭素材料からなる電極を用いると、太陽電池の効率が低下しやすい。そのため、高効率の太陽電池を提供する等の観点からは、発電部の受光面側にも金属製の電極を配置することが好ましい。この場合、電極によって遮られる光の量を低減するため、くし形形状の電極等、発電部の表面の一部と接触する形状の電極を用いることが考えられる。ところが、発電部の表面にくし形形状等の電極のみを配置すると、電極に接触している発電部の表面と、電極に接触していない発電部の表面とが存在する結果、発電部の表面が凹凸構造になる。発電部の表面が凹凸構造になると、太陽電池セルをモジュール化した際に発電部の一部へ応力が集中し、発電部が破損する虞がある。また、発電部の表面にくし形形状等の電極のみを配置して、発電部の表面を剥き出しにすると、発電部の表面で電子及び正孔が再結合する結果、太陽電池の効率が低下しやすい。したがって、太陽電池の電極として、くし形形状等の金属製の電極を用いる場合には、これらの課題を解決することが求められる。
【００１６】
本発明者は、鋭意研究の結果、くし形形状等の金属製の電極が配置された発電部表面の、電極とは接触していない箇所へ、電極と同じ厚さの炭素層を配設することにより、受光面を平滑面にすることが可能になることを知見した。さらに、バンドギャップが４．５ｅＶ以上の透明な炭素層を用いることにより、炭素層による光の吸収を抑制できることを知見した。さらに、炭素層の硬さを、電極の硬さ以上とすることにより、太陽電池セルをモジュール化した場合であっても、発電部の表面の一部に応力が集中する事態を回避でき、その結果、発電部の破損を抑制できることを知見した。
【００１７】
本発明は、かかる知見に基づいてなされたものである。本発明は、モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部の破損を防止することが可能な太陽電池、及び、そのような太陽電池の製造方法を提供することを第１の要旨とする。また、本発明は、効率の低下を抑制することが可能な太陽電池、及び、そのような太陽電池の製造方法を提供することを、第２の要旨とする。
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明について説明する。なお、以下に示す形態は本発明の例示であり、本発明は以下に示す形態に限定されるものではない。
【００１９】
１．太陽電池
図１は、本発明の太陽電池（以下において、「太陽電池１０」という。）の形態例を示す断面図である。図１では、太陽電池１０の一部のみを抽出し、拡大して示している。また、図１では、一部符号の記載を省略している。図２は、太陽電池１０の形態例を示す上面図である。
【００２０】
図１及び図２に示すように、太陽電池１０は、ｐｉｎ接合を形成するｐ層１、ｉ層２、及び、ｎ層３によって構成される発電部４と、ｐ層１の表面に配設された金属製の表面電極５と、ｎ層３と接触するように配設された裏面電極６と、を有し、ｐ層１の表面には、さらに、透明なダイヤモンド層７が配設されている。太陽電池１０において、ｐ層１、ｉ層２、及び、ｎ層３は、炭素膜によって構成されている。図１及び図２に示すように、表面電極５はくし形形状であり、ｐ層１の表面の一部（発電部４の表面の一部）と表面電極５とが接触し、表面電極５と接触していない発電部４の表面とダイヤモンド層７とが接触している。したがって、ｐ層１の上面は、表面電極５及びダイヤモンド層７によって覆われている。
【００２１】
太陽電池１０では、図１の紙面上方から照射された光が、透明なダイヤモンド層７を通過して発電部４へと達し、主にｉ層２で吸収される。ここで、ダイヤモンド層７のバンドギャップは５．５ｅＶである。それゆえ、波長が２２５ｎｍ以上の光は、ダイヤモンド層７によって吸収されず、発電部４へと達することができる。発電部４へと光が照射されることにより生成された電子及び正孔は、ｐ層１及びｎ層３により発生する内部電界により分離する。そして、電子はｉ層２及びｎ層３を通過して裏面電極６へと達し、正孔はｉ層２及びｐ層１を通過して表面電極５へと達する。太陽電池１０において、ｎ層３の電子濃度はｉ層２の電子濃度よりも高く、ｐ層１の正孔濃度はｉ層２の正孔濃度よりも高い。
【００２２】
さらに、図１に示すように、太陽電池１０では、ｐ層１の上面に配設された表面電極５の厚さと、ダイヤモンド層７の厚さとが等しい。そのため、太陽電池１０によれば、受光面を平滑面にすることができる。さらに、ダイヤモンド層７は、金属製である表面電極５よりも硬い。そのため、複数の太陽電池１０、１０、…（太陽電池セル１０、１０、…）を図１の紙面左右方向へ並べた透明な樹脂（例えば、エチレンビニルアセテート（ＥＶＡ））でラミネートした場合であっても、表面電極５へ応力が集中する事態を回避でき、その結果、発電部４の破損を防止することが可能になる。
【００２３】
さらに、上述のように、ｐ層１の上面は、表面電極５及びダイヤモンド層７によって覆われており、ｐ層１の上面は剥き出しになり結合が途切れた状態になっていない。そのため、太陽電池１０によれば、ｐ層１の上面近傍における電子と正孔との再結合を低減することが可能になり、効率の低下を抑制することが可能になる。以上より、本発明によれば、モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部４の破損を防止することが可能な、太陽電池１０を提供することができる。また、本発明によれば、効率の低下を抑制することが可能な、太陽電池１０を提供することができる。
【００２４】
太陽電池１０において、ｐ層１は、例えば、ホウ素をドープした、キャリア濃度が５×１０１７ｃｍ−３、厚さが１００ｎｍの炭素膜とすることができる。また、ｉ層２は、例えば、キャリア濃度が１×１０１０ｃｍ−３、厚さが１μｍの、ドープをしていない炭素膜とすることができる。また、ｎ層３は、例えば、窒素をドープした、キャリア濃度が５×１０１７ｃｍ−３、厚さが１００ｎｍの炭素膜とすることができる。なお、上記例では、ｐ層１のドーパントとしてホウ素を例示したが、太陽電池１０は当該形態に限定されるものではなく、ホウ素以外のＩＩＩ族元素をドーパントとして用いることもできる。また、上記例では、ｎ層３のドーパントとして窒素を例示したが、太陽電池１０は当該形態に限定されるものではなく、窒素以外のＶ族元素をドーパントとして用いることもできる。
【００２５】
また、太陽電池１０において、表面電極５を構成する金属は、チタン、金、銀等を用いることができる。表面電極５の厚さ（図１の紙面上下方向の長さ）は、例えば、２μｍとすることができる。さらに、図２にＷ１、Ｗ２、Ｗ３で示した幅は、例えば、Ｗ１＝２ｍｍ、Ｗ２＝２０μｍ、Ｗ３＝２ｍｍとすることができる。また、裏面電極６は、例えば、チタン、金、銀等によって構成することができ、裏面電極６の厚さは、例えば、１μｍ〜３μｍとすることができる。また、ダイヤモンド層７の厚さは、表面電極５と同じ厚さ（例えば２μｍ）とすることができる。なお、図１では図示していないが、裏面電極６は、例えば、石英ガラス基板の表面に配設することができる。
【００２６】
太陽電池１０に関する上記説明では、炭素層としてダイヤモンド層７が備えられる形態を例示したが、本発明の太陽電池は、当該形態に限定されるものではない。第１電極（太陽電池１０では表面電極５）とともに発電部４の表面に配設される炭素層は、厚さが表面電極５と同じであり、硬さが表面電極５の硬さ以上であり、且つ、バンドギャップが４．５ｅＶ以上の炭素材料によって構成されていれば良い。このような炭素材料の具体例としては、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の硬度を高めたもの等を挙げることができる。
【００２７】
２．太陽電池の製造方法
図３は、本発明の太陽電池の製造方法に含まれる工程の流れを示すフローチャートである。図４は、本発明の太陽電池の製造方法の形態例を簡略化して示す図である。図４において、太陽電池１０と同様の構成を採るものには、図１及び図２で使用した符号と同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。また、図４では、一部符号の記載を省略している。
【００２８】
図３及び図４に示すように、本発明の太陽電池の製造方法は、炭素層作製工程（工程Ｓ１）と、発電部作製工程（工程Ｓ２）と、第２電極作製工程（工程Ｓ３）と、第１電極作製工程（工程Ｓ４）と、を有し、工程Ｓ１〜工程Ｓ４を経て、本発明の太陽電池１０が製造される。以下、工程ごとに説明する。
【００２９】
＜工程Ｓ１＞
工程Ｓ１は、凸部を有する金属基板８の凸部側に、凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する工程である。工程Ｓ１は、例えば、フォトリソグラフィー及びエッチングを組み合わせた方法により表面にくし形形状の凸部を形成した金属基板（チタン基板）８の表面の凹部に、凸部の高さと同じ厚さのダイヤモンド層７を作製する工程とすることができる。工程Ｓ１では、例えば、ダイヤモンド層７を堆積させる金属基板８の温度、及び、原料の投入量を制御する機能を備えたプラズマＣＶＤ装置、並びに、必要に応じて表面研磨機を用いることにより、ダイヤモンド層７を作製することができる。工程Ｓ１において、ダイヤモンド層７の原料としては、メタン、アセチレン、及び、エチレン等の炭化水素（以下において、単に「炭化水素」という。）、並びに、水素を用いることができる。金属基板８を上から見ると、図２の表面電極５と同じ、くし形形状の凸部が確認できるものと仮定して、以下に説明を続ける。
【００３０】
＜工程Ｓ２＞
工程Ｓ２は、上記工程Ｓ１で作製されたダイヤモンド層７の上面へ、発電部４を作製する工程である。工程Ｓ２では、例えば、ダイヤモンド層７の上面へｐ層１を作製し、作製されたｐ層１の上面へｉ層２を作製した後、ｉ層２の上面へｎ層３を作製することにより、ダイヤモンド層７の上面へ発電部４を作製する工程、とすることができる。工程Ｓ２において、ｐ層１、ｉ層２、及び、ｎ層３は、例えば、各層が堆積される物質（ｐ層１を作製する場合は金属基板８及びダイヤモンド層７、ｉ層２を作製する場合はｐ層１、ｎ層３を作製する場合はｉ層２）の温度、及び、原料の投入量を制御する機能を備えたプラズマＣＶＤ装置等を用いて、作製することができる。工程Ｓ２において、ｐ層１の原料としては、炭化水素、水素、及び、トリメチルボロン等の添加物を用いることができる。また、ｉ層２の原料としては、炭化水素及び水素を用いることができる。また、ｎ層３の原料としては、炭化水素、水素、及び、窒素やホスフィン等の添加物を用いることができる。
【００３１】
＜工程Ｓ３＞
工程Ｓ３は、上記工程Ｓ２で作製された発電部４の上面へ、裏面電極６を作製する工程である。工程Ｓ３では、例えば、チタン、金、銀等の蒸着源を電子線又はレーザーで加熱・蒸発させて、発電部４の上面へと付着（蒸着）させることにより、裏面電極６を作製する工程、とすることができる。
【００３２】
＜工程Ｓ４＞
工程Ｓ４は、上記工程Ｓ３で裏面電極６を作製した後、金属基板８の凸部以外の部位を溶解させて除去することにより、くし形形状の表面電極５を作製する工程である。金属基板８としてチタン基板を用いた場合、工程Ｓ４は、例えば、還元性の酸（フッ酸、硫酸、塩酸等）を含む液体９を用いて金属基板８をエッチングし、液体９へと浸漬させる時間を制御して金属基板８の凸部以外の部位のみ（金属基板８の平板部のみ）を除去することにより、ダイヤモンド層７と同じ厚さの表面電極５を作製する工程、とすることができる。
【００３３】
上記工程Ｓ１〜工程Ｓ４を経ることにより、本発明の太陽電池１０を製造することができる。そのため、本発明によれば、モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部４の破損を防止し得る太陽電池１０を提供することが可能な、太陽電池の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、効率の低下を抑制し得る太陽電池１０を提供することが可能な、太陽電池の製造方法を提供することができる。
【００３４】
本発明の太陽電池の製造方法に関する上記説明では、金属基板８としてチタン基板が用いられる形態を例示したが、本発明は当該形態に限定されるものではない。本発明において、金属基板８は、表面電極５を構成する材料によって構成される基板等を適宜用いることができる。金属基板８の構成材料としては、チタンのほか、金や銀等を例示することができる。
【００３５】
また、本発明の太陽電池の製造方法に関する上記説明では、炭素層作製工程、発電部作製工程、及び、第２電極作製工程の後に、第１電極作製工程を有する形態を例示したが、本発明は当該形態に限定されるものではない。本発明の太陽電池の製造方法における第１電極作製工程は、炭素層作製工程よりも後の工程であれば良い。したがって、本発明の太陽電池の製造方法は、例えば、炭素層作製工程の後に、第１電極作製工程を行ない、その後、発電部作製工程及び第２電極作製工程が行われる形態、とすることも可能である。
【００３６】
また、本発明に関する上記説明では、ｐｉｎ接合を有する発電部が備えられる形態を例示したが、本発明は当該形態に限定されるものではない。本発明は、発電部にｉ層が備えられない形態の太陽電池及びその製造方法にも適用することができる。また、本発明に関する上記説明では、炭素膜によって構成される発電部が備えられる形態を例示したが、本発明は当該形態に限定されるものではない。本発明は、炭素膜以外の層が備えられる発電部や、炭素膜以外の層によって構成される発電部が備えられる形態の太陽電池及びその製造方法にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の太陽電池（本発明の太陽電池の製造方法によって製造した太陽電池も含む）は、電気自動車の動力源や太陽光発電システム等に利用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
Ｓ１…炭素層作製工程
Ｓ２…発電部作製工程
Ｓ３…第２電極作製工程
Ｓ４…第１電極作製工程
１…ｐ層
２…ｉ層
３…ｎ層
４…発電部
５…表面電極（第１電極）
６…裏面電極（第２電極）
７…ダイヤモンド層（炭素層）
８…金属基板
９…液体
１０…太陽電池
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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