(57)【要約】  【課題】  所定濃度以上のオゾン水を複数のユースポイントへ効率良く供給することができるオゾン水供給装置を提供する。また、被洗浄物を確実かつ効率良く洗浄することができる洗浄装置を提供する。【解決手段】  オゾンガス導入管１１及び純水導入管１０に接続され、オゾンガス導入管１１を介して導入されたオゾンガスを、純水導入管１０を介して導入された純水に溶解させる複数の溶解モジュール５と、各溶解モジュール５により生成されたオゾン水をそれぞれユースポイントに供給する複数のオゾン水供給管１２と、純水導入管１０を開閉する開閉弁３１と、オゾンガス導入管１１にオゾンガスを供給するオゾンガス供給装置２０と、オゾンガス導入管１１内のオゾンガス圧力を検知する圧力検知装置２３とを備え、オゾンガス供給装置２０は、圧力検知装置２３の検知に基づいて、オゾンガス導入管１１内のオゾンガス圧力が一定になるようにオゾンガスを供給するオゾン水供給装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾンガス導入管及び純水導入管に接続され、前記オゾンガス導入管を介して導入されたオゾンガスを、前記純水導入管を介して導入された純水に溶解させる複数の溶解手段と、
前記各溶解手段により生成されたオゾン水をそれぞれユースポイントに供給する複数のオゾン水供給管と、
前記純水導入管を開閉する開閉弁と、
前記オゾンガス導入管にオゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、
前記オゾンガス導入管内のオゾンガス圧力を検知する圧力検知手段とを備え、
前記オゾンガス供給手段は、前記圧力検知手段の検知に基づいて、前記オゾンガス導入管内のオゾンガス圧力が一定になるようにオゾンガスを供給するオゾン水供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載のオゾン水供給装置を備え、
前記ユースポイントには、被洗浄物を収容可能な洗浄チャンバが配置されている洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ等の被洗浄物の洗浄に用いられるオゾン水を供給するオゾン水供給装置、及び、オゾン水により被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾン水は、ウエハ等のウェット洗浄やフォト工程でのレジスト剥離などに従来から使用されており、オゾン水製造装置において超純水にオゾンガスを溶解させることにより製造される。従来のオゾン水供給装置として、例えば特開平７−１８５５７２号公報に開示されたものが知られており、この構成を図４に示す。
【０００３】
同図に示すように、このオゾン水供給装置１００は、エゼクタ５０にオゾンガス供給管５２及び給水管５４が接続されており、給水管５４からエゼクタ５０への水流により、オゾンガス発生器５６により発生したオゾンガスがオゾンガス供給管５２を介してエゼクタ５０内に吸引されて超純水と混合され、オゾン水が生成される。このオゾン水は、気液分離装置５８に供給されて未溶解のオゾンガスが分離された後、オゾン水供給管６０を介してユースポイントに供給される。
【０００４】
通常、このようなオゾン水供給装置では、オゾン水を安定的にユースポイントに供給する観点から、オゾン水を連続的に供給している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような構成では、オゾン水が必要でないときであっても、オゾン水をユースポイントに連続的に供給することとなり、オゾン水を浪費してしまう問題があった。すなわち、例えば、ユースポイントにウエハ等の被洗浄物が存在しないときであっても、オゾン水を連続的に供給していたので、無駄が生じるという問題があった。
【０００６】
また、ユースポイントが複数存在する場合には、各ユースポイントにおいてオゾン水が必要となるタイミングが異なるにも関わらず、全てのユースポイントにオゾン水を連続的に供給していたので、オゾン水の浪費がより顕著になっていた。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、所定濃度以上のオゾン水を複数のユースポイントへ効率良く供給することができるオゾン水供給装置の提供を目的とする。
【０００８】
また、被洗浄物を確実かつ効率良く洗浄することができる洗浄装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の前記目的は、オゾンガス導入管及び純水導入管に接続され、前記オゾンガス導入管を介して導入されたオゾンガスを、前記純水導入管を介して導入された純水に溶解させる複数の溶解手段と、前記各溶解手段により生成されたオゾン水をそれぞれユースポイントに供給する複数のオゾン水供給管と、前記純水導入管を開閉する開閉弁と、前記オゾンガス導入管にオゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、前記オゾンガス導入管内のオゾンガス圧力を検知する圧力検知手段とを備え、前記オゾンガス供給手段は、前記圧力検知手段の検知に基づいて、前記オゾンガス導入管内のオゾンガス圧力が一定になるようにオゾンガスを供給するオゾン水供給装置により達成される。
【００１０】
また、本発明の前記目的は、上記のオゾン水供給装置を備え、被洗浄物を収容可能な洗浄チャンバが前記ユースポイントに配置されている洗浄装置により達成される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のオゾン水供給装置によれば、所定濃度以上のオゾン水を複数のユースポイントへ効率良く供給することができる。
【００１２】
また、本発明の洗浄装置によれば、被洗浄物を確実かつ効率良く洗浄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概略構成図である。図１に示すように、洗浄装置１は、ガス発生ユニット２及び洗浄ユニット３を備えている。
【００１４】
ガス発生ユニット２は、オゾンガス供給装置２０と、オゾンガス分解装置２４とを備えている。オゾンガス供給装置２０としては、例えば、純水を電気分解して高濃度のオゾンガスを発生させる公知の電解法オゾンガス発生装置を使用することができる。本実施形態では、オゾンガス供給装置２０は、直流電源２２及び電解槽２１を備えており、直流電源２２の電圧印加により、電解槽２１において純水を電気分解し、オゾンガスを発生させるように構成されている。また、オゾンガス供給装置２０は、オゾンガス導入管１１に接続されており、発生したオゾンガスをオゾンガス導入管１１に供給可能に構成されている。オゾンガス導入管１１には、内部のオゾンガス圧力を検知する圧力検知器２３が設置されており、オゾンガス供給装置２０は、圧力検知器２３の検知に基づいて、直流電源２２の電圧を調整し、オゾンガスを一定のガス圧力でオゾンガス導入管１１に供給するように構成されている。圧力検知器２３としては、例えば、サーパス工業株式会社製  ＨＰＳ−１／２−Ｐ３００Ｐを使用することができる。また、オゾンガスの圧力は、例えば１００ｋＰａＧとすることができる。オゾンガス導入管１１は、洗浄ユニット３に延びており、途中で複数に分岐している。
【００１５】
オゾンガス分解装置２４は、オゾンガスを分解して酸素を生成する公知のオゾンガス分解装置を用いることができる。オゾンガスの分解法としては熱分解法、紫外線照射法、活性炭法、触媒法等が挙げられる。オゾンガス分解装置２４は、オゾンガス排出管１３に接続されており、オゾンガス排出管１３から排出されてくるオゾンガスを分解することができる。
【００１６】
洗浄ユニット３は、複数の溶解モジュール５と、各溶解モジュール５にそれぞれ対応する複数の収容部材６とを備えている。複数の溶解モジュール５は並列に配置されており、それぞれに、純水導入管１０、オゾンガス導入管１１、オゾン水供給管１２、及び、オゾンガス排出管１３が接続されている。
【００１７】
オゾンガス導入管１１は、分岐した一部が溶解モジュール５に接続され、溶解モジュール５にオゾンガスを導入する。
【００１８】
純水導入管１０は、図示しない純水製造装置に接続されており、純水製造装置からの純水を溶解モジュール５に導入する。純水製造装置としては、例えば、公知の逆浸透純水製造装置を使用することができ、純度の高い超純水を製造できるように、イオン交換樹脂等のカートリッジを備えることが好ましい。また、複数の純水導入管１０には、それぞれ、純水導入管１０を開閉する開閉弁３１が設置されており、この開閉弁３１の開度調整により、純水の流量を調整可能に構成されている。開閉弁３１は、後述の発信装置３６からの信号に基づいて開閉されるように構成されている。
【００１９】
図２は、溶解モジュールの構成を示す斜視図である。溶解モジュール５は、筒状の本体４０と、本体４０の内部に複数配置された筒状の中空糸モジュール４１とを備えている。本体４０の内部は、オゾンガスが流通可能なように構成されている。図３は、中空糸モジュールの構成を示す斜視図である。中空糸モジュール４１は、図３に示すように、オゾンガスを透過可能な壁材により形成されており、この内部は純水を導通可能となるように中空状に形成されている。このため、中空糸モジュール４１の内部に純水を導通させ、この中空糸モジュール４１の外部をオゾンガス雰囲気とすれば、中空糸モジュール４１を導通する純水をオゾン水とすることができる。
【００２０】
また、図１に示すように、各オゾン水供給管１２は、それぞれ、収容部材６に接続されており、溶解モジュール５で生成されたオゾン水を収容部材６（ユースポイント）に供給可能に構成されている。各オゾン水供給管１２には、それぞれ、オゾン水供給管１２を開閉するオゾン水供給弁３２が設置されており、このオゾン水供給弁３２の開度調整により、オゾン水の流量を調整可能に構成されている。収容部材６の内部には、ウエハ等の被洗浄物７を収容可能な洗浄チャンバ２６が形成されている。また、収容部材６には、発信装置３６が設置されており、この発信装置３６は、開閉弁３１に信号を送信して開閉弁３１を開閉するように構成されている。発信装置３６は、洗浄チャンバ２６にオゾン水を供給するときに、開閉弁３１に開信号を送信し、洗浄チャンバ２６へのオゾン水の供給を停止するときに、開閉弁３１に閉信号を送信する。
【００２１】
また、オゾン水供給管１２には、余分なオゾン水を排水するための排水管１６が接続されている。排水管１６には、排水弁３３が設置されており、排水弁３３の開閉により排水量を調整可能に構成されている。
【００２２】
複数のオゾンガス排出管１３は、合流して、オゾンガス分解装置２４に接続されており、余分なオゾンガスをオゾンガス分解装置２４に供給可能に構成されている。また、各オゾンガス排出管１３には、排出されるオゾンガスの流量を調整するためのオリフィス１４が設けられている。また、合流後のオゾンガス排出管１３には排ガス弁３４が設置されており、排出されるオゾンガスの流量を調整可能に構成されている。
【００２３】
次に、以上のような構成を備える洗浄装置１を用いて、オゾン水をユースポイントに供給し、被洗浄物を洗浄する方法を説明する。
【００２４】
まず、開閉弁３１を閉じた状態で、純水導入管１０に純水を供給しておく。また、オゾンガス導入管１１にオゾンガスを所定の圧力で供給し、溶解モジュール５にオゾンガスを所定の圧力で供給しておく。供給する純水の流量は、特に限定されないが、例えば、１Ｌ／ｍｉｎ〜４Ｌ／ｍｉｎが好ましい。また、オゾンガスの圧力は、特に限定されないが、例えば、１００ｋＰａＧ〜４００ｋＰａＧが好ましい。この状態で、発信装置３６からの開信号に基づいて開閉弁３１を開状態にすることにより、溶解モジュール５に純水を供給すると、既に供給されているオゾンガスと混合することにより、オゾン水が瞬時に生成される。
【００２５】
溶解モジュール５に純水が導入され、オゾン水が生成されると、溶解モジュール５内のオゾンガス圧力が低下すると共にオゾンガス導入管１０内のオゾンガス圧力も低下する。このとき、圧力検知装置２３がオゾンガス導入管１０内のオゾンガス圧力を検知し、この検知に基づいて、オゾンガス供給装置２０がオゾンガス導入管１０内のオゾンガス圧力が一定になるようにオゾンガスを供給する。
【００２６】
一方、生成されたオゾン水は、オゾン水供給管１２を通過した後、洗浄チャンバ２６（ユースポイント）に供給される。こうして、洗浄チャンバ２６内の被洗浄物７が洗浄される。
【００２７】
以上のような洗浄装置１によれば、純水導入管１０を開閉する開閉弁３１と、オゾンガス導入管１１にオゾンガスを供給するオゾンガス供給装置２０と、オゾンガス導入管１１内のオゾンガス圧力を検知する圧力検知装置２３とを備え、オゾンガス供給装置２０が圧力検知装置２３の検知に基づいてオゾンガス導入管１１内のオゾンガス圧力が一定になるようにオゾンガスを供給するので、溶解モジュール５内のオゾンガス圧力を一定の状態にしておきつつ、オゾン水が必要なときにのみ開閉弁３１を開き、純水を溶解モジュール５に供給することができる。これにより、オゾン水を生成するときにオゾンガス圧力が低下するのを防ぐことができるので、所定濃度以上のオゾン水を生成することができる。また、必要なときだけ純水を導入するので、純水を浪費することなくオゾン水を生成することができる。したがって、所定濃度以上のオゾン水を各収容部材６（ユースポイント）へ効率良く供給することができる。また、洗浄チャンバ２６内の被洗浄物７に所定濃度以上のオゾン水を効率良く供給できるので、被洗浄物７を確実かつ効率良く洗浄することができる。
【００２８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の具体的な態様は、上記実施形態に限定されるものではない。
【００２９】
例えば、本実施形態では、圧力検知装置２３は、ガス発生ユニット２に配置されていたが、オゾンガス導入管１１内のオゾンガス圧力を検知可能であれば、配置位置は特に限定されない。
【００３０】
また、洗浄ユニット３の数は特に限定されず、単数であっても複数であってもよい。また、洗浄ユニット３に配置される収容部材６（ユースポイント）の数も特に限定されるものではない。
【００３１】
また、本実施形態では、発信装置３６からの信号に基づいて開閉弁３１を開閉させていたが、手動により開閉弁３１を開閉する構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概略構成図である。
【図２】溶解モジュールの構成を示す斜視図である。
【図３】中空糸モジュールの構成を示す斜視図である。
【図４】従来のオゾン水供給装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  洗浄装置
２  ガス発生ユニット
３  洗浄ユニット
５  溶解モジュール
７  被洗浄物
１０  純水導入管
１１  オゾンガス導入管
１２  オゾン水供給管
２０  オゾンガス供給装置
２３  圧力検知装置
【図１】
2010132512.tif 000003
【図２】
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【図３】
2010132512.tif 000005
【図４】
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