(57)【要約】【課題】ノズル開口の吐出量分布がノズル列内で異なるため、印刷画像の画質が低下する記録ヘッドか、否かを判定する。【解決手段】記録ヘッド１００の製造方法は、液滴を吐出する複数のノズル開口３から成るノズル列５０と、ノズル列５０に連通する圧力発生室２内の液体に圧力を発生させてノズル開口３から液滴を吐出する圧力発生手段と、を備えた記録ヘッド１００の製造方法であって、ノズル列５０の一方側端部に属する圧力発生手段と、ノズル列５０の他端側端部に属する圧力発生手段と、の吐出特性を比較する特性測定工程と、特性測定後、特性測定工程の測定結果に応じて圧力発生手段の吐出特性を調整する調整工程と、を有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルから成るノズル列と、前記ノズル列に連通する圧力発生室内の液体に圧力を発生させて前記ノズルから前記液滴を吐出する圧力発生手段と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段と、前記ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段と、の吐出特性を比較する特性測定工程と、
前記特性測定後、前記特性測定工程の測定結果に応じて前記圧力発生手段の吐出特性を調整する調整工程と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記特性測定工程は、前記ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段と前記ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段に流入する前記液体の流入量に基づいて、吐出特性を比較することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１乃至２のいずれかに記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記特性測定工程は、前記ノズル列の中央部に属する圧力発生手段を更に加えた３つの前記圧力発生手段の吐出特性を比較することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記特性測定工程は、それぞれの前記圧力発生手段に対して同一量の前記液滴を吐出させるべく圧力を発生させ、
前記ノズル列における前記液滴の吐出のばらつきの算出に際して、
Ｖ１＝（Ａ−Ｂ）／Ｂ
Ｖ２＝（Ｂ−Ｃ）／Ｂ
Ｖ３＝（Ａ−Ｃ）／Ｃ
Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３：ノズル列の吐出のばらつき値
Ａ：ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段に係るノズルから吐出された吐出量
Ｂ：ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段に係るノズルから吐出された吐出量
Ｃ：ノズル列の中央部に属する圧力発生手段に係るノズルから吐出された吐出量
で示される演算式を用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式のプリンターは、下記特許文献１に示すように、例えば、ＰＺＴアクチュエーター方式の圧力発生手段で発生した圧力を用いて、インクを吐出する記録ヘッドの複数のノズルのノズル開口よりインク滴を吐出させ、吐出したインク滴を印刷用紙に付着させて、記録ヘッドを主走査方向に移動させて走査すると共に、印刷用紙を間欠的に副走査方向に送って走査することにより、印刷用紙にインク像を記録する。
このようなプリンターで採用される記録ヘッドは、図７に示すように、複数のノズル開口が副走査方向に並ぶことでノズル列を形成し、この記録ヘッドが一方の主走査方向に走査する際に、ノズル列のノズル開口からインク滴が吐出され、次に、一方の主走査方向に移動した記録ヘッドが他方の主走査方向に走査する際に、ノズル列のノズル開口からインク滴が吐出される。この動作（オーバーラップ）は、印刷品質に応じて印刷用紙の同じ領域を対象に、吐出するノズル開口を変えて複数回繰り返され、印刷用紙の次の領域を印刷する際には、記録ヘッドが一方の方向への走査を終了し、他方の方向に走査を開始する前に、印刷用紙が副走査方向にノズル列の長さに応じた移動量だけ移動する。
また、このような記録ヘッドで高速印字を行う際には、印刷時間を短縮すべく、オーバーラップによるインク滴吐出動作に替えて、記録ヘッドが一方の方向へ走査する際に、１回の走査時にインク滴を吐出して印刷する方法（１パス印刷）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３４１２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えばＰＺＴアクチュエーターを生成する場合、１枚のＰＺＴの板を所定の大きさに分割して使用する等、この板の端部における特性が連続的に傾斜していることがある。この場合、製造される１つの記録ヘッドにおける圧力発生手段の特性が連続的に傾斜して変化することとなる。このとき、記録ヘッドのインク列の各ノズル開口の吐出量分布が図７に示すように、一方向に傾斜した特性を有するため、印刷用紙に印刷されたインク像は、ノズル列の吐出量分布に応じて濃度分布も一方向に傾斜し、副走査に応じて大きな落差を有する山型の濃度分布になる。このような現象は、同一色で広い領域が塗られるような場合、１パス毎の境界が印字ムラとして顕著に視認されてしまう。このためこの現象は、特に１パス印刷時において、顕著に生じ易い。従って、ノズル開口の吐出量分布がノズル列内で異なる記録ヘッドが使用された場合、画質の低下したインク像が印刷されるという問題を有していた。このような現象は、ＰＺＴアクチュエーターを例とし説明したが、ＰＺＴアクチュエーターだけではなく、例えば、静電アクチュエーター、磁歪素子、発熱素子等の他のアクチュエーターにおいても種々の要因により同様に生じることがある。また、製造された記録ヘッドがどのような特性を有しているかは、実際にプリンター（液体噴射装置）を製造し、印刷するまで判定することはできなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例にかかる液体噴射ヘッドの製造方法は、液滴を吐出する複数のノズルから成るノズル列と、前記ノズル列に連通する圧力発生室内の液体に圧力を発生させて前記ノズルから前記液滴を吐出する圧力発生手段と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段と、前記ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段と、の吐出特性を比較する特性測定工程と、前記特性測定後、前記特性測定工程の測定結果に応じて前記圧力発生手段の吐出特性を調整する調整工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
このような方法によれば、ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段と、ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段は、圧力発生室内の液体に圧力を発生させてノズルからインク滴を吐出させ、それぞれの圧力発生手段により吐出されたインク滴の吐出特性が測定されて比較され、比較された結果に応じて圧力発生手段の吐出特性を調整する。従って、実際に印刷することなく、ノズルからのインク滴の吐出特性に基づいて、それぞれの圧力発生手段の吐出特性が調整でき、画質が低下したインク像が印刷されるという問題を回避できる。そして、この効果は特に１パス印刷の際の印字ムラの抑制に効果的である。
【０００８】
［適用例２］
上記適用例にかかる液体噴射ヘッドの製造方法において、前記特性測定工程は、前記ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段と前記ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段に流入する前記液体の流入量に基づいて、吐出特性を比較することが好ましい。
【０００９】
このような方法によれば、それぞれの圧力発生手段に流入する液体の流入量から吐出特性を比較するため、容易に比較できると共に、実際にプリンター（液体噴射装置）の完成体を製造する前の段階（ヘッドの段階）で吐出特性が分かるため、効率的に製造を行うことができる。
【００１０】
［適用例３］
上記適用例にかかる液体噴射ヘッドの製造方法において、前記特性測定工程は、前記ノズル列の中央部に属する圧力発生手段を更に加えた３つの前記圧力発生手段の吐出特性を比較しても良い。
【００１１】
［適用例４］
上記適用例にかかる液体噴射ヘッドの製造方法において、前記特性測定工程は、それぞれの前記圧力発生手段に対して同一量の前記液滴を吐出させるべく圧力を発生させ、前記ノズル列における前記液滴の吐出のばらつきの算出に際して、
Ｖ１＝（Ａ−Ｂ）／Ｂ
Ｖ２＝（Ｂ−Ｃ）／Ｂ
Ｖ３＝（Ａ−Ｃ）／Ｃ
Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３：ノズル列の吐出のばらつき値
Ａ：ノズル列の一方側端部に属する圧力発生手段に係るノズルから吐出された吐出量
Ｂ：ノズル列の他端側端部に属する圧力発生手段に係るノズルから吐出された吐出量
Ｃ：ノズル列の中央部に属する圧力発生手段に係るノズルから吐出された吐出量
で示される演算式を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】インクジェット方式のプリンターの構成を説明する斜視図。
【図２】記録ヘッドの形態を示す分解斜視図。
【図３】記録ヘッドの要部拡大断面図。
【図４】記録ヘッドの圧力発生室とインク貯留室の位置関係を示す図。
【図５】記録ヘッドの検査の方法を説明する図。
【図６】記録ヘッドの検査を行う処理の流れを示すフローチャート。
【図７】記録ヘッドのノズル開口の吐出量分布を説明する図。
【図８】記録ヘッドのノズル群を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、液体噴射ヘッドの一形態として、インクジェット方式の記録ヘッドについて図面を参照して説明する。
【００１４】
（実施形態）
図１は、インクジェット方式の液体噴射ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、プリンターという。）の概略構成を説明する図である。例示したプリンター７０は、記録紙等の記録媒体（吐出対象物）７２の表面へ液体状のインクを吐出して画像等の記録を行う装置である。このプリンター７０は、記録ヘッド１００と、この記録ヘッド１００が取り付けられるキャリッジ７４と、このキャリッジ７４を主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構７５と、記録媒体７２を副走査方向（主走査方向に直交する方向）に移送する紙送り機構７６等を備えている。ここで、インクは本発明における液体の一種であり、インクカートリッジ７７（液体貯留部材の一種）に貯留されている。このインクカートリッジ７７は、記録ヘッド１００に対して着脱可能に装着される。
【００１５】
上記のキャリッジ移動機構７５はタイミングベルト７８を備えている。そして、このタイミングベルト７８はＤＣモーター等のパルスモーター７９により駆動される。従って、パルスモーター７９が作動すると、キャリッジ７４は、プリンター７０に架設されたガイドロッド８０に案内されて、主走査方向（記録媒体７２の幅方向）に往復移動する。
【００１６】
プリンター７０の非記録領域であるホームポジションには、キャッピング機構８２が配設されている。キャッピング機構８２は、記録ヘッド１００のノズル形成面に当接し得るトレイ状のキャップ部材８４を有する。このキャッピング機構８２では、キャップ部材８４内の空間が封止空部として機能し、この封止空部内に記録ヘッド１００のノズル開口３（図４）を臨ませた状態でノズル形成面に密着可能に構成されている。また、このキャッピング機構８２には、ポンプユニット８３が接続されており、このポンプユニット８３の作動によって封止空部内を負圧化することができる。そして、ノズル形成面への密着状態でポンプユニット８３を作動し、封止空部（密閉空間）内を負圧化すると、ノズル開口３から記録ヘッド１００内のインクや気泡が吸引されてキャップ部材８４の封止空部内に排出されるようになっている。つまり、このキャッピング機構８２は、記録ヘッド１００内（インク流路内）のインクや気泡を強制的に吸引排出するクリーニング動作を行う構成となっている。
【００１７】
図２〜図４は、記録ヘッド１００の形態を示す図である。この記録ヘッド１００は、圧力発生手段として所定の振動モードの圧電振動子６が用いられ、上面に圧電振動子６がそれぞれ貼着されて複数の圧力発生室２が形成されたアクチュエーターユニット１と、ノズル開口３およびインク貯留室４が形成されアクチュエーターユニット１の下面に貼着された流路ユニット５とを備え、圧電振動子６の振動により圧力発生室２のインクに圧力を加え、ノズル開口３からインク滴を吐出させる。尚、本実施形態では、図４に示すように、１２個のノズル開口３が１つのノズル列５０を形成するが、１００個以上のノズルで１つのノズル列５０を構成しても良い。尚、圧力発生手段は、ＰＺＴアクチュエーターによる圧電振動子６を採用するが、これに限定されるものでは無く、静電アクチュエーター、磁歪素子、発熱素子等を用いることができる。
【００１８】
アクチュエーターユニット１は、圧力発生室２を形成する空間が形成された圧力室形成板１０と、この圧力室形成板１０の上面に位置して上記空間の上面開口を塞ぐ振動板１１と、圧力室形成板１０の下面に位置する連通孔形成板１４とを備えている。この連通孔形成板１４には、インク貯留室４と圧力発生室２を連通させてインク貯留室４のインクを圧力発生室２に供給するインク供給路２９と、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通孔３０とが形成されている。
【００１９】
また、アクチュエーターユニット１には、振動板１１の上面に、櫛歯状の下部電極１９が形成されている。この下部電極１９の各櫛歯部１９Ａは、それぞれ圧力発生室２の上部を覆う部分に形成されている。そして、下部電極１９の各櫛歯部１９Ａ上面に、それぞれ平板状の圧電振動子６が形成され、圧電振動子６の上面には、個別の上部電極２０が形成されている。尚、振動板をなくし、下部電極が振動板の役割を果たしてもよい。
【００２０】
一方、流路ユニット５は、インク貯留室４を形成する空間が形成された貯留室形成基板１６と、ノズル開口３が穿設され、貯留室形成基板１６の下面に位置するノズルプレート１７と、上記貯留室形成基板１６の上面に位置する流路形成板１８と、貯留室形成基板１６と流路形成板１８に挟まれる薄板２７とから構成されている。
【００２１】
また、貯留室形成基板１６には、ノズル開口３に連通する第１インク流路９が形成されている。また、流路形成板１８には、圧力発生室２およびインク供給路２９と第１インク流路９ならびにノズル開口３とを連通させる第２インク流路８が形成されている。また、流路形成板１８には、インク貯留室４の壁面近傍の周縁領域に対応する部分に、略ヘアピン状に屈曲したスリット３１が形成されている。また、スリット３１に囲まれた内側の部分に細長状の貫通部３２が形成されている。更に、薄板２７には、スリット３１および第２インク流路８に対応する部分に、開口部３３が設けられている。
【００２２】
この記録ヘッド１００は、貯留室形成基板１６とノズルプレート１７と流路形成板１８と薄板２７とが積層された流路ユニット５の上面に、アクチュエーターユニット１が貼着される。この状態で、図３および図４に示すように、インク貯留室４の天井部周縁にスリット３１が配設されることにより、スリット３１の部分に周溝２６が形成され、この部分のインク貯留室４の深さ寸法が大きくなっている。また、インク貯留室４から圧力発生室２にインクを供給するインク供給路２９は、周溝２６の部分に配設される。さらに、周溝２６に囲まれた内側の部分に形成された貫通部３２が、インク貯留室４の圧力変動を吸収するダンパー室２５に形成される。尚、図２に示す２４はインクカートリッジ（図示せず）からインク貯留室４にインクを補給するインク補給口である。
【００２３】
この記録ヘッド１００では、圧電振動子６に駆動信号（吐出信号）が印加されると、圧電振動子６が横方向に収縮する。このとき、圧電振動子６の振動板１１に固定された下面側は収縮せず、上面側だけが収縮するため、圧電振動子６および振動板１１が下方にたわみ、圧力発生室２を圧縮する。そして、圧力発生室２内の圧力上昇により、圧力発生室２内のインクがノズル開口３からインク滴として吐出される。この際、記録ヘッド１００は、所定の紙送り方向である副走査方向に間欠的に移送される印刷用紙等の記録媒体と対向し、ノズル列５０が紙送り方向に沿って並ぶように配置され、紙送り方向と直交する主走査方向に走査すると共に、ノズル列５０の複数のノズル開口３よりインク滴を記録媒体に向かって吐出することにより、記録媒体上にドットが形成されて印刷が行われる。この後、記録ヘッド１００の圧電振動子６が放電されて元の状態に戻ると、圧力発生室２内が減圧され、インク貯留室４からインク供給口１５を通して圧力発生室２へ新しいインクが供給される。
【００２４】
上述した記録ヘッド１００は、種々の精密な部品で構成され、μｍ単位の極めて微細な構造であるため、アクチュエーターユニット１等の各部品をいかに精度良く取り付けたとしても、それぞれの形状に多少のばらつきが生じる。このため、同じ波形の駆動信号（駆動パルス）を圧電振動子６に供給したとしても、ノズル開口３から吐出されるインク滴の量にばらつきが生じることがあり、記録ヘッド１００の製造工程において、記録ヘッド１００に対して検査を行う。
【００２５】
図５は、検査の方法を説明する図である。インクパック１１０は、例えば、可撓性を有する袋状の部材であり、内部に液体状のインクを貯留できる。このインクパック１１０の供給口には、インク供給チューブ１１５の一方の端部が液密状態で接続され、インク供給チューブ１１５の他方の端部は、記録ヘッド１００の供給部が液密状態で接続される。流量センサー１２０は、インク供給チューブ１１５の途中に配設され、制御装置１０５と電気的に接続されており、インク供給チューブ１１５内部を流れるインクの流量を検出し、流量に応じた流量信号を制御装置１０５に送信するように構成されている。また、制御装置１０５は、それぞれ図示を略したＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭおよびフラッシュメモリ等を備え、記録ヘッド１００のノズル列５０を構成するノズル開口３毎に吐出信号を送信すると共に、流量センサー１２０から送られる流量信号に基づいて流量値を算出する。ここで、算出した流量値はノズル開口３毎のインクの吐出量と同値であるとみなし、制御装置１０５は、ノズル列５０を構成するノズル開口３間における吐出量のばらつきを検査するように構成されている。
【００２６】
図６は、製造した記録ヘッド１００の検査を行う処理の流れを示すフローチャートである。
＜選択工程＞
最初に、制御装置１０５は、図８に示すように、ノズル列５０のノズル開口３の中から、ノズル列５０の一方の端部に形成された一定数のノズル開口３群である第１ノズル群５５、ノズル列５０の中央部に形成された一定数のノズル開口３群である第２ノズル群５６およびノズル列５０の他方の端部に形成された一定数のノズル開口３群である第３ノズル群５７を選択する（ステップＳ２００）。尚、それぞれのノズル群のノズル数は、限定されるものではない。本実施形態では、１０個のノズル開口３をノズル群とした。また、検査対象とするノズル群は、記録ヘッド１００の機種等により予め選択されていても良く、また、ユーザーが検査する都度、選択しても良い。
＜吐出工程＞
次に、制御装置１０５は、それぞれの部分ノズル列（第１ノズル列、第２ノズル列、第３ノズル列）に同一量の吐出量となるような吐出信号を生成し、生成した吐出信号をそれぞれの部分ノズル列に対応する圧力発生手段に送信する。これらの吐出信号を受けて、それぞれの圧力発生手段は圧力を生成し、対応する部分ノズル列（第１ノズル列、第２ノズル列、第３ノズル列）からインク滴（１５０Ａ，１５０Ｂ，１５０Ｃ）を順次吐出する（ステップＳ２０５）。尚、それぞれのノズル開口３群の個数は、同一数であれば限定されるものではない。
【００２７】
＜検出工程＞
ここで、流量センサー１２０は、制御装置１０５の指示に基づき、それぞれの部分ノズル列におけるインクの流量を検出し、それぞれの流量信号を制御装置１０５に送信する（ステップＳ２１０）。
＜算出工程＞
続いて、制御装置１０５は、それぞれのノズル列に対応する圧力発生手段毎の吐出特性を算出する。本実施形態では、流量センサー１２０から送られる流量信号に基づき、それぞれの部分ノズル列におけるインクの吐出量を取得し、吐出量のばらつきを算出する（ステップＳ２１５）。
＜特性測定工程＞
次に、制御装置１０５は、圧力発生手段の吐出特性を比較する。本実施形態では、算出したばらつきが基準以内か、否かを判定する（ステップＳ２２０）。例えば、第１ノズル列、第２ノズル列および第３ノズル列からのインクの吐出量がＡ，Ｂ，Ｃであり、以下の条件を満たす場合、ばらつきが基準以内と判定する。
【００２８】
（Ａ−Ｂ）／Ｂ＜１０％・・・・・「式１」
（Ｂ−Ｃ）／Ｂ＜１０％・・・・・「式２」
（Ａ−Ｃ）／Ｃ＜１０％・・・・・「式３」
【００２９】
尚、本実施形態ではノズル列の３点のインク吐出量を測定したが、少なくともノズル列の一方端部に属する圧力発生手段と、多端部に属する圧力発生手段と、を比較する（前述した第１ノズル列および第３ノズル列）ことにより、前述した１パス印刷時の印字ムラを抑制することができる。また、判定式もこれらに限定されるものではなく、その仕様により適宜設定すればよい。例えば、前述のように２点を測定することにより特性測定を行う場合は、「式３」のみを判定してもよい。
＜調整工程＞
続いて、制御装置１０５は、算出したばらつきが基準以内であった場合（ステップＳ２２０でＹｅｓ）、記録ヘッド１００を良品と認定し（ステップＳ２２５）、一連の処理を終了する。他方で、算出したばらつきが基準以内に収まらない場合（ステップＳ２２０でＮｏ）、制御装置１０５は、記録ヘッド１００を不良品と認定し（ステップＳ２３０）、一連の処理を終了する。ここで良品と認定された記録ヘッド１００は、インクジェット方式のプリンター等の印刷装置に組み込まれる。また、不良品として認定された記録ヘッド１００は、吐出特性の測定結果に応じて圧力発生手段の吐出特性が調整される。
このような調整方法は周知の様々な方法を採用できる。例えば、分極処理された圧電振動子６に対して再度分極調整用の電圧を印加することにより、圧電振動子６を分極調整して吐出特性を調整しても良い。また、外部電極と内部電極との電位差で振動する圧電振動子６において、外部電極の活性領域の寸法をトリミングにより調整することにより吐出特性を調整しても良い。尚、前述した特性測定工程で不良品とされた記録ヘッド１００は、不良品とし、製品として出荷しないと判断することもできる。このようにすることで、製造時の早い段階で不良品を除外することができるため、製造時のコスト抑制および製造の効率化を図ることができる。
【００３０】
以上の処理により、記録ヘッド１００のノズル列５０を構成するノズル開口３間における吐出量のばらつきを、容易かつ迅速に検査できる。そして、この記録ヘッド１００を組み込んだプリンター等の品質を上げると共に、信頼性の向上に寄与することができる。
本発明の実施形態について、図面を参照して説明したが、具体的な構成は、この実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、インクが供給される流量値をインクの吐出量とみなしたが、これに限定されるものではなく、吐出されたインクの重量やインク滴の吐出速度を検出し、これらをインクの吐出量として関連付けても良い。また、制御装置１０５が記録ヘッド１００に送信する吐出信号は、それぞれの部分ノズル列に同一量の吐出量となる指示には限定されず、それぞれ所定の吐出量に対するインクの流量値に基づいて、それぞれの部分ノズル列の吐出のばらつきを算出しても良い。
また、液体噴射装置に用いられる液体噴射ヘッドの一種としてインクジェット方式の記録ヘッド１００を例に挙げて説明したが、他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１…アクチュエーターユニット、２…圧力発生室、３…ノズル開口、４…インク貯留室、５…流路ユニット、６…圧電振動子、８…第２インク流路、９…第１インク流路、１０…圧力室形成板、１１…振動板、１４…連通孔形成板、１５…インク供給口、１６…貯留室形成基板、１７…ノズルプレート、１８…流路形成板、１９…下部電極、１９Ａ…櫛歯部、２０…上部電極、２５…ダンパー室、２６…周溝、２７…薄板、２９…インク供給路、３０…連通孔、３１…スリット、３２…貫通部、３３…開口部、５０…ノズル列、５５…第１ノズル群、５６…第２ノズル群、５７…第３１ノズル群、７０…プリンター、７２…記録媒体、７４…キャリッジ、７５…キャリッジ移動機構、７６…紙送り機構、７７…インクカートリッジ、７８…タイミングベルト、７９…パルスモーター、８０…ガイドロッド、８２…キャッピング機構、８３…ポンプユニット、８４…キャップ部材、１００…記録ヘッド、１０５…制御装置、１１０…インクパック、１１５…インク供給チューブ、１２０…流量センサー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図７】
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