Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月25日(2004.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報サービスを提供する情報サービス提供方法において、
顧客が提供を要求する情報サービスを受付けるステップと、その情報サービスの内容に対する当該顧客の利用資格を判定するステップと、当該顧客が提供を要求している情報サービスの内容の内でその顧客の利用資格によって利用可能な内容を決定するステップと、前記決定された内容の情報サービスを当該顧客に提供するステップとを有することを特徴とする情報サービス提供方法。
【請求項２】
情報サービスを提供する情報サービス提供方法において、  顧客のデータを受付けて情報サービスの提供に必要なデータを生成するステップと、当該情報サービスを提供する提供側へ前記生成したデータを送信するステップと、当該情報サービスの提供を要求する要求側から送信されたデータを用いて当該情報サービスを提供する為の処理を実行するステップと、前記実行により得られた実行結果を当該情報サービスの要求側へ送信するステップと、当該情報サービスの提供側から送信された実行結果を受信して出力するステップとを有することを特徴とする情報サービス提供方法。
【請求項３】
情報サービスを提供する情報サービス提供システムにおいて、  顧客が提供を要求する情報サービスを受付ける受付処理部と、その情報サービスの内容に対する当該顧客の利用資格を判定する利用資格設定処理部と、顧客が提供を要求している情報サービスの内容の内で当該顧客の利用資格によって利用可能な内容を決定する提供内容決定処理部と、前記決定された内容の情報サービスを当該顧客に提供する情報サービス提供処理部とを備えることを特徴とする情報サービス提供システム。
【請求項４】
情報サービスを提供する情報サービス提供システムにおいて、  顧客のデータを受付けて情報サービスの提供に必要なデータを生成するデータ生成処理部と、当該情報サービスを提供する提供側へ前記生成したデータを送信するデータ送信処理部と、当該情報サービスの提供側から送信された実行結果を受信して出力する実行結果出力処理部とを備える要求側装置と、  当該情報サービスの提供を要求する要求側から送信されたデータを用いて当該情報サービスを提供する為の処理を実行する情報サービス実行処理部と、前記実行により得られた実行結果を当該情報サービスの要求側へ送信する実行結果送信処理部とを備える提供側装置とを具備することを特徴とする情報サービス提供システム。
【請求項５】
情報サービスを提供する情報サービス提供システムとしてコンピュータを機能させる為のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、  顧客が提供を要求する情報サービスを受付ける受付処理部と、その情報サービスの内容に対する当該顧客の利用資格を判定する利用資格設定処理部と、顧客が提供を要求している情報サービスの内容の内で当該顧客の利用資格によって利用可能な内容を決定する提供内容決定処理部と、前記決定された内容の情報サービスを当該顧客に提供する情報サービス提供処理部としてコンピュータを機能させる為のプログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。
【請求項６】
情報サービスを提供する情報サービス提供方法において、問い合せ要求機能を付加した情報サービス用ページを情報サービス利用者に表示するステップと、当該情報サービス利用者が、前記表示されている情報サービス用ページから問い合せ要求を行うステップと、あらかじめ準備された問い合せ用ページ群から前記問い合せ要求に適合する問い合せ用ページを選択するステップと、前記選択された問い合せ用ページを画面に表示するステップと、当該情報サービス利用者に前記表示された問い合せ用ページへの問い合せ内容入力を促すステップと、前記入力された問い合せ用ページから問い合せメールを生成するステップを有することを特徴とする情報サービス提供方法。
【請求項７】
前記問い合せ要求に適合する問い合せ用ページを選択する方法は、前記情報サービス用ページにあらかじめ対応させておいた問い合せ用ページを採用する方法であることを特徴とする請求項６に記載する情報サービス提供方法。
【請求項８】
前記情報サービス用ページに関連する必要項目を、前記問い合せメールのタイトル又は本文又は添付ファイルに含ませるステップを有することを特徴とする、請求項６または７に記載する情報サービス提供方法。
【請求項９】
情報サービスの要求が入力される情報サービス要求装置と、該情報サービス要求装置から受信した上記要求に基づいて提供する情報サービスの内容を決定する提供内容制御装置と、上記提供内容制御装置からの指示により情報サービスを提供するための処理を実行するコンテンツ提供装置と、各装置が接続されたネットワークを有する情報サービス提供システムであって、
上記提供内容制御装置は、上記情報サービスの要求を受け付ける受付処理部と、上記要求を送信した会員の利用資格が記録された会員情報テーブルと、上記会員情報テーブルを参照して上記要求を送信した会員の利用資格を判定する利用資格設定処理部と、該利用資格によって利用可能な情報サービスの内容を決定する提供内容決定処理部とを有し、
上記コンテンツ提供装置は、上記提供内容制御装置により決定された内容の情報サービスを実行する情報サービス実行処理部と、当該実行結果のみを上記情報サービス要求装置へ送信する実行結果送信処理部とを有する
ことを特徴とする情報サービス提供システム。
【請求項１０】
請求項９において、上記利用可能な情報サービスの内容は、アプリケーションサービスであり、上記利用資格の判定結果により、上記アプリケーションサービスで実行されるアプリケーションのバージョンが異なることを特徴とする情報サービス提供システム。
【請求項１１】
情報サービスを提供する情報サービス提供方法において、情報サービスの要求と顧客のデータを受け付けるステップと、上記受け付けた顧客データが含む上記顧客の利用資格を調べるステップと、上記利用資格に許されたアプリケーションの所定のバージョンの起動を指示するステップと、上記所定のバージョンのアプリケーションの実行結果のみを上記情報サービスの要求元に出力するステップとを有することを特徴とする情報サービスの提供方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月15日(2004.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信システム（１０）であって、
（ａ）データを通信するように構成される第１の移送媒体（１８）と、
（ｂ）データを通信するように構成される第２の移送媒体（２０）と、
（ｃ）前記第１の移送媒体（１８）と前記第２の移送媒体（２０）との間でデータの通信を選択的に許可するように構成されるファイアウォール装置（１４）と、
（ｄ）前記第１の移送媒体（１８）と接続される第１の通信装置（１２）と、
（ｅ）前記第２の移送媒体（２０）と接続される第２の通信装置（１６）と
を備え、
前記第１の通信装置（１２）および前記第２の通信装置（１６）は、
前記第１の移送媒体（１８）と、
前記第２の移送媒体（２０）と、
前記ファイアウォール装置（１４）と
を含むデータ接続を確立し、
前記データ接続の確立後に、データが伝送されるようにするための複数のフォーマットのうちの１つをネゴシエーションし、
該ネゴシエーションに応答して伝送される前記データをフォーマットし、
前記データ接続を用いて、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）との間の前記ネゴシエーションに応答してフォーマットされた前記データの伝送を実施する
ように構成される通信システム。
【請求項２】
前記ファイアウォール装置（１４）は、
接続要求を受信し、
前記データ接続を確立するための前記接続要求の受信に応答して、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）とを接続する
ように構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ファイアウォール装置（１４）は、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）との間で前記データをルーティングするように構成される
請求項１及び２に記載のシステム。
【請求項４】
前記ファイアウォール装置（１４）は、
前記通信装置（１２、１６）の一方から接続要求を受信し、
他方の前記通信装置（１２、１６）のアドレスを特定し、
前記データ接続を確立するために前記他方の通信装置（１２、１６）に前記接続要求を転送する
ように構成される請求項１〜３のいずれかに記載のシステム。
【請求項５】
前記第１の移送媒体（１８）および前記第２の移送媒体（２０）はそれぞれ、
パケットの交換された媒体
を備える
請求項１〜４のいずれかに記載のシステム。
【請求項６】
以下の（ａ）から（ｆ）のステップを有する通信方法、
（ａ）第１の移送媒体（１８）と接続される第１の通信装置（１２）を配設するステップと、
（ｂ）第２の移送媒体（２０）と接続される第２の通信装置（１６）を配設するステップと、
（ｃ）前記第１の移送媒体（１８）と前記第２の移送媒体（２０）との間に位置するファイアウォールを介して、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）との間にデータ接続を確立するステップと、
（ｄ）前記データ接続を確立するステップの後に、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）とを用いて、データが伝送されるための複数のフォーマットのうちの１つをネゴシエーションするステップと、
（ｅ）前記ネゴシエーションするステップの後に、前記データをフォーマットするステップと、（ｆ）前記フォーマットするステップの後に、前記ファイアウォールを介して前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）との間でデータを伝送するステップ。
【請求項７】
前記データ接続を確立するステップは、
ファイアウォール装置（１４）を用いる前記ファイアウォールを介して前記データ接続を確立するステップ
を含む
請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ファイアウォール装置（１４）を用いて、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）との間で前記データをルーティングするステップ
をさらに含む請求項６または７に記載の方法。
【請求項９】
前記データ接続を確立するステップは、
（ａ）第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）のうちの一方から前記ファイアウォール装置（１４）内で接続要求を受信するステップと、
（ｂ）前記要求を受信するステップの後に、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）のうちの他方を特定するステップと、
（ｃ）前記特定するステップの後に、前記第１の通信装置（１２）と前記第２の通信装置（１６）のうちの前記他方に前記接続要求を転送するステップと
を含む請求項６〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
前記データを伝送するステップは、
複数のデータパケットを用いて通信を行うステップ
を含む
請求項６〜９のいずれかに記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月15日(2004.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、リダクションドリブンギヤ２は、一対のボール軸受５ａ，５ｂによって両持ちで支持されている。すなわち、リダクションドリブンギヤ２の外周には、ギヤ部２ａを中心として軸方向内側に延在する固定部２ｂと、軸方向外側に延在する固定部２ｃとが設けられている。軸方向内側の固定部２ｂには、外輪がトランスミッションケースに固定されたボール軸受５ａの内輪が固定されている。また、軸方向外側の固定部２ｃには、外輪がトランスミッションケースに固定されたボール軸受５ｂの内輪が固定されている。これらのボール軸受５ａ，５ｂは、通常の深溝玉軸受であり、ラジアル荷重の負荷と共にドライブピニオン軸１の軸心に平行なスラスト荷重を負荷するスラスト軸受としても機能する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年2月10日(2005.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスタービンエンジンのタービンブレードを変更する方法であって、
ａ）ティルト角（３９）を１８．５パーセント増加し、
ｂ）リーン角（３３）を４０パーセント減少し、
ｃ）冷却空気流を不変のまま維持するために、少なくとも幾つかの孔の直径を大きくする一方で、冷却孔（４２）の数を減らす、
ことからなることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記変更が、後縁（１１）を横切る温度差を、炎天下、全出力の条件下での以前の値の６８パーセントに減らすことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記数の減少が、１５パーセントであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
ａ）タービンブレード（３）がそれらの後縁を横切る華氏Ｔ度の温度差に曝される第１段高圧タービンを含むガスタービンエンジンと、
ｂ）前記差をＴの６８パーセントまで減少させるための手段と、
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項５】
正圧側に（１）（Ａ）単一の行（４８）の先端冷却孔と、（Ｂ）後縁の第１列から数えて９列の孔とで構成される冷却孔（４２）の配列を含む、フィルム冷却されたタービンブレード（３）における弯曲を減らすための方法であって、（２）以下の孔の列、すなわち、
第１列（７１）が、直径１６ミル（０．４１mm）の３個の孔と直径１７ミルの６個の孔の、全部で９個の孔を含み、
第２列（７２）が、直径１７ミル（０．４３mm）の９個の孔を含み、
第３列（７３）が、直径１７ミルの３個の孔を含み、
第４列（７４）が、直径１５ミル（０．３８mm）の１１個の孔を含み、
第５列（７５）が、直径１５ミルの１０個の孔を含み、
第６列（７６）が、直径１５ミルの千鳥配列された２５個の孔を含み、
第７列（７７）が、直径１５ミルの１５個の孔を含み、
第８列（７８）が、直径１５ミルの１５個の孔を含み、
第９列（７９）が、直径１３ミル（０．３３mm）の２１個の孔を含む、
孔の配列を備えることを特徴とする方法。
【請求項６】
前記千鳥配列された２５個の孔が、２つの平行な列（７６）で構成されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
列の縦方向に隣接した孔の間の縦方向の距離（ＡＣ、ＢＤ）が等しいことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の方法。
【請求項８】
孔の間の千鳥配列の距離（ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ）が等しいことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
先端に近い孔の行と、後縁から数えて列１０の孔とを含むタービンブレード（３）を変更する方法であって、
ａ）第６列（６４）を削除し、
ｂ）残りの列を、次のような孔の列に置換すること、すなわち、
ｉ）第１列（５９）を、
Ａ）直径１６ミル（０．４１mm）の３個の孔と、
Ｂ）直径１７ミル（０．４３mm）の６個の孔と、
からなる９個の孔を含む列（７１）に置換し、
ｉｉ）第２列（６０）を、直径１７ミルの９個の孔を有する列（７２）に置換し、
ｉｉｉ）第３列（６１）を、直径１７ミルの３個の孔を有する列（７３）に置換し、
ｉｖ）第４列（６２）を、直径１５ミル（０．３８mm）の１１個の孔を有する列（７４）に置換し、
ｖ）第５列（６３）を、直径１５ミルの１０個の孔を有する列（７５）に置換し、
ｖｉ）第７列（６５）を、直径１５ミルの２５個の孔を有する列（７６）に置換し、
ｖｉｉ）第８列（６６）を、直径１５ミルの１５個の孔を有する列（７７）に置換し、
ｖｉｉｉ）第９列（６７）を、直径１５ミルの１５個の孔を有する列（７８）に置換し、
ｉｘ）第１０列（６８）を、直径１３ミル（０．３３mm）の２１個の孔を有する列（７９）に置換し、
ｃ）前記孔の行（４８）を、直径１２ミル（０．３０mm）の８個の孔を有する行（７０）に置換する、
ことからなることを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記ブレードのティルト角（３９）を、３．２度に変更するステップをさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ブレードのリーン角（３３）を、２．１度に変更するステップをさらに含むことを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
ガスタービンエンジンの高圧タービンの第１段用のブレード（３）であって、
ａ）正圧側に、
ｉ）先端の近くのそれぞれ直径１２ミル（０．３０mm）の８個の冷却孔の行（７０）と、
ｉｉ）次のような９列の孔、すなわち、
Ａ）直径１６ミル（０．４１mm）の３個の孔と直径１７ミルの６個の孔の、全部で９個の孔を含む第１列（７１）と、
Ｂ）直径１７ミル（０．４３mm）の９個の孔を含む第２列（７２）と、
Ｃ）直径１７ミルの３個の孔を含む第３列（７３）と、
Ｄ）直径１５ミル（０．３８mm）の１１個の孔を含む第４列（７４）と、
Ｅ）直径１５ミルの１０個の孔を含む第５列（７５）と、
Ｆ）２つの相補的な列になった直径１５ミルの２５個の孔を含む第６列（７６）と、
Ｇ）直径１５ミルの１５個の孔を含む第７列（７７）と、
Ｈ）直径１５ミルの１５個の孔を含む第８列（７８）と、
Ｉ）直径１３ミル（０．３３mm）の２１個の孔を含む第９列（７９）と、
を有し、
ｂ）２．１度のリーン角（３３）と、
ｃ）３．２度のティルト角（３９）と、
を有することを特徴とするブレード（３）。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月27日(2004.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ファンおよびファンを高性能化するための方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低圧領域から高圧領域へ向けて空気流を発生するよう動作しうるファンにおいて、
基台と、
前記基台に回転可能に取付けられたハブと、
近端と遠端とを有し、該近端で前記ハブに取付けられ、該遠端に向かって前記ハブから実質的に半径方向に突出している複数の翼と、
前記基台に取付けられ、前記ハブのまわりに回転対称である内面を有している静止ベンチュリと、
前記ハブから遠い位置で前記翼に取付けられ、全般に前記翼の前記半径方向に垂直な平面内にある小翼と、を備え、
前記小翼が前記翼の前記遠端のまわりの、前記高圧領域から前記低圧領域への漏洩空気流を実質的に阻止するよう動作することを特徴とするファン。
【請求項２】
ファンの高性能化のための方法であって、
小翼を前記ファンの翼の端に隣接して該ファンのハブから半径方向に遠い位置で前記翼に取付け、前記小翼が全般に前記翼の前記半径方向に垂直な平面内にある障壁を形成させるステップと、
前記翼を前記ハブのまわりに回転させ、前記翼を横断して前記回転の軸に実質的に平行な方向に空気圧勾配を誘導するようにするステップ、を備え、
前記空気圧勾配により生ずる漏洩空気流を前記小翼で実質的に阻止し、かつ前記漏洩空気流により生ずる発散渦を実質的に減らすことを特徴とするファンを高性能化するための方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】  ９．ファンの高性能化の方法であって、小翼（１２）をファンの翼（３）の端に隣接して該ファンのハブ（２）から半径方向に遠い位置で前記ファン（１）の翼（３）に取付け、前記小翼（１２）が全般に前記翼（３）の前記半径方向に垂直な平面内にある障壁を形成するようにするステップと、前記翼（３）を前記ハブ（２）のまわりに回転させ、前記翼（３）を横断して前記回転の軸に実質的に平行な方向（１１）に空気圧勾配を誘導するようにするステップ、を備え、前記空気圧勾配により生ずる漏洩空気流（３９）を前記小翼（１２）で実質的に阻止し、かつ前記漏洩空気流（３９）により生ずる発散渦（２４）を実質的に減らすことを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月2日(2004.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膀胱と腎臓との間の尿管に配置され、尿が腎臓に戻るのを阻止する尿管用ステントにおいて、
前記ステントが患者の体内に配置された時に膀胱内に配置された膀胱側部位（２０）と、
腎臓側部位（１２）と、
前記膀胱側部位（２０）と腎臓側部位（１２）とをつなぐ直線状部位（１６）と、
を有する細長い管状部材を有し、
前記膀胱側部位（２０）と腎臓側部位（１２）とは、その各端部に保持手段（２２，１５）を有し、
流体通路（１４）が、前記管状部材の少なくとも一部に沿って前記腎臓側部位（１２）に形成されるが、前記膀胱側部位につながる管状部材の一部に沿って前記膀胱側部位（２０）には形成されず、前記膀胱側部位が閉塞される
からなることを特徴とする尿管用ステント。
【請求項２】
前記膀胱側部位（２０）は、前記直線状部位内に１個の流体通路（２４）と、前記膀胱側部位端部に先端部（２３）とを有し、前記膀胱側部位がコイル状に形成された場合に、前記先端部（２３）が前記１個の流体通路内に挿入されて閉塞される
ことを特徴とする請求項１記載のステント。
【請求項３】
前記膀胱側部位（２０）は、この膀胱側部位の先端部が前記１個の流体通路内に挿入されると、ステントの周囲に結紮される糸状体を有する
ことを特徴とする請求項２に記載のステント。
【請求項４】
前記膀胱側部位のルーメン内に配置され、前記ステントの全長に亘って延びる一体型の糸状体を有し、前記先端部を前記１個の流体通路（２４）に引き込み係合する手段を提供する
ことを特徴とする請求項３記載のステント。
【請求項５】
前記１個の流体通路は、一方向バルブを有し、前記一方向バルブは、ニッケルとチタンの超弾性合金から形成され、カテーテルを挿入後ストッパにより閉塞され、あるいは、
前記膀胱側部位の先端部は永久磁石を有し、前記膀胱側部位の直線状部位は、前記膀胱用端部（２０）の先端部（２３）永久磁石の極性とは反対の極性の永久磁石を有し、前記先端部を前記１個の流体通路内（２４）に引き込む
ことを特徴とする請求項２記載のステント。
【請求項６】
前記ステントは、スチレン−エチレン−ブタジエンのターポリマー、硬質ポリウレタン、軟質ポリウレタン、およびシリコンベースのポリマーの中から選択されたフレキシブルなエラストマー材料から形成される
ことを特徴とする請求項１に記載のステント。
【請求項７】
前記フレキシブルなエラストマー材料は、放射線不透過材料である
ことを特徴とする請求項６に記載のステント。
【請求項８】
膀胱と腎臓との間の尿管に配置され、尿が腎臓に戻るのを阻止する尿管用ステントにおいて、
前記ステントが患者の体内に配置された時に膀胱内に配置された膀胱側部位（２０）と、
腎臓側部位（１２）と、
前記膀胱側部位（２０）と腎臓側部位（１２）とをつなぐ直線状部位（１６）と、
を有する細長い管状部材を有し、
前記膀胱側部位（２０）と腎臓側部位（１２）とは、その各端部に保持手段（２２，１５）を有し、
流体通路（１４）が、前記管状部材の少なくとも一部に沿って前記腎臓側部位（１２）に形成されるが、前記膀胱側部位につながる管状部材の一部に沿って前記膀胱側部位（２０）には形成されず、前記膀胱側部位が閉塞され、
前記流体通路は、前記腎臓側部位から測定してステントの長さの約２／３の領域内に形成され、
前記ステントの長さは、８ｃｍ〜３０ｃｍの範囲内でありその直径は１ｍｍ〜４ｍｍの範囲内であり、
前記腎臓側部位の保持手段は、ピグテール形状を有する
ことを特徴とする尿管用ステント。
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月8日(2004.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
診断及び／又は療法構成部品用の構成部品支持体と、
患者用テーブル表面と、
患者用テーブル表面及び構成部品支持体を支持するスタンドと、
実質的に垂直な軸について回動するピボットが設けられている支持アームによってスタンドに取り付けられた患者テーブル表面とを含む医療診断及び／又は療法装置であって、
ピボットは、スタンドから、支持アームの長さの半分以下の距離に設けられていることを特徴とする装置。
【請求項２】
ピボットは、支持アームのスタンドへの取り付け位置に配置されている請求項１記載の装置。
【請求項３】
ピボットは、蝶番によって形成されている請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
ロック手段は、患者用テーブル表面がピボットの周りをスウィングされた後に、該患者用テーブル表面の位置をロックするために設けられている請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
患者用テーブル表面がピボットの周りをスウィングされたときに構成部品支持体の駆動を防ぐため、患者用テーブル表面の動きによって作動されうるスイッチング手段が設けられている請求項１乃至４のうちいずれか１項記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月13日(2004.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の（ｉ）〜（iv）を含む混合物を２５〜３００℃の温度で反応させて調製されるシリコーン組成物：
（ｉ）鉱油１〜１００重量部；
（ii）２５℃で２００〜１．００億mm2/ｓの粘度を持ち、一般式Ｒ1 a （Ｒ2 Ｏ）b ＳｉＯ(4-a-b)/2 （ここに、Ｒ1 は炭素原子数１〜１０の１価の炭化水素基又はハロゲン化炭化水素基であり、Ｒ2 は水素原子又は炭素原子数１〜１０の１価の炭化水素基であり、ａは１．９〜２．２の平均値をとり、ｂは各分子中に少なくとも１つの−ＯＲ2 基を与えるのに充分な値をとり、少なくとも１つのそのような−ＯＲ2 基は分子鎖の末端に存在する）で示されるポリオルガノシロキサン５〜１００重量部；
（iii)次の（ａ）〜（ｄ）から選ばれる少なくとも１つのケイ素化合物０．１〜２０重量部：
（ａ）一般式Ｒ3 c ＳｉＸ4-c （ここに、Ｒ3 は炭素原子数１〜５の１価の炭化水素基であり、Ｘはハロゲン原子及び加水分解性基から選ばれ、ｃは平均値が１又はそれ未満である）で示される有機ケイ素化合物、
（ｂ）化合物（ａ）の部分加水分解縮合物、
（ｃ）（ＣＨ3 ）3 ＳｉＯ1/2 単位及びＳｉＯ4/2 単位を含み、ＳｉＯ4/2 単位に対する（ＣＨ3 ）3 ＳｉＯ1/2 単位のモル比が０．４：１〜１．２：１のシロキサン樹脂、並びに
（ｄ）化合物（ｃ）と、化合物（ａ）又は（ｂ）との縮合生成物；並びに
（iv）触媒量の触媒。
【請求項２】
前記混合物が更に、（ｖ）表面積が５０〜３００m2／ｇの疎水性シリカである少なくとも１つの充填材３０重量部まで、を含む請求項１記載の組成物。
【請求項３】
前記混合物が更に、（vi）２５℃で５〜２００mm2/ｓの粘度を有し、一般式Ｒ7 d （Ｒ8 Ｏ）e ＳｉＯ(4-d-e) （ここに、Ｒ7 は炭素原子数１〜１０の１価の炭化水素基又はハロゲン化炭化水素基であり、Ｒ8 は水素原子又は炭素原子数１〜１０の１価の炭化水素基であり、ｄは１．９〜２．２の値をとり、ｅは各分子中に少なくとも２つの−ＯＲ8 基を与えるような値をとる）で示されるポリオルガノシロキサン２０重量部まで、を含む請求項１又は２記載の組成物。
【請求項４】
前記ポリオルガノシロキサン（vi）が、２５℃で１０〜１００mm2/ｓの粘度を有するヒドロキシ末端ポリジメチルシロキサンである、請求項３記載の組成物。
【請求項５】
泡生成系に、請求項１〜４のいずれか１項に記載の組成物を加えることを含む泡生成系中の泡を制御する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（例３）
ＴｒｉｔｏｎTM  Ｘ−１００界面活性剤溶液を用いて、例２の組成物の振とう試験を実施した。この界面活性剤の水中濃度は１重量％であった。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この振とう試験は、ＴｒｉｔｏｎTM  Ｘ−１００（ＴｒｉｔｏｎTM  Ｘ−１００は、Ｒｏｈｍ  ａｎｄ  Ｈａａｓ  Ｃｏｍｐａｎｙ，Ｐｈｉｌａｄｅｌｐｈｉａ，ＰＡから入手できるＨＬＢが１３．５のオクチルフェノキシポリエトキシエタノールである）の１重量％溶液１００ｇと測定された量の消泡組成物（この場合には上記の水性エマルジョン）を用いて行った。この試験は２５℃で実施した。試験サンプルの５つの振とうを継続的に、１０秒、４０秒、６０秒、１２０秒及び６００秒行った。振とうの各期間の後に、試験溶液の当初の液体レベルの上０．５cmに、泡がしぼむ時間を記録した。液体表面の泡のない綺麗な領域が現れるまでの時間も記録した（ブレークタイム）。本発明のシリコーン組成物のないブランクテスト実験も、同じ振とう試験に供した。その結果を表１及び２に示す。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月24日(2004.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂で被覆された顔料を着色剤とする記録用インクにおいて顔料がフタロシアニン顔料とキナクドリン顔料とベンズイミダゾロン顔料からなる少なくとも３色のインクを用いて画像形成を行うことを特徴とするカラー画像形成方法。
【請求項２】
カーボンブラックを着色剤とするインクとフタロシアニン顔料とキナクリドン顔料とベンズイミダゾロン顔料からなる少なくとも３色のインクを組み合わせて用いて画像形成を行うことを特徴とする請求項１記載のカラー画像形成方法。
【請求項３】
フタロシアニン顔料がＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４であることを特徴とする請求項１又は２記載のカラー画像形成方法。
【請求項４】
キナクリドンン顔料がＣ．Ｉ．ピグメントレッド１２２であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のカラー画像形成方法。
【請求項５】
ベンズイミダゾロン顔料がＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５１であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のカラー画像形成方法。
【請求項６】
インクジェット記録方法を用いて画像形成を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載のカラー画像形成方法
【請求項７】
前記３色のインクは、樹脂で被覆された顔料が水を必須成分とする水性媒体中に分散しているインクであって、前記樹脂は、酸価が５０以上２８０以下の合成樹脂（ａ）の少なくとも一部の酸基が塩基（ｂ）で中和されてなる自己水分散性樹脂である請求項１〜６のいずれか１項に記載のカラー画像形成方法。
【請求項８】
前記自己水分散性樹脂は、必須モノマー成分としてスチレンモノマー６０〜９０モル％、アクリル酸モノマー５〜１５モル％、メタクリル酸モノマー５〜２５モル％を用いてなる共重合体である請求項７に記載のカラー画像形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年5月7日(2004.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷領域で印刷するプリントヘッドを有するインクジェット印刷機構を使用して印刷する適応的方法において、駆動モータ、印刷領域における媒体対プリントヘッド間隔を、プリントヘッドと媒体支持部材に支持されたときの媒体との間で規定する媒体支持部材、および間隔調節器、を準備するステップ、モータを間隔調節器を使用して支持部材に動作可能に結合するステップ、および結合するステップに続き、駆動間隔調節器によりモータを用いて媒体対プリントヘッド間隔を選択的に調節するステップ、を含むインクジェット印刷媒体を処理する適応的方法。
【請求項２】
印刷領域で印刷するプリントヘッドを有するインクジェット印刷機構の組み立て中、累積する製造公差変化に適応する方法において、インクジェット印刷機構用媒体処理システムを、組み立てたとき媒体対プリントヘッド製造間隔を有する状態に、各々が最大限界と最小限界との間の範囲にわたる独特の寸法を有する複数の構成要素から組み立てるステップであって、前記複数の構成要素はプリントヘッド、駆動モータ、印刷領域においてプリントヘッドと媒体支持部材に支持されたときの媒体との間に媒体対プリントヘッド間隔を、規定する媒体支持部材、および間隔調節器を備えているものであるステップ、製造時の媒体対プリントヘッド間隔を測定するステップ、製造時の媒体対プリントヘッド間隔を媒体対プリントヘッド間隔の公称値と比較してそれらの間の間隔差を決定するステップ、決定された間隔差に対応する、モータを駆動する量を決定するステップ、モータを間隔調節器を使用して支持部材に動作可能に結合するステップ、および結合するステップに続き、駆動間隔調節器によりモータを用いて媒体対プリントヘッド間隔を、調節間隔に到達するように所定量選択的に調節するステップ、を含むインクジェット印刷媒体を処理する適応的方法。
【請求項３】
印刷領域で印刷するプリントヘッドを有するインクジェット印刷機構を使用して印刷する適応的方法において、駆動モータ、印刷領域における媒体対プリントヘッド間隔を、プリントヘッドと媒体支持部材に支持されたときの媒体との間で規定する媒体支持部材、間隔調節器、および公差調節値をその中に記憶している記憶部分を有するコントローラ、を準備するステップ、所要媒体対プリントヘッド間隔を選択し、所要媒体対プリントヘッド間隔に対応する、モータを駆動する量を選択するステップ、公差調節値とモータを駆動するために選択された量とを加算して全モータ駆動値に到達させるステップ、間隔調節器を使用してモータを支持部材に動作可能に結合するステップ、および結合するステップに続き、駆動間隔調節器によりモータを用いて媒体対プリントヘッド間隔を全モータ駆動値について調節するステップ、を含むインクジェット印刷媒体を処理する適応的方法。
【請求項４】
印刷すべき画像の形式を決定するステップを含み、調節するステップは決定するステップに応答して媒体対プリントヘッド間隔を調節することから成る、請求項１から３のいずれかに記載の適応的方法。
【請求項５】
印刷すべき媒体の形式を決定するステップを含み、調節するステップは決定するステップに応答して媒体対プリントヘッド間隔を調節することから成る、請求項１から４のいずれかに記載の適応的方法。
【請求項６】
印刷領域にあるときプリントヘッドにより媒体上に画像を印刷するステップを含み、決定するステップは印刷すべき媒体の形式が一様な厚さであるか非一様な厚さであるかを決定し、調節するステップは印刷するステップの前に行なわれて媒体対プリントヘッド間隔を最初の第１の間隔に調節し、決定するステップが媒体が非一様な厚さのものであることを決定すると非一様な厚さで印刷する前に、印刷ステップを中断し、調節ステップを反復して媒体対プリントヘッド間隔を所定の第２の間隔に調節する、請求項５に記載の適応的方法。
【請求項７】
プリントヘッドを印刷領域を横断して推進する往復動キャリッジ、クラッチ機構、および間隔調節器に結合された調節器駆動部材、を準備することから成り、動作可能に結合するステップはクラッチ機構をキャリッジと噛み合わせるステップ、およびそれに応答して調節器駆動部材をモータと噛み合わせて間隔調節器をモータと結合させるステップから成る、請求項１から６のいずれかに記載の適応的方法。
【請求項８】
空動き領域に隣接してピック歯および間隔歯を有する調節器歯車、およびモータにより駆動され、調節器歯車の歯と選択的に噛み合い得る伝達歯車を備えた調節器駆動部材を準備することから成り、調節器駆動部材を移動させてモータと動作可能に噛み合わせるステップは調節器歯車の間隔歯を移動歯車と噛み合わせることを含む、請求項７に記載の適応的方法。
【請求項９】
移動歯車が空動き領域で回転するように調節器歯車を移動させることにより調節器駆動歯車の歯をモータから解放するステップを含み、方法は更に、印刷領域にあるとき、解放ステップの後に始まる印刷ステップで、プリントヘッドにより媒体上に画像を印刷するステップを含む、請求項８に記載の適応的方法。
【請求項１０】
媒体噛み合わせ部材を有する媒体前進機構を準備すること、および前記機構の下にある媒体リフトで新鮮な媒体供給品を提供すること、から成り、方法は更に、真新しい媒体供給品から第１のシートを、該第１のシートを駆動間隔調節器によりモータを用いて媒体噛み合わせ部材と噛み合わせ、媒体リフトを上昇させることにより、ツマみ上げるステップを含み、その後、方法は更に、媒体噛み合わせ部材をモータで駆動することにより媒体を印刷領域にわたって前進させるステップを含む、請求項１から９のいずれかに記載の適応的方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月18日(2005.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に燃料廃液を収容する第１室と、新規燃料を収容する第２室とが区分されているシリンダーと、前記各室内に配置される第１・第２のピストンと、前記シリンダー内に挿入されて前記各ピストンを同一方向へ移動操作するピストンロッドとを備えており、
前記第１室と第２室とは、前記第１ピストンの移動限界を規定する隔壁で区分されて、その中央部分に通設したロッド通口を介して連通しており、
前記ピストンロッドのストローク始端側に臨む前記第１室の周壁に吸引口が開口しており、
前記ピストンロッドのストローク終端側に臨む前記第２室の周壁に送出口が、前記隔壁の近傍に臨む前記第２室の周壁に空気通口が、それぞれ開口しており、
前記ピストンロッドをストローク始端側からストローク終端側へ向かって移動操作することにより、前記第１ピストンと前記第２ピストンとを、記載順に個別に移動操作して、前記吸引口から前記第１室内に燃料廃液を吸引回収し、引き続き第２室内に収容してある新規燃料を送出口を介して燃料タンク内へ送出できることを特徴とする燃料交換装置。
【請求項２】
前記ピストンロッドの操作端寄りには、前記第１ピストンを同行移動操作する操作リングが設けられており、
前記第１ピストンには、前記第１ピストンが隔壁で受け止められた状態においてのみ、前記操作リングの通り抜けを許すロッド穴が貫通状に形成されている請求項１記載の燃料交換装置。
【請求項３】
前記ピストンロッドの操作端に、前記第１ピストンを同行移動操作する操作リングが設けられており、
前記第２ピストンには、前記ピストンロッドの相対移動を許すロッド穴が通設されており、
前記第１ピストンが隔壁で受け止められた状態においてのみ、前記操作リングが前記第１ピストンから分離し、前記第２ピストンを同行移動操作できる請求項１記載の燃料交換装置。
【請求項４】
前記送出口に新規燃料を送出案内する注射針状のノズルが装着されており、
前記ノズルの内部に、燃料廃液を吸い込むための廃液通路が設けられて、前記吸引口と廃液通路とが連通路を介して連通しており、
前記ノズルの外面が、前記シリンダーに装着したゴム製のキャップで覆われている請求項１または２記載の燃料交換装置。
【請求項５】
前記吸引口に吸引通路が、前記送出口に送給通路がそれぞれ接続されており、
前記燃料タンクと前記シリンダーとが、前記吸引通路および前記送給通路を介して連通している請求項１または２または３記載の燃料交換装置。
【請求項６】
燃料廃液を収容する第１シリンダーと、新規燃料を収容する第２シリンダーと、前記第１シリンダー内に設けた第１ピストンを移動操作するピストンロッドと、前記第２シリンダー内に配置される第２ピストンとを備えており、
前記ピストンロッドのストローク始端側に臨む前記第１室の周壁に、吸引口と送出口とがそれぞれ開口していて、ストローク終端側に臨む前記第１室の周壁に空気通口が開口しており、
前記第２ピストンのストローク始端とストローク終端に臨む前記第２シリンダーの周壁に入口と送出口とがそれぞれ開口しており、
前記第１シリンダーの前記送出口と、前記第２シリンダーの前記入口とが連通路と、前記第２シリンダーへ向かう流れのみを許す逆止弁とを介して連通しており、
前記吸引口に、燃料タンクへ向かう燃料廃液の逆流を阻止する逆止弁と吸引通路とが接続されており、
前記ピストンロッドをストローク始端側からストローク終端側へ向かって移動操作することにより、前記第１シリンダー内に燃料廃液を吸引回収でき、
前記ピストンロッドをストローク終端側からストローク始端側へ向かって移動操作することにより、前記第１シリンダー内の燃料廃液を前記第２シリンダー内へ移送し、燃料廃液の送給圧力で前記第２ピストンを移動操作して、前記第２シリンダー内に収容してある新規燃料を前記送出口を介して燃料タンクＴ内へ送出できることを特徴とする燃料交換装置。
【請求項７】
前記第２シリンダーの内部に、前記入口と連通する廃液袋が収容されて、前記第１シリンダーから前記連通路を介して前記第２シリンダーへ送給された燃料廃液が、前記廃液袋内に充填され、
前記廃液袋の膨張動作で、第２シリンダー内の新規燃料を燃料タンクへ送出できる請求項６記載の燃料交換装置。
【請求項８】
燃料電池に着脱可能であり、前記燃料電池の燃料交換を行うことができる燃料交換装置であって、
前記燃料電池の燃料タンク内から燃料廃液を吸引回収し、かつそれに引き続いて、予め充填されている新規燃料を前記燃料タンク内に送出することができる燃料交換装置。
【請求項９】
前記燃料廃液を収容する第１室と、前記新規燃料を収容する第２室とが区分されて設けられた請求項８記載の燃料交換装置。
【請求項１０】
同一個所で前記燃料廃液の吸引と前記新規燃料の送出とを行うことができる請求項８または９記載の燃料交換装置。
【請求項１１】
内部に廃液袋を備え、前記燃料廃液を前記廃液袋内に充填するとともに、前記廃液袋の膨張動作を利用して前記新規燃料を前記燃料タンクへ送出する請求項８または９または１０記載の燃料交換装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月27日(2004.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データを入力する入力手段と、
入力したデータを符号化する符号化手段と、
上記符号化手段によって生成された符号化データを記憶する記憶手段と、
上記記憶手段に記憶している符号化データを多重化し、ネットワークを介して接続された所定の受信装置に多重化したデータを伝送する多重化手段と、
ネットワークの状態を監視する監視手段とを備え、
上記多重化手段は、上記監視手段が検出したネットワークの状態に応じて、多重化するレートを制御することを特徴とする符号化伝送装置。
【請求項２】
上記符号化手段は、
上記多重化手段が伝送した符号化データを示す伝送情報を入力し、上記伝送情報に基づき上記記憶手段のデータ占有量を算出し、上記記憶手段のデータ占有量が所定の値より大きい場合には符号化処理を停止し、上記記憶手段のデータ占有量が所定の値より小さい場合には符号化処理を行うことを特徴とする請求項１記載の符号化伝送装置。
【請求項３】
上記データには音声データが含まれ、上記符号化手段を停止する手前に符号化する音声データをフェードアウトし、上記符号化手段を再開したときに符号化する音声データをフェードインする音声出力制御手段を有することを特徴とする請求項１記載の符号化伝送装置。
【請求項４】
上記多重化手段が伝送できるデータ量の範囲を記憶し、上記多重化手段のデータ伝送量を制御するデータ伝送量制御手段を有すること特徴とする請求項１記載の符号化伝送装置。
【請求項５】
上記データは、複数の番組データを含み、
上記符号化手段は、上記複数の番組データを独立に符号化し、
上記記憶手段は、上記複数の番組データの符号化データを独立に記憶し、
上記多重化手段は、上記複数の番組データの符号化データを多重化し、１つの出力データを生成することを特徴とする請求項１記載の符号化伝送装置。
【請求項６】
データを入力する入力工程と、
入力したデータを符号化する符号化工程と、
上記符号化工程によって生成された符号化データを記憶手段に記憶させる記憶工程と、
上記記憶手段に記憶している符号化データを多重化し、ネットワークを介して接続された所定の受信装置に多重化したデータを伝送する多重化工程とを有し、
上記多重化工程では、ネットワークの状態を入力し、入力したネットワークの状態に応じて多重化するレートを制御することを特徴とする符号化伝送方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月27日(2004.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
もしフォトレジストのライン（５１）の間の間隔がより大きいのであるならば、例えば０．４μｍであるならば、エッチングにおいていかなる問題も生じない。何故ならば、電子の流れは金属アンテナ５２に到達し、正電荷を中性化するからである。しかしながら、この状態はフォトレジストのライン（５１）の間の間隔がより小さくなると、変化する。この状態は図４Ｂに示されている。たとえフォトレジストライン（５１）の間の間隔がより小さくなったとしても、イオンは、それらの軌道がほとんど垂直になるように底表面に到達する。このことは金属アンテナ５２からフォトレジスト５１への電界を作るという結果になる。電子はこの電界によって加速されることになり、フォトレジスト５１のパターンによって形成された溝の底に到達する。しかしながら、もし電子のエネルギがより高いのであるならば、電子は当該電界による加速のための十分なスペースと時間を持たず、それら自身の軌道から逸脱する。それ故に、電子のほとんど（５６）はフォトレジスト５１に衝突し、電子のより小さな一部のみ（５５）が溝の底部５２ａに到達する。この現象は電子陰影効果と呼ばれている。この効果は、金属アンテナ５２上の正電荷の徐々なる増大をもたらす結果となる。金属アンテナ５２上の正電荷が、誘電体層５３のゲート誘電体５３ａのブレイクダウン電圧を超えると、電流がゲート誘電体５３ａを通して流れる。これはデバイスにダメージを与える。電子陰影効果および関連するプラズマ誘導ダメージに関する詳細な説明は次の非特許文献１，２に与えられる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【非特許文献１】Ｋ．橋本、「電子陰影効果による電荷ダメージ」、日本、応用物理，１９９４年、３３巻、６０１３〜６０１８頁
【非特許文献２】Ｋ．橋本、「プラズマエッチングにおける電荷ダメージの新現象：密集した線アンテナを通してのみの重いダメージ」、日本、応用物理、１９９３年、３２巻、６１０９〜６１１３頁
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
第２に、ウェハ２３Ｗが配置されるところの下部電極１５にｒｆ発生器２０からｒｆ電流が与えられる。ウェハ２３Ｗの表面全体に渡る弱いプラズマのため、負の自己バイアスがウェハ表面上に生成される。もし低いｒｆ周波数、例えば２ＭＨｚがｒｆ電極１５に与えられるならば、ｒｆ電力はウェハ表面全面に渡るプラズマの生成に貢献しない。その代わりに、与えられたｒｆ電力は、イオンを励起しウェハ表面に対して加速するために消費される。元来、イオンは低いエネルギを持っている。それ故に、ウェハ表面に衝突するイオンのエネルギはほとんどｒｆ電極１５の当該自己バイアス電圧によって決定される。これがイオンの軌道をより垂直にする。これは垂直な側壁を有する孔および溝をエッチングすることにおいて非常に重要な条件である。当該孔および溝の側壁は曲げられない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
さらに、図３を参照して第３実施形態が説明される。ここで、円形形状のプラズマ発生領域３０内で誘導結合型機構によってプラズマが生成される。ｒｆコイル３１は、ウェハの配置の高さの少し上方でかつプラズマ発生領域３０内に配置されている。当該ｒｆコイル３１は、整合回路３３を通してｒｆ発生器３２によってｒｆ電流が供給される。このｒｆ電流の動作周波数は重要なことではなく、５００ｋＨｚ〜１００ＭＨｚの範囲で変わり得る。当該第３実施形態において、前述したフィルタ２に対応するフィルタ３４は円形の形状を有している。フィルタ３４の上には複数の貫通孔が存在する。シャワーヘッド型ガス取入れ口２４がプロセスガスまたはガス混合物を導入するためにチャンバ１のトッププレート６の近傍に配置されている。当該ガスシャワーヘッド２５およびトッププレート６は電気的に接地されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
この図は、本発明の第１実施形態のプラズマ支援ドライエッチング装置を示す断面図である。
【図２】
この図は、本発明の第２実施形態のプラズマ支援ドライエッチング装置を示す断面図である。
【図３】
この図は、本発明の第３実施形態のプラズマ支援ドライエッチング装置を示す断面図である。
【図４Ａ】
この図は、エッチングを行う前のＭＯＳキャパシタの断面図である。
【図４Ｂ】
この図は、エッチングがちょうど完了したＭＯＳキャパシタの断面図である。
【符号の説明】
１              チャンバ（反応容器）
２              フィルタ
３              貫通孔
４              ウェハホルダ
５              側壁
８              ｒｆ電極
１０            プラズマ発生領域
１１            ｒｆ発生器
１３            ガスリザーバ
１４            ガス取入れ口
１５            下側ｒｆ電極
２０            ｒｆ発生器
２１            ウェハ処理領域
２２            真空排気ポート
２３Ｗ          ウェハ
１００          プラズマ発生部
２００          ウェハ処理部
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004193359.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004193359.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2004193359.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月20日(2005.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ウェハ位置教示方法および教示用治具ならびにロボット
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに前記半導体ウェハの位置を教示するウェハ位置教示方法において、
前記収納容器あるいは前記処理装置の半導体ウェハを設置する位置に教示用治具を設置し、
前記教示用治具上の中心軸部に円錐または円錐の特徴を有する形状部を設け、
前記ロボットのハンドの先端に設けた透過式センサで前記円錐部を検出し、
前記円錐部の断面径に基づき、前記教示用冶具のＺ(高さ)方向を検出することを特徴とするウェハ位置教示方法。
【請求項２】
収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに前記半導体ウェハの位置を教示するウェハ位置教示方法において、
前記収納容器あるいは前記処理装置の半導体ウェハを設置する位置との関係が明らかになっている位置に、円錐または円錐の特徴を有する形状部を設け、
前記ロボットのハンドの先端に設けた透過式センサで前記円錐部を検出し、
前記円錐部の断面径に基づき、半導体ウェハを設置する位置のＺ(高さ)方向を検出する
ことを特徴とするウェハ位置教示方法。
【請求項３】
収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに前記半導体ウェハの位置を教示する教示用治具において、
前記半導体ウェハと同一の外径を有する大円板部と、
前記大円板部と中心軸を共通にする円錐または円錐の特徴を有する形状部と
を備えたことを特徴とする教示用治具。
【請求項４】
請求項１または２に記載の方法を実施する機能を備えたことを特徴とするロボット。
【請求項５】
請求項３に記載の教示用治具を備えたことを特徴とするロボット。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月28日(2005.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  撮影レンズを介した被写体の像を撮像する撮像素子と、
上記被写体の明るさに基づく光電流を積分して上記被写体の明るさを検出する積分式測光回路と、
上記撮像素子の感度のバラつきを設計値に補正するための補正値と上記積分式測光回路の感度のバラつきを設計値に補正するための補正値とを記録する記録手段と、
上記積分式測光回路の出力と上記記録手段に記録された補正値とを用いて、ストロボ撮影時の露出制御を行う露出制御手段と、
を具備することを特徴とする電子カメラ。
【請求項２】  上記記録手段は、上記撮像素子を用いて第１及び第２の時間でそれぞれ露出を行ったときの第１及び第２の撮像素子出力と、上記積分式測光回路を用いて上記第１及び上記第２の時間でそれぞれ積分を行ったときの第１及び第２の積分結果とに基づいて算出した上記積分式測光回路の誤差を記録していることを特徴とする請求項１に記載の電子カメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子カメラ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、以上の点に鑑み、撮影光学系や、露出時の補助を行うストロボ光の有無にかかわらず露出制御を単純かつ高速、正確に行うことが可能な電子カメラを提供することを目的としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の電子カメラでは、撮影レンズを介した被写体の像を撮像する撮像素子と、上記被写体の明るさに基づく光電流を積分して上記被写体の明るさを検出する積分式測光回路と、上記撮像素子の感度のバラつきを設計値に補正するための補正値と上記積分式測光回路の感度のバラつきを設計値に補正するための補正値とを記録する記録手段と、上記積分式測光回路の出力と上記記録手段に記録された補正値とを用いて、ストロボ撮影時の露出制御を行う露出制御手段とを具備することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、撮影光学系やストロボ光の有無にかかわらず、露出制御を単純かつ高速、正確に行うことが可能な電子カメラを提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月5日(2005.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲート・エミッタ間に、抵抗とｐチャネルMOSFETとからなる直列回路を接続したことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。