【手続補正書】
【提出日】平成17年3月8日(2005.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】貼合せ基板製造装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
前記第１及び第２の保持板に保持する２枚の基板のうち上側の基板を吸着し、該吸着した基板をその下方から所定の気体を噴出しながら水平方向に保持する保持部を備えること
を特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項２】
処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
前記処理室内に搬送する２枚の基板から選択的に１枚を吸着保持する保持部を備え、該保持部は基板の外面を吸着して水平方向に保持すること
を特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項３】
前記保持部を有する２本の搬送アームが更に設けられ、該２本の搬送アームのうち少なくとも一方には前記２枚の基板及び貼り合わせた後の基板の何れかを保持可能としたこと
を特徴とする請求項２記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板には、該保持板とは独立して上下動可能に設けられ前記保持部に保持された基板の外面を吸引吸着して保持する吸着機構が備えられ、
該保持板は前記吸着機構に保持された基板に対し吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させて該基板を保持すること
を特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の吸着面には、該吸着面の端面まで延びるように複数の吸着溝が形成されていること
を特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項６】
前記複数の吸着溝には、ポーラス部材が前記吸着溝を平面化する状態で設けられていること
を特徴とする請求項５記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項７】
前記処理室内への前記２枚の基板の搬入に先立って、前記第１及び第２の保持板に付着している不純物を除去するための不純物除去手段を備えていること
を特徴とする請求項１乃至６の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項８】
前記２枚の基板間に封入する液体を、前記２枚の基板のうち何れか一方の基板上に滴下する液体滴下装置と、
前記２枚の基板のうち少なくとも一方の基板に形成されて前記２枚の基板同士の間隔を規制する柱の高さを測定する柱高さ測定装置とを備え、
前記柱高さ測定装置は前記柱の高さを測定した基板の識別情報と該基板の柱高さデータとを対応付けて第１の記憶装置に記憶し、前記液体滴下装置は前記識別情報に基づいて前記第１の記憶装置から抽出した前記柱高さデータ及び予め定められた点滴量の補正値に応じた量の液体を前記基板上に滴下すること
を特徴とする請求項１乃至７の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項９】
前記処理室内への前記２枚の基板の搬入に先立って、前記第１及び第２の保持板にそれぞれ保持される前記２枚の基板の位置決めを該基板毎に行う位置決め装置を備え、
前記位置決め装置は、前記基板の外面を吸着して水平方向に移動可能に吊下保持する吸着機構と、その吸着機構により吊下保持された基板の辺及び角のうち少なくとも一箇所を押して位置決めを行う位置決め機構とを備えること
を特徴とする請求項１乃至８の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記処理室内が大気圧下では前記基板を吸引吸着して保持し、前記処理室内の減圧に際しては、前記吸引吸着を停止した後に前記基板の背圧を前記処理室内の圧力と略等圧とする状態にて前記基板を静電吸着して保持すること
を特徴とする請求項１乃至９の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記処理室内が大気圧下では前記基板を吸引吸着して保持し、前記処理室内の減圧に際しては、該処理圧内の圧力を大気圧に対し所定の圧力まで揚圧して前記吸引吸着を停止した後に前記基板を静電吸着して保持すること
を特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項１２】
処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
前記処理室内に搬送する２枚の基板から選択的に１枚を吸着保持する保持部を備え、該保持部は基板の外面を吸着して水平方向に保持することと、
前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記保持部との間で関連する基板を受け渡しするときに、前記保持部を収容する溝を有することと
を特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項１３】
前記溝は、関連する前記保持板と前記保持部とが互いに干渉し合わないように該保持部が移動する経路に沿って形成されること
を特徴とする請求項１２記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項１４】
処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板には、該保持板とは独立して上下動可能に設けられ前記基板の外面を吸引吸着して保持する吸着機構が備えられ、該保持板は前記吸着機構に保持された基板に対し吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させて該基板を保持すること
を特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項１５】
前記吸着機構を備える保持板には該保持板を貫通する複数の貫通経路が上下方向に形成され、前記吸着機構は前記複数の貫通経路内を上下動可能とする複数の吸着部を備えること
を特徴とする請求項１４記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項１６】
前記吸着機構は複数の吸着部を備え、関連する前記基板に対して個別に吸着可能であること
を特徴とする請求項１４又は請求項１５記載の貼合せ基板製造装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は貼合せ基板製造装置に係り、詳しくは液晶表示装置(Liquid Crystal Display:LCD)等の２枚の基板をそれらの間のギャップを所定値にて貼り合わせた基板（パネル）を製造する際に使用して好適な貼合せ基板製造装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は貼合せ基板の製造不良を低減することのできる貼合せ基板製造装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明のように、基板をその下方から所定の気体を噴出しながら水平方向に吸着保持して処理室内に搬送する。これによれば、特に大型，薄型の基板の場合に生じる自重による基板の撓みを防止しながら、該基板を略平面状態で保持板に吸着保持させることができるため、基板は安定して保持される。従って、基板の位置ズレ，脱落が防止される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項２に記載の発明のように、基板の外面を吸着保持して処理室内に搬送する。これによれば、基板を複数の吸着パッドにて保持することが可能であるため、自重による基板の撓みを防止しながら該基板を略平面状態で保持板に吸着させることができるため、基板は安定して保持される。従って、基板の位置ズレ，脱落が防止される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項３に記載の発明のように、保持部を有する２本の搬送アームが設けられ、該２本の搬送アームのうち少なくとも一方には２枚の基板及び貼り合わせた後の基板の何れかを保持可能とした。これによれば、処理室内へ２枚の基板を同時に搬送することができるため、基板搬送時間が短縮される。その結果、基板の搬送による貼合せ装置のアイドル時間を短縮することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項４に記載の発明のように、保持板は、保持された基板の外面を吸着機構により吸引吸着して保持し、その吸着機構に保持された基板に吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させて該基板を保持する。これによれば、自重による基板の撓みを防止しながら該基板を略平面状態で保持板に吸着させることができるため、基板は安定して保持される。従って、基板の位置ズレ，脱落が防止される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、保持板の吸着面には、該吸着面の端面まで延びるように複数の吸着溝が形成されているため、基板吸着時に吸着面に残存する気体の抜けをよくすることができる。従って、処理室内の減圧過程における基板の位置ズレ，脱落が防止される。また、静電吸着時のグロー放電も防止される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、前記複数の吸着溝には、ポーラス部材が前記吸着溝を平面化する状態で設けられているため、基板吸着時にて該基板上に生じる局部的な撓みが防止される。これにより、基板を略平面状態でより安定して保持板に保持させることができるため、基板の位置ズレ，脱落が防止される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項１０に記載の発明のように、第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、処理室内が大気圧下では基板を吸引吸着して保持し、処理室内の減圧に際しては、前記吸引吸着を停止した後に前記基板の背圧を処理室内の圧力と略等圧とする状態で該基板を静電吸着して保持する。これによれば、基板の表裏の圧力差に伴う局部的な撓みを防止して静電吸着することができるため、基板を略平面状態で保持可能である。従って、基板の位置ズレ，脱落を防止することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項１１に記載の発明のように、第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、処理室内が大気圧下では基板を吸引吸着して保持し、処理室内の減圧に際しては、該処理圧内の圧力を大気圧に対し所定の圧力まで揚圧して前記吸引吸着を停止した後に前記基板を静電吸着して保持する。処理室内の圧力を大気圧に対して若干高くなる程度にまで揚圧させることで、基板の表裏の圧力差に伴う局部的な撓みを防止して静電吸着することが可能である。従って、基板を略平面状態で保持可能であるため、基板の位置ズレ，脱落を防止することができる。
請求項１２に記載の発明によれば、処理室内に搬送する２枚の基板から選択的に１枚を吸着保持する保持部を備え、該保持部は基板の外面を吸着して水平方向に保持することと、前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記保持部との間で関連する基板を受け渡しするときに、前記保持部を収容する溝を有することとを要旨とする。これにより、保持部は、基板の外面を保持して該基板を処理室内に搬送することが可能である。
請求項１３に記載の発明によれば、前記溝は、関連する前記保持板と前記保持部とが互いに干渉し合わないように該保持部が移動する経路に沿って形成されている。
請求項１４に記載の発明によれば、前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板には、該保持板とは独立して上下動可能に設けられ前記基板の外面を吸引吸着して保持する吸着機構が備えられ、該保持板は前記吸着機構に保持された基板に対し吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させて該基板を保持する。この構成では、基板に自重による撓みが大きく発生している場合にも該基板を略平面状態で保持板に保持させることができ、基板の位置ズレ、脱落を確実に防止することができる。
請求項１５に記載の発明によれば、前記吸着機構を備える保持板には該保持板を貫通する複数の貫通経路が上下方向に形成され、前記吸着機構は前記複数の貫通経路内を上下動可能とする複数の吸着部を備えている。
請求項１６に記載の発明によれば、前記吸着機構は複数の吸着部を備え、関連する前記基板に対して個別に吸着可能である。この構成では、撓みの大きい基板に対する吸着動作をスムーズに行うことが可能である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８５】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、貼合せ基板の製造不良を低減することのできる貼合せ基板製造装置を提供することができる。