【手続補正書】
【提出日】平成17年9月7日(2005.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】研磨装置及び研磨方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  研磨台上に弾性シート及び研磨パッドがこの順に積設してあり、該研磨パッドに被研磨物を摺接させて、該被研磨物を研磨する研磨装置において、
硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シートが設けてあることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】  研磨台上に弾性シート及び研磨パッドがこの順に積設してあり、該研磨パッドに対向配置した支持台に真空吸着させた被研磨物を前記研磨パッドに摺接させて、被研磨物を研磨する研磨装置において、
硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シートが設けてあることを特徴とする研磨装置。
【請求項３】  前記弾性シートはシリコンゴム製である請求項１又は２記載の研磨装置。
【請求項４】    硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が９０以上である研磨パッドが設けてある請求項１乃至３の何れかに記載の研磨装置。
【請求項５】  研磨台上に弾性シート及び研磨パッドがこの順に積設してあり、研磨台及び被研磨物を取り付けた支持台を回転させると共に、前記研磨パッドに被研磨物を摺接させて、該被研磨物を研磨する研磨装置において、
該被研磨物の複数位置で研磨速度のバラツキが１０％未満になるような硬度及び厚さを有する弾性シートが設けてあることを特徴とする研磨装置。
【請求項６】  研磨台上に硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シート及び研磨パッドをこの順に積設し、
該研磨パッドに被研磨物を摺接して該被研磨物を研磨することを特徴とする研磨方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＶＬＳＩ又はＵＬＳＩ等の半導体装置の製造に主に用いられる研磨装置及び研磨方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは研磨台上に、硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シート及び研磨パッドをこの順に積設することによって、一度に研磨する複数の被研磨物の厚さが異なる場合、又は被研磨物の面内に厚さ偏差が存在する場合であっても、略均一な研磨速度で研磨することができる研磨装置及び研磨方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る研磨装置は、研磨台上に弾性シート及び研磨パッドがこの順に積設してあり、該研磨パッドに被研磨物を摺接させて、該被研磨物を研磨する研磨装置において、硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シートが設けてあることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る研磨装置は、研磨台上に弾性シート及び研磨パッドがこの順に積設してあり、該研磨パッドに対向配置した支持台に真空吸着させた被研磨物を前記研磨パッドに摺接させて、被研磨物を研磨する研磨装置において、硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シートが設けてあることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係る研磨装置は、前記弾性シートはシリコンゴム製であることを特徴とする。
また、本発明に係る研磨装置は、硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が９０以上である研磨パッドが設けてあることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る研磨装置は、研磨台上に弾性シート及び研磨パッドがこの順に積設してあり、研磨台及び被研磨物を取り付けた支持台を回転させると共に、前記研磨パッドに被研磨物を摺接させて、該被研磨物を研磨する研磨装置において、該被研磨物の複数位置で研磨速度のバラツキが１０％未満になるような硬度及び厚さを有する弾性シートが設けてあることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明に係る研磨装置は、研磨台上に硬度（ＪＩＳＫ６３０１）が１５以下であり、厚さが４ｍｍ以上２０ｍｍ以下である弾性シート及び研磨パッドをこの順に積設し、該研磨パッドに被研磨物を摺接して該被研磨物を研磨することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
これらの発明にあっては、硬度及び厚さを最適化した弾性シートが、研磨台と研磨パッドとの間に介装してあるため、一度に研磨する複数の被研磨物の厚さの異なり、又は被研磨物の面内に存在する厚さ偏差は、前記弾性シートに吸収され、各被研磨物間又は被研磨物の全面で、印加される圧力が均一化される。これによって、一度に研磨する複数の被研磨物の厚さが異なる場合、又は被研磨物の面内に厚さ偏差が存在する場合であっても、略均一な研磨速度で研磨することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
弾性シートの硬度が、日本工業規格（ＪＩＳ）に定められたＫ６３０１によって測定したときに１５を越える場合、被研磨物の厚さ偏差を十分に吸収することができず、研磨速度のバラツキが１０％を越えてしまう。弾性シートの硬度が小さいほど、研磨速度のバラツキは小さいが、ハンドリング特性上の点から、弾性シートの硬度は３以上が好ましい。即ち、弾性シートの硬度が３未満である場合、研磨台に弾性シートを固定する場合、弾性シートに皺が発生し易い。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、弾性シートの厚さが４ｍｍ未満の場合、被研磨物の厚さ偏差を十分に吸収することができず、研磨速度のバラツキが１０％を越えてしまう。一方、弾性シートの厚さが２０ｍｍを越える場合、弾性シートの変形が大きく、研磨パッドにしわが生じ易くなるため、研磨速度のバラツキが１０％を越えてしまう。更に研磨速度が低下すると共に、被研磨物の研磨部分の平坦度が低下する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
シリコンゴムにあっては、基材に混合するシリコンオイルの量を調節することによって硬度を容易に調整することができ、またその混合物を予め作製した型内に鋳込むことによって所要の厚さの弾性シートを容易に得ることができる。また、シリコンゴムは薬剤耐性が高いため、寿命が長い。
さらに、研磨パッドの硬度が９０以上であるため、比較的柔らかい弾性シート上に研磨パッドを積設した場合であっても、研磨作業中、研磨パッドの表面は平坦であり、被研磨物はその全面で均一に研磨される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
【発明の効果】
本発明にあっては、硬度及び厚さを最適化した弾性シートが、研磨台と研磨パッドとの間に介装してあるため、一度に研磨する複数の被研磨物の厚さの異なり、又は被研磨物の面内に存在する厚さ偏差は、前記弾性シートに吸収され、各被研磨物間又は被研磨物の全面で、印加される圧力が均一化される。これによって、一度に研磨する複数の被研磨物の厚さが異なる場合、又は被研磨物の面内に厚さ偏差が存在する場合であっても、略均一な研磨速度で研磨することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明にあっては、硬度を容易に調整することができ、また所要の厚さの弾性シートを容易に得ることができる。更に、薬剤耐性が高いため、寿命が長い。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明にあっては、比較的固い研磨パッドを用いるため、比較的柔らかい弾性シート上に研磨パッドを積設した場合であっても、研磨作業中、研磨パッドの表面は平坦であり、被研磨物はその全面で均一に研磨される等、本発明は優れた効果を奏する。