(57)【要約】【課題】研磨材を研磨装置へ平滑に固定でき、また被研磨体の鏡面研磨が容易にできて、さらに研磨液に曝されたときにも密着性を維持できる研磨材固定用両面感圧接着シートを提供すること。【解決手段】プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、もう一方の面に感圧接着剤層（ｂ）がそれぞれ設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、感圧接着剤層（ａ）の、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（１）において、Ａが−０．５０〜−０．２０であることを特徴とする研磨材固定用両面感圧接着シート。ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝Ａｌｏｇ ｔ＋Ｂ  ・・・式（１）【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、もう一方の面に感圧接着剤層（ｂ）がそれぞれ設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、
感圧接着剤層（ａ）の、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（１）において、Ａが−０．５０〜−０．２０であることを特徴とする研磨材固定用両面感圧接着シート。
ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝Ａｌｏｇ ｔ＋Ｂ  ・・・式（１）
〔式（１）中、ｔは時間を、Ｇ（ｔ）は緩和弾性率を、ＡおよびＢは定数をそれぞれ表す。〕
【請求項２】
プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、もう一方の面に感圧接着剤層（ｂ）が、設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、
前記研磨材固定用両面感圧接着シートの、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（２）において、Ｃが−０．５５〜−０．２５であることを特徴とする研磨材固定用両面感圧接着シート。
ｌｏｇＧ（ｔ）＝Ｃｌｏｇ ｔ＋Ｄ  ・・・式（２）
〔式（２）中、ｔは時間を、Ｇ（ｔ）は緩和弾性率を、ＣおよびＤは定数をそれぞれ表す。〕
【請求項３】
感圧接着剤層（ａ）が、水酸基含有アクリル系ポリマーと、水酸基価５０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇのテルペンフェノール系樹脂と、イソシアネート系架橋剤とを含む感圧接着剤から形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載の研磨材固定用両面感圧接着シート。
【請求項４】
感圧接着剤層（ａ）の溶剤不溶分が５〜３０％であることを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の研磨材固定用両面感圧接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨材を研磨装置へ固定するための研磨材固定用両面感圧接着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車、光学機器、半導体等の分野では様々な部品、部材の表面研磨が行われている。例えば、液晶ディスプレイ用ガラス、ハードディスク用基板、光学レンズ、シリコンウェハ等の基板の鏡面研磨は、硬質樹脂パッドや研磨布等の研磨材と両面感圧接着シーを貼り合せた研磨部材を、研磨装置に貼り、研磨液を用いて行われている。
【０００３】
その中でも例えば、被研磨体がハードディスク用基板のときは、表面を鏡面研磨する必要があるが、用いる研磨材や両面感圧接着シートには、表面に数ミクロンレベルの凹凸（粗さともいう）が存在している。
【０００４】
そして研磨工程は、例えば研磨材を、両面感圧接着シートを介して研磨装置の研磨定盤に貼り付け、研磨材を馴染ませるための「ドレッシング」という仮研磨を行った後に、４０℃雰囲気下で研磨が実施される。この研磨中に、両面感圧接着シートを含む研磨部材は数百ｇ／ｃｍ2の圧力とせん断方向の力を受けることになる。
【０００５】
両面感圧接着シートは、研磨材への強い密着性を得るために従来からある工業用途向けの凝集力の高い感圧接着剤が用いられていた。このような感圧接着剤は研磨材や研磨定盤への見かけの密着力を得やすいが、凝集力が強すぎて柔軟性に欠けるために、研磨定盤に貼り付けたままの形状を維持し、研磨材に微小な凹凸や粗さがのこったまま、研磨工程が進行する。そして凹凸の存在が研磨後の被研磨体表面の仕上が悪化させ、ハードディスク自体の品質や収率を低下させていた。そのため両面感圧接着シートに、研磨材を平滑に固定できる等の特性が求められていた。
【０００６】
そこで、両面感圧接着シートの平滑性、即ち感圧接着剤層の表面平滑性を高めるために、感圧接着剤層と接する剥離シートに、表面が平滑なフィルム剥離ライナーを使う方法が行われた。しかし、フィルム剥離ライナーを使用すると、感圧接着剤層の表面が極端に平滑になるため、研磨材を研磨装置に貼る場合に、感圧接着剤層と研磨定盤の界面に大きな空気溜まりが生じやすく、その空気により、研磨材が平滑に固定できなかった。
【０００７】
また、両面感圧接着シートの基材（芯材）にウレタン発泡体などの緩衝材を使用して緩和性を得る方法が半導体研磨の分野では採用されている。しかし、前記発泡体は感圧接着剤との密着性が低く、厚みのバラつきが大きいため、ハードディスク研磨では使用することが難しい。
【０００８】
一方、研磨は、研磨液を用いる場合が多く、そのｐＨは約１〜１２で、過酸化水素水を含有する場合もある。そのため両面感圧接着シートに耐薬品性が必要とされる。そして研磨効率の向上の点から、長時間連続使用される場合が多くなってきた。
【０００９】
そのため研磨定盤と接する両面感圧接着シート表面の粗さが大きいままであると、研磨定盤と両面感圧接着シートの界面に研磨液が侵入し、密着性が徐々に低化し、研磨時に加わる力に耐えきれず、研磨定盤から剥がれて被研磨体を損傷する等問題が生じていた。
【００１０】
そこで、特許文献１および２には本発明と用途は異なるが、粗面密着性や応力緩和に関する感圧接着シートが提案されている。
【００１１】
特許文献１では、アクリル系光重合性組成物を用い、各感圧接着剤層の溶剤不溶分に差を設ける旨が記載されている。しかし、溶剤不溶分が高いために、研磨材表面の微小な粗さを緩和しにくい。さらに感圧接着剤組成にアクリル酸を使用しているため、研磨液耐性が悪く研磨中の振動で研磨材や研磨定盤から剥離する問題があった。
【００１２】
また、特許文献２では、感圧接着シート全体の１０％伸張応力が約１０Ｎに調整する旨が記載されている。しかし研磨材とのラミネートを考えた場合、感圧接着シートが柔らかいため、平坦性が要求される研磨材がカールしてしまうという問題があった。また、その柔軟性が原因で研磨時に加わる力に耐えきれずに剥離するという問題があった。
【００１３】
また、特許文献３には、ドライ条件下における特に研磨材への密着性を向上させるための方法が提案されている。特許文献３には、水酸基系熱活性型アクリル接着剤とフェノール樹脂とからなるガラス転移温度が２０℃以上のホットメルト接着剤を用いる旨が記載されている。しかし、ガラス転移温度が高く、架橋剤としてエポキシ樹脂を使用しているため、テープの柔軟性が無く研磨材や研磨定盤側感圧接着剤の微小な粗さを緩和せずに被研磨体の平滑性が得にくいという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００９−１３３６１号公報
【特許文献２】特開２００５−２７２５５８号公報
【特許文献３】特開２００１−３５４９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、研磨材を研磨装置へ平滑に固定できることで被研磨体の鏡面研磨が容易にできて、さらに研磨液に曝されたときにも密着性を維持できる耐薬液性が良好な研磨材固定用両面感圧接着シートの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
以上の課題を解決するために、本発明者は鋭意研究し、本発明に至った。
【００１７】
即ち、第１の発明は、プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、もう一方の面に感圧接着剤層（ｂ）がそれぞれ設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、
感圧接着剤層（ａ）の、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（１）において、Ａが−０．５０〜−０．２０であることを特徴とする研磨材固定用両面感圧接着シートに関する。
ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝Ａｌｏｇ ｔ＋Ｂ  ・・・式（１）
〔式（１）中、ｔは時間を、Ｇ（ｔ）は緩和弾性率を、ＡおよびＢは定数をそれぞれ表す。〕
【００１８】
また、第２の発明は、プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、もう一方の面に感圧接着剤層（ｂ）が、設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、
前記研磨材固定用両面感圧接着シートの、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（２）において、Ｃが−０．５５〜−０．２５であることを特徴とする研磨材固定用両面感圧接着シートに関する。
ｌｏｇＧ（ｔ）＝Ｃｌｏｇ ｔ＋Ｄ  ・・・式（２）
〔式（２）中、ｔは時間を、Ｇ（ｔ）は緩和弾性率を、ＣおよびＤは定数をそれぞれ表す。〕
【００１９】
また、第３の発明は、感圧接着剤層（ａ）が、水酸基含有アクリル系ポリマーと、水酸基価５０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇのテルペンフェノール系樹脂と、イソシアネート系架橋剤とを含む感圧接着剤から形成されてなることを特徴とする上記発明の研磨材固定用両面感圧接着シートに関する。
【００２０】
さらに、第４の発明は、感圧接着剤層（ａ）の溶剤不溶分が５〜３０％であることを特徴とする上記発明の研磨材固定用両面感圧接着シートに関する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、研磨材を研磨装置へ平滑に固定でき、また被研磨体の鏡面研磨が容易にできて、さらに研磨液に曝されたときにも密着性を維持できる研磨材固定用両面感圧接着シートの提供することができるようになった。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の両面感圧接着シートは、感圧接着剤層（ａ）／プラスチック基材／感圧接着剤層（ｂ）という構成である。
【００２３】
本発明の研磨材固定用両面感圧接着シートは、研磨材を研磨装置に固定した後の研磨工程中において、研磨材および両面感圧接着シートの微小な粗さを緩和する機能を有する。
【００２４】
本発明の研磨材固定用両面感圧接着シートは、プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、他の面に感圧接着剤層（ｂ）がそれぞれ設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、
感圧接着剤層（ａ）の、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（１）において、傾きＡが−０．５０〜−０．２０であることが好ましい。より好ましくは、−０．４５〜−０．２５である。前記数値範囲にＡが入ることで、感圧接着剤（ａ）層に存在する粗さがドレッシング工程中に緩和され、研磨部材全体として平滑性を得ることができる。また感圧接着剤層（ａ）は研磨定盤と良好な密着性が得られることで、感圧接着剤層（ａ）と研磨定盤の界面に研磨液の侵入がない。そのため、長時間の研磨が可能になった。ここで傾きＡが−０．２０を超える場合は、微小な粗さを緩和しにくい。−０．５０より小さい場合は、柔軟になりすぎて研磨材を長時間固定することが難しい。
ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝Ａｌｏｇ ｔ＋Ｂ  ・・・式（１）
〔式（１）中、ｔは時間を、Ｇ（ｔ）は緩和弾性率を、ＡおよびＢは定数をそれぞれ表す。〕
なお、研磨工程における標準的な温度は４０℃である。
【００２５】
Ｇ（ｔ）とは、微小な歪みを加えたときの応力から計算される緩和弾性率であり、感圧接着剤のような粘弾性体では、一般的に時間と共に徐々に低下するが、この低下の仕方（傾き）が研磨部材の平滑性向上のための指標となることを見出した。
【００２６】
さらに、研磨材固定用両面感圧接着シートの、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（２）において、Ｃが−０．５５〜−０．２５であることが好ましく、さらに好ましくは−０．５０〜−０．２５である。上記同様の理由で、Ｃが−０．２５を超える場合は、微小粗さを緩和しにくい。−０．５０より小さい場合は、柔軟になりすぎて研磨材を長時間固定することが難しい。
ｌｏｇＧ（ｔ）＝Ｃｌｏｇ ｔ＋Ｄ  ・・・式（２）
〔式（２）中、ｔは時間を、Ｇ（ｔ）は緩和弾性率を、ＣおよびＤは定数をそれぞれ表す。〕
【００２７】
本発明において、感圧接着剤層（ａ）と感圧接着剤層（ｂ）は、それぞれ異なる感圧接着剤を用いても良いし、同じ感圧接着剤を用いても良い。
【００２８】
感圧接着剤層（ａ）に用いる感圧接着剤としては、アクリル系、ゴム系、ウレタン系またはポリエステル系のポリマーが挙げられるが、応力緩和性と耐薬品性の面からアクリル系が好ましい。前記アクリル系ポリマーはラジカル重合性不飽和モノマーを、例えば溶液重合法、塊状重合法、乳化重合法等によって重合することにより得られる。
【００２９】
本発明の研磨材固定用両面感圧接着シートが使用される環境は、長時間にわたり強酸性から強アルカリ性の研磨液に曝されながらも、研磨材や研磨定盤から剥がれてはならないため、感圧接着剤層は大きな接着力と耐薬品性が必要である。そのためラジカル重合性不飽和モノマーの選択は大変重要である。
【００３０】
ラジカル重合性不飽和モノマーとしては、アルキル基の炭素数が１〜１４の(メタ)アクリル酸アルキルエステルを主成分とすることが好ましい。かかる（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｉｓｏ−プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ｉｓｏ−ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル等の直鎖または分岐脂肪族アルコールのアクリル酸エステル及び対応するメタクリル酸エステル等が挙げられる。使用される（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基の炭素数は１〜１０がより好ましく、１〜８がさらに好ましい。
【００３１】
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、ラジカル重合性不飽和モノマーの合計１００重量％中７０〜９９．９重量％含有されることが好ましく、また１種または２種以上含有することができる。
そして、大きな接着力を得るためには、ラジカル重合性不飽和モノマーの合計１００重量％中、アクリル酸ブチルが５０〜９５重量％含有されることが好ましい。
【００３２】
本発明における研磨材固定用両面感圧接着シートは大きな接着力が必要である。接着性を得るために極性基を有するモノマーが使用される。その中でも水酸基含有モノマーとカルボキシル基含有モノマーが好ましい。研磨液がアルカリ性である場合、カルボキシル基含有モノマーを用いた感圧接着剤は中和されることにより接着力が低下しやすい。従って、本発明においては極性基を有するモノマーが水酸基含有モノマーであることが好ましい。
【００３３】
前記水酸基含有モノマーはラジカル重合性不飽和モノマーの合計１００重量％中０．１〜１０重量％含有することが好ましく、０．２〜５重量％含有することがより好ましく、０．３〜４重量％含有することがさらに好ましい。水酸基含有モノマーとしては、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアルコール性水酸基含有モノマーが挙げられる。
【００３４】
水酸基含有モノマーの割合が０．１重量％未満の場合、感圧接着剤層の研磨材等への強い接着性が得られにくい。一方、水酸基含有モノマーの割合が１０重量％を超えると、特に強アルカリ性の研磨液に曝された場合に研磨材や研磨装置から剥がれやすくなる。
【００３５】
また、前記ジカル重合性不飽和モノマーとして、上記以外のモノマーを必要に応じて使用することもできる。
具体的には、例えばグリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基含有モノマー。Ｎ−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ―アルコキシアルキル（メタ）アクリルアミド、メチロール化アクリルアミド、Ｎ−（１，１−ジメチル−３オキソブチル）アクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミド等の（メタ）アクリルアミドモノマー。燐酸基含有ビニルモノマーや酢酸ビニル、スチレン、ブタジエン等のビニルモノマー。アセトアセトキシエチルメタクリレート、アルコキシシリル基含有モノマー等が挙げられ、ラジカル重合性不飽和モノマーの合計１００重量％中０〜１０重量％の割合で用いることができ、これらは１種または２種以上使用できる。
【００３６】
前記アクリル系ポリマーのガラス転移温度は０℃以下が好ましく、−７０℃〜−５℃がより好ましく、−６０℃〜−１０℃がわらに好ましい。ガラス転移温度が０℃を超えると、十分な接着性が確保できない傾向にある。
【００３７】
なお、アクリル系ポリマーのガラス転移温度は、それを構成するラジカル重合性不飽和モノマーの組成比と、それぞれのモノマーからなるホモポリマーのガラス転移温度を基に、公知の方法により算出することができる。
【００３８】
さらにアクリル系ポリマーは、重量平均分子量が４０万〜９０万であることが好ましく、５０万〜８５万であることがより好ましく、さらに好ましくは６０万〜８０万である。重量平均分子量が４０万より小さい場合には、感圧接着剤層（ａ）の凝集力が低く、研磨時に加わるせん断力に耐え切れずに、研磨材や研磨装置から剥がれる恐れがある。一方、重量平均分子量が９０万よりも大きい場合には、感圧接着剤層（ａ）の粗さ緩和性能が低下しやすい。なお重量平均分子量はゲルパーミエイションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）による、標準のポリスチレン換算の値である。
【００３９】
アクリル系ポリマーは、種々の重合開始剤を用い、その量、重合温度等の重合諸条件を適宜調整することにより得ることができる。ラジカル重合性不飽和モノマーを重合する際には、開始剤として過酸化物やアゾ系化合物が用いられる。
【００４０】
本発明において用いられる過酸化物としては、ケトンパーオキサイド類、パーオキシケタール類、ハイドロパーオキサイド類、ジアルキルパーオキサイド類、ジアシルパーオキサイド類、パーオキシジカーボネート類、パーオキシエステル類等を挙げることができる。
【００４１】
本発明では、感圧接着剤が、水酸基と反応し得る化合物を架橋剤として含有することが好ましい。水酸基と反応し得る架橋剤としては、エポキシ系架橋剤やイソシアネート系架橋剤等が挙げられる。エポキシ系架橋剤を単独で使用した場合には感圧接着剤層が強固になりやすく、本発明ではイソシアネート系架橋剤を用いることが好ましい。
【００４２】
イソシアネート系架橋剤は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して、０．０１〜１０重量部用いることが好ましく、０．０５〜５重量部用いることがより好ましい。０．０１重量部未満は、感圧接着剤層の凝集力が不足する恐れがあり、１００重量部を超えると、感圧接着剤層（ａ）が微小な表面粗さを緩和しにくくなる恐れがある。
【００４３】
前記イソシアネート系架橋剤としては、ジイソシアネート化合物、ジイソシアネート化合物を３官能ポリオール成分で変性したいわゆるアダクト体、ジイソシアネート化合物が水と反応したビュレット体、ジイソシアネート化合物３分子から形成されるイソシアヌレート環を有する３量体（イソシアヌレート体）を使用することができる。ジイソシアネート化合物としては、芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、芳香脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート等が挙げられる。
【００４４】
芳香族ジイソシアネートとしては、１，３−フェニレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、４，４’−トルイジンジイソシアネート、ジアニシジンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルエーテルジイソシアネート等を挙げることができる。
【００４５】
脂肪族ジイソシアネートとしては、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、１，２−プロピレンジイソシアネート、２，３−ブチレンジイソシアネート、１，３−ブチレンジイソシアネート、ドデカメチレンジイソシアネート、２，４，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等を挙げることができる。
【００４６】
芳香脂肪族ジイソシアネートとしては、ω，ω’−ジイソシアネート−１，３−ジメチルベンゼン、ω，ω’−ジイソシアネート−１，４−ジメチルベンゼン、ω，ω’−ジイソシアネート−１，４−ジエチルベンゼン、１，４−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、１，３−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等を挙げることができる。
【００４７】
脂環族ジイソシアネートとしては、３−イソシアネートメチル−３，５，５−トリメチルシクロヘキシルイソシアネート、１，３−シクロペンタンジイソシアネート、１，３−シクロヘキサンジイソシアネート、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−２，４−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−２，６−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、１，４−ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン、１，４−ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン等を挙げることができる。
【００４８】
本発明に用いられるジイソシアネート化合物としては、２，４−トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、３−イソシアネートメチル−３，５，５−トリメチルシクロヘキシルイソシアネート（別名：イソホロンジイソシアネート）が好ましい。また、これらのジイソシアネート化合物のアダクト体、ビュレット体、イソシアヌレート体も好適に使用することができる。
【００４９】
本発明で用いる感圧接着剤は、フェノール骨格のある樹脂を含むことで、上記緩和弾性率と耐薬品性等を実現しやすくなることを見出した。
【００５０】
フェノール骨格を有する樹脂としては、例えばロジン変性フェノール樹脂、フェノール変性キシレン樹脂およびテルペンフェノール樹脂が好ましい。その中でも水添テルペンフェノールは耐薬品性に優れるためより好ましい。前記水添テルペンフェノールは、水酸基価が５０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、６０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、６５〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。水酸基価が５０ｍｇＫＯＨ／ｇより小さい場合には、研磨材やプラスチック基材への密着性が低くなりやすい。一方、１８０ｍｇＫＯＨ／ｇを超える場合には、感圧接着剤層が硬くなりすぎて、感圧接着剤層の微小な表面粗さを緩和しにくくなる恐れがある。
【００５１】
また、フェノール骨格を有する樹脂の軟化点は、６０〜１８０℃であることが好ましく、７０〜１６０℃であることが好ましく、さらに好ましくは１００〜１５０℃である。
【００５２】
フェノール骨格を有する樹脂は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して５〜５０重量部使用することが好ましく、５〜４５重量部使用することがより好ましく、１０〜４５重量部使用することがさらに好ましい。
【００５３】
また、本発明においては、上記緩和弾性率と耐薬品性等を低下させない範囲内で、フェノール骨格を有する粘着付与樹脂以外のロジン系樹脂、テルペン系樹脂、芳香族系石油系樹脂および脂肪族系石油樹脂等を併用することもできる。
【００５４】
ロジン系樹脂としては、天然ロジン、ロジンエステル、水添ロジン、水添ロジンエステル、重合ロジン、重合ロジンエステル、不均化ロジン、不均化ロジンエステル等が挙げられる。
【００５５】
テルペン系樹脂としては、α−ピネン樹脂、β−ピネン樹脂、等が挙げられる。
【００５６】
芳香族系石油樹脂としては、スチレンオリゴマー、α−メチルスチレン／スチレン共重合体等が挙げられる。
【００５７】
さらに本発明における感圧接着剤は各種の添加剤等を含有することが可能である。例えば、シランカップリング剤、界面活性剤、消泡剤、可塑剤、着色剤、フィラー、撥水剤等である。
【００５８】
本発明における感圧接着剤層（ａ）の溶剤不溶分は、５〜３０％であることが好ましく、１０〜２５％であることがより好ましい。５％未満のときは、感圧接着剤層（ａ）の凝集力が不足する恐れがある。一方、１０重量部を超えると、研磨材や感圧接着シートの微小な表面粗さを緩和しにくくなる。
【００５９】
本発明の両面感圧接着シートは、プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）を形成し、他方の面に感圧接着剤層（ａ）を形成されたものである。前記プラスチック基材としては、平坦な形状のプラスチックシートを用いることができる。
【００６０】
前記プラスチックシートは、例えばポリビニルアルコールフィルムやトリアセチルセルロースフィルム、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリシクロオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体などのポリオレフィン系樹脂のフィルム、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂のフィルム、ポリカーボネート系樹脂のフィルム、ポリノルボルネン系樹脂のフィルム、ポリアリレート系樹脂のフィルム、アクリル系樹脂のフィルム、ポリフェニレンサルファイド樹脂のフィルム、ポリスチレン樹脂のフィルム、ビニル系樹脂のフィルム、ポリアミド系樹脂のフィルム、ポリイミド系樹脂のフィルム、エポキシ系樹脂のフィルムなどが使用できる。またこれらは単独でも用いることもできるし、複数を積層して用いることもできる。さらにその表面をコロナ処理やマット処理したものを用いることもできる。
【００６１】
プラスチック基材は、研磨工程における応力や熱によって変形しにくいものがよく、ヤング率が１ＧＰａ〜６ＧＰａが好ましく、２ＧＰａ〜６ＧＰａがより好ましい。さらに好ましくは３ＧＰａ〜５ＧＰａである。
【００６２】
プラスチック基材は厚みムラの無いものが好ましく、厚み精度は±１０％以内が好ましく、±５％以内がより好ましく、±３％以内がさらに好ましい。
【００６３】
本発明の研磨材固定用両面感圧接着シートは、感圧接着剤を剥離シート上にコーティングし、乾燥し、感圧接着剤層を設けた後、該感圧接着剤層とプラスチック基材とを貼り合わせ、感圧接着剤層をシート基材上に転写する方法、あるいはプラスチック基材に直接感圧接着剤をコーティング、乾燥して剥離シートを張り合わせる方法、あるいは両方の方法を片方ずつ用いて得られることが好ましい。また感圧接着剤層（ａ）および（ｂ）の片面あるいは両面には、剥離処理された紙剥離シートが積層されることが好ましい。
【００６４】
感圧接着剤をコーティングする方法としては、例えば、コンマコーター、ブレードコーター、グラビアコーター等のロールコーター、スロットダイコーター、リップコーター、カーテンコーター等のコーティング装置を用いることができる。
【００６５】
感圧接着剤層（ａ）の乾燥厚さは、１０〜１００μｍであることが重要であり、１５〜９０μｍであることが好ましく、２０〜８０μｍであることがより好ましい。
【実施例】
【００６６】
以下に、本発明の具体的な実施例を比較例と併せて説明するが、本発明は、下記実施例に限定されない。また、下記実施例および比較例中、「部」および「％」は、それぞれ「重量部」および「重量％」を表す。
【００６７】
（合成例１）
ラジカル重合性不飽和モノマーとしてアクリル酸ブチル：３０部、アクリル酸２−エチルヘキシル：１５部、アクリル酸メチル：４部、アクリル酸：１部を、さらに酢酸エチル：４６部、ベンゾイルパーオキサイド：０．０２部を混合し、滴下槽に仕込んだ。
加熱装置、撹拌機、還流冷却装置、温度計、窒素導入管および滴下槽を備えた重合用容器にアクリル酸ブチル：３０部、アクリル酸２−エチルヘキシル：１５部、アクリル酸メチル：４部、アクリル酸：１部、酢酸エチル：１８部、トルエン：１８部、ベンゾイルパーオキサイド：０．０２部を仕込み、重合槽内の空気を窒素ガスで置換した後、攪拌しながら窒素雰囲気下、還流温度下で滴下を開始した。滴下終了後、さらに攪拌しながら重合率が８０％に達したところで、ベンゾイルパーオキサイド０．０４部を添加し、重合率が９９％以上になるまで５時間反応を続けた。
【００６８】
次いで、酢酸エチル４０部を加えて室温まで冷却し、反応を終了した。この反応溶液は、無色透明で固形分４４．８重量％、粘度２００００ｍＰａ・ｓであり、共重合体の重量平均分子量は６５０，０００であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成から得られるポリマーの、理論的に求められるガラス転移温度は−５３．５℃である。不揮発分、重量平均分子量は以下の方法に従って求めた。
【００６９】
＜不揮発分の測定＞
各反応溶液約１ｇを金属容器に秤量し、１５０℃オーブンにて２０分間乾燥して、残分を秤量して残率計算をし、不揮発分濃度とした。
【００７０】
＜粘度の測定＞
各反応溶液を２５℃中でＢ型粘度計（東京計器社製）にて、１２ｒｐｍ、１分間回転の条件で測定した。
【００７１】
＜重量平均分子量の測定＞
ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー；ＨＰＣ−８０２０  東ソー社製）を用いた。ＧＰＣは溶媒（テトラヒドロフラン）に溶解した物質をその分子サイズの差によって分離定量する液体クロマトグラフィーであり、重量平均分子量の決定はポリスチレン換算で行った。
【００７２】
（合成例２）
ラジカル重合性不飽和モノマーとしてアクリル酸ブチル：３０部、アクリル酸２−エチルヘキシル：１５部、アクリル酸メチル：４部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：１部を、さらに酢酸エチル：４６部、ベンゾイルパーオキサイド：０．０２部を混合し、滴下槽に仕込んだ。
加熱装置、撹拌機、還流冷却装置、温度計、窒素導入管および滴下槽を備えた重合用容器にアクリル酸ブチル：３０部、アクリル酸２−エチルヘキシル：１５部、アクリル酸メチル：４部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：１部、酢酸エチル：１８部、トルエン：１８部、ベンゾイルパーオキサイド：０．０２部を仕込み、重合槽内の空気を窒素ガスで置換した後、攪拌しながら窒素雰囲気下、還流温度下で滴下を開始した。滴下終了後、さらに攪拌しながら重合率が８０％に達したところで、ベンゾイルパーオキサイド０．０４部を添加し、重合率が９９％以上になるまで５時間反応を続けた。
【００７３】
次いで、酢酸エチル４０部を加えて室温まで冷却し、反応を終了した。この反応溶液は、無色透明で固形分４４．６重量％、粘度７０００ｍＰａ・ｓであり、共重合体の重量平均分子量は５５０，０００であった。尚、上記ラジカル重合性不飽和モノマーの組成から得られるポリマーの、理論的に求められるガラス転移温度は−５４．６℃である。
【００７４】
（実施例１）
合成例１で得られたアクリル系ポリマー溶液１００重量部に対して水酸基価：１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ、軟化点１１２℃のテルペンフェノール系樹脂であるシルバレスＴＰ３００（Ａｒｉｚｏｎａ Ｃｈｅｍｉｃａｌ社製）を１５重量部、酢酸エチル：１５重量部、架橋剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体：０．７重量部を添加及び混合して感圧接着剤を作製した。
この感圧接着剤を紙剥離ライナー（以下、剥離ライナーという）に塗工乾燥して、乾燥膜厚４０μｍの感圧接着剤層が形成された感圧接着剤層キャストフィルムを得た。
【００７５】
一方、上記感圧接着剤を紙剥離ライナーに塗工、乾燥し、乾燥膜厚４０μｍの感圧接着剤層を形成した。そしてプラスチック基材として厚み２５μｍのＰＥＴフィルム（ヤング率４ＧＰａ）をラミネートし、紙剥離ライナー／感圧接着剤層（ａ）／プラスチック基材の片面感圧接着シートを得た。さらに、厚さ３８μｍのフィルム剥離ライナーに上記感圧接着剤を乾燥膜厚が４０μｍになるように塗工乾燥させ、得られた片面感圧接着シートのプラスチック基材面にラミネートして、両面感圧接着シートを得た。
【００７６】
＜溶剤不溶分の測定＞
感圧接着剤キャストフィルムを秤量した２００メッシュのステンレス製金網（重量Ｗ０）に貼り付け秤量した重量Ｗ１と、ステンレス製金網に貼り付けた試料を酢酸エチル中で５時間還流抽出後、１００℃で１時間乾燥させ秤量した重量Ｗ２とから、下記の式で溶剤不溶分を算出した。
溶剤不溶分（％）＝［（Ｗ２−Ｗ０）／（Ｗ１−Ｗ０）］×１００
【００７７】
＜感圧接着剤層の緩和弾性率測定＞
感圧接着剤キャストフィルムを数回重ね合わせることで厚さが約１ｍｍの感圧接着剤層サンプルを作製した。
緩和弾性率測定はＴＡ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製ＡＲＥＳにて、４０℃雰囲気下、歪み２０％、１時間の条件で行った。
両対数グラフから近似直線ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝−０．１９ｌｏｇ ｔ＋Ｂを得た。
【００７８】
＜両面感圧接着シートの緩和弾性率測定＞
両面感圧接着シートを１０枚重ね合わせて厚さが約１ｍｍのサンプルを作製した。
緩和弾性率測定はＴＡ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製ＡＲＥＳにて、４０℃雰囲気下、歪み２０％、１時間の条件で行った。
両対数グラフから近似直線ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝−０．２７ｌｏｇ ｔ＋Ｄを得た。
【００７９】
＜接着力評価試料作製＞
両面感圧接着シートを幅２５ｍｍ、長さ１００ｍｍに裁断し、非測定面であるフィルム剥離ライナー側感圧接着剤層に厚さ２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた。
【００８０】
＜耐薬品性＞
薬品浸漬前接着力
上記接着力評価試料を４０℃雰囲気下に約１時間放置した後、同雰囲気下で紙剥離ライナー側感圧接着剤層をステンレス板に貼り、２ｋｇロールを１往復通過して圧着した。
圧着して２０分後、引張試験機を用いて、１８０度方向へ３００ｍｍ／分の速度で引き剥がし、その強度を記録した。
薬品浸漬後接着力
上記接着力評価試料の紙剥離ライナーを剥がして、ｐＨ１１のＫＯＨ水溶液及びｐＨ１．５の硫酸中にそれぞれ４０℃で２４時間浸漬した。４０℃雰囲気下で各薬品から取り出してすぐにステンレス板に上記同様の条件で貼り合わせ、圧着して２０分後、引張試験機を用いて、１８０度方向へ３００ｍｍ／分の速度で引き剥がし、その強度を記録した。
【００８１】
＜保持力＞
接着力評価試料の紙剥離ライナー側感圧接着剤層をＪＩＳ−Ｚ１５２８準拠で測定した（８０℃、荷重１ｋｇ、貼り付け面積２５ｍｍ×２５ｍｍ、対ステンレス板）。
【００８２】
＜微小粗さ緩和前の表面粗さ測定＞
両面感圧接着シートの紙剥離ライナーを剥がし、感圧接着剤層の表面粗さＲａをレーザー変位計ＬＴ−８０１０（キーエンス社製）にて測定した。
【００８３】
＜微小粗さ緩和後の表面粗さ測定＞
両面感圧接着シートの紙剥離ライナーを剥がし、フィルム剥離ライナー（表面粗さＲａ＝０．２μｍ）の剥離処理面を貼りあわせ、２００ｇ／ｃｍ2の圧力で１時間圧着した。圧着後、このフィルム剥離ライナーを剥がし、感圧接着剤層の表面粗さＲａをレーザー変位計にて測定した。
評価基準として、緩和後のＲａは小さいほど平滑であることを意味しており、緩和前後の変化量が大きいことがよい。
【００８４】
これらの測定結果を表１に示す。
【００８５】
（実施例２）
実施例１で用いた感圧接着剤を紙剥離ライナーに塗工乾燥して、乾燥膜厚４０μｍの感圧接着剤層が形成された感圧接着剤層キャストフィルムを得た。
【００８６】
また、上記感圧接着剤を紙剥離ライナーに塗工、乾燥し、乾燥膜厚４０μｍの感圧接着剤層を形成した。そしてプラスチック基材として厚み２５μｍのＰＥＴフィルム（ヤング率４ＧＰａ）をラミネートし、紙剥離ライナー／感圧接着剤層（ａ）／プラスチック基材の片面感圧接着シートを得た。
【００８７】
さらに、厚さ３８μｍのフィルム剥離ライナーにゴム系感圧接着剤（緩和弾性率ｌｏｇＧ（ｔ）＝−０．１４ｌｏｇ  ｔ＋Ｄ'）を塗工乾燥させ、得られた片面感圧接着シートのプラスチック基材面にラミネートして、両面感圧接着シートを得た。
【００８８】
（実施例３）
プラスチック基材として、厚み３０μｍのポリプロピレンフィルム（ヤング率２ＧＰａ）を使用した他は、実施例１と同様にして、感圧接着剤キャストフィルムと両面感圧接着シートを得た。
【００８９】
（実施例４）
合成例２で得られたアクリル系ポリマー溶液１００重量部に対して水酸基価：１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ、軟化点１１２℃のテルペンフェノール系樹脂であるシルバレスＴＰ３００を１５重量部、酢酸エチル：１５重量部、架橋剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体：０．４３重量部を添加及び混合して感圧接着剤を作製した。この感圧接着剤を紙剥離ライナーに塗工乾燥して、乾燥膜厚４０μｍの感圧接着剤層が形成された感圧接着剤層キャストフィルムを得た。
【００９０】
次に上記感圧接着剤を紙剥離ライナーに塗工、乾燥し、乾燥膜厚４０μｍの感圧接着剤層を形成した。そしてプラスチック基材として厚み２５μｍのＰＥＴフィルム（ヤング率４ＧＰａ）をラミネートし、紙剥離ライナー／感圧接着剤層（ａ）／プラスチック基材の片面感圧接着シートを得た。さらに、厚さ３８μｍのフィルム剥離ライナーに上記感圧接着剤を乾燥膜厚が４０μｍになるように塗工乾燥させ、得られた片面感圧接着シートのプラスチック基材面にラミネートして、両面感圧接着シートを得た。
【００９１】
（実施例５）
実施例３の架橋剤の添加量を０．２２重量部に変更して感圧接着剤を作製した。他は、実施例１と同様にして、感圧接着剤キャストフィルムと両面感圧接着シートを得た。
【００９２】
（比較例１）
合成例２で得られたアクリル系ポリマー溶液１００重量部に対して水酸基価：１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ、軟化点１１２℃のテルペンフェノール系樹脂であるシルバレスＴＰ３００を１５重量部、酢酸エチル：１５重量部、架橋剤としてＮ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'，−テトラグリシジル−メタ−キシリレンジアミン：０．５重量部を添加及び混合して感圧接着剤を作製した。他は、実施例１と同様にして、感圧接着剤キャストフィルムと両面感圧接着シートを得た。
【００９３】
（比較例２）
架橋剤を使用せずに感圧接着剤を作製し、他は、実施例１と同様にして、感圧接着剤キャストフィルムと両面感圧接着シートを得た。
【００９４】
（比較例３）
プラスチック基材として、厚み５０μｍのポリエチレンフィルム（ヤング率０．５ＧＰｃ）を使用した他は、実施例１と同様にして、感圧接着剤キャストフィルムと両面感圧接着シートを得た。
【００９５】
（比較例４）
合成例２で得られたアクリル系ポリマー溶液１００重量部に対して水酸基価：０ｍｇＫＯＨ／ｇ、酸化：１２ｍｇ／ｇ、軟化点１２５℃のロジンエステル系樹脂であるペンセルＤ−１２５（荒川化学社製）を１５重量部、酢酸エチル：１５重量部、架橋剤としてトリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンアダクト体：０．４３重量部を添加及び混合して感圧接着剤を得た。他は、実施例３と同様にして、感圧接着剤キャストフィルムと両面感圧接着シートを得た。
【００９６】
実施例２〜５および比較例１〜４は、実施例１と同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００９７】
【表１】
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【００９８】
表１の結果より、比較例１〜４は、緩和弾性率の近似直線が所定の傾きが得られなかったため、表面の粗さが緩和できない結果や、感圧接着剤層界面に薬液が侵入し、接着力測定で糊残りが発生する結果が得られたため研磨材固定用として用いるのは困難である。
これに対して、実施例１〜５は、緩和弾性率の近似直線が所定の傾きであったことで、耐薬液性や表面の粗さの緩和について良好な結果が得られた。したがって研磨材固定用両面感圧接着シートとして好適に使用できることがわかる。