(57)【要約】【課題】研削時等における素材の傾きを抑制することができる球状素材を得る。【解決手段】球形状の本体部５１を有する球状素材４５は、本体部５１の表面に形成されたリング状の第１の凸状帯部４６と、本体部５１の表面であって第１の凸状帯部４６を境界とした両側に形成されたリング状の第２の凸状帯部４７とを有している。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
球形状の本体部を有する球状素材において、
前記本体部の表面に形成されたリング状の第１の凸状帯部と、
前記本体部の表面であって前記第１の凸状帯部を境界とした両側に形成された凸状部と、を有する
ことを特徴とする球状素材。
【請求項２】
前記凸状部はリング状の第２の凸状帯部である
ことを特徴とする請求項１に記載の球状素材。
【請求項３】
前記第１の凸状帯部と前記凸状部とは、前記本体部の表面から突出する高さが等しい
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の球状素材。
【請求項４】
前記凸状部を複数有し、これら凸状部の前記本体部の表面から突出する高さは、前記第１の凸状帯部の前記本体部の表面から突出する高さよりも高い
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の球状素材。
【請求項５】
成形素材を球形状の本体部を有する球状素材とする球状素材の製造方法において、
加熱された成形素材を、成形面に凹部を有する一対の成形用型の間隔が所定間隔となるまでプレス成形することによって、
前記本体部の表面にリング状の第１の凸状帯部を形成すると共に、前記本体部の表面であって前記第１の凸状帯部を境界とした両側に凸状部を形成する
ことを特徴とする球状素材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球形状の本体部を有する球状素材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、球形研磨素材（ボール研磨素材）の製造においては、板状素材を賽の目状に切り出した後、バレル研削にて所望の研磨仕上がり径よりも「研磨取り代」の分だけ大きい径に粗球化し、仕上げ研磨工程で仕上げていた。しかし、賽の目状態から粗球状態に至るまでには、バレル研削に時間を要することや、駄肉（材料損失）の量が多いという不具合があった。
【０００３】
そこで、球状研磨素材の製造に際し、ガラス成形の技術にて光学素材を粗球化することで削り代を少なくすることが考えられた。この成形技術により、研磨前の研削、或いは砂摺り工程の加工時間を大幅に短縮することが可能となる。なお、リヒート（プレス）成形では、固形ガラス、例えばゴブ状のガラス素材を再加熱して成形するが、ダイレクト（プレス）成形のように溶融ガラスを直接成形する場合であっても同様である。
【０００４】
一方、ガラス成形の技術を用いて光学素材を粗球化すると、特許文献１で提案されているように、球状素材１４５には、一対の成形用型の型合わせ面の間に凸状の帯部１４６が形成される（図１０参照）。
【０００５】
また、この球状素材１４５に生じた凸状帯部１４６をバレル研削等で削るとき、球状素材１４５の機能面の径φＤ０と凸状帯部１４６の径φＤ１とでは、素材と研削面との間に接触角度の差が生じる。このため、図１１に示すように、球状素材１４５を研削した後の形状は真球ではなく断面が楕円状の楕円素材１４５’となってしまう。
【０００６】
なお、この楕円素材１４５’を修正して真球を得るには、削り速度を低速化する方法や取り代を増やすなどの手法をとる必要がある。
【特許文献１】特開平６−１５５５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、削り速度を低速化等したのでは、研磨前の研削加工時間、或いは砂摺り工程の加工時間が長くなってしまう。すなわち、削り代を少なくしたにもかかわらず、加工時間の短縮効果が薄れることになる。
【０００８】
また、成形工程において、型合わせ面での凸部の発生を回避するには、素材の体積管理を厳しく制限するなど工程管理作業が増加する。
本発明は斯かる課題を解決するためになされたもので、研削時等における素材の傾きを抑制することができる球状素材及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、
球形状の本体部を有する球状素材において、
前記本体部の表面に形成されたリング状の第１の凸状帯部と、
前記本体部の表面であって前記第１の凸状帯部を境界とした両側に形成された凸状部と、を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の球状素材において、
前記凸状部はリング状の第２の凸状帯部であることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の球状素材において、
前記第１の凸状帯部と前記凸状部とは、前記本体部の表面から突出する高さが等しいことを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項１又は２に記載の球状素材において、
前記凸状部を複数有し、これら凸状部の前記本体部の表面から突出する高さは、前記第１の凸状帯部の前記本体部の表面から突出する高さよりも高いことを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係る発明は、成形素材を球形状の本体部を有する球状素材とする球状素材の製造方法において、
加熱された成形素材を、成形面に凹部を有する一対の成形用型の間隔が所定間隔となるまでプレス成形することによって、
前記本体部の表面にリング状の第１の凸状帯部を形成すると共に、前記本体部の表面であって前記第１の凸状帯部を境界とした両側に凸状部を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、研削時等における素材の傾きを抑制することができる球状素材を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
［第１の実施の形態］
図１は、本実施形態における球状素材の製造装置の概略構成を示す図である。
【００１５】
この製造装置１０は真空成形室１１を有し、この真空成形室１１内には加熱ステージ１２、プレスステージ１３、及び冷却ステージ１４が設けられている。後述する型セット３０は、これら加熱ステージ１２、プレスステージ１３、及び冷却ステージ１４の順に移送されて成形が行われる。
【００１６】
真空成形室１１の入口側と出口側には、夫々搬入ステージ１７と搬出ステージ１８が設けられている。この搬入ステージ１７から真空成形室１１への型セット３０の搬入、及び真空成形室１１から搬出ステージ１８への搬出は、上下に開閉自在なシャッタ１５，１６を介して行われる。
【００１７】
搬入ステージ１７には、真空チャンバ１９が設けられている。この真空チャンバ１９にはホース２０を介して真空ポンプ２１が接続されている。この真空ポンプ２１により、真空チャンバ１９内の真空度は任意に設定することができる。なお、真空下で成形するのは、型セット３０や内部の成形素材３１（図４Ａ参照）の酸化防止、及びガス溜り等を防止するためである。
【００１８】
型セット３０は、この真空チャンバ１９内で組み込まれる。組み込まれた型セット３０は、入口側のシャッタ１５を開いて真空成形室１１内に搬入される。このとき、真空成形室１１内の真空度が維持されるように考慮されている。真空成形室１１から型セット３０を搬出するときも同様である。
【００１９】
加熱ステージ１２は、離間して上下に対向する一対の上プレート２２１及び下プレート２３１と、下プレート２３１を下方から支持する基台２４とを有している。こうして、上プレート２２１及び下プレート２３１間に型セット３０が搬入されて載置される。
【００２０】
上プレート２２１と下プレート２３１には、夫々上カートリッジヒータ２５１と下カートリッジヒータ２６１が内蔵されている。これら上・下のカートリッジヒータ２５１，２６１により、型セット３０が所定温度に加熱される。
【００２１】
また、上プレート２２１には、この上プレート２２１を上下（対向）方向に駆動するシリンダ２７１が一体的に設けられている。
こうして、型セット３０は、シリンダ２７１による上プレート２２１の昇降動作により挟持、挟圧等の動作が行われる。
【００２２】
プレスステージ１３１及び冷却ステージ１４１も同様の構成を有している。このため、加熱ステージ１２と同一又は相当する部材には、夫々の符号に下付き符号２，３を付して説明を省略する。
【００２３】
また、プレスステージ１３では、上プレート２２２及び下プレート２３２間に載置された型セット３０が押圧されて、内部の成形素材３１が所定形状に成形される。
プレスステージ１３には、シリンダ２７２の移動量を測定する測定手段としての測定スケール３３が設けられている。この測定スケール３３の先端部は、シリンダ２７２の作動ロッド２８から突出されたピン２９に当接されている。この測定スケール３３は制御部３４に接続され、測定スケール３３で測定された信号は制御部３４に入力されるようになっている。
【００２４】
これにより、詳しくは後述するが、成形素材３１の体積に応じて、型セット３０の型合わせ面３６ｄ，３８ｄの間に生じる第１の凸状帯部４６の球形状の本体部５１の表面からの突出量を高精度で制御することができる。
【００２５】
さらに、冷却ステージ１４では、上プレート２２３及び下プレート２３３が型セット３０を挟持することで、型セット３０は所定の温度まで冷却される。これにより、成形された成形品の歪取りや形状安定化が図られることになる。
【００２６】
図２は、型セット３０の分解斜視図であり、図３Ａは上型３６の外観斜視図、図３Ｂは下型３８の外観斜視図である。
図２、図３Ａ、及び図３Ｂに示すように、型セット３０は、上型３６、下型３８、及びスリーブ４０を有している。成形用型としての上型３６及び下型３８は、スリーブ４０の内部で、それぞれの成形面３６ａ，３８ａが対向するようにスリーブ４０の両端側から嵌挿されている。上型３６は円柱状をなし、その先端に凹球面状の成形面３６ａが形成されている。また、成形面３６ａの外側には、平面状の型合わせ面３６ｄが形成されている。
【００２７】
この成形面３６ａには、円柱状の型の中心で交差するよう（本実施の形態では直交方向）に２本の溝（凹部）３６ｂ，３６ｃが形成されている。また、上型３６の外周部には軸方向にキー溝３７が穿設されている。
【００２８】
また、下型３８も円柱状をなし、その先端に凹球面状の成形面３８ａが形成されている。さらに、成形面３８ａの外側には、平面状の型合わせ面３８ｄが形成されている。この成形面３８ａには、円柱状の型の中心で交差するよう（本実施の形態では直交方向）に２本の溝（凹部）３８ｂ，３８ｃが形成されている。また、下型３８の外周部には軸方向にキー溝３９が穿設されている。本実施形態では、これら上型３６の溝３６ｂ，３６ｃと下型３８の溝３８ｂ，３８ｃの溝深さは全て等しく形成されている。なお、成形面３６ａ，３８ａは同一の曲率半径を有している。
【００２９】
スリーブ４０は円筒状をなし、その内周部には軸方向にキー溝４１が穿設されている。
こうして、型セット３０の組立状態では、これら上型３６、下型３８、及びスリーブ４０の夫々のキー溝３７，３９，４１に位置決め用のキー４２が嵌入される。なお、位置決め用のキー４２は、成形用型の外周部に一体的に設けても良いし、スリーブ４０の内周部に一体的に設けても良い。これにより、上型３６、下型３８、及びスリーブ４０は、型の中心軸Ｏと同軸上に配置され、かつ中心軸Ｏの周りの位相が一致した状態で組み立てられる。なお、上型３６は、スリーブ４０の軸方向に摺動可能となっている。また、上型３６、下型３８、及びスリーブ４０は、タングステンカーバイド（ＷＣ）等の超硬合金を研磨して仕上げられている。
【００３０】
次に、図４Ａは成形前の型セット３０の断面正面図であり、図４Ｂは成形後の型セット３０の断面正面図である。また、図５は成形後の球状素材４５の外観を示す図であり、図６は球状素材４５を研削・研磨してできた真球素材５０の外観を示す図である。また、図７は、第１の凸状帯部４６と第２の凸状帯部４７２が１本ずつ形成された球状素材４５の外観を示す図である。
【００３１】
図４Ａに示すように、上型３６の成形面３６ａと下型３８の成形面３８ａとの間には、所定形状の成形素材３１が配置される。本実施形態では、この成形素材３１として円柱状のガラス素材が用いられている。ただし、形状はこれに限らず、例えば球状のガラス素材等であっても良い。この成形素材３１には市販の光学ガラスが用いられている。ただし、ガラスに限らず、例えば合成樹脂（熱可塑性樹脂）等の光学素材であってもよい。
【００３２】
次に、成形素材３１が載置された型セット３０（図１参照）を搬入ステージ１７から加熱ステージ１２に搬入して加熱する。さらに成形素材３１が載置された型セット３０をプレスステージ１３に移動させ成形可能な温度まで加熱する。その後、図１に示すプレスステージ１３の測定スケール３３によって上型３６の移動量を測定しながら、上型３６を下降させる。
【００３３】
そして、図４Ａに示すように、成形素材３１が上型３６の成形面３６ａと下型３８の成形面３８ａとでプレス成形され、図４Ｂに示すように、上型３６の移動量が所定量すなわち上型３６の型合わせ面３６ｄと下型３８の型合わせ面３８ｄとが所定間隔になった時点で、上型３６の下降を停止させる。
【００３４】
このときの型合わせ面３６ｄと型合わせ面３８ｄとの間隔によって、第１の凸状帯部４６の球形状の本体部５１の表面からの突出量（高さ）が決定する。
また、上型３６の２本の溝３６ｂ，３６ｃによって、後述する第２の凸状帯部（凸状部）４７１の半分と第２の凸状帯部（凸状部）４７２の半分が成形され、下型３８の２本の溝３８ｂ，３８ｃによって、第２の凸状帯部４７１の残り半分と第２の凸状帯部４７２の残り半分が成形される。
【００３５】
その後、型セット３０を冷却ステージ１４で冷却し、搬出ステージ１８へ排出する。
図４Ｂ及び図５に示すように、成形後の球状素材４５は、球形状の本体部５１の表面に形成される帯状に突出するリング状の第１の凸状帯部４６と、本体部５１の表面であって第１の凸状帯部４６を境界とした両側に形成される帯状に突出するリング状の第２の凸状帯部４７１，４７２とを有している。第１の凸状帯部４６は型合わせ面３６ｄ，３８ｄの間に形成されている。
【００３６】
これら第１の凸状帯部４６と第２の凸状帯部４７１、第１の凸状帯部４６と第２の凸状帯部４７２、第２の凸状帯部４７１と第２の凸状帯部４７２は、夫々が交差（本実施の形態では直交）するように形成されている。
【００３７】
また、第１の凸状帯部４６と第２の凸状帯部４７１とが交差する２点を結ぶ直線、第１の凸状帯部４６と第２の凸状帯部４７２とが交差する２点を結ぶ直線、第２の凸状帯部４７１と第２の凸状帯部４７２とが交差する２点を結ぶ直線は、全て球形状の本体部５１の球心を通るようにするのが好ましい。
【００３８】
ところで、体積管理されている成形素材３１であっても、ある程度の体積誤差は避けられない。このため、型合わせ面３６ｄ，３８の間に余分な体積分が第１の凸状帯部４６として形成されるのである。ここで、第１の凸状帯部４６の高さをｈ０とする。また、第２の凸状帯部４７１，４７２は、上型３６及び下型３８に夫々形成された２本の溝３６ｂ，３６ｃ、溝３８ｂ，３８ｃによって形成される。この第２の凸状帯部４７１，４７２の夫々の高さをｈ１、ｈ２とする。
【００３９】
すると、第１の凸状帯部４６の高さｈ０と、第２の凸状帯部４７１，４７２の高さｈ１、ｈ２は等しく形成されている。すなわち、ｈ０＝ｈ１＝ｈ２となっている。このように、球状素材４５を成形してラップ盤等により研削・研磨することで、図６に示すような真球素材５０を得ることができる。
【００４０】
ただし、第２の凸状帯部４７１，４７２は２つ以上有していてもよい。この場合は、第１の凸状帯部４６と、複数の第２の凸状帯部４７の高さが全て等しいか、または、複数の第２の凸状帯部４７の高さが第１の凸状帯部４６の高さよりも高ければよい。このとき、少なくとも２本の凸状帯部（高凸状帯部と称する）の高さを等しくし、その他の凸状帯部（低凸状帯部と称する）の高さを高凸状帯部よりも低く設定するとよい。これは、後工程であるラップ盤等による研削・研磨の際に、球状素材４５と研削面との間に接触角度の差が生じないようにするためである。すなわち、ラップ盤等による研削・研磨の際に、球状素材４５は、少なくとも２本の高さが等しい上記高凸状帯部によってスムーズに転がり、全ての凸状帯部が効率よく研削・研磨され、高精度な真球素材５０となる。
【００４１】
なお、複数の第２の凸状帯部４７の高さを、第１の凸状帯部４６の高さよりも高くする場合は、前述したシリンダ２７２の測定スケール３３は省略することができる。この場合は、第１の凸状帯部４６の高さを精度よく仕上げる必要がないからである。
【００４２】
なお、図４Ａ及び図４Ｂでは、第２の凸状帯部４７１，４７２が２本形成された場合を示しているが、これに限らない。
例えば、図７に示すように、第１の凸状帯部４６に対し、交差（本実施の形態では直交）するように形成された１つの第２の凸状帯部４７２のみが形成された場合であってもよい。この図７の場合は、第１の凸状帯部４６の高さｈ０と第２の凸状帯部４７２の高さｈ２は等しくする。
【００４３】
この場合、前述したシリンダ２７２の測定スケール３３を用いて、第１の凸状帯部４６の高さｈ０を高精度に設定する必要がある。そのためには、下型３８に対する上型３６の移動量を規制し、型合わせ面３６ｄ、３８ｄにおける突出量を制御して、第１の凸状帯部４６の高さｈ０を第２の凸状帯部４７２の高さｈ２と一致するように制御する。
【００４４】
以上説明した通り、本実施形態によれば、上型３６及び下型３８に、夫々２本の溝３６ｂ，３６ｃ及び２本の溝３８ｂ，３８ｃを形成したので、成形時に空気やガス溜りになりやすい形状のプリフォームを用いたとしても、これらの溝から空気やガスを逃がすことができるので、光学機能面に転写不良を発生させない良質な球状研磨素材４５を得ることができる。
【００４５】
また、球状素材４５の本体部５１の表面に第１の凸状帯部４６と第２の凸状帯部４７を設けたことで、後工程であるバレル研削、或いは砂摺り時の球状素材４５と研削面との間の傾きを抑え、少ない研削代を実現することで、少ない研磨代で安価に真球度のよい球状研磨素材を得ることができる。この球状研磨素材を更にラップ盤等で研磨すれば、真球に近い真球素材５０を得ることができる。なお、球状素材４５に対してラップ盤等で研削・研磨を同時に行い、真球素材５０とすることも可能である。
［第２の実施の形態］
図８は、第２の実施の形態の球状素材の外観を示す図である。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。
【００４６】
本実施形態の球状素材４５は、球形状の本体部５１の表面に第１の凸状帯部４６と、凸状部としての多数の点状凸部４８とを有している。第１の凸状帯部４６は、型合わせ面３６ｄ，３８ｄの間に形成されるものである。これら多数の点状凸部４８は、第１の凸状帯部４６を境界とした両側（夫々の半球側）に略等密度に分布しているのが好ましい。
【００４７】
このような球状素材４５を成形するには、図示は省略するが、上型３６の成形面３６ａと下型３８の成形面３８ａとの夫々に、点状凸部４８を成形するために点状凸部４８を反転した形状の多数の凹部を形成することで実現される。
【００４８】
また、この点状凸部４８の高さは第１の凸状帯部４６と等しいか、又は、第１の凸状帯部４６の高さよりも高く設定するのが好ましい。第１の凸状帯部４６と点状凸部４８の高さを等しくするには、前述したシリンダ２７２の測定スケール３３を用いて、第１の凸状帯部４６の高さを高精度に設定すればよい。
【００４９】
本実施形態によれば、球状素材４５の本体部５１の表面に第１の凸状帯部４６と多数の点状凸部４８を設けたことで、後工程であるバレル研削、或いは砂摺り時の球状素材４５の傾きを抑え、少ない研削代を実現することで、短納期で安価に真球度のよい球状研磨素材を得ることができる。なお、球状素材４５に対してラップ盤等で研削・研磨を同時に行い、真球素材５０とすることも可能である。
［第３の実施の形態］
図９は、第３の実施の形態の球状研磨素材の外観を示す図である。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。
【００５０】
本実施形態の球状研磨素材４５は、球形状の本体部５１の表面に第１の凸状帯部４６と、凸状部としての多数の輪状凸部４９とを有している。第１の凸状帯部４６は、型合わせ面３６ｄ，３８ｄの間に形成されるものである。これら多数の輪状凸部４９は、第１の凸状帯部４６を境界とした両側（夫々の半球側）に略等密度に分布しているのが好ましい。
【００５１】
このような球状研磨素材４５を成形するには、図示は省略するが、上型３６の成形面３６ａと下型３８の成形面３８ａとの夫々に、輪状凸部４９を成形するために輪状凸部４９を反転した形状の多数の凹部を形成する。
【００５２】
また、この輪状凸部４９の高さは第１の凸状帯部４６と等しいか、又は、第１の凸状帯部４６の高さよりも高く設定する。第１の凸状帯部４６と輪状凸部４９の高さを等しくするには、前述したシリンダ２７２の測定スケール３３を用いて、第１の凸状帯部４６の高さを高精度に設定すればよい。なお、本実施形態では、多数の輪状凸部４９が連続してつながっているが、これに限らない。例えば、多数の輪状凸部４９が独立して本体部５１の表面に配置されていてもよい。
【００５３】
本実施形態によれば、上型３６及び下型３８に、輪状凸部４９を成形するための多数の
凹部を形成したので、成形時に空気やガス溜りになりやすい形状のプリフォームを用いても、これらの凹部から空気やガスを逃がすことができるので、光学機能面に転写不良を発生させない良質な球状研磨素材４５を得ることができる。
【００５４】
また、球状素材４５の本体部５１の表面に第１の凸状帯部４６と多数の輪状凸部４９を設けたことで、後工程であるバレル研削、或いは砂摺り時の球状素材４５の傾きを抑え、少ない研削代を実現することで、短納期で安価に真球度のよい球状研磨素材を得ることができる。なお、球状素材４５に対してラップ盤等で研削・研磨を同時に行い、真球素材５０とすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】球状素材の製造装置の概略構成を示す図である。
【図２】型セットの分解斜視図である。
【図３Ａ】上型の外観斜視図である。
【図３Ｂ】下型の外観斜視図である。
【図４Ａ】成形前の型セットの断面正面図である。
【図４Ｂ】成形後の型セットの断面正面図である。
【図５】成形後の球状素材の外観を示す図である。
【図６】球状素材を研削・研磨してできた真球素材の外観を示す図である。
【図７】第１の凸状帯部と第２の凸状帯部が１本ずつ形成された球状素材の外観を示す図である。
【図８】第２の実施の形態の球状素材の外観を示す図である。
【図９】第３の実施の形態の球状素材の外観を示す図である。
【図１０】従来の球状素材の外観を示す図である。
【図１１】従来の球状素材を研磨した楕円素材を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０      球状素材の製造装置
１１      真空成形室
１２      加熱ステージ
１３      プレスステージ
１４      冷却ステージ
１５      シャッタ
１６      シャッタ
１７      搬入ステージ
１８      搬出ステージ
１９      真空チャンバ
２０      ホース
２１      真空ポンプ
２２１    上プレート
２２２    上プレート
２２３    上プレート
２３１    下プレート
２３２    下プレート
２３３    下プレート
２４１    基台
２４２    基台
２４３    基台
２５１    上カートリッジヒータ
２５２    上カートリッジヒータ
２５３    上カートリッジヒータ
２６１    下カートリッジヒータ
２６２    下カートリッジヒータ
２６３    下カートリッジヒータ
２７１    シリンダ
２７２    シリンダ
２７３    シリンダ
２８      作動ロッド
２９      ピン
３０      型セット
３１      成形素材
３３      測定スケール
３４      制御部
３６      上型
３６ａ    成形面
３６ｂ    溝
３６ｃ    溝
３７      キー溝
３８      下型
３８ａ    成形面
３８ｂ    溝
３８ｃ    溝
３９      キー溝
４０      スリーブ
４１      キー溝
４２      キー
４５      球状素材
４６      第１の凸状帯部
４７      第２の凸状帯部
４８      点状凸部
４９      輪状凸部
５０      真球素材
【図４Ａ】
2010100461.tif 000003
【図４Ｂ】
2010100461.tif 000004
【図５】
2010100461.tif 000005
【図７】
2010100461.tif 000006
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図６】
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【図８】
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