【手続補正書】
【提出日】平成17年6月17日(2005.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
個別に駆動可能な複数のビーム照射源を有するイメージング装置であって、イメージング媒体の支持手段と、ｋ個（ｋは２以上の整数）のビーム照射源を含むｎ個（ｎは２以上の整数）の光源ブロックと、前記各ブロックごとに接続可能な、１個以上ｎ個以下のビーム照射源駆動装置と、送り量が変更可能である、前記光源ブロックと前記支持手段との間の副走査方向の走査手段とを有し、いずれかのビーム照射源が故障した場合には故障したビーム照射源を含まない光源ブロックを使用するか、または故障したビーム照射源を除いた光源ブロックを使用して描画することを特徴とするイメージング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記走査手段が、故障したビーム照射源の位置およびイメージング媒体上でのドット間隔に基づいて、前記送り量を異なる送り量、または複数の送り量の組み合わせに変更可能である請求項１に記載のイメージング装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【発明を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明によれば、個別に駆動可能な複数のビーム照射源を有するイメージング装置であって、イメージング媒体の支持手段と、ｋ個（ｋは２以上の整数）のビーム照射源を含むｎ個（ｎは２以上の整数）の光源ブロックと、前記各ブロックごとに接続可能な、１個以上ｎ個以下のビーム照射源駆動装置と、送り量が変更可能である、前記光源ブロックと前記支持手段との間の副走査方向の走査手段とを有し、いずれかのビーム照射源が故障した場合には故障したビーム照射源を含まない光源ブロックを使用するか、または故障したビーム照射源を除いた光源ブロックを使用して描画することを特徴とするイメージング装置が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の別の態様によれば、前記走査手段が、故障したビーム照射源の位置およびイメージング媒体上でのドット間隔に基づいて、前記送り量を異なる送り量、または複数の送り量の組み合わせに変更可能であるイメージング装置が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
次にこのイメージング装置において仮にブロックＡ（１５ａ）の中のビーム照射源が故障したとする。従来のイメージング装置であれば、ビーム照射源の少なくとも１個が故障した場合には、アレイ全体もしくはイメージングヘッド全体を修理もしくは交換するまで装置は完全に動作不能となるが、本発明のこのイメージング装置では、以下に説明する２つの代替動作が実行できる。まず、第１の代替動作は、故障したビーム照射源の位置に対応してイメージングヘッドの副走査方向の送り量とイメージデータの出力ソフトウエアの切り換えを行うものである。仮にビーム照射源の故障箇所が図２０に示したように光源ブロックＡの３番目及び４番目の場合には、送り量を２ａ、６ａ、２ａ、６ａ、・・・２ａ、６ａにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。また、ビーム照射源の故障箇所が図２１に示したように光源ブロックＡの３番目〜６番目の場合には、送り量を２ａ、２ａ、４ａ、２ａ、２ａ、４ａ、・・・２ａ、２ａ、４ａにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／３に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。一般的には、１ブロック内のビーム数がｋ個のイメージング装置において、全ビーム照射源が正常動作時には送り量ｋａに光学系の倍率を乗じた値の１回の副走査方向の送りを繰り返すことによりイメージングしていたのを故障時には故障したビーム照射源をカバーするようなｈ回（ｈは２以上ｋ以下の整数）の副走査方向の送りを繰り返すことにより全領域のイメージングを実現する。この時の個々の送り量はａの整数倍に光学系の倍率を乗じた値であり、ｈ回の送り量の合計はｋａに光学系の倍率を乗じた値となり、イメージング時間はｈ倍となるが、装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。なお、この場合にはビーム照射源の位置の再調整は不要である。ただし、第１の代替動作はリニアモータ型リニアステージを使用している場合に実現可能である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
次にこのイメージング装置において仮にブロックＡ（１５ａ）の中のビーム照射源が故障したとする。従来のイメージング装置であれば、ビーム照射源の少なくとも１個が故障した場合には、アレイ全体もしくはイメージングヘッド全体を修理もしくは交換するまでは装置は完全に動作不能となるが、本発明のこのイメージング装置では、以下に説明する２つの代替動作が実行できる。まず、第１の代替動作は、故障したビーム照射源の位置に対応してイメージングヘッドの副走査方向の送り量とイメージデータの出力ソフトウエアの切り換えを行うものである。仮にビーム照射源の故障箇所が光源ブロックＡの３番目及び４番目の場合には、送り量を２ａ、６ａ、２ａ、６ａ、・・・２ａ、６ａにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。また、ビーム照射源の故障箇所が光源ブロックＡの３番目〜６番目の場合には、送り量を２ａ、２ａ、４ａ、２ａ、２ａ、４ａ、・・・２ａ、２ａ、４ａにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／３に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。一般的には、１ブロック内のビーム数がｋ個のイメージング装置において、全ビーム照射源が正常動作時には送り量ｋａに光学系の倍率を乗じた値の１回の副走査方向の送りを繰り返すことによりイメージングしていたのを故障時には故障したビーム照射源をカバーするようなｈ回（ｈは２以上ｋ以下の整数）の副走査方向の送りを繰り返すことにより全領域のイメージングを実現する。この時の個々の送り量はａに光学系の倍率を乗じた値の整数倍であり、ｈ回の送り量の合計はｋａに光学系の倍率を乗じた値となり、イメージング時間はｈ倍となるが、装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。なお、この場合にはビーム照射源の位置の再調整は不要である。ただし、第１の代替動作はリニアモータ型リニアステージを使用している場合に実現可能である。第２の代替動作は、図８に示したようにブロックＡ（１５ａ）とビーム照射源駆動装置Ａ（１３ａ）およびブロックＢ（１５ｂ）とビーム照射源駆動装置Ｂ（１３ｂ）を切り離し、主制御装置１１のイメージングデータ出力用のソフトウエアを４ブロック全て使うものから２ブロック用のものに切り換え、さらに図９に示したようにイメージングヘッド内の光源ブロックを所定の角度θだけ傾けて、ブロックＣおよびブロックＤ（１５ｃおよび１５ｄ）のみを使うことにより、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。このときの所定の角度θはcos−１（１／２）＝６０°であり、解像度を同じに保つことができる。なお、第２の代替動作はリニアモータ型リニアステージとボールネジ型リニアステージのいずれのリニアステージを使用している場合にも実現可能である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、このようにビーム照射源を配列した場合、ブロックＡ（１５ａ）の中のビーム照射源が故障した時には、以下に説明する２つの代替動作が実行できる。まず、第１の代替動作は、故障したビーム照射源の位置に対応してイメージングヘッドの副走査方向の送り量（通常は1.6mmに光学系の倍率を乗じた値）とイメージデータの出力ソフトウエアの切り換えを行うものである。仮にビーム照射源の故障箇所が図２０に示したように光源ブロックＡの３番目及び４番目の場合には、送り量を0.4mm、1.2mm、0.4mm、1.2mm、・・・0.4mm、1.2mmにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。また、ビーム照射源の故障箇所が図２１に示したように光源ブロックＡの３番目〜６番目の場合には、送り量を0.4mm、0.4mm、0.8mm、0.4mm、0.4mm、0.8mm、・・・0.4mm、0.4mm、0.8mmにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／３に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。なお、この場合にはビーム照射源の位置の再調整は不要である。ただし、第１の代替動作はリニアモータ型リニアステージを使用している場合に実現可能である。第２の代替動作は、図６に示したようにブロックＡ（１５ａ）とビーム照射源駆動装置Ａ（１３ａ）、ブロックＣ（１５ｃ）とビーム照射源駆動装置Ｃ（１３ｃ）およびブロックＤ（１５ｄ）とビーム照射源駆動装置Ｄ（１３ｄ）を切り離し、主制御装置１１のイメージングデータ出力用のソフトウエアを４ブロック全て使うものから１ブロック用のものに切り換え、さらにイメージングヘッド内の光源ブロックを所定の角度だけ傾けて、ブロックＢ（１５ｂ）のみを使うことにより、イメージング速度は１／４に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。もちろん、ブロックＣおよびブロックＤが正常であればいずれのブロックを使用しても良い。このときの所定の角度は解像度を同じに保つ場合には、cos−１（１／４）＝75.5°となる。なお、第２の代替動作はリニアモータ型リニアステージとボールネジ式型リニアステージのいずれのリニアステージを使用している場合にも実現可能である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
また、このようにビーム照射源を配列した場合、ブロックＡ（１５ａ）の中のビーム照射源が故障した時には、以下に説明する２つの代替動作が実行できる。まず、第１の代替動作は、故障したビーム照射源の位置に対応してイメージングヘッドの副走査方向の送り量（通常は0.96mmに光学系の倍率を乗じた値）とイメージデータの出力ソフトウエアの切り換えを行うものである。仮にビーム照射源の故障箇所が光源ブロックＡの３番目及び４番目の場合には、送り量を0.24mm、0.72mm、0.24mm、0.72mm、・・・0.24mm、0.72mmにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。また、ビーム照射源の故障箇所が図２１に示したように光源ブロックＡの３番目〜６番目の場合には、送り量を0.24mm、0.24mm、0.48mm、0.24mm、0.24mm、0.48mm、・・・0.24mm、0.24mm、0.48mmにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／３に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。なお、この場合にはビーム照射源の位置の再調整は不要である。ただし、第１の代替動作はリニアモータ型リニアステージを使用している場合に実現可能である。第２の代替動作は、図６に示したようにブロックＡ（１５ａ）とビーム照射源駆動装置Ａ（１３ａ）、ブロックＣ（１５ｃ）とビーム照射源駆動装置Ｃ（１３ｃ）およびブロックＤ（１５ｄ）とビーム照射源駆動装置Ｄ（１３ｄ）を切り離し、主制御装置１１のイメージングデータ出力用のソフトウエアを４ブロック全て使うものから１ブロック用のものに切り換え、さらにイメージングヘッド内の光源ブロックを所定の角度だけ傾けて、ブロックＢ（１５ｂ）のみを使うことにより、イメージング速度は１／４に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。もちろん、ブロックＣおよびブロックＤが正常であればいずれのブロックを使用しても良い。このときの所定の角度は解像度を同じに保つ場合には、cos−１（30／125）＝76.1°となる。なお、第２の代替動作はリニアモータ型リニアステージとボールネジ型リニアステージのいずれのリニアステージを使用している場合にも実現可能である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
さらに、ブロックＡ（１５ａ）の中のビーム照射源が故障した場合には、以下に説明する２つの代替動作が実行できる。まず、第１の代替動作は、故障したビーム照射源の位置に対応してイメージングヘッドの副走査方向の送り量（通常0.96mmに光学系の倍率を乗じた値）とイメージデータの出力ソフトウエアの切り換えを行うものである。仮にビーム照射源の故障箇所が光源ブロックＡの３番目及び４番目の場合には、送り量を0.24mm、0.72mm、0.24mm、0.72mm、・・・0.24mm、0.72mmに光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。また、ビーム照射源の故障箇所が光源ブロックＡの３番目〜６番目の場合には、送り量を0.24mm、0.24mm、0.48mm、0.24mm、0.24mm、0.48mm、・・・0.24mm、0.24mm、0.48mmにそれぞれ光学系の倍率を乗じた値に切り換え、それに対応してデータを出すようなソフトウエアに切り換える。この場合には、イメージング速度は１／３に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。なお、この場合にはビーム照射源の位置の再調整は不要である。ただし、第１の代替動作はリニアモータ型リニアステージを使用している場合に実現可能である。第２の代替動作は、図８に示したようにブロックＡ（１５ａ）とビーム照射源駆動装置Ａ（１３ａ）およびブロックＢ（１５ｂ）とビーム照射源駆動装置Ｂ（１３ｂ）を切り離し、主制御装置１１のイメージングデータ出力用のソフトウエアを４ブロック全て使うものから２ブロック用のものに切り換え、さらに図９に示したようにイメージングヘッド内の光源ブロックを所定の角度θだけ傾けて、ブロックＣおよびブロックＤ（１５ｃおよび１５ｄ）のみを使うことにより、イメージング速度は１／２に低下してしまうものの装置を停止することなくイメージング動作を続けることが可能である。このときの所定の角度θはcos−１（１／２）＝６０°であり、解像度を同じに保つことができる。なお、第２の代替動作はリニアモータ型リニアステージとボールネジ型リニアステージのいずれのリニアステージを使用している場合にも実現可能である。