【手続補正書】
【提出日】令和3年7月26日(2021.7.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体材料サンプル（９９）の機械的振動応答を分析するための装置（１００）であって、
励起される振動モードの波節において前記固体材料サンプルを支持するように構成された支持体（１９９）と、
前記固体材料サンプル（９９）の表面上のそれぞれの良定義された点に対して衝撃を与えるように線上に配置されたインパクタ（１１０）のアレイと、前記線に対して実質的に垂直な方向への前記固体材料サンプルと前記インパクタのアレイとの相対的移動を生じさせるための手段とを備え、またはグリッド内に配置されたインパクタのアレイを備え、前記装置（１００）はさらに、
前記インパクタ（１１０）のアレイの各衝撃に続いて、前記機械的振動応答を時間変化信号として取り込むように構成されたセンサ（１２０）と、
前記時間変化信号を分析して、前記時間変化信号を構成しているシヌソイドの周波数および減衰定数を求めるように構成された処理手段（１３０）とを備え、
前記装置（１００）は、前記サンプルに対して相対的に前記線を移動させる前に前記線に沿って連続的に、または前記グリッドに沿って連続的に、前記インパクタ（１１０）のうちの全てのインパクタ（１１０）または選択されたインパクタ（１１０）を作動させるように構成される、装置（１００）。
【請求項２】
前記処理手段（１３０）は、前記求められた周波数および減衰定数に基づいて前記固体材料サンプル（９９）における材料欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項１に記載の装置（１００）。
【請求項３】
前記固体材料サンプルと前記インパクタのアレイとの２つの軸に沿った相対的移動を生じさせるようにさらに構成される、請求項１または２に記載の装置（１００）。
【請求項４】
温度センサ、前記固体材料サンプルの形状特性を求めるための手段、およびはかりのうちの１つ以上をさらに備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置（１００）。
【請求項５】
前記センサ（１２０）は、前記機械的振動応答が取り込まれるスポットを照射するための手段を備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置（１００）。
【請求項６】
前記センサ（１２０）は、前記センサによって前記固体材料サンプルに加えられる力を測定するための手段を備えた接触ベースのセンサである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置（１００）。
【請求項７】
前記処理手段（１３０）は、一般的なフィルタ対角化法を適用することによって高調波逆問題を解くように構成される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置（１００）。
【請求項８】
固体材料サンプルを特徴付ける方法であって、
励起される振動モードの波節と一致する支持体の上に前記固体材料サンプルを設置するステップと、
線上に配置されたインパクタ（１１０）のアレイを使用して前記固体材料サンプルの表面上の複数の良定義された点に対して衝撃を与え、前記線に対して実質的に垂直な方向へ前記インパクタのアレイに対して相対的に前記固体材料サンプルを移動させるステップ、またはグリッド内に配置されたインパクタ（１１０）のアレイを使用して前記固体材料サンプルの表面上の複数の良定義された点に対して衝撃を与えるステップ（１０１０）と、
このような与えられる衝撃の各々を前記与えるステップに続いて、機械的振動応答を時間変化信号として取り込むステップ（１０２０）と、
前記時間変化信号を分析して、前記時間変化信号を構成しているシヌソイドの周波数および減衰定数を求めるステップ（１０３０）とを備え、
前記インパクタ（１１０）のうちの全てのインパクタ（１１０）または選択されたインパクタ（１１０）は、前記サンプルに対して相対的に前記線を移動させる前に前記線に沿って連続的に作動され、または前記グリッドに沿って連続的に作動される、方法。
【請求項９】
前記求められた周波数および減衰定数に基づいて前記固体材料サンプル（９９）における材料欠陥を検出するステップをさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記インパクタのアレイに対して相対的に前記固体材料サンプルを２つの軸に沿って移動させるステップをさらに備える、請求項８または９に記載の方法。
【請求項１１】
さまざまな衝撃位置について得られた前記周波数および減衰定数に基づいて欠陥の位置を推定するステップをさらに備える、請求項８〜１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記分析するステップは、前記周波数から動的ヤング率（Ｅ）を求めるステップをさらに備える、請求項８〜１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記分析するステップは、前記周波数からせん断弾性率（Ｇ）を求めるステップをさらに備える、請求項８〜１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記分析するステップは、前記減衰定数と基準値とを比較するステップをさらに備える、請求項８〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
製造品の品質を管理する方法であって、
請求項１４に記載の方法を使用して、前記製造品の少なくとも一部を前記固体材料サンプルとして特徴付けるステップ（１０１０〜１０３０）と、
前記減衰定数が前記基準値の予め定められたマージンの範囲内であれば、「合格」条件を送信するステップ（１０４０／ＹＥＳ）と、
前記減衰定数が前記基準値の前記予め定められたマージンの範囲外であれば、「不合格」条件を宣言するステップ（１０４０／ＮＯ）とを備える、方法。
【請求項１６】
前記分析するステップは、一般的なフィルタ対角化法を適用することによって高調波逆問題を解くステップを備える、請求項８〜１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
プロセッサに請求項８〜１６のいずれか１項に記載の方法の計算ステップを実行させるように構成されたコード手段を備える、コンピュータプログラム製品。
【請求項１８】
前記コード手段は、Ｈａｒｍｉｎｖプログラムを備える、請求項１７に記載のコンピュータプログラム製品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
代替的に、この方法は、固定位置でサンプルを受容するハウジング内に配設された装置を使用して実現されてもよく、装置は、インパクタがサンプルの表面上の全ての対象点に到達することができるように、固定して配置されたサンプルの上方でインパクタを直線的に移動させるための手段を備えてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本発明に係る方法の実施形態において、上記分析するステップは、一般的なフィルタ対角化法を適用することによって高調波逆問題を解くステップを備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
【数４】
2020537155.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
本発明に係る装置は、上記固体材料サンプルと上記インパクタのアレイとの２つの軸に沿った相対的移動を生じさせることができるように構成されてもよい。これにより、この装置は、主要走査移動に加えて、サンプルの表面上の点にアクセスする横方向移動を提供することができる。これは、欠陥の空間定位の精度を向上させることにつながる。