【手続補正書】
【提出日】平成16年5月21日(2004.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板形状の載置板上の所定の載置位置に基板を載置し，当該載置板を移動させることによって，基板を所定位置まで搬送する基板搬送機構であって，
前記載置板上を所定方向に移動し，載置板上の基板の一の側面側から基板を押すことが可能な第１の保持部材と，
前記第１の保持部材の移動に連動し，前記一の側面の逆の側面側から基板を押すことが可能な複数の第２の保持部材と，
前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とを連動させる連動機構と，を備え，
前記連動機構は，
前記第１の保持部材と一体となって前記所定方向に直線状に移動する直動部材と，
前記直動部材の直線移動に連動して自ら回転し，前記第２の保持部材を前記載置板上の基板に向けて回動させる回動部材と，を備え,
前記載置板上に基板を載置し当該載置板を移動させて基板を搬送する際に，前記第１の保持部材と第２の保持部材が前記載置板上の基板の側面を押すことによって，基板が前記載置板上の所定の載置位置に位置合わせされて固定されるように構成されていることを特徴とする，基板搬送機構。
【請求項２】
一のケーシング内に基板の加熱処理を行う加熱部と基板の冷却処理を行う冷却部とを有し，加熱処理と冷却処理を１セットで行うことができる熱処理装置内に設けられた基板搬送機構であって，
前記ケーシング内において前記加熱部と前記冷却部との間で前記基板を載置して搬送する載置板と，
前記載置板上を所定方向に移動し，載置板上の基板の一の側面側から基板を押すことが可能な第１の保持部材と，
前記第１の保持部材の移動に連動し，前記一の側面とは逆の側面側から基板を押すことが可能な複数の第２の保持部材と，
前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とを連動させる連動機構と，を備え，
前記連動機構は，前記第１の保持部材と一体となって前記所定方向に直線状に移動する移動部材と，前記移動部材の直線移動に連動して自ら回転し，前記第２の保持部材を前記載置板上の基板に向けて回動させる回動部材とを備え，
前記載置板上に基板を載置し当該載置板を移動させて基板を搬送する際に，前記第１の保持部材と前記第２の保持部材が前記載置板上の基板の側面を押すことによって，基板が前記載置板上の所定の載置位置に位置合わせされて固定されるように構成されていることを特徴とする，基板搬送機構。
【請求項３】
前記載置板は，基板を載置し加熱する加熱板と同じ熱処理装置内に設けられており，
前記載置板は，前記加熱板上の所定位置と，前記熱処理装置外の他の搬送装置がアクセスできる熱処理装置内の所定位置まで基板を搬送できることを特徴とする，請求項１に記載の基板搬送機構。
【請求項４】
前記加熱部は，基板を載置して加熱する加熱板を有しており，
前記載置板は，前記加熱板上の所定位置と，前記熱処理装置外の他の搬送装置がアクセスできる熱処理装置内の所定位置に基板を搬送することが可能であることを特徴とする，請求項２に記載の基板搬送機構。
【請求項５】
前記第２の保持部材は，前記回動部材に取り付けられていることを特徴とする，請求項１，２，３又は４のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項６】
前記第２の保持部材は，二箇所に設けられ，
前記回動部材は，前記載置位置の前記逆側面側の外方に配置され，
前記直動部材は，載置板の両側端部に配置されていることを特徴とする，請求項１，２，３，４又は５のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項７】
前記連動機構は，前記第１の保持部材と前記直動部材とを接続する接続部材を備えていることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５又は６のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項８】
前記回動部材は，前記載置板に垂直に設けられた回転軸を中心に回転することを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６又は７のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項９】
前記直動部材と前記回動部材との連結部には，前記第２の保持部材と基板との接触を緩衝する弾性体が取り付けられていることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７又は８のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項１０】
前記第１の保持部材と第２の保持部材は，前記載置板上の基板の外周を等間隔に保持できるように配置されていることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８又は９のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項１１】
前記載置板に，基板を冷却する冷却機能を有することを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９又は１０のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項１２】
前記第１の保持部材と第２の保持部材の材質には，基板よりも柔らかい材質が用いられていることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０又は１１のいずれかに記載の基板搬送機構。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載の基板搬送機構を用いた基板搬送方法であって，
前記載置板の移動中は，前記第１の保持部材と第２の保持部材によって基板を保持し，
基板を受け渡す際に，前記第１の保持部材と第２の保持部材による基板の保持を解除することを特徴とする，基板搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば，平板形状の載置板上の所定の載置位置に基板を載置し，当該載置板を移動させることによって，基板を所定位置まで搬送する基板搬送機構であって，前記載置板上を所定方向に移動し，載置板上の基板の一の側面側から基板を押すことが可能な第１の保持部材と，前記第１の保持部材の移動に連動し，前記一の側面の逆の側面側から基板を押すことが可能な複数の第２の保持部材と，
前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とを連動させる連動機構と，を備え，
前記連動機構は，前記第１の保持部材と一体となって前記所定方向に直線状に移動する直動部材と，前記直動部材の直線移動に連動して自ら回転し，前記第２の保持部材を前記載置板上の基板に向けて回動させる回動部材と，を備え,前記載置板上に基板を載置し当該載置板を移動させて基板を搬送する際に，前記第１の保持部材と第２の保持部材が前記載置板上の基板の側面を押すことによって，基板が前記載置板上の所定の載置位置に位置合わせされて固定されるように構成されていることを特徴とする基板搬送機構が提供される。
また，別の観点による本発明によれば，一のケーシング内に基板の加熱処理を行う加熱部と基板の冷却処理を行う冷却部とを有し，加熱処理と冷却処理を１セットで行うことができる熱処理装置内に設けられた基板搬送機構であって，前記ケーシング内において前記加熱部と前記冷却部との間で前記基板を載置して搬送する載置板と，前記載置板上を所定方向に移動し，載置板上の基板の一の側面側から基板を押すことが可能な第１の保持部材と，前記第１の保持部材の移動に連動し，前記一の側面とは逆の側面側から基板を押すことが可能な複数の第２の保持部材と，前記第１の保持部材と前記第２の保持部材とを連動させる連動機構と，を備え，前記連動機構は，前記第１の保持部材と一体となって前記所定方向に直線状に移動する移動部材と，前記移動部材の直線移動に連動して自ら回転し，前記第２の保持部材を前記載置板上の基板に向けて回動させる回動部材とを備え，前記載置板上に基板を載置し当該載置板を移動させて基板を搬送する際に，前記第１の保持部材と前記第２の保持部材が前記載置板上の基板の側面を押すことによって，基板が前記載置板上の所定の載置位置に位置合わせされて固定されるように構成されていることを特徴とする基板搬送機構が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記発明によれば，搬送中の基板が第１及び第２の保持部材により保持されるので，搬送中の基板の落下，ずれが防止でき，基板搬送の信頼性が向上される。例えば基板の落下によって処理装置を停止することがなくなるので，処理装置の稼働率を向上できる。また，基板が所定の載置位置に保持されるので，基板の受け渡しを所望の位置で行うことができ，例えば受け渡し先である処理部に正確に受け渡され，当該処理部において適正な処理を行うことができる。また，基板が複数方向から移動する保持部材によって保持されるので，各保持部材と基板との接触を点で行うことができ，基板との接触面積を小さくすることができる。この結果，例えば保持部材との接触による基板の温度変動を抑制できる。また，保持部材の形状の自由度が増え，設計しやすくなる。さらに，基板の受け渡し時に，総ての保持部材が基板から退避して，保持部材と基板とを非接触の状態にすることができるので，例えば受け渡し時の基板の昇降を基板の位置をずらさずに行うことができる。また，基板を両側から確実に保持するので，載置板の高速移動しても基板搬送の信頼性が確保される。なお，載置板には，基板の裏面の一部，例えば基板裏面の外周部を保持して基板を載置するものも含まれる。
また，基板の一の側面側を保持するために第１の保持部材を前記所定方向に動かすと，前記直動部材が直線状に動き，この直動部材の直線運動によって回動部材が回転し，例えば当該回動部材に取り付けられた第２の保持部材が回動して基板の逆側面側を保持できる。つまり，第１の保持部材を動かすことによって，基板を所定の載置位置に保持したり，その保持を解除したりすることができる。したがって，第１の保持部材の動作を制御するだけで，基板の保持やその解除動作を制御できる。なお，前記第２の保持部材は，前記回動部材に取り付けられていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記載置板は，基板を載置し加熱する加熱板と同じ熱処理装置内に設けられており，前記載置板は，前記加熱板上の所定位置と，前記熱処理装置外の他の搬送装置がアクセスできる熱処理装置内の所定位置まで基板を搬送できるようにしてもよい。
また，前記加熱部は，基板を載置して加熱する加熱板を有しており，前記載置板は，前記加熱板上の所定位置と，前記熱処理装置外の他の搬送装置がアクセスできる熱処理装置内の所定位置に基板を搬送することが可能であってもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
前記基板搬送機構は，前記載置板に基板を冷却する機能を有していてもよい。基板が加熱板上の所定位置で受け渡されないと，例えば基板が加熱板上の所望の位置に載置されず，適切な加熱処理を行うことができない。また，基板が他の搬送装置に所定位置で受け渡されないと，例えば他の搬送装置が基板を所望の位置で保持することができず，基板を適切に搬送できない。本発明によれば，第１，第２の保持部材により基板を所定の載置位置に保持した状態で，受け渡し位置まで搬送できるので，加熱板と他の搬送装置に対して適正な位置で基板を受け渡すことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の別の観点によれば，請求項１〜１２のいずれかに記載の基板搬送機構を用いた基板搬送方法であって，前記載置板の移動中は，前記第１の保持部材と第２の保持部材によって基板を保持し，基板を受け渡す際に，前記第１の保持部材と第２の保持部材による基板の保持を解除することを特徴とする基板搬送方法が提供される。この基板搬送方法によれば，搬送中の基板を所定の載置位置で保持し固定し，基板の落下，ずれを防止できる。また，基板の受け渡し時には，基板の保持を解除し，基板の受け渡しを円滑に行うことができる。