【手続補正書】
【提出日】平成16年7月26日(2004.7.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】顕微鏡装置及びその観察状態切換方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光観察と紫外光観察とを選択可能な顕微鏡装置において、
可視光で試料を照明する可視光照明系と、
紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、
前記試料に対して前記可視光照明系と前記紫外光照明系とを切り換える切換手段と、
可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、前記各々の対物レンズを観察系光路に選択的に配置する電動レボルバと、
前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、
前記可視光観察を前記紫外光観察に切り換えるとき、前記レボルバ駆動手段により前記電動レボルバを駆動して前記可視光用対物レンズを前記紫外光用対物レンズに切り換え、その後、前記切換手段により前記可視光照明系を前記紫外光照明系に切り換え、
前記紫外光観察を前記可視光観察に切り換えるとき、前記切換手段により前記紫外光照明系を前記可視光照明系に切り換え、その後、前記レボルバ駆動手段により前記電動レボルバを駆動して前記紫外光用対物レンズを前記可視光用対物レンズに切り換える制御手段と
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
現在前記紫外光照明系と前記可視光照明系とのいずれが選択されているかを検出する照明系検出手段と、
前記観察系光路上に前記可視光用対物レンズと前記紫外光用対物レンズとのいずれが選択されているかを検出する対物レンズ検出手段と、
前記切換手段を駆動する切換駆動手段と、
前記両照明系及び前記両対物レンズの切り換えを指示する指示手段とを備え、
前記制御手段は、
前記指示手段によつて前記可視光照明系から前記紫外光照明系への切り換えが指示されたとき、前記紫外光照明系へ切り換える前に、前記レボルバ駆動手段を駆動して前記可視光用対物レンズを前記紫外光用対物レンズに切り換え、
前記指示手段によつて前記紫外光用対物レンズから前記可視光用対物レンズへの切り換えが指示されたとき、前記可視光用対物レンズへ切り換える前に、前記切換駆動手段によって前記切換手段を駆動して前記紫外光照明系を前記可視光照明系に切り換えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
可視光で試料を照明する可視光照明系と、
紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、
前記紫外光照明系中に配置され、前記試料に対して前記紫外光が照射されるのを阻止する遮光手段と、
前記遮光手段を駆動する駆動手段と、
前記試料を観察するための観察系と、
可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に配置する電動レボルバと、
前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、
対物レンズの切換えを指示する指示手段と、
前記指示手段によつて前記紫外光用対物レンズから前記可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、前記遮光手段によつて前記紫外光を遮断した後、前記可視光用対物レンズへ切り換えるように前記駆動手段と前記レボルバ駆動手段とを駆動する制御手段とを備えることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項４】
前記顕微鏡装置は、前記レボルバに対する前記各々の対物レンズの取付位置情報を記憶する記憶手段を更に有し、前記制御手段は、前記指示手段からの指示及び前記記憶手段に記憶された情報とに基づいて、現在光路中に配置されている対物レンズと次に光路中に配置される対物レンズとが、それぞれ可視光用対物レンズであるか紫外光用対物レンズであるかを識別することを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記可視光照明系と前記紫外光照明系とは、それぞれ独立した光源と光路とを有し、前記遮光手段は、前記紫外光照明系の光路中に配置されたシヤツタであることを特徴とする請求項３又は４に記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
前記可視光照明系と前記紫外光照明系とは、それぞれ同一の光源と光路とを有し、前記遮光手段は、前記光路中に配置され、前記光源から前記試料に照射される照明光を可視光と紫外光とに切り換える切換手段を備えることを特徴とする請求項３又は４に記載の顕微鏡装置。
【請求項７】
可視光観察と紫外光観察とを選択可能な顕微鏡装置の観察状態切換方法において、
前記可視光観察を前記紫外光観察に切り換えるとき、可視光用対物レンズを紫外光用対物レンズに切り換え、その後、可視光照明系を紫外光照明系に切り換え、
前記紫外光観察を前記可視光観察に切り換えるとき、前記紫外光照明系を前記可視光照明系に切り換え、その後、前記紫外光用対物レンズを前記可視光用対物レンズに切り換えることを特徴とする顕微鏡装置の観察状態切換方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は可視光観察と紫外光観察とを選択可能な顕微鏡装置及び顕微鏡装置の観察状態切換方法において、紫外光による可視光用の対物レンズへの照射を確実に防止することができるとともに操作性の良い顕微鏡装置及び顕微鏡装置の観察状態切換方法を提供することである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項１に記載の発明の顕微鏡装置は、可視光観察と紫外光観察とを選択可能な顕微鏡装置において、可視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記試料に対して前記可視光照明系と前記紫外光照明系とを切り換える切換手段と、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、前記各々の対物レンズを観察系光路に選択的に配置する電動レボルバと、前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、前記可視光観察を前記紫外光観察に切り換えるとき、前記レボルバ駆動手段により前記電動レボルバを駆動して前記可視光用対物レンズを前記紫外光用対物レンズに切り換え、その後、前記切換手段により前記可視光照明系を前記紫外光照明系に切り換え、前記紫外光観察を前記可視光観察に切り換えるとき、前記切換手段により前記紫外光照明系を前記可視光照明系に切り換え、その後、前記レボルバ駆動手段により前記電動レボルバを駆動して前記紫外光用対物レンズを前記可視光用対物レンズに切り換える制御手段と
を備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項２に記載の発明の顕微鏡装置は、請求項１に記載の顕微鏡装置において、現在前記紫外光照明系と前記可視光照明系とのいずれが選択されているかを検出する照明系検出手段と、前記観察系光路上に前記可視光用対物レンズと前記紫外光用対物レンズとのいずれが選択されているかを検出する対物レンズ検出手段と、前記切換手段を駆動する切換駆動手段と、前記両照明系及び前記両対物レンズの切り換えを指示する指示手段とを備え、前記制御手段は、前記指示手段によつて前記可視光照明系から前記紫外光照明系への切り換えが指示されたとき、前記紫外光照明系へ切り換える前に、前記レボルバ駆動手段を駆動して前記可視光用対物レンズを前記紫外光用対物レンズに切り換え、前記指示手段によつて前記紫外光用対物レンズから前記可視光用対物レンズへの切り換えが指示されたとき、前記可視光用対物レンズへ切り換える前に、前記切換駆動手段によって前記切換手段を駆動して前記紫外光照明系を前記可視光照明系に切り換えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３に記載の発明の顕微鏡装置は、可視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記紫外光照明系中に配置され、前記試料に対して前記紫外光が照射されるのを阻止する遮光手段と、前記遮光手段を駆動する駆動手段と、前記試料を観察するための観察系と、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に配置する電動レボルバと、前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、対物レンズの切換えを指示する指示手段と、前記指示手段によつて前記紫外光用対物レンズから前記可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、前記遮光手段によつて前記紫外光を遮断した後、前記可視光用対物レンズへ切り換えるように前記駆動手段と前記レボルバ駆動手段とを駆動する制御手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項７に記載の発明の顕微鏡装置の観察状態切換方法は、可視光観察と紫外光観察とを選択可能な顕微鏡装置の観察状態切換方法において、前記可視光観察を前記紫外光観察に切り換えるとき、可視光用対物レンズを紫外光用対物レンズに切り換え、その後、可視光照明系を紫外光照明系に切り換え、前記紫外光観察を前記可視光観察に切り換えるとき、前記紫外光照明系を前記可視光照明系に切り換え、その後、前記紫外光用対物レンズを前記可視光用対物レンズに切り換えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
可視光観察から紫外光観察に切り換える際には、対物レンズを紫外光用対物レンズに切り換え、その後、照明系を紫外光照明系に切り換えるので、紫外光が直接、可視光用対物レンズに照射されることはない。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
フィルタブロック１０はフィルタセンサ１１を介してＣＰＵ４０に接続されるとともに、フィルタ駆動モータ１２を介してＣＰＵ４０に接続される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
電動レボルバ２０は対物レンズセンサ２１を介してＣＰＵ４０に接続されるとともに、レボルバ駆動モータ２２を介してＣＰＵ４０に接続されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
なお、操作部３０によって紫外光用対物レンズ２０Ｅから可視光用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄへ切り替える指示を受けた場合で、フィルタセンサ１１によって紫外光照明系を用いていることが検出されたとき及び操作部３０によって可視光照明系から紫外光照明系へ切り替える指示を受けた場合で、対物レンズセンサ２１によって光路に紫外光用対物レンズ２０Ｅが配置されていることが検出されたときには、操作部３０による指示を無効とし、ブザー（図示せず）によって警報音を発し、観察者に注意を促すようにしてもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
【発明の効果】
以上に説明したように請求項１に記載の発明の顕微鏡装置又は請求項７に記載の発明の顕微鏡装置の観察状態切換方法によれば、可視光用対物レンズに紫外光が入射することを防止して、接着剤を濁らせてしまい、対物レンズを使用できなくしてしまう事故を確実に防ぐことができるとともに、誤った対物レンズの選択によって対物レンズが自己蛍光してしまい見えが悪くなることを防ぐことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
請求項２に記載の発明の顕微鏡装置によれば、紫外像を観察するための紫外線用対物レンズを光路に入れたままで明視野観察を行うことがないので、ピントを合わせるためにステージをＺ軸方向に動かして試料や対物レンズを破損してしまうという事故を防止できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
請求項３、５若しくは６に記載の発明の顕微鏡装置又は請求項７に記載の発明の顕微鏡装置の観察状態切換方法によれば、対物レンズの切換と照明系の切換とを一度の操作で行うことができるので、慣れない観察者でも誤操作が少なくなり、操作性が向上する。その結果、検査時間の短縮とともに正確な検査が可能になる。