(57)【要約】      （修正有）【課題】基板搬送装置、基板検査装置及び基板搬送方法において、基板との不要な接触を防ぐ。【解決手段】ウエハ搬送装置１は、ウエハＷが載置されるウエハ載置面２ａ，３ａを有し互いに平行に設置された２本のアーム部２，３と、ウエハ載置面２ａ，３ａ（アーム部２，３）をアーム部２，３の長手方向を回動軸Ａ２，Ａ３として水平面に対し傾斜させる傾斜手段としてのバランサ（錘）４，５と、アーム支持部６と、吸引用チューブとしてのアーム側吸引用チューブ７，８と、支持部側吸引用チューブ９と、傾き検出手段としての透過型センサ１０，１１と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される基板載置面を有するアーム部と、
前記基板載置面を水平面に対し傾斜させる傾斜手段と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記傾斜手段は、前記アーム部を前記基板載置面が傾斜した状態に付勢することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記アーム部は、前記基板載置面が傾斜した状態で、前記基板が載置される位置に移動することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記基板載置面は、該基板載置面上に位置する回動軸を中心に回動することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記アーム部に接続された吸引用チューブを更に備え、
前記アーム部は、前記吸引用チューブからエアを吸引されることで前記基板を吸着保持し、
前記吸引用チューブは、前記基板載置面の回動軸と異なる方向に前記アーム部に接続される、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記吸引用チューブは、前記基板載置面の前記回動軸と直交する方向に前記アーム部に接続されることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記アーム部に接続された吸引用チューブを更に備え、
前記アーム部は、前記吸引用チューブからエアを吸引されることで前記基板を吸着保持し、
前記吸引用チューブは、前記基板載置面の回動軸からオフセットされた位置において前記アーム部に接続される、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記アーム部を支持するアーム支持部を更に備え、
前記吸引用チューブは、前記アーム支持部と前記アーム部とを接続する、
ことを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記基板載置面の傾きを検出する傾き検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記基板載置面の回動角度を規制する回動規制手段を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記回動規制手段は、前記基板載置面の回動可能範囲を調整可能であることを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の基板搬送装置と、
該基板搬送装置により搬送される基板を検査する検査部と、
を含むことを特徴とする基板検査装置。
【請求項１３】
基板をアーム部に載置して搬送する基板搬送方法において、
基板載置面を水平面に対し傾斜させた状態の前記アーム部を、前記基板が載置される位置に移動させ、
前記傾斜させた状態のアーム部に前記基板を載置する、
ことを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板が載置されるアーム部を用いる基板搬送装置、基板検査装置及び基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体製造工程で用いられるウエハ等の基板の薄型化や、液晶ディスプレイその他のフラットパネルディスプレイ等の基板の大型化が進んでおり、それに伴い基板に反りや撓みが生じやすくなっている。そのため、反りや撓みが生じた基板を水平状態のアーム部に載置すると、基板とアーム部との間に間隙が生じてしまう。
【０００３】
そこで、ウエハを支承する支持バー（アーム部）をウエハに接触させて支持バーを傾斜させることで、ウエハと支持バーとを平行にするウエハ搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−９３８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１記載の支持バーは、ウエハと接触することで水平状態からウエハに沿って傾斜する。そのため、例えばウエハカセット内に積層されたウエハに反りや撓みが発生していると、支持バーとウエハとの間隔が狭くなり、支持バーをウエハカセットに挿入する際に、支持バーが積層されたウエハに接触した場合、ウエハにクラック等の破損が生じてしまう可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、上記従来の実情に鑑み、基板との不要な接触を防ぐことができる基板搬送装置、基板検査装置及び基板搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の基板搬送装置は、基板が載置される基板載置面を有するアーム部と、上記基板載置面を水平面に対し傾斜させる傾斜手段と、を備えることを要件とする。
本発明の基板検査装置は、上記基板搬送装置と、この基板搬送装置により搬送される基板を検査する検査部と、を含むことを要件とする。
【０００７】
本発明の基板搬送方法は、基板をアーム部に載置して搬送する基板搬送方法において、基板載置面を水平面に対し傾斜させた状態の上記アーム部を、上記基板が載置される位置に移動させ、上記傾斜させた状態のアーム部に上記基板を載置することを要件とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、基板載置面を水平面に対し傾斜させた状態のアーム部を基板が載置される位置に移動させることができる。そのため、例えば、カセットへのアーム部の挿入時等に、カセットに積層された基板に反りや撓みが発生していても、アーム部と基板との間隔を大きくとることができる。
【０００９】
よって、本発明によれば、基板との不要な接触を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置、基板検査装置及び基板搬送方法につい
て、基板としてウエハを例にして、図面を参照しながら説明する。
＜ウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法について＞
図１〜図５は、本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置１を示す平面図、正面図、背面図、部分断面右側面図及び斜視図である。
【００１１】
図６は、図１のＡ−Ａ断面図である。
ウエハ搬送装置１は、ウエハＷが載置されるウエハ載置面２ａ，３ａを有し互いに平行に設置された２本のアーム部２，３と、ウエハ載置面２ａ，３ａ（アーム部２，３）をアーム部２，３の長手方向を回動軸Ａ２，Ａ３として水平面に対し傾斜させる傾斜手段としてのバランサ（錘）４，５と、アーム支持部６と、吸引用チューブとしてのアーム側吸引用チューブ７，８と、支持部側吸引用チューブ９と、傾き検出手段としての透過型センサ１０，１１（図１及び図２に図示）と、を備える。
【００１２】
なお、ウエハ搬送装置１は、アーム支持部６が例えば図示しない駆動手段である、多関節アームを有するロボット等に接続され、ウエハＷを水平方向及び垂直方向に搬送可能に構成されている。
【００１３】
アーム部２，３は、上面がウエハ載置面２ａ，３ａとなる薄板の載置プレート２ｂ，３ｂと、この載置プレート２ｂ，３ｂを挟み込んで固定するプレート固定部２ｃ，３ｃとを有する。
【００１４】
アーム部２，３は、図４（右側面図）に示すように、アーム支持部６の後述する軸支部６ｂ，６ｃに形成された貫通孔６ｄ（軸支部６ｃ側のみ図示）を貫通し、貫通孔６ｄの両端に位置する２つのベアリング６ｅ，６ｆによって、水平方向に互いに平行に延びる図１及び図５に示す回動軸Ａ２，Ａ３を中心に回動可能に軸支されている。
【００１５】
載置プレート２ｂ，３ｂ上のウエハ載置面２ａ，３ａには、図１及び図５に示すように、ウエハＷを吸着により保持するための複数の吸引孔２ｄ，３ｄが形成されている。この吸引孔２ｄ，３ｄは、アーム部２，３の内部に形成された図１に示す吸引路２ｅ，３ｅに連通している。また、この吸引路２ｅ，３ｅは、アーム側吸引用チューブ７，８に連通している。
【００１６】
アーム側吸引用チューブ７，８は、例えばシリコーン等の軟性材料からなり、ウエハ載置面２ａ，３ａの回動軸Ａ２，Ａ３と異なる方向として、本実施の形態では回動軸Ａ２，Ａ３と直交する方向に、回動軸Ａ２，Ａ３上でアーム部２，３のプレート固定部２ｃ，３ｃ上に接続されている。また、アーム側吸引用チューブ７，８は、アーム部２，３と反対側の端部がアーム支持部６に接続されている。
【００１７】
なお、アーム部２，３の、載置プレート２ｂ，３ｂと反対側の端部には、アーム支持部６の後述する回動規制用ピン（回動規制手段）６ｈ，６ｉに接触することで、アーム部２，３の回動角度を規制するアーム側ピン（回動規制手段）２ｆ，３ｆが設けられている。
【００１８】
バランサ４，５は、アーム部２，３のプレート固定部２ｃ，３ｃの内側（アーム部２，３間のスペース側）に配置されることで、アーム部２，３をウエハ載置面２ａ，３ａが水平面に対し傾斜した状態に付勢する。これにより、図２に示すように、アーム部２，３のウエハ載置面２ａ，３ａは、中央から周縁に向かって上方に反り上がったウエハＷと平行になるように傾斜することが可能となっている。なお、アーム部２，３の重心位置から回動軸を２本のアーム部２，３の外側にズラすことにより傾斜した状態に付勢してもよい。
【００１９】
アーム支持部６は、アーム部２，３の回動軸Ａ２，Ａ３に直交する方向に延びる支持プ
レート６ａと、この支持プレート６ａの両端下部に固定され上記貫通孔６ｄが形成された軸支部６ｂ，６ｃとを有する。但し、軸支部６ｂ，６ｃは、支持プレート６ａの両端下部に限らず、例えば、支持プレート６ａの上部や側面部等に固定してもよい。
【００２０】
支持プレート６ａの内部には、支持プレート６ａの長手方向に延びる吸引路６ｇが形成され、アーム側吸引用チューブ７，８及び支持部側吸引用チューブ９は、この吸引路６ｆに連通するように支持プレート６ａに接続されている。
【００２１】
支持部側吸引用チューブ９は、アーム側吸引用チューブ７，８と同様に軟性材料からなり、図示しない吸引手段に接続されている。なお、支持部側吸引用チューブ９は、必要に応じて金属などの硬性のチューブであってもよい。また、構成する部材の中を中空にして吸引路を硬性してもよい。吸引手段は、エアの吸引によって、支持部側吸引用チューブ９、支持プレート６の吸引路６ｇ、アーム側吸引用チューブ７，８、アーム部２，３の吸引路２ｅ，３ｅ、吸引孔２ｄ，３ｄを介して、ウエハＷをウエハ載置面２ａ，３ａに吸着保持させる。
【００２２】
アーム支持部６には、軸支部６ｂ，６ｃからアーム部２，３の回動軸Ａ２、Ａ３と平行に延び、アーム側ピン２ｆ，３ｆに接触することでウエハ載置面２ａ，３ａの回動角度を規制する回動規制用ピン６ｈ，６ｉが設けられている。この回動規制用ピン６ｈ，６ｉは、軸支部６ｂ，６ｃの複数位置に対し着脱可能となっており、取り付け位置を変更することで、アーム部２，３の回動可能範囲を調整可能となっている。
【００２３】
透過型センサ１０，１１は、アーム部２，３の回動軸Ａ２，Ａ３と平行に検出光を発し、この検出光がバランサ４，５に遮られるか否かによりウエハ載置面２ａ，３ａの傾きが一定角度に達したか否かを検出する。
【００２４】
図７Ａはアーム部２，３の回動軸Ａ２，Ａ３を説明するための説明図であり、図７Ｂは比較例である。
ここで、図７Ａに示すように、本実施の形態の載置プレート２ｂ，３ｂ（アーム部２，３）の回動軸Ａ２，Ａ３は、載置プレート２ｂ，３ｂのウエハ載置面２ａ，３ａ上に位置する。そのため、載置プレート２ｂ，３ｂがウエハＷと接触した状態で回動しても、ウエハ載置面２ａ，３ａは、水平方向への移動量が少なく、載置プレート２ｂ，３ｂがウエハＷと接触した状態で水平方向に滑ることが少ない。したがって、載置プレート２ｂ，３ｂにより目的の位置でウエハＷを保持することができ、ウエハＷの位置ズレを防ぐことや、ウエハＷの裏面とのスレによるキズの発生を防ぐことができる。
【００２５】
それに対し、載置プレート２ｂ´，３ｂ´の回動軸Ａ２´，Ａ３´がウエハ載置面２ａ，３ａから離れて位置する場合、例えば、図７Ｂに示す比較例のように回動軸Ａ２´，Ａ３´がウエハＷ上に位置する場合には、載置プレート２ｂ´，３ｂ´がウエハＷと接触した状態で回動すると、ウエハ載置面２ａ´，３ａ´が水平方向により大きく移動してしまい、載置プレート２ｂ´，３ｂ´はウエハＷと接触した状態で水平方向により大きく滑ってしまう。したがって、載置プレート２ｂ´，３ｂ´により目的の位置でウエハＷを保持することが難しくなり、図７Ａに示す載置プレート２ｂ，３ｂに比べ、ウエハＷに位置ズレが生じやすく、また、滑りによるキズの発生のリスクも高くなる。
【００２６】
以下、ウエハ搬送装置１を用いたウエハＷの搬送について説明する。
図８Ａ及び図８Ｂは、ウエハカセット２２からのウエハＷの搬出を説明するための説明図である。
【００２７】
図８Ａに示すウエハＷは、ウエハカセット２２内に設けられた周縁支持部２２ａにより
周縁を支持された状態で高さ方向に積層されている。積層された複数のウエハＷは、中央から周縁に向かって上方に反り上がっている。
【００２８】
ウエハＷをウエハカセット２２から搬出する際には、図示しない駆動手段により、図１〜図５に示すアーム部２，３及びアーム支持部６等を移動させてアーム部２，３の載置プレート２ｂ，３ｂを、積層されたウエハＷ，Ｗの間に挿入する。
【００２９】
このとき、載置プレート２ｂ，３ｂのウエハ載置面２ａ，３ａは、上述のバランサ４，５によって水平面に対し傾斜した状態、好ましくはウエハＷの周縁近傍と略平行な状態で、ウエハＷ，Ｗの間（ウエハＷが載置される位置）に挿入される。
【００３０】
このようにウエハ載置面２ａ，３ａ（載置プレート２ｂ，３ｂ）がその長手方向の回動軸Ａ２，Ａ３により回動し傾斜しているため、載置プレート２ｂ，３ｂとウエハＷ，Ｗとの間隔を大きくとることができ、したがって、挿入時に載置プレート２ｂ，３ｂがウエハＷ，Ｗに接触するのを防ぐことができる。それに対し、ウエハ載置面２ａ，３ａが水平状態の載置プレート２ｂ、３ｂをウエハＷ，Ｗの間に挿入した場合には、載置プレート２ｂ，３ｂとウエハＷ，Ｗとの間隔を大きくとることができず、ウエハＷと接触しやすくなってしまう。
【００３１】
載置プレート２ｂ，３ｂをウエハＷ，Ｗの間に挿入した後、載置プレート２ｂ，３ｂを上昇させるか或いはウエハカセット２２を下降させることにより、ウエハ載置面２ａ，３ａにウエハＷを載置する。このとき、アーム部２，３はアーム支持部６により回動自在に支持されているため、ウエハの自重、又は、載置プレート２ｂとウエハカセット２２との相対移動により、アーム部２，３は、ウエハ載置面２ａ，３ａがウエハＷと面接触するように回転する。
【００３２】
そして、ウエハ載置面２ａ，３ａに載置したウエハＷを例えば後述する検査部等に搬送する。検査等の処理を行った後には、ウエハＷを再びウエハカセット２２に収納する。
ここで、例えば肉厚のウエハＷなど、図８Ｂに示すように水平状態の例外的なウエハＷをウエハカセット２２から搬出する場合にも、傾斜した状態で挿入される載置プレート２ｂ−１，３ｂ−１が載置時にウエハＷに当接しながら水平状態に回動するため（載置プレート２ｂ−２，３ｂ−２）、ウエハＷを確実に保持することができる。
【００３３】
以上説明したウエハ搬送装置１では、ウエハ載置面２ａ，３ａを水平面に対し傾斜させた状態で、アーム部２，３がウエハカセット２２内に挿入（ウエハが載置される位置に移動）されるため、ウエハカセット２２に積層されたウエハＷに反りや撓みが発生していても、アーム部２，３とウエハＷとの不要な接触を防ぐことができる。よって、本実施の形態によれば、ウエハＷの破損のリスクを低減することができる。
【００３４】
また、本実施の形態では、バランサ４，５によって、アーム部２，３をウエハ載置面２ａ，３ａが傾斜した状態に付勢するため、簡素な構成でウエハ載置面２ａ，３ａを傾斜させることができる。
【００３５】
また、本実施の形態では、ウエハ載置面２ａ，３ａ（アーム部２，３）は、ウエハ載置面２ａ，３ａ上に位置する回動軸Ａ２，Ａ３を中心に回動する。そのため、載置プレート２ｂ，３ｂがウエハＷと接触した状態で回動しても、上述のように、ウエハ載置面２ａ，３ａは、水平方向にほとんど移動しない。これにより、載置プレート２ｂ，３ｂがウエハＷと接触した状態で水平方向に滑ることが少なく、載置プレート２ｂ，３ｂにより目的の位置でウエハＷを保持することができ、したがって、ウエハＷの位置ズレやウエハＷの裏面のキズの発生等を防ぐことができる。
【００３６】
また、上述した特許文献１（特開２００５−９３８９３号公報）の技術では、回動軸とチューブとが互いに同軸に接続されているため、捩じりの応力が働くことでアーム部２，３の回動が妨げられやすい。それに対して、本実施の形態では、アーム側吸引用チューブ７，８は、ウエハ載置面２ａ，３ａの回動軸Ａ２，Ａ３と異なる方向、具体的には直交する方向にアーム部２，３に接続される。そのため、アーム部２，３が回動しても、アーム側吸引用チューブ７，８に捩じりの応力が働くことによる反力が生じにくく、したがって、円滑にアーム部２，３を回動させることができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、アーム側吸引用チューブ７，８がアーム支持部６と２本のアーム部２，３とを接続するため、図示しない吸引手段に単一の支持部側吸引用チューブ９を接続することによって、２本のアーム部２，３によるウエハＷの吸着保持を実現することができ、したがって、ウエハ搬送装置１を簡素な構成とすることができる。
【００３８】
また、本実施の形態では、ウエハ搬送装置１は、ウエハ載置面２ａ，３ａの傾きを検出する透過型センサ１０，１１を備える。そのため、ウエハ載置面２ａ，３ａが例えば水平状態などの意図しない角度でウエハカセット２２に挿入されるのを防ぐことができ、したがって、確実にウエハＷの破損を防ぐことができる。
【００３９】
また、本実施の形態では、ウエハ載置面２ａ，３ａの回動角度を規制するアーム側ピン２ｆ，３ｆ及び回動規制用ピン６ｈ，６ｉを設けている。そのため、ウエハ載置面２ａ，３ａが例えば水平状態などの意図しない角度でウエハカセット２２に挿入されるのを防ぐことができ、したがって、確実にウエハＷの破損を防ぐことができる。
【００４０】
また、本実施の形態では、回動規制用ピン６ｈ，６ｉは、軸支部６ｂ，６ｃの複数位置に着脱可能となっており、取り付け位置を変更することで、アーム部２，３の回動可能範囲を調整可能となっている。したがって、ウエハＷの反りや撓みに応じて、ウエハ載置面２ａ，３ａの回動角度を規制することができる。
【００４１】
なお、以上説明したウエハ搬送装置１では、傾斜手段としてバランサ４，５を配置する例について説明したが、バランサ４，５に代えて、図９（要部右側面断面図）に示すように軸支部６ｃ（アーム支持部６）とアーム部２，３との間に介在するコイルスプリング１３等の他の傾斜手段を用いて、アーム部２，３をウエハ載置面２ａ，３ａが傾斜した状態に付勢してもよい。
【００４２】
更には、傾斜手段として、アーム部２，３を回動させるモータ等の駆動部を配置し、図示しない制御部により駆動部を駆動させてアーム部２，３ひいてはウエハ載置面２ａ，３ａを傾斜させてもよい。その場合、ウエハ載置面２ａ，３ａの傾き角度をウエハＷの反りや撓みに合わせて調整することができる。 
【００４３】
また、本実施の形態では、傾斜手段としてのバランサ４，５をプレート固定部２ｃ，３ｃに配置する例について説明したが、図１０（要部平面図）及び図１１（要部背面図）に示すバランサ５´のように、アーム部２，３の、載置プレート２ｂ，３ｂと反対側の端部に配置してもよい。
【００４４】
また、本実施の形態では、アーム側吸引用チューブ７，８がプレート固定部２ｃ，３ｃの上面でアーム部２，３に接続されるが、図１２（平面図）に示すように、載置プレート２ｂ，３ｂの側面でアーム部２，３に接続される アーム側吸引用チューブ７´，８´を用いるようにしてもよい。
【００４５】
また、本実施の形態では、アーム側吸引用チューブ７，８がウエハ載置面２ａ，３ａの回動軸Ａ２，Ａ３と直交する方向で且つ回動軸Ａ２，Ａ３上でアーム部２，３に接続されるため、アーム部２，３が回動しても、アーム側吸引用チューブ７，８に捩じりの応力により反力が生じて、バランサ４，５による付勢が妨げられることがなく、アーム部２，３を弱い力で容易に回動させることができる。なお、アーム側吸引用チューブ７，８がウエハ載置面２ａ，３ａの回動軸Ａ２，Ａ３と異なる方向にアーム部２，３に接続されていれば、その方向が直交に近いことが望ましくはあるが、同様にアーム側吸引用チューブ７，８による捩じりの応力が生ずるのを有効に防ぐことができる。
【００４６】
また、本実施の形態では、アーム部２，３とアーム支持部６とを接続するアーム側吸引用チューブ７，８、及び、アーム支持部６と図示しない吸引手段とを接続する支持部側吸引用チューブ９を配置しているが、アーム部２，３と吸引手段とを直接的に接続する吸引用チューブを配置するようにしてもよい。その場合にも、当該吸引用チューブは、回動軸Ａ２，Ａ３と異なる方向、好ましくは直交する方向に、アーム部２，３に接続するとよい。
【００４７】
また、本実施の形態では、アーム側吸引用チューブ７，８は、ウエハ載置面２ａ，３ａの回動軸Ａ２，Ａ３上でアーム部２，３に接続されているが、吸引用チューブ７，８を回動軸Ａ２，Ａ３からオフセットされた位置（回動軸Ａ２，Ａ３と同軸でなく且つ交差しない方向）に配置してもよい。その場合にも、アーム側吸引用チューブ７，８がウエハ載置面２ａ，３ａの回動軸Ａ２，Ａ３と異なる方向にアーム部２，３に接続されるのが望ましいが、回動軸Ａ２，Ａ３と平行にアーム部２，３に接続した場合にも、アーム側吸引用チューブ７，８に捩じりの応力が生ずるのを抑えることができる。そのため、弱い力でアーム部２，３を回動させることができる。
【００４８】
また、本実施の形態では、透過型センサ１０，１１は、検出光がバランサ４，５に遮られるか否かによりウエハ載置面２ａ，３ａの傾きを検出し、アーム部２，３が所定の角度に傾いているか否かを判定可能にしているが、図１３（要部右側面断面図）及び図１４（要部背面図）に示すように、アーム支持部３の後端に角度検出用フラグ３ｈを配置すると共に、アーム支持部６に、角度検出用フラグ３ｈに検出光が遮られるか否かによりウエハ載置面３ａ（２ａ）の傾き角度を検出する透過型センサ１４を配置するようにしてもよい。
【００４９】
また、透過型センサ１０，１１に代えて、図１５（正面図）に示すように、例えば下方から載置プレート２ｂ，３ｂ（アーム部２，３）に検出光を発し、その反射光を検出することでウエハ載置面２ａ，３ａの傾き角度を検出する反射型センサ１５，１６など、他の傾き検出手段を用いてもよい。
【００５０】
なお、アーム部２，３が所定の角度に傾いていない場合は、ウエハ搬送装置１のウエハカセット２２への挿入動作を中止し、警報を鳴らすようにしてもよい。
＜ウエハ検査装置及びウエハ検査方法について＞
図１６及び図１７は、本発明の一実施の形態に係るウエハ検査装置２１を示す平面図及び正面図である。
【００５１】
ウエハ検査装置２１は、ウエハ搬送装置１´と、上述のウエハカセット２２と、ウエハ搬送装置１´により搬送されるウエハＷ（図１７には図示せず）を検査する検査部としてのミクロ検査部２３及びマクロ検査部２４（図１７には図示せず）と、操作部２５と、を含む。
【００５２】
但し、ウエハ搬送装置１´は、例えば図１のアーム支持部６の長手方向（Ｙ軸方向）を
線対称軸としてアーム部２，３の反対側にアーム部２´，３´が設置され、アーム部２，３，２´，３´及びアーム支持部６´からなる部分がＨ字の形状となっている。
【００５３】
また、各アーム部２，３，２´，３´は相互に独立して上述のように回動して傾斜するようになっている。更に、アーム支持部６´は、アーム部２，３とアーム部２´，３´とが回転対称となる回転軸（Ｚ軸）を中心に回転可能かつ上下移動可能に、ウエハ搬送装置１´の駆動部２６により上方から保持されている。
【００５４】
ウエハカセット２２には、上述の図８Ａに示すように、周縁支持部２２ａに支持されたウエハＷが高さ方向に積層されている。
駆動部２６は、図示しないレールに沿ってＸ軸方向へ移動する。また、アーム部２，３とアーム部２´，３´とを回転対称に回転させるアーム支持部６´の回転軸（Ｚ軸）の位置は、ウエハカセット２２に収容されるウエハＷの中心位置とＹ軸座標が同一となっている。すなわち、各アーム部２，３，２´，３´の長手方向がＸ軸方向に延びる状態にあるとき、駆動部２６のＸ軸方向の移動とアーム支持部６´の上下方向の移動だけでウエハＷの搬出入ができるようになっている。
【００５５】
ミクロ検査部２３は、ウエハＷを拡大観察するための顕微鏡２３ａと、２軸方向に移動可能なＸＹステージ２３ｃと、ＸＹステージ２３ｃ上に設置され、ウエハＷをＸＹＺの各軸方向に移動させると共に回動させ、更にウエハＷの受け渡しに用いられるウエハ載置台２３ｂと、を有する。
【００５６】
マクロ検査部２４は、ウエハＷを揺動させる揺動機構２４ａと、ウエハの受け渡しに用いられるウエハ載置台２４ｂとを有する。
以下、ウエハ検査装置２１を用いたウエハＷの検査について説明する。
【００５７】
図１８は、本発明の一実施の形態に係るウエハ検査方法を示すフローチャートである。
まず、マクロ検査部２４側のウエハ搬送装置１´により上述のようにウエハカセット２２内のウエハＷを搬出する（Ｓ１）。
【００５８】
そして、図示しないセンサによりウエハＷの中心の所定位置からのズレを検出するアライメントを行った後（Ｓ２）、ウエハ搬送装置１´により、ウエハ載置台２４ｂの回転中心にウエハＷの中心を合わせて、ウエハＷをマクロ検査部２４のウエハ載置台２４ｂに載置する（Ｓ３）。
【００５９】
この際、ウエハ搬送装置１´は、駆動部２６のＸ軸方向への一軸方向の移動とアーム支持部６´の水平面内での回転のみでウエハＷの中心とウエハ載置台２４ｂの回転中心とを一致させることができる。
【００６０】
すなわち、ウエハＷをアーム部２，３又はアーム部２´，３´により基準となる位置で保持したときの中心位置と、実際にウエハＷを保持したときの中心位置とのズレ量及び方向が上述のアライメント（Ｓ２）により検出されているので、Ｙ軸方向のズレをアーム支持部６´の回転により補正し、その回転角度により発生するＸ軸方向のズレ量とアライメント時のＸ軸方向のズレ量とから駆動部２６の移動量が決定される。
【００６１】
次に、マクロ検査部２４の揺動機構２４ａが、ウエハ載置台２４ｂに載置されたウエハを持ち上げて揺動させる。そして、揺動するウエハＷを検査者が目視観察（マクロ検査）する（Ｓ４）。
【００６２】
このとき、ウエハ搬送装置１´は、ウエハ載置台２４ｂ及び受け渡し位置にあるウエハ
載置台２３ｂのそれぞれの回転中心の中点と駆動部２６がアーム支持部６´を回転させる回転軸（Ｚ軸）が一致する位置でアーム支持部６´を下方に移動させ待機している。マクロ検査（Ｓ４）が終わると、アーム支持部６´を上昇させ、ウエハ搬送装置１´がアーム支持部６´を１８０度回転させることにより（図１６では半時計回り）、ウエハ搬送装置１´のアーム部２，３とアーム部２´，３´の位置とが互いに入れ替わる。
【００６３】
１８０度回転したウエハ搬送装置１´は、アーム支持部６´を下降させ、ウエハＷをミクロ検査部２３のウエハ載置台２３ｂに載置する（Ｓ５）。そして、ＸＹステージ２３ｃを移動させることにより適宜ウエハを移動・回動させながら、顕微鏡２３ａを用いてウエハの拡大観察（ミクロ検査）を行う（Ｓ６）。ミクロ検査が終了するとＸＹステージ２３ｃを受け渡し位置に移動させる。
【００６４】
ここで再びウエハ搬送装置１´がアーム支持部６´を上昇させ１８０度回転させることにより、アーム部２，３とアーム部２´，３´との位置が互いに入れ替わる。ウエハ搬送装置１´は、アーム支持部６´を下降させ、ウエハＷをマクロ検査部２４のウエハ載置台２４ｂに載置する（Ｓ７）。
【００６５】
なお、このとき、マクロ検査部２４側からミクロ検査部２３側へ回転する他方のアーム部２´，３´には、上述のマクロ検査（Ｓ４）までの処理が行われた他のウエハＷをミクロ検査部２３へ搬送（Ｓ５）するようにする。これにより、同時に２つのウエハの検査を行うことができる。
【００６６】
次に、ウエハ載置台２４ｂ上のウエハＷのズレを、ウエハ載置台２４ｂを回転させた状態で図示しないセンサにより検出する。その後、ウエハ載置台２４ｂの回転によりウエハＷを回転させることで、ウエハＷのウエハ載置台２４ｂに対するズレ方向、すなわち、ウエハ載置台２４ｂの回転中心からウエハＷの中心へ向かう方向、を駆動部２６の移動方向（収納方向と同一方向（Ｘ軸方向である図１６の矢印方向））に一致させる（Ｓ９）。
【００６７】
次に、ウエハＷにノッチがないか、或いは、ノッチがあってもノッチの向きを調整しない場合（Ｓ９）には、そのままウエハ搬送装置１´のアーム支持部６´を上昇させて受け取り、ウエハ載置台２４ｂとウエハＷの中心とのズレ量を考慮して挿入することによりウエハをウエハカセット２２に収容する（Ｓ１３）。
【００６８】
この場合、ウエハＷのズレ方向が駆動部２６の移動方向に一致し、また各アーム部２，３，２´，３´の長手方向も駆動部２６の移動方向であるＸ軸方向に一致しているため、ウエハ搬送装置１´でＹ軸方向へウエハＷを移動させる必要がない。また、駆動部２６のＸ軸方向への一軸方向への移動及びアーム支持部６´の上下移動のみで、ウエハカセット２２の幅方向にズレることなくウエハＷの搬入を行うことができる。
【００６９】
一方、ノッチの向きを調整する場合（Ｓ９）には、再度ウエハ搬送装置１´のアーム支持部６´を上昇させてウエハＷを受取けり、駆動部２６を移動させてウエハＷの中心とウエハ載置台２４ｂの中心とを合わせて、再度ウエハ載置台２４ｂにウエハＷを受け渡す（Ｓ１０）。この場合にも、ウエハのズレ方向が駆動部２６の移動方向（収納方向）に一致しているため、駆動部２６を収納方向（一軸方向の移動方向）に移動させアーム支持部６´を上下動させるだけでウエハＷの中心とウエハ載置台２４ｂの回転中心との中心合わせが可能になる。
【００７０】
この後、ノッチを図示しないセンサにより検出すると共に（Ｓ１１）、ウエハＷを回転させてノッチを例えば収納方向に位置合わせし（Ｓ１２）、上述のようにウエハ搬送装置１´によりウエハをウエハカセット２２に収容する（Ｓ１３）。
【００７１】
全てのウエハの検査が終了した場合（Ｓ１４）には検査終了となり、未検査のウエハがある場合には、ウエハの搬出（Ｓ１）から上述の処理を再度行う。
以上説明したウエハ検査装置２１は、ウエハ搬送装置１の説明で述べたように、ウエハ搬送装置１が、ウエハ載置面２ａ，３ａを水平面に対し傾斜させた状態のアーム部２，３をウエハカセット２２内に挿入するため、ウエハカセット２２に積層されたウエハＷに反りや撓みが発生していても、アーム部２，３とウエハＷとの不要な接触を防ぐことができる。よって、ウエハＷの破損のリスクを低減することができる。
【００７２】
また、ウエハＷを撓んだままウエハカセット２２から搬出入させることができるので、ウエハカセット２２の例えば１つ上の段のウエハＷとの接触を防ぐことができる。
また、ウエハ検査装置２１は、マクロ検査部２４のウエハ載置台２４ｂ上のウエハＷの中心とウエハ載置台２４ｂの回転中心とのズレを図示しないセンサにより検出し、ウエハＷを回転させることで、ウエハＷのズレ方向を駆動部２６の移動方向（収納方向と同一方向のＸ軸方向）に一致させる（Ｓ８）。そのため、アーム部２，３及びアーム部２´，３´の長手方向を駆動部２６の移動方向（Ｘ軸方向）に一致させた状態で駆動部２６を移動させるだけで、ウエハとウエハ載置台２４ｂとの中心合わせ（Ｓ１０）或いはウエハカセット２２へのウエハの搬送（Ｓ１３）時の位置合わせを行うことができる。
【００７３】
また、本実施の形態ではウエハについて説明したが、本実施の形態は、フラットパネルディスプレイ等の大型の基板にも適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置を示す正面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置を示す背面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置を示す部分断面右側面図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置を示す斜視図である。
【図６】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図７Ａ】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置のアーム部の回動軸を説明するための説明図である。
【図７Ｂ】アーム部の回動軸を説明するための説明図（比較例）である。
【図８Ａ】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置の載置プレートによるウエハカセットからのウエハの搬出を説明するための説明図（その１）である。
【図８Ｂ】本発明の一実施の形態に係るウエハ搬送装置の載置プレートによるウエハカセットからのウエハの搬出を説明するための説明図（その２）である。
【図９】本発明の一実施の形態の第１変形例に係るウエハ搬送装置を示す要部右側面断面図である。
【図１０】本発明の一実施の形態の第２変形例に係るウエハ搬送装置を示す要部平面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態の第２変形例に係るウエハ搬送装置を示す要部背面図である。
【図１２】本発明の一実施の形態の第３変形例に係るウエハ搬送装置を示す平面図である。
【図１３】本発明の一実施の形態の第４変形例に係るウエハ搬送装置を示す要部右側面断面図である。
【図１４】本発明の一実施の形態の第４変形例に係るウエハ搬送装置を示す要部背面図である。
【図１５】本発明の一実施の形態の第５変形例に係るウエハ搬送装置を示す正面図である。
【図１６】本発明の一実施の形態に係るウエハ検査装置を示す平面図である。
【図１７】本発明の一実施の形態に係るウエハ検査装置を示す正面図である。
【図１８】本発明の一実施の形態に係るウエハ検査方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７５】
１      ウエハ搬送装置
２，３      アーム部
２ａ，３ａ      ウエハ載置面
２ｂ，３ｂ      載置プレート
２ｃ，３ｃ        プレート固定部
２ｄ，３ｄ      吸引孔
２ｅ，３ｅ      吸引路
２ｆ，３ｆ      アーム側ピン
３ｈ      角度検出用フラグ
４，５      バランサ
６      アーム支持部
６ａ      支持プレート
６ｂ，６ｃ      軸支部
６ｄ      貫通孔
６ｅ，６ｆ      ベアリング
６ｇ      吸引路
６ｈ，６ｉ      回動規制用ピン
７，８      アーム側吸引用チューブ
９      支持部側吸引用チューブ
１０，１１      透過型センサ
１３      コイルスプリング
１４      透過型センサ
１５，１６      反射型センサ
２１      ウエハ検査装置
２２      ウエハカセット
２２ａ      周縁支持部
２３      ミクロ検査部
２３ａ      顕微鏡
２３ｂ      ウエハ載置台
２３ｃ      ＸＹステージ
２４      マクロ検査部
２４ａ      揺動機構
２４ｂ      ウエハ載置台
２５      操作部
２６      駆動部
Ｗ      ウエハ
【図１８】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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