【手続補正書】
【提出日】平成17年3月23日(2005.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハを処理して半導体デバイスを製造する半導体製造装置であって、当該半導体製造装置は、該半導体製造装置の制御を行う制御装置を有し、当該制御装置は、前記半導体製造装置の複数の処理パラメータを夫々測定する複数のセンサと、前記測定された処理パラメータの正常値との乖離が所定の閾値以上か否かを判別する判別手段と、前記乖離が前記所定の閾値以上になった回数を計数する計数手段と、前記計数された回数が所定の回数以上になったときに警報を発する警報手段とを備えることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
前記警報手段は、所定の時間内に前記計数された回数が所定の回数以上になったときに警報を発することを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置。
【請求項３】
前記所定の閾値は第１の閾値と、前記第１の閾値より大きい第２の閾値と、前記第２の閾値より大きい第３の閾値と、前記第３の閾値より大きい第４の閾値とから成り、前記警報手段は、前記乖離が所定の第１の回数だけ前記第１の閾値以上になったときに第１の警報を発する第１の警報発生手段、前記乖離が所定の第２の回数だけ前記第２の閾値以上になったときに第２の警報を発する第２の警報発生手段、前記乖離が所定の第３の回数だけ前記第３の閾値以上になったときに第３の警報を発する第３の警報発生手段、前記乖離が所定の第４の回数だけ前記第４の閾値以上になったときに第４の警報を発する第４の警報発生手段のうち少なくとも１つの警報発生手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載の半導体製造装置。
【請求項４】
前記第１の警報発生手段は、前記半導体製造装置に取り付けられたパトランプであり、前記第１の警報は、前記パトランプの点滅であることを特徴とする請求項３記載の半導体製造装置。
【請求項５】
前記警報手段は、前記計数された回数を所定の周期で集計する集計手段を有し、前記第２の警報発生手段は前記集計された回数を前記第２の警報として前記所定の周期で発することを特徴とする請求項３又は４記載の半導体製造装置。
【請求項６】
前記第２から第４の警報発生手段の各々は、前記制御装置にネットワーク回線を介して接続された情報処理装置であり、前記第２から第４の警報の各々は、情報処理装置に送信される電子メールであることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項７】
前記第４の警報発生手段は、前記半導体製造装置の処理を停止する停止手段を有することを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項８】
前記計数手段は、前記警報手段が警報を発したときは、前記計数した回数をリセットすることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項９】
前記判別手段は、前記複数の処理パラメータの正常値を記憶すると共に、前記半導体ウエハ毎に前記複数のセンサによって測定された複数の処理パラメータを記憶する記憶手段と、前記半導体ウエハの各々の前記記憶手段に記憶された前記複数の処理パラメータを前記正常値と比較すると共に、前記比較の結果、前記記憶された複数の処理パラメータの少なくとも１つが前記正常値から乖離する場合は、前記正常値から乖離する処理パラメータの前記正常値からの乖離値を算出して該算出された乖離値が前記所定の閾値以上か否かを判別する乖離判別手段とを備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項１０】
前記正常値は、所望の半導体デバイスを製造するために予め設定された前記複数の処理パラメータの最小値及び最大値の範囲内の値であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項１１】
前記正常値は、所望の半導体デバイスを製造するために予め設定された前記複数の処理パラメータに基づいて設定された多変量空間内における許容範囲内の値であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３記載の半導体製造装置の制御装置は、請求項１又は２記載の半導体製造装置において、前記所定の閾値は第１の閾値と、前記第１の閾値より大きい第２の閾値と、前記第２の閾値より大きい第３の閾値と、前記第３の閾値より大きい第４の閾値とから成り、前記警報手段は、前記乖離が所定の第１の回数だけ前記第１の閾値以上になったときに第１の警報を発する第１の警報発生手段、前記乖離が所定の第２の回数だけ前記第２の閾値以上になったときに第２の警報を発する第２の警報発生手段、前記乖離が所定の第３の回数だけ前記第３の閾値以上になったときに第３の警報を発する第３の警報発生手段、前記乖離が所定の第４の回数だけ前記第４の閾値以上になったときに第４の警報を発する第４の警報発生手段のうち少なくとも１つの警報発生手段を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項８記載の半導体製造装置は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の半導体製造装置において、前記計数手段は、前記警報手段が警報を発したときは、前記計数した回数をリセットすることを特徴とする。
請求項９記載の半導体製造装置は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体製造装置において、前記判別手段は、前記複数の処理パラメータの正常値を記憶すると共に、前記半導体ウエハ毎に前記複数のセンサによって測定された複数の処理パラメータを記憶する記憶手段と、前記半導体ウエハの各々の前記記憶手段に記憶された前記複数の処理パラメータを前記正常値と比較すると共に、前記比較の結果、前記記憶された複数の処理パラメータの少なくとも１つが前記正常値から乖離する場合は、前記正常値から乖離する処理パラメータの前記正常値からの乖離値を算出して該算出された乖離値が前記所定の閾値以上か否かを判別する乖離判別手段とを備えることを特徴とする。
請求項９記載の半導体製造装置によれば、複数のセンサによって測定された複数の処理パラメータを半導体ウエハ毎に記憶し、半導体ウエハの各々の記憶された複数の処理パラメータを、予め記憶された複数の処理パラメータの正常値と比較し、この記憶された複数の処理パラメータの少なくとも１つが正常値から乖離する場合は、この乖離値を算出して所定の閾値以上か否かを判別するので、請求項１の効果をより確実に奏することができる。
請求項１０記載の半導体製造装置は、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体製造装置において、前記正常値は、所望の半導体デバイスを製造するために予め設定された前記複数の処理パラメータの最小値及び最大値の範囲内の値であることを特徴とする。
請求項１１記載の半導体製造装置は、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体製造装置において、前記正常値は、所望の半導体デバイスを製造するために予め設定された前記複数の処理パラメータに基づいて設定された多変量空間内における許容範囲内の値であることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
変動許容範囲群はプラズマ処理装置１１の実処理前に試用半導体ウエハｗを用いて作成される。試用半導体ウエハｗは半導体ウエハＷと同一の材質及び構造を有している。変動許容範囲群の作成は、まずエッチング前の試用半導体ウエアｗの仕様、当該試用半導体ウエハｗのエッチング後のデバイスの仕様、デバイスの期待仕様、期待仕様の許容範囲、及びプラズマ処理装置の特性ライブラリに基づいて最適と思われる装置パラメータを従来と同様の手法によって求める。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
一方、センサデータ判別部４３において、上記記憶されたセンサデータとしての夫々の検出値が、その夫々に対応する変動許容範囲内ではないと判別される場合、つまり、半導体ウエハＷに対するエッチング処理が期待仕様を満たすものではないと判別される場合は、上記検出値のその夫々に対応する変動許容範囲から外れているレベルを算出して、上記検出値の夫々に対応した半導体ウエハＷのＩＤ番号を付してセンサレベルとして記憶する。このセンサレベルは、検出値が変動許容範囲に対して例えば５％以下のズレであるときをレベルＡ（第１の閾値）で表し、同５％より大きく７％以下のズレであるときをレベルＢ（第２の閾値）で表し、同７％より大きく１０％以下のズレであるときをレベルＣ（第３の閾値）で表し、同１０％より大きく１５％以下のズレであるときをレベルＤ（第４の閾値）で表す。このセンサレベル及びセンサデータはワーニングログ記憶部４９に記憶される。上記閾値の各々は、プロセスエンジニアの判断により適切に設定される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
請求項３記載の半導体製造装置によれば、複数の処理パラメータの正常値との乖離が所定の第１の回数だけ第１の閾値以上になったときに第１の警報を発し、この乖離が所定の第２の回数だけ第１の閾値より大きい第２の閾値以上になったときに第２の警報を発し、この乖離が所定の第３の回数だけ第２の閾値より大きい第３の閾値以上になったときに第３の警報を発し、又は、この乖離が所定の第４の回数だけ第３の閾値より大きい第４の閾値以上になったときに第４の警報を発するので、請求項１の効果をさらに確実に奏することができる。
請求項９記載の半導体製造装置によれば、複数のセンサによって測定された複数の処理パラメータを半導体ウエハ毎に記憶し、半導体ウエハの各々の記憶された複数の処理パラメータを、予め記憶された複数の処理パラメータの正常値と比較し、この記憶された複数の処理パラメータの少なくとも１つが正常値から乖離する場合は、この乖離値を算出して所定の閾値以上か否かを判別するので、請求項１の効果をより確実に奏することができる。