【手続補正書】
【提出日】平成17年9月16日(2005.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レーザ照射装置及びレーザ照射方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザと、前記レーザを偏向する手段と、前記偏向されたレーザが通過する凸レンズと、被照射物を設置する台とを有するレーザ照射装置において、
前記台の設置面は、前記被照射物に前記レーザを照射して求められた前記レーザを偏向する手段及び前記凸レンズによる収差に基づく形状を有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項２】
レーザと、ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一と、ｆθレンズと、被照射物を設置する台とを有するレーザ照射装置において、
前記台の設置面は、前記被照射物に前記レーザを照射して求められた前記ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一並びに前記ｆθレンズによる収差に基づく形状を有することを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記被照射物は前記台に設けられた開口部を通して吸引されて固定されることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項４】
レーザと、前記レーザを偏向する手段と、前記偏向されたレーザが通過する凸レンズと、被照射物を設置する台とを有するレーザ照射装置において、
前記台を、前記被照射物に前記レーザを照射して求められた前記レーザを偏向する手段及び前記凸レンズによる収差に基づき上下させることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項５】
レーザと、ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一と、ｆθレンズと、被照射物を設置する台とを有するレーザ照射装置において、
前記台を、前記被照射物に前記レーザを照射して求められた前記ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一並びに前記ｆθレンズによる収差に基づき上下させることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一において、雰囲気が制御される反応室に前記被照射物が設置されることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項７】
レーザと、前記レーザを偏向する手段及び前記偏向されたレーザが通過する凸レンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記光学系による収差を求め、前記求めた収差に基づいて被照射物を変形させ、
前記変形された被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項８】
レーザと、前記レーザを偏向する手段及び前記偏向されたレーザが通過する凸レンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記レーザを偏向する手段及び前記凸レンズによる収差を求め、前記求めた収差に基づいて被照射物を変形させ、
前記変形された被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項９】
レーザと、ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一並びにｆθレンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記ガルバノミラー及び前記ポリゴンミラーのいずれか一並びに前記ｆθレンズによる収差を求め、前記求めた収差に基づいて被照射物を変形させ、
前記変形された被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１０】
レーザと、前記レーザを偏向する手段及び前記偏向されたレーザが通過する凸レンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記レーザを偏向する手段及び前記凸レンズによる収差を求め、前記求めた収差に基づく形状を有する台に、被照射物を設置し、
前記設置された被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１１】
レーザと、ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一並びにｆθレンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記ガルバノミラー及び前記ポリゴンミラーのいずれか一並びに前記ｆθレンズによる収差を求め、前記求めた収差に基づく形状を有する台に、被照射物を設置し、
前記設置された被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１２】
請求項１０又は１１おいて、前記被照射物は前記台に設けられた開口部を通して吸引されて固定されていることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１３】
レーザと、前記レーザを偏向する手段及び前記偏向されたレーザが通過する凸レンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記光学系よる収差を求め、前記求めた収差に基づいて上下に移動する台に、被照射物を設置し、
前記台を上下に移動させながら前記被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１４】
レーザと、前記レーザを偏向する手段及び前記偏向されたレーザが通過する凸レンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記レーザを偏向する手段及び前記凸レンズによる収差を求め、前記求めた収差に基づいて上下に移動する台に、被照射物を設置し、
前記台を上下に移動させながら前記被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１５】
レーザと、ガルバノミラー及びポリゴンミラーのいずれか一並びにｆθレンズを有する光学系と、を用いたレーザ照射方法において、
被照射物に前記レーザを照射し、前記ガルバノミラー及び前記ポリゴンミラーのいずれか一並びに前記ｆθレンズによる収差を求め、前記求めた収差に基づいて上下に移動する台に被照射物を設置し、
前記台を上下に移動させながら前記被照射物に前記レーザを照射することを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１６】
請求項１３乃至１５のいずれか一において、０．２〜２０Ｈｚの周波数で前記台を上下させることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１７】
請求項７乃至１６のいずれか一において、前記レーザを第１の方向及び前記第１の方向に垂直な第２の方向に走査させることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１８】
請求項７乃至１６のいずれか一において、前記レーザを第１の方向に走査させ、且つ前記被照射物を前記第１の方向に垂直な第２の方向に移動させることを特徴とするレーザ照射方法。
【請求項１９】
請求項７乃至１８のいずれか一において、前記被照射物は基板上に形成された半導体膜であることを特徴とするレーザ照射方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、本発明はレーザ光を用いた半導体膜のアニール（結晶化や活性化を含む）の方法及びそれを行うためのレーザ照射装置（レーザと該レーザから出力されるレーザ光を被処理体まで導くための光学系を含む装置）に関する。また本発明はレーザ照射装置を用いた薄膜トランジスタの作製方法及び薄膜トランジスタ、更にそれを備えた液晶装置、ＥＬ表示装置その他の表示装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし実際は、レーザ照射装置の光学系により被照射体（具体的には基板）に垂直方向の収差（レンズなどを通る光線が正しく一点に集まらず、不完全な像ができること）を無視できない場合、被照射体の面内でレーザ照射強度の不均一が生じてしまい、均一なレーザ照射処理を行うことは難しかった。また、収差はレンズ等の配置やレンズの特性により異なるため、各光学系において考慮する必要があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図１と同様に図３に示すレーザ照射装置は、レーザ光源１００、ガルバノミラー又はポリゴンミラー１０１、ステージ１０５を有し、更にステージを上下させる手段２００が備えられている。また本実施の形態ではｆθレンズ１０２を基板とガルバノミラー又はポリゴンミラーとの間に設置する。そして実施の形態１のように、図３の光学系における収差を求め、それに基づいて、ステージを上下させる手段を制御する。その後、線状に加工されたレーザ光を、図２に示すような走査方法で基板に照射する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
不純物領域を形成した後、加熱炉又はレーザ光を用いて不純物元素の活性化を行う。本実施の形態では、図１又は図３に示すレーザ照射装置を用いてレーザ活性化を行う。特に、ＹＡＧレーザの第２高調波を照射して活性化させてもよく、ＹＡＧレーザはメンテナンスが少ないため好ましい活性化手段である。なおレーザ照射による活性化に変えて加熱処理又は強光の照射を行ってもよく、更にこれらの活性化手段を合わせて用いてもよい。例えば、室温〜３００℃の雰囲気中において、表面又は裏面からエキシマレーザーを用いて不純物元素を活性化させると好ましい。このとき、活性化と同時にゲート絶縁膜へのプラズマダメージやゲート絶縁膜と半導体層との界面へのプラズマダメージを回復することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2004119400.tif 000001