【手続補正書】
【提出日】令和2年12月4日(2020.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
畳み込み式ニューラルネットワーク（ＣＮＮ）に増強された入力データを提供する方法であって、
プロセッサにて、ウエハイメージを受け取るステップと、
前記プロセッサを使用して、前記ウエハイメージを、各々が前記ウエハイメージにおける一つのダイに関連付けされた複数の参照イメージに分割するステップと、
前記プロセッサにて、一つ又はそれ以上のテストイメージを受け取るステップと、
前記プロセッサを使用して、前記一つ又はそれ以上のテストイメージと前記複数の参照イメージの一つ又はそれ以上との相違を取ることによって、複数の相違イメージを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
前記プロセッサを使用して、前記増強された入力データを前記ＣＮＮに提供するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージを前記受け取った一つ又はそれ以上のテストイメージに関して転置することによって、複数の転置されたイメージを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の転置されたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
を有し、
前記複数の転置されたイメージが前記受け取った一つ又はそれ以上のテストイメージに関して１サブピクセルのオフセットだけ転置されている、方法。
【請求項２】
イメージデータ獲得サブシステムを使用して、ウエハ走査を実行するステップと、
イメージデータ獲得サブシステムを使用して、前記ウエハ走査を前記ウエハイメージに変換するステップと、
前記イメージデータ獲得サブシステムを使用して、前記ウエハ走査を前記一つ又はそれ以上のテストイメージに変換するステップと、
をさらに有する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記プロセッサを使用して、複数の対象欠陥（ＤＯＩ）イメージを、ＤＯＩを有する一つ又はそれ以上のテストイメージと前記複数の参照イメージの一つ又はそれ以上との相違を取り且つ前記相違を取られたイメージを前記複数のテストイメージの一つ又はそれ以上と合成することによって、生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数のＤＯＩイメージを、前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
をさらに有する請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記プロセッサを使用して、前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージのピクセル値を定数又は行列と乗算することによって、複数の増幅されたイメージを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の増幅されたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
をさらに有する請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記プロセッサを使用して、前記ウエハイメージの電磁気的シミュレーションを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記電磁気的シミュレーションをレンダリングするステップと、
前記プロセッサを使用して、前記レンダリングされた電磁気的シミュレーションを前記受け取られたウエハイメージと組み合わせて電磁気的イメージを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記電磁気的イメージを、各々が前記電磁気的イメージにおける一つのダイに関連付けされた複数の電磁気的参照イメージに分割するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の電磁気的参照イメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
をさらに有する請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記プロセッサを使用して、前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージを焦点ずれさせることによって、複数の焦点ずれしたイメージを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の焦点ずれしたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
をさらに有する請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記プロセッサを使用して、前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージの照明値を変えることによって、複数の照明されたイメージを生成するステップと、
前記プロセッサを使用して、前記複数の照明されたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集めるステップと、
をさらに有する請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記複数の相違イメージを生成するステップが、前記プロセッサを使用して、テストイメージと、メジアンダイ参照イメージ、ゴールデンダイ参照イメージ、レンダリングされた設計に基づく参照イメージ、又は前記テストイメージと同じダイ行からの参照イメージ、前記テストイメージと同じダイ列からの参照イメージ、又は前記ウエハイメージにおける任意のダイとの相違を取るステップを有する請求項１に記載の方法。
【請求項９】
畳み込み式ニューラルネットワーク（ＣＮＮ）に増強された入力データを提供するシステムであって、
一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールを実行するように構成されたプロセッサを備えており、前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールが、
一つ又はそれ以上のダイを含むウエハイメージを受け取り、
前記ウエハイメージを、各々が前記ウエハイメージにおける一つのダイに関連付けされた複数の参照イメージに分割し、
一つ又はそれ以上のテストイメージを受け取り、
前記一つ又はそれ以上のテストイメージと前記複数の参照イメージの一つ又はそれ以上との相違を取ることによって、複数の相違イメージを生成し、
前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集め、
前記増強された入力データを前記ＣＮＮに提供し、
前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージを前記受け取った一つ又はそれ以上のテストイメージに関して転置することによって、複数の転置されたイメージを生成し、
前記複数の転置されたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集める、
ように構成され、
前記複数の転置されたイメージが前記受け取った一つ又はそれ以上のテストイメージに関して１サブピクセルのオフセットだけ転置されているシステム。
【請求項１０】
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、
複数の対象欠陥（ＤＯＩ）イメージを、ＤＯＩを有する一つ又はそれ以上のテストイメージと前記複数の参照イメージの一つ又はそれ以上との相違を取り且つ前記相違を取られたイメージを前記複数のテストイメージの一つ又はそれ以上と合成することによって、生成し、
前記複数のＤＯＩイメージを、前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集める、
ように構成されている請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記プロセッサ及びイメージ獲得サブシステムと電子的通信状態にあるデータベースをさらに備え、前記データベースが、前記ウエハイメージ、前記複数の参照イメージ、前記一つ又はそれ以上のテストイメージ、及び前記複数の相違イメージを記憶するように構成されている、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記データベースが前記ＣＮＮも記憶するように構成されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記プロセッサと電子的通信状態にあるイメージデータ獲得サブシステムをさらに備え、
前記イメージデータ獲得サブシステムがウエハ走査を実行するように構成され、
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、前記ウエハ走査を前記一つ又はそれ以上のテストイメージに変換するように構成され、
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、前記ウエハ走査を前記ウエハイメージに変換するように構成されている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、
前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージのピクセル値を定数又は行列と乗算することによって、複数の増幅されたイメージを生成し、
前記複数の増幅されたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集める、
ように構成されている請求項９に記載のシステム。
【請求項１５】
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、
前記ウエハイメージの電磁気的シミュレーションを生成し、
前記電磁気的シミュレーションをレンダリングし、
前記レンダリングされた電磁気的シミュレーションを前記受け取られたウエハイメージと組み合わせて電磁気的イメージを生成し、
前記電磁気的イメージを、各々が前記電磁気的イメージにおける一つのダイに関連付けされた複数の電磁気的参照イメージに分割し、
前記複数の電磁気的参照イメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集める、
ように構成されている請求項９に記載のシステム。
【請求項１６】
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、
前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージを焦点ずれさせることによって、複数の焦点ずれしたイメージを生成し、
前記複数の焦点ずれしたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集める、
ように構成されている請求項９に記載のシステム。
【請求項１７】
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、
前記複数の参照イメージ及び前記複数の相違イメージの照明値を変えることによって、複数の照明されたイメージを生成し、
前記複数の照明されたイメージを前記ＣＮＮのための前記増強された入力データに集める、
ように構成されている請求項９に記載のシステム。
【請求項１８】
前記一つ又はそれ以上のソフトウエアモジュールがさらに、テストイメージと、メジアンダイ参照イメージ、ゴールデンダイ参照イメージ、レンダリングされた設計に基づく参照イメージ、又は前記テストイメージと同じダイ行からの参照イメージ、前記テストイメージと同じダイ列からの参照イメージ、又は前記ウエハイメージにおける任意のダイとの相違を取ることによって、複数の相違イメージを生成するように構成されている請求項９に記載のシステム。