【手続補正書】
【提出日】平成17年7月13日(2005.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられている駆動素子を含む回路部および画素電極を有する電気光学装置であって、
前記基板は回路部の位置に対応して形成された凹部を有していることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記凹部は基板表面からの深さが異なる部分を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記回路部と画素電極の間に平坦化絶縁膜を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記平坦化絶縁膜の材料が有機材料であることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記有機材料は、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂のうちいずれかを含んでいることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記回路部が、電源線、走査線、データ線の一部を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気光学装置。
【請求項７】
基板上に、駆動素子と、平坦化絶縁膜と、画素電極と、発光層と、対向電極とを順に形成する電気光学装置の製造方法であって、
前記基板に凹部を形成する工程と、
当該凹部に前記駆動素子を含む回路部を形成する工程と
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記基板に凹部を形成する工程が、
第１のパターンにより凹部を形成する工程と、
第１のパターンとは異なる第２のパターンにより凹部を形成する工程と
を具備することを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
前記凹部に形成した前記回路部上に平坦化絶縁膜を形成することを特徴とする請求項７又は８に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
前記平坦化絶縁膜を形成する工程は、
耐熱性感光性樹脂を塗布する工程と、
前記耐熱性感光性樹脂を乾燥させる工程と、
平坦化膜パターンの露光用マスクを通して前記耐熱性感光性樹脂に対して紫外線を照射する工程と、
現像液によって前記耐熱性感光性樹脂の不要部分を除去する工程と、
前記耐熱性感光性樹脂を焼成する工程と
を具備していることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
前記耐熱性感光性樹脂が、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂のうちいずれかを含んでいることを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
前記発光層を形成する工程は湿式法を施す工程を具備することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
前記湿式法は液体吐出法であることを特徴とする請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
即ち、本発明の電気光学装置は、基板上に設けられている駆動素子を含む回路部および画素電極を有する電気光学装置であって、前記基板は前記駆動素子を含む回路部の位置に対応して形成された凹部を有し、さらにスイッチング素子及び配線と画素電極の間に平坦化絶縁膜を有していることを特徴とする。
また、前記凹部は基板表面からの深さが異なる部分を含むことを特徴とする。
ここで、駆動素子とは、スイッチング素子、各種電極、各種配線、各種絶縁膜、保持容量等からなり、電気光学装置の駆動信号（走査信号、画素信号、駆動制御信号等）に応じて、発光層を狭持する対向電極間に電圧を付与するものであり、当該駆動信号に応じて発光層を発光する機能を備えた素子である。
また、発光層とは、画素電極と対向電極から供給される正孔と電子が結合し、励起状態から失活することにより、発光現象が生ずる性質を有したものである。
また、凹部とは、駆動素子のうちいずれかを埋設するために、基板に形成された部位であり、当該凹部の位置は駆動素子の位置に対応して形成されている。更に、従来まで基板面から突起した駆動素子が埋設されるので、所望に平坦化された平坦面が形成される。
また、平坦化絶縁膜とは、凹部に埋設された駆動素子の上方に形成される層間絶縁膜であり、また、上記所望に平坦化された平坦面に対して更に高精度な平坦化を補完的に行い、で画素電極や発光層等の発光機能層が形成される下地膜を意味する。
従って本発明によれば、駆動素子を基板に埋設して得られる平坦面を、平坦化絶縁膜によって更に高精度に平坦化することができるので、平坦化絶縁膜の上層に形成される発光層等の発光機能層が均一に形成され、発光特性のバラツキが生じず、良好な発光特性が得られ、長寿命化が達成された電気光学装置を提供することができる。
また本発明は先に記載の電気光学装置であり、前記平坦化絶縁膜の材料が有機材料であることを特徴とする。
有機材料はフォトリソプロセスによってパターンを容易に形成できるだけでなく、感光性を持たせてフォト工程のみでパターンを形成することができる。そのため、無機材料と比べて工程短縮・コスト削減という効果が得られる。
また本発明は先に記載の電気光学装置であり、前記有機材料は、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂のうちいずれかを含んでいることを特徴とする。
これらの材料は、有機材料の特徴を有するのみならず、耐熱性にすぐれ、電気光学装置製造プロセスの加工条件（温度）を高く設定することができるので、他の材料を使った場合に比べて高信頼性の電気光学装置を提供することができる。
また、本発明は先に記載の電気光学装置であり、前記回路部が、電源線、走査線、データ線の一部を含むことを特徴とする。
また本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上に、駆動素子と、平坦化絶縁膜と、画素電極と、発光層と、対向電極とを順に形成する電気光学装置の製造方法であって、基板に凹部をする工程と、当該凹部に駆動素子を含む回路部を形成する工程と、前記回路部を埋設して平坦面を形成する工程と、平坦面を補完する平坦化絶縁膜を形成する工程とを具備することを特徴とする。
従って本発明によれば、所望に平坦化された平坦面が平坦化絶縁膜によって更に高精度に平坦化されるので、平坦化絶縁膜の上層に形成される発光層等の発光機能層が均一に形成され、発光特性のバラツキが生じず、良好な発光特性が得られ、長寿命化が達成された電気光学装置を提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は前記基板に凹部を形成する工程が、第１のパターンにより凹部を形成する工程と、第１のパターンとは異なる第２のパターンにより凹部を形成する工程とを具備することを特徴とする。
また、本発明は先に記載の電気光学装置の製造方法であり、平坦化絶縁膜を形成する工程は、耐熱性感光性樹脂を塗布する工程と、前記耐熱性感光性樹脂を乾燥させる工程と、平坦化膜パターンの露光用マスクを通して前記耐熱性感光性樹脂に対して紫外線を照射する工程と、現像液によって前記耐熱性感光性樹脂の不要部分を溶解除去する工程と、前記耐熱性感光性樹脂を焼成する工程とを具備していることを特徴とする。
有機材料のパターニングによって平坦化絶縁膜を形成する場合、耐熱性感光性樹脂を用いるのが最も簡便で低コスト化が可能である。従って、高信頼性の電気光学装置を低コストで提供することができる。
また、本発明は先に記載の電気光学装置の製造方法であり、前記耐熱性感光性樹脂が、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂のうちいずれかを含んでいることを特徴とする。
これらの耐熱性感光樹脂は、表示体分野、半導体分野等で広く使われており、容易に入手でき、コストも類似材料の中では比較的安い。従って高信頼性の電気光学装置を低コストで提供することができる。