【手続補正書】
【提出日】令和3年4月1日(2021.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの柔軟な面状の電極（１）と、直接的な通電を妨げる層（３）によって前記電極（１）を処置されるべき表面から遮蔽する面状の柔軟な第１の材料からなる誘電体（２）とを有する、カウンター電極として利用される物体の表面の誘電体バリアプラズマ処置のための電極機構であって、前記誘電体（２）は突起（７）を有する構造体（４）を介して処置されるべき表面の上に載置することができ、その際にそれぞれの前記突起（７）の間に、処置されるべき表面に向かって開いた側と、前記誘電体（２）の前記直接的な通電を妨げる層（３）による底面側の遮蔽部とを有する、プラズマの形成のための空気スペース（５）が形成される、電極機構において、
前記構造体（４）が、前記第１の材料の柔軟性よりも柔軟性が低い第２の材料からなる多数のスペーサ部材（６）を有し、前記構造体（４）の前記突起（７）は部分的または全面的に前記スペーサ部材（６）によって形成されることを特徴とする電極機構。
【請求項２】
前記スペーサ部材（６）は前記スペーサ部材（６）よりも低い曲げ剛性および／または低いねじり剛性を有する接続区域（１８）を介して相互に接続されることを特徴とする、請求項１に記載の電極機構。
【請求項３】
前記スペーサ部材（６）は接続ウェブ（１４）によって相互に接続され、このようにしてスペーサ格子を形成することを特徴とする、請求項１または２に記載の電極機構。
【請求項４】
前記スペーサ格子は一体的に構成されることを特徴とする、請求項３に記載の電極機構。
【請求項５】
前記スペーサ部材（６）は前記突起（７）を補強するために前記突起（７）の内部に埋設され、特に前記突起（７）の内部に全面的に埋設されることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の電極機構。
【請求項６】
前記構造体（４）の前記突起（７）は前記スペーサ部材（６）と前記誘電体（２）で構成され、前記スペーサ部材（６）は前記スペーサ部材（６）を取り囲む前記誘電体（２）の中に埋設され、特に全面的に埋設されることを特徴とする、請求項５に記載の電極機構。
【請求項７】
前記スペーサ部材（６）を取り囲む前記誘電体（２）は前記誘電体（２）の前記直接的な通電を妨げる層（３）と一体的に構成されることを特徴とする、請求項６に記載の電極機構。
【請求項８】
前記構造体（４）の前記突起（７）は前記スペーサ部材（６）によって全面的に構成され、前記スペーサ部材（６）は前記電極（１）のほうを向く側で前記誘電体（２）の前記直接的な通電を妨げる層（３）と結合されるとともに、処置されるべき表面のほうを向く側で処置されるべき表面への当接面を形成することを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の電極機構。
【請求項９】
前記構造体（４）は、前記空気スペース（５）を構成する多数のチャンバ（１７）を区切る、互いに隣接して前記突起（７）を形成する壁部からなる格子構造体であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか１項に記載の電極機構。
【請求項１０】
前記構造体（４）は、それぞれの中間スペースで前記空気スペース（５）を構成する、前記突起（７）を形成する突出する隆起からなることを特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載の電極機構。
【請求項１１】
前記スペーサ部材（６）は、それぞれの中間スペースで前記空気スペース（５）を構成する、突出する隆起の形態を有することを特徴とする、請求項８に記載の電極機構。
【請求項１２】
前記隆起は円柱状、円錐状、または円錐台状に構成されることを特徴とする、請求項１０または１１に記載の電極機構。
【請求項１３】
前記スペーサ部材（６）はそれぞれ周回する壁部で構成されることを特徴とする、請求項１から１０または１２に記載の電極機構。
【請求項１４】
前記スペーサ部材（６）の前記周回する壁部はそれぞれ１つの前記空気スペース（５）を取り囲むことを特徴とする、請求項１３に記載の電極機構。
【請求項１５】
前記周回する壁部はそれぞれ四角形、特に長方形または正方形、円形、楕円形、または多角形、特にハニカム状の断面を有することを特徴とする、請求項１３または１４に記載の電極機構。
【請求項１６】
前記スペーサ部材（６）および／または前記構造体（４）の前記突起（７）は統一的な高さを有することを特徴とする、請求項１から１５のいずれか１項に記載の電極機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
その他の点では、図７および８に示す第３の実施例に関して、第１および第２の実施例ついての上記の説明を参酌することができる。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
［１］  少なくとも１つの柔軟な面状の電極（１）と、直接的な通電を妨げる層（３）によって前記電極（１）を処置されるべき表面から遮蔽する面状の柔軟な第１の材料からなる誘電体（２）とを有する、物体の表面の誘電体バリアプラズマ処置のための電極機構であって、前記誘電体（２）は突起（７）を有する構造体（４）を介して処置されるべき表面の上に載置することができ、その際にそれぞれの前記突起（７）の間に、処置されるべき表面に向かって開いた側と、前記誘電体（２）の前記直接的な通電を妨げる層（３）による底面側の遮蔽部とを有する、プラズマの形成のための空気スペース（５）が形成される、電極機構において、
前記構造体（４）が、前記第１の材料の柔軟性よりも柔軟性が低い第２の材料からなる多数のスペーサ部材（６）を有し、前記構造体（４）の前記突起（７）は部分的または全面的に前記スペーサ部材（６）によって形成されることを特徴とする電極機構。
［２］  前記スペーサ部材（６）は前記スペーサ部材（６）よりも低い曲げ剛性および／または低いねじり剛性を有する接続区域（１８）を介して相互に接続されることを特徴とする、［１］に記載の電極機構。
［３］  前記スペーサ部材（６）は接続ウェブ（１４）によって相互に接続され、このようにしてスペーサ格子を形成することを特徴とする、［１］または［２］に記載の電極機構。
［４］  前記スペーサ格子は一体的に構成されることを特徴とする、［３］に記載の電極機構。
［５］  前記スペーサ部材（６）は前記突起（７）を補強するために前記突起（７）の内部に埋設され、特に前記突起（７）の内部に全面的に埋設されることを特徴とする、［１］から［４］のいずれか１項に記載の電極機構。
［６］  前記構造体（４）の前記突起（７）は前記スペーサ部材（６）と前記誘電体（２）で構成され、前記スペーサ部材（６）は前記スペーサ部材（６）を取り囲む前記誘電体（２）の中に埋設され、特に全面的に埋設されることを特徴とする、［５］に記載の電極機構。
［７］  前記スペーサ部材（６）を取り囲む前記誘電体（２）は前記誘電体（２）の前記直接的な通電を妨げる層（３）と一体的に構成されることを特徴とする、［６］に記載の電極機構。
［８］  前記構造体（４）の前記突起（７）は前記スペーサ部材（６）によって全面的に構成され、前記スペーサ部材（６）は前記電極（１）のほうを向く側で前記誘電体（２）の前記直接的な通電を妨げる層（３）と結合されるとともに、処置されるべき表面のほうを向く側で処置されるべき表面への当接面を形成することを特徴とする、［１］から［４］のいずれか１項に記載の電極機構。
［９］  前記構造体（４）は、前記空気スペース（５）を構成する多数のチャンバ（１７）を区切る、互いに隣接して前記突起（７）を形成する壁部からなる格子構造体であることを特徴とする、［１］から［８］のいずれか１項に記載の電極機構。
［１０］  前記構造体（４）は、それぞれの中間スペースで前記空気スペース（５）を構成する、前記突起（７）を形成する突出する隆起からなることを特徴とする、［１］から［７］のいずれか１項に記載の電極機構。
［１１］  前記スペーサ部材（６）は、それぞれの中間スペースで前記空気スペース（５）を構成する、突出する隆起の形態を有することを特徴とする、［８］に記載の電極機構。
［１２］  前記隆起は円柱状、円錐状、または円錐台状に構成されることを特徴とする、［１０］または［１１］に記載の電極機構。
［１３］  前記スペーサ部材（６）はそれぞれ周回する壁部で構成されることを特徴とする、［１］から［１０］または［１２］に記載の電極機構。
［１４］  前記スペーサ部材（６）の前記周回する壁部はそれぞれ１つの前記空気スペース（５）を取り囲むことを特徴とする、［１３］に記載の電極機構。
［１５］  前記周回する壁部はそれぞれ四角形、特に長方形または正方形、円形、楕円形、または多角形、特にハニカム状の断面を有することを特徴とする、［１３］または［１４］に記載の電極機構。
［１６］  前記スペーサ部材（６）および／または前記構造体（４）の前記突起（７）は統一的な高さを有することを特徴とする、［１］から［１５］のいずれか１項に記載の電極機構。