【手続補正書】
【提出日】平成16年12月6日(2004.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】樹脂成形品の製造方法、樹脂成形品及び金型の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にレジスト層を形成し、マスクを用いて露光、現像を行なうレジストパターン形成ステップと、
前記基板上に形成された前記レジストパターンにしたがって金属を堆積して金属構造体を形成する、金属構造体形成ステップと、
前記金属構造体を型として、樹脂成形品を形成する成形品形成ステップとを備えた樹脂成形品の製造方法において、
前記レジストパターン形成ステップは、
前記基板上に第１のレジスト層を形成し、この第１のレジスト層に対して露光を行うステップと、
前記第１のレジスト層上に第２のレジスト層を形成し、この第２のレジスト層に対して、露光、又は露光、現像を行うステップを有することを特徴とする樹脂成形品の製造方法。
【請求項２】
前記レジストパターン形成ステップでは、レジスト層が所望の厚さに形成されるまで、複数回に亘ってレジストパターン形成ステップを繰り返すことを特徴とする請求項１記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項３】
前記第１のレジスト層の露光に対して用いられるマスクパターンの位置と同じ位置になるように前記第２のレジスト層の露光に対して用いられるマスクパターンの位置を合わせるマスク位置合わせステップをさらに備えることを特徴とする請求項１記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項４】
前記第１のレジスト層と前記第２のレジスト層に感度の異なるレジストを用いることを特徴とする請求項１に記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項５】
前記レジストパターン形成ステップにおいて露光に用いられる光はＵＶ光又はレーザ光であることを特徴とする請求項１記載の樹脂成形品の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至第５項のいずれか１項に記載の製造方法により得られる樹脂成形品。
【請求項７】
流路、混合部、容器の中から少なくとも一つを有する請求項６記載の樹脂成形品。
【請求項８】
電極、ヒータ、温度センサの中から少なくとも一つを有する請求項６又は７記載の樹脂成形品。
【請求項９】
臨床検査用樹脂成形品であることを特徴とする請求項６、７又は８に記載の樹脂成形品。
【請求項１０】
血液検査用樹脂成形品又は生化学検査用樹脂成形品であることを特徴とする請求項９に記載の臨床検査用樹脂成形品。
【請求項１１】
コンビナトリアルケミストリー用樹脂成形品であることを特徴とする、請求項６、７又は８に記載の樹脂成形品。
【請求項１２】
化学分析用樹脂成形品であることを特徴とする、請求項１１に記載のコンビナトリアルケミストリー用樹脂成形品。
【請求項１３】
基板上にレジスト層を形成し、マスクを用いて露光、現像を行なうレジストパターン形成ステップと、
前記基板上に形成された前記レジストパターンにしたがって金属構造体を堆積させ、金型を形成する金型形成ステップと、を備えた金型の製造方法において、
前記レジストパターン形成ステップは、
前記基板上に第１のレジスト層を形成し、この第１のレジスト層に対して露光を行うステップと、
前記第１のレジスト層上に第２のレジスト層を形成し、この第２のレジスト層に対して、露光、又は露光、現像を行うステップを有することを特徴とする金型の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
さらに、具体的には、本発明にかかる成形品の製造方法は、基板上にレジスト層を形成し、マスクを用いて露光、現像を行なうレジストパターン形成ステップと、前記基板上に形成された前記レジストパターンにしたがって金属を堆積して金属構造体を形成する、金属構造体形成ステップと、前記金属構造体を型として、樹脂成形品を形成する成形品形成ステップとを備えた樹脂成形品の製造方法において、前記レジストパターン形成ステップは、前記基板上に第１のレジスト層を形成し、この第１のレジスト層に対して露光を行うステップと、前記第１のレジスト層上に第２のレジスト層を形成し、この第２のレジスト層に対して、露光、又は露光、現像を行うステップを有するようにしたものである。このような方法によって、所望の造形深さを有する精密で安価な成形品を製造できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
好適な実施の形態では、上述の成形品の製造方法におけるレジストパターン形成ステップでは、レジスト層が所望の厚さに形成されるまで、複数回に亘ってレジストパターン形成ステップを繰り返す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、上述の成形品の製造方法は、さらに、前記第１のレジスト層の露光に対して用いられるマスクパターンの位置と同じ位置になるように前記第２のレジスト層の露光に対して用いられるマスクパターンの位置を合わせるマスク位置合わせステップを実行するようにしてもよい。このような方法を実行することによって、成形品の造形精度を高めることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、第１のレジスト層と第２のレジスト層に感度の異なるレジストを用いるようにしてもよい。これにより、レジスト底部の幅よりも表面の幅が広くなることを防止することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、前記レジストパターン形成ステップにおいて露光に用いられる光源がＵＶ光又はレーザ光の場合には、特に本発明にかかる製造方法が適している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
さらに、本発明によれば上記の目的の他の一つは、上記所定の条件を満足する樹脂成形品を提供することによって達成される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
さらに、本発明によれば上記の目的の他の一つは、上記所定の条件を満足する流路、混合部又は容器の少なくとも一つを有する樹脂成形品を提供することによって達成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
さらに、本発明によれば上記の目的の他の一つは、上記所定の条件を満足する電極、ヒータ、温度センサの少なくとも一つを有する樹脂成形品を提供することによって達成される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
さらに、本発明によれば上記の目的の他の一つは、上記所定の条件を満足する臨床検査用樹脂成形品を提供することによって達成される。ここで、臨床検査用樹脂成形品は、例えば、血液検査用樹脂成形品又は生化学検査用樹脂成形品である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
さらに、本発明によれば上記の目的の他の一つは、上記所定の条件を満足するコンビナトリアルケミストリー用樹脂成形品を提供することによって達成される。ここで、コンビナトリアルケミストリー用樹脂成形品は、例えば化学分析用樹脂成形品である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
他方、本発明にかかる金型の製造方法は、基板上にレジスト層を形成し、マスクを用いて露光、現像を行なうレジストパターン形成ステップと、前記基板上に形成された前記レジストパターンにしたがって金属構造体を堆積させ、金型を形成する金型形成ステップとを備えた金型の製造方法において、前記レジストパターン形成ステップは、前記基板上に第１のレジスト層を形成し、この第１のレジスト層に対して露光を行うステップと、前記第１のレジスト層上に第２のレジスト層を形成し、この第２のレジスト層に対して、露光、又は露光、現像を行うステップを有するようにしたものである。このような方法によって、所望の造形深さを有する精密で安価な金型を製造できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
好適な実施の形態では、上述の金型の製造方法におけるレジストパターン形成ステップでは、レジスト層が所望の厚さに形成されるまで、複数回に亘ってレジストパターン形成ステップを繰り返す。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
また、上述の金型の製造方法は、さらに、前記第１のレジスト層の露光に対して用いられるマスクパターンの位置と同じ位置になるように前記第２のレジスト層の露光に対して用いられるマスクパターンの位置を合わせるマスク位置合わせステップを実行するようにしてもよい。このような方法を実行することによって、金型の造形精度を高めることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、第１のレジスト層と第２のレジスト層に感度の異なるレジストを用いるようにしてもよい。これにより、レジスト底部の幅よりも表面の幅が広くなることを防止することができる。