(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステムを提供する。【解決手段】検知システムは高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知すると共に、複数個の第１信号を形成して監視システムに送信し、前記監視システムは前記第１信号を判読して、そのうちの１つの搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを空の高架プラットフォーム上に搬送するよう命令し、前記検知システムが高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを再度検知すると共に、複数個の第２信号を形成して前記監視システムに送信し、前記監視システムは前記第２信号を判読して、別の搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを高架プラットフォームから搬送する様命令する。こうするとウエハ移動用無塵ケースの搬送速度を上げるのが比較的容易で、しかも製造コストを低減もする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法であって、
監視システム、複数個の高架プラットフォーム、検知システム、及び複数個の搬送システムを提供し、且つ各搬送システムの有る高さが異なる工程と、
前記検知システムが前記高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知すると共に、複数個の第１信号を形成して前記監視システムに送信する工程と、
前記監視システムは前記第１信号を判読して、そのうちの１つの搬送システムにウエハ移動用無塵ケースをウエハ移動用無塵ケースのない高架プラットフォーム上に搬送するよう命令する工程と、
前記検知システムが高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを再度検知すると共に、複数個の第２信号を形成して前記監視システムに送信する工程と、
前記監視システムが前記第２信号を判読して、別の搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを前記高架プラットフォームから搬送する様命令する工程と、
を含むことを特徴とするウエハ移動用無塵ケースの搬送方法。
【請求項２】
前記監視システムと前記検知システムとは電気的に接続されて、前記監視システムはＣＰＵ、データ記憶装置及び制御装置を含み、前記データ記憶装置は前記ＣＰＵに接続され、前記制御装置は前記搬送システムと前記ＣＰＵに接続され、前記データ記憶装置は前記第１信号と前記第２信号を受信すると共に、前記第１信号と前記第２信号を前記ＣＰＵに送信し、前記ＣＰＵが前記第１信号と前記第２信号を判読して前記制御装置に命令して前記搬送システムからウエハ移動用無塵ケースを搬送するよう制御させることを特徴とする請求項１に記載のウエハ移動用無塵ケースの搬送方法。
【請求項３】
前記ＣＰＵは前記制御装置に命令して前記高架プラットフォームに最も近い搬送システムがウエハ移動用無塵ケースを搬送するよう制御させることを特徴とする請求項2に記載のウエハ移動用無塵ケースの搬送方法。
【請求項４】
ウエハ移動用無塵ケースの搬送システムであって、
監視システムと、
複数個の高架プラットフォームと、
前記監視システムと電気的に接続され、前記高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知するための検知システムと、
それぞれ前記監視システムと接続されて、ウエハ移動用無塵ケースを搬送するための複数個の搬送システムであって、各搬送システムの有る高さが異なるものと、
を含むことを特徴とするウエハ移動用無塵ケースの搬送システム。
【請求項５】
前記監視システムはＣＰＵ、データ記憶装置及び制御装置を含み、前記データ記憶装置は前記ＣＰＵに接続され、前記制御装置は前記搬送システムと前記ＣＰＵに接続されることを特徴とする請求項４に記載のウエハ移動用無塵ケースの搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は搬送方法とシステムに関し、特にウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示すのは、従来のウエハ移動用無塵ケースの搬送方法であり、使用する搬送システムはＣＰＵ、複数個の搬送システム（ＯＨＴ）及び自動倉庫システム（Ｓｔｏｃｋｅｒ）を含み、異なる各搬送システムはそれぞれ工場内の異なる高さに設置し、それぞれＣＰＵと電気的に接続される。前記自動倉庫システムは入庫部、保管棚、クレーン、コンベア、及び出庫部で構成される。ウエハ移動用無塵ケースは順次、入庫部、保管棚、クレーン、コンベア、及び出庫部を通過しないと別の搬送システムに転送されないようになっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ウエハ移動用無塵ケースは前記自動倉庫システム内の数々の段階を通過しないと、１つの搬送システムから別の搬送システムに転送されないことから、工程が相当複雑であり、オペレーションスタッフが搬送システム全体の伝送速度を上げようとすると、自動倉庫システムが多くの制限を課すことで、スピードアップにネックとなり、理想的基準にまで引き上げるのが困難で、しかも自動倉庫システムの体積が非常に大きいことから、工場敷地のかなりのスペースを占め、その上その製造コストも非常に高く、相対的に業者にとって大きな負担となっている。
【０００４】
そこで、本発明人は上記の欠点が改善可能と考え、特に研究に専念すると共に、併せて学術理論を運用して、合理的設計で上記の欠点を効果的に改善した本発明を提案するものである。
【０００５】
以上の問題に鑑みて、本発明の主な目的は、オペレーションスタッフが比較的容易にウエハ移動用無塵ケースの搬送速度を理想的基準にまで引き上げ、しかも工場敷地の面積を占めることもなく、製造コストも比較的廉価であるウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達するために、本発明は監視システム、複数個の高架プラットフォーム、検知システム、及び複数個の搬送システムを提供し、且つ各搬送システムの有る高さが異なる工程と、前記検知システムが高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知すると共に、複数個の第１信号を形成して前記監視システムに送信する工程と、前記監視システムが前記第１信号を判読して、そのうちの１つの搬送システムにウエハ移動用無塵ケースをウエハ移動用無塵ケースのない高架プラットフォーム上に搬送するよう命令する工程と、前記検知システムが高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを再度検知すると共に、複数個の第２信号を形成して前記監視システムに送信する工程と、前記監視システムが前記第２信号を判読して、別の搬送システムにウエハ移動用無塵ケースを前記高架プラットフォームから搬送する様命令する工程と含むことを特徴とするウエハ移動用無塵ケースの搬送方法を提供する。
【０００７】
本発明は、監視システムと、複数個の高架プラットフォームと、前記監視システムと電気的に接続され、前記高架プラットフォーム上にウエハ移動用無塵ケースが有るか否かを検知するための検知システムと、それぞれ前記監視システムと接続されて、ウエハ移動用無塵ケースを搬送するための複数個の搬送システムであって、各搬送システムの有る高さが異なるものとを含むことを特徴とするウエハ移動用無塵ケースの搬送システムを別途提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は以下の有益な効果を有する。ウエハ移動用無塵ケースは高架プラットフォームを通過するだけで、１つの搬送システムから別の搬送システムに転送され、搬送工程が相対的にかなり簡便化されることによって、オペレーションスタッフは比較的容易に搬送速度を理想的基準まで引き上げることができる。その一方で、高架プラットフォームは工場地面に設置されないことから、相対的に工場敷地の使用可能なスペースが増大する。また、高架プラットフォームの価格が低廉なので、製造コストを大幅に引き下げて業者のプレッシャーが相対的に低下する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】従来のウエハ移動用無塵ケースの搬送方法のフローチャートである。
【図２】本発明のウエハ移動用無塵ケースの搬送システムのブロック図である。
【図３】本発明の検知システムが高架プラットフォームの状態を検知する概略図である。
【図４】本発明のウエハ移動用無塵ケースの搬送方法のフローチャートである。
【図５】本発明の図４の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００１０】
図２に示すように、本発明は監視システム１、複数個の高架プラットフォーム２、検知システム３、及び複数個の搬送システム４を含むウエハ移動用無塵ケースの搬送方法を提供する。前記検知システム３、前記搬送システム４及び前記監視システム１は電気的に接続され、前記監視システム１はＣＰＵ１１、データ記憶装置１２及び制御装置１３を含み、前記データ記憶装置１２、前記制御装置１３及び前記ＣＰＵ１１は電気的に接続され、前記検知システム３は複数個の発射装置３１と複数個の受信装置３２から構成される。
【００１１】
図３に示すように、各高架プラットフォーム２は１台の発射装置３１と１台の受信装置３２を組み合わせ、発射装置３１は赤外線発射装置又はブルートゥース発射装置でよく、また、受信装置３２はこれに対向して赤外線発射装置又はブルートゥース発射装置でよい。各高架プラットフォーム２上には反射装置２１と電磁波遮蔽装置２２が接続され、前記電磁波遮蔽装置２２は発射装置３１から発射される電磁波を遮蔽するためのもで、しかも前記電磁波遮蔽装置２２と前記高架プラットフォーム２は一体成型の金属材料であってよい。
【００１２】
前記電磁波遮蔽装置２２は弾性アーム２２１とバッフルプレート２２２を含み、ウエハ移動用無塵ケース５を高架プラットフォーム２に載置しようとすると、ウエハ移動用無塵ケース５はバッフルプレート２２２の上表面に押えられて、バッフルプレート２２２を高架プラットフォーム２の表面に緊密に貼り合わせることによって、反射装置２１はバッフルプレート２２２に遮られて、受信装置３２は反射装置２１が反射する電磁波を受信し得ず、前記監視システム１は高架プラットフォーム２にウエハ移動用無塵ケース５があることを検知する。これと逆に、高架プラットフォーム２にウエハ移動用無塵ケース５がない場合、受信装置３２は反射装置２１が反射する電磁波を受信して、前記監視システム１は高架プラットフォーム２にウエハ移動用無塵ケース５がないことを検知する。
【００１３】
図４、図５に示すように、本発明は、前記搬送方法によってウエハ移動用無塵ケース５を第1ウエハ製造機台６の一時載置エリア６１から第２ウエハ製造機台７の一時載置エリア７１へ搬送するウエハ移動用無塵ケースの搬送方法を別途提供し、その工程は次のとおりである。
【００１４】
Ｓ１０１：前記検知システム３が高架プラットフォーム２にウエハ移動用無塵ケース５が載置されたか否かを検知すると共に、複数個の第１信号を形成して前記データ記憶装置１２に送信する。
【００１５】
Ｓ１０２：前記データ記憶装置１２が前記第１信号を受信してそれを前記ＣＰＵ１１に送信する。
【００１６】
Ｓ１０３：前記ＣＰＵ１１は前記第１信号を判読して、どの高架プラットフォーム２上が空であるかを理解すると共に、前記制御装置１３に命令してそのうちの１つの搬送システム４を制御して一時載置エリア６１のウエハ移動用無塵ケース５を空の高架プラットフォーム２上に搬送させる。このうち、各搬送システム４は高架軌道４１と複数個の搬送機具４２を含み、異なる搬送システム４の高架軌道４１は工場の異なる高さの位置に架設する。各搬送機具４２は滑動台座４２１、伸縮管４２２及び挟持部材４２３を含み、前記滑動台座４２１は前記高架軌道４１をスライドさせ、前記伸縮管４２２は前記滑動台座４２１と前記挟持部材４２３の間に接続して、前記伸縮管４２２は前記挟持部材４２３を上下左右に移動させる。前記制御装置１３は滑動台座４２１、伸縮管４２２及び挟持部材４２３の動作を制御する。
【００１７】
Ｓ１０４：前記検知システム３が高架プラットフォーム２上にウエハ移動用無塵ケース５が載置されているか否かを再度検知すると共に、複数個の第２信号を形成して前記データ記憶装置１２に送信する。
【００１８】
Ｓ１０５：前記データ記憶装置１２は前記第２信号を受信してそれを前記ＣＰＵ１１に送信する。
【００１９】
Ｓ１０６：前記ＣＰＵ１１は前記第２信号を判読して、どの高架プラットフォーム２上にウエハ移動用無塵ケース５があるかを明確にすると共に、前記制御装置１３に命令して別の搬送システム４を制御してウエハ移動用無塵ケース５を高架プラットフォーム２上から挟持させ、こうしてウエハ移動用無塵ケース５は順調に１つの搬送システム４から別の搬送システム４に転送される。
【００２０】
Ｓ１０７：最後に、搬送システム４はウエハ移動用無塵ケース５を第２ウエハ製造機台７の一時載置エリア７１に搬送する。
【００２１】
このほか、Ｓ１０３とＳ１０６の工程において、前記搬送機具４２は同時に同一の高架プラットフォーム２を操作することができない他に、前記ＣＰＵ１１はさらに前記制御装置１３に命令して前記高架プラットフォーム２に最も近い搬送システム４がウエハ移動用無塵ケース５を搬送するよう制御させることができることから、多くの搬送時間が節減できる。
【００２２】
本発明のウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステムには下記の長所がある。
【００２３】
１、ウエハ移動用無塵ケース５は高架プラットフォーム２を通過するだけで、１つの搬送システ４ムから別の搬送システム４に転送され、搬送工程が相対的にかなり簡便化されることによって、オペレーションスタッフは比較的容易に搬送速度を理想的基準まで引き上げることができる。
【００２４】
２、高架プラットフォーム２が工場地面に設置されないことから、相対的に工場敷地の使用可能なスペースが増大する。
【００２５】
３、高架プラットフォーム２の価格が低廉であるので、製造コストが大幅に引き下げられて業者のプレッシャーが相対的に低下する。
【００２６】
４、電磁波遮蔽部材２２と前記高架プラットフォーム２は一体成型であり、しかも弾性の金属材料部材を有し、バッフルプレート２２２を高架プラットフォーム２の表面に緊密に貼り合わせることによって、監視システム１は高架プラットフォーム２の状態について誤判することがない。
【００２７】
以上の記載内容は本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明の特許請求の範囲で行った均等な変更若しくは修飾は全て等しく本発明の特許の範囲内に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００２８】
１      監視システム
１１    ＣＰＵ(中央処理装置)
１２    データ記憶装置
１３    制御装置
２      高架プラットフォーム
２１    反射装置
２２    電磁波遮蔽部材
２２１  弾性アーム
２２２  バッフルプレート
３      検知システム
３１    発射装置
３２    受信装置
４      搬送システム
４１    高架軌道
４２    搬送機具
４２１  滑動台座
４２２  伸縮管
４２３  挟持部材
５      ウエハ移動用無塵ケース（ウエハー・キャリア）
６      第1ウエハ製造機台
６１    一時載置エリア
７      第２ウエハ製造機台
７１    一時載置エリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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