【手続補正書】
【提出日】平成17年3月29日(2005.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プロセスの予測方法及び処理装置並びにプロセス予測プログラム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を処理する際に、複数の検出器からの複数の検出データを多変量解析して処理装置の装置状態を評価し、または処理結果を予測するプロセスの予測方法において、一つの処理装置を用いて複数の被処理体に対して所定条件の標準処理を行う工程と、この標準処理により得られる複数の検出データを主成分分析して主成分分析モデルを作成すると共にこの主成分分析モデルの残差を第１の残差として求める工程と、上記処理装置と同種の他の処理装置を用いて上記被処理体と同種の複数の被処理体に対して上記標準処理を行う工程と、この標準処理により得られる複数の検出データを用いて上記主成分分析モデルにより第２の残差を求める工程と、上記第１の残差のバラツキを基準にして上記第２の残差のバラツキの小さい検出データを選択する工程と、選択された複数の検出データの残差を用いて多変量解析モデルを作成する工程とを備えたことを特徴とするプロセスの予測方法。
【請求項２】
上記他の処理装置が上記一の処理装置を保守点検して上記各検出器の取付状態を異にする処理装置であることを特徴とする請求項１に記載のプロセスの予測方法。
【請求項３】
上記他の処理装置が上記一の処理装置を保守点検して内部部品を異にする処理装置であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプロセスの予測方法。
【請求項４】
上記他の処理装置が上記一の処理装置を保守点検して内部の表面状態を異にする処理装置であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項５】
上記保守点検として洗浄を行うことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項６】
上記主成分分析ではクロスバリデーション法を用いて主成分の次数を求めることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項７】
上記残差のバラツキの基準としてその最大値及び／または最小値を用いることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項８】
上記多変量解析モデルは装置状態を評価するための重回帰分析モデルであることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項９】
上記多変量解析モデルは処理結果を予測するための重回帰分析モデルであることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項１０】
上記処理装置がプラズマ処理装置であることを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載のプロセスの予測方法。
【請求項１１】
上記検出データがプラズマの発光強度であることを特徴とする請求項１０に記載のプロセスの予測方法。
【請求項１２】
処理容器内で被処理体に所定の処理を施す処理手段と、この処理手段による処理時に装置状態及び処理状態を検出する複数の検出器と、これらの検出器からの検出データに基づいて多変量解析を行なう多変量解析手段を有する制御装置とを備え、上記多変量解析に基づいて装置状態を評価し、または処理結果を予測する処理装置において、上記多変量解析手段は、上記処理手段により複数の被処理体に対して所定条件の標準処理を行って得られる上記複数の検出データを主成分分析するプログラムを記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段のプログラムを用いて上記複数の検出データに基づいて主成分分析モデルを作成すると共にこの主成分分析モデルの残差を第１の残差として求める演算手段と、この演算手段によって求められた第１の残差を記憶する第２記憶手段と、上記処理装置の内部状態を異にする上記複数の検出器から上記標準条件で得られた検出データを上記主成分分析モデルに当て嵌めて上記演算手段によって求められる第２の残差を記憶する第３記憶手段と、上記第１の残差のバラツキを基準にして上記第２の残差のバラツキの小さい検出データを選択する選択手段と、この選択手段を介して選択された複数の検出データの残差を用いて多変量解析するプログラムを記憶する第４記憶手段とを備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項１３】
被処理体を処理する際に、複数の検出器からの複数の検出データを多変量解析して処理装置の装置状態を評価し、または処理結果を予測するように、コンピュータの動作を制御するプログラムであって、一つの処理装置において複数の被処理体に対して所定条件の標準処理を実行し、この標準処理により得られる複数の検出データを主成分分析して主成分分析モデルを作成すると共にこの主成分分析モデルの残差を第１の残差として求め、また、上記処理装置と同種の他の処理装置において上記被処理体と同種の複数の被処理体に対して上記標準処理を実行し、この標準処理により得られる複数の検出データを用いて上記主成分分析モデルにより第２の残差を求め、更に、上記第１の残差のバラツキを基準にして上記第２の残差のバラツキの小さい検出データを選択し、選択された複数の検出データの残差を用いて多変量解析モデルを作成するように、上記コンピュータの動作を制御することを特徴とするプロセス予測プログラム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、プロセスの予測方法及び処理装置並びにプロセス予測プログラムに関し、更に詳しくは、例えば半導体製造装置等の処理装置に付設された複数の検出器からの検出データを用いて処理装置のプロセスを予測する方法及びプロセスを予測することができる処理装置並びに処理装置に用いられるプロセス予測プログラムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、処理装置についての予測式を一度作成すれば、この予測式を用いて他の同種の処理装置についてもプロセスパラメータ等の装置状態を評価し、処理結果を予測することができるプロセスの予測方法及び処理装置並びにプロセス予測プログラムを提案することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明の請求項１２に記載の処理装置は、処理容器内で被処理体に所定の処理を施す処理手段と、この処理手段による処理時に装置状態及び処理状態を検出する複数の検出器と、これらの検出器からの検出データに基づいて多変量解析を行なう多変量解析手段を有する制御装置とを備え、上記多変量解析に基づいて装置状態を評価し、または処理結果を予測する処理装置において、上記多変量解析手段は、上記処理手段により複数の被処理体に対して所定条件の標準処理を行って得られる上記複数の検出データを主成分分析するプログラムを記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段のプログラムを用いて上記複数の検出データに基づいて主成分分析モデルを作成すると共にこの主成分分析モデルの残差を第１の残差として求める演算手段と、この演算手段によって求められた第１の残差を記憶する第２記憶手段と、上記処理装置の内部状態を異にする上記複数の検出器から上記標準条件で得られた検出データを上記主成分分析モデルに当て嵌めて上記演算手段によって求められる第２の残差を記憶する第３記憶手段と、上記第１の残差のバラツキを基準にして上記第２の残差のバラツキの小さい検出データを選択する選択手段と、この選択手段を介して選択された複数の検出データの残差を用いて多変量解析するプログラムを記憶する第４記憶手段とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１３に記載のプロセス予測プログラムは、被処理体を処理する際に、複数の検出器からの複数の検出データを多変量解析して処理装置の装置状態を評価し、または処理結果を予測するように、コンピュータの動作を制御するプログラムであって、一つの処理装置において複数の被処理体に対して所定条件の標準処理を実行し、この標準処理により得られる複数の検出データを主成分分析して主成分分析モデルを作成すると共にこの主成分分析モデルの残差を第１の残差として求め、また、上記処理装置と同種の他の処理装置において上記被処理体と同種の複数の被処理体に対して上記標準処理を実行し、この標準処理により得られる複数の検出データを用いて上記主成分分析モデルにより第２の残差を求め、更に、上記第１の残差のバラツキを基準にして上記第２の残差のバラツキの小さい検出データを選択し、選択された複数の検出データの残差を用いて多変量解析モデルを作成するように、上記コンピュータの動作を制御することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
プラズマ処理装置１には終点検出器１８が取り付けられ、この終点検出器１８を用いて処理容器２内のプラズマ発光をウエハＷ毎に検出し、ウエハＷ毎にプラズマ発光の各成分波長の発光強度を検出データとして制御装置１９内に逐次取り込むようにしている。この制御装置１９には多変量解析プログラムを含むプロセス予測プログラムが格納され、このプログラムを介して検出データの主成分分析等の多変量解析を行う多変量解析手段が設けられている。検出データとしては例えば２００ｎｍ〜９５０ｎｍの範囲にある１５０種類の成分波長を使用する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項１３に記載の発明によれば、処理装置についての予測式を一度作成すれば、この予測式を用いて他の同種の処理装置についてもプロセスパラメータ等の装置状態を評価し、処理結果を予測することができるプロセスの予測方法及び処理装置並びにプロセス予測プログラムを提供することができる。