【手続補正書】
【提出日】平成17年3月11日(2005.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プレス装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板を保持する第１の保持板と第２の基板を保持する第２の保持板とを備え、処理室内に前記第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記第１の保持板及び前記第２の保持板の少なくとも一方の吸着面には、前記第１の基板若しくは前記第２の基板を真空保持するための背圧と前記処理室内の圧力とを同圧にするための溝が設けられていることを特徴とするプレス装置。
【請求項２】
前記処理室内を大気圧から減圧するときに、前記第１の基板若しくは第２の基板を真空保持するための背圧と前記処理室内の圧力とを同圧にすることを特徴とする請求項１に記載のプレス装置。
【請求項３】
前記溝は、前記第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面における所定の方向に沿って延びるように形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプレス装置。
【請求項４】
前記第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面には、静電吸着のための誘電層と、前記吸着面から所定の深さに埋設された電極とが形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項５】
前記処理室内に、対向させた前記第１の基板及び第２の基板を同時に搬入することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項６】
処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記第１の基板を保持する第１の保持板と、
前記第２の基板を保持する第２の保持板と、
前記第１の基板又は前記第２の基板上の位置合せマークを撮像する撮像装置と、
前記第１の保持板と前記撮像装置とを移動させる第１の移動機構と、
前記第２の保持板を移動させる第２の移動機構と
を備える位置合せ装置を備えることを特徴とするプレス装置。
【請求項７】
前記位置合せ装置は、概略の位置合せと精密な位置合せとを行うこと
を特徴とする請求項６に記載のプレス装置。
【請求項８】
処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記第１の基板又は第２の基板よりも前に前記処理室に搬入された第３の基板における、前記第１の基板又は第２の基板と同じ位置に設けられた位置合せマークを撮像装置により撮像して該位置合せマークの第１の位置を求め、
搬入した前記第１の基板又は第２の基板上の位置合せマークを前記撮像装置により撮像して該位置合せマークの第２の位置を求め、
前記第１の位置と前記第２の位置との座標差分によって前記第１の基板及び第２の基板の位置合せを行うことを特徴とするプレス装置。
【請求項９】
前記第１の基板及び第２の基板を前記処理室に搬入する前に更に該第１の基板及び第２の基板の位置合せを行うことを特徴とする請求項６〜８の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項１０】
前記処理室は２つの容器に分割されており、それぞれの容器には前記第１の基板を保持する第１の保持板及び第２の基板を保持する第２の保持板が設置され、一方の容器は位置合わせの際に移動可能な機構に取着され、他方の容器は前記処理室内を減圧した後に前記一方の容器と共に移動することを特徴とする請求項６〜９の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項１１】
処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記処理室内に設けられた上側の保持板を支持するための支持部材と、
前記保持板に圧力を加える加圧手段と、
前記加圧手段が加える加工圧を検出するロードセルと
を備え、前記加工圧に基づいて、前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるときの圧力を制御することを特徴とするプレス装置。
【請求項１２】
処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記処理室内に設けられた上側の保持板を支持するための支持部材と、
前記保持板に圧力を加える加圧手段と、
前記支持部材及び前記保持板の重量が加わるように設けられたロードセルと
を備え、前記ロードセルは、前記支持部材に加わる総圧力から前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるときの反力を減少させた測定値を出力することを特徴とするプレス装置。
【請求項１３】
前記総圧力は、前記保持板に加わる大気圧と、前記支持部材及び前記保持板の自重と、前記加圧手段が加える加工圧との総和値であることを特徴とする請求項１２に記載のプレス装置。
【請求項１４】
前記測定値に基づいて圧力を前記第１の基板又は第２の基板に加えるように制御する制御手段を更に備えたことを特徴とする請求項１２又は請求項１３に記載のプレス装置。
【請求項１５】
前記支持部材を吊り下げる支え板を更に備え、前記ロードセルは、該支持部材と前記支え板との間に配置されていることを特徴とする請求項１１〜１４の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項１６】
前記支え板を上下動させるアクチュエータを更に備えることを特徴とする請求項１１〜１５の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項１７】
貼り合わせを行う前記処理室とは別に減圧形成可能に形成された容器を更に備え、該容器にて前記第１の基板及び第２の基板の少なくとも一方に対して貼り合せの前処理を行うことを特徴とする請求項１１〜１６の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項１８】
処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記第１の基板及び第２の基板をそれぞれ保持する保持板と、
前記第１の基板又は第２の基板を一方の保持板に吸着する際に、前記吸着する基板の撓みを矯正する矯正機構と
を備えることを特徴とするプレス装置。
【請求項１９】
前記矯正機構は、前記第１の基板又は第２の基板の外面を吸着することを特徴とする請求項１８に記載のプレス装置。
【請求項２０】
前記矯正機構は、前記第１の基板又は第２の基板の中央部を上方へ持ち上げる機構であることを特徴とする請求項１８又は請求項１９に記載のプレス装置。
【請求項２１】
前記矯正機構は、
前記第１の基板又は第２の基板を吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドを保持するアームと、
前記アームを上下動させる上下機構と
を備えること特徴とする請求項１８〜２０の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項２２】
前記第１の基板又は第２の基板は、搬送ロボットによりその外面を保持されて前記処理室内に搬入されて、前記矯正機構に受け渡されることを特徴とする請求項１８〜２１の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項２３】
処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入して該第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
前記処理室は、第１の容器及び第２の容器とに上下分割可能であり、
前記処理室内には前記第１の基板を保持する第１の保持板及び前記第２の基板を保持する第２の保持板が設けられており、
該第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方は、前記処理室を貫通する複数の支柱を介して該処理室の外部に設けられた移動機構に接続されており、
該第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方には、前記支柱を囲み、前記処理室の気密を保つためのベローズが設けられていることを特徴とするプレス装置。
【請求項２４】
前記第１の保持板は、第１の移動機構に接続され、該第１の移動機構は前記第１の保持板を上下方向に駆動するものであることを特徴とする請求項２３に記載のプレス装置。
【請求項２５】
前記第２の保持板は、第２の移動機構に接続され、該第２の移動機構は前記第２の保持板を水平方向に駆動するものであることを特徴とする請求項２３又は請求項２４に記載のプレス装置。
【請求項２６】
前記支柱には、前記保持板の平行度を調整するためのレベル調整部が設けられていることを特徴とする請求項２３〜２５の何れか一項に記載のプレス装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置(Liquid Crystal Display:LCD)等の２枚の基板を貼り合わせるプレス装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は吸着した基板の脱落を防止することのできるプレス装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面には、第１の基板若しくは第２の基板を真空保持するための背圧と処理室内の圧力とを同圧にするための溝を設けた。これにより、吸着した基板の脱落，移動が防止される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項２に記載の発明では、処理室内を大気圧から減圧するときに、第１の基板若しくは第２の基板を真空保持するための背圧と処理室内の圧力とを同圧にする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項３に記載の発明では、溝は、第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面における所定の方向に沿って延びるように形成されている。これにより、吸着した基板が波打つのを防ぐことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項４に記載の発明では、第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面には、静電吸着のための誘電層と、吸着面から所定の深さに埋設された電極とが形成されている。これにより、確実に基板を吸着保持することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項５に記載の発明では、処理室内に、対向させた第１の基板及び第２の基板を同時に搬入する。これにより、第１及び第２の基板の搬入に要する時間が短くなり、生産時間サイクルが短くなる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
請求項６に記載の発明では、第１の基板を保持する第１の保持板と、第２の基板を保持する第２の保持板と、第１の基板又は第２の基板上の位置合せマークを撮像する撮像装置と、第１の保持板と撮像装置とを移動させる第１の移動機構と、第２の保持板を移動させる第２の移動機構とを備える位置合せ装置を備える。これにより、第１及び第２の基板を非接触にて位置合せを行うことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
請求項７に記載の発明では、位置合せ装置は、概略の位置合せと精密な位置合せとを行う。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
請求項８に記載の発明では、第１の基板又は第２の基板よりも前に処理室に搬入された第３の基板における、第１の基板又は第２の基板と同じ位置に設けられた位置合せマークを撮像装置により撮像して該位置合せマークの第１の位置を求め、搬入した第１の基板又は第２の基板上の位置合せマークを撮像装置により撮像して該位置合せマークの第２の位置を求め、第１の位置と第２の位置との座標差分によって第１の基板及び第２の基板の位置合せを行う。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
請求項９に記載の発明では、第１の基板及び第２の基板を処理室に搬入する前に更に該第１の基板及び第２の基板の位置合せを行う。これにより、処理室における位置合せ時間が短くなる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
請求項１０に記載の発明では、処理室は２つの容器に分割されており、それぞれの容器には第１の基板を保持する第１の保持板及び第２の基板を保持する第２の保持板が設置され、一方の容器は位置合わせの際に移動可能な機構に取着され、他方の容器は処理室内を減圧した後に一方の容器と共に移動する。これにより、真空シールを行うベローズを片方の容器に設ければよく、部品点数が少なく容易な構造物を実現することができる。また、パーティクルの発生を抑えることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
請求項１１に記載の発明では、処理室内に設けられた上側の保持板を支持するための支持部材と、保持板に圧力を加える加圧手段と、加圧手段が加える加工圧を検出するロードセルとを備え、加工圧に基づいて、第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるときの圧力を制御する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
請求項１２に記載の発明では、処理室内に設けられた上側の保持板を支持するための支持部材と、保持板に圧力を加える加圧手段と、支持部材及び保持板の重量が加わるように設けられたロードセルとを備え、ロードセルは、支持部材に加わる総圧力から第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるときの反力を減少させた測定値を出力する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
請求項１３に記載の発明では、総圧力は、保持板に加わる大気圧と、支持部材及び保持板の自重と、加圧手段が加える加工圧との総和値である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項１４に記載の発明では、測定値に基づいて圧力を第１の基板又は第２の基板に加えるように制御する制御手段を更に備えた。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
請求項１５に記載の発明では、支持部材を吊り下げる支え板を更に備え、ロードセルは、該支持部材と支え板との間に配置されている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
請求項１６に記載の発明では、支え板を上下動させるアクチュエータを更に備える。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
請求項１７に記載の発明では、貼り合わせを行う処理室とは別に減圧形成可能に形成された容器を更に備え、該容器にて第１の基板及び第２の基板の少なくとも一方に対して貼り合せの前処理を行う。これにより、大気開放する際の気流や圧力分布によるズレを予防する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
請求項１８に記載の発明では、第１の基板及び第２の基板をそれぞれ保持する保持板と、第１の基板又は第２の基板を一方の保持板に吸着する際に、吸着する基板の撓みを矯正する矯正機構とを備える。これにより、基板を保持板に確実に吸着することができる。また、位置ズレを起こすことなく基板を吸着することができる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項１９に記載の発明では、矯正機構は、第１の基板又は第２の基板の外面を吸着する。
請求項２０に記載の発明では、矯正機構は、第１の基板又は第２の基板の中央部を上方へ持ち上げる機構である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
請求項２１に記載の発明では、矯正機構は、第１の基板又は第２の基板を吸着する吸着パッドと、吸着パッドを保持するアームと、アームを上下動させる上下機構とを備える。
請求項２２に記載の発明では、第１の基板又は第２の基板は、搬送ロボットによりその外面を保持されて処理室内に搬入されて、矯正機構に受け渡される。
請求項２３に記載の発明では、処理室は、第１の容器及び第２の容器とに上下分割可能であり、処理室内には第１の基板を保持する第１の保持板及び第２の基板を保持する第２の保持板が設けられており、該第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方は、処理室を貫通する複数の支柱を介して該処理室の外部に設けられた移動機構に接続されており、該第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方には、支柱を囲み、処理室の気密を保つためのベローズが設けられている。これにより、第１及び第２の保持板の少なくとも一方が移動可能であり、ベローズにより処理室の気密が保たれる。
請求項２４に記載の発明では、第１の保持板は、第１の移動機構に接続され、該第１の移動機構は第１の保持板を上下方向に駆動するものである。
請求項２５に記載の発明では、第２の保持板は、第２の移動機構に接続され、該第２の移動機構は第２の保持板を水平方向に駆動するものである。
請求項２６に記載の発明では、支柱には、保持板の平行度を調整するためのレベル調整部が設けられている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、吸着した基板の脱落を防止することができる。