(57)【要約】【課題】供給ポンプから安定した供給圧力でインクを供給する。【解決手段】バネの付勢力Ｐ１よりも大きい負圧Ｐ２がポンプ４４０に供給されると、ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂは、負圧によって引き延ばされ、下部空間４３の容積は、規定容積Ｃ１＋増加容積Ｃ２となる。上部空間４４が大気開放されると、まず、引き延ばされているダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下する。この結果、下部空間４３内に溜められたインクは、目標供給圧力Ｐ４（＝バネの付勢力による圧力Ｐ１）よりも大きい供給圧力Ｐ３（＝圧力Ｐ２）で内部流路３６に供給され、これにより圧力調整部４８０の下部空間８３の容積が膨張変化する。ダイヤフラム４２が降下を続け、下部空間４３が規定容積Ｃ１となると、ダイヤフラム４２はコイルバネ４１の付勢力Ｐ１のみにより押圧され、下部空間４３内のインクは、目標供給圧力Ｐ４で内部流路３５，３６に排出される。【選択図】図３
2010221491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する液体収容容器から、該液体が噴射される記録ヘッドへ該液体を供給する液体供給装置であって、
前記液体収容容器と前記記録ヘッドとを連通する液体供給路と、
前記液体供給路の一部をポンプ室として該ポンプ室の容積を増減させるように該ポンプ室の内面の少なくとも一部を構成する第１の可撓性部材が変位することによりポンプ駆動する液体供給ポンプと、
前記第１の可撓性部材により前記ポンプ室と仕切られた容積可変の負圧室と、
前記負圧室に負圧を付与する減圧手段と、
前記液体供給路における前記液体収容容器と前記ポンプ室の間に設けられ、前記液体収容容器から前記供給ポンプに向かう一方向へ前記液体を通過させる第１の方向弁と、
前記液体供給路における前記供給ポンプと前記液体噴射装置との間に設けられ、前記供給ポンプから前記液体噴射装置に向かう一方向へ前記液体を通過させる第２の方向弁と、
前記液体供給路における前記第１の方向弁と前記第２の方向弁との間に設けられ、予め規定された液体の供給圧力よりも大きい負圧が前記負圧室に付与され前記液体収容室の容積が予め規定された規定容積を越えた増加容積分の少なくとも一部に対応する容積が増加する圧力調整室と、
を備える液体供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体供給装置であって、
前記圧力調整手段は、
前記供給ポンプと前記第２の方向弁との間に設けられ、少なくとも、前記増加容積分以上の容積を有する圧力調整室と、
前記圧力調整室を第１の空間と第２の空間に区画するように設けられ、前記第１の空間の容積を変化させるための容積変化部材と、
前記液体供給路と前記第１の空間とを接続する接続手段と、を備え、
前記容積変化部材は、前記負圧の解放後に、前記増加容積分の少なくとも一部、前記第１の空間の容積を増加させる、
液体供給装置。
【請求項３】
請求項２記載の液体供給装置であって、
前記容積変化部材は、前記第１の空間から前記第２の空間に向かう方向に撓んで前記第１の空間の容積を増加させる第２の可撓性部材である、
液体供給装置。
【請求項４】
請求項３記載の液体供給装置であって、
前記圧力調整手段は、更に、前記第２の可撓性部材を前記撓む方向とは逆方向に付勢する付勢手段を備える、
液体供給装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４記載の液体供給装置であって、
前記第２の可撓性部材は、前記第１の可撓性部材と同一の材料によって形成されている、
液体供給装置。
【請求項６】
請求項１記載の液体供給装置であって、
前記圧力調整手段は、前記液体供給路の一部を構成するように設けられ、前記負圧の解放後に撓んで、前記増加容積分の少なくとも一部、容積を増加する第３の可撓性部材である、
液体供給装置。
【請求項７】
請求項１記載の液体供給装置であって、
前記第１の方向弁は、
液体を収容する液体収容室と、
前記液体収容室を、第１の空間と第２の空間とに分ける弁体と、を備え、
前記圧力調整手段は、前記第１の方向弁の弁体に形成され、前記負圧の解放後に撓んで、前記増加容積分の少なくとも一部、容積を増加する撓み部である、
液体供給装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７いずれか記載の液体供給装置であって、
前記液体供給ポンプは、前記可撓性部材負圧室へ負圧が加えられた際に前記第１の可撓性部材が変化する方向とは逆方向に前記第１の可撓性部材を付勢する付勢手段を備え、
前記圧力調整手段は、前記付勢手段の付勢力よりも強い負圧が前記負圧室に加えられた場合に、前記負圧の解放後に、前記増加容積分の少なくとも一部、容積を変化させる、
液体供給装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８いずれか記載の液体供給装置と、
前記液体供給装置から供給された液体を噴射する噴射手段と、
を備える液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を供給する液体供給装置に関し、特に、ダイヤフラムポンプを備える液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンタにおいて、プリンタの本体側にインクカートリッジを配置し、インク供給路を介してインクカートリッジからインクジェット式プリンタの記録ヘッドへインクを供給するものがある。このようなプリンタでは、ダイヤフラムポンプなどの供給ポンプをインク供給路上に配置し、インクを加圧してインクカートリッジ側から記録ヘッド側へインクを加圧供給する（例えば、引用文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２７２６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般的に、ダイヤフラムポンプに負圧を供給して駆動する場合、負圧によってダイヤフラムを付勢しているバネが縮み、ダイヤフラムがストッパーに当接してインクを収容するインク室にインクが吸引される。負圧解放後、バネの付勢力のみによってダイヤフラムが押圧され、インク室内のインクが加圧され供給される。
【０００５】
しかしながら、プリンタの使用環境の違いやダイヤフラムポンプの製造誤差にばらつきがあるので、ダイヤフラムに供給される負圧は一定ではない。このため、ダイヤフラムに供給される負圧が所定圧よりも大きい場合、ダイヤフラムがバネに当接した後もダイヤフラムは負圧によって伸ばされ、供給された負圧と釣り合う位置で停止する。この結果、負圧が解放されてインクが供給される際、インクの供給圧力が高くなり、インク供給路の継手部分など、インク供給路に損傷を招くおそれがある。また、インクの供給圧力にもばらつきが生じる。
【０００６】
本発明は上述の課題に鑑みてなされたものであり、供給ポンプから安定した供給圧力でインクを供給することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］
液体を収容する液体収容容器から、該液体が噴射される記録ヘッドへ該液体を供給する液体供給装置であって、前記液体収容容器と前記記録ヘッドとを連通する液体供給路と、前記液体供給路の一部をポンプ室として該ポンプ室の容積を増減させるように該ポンプ室の内面の少なくとも一部を構成する可撓性部材が変位することによりポンプ駆動する液体供給ポンプと、前記可撓性部材により前記ポンプ室と仕切られた容積可変の負圧室と、前記負圧室に負圧を付与する減圧手段と、前記液体供給路における前記液体収容容器と前記ポンプ室の間に設けられ、前記液体収容容器から前記供給ポンプに向かう一方向へ前記液体を通過させる第１の方向弁と、前記液体供給路における前記供給ポンプと前記液体噴射装置との間に設けられ、前記供給ポンプから前記液体噴射装置に向かう一方向へ前記液体を通過させる第２の方向弁と、前記液体供給路における前記第１の方向弁と前記第２の方向弁との間に設けられ、予め規定された液体の供給圧力よりも大きい負圧が前記負圧室に付与され前記液体収容室の容積が予め規定された規定容積を越えた増加容積分の少なくとも一部に対応する容積が増加する圧力調整室と、を備える液体供給装置。
【０００９】
適用例１の液体供給装置によれば、負圧室へ供給された負圧の解放後に、第１の方向弁と第２の方向弁との間で、増加容積分の少なくとも一部に対応する容積が増加することにより、液体噴射装置に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整手段が設けられている。従って、負圧によって可撓性部材が吸引されて変形し、液体収容室の容積が規定容積を越えた場合、負圧を解放して可撓性部材の変形が戻り始めると、まず、可撓性部材が変形した容積分、すなわち、規定容積を超える増加容積分の少なくとも一部、圧力調整手段において容積が増加（膨張変化）し、容積増加分の液体が第２の方向弁を介して液体噴射装置へ供給されることが抑制される。その後、可撓性部材の戻りによる押圧のみによって液体供給圧力が規定され、液体が液体供給装置に供給される。よって、液体供給装置に供給される液体の圧力は、可撓性部材の押圧のみによって規定されるので、安定した供給圧力で液体を液体噴射装置に供給できるとともに、液体供給装置の損傷を抑制できる。
【００１０】
［適用例２］
適用例１の液体供給装置であって、前記圧力調整手段は、前記供給ポンプと前記第２の方向弁との間に設けられ、少なくとも、前記増加容積分以上の容積を有する圧力調整室と、前記圧力調整室を第１の空間と第２の空間に区画するように設けられ、前記第１の空間の容積を変化させるための容積変化部材と、前記液体供給路と前記第１の空間とを接続する接続手段と、を備え、前記容積変化部材は、前記負圧の解放後に、前記増加容積分の少なくとも一部、前記第１の空間の容積を増加させる。適用例２の液体供給装置によれば、圧力調整手段は、液体供給路と接続された圧力調整室を備えるとともに、負圧解放後に増加容積分、圧力調整室の第１の空間の容積を変化させる容積変化部材が備えられている。従って、従来から利用されている液体供給路の構成を大きく変化することなく、圧力調整手段の構成を追加するだけで、液体の供給圧力を調整することができる。
【００１１】
［適用例３］
適用例２の液体供給装置であって、前記容積変化部材は、前記第１の空間から前記第２の空間に向かう方向に撓んで前記第１の空間の容積を増加させる第２の可撓性部材である。適用例３の液体供給装置によれば、容積変化部材として可撓性部材が用いられているので、簡易な構成で第１の空間の容積変化を生じさせることができる。
【００１２】
［適用例４］
適用例３の液体供給装置であって、前記圧力調整手段は、更に、前記第２の可撓性部材を前記撓む方向とは逆方向に付勢する付勢手段を備える。適用例４の液体供給装置によれば、可撓性部材は、付勢手段によって撓む方向とは逆方向に付勢されている。従って、可撓性部材の摩耗を抑制できる。
【００１３】
［適用例５］
適用例３または適用例４の液体供給装置であって、前記第２の可撓性部材は、前記第１の可撓性部材と同一の材料によって形成されている。適用例５の液体供給装置によれば、可撓性部材は弁体と同一の材料によって形成されている。従って、圧力調整手段の容積変化部材である可撓性部材を弁体と一体的に形成することができる。よって、圧力調整手段を簡易に形成できる。
【００１４】
［適用例６］
適用例１の液体供給装置であって、前記圧力調整手段は、前記液体供給路の一部を構成するように設けられ、前記負圧の解放後に撓んで、前記増加容積分の少なくとも一部、容積を増加する第３の可撓性部材である。適用例６の液体供給装置によれば、圧力調整手段は可撓性を有する部材が液体供給路の一部を形成することにより構成されている。従って、負圧解放後に、液体収容室の増加容積分、液体供給路の容積を膨張変化させることができる。よって、液体供給路を構成する部品数の増加を抑制しつつ、安定した供給圧力で液体を液体噴射装置に供給できる。
【００１５】
［適用例７］
適用例１の液体供給装置であって、前記第１の方向弁は、液体を収容する液体収容室と、前記液体収容室を、第１の空間と第２の空間とに分ける弁体と、を備え、前記圧力調整手段は、前記第１の方向弁の弁体に形成され、前記負圧の解放後に撓んで、前記増加容積分、容積を増加する撓み部である。適用例７の液体供給装置によれば、第１の方向弁に圧力調整手段として撓み部が設けられている。従って、部品を増加することなく、安定した供給圧力で液体を液体噴射装置に供給できる。
【００１６】
［適用例８］
適用例１ないし適用例７いずれかの液体供給装置であって、前記液体供給ポンプは、前記可撓性部材負圧室へ負圧が加えられた際に前記第１の可撓性部材が変化する方向とは逆方向に前記第１の可撓性部材を付勢する付勢手段を備え、前記圧力調整手段は、前記付勢手段の付勢力よりも強い負圧が前記負圧室に加えられた場合に、前記負圧の解放後に、前記増加容積分の少なくとも一部、容積を変化させる。適用例８の液体供給装置によれば、付勢手段により弁体が、変化方向とは逆方向に付勢されている。従って、付勢手段による押圧力のみによって液体供給圧力が規定される。よって、液体の供給圧力をより安定させることができる。また、付勢手段を設けることにより、弁体の大変形による劣化を抑制できる。
【００１７】
［適用例９］
適用例１ないし適用例７の液体供給装置と、前記液体供給装置から供給された液体を噴射する噴射手段と、を備える液体噴射装置。適用例９の液体噴射装置によれば、安定した供給圧力で液体が供給されるので、液体噴射装置全体として過大な圧力による損傷を抑制できる。
【００１８】
本発明において、上述した種々の態様は、適宜、組み合わせたり、一部を省略したりして適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施例における液体噴射装置としてのプリンタ５００の概略構成を示す説明図。
【図２】図１に示すプリンタ５００の内部構造を示す断面図。
【図３】第１実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図
【図４】第１実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図。
【図５】第２実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図。
【図６】第３実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図。
【図７】変形例におけるプリンタ５００のインク供給部の内部構造を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
Ａ．第１実施例：
Ａ１．装置構成：
図１は、本発明の第１の実施例における液体噴射装置としてのプリンタ５００の概略構成を示す説明図である。第１の実施例のプリンタ５００は、４色（ブラック，シアン，マゼンダ，イエロー）のインクを吐出可能なインクジェット式プリンタである。このプリンタ５００は、ブラックインクのインクカートリッジＩＣ１と、シアンインクのインクカートリッジＩＣ２と、マゼンダインクのインクカートリッジＩＣ３と、イエローインクのインクカートリッジＩＣ４と、キャリッジ１００と、液体を噴射する噴射手段の一例としての記録ヘッド１５０と、ガイドロッド２６０と、プラテン２７０と、４つのインク供給部４００，４０１，４０２，４０３と、４つのインク導出管３０，３１，３２，３３と、４つの配管１２０，１２１，１２２，１２３と、負圧発生部３００とを備えている。なお、本明細書において、圧力が「大きい」、「小さい」とは、圧力の絶対値の大小を表している。
【００２１】
プリンタ５００は、４つのインクカートリッジＩＣ１〜ＩＣ４がプリンタ本体側に装着される、いわゆるオフキャリッジタイプのプリンタである。インクカートリッジＩＣ１は、インク導出管３０とインク供給部４００と配管１２０とを介してキャリッジ１００に接続されている。同様に、インクカートリッジＩＣ２は、インク導出管３１とインク供給部４０１と配管１２１とを介して、インクカートリッジＩＣ３は、インク導出管３２とインク供給部４０２と配管１２２とを介して、インクカートリッジＩＣ４は、インク導出管３３とインク供給部４０３と配管１２３とを介して、それぞれキャリッジ１００に接続されている。なお、各インクカートリッジＩＣ１〜ＩＣ４は、図示しないカートリッジホルダによってプリンタ５００の本体フレーム（図示省略）に装着されている。
【００２２】
インク供給部４００は、インクカートリッジＩＣ１内のブラックインクを、配管１２０を介してキャリッジ１００に供給する。同様に、インク供給部４０１はインクカートリッジＩＣ２内のシアンインクを、インク供給部４０２はインクカートリッジＩＣ３内のマゼンダインクを、インク供給部４０３はインクカートリッジＩＣ４内のイエローインクを、それぞれキャリッジ１００に供給する。
【００２３】
負圧発生部３００は、４つのインク供給部４００〜４０３に接続されており、これらのインク供給部４００〜４０３がキャリッジ１００に各色のインクを供給するために用いられる。なお、４つの配管１２０〜１２３内には、インク流路及び負圧の供給路（図示省略）が設けられている。
【００２４】
ガイドロッド２６０は、プラテン２７０の上方（＋Ｙ方向）においてプラテン２７０の長手方向（Ｚ軸）に沿って配置されている。キャリッジ１００は、ガイドロッド２６０に沿ってＺ軸方向に往復可能に支持され、キャリッジモータ（図示省略）によりタイミングベルト（図示省略）を介して駆動される。記録ヘッド１５０は、キャリッジ１００の底面に配置され、キャリッジ１００の往復運動に伴い多数のノズル（図示省略）からインク滴を−Ｙ方向に吐出する。このとき、図示しない紙送り機構によって記録用紙Ｐがプラテン２７０上を＋Ｘ方向に送られ、記録用紙Ｐに画像等が形成される。
【００２５】
図２は、図１に示すプリンタ５００の内部構造を示す断面図である。図２の例では、ブラックインクの供給に関わる内部構造を示すものであるが、他色のインクの供給に関わる内部構造についても同様である。また、図２の例では、キャリッジ１００とインクカートリッジＩＣ１との相対的な位置関係と、キャリッジ１００及びインクカートリッジＩＣ１の向きとについて、図示の便宜上、図１と異なっている。
【００２６】
インク供給部４００は、第１の流路形成部材１０と、第２の流路形成部材１２と、可撓性部材１４とを備えている。第１の流路形成部材１０及び第２の流路形成部材１２は、それぞれ樹脂製の単一部材である。また、可撓性部材１４は、単一のゴム製の板状部材である。これらの第１の流路形成部材１０，第２の流路形成部材１２，可撓性部材１４は積層されている。なお、第１の流路形成部材１０及び第２の流路形成部材１２として、金属製の部材を用いることもできる。また、可撓性部材１４として、樹脂製部材を用いることもできる。このような構成を有するインク供給部４００は、第１のバルブ４２０と、第２のバルブ４６０と、ポンプ４４０と圧力調整部４８０とを有する。第１実施例に置いて、第１のバルブ４２０、第２のバルブ４６０、ポンプ４４０および圧力調整部４８０は、それぞれ、特許請求の範囲の「第１の方向弁」、「第２の方向弁」、「液体供給ポンプ」、および「圧力調整手段」に当たる。
【００２７】
第１のバルブ４２０は、第１バルブ室２０と、弁体２２と、コイルバネ２１とを備えている。第１バルブ室２０は、第１の流路形成部材１０と第２の流路形成部材１２との間に形成された凸形状の空間である。弁体２２は、第１バルブ室２０内に配置されており、第１バルブ室２０において下部空間２３と上部空間２４とを形成する。弁体２２は、可撓性部材１４の一部であり、第１バルブ室２０内を上下方向に変位することができる。なお、弁体２２は、インクの供給が行われない状態においては、コイルバネ２１の付勢力により第１の流路形成部材１０に押し付けられている。この状態は閉弁状態であり、第１のバルブ４２０はインクカートリッジＩＣ１からポンプ４４０へのインクの流通を止める。なお、弁体２２が上方に変位すると中央部分に連通孔が生じて開弁状態となり、第１のバルブ４２０はインクの流通をさせる。上部空間２４は、内部流路３５と連通している。なお、内部流路３５は、第１バルブ室２０と後述するポンプ室４０とを接続するインク流路である。下部空間２３は、内部流路３４と連通している。なお、内部流路３４は、インクカートリッジＩＣ１に接続されたインク導出管３０と第１バルブ室２０とを接続するインク流路である。
【００２８】
ポンプ４４０は、ポンプ室４０と、ダイヤフラム４２と、コイルバネ４１とを備えている。ポンプ室４０は、前述の第１バルブ室２０と同様に、第１の流路形成部材１０と第２の流路形成部材１２との間に形成された凸形状の空間である。ダイヤフラム４２は、ポンプ室４０内に配置されており、ポンプ室４０を下部空間４３と上部空間４４とに分割する。ダイヤフラム４２は、可撓性部材１４の一部であり、ポンプ室４０内を上下方向に変位することができ、上方に変位する際に第１のバルブ４２０を介してインクカートリッジＩＣ１からインクを吸引し、下方に変位する際に第２のバルブ４６０を介してキャリッジ１００にインクを供給する。図２の例では、ダイヤフラム４２は、最も下方（下死点）に位置している。下部空間４３は、２つの内部流路３５，３６にそれぞれ連通している。なお、内部流路３６は、ポンプ室４０と後述する第２バルブ室６０とを接続するインク流路である。上部空間４４は、後述する負圧供給路３５２に接続されている。実施例において、ダイヤフラム４２、下部空間４３、および、上部空間４４は、特許請求の範囲の液体供給ポンプの「第１の可撓性部材」、「ポンプ室」、「負圧室」、に当たる。
【００２９】
第２のバルブ４６０は、第２バルブ室６０と、弁体６２と、コイルバネ６１とを備えている。第２バルブ室６０は、第１バルブ室２０と同様に、第１の流路形成部材１０と第２の流路形成部材１２との間に形成された凸形状の空間である。弁体６２は、第２バルブ室６０内に配置されており、第２バルブ室６０において下部空間６３と上部空間６４とを形成する弁体６２は、可撓性部材１４の一部であり、第２バルブ室６０内を上下方向に変位することができる。なお、弁体６２は、インクの供給が行われない状態においては、コイルバネ６１の付勢力により第１の流路形成部材１０に押し付けられている。この状態は閉弁状態であり、第２のバルブ４６０は、ポンプ４４０から配管１２０（キャリッジ１００）へのインクの流通を止める。一方、弁体６２は、内部流路３６内のインクによって上方に所定の圧力（例えば、４ｋｐａ）以上の圧力を受けると、上方に変位して開弁状態となる。このとき、第２のバルブ４６０は、インクを流通させる。下部空間６３は、内部流路３６，３７と連通している。
【００３０】
圧力調整部４８０は、圧力調整室８０と、連通路８６と、容積変化部材８８とを備え、ポンプ４４０から出力され第２のバルブ４６０を介して記録ヘッド１５０に供給されるインクの供給圧力を調整する。圧力調整室８０は、第１の流路形成部材１０と第２の流路形成部材１２との間に形成された凸形状の空間である。連通路８６は、内部流路３６と圧力調整室８０とを接続する。容積変化部材８８は、可撓性部材１４の一部として構成されており、圧力調整室８０内に設けられ、圧力調整室８０において下部空間８３と上部空間８４とを形成する。以降、容積変化部材８８を、容積変化部材８８と呼ぶ。容積変化部材８８は、圧力調整室８０内を上下方向に変位することができる。容積変化部材８８は、ポンプ４４０へ負圧が供給されダイヤフラム４２が上方に変位し、下部空間４３の容積が予め規定された容積を越えた場合に、負圧の解放後に、内部流路３６、連通路８２を介して流れ込むインクによって上方に撓み、予め規定された下部空間４３の容積を超える容積分、下部空間８３の容積を変化させるように構成されている。圧力調整部４８０の動作については、後に詳述する。なお、第１実施例において、圧力調整室８０、連通路８６、容積変化部材８８は、それぞれ、特許請求の範囲の「圧力調整室」、「接続手段」、「容積変化部材（第２の可撓性部材）」に当たる。
【００３１】
負圧発生部３００は、駆動モータ３２２と、吸引ポンプ３２０と、カム機構３２４と、大気開放機構３３０とを備えている。吸引ポンプ３２０は、駆動モータ３２２と接続されている。また、吸引ポンプ３２０は、負圧供給路３５２に接続されている。駆動モータ３２２は、吸引ポンプ３２０とカム機構３２４とに接続され、これら吸引ポンプ３２０とカム機構３２４とを駆動する。大気開放機構３３０は、筐体３２６と、コイルバネ３３１と、弁体３３２と、シール部材３３４とを備えている。筐体３２６は、配管３５１を介して、負圧供給路３５２に接続されている。また、筐体３２６には開口部３３８が設けられており、開口部３３８からロッド３３６が挿入されている。なお、開口部３３８とロッド３３６との間には隙間が設けられている。ロッド３３６は、筐体３２６内部において弁体３３２と接合されている。コイルバネ３３１は、弁体３３２をシール部材３３４に押し付ける方向に付勢されている。前述の駆動モータ３２２は、正転駆動又は逆転駆動が可能である。そして、吸引ポンプ３２０は、駆動モータ３２２の正転駆動により駆動されて負圧を発生する。一方、カム機構３２４は、駆動モータ３２２の逆転駆動により駆動されてロッド３３６を押し出す。このとき、弁体３３２は押し上げられてシール部材３３４から離れるため、筐体３２６内部は大気開放され、また、負圧供給路３５２も大気開放される。
【００３２】
Ａ２．インク供給部４００におけるインク供給動作：
一般的に、インク供給時における、ポンプ４４０の吸引駆動時においては、コイルバネ４１の付勢力により発生する圧力と同程度の負圧をポンプ４４０に供給すれば、ダイヤフラム４２は、コイルバネ４１の付勢力に打ち勝って弾性変形して上方に変位してストッパー４５に当接し停止する。この際、下部空間４３の容積は、予め規定された容積Ｃ１（以降、規定容積Ｃ１と呼ぶ）となる。そして、負圧を解放して大気連通すると、コイルバネ４１の付勢力のみによりダイヤフラム４２が押圧されて下降し、下部空間４３からインクが供給される。このようにして供給されるインクの供給圧力はコイルバネ４１の付勢力による発生圧力とほぼ等しくなる。実施例において、コイルバネ４１の付勢力のみによって規定されるインクの供給圧力は、ポンプ４４０から出力されるインクの目標供給圧力Ｐ４である。しかし、負圧発生部３００によってポンプ４４０に供給される負圧は、設置環境の違い（標高差）などにより、ばらつきが生じ、例えば、負圧がバネの付勢力により発生する圧力よりも低い場合には、インクの供給圧力が十分得られないという問題が生じる。よって、本実施例では、負圧のばらつきを考慮し、バネの付勢力により発生する圧力Ｐ１（例えば、３０ＫＰａ）よりも大きい負圧Ｐ２（例えば、−５０ＫＰａ）をポンプ４４０に供給し、インクの供給圧力Ｐ３が目標供給圧力Ｐ４よりも低くなることを抑制する。
【００３３】
図３および図４は、第１実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図である。図３（Ａ）は、インクの吸引駆動時のインク供給部４００を示す断面図である。また、図３（Ｂ）および図４は、インクの吐出駆動時のインク供給部４００を示す断面図である。図２に示す状態から記録ヘッド１５０にインクを供給する場合、まず、ポンプ４４０はインクカートリッジＩＣ１からのインクの吸引駆動を実行する。
【００３４】
具体的には、駆動モータ３２２（図２）は、正転駆動して吸引ポンプ３２０を駆動させる。すると、吸引ポンプ３２０は負圧を発生させ、負圧供給路３５２（図３（Ａ））を介してポンプ４４０の上部空間４４に負圧Ｐ２を供給する。上部空間４４の内部が負圧となると、ダイヤフラム４２は、コイルバネ４１の付勢力により発生する圧力Ｐ１に打ち勝って弾性変形して上方に変位しストッパーに当接して停止する。ダイヤフラム４２の変位に応じて、図３（Ａ）に示すように、下部空間４３の容積が増加する。このとき、下部空間４３の内部は負圧となるので、ポンプ４４０は吸引動作を行う。すなわち、ポンプ４４０は、内部流路３５を介して第１のバルブ４２０の上部空間２４のインクを吸引する。第１のバルブ４２０において、弁体２２は、コイルバネ２１の付勢力に打ち勝って弾性変形して上方に変位する。このとき、弁体２２の中央部分において、上部空間２４と下部空間２３とを連通する連通孔２８が生じ、第１のバルブ４２０は開弁状態となる。したがって、インクカートリッジＩＣ１（図２）内のブラックインクは、インク導出針２５０（図２），インク導出管３０（図２），内部流路３４，下部空間２３，連通孔２８，上部空間２４，及び内部流路３５を通って、容積の増加したポンプ４４０の下部空間４３に吸引される。
【００３５】
バネの付勢力による圧力Ｐ１よりも大きい負圧Ｐ２をポンプ４４０に供給するので、付勢力による圧力Ｐ１よりも大きい負圧がポンプ４４０に供給される。以下では、供給されたそのままの負圧Ｐ２でダイヤフラム４２が吸引される場合を例に説明する。なお、以下に説明する内容は、負圧Ｐ２より小さくても、付勢力による圧力Ｐ１よりも大きい負圧でダイヤフラム４２が吸引された場合において同様である。
【００３６】
負圧Ｐ２がポンプ４４０に供給されると、上部空間４４内が負圧となり、ダイヤフラム４２が上方に変位する。ダイヤフラム４２の中心部４２ａがストッパー４５に当接した後も、ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂは、図３（Ａ）の円Ｘ１に拡大して示すように、負圧によって引き延ばされ、負圧Ｐ２と釣り合う位置で変位を停止する。この結果、下部空間４３の容積は、規定容積Ｃ１＋増加容積Ｃ２（円Ｘ１に斜線ハッチングで示す分の容積）となる。なお、円Ｘ１において、下部空間４３が規定容積Ｃ１となる場合の外縁部４２ｂの形状を破線で示す。
【００３７】
一方、第２のバルブ４６０では、ポンプ４４０の吸引駆動時において下部空間６３内のインクが内部流路３６を介してポンプ４４０に吸引される。したがって、弁体６２は、第１の流路形成部材１０に押し付けられている状態（閉弁状態）を維持することとなる。
【００３８】
上述した吸引駆動によってポンプ室４０の下部空間４３に、規定容積Ｃ１＋増加容積Ｃ２の体積分インクが溜められた後に、上部空間４４が大気開放されると、ポンプ４４０は、インクの吐出駆動を実行する。具体的には、駆動モータ３２２（図２）は、逆転駆動してカム機構３２４を駆動させる。すると、ロッド３３６が押し出されて弁体３３２が上方に上がって開弁状態となり、開口部３３８を介して配管３５１が大気と連通する。このとき、負圧供給路３５２（図３（Ｂ））を介して上部空間４４は大気開放され、まず、引き延ばされているダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下する。ダイヤフラム４２は、負圧Ｐ２で引っ張られ釣り合っていたので、大気開放直後には、下部空間４３内のインクを負圧と同一の圧力Ｐ２で押圧しつつ降下する。すなわち、下部空間４３内に溜められたインクは、供給圧力Ｐ３（＝負圧Ｐ２）で内部流路３６に排出される。下部空間４３から内部流路３６に排出されたインクは、連通路８６を通り圧力調整室８０の下部空間８３に流れ込む。容積変化部材８８は下部空間８３に流入したインクによって押圧されて、下部空間８３から上部空間８４の方向（図面３では上方）に撓み、下部空間８３の容積が膨張する。インクは下部空間８３内に収容される。
【００３９】
ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下を続け、下部空間４３が規定容積Ｃ１となると、図４に示すように、ダイヤフラム４２はコイルバネ４１の付勢力による圧力Ｐ１のみにより下方に弾性変形（変位）する。この際、下部空間４３内に溜められたインクは、ダイヤフラム４２の変位によってバネの付勢力による圧力Ｐ１とほぼ等しい目標供給圧力Ｐ４で内部流路３５，３６に排出される。すなわち、インクの供給圧力は、負圧解放以降、Ｐ３からＰ４へと徐々に変化する。下部空間４３から内部流路３６に排出された加圧インクは、第２のバルブ４６０において弁体６２を下方から所定の供給圧力Ｐ４で押し上げる。すると、弁体６２は、コイルバネ６１の付勢力による圧力（例えば、４ｋｐａ）に打ち勝って上方に変位して開弁状態となり、下部空間６３に流入したインクは、内部流路３７を介してキャリッジ１００に向けて吐出される。
【００４０】
一方、第１のバルブ４２０では、上部空間２４に内部流路３５を介して加圧されたインクが流入する。すると、コイルバネ２１の付勢力と流入したインクの圧力とによって弁体２２は下方に変位し、弁体２２の中央部に生じた連通孔２８は消滅して上部空間２４と下部空間２３とは連通しない状態となる。したがって、ポンプ４４０の吐出駆動に伴い下部空間４３から吐出された加圧インクが、第１のバルブ４２０を介してインクカートリッジＩＣ１に逆流することが抑制される。
【００４１】
容積変化部材８８は、付勢力による圧力Ｐ１よりも大きい圧力でインクが下部空間８３に流入した場合に、変化する（撓む）ように構成されている。このように構成することにより、負圧解放後に、付勢力による圧力Ｐ１よりも高い供給圧力で下部空間４３から供給されるインク、すなわち、増加容積Ｃ２に対応する体積分のインクは、圧力調整部４８０の下部空間８３に一時的に収容される。この結果、ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂの膨張が解放され、ダイヤフラム４２はコイルバネ４１の付勢力による圧力Ｐ１のみによって下方に押圧されるので、下部空間４３から出力されるインクの供給圧力は所望の圧力Ｐ４（＝付勢力による圧力Ｐ１）となる。なお、容積変化部材８８は、ダイヤフラム４２の吸引駆動に応じて下降する。この下降に伴って、下部空間８３内に収容されているインクが連通路８２を介して内部流路３６に戻される。
【００４２】
記録ヘッド１５０（図１）からインクが噴射されると、後述するように、インク噴射に伴うインク消費量に相当する分量のインクが記録ヘッド１５０に供給される。また、インク消費量に相当する分量のインクがポンプ４４０（図３（Ｂ））によってキャリッジ１００に供給される。このとき、ダイヤフラム４２の下方への押圧力（コイルバネ４１の付勢力による押圧力）によって加圧された状態でインクが供給される。そして、インクを供給するのに従ってダイヤフラム４２が下死点位置まで変位すると、駆動モータ３２２は再び正転駆動し、ポンプ４４０は上述した吸引動作及び吐出駆動を実行する。このようにして、消費された分量のインクがインクカートリッジＩＣ１から記録ヘッド１５０へと加圧された状態で適宜供給される。なお、インクの供給圧力は、インクがポンプ４４０から記録ヘッド１５０へ供給される過程で、多少の圧力損失が生じる。
【００４３】
以上説明した第１実施例のプリンタ５００によれば、ダイヤフラム４２へ供給された負圧の解放後に、第１のバルブ４２０と第２のバルブ４６０との間の所定の部位（圧力調整室８０の下部空間８３）の容積を、増加容積Ｃ２分だけ変化させることにより、記録ヘッド１５０に供給するインクの供給圧力を調整する圧力調整手段としての圧力調整部４８０が設けられている。従って、負圧によってダイヤフラム４２が吸引されて変形し、下部空間４３の容積が規定容積Ｃ１を越えた場合、負圧を解放してダイヤフラム４２の変形が戻り始めると、まず、ダイヤフラム４２が変形した容積分、すなわち、規定容積Ｃ１を超える増加容積Ｃ２分、圧力調整部４８０の下部空間８３の容積が膨張変化する。その後、ダイヤフラム４２の戻りによる押圧（コイルバネ４１の付勢力）のみによってインクの供給圧力が規定され、インクが記録ヘッド１５０に供給される。よって、記録ヘッド１５０に供給される液体の圧力は、ダイヤフラム４２の下降（コイルバネ４１の付勢力）のみによって規定されるので、安定した供給圧力で液体を記録ヘッド１５０に供給できる。また、圧力調整部４８０より下流側には、目標供給圧力Ｐ４でインクが流れるので、インク供給部４００を構成する部品、特に、内部流路の継手部分は圧力に脆弱であるので、その損傷を抑制できる。
【００４４】
また、第１実施例のプリンタ５００によれば、圧力調整部４８０は、内部流路３６と接続された圧力調整室８０を備え、圧力調整室８０を下部空間８３、上部空間８４に区画する容積変化部材８８が備えられており、負圧解放後に増加容積Ｃ２分、下部空間８３の容積を変化させる。従って、従来から利用されているインク供給部４００の構成を大きく変化させることなく、圧力調整部４８０を追加するだけで、インクの供給圧力を調整することができる。また、容積変化部材８８として可撓性部材が用いられているので、簡易な構成で下部空間８３の容積変化を生じさせることができる。
【００４５】
また、第１実施例のプリンタ５００によれば、容積変化部材８８はダイヤフラム４２と同一の材料によって形成されている。従って、圧力調整部４８０の容積変化部材８８をダイヤフラム４２と一体的に形成することができる。よって、圧力調整部４８０を簡易に形成できる。
【００４６】
なお、増加容積Ｃ２の全部ではなく、少なくとも一部の容積分、容積を変化すれば、高い供給圧力でインクが供給されることを抑制できる。
【００４７】
Ｂ．第２実施例：
第２実施例では、ポンプ４４０から出力されるインクの供給圧力を調整する圧力調整手段として、内部流路の一部を可撓性部材により形成する。
【００４８】
Ｂ１．インク供給部４００におけるインク供給動作：
図５は、第２実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図である。インク供給部４００ａにおいて、内部流路３５、第１のバルブ４２０、ポンプ４４０、第２のバルブ４６０は、第１実施例と同一の構成を備える。内部流路３６には、その一部を構成するように、可撓性部材５０が設けられている。本実施例において、可撓性部材５０は、特許請求の範囲の「第３の可撓性部材」に当たる。可撓性部材５０は、例えばフィルムやゴムなどとしてもよい。可撓性部材５０は、例えば、内部流路を構成する流路基板において、内部流路３６の少なくとも一部を覆うように貼り付けられていても良い。また、可撓性部材５０は、コイルバネ４１の付勢力による圧力Ｐ１により、内部流路３６の容積が膨張する方向（図５では下方）に、撓むように形成されている。
【００４９】
第１実施例と同様に、供給されたそのままの負圧Ｐ２でダイヤフラム４２が吸引される場合を例に説明する。負圧Ｐ２がポンプ４４０に供給されると、第１実施例の図３（Ａ）における説明と同様に、ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂは、負圧Ｐ２によって引き延ばされ、負圧Ｐ２と釣り合う位置で変位を停止する。この結果、下部空間４３の容積は、規定容積Ｃ１＋増加容積Ｃ２（円Ｘ２に斜線ハッチングで示す分の容積）となる。なお、円Ｘ２において、下部空間４３が規定容積Ｃ１となる場合の外縁部４２ｂの形状を破線で示す。
【００５０】
負圧供給路３５２を介して上部空間４４が大気開放されると、まず、引き延ばされているダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下する。ダイヤフラム４２は、負圧Ｐ２で引っ張られ釣り合っていたので、下部空間４３内に溜められたインクは、第１実施例と同様に、供給圧力Ｐ３（＝負圧Ｐ２）で内部流路３６に供給される。付勢力による圧力Ｐ１より高い供給圧力Ｐ３でインクが内部流路３６に供給されると、図５（Ｂ）に示すように、可撓性部材５０は撓み、内部流路３６の容積は、容積Ｃ３だけ膨張する。容積Ｃ３は、増加容積Ｃ２とほぼ同じとなる。
【００５１】
ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下を続け、下部空間４３が規定容積Ｃ１となると、図５（Ｂ）に示すように、ダイヤフラム４２はコイルバネ４１の付勢力Ｐ１のみにより下方に弾性変形（変位）し、これに伴い、下部空間４３からコイルバネ４１の付勢力Ｐ１とほぼ等しい目標供給圧力Ｐ４でインクが内部流路３５，３６に排出され、記録ヘッド１５０に供給される。
【００５２】
以上説明した第２実施例のプリンタ５００によれば、圧力調整手段としての可撓性部材５０がインク供給部４００の一部、より具体的には内部流路３６の一部を形成するように設けられている。従って、負圧解放後に、第１のバルブ４２０の下部空間４３の増加容積Ｃ２分、内部流路３６の容積を膨張変化させることができる。よって、内部流路を構成する部品数の増加を抑制しつつ、安定した供給圧力でインクを記録ヘッド１５０に供給できる。
【００５３】
Ｃ．第３実施例：
第３実施例では、ポンプ４４０から出力されるインクの供給圧力を調整する圧力調整手段として、第１のバルブ４２０の弁体２２に、撓みやすい部分を設ける。
【００５４】
Ｃ１．インク供給部４００におけるインク供給動作：
図６は、第３実施例におけるインクの供給動作について説明する説明図である。インク供給部４００ｂにおいて、内部流路３５、ポンプ４４０、第２のバルブ４６０は、第１実施例と同一の構成を備える。第３実施例では、圧力調整部４８０は設けられておらず、内部流路３６は、下部空間４３と下部空間６３とを連通するように構成されている。第３実施例では、第１のバルブ４２０の弁体２２は、撓み部２２ａを備える。撓み部２２ａは、弁体２２において、撓み部２２ａ以外の部分よりも撓みやすいように構成されている。撓み部２２ａは、付勢力による圧力Ｐ１が加えられると第１のバルブ４２０を閉弁する方向（図６では下方）に撓みやすく構成されている。
【００５５】
第１実施例と同様に、供給されたそのままの負圧Ｐ２でダイヤフラム４２が吸引される場合を例に説明する。負圧Ｐ２がポンプ４４０に供給されると、第１実施例の図３（Ａ）における説明と同様に、ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂは、負圧Ｐ２によって引き延ばされ、負圧Ｐ２と釣り合う位置で変位を停止する。この結果、下部空間４３の容積は、規定容積Ｃ１＋増加容積Ｃ２（円Ｘ４に斜線ハッチングで示す分の容積）となる。なお、円Ｘ４において、下部空間４３が規定容積Ｃ１となる場合の外縁部４２ｂの形状を破線で示す。
【００５６】
負圧供給路３５２を介して上部空間４４が大気開放されると、まず、引き延ばされているダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下する。ダイヤフラム４２は、負圧Ｐ２で引っ張られ釣り合っていたので、下部空間４３内に溜められたインクは、第１実施例と同様に、供給圧力Ｐ３（＝負圧Ｐ２）で内部流路３５，３６に供給される。付勢力Ｐ１よりも高い供給圧力Ｐ３でインクが内部流路３５に供給されると、図６（Ｂ）に示すように、撓み部２２ａは、撓み、上部空間２４の容積は増大する。この際、上部空間２４の容積が、増加容積Ｃ２と同程度増大するように撓み部２２ａが形成されていることが好ましい。なお、弁体２２は、ポンプ４４０から戻されるインクの圧力により閉弁方向に押圧されているので、第１のバルブ４２０が開弁することはない。
【００５７】
ダイヤフラム４２の外縁部４２ｂが降下を続け、下部空間４３が規定容積Ｃ１となると、図５（Ｂ）に示すように、ダイヤフラム４２はコイルバネ４１の付勢力のみにより下方に弾性変形（変位）し、これに伴い、下部空間４３からコイルバネ４１の付勢力による圧力Ｐ１とほぼ等しい目標供給圧力Ｐ４でインクが内部流路３６に排出され、記録ヘッド１５０に供給される。このように、ポンプ４４０に近い部位でインクの供給圧力を調整している。
【００５８】
以上説明した第３実施例のプリンタによれば、第１のバルブ４２０に撓み部２２ａが形成されている。従って、負圧解放後に第１のバルブ４２０の弁体２２が撓み、規定容積Ｃ１を超える分の増加容積Ｃ２分、上部空間２４の容積を膨張変化させることができる。よって、インク供給部４００を構成する部品数の増加を抑制しつつ、簡易な構成で液体を安定した供給圧力で液体噴射装置に供給できる。
【００５９】
Ｄ．変形例
（１）第１実施例では、圧力調整室８０内に容積変化部材８８のみが設けられているが、例えば、圧力調整部４８０の上部空間８４内に、容積変化部材８８を押圧するコイルバネ８９を設けても良い。図７は、本変形例におけるインク供給部の内部構造を示す断面図である。本変形例のインク供給部４００ｃにおいて、第１のバルブ４２０、ポンプ４４０および第２のバルブ４６０は、第１実施例と同様の構成である。また、圧力調整部４８０ａは、コイルバネ８９が設けられていること以外は、第１実施例の圧力調整部４８０と同様の構成を備える。コイルバネ８９は、例えば、付勢力による圧力Ｐ１と同等の圧力を発生する付勢力で容積変化部材８８を付勢することが好ましい。これは、付勢力による圧力Ｐ１よりもコイルバネ８９の付勢力による圧力ＰＦが低いと、インクの供給圧力が目標供給圧力Ｐ４の場合にも、容積変化部材８８が撓んでしまい目標供給圧力が出ず、コイルバネ８９の付勢力による圧力ＰＦが付勢力による圧力Ｐ１よりも高く負圧Ｐ２に近い、あるいは負圧Ｐ２を超えるような場合には、十分に下部空間８３の容積が増大せず、インクの供給圧力を十分に調整することが困難となるためである。
【００６０】
変形例（１）によれば、容積変化部材８８を付勢する付勢手段としてコイルバネ８９が設けられている。従って、容積変化部材８８の撓む方向とは逆方向にコイルバネ８９によって付勢される。よって、可撓性部材である容積変化部材８８の極端な変形を抑制できる。
【００６１】
（２）第１実施例では、圧力調整部４８０の圧力調整室８０を区画し、下部空間４３の容積を変化させる部材として、可撓性の容積変化部材８８を用いているが、例えば、容積変化部材８８に変えて、ピストンとしてもよい。可倒性部材は撓みを繰り返すことにより劣化して効果が低減するが、ピストンを用いれば、劣化による効果低減を抑制できる。
【００６２】
（３）第２実施例では、内部流路を構成する流路基板の一方に可撓性部材５０であるフィルムを設けているが、例えば、流路基板の他方側（図５の上側）にもフィルムを設けたり、流路の一部について、流路を構成する側面の全てを可撓性部材で構成してもよい。
【００６３】
（４）圧力調整手段としての圧力調整部４８０や可撓性部材５０は、第１のバルブ４２０と第２のバルブ４６０との間のいずれの位置に設けても良い。また、例えば、撓み部２２ａと、可撓性部材５０との両方を設けたり、３カ所以上設けても良い。
【００６４】
（５）上述した各実施例では、インクジェット式プリンタについて説明したが、本発明は、これに限らず、インク以外の他の液体を噴射する任意の液体噴射装置に適用することができる。例えば、ファクシミリ装置等の画像記録装置や、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッドや、有機ＥＬ(Electro Luminescence)ディスプレーや、面発光ディスプレー (Field Emission Display、ＦＥＤ)等の電極形成に用いられる電極材噴射装置や、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を噴射する液体噴射装置や、精密ピペットとしての試料噴射装置や、潤滑油の噴射装置や、樹脂液の噴射装置等にも適用できる。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用しても良い。そして、これら微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置のうちいずれか一種の噴射装置に本発明を適用することができる。
【００６５】
なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であれば良い。例えば、物質が液相であるときの状態のものであれば良く、粘性の高い又は低い液状態、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施例の形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。
【００６６】
以上、本発明の種々の実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の構成をとることができる。
【符号の説明】
【００６７】
１０…第１の流路形成部材、１２…第２の流路形成部材、１４…可撓性部材、２０…第１バルブ室、２１…コイルバネ、２２…弁体、２２ａ…撓み部、２３…下部空間、２４…上部空間、２８…連通孔、３０、３１、３２、３３…インク導出管、３４、３５、３６、３７…内部流路、４０…ポンプ室、４１…コイルバネ、４２…ダイヤフラム、４２ａ…中心部、４２ｂ…外縁部、４３…下部空間、４４…上部空間、４５…ストッパー、５０…可撓性部材、６０…第２バルブ室、６１…コイルバネ、６２…弁体、６３…下部空間、６４…上部空間、７１…第３のバルブ、８０…圧力調整室、８２…連通路、８３…下部空間、８４…上部空間、８６…連通路、８８…容積変化部材、８９…コイルバネ、１００…キャリッジ、１２０、１２１、１２２、１２３…配管、１５０…記録ヘッド、２００…ケース、２０２…大気連通孔、２０４…インク供給口、２５０…インク導出針、２６０…ガイドロッド、２７０…プラテン、３００…負圧発生部、３２０…吸引ポンプ、３２２…駆動モータ、３２４…カム機構、３２６…筐体、３３０…大気開放機構、３３１…コイルバネ、３３２…弁体、３３４…シール部材、３３６…ロッド、３３８…開口部、３５１…配管、３５２…負圧供給路、４００、４０１，４０２，４０３…インク供給部、４２０…第１のバルブ、４４０…ポンプ、４６０…第２のバルブ、４８０…圧力調整部、４８０ａ…圧力調整部、５００…プリンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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