Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月4日(2005.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  少なくとも１つのホールと、前記少なくとも１つのホール上に延在するトレンチと、前記少なくとも１つのホール内及び前記トレンチ内に埋め込まれた導電体と、を含んだデュアルダマシン構造を同一レイヤに複数備えた半導体装置を製造する方法であって、
(a)前記デュアルダマシン構造を作り込むための層間絶縁膜を形成する工程と、
(b)前記層間絶縁膜内に前記ホールを形成する工程と、
(c)前記工程(b)の後に、前記層間絶縁膜上にレジストを形成する工程と、
(d)前記工程(c)の後に、前記レジストを、前記ホールに対応する部分付近にアンダーサイジングが施されたラインパターンを備えたパターン転写マスクを用いた写真製版法によってパターニングする工程と、
(e)パターニングされた前記レジストをマスクとして前記層間絶縁膜をエッチングして前記トレンチを形成する工程と、
(f)前記ホール内及び前記トレンチ内に前記導電体を埋め込む工程と、
を備える、
半導体装置の製造方法。
【請求項２】  請求項１に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記アンダーサイジングは、前記半導体装置の平面視上前記ホールの占有率が高い領域ほど、大きく施されている、
半導体装置の製造方法。
【請求項３】  請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ラインパターンは、
互いに対向するエッジを有する基部と、
前記ホールに対応する部分付近において、前記基部の各エッジから後退したエッジを有するアンダーサイジング部と
を含んでいる、
半導体装置の製造方法。
【請求項４】  請求項３に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記基部の幅をＴｗとし、前記基部の各エッジに対する前記アンダーサイジング部の各エッジの後退量をＨとすると、前記アンダーサイジング部の幅は、Ｔｗ−２×Ｈである、
半導体装置の製造方法。
【請求項５】  請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法であって、
(g)前記工程(c)の後に、前記レジスト上に反射防止膜を形成する工程
をさらに備える、
半導体装置の製造方法。
【請求項６】  請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記パターン転写マスクのマスクパターンはコンピュータを用いて作成され、
前記マスクパターンの作成工程は、
(h-1)前記ホール及び前記トレンチの各レイアウトについての情報を含むレイアウト情報を取得するステップと、
(h-2)前記レイアウト情報を参照して前記トレンチに対応するパターンを作成するステップと、を有し、
前記ステップ(h-2)は、
(h-2-1)前記トレンチの前記レイアウトにおいて前記ホールに対応する部分付近にアンダーサイジングを施すステップと、
(h-2-2)前記トレンチの前記レイアウトにおいてサイジング処理の対象となる箇所を前記レイアウト情報を参照して抽出するステップと、を含む、
半導体装置の製造方法。
【請求項７】  請求項６に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ステップ(h-2)は、
(h-2-3)前記トレンチを含む前記レイヤを複数の領域に区画するステップと、
(h-2-4)各領域内における前記ホールの占有率を算出するステップと、をさらに含み、
前記ステップ(h-2-1)においては、前記ステップ(h-2-4)で算出された前記占有率が高い領域ほど前記アンダーサイジングが大きく施される、
半導体装置の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体装置の製造方法は、少なくとも１つのホールと、前記少なくとも１つのホール上に延在するトレンチと、前記少なくとも１つのホール内及び前記トレンチ内に埋め込まれた導電体と、を含んだデュアルダマシン構造を同一レイヤに複数備えた半導体装置を製造する方法であって、(a)前記デュアルダマシン構造を作り込むための層間絶縁膜を形成する工程と、(b)前記層間絶縁膜内に前記ホールを形成する工程と、(c)前記工程(b)の後に、前記層間絶縁膜上にレジストを形成する工程と、(d)前記工程(c)の後に、前記レジストを、前記ホールに対応する部分付近にアンダーサイジングが施されたラインパターンを備えたパターン転写マスクを用いた写真製版法によってパターニングする工程と、(e)パターニングされた前記レジストをマスクとして前記層間絶縁膜をエッチングして前記トレンチを形成する工程と、(f)前記ホール内及び前記トレンチ内に前記導電体を埋め込む工程と、を備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
このようなマスクパターン１１０を有するマスク１０３を図４中のマスク１００として用いてネガ型のレジスト７１をパターニングしたところ、図１９のグラフに示すように、レジストパターンの上記幅をライン・アンド・スペース領域１２０内の全箇所で０．２０±０．０２μｍにすることができた。つまり、マスク１０３によれば、ビアホール５１Ｈの配置形態（例えば粗密）に依存したレジストパターンのパターン不具合を抑制することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
そこで、図２０の断面図に示すように、レジスト７１の露出表面上に反射防止膜７２を形成した後にマスク１００としてのマスク１０３でレジスト７１を露光したところ、上述の振動的なパターン不具合は抑制され、図２１のグラフに示すようにレジスト７１の上記幅をライン・アンド・スペース領域１２０内の全箇所で０．２０±０．０１μｍの寸法を得ることができた。反射防止膜７２はマスク１０１，１０２と組み合わせても良く、マスク１０３の場合と同様に、レジストパターンの寸法精度を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
そして、サイジング処理手段２２４によって、抽出手段２２１が抽出した箇所において（抽出手段２２１が抽出したトレンチ５１Ｔのエッジｅのうちでビアホール５１Ｈに対応する部分付近において）、遮光パターン１１１にアンダーサイジングを施す。なお、ポジ型のレジストに対して用いるマスク１０２の場合には遮光パターン１１１にオーバーサイジングを施す。このとき、サイジング処理手段２２４は、上記占有率が高い領域１２０Ａほどアンダーサイジング（又はオーバーサイジング）を大きく施す。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月20日(2005.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】外部循環式流動焼却炉と焼却方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  流動砂が循環する流動部に、固体可燃物、燃料及び流動空気を供給し、流動砂を分離するサイクロンを付設している外部循環式流動焼却炉であって、前記分離した流動砂を流動部に循環するサイクロンと流動部を接続する流動砂下降管と、該下降管の下部に流動部に連通したシール室とを有し、該シール室上部外壁に、該シール室内の砂層界面の高さを、レーザ光を、鉛直方向あるいは鉛直との角度が、シール室の砂層界面の水平との傾き角度のθの範囲内に、放射して検知するレーザ光レベル計を設置したことを特徴とする外部循環式流動焼却炉。
【請求項２】  前記レーザ光レベル計には、レーザ光発光部から砂層界面高さまでのビーム（光束）部分の全長あるいは一部長さ部分に、該レーザ光ビームの外径以上の太さのさや管を設けたことを特徴とする請求項１記載の外部循環式流動焼却炉。
【請求項３】  前記さや管には、該管内にパージ用空気を吹込む空気供給管を配すると共に、該さや管内にレーザ光の反射光散乱を防止するための吸光剤を施したことを特徴とする請求項２記載の外部循環式流動焼却炉。
【請求項４】  前記レーザ光レベル計には、前記取付けられたさや管の先端部とシール室砂層界面までの距離を一定値に保つ可動手段を設けたことを特徴とする請求項２又は３記載の外部循環式流動焼却炉。
【請求項５】  流動砂が循環する流動部に、固体可燃物、燃料及び流動空気を供給して焼却し、外部に付設したサイクロンで流動砂を分離して前記流動部に循環する外部循環式流動焼却方法であって、前記サイクロンで分離した流動砂を、流動部に循環するための流動砂下降管の下部に、流動部に連通したシール室を設け、該シール室内にレーザ光レベル計を設置し、該シール室内の砂層界面の高さを、レーザ光を鉛直方向あるいは鉛直との角度がシール室の砂層界面の水平との傾き角度のθの範囲内に放射して検知し、該流動砂の流動部への循環量を制御することを特徴とする外部循環式流動焼却方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外部循環式流動焼却炉に係り、特に、有機性固形物と水が混合された混合物、ゴミあるいは固形燃料などを焼却するのに好適な外部循環式流動焼却炉と焼却方法に関するのもである。
ここで言う有機性固形物と水が混合された混合物とは、工場廃水、下水、ゴミ汁あるいはこれらを処理したときに発生する汚泥、あるいはこれら汚泥を脱水機で脱水した際に生成する脱水ケーキであり、また、ゴミあるいは固形燃料とは、都市ゴミ、廃プラスチックなどの産業廃棄物及び固形燃料、たとえば石炭タール、アスファルトあるいはバイオマスなどを意味する。（以後、これらを単に「固体可燃物」と呼ぶ）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術の問題点を解消し、下降管下部シール室の砂層界面高さの測定を、炉の運転条件に係わりなく行うことができる外部循環式流動焼却炉と焼却方法を提供することを課題とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記流動焼却炉において、前記レーザ光レベル計には、レーザ光発光部から砂層界面高さまでのビーム（光束）部分の全長あるいは一部長さ部分に、該レーザ光ビームの外径以上の太さのさや管を設けることができ、前記さや管には、該管内にパージ用空気を吹込む空気供給管を配すると共に、該さや管内にレーザ光の反射光散乱を防止するための吸光剤を施すことができ、また、前記レーザ光レベル計には、前記取付けられたさや管の先端部とシール室砂層界面までの距離を一定値に保つ可動手段を設けることができる。
また、本発明では、流動砂が循環する流動部に、固体可燃物、燃料及び流動空気を供給して焼却し、外部に付設したサイクロンで流動砂を分離して前記流動部に循環する外部循環式流動焼却方法であって、前記サイクロンで分離した流動砂を、流動部に循環するための流動砂下降管の下部に、流動部に連通したシール室を設け、該シール室内にレーザ光レベル計を設置し、該シール室内の砂層界面の高さを、レーザ光を鉛直方向あるいは鉛直との角度がシール室の砂層界面の水平との傾き角度のθの範囲内に放射して検知し、該流動砂の流動部への循環量を制御することを特徴とする外部循環式流動焼却方法とすることとしたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月6日(2004.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】複合発電システム及び発電方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ごみを燃焼するごみ焼却炉と、前記ごみ焼却炉から排出される排ガスの廃熱により蒸気を生成する廃熱ボイラとを有するごみ焼却設備と、
汚泥を燃焼する汚泥焼却炉と、前記ごみ焼却設備の廃熱ボイラにより生成された蒸気を前記汚泥焼却炉から排出される排ガスの熱により過熱して過熱蒸気を生成する過熱器とを有する汚泥焼却設備と、
前記汚泥焼却設備の過熱器により生成された過熱蒸気により駆動される蒸気タービンと、前記蒸気タービンに連結された発電機とを有する発電設備とを備えたことを特徴とする複合発電システム。
【請求項２】
前記汚泥焼却設備は、汚泥の含水率を下げる乾燥機を更に有し、
前記汚泥焼却設備の乾燥機の熱源として、前記ごみ焼却設備の廃熱ボイラにより生成された蒸気を用いることを特徴とする請求項１に記載の複合発電システム。
【請求項３】
前記ごみ焼却設備は、前記廃熱ボイラから排出された排ガスの熱を利用して前記廃熱ボイラに供給する給水を予熱するエコノマイザを更に有し、
前記発電設備は、前記蒸気タービンから出た蒸気を冷却して復水する復水器と、前記復水器により復水された水を前記ごみ焼却設備のエコノマイザに供給する給水ポンプとを更に有することを特徴とする請求項１又は２に記載の複合発電システム。
【請求項４】
前記ごみ焼却設備の廃熱ボイラには、絶対圧力が約３ＭＰａ・ａｂｓ〜５ＭＰａ・ａｂｓ、温度が約３００℃〜４００℃の蒸気を供給することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の複合発電システム。
【請求項５】
ごみを燃焼して得られる排ガスにより蒸気を生成し、
汚泥を燃焼して得られる排ガスにより前記生成された蒸気を過熱して過熱蒸気を生成し、
前記生成された過熱蒸気により蒸気タービンを駆動して、該蒸気タービンに連結された発電機により発電することを特徴とする発電方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複合発電システム及び発電方法に係り、特にバイオマス（都市ごみや下水汚泥）を利用した複合発電システム及び発電方法に関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、ごみと汚泥とを一括して処理することができ、発電効率の向上、省エネルギー化及びコストの削減を図ることができる高効率複合発電システム及び発電方法を提供することを目的とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような従来技術における問題点を解決するために、本発明の第１の態様は、ごみを燃焼するごみ焼却炉と、上記ごみ焼却炉から排出される排ガスの廃熱により蒸気を生成する廃熱ボイラとを有するごみ焼却設備と、汚泥を燃焼する汚泥焼却炉と、上記ごみ焼却設備の廃熱ボイラにより生成された蒸気を上記汚泥焼却炉から排出される排ガスの熱により過熱して過熱蒸気を生成する過熱器とを有する汚泥焼却設備と、上記汚泥焼却設備の過熱器により生成された過熱蒸気により駆動される蒸気タービンと、上記蒸気タービンに連結された発電機とを有する発電設備とを備えたことを特徴とする複合発電システムである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の好ましい一態様は、上記ごみ焼却設備の廃熱ボイラには、絶対圧力が３〜５ＭＰａ・ａｂｓ、より好ましくは３〜４ＭＰａ・ａｂｓ、温度が約３００℃〜４００℃の蒸気を供給することを特徴としている。このような低圧蒸気を定格にすることによって、ごみ焼却設備の廃熱ボイラの高温腐食を防止することができる。なお、この温度範囲にすることで（４００℃以下）、特にＳＳ材における高温腐食の発生を抑制することができる。
本発明の第２の態様は、ごみを燃焼して得られる排ガスにより蒸気を生成し、汚泥を燃焼して得られる排ガスにより上記生成された蒸気を過熱して過熱蒸気を生成し、上記生成された過熱蒸気により蒸気タービンを駆動して、該蒸気タービンに連結された発電機により発電することを特徴とする発電方法である。
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月29日(2005.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記加熱室内雰囲気の温度が前記所定温度と実質同一になると、前記加熱手段による加熱の終了を行うことを特徴とする請求項４記載の食品加熱方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記加熱室内を前記加熱手段により前記予め定められた所定温度に加熱する予熱工程を備え、前記加熱室内雰囲気の温度が前記予熱工程最終の温度よりも低い温度になると、前記加熱手段による加熱の終了を行うことを特徴とする請求項４記載の食品加熱方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、第５の本発明の食品加熱方法は、前記加熱室内雰囲気の温度が前記所定温度と実質同一になると、前記前記加熱手段による加熱の終了を行うことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、第６の本発明の食品加熱方法は、前記加熱室内を前記加熱手段により前記予め定められた所定温度に加熱する予熱工程を備え、前記加熱室内雰囲気の温度が前記予熱工程最終の温度よりも低い温度になると、前記加熱手段による加熱の終了を行うことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月22日(2005.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
核燃料物質からなる燃料ペレットを被覆管内に充填した燃料棒群が、正方格子状配列に規則正しく配置されると共に、該格子配列のほぼ中央位置に燃料棒複数本相当の領域を占める非沸騰領域である水ロッドを備え、前記燃料ペレットの一部には使用済燃料の再処理により得られた回収ウランを含んでいる沸騰水型原子炉用燃料集合体であって、軸方向燃料有効領域を下端より略２／３の位置で上部領域と下部領域とに分けたとき、上部領域の一横断面での回収ウラン燃料棒の本数が、他の領域での一横断面での回収ウラン燃料棒の本数よりも多いことを特徴とする沸騰水型原子炉用燃料集合体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された発明に係る沸騰水型原子炉用燃料集合体は、核燃料物質からなる燃料ペレットを被覆管内に充填した燃料棒群が、正方格子状配列に規則正しく配置されると共に、該格子配列のほぼ中央位置に燃料棒複数本相当の領域を占める非沸騰領域である水ロッドを備え、前記燃料ペレットの一部には使用済燃料の再処理により得られた回収ウランを含んでいる沸騰水型原子炉用燃料集合体であって、軸方向燃料有効領域を下端より略２／３の位置で上部領域と下部領域とに分けたとき、上部領域の一横断面での回収ウラン燃料棒の本数が、他の領域での一横断面での回収ウラン燃料棒の本数よりも多いことを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月13日(2005.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】  連続的に供給される被加熱物を燃焼ガスによって直接に加熱し、加熱後の燃焼ガスを炉外に排気する直火ガスバーナ炉が、
炉内に開放された燃焼手段と、
前記燃焼手段へのガス供給量を調節するガス量制御ダンパーと、
前記燃焼手段への燃焼用エアの供給量を調節する燃焼エア量制御ダンパーと、
炉内の温度を検出する温度センサと、
炉内の燃焼ガスを炉外に排気する排気ファンと、
前記温度センサによって検出された炉内温度に基づいて、前記ガス量制御ダンパーと前記燃焼エア量制御ダンパーとを制御して前記燃焼手段の燃焼量を制御する燃焼量制御手段と、
前記燃焼量に基づいて前記排気ファンを制御して、炉内の燃焼ガスの排気量を制御する排気量制御手段と、
を具備していることを特徴とする直火ガスバーナ炉。
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月14日(2005.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
ここで、半導体メモリのメタル配線層の画像を明視野顕微鏡で捕らえた場合を例として欠陥検出処理の例を説明する。半導体メモリのメモリセルアレイの部分に相当するメタル配線層は、１方向に伸びるラインが所定の周期で繰り返されるパターンを有する。ここでは、このような部分をライン部分と称する。図４の（Ａ）は、半導体メモリのメタル層のライン部分のパターン例であり、図４の（Ｂ）はそれを明視野顕微鏡で捕らえた場合のグレイレベル画像を示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
半導体装置のメタル配線層を例として欠陥検出処理の例を説明する図である。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月3日(2005.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
図１７は、図７に示すセンサ構造体を三次元角速度センサとして利用するための検出回路である。ここでも、図の左側に記載されている容量素子Ｃ１〜Ｃ６と、配線用端子Ｔ０〜Ｔ６は、図７に示すセンサ構造体の構成要素であるので、実際の検出回路の部分は、Ｃ／Ｖ変換回路４０３〜４０６、減算器４０８，４０９、同期検波回路４２１〜４２３、増幅器４３１〜４３３の部分ということになる。この他、図１６に示す制御回路５００も検出回路の一部に組み込まれる。図１７の回路図における信号ＤＲ１〜ＤＲ４および信号Ｓ（Ｐ１），Ｓ（Ｐ２）は、図１６に示す制御回路５００によって発生された各信号である。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月25日(2005.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成されたフープの長手方向に沿って複数のブロックが嵌め込まれて互いに連結され前記駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、前記ベルトにオイルを噴射する噴射ノズルと、を備えたベルト式無段変速機の潤滑装置において、
前記噴射ノズルによって前記ベルトに噴射される噴射オイルの噴射形状を、前記ベルトの進行方向に沿って広がるように設定した、
ことを特徴とするベルト式無段変速機の潤滑装置。
【請求項２】  駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成されたフープの一部が外周側に露出する状態で前記フープの長手方向に沿って複数のブロックが嵌め込まれて互いに連結され前記駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、前記ベルトにオイルを噴射する噴射ノズルと、を備えたベルト式無段変速機の潤滑装置において、
前記噴射ノズルを前記ベルトの外周側に配置し、前記ベルトのフープ露出側にオイルを噴射する、
ことを特徴とするベルト式無段変速機の潤滑装置。
【請求項３】  駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成されたフープの長手方向に沿って複数のブロックが嵌め込まれて互いに連結され前記駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、を備えたベルト式無段変速機の潤滑装置において、
前記駆動プーリ及び従動プーリの少なくとも何れか一方のプーリの前記ベルト巻き掛け部分に、オイルを噴射するための噴射ノズル孔を設け、前記ベルトの当該プーリ巻き掛け部位の内側にオイルを噴射する、
ことを特徴とするベルト式無段変速機の潤滑装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はベルト式無段変速機の潤滑装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
車両等に適用されるベルト式無段変速機として、駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成され駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、を備えた構成のものが知られており、さらに、当該ベルトとしては、無端状の金属リングを複数枚積層して形成されたフープとこのフープの長手方向に沿って嵌め込まれて互いに連結された複数のブロック（金属エレメント）とから成る構成のものが知られている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
ところで、このようなベルト式無段変速機においては、特に高速走行条件下（増速状態：駆動プーリが大径、従動プーリが小径）では、ベルトが高温になり、強度が低下し、ブロックが損傷したり焼き付きが発生する可能性がある。このため、ベルトと駆動プーリや従動プーリとの摩擦発熱等に対処するためにオイル（潤滑油）を噴射供給して各部の潤滑及び冷却を行っている（一例として、特許文献１参照）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで、少量のオイルであっても前記ベルトとプーリとの摩擦発熱等に対処できるように、複数のブロック（金属エレメント）の保油性を向上させた無段変速機用のベルトが提案されている（一例として、特許文献２参照）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明のベルト式無段変速機の潤滑装置は、駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成されたフープの長手方向に沿って複数のブロックが嵌め込まれて互いに連結され前記駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、前記ベルトにオイルを噴射する噴射ノズルと、を備えたベルト式無段変速機の潤滑装置において、前記噴射ノズルによって前記ベルトに噴射される噴射オイルの噴射形状を、前記ベルトの進行方向に沿って広がるように設定した、ことを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項２に係る発明のベルト式無段変速機の潤滑装置は、駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成されたフープの一部が外周側に露出する状態で前記フープの長手方向に沿って複数のブロックが嵌め込まれて互いに連結され前記駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、前記ベルトにオイルを噴射する噴射ノズルと、を備えたベルト式無段変速機の潤滑装置において、前記噴射ノズルを前記ベルトの外周側に配置し、前記ベルトのフープ露出側にオイルを噴射する、ことを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項３に係る発明のベルト式無段変速機の潤滑装置は、駆動プーリと、従動プーリと、無端状に形成されたフープの長手方向に沿って複数のブロックが嵌め込まれて互いに連結され前記駆動プーリ及び従動プーリに巻き掛けられたベルトと、を備えたベルト式無段変速機の潤滑装置において、前記駆動プーリ及び従動プーリの少なくとも何れか一方のプーリの前記ベルト巻き掛け部分に、オイルを噴射するための噴射ノズル孔を設け、前記ベルトの当該プーリ巻き掛け部位の内側にオイルを噴射する、ことを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月15日(2005.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
以上、説明してきたように、紙シワの対策として、加圧ローラ中央よりも端部の外径が太くなる逆クラウン形状の加圧ローラとすることは、定着ニップの極端な不均一を招き、中央は細く、端部は太くなってしまい、定着ニップ長手での熱量の不均一性を招き、定着不良や高温オフセットの発生を引き起こすことがある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この問題に関しても、熱容量の小さな部材から構成されるフィルム加熱定着装置で、更なる高速化を図る上で、その熱量のコントロールがよりシビアとなるため、顕在化してきたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月29日(2004.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004144273.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
ショックアブソーバ本体にスプリングシートが位置調整可能に螺着され、該スプリングシートを上下に移動させることで車高を調整する装置では、前記スプリングシートを上下に移動させるためにはジャッキアップ、タイヤの脱着、スプリングコンプレッサによるコイルスプリングの圧縮等多くの手間がかかり、簡便に車高を調整することができなかった。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月14日(2005.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネジ用十字穴１に入口突起５と内部突起６を対にした成形凹み７をネジ穴の十字付け根８の上端部四ヶ所に成形し、これにより、ネジ穴内の八ヶ所で、ドライバービットに部分接触で、食い付き、さらに、この食い付き力を増す、ネジ用十字穴。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の突起付きネジ用十字穴においては、十字ネジ穴内の十字付け根８四ヶ所の上端部を加工して、ここに、部分接触で接触部を徐々に潰して、ドライバービットに八方向から密着して、食い付き力を増す突起をネジ穴内に突出成形したものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を実施例にもとづき図面を参照して、構造と作用を説明する。図１に示す実施例では、ネジ用十字穴１の内部にあるネジ穴の十字付け根８に、図２に示すネジ穴のＸ−Ｘ断面の実施例のように、ネジ穴内の上端部に位置させて入口突起５と内部突起６を対にした成形凹み７を四つ同時に成形する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１  ネジ用十字穴
２  ネジ頭部
３  ネジ穴入口
４  ネジ底
５  入口突起
６  内部突起
７  成形凹み
８  ネジ穴の十字付け根
９  十字
１１  ドライバービット
１２  一次接触位置
１３  二次接触位置
１４  最終接触位置
１５  一次接触跡
１６  二次接触跡
Ｑ１  一次接触行程
Ｑ２  二次接触行程
ａ−ａ’    ｂ−ｂ’    ｃ−Ｄ  水平方向の接触行程
ａ２−ａ’  Ｂ−ｂ’    ｃ−Ｄ  水平方向の二次接触行程
Ａ〜Ｂ          内部突起の接触部
Ｂ〜Ｃ〜Ｄ      入口突起の接触部
ａ−ｂ          ドライバービットの十字付け根の接触部
ｂ−ｃ          ドライバービットの十字の接触部
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月23日(2005.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ところで、上述の様な構造によりスラスト玉軸受３２、３２に潤滑油を送り込む構造の場合には、部分的に潤滑油の供給が不足する可能性がある。即ち、図９（Ａ）に示す様に、保持器３４が外輪３５の内面とパワーローラ８の外端面との中間に位置すれば、上記外輪３５の内面と上記保持器３４の外面との間の隙間、並びにこの保持器３４の内面と上記パワーローラ８の外端面との間の隙間の何れにも潤滑油が流れる為、特に問題を生じない。ところが、上記外輪３５に形成した給油孔３８から保持器３４の外面に向けて潤滑油を吐出すると、この潤滑油の流れに押されて上記保持器３４が、図９（Ｂ）に示す様に、パワーローラ８側に変位する。この様な変位に基づき、上記保持器３４の内面と上記パワーローラ８の外端面とが密接すると、この外端面に形成した軌道面と各玉３３の転動面との当接部に十分量の潤滑油が存在しない状態となる。この結果、上記パワーローラ８の外端面の軌道面と各玉３３の転動面との当接部での摩耗量が増大したり、著しい場合には当該当接部が焼き付く可能性がある。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月20日(2005.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  両側部に転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し、これらの両転動体転動溝間に挿入された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダ本体と、該スライダ本体の端面に複数のねじにより締付固定される取付面を夫々有する一対のエンドキャップとを具備するリニアガイド装置において、
前記エンドキャップの取付面の一部又は全部を凸曲面としたことを特徴とするリニアガイド装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、両側部に転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し、これらの両転動体転動溝間に挿入された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダ本体と、該スライダ本体の端面に複数のねじにより締付固定される取付面を夫々有する一対のエンドキャップとを具備するリニアガイド装置において、前記エンドキャップの取付面の一部又は全部を凸曲面としたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月21日(2005.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端部を互いに近づく方向に成形されて前記両端部の間に開口部が形成され前記開口部と対向する辺が直線状に成形された取付具本体と、
取付具本体の前記直線状に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が形成され、前記取付具本体の前記両端部の少なくとも一方に係合する弾性突起が形成された係合片と
を設け、開口部が前記係合片で閉塞された取付具本体の前記両端部と前記直線状の辺の間に、第１の連結部と第２の連結部を形成した
止め具。
【請求項２】
両端部を互いに近づく方向に曲げ成形されて前記両端部の間に開口部が形成され前記開口部と対向する辺が直線状に成形された取付具本体と、
取付具本体の前記直線に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が一方の面の端に形成され他方の面の前記一方の端とは反対側の端に前記取付具本体の前記両端部の少なくとも一方に係合する弾性突起が形成された係合片と
を設け、取付具本体の前記直線状の辺に係合片の前記係合部を係合させ、取付具本体の前記直線状の辺を軸として係合片を回動させて係合片の前記弾性突起を取付具本体の前記両端部に係合させて取付具本体の前記開口部を係合片で閉塞するよう構成し、開口部が前記係合片で閉塞された取付具本体の前記両端部と前記直線状の辺の間に、携行品に連結される第１の連結部と前記携行品に連結しようとする紐体が連結される第２の連結部を形成した
止め具。
【請求項３】
両端部を互いに近づく方向に曲げ成形されて前記両端部の間に開口部が形成され前記開口部と対向する辺が直線状に成形された取付具本体と、
取付具本体の前記直線に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が一方の面の端に形成され他方の面の前記一方の端とは反対側の端に前記取付具本体の前記両端部の少なくとも一方に係合する弾性突起が形成された係合片と
を設け、取付具本体の前記直線状の辺に係合片の前記係合部を係合させ、取付具本体の前記直線状の辺を軸として係合片を回動させて係合片の前記弾性突起を取付具本体の前記両端部に係合させて取付具本体の前記開口部を係合片で閉塞するよう構成し、開口部が前記係合片で閉塞された取付具本体の前記両端部と前記直線状の辺の間に、携行品に連結される第１の連結部と前記携行品に連結しようとする紐体が連結される第２の連結部を形成するとともに、
取付具本体の開口部を閉塞した状態の前記係合片に被せられる筒状の樹脂カバーを設けた
止め具。
【請求項４】
前記取付具本体には、前記両端部の少なくとも一方の端部に直線状の前記辺に近づく方向に曲げ成形された折曲部を設け、前記係合片には、前記折曲部に係合して前記取付具本体の開口部が大きくなる方向の変形を防止する係合凹部を形成した
請求項２または請求項３記載の止め具。
【請求項５】
前記係合片の上面または下面に凸部を設け、
樹脂カバーには係合片に被せた状態で前記凸部が係合する凹部を設け、
係合片の両側の少なくとも一方に分解用の補助凹部を形成した
請求項３記載の止め具。
【請求項６】
前記係合片の上面または下面に凹部を設け、
樹脂カバーには係合片に被せた状態で前記凹部が係合する凸部を設け、
係合片の両側の少なくとも一方に分解用の補助凹部を形成した
請求項３記載の止め具。
【請求項７】
基端から直線状に形成された辺を経て前記基端との間に開口部が形成されるように先端が鉤形に成形された取付具本体と、
取付具本体の前記直線状に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が形成され、取付具本体の前記先端に係合する弾性突起が形成された係合片と
を設け、
取付具本体の前記先端が前記係合片の弾性突起と係合して前記開口部が閉塞される前記鉤部を第１の連結部とした
止め具。
【請求項８】
基端から直線状に形成された辺を経て前記基端との間に開口部が形成されるように先端が鉤形に成形された取付具本体と、
取付具本体の前記直線状に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が形成され、取付具本体の前記先端に係合する弾性突起が形成された係合片と
を設け、
取付具本体の前記先端が前記係合片の弾性突起と係合して前記開口部が閉塞される前記鉤部を第１の連結部とするとともに、
取付具本体の開口部を閉塞した状態の前記係合片に被せられる筒状の樹脂カバーを設けた
止め具。
【請求項９】
前記取付具本体には、鉤形に成形された前記先端から直線状の前記辺に近づく方向に曲げ成形された折曲部を設け、
前記係合片には、前記折曲部に係合して前記取付具本体の開口部が大きくなる方向の変形を防止する係合凹部を形成した
請求項７または請求項８記載の止め具。
【請求項１０】
前記係合片の上面または下面に凸部を設け、
樹脂カバーには係合片に被せた状態で前記凸部が係合する凹部を設け、
係合片の両側の少なくとも一方に分解用の補助凹部を形成した
請求項９記載の止め具。
【請求項１１】
前記係合片の上面または下面に凹部を設け、
樹脂カバーには係合片に被せた状態で前記凹部が係合する凸部を設け、
係合片の両側の少なくとも一方に分解用の補助凹部を形成した
請求項９記載の止め具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
この構成によると、部品点数は取付具本体と係合片の二点と少なく、組み立て易く、しかも従来品より携行品に取り付け易く、かつ小型化が可能である。
本発明の請求項１記載の止め具は、両端部を互いに近づく方向に成形されて前記両端部の間に開口部が形成され前記開口部と対向する辺が直線状に成形された取付具本体と、取付具本体の前記直線状に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が形成され、前記取付具本体の前記両端部の少なくとも一方に係合する弾性突起が形成された係合片とを設け、開口部が前記係合片で閉塞された取付具本体の前記両端部と前記直線状の辺の間に、第１の連結部と第２の連結部を形成したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の請求項７記載の止め具は、基端から直線状に形成された辺を経て前記基端との間に開口部が形成されるように先端が鉤形に成形された取付具本体と、取付具本体の前記直線状に形成された辺に弾性変形して係合する係合部が形成され、取付具本体の前記先端に係合する弾性突起が形成された係合片とを設け、取付具本体の前記先端が前記係合片の弾性突起と係合して前記開口部が閉塞される前記鉤部を第１の連結部としたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月11日(2005.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
受光して得られた画像の明視野の中の暗点を微小凹凸と判定する
請求項１記載の微小凹凸の検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明による微小凹凸の検査方法は、光源から照射された光の被検物表面での反射光または被検物での透過光を受光し、受光して得られた画像を用いて被検物表面の微小凹凸を検査する方法であって、光源からの光を被検物に照射するとともに、被検物における正反射光または透過光が受光部に入射しないよう設置された補助光源からの光を被検物に照射することを特徴とする。そして、特に、受光して得られた画像の明視野の中の暗点を微小凹凸と判定する。また、主光源としてストライプパターンを有する光源を使用してもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月20日(2004.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光照射位置及び光検出位置を示す表示部と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を示す表示部を表示装置画面内に配置したことを特徴とする光計測装置。
【請求項２】
光照射位置及び光検出位置を示す工程と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を示す工程とを表示装置画面内に配置する工程とから成ることを特徴とする光計測方法。
【請求項３】
選択されたモードを指定する指定部と、計測点の数を表示する表示部と、光照射位置及び光検出位置を示す表示部と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられ状態を表示する部分から成る計測位置基示部と、計測された時系列データを表示する計測表示部と、データの取得条件の設定部と、前記データの取得状況を表示する部分と、計測の制御を指示する指示部と、前記計測表示部上の所定の位置に印しを付けるためのマーク指示部とを画面上に具備することを特徴とする光計測装置。
【請求項４】
選択されたモ−ドを指定する指示部と、計測点の計測数を表示する表示部と、光照射位置及び光検出位置を示す表示部と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を表示する部分から成る計測位置表示部と、ゲイン調整中を表す表示部を具備することを特徴とする光計測装置。
【請求項５】
選択されたモードを指定する指定部と、計測点の計測数を表示する表示部と、光照射位置及び光検出位置を示す表示部と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を表示する部分から成る計測位置表示部と、異常表示部とを画面内に具備することを特徴する光計測装置。
【請求項６】
選択されたモードを指定する指定部と、計測点の計測数を表示する表示部と、光照射位置及び光検出位置を示す表示部と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を表示する部分から成る計測位置表示部と、計測された時系列データを表示する計測表示部と、データの取得条件の設定部と、前記データの取得状況を表示する部分と、計測の制御を指示する指示部と、前記計測表示部上の所定の位置に印しを付けるためのマーク指示部と、実信号による仮計測指示表示部とを有することを特徴とする光計測装置。
【請求項７】
データの取得条件の設定部と、データの取得状況を表示する部分と、計測の制御を指示する指示部と、前記計測表示部上の所定の位置に印しを付けるためのマーク指示部と、表示条件入力部とを有することを特徴とする光計測装置。
【請求項８】
光計測モードを指示する工程と、被検体の条件を登録する工程と、刺激の条件を設定する工程とにより計測入力条件を設定する工程とを有する光計測方法。
【請求項９】
光計測を選択するかまたは、前記光計測結果の解析をするかまたは、プログラムを終了するかのいずれかを選択指示する初期表示工程と、測定モードを含めた条件項目を入力する工程と、前記モードに合わせて光照射位置及び光検出位置及び計測位置関係を示す状態を表示する工程と、前記光計測結果を記憶するファイルを作成するための指示工程と、多波長多チャンネルから照射され被検体内からの光信号を検出するための計測条件を指示する工程と、前記指示結果に従い検出された各チャンネルごとの信号を表示する工程とを含む光計測方法。
【請求項１０】
選択されたモードを指定する工程と、計測点の計測数を表示する工程と、光照射位置及び光検出位置を示す工程と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を表示する工程と、計測された時系列データを表示する工程と、データの取得条件を設定する工程と、前記データの取得状況を表示する工程と、計測の制御を指示する工程と、前記計測表示部上の所定の位置に印しを付けるためのマークを指示する工程とを有することを特徴とする光計測方法。
【請求項１１】
選択されたモードを指定する工程と、計測点の計測数を表示する工程と、光照射位置及び光検出位置を示す工程と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられた状態を表示する工程と、ゲイン調整中を表す工程とから成るすることを特徴する光計測方法。
【請求項１２】
選択されたモードを指定する工程と、計測点の計測数を表示する工程と、光照射位置及び光検出位置を示す工程と、計測位置と前記計測位置に番号を割り当てられ状態を表示する工程と、計測された時系列データを表示する工程と、データの取得条件を設定する工程と、前記データの取得状況を表示する工程と、計測の制御を指示する工程と、前記計測表示部上の所定の位置に印しを付けるためのマークを指示する工程と、実信号による仮計測を指示する工程とを有することを特徴とする光計測方法。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月25日(2005.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス光を供給する光源と、該光源からの光を被検物へ照明する照明光学系と、該照明光学系により照明された前記被検物からの光を集光して前記被検物の像を形成する結像光学系と、前記被検物の像を光電的に検出するＴＤＩ型検出器を含む検出系と、該検出系からの出力信号に基づいて所定の画像処理を行う画像処理系とを有し、
前記光源から供給されるパルス光の周波数をＦ（ＭＨｚ）とし、前記ＴＤＩ型検出器の１ライン当たりの画素数をｎ個（但し、ｎは２以上の整数）、前記ＴＤＩ型検出器の１画素当たりでの前記検出系の信号処理速度をＸ（ＭＨｚ）とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする検査装置。
Ｆ≧Ｘ／ｎ
【請求項２】
前記光源は、２６０ｎｍ以下の波長を持つ光を供給するレーザであることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記光源から出力される半値幅が０．５ｐｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記照明光学系は、前記被検物上に形成されるスペックルを除去するためのスペックル除去手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記結像光学系は、石英製の光学部材で構成されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
被検物を載置するステージと、該ステージを所定の走査方向に沿って移動させる駆動系と、前記光源から供給されるパルス光の発振間隔を計測する計測系と、該計測系からの計測情報に基づいて、前記駆動系の駆動量を制御する制御系とをさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、パルス光を供給する光源と、該光源からの光を被検物へ照明する照明光学系と、該照明光学系により照明された前記被検物からの光を集光して前記被検物の像を形成する結像光学系と、前記被検物像を光電的に検出するＴＤＩ型検出器を含む検出系と、該検出系からの出力信号に基づいて所定の画像処理を行う画像処理系とを有する構成としたものである。
前記光源から供給されるパルス光の周波数をＦ（ＭＨｚ）とし、前記ＴＤＩ型検出器の１ライン当たりの画素数をｎ個（但し、ｎは２以上の整数）、前記ＴＤＩ型検出器の１画素当たりでの前記検出系の信号処理速度をＸ（ＭＨｚ）とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする。
Ｆ≧Ｘ／ｎ
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月4日(2005.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定められたパス（Ｐ）に沿って進む実質的に円筒形をした物品が呈する側方表面全体を走査するための電気／光学ユニットであり、かつ、表面（２）上の一定の与えられた環状部域（７）上に光を実質的に均等に注ぐことをその機能とし、全く同じパス（Ｐ）に沿って位置づけされた走査ステーション（４）に設置される照射手段（５）から構成される電気／光学ユニットであって、
走査ステーション（４）に設置された状態で、環状部域（７）の第１の部分（７ａ）からの直接的画像の獲得を可能にするような位置を、パス（Ｐ）との関係において、有しているテレビカメラタイプの画像検出手段（８）、および、環状部域（７）の第２の部分（７ｂ' ，７ｂ" ）からの少なくとも１つの画像を画像検出手段（８）に向かって反射し戻すことができるように方向づけされ、パス（Ｐ）に対し画像検出手段（８）とは反対の側に設置される反射用手段（９）を含んでなることを特徴とする電気／光学ユニット。
【請求項２】
反射用手段（９）には、画像検出手段（８）が、直接的画像と組合わさって環状部域（７）全体を表すそれぞれの反射された２つの画像を受けとることになるような形で位置づけされた、相互に選択された角度（Ａ）で配置された２つの平坦な反射表面（１０，１１）が含まれる請求項１に記載の電気／光学ユニット。
【請求項３】
反射用手段（９）が、Ｖ字形の反射面（１２）を伴う壁（１３）を含んでなり、その２つの反射表面（１０，１１）がそれぞれ２つの部分を構成する請求項２に記載の電気／光学ユニット。
【請求項４】
画像検出手段（８）が、電荷結合素子アレイライン走査型手段である請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項５】
画像検出手段（８）が、電荷結合素子アレイタイムディレイ・インテグレーションライン走査型手段である請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項６】
物品（３）が中を通過させられる走査ステーション（４）と、前記パス（Ｐ）に関し、少なくとも一致する透明な材料でできた管状要素（１７）を含んでなり、照射手段（５），画像検出手段（８）および反射手段（９）がこの管状要素（１７）の外部に配置されている請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項７】
管状要素（１７）は実質的に円筒形であり、パス（Ｐ）と同軸状に配置される請求項６に記載の電気／光学ユニット。
【請求項８】
管状要素（１７）が石英で作られている請求項６または７に記載の電気／光学ユニット。
【請求項９】
管状要素（１７）の内側表面（１８）を清潔に保つ空気圧手段（２２，２３）を含んでなる請求項６〜８のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項１０】
環状部域（７）の第１の部分（７ａ）の画像および第２の部分（７ｂ' ，７ｂ" ）の画像を、一つの平面上に焦点合せさせる光学的焦点合せ手段（１４）を含んでなる請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項１１】
環状部域（７）の第１の部分（７ａ）の画像および第２の部分（７ｂ' ，７ｂ" ）の画像を一つの平面上に焦点合せさせる光学的焦点合せ手段（１４）を含み、かかる光学的焦点合せ手段（１４）は、管状要素（１７）の外部に配置されている請求項６〜９のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項１２】
照明手段（５）、画像検出手段（８）および反射手段（９）をとり囲む内側表面（２７）をもち、管状要素（１７）により内部空間が占有されているハウジング要素（２４）を含んでなり、管状要素（１７）の外側表面（２８）がハウジング要素（２４）の内側表面（２７）と組合わさって、照明手段（５），検出手段（８）および反射手段（９）を収納する実質的に気密構造のチャンバ（２９）を作る請求項６〜９のいずれか一項に記載の電気／光学ユニット。
【請求項１３】
チャンバ（２９）は光学的焦点合せ手段（１４）を収納する請求項１１または１２に記載の電気／光学ユニット。
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月12日(2005.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直列接続したスイッチ対の２つと、前記スイッチ対の各対の接続点間に接続された電磁コイルと、前記スイッチを選択的に動作せしめる駆動回路と、前記スイッチ対の双方の両端に電源供給線及び接地線とを介して電圧を印加する電源供給手段と、からなる電磁コイル動作装置の故障判別装置であって、前記各対の接続点における各々の電位を検出し、前記電位に応じた第１電圧信号と第２電圧信号とを発する電圧検出手段と、前記第１電圧信号の値と前記第２電圧信号の値とを加算した値に応じた加算電圧信号を発する加算手段と、前記スイッチ対の動作状態が所定モードである条件下で前記加算電圧信号の値に基づいて前記電磁コイル動作装置の故障を判別する故障判別手段と、からなることを特徴とする電磁コイル動作装置の故障判別装置。
【請求項２】
前記故障判別手段は、前記スイッチ対の動作状態がオフモードである条件下で、前記加算電圧信号の値が第１所定値より大きいとき前記電磁コイルと前記電源供給線とが短絡する天絡故障が発生したと判別する第１判別動作と、前記スイッチ対の動作状態がオンモードである条件下で、前記加算電圧信号の値と電源電圧の値との差が第２所定値より大きいとき前記電磁コイルと前記接地線とが短絡する地絡故障が発生したと判別する第２判別動作とのうちの少なくとも一方の判別動作をすることを特徴とする請求項１記載の電磁コイル動作装置の故障判別装置。
【請求項３】
前記加算手段は、前記第１電圧信号と前記第２電圧信号とを分圧して前記加算電圧信号を生成することを特徴とする請求項１記載の電磁コイル動作装置の故障判別装置。