【手続補正書】
【提出日】平成16年5月31日(2004.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＡ、対象パターンの領域をＢとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を４つ以上含む場合に、その欠陥パターンを「本来離れているべきパターンが結合している欠陥」として検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
【請求項２】
予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＢ、対象パターンの領域をＡとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を４つ以上含む場合に、その欠陥パターンを「本来結合しているべきパターンが離れている欠陥」として検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
【請求項３】
予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＡ、対象パターンの領域をＢとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を１つも含まない場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在すべきでない領域にパターンが孤立して存在する欠陥」として検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
【請求項４】
予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＢ、対象パターンの領域をＡとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を１つも含まない場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在すべき領域内に、パターン以外の領域が孤立して存在する欠陥」として検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
【請求項５】
予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＡ、対象パターンの領域をＢとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を２つ含む場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在しない領域にパターンの一部が突出して存在する欠陥」として検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
【請求項６】
予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＢ、対象パターンの領域をＡとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を２つも含む場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在する領域にパターン以外の領域が突出して存在する欠陥」として検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
【請求項７】
パターンが回路パターンであることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のパターン欠陥検出方法。
【請求項８】
パターンが半導体パターンであることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のパターン欠陥検出方法。
【請求項９】
請求項１〜８の何れかに記載のパターン欠陥検出方法でパターン欠陥を検出する手段を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
【請求項１０】
請求項１〜８の何れかに記載のパターン欠陥検出方法でパターン欠陥を検出する手段と、検出された欠陥を修復する修復手段とを備えたことを特徴とするパターン欠陥検査修復装置。
【請求項１１】
請求項１〜８の何れかに記載のパターン欠陥検出方法でパターン欠陥を検出し、検出された欠陥を修復することを特徴とするパターン欠陥検査修復方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
具体的には、予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＡ、対象パターンの領域をＢとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を４つ以上含む場合に、その欠陥パターンを「本来離れているべきパターンが結合している欠陥」として検出することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＢ、対象パターンの領域をＡとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を４つ以上含む場合に、その欠陥パターンを「本来結合しているべきパターンが離れている欠陥」として検出することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＡ、対象パターンの領域をＢとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を１つも含まない場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在すべきでない領域にパターンが孤立して存在する欠陥」として検出することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＢ、対象パターンの領域をＡとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を１つも含まない場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在すべき領域内に、パターン以外の領域が孤立して存在する欠陥」として検出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＡ、対象パターンの領域をＢとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を２つ含む場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在しない領域にパターンの一部が突出して存在する欠陥」として検出することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、予め登録された良品パターンと、入力された対象パターンとを比較することでパターン欠陥を検出する方法であって、
良品パターンの領域をＢ、対象パターンの領域をＡとして、
前記Ａと重ならない前記Ｂの輪郭線の端点を検出し、
ＢでかつＡと重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出し、
この欠陥パターンが前記端点を２つも含む場合に、その欠陥パターンを「本来パターンが存在する領域にパターン以外の領域が突出して存在する欠陥」として検出することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本実施形態のパターン欠陥検出においては、図１に示すように、対象画像を入力する工程と、予め登録されている良品画像と比較する工程と、良品パターンと対象パターンの領域のいずれか一方の輪郭線でかつ他方の領域と重ならない端点を検出する工程と、両領域の互いに重ならない一続きの領域を欠陥パターンとして検出する工程と、欠陥パターンに含まれる端点数（接点数）をカウントして検出する工程と、端点数によって欠陥を分類して検出する工程によって、パターン欠陥を分類して検出している。以下、図２〜図７を参照して具体的に説明して行く。