【手続補正書】
【提出日】令和2年12月23日(2020.12.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
約１８１ｎｍから約１８５ｎｍまでの範囲内の波長を有する連続波（ＣＷ）レーザ出力光を発生させるためのレーザアセンブリであって、
第１基本波周波数と共にそれに対応する約１μｍと１．１μｍとの間の第１基本波波長を有する第１基本ＣＷ光を発生させるように構成された第１基本ＣＷレーザと、
前記第１基本ＣＷ光の第１部分を受け取るように結合され、前記第１基本波周波数の４倍に等しい第４高調波周波数を有する第４高調波光を発生させるように構成された第４高調波発生モジュールと、
前記第１基本ＣＷ光の第２部分を受け取るように、及び前記第４高調波発生モジュールからの前記第４高調波光を受け取るように結合された第５高調波発生モジュールであって、前記第５高調波発生モジュールは、前記第４高調波光と前記第１基本ＣＷ光の第２部分とを混合することによって、前記第１基本波周波数の５倍に等しい第５高調波周波数を有する第５高調波光を発生させるように構成されている、第５高調波発生モジュールと、
前記第５高調波光を、第２周波数と共にそれに対応する１．２６μｍと１．８２μｍとの間の第２波長を有する第２ＣＷ光と混合することによって、前記レーザ出力光を発生させるように構成された周波数混合モジュールと、を備え、
前記第５高調波発生モジュールは、第１共振器と、第１非線形結晶と、を備え、前記第１共振器は、前記第１基本ＣＷ光の第２部分を循環させることにより、循環させられた前記第１基本波光が前記第１非線形結晶を通過するように構成されている複数の第１ミラーによって形成され、前記第１非線形結晶は、前記循環させられた第１基本波光を前記第４高調波発生器から直接受け取られた前記第４高調波光と混合して前記第５高調波光を発生させるように構成され、
前記周波数混合モジュールは、第２共振器と、第２非線形結晶と、を備え、前記第２共振器は、前記第２ＣＷ光を循環させて、前記循環させられた第２ＣＷ光が前記第２非線形結晶を通過するように構成されている複数の第２ミラーによって形成され、前記第２非線形結晶は、前記第５高調波光を前記第５高調波発生器から直接受け取ることにより、前記第５高調波光が前記循環させられた第２ＣＷ光と混合して前記レーザ出力光を発生させるように構成され、
前記第１及び第２非線形結晶のうちの少なくとも１つは、アニールされたセシウムホウ酸リチウム（ＣＬＢＯ）結晶、水素処理ＣＬＢＯ結晶及び重水素処理ＣＬＢＯ結晶のうちの１つを備える、レーザアセンブリ。
【請求項２】
第１パワーレベルの前記第２ＣＷ光を発生させるように構成された第２基本波レーザを更に備え、
前記周波数混合モジュールは、前記第２ＣＷ光を前記第２基本波レーザから受け取って、前記第２ＣＷ光が前記第２共振器内で循環させられるように構成され、前記第２共振器は、前記第２ＣＷ光の第２基本波周波数で共振することにより、前記循環させられた第２ＣＷ光の第２パワーレベルが前記第１パワーレベルよりも大きいように構成されている、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項３】
前記第２基本波レーザは、Ｙｂドープファイバレーザ、Ｎｄドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器、及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを備える、請求項２に記載のレーザアセンブリ。
【請求項４】
第１周波数の第２レーザ光を発生させるように構成されたポンプレーザを更に備え、
前記第２共振器は、固体レーザ共振器及び光学パラメトリック発振共振器のうちの１つを備え、前記第２共振器は、前記ポンプレーザから受け取られた前記第２レーザ光を用いて前記循環させられる第２ＣＷ光を発生させることにより、前記循環させられる第２ＣＷ光は、前記第１周波数よりも低い第２周波数を有するように構成されている、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項５】
前記周波数混合モジュールは、Ｎｄドープ利得媒体及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ利得媒体のうちの１つを更に備える、請求項４に記載のレーザアセンブリ。
【請求項６】
前記第２共振器は、光学ダイオード及びエタロンを更に備える、請求項４に記載のレーザアセンブリ。
【請求項７】
前記周波数混合モジュールは、周期分極反転酸化マグネシウムドープ化学量論的タンタル酸リチウム及び周期分極反転酸化マグネシウムドープニオブ酸リチウムのうちの１つを更に備える、請求項４に記載のレーザアセンブリ。
【請求項８】
前記第１基本波レーザは、前記第１基本波周波数が、約１０７０ｎｍ、約１０６４ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ及び約１０３０ｎｍのうちの１つに等しいそれに対応する波長を有するように構成されている、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項９】
前記第１基本波レーザは、イッテルビウム（Ｙｂ）ドープファイバレーザ又はファイバ増幅器、ネオジム（Ｎｄ）ドープ固体レーザ及びＮｄドープファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを備える、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１０】
前記第４高調波発生モジュールは、２個の周波数２逓倍共振器モジュールを備える、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１１】
前記第５高調波発生モジュールは、前記第４高調波光及び前記循環させられた第１基本波光が共線的に前記第１非線形結晶を透過させられるように構成されている、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１２】
前記周波数混合モジュールは、前記第５高調波光を前記循環させられる第２ＣＷ光とともに共線的に前記第２非線形結晶を透過させるように構成されている、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１３】
前記第１非線形結晶を約８０℃以下の一定温度で保持するための手段を更に備える、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１４】
第２非線形結晶を約３０℃以下の一定温度で保持するための手段を更に備える、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１５】
前記第１基本波レーザは、前記第１基本波周波数が、約１０６４ｎｍ及び約１０７０ｎｍのうちの１つに等しいそれに対応する波長を有するように構成され、前記第２周波数は、約１２６０ｎｍから約１４２０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１６】
前記第１基本波レーザは、前記第１基本波周波数が約１０４７ｎｍ及び約１０５３ｎｍのそれに対応する波長を有するように構成され、前記第２周波数は、約１２９０ｎｍから約１５９０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１７】
前記第１基本波レーザは、前記第１基本波周波数が約１０３０ｎｍのそれに対応する波長を有するように構成され、前記第２周波数は、約１４９０ｎｍから約１８２０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項１に記載のレーザアセンブリ。
【請求項１８】
約１８１ｎｍから約１８５ｎｍまでの範囲内の波長を有する連続波（ＣＷ）レーザ出力光を発生させる方法であって、
第１基本波周波数と共にそれに対応する約１μｍと１．１μｍとの間の第１基本波波長を有する第１基本波光を発生させることと、
前記第１基本波光の第１部分を、前記第１基本波周波数の４倍に等しい第４高調波周波数を有する第４高調波光に変換することと、
前記第１基本波光の第２部分と前記第４高調波光とを混合することによって、前記第１基本波周波数の５倍に等しい第５高調波周波数を有する第５高調波光を発生させることであって、前記混合することは、前記第２部分を第１共振器内で循環させることにより、前記循環させられた第１基本波光が前記第４高調波光を受け取るようにまた設置されている第１非線形結晶を通過することを備える、ことと、
前記ＣＷレーザ出力光を発生させるために、前記第５高調波光を、第２周波数と共にそれに対応する１．２６μｍと１．８２μｍとの間の波長を有する第２ＣＷ光と混合することであって、前記混合することは、前記第２ＣＷ光を第２共振器内で循環させることにより、前記循環させられた第２ＣＷ光が前記第５高調波光を受け取るようにまた設置されている第２非線形結晶を通過することを備える、ことと、を備え、
前記第１及び第２非線形結晶のうちの少なくとも１つは、アニールされたセシウムホウ酸リチウム（ＣＬＢＯ）結晶、水素処理ＣＬＢＯ結晶及び重水素処理ＣＬＢＯ結晶のうちの１つを備える、方法。
【請求項１９】
第１パワーレベルの及び第２基本波周波数を有する第２基本波光として前記第２ＣＷ光を発生させるために、第２基本波レーザを利用することと、
前記第２基本波光を前記第２基本波レーザから前記第２共振器中に導くことであって、それにより前記第２基本波光が前記第２共振器内で循環させられ、前記第２共振器は、前記第２基本波周波数で共振することにより、前記循環させられる第２基本波光の第２パワーレベルが前記第１パワーレベルよりも大きいように構成されている、ことと、を更に備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
第１周波数の第２レーザ光を発生させるために、ポンプレーザを利用することを更に備え、
前記第５高調波光を第２ＣＷ光と混合することは、前記第２レーザ光を前記第２共振器中に導くことを備え、
前記第２共振器は、固体レーザ共振器を備え、前記固体レーザ共振器は、前記ポンプレーザから受け取られた前記第２レーザ光を用いて前記循環させられる第２ＣＷ光を発生させることにより、前記循環させられる第２ＣＷ光が前記第１周波数よりも低い第２周波数を有するように構成されている、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
第１周波数の第２レーザ光を発生させるために、ポンプレーザを利用することを更に備え、
前記第５高調波光を第２ＣＷ光と混合することは、前記第２レーザ光を前記第２共振器中に導くことを備え、
前記第２共振器は、光学パラメトリック発振共振器を備え、前記光学パラメトリック発振共振器は、前記ポンプレーザから受け取られた前記第２レーザ光のダウンコンバージョンによって前記循環させられるＣＷ光を発生させることにより、前記循環させられるＣＷ光が前記第１周波数よりも低い第２周波数を有するように構成されている、請求項１８に記載の方法。
【請求項２２】
前記第５高調波光を前記第２ＣＷ光と混合することは、前記循環させられる第２ＣＷ光を周期分極反転酸化マグネシウムドープ化学量論的タンタル酸リチウム及び周期分極反転酸化マグネシウムドープニオブ酸リチウムのうちの１つを通して導くことを備える、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記第１基本波周波数は、約１０６４ｎｍのそれに対応する波長を有し、前記第２周波数は、約１２６０ｎｍから約１４２０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記第１基本波光を発生させることは、約１０７０ｎｍ、約１０６４ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ及び約１０３０ｎｍのうちの１つに等しい波長を有するレーザ光を発生させることを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２５】
前記第１基本波光を発生させることは、イッテルビウム（Ｙｂ）ドープファイバレーザ又はファイバ増幅器、ネオジム（Ｎｄ）ドープ固体レーザ及びＮｄドープファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを利用することを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２６】
前記第１基本波光の第１部分を前記第４高調波光に変換することは、前記第１基本波光の第１部分を２個の周波数２逓倍共振器を通過させることを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２７】
前記第５高調波光を発生させることは、前記第４高調波光と前記第１基本波光の第２部分とを共線的に前記第１非線形結晶を透過させることを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２８】
Ｙｂドープファイバレーザ、Ｎｄドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器、及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを利用して前記第２ＣＷ光を発生させることを更に備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２９】
前記第５高調波光を前記第２ＣＷ光と混合することは、前記循環させられる第２ＣＷ光をＮｄドープ利得媒体及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ利得媒体のうちの１つを通して導くことを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項３０】
前記第５高調波光を前記第２ＣＷ光と混合することは、前記循環させられる第２ＣＷ光を光学ダイオード及びエタロンのうちの少なくとも１つを通して導くことを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項３１】
前記第５高調波光と前記第２ＣＷ光とを混合することは、前記第５高調波光と前記第２ＣＷ光とを共線的に前記第２非線形結晶を透過させることを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項３２】
前記方法は、前記第１非線形結晶を約８０℃以下の一定温度で保持することと、前記第２非線形結晶を約３０℃以下の一定温度で保持することと、を更に備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項３３】
前記第１基本波周波数は、約１０６４ｎｍ又は約１０７０ｎｍのそれに対応する波長を有し、前記第２周波数は、約１２６０ｎｍから約１４２０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項１８に記載の方法。
【請求項３４】
前記第１基本波周波数は、約１０４７ｎｍ又は約１０５３ｎｍのそれに対応する波長を有し、前記第２周波数は、約１２９０ｎｍから約１５９０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項１８に記載の方法。
【請求項３５】
前記第１基本波周波数は、約１０３０ｎｍのそれに対応する波長を有し、前記第２周波数は、約１４９０ｎｍから約１８２０ｎｍまでの範囲内のそれに対応する波長を有する、請求項１８に記載の方法。
【請求項３６】
検査システムであって、
約１８１ｎｍから約１８５ｎｍまでの範囲内の波長を有する連続波（ＣＷ）レーザ出力光を発生させるためのように構成されたレーザアセンブリであってと、
前記レーザアセンブリから検査されている物品に前記レーザ出力光を導くように構成された第１光学部品と、
前記検査されている物品によって影響を受けた前記レーザ出力光の画像情報部分を集光するように、かつ、前記画像情報部分を１つ以上の検出器に導くように構成された第２光学部品と、を備え、
前記レーザアセンブリは、
第１基本波周波数と共にそれに対応する約１μｍと１．１μｍとの間の第１基本波波長を有する第１基本ＣＷ光を発生させるように構成された第１基本ＣＷレーザと、
前記第１基本ＣＷ光の第１部分を受け取るように結合され、前記第１基本波周波数の４倍に等しい第４高調波周波数を有する第４高調波光を発生させるように構成された第４高調波発生モジュールと、
前記第１基本ＣＷ光の第２部分を受け取るように、及び前記第４高調波発生モジュールからの前記第４高調波光を受け取るように結合された第５高調波発生モジュールであって、前記第５高調波発生モジュールは、前記第４高調波光と前記第１基本ＣＷ光の第２部分とを混合することによって、前記第１基本波周波数の５倍に等しい第５高調波周波数を有する第５高調波光を発生させるように構成されている、第５高調波発生モジュールと、
前記第５高調波光を、第２周波数と共にそれに対応する１．２６μｍと１．８２μｍとの間の第２波長を有する第２ＣＷ光と混合することによって、前記レーザ出力光を発生させるように構成された周波数混合モジュールと、を備え、
前記第５高調波発生モジュールは、第１共振器と、第１非線形結晶と、を備え、前記第１共振器は、前記第１基本ＣＷ光の第２部分を循環させることにより、循環させられた前記第１基本ＣＷ波光が前記第１非線形結晶を通過するように構成されている複数の第１ミラーによって形成され、前記第１非線形結晶は、前記循環させられた第１基本ＣＷ波光を前記第４高調波発生器から直接受け取られた前記第４高調波光と混合して前記第５高調波光を発生させるように構成され、
前記周波数混合モジュールは、第２共振器と、第２非線形結晶と、を備え、前記第２共振器は、前記第２ＣＷ光を循環させて、前記循環させられた第２ＣＷ光が前記第２非線形結晶を通過するように構成されている複数の第２ミラーによって形成され、前記第２非線形結晶は、前記第５高調波光を前記第５高調波発生器から直接受け取ることにより、前記第５高調波光が前記循環させられた第２ＣＷ光と混合して前記レーザ出力光を発生させるように構成され、
前記第１及び第２非線形結晶のうちの少なくとも１つは、アニールされたセシウムホウ酸リチウム（ＣＬＢＯ）結晶、水素処理ＣＬＢＯ結晶及び重水素処理ＣＬＢＯ結晶のうちの１つを備える、検査システム。
【請求項３７】
前記レーザアセンブリは、第１パワーレベルの前記第２ＣＷ光を発生させるように構成された第２基本波レーザを更に備え、
前記周波数混合モジュールは、前記第２ＣＷ光を前記第２基本波レーザから受け取って、前記第２ＣＷ光が前記第２共振器内で循環させられるように構成され、前記第２共振器は、前記第２ＣＷ光の第２基本波周波数で共振することにより、前記循環させられた第２ＣＷ光の第２パワーレベルが前記第１パワーレベルよりも大きいように構成されている、請求項３６に記載のレーザアセンブリ検査システム。
【請求項３８】
前記第２基本波レーザは、Ｙｂドープファイバレーザ、Ｎｄドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器、及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを備える、請求項３７に記載の検査システム。
【請求項３９】
前記レーザアセンブリは、第１周波数の第２レーザ光を発生させるように構成されたポンプレーザを更に備え、
前記第２共振器は、固体レーザ共振器及び光学パラメトリック発振共振器のうちの１つを備え、前記第２共振器は、前記ポンプレーザから受け取られた前記第２レーザ光を用いて前記循環させられる第２ＣＷ光を発生させることにより、前記循環させられる第２ＣＷ光は、前記第１周波数よりも低い第２周波数を有するように構成されている、請求項３６に記載の検査システム。
【請求項４０】
前記周波数混合モジュールは、Ｎｄドープ利得媒体及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ利得媒体のうちの１つを更に備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４１】
前記第２共振器は、光学ダイオード及びエタロンを更に備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４２】
前記第１基本ＣＷレーザは、前記第１基本波周波数が、約１０７０ｎｍ、約１０６４ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ及び約１０３０ｎｍのうちの１つに等しいそれに対応する波長を有するように構成されている、請求項３６に記載の検査システム。
【請求項４３】
前記第１基本ＣＷレーザは、イッテルビウム（Ｙｂ）ドープファイバレーザ又はファイバ増幅器、ネオジム（Ｎｄ）ドープ固体レーザ及びＮｄドープファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを備える、請求項３６に記載の検査システム。
【請求項４４】
前記第４高調波発生モジュールは、２個の周波数２逓倍共振器モジュールを備える、請求項３６に記載の検査システム。
【請求項４５】
前記第５高調波発生モジュールは、前記第４高調波光及び前記循環させられた第１基本ＣＷ光が共線的に前記第１非線形結晶を透過させられるように構成されている、請求項３６に記載の検査システム。
【請求項４６】
試料の検査方法であって、
約１８１ｎｍから約１８５ｎｍまでの範囲内の波長を有する連続波（ＣＷ）レーザ出力光を発生させることを備え、前記ＣＷレーザ出力光を発生させることは、
第１基本波周波数と共にそれに対応する約１μｍと１．１μｍとの間の第１基本波波長を有する第１基本ＣＷ光を発生させることと、
前記第１基本ＣＷ光の第１部分を、前記第１基本波周波数の４倍に等しい第４高調波周波数を有する第４高調波光に変換することと、
前記第１基本ＣＷ光の第２部分と前記第４高調波光とを混合することによって、前記第１基本波周波数の５倍に等しい第５高調波周波数を有する第５高調波光を発生させることであって、前記混合することは、前記第２部分を第１共振器内で循環させることにより、前記循環させられた第１基本ＣＷ光が前記第４高調波光を受け取るようにまた設置されている第１非線形結晶を通過することを備える、ことと、
前記ＣＷレーザ出力光を発生させるために、前記第５高調波光を、第２周波数と共にそれに対応する１．２６μｍと１．８２μｍとの間の波長を有する第２ＣＷ光と混合することであって、前記混合することは、前記第２ＣＷ光を第２共振器内で循環させることにより、前記循環させられた第２ＣＷ光が前記第５高調波光を受け取るようにまた設置されている第２非線形結晶を通過することを備える、ことと、を備え、
検査されている物品の上に前記レーザ出力光を導くことと、
前記検査されている物品によって影響を受けた前記レーザ出力光の画像情報部分を集光し、前記画像情報部分を１つ以上のセンサに導くことと、
前記第１及び第２非線形結晶のうちの少なくとも１つは、アニールされたセシウムホウ酸リチウム（ＣＬＢＯ）結晶、水素処理ＣＬＢＯ結晶及び重水素処理ＣＬＢＯ結晶のうちの１つを備える、試料の検査方法。
【請求項４７】
第１パワーレベルの及び第２基本波周波数を有する第２基本波光として前記第２ＣＷ光を発生させるために、第２基本波レーザを利用することと、
前記第２基本波光を前記第２基本波レーザから前記第２共振器中に導くことであって、それにより前記第２基本波光が前記第２共振器内で循環させられ、前記第２共振器は、前記第２基本波周波数で共振することにより、前記循環させられる第２基本波光の第２パワーレベルが前記第１パワーレベルよりも大きいように構成されている、ことと、を更に備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
第１周波数の第２レーザ光を発生させるために、ポンプレーザを利用することを更に備え、
前記第５高調波光を第２光と混合することは、前記第２レーザ光を前記第２共振器中に導くことを備え、
前記第２共振器は、固体レーザ共振器を備え、前記固体レーザ共振器は、前記ポンプレーザから受け取られた前記第２レーザ光を用いて前記循環させられる第２ＣＷ光を発生させることにより、前記循環させられる第２光が前記第１周波数よりも低い第２周波数を有するように構成されている、請求項４６に記載の方法。
【請求項４９】
第１周波数の第２レーザ光を発生させるために、ポンプレーザを利用することを更に備え、
前記第５高調波光を第２光と混合することは、前記第２レーザ光を前記第２共振器中に導くことを備え、
前記第２共振器は、光学パラメトリック発振共振器を備え、前記光学パラメトリック発振共振器は、前記ポンプレーザから受け取られた前記第２レーザ光のダウンコンバージョンによって前記循環させられる光を発生させることにより、前記循環させられる光が前記第１周波数よりも低い第２周波数を有するように構成されている、請求項４６に記載の方法。
【請求項５０】
前記第１基本ＣＷ光を発生させることは、約１０７０ｎｍ、約１０６４ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ及び約１０３０ｎｍのうちの１つに等しい波長を有するレーザ光を発生させることを備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項５１】
前記第１基本ＣＷ光を発生させることは、イッテルビウム（Ｙｂ）ドープファイバレーザ又はファイバ増幅器、ネオジム（Ｎｄ）ドープ固体レーザ及びＮｄドープファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを利用することを備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項５２】
前記第１基本ＣＷ光の第１部分を前記第４高調波光に変換することは、前記第１基本ＣＷ光の第１部分を２個の周波数２逓倍共振器を通過させることを備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項５３】
前記第５高調波光を発生させることは、前記第４高調波光と前記第１基本ＣＷ光の第２部分とを共線的に前記第１非線形結晶を透過させることを備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項５４】
Ｙｂドープファイバレーザ、Ｎｄドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器、及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ固体レーザ、ファイバレーザ又はファイバ増幅器のうちの１つを利用して前記第２ＣＷ光を発生させることを更に備える、請求項４６に記載の方法。
【請求項５５】
前記第５高調波光を前記第２ＣＷ光と混合することは、前記循環させられる第２ＣＷ光をＮｄドープ利得媒体及びエルビウム（Ｅｒ）ドープ利得媒体のうちの１つを通して導くことを備える、請求項４６に記載の方法。