【手続補正書】
【提出日】平成17年6月13日(2005.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする全反射型の光伝達素子と、前記光伝達素子からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、
前記配光分布変換光学系は、焦点距離の等しい第１のレンズユニットと第２のレンズユニットを有し、２つのレンズユニットの主点間距離が該焦点距離と等しくなるよう配置するとともに、前記第１のレンズユニットの入射瞳を前記光源像に、前記第２のレンズユニットの射出瞳を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする全反射型の光伝達素子と、前記光伝達素子からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、
前記配光分布変換光学系は、オプチカルロッドとレンズユニットを有し、前記オプチカルロッドの入射面を前記光源像に、前記レンズユニットの一方の焦点位置を前記オプチカルロッドの射出面に、他方の焦点位置を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴とする照明光学系。
【請求項３】
前記光源像の照度分布は、周辺に比して光軸近傍の強度が大きいことを特徴とする請求項１又は２記載の照明光学系。
【請求項４】
前記光伝達素子は光ファイバー束であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項記載の照明光学系。
【請求項５】
前記光ファイバー束は、入射面が正方形又は矩形、射出面が円弧形状であることを特徴とする請求項４記載の照明光学系。
【請求項６】
光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする光ファイバー束と、前記光ファイバー束からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、
前記配光分布変換光学系は、焦点距離の等しい第１のレンズユニットと第２のレンズユニットを有し、２つのレンズユニットの主点間距離が該焦点距離と等しくなるよう配置するとともに、前記第１のレンズユニットの入射瞳を前記光源像に、前記第２のレンズユニットの射出瞳を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴とする照明光学系。
【請求項７】
光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする光ファイバー束と、前記光ファイバー束からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、
前記配光分布変換光学系は、オプチカルロッドとレンズユニットを有し、前記オプチカルロッドの入射面を前記光源像に、前記レンズユニットの一方の焦点位置を前記オプチカルロッドの射出面に、他方の焦点位置を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴とする照明光学系。
【請求項８】
前記光源像の照度分布は、周辺に比して光軸近傍の強度が大きいことを特徴とする請求項６又は７記載の照明光学系。
【請求項９】
前記光ファイバー束は、入射面が正方形又は矩形、射出面が円弧形状であることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項記載の照明光学系。
【請求項１０】
前記光ファイバー束は、全反射型又は分布屈折率型の光ファイバー束であることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項記載の照明光学系。
【請求項１１】
異なる角度で入射する複数の光束の配光分布を所定面における照度分布に変換する配光分布変換光学系と、該所定面を実質的な入射面とする全反射型の光伝達素子と、該光伝達素子からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系とを有することを特徴とする照明光学系。
【請求項１２】
前記光伝達素子はオプチカルロッドであることを特徴とする請求項１１記載の照明光学系。
【請求項１３】
前記複数の光束は複数のレーザー光源によって供給されることを特徴とする請求項１１又は１２記載の照明光学系。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれか一項記載の照明光学系と、前記照明光学系によって照明される原板のパターンを基板上に投影する投影光学系と、を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の露光装置を用いて基板を露光する工程を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする全反射型の光伝達素子と、前記光伝達素子からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、前記配光分布変換光学系は、焦点距離の等しい第１のレンズユニットと第２のレンズユニットを有し、２つのレンズユニットの主点間距離が該焦点距離と等しくなるよう配置するとともに、前記第１のレンズユニットの入射瞳を前記光源像に、前記第２のレンズユニットの射出瞳を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴としている。
また、本発明の別の一側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする全反射型の光伝達素子と、前記光伝達素子からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、前記配光分布変換光学系は、オプチカルロッドとレンズユニットを有し、前記オプチカルロッドの入射面を前記光源像に、前記レンズユニットの一方の焦点位置を前記オプチカルロッドの射出面に、他方の焦点位置を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
更に、本発明の別の一側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする光ファイバー束と、前記光ファイバー束からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、前記配光分布変換光学系は、焦点距離の等しい第１のレンズユニットと第２のレンズユニットを有し、２つのレンズユニットの主点間距離が該焦点距離と等しくなるよう配置するとともに、前記第１のレンズユニットの入射瞳を前記光源像に、前記第２のレンズユニットの射出瞳を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴としている。
更に、本発明の別の一側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて光源像を形成する光源像形成手段と、前記光源像の照度分布を所定面における配光分布に変換する配光分布変換光学系と、前記所定面を実質的な入射面とする光ファイバー束と、前記光ファイバー束からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系と、を備え、前記配光分布変換光学系は、オプチカルロッドとレンズユニットを有し、前記オプチカルロッドの入射面を前記光源像に、前記レンズユニットの一方の焦点位置を前記オプチカルロッドの射出面に、他方の焦点位置を前記所定面に実質的に一致させたことを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
更に、本発明の別の一側面としての照明光学系は、異なる角度で入射する複数の光束の配光分布を所定面における照度分布に変換する配光分布変換光学系と、該所定面を実質的な入射面とする全反射型の光伝達素子と、該光伝達素子からの光束を用いて被照射面上に照明領域を形成する集光光学系とを有することを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
更に、本発明の別の一側面としての露光装置は、上述の照明光学系と、上述の照明光学系によって照明される原板のパターンを基板上に投影する投影光学系と、を有することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
更に、本発明の別の一側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて基板を露光する工程を有することを特徴としている。