【手続補正書】
【提出日】平成16年9月22日(2004.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの光学要素を保持する投影光学系における光学要素の保持装置であって、前記２つの光学要素のいずれか一方を、光軸に対して傾ける相対的角度調整手段と、
前記相対的角度調整手段による傾き方向と逆方向に同じ量だけ、前記少なくとも２つの光学要素を一体的に、前記相対角度調整手段と分離して光軸に対して傾ける傾け量調整手段と、を有することを特徴とする光学要素の保持装置。
【請求項２】
前記相対的角度調整手段は、前記少なくとも２つの光学要素のいずれか一方を保持する第１保持部材と、他方の光学要素を保持する第２保持部材との相対的角度を調整する手段であることを特徴とする請求項１に記載の光学要素の保持装置。
【請求項３】
前記傾け量調整手段は、前記第２保持部材を取付けるためのベース部材に対して相対的角度調整手段における傾け中心軸と平行な中心軸にて、前記第２保持部材を傾ける傾け量調整手段であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学要素の保持装置。
【請求項４】
前記第１及び第２保持部材は、前記２つの光学要素の外周位置にて１２０°おきに３ヵ所略等分の位置にて保持し、それぞれの保持位置は、６０°ずれている位置にて光学要素を保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置。
【請求項５】
前記第１保持部材において、前記光学要素を保持する３ヵ所のうち１ヵ所の高さを可変させることにより、前記第１保持部材に保持されている一方の光学要素を、前記第２保持部材に保持されている他方の光学要素に対して傾けることを特徴とする請求項４に記載の光学要素の保持装置。
【請求項６】
前記光学要素の保持装置は、前記投影光学系の光軸に対して回転可能に取付けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置。
【請求項７】
前記光学要素の保持装置は、前記投影光学系の光軸に対して傾け可能に取付けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置。
【請求項８】
前記光学要素の保持装置は、前記投影光学系に対して着脱可能に取りつけられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置。
【請求項９】
前記光学要素は、屈折率と厚さが互いにほぼ等しい少なくとも２枚の平行平板レンズ部材であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置。
【請求項１０】
前記投影光学系の非点収差を測定する測定手段を備えていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置。
【請求項１１】
請求項３〜９のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置を用いて行われる光学調整方法であって、前記相対的角度調整手段で前記第１保持部材に保持されている一方の光学要素を、前記第２保持部材に保持されている他方の光学要素に対して傾けると共に、前記傾け量調整手段にて、前記２つの光学要素を一体的に前記ベース部材に対して前記所望の１／２の角度の傾きを戻すことにより、前記投影光学系の光軸に対し互いに逆方向に傾けることを特徴とする光学調整方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載のレンズ保持装置を用いて行われる光学調整方法であって、前記非点収差測定手段の結果に応じて、前記相対的角度調整手段で前記第１保持部材に保持されている一方の光学要素を、前記第２保持部材に保持されている他方の光学要素に対して傾けると共に、前記傾け量調整手段にて、前記２つの光学要素を一体的に前記ベース部材に対して前記所望の１／２の角度の傾きを戻すことにより、前記投影光学系の光軸に対し互いに逆方向に傾けることを特徴とする光学調整方法。
【請求項１３】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光学要素の保持装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１１または請求項１２に記載の光学調整方法を用い、マスクのパターンを基板上に投影して露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の露光装置または請求項１４に記載の露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するため、つぎの（１）〜（１５）のように構成した投影光学系における光学要素の保持装置、該保持装置による光学調整方法、該保持装置を有する露光装置、露光方法、デバイス製造方法を提供するものである。
（１）少なくとも２つの光学要素を保持する投影光学系における光学要素の保持装置であって、前記２つの光学要素のいずれか一方を、光軸に対して傾ける相対的角度調整手段と、
前記相対的角度調整手段による傾き方向と逆方向に同じ量だけ、前記少なくとも２つの光学要素を一体的に、前記相対角度調整手段と分離して光軸に対して傾ける傾け量調整手段と、を有することを特徴とする光学要素の保持装置。
（２）前記相対的角度調整手段は、前記少なくとも２つの光学要素のいずれか一方を保持する第１保持部材と、他方の光学要素を保持する第２保持部材との相対的角度を調整する手段であることを特徴とする上記（１）に記載の光学要素の保持装置。
（３）前記傾け量調整手段は、前記第２保持部材を取付けるためのベース部材に対して相対的角度調整手段における傾け中心軸と平行な中心軸にて、前記第２保持部材を傾ける傾け量調整手段であることを特徴とする
上記（１）または上記（２）に記載の光学要素の保持装置。
（４）前記第１及び第２保持部材は、前記２つの光学要素の外周位置にて１２０°おきに３ヵ所略等分の位置にて保持し、それぞれの保持位置は、６０°ずれている位置にて光学要素を保持することを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の光学要素の保持装置。
（５）前記第１保持部材において、前記光学要素を保持する３ヵ所のうち１ヵ所の高さを可変させることにより、前記第１保持部材に保持されている一方の光学要素を、前記第２保持部材に保持されている他方の光学要素に対して傾けることを特徴とする上記（４）に記載の光学要素の保持装置。
（６）前記光学要素の保持装置は、前記投影光学系の光軸に対して回転可能に取付けられていることを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の光学要素の保持装置。
（７）前記光学要素の保持装置は、前記投影光学系の光軸に対して傾け可能に取付けられていることを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の光学要素の保持装置。
（８）前記光学要素の保持装置は、前記投影光学系に対して着脱可能に取りつけられていることを特徴とする上記（１）〜（７）のいずれかに記載の光学要素の保持装置。
（９）前記光学要素は、屈折率と厚さが互いにほぼ等しい少なくとも２枚の平行平板レンズ部材であることを特徴とする上記（１）〜（８）のいずれかに記載の光学要素の保持装置。
（１０）前記投影光学系の非点収差を測定する測定手段を備えていることを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれかに記載の光学要素の保持装置。
（１１）上記（３）〜（９）のいずれかに記載の光学要素の保持装置を用いて行われる光学調整方法であって、前記相対的角度調整手段で前記第１保持部材に保持されている一方の光学要素を、前記第２保持部材に保持されている他方の光学要素に対して傾けると共に、前記傾け量調整手段にて、前記２つの光学要素を一体的に前記ベース部材に対して前記所望の１／２の角度の傾きを戻すことにより、前記投影光学系の光軸に対し互いに逆方向に傾けることを特徴とする光学調整方法。
（１２）上記（１０）に記載のレンズ保持装置を用いて行われる光学調整方法であって、前記非点収差測定手段の結果に応じて、前記相対的角度調整手段で前記第１保持部材に保持されている一方の光学要素を、前記第２保持部材に保持されている他方の光学要素に対して傾けると共に、前記傾け量調整手段にて、前記２つの光学要素を一体的に前記ベース部材に対して前記所望の１／２の角度の傾きを戻すことにより、前記投影光学系の光軸に対し互いに逆方向に傾けることを特徴とする光学調整方法。
（１３）上記（１）〜（１０）のいずれかに記載の光学要素の保持装置を備えることを特徴とする露光装置。
（１４）上記（１１）または上記（１２）に記載の光学調整方法を用い、マスクのパターンを基板上に投影して露光することを特徴とする露光方法。
（１５）上記（１３）または上記（１４）に記載の露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。