(57)【要約】【課題】複数個のチップに分割された基板は搬送を容易にするためにフラットリング状態で提供されていた。しかし近年クリップリング状態で提供されることもあり、チップがどのように提供されるかで作業テーブルが異って使用できないことがあった。【解決手段】フラットリングでもクリップリングでも作業テーブルの取付部にチェンジキットを取り付けることによりどちらでも使用できるようにした。また、クリップリングにリング冶具板を取り付けることによりフラットリングと同様の取付状態なすることができ、フラットリングでもクリップリングでも作業可能にすることができた。【選択図】図6
2010034435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のチップに分割された基板を、リングに装着された柔軟性を有する粘着シートに貼着されて前記粘着シートが引き伸ばされない状態で前記リングに取り付けられるフラットリングと、
前記粘着シートが引き伸ばされた状態で前記リングに取り付けられるグリップリングとで供給され、
前記複数個のチップに分割された基板を、検査移載等する作業機に使用される作業位置を移動するテーブル装置であって、
前記フラットリングもしくは前記グリップリングを挿入保持して下降するリングクランプと、
下降する前記リングクランプの内面と微小な間隔をもつように径が設定されているリングエキスパンド凸部と、
前記リングクランプと前記リングエキスパンド凸部を作業位置に移動・回転させるリングテーブルと、
前記リングクランプと前記リングテーブルを制御する制御部を備え、
前記制御部は前記フラットリングを前記粘着シート引き伸ばし作業位置に移動させた際は、
前記リングエキスパンド凸部が前記粘着シートに当接して、前記リングクランプが微小な間隔で該リングエキスパンド凸部に対して下降することにより前記粘着シートを引き伸ばしながら前記フラットリングを保持固定し、
前記制御部は前記グリップリングを保持固定位置に移動させた際は、
前記リングエキスパンド凸部と前記リングクランプが前記グリップリングの前記リングを上下にはさむように保持固定し、
前記リングテーブルが前記基板を所定の作業位置に移動するよう制御部で制御するようにしたことを特徴とするリングテーブル装置。
【請求項２】
前記リングエキスパンド凸部は前記フラットリングの前記粘着シート引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部と、前記グリップリングの前記リングを保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部とを備え、前記リングエキスパンド引き伸ばし凸部と前記リングエキスパンド押さえ凸部は交換可能に取り付けられたことを特徴とする請求項1記載のリングテーブル装置。
【請求項３】
前記グリップリングの内周面を嵌合させて、前記フラットリングと同様の外形形状にするリング冶具板によって、前記グリップリングと前記フラットリングの外形形状を同一にしたことで共通の前記リングクランプを使用することができるようにしたことを特徴とする請求項1記載のリングテーブル装置。
【請求項４】
前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかを自動で検知して保持固定する検知手段を備えたことを特徴とする請求項1、2記載のリングテーブル装置。
【請求項５】
前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかによって交換可能に構成された冶具交換手段を備えたことを特徴とする請求項1,2記載のリングテーブル装置。
【請求項６】
前記リング冶具板に取り付けられた位置決めピンと前記グリップリング外周に形成された凹部が嵌合することにより前記リング冶具板と前記グリップリングが一定方向に装着されるようにしたことを特徴とする請求項1、2記載のリングテーブル装置。
【請求項７】
前記グリップリングに前記リング冶具板を取り付けることによって、前記フラットリングと兼用で使うことのできる収容部を用いて前記基板を提供することができるようにしたことを特徴とする請求項1、2、3記載のリングテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は柔軟性を有する粘着シートに貼着され、フラットリングもしくはグリップリングに搭載された状態で供給されるシリコンウエハ等の複数個のチップに分解された基板を検査したり移載したりボンディング(接着)したりする装置に使用されている、リングテーブル装置に関するものである。
前記リングテーブル装置とは、フラットリングやグリップリングで供給された基板を、リングテーブル上部に保持固定して、検査用カメラ直下に移動したり、移載装置のピックアップ部に移動したりする作業範囲内を制御部の制御によって移動する部分のことである。
【背景技術】
【０００２】
CCDカメラ等に用いられるガラス基板や集積回路等に用いられる半導体チップは厚みの調整や機械による研削、薬品によるエッチング等の工程の後、柔軟性を有する粘着シートが貼着される。更に搬送を容易にするために粘着シートの外周辺部にはフラットリングが貼着される。
【０００３】
粘着シートが粘着された状態で、ガラス基板やシリコンウエハはダイシング(さいの目状態に切断され複数個のチップに形成されること)され、複数個のチップに分解される。ダイシングの際にはガラス基板やシリコンウエハのみが精確に切断され粘着シートは切断されないよう作業される。
従ってダイシング時に切断されたチップが飛び散ることがない。
【０００４】
しかし分割された各チップをピックアップする時や、検査する時は分割された時のカット面が細くて互いに干渉することがあるので、各チップの間隔を広げるために粘着シートが引き伸ばされる。
【０００５】
従来の粘着シート引き伸ばし方法としては特開平10-125630のような半導体ウエハ引き伸ばし装置が提案されている。この従来例は図8に示すような構成になっている。
【０００６】
フラットリング94をクランプ93で固定した後、ピストン95を昇降軸92によって上昇させ、鍔部96によって粘着シート91を押し上げて引き伸ばす。
このことによりチップ90の間隔hが広がりピックアップや検査がやりやすくなる。
【０００７】
間隔hが広がったときに粘着シート91の外側からシートバンド97を嵌着し粘着シート91が縮まないように止着しておいて、カッタ98によって粘着シート91をカットすることで、鍔部96とシートバンド97にはさまれて引き伸ばされた粘着シート91を取り外すことができるように構成されている。
【特許文献１】特開平10-125630
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来は粘着シートを引き伸ばすための専用機を必要とし、フラットリングでチップが提供された場合は、このような専用機等を使用して粘着シートを引き伸ばして縮まないように止着してピックアップ等の作業をしなければならなかった。
【０００９】
チップはフラットリングに貼着して提供されるものと、粘着シートを引き伸ばしてグリップリングで止着して提供されるものがあり、提供されるチップの状態によりリングテーブルへの取り付け方法を変更して使用せねばならなかった。
【００１０】
フラットリング外周部には直線部がありガイドされやすく構成されている。更にフラットリング外周部には2つの位置決めピンと嵌合する2つの凹部があり位置決めが容易であった。
【００１１】
しかし、グリップリングは、方向判別用の凹部が一箇所あるだけで位置決めが困難であった。従来は手作業によるオペレータの判断でだいたいの方向が決められており、正確な位置決めができなかった。
【００１２】
フラットリングとグリップリングは形状が異なるため、それぞれ専用のマガジンを作成して収納し、異なる形状のマガジンを作業機にセッティングしなければならなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そこで、複数個のチップに分割された基板を、リングに装着された柔軟性を有する粘着シートに貼着されて前記粘着シートが引き伸ばされない状態で前記リングに取り付けられるフラットリングと、前記粘着シートが引き伸ばされた状態で前記リングに取り付けられるグリップリングとで供給され、前記複数個のチップに分割された基板を、検査移載等する作業機に使用される作業位置を移動するテーブル装置であって、前記フラットリングもしくは前記グリップリングを挿入保持して下降するリングクランプと、下降する前記リングクランプの内面と微小な間隔をもつように径が設定されているリングエキスパンド凸部と、
前記リングクランプと前記リングエキスパンド凸部を作業位置に移動・回転させるリングテーブルと、前記リングクランプと前記リングテーブルを制御する制御部を備え、前記制御部は前記フラットリングを前記粘着シート引き伸ばし作業位置に移動させた際は、前記リングエキスパンド凸部が前記粘着シートに当接して、前記リングクランプが微小な間隔で該リングエキスパンド凸部に対して下降することにより前記粘着シートを引き伸ばしながら前記フラットリングを保持固定し、前記制御部は前記グリップリングを保持固定位置に移動させた際は、前記リングエキスパンド凸部と前記リングクランプが前記グリップリングの前記リングを上下にはさむように保持固定し、前記リングテーブルが前記基板を所定の作業位置に移動するよう制御部で制御するようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
【００１４】
そして、  前記リングエキスパンド凸部は前記フラットリングの前記粘着シート引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部と、前記グリップリングの前記リングを保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部とを備え、前記リングエキスパンド引き伸ばし凸部と前記リングエキスパンド押さえ凸部は交換可能に取り付けられたことを特徴とするリングテーブル装置であって
前記グリップリングの内周面を嵌合させて、前記フラットリングと同様の外形形状にするリング冶具板によって、前記グリップリングと前記フラットリングの外形形状を同一にしたことで共通の前記リングクランプを使用することができるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
【００１５】
更に前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかを自動で検知して保持固定する検知手段を備えたことを特徴とするリングテーブル装置で、前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかによって交換可能に構成された冶具交換手段を備えたことを特徴とするリングテーブル装置で、前記リング冶具板に取り付けられた位置決めピンと前記グリップリング外周に形成された凹部が嵌合することにより前記リング冶具板と前記グリップリングが一定方向に装着されるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置であって、
前記グリップリングに前記リング冶具板を取り付けることによって、前記フラットリングと兼用で使うことのできる収容部を用いて前記基板を提供することができるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１６】
フラットリング40によってチップ41が提供された場合、リングクランプ31がフラットリング40を押さえて下降することにより、リングエキスパンド凸部322が粘着シート42を押し上げる。このことによって引き伸ばされた粘着シート42の上で分割されているチップ41の間隔hを広げるように作用する。
【００１７】
グリップリング45でチップ41が提供された場合、リングクランプ31とリングエキスパンド凸部322を変更することによって外側グリップリング401と内側グリップリング402をはさみこむようにリングクランプ31を下降させてグリップリング45を固定するように構成されている。
もしくはグリップリング45にリング冶具板46を嵌合し、リングエキスパンド凸部322とリングクランプ31によって挟み込むようにしてグリップリング45を固定するように構成されている。
【００１８】
以上のような構成にすることにより、本願発明のリングテーブル30であれば、フラットリング40及びグリップリング45のどちらの状態でチップ41が与えられたとしても、保持固定して作業位置に移動することができる。
【００１９】
また、グリップリング45の内側グリップリング452の内周面に嵌合するようにリング冶具板凸部463が構成されたリング冶具板46を勘合して、グリップリング45とフラットリング40の外形形状を同一にしたことにより、フラットリング40に適合されたリングクランプガイド312や、フラットリング40の外形に作られた凹部401、402に適合するピン313、314も共通に使用して位置決めすることができる。
【００２０】
そして、グリップリング45の外周に凹部453を設け(本実施例の場合はわざわざ設けるのではなく、粘着シート42を引き伸ばして外側グリップリング451と内側グリップリング452に挟み込む際の位置決め用として設けられた凹部453を利用するものである)リング冶具板46の位置決めピン464に係合するように構成することにより、グリップリング45に貼着されたチップの方向を一定にすることができるように、位置決めできるようにした。
【００２１】
以上のようにリング冶具板46をグリップリング45に嵌合させることによりフラットリング40と同一のマガジン25に収容できるようになり経済的になった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
チップ41が提供される場合、輸送を容易にするためにフラットリング40もしくはグリップリング45のどちらかに粘着シート42が貼着され粘着シート42に貼着して提供される。
【００２３】
フラットリング40の形式でチップ41が与えられた場合は、粘着シート42を引き伸ばしてチップ41の間隔hを広げチップ41が互いに干渉することがなく、ピックアップや画像認識がやりやすいようにしなければならない。
【００２４】
グリップリング45の形式でチップ41が与えられた場合は、粘着シート42を引き伸ばして外側グリップリング451と内側グリップリング452で挟み込んだ状態で提供されるので、チップ41の間隔を広げる必要はない。
粘着シート42の引き伸ばしが不均一だと、間隔hが広げられた各チップの位置が不ぞろいになるために、あらかじめ均一な状態で引き伸ばし作業を実行してクリップリング45で固定して提供することが考えられて考案された方法である。
【００２５】
しかしクリップリング45とフラットリング40は外形形状がまったく異なるものであり、今まではそれぞれ提供される形式によって専用機を製作していたが、本願発明においてはどちらの形式でチップ41が提供されても対応できるリングテーブル30を提供するものである。
その結果新しい装置を製作するのではなく、リングテーブル30にチェンジキットを製作することで汎用的に使えるようにしたものである。
【００２６】
また、グリップリング45にリング冶具板46を取り付けることにより、フラットリング40と同様の外形にし、共通のマガジン25や共通のリングクランプガイド312また共通のピン313、314を使用して位置決めすることができるようになったので経済的であると共に、今までチップ41配列の方向を定められなかったグリップリング45の欠点を補うことかができるようになった。
【００２７】
つまり、グリップリング45には凹部453がダイシング等の作業時の位置決めのために作られているが、この凹部453をリング冶具板46の位置決めピン46に嵌合させることにより、グリップリング45の位置決めが、今まで行われていたオペレーターによる目視よりもはるかに高精度に位置あわせすることができるようになった。
【実施例】
【００２８】
以下、本発明の実施例について説明する。複数個のチップ41に分割された基板とは、例えば半導体ウエハのようにシリコン等の半導体の素材の種結晶を円柱状に成長させたインゴットを薄くスライスした円盤状の板を各チップの大きさにダイシングした状態のことである。
【００２９】
分割された各チップ41が離散しないようにするために基板の裏側面には柔軟性を有する粘着シートが貼着される。そして、搬送を容易にするために粘着シート42の外周辺部には、フラットリング40が粘着される。
【００３０】
フラットリング40は図2のような形状をしている。チップ41はダイシングされたままの状態なので、各チップ41の間隔hが狭く、吸着装置等でチップ41をピックアップして作業するときに、互いに干渉してしまう場合がある。
また、各チップ41を画像認識する場合も間隔hが狭いと各チップ41毎の認識ができなく誤動作してしまうことがある。そこで図8に示す従来例のように粘着シート42を均一に引き伸ばす装置が必要とされる。
【００３１】
また、上記粘着シート引き伸ばし作業において、粘着シート42の引き伸ばしが不均一であると間隔hを広げられた各チップ41の位置が不揃いになるためチップ41のピックアップや画像認識が困難になるという問題がある。
【００３２】
そこで既に均一に粘着シート42を引き伸ばした状態で、外側クリップリング451と内側クリップリング452で止着されてチップ41を提供したものがクリップリング45である。
クリップリング45は図3のような形状をしている。(1)は表面から見た図、(2)は裏面から見た図である。外側クリップリング451の外周には一箇所凹部453が作られている。これは粘着シート42を引き伸ばして止着するときに、複数個のチップ41に分割された基板の方向を一定にするために使用された凹部453が形成されている。本発明ではこの凹部453を利用してチップ42の配列を一定方向に整理するようにしている。
【００３３】
リングクランプ内周面315はフラットリング内周面より内側に(直径が小さく)成形されている。エキスパンド凸部322はリングクランプ内周面315より内側に(直径が小さく)成形されている。
そこでリングクランプガイド312に沿って挿入されたフラットリング40が所定の位置に設置されると、エキスパンドモータ323の駆動によりエキスパンドねじ部324が回転しリングクランプ31が下降する。すると粘着シート42をエキスパンド凸部322が押し上げて、粘着シート42が引き伸ばされ、チップ41の間隔を広げる構成になっている。(フラットリング40の粘着シート42引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部)
【００３４】
リングクランプ31にリング冶具板46が装着されたグリップリング45が挿入される場合は、リングクランプ内周面315は外側グリップリングと内側グリップリング452の双方かどちらか一方に当接するよう(直径が同じに)成形されている。(グリップリング45のリング451,452を保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部)
【００３５】
また、リング冶具板凸部463はリングエキスパンド凸部322より内側(直径が小さくなるように)成形されている。そこでリングクランプガイド312に沿って挿入されたリング冶具板46が装着されたグリップリング45が所定の位置に設置されリングクランプ31が下降すると、リング冶具板46をリングエキスパンド凸部322が下方から保持し、グリップリング45をリングクランプ内周面315が上方から加圧して保持する。このことによって、グリップリング45はリングテーブル30に保持固定される構成になっている。
【００３６】
なお、リング冶具板46が装着されていないグリップリング45を保持固定する場合は、リングクランプガイド312の間隔を変更し、リングクランプ内周面315が外側リングクランプ451と内側リングクランプ452の双方かどちらか一方に当接するよう(同じ直径になるように)成形されている。
リング冶具板46が装着されていても同様にリングエキスパンド押さえ凸部を変更する場合もある。
【００３７】
更にリングエキスパンド凸部322が外側リングクランプ451と内側リングクランプ452の双方かどちらか一方に当接するよう(直径が同じになるように)成形される。
以上のようなチェンジキットを製作して、グリップリング45をリンククランプガイド312に装着してリングクランプ31を下降させるとリングエキスパンド凸部322とリングクランプ内周面315が押圧するようにしてグリップリング45を保持固定するように構成される。
【００３８】
以上のように構成されたフラットリング40とグリップリング45を移動可能に設置することができるリングテーブル装置30の動作について説明する。
図1が本発明の実施例に係るリングテーブル30を取り付けたガラス基板検査装置である。このような実施例だけでなくリングテーブル30は、チップ41の移載装置やチップ41のボンディング装置において、フラットリング40やグリップリング45を用いてチップ41が提供される場合に使用することができる。
【００３９】
マガジン25にはフラットリング40が収納されている。リングチャック23により把持して引き出し、図6の模式図のような状態でフラットリング40をリングクランプガイド312に沿わせてY1方向に移動させる構成になっている。
【００４０】
リングチャック23はリングクランプ凹部311を通過してY1方向に移動し、フラットリング40の凹部401、402がピン313,314に当接して位置決めされると、リングチャック23はフラットリング40を開放し、リングテーブル30に干渉しない位置に退避する。
【００４１】
フラットリング40を位置決めしたリングクランプ31は、エキスパンドモータ323を駆動してエキスパンドねじ軸324を回転させて下降するよう構成されている。
するとフラットリング40の何も貼着されていない貼着シール部分421に、リングエキスパンド凸部322が当接する。リングクランプ31が下降するに従ってリングエキスパンド凸部322が何も貼着されていない粘着シート部分421を押し上げることになる。
【００４２】
このような構成によって粘着シート42が引き伸ばされ、粘着シート42の上で分割されているチップ41の間隔hが広げられる。
また、フラットリング40全体がリングクランプ31とリングエキスパンド凸部322に粘着シート42によって挟み込まれて保持固定される。
【００４３】
リングクランプ31とリングエキスパンド32にはさまれて保持固定されたフラットリング40は、Y軸モータ302を駆動させてYねじ軸303を回転することによってY方向に移動する構成になっている。
同様にX軸モータ305を駆動してXねじ軸306を回転することによってX方向に移動することができる構成になっている。
【００４４】
また、θ軸モータ308を駆動してθ軸ギャ309を回転することによってリングエキスパンドギャ321を回転し、保持固定したフラットリング40をθ方向に回転することができるように構成されている。
【００４５】
なお、本装置に使用されているモータは全てサーボモータであり、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており、モータがどれくらいの速度でどちらの方向に何度回転したかをパルスで制御部3に送信する構成になっている。
【００４６】
制御部3では各モータに連結されているねじ軸のピッチをモータの情報と共に算出して、ねじ軸を挿入した軸受け部がどの位置に移動したかを判断するように構成されている。
以上のような構成でリングテーブル30の動作は制御部3によって制御される。
【００４７】
このことによって図1のようにリングチャック23によって受け渡されたフラットリング40はリングテーブル30によって外形検査カメラ20直下に移動して、外形検査作業が行われる。
【００４８】
次に図3に示すようなグリップリング45によってチップ41が提供された場合を説明する。前述したようにグリップリング45は引き伸ばされ粘着シート422を外側グリップリング451と内側グリップリング452で挟み込んで、チップ41がリング中央に来るようにして留めて、図3の状態で供給される。
【００４９】
図4に示すようにグリップリング45の後方にリング冶具板46を締まり嵌めになるように嵌合する。このときクリップリング45外周の凹部453と位置決めピン464が一致するように嵌合させる。
このことにより、グリップリング45とリング冶具板46は一体化しフラットリング40と同じ外形になる。そこで図1のマガジン25に収納してリングチャック23によって引き出し、図7のようにリングパイプガイド312に沿って挿入しピン313,314を凹部461,462に当接させることによってチップ41を正確に位置決めさせることができる。
また、マガジン25からリング冶具板46を引き出すときにチャックするリングチャック23のつかみ部が位置決めピン464を検知してリング冶具板46に取り付けられたグリップリング45と判断する検知手段を取り付けることもできる。検知した結果は制御部3に送信されてその後のリングテーブル30動きや作業内容に応じた作業機の位置が制御される。
【００５０】
その後エキスパンドモータ323を駆動させてエキスパンドねじ軸324を回転しリングクランプ31を下降させる。そしてリングエキスパンド凸部322がリング冶具板46の裏面に当接し、リングクランプ31が外側グリップリング451と内側グリップリング452の両方かいずれか一方をZ方向に押さえつけることによって、グリップリング45を保持固定するよう制御部3で制御される。
この状態が図7である。図7では解かりやすくするためにリングクランプ31を透明にして図示している。
【００５１】
以上のようなリングテーブル装置であればフラットリング40でもグリップリング45でも、リング冶具板46を採用することによってリングテーブル30に取り付けることができる。そしてマガジン25も共有することができる。
また、マガジン25の近傍やリングチャック23近傍にセンサーを取り付けて、提供されたチップ41がフラットリング40によるものか、グリップリング45によるものか、リング冶具板46を使用したグリップリングによるものなのかを自動的に判別し、エキスパンドモータ323の加圧力等を変更し自動で検知して保持固定する検知手段を備えて自動化することもできる。(但し必要に応じてリングエキスパンド凸部322を変更しなければならない場合がある。)
また、リングエキスパンド凸部322、とリングクランプガイド312の間隔を調整したリングクランプ31を変更することにより、フラットリング40でもグリップリング45でも作業位置に移動できるリングテーブル30を提供することもできる。
更にリング冶具板46を使用したクリップリング45であればマガジン25をフラットリング40のものと共有にすることができる。但し、グリップリング45は厚みがあるのでフラットリング40専用マガジン25より格納できる枚数を減少させる必要がある。
【００５２】
なお、上述した方法より煩雑ではあるが、リングクランプ31のリングクランプガイド312の間隔とリングエキスパンド凸部322の直径などを変更することにより、クリップリング45をそのままリングクランプ31に挿入して保持固定するよう制御部3で制御することも可能である。
また、リングエキスパンド凸部322の直径をシャツターの絞りのような方法や、リングチャック23によって自動で変更するように構成して、粘着シート42引き伸ばし作業をする引き伸ばし凸部と、グリップリング45を押さえ込む押さえ凸部として変更させ、リングテーブル30をフラットリング40とグリップリング45の兼用にすることもできる。
但しこのときはクリップリング45のチップ41の方向をきちんと位置決めするか、カメラで撮像して判断するように構成しなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本願発明はクリップリング45やフラットリング40だけにかかわらず、複数個のチップに分割された基板が粘着された粘着シート42を引き伸ばすことによって間チップの間隔を広げて作業位置に移動させるテーブルであれば、全て応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施例のリングテーブル30を使用したガラス基板検査装置の斜視図で、リングテーブル30がフラットリング40を保持して外形検査カメラ20直下に移動してガラス基板のチップ41を撮像している状態を示す図である。
【図２】粘着シート42にチップ41が貼付されたフラットリング40の斜視図である。
【図３】(1)は貼着シート42にチップ41が貼着されたグリップリング45を表面から見た斜視図である。(2)はグリップリング45を裏面から見た斜視図であり、外側グリップリング451と内側グリップリング452が明確に図腐れるようにしたものである。
【図４】リング冶具板46とグリップリング45が勘合される状態を図示したものである。
【図５】リングテーブル30がグリップリング45を保持している状態を図示したものである。
【図６】リングテーブル30のリングクランプ31を透明にして図示したもので、フラットリング40がガイドされるリングクランプガイド312と、フラットリング40が位置決めされるピン313、314が明確になるように図示したものである。
【図７】図6と同様にリングテーブル30のリングクランプ31を透明に図示して、グリップリング45を嵌合したリング冶具板46がリングクランプ31のリングクランプガイド312とピン313,314に当接して位置決めされた状態を示している。
【図８】従来型のフラットリング94の粘着シート91を鍔部96で引き伸ばしてシートバンド97で固定した状態を図示したものである。
【符号の説明】
【００５５】
3            制御部
20                   
外形検査カメラ
23          リングチャック
25                   
マガジン
30                   
リングテーブル
301               
Y軸ベース
302               
Y軸モータ
303               
Yねじ軸
304               
X軸ベース
305               
X軸モータ
306               
Xねじ軸
307               
θ軸ベース
308               
θ軸モータ
309               
θ軸ギャ
31                   
リングクランプ
311        リングクランプ凹部
312        リングクランプガイド
313        ピン
314        ピン
315        リングクランプ内周面
32                   
リングエキスパンド
321               
リングエキスパンドギャ
322               
リングエキスパンド凸部
323               
エキスパンドモータ
324               
エキスパンドねじ軸
40                   
フラットリング
401               
フラットリング凹部
402               
フラットリング凹部
405        フラットリング内周面
41                   
チップ
42                   
粘着シート
421        何も貼着されていない粘着シート部分
422        引き伸ばされた粘着シート
45          グリップリング
451        外側グリップリング
452        内側グリップリング
453        凹部
46          リング冶具板
461        凹部
462        凹部
463        リング冶具板凸部
464        位置決めピン
90          チップ(従来例)
91          粘着シート(従来例)
92          昇降軸(従来例)
93          クランプ(従来例)
94          フラットリング(従来例)
95          ピストン(従来例)
96          鍔部(従来例)
97          シートバンド(従来例)
98          カッタ(従来例)
h            間隔
【図１】
2010034435.tif 000003
【図２】
2010034435.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010034435.tif 000009
【図８】
2010034435.tif 000010