(57)【要約】【課題】流出側の端面に蓄積される潤滑剤の磁気ディスク上への落下ないし媒体対向面への拡散を抑制可能な磁気ヘッドスライダを提供する。【解決手段】本発明の磁気ヘッドスライダは、磁気ディスクの回転による気体流を受けて、磁気ディスク上に浮上する磁気ヘッドスライダ１０であって、気体流の流出側の端面１０ｂのうち、磁気ディスクに対向する媒体対向面１０ａとの境界と接する部分に、他の部分よりも表面エネルギーの低い低表面エネルギー皮膜２１が形成される。【選択図】図３
2010146613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクの回転により生じる気体流を受けて、前記磁気ディスク上に浮上する磁気ヘッドスライダであって、
前記気体流の流出側の端面のうち、前記磁気ディスクに対向する媒体対向面との境界と接する部分に、前記端面の他の部分よりも表面エネルギーの低い低表面エネルギー皮膜が形成される、
ことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面のうち、当該磁気ヘッドスライダの側面との境界と接する部分にも形成される、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面に設けられた端子から離れて形成される、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面のうち、前記媒体対向面との境界から離れ、当該磁気ヘッドスライダの幅方向に延びた部分にも形成される、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面のうち、当該磁気ヘッドスライダの側面との境界から離れ、当該磁気ヘッドスライダの厚さ方向に延びた部分にも形成される、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
前記低表面エネルギー皮膜の表面エネルギーは、前記媒体対向面の表面エネルギーよりも低い、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
前記低表面エネルギー皮膜は、フッ化化合物またはシラン化合物からなる、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
データの書き込みを行う素子部を前記磁気ディスクの側に変位させる発熱素子、を更に含む、
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
請求項１に記載の磁気ヘッドスライダを備えるヘッドアッセンブリ。
【請求項１０】
請求項９に記載のヘッドアッセンブリを備える磁気ディスク装置。
【請求項１１】
前記磁気ディスク上から退避した前記磁気ヘッドスライダを支持するランプ部、を更に備える、
請求項１０に記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダ、ヘッドアッセンブリ及び磁気ディスク装置に関し、特には、磁気ヘッドスライダの表面特性に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置では、回転する磁気ディスク上に浮上する磁気ヘッドスライダがデータを読み書きする。こうした磁気ディスクの表面には、磁気ヘッドスライダとの衝突による機械的損傷や、腐食などの化学的損傷、不純物の付着などを防止するために、潤滑剤が塗布される。
【特許文献１】特開平１１−３５３８３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年では、磁気ヘッドスライダの浮上量が極めて低減されているため、磁気ディスクに塗布された潤滑剤が磁気ヘッドスライダに付着するという問題がある。
【０００４】
特に、磁気ヘッドスライダに付着する潤滑剤は、磁気ディスクの回転により生じる気体流を受けて、気体流の流出側の端面に移動するため、こうして流出側の端面に蓄積される潤滑剤が、磁気ヘッドスライダのロード時に、磁気ディスク上に落下するという問題がある。
【０００５】
また、流出側の端面に蓄積される潤滑剤が、磁気ヘッドスライダのアンロード時に、磁気ディスクと対向する媒体対向面に拡散し、以降のロード時に、磁気ヘッドスライダの浮上量を増大させるという問題もある。
【０００６】
なお、特許文献１には、流出側の端面の全体に撥水・撥油処理を施す技術が開示されている。しかし、この技術では、流出側の端面の全体が同じ表面エネルギーを有するので、結局は流出側の端面に潤滑剤が蓄積し、潤滑剤の磁気ディスク上への落下ないし媒体対向面への拡散の問題が避けられない。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、流出側の端面に蓄積される潤滑剤の磁気ディスク上への落下ないし媒体対向面への拡散を抑制可能な磁気ヘッドスライダ、ヘッドアッセンブリ及び磁気ディスク装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の磁気ヘッドスライダは、磁気ディスクの回転により生じる気体流を受けて、前記磁気ディスク上に浮上する磁気ヘッドスライダであって、前記気体流の流出側の端面のうち、前記磁気ディスクに対向する媒体対向面との境界と接する部分に、前記端面の他の部分よりも表面エネルギーの低い低表面エネルギー皮膜が形成される、ことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の一態様では、前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面のうち、当該磁気ヘッドスライダの側面との境界と接する部分にも形成される。
【００１０】
また、本発明の一態様では、前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面に設けられた端子から離れて形成される。
【００１１】
また、本発明の一態様では、前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面のうち、前記媒体対向面との境界から離れ、当該磁気ヘッドスライダの幅方向に延びた部分にも形成される。
【００１２】
また、本発明の一態様では、前記低表面エネルギー皮膜は、前記流出側の端面のうち、当該磁気ヘッドスライダの側面との境界から離れ、当該磁気ヘッドスライダの厚さ方向に延びた部分にも形成される。
【００１３】
また、本発明の一態様では、前記低表面エネルギー皮膜の表面エネルギーは、前記媒体対向面の表面エネルギーよりも低い。
【００１４】
また、本発明の一態様では、前記低表面エネルギー皮膜は、フッ化化合物またはシラン化合物からなる。
【００１５】
また、本発明の一態様では、データの書き込みを行う素子部を前記磁気ディスクの側に変位させる発熱素子、を更に含む。
【００１６】
また、本発明のヘッドアッセンブリは、上記の磁気ヘッドスライダを備える。
【００１７】
また、本発明の磁気ディスク装置は、上記のヘッドアッセンブリを備える。
【００１８】
また、本発明の一態様では、前記磁気ディスク上から退避した前記磁気ヘッドスライダを支持するランプ部、を更に備える。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、流出側の端面のうち、媒体対向面との境界と接する部分には潤滑剤が比較的付着し難く、他の部分には潤滑剤が比較的付着し易いので、流出側の端面に蓄積する潤滑剤は、落下ないし拡散の起点となる媒体対向面との境界から離れて保持される。この結果、流出側の端面に蓄積する潤滑剤の、磁気ディスク上への落下ないし媒体対向面への拡散が抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の磁気ヘッドスライダ、ヘッドアッセンブリ及び磁気ディスク装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、磁気ディスク装置１の斜視図である。同図では、トップカバーの図示が省略されている。磁気ディスク装置１の筐体には、磁気ディスク２及びヘッドアッセンブリ４が収納されている。磁気ディスク２は、筐体の底部に設けられたスピンドルモータ３に取り付けられている。ヘッドアッセンブリ４は、磁気ディスク２の隣で旋回可能に支承されている。このヘッドアッセンブリ４の先端側には、サスペンションアーム５が設けられ、その先端部に磁気ヘッドスライダ１０が支持されている。他方、ヘッドアッセンブリ４の後端部には、ボイスコイルモータ７が設けられている。
【００２２】
また、磁気ディスク装置１は、磁気ディスク２の外周付近に、ロード・アンロード方式を実現するランプ部９を有している。具体的には、磁気ヘッドスライダ１０が磁気ディスク２上から退避する際には、サスペンションアーム５の先端がランプ部９に乗り上がる。他方、磁気ヘッドスライダ１０が磁気ディスク２上に進行する際には、サスペンションアーム５の先端がランプ部９から滑り落ちる。なお、これに限られず、ＣＳＳ（Contact Start Stop）方式が採用されてもよい。
【００２３】
図２は、磁気ヘッドスライダ１０の浮上を表す図である。磁気ヘッドスライダ１０の、磁気ディスク２と対向する媒体対向面１０ａには、空気軸受面（ＡＢＳ）が形成されている。磁気ヘッドスライダ１０は、磁気ディスク２の回転により生じる気体流ＦＲを受けて、磁気ディスク２上に浮上する。磁気ヘッドスライダ１０の浮上量Ｆｈは、近年では１０ｎｍ以下まで低減されている。このため、磁気ヘッドスライダ１０には、磁気ディスク２の表面に塗布された潤滑剤が付着しやすい。
【００２４】
磁気ヘッドスライダ１０は、アルミナとチタンカーバイトの焼結体からなる扁平直方体状の基板部１２と、この基板部１２の気体流ＦＲの流出側に形成された、主にアルミナからなる薄膜部１４と、を有している。この薄膜部１４内には、データの読み書きを行う素子部１５と、その上方に位置する発熱素子１６と、が設けられている。この発熱素子１６は、周囲の熱膨張を誘起することで、素子部１５を磁気ディスク２の側に変位させ、これにより浮上量Ｆｈを低減する。
【００２５】
なお、磁気ヘッドスライダ１０の浮上量Ｆｈの調整は、次のように行われる。磁気ディスク装置１の制御部は、発熱素子１６の通電量を増加することで浮上量Ｆｈを低下させていき、素子部１５が読出す再生信号から、素子部１５と磁気ディスク２との衝突を検知すると、そのときの通電量に基づいて実用の通電量を決定する。こうして、１０ｎｍ以下という極めて低い浮上量Ｆｈが実現される。この際、素子部１５が磁気ディスク２に衝突するので、磁気ヘッドスライダ１０には磁気ディスク２の表面に塗布された潤滑剤が付着しやすい。
【００２６】
図３は、磁気ヘッドスライダ１０の要部を表す図である。磁気ヘッドスライダ１０は、流出側端面１０ｂに、上記の素子部１５及び発熱素子１６と電気的に接続される複数の端子１８，１９を有する。さらに、この流出側端面１０ｂのうち、媒体対向面１０ａとの境界１０１ａと接する縁部分には、低表面エネルギー皮膜２１としての対向面境界皮膜部２１ａが形成されている。この対向面境界皮膜部２１ａは、境界１０１ａから、この境界１０１ａに近い側の端子１８の手前までの幅を有する。
【００２７】
低表面エネルギー皮膜２１の表面エネルギーは、流出側端面１０ｂの他の部分、すなわち皮膜非形成部１７の表面エネルギーよりも低い。この皮膜非形成部１７とは、流出側端面１０ｂのうち、低表面エネルギー皮膜２１及び端子１８，１９を除いた部分を指す。すなわち、皮膜非形成部１７は、薄膜部１４の基材の表面部分であり、媒体対向面１０ａや側面１０ｃと同程度の表面エネルギーを有する。
【００２８】
具体的には、低表面エネルギー皮膜２１の表面エネルギーは、例えば３０ｍＪ／ｍ２以下、より好ましくは２０ｍＪ／ｍ２以下である。また、皮膜非形成部１７の表面エネルギーは、薄膜部１４の基材がアルミナである場合、例えば３５ｍＪ／ｍ２程度である。
【００２９】
以上のように、流出側端面１０ｂのうち境界１０１ａと接する縁部分に、低表面エネルギー皮膜２１としての対向面境界皮膜部２１ａが形成されることで、媒体対向面１０ａに付着した潤滑剤の流出側端面１０ｂへの移動が抑制される。
【００３０】
さらには、流出側端面１０ｂに潤滑剤が移動したとしても、対向面境界皮膜部２１ａには潤滑剤が比較的付着し難く、皮膜非形成部１７には潤滑剤が比較的付着し易いので、流出側端面１０ｂに移動した潤滑剤は、落下ないし拡散の起点となる境界１０１ａから離れて保持される。この結果、流出側端面１０ｂに蓄積する潤滑剤の、磁気ディスク２上への落下ないし媒体対向面１０ａへの拡散が抑制される。
【００３１】
また、対向面境界皮膜部２１ａは端子１８から離れて形成されることが好ましい。Ａｕ等の金属からなる端子１８の表面エネルギーは皮膜非形成部１７よりも高いため、端子１８には潤滑剤が非常に蓄積されやすい。このため、対向面境界皮膜部２１ａが端子１８と連続していると、端子１８に蓄積される潤滑剤が対向面境界皮膜部２１ａを通って落下する虞がある。従って、対向面境界皮膜部２１ａは端子１８から離れて形成されることが好ましい。
【００３２】
なお、低表面エネルギー皮膜２１の材料としては、フッ化化合物またはシラン化合物が好適である。具体的には、フッ化化合物としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリヘキサフルオロプロピレン、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、パーフロロポリエーテル化合物、フッ素系化合物系アクリル酸およびメタクリル酸塩、トリフルオロメタン、ヘキサフルオロメタン、オクタフルオロプロパン、ヘキサフルオロプロパン、ヘキサフルオロプロピレン等の炭素数１〜１０のフッ素系ガス、フッ化キセノン化合物、フッ素含有アルキルシラン化合物などが適用可能である。また、シラン化合物としては、例えば、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシランなどのビニル基系シランカップリング剤や、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどのエポキシ基系シランカップリング剤、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシランなどのメタクリロキシ基系シランカップリング剤、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシランなどのアミノ基系シランカップリング剤、その他、スチリル系、アクリロキシ系、ウレイド系、クロロプロピル系、メルカプト系、スルフィド系、イソシアネート系のシランカップリング剤などが適用可能である。
【００３３】
こうした低表面エネルギー皮膜２１は、ディッピング法、スプレー法、スピンコート法、プラズマ処理、イオンビーム法、スパッタリング法などの公知の薄膜形成方法により形成される。
【００３４】
図４は、第１の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。上記の例と重複する構成については、同番号を付すことで詳細な説明を省略する。本変形例では、流出側端面１０ｂのうち側面１０ｃとの境界１０１ｃと接する縁部分に、低表面エネルギー皮膜２１としての側面境界皮膜部２１ｂが形成されている。この側面境界皮膜部２１ｂは、端子１８，１９から離れて形成されている。本変形例によれば、側面１０ｃに付着した潤滑剤の流出側端面１０ｂへの移動が抑制される。
【００３５】
図５は、第２の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。上記の例と重複する構成については、同番号を付すことで詳細な説明を省略する。本変形例では、流出側端面１０ｂに、低表面エネルギー皮膜２１としての、幅方向に延びた複数の横筋皮膜部２１ｃが形成されている。これら横筋皮膜部２１ｃは、対向面境界皮膜部２１ａから離れて、厚さ方向に配列されている。これら横筋皮膜部２１ｃは、端子１８，１９から離れて形成されている。本変形例によれば、複数の横筋皮膜部２１ｃが厚さ方向に配列され、皮膜非形成部１７が厚さ方向に断続的に現れるので、流出側端面１０ｂに蓄積する潤滑剤が厚さ方向に分散される。このため、潤滑剤が厚さ方向に沿って凝集して落下することが抑制される。
【００３６】
図６は、第３の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。上記の例と重複する構成については、同番号を付すことで詳細な説明を省略する。本変形例では、流出側端面１０ｂに、低表面エネルギー皮膜２１としての、厚さ方向に延びた複数の縦筋皮膜部２１ｄが形成されている。これら縦筋皮膜部２１ｄは、側面境界皮膜部２１ｂから離れて、幅方向に配列されている。これら縦筋皮膜部２１ｄは、端子１８，１９から離れて形成されている。本変形例によれば、複数の縦筋皮膜部２１ｄが幅方向に配列され、皮膜非形成部１７が幅方向に断続的に現れるので、流出側端面１０ｂに蓄積する潤滑剤が幅方向に分散される。このため、潤滑剤が幅方向に沿って凝集して落下することが抑制される。
【００３７】
図７は、第４の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。上記の例と重複する構成については、同番号を付すことで詳細な説明を省略する。本変形例では、流出側端面１０ｂに、上記第２例に示された横筋皮膜部２１ｃと、上記第３例に示された縦筋皮膜部２１ｄとが形成されている。このように低表面エネルギー皮膜２１が格子状に形成されることによって、潤滑剤が凝集して落下することが更に抑制される。
【００３８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。
【００３９】
例えば、上記実施形態では、流出側端面１０ｂのみに部分的に低表面エネルギー皮膜２１が設けられていたが、これに限られず、媒体対向面１０ａにも同様の低表面エネルギー皮膜が設けられてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気ディスク装置の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダの浮上を表す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。
【図４】本発明の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。
【図５】本発明の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。
【図６】本発明の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。
【図７】本発明の変形例に係る磁気ヘッドスライダの要部を表す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  磁気ディスク装置、２  磁気ディスク、３  スピンドルモータ、４  ヘッドアッセンブリ、５  サスペンションアーム、７  ボイスコイルモータ、９  ランプ部、１０  磁気ヘッドスライダ、１０ａ  媒体対向面、１０ｂ  流出側端面、１０ｃ  側面、１２  基板部、１４  薄膜部、１５  素子部、１６  発熱素子、１７  皮膜非形成部分、１８，１９  端子、２１  低表面エネルギー皮膜、２１ａ  対向面境界皮膜部、２１ｂ  側面境界皮膜部、２１ｃ  横筋皮膜部、２１ｄ  縦筋皮膜部、１０１ａ，１０１ｃ  境界。
【図１】
2010146613.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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