【手続補正書】
【提出日】令和2年3月9日(2020.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の鏡筒及び少なくとも１つの第１のレンズを含む第１のサブレンズ部と、互いに固定される第２のサブレンズ部と感光アセンブリを含み、前記第２のサブレンズ部は第２の鏡筒と少なくとも１つの第２のレンズを含み、前記感光アセンブリは感光素子を含む、第２のサブアセンブリと、を準備するステップと、
前記少なくとも１つの第１のレンズと、前記少なくとも１つの第２のレンズとを含む結像可能な光学系を構成するように、前記第１のサブレンズ部を前記第２のサブレンズ部の光軸に配置するステップと、
前記感光素子により得られた前記光学系結像の実測解像度を向上し、第１の閾値までに到達させ、且つ、前記感光素子により得られた実測結像面の傾斜を低減し、第２の閾値までに到達させるように、前記第１のサブレンズ部の前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップと、
前記第１のサブレンズ部と前記第２のサブレンズ部との相対位置が変化しないように、前記第１のサブレンズ部と前記第２のサブレンズ部とを接続するステップとを含む、ことを特徴とする撮像モジュールの組立方法。
【請求項２】
前記第１のサブレンズ部の、前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップにおいて、前記の相対位置を調整することは、
前記光学系結像の実測解像度を向上させるように、前記第１のサブレンズ部を前記第２のサブレンズ部に対して、調整平面に沿って移動させることを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項３】
前記第１のサブレンズ部の、前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップにおいて、前記調整平面に沿って移動させることは、前記調整平面上で平行的に移動すること及び／または回転することを含む、ことを特徴とする請求項２に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項４】
前記第１のサブレンズ部の前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップにおいて、前記相対位置の調整は、前記第１のサブレンズ部の軸線の、前記第２のサブレンズ部の軸線に対する夾角の調整を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項５】
前記第１のサブレンズ部の、前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップは、
前記感光素子により得られた前記光学系結像の、参照視野における実測解像度を向上し、対応する閾値までに到達させるように、前記第１のサブレンズ部を前記第２のサブレンズ部に対して、調整平面に沿って移動させるサブステップと、前記感光素子により得られた前記光学系結像の、測定視野における実測解像度を向上し、対応する閾値までに到達させ、且つ、前記感光素子により得られた測定視野の実測結像面の傾斜を低減し、前記第２の閾値までに達させるように、前記第１のサブレンズ部の軸線の、前記第２のサブレンズ部の軸線に対する夾角を調整するサブステップとを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項６】
前記第１のサブレンズ部の、前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップは、
前記感光素子により得られた前記光学系結像の実測結像面が、目標面とマッチングするように、前記第１のサブレンズ部を前記第２のサブレンズ部に対して、前記光軸方向に沿うＺ方向上で移動させるステップを含む、ことを特徴とする請求項５に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項７】
実測結像面の傾斜を獲得する方法は、
測定視野に対して、当該測定視野の異なる測定位置に対応する複数のターゲットを設置することと、
前記感光アセンブリが出力する画像に基づいて、各測定位置に対応する、解像度のデフォーカス曲線を獲得することとを含む、ことを特徴とする請求項５に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項８】
前記の第２の閾値に達することとは、測定視野の異なる測定位置に対応する、解像度のデフォーカス曲線のピーク値の、前記光軸方向における位置ズレを低減し、前記第２の閾値までに到達させることである、ことを特徴とする請求項７に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項９】
前記の第２の閾値に達することとは、測定視野の異なる測定位置に対応する、解像度のデフォーカス曲線のピーク値の、前記光軸方向における位置ズレを＋／−５μｍの範囲内に低減させることである、ことを特徴とする請求項８に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項１０】
前記光学系結像の実測解像度を獲得する方法は、
参照視野と測定視野の複数の異なる測定位置に対応するターゲットを設置することと、
前記感光アセンブリが出力する画像に基づいて、各測定位置に対応する解像度のデフォーカス曲線を獲得することとを含む、ことを特徴とする請求項５に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項１１】
前記第１のサブレンズ部を前記第２のサブレンズ部に対して、調整平面に沿って移動させるサブステップにおいて、前記対応する閾値に到達させることとは、参照視野の異なる測定位置に対応する、解像度のデフォーカス曲線のピーク値を向上し、対応する閾値に到達させることである、ことを特徴とする請求項１０に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項１２】
前記第１のサブレンズ部の軸線の、前記第２のサブレンズ部の軸線に対する夾角を調整するサブステップにおいて、前記の対応する閾値に到達させることは、測定視野の異なる測定位置に対応する、複数解像度のデフォーカス曲線のピーク値における、最も小さい１つの値を向上し、対応する閾値に到達させることを含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項１３】
前記第１のサブレンズ部の、前記第２のサブレンズ部に対する相対位置を調整するステップは、
前記感光素子によって得られた前記光学系結像の、参照視野における実測解像度を向上させ、対応する閾値に達するように、前記第１のサブレンズ部を前記第２のサブレンズ部に対して、調整平面に沿って第１の範囲内で移動させるサブステップと、
その後、前記第１のサブレンズ部の軸線の、前記第２のサブレンズ部の軸線に対する夾角を調整することにより、前記感光素子により得られた前記光学系結像の、測定視野における実測解像度を向上し、対応する閾値に到達させ、且つ、前記感光素子により得られた測定視野での実測結像面の傾斜を低減させ、実測結像面の傾斜が前記第２の閾値に到達しない場合、実測結像面の傾斜を減少し、前記第２の閾値に到達するまで、再調整ステップをさらに実行するサブステップと、を含み、
前記再調整ステップは、
前記第１のサブレンズ部を、前記第２のサブレンズ部に対して前記調整平面に沿って、第１の範囲より小さい第２の範囲内で移動するステップと、
前記感光素子により得られた前記光学系結像の実測結像面の傾斜を低減させるように、前記第１のサブレンズ部の中軸線の、前記第２のサブレンズ部の中軸線に対する夾角を調整するステップとを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項１４】
前記第１のサブレンズ部及び第２のサブアセンブリを準備するステップにおいて、非アクティブアライメントの方法により、前記第２のサブジーンと前記感光アセンブリとを固定させ、前記第２のサブアセンブリを形成する、ことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１つに記載の撮像モジュールの組立方法。
【請求項１５】
第１の鏡筒及び少なくとも１つの第１のレンズを含む第１のサブレンズ部と、
互いに固定される第２のサブレンズ部と感光アセンブリとを含み、前記第２のサブレンズ部は第２の鏡筒と少なくとも１つの第２のレンズとを含み、前記感光アセンブリは感光素子を含む、第２のサブアセンブリとを備え、
前記第１のサブレンズ部は、前記第２のサブレンズ部の光軸に配置され、前記少なくとも第１のレンズと前記少なくとも１つの第２のレンズとを含む結像可能な光学系を構成しており、
前記第１のサブレンズ部と前記第２のサブレンズ部とは、接続媒体により互いに固定されており、且つ、前記接続媒体は、前記第１のサブレンズ部の中軸線が前記第２のサブレンズ部の中軸線に対して、傾斜角を有するように構成されている、ことを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１６】
前記接続媒体は、前記第１のサブレンズ部の中軸線と、前記第２のサブレンズ部の中軸線とをずらすように構成されている、ことを特徴とする請求項１５に記載の撮像モジュール。
【請求項１７】
前記接続媒体は、前記第１のサブレンズ部と前記第２のサブレンズ部との間に、構造的隙間を有するように構成されている、ことを特徴とする請求項１５に記載の撮像モジュール。
【請求項１８】
前記第１のサブレンズ部の中軸線は、前記第２のサブレンズ部の中軸線に対して、０．５度よりも小さい傾斜角を有する、ことを特徴とする請求項１５に記載の撮像モジュール。
【請求項１９】
前記第２のサブレンズ部及び前記感光アセンブリとの間には１０〜５０μｍの隙間を有する、ことを特徴とする請求項１５〜１８のいずれか１つに記載の撮像モジュール。