【手続補正書】
【提出日】平成17年4月14日(2005.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を試料に対して集光させる対物レンズと、
前記集束光を前記試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構と、
前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる移動機構と、
前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口部と、
前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器と、
前記光検出器の出力に基づいて前記試料の高さ情報を求める高さ情報取得部と、一視野内における２点以上の任意範囲を指定する範囲指定部と、
指定されたそれぞれの範囲に対して合焦を行う自動合焦部と、
前記自動合焦部より得られた位置情報に基づいて高さ測定の範囲を決定する高さ測定範囲決定部と、を具備することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
【請求項２】
請求項１に記載の共焦点走査型光学顕微鏡において、前記微小開口部なしで非共焦点画像を得るための非共焦点画像取得手段及び通常の顕微鏡画像を得る為の顕微鏡画像取得手段の少なくとも一方を更に具備し、
前記範囲指定部は、非共焦点画像もしくは通常の顕微鏡画像に基づいて一視野内における２点以上の任意範囲を指定することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の共焦点走査型光学顕微鏡において、前記範囲指定部は、指定された範囲情報を登録し、前記高さ測定範囲決定部は、前記登録された範囲情報に基づいて高さ測定の範囲を決定することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
【請求項４】
請求項１に記載の共焦点走査型光学顕微鏡において、
前記高さ測定範囲決定部は、前記自動合焦部より得られた位置情報に、所定の値を加えて高さ測定範囲を決定することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
【請求項５】
請求項４に記載の共焦点走査型光学顕微鏡において、
前記所定値は、前記移動機構の精度及び前記光検出器のＳ／Ｎの少なくとも一方を考慮し決定することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図３は、一般的な共焦点走査型光学顕微鏡の概略的構成を示す図である。図３に示す共焦点走査型光学顕微鏡では、光源１から出射した光が、ビームスプリッタ２を透過した後、２次元走査機構３に入射する。第１の光スキャナ３ａと第２の光スキャナ３ｂからなる２次元走査機構３は、光束を２次元に走査して、対物レンズ７へと導く。対物レンズ７へ入射した光束は集束光となって試料８の焦点面上を走査する。ここでは、試料８の表面で反射した光は、再び対物レンズ７から２次元走査機構３を介してビームスプリッタ２に導入された後、ビームスプリッタ２によって反射され結像レンズ９によってピンホール１０上に集光する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の一局面に係る共焦点走査型光学顕微鏡は、光源からの光を試料に対して集光させる対物レンズと、前記集束光を前記試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構と、前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる移動機構と、前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口部と、前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器と、前記光検出器の出力に基づいて前記試料の高さ情報を求める高さ情報取得部と、一視野内における２点以上の任意範囲を指定する範囲指定部と、指定されたそれぞれの範囲に対して合焦を行う自動合焦部と、前記自動合焦部より得られた位置情報に基づいて高さ測定の範囲を決定する高さ測定範囲決定部と、を具備することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本局面によれば、まず、範囲指定部により、共焦点画像をもとに画像視野内において測定が必要な任意の範囲を指定する。次に、自動合焦部により、前記範囲指定部で指定した範囲それぞれについて合焦処理がなされて、合焦位置が、高さ測定範囲決定部に渡される。高さ測定範囲決定部は、合焦位置情報から、それらの位置座標の最大値と最小値を求め、それに所定の範囲を加えて高さ測定範囲を決定する。この測定範囲に従って高さ測定が実行される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記の共焦点走査型光学顕微鏡の好ましい実施態様は以下のとおりである。なお、以下の各実施態様は、単独で適用しても良いし、適宜組み合わせて適用しても良い。
（１） 前記微小開口部なしで非共焦点画像を得るための非共焦点画像取得手段及び通常の顕微鏡画像を得る為の顕微鏡画像取得手段の少なくとも一方を更に具備し、前記範囲指定部は、非共焦点画像もしくは通常の顕微鏡画像に基づいて一視野内における２点以上の任意範囲を指定すること。非共焦点画像およびＴＶ画像は共焦点画像に対し、焦点深度が深い。従って、測定位置を指定する際に、より作業が容易となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
（２） 前記範囲指定部は、指定された範囲情報を登録し、前記高さ測定範囲決定部は、前記登録された範囲情報に基づいて高さ測定の範囲を決定すること。前記範囲指定部に指定された範囲情報を登録しておくことで、過去に作成された位置情報、もしくはあらかじめ用意された位置情報を利用することが可能となる。従って、同様の作業を繰返し行う際や、自動測定を行う際に、測定を容易かつ高速に行うことが可能となる。
（３）前記高さ測定範囲決定部は、前記自動合焦部より得られた位置情報に、所定の値を加えて高さ測定範囲を決定すること。
（４）前記所定の値は、前記移動機構の精度及び前記光検出器のＳ／Ｎの少なくとも一方を考慮し決定すること。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図１に示す共焦点走査型光学顕微鏡において、光源１から出射した光が、ビームスプリッタ２を通過した後に、２次元走査機構３に入射する。この２次元走査機構３は、第１の光スキャナ３ａと第２の光スキャナ３ｂを備えている。これらの第１と第２の光スキャナ３ａ、３ｂとして、ガルバノスキャナが用いられており、コンピュータ１２によりこれらの振り角を制御することにより、集束光を試料上の任意の位置に位置決めすることができる。このように、２次元走査機構３は、ビームスプリッタ２を通過した光束を２次元に走査する。この光束は、対物レンズ７へと導かれる。対物レンズ７へ入射した光束は集束光となって試料８の面上を走査する。試料８の表面で反射された光は、入射光と逆の光路、すなわち、対物レンズ７から２次元走査機構３を介してビームスプリッタ２に導入される。そして、この反射光はビームスプリッタ２によって反射されて、光軸が変化し結像レンズ９によってピンホール１０上に集光する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明は、上記の発明の実施の形態に限定されるものではない。例えば、第１の実施形態、第２の実施形態において一視野内範囲指定部１８には、登録された座標範囲を保存及び読み出す為の図示しない記憶装置を有している。これにより、同様の試料を繰返し測定する場合に、範囲を指定する必要がなくなりさらに測定が容易となる。また、さらには、設計値等によりあらかじめ決定された値を読み込むことにより、手動で範囲を指定する必要をなくすことも可能となる。また、上記実施形態で述べた共焦点走査型光学顕微鏡の制御方法は、それ自体を制御プログラムとすることができ、記録媒体、或いは通信回線を介して他のホストコンピュータに記録されたものを、共焦点走査型光学顕微鏡の制御装置に読ませるだけで、上述した時と同様の制御を可能にさせることもできる。その他、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変形して実施できるのは勿論である。