Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月14日(2004.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
或る方向の走査動作と、この或る方向と直交する他の方向への送り動作を組み合わせてセンサ部による測定面の測定を行い、前記センサ部によって前記測定面内の物理的情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、
前記送り動作を行う前記他の方向への全移動量を分割して送り位置を決定し、これらの送り位置で順次に前記走査動作を行って前記測定面内を粗く測定・表示する第１の測定表示動作を行い、次に、前回走査動作を行った各々の前記送り位置の間を分割した位置で順次に前記走査動作を行うことにより、前記測定面内を測定し表示する第２の測定表示動作を行い、その後、前記第２の測定表示動作を繰り返すことによって前回までに走査動作しなかった位置を順次に走査して測定・表示することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
【請求項２】
或る方向の走査動作と、この或る方向と直交する他の方向への送り動作を組み合わせてセンサ部による測定面の測定を行い、前記センサ部によって前記測定面内の物理的情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、
前記送り動作を行う前記他の方向への全移動量を２等分して送り位置を決定し、この送り位置で前記走査動作を行って前記測定面内を粗く測定し表示する第１の測定表示動作を行い、次に、前回走査動作を行った前記送り位置の間を２等分した位置で順次に前記走査動作を行うことにより、前記測定面内を測定し表示する第２の測定表示動作を行い、その後、前記第２の測定表示動作を繰り返すことによって前回までに走査動作しなかった位置を順次に走査して測定・表示することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
【請求項３】
前記第１および第２の測定表示動作の各々で、表示装置の画面に前記走査動作で得た測定データを用いて測定像を描く際、前記走査動作が行われた走査線に対応する表示線と、次の走査動作が行われる走査線に対応する表示線に至る前までの表示線では、前記測定データを用いて前記測定像が描かれることを特徴とする請求項１または２記載の走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
【請求項４】
前記表示装置の画面に表示された前記測定像の情報内容を観察することにより、前記測定表示動作の回数が決められることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
【請求項５】
後の測定表示動作による測定像で前の測定表示動作による測定像を修正し、前記表示装置の画面での前記送り方向における前記測定像の分解能を次第に高くしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
【請求項６】
前記第２の測定表示動作の繰り返しは任意の時点で中断可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第１の走査プローブ顕微鏡の測定方法（請求項１に対応）は、或る方向（ｘ軸方向）の走査動作と、当該或る方向と直交する他の方向（ｙ軸方向）への送り動作を組み合わせてセンサ部による測定面の測定を行い、センサ部によって測定面内の物理的情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、送り動作を行う他の方向への全移動量を任意の整数で分割して送り位置を決定し、これらの送り位置で順次に走査動作を行って測定面内を粗く測定・表示する第１の測定表示動作を行い、次に、前回走査動作を行った各々の送り位置の間を任意の整数で分割した位置で順次に走査動作を行うことにより、測定面内を測定し表示する第２の測定表示動作を行い、その後、第２の測定表示動作を繰り返すことによって前回までに走査動作しなかった位置を順次に走査して測定・表示する方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第５の走査型プローブ顕微鏡の測定方法（請求項５に対応）は、上記第１〜第３の測定方法において、後の測定表示動作による測定像で前の測定表示動作による測定像を修正し、表示装置の画面の送り方向における測定像の分解能を次第に高くすることを特徴とする。後の測定表示動作、すなわち上記第２の測定表示動作が繰り返されるたびに、それまで画面に表示されていた画像は、追加された走査線の画像情報で修正を受け、画像の分解能が高められる。
さらに第６の走査型プローブ顕微鏡の測定方法（請求項６に対応）は、上記第１〜第３の測定方法において、第２の測定表示動作の繰り返しは任意の時点で中断可能であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月13日(2004.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷蔵庫の背面下部に圧縮機を備えた機械室を配置し、
前記冷蔵庫の庫内を断熱材を備えた仕切板で上部貯蔵室と下部貯蔵室に分割し、
前記上部貯蔵室を仕切板で上下に仕切って、上部に冷蔵室、下部に野菜室を配置し、
前記下部貯蔵室に冷凍室を配置し、
前記冷蔵室の前部にはその側部が支持された開閉ドアを設置し、
前記冷凍室と前記野菜室の前部には収納ケースとともに前記冷蔵庫に対して前後方向に移動可能な引出ドアを設置した冷蔵庫であって、
前記冷凍室の奥行寸法を前記野菜室の奥行寸法より小さくするとともに、
前記冷凍室の後方に熱交換器と送風フアンを備えた冷却室を配置した
ことを特徴とする冷蔵庫。
【請求項２】
前記請求項１記載の冷蔵庫において、
前記冷却室は、下部にドレントレー、このドレントレーの上部に熱交換器、この熱交換器の上部に送風フアンを備え、
前記冷蔵庫の底面にドレン皿を設けたことを特徴とする冷蔵庫。
【請求項３】
前記請求項１または２記載の冷蔵庫において、
前記冷却室と前記機械室と前記冷凍室との間に配置されている
ことを特徴とする冷蔵庫。
【請求項４】
前記請求項１から３記載の何れかの冷蔵庫において、
前記冷凍室の収納ケースは、この冷凍室の下部に配置される下部収納ケースと、前記下部収納ケースの上部に配置され、前記下部収納ケースの深さより浅い深さを備えた上部収納ケースとから構成され、
前記下部収納ケースは前記熱交換器の前部に配置され、前記上部収納ケースは前記送風フアンの前部に配置されている
ことを特徴とする冷蔵庫。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そこで、本発明の目的は、内部実装効率や冷却効率を向上した冷蔵庫を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る冷蔵庫は、前記目的を達成するために、冷蔵庫の背面下部に圧縮機を備えた機械室を配置し、前記冷蔵庫の庫内を断熱材を備えた仕切板で上部貯蔵室と下部貯蔵室に分割し、前記上部貯蔵室を仕切板で上下に仕切って、上部に冷蔵室、下部に野菜室を配置し、前記下部貯蔵室に冷凍室を配置し、前記冷蔵室の前部にはその側部が支持された開閉ドアを設置し、前記冷凍室と前記野菜室の前部には収納ケースとともに前記冷蔵庫に対して前後方向に移動可能な引出ドアを設置した冷蔵庫であって、前記冷凍室の奥行寸法を前記野菜室の奥行寸法より小さくするとともに、前記冷凍室の後方に熱交換器と送風フアンを備えた冷却室を配置する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成17年5月11日(2005.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉄物体の存在を検出するために磁束検出器を調整するシステムにおいて、
ある位置に配置された磁束センサと、
この磁束センサの向かい側に配置された同じ極を有する少なくとも２つの磁石であって、これらの磁石の対向フィールドは、近接する鉄物体が存在しない状態において、前記磁束センサの前記位置と合致しない位置でヌル磁束ポイントを定める、前記少なくとも２つの磁石と、
近接する鉄物体が存在しない状態において、前記磁石の少なくとも１つに永久調整されたフィールドを誘導し、前記磁束センサが作動されないよう前記磁束センサの前記位置と合致するように前記ヌル磁束ポイントを移動する手段と、
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項２】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石は各々、ＡｌＮｉＣｏ磁石であるシステム。
【請求項３】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石のうちの一方はＡｌＮｉＣｏ磁石であり、前記磁石のうちの他方は希土類磁石であるシステム。
【請求項４】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石は矩形であるシステム。
【請求項５】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石は円筒形であるシステム。
【請求項６】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石のうちの少なくとも１つは矩形であるシステム。
【請求項７】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石のうちの少なくとも１つは円筒形であるシステム。
【請求項８】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁束センサはホール効果センサであるシステム。
【請求項９】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁束センサはマグネト抵抗であるシステム。
【請求項１０】
請求項１記載のシステムにおいて、検出された磁束強度が所定の最大レベル以上であるときに第１の電気信号を発生し、検出された磁束強度が所定の最低レベル以下であるときに第２の電気信号を発生する電気回路を含むシステム。
【請求項１１】
請求項１０記載のシステムにおいて、前記第１の電気信号は所定の最大電流であり、前記第２の電気信号は所定の最低電流であるシステム。
【請求項１２】
請求項１０記載のシステムにおいて、前記第１の電気信号は所定の最大電圧であり、前記第２の電気信号は所定の最低電圧であるシステム。
【請求項１３】
請求項１記載のシステムにおいて、前記磁石は矩形であり、前記磁束センサの向かい合う角に隣接して配置されており、これにより、前記磁石の角から集められた磁束は、前記磁束センサの前記少なくとも１つの磁束検出部分の隣接にヌル磁束フィールドを定める、システム。
【請求項１４】
請求項１記載のシステムにおいて、更に、該磁束検出器は、あるメカニズムを備えており、該メカニズムは、このメカニズムとかみ合ったり、このメカニズムから解放される鉄ラッチを有しており、該鉄ラッチは、ラッチがかみ合わされたときに前記磁束検出器の前記磁石のうちの１つに隣接して動くものであり、前記回路は、前記ラッチの存在と前記メカニズムのラッチ状態とを表示する電気信号を発生する、システム。
【請求項１５】
請求項１記載のシステムにおいて、前記誘導する手段は、更に、前記磁石のうちの少なくとも１つの磁石のフィールドの強さを調整することによって前記磁束検出部分に対しての前記ヌル磁束ポイントの空間位置を定める手段を有しており、前記ヌル磁束ポイントは、前記検出された磁束が前記磁束センサにとっての解除ポイント（Ｂｒｐ）以下であるようなポイントである、システム。
【請求項１６】
請求項１記載のシステムにおいて、該磁束検出器は、２対の磁石を有しており、これら各対の磁石は、前記センサの向かい側に配置された同じ極を有している、システム。
【請求項１７】
近接検出器を製造する方法において、
磁束センサの向かい側に位置付けられた少なくとも２つの永久磁石から同じ極の少なくとも２つの対向する磁束フィールドを付与する段階であって、これらの対向磁束フィールドは、近接する鉄物体が存在しない状態において、前記磁束センサの前記位置と合致しない第一の位置でヌル磁束ポイントを定める、前記段階と、
近接する鉄物体が存在しない状態において、前記少なくとも２つの永久磁石の少なくとも１つの磁界を永久的に変更する磁気誘導フィールドを付与する段階であって、前記磁束センサが作動されないよう前記磁束センサの前記位置と合致する第二の位置へ前記ヌル磁束ポイントを移動する、前記段階と、
前記磁気誘導フィールドを取り除く段階と、
近接する鉄物体が存在しない状態において、前記磁束センサを用いてヌル磁界を検出し、鉄物体が存在するときに、磁束の存在を検出する段階と、
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１７記載の方法において、更に、近接する鉄物体が存在する状態において、前記磁束検出器を用いて磁束を検出する段階を含む方法。
【請求項１９】
請求項１７記載の方法において、更に、ホール効果デバイスを磁束センサとして使用する段階を含む方法。
【請求項２０】
請求項１７記載の方法において、更に、マグネト抵抗を磁束センサとして使用する段階を含む方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月10日(2004.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、それらの動力の伝動装置とを備えるハイブリッド車両であって、モータトルクによりエンジンを始動させて、車両を停止状態から発進させる制御装置を備えるものにおいて、
車両停止状態での道路状況を推定する道路状況推定手段と、
運転者の発進の意図を検出する発進意図検出手段と、
前記発進意図検出手段が発進の意図を検出したときに、道路状況推定手段により推定される車両停止状態での道路状況により、伝動装置に備わる車両後退防止用の摩擦係合要素の係合圧を制御する係合圧制御手段とを有する、
ことを特徴とする、ハイブリッド車両の制御装置。
【請求項２】
モータと、変速機と、第１の回転要素をエンジンに、その反力要素である第２の回転要素をモータに、第３の回転要素を変速機にそれぞれ連結したプラネタリギヤとを備えるハイブリッド車両であって、モータの逆回転トルクによりエンジンを始動させて、車両を停止状態から発進させるハイブリッド車両の制御装置において、
車両停止状態での道路状況を推定する道路状況推定手段と、
運転者の発進の意図を検出する発進意図検出手段と、
前記発進意図検出手段が発進の意図を検出したときに、道路状況推定手段により推定される車両停止状態での道路状況により、変速機の車両後退防止用の摩擦係合要素の係合圧を制御する係合圧制御手段とを有する、
ことを特徴とする、ハイブリッド車両の制御装置。
【請求項３】
前記道路状況推定手段は、車両に備わるブレーキの作動油圧により道路勾配を推定し、
前記係合圧制御手段は、ブレーキの作動油圧が大きいほど係合圧を大きくする、
請求項１又は２記載のハイブリッド車両の制御装置。
【請求項４】
前記道路状況推定手段は、車両に備わるブレーキの作動油圧の平均値を算出し、該平均値から道路勾配を推定し、
前記係合圧制御手段は、平均値が大きいほど係合圧を大きくする、
請求項３記載のハイブリッド車両の制御装置。
【請求項５】
前記発進意図検出手段は、車両に備わるブレーキの作動油圧が所定値を下回ったとき、発進の意図があると判断する、請求項１又は２記載のハイブリッド車両の制御装置。
【請求項６】
前記発進意図検出手段は、車両に備わるブレーキの作動油圧の変化率が所定変化率を上回ったとき、発進の意図があると判断する、請求項１又は２記載のハイブリッド車両の制御装置。
【請求項７】
前記発進意図検出手段は、車両に備わるブレーキの作動油圧の変化率が所定変化率を上回ったとき、かつその時間が所定時間継続したときに、発進意図があると判断する、請求項１又は２記載のハイブリッド車両の制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記第１の目的を達成するため、本発明は、モータと、それらの動力の伝動装置とを備えるハイブリッド車両であって、モータトルクによりエンジンを始動させて、車両を停止状態から発進させる制御装置を備えるものにおいて、車両停止状態での道路状況を推定する道路状況推定手段と、運転者の発進の意図を検出する発進意図検出手段と、前記発進意図検出手段が発進の意図を検出したときに、道路状況推定手段により推定される車両停止状態での道路状況により、伝動装置に備わる車両後退防止用の摩擦係合要素の係合圧を制御する係合圧制御手段とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
次に、第２の目的を達成するため、本発明は、モータと、変速機と、第１の回転要素をエンジンに、その反力要素である第２の回転要素をモータに、第３の回転要素を変速機にそれぞれ連結したプラネタリギヤとを備えるハイブリッド車両であって、モータの逆回転トルクによりエンジンを始動させて、車両を停止状態から発進させるハイブリッド車両の制御装置において、車両停止状態での道路状況を推定する道路状況推定手段と、運転者の発進の意図を検出する発進意図検出手段と、前記発進意図検出手段が発進の意図を検出したときに、道路状況推定手段により推定される車両停止状態での道路状況により、変速機の車両後退防止用の摩擦係合要素の係合圧を制御する係合圧制御手段とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年7月5日(2004.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】半導体位置検出器（Position Sensitive Detector；ＰＳＤ）は、ホトダイオードを応用した入射スポット光の受光位置を検出するセンサである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図１は、実施の形態に係る測距モジュールを示す。本モジュールは、ハウジングＨｓ内に配置された半導体位置検出器（ＰＳＤ）１を備える。ＰＳＤ１は、ｎ型Ｓｉからなる半導体基板１ｃと、半導体基板１ｃの長手方向に沿って半導体基板１ｃの表面に形成されたｐ型Ｓｉからなる高抵抗基幹導電層１ｆと、基幹導電層１ｆから半導体基板１ｃの幅方向に沿い基幹導電層１ｆを横切って延びたｐ型Ｓｉからなる複数の低抵抗分枝導電層１ｅと、半導体基板１ｃの表面の基幹導電層１ｆを覆うとともに分枝導電層１ｅを含む受光領域に光が入射可能なように半導体基板１ｃの長手方向に沿って延びた２つの開口を有する遮光膜１ｄと、半導体基板１ｃの裏面に高濃度ｎ型Ｓｉからなるコンタクト層１ｂを介して形成された裏面電極１ａと、基幹導電層１ｆの両端部に形成された一対の位置信号電極１Ｂ，１Ｃとを備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本モジュールは、ＰＳＤ１の長手方向に直交する線分に平行に隣接し、ハウジングＨｓ内に配置された遠距離測定用発光ダイオード（第１発光素子）２Ａ，２Ｃと、その近傍に配置された第１発光素子２Ａ，２Ｃの出力モニター用のホトダイオード（受光素子）２Ｂと、第１発光素子２Ａ，２Ｃから出力された光の通過経路上に配置されて通過光を平行光束とするようにハウジングＨｓに固定された投光レンズ５と、ＰＳＤ１の受光面に対向する位置に設けられハウジングＨｓに固定された受光レンズ４及び外乱光をカットする光学フィルタ６とを備える。また、受光レンズ４と投光レンズ５の光軸は平行であり、ＰＳＤ１と第１発光素子２Ａ，２Ｃの表面がこれらの光軸と垂直である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
タイミング発生回路２１は、外部から供給されるパルスクロック信号ＣＬＫを分周することにより、３つの発光素子２Ａ、２Ｃ、３Ａのそれぞれの発光を制御するドライブパルス信号ＬＥＤ１〜３を生成する。本実施の形態では、図４に示されるように、ＣＬＫ信号パルス１６個ごとに発光素子２Ａ，２Ｃ、３Ａのそれぞれのパルス信号を切り換えて出力している。また、タイミング発生回路２１は、各発光素子信号のパルスの立ち上がり前にサンプルホールド制御用のＳ／Ｈ＿Ａ信号（図中ではＡ）をパルス出力し、各発光素子信号のパルス信号の終了前に同じくサンプルホールド制御用のＳ／Ｈ＿Ｂ信号（図中ではＢ）をパルス出力し、各発光素子信号終了後の所定時間後にサンプルホールド終了を示すＶＡＬＩＤ信号をサンプルホールド回路３０〜３３に出力している。また、信号ＬＥＤ１に対応したパルス信号をＳＹＮＣ信号として外部に出力している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
コンピュータ４２は、デジタル出力（ｇａｉｎ Ｘ，Ｙ）をデコーダ４１に出力する。デコーダ４１から出力されたアナログ制御信号は、ＰＳＤ１の出力の増幅率を制御する増幅器２６，２７，３６，３７及び発光素子に供給される駆動電流の供給電流を制御する切換器２３に入力され、それぞれの出力飽和が生じないようにされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
すなわち、反射率の異なる被測定物に対して、ダイナミックレンジが飽和してしまうのを防ぐために、コンピュータ４２は、それぞれの発光素子２Ａ，２Ｃ，３Ａの発光時の制御回路１１の出力を１回測定して記憶し、出力飽和が起こらないように共通のダイナミックレンジを決定し、デコーダ４１の指定するゲイン切換の増幅率を固定する（例えば５Ｖ定電源を用いる場合、０．１Ｖ〜４Ｖにコントロールする）。ゲイン切換の増幅率が決まり、ダイナミックレンジが決まったら、ｎ回の測距を行い、第１発光素子２Ａ又は２Ｃ点灯時のＰＳＤ１の差信号（ＰＳＤΔ＝ＩB−ＩA）、第１発光素子２Ａ又は２Ｃ点灯時のＰＳＤ１の和信号（ＰＳＤΣ＝ＩA＋ＩB）、第２発光素子３Ａ点灯時のＰＳＤ１の和信号（近接Σ）から発光素子非点灯時の基準信号分のリファレンス電圧１Ｖを引いた信号出力をコンピュータ４２に記憶し、ｎ回の平均値を求めｎ回平均値を元に測距演算を行う。なお、この得られたｎ回の平均値の出力結果をそれぞれＰＳＤΔ+、ＰＳＤΣ+、近接Σ+とし、これら及びＰＳＤΔ+／ＰＳＤΣ+の距離依存性を図５に示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
以上のように、本測距モジュールは、ハウジングＨｓ内に配置され受光面上の入射光位置に応じて２つの電流を出力するＰＳＤ１と、ハウジングＨｓに設けられ被測定物１５に光を照射する第１発光素子２Ａと、ハウジングＨｓに設けられ第１発光素子２Ａから被測定物１５に照射される光よりも低い指向性の光を被測定物１５に照射する第２発光素子３Ａと、ＰＳＤ１の受光面１Ａに対向するとともに第１及び第２発光素子２Ａ，３Ａから出射され被測定物１５で反射された光を受光面１Ａに導く位置に設けられたレンズ４と、第１及び第２発光素子２Ａ，３Ａを異なる時刻に発光させるとともに、第１発光素子発光時にＰＳＤから出力される電流の和及び差に基づいて所定距離以上にある被測定物までの距離が求められ、和及び第２発光素子発光時にＰＳＤから出力される電流の和に基づいて所定距離よりも近い被測定物までの距離が求められる信号を出力する制御回路１１とを備える。
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月14日(2005.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
“分散データ処理を用いた光ファイバジャイロスコープ用ループコントローラ”と題するジョン・ジー・マーク（John G. Mark）及びダニエル  エイ・タザーテス（Daniel A. Tazartes）の係属中の米国特許出願第０８／５２０，２１７号には、必要なデータ処理機能を分散させるための別個のユニットを含むことにより、動作をパラレルに行うことができて、各ループ遷移時間内に追加の有効な機能を付与することができるアーキテクチャを使用するループコントローラが開示されている。フィールドプログラマブル  ゲートアレイは変化する符号を有する変数を発生するが、補助プロセッサは、ループ遷移時間ごとの更新を要しないパラメータを更新する。前記動作の組み合わせにより、ジャイロプロセッサが処理量集中テストと分岐動作を実行する必要性を除去することが可能となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
ループコントローラ１０は、“調整できない”基準を有するデジタル−アナログ変換器２４と共に動作するように整えられる。すなわち、デジタル−アナログ変換器２４はスケールファクタ変動に対する調整を含む必要がない。前記変動は、しばしば温度に依存し、位相変調器１６に供給されるアナログ電圧及び位相変調器１６に供給されるアナログ電圧間の関係と、ジャイロ１２内を逆伝播する光波間で結果的に生じる位相シフトとに影響を与える。この変動の補償は、まず、６４で変化勾配の最上位ビットを補足し、変化勾配の値をオフセットバイナリから、変化勾配がゼロに関して対称的になっている（すなわち、ＤＣ成分がない）ことを保証する、２の補数形式に変換することによって達成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
この前処理は、ジャイロ速度Ωと連続したより高次の関係をもつ残留エラー項で特徴づけられるクローズドループ構成を得るために、何回でも繰り返すことができる。図６は、三次残留エラーε″で特徴づけられるループの線形ｚ変換を示す。図６の線図は、前図の動作の拡張によって得られたものである。二次構成と違って、この三次配置は図５の二次ループから始められる。一方は正帰還を有しかつ他方は負帰還を有する一対の第２の帰還ループが、観測遅延７４の後に挿入される。その後、正帰還内部ループは第３の積分器（４６Ｃ）で置換される。次いで、正帰還ループは、７４，（５２），８０及び８２の積が同等遅延ｚ−ｎに等しいという事実の利点を採用して、新たな路１００で置換される。新たな三次エラー信号ε″は観測遅延７４の出力から発生する。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月24日(2004.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダの両側に沿って平行に配置された一対の第１のガイドレールと、
前記基板ホルダを跨ぐ水平アーム部及び該水平アーム部の両端を支える支柱とを備え、前記第１のガイドレールに沿って移動する観察ユニット支持部と、
前記観察ユニット支持部の移動方向と直行する前記水平アーム部に沿って配置された第２のガイドレールと、
前記第２のガイドレールに沿って移動可能に設けられ、前記基板ホルダ上に載置された前記被検査基板をミクロ観察するミクロ観察ユニットと、
前記観察ユニット支持部及び前記ミクロ観察ユニットの位置座標を検出するＸＹスケールと、
前記ＸＹスケールの位置座標の管理と前記観察ユニット支持部及び前記ミクロ観察ユニットの移動制御を行う制御部とを具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記ミクロ観察ユニットは、前記被検査基板面を部分的に照明するマクロ照明ユニットを有し、前記制御部は、前記観察ユニット支持部及び前記ミクロ観察ユニットを前記第１及び第２のガイドレールに沿ってＸＹ方向に移動させ、前記マクロ照明ユニットからのマクロ照明光を前記被検査基板全面に対して走査することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記ミクロ観察ユニットは、前記被検査基板を観察するために対物レンズと、前記対物レンズを通して取り込まれる前記被検査基板表面の像を撮像するカメラとを有し、前記カメラにより撮像された画像をモニタに表示することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記ミクロ観察ユニットは、前記披検査基板を観察するための対物レンズを有する顕微鏡からなり、前記対物レンズと対向する前記観察ユニット支持部のベース部に前記ミクロ観察ユニットの移動方向に沿って前記被検査基板を透過するライン照明を設け、前記観察ユニット支持部の移動に伴い前記対物レンズと前記ライン照明とを一体に移動させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記ミクロ観察ユニットは、前記被検査基板を観察するための対物レンズを有し、該対物レンズの光軸から所定間隔だけ離して前記被検査基板上の欠陥部の位置を指定する指標手段を設け、前記制御部は、前記指標手段により指定された前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を前記ＸＹスケールのデータから求めて記録することを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記欠陥部の位置座標と前記指標手段と前記対物レンズの光軸間隔データに基づいて前記ミクロ観察ユニットの対物レンズの光軸が前記欠陥部に合致するように前記ミクロ観察ユニットと前記観察ユニット支持部を移動制御することを特徴とする請求項５記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記マクロ照明ユニットは、前記基板ホルダ上に保持された前記被検査基板表面に対する照射角度を調整可能にしたことを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダの両側に沿って平行に配置された一対の第１のガイドレールと、前記基板ホルダを跨ぐ水平アーム部及び該水平アーム部の両端を支える支柱とを備え、前記第１のガイドレールに沿って移動する観察ユニット支持部と、前記観察ユニット支持部の移動方向と直行する前記水平アーム部に沿って配置された第２のガイドレールと、前記第２のガイドレールに沿って移動可能に設けられ、前記基板ホルダ上に載置された前記被検査基板をミクロ観察するミクロ観察ユニットと、前記観察ユニット支持部及び前記ミクロ観察ユニットの位置座標を検出するＸＹスケールと、前記ＸＹスケールの位置座標の管理と前記観察ユニット支持部及び前記ミクロ観察ユニットの移動制御を行う制御部とを具備したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によれば、基板ホルダを固定して観察ユニット支持部の被検査基板上の一方向に沿った移動とミクロ観察ユニットの被検査基板上の観察ユニット支持部の移動方向と直交する方向の移動により、ミクロ観察ユニットを被検査基板面上のいずれの位置にも移動させることができるようにしたので、基板ホルダの設置面積を被検査基板面積とほぼ同じ大きさに止めることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、基板ホルダを固定して観察ユニット支持部の被検査基板上の一方向に沿った移動とミクロ観察ユニットの被検査基板上の観察ユニット支持部の移動方向と直交する方向の移動により、ミクロ観察ユニットを被検査基板面上のいずれの位置にも移動させることができるようにしたので、基板ホルダの設置面積を被検査基板面積とほぼ同じ大きさに止めることができ、装置の小型化を実現できるとともに、装置の設置面積を大幅に小さくすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板検査装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を保持する被検査基板保持部と、
前記被検査基板保持部の両側の中間部を回転自在に支持して前記被検査基板保持部が装置本体の前方と後方に向くように反転可能に回動させる回転駆動部と、
前記被検査基板保持部を立ち上げた状態で前記被検査保持部を装置本体の前方向に移動させる直線移動駆動部と、
前記回転駆動部により前記被検査基板保持部を回動させて所定の角度に傾斜させた状態で前記被検査基板上に保持された前記被検査基板を上方から照射する第１の照明光源と、
前記回転駆動部により前記被検査基板保持部を前記装置本体の後方に向くように反転させるとともに、前記直線移動駆動部により前記被検査基板保持部を装置本体の前方に移動させた状態で前記被検査基板上に保持された前記被検査基板を裏面から照射する第２の照明光源とを具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記第１の照明光源は、照明光を収束させるフレネルレンズと、前記フレネルレンズを透過した前記照明光を収束光と散乱光に切換える液晶散乱手段とを有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記第２の照明光源は、蛍光灯からなるバックライトからなり、その表面に外光の反射を防止するフィルタを設けたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記回転駆動部は、前記被検査基板保持部の両側の中間部を回転自在に支持するアームを上下方向に移動させる第１の駆動手段と、前記被検査基板保持部の前記支持部を挟んだ両端部に着脱かつ回転可能に設けられた回動支持手段からなり、前記第１の駆動手段と前記回動支持手段とを共通ベースに一体に取り付け、前記直線移動駆動部は、前記ベースを前記装置本体の前側と後側に導くレールと、前記レールに沿って前記ベースを移動させる第２の駆動手段からなることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記回動支持手段は、前記支持部を挟んだ前記被検査基板保持部の前側と後側の各端部と前記各端部に対応する位置に設けられたベースとの間に支持受け部と支持部を設け、前記被検査保持部の前側と後側の一方が回転支点となるように切り換え可能にしたことを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記第１の駆動手段は、前記アームの基端部に回転自在に接続された可動部と、前記可動部を上下方向に移動させるボールネジと、前記ボールネジを回転駆動させるモータとを具備したことを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの欠陥検査に用いられる基板検査装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、被検査基板を載置したまま表裏面の欠陥検査を行うことができるとともに、検査作業の軽減化も実現できる基板検査装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する被検査基板保持部と、前記被検査基板保持部の両側の中間部を回転自在に支持して前記被検査基板保持部が装置本体の前方と後方に向くように反転可能に回動させる回転駆動部と、前記被検査基板保持部を立ち上げた状態で前記被検査保持部を装置本体の前方向に移動させる直線移動駆動部と、前記回転駆動部により前記被検査基板保持部を回動させて所定の角度に傾斜させた状態で前記被検査基板上に保持された前記被検査基板を上方から照射する第１の照明光源と、前記回転駆動部により前記被検査基板保持部を前記装置本体の後方に向くように反転させるとともに、前記直線移動駆動部により前記被検査基板保持部を装置本体の前方に移動させた状態で前記被検査基板上に保持された前記被検査基板を裏面から照射する第２の照明光源とを具備したことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、被検査基板保持部を立ち上げた状態で被検査基板を検査者の目に近い位置まで移動させることにより、被検査基板の目視観察を精度の高い欠陥検査を効率よく行うことができる。また、被検査基板の表裏面の各検査を被検査基板保持部の動きを切り替えるだけで連続して行えるので、検査作業の軽減化も実現できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、被検査基板保持部を立ち上げた状態で被検査基板を検査者の目に近い位置まで移動させることにより、被検査基板の目視観察を精度の高い欠陥検査を効率よく行うことができる。また、被検査基板の表裏面の各検査を被検査基板保持部の動きを切り替えるだけで連続して行えるので、検査作業の軽減化も実現できる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を保持する被検査基板保持部と、
前記被検査基板保持部を傾斜又は揺動させるために前後方向に回転させる回転駆動部と、
前記被検査基板保持部に保持された前記被検査基板面を照明する点光源と干渉が生じ易い特定波長を出射する線光源と、
前記点光源からの照明光と前記線光源からの照明光を前記被検査基板に対して照射と遮断とに切り換える照明切り替え手段と、
前記点光源からの照明光を収束光に変換するフレネルレンズと、
前記点光源及び前記線光源と前記被検査基板保持部との間に配置され、光の透過状態と散乱状態に電気的に切り替える液晶フィルタとを具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記液晶フィルタは、前記透過状態に切り替えて前記フレネルレンズにより収束光されたに変換された前記点光源からの照明光を前記被検査基板に照射させて前記被検査基板面の膜むら以外の欠陥を検出させるとともに、前記散乱状態とに切り替えて前記線光源からの照明光を散乱させて面光源させる前記被検査基板面の膜むらを検出させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記点光源は、出射光軸がほぼ水平になるように配置されたメタルハライドランプからなり、前記メタルハライドランプから出射された照明光を前記被検査基板保持部に向ける反射ミラーを前記フレネルレンズの上方に配置したことを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記線光源は、干渉が生じ易い５８９ｎｍ程度の特定波長を出射するナトリウムランプからなることを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記照明切り替え手段は、前記ナトリウムランプを点灯させた状態で前記前記被検査基板に対して照射と遮断とに切り換える遮光シャッタを有することを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持する被検査基板保持部と、前記被検査基板保持部を傾斜又は揺動させるために前後方向に回転させる回転駆動部と、前記被検査基板保持部に保持された前記被検査基板面を照明する点光源と干渉が生じ易い特定波長を出射する線光源と、前記点光源からの照明光と前記線光源からの照明光を前記被検査基板に対して照射と遮断とに切り換える照明切り替え手段と、前記点光源からの照明光を収束光に変換するフレネルレンズと、前記点光源及び前記線光源と前記被検査基板保持部との間に配置され、光の透過状態と散乱状態に電気的に切り替える液晶フィルタとを具備したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、点光源による収束光および特定波長の光を出射する線光源による散乱光を液晶フィルタの切り替えにより選択的に被検査基板面に照射することができるので、点光源による収束光により被検査基板表面の傷や汚れを検出することができるとともに、線光源による散乱光により被検査基板の膜むらも検出できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、点光源による収束光および特定波長の光を出射する線光源による散乱光を液晶フィルタと照明切り替え手段の切り替えにより選択的に被検査基板面に照射することができるので、点光源による収束光により被検査基板表面での傷や汚れを検出できるとともに、線光源による散乱光により被検査基板の膜むらも検出でき、被検査基板に対し精度の高いマクロ観察を行うことができる。また、干渉の生じ易い特定波長を出射する線光源を用いることにより、被検査基板の膜むらを効果的に検出することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月17日(2004.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体の上方に配置され被検査基板を照明する光源と、
前記装置本体内に設けられ前記被検査基板を保持する被検査基板保持部と、
前記光源の照明によるマクロ観察の際に前記被検査基板保持部を傾斜又は揺動させるために前後方向に回動させる回転駆動部と、
前記回転駆動部により前記被検査基板保持部を立ち上げて前記装置本体の前面に引き寄せた状態で、前記被検査基板保持部に沿って平行移動可能に設けられ前記被検査基板面をミクロ観察する観察ユニットとを備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記装置本体の前面に沿って一方向に移動可能な観察ユニット支持部を設け、この観察ユニット支持部に沿って前記一方向と直行する他方向に前記観察ユニットを移動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記観察ユニット及び前記観察ユニット支持部は、夫々の移動方向に沿って前記観察ユニットの位置座標を検出する座標検出手段を設けたことを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記座標検出手段は、前記観察ユニットを前記被検査基板上の欠陥部に移動させて観察したときの前記観察ユニットの位置座標をから前記欠陥部の位置情報を得ることを特徴とする請求項３記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記座標検出手段は、前記観察ユニットの位置座標を前記被検査基板面に対応させて前記被検査基板上における前記観察ユニットの位置座標を検出することを特徴とする請求項３記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記回転駆動部により前記被検査基板の裏面が前記装置の前方に向くように前記被検査基板保持部を反転させて、この反転した前記被検査基板保持部を直線移動駆動部により前記装置本体の前面に移動させ、前記被検査基板の裏面を前記観察ユニットで観察することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記回転駆動部により前記被検査基板の裏面が前記装置の前方に向くように前記被検査基板保持部を反転させ、この反転した前記被検査検査保持部を立ち上げた状態で直線移動駆動部により前記装置本体の前面に移動させ、裏面側からマクロ観察用照明光源を点灯して照明することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の基板検査装置は、装置本体の上方に配置され被検査基板を照明する光源と、前記装置本体内に設けられ前記被検査基板を保持する被検査基板保持部と、前記光源の照明によるマクロ観察の際に前記被検査基板保持部を傾斜又は揺動させるために前後方向に回動させる回転駆動部と、前記回転駆動部により前記被検査基板保持部を立ち上げて前記装置本体の前面に引き寄せた状態で、前記被検査基板保持部に沿って平行移動可能に設けられ前記被検査基板面をミクロ観察する観察ユニットとを備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、被検査基板保持部を立ち上げて装置本体の前方に引き寄せることにより、被検査基板の全面を観察ユニットでミクロ観察を行うことができる。この結果、検査者は、目視で欠陥位置を確認しながら観察ユニットによる欠陥部の観察を行うことができ、ミクロ観察を効率よく行うことができる。
また、被検査基板保持部を立ち上げた状態で観察ユニットを被検査基板面に沿って平行移動させることにより、従来のように被検査基板保持部ＸＹ方向に移動させることなく、観察ユニットのみを移動させてミクロ観察を行うことができ、装置の小型化を容易に行える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明によれば、観察ユニット及び観察ユニット支持部に観察ユニットの位置座標を検出する座標検出手段を設けることにより、観察ユニットによる被検査基板上の欠陥部の位置座標データを収集することができる。
また、被検査基板保持部を反転させ直線移動駆動部により装置本体の前面に移動させることにより、前記被検査基板の裏面を前記観察ユニットで観察するできるとともに、裏面マクロ用照明光源を点灯して被検査基板の裏面側から照明することにより、検査者の近くで目視による被検査基板裏面のマクロ観察を行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、被検査基板保持部を立ち上げて装置本体の前面に引き寄せることにより、観察ユニットによる被検査基板全面のミクロ観察を行うことができる。この結果、検査者は、目視で欠陥位置を確認しながら観察ユニットによる欠陥部の観察を行うことができ、ミクロ観察を効率よく行うことができるとともに、微小な欠陥に対する検査を含めて精度の高い欠陥検査を行うことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、被検査基板保持部を立ち上げた状態で観察ユニットを被検査基板面に沿って平行移動させることにより、従来のように被検査基板保持部をＸＹ方向に移動することなく、観察ユニットのみを移動させてミクロ観察を行うことができるので、被検査基板の４倍のステージ移動範囲を必要とする従来のものに比べ、装置の大幅な小型化を実現することができる。また、観察ユニット及び観察ユニット支持部に観察ユニットの位置座標を検出する座標検出手段を設けることにより、観察ユニットによる被検査基板上の欠陥部の位置座標データを簡単に取り出すことができる。
さらに、被検査基板保持部を反転させ直線移動駆動部により装置本体の前面に移動させることにより、被検査基板の裏面を前記観察ユニットで観察するできるとともに、裏面マクロ用照明光源を点灯して被検査基板の裏面側から照明することにより、被検査基板を検査者に近づけて被検査基板裏面のマクロ観察を行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月19日(2004.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２種以上の蛍光を発する多重染色標本を励起する２種以上の励起波長の励起光を発する光源と、
この光源と対物レンズとの間に配置され、２種以上の励起波長の励起光のそれぞれの光量を測定する測定手段と、
この測定手段の測定値に基づいて前記対物レンズに入射する２種以上の励起波長の光量比を調整する調整手段とを備えていることを特徴とする蛍光顕微鏡。
【請求項２】
前記光源が複数の波長の光を同時に発する単一光源であることを特徴とする請求項１記載の蛍光顕微鏡。
【請求項３】
前記励起光と蛍光観察光とを分離する光学素子が前記光源と対物レンズの間の路内に挿入され、前記測定手段は、前記励起光がこの光学素子を通過した後から前記対物レンズに入射するまでの光路内に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の蛍光顕微鏡。
【請求項４】
前記調整手段は、さらに前記励起光の光量の絶対値を調整することを特徴とする請求項１記載の蛍光顕微鏡。
【請求項５】
前記励起光はレーザ光であり、
当該蛍光顕微鏡は、このレーザ光を標本上で二次元走査するガルバノミラーを備えた走査型であることを特徴とする請求項１または４記載の蛍光顕微鏡。
【請求項６】
前記測定手段は、前記標本に励起光を照射することなく測定を行うことを特徴とする請求項１〜５に記載の蛍光顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
測定手段が、励起光と蛍光観察光とを分離する光学素子と対物レンズとの間の光路内に配置されるため、波長特性のある光学素子の影響をうけない。また、測定手段が対物レンズに接近して設けられる。このため、対物レンズを通過して標本に入射する光に極めて近い光量を測定でき、正確な光量比設定が可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１の構成、図２〜図４は前記光量バランサの各々の回転位置での励起光の透過特性を示す。この実施の形態１は、走査型レーザ顕微鏡に適用したものであり、光源１として４８８ｎｍ、５６８ｎｍの２種類の波長の光を同時発振するＫｒＡｒレーザを用いている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
1999094742.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月25日(2004.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、該光源が側面に近接配置された導光板と、前記導光板に重ねて配設した光学シート及び反射シートとから成り、電子機器ケースの両面に背中合わせに配設された両液晶表示デバイスを照明する両面発光照明ユニットにおいて、前記反射シートは光反射機能と光透過機能とを有する半透過反射シートであり、前記両液晶表示デバイスの中間に配設された一枚の前記導光板の一方の前記液晶表示デバイス側に前記半透過反射シートを配設し、前記光源からの光を前記導光板の両面から出射させて、前記両液晶表示デバイスを照射するようにしたことを特徴とする両面発光照明ユニット。
【請求項２】
前記半透過反射シートは、光透過部材から成る基材の一方の表面に光反射膜を離散的に配設したことを特徴とする請求項１記載の両面発光照明ユニット。
【請求項３】
前記半透過反射シートは、片面に光反射膜を有する基材に、複数の貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項１記載の両面発光照明ユニット。
【請求項４】
前記半透過反射シートは、乳白色シートであることを特徴とする請求項１記載の両面発光照明ユニット。
【請求項５】
前記半透過反射シートは、発泡層を有することを特徴とする請求項１記載の両面発光照明ユニット。
【請求項６】
前記光源は複数配設されており、切替スイッチによりその一部を選択的に点灯させるようにしたことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の両面発光照明ユニット。
【請求項７】
光源と、該光源が側面に近接配置された導光板と、光学シート及び反射シートとから成り、電子機器ケースの両面に背中合わせに配設された両液晶表示デバイスを照明する両面発光照明ユニットにおいて、前記光学シートは前記導光板とメイン若しくはサブのいずれか一方又は両方の液晶表示デバイスとの間に配設され、前記反射シートは光反射機能と光透過機能とを有する半透過反射シートであり、前記両液晶表示デバイスの中間に配設された一枚の前記導光板の一方の前記液晶表示デバイス側に前記半透過反射シートを配設し、前記光源からの光を前記導光板の両面から出射させて、前記両液晶表示デバイスを照射するようにしたことを特徴とする両面発光照明ユニット。
【請求項８】
前記光学シートはサブの液晶表示デバイス側に配設される場合、前記半透過反射シートと前記サブの液晶表示デバイスとの間に配設したことを特徴とする請求項７記載の両面発光照明ユニット。
【請求項９】
前記光学シートは少なくとも１枚以上のプリズムシートであることを特徴とする請求項７又は８記載の両面発光照明ユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、前記光源は複数配設されており、切替スイッチによりその一部を選択的に点灯させるようにしたことを特徴とする。
また更に、本発明の両面発光照明ユニットは、光源と、該光源が側面に近接配置された導光板と、光学シート及び反射シートとから成り、電子機器ケースの両面に背中合わせに配設された両液晶表示デバイスを照明する両面発光照明ユニットにおいて、前記光学シートは前記導光板とメイン若しくはサブのいずれか一方又は両方の液晶表示デバイスとの間に配設され、前記反射シートは光反射機能と光透過機能とを有する半透過反射シートであり、前記両液晶表示デバイスの中間に配設された一枚の前記導光板の一方の前記液晶表示デバイス側に前記半透過反射シートを配設し、前記光源からの光を前記導光板の両面から出射させて、前記両液晶表示デバイスを照射するようにしたことを特徴とする。
また、前記光学シートはサブの液晶表示デバイス側に配設される場合、前記半透過反射シートと前記サブの液晶表示デバイスとの間に配設したことを特徴とする。
また、前記光学シートはプリズムシートであることを特徴とする。