【誤訳訂正書】
【提出日】令和3年3月16日(2021.3.16)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板キャリアドアアセンブリであって、
ロードポートに連結可能なキャリア本体を、前記ロードポートへの連結前において密封するよう構成された、キャリアドアと、
磁性材料と永久磁石という群から選択された、前記キャリア本体にある第１誘引部材と、
磁性材料と永久磁石という群から選択された、前記キャリアドアにある第２誘引部材と、
前記第１誘引部材と前記第２誘引部材との間の誘引力を低減して、前記キャリアドアの前記キャリア本体からの取り外しを相対的に容易にするために励磁可能な磁場生成装置であって、前記キャリアドアの前記キャリア本体からの取り外しの際に移動しない前記ロードポートの壁に固定的に装着された磁場生成装置とを備える、基板キャリアドアアセンブリ。
【請求項２】
前記第１誘引部材と前記第２誘引部材とのいずれもが永久磁石である、請求項１に記載の基板キャリアドアアセンブリ。
【請求項３】
前記磁場生成装置に電気的に連結されており、かつ、前記磁場生成装置によって生成された磁場を変調させるよう動作可能な、磁気コントローラを備える、請求項１または２に記載の基板キャリアドアアセンブリ。
【請求項４】
前記磁気コントローラは、前記磁場生成装置を励磁するために機器フロントエンドモジュールコントローラから信号を受信する、請求項３に記載の基板キャリアドアアセンブリ。
【請求項５】
基板キャリアであって、
キャリア本体と、
前記キャリア本体を密封してキャリアチャンバを形成するよう構成された、キャリアドアと、
ガスが前記キャリアチャンバ内に注入されるか、又は、前記キャリアチャンバから除去されることを可能にするよう構成された、ポートと、
前記ポートに連結された磁気ポート密封部とを備え、
前記磁気ポート密封部が、
前記ポートの周囲のシール面に当接して密封し、前記ポートを介して前記ガスが前記キャリアチャンバ内に注入されるか前記キャリアチャンバから除去される際に、前記ガスの圧力により開くよう適合した、可撓性の密封部材と、
前記可撓性の密封部材に関連付けられ、かつ、磁性材料と永久磁石という群から選択された、第１誘引部材と、
前記シール面に関連付けられ、かつ、磁性材料と永久磁石という群から選択された、第２誘引部材とを含む、基板キャリア。
【請求項６】
前記第１誘引部材が前記可撓性の密封部材の一部分に設けられる、請求項５に記載の基板キャリア。
【請求項７】
前記第２誘引部材が前記キャリア本体に設けられる、請求項５または６に記載の基板キャリア。
【請求項８】
前記可撓性の密封部材が、前記キャリアチャンバの内壁側に設けられる、請求項５から７のいずれか一項に記載の基板キャリア。
【請求項９】
前記磁気ポート密封部が、
前記第１誘引部材と前記第２誘引部材との間の誘引力を低減して、前記可撓性の密封部材の、前記シール面に対する移動をより容易にするよう動作可能な、磁場生成装置を含む、請求項５から８のいずれか一項に記載の基板キャリア。
【請求項１０】
前記磁場生成装置が、
前記キャリア本体、又は、
前記キャリア本体が連結される棚に設けられる、請求項９に記載の基板キャリア。
【請求項１１】
前記磁場生成装置が環状コアの周囲に巻き付けられたコイルを備え、前記第１誘引部材がリング状磁石を含む、請求項９に記載の基板キャリア。
【請求項１２】
基板を処理する方法であって、
ロードポートに連結可能な基板キャリア本体と、前記ロードポートへの連結前において前記基板キャリア本体を密封可能なキャリアドアとを含む、基板キャリアを提供することと、
前記基板キャリア本体に、磁性材料と永久磁石という群から選択された第１誘引部材を設けることと、
前記キャリアドアに、磁性材料と永久磁石という群から選択された第２誘引部材を設けることと、
前記基板キャリア本体を、前記ロードポートに連結することと、
前記第１誘引部材と前記第２誘引部材との間の誘引力を低減して、前記キャリアドアの前記基板キャリア本体からの取り外しを相対的に容易にするために、前記キャリアドアの前記キャリア本体からの取り外しの際に移動しない前記ロードポートの壁に固定的に装着された磁場生成装置を励磁することとを含む、方法。
【請求項１３】
基板を処理する方法であって、
基板キャリア本体、前記基板キャリア本体を密封してキャリアチャンバを形成するよう構成されたキャリアドア、ガスが前記キャリアチャンバ内に注入されるか前記キャリアチャンバから除去されることを可能にするよう構成されたポート、及び、前記ポートを密封するよう動作可能な可撓性の密封部材であって、前記ポートの周囲のシール面に当接して密封し、前記ポートを介して前記ガスが前記キャリアチャンバ内に注入されるか前記キャリアチャンバから除去される際に、前記ガスの圧力により開くよう適合した、可撓性の密封部材を含む、基板キャリアを提供することと、
前記基板キャリア本体に、磁性材料と永久磁石という群から選択された第１誘引部材を設けることと、
前記可撓性の密封部材に、磁性材料と永久磁石という群から選択された第２誘引部材を設けることと、
前記第１誘引部材と前記第２誘引部材との間の誘引力を低減するよう構成された磁場生成装置を励磁して、前記可撓性の密封部材の開放をより容易にすることとを含む、方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
［０００２７］ここで図１Ａ及び図１Ｂを参照するに、基板キャリアドアアセンブリ１００の第１の例示的な実施形態が示されている。基板キャリアドアアセンブリ１００は、基板キャリア１０２の密封の向上を可能にするよう機能する。基板キャリアドアアセンブリ１００は、キャリア本体１０４と、キャリア本体１０４から取り外し可能なキャリアドア１０６とを含む。基板キャリア１０２は、移動中など、不活性ガス（例えばＮ２ガス）を含む時もある、チャンバ１０２Ｃを含む。キャリア本体１０４は、その側面に、内側で一又は複数の基板１０５（或いは「ウエハ」と称される）を支持する、内側支持体１０４Ｓを含みうる。基板１０５は、例えば３００ｍｍ又は４５０ｍｍの半導体基板でありうる。しかし、半導体材料を含む他の種類の基板１０５が、キャリア本体に運ばれることもある。基板キャリア１０２は、前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）であってよく、例えば約１から約３２までの数の基板１０５を運びうる。他のサイズが使用されることもある。キャリア本体１０４は、基板キャリア１０２を移動させるためにロボット（図示せず）によって係合されるよう適合した、ハンドル１０４Ｈ及び／又はリフト１０４Ｌを含みうる。キャリアドア１０６は、密封部１０６Ｓによってキャリア本体１０４を密封するよう構成される。密封部１０６Ｓは、キャリアドア１０６に、又はオプションでキャリア本体１０４に、形成されうる。密封部１０６Ｓは、Ｏリング密封部、成型密封部、ガスケット、又はそれ以外の、エラストマなどの好適に柔軟な（ｃｏｍｐｌｉａｎｔ）密封材料でありうる。キャリアドア１０６及びキャリア本体１０４は、例えばプラスチック材料で作製されうる。他の材料が使用されることもある。キャリアドア１０６は一又は複数のロックフィーチャ１０６Ｆを含んでよく、ロックフィーチャ１０６Ｆは、キャリア本体内の基板１０５がアクセスされうるようにキャリア本体１０４からキャリアドア１０６をロック解除し、キャリア本体１０４からのキャリアドア１０６の取り外しを容易にするために、ドアオープナー（図示せず）によって係合されうる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
［０００５３］図示されている実施形態では、可動式密封部材６３６の一部分が、キャリア本体６０４に連結された支持部材６４０によって支持されうる。支持部材６４０は、可動式密封部材６３６が開いて充填ガスを受け入れている時に、ポート６０３とキャリアチャンバ６０２Ｃとの間の流体連通を可能にする、一又は複数の通路６４２を含みうる（可動式密封部材６３６が開いている構成を点線で示す。）。可動式密封部材６３６は、ポート６０３に充填圧力が印加されることに応じて開く、エラストマ材料の柔軟なディスクでありうる。