【手続補正書】
【提出日】平成17年1月18日(2005.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内壁の表面が電解研磨され、かつ第一の排気手段及び第二の排気手段が接続された成膜室を有し、
前記成膜室は、第一の蒸発源と第二の蒸発源とを有し、
前記第一の蒸発源と前記第二の蒸発源とが同時に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
内壁の表面が電解研磨され、かつ第一の排気手段及び第二の排気手段が接続された成膜室を有し、
前記成膜室は、第一の蒸発源と第二の蒸発源とを有し、
前記第一の蒸発源から前記第二の蒸発源へ連続的に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
内壁の表面が電解研磨され、かつ第一の排気手段及び第二の排気手段が接続された成膜室を有し、
前記成膜室は、第一の蒸発源と第二の蒸発源とを有し、
前記第一の蒸発源から前記第二の蒸発源へ時間的に分断することなく作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記成膜室の到達真空度は、１０-6Ｐａ以下であることを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第一の排気手段はクライオポンプであり、
前記第二の排気手段はドライポンプであることを特徴とする成膜装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記内壁の表面の平均面粗さは５ｎｍ以下であることを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
内壁の表面が電解研磨され、かつ第一の排気手段及び第二の排気手段が接続された成膜室を有し、
前記成膜室は、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、
複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、
前記第一の蒸着手段と前記第二の蒸着手段とが、同時に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
内壁の表面が電解研磨され、かつ第一の排気手段及び第二の排気手段が接続された成膜室を有し、
前記成膜室には複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、
複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、
前記第一の蒸着手段から前記第二の蒸着手段へ連続的に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項９】
内壁の表面が電解研磨され、かつ第一の排気手段及び第二の排気手段が接続された成膜室を有し、
前記成膜室には複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、
複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、
前記第一の蒸着手段から前記第二の蒸着手段へ時間的に分断することなく作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１０】
内壁の表面が電解研磨されている成膜室が、ゲートを介して複数個連結された成膜装置において、
前記成膜室のそれぞれには、第一の排気手段及び第二の排気手段が接続され、かつ、前記成膜室のそれぞれには、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し前記第一の蒸着手段と前記第二の蒸着手段とが同時に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１１】
内壁の表面が電解研磨されている成膜室が、ゲートを介して複数個連結された成膜装置において、
前記成膜室のそれぞれには、第一の排気手段及び第二の排気手段が接続され、かつ、前記成膜室のそれぞれには、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、前記第一の蒸着手段から前記第二の蒸着手段へ連続的に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１２】
内壁の表面が電解研磨されている成膜室が、ゲートを介して複数個連結された成膜装置において、
前記成膜室のそれぞれには、第一の排気手段及び第二の排気手段が接続され、かつ、前記成膜室のそれぞれには、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、前記第一の蒸着手段から前記第二の蒸着手段へ時間的に分断することなく作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１３】
内壁の表面が電解研磨されている成膜室であって、
複数の成膜部と、前記複数の成膜部間を連続的に移動できる基板搬送手段とを有し、
前記成膜部のそれぞれには、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、
複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、
前記第一の蒸着手段と前記第二の蒸着手段とが同時に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１４】
内壁の表面が電解研磨されている成膜室であって、
複数の成膜部と、前記複数の成膜部間を連続的に移動できる基板搬送手段とを有し、
前記成膜部のそれぞれには、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、
複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、
前記第一の蒸着手段から前記第二の蒸着手段へ連続的に作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１５】
内壁の表面が電解研磨されている成膜室であって、
複数の成膜部と、前記複数の成膜部間を連続的に移動できる基板搬送手段とを有し、
前記成膜部のそれぞれには、複数の蒸発源から成る第一の蒸着手段と、
複数の蒸発源から成る第二の蒸着手段とを有し、
前記第一の蒸着手段から前記第二の蒸着手段へ時間的に分断することなく作動する手段が備えられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項１５のいずれか一において、
前記成膜室は、光源を有していることを特徴とする成膜装置。
【請求項１７】
複数の蒸発源を有する第一の成膜室において、
複数の機能領域を有する第一の有機化合物膜を形成し、
前記第一の有機化合物膜における隣り合う機能領域の間の少なくとも一つには、前記隣り合う機能領域の形成に用いる複数種の有機化合物を同時に蒸着し、かつ前記複数種の有機化合物の濃度をそれぞれ連続的に変化させ、
複数の蒸発源を有する第二の成膜室において、
複数の機能領域を有する第二の有機化合物膜を形成し、
前記第二の有機化合物膜における隣り合う機能領域の間の少なくとも一つには、前記隣り合う機能領域の形成に用いる複数種の有機化合物を同時に蒸着し、かつ前記複数種の有機化合物の濃度をそれぞれ連続的に変化させ、
複数の蒸発源を有する第三の成膜室において、
複数の機能領域を有する第三の有機化合物膜を形成し、
前記第三の有機化合物膜における隣り合う機能領域の間の少なくとも一つには、前記隣り合う機能領域の形成に用いる複数種の有機化合物を同時に蒸着し、かつ前記複数種の有機化合物の濃度をそれぞれ連続的に変化させ、
前記第一の有機化合物膜、前記第二の有機化合物膜および前記第三の有機化合物膜はそれぞれ異なる発光を示すことを特徴とする成膜方法。
【請求項１８】
複数の蒸発源を有し、かつ内壁の表面が電解研磨されている第一の成膜室において、
複数の機能領域を有する第一の有機化合物膜を形成し、
前記第一の有機化合物膜における隣り合う機能領域の間の少なくとも一つには、前記隣り合う機能領域の形成に用いる複数種の有機化合物を同時に蒸着し、かつ前記複数種の有機化合物の濃度をそれぞれ連続的に変化させ、
複数の蒸発源を有し、かつ内壁の表面が電解研磨されている第二の成膜室において、
複数の機能領域を有する第二の有機化合物膜を形成し、
前記第二の有機化合物膜における隣り合う機能領域の間の少なくとも一つには、前記隣り合う機能領域の形成に用いる複数種の有機化合物を同時に蒸着し、かつ前記複数種の有機化合物の濃度をそれぞれ連続的に変化させ、
複数の蒸発源を有し、かつ内壁の表面が電解研磨されている第三の成膜室において、
複数の機能領域を有する第三の有機化合物膜を形成し、
前記第三の有機化合物膜における隣り合う機能領域の間の少なくとも一つには、前記隣り合う機能領域の形成に用いる複数種の有機化合物を同時に蒸着し、かつ前記複数種の有機化合物の濃度をそれぞれ連続的に変化させ、
前記第一の有機化合物膜、前記第二の有機化合物膜および前記第三の有機化合物膜はそれぞれ異なる発光を示すことを特徴とする成膜方法。
【請求項１９】
請求項１８において、
前記第一の成膜室、前記第二の成膜室、および前記第三の成膜室の内壁の表面の平均面粗さは５ｎｍ以下であることを特徴とする成膜方法。
【請求項２０】
請求項１７乃至請求項１９のいずれか一において、
同一の成膜室において、第一の有機化合物を蒸発源として第一の機能領域を形成し、
第二の有機化合物を蒸発源として第二の機能領域を形成し、
前記第一の機能領域と前記第二の機能領域の界面に、前記第一の有機化合物と、前記第二の有機化合物とからなる混合領域を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項２１】
請求項２０において、
前記第一の有機化合物及び前記第二の有機化合物は、正孔注入性、正孔輸送性、発光性、ブロッキング性、電子輸送性または電子注入性の有機化合物で形成され、かつ、それぞれ異なる有機化合物から形成されることを特徴とする成膜方法。
【請求項２２】
請求項２０または請求項２１において、
前記第二の機能領域の一部に、前記第二の有機化合物と第三の有機化合物からなる第二の混合領域を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項２３】
請求項２２において、
前記第一の有機化合物及び前記第二の有機化合物は、正孔注入性、正孔輸送性、ブロッキング性、電子輸送性または電子注入性の有機化合物で形成され、
前記第三の有機化合物は発光性の有機化合物で形成され、かつ、それぞれ性質の異なる有機化合物から形成されることを特徴とする成膜方法。
【請求項２４】
請求項２０乃至請求項２３のいずれか一において、
前記第一の機能領域は正孔輸送性の有機化合物で形成し、
前記第二の機能領域は電子輸送性の有機化合物で形成されることを特徴とする成膜方法。
【請求項２５】
請求項２１乃至請求項２４のいずれか一において、
前記正孔輸送性の有機化合物として芳香族ジアミン化合物を用いることを特徴とする成膜方法。
【請求項２６】
請求項２１乃至請求項２５のいずれか一において、
前記電子輸送性の有機化合物として、キノリン骨格を含む金属錯体、ベンゾキノリン骨格を含む金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、またはフェナントロリン誘導体を用いることを特徴とする成膜方法。
【請求項２７】
請求項２１乃至請求項２６のいずれか一において、
前記発光性の有機化合物として、キノリン骨格を含む金属錯体、ベンゾオキサゾール骨格を含む金属錯体、またはベンゾチアゾール骨格を含む金属錯体を用いることを特徴とする成膜方法。