【手続補正書】
【提出日】令和2年10月29日(2020.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス繰り返し率で増幅光ビームのパルスのバーストを生成し、前記パルスをリソグラフィ露光装置に送出することと、
前記パルスバーストの生成中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することであって、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応し、前記バースト内のパルスが生成されるたびに、前記スペクトル特性アジャスタは前記離散状態のうち１つになり、前記増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有する、スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
次のバースト内のパルスの生成時に、前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証することと、
を含む方法。
【請求項２】
前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することは、前記パルス繰り返し率と相関する周波数で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態であることを保証することは、前記パルス繰り返し率におけるパルス間の時間間隔の整数倍となるようにバースト間時間間隔を調整することを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態であることを保証することは、
前記リソグラフィ露光装置から、前記次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信することと、
前記受信した指示が、前記次のバースト内の最初のパルスの生成の時点と前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態にある時点との間の時間のずれを示す場合、前記受信した指示に基づいて、前記スペクトル特性アジャスタの駆動に関連付けられた駆動信号の周波数及び位相のうち１つ以上を修正することと、
を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することは、１つ以上の固定パラメータに従って前記スペクトル特性アジャスタを駆動することと、前記次のパルスバーストを生成するための前記リソグラフィ露光装置からの要求を受信することと、を含み、
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証することは、前記次のパルスバーストを生成するための前記リソグラフィ露光装置からの前記要求の受信に対して前記次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
リソグラフィ露光装置と通信し、前記リソグラフィ露光装置から情報を受信するように構成されたインタフェースと、
スペクトル特性アジャスタと、
前記インタフェース及び前記スペクトル特性アジャスタと通信している光学装置であって、
基板をパターニングするために前記リソグラフィ露光装置が使用する増幅光ビームのパルスのバーストをパルス繰り返し率で生成し、
前記パルスバーストの生成中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数で前記スペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動し、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応し、前記バースト内のパルスが生成されるたびに、前記スペクトル特性アジャスタは前記離散状態のうち１つになり、前記増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有し、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、前記インタフェースにおいて前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動し、
次のバースト内のパルスの生成時に、前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証する、
ように構成された光学装置と、
を備える装置。
【請求項７】
前記増幅光ビームの前記スペクトル特性は前記増幅光ビームの波長である、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記光学装置は、前記インタフェース及び前記ドライブアクチュエータと通信している制御装置を含み、前記制御装置は、
前記リソグラフィ露光装置からの前記パルス繰り返し率を含む前記リソグラフィ露光装置からの要求に関する指示を前記インタフェースから受信し、
前記リソグラフィ露光装置から受信した情報に基づく駆動信号を前記ドライブアクチュエータに送信する、
ように構成されている、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記スペクトル特性アジャスタは前駆光ビームと光学的に相互作用する光学デバイスを含み、前記光学デバイスの各離散状態は前記スペクトル特性アジャスタの離散状態に対応する、請求項６に記載の装置。
【請求項１０】
前記光学装置は、
第１のパルス光ビームを発生するように構成された第１のガス放電段であって、第１のガス放電チャンバを含み、前記第１のガス放電チャンバは、エネルギ源を収容すると共に、第１の利得媒体を含むガス混合物を包含している、第１のガス放電段と、
前記第１のパルス光ビームを受け、前記第１のパルス光ビームを増幅することにより前記光学装置から前記増幅光ビームを生成するように構成された第２のガス放電段であって、第２のガス放電チャンバを含み、前記第２のガス放電チャンバは、エネルギ源を収容すると共に、第２の利得媒体を含むガス混合物を包含している、第２のガス放電段と、
を含む、請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
パルス繰り返し率で増幅光ビームのパルスのバーストを生成するよう光源に命令することと、
前記生成したパルスをリソグラフィ露光装置に送出することと、
前記パルスバーストの生成中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することであって、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応する、スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、パラメータセットによって規定される駆動信号に従って前記スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
前記リソグラフィ露光装置に対する命令、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号、及び／又は前記光源に対する前記命令のうち１つ以上を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証することと、
を含む方法。
【請求項１２】
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の前記離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証することは、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号を調整することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記リソグラフィ露光装置から、前記次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信することを更に含み、
前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号を調整することは、前記リソグラフィ露光装置からの前記受信した指示に基づいて、前記スペクトル特性アジャスタに送信される前記駆動信号の周波数及び位相のうち１つ以上を修正することを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の前記離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証することは、前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態のうち１つであるように、前記次のパルスバーストを生成するための前記リソグラフィ露光装置からの要求の受信に対して前記次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることを含む、前記光源に対する前記命令を調整することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記パルス繰り返し率と相関する前記周波数で前記スペクトル特性アジャスタを前記離散状態セット間で駆動することは、
前記増幅光ビームの各パルスごとに前記増幅光ビームの波長が２つの別個の波長間で変化するように前記スペクトル特性アジャスタを駆動すること、又は
前記増幅光ビームの１つおきのパルスごとに前記増幅光ビームの前記波長が２つの別個の波長間で変化するように前記スペクトル特性アジャスタを駆動すること、
を含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態のうち１つであることを保証することは、前記次のバースト内の最初のパルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態のうち１つであることを保証することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
リソグラフィ露光装置と通信するように構成されたインタフェースと、
スペクトル特性アジャスタと、
光源と、
前記インタフェース、前記スペクトル特性アジャスタ、及び前記光源と通信している制御装置であって、
基板をパターニングするために前記リソグラフィ露光装置が使用する増幅光ビームのパルスのバーストをパルス繰り返し率で生成するよう前記光源に命令し、
前記パルスバースト中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数で前記スペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動し、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応し、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、パラメータセットによって規定される駆動信号に従って前記スペクトル特性アジャスタを駆動し、
前記リソグラフィ露光装置に対する命令、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号、及び／又は前記光源に対する前記命令のうち１つ以上を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証する、
ように構成された制御装置と、
を備える装置。
【請求項１８】
前記制御装置は、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号を調整することによって、前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の前記離散値に対応する前記離散状態のうち１つであることを保証するように構成されている、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記スペクトル特性アジャスタは、前記光学装置と通信していると共に前記スペクトル特性アジャスタを前記離散状態セット間で駆動するように構成されたドライブアクチュエータを含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項２０】
前記スペクトル特性アジャスタは前駆光ビームと光学的に相互作用する光学デバイスを含み、前記光学デバイスの各離散状態は前記スペクトル特性アジャスタの離散状態に対応する、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記光学デバイスの離散状態は、前記光学デバイスが前記前駆光ビームと相互作用する離散位置である、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記光学デバイスは、前記前駆光ビームが通過するプリズムを含む、請求項２０に記載の装置。
【請求項２３】
前記光源は、前記増幅光ビームを出力するように構成された少なくとも１つの増幅段を含む、請求項１７に記載の装置。