【手続補正書】
【提出日】平成16年2月17日(2004.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図１に示されるＳ１０１では、図３に示されるように、複数の基礎溝２２，２４が形成される。具体的には、積層体１０の上面１０Ａ側から、Ｘ方向に一定間隔２×Ｔをもって、複数の基礎溝（第１溝）２２が形成される。この場合において、複数の基礎溝２２におけるピッチは、複数の振動素子におけるピッチＴの２倍とされる。上記と同様に、積層体１０の下面１０Ｂ側から、Ｘ方向に一定間隔２×Ｔをもって複数の基礎溝（第２溝）２４が形成される。それらの複数の基礎溝２４におけるピッチも複数の振動素子におけるピッチＴの２倍である。ただし、複数の基礎溝２２と複数の基礎溝２４は、Ｘ方向において互い違いに形成されている。複数の基礎溝２２及び複数の基礎溝２４は、それぞれＹ方向に伸長した矩形の溝である。すなわち、それらの基礎溝２２，２４は互いに平行である。ここで、それらの基礎溝２２，２４の幅Ｗ１は、後述する特定構造（対向構造、隣合せ構造）（後の図９における符号２００Ｕ，２００Ｄを参照）を構築できる限りにおいて、適当な大きさに設定され、例えば、そのＷ１は０．０８ｍｍである。なお、積層体１０は、一般に、積層されたｎ個の圧電部材によって構成され、ここでｎは望ましくは奇数であり、特に望ましくは３である。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
次に、Ｓ４０２では、Ｓ１０２と同様に、各基礎溝の内部に絶縁材が充填され、その絶縁材が硬化される。Ｓ４０３では、Ｓ１０３と同様に、複数の切削溝が形成される。これによって、各基礎溝内に一対の垂直絶縁層が形成される。Ｓ４０４では、Ｓ１０４と同様に、各基礎溝の内面上に導電膜が形成される。その状態が図２６に示されている。導電膜３４，３６は、垂直絶縁層２６Ａ，２６Ｂ，２８Ａ，２８Ｂの内面に形成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
上記の二次元複合化の後、２Ｄアレイ振動子（タイプＡ）を形成する場合には、Ｓ５０６，Ｓ５１０を経て、Ｓ５１１が実行される。そのＳ５１１では、Ｘ方向に並んだ複数の分離溝が形成され、また、Ｙ方向に並んだ複数の分離溝が形成される。これによって図３４に示す二次元アレイ振動子が構成される。具体的には、二次元に複合化された積層体３５０に対して、Ｘ方向に複数の分離溝４６，４８が形成される。各分離溝４６，４８は、Ｙ方向に伸長した溝であり、各特定構造２００Ｕ，２００Ｄごとに形成される。ある１つの振動素子３５０Ａに着目した場合、その振動素子３５０Ａは、Ｘ方向においては圧電区間３３６と、その両側に形成された２つの樹脂区間３３８とで構成される。符号３３４は、Ｘ方向における振動素子３５０Ａの全幅を示している。その振動素子３５０Ａは、Ｙ方向においては、２つの圧電区間３５１と１つの樹脂区間３５２とで構成される。よって、上方から見て、振動素子３５０Ａは、Ｈ形状を有する樹脂部と矩形の２つの圧電部とで構成される。図３４に示す構成は一例であり、例えば、Ｙ方向に所望数の圧電区間及び樹脂区間を設けるようにしてもよい。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
上記の二次元複合化の後、２Ｄアレイ振動子（タイプＢ）を形成する場合には、Ｓ５０６，Ｓ５１０を経て、Ｓ５１２が実行される。そのＳ５１２では、Ｘ方向に並んだ複数の分離溝が間引き形成され、また、Ｙ方向に並んだ複数の分離溝が間引き形成される。具体的には、二次元に複合化された積層体３５０に対して、Ｘ方向に複数の分離溝４８が形成される。各分離溝４８は、Ｙ方向に伸長した溝であり、各特定構造２００Ｄごとに形成される。つまり、図３５に示す例では、各特定構造２００Ｕ（図３４参照）については分離溝４６は形成されていない。もちろん、複数の特定構造の並びの中で、図３５に示すように１つおきの特定構造に対して分離溝を形成するのではなく、ｍ（ｍは２以上）個おきの特定構造に対して分離溝を形成するようにしてもよい。一方、複数の分離溝５０は、任意の間隔で形成することができ、Ｙ方向について、１つの振動子当たり、より多くの圧電区間３５１及び樹脂区間３５２を設けるようにしてもよい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図３５に示す例では、ある１つの振動素子３５０Ｂに着目した場合、その振動素子３５０Ｂは、Ｘ方向においては、２つの圧電区間４０２と、それらの圧電区間４０２に挟まれる樹脂区間４０６と、２つの圧電区間の両側に設けられた２つの樹脂区間４０４と、で構成される。符号４００は、Ｘ方向における振動素子３５０Ｂの全幅を示している。その振動素子３５０Ｂは、Ｙ方向においては、３つの圧電区間３５１と、２つの樹脂区間３５２とで構成される。よって、上方から見て、振動素子３５０Ｂは、６（＝２×３）個の圧電部と、それらの圧電部の間に存在する格子形状をもった樹脂部と、で構成される。図３５に示す構成は一例であり、例えば、Ｘ方向及びＹ方向に、より多くの圧電区間、樹脂区間を設定するようにしてもよい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】超音波探触子の製造プロセスの第一例を説明するためのフローチャートである。
【図２】積層体を示す断面図である。
【図３】基礎溝が形成された積層体を示す断面図である。
【図４】絶縁材料が充填された積層体を示す断面図である。
【図５】切削溝が形成された積層体を示す断面図である。
【図６】導電膜が形成された積層体を示す断面図である。
【図７】補強材が充填された積層体を示す断面図である。
【図８】上面電極部材及び下面電極部材が設けられた積層体を示す断面図である。
【図９】アレイ振動子のＸ−Ｚ断面を示す断面図である。
【図１０】アレイ振動子のＹ−Ｚ断面を示す断面図である。
【図１１】図９に示すＢ−Ｂ’断面を示す断面図である。
【図１２】各振動素子における電気的な接続関係を説明するための模式図である。
【図１３】超音波探触子の製造プロセスの第二例を説明するためのフローチャートである。
【図１４】積層体を示す断面図である。
【図１５】ベース部材が暫定的に接合された積層体を示す断面図である。
【図１６】複数の複合化用溝が形成された積層体を示す断面図である。
【図１７】樹脂材料が充填された後の積層体を示す断面図である。
【図１８】Ｙ方向に複合化された積層体を示す斜視図である。
【図１９】Ｙ方向に複合化された積層型１Ｄアレイ振動子を示す斜視図である。
【図２０】Ｙ方向に複合化された積層型２Ｄアレイ振動子を示す斜視図である。
【図２１】超音波探触子の製造プロセスの第三例を説明するためのフローチャートである。
【図２２】上面電極部材及び下面電極部材を設けた後に積層体に対してＹ方向に複合化を行うことにより製作された積層型１Ｄアレイ振動子を示す斜視図である。
【図２３】上面電極部材及び下面電極部材を設けた後に積層体に対してＹ方向に複合化を行うことにより製作された積層型２Ｄアレイ振動子を示す斜視図である。
【図２４】超音波探触子の製造プロセスの第四例を説明するためのフローチャートである。
【図２５】積層体を示す断面図である。
【図２６】基礎溝、絶縁材料及び導電膜が形成された積層体を示す断面図である。
【図２７】ベース部材が暫定的に接合された積層体を示す断面図である。
【図２８】複合化用の樹脂材料が充填された積層体を示す断面図である。
【図２９】ベース部材が取り外された積層体を示す断面図である。
【図３０】上面電極部材及び下面電極部材が設けられた積層体を示す断面図である。
【図３１】Ｘ方向に複合化され、Ｘ方向に分離された積層型１Ｄアレイ振動子を示す図である。
【図３２】Ｘ方向に複合化され、Ｙ方向に分離された積層型２Ｄアレイ振動子を示す図である。
【図３３】本発明に係る製造プロセスの第五例を説明するためのフローチャートである。
【図３４】Ｘ方向及びＹ方向に複合化された積層型２Ｄアレイ振動子の一例を示す斜視図である。
【図３５】Ｘ方向及びＹ方向に複合化された積層型２Ｄアレイ振動子の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  積層体、１２，１４，１６  圧電部材、１８，２０  内部電極部材、２２，２４  基礎溝、２６，２８  絶縁材料、２６Ａ，２６Ｂ  垂直絶縁層、３４Ａ，３４Ｂ  垂直電極層、３８Ａ，３８Ｂ  側面補強層、３０，３２  切削溝、３４，３６  導電膜、３８，４０  補強材、４２  上面電極部材、４４  下面電極部材、４６，４８，５０  分離溝、５１  バッキング、２００Ｕ，２００Ｕ’  グランド用の第１特定構造、２００Ｄ，２００Ｄ’  シグナル用の第２特定構造、３０５，３２６，３３６，３４２，３５１，４０２  積層型圧電部、３０６，３２４，３３８，３４３，３５２，４０４  樹脂部、３１０，３３２  複合化された積層体、３３０  樹脂材料。


【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2004097792.tif 000001
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３５】
2004097792.tif 000002