【手続補正書】
【提出日】平成17年3月10日(2005.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、
電圧印加時における上記圧電アクチュエータ本体の周囲の相対湿度を、６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下に保つ湿度調節手段と、
を備える圧電アクチュエータ。
【請求項２】
下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、
少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、
上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内に設けられ、吸湿性を有する吸湿手段とを備え、
上記密閉空間内の相対湿度は、６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下である圧電アクチュエータ。
【請求項３】
下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、
少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、
上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内に設けられ、２５℃、１ａｔｍ、及び相対湿度が８０％の計測環境下において吸湿性能を示す吸湿率が５ｗｔ％以上である吸湿手段とを備え、
上記吸湿手段の水分吸湿量は、０ｗｔ％以上且つ２０ｗｔ％以下である圧電アクチュエータ。
【請求項４】
下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、
少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、
上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内に設けられ、吸湿性を有する吸湿手段とを備え、
上記キャップ部材の内面における水蒸気透過度は、７ｇ／ｍ2・２４ｈｒ・ａｔｍ以下である圧電アクチュエータ。
【請求項５】
下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、
少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、
上記キャップ部材内に架設され、上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間を上記圧電アクチュエータ本体を含まない第１密閉空間と上記圧電アクチュエータ本体を含む第２密閉空間とに区画する区画部材と、
上記第１密閉空間内に設けられ、吸湿性を有する吸湿手段と、
を備える圧電アクチュエータ。
【請求項６】
区画部材は吸湿手段を支持している請求項５記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
区画部材は樹脂材で形成されている請求項５又は６記載の圧電アクチュエータ。
【請求項８】
区画部材には、該区画部材を貫通し、上記第１密閉空間と上記第２密閉空間とを連通させる１又は２以上の貫通孔が形成されている請求項５〜７のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項９】
圧電アクチュエータ本体を上記キャップ部材で内包する前に、上記圧電アクチュエータ本体に対して除湿処理がなされている請求項２〜８のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１０】
除湿処理は、上記圧電アクチュエータ本体を加熱する処理又は上記圧電アクチュエータ本体に対して真空中で排気する処理を含む請求項９記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１１】
圧電アクチュエータ本体を上記キャップ部材で内包した後に、上記密閉空間内の所定量の水分を上記吸湿手段が吸湿するまで上記圧電アクチュエータ本体を放置する低湿化処理がなされている請求項２〜１０のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１２】
キャップ部材は金属で形成されている請求項２〜１１のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１３】
キャップ部材は、上記圧電アクチュエータ本体の表面上に固定されている請求項２〜１２記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１４】
上記上部電極上に形成され、上記上部電極に電気信号を伝える電極配線を備え、
電極配線は、上記キャップ部材と上記圧電アクチュエータ本体の表面との間に介在している請求項１３記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータを備えるインクジェットヘッド。
【請求項１６】
請求項２〜１１のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータと、
上記下部電極の下面上に形成されるとともに内部にインクの流路が形成されたインク流路形成部材とを備え、
キャップ部材は、上記インク流路形成部材の表面上に固定されているインクジェットヘッド。
【請求項１７】
インク流路形成部材の上側の周囲部には段差部が形成され、
キャップ部材は、上記インク流路形成部材の段差部に嵌合している請求項１６記載のインクジェットヘッド。
【請求項１８】
請求項１２記載の圧電アクチュエータと、
上記下部電極の下面上に形成されるとともに内部にインクの流路が形成された金属製のインク流路形成部材とを備え、
キャップ部材は、上記インク流路形成部材に溶接接合されているインクジェットヘッド。
【請求項１９】
インク流路形成部材の上側の周囲部には段差部が形成され、
キャップ部材は、上記インク流路形成部材の段差部に溶接接合されている請求項１８記載のインクジェットヘッド。
【請求項２０】
インク流路形成部材の表面には、上記インク流路にインクを供給するための１又は２以上のインク供給口が開口し、
キャップ部材は、上記インク流路形成部材の表面上における上記インク供給口以外の領域に固定されている請求項１６〜１９のいずれか１つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項２１】
上記上部電極上に形成され、上記上部電極に電気信号を伝える電極配線を備え、
電極配線は、上記キャップ部材と上記インク流路形成部材との間に介在している請求項１６〜２０のいずれか１つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項２２】
請求項１５〜２１のいずれか１つに記載のインクジェットヘッドを備えるインクジェット式記録装置。
【請求項２３】
下部電極と圧電体と上部電極とが順に積層されて成る圧電アクチュエータ本体に対して除湿処理を行う工程と、
キャップ部材内に吸湿性を有する吸湿手段を設ける工程と、
少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を上記キャップ部材によって内包する工程と、
を備える圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項２４】
キャップ部材内に吸湿性を有する吸湿手段を設ける工程と、
下部電極と圧電体と上部電極とが順に積層されて成る圧電アクチュエータ本体の少なくとも上記上部電極側の面を上記キャップ部材によって内包する工程と、
上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内の所定量の水分を上記吸湿手段が吸湿するまで、上記圧電アクチュエータ本体を放置する工程と、
を備える圧電アクチュエータの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る圧電アクチュエータは、下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、電圧印加時における上記圧電アクチュエータ本体の周囲の相対湿度を、６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下に保つ湿度調節手段と、を備えるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る圧電アクチュエータは、下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内に設けられ、吸湿性を有する吸湿手段とを備え、上記密閉空間内の相対湿度が、６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下であるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これにより、圧電アクチュエータ本体の周囲の相対湿度が６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下に保たれるため、湿気を原因とする絶縁破壊の発生を防ぐことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に係る圧電アクチュエータは、下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体と、該圧電体上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電体に電圧を印加する上部電極とを有する圧電アクチュエータ本体と、少なくとも上記圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内に設けられ、２５℃、１ａｔｍ、及び相対湿度が８０％の計測環境下において吸湿性能を示す吸湿率が５ｗｔ％以上である吸湿手段とを備え、上記吸湿手段の水分吸湿量が、０ｗｔ％以上且つ２０ｗｔ％以下であるものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、電圧印加時における圧電アクチュエータ本体の周囲の相対湿度を６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下に保つ湿度調節手段を圧電アクチュエータが有するため、湿気を原因とする絶縁破壊の発生を防ぐことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また、少なくとも圧電アクチュエータ本体の上部電極側の面を内包するキャップ部材と、上記圧電アクチュエータ本体と上記キャップ部材との間の密閉空間内に設けられ、吸湿性を有する吸湿手段とを圧電アクチュエータが有し、密閉空間内の相対湿度が６０℃且つ１ａｔｍの計測環境下において０％以上且つ２０％以下であるため、湿気を原因とする絶縁破壊の発生を防ぐことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、２５℃、１ａｔｍ、及び相対湿度が８０％の計測環境下において吸湿性能を示す吸湿率が５ｗｔ％以上である吸湿手段の水分吸湿量が０ｗｔ％以上且つ２０ｗｔ％以下であるため、密閉空間内の相対湿度が低く保たれる。したがって、湿気を原因とする絶縁破壊の発生を防ぐことができる。