【手続補正書】
【提出日】令和3年1月26日(2021.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に延びる略六面体状の基板搬送チャンバであって、前記基板搬送チャンバは、六面体の直線状に延びる側部、および前記直線状に延びる側部に略直交する、六面体の少なくとも１つの端壁を有し、前記少なくとも１つの端壁は、端部基板搬送開口部を有し、前記直線状に延びる側部のうちの少なくとも１つは、側部基板搬送開口部の直線状アレイを有し、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部の各開口部は、前記基板搬送チャンバの内外に基板を通過させて移送するために配置される、基板搬送チャンバと、
前記直線状に延びる側部の少なくとも１つに沿って直線状に配列され、対応する側部基板搬送開口部を介して前記基板搬送チャンバとそれぞれ連通する複数の処理モジュールと、
基板搬送アームであって、前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの枢軸が前記基板搬送チャンバに対して固定して取り付けられるように、前記基板搬送チャンバ内に枢着され、前記基板搬送アームは、３リンク−３関節ＳＣＡＲＡ構成を有し、そのうちの１つのリンクは、少なくとも１つの基板保持部を備えるエンドエフェクタであり、前記エンドエフェクタが、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部のそれぞれに共通であるように、前記少なくとも１つの基板保持部により保持される前記基板を、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部を通して、前記基板搬送チャンバの内外に搬送するために、関節運動させられる、基板搬送アームと
を備える基板処理装置であって、
前記六面体は、高アスペクト比である側部長さ対幅のアスペクト比を有し、前記幅は、前記基板搬送アームのフットプリントに対してコンパクトである、
基板処理装置。
【請求項２】
前記アスペクト比は、２：１よりも大きく、前記基板搬送アームのフットプリントは、前記基板搬送アームの所定の最大到達範囲に対してコンパクトである、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記アスペクト比は、約３：１であり、前記基板搬送アームのフットプリントは、前記基板搬送アームの所定の最大到達範囲に対してコンパクトである、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記端壁は、共通レベル上で互いに近位に隣接して設置され、前記端壁に共通して面している、２つの横並びロードロックまたは他の処理モジュールを並んで受け入れるように寸法決めされる、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項５】
ＳＣＡＲＡアームは、３自由度および長さの異なるリンクを有し、前記枢軸は、前記ＳＣＡＲＡアームの肩部関節を画定する、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記処理モジュールの直線状アレイは、略共通のレベルで、前記少なくとも１つの直線状に延びる側部に沿って分配される少なくとも６つの処理モジュールの基板保持ステーションを提供し、前記基板保持ステーションのそれぞれは、前記基板搬送アームの共通エンドエフェクタを用いて、対応する側部搬送開口部を通してアクセスされる、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記端部基板搬送開口部を介して前記基板搬送チャンバと連通する少なくとも１つのロードロックまたは他の処理モジュールをさらに備える、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記基板搬送チャンバの前記少なくとも１つの直線状に延びる側部の反対の、前記直線状に延びる側部の他方は、少なくとも１つの他方側部基板搬送開口部を有し、前記基板搬送アームは、前記エンドエフェクタが、前記基板搬送チャンバの前記端壁、直線状に延びる側部および直線状に延びる反対側部にそれぞれ配置される前記端部基板搬送開口部、前記側部基板搬送開口部および他方基板搬送開口部のそれぞれに共通であるように、前記少なくとも１つの基板保持部により保持される前記基板を、前記端部基板搬送開口部、前記側部基板搬送開口部および他方側部基板搬送開口部を通して、前記基板搬送チャンバの内外に搬送するように構成される、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記基板搬送チャンバの前記直線状に延びる反対側部は、前記反対側部に沿って直線状に配列される、前記他方側部基板搬送開口部のうちの２つ以上を有し、前記エンドエフェクタは、前記他方側部基板搬送開口部のそれぞれに共通である、請求項８記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記基板搬送チャンバに接続され、駆動スピンドルを有する駆動部をさらに備え、前記駆動スピンドルは、前記基板搬送アームに動作可能に連結され、少なくとも２自由度を画定する共軸駆動シャフトを備え、前記基板搬送アームの関節運動をもたらし、前記駆動スピンドルは、その回転軸が前記枢軸と略一致するように配置される、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記エンドエフェクタの前記少なくとも１つの基板保持部は、２つ以上の基板保持部を備え、前記２つ以上の基板保持部は、前記エンドエフェクタ上に配置され、前記エンドエフェクタが、共通エンドエフェクタの運動により、前記直線状に配列される側部基板搬送開口部のうちの２つ以上を通して、前記２つ以上の基板保持部を略同時に伸長または収縮するように配置される、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記エンドエフェクタは、第１エンドエフェクタであり、前記基板搬送アームは、前記第１エンドエフェクタと共に前記基板搬送アームの共通フォアアームリンクに従属する第２エンドエフェクタを有し、それによって、前記第１エンドエフェクタおよび前記第２エンドエフェクタは、共通回転軸の周りを前記フォアアームに対して枢動し、前記第２エンドエフェクタは、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部のそれぞれに共通である、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１３】
前記第１エンドエフェクタおよび前記第２エンドエフェクタは、前記基板搬送アームに、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部のそれぞれに共通である高速交換エンドエフェクタを提供する、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項１４】
前記直線状に延びる側部は、選択的に可変の長さを有し、前記基板搬送チャンバの前記側部は、異なる長さの間で選択可能であり、前記基板搬送チャンバの選択的に可変の構成を画定する、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１５】
前記基板搬送チャンバの前記選択的に可変の構成は、前記側部長さ対幅のアスペクト比が高アスペクト比から１単位アスペクト比まで変化する構成の間で選択可能であり、前記基板搬送アームは、前記基板搬送チャンバの各選択可能の構成に共通である、請求項１４記載の基板処理装置。
【請求項１６】
前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの所定の最大到達範囲に対してコンパクトなフットプリントを有し、前記基板搬送アームは、バランスバラスト重量部材を有し、前記バランスバラスト重量部材は、前記枢軸から前記基板搬送アームの伸長方向の略反対方向に延びるように前記基板搬送アーム上に配置され、前記枢軸上の基板搬送アーム垂下モーメントのバランス、および前記基板搬送アームのコンパクトなフットプリント内における適合性に基づき画定される構成および重量を備える、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１７】
前記バラスト重量部材は、前記枢軸に対して固定の場所で、前記基板搬送アームのフレームに固定して取り付けられる、請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項１８】
前記バラスト重量部材は、前記フレーム上で、前記枢軸へと向かって、および前記枢軸から離れて異なる場所に配置されるように、前記基板搬送アームのフレームに移動可能に取り付けられる、請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項１９】
前記バラスト重量部材は、前記基板搬送アームの伸長および収縮を補足して、前記フレームに対し、前記枢軸から離れて、および前記枢軸へと向かって移動するように、前記基板搬送アームのフレームに移動可能に取り付けられる、請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項２０】
前記バラスト重量部材は、前記基板搬送アームに動作可能に連結され、前記基板搬送アームの関節運動をもたらす駆動部の少なくとも１つの駆動軸により、前記基板搬送アームのフレームに対して移動させられる、請求項１９記載の基板処理装置。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの駆動軸は、前記少なくとも１つの駆動軸が、前記バラスト重量部材の運動ならびに前記基板搬送アームの伸長および収縮のための共通駆動軸であるように、前記枢軸から離れる、および前記枢軸へと向かう前記バラスト重量部材の移動をもたらし、前記基板搬送アームの伸長および収縮をもたらす、請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２２】
前記バラスト重量部材は、複数の異なる交換可能バラスト重量部分から選択可能なバラスト重量部分を有し、選択は、前記基板搬送チャンバの前記アスペクト比に依存する、請求項１８記載の基板処理装置。
【請求項２３】
前記基板搬送アームは、バランスバラスト重量部材を有し、前記バランスバラスト重量部材は、前記枢軸から前記基板搬送アームの伸長方向の略反対方向に延びるように前記基板搬送アーム上に配置され、前記駆動スピンドル上の基板搬送アーム垂下モーメントのバランスに基づき画定される構成および重量を備える、請求項１０記載の基板処理装置。
【請求項２４】
前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの所定の最大到達範囲に対してコンパクトなフットプリントを有し、前記バラスト重量部材の構成および重量は、前記基板搬送アームのコンパクトなフットプリント内における適合性に基づきさらに画定される、請求項２３記載の基板処理装置。
【請求項２５】
前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの関節運動をもたらすスプリットバンド変速機システムを含む、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項２６】
前記基板搬送アームは、３自由度搬送アームである、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項２７】
直線状に延びる略六面体状の基板搬送チャンバであって、前記基板搬送チャンバは、六面体の直線状に延びる側部、および端部基板搬送開口部を有する、前記六面体の少なくとも１つの端壁を有し、前記六面体の直線状に延びる側部の少なくとも１つは、側部基板搬送開口部の直線状アレイを有し、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部の各開口部は、前記基板搬送チャンバの内外に基板を通過させて移送するために配置される、基板搬送チャンバと、
前記基板搬送チャンバに接続され、駆動スピンドルを有する駆動部であって、前記駆動スピンドルは、少なくとも２自由度を画定し、共通軸の周りを回転する共軸駆動シャフトを備える、駆動部と、
基板搬送アームであって、前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの枢軸が前記駆動スピンドルの前記共通軸と略一致して前記基板搬送チャンバに対して固定して取り付けられるように、前記基板搬送チャンバ内に枢着され、前記基板搬送アームは、３リンク−３関節ＳＣＡＲＡ構成を有し、そのうちの１つのリンクは、基板保持部を備えるエンドエフェクタであり、前記基板搬送アームは、前記基板保持部上の前記基板を、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部を通して、前記基板搬送チャンバの内外に搬送するために、前記基板搬送アームが、前記共軸駆動シャフトによりもたらされる少なくとも２自由度で関節運動させられるように、前記駆動スピンドルに動作可能に連結される、基板搬送アームと
を備える基板搬送装置であって、
前記基板搬送アームは、バランスバラスト重量部材を有し、前記バランスバラスト重量部材は、前記駆動スピンドルの共通軸から前記基板搬送アームの伸長方向の略反対方向に延びるように前記基板搬送アーム上に配置され、前記駆動スピンドル上の基板搬送アーム垂下モーメントのバランスに基づき画定される構成および重量を備える、
基板搬送装置。
【請求項２８】
側部基板搬送開口部の直線状アレイのうちの、前記少なくとも１つの端壁の反対の、六面体状の基板搬送チャンバの他方の端部の近位に配置される側部基板搬送開口部は、反対の端部の近位の前記側部基板搬送開口部を通る基板保持部の対応する運動軸が、前記少なくとも１つの端壁の前記端部基板搬送開口部を通る基板保持部の他の運動軸に略直交するように方向付けられる、請求項２７記載の基板搬送装置。
【請求項２９】
前記基板搬送アームは、前記エンドエフェクタが、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部のそれぞれに共通であるように、前記基板保持部上の前記基板を、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部を通して、前記基板搬送チャンバの内外に搬送するために関節運動させられる、請求項２８記載の基板搬送装置。
【請求項３０】
前記側部基板搬送開口部のそれぞれは、各側部基板搬送開口部を通る基板保持部の対応する運動軸を有し、側部基板搬送開口部の直線状アレイの前記基板保持部の運動軸のそれぞれは、各基板搬送開口部をそれぞれ通り互いに対し略平行に延びる、請求項２９記載の基板搬送装置。
【請求項３１】
前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの所定の最大到達範囲に対してコンパクトなフットプリントを有し、前記六面体は、高アスペクト比である側部長さ対幅のアスペクト比を有し、前記幅は、前記基板搬送アームの前記フットプリントに対してコンパクトである、請求項２７記載の基板搬送装置。
【請求項３２】
前記六面体の少なくとも１つの端壁は、前記六面体の直線状に延びる側部に略直交する、請求項３１記載の基板搬送装置。
【請求項３３】
前記基板搬送アームは、前記基板搬送アームの関節運動をもたらすスプリットバンド変速機システムを含む、請求項２７記載の基板搬送装置。
【請求項３４】
前記共軸駆動シャフトは、前記基板搬送アームに３自由度を提供する、請求項２７記載の基板搬送装置。
【請求項３５】
直線状に延びる略六面体状の基板搬送チャンバを設けることであって、前記基板搬送チャンバは、六面体の直線状に延びる側部、および前記直線状に延びる側部に略直交する、前記六面体の少なくとも１つの端壁を有し、前記少なくとも１つの端壁は、端部基板搬送開口部を有し、前記直線状に延びる側部のうちの少なくとも１つは、側部基板搬送開口部の直線状アレイを有し、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部の各開口部は、前記基板搬送チャンバの内外に基板を通過させて移送するために配置される、基板搬送チャンバを設けることと、
前記直線状に延びる側部の少なくとも１つに沿って直線状に配列され、対応する側部基板搬送開口部を介して前記基板搬送チャンバとそれぞれ連通する複数の処理モジュールを設けることと、
基板搬送アームを設けることであって、前記基板搬送アームは、前記搬送アームの枢軸が前記基板搬送チャンバに対して固定して取り付けられるように、前記基板搬送チャンバ内に枢着され、前記基板搬送アームは、３リンク−３関節ＳＣＡＲＡ構成を有し、そのうちの１つのリンクは、少なくとも１つの基板保持部を備えるエンドエフェクタである、基板搬送アームを設けることと、
前記エンドエフェクタが、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部のそれぞれに共通であるように、前記少なくとも１つの基板保持部により保持される前記基板を、前記端部基板搬送開口部および前記側部基板搬送開口部を通して、前記基板搬送チャンバの内外に搬送するために、前記基板搬送アームを関節運動させることと
を含む方法であって、
前記六面体は、高アスペクト比である側部長さ対幅のアスペクト比を有し、前記幅は、前記基板搬送アームのフットプリントに対してコンパクトである、
方法。