【手続補正書】
【提出日】平成17年8月15日(2005.8.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理システムであって、
ａ）少なくとも１つのチャンバと、
ｂ）前記チャンバの近くに配置されるロボットと、
ｃ）少なくとも１つの長手部材と、前記長手部材に結合される複数の横断部材とを有するサセプタを支持するための支持フレームと
を備え、
前記複数の横断部材は、当該横断部材同士の間に少なくとも１つの横スペースを画成するように配列されている、基板処理システム。
【請求項２】
少なくとも１つの長手部材が、前記複数の横断部材のうち少なくとも２つを支持する、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記支持フレームに結合される支持軸を更に備える、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項４】
サセプタを更に備え、
該サセプタは、前記支持フレームと、該サセプタ上に支持された基板との間に配置される、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記複数の横断部材は、前記長手部材に装着されていて、その上面にサセプタ支持面を画成している、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記複数の横断部材は、サセプタと前記長手部材との間に配置されている、請求項５に記載の基板処理システム。
【請求項７】
前記複数の横断部材は、前記サセプタに接触すると共に、前記長手部材を前記サセプタから絶縁している、請求項６に記載の基板処理システム。
【請求項８】
前記支持フレームに結合される少なくとも１つのスペーサを更に備える、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項９】
前記支持フレームの少なくとも一部はセラミック材料から構成されている、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項１０】
前記複数の横断部材はセラミック材料から構成されている、請求項７に記載の基板処理システム。
【請求項１１】
基板処理システムにてサセプタを支持するサセプタ支持装置であって、
複数の横断部材を支持する少なくとも１つの長手部材を含む支持フレームを備え、
前記複数の横断部材は、当該横断部材同士の間に少なくとも１つのスペースを画成するように配列されている、サセプタ支持装置。
【請求項１２】
少なくとも１つの長手部材が、前記複数の横断部材に結合され、当該複数の横断部材を支持している、請求項１１に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１３】
前記横断部材は、前記長手部材に装着されていて、その上面にサセプタ支持面を画成している、請求項１２に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１４】
前記支持フレームに結合される支持軸を更に備える、請求項１１に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１５】
少なくとも２つの横断部材が互いに離間した関係で、少なくとも１つの前記長手部材の長さ方向に沿って配置されている、請求項１２に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１６】
前記支持フレームは、基板処理システムに配置されており、前記複数の横断部材は、前記基板処理システムにあるサセプタと、前記長手部材との間に配置されている、請求項１２に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１７】
前記複数の横断部材は、前記サセプタに接触すると共に、前記長手部材を前記サセプタから絶縁している、請求項１６に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１８】
前記支持フレームに結合される少なくとも１つのスペーサを更に備える、請求項１１に記載のサセプタ支持装置。
【請求項１９】
前記支持フレームの少なくとも一部はセラミック材料から構成されている、請求項１１に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２０】
前記複数の横断部材のうち少なくとも１つはセラミック材料から構成されている、請求項１７に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２１】
基板処理システムにおける支持フレームでサセプタを支持するシステムであって、前記支持フレームが、
ａ）少なくとも１つの長手部材と、
ｂ）前記長手部材に結合された複数の横断部材と
を備え、
前記複数の横断部材の少なくとも一部が、前記サセプタと前記長手部材の間に配列されている、基板支持システム。
【請求項２２】
前記基板支持システムが、
前記複数の横断部材上に支持された基板に係合するとともに当該複数の横断部材のうち少なくとも１つに結合された少なくとも１つのスペーサ、を更に備える、請求項２１に記載の基板支持システム。
【請求項２３】
サセプタを支持するサセプタ支持装置であって、
該サセプタ支持装置は、
実質的に中空の内部を持つ支持軸と、
前記支持軸の端部に設けられた支持フレームと、
を備え、
前記支持フレームは、
前記支持軸の前記端部に取り付けられた少なくとも１つの長手支持部材と、
前記少なくとも１つの長手支持部材に結合された複数の横断支持部材と、
を備え、
前記少なくとも１つの長手支持部材は、前記複数の横断支持部材の間挿により、熱伝達の面で、前記サセプタと分離されている、サセプタ支持装置。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの長手支持部材と前記複数の横断支持部材とは、一体となってサセプタを平面支持する、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２５】
前記複数の横断支持部材のうち第１の横断支持部材の端部近傍に選択的に位置する少なくとも１つのスペーサを更に備え、
該少なくとも１つのスペーサは、サセプタの端部を支持するよう構成されている、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２６】
前記少なくとも１つのスペーサは、
スペーサ部材と、
前記スペーサ部材の第１の端部に結合された第１の保護部材と、
前記スペーサ部材の第２の端部に結合された第２の保護部材と、
を備え、
前記第１の保護部材及び前記第２の保護部材は、前記複数の横断支持部材のうち１つの端部を、該第１の保護部材及び第２の保護部材の間に受け入れることで、該端部に配置された前記スペーサ部材を保護するよう構成されている、請求項２５に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２７】
前記少なくとも１つの長手支持部材は、前記複数の横断支持部材を支持する、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２８】
前記複数の横断支持部材は矩形断面を有する、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項２９】
前記少なくとも１つの長手支持部材は矩形断面を有する、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項３０】
前記少なくとも１つの長手支持部材及び前記複数の横断支持部材は、セラミック材料及び熱膨張率の低い耐熱性金属合金の少なくとも１つにより製作されている、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項３１】
前記セラミック材料は、酸化アルミニウムを含む、請求項３０に記載のサセプタ支持装置。
【請求項３２】
前記少なくとも１つの長手支持部材及び前記複数の横断支持部材は、単一面内に配置される、請求項２３に記載のサセプタ支持装置。
【請求項３３】
サセプタを支持するためのサセプタ支持フレームであって、
長手方向に延びる軸部材と、
正規の角度で前記軸部材の端部に取り付けられた第１の延長フレーム部材と、
前記第１の延長フレーム部材に取り付けられた複数の第２の延長フレーム部材と、
を備え、
前記複数の第２の延長フレーム部材は、サセプタを支持し、前記第１の延長フレーム部材を、熱伝達の面で前記サセプタから分離するよう構成されている、サセプタ支持フレーム。
【請求項３４】
前記複数の第２の延長フレーム部材は、前記第１の延長フレーム部材に対し、横断する方向に沿って結合されている、請求項３３に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項３５】
前記サセプタ支持フレームは、
前記複数の第２の延長フレーム部材のうち１つの端部に配置され、前記サセプタの端部を支持するスペーサ
を更に備える、請求項３３に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項３６】
前記スペーサは、
係合部材と、
前記係合部材の第１の端部に結合された第１の保護部材と、
前記係合部材の第２の端部に結合された第２の保護部材と、
を備え、
前記第１の保護部材及び前記第２の保護部材は、前記複数の第２の延長フレーム部材のうち１つの端部に配置された前記係合部材を保護するよう構成されている、請求項３５に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項３７】
前記複数の第２の延長フレーム部材のうち少なくとも１つは、該第２の延長フレーム部材の端部近傍に配置された階段部を含む、請求項３４に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項３８】
前記複数の第２の延長フレーム部材は矩形断面を有する、請求項３３に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項３９】
前記複数の第２の延長フレーム部材は、セラミック材料及び熱膨張率の低い耐熱性金属合金の少なくとも１つにより製作されている、請求項３３に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項４０】
前記セラミック材料は、酸化アルミニウムを含む、請求項３９に記載のサセプタ支持フレーム。
【請求項４１】
前記複数の第２の延長フレーム部材は、単一面内に配置されている、請求項３３に記載のサセプタ支持フレーム。