【手続補正書】
【提出日】平成17年1月7日(2005.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の荷電粒子線を用いて被露光面を露光する荷電粒子線露光装置において、
前記複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、
前記被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系と、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記複数の荷電粒子線の前記複数の要素電子光学系への入射角度を調整する調整手段とを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項２】
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報を得る情報取得手段を有し、前記情報に基づいて、前記調整手段は前記入射角度を調整することを特徴とする請求項１の荷電粒子線露光装置。
【請求項３】
請求項１または２の荷電粒子線露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項４】
複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系とを有する荷電粒子線露光装置を用いて前記被露光面を露光する荷電粒子線露光方法において、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報を得る情報取得段階と、
前記情報に基づいて、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記複数の荷電粒子線の前記複数の要素電子光学系への入射角度を調整する段階とを有することを特徴とする荷電粒子線露光方法。
【請求項５】
請求項４の荷電粒子線露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項６】
被露光面を露光する荷電粒子線露光装置において、
荷電粒子線を放射する荷電粒子源と、
複数の開口が形成された基板と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子線を前記基板に照射させる照射電子光学系と、
前記複数の開口を通過する荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、
前記被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系とを有し、
前記基板の前記複数の開口は、前記投影電子光学系の光軸に直交する面内に形成されており、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を調整する調整手段をさらに有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項７】
前記要素電子光学系の略前側焦点位置に、対応する前記開口が位置することを特徴とする請求項６の荷電粒子線露光装置。
【請求項８】
前記照射電子光学系は、複数の電子レンズから成り、前記調整手段は前記照射電子光学系の少なくとも２つの電子レンズの電子光学系的パワーを調整することを特徴とする請求項６または７の荷電粒子線露光装置。
【請求項９】
前記調整手段は、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記投影電子光学系の倍率を調整することを特徴とする請求項６乃至８のいずれかの荷電粒子線露光装置。
【請求項１０】
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報を得る情報取得手段を有し、前記調整手段は前記情報に基づいて前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を調整することを特徴とする請求項６乃至９のいずれかの荷電粒子線露光装置。
【請求項１１】
請求項６乃至１０のいずれかの荷電粒子線露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１２】
荷電粒子線を放射する荷電粒子源と、複数の開口が形成された基板と、前記荷電粒子源からの荷電粒子線を前記基板に照射させる照射電子光学系と、前記複数の開口を通過する複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、前記被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系とを有し、前記基板の前記複数の開口が前記投影電子光学系の光軸に直交する面内に形成されている荷電粒子線露光装置を用いて、前記被露光面を露光する荷電粒子線露光方法において、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報を取得する取得段階と、
前記情報に基づいて、前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を調整する調整段階とを有することを特徴とする荷電粒子線露光方法。
【請求項１３】
前記要素電子光学系の略前側焦点位置に、対応する前記開口が位置することを特徴とする請求項１２の荷電粒子線露光方法。
【請求項１４】
前記照射電子光学系は、複数の電子レンズから成り、前記調整段階では前記照射電子光学系の少なくとも２つの電子レンズの電子光学系的パワーを調整することを特徴とする請求項１２または１３の荷電粒子線露光方法。
【請求項１５】
前記調整段階では、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記投影電子光学系の倍率を調整することを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれかの荷電粒子線露光方法。
【請求項１６】
請求項１２乃至１５のいずれかの荷電粒子線露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明の荷電粒子線露光装置は、
複数の荷電粒子線を用いて被露光面を露光する荷電粒子線露光装置において、
前記複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、
前記被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系と、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記複数の荷電粒子線の前記複数の要素電子光学系への入射角度を調整する調整手段とを有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、上記の課題を解決するための本発明の他の態様による荷電粒子線露光方法は、
複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系とを有する荷電粒子線露光装置を用いて前記被露光面を露光する荷電粒子線露光方法において、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報を得る情報取得段階と、
前記情報に基づいて、前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記複数の荷電粒子線の前記複数の要素電子光学系への入射角度を調整する段階とを有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、上記の課題を解決するための本発明の他の態様による荷電粒子線露光装置は、
被露光面を露光する荷電粒子線露光装置において、
荷電粒子線を放射する荷電粒子源と、
複数の開口が形成された基板と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子線を前記基板に照射させる照射電子光学系と、
前記複数の開口を通過する荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、
前記被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系とを有し、
前記基板の前記複数の開口は、前記投影電子光学系の光軸に直交する面内に形成されており、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置を調整する為に、前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を調整する調整手段をさらに有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
更に、上記の課題を解決するための本発明の他の態様による荷電粒子線露光方法は、
荷電粒子線を放射する荷電粒子源と、複数の開口が形成された基板と、前記荷電粒子源からの荷電粒子線を前記基板に照射させる照射電子光学系と、前記複数の開口を通過する複数の荷電粒子線から複数の中間像を形成する複数の要素電子光学系と、前記被露光面に前記複数の中間像を投影する投影電子光学系とを有し、前記基板の前記複数の開口が前記投影電子光学系の光軸に直交する面内に形成されている荷電粒子線露光装置を用いて、前記被露光面を露光する荷電粒子線露光方法において、
前記複数の中間像が前記被露光面に投影される位置に関する情報を取得する取得段階と、
前記情報に基づいて、前記照射電子光学系の前側焦点位置と前記荷電粒子源の位置との相対位置関係を調整する調整段階とを有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、上記のいずれかの荷電粒子線露光方法を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法も本発明の範疇である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】