(57)【要約】【課題】簡便な構成によって、不吐出箇所などの欠陥を検出し、高精細ピッチのプラズマディスプレイパネルの歩留低下防止を図ることを目的とする。【解決手段】インクジェット装置は、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズルを複数個配列して設けたヘッドと、このヘッドにより塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する光を照射する光源と、この光源により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出する検査装置とを具備し、インクジェット装置を用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層を塗布し、その後前記光源から光を照射して蛍光体層からの発光を検査装置で検出することにより隔壁内に蛍光体層が塗布されたかどうかを検出し、前記蛍光体層が塗布されていない欠陥を検出した場合、欠陥を修復する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された複数の隔壁間の領域に、蛍光体微粒子を含む蛍光体インクを、インクジェット装置を用いて塗布する塗布工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、前記インクジェット装置は、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズルを複数個配列して設けたヘッドと、このヘッドにより塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する光を照射する光源と、この光源により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出する検査装置とを具備し、前記インクジェット装置の複数個のノズルのうちｎ個の等ピッチの間隔を有するノズルを用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層を塗布し、その後前記光源から光を照射して蛍光体層からの発光を検査装置で検出することにより隔壁内に蛍光体層が塗布されたかどうかを検出し、前記蛍光体層が塗布されていない欠陥を検出した場合、前記基板とヘッドとを前記ｎより小さい整数倍分のノズルのピッチで相対的にずらして、欠陥が発生したノズルとは異なるノズルを欠陥が発生した列上に配置するとともに、前記基板とヘッドとを相対的に塗布方向とは反対方向に戻しながら、蛍光体粒子を含有するインクを塗布することにより欠陥を修復した後、同じノズルの配置状態で、引き続き蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層を塗布することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
基板上に形成された複数の隔壁間の領域に、蛍光体微粒子を含む蛍光体インクを塗布するためのプラズマディスプレイパネル用インクジェット装置において、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズルを複数個配列して設けたヘッドと、このヘッドにより塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する光を照射する光源と、この光源により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出する検査装置とを具備し、前記検査装置の結果に基づいて、前記ヘッドのノズルと基板との相対的位置関係を変更可能に構成したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用インクジェット装置。
【請求項３】
前記光源の波長が２５４ｎｍであることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル用インクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置を用いて蛍光体微粒子を分散させたインクを吐出して蛍光体層を塗布するプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰは、視認性に優れた薄型表示デバイスとして知られている。図６に、ＡＣ型のＰＤＰの概略構成を示す。図６に示すように、ＰＤＰは、前面パネル１００と背面パネル２００とを対向配置し、周辺部を封着することにより構成されている。
【０００３】
前面パネル１００は、前面ガラス基板１０１上に走査電極と維持電極とからなる表示電極対１０２を互いに平行に複数対形成し、そして、それら表示電極対１０２を覆うように誘電体層１０３およびＭｇＯからなる保護膜１０４を形成することにより構成されている。なお、走査電極および維持電極は、それぞれＩＴＯ、ＳｎＯ2、ＺｎＯ等の導電性金属酸化物からなる透明電極上にＡｇからなるバス電極を形成することにより構成されている。
【０００４】
背面パネル２００は、背面ガラス基板２０１上に、複数の互いに平行なＡｇを主成分とする導電性材料からなるアドレス電極２０２を形成し、そのアドレス電極２０２を覆うように誘電体層２０３を形成するとともに、さらにその上に井桁状の隔壁２０４を形成し、そして隔壁２０４間の誘電体層２０３表面と隔壁２０４の側面とに、赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層２０５を形成することにより構成されている。
【０００５】
そして、このような構成の前面パネル１００と背面パネル２００とを、表示電極対１０２とアドレス電極２０２とが立体交差するように対向配置し、周辺部を密封した後、内部の放電空間に放電ガスを封入することによりパネルが構成されている。また、このパネルにおいて、表示電極対１０２とアドレス電極２０２とが立体交差し、隔壁２０４により囲まれた空間に複数の放電セル３００が形成されている。
【０００６】
ところで、背面パネル２００は、アドレス電極２０２、誘電体層２０３、隔壁２０４および蛍光体層２０５を順次形成することにより作製されるが、蛍光体層２０５を形成する方法としては、まず蛍光体微粒子を溶媒に分散させた蛍光体インクを隔壁２０４間の領域に塗布し、その後に乾燥および焼成を行う方法が一般的である。蛍光体インクを隔壁２０４間の領域に塗布する方法としては、例えば特許文献１に開示されているように、ディスペンサーにより蛍光体インクを連続流として隔壁内に充填する方法などが知られている。
【０００７】
近年では、ＰＤＰのさらなる高画質化が求められており、これを実現するために隔壁２０４のピッチがより狭くなる傾向がある。しかしながら、ディスペンサーを用いた方法では、このような微少領域に蛍光体インクを精度よく塗布することは困難である。そこで、特許文献２に開示されているように、インクジェット装置を用いたインクジェット法により蛍光体インクの塗布を行うことが検討され始めている。インクジェット装置では、インクジェットヘッドに微少間隔で形成されたノズルから蛍光体インクが液滴として吐出されるため、インクジェット法は微少領域への蛍光体インクの塗布に適している。
【０００８】
このようなノズルが微少間隔で形成されたインクジェットヘッドとしては、特許文献３に開示されているように、積層構造のものが知られている。図７に、積層構造の一般的なインクジェットヘッドを示す。
【０００９】
このインクジェットヘッドは、ノズル１６が形成されたノズル板１１ａ上に複数枚の板状の部材１１ｂ〜１１ｅおよび振動板１１ｆを積層し、さらに最上の振動板１１ｆ上に圧電素子１２ａおよび電極１２ｂを形成することにより構成されている。なお、最上の振動板１１ｆは、圧電素子１２ａおよび電極１２ｂと共に、インクをノズル１６から吐出するためのアクチュエータを構成する。
【００１０】
このような構成のインクジェットヘッドは、ノズル１６に並設されるようにインク供給路１３が設けられ、そのインク供給路１３の上方の位置からノズル１６の上方の位置まで延びる圧力室１４が設けられた構成をしている。そして、圧力室１４の一端側には、インク供給路１３に連通する供給孔１５が設けられており、インク供給路１３に供給される蛍光体インクはその供給孔１５を通じて圧力室１４内に供給され、圧力室１４に供給された蛍光体インクは、前記アクチュエータの圧電素子１２ｄが駆動されて圧力室１４の容積が減少することにより、圧力室の１４の他端側に設けられたノズル１６を通じて液滴として吐出される。
【特許文献１】特開２００２−７５２１６号公報
【特許文献２】特開２００５−７１９５４号公報
【特許文献３】特許第３３１７３０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、インクジェット装置で使用される通常のインクは、その中に含まれる微粒子の粒径が格段に小さく、粘度も１０ｍＰａ・ｓ程度と小さい。これに対し、ＰＤＰにおける蛍光体層形成用の蛍光体インクは、蛍光体粒子の粒径が３〜１０ｎｍと比較的大きく、しかも粘度が５０，０００ｍＰａ・ｓと非常に高い。このため、ＰＤＰ用背面板に蛍光体などの微粒子を分散させた機能性インクでは、ノズルでの目詰まりなどが原因で液滴不吐出が発生しやすい。また、高精細ピッチの背面板を、インクジェット装置を用いて塗布する場合は、１列に対して１ノズルのみで塗布を実施するため、１ノズルの不吐出の歩留に与える影響は甚大である。
【００１２】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、簡便な構成によって、不吐出箇所などの欠陥を検出し、高精細ピッチのプラズマディスプレイパネルの歩留低下防止を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この課題を解決するために本発明は、基板上に形成された複数の隔壁間の領域に、蛍光体微粒子を含む蛍光体インクを、インクジェット装置を用いて塗布する塗布工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、前記インクジェット装置は、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズルを複数個配列して設けたヘッドと、このヘッドにより塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する光を照射する光源と、この光源により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出する検査装置とを具備し、前記インクジェット装置の複数個のノズルのうちｎ個の等ピッチの間隔を有するノズルを用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層を塗布し、その後前記光源から光を照射して蛍光体層からの発光を検査装置で検出することにより隔壁内に蛍光体層が塗布されたかどうかを検出し、前記蛍光体層が塗布されていない欠陥を検出した場合、前記基板とヘッドとを前記ｎより小さい整数倍分のノズルのピッチで相対的にずらして、欠陥が発生したノズルとは異なるノズルを欠陥が発生した列上に配置するとともに、前記基板とヘッドとを相対的に塗布方向とは反対方向に戻しながら、蛍光体粒子を含有するインクを塗布することにより欠陥を修復した後、同じノズルの配置状態で、引き続き蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層を塗布することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、基板上に形成された複数の隔壁間の領域に、蛍光体微粒子を含む蛍光体インクを塗布するためのプラズマディスプレイパネル用インクジェット装置において、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズルを複数個配列して設けたヘッドと、このヘッドにより塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する光を照射する光源と、この光源により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出する検査装置とを具備し、前記検査装置の結果に基づいて、前記ヘッドのノズルと基板との相対的位置関係を変更可能に構成したことを特徴とする。ここで、前記光源の波長は、２５４ｎｍあることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡便な構成によって、不吐出箇所などの欠陥を検出し、高精細ピッチのＰＤＰの歩留低下防止と、蛍光体層塗布後の欠陥修復作業の時間短縮を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
本発明の実施の形態に係るＰＤＰの製造方法は、図６に示す構造のＰＤＰを製造するものであり、前面パネル作製工程と、背面パネル作製工程と、前面パネルと背面パネルとを貼り合わせるパネル組立工程とからなる。図６に示すＰＤＰの構造に関しては、背景技術の欄で説明しているので、ここでは省略する。なお、製造されたＰＤＰは、例えばアルミニウム製のシャーシに接合されるとともにこれに駆動回路基板やデータドライバ等が取り付けられてＰＤＰユニットとされる。
【００１８】
前面パネル作製工程では、前面ガラス基板１０１上に、表示電極対１０２、誘電体層１０３および保護膜１０４を順次形成することにより、前面パネル１００を作製する。表示電極対１０２の各電極（走査電極および維持電極）の形成は、前面ガラス基板１０１上に例えばＩＴＯからなる透明電極を形成し、さらにその上に例えば銀からなるバス電極を形成することにより行う。バス電極は、例えば、紫外線感光性樹脂を含む電極用インクを露光および現像によりパターニングした後に焼成することにより形成できる。誘電体層１０３は、例えば、低融点ガラス粉末を含むペーストをスクリーン印刷した後に焼成することにより形成できる。保護膜１０４は、例えば酸化マグネシウムからなり、スパッタリングまたは真空蒸着により形成する。
【００１９】
背面パネル作製工程では、背面ガラス基板２０１上に、アドレス電極２０２、誘電体層２０３、隔壁２０４および蛍光体層２０５を順次形成することにより、背面パネル２００を作製する。アドレス電極２０２は、銀、銅またはアルミニウム等からなり、例えば、紫外線感光性樹脂を含む電極用インクを露光および現像によりパターニングした後に焼成することにより形成できる。誘電体層２０３は、例えば、低融点ガラス粉末および反射物質粉末を含むペーストをスクリーン印刷した後に焼成することにより形成できる。隔壁２０４は、スクリーン印刷法、サンドブラスト法またはフォトリソグラフィー法等によって形成できる。蛍光体層２０５は、隔壁２０４間の領域にＲＧＢの蛍光体インクを塗布し、塗布された蛍光体インクを乾燥させ、その後に焼成を行うことにより形成する。
【００２０】
次に、本発明において、隔壁２０４間の領域への蛍光体インクの塗布の方法について、図１〜図３を用いて説明する。
【００２１】
図１は、本発明による製造方法を実施するために使用するインクジェット装置とＰＤＰの背面パネルの隔壁との関係を説明するための説明図、図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の製造方法を実施している状況を説明するための説明図、図３は本発明の製造方法において、蛍光体層を形成するステップを説明するためのフローチャートである。
【００２２】
まず、本発明による製造方法を実施するために使用するインクジェット装置１は、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズル２を複数個配列して設けたヘッド３と、このヘッド３により塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する２５４ｎｍの波長の光を照射する光源４と、この光源４により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出するカメラなどの検査装置５とを具備し、前記検査装置５の結果に基づいて、前記ヘッド３のノズル２と基板である背面パネルとの相対的位置関係が変更可能なように構成されている。
【００２３】
また、このインクジェット装置１を用いて蛍光体層を塗布する際は、インクジェット装置１の複数個のノズル２のうちｎ個の等ピッチの間隔を有するノズル２を用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層２０５を塗布するように構成している。具体的には、図１に示すように、隔壁２０４のラインＬ１からＬ１０・・・・・に対して、ノズル２をＮ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４、Ｎ５、Ｎ６、Ｎ７、Ｎ８、Ｎ９、Ｎ１０・・・・としたとき、まずはＮ１、Ｎ４、Ｎ７、Ｎ１０のノズル２、すなわちノズルｎ個（図１のものは３個）分の等ピッチの間隔のノズル２を用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層２０５を塗布するものである。
【００２４】
なお、ＲＧＢの蛍光体層２０５を順次塗布するのであるが、それぞれＲＧＢの蛍光体インクに応じてヘッド３を交換して塗布する。
【００２５】
ここで、本発明の塗布方法について、図２、図３を用いて説明すると、まず図１に示すように、インクジェット装置１の複数個のノズル２のうちＮ１、Ｎ４、Ｎ７、Ｎ１０のノズル２を用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁２０４内に蛍光体層２０５を塗布する。その際、蛍光体インクを塗布しながら、その後光源４から光を照射して蛍光体層２０５からの発光を検査装置５で検出し、１放電セル毎に隔壁２０４内に蛍光体層２０５が塗布されたかどうかを検出して合否判定を行い、良品の場合は次のセルの塗布を行う。
【００２６】
このとき、蛍光体層２０５が塗布されていない、または塗布ムラなどの欠陥を検出した場合、基板である背面パネルを載置した基板ステージ、またはインクジェット装置のヘッドを移動させ、前記ｎより小さい整数倍分に相当するノズルのピッチ分で背面パネルとヘッド３とを相対的にずらして、図２（ａ）に示すように、欠陥が発生したノズル２とは異なるノズル２を欠陥が発生した列上に配置する。なお、図２においては、Ｎ４のノズル２で欠陥が生じたため、ノズル１個分ずらせて、Ｎ５のノズル２が欠陥が生じた列上に配置されるように移動させている。
【００２７】
このように欠陥を検出し、ヘッド３を背面パネルに対して相対的に移動させた後、当初の塗布方向とは反対方向に前記背面パネルとヘッド３とを相対的に戻しながら、蛍光体粒子を含有するインクを塗布することにより欠陥が生じたセルの修復を行う。
【００２８】
その修復を行った後は、図２（ｂ）に示すように、同じノズル２の配置状態で、引き続き蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁２０４内に蛍光体層２０５を塗布する。
【００２９】
このように、本発明においては、ノズルでの目詰まりなどが原因で発生する液滴不吐出により、蛍光体層が形成されない列が生じた際でも、速やかに欠陥を修復するため、塗布完了後の修復作業を実施する必要がなく、歩留の低下を防止することができるとともに、蛍光体層塗布後の欠陥修復作業の時間短縮を行うことが可能となる。
【００３０】
すなわち、従来であれば、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、インクジェット装置１を用いて蛍光体層２０５を塗布したとき、例えばＮ４のノズル２における目詰まりなどにより、図４（ｂ）のＡ部のように、蛍光体層２０５が塗布されていない欠陥が生じた場合、
塗布完了後の検査工程において発見し、その後図４（ｃ）のように、Ｎ５のノズル２を用いて、再度修復のための塗布作業を行い、図４（ｄ）のように修復を行っていたが、上述したように、本発明においては、塗布作業を行いながら、欠陥の発見、修復を行うことができ、歩留の低下を防止することができるとともに、蛍光体層塗布後の欠陥修復作業の時間短縮を行うことが可能となる。
【００３１】
図５（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施の形態を示す図である。本実施の形態においては、インクジェット装置１を背面パネルに対して傾けて配置し、背面パネルまたはインクジェット装置１を相対的に移動させて蛍光体インクを塗布するものであり、上述した実施の形態と同様、インクジェット装置１の複数個のノズル２のうち３個分の等ピッチの間隔を有するノズル２を用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁２０４内に蛍光体層２０５を塗布し、その後前記光源４から光を照射して蛍光体層２０４からの発光を検査装置５で検出することにより隔壁２０４内に蛍光体層２０５が塗布されたかどうかを検出し、前記蛍光体層２０５が塗布されていない欠陥を検出した場合、ヘッド３をずらして、欠陥が発生したノズル２とは異なるノズル２を欠陥が発生した列上に配置し、欠陥を修復するものである。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
以上のように本発明によれば、高精細ピッチのＰＤＰを製造する上で有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法を実施するために使用するインクジェット装置とＰＤＰの背面パネルの隔壁との関係を説明するための説明図
【図２】本発明の製造方法を実施している状況を説明するための説明図
【図３】本発明の製造方法において、蛍光体層を形成するステップを説明するためのフローチャート
【図４】従来のインクジェット装置による方法を示す説明図
【図５】本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法を実施している状況を説明するための説明図
【図６】一般的なプラズマディスプレイパネルを示す断面図
【図７】インクジェット装置を示す概略図
【符号の説明】
【００３４】
１  インクジェット装置
２  ノズル
３  ヘッド
４  光源
５  検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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