【手続補正書】
【提出日】令和3年6月30日(2021.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学場の光路長を変更するのに適した電気光学変調器（ＥＯＭ）であって、
第１の光入力軸および第１の光出力軸を有する第１のブリュースター角カット非線形結晶と、
第２の光入力軸および第２の光出力軸を有する第２のブリュースター角カット非線形結晶であって、前記第１の光出力軸は、前記第１のブリュースター角カット非線形結晶と前記第２のブリュースター角カット非線形結晶との間の前記第２の光入力軸と一致する、第２のブリュースター角カット非線形結晶と、
前記第１および／または第２のブリュースター角カット非線形結晶を位置決めする手段を提供するマウント装置であって、１または複数の調整可能な結晶ホルダを有する第１のクランプ部と、前記第１のクランプ部に取り付けられた第１の電気絶縁ベースプレートとを備えるマウント装置とを備え、
前記第１および第２のブリュースター角度カット非線形結晶は、光学場が第１の研磨面を介して前記第１の非線形結晶に入り、第２の研磨面を介して前記第１の非線形結晶を出るように、そして、光学場が第２の研磨面を介して前記第２の非線形結晶に入り、第１の研磨面を介して前記第２の非線形結晶を出るように、光学場に対して反対向きに配置され、
非硬化性または可撓性の接着剤の層を使用して、前記第１および／または第２の非線形結晶を前記第１の電気絶縁ベースプレートに取り付けることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
ＥＯＭが、前記第１のブリュースター角カット非線形結晶の両面上に配置された第１および第２の電気コーティングをさらに含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
ＥＯＭが、前記第２のブリュースター角カット非線形結晶の両面上に配置された第１および第２の電気コーティングを含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１および第２のブリュースター角カット非線形結晶が、リン酸二重水素カリウム（ＫＤＰ）、リン酸チタニルカリウム（ＫＴＰ）、βホウ酸バリウム（ＢＢＯ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、リン酸二水素アンモニウム（ＮＨ４Ｈ２ＰＯ４、ＡＤＰ）、ルビジウムリン酸チタニル（ＲＴＰ）を含む非線形材料のセットのなかから選択される非線形材料から形成されていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１および第２のブリュースター角カット非線形結晶が同じ材料から作られていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記１または複数の調整可能な結晶ホルダが、非線形結晶の両側に位置する第１および第２のプレートを含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１および第２のプレートが金属合金から作られていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項８】
請求項６または７に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１のプレートが、調整可能に取り付けられていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項９】
請求項６乃至８の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第２のプレートが強固に固定されていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１０】
請求項１乃至９の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１の電気絶縁ベースプレートがセラミックを含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１１】
請求項１乃至１０の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１の電気絶縁ベースプレートが、１または複数の結晶ロケータを備えることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記１または複数の結晶ロケータが、前記第１の電気絶縁ベースプレートの表面上に位置する隆起を含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１３】
請求項６乃至１２の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記調整可能な結晶ホルダの第１のプレートに第１および第２の非線形結晶を取り付けるために、第１のはんだ層が使用されていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１４】
請求項６乃至１３の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記調整可能な結晶ホルダの第２のプレートに第１および第２の非線形結晶を取り付けるために、第２のはんだ層が使用されていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１５】
請求項１乃至１４の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記マウント装置が、第２の電気絶縁ベースプレートをさらに備え、この第２の電気絶縁ベースプレートの上に前記第１のクランプ部が配置されることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１６】
請求項１５に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第２の電気絶縁ベースプレートがセラミックを含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１７】
請求項１５または１６に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第２の電気絶縁ベースプレートが、１または複数の開口部を含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１８】
請求項１７に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記開口部にねじ込まれた１または複数のボルトが、ＥＯＭを光学システムに取り付ける手段を提供することを特徴とする電気光学変調器。
【請求項１９】
請求項１乃至１８の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記マウント装置が、前記第１のクランプ部に解放可能に接続された第２のクランプ部をさらに備えることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２０】
請求項１９に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第１および第２のクランプ部の１または複数の開口部にねじ込まれた１または複数のボルトが、前記第１のクランプ部を前記第２のクランプ部に解放可能に接続する手段を提供することを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２１】
請求項２０に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記１または複数のボルトが、前記第２のベースプレートにクランプを取り付けるための手段も提供することを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２２】
請求項２０に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記クランプが、接着剤によって前記第２のベースプレートに取り付けられていることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２３】
請求項１９乃至２２の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
前記第２のクランプ部が、非線形結晶の表面に配置された電気絶縁トッププレートに圧力を加える手段を提供する１または複数の調整可能なコネクタを備えることを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２４】
請求項２乃至２３の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）において、
ＥＯＭが、前記第１および／または第２の電気コーティングに必要な電力を供給するための手段を提供するワイヤをさらに含むことを特徴とする電気光学変調器。
【請求項２５】
請求項１乃至２４の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）を備えることを特徴とするレーザシステム。
【請求項２６】
光学場の光路長を変更するのに適した電気光学変調器（ＥＯＭ）を製造する方法であって、
−第１の光入力軸および第１の光出力軸を有する第１のブリュースター角カット非線形結晶を提供するステップと、
−第２の光入力軸および第２の光出力軸を有する第２のブリュースター角カット非線形結晶を提供するステップと、
−前記第１の光出力軸を前記第１のブリュースター角カット非線形結晶と前記第２のブリュースター角カット非線形結晶との間の前記第２の光入力軸と一致するように配置するステップと、
−前記第１または第２の調整可能なクリスタルホルダ内に前記第１または第２のブリュースター角カット非線形結晶を配置するステップと、
−光学場が第１の研磨面を介して前記第１の非線形結晶に入り、第２の研磨面を介して前記第１の非線形結晶を出るように、そして、光学場が第２の研磨面を介して前記第２の非線形結晶に入り、第１の研磨面を介して前記第２の非線形結晶を出るように、前記第１および第２のブリュースター角カットの非線形結晶を、光学場に対して反対向きに配置するステップと、
−前記第１または第２のブリュースター角カット非線形結晶の表面と前記第１の電気絶縁ベースプレートの間に、非硬化性または可撓性の接着剤の層を塗布するステップとを含むことを特徴とする電気光学変調器の製造方法。
【請求項２７】
請求項２６に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）の製造方法において、
前記第１および／または第２のブリュースター角カット非線形結晶の提供は、前記第１および／または第２のブリュースター角カット非線形結晶の両側に電気コーティングを提供することを含むことを特徴とする電気光学変調器の製造方法。
【請求項２８】
請求項２６または２７に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）の製造方法において、
前記第１および／または第２ブリュースター角カット非線形結晶を第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダ内に配置することは、電気コーティングと、前記第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダの非剛体的に固定されたプレートとの間にはんだ層を加えることをさらに含むことを特徴とする電気光学変調器の製造方法。
【請求項２９】
請求項２６乃至２８の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）の製造方法において、
前記第１および／または第２ブリュースター角カット非線形結晶を第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダ内に配置することは、電気コーティングと、前記第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダの剛体的に固定されたプレートとの間にはんだ層を加えることをさらに含むことを特徴とする電気光学変調器の製造方法。
【請求項３０】
請求項２８または２９に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）の製造方法において、
前記第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダの非剛体的に固定されたプレートが、前記第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダ内に前記第１および／または第２ブリュースター角カット非線形結晶を一時的に固定する手段を提供するために、移動可能となっていることを特徴とする電気光学変調器の製造方法。
【請求項３１】
請求項２６乃至３０の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）の製造方法において、
前記第１および／または第２ブリュースター角カット非線形結晶を第１および／または第２の調整可能な結晶ホルダ内に配置することは、前記第１および／または第２ブリュースター角カット非線形結晶に機械的圧力を加えることを含むことを特徴とする電気光学変調器の製造方法。
【請求項３２】
請求項２７乃至３１の何れか一項に記載の電気光学変調器（ＥＯＭ）の製造方法において、
第１または第２の非線形結晶に電場を提供するために、電気コーティングにワイヤが接続されることを特徴とする電気光学変調器の製造方法。