【手続補正書】
【提出日】平成16年6月21日(2004.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、この基部から突出して形成されている振動腕部と、を有する振動片であって、前記振動腕部の表面部及び／又は裏面部に溝部が形成されていると共に、前記基部に切り込み部が形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記振動腕部が略直方体でなり、その表面部の短辺である腕部幅が５０μｍ以上１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記振動腕部の表面部及び裏面部に溝部が形成されていると共に、前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部のいずれかの深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して３０％以上５０％未満の深さに形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振動片。
【請求項４】
前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部のいずれかの深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して４０％以上５０％未満の深さに形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振動片。
【請求項５】
前記溝部の開口における短辺である溝幅が、前記振動腕部の前記腕部幅の４０％以上と成っていることを特徴とする請求項３に記載の振動片。
【請求項６】
前記溝幅が前記腕部幅の７０％以上１００％未満に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の振動片。
【請求項７】
前記振動片が略３０ＫＨｚ乃至略４０ＫＨｚで発振する水晶で形成されている音叉型振動片であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の振動片。
【請求項８】
基部と、この基部から突出して形成されている振動腕部と、を有する振動片が、パッケージ内に収容されている振動子であって、前記振動片の前記振動腕部の表面部及び／又は裏面部に溝部が形成されていると共に、前記基部に切り込み部が形成されていることを特徴とする振動子。
【請求項９】
前記振動片の前記振動腕部が略直方体でなり、その表面部の短辺である腕部幅が５０μｍ以上１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項８に記載の振動子。
【請求項１０】
前記振動片の前記振動腕部の表面部及び裏面部に溝部が形成されていると共に、前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部のいずれかの深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して３０％以上５０％未満の深さに形成されていることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の振動子。
【請求項１１】
前記振動片の前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部のいずれかの深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して４０％以上５０％未満の深さに形成されていることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の振動子。
【請求項１２】
前記振動片の前記溝部の開口における短辺である溝幅が、前記振動腕部の前記腕部幅の４０％以上と成っていることを特徴とする請求項１０に記載の振動子。
【請求項１３】
前記振動片の前記溝幅が前記腕部幅の７０％以上１００％未満に形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の振動子。
【請求項１４】
前記振動片が略３０ＫＨｚ乃至略４０ＫＨｚで発振する水晶で形成されている音叉振動片であることを特徴とする請求項８乃至請求項１３のいずれかに記載の振動子。
【請求項１５】
前記パッケージが箱状に形成されていることを特徴とする請求項８乃至請求項１４のいずれかに記載に振動子。
【請求項１６】
前記パッケージが所謂シリンダータイプに形成されていることを特徴とする請求項８乃至請求項１４のいずれかに記載の振動子。
【請求項１７】
基部と、この基部から突出して形成されている振動腕部と、を有する振動片と集積回路がパッケージ内に収容されている発振器であって、前記振動片の前記振動腕部の表面部及び／又は裏面部に溝部が形成されていると共に、前記基部に切り込み部が形成されていることを特徴とする発振器。
【請求項１８】
基部と、この基部から突出して形成されている振動腕部と、を有する振動片であり、この振動片がパッケージ内に収容されている振動子であり、この振動子を制御部に接続して用いている電子機器であって、前記振動片の前記振動腕部の表面部及び／又は裏面部に溝部が形成されていると共に、前記基部に切り込み部が形成されていることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように極めて小型の音叉型水晶振動片１０であっても、近年の電気機器等の装置の小型化の要請に対応するには、更なる小型化が求められている。この小型化の要請に対応するには、基部１１の図１２における縦方向の長さを０．７ｍｍより短く形成すれば、全体として振動片１０の長さが短くなり、振動片１０が小型化され、最も良いのであるが、以下のような問題があった。すなわち、一般に基部１１の長さを腕部１２，１３の長さの４０％以上としないと、振動片の固定バラツキによる影響が出やすく振動片素子間のＣＩ値バラツキの発生が生じ易いという問題があった。具体的には、腕部１２，１３の幅をＷ、腕部１２，１３の長さをＬとした場合、音叉型水晶振動片１０の周波数ｆは、
ｆ∝Ｗ／Ｌ2 ・・・・・・・式１
の関係式を満たさなければならない。すなわち、振動片１０の腕部１２，１３の長さＬを短くすればするほど、腕部１２，１３の幅Ｗも細くなるという関係になっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
図１２に示す音叉型水晶振動片１０は、上述のように小型化されているため腕部１２，１３の長さＬが１．６４４ｍｍと短いため、その幅も０．１ｍｍと極めて細くなっている。さらに腕部１２，１３の厚みも０．１ｍｍと成っている。ところで、音叉型水晶振動片１０の腕部１２，１３は、図１３（ａ）に示すように、幅Ｗが長く厚みＤが短ければ、図において矢印Ｂに示すように通常の水平方向の振動を行うことになる。しかし、上述にように幅Ｗが短くなると、図１３（ｂ）に示すように、垂直方向の成分（図において矢印Ｃの方向）を含むようになり、図１３（ｂ）において矢印Ｅで示す方向に腕部１２，１３が振動するようになる。これは、垂直振動成分変位量（ｎｍ）は、腕部１２，１３の幅Ｗ／厚みＤが１．２より小さくなると急激に変位量も大きくなることによる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
先ず、図１７（ａ）は、上記エッチングにより外形が形成された状態の音叉型水晶振動片の音叉腕１２０の図１３のＢ−Ｂ’線概略断面図である。図１７（ａ）に示すように、音叉腕１２０の表面１２０ｅ及び裏面１２０ｆには、溝部１２０ａ、１２０ａが形成される（溝部形成工程）。このような音叉腕１２０等を含む振動片全体にスパッタ等により金属膜である電極膜１５０を形成する（金属膜形成工程、図１６のＳＴ１）。この状態を示したのが図１７（ｂ）である。図１７に示す電極膜１５０は、下層がＣｒで厚みが例えば１００Å乃至１０００Åで形成される。そして、上層がＡｕで厚みが例えば５００Å乃至１０００Åで形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
このレーザは、例えば、ＹＡＧレーザ等が用いられ、特にＹＡＧレーザの３倍高調波を用いるとフォトレジストパターン１５２の外形をより正確に調整することができる。このようにフォトレジストパターン１５２を形成してからレーザを照射するので、特にフォトレジストの感光を防止するイエロールーム内でレーザを照射する必要がないので製造コストを低減することができる。また、レーザの照射は、図１８（ａ）（ｂ）に示すように音叉腕１２０の腕表面１２０ｅの短絡防止用間隔Ｗ１と腕裏面１２０ｆの短絡防止用間隔Ｗ１とを別々に行う。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2002261575.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2002261575.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
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【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2002261575.tif 000004