【手続補正書】
【提出日】平成17年10月17日(2005.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記第１の処理層中の前記酸化物が、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むことを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項２】  フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）と酸化チタン（ＴｉＯ２）および酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）をそれぞれ含む第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されていることを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項３】  前記第１の処理層中で各成分の含有割合が、二酸化ケイ素をａ％、酸化チタンをｂ％、酸化ジルコニウムをｃ％としたとき、次の式が全て成り立つことを特徴とする請求項２記載のメタルバック付き蛍光面。
ａ  ＜  −ｂ  ＋１００
ａ  ≦  −０．５ｂ  ＋８０
ａ  ≧  −ｂ  ＋７０
ｃ  ＝  １００−（ａ＋ｂ）
（但し、a＞０、ｂ＞０、ｃ＞０）
【請求項４】  フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第２の処理層をさらに有することを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項５】  前記第２の処理層中の前記酸化物が、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むことを特徴とする請求項４記載のメタルバック付き蛍光面。
【請求項６】  前記第２の処理層中の前記酸化物の含有量が、前記蛍光体層上のメタルバック層の単位面積当たりの成分重量として、４〜４０μｇ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項４記載のメタルバック付き蛍光面。
【請求項７】  フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第２の処理層をさらに有することを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項８】  前記第２の処理層中の前記無機酸化物の含有量が、前記蛍光体層上のメタルバック層の単位面積当たりの成分重量として、４〜４０μｇ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項７記載のメタルバック付き蛍光面。
【請求項９】  フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）と酸化チタン（ＴｉＯ２）および酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）をそれぞれ含む第２の処理層をさらに有することを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項１０】  前記第２の処理層中での各成分の含有割合が、二酸化ケイ素をａ％、酸化チタンをｂ％、酸化ジルコニウムをｃ％としたとき、次の式が全て成り立つことを特徴とする請求項９記載のメタルバック付き蛍光面。
ａ  ＜  −ｂ  ＋１００
ａ  ≦  −０．５ｂ  ＋８０
ａ  ≧  −ｂ  ＋７０
ｃ  ＝  １００−（ａ＋ｂ）
（但し、a＞０、ｂ＞０、ｃ＞０）
【請求項１１】  フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第２の処理層をさらに有することを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項１２】  フェースプレート内面に、少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第２の処理層をさらに有し、かつ前記第２の処理層中の前記酸化物が、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むことを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項１３】  前記第２の処理層中の前記酸化物の含有量が、前記蛍光体層上のメタルバック層の単位面積当たりの成分重量として、４〜４０μｇ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項１２記載のメタルバック付き蛍光面。
【請求項１４】  フェースプレート内面に、少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第２の処理層をさらに有することを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項１５】  前記第２の処理層中の前記無機酸化物の含有量が、前記蛍光体層上のメタルバック層の単位面積当たりの成分重量として、４〜４０μｇ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項１４記載のメタルバック付き蛍光面。
【請求項１６】  フェースプレート内面に、少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、
前記メタルバック層上に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）と酸化チタン（ＴｉＯ２）および酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）をそれぞれ含む第２の処理層をさらに有することを特徴とするメタルバック付き蛍光面。
【請求項１７】  前記第２の処理層中での各成分の含有割合が、二酸化ケイ素をａ％、酸化チタンをｂ％、酸化ジルコニウムをｃ％としたとき、次の式が全て成り立つことを特徴とする請求項１６記載のメタルバック付き蛍光面。
ａ  ＜  −ｂ  ＋１００
ａ  ≦  −０．５ｂ  ＋８０
ａ  ≧  −ｂ  ＋７０
ｃ  ＝  １００−（ａ＋ｂ）
（但し、a＞０、ｂ＞０、ｃ＞０）
【請求項１８】  フェースプレート内面に蛍光体層を形成する工程と、
前記蛍光体層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第１の処理層を形成する工程と、
前記第１の処理層の上にメタルバック層を形成する工程とを備え、
前記第１の処理層中の前記酸化物が、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むことを特徴とするメタルバック付き蛍光面の形成方法。
【請求項１９】  フェースプレート内面に蛍光体層を形成する工程と、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層を形成する工程と、
前記第１の処理層の上にメタルバック層を形成する工程とを備え、
前記第１の処理層を形成する工程が、
前記蛍光体層上に、水を溶媒の主成分とし加熱により前記無機酸化物を生成する成分を含む液を塗布・乾燥して下層塗膜を形成する工程と、
前記工程で形成された下層塗膜の上に、有機溶剤を溶媒の主成分とし加熱により前記無機酸化物を生成する成分を含む液を塗布・乾燥し上層塗膜を形成する工程と、
前記下層塗膜と上層塗膜とが積層された塗膜を加熱処理し、前記無機酸化物を主体とする層を形成する工程を備えることを特徴とするメタルバック付き蛍光面の形成方法。
【請求項２０】  フェースプレート内面に蛍光体層を形成する工程と、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層を形成する工程と、
前記第１の処理層の上にメタルバック層を形成する工程とを備え、
前記第１の処理層を形成する工程が、
Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒから選ばれる少なくとも１種の元素のアルコキシド（アルコレート）を溶液中で加水分解し重合する工程と、
前記工程により得られたオリゴマーを含む液を塗布・乾燥して塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を加熱処理し、無機酸化物を主体とする層を形成する工程を備えることを特徴とするメタルバック付き蛍光面の形成方法。
【請求項２１】  フェースプレート内面に蛍光体層を形成する工程と、
前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層を形成する工程と、
前記第１の処理層の上にメタルバック層を形成する工程とを備え、
前記メタルバック層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第２の処理層を形成する工程をさらに備えることを特徴とするメタルバック付き蛍光面の形成方法。
【請求項２２】  前記第２の処理層を形成する工程が、
Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒから選ばれる少なくとも１種の元素のアルコキシド（アルコレート）を溶液中で加水分解し重合する工程と、
前記工程により得られたオリゴマーを含む液を塗布・乾燥して塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を加熱処理し、無機酸化物を主体とする層を形成する工程を備えることを特徴とする請求項２１記載のメタルバック付き蛍光面の形成方法。
【請求項２３】  前記第２の処理層を形成する工程において、スパッタリング法により、Ｓｉターゲットの溶射時に酸素を導入しつつＳｉＯｘ層を形成することを特徴とする請求項２１記載のメタルバック付き蛍光面の形成方法。
【請求項２４】  フェースプレートと、前記フェースプレートと対向配置されたリアプレートと、前記リアプレート上に形成された多数の電子放出素子と、前記フェースプレート上に前記リアプレートに対向して形成され、前記電子放出素子から放出される電子線により発光する蛍光面とを具備し、前記蛍光面が、請求項１乃至１７のいずれか１項記載のメタルバック付き蛍光面であることを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のメタルバック付き蛍光面は、フェースプレート内面に少なくとも蛍光体層とメタルバック層を有する蛍光面であり、前記蛍光体層上に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の元素の酸化物を含有する第１の処理層が形成され、その上にメタルバック層が形成されているとともに、前記第１の処理層中の前記酸化物が、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明のメタルバック付き蛍光面の形成方法は、フェースプレート内面に蛍光体層を形成する工程と、前記蛍光体層上に、酸化ケイ素、アルカリ金属元素の１種または２種以上を含むケイ素酸化物、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムから選ばれる１種または２種以上の無機酸化物を含有する第１の処理層を形成する工程と、前記第１の処理層の上にメタルバック層を形成する工程とを備え、前記第１の処理層を形成する工程が、前記蛍光体層上に、水を溶媒の主成分とし加熱により前記無機酸化物を生成する成分を含む液を塗布・乾燥して下層塗膜を形成する工程と、前記工程で形成された下層塗膜の上に、有機溶剤を溶媒の主成分とし加熱により前記無機酸化物を生成する成分を含む液を塗布・乾燥し上層塗膜を形成する工程と、前記下層塗膜と上層塗膜とが積層された塗膜を加熱処理し、前記無機酸化物を主体とする層を形成する工程を備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明のメタルバック付き蛍光面の形成方法において、第１の処理層を形成する工程が、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒから選ばれる少なくとも１種の元素のアルコレート（アルコキシド）を溶液中で加水分解し重合する工程と、前記工程により得られたオリゴマーを含む液を塗布・乾燥して塗膜を形成する工程と、前記塗膜を加熱処理し、無機酸化物を主体とする層を形成する工程を備えることができる。