【手続補正書】
【提出日】平成17年4月1日(2005.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に近接自在な加工電極と、
被加工物に給電する給電電極と、
被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間の少なくとも一方に配置され、少なくとも一つの硬度の高い層を有する積層構造の積層体と、
前記積層体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、
前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置。
【請求項２】
被加工物に近接自在な加工電極と、
被加工物に給電する給電電極と、
被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間の少なくとも一方に配置され、少なくとも前記被加工物と対向する最表面層に表面平滑性を有する積層材と、
前記積層体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、
前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置。
【請求項３】
前記積層体は、少なくともその１層に、カチオン交換基及びアニオン交換基の少なくとも一方を有するイオン交換体を有することを特徴とする請求項１または２記載の電解加工装置。
【請求項４】
前記積層体は、少なくともその１層に、通水性を有する積層材を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電解加工装置。
【請求項５】
前記積層体の、少なくとも前記被加工物と対向する最表面層に、硬度の高い積層材を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電解加工装置。
【請求項６】
前記積層体を構成する積層材は、織布、ネット、イオン交換膜または化学機械的研磨用の研磨パッドからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電解加工装置。
【請求項７】
被加工物に近接自在な加工電極と、
被加工物に給電する給電電極と、
被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間に配置した単層もしくは積層構造のイオン交換体であって、前記被加工物側の表面に該被加工物と対向または接触する複数の分割面を有するイオン交換体と、
前記イオン交換体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、
前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置。
【請求項８】
被加工物に近接自在な加工電極と、
被加工物に給電する給電電極と、
被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間に配置した積層構造を有する積層体であって、前記被加工物側の表面に凹部及び凸部を設けた積層体と、
前記イオン交換体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、
前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置。
【請求項９】
前記凸部は、型成形によって形成されたものであることを特徴とする請求項８記載の電解加工装置。
【請求項１０】
前記凹部は、前記イオン交換体の表面に形成した加工溝からなることを特徴とする請求項８記載の電解加工装置。
【請求項１１】
前記凹部に流体を供給するか、または前記凹部から流体を吸引する孔を有することを特徴とする請求項１０記載の電解加工装置。
【請求項１２】
前記分割面は、矩形状または円形に形成されていることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれかに記載の電解加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、被加工物に近接自在な加工電極と、被加工物に給電する給電電極と、被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間の少なくとも一方に配置され、少なくとも一つの硬度の高い層を有する積層構造の積層体と、前記積層体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このように、蓄積容量（イオン交換体ではイオン交換容量）を増大させた積層構造の積層体を被加工物と加工電極との間または被加工物と給電電極との間の少なくとも一方に配置することで、電解反応により発生した加工生成物（酸化物やイオン）が積層体内にこの蓄積容量以上に蓄積しないようにして、積層体内に蓄積した加工生成物の形態が変化して、それが加工速度及びその分布に影響を与えることを防止することができる。
積層体の硬度は、被加工物の平坦性に関係し、積層体の硬度が高いほど被加工物表面の平坦度は高くなる。従って、積層体として、硬度の高いものを使用することで、被加工物の平坦性を高めることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項２に記載の発明は、被加工物に近接自在な加工電極と、被加工物に給電する給電電極と、被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間の少なくとも一方に配置され、少なくとも前記被加工物と対向する最表面層に表面平滑性を有する積層材と、前記積層体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置である。
積層体の表面平滑性は、被加工物の平坦性に関係し、積層体の表面平滑性が良好なほど被加工材の平坦性は高くなる。従って、少なくとも被加工物と対向する最表面層を形成する積層体として、表面平滑性の良好なものを使用することで、被加工物の平坦度を高めることができる。
請求項３に記載の発明は、前記積層体は、少なくともその１層に、カチオン交換基及びアニオン交換基の少なくとも一方を有するイオン交換体を有することを特徴とする請求項１または２記載の電解加工装置である。イオン交換材料の官能基の種類により、除去加工できる被加工材料の種類及びその加工効率が変化する。このため、加工対象物によりイオン交換材料の交換基を変えることが望ましく、これにより、被加工材料の範囲を広めることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４に記載の発明は、前記積層体は、少なくともその１層に、通水性を有する積層材を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電解加工装置である。積層体の通水性は、電解反応により発生した加工生成物の除去効率、ひいては電解反応の安定性に関係し、通水性が良いほど除去効率が増加する。従って、積層体として、通水性が良いものを使用することで、安定した電解反応を行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項６に記載の発明は、前記積層体を構成する積層材は、織布、ネット、イオン交換膜または化学機械的研磨用の研磨パッドからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電解加工装置である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項７に記載の発明は、被加工物に近接自在な加工電極と、被加工物に給電する給電電極と、被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間に配置した単層もしくは積層構造のイオン交換体であって、前記被加工物側の表面に該被加工物と対向または接触する複数の分割面を有するイオン交換体と、前記イオン交換体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置である。
これにより、イオン交換体の複数の分割面が被加工物表面の各領域を通過するようにして、電極自身を細分化することなく、電極を細分化した時と同様な効果を得て、加工速度の平均化（均一性）を図ることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項８に記載の発明は、被加工物に近接自在な加工電極と、被加工物に給電する給電電極と、被加工物と前記加工電極との間または被加工物と前記給電電極との間に配置した積層構造を有する積層体であって、前記被加工物側の表面に凹部及び凸部を設けた積層体と、前記イオン交換体が存在する被加工物と前記加工電極または前記給電電極の少なくとも一方との間に流体を供給する流体供給部と、前記加工電極と前記給電電極との間に電圧を印加する電源を有することを特徴とする電解加工装置である。
これにより、イオン交換体の表面に凹部と凸部を設けるといった比較的に簡単な構成で、イオン交換体の表面に多数の分割面を設けることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項９に記載の発明は、前記凸部は、型成形によって形成されたものであることを特徴とする請求項８記載の電解加工装置である。これにより、例えば、積層構造の積層体からなるイオン交換体において、最表面層に位置するイオン交換体を所望の形状に成形して積層することで、イオン交換体の表面に多数の分割面を設けることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項１０に記載の発明は、前記凹部は、前記イオン交換体の表面に形成した加工溝からなることを特徴とする請求項８記載の電解加工装置である。これにより、例えば単層構造のイオン交換体の表面に溝加工を施すことで、イオン交換体の表面に多数の分割面を設けることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項１１に記載の発明は、前記凹部に流体を供給するか、または前記凹部から流体を吸引する孔を有することを特徴とする請求項１０記載の電解加工装置である。これにより、例えば、イオン交換体の表面に全域に亘って、凹部を格子状、或いは連続した形状に設けることで、この凹部を通じて液体がイオン交換体と被加工物のほぼ全域に拡がるようにすることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項１２に記載の発明は、前記分割面は、矩形状または円形に形成されていることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれかに記載の電解加工装置である。この分割面は、矩形状または円形等、任意の形状に形成でき、しかもイオン交換体の表面に一様に分布するようにしても良く、また散点状等のランダム、更には一定の規則性を持って分布するようにしてもよい。