【手続補正書】
【提出日】平成17年3月29日(2005.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プラズマ処理装置、上部電極カバー、及び上部電極カバー用窓部
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を収容すると共に処理ガスが導入される真空容器と、前記真空容器の内部に配設され、前記被処理体を載置する下部電極と、前記真空容器においてプラズマ領域を形成すべく前記下部電極の上方に配設され、前記プラズマ領域における前記被処理体のプラズマ処理の進行程度を検出するための光を透過する開口部が形成されている上部電極本体と、前記上部電極本体の下面に接合された上部電極カバーとを備えるプラズマ処理装置において、前記上部電極カバーは、前記上部電極本体の開口部の対応部位において孔部が形成されており、この孔部には、透明な窓部が嵌められていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有し、前記孔部に嵌められている透明な窓部は、前記孔部の下部及び上部にそれぞれ嵌合することを特徴とする請求項１記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記上部電極カバーの材質は石英であることを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記窓部の材質は石英であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記窓部の材質はガラスであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記ガラスはサファイアガラスであることを特徴とする請求項５記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
被処理体を収容すると共に処理ガスが導入される真空容器と、前記真空容器の内部に配設され、前記被処理体を載置する下部電極と、前記真空容器においてプラズマ領域を形成すべく前記下部電極の上方に配設され、前記プラズマ領域における前記被処理体のプラズマ処理の進行程度を検出するための光を透過する開口部が形成されている上部電極本体とを備えるプラズマ処理装置の前記上部電極本体の下面に接合される上部電極カバーであって、前記上部電極カバーは、前記上部電極本体の開口部に対応した部位において窓部が嵌合される孔部を有し、該孔部は該窓部の形状と相補的な形状を有することを特徴とする上部電極カバー。
【請求項８】
前記孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有することを特徴とする請求項７記載の上部電極カバー。
【請求項９】
前記孔部は、前記プラズマ領域に開口することを特徴とする請求項７又は８記載の上部電極カバー。
【請求項１０】
材質が石英であることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の上部電極カバー。
【請求項１１】
被処理体を収容すると共に処理ガスが導入される真空容器と、前記真空容器の内部に配設され、前記被処理体を載置する下部電極と、前記真空容器においてプラズマ領域を形成すべく前記下部電極の上方に配設され、前記プラズマ領域における前記被処理体のプラズマ処理の進行程度を検出するための光を透過する開口部が形成されている上部電極本体と、前記上部電極本体の下面に接合された上部電極カバーとを備えるプラズマ処理装置の前記上部電極カバーに用いる上部電極カバー用窓部であって、前記上部電極カバー用窓部は、前記上部電極カバーの前記上部電極本体の開口部に対応した部位に形成される孔部に嵌め合わせ可能に少なくとも一部が前記孔部の形状と相補的な形状を有する透明部材から成ることを特徴とする上部電極カバー用窓部。
【請求項１２】
前記孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有し、前記上部電極カバー用窓部は、前記孔部の下部及び上部にそれぞれ嵌め合わせ可能な小径の下部及び大径の上部を有することを特徴とする請求項１１記載の上部電極カバー用窓部。
【請求項１３】
材質が石英であることを特徴とする請求項１１又は１２記載の上部電極カバー用窓部。
【請求項１４】
材質がサファイアであることを特徴とする請求項１１又は１２記載の上部電極カバー用窓部。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
図４において、真空容器５２は、その内部おいて下部電極の上方に配設され、内部チャンバ内に形成されたプラズマ領域７０と隔離するべく下面に上部電極カバー５１が接合された上部電極本体５０を有し、内視筒８０は、上部電極本体５０に設けられた開口部５０ａと、この開口部５０ａの上方において真空容器５２に設けられ、不図示のセンサを載置すると共に中央に孔部を有するセンサ載置台５４と、開口部５０ａの上方において真空容器５２に設けられ、開口部５０ａとセンサ載置台５４の孔部とを接続する管状部材５５とから成る。センサ載置台５４の孔部には、石英等から成る光学ガラス５３が設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の目的は、上部電極カバーのメンテナンスコストを低減することができるプラズマ処理装置、上部電極カバー、及び上部電極カバー用窓部を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１記載のプラズマ処理装置は、被処理体を収容すると共に処理ガスが導入される真空容器と、前記真空容器の内部に配設され、前記被処理体を載置する下部電極と、前記真空容器においてプラズマ領域を形成すべく前記下部電極の上方に配設され、前記プラズマ領域における前記被処理体のプラズマ処理の進行程度を検出するための光を透過する開口部が形成されている上部電極本体と、前記上部電極本体の下面に接合された上部電極カバーとを備えるプラズマ処理装置において、前記上部電極カバーは、前記上部電極本体の開口部の対応部位において孔部が形成されており、この孔部には、透明な窓部が嵌められていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項２記載のプラズマ処理装置は、請求項１記載のプラズマ処理装置において、前記孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有し、前記孔部に嵌められる透明な窓部は、前記孔部の下部及び上部にそれぞれ嵌合することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２記載のプラズマ処理装置によれば、孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有し、この孔部に嵌められる透明な窓部は、孔部の下部及び上部にそれぞれ嵌合するので、窓部を上部から容易に嵌め込むことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項６記載のプラズマ処理装置によれば、窓部の材質がサファイアガラスであるので、窓部のプラズマ耐性を向上させて寿命を長くすることができ、もって窓部の交換の頻度を低下させることができる。
上述の目的を達成するために、請求項７記載の上部電極カバーは、被処理体を収容すると共に処理ガスが導入される真空容器と、前記真空容器の内部に配設され、前記被処理体を載置する下部電極と、前記真空容器においてプラズマ領域を形成すべく前記下部電極の上方に配設され、前記プラズマ領域における前記被処理体のプラズマ処理の進行程度を検出するための光を透過する開口部が形成されている上部電極本体とを備えるプラズマ処理装置の前記上部電極本体の下面に接合される上部電極カバーであって、前記上部電極カバーは、前記上部電極本体の開口部に対応した部位において窓部が嵌合される孔部を有し、該孔部は該窓部の形状と相補的な形状を有することを特徴とする。
請求項８記載の上部電極カバーは、請求項７記載の上部電極カバーにおいて、前記孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有することを特徴とする。
請求項９記載の上部電極カバーは、請求項７又は８記載の上部電極カバーにおいて、前記孔部は、前記プラズマ領域に開口することを特徴とする。
請求項１０記載の上部電極カバーは、請求項７乃至９のいずれか１項に記載の上部電極カバーにおいて、材質が石英であることを特徴とする。
上述の目的を達成するために、請求項１１記載の上部電極カバー用窓部は、被処理体を収容すると共に処理ガスが導入される真空容器と、前記真空容器の内部に配設され、前記被処理体を載置する下部電極と、前記真空容器においてプラズマ領域を形成すべく前記下部電極の上方に配設され、前記プラズマ領域における前記被処理体のプラズマ処理の進行程度を検出するための光を透過する開口部が形成されている上部電極本体と、前記上部電極本体の下面に接合された上部電極カバーとを備えるプラズマ処理装置の前記上部電極カバーに用いる上部電極カバー用窓部であって、前記上部電極カバー用窓部は、前記上部電極カバーの前記上部電極本体の開口部に対応した部位に形成される孔部に嵌め合わせ可能に少なくとも一部が前記孔部の形状と相補的な形状を有する透明部材から成ることを特徴とする。
請求項１２記載の上部電極カバー用窓部は、請求項１１記載の上部電極カバー用窓部において、前記孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有し、前記上部電極カバー用窓部は、前記孔部の下部及び上部にそれぞれ嵌め合わせ可能な小径の下部及び大径の上部を有することを特徴とする。
請求項１３記載の上部電極カバー用窓部は、請求項１１又は１２記載の上部電極カバー用窓部において、材質が石英であることを特徴とする。
請求項１４記載の上部電極カバー用窓部は、請求項１１又は１２記載の上部電極カバー用窓部において、材質がサファイアであることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図２において、真空容器２は、その内部おいて、内部チャンバ１５内に形成されたプラズマ領域４１と隔離するべく下面に上部電極カバー３１が接合された上部電極本体３２を有し、内視筒１００は、上部電極本体３２に設けられた開口部３２ａと、この開口部３２ａの上方において真空容器２に設けられ、不図示のセンサを載置すると共に中央に孔を有するセンサ載置台３４と、開口部３２ａの上方において真空容器２に設けられ、開口部３２ａとセンサ載置台３４の孔とを接続する管状部材３５とから成る。センサ載置台３４の孔部には、石英等から成る光学ガラス３３が設けられている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
上部電極カバー３１は、上部電極本体３２の開口部３２ａの対応部位において孔部を有し、この孔部には、透明な窓部３１ａが嵌められている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
図３において、上部電極カバー３１は、上部電極カバー３１が上部電極本体３２の開口部３２ａの対応部位において孔部を有する。この孔部は、直径Ｃが１４ｍｍ、厚さＤが１．５ｍｍの小径下部と、直径Ａが１７ｍｍ、厚さＢが１．４５ｍｍの大径上部とを有し、この孔部には、この孔部と相補形状である窓部３１ａが嵌め込まれている。即ち、窓部３１ａは、孔部の大径上部と小径下部にそれぞれ嵌合する大径上部と小径下部とから成る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
また、上部電極カバー３１の孔部の内周縁部Ｅには幅Ｇ１．５ｍｍの段深さ０．１５ｍｍの段差部が設けられ、この内周縁部Ｅから窓部３１ａの大径上部に亘ってカプトンテープ４０が接着され、窓部３１ａが上部電極カバー３１に固定されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
上述したように、本実施の形態によれば、上部電極カバー３１が上部電極本体３２の開口部３２ａの対応部位において孔部を有し、この孔部には、透明な窓部３１ａが嵌められているので、窓部３１ａに曇りが発生した場合であっても、上部電極カバー３１全体を取り外すことなく窓部３１ａのみを取り外して交換することができ、もって、上部電極カバー３１のメンテナンスコストを低減することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
本実施の形態によれば、孔部は、小径下部と、大径上部とを有するので、この孔部と相補形状である窓部３１ａを上部から容易に嵌め込むことができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１記載のプラズマ処理装置、請求項７記載の上部電極カバー、及び請求項１１記載の上部電極カバー用窓部材によれば、上部電極カバーが上部電極本体の開口部の対応部位において孔部が形成されており、この孔部には、透明な窓部が嵌められているので、窓部に曇りが発生した場合であっても、上部電極カバー全体を取り外すことなく窓部のみを取り外して交換することができ、もって、上部電極カバーのメンテナンスコストを低減することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
請求項２記載のプラズマ処理装置、請求項８記載の上部電極カバー、及び請求項１２記載の上部電極カバー用窓部材によれば、孔部は、小径の下部と、大径の上部とを有し、この孔部に嵌められる窓部は、孔部の下部及び上部にそれぞれ嵌合するので、窓部を上部から容易に嵌め込むことができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
請求項６記載のプラズマ処理装置及び請求項１０記載の上部電極カバー用窓部材によれば、窓部の材質がサファイアガラスであるので、窓部のプラズマ耐性を向上させて寿命を長くすることができ、もって窓部の交換の頻度を低下させることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１  プラズマエッチング処理装置
２  真空容器
１２  上部電極
１５  内部チャンバ
３１  上部電極カバー
３１ａ  窓部
３２  上部電極本体
３２ａ  開口部
４１  プラズマ領域
１００  内視筒
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004039900.tif 000001
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2004039900.tif 000002
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2004039900.tif 000003