【手続補正書】
【提出日】平成16年12月20日(2004.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
弾性接着剤層１４は、弾性を有する応力緩和性に優れたもので、絶縁性を有し、金属基盤１２及び絶縁性フィルム層１６との接着性の高いものが適用される。さらに耐熱性に優れているものが望ましい。特に、高い応力緩和能力を有することが必要であり、ヤング率が低い弾性に富む接着剤が好ましく用いられる。
こうした要件を満たすものとしては、接着剤にゴム成分を添加することにより、接着剤層に適度の弾性を付与したものが好ましく用いられ、セラミック板および金属基盤の熱膨張率の差により応力が発生しても、また、接着剤層自身に体積変化が生じた場合にも、弾性によって応力を緩和してセラミック層２２の歪みを防ぐことができる。
しかし静電チャック装置は、プラズマ等によるウエハ処理を繰り返すうちに、接着剤層がラジカル、高温等により劣化し、徐々に弾性を失って応力緩和効果が低下し、緩和されていた応力がセラミック層の歪みやウエハ吸着面の平面度低下をもたらしかねない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
高抵抗接着剤層１４ａは、弾性接着剤層１４よりも電気的抵抗が高く、かつこれと接する金属基盤１２、絶縁性フィルム層１６、弾性接着剤層１４との接着性を有する材料を用いて、給電孔２５ａの周囲にドーナツ状に設けられる。材料としては、例えばエポキシ系、フェノール系、ポリアミド系、ポリイミド系、およびポリフェニルエーテル系のうちから選択される少なくとも１つの接着剤が好ましく用いられる。
ここで、上記のように弾性接着剤層１４としてゴム成分と抗酸化剤を含有する接着剤が好ましく用いられるが、接着剤に弾性を付与するためにゴム成分を添加することによって接着剤層の電気的抵抗が低下する。したがって、弾性接着剤層１４をある程度薄く形成すると、給電孔２５ａ内の給電手段と金属基盤１２との間で絶縁破壊が生じるおそれがあった。
したがって、本実施形態の如く弾性接着剤層１４と給電孔２５ａとの間に高抵抗接着剤層１４ａを介在させることにより、給電孔２５ａ付近でも高い電気絶縁性を確保することができる。
但し、高抵抗接着剤層１４ａは、弾性接着剤層１４に比べると弾性が劣るので、高抵抗接着剤層１４ａの平面形状外径が大きすぎると、弾性接着剤層１４による応力緩和効果が部分的に損なわれることにより、セラミック層２２の歪みやウエハ吸着面の平面度低下が生じるおそれがある。また高抵抗接着剤層１４ａの平面形状外径が小さすぎると、給電孔２５ａ付近での電気絶縁性向上の効果が得られない。したがって高抵抗接着剤層１４ａの平面形状外径は、好ましくはφ５ｍｍ〜φ２０ｍｍ、さらに好ましくはφ８ｍｍ〜φ１５ｍｍ程度に設定される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
電極１８は、所定のパターン状に形成されるもので、導電性材料からなる。例えば銅箔を使用することができるが、薄層化するためには絶縁性フィルム層１６をなす絶縁性フィルムの片面に蒸着、スパッタリング、またはメッキで形成することが好ましい。蒸着またはスパッタリングで形成するには、ニッケル、クロム、アルミニウム等が、メッキで形成するには、銅、クロム等が好ましいが、錫、銀、パラジウム等およびそれらの合金などでも良い。
電極１８の厚さは限定はされないが、０.１〜１０μｍが好ましく、０.５〜８μｍがより好ましい。０.１μｍ未満の膜厚であると均一な膜が形成しにくいうえ、アルミニウム等の反応性の高い材料の場合は、酸化しやすいため安定した導電性を保持するのが難しい。また、１０μｍを越えると蒸着やメッキ法では形成コストがかかる。
尚、図２に示す電極１８の平面形状は一例であり、他にもさまざまな変形が可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
［実施例１］
膜厚２５μｍのポリイミドフィルム（「カプトン」東レ・デュポン社製）からなる絶縁性フィルム層１６の片面に、ニッケルを厚さ５００オングストロームに蒸着した後、銅メッキを行ない、厚さ２μｍの電極層を形成した。そして、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、洗浄を行ない、図２に示すような形状の電極１８を形成した。この電極形成面に、接着剤層２０として上記接着剤(イ)を乾燥後の厚さが１０μｍになるように塗布し、１５０℃で５分間加熱乾燥し半硬化させた後、表面が平滑で直径８インチ、厚さ０.４ｍｍのアルミナセラミック板２２と貼り合わせた。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
次いで、絶縁性フィルム層１６の他方の面（非電極形成面）に、弾性接着剤層１４として接着剤(イ)を厚さ４０μｍに成膜して半硬化させた後、この層の給電孔２５ａの形成位置およびその周囲の高抵抗接着剤層１４ａの形成位置を直径１０ｍｍ、厚さ４０μｍの円盤状に切り取った。続いて、この切り取った跡の凹部内に高抵抗接着剤層１４ａとして接着剤(ニ)を厚さ４０μｍに塗布し、半硬化させた。そして、予め直径８ｍｍの貫通孔２５ｂが形成されたアルミニウム製金属基盤１２を弾性接着剤層１４および高抵抗接着剤層１４ａ上に貼り合わせ、１００〜１５０℃のステップキュアーを行って、接着剤を硬化させた。  
この後、高抵抗接着剤層１４ａおよび絶縁性フィルム層１６に給電手段を設けてリード線２７を電極１８に接続したうえ、絶縁体２８としてエポキシ系接着剤を用いて貫通孔２５ｂを封止し、図１に示す静電チャック装置を製造した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
［実施例２］
接着剤(イ)を上記接着剤(ロ)に代えた以外は実施例１と同様にして、静電チャック装置を製造した。
［実施例３］
接着剤(イ)を上記接着剤(ハ)に代えて、静電チャック装置を製造した。すなわち、上記実施例１と同様にして絶縁性フィルム層１６の片面上に電極１８を形成し、この電極形成面に、接着剤層２０として上記接着剤(ハ)を塗布し、加熱乾燥、半硬化させた後、アルミナセラミック板２２と貼り合わせた。
次いで、絶縁性フィルム層１６の他方の面（非電極形成面）に、弾性接着剤層１４として接着剤（ハ）を乾燥後の厚さが４０μｍとなるように成膜して半硬化させた後、この層の給電孔２５ａの形成位置およびその周囲の高抵抗接着剤層１４ａの形成位置を直径１５ｍｍ、厚さ４０μｍの円盤状に切り取った。続いて、この切り取った跡の凹部内に高抵抗接着剤層１４ａとして接着剤(ニ)を厚さ４０μｍに塗布し、半硬化させた。そして、高抵抗接着剤層１４ａおよび絶縁性フィルム層１６に給電手段を形成して、リード線２７を電極１８に接続した後、予め直径１０ｍｍの貫通孔２５ｂが形成されたアルミニウム製金属基盤１２を弾性接着剤層１４および高抵抗接着剤層１４ａ上に貼り合わせた。このときリード線２７が金属基盤１２の貫通孔２５ｂを通るようにした。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
［比較例１］
上記実施例１において、高抵抗接着剤層１４ａを設けない他は同様にして、図３に示す構成の静電チャック装置を製造した。
すなわち、上記実施例１と同様にして絶縁性フィルム層１６からアルミナセラミック板２２までの積層体を形成した後、絶縁性フィルム層１６の他方の面（非電極形成面）に、弾性接着剤層１４として接着剤(イ)を厚さ４０μｍに成膜して半硬化させ、この上に、予め直径８ｍｍの貫通孔２５ｂが形成されたアルミニウム製金属基盤１２を貼り合わせ、１００〜１５０℃のステップキュアーを行って、接着剤を硬化させた。
この後、実施例１と同様にして給電手段を設け、図３に示す静電チャック装置を製造した。
［比較例２］
接着剤(イ)の代りに、上記接着剤(ハ)を使用したこと以外は、比較例１と同様にして静電チャック装置を製造した。