(57)【要約】【課題】ディスペンサー法等で蛍光体ペーストを塗布する場合にも抜けなどの不良発生を抑制することができ、蛍光体膜の塗着むらによる表示品位の低下やクロストークの発生しないプラズマディスプレイの製造方法を提供する。【解決手段】基板上にガラス粉末と有機成分を含むガラスペーストからなる隔壁前駆体を形成し、焼成して隔壁を形成するプラズマディスプレイ用背面板の製造方法であって、前記隔壁前駆体が、略ストライプ状の主隔壁前駆体と、該主隔壁前駆体と略直交する略ストライプ状の補助隔壁前駆体からなり、該補助隔壁前駆体の底部幅が、主隔壁前駆体との交差部から隣り合う主隔壁前駆体との交差部との中間部に向けて細くなる形状であることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製造方法とする。【選択図】図１
2010086720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にガラス粉末と有機成分を含むガラスペーストからなる隔壁前駆体を形成し、焼成して隔壁を形成するプラズマディスプレイ用背面板の製造方法であって、前記隔壁前駆体が、略ストライプ状の主隔壁前駆体と、該主隔壁前駆体と略直交する略ストライプ状の補助隔壁前駆体からなり、該補助隔壁前駆体の底部幅が、主隔壁前駆体との交差部から隣り合う主隔壁前駆体との交差部との中間部に向けて細くなる形状であることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製造方法。
【請求項２】
基板上にガラス粉末と感光性有機成分を含む感光性ガラスペーストを塗布し、フォトマスクを介してパターン露光し、現像して隔壁前駆体を形成し、焼成して隔壁を形成するプラズマディスプレイ用背面板の製造方法であって、該フォトマスクが、略ストライプ状の主隔壁前駆体に対応する開口部と、該主隔壁前駆体と略直交する略ストライプ状の補助隔壁前駆体に対応する開口部を有し、該補助隔壁前駆体に対応するフォトマスクの開口幅が、主隔壁前駆体との交差部に対応する部分から隣り合う主隔壁との交差部に対応する部分の中間部に向けて細くなる形状を有することを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のプラズマディスプレイ用背面板の製造方法によって製造されたプラズマディスプレイ用背面板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略す）が注目されている。
【０００３】
図２は一般的なＰＤＰの１つの画素の構成を示した模式図である。放電空間５を挟んでガラス製の前面板６およびガラス製の背面板７が対向して配置されている。背面板７は、光の３原色である赤・青・緑の３つのセルからなる画素を規則的に配置した構造を有しており、各セルの間をストライプ状の主隔壁８と、主隔壁８に直交するように補助隔壁９も存在する。
【０００４】
背面板７のガラス基板１０上には、その内面に、ストライプ状のアドレス電極１１が複数本、前面板６側のガラス基板１０上に形成されているサステイン電極１２およびスキャン電極１３と直交する方向に並走している。アドレス電極１１の上には誘電体層１４が全面に形成されており、更にその誘電体層１４の上の、それぞれのアドレス電極１１の間の位置に、これもストライプ状の主隔壁８がそれぞれ１本ずつ、アドレス電極１１に略平行に設けられている。そして、誘電体層１４の上面ならびに主隔壁８および補助隔壁９の側面蛍光体膜１５〜１７が形成されている。この蛍光体膜は可視光発光のためのもので、カラー表示のプラズマディスプレイであれば、Ｒ（赤色）蛍光体膜１５、Ｇ（緑色）蛍光体膜１６、Ｂ（青色）蛍光体膜１７の３色の蛍光体膜が交互に規則的に形成されている。
【０００５】
また、前面板６のガラス基板１０上のプラズマディスプレイの縦方向（アドレス電極と平行な方向）の画素と画素の間には、画像表示時のコントラストを維持するためにブラックストライプ１８が形成される場合がある。前面板の誘電体層１９は、ガラス基板１０上にスキャン電極１３およびサステイン電極１２またはそれらの前駆体を形成した後、ガラス粉末とバインダー樹脂を含むガラスペーストを塗布し、焼成することによって形成する。
さらに、放電空間５にはヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）およびアルゴン（Ａｒ）のうち少なくとも一種とキセノン（Ｘｅ）との混合ガスが封入されている。
【０００６】
このパネル２０は前面板６側から画像表示を見るようになっており、放電空間５内でのスキャン電極１３とサステイン電極１２との間の放電により発生する紫外線によって、蛍光体膜１５〜１７を励起し、この蛍光体膜１５〜１７からの可視光を表示発光に利用するものである。
【０００７】
ここで、低消費電力化が謳われている近年、可視光をいかに効率的に表示発光に利用できるかが、大きな課題のひとつとなっている。一般に、前面板側からの表示発光の取り出し効率を上げる方法として、走査電極と維持電極との距離（維持放電ギャップ）を広げることが知られている。しかし、維持放電ギャップを広げることで、隣同士の走査電極と維持電極が干渉することにより、同じ色でのクロストークが起こるという問題があるため、主隔壁と補助隔壁の高さの差を小さくする必要がある。
【０００８】
ここで、主隔壁と補助隔壁に段差を設ける方法として、特許文献１に記載されているように、まず隔壁形成用の感光性ガラスペーストを一層塗布し、補助隔壁に対応するパターンで露光し、さらに二層目の隔壁形成用の感光性ガラスペーストを塗布し、主隔壁に対応するパターンで露光、現像して段違い井桁上の隔壁前駆体を形成し、これを焼成する方法が提案されている。この方法を用いて主隔壁と補助隔壁の段差を小さくするためには、二層目の隔壁形成用の感光性ガラスペーストを薄く塗布する必要がある。隔壁形成用の感光性ガラスペーストを塗布する方法としては、ダイコーター塗布法、スクリーン印刷法が挙げられる。
【０００９】
しかし、この方法により、主隔壁と補助隔壁に小さな段差を設けたとしても、蛍光体膜の形成が困難になるという問題があった。たとえば、線状に蛍光体ペーストを塗布するスクリーン印刷法や吐出口から連続的に蛍光体ペーストを吐出しながら主隔壁と平行な方向に相対移動させて塗布するディスペンサー法などでは、補助隔壁上に乗り上げた蛍光体ペーストが主隔壁と補助隔壁の交差部分を越えて隣に形成された異なる色の蛍光体ペーストと混色してしまうという問題、あるいは、補助隔壁の頂部に蛍光体ペーストが付着する箇所と付着しない箇所が発生し、蛍光体膜の塗着むらによる表示品位の低下という問題があった。さらに蛍光体ペーストを塗布する際に、蛍光体ペーストの下に空気がかむことで蛍光体ペーストが浮いてしまい、焼成等の工程で蛍光体膜が抜け落ちてしまい、蛍光体膜が形成されないセル（蛍光体膜抜け）が発生するという問題があった。
【００１０】
また、ガラスペーストからなる隔壁前駆体を焼成してガラスを主成分とする隔壁を形成する場合、ガラスペースト中の有機成分が除去されるため、隔壁前駆体が収縮して隔壁となる。そのため、焼成前の主隔壁前駆体と補助隔壁前駆体の高さが同じ格子状の隔壁前駆体を設け、焼成した場合は、主隔壁前駆体と補助隔壁前駆体の交差部の焼成収縮応力が大きいため、焼成後の隔壁は、交差部付近が凹んだ形状となる。このような形状の隔壁を有する背面板を用いてＰＤＰを作成した場合、主隔壁と補助隔壁の交差部付近において前面板との間に隙間ができてしまい、異なる色との間でクロストークが発生するという問題があった。さらに、上述の異なる色の蛍光体が混色してしまうという問題、さらには上述の蛍光体膜の塗着むらによる表示品位の低下という問題がある。このような問題に対し、例えば格子状隔壁パターンに対応したドット状パターンが形成された蛍光体印刷用スクリーン版を用いる（特許文献２）ことも考えられるが、このような方法ではスクリーン版の寸法精度、印刷位置合わせ精度に限界があり、プラズマディスプレイの高精細化には対応できなかった。
【特許文献１】特開２００１−０２３５１５号公報
【特許文献２】特開２００１−７６６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明が解決しようとする課題は、ディスペンサー法等で蛍光体ペーストを塗布する場合にも、蛍光体膜の抜けなどの不良発生を抑制することができ、蛍光体膜の塗着むらによる表示品位の低下やクロストークの発生しないプラズマディスプレイの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述の課題を解決するため、本発明は、基板上にガラス粉末と有機成分を含むガラスペーストからなる隔壁前駆体を形成し、焼成して隔壁を形成するプラズマディスプレイ用背面板の製造方法であって、前記隔壁前駆体が、略ストライプ状の主隔壁前駆体と、該主隔壁前駆体と略直交する略ストライプ状の補助隔壁前駆体からなり、該補助隔壁前駆体の底部幅が、主隔壁前駆体との交差部から隣り合う主隔壁前駆体との交差部との中間部に向けて細くなる形状であることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ディスペンサー法等で蛍光体ペーストを塗布する場合にも蛍光体膜の抜けなどの不良発生を抑制することができ、蛍光体膜の塗着むらによる表示品位の低下やクロストークの発生しないＰＤＰの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、以下に述べる構造を有した隔壁前駆体を焼成することによって達成される。
【００１５】
以下に、ディスプレイとしてＡＣ型プラズマディスプレイを例に説明するが、本発明はこれに限定されるわけではなく他のディスプレイにも適用可能なものである。
【００１６】
本発明における、焼成前の主隔壁前駆体、補助隔壁前駆体の模式図を図１（ａ）に示す。本発明は、基板上に、ガラス粉末と有機成分を含むガラスペーストからなる隔壁前駆体を形成し、補助隔壁前駆体１の底部幅が、主隔壁前駆体２ａとの交差部から隣り合う主隔壁前駆体２ｂとの交差部との中間部に向けて細くなっている形状として、これを焼成することにより達成される。
【００１７】
このようにすることで、焼成後の補助隔壁３の底部幅が、主隔壁４ａとの交差部から隣り合う主隔壁４ｂとの交差部との中間部に向けて細くなった形状となる。さらに、補助隔壁前駆体１と主隔壁前駆体２ａとの交差部から隣り合う主隔壁前駆体２ｂとの交差部の中間部の細くなっている部分は、周りの収縮の影響をより受けるため、図１（ｂ）に示すように焼成後の高さが低くなり、切れ込みを有する形状となる。そのため、線状に蛍光体膜を塗布するスクリーン印刷法やディスペンサー法などを用いて蛍光体ペーストを塗布する場合であっても、補助隔壁上に蛍光体ペーストが溢れないため塗着むらによる表示品位の低下を抑制することができる。また、塗布中に蛍光体ペーストの下の空気が切り込みに流れ込むことで、蛍光体ペーストの浮きを抑制することができるので、蛍光体膜の抜けを減少させることができる。
さらに、補助隔壁前駆体１の底部幅が、主隔壁前駆体２ａとの交差部から隣り合う主隔壁前駆体２ｂとの交差部との中間部に向けて細くなっている部分は、周りへの収縮の影響が少ない。そのため、主隔壁４と補助隔壁３の交差部が焼成により凹むという問題は発生しないので、前面板との封着後の異なる色とのクロストークを抑制することができる。
【００１８】
ここで、隔壁前駆体とは、焼成により形成された隔壁の焼成前の状態をいう。
【００１９】
また、異なる色とのクロストークとは、主隔壁４と補助隔壁３の交差部が凹んだ状態で、前面板と封着した場合に、交差部付近において前面板と隔壁の間に隙間ができてしまい、主隔壁を越えて発生するクロストークを指す。
【００２０】
ここで、本発明の隔壁前駆体構造を形成する方法として、大きく分けると以下の二つがあげられる。
【００２１】
まず一つの方法は、隔壁形成用の感光性ガラスペーストを一層、もしくは二層連続で塗布し、その後、格子状パターンを有するフォトマスクを介して隔壁層を露光し、現像する方法である。
【００２２】
もう一つの方法は、隔壁形成用の感光性ガラスペーストを一層塗布した後、補助隔壁に対応するパターンを有するフォトマスクを介して露光を行い、次いで、一層目の隔壁層上に、二層目の隔壁形成用の感光性ガラスペーストを塗布し、主隔壁に対応するパターンを有するフォトマスクを介して露光し、現像する方法である。
【００２３】
これら二つの方法で用いるフォトマスクとしては、前者の方法では、略ストライプ状の主隔壁前駆体に対応する開口部と、該主隔壁前駆体と略直交する略ストライプ状の補助隔壁前駆体に対応する開口部を有し、該補助隔壁前駆体に対応するフォトマスクの開口幅が、主隔壁前駆体との交差部に対応する部分から隣り合う主隔壁との交差部に対応する部分の中間部に向けて細くなる形状を有するものが好適に用いられる。また、後者については、一層目の露光を行う際に用いるフォトマスクとして、補助隔壁前駆体に対応するフォトマスクの開口部が、主隔壁前駆体との交差部から隣り合う主隔壁との交差部との中間部に対応する部分に向けて細くなる形状を有しているものが好適に用いられる。
【００２４】
これら二つの方法のうち、クロストークを抑制でき、且つ、蛍光体ペーストの塗布性を向上することができるという点で、前者の方法を用いることがより好ましい。
【００２５】
補助隔壁前駆体１の主隔壁前駆体２ａ、主隔壁前駆体２ｂとのそれぞれの交差部の中間部の底部幅は、主隔壁前駆体との交差部付近における補助隔壁前駆体の底部幅の２０％以上９０％未満が好ましい。より好ましくは、５０％以上７０％未満である。２０％以下になると焼成後の補助隔壁が完全に途切れてしまうため、同じ色でのクロストークが発生する場合がある。また、９０％以上になると、焼成後の補助隔壁に切れ込みが小さくなるために、塗着むらによる表示品位の低下や蛍光体膜の抜けといった問題が発生したり、主隔壁と補助隔壁の交差部が凹んでしまい、異なる色とのクロストークが発生したりする場合があった。
【００２６】
ここで同じ色でのクロストークとは、補助隔壁が途切れることによって、同列同色の隣り合うセルを隔てる壁がなくなるために発生するクロストークを指す。
【００２７】
本発明で用いるプラズマディスプレイ用部材の基板としては、ガラス基板の例としては、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子社製の“ＰＰ８”などが挙げられる。
【００２８】
隔壁の形成方法としては、サンドブラスト法、型転写法、フォトリソグラフィー法等が挙げられる。本発明に使用する隔壁の材料としては特に限定されず、公知の材料を適用することができる。
【００２９】
隔壁の形成方法としては、アスペクト比の高い隔壁を形成する場合の加工精度、均一性といった点から、サンドブラスト法やフォトリソグラフィー法が好ましい。例えば、フォトリソグラフィー法の場合、隔壁ペーストとして低軟化点ガラス、フィラー等の無機微粒子および感光性有機成分を含む感光性ペーストを用いることができる。
【００３０】
本発明の隔壁は、熱軟化温度が３５０〜６００℃の低軟化点ガラス微粒子および熱軟化温度が６００℃より高いガラス微粒子もしくはセラミック微粒子から選ばれるフィラーを含む無機微粒子ならびに有機バインダー等の有機成分を含むガラスペーストを用いて形成する。ガラスペースト中に含まれる低軟化点ガラス微粒子とフィラーの含有量を調整し、隔壁の各層の前駆体となる各ガラスペースト層の厚みを制御してガラスペーストを塗布、乾燥、パターン化するか、パターン塗布した後に乾燥することによって隔壁パターンを形成し、これを焼成して有機成分を除去し、低軟化点ガラスを焼結することによって本発明の隔壁を作製することができる。
【００３１】
低融点ガラス微粒子としては、ケイ素および／またはホウ素の酸化物を含有したガラスが好ましく用いられる。
【００３２】
酸化ケイ素は、３〜６０重量％の範囲で配合されていることが好ましい。３重量％以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨張係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマッチを防ぐことができる。また、６０重量％以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。
【００３３】
酸化ホウ素は、５〜５０重量％の範囲で配合することが好ましく、この範囲とすることによって、電気絶縁性、強度、熱膨張係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。５０重量％以下とすることでガラスの安定性を保つことができる。
【００３４】
さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも１種類を合計で５〜５０重量％含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができるため好ましい。特に、酸化ビスマスを５〜５０重量％含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化ビスマス：１０〜４０重量％
酸化ケイ素：３〜５０重量％
酸化ホウ素：１０〜４０重量％
酸化バリウム：８〜２０重量％
酸化アルミニウム：１０〜３０重量％
また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも１種類を３〜２０重量％含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、２０重量％以下、好ましくは、１５重量％以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記３種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化リチウム：２〜１５重量％
酸化ケイ素：１５〜５０重量％
酸化ホウ素：１５〜４０重量％
酸化バリウム：２〜１５重量％
酸化アルミニウム：６〜２５重量％
また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨張係数を容易にコントロールすることができる。
【００３５】
また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨張係数の点からは、その含有量は、４０重量％以下が好ましく、より好ましくは２５重量％以下である。
【００３６】
本発明においては、上述のようにフォトリソグラフィー法を用いることが好ましい。
以下、フォトリソグラフィー法を用いた本発明の隔壁の形成方法について説明する。
【００３７】
フォトリソグラフィー法で用いる感光性ガラスペーストは上述の低軟化点ガラス微粒子およびフィラーを含む無機微粒子ならびに感光性有機成分を含む有機成分からなる。
【００３８】
感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーから選ばれた少なくとも１種類の感光性成分を含有することが好ましく、さらに、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を添加する。
【００３９】
感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の（メタ）アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは１種または２種以上使用することができる。
【００４０】
これら隔壁形成工程において、感光性ガラスペーストを塗布する方法としては、バーコーター、ロールコーター、スリットダイコーター、ブレードコーター、スクリーン印刷等がある。塗布厚みは、所望の隔壁の高さとペーストの焼成による収縮率、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度によって調整できる。
【００４１】
感光性ガラスペーストを塗布した後、上述のようなフォトマスクを用いてパターン露光を行う。
【００４２】
本発明の隔壁を有するＰＤＰ用部材は、他にアドレス電極、誘電体層、蛍光体膜を形成されたものであることが好ましい。
【００４３】
基板上に、銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりストライプ状のアドレス電極が形成される。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷し、４００〜６００℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する方法や、金属粉末と感光性有機成分を含む感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光後、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに４００〜６００℃に加熱、焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。なお、アドレス電極の焼成は後述の誘電体層の焼成または誘電体層および隔壁の焼成と同時に行ってもよい。
【００４４】
前記アドレス電極を被覆して、誘電体層が形成される。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストを、アドレス電極を覆う形で塗布した後に、４００〜６００℃で焼成することにより形成することができる。
【００４５】
前記誘電体層を形成したのちに、上述の方法で隔壁を形成する。
【００４６】
また、蛍光体膜の形成方法として、所定のアドレス電極と平行方向に形成された隔壁間に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色に発光する蛍光体膜を形成する。蛍光体膜は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。
【００４７】
続いて、前面板の製造方法の例を説明する。前面板に使用するガラス基板としては、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子製の“ＰＰ８”を用いることができる。まず、ガラス基板上に、ＩＴＯをスパッタし、フォトエッチング法によりスキャン電極およびサステイン電極のパターンを形成する。次いで、黒色電極を形成するため、酸化コバルト等の黒色顔料と低軟化点ガラス、感光性有機成分を含む感光性黒電極ペーストを印刷する。この黒色電極は抵抗率が大きいので、抵抗率の小さい電極も作製してバス電極を形成するため、導電性の高い感光性電極用ペースト（例えば導電性粉末としてＡｇを主成分とするもの）を、感光性黒電極ペーストの印刷面上に印刷する。そして、一括露光／現像してバス電極パターンを作製する。導電性を確実に確保するため、現像前に導電性の高い電極ペーストを再び印刷し、再露光後一括現像してもよい。バス電極パターンの形成後、焼成する。その後、コントラスト向上のため、ブラックストライプやブラックマトリクスを形成するのが好ましい。次に、低軟化点ガラス粉末と有機バインダーを含む透明誘電体を塗布する。さらに、ＭｇＯからなる保護膜を形成する。
【００４８】
次にプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。上述の背面板と前面板を封着後、２枚の基板間隔に形成された空間を加熱しながら真空排気を行った後に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入して封止する。放電電圧と輝度の両面からはＸｅ５〜１５％−Ｎｅｂａｌ．混合ガスが好ましい。紫外線の発生効率を大きくするために、さらにＸｅを３０％程度まで高くしてもよい。
【００４９】
最後に、駆動回路を装着し、エージングすることによって、ＰＤＰを作製できる。
【実施例】
【００５０】
以下に、本発明を実施例を用いて具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。
【００５１】
４２インチサイズのＡＣ（交流）型プラズマディスプレイパネルを形成し、評価を実施した。
【００５２】
ガラス基板として、５９０×９６４×１．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を使用した。この基板上に、書き込み電極として、平均粒径２．０μｍの銀粉末を７０重量部、Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／Ｂ２Ｏ３＝６９／２４／４／３（質量％）からなる平均粒径２．２μｍのガラス粉末２重量部、アクリル酸、メチルメタクリレート、スチレンの共重合ポリマー８重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート７重量部、ベンゾフェノン３重量部、ブチルカルビトールアクリレート７重量部、ベンジルアルコール３重量部からなる感光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィー法により、ピッチ２４０μｍ、線幅１００μｍ、焼成後厚み３μｍのストライプ状電極を形成した。
【００５３】
この基板に、Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＺｎＯ／Ｂ２Ｏ３＝７８／１４／３／３／２（質量％）からなる体積平均粒子径２μｍの低融点ガラス微粒子を６０重量部、平均粒子径０．３μｍの酸化チタン粉末を１０重量部、エチルセルロース１５重量部、テルピネオール１５重量部からなる誘電体ペーストを塗布した後、１２０℃で乾燥して、誘電体層を形成した。
【００５４】
隔壁形成用の感光性ガラスペーストは以下の成分を配合、分散して用いた。
ガラス粉末：Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＺｎＯ／Ｂ２Ｏ３＝８３／６／４／４／３（質量％）からなる平均粒径２μｍのガラス粉末  重量は表１内に記載
フィラー：平均粒径０．２μｍの酸化チタン  重量は表１内に記載
ポリマー：”サイクロマー”Ｐ（ＡＣＡ２５０、ダイセル化学工業社製）  １０重量部
有機溶剤（１）：ベンジルアルコール  ４重量部
有機溶剤（２）：ブチルカルビトールアセテート  ３重量部
モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート  ８重量部
光重合開始剤：ベンゾフェノン  ３重量部
酸化防止剤：１，６−ヘキサンジオール−ビス［（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］  １重量部
有機染料：ベージックブルー２６  ０．０１重量部
チキソトロピー付与剤：Ｎ，Ｎ’−１２−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン：０．５重量部
界面活性剤：ポリオキシエチレンセチルエーテル：０．４９重量部
（実施例１）
一層目として隔壁形成用感光性ペースト（低軟化点ガラス／フィラー＝８０／２０）をスリットダイコーターにより厚み２６０μｍで塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、４０分の乾燥を行い、塗布膜を形成した。さらに、二層目として隔壁形成用感光性ペースト（低軟化点ガラス／フィラー＝６０／４０）をスリットダイコーターにより厚み４０μｍで塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、３０分の乾燥を行い、塗布膜を形成した。そして、主隔壁前駆体に対応する開口部のピッチが１６０μｍ、開口幅３０μｍ、補助隔壁前駆体に対応する開口部のピッチが４８０μｍで、補助隔壁前駆体に対応する開口部が、主隔壁前駆体に対応する開口部との交差部から隣接する主隔壁前駆体に対応する開口部との交差部の中間部に向けて、細くなっている開口形状を有し、補助隔壁前駆体に対応する開口部の最太部の開口幅が３０μｍのフォトマスク（最細部開口幅１５μｍ）により露光を行った。フォトマスクとのギャップを３００μｍとり、積算露光量５００ｍＪ／ｃｍ２で露光を実施した。隔壁を現像後、最高温度５９０℃条件下１５０分間の焼成を行い、主隔壁、補助隔壁の高さが１２０μｍであり、主隔壁との交差部と隣り合う主隔壁との交差部の中間部において補助隔壁の高さが１００μｍ（切れ込みの深さが２０μｍ）となる格子状隔壁を作製した。
【００５５】
主隔壁の幅は頂部３８μｍ、底部６０μｍ、ピッチは１６０μｍ、補助隔壁の幅は頂部４０μｍ、底部６０μｍ、ピッチは４８０μｍであった。
【００５６】
形成された隔壁にディスペンサー法を用いて各色蛍光体ペーストを塗布、焼成（５００℃、３０分）して隔壁の側面および底部に蛍光体膜を形成した。
【００５７】
次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、ガラス基板として５９０×９６４×１．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を用い、このガラス基板上にＩＴＯをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光、現像処理、エッチング処理によって厚み０．１μｍ、線幅２００μｍの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み５μｍのスキャン電極とサステイン電極を形成した。電極はそれぞれピッチ５００μｍ、線幅８０μｍのものを作製した。
【００５８】
次に、酸化鉛を７５質量％含有する低融点ガラスの粉末を７０重量部、エチルセルロース２０重量部、テルピネオール１０重量部を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように５０μｍの厚みで塗布した後に、５７０℃、１５分間の焼成を行って前面板誘電体層を形成した。
【００５９】
誘電体層を形成した基板上に、保護膜として、電子ビーム蒸着により厚み０．５μｍの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。得られた前面ガラス基板を、前記の背面ガラス基板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスを封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイを作製した。このパネルに電圧を印加して表示を観察した。観察結果を以下基準で判断した。
（蛍光体膜の抜け）
１画素の中に１色でも蛍光体膜の抜けのあるセルがあれば、１個とカウントした。
（蛍光体膜の付着むら）
蛍光体膜を形成した背面板を目視により検査し、補助隔壁頂部への蛍光体膜の付着むらが確認されれば、頂部乗りあり、ムラが確認されなければ、問題ないこととした。
（同じ色でのクロストーク）
同じ色の隣り合うセル間でクロストークが発生している個数を同じ色でのクロストーク数とした。
（異なる色でのクロストーク）
異なる色の隣り合うセル間でクロストークが発生している個数を異なる色でのクロストーク数とした。
【００６０】
その結果、蛍光体膜の抜け、頂部乗り、同じ色でのクロストーク、異なる色でのクロストークは発生しなかった。
（実施例２）
背面板の隔壁露光時について、フォトマスクの補助隔壁前駆体に対応する開口幅の最細部が２５μｍのものを使用したこと以外、実施例１と同じ条件で作製した。この時の補助隔壁中間部の最大切れ込み部の高さが１１６μｍ（切れ込みの深さが４μｍ）であった。このパネルに電圧を印加して表示を観察した。その結果、蛍光体膜の抜けは５個／１パネル、頂部乗りは発生せず、同じ色でのクロストークが０個／１パネル、異なる色でのクロストークが０個／１パネル発生した。
（比較例１）
補助隔壁前駆体に対応する開口幅が、一定の３０μｍであるフォトマスクを使用したこと以外、実施例と同じ条件で作製した。このパネルに電圧を印加して表示を観察した。その結果、蛍光体膜の抜けは４０個／１パネル、頂部乗りが１００カ所／１パネル発生し、同じ色でのクロストークによる誤放電が２個／１パネル、異なる色でのクロストークが１０個／１パネル発生した。
（実施例３）
背面板の隔壁露光時について、フォトマスクの補助隔壁前駆体に対応する開口幅の最細部が５μｍのものを使用したこと以外、実施例１と同じ条件で作製した。この時の補助隔壁中間部は補助隔壁が完全に途切れた状態であった。このパネルに電圧を印加して表示を観察した。その結果、蛍光体膜の抜けは０個／１パネル、頂部乗りは発生せず、同じ色でのクロストークが５０個／１パネル、異なる色でのクロストークが０個／１パネル発生した。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明における隔壁前駆体と隔壁の形状を示した模式図である。
【図２】本発明のプラズマディスプレイの１つの画素を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  補助隔壁前駆体
２  主隔壁前駆体
３  補助隔壁
４  主隔壁
５  放電空間
６  前面板
７  背面板
８  主隔壁
９  補助隔壁
１０  ガラス基板
１１  アドレス電極
１２  サステイン電極
１３  スキャン電極
１４  誘電体層
１５  Ｒ（赤色）蛍光体膜
１６  Ｇ（緑色）蛍光体膜
１７  Ｂ（青色）蛍光体膜
１８  ブラックストライプ
１９  誘電体層
２０  パネル
【図１】
2010086720.tif 000003
【図２】
2010086720.tif 000004