(57)【要約】【課題】従来のエアリーク検査装置では、密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部に設けられるフィルタの特性の良否判定を行うことができなかったので、電子部品装置の検査工程が煩雑となっていた。【解決手段】電子部品が実装された回路基板２０を収納する密閉ケース１０に、該密閉ケース１０の内部空間１ａの内部と外部とを連通する呼吸孔１２ｅを形成し、前記呼吸孔１２ｅを液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタ１６にて閉塞して構成した電子部品装置１のエアリーク検査方法であって、前記呼吸孔１２ｅにおける前記フィルタ１６よりも外部側に圧力センサ５８を設け、前記内部空間１ａ内に検査用エアを圧送し、前記検査用エアを圧送したときの前記内部空間１ａ内の圧力変化を、前記圧力センサ５８によりモニターして、電子部品装置１のエアリーク検査とともに、前記フィルタ１６の特性の良否判定を行う。【選択図】  図３
2010135429.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が実装された回路基板を収納する密閉ケースに、該密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部を形成し、前記開口部を液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタにて閉塞して構成した電子部品装置のエアリーク検査方法であって、
前記開口部における前記フィルタよりも外部側に圧力センサを設け、
前記密閉ケース内に検査用エアを圧送し、
前記検査用エアを圧送したときの前記密閉ケース内の圧力変化を、前記圧力センサによりモニターして、
電子部品装置のエアリーク検査とともに、前記フィルタの特性の良否判定を行う、
ことを特徴とする電子部品装置のエアリーク検査方法。
【請求項２】
電子部品が実装された回路基板を収納する密閉ケースに、該密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部を形成し、前記開口部を液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタにて閉塞して構成した電子部品装置のエアリーク検査装置であって、
前記開口部における前記フィルタよりも外部側に配置される圧力センサと、
前記密閉ケース内に検査用エアを圧送するエア印加手段とを備え、
前記エア印加手段により前記密閉ケース内に検査用エアを圧送したときの前記密閉ケース内の圧力変化を、前記圧力センサによりモニターして、
電子部品装置のエアリーク検査とともに、前記フィルタの特性の良否判定を行う、
ことを特徴とする電子部品装置のエアリーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品が実装された回路基板を収納する密閉ケースに、該密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部を形成し、前記開口部を液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタにて閉塞して構成した電子部品装置のエアリーク検査方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、車両のエンジンルーム内に設置される電子部品装置などは、電子部品が実装された回路基板をケース内に収納して構成されているが、装置の被水や、環境温度の変化によるケース内の空気の膨張・収縮が生じるため、回路基板を収納するケースを密閉ケースに構成するとともに、該ケースに内部と外部とを連通する開口部を形成し、前記開口部を液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタにて閉塞して、ケース内部に対する防水性を確保するとともに、ケースの内圧と外圧とを平衡化することが可能なように構成している。
【０００３】
このように、防水機能を備えた電子部品装置においては、ケースの密閉性を検査するために、ケース内に圧送したエアの漏れを検知するエアリーク検査が行われている。エアリーク検査としては、検査対象となるケース内にエアを圧送した後に、ケース内の圧力降下を圧力計などにより検知する圧力計法や、検査対象となるケース内および基準タンク内にエアを圧送した後に、検査対象となるケース内の圧力降下を、基準タンクとの差圧として検出する差圧計法などが知られている。
【０００４】
特許文献１には、密閉ケースの側面に内外を連通する開口部を形成し、この開口部にフィルタを設けた電子制御装置において、前記開口部に機密検査機器を接続して、検査エアにより密閉ケースの機密検査を行うことが開示されている。
【０００５】
また、電子部品装置においては、図５に示す電子部品装置１のように、回路基板２０を収納する密閉ケース１０を、ケースの底面を構成するベース板１１、ケースの側面を構成し、前記ベース板１１と接合されるハウジング部材１２、およびケースの天井面を構成し、前記ハウジング部材１２と接合される蓋部材１３により構成したものがある。
ベース板１１には、接合部１１ａがハウジング部材１２の形状に合わせて突出しており、前記接合部１１ａに塗布された接着剤１４ａにより、ベース板１１とハウジング部材１２の下端面とが接着されている。そして、ベース板１１とハウジング部材１２との接合部は、前記接着剤１４ａによりシールされている。
また、ハウジング部材１２の上面と蓋部材１３との間にはシール部材１５が介装されており、このシール部材１５によりハウジング部材１２と蓋部材１３との接合部がシールされている。
このように、密閉ケース１０においては、ベース板１１、ハウジング部材１２、および蓋部材１３を互いに密着させて接合することにより、密閉された内部空間１ａを構成している。
【０００６】
前記ハウジング部材１２の一側面には、ベース板１１に接合されている回路基板２０の外部接続端子となるコネクタ１２ａが一体的に形成されている。
コネクタ１２ａは外部機器との接続部１２ｂと、ハウジング部材１２を貫通し、前記接続部１２ｂから内部空間１ａ内にわたって配置される接続ピン１２ｃとを備えている。
【０００７】
また、前記ハウジング部材１２の一側面からは密閉ケース１０内へ向けて隔壁１２ｄが延出しており、前記隔壁１２ｄの先端部が、ベース板１１の接合部１１ｂと接着剤１４ｂにより接着されている。
ハウジング部材１２の隔壁１２ｄとベース板１１との接合部は接着剤１４ｂによりシールされており、前記隔壁１２ｄとベース板１１とで囲まれた空間が、前記内部空間１ａとは隔離された呼吸室１ｂとして構成されている。
前記隔壁１２ｄには、前記内部空間１ａと呼吸室１ｂとを連通する呼吸孔１２ｅが形成されており、前記呼吸孔１２ｅは、液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタ１６により閉塞されている。前記フィルタ１６は、前記隔壁１２ｄの呼吸室１ｂ側の面に貼設されている。
また、前記ベース板１１には、前記呼吸室１ｂと外部とを連通する連通孔１１ｅが形成されている。
【０００８】
このように、電子部品装置１においては、前記呼吸室１ｂが連通孔１１ｅを通じて外部と連通しており、前記呼吸室１ｂと内部空間１ａとを連通する呼吸孔１２ｅがフィルタ１６により閉塞されているため、密閉ケース１０の内部空間１ａと外部との間で、前記フィルタ１６および連通孔１１ｅを通じてエアの流入・流出が可能となっているとともに、前記フィルタ１６により外部から内部空間１ａへ水やほこりが入り込むことを防止することが可能となっている。
また、前記ハウジング部材１２の一側面におけるコネクタ１２ａが形成されている部分のピン１２ｃが貫通している箇所では、内部空間１ａと外部（コネクタ１２ａの接続部１２ｂ）との間で若干のエアの流入・流出が可能となっている。
【０００９】
以上のように構成される電子部品装置１における密閉ケース１０の内部空間１ａの密閉性を検査するエアリーク検査は、従来、次のように行われていた。
図６に示すように、エアリーク検査は、密閉ケース１０のハウジング部材１２に蓋部材１３を接合していない状態（ベース部材１１とハウジング部材１２とが接合され、密閉ケース１０の上面が解放された状態）の電子部品装置１に対して行われる。
エアリーク検査を行うエアリーク検査装置１５０は、密閉ケース１０の上面を閉塞する上面閉塞部材１５１と、コネクタ１２ａの接続部１２ｂを閉塞するコネクタ部閉塞部材１５２と、前記ベース板１１の連通孔１１ｅを閉塞する連通孔閉塞部材１５３とを備えている。
【００１０】
前記上面閉塞部材１５１のハウジング部材１２と当接する側の面にはウレタンパッドなどのシール部材１５１ａが貼設されており、上面閉塞部材１５１はシール部材１５１ａを介してハウジング部材１２に当接している。これにより、上面閉塞部材１５１は気密的に密閉ケース１０の上面を閉塞している。
また、上面閉塞部材１５１およびシール部材１５１ａには内部空間１ａと外部とを連通するエア導入孔１５１ｂが開口している。
前記コネクタ部閉塞部材１５２のコネクタ１２ａと当接する側の面にはウレタンパッドなどのシール部材１５２ａが貼設されており、コネクタ部閉塞部材１５２はシール部材１５２ａを介してコネクタ１２ａに当接している。これにより、コネクタ部閉塞部材１５２は気密的にコネクタ１２ａを閉塞している。
また、コネクタ部閉塞部材１５２およびシール部材１５２ａには内部空間１ａと外部とを連通するエア導入孔１５２ｂが開口している。
前記連通孔閉塞部材１５３の連通孔１１ｅと当接する側の面には、ウレタンパッドなどのシール部材１５３ａが貼設されており、連通孔閉塞部材１５３は気密的に連通孔１１ｅを閉塞している。
【００１１】
また、エアリーク検査装置１５０は、前記上面閉塞部材１５１およびシール部材１５１ａのエア導入孔１５１ｂ、およびコネクタ部閉塞部材１５２およびシール部材１５２ａのエア導入孔１５２ｂに接続され、該エア導入孔１５１ｂおよびエア導入孔１５２ｂを通じて内部空間１ａ内にエアを圧送する検査エア印加装置１５６を備えている。
さらに、エアリーク検査装置１５０は、検査エア印加装置１５６とエア導入孔１５１ｂおよびエア導入孔１５２ｂとを接続しているエア配管１５７の途中部に接続される圧力センサ１５８を備えており、該圧力センサ１５８により、検査エア印加装置１５６から内部空間１ａ内にエアを印加しているときの内部空間１ａ内の圧力を検出するように構成している。
【００１２】
【特許文献１】特許３７６３３５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
前述のように構成された電子部品装置１のエアリーク検査を前記エアリーク検査装置１５０にて行う場合は、前記呼吸室１ｂと連通する連通孔１１ｅが連通孔閉塞部材１５３により気密的に閉塞されており、内部空間１ａ内に供給されたエアは前記連通孔１１ｅを通じて外部へもれ出すことがないため、内部空間１ａ内の圧力は、内部空間１ａと連通孔１１ｅとの間に介在しているフィルタ１６の状態によっては変化しない。
つまり、フィルタ１６が破れていて内部空間１ａ内のエアがフィルタ１６による抵抗を受けることなく呼吸室１ｂへ流入可能な状態にあったり、フィルタ１６が詰まっていて内部空間１ａ内のエアが呼吸室１ｂへ流入することができない状態にあったりしても、内部空間１ａ内の圧力は、フィルタ１６に破れや詰まりがなく正常な状態にあった場合と比べて変化しない。
【００１４】
このように、前記エアリーク検査では、圧力センサ１５８により検出される内部空間１ａ内の圧力が、フィルタ１６の良否によって変化しないため、フィルタ１６が正常な状態にあるか、または破れや詰まりなどの不良が生じている状態にあるかの判断ができない。
しかし、フィルタ１６が破れていると、外部から内部空間１ａ内への前記連通孔１１ｅおよび呼吸孔１２ｅを通じての水の浸入が生じる可能性があり、フィルタ１６に詰まりがあると内部空間１ａ内の圧力と外部の圧力とを平衡化する機能を果たすことができなくなるため、電子部品装置１においてはフィルタ１６の良否判断を行うことが必要である。
従って、従来は、フィルタ１６の良否を検査する工程がエアリーク検査とは別に必要となり、電子部品装置１の検査工程が煩雑となっていた。
【００１５】
そこで、本発明においては、電子部品装置のエアリーク検査を行う際に、密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部に設けられるフィルタの特性の良否判定を同時に行うことが可能であり、電子部品装置１の検査工程を簡略化することができる電子部品装置のエアリーク検査方法および装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決する電子部品ケースのエアリーク検査方法および装置は、以下の特徴を有する。
即ち、請求項１記載のごとく、電子部品が実装された回路基板を収納する密閉ケースに、該密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部を形成し、前記開口部を液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタにて閉塞して構成した電子部品装置のエアリーク検査方法であって、前記開口部における前記フィルタよりも外部側に圧力センサを設け、前記密閉ケース内に検査用エアを圧送し、前記検査用エアを圧送したときの前記密閉ケース内の圧力変化を、前記圧力センサによりモニターして、電子部品装置のエアリーク検査とともに、前記フィルタの特性の良否判定を行う。
【００１７】
また、請求項２記載のごとく、電子部品が実装された回路基板を収納する密閉ケースに、該密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部を形成し、前記開口部を液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタにて閉塞して構成した電子部品装置のエアリーク検査装置であって、前記開口部における前記フィルタよりも外部側に配置される圧力センサと、前記密閉ケース内に検査用エアを圧送するエア印加手段とを備え、前記エア印加手段により前記密閉ケース内に検査用エアを圧送したときの前記密閉ケース内の圧力変化を、前記圧力センサによりモニターして、電子部品装置のエアリーク検査とともに、前記フィルタの特性の良否判定を行う。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、電子部品装置のエアリーク検査を行う際に、密閉ケースの内部と外部とを連通する開口部に設けられるフィルタの特性の良否判定を同時に行うことが可能となり、電子部品装置の検査工程を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明を実施するための形態を、添付の図面を用いて説明する。
【００２０】
図１に示すエアリーク検査装置５０は、電子部品装置１における密閉ケース１０の内部空間１ａの密閉性を検査するエアリーク検査を行うための装置である。
エアリーク検査装置５０の検査対象となる電子部品装置１は、従来のエアリーク検査装置１５０の検査対象である、既に説明済みの電子部品装置１と同じものであるため、電子部品装置１についての説明の多くは、本説明においては省略する。
【００２１】
電子部品装置１は、前述のように、ベース板１１、ハウジング部材１２および蓋部材１３により密閉ケース１０が構成されている。
密閉ケース１０内には回路基板２０が収納される内部空間１ａ、および内部空間１ａとハウジング部材１２の隔壁１２ｄにより隔離されている呼吸室１ｂとが形成されている。
【００２２】
図２に示すように、ハウジング部材１２は、その下面が全周にわたって接着剤１４ａによりベース板１１と接着されており、また、ハウジング部材１２の隔壁１２ｄがベース板１１と接着剤１４ｂにより接着されている。このように、隔壁１２ｄを接着剤１４ｂにてベース板１１に接着することで、前記呼吸室１ｂが形成されている。
【００２３】
前記隔壁１２ｄに形成される呼吸孔１２ｅは、液体は遮断し気体は通過可能とするフィルタ１６により閉塞されている。前記フィルタ１６は、例えば前記隔壁１２ｄの呼吸室１ｂ側の面に貼設されている。
フィルタ１６の隔壁１２ｄへの貼設は、フィルタ１６を接着剤により隔壁１２ｄへ接着したり、フィルタ１６を隔壁１２ｄに対して超音波接合したりすることなどで行うことが可能である。
【００２４】
電子部品装置１の密閉ケース１０においては、回路基板２０が収納される内部空間１ａを密閉構造に構成しつつ、該内部空間１ａをフィルタ１６を通じて外部と連通することで、内部空間１ａ内に外部からの水の浸入を防止するとともに、環境温度の変化などにより内部空間１ａ内の空気の膨張・収縮が生じたときでも、内部空間１ａ内外の圧力を平衡化することができるように構成している。
【００２５】
次に、このように構成される電子部品装置１のエアリーク検査を行うエアリーク検査装置５０について説明する。
電子部品装置１のエアリーク検査は、密閉ケース１０のハウジング部材１２に蓋部材１３を接合していない状態（ベース部材１１とハウジング部材１２とが接合され、密閉ケース１０の上面が解放された状態）の電子部品装置１に対して行われ、前記エアリーク検査装置５０は、密閉ケース１０の上面を閉塞する上面閉塞部材５１と、コネクタ１２ａの接続部１２ｂを閉塞するコネクタ部閉塞部材５２と、前記ベース板１１の連通孔１１ｅに接続される圧力センサ５８を備えている。
【００２６】
前記上面閉塞部材５１のハウジング部材１２と当接する側の面にはウレタンパッドなどのシール部材５１ａが貼設されており、上面閉塞部材５１はシール部材５１ａを介してハウジング部材１２に当接している。これにより、上面閉塞部材５１は気密的に密閉ケース１０の上面を閉塞している。
また、上面閉塞部材５１およびシール部材５１ａには内部空間１ａと外部とを連通するエア導入孔５１ｂが開口している。
【００２７】
前記コネクタ部閉塞部材５２のコネクタ１２ａと当接する側の面にはウレタンパッドなどのシール部材５２ａが貼設されており、コネクタ部閉塞部材５２はシール部材５２ａを介してコネクタ１２ａに当接している。これにより、コネクタ部閉塞部材５２は気密的にコネクタ１２ａを閉塞している。
また、コネクタ部閉塞部材５２およびシール部材５２ａには内部空間１ａと外部とを連通するエア導入孔５２ｂが開口している。
圧力センサ５８は、ウレタンパッドなどのシール部材５３ａを介して連通孔１１ｅが形成されている部分のベース板１１と接続されており、連通孔１１ｅと連通している前記呼吸室１ｂ内の圧力を検出可能に構成されている。
【００２８】
また、エアリーク検査装置５０は、前記上面閉塞部材５１およびシール部材５１ａのエア導入孔５１ｂ、およびコネクタ部閉塞部材５２およびシール部材５２ａのエア導入孔５２ｂとエア配管５７により接続され、該エア導入孔５１ｂおよびエア導入孔５２ｂを通じて内部空間１ａ内にエアを圧送する検査エア印加装置５６を備えている。
【００２９】
図３に示すように、検査エア印加装置５６は、内部空間１ａ内へ圧送するエアを発生させるための検査エア源６０と、前記検査エア源６０から発生したエアの圧力を１次圧力Ｐ１に調整する１次レギュレータ６１と、前記１次レギュレータ６１にて調整したエア圧を検出する１次圧力センサ６２と、前記１次レギュレータ６１により１次圧力Ｐ１に調整されたエア圧を、１次圧力Ｐ１よりも低い印加圧力Ｐ２に絞る電磁比例弁などの電空レギュレータ６３と、前記電空レギュレータ６３により印加圧力Ｐ２に調整されたエア圧を検出する印加圧力センサ６４と、印加圧力Ｐ２に調整されたエア（以下「検査エア」と記載する）を貯留するためのエアタンク６５と、検査エアの内部空間１ａへの供給・停止を切り替える検査ソレノイド６６とを備えている。
【００３０】
電子部品装置１のエアリーク検査は、このように構成されるエアリーク検査装置５０により、エア導入孔５１ｂ・５２ｂを通じて内部空間１ａ内に検査エアを圧送したときの、内部空間１ａ内の圧力変化を、前記フィルタ１６を介して測定する（つまり呼吸室１ｂ内の圧力変化を測定する）ものである。
【００３１】
具体的には、電子部品装置１のエアリーク検査は、以下のようにして行われる。
図４に示すように、まず、検査ソレノイド６６が閉じている状態で、検査エア源６０で発生したエアの圧力を１次レギュレータ６１により１次圧力Ｐ１となる１００ｋｐａ程度に調整し、さらに電空レギュレータ６３により印加圧力Ｐ２となる４０ｋｐａ程度の検査エアに調整する。
次に、検査ソレノイド６６を閉状態から開状態に切り替えて、検査エアを、エア導入孔５１ｂ・５２ｂを通じて内部空間１ａ内に印加し、検査エア印加時における呼吸室１ｂ内の圧力を圧力センサ５８により検出する。
【００３２】
検査エアを内部空間１ａ内に印加している期間（検査ソレノイド６６を開いてから閉じるまでの期間）となる印加区間においては、圧力センサ５８での検出圧力Ｐ３は、検査エアの印加による衝撃により変動しており、検査エアの印加後、検査ソレノイド６６を閉じてから所定の時間が経過するまでの平衡待ち区間では、圧力センサ５８での検出圧力Ｐ３は徐々に低下していき、平衡待ち区間に続くエアリーク検査区間においては、圧力センサ５８での検出圧力Ｐ３は一定となる。
【００３３】
本リーク検査装置５０を用いて行うエアリーク検査では、圧力センサ５８でにより検出圧力Ｐ３の変化をモニターして、前記印加区間においてフィルタ１６の良否判定を行うとともに、エアリーク検査区間において内部空間１ａのエアリーク検査を行う。
前記印加区間では、検査ソレノイド６６を開いて検査エアの印加を開始すると、圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３が立ち上がり（上昇していき）、最初のピークを迎えた後立ち下る（下降していく）。圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３は、以降、再度の立ち上がりおよび立下りを繰り返し、波打った形状となる。つまり、印加区間における検出圧力Ｐ３の値は、電空レギュレータ６３のエア圧力の制御精度による変動が生じる。
そして、フィルタ１６の良否判定は、検査エアの印加を開始してから圧力センサ５８による検出圧力が立ち上がり最初のピークを迎えるまでの立ち上がり時間ｔａの長さに基づいて行う。
【００３４】
ここで、内部空間１ａ内のエアがフィルタ１６を通じて呼吸室１ｂへ通過する際には、フィルタ１６による抵抗を受けるため、圧力センサ５８による呼吸室１ｂ内のエアの検出圧力Ｐ３は、内部空間１ａのエアの圧力を直接検出した場合に比べて、立ち上がりが遅くなる。
つまり、検査エアの印加開始時における内部空間１ａのエアの圧力は立ち上がりが速いが（図４における「内部空間内圧力Ｐ４」を参照）、圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａは、フィルタ１６の抵抗により前記内部空間内圧力Ｐ４の場合よりも遅くなる。
従って、圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａが、予め設定しておいた所定の範囲内にあるか否かによりフィルタ１６の良否判定を行うことができる。
【００３５】
なお、前記内部空間内圧力Ｐ４は、従来のリーク検査装置１５０のように、検査エア印加装置１５６とエア導入孔１５１ｂおよびエア導入孔１５２ｂとを接続しているエア配管１５７の途中部に接続される圧力センサ１５８により検出した内部空間１ａ内の圧力と同等である。
【００３６】
前記立ち上がり時間ｔａの所定の範囲は、例えば破れや詰まりがなく正常な状態にあることがわかっているフィルタ１６が装着されているマスタとなる電子部品装置１に対して検査エアの印加を行い、そのときの圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａに基づいて設定することができる。
そして、検査対象となる電子部品装置１に対して検査エアの印加を行った際の圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａが、設定した所定の範囲内にあれば、当該電子部品装置１のフィルタ１６が良品であると判断する。
【００３７】
また、前記検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａが設定した所定の範囲よりも短ければ、すなわち検出圧力Ｐ３の立ち上がりが速ければ、フィルタ１６に破れ異常の不良があると判断する。逆に、前記検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａが設定した所定の範囲よりも長ければ、すなわち検出圧力Ｐ３の立ち上がりが遅ければ、フィルタ１６に詰まり異常の不良があると判断する。
【００３８】
つまり、検出圧力Ｐ３の立ち上がりが正常時に比べて速いということは、内部空間１ａ内のエアがフィルタ１６の抵抗を受けることなく呼吸室１ｂ内に流入してきているということであるため、フィルタ１６に破れ異常の不良があると判断する。
また、検出圧力Ｐ３の立ち上がりが正常時に比べて遅いということは、内部空間１ａ内のエアがフィルタ１６の抵抗以上の抵抗を受けながら呼吸室１ｂ内に流入していきている（フィルタ１６の一部に詰まりが生じている場合）、または内部空間１ａ内のエアが呼吸室１ｂ内に流入していない（フィルタ１６が全体的に詰まっている）ということであるため、フィルタ１６に詰まり異常の不良があると判断する。
【００３９】
また、エアリーク検査区間において行われる内部空間１ａのエアリーク検査は、エアリーク検査区間における圧力センサ５８による検出圧力Ｐ３の低下度合いに基づいて、エアリークの有無が判断される。
具体的には、予め検出圧力Ｐ３の低下度合いが、予め設定された所定の閾値よりも大きいか否かによりエアリークの有無が判断され、例えば検出圧力Ｐ３の低下度合いが前記閾値よりも大きければ密閉ケース１０にエアリークが生じていると判断し、検出圧力Ｐ３の低下度合いが前記閾値以下であれば密閉ケース１０にエアリークは生じていないと判断する。
【００４０】
このように、エアリーク検査装置５０では、回路基板２０を収納する密閉ケース１０に、密閉ケース１０における内部空間１ａの内部と外部とを連通する開口部である呼吸孔１２ｅを形成し、前記呼吸孔１２ｅをフィルタ１６にて閉塞して構成した電子部品装置１のエアリーク検査を行うにあたって、前記呼吸孔１２ｅにおけるフィルタ１６よりも外部側に位置するベース板１１の連通孔１１ｅに圧力センサ５８を接続し、前記密閉ケース１０の内部空間１ａ内に検査エアを圧送し、前記検査エアを圧送したときの前記内部空間１ａ内の圧力変化を、フィルタ１６を通じて前記圧力センサ１６によりモニターして、電子部品装置１のエアリーク検査とともに、前記フィルタ１６の破れや詰まりなど有無といった特性の良否判定を行うようにしている。
これにより、電子部品装置１のエアリーク検査を行う際に、同時にフィルタ１６の特性の良否判定を行うことが可能となり、電子部品装置１の検査工程を簡略化することができる。
【００４１】
また、電子部品装置１のように、ハウジング部材１２の一側面から延出する隔壁１２ｄをベース板１１に接着することにより呼吸室１ｂが形成されている構成では、隔壁１２ｄとベース板１１とが接着剤１４によりシールされていなければ（すなわち呼吸室１ｂが内部空間１ａと隔離されておらず、隔壁１２ｄとベース板１１との間を通じて連通していると）、連通孔１１ｅから呼吸室１ｂ内に進入した水が隔壁１２ｄとベース板１１との間から内部空間１ａ内に入り込むこととなるため、隔壁１２ｄとベース板１１との接着剤１４によるシール状態を検査することが重要である。
【００４２】
本エアリーク検査装置５０により、前述のようにエアリーク検査を行う場合は、前記ベース板１１の連通孔１１ｅに接続した圧力センサ５８により検出圧力Ｐ３を検出するように構成しているが、隔壁１２ｄとベース板１１との接着剤１４によるシールが完全でなく、エアが内部空間１ａから隔壁１２ｄとベース板１１との間を通じて呼吸室１ｂ内へ流入可能な状態にあれば、内部空間１ａ内のエアの呼吸室１ｂ内への流入速度は、フィルタ１６のみを通過して呼吸室１ｂ内へ流入する場合に比べて速くなるので、前記検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａは正常時に比べて速くなる。
従って、検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａが正常時に対して短いか否か（例えば、前述の設定した所定の範囲内よりも短いか否か）を検査することにより、隔壁１２ｄとベース板１１とのシール状態の良否を判断することも可能である。
【００４３】
なお、本例では、検出圧力Ｐ３の立ち上がり時間ｔａの長短によりフィルタの特性の良否判定、および隔壁１２ｄとベース板１１とのシール状態の良否判定を行うようにしているが、内部空間１ａ内への検査エアの印加開始時における検出圧力Ｐ３の立ち上がりの大小により、フィルタの特性の良否判定、および隔壁１２ｄとベース板１１とのシール状態の良否判定を行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】電子部品装置のエアリーク検査を行うエアリーク検査装置を示す側面断面図である。
【図２】接着剤が塗布されたベース板を示す平面図である。
【図３】エアリーク検査装置を示す回路図である。
【図４】エアリーク検査における圧力センサによる検出圧力などを示す図である。
【図５】エアリーク検査装置の検査対象となる電子部品装置を示す側面断面図である。
【図６】従来のエアリーク検査装置を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    電子部品装置
１ａ  内部空間
１ｂ  呼吸室
１０    密閉ケース
１１    ベース板
１１ｅ  連通孔
１２    ハウジング部材
１２ａ  コネクタ
１２ｄ  隔壁
１２ｅ  呼吸孔
１３    蓋部材
１４ａ・１４ｂ  接着剤
１６    フィルタ
２０    回路基板
５０    エアリーク検査装置
５１    上面閉塞部材
５１ｂ  エア導入孔
５２    コネクタ部閉塞部材
５２ｂ  エア導入孔
５６  検査エア印加装置
５８  圧力センサ
６０  検査エア源
６１  １次レギュレータ６１
６３  電空レギュレータ
６６  検査ソレノイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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