【手続補正書】
【提出日】平成17年6月14日(2005.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線を備えたリニアモータと前記リニアモータへ駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプとを備え、
大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項２】
前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、
前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記高キャリアＰＷＭアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給し、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項３】
前記リニアモータは、大推力用巻線にモータ３相分をＹ結線した巻線を施し、小推力用巻線にモータ３相分を独立に配備した巻線を施し、各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線を有することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項４】
前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項５】
前記高キャリアＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項６】
前記ＰＷＭアンプと前記高キャリアＰＷＭアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項７】
システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相Ｙ結線された巻線に、また、前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相独立巻線された巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項８】
前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項１乃至７記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項９】
大推力用リニアモータと小推力用リニアモータの２通りのリニアモータと前記リニアモータへ駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプとを備え、
大推力時に適したリニアモータとアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータとアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項１０】
前記大推力用リニアモータは巻線にモータ３相分をＹ結線した巻線を施し、前記小推力用リニアモータは巻線にモータ３相分を独立に配備した巻線を施し、各巻線への接続端子を備え、これら２通りのリニアモータを有することを特徴とする請求項９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１１】
システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相Ｙ結線された巻線に、また前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相独立巻線された巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項９に記載のリニアモータ駆動装置。
【請求項１２】
前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項９乃至１１記載のリニアモータ駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線を備えたリニアモータと前記リニアモータへ駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプとを備え、大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプ（ＰＷＭアンプ）の組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプ（高キャリアＰＷＭアンプ）の組合せとを、駆動条件に応じて選択的に切替えることができる。
請求項２に記載の発明は、請求項１における前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記高キャリアＰＷＭアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給し、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、駆動条件に応じて、ＰＷＭアンプか高キャリアアンプを使用することができ、使用していないアンプの入力はゼロ指令となるため、出力への影響をなくすことができる。
請求項３に記載の発明は、請求項１における前記リニアモータは、大推力用巻線にモータ３相分をＹ結線した巻線を施し、小推力用巻線にモータ３相分を独立に配備した巻線を施し、各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線を有するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、精度を問わない大推力時には、大推力用巻線に駆動電流を供給することができ、精度を要求される小推力時には、小推力用巻線に駆動電流を供給することができる。
請求項４に記載の発明は、請求項１における前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時に大推力が必要な場合にＰＷＭアンプの高耐圧・大電流なパワー素子を使用することができるため、大容量のリニアモータ駆動が可能であり、リニアモータ巻線設計においても極力損失を抑えることができる。
請求項５に記載の発明は、請求項１における前記高キャリアＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要な場合、キャリア周波数が高いため、推力リプルに起因する電流リプルを小さく、また、０クロス近傍の不感帯の影響を極小にでき、小推力時の電流制御特性を良くすることができる。
請求項６に記載の発明は、請求項１における前記ＰＷＭアンプと前記高キャリアＰＷＭアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えるものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、同一の場合はドライバの小形化を図ることができ、個別の場合はアンプ破損時の修理・交換の容易性や多種類アンプの利用性が高まり、他からのあるいは他へのアンプ流用による汎用性も高まる。
請求項７に記載の発明は、請求項１におけるシステムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相Ｙ結線された巻線に、また、前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相独立結線された巻線に駆動電流を供給する組合せとするものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時の大推力が必要で、精密な電流制御を必要としない場合、比較的安価にできる高耐圧・大電流アンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。また、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要で、精密な電流制御特性を必要とする場合、電流制御特性がよいアンプと駆動電流を流した際の相互干渉の小推力時の電流制御特性への影響をなくすことができるモータの組合せでシステムを駆動することができる。
請求項８に記載の発明は、請求項１における前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用したものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、半導体製造装置または液晶製造装置では高精度な位置決め精度や一定速送り精度を得ることができ、高速な位置決めや一定速送りをすることができる。
請求項９に記載の発明は、大推力用リニアモータと小推力用リニアモータの２通りのリニアモータと前記リニアモータへ駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプとを備え、大推力時に適したリニアモータとアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータとアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、大推力時に適したリニアモータとアンプ（ＰＷＭアンプ）の組合せ、小推力時に適したリニアモータとアンプ（高キャリアＰＷＭアンプ）の組合せとを、駆動条件に応じて選択的に切替えることができる。
請求項１０に記載の発明は、請求項９における前記大推力用リニアモータは巻線にモータ３相分をＹ結線した巻線を施し、前記小推力用リニアモータは巻線にモータ３相分を独立に配備した巻線を施し、各巻線への接続端子を備え、これら２通りのリニアモータを有するものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、精度を問わない大推力時には、大推力用リニアモータに駆動電流を供給することができ、精度を要求される小推力時には、小推力用リニアモータに駆動電流を供給することができる。
請求項１１に記載の発明は、請求項９におけるシステムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相Ｙ結線された巻線に、また前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相独立巻線された巻線に駆動電流を供給する組合せとするものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、このリニアモータ駆動装置によれば、システムの加減速時の大推力が必要で、精密な電流制御を必要としない場合、比較的安価にできる高耐圧・大電流アンプとモータの組合せでシステムを駆動することができる。また、システムの一定速時あるいは停止時に小推力／低速度リプル／低推力リプルが必要で、精密な電流制御特性を必要とする場合、電流制御特性がよいアンプと駆動電流を流した際の相互干渉の小推力時の電流制御特性への影響をなくすことができるモータの組合せでシステムを駆動することができる。
請求項１２に記載の発明は、請求項９における前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用したものである。
このリニアモータ駆動装置によれば、半導体製造装置または液晶製造装置では高精度な位置決め精度や一定速送り精度を得ることができ、高速な位置決めや一定速送りをすることができる。