【手続補正書】
【提出日】令和3年4月22日(2021.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブ金属層（１１）の少なくとも一部を、第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）を備えるテンプレート（２０）に変換する方法（１００）であって、上記方法は、
上記バルブ金属層（１１）の少なくとも一部を厚さ方向に陽極処理し、複数のチャネル（１３）を備えるバルブ金属酸化物の多孔質層（１２）を形成する第１の陽極処理ステップ（１０１）であって、各チャネルは、上記第１の方向に沿って長手方向を有して整列したチャネル壁（１４）を有し、かつ、チャネル底部（１５）を有し、上記チャネル底部（１５）は、上記第１の陽極処理ステップ（１０１）の結果として得られる第１の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２１）によってコーティングされる第１の陽極処理ステップ（１０１）と、
上記チャネル壁（１４）及び上記チャネル底部（１５）に疎水面を誘導する保護処置（１０２）と、
上記保護処置の後の第２の陽極処理ステップ（１０３）であって、上記チャネル底部（１５）から上記第１の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２１）を実質的に除去し、上記複数のチャネル（１３）の底部（１５）のみにおいて陽極処理を誘導し、上記チャネル底部（１５）において第２の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２２）を生成する第２の陽極処理ステップ（１０３）と、
上記チャネル底部（１５）から上記第２の絶縁性金属酸化物バリヤ層（２２）を除去するエッチング液におけるエッチングステップ（１０４）と含む、
方法。
【請求項２】
上記バルブ金属層（１１）は、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、タンタル、又はタンタル合金の層を備える、
請求項１記載の方法（１００）。
【請求項３】
上記保護処置（１０２）は、３００°Ｃ及び５５０°Ｃの間の範囲の温度においてアニーリング（１０２１）を行うことを含む、
請求項１又は２記載の方法（１００）。
【請求項４】
上記保護処置（１０２）は、上記チャネル壁（１４）及び上記チャネル底部（１５）の上に保護層（３１）を堆積すること（１０２２）を含み、
上記第２の陽極処理ステップ（１０３）は、上記チャネル底部（１５）からのみ上記保護層（３１）をさらに除去する、
請求項１〜３のうちの１つに記載の方法（１００）。
【請求項５】
上記保護層（３１）は、疎水性のシラン、又は、エッチング液に耐性を有するポリマーを備える、
請求項４記載の方法（１００）。
【請求項６】
上記保護層（３１）は、ポリスチレン、ポリ（メチル２−メチルプロパノアート）、及びポリ（ジメチルシロキサン）から選択されたポリマーを含む、
請求項４記載の方法（１００）。
【請求項７】
上記エッチング液は、リン酸、硫酸、シュウ酸、クロム酸、アンモニア、過酸化水素、又は水酸化カリウムを含む水性のエッチング液である、
請求項１〜６のうちの１つに記載の方法（１００）。
【請求項８】
上記エッチング液は表面張力調整剤を含む、
請求項１〜７のうちの１つに記載の方法（１００）。
【請求項９】
上記第２の陽極処理ステップ（１０３）の間に超音波を提供することをさらに含む、
請求項１〜８のうちの１つに記載の方法（１００）。
【請求項１０】
上記第１の陽極処理ステップ（１０１）は、上記バルブ金属層（１１）の一部のみを上記厚さ方向に陽極処理し、それによって、上記テンプレート（２０）と、上記テンプレートを支持する基板（１０）とを形成し、
上記基板（１０）は、上記バルブ金属層（１１）の残りの陽極処理されなかった部分を含む、
請求項１〜９のうちの１つに記載の方法（１００）。
【請求項１１】
請求項１〜１０のうちの１つに記載の方法（１００）によって入手可能である、第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）を備えたテンプレート（２０）。
【請求項１２】
上記第１の方向は、上記バルブ金属層（１１）の面に対して６０度及び９０度の間の範囲の角度にある、
請求項１１記載のテンプレート（２０）。
【請求項１３】
上記テンプレートは、上記第１の方向とは異なる第２の方向に向けられた相互接続する複数のチャネルをさらに備えた、
請求項１１〜１２のうちの１つに記載のテンプレート（２０）。
【請求項１４】
上記第２の方向は上記第１の方向に実質的に直交する、
請求項１３記載のテンプレート（２０）。
【請求項１５】
上記第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）は、それらの長さ全体にわたって実質的に一定の直径を有し、
上記チャネル底部（１５）は導電性層を露出する、
請求項１１〜１４のうちの１つに記載のテンプレート（２０）。
【請求項１６】
上記第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）は、互いに隣接するチャネル間の間隔よりも小さな直径を有する、
請求項１１〜１５のうちの１つに記載のテンプレート（２０）。
【請求項１７】
互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を基板（１０）の上に形成する方法（２００）であって、上記方法は、
請求項１〜１０のうちの１つに記載の方法（１００）を用いて、バルブ金属層（１１）の少なくとも一部を、第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）を備えるテンプレート（２０）に変換（２０１）し、それによって、上記テンプレート（２０）及び上記基板（１０）を形成し、上記テンプレート（２０）のチャネル（１３）の内部に固体機能材料を堆積させ（２０２）、それによって、互いに所定間隔を有する複数のチャネル（１３）の内部に、上記第１の方向に沿って長手方向を有して整列した互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を形成する
ことを含む、
方法（２００）。
【請求項１８】
上記固体機能材料を堆積すること（２０２）は、導電性材料、半導体材料、電気絶縁性材料、又はそれらの組み合わせを堆積することを含む、
請求項１７記載の互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を形成する方法（２００）。
【請求項１９】
上記固体機能材料を堆積すること（２０２）は、定電流又は定電位の電着又はめっきによって導電性材料を堆積し、それによって、互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物（４０）を形成することを含む、
請求項１７記載の互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を形成する方法（２００）。
【請求項２０】
上記基板（１０）は導電性基板であり、
上記互いに所定間隔を有する複数の導電性構造物と、上記基板との間において、１オーム  ｃｍ２未満の接触抵抗を有する電気的な接触が確立される、
請求項１９記載の互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を形成する方法（２００）。
【請求項２１】
上記テンプレート（２０）をエッチングによって除去することをさらに含む、
請求項１７〜２０のうちの１つに記載の互いに所定間隔を有する複数の構造物（４０）を形成する方法（２００）。
【請求項２２】
基板（１０）と、上記基板（１０）の上における互いに所定間隔を有する複数の構造物（５１）であって、第１の方向に沿って長手方向を有して整列し、請求項１７〜２１のうちの１つに記載の方法（２００）によって入手可能な互いに所定間隔を有する複数の構造物（５１）とを備えるエンティティ（５０）。
【請求項２３】
上記第１の方向は、上記基板（１０）の面に対して６０度及び９０度の間の範囲の角度にある、
請求項２２記載のエンティティ（５０）。
【請求項２４】
上記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って方向付けられた相互接続する複数の構造物（５２）をさらに備えた、
請求項２２〜２３のうちの１つに記載のエンティティ（５０）。
【請求項２５】
上記第２の方向は上記第１の方向に実質的に直交する、
請求項２４記載のエンティティ（５０）。
【請求項２６】
上記互いに所定間隔を有する複数の構造物は（５１）導電性材料、半導体材料、電気絶縁性材料、又はそれらの組み合わせを含む、
請求項２２〜２５のうちの１つに記載のエンティティ（５０）。
【請求項２７】
請求項２２〜２６のうちの１つに記載のエンティティ（５０）を備えた装置。
【請求項２８】
上記装置は、バッテリー、燃料電池、センサ、スーパーキャパシタ、電解槽、光電解槽、又は化学反応器である、
請求項２７記載の装置。