【手続補正書】
【提出日】令和3年9月22日(2021.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計量ターゲットを計測するステップを有し、その計量ターゲットが少なくとも、
計測方向に沿い第１周期構造を含む第１層と、
前記計測方向に沿い第２周期構造を含む第２層と、
前記計測方向に垂直な第２方向に第３周期構造を含む第３層と、
を備え、
前記第１層は前記第２層及び前記第３層と重なり合い、
前記第３層は前記第２層と重なり合い、
前記第３層は前記第１層と前記第２層の間にあり、
前記計量ターゲットの計測により導出された信号中のノイズを、前記第３周期構造に関連する信号成分を識別し除去することで低減するステップを有する
計量計測方法。
【請求項２】
請求項１に記載の計量計測方法であって、更に、前記計測により導出された信号から複数個のスライスを導出するステップを有し、それらスライスが前記第３周期構造の特性に対応している計量計測方法。
【請求項３】
請求項２に記載の計量計測方法であって、更に、前記複数個のスライスを平均化して計量信号を生成するステップを有する計量計測方法。
【請求項４】
請求項２に記載の計量計測方法であって、更に、少なくとも１個の正確度パラメタとの関連で前記複数個のスライスを比較することで最適スライス信号を選択するステップを、有する計量計測方法。
【請求項５】
請求項４に記載の計量計測方法であって、更に、相次ぐターゲット、ウェハ又はバッチのうち少なくとも一つに関し前記選択を反復するステップを有する計量計測方法。
【請求項６】
請求項４に記載の計量計測方法であって、更に、その空間的挙動及び前記最適スライスを追跡することで計量ロバスト性を改善するステップを、有する計量計測方法。
【請求項７】
請求項１に記載の計量計測方法であって、更に、カメラ軸及びビーム軸を比較することで前記第３周期構造を用い計測座標を校正するステップを、有する計量計測方法。
【請求項８】
請求項１に記載の計量計測方法であって、更に、前記第３周期構造から計測された信号の高調波成分及び焦点情報のうち少なくとも一方を導出するステップを、有する計量計測方法。
【請求項９】
請求項１に記載の計量計測方法であって、更に、前記第３周期構造から計測された信号を分析すべく一通り又は複数通りの機械学習アルゴリズムを適用するステップと、前記計測方向に直交する前記第２方向に係るデータから情報を導出するステップと、を有する計量計測方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の計量計測方法であって、前記計量ターゲットが、イメージング計量ターゲット及びスキャタロメトリ計量ターゲットのうち少なくとも一方を備える計量計測方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の計量計測方法であって、前記イメージング計量ターゲットが少なくとも２対の周期構造を有し、そのうち少なくとも１対が二通りの計測方向それぞれに沿っている計量計測方法。
【請求項１２】
請求項１に記載の計量計測方法であって、前記計量ターゲットが瞳面スキャタロメトリ計量ターゲットを備え、その計量ターゲットを計測するステップが、その計量ターゲット内の複数個所にてその計量ターゲットを計測するステップと、正確度が増強された計量指標を複数通りの計測結果から抽出するステップと、を含む計量計測方法。
【請求項１３】
請求項１に記載の計量計測方法であって、前記第３周期構造が、均一限界寸法、単調変化性限界寸法、周期的単調変化性限界寸法、並びに２個以上の周期的サブ構造のうち、少なくとも一つを有する計量計測方法。
【請求項１４】
請求項１に記載の計量計測方法であって、少なくとも１個のコンピュータプロセッサにより少なくとも部分的に実行される計量計測方法。
【請求項１５】
１個又は複数個のプロセッサ及びメモリを有するコントローラを備え、そのメモリにプログラム命令が格納されており、それらプログラム命令が、当該１個又は複数個のプロセッサに、
計量ターゲットについての、一通り又は複数通りの計測結果を受け取らせるように構成され、
前記計量ターゲットは、
計測方向に沿い第１周期構造を含む第１層と、
前記計測方向に沿い第２周期構造を含む第２層と、
前記計測方向に垂直な第２方向に第３周期構造を含む第３層と、
を備え、
前記第１層は前記第２層及び前記第３層と重なり合い、
前記第３層は前記第２層と重なり合い、
前記第３層は前記第１層と前記第２層の間にあり、且つ
前記計量ターゲットの計測により導出された信号中のノイズを、前記第３周期構造に関連する信号成分を識別し除去することで低減し、
受け取った前記一通り又は複数通りの計測結果に基づき一通り又は複数通りの計量指標を決定させるよう、
構成されているシステム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のシステムであって、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、前記一通り又は複数通りの計測結果から導出された信号から複数個のスライスを導出するよう構成されており、それらスライスが前記第３周期構造の特性に対応しているシステム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のシステムであって、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、前記複数個のスライスを平均化して計量信号を生成するよう構成されているシステム。
【請求項１８】
請求項１５に記載のシステムであって、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、カメラ軸及びビーム軸を比較することで前記第３周期構造を用い１個又は複数個の計測座標を校正するよう構成されているシステム。
【請求項１９】
請求項１５に記載のシステムであって、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、前記第３周期構造から計測された信号の高調波成分及び焦点情報のうち少なくとも一方を導出するよう構成されているシステム。
【請求項２０】
請求項１５に記載のシステムであって、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、前記第３周期構造から計測された信号を分析すべく一通り又は複数通りの機械学習アルゴリズムを適用するよう、且つ前記計測方向に直交する前記第２方向に係るデータから情報を導出するよう、構成されているシステム。
【請求項２１】
請求項１５に記載のシステムであって、前記計量ターゲットが、イメージング計量ターゲット及びスキャタロメトリ計量ターゲットのうち少なくとも一方を備えるシステム。
【請求項２２】
請求項２１に記載のシステムであって、前記イメージング計量ターゲットが少なくとも２対の周期構造を有し、そのうち少なくとも１対が二通りの計測方向それぞれに沿っているシステム。
【請求項２３】
請求項１５に記載のシステムであって、前記計量ターゲットが瞳面スキャタロメトリ計量ターゲットを備え、前記一通り又は複数通りの計測結果がその計量ターゲット内の複数個所にて獲得され、前記１個又は複数個のプロセッサが、更に、正確度が増強された計量指標を複数通りの計測結果から抽出するよう構成されているシステム。
【請求項２４】
請求項１５に記載のシステムであって、前記第３周期構造が、均一限界寸法、単調変化性限界寸法、周期的単調変化性限界寸法、並びに２個以上の周期的サブ構造のうち、少なくとも一つを有するシステム。
【請求項２５】
請求項１５に記載の計量ターゲットであって、イメージングターゲット及びスキャタロメトリターゲットのうち少なくとも一方として構成された計量ターゲット。
【請求項２６】
請求項２５に記載の計量ターゲットであって、少なくとも２対の周期構造を有する前記イメージングターゲットとして構成されており、そのうち少なくとも１対が二通りの計測方向それぞれに沿っている計量ターゲット。
【請求項２７】
請求項１５に記載の計量ターゲットであって、前記第３周期構造が、均一限界寸法、単調変化性限界寸法、周期的単調変化性限界寸法、並びに２個以上の周期的サブ構造のうち、少なくとも一つを有する計量ターゲット。
【請求項２８】
請求項１５に記載の計量ターゲットであって、前記第３周期構造がプロセス互換性である計量ターゲット。
【請求項２９】
請求項２８に記載の計量ターゲットであって、前記プロセス互換性が、前記第３周期構造の諸要素のセグメント化、前記第３周期構造の諸要素の諸セグメントの限界寸法の均一化、並びに均一又は可変限界寸法を有するカットマスクの適用のうち、少なくとも一つで構成される計量ターゲット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図２は、本発明の幾つかの実施形態に係るイメージング計量ターゲット例１００Ａの上位模式図である。図２には、ターゲット層１０１（層素材９０内「先行」ターゲット構造１２０）及び１０３（「現」）と導入された層１３０であり単一ターゲットセルをなすものの側面（断面）及び頂面外観と、計測方向毎に２個、都合４個のセルを有するターゲット１００Ａ全体の頂面外観とが、模式的に描かれている。図示例では、ｆ〜（ｘ，ｙ）により特徴付けられる付加層１３０に、周期構造１１０，１２０の計測方向「Ｘ」に直交する方向「Ｙ」に沿った周期構造が備わっている。注記されることに、ターゲット１００Ａ全体では、２個のセルで計測方向が「Ｘ」となっており、他の２個のセルが直交方向沿い計測用とされている（それらでは周期構造１１０，１２０が計測方向「Ｙ」沿いであり、付加周期構造１３０がそれに対し直交していて方向「Ｘ」に沿い周期的である）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2021506133.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2021506133.tif 000002
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３Ａ】
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【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４−１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４−１】
2021506133.tif 000004