【手続補正書】
【提出日】平成17年9月14日(2005.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
記録する画像に応じて変調した記録光によって銀塩写真感光材料や電子写真感光体等の感光材料を走査露光する露光装置が、各種のプリンタや複写装置に用いられている。
現在、このような露光装置は、記録画像に応じて変調した光ビームを主走査方向に偏向すると共に、感光材料と光ビームとを前記主走査方向と直交する副走査方向に相対的に移動することにより、感光材料を光ビームによって二次元的に走査露光して、画像を記録する、いわゆる光ビーム走査露光を用いるものが主流である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図示例の調整装置１０において、レンズ１２は、中心に円形の貫通孔を有する円盤状（ドーナツ状）の板材であるホルダ２０に保持される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
電極１４は、長方形の板状を有し、板バネと同様な弾性を有する（すなわち、本発明における、静電気力に反する付勢手段を兼ねる）。また、対向電極１６は、電極１４と略同形状を有する。
互いに対応する電極１４と対向電極１６の間の長手方向両端には、スペーサ２２（２２ａおよび２２ｂ）が挿入されており、両者は、スペーサ２２によって、所定の間隙を持って対面して配置される。すなわち、スペーサ２２は、長手方向両端において、電極１４を光ビームＬの進行方向下流側（以下、下流とする）から支持した状態となっており、電極１４とスペーサ２２とで、橋を形成した状態となっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
電極１４ａおよび電極１４ｂ（すなわち２本の橋）は、対応する対向電極１６が所定位置に固定されることにより、レンズ１２のサイズに応じた所定の間隙を持って、平行に配置されている。
レンズ１２を保持するホルダ２０は、この電極１４（２本の橋）の中央部に盤面を載置した状態で、固定されている。すなわち、電極１４および対向電極１６は、レンズ１２の光軸方向に離間した状態となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
このような調整装置１０においては、スペーサ２２によって間隙を有して配置される電極１４および対向電極１６、ならびに駆動電源１８によって、静電気力を利用するＭＥＭＳ（Micro Electronic Mechanical System）が構成される。
なお、調整装置１０（後述するマルチチャンネルの態様も含む）の製造は、半導体装置やＭＥＭＳの製造方法等を利用した、公知の方法によればよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図示例の調整装置１０において、駆動電源１８が駆動していない状態（駆動電源１８がｏｆｆ）では、電極１４および対向電極１６の間には何の力もかかっていない。従って、レンズ１２（ホルダ２０）は、図１中実線で示される、単に電極１４（板バネ）に載置された状態となっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
駆動電源１８が駆動（駆動電源１８がｏｎ）して、電極１４と対向電極１６との間に電圧を印加すると、両者の間には、静電気による引力が発生する。前述のように、対向電極１６は固定され、電極１４は板バネのような弾性を有するので、両者の間に発生する引力に応じて、図中点線で示されるように、電極１４が対向電極１６に引っ張られて曲がり、これに応じて、電極１４に載置されるレンズ１２（ホルダ２０）が、光軸方向に移動する。また、電極１４の有するバネ弾性により、この移動量は、印加電圧によって調整可能である。
従って、駆動電源１８がｏｆｆの状態で、レンズ１２の焦点位置が露光位置Ｘに対して距離ｘだけずれているとしたら、電極１４が有するバネ弾性に応じて、この距離ｘだけレンズ１２を移動する電圧を駆動電源１８で印加することにより、図中点線に示されるように、レンズ１２の焦点位置を露光位置Ｘに調整することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図示例の調整装置３０において、レンズ１２は、中心に貫通孔を有する略円筒状のホルダ３８に、光軸をホルダ３８（その円筒）の軸線に一致させて、保持される。
ホルダ３８の円筒側面には、直径方向でホルダ３８を挟持した状態で、板面を軸線（光軸）と直交して、長方形状の板バネ３２ａおよび３２ｂが、その端面を突き合わせて固定される。
さらに、ホルダ３８下面の板バネ３２に対応する位置には、電極３４が垂設される。電極３４は、板材を屈曲させた略Ｌ字状を有し、屈曲先端を外方に向け、Ｌ字頂部をホルダ３８の下面に突き合わせて固定される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
調整装置３０においても、前述の例と同様、電極３４および対向電極３６の間には何の力もかからない駆動電源１８がｏｆｆの状態では、レンズ１２（ホルダ３８）は、図２（Ａ）に実線で示される位置にある。
駆動電源１８がｏｎになると、先の例と同様に、電極３４と対向電極３６との間に静電気による引力が発生して、電極３４が固定されている対向電極３６に引っ張られる。その結果、図２（Ａ）に点線で示されるように、発生した静電気力（印加電圧）と板バネ３２のバネ弾性とに応じた量、板バネ３２が曲がり、その量に応じて、レンズ１２が光軸方向に移動して、焦点位置が調整される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図２（Ａ）および（Ｂ）に示される調整装置３０では、直径方向で挟むようにして、２点支持で板バネ３２によってレンズ１２を保持するホルダ３８を支持していたが、この構成では、レンズ１２を十分に安定して支持できない場合も有り得る。
その場合には、図２（Ｃ）の平面図に示されるように、１２０°間隔の３点支持となるように板バネ３２でホルダ３８を支持し、それに応じて、電極３４、スペーサ４０、対向電極３６等を配置してもよい。あるいは、必要に応じて、同様にして、４点以上でホルダ３８（レンズ１２）を支持してもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
調整装置４２においても、レンズ１２は、先の例と同様に略円筒状のホルダ３８に保持され、ホルダ３８の側面には、直径方向で挟持するように板バネ３２が固定される。
ここで、本例においては、ホルダ３８下面の板バネ３２に対応する位置には、支持部材４８が垂設され、その下端に、電極４４が固定される。図示例において、電極４４は、レンズ１２の光軸と中心を一致し、かつレンズ１２よりも大きな径を有する貫通孔４４ｈを有する、リング（ドーナツ、円環）状の板材である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
調整装置４２においても、前述の例と同様、駆動電源１８がｏｆｆの状態では、レンズ１２（ホルダ３８）は、図３（Ａ）に実線で示される位置にある。
駆動電源１８がｏｎになると、同様に、電極４４と対向電極４６との間に静電気による引力が発生して、電極４４が対向電極４６に引っ張られる。その結果、点線で示されるように、発生した静電気力と板バネ３２のバネ弾性とに応じた量、板バネ３２が曲がり、その量に応じて、レンズ１２が光軸方向に移動して、焦点位置が調整される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この調整装置４２においては、リング状の電極４４および対向電極４６を利用するので、静電気力が電極の全域に均一にかかり、すなわち、全体的に均一な力でレンズ１２（ホルダ３８）を移動することができ、レンズ１２が傾くことなく好適に光軸方向に移動して、より高精度な焦点位置の調整を行うことが可能である。
なお、図前述の図２と同様、３に示される例においても、２点支持では安定が得られない場合には、図３（Ｄ）に示されるように、１２０°間隔の３点支持ととしてもよく、あるいは、必要に応じて、同様にして、４点以上でホルダ３８（レンズ１２）を支持してもよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
以上の例においては、電極と対向電極との間に生じる静電気による引力と逆方向にレンズ１２（ホルダ３８）を付勢する付勢手段として、板バネを利用しているが、本発明はこれに限定はされず、コイルスプリング等の各種のスプリングや、樹脂等からなるゴム弾性を有する各種の材料等、各種の弾性部材が付勢手段として利用可能である。
また、本発明においては、付勢手段として、弾性部材ではなく、静電気を利用してもよい。その一例の概念図を、図４に示す。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図４に示される例（正面図）において、レンズ１２は、図２等に示される例と同様の略円筒状のホルダ３８に保持されている。なお、必要に応じて、ホルダ３８は、公知の方法によって、光軸方向に移動自在な状態で、各種のガイド部材やフレーム等に支持されていてもよい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
ホルダ３８の円筒側面には、前述の例の板バネ３２と同様の状態で直径方向に挟むように板状の電極５０が固定されている。また、電極５０を光軸方向で挟むように所定距離離間して、下流側に対向電極５４が、上流側に第３電極５６が、それぞれ配置される。
また、各電極には、駆動電源５８が接続される。ここで、対向電極５４および第３電極５６には、同じ極（図示例ではマイナス）が接続される。従って、本例においては、電極５０と、これを挟むと対向電極５４および第３電極５６とによって、光軸方向に離間して対面する２つの電極対が形成される。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
ドラム７２は、その側面に感光材料を保持して、回転軸７２ａを中心に、例えば、矢印ｘ方向に所定速度で回転する。ドラム７２による感光材料の保持手段は、公知の手段によればよい。
露光ヘッド６０は、走査方向（レンズ１２の配列方向＝矢印ｙ方向）をドラム７２の軸線に一致して、キャリッジ７４に保持される。また、キャリッジ７４は、走査方向に延在するガイド７６に移動自在に保持されており、公知の手段で走査方向に移動する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】  
本発明の焦点位置調整装置の別の例の概念図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平 面図、（Ｃ）は対向電極の平面図、（Ｄ）は別の例の平面図である。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１０，３０，４２  （焦点位置）調整装置
１２  レンズ
１４，３４，５０  電極
１６，３６，４６，５４  対向電極
１８，５８  駆動電源
２０，３８  ホルダ
２２，４０  スペーサ
３２  板バネ
４８  支持部材
６０  露光ヘッド
６２  マルチチャンネル調整装置
６４  マルチチャンネル光源
７０  画像記録装置
７２  ドラム
７４  キャリッジ
７６  ガイド