【手続補正書】
【提出日】令和3年8月16日(2021.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクティブ振動絶縁システムであって、
中間質量と、
第１の感度を有し、前記中間質量の運動を感知するようになされたフィードバック運動センサ回路と、
前記第１の感度より低い第２の感度を有し、前記中間質量を支持する基部の運動を感知するように構成されたフィードフォワード運動センサ回路と、
前記中間質量を、前記基部に対して相対的に駆動するようになされたアクチュエータと、
前記フィードバック運動センサ回路および前記フィードフォワード運動センサ回路からの信号を処理し、前記中間質量の望ましくない振動運動を低減するように前記アクチュエータを駆動する駆動信号を出力するように構成された制御回路とを含み、
前記制御回路は、
前記フィードフォワード運動センサ回路からの信号と並列して前記フィードバック運動センサ回路からの信号を処理し、
前記駆動信号を生成するために、前記フィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの処理された前記信号を合計するように構成され、
前記制御回路は、前記フィードバック運動センサ回路からの信号を受信する第１の信号経路を含み、
前記第１の信号経路は、
第１の信号フィルタと、
第１の位相調整器と、
第１の増幅器とを含み、
前記制御回路は、前記フィードバック運動センサ回路からの信号を受信する第２の信号経路を含み、
前記第２の信号経路は、
第２の信号フィルタと、
第２の位相調整器と、
第２の増幅器とを含む、
ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項２】
請求項１に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記制御回路に前記フィードフォワード運動センサ回路からの信号を印加しない状態で、前記アクティブ振動絶縁システムの設置場所における振動レベルが前記フィードバック運動センサ回路からの信号を飽和させるレベルであることを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項３】
請求項１に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記第１の信号経路においてアナログ−デジタル変換器をさらに含み、前記信号フィルタと、前記位相調整器と、前記増幅器とが、プロセッサ上で実行されるソフトウェアとして実装されている、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項４】
請求項１に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、
前記アクチュエータと、
前記中間質量を支持するようになされたオフロードスプリングと、
を含む絶縁アセンブリをさらに含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項５】
請求項４に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記絶縁アセンブリは、
前記中間質量と、
水平調整器と、をさらに含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項６】
請求項５に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記絶縁アセンブリは、
ペイロード支持部材と、
前記ペイロード支持部材と前記中間質量との間に結合されたペイロード支持ばねと、
前記ペイロード支持部材と前記中間質量との間の前記ペイロード支持ばねと並列して結合されたダンパと、
をさらに含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項７】
請求項４に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記オフロードスプリングは、前記アクチュエータがペイロードの重量を実質的にまったく支持しないように、設置場所において前記絶縁アセンブリに作用する前記ペイロードの重量のほぼすべてを支持するような大きさとされている、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項８】
請求項１に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記アクチュエータはボイスコイルモータである、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項９】
請求項１に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、
前記アクチュエータと前記制御回路とを含む第１の絶縁アセンブリと、
前記フィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの前記信号を処理するようになされた、前記制御回路内の第１のプロセッサと、
第２の絶縁アセンブリであって、
第２の中間質量を前記基部に対して相対的に駆動するようになされた第２のアクチュエータと、
第２のフィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの第２の信号を処理し、前記第２の中間質量の望ましくない振動運動を低減するように前記第２のアクチュエータを駆動する第２の駆動信号を出力するように構成された第２の制御回路とを含む第２の絶縁アセンブリと、
前記第１のプロセッサと並行して、前記第２のフィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの前記第２の信号を処理するようになされた、前記第２の制御回路内の第２のプロセッサとをさらに含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項１０】
設置場所におけるペイロードに振動絶縁を与える方法であって、
前記設置場所における振動レベルが、アクティブ振動絶縁システムの中間質量に取り付けられた１つまたは複数のフィードバック運動センサ回路から受信される信号を飽和させるレベルであると判断することであって、前記アクティブ振動絶縁システムが、
前記中間質量を基部に対して相対的に駆動するようになされたアクチュエータと、
前記１つまたは複数のフィードバック運動センサ回路から信号を受信し、前記アクチュエータを駆動するために１つまたは複数の駆動信号を出力するように構成された制御回路とを含む、前記判断することと、
前記基部に取り付けられた１つまたは複数のフィードフォワード運動センサ回路からの信号を前記制御回路に供給することと、
前記１つまたは複数のフィードフォワード運動センサ回路からの前記信号を前記制御回路によって処理することと、
前記１つまたは複数のフィードフォワード運動センサ回路からの処理された前記信号に応答して、１つまたは複数のフィードバック運動センサ回路から受信される信号が飽和しないように、前記基部の運動によって誘起される前記中間質量の運動を低減するように前記アクチュエータを駆動することとを含み、
前記１つまたは複数のフィードフォワード運動センサ回路が、前記１つまたは複数のフィードバック運動センサ回路が飽和する第２の振動レベルよりも高い第１の振動レベルで飽和する、ことを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法であって、前記中間質量と前記基部との間の前記アクチュエータと並列に結合されたオフロードスプリングによって、前記中間質量の重量と、前記中間質量に作用する前記ペイロードの重量とのほぼすべてを支持することをさらに含む、ことを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、前記アクチュエータと中間質量とは、前記ペイロードの重量の一部を支持する第１の絶縁アセンブリの一部であり、前記アクティブ振動絶縁システムは、前記ペイロードの重量の支持を補助する追加の絶縁アセンブリを含む、ことを特徴とする方法。
【請求項１３】
請求項１０に記載の方法であって、振動絶縁が複数の方向にもたらされる、ことを特徴とする方法。
【請求項１４】
中間質量と、
第１の感度を有し、前記中間質量の運動を感知するようになされた第１のフィードバック運動センサ回路と、
前記第１の感度より低い第２の感度を有し、前記中間質量を支持する基部の運動を感知するように構成されたフィードフォワード運動センサ回路と、
前記中間質量を、前記基部に対して相対的に駆動するようになされた第１のアクチュエータと、
前記第１のフィードバック運動センサ回路および前記フィードフォワード運動センサ回路からの信号を処理し、前記中間質量の望ましくない振動運動を低減するように前記第１のアクチュエータを駆動する駆動信号を出力するように構成された第１の制御回路と、
前記アクチュエータと前記第１の制御回路とを含む第１の絶縁アセンブリと、
前記第１のフィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの前記信号を処理するようになされた、前記第１の制御回路内の第１のプロセッサと、
第２の絶縁アセンブリであって、
第２の中間質量を前記基部に対して相対的に駆動するようになされた第２のアクチュエータと、
第２のフィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの第２の信号を処理し、前記第２の中間質量の望ましくない振動運動を低減するように前記第２のアクチュエータを駆動する第２の駆動信号を出力するように構成された第２の制御回路と、を含む第２の絶縁アセンブリと、
前記第１のプロセッサと並行して、前記第２のフィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの前記第２の信号を処理するようになされた、前記第２の制御回路内の第２のプロセッサと、
を含むことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項１５】
請求項１４に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記制御回路に前記フィードフォワード運動センサ回路からの信号を印加しない状態で、前記アクティブ振動絶縁システムの設置場所における振動レベルが前記フィードバック運動センサ回路からの信号を飽和させるレベルである、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項１６】
請求項１４に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記第１の制御回路は、
前記フィードフォワード運動センサ回路からの信号と並列して前記第１のフィードバック運動センサ回路からの信号を処理し、
前記駆動信号を生成するために、前記第１のフィードバック運動センサ回路と前記フィードフォワード運動センサ回路とからの処理された前記信号を合計する、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記制御回路は、前記フィードバック運動センサ回路からの信号を受信する第１の信号経路を含み、前記第１の信号経路は、
第１の信号フィルタと、
第１の位相調整器と、
第１の増幅器とを含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項１８】
請求項１７に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記第１の信号経路においてアナログ−デジタル変換器をさらに含み、前記信号フィルタと、前記位相調整器と、前記増幅器とが、プロセッサ上で実行されるソフトウェアとして実装されている、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項１９】
請求項１７に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記第１の制御回路は、前記第１のフィードバック運動センサ回路からの信号を受信する第２の信号経路を含み、前記第２の信号経路は、
第２の信号フィルタと、
第２の位相調整器と、
第２の増幅器とを含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項２０】
請求項１４に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記絶縁アセンブリは、
ペイロード支持部材と、
前記ペイロード支持部材と前記中間質量との間に結合されたペイロード支持ばねと、
前記ペイロード支持部材と前記中間質量との間の前記ペイロード支持ばねと並列して結合されたダンパと、
をさらに含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項２１】
請求項１４に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記第１の絶縁アセンブリが、
前記第１のアクチュエータと、
前記中間質量を支持するようになされたオフロードスプリングと、
を含む、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。
【請求項２２】
請求項２１に記載のアクティブ振動絶縁システムであって、前記オフロードスプリングは、前記第１のアクチュエータがペイロードの重量を実質的にまったく支持しないように、設置場所において前記絶縁アセンブリに作用する前記ペイロードの重量のほぼすべてを支持するような大きさとされている、ことを特徴とするアクティブ振動絶縁システム。