(57)【要約】      （修正有）【課題】弁体を、円滑且つ精度良く開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。【解決手段】隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、機能液供給装置に連通する１次室７５および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室７６と、隔壁７７に直線状に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通すると共に、少なくとも１次室７５側の一部に同軸上に弁座８３を形成した連通流路７８と、同軸上において１次室７５側から弁座８３に進退自在に臨み、連通流路７８を開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、を備え、弁体８４は、先細りのテーパー形状に形成され、弁座８３は、弁体に対し相補的形状に形成されている圧力調整弁である。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁であって、
隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、前記機能液供給手段に連通する１次室および前記機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室と、
前記隔壁に直線状に貫通形成され、前記１次室と前記２次室とを連通すると共に、少なくとも前記１次室側の一部に同軸上に弁座を形成した連通流路と、
同軸上において前記１次室側から前記弁座に進退自在に臨み、前記連通流路を開閉する弁体と、
前記２次室の１の面を構成すると共に前記弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、を備え、
前記弁体は、先細りのテーパー形状に形成され、
前記弁座は、前記弁体に対し相補的形状に形成されていることを特徴とする圧力調整弁。
【請求項２】
前記隔壁に対向する前記１次室の１の壁面を受けとして、前記受圧膜体と拮抗しつつ前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねを、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
【請求項３】
前記隔壁が金属で構成され、且つ前記弁体が金属で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力調整弁。
【請求項４】
前記弁体は、前記弁座に対し直接開閉動作する弁体本体と、
前記弁体本体から同軸上に延在し前記受圧膜体に当接する作動軸部と、を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧力調整弁。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の圧力調整弁と、
前記機能液供給手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、サブタンクの機能液を、所定の圧力に減圧して機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁が知られている（特許文献１参照）。この圧力調整弁は、バルブハウジング内に形成された流入ポートに連通する１次室および流出ポートに連通する２次室と、１次室と２次室との間の隔壁を連通する連通流路と、１次室側の連通流路開口縁部を弁座として連通流路を１次室側から開閉する弁体と、２次室の１の面を構成すると共に、弁体を大気圧基準で開閉するダイヤフラム（受圧膜体）と、弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備えている。
一方、弁体は、弁座に直接接触するゴム製のＯリングと、Ｏリングを保持する保持部、および保持部から連通流路を挿通してダイヤフラムに当接する軸部から成る弁ホルダーと、を有している。すなわち、ダイヤフラムと弁体ばねが拮抗した状態で、ダイヤフラムの挙動を受けて弁体が開閉するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１６３７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ゴム製のОリングは、その弁座への接触面を金属製の弁座のように高精度の平面度に形成することができない。このため、上記の圧力調整弁では、Оリングと弁座との開弁時の微少間隙により、２次室への機能液の供給量を精度良く管理することができない。すなわち、弁体の開閉ストロークと２次室への機能液の流量との関係を標準化することができず、２次室への機能液の供給量を精度良く管理することができない問題があった。
また、開閉の際に、Оリングにその平面視面積分の１次側水頭が作用するため、２次室に脈動（圧力変動）が発生しやすくなる問題があった。
【０００５】
本発明は、弁体を、円滑且つ精度良く開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧力調整弁は、機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁であって、隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、機能液供給手段に連通する１次室および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室と、隔壁に直線状に貫通形成され、１次室と２次室とを連通すると共に、少なくとも１次室側の一部に同軸上に弁座を形成した連通流路と、同軸上において１次室側から弁座に進退自在に臨み、連通流路を開閉する弁体と、２次室の１の面を構成すると共に弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、を備え、弁体は、先細りのテーパー形状に形成され、弁座は、弁体に対し相補的形状に形成されていることを特徴とする。
【０００７】
また、隔壁に対向する１次室の１の壁面を受けとして、受圧膜体と拮抗しつつ弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねを、更に備えたことが、好ましい。
【０００８】
これらの構成によれば、弁体が先細りのテーパー形状に形成され、且つ弁座が弁体に対し相補的形状に形成されているため、弁体と弁座との開弁時の微少間隙に対し弁ストロークを長く取ることができ、２次室への機能液の供給量を精度良く管理することができる。また、１次側水頭に対する弁体の受圧面積を小さくすることができるため、弁体の開閉動作を円滑に且つソフトに行わせることができ、開閉動作に伴う２次室側の脈動を抑制することができる。
【０００９】
また、隔壁が金属で構成され、且つ弁体が金属で構成されていることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、弁座および弁体を、比較的簡単に精度良く形成することができる。これにより、２次室への機能液の供給量を、より一層精度良く管理することができる。
【００１１】
これらの場合、弁体は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体と、弁体本体から同軸上に延在し受圧膜体に当接する作動軸部と、を有していることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、弁体は、受圧膜体から直接押圧を受けるため、受圧膜体の動きに対応してさらに精度良く開閉動作させることができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、上記の圧力調整弁と、機能液供給手段と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、機能液供給手段から機能液滴吐出ヘッドに機能液を適正圧力で安定して供給することができ、機能液滴吐出ヘッドのワークへの描画品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】キャリッジの外観斜視図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の模式図である。
【図７】圧力調整弁の平面図である。
【図８】圧力調整弁のＡ−Ａ断面図である。
【図９】弁体廻りの拡大図である。
【図１０】圧力調整弁の開閉動作を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る圧力調整弁を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、圧力調整弁は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を一定圧力で減圧供給するものである。
【００１７】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱１２を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４が搭載された１３個のキャリッジユニット４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ５と、チャンバ５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、を備えている。また、チャンバ５の側壁の一部には、機能液を貯留するメインタンク５１等を収納するタンクキャビネット７が設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して、機能液滴吐出ヘッド１４を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された機能液を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。
【００１８】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７および吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１４の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置８（吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７）が交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を行う。
【００１９】
図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー２２と、上記したフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２２およびＸ軸第２スライダー２３をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。
【００２０】
Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート２４と、各ブリッジプレート２４を両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース１３上に設置され、ブリッジプレート２４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１４を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１４を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。
【００２１】
図４に示すように、各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４を６個ずつ２群に分けて、各機能液滴吐出ヘッド１４が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート２５と、から成るヘッドユニット２６を備えている。また、各キャリッジユニット４は、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を大気圧基準で減圧供給する圧力調整弁２７（詳細は後述する。）と、ヘッドユニット２６をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構２８と、θ回転機構２８を介して、ヘッドユニット２６をブリッジプレート２４に支持させる吊設部材２９（共に図３参照）と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、機能液を一時的に貯留するサブタンク４６（図１参照）が配設されており（実際には、ブリッジプレート２４上に配設）、このサブタンク４６および圧力調整弁２７により、各機能液滴吐出ヘッド１４に対して一定圧力で機能液が供給されるようになっている。
【００２２】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１４は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体３３と、を備えている（図５（ａ）参照）。機能液導入部３１は、ノズル列３９の数に対応した２連の接続針３４を有しており、サブタンク４６からの機能液を、機能液供給システム４８（図６参照）を介して供給されるようになっている。また、ヘッド本体３３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部３５と、複数の吐出ノズル３７が形成されたノズル面３８を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズルプレート３６のノズル面３８に形成された多数の吐出ノズル３７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列３９を構成しており、各ノズル列３９は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３７で構成されている（図５（ｂ）参照）。そして、この制御装置から出力された駆動波形が各ポンプ部３５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３７から機能液が吐出される。
【００２３】
次に、図６を参照して、機能液供給ユニット６について説明する。機能液供給ユニット６は、上記した３色に対応した３組の機能液供給装置（機能液供給手段）４１と、メインタンク５１およびサブタンク４６等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備４２と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備４３と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備４４と、を備えている。３組の機能液供給装置４１は、それぞれ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１４に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１４には、対応する色の機能液が供給される。
【００２４】
各機能液供給装置４１は、機能液の供給源を構成する２つのメインタンク５１,５１を有するメインタンクユニット４５と、各キャリッジユニット４に対応した１３個のサブタンク４６と、メインタンクユニット４５および各サブタンク４６を接続する上流側機能液流路４７と、サブタンク４６からの機能液を機能液滴吐出ヘッド１４に減圧供給する圧力調整弁２７と、各サブタンク４６および各圧力調整弁２７を接続する１３組の下流側機能液流路４９と、を備えている。各メインタンク５１内の機能液は、これに接続した窒素ガス供給設備４２からの圧縮窒素ガスにより加圧され、ガス排気設備４４を介して大気開放された１３個のサブタンク４６に上流側機能液流路４７を介して選択的に供給される。そして、サブタンク４６の機能液は、下流側機能液流路４９および圧力調整弁２７を介して、各機能液滴吐出ヘッド１４に一定圧力で供給される。
【００２５】
上流側機能液流路４７は、上流端がメインタンクユニット４５に接続されており、１３分岐流路５２を介して、下流端がサブタンク４６にそれぞれ接続されている。また、上流側機能液流路４７には、上流側から、機能液中の気泡を除去する気泡除去ユニット５３と、上流側の上流側機能液流路４７内に混入した気泡を除去するエアー抜きユニット５４と、が介設されている。メインタンクユニット４５から供給された機能液は、１３分岐流路５２により１３個に分流して各サブタンク４６に供給される。
【００２６】
次に、図７ないし図９を参照して、圧力調整弁２７について説明する。圧力調整弁２７は、主要部を成す調整弁本体６１と、調整弁本体６１の流入側に差込み接合した流入コネクター６２と、調整弁本体６１の流出側に差込み接合した流出コネクター６３と、を備えている。そして、流入コネクター６２には、流入側押えナット６４を介して、サブタンク４６に接続した下流側機能液流路４９が接続され、流出コネクター６３には、流出側押えナット６５を介して、機能液滴吐出ヘッド１４に連なるヘッド接続チューブ１００が接続されている。
【００２７】
調整弁本体６１（圧力調整弁２７）は、前面および後面の中央部が凹型形成されたステンレス製のバルブハウジング７１と、バルブハウジング７１と共に１次室７５を画成する蓋体７２と、バルブハウジング７１に受圧膜体７３を固定することでバルブハウジング７１と共に２次室７６を画成する膜体押え部材７４と、で構成されている。また、１次室７５および２次室７６は、バルブハウジング７１の一部を構成する隔壁７７を隔てて同軸上に配設されており、隔壁７７の中心部（軸心）には、１次室７５および２次室７６を連通する連通流路７８が貫通形成されている。詳細は後述するが、連通流路７８の内周面は弁座８３を兼ねており、同軸上において連通流路７８に１次室７５側から進退自在に臨むように弁体８４が配設されている。
【００２８】
１次室７５は、隔壁７７を主体とするバルブハウジング７１の後面および蓋体７２により形成されている。また、１次室７５の上部には、１次室７５から径方向斜めに延びる流入ポート８１が形成され、中心部には、連通流路７８に連なる１次室側開口部８２が開口している。さらに、１次室７５には、蓋体７２を受けにして弁体８４を閉弁方向に付勢する弁体ばね８５が配設されており、弁体ばね８５の先端部は弁体８４の背面部分に係合している。すなわち、弁体８４は、係合した弁体ばね８５によって、閉弁方向（２次室７６側）に弱い力で付勢されている。
【００２９】
２次室７６は、バルブハウジング７１の前面および受圧膜体７３により形成されている。また、２次室７６の下部には、真下に延びる流出ポート８６が形成され、中心部には、連通流路７８に連なる２次室側開口部８７が開口している。そして、この２次室側開口部８７の周縁部と受圧膜体７３との間には、受圧膜体７３を前方向に向かって付勢する膜体付勢ばね８８が介設されている。
【００３０】
受圧膜体７３は、樹脂フィルムで構成した膜体本体９１と、膜体本体９１の中央部に接着した樹脂製の受圧板９２と、で構成されている。受圧板９２は、膜体本体９１と同心の円板状に、且つ膜体本体９１に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に弁体８４が当接するようになっている。そして、膜体本体９１、受圧板９２および上記の弁体８４は、同軸上に配設されている。
【００３１】
連通流路７８は、上記したように、バルブハウジング７１の中央部分を構成する隔壁７７を直交方向から直線状に貫通形成されている。連通流路７８は、その１次室側開口部８２が大径で、２次室側開口部８７が小径となる、先細りのいわゆるテーパー形状に形成されている。詳細は後述するが、連通流路７８に挿通する弁体８４の弁体本体９４が先細りのテーパー形状に形成されており、連通流路７８は、この弁体本体９４と相補的形状に形成されている。すなわち、連通流路７８は、その流路壁により弁体８４が離接する弁座８３として機能するようになっている。
【００３２】
図９に示すように、弁体８４は、金属素材（好ましくは、軽金属）で形成されており、同軸上において軸線方向の後方から、弁体ばね８５が係合する厚肉円板状のホルダーベース９６と、ホルダーベース９６に連なり、弁機能を奏する弁体本体９４と、弁体本体９４の先端から延在し受圧膜体７３に当接する作動軸部９９と、から構成されている。弁体８４は、受圧膜体７３による大気圧基準で、弁座８３となる連通流路７８の流路壁に離接することで開閉する。すなわち、大気圧と２次室７６との圧力バランスに従って挙動する受圧膜体７３から、作動軸部９９が押圧力を受けることにより弁体８４が開弁し、弁体ばね８５からホルダーベース９６がばね力を受けることにより弁体８４が閉弁する。なお、上記したように弁体８４および上記したバルブハウジング７１（連通流路７８の流路壁）は、共に金属素材で構成されているため、比較的精度よく（形状精度よく）形成することができる。
【００３３】
ホルダーベース９６は、円形の板状に形成されており、１次室７５側の受圧部を構成する。また、ホルダーベース９６の後面周縁部には弁体ばね８５が係合する環状のばね受け部１０２が形成されている。そして、ホルダーベース９６の前面中央部には弁体本体９４が前方に延設されている。ホルダーベース９６は、その背面で１次室７５の圧力を受けると共に、弁体ばね８５により閉弁方向に弱い力で付勢されている。なお、弁体８４の閉弁状態において、ホルダーベース９６の前面は、１次室側開口部８２の周縁部に当接しないように構成されている。
【００３４】
弁体本体９４と作動軸部９９とは、作動軸部９９が弁体本体９４から同軸上に延設された形態となっているが、これらは一体としてホルダーベース９６の前面中央部から先細りのテーパー形状に形成されている。そして、作動軸部９９の先端は、受圧板９２からの押圧を受けるように平坦面、あるいは半球状（図示省略）に形成されている。
【００３５】
上述のように、弁体本体９４は、ホルダーベース９６の前面中央部から先細りのテーパー形状に形成されている。また、弁体本体９４（および作動軸部９９）は、上記の連通流路７８に１次室７５側から挿通しており、上記の連通流路７８（弁座８３）は、弁体本体９４に対して相補的形状に形成されている。弁体本体９４が弁座８３に当接している閉弁状態から弁体８４が開弁し、弁体本体９４が後退すると、弁体本体９４と連通流路７８の流路壁との間に間隙が生じ、機能液が２次室７６に流入するための流路が確保される。この場合、弁体本体９４と流路壁との間の流路面積は、弁体８４のストロークに比例して大小変化することになる。
【００３６】
具体的には、弁体本体９４が後退すると、連通流路７８の流路面積は徐々に大きくなるが、弁体本体９４が微少移動した場合（弁開度が小さい場合）には、流路面積は小さいものとなり、機能液を少量ずつ供給することができる。一方、弁体本体９４が大きく移動した場合（弁開度が大きい場合）には、流路面積は大きくなり、多量の機能液を供給することができる。したがって、弁体本体９４のテーパー角度と弁体８４のストロークとの関係（簡単に数値化できる）に基づいて、２次室７６への機能液の供給量を精度よく管理することができる。特に、弁体本体９４のテーパー角度を小さくすれば、精度は高まる。また同時に、１次側水頭に対する弁体８４の受圧面積が小さくなるため、弁体８４の開閉動作を円滑に且つソフトに行うことができると共に、開閉動作に伴う２次室７６側の脈動を抑制することができる。
【００３７】
一方、弁体本体９４のテーパー角度が大きい場合、弁体８４のストロークに対して弁体本体９４と弁座８３との間の微少間隙（面積）の変化率を大きくすることができる。特に、強制吸引により圧力調整弁２７に初期充填を行う場合、多量の機能液を瞬時に流すことが可能となるため、エアー混じりの機能液を、エアーを残留させることなく流し去ることができる。
【００３８】
次に、図１０を参照して、弁体８４の開閉動作について説明する。上記のように構成された圧力調整弁２７では、例えば機能液滴吐出ヘッド１４の液滴吐出により２次室７６の圧力が下がってゆくと（図１０（ａ）参照）、大気圧により受圧膜体７３が凹変形してゆき、受圧板９２が作動軸部９９を介して弁体８４を１次室７５側に押圧する。このとき、弁体本体９４は、その周面が連通流路７８の流路壁（弁座８３）から離れるように後退して開弁状態となる（図１０（ｂ）参照）。このようにして、弁体８４が開弁すると、連通流路７８を介して１次室７５の機能液が２次室７６に流入し、２次室７６の圧力が高くなり、受圧膜体７３が外部に向かって凸変形する。このとき、弁体本体９４は、その周面が連通流路７８の流路壁に近づくように、弁体ばね８５の付勢力により前進し、弁体本体９４が、弁体ばね８５のばね力で弁座８３に当接することにより、弁体８４は閉弁状態となる（図１０（ａ）参照）。
【００３９】
このように、圧力調整弁２７は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド１４に連なる２次室７６との内部圧力のバランスにより受圧膜体７３が変形することで連通流路７８を開閉する。その際、弁体ばね８５および膜体付勢ばね８８に力が分散して作用し、弁体８４は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体８４の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド１４の吐出駆動に影響を与えないようになっている。
【００４０】
以上の構成によれば、弁体８４および弁座８３が共に受圧膜体７３に向ってテーパー形状に形成されているため、２次室７６への機能液の供給量を精度良く管理することができる。また、１次側水頭に対する弁体８４の受圧面積を小さくすることができるため、開閉動作に伴う２次室７６側の脈動を抑制することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１…液滴吐出装置  １４…機能液滴吐出ヘッド  ２７…圧力調整弁  ４１…機能液供給装置  ７１…バルブハウジング  ７３…受圧膜体  ７５…１次室  ７６…２次室  ７７…隔壁  ７８…連通流路  ８３…弁座  ８４…弁体  ８５…弁体ばね  ９４…弁体本体  ９９…作動軸部  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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