【手続補正書】
【提出日】令和2年12月7日(2020.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の支持体（２２）と、前記板状の支持体（２２）内に実現されたそれぞれの複数のガイド孔（２５Ａ、２７Ａ、２９Ａ、３６Ａ；２５Ｂ、２７Ｂ、２９Ｂ、３６Ｂ；２８Ｃ、２９Ｃ、３６Ｃ）内に摺動可能に収容された複数のコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）とを備え、前記複数のコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）はグラウンドと電源信号（ＧＮＤ、ＰＷＲ）との間で選ばれた１つのタイプの信号のみを搬送するのに適している少なくとも第１の群のコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）を備え、前記プローブヘッド（２０）は、前記支持体（２２）上に実現され、前記第１の群の前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）を収容する複数の収容ガイド孔（２５Ａ、２９Ａ；２５Ｂ、２８Ｂ）を含む導電部（２２Ａ、２７Ａ；２２Ｂ、２６Ａ）に電気的に接続されている少なくとも１つのコンデンサー極板（３１）を有する少なくとも１つのフィルタリングコンデンサー（３０）を備え、前記導電部（２２Ａ、２７Ａ；２２Ｂ、２６Ａ）は前記第１の群の前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）を電気的に接続するプローブヘッド（２０）。
【請求項２】
前記導電部（２２Ａ、２７Ａ；２２Ｂ、２６Ａ）は、グラウンドリファレンスおよび電源リファレンス（ＧＮＤ、ＰＷＲ）それぞれの間で選ばれた第１の電圧リファレンスに接続されるのに適し、前記フィルタリングコンデンサー（３０）は、電源リファレンスおよびグラウンドリファレンス（ＰＷＲ、ＧＮＤ）それぞれの間で選ばれた別個の第２の電圧リファレンスに接続されるのに適したさらなるコンデンサー極板（３２）を備える、請求項１に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項３】
前記導電部（２２Ａ、２７Ａ；２２Ｂ、２６Ａ）は、前記第１の群の前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）の前記収容ガイド孔（２５Ａ、２９Ａ；２５Ｂ、２８Ｂ）内に少なくとも部分的に延在する直交部（２２Ａｗ、２７Ａｗ；２２Ｂｗ、２６Ａｗ）を備える、請求項１または２に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項４】
前記プローブヘッド（２０）は、別個の複数の収容ガイド孔（２５Ａ、２７Ａ、２９Ａ、３６Ａ；２５Ｂ、２７Ｂ、２９Ｂ、３６Ｂ；２８Ｃ、２９Ｃ、３６Ｃ）を含み、電源リファレンスとグラウンドリファレンス（ＰＷＲ、ＧＮＤ）との間で選ばれた別個の電圧リファレンスに接続されるのに適した別個の導電部を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項５】
前記支持体（２２）は、前記フィルタリングコンデンサー（３０）を収容する少なくとも１つの座（３３）を備え、前記導電部（２２Ａ、２２Ｂ）は、前記フィルタリングコンデンサー（３０）の前記少なくとも１つのコンデンサー極板（３１）との接続を実現するために、さらにコンデンサー収容座（３３）に対応して延在する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項６】
前記フィルタリングコンデンサー（３０）の前記収容座（３３）は、前記フィルタリングコンデンサー（３０）の対応する高さに等しい寸法（Ｈ１、Ｈ２）で前記支持体（２２）内に延びる、請求項５に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項７】
前記支持体（２２）は、その第１の面（Ｆａ）に対応して形成された第１の導電部（２２Ａ）およびその第２の反対側の面（Ｆｂ）に対応して形成された第２の導電部（２２Ｂ）を備え、前記フィルタリングコンデンサー（３０）の収容座（３３）は、前記第１および第２の面（Ｆａ、Ｆｂ）に導通させるように前記支持体（２２）内に形成され、前記フィルタリングコンデンサー（３０）は、前記第１の導電部（２２Ａ）に接続されたコンデンサー極板（３１）と、前記第２の導電部（２２Ｂ）に接続されたさらなるコンデンサー極板（３２）とを有し、前記第１および第２の導電部（２２Ａ、２２Ｂ）は、電源リファレンスとグラウンドリファレンス（ＰＷＲ、ＧＮＤ）との間で選ばれたそれぞれの別個の電圧リファレンスに接続されるのに適した、請求項１〜６のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項８】
前記第１の導電部（２２Ａ）は、前記第１の群のコンタクトプローブ（２１Ａ）を収容する前記複数のガイド孔（２５Ａ、２７Ａ、２９Ａ、３６Ａ；２５Ｂ、２７Ｂ、２９Ｂ、３６Ｂ；２８Ｃ、２９Ｃ、３６Ｃ）の少なくとも第１のガイド孔（２５Ａ）を含み、前記第２の導電部（２２Ｂ）は、前記第１の群のさらなるコンタクトプローブ（２１Ｂ）を収容する前記複数のガイド孔（２５Ａ、２７Ａ、２９Ａ、３６Ａ；２５Ｂ、２７Ｂ、２９Ｂ、３６Ｂ；２８Ｃ、２９Ｃ、３６Ｃ）の少なくとも第２のガイド孔（２５Ｂ）を含み、前記第１の導電部（２２Ａ）は、第１のダイヤフラム（Ｄｆｌ）により、前記第１の導電部（２２Ａ）と隔てられている第２の収容ガイド孔（２５Ｂ）に接触しないように形成され、前記第２の導電部（２２Ｂ）は、第２のダイヤフラム（Ｄｆ２）により、前記第２の導電部（２２Ｂ）と隔てられている第１の収容ガイド孔（２５Ａ）に接触しないように形成され、前記第１および第２のダイヤフラム（Ｄｆｌ、Ｄｆ２）は、前記コンタクトプローブ（２１Ａ）の、および前記さらなるコンタクトプローブ（２１Ｂ）の、前記第２および第１の導電部（２２Ｂ、２２Ａ）それぞれからの分離を確実にする、前記第２および第１の導電部（２２Ｂ、２２Ａ）によって覆われていない、前記板状の支持体（２２）の部分である、請求項７に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項９】
前記支持体（２２）は、エアギャップ（３４）で隔てられた、板状であり、互いに平行である少なくとも一対のガイド（２７、２６）を備え、前記ガイド（２７、２６）の各々には、前記第１の群の前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）の複数の収容ガイド孔（２９Ａ、２８Ｂ）、および前記コンタクトプローブ（２１Ｂ、２１Ａ）の対応する複数の挿通ガイド孔（２９Ｂ、２８Ａ）が設けられ、前記ガイド（２７、２６）の各々は、前記第１の群のコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）を収容する複数の前記ガイド孔（２９Ａ、２８Ｂ）の少なくとも１つのガイド孔（２９Ａ、２８Ｂ）を含む少なくとも１つの導電部（２７Ａ、２６Ａ）を有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１０】
前記ガイド（２７、２６）の前記導電部（２７Ａ、２６Ａ）は、前記導電部（２７Ａ、２６Ａ）からの前記コンタクトプローブ（２１Ｂ、２１Ａ）の絶縁を保証する、前記ガイド（２７、２６）の部分であるダイヤフラム（Ｄｆａｌ、Ｄｆａ２、Ｄｆｂ１、Ｄｆｂ２）により、前記コンタクトプローブ（２１Ｂ、２１Ａ）の前記挿通ガイド孔（２９Ｂ、２８Ａ）から隔てられる、請求項９に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１１】
前記収容ガイド孔（２９Ａ、２８Ｂ）は、互いに等しく、および前記対応する挿通ガイド孔（２８Ａ、２９Ｂ）の、互いに等しいそれぞれの第２の直径（Ｄ２Ａ、Ｄ２Ｂ）よりも小さいそれぞれの第１の直径（Ｄ１Ａ、Ｄ１Ｂ）を有し、直径は、前記ガイド（２７、２６）によって画定される平面に対応して得られる断面に応じた、非円形状でもよい前記ガイド孔の最大の横方向寸法を意味する、請求項９または１０に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１２】
前記導電部（２７Ａ、２６Ａ）は、グラウンドリファレンスおよび電源リファレンス（ＧＮＤ、ＰＷＲ）から選ばれた別個のリファレンス電圧に接続されるのに適した、請求項９〜１１のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１３】
前記導電部（２７Ａ、２６Ａ）は、前記ガイド（２７、２６）の対応する面上で形成される、請求項９〜１２のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１４】
少なくとも１つの導電部（２７Ａ；２６Ａ）は、前記第１の群の前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）を収容する複数の収容ガイド孔（２９Ａ；２８Ｂ）を含み、電気的に接続する、請求項９〜１３のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１５】
前記ガイド（２７、２６）の第１のガイド（２７）は、前記フィルタリングコンデンサー（３０Ａ、３０Ｂ）を収容する座（３３Ａ；３３Ｂ）を備え、前記第１のガイド（２７）の前記導電部（２７Ａ）はさらに、コンデンサー収容座（３３Ａ；３３Ｂ）に対応して延在する、請求項９〜１４のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１６】
前記フィルタリングコンデンサー（３０Ａ、３０Ｂ）は、前記コンデンサー収容座（３３Ａ；３３Ｂ）に挿入され、前記第２のガイド（２６）の導電部（２６Ａ）上に載置される、請求項１５に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１７】
前記第１および第２のガイド（２７、２６）は、動作信号を搬送するのに適した第２の群のコンタクトプローブのうちのコンタクトプローブ（２１Ｃ）を収容する複数のガイド孔（２９Ｃ、２８Ｃ）をさらに備え、前記ガイド（２７、２６）の前記導電部（２７Ａ、２６Ａ）は、前記導電部（２７Ａ、２６Ａ）との前記第２の群の前記コンタクトプローブ（２１Ｃ）の絶縁を保証する、前記第１および第２のガイド（２７、２６）の部分である適切なダイヤフラム（Ｄｆｃｌ、Ｄｆｃ２）により、前記第２の群のコンタクトプローブ（２１Ｃ）の前記収容ガイド孔（２９Ｃ、２８Ｃ）と隔てられる、請求項９〜１６のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１８】
前記第２の群の前記コンタクトプローブ（２１Ｃ）は、絶縁材により、前記収容ガイド孔（２９Ｃ、２８Ｃ）に対応する一部分において、部分的に被覆される、請求項１７に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項１９】
前記第１の群の前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）は、絶縁材により、前記挿通ガイド孔（２９Ｂ、２８Ａ）に対応する一部分において、部分的に被覆される、請求項９〜１８のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２０】
前記支持体（２２）は、エアゾーン（３４）を占める一対の前記ガイド（２７、２６）間に挿入される中間ガイド（３５）をさらに含み、前記中間ガイド（３５）は、動作信号を搬送するのに適した第２の群の前記コンタクトプローブ（２１Ｃ）を収容する複数のガイド孔（３６Ｃ）、および前記第１の群のコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）の対応する複数の挿通ガイド孔（３６Ａ、３６Ｂ）を備え、前記中間ガイド（３５）は前記第２の群の前記コンタクトプローブ（２１Ｃ）のみに摺動可能に接触する、請求項９〜１９のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２１】
前記第２の群の前記コンタクトプローブ（２１Ｃ）を収容する前記ガイド孔（３６Ｃ）は、互いに等しく、および、前記対応する挿通ガイド孔（３６Ａ、３６Ｂ）の、互いに等しいそれぞれの第２の直径（Ｄ２Ｃ）よりも小さいそれぞれの第１の直径（Ｄ１Ｃ）を有し、直径は、前記中間ガイド（３５）によって画定される平面に対応して得られる断面に応じた、非円形状でもよい前記ガイド孔の最大横方向寸法を意味する、請求項２０に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２２】
前記中間ガイド（３５）は、同様なサイズを有し、前記一対の前記ガイド（２７、２６）のうちの前記第１のガイド（２７）内に形成されたコンデンサー収容座（３３Ａ、３３Ｂ）に対応して位置付けられる、フィルタリングコンデンサー（３０Ａ、３０Ｂ）を収容するさらなる座（３７Ａ、３７Ｂ）を備える、請求項２０または２１に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２３】
前記支持体（２２）は、前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）を収容する一対の支持体の下方の支持体であり、下方は、ウェハ上に集積された被試験デバイス（２３）により近いことを意味し、前記フィルタリングコンデンサー（３０）は、このようにして、前記被試験デバイス（２３）の接触パッド（２３Ａ、２３Ｂ）に当接するよう適合された前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）の接触先端に近接するように位置付けられる、請求項１〜２２のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２４】
複数のフィルタリングコンデンサー（３０、３０Ａ、３０Ｂ）を備える、請求項１〜２３のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２５】
前記導電部（２２Ａ、２２Ｂ）は、前記支持体（２２）すべての上に延在し、前記第１の群のコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ）を収容する第１の群の前記ガイド孔（２５Ａ、２５Ｂ）を含み、接続して、その面（Ｆａ、Ｆｂ）のうちの１つを覆い、前記導電部（２２Ａ、２２Ｂ）はさらに、前記第１の群に属していない、コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）の収容ガイド孔に対応するそれぞれの非導電領域（Ａｌ、Ａ２、Ａ３、Ｂｌ、Ｂ２）をさらに備える、請求項１〜２４のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【請求項２６】
前記コンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）が電気的に接続されないものとする導電部内に含まれるガイド孔に対応する一部分が、絶縁材によって部分的に被覆されたコンタクトプローブ（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）を備える、請求項１〜２５のいずれか１項に記載のプローブヘッド（２０）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
実質的には、導電部２２Ａは、より多くの収容ガイド孔（特に、グラウンドプローブ２１Ａを収容するガイド孔２５Ａ）を含む支持体２２のゾーンを被覆し、よって、そうした収容ガイド孔２５Ａは、導電部２２Ａにより互いに電気的に接続され、よって、収容ガイド孔２５Ａと、よって、グラウンドプローブ２１Ａとを互いに、およびグラウンドリファレンスＧＮＤに、電気的に接続するよう適合された共通の導電プレーン（特に、共通のグラウンドプレーン）を実現する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
一実施形態では、そうした収容座３３Ａ、３３Ｂは、市場で入手可能な個別のコンデンサーを収容し、上方のガイド２７および下方のガイド２６における（特に０．１ｍｍ以上０．４ｍｍ以下に、好ましくは０．１２５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下に含まれる辺を備える）略方形の領域を使用するよう大きさが調整される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
上述したように、コンタクトプローブ２１の収容ガイド孔３６Ｃは、コンタクトプローブ２１Ａおよび２１Ｂの収容ガイド孔２９Ａおよび２８Ｂの直径Ｄ１Ａ、Ｄ１Ｂの値と同様な値を有し、特に２０μｍ以上７０μｍ以下の、好ましくは３０μｍ以上４０μｍ以下の値を有する直径Ｄ１Ｃを有する一方、グラウンドプローブ２１Ａおよび電源プローブ２１Ｂの挿通ガイド孔３６Ａ、３６Ｂは、直径Ｄ１Ａ、Ｄ１ＢおよびＤ１Ｃよりも大きく、特に４０μｍ以上１００μｍ以下の、好ましくは４０μｍ以上７０μｍ以下の値を有する、それぞれの直径Ｄ２ＡおよびＤ２Ｂを有する。さらに、上方のガイド２７および下方のガイド２６それぞれに実現された信号プローブ２１Ｃの挿通ガイド孔２９＊Ｃ、２８＊Ｃは、互いに、および、特に４０μｍ以上１００μｍ、好ましくは４０μｍ以上７０μｍ以下の値を有する、上方のガイド２７内および下方のガイド２６内に作られた他の挿通ガイド孔の直径Ｄ２ＡおよびＤ２Ｂに略等しい直径Ｄ２Ｃを有する。