(57)【要約】【課題】装置及び搬送のトラブルを迅速に把握する。【解決手段】半導体製造システム７０には、ホストコンピュータ１、ＣＲレイアウト記憶装置２、統括生産情報システム３、装置管理システム４、搬送制御システム５、歩留統御システム６、半導体製造装置７ａ、半導体製造装置７ｎ、ＬＡＮ８、装置情報取得部１１、搬送情報取得部１２、生産情報取得部１３、連動表示制御部１４、連動表示部１５、搬送指示部１６が設けられる。連動表示制御部１４、連動表示部１５、及び搬送指示部１６は、半導体製造自動化クリーンルームでの装置及び搬送のトラブルを迅速に把握してクリーンルームレイアウト画面に表示する。表示後、クリーンルームレイアウト画面上で搬送車を指定し、搬送車の移送径路の変更、移送先の半導体製造装置の変更を行う。【選択図】図１
2010086978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造自動化クリーンルームに用いられ、半導体製造装置の稼動状態及び在庫状態と搬送車及び搬送装置の稼動状態とがクリーンルームレイアウト画面に表示される半導体製造システムであって、
前記半導体製造装置或いは搬送のトラブルが発生した場合に、前記クリーンルームレイアウト画面にトラブル状態を反映させて表示する連動表示部と、
前記連動表示部で選択され、指定された搬送車の移送径路の変更指示を行い、移送先の半導体製造装置の変更指示を行う搬送指示部と、
を具備することを特徴とする半導体製造システム。
【請求項２】
半導体製造自動化クリーンルームの半導体製造装置の稼動情報が入力され、その情報を格納する装置情報取得部と、
前記半導体製造自動化クリーンルームの生産情報及び半導体製造装置の在庫情報が入力され、その情報を格納する生産情報取得部と、
搬送車及び搬送装置の稼動情報が入力され、その情報を格納する搬送情報取得部と、
前記半導体製造自動化クリーンルームを構成する半導体製造装置、搬送軌道、搬送車、及び搬送装置の最新配置情報が入力され、更新された情報を格納するＣＲレイアウト記憶装置と、
前記装置情報取得部から出力される半導体製造装置の稼動情報と、前記搬送情報取得部から出力される搬送車及び搬送装置の稼動情報と、前記生産情報取得部から出力される生産情報及び在庫情報とをクリーンルームレイアウト画面に反映させる連動表示制御部と、
前記連動表示制御部に基づいて、前記半導体製造装置の稼動状態と、前記搬送車及び前記搬送装置の稼動状態と、前記半導体製造装置の在庫状態とが反映されたクリーンルームレイアウト画面を表示する連動表示部と、
前記連動表示部で選択され、指定された搬送車の移送径路の変更指示を行い、移送先の半導体製造装置の変更指示を行う搬送指示部と、
を具備することを特徴とする半導体製造システム。
【請求項３】
前記連動表示部は、クリーンルームレイアウト画面での半導体製造装置の稼動状態と在庫状態を切り替え表示することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体製造システム。
【請求項４】
前記連動表示部は、選択された半導体製造装置の在庫内容を詳細に表示することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体製造システム。
【請求項５】
前記連動表示部は、搬送車を選択し、選択された搬送車の搬送径路を表示することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造の自動化クリーンルーム（例えば、ウェハサイズ３００ｍｍのＣＲ）は、大量の半導体製造装置や半導体集積回路が形成される製造工程中のウェハを搬送する搬送装置などで構成される。半導体製造の自動化クリーンルームは、長大な製造工程を有するロットの生産管理、半導体製造装置や搬送装置などの制御、半導体製造装置間でのロットの搬送の制御等を自動化するための大規模、且つ多種多様な制御システム群やそれをサポートする制御プログラムから構成される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１などに記載される半導体製造の自動化クリーンルームでは、半導体製造装置や搬送装置などの装置トラブル、プロセス変動などで発生する半導体集積回路の歩留低下、及び製造品種群の大幅切り替え等による生産性の低下発生時には、システム担当が各システムの稼働動態、半導体製造装置や搬送の稼働状態、半導体製造装置の在庫状態を順次確認調査している。このため、生産性の低下要因の発見に多大な時間を要するという問題点がある。
【特許文献１】特開２００７−１４１０１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、装置及び搬送のトラブルを迅速に把握することができる半導体製造システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様の半導体製造システムは、半導体製造自動化クリーンルームに用いられ、半導体製造装置の稼動状態及び在庫状態と搬送車及び搬送装置の稼動状態とがクリーンルームレイアウト画面に表示される半導体製造システムであって、前記半導体製造装置或いは搬送のトラブルが発生した場合に、前記クリーンルームレイアウト画面にトラブル状態を反映させて表示する連動表示部と、前記連動表示部で選択され、指定された搬送車の移送径路の変更指示を行い、移送先の半導体製造装置の変更指示を行う搬送指示部とを具備することを特徴とする。
【０００６】
更に、本発明の他態様の半導体製造システムは、半導体製造自動化クリーンルームの半導体製造装置の稼動情報が入力され、その情報を格納する装置情報取得部と、前記半導体製造自動化クリーンルームの生産情報及び半導体製造装置の在庫情報が入力され、その情報を格納する生産情報取得部と、搬送車及び搬送装置の稼動情報が入力され、その情報を格納する搬送情報取得部と、前記半導体製造自動化クリーンルームを構成する半導体製造装置、搬送軌道、搬送車、及び搬送装置の最新配置情報が入力され、更新された情報を格納するＣＲレイアウト記憶装置と、前記装置情報取得部から出力される半導体製造装置の稼動情報と、前記搬送情報取得部から出力される搬送車及び搬送装置の稼動情報と、前記生産情報取得部から出力される生産情報及び在庫情報とをクリーンルームレイアウト画面に反映させる連動表示制御部と、前記連動表示制御部に基づいて、前記半導体製造装置の稼動状態と、前記搬送車及び前記搬送装置の稼動状態と、前記半導体製造装置の在庫状態とが反映されたクリーンルームレイアウト画面を表示する連動表示部と、前記連動表示部で選択され、指定された搬送車の移送径路の変更指示を行い、移送先の半導体製造装置の変更指示を行う搬送指示部とを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、装置及び搬送のトラブルを迅速に把握することができる半導体製造システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【０００９】
まず、本発明の実施例１に係る半導体製造システムについて、図面を参照して説明する。図１は半導体製造システムを示すブロック図である。本実施例では、半導体製造自動化クリーンルームでの装置及び搬送のトラブルを迅速に把握し、トラブルに迅速に対応するために連動表示制御部、連動表示部、及び搬送指示部を設けている。
【００１０】
図１に示すように、半導体製造システム７０には、ホストコンピュータ１、ＣＲレイアウト記憶装置２、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３、装置管理システム４、搬送制御システム（Material  Control  System）５、歩留統御システム（Yield  Management  System）６、半導体製造装置７ａ、半導体製造装置７ｎ、ＬＡＮ８、装置情報取得部１１、搬送情報取得部１２、生産情報取得部１３、連動表示制御部１４、連動表示部１５、搬送指示部１６が設けられる。
【００１１】
半導体製造システム７０は、ｎ個の半導体製造装置を有し、メモリやロジック製品の半導体製造の自動化クリーンルーム（例えば、ウェハサイズ３００ｍｍのＣＲ）に適用されるシステムであり、例えばロットの加工処理や検査処理等が行われる。
【００１２】
ＬＡＮ８は、半導体製造システム７０に設けられるホストコンピュータ１、ＣＲレイアウト記憶装置２、統括生産情報システム３、装置管理システム４、搬送制御システム５、歩留統御システム６、半導体製造装置７ａ、半導体製造装置７ｎ、装置情報取得部１１、搬送情報取得部１２、生産情報取得部１３、連動表示制御部１４、連動表示部１５、及び搬送指示部１６の間を接続する。
【００１３】
ホストコンピュータ１は、半導体製造システム７０に設けられるＣＲレイアウト記憶装置２、統括生産情報システム３、装置管理システム４、搬送制御システム５、歩留統御システム６、半導体製造装置７ａ、半導体製造装置７ｎ、装置情報取得部１１、搬送情報取得部１２、生産情報取得部１３、連動表示制御部１４、連動表示部１５、及び搬送指示部１６を統括制御し、統括制御される情報はＬＡＮ８を介して送信される。また、ホストコンピュータ１は統括制御される装置やシステムなどから出力される情報をＬＡＮ８を介して受信する。
【００１４】
ＣＲレイアウト記憶装置２は、自動化クリーンルームを構成する半導体製造装置７ａ乃至７ｎ及び搬送レーンのレイアウト情報と、搬送ストッカ、リフタ、及びＯＨＢ（Over  Head  Buffer  搬送棚）などの搬送装置のレイアウト情報と、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transport）やＯＨＳ（Over  Head  Shuttle）などの搬送車のレイアウト情報とを格納する。ここで、搬送レーンは、例えばクリーンルームの天井部に設置され、ロットなどを搭載する搬送車を自動搬送する。ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transport）は工程内搬送に使用され、軌道レール上或いは軌道レール直下を移動する無人搬送車であり、ＯＨＳ（Over  Head  Shuttle）は工程間搬送に使用され、軌道レール上或いは軌道レール直下を移動する無人搬送車である。
【００１５】
統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３は、自動化クリーンルームにおける種々の情報管理の中心的な役割を担うシステムであり、具体的には工程フローや在庫などの生産情報と半導体製造装置の稼働状態を管理し、装置管理システム４経由で半導体製造装置に対象ロットや処理レシピの指示、搬送制御システム（Material  Control  System）５経由で対象ロットの搬送指示などを行う。
【００１６】
装置管理システム４は、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３からの対象ロット指示の半導体製造装置への送信、半導体製造装置の稼働状態の統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３への送信などを行う。
【００１７】
搬送制御システム（Material  Control  System）５は、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３からの各種指示を各搬送設備に適宜伝えて、各搬送設備からの報告をまとめて統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３に伝達するシステムであり、例えば統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３から指示された対象ロットを対象の半導体製造装置に搬送する。なお、搬送制御システム（Material  Control  System）５は、ＡＭＨＳインテグレータ（Automated  Material  Handling  System  Integrator）とも呼称される。
【００１８】
歩留統御システム（Yield  Management  System）６は、自動化クリーンルームにおけるメモリやロジック製品のロット毎及びウェハ毎の歩留情報、製品毎やプロセス毎の歩留情報、歩留解析に必要なプロセス工程条件や半導体製造装置の工程能力の情報、メモリやロジック製品毎に必要とされるプロセス工程条件の情報を備え、これらの情報に基づいて歩留分析や歩留のモニター等の統御を行う。
【００１９】
半導体製造装置７ａ、半導体製造装置７ｎは、メモリやロジック製品のプロセス工程の処理を行う。半導体製造装置には、ロット毎や複数のロットを一括処理に対応する装置（バッチ処理装置）、枚葉式処理を行う処理装置（枚葉処理装置）、複数のプロセス工程を同時に処理する装置（多機能装置）などがあり、用途に応じて適宜使用される。
【００２０】
装置情報取得部１１は、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３から、半導体製造装置の稼働、ＱＣ、メンテナンス、トラブル、待機などの稼働状態の情報を取得して、その情報を連動表示制御部１４へ送信する。
【００２１】
搬送情報取得部１２は、搬送制御システム（Material  Control  System）５から、ロットを搭載する搬送車（ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transport）及びＯＨＳ（Over  Head  Shuttle））の状態や搬送レーン上の位置情報、搬送ストッカ、リフタ、ＯＨＢなどの搬送装置の稼働状態を取得して、その情報を連動表示制御部１４へ送信する。また、搬送情報取得部１２は搬送車が移送しているＦＯＵＰ（Front  Opening  head  Hoist  Transport）のＩＤをもとにして統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３から品名、ロットＩＤ等のロット情報を取得する。
【００２２】
生産情報取得部１３は、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３から半導体製造装置の在庫情報を取得して、その情報を連動表示制御部１４へ送信する。また、生産情報取得部１３は統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３から自動化クリーンルームに投入されているロット情報を取得して、その情報を連動表示制御部１４へ送信する。
【００２３】
連動表示制御部１４は、装置情報取得部１１から取得した半導体製造装置の稼働状態と、搬送情報取得部１２から取得した搬送車や搬送ストッカ、リフタなどの搬送装置の稼働状態と、生産情報取得部１３から取得した在庫情報やロット情報をクリーンルームレイアウトイメージにして、連動表示部１５に反映する。
【００２４】
連動表示部１５は、連動表示制御部１４に基づいて、半導体製造装置の稼働状態と、搬送装置の稼働状態と、半導体製造装置の在庫状態とが反映された情報をクリーンルームレイアウト画面に表示する。また、連動表示部１５はクリーンルームレイアウト画面上で搬送車を選択し、選択された搬送車の搬送径路を表示する。また、移送先の半導体製造装置の変更を表示する。
【００２５】
搬送指示部１６は、連動表示部１５で選択された搬送車の移送径路の変更、移送先の半導体製造装置の変更に対し、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３及び搬送制御システム（Material  Control  System）５へ変更指示を行う。搬送指示部１６は、移送径路の変更の場合、搬送制御システム（Material  Control  System）５へ変更指示を出す。搬送指示部１６は、移送先の半導体製造装置の変更の場合、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３へ変更指示を出す。また、搬送指示部１６は、統括生産情報システム（Manufacturing  Execution  System）３から搬送制御システム（Material  Control  System）５へ変更指示を出し、装置管理システム４へ変更指示を出す。
【００２６】
次に、連動表示制御部の動作について図２乃至６を参照して説明する。図２乃至６は連動表示制御部の処理手順を示すフローチャートである。ここで、図３乃至６は図２をより詳細に説明するための図である。
【００２７】
図２に示すように、まず、ホストコンピュータ１の指令に基づいて連動表示制御部１４が起動される（ステップＳ１）。次に、ＣＲレイアウト記憶装置２からクリーンルームレイアウト画面情報が取得される。取得後、装置情報反映プログラム、在庫情報反映プログラム、搬送車情報反映プログラム、及び搬送装置情報プログラムがそれぞれ起動される（ステップＳ２）。
【００２８】
図３に示すように、装置情報反映プログラムでは、まず、装置情報反映プログラムが起動される（ステップＳ３）。次に、起動後、装置情報取得部１１から半導体製造装置の稼動情報が一定時間毎に取得される（ステップＳ３１）。続いて、その情報がクリーンルームレイアウト画面に反映される（ステップＳ３２）。
【００２９】
ここで、半導体製造装置の稼動情報の取得時間間隔は任意に設定を変更することでき、通常状態では数秒毎に取得される。半導体製造装置の稼動情報とは、稼動、ＱＣ、メンテナンス、故障、着工待ちなどの情報である。半導体製造装置の稼動情報には、半導体製造装置のアラーム情報から導き出された処理中の停止状態（チョコ停）も含まれる。半導体製造装置の稼動情報のクリーンルームレイアウト画面は、システム担当者、クリーンルーム作業者、管理者等が表示を判別しやすく、作業環境にやさしい表示となっている。表示は任意に変更できる設定となっている。
【００３０】
図４に示すように、在庫情報反映プログラムでは、まず、在庫情報反映プログラムが起動される（ステップＳ４）。次に、生産情報取得部１３から半導体製造装置の在庫情報が一定時間毎に取得される（ステップＳ４１）。続いて、その情報がクリーンルームレイアウト画面に反映される（ステップＳ４２）。
【００３１】
ここで、生産情報の取得時間間隔は任意に設定を変更することでき、通常状態では数秒毎に取得される。クリーンルームレイアウト画面への反映は、例えば在庫ロット数の所定の数値範囲毎に分類表示される。分類表示は任意に変更できるようになっている。
【００３２】
図５に示すように、搬送車情報反映プログラムでは、まず、搬送車情報反映プログラムが起動される（ステップＳ５）。次に、搬送情報取得部１２から搬送車情報が一定時間毎に取得される（ステップＳ５１）。続いて、その情報がクリーンルームレイアウト画面に反映される（ステップＳ５２）。
【００３３】
ここで、搬送車情報の取得時間間隔は任意に設定を変更することでき、通常状態では数秒毎に取得される。搬送車情報とは、搬送のＩＤ、搬送車の搬送レーン上の位置、ＦＯＵＰ（Front  Opening  head  Hoist  Transport）を取りに行く／ＦＯＵＰを移送するなどの搬送状態、搬送中のＦＯＵＰ  ＩＤなど含む。搬送車情報には、搬送中のＦＯＵＰに格納されるロットの品名、ロットＩＤ等が含まれる。搬送車情報には、搬送先の半導体製造装置、搬送径路の情報等が含まれる。
【００３４】
クリーンルームレイアウト画面への反映は、搬送レーン上の位置に搬送車が表示され、例えばＦＯＵＰを取りに行く状態やＦＯＵＰを移送する状態等がシステム担当者、クリーンルーム作業者、管理者等にとって表示が判別しやすく、作業環境にやさしい表示になっている。表示は任意に変更できる設定となっている。搬送レーンの指定された距離中に搬送車が指定台数以上存在する場合、搬送レーンの表示を変えて表示される。搬送レーンの指定された距離を搬送車が通過する時間が指定時間以上になる場合、搬送レーンが変更表示される。
【００３５】
図６に示すように、搬送装置情報反映プログラムでは、まず、搬送装置情報反映プログラムが起動される（ステップＳ６）。次に、搬送情報取得部１２から搬送ストッカ、リフタ、ＯＨＢ等の搬送装置の稼動情報が一定時間毎に取得される（ステップＳ６１）。続いて、その情報がクリーンルームレイアウト画面に反映される（ステップＳ６２）。
【００３６】
ここで、搬送装置の稼動情報の取得時間間隔は任意に設定を変更することでき、通常状態では数秒毎に取得される。クリーンルームレイアウト画面への反映は、例えば在庫ロット数の所定の数値範囲毎に分類表示される。分類表示は任意に変更できるようになっている。搬送装置の稼動情報とは、稼動、メンテナンス、故障等である。搬送装置の稼動情報のクリーンルームレイアウト画面への表示は、システム担当者、クリーンルーム作業者、管理者等が表示を判別しやすく、作業環境にやさしい表示となっている。表示は任意に変更できる設定となっている。
【００３７】
次に、半導体製造自動化クリーンルームでの半導体製造装置や搬送車の稼動状態をクリーンルームレイアウト画面への具体的表示について、図７乃至１１を参照して説明する。図７は半導体製造装置の稼動状況選択後の画面イメージを示す図、図８は半導体製造装置の在庫状況選択後の画面イメージを示す図、図９は在庫が多い半導体製造装置の状況を示す図、図１０は搬送指示モード時での画面イメージを示す図、図１１は搬送径路及び搬送先装置の変更後での画面イメージを示す図である。
【００３８】
クリーンルームレイアウト画面の上部には、装置表示選択パネル２１、搬送車表示選択パネル２４、及び搬送指示パネル２７が設けられる。装置表示選択パネル２１には、稼動状態を表示するための表示ボタン２２と在庫状態を表示するための表示ボタン２３が設けられる。搬送車表示選択パネル２４には、搬送状態を示すための表示ボタン２５とロット情報を表示するための表示ボタン２６が設けられる。搬送指示パネル２７には、径路変更を表示するための表示ボタン２８が設けられる。クリーンルームレイアウト画面の中央部には、半導体製造装置、搬送軌道３０、搬送車３１が表示される。
【００３９】
図７に示すように、装置表示選択パネル２１の表示ボタン２２が選択された場合、半導体製造装置の稼動状況が、例えば稼動中（半導体装置３２ａ）、待機（半導体装置３２ｂ）、故障（半導体装置３２ｃ）、メンテ（半導体装置３２ｄ）の４種類に分類表示される。故障発生直後の半導体製造装置は、どの半導体装置、どの搬送軌道部分かを明瞭にするために図中に（×印）で表示される。
【００４０】
図８に示すように、装置表示選択パネル２１の表示ボタン２３が選択された場合、半導体製造装置の在庫状況が、例えば０（ゼロ）Ｌｏｔ、１〜５Ｌｏｔ、６〜１０Ｌｏｔ、１１〜５０Ｌｏｔ、５１Ｌｏｔの５種類に分類表示される。また、クリーンルームレイアウト画面の上部には、半導体製造自動化クリーンルームに投入されるメモリやロジック製品の投入Ｌｏｔ状況が、例えばＣＲ残Ｌｏｔ数、処理中Ｌｏｔ数、待機Ｌｏｔ数が表示される。なお、この画面では装置表示選択パネル２１、搬送車表示選択パネル２４、及び搬送指示パネル２７の表示を省略している。
【００４１】
図９に示すように、例えば在庫数の多い半導体製造装置では、この半導体製造装置を選択（例えば、表示部分をタッチ選択）することにより在庫の詳細情報を入手することができる。具体的には、図９（ａ）に示すように、在庫数が１１〜５０Ｌｏｔと表示されるマルチチャンバー構成の多機能装置（I）では、例えば在庫数が４０Ｌｏｔ、メタルスパッタＡ条件が５Ｌｏｔ、メタルスパッタＢ条件が１０Ｌｏｔ、メタルスパッタＣ条件が８Ｌｏｔ、ＲＩＥ  ＥｔｃｈｉｎｇＤ条件が９Ｌｏｔ、ＲＩＥ  ＥｔｃｈｉｎｇＥ条件が８Ｌｏｔと詳細表示され、どの条件の在庫数が多いのかが容易に判別できる。図９（ｂ）に示すように、在庫数が５１Ｌｏｔ以上と表示されるマルチチャンバー構成の多機能装置（II）では、例えば在庫数が６０Ｌｏｔ、成膜（ＳｉＮ膜）条件が２５Ｌｏｔ、成膜（ＳｉＯ２膜）条件が１８Ｌｏｔ、成膜（ＰｏｌｙＳｉ膜）条件が２７Ｌｏｔと詳細表示され、どの条件の在庫数が多いのかが容易に判別できる。
【００４２】
図示していないが、搬送車表示選択パネル２４の表示ボタン２５が選択された場合、クリーンルームレイアウト画面の搬送軌道３０上の搬送車３１の稼動状況（稼動中、待機、故障、メンテなど）が分類表示される。搬送装置の稼動状況（稼動中、待機、故障、メンテなど）が分類表示される。搬送車表示選択パネル２４の表示ボタン２６が選択された場合、搬送車３１に移送されているＦＯＵＰに格納されるロットの品種が分類表示される。なお、半導体製造装置の稼動状況、半導体製造装置の在庫状況、搬送車や搬送装置の稼動状況、ＦＯＵＰに格納されるロットの品種表示などは、システム担当者、クリーンルーム作業者、管理者等が表示を判別しやいすように、例えば複数の色或いは複数のパターンを用いて分類表示してもよい。
【００４３】
図１０に示すように、例えば半導体製造装置に故障が発生し、メモリやロジック製品などのロットに滞留が発生して在庫数が増加した場合、搬送指示パネル２７の表示ボタン２８が選択され、搬送車の径路変更と移送先の半導体製造装置の変更が行われる。具体的には、まず、表示ボタン２８で選択されたクリーンルームレイアウト画面上のロット搬送中の搬送車（故障発生した半導体製造装置対応の搬送車）が選択される。次に、選択された搬送車に搭載されるロットの工程情報から待機中或いは在庫数の少なく、且つ代替可能な半導体製造装置が選択される。続いて、選択された搬送車の現在の位置と選択された半導体製造装置を結ぶ搬送車の移送径路（図中では、右から左下方向への移送径路）が選択表示される。
【００４４】
図１１に示すように、例えば半導体製造自動化クリーンルームの生産計画の急な見直し、或いは特定なロットの生産見直し（特急ロットへの昇格など）などが発生した場合、まず、クリーンルームレイアウト画面上の、例えばマウスクリックの操作を用いて、選択された搬送車に搭載されるロットの工程情報から待機中或いは在庫数の少なく、且つ代替可能な図１０に示す半導体製造装置とは異なる半導体製造装置が選択される。次に、選択された搬送車の現在の位置と選択された半導体製造装置を結ぶ搬送車の移送径路（図中では、右から左上方向への移送径路）が選択表示される。
【００４５】
上述したように、本実施例の半導体製造システムでは、ホストコンピュータ１、ＣＲレイアウト記憶装置２、統括生産情報システム３、装置管理システム４、搬送制御システム５、歩留統御システム６、半導体製造装置７ａ、半導体製造装置７ｎ、ＬＡＮ８、装置情報取得部１１、搬送情報取得部１２、生産情報取得部１３、連動表示制御部１４、連動表示部１５、搬送指示部１６が設けられる。連動表示制御部１４は、半導体製造装置の稼働状態と、搬送車や搬送ストッカ、リフタなどの搬送装置の稼働状態と、在庫情報やロット情報を連動表示部１５に反映する。連動表示部１５は、半導体製造装置の稼働状態と、搬送装置の稼働状態と、半導体製造装置の在庫状態とが反映された情報をクリーンルームレイアウト画面に表示する。連動表示部１５はクリーンルームレイアウト画面上で搬送車を選択し、選択された搬送車の移送経路を表示する。連動表示部１５は移送先の半導体製造装置の変更の表示を行う。搬送指示部１６は、連動表示部１５で指示された搬送車の移送径路の変更指示と、移送先の半導体製造装置の変更指示を行う。
【００４６】
このため、半導体製造装置及び搬送のトラブルを容易に把握でき、ロットの滞留を最小限度に抑制することができる。また、クリーンルームレイアウト画面上で搬送車を選定し、搬送車の移送径路の変更、移送先の半導体製造装置の変更を容易に行え、トラブル回避時間を大幅に短縮することができる。したがって、装置総合効率（ＯＥＥ；Overall  Equipment  Efficiency）や生産効率などを従来よりも大幅に向上させることができる。
【００４７】
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々、変更してもよい。
【００４８】
例えば、実施例では、半導体製造（前工程、後工程）に適用しているが、液晶製造などに適用してもよい。また、搬送軌道上を動くＯＨＳやＯＨＴなどのＲＧＶ（Rail  Guided  Vehicle）を用いているが、無軌道上を動くAVG（Automatic   Guided  Vehicle）を用いてもよい。
【００４９】
本発明は、以下の付記に記載されているような構成が考えられる。  
（付記１）  半導体製造自動化クリーンルームに用いられ、半導体製造装置の稼動状態及び在庫状態と搬送車及び搬送装置の稼動状態とがクリーンルームレイアウト画面に表示される半導体製造システムであって、前記半導体製造装置或いは搬送のトラブルが発生した場合に、前記クリーンルームレイアウト画面にトラブル状態を反映させて表示し、搬送車の状態と搬送中のロット情報を切り替え表示する連動表示部と、前記連動表示部で選択され、指定された搬送車の移送径路の変更指示を行い、移送先の半導体製造装置の変更指示を行う搬送指示部とを具備する半導体製造システム。
【００５０】
（付記２）  前記連動表示部は、搬送車を選択して搬送先の半導体製造装置を変更する付記１に記載の半導体製造システム。
【００５１】
（付記３）  前記連動表示部は、搬送車を選択して搬送径路を変更する付記１に記載の半導体製造システム。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施例１に係る半導体製造システムを示すブロック図。
【図２】本発明の実施例１に係る連動表示制御部の処理手順を示すフローチャート。
【図３】本発明の実施例１に係る連動表示制御部の処理手順を示すフローチャート。
【図４】本発明の実施例１に係る連動表示制御部の処理手順を示すフローチャート。
【図５】本発明の実施例１に係る連動表示制御部の処理手順を示すフローチャート。
【図６】本発明の実施例１に係る連動表示制御部の処理手順を示すフローチャート。
【図７】本発明の実施例１に係る半導体製造装置の稼動状況選択後の画面イメージを示す図。
【図８】本発明の実施例１に係る半導体製造装置の在庫状況選択後の画面イメージを示す図。
【図９】本発明の実施例１に係る在庫が多い半導体製造装置の状況を示す図。
【図１０】本発明の実施例１に係る搬送指示モード時での画面イメージを示す図。
【図１１】本発明の実施例１に係る搬送径路及び搬送先装置の変更後での画面イメージを示す図。
【符号の説明】
【００５３】
１  ホストコンピュータ
２  ＣＲレイアウト記憶装置
３  統括生産情報システム
４  装置管理システム
５  搬送制御システム
６  歩留統御システム
７ａ、７ｎ  半導体製造装置
８  ＬＡＮ
１１  装置情報取得部
１２  搬送情報取得部
１３  生産情報取得部
１４  連動表示制御部
１５  連動表示部
１６  搬送指示部
２１  装置表示選択パネル
２２、２３、２５、２６、２８  表示ボタン
２４  搬送車表示選択パネル
２７  搬送指示パネル
２９  搬送装置
３０  搬送軌道
３１  搬送車
３２ａ〜ｄ  半導体製造装置
【図１】
2010086978.tif 000003
【図２】
2010086978.tif 000004
【図３】
2010086978.tif 000005
【図４】
2010086978.tif 000006
【図５】
2010086978.tif 000007
【図６】
2010086978.tif 000008
【図７】
2010086978.tif 000009
【図８】
2010086978.tif 000010
【図９】
2010086978.tif 000011
【図１０】
2010086978.tif 000012
【図１１】
2010086978.tif 000013