【手続補正書】
【提出日】平成17年4月7日(2005.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部と、該可動部の移動により生じる推進反力を吸収する反力吸収機構を有する位置決め装置において、
基準面と該基準面上を移動可能に支持されている可動部の重心位置の間の第１距離と前記基準面と前記反力吸収機構の重心位置の間の第２距離を略同一、および／または、前記第２距離と前記基準面と前記可動部を該基準面内に推進させるためのモーター可動子の間の第３距離を略同一にしていることを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前基反力吸収機構は、前記基準面上を移動可能に構成されている前記可動部を駆動するモーターの固定子であることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
平面内の略直交する２軸方向に移動可能な可動部と、該可動部の各軸方向の移動により生じる推進反力を吸収する第１及び第２反力吸収機構を有する位置決め装置において、
基準平面と、該基準平面上を移動可能に支持されている前記可動部を含むＸ移動体の重心位置と、の間の第４距離と、前記基準平面と、前記Ｘ移動体の第１移動方向に対応する第１反力吸収機構の重心位置と、の間の第５距離と、を略同一距離に構成し、
前記基準平面と、該基準平面を移動可能に支持されている前記可動部を含むＹ移動体の重心位置と、の間の第６距離と、前記基準平面と、前記Ｙ移動体の第２移動方向に対応する第２反力吸収機構の重心位置と、の間の第７距離と、を略同一距離に構成していることを特徴とする位置決め装置。
【請求項４】
前記Ｘ移動体には、前記可動部と、該可動部上に構成される第２可動部と、該可動体を第１方向に推進させる推進力を該可動体に伝達する第１ビーム材と、該可動部の移動を第１方向にガイドするための第１ガイド部材と、該可動部を第１方向に推進するための第１モーター可動子と、を含むことを特徴とする請求項３に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記Ｙ移動体には、前記可動部と、該可動部上に構成される第２可動部と、該可動体を第２方向に推進させる推進力を該可動体に伝達する第２ビーム材と、該可動部の移動を第２方向にガイドするための第２ガイド部材と、該可動部を第２方向に推進するための第２モーター可動子と、を含むことを特徴とする請求項３に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記第２可動部は、前記可動部の位置及び姿勢を調整するための微動ステージであることを特徴とする請求項４または５に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記Ｘ移動体は、前記可動体を第１方向に推進させる推進力を該可動体に伝達する第１ビーム材と、該第１方向の移動をガイドするための第１ガイド部材と、該可動部を第１方向に推進するための第１モーター可動子と、を含むことを特徴とする請求項３または４に記載の位置決め装置。
【請求項８】
前記Ｙ移動体には、前記可動体を第２方向に推進させる推進力を該可動体に伝達する第２ビーム材と、該第２方向の移動をガイドするための第２ガイド部材と、該可動部を第２方向に推進するための第２モーター可動子と、を含むことを特徴とする請求項３または５に記載の位置決め装置。
【請求項９】
平面内の略直交する２軸方向に移動可能な可動部と、該可動部の各軸方向の移動により生じる推進反力を吸収する第１及び第２反力吸収機構を有する位置決め装置において、
基準平面と、該基準平面上を移動可能に支持されている前記可動部を第１方向にガイドする第１ガイド部材の重心位置と、の間の第８距離と、前記基準平面と、前記可動部の第１移動方向に対応する第１反力吸収機構の重心位置と、の間の第９距離と、を略同一距離に構成し、
前記基準平面と、該基準平面上を移動可能に支持されている前記可動部を第２方向にガイドする第２ガイド部材の重心位置と、の間の第１０距離と、前記基準平面と、前記可動部の第２移動方向に対応する第２反力吸収機構の重心位置と、の間の第１１距離と、を略同一距離に構成していることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１０】
平面内の略直交する２軸方向に移動可能な可動部と、該可動部の各軸方向の移動により生じる推進反力を吸収する第１及び第２反力吸収機構を有する位置決め装置において、
基準平面と、前記可動部を該基準平面内の第１方向に推進させるための第１モーター可動子と、の間の第１２距離と、前記基準平面と、前記可動部の第１移動方向に対応する第１反力吸収機構の重心位置と、の間の第１３距離と、を略同一距離に構成し、
前記基準平面と、前記可動部を該基準平面内の第２方向に推進させるための第２モーター可動子と、の間の第１４距離と、前記基準平面と、前記可動部の第２移動方向に対応する第２反力吸収機構の重心位置と、の間の第１５距離と、を略同一距離に構成していることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１１】
前記第８距離と、前記第１２距離と、は略同一距離に構成されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の位置決め装置。
【請求項１２】
前記第１０距離と、前記第１４距離と、は略同一距離に構成されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の位置決め装置。
【請求項１３】
前記可動部の移動を各移動方向に案内する前記第１ガイド部材および／または前記第２ガイド部材は、前記基準平面の方向に離間して構成される複数個のガイド部材により構成されることを特徴とする請求項９に記載の位置決め装置。
【請求項１４】
前基第１及び第２反力吸収機構は、前記基準平面上を移動可能に構成されている、前記可動部を駆動するモーターの固定子であることを特徴とする請求項３、請求項９、請求項１０のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１５】
露光装置であって、
原版を保持し、所定の位置に駆動して、所定の位置に位置決めする原版位置決め装置と、
基板を保持し、所定の位置に駆動して、所定の位置に位置決めする基板位置決め装置と、
前記基板に前記原版のパターンを投影する投影光学系とを含み、
前記原版位置決め装置及び／または前記基板位置決め装置は、請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の位置決め装置の構成を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
デバイス製造方法であって、
請求項１５に記載の露光装置を用いて基板に潜像パターンが形成された基板を用意する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、平面内の略直交する２軸方向に移動可能な可動部と、該可動部の各軸方向の移動により生じる推進反力を吸収する第１及び第２反力吸収機構を有する位置決め装置は、
基準平面と、該基準平面上を移動可能に支持されている前記可動部を含むＸ移動体の重心位置と、の間の第４距離と、前記基準平面と、前記Ｘ移動体の第１移動方向に対応する第１反力吸収機構の重心位置と、の間の第５距離と、を略同一距離に構成し、
前記基準平面と、該基準平面を移動可能に支持されている前記可動部を含むＹ移動体の重心位置と、の間の第６距離と、前記基準平面と、前記Ｙ移動体の第２移動方向に対応する第２反力吸収機構の重心位置と、の間の第７距離と、を略同一距離に構成していることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、平面内の略直交する２軸方向に移動可能な可動部と、該可動部の各軸方向の移動により生じる推進反力を吸収する第１及び第２反力吸収機構を有する位置決め装置は、
基準平面と、該基準平面上を移動可能に支持されている前記可動部を第１方向にガイドする第１ガイド部材の重心位置と、の間の第８距離と、前記基準平面と、前記可動部の第１移動方向に対応する第１反力吸収機構の重心位置と、の間の第９距離と、を略同一距離に構成し、
前記基準平面と、該基準平面上を移動可能に支持されている前記可動部を第２方向にガイドする第２ガイド部材の重心位置と、の間の第１０距離と、前記基準平面と、前記可動部の第２移動方向に対応する第２反力吸収機構の重心位置と、の間の第１１距離と、を略同一距離に構成していることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、平面内の略直交する２軸方向に移動可能な可動部と、該可動部の各軸方向の移動により生じる推進反力を吸収する第１及び第２反力吸収機構を有する位置決め装置は、
基準平面と、前記可動部を該基準平面内の第１方向に推進させるための第１モーター可動子と、の間の第１２距離と、前記基準平面と、前記可動部の第１移動方向に対応する第１反力吸収機構の重心位置と、の間の第１３距離と、を略同一距離に構成し、
前記基準平面と、前記可動部を該基準平面内の第２方向に推進させるための第２モーター可動子と、の間の第１４距離と、前記基準平面と、前記可動部の第２移動方向に対応する第２反力吸収機構の重心位置と、の間の第１５距離と、を略同一距離に構成していることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、デバイス製造方法は、
上記の露光装置を用いて基板に潜像パターンが形成された基板を用意する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とする。