【手続補正書】
【提出日】平成16年11月10日(2004.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出孔として並べられた複数のオリフィスを持つオリフィスプレートと、前記複数のオリフィスにそれぞれインクを導く複数のインク室に区画してオリフィスプレートと一体化され各インク室の圧力を増大することにより対応オリフィスからインクを吐出させるヘッドボディとを備え、前記各オリフィスは、このオリフィスの中心軸に対してインク吐出方向誤差を実質的に±５ｍｒａｄ以下に制限するくびれを有することを特徴とするプリントヘッド。
【請求項２】
くびれは、オリフィスプレートの厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部と、この順テーパ部に連結した非順テーパ部とにより構成されることを特徴とする請求項１記載のプリントヘッド。
【請求項３】
非順テーパ部は、オリフィスプレートの厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズとほぼ同じ開口サイズであるストレート部であることを特徴とする請求項２記載のプリントヘッド。
【請求項４】
非順テーパ部は、オリフィスプレートの厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズから徐々に広くなる逆テーパ部であることを特徴とする請求項２記載のプリントヘッド。
【請求項５】
非順テーパ部の奥行きがオリフィスプレートの厚さの３０％以内であることを特徴とする請求項２記載のプリントヘッド。
【請求項６】
オリフィスプレートは、インク吐出側表面として形成され非順テーパ部を取り囲む撥水層を含むことを特徴とする請求項２記載のプリントヘッド。
【請求項７】
オリフィスプレートを複数のインク室に区画されたヘッドボディに接着剤により接着する接着ステップと、前記複数のインク室にそれぞれ連通するインク吐出孔として並びこれらインク室の圧力の増大によりそれぞれインクを吐出する複数のオリフィスをレーザ光の照射により前記オリフィスプレートに形成する開口ステップとを備え、前記開口ステップは、前記オリフィスプレートの内部に集光面を設定した結像光学系を用いて前記レーザ光を集光して、前記オリフィスプレートの厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部、並びにこの順テーパ部に連結した非順テーパ部を同時に形成することにより前記オリフィスにくびれを持たせる整形ステップを含むことを特徴とするプリントヘッドの製造方法。
【請求項８】
開口ステップは、接着ステップ後に行われることを特徴とする請求項７記載のプリントヘッドの製造方法。
【請求項９】
レーザ光は、オリフィスプレートのインク吐出側表面に照射されることを特徴とする請求項７記載のプリントヘッドの製造方法。
【請求項１０】
オリフィスプレートは、インク吐出側表面として撥水膜を持ち、整形ステップは、前記撥水膜に保護膜を接着した状態でレーザ光を照射しこの照射後に保護膜を剥離するステップを含むことを特徴とする請求項７記載のプリントヘッドの製造方法。
【請求項１１】
非順テーパ部の奥行きは、結像光学系により設定される集光面の位置をオリフィスプレートの厚さ方向に移動させることにより調整されることを特徴とする請求項７記載のプリントヘッドの製造方法。
【請求項１２】
非順テーパ部は、オリフィスプレートの厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズとほぼ同じ開口サイズであるストレート部であることを特徴とする請求項７記載のプリントヘッドの製造方法。
【請求項１３】
非順テーパ部は、オリフィスプレートの厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズから徐々に広くなる逆テーパ部であることを特徴とする請求項７記載のプリントヘッドの製造方法。
【請求項１４】
樹脂板およびこの樹脂板を覆う撥液膜の積層体と、この積層体にインク吐出孔として並ぶ複数のオリフィスとを備え、前記各オリフィスは、前記積層体の厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部、並びにこの順テーパ部に連結し前記積層体の厚さの３０％以内である奥行きの非順テーパ部により構成されるくびれを持つことを特徴とするオリフィスプレート。
【請求項１５】
樹脂板および撥液膜の積層体を形成する積層ステップと、インク吐出孔として並ぶ複数のオリフィスをレーザ光の照射により前記積層体に形成する開口ステップとを備え、前記開口ステップは、前記積層体の内部に集光面を設定した結像光学系を用いて前記レーザ光を集光して、前記積層体の厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部、並びにこの順テーパ部に連結し前記積層体の厚さの３０％以内である奥行きを持つ非順テーパ部を同時に形成することにより前記オリフィスにくびれを持たせる整形ステップを含むことを特徴とするオリフィスプレートの製造方法。
【請求項１６】
くびれは、順テーパ部のインク流入側孔径と、非順テーパ部のインク吐出側孔径と、順テーパ部と非順テーパ部を連結する部位の孔径との関係を、連結する部位の孔径＜非順テーパ部のインク吐出側孔径＜順テーパ部のインク流入側孔径、としたことを特徴とする請求項２記載のプリントヘッド。
【請求項１７】
樹脂板およびこの樹脂板を覆う撥液膜の積層体と、この積層体にインク吐出孔として並ぶ複数のオリフィスとを備え、前記各オリフィスは、前記積層体の厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部、並びにこの順テーパ部に連結した非順テーパ部により構成されるくびれを持ち、
前記くびれは、順テーパ部のインク流入側孔径と、非順テーパ部のインク吐出側孔径と、順テーパ部と非順テーパ部を連結する部位の孔径との関係を、連結する部位の孔径＜非順テーパ部のインク吐出側孔径＜順テーパ部のインク流入側孔径、としたことを特徴とするオリフィスプレート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
そこで、請求項１乃至５及び１６記載の発明は、プリント品位を低下させることなくプリント解像度を向上させることができるプリントヘッドを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、請求項１４及び１７記載の発明は、プリント品位を低下させることなくプリント解像度を向上させることができるプリントヘッドに使用するオリフィスプレートを提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１５記載の発明は、樹脂板および撥液膜の積層体を形成する積層ステップと、インク吐出孔として並ぶ複数のオリフィスをレーザ光の照射により積層体に形成する開口ステップとを備え、開口ステップは、積層体の内部に集光面を設定した結像光学系を用いてレーザ光を集光して、積層体の厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部、並びにこの順テーパ部に連結し積層体の厚さの３０％以内である奥行きを持つ非順テーパ部を同時に形成することによりオリフィスにくびれを持たせる整形ステップを含むオリフィスプレートの製造方法にある。  
請求項１６記載の発明は、請求項２記載のプリントヘッドにおいて、くびれは、順テーパ部のインク流入側孔径と、非順テーパ部のインク吐出側孔径と、順テーパ部と非順テーパ部を連結する部位の孔径との関係を、連結する部位の孔径＜非順テーパ部のインク吐出側孔径＜順テーパ部のインク流入側孔径、としたことにある。
請求項１７記載の発明は、樹脂板およびこの樹脂板を覆う撥液膜の積層体と、この積層体にインク吐出孔として並ぶ複数のオリフィスとを備え、各オリフィスは、積層体の厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部、並びにこの順テーパ部に連結した非順テーパ部により構成されるくびれを持ち、このくびれは、順テーパ部のインク流入側孔径と、非順テーパ部のインク吐出側孔径と、順テーパ部と非順テーパ部を連結する部位の孔径との関係を、連結する部位の孔径＜非順テーパ部のインク吐出側孔径＜順テーパ部のインク流入側孔径、としたオリフィスプレートにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
４８は微細加工コントローラで、この微細加工コントローラ４８は、エキシマレーザ発振器３０に対してレーザ制御信号（トリガ信号）を送出し、エキシマレーザ発振器３０の動作制御を行う機能を有している。又、前記微細加工コントローラ４８は、イメージローテータ３３に対して回転速度制御信号を送出し、例えばオリフィスプレート６の孔開け加工に必要な例えば２００パルスのレーザ光の照射の間にイメージローテータ３３を連続して回転させる機能を有している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
又、前記微細加工コントローラ４８は、バリアブルアッテネータ３１に対してフルエンス制御信号を送出し、エキシマレーザ発振器３０から出力されるレーザ光のパルス数に応じてレーザ光の出力強度を調整する機能を有している。又、前記微細加工コントローラ４８は、オートフォーカスユニット４９に対してフォーカス制御信号を送出し、マスク像をオリフィスプレート６に結像させる機能を有している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
このオートフォーカスユニット４９には、カメラ５０が接続され、このカメラ５０により撮像されるオリフィスプレート６上のマスク像に基づいてフォーカスのずれを求め、このフォーカスのずれを無くす駆動信号をｚドライバ６１に送出する機能を有している。このｚドライバ６１は、オートフォーカスユニット４９からの駆動信号に従ってｚステージ３８ｃを動作させる機能を有している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１乃至５及び１６記載の発明によれば、各オリフィスにこのオリフィスの中心軸に対してインク吐出方向誤差を実質的に±５ｍｒａｄ以下に制限するくびれを有するので、プリント品位を低下させることなくプリント解像度を向上させることができるプリントヘッドを提供できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
また、請求項１４及び１７記載の発明によれば、積層体の厚さ方向においてインク流入側からインク吐出側に向かって所定開口サイズまで徐々に狭くなる順テーパ部とこの順テーパ部に連結し積層体の厚さの３０％以内である奥行きの非順テーパ部により構成されるくびれを有するので、プリント品位を低下させることなくプリント解像度を向上させることができるプリントヘッドに使用するオリフィスプレートを提供する。