【手続補正書】
【提出日】令和3年4月20日(2021.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のスペクトル範囲によって特徴付けられる第１の光信号を受信し、第１の方向に沿ってスペクトル分散される第２の光信号を供給するように動作するスペクトルフィルタを備える装置であって、前記第２の光信号は、前記第１のスペクトル範囲内における第２のスペクトル範囲によって特徴付けられ、前記スペクトルフィルタは、
平面ミラーであって、前記第１の光信号に対して部分的に透過性である第１のミラーと、
平面ミラーであって、前記第１の光信号に対して部分的に透過性である第２のミラーと、
を備え、前記第１のミラー及び前記第２のミラーが、前記第１の方向に沿って制御可能なキャビティ長を有する光共振キャビティを画定し、
更に、第１の位置において前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間の第１の間隔を制御するように構成された第１のアクチュエータを備え、前記第１の方向に沿った前記第２のミラーに対する前記第１のミラーの角度は、前記第１の間隔に基づいており、
前記第２のスペクトル範囲は、前記第１の角度に基づく第１のスペクトル幅を有し、
前記スペクトルフィルタは、前記第１の光信号が第２の方向に沿って伝播し、前記第１のミラー及び前記第２のミラーは、それぞれ、前記スペクトルフィルタがその休止状態にあるとき、前記第２の方向に対して第２の角度で配向され、前記第２の角度は９０°に等しくないように構成されている、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記スペクトルフィルタは、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿ってスペクトル的に分散されるように前記第２の光信号を供給するように動作し、前記第２の光信号は、前記第２の方向に沿った第３のスペクトル範囲によって特徴付けられ、前記スペクトルフィルタは、前記第２の方向に沿った前記第２のミラーに対する前記第１のミラーの第２の角度を制御するように構成された第２のアクチュエータを更に含み、前記第３のスペクトル範囲は、前記第２の角度に基づく第２のスペクトル幅を有する、装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、第２の位置において前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間の第２の間隔を制御するように構成された第２のアクチュエータを更に備え、前記第２の間隔は、前記第２のスペクトル範囲の最小波長及び最大波長の一方を画定する、装置。
【請求項４】
請求項１に記載の装置であって、前記第２のミラーは、第１の材料の複数の層を含むブラッグミラーであり、前記複数の層において隣接する層の各対は、エアギャップによって離隔される、装置。
【請求項５】
請求項１に記載の装置であって、前記第２のスペクトル範囲は、中赤外スペクトル範囲の少なくとも一部を含む、装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置であって、前記スペクトルフィルタから前記第２の光信号を受信するように構成された複数の検出器を更に備え、前記スペクトルフィルタ及び前記複数の検出器は、前記複数の検出器における各検出器が、前記第２のスペクトル範囲内の異なる波長によって特徴付けられる複数の波長信号のうちの異なる波長信号を受信するように配置される、装置。
【請求項７】
請求項６に記載の装置であって、
前記第１の光信号を供給する光源と、
サンプルを収容するサンプルチャンバーと、
を更に備え、
前記サンプルチャンバーは、前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間に配置され、
前記光源、前記スペクトルフィルタ及び前記サンプルチャンバーは、前記複数の波長信号が前記サンプルチャンバーを通過した後に前記複数の検出器が前記複数の波長信号を受信するように構成される、装置。
【請求項８】
以下の各ステップ、すなわち、
(1) 第１のスペクトル範囲によって特徴付けられるスペクトルフィルタにおいて第１の光信号を受信するステップであって、前記スペクトルフィルタが、
(i) 平面ミラーであって、前記第１の光信号に対して部分的に透過性である第１のミラーと、
(ii) 平面ミラーであって、前記第１の光信号に対して部分的に透過性である第２のミラーと、
を含み、前記第２のミラーは第１の方向に沿って前記第１のミラーに対して第１の角度を有し、前記第１の角度は制御可能であり、前記第１及び第２のミラーにより、前記第１の方向に沿った位置の第１の線形関数であるキャビティ長を有する光共振キャビティを画定する、ステップと、
前記第１の光信号が第２の方向に沿って受信され、前記第１及び第２のミラーは、それぞれ、前記スペクトルフィルタが休止状態にあるとき、前記第２の方向に対して第２の角度で配向され、さらに、前記第２の角度は９０°に等しくない角度であり、
(2) 前記第１の角度を第１の大きさに制御するステップと、
(3) 前記スペクトルフィルタから第２の光信号を供給し、前記第２の光信号を前記第１の方向に沿ってスペクトル的に分散させ、前記第２の光信号を第１のスペクトル範囲内にある第２のスペクトル範囲によって特徴付けられる信号とし、前記第２のスペクトル範囲を、前記第１の大きさに基づく第１のスペクトル幅を含む範囲とするステップと、
を備える方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、(4) 第１の位置で前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間の第１の間隔を制御することにより、前記第１の間隔を第２の大きさとするステップを更に備え、前記第２のスペクトル範囲の最大波長及び最小波長の一方を前記第２の大きさに基づく波長とする、方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の方法であって、
(4) 前記第１の方向に沿って配置された複数の検出器で前記第２の光信号を受信し、その際に前記複数の検出器の各々により、前記第２のスペクトル範囲内の異なる波長によって特徴付けられる第１の複数の波長信号における異なる波長信号を受信するステップと、
(5) 第１の複数の出力信号を供給し、前記第１の複数の出力信号の各々を前記第１の複数の出力信号における異なる波長信号の大きさに基づく信号とするステップと、
を更に備える、方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法であって、
(6) 光源と前記複数の検出器との間にサンプルを配置し、前記光源は前記第１の光信号を供給するように動作し、前記第２の光信号は、前記第２の光信号が前記サンプルを通過した後に前記複数の検出器で受信するステップと、
(7) 前記複数の出力信号に基づいて前記サンプルの特性を決定するステップと、
を更に備える、方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、前記サンプルを、前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間に配置する、方法。
【請求項１３】
請求項８に記載の方法であって、
(4) 前記第１の角度を第２の大きさに制御するステップと、
(5) 前記スペクトルフィルタから第３の光信号を前記第１の方向に沿ってスペクトル的に分散されるように供給し、前記第３の光信号を前記第１のスペクトル範囲内にある第３のスペクトル範囲によって特徴付けられる信号とし、前記第３のスペクトル範囲を前記第２の大きさに基づく第２のスペクトル幅を有する範囲とし、前記第１のスペクトル幅及び前記第２のスペクトル幅を互いに異ならせるステップと、
を更に備える、方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、
(6) 前記第１の方向に沿って配置された複数の検出器により前記第２の光信号を受信し、その際に前記複数の検出器の各々により、前記第２のスペクトル範囲内の異なる波長によって特徴付けられる第１の複数の波長信号における異なる波長信号を受信するステップと、
(7) 第１の複数の出力信号を供給し、前記第１の複数の出力信号の各々を、前記第１の複数の出力信号の異なる波長信号の大きさに基づく信号とするステップと、
(8) 前記複数の検出器で前記第３の光信号を受信し、その際に前記複数の検出器の各検出器により、前記第３のスペクトル範囲内における異なる波長によって特徴付けられる第２の複数の波長信号の異なる波長信号を受信し、前記第１の複数の波長信号及び前記第２の複数の波長信号を、異なるスペクトル分解能を有する信号とするステップと、
(9) 第２の複数の出力信号を供給し、前記第２の複数の出力信号の各々を、前記第２の複数の出力信号の異なる波長信号の大きさに基づく信号とするステップと、
を更に備える、方法。
【請求項１５】
請求項８に記載の方法であって、
(4) 第１の位置における前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間の第１の間隔を、前記第１の間隔が第２の大きさを有し、前記第２のスペクトル範囲内の第１の最大波長及び第１の最小波長の一方が前記第２の大きさに基づくように制御するステップと、
(5) 前記第１の方向に沿って配置された複数の検出器で前記第２の光信号を受信し、その際に前記複数の検出器の各々により、前記第２のスペクトル範囲内の異なる波長によって特徴付けられる第１の複数の波長信号の異なる波長信号を受信するステップと、
(6) 第１の複数の出力信号を、前記第１の複数の出力信号の各々が前記第１の複数の出力信号における異なる波長信号の大きさに基づく信号として供給するステップと、
を更に備える、方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法であって、
(7) 前記第１の間隔を第３の大きさに制御するステップと、
(8) 前記スペクトルフィルタから第３の光信号を供給し、その際に前記第３の光信号を前記第１の方向に沿ってスペクトル的に分散させ、前記第３の光信号を前記第１のスペクトル範囲内にある第３のスペクトル範囲によって特徴付けられる信号とし、前記第３のスペクトル範囲内における第２の最大波長及び第２の最小波長の一方を前記第３の大きさに基づく波長とするステップと、
前記複数の検出器で前記第３の光信号を受信し、その際に前記複数の検出器における各検出器により、第３のスペクトル範囲内における異なる波長によって特徴付けられる第２の複数の波長信号における異なる波長信号を受信するステップと、
(9) 第２の複数の出力信号を供給し、前記第２の複数の出力信号の各々を、前記第２の複数の出力信号の異なる波長信号の大きさに基づく信号とするステップと、
を更に備える、方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法であって、(10) 前記第１の角度を第４の大きさに制御し、前記第３のスペクトル範囲が前記第４の大きさに基づく第２のスペクトル幅を有し、前記第１の複数の波長信号及び前記第２の複数の波長信号を、異なるスペクトル分解能を有する信号とするステップを更に備える、方法。