(57)【要約】【課題】筋むらを抑制することができるカラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器を提供すること。【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、インクジェット方式で該ノズルからインクの液滴を吐出する液滴吐出装置を用い、互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に行列状に多数個のセルが設けられた基板上の該セルに対して前記インクを付与するインク付与工程を有するカラーフィルターの製造方法であって、前記インク付与工程において、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｙ軸方向に移動し、前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルに順次前記インクの液滴を吐出する際、同時に、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｘ軸方向に往復移動させることを特徴とする。【選択図】図１３
2010191285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、インクジェット方式で該ノズルからインクの液滴を吐出する液滴吐出装置を用い、互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に行列状に多数個のセルが設けられた基板上の該セルに対して前記インクを付与するインク付与工程を有するカラーフィルターの製造方法であって、
前記インク付与工程において、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｙ軸方向に移動し、前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルに順次前記インクの液滴を吐出する際、同時に、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｘ軸方向に往復移動させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルに順次前記インクの液滴を吐出する際、前記液滴吐出ヘッドは、ジグザグ状に移動する請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
前記Ｙ軸方向に隣接する所定の２つの前記セルについて、前記セル内の前記インクの液滴の着弾位置を変える請求項１または２に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルについて、同一の組み合わせの前記ノズルから吐出した前記インクの液滴を着弾させる請求項１ないし３のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
隣接する前記ノズルの前記Ｘ軸方向の間隔よりも短い距離で、前記液滴吐出ヘッドを往復移動させる請求項１ないし４のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは、駆動素子を有し、該駆動素子に対して駆動電圧を印加すると、前記ノズルからインクの液滴が吐出されるよう構成されており、
前記インク付与工程に先立って、吐出動作１回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量を検出し、該検出結果に基づいて、吐出動作１回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量のバラツキが小さくなるように、前記駆動素子に印加する駆動電圧を調整する駆動電圧調整工程を有する請求項１ないし５のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
【請求項８】
請求項７に記載のカラーフィルターを備えたことを特徴とする画像表示装置。
【請求項９】
画像表示装置は、液晶パネルである請求項８に記載の画像表示装置。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の画像表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造において形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。このため、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
【０００３】
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層（着色部）を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法は、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）であるインクの液滴の吐出位置等の制御が容易で、そのインクの無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
【０００４】
カラーフィルターの着色部を形成する際は、インクジェットヘッドと、互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に行列状に多数個のセル（着色部となる部位）が設けられた基板とを相対的に移動させつつ、インクジェットヘッドのノズルからインクの液滴を吐出し、そのセルに対してインクを付与する。従来は、図１９に示すように、主走査、すなわち、Ｙ軸方向に並ぶ各セルに順次インクの液滴を吐出する際は、インクジェットヘッドを基板に対して相対的にＹ軸方向に移動する。
【０００５】
ところで、セル内に形成される着色部の表面形状は、インクの組成、粘度、焼成条件等の関係で平坦面にはならず、凹凸状となり、その形状は、セル内のインクの着弾位置に依存する。
しかしながら、従来では、Ｙ軸方向に並ぶ各セルには、ノズルから吐出されたインクの液滴がそのセル内の同一の位置に着弾するので、Ｙ軸方向に並ぶ各セルには、同一または近似した凹凸状の表面形状を有する着色部が形成される。その結果、カラーフィルターの各部位での色むらや濃度むらが筋のように入った筋むらが発生してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、筋むらを抑制することができるカラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、該カラーフィルターを備えた画像表示装置、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のカラーフィルターの製造方法は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、インクジェット方式で該ノズルからインクの液滴を吐出する液滴吐出装置を用い、互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に行列状に多数個のセルが設けられた基板上の該セルに対して前記インクを付与するインク付与工程を有するカラーフィルターの製造方法であって、
前記インク付与工程において、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｙ軸方向に移動し、前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルに順次前記インクの液滴を吐出する際、同時に、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に前記Ｘ軸方向に往復移動させることを特徴とする。
【０００９】
これにより、Ｙ軸方向に隣接する２つのセルに着目すると、その２つのセルについて、ノズルから吐出されたインクの液滴をセル内の異なる位置に着弾させることができ、これにより、Ｙ軸方向に並ぶ各セルに、同一または近似した表面形状を有する着色部が形成されてしまうことを防止することができる。これによって、筋むらを抑制することができ、高品位のカラーフィルターを提供することができる。
【００１０】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルに順次前記インクの液滴を吐出する際、前記液滴吐出ヘッドは、ジグザグ状に移動することが好ましい。
これにより、容易に、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記Ｙ軸方向に隣接する所定の２つの前記セルについて、前記セル内の前記インクの液滴の着弾位置を変えることが好ましい。
これにより、より確実に、筋むらを抑制することができる。
【００１１】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記Ｙ軸方向に並ぶ前記各セルについて、同一の組み合わせの前記ノズルから吐出した前記インクの液滴を着弾させることが好ましい。
これにより、容易に、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルターの製造方法では、隣接する前記ノズルの前記Ｘ軸方向の間隔よりも短い距離で、前記液滴吐出ヘッドを往復移動させることが好ましい。
これにより、容易に、筋むらを抑制することができる。
【００１２】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記液滴吐出ヘッドは、駆動素子を有し、該駆動素子に対して駆動電圧を印加すると、前記ノズルからインクの液滴が吐出されるよう構成されており、
前記インク付与工程に先立って、吐出動作１回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量を検出し、該検出結果に基づいて、吐出動作１回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量のバラツキが小さくなるように、前記駆動素子に印加する駆動電圧を調整する駆動電圧調整工程を有することが好ましい。
これにより、より確実に、筋むらを抑制することができる。
【００１３】
本発明のカラーフィルターは、本発明のカラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とする。
これにより、筋むらを抑制することができる。
本発明の画像表示装置は、本発明のカラーフィルターを備えたことを特徴とする。
これにより、表示部における筋むらが抑制された画像表示装置を提供することができる。
【００１４】
本発明の画像表示装置は、液晶パネルであることが好ましい。
これにより、表示部における筋むらが抑制された画像表示装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えたことを特徴とする。
これにより、表示部における筋むらが抑制された電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のカラーフィルターの好適な実施形態を示す断面図である。
【図２】カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置を示す斜視図である。
【図３】図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットを示す斜視図である。
【図４】図２に示す液滴吐出装置におけるインクの供給系を示す図である。
【図５】図２に示す液滴吐出装置の平面図（一部省略）である。
【図６】図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよび多数個のセルが設けられた基板とを示す平面図である。
【図７】図２に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基板のセルとを拡大して示す平面図である。
【図８】図２に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図９】図２に示す液滴吐出装置の主要部を示すブロック図である。
【図１０】（ａ）は、ヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）は、ヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャートである。
【図１１】図２に示す液滴吐出装置のヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係を説明するための模式的な平面図である。
【図１２】カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【図１３】本発明のカラーフィルターの製造方法の好適な実施形態を説明するための図である。
【図１４】本発明のカラーフィルターの製造方法の好適な実施形態を説明するための図である。
【図１５】液晶表示装置の好適な実施形態を示す断面図である。
【図１６】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１７】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１８】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１９】従来のカラーフィルターの製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明のカラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
［第１実施形態］
《カラーフィルター用インク》
以下説明するカラーフィルター用インク２は、本実施形態のカラーフィルターの製造方法、すなわち、カラーフィルターの製造（カラーフィルターの着色部の形成）に用いられるインクであり、特に、インクジェット方式によるカラーフィルターの製造に用いられるものである。
カラーフィルター用インク２は、着色剤、当該着色剤が溶解および／または分散する液性媒体、樹脂材料等を含むものである。
【００１７】
＜着色剤＞
カラーフィルター１は、通常、異なる複数色の着色部（一般に、ＲＧＢに対応する３色の着色）を有している。着色剤は、通常、形成すべき着色部の色調に応じて選択される。カラーフィルター用インク２を構成する着色剤としては、例えば、各種顔料、各種染料を用いることができる。
【００１８】
顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２，３，５，１７，２２，２３，３８，８１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９：１，５２：１，５３：１，５７：１，６３：１，１１２，１２２，１４４，１４６，１４９，１６６，１７０，１７６，１７７，１７８，１７９，１８５，２０２，２０７，２０９，２５４，１０１，１０２，１０５，１０６，１０８，１０８：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，１５，１７，１８，１９，２６，５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１７：１，１８，６０，２７，２８，２９，３５，３６，８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，３，１２，１３，１４，１７，５５，７３，７４，８１，８３，９３，９４，９５，９７，１０８，１０９，１１０，１２９，１３８，１３９，１５０，１５１，１５３，１５４，１６８，１８４，１８５，３４，３５，３５：１，３７，３７：１，４２，４３，５３，１５７、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，３，１９，２３，５０，１４，１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５，１３，１６，３６，４３，２０，２０：１，１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５，７，１１，３３等が挙げられる。
【００１９】
また、染料としては、例えば、アゾ染料、アントラキノン染料、縮合多環芳香族カルボニル染料、インジゴイド染料、カルボニウム染料、フタロシアニン染料、メチン，ポリメチン染料等が挙げられる。染料の具体例としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２，４，９，２３，２６，２８，３１，３９，６２，６３，７２，７５，７６，７９，８０，８１，８３，８４，８９，９２，９５，１１１，１７３，１８４，２０７，２１１，２１２，２１４，２１８，２２１，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２３２，２３３，２４０，２４１，２４２，２４３，２４７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３５，４２，５１，５２，５７，６２，８０，８２，１１１，１１４，１１８，１１９，１２７，１２８，１３１，１４３，１４５，１５１，１５４，１５７，１５８，２１１，２４９，２５４，２５７，２６１，２６３，２６６，２８９，２９９，３０１，３０５，３１９，３３６，３３７，３６１，３９６，３９７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド３，１３，１７，１９，２１，２２，２３，２４，２９，３５，３７，４０，４１，４３，４５，４９，５５、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１２，１３，１４，１５，１８，２２，２３，２４，２５，２７，２９，３５，３６，３８，３９，４５，４６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット７，９，４７，４８，５１，６６，９０，９３，９４，９５，９８，１００，１０１、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット５，９，１１，３４，４３，４７，４８，５１，７５，９０，１０３，１２６、Ｃ．Ｉ．リアクティブバイオレット１，３，４，５，６，７，８，９，１６，１７，２２，２３，２４，２６，２７，３３，３４、Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１，２，３，７，１０，１５，１６，２０，２１，２５，２７，２８，３５，３７，３９，４０，４８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー８，９，１１，１２，２７，２８，２９，３３，３５，３９，４１，４４，５０，５３，５８，５９，６８，８７，９３，９５，９６，９８，１００，１０６，１０８，１０９，１１０，１３０，１４２，１４４，１６１，１６３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１７，１９，２３，２５，３９，４０，４２，４４，４９，５０，６１，６４，７６，７９，１１０，１２７，１３５，１４３，１５１，１５９，１６９，１７４，１９０，１９５，１９６，１９７，１９９，２１８，２１９，２２２，２２７、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２，３，１３，１４，１５，１７，１８，２３，２４，２５，２６，２７，２９，３５，３７，４１，４２、Ｃ．Ｉ．ベーシックイエロー１，２，４，１１，１３，１４，１５，１９，２１，２３，２４，２５，２８，２９，３２，３６，３９，４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９，４５，８０，８３，９０，１８５、Ｃ．Ｉ．ベーシックオレンジ２１，２３等が挙げられる。
【００２０】
また、着色剤としては、上記のような材料で構成された粉末に、例えば、親液化処理（後述する液性媒体に対する親和性を向上させる処理）等の表面処理を施したものを用いてもよい。これにより、例えば、カラーフィルター用インク２中における着色剤粒子の分散性、分散安定性を特に優れたものとすることができる。着色剤に対する表面処理としては、例えば、着色剤粒子表面をポリマーで改質する処理等が挙げられる。着色剤の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特開平８−２５９８７６号公報等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等が挙げられる。
【００２１】
また、着色剤としては、例えば、上記から選択される２種以上の成分を組み合わせて用いてもよい。
カラーフィルター用インク２中において、着色剤は、後述する液性媒体に溶解しているものであってもよいし、分散しているものであってもよいが、着色剤が液性媒体中に分散しているものである場合、着色剤の平均粒径は、２０〜２００ｎｍであるのが好ましく、５〜９０ｎｍであるのがより好ましい。これにより、カラーフィルター用インク２を用いて製造されるカラーフィルターの耐光性を十分に優れたものとしつつ、カラーフィルター用インク２中における着色剤の分散安定性や、カラーフィルター１における発色性等を特に優れたものとすることができる。
【００２２】
カラーフィルター用インク２中における着色剤の含有率は、２〜２０ｗｔ％であるのが好ましく、３〜１５ｗｔ％であるのがより好ましい。着色剤の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルター用の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）からの吐出性（吐出安定性）を特に優れたものとしつつ、製造されるカラーフィルターの耐久性を優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルターにおいて、十分な色濃度を確保することができる。
【００２３】
＜液性媒体＞
液性媒体（液状媒質）は、上述したような着色剤を、溶解および／または分散する機能を有するものである。すなわち、液性媒体は、溶媒および／または分散媒として機能するものである。そして、通常、液性媒体は、カラーフィルター１を製造する過程において、その大部分が除去されるものである。
【００２４】
カラーフィルター用インク２を構成する液性媒体としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、（１）多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、（２）多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、（３）分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、（４）多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。液性媒体として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシ−ｎ−ブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２５】
特に、カラーフィルター用インクを構成する液性媒体は、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテルよりなる群から選択される１種または２種以上を含むものであるのが好ましい。これにより、製造されるカラーフィルターの各部位での色むら、濃度むら等をより効果的に抑制することができるとともに、個体間での特性の均一性を特に優れたものとすることができる。
【００２６】
中でも、液性媒体がトリエチレングリコールジアセテートを含むものであると、長鎖かつ対象性のアセテート構造であるため、相互分子間力が散漫かつ弱く、温度変化に対しコンフォメーション変化が特に小さく、粘度変化が特に小さいものとなる。液性媒体がトリエチレングリコールジアセテートを含むものである場合、液性媒体中に占めるトリエチレングリコールジアセテートの割合は、３０〜７０ｗｔ％であるのが好ましい。また、液性媒体がテトラエチレングリコールジメチルエーテルを含むものであると、長鎖かつ対称性のエーテル構造であるため、相互分子間力が上記対称性エステル構造よりも更に散漫かつ弱く、温度変化に対しコンフォメーション変化が極めて少なく、粘度変化が更に小さいものとなる。液性媒体がテトラエチレングリコールジメチルエーテルを含むものである場合、液性媒体中に占めるテトラエチレングリコールジメチルエーテルの割合は、３０〜７０ｗｔ％であるのが好ましい。
【００２７】
カラーフィルター用インク中における液性媒体の含有率は、７０〜９８ｗｔ％であるのが好ましく、８０〜９５ｗｔ％であるのがより好ましい。液性媒体の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルター用の液滴吐出ヘッドからの吐出性（吐出安定性）を特に優れたものとしつつ、製造されるカラーフィルターの耐久性を優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルター１の各部位での色むら、濃度むら等をより効果的に抑制することができるとともに、個体間での特性の均一性を特に優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルターにおいて、十分な色濃度を確保することができる。
【００２８】
＜分散剤＞
カラーフィルター用インク２中には、分散剤が含まれていてもよい。これにより、例えば、カラーフィルター用インクが、分散性の低い顔料を含む場合等であっても、顔料の分散安定性を優れたものとすることができ、カラーフィルター用インクの保存安定性を優れたものとすることができる。
【００２９】
分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤が挙げられる。界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類；ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類；ソルビタン脂肪酸エステル類；脂肪酸変性ポリエステル類；３級アミン変性ポリウレタン類；ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー・ジャパン（株）製）、ソルスパース３０００，５０００，１１２００，１２０００，１３２４０，１３６５０，１３９４０，１６０００，１７０００，１８０００，２００００，２１０００，２２０００，２４０００ＳＣ，２４０００ＧＲ（日本ルブリゾール（株）製）、サーフィノール（エアープロダクト社製）、ダイノール（エアープロダクト社製）等が挙げられる。
カラーフィルター用インク中における分散剤の含有率は、０．５〜１５ｗｔ％であるのが好ましく、０．５〜８ｗｔ％であるのがより好ましい。
【００３０】
＜樹脂材料＞
カラーフィルター用インク２は、通常、樹脂材料（バインダー樹脂）を含むものである。これにより、製造されるカラーフィルター１において、着色部（着色層）１２を基板１１との密着性に優れたものとすることができ、カラーフィルター１の耐久性を優れたものとすることができる。
【００３１】
カラーフィルター用インク２を構成する樹脂材料としては、各種熱可塑性樹脂、各種熱硬化性樹脂等、いかなる樹脂材料を用いてもよいが、多官能性分子が重合したアクリル樹脂や、エポキシ系樹脂であるのが好ましい。これらの樹脂材料は、透明性が高く、硬度が高いものであるとともに、熱収縮量が小さい。このため、着色部１２の基板１１への密着性を特に優れたものとすることができる。また、カラーフィルター用インク２を構成する樹脂材料としては、エポキシ系樹脂の中でも、特に、シリルアセテート構造（ＳｉＯＣＯＣＨ３）と、エポキシ構造とを有するエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。これにより、インクジェット方式による液滴吐出を好適に行うことができるとともに、着色部と基板との密着性を特に優れたものとすることができ、カラーフィルター１の耐久性を特に優れたものとすることができる。
【００３２】
カラーフィルター用インク中における樹脂材料の含有率は、０．５〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。樹脂材料の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルター用の液滴吐出ヘッド２０からの吐出性（吐出安定性）を特に優れたものとしつつ、製造されるカラーフィルター１の耐久性を特に優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルター１において、十分な色濃度を確保することができる。
【００３３】
＜その他の成分＞
カラーフィルター用インク２は、必要に応じて、種々の他の成分を含むものであってもよい。このような成分（他の添加剤）としては、例えば、各種架橋剤；各種重合開始剤；銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤；ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の高分子化合物；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤；メタノール、エタノール、ｉ−プロパノール、ｎ−ブタノール、グリセリン等のインクジェット吐出性能安定化剤；以下商品名で、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２（以上、新秋田化成（株）製）、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７８Ｋ（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（以上、旭硝子（株）製）、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ポリフローＮｏ．７５、同Ｎｏ．９５（以上、共栄社油脂化学工業（株）製）等の界面活性剤等が挙げられる。
また、カラーフィルター用インクは、熱酸発生剤や酸架橋剤を含有するものであってもよい。前記熱酸発生剤は、加熱により酸を発生する成分であり、その例としては、スルホニウム塩、ベンゾチアゾリウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩等のオニウム塩等が挙げられ、特に、スルホニウム塩およびベンゾチアゾリウム塩が好ましい。
【００３４】
《インクセット》
上述したようなカラーフィルター用インク２は、インクジェット方式によるカラーフィルター１の製造に用いられるものである。カラーフィルター１は、通常、フルカラー表示に対応するため、複数色の着色部１２（通常は、光の三原色に対応するＲＧＢの３色）を有している。そして、これら複数色の着色部１２の形成には、それぞれに対応する色の複数種のカラーフィルター用インク２が用いられる。すなわち、カラーフィルター１の製造には、複数色のカラーフィルター用インク２を備えるインクセットが用いられる。カラーフィルター１の製造においては、上述したようなカラーフィルター用インク２が、少なくとも１種の着色部１２の形成に用いられるのが好ましく、全色の着色部の形成に用いられるのがより好ましい。なお、他のカラーフィルター用インクを用いてもよいことは、言うまでもない。
【００３５】
《カラーフィルター》
次に、上述したようなカラーフィルター用インク２（インクセット）を用いて製造されるカラーフィルターの一例について説明する。
図１は、本発明のカラーフィルターの好適な実施形態を示す断面図である。
図１に示すように、カラーフィルター１は、基板１１と、上述したカラーフィルター用インク２を用いて成形された着色部１２とを備えている。着色部１２としては、互いに異なる色の第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃが設けられている。そして、隣接する着色部１２の間には、隔壁１３が設けられている。
【００３６】
＜基板＞
基板１１は、光透過性を有する板状の部材で、着色部１２、隔壁１３を保持する機能を有している。
基板１１は、実質的に透明な材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルター１を透過する光により、より鮮明な画像を形成することができる。
【００３７】
また、基板１１は、耐熱性、機械的強度に優れたものであるのが好ましい。これにより、例えば、カラーフィルター１の製造時に加わる熱による変形等を確実に防止することができる。このような条件を満足する基板１１の構成材料としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ノルボルネン系開環重合体やその水素添加物等が挙げられる。
【００３８】
＜着色部＞
着色部１２は、上述したようなカラーフィルター用インク２を用いて形成されたものである。
着色部１２は、上述したようなカラーフィルター用インク２を用いて形成されたものであるため、各画素間での特性のばらつきが小さい。このため、カラーフィルター１は、色むら、濃度むら等の発生が抑制された、信頼性が高いものとなっている。
各着色部１２は、後述する隔壁１３により囲まれた領域（吐出区画）であるセル１４内に設けられている。
【００３９】
第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃは、互いに異なる色のものである。例えば、第１の着色部１２Ａを赤色フィルター領域（Ｒ）、第２の着色部１２Ｂを緑色フィルター領域（Ｇ）、第３の着色部１２Ｃを青色フィルター領域（Ｂ）とすることができる。そして、一組の異なる色の着色部１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃで１画素を構成している。そして、カラーフィルター１においては、その横方向および縦方向に、着色部１２が所定数配置されている。例えば、カラーフィルター１が、ハイビジョン用のカラーフィルターである場合には１３６６×７６８個の画素が配置されており、フルハイビジョン用のカラーフィルターである場合には１９２０×１０８０個の画素が配置されており、スーパーハイビジョン用のカラーフィルターである場合には７６８０×４３２０個の画素が配置されている。なお、カラーフィルター１は、例えば、有効領域外に予備の画素を備えたものであってもよい。
【００４０】
＜隔壁＞
隣接する着色部１２の間には、隔壁（バンク）１３が設けられている。これにより、隣接する着色部１２同士が混色してしまうのを確実に防止することができ、その結果、鮮明な画像を確実に表示することができる。
隔壁１３は、透明な材料で構成されたものであってもよいが、遮光性を有する材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、コントラストに優れた画像を表示することができる。隔壁（遮光部）１３の色は、特に限定されないが、黒色であるのが好ましい。これにより、表示される画像のコントラストを特に優れたものとすることができる。
【００４１】
隔壁１３の高さは、特に限定されないが、着色部１２の膜厚よりも大きいものであるのが好ましい。これにより、隣接する着色部１２の間での混色を確実に防止することができる。隔壁１３の具体的な厚さは、０．１〜１０μｍであるのが好ましく、０．５〜３．５μｍであるのがより好ましい。これにより、隣接する着色部１２の間での混色を確実に防止することができるとともに、カラーフィルター１を備えた画像表示装置、電子機器における視野角特性を優れたものとすることができる。
【００４２】
隔壁１３は、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、例えば、主として樹脂材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、後述するような方法で、隔壁１３を容易に所望の形状を有するものとして形成することができる。また、隔壁１３が遮光部としての機能を有するものである場合、その構成材料として、カーボンブラック等の光吸収性の材料を含むものであってもよい。
【００４３】
《液滴吐出装置》
次に、カラーフィルター１の製造（インク付与工程）に用いる液滴吐出装置の一例について説明する。
図２は、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置を示す斜視図、図３は、図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットを示す斜視図、図４は、図２に示す液滴吐出装置におけるインクの供給系を示す図、図５は、図２に示す液滴吐出装置の平面図（一部省略）、図６は、図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよび多数個のセルが設けられた基板とを示す平面図、図７は、図２に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基板のセルとを拡大して示す平面図、図８は、図２に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図、図９は、図２に示す液滴吐出装置の主要部を示すブロック図、図１０（ａ）は、ヘッド駆動部を示す模式図、図１０（ｂ）は、ヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート、図１１は、図２に示す液滴吐出装置のヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係を説明するための模式的な平面図である。
【００４４】
＜液滴吐出装置の全体構成＞
図２に示す液滴吐出装置１００は、インクジェット方式で後述するノズル２５からカラーフィルター用インク（液状材料）２の液滴を吐出する装置であり、内部の温度および湿度等が管理されたチャンバー（サーマルチャンバー）１０内に設置されている。この液滴吐出装置１００は、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）２０をキャリッジ１０５に搭載してなるヘッドユニット１０３と、ヘッドユニット１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、多数個（複数個）のセル１４が設けられた基板１１（以下、単に、「基板」とも言う）を保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。なお、図示の構成では、ヘッドユニット１０３（キャリッジ１０５）は、２つ設けられているが、その数は、２つに限らず、１つでもよく、また、３つ以上でもよい。
【００４５】
また、液滴吐出装置１００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色のカラーフィルター用インク２をそれぞれ貯留する３個の０次タンク（インク容器）１０１ａと、３個の１次タンク（インク容器）１０１ｂと、３個の２次タンク（インク容器）１０１ｃとを有している。なお、以下の説明では、赤、緑、青のカラーフィルター用インク２を区別して言うときには、２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「カラーフィルター用インク２」と言う。
【００４６】
図２および図４に示すように、各０次タンク１０１ａと、対応する各１次タンク１０１ｂとは、カラーフィルター用インク２を送液する流路となるチューブ１１０ａを介して接続されている。また、各１次タンク１０１ｂと、対応する各２次タンク１０１ｃとは、カラーフィルター用インク２を送液する流路となるチューブ１１０ｂを介して接続されており、チューブ１１０ｂの途中には、気泡を除去するインクフィルター（脱気モジュール）１１３が設けられている。また、各２次タンク１０１ｃと、各ヘッドユニット１０３とは、カラーフィルター用インク２を送液する流路となるチューブ１１０ｃを介して接続されている。
【００４７】
また、図３に示すように、ヘッドユニット１０３には、圧力制御手段として、自己封止弁１１４が設けらており、その自己封止弁１１４を介して、チューブ１１０ｃとヘッドユニット１０３とが接続されている。これにより、各液滴吐出ヘッド２０に、それぞれ、所定の圧力（負圧）がかかるようになっており、各液滴吐出ヘッド２０の各ノズル２５において良好な液滴吐出状態が得られる。
この液滴吐出装置１００では、各２次タンク１０１ｃをヘッドユニット１０３より高い位置に設置することによって、各２次タンク１０１ｃから対応する複数の液滴吐出ヘッド２０のそれぞれにカラーフィルター用インク２が重力によって供給されるよう構成されている。
【００４８】
キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、ヘッドユニット１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでヘッドユニット１０３を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット１０３のＺ軸回りの角度を微調整することができる。
【００４９】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルター１を製造するための基板１１をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置された基板１１のＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
上述のように、ヘッドユニット１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対するヘッドユニット１０３の相対位置が変わる。
【００５０】
また、図５に示すように、液滴吐出装置１００は、重量測定ユニット１１５と、２つのワイプユニット１１６と、キャップユニット１１７とを有している。なお、図５には、一例として、ヘッドユニット１０３が５つ設けられている場合であって、それに対応するキャップユニット１１７が設けられている場合が示されている。
重量測定ユニット１１５は、各液滴吐出ヘッド２０から吐出されるカラーフィルター用インク２の重量をヘッド毎に測定する装置である。
【００５１】
また、ワイプユニット１１６は、各液滴吐出ヘッド２０のノズル面をワイピングする装置である。
また、キャップユニット１１７は、ヘッドユニット１０３の待機時に、各液滴吐出ヘッド２０をキャッピングする装置である。
なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。
【００５２】
＜ヘッドユニット＞
図６に示すヘッドユニット１０３は、複数の液滴吐出ヘッド２０がキャリッジ１０５に搭載された構成となっている。図６中では、キャリッジ１０５を仮想線（二点鎖線）で表している。また、液滴吐出ヘッド２０を示す実線は、液滴吐出ヘッド２０のノズル面（ノズルプレート１２８）の位置を示している。
【００５３】
ヘッドユニット１０３には、赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、第３ヘッド２３Ｒ、第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２０と、緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ、第２ヘッド２２Ｇ、第３ヘッド２３Ｇ、第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２０と、青色のカラーフィルター用インク２Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ、第２ヘッド２２Ｂ、第３ヘッド２３Ｂ、第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２０との、計１２個の液滴吐出ヘッド２０が設置されている。
【００５４】
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド２０を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド２０」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、・・・」のように言う。
図６に示す基板１１は、ストライプ配列のカラーフィルター１を製造するためのものである。この基板１１には、多数（複数）のセル１４、すなわち、赤色用のセル（吐出区画）１４Ｒと、緑色用のセル（吐出区画）１４Ｇと、青色用のセル（吐出区画）１４Ｂとがそれぞれ多数（複数）設けられている。液滴吐出装置１００は、セル１４Ｒには赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを付与し、セル１４Ｇには緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを付与し、セル１４Ｂには青色のカラーフィルター用インク２Ｂを付与するように作動する。
【００５５】
以下の説明では、これらのセル１４を総称する場合には、「セル１４」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「セル１４Ｒ、セル１４Ｇ、セル１４Ｂ」のように言う。
各セル１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂは、ほぼ長方形をなしている。基板１１は、セル１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂの長軸方向がＸ軸方向に平行になり、短軸方向がＹ軸方向に平行になるような姿勢でステージ１０６上に保持される。基板１１上には、Ｙ軸方向に沿ってはセル１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂの順に３色のセルが繰り返し配列され、Ｘ軸方向に沿っては同色のセルが配列されている。Ｙ軸方向に並ぶ一組のセル１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂは、製造されたカラーフィルター１の１画素分に相当する。
【００５６】
＜液滴吐出ヘッド＞
図７に示すように、液滴吐出ヘッド２０のノズル面には、多数のノズル（ノズル孔）２５がＸ軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。なお、液滴吐出ヘッド２０のノズル面は、基板１１に対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図７中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド２０のノズル面を実線で示す。本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド２０には、２列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、本発明では、一つの液滴吐出ヘッド２０が有するノズル列の数は、１列でも、３列以上でもよい。また、一つの液滴吐出ヘッド２０に形成されるノズル２５の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
【００５７】
図８（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、インクジェットヘッドである。より具体的には、液滴吐出ヘッド２０は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、２次タンク１０１ｃから孔１３１を介して供給されるカラーフィルター用インク２が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００５８】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティー１２０である。キャビティー１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティー１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティー１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９からカラーフィルター用インク２が供給される。
【００５９】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティー１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、駆動素子としてのピエゾ素子（圧電素子）１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧（駆動信号）を印加する（与える）ことで、対応するノズル２５からカラーフィルター用インク２が吐出される。
【００６０】
この場合、前記駆動電圧（例えば、駆動電圧の大きさ等）を調整することにより、ノズル２５から吐出されるカラーフィルター用インク２の吐出動作１回当りの吐出量（体積や重量）を調整することができるようになっている。
なお、ノズル２５からＺ軸方向にカラーフィルター用インク２が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。
【００６１】
制御手段１１２は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に駆動電圧を印加するように構成されていてもよく、また、複数の振動子１２４に共通の駆動電圧を印加するように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出されるカラーフィルター用インク２の吐出動作１回当りの吐出量が、制御手段１１２からの駆動信号、すなわち、駆動電圧に応じてノズル２５毎に制御されてもよく、複数のノズル２５毎に制御されてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル２５と、吐出動作を行わないノズル２５とを設定することでもできる。
【００６２】
本明細書では、１つのノズル２５と、ノズル２５に対応するキャビティー１２０と、キャビティー１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド２０は、ノズル２５の数と同じ数の吐出部１２７を有する。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド２０は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに静電アクチュエータを用いるものでもよい。また、液滴吐出ヘッド２０は、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してカラーフィルター用インク２を吐出する構成であってもよい。
【００６３】
＜ヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係＞
前述したように、ヘッドユニット１０３には、赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２０と、緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ〜第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２０と、青色のカラーフィルター用インク２Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ〜第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２０との、計１２個の液滴吐出ヘッド２０が設置されている。図１１中の細長い図形は、それらの各液滴吐出ヘッド２０のノズル列の位置を表している。
【００６４】
図示の構成では各液滴吐出ヘッド２０のノズル列の両端付近にある所定個数（例えば１０個程度）のノズル２５を使用しない（カラーフィルター用インク２を吐出させない）ようにしている。
図１１中の、各液滴吐出ヘッド２０のノズル列を表す細長い図形において、両端の太く表示された不使用部分２６は、上記のような使用しないノズル２５がある範囲を表している。
【００６５】
まず、赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係について説明する。
第１ヘッド２１Ｒと第２ヘッド２２Ｒとは、ノズル列に直交する方向、すなわちＹ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｒ１の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Ｙ軸方向から見た継ぎ目ｒ１でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第１ヘッド２１Ｒと第２ヘッド２２Ｒとからなる列をヘッド列３１Ｒと呼ぶ。
なお、ノズル列の継ぎ目ｒ１では、不使用部分２６を見込んで、第１ヘッド２１Ｒのノズル列の図１１中の右端部と、第２ヘッド２２Ｒのノズル列の図１１中の左端部とは、Ｙ軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
【００６６】
同様にして、第３ヘッド２３Ｒと第４ヘッド２４Ｒとは、Ｙ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｒ２の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Ｙ軸方向から見た継ぎ目ｒ２でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第３ヘッド２３Ｒと第４ヘッド２４Ｒとからなる列をヘッド列３２Ｒと呼ぶ。
さらに同様に、ノズル列の継ぎ目ｒ２では、不使用部分２６を見込んで、第３ヘッド２３Ｒのノズル列の図１１中の右端部と、第４ヘッド２４Ｒのノズル列の図１１中の左端部とは、Ｙ軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
【００６７】
上述のようなヘッド列３１Ｒにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列３２Ｒにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目ｒ１の位置と継ぎ目ｒ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置１００は、一つのセル１４Ｒについて、複数（本実施形態では２個）の異なる液滴吐出ヘッド２０のノズル２５からカラーフィルター用インク２Ｒの液滴を吐出することができる。
【００６８】
例えば、第１ヘッド２１Ｒのノズル列と第３ヘッド２３Ｒのノズル列とが重なり合っている図１１中のＲ１で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｒの場合には、図７に示すように、第１ヘッド２１Ｒのノズル２５から吐出された液滴９１と、第３ヘッド２３Ｒのノズル２５から吐出された液滴９２とが付与される。
なお、図７中では、ヘッド列３１Ｒ（第１ヘッド２１Ｒ）のノズル２５の位置と、ヘッド列３２Ｒ（第３ヘッド２３Ｒ）のノズル２５の位置とがＹ軸方向から見て一致しないようにずらして配置されているが、それらが一致するように配置してもよい。
【００６９】
図示を省略するが、同様にして、第１ヘッド２１Ｒのノズル列と第４ヘッド２４Ｒのノズル列とが重なり合っている図１１中のＲ２で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｒの場合には、第１ヘッド２１Ｒのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｒのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第２ヘッド２２Ｒのノズル列と第４ヘッド２４Ｒのノズル列とが重なり合っている図１１中のＲ３で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｒの場合には、第２ヘッド２２Ｒのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｒのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。
【００７０】
次に、緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ〜第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係について説明する。
緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ〜第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係は、前述した赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
【００７１】
第１ヘッド２１Ｇと第２ヘッド２２Ｇとは、ノズル列に直交する方向、すなわちＹ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｇ１の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第１ヘッド２１Ｇと第２ヘッド２２Ｇとからなる列をヘッド列３１Ｇと呼ぶ。
同様にして、第３ヘッド２３Ｇと第４ヘッド２４Ｇとは、Ｙ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｇ２の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第３ヘッド２３Ｇと第４ヘッド２４Ｇとからなる列をヘッド列３２Ｇと呼ぶ。
【００７２】
上述のようなヘッド列３１Ｇにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列３２Ｇにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目ｇ１の位置と継ぎ目ｇ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置１００は、一つのセル１４Ｇについて、複数（本実施形態では２個）の異なる液滴吐出ヘッド２０のノズル２５からカラーフィルター用インク２Ｇの液滴を吐出することができる。
【００７３】
すなわち、第１ヘッド２１Ｇのノズル列と第３ヘッド２３Ｇのノズル列とが重なり合っている図１１中のＧ１で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｇの場合には、第１ヘッド２１Ｇのノズル２５から吐出された液滴と、第３ヘッド２３Ｇのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第１ヘッド２１Ｇのノズル列と第４ヘッド２４Ｇのノズル列とが重なり合っている図１１中のＧ２で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｇの場合には、第１ヘッド２１Ｇのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｇのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第２ヘッド２２Ｇのノズル列と第４ヘッド２４Ｇのノズル列とが重なり合っている図１１中のＧ３で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｇの場合には、第２ヘッド２２Ｇのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｇのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。
【００７４】
次に、青色のカラーフィルター用インク２Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ〜第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係について説明する。
青色のカラーフィルター用インク２Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ〜第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係は、前述した赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２０の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
【００７５】
第１ヘッド２１Ｂと第２ヘッド２２Ｂとは、ノズル列に直交する方向、すなわちＹ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｂ１の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第１ヘッド２１Ｂと第２ヘッド２２Ｂとからなる列をヘッド列３１Ｂと呼ぶ。
同様にして、第３ヘッド２３Ｂと第４ヘッド２４Ｂとは、Ｙ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｂ２の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第３ヘッド２３Ｂと第４ヘッド２４Ｂとからなる列をヘッド列３２Ｂと呼ぶ。
【００７６】
上述のようなヘッド列３１Ｂにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列３２Ｂにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目ｂ１の位置と継ぎ目ｂ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置１００は、一つのセル１４Ｂについて、複数（本実施形態では２個）の異なる液滴吐出ヘッド２０のノズル２５からカラーフィルター用インク２Ｂの液滴を吐出することができる。
【００７７】
すなわち、第１ヘッド２１Ｂのノズル列と第３ヘッド２３Ｂのノズル列とが重なり合っている図１１中のＢ１で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｂの場合には、第１ヘッド２１Ｂのノズル２５から吐出された液滴と、第３ヘッド２３Ｂのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第１ヘッド２１Ｂのノズル列と第４ヘッド２４Ｂのノズル列とが重なり合っている図１１中のＢ２で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｂの場合には、第１ヘッド２１Ｂのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｂのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第２ヘッド２２Ｂのノズル列と第４ヘッド２４Ｂのノズル列とが重なり合っている図１１中のＢ３で示す範囲によって液滴を吐出されるセル１４Ｂの場合には、第２ヘッド２２Ｂのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｂのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。
【００７８】
このようなヘッドユニット１０３では、赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出するヘッド列３１Ｒ、３２Ｒにより形成される長尺ノズル列と、緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを吐出するヘッド列３１Ｇ、３２Ｇにより形成される長尺ノズル列と、青色のカラーフィルター用インク２Ｂを吐出するヘッド列３１Ｂ、３２Ｂにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て重なるように配置されている。これにより、ヘッドユニット１０３と基板１１とを主走査することによって、全吐出幅Ｗの範囲では、セル１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂに対して一度に赤、緑、青の各色のカラーフィルター用インク２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを付与することができる。
【００７９】
そして、液滴吐出装置１００では、赤色のカラーフィルター用インク２Ｒを吐出するヘッド列３１Ｒ、３２Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ１、ｒ２と、緑色のカラーフィルター用インク２Ｇを吐出するヘッド列３１Ｇ、３２Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ１、ｇ２と、青色のカラーフィルター用インク２Ｂを吐出するヘッド列３１Ｂ、３２Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ１、ｂ２とは、それらの位置がＹ軸方向から見て互いに一致しないように配置されている。
なお、前述したヘッドユニット１０３における各液滴吐出ヘッド２０の位置関係は、一例であり、他の位置関係でもよいことは、言うまでもない。
【００８０】
＜制御手段＞
次に、制御手段１１２の構成を説明する。
この制御手段１１２は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を有するコンピューターで構成することができる。この場合には、制御手段１１２の下記機能は、コンピューターによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。なお、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）等によって実現されてもよい。
【００８１】
図９に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリー２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えており、操作部４等からの信号等に基づき、予め設定されたプログラムに従って、液滴吐出装置１００の各部の作動（駆動）をそれぞれ制御する。
【００８２】
入力バッファメモリー２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド２０のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
【００８３】
入力バッファメモリー２００は、外部情報処理装置から、カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画データ（描画パターンデータ）を受け取る。入力バッファメモリー２００は、この描画データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画データを記憶手段２０２に格納する。
記憶手段２０２は、各種の情報、データ、演算式、テーブル、プログラム等が記憶（記録とも言う）される記憶媒体（記録媒体とも言う）を有しており、この記憶媒体は、例えば、ＲＡＭ等の揮発性メモリー、ＲＯＭ等の不揮発性メモリー、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリー等の書き換え可能（消去、書き換え可能）な不揮発性メモリー等、各種半導体メモリー、ＩＣメモリー、磁気記録媒体、光記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。この記憶手段２０２における書き込み（記憶）、書き換え、消去、読み出し等の制御は、処理部２０４によりなされる。
【００８４】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわちヘッドユニット１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基板１１のＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００８５】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、ヘッドユニット１０３の位置と、基板１１の位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基板１１の移動速度を制御する。
【００８６】
また、処理部２０４は、前記描画データに基づいて、吐出タイミング毎のノズル２５のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、カラーフィルター用インク２の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド２０に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２０における対応するノズル２５から、カラーフィルター用インク２が液滴として吐出される。
【００８７】
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図１０（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。図１０（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル２５から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、ノズル２５のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数とノズル２５の数とは同じである。
【００８８】
処理部２０４は、ノズル２５のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル２５からカラーフィルター用インク２が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
【００８９】
図１０（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル２５のそれぞれから、周期２ＥＰでカラーフィルター用インク２が吐出される。また、これら２つのノズル２５に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル２５からほぼ同じタイミングでカラーフィルター用インク２が吐出される。
このような液滴吐出装置１００を用いて、カラーフィルター用インク２Ｒ、２Ｇおよび２Ｂを、それぞれ、基板１１の各セル１４Ｒ、１４Ｇおよび１４Ｂ内に付与する。
【００９０】
この場合、液滴吐出装置１００は、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持された基板１１をＹ軸方向に移動させ、ヘッドユニット１０３の下を通過させつつ、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２０のノズル２５からカラーフィルター用インク２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの液滴を吐出して、それぞれ、基板１１上の各セル１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂに付与する（着弾させる）ように作動する。以下、この動作を「ヘッドユニット１０３と基板１１との主走査」、または単に「主走査」と言うことがある。
【００９１】
ヘッドユニット１０３全体として基板１１に対しカラーフィルター用インク２を吐出可能なＸ軸方向の長さ（全吐出幅Ｗ）よりも、基板１１のＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基板１１との主走査を１回行うことにより、基板１１の全体に対してカラーフィルター用インク２を付与することができる。この場合、ヘッドユニット１０３と基板１１との主走査を１回行うことにより、基板１１の全体に対してカラーフィルター用インク２を１回付与してもよく、その主走査を複数回行うことにより、基板１１の全体に対してカラーフィルター用インク２を複数回付与してもよい。
【００９２】
これに対し、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗよりも、基板１１のＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基板１１との主走査と、キャリッジ移動機構１０４の作動によるヘッドユニット１０３のＸ軸方向の移動（これを「副走査」と呼ぶ）とを交互に繰り返し行うことにより、基板１１の全体に対してカラーフィルター用インク２を付与することができる。この場合も、基板１１の全体に対してカラーフィルター用インク２を１回付与してもよく、複数回付与してもよい。
【００９３】
また、１つの基板１１に対して、１つのヘッドユニット１０３のみからカラーフィルター用インク２を付与することができ、また、複数（図示の構成では２つ）のヘッドユニット１０３からカラーフィルター用インク２を付与することもできる。
上記のような液滴吐出装置１００を用いることにより、セル１４内に、効率よくかつ選択的にカラーフィルター用インク２を付与することができる。
なお、前述した液滴吐出装置１００は、一例であり、インクジェット方式でノズルからカラーフィルター用インク（液状材料）の液滴を吐出する装置であれば、他の構成の装置を用いてもよいことは、言うまでもない。
【００９４】
《カラーフィルターの製造方法》
次に、カラーフィルター１の製造方法について説明する。なお、本発明の理解を容易にするため、本発明の特徴は、最後に説明する。
図１２は、カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
図１２に示すように、本実施形態では、基板１１を準備する基板準備工程（１ａ）と、基板１１上に隔壁１３を形成する隔壁形成工程（１ｂ、１ｃ）と、インクジェット方式によりカラーフィルター用インク２を隔壁１３で囲まれた領域（吐出区画）であるセル１４に付与するインク付与工程（１ｄ）と、カラーフィルター用インク２から液性媒体を除去し、固形状の着色部１２とする着色部形成工程（１ｅ）とを有している。
【００９５】
＜基板準備工程＞
まず、基板１１を準備する（１ａ）。本工程で準備する基板１１は、洗浄処理が施されたものであるのが好ましい。また、本工程で準備する基板１１は、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理が施されたものであってもよい。
【００９６】
＜隔壁形成工程＞
次に、基板１１の隔壁形成用の感放射線性組成物を基板１１の一方の面のほぼ全体に付与し、塗膜３を形成する（１ｂ）。なお、基板１１上に感放射線性組成物を付与した後、必要に応じて、プリベーク処理を行ってもよい。プリベーク処理は、例えば、加熱温度：５０〜１５０℃、加熱時間：３０〜６００秒という条件で行うことができる。
【００９７】
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、さらに、アルカリ現像液を用いた現像処理を行うことにより、隔壁１３が形成される（１ｃ）。ＰＥＢは、例えば、加熱温度：５０〜１５０℃、加熱時間：３０〜６００秒、放射線照射強度：１〜５００ｍＪ／ｃｍ２という条件で行うことができる。また、現像処理は、例えば、液盛り法、ディッピング法、振動浸漬法等により行うことができ、現像処理時間は、例えば、１０〜３００秒とすることができる。また、現像処理の後、必要に応じて、ポストベーク処理を行ってもよい。ポストベーク処理は、例えば、加熱温度：１５０〜２８０℃、加熱時間：３〜１２０分という条件で行うことができる。これにより、多数個の隔壁１３、すなわち、多数個のセル１４が設けられた基板１１が得られる。
【００９８】
＜インク付与工程＞
次に、インクジェット方式により、カラーフィルター用インク２を、隔壁１３で囲まれたセル１４に向かって吐出し、当該セル１４内に付与する（１ｄ）。
本工程は、形成すべき複数色の着色部１２に対応する複数種のカラーフィルター用インク２、すなわち、カラーフィルター用インク２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを用いて行う。この際、隔壁１３が設けられているため、２種以上のカラーフィルター用インク２が混ざり合うことが確実に防止される。
【００９９】
カラーフィルター用インク２の吐出、付与は、前述した液滴吐出装置１００を用いて行う。すなわち、液滴吐出装置１００を用い、多数個のセル１４が設けられた基板１１の各セル１４にカラーフィルター用インク２の液滴を吐出するパターン（例えば、吐出位置、吐出回数、インクの色等）を示す描画データに基づいて、カラーフィルター用インク２を、その基板１１上の各セル１４に、液滴吐出ヘッド２０のノズル２５からインクジェット方式で吐出し、セル１４に対して付与する。
【０１００】
そして、本工程では、液滴吐出装置１００が設置されるチャンバー１０内は、通常、２０〜２６℃の温度に設定される。チャンバー１０内の温度をこのような範囲に設定することにより、温度制御を比較的容易に行うことができるとともに、液滴吐出装置の発熱等によるチャンバー１０内の各部位での温度のばらつき、変動を比較的小さいものとすることができる。また、温度制御に要する電力等のエネルギー量を抑制することができる。また、一般に、クリーンルームとして用いられている施設の設定温度も、上記範囲内であるため、既存の施設を、カラーフィルター１の製造に、好適に利用することができる。また、通常、チャンバー１０内の設定温度は、そのレンジが０．５〜１．５℃（±０．２５〜±０．７５℃）となるように設定されている。
【０１０１】
また、上記のように、液滴吐出装置１００が設置されるチャンバー１０内の設定温度は、通常、２０〜２６℃とされるが、２１〜２５℃であるのが好ましく、２２〜２４℃であるのがより好ましい。これにより、上述した効果をより顕著に発揮させることができるとともに、カラーフィルター用インク２の吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
【０１０２】
＜着色部形成工程（硬化工程）＞
次に、セル１４内のカラーフィルター用インク２から液性媒体を除去し、固形状の着色部１２とする（１ｅ）。これにより、カラーフィルター１が得られる。また、本工程においては、必要に応じて、樹脂材料を架橋成分等と反応させてもよい。液性媒体の除去は、例えば、加熱により行うことができる。また、この際、カラーフィルター用インク２が付与された基板１１を、減圧環境下に置いてもよい。これにより、液性媒体の除去をより効率よく進行させることができる。また、本工程においては、放射線の照射を行ってもよい。これにより、樹脂材料の架橋成分等との反応を効率よく進行させることができる。
【０１０３】
さて、本発明のカラーフィルター１の製造方法では、前記インク付与工程において、同時にＹ軸方向とＸ軸方向とに液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット１０３）と基板１１（ステージ１０６）とを相対的に移動させつつ、ノズル２５からカラーフィルター用インク２の液滴を吐出し、基板１１上のセル１４に対してカラーフィルター用インク２を付与する。すなわち、液滴吐出ヘッド２０を基板１１（ステージ１０６）に対して相対的にＹ軸方向に移動し、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する際、同時に、液滴吐出ヘッド２０を基板１１に対して相対的にＸ軸方向に往復移動（振動）させる。本実施形態では、基板１１が載置（保持）されたステージ１０６をＹ軸方向に移動し、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する際、同時に、液滴吐出ヘッド２０をＸ軸方向に往復移動させる。
【０１０４】
また、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する際、そのＹ軸方向に並ぶ各セル１４について、同一の組み合わせのノズル２５から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴を着弾させる。この場合、例えば、隣接するノズル２５のＸ軸方向の間隔よりも短い距離で、液滴吐出ヘッド２０を往復移動させる。すなわち、液滴吐出ヘッド２０の往復移動の振幅を隣接するノズル２５のＸ軸方向の間隔よりも小さくし、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する際、所定の組み合わせ（同一の組み合わせ）の各ノズル２５から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴がすべて、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４内に着弾するようにする。
【０１０５】
以下、図１３および図１４に基づいて説明するが、その図１３に示す構成例では、主走査を３回行い、その主走査間に副走査（合計２回）を行って、基板１１の全体に対してカラーフィルター用インク２を付与する場合が示されている。なお、図１３には、液滴吐出ヘッド２０の基板１１に対する移動経路（移動軌跡）が示されている。
また、図１４には、基板１１の一部および液滴吐出ヘッド２０の各ノズル２５の一部が示され、そのセル１４とノズル２５との位置関係が示されている。そして、図１４では、液滴吐出ヘッド２０が有するノズル２５を、図１４中右側から左側に向って、順に、ノズル２５１、２５２、２５３と表記し、これらのノズルを総称する場合には、「ノズル２５」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「ノズル２５１、ノズル２５２、ノズル２５３」と言う。また、図１４では、基板１１に設けられたセル１４を、図１４中上側から下側に向って、順に、セル１４１、１４２、１４３、１４４と表記し、これらのセルを総称する場合には、「セル１４」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「セル１４１、セル１４２、セル１４３、セル１４４」と言う。
【０１０６】
図１３に示すように、まずは、基板１１が載置されたステージ１０６をＹ軸方向の下方に移動し、同時に、液滴吐出ヘッド２０をＸ軸方向に往復移動しつつ、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する。この際、液滴吐出ヘッド２０は、基板１１に対して、相対的にジグザグ状に移動する。
これにより、例えば、図１４（ａ）に示すように、セル１４１に、ノズル２５１、２５２、２５３から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が着弾し、図１４（ｂ）に示すように、そのセル１４１に対しＹ軸方向に隣接するセル１４２に、前記セル１４１の場合と同一の組み合わせのノズル２５１、２５２、２５３から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が、セル１４２内の前記セル１４１の場合と異なる位置（Ｘ軸方向の異なる位置）に着弾する。さらに、図１４（ｃ）に示すように、そのセル１４２に対しＹ軸方向に隣接するセル１４３に、前記セル１４２の場合と同一の組み合わせのノズル２５１、２５２、２５３から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が、セル１４３内の前記セル１４２の場合と異なる位置に着弾し、図１４（ｄ）に示すように、そのセル１４３に対しＹ軸方向に隣接するセル１４４に、前記セル１４３の場合と同一の組み合わせのノズル２５１、２５２、２５３から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が、セル１４４内の前記セル１４３の場合と異なる位置に着弾する。すなわち、Ｙ軸方向に隣接する２つのセル１４に着目すると、その２つのセル１４について、同一の組み合わせのノズル２５から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が、セル１４内の異なる位置（Ｘ軸方向の異なる位置）に着弾する。
【０１０７】
次に、基板１１が載置されたステージ１０６をＹ軸方向の上方に移動し、同時に、液滴吐出ヘッド２０をＸ軸方向に往復移動しつつ、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する。この際、前記と同様に、液滴吐出ヘッド２０は、基板１１に対して、相対的にジグザグ状に移動する。これにより、前記と同様に、Ｙ軸方向に隣接する２つのセル１４に着目すると、その２つのセル１４について、同一の組み合わせのノズル２５から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が、セル１４内の異なる位置に着弾する。
【０１０８】
次に、基板１１が載置されたステージ１０６をＹ軸方向の下方に移動し、同時に、液滴吐出ヘッド２０をＸ軸方向に往復移動しつつ、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する。この際、前記と同様に、液滴吐出ヘッド２０は、基板１１に対して、相対的にジグザグ状に移動する。これにより、前記と同様に、Ｙ軸方向に隣接する２つのセル１４に着目すると、その２つのセル１４について、同一の組み合わせのノズル２５から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が、セル１４内の異なる位置に着弾する。
【０１０９】
これにより、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に、同一または近似した表面形状を有する着色部１２が形成されてしまうことを防止することができる。これによって、筋むらを抑制（または防止）することができる。
なお、Ｙ軸方向に並ぶ各セル１４に順次カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する際（液滴吐出ヘッド２０がＹ軸方向の一端側から他端側（他端側から一端側）に向って移動する際）の液滴吐出ヘッド２０の基板１１に対する移動経路（移動軌跡）は、ジグザグ状をなしている。
【０１１０】
ここで、液滴吐出ヘッド２０のＸ軸方向の往復移動の周波数は、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるが、１０ｋＨｚ以下であることが好ましく、０．１〜１ｋＨｚ程度であることがより好ましい。
また、液滴吐出ヘッド２０のＸ軸方向の往復移動の周波数や振幅は、前記３回の主走査において、すべて同一でもよく、また、異なっていてもよい。
【０１１１】
なお、本発明では、一部において、Ｙ軸方向に隣接する所定の２つのセル１４について、異なる組み合わせのノズル２５から吐出したカラーフィルター用インク２の液滴が着弾するようになっていてもよい。
以上説明したように、このカラーフィルター１の製造方法によれば、カラーフィルター１の筋むらを抑制（または防止）することができ、高品位のカラーフィルター１を提供することができる。
【０１１２】
［第２実施形態］
以下、第２実施形態について説明するが、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
第２実施形態は、さらに駆動電圧調整工程を有すること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１１３】
第２実施形態では、インク付与工程に先立って、１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間、すなわち、ピエゾ素子（駆動素子）１２４Ｃに印加する駆動電圧を調整する駆動電圧調整工程を行うよう構成されている。
この駆動電圧調整工程では、まず、吐出動作１回当りの各ノズル２５からそれぞれ吐出されるカラーフィルター用インク２の量を検出する。
この検出は、例えば、各ノズル２５からそれぞれガラス基板に、カラーフィルター用インク２を１回吐出して塗布し、そのインク１滴の体積を光学的手法で測定する。または、ロール紙に塗布し、そのインク１滴の体積を図示しないＣＣＤカメラ（撮像装置）で撮像し、測定する。
【０１１４】
前記の後者のインク１滴の体積の測定においては、例えば、まずは、各ノズル２５からそれぞれ吐出され、ロール紙に塗布されたカラーフィルター用インク２をＣＣＤカメラで撮像し、画像処理し、そのカラーフィルター用インク２の平面視での面積を求める。そして、その求まった面積に基づいて、吐出動作１回当りの各ノズル２５からそれぞれ吐出されるカラーフィルター用インク２の量を求める。
なお、前記の検出では、各ノズル２５からカラーフィルター用インク２を１回ではなく、複数回吐出して、インク複数滴の体積を測定し、その結果から、吐出動作１回当りの各ノズル２５からそれぞれ吐出されるカラーフィルター用インク２の量を求めてもよい。
【０１１５】
次いで、制御手段１１２は、前記検出結果に基づいて、吐出動作１回当りの各ノズル２５から吐出されるカラーフィルター用インク２の量のバラツキが小さくなるように（可能な限り小さくなるように）、ピエゾ素子１２４Ｃに印加する駆動電圧を調整する。ピエゾ素子１２４Ｃに印加する駆動電圧を調整する方法としては、例えば、駆動電圧の電圧値を変更する方法等が挙げられる。
この第２実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
そして、第２実施形態では、インク付与工程に先立って、駆動電圧調整工程を行うので、カラーフィルター１の筋むらを、より確実に抑制（または防止）することができる。
【０１１６】
《画像表示装置》
次に、カラーフィルター１を有する画像表示装置（電気光学装置）である液晶表示装置の好適な実施形態について説明する。
図１５は、液晶表示装置の好適な実施形態を示す断面図である。同図に示すように、液晶表示装置６０は、カラーフィルター１と、カラーフィルター１の着色部１２が設けられた面側に配された基板（対向基板）６６と、カラーフィルター１と基板６６との間の空隙に封入された液晶よりなる液晶層６２と、カラーフィルター１の基板１１の液晶層６２に対向する面とは反対の面側（図１５中下側）に設けられた偏光板６７と、基板６６の液晶層６２に対向する面とは反対の面側（図１５中上側）に設けられた偏光板６８とを有している。そして、カラーフィルター１の着色部１２および隔壁１３が設けられた面（着色部１２および隔壁１３の基板１１に対向する面とは反対の面）には、共通電極６１が設けられており、基板（対向基板）６６の液晶層６２、カラーフィルター１に対向する面には、カラーフィルター１の各着色部１２に対応する位置に、マトリクス状に、画素電極６５が配されている。さらに、共通電極６１と液晶層６２との間には配向膜６４が設けられ、基板６６（画素電極６５）と液晶層６２との間には配向膜６３が設けられている。
【０１１７】
基板６６は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えば、ガラス基板である。
共通電極６１、画素電極６５は、可視光に対して光透過性を有する材料で構成されたものであり、例えば、ＩＴＯ等で構成されている。
また、図中省略しているが、各画素電極６５に対応するように、複数のスイッチング素子（例えば、ＴＦＴ：薄膜トランジスタ）が設けられている。そして、各着色部１２に対応する各画素電極６５について、共通電極６１との間での電圧の印加状態を制御することにより、各着色部１２（各画素電極６５）に対応する領域での、光の透過性を制御することができる。
【０１１８】
液晶表示装置６０では、図示しないバックライトから発せられた光が、偏光板６８側（図１５中上側）から入射するようになっている。そして、液晶層６２を透過し、カラーフィルター１の各着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）に入射した光は、各着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）に対応する色の光として、偏光板６７（図１５中下側）から出射する。
上述したように、着色部１２は、カラーフィルター用インク２を用いて形成されたものであるため、各色間、各画素間での特性のばらつきが抑制されたものである。その結果、液晶表示装置６０において、各部位での色むら、濃度むら等が抑制された画像を安定的に表示することができる。
【０１１９】
《電子機器》
前述したようなカラーフィルター１を有する液晶表示装置等の画像表示装置（電気光学装置）１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図１６は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【０１２０】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピューター１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
【０１２１】
図１７は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
【０１２２】
図１８は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１２３】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリーが設置されている。
【０１２４】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリーに転送・格納される。
【０１２５】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリーに格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１２６】
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビ（例えば、液晶テレビ）や、ビデオカメラ、ビューファインダー型、モニター直視型のビデオテープレコーダー、ラップトップ型パーソナルコンピューター、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、その他各種モニター類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。中でも、テレビは、近年の表示部の大型化の傾向が顕著であるが、このような大型の表示部（例えば、対角線長８０ｃｍ以上の表示部）を有する電子機器では、従来の製造方法により製造される（例えば、従来のカラーフィルター用インクを用いて製造される）カラーフィルターを適用した場合、色むら、濃度むら等の問題を特に生じやすかったが、本発明を適用すれば、このような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、上記のような大型の表示部を有する電子機器に適用した場合に、本発明の効果は、より顕著に発揮される。
【０１２７】
以上、本発明を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１２８】
また、前述した実施形態においては、各色の着色部に対応するカラーフィルター用インクを、セル内に付与した後に、一括で、セル内の各色のカラーフィルター用インクから液性媒体を除去するもの、すなわち、着色部形成工程を１回のみ行うものとして説明したが、インク付与工程および着色部形成工程は、各色に対応して、繰り返し行うものであってもよい。
【０１２９】
また、本発明のカラーフィルターにおいては、着色部の基板に対向する面とは反対の面側に、着色部を被覆する保護膜が設けられていてもよい。これにより、着色部の損傷や劣化等をより効果的に防止することができる。
また、前述した実施形態においては、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）がＸ軸方向に移動し、ステージ（基板）がＹ軸方向に移動するようになっているが、これに限らず、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）とステージ（基板）とが、相対的に、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動し得るようになっていればよい（ヘッドユニットがステージに対して相対的にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動し得るようになっていればよい）。他の構成例としては、例えば、ヘッドユニットがＹ軸方向に移動し、ステージがＸ軸方向に移動する構成、ヘッドユニットがＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する構成、ステージがＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する構成等が挙げられる。
【符号の説明】
【０１３０】
１…カラーフィルター  １１…基板  １２…着色部  １２Ａ…第１の着色部  １２Ｂ…第２の着色部  １２Ｃ…第３の着色部  １３…隔壁  １４、１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ、１４１〜１４４…セル  ２、２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ…カラーフィルター用インク  ３…塗膜  ４…操作部  ２０…液滴吐出ヘッド  ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ…第１ヘッド  ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ…第２ヘッド  ２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ…第３ヘッド  ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ…第４ヘッド  ２５、２５１〜２５３…ノズル  ２６…不使用部分  ３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂ、３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂ…ヘッド列  ６０…液晶表示装置  ６１…共通電極  ６２…液晶層  ６３、６４…配向膜  ６５…画素電極  ６６…基板  ６７、６８…偏光板  ９１、９２…液滴  １０…チャンバー  １００…液滴吐出装置  １０１ａ…０次タンク  １０１ｂ…１次タンク  １０１ｃ…２次タンク  １０３…ヘッドユニット  １０４…キャリッジ移動機構  １０５…キャリッジ  １０６…ステージ  １０８…ステージ移動機構  １１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ…チューブ  １１２…制御手段  １１３…インクフィルター  １１４…自己封止弁  １１５…重量測定ユニット  １１６…ワイプユニット  １１７…キャップユニット  １２０…キャビティー  １２２…隔壁  １２４…振動子  １２４Ａ、１２４Ｂ…電極  １２４Ｃ…ピエゾ素子  １２６…振動板  １２７…吐出部  １２８…ノズルプレート  １２９…液たまり  １３０…供給口  １３１…孔  ２００…入力バッファメモリー  ２０２…記憶手段  ２０３…駆動信号生成部  ２０４…処理部  ２０６…走査駆動部  ２０８…ヘッド駆動部  ＡＳ…アナログスイッチ  ＤＳ…駆動信号  ＳＣ…選択信号  ＥＳ…吐出信号  ３０２…キャリッジ位置検出手段  ３０３…ステージ位置検出手段  １０００…画像表示装置  １１００…パーソナルコンピューター  １１０２…キーボード  １１０４…本体部  １１０６…表示ユニット  １２００…携帯電話機  １２０２…操作ボタン  １２０４…受話口  １２０６…送話口  １３００…ディジタルスチルカメラ  １３０２…ケース（ボディー）  １３０４…受光ユニット  １３０６…シャッターボタン  １３０８…回路基板  １３１２…ビデオ信号出力端子  １３１４…データ通信用の入出力端子  １４３０…テレビモニター  １４４０…パーソナルコンピューター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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