【手続補正書】
【提出日】平成16年3月4日(2004.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
清浄な内部用表面及び清浄な外部用表面を有するガラス板と、各々がガラス板のための支持体を有する一連のスパッタリング容器を含むスパッタリングラインとを提供すること、ここで、前記スパッタリング容器のうちの少なくとも１つは、前記支持体の上方に位置する上側ターゲットを有する下向きスパッタリング容器であり、少なくとも１つの他のスパッタリング容器は、前記支持体の下方に位置する下側ターゲットを有する上向きスパッタリング容器である；
前記内部用表面が前記上側ターゲットに向くようにして前記下向きスパッタリング容器の支持体上に前記ガラス板を配置し、前記上側ターゲットをスパッタリングして、前記ガラスの前記内部用表面及び前記ガラスの前記内部用表面に予め堆積している積層体のうちの一方に、直接にコーティングを堆積させること；
前記外部用表面が前記下側ターゲットに向くようにして前記上向きスパッタリング容器の支持体上に前記ガラス板を配置し、前記下側ターゲットをスパッタリングして、前記ガラスの外部用表面及びこのガラスの外部用表面に予め堆積している積層体のうちの一方に、コーティングを堆積させること；
を含み、前記内部用表面が前記外部用表面の上側に位置する一定の向きを維持しながら、前記ガラスの前記内部用表面と前記外部用表面の両方にコーティングをする、コーティング装置を１回通過させることによって１つのガラス板の２つの面にコーティングをする方法。
【請求項２】
（ａ）内部用表面及び外部用表面を有するガラス板と、基材支持体、この支持体の上方に位置する上側ターゲット及びこの支持体の下方に位置する下側ターゲットを有する２方向スパッタリング容器とを提供すること；
（ｂ）前記内部用表面が前記上側ターゲットに向くようにし且つ前記外部用表面が前記下側ターゲットに向くようにして、前記２方向スパッタリング容器の前記支持体上に、前記ガラス板を配置すること；並びに
（ｃ）前記ガラス板を前記２方向スパッタリング容器内に維持したままで、
（ｉ）前記上側ターゲットをスパッタリングして、前記ガラス板の内部用表面及び前記ガラス板の内部用表面に予め堆積している積層体のうちの一方に、コーティングを堆積させ；且つ
（ｉｉ）前記下側ターゲットをスパッタリングして、前記ガラス板の外部用表面及び前記ガラス板の外部用表面に予め堆積している積層体のうちの一方に、コーティングを堆積させること、
を含む、コーティング装置を１回通過させることによって１つのガラス板の２つの面にコーティングをする方法。
【請求項３】
前記基材支持体が間隔を開けて配置されたローラーを有し、これらのローラー間で、前記下側ターゲットを上向きにスパッタリングする、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記ガラス板の外部用表面のコーティングが前記ローラーに直接に接触するようにして、前記ガラス板を前記ローラー上で運ぶ、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
コーティングされるガラス板を支持する支持体、前記ガラス板の上側表面にコーティングをスパッタリングするための、スパッタリング容器内において前記支持体の上方に配置された上側ターゲット、及び前記ガラス板の下側表面にコーティングをスパッタリングするための、スパッタリング容器内において前記支持体の下側に配置された下側ターゲット、を具備している、コーティング装置を１回通過させることによって１つのガラス板の２つの面にコーティングするコーティング装置。
【請求項６】
前記上側ターゲット及び前記下側ターゲットを、単一のスパッタリング容器が具備している、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項７】
前記上側ターゲットを、第１のスパッタリング容器が具備しており、且つ前記下側ターゲットを、第２のスパッタリング容器が具備している、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項８】
それぞれ前記支持体の上側又は下側に提供された上側又は下側ターゲットを有する追加のスパッタリング容器を更に具備している、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項９】
前記支持体が、間隔を開けて配置された複数のローラーを具備している、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項１０】
前記支持体が間隔を開けて配置された輸送ローラーを有し、これらのローラー間で、前記下側ターゲットを上向きにスパッタリングする、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ガラス板の外部用表面のコーティングが前記ローラーに直接に接触するようにして、前記ガラス板を前記輸送ローラー上で運ぶ、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記下側ターゲットのスパッタリングの間及び前記上側ターゲットのスパッタリングの間に、前記ガラス板を、前記輸送ローラー上で水平に移動させる、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記上側ターゲットを下向きにスパッタリングすることによって堆積させる前記コーティングが、低放射性積層体の誘電体層である、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記上側ターゲットを下向きにスパッタリングすることによって堆積させる前記コーティングが誘電体層を含み、且つ前記下側ターゲットを上向きにスパッタリングすることによって堆積させる前記コーティングが誘電体層を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項１５】
前記誘電体層が共に酸化物層である、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
それぞれの前記ローラーが、そのローラーにらせん状に巻き付けられたロープを有する、請求項９に記載のコーティング装置。
【請求項１７】
前記下側ターゲットに近接する下側アノード、及び前記上側ターゲットに近接する上側アノードを有する、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項１８】
前記下側ターゲットに近接する支持体の下側に配置された下側ガス分配管路、前記上側ターゲットに近接する支持体の上側に配置された上側ガス分配管路を有する、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項１９】
内部用表面及び外部用表面を有するガラス板と、各々がガラス板のための支持体を有する一連のスパッタリング容器を含むスパッタリングラインとを提供すること、ここで前記支持体は、一連の間隔を空けて配置された複数のローラーを有し、前記スパッタリング容器のうちの少なくとも１つは、前記支持体の上方に位置する上側ターゲットを有する下向きスパッタリング容器であり、少なくとも１つのスパッタリング容器は、前記支持体の下方に位置する下側ターゲットを有する上向きスパッタリング容器である；
前記内部用表面が前記上側ターゲットに向き且つ前記外部用表面が輸送ローラーと直接に接触するようにして、前記下向きスパッタリング容器の輸送ローラー上で前記ガラス板を水平に移動させ、前記上側ターゲットを下向きにスパッタリングして、前記ガラス板の前記内部用表面及び前記ガラス板の前記内部用表面に予め堆積している積層体のうちの一方に、低放射性積層体のうちの一部であるコーティングを堆積させること；
前記外部用表面が前記下側ターゲットに向き且つ輸送ローラーと直接に接触するようにして、前記上向きスパッタリング容器の輸送ローラー上で前記ガラス板を水平に移動させ、前記下側ターゲットを、上向きスパッタリング容器の輸送ローラーの間で上向きにスパッタリングして、前記ガラスの外部用表面及びこのガラスの外部用表面に予め堆積している積層体のうちの一方に、コーティングを堆積させること、ここで前記下側ターゲットを上向きにスパッタリングすることによって前記外部用表面に堆積させた前記コーティングは、前記ガラス板を前記上向きスパッタリング容器を通して移動させている間、前記上向きスパッタリング容器の輸送ローラーと直接に接触する；
を含む、コーティング装置を１回通過させることによって１つのガラス板の２つの面にコーティングをする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
フロートガラスの製造においては、溶融したガラスを溶融スズ浴に浮かせる。このガラスには上側と下側又は「スズ」側とが存在する。最も一般的には、フロートガラスに反射コーティングを具備させる場合、このコーティングはガラスの上側に適用する。これは、ガラスのスズ側には、アニール窯において支持ローラーと接触することによってもたらされることがあるいくらかの小さい表面欠陥が存在するためである。フロートガラス板１０にシリカコーティング及び反射層を具備させる場合、このガラス板の上側表面をガラスの内部用表面１４として使用して、反射性コーティングを具備させ、ガラスのスズ側を外部用表面として使用して、シリカコーティングを具備させることが好ましい。