【手続補正書】
【提出日】令和3年2月15日(2021.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分光計量システムであって、
２μｍ未満の波長を含む第１量の照明光を生成するよう構成された第１照明源、並びに２μｍ超の波長を含む第２量の照明光を生成するよう構成された第２照明源、を有する複合照明源と、
第１及び第２量の照明光の光路に１つまたは複数の光学要素を含む照明光学系サブシステムと、を備え、
上記第１及び第２量の照明光が、上記複合照明源から、計測下試料の表面上の計測スポットに、一通り又は複数通りの入射角、一通り又は複数通りのアジマス角又はその組合せで上記１つまたは複数の光学要素によって方向づけられ、
上記試料の表面上の上記計測スポットからのある量の集光光の光路に１つまたは複数の光学要素を含む、集光光学系サブシステムと、
入射光に対し感応的で平坦な二次元表面を有する少なくとも１個の検出器であり、当該少なくとも１個の検出器がそれぞれ異なる光感度を呈する２個以上の相異なる表面エリアを有し、当該２個以上の相異なる表面エリアが当該少なくとも１個の検出器の表面を横断する波長分散の方向と整列しており、上記入射光を検出し検出した入射光を示す出力を生成するよう構成されている少なくとも１個の検出器と、
上記少なくとも１個の検出器の出力についての分析を踏まえ上記計測下試料の注目パラメタの推定値を生成する１つまたは複数のプロセッサを含む情報処理システムと、
を備える分光計量システム。
【請求項２】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源であり、上記第２照明源が超連続体レーザ照明源である分光計量システム。
【請求項３】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記少なくとも１個の検出器が、縦続配列をなすよう構成された２個以上の検出器を含み、それら２個以上の検出器それぞれが、上記ある量の集光光のうち相異なるスペクトル域に亘る部分を検出する分光計量システム。
【請求項４】
請求項１に記載の分光計量システムであって、更に、
動作中に上記少なくとも１個の検出器を一定温度に保つ除熱システムを備える分光計量システム。
【請求項５】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）光源又はアークランプ光源である分光計量システム。
【請求項６】
請求項５に記載の分光計量システムであって、上記第２量の照明光のうち少なくとも一部分が上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源のプラズマを通じ伝達される分光計量システム。
【請求項７】
請求項５に記載の分光計量システムであって、上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源により生成されたプラズマがプラズマバルブ内に入っており、そのプラズマバルブが少なくとも部分的にフッ化カルシウム又はフッ化マグネシウムで作成されている分光計量システム。
【請求項８】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記第１量の照明光と上記第２量の照明光が上記試料に同時供給される分光計量システム。
【請求項９】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記第１量の照明光と上記第２量の照明光が上記試料に相異なる時点で供給される分光計量システム。
【請求項１０】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記少なくとも１個の検出器がアンチモン化インジウム製検出器を含む分光計量システム。
【請求項１１】
請求項１に記載の分光計量システムであって、上記計測下試料が三次元ＮＡＮＤ構造又はダイナミックランダムアクセスメモリ構造を有する分光計量システム。
【請求項１２】
２μｍ未満の波長を含む第１量の広帯域照明光及び２μｍ超の波長を含む第２量の広帯域照明光を複合照明源から計測下試料の表面上の計測スポットへと差し向けるステップであり、その複合照明源が、上記第１量の広帯域照明光を生成する第１照明源及び上記第２量の広帯域照明光を生成する第２照明源を有するステップと、
上記第１量及び第２量の照明光に応じ上記試料の表面上の上記計測スポットからある量の集光光を集め、当該ある量の集光光を１個又は複数個の検出器へと差し向けるステップと、
入射光に対し感応的で平坦な二次元表面を有する少なくとも１個の検出器で以て、上記ある量の集光光に係る計測スペクトルを検出するステップと、
を有する方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、上記第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源であり、上記第２照明源が超連続体レーザ照明源である方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の方法であって、上記少なくとも１個の検出器にが、縦続配列をなすよう構成された２個以上の検出器を含み、それら２個以上の検出器それぞれが、上記ある量の集光光のうち相異なるスペクトル域に亘る部分を検出する方法。
【請求項１５】
請求項１２に記載の方法であって、上記少なくとも１個の検出器が、それぞれ異なる光感度を呈する２個以上の表面エリアを有し、当該相異なる２個以上の表面エリアが、当該少なくとも１個の検出器の表面を横断する波長分散の方向と整列している方法。
【請求項１６】
請求項１２に記載の方法であって、更に、
動作中に上記少なくとも１個の検出器を一定温度に保つステップを有する方法。
【請求項１７】
請求項１２に記載の方法であって、上記第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）光源又はアークランプ光源であり、上記第２量の照明光のうち少なくとも一部分が上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源のプラズマを通じ伝達される方法。
【請求項１８】
請求項１２に記載の方法であって、上記第１量の照明光と上記第２量の照明光が試料に同時供給される方法。
【請求項１９】
請求項１２に記載の方法であって、上記第１量の照明光と上記第２量の照明光が試料に相異なる時点で供給される方法。
【請求項２０】
計量システムであって、
２μｍ未満の波長を含む第１量の照明光を生成するよう構成されたプラズマ式照明源と、２μｍ超の波長を含む第２量の照明光を生成するよう構成された第２照明源と、を含む複合照明源であって、上記第２量の照明光のうち少なくとも一部分が上記プラズマ式照明源のプラズマを通じ伝達される複合照明源と、
上記第１及び第２量の照明光の光路の１つまたは複数の光学要素と、を備え、
上記第１及び第２量の照明光が、上記複合照明源から、計測下試料の表面上の計測スポットに前記１つまたは複数の光学要素によって方向づけられ、
上記試料上の前記計測スポットに入射した前記第１量及び第２量の照明光に応じて、上記計測スポットからある量の集光光を検出し、該検出した光を示す出力を生成する、少なくとも１つの検出器と、
上記少なくとも１個の検出器の出力についての分析にもとづき上記計測下試料の注目パラメタの推定値を生成する、１つまたは複数のプロセッサを含む情報処理システムと、
を備える計量システム。
【請求項２１】
請求項２０に記載の計量システムであって、上記プラズマ式照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源である計量システム。
【請求項２２】
請求項２０に記載の計量システムであって、第２照明源が超連続体レーザ照明源である計量システム。
【請求項２３】
計量システムであって、
２μｍ未満の波長を含む第１量の照明光を生成するよう構成された第１照明源、並びに２μｍ超の波長を含む第２量の照明光を生成するよう構成された第２照明源、を有する複合照明源とを備え、
上記第１及び第２量の照明光をが、上記複合照明源から計測下試料の表面上の計測スポットへと方向づけられ、一通り又は複数通りの入射角、一通り又は複数通りのアジマス角又はその組合せにて差し向けるよう構成された照明光学系サブシステムと、
前記第１量及び第２量の照明光に応じて、上記計測スポットからある量の集光光を検出し、該検出した量の光を示す出力を生成するように構成された少なくとも１つの検出器と、
入射光に対し感応的で平坦な二次元表面を有する少なくとも１個の検出器であり、当該少なくとも１個の検出器がそれぞれ異なる光感度を呈する２個以上の相異なる表面エリアを有し、当該２個以上の相異なる表面エリアが当該少なくとも１個の検出器の表面を横断する波長分散の方向と整列しており、上記入射光を検出し検出した入射光を示す出力を生成するよう構成されている少なくとも１個の検出器と、
上記少なくとも１個の検出器の出力についての分析を踏まえ上記計測下試料の注目パラメタの推定値を生成するよう構成された１つまたは複数のプロセッサを含む情報処理システムと、
を備える計量システム。
【請求項２４】
請求項２３に記載の計量システムであって、第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源、第２照明源が超連続体レーザ照明源である計量システム。
【請求項２５】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記少なくとも１個の検出器に、縦続配列をなすよう構成された２個以上の検出器が含まれていて、それら２個以上の検出器それぞれが、上記ある量の集光光のうち相異なるスペクトル域に亘る部分を検出する計量システム。
【請求項２６】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記少なくとも１つの検出器が入射光に対して感応的な表面を含み、該表面がそれぞれ異なる光感度を有する２個以上の相異なる表面エリアを有する、計量システム。
【請求項２７】
請求項２４に記載の計量システムであって、上記２個以上の相異なる表面エリアが、上記少なくとも１個の検出器の上記表面を横断する波長分散の方向と整列している、計量システム。
【請求項２８】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記少なくとも１個の検出器に、縦続配列をなすよう構成された２個以上の検出器が含まれていて、それら２個以上の検出器それぞれが、上記計測スポットからの上記ある量の集光光のうち相異なるスペクトル域に亘る部分を検出する計量システム。
【請求項２９】
請求項２３に記載の計量システムであって、更に、
動作中に上記少なくとも１個の検出器を一定温度に保つ除熱システムを備える計量システム。
【請求項３０】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源であり、上記第２照明源が超連続体レーザ照明源である計量システム。
【請求項３１】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記第１照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）光源又はアークランプ光源である計量システム。
【請求項３２】
請求項３１に記載の計量システムであって、上記第２量の照明光のうち少なくとも一部分が上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源のプラズマを通じ伝達される計量システム。
【請求項３３】
請求項３０に記載の計量システムであって、上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源により生成されたプラズマがプラズマバルブ内に入っており、そのプラズマバルブが少なくとも部分的にフッ化カルシウム又はフッ化マグネシウムで作成されている計量システム。
【請求項３４】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記第１量の照明光と及び上記第２量の照明光が試料に同時供給される計量システム。
【請求項３５】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記第１量の照明光と及び上記第２量の照明光が試料に相異なる時点で供給される計量システム。
【請求項３６】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記少なくとも１個の検出器にアンチモン化インジウム製検出器が含まれる計量システム。
【請求項３７】
請求項２３に記載の計量システムであって、上記計測下試料が三次元ＮＡＮＤ構造又はダイナミックランダムアクセスメモリ構造を有する計量システム。
【請求項３８】
２μｍ未満の波長を含む第１量の広帯域照明光をプラズマ式照明源から提供するステップと、
及び２μｍ超の波長を含む第２量の広帯域照明光を第２照明源から提供するステップと、複合照明源から計測下試料の表面上の計測スポットへと差し向けるステップであり、その複合照明源が、第１量の広帯域照明光を生成する第１照明源及び第２量の広帯域照明光を生成する第２照明源を有するステップと、
上記第１量及び第２量の照明光に応じその試料の表面上の上記計測スポットからある量の集光光を集め、当該ある量の集光光を１個又は複数個の検出器へと差し向けるステップと、
入射光に対し感応的で平坦な二次元表面を有する少なくとも１個の検出器で以て、上記ある量の集光光に係る計測スペクトルを検出するステップと、を有し、
上記第２量の照明光の少なくとも一部が、上記プラズマ式照明源のプラズマを通じて伝達される、
を有する方法。
【請求項３９】
請求項３８に記載の方法であって、上記第１プラズマ式照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源であり、上記第２照明源が超連続体レーザ照明源である方法。
【請求項４０】
請求項３８に記載の方法であって、上記少なくとも１個の検出器に、縦続配列をなすよう構成された２個以上の検出器が含まれていて、それら２個以上の検出器それぞれが、上記ある量の集光光のうち相異なるスペクトル域に亘る部分を検出する方法。
【請求項４１】
請求項３８に記載の方法であって、上記少なくとも１個の検出器が、それぞれ異なる光感度を呈する２個以上の表面エリアを有し、当該相異なる２個以上の表面エリアが、当該少なくとも１個の検出器の表面を横断する波長分散の方向と整列している方法。
【請求項４２】
請求項３８に記載の方法であって、更に、
動作中に上記少なくとも１個の検出器を一定温度に保つステップを有する方法。
【請求項４３】
請求項３８に記載の方法であって、上記第１プラズマ式照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）光源又はアークランプ光源であるり、上記第２量の照明光のうち少なくとも一部分が上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源のプラズマを通じ伝達される方法。
【請求項４４】
請求項４０に記載の方法であって、上記ＬＳＰ光源又は上記アークランプ光源により生成された上記プラズマがプラズマバルブ内に入っており、そのプラズマバルブが少なくとも部分的にフッ化カルシウム又はフッ化マグネシウムで作成されている、方法。
【請求項４５】
請求項４０に記載の方法であって、上記第１量の照明光と及び上記第２量の照明光が試料に同時供給される方法。
【請求項４６】
請求項４０に記載の方法であって、上記第１量の照明光と及び上記第２量の照明光が試料に相異なる時点で供給される方法。
【請求項４７】
２μｍ未満の波長を含む第１量の照明光を生成するよう構成されたプラズマ式照明源と、
２μｍ超の波長を含む第２量の照明光を生成するよう構成された第２照明源と、
を備え、上記第２量の照明光のうち少なくとも一部分が上記プラズマ式照明源のプラズマを通じ伝達される複合照明源。
【請求項４８】
請求項４７に記載の複合照明源であって、上記プラズマ式照明源がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）照明源である複合照明源。
【請求項４９】
請求項４７に記載の複合照明源であって、上記第２照明源が超連続体レーザ照明源である複合照明源。