(57)【要約】【課題】センサやレンズ等の光学部品を手ぶれ振動を打ち消すように光軸と交差方向に変位する光学像ぶれ補正装置において、後続工程への不良品の流出を未然に防止する。【解決手段】センサ本体を搭載したホルダー１２の一端を超音波アクチュエータで駆動し、他端を球体７１，７２によって基台２，４上を滑動変位自在に支持して成る像ぶれ補正装置１００において、ホルダー１２には球体７１，７２の収納位置の近傍に突起１２７，１２８を形成しておき、基台２，４には球体７１，７２の移動範囲外に凹所２７，４８を形成しておき、突起の高さをホルダー１２のクリアランスより低く、かつ凹所内に嵌り込んだ状態で突起の可動範囲±ｘ２がホルダーの本来の可動範囲±ｘ１よりも小さくなるように、凹所２７，４８の内寸および突起１２７，１２８の外寸を設定しておく。したがって、球体の組込み忘れがあると、ホルダー１２の移動が規制され、不良品を判定できる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置において、
前記光学部品はホルダーに支持され、そのホルダーは前記変位用のアクチュエータと、１または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持され、
前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方が形成され、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方が形成され、
前記突起の高さは、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成され、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸が設定されていることを特徴とする像ぶれ補正装置。
【請求項２】
前記基台は、前記ホルダーの一方の面側に配置される固定の第１の基台と、前記ホルダーの他方の面側に配置されて前記第１の基台との間で前記ホルダーを挟持し、前記第１の基台上を前記ホルダーと共に第１の方向に滑動変位するとともに、前記ホルダーを前記第１の方向と交差する第２の方向に滑動変位自在に支持する第２の基台とを備えて構成され、
前記変位用のアクチュエータは、前記ホルダーの前記第１の方向または第２の方向の端部付近にそれぞれ配置されるリニアアクチュエータであり、前記ホルダーにおいてそれらのリニアアクチュエータが交差する側と反対側の辺の両面に、前記球体が一対で配置されることを特徴とする請求項１記載の像ぶれ補正装置。
【請求項３】
前記リニアアクチュエータは、超音波のリニアアクチュエータであることを特徴とする請求項２記載の像ぶれ補正装置。
【請求項４】
前記請求項１〜３のいずれか１項に記載の像ぶれ補正装置に、レンズユニットを備えて成ることを特徴とする撮像装置。
【請求項５】
光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置を検査するための方法において、
前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが前記変位用のアクチュエータと、１または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、
前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成し、
前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成し、
前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く設定しておき、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておき、
前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に嵌り込み、以降の移動を制限することで、前記球体の組込み忘れを検知することを特徴とする像ぶれ補正装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的にカメラの像ぶれを補正する装置およびその検査方法ならびにそれを用いる撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
前記カメラの像ぶれ補正装置は、スローシャッターを可能にして、夜間撮影で３脚を不要にできる等のメリットがあり、搭載が進んでいる。その中でも、光学的な補正は、電子的な補正に比べて、解像度等の点で有利であり、像ぶれ補正装置の主流となっている。その光学的な像ぶれ補正の１つの手法としては、レンズ内に設けた補正レンズや、カメラ本体内に設けた撮像素子などの光学部品を光軸と直交方向に変位することで行われる。
【０００３】
具体的には、特許文献１はレンズ側での像ぶれ補正装置であるが、補正レンズはホルダーに支持されて光学系に介在され、前記ホルダーの一端に変位用のアクチュエータであるコイルが設けられ、他端に球体が設けられ、前記コイルに通電することで、固定位置に設けられた永久磁石との間で駆動力が発生し、前記光軸と直交方向に変位するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２３３３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような構成では、組立て工程で球体を組み忘れた場合でも、それによって失われるクリアランスは小さく（ユニット自体がそもそも小さい）、判別が困難であるという問題がある。また、判別できるとしても、難しい検査で可能となるものであり、具体的には、光学性能を見るまで気付かないという問題がある。すなわち、テスト撮影によって、球体側で、フォーカスずれやボケが生じていることでしか判定できない。このため、後工程に不良ユニットが流れてしまい、無駄が生じることがある。さらに、本体側像ぶれ補正の場合、撮像素子のセンサユニットに像ぶれ補正機構を設けることになるが、そのセンサユニットを搭載した像ぶれ補正機構と、レンズ鏡筒との間にあおり（光軸）調整機構が設けられていると、球体の抜けによる前記フォーカスずれやボケを、あおり調整で補正して出荷してしまう可能性もある。
【０００６】
本発明の目的は、光学部品をホルダーに搭載し、そのホルダーを変位用のアクチュエータと球体とによって基台上を滑動変位させて前記光学部品を光軸との交差方向に変位させることで光学的に像ぶれを補正するにあたって、前記球体の組込み忘れを判定することができる像ぶれ補正装置およびそれを用いる撮像装置ならびに像ぶれ補正装置の検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の像ぶれ補正装置は、光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置において、前記光学部品はホルダーに支持され、そのホルダーは前記変位用のアクチュエータと、１または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持され、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方が形成され、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方が形成され、前記突起の高さは、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成され、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸が設定されていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の像ぶれ補正装置の検査方法は、光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置を検査するための方法において、前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが前記変位用のアクチュエータと、１または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成し、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成し、前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く設定しておき、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておき、前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に嵌り込み、以降の移動を制限することで、前記球体の組込み忘れを検知することを特徴とする。
【０００９】
上記の構成によれば、光学系に介在されるセンサやレンズ等の光学部品を、手ぶれ振動を打ち消すように光軸と交差方向に変位することで、前記手ぶれによる像ぶれを光学的に補正する装置において、前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが超音波などによる変位用のアクチュエータと、少なくとも１箇所に設けられる球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、その球体の組込み忘れを判定できるような構造を設ける。具体的には、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成しておき、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成しておく。そして、前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成し、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの本来の可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておくことで、前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に一旦嵌り込むと、以降の移動は通常の可動範囲よりも狭い範囲に規制されることになる。
【００１０】
したがって、球体の組込み忘れがある場合、像ぶれ補正ユニットの検査工程で、所期の像ぶれ補正の性能（ユニットの動き）は得られず、球体の組込み忘れを検知することができ、後続工程への不良品の流出を未然に防止することができる。
【００１１】
さらにまた、本発明の像ぶれ補正装置では、前記基台は、前記ホルダーの一方の面側に配置される固定の第１の基台と、前記ホルダーの他方の面側に配置されて前記第１の基台との間で前記ホルダーを挟持し、前記第１の基台上を前記ホルダーと共に第１の方向に滑動変位するとともに、前記ホルダーを前記第１の方向と交差する第２の方向に滑動変位自在に支持する第２の基台とを備えて構成され、前記変位用のアクチュエータは、前記ホルダーの前記第１の方向または第２の方向の端部付近にそれぞれ配置されるリニアアクチュエータであり、前記ホルダーにおいてそれらのリニアアクチュエータが交差する側と反対側の辺の両面に、前記球体が一対で配置されることを特徴とする。
【００１２】
上記の構成によれば、第１の方向、たとえばｘ方向と、第２の方向、たとえばｙ方向との両方向の像ぶれ補正を行う場合に、前記ホルダーを滑動変位自在に支持する基台は、前記ホルダーの一方の面側に配置される固定部材から成る第１の基台と、前記ホルダーの他方の面側に配置されて前記第１の基台との間で前記ホルダーを挟持するスライダーから成る第２の基台とによって構成され、前記変位用のアクチュエータが、前記ホルダーの前記第１の方向または第２の方向の端部付近にそれぞれ配置され、好ましくは超音波リニアアクチュエータから成るリニアアクチュエータから成る場合に、前記球体を、前記ホルダーにおいて、そのリニアアクチュエータの反対側の辺付近に１個とし、その１個をホルダーの各面で同じ位置に設ける。
【００１３】
したがって、２枚の基台で、ホルダーをバランス良く挟持することができる。
【００１４】
また、本発明の撮像装置は、前記の像ぶれ補正装置に、レンズユニットを備えて成ることを特徴とする。
【００１５】
上記の構成によれば、不良品の発生の少ない撮像装置を実現することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の像ぶれ補正装置およびその検査方法は、以上のように、光学系に介在されるセンサやレンズ等の光学部品を、手ぶれ振動を打ち消すように光軸と交差方向に変位することで光学的に像ぶれを補正する装置において、前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが超音波などによる変位用のアクチュエータと、少なくとも１箇所に設けられる球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成しておき、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成しておき、前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成し、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの本来の可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておく。
【００１７】
それゆえ、前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に一旦嵌り込むと、以降の移動は通常の可動範囲よりも狭い範囲に規制されることになり、像ぶれ補正ユニットの検査工程で、所期の像ぶれ補正の性能（ユニットの動き）が得られないことから、球体の組込み忘れを検知することができる。これによって、後続工程への不良品の流出を未然に防止することができる。
【００１８】
また、本発明の撮像装置は、以上のように、前記の像ぶれ補正装置に、レンズユニットを備えて成る。
【００１９】
それゆえ、不良品の発生の少ない撮像装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の一形態に係る像ぶれ補正ユニットの斜視図であり、背面左下から見上げた図である。
【図２】図１の像ぶれ補正ユニットを背面左上から見下ろした図である。
【図３】図１の像ぶれ補正ユニットを背面右上から見下ろした図である。
【図４】図１の像ぶれ補正ユニットを背面右上から見下ろした図である。
【図５】図１の像ぶれ補正ユニットを前面右からやや見下ろした図である。
【図６】図１の像ぶれ補正ユニットを前面左からやや見下ろした図である。
【図７】本発明に係る像ぶれ補正装置の検査方法を説明するための図である。
【図８】前記像ぶれ補正ユニットに撮像レンズ鏡筒を備えて構成される撮像装置を前面側から見た斜視図である。
【図９】前記像ぶれ補正ユニットに撮像レンズ鏡筒を備えて構成される撮像装置を背面側から見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１〜図６は、本発明の実施の一形態に係る像ぶれ補正ユニット１００の斜視図であり、図１は背面左下から見上げており、図２は背面左上から見下ろしており、図３は背面右上から見下ろしており、図４は背面右上から見下ろしており、図５は前面右からやや見下ろしており、図６は前面左からやや見下ろしている。この像ぶれ補正ユニット１００は、図８および図９で示すように、撮像レンズ鏡筒２００と一体的に固定されてカメラに用いられ、撮像素子１１を含むセンサユニット１を光軸ｚと直交するｘ方向およびｙ方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正するものである。この像ぶれ補正ユニット１００は、レンズ交換不能な単眼のカメラに用いられ、センサユニット１を光軸ｚと直交するｘ方向およびｙ方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正するものである。
【００２２】
カメラ本体前面側には、板金加工品から成り、第１の基台である固定部材２が設けられ、該像ぶれ補正ユニット１００が組み上がった後に、この固定部材２に対して、前記撮像レンズ鏡筒２００が３本のビス３１〜３３およびそれに巻付けられたばね３４〜３６によってガタ付きなく支持され、ビス３１〜３３を六角レンチで調整することで、前記センサユニット１の光軸ｚと撮像レンズ鏡筒２００との光軸とが一致するようにあおり調整が行われる。調整後は、前記ビス３１〜３３の緩みを防止するために該ビス３１〜３３が固定部材２に接着固定される。この固定部材２に形成された開口２１を通して、前記撮像レンズ鏡筒２００から光が入射し、撮像素子１１に結像する。
【００２３】
前記センサユニット１は、大略的に、該センサユニット１の前面側に配置される前記固定部材２と、ダイキャスト成形品から成り、該センサユニット１の背面側に配置され、第２の基台であるスライダー４とによって挟持され、前記固定部材２上を前記スライダー４と共にｘ方向に滑動変位可能であるとともに、単体ではさらにスライダー４に対してｙ方向に滑動変位自在に支持される。
【００２４】
前記撮像素子１１は、ＣＣＤやＣＭＯＳなどから成り、背面側はＦＰＣに貼付けられる。なお、図１〜図６では、図面の簡略化のために、多数の配線が形成され、さらに適宜チップ部品が実装された前記ＦＰＣは、省略している。このようにＦＰＣにマウントされた撮像素子１１は、さらに樹脂成型品などから成る前記ホルダー１２に形成された凹所１２１に背面側から嵌め込まれ、板金加工品から成るシールド板５がビス５１〜５３によってホルダー１２に螺着されることで、ホルダー１２に保持固定され、前記センサユニット１となる。
【００２５】
前記シールド板５の上端部に形成された支持部５４は、前記撮像素子１１からのＦＰＣの引出し部分を保持固定し、固定部材２の上端部に形成された支持部２４は、そのＦＰＣの引回しを受け、方向を変換して、該像ぶれ補正ユニット１００から延出させるためのものである。
【００２６】
そして、先ず第１の方向である前記ｘ方向の摺動変位を実現するために、固定部材２側には、超音波リニアアクチュエータ２２が設けられる。この超音波リニアアクチュエータ２２は、前記ｘ方向に伸縮する圧電素子２２１と、その圧電素子２２１から前記ｘ方向に引出されるロッド２２２と、錘２２９とを備えて構成される。前記錘２２９は、ブラケット２２３によって前記固定部材２に保持固定され、その錘２２９に前記圧電素子２２１の一端が接着され、該圧電素子２２１の他端にはロッド２２２が接着される。前記ロッド２２２は、一対のブラケット２２４によって、前記固定部材２に、前記ｘ方向に伸縮変位自在に支持されている。このロッド２２２に対応して、前面側には、前記ｘ方向の直交断面がＶ字状に形成される帯状の受け部材２２５が設けられ、背面側には、スライダー４の上端に、前記ｘ方向に延びるＶ溝４１１を形成して成る摺動部４１が設けられる。前記帯状の受け部材２２５の一方の側部に設けられる係合片２２５ａが前記摺動部４１に隣接して設けられた支持片４２の凹所４２１に差込まれ、受け部材２２５の他方の側部に設けられる一対の係合片２２５ｂとスライダー４の上端に設けられたフック４３との間に、ばね６１が巻き掛けられることで、スライダー４と固定部材２との間にセンサユニット１が挟み込まれ、前記ｘ方向の摺動変位が可能となる。
【００２７】
このように構成される超音波リニアアクチュエータ２２において、前記圧電素子２２１が、錘２２９を基台として、ロッド２２２を、たとえば緩やかに伸長方向に押し出し、瞬時に縮退させると、支持片４２は押し出し位置に取り残され、このような動作を繰返すことで、スライダー４およびそれに連係するセンサユニット１は、伸長方向に変位されてゆく。反対に、前記圧電素子２２１が、ロッド２２２を、瞬時に伸長方向に押し出し、緩やかに縮退させると、支持片４２は縮退位置に引き戻され、このような動作を繰返すことで、スライダー４およびそれに連係するセンサユニット１は、縮退方向に変位されてゆく。
【００２８】
次に、第２の方向であるｙ方向の摺動変位を実現するために、ホルダー１２の背面右側には、超音波リニアアクチュエータ１３が設けられる。この超音波リニアアクチュエータ１３も、前述の超音波リニアアクチュエータ２２と同様に、前記ｙ方向に伸縮する圧電素子１３１と、その圧電素子１３１から前記ｙ方向に引出されるロッド１３２と、錘１３９とを備えて構成される。前記錘１３９は、ブラケット１２３によって前記ホルタ１２に保持固定され、その錘１３９に前記圧電素子１３１の一端が接着され、該圧電素子１３１の他端にはロッド１３２が接着される。前記ロッド１３２は、一対のブラケット１２４によって、前記ホルダー１２に、前記ｙ方向に伸縮変位自在に支持されている。このロッド１３２に対応して、前面側には、前記受け部材２２５と同様に前記ｙ方向の直交断面がＶ字状に形成される帯状の受け部材１３５が設けられ、背面側には、スライダー４の背面右側に、前記ｙ方向に延びるＶ溝４４１を形成して成る摺動部４４が設けられる。前記帯状の受け部材１３５の一方の側部に設けられる係合片が前記摺動部４４に隣接して設けられた支持片４５の凹所４５１に差込まれ、受け部材１３５の他方の側部に設けられる一対の係合片１３５ｂとスライダー４の背面右側に設けられたフック４６との間に、ばね６２が巻き掛けられることで、センサユニット１がスライダー４に支持され、前記ｙ方向の摺動変位が可能となる。このように構成される超音波リニアアクチュエータ１３の動作は、前述の超音波リニアアクチュエータ２２と同様である。
【００２９】
こうして前記ホルダー１２のｘ方向の一辺およびｙ方向の一辺が支持され、それらの辺から離れた側に、球体７１，７２が前後に一対で設けられることで、該ホルダー１２は、固定部材２上およびスライダー４上を滑動変位自在となる。このため、ホルダー１２の固定部材２に対向した前面側には、前記球体７１を収容する凹所１２５が、ホルダー１２のスライダー４に対向した背面側には、前記球体７２を収容する凹所１２６が、それぞれ形成される。凹所１２５は、ホルダー１２の固定部材２上でのｘ，ｙ方向での変位を許容するために矩形に形成され、凹所１２６は、ホルダー１２のスライダー４上でのｙ方向での変位を許容するために長孔に形成され、これによってホルダー１２は、前記ｘ，ｙ方向それぞれに、たとえば±０．５ｍｍ変位可能となっている。
【００３０】
なお、球体７１，７２は、ホルダー１２の各面で、複数設けられていてもよい。また、必ずしも前後面で一対に設けられなくてもよい。しかしながら、前後面で一対に設けることで、固定部材２およびスライダー４で、ホルダー１２をバランス良く挟持することができる。
【００３１】
また、前記超音波リニアアクチュエータ２２，１３およびばね６１，６２によって、固定部材１２とスライダー４とのｘ方向の一辺およびｙ方向の一辺間が連結されるのに対して、反対側は、固定部材１２に形成されたフック２８とスライダー４に形成されたフック４９との間に、ばね６３張架がされることで連結されている。さらに固定部材２の上端には前記支持部２４が設けられており、下端には一対のフック２９１，２９２が設けられている。これらのフック２９１，２９２は、衝撃が加わった場合に、前記スライダー４およびセンサユニット１が光軸ｚ方向（背面方向）に脱落しないように設けられている。
【００３２】
一方、前記ホルダー１２の変位を検出するために、該ホルダー１２の前記球体７１，７２が設けられる側とは反対側の側部には、ホルダー１２９が形成されており、このホルダー１２９には永久磁石６が搭載され、これに対応して固定部材２側には、前記ホルダー１２９の可動範囲をカバーするホール素子７が設けられている。
【００３３】
上述のように構成される像ぶれ補正ユニットにおいて、注目すべきは、本実施の形態では、前記ホルダー１２には、前記球体７１，７２の収納凹所１２５，１２６の近傍に、突起１２７，１２８が形成され、前記固定部材２およびスライダー４の対応位置には、凹所２７，４８がそれぞれ形成されることである。なお、ホルダー１２側に凹所が、固定部材２およびスライダー４側に突起が設けられてもよい。図７は、前記球体７１，７２付近の断面（ｘ，ｚ断面）図である。前記ｘ，ｚ断面では、前述の矩形の凹所１２５と長孔の凹所１２６との関係で、凹所１２５が幅広に見えているが、ｙ，ｚ断面で見た場合、それらの幅は略等しい。これらの凹所１２５，１２６は、球体７１，７２の移動範囲外に形成される。
【００３４】
また注目すべきは、前記突起１２７，１２８の高さは、前記球体７１，７２が介在されることで固定部材２およびスライダー４上をそれぞれ浮上したホルダー１２とそれらの固定部材２およびスライダー４との間隔Ｗよりも低く形成され、かつ図７（ｂ）で示すように前記凹所２７，４８内に嵌り込んだ突起１２７，１２８の可動範囲±ｘ２が、前記ホルダー４の可動範囲±ｘ１よりも小さくなるように、前記凹所２７，４８の内寸および突起１２７，１２８の外寸が設定されていることである。前記可動範囲±ｘ１は、図７（ａ）のホーム（ニュートラル）ポジションから、前記超音波リニアアクチュエータ２２の駆動によって左方および右方へそれぞれ変位可能な距離であり、たとえば前述のように±０．５ｍｍの範囲である。前記超音波リニアアクチュエータ１３によるｙ方向の可動範囲も同様に、±０．５ｍｍである。一方、前記凹所２７，４８内での突起１２７，１２８の可動範囲±ｘ２は、たとえば±０．２ｍｍに設定される。
【００３５】
したがって、図７（ｂ）で示すように球体７２の組込み忘れがあった場合、ホルダー１２の移動によって突起１２８が凹所４８内に一旦嵌り込むと、以降の移動は通常の可動範囲±ｘ１よりも狭い範囲±ｘ２に規制されることになる。これによって、像ぶれ補正ユニット１００の検査工程の段階で、所期の像ぶれ補正の性能（センサユニット１の動き）は得られず、球体７１，７２の組込み忘れを検知することができ、後続工程への不良品の流出を未然に防止することができる。すなわち、前記像ぶれ補正ユニット１００の検査は、前記超音波リニアアクチュエータ１３，２２を最大の可動範囲で駆動し、その際に前記ホール素子７の検出結果から、所期の移動量が得られているか否かを判断することで行うことができる。したがって、撮像素子１１などからの配線を総て結線しないと行えない最終段階の検査工程に比べて、遙かに上流側で行うことができる。
【００３６】
図８および図９は、上述のように構成される像ぶれ補正ユニット１００に撮像レンズ鏡筒２００を備えて構成される撮像装置の斜視図であり、図８は上面側から見た図であり、図９は背面側から見た図である。この撮像装置は、撮像レンズ鏡筒２００に、図示しない本体筐体内に収納される前記像ぶれ補正ユニット１００を備えて構成され、前記撮像素子１１からはＦＰＣ８が、超音波リニアアクチュエータ１３，２２からはＦＰＣ８０が引出され、ＦＰＣ２０１はズーム用のモータやフォーカス用のモータから引出される。
【００３７】
大略的に、前記撮像レンズ鏡筒２００では、ズーム用のモータ２０２からの動力はギアボックス２０３を介して固定筒２０４内に収納されたカム筒２０５に伝達され、該カム筒２０５の回転によって第１の直進移動筒２０６が進退し、前玉２０７が前記光軸ｚ方向に変位するとともに、図示しない内部の直進移動筒も前記カム筒２０５に駆動され、該直進移動筒に保持されるズームレンズも前記光軸ｚ方向に変位する。なお、フォーカス用には別途直進移動筒およびそれに保持されるフォーカスレンズが設けられており、内蔵の小型のモータで駆動される。
【００３８】
したがって、このような撮像装置の組立て工程に、前記球体７１，７２の組込み忘れがある像ぶれ補正ユニット１００が流れて来ないことで、不良品の発生の少ない撮像装置を実現することができる。
【００３９】
上述の説明では、本実施の形態の像ぶれ補正ユニット１００は、レンズ交換不可のカメラに用いられたけれども、一眼レフカメラで用いられてもよい。また、レンズ側の像ぶれ補正ユニットに用いられてもよい。さらにまた、アクチュエータには、超音波リニアアクチュエータ１３，２２以外に、ボイスコイルモータ、ステッピングモータ等も使用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１    センサユニット
１１    センサ本体
１２    ホルダー
１２５，１２６    凹所
１２７，１２８    突起
１２９    ホルダー
１３，２２    超音波リニアアクチュエータ
１３１，２２１    圧電素子
１３２，２２２    ロッド
１３５，２２５    受け部材
２    固定部材
２７，４８    凹所
３１〜３３    ビス
３４〜３６    ばね
４    スライダー
４１，４４    摺動部
４２，４５    支持片
４３，４６，４９    フック
５    シールド板
６    永久磁石
６１，６２，６３    ばね
７    ホール素子
７１，７２    球体
１００  像ぶれ補正ユニット
２００  撮像レンズ鏡筒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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