【手続補正書】
【提出日】平成16年3月9日(2004.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の処理が行われた基板に対して洗浄処理を行う基板処理装置であって、
その洗浄処理室内において基板の表面を洗浄する表面洗浄部と、
その洗浄処理室内において基板の裏面を洗浄する裏面洗浄部と、
前記洗浄処理の直前処理工程としてその処理室内において前記所定の処理を行う前処理部と、
基板の上面を表裏反転させる反転部と、
前記表面洗浄部の前記洗浄処理室、前記裏面洗浄部の前記洗浄処理室、前記前処理部の前記処理室および前記反転部に対して基板の搬出入を行う搬送手段と、
を備え、
前記表面洗浄部、前記裏面洗浄部および前記前処理部は一体化されて前記基板処理装置内に組み込まれるとともに、
前記搬送手段は、前記所定の処理を完了した後の枚葉状態の基板を前記前処理部の前記処理室から取り出して保持し、当該基板を枚葉状態で前記表面洗浄部の前記洗浄処理室または前記裏面洗浄部の前記洗浄処理室に搬送することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板処理装置において、
前記表面洗浄部、前記裏面洗浄部および前記前処理部は略同一の高さ位置に設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、
前記搬送手段が配置された搬送路を挟んで前記表面洗浄部および前記裏面洗浄部と前記前処理部とが対向配置されたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
未処理基板の取り出しおよび処理済み基板の収容を行うインデクサ部をさらに備え、
前記搬送手段は、前記インデクサ部から渡された未処理基板を前記前処理部から前記表面洗浄部または前記裏面洗浄部の順に搬送し、前記表面洗浄部または前記裏面洗浄部から受け取った処理済み基板を前記インデクサ部に渡すことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記所定の処理は灰化処理であり、前記前処理部は灰化処理部であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項５記載の基板処理装置において、
前記灰化処理部は、灰化処理後の基板を冷却する冷却部を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記表面洗浄部および前記裏面洗浄部は、その洗浄処理室内に基板を略水平面内にて回転させる回転機構と、基板に洗浄液を吐出する吐出機構とを備えることを特徴とする基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、所定の処理が行われた基板に対して洗浄処理を行う基板処理装置において、その洗浄処理室内において基板の表面を洗浄する表面洗浄部と、その洗浄処理室内において基板の裏面を洗浄する裏面洗浄部と、前記洗浄処理の直前処理工程としてその処理室内において前記所定の処理を行う前処理部と、基板の上面を表裏反転させる反転部と、前記表面洗浄部の前記洗浄処理室、前記裏面洗浄部の前記洗浄処理室、前記前処理部の前記処理室および前記反転部に対して基板の搬出入を行う搬送手段と、を備え、前記表面洗浄部、前記裏面洗浄部および前記前処理部を一体化して前記基板処理装置内に組み込むとともに、前記搬送手段に、前記所定の処理を完了した後の枚葉状態の基板を前記前処理部の前記処理室から取り出して保持させ、当該基板を枚葉状態で前記表面洗浄部の前記洗浄処理室または前記裏面洗浄部の前記洗浄処理室に搬送させている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明にかかる基板処理装置において、前記表面洗浄部、前記裏面洗浄部および前記前処理部を略同一の高さ位置に設けている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明にかかる基板処理装置において、前記搬送手段が配置された搬送路を挟んで前記表面洗浄部および前記裏面洗浄部と前記前処理部とを対向配置している。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明にかかる基板処理装置において、未処理基板の取り出しおよび処理済み基板の収容を行うインデクサ部をさらに備え、前記搬送手段に、前記インデクサ部から渡された未処理基板を前記前処理部から前記表面洗浄部または前記裏面洗浄部の順に搬送させ、前記表面洗浄部または前記裏面洗浄部から受け取った処理済み基板を前記インデクサ部に渡させている。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかの発明にかかる基板処理装置において、前記所定の処理を灰化処理とし、前記前処理部を灰化処理部としている。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、請求項６の発明は、請求項１から請求項５のいずれかの発明にかかる基板処理装置において、前記灰化処理部に、灰化処理後の基板を冷却する冷却部を有させている。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項７の発明は、請求項１から請求項６のいずれかの発明にかかる基板処理装置において、前記表面洗浄部および前記裏面洗浄部の洗浄処理室内に、基板を略水平面内にて回転させる回転機構と、基板に洗浄液を吐出する吐出機構とを備える。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
インデクサＩＤは、複数枚の基板を収納可能なキャリアＣを載置するとともに移載ロボットＴＦを備え、未処理基板を当該キャリアＣから取り出して搬送ロボットＴＲに払い出すとともに処理済基板を搬送ロボットＴＲから受け取ってキャリアＣに収容する。それぞれのキャリアＣには、多段の収納溝が刻設されており、それぞれの溝には１枚の基板Ｗを水平姿勢にて（主面を水平面に沿わせて）収容することができる。従って、各キャリアＣには、複数の基板Ｗ（例えば２５枚）を水平姿勢かつ多段に所定の間隔を隔てて積層した状態にて収納することができる。なお、本実施形態のキャリアＣの形態としては、基板Ｗを密閉空間に収納するＦＯＵＰ(front opening unified pod)を採用しているが、これに限定されるものではなく、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッドや収納基板Ｗを外気に曝すＯＣ(open cassette)であっても良い。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１の発明によれば、その洗浄処理室内において基板の表面を洗浄する表面洗浄部と、その洗浄処理室内において基板の裏面を洗浄する裏面洗浄部と、洗浄処理の直前処理工程としてその処理室内において所定の処理を行う前処理部と、基板の上面を表裏反転させる反転部と、表面洗浄部の洗浄処理室、裏面洗浄部の洗浄処理室、前処理部の処理室および反転部に対して基板の搬出入を行う搬送手段と、を備え、前処理部と表面洗浄部および裏面洗浄部とを一体化して装置内に組み込むとともに共通の搬送手段によって前処理部の処理室から表面洗浄部または裏面洗浄部の洗浄処理室に枚葉状態のまま基板の搬送を行うことができるため、洗浄処理までの無駄時間を短縮して洗浄処理性能を向上させることができる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、請求項２の発明によれば、表面洗浄部、裏面洗浄部および前処理部が略同一の高さ位置に設けられているため、前処理部から表面洗浄部または裏面洗浄部までの基板の搬送に要する時間が短くなり、洗浄処理までの無駄時間をさらに短縮することができる。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
また、請求項３の発明によれば、搬送手段が配置された搬送路を挟んで表面洗浄部および裏面洗浄部と前処理部とが対向配置されているため、前処理部から表面洗浄部または裏面洗浄部までの基板の搬送に要する時間が短くなり、洗浄処理までの無駄時間をさらに短縮することができる。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
また、請求項４の発明によれば、搬送手段がインデクサ部から渡された未処理基板を前処理部から表面洗浄部または裏面洗浄部の順に搬送し、表面洗浄部または裏面洗浄部から受け取った処理済み基板をインデクサ部に渡すため、前処理部から表面洗浄部または裏面洗浄部洗浄部への連続処理を行うことができ、洗浄処理までの無駄時間を短縮して洗浄処理性能を向上させることができる。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
また、請求項５の発明によれば、所定の処理が灰化処理であり、前処理部が灰化処理部であるため、灰化処理から洗浄処理に至る無駄時間を短縮して灰化処理後の洗浄処理性能を向上させることができる。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
また、請求項６の発明によれば、灰化処理部が灰化処理後の基板を冷却する冷却部を有しているため、灰化処理後の高温の基板を冷却することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また、請求項７の発明によれば、表面洗浄部および裏面洗浄部がその洗浄処理室内に基板を略水平面内にて回転させる回転機構と、基板に洗浄液を吐出する吐出機構とを備えており、洗浄処理までの無駄時間を短縮して洗浄処理性能を向上させることができる。