【手続補正書】
【提出日】平成17年4月25日(2005.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する研磨装置において、
基板を研磨した後の前記研磨部材の研磨面と相対的に摺動し、前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより研磨能力を回復させる研磨面仕上げ手段と、
この研磨面仕上げ手段と摺動している前記研磨部材の研磨面に、前記金属と研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を供給する薬液供給手段と、
前記研磨部材の研磨面に、加圧ポンプにて加圧され圧力調整手段により圧力が調整された洗浄液を吐出ノズルから供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去するための洗浄手段と、を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する研磨装置において、
基板を研磨した後の前記研磨部材の研磨面と相対的に摺動し、前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより研磨能力を回復させる研磨面仕上げ手段と、
この研磨面仕上げ手段と摺動している前記研磨部材の研磨面に、前記金属と研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を供給する薬液供給手段と、
前記研磨部材を貫通する孔部を有し、洗浄液供給源からこの孔部を介して洗浄液を研磨部材の研磨面に供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去するための洗浄手段と、を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項３】
前記基板の被研磨面を構成する金属は銅であることを特徴とする請求項１または２記載の研磨装置。
【請求項４】
基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する工程と、
前記金属と前記研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を前記研磨部材の研磨面に供給しながら、前記研磨部材の研磨面と研磨面仕上げ手段とを相対的に摺動して前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより前記研磨部材の研磨面の研磨能力を回復させる工程と、
前記研磨部材の研磨面に、加圧ポンプにて加圧され圧力調整手段により圧力が調整された洗浄液を吐出ノズルから供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程と、を含むことを特徴とする研磨方法。
【請求項５】
基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する工程と、
前記金属と前記研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を前記研磨部材の研磨面に供給しながら、前記研磨部材の研磨面と研磨面仕上げ手段とを相対的に摺動して前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより前記研磨部材の研磨面の研磨能力を回復させる工程と、
前記研磨部材を貫通する孔部から洗浄液を研磨部材の研磨面に供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程と、を含むことを特徴とする研磨方法。
【請求項６】
前記基板の被研磨面を構成する金属は銅であることを特徴とする請求項４または５記載の研磨方法。
【請求項７】
基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する工程と、
前記金属と前記研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を前記研磨部材の研磨面に供給しながら、前記研磨部材の研磨面と研磨仕上げ手段とを相対的に摺動して前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより前記研磨部材の研磨面の研磨能力を回復させる工程と、
前記研磨部材の研磨面に、加圧ポンプにて加圧され圧力調整手段により圧力が調整された洗浄液を吐出ノズルから供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程と、を実施することを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する工程と、
前記金属と前記研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を前記研磨部材の研磨面に供給しながら、前記研磨部材の研磨面と研磨仕上げ手段とを相対的に摺動して前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより前記研磨部材の研磨面の研磨能力を回復させる工程と、
前記研磨部材を貫通する孔部から洗浄液を研磨部材の研磨面に供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程と、を実施することを特徴とする研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る研磨装置は、基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する研磨装置において、
基板を研磨した後の前記研磨部材の研磨面と相対的に摺動し、前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより研磨能力を回復させる研磨面仕上げ手段と、
この研磨面仕上げ手段と摺動している前記研磨部材の研磨面に、前記金属と研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を供給する薬液供給手段と、
前記研磨部材の研磨面に、加圧ポンプにて加圧され圧力調整手段により圧力が調整された洗浄液を吐出ノズルから供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去するための洗浄手段、を備えることを特徴とする。  
また本発明は、上記の洗浄手段に代えて、前記研磨部材を貫通する孔部を有し、洗浄液供給源からこの孔部を介して洗浄液を研磨部材の研磨面に供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去するための洗浄手段であってもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のように研磨部材の研磨面に、加圧された洗浄液を吐出する吐出ノズルを用いるようにすることにより、基板表面上に供給される薬液を短時間且つ確実に除去することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また本発明に係る研磨方法は、基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨面に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する工程と、
前記金属と前記研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を前記研磨部材の研磨面に供給しながら、前記研磨部材の研磨面と研磨面仕上げ手段とを相対的に摺動して前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより前記研磨部材の研磨面の研磨能力を回復させる工程と、
前記研磨部材の研磨面に、加圧ポンプにて加圧され圧力調整手段により圧力が調整された洗浄液を吐出ノズルから供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程と、を含むことを特徴とする。
なお、上述の研磨方法において、前記基板の被研磨面を構成する金属とは例えば銅である。
さらに本発明の研磨装置は、基板の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させながら、化学的な研磨作用を有する研磨液を研磨部材の研磨液に供給し、前記基板の被研磨面を構成する金属を研磨する工程と、
前記金属と前記研磨液との反応生成物を溶解させる薬液を前記研磨部材の研磨面に供給しながら、前記研磨部材の研磨面と研磨仕上げ手段とを相対的に摺動して前記研磨部材の研磨面を擦り削ることにより前記研磨部材の研磨面の研磨能力を回復させる工程と、
前記研磨部材の研磨面に、加圧ポンプにて加圧され圧力調整手段により圧力が調整された洗浄液を吐出ノズルから供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程と、を実施することを特徴とする。なお薬液を洗浄液により除去する工程は、前記研磨部材を貫通する孔部から洗浄液を研磨部材の研磨面に供給して、前記研磨部材の研磨面上の前記薬液を除去する工程であってもよい。