【手続補正書】
【提出日】平成17年2月15日(2005.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に形成された複数の処理領域に対して、該複数の処理領域を処理する訪問順序および各処理領域上に光を照射しつつ処理を施す際の走査方向を管理する移動シーケンスの決定方法において、
前記処理領域の訪問順序と各処理領域の走査方向との組み合わせの移動シーケンスの中から、前記複数の処理領域を順次処理する際の総移動時間に関して最適又は優良な移動シーケンスの解を求めるために、オペレーションズ・リサーチ的な手法及び進化的計算法の少なくともいづれか１つを用いることを特徴とする移動シーケンスの決定方法。
【請求項２】
前記対象物に形成された複数の処理領域はウエハに形成されたチップ領域であることを特徴とする請求項１に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項３】
前記オペレーションズ・リサーチ的な手法は、線形計画法、Lin＆Kernighan の解法、ｋ−ＯＰＴ法を含むことを特徴とする請求項１に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項４】
マスクと感光基板とを同期移動させて、前記感光基板に複数のチップ領域を露光するに際し、該複数のチップ領域を露光する訪問順序および各々のチップ領域上を露光する際の走査方向を管理する移動シーケンスの決定方法において、
前記マスク及び感光基板に関する情報に基いて、前記複数のチップ領域を露光するためのチップ領域の訪問順序と各チップ領域の走査方向との組み合わせの移動シーケンスの中から、前記複数のチップ領域を順次露光する際の総移動時間に関して最適又は優良な移動シーケンスの解を求めることを特徴とする移動シーケンスの決定方法。
【請求項５】
前記最適又は優良な移動シーケンスの解は、線形計画法、Lin＆Kernighan の解法、ｋ−ＯＰＴ法及び進化的計算法の少なくともいづれか１つを用いて求めることを特徴とする請求項４に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項６】
前記マスク及び感光基板に関する情報には、前記マスクに描かれたパターン領域、及び前記感光基板の大きさを含むことを特徴とする請求項４に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項７】
前記マスクに関する情報を受けてから前記感光基板上の最初のチップ領域を露光するまでの時間内に得られる最適又は優良な移動シーケンスの解に基いて、前記複数のチップ領域を露光することを特徴とする請求項４に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項８】
複数の処理領域を処理する訪問順序および各処理領域上に光を照射しつつ処理を施す際の走査方向を管理する移動シーケンスの決定方法において、
前記複数の処理領域に対して、前記処理領域の訪問順序と各処理領域の前記処理領域の走査方向との組み合わせの自由度を持つ移動シーケンスの中から、前記処理領域を処理するための一連の処理の総所要時間が短いという意味で優良または最適な移動シーケンスの解を求めるために遺伝的アルゴリズムを用いることを特徴とする移動シーケンスの決定方法。
【請求項９】
前記複数の処理領域のうち任意に選ばれた１つ以上の処理領域に前記走査方向に特定の制約が与えられた場合には、制約を満たす範囲において前記移動シーケンスの優良解または最適解を探索することを特徴とする請求項８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１０】
前記遺伝的アルゴリズムの中にオペレーションズ・リサーチ的な手法を遺伝的オペレータとして取り込むことで、前期移動シーケンスを求めるための計算の途中においても、その時点で求まっている解のうち最も優良な移動シーケンスの解を求めることができることを特徴とする請求項８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１１】
前記遺伝的アルゴリズムの初期解を生成するために、線形計画法、 Lin＆Kernighan の解法、もしくはｋ−ＯＰＴ法、又はこれらの組み合わせ解法を使用することを特徴とする請求項８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１２】
前記遺伝的アルゴリズムによる計算時間を短縮するために、
前記遺伝的アルゴリズムの中で随時更新される優良解を Lin＆Kernighan の解法又はｋ−ＯＰＴ法で改善することを特徴とする請求項８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１３】
前記遺伝的アルゴリズムは、突然変異オペレータを有し、前記突然変異オペレータは、前記複数の処理領域のうち処理領域の移動シーケンスを入れ替えるオペレータと前記複数の処理領域のうち処理領域の前記走査方向の往路方向／復路方向を入れ替えるオペレータとを有することを特徴とする請求項８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１４】
前記オペレーションズ・リサーチ的な手法には、線形計画法、Lin＆Kernighan の解法もしくはｋ−ＯＰＴ法、又はこれらの組み合わせ方法を含み、これらの手法で得られた解を遺伝的アルゴリズムの初期解として使用することを特徴とする請求項１０に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１５】
計算時間に余裕がある場合には、
前記線形計画法においては、最良近傍が複数存在する場合に特定の１つを選択する方法を変えて計算し直すか又は探索開始点を変えて計算し直すことにより複数の優良解を求めて、この中で最も優良な解を出力し、
前記線形計画法を含む組み合わせ方法で解を得る場合においては、前記線形計画法で得た複数の優良解のそれぞれを初期解として Lin＆Kernighan の解法又はｋ−ＯＰＴ法で複数の優良解を求め、この中で最も優良な解を出力することを特徴とする請求項１４に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１６】
前記遺伝的アルゴリズムによる計算が開始される以前に計算を中断した場合、または予め設定された計算時間において遺伝的アルゴリズムによる計算が開始可能なほど十分な時間が無いという制限がある場合には、
前記線形計画法、Lin＆Kernighan の解法もしくはｋ−ＯＰＴ法、又はこれらの組み合わせ方法で得られた優良な移動シーケンスの解を求めることができることを特徴とする請求項１４に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１７】
複数の処理領域を処理する訪問順序および各処理領域上に光を照射しながら処理を行う際の走査方向を管理する移動シーケンスの決定方法において、
前記複数の処理領域に対して、前記処理領域の訪問順序と各処理領域の前記処理領域の走査方向との組み合わせの自由度を持つ移動シーケンスの中から、前記処理領域を処理するための一連の処理の総所要時間が短いという意味で優良または最適な移動シーケンスの解を求めるために線形計画法、Lin＆Kernighan の解法もしくはｋ−ＯＰＴ法、又はこれらの組み合わせの解法を用いることを特徴とする移動シーケンスの決定方法。
【請求項１８】
計算時間に余裕がある場合には、
前記線形計画法においては、最良近傍が複数存在する場合に特定の１つを選択する方法を変えて計算し直すか又は探索開始点を変えて計算し直すことにより複数の優良解を求めて、この中で最も優良な解を出力し、
前記線形計画法を含む組み合わせ方法で解を得る場合においては、前記線形計画法で得た複数の優良解のそれぞれを初期解として Lin＆Kernighan の解法又はｋ−ＯＰＴ法で複数の優良解を求め、この中で最も優良な解を出力することことを特徴とする請求項１７に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項１９】
感光基板の複数のチップ領域を露光するに際し、複数のチップ領域を処理する訪問順序を管理する移動シーケンスの決定方法において、
前記複数のチップ領域に対して、前記チップ領域の訪問順序の移動シーケンスの中から、前記チップ領域を露光するための一連の処理の総所要時間が短いという意味で優良または最適な移動シーケンスの解を求めるために線形計画法、動的計画法及び進化的計算法の少なくともいづれか１つを用いることを特徴とする移動シーケンスの決定方法。
【請求項２０】
前記感光基板に関する情報には、前記チップ領域の大きさ及び感光基板の大きさを含むことを特徴とする請求項１８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項２１】
前記総所要時間は、前記感光基板を載置するステージの整定時間、速度及び加速度に基いて定められることを特徴とする請求項１８に記載の移動シーケンスの決定方法。
【請求項２２】
複数の処理領域に対して光を照射しながら所定の走査方向から処理する移動シーケンスを有する装置において、
前記複数の処理領域に対して、前記処理領域の訪問順序と各処理領域の前記処理領域の走査方向との組み合わせの自由度を持つ移動シーケンスの中から、前記処理領域を処理するための一連の処理の総所要時間が短いという意味で優良または最適な移動シーケンスの解を求める演算回路を備えることを特徴とする移動シーケンスを有する装置。
【請求項２３】
前記装置は、ウエハ上の複数のチップ領域を所定の走査方向から露光する移動シーケンスを有するスキャン型露光装置であり、前記演算回路は、オペレーションズ・リサーチ的な手法及び進化的計算法の少なくともいづれか１つを有することを特徴とする請求項２２に記載の移動シーケンスを有するスキャン型露光装置。
【請求項２４】
前記オペレーションズ・リサーチ的な手法には、線形計画法、Lin＆Kernighan の解法もしくはｋ−ＯＰＴ法、又はこれらの組み合わせ方法を含み、これらの手法で得られた解を遺伝的アルゴリズムの初期解として使用することを特徴とする請求項２３に記載の移動シーケンスを有するスキャン型露光装置。
【請求項２５】
前記複数のチップ領域のうち前記ウエハの縁に形成されたチップ領域に前記走査方向に前記ウエハの内側から外側への走査方向の制約を与え、かかる制約を満たす範囲において前記移動シーケンスの優良解または最適解を探索することを特徴とする請求項２３に記載の移動シーケンスを有するスキャン型露光装置。
【請求項２６】
前記装置は、パレット上の複数のプレパラートを所定の走査方向から検査する移動シーケンスを有する検査装置であり、前記演算回路は、オペレーションズ・リサーチ的な手法及び進化的計算法の少なくともいづれか１つを有することを特徴とする請求項２２に記載の移動シーケンスを有する検査装置。
【請求項２７】
対象物に形成された複数の処理領域を順次訪問して、各処理領域上に光を照射しつつ該処理領域を走査することにより所定処理を行う際の走査方向を管理する処理方法において、
前記複数の処理領域それぞれに前記所定処理を施す際の前記走査経路を、オペレーションズ・リサーチ的な手法及び進化的計算法の少なくともいづれか１つを用いて求めることを特徴とする処理方法。