【手続補正書】
【提出日】平成17年6月30日(2005.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光対象としての基板を少なくとも一軸に沿う正方向及び逆方向に移動するステージを備え、マスクのパターンの投影光学系を介した像を、該ステージ上の基板に露光転写する露光装置において、
前記投影光学系と前記ステージとの間の空間に前記ステージの移動方向に一致するような気流を生じさせる気流生成装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記気流生成装置は、前記一軸に沿うような気流が生じるように前記空間に気体を供給する管路を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記気流生成装置は、前記一軸に沿うような気流が生じるように前記空間の気体を排出する管路を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記気流生成装置は、前記一軸に沿う正方向に気体の流れを生じさせる第１モード、及び前記一軸に沿う逆方向に気体の流れを生じさせる第２モードを選択的に実施するモード切換装置と、
前記空間における前記気体の流れが前記ステージの移動方向に一致するように、前記モード切換装置のモードを切り換える制御装置を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記気流生成装置は、前記一軸に沿うような気流が生じるように前記空間に対する気体の供給又は排出をそれぞれ選択的に実施する一対の管路を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項６】
前記一対の管路の給排気口は前記一軸に沿って互いに対応するように配置されたことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記気流生成装置は、前記管路の一方を介して気体を供給し他方を介して気体を排出して前記一軸に沿う正方向に気体の流れを生じさせる第１モード、及び該管路の一方を介して気体を排出し他方を介して気体を供給して前記一軸に沿う逆方向に気体の流れを生じさせる第２モードを選択的に実施するモード切換装置と、
前記空間における前記気体の流れが前記ステージの移動方向に一致するように、前記モード切換装置のモードを切り換える制御装置を有することを特徴とする請求項５又は６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記気流生成装置は、前記管路の一方に連通された第１ポンプ室と、前記管路の他方に連通された第２ポンプ室とを有し、該第１ポンプ室と該第２ポンプ室との間の隔壁の位置を移動して、該第１ポンプ室と該第２ポンプ室の体積比を変更することにより、前記管路を介して給排気を実施するポンプ装置を有することを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記隔壁は前記ステージの移動に連動して移動することを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記管路は断面が網目状に配列された複数の気体通路を有することを特徴とする請求項２〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記管路の途中に該管路内を流通される気体の温度を調整する温度調整装置を設けたことを特徴とする請求項２〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
パターンが形成されたマスクと露光対象としての基板を、該基板の位置を検出光を用いて光学的に計測しつつ同期移動させながら露光する露光方法において、
前記基板の近傍の前記検出光の光路を含む空間に該基板の移動方向に沿う気流を形成しつつ露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１３】
パターンが形成されたマスクと露光対象としての基板を、該マスクの位置を検出光を用いて光学的に計測しつつ同期移動させながら露光する露光方法において、
前記マスクの近傍の前記検出光の光路を含む空間に該マスクの移動方向に沿う気流を形成しつつ露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１４】
移動対象物を少なくとも一軸に沿う正方向及び逆方向に移動するステージと、
前記移動対象物の位置を検出光を用いて光学的に計測する計測装置と、
前記移動対象物の近傍の前記検出光の光路を含む空間に、該移動対象物の移動方向に沿う正方向及び逆方向に選択的に気体の流れを生じさせる気流生成装置と、
前記移動対象物の移動方向の切り換えに応じて前記気体の流れ方向を切り換えるよう前記気流生成装置を制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項１５】
露光対象としての基板を保持し、少なくとも一軸方向に沿って移動するステージと、前記一軸方向に沿って前記ステージに向かって照射した光ビームにより前記ステージの位置を計測する位置検出装置とを備える露光装置において、
前記光ビームの光路空間に、前記一軸方向に沿った気流を発生する気流生成装置と、
前記ステージの移動方向に応じて、気流の方向を切り換える制御装置とを備える露光装置。
【請求項１６】
前記制御装置は、前記ステージの移動方向と同じ方向の気流を発生するように前記気流生成装置を制御する請求項１５記載の露光装置。
【請求項１７】
前記露光装置は、前記基板を保持した前記ステージを所定の走査方向に走査移動しつつ前記基板上にパターンを露光する走査型露光装置であり、
前記気流生成装置は前記走査方向に沿った気流を生成し、
前記制御装置は、前記ステージの前記走査方向に応じて気流の方向を制御する請求項１５又は１６記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記目的を達成するため、本発明の第４の観点によると、移動対象物（Ｒ，Ｗ）を少なくとも一軸に沿う正方向及び逆方向に移動するステージ（１２０，１３０）と、前記移動対象物の位置を検出光を用いて光学的に計測する計測装置（１２３，１３３，ＡＦ１，ＡＦ２）と、前記移動対象物の近傍の前記検出光の光路を含む空間に、該移動対象物の移動方向に沿う正方向及び逆方向に選択的に気体の流れを生じさせる気流生成装置（１５０）と、前記移動対象物の移動方向の切り換えに応じて前記気体の流れ方向を切り換えるよう前記気流生成装置を制御する制御装置（１５１）とを備えたステージ装置が提供される。移動対象物の移動の方向と気流方向とを一致させているため、移動対象物の移動に支障を生じることなく、移動対象物近傍の空間における温度揺らぎを十分に解消することができる。従って、移動対象物の位置の計測精度を向上することができ、移動対象物の位置決めや移動中の位置精度を向上することができる。また、上記目的を達成するため、本発明の第５の観点によると、露光対象としての基板（Ｗ）を保持し、少なくとも一軸方向に沿って移動するステージ（１２０，１３０）と、前記一軸方向に沿って前記ステージに向かって照射した光ビームにより前記ステージの位置を計測する位置検出装置（１２３，１３３）とを備える露光装置において、前記光ビームの光路空間に、前記一軸方向に沿った気流を発生する気流生成装置（１５０）と、前記ステージの移動方向に応じて、気流の方向を切り換える制御装置（１５１）とを備える露光装置が提供される。これによれば、ステージの移動方向に応じた気流を光ビームの光路空間に供給しているので、光路空間の温度揺らぎが抑制されて位置検出装置の計測精度を向上することができ、高度な露光精度を実現することができる。この場合において、制御装置は、前記ステージの移動方向と同じ方向の気流を発生するように前記気流生成装置を制御するようにすることができる。また、上述した本発明の第５の観点による露光装置は、前記基板を保持した前記ステージを所定の走査方向（Ｙ）に走査移動しつつ前記基板上にパターンを露光する走査型露光装置とすることができ、この場合、前記気流生成装置は前記走査方向に沿った気流を生成し、前記制御装置は、前記ステージの前記走査方向に応じて気流の方向を制御するようにすることもできる。