【手続補正書】
【提出日】平成16年11月24日(2004.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無端状に接着剤が塗布された基板と他の基板とを前記接着剤を介して貼り合せるに先立ち、前記２枚の基板の少なくともいずれか一方の基板における他方の基板との対向面であって、前記２枚の基板を貼り合せたときに前記接着剤にて囲まれる領域内となる部位に流体を塗布する基板の貼り合せ方法において、
前記流体を、その塗布高さが前記接着剤の塗布高さよりも低くなるように複数の塗布箇所の分けて塗布することを特徴とする基板の貼り合せ方法。
【請求項２】
無端状に接着剤が塗布された基板と他の基板とを前記接着剤を介して貼り合せるに先立ち、前記２枚の基板の少なくともいずれか一方の基板における他方の基板との対向面であって、前記２枚の基板を貼り合せたときに前記接着剤にて囲まれる領域内となる部位に流体を塗布する基板の貼り合せ装置において、
前記流体を塗布する塗布装置と、
この塗布装置による前記流体の吐出状態を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記流体を複数の塗布箇所の分けて塗布するとともに、塗布された前記流体の塗布高さが前記接着剤の塗布高さよりも低くなるように前記塗布装置による前記流体の吐出状態を制御することを特徴とする基板の貼り合せ装置。
【請求項３】
前記流体の粘性率に応じた前記流体の塗布量と塗布高さの関係を表わすデータを記憶する記憶部と、
前記流体の粘性率を設定する設定部と、を有し、
前記制御装置は、前記記憶部に記憶された前記データから、前記設定部に設定された前記粘性率に応じた前記流体の塗布量を選択し前記塗布装置による前記流体の吐出状態を制御することを特徴とする請求項２記載の基板の貼り合せ装置。
【請求項４】
前記塗布装置にて前記基板上に塗布された流体を撮像する撮像装置と、
この撮像装置による画像データに基づいて前記流体の塗布状態を検出し、前記流体の塗布状態の良否を判別する制御装置と、を有することを特徴とする請求項２記載の基板の貼り合せ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２枚の基板を、接着剤を介して貼り合せる基板の貼り合せ方法および基板の貼り合わせ装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
次に、２枚の基板をシール材の塗布高さにほぼ等しい距離まで近接させ、この状態で、カメラを利用した画像認識装置等による位置検出装置を用いて２枚のガラスの対向面に沿う方向での相対的な位置ずれを検出する。そして、２枚のガラス基板の間に相対的な位置ずれが検出された場合には、２枚のガラス基板をその対向面に沿う方向で相対的に移動させ、位置ずれの補正を行なう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そのため、一つあたりの塗布箇所に塗布される液晶の量や粘性によっては、塗布された液晶の塗布高さがシール材の塗布高さよりも高くなってしまうことがあった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、無端状に接着剤が塗布された基板と他の基板とを前記接着剤を介して貼り合せるに先立ち、前記２枚の基板の少なくともいずれか一方の基板における他方の基板との対向面であって、前記２枚の基板を貼り合せたときに前記接着剤にて囲まれる領域内となる部位に流体を塗布するものであって、前記基板に対して前記流体を、その塗布高さが前記接着剤の塗布高さよりも低くなるように複数の塗布箇所の分けて塗布することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【作用】本発明によれば、貼り合される基板に塗布される流体は、その高さが、基板に塗布された接着剤の塗布高さよりも低くなるように複数の塗布箇所の分けて塗布される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
上記実施の形態によれば、ガラス基板４ａ上に塗布される液晶２の塗布高さｈをガラス基板４ａに塗布されたシール材６の塗布高さＨよりも低く形成したので、２枚のガラス基板４ａ、４ｂを位置合わせのために、シール材６の塗布高さとほぼ等しい間隔に近づけたとしても、ガラス基板４ａに塗布された液晶２が、他方のガラス基板４ｂに接触することが防止できる。これにより、２枚のガラス基板４ａ、４ｂの位置ずれを補正するときに、液晶２の表面張力や粘性が、２枚のガラス基板４ａ、４ｂ、すなわち下基板ステージ１３と上基板ステージ１４とをＸＹ方向に相対移動させる際の移動抵抗となることなく、２枚のガラス基板４ａ、４ｂの位置合わせの妨げとなることが防止できる。したがって、精度の良いガラス基板４ａ、４ｂの位置合わせを行なうことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、２枚のガラス基板４ａ、４ｂを位置合わせのために、シール材６の塗布高さとほぼ等しい間隔に近づけたとき、仮に上側のガラス基板４ｂが下側のガラス基板４ａに塗布されたシール材６に接触したとしても、ガラス基板４ａ上に塗布された液晶２の塗布高さｈはシール材６の塗布高さＨよりも低くなるように形成されていることから、上側のガラス基板４ｂが液晶２にまで接触することが防止できる。このような場合でも、従来生じるおそれがあった、上側のガラス基板４ｂがシール材６と液晶２の双方に接触するような場合に比べて、位置ずれを補正するために下基板ステージ１３と上基板ステージ１４とをＸＹ方向に相対移動させる際に生じる移動抵抗を少なくすることができるので、精度の良いガラス基板４ａ、４ｂの位置合わせを行なうことができる。
また、液晶２の塗布量を、液晶２の粘性率およびシール材６の塗布高さに基づいて決定し、決定した塗布量からガラス基板４ａ上における塗布箇所の数を決定しているので、用いられる液晶２の粘性率が比較的高く、押圧によって比較的広がり難いときには、１つの塗布箇所に対する塗布量が少量で、塗布箇所の数が多く設定されることとなるので、塗布箇所同士の間隔を狭くすることができ、この結果、各塗布箇所に塗布された液晶２に要求される広がりの範囲を小さくすることができることから、粘性率が高く比較的広がり難い液晶２であっても、２枚のガラス基板４ａ、４ｂの間にムラなく封入することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
すなわち、画像処理装置１７は、カメラ１６の撮像データから液晶２の塗布面積を検出し、この塗布面積が予め設定された基準面積以上であるか否かに基づいて、１つの塗布箇所に対する液晶２の塗布状態の良否を判定する。つまり、所定量の液晶２を塗布しているにもかかわらず基準面積以上の塗布面積が得られない場合、温度等の外的要因などの影響で液晶２の粘性率が高くなった結果、塗布高さがシール材６の塗布高さよりも高くなっていることが考えられるので不良とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また、塗布状態検査装置１５は、塗布箇所毎に塗布された液晶２の塗布状態の良否を判定し、塗布箇所毎の判定結果を制御装置１０に送信する。制御装置１０は、すべての塗布箇所における判定結果に基づいて、ガラス基板４ａに対する液晶２の塗布状態の良否を判定する。すなわち、すべての塗布箇所の数に対して塗布状態が良と判定された塗布箇所の割合が予め設定された割合（設定比率）以上であれば、ガラス基板４ａに対する液晶２の塗布状態は良であると判定する。一方、すべての塗布箇所の数に対して塗布状態が良と判定された塗布箇所の割合が予め設定された割合に満たなければ、ガラス基板４ａに対する液晶２の塗布状態は不良であると判定する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
すなわち、２枚のガラス基板４ａ、４ｂを位置合わせするために、２枚のガラス基板４ａ、４ｂを近接させたときに、ガラス基板４ａ上の塗布箇所に塗布された液晶２のうちのいくつかが上側のガラス基板４ｂに接触したとしても、それによって生じるガラス基板４ａ、４ｂの対向面に沿う方向の移動抵抗が、下基板ステージ１３と上基板ステージ１４との相対移動に支障を来たさない程度であればよいわけである。そして、上述した移動抵抗は、液晶２の粘性率が高くなるほど大きくなり、低くなるほど小さくなると考えられる。したがって、液晶２の粘性率が高い場合には、設定比率を高く設定し、液晶２の粘性率が低い場合には、粘性率が高い場合に比べて設定比率を低く設定することができることとなる。なお、これらの設定比率は、実験等により容易に決定することが可能である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また、１つの塗布箇所に塗布する液晶２の量を、主に液晶２の粘性率に基づいて決定する例で説明したが、これに限られるものではなく、例えば、ガラス基板表面の液晶２のはじき度合いに応じて塗布量を決定するようにしてもよい。すなわち、ガラス基板が液晶２をはじく（広がりにくい）傾向が強い表面状態である場合と、液晶２がなじみ易い（広がり易い）場合とでは、広がり易いガラス基板に対する液晶２の塗布量を多く設定することができると考えられる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、シール材６が塗布されたガラス基板４ａ上に液晶２を塗布する例で説明したが、これに限られるものではなく、シール材６が塗布されていない方のガラス基板４ｂに液晶２を塗布し、シール材６が塗布されたガラス基板４ａを上基板ステージ１４に、シール材６が塗布された面が下を向くように保持させるようにしてもよい。