【手続補正書】
【提出日】平成16年3月12日(2004.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を設置する基板設置部と、
該被検査基板上をライン状に撮像する撮像手段と、
前記撮像手段と前記基板設置部を前記ラインと直行する方向に相対的に移動させる移動手段と、
前記駆動手段により相対的に移動させながら前記撮像手段により撮像された画像信号を画像処理して前記被検査基板のマクロ画像を作成し、該マクロ画像から前記被検査基板上のマクロ欠陥を自動的に検出する画像処理手段と
を備えたことを特徴とする基板自動検査装置。
【請求項２】
前記画像処理手段は、前記撮像手段により１ラインごとに順次撮像されるライン画像を処理してマクロ画像を作成するマクロ画像処理部と、このマクロ画像処理部で作成されたマクロ画像を保存するメモリとを有することを特徴とする請求項１記載の基板自動検査装置。
【請求項３】
前記マクロ画像処理部は、前記撮像手段により撮像される画像のライン画素に対し、該ライン画素をマクロ画像の画素の大きさに対応させて複数の領域に分割したマクロ画素単位で光量を加算平均し、この光量の加算平均値をマクロ画素の画素値としてマクロ画像を作成することを特徴とする請求項２記載の基板自動検査装置。
【請求項４】
前記マクロ画像処理部は、前記撮像手段により撮像された画像の各所定領域における画素の光量の加算平均してマクロ画像を作成することを特徴とする請求項２記載の基板自動検査装置。
【請求項５】
前記画像処理手段は、前記駆動手段により相対的に移動させながら前記撮像手段により撮像された画像信号を画像処理して前記マクロ欠陥に比して微小なミクロ欠陥を検出する画像演算部を有することを特徴とする請求項１記載の基板自動検査装置。
【請求項６】
前記画像演算部は、前記撮像手段により撮像された１ラインの画像に対して隣接するパターンどうしを比較してミクロ欠陥を検出することを特徴とする請求項５記載の基板自動検査装置。
【請求項７】
前記画像処理手段は、前記撮像手段により１ラインごとに順次撮像されるライン画像を処理してマクロ画像を作成するマクロ画像処理部と、前記撮像手段により撮像された画像信号を画像処理して前記マクロ欠陥に比して微小なミクロ欠陥を検出する画像演算部とを有し、前記マクロ画像処理部及び前記画像演算部を並行処理してマクロ欠陥とミクロ欠陥を自動的に検査することを特徴とする請求項１記載の基板自動検査装置。
【請求項８】
前記ステージに載置された前記被検査基板に対して光源からの光をカラーフィルタとコリメータレンズ介して平行光にして照明し、該被検査基板で反射光した光の干渉を前記撮像手段により撮像することを特徴とする請求項１記載の基板自動検査装置。
【請求項９】
前記ステージに載置された前記被検査基板に対して光源からの光の中心部を遮光板で遮光して照明し、該被検査基板上の欠陥部から発生する光の散乱を前記撮像手段により撮像することを特徴とする請求項１記載の基板自動検査装置。
【請求項１０】
前記ステージに載置された前記被検査基板に対して光源からの光をコリメータレンズ介して平行光にして照明し、前記被検査基板に形成されたパターンのエッジで発生する回折光を前記撮像手段により撮像することを特徴とする請求項１記載の基板自動検査装置。
【請求項１１】
被検査基板を設置する基板設置部と、
該被検査基板上をライン状に撮像するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラと前記基板設置部を前記ラインと直行する方向に相対的に移動させる移動手段と、
前記駆動手段により相対的に移動させながら前記ラインセンサカメラにより撮像されたライン状の画像からマクロ画像を作成してマクロ欠陥を検出する処理及び、前記ラインサンサカメラにより撮像された１ラインの画像に対して隣接するパターンどうしを比較してミクロ欠陥を検出する処理とを並行処理してマクロ欠陥とミクロ欠陥を自動的に検出する画像処理手段と
を備えたことを特徴とする基板自動検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の基板自動検査装置は、被検査基板を設置する基板設置部と、該被検査基板上をライン状に撮像する撮像手段と、前記撮像手段と前記基板設置部を前記ラインと直行する方向に相対的に移動させる移動手段と、前記駆動手段により相対的に移動させながら前記撮像手段により撮像された画像信号を画像処理して前記被検査基板のマクロ画像を作成し、該マクロ画像から前記被検査基板上のマクロ欠陥を自動的に検出する画像処理手段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明の基板自動検査装置は、被検査基板を設置する基板設置部と、該被検査基板上をライン状に撮像するラインセンサカメラと、前記ラインセンサカメラと前記基板設置部を前記ラインと直行する方向に相対的に移動させる移動手段と、前記駆動手段により相対的に移動させながら前記ラインセンサカメラにより撮像されたライン状の画像からマクロ画像を作成してマクロ欠陥を検出する処理及び、前記ラインサンサカメラにより撮像された１ラインの画像に対して隣接するパターンどうしを比較してミクロ欠陥を検出する処理とを並行処理してマクロ欠陥とミクロ欠陥を自動的に検出する画像処理手段とを備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、本発明の基板自動検査装置に係る画像処理手段は、前記撮像手段により１ラインごとに順次撮像されるライン画像を処理してマクロ画像を作成するマクロ画像処理部と、このマクロ画像処理部で作成されたマクロ画像を保存するメモリとを有することを特徴とする。
また、マクロ画像処理部においては、前記撮像手段により撮像される画像のライン画素に対し、該ライン画素をマクロ画像の画素の大きさに対応させて複数の領域に分割したマクロ画素単位で光量を加算平均し、この光量の加算平均値をマクロ画素の画素値としてマクロ画像を作成することを特徴とする。
また、マクロ処理部においては、前記撮像手段により撮像された画像の各所定領域における画素の光量の加算平均してマクロ画像を作成することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
（作用）したがって、本発明の基板自動検査装置においては、撮像手段と基板設置部とを相対に移動させながら撮像手段により被検査基板をライン状に撮像することにより、被検査基板の全体画像が得られる。
また、本発明の基板自動検査装置においては、同じラインサンサカメラを用いてマクロ検査とミクロ検査を同時にかつ自動的に処理することにより、検査時間の節約、ハードウエア資源の有効活用、二つの異なるマクロ検査とミクロ検査を一つの装置で実現できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
マクロ画像処理部においては、複数の領域に分割されたマクロ画素単位、撮像手段により撮像された所定の領域で光量に加算平均を求めてマクロ画像を作成することにより、大きな傷や広い領域に渡るムラ等が他の正常な部分と光量値の異なる部分として強調表示され、ミクロ検査では発見が困難な上記欠陥を画像上に表現でき、これらのマクロ欠陥を極めて容易に検出することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】