【手続補正書】
【提出日】令和3年10月1日(2021.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
比較フォトレジスト剥離試験２
フォトレジストリムーバ溶液は、２５重量％水性ＴＭＡＨ溶液１２．８３ｇ、ベンジルアルコール６４．５３ｇ、ジエタノールアミン３．２５ｇを溶解することによって調製した。この溶液を、磁気的スターラーバー（２００ｒｐｍ）を備えた１５０ｍＬビーカー中で、ホットプレートで８０℃に加熱した。光画像形成されたＡＺ（登録商標）−２００ｎＸＴパターンを備えた銅ウェハクーポンを、上記の加熱された溶液中に浸漬した。３０分後、架橋したフォトレジストパターンの大部分が除去されるが、残留フォトレジストの望ましくない薄い層が銅表面上に残った。
本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する：
１．
●テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド；
●ベンジル系アルコール；
●少なくとも一種のグリコール化合物を含むグリコール成分；及び
●アルキルアミン成分であって、次のもの
○アルキル基のうちの一つがＣ１〜Ｃ４ｎ−アルキルであり、他がＣ１６〜Ｃ２０ｎ−アルキルであるジアルキルアミン；
○構造（Ｉ）を有するモノアルキルアミン；
【化１１】
2021513583.tif 000001
（式中、ｍ’及びｍは、独立して、４〜８の範囲の整数から選択される）
○これらの組み合わせ；
からなる群から選択されるアルキルアミン成分；
を含む組成物。
２．
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが構造（ＩＩ）を有し、ここでＲａ１、Ｒａ２、Ｒａ３及びＲａ４は、独立して、Ｃ１〜Ｃ１６アルキルまたはベンジル系部分から選択される、前記１．に記載の組成物。
【化１２】
2021513583.tif 000002
３．
Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３及びＲａ４が、独立して、Ｃ１〜Ｃ４線状アルキルまたはベンジル系部分から選択される、前記２．に記載の組成物。
４．
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、及びベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシドからなる群から選択される、前記１．〜３．のいずれか一つに記載の組成物。
５．
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドがテトラメチルアンモニウムヒドロキシドである、前記１．〜４．のいずれか一つに記載の組成物。
６．
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが、上記組成物の約０．５重量％〜約１０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜５．のいずれか一つに記載の組成物。
７．
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが、上記組成物の約２重量％〜約８重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜６．のいずれか一つに記載の組成物。
８．
前記組成物の約１重量％〜約２０重量％の量で水を更に含む、前記１．〜７．のいずれか一つに記載の組成物。
９．
前記組成物の約８重量％〜約１５重量％の量で水を更に含む、前記１．〜８．のいずれか一つに記載の組成物。
１０．
実質的に水を含まない、前記１．〜７．のいずれか一つに記載の組成物。
１１．
前記ベンジル系アルコールが構造（ＩＩＩ）を有し、ここでＲｂ１は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、及びＣ１〜Ｃ４アルコキシからなる群から選択され、そしてＲｂ２はＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキルである、前記１．〜１０．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１３】
2021513583.tif 000003
１２．
Ｒｂ１がＨである、前記１１．に記載の組成物。
１３．
Ｒｂ１がＣ１〜Ｃ４アルキルである、前記１１．に記載の組成物。
１４．
Ｒｂ１がＣ１〜Ｃ４アルコキシルである、前記１１．に記載の組成物。
１５．
Ｒｂ２がＨである、前記１１．〜１４．のいずれか一つに記載の組成物。
１６．
Ｒｂ２がＣ１〜Ｃ４アルキルである、前記１１．〜１４．のいずれか一つに記載の組成物。
１７．
Ｒｂ１がＨであり、そしてＲｂ２がＣ１〜Ｃ４アルキルである、前記１１．に記載の組成物。
１８．
前記ベンジル系アルコールがベンジルアルコールである、前記１１．に記載の組成物。
１９．
前記ベンジル系アルコールが、前記組成物の約３０重量％〜約９０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜１８．のいずれか一つに記載の組成物。
２０．
前記ベンジル系アルコールが、前記組成物の約４０重量％〜約８５重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜１９．のいずれか一つに記載の組成物。
２１．
前記ベンジル系アルコールが、前記組成物の約４０重量％〜約８０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜２０．のいずれか一つに記載の組成物。
２２．
前記グリコール成分が、単一のグリコール化合物を含む、前記１．〜２１．のいずれか一つに記載の組成物。
２３．
前記グリコール成分が、複数のグリコール化合物の混合物を含む、前記１．〜２１．のいずれか一つに記載の組成物。
２４．
前記グリコール成分が、構造（ＩＶ）を有する少なくとも一種のグリコール化合物を含み、ここでＲｇはＣ２〜Ｃ４アルキレン部分であり、前記アルキレン部分は、置換されていないか、またはＣ１〜Ｃ４アルキル部分で置換されている、前記１．〜２３．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１４】
2021513583.tif 000004
２５．
前記グリコール成分が、構造（ＩＶａ）を有する化合物及び構造（ＩＶｂ）を有する化合物からなる群から選択されるグリコール化合物であり、ここでｎは０〜３の整数であり、ｎ’’は０〜４の整数であり、Ｒｇ１はＣ１〜Ｃ４アルキルである、前記１．〜２４．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１５】
2021513583.tif 000005
２６．
前記グリコール成分が、構造（ＩＶａ）のグリコール化合物である、前記２５．に記載の組成物。
２７．
前記グリコール成分が、構造（ＩＶｂ）のグリコール化合物である、前記２５．に記載の組成物。
２８．
前記グリコール成分が１，３−プロピレングリコールである、前記１．〜２４．及び２５．のいずれか一つに記載の組成物。
２９．
前記グリコール成分が１，２−エチレングリコールである、前記１．〜２５．及び２６．のいずれか一つに記載の組成物。
３０．
前記グリコール成分が、前記組成物の約５重量％〜約５０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜２９．のいずれか一つに記載の組成物。
３１．
前記グリコール成分が、前記組成物の約８重量％〜約４０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜２９．のいずれか一つに記載の組成物。
３２．
前記グリコール化合物が、前記組成物の約８重量％〜約２０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜２９．のいずれか一つに記載の組成物。
３３．
グリコール化合物の前記混合物が、
構造（ＩＶ）を有するグリコール化合物、及び
構造（ＩＶｃ）を有するオリゴマー性グリコール化合物、
からなり、
ここでＲｇ及びＲｇ２は独立してＣ２〜Ｃ４アルキレン部分であり、これらのアルキレン部分は、置換されていないか、またはＣ１〜Ｃ４アルキル部分で置換されており、更にｎａは８〜１２の整数であり、そしてｎｂは９〜１３の整数である、前記１．〜２３．及び２４．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１６】
2021513583.tif 000006
３４．
グリコール化合物の前記混合物が、
構造（ＩＶｂ）を有するグリコール化合物（ここでｎ’’は０〜４の整数であり、そしてＲｇ１はＣ１〜Ｃ４アルキルである）、及び
構造（ＩＶｄ）を有するオリゴマー性グリコール化合物（ここでｎａ’は８〜１２の整数であり、そしてｎｂは９〜１３の範囲の整数である）、
からなる、前記１．〜２３．、２４．及び３３．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１７】
2021513583.tif 000007
３５．
Ｒｇ１がメチルであり；ｎａ’が９〜１１の整数であり、そしてｎｂが１０〜１２の範囲の整数である、前記３４．に記載の組成物。
３６．
グリコール化合物の前記混合物が、１，２−プロピレングリコール及びデカエチレングリコールモノドデシルエーテルからなる、前記１．〜２３．、２４．及び３３．〜３５．のいずれか一つに記載の組成物。
３７．
構造（ＩＶ）を有するグリコール化合物が、約９重量％〜約１５重量％の量で該組成物中に存在し、そして構造（ＩＶｃ）を有するオリゴマー性グリコール化合物が、約０．５重量％〜約５重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜２３．、２４．及び３３．〜３６．のいずれか一つに記載の組成物。
３８．
前記アルキルアミン成分が、上記のジアルキルアミンであるか、または上記のジアルキルアミンの混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
３９．
前記アルキルアミン成分が、上記のジアルキルアミンである、前記１．〜３８．のいずれか一つに記載の組成物。
４０．
前記アルキルアミン成分が、アルキル基のうちの一つがメチルである前記のジアルキルアミンである、前記１．〜３９．のいずれか一つに記載の組成物。
４１．
前記アルキルアミン成分が、アルキル基のうちの一つはｎ−オクタデシルである前記のジアルキルアミンである、前記１．〜４０．のいずれか一つに記載の組成物。
４２．
前記ジアルキルアミンが構造（Ｖ）を有し、ここでＲ１がＣ１〜Ｃ４アルキルである、前記１．〜４１．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１８】
2021513583.tif 000008
４３．
前記ジアルキルアミンが、Ｎ−メチルオクタデシルアミンである、前記１．〜４２．のいずれか一つに記載の組成物。
４４．
前記ジアルキルアミンが、前記組成物の約０．２重量％〜約１０重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜４３．のいずれか一つに記載の組成物。
４５．
前記ジアルキルアミンが、前記組成物の約０．５重量％〜約５重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜４４．のいずれか一つに記載の組成物。
４６．
前記アルキルアミン成分が、前記のモノアルキルアミンであるか、または前記のモノアルキルアミンの混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４７．
前記アルキルアミン成分が、前記のモノアルキルアミンである、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４８．
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは両方とも４〜８の整数から選択される、前記１．〜３７．及び４７．のいずれか一つに記載の組成物。
４９．
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは両方とも５〜７の整数から選択される、前記１．〜３７．及び４７．〜４８．のいずれか一つに記載の組成物。
５０．
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは独立して４〜８の整数から選択される、前記１．〜３７．及び４７．〜４９．のいずれか一つに記載の組成物。
５１．
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは独立して５〜７の整数から選択される、前記１．〜３７．及び４７．〜５０．のいずれか一つに記載の組成物。
５２．
前記アルキルアミン成分が、構造（Ｉａ）のモノアルキルアミンである、前記１．〜３７．及び４７．〜５１．のいずれか一つに記載の組成物。
【化１９】
2021513583.tif 000009
５３．
前記モノアルキルアミンが、前記組成物の約０．０５重量％〜約１重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜３７．及び４７．〜５２．のいずれか一つに記載の組成物。
５４．
前記モノアルキルアミンが、前記組成物の約０．０７５重量％〜約０．５重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜３７．及び４７．〜５３．のいずれか一つに記載の組成物。
５５．
前記モノアルキルアミンが、前記組成物の約０．０７５重量％〜約０．２５重量％の量で該組成物中に存在する、前記１．〜３７．及び４７．〜５４．のいずれか一つに記載の組成物。
５６．
次のステップ：
ｉ）おおよそ室温から約２００℃までである温度で前記１．〜５５．のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ；
ｉｉ）パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に約１分間〜約６０分間の時間、上記のパターン化されたフォトレジストフィルムの少なくとも一部が上記基材から除去されるまで浸漬して、パターン化フォトレジストフィルムが除去された浸漬基材を生成するステップ；
ｉｉｉ）浸漬ステップｉｉ）の後、パターン化されたフォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップｉｉ）からの残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ；
ｉｖ）任意選択的に、上記クリーンな基材を乾燥するステップ；
を含む方法。
５７．
ステップｉ）において、前記組成物がおおよそ室温から約１００℃までに加熱される、前記５６．に記載の方法。
５８．
ステップｉ）において、前記組成物が約６０℃から約１００℃までに加熱される、前記５６．に記載の方法。
５９．
ステップｉｉ）において、基材が金属である、前記５７．〜５８．のいずれか一つに記載の方法。
６０．
ステップｉｉ）において、基材が銅である、前記５７．〜５９．のいずれか一つに記載の方法。
６１．
ステップｉｉ）において、基材が約２０分間〜約９０分間浸漬される、前記５７．〜６０．のいずれか一つに記載の方法。
６２．
ステップｉｉ）において、基材が約２０分間〜約６０分間浸漬される、前記５７．〜６１．のいずれか一つに記載の方法。
６３．
ステップｉｉ）において、基材が約３０分間〜約６０分間浸漬される、前記５７．〜６２．のいずれか一つに記載の方法。
６４．
ステップｉｉｉ）において、すすぎが、Ｃ１〜Ｃ３アルコールを用いてまたはＣ１〜Ｃ３アルコールと水との混合物を用いて行われる、前記５７．〜６３．のいずれか一つに記載の方法。
６５．
ステップｉｉｉ）において、すすぎが、Ｃ１〜Ｃ３アルコールを用いて行われる、前記５７．〜６４．のいずれか一つに記載の方法。
６６．
ステップｉｉｉ）において、すすぎが、イソプロピルアルコールを用いてまたはイソプロピルアルコールと水との混合物を用いて行われる、前記５７．〜６５．のいずれか一つに記載の方法。
６７．
ステップｉｉｉ）において、すすぎがイソプロピルアルコールを用いて行われる、前記５７．〜６６．のいずれか一つに記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
●テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドであって、次の構造（ＩＩ）
【化１】
2021513583.tif 000010
［式中、Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３及びＲａ４は、独立して、Ｃ１〜Ｃ１６アルキルまたはベンジル系部分から選択される］
を有するテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド；
●ベンジル系アルコールであって、次の構造（ＩＩＩ）
【化２】
2021513583.tif 000011
［式中、Ｒｂ１は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、及びＣ１〜Ｃ４アルコキシからなる群から選択され、そしてＲｂ２はＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキルである］
を有するベンジル系アルコール；
●少なくとも一種のグリコール化合物を含むグリコール成分であって、次の構造（ＩＶ）
【化３】
2021513583.tif 000012
［式中、ＲｇはＣ２〜Ｃ４アルキレン部分であり、前記アルキレン部分は、置換されていないか、またはＣ１〜Ｃ４アルキル部分で置換されている］
を有する少なくとも一種のグリコール化合物を含むグリコール成分；及び
●アルキルアミン成分であって、次のもの
○アルキル基のうちの一つがＣ１〜Ｃ４ｎ−アルキルであり、他がＣ１６〜Ｃ２０ｎ−アルキルであるジアルキルアミン；
○構造（Ｉ）を有するモノアルキルアミン；
【化４】
2021513583.tif 000013
（式中、ｍ’及びｍは、独立して、４〜８の範囲の整数から選択される）
○これらの組み合わせ；
からなる群から選択されるアルキルアミン成分；
を含むフォトレジストリムーバ組成物。
【請求項２】
Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３及びＲａ４が、独立して、Ｃ１〜Ｃ４線状アルキルまたはベンジル系部分から選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、及びベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシドからなる群から選択される、請求項１または２に記載の組成物。
【請求項４】
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドがテトラメチルアンモニウムヒドロキシドである、請求項１〜３のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項５】
前記テトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが、上記組成物の０．５重量％〜１０重量％の量で該組成物中に存在する、請求項１〜４のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項６】
前記組成物の１重量％〜２０重量％の量で水を更に含む、請求項１〜５のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項７】
実質的に水を含まない、請求項１〜５のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項８】
前記ベンジル系アルコールが、前記組成物の３０重量％〜９０重量％の量で該組成物中に存在する、請求項１〜７のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項９】
前記グリコール成分が、単一のグリコール化合物を含む、請求項１〜８のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１０】
前記グリコール成分が、複数のグリコール化合物の混合物を含む、請求項１〜８のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１１】
前記グリコール成分が、構造（ＩＶａ）を有する化合物及び構造（ＩＶｂ）を有する化合物からなる群から選択されるグリコール化合物であり、ここでｎは０〜３の整数であり、ｎ’’は０〜４の整数であり、Ｒｇ１はＣ１〜Ｃ４アルキルである、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【化５】
2021513583.tif 000014
【請求項１２】
前記グリコール成分が、前記組成物の５重量％〜５０重量％の量で該組成物中に存在する、請求項１〜１１のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１３】
グリコール化合物の前記混合物が、
構造（ＩＶ）を有するグリコール化合物、及び
構造（ＩＶｃ）を有するオリゴマー性グリコール化合物、
からなり、
ここでＲｇ及びＲｇ２は独立してＣ２〜Ｃ４アルキレン部分であり、これらのアルキレン部分は、置換されていないか、またはＣ１〜Ｃ４アルキル部分で置換されており、更にｎａは８〜１２の整数であり、そしてｎｂは９〜１３の整数である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【化６】
2021513583.tif 000015
【請求項１４】
グリコール化合物の前記混合物が、
構造（ＩＶｂ）を有するグリコール化合物（ここでｎ’’は０〜４の整数であり、そしてＲｇ１はＣ１〜Ｃ４アルキルである）、及び
構造（ＩＶｄ）を有するオリゴマー性グリコール化合物（ここでｎａ’は８〜１２の整数であり、そしてｎｂは９〜１３の範囲の整数である）、
からなる、請求項１〜１０及び１３のいずれか一つに記載の組成物。
【化７】
2021513583.tif 000016
【請求項１５】
Ｒｇ１がメチルであり；ｎａ’が９〜１１の整数であり、そしてｎｂが１０〜１２の範囲の整数である、請求項１４に記載の組成物。
【請求項１６】
構造（ＩＶ）を有するグリコール化合物が、９重量％〜１５重量％の量で該組成物中に存在し、そして構造（ＩＶｃ）を有するオリゴマー性グリコール化合物が、０．５重量％〜５重量％の量で該組成物中に存在する、請求項１〜１０及び１３〜１５のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１７】
前記アルキルアミン成分が、上記のジアルキルアミンであるか、または上記のジアルキルアミンの混合物である、請求項１〜１６のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１８】
前記アルキルアミン成分が、アルキル基のうちの一つがメチルである前記のジアルキルアミンである、請求項１〜１７のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１９】
前記ジアルキルアミンが構造（Ｖ）を有し、ここでＲ１がＣ１〜Ｃ４アルキルである、請求項１〜１８のいずれか一つに記載の組成物。
【化８】
2021513583.tif 000017
【請求項２０】
前記ジアルキルアミンが、Ｎ−メチルオクタデシルアミンである、請求項１〜１９のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２１】
前記ジアルキルアミンが、前記組成物の０．２重量％〜１０重量％の量で該組成物中に存在する、請求項１〜２０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２２】
前記アルキルアミン成分が、前記のモノアルキルアミンであるか、または前記のモノアルキルアミンの混合物である、請求項１〜１６のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２３】
前記アルキルアミン成分が、前記のモノアルキルアミンである、請求項１〜１６のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２４】
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは両方とも４〜８の整数から選択される、請求項１〜１６及び２３のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２５】
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは両方とも５〜７の整数から選択される、請求項１〜１６及び２３〜２４のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２６】
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは独立して４〜８の整数から選択される、請求項１〜１６及び２３〜２５のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２７】
前記アルキルアミン成分が前記のモノアルキルアミンであり、ここでｍ’及びｍは独立して５〜７の整数から選択される、請求項１〜１６及び２３〜２６のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２８】
前記アルキルアミン成分が、構造（Ｉａ）のモノアルキルアミンである、請求項１〜１６及び２３〜２７のいずれか一つに記載の組成物。
【化９】
2021513583.tif 000018
【請求項２９】
前記モノアルキルアミンが、前記組成物の０．０５重量％〜１重量％の量で該組成物中に存在する、請求項１〜１６及び２３〜２８のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項３０】
パターン化されたフォトレジストを基材から除去する方法であって、次のステップ：
ｉ）室温から２００℃までである温度で請求項１〜２９のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ；
ｉｉ）パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に１分間〜６０分間の時間、上記のパターン化されたフォトレジストフィルムの少なくとも一部が上記基材から除去されるまで浸漬して、パターン化フォトレジストフィルムが除去された浸漬基材を生成するステップ；
ｉｉｉ）浸漬ステップｉｉ）の後、パターン化されたフォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロピルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップｉｉ）からの残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ；
ｉｖ）任意選択的に、上記クリーンな基材を乾燥するステップ；
を含む方法。