【手続補正書】
【提出日】平成17年3月25日(2005.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨方法であって、
所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを所定時間研磨する第一の工程と、
前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する第二の工程と、
前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する第三の工程と、
前記研磨レートを所定の閾値と比較する第四の工程と、
前記比較の結果に基づいて前記研磨パッドに係る処理の要否を判断する第五の工程と
を備えることを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨方法であって、
所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを所定時間研磨する第一の工程と、
前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する第二の工程と、
前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する第三の工程と、
前記研磨レートを所定の第一の閾値及び前記第一の閾値より大きい所定の第二の閾値と比較する第四の工程と、
前記比較の結果、前記研磨レートが前記第一の閾値より小さい場合は、前記研磨パッドの目立て又は研磨パッドの交換を行い、前記研磨レートが前記第二の閾値より大きい場合は、ならし研磨を行う第五の工程と
を備えることを特徴とする研磨方法。
【請求項３】
前記研磨レートが前記第一の閾値と前記第二の閾値の間に入るまで、前記第一の工程から前記第五の工程までを繰り返すことを特徴とする請求項２記載の研磨方法。
【請求項４】
被研磨物の供給部と、
研磨量モニタ用のモニタリングピースを収納する収納部と、
研磨パッドを有し、前記被研磨物又は前記モニタリングピースの被研磨面に前記研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨器と、
前記被研磨物を前記供給部と前記研磨器との間で搬送する被研磨物搬送手段と、
前記モニタリングピースを前記収納部と前記研磨器との間で搬送するモニタリングピース搬送手段と、
前記研磨パッドの目立てを行う目立て手段と、
前記研磨機で研磨した前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、
前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、
前記研磨レートを所定の閾値と比較し、前記比較の結果に基づいて前記研磨パッドに係る処理を行うか否かを判断する手段と
を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
被研磨物の供給部と、
研磨量モニタ用のモニタリングピースを収納する収納部と、
研磨パッドを有し、前記被研磨物又は前記モニタリングピースの被研磨面に前記研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨器と、
前記被研磨物を前記供給部と前記研磨器との間で搬送する被研磨物搬送手段と、
前記モニタリングピースを前記収納部と前記研磨器との間で搬送するモニタリングピース搬送手段と、
前記研磨パッドの目立てを行う目立て手段と、
前記研磨機で研磨した前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、
前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、
前記研磨レートを所定の第一の閾値及び前記第一の閾値より大きい所定の第二の閾値と比較し、前記比較の結果に基づいて、前記研磨パッドの目立て又は研磨パッドの交換を行うか、若しくは前記研磨パッドのならし研磨を行うかを判断する手段と
を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、
所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨できるように搬送する搬送手段と、
該搬送手段が搬送したモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨する手段と、
研磨されたモニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、
算出された研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、
算出された研磨レートを所定の閾値と比較する手段と、
比較の結果に基づいて研磨レートが適正な範囲に収まるように研磨パッドに係る処理の要否を判断する手段と
を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、
所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨できるように搬送する搬送手段と、
該搬送手段が搬送したモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨する手段と、
研磨されたモニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、
算出された研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、
算出された研磨レートを所定の第一の閾値及び前記第一の閾値より大きい所定の第二の閾値と比較する手段と、
前記比較の結果、前記研磨レートが前記第一の閾値より小さい場合は、前記研磨パッドの目立て又は研磨パッドの交換を行い、前記研磨レートが前記第二の閾値より大きい場合は、ならし研磨を行う手段と
を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、
所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを所定時間研磨する第一の工程と、
前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する第二の工程と、
前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する第三の工程と、
前記研磨レートを所定の閾値と比較する第四の工程と、
前記比較の結果に基づいて前記研磨パッドに係る処理の要否を判断する第五の工程と
を実施することを特徴とする研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による研磨方法は、被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨方法であって、所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを所定時間研磨する第一の工程と、前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する第二の工程と、前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する第三の工程と、前記研磨レートを所定の閾値と比較する第四の工程と、前記比較の結果に基づいて前記研磨パッドに係る処理の要否を判断する第五の工程とを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記の目的を達成するために、本発明による研磨方法は、被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨方法であって、所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを所定時間研磨する第一の工程と、前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する第二の工程と、前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する第三の工程と、前記研磨レートを所定の第一の閾値ＡＡ及び前記第一の閾値ＡＡより大きい所定の第二の閾値ＢＢと比較する第四の工程と、前記比較の結果、前記研磨レートが前記第一の閾値ＡＡより小さい場合は、前記研磨パッドの目立て又は研磨パッドの交換を行い、前記研磨レートが前記第二の閾値ＢＢより大きい場合は、ならし研磨を行う第五の工程とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明による研磨方法は、前記研磨レートが前記第一の閾値ＡＡと前記第二の閾値ＢＢの間に入るまで、前記第一の工程から前記第五の工程までを繰り返すことを特徴とする。研磨レートが第一の閾値ＡＡと第二の閾値ＢＢとの間に入るようにするので、研磨レートの経時的変化に対応でき、目立てを行うだけでなく、ならし研磨を行うので過度に目立てをしてしまった場合にも対応できる。ここで、製品用の被研磨物の被研磨面の品質を考慮して第二の閾値ＢＢを決め、研磨効率を考慮して第一の閾値ＡＡを決めることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記の目的を達成するために、本発明に係る研磨装置は、被研磨物の供給部と、研磨量モニタ用のモニタリングピースを収納する収納部と、研磨パッドを有し、前記被研磨物又は前記モニタリングピースの被研磨面に前記研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨器と、前記被研磨物を前記供給部と前記研磨器との間で搬送する被研磨物搬送手段と、前記モニタリングピースを前記収納部と前記研磨器との間で搬送するモニタリングピース搬送手段と、前記研磨パッドの目立てを行う目立て手段と、前記研磨機で研磨した前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、前記研磨レートを所定の閾値と比較し、前記比較の結果に基づいて前記研磨パッドに係る処理を行うか否かを判断する手段とを備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る研磨装置は、被研磨物の供給部と、研磨量モニタ用のモニタリングピースを収納する収納部と、研磨パッドを有し、前記被研磨物又は前記モニタリングピースの被研磨面に前記研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨器と、前記被研磨物を前記供給部と前記研磨器との間で搬送する被研磨物搬送手段と、前記モニタリングピースを前記収納部と前記研磨器との間で搬送するモニタリングピース搬送手段と、前記研磨パッドの目立てを行う目立て手段と、前記研磨機で研磨した前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、前記研磨レートを所定の第一の閾値及び前記第一の閾値より大きい所定の第二の閾値と比較し、前記比較の結果に基づいて、前記研磨パッドの目立て又は研磨パッドの交換を行うか、若しくは前記研磨パッドのならし研磨を行うかを判断する手段とを備えたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
さらに、本発明による研磨装置は、被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨できるように搬送する搬送手段と、該搬送手段が搬送したモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨する手段と、研磨されたモニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、算出された研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、算出された研磨レートを所定の閾値と比較する手段と、比較の結果に基づいて研磨レートが適正な範囲に収まるように研磨パッドに係る処理の要否を判断する手段とを備えることを特徴とする。
さらにまた、本発明による研磨装置は、被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨できるように搬送する搬送手段と、該搬送手段が搬送したモニタリングピースを前記研磨パッドで研磨する手段と、研磨されたモニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する手段と、算出された研磨量に基づいて研磨レートを算出する手段と、算出された研磨レートを所定の第一の閾値及び前記第一の閾値より大きい所定の第二の閾値と比較する手段と、前記比較の結果、前記研磨レートが前記第一の閾値より小さい場合は、前記研磨パッドの目立て又は研磨パッドの交換を行い、前記研磨レートが前記第二の閾値より大きい場合は、ならし研磨を行う手段とを備えることを特徴とする。
また、本発明による研磨装置は、被研磨物の被研磨面に研磨パッドを押し当て、前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、所定数の被研磨物を研磨する毎に研磨量モニタ用のモニタリングピースを所定時間研磨する第一の工程と、前記モニタリングピースの所定部分における研磨量を算出する第二の工程と、前記研磨量に基づいて研磨レートを算出する第三の工程と、前記研磨レートを所定の閾値と比較する第四の工程と、前記比較の結果に基づいて前記研磨パッドに係る処理の要否を判断する第五の工程とを実施することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
図１０は、モニタウエハ回収処理モードにおけるウエハフローを示す模式的平面図である。モニタウエハ収納部４に収納されているモニタウエハが、搬送ロボット１１ｃによって取り出され、ウエハステージ１３に載置され、さらに搬送ロボット１１ａにより、カセットポート２ａに収容されている空のウエハカセット７１へ搬送される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
この動作を２５回繰り返すことにより、モニタウエハ収納部４からウエハカセット７１へ２５枚のモニタウエハを回収する。このモニタウエハの回収動作もまた、モニタウエハ収納動作と同じく研磨パッド交換等のメンテナンス時に行えばよい。