【手続補正書】
【提出日】令和3年3月29日(2021.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スペクトル可調照明装置、並びに
２個以上の標本層上に計量ターゲット要素が備わる標本の画像を、そのスペクトル可調照明装置からの照明に応じその標本から発せられる輻射に基づき生成するよう構成された検出器、
を有するイメージング装置と、
そのイメージング装置に可通信結合されたコントローラであり、プログラム命令を実行するよう構成された１個又は複数個のプロセッサを有するコントローラと、
を備え、前記１個又は複数個のプロセッサが、
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素が指定画質公差内でイメージングされるよう前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決定し、各層特定的イメージングコンフィギュレーションが前記スペクトル可調照明装置からの照明スペクトルを含み、
それら層特定的イメージングコンフィギュレーションを用い生成された、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の１枚又は複数枚の画像を、前記イメージング装置から受け取り、且つ
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像に基づき計量計測を行うよう、
前記プログラム命令が構成されている計量システム。
【請求項２】
請求項１に記載の計量システムであって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、前記検出器の画像捕捉パラメタを含む計量システム。
【請求項３】
請求項２に記載の計量システムであって、前記検出器の前記画像捕捉パラメタが、利得及び積分時間のうち少なくとも一方を含む計量システム。
【請求項４】
請求項１に記載の計量システムであって、前記イメージング装置が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリック照明が行われるポジションを含む計量システム。
【請求項５】
請求項１に記載の計量システムであって、前記イメージング装置が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリックイメージングが行われるポジションを含む計量システム。
【請求項６】
請求項１に記載の計量システムであって、前記イメージング装置が、前記標本を自イメージング装置の可調焦点位置に位置決めするステージを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その標本の焦点位置を含む計量システム。
【請求項７】
請求項１に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調照明装置が、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の照明スペクトルを順次供給し、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像が、それら２個以上の標本層に係る別々の画像を含み、前記検出器が、当該二通り以上の照明スペクトルに基づきそれら２個以上の標本層に関し当該別々の画像を順次生成する計量システム。
【請求項８】
請求項１に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調照明装置が、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の空間分離照明スペクトルを同時供給することで前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素向けに別々の照明スペクトルを供給し、前記検出器により生成された、それら２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像が、単一の画像を含む計量システム。
【請求項９】
請求項１に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調照明装置が、
広帯域照明源と、
その広帯域照明源のスペクトルを修正する１個又は複数個の分光フィルタと、
を備える計量システム。
【請求項１０】
請求項９に記載の計量システムであって、前記１個又は複数個の分光フィルタが、
ショートパスフィルタ、ロングパスフィルタ、バンドパスフィルタ及びノッチフィルタのうち少なくとも１個を含む計量システム。
【請求項１１】
請求項９に記載の計量システムであって、前記１個又は複数個の分光フィルタが、
１個又は複数個の分光フィルタリング特性固定型分光フィルタを含む計量システム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調照明装置が、更に、
前記１個又は複数個の分光フィルタリング特性固定型分光フィルタを、前記広帯域照明源からの照明路のうち前記標本より前のところに選択的に挿入する、少なくとも１個のフィルタ挿入装置を備える計量システム。
【請求項１３】
請求項１２に記載の計量システムであって、前記フィルタ挿入装置が、
フィルタホイール、直線並進装置及びフリッパ装置のうち少なくとも１個を備える計量システム。
【請求項１４】
請求項９に記載の計量システムであって、前記１個又は複数個の分光フィルタが、
１個又は複数個の分光フィルタリング特性可調型分光フィルタを含む計量システム。
【請求項１５】
請求項１４に記載の計量システムであって、前記１個又は複数個の分光フィルタリング特性可調型分光フィルタが、
前記広帯域照明源からの照明の入射角に基づき分光フィルタリング特性が調整される１個又は複数個の角度可調分光フィルタを備え、前記スペクトル可調照明装置が、更に、その広帯域照明源からの照明の当該１個又は複数個の角度可調分光フィルタ上への入射角を調整するフィルタ調整装置を備える計量システム。
【請求項１６】
請求項１４に記載の計量システムであって、前記１個又は複数個の分光フィルタリング特性可調型分光フィルタが、
可調ダブルモノクロメータを備える計量システム。
【請求項１７】
請求項９に記載の計量システムであって、前記広帯域照明源が、
超連続体レーザ光源を備える計量システム。
【請求項１８】
請求項９に記載の計量システムであって、前記広帯域照明源が、
レーザ励起プラズマ照明源及びランプ型照明源のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項１９】
請求項１に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調照明装置が、
２個以上の狭帯域照明源と、
それら２個以上の狭帯域照明源のうち少なくとも１個からの照明を選択して前記標本のイメージングに供する選択装置と、
を備える計量システム。
【請求項２０】
請求項１９に記載の計量システムであって、前記２個以上の狭帯域照明源のうちある狭帯域照明源が、
レーザ光源及び分光フィルタ付広帯域照明源のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項２１】
請求項１に記載の計量システムであって、前記指定画質公差が、
コントラスト、解像度、輝度及びノイズ許容度のうち少なくとも一つを含む計量システム。
【請求項２２】
請求項１に記載の計量システムであって、前記検出器が、
電荷結合デバイス型検出器及び相補金属酸化物半導体型検出器のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項２３】
請求項１に記載の計量システムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層間のオーバレイの計測を含む計量システム。
【請求項２４】
請求項１に記載の計量システムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の限界寸法を含む計量システム。
【請求項２５】
請求項１に記載の計量システムであって、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決める際に、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用い前記イメージング装置で以て生成し、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択する、
計量システム。
【請求項２６】
請求項１に記載の計量システムであって、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決める際に、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用いシミュレーションし、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択する、
計量システム。
【請求項２７】
広帯域照明源、
その広帯域照明源からの照明に応じ標本から発せられる輻射を分光フィルタリングするスペクトル可調フィルタ、並びに
２個以上の標本層を有する前記標本の画像を、その標本から発せられ前記スペクトル可調フィルタによりフィルタリングされた輻射に基づき生成する検出器、
を有するイメージング装置と、
そのイメージング装置に可通信結合されたコントローラであり、プログラム命令を実行するよう構成された１個又は複数個のプロセッサを有するコントローラと、
を備え、前記１個又は複数個のプロセッサが、
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素が指定画質公差内でイメージングされるよう、また個々の層特定的イメージングコンフィギュレーションが前記スペクトル可調フィルタによりフィルタリングされた前記標本からの輻射のスペクトルを含むよう、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決め、
それら層特定的イメージングコンフィギュレーションを用い生成された、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の１枚又は複数枚の画像を、前記検出器から受け取り、且つ
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像に基づき計量計測を行うよう、
前記プログラム命令が構成されている計量システム。
【請求項２８】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、前記検出器の画像捕捉パラメタを含む計量システム。
【請求項２９】
請求項２８に記載の計量システムであって、前記検出器の前記画像捕捉パラメタが、利得及び積分時間のうち少なくとも一方を含む計量システム。
【請求項３０】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記イメージング装置が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリック照明が行われるポジションを含む計量システム。
【請求項３１】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記イメージング装置が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリックイメージングが行われるポジションを含む計量システム。
【請求項３２】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記イメージング装置が、前記標本を自イメージング装置の可調焦点位置に位置決めするステージを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その標本の焦点位置を含む計量システム。
【請求項３３】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調フィルタが、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上のフィルタリング済スペクトルを順次供給し、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像がそれら２個以上の標本層に係る別々の画像を含み、前記検出器が、当該二通り以上のフィルタリングされたスペクトルに基づき当該２個以上の標本層に係る当該別々の画像を順次生成する計量システム。
【請求項３４】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調フィルタが、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の空間分離照明スペクトルを同時供給することで前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素向けに別々の照明スペクトルを供給し、前記検出器により生成された、それら２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像が、単一の画像を含む計量システム。
【請求項３５】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調フィルタが、
ショートパスフィルタ、ロングパスフィルタ、バンドパスフィルタ及びノッチフィルタのうち少なくとも１個を含む計量システム。
【請求項３６】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調フィルタが、
１個又は複数個の分光フィルタリング特性固定型分光フィルタを含む計量システム。
【請求項３７】
請求項３６に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調フィルタが、更に、
前記１個又は複数個の分光フィルタリング特性固定型分光フィルタを、前記標本に発する輻射路のうち前記標本より前のところに選択的に挿入する、少なくとも１個のフィルタ挿入装置を備える計量システム。
【請求項３８】
請求項３７に記載の計量システムであって、前記フィルタ挿入装置が、
フィルタホイール、直線並進装置及びフリッパ装置のうち少なくとも１個を備える計量システム。
【請求項３９】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記スペクトル可調フィルタが、
１個又は複数個の分光フィルタリング特性可調型分光フィルタを含む計量システム。
【請求項４０】
請求項３９に記載の計量システムであって、前記１個又は複数個の分光フィルタリング特性可調型分光フィルタが、
前記広帯域照明源からの照明の入射角に基づき分光フィルタリング特性が調整される１個又は複数個の角度可調分光フィルタを備え、前記イメージング装置が、更に、その広帯域照明源からの照明の当該１個又は複数個の角度可調分光フィルタ上への入射角を調整するフィルタ調整装置を備える計量システム。
【請求項４１】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記広帯域源が、
超連続体レーザ光源を備える計量システム。
【請求項４２】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記広帯域照明源が、
レーザ励起プラズマ照明源及びランプ型照明源のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項４３】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記指定画質公差が、
コントラスト、解像度、輝度及びノイズ許容度のうち少なくとも一つを含む計量システム。
【請求項４４】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記検出器が、
電荷結合デバイス型検出器及び相補金属酸化物半導体型検出器のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項４５】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層間のオーバレイの計測を含む計量システム。
【請求項４６】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の限界寸法を含む計量システム。
【請求項４７】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決める際に、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用い前記イメージング装置で以て生成し、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択する、
計量システム。
【請求項４８】
請求項２７に記載の計量システムであって、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決める際に、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用いシミュレーションし、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択する、
計量システム。
【請求項４９】
標本に備わる２個以上の標本層上の計量ターゲット要素が指定画質公差内でイメージングされるようイメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを１個又は複数個のプロセッサで決定するステップであって、各層特定的イメージングコンフィギュレーションがイメージングスペクトルを含むステップと、
それら層特定的イメージングコンフィギュレーションを用い生成された、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の１枚又は複数枚の画像を、前記イメージング装置から受け取るステップと、
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像に基づき計量計測を行うステップと、
を有する方法。
【請求項５０】
請求項４９に記載の方法であって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションのうちイメージングスペクトルが、前記標本上に入射する照明のスペクトルを含む方法。
【請求項５１】
請求項４９に記載の方法であって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションのうちイメージングスペクトルが、前記イメージング装置に備わる検出器上に入射する輻射のうち、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像を生成するスペクトルを含む方法。
【請求項５２】
請求項５１に記載の方法であって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、前記検出器の画像捕捉パラメタを含む方法。
【請求項５３】
請求項５２に記載の方法であって、前記検出器の前記画像捕捉パラメタが、利得及び積分時間のうち少なくとも一方を含む方法。
【請求項５４】
請求項４９に記載の方法であって、前記イメージング装置が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリックイメージングが行われるポジションを含む方法。
【請求項５５】
請求項４９に記載の方法であって、前記イメージング装置が、前記標本を自イメージング装置の可調焦点位置に位置決めするステージを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その標本の焦点位置を含む方法。
【請求項５６】
請求項４９に記載の方法であって、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決めるステップが、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用い前記イメージング装置で以て生成するステップと、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択するステップと、
を含む方法。
【請求項５７】
請求項４９に記載の方法であって、前記イメージング装置の層特定的イメージングコンフィギュレーションを決めるステップが、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用いシミュレーションするステップと、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択するステップと、
を含む方法。
【請求項５８】
１つまたは複数のレンズ、並びに
２個以上の標本層上に計量ターゲット要素を含む標本を、照明源からの照明に基づきイメージングするよう構成された検出器、
を有するイメージングサブシステムと、
そのイメージングサブシステムに可通信結合されたコントローラであり、プログラム命令を実行するよう構成された１個又は複数個のプロセッサを有するコントローラと、
を備え、前記１個又は複数個のプロセッサが、
前記２個以上の標本層上の前記計量ターゲット要素が指定画質公差内でイメージングされるよう前記イメージングサブシステムの層特定的イメージングコンフィギュレーションを決定し、各層特定的イメージングコンフィギュレーションが前記イメージングサブシステムの１つまたは複数のコンポーネントの選択されたコンフィグレーションを含み、
それら層特定的イメージングコンフィギュレーションを用い生成された、前記２個以上の標本層上の前記計量ターゲット要素の１枚又は複数枚の画像を、前記イメージングサブシステムから受け取り、且つ
前記２個以上の標本層上の前記計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像に基づき計量計測を行うよう、
前記プログラム命令が構成されている計量システム。
【請求項５９】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、前記検出器の画像捕捉パラメタを含む計量システム。
【請求項６０】
請求項５９に記載の計量システムであって、前記検出器の前記画像捕捉パラメタが、利得及び積分時間のうち少なくとも一方を含む計量システム。
【請求項６１】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリック照明が行われるポジションを含む計量システム。
【請求項６２】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリックイメージングが行われるポジションを含む計量システム。
【請求項６３】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、前記標本を自イメージングサブシステムの可調焦点位置に位置決めするステージを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その標本の焦点位置を含む計量システム。
【請求項６４】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが偏光子を備えて前記照明源からの照明の偏向を調整し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、前記標本における照明の偏向を含む計量システム。
【請求項６５】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、前記イメージングサブシステムの前記層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の照明スペクトルを順次供給し、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像が、それら２個以上の標本層に係る別々の画像を含み、前記検出器が、当該二通り以上の照明スペクトルに基づきそれら２個以上の標本層に関し当該別々の画像を順次生成する計量システム。
【請求項６６】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の空間分離照明スペクトルを同時供給し、前記検出器により生成された、それら２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像が、単一の画像を含む計量システム。
【請求項６７】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、
広帯域照明源と、
その広帯域照明源のスペクトルを修正する１個又は複数個の分光フィルタと、
を備える計量システム。
【請求項６８】
請求項６７に記載の計量システムであって、前記広帯域照明源が、
超連続体レーザ光源を備える計量システム。
【請求項６９】
請求項６７に記載の計量システムであって、前記広帯域照明源が、
レーザ励起プラズマ照明源及びランプ型照明源のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項７０】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムが、さらに、
２個以上の狭帯域照明源と、
それら２個以上の狭帯域照明源のうち少なくとも１個からの照明を選択して前記標本のイメージングに供するビーム結合器と１つまたは複数のシャッタの少なくとも一方と、
を備える計量システム。
【請求項７１】
請求項７０に記載の計量システムであって、前記２個以上の狭帯域照明源のうちある狭帯域照明源が、
レーザ光源及び分光フィルタ付広帯域照明源のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項７２】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記指定画質公差が、
コントラスト、解像度、輝度及びノイズ許容度のうち少なくとも一つを含む計量システム。
【請求項７３】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記検出器が、
電荷結合デバイス型検出器及び相補金属酸化物半導体型検出器のうち少なくとも一方を備える計量システム。
【請求項７４】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層間のオーバレイの計測を含む計量システム。
【請求項７５】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層のうち少なくとも１個の標本層上の少なくとも１つの計量ターゲット要素の限界寸法を含む計量システム。
【請求項７６】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムの前記層特定的イメージングコンフィギュレーションを決める際に、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用い前記イメージングサブシステムで生成し、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択する、
計量システム。
【請求項７７】
請求項５８に記載の計量システムであって、前記イメージングサブシステムの前記層特定的イメージングコンフィギュレーションを決める際に、
前記２個以上の標本層それぞれの上の計量ターゲット要素の画像を、様々なイメージングコンフィギュレーションを用いシミュレーションし、
前記２個以上の標本層それぞれに関し、前記様々なイメージングコンフィギュレーションの中から、前記指定画質公差と合致する画像を提供する層特定的イメージングコンフィギュレーションを選択する、
計量システム。
【請求項７８】
照明ビームを生成するように構成された照明源と、
１つまたは複数の並進ステージを含み、２個以上の標本層を有する標本の位置を選択的に調整する、標本ステージと、
前記照明ビームを前記標本に方向付けるように構成された１つまたは複数の照明光学系であって、前記照明ビームの偏向を選択的に調整する偏光子を含む、１つまたは複数の照明光学系と、
前記照明ビームに応答して前記標本から発せられる輻射を収集するように構成された１つまたは複数の収集光学系と、
前記標本の画像を、その標本から発せられ前記１つまたは複数の収集光学系により収集された輻射に基づき生成する検出器と、
前記照明源、前記１つまたは複数の照明光学系のいずれか、前記１つまたは複数の収集光学系のいずれか、または前記検出器のうちの少なくとも１つに可通信結合されたコントローラであり、プログラム命令を実行するよう構成された１個又は複数個のプロセッサを有するコントローラと、
を備え、前記１個又は複数個のプロセッサが、
前記２個以上の標本層に対する層特定的イメージングコンフィギュレーションを受け取り、各層特定的イメージングコンフィギュレーションが、前記２個以上の標本層のうち特定の標本層をイメージングするために、前記照明源のスペクトル、前記照明ビームの偏向、または前記標本の位置の少なくともいずれかの、選択されたコンフィグレーションを含み、
それら層特定的イメージングコンフィギュレーションを用いて、前記２個以上の標本層に対する画像を生成し、
前記２つ以上の画像に基づき計量計測を行うよう、
前記プログラム命令が構成されているイメージングシステム。
【請求項７９】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、前記検出器の画像捕捉パラメタを含むイメージングシステム。
【請求項８０】
請求項７９に記載のイメージングシステムであって、前記検出器の前記画像捕捉パラメタが、利得及び積分時間のうち少なくとも一方を含むイメージングシステム。
【請求項８１】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記１つまたは複数の照明光学系が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリック照明が行われるポジションを含むイメージングシステム。
【請求項８２】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記１つまたは複数の収集光学系が、そのポジションが可調な開口絞りを有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その開口絞りのポジションのうち、指定テレセントリシティ公差内で前記標本のテレセントリックイメージングが行われるポジションを含むイメージングシステム。
【請求項８３】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記１つまたは複数の収集光学系が収集偏光子を有し、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが、更に、その標本から発せられ前記検出器に入射する輻射の偏向を含むイメージングシステム。
【請求項８４】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションが前記照明源の前記スペクトルを含み、前記照明源が、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の照明スペクトルを順次供給し、前記検出器が、当該二通り以上の照明スペクトルに基づき当該２個以上の標本層に係る別々の画像を順次生成するイメージングシステム。
【請求項８５】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記照明源が、前記層特定的イメージングコンフィギュレーションに係る二通り以上の空間分離照明スペクトルを同時供給し、前記検出器により生成された、前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像が、単一の画像を含むイメージングシステム。
【請求項８６】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記照明源が、
広帯域照明装置と、
前記広帯域照明装置の前記スペクトルを修正する１つまたは複数の分光フィルタと、
を備える、イメージングシステム。
【請求項８７】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、さらに、
２個以上の狭帯域照明源と、
それら２個以上の狭帯域照明源のうち少なくとも１個からの照明を選択して前記標本をイメージングするビーム結合器と１つまたは複数のシャッタの少なくとも一方と、
を備えるイメージングシステム。
【請求項８８】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層間のオーバレイの計測を含むイメージングシステム。
【請求項８９】
請求項７８に記載のイメージングシステムであって、前記計量計測が、
前記２個以上の標本層のうち少なくとも１個の標本層上の少なくとも１つの計量ターゲット要素の限界寸法を含む、イメージングシステム。
【請求項９０】
標本の２個以上の標本層上の計量ターゲット要素が指定画質公差内でイメージングされるようイメージングサブシステムの層特定的イメージングコンフィギュレーションを決定するステップであって、各層特定的イメージングコンフィギュレーションが前記イメージングサブシステムの１つまたは複数のコンポーネントの選択されたコンフィグレーションを含む、ステップと、
それら層特定的イメージングコンフィギュレーションを用いて、前記２個以上の標本層上の前記計量ターゲット要素の１枚又は複数枚の画像を、前記イメージングサブシステムで生成するステップと、
前記２個以上の標本層上の計量ターゲット要素の前記１枚又は複数枚の画像に基づき計量計測を行うステップと、
を有する方法。
【請求項９１】
請求項９０に記載の方法であって、各層特定的イメージングコンフィギュレーションが、前記照明源のスペクトル、前記照明ビームの偏向、照明テレセンリシティ、イメージングテレセントリシティ、または前記標本の位置の少なくともいずれかの、選択されたコンフィグレーションを含む、方法。