【手続補正書】
【提出日】令和2年11月27日(2020.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚又は複数枚のウェハの１個又は複数個の欠陥を検出するように構成された１個又は複数個のイメージングセンサを含む検査サブシステムと、
前記１枚又は複数枚のウェハを保持するよう構成されたステージと、
前記検査サブシステムの前記１個又は複数個のイメージングセンサに可通信結合されたコントローラと、を備え、そのコントローラが、メモリ内に格納されている一組のプログラム命令を実行するよう構成された１個又は複数個のプロセッサを有し、それらプログラム命令が、前記１個又は複数個のプロセッサに、
ウェハの１枚又は複数枚の低解像度画像であり、１個又は複数個の低解像度画像パッチを含み、その１個又は複数個の低解像度画像パッチが一通り又は複数通りのサブ画素シフトを伴う１枚又は複数枚の低解像度画像を捕捉させ、
前記１個又は複数個の低解像度画像パッチを集成させ、
前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトを推定するのと同時に、集成された１個又は複数個の低解像度画像パッチ及び推定された前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトから一通り又は複数通りの高分解能点拡がり関数（ＰＳＦ）を再構築させる、
ように構成されているシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、
前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトが、前記ステージの径方向運動を追跡する１個又は複数個のステージエンコーダと、そのステージの並進運動を追跡する１個又は複数個のステージエンコーダと、のうち少なくとも一方により追跡されるシステム。
【請求項３】
請求項１に記載のシステムであって、
前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトが、一通り又は複数通りのランダムサブ画素シフトと、一通り又は複数通りの制御下サブ画素シフトと、一通り又は複数通りの通知定量サブ画素シフトと、のうち少なくとも一つを含むシステム。
【請求項４】
請求項１に記載のシステムであって、
前記１枚又は複数枚の低解像度画像が前記ウェハの１個又は複数個の被検査領域のものであり、前記検査サブシステム内の１個又は複数個のエンコーダで以て又は前記コントローラ内の１個又は複数個のエンコーダで以て集成されるシステム。
【請求項５】
請求項１に記載のシステムであって、
前記プログラム命令が更に、前記１個又は複数個のプロセッサに、
一通り又は複数通りの超分解能手順を媒介にして前記一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦを再構築させる、
ように構成されているシステム。
【請求項６】
請求項５に記載のシステムであって、
前記一通り又は複数通りの超分解能手順が、前記検査サブシステムの周波数ドメインに依拠する少なくとも一組の線形手順を含むシステム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、
前記プログラム命令が更に、前記１個又は複数個のプロセッサに、
再構築された一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦで以て一通り又は複数通りの先進アプリケーションを実行させる、
ように構成されているシステム。
【請求項８】
請求項７に記載のシステムであって、
前記一通り又は複数通りの先進アプリケーションのなかに、膜に係るショットノイズ及び画像スペックルをスペックルパターンに基づき低減するものが含まれているシステム。
【請求項９】
請求項７に記載のシステムであって、
前記一通り又は複数通りの先進アプリケーションのなかに、一通り又は複数通りの宇宙線事象を却けることで真正欠陥からノイズを識別するものが含まれているシステム。
【請求項１０】
請求項７に記載のシステムであって、
前記一通り又は複数通りの先進アプリケーションのなかに、前記検査サブシステムのダイナミックレンジを拡張するものが含まれているシステム。
【請求項１１】
請求項１に記載のシステムであって、
前記プログラム命令が更に、前記１個又は複数個のプロセッサに、
１枚又は複数枚の欠陥検査画像を受け取らせ、
前記１枚又は複数枚の欠陥検査画像と再構築された高分解能ＰＳＦとを一通り又は複数通りの付加的超分解能手順で以て結合させることで、当該１枚又は複数枚の欠陥検査画像内で一通り又は複数通りのノイズと１個又は複数個の欠陥とを識別させる、
ように構成されているシステム。
【請求項１２】
請求項１に記載のシステムであって、
前記プログラム命令が更に、前記１個又は複数個のプロセッサに、
前記ウェハ向けの検査レシピを前記一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦに基づき生成させる、
ように構成されているシステム。
【請求項１３】
請求項１に記載のシステムであって、
前記プログラム命令が更に、前記１個又は複数個のプロセッサに、
前記検査サブシステムの１個又は複数個の光学部材であり、その検査サブシステムの校正及び設計のうち少なくとも一方に用いられる１個又は複数個の動作パラメタを有するものを指定させ、
前記検査サブシステム向けの一通り又は複数通りの付加的校正指標であり、前記１個又は複数個の光学部材の前記１個又は複数個の動作パラメタに基づくものを生成させ、
前記１枚又は複数枚のウェハ向けの検査レシピを前記一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦと前記一通り又は複数通りの付加的校正指標とに基づき生成させる、
ように構成されているシステム。
【請求項１４】
ウェハの低解像度画像を１枚又は複数枚捕捉するステップであり、当該１枚又は複数枚の低解像度画像が１個又は複数個の低解像度画像パッチを含み、当該１個又は複数個の低解像度画像パッチが一通り又は複数通りのサブ画素シフトを伴うステップと、
前記１個又は複数個の低解像度画像パッチを集成するステップと、
前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトを推定するのと同時に、集成された１個又は複数個の低解像度画像パッチ及び推定された前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトから一通り又は複数通りの高分解能点拡がり関数（ＰＳＦ）を再構築するステップと、
を有する方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の方法であって、
１枚又は複数枚のウェハを保持するよう構成されたステージに１個又は複数個のステージエンコーダが結合されており、前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトが、
１個又は複数個のステージエンコーダにより前記ステージの径方向運動を追跡すること並びに１個又は複数個のステージエンコーダによりそのステージの並進運動を追跡することのうち、少なくとも一方により追跡される方法。
【請求項１６】
請求項１４に記載の方法であって、
前記一通り又は複数通りのサブ画素シフトが、一通り又は複数通りのランダムサブ画素シフトと、一通り又は複数通りの制御下サブ画素シフトと、一通り又は複数通りの通知定量サブ画素シフトと、のうち少なくとも一つを含む方法。
【請求項１７】
請求項１４に記載の方法であって、
前記１枚又は複数枚の低解像度画像が前記ウェハの１個又は複数個の被検査領域のものであり、検査サブシステム内の１個又は複数個のエンコーダで以て又はコントローラ内の１個又は複数個のエンコーダで以て集成される方法。
【請求項１８】
請求項１４に記載の方法であって、更に、
一通り又は複数通りの超分解能手順を媒介にして前記一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦを再構築するステップを有する方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法であって、
前記一通り又は複数通りの超分解能手順が、検査サブシステムの周波数ドメインに依拠する少なくとも一組の線形手順を含む方法。
【請求項２０】
請求項１４に記載の方法であって、更に、
再構築された一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦで以て一通り又は複数通りの先進アプリケーションを実行するステップを有する方法。
【請求項２１】
請求項２０の方法であって、
前記一通り又は複数通りの先進アプリケーションのなかに、膜に係るショットノイズ及び画像スペックルをスペックルパターンに基づき低減するものが含まれている方法。
【請求項２２】
請求項２０に記載の方法であって、
前記一通り又は複数通りの先進アプリケーションのなかに、一通り又は複数通りの宇宙線事象を却けることで真正欠陥からノイズを識別するものが含まれている方法。
【請求項２３】
請求項２０に記載の方法であって、
前記一通り又は複数通りの先進アプリケーションのなかに、検査サブシステムのダイナミックレンジを拡張するものが含まれている方法。
【請求項２４】
請求項１４に記載の方法であって、更に、
１枚又は複数枚の欠陥検査画像を受け取るステップと、
前記１枚又は複数枚の欠陥検査画像と再構築された高分解能ＰＳＦとを一通り又は複数通りの付加的超分解能手順で以て結合させることで、当該１枚又は複数枚の欠陥検査画像内で一通り又は複数通りのノイズと１個又は複数個の欠陥とを識別するステップと、
を有する方法。
【請求項２５】
請求項１４に記載の方法であって、更に、
前記ウェハ向けの検査レシピを前記一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦに基づき生成するステップを有する方法。
【請求項２６】
請求項１４に記載の方法であって、更に、
検査サブシステムの１個又は複数個の光学部材であり、その検査サブシステムの校正及び設計のうち少なくとも一方に用いられる１個又は複数個の動作パラメタを有するものを指定するステップと、
前記検査サブシステム向けの一通り又は複数通りの付加的校正指標であり、前記１個又は複数個の光学部材の前記１個又は複数個の動作パラメタに基づくものを生成するステップと、
前記ウェハ向けの検査レシピを前記一通り又は複数通りの高分解能ＰＳＦと前記一通り又は複数通りの付加的校正指標とに基づき生成するステップと、
を有する方法。