【手続補正書】
【提出日】平成16年6月9日(2004.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
一方、銀膜は紫外域を除く光に対して優れた分光反射特性を有することが知られている。このような銀膜を利用した光学フィルタとしては、例えば、特開昭６０−２５２３０３号公報に銀膜を反射鏡に利用した光学フィルタが知られている。この光学フィルタは、銀膜を紫外域の光を吸収させる一方、他の波長帯域の光を反射させ、さらにこの反射光からプリズムを利用して赤外域の光を遮断することにより可視光を検出するための構造を備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
また、特開昭６０−２５２３０３号公報に記載された光学フィルタは、反射鏡に銀膜を利用しているが、これは吸収により紫外域の光を除去しているにすぎず、紫外域の光を検出する紫外線検出装置への適用は困難である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
図１は、この発明に係る紫外線バンドパスフィルタの第１〜第３実施形態の各構造を示す図である。図１（ａ）に示された第１実施形態に係る紫外線バンドパスフィルタ１は、アクリル樹脂や石英ガラスのような紫外線に対して透明な紫外線透過部材２０と、該紫外線透過部材２０の表面に形成された膜厚Ｔの銀薄膜１０（例えば蒸着により形成可能）を備える。銀薄膜１０は、入射面１０ａと、該入射面１０ａに到達した光のうち、波長２００ｎｍ〜４００ｎｍ、好ましくは波長２５０ｎｍ〜４００ｎｍ、より好ましくは波長３００ｎｍ〜３６０ｎｍの特定紫外域の光が出射される出射面１０ｂを備える。この第１実施形態に係る紫外線バンドパスフィルタ１において、銀薄膜１０は該特定紫外域を除く波長の光に対する透過率を１０％以下、好ましくは５％以下に抑えるべく、７０ｎｍ以上、好ましくは８０ｎｍ以上の膜厚Ｔを有する。なお、銀薄膜１０の膜厚Ｔは、該特定紫外域に含まれる波長の光に対し少なくとも５％以上の透過率を確保すべく、２５０ｎｍ以下に設定される必要がある
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、図１（ｂ）に示された第２実施形態に係る紫外線バンドパスフィルタ２は、膜厚Ｔの銀薄膜１１を備えるとともに、該銀薄膜１１の入射面１１ａに紫外線透過部材２１ａ、該銀薄膜１１の出射面１１ｂに紫外線透過部材２１ｂがそれぞれ当接された積層構造を有する。なお、この第２実施形態に係る紫外線バンドパスフィルタ２は、紫外線透過部材２１ａ、２１ｂのいずれか一方の表面に銀薄膜１１を形成した後、該一方とともに形成された銀薄膜１１を挟むように他方を該銀薄膜１１に接着することにより得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
一方、図７は、複数波長（４００ｎｍ、５００ｎｍ、６００ｎｍ）それぞれの光に対する銀薄膜の膜厚と相対透過率との関係を示すグラフである。なお、図７において、相対透過率は、透過ピーク波長３２２ｎｍにおける最大透過率を基準（１００％）とした透過率である。また、この図７において、グラフＧ７１０は波長４００ｎｍの光に対する膜厚と相対透過率の関係、グラフＧ７２０は波長５００ｎｍの光に対する膜厚と相対透過率の関係、そして、グラフＧ７３０は波長６００ｎｍの光に対する膜厚と相対透過率との関係をそれぞれ示す。銀薄膜を紫外線バンドパスフィルタとして機能させるためには、少なくとも波長４００ｎｍ以上の光に対する透過率が１０％以下、好ましくは５％以下に抑えられる必要がある。このことから、紫外線バンドパスフィルタに適する銀薄膜の最小膜厚は７０ｎｍ以上、好ましくは８０ｎｍ以上必要であることが分かる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
以上のように、この発明に係る紫外線バンドパスフィルタは、所定の膜厚に制御された銀単層により構成されるため、受光デバイスや発光デバイスなど種々の光学デバイスと組み合わせることが容易であり、以下の説明では、主に、この発明に係る紫外線バンドパスフィルタが適用される紫外線検出装置について説明する。図９は、この発明に係る紫外線バンドパスフィルタの第１及び第２応用例として、当該紫外線バンドパスフィルタが適用された紫外線検出装置の外観及び断面構成を示す図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
次に、この発明に係る紫外線バンドパスフィルタが適用される紫外線源について説明する。図１２は、この発明に係る紫外線バンドパスフィルタの第４応用例として、当該紫外線バンドパスフィルタが適用された紫外線源の外観を示す図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
第５応用例に係る紫外線源７０は、図１３（ａ）に示されたように、キセノン、水銀キセノン、ハロゲン、メタルハライド等のランプ光源７２と、該ランプ光源７２を収納する容器７１と、該容器７１に先端部分が固定された光ファイバ等のライトガイド７３を備えるとともに、該ライトガイド７３の光入射端とランプ光源７２との間に紫外線バンドパスフィルタ７４が設けられている。なお、この第５応用例では、図１（ａ）に示された紫外線バンドパスフィルタ１と同様の構造を備えた紫外線バンドパスフィルタ７４が示されているが、図１（ｂ）や図１（ｃ）に示されたような構造を紫外線バンドパスフィルタであってもよい。また、ライトガイド７３の光入射端に直接銀薄膜が形成された構造であってもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
さらに、第６応用例に係る紫外線源８０は、図１３（ｂ）に示されたように、キセノン、水銀キセノン、ハロゲン、メタルハライド等のランプ光源８２と、該ランプ光源８２を収納する容器８１と、該容器８１に先端部分が固定された光ファイバ等のライトガイド８３を備えるが、この第６応用例では、紫外線バンドパスフィルタ８４がライトガイド８３の光出射端に設けられたことを特徴としている。なお、この第６応用例においても、図１（ａ）に示された紫外線バンドパスフィルタ１と同様の構造を備えた紫外線バンドパスフィルタ８４が示されているが、図１（ｂ）や図１（ｃ）に示されたような構造を紫外線バンドパスフィルタであってもよい。また、ライトガイド８３の光出射端に直接銀薄膜が形成された構造であってもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
【発明の効果】  以上のようにこの発明によれば、所定の膜厚に制御された銀薄膜により紫外域を除く波長の光に対して十分な遮断効果を有するバンドパスフィルタが構成されるので、従来の光学デバイスと組み合わされることにより、より広範な技術に適用可能になるととともに、銀薄膜の膜厚が７０ｎｍ以上、好ましくは８０ｎｍ以上かつ２５０ｎｍ以下に制御されることにより、より広範な波長帯域において紫外線バンドパスフィルタとして機能し得る。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2003139945.tif 000001
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2003139945.tif 000002