【手続補正書】
【提出日】平成16年4月20日(2004.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】不良混入防止装置と搬送方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的特性等の各種の測定を行う測定機と、該測定機で測定されたデバイスをその測定結果に基づいて良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に搬送するハンドリング装置とを備えて構成された測定搬送システムに用いられる、不良混入防止装置であって、
前記良品用収納容器および不良品用収納容器のそれぞれの収納エリア毎に設けられて該収納エリア内にデバイスが存在するか否かを判別する判別センサと、
前記測定機による測定結果とこの測定結果を基に搬送され収納されたデバイスの前記判別センサによる判別結果とが、予め設定された形態とならない場合に前記測定機による測定を停止させる停止手段と、を備えたことを特徴とする不良混入防止装置。
【請求項２】
前記判別センサが発光素子と受光素子とからなる一対の素子によって構成されたことを特徴とする請求項１記載の不良混入防止装置。
【請求項３】
前記判別センサは、発光素子からの光を受光素子が直接受けることによってデバイスが存在すると判別するものであることを特徴とする請求項２記載の不良混入防止装置。
【請求項４】
前記良品用収納容器、不良品用収納容器はその各収納エリアの底部に貫通孔を形成してなり、
前記判別センサはその発光素子、受光素子のうちの一方が前記貫通孔の一方の側、発光素子、受光素子のうちの他方が前記貫通孔の他方の側にそれぞれ配置されてなることを特徴とする請求項３記載の不良混入防止装置。
【請求項５】
前記良品用収納容器、不良品用収納容器は透明樹脂からなるチューブ状成形品からなることを特徴とする請求項３記載の不良混入防止装置。
【請求項６】
前記判別センサは、発光素子から発してデバイスで反射した光を受光素子が受けることにより、デバイスが存在すると判別するものであることを特徴とする請求項２記載の不良混入防止装置。
【請求項７】
良品か不良品かを判別するための測定が施され、該測定結果に基づいて良品と不良品との選別処理が施された半導体デバイスを収納容器に収納し、搬送する工程と、
前記収納容器に収納された良品の半導体デバイスあるいは不良品の半導体デバイスをセンサにて検知し、該検知結果により該収納容器に収納された良品の半導体デバイスあるいは不良品の半導体デバイスの数を計数する工程と、
前記計数された半導体デバイスの数と、先の選別処理にて選別された際の良品の半導体デバイスあるいは不良品の半導体デバイスの数とを比較し、該比較結果が一致しない場合に警告信号を発生する工程と、
を含む半導体デバイスの搬送方法。
【請求項８】
前記比較結果が一致しない場合には、前記測定を停止することを特徴とする請求項７記載の半導体デバイスの搬送方法。
【請求項９】
前記収納容器における、複数の半導体デバイスを個別に収納する複数の半導体デバイス収納部の底面には孔が設けられ、前記センサは、受光素子と発光素子とで構成され、前記受光素子と前記発光素子のいずれか一方は搬送される前記収納容器の上方に配置され、前記受光素子と前記発光素子の他方は搬送される前記収納容器の下方に配置されることにより、前記孔を介して前記発光素子からの光を前記受光素子にて受光されるか否かにより前記収納容器に収納された半導体デバイスの数を計数することを特徴とする請求項７または請求項８記載の半導体デバイスの搬送方法。
【請求項１０】
前記センサは、受光素子と発光素子とで構成され、前記受光素子と前記発光素子とはともに、搬送される前記収納容器の上方に配置され、前記発光素子から前記収納容器の方向へ発せられた光の反射による反射光の前記受光素子での受光状態により前記収納容器に収納された半導体デバイスの数を計数することを特徴とする請求項７または請求項８記載の半導体デバイスの搬送方法。
【請求項１１】
前記収納容器における、複数の半導体デバイスを個別に収納する複数の半導体デバイス収納部の底面には孔が設けられ、前記センサは、受光素子と発光素子とで構成され、前記受光素子と前記発光素子とはともに、搬送される前記収納容器の下方に配置され、前記発光素子から前記孔の方向へ発せられた光の反射による反射光の前記受光素子での受光状態により前記収納容器に収納された半導体デバイスの数を計数することを特徴とする請求項７または請求項８記載の半導体デバイスの搬送方法。
【請求項１２】
前記収納容器は、複数の半導体デバイスを一列に整列配置にて収納するものであり、前記センサは、受光素子と発光素子とで構成され、前記受光素子と前記発光素子とはともに、搬送される前記収納容器の挟むようにそれぞれ側方に配置され、前記発光素子から前記孔の方向へ発せられた光の前記受光素子での受光状態により前記収納容器に収納された半導体デバイスの数を計数することを特徴とする請求項７または請求項８記載の半導体デバイスの搬送方法。
【請求項１３】
前記収納容器は透明樹脂から構成され、前記収納容器に半導体デバイスが収納されていない状態では、前記受光素子からの光は該透明樹脂からなる収納容器を介して前記受光素子に到達するものであることを特徴とする請求項１２記載の半導体デバイスの搬送方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気的特性等の各種の測定を行う測定機と、該測定機で測定されたデバイスをその測定結果に基づいて良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に搬送するハンドリング装置とを備えて構成された測定搬送システムに用いられる不良混入防止装置に係り、詳しくはハンドリング装置によって測定後のデバイスを各収納容器に搬送した際、良品用収納容器に不良品のデバイスが、あるいは不良品用収納容器に良品のデバイスが混入してしまうのを防止した不良混入防止装置とそのデバイスを搬送する方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の不良混入防止装置では、電気的特性等の各種の測定を行う測定機と、該測定機で測定されたデバイスをその測定結果に基づいて良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に搬送するハンドリング装置とを備えて構成された測定搬送システムに用いられるものであり、前記良品用収納容器および不良品用収納容器のそれぞれの収納エリア毎に設けられて該収納エリア内にデバイスが存在するか否かを判別する判別センサと、前記測定機による測定結果とこの測定結果を基に搬送され収納されたデバイスの前記判別センサによる判別結果とが、予め設定された形態とならない場合に前記測定機による測定を停止させる停止手段と、を備えたことを前記課題の解決手段とした。
さらに本発明の搬送方法では、良品か不良品かを判別するための測定が施され、該測定結果に基づいて良品と不良品との選別処理が施された半導体デバイスを収納容器に収納し、搬送する工程と、前記収納容器に収納された良品の半導体デバイスあるいは不良品の半導体デバイスをセンサにて検知し、該検知結果により該収納容器に収納された良品の半導体デバイスあるいは不良品の半導体デバイスの数を計数する工程と、前記計数された半導体デバイスの数と、先の選別処理にて選別された際の良品の半導体デバイスあるいは不良品の半導体デバイスの数とを比較し、該比較結果が一致しない場合に警告信号を発生する工程とを備えたことで前記課題の解決手段とした。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この不良混入防止装置並びに搬送方法によれば、測定機による測定結果と、この測定結果を基に搬送され良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に収納されたデバイスの判別センサによる判別結果とが、予め設定された形態とならない場合に停止手段によって測定機による測定が停止させられるので、その時点で最後に収納されたデバイスを予め設定された形態となるべく別の収納容器に移すなどにより、測定後のデバイスが測定結果で指定された収納容器と異なる収納容器に混入収納されるのを防止することが可能になる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の不良混入防止装置並びに搬送方法について詳しく説明する。
図１は本発明の不良混入防止装置の第１実施形態例を説明するための図であり、図１中符号１は不良混入防止装置である。この不良混入防止装置１は、デバイスに対し電気的特性等の各種の測定を行う測定機２と、該測定機２で測定されたデバイスをその測定結果に基づいて搬送するハンドリング装置（図示略）とを備えて構成された測定搬送システム３に設けられ、用いられるものである。すなわち、この測定搬送システム３は、前記測定機２と、ハンドリング装置と、測定機２によって測定されたデバイス４のうち良品を収納する良品用収納容器５ａ、および不良品を収納する不良品用収納容器５ｂと、前記不良混入防止装置１とを備えて構成されたものである。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の不良混入防止装置並びに搬送方法では、測定機による測定結果と、この測定結果を基に搬送され良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に収納されたデバイスの判別センサによる判別結果とが、予め設定された形態とならない場合に停止手段によって測定機による測定を停止させるようにしたものであるから、その時点で最後に収納されたデバイスを予め設定された形態となるべく別の収納容器に移すなどにより、測定後のデバイスが測定結果で指定された収納容器と異なる収納容器に混入収納されるのを防止することができる。
また、不一致時のデバイスが容易に発見できるため、発見以前のデバイスについて再度選別作業を行う必要がなくなり、不要な工数が発生するのを防止して生産性の低下を防ぐことができる。
さらに、良品中に不良品が混入してこれが市場に流れるのを確実に防ぐことができことからより高い信頼性を確保することができ、また、不良品中に良品が混入してこの良品が不良品として扱われるのも未然に防ぎ、コストダウンを図ることができる。