(57)【要約】【課題】本発明は、導波路の狭メサ化及び側壁円滑化が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。【解決手段】スラブ導波路層を有する第１の基板を用意する工程と、該第１の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第１の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第２の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第２の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法である。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラブ導波路層を有する第１の基板を用意する工程と、該第１の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第１の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第２の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第２の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法。
【請求項２】
上記スラブ導波路層はII-VI族半導体量子井戸を有する層であることを特徴とする請求項１に記載の導波路の作製方法。
【請求項３】
上記第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程の後に基板全面に第１のＳｉＯ２クラッドを形成する工程と、ＢＣＢ塗布層を介して第２の基板を貼り合わせる工程と、第１の基板を除去する工程と、露出したメサ導波路上に第２のＳｉＯ２クラッドを形成しコアとクラッドとの間の屈折率差を1以上に設定する工程とをさらに含む請求項１又は２に記載の導波路の作製方法。
【請求項４】
上記第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程の後に導波路側壁に微細加工をする工程をさらに含む請求項１又は２に記載の導波路の作製方法。
【請求項５】
上記第２の金属はＮｉであり、上記スラブ導波路層をパターニングする工程は、ＢCl3とＡｒの混合ガスによるドライエッチング工程であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の導波路の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導波路の作製方法に係り、特に、半導体メサ導波路の作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
導波路側壁の平滑化及び側壁へのサブミクロンオーダーの微細加工を行う場合、電子線描画などで形成したパターンを正確に転写しなければならない。導波路側壁を平滑化すると側壁での光散乱を抑えることができるので、強く光を閉じ込めた場合でも損失を小さくすることができる。また、側壁へサブミクロンオーダーの回折格子を形成すると分布帰還型の共振器を作製することができる。
一般的に側壁を平滑化及び微細加工をする手法としては次のようなことがあげられる。
（１）ドライエッチング条件の最適化。
（２）選択比の高いエッチングマスク材料の選定。
（３）滑らかなエッジを有し且つ微細パターンを有すエッチングマスクの作製。
【０００３】
導波路作製工程と、導波路のコアとクラッドとの屈折率制御の解決すべき点について説明する。
例えば非特許文献１、２に示される従来の技術では、II-VI族半導体導波路作製のためにはBCl3/Arの混合ガスを用いてドライエッチングすることが有効でありこれを採用してきた。また、このときエッチングマスクはフォトリソグラフィーによって形成したパターンをハードベークレジスト又はＳｉＯ2に転写することによって作製してきた。ハードベークレジストマスクを用いる難点はマスク幅を約２μｍ以下にするとマスクが倒れたり剥がれたりして収率が悪くなり、さらに１μｍ以下に設定すると転写エッチング時にサイドエッチングが生じてしまいマスクを形成できないことであった。そのため、ハードベークレジストを用いての導波路狭メサ化は断念せざるを得なかった。また、ＳｉＯ2マスクを用いた時の難点は次のようなことがあった。
（１）側壁が荒れやすい。
（２）0.1μｍ程度までの細線化は不可能。
（３）導波路側壁へサブミクロンレベルの微細加工を行うのは不可能。
【０００４】
（１）の発生理由は、材料とのエッチング選択比とマスクの厚みに起因する。BCl3/Arを用いたエッチングではＳｉＯ2とII-VI族半導体材料との間の選択比は約1：3である。また、エッチング深さは2μｍ程度必要である。そのため、マスクの退行に起因する導波路側壁荒れをなるべく防ぐために約2μｍ程度の厚いマスクが必要となる。厚み2μｍ程度のエッチングマスクを転写工程で形成する時に、パターンマスクの退行が生じるのでマスクの側壁が荒れやすい。したがって導波路側壁も荒れやすい。
（２）、（３）においては、約2μｍのＳｉＯ2マスクをエッチングで形成する際に完全に垂直なマスクを形成できないことに起因する。ＳｉＯ2エッチングマスク形成後の形状は、マスクの上底の幅に比べ下底の幅は0.3〜0.4μｍ広くなってしまう。また、エッチング中にパターンマスクも退行するので設計どおりのマスクを形成できなかった。
【０００５】
メサ幅0.1μｍの細線、側壁へのサブミクロンレベルの微細加工を行うには、フォトリソグラフィーではなく電子線描画を用いるほうが好ましい。ここでの問題点は、パターンマスク形成でよく使われる通常の電子線描画レジストだけを用いて厚み２μｍ以上のエッチングマスクを形成することは不可能であったことである。そのため、エッチングマスクを形成するためにはパターンマスクを数度の転写を要する複雑な工程が必要となった。このような転写を繰り返す方法ではマスクの側壁も荒れやすく、導波路の側壁も荒れる。さらに、マスク厚みが厚すぎるので側壁へのサブミクロン以下の微細加工や幅0.1μｍ以下の細線を形成することができないという問題があった。
【０００６】
このような問題を解決するためにメタルマスクをリフトオフにより形成する工程を導入した。リフトオフメタルマスクの利点は次のようなことがあげられる。
（１）メタルの種類によってはエッチング選択比を非常に大きくできる。
（２）エッチング選択が大きいのでメタルマスクの厚みを非常に薄くできる。そのためサブミクロンレベルの微細パターンマスクを形成できる。
これらに着目し、BCl3/Arを用いてII-VI族半導体をエッチングする際に選択比を非常に大きくとれるＮｉをマスク材料として採用し、ドライエッチングを行った。
ところが、図２０に見られるようにマイクロマスキング効果によって側壁荒れや突起が生じてしまい、導波路作製にＮｉリフトオフマスクを採用することができなかった。また、メサ構造をエッチングした後のメタルマスク除去において、通常用いられるＮｉのエッチャント（硫酸、硝酸、水の混合溶液）に基板を浸すと、II-VI族半導体が反応してしまうことが生じた。そのため、メタルマスク除去はできなかった。
【０００７】
次に従来の化合物半導体光導波路では、コアとクラッドとの間の屈折率差を0.2程度までしか大きくすることができない。そのため導波路幅を1μｍ程度まで狭くすると導波路のコアの上下方向での光閉じ込めができなくなってしまい、光を伝搬させることができない。
シリコン細線導波路などコアとクラッドとの間の屈折率差を２程度に設定できる系に比べて光閉じ込めは弱い。ここで、非特許文献１の系においてシリコン細線導波路並みに光閉じ込め可能な光導波路においてサブバンド間遷移吸収を生じさせることができると、スイッチ動作エネルギーの低減化が期待できる。しかし、従来技術では材料の結晶成長の制限により、屈折率差を0.2程度までしか大きくすることができない。
【非特許文献１】ELECTRONICS LETTERS Vol 42 pp1352-1353 2006
【非特許文献２】Jpn. J. Appl. Phys. 46 (2007) pp. 200-204
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、導波路の狭メサ化及び側壁円滑化が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
また本発明は、メサ導波路の側壁への微細加工が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
さらに本発明は、コアとクラッドとの間の屈折率差を１以上に設定できる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は次のような手段により解決される。
（１）スラブ導波路層を有する第１の基板を用意する工程と、該第１の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第１の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第２の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第２の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法。
（２）上記スラブ導波路層はII-VI族半導体量子井戸を有する層であることを特徴とする（１）に記載の導波路の作製方法。
（３）上記第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程の後に基板全面に第１のＳｉＯ２クラッドを形成する工程と、ＢＣＢ塗布層を介して第２の基板を貼り合わせる工程と、第１の基板を除去する工程と、露出したメサ導波路上に第２のＳｉＯ２クラッドを形成しコアとクラッドとの間の屈折率差を1以上に設定する工程とをさらに含む（１）又は（２）に記載の導波路の作製方法。
（４）上記第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程の後に導波路側壁に微細加工をする工程をさらに含む（１）又は（２）に記載の導波路の作製方法。
（５）上記第２の金属はＮｉであり、上記スラブ導波路層をパターニングする工程は、ＢCl3とＡｒの混合ガスによるドライエッチング工程であることを特徴とする（１）ないし（４）のいずれかに記載の導波路の作製方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、メサ導波路の狭メサ化及び側壁円滑化、さらに側壁への微細加工及びＳｉＯ2クラッド層へメサ構造の埋め込みがなされるため、強光閉じ込め可能かつ低伝搬損失のメサ導波路や側壁に回折格子を有する導波路が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図１〜図１４に示す工程模式図を用いて本発明を詳細に説明する。
次の（１）〜（６）の工程説明は、請求項１、２に係る発明を説明するものであり、（７）〜（１０）の工程説明は、（１）〜（６）の工程に引き続いた請求項３に係る発明を説明するものである。
（１）スラブ導波路層をＧａＡｓ基板上に結晶成長させる（図１参照）。
（２）次にＳｉＯ２層を２００ｎｍ堆積させたのち電子線描画でマスクパターンを形成する（図２〜図３参照）。
（３）次にバッファードフッ酸につけ、（２）で形成したＳｉＯ２層の一部を溶かしレジストパターンの端部分にアンダーカットを形成する（図４参照）。このアンダーカットは、次の（４）のメタルを蒸着時にメタルとレジストマスクのエッジを完全に分離することにより、リフトオフを容易に歩留まり良く行うために形成する。
（４）最初にＴｉを４０ｎｍ、次にＮｉを５０ｎｍＥＢ蒸着したのち、マスクパターンとともにマスクパターン上のＴｉ、Ｎｉをリフトオフし、エッチングマスクを形成した後、ＳｉＯ２層をＣＨＦ3ガスを用いて反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）で除去する。（図５〜図7参照）。このＲＩＥでの処理は、リフトオフ後に基板表面に付着しているメタルコンタミをＳｉＯ２層と同時に除去するために行う。この処理により、図２０に見られたマイクロマスク効果による表面荒れや側壁荒れを回避することができる（図１６参照）。
（５）ＩＣＰドライエッチングにより細線構造を形成する、このときのエッチングガスはBCl3とArの混合ガスである（図８参照）。
（６）ドライエッチング後、バッファードフッ酸に浸け、（４）で蒸着した下部Ｔｉを溶かすことによりメタルエッチングマスクを除去し、コア層である(CdS/ZnSe)/BeTe多重量子井戸層を有するメサ導波路を得る（図９参照）。
【００１２】
図１５にコア層である(CdS/ZnSe)/BeTe多重量子井戸層をメサ導波路に加工したＳＥＭ像を示す。図１９に示す従来の方法で作製したメサ導波路に比較して、導波路の側壁が円滑化されていることが分かる。またメサ巾約0.5μｍと細線化が図られている。
上記（１）〜（６）の工程の後にさらに導波路側壁に微細加工をして得たメサ導波路のＳＥＭ像を図１６に示す。図１６では周期325nmの回折格子が側壁に形成されている。
【００１３】
図１７に(CdS/ZnSe)/BeTe量子井戸コア層とZnMgBeSeクラッド層からなるハイメサ型導波路の挿入損失の導波路長依存性を図中（ｂ）として示す。図中（ａ）に示す従来のものと比較して低伝搬損失かつメサ幅依存性が小さいメサ導波路が得られていることが分かる。これは（１）〜（６）の工程により狭メサ化及び側壁円滑化がなされているためである。
【００１４】
次にコアとクラッドとの間の屈折率差を1以上に設定できる、(CdS/ZnSe)/BeTe多重量子井戸（屈折率2.55）をコアとしＳｉＯ２（屈折率1.46）クラッドとした導波路作製工程について示す。
（７）（１）〜（６）までの工程で作製したメサ導波路（図１５）にクラッドとなるＳｉＯ２を２μｍ程度蒸着させる（図１０参照）。
（８）その上にスピンコートしたＢＣＢを介してシリコン、ＧａＡｓ、シリカなどの異種基板に張り合わせる（図１１〜１２参照）。
（９）研磨及びウェットエッチングによって、ＧａＡｓ基板を選択的に除去する（図１３参照）。
（１０）クラッドとなるＳｉＯ２を２μｍ程度スパッタ蒸着させることにより埋め込み型細線導波路が完成する（図１４参照）。
【００１５】
図１８に、図１４に示すメサ導波路の実際の断面写真を示す。この図１８に示すようにＳｉＯ2クラッド層内に細線導波路が埋め込まれている。
【００１６】
II-VI族半導体(CdS/ZnSe)/BeTe多重量子井戸（屈折率2.55）とＳｉＯ２（屈折率1.46）との間の屈折率差は1以上ある。そのため、導波路コアとなる多重量子井戸メサ構造をＳｉＯ2層に埋め込むと、細線のサイズをサブミクロンクラスに加工しても光を伝搬させることができる。したがって、細線内部に光をフォトニック結晶やシリコン細線導波路なみに強く閉じ込めることができる。
【００１７】
この技術をサブバンド間遷移光スイッチの作製に応用すれば、効率的に吸収飽和を生じさせることが期待できる。これにより、サブバンド間遷移光スイッチの動作エネルギーを格段に低下できる可能性がある。さらに受光デバイスであるサブバンド間遷移光導波路を貼り合わせ技術により、発光デバイス、これを制御する電子デバイスと融合させワンチップ化することができる。この技術により光通信システム装置の低電力化、小型化が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る工程模式図
【図２】本発明に係る工程模式図
【図３】本発明に係る工程模式図
【図４】本発明に係る工程模式図
【図５】本発明に係る工程模式図
【図６】本発明に係る工程模式図
【図７】本発明に係る工程模式図
【図８】本発明に係る工程模式図
【図９】本発明に係る工程模式図
【図１０】本発明に係る工程模式図
【図１１】本発明に係る工程模式図
【図１２】本発明に係る工程模式図
【図１３】本発明に係る工程模式図
【図１４】本発明に係る工程模式図
【図１５】(CdS/ZnSe)/BeTeMQW導波路構造のＳＥＭ像
【図１６】側壁に回折格子を有するメサ導波路
【図１７】II−VI族半導体量子井戸細線導波路のメサ幅依存性
【図１８】図１４に示すメサ導波路の実際の断面写真
【図１９】従来のII−VI族半導体量子井戸細線導波路構造のＳＥＭ像
【図２０】マイクロマスキング効果による表面と側壁の荒れ
【符号の説明】
【００１９】
１  ＧａＡｓ基板
２  II−VI族半導体量子井戸を有する層
３  ＳｉＯ２層
４  フォトレジストマスク層
５  Ｔｉ／Ｎｉ金属層
６  II−VI族半導体量子井戸細線導波路
７  ＳｉＯ２クラッド
８  ＢＣＢ塗布層
９  ホスト基板
【図１７】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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