【手続補正書】
【提出日】平成17年9月13日(2005.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系およびフラットパネルディスプレイ製造方法なならびにフラットパネルディスプレイ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明は、従来技術の１つまたは複数の問題および欠点を未然に防ぐ、拡大率および収差補正機能を有する、大型フラットパネルディスプレイ製造用の大視野投影光学系を提供することを目的としたものである。
本発明の別の課題は、フラットパネルディスプレイ製造方法およびフラットパネルディスプレイを提供することである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また上記課題は、本発明の請求項７７により、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、電磁放射源と、レチクルステージと、このレチクルステージに取り付けられるレチクルと、基板ステージと、この基板ステージに取り付けられた基板に上記のレチクルをイメージングする反射光学系とを有しており、この反射光学系は、第１ミラー、第２ミラーと、２次ミラーとを含む拡大力を有する３つの反射面だけを含んでおり、この反射光学系は、上記の第１ミラー、第２ミラーおよび２次ミラーからの反射ビームによってレチクルの画像を基板に投影する場合、第３オーダの収差の補正および位置合わせの両方に対して十分な自由度を有するようにすることによって解決される。
また上記課題は、本発明の請求項７８により、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、このシステムが、レチクルを支持するレチクルステージと、基板を支持する基板ステージと、上記のレチクルを基板にイメージングする反射光学系とを有し、この反射光学系が第１の非球面凹形ミラーを含むことによって解決され、または請求項８９により、上記の反射光学系が２つの凹形ミラーを含むことによって解決される。
上記のフラットパネルディスプレイ製造方法についての課題は、請求項９０により、非球面ミラー素子を含む反射光学系を介してレチクルを基板にイメージングすることによって、また請求項９５により、２つの凹形ミラー素子を含む反射光学系を介してレチクルを基板にイメージングすることによって解決される。
またフラットパネルディスプレイについての課題は、請求項９８および９９によって解決される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、
該システムは、
レチクルを支持するレチクルステージと、
基板を支持する基板ステージと、
前記のレチクルを基板にイメージングする反射光学系とを有し、
該反射光学系は、第１ミラーおよび第２ミラーを含む１次ミラーと、２次ミラーとを含んでおり、
前記の第１ミラー、２次ミラーおよび第２ミラーによる反射ビームによって基板にレチクルの画像を投影する場合、前記反射光学系は位置合わせおよび収差の補正の両方に対して十分な自由度を有することを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システム。
【請求項２】
前記の反射形光学系は×１の倍率を有する、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３】
前記反射形光学系は、×１〜×１０の倍率を有する、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項４】
第１ミラーは非球面である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項５】
前記の第１および第２ミラーは凹形であり、かつ２次ミラーは凸形である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項６】
前記第２ミラーは非球面である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項７】
前記の第１，第２および２次ミラーは非球面である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項８】
前記２次ミラーは非球面である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項９】
前記反射形光学系は、少なくとも１４の自由度を有する、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１０】
前記２次ミラーの曲率半径は、前記第１および第２ミラーの曲率半径の約半分である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１１】
前記２次ミラーおよび前記第１および第２ミラーの曲率中心は公称では一致する、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１２】
前記露光システムは、４２インチのＦＰＤ製造に適合化されている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１３】
前記露光システムは、５４インチのＦＰＤ製造に適合化されている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１４】
前記露光システムは、６０インチのＦＰＤ製造に適合化されている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１５】
前記露光システムは、約４０〜６０インチ間のＦＰＤ製造に適合されている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１６】
前記の第１および第２ミラーの曲率中心は、倍率微調整のためにずらすことができる、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１７】
前記の第１および第２ミラーの曲率中心は、倍率調整によって発生する収差を最小化するためにずらすことができる、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１８】
前記の第１および第２ミラーの曲率中心は、光学的製造、コーティングおよび取り付けによって発生する残留のエラーのうちの任意のエラーを補正するためにずらすことができる、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項１９】
前記の第１および第２ミラーは、前記の実質的に同じ曲率を有する、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項２０】
前記レチクルと第１ミラーとの間に光学的に位置合わせされた平行なガラスプレートを含む、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項２１】
前記の平行なガラスプレートは、光学ガラス、溶融石英および光学結晶材料のうちの任意のものを含む、
請求項２０に記載の露光システム。
【請求項２２】
前記のガラスプレートは、球面のプロフィール、非球面のプロフィール、平坦な面および球面、２つの球面、球面および非球面、２つの非球面のうちの任意のものを有する、
請求項２０に記載の露光システム。
【請求項２３】
前記の球面および非球面のうちの任意のものは、凹形の曲率を有する、
請求項２２に記載の露光システム。
【請求項２４】
球面および非球面のうちの任意のものは、凸形の曲率を有する、
請求項２２に記載の露光システム。
【請求項２５】
前記基板と第２ミラーとの間に光学的に位置合わせされた平行なガラスプレートを含む、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項２６】
前記のガラスプレートは、球面のプロフィール、非球面のプロフィール、平坦な面および球面、２つの球面、球面および非球面、２つの非球面のうちの任意のものを有する、
請求項２５に記載の露光システム。
【請求項２７】
前記の平行なガラスプレートによって、残留の収差が補償される、
請求項２５に記載の露光システム。
【請求項２８】
前記のレチクルと第１ミラーとの間に光学的に位置合わせされた第１の平行なガラスプレートと、前記の基板と第２ミラーとの間に光学的に位置合わせされた第２の平行なガラスプレートとが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項２９】
前記の第１および第２ガラスプレートは、球面のプロフィール、非球面のプロフィール、平坦な面および球面、２つの球面、球面および非球面、２つの非球面のうちの任意のものを有する、
請求項２８に記載の露光システム。
【請求項３０】
前記ガラスプレートの近くかつ該ガラスプレートと前記第１凹形ミラーとの間にメニスカスレンズを含む、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３１】
前記メニスカスレンズは、その面の一方または両方に非球面のプロフィールを有する、
請求項３０に記載の露光システム。
【請求項３２】
前記レチクルに対して所定の角度でかつ該レチクルの近くに位置決めされ、非球面のプロフィールを有する公称上の平坦なミラーが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３３】
前記基板に対して所定の角度でかつ該基板の近くに位置決めされ、非球面のプロフィールを有する公称上の平坦なミラーが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３４】
前記の非球面のプロフィールは、垂直軸および水平軸が異なる、
請求項３３に記載の露光システム。
【請求項３５】
前記レチクルに対して所定の角度でかつ該レチクルの近くに位置決めされ、第１の非球面のプロフィールを有する第１の公称上の平坦なミラーと、前記基板に対して所定の角度でかつ該基板の近くに位置決めされ、第２の非球面のプロフィールを有する第２の公称上の平坦なミラーとが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３６】
前記レチクルに対して所定の角度でかつ該レチクルの近くに位置決めされ、非球面のプロフィールを有する、拡大力を備えたミラーが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３７】
前記基板に対して所定の角度でかつ該基板の近くに位置決めされた、非球面のプロフィールを有する、拡大力を備えたミラーが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３８】
前記レチクルに対して所定の角度でかつ該レチクルの近くに位置決めされ、第１の非球面のプロフィールを有する、拡大力を備えた第１のミラーと、前記基板に対して所定の角度でかつ該基板の近くに位置決めされ、第２の非球面のプロフィールを有する、拡大力を備えた第２ミラーとが含まれている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項３９】
前記システムは、ユニット拡大環状光学系である、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項４０】
前記の第１および第２ミラーは、前記２次ミラーと実質的に一致する曲率中心を有する、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項４１】
前記の第１および第２ミラーは、前記２次ミラーの中心に関して実質的に対称に位置決めされている、
請求項１に記載の露光システム。
【請求項４２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、
該システムは、
ＦＰＤ基板を支持する基板ステージと、
レチクルを該ＦＰＤ基板にイメージングする反射光学系とを有し、
該反射光学系は、拡大力を有する反射素子としての第１ミラー、第２ミラーおよび第３ミラーを含み、
該反射光学系は、該第１ミラー、第２ミラーおよび第３ミラーによる反射ビームによってＦＰＤ基板にレチクルの画像を投影する場合、少なくとも１４の自由度を有することを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システム。
【請求項４３】
前記反射光学系は×１の倍率を有する、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項４４】
前記第１ミラーは非球面である、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項４５】
前記第３ミラーは非球面である、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項４６】
前記の第１，第２および第３ミラーは非球面である、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項４７】
前記第２ミラーは非球面である、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項４８】
前記第２ミラーの曲率半径は、前記第１および第３ミラーの曲率半径の約半分である、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項４９】
前記反射形光学系は、位置合わせおよび３次の収差の補正の両方に対して十分な自由度を有する、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５０】
前記反射形光学系は、位置合わせおよび収差の補正の両方に対して十分な自由度を有する、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５１】
前記第１および第３ミラーの曲率中心は、倍率微調整を行うためおよび倍率調整によって発生する収差を最小化するためにずらすことができる、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５２】
前記の第１および第３ミラーは実質的に同じ曲率を有する、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５３】
前記のレチクルおよび基板の少なくとも１つの近くに平行なガラスプレートが含まれている、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５４】
前記ガラスプレートは非球面のプロフィールを有する、
請求項５３に記載の露光システム。
【請求項５５】
前記のレチクルと第１ミラーとの間に光学的に位置合わせされた第１の平行なガラスプレートと、前記の基板と第３ミラーとの間に光学的に位置合わせされた第２の平行なガラスプレートとが含まれている、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５６】
前記ガラスプレートの近くかつ該ガラスプレートと前記第１ミラーとの間にメニスカスレンズが含まれている、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５７】
前記メニスカスレンズは非球面のプロフィールを有する、
請求項５６に記載の露光システム。
【請求項５８】
非球面なプロフィールを有する公称上の平坦なミラーが含まれており、
当該の平坦なミラーは、当該系の光軸を折り曲げるように位置決めされ、かつ前記のレチクルおよび基板のうちの少なくとも１つの近くに位置決めされる、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項５９】
非球面なプロフィールを有する、拡大力を備えたミラーが含まれており、
当該の拡大力を備えたミラーは、前記のレチクルおよび基板のうちの少なくとも１つの近くかつ当該系の光軸を折り曲げられるように位置決めされる、
請求項４２に記載の露光システム。
【請求項６０】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用ユニット拡大環状光学系において、
該システムは、
ＦＰＤ回路パターンを有するマスクと、
該マスクの画像を基板に投影する投影光学系とを有しており、
該投影光学系は、第１凹形ミラーと、第２凹形ミラーと、凸形ミラーとを含んでおり、
第１および第２凹形ミラーの曲率中心は、前記凸形ミラーの曲率中心と実質的に一致し、
第１および第２凹形ミラーは、前記凸形ミラーの中心に関して実質的に対称に位置決めされており、
前記凸形ミラーの曲率半径は、前記凹形ミラーの曲率半径の約半分であり、
前記第１凹形ミラー、凸形ミラーおよび第２凹形ミラーからの反射ビームによって前記マスクの画像が前記基板に投影されることを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用ユニット拡大環状光学系。
【請求項６１】
前記第１凹形ミラーは非球面である、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６２】
前記第２凹形ミラーは非球面である、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６３】
前記凸形ミラーは非球面である、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６４】
前記反射形光学系は少なくとも１４の自由度を有する、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６５】
前記の２次ミラーの曲率半径は、前記の第１および第２ミラーの曲率半径の約半分である、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６６】
前記のマスクと第１ミラーとの間に光学的に位置合わせされる平行なガラスプレートが含まれている、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６７】
前記ガラスプレートは非球面のプロフィールを有する、
請求項６６に記載のシステム。
【請求項６８】
前記の基板と第２ミラーとの間に光学的に位置合わせされるガラスプレートが含まれている、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項６９】
前記ガラスプレートは非球面のプロフィールを有する、
請求項６８に記載のシステム。
【請求項７０】
前記のガラスプレートの近くかつ当該ガラスプレートと前記の第１凹形ミラーとの間にメニスカスレンズが含まれている、
請求項６０に記載のシステム。
【請求項７１】
前記メニスカスレンズは非球面のプロフィールを有する、
請求項７０に記載のシステム。
【請求項７２】
非球面なプロフィールを有する公称上の平坦なミラーが含まれており、
当該の平坦なミラーは、前記マスクの近くかつ当該系の光軸を折り曲げられるように位置決めされる、
請求項６０に記載の露光システム。
【請求項７３】
非球面なプロフィールを有する公称上の平坦なミラーが含まれており、
当該の平坦なミラーは、前記の基板の近くかつ当該系の光軸を折り曲げられるように位置決めされる、
請求項６０に記載の露光システム。
【請求項７４】
非球面なプロフィールを有する、拡大力を備えたミラーが含まれており、
当該の拡大力を備えたミラーは、前記マスクの近くかつ当該系の光軸を折り曲げられるように位置決めされる、
請求項６０に記載の露光システム。
【請求項７５】
非球面なプロフィールを有する、拡大力を備えたミラーが含まれており、
当該の拡大力を備えたミラーは、前記基板の近くかつ当該系の光軸を折り曲げられるように位置決めされる、
請求項６０に記載の露光システム。
【請求項７６】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用ユニット拡大環状光学系において、
該システムは、
前記ＦＰＤ用の回路パターンを有するマスクと、
該マスクの画像を基板に投影する投影光学系とを有しており、
該投影光学系は、第１凸形ミラーと、第２凸形ミラーと、凹形ミラーとを含んでおり、
第１および第２凸形ミラーの曲率中心は、前記凹形ミラーの曲率中心と実質的に一致し、
第１および第２凸形ミラーは、前記凹形ミラーの中心軸に関して実質的に対称に位置決めされており、
前記凹形ミラーの曲率半径は、前記凸形ミラーの曲率半径の約半分であり、
前記第１凹形ミラー、凸形ミラーおよび第２凹形ミラーからの反射ビームによって前記マスクの画像が前記基板に投影されることを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用ユニット拡大環状光学系。
【請求項７７】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、
電磁放射源と、
レチクルステージと、
該レチクルステージに取り付けられるレチクルと、
基板ステージと、
前記基板ステージに取り付けられた基板に前記レチクルをイメージングする反射光学系とを有しており、
該反射光学系は、第１ミラー、第２ミラーと、２次ミラーとを含む拡大力を有する３つの反射面だけを含んでおり、
前記反射光学系は、前記の第１ミラー、第２ミラーおよび２次ミラーからの反射ビームによって前記レチクルの画像を基板に投影する場合、第３オーダの収差の補正および位置合わせの両方に対して十分な自由度を有することを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システム。
【請求項７８】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、
該システムは、
レチクルを支持するレチクルステージと、
基板を支持する基板ステージと、
前記のレチクルを基板にイメージングする反射光学系とを有し、
該反射光学系は、第１の非球面凹形ミラーを含むことを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システム。
【請求項７９】
前記反射光学系は、第２の非球面凹形ミラーを含む、
請求項７８に記載の露光システム。
【請求項８０】
前記反射光学系はさらに凸形ミラーを含む、
請求項７９に記載の露光システム。
【請求項８１】
前記の凸形ミラーを配置して、前記の第１非球面凹形ミラーからビームを受け取って第２非球面凹形ミラーにビームを向けるようにした、
請求項８０に露光システム。
【請求項８２】
前記の凹形ミラーおよび凸形ミラーの曲率中心が公称では一致する、
請求項８１に記載の露光システム。
【請求項８３】
前記のレチクルステージおよび基板ステージを配置構成して、動作時に前記のレチクルおよび基板が公称上、光軸に垂直な平面に沿って前記曲率半径の位置に位置決めされるようにした、
請求項８２に記載の露光システム。
【請求項８４】
前記の第１非球面ミラーと第２非球面ミラーとは独立して移動可能である、
請求項７９に記載の露光システム。
【請求項８５】
前記の第１非球面ミラーと第２非球面ミラーとは同じ曲率半径を有する、
請求項７９に記載の露光システム。
【請求項８６】
前記の第１非球面ミラーと第２非球面ミラーは同じ曲率半径を有し、
前記の凸形ミラーの曲率半径は、前記の凹形ミラーの曲率半径の約半分である、
請求項８０に記載の露光システム。
【請求項８７】
前記の凸形ミラーは非球面である、
請求項８０に記載の露光システム。
【請求項８８】
前記反射光学系は少なくとも１４の自由度を有する、
請求項７８に記載の露光システム。
【請求項８９】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システムにおいて、
該システムは、
レチクルを支持するレチクルステージと、
基板を支持する基板ステージと、
前記のレチクルを基板にイメージングする反射光学系とを有し、
該反射光学系は、２つの凹形ミラーを含むことを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造用露光システム。
【請求項９０】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を製造する方法において、
非球面ミラー素子を含む反射光学系を介してレチクルを基板にイメージングすることを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を製造する方法。
【請求項９１】
前記反射光学系は、２つの非球面ミラー素子および凸形ミラー素子を有する、
請求項９０に記載の方法。
【請求項９２】
前記の２つの凹形ミラー素子の１つから凸形ミラー素子にレチクルの画像を転送して、該凸形ミラー素子から前記の２つの凹形ミラー素子の別の１つに転送する、
請求項９１に記載の方法。
【請求項９３】
前記フラットパネルディスプレイは、４２インチフラットパネルディスプレイ、５４インチフラットパネルディスプレイ、または６０インチフラットパネルディスプレイである、
請求項９０に記載の方法。
【請求項９４】
前記反射光学系は、少なくとも１４の自由度を有する、
請求項９０に記載の方法。
【請求項９５】
フラットパネルディスプレイを製造する方法において、
２つの凹形ミラー素子を含む反射光学系を介してレチクルを基板にイメージングすることを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を製造する方法。
【請求項９６】
前記反射光学系は、さらに凸形ミラー素子を有する、
請求項９５に記載の方法。
【請求項９７】
前記反射光学系は少なくとも１４の自由度を有する、
請求項９６に記載の方法。
【請求項９８】
フラットパネルディスプレイにおいて、
請求項９０に記載の方法によって作製されることを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ。
【請求項９９】
フラットパネルディスプレイにおいて、
請求項９５に記載の方法によって作製されることを特徴とする、
フラットパネルディスプレイ。