【手続補正書】
【提出日】平成17年10月3日(2005.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ネットワークを利用した検査工程における測定結果表示方法であって、
一つ又は複数の工程で処理されるロットを検査する装置を制御・管理するホストにおいて、投入決定されたロットの測定条件を該ロットが投入される前記装置に送信する第１のステップと、
前記装置において、前記ネットワークを介して受信した前記測定条件に基づく前記ロットの測定を行い、測定データを得る第２のステップと、
前記ホストにおいて、前記ネットワークを介して受信した前記測定データを、予め設定された判定基準に基づき異常、又は、正常の測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する第３のステップと、
前記装置において、受信した前記測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、前記測定値判定結果に対応する表示を行う第４のステップとを有する
ことを特徴とする検査工程における測定結果表示方法。
【請求項２】  前記第３のステップは、前記ホストに接続されたホスト端末において、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ホストに接続されたホスト端末に前記ロットの異常を表示し、前記測定値判定結果が正常の場合、次工程の処理開始を表示するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項３】  前記第４のステップは、前記装置に接続された各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器の４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う第５のステップを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項４】  前記第４のステップは、前記装置に接続された装置モニタに、前記装置の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行うステップを含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項５】  前記第３のステップは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信するステップを含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項６】  前記第２のステップは、前記装置が備える識別手段によりロット番号を読みとり、該ロット番号を前記測定データに付加して前記ホストに送信するステップを含み、
前記第３のステップは、生成された測定値判定結果に前記ロット番号を含めるステップを含む
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項７】  請求項１乃至６のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法の動作を実現可能なコンピュータプログラムであって、請求項１乃至６のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法の各ステップをコード化したことを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項８】  ネットワークを利用した検査工程における測定結果表示システムであって、
前記検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定を行い測定データを得る装置と、
一つ又は複数の工程における前記装置の制御・管理を集中して行うホストとを備え、
該ホストは、
投入決定されたロットの前記測定条件を前記ネットワークを介して前記装置に送信する装置制御サーバと、
前記ネットワークを介して受信した前記測定データについて、予め設定された判定基準に基づき測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する工程管理サーバとを有し、
前記装置は、受信した前記測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、前記測定値判定結果に対応する表示を行う
ことを特徴とする検査工程における測定結果表示システム。
【請求項９】  前記ホストは前記ネットワークに接続されたホスト端末を有し、
該ホスト端末は、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ロットの異常を表示し、前記測定値判定結果が正常の場合、次工程の処理開始を表示する
ことを特徴とする請求項８に記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１０】  前記装置は、各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器を有し、
該４色表示器は、４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う
ことを特徴とする請求項８又は９に記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１１】  前記装置は装置モニタを有し、該装置モニタは前記装置の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行うことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１２】  前記ホストは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１３】  前記装置は、バーコードに記録されたロット番号を読みとる識別手段を備え、
該識別手段は前記ロット番号を読みとり、前記測定データに付加して前記ホストに送信し、
前記工程管理サーバは、生成された前記測定値判定結果に前記ロット番号を含める
ことを特徴とする請求項８乃至１２のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１４】  請求項８乃至１３のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システムを利用したロット処理システムであって、複数の工程におけるロットを各々検査する装置を制御・管理するホストは、ロットの測定値判定結果が異常の場合、ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とするロット処理システム。
【請求項１５】  ネットワークを利用した検査工程に利用されるホストサーバであって、
一つ又は複数の工程における前記検査工程の装置を前記ネットワークを介して制御し、投入決定されたロットの測定条件を前記装置に送信する装置制御サーバと、
前記装置の管理を集中して行い、前記ネットワークを介して受信した測定データについて、予め設定された判定基準に基づき測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する工程管理サーバとを備える
ことを特徴とするホストサーバ。
【請求項１６】  前記工程管理サーバは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とする請求項１５に記載のホストサーバ。
【請求項１７】  ネットワークを利用した検査工程において検査を行う装置であって、
各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器と、
前記検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定をして得た測定データを前記ネットワークを介してホストサーバに送信する装置本体とを備え、
前記４色表示器は、前記装置本体が前記ネットワークを介して前記ホストサーバから受信した測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置本体の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う
ことを特徴とする装置。
【請求項１８】  前記装置本体の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行う装置モニタを備えることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】  バーコードなどのロット番号を読みとり、前記測定データに付加して前記ホストサーバに送信する識別手段を備え、
前記装置モニタは、前記ホストサーバから送信された前記測定値判定結果に含まれる前記ロット番号を表示することを特徴とする請求項１７又は１８に記載の装置。