【手続補正書】
【提出日】平成16年8月16日(2004.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光投影システムにおいて、
レーザ源と、
該レーザ源によって放出される光を、空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大する多重化装置と、
該複数のビームのそれぞれを集束する照明光学系と、
該照明光学系からの光出力で照明されるマスク画像を基板に投影する投影光学系とを有しており、
前記多重化装置は、ミラーに平行でありかつ該ミラーと同じ側に配置され空間的に分離された複数のビームスプリッタを有していることを特徴とする
光投影システム。
【請求項２】
前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタは５０／５０ビームスプリッタである、
請求項１に記載の光投影システム。
【請求項３】
前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタは２つのビームスプリッタからなる、
請求項１に記載の光投影システム。
【請求項４】
前記の２つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタの面は、前記ミラーの反射面を延長した面に対して平行にかつ距離ｄで位置付けられており、
前記ビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタの面は、前記のミラーの面に対して平行にかつ距離２ｄ離れて位置付けられており、
ここでｄ ＝ ａ／(２＊sinα)であり、Ｌは時間的コヒーレンス長、αは照明の角度である、
請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記の２つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタは、前記ミラーの断面を基準にして距離ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の２つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタは、前記のミラーの断面を基準にして距離４ｂだけ横方向にシフトされており、
ここでｂ ＝ ｄ＊tanα、ｄは前記ミラーとの距離、αは照明の角度である、
請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記の２つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタは、前記ミラーの断面を基準にして距離ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の２つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタは、前記のミラーの断面を基準にして距離２ｂだけ横方向にシフトされており、
ここでｂ ＝ ｄ＊tanα、ｄは前記ミラーとの距離、αは照明の角度である、
請求項３に記載のシステム。
【請求項７】
前記の複数のビームは４つの出力ビームからなる、
請求項３に記載のシステム。
【請求項８】
前記の複数のビームは３つの出力ビームからなる、
請求項３に記載のシステム。
【請求項９】
前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタは３つのビームスプリッタからなる、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記の３つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタの面は、前記ミラーの反射面を延長した面に平行にかつ距離ｄで位置付けられており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタの面は、前記のミラーの面に平行にかつ距離２ｄで位置付けられており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第３ビームスプリッタの面は、前記のミラーの面に平行にかつ距離４ｄで位置付けられており、
ここでｄ ＝ ａ／(２＊sinα)，Ｌは時間的コヒーレンス長、αは照明の角度である、
請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記の３つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタは前記ミラーの横断面を基準にして距離ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタのエッジは前記のミラーの横断面を基準にして距離４ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第３ビームスプリッタのエッジは前記のミラーの横断面を基準にして距離１０ｂだけ横方向にシフトされており、
ここでｂ ＝ ｄ＊tanα，ｄは前記ミラーとの距離、αは照明の角度である、
請求項９に記載のシステム。
【請求項１２】
前記の複数のビームは８つの出力ビームからなる、
請求項９に記載のシステム。
【請求項１３】
前記多重化装置はさらに前記ミラーに平行な別のリフレクタを含んでおり、
該別のリフレクタは、前記のビームスプリッタのうちの少なくとも第１ビームスプリッタと第２ビームスプリッタとの間に配置されている、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記の複数のビームは４つの出力ビームからなる、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記多重化装置はさらに所定の領域を外れた光を検出する検出器を有しており、
該検出器は、前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタのうちの１つの近くに配置される、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記多重化装置は、個別の固定装置を有するケーシングに位置付けられており、
前記の個別の固定装置は、前記のリフレクタと、空間的に分離された複数のビームスプリッタのそれぞれとを固定する、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
前記ケーシングさらに調整装置を含んでおり、
該調整装置は、前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタの少なくとも１つの近くに配置された検出器からの信号に基づいて、前記の個別の固定装置をそれぞれ個別に調整する、
請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
光多重化装置において、
ミラーと、
リフレクタと同じ側かつ該リフレクタと平行に配置された、空間的に分離された複数のビームスプリッタとを有しており、
該ビームスプリッタは、レーザ源から放出される光を、当該レーザによって放出される光の空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大することを特徴とする
光多重化装置。
【請求項１９】
前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタは２つのビームスプリッタからなる、
請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記の２つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタの面は、前記ミラーの反射面を延長した面に対して平行にかつ距離ｄで位置付けられており、
前記ビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタの面は、前記のミラーの面に対して平行にかつ距離２ｄ離れて位置付けられており、
ここでｄ ＝ ａ／(２＊sinα)であり、Ｌは時間的コヒーレンス長、αは照明の角度である、
請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記の２つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタは、前記ミラーの断面を基準にして距離ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の２つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタは、前記のミラーの断面を基準にして距離４ｂだけ横方向にシフトされており、
ここでｂ ＝ ｄ＊tanα、ｄは前記ミラーとの距離、αは照明の角度である、
請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】
前記の２つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタは、前記ミラーの断面を基準にして距離ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の２つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタは、前記ミラーの断面を基準にして距離２ｂだけ横方向にシフトされており、
ここでｂ ＝ ｄ＊tanα、ｄは前記ミラーとの距離、αは照明の角度である、
請求項１９に記載の装置。
【請求項２３】
前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタは３つのビームスプリッタからなる、
請求項１８に記載の装置。
【請求項２４】
前記の３つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタの面は、前記ミラーの反射面を延長した面に平行にかつ距離ｄで位置付けられており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタの面は、前記のミラーの面に平行にかつ距離２ｄで位置付けられており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第３ビームスプリッタの面は、前記のミラーの面に平行にかつ距離４ｄで位置付けられており、
ここでｄ ＝ ａ／(２＊sinα)，Ｌは時間的コヒーレンス長、αは照明の角度である、
請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
前記の３つのビームスプリッタのうちの第１ビームスプリッタは前記ミラーの断面を基準にして距離ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第２ビームスプリッタのエッジは前記のミラーの断面を基準にして距離４ｂだけ横方向にシフトされており、
前記の３つのビームスプリッタのうちの第３ビームスプリッタのエッジは前記のミラーの断面を基準にして距離１０ｂだけ横方向にシフトされており、
ここでｂ ＝ ｄ＊tanα，ｄは前記ミラーとの距離、αは照明の角度である、
請求項２３に記載の装置。
【請求項２６】
さらに前記ミラーに平行な別のリフレクタを含んでおり、
該別のリフレクタは、前記のビームスプリッタのうちの少なくとも第１ビームスプリッタと第２ビームスプリッタとの間に配置されている、
請求項１８に記載の装置。
【請求項２７】
前記多重化装置はさらに、所定の領域を外れた光を検出する検出器を有しており、
該検出器は、前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタのうちの１つの近くに配置される、
請求項１８に記載のシステム。
【請求項２８】
前記多重化装置は、個別の固定装置を有するケーシングに位置付けられており、
前記の個別の固定装置は、前記のリフレクタと、空間的に分離された複数のビームスプリッタのそれぞれとを固定する、
請求項１８に記載のシステム。
【請求項２９】
前記ケーシングさらに調整装置を含んでおり、
該調整装置は、前記の空間的に分離された複数のビームスプリッタの少なくとも１つの近くに配置された検出器からの信号に基づいて、前記の個別の固定装置をそれぞれ個別に調整する、
請求項１８に記載のシステム。
【請求項３０】
レーザによって放出される光の空間的コヒーレンスを変化させずにレーザビームから放出される光を拡大する方法において、
前記のレーザによって放出される光を第１ビームスプリッタにて所定の角度で受光し、該第１ビームスプリッタが、反射によって前記光の第１部分をリフレクタに向かわせまた透過によって前記光の第２部分を第２ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第１部分を前記リフレクタにて受光し、該リフレクタが、反射によって前記光の第３部分を前記第２ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第２部分を前記第２ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第４部分を前記リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第５部分によって第１出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第３部分を前記第２ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第６部分を前記リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第７部分によって第２出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第４部分を前記リフレクタにて受光し、反射した前記光の第８部分によって第３出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第７部分を前記リフレクタにて受光し、反射した前記光の第９部分によって第４出力ビームを形成するステップとを有することを特徴とする、
レーザビームから放出される光を拡大する方法。
【請求項３１】
レーザによって放出される光の空間的コヒーレンスを変化させることなく、レーザビームから放出される光を拡大する方法において、
前記のレーザによって放出される光を第１ビームスプリッタにて所定の角度で受光し、該第１ビームスプリッタが、反射によって前記光の第１部分をリフレクタに向かわせまた透過によって前記光の第２部分を第２ビームスプリッタに向かわせるようにし、該第２ビームスプリッタが、反射によって前記光の第３部分を前記リフレクタに向かわせまた透過によって前記光の第４部分を第３ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第１部分を前記リフレクタにて受光し、反射によって前記光の第５部分を前記第２ビームスプリッタに向かわせ、該第２ビームスプリッタが、反射によって前記光の第６部分を前記リフレクタに向かわせまた透過によって前記光の第７部分を第３ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第３部分を前記リフレクタにて受光し、反射によって前記光の第８部分を前記第３ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第４部分を前記第３ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第９部分を前記リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第１０部分によって第１出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第６部分を前記リフレクタにて受光し、反射によって前記光の第１１部分を前記第３ビームスプリッタに向かわせるステップと、
前記の光の第７部分を前記第３ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第１２部分を前記リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第１３部分によって第２出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第８部分を前記第３ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第１４部分をリフレクタに向かわせまた透過した前記光の第１５部分によって第３出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第９部分を前記リフレクタにて受光し、反射した前記光の第１６部分によって第４出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第１１部分を前記第３ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第１７部分を前記リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第１８部分によって第５出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第１２部分を前記リフレクタにて受光し、反射した前記光の第１９部分によって第６出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第１４部分を前記リフレクタにて受光し、反射した前記光の第２０部分によって第７出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第１７部分を前記リフレクタにて受光し、反射した前記光の第２１部分によって第８出力ビームを形成するステップとを有することを特徴とする、
レーザビームから放出される光を拡大する方法。
【請求項３２】
レーザによって放出される光の空間的コヒーレンスを変化させることなく、レーザビームから放出される光を拡大する方法において、
前記のレーザによって放出される光を第１ビームスプリッタにて所定の角度で受光し、該第１ビームスプリッタが、反射によって前記光の第１部分を第１リフレクタに向けわせまた透過によって前記光の第２部分を第２ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第１部分を前記第１リフレクタにて受光し、反射によって前記光の第３部分を前記第２ビームスプリッタに向かわせるステップと、
前記の光の第２部分を前記第２ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第４部分を第２リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第５部分によって第１出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第３部分を前記第２ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第６部分を前記第２リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第７部分によって第２出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第４部分を前記第２リフレクタにて受光し、反射した前記光の第８部分によって第３出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第６部分を前記第２リフレクタにて受光し、反射した前記光の第９部分によって第４出力ビームを形成するステップとを有することを特徴とする、
レーザビームから放出される光を拡大する方法。
【請求項３３】
レーザによって放出される光の空間的コヒーレンスを変化させることなく、レーザビームから放出される光を拡大する方法において、
前記のレーザによって放出される光を第１ビームスプリッタにて所定の角度で受光し、該第１ビームスプリッタが、反射によって前記光の第１部分をリフレクタに向かわせまた透過によって前記光の第２部分を第２ビームスプリッタに向かわせるようにするステップと、
前記の光の第２部分を前記第２ビームスプリッタにて受光し、反射によって前記光の第３部分を前記リフレクタに向かわせまた透過した前記光の第４部分によって第１出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第１部分を前記リフレクタにて受光し、該リフレクタで反射した前記光の第５部分によって第２出力ビームを形成するステップと、
前記の光の第３部分を前記リフレクタにて受光し、該リフレクタで反射した前記光の第６部分によって第３出力ビームを形成するステップとを有することを特徴とする、
レーザビームから放出される光を拡大する方法。
【請求項３４】
光投影システムにおいて、
光源と、該光源によって放出される光を空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大する多重化装置とを有しており、
該多重化装置は、第１のリフレクタと、該第１のリフレクタに平行でありかつこれと同じ側に配置され空間的に分離された複数のビームスプリッタと、前記第１のリフレクタに平行でありかつビームスプリッタの所定の対のあいだに配置された第２のリフレクタとを有していることを特徴とする
光投影システム。
【請求項３５】
光多重化装置において、
第１のリフレクタと、
空間的に分離された複数のビームスプリッタと、
前記第１のリフレクタに平行でありかつ第１のビームスプリッタと第２のビームスプリッタとのあいだに配置された第２のリフレクタとを有しており、
前記複数のビームスプリッタは前記第１のリフレクタに平行でありかつこれと同じ側に配置され、さらにここを透過する光をその空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大することを特徴とする
光多重化装置。
【請求項３６】
光投影システムにおいて、
光源と、該光源によって放出される光を空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大する多重化装置とを有しており、
該多重化装置は、反射装置と、該反射装置に平行でありかつこれと同じ側に配置され空間的に分離された複数のビームスプリッタと、所定のビームスプリッタの所定の領域の近くに配置されかつ前記領域を外れて入射する光を検出する検出器とを有していることを特徴とする
光投影システム。
【請求項３７】
光投影システムにおいて、
光源と、該光源によって放出される光を空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大する多重化装置とを有しており、
該多重化装置は、リフレクタと、該リフレクタに平行でありかつこれと同じ側に配置され空間的に分離された複数のビームスプリッタと、ケーシングとを有しており、
該ケーシングは前記リフレクタおよび各ビームスプリッタを個別に固定する個別の固定装置と、所定のビームスプリッタの近くに配置された検出器と、前記検出器からの信号を用いて前記個別の固定装置をそれぞれ独立に調整できる調整装置とを有していることを特徴とする
光投影システム。
【請求項３８】
光多重化装置において、
リフレクタと、
該リフレクタに平行でありかつこれと同じ側に配置され空間的に分離されており、さらにここを透過する光をその空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大する複数のビームスプリッタと、
所定のビームスプリッタの所定の領域の近くに配置されかつ前記領域を外れて入射する光を検出する検出器とを有していることを特徴とする
光多重化装置。
【請求項３９】
光多重化装置において、
リフレクタと、該リフレクタに平行でありかつこれと同じ側に配置され空間的に分離されており、さらにここを透過する光をその空間的コヒーレンスを変化させずに実質的に光強度が互いに等しい複数のビームに拡大する複数のビームスプリッタと、ケーシングとを有しており、
該ケーシングは前記リフレクタおよび各ビームスプリッタを個別に固定する個別の固定装置と、所定のビームスプリッタの近くに配置された検出器と、前記検出器からの信号を用いて前記個別の固定装置をそれぞれ個別に調整できる調整装置とを有していることを特徴とする
光多重化装置。