【手続補正書】
【提出日】令和2年12月14日(2020.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのユニバーサルプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記ウエハのＸ−Ｙ平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第１端および第２端を有するアームであって、前記第１端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第２端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項２】
請求項１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を増大させることにより、前記金属プラテンへの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの取り付けを可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項３】
請求項２に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の前記磁場を低減させることにより、前記金属プラテンからの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの解放を可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項４】
請求項１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項５】
請求項４に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの取り付け側面に取り付けられる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項６】
請求項５に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの前記取り付け側面上のダブテール受けに取り付けられ、前記ダブテール受けは、前記可動部分によって傾斜されることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項７】
請求項５に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記ブロックは、前記ブロックの３つの未使用の側面の内の任意の側面を用いて前記アームに取り付けられることができ、前記３つの未使用の側面は、前記プローブヘッドが取り付けられた前記取り付け側面ではない前記ブロックの任意の側面である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項８】
請求項５に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、Ｘ軸、Ｙ軸、および、Ｚ軸に沿った横移動、ならびに、Ｚ軸に関する回転のための調整メカニズムを含む４つの調整メカニズムを備え、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸、および、前記Ｚ軸は、互いに直交する、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項９】
請求項８に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Ｙ軸に関して傾斜可能である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項１０】
請求項１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、ロックメカニズムおよびレバーを用いて、レールベースのシステムに取り付けられることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項１１】
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第１端および第２端を有するアームであって、前記第１端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第２端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
金属プラテンであって、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を用いて、前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドが、前記金属プラテンに取り付けられることができる、金属プラテンと、
を備える、プロービングアセンブリ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を調整するためのスイッチを備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、より強い磁場が、よりしっかりと、前記磁気スラブ、前記アーム、および、前記プローブヘッドを前記金属プラテンに取り付ける、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
【請求項１４】
請求項１１に記載のプロービングアセンブリであって、前記複数の調整メカニズムは、Ｘ軸、Ｙ軸、および、Ｚ軸に沿った横移動、ならびに、Ｚ軸に関する回転のための調整メカニズムを含む４つの調整メカニズムを含み、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸、および、前記Ｚ軸は、互いに直交する、プロービングアセンブリ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のプロービングアセンブリであって、前記４つの調整メカニズムは、手動で調整可能なノブである、プロービングアセンブリ。
【請求項１６】
請求項１５に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Ｙ軸に関して傾斜可能である、プロービングアセンブリ。
【請求項１７】
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
４つの調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記ウエハのＸ−Ｙ平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
前記切り替え可能磁気スラブおよび前記ブロックを接続するアームと、
を備える、プロービングアセンブリ。
【請求項１８】
請求項１７に記載のプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を制御する、プロービングアセンブリ。
【請求項１９】
請求項１７に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの第４側面に取り付けられ、前記ブロックは、前記ブロックの第１、第２、または、第３側面のいずれでも、前記アームに取り付けられることができる、プロービングアセンブリ。
【請求項２０】
請求項１７に記載のプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、プロービングアセンブリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
いくつかの実施形態だけを詳細に説明したが、本発明は、本発明の範囲から逸脱することなしに多くの他の形態で実施されうることを理解されたい。上記に鑑みて、本実施形態は例示であり、限定的ではなく、本発明は、本明細書に記載の詳細事項に限定されず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で変形されてよいことが明らかである。
本発明は、例えば、以下の形態により実現されてもよい。
［形態１］
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのユニバーサルプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記ウエハのＸ−Ｙ平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第１端および第２端を有するアームであって、前記第１端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第２端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態２］
形態１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を増大させることにより、前記金属プラテンへの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの取り付けを可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態３］
形態２に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の前記磁場を低減させることにより、前記金属プラテンからの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの解放を可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態４］
形態１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態５］
形態４に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの取り付け側面に取り付けられる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態６］
形態５に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの前記取り付け側面上のダブテール受けに取り付けられ、前記ダブテール受けは、前記可動部分によって傾斜されることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態７］
形態５に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記ブロックは、前記ブロックの３つの未使用の側面の内の任意の側面を用いて前記アームに取り付けられることができ、前記３つの未使用の側面は、前記プローブヘッドが取り付けられた前記取り付け側面ではない前記ブロックの任意の側面である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態８］
形態５に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、Ｘ軸、Ｙ軸、および、Ｚ軸に沿った横移動、ならびに、Ｚ軸に関する回転のための調整メカニズムを含む４つの調整メカニズムを備え、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸、および、前記Ｚ軸は、互いに直交する、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態９］
形態８に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Ｙ軸に関して傾斜可能である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態１０］
形態１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、ロックメカニズムおよびレバーを用いて、レールベースのシステムに取り付けられることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態１１］
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第１端および第２端を有するアームであって、前記第１端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第２端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
金属プラテンであって、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を用いて、前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドが、前記金属プラテンに取り付けられることができる、金属プラテンと、
を備える、プロービングアセンブリ。
［形態１２］
形態１１に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を調整するためのスイッチを備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態１３］
形態１２に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、より強い磁場が、よりしっかりと、前記磁気スラブ、前記アーム、および、前記プローブヘッドを前記金属プラテンに取り付ける、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
［形態１４］
形態１１に記載のプロービングアセンブリであって、前記複数の調整メカニズムは、Ｘ軸、Ｙ軸、および、Ｚ軸に沿った横移動、ならびに、Ｚ軸に関する回転のための調整メカニズムを含む４つの調整メカニズムを含み、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸、および、前記Ｚ軸は、互いに直交する、プロービングアセンブリ。
［形態１５］
形態１４に記載のプロービングアセンブリであって、前記４つの調整メカニズムは、手動で調整可能なノブである、プロービングアセンブリ。
［形態１６］
形態１５に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Ｙ軸に関して傾斜可能である、プロービングアセンブリ。
［形態１７］
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
４つの調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記ウエハのＸ−Ｙ平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
前記切り替え可能磁気スラブおよび前記ブロックを接続するアームと、
を備える、プロービングアセンブリ。
［形態１８］
形態１７に記載のプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を制御する、プロービングアセンブリ。
［形態１９］
形態１７に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの第１側面に取り付けられ、前記ブロックは、前記ブロックの第１、第２、または、第３側面のいずれでも、前記アームに取り付けられることができる、プロービングアセンブリ。
［形態２０］
形態１７に記載のプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、プロービングアセンブリ。