【手続補正書】
【提出日】平成17年1月28日(2005.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を基板上に積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工していることを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を基板上に積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、該回折光学素子は複数の領域を有し、これらの複数の領域のうち少なくとも一部の領域に於いて、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工していることを特徴とする回折光学素子。
【請求項３】
少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を基板上に積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、該回折光学素子は複数の領域を有し、これらの複数の領域内において、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工しており、各領域における面取りの大きさ、又は／及び面取りの形状が異なっていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項４】
前記面取りの形状は平面であり、前記面取りの平面を前記基板面に投影したときの格子面の配列方向の長さをａとするとき、
０．５μｍ＜ａ＜２μｍ
であることを特徴とする請求項１、２又は３の回折光学素子。
【請求項５】
前記面取りの形状は、それを前記格子面の配列方向と前記基板の垂線とのなす平面に投影したとき曲面であり、前記面取りの曲面を前記格子面の配列方向と前記基板の垂線とのなす平面に投影したときの曲率半径をｒとするとき、
０．５μｍ＜ｒ＜２μｍ
であることを特徴とする請求項１、２又は３の回折光学素子。
【請求項６】
前記使用波長域が、可視光域であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項の回折光学素子。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の回折光学素子を有することを特徴とする光学系。
【請求項８】
少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、該複数の回折格子は空気層を介して隣接する２つの回折格子を含むことを特徴とする回折光学素子。
【請求項９】
前記２つの回折格子のうち、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工していることを特徴とする請求項８の回折光学素子。
【請求項１０】
請求項８又は９のいずれか１項記載の回折光学素子を有することを特徴とする光学系。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を基板上に積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工していることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を基板上に積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、該回折光学素子は複数の領域を有し、これらの複数の領域のうち少なくとも一部の領域に於いて、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工していることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項３の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を基板上に積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、該回折光学素子は複数の領域を有し、これらの複数の領域内において、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工しており、各領域における面取りの大きさ、又は／及び面取りの形状が異なっていることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項４の発明は、請求項１、２又は３の発明において、前記面取りの形状は平面であり、前記面取りの平面を前記基板面に投影したときの格子面の配列方向の長さをａとするとき、
０．５μｍ＜ａ＜２μｍ
であることを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項５の発明は、請求項１、２又は３の発明において、前記面取りの形状は、それを前記格子面の配列方向と前記基板の垂線とのなす平面に投影したとき曲面であり、前記面取りの曲面を前記格子面の配列方向と前記基板の垂線とのなす平面に投影したときの曲率半径をｒとするとき、
０．５μｍ＜ｒ＜２μｍ
であることを特徴としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項の発明において、前記使用波長域が、可視光域であることを特徴としている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項７の発明の光学系は、請求項１〜６のいずれか１項記載の回折光学素子を有することを特徴としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項８の発明の回折光学素子は、少なくとも２種類の分散の異なる材質からなる複数の回折格子を有し、該複数の回折格子を積層して、使用波長領域全域で特定次数の回折効率が高くなるようにした回折光学素子に於いて、該複数の回折格子は空気層を介して隣接する２つの回折格子を含むことを特徴としている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項９の発明は、請求項８の発明において、前記２つの回折格子のうち、一方の回折格子の格子面のエッジ部の頂部とそれに対応する他方の回折格子の溝部の一部を面取り加工していることを特徴としている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項１０の発明の光学系は、請求項８又は９のいずれか１項記載の回折光学素子を有することを特徴としている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】