(57)【要約】      （修正有）【課題】パラメータの設定値の間違いを少なくする機能を有したレシピ作成装置を提供する。【解決手段】不良ウエハを作る原因になる可能性のあるパラメータの情報を取得し、取得した情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する。例えばＩｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇが設定されているか（ステップ１１０１）、ログイン名がＣｏｎｄｉｔｉｏｎの条件と合っているか（ステップ１１０２）、対象パラメータに設定しているＴｉｍｉｎｇのタイミングと合っているかどうかを調べ（ステップ１１０３）、全ての条件に適合した場合は操作者に注意喚起メッセージを表示する。【選択図】図１１
2010135480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不良ウエハを作る原因になる可能性のあるパラメータの情報を取得する手段と、上記取得した情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する手段を具備することを特徴とするレシピ作成装置。
【請求項２】
上記メッセージを設定する手段を具備することを特徴とする請求項１に記載のレシピ作成装置。
【請求項３】
上記パラメータの情報の取得手段が、パラメータを設定する時に設定を忘れたパラメータや設定を間違ったパラメータ入力で不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を入力する手段であることを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載のレシピ作成装置。
【請求項４】
上記パラメータの情報の取得手段が、装置内やネットワークでつながった装置内で、パラメータの値の傾向を調べる手段であることを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載のレシピ作成装置。
【請求項５】
上記パラメータの値の傾向を調べる手段が、装置内やネットワークでつながった装置内で、値のばらつきが大きいパラメータを探す手段であることを特徴とする請求項４に記載のレシピ作成装置。
【請求項６】
上記パラメータの値の傾向を調べる手段が、装置内やネットワークでつながった装置内の平均値を算出する手段と、設定しようとしている値が上記平均値から離れているかどうかを調べる手段であることを特徴とする請求項４に記載のレシピ作成装置。
【請求項７】
上記パラメータの値の傾向を調べる手段が、装置内やネットワークでつながった装置内で、値が過去から変化してきているパラメータを探す手段であることを特徴とする請求項４に記載のレシピ作成装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載のレシピ作成装置を備えたことを特徴とする半導体露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子や液晶素子等のデバイスを製造するための装置のようにパラメータに基づいて制御される装置、そのようなパラメータに関する情報の取得やパラメータの設定に関する。本発明は、半導体製造装置、特にウエハ上に回路パターンを焼き付ける半導体露光装置に特に好適に適用される。
【背景技術】
【０００２】
デバイス製造（露光）工程では、パラメータは、レイアウト情報に関するもの、アライメントに関するもの、露光に関するもの等の１０００以上もの数に達している。このような１工程を処理するための一組のパラメータの集まりをレシピ、または、ジョブと呼び、この単位でファイルにしていたりしてパラメータを扱っている。これらのパラメータの１個でも間違った値が設定されていると、正常なデバイスが作成できない可能性がある。そのため、パラメータは注意深く設定している。
【０００３】
上記の例として、下記特許文献１をあげることが出来る。
【特許文献１】特開２００２−１２４４５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、日頃使っているパソコンのアプリケーションプログラムや他の装置とパラメータエディタの使い勝手の違い等によって、同じオペレータが同じような間違いをすることや、複数のオペレータが同じような間違いをすることはたまにある。また、パラメータの適切な値も気圧などの環境の変化、装置の経時変化、プロセスの変化等によって変化している。このようにパラメータの設定をミスする要因は多くあるが、年々、コストやスピードが厳しく要求されているため、このようなミスを少なくすることが必要になっていた。
【０００５】
そこで本発明は、パラメータの設定値の間違いを少なくする機能を有したレシピ作成装置と半導体露光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
これらの課題を解決するために本発明の第１のレシピ作成装置は、不良ウエハを作る原因になる可能性のあるパラメータの情報を取得する手段と、上記取得した情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する手段を具備することを特徴とする。
【０００７】
第２のレシピ作成装置は、第１のレシピ作成装置において、メッセージを設定する手段を具備することを特徴とする。
【０００８】
第３のレシピ作成装置は、第１、又は第２のレシピ作成装置において、パラメータの情報の取得手段が、パラメータを設定する時に設定を忘れたパラメータや設定を間違ったパラメータ入力で不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を入力する手段であることを特徴とする。
【０００９】
第４のレシピ作成装置は、第１、又は第２のレシピ作成装置において、パラメータの情報の取得手段が、装置内やネットワークでつながった装置内で、パラメータの値の傾向を調べる手段であることを特徴とする。
【００１０】
第５のレシピ作成装置は、第４のレシピ作成装置において、パラメータの値の傾向を調べる手段が、装置内やネットワークでつながった装置内で、値のばらつきが大きいパラメータを探す手段であることを特徴とする。
【００１１】
第６のレシピ作成装置は、第４のレシピ作成装置において、パラメータの値の傾向を調べる手段が、装置内やネットワークでつながった装置内の平均値を算出する手段と、設定しようとしている値が上記平均値から離れているかどうかを調べる手段であることを特徴とする。
【００１２】
第７のレシピ作成装置は、第４のレシピ作成装置において、パラメータの値の傾向を調べる手段が、装置内やネットワークでつながった装置内で、値が過去から変化してきているパラメータを探す手段であることを特徴とする。
【００１３】
以上のようにすることで、本発明のレシピ作成装置ではパラメータの設定値の間違いを少なくすることが出来るようになる。
【００１４】
又、本発明の半導体露光装置は第１〜第７のいずれかの発明に記載のレシピ作成装置を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、不良ウエハを作る原因になる可能性のあるパラメータの情報を取得する手段と、上記取得した情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する手段を具備することをよって、レシピの作成でパラメータの設定抜けや設定値間違いを少なくする効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１は、本発明の第１の実施例に係る半導体露光装置の外観を示す斜視図である。同図に示すように、この半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行う温調チャンバ１０１、その内部に配置され、装置本体の制御を行うＣＰＵを有するＥＷＳ本体１０６、ならびに、装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディスプレイ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して得られる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に対し所定の入力を行うための操作パネル１０３、ＥＷＳ用キーボードｌ０４等を含むコンソール部を備えている。図中、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非常停止スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１１０はＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソール機能からの発熱の排気ダクト、そして１１２はチャンバの排気装置である。半導体露光装置本体はチャンバ１０１の内部に設置される。
【００１８】
ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０によりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ１０１前面に設置し、チャンバ１０１前面から従来と同様のコンソール操作が行えるようにしてある。
【００１９】
図２は、図１の装置の内部構造を示す図である。同図においては、半導体露光装置としてのステッパが示されている。図中、２０２はレチクル、２０３はウエハであり、光源部２０４から出た光束が照明光学系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル２０２はレチクル２０２を保持、移動するためのレチクルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３はウエハチャック２９１により真空吸着された状態で露光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０９により各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の上側にはレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチクル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の上方に、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２は内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマークとの相対位置検出を行うのが主たる役割である。また、これらステッパ本体に隣接して周辺装置であるレチクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２３０が配置され、必要なレチクルやウエハはレチクル搬送装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステッパ本体に搬送される。
【００２０】
チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を行う空調機室２１０、微小異物を濾過し清浄空気の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、および装置環境を外部と遮断するブース２１４で構成されている。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷却器２１５および再熱ヒータ２１６により温度調節された空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介してブース２１４内に供給される。ブース２１４に供給された空気はリターン口ｒａより再度空調機室２１０に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、チャンバ１０１は、厳密には完全な循環系ではなく、ブース２１４内を常時陽圧に保つために、循環空気量の約１割のブース２１４外の空気を、空調機室２１０に設けられた外気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このようにしてチャンバ１０１は装置本体が置かれる環境温度を一定に保ち、かつ空気を清浄に保つことを可能にしている。また、光源部２０４には超高圧水銀灯の冷却やレーザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａと排気口ｅａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源部２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排気ファンを介して工場設備に強制排気されている。また、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィルタｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａおよびリターン口ｒａにそれぞれ接続して備えている。
【００２１】
図３は、図１の装置の電気回路構成を示すブロック図である。同図において、３２１は装置全体の制御を司る、前記ＥＷＳ本体１０６に内蔵された本体ＣＰＵであり、マイクロコンピュータまたはミニコンピュータ等の中央演算処理装置からなる。３２２はウエハステージ駆動装置、３２３は前記オフアクシス顕微鏡２８２等のアライメント検出系、３２４はレチクルステージ駆動装置、３２５は前記光源部２０４等の照明系、３２６は露光用のレーザ制御装置、３２７はフォーカス検出系、３２８はＺ駆動装置であり、これらは、本体ＣＰＵ３２１により制御される。３２９は前記レチクル搬送装置２２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬送系である。３３０は前記ディスプレイ１０２、キーボード１０４等を有するコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ３２１にこの露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを与えるためのものである。すなわち、オペレータとの間で情報の授受を行うためのものである。３３１はコンソールＣＰＵ、３３２は各種ジョブのパラメータ等を記憶する外部メモリである。ジョブパラメータには、使用するマスク、マスキングブレードの開口、露光量、フォーカス関連、レイアウトデータ等が含まれる。
【００２２】
次に、この露光装置における本発明のパラメータを設定する時に、入力を忘れたパラメータや、間違った値を入力したパラメータ入力で不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を入力する手段の１例を説明する。
【００２３】
図４は露光量やフォーカスに関するパラメータの一部を設定するＧＵＩ画面を示したものである。４０１は露光量やフォーカスに関するパラメータの設定画面であることを示すラベルである。パラメータを設定する画面が当然ながら、この他にも多くの画面がある。この実施例では不図示の設定画面のラベル４０１を集めた画面ラベルのリストやタグを選択することで、選択した設定画面が表示されるようになっている。また、これらの画面を操作するには不図示のログイン画面でログインする必要がある。ログインはＳａｔｏやＳｕｚｕｋｉ等の個別の担当者を表す名前、または、一般作業者を示すＯｐｅｒａｔｏｒ、技術者を示すＥｎｇｉｎｅｅｒで行う。また、各名前には属性として一般作業者を示すＯｐｅｒａｔｏｒや技術者を示すＥｎｇｉｎｅｅｒが設定されている。ここではＳａｔｏがＯｐｅｒａｔｏｒとして、ＳｕｚｕｋｉがＥｎｇｉｎｅｅｒとして設定されているものとする。これらの名前の登録は不図示のユーザ登録画面で行う。これらはコンソールＣＰＵ３３１によって処理され、外部メモリ３３２に登録内容は保存されている。そして、必要なときに、コンソールＣＰＵ３３１によって外部メモリ３３２から引き出されて使用される。
【００２４】
４０２は露光量を設定する部分、４０３がフォーカスオフセットを設定する部分、４０４、４０５がチルトフォーカスオフセットのＸ、Ｙを設定する部分、４０６が設定したパラメータを保存するボタン、４０７が設定したパラメータの値をキャンセルするボタンである。ここで、チルトフォーカスオフセットのＸを設定することで安心してチルトフォーカスオフセットのＹの値を設定する部分４０５の値を設定するのを、ときたま忘れる作業者いたり、露光量を設定する部分４０２で単位を間違って、間違った値を設定することがあったりする。ここでは、露光量を設定する部分４０２の設定間違いを例に説明する。露光量の単位がｍＪ／ｍ２である他メーカの露光装置も使用する環境にあった場合、この他メーカの装置で通常３０００前後の値を設定していたとすると、本実施例の装置では単位がＪ／ｍ２であり、３００前後の値を設定する必要がある。たとえは、２５０．５Ｊ／ｍ２の値を設定する場合、小数点を入力し忘れて、２５０５Ｊ／ｍ２の値にするミスが起こりやすい。このレシピでウエハを露光すると不良ウエハを作ってしまうことになる。このようなパラメータは露光量だけでないし、装置の使用環境によっても異なる。そこで、本発明の１実施例では設定ミスの起こりやすいパラメータの情報を人手で入力できるようにしている。その操作方法を図５の設定ミスの起こりやすいパラメータの情報を入力する処理の操作フロー図、図６のパラメータの情報を入力するパラメータを設定する画面、図７のパラメータの情報を入力する画面を使って説明する。以下の処理は人手による操作とコンソールＣＰＵ３３１によって行われる。
【００２５】
まず、図６と図７で設定を間違ったパラメータ入力で不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を入力する手段の１実施例を説明する。
【００２６】
図６の６０１は設定ミスがあったパラメータの情報を入力するパラメータを設定する画面であることを示すラベルである。６０２は露光量、フォーカス用の画面であることを示すラベルである。パラメータを探しやすいように、この画面に含まれるパラメータは、図４の露光量やフォーカスに関するパラメータの一部を設定するＧＵＩ画面で表示されているものと同じにしている。
【００２７】
６０３は露光量パラメータを設定する部分、６０４がフォーカスオフセットパラメータを設定する部分、６０５、６０６がチルトフォーカスオフセットのＸ、Ｙパラメータを設定する部分、６０７が設定を保存するボタン、６０８が設定をキャンセルするボタンである。この画面で各パラメータの右側にはボタンがあり、Ｉｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇとＩｎｆｏ．ｎｏｎｅのどちらかが表示されている。Ｉｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇはパラメータの情報が設定されていることを、Ｉｎｆｏ．ｎｏｎｅパラメータの情報が設定されていないことを示している。これらのボタンを押すことで、図７のパラメータの情報を入力する画面が表示される。７０１はパラメータの情報を入力する画面を示すラベルある。７０２が図６で上記のようにボタンを押したパラメータで、情報を入力するパラメータであり、右側にトグルボタンがある。このトグルボタンはＩｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇとＩｎｆｏ．ｎｏｎｅを切替えるようになっている。ここで、設定した状態が図６の各パラメータの右側ボタンのラベルになる。また、Ｉｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇにした場合、７０３の条件、７０４のタイミング、７０５のメッセージ、７０６のメッセージの内容が設定可能になる。Ｉｎｆｏ．ｎｏｎｅにした場合、７０３の条件、７０４のタイミング、７０５のメッセージ、７０６のメッセージの内容がインセンシティブや非表示になって、設定できなくなる。
【００２８】
次に設定を忘れたパラメータや、設定を間違ったパラメータ入力で不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を入力する手段を使った操作を説明する。上記の設定ミスの起こりやすいパラメータの情報を入力する手段の１実施例を使った図５の操作フローを説明する。
【００２９】
操作５０１では、設定ミスがあったパラメータの情報を入力するために、上記で説明した図６の各パラメータ設定部分の右側にあるボタンを押す。押すと図７のような画面をコンソールＣＰＵ３３１が表示する。図７は露光量パラメータを設定する部分６０３のボタンを押したときに表示される画面の例である。露光量パラメータを設定する部分６０３（Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｄｏｓｅ）と同じパラメータをコンソールＣＰＵ３３１が７０２の情報を入力するパラメータに表示する。そこで、情報を入力するパラメータ７０２の右側にあるトグルボタンをＩｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇに設定すると、コンソールＣＰＵ３３１は７０３の条件、７０４のタイミング、７０５のメッセージ、７０６のメッセージの内容、の各設定を可能にする。
【００３０】
操作５０２では、条件７０３の右側にあるトグルボタンを設定する。つまり、設定ミスがあったパラメータは誰による操作だったか（実際には下で説明するメッセージを誰が操作しているときに表示するか）を条件７０３の選択項目から選択する。ここで、コンソールＣＰＵ３３１は不図示のユーザ登録画面で装置に設定している操作者を選択項目として表示する。たとえば、選択項目して、全員を示すＡｌｌ、一般作業者を示すＯｐｅｒａｔｏｒ、技術者を示すＥｎｇｉｎｅｅｒ、個別の担当者を表す名前ＳａｔｏやＳｕｚｕｋｉなどがある。
【００３１】
操作５０３では、タイミング７０４の右側のトグルボタンを設定する。つまり、メッセージをどこで表示するかをタイミング７０４の選択項目から選択する。ここで、コンソールＣＰＵ３３１はパラメータの入力時を表すＡｔ  ｉｎｐｕｔと保存時を表すＡｔ  ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｏｎを選択項目として表示する。
【００３２】
操作５０４では、表示するメッセージの内容をメッセージ７０５、メッセージの内容７０６で設定する。ここで、メッセージ７０５の右側のラジオボタンでＡｕｔｏを選択した場合、コンソールＣＰＵ３３１はメッセージの内容７０６をインセンシティブや非表示にして入力できないようにする。メッセージ７０５の右側のラジオボタンでａｕｔｏを選択した場合、表示するメッセージは予め用意しているが、タイミング７０４の設定でメッセージの内容を変えることもできる。タイミング７０４の設定をＡｔ  ｉｎｐｕｔにした場合の例を図８の（Ａ）に示している。ここで８０１はメッセージを示すラベルであり、８０２はメッセージの内容が表示されるエリアであり、８０３が読み終わった後に、メッセージウインドウを消すボタンである。タイミング７０４の設定をＡｔ  ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｏｎにした場合の例を図８の（Ｂ）に示している。メッセージの内容が表示されるエリア８０２に表示されているＴｉｌＴ  Ｏｆｆｓｅｔ  Ｙは情報を入力するパラメータ７０２の名称によって変化するようになっている部分である。メッセージ７０５の右側のラジオボタンでＭａｎｕａｌを選択した場合、メッセージの内容７０６を操作者が入力できるようにし、ここで入力したメッセージを後の処理で表示するようにしている。このメッセージはパラメータや設定ミスした内容によって入力内容を変えるようにした方が良い。入力した内容の例を図８の（Ｃ）に示す。
【００３３】
操作５０５では、保存ボタン７０７を押して操作５０１から５０４で設定した内容をコンソールＣＰＵ３３１によって外部メモリ３３２に保存する。
【００３４】
また、７０８が設定をキャンセルするボタンである。
【００３５】
次に上記の処理で入力した不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する処理を説明する。１実施例を図１１のパラメータの入力時と保存時の処理の一部分フローチャートで説明する。以下の処理はコンソールＣＰＵ３３１によって行われる。
【００３６】
図１１は図４のようなパラメータを入力する画面で、露光量を設定する部分４０２等で各パラメータを入力するときや保存ボタン４０６を押したときに実行する処理を示すフローチャートである。図４のようなパラメータを設定する画面で露光量を設定する部分４０２などの各パラメータを入力するときは、対応する（入力中の）パラメータに対して、この処理を実行する。そして、保存ボタン４０６を押したときは、図４のようなパラメータを設定する画面に表示されている保存ボタン４０６の対象である画面内の全パラメータに対しても、この処理を実行する。
【００３７】
ここでは本実施例１に関連するステップ１１０１〜ステップ１１０４について説明する。
【００３８】
ステップ１１０１では、図７で対象パラメータにＩｎｆｏ．ｓｅｔｔｉｎｇが設定されているかどうかを調べる。設定されていなければステップ１１０５に進む。設定されていればステップ１１０２に進む。上記のように対象パラメータはパラメータの値の入力時に実行しているのであれば、入力している１個のパラメータであり、保存時に実行しているのであれば、画面内の全パラメータである。
【００３９】
ステップ１１０２では、ログイン名を調べ、図７で対象パラメータに設定しているＣｏｎｄｉｔｉｏｎの条件７０３と合っているかどうかを調べる。例えば、ＣｏｎｄｉｔｉｏｎにＯｐｅｒａｔｏｒが設定されていて、操作者がＳａｔｏの名前でログインしていたとすると、Ｓａｔｏの属性はＯｐｅｒａｔｏｒであるため、条件に合っていることになり、ステップ１１０３に進む。条件に合っていなければステップ１１０５に進む。
【００４０】
ステップ１１０３では、この処理が各パラメータを入力するときの処理か、保存ボタン４０６を押したときの処理かを調べ、図７で対象パラメータに設定しているＴｉｍｉｎｇのタイミング７０４と合っているかどうかを調べる。例えば、各パラメータを入力するときの処理だった場合、ＴｉｍｉｎｇにＡｔ  ｉｎｐｕｔが設定されていれば条件に合っていることになり、Ａｔ  ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｏｎが設定されていれば条件に合っていないことになる。条件に合っていればステップ１１０４に進み、合っていなければステップ１１０５に進む。
【００４１】
ステップ１１０４では、図７で対象パラメータに設定しているメッセージ７０５、メッセージの内容７０６で設定したメッセージを表示する。ここの処理に来たことはステップ１１０１からステップ１１０３の全ての条件に適合したことになる。ここで表示されるメッセージは前に説明した図８の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）のようなメッセージになる。これらのメッセージを表示することで、操作者に注意を喚起することができる。
【００４２】
メッセージ表示後はステップ１１０５に進む。
【００４３】
以上で説明した不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報やメッセージは装置全体で一組であっても良いし、レシピ単位に設定できても良い。また、パラメータ単位に持ち方を変えても良い。
【００４４】
このようにパラメータを設定する時に、設定を忘れたパラメータや、設定を間違ったパラメータ入力で不良ウエハを作る原因になったパラメータの情報を入力する手段と取得した情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する手段を具備することでレシピを作成でパラメータの設定抜けや設定値間違いを少なくする効果がある。
【００４５】
ステップ１１０５以降の説明は実施例２で説明する。
【実施例２】
【００４６】
本発明の第２の実施例に係る半導体露光装置は図１、図２、図３で示されている実施例１と同様である。
【００４７】
この露光装置における本発明の装置内やネットワークでつながった装置内で、パラメータの値の傾向を調べる手段の１例を説明する。
【００４８】
パラメータに設定されている値傾向を調べる処理のフローチャート図１０とパラメータの入力時と保存時の処理を示すフローチャート図１１と、装置がネットワーク接続している図１２と、パラメータの傾向を示した図９と表示するメッセージ図８を使って実施例２を説明する。
【００４９】
まず、図１０のパラメータに設定されている値傾向を調べる処理のフローチャートから説明する。この処理はコンソールＣＰＵ３３１によって行われる。この処理はレシピの保存や、ユーザのログインやログアウトや、一定間隔など適切なタイミングで行われる。そして、この処理は全パラメータに対して行われる。
【００５０】
まず、ステップ１００１では、パラメータ毎に外部メモリ３３２内に保存されている自装置内のレシピファイルと、図１２に示されるようにネットワーク１２０３でつながっている他の半導体露光装置１２０１の外部メモリ３３２内に保存されているレシピファイルから１２０２で示すようにパラメータの値を取得する。
次にステップ１００２では、値の傾向を調べる。
【００５１】
次にステップ１００３では、値にばらつきが大きいかどうかを調べる。ばらつきが大きい場合、ステップ１００４に進み、ばらつきが少ない場合、ステップ１００５に進む。図９の（Ｘ）が、ばらつきが大きい場合のグラフの例である。ここで、Ｘ方向が件数で、左から右に古い順に並んでいる（右が新しい）。Ｙ方向がパラメータの値を示している。また、円形９０１は今回入力した値を示し、三角形の９０２はこれまでの値を示している。これらは、図９の（Ｘ），（Ｙ），（Ｚ）とも同じである。
【００５２】
次に、ステップ１００４では、値がばらついていることを示すために、外部メモリ３３２内にあるパラメータ毎のバラツキパラメータフラグをＯＮにする。この処理が終わるとこの一連の処理を終了する。
【００５３】
次にステップ１００５では、値が変化してきているかどうかを調べる。変化してきている場合、ステップ１００６に進み、変化していない場合、ステップ１００７に進む。図９の（Ｚ）が、値が変化してきている場合のグラフの例である。ここで、９０４はパラメータの値の傾向を示している線である。
【００５４】
次に、ステップ１００６では、値が変化してきていることを示すために、外部メモリ３３２内にあるパラメータ毎の変化パラメータフラグをＯＮにする。この処理が終わるとこの一連の処理を終了する。
【００５５】
次に、ステップ１００６では、このステップの処理に来るということは、値が余り変化していないことを示しているので、値の平均値を算出する。図９の（Ｙ）が、値が変化していない場合のグラフの例である。この処理が終わるとこの一連の処理を終了する。
【００５６】
次に上記で説明したパラメータの値の傾向を調べる手段で取得した情報を使って、パラメータの値の設定時や保存時にメッセージを表示する処理を説明する。１実施例を図１１のパラメータの入力時と保存時の処理の一部分フローチャートで説明する。ステップ１１０４まで説明しているので、ステップ１１０５から最後のステップまでを説明する。以下の処理はコンソールＣＰＵ３３１によって行われる。
【００５７】
ステップ１１０５では、値がばらついていることを示す外部メモリ３３２内にあるパラメータ毎のバラツキパラメータフラグがＯＮになっているかどうかを調べる。ＯＮになっていればステップ１１０６に進み、なっていなければステップ１１０７に進む。
【００５８】
ステップ１１０６では、値がばらついているパラメータであることを示す図８の（Ｄ）のようなメッセージを表示して注意を喚起して一連の処理を終了する。
【００５９】
ステップ１１０７では、値が段々に変化してきていることを示す外部メモリ３３２内にあるパラメータ毎の変化パラメータフラグがＯＮになっているかどうかを調べる。ＯＮになっていればステップ１１０８に進み、なっていなければステップ１１０９に進む。
【００６０】
ステップ１１０８では、値が段々に変化してきているパラメータであることを示す図８の（Ｆ）のようなメッセージを表示して注意を喚起して一連の処理を終了する。
【００６１】
ステップ１１０９では、今回入力した値９０１が値の平均値を示す９０３から外れているかどうかを調べる。外れていればステップ１１１０に進み、外れていなければ一連の処理を終了する。
【００６２】
ステップ１１１０では、値の平均値から外れた値を入力しようとしていることを示す図８の（Ｅ）のようなメッセージを表示して注意を喚起して一連の処理を終了する。
【００６３】
このような注意を喚起するようなメッセージを表示することでパラメータの設定値間違いを少なくできる。また、図１０、図１１のフローチャートに示される例では、パラメータの値が段々に変化してきているだけで、注意を喚起のメッセージを表示しているが、今回入力した値が、パラメータの値の傾向を示している線９０４から外れている場合のみメッセージを表示するようにすることも可能である。また、装置内やネットワークでつながった装置内のパラメータを同様に扱っているが、装置毎にパラメータの値の傾向を算出しても良い。更にはレシピ単位に設定できても良い。
【００６４】
以上のように、装置内やネットワークでつながった装置内で、値のばらつきが大きいパラメータを探す手段や、平均値を算出する手段と設定しようとしている値が上記平均値から離れているかどうかを調べる手段や、値が過去から変化してきているパラメータを探す手段、などパラメータの値の傾向を調べる手段を具備することでレシピの作成でパラメータの設定値間違いを少なくする効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の実施例に係る半導体露光装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の装置の内部構造を示す図である。
【図３】図１の装置の電気回路構成を示すブロック図である。
【図４】露光量やフォーカスに関するパラメータの一部を設定するＧＵＩ画面
【図５】設定ミスの起こりやすいパラメータの情報を入力する処理の操作フロー図
【図６】パラメータの情報を入力するパラメータを設定する画面
【図７】パラメータの情報を入力する画面
【図８】表示するメッセージの画面
【図９】パラメータの傾向を示した図
【図１０】パラメータに設定されている値傾向を調べる処理のフローチャート
【図１１】パラメータの入力時と保存時の処理を示すフローチャート
【図１２】装置がネットワーク接続している図
【符号の説明】
【００６６】
１０１  温調チャンバ
１０２  ＥＷＳ用ディスプレイ装置
１０３  操作パネル
１０４  ＥＷＳ用キーボード
１０５  モニタＴＶ
１０６  ＥＷＳ本体
１０７  ＯＮ−ＯＦＦスイッチ
１０８  非常停止スイッチ
１０９  各種スイッチ、マウス等
１１０  ＬＡＮ通信ケーブル
１１１  排気ダクト
１１２  排気装置
２０２  レチクル
２０３  ウエハ
２０４  光源部
２０５  照明光学系
２０６  投影レンズ
２０７  レチクルステージ
２０９  ウエハステージ
２８１  レチクル顕微鏡
２８２  オフアクシス顕微鏡
２１０  空調機室
２１３  フィルタボックス
２１４  ブース
２１７  送風機
３２１  本体ＣＰＵ
３２２  ウエハステージ駆動
３２３  アライメント検出系
３２４  レチクルステージ駆動
３２５  照明系
３２６  レーザ制御
３２７  フォーカス検出系
３２８  Ｚ駆動
３３０  コンソール
３３１  コンソールＣＰＵ
３３２  外部メモリ
４０１  設定画面のラベル
４０２  露光量を設定する部分
４０３  フォーカスオフセットを設定する部分
４０４、４０５  チルトフォーカスオフセットのＸ、Ｙを設定する部分
４０６  設定したパラメータを保存するボタン
４０７  設定したパラメータの値をキャンセルするボタン
６０１  設定ミスがあったパラメータの情報を入力するパラメータを設定画面であることを示すラベル
６０２  露光量、フォーカスの画面であることを示すラベル
６０３  露光量パラメータを設定する部分
６０４  フォーカスオフセットパラメータを設定する部分
６０５、６０６  チルトフォーカスオフセットのＸ、Ｙパラメータを設定する部分
６０７  設定を保存するボタン
６０８  設定をキャンセルするボタン
７０１  パラメータの情報を入力する画面を示すラベル
７０２  情報を入力するパラメータ
７０３  条件
７０４  タイミング
７０５  メッセージ
７０６  メッセージの内容
７０７  設定を保存するボタン
７０８  設定をキャンセルするボタン
８０１  メッセージを示すラベル
８０２  メッセージの内容が表示されるエリア
８０３  メッセージウインドウを消すボタン
９０１  今回入力した値
９０２  これまでの値
９０３  平均値
９０４  傾向を示している線
１２０１  半導体露光装置
１２０２  パラメータの値を取得
１２０３  ネットワーク
【図１】
2010135480.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2010135480.tif 000014