【手続補正書】
【提出日】平成17年6月30日(2005.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボット
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に分離帯を挟んで複数に分割されて配置された正電圧と負電圧が交互に印加される静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向して設けた被搬送物をなすガラス基板と、前記静電浮上用電極と前記ガラス基板とのギャップを検出する変位センサと、前記変位センサから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理すると共に、前記ガラス基板が目標位置に浮上できるように前記静電浮上用電極への印加電圧を制御する浮上用制御器と、前記浮上用制御器からの制御信号により前記各々の静電浮上用電極に印加する電圧を発生する浮上用電圧発生器と、前記ガラス基板を静電吸引力により吸引した後、非接触で保持して搬送を行い、且つ、前記ガラス基板が予定された位置に至ると、ガラス基板を前記静電浮上用電極より離脱させる動作を行う搬送手段と、を備えた静電浮上搬送装置において、
前記浮上用電圧発生器の前段に、前記静電浮上用電極に交番電界を印加するための除電信号を発生する除電信号発生器を設けたことを特徴とする静電浮上搬送装置。
【請求項２】
前記ガラス基板の搬送経路中に、イオン化された窒素を供給するイオナイザまたは軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射装置を設け、前記ガラス基板の静電気を除電するようにした請求項１記載の静電浮上搬送装置。
【請求項３】
前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、清浄空気を噴出する小孔を有する空気吐出板を対向配置した請求項１または２に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項４】
前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、発振器を介して超音波振動を発生させる振動板を設け、前記ガラス基板を浮上させるようにした請求項１または２に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項５】
前記搬送手段は、前記ガラス基板の移動方向に沿って所定のピッチで配置された複数の電極を有すると共に、静電力により前記ガラス基板を搬送する搬送用電極を備えた静電式のリニア駆動モータからなり、前記リニア駆動モータの前記搬送用電極に前記静電浮上用電極を一体化した請求項１から４までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項６】
前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、前記ガラス基板の表面電位を測定する表面電位計を設けた請求項１から５までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載の静電浮上搬送装置と、前記静電浮上搬送装置の静電浮上用電極を先端部に装着したマニピュレータと、を備えたことを特徴とする静電浮上搬送装置付ロボット。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電浮上搬送装置に係り、特に、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等いわゆるフラットパネルディスプレーの製造において、その製造に用いられるガラス基板を静電力により非接触で保持し、搬送するための静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボットに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術では、以下の問題点があった。
（１）ガラス基板がプロセスチャンバー中の架台上に密着して載置されている状態では、架台と密着するガラス基板の表面の静電気は中和されている。この中和状態にあるガラス基板を架台から引き離すと、ガラス基板は剥離帯電現象によって、全体的に負の静電気が帯電された状態になる。ガラス基板の表面には絶縁膜が形成されているが、この負の極性に帯電したガラス基板の静電気に伴って、絶縁膜の破壊が起こるといった問題がある。その結果、ガラス基板は、絶縁膜の破壊によりゴミやほこりが付着し、後工程での歩留りが悪くなるという問題があった。
（２）ガラス基板をプロセスチャンバーから取り出した場合であって、基板がプロセスチャンバー中で帯電していなくても、ガラス基板を静電力による静電浮上用電極に吸引させるときに静電浮上用電極とガラス基板間のギャップが不均一であると、静電浮上用電極の正と負の両極の電圧にアンバランスが生じる。この結果、各静電浮上用電極とガラス基板との距離を一様に制御するのはかなり困難であり、ガラス基板の正電極と負電極との印加電圧の総和が零とならず帯電してしまい、ほこりを吸着するおそれがある。
（３）ガラス基板に静電浮上用電極を近づけて、電極に１ｋＶ程度の高電圧を印加し、ガラス基板を制御により浮上させているが、初期の浮上制御時には安定浮上時に比べて数倍の高電圧が印加されるため、少なからず絶縁膜が破壊されるおそれがある。
（４）静電浮上用電極プレートをロボット等のマニプレータの先端部に取り付け、搬送しているため、搬送装置自体が大型化する。
そこで、本発明は、液晶ディスプレイ等の製造に用いられるガラス基板の前処理工程中あるいは浮上搬送中に発生する静電気を確実に除電することができ、また、静電浮上用の電極による初期の浮上制御時に過度の高電圧を印加することなく、ガラス基板にゴミやほこりが付着することのない小型の静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボットを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の本発明は、絶縁基板上に分離帯を挟んで複数に分割されて配置された正電圧と負電圧が交互に印加される静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向して設けた被搬送物をなすガラス基板と、前記静電浮上用電極と前記ガラス基板とのギャップを検出する変位センサと、前記変位センサから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理すると共に、前記ガラス基板が目標位置に浮上できるように前記静電浮上用電極への印加電圧を制御する浮上用制御器と、前記浮上用制御器からの制御信号により前記各々の静電浮上用電極に印加する電圧を発生する浮上用電圧発生器と、前記ガラス基板を静電吸引力により吸引した後、非接触で保持して搬送を行い、且つ、前記ガラス基板が予定された位置に至ると、ガラス基板を前記浮上用電極より離脱させる動作を行う搬送手段と、を備えた静電浮上搬送装置において、前記浮上用電圧発生器の前段に、前記静電浮上用電極に交番電界を印加するための除電信号を発生する除電信号発生器を設けたものである。
請求項２の本発明は、請求項１記載の静電浮上搬送装置において、前記ガラス基板の搬送経路中に、イオン化された窒素を供給するイオナイザまたは軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射装置を設け、前記ガラス基板の静電気を除電するようにしたものである。
請求項３の本発明は、請求項１または２に記載の静電浮上搬送装置において、前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、清浄空気を噴出する小孔を有する空気吐出板を対向配置したものである。
請求項４の本発明は、請求項１または２に記載の静電浮上搬送装置において、前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、発振器を介して超音波振動を発生させる振動板を設け、前記ガラス基板を浮上させるようにしたものである。
請求項５の本発明は、請求項１から４までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置において、前記搬送手段は、前記ガラス基板の移動方向に沿って所定のピッチで配置された複数の電極を有すると共に、静電力により前記ガラス基板を搬送する搬送用電極を備えた静電式のリニア駆動モータからなり、前記リニア駆動モータの前記搬送用電極に前記静電浮上用電極を一体化したものである。
請求項６の本発明は、請求項１から５までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置において、前記ガラス基板の前記静電浮上用電極との反対側に、前記ガラス基板の表面電位を測定する表面電位計を設けたものである。
請求項７の本発明は、請求項１から６までの何れか１項に記載の静電浮上搬送装置と、前記静電浮上搬送装置の静電浮上用電極を先端部に装着したマニピュレータと、を備えた静電浮上搬送装置付ロボットを特徴としたものである。