【手続補正書】
【提出日】平成16年10月22日(2004.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】            明細書【発明の名称】        低振動型真空ポンプ【特許請求の範囲】    【請求項１】二台一組の排気ユニットを少なくとも一組以上有する真空ポンプであって、  前記各排気ユニットは、シリンダと、前記シリンダ内に配置されたピストンと、一端が前記ピストンに取り付けられた結合ロッドとを有し、  前記結合ロッドの他端は、回転自在な回転シャフトに取り付けられ、前記回転シャフトの回転によって、前記結合ロッドを介して前記ピストンが前記シリンダ内で往復移動され、前記シリンダ内への気体の吸入と排気が繰り返されるように構成され、  前記一組の排気ユニットの二個の前記シリンダは、その中心軸線が略一致するように配置され、且つ、前記一組の排気ユニット内の前記各シリンダ内のピストンは、一方のピストンが前記回転シャフト方向に向かって移動するときに、他方のピストンも前記回転シャフト方向に向かって移動し、それとは逆に、一方のピストンが前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するときに、他方のピストンも前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するように構成された低振動型真空ポンプ。    【請求項２】三台一組の排気ユニットを少なくとも一組以上有する真空ポンプであって、  前記各排気ユニットは、シリンダと、前記シリンダ内に配置されたピストンと、一端が前記ピストンに取り付けられた結合ロッドとを有し、  前記結合ロッドの他端は、回転自在な回転シャフトに取り付けられ、前記回転シャフトの回転によって、前記結合ロッドを介して前記ピストンが前記シリンダ内で往復移動され、前記シリンダ内への気体の吸入と排気が繰り返されるように構成され、  前記一組の排気ユニットの三個の前記シリンダは、その中心軸線が略同一平面に位置し、且つ、互いに略１２０°の角度を成して配置された低振動型真空ポンプ。    【請求項３】前記一組の排気ユニット内の前記各シリンダ内のピストンは、１個のピストンが前記回転シャフト方向に向かって移動するときに、他の二個のピストンも前記回転シャフト方向に向かって移動し、  １個のピストンが前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するときには、他の二個のピストンも前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するように構成された請求項２記載の低振動型真空ポンプ。    【請求項４】前記排気ユニットの組を二組有し、同一の回転シャフトに前記二組の前記シリンダ対の前記各結合ロッドが取り付けられた請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の低振動型ポンプ。    【請求項５】前記回転シャフトを回転させるモータが、前記二組の排気ユニットの間に配置された請求項４記載の低振動型ポンプ。    【請求項６】前記回転シャフトを回転させるモータが、前記回転シャフトの一端部に配置され、該モータから見て、前記二組の排気ユニットが他端部側に配置された請求項４記載の低振動型ポンプ。    【請求項７】電子部品を吸着保持する吸着装置を複数有する吸着ヘッドが、筺体に対して移動自在に設けられた搭載装置であって、  請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の低振動型ポンプを有し、該低振動型ポンプの前記シリンダが前記吸着装置に接続された搭載装置。    【請求項８】前記吸着装置一台に対し、前記排気ユニットが��台接続された請求項７記載の搭載装置。【発明の詳細な説明】【０００１】    【発明の属する技術分野】  本発明は真空ポンプと、その真空ポンプを用いた搭載装置の分野にかかり、特に、その真空ポンプの振動を低減させる技術に関する。【０００２】    【従来の技術】  一般に、プリント基板上に電子部品を自動実装するために、インサータやマウンターと呼ばれる搭載装置が使用されている。【０００３】  図１８の符号１０２は、従来技術の搭載装置であり、吸着ヘッド１１０と筺体１０３とを有している。【０００４】  符号１０４は移動装置であり、筺体１０３を横方向に貫通するように配置されている。この搬送装置１０４上には、複数のプリント基板１３１1〜１３１3が乗せられおり、各プリント基板１３１1〜１３１3は搭載装置１０２の内部を通過するようになっている。【０００５】  筺体１０３の外部には、真空ポンプ１２５が配置されており、吸着ヘッド１１０は、真空排気系の主排気管１２６によって真空ポンプ１２５に接続されている。この主排気管１２６には、後述するように、複数本の枝排気管１１６が接続されている。【０００６】  吸着ヘッド１１０は上下及び左右方向に移動可能になっており、真空ポンプ１２５を起動し、吸着ヘッド１１０に搭載対象の電子部品を吸着保持すると、その電子部品を所望の位置まで運搬できるようになっている。【０００７】  電子部品の実装前のプリント基板１３１2が搭載装置１０２内に搬入されると、吸着ヘッド１１０は、吸着保持した電子部品を搭載装置１０２の所定位置に運搬し、吸着保持を解除すると、その電子部品はプリント基板１３１2に搭載される。図１８の符号１３８は、プリント基板１３１3上に搭載された複数の電子部品を示している。このプリント基板１３１1に搭載された電子部品１３８は、後工程の熱処理や半田付け作業により、プリント基板１３１3上に電気的、機械的に固定される。【０００８】  一般に、上記のような搭載装置１０２に用いられる吸着ヘッド１１０は、図１９に示すように、複数の吸着装置１１１が設けられ、複数個の電子部品１１９を個別に吸着保持できるように構成されており、搭載に要する作業時間の短縮が図られている。【０００９】  各吸着装置１１１は、吸着ノズル１１２と、緩衝装置１１３と、取り付け管１１４とを有している。吸着ノズル１１２は、緩衝装置１１３を介して取り付け管１１４にそれぞれ取り付けられており、各吸着装置１１１の取り付け管１１４は、それぞれ金具１１５に固定され、相対的な位置が動かないようになっている。【００１０】  各吸着装置１１１の取り付け管１１４は、上述の主排気管１２６に接続された枝排気管１１６にそれぞれ接続されている。【００１１】  従って、真空ポンプ１２５を起動すると、１本の主排気管１２６と複数本数の枝排気管１１６を介して、各吸着装置１１１の内部が真空排気される。その結果、各吸着装置１１１の吸着ノズル１１２の先端に、電子部品１１９が密着している場合、その電子部品１１９が吸着ノズル１１２の先端に真空吸着され、電子部品１１９が吸着装置１１１によって保持された状態になる。【００１２】  しかしながら、吸着ノズル１１２先端に電子部品１１９が密着していない場合には、その吸着ノズル１１２から大気が吸入されてしまう。複数の吸着ノズル１１２のうち、大気が吸入される吸着ノズル１１２が１本でも存在すると、主排気管１２６内の圧力が上昇し、その結果、他の吸着ノズル１１２の吸着力が低下し、電子部品が脱落し、その電子部品の除去のために製造作業を中断しなければならないという問題がある。【００１３】  それに対し、大型の真空ポンプ１２５に替え、小型の真空ポンプを搭載装置１０２に内蔵させ、吸着ノズル１１２１個に対し、１個の真空ポンプを近接して接続するようにすれば、電子部品は脱落しないため、正常な状態への復帰が容易である。【００１４】  しかしながら上記のような構成にすると、真空ポンプの振動によって吸着ノズル１１２が振動し、位置決め精度が劣るという問題がある。【００１５】    【発明が解決しようとする課題】  本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、低振動型の真空ポンプとその真空ポンプを内蔵する搭載装置を提供することにある。【００１６】    【課題を解決するための手段】  上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、二台一組の排気ユニットを少なくとも一組以上有する真空ポンプであって、前記各排気ユニットは、シリンダと、前記シリンダ内に配置されたピストンと、一端が前記ピストンに取り付けられた結合ロッドとを有し、前記結合ロッドの他端は、回転自在な回転シャフトに取り付けられ、前記回転シャフトの回転によって、前記結合ロッドを介して前記ピストンが前記シリンダ内で往復移動され、前記シリンダ内への気体の吸入と排気が繰り返されるように構成され、前記一組の排気ユニットの二個の前記シリンダは、その中心軸線が略一致するように配置され、且つ、前記一組の排気ユニット内の前記各シリンダ内のピストンは、一方のピストンが前記回転シャフト方向に向かって移動するときに、他方のピストンも前記回転シャフト方向に向かって移動し、それとは逆に、一方のピストンが前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するときに、他方のピストンも前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するように構成された低振動型真空ポンプである。  請求項２記載の発明は、三台一組の排気ユニットを少なくとも一組以上有する真空ポンプであって、前記各排気ユニットは、シリンダと、前記シリンダ内に配置されたピストンと、一端が前記ピストンに取り付けられた結合ロッドとを有し、前記結合ロッドの他端は、回転自在な回転シャフトに取り付けられ、前記回転シャフトの回転によって、前記結合ロッドを介して前記ピストンが前記シリンダ内で往復移動され、前記シリンダ内への気体の吸入と排気が繰り返されるように構成され、前記一組の排気ユニットの三個の前記シリンダは、その中心軸線が略同一平面に位置し、且つ、互いに略１２０°の角度を成して配置された低振動型真空ポンプである。  請求項３記載の発明は、前記一組の排気ユニット内の前記各シリンダ内のピストンは、１個のピストンが前記回転シャフト方向に向かって移動するときに、他の二個のピストンも前記回転シャフト方向に向かって移動し、１個のピストンが前記回転シャフトから遠ざかる方向に向かって移動するときには、他の二個のピストンも前記回転シャフ��から遠ざかる方向に向かって移動するように構成された請求項２記載の低振動型真空ポンプである。  請求項４記載の発明は、前記排気ユニットの組を二組有し、同一の回転シャフトに前記二組の前記シリンダ対の前記各結合ロッドが取り付けられた請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の低振動型ポンプである。  請求項５記載の発明は、前記回転シャフトを回転させるモータが、前記二組の排気ユニットの間に配置された請求項４記載の低振動型ポンプである。  請求項６記載の発明は、前記回転シャフトを回転させるモータが、前記回転シャフトの一端部に配置され、該モータから見て、前記二組の排気ユニットが他端部側に配置された請求項４記載の低振動型ポンプである。  請求項７記載の発明は、電子部品を吸着保持する吸着装置を複数有する吸着ヘッドが、筺体に対して移動自在に設けられた搭載装置であって、請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の低振動型ポンプを有し、該低振動型ポンプの前記シリンダが前記吸着装置に接続された搭載装置である。  請求項８記載の発明は、前記吸着装置一台に対し、前記排気ユニットが一台接続された請求項７記載の搭載装置である。【００１７】  本発明は上記のように構成されており、排気ユニットが二個一組になる場合には、その二個の排気ユニットのシリンダは、その中心軸線が一致するように配置され、三個一組になる場合には、その三個の排気ユニットのシリンダは、その中心軸線が同一平面内に位置し、且つ、略１２０°の角度を成すように配置されている。排気ユニットのシリンダ内に挿入されたピストンは、吸気と排気を繰り返すために、シリンダの中央軸線に沿って往復移動するため、同じ組内のピストンが逆方向に移動すると振動が打ち消し合うようになっている。【００１８】  排気シリンダの組と組の間にモータを配置した場合、真空ポンプ全体を小型化できるのに対し、二組以上の排気シリンダをモータの片側に配置すれば、回転シャフトをより長いものに交換し、一組以上の排気シリンダを容易に増設することができる。【００１９】    【発明の実施の形態】  本発明を図面を用いて説明する。  図１の符号２は、本発明の搭載装置であり、吸着ヘッド１０と筺体３とを有しており、筺体３を横方向に貫通するように、搬送装置４が配置されている。搬送装置４上には、複数のプリント基板３１1〜３１3が乗せられおり、各プリント基板３１1〜３１3が搭載装置２の内部を通過するようになっている。【００２０】  符号５、６は、本発明の一例の真空ポンプであり、ここでは２台用いられ、各真空ポンプ５、６は筺体３の内部に配置されている。【００２１】  真空ポンプ５、６の内部構成を図３に示す。  真空ポンプ５、６は、カバー５１と、二台一組の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2を二組と、１台のモータ５２と、１本の回転シャフト５３とを有している。【００２２】  各排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2は、それぞれ、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2と、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2と、結合ロッド５４ａ1、５４ａ2、５４ｂ1、５４ｂ2とを有している。【００２３】  シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2は有底の円筒形形状であり、ピストン５６ａ1、５��ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2はシリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2の直径と略等しい直径にされている。【００２４】  各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2は、結合ロッド５４ａ1、５４ａ2、５４ｂ1、５４ｂ2の先端部分にそれぞれ取り付けられており、その状態で、各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2は、全てのシリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2内に１個ずつ挿入されている。【００２５】  １本の回転シャフト５３はモータ５２に挿通され、モータの回転力が伝達されるように構成されており、回転シャフト５３は、その回転力によって回転シャフト５３の中心軸線を中心として回転するように構成されている。【００２６】  回転シャフト５３の両端部分はモータ５２から突き出されており、その一端部である左端部分には、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の結合ロッド５４ａ1、５４ａ2の根本部分が回転可能に取り付けられ、他端部である右端部分には、他の一組、即ち第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の結合ロッド５４ｂ1、５４ｂ2の根本部分が回転可能に取り付けられている。【００２７】  回転シャフト５３の第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2のシリンダ５５ａ1、５５ａ2の中心軸線は、同一直線上に位置するように配置されている。符号１５ａは、同一直線上に位置する中心軸線である。【００２８】  同様に、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2のシリンダ５５ｂ1、５５ｂ2の中心軸線も、同一直線上に位置するように配置されており、且つ、この第二組の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2のシリンダ５５ｂ1、５５ｂ2は、同一直線上に位置する中心軸線１５ｂが、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の中心軸線１５ａに対して平行になるように配置されている。【００２９】  各排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2には、吸気管２４ａ1、２４ａ2、２４ｂ1、２４ｂ2と排気管２７ａ1、２７ａ2、２７ｂ1、２７ｂ2とがそれぞれ１本ずつ接続されており、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2が回転シャフト５３から遠ざかる方向に移動するとき、即ち、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2が下死点から上死点に向かうときには、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2に設けられた不図示の排気弁が開き、吸気弁が閉じて、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2内の気体が排気管２７ａ1、２７ａ2、２７ｂ1、２７ｂ2から大気中に放出される。【００３０】  逆に、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2が回転シャフト５３から近づく方向、即ち、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2が上死点から下死点に向かって移動するときには、排気弁が閉じ、吸気弁が空いて、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2内には、吸気管２４ａ1、２４ａ2、２４ｂ1、２４ｂ2の先端から、吸気管２４ａ1、２４ａ2、２４ｂ1、２４ｂ2を通って気体がシリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2内に吸い込まれる。【００３１】  ２台の真空ポンプ５、６の合計８本の吸気管２４ａ1、２４ａ2、２４ｂ1、２４ｂ2は、吸着ヘッド１０に向けて引き回されている。【００３２】  この吸着ヘッド１０は、図２に示すように、上述した図１９の吸着ヘッド１１０と同じ構造であり、同じ部材には同じ符号を付し��説明を省略する。【００３３】  ２台の真空ポンプ５、６の合計８個の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2のうち、任意の一台の排気ユニットとその部品を添字ａ1、ａ2、ｂ1、又はｂ2を省略して示すと、この吸着ヘッド１０では、８個の吸着装置１１１に対し、１個の吸着装置１１１毎に、１台の排気ユニット１１が割り当てられており、即ち、１個の吸着装置１１１には、１本の吸気管２４が直結されており、１台の排気ユニット１１により、１台の吸着装置１１１の真空吸着力が生じるようになっている。【００３４】  従って、いずれか一個又は二個以上の吸着装置１１１が、電子部品１１９の吸着保持に失敗した場合であっても、他の吸着装置１１１の真空吸着力が弱まることが無く、一端保持された電子部品１１９の脱落が生じないようになっている。【００３５】  次に、本発明の真空ポンプ５、６の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2の動作を説明する。【００３６】  本発明の真空ポンプ５、６では、回転シャフト５３の回転により、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2が、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2内を往復移動するように構成されており、しかも、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2のピストン５６ａ1、５６ａ2同士と、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2のピストン５６ｂ1、５６ｂ2同士は、一方のピストン５６ｂ1、５６ｂ2が回転シャフト５３から遠ざかる方向、即ち、下死点から上死点に向けて移動するときには、他方のピストン５６ａ1、５６ａ2も下死点から上死点に向けて移動するように構成されている。【００３７】  従って、同じ組の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2間で、ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2は、回転シャフト５３を中心として、中心軸線１５ａに沿った方向を逆方向に動き、同じ組のピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2同士が、逆方向の振動を発生させる。【００３８】  従って、同じ組のピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2同士が互いに振動を打ち消し合い、真空ポンプ５、６に振動が生じないようになっている。【００３９】  次に、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2と第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の間の関係を説明すると、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2が下死点にあるときには、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の二個のピストン５６ｂ1、５６ｂ2は上死点にあり、それとは逆に、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2が上死点にあるときには、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の二個のピストン５６ｂ1、５６ｂ2は下死点にあるように構成されており、一方の組の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の動作に対し、他方の組の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2が逆向きの動作をし、互いに振動を打ち消し合うようになっている。【００４０】  図３は、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2が下死点にあり、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の二個のピストン５６ｂ1、５６ｂ2が上死点にある状態を示しており、回転シャフト５３の回転により、その状態から、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2が上死点方向に移動し、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の二個のピストン５６ｂ1、５６ｂ2が下死点方向に移動すると、図４に示すように、各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2は、下死点と上死点の中間位置を通り、図５に示すように、上死点と下死点にそれぞれ到達する。【００４１】  この図４、及び図６中の矢示はピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2の移動方向を示している。【００４２】 図３の状態から図５の状態に到達するまでの間は、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2はシリンダ５５ａ1、５５ａ2内への吸気を行い、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2は、シリンダ５５ｂ1、５５ｂ2から気体を排気する。【００４３】  次いで、回転シャフト５３の回転により、その状態から、今度は第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2が下死点方向に移動し、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2の二個のピストン５６ｂ1、５６ｂ2が上死点方向に移動する。このとき、図６に示すように、各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2は、上死点と下死点の間の位置を通過し、図３の状態に到る。【００４４】  なお、上記真空ポンプ５、６は、モータ５２を中心とし、その両側に一組の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2が配置されてたが、図１７の符号７で示した真空ポンプのように、モータ５２の同じ側に二組の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2を配置してもよい。【００４５】  また、１本の回転シャフトに対し、二個一組の排気ユニットを三組以上接続してもよい。【００４６】  このように、モータ５２の片側に排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2を配置した真空ポンプ７では、その回転シャフト５３を交換することが容易であり、より長い回転シャフトに交換し、排気ユニットを増設することができる。【００４７】  図７の符号８は、上記第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2と、第二組目の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2に加え、第三組目の排気ユニット１１ｃ1、１１ｃ2を増設した真空ポンプである。【００４８】  この真空ポンプ８でも、各排気ユニット１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2、１１ｃ1、１１ｃ2のピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2、５６ｃ1、５６ｃ2は、同一の回転シャフト５３に取り付けられており、上記真空ポンプ５、６と同様に、各組内の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2、５６ｃ1、５６ｃ2は互いに逆方向に移動し、振動を打ち消し合うようになっている。【００４９】  各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2、５６ｃ1、５６ｃ2の動作を説明すると、先ず、図７に示すように第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2の二個のピストン５６ａ1、５６ａ2が下死点にある状態では、他の組の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2、１１ｃ1、１１ｃ2のピストン５６ｂ1、５６ｂ2、５６ｃ1、５６ｃ2は上死点に位置する。【００５０】  その状態から、それぞれ上死点方向と下死点方向に移動すると、各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2、５６ｃ1、５６ｃ2は、図８に示すように、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2、５５ｃ1、５５ｃ2内の中間位置を通り、図９に示すよう���、上死点と下死点にそれぞれ到達する。【００５１】  図７の状態から図９の状態に到るまでは、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2は排気動作であり、他の二組の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2、１１ｃ1、１１ｃ2は吸気動作である。【００５２】  次いで、それぞれ逆方向、即ち、下死点方向と上死点方向に移動すると、図１０に示すように、各ピストン５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2、５６ｃ1、５６ｃ2は、シリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2、５５ｃ1、５５ｃ2の中間位置を通り、図７の状態に戻る。このとき、第一組目の排気ユニット１１ａ1、１１ａ2は吸気動作であり、他の二組の排気ユニット１１ｂ1、１１ｂ2、１１ｃ1、１１ｃ2は排気動作である。【００５３】  上記真空ポンプは、各組のシリンダ５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2、５５ｃ1、５５ｃ2の中心軸線１５ａ、１５ｂ、１５ｃは、互いに平行に配置したが、必ずしも平行に配置しなくてもよい。【００５４】  また、上記各実施例では、２個の排気ユニットを一組としたが、必ずしも２個に限定されるものではなく、３個以上であっても、同一組内の排気ユニットのピストンが、互いに振動を打ち消し合うように動作できれば、本発明の真空ポンプを構成することができる。【００５５】  図１１(ａ)、(ｂ)は、３個の排気ユニット１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3が一組となり、他の３個の排気ユニット１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3が別の一組となった例であり、図１５に示すように、第一組目の排気ユニット１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3と、第二組目の１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3とは、モータ６２の一方と他方にそれぞれ配置され、モータ６２に挿通された回転シャフト６３に取り付けられて真空ポンプ９を構成している。【００５６】  各排気ユニット１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3、１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3の構成は、上記の排気ユニット１１の構成と同じであり、シリンダ６５ａ1、６５ａ2、６５ａ3、６５ｂ1、６５ｂ2、６５ｂ3と、ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3と、結合ロッド６４ａ1、６４ａ2、６４ａ3、６４ｂ1、６４ｂ2、６４ｂ3とを有している。【００５７】  ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3は、結合ロッド６４ａ1、６４ａ2、６４ａ3、６４ｂ1、６４ｂ2、６４ｂ3の上端部分に取り付けられている。【００５８】  結合ロッド６４ａ1、６４ａ2、６４ａ3、６４ｂ1、６４ｂ2、６４ｂ3の根本部分は同一の回転シャフト６３に回転可能に取り付けられている。【００５９】  同一組み内のシリンダ６５ａ1、６５ａ2、６５ａ3、６５ｂ1、６５ｂ2、６５ｂ3の中心軸線７５ａ1、７５ａ2、７５ａ3、７５ｂ1、７５ｂ2、７５ｂ3は同一平面内に位置し、且つ、互いに１２０°の角度を成している。【００６０】  図１１〜図１４を用いてこの真空ポンプ９の動作を説明する。図１１〜１４では、排気管と吸気管は省略してある。【００６１】  先ず、図１１(ａ)に示すように、第一組目の排気ユニット１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3のピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3が全て下死点にあり、図１１(ｂ)に示すように、第二組目の排気ユニット１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3のピストン６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3が全て上死点にある状態から、回転シャフト６３の回転により、反対側の死点に向け��移動すると、図１２(ａ)、(ｂ)に示すように、各ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3は、上死点と下死点の中間位置を通り、図１３(ａ)、(ｂ)に示すように、反対の死点、即ち、第一組目の排気ユニット１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3のピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3は全て上死点に到り、第二組目の排気ユニット１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3のピストン６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3は全て下死点に到る。【００６２】  次に、図１４(ａ)、(ｂ)に示すように、上死点と下死点の途中の位置を通り、図１１(ａ)、(ｂ)に示した状態に戻る。【００６３】  このように、第一組目のピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3と第二組目のピストン６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3のうち、同じ組みに属するピストンは、いずれか一個が回転シャフト６３に近づくときには、他の二個も近づき、遠ざかるときには他の二個も遠ざかっており、同一組み内で振動が打ち消し合うようになっている。【００６４】  また、第一組目の排気ユニット１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3と第二組目の排気ユニット１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3とは、回転シャフト６３に沿って移動させた場合に、互いに重なり合うような相対的な位置関係で配置されている。【００６５】  従って、回転シャフト６３から見て、第一組目のピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3と、第二組目のピストン６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3とは、互いに逆方向に移動するようになっており、第一組目のピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3と第二組目のピストン６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3との間でも、振動を打ち消し合うようになっている。【００６６】  なお、各ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3が上死点に位置するときと下死点に位置するときは、各ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3の上端部分は、各ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3が位置するシリンダ６５ａ1、６５ａ2、６５ａ3、６５ｂ1、６５ｂ2、６５ｂ3の底面と平行になっており、シリンダ６５ａ1、６５ａ2、６５ａ3、６５ｂ1、６５ｂ2、６５ｂ3の底面とピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3の上端部分との間で形成される空間は、ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3が上死点に位置するときには可及的にゼロに近く、下死点に位置するときには可及的に大きくなるように構成されている。【００６７】  それに対し、１本の回転シャフト６３の回転力を、１２０°づつ異なる中心軸線７５ａ1、７５ａ2、７５ａ3(又は中心軸線７５ｂ1、７５ｂ2、７５ｂ3)と平行な方向に変換するため、ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3が上死点又は下死点に位置する状態から反対側の死点に移動する間は、ピストン６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3の上端部分は、シリンダ６５ａ1、６５ａ2、６５ａ3、６５ｂ1、６５ｂ2、６５ｂ3の底面に対して傾く。【００６８】  図１６は、添字ａ1、ａ2、ａ3、ｂ1、ｂ2、ｂ3を省略し、１個の排気ユニット１２の動作を示した図であり、ピストン６５は、下死点から上死点に移動するときには、右肩上がりになり、上死点から下死点に移動するときには、左肩上がりになっており、シリンダ６６の底面に対し���傾いている。【００６９】  即ち、この真空ポンプ９では、ピストン６５は揺動しながらシリンダ６５内を往復移動するようになっている。【００７０】  本発明の搭載装置は、上述した真空ポンプ５〜９を用い、排気ユニット一台に対し、１個の吸着装置１１１を接続することができる。そして、本発明の真空ポンプ５〜９を筺体３に固定しても、振動が吸着ヘッド１０に伝わらない。【００７１】    【発明の効果】  低振動型の真空ポンプが得られるので、搭載装置に内蔵させることができる。【図面の簡単な説明】    【図１】本発明の搭載装置の一例    【図２】その吸着ヘッドを説明するための図    【図３】本発明の第一例の真空ポンプの動作を説明するための図(１)    【図４】本発明の第一例の真空ポンプの動作を説明するための図(２)    【図５】本発明の第一例の真空ポンプの動作を説明するための図(３)    【図６】本発明の第一例の真空ポンプの動作を説明するための図(４)    【図７】本発明の第二例の真空ポンプの動作を説明するための図(１)    【図８】本発明の第二例の真空ポンプの動作を説明するための図(２)    【図９】本発明の第二例の真空ポンプの動作を説明するための図(３)    【図１０】本発明の第二例の真空ポンプの動作を説明するための図(４)    【図１１】(ａ)、(ｂ)：本発明の第三例の真空ポンプの動作を説明するための図(１)    【図１２】(ａ)、(ｂ)：本発明の第三例の真空ポンプの動作を説明するための図(２)    【図１３】(ａ)、(ｂ)：本発明の第三例の真空ポンプの動作を説明するための図(３)    【図１４】(ａ)、(ｂ)：本発明の第三例の真空ポンプの動作を説明するための図(４)    【図１５】本発明の第三例の真空ポンプのモータの配置を説明するための図    【図１６】本発明の第三例の真空ポンプのサイクル図    【図１７】本発明の第一例の真空ポンプのモータの位置を変更した真空ポンプの例    【図１８】従来技術の真空ポンプを使用した搭載装置    【図１９】その搭載装置の吸着ヘッド    【符号の説明】２……搭載装置７〜９……低振動型真空ポンプ１０……吸着ヘッド１１ａ1、１１ａ2、１１ｂ1、１１ｂ2、１２ａ1、１２ａ2、１２ａ3、１２ｂ1、１２ｂ2、１２ｂ3……排気ユニット５２、６２……モータ５４ａ1、５４ａ2、５４ｂ1、５４ｂ2、６４ａ1、６４ａ2、６４ａ3、６４ｂ1、６４ｂ2、６４ｂ3……結合ロッド５５ａ1、５５ａ2、５５ｂ1、５５ｂ2、６５ａ1、６５ａ2、６５ａ3、６５ｂ1、６５ｂ2、６５ｂ3……シリンダ５６ａ1、５６ａ2、５６ｂ1、５６ｂ2、６６ａ1、６６ａ2、６６ａ3、６６ｂ1、６６ｂ2、６６ｂ3……ピストン５３、６３……回転シャフト１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、７５ａ1、７５ａ2、７５ａ3、７５ｂ1、７５ｂ2、７５ｂ3……シリンダの中心軸線１１１……吸着装置