(57)【要約】【課題】本発明は、スクライブホイール及びこれを有するスクライビングユニット、そしてスクライビングユニットを利用したスクライブライン形成方法を提供する。【解決手段】本発明のスクライブホイールは、円周上に複数の溝を有し、前記溝は、底面と、前記円周に沿って互いに離隔された前方面と後方面と、によって構成され、前記前方面は互いに異なる平面上に設けられる第１前面と第２前面とを含む。スクライビングユニットは、スクライブホイールと、前記スクライブホイールを支持する支持体と、前記スクライブホイールに振動を提供する振動子とを含み、スクライブライン形成方法は、スクライブラインに沿って順次に第１部分と、第２部分と、第３部分とを形成し、前記第１部分と前記第３部分は三角形状に、前記第２部分は四角形状に形成された歯形を発生させる。【選択図】図２Ｂ
2010132542.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にスクライブラインを形成するために用いられるスクライブホイールにおいて、
第１外周面と、前記第１外周面の反対側に設けられる第２外周面と、前記第１外周面から前記第２外周面まで延長される円周面とを含み、
前記円周面は、前記第１外周面と前記第２外周面との間に位置し、前記第１外周面及び前記第２外周面の外側に突き出された稜線部と、前記稜線部から前記第１外周面まで延長される第１面と、前記稜線部から前記第２外周面まで延長される第２面とを含み、
前記円周面には、前記稜線部に沿って互いに離隔されて複数の溝が形成され、各々の前記溝は前記第１面、前記稜線部、及び前記第２面にわたって設けられ、前記溝は底面と、前記稜線部に沿って互いに離隔された前方面と後方面と、によって構成され、
前記前方面は、前記第１面に位置する第１前面と、前記第２面に位置する第２前面とを有し、
前記第１前面と前記第２前面は互いに異なる面に設けられることを特徴とするスクライブホイール。
【請求項２】
前記第１外周面と前記第２外周面は同一の大きさの円形状を有し、
前記円周面は環状のリング形状を有し、前記稜線部の半径は前記前方面及び前記後方面の半径より大きいことを特徴とする請求項１に記載のスクライブホイール。
【請求項３】
前記第１前面と前記第２前面は各々平面で設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項４】
前記後方面は、前記第１面に位置する第１後面と、前記第２面に位置する第２後面とを有し、
前記第１後面と前記第２後面は互いに異なる面に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項５】
前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に沿って前記前方面と前記後方面との間の距離は同一であることを特徴とする請求項４に記載のスクライブホイール。
【請求項６】
前記溝は前記第１面に設けられる第１溝と、前記第１溝から延長され、前記第２面に設けられる第２溝とを含み、
前記第１溝と前記第２溝は各々スリット形状に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項７】
前記前方面と前記後方面は下に行くほど互いに向かって近くなるように傾くことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項８】
前記第１溝は前記第１外周面から離隔され、前記第２溝は前記第２外周面から離隔されて設けられることを特徴とする請求項６に記載のスクライブホイール。
【請求項９】
前記第１溝と前記第２溝は、上方から見ると、直線状に設けられることを特徴とする請求項６に記載のスクライブホイール。
【請求項１０】
前記第１溝と第２溝がなす角は鈍角であることを特徴とする請求項６に記載のスクライブホイール。
【請求項１１】
前記第１溝と前記第２溝は互いに延長されてＶ字形状を有することを特徴とする請求項６に記載のスクライブホイール。
【請求項１２】
前記溝は、前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に垂直な面が三角形状を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項１３】
前記溝は、前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に垂直な面が台形状を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項１４】
前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に沿って前記溝の深さは同一であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項１５】
前記前方面と後方面との間の距離は隣接する前記溝の間の間隔よりさらに長いことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクライブホイール。
【請求項１６】
円周上に複数の溝を有し、基板上にスクライブラインを形成するスクライブホイールにおいて、
前記溝は底面と、前記円周に沿って互いに離隔された前方面と後方面と、によって構成され、前記前方面は互いに異なる面に設けられる第１前面と第２前面とを含むことを特徴とするスクライブホイール。
【請求項１７】
前記溝は互いに異なる面に設けられる第１溝と、第２溝とを含み、
前記第１溝と前記第２溝は各々スリット形状に設けられることを特徴とする請求項１６に記載のスクライブホイール。
【請求項１８】
前記第１溝と前記第２溝は互いに延長されてＶ字形状を有することを特徴とする請求項１７に記載のスクライブホイール。
【請求項１９】
前記前方面と前記後方面は下に行くほど互いに向かって近くなるように傾くことを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載のスクライブホイール。
【請求項２０】
前記溝は、円周方向の面が三角形状を有することを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載のスクライブホイール。
【請求項２１】
前記溝は、円周方向の面が台形状を有することを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載のスクライブホイール。
【請求項２２】
前記第１溝と第２溝をなす角は鈍角であることを特徴とする請求項１７に記載のスクライブホイール。
【請求項２３】
基板の切断に用いられるスクライビングユニットにおいて、
基板に接触し、前記基板の表面にクラックを形成するスクライブホイールと、
前記スクライブホイールを支持する支持体と、
前記スクライブホイールに振動を与える振動子とを含み、
前記スクライブホイールは、
基板にスクライブラインを形成するために用いられるスクライブホイールにおいて、
第１外周面と、前記第１外周面の反対側に設けられる第２外周面と、前記第１外周面から前記第２外周面まで延長される円周面とを含み、
前記円周面は、前記第１外周面と前記第２外周面との間に位置し、前記第１外周面及び前記第２外周面の外側に突き出された稜線部と、前記稜線部から前記第１外周面まで延長される第１面と、前記稜線部から前記第２外周面まで延長される第２面とを含み、
前記円周面には前記稜線部に沿って互いに離隔されて複数の溝が形成され、各々の前記溝は、前記第１面、前記稜線部、及び前記第２面にわたって設けられ、前記溝は前記稜線部に沿って互いに離隔された前方面と後方面、と底面と、によって構成され、
前記前方面は、前記第１面に位置する第１前面と前記第２面に位置する第２前面とを有し、
前記第１前面と前記第２前面は互いに異なる平面上に設けられることを特徴とするスクライビングユニット。
【請求項２４】
前記振動子は超音波振動をすることを特徴とする請求項２３に記載のスクライビングユニット。
【請求項２５】
前記第１外周面と前記第２外周面は同一の大きさの円形状を有し、前記円周面は環状のリング形状を有し、前記稜線部の半径は前記前方面及び前記後方面の半径より大きいことを特徴とする請求項２３または請求項２４に記載のスクライビングユニット。
【請求項２６】
前記前方面と前記後方面は下に行くほど互いに向かって近くなるように傾くことを特徴とする請求項２３または請求項２４に記載のスクライビングユニット。
【請求項２７】
前記溝は前記第１面に設けられる第１溝と、前記第１溝から延長され、前記第２面に設けられる第２溝とを含み、
前記第１溝と前記第２溝は各々スリット形状に設けられることを特徴とする請求項２３または請求項２４に記載のスクライビングユニット。
【請求項２８】
円周上に複数の溝を有するスクライブホイールを用いて基板上に直線スクライブラインを形成し、
前記スクライブホイールと接触する部分の前記基板上に互いに離隔されて形成される歯形は順次に第１部分と、第２部分と、第３部分とを有し、
前記第１部分と前記第３部分は三角形状に形成され、前記第２部分は四角形状に形成され、前記スクライブラインは、前記歯形と隣接した前記歯形の間に形成されたクラックとして、前記歯形から隣接した歯形に延長されることを特徴とするスクライブライン形成方法。
【請求項２９】
前記第２部分は前記第１部分から延長され、前記第３部分は前記第２部分から延長されて形成されることを特徴とする請求項２８に記載のスクライブライン形成方法。
【請求項３０】
前記第１部分と前記第３部分は鋭角三角形状に形成されることを特徴とする請求項２８に記載のスクライブライン形成方法。
【請求項３１】
前記第２部分は直角形状に形成され、前記第１部分と前記第３部分は前記第２部分を基準として互いに対称に形成されることを特徴とする請求項２８に記載のスクライブライン形成方法。
【請求項３２】
前記歯形は全体的に六角形状に形成されることを特徴とする請求項２８に記載のスクライブライン形成方法。
【請求項３３】
スクライブホイールにおいて、
前記請求項２８のような歯形を基板上に形成するようにする溝を有することを特徴とするスクライブホイール。
【請求項３４】
円周上に複数の溝を有するスクライブホイールを用いて基板上に直線スクライブラインを形成し、
前記スクライブホイールと接触する部分の前記基板上に互いに離隔されて形成された複数の歯形は、前記スクライブライン上に設けられる角が鋭角であることを特徴とするスクライブライン形成方法。
【請求項３５】
前記スクライブライン上に設けられる角を除いた残りの角は鈍角であることを特徴とする請求項３４に記載のスクライブライン形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル製造に用いられる装置及び方法に係り、より詳細には、スクライビング工程に用いられる装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、軽くて小さい空間を占める薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ−Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）や有機ダイオードディスプレイ（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅｓ  Ｄｉｓｐｌａｙ）のような平板ディスプレイの使用が大きく増大している。
【０００３】
ディスプレイに用いられる単位基板は、普通１つの大型パネルから複数個提供される。したがって、最終的に大型パネルから単位基板を分離する工程が要求される。大型パネルを単位基板に分離する工程は、スクライブホイールを用いてパネルに垂直クラックを形成するスクライビング工程と、ブレイクバー（ｂｒｅａｋ  ｂａｒ）を用いてクラックが形成された部位に力を加えることによって、パネルを複数の単位基板に分離させるブレイキング工程とを含む。
【０００４】
図１Ａ及び図１Ｂは、従来のスクライビング工程に用いられるスクライブホイールと、スクライブホイールによって発生する歯形を示す図面である。従来のスクライブホイールは軸心方向に傾斜させた円形の溝１１が刃先の稜線に沿って突起１２と相互に形成されている。そして、パネルの表面にスクライブライン２１及びスクライブラインと交差する部分が凹んで湾入された四角形状の歯形２２を発生させる。
【０００５】
従来のスクライブホイールを用いてパネルの表面に歯形を形成する場合、パネルの表面に与えられる加圧力が四角形状の頂点に集中し、四角形状の歯形だけではなく、四角形状の頂点から延長される他のクラックを発生させて、カッティング品質を低下させる。そして、パネルで発生したクラックチップ（Ｃｈｉｐ）がスクライブホイールの溝に入ると、外に排出されることができないので、スクライブホイールがパネルに十分な加圧力を与えることができない。また、溝に入ったクラックチップはスクライブホイールを損傷させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】韓国特許公開第２０００−００７１３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、溝に入ったクラックチップ（Ｃｈｉｐ）を容易に排出することができるスクライブホイール及びこれを含むスクライビングユニット、そしてスクライビングユニットを利用したスクライブライン形成方法を提供することにある。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、大型パネルを複数の単位基板に分離する時、スクライブライン外の領域で発生するクラックを減らすことができるスクライブホイール及びこれを含むスクライビングユニット、そしてスクライビングユニットを利用したスクライブライン形成方法を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、大型パネルを複数の単位基板に分離する時、カッティング（Ｃｕｔｔｉｎｇ）品質を向上させることができるスクライブホイール及びこれを含むスクライビングユニット、そしてスクライビングユニットを利用したスクライブライン形成方法を提供することにある。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、スクライブホイールの寿命を延長することができるスクライブホイール及びこれを含むスクライビングユニット、そしてスクライビングユニットを利用したスクライブライン形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の課題を解決するための本発明のスクライブホイールは、第１外周面と、前記第１外周面の反対側に設けられる第２外周面と、前記第１外周面から前記第２外周面まで延長される円周面とを含み、前記円周面は、前記第１外周面と前記第２外周面との間に位置し、前記第１外周面及び前記第２外周面の外側に突き出された稜線部と、前記稜線部から前記第１外周面まで延長される第１面と、前記稜線部から前記第２外周面まで延長される第２面とを含み、前記円周面には、前記稜線部に沿って互いに離隔されて複数の溝が形成され、各々の前記溝は、前記第１面、前記稜線部、及び前記第２面にわたって設けられ、前記溝は底面、前記稜線部に沿って互いに離隔された前方面、及び後方面によって構成され、前記前方面は前記第１面に位置する第１前面と前記第２面に位置する第２前面とを有し、前記第１前面と前記第２前面は互いに異なる面に設けられる。
【００１２】
前記第１外周面と前記第２外周面は同一の大きさの円形状を有し、前記円周面は、環形のリング形状を有し、前記稜線部の半径は前記前方面及び前記後方面の半径より大きい。
【００１３】
前記第１前面と前記第２前面は各々平面で設けられる。前記後方面は前記第１面に位置する第１後面と前記第２面に位置する第２後面とを有し、前記第１後面と前記第２後面は互いに異なる面に設けられる。
【００１４】
前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に沿って前記前方面と前記後方面との間の距離は同一である。
【００１５】
前記溝は、前記第１面に設けられる第１溝と、前記第１溝から延長され、前記第２面に設けられる第２溝とを含み、前記第１溝と前記第２溝は各々スリット形状に設けられる。
【００１６】
前記前方面と前記後方面は下に行くほど互いに向かって近くなるように傾く。
【００１７】
前記第１溝は、前記第１外周面と離隔され、前記第２溝は、前記第２外周面と離隔されて設けられる。前記第１溝と前記第２溝は上方から見ると、直線状に設けられる。前記第１溝と第２溝がなす角は鈍角である。前記第１溝と前記第２溝は互いに延長されてＶ字形状を有する。前記溝は、前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に垂直な面が三角形状、又は台形状を有する。前記第１外周面から前記第２外周面まで横切る方向に沿って前記溝の深さは同一である。前記前方面と後方面との間の距離は隣接する前記溝の間の間隔よりさらに長い。
【００１８】
上述の課題を解決するための本発明のスクライブホイールは、円周上に複数の溝を有し、基板上にスクライブラインを形成するスクライブホイールにおいて、前記溝は、底面と、前記円周に沿って互いに離隔された前方面と後方面と、によって構成され、前記前方面は互いに異なる面に設けられる第１前面と第２前面とを含むことを特徴とする。
【００１９】
前記溝は、互いに異なる面に設けられる第１溝と第２溝とを含み、前記第１溝と前記第２溝は各々スリット形状に設けられる。前記第１溝と前記第２溝は互いに延長されてＶ字形状を有する。前記前方面と前記後方面は下に行くほど互いに向かって近くなるように傾く。前記溝は、円周方向の面が三角形状、又は台形状を有する。前記第１溝と第２溝がなす角は鈍角である。
【００２０】
上述の課題を解決するための本発明のスクライブユニットは、基板の切断に用いられるスクライビングユニットにおいて、基板に接触されて前記基板の表面にクラックを形成するスクライブホイールと、前記スクライブホイールを支持する支持体と、前記スクライブホイールに振動を与える振動子とを含み、前記スクライブホイールは、基板にスクライブラインを形成するために用いられるスクライブホイールにおいて、第１外周面と、前記第２外周面の反対側に設けられる第２外周面と、前記第１外周面から前記第２外周面まで延長される円周面とを含み、前記円周面は、前記第１外周面と前記第２外周面との間に位置し、前記第１外周面及び前記第２外周面の外側に突き出された稜線部と、前記稜線部から前記第１外周面まで延長される第１面と、前記稜線部から前記第２外周面まで延長される第２面とを含み、前記円周面には前記稜線部に沿って互いに離隔されて複数の溝が形成され、各々の前記溝は、前記第１面、前記稜線部、及び前記第２面にわたって設けられ、前記溝は、前記稜線部に沿って互いに離隔された前方面と後方面、と、底面とによって構成され、前記前方面は、前記第１面に位置する第１前面と、前記第２面に位置する第２前面とを有し、前記第１前面と前記第２前面は互いに異なる平面上に設けられる。
【００２１】
前記振動子は超音波振動をすることを特徴とする。
【００２２】
前記第１外周面と前記第２外周面は同一の大きさの円形状を有し、前記円周面は、環状のリング形状を有し、前記稜線部の半径は、前記前方面及び前記後方面の半径より大きい。
【００２３】
前記前方面と前記後方面は下に行くほど互いに向かって近くなるように傾く。
【００２４】
前記溝は、前記第１面に設けられる第１溝と、前記第１溝から延長され、前記第２面に設けられる第２溝とを含み、前記第１溝と前記第２溝は各々スリット形状に設けられる。
【００２５】
上述の課題を解決するための本発明のスクライブライン形成方法は、円周上に複数の溝を有するスクライブホイールを用いて基板上に直線スクライブラインを形成し、前記スクライブホイールと接触する部分の前記基板上に互いに離隔されて形成された歯形は、順次に第１部分と、第２部分と、第３部分とを有し、前記第１部分と前記第３部分は三角形状に形成され、前記第２部分は四角形状に形成され、前記スクライブラインは、前記歯形と隣接した前記歯形の間に形成されたクラックとして、前記歯形から隣接した歯形に延長される。前記第２部分は、前記第１部分から延長され、前記第３部分は前記第２部分から延長されるように形成される。前記第１部分と前記第３部分は鋭角三角形状に形成され、前記第２部分は直角形状に形成され、前記第１部分と前記第３部分は前記第２部分を基準として互いに対称に形成されて、前記歯形は全体的に六角形状に形成される。
【００２６】
上述の課題を解決するための本発明のスクライブホイールは、前記歯形が基板上に形成されるようにする溝を有する。
【００２７】
上述の課題を解決するための本発明のスクライブライン形成方法は、円周上に複数の溝を有するスクライブホイールを用いて基板上に直線スクライブラインを形成し、前記スクライブホイールと接触する部分の前記基板上に互いに離隔されて形成された複数の歯形は、前記スクライブライン上に設けられる角が鋭角である。前記スクライブライン上に設けられる角を除いた残りの角は鈍角である。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、溝に入ったクラックチップを容易に排出することができる。
【００２９】
また、本発明によると、大型パネルを複数の単位基板に分離する時、スクライブライン以外の領域で発生するクラックを減らすことができる。
【００３０】
また、本発明によると、大型パネルを複数の単位基板に分離する時、カッティング品質を向上させることができる。
【００３１】
また、本発明によると、スクライブホイールの寿命を延長することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１Ａ】従来のスクライビング工程に用いられるスクライブホイールの溝を拡大した図である。
【図１Ｂ】図１Ａのスクライブホイールによって発生する歯形を示す図である。
【図２Ａ】本発明の実施形態に係るスクライブホイールの斜視図である。
【図２Ｂ】本発明の実施形態に係るスクライブホイールの溝を拡大した図である。
【図２Ｃ】基板に接触するスクライブホイールの稜線部を拡大した図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るスクライブホイールの溝を拡大した図である。
【図４】スクライブホイールを含むスクライビングユニットを簡略に示す斜視図である。
【図５】図４のスクライビングユニットの部分断面図である。
【図６Ａ】パネルの表面上にスクライブホイールが転がる様子を拡大した図である。
【図６Ｂ】図６Ａによって基板の表面上に現われる歯形を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を添付の図面、図２Ａ乃至図６Ｂを参照してより詳細に説明する。本発明の実施形態は様々な形態に変形することができ、本発明の範囲が下の実施形態によって限定されると解釈されてはいけない。本実施形態は当業界で平均的な知識を持った者に対して本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状はより明確な説明を強調するために誇張されている。
【００３４】
本実施形態では、切断のための基板として平板ディスプレイ用パネルを例としてあげて説明する。このような発明の技術的思想はここに限定されず、他の種類の基板にも適用可能である。
【００３５】
図２Ａは、本発明の実施形態に係るスクライブホイールの斜視図であり、図２Ｂは、本発明の実施形態に係るスクライブホイールの溝を拡大した図であり、図２Ｃは、基板に接触するスクライブホイールの稜線部を拡大した図である。
【００３６】
図２Ａ乃至図２Ｃを参照すると、スクライブホイール１００は、第１外周面１１０と、第２外周面１２０と、円周面１３０とを含む。第１外周面１１０は円形状としてスクライブホイール１００の一側面に設けられる。第２外周面１２０は第１外周面１１０と同一の大きさを有する円形状として、第１外周面１１０と反対側のスクライブホイール１００の他側面に設けられる。円周面１３０は、第１外周面１１０から第２外周面１２０まで延長されるように設けられ、環状のリング形状を有する。
【００３７】
円周面１３０は、パネルＰと接触してパネルＰの表面上を転がる稜線部１３１と、稜線部１３１が転がる時、一部領域がパネルと接触する第１面１３２と第２面１３６とを含む。円周面１３０には稜線部１３１に沿って互いに離隔される複数の溝１４１が形成され、溝１４１と溝１４１との間には歯（ｔｅｅｔｈ）１４２が形成される。稜線部１３１は、第１外周面１１０と第２外周面１２０の半径より大きい半径を有する。第１面１３２は、稜線部１３１から第１外周面１１０まで延長されて設けられ、第２面１３６は、稜線部１３１から第２外周面１２０まで延長されて設けられる。稜線部１３１と、これから延長される第１面１３２及び第２面１３６は第１外周面１１０及び第２外周面１２０の外側に突き出される。第１面１３２と第２面１３６が接してなす角をθ１という。稜線部１３１は、スクライブホイール１００に与えられる加圧力によってパネルＰの表面を押した状態で転がる。加圧力によって第１面１３２の一部領域と第２面１３６の一部領域はパネルＰと接触してパネルＰの表面に歯形を発生させる。
【００３８】
溝１４１は、稜線部１３１、第１面１３２、及び第２面１３６にわたって設けられる。溝１４１は、稜線部１３１に沿って一定の間隔に繰り返して設けられる。溝１４１は、第１面１３２に設けられる第１溝１４１ａと第２面１３６に設けられる第２溝１４１ｂに区分され、第２溝１４１ｂは、第１溝１４１ａから延長されて設けられる。本発明の一実施形態によると、第１溝１４１ａと第２溝１４１ｂは長いスリット形状に設けられる。第１溝１４１ａは、第１面１３２に長く設けられ、第１外周面１１０からは離隔される。第２溝１４１ｂは、第２面１３６に長く設けられ、第２外周面１２０からは離隔される。パネルＰと接触する円周面１３０の領域に比べて第１溝１４１ａが第１外周面１１０に長く設けられ、第２溝１４１ｂは第２外周面１２０に長く設けられるので、スクライビング工程中にクラックチップ（Ｃrａｃk  ｃｈｉｐ）が溝１４１に入っても、パネルＰと接触しない溝１４１の領域を通じて外部に排出される。また、溝１４１にクラックチップが一部入っても、クラックチップは容易に排出される。スクライビング工程中にクラックチップが溝１４１の外部に排出されるので、クラックチップによって発生するスクライブホイール１００の損傷が減る。
【００３９】
第１溝１４１ａと第２溝１４１ｂは、稜線部１３１を中心として対称に形成され、第１溝１４１ａから第２溝１４１ｂまで延長された形状はＶ字形状を示す。また、上方から見ると、第１溝１４１ａから第２溝１４１ｂまで延長された形状は直線状を示す。第１溝１４１ａと第２溝１４１ｂがなす角度をθ２とする。一実施形態によると、θ２は鈍角に設けられる。θ１とθ２は同一の角度に設けられる。第１溝１４１ａと第２溝１４１ｂは、稜線部１３１に沿って離隔された前方面（ｆｒｏｎｔ  ｆａｃｅ）１３３と後方面（ｒｅａｒ  ｆａｃｅ）１３４、と前方面１３３の底面と後方面１３４の底面とを連結する底面と、で形成される。前方面１３３は、スクライブホイールがパネルの表面で転がる時、後方面１３４に比べて相対的に先にパネルの表面と接触する面として、第１面１３２に位置する第１前面１３３ａと第２面１３６に位置する第２前面１３３ｂに区分される。第１前面１３３ａと第２前面１３３ｂは各々平面で形成され、稜線部１３１を基準として対称に形成される。または、第１前面１３３ａと第２前面１３３ｂは各々曲面で形成され、稜線部１３１を基準として対称に形成される。後方面１３４は、前方面１３３の次にパネルＰと接触する面として、第１面１３２に位置する後面１３４ａと、第２面１３６に位置する第２後面１３４ｂに区分される。第１後面１３４ａと第２後面１３４ｂは各々平面で形成され、稜線部１３１を基準として対称に形成される。第１前面１３３ａは第２前面１３３ｂと互いに異なる平面上に設けられ、第１後面１３４ａは第２後面１３４ｂと互いに異なる平面上に設けられる。これによって、スクライブホイール１００の回転時、第１前面１３３ａ及び第２前面１３３ｂの一部領域がパネルＰの表面を加圧して鋭角三角形状の歯形を発生させる。また、第１後面１３４ａ及び第２後面１３４ｂの一部領域がパネルＰの表面を加圧して鋭角三角形状の歯形を発生させる。第１溝１４１ａと第２溝１４１ｂは第１外周面１１０から第２外周面１２０に横切る方向に沿って同一の深さを有する。すなわち、第１外周面１１０に隣接した第１溝１４１ａの端から第２外周面１２０に隣接した第２溝１４１ｂの端を結ぶ溝に沿って、第１溝１４１ａと第２溝１４１ｂは同一の深さに設けられる。稜線部１３１に沿って前方面１３３と後方面１３４との間の距離を‘ｂ’という。‘ｂ’は第１外周面１１０から第２外周面１２０まで横切る方向に沿って同一に設けられる。すなわち、第１前面１３３ａと第１後面１３４ａとの間の距離及び第２前面１３３ｂと第２後面１３４ｂとの間の距離は第１溝１４１ａから第２溝１４１ｂまで同一に設けられる。そして、隣接する溝の間の間隔を‘ａ’という。‘ｂ’は‘ａ’よりさらに長く設けられる。溝１４１は、第１外周面１１０から第２外周面１２０まで横切る方向に垂直な面が三角形状をなす。
【００４０】
図３は本発明の一実施形態に係るスクライブホイールの溝を拡大した図である。
【００４１】
図３を参照すると、スクライブホイール１００は円周上に複数の溝を有する。溝は円周面１３２、１３６と平行な底面（ｂｏｔｔｏｍ  ｆａｃｅ）１３５を有し、底面１３５の両側から円周面１３２、１３６に延長される側面部１３３、１３４を有する。両側面部は稜線に沿って互いに離隔された前方面１３３と後方面１３４に区分される。前方面１３３は円周を基準として互いに異なる平面上に設けられる第１前面１３３ａと第２前面１３３ｂとを含む。第１前面１３３ａと第２前面１３３ｂは各々平面で設けられ、互いに異なる平面上に位置する。前方面１３３と後方面１３４は各々底面１３５と鈍角をなす。溝は、第１外周面１１０から第２外周面１２０まで横切る方向に垂直な面が台形状をなす。
【００４２】
上述のような構成を有する本発明に係るスクライブホイールを有するスクライビングユニットに対して説明すれば、次の通りである。
【００４３】
図４は、スクライブホイールを含むスクライビングユニットを簡略に示す斜視図であり、図５は、図４のスクライビングユニットの部分断面図である。図４及び図５を参照すると、スクライビングユニット２００は、パネルＰに線を引いて歯形を形成する。スクライビングユニット２００は、スクライブホイール１００と、支持体２４０と、振動子２６０と、押さえ部材２８０とを有する。スクライビング工程時、スクライブホイール１００はパネルＰと直接接触して歯形を発生させる。スクライブホイール１００の円周面は複数の溝を有する。溝は円周に沿って前方面と後方面に形成され、前方面は稜線を基準として互いに異なる平面上に設けられる第１前面と第２前面に区分される。スクライブホイール１００の中央には円形の通孔が形成される。スクライブホイール１００はダイヤモンド材質のホイール（ｗｈｅｅｌ）が用いられる。
【００４４】
スクライブホイール１００は、支持体２４０によって支持される。支持体２４０は、ボディー２４２と軸ピン２４４とを有する。ボディー２４２の下面には一方向にボディー２４２を貫通する収容部２４３が形成される。収容部２４３は、スクライブホイール１００を収容し、収容されたスクライブホイール１００が回転することができる空間を提供する。軸ピン２４４は、断面が円形の長いロッド形状を有する。軸ピン２４４は、収容部２４３の長さ方向に垂直な方向に向けて収容部２４３内に位置する。軸ピン２４４の両端はボディー２４２に固定設置される。軸ピン２４４は、スクライブホイール１００に形成された通孔を貫通する。スクライブホイール１００が軸ピン２４４によって支持される時、スクライブホイール１００は、一部は収容部２４３内に位置し、一部は支持体２４０の下に突き出される。
【００４５】
押さえ部材２８０は、スクライブホイール１００とパネルＰの接触時、スクライブホイール１００が一定力でパネルＰを押すようにスクライブホイール１００を加圧する。一例によると、押さえ部材２８０は支持体２４０の上部に位置し、空圧を利用して支持体２４０を下方向に押すことによって、スクライブホイール１００を加圧する。押さえ部材２８０はスクライブホイール１００のボディー２４２と結合して空圧によって上下に移動されるロード（図示しない）を有する構造で提供されることができる。押さえ部材２８０は、空気が直接的にスクライブホイール１００のボディー２４２を加圧する構造で提供されることも選択できる。
【００４６】
振動子２６０は、スクライビング工程の進行時、スクライブホイール１００に振動を与える。振動子２６０はボディー２４２の内部に装着される。振動子２６０としては超音波振動子（ｍｅｇａｓｏｎｉｃ  ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）が用いられることができる。振動子２６０は上下方向にスクライブホイール１００に振動を与えることができる。振動子２６０によってスクライブホイール１００の寿命が延長される。
【００４７】
上述のような構成を有するスクライビングユニットを利用してスクライビングラインを形成する方法を説明すれば、次の通りである。
【００４８】
図６Ａはパネルの表面上にスクライブホイールが転がる様子を拡大した図である。
【００４９】
図６Ａを参照すると、パネルの表面でスクライブホイール１００が回転しながらスクライビングユニット２００が進む。円周面に形成された歯は台形状であり、溝は三角形状を有する。歯と溝は円周面に沿って繰り返して形成されている。円周面に形成された歯はスクライブホイールの回転方向の逆方向の順序にパネルの表面と接触する。図６Ａのように、スクライブホイールが時計方向（ｃｌｏｃｋ  ｗｉｓｅ）に回転する場合、円周面は後方面１→歯２→前方面３→溝４→後方面５の手順、すなわち半時計方向（ｃｏｕｎｔｅｒ  ｃｌｏｃｋ  ｗｉｓｅ）にパネルと接触する。円周面がパネルと接触する領域を具体的に示すと、後方面１がパネルと先に接触する。後方面１はパネルから上向き傾斜するように形成され、パネルに弱い加圧力を与える。歯２はパネルと先接触し、高い加圧力をパネルに与える。前方面３はパネルから上向き傾斜するように形成され、パネルに弱い加圧力を与える。溝４は前方面３と後方面５によって支持され、パネルの表面に接触することができない。したがって、スクライブホイールの回転によってパネルに与えられる加圧力の強さは弱１→強２→弱３→なし４→弱５→強のパターンが繰り返して示す。
【００５０】
図６Ｂは図６Ａによって基板の表面上に現われる歯形を示す図である。
【００５１】
図６Ａ及び図６Ｂを参照すると、スクライブホイールと接触する基板上に複数の六角形状の歯形が互いに離隔されて示されている。スクライブライン上に設けられる角は鋭角であり、スクライブライン上に設けられる角を除いた残りの角は鈍角を有する。
【００５２】
六角形状の歯形は、スクライビングユニットの進行方向に沿って順次に第１部分１'、第２部分２'、及び第３部分３'として示す。
【００５３】
第１部分１'は、鋭角三角形状として、１つの頂点がスクライビングライン上に位置する。第１部分は後方面１がパネルと接触して形成される。後方面１は第１後面及び第１後面と異なる平面上に設けられる第２後面がパネルの表面と接触して、鋭角三角形状の歯形を形成させる。
【００５４】
第２部分２'は四角形状として、第１部分１'から延長されて形成される。第２部分２'は歯２がパネルと接触して形成される。歯がパネルと接触する時、高い加圧力をパネルに与えるので、歯形が深く形成される。第２部分２'はスクライビングラインと平行な２つの辺が第１部分から各々鈍角をなしながら延長される。これによって、パネルに高い加圧力を提供しても、加圧力が鈍角をなす点に集中せず、第１部分１'及び第２部分２'に分散するので、第１部分１'から第２部分２'に延長される点に予想できないクラックが発生しない。
【００５５】
第３部分３'は鋭角三角形の形状として、第２部分２'から延長されて形成される。第３部分３'は第２部分２'を基準として第１部分１'と対称に形成される。第３部分３'は鋭角三角形状として、１つの頂点がスクライビングライン上に位置する。第３部分３'は前方面３がパネルと接触して形成される。前方面３は、第１前面及び第１前面と異なる平面上に設けられる第２前面がパネルの表面と接触することによって、鋭角三角形状の歯形を形成させる。第２部分２'は、スクライビングラインと平行な２つの辺が第３部分３'に各々鈍角をなしながら延長される。これによって、パネルに高い加圧力が与えられても、加圧力が鈍角をなす点に集中せず、第２部分２'及び第３部分３'に分散するので、第２部分２'から第３部分３'に延長される点に予想できないクラックが発生しない。これはスクライビング工程の以後のブレイキング工程でカッティング品質を向上させる。
【００５６】
六角形状の歯形は、隣接する六角形状の歯形とスクライビングラインを通じて連結される。スクライビングラインはスクライブホイールの溝４に対応して形成される。溝４が直接パネルの表面と接触しないが、前方面３と後方面５によって与えられる加圧力が溝４に対応するパネルの領域に与えられて直線状のクラック４'を発生させる。
【００５７】
本発明と異なり、軸心方向に傾斜させた円形状の溝の間に歯が形成される場合、歯形はスクライブラインと交差する辺が内側に凹んだ四角形状で示される。この場合、歯形の各頂点は鋭角に形成され、与えられた加圧力が各頂点に集中する。集中した加圧力は頂点でまた他のクラックを発生させてカッティング品質を低下させる。
【００５８】
または、軸心方向に傾斜させた三角形の溝の間に歯が形成される場合、歯形は四角形状で示す。この場合、四角形状の各頂点は直角または鋭角に形成され、与えられた加圧力が各頂点に集中する。集中した加圧力は頂点でまた他のクラックを発生させてカッティング品質を低下させる。
【００５９】
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、上述の内容は本発明の望ましい実施形態を示して説明するものであり、本発明は多様な他の組み合わせ、変更及び環境で用いることができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、著述した開示内容と均等な範囲及び／または当業界の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。著述した実施形態は本発明の技術的思想を実現するための最善の状態を説明するものであり、本発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態によって本発明を制限しようとする意図のものではない。また、添付の請求範囲は他の実施形態も含むと解釈されなければならない。
【図１Ａ】
2010132542.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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