【手続補正書】
【提出日】平成16年11月1日(2004.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビーム源からの露光ビームによりマスクを照射し、該マスクに形成されたパターンを感応基板上に転写する露光装置本体と、この露光装置本体が収納されるとともに、少なくとも１つの扉を有するチャンバとを備えた露光装置において、
前記扉の開放許可を表示する表示装置が設けられていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記露光ビームが発射されているか否かを判断し、前記露光ビームの発射が停止中の場合に、前記表示装置により前記扉の開放許可を表示する表示制御装置が更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記感応基板を位置合わせするために前記感応基板にアライメントビームを照射するアライメント系を更に備え、
前記アライメントビームが照射されているか否かを判断し、前記アライメントビームが照射されていない場合に、前記表示装置により前記扉の開放許可を表示する表示制御装置が更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記扉の開閉状況を検出する検出装置と；
前記検出装置の検出結果に応じて前記露光装置本体の動作を制御する制御装置とが更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記扉の開放要求を入力するための開放要求入力装置と；
前記開放要求入力装置から前記扉の開放要求が入力された場合に、前記露光装置本体の動作状態を検知して、前記露光装置本体の動作状態に応じて前記表示装置により前記扉の開放許可又は開放禁止を表示する表示制御装置とが更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項６】
前記扉の開放要求を入力するための開放要求入力装置と；
前記開放要求入力装置から前記扉の開放要求が入力された場合に、前記露光装置本体の動作を所定状態になるまで継続するとともに、該所定状態になったときに前記露光装置本体の動作を中断する制御装置と；
前記制御装置により前記露光装置本体の動作が中断されているときに、前記表示装置により前記扉の開放許可を表示する表示制御装置とが更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】
前記扉の開閉状況を検出する検出装置と；
前記露光装置本体の動作が中断されているときに前記露光装置本体の動作の再開要求を入力するための再開要求入力装置と；
前記検出装置により前記扉が閉じていることが検出されるとともに、前記露光装置本体の動作を再開する要求が前記再開要求入力装置から入力されたときに前記露光装置本体の動作を再開させる制御装置とが更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項８】
前記扉の開閉状況を検出する検出装置と；
前記扉の開放要求を入力するための開放要求入力装置と；
前記開放要求入力装置から前記扉の開放要求が入力された場合に、前記露光装置本体の動作を所定状態になるまで継続するとともに、該所定状態になったときにその時の前記露光装置本体の動作状態を記憶した後その動作を中断する制御装置と；
前記露光装置本体の動作が中断されているときに前記露光装置本体の動作の再開要求を入力するための再開要求入力装置とを備え、
前記制御装置は、前記検出装置により前記扉が閉じていることが検出されるとともに、前記露光装置本体の動作を再開する要求が前記再開要求入力装置から入力されたときに前記露光装置本体の動作を前記記憶した動作の次の動作から再開することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項９】
ビーム源からの露光ビームによりマスクを照射し、該マスクに形成されたパターンを感応基板上に転写する露光装置本体と、この露光装置本体が収納されるとともに、少なくとも１つの扉を有するチャンバとを備えた露光装置に用いられる扉開閉制御方法において、
前記露光装置本体の動作状態に応じて前記扉の開放許可を前記チャンバの外部に表示することを特徴とする扉開閉制御方法。
【請求項１０】
前記露光ビームが発射されていないときに前記表示を行うことを特徴とする請求項９に記載の扉開閉制御方法。
【請求項１１】
ビーム源からの露光ビームによりマスクを照射し、該マスクに形成されたパターンを感応基板上に転写する露光装置本体と、この露光装置本体が収納されるとともに、少なくとも１つの扉を有するチャンバとを備えた露光装置に用いられる扉開閉制御方法において、
前記露光装置本体の動作状態に応じて前記扉を開放可能にすることを特徴とする扉開閉制御方法。
【請求項１２】
前記扉の開放の許可及び不許可に対応して、前記扉の解錠及び施錠を行なうロック機構を有する請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記扉の解錠及び施錠を行なうロック機構を有し、
前記ロック機構は、前記表示制御装置による前記扉の開放許可の表示に対応して前記扉の解錠を行なうことを特徴とする請求項２、３、５及び６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１４】
マスクに形成されたパターンを感応基板上に転写する露光装置本体と、この露光装置本体が収納されるとともに、少なくとも１つの扉を有するチャンバと、前記扉を施錠するロック機構とを備えた露光装置において、
前記露光装置本体の動作状態を検知して、前記露光装置本体の動作状態に応じて前記扉の開放許可を決定するとともに、前記決定に基づいて前記ロック機構による施錠を解除する制御装置を有することを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１１に記載の発明は、ビーム源からの露光ビームによりマスク（Ｒ）を照射し、該マスクに形成されたパターンを感応基板（Ｗ）上に転写する露光装置本体（１４）と、この露光装置本体（１４）が収納されるとともに、少なくとも１つの扉（２２、２４）を有するチャンバ（１２）とを備えた露光装置（１０）に用いられる扉開閉制御方法において、前記露光装置本体の動作状態に応じて前記扉を開放可能にすることを特徴とする。これによれば、例えば扉を開けても支障のないときにのみ、扉を開放可能にし、扉を開けると支障があるようなときには、扉の開放を不可能にすることにより、適切なタイミングでのみ扉を開けることができるようにすることが可能になる。また、請求項１２に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置において、前記扉（２２、２４）の開放の許可及び不許可に対応して、前記扉の解錠及び施錠を行なうロック機構を有するものである。これによれば、扉の開放が不許可であるにも関わらず誤って扉が開放されるのを防ぐことができる。また、請求項１３に記載の発明は、請求項２、３、５及び６のいずれか一項に記載の露光装置において、前記扉（２２、２４）の解錠及び施錠を行なうロック機構を有し、前記ロック機構は、前記表示制御装置（４０）による前記扉の開放許可の表示に対応して前記扉の解錠を行なうものである。これによれば、扉の開放許可の表示に気づかずに誤って扉を開けてしまうという事故を防止することができる。また、請求項１４に記載の発明は、マスクに形成されたパターンを感応基板（Ｗ）上に転写する露光装置本体（１４）と、この露光装置本体が収納されるとともに、少なくとも１つの扉（２２、２４）を有するチャンバ（１２）と、前記扉を施錠するロック機構とを備えた露光装置であって、前記露光装置本体の動作状態を検知して、前記露光装置本体の動作状態に応じて前記扉の開放許可を決定するとともに、前記決定に基づいて前記ロック機構による施錠を解除する制御装置を有することを特徴とする。これによれば、扉の開放が許可された場合にのみその扉を開放することができるので、扉の開放が許可されていない場合に誤って扉が開放されるのを防止することができる。