【手続補正書】
【提出日】平成17年10月21日(2005.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エラストマー構造体（２４）であって、以下：
その中に少なくとも第一および第二の微細加工された凹部（２１、２３）を有して形成されたエラストマーブロックであって、該第一および第二の微細加工された凹部が、該エラストマーブロックの膜部分（２５）によって分離されており、該膜部分が作動される場合、該膜部分は該第一および第二の微細加工された凹部のうちの１つへ撓み可能である、エラストマーブロック、
を備える、エラストマー構造体。
【請求項２】
前記第一および第二の凹部（２１および２３）が、１０μｍから２００μｍの範囲の幅を有する、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項３】
前記膜部分（２５）が、１μｍと１００μｍとの間の厚みを有する、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項４】
前記膜部分（２５）が付与された作動力に対して直線的に反応する、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項５】
請求項１に記載のエラストマー構造体であって、ここで：
前記第一の凹部（２１）が第一の微細加工されたチャネル（３０）を備え、そして前記第二の凹部（２３）が第二の微細加工されたチャネル（３２）を備え；そして、
前記膜部分（２５）がエラストマー膜を備え、該エラストマー膜は、該膜が作動される場合に、該第一の微細加工されたチャネルまたは該第二の微細加工されたチャネルのうちの１つへ撓み可能である、
エラストマー構造体。
【請求項６】
請求項１に記載のエラストマー構造体であって、ここで：
前記第一の凹部（２１）が、第一の微細加工されたチャネル（３０）を備え；そして
前記膜部分（２５）がエラストマー膜を備え、該エラストマー膜は、該膜が作動される場合、該第一の微細加工されたチャネルへ撓み可能である、
エラストマー構造体。
【請求項７】
前記第二の微細加工された凹部（２３）が、第二の微細加工されたチャネル（３２）を備える、請求項６に記載のエラストマー構造体。
【請求項８】
前記第二の微細加工された凹部（２３）が加圧される場合、前記膜（２５）が、前記第一のチャネル（３０）へ撓み可能である、請求項６に記載のエラストマー構造体。
【請求項９】
請求項７に記載のエラストマー構造体であって、さらに以下：
前記第二のチャネル（３２Ａ）に平行に配置された第三および第四のチャネル（３２Ｂ、３２Ｃ）であって、ここで該第二、第三および第四のチャネルが、それぞれ前記第一のチャネル（３０）へ撓み可能な第一、第二および第三の膜（２５）によって、該第一のチャネルから分離されている、第三および第四チャネル、
を備える、エラストマー構造体。
【請求項１０】
前記第二、第三および第四のチャネル（３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ）が加圧される場合、それぞれ前記第一、第二、および第三の膜（２５）が、前記第一のチャネル（３０）へ撓み可能である、請求項９に記載のエラストマー構造体。
【請求項１１】
前記第一のチャネル（３０Ａ）に平行な第三の微細加工されたチャネル（３０Ｂ）をさらに備え、前記第二のチャネル（３２Ａ）が、その長さに沿って配置される広い部分および狭い部分の両方を有し、該広い部分が該第一のチャネルに隣接して配置され、該狭い部分が該第三のチャネルに隣接して配置される、請求項７に記載のエラストマー構造体。
【請求項１２】
前記第一のチャネルの頂部が湾曲されるように、前記膜（２５）が湾曲した底面を有する、請求項６に記載のエラストマー構造体。
【請求項１３】
前記エラストマー構造体が、以下：
ポリイソプレン、ポリブタジエン、ポリクロロプレン、ポリイソブチレン、ポリ（スチレン−ブタジエン−スチレン）、ポリウレタン、シリコーン、または脂肪族ウレタンジアクリレート、
から選択される材料を含む、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項１４】
前記エラストマー構造体が、以下：
Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｉｃ  ＲＴＶ  ６１５、Ｄｏｗ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｃｏｒｐ．Ｓｙｌｇａｒｄ  １８２、Ｓｙｌｇａｒｄ  １８４もしくはＳｙｌｇａｒｄ  １８６のようなポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、またはＵＣＢ  ＣｈｅｍｉｃａｌｓのＥｂｅｃｒｙｌ  ２７０もしくはＩｒｒ  ２４５のような脂肪族ウレタンジアクリレート
から選択される材料を備える、請求項１３に記載のエラストマー構造体。
【請求項１５】
請求項１に記載のエラストマー構造体であって、ここで該エラストマー構造体が、以下：
ポリ（ビス（フルオロアルコキシ）ホスファゼン）（ＰＮＦ，Ｅｙｐｅｌ−Ｆ）、ポリ（カルボラン−シロキサン）（Ｄｅｘｓｉｌ）、ポリ（アクリロニトリル−ブタジエン）（ニトリルラバー）、ポリ（１−ブテン）、ポリ（クロロトリフルオロエチレン−フッ化ビニリデン）コポリマー（Ｋｅｌ−Ｆ）、ポリ（エチルビニルエーテル）、ポリ（フッ化ビニリデン）、またはポリ（フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン）コポリマー（Ｖｉｔｏｎ）、
から選択される材料を含む、エラストマー構造体。
【請求項１６】
前記エラストマー構造体が、以下：
ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）のエラストマー組成物、ポリスルホンのエラストマー組成物、ポリカーボネートのエラストマー組成物、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のエラストマー組成物、またはポリテトラフルオロエチレン（Ｔｅｆｌｏｎ（登録商標））のエラストマー組成物、
から選択される材料を含む、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項１７】
前記膜部分（２５）が１００Ｈｚ以上の速度で作動される、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項１８】
前記膜部分（２５）が７５Ｈｚまでの速度で作動される、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項１９】
前記膜部分（２５）が作動される場合、前記構造体が死容積を含まない、請求項１に記載のエラストマー構造体。
【請求項２０】
請求項１に記載のエラストマー構造体（２４）であって、平面基板（１４）をさらに備え、ここで該平面基板が前記第一または第二の微細加工された凹部（２１、２３）の壁を形成する、エラストマー構造体。
【請求項２１】
前記平面基板（１４）がガラスである、請求項２０に記載のエラストマー構造体（２４）。
【請求項２２】
エラストマー構造体を作動する方法であって、以下：
その中に第一および第二の微細加工された凹部（２１、２３）を有して形成されたエラストマーブロックを提供する工程であって、該第一および第二の微細加工された凹部が該エラストマーブロックの膜部分（２５）により分離され、該膜部分が作動力に応じて該第一および第二の凹部のうちの１つへ撓み可能である、工程；および
該膜部分が該第一および第二の凹部のうちの１つへ撓むように、該膜部分へ作動力を付与する工程、
を包含する方法。
【請求項２３】
前記作動力を付与する工程が、前記第二の微細加工された凹部（２３）へ圧力を付与し、前記膜部分（２５）を前記第一の微細加工された凹部（２１）へ撓ませる工程を包含する、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
エラストマー構造体を通して流体フローまたは気体フローを制御する方法であって、以下：
第一、第二、および第三の微細加工された凹部（３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ）を有するエラストマーブロックを提供する工程であって、該エラストマーブロックは、該エラストマーブロックを通る第一の微細加工されたチャネル（３０）を有し、該第一、第二および第三の微細加工された凹部が、該第一のチャネルへ撓み可能である各々の第一、第二、および第三の膜（２５）により、該第一のチャネルから分離されている、工程；ならびに
該第一、第二、および第三の膜を、該第一のチャネルへ繰り返し手順で撓ませて、該第一のチャネルを通じて流体のフローを蠕動的にポンピングする工程、
を包含する、方法。
【請求項２５】
前記第一、第二、および第三の凹部（３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ）内の圧力を増加することにより、前記第一、第二および第三の膜（２５）が、前記第一のチャネルへ撓む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
エラストマー構造体を微細加工する方法であって、以下：
その中に少なくとも第一の凹部（２１）を有する第一の微細加工されたエラストマー構造体（２０）を提供する工程；
その中に少なくとも第二の凹部（２３）を有する第二の微細加工されたエラストマー構造体（２２）を提供する工程；および
該第二のエラストマー構造体の表面上に前記第一のエラストマー構造体の表面を結合する工程、
を包含する、方法。
【請求項２７】
請求項２６に記載の方法であって、該方法はさらに、以下：
前記第一のエラストマー構造体（２０）の頂部上に前記第二のエラストマー構造体（２２）を配置し、その結果、前記第一の凹部（２１）および前記第二の凹部（２３）が該エラストマー構造体の膜部分（２５）によって分離され、そして該膜部分が該第一の凹部または該第二の凹部のいずれかへ撓み可能である、工程；および
該第一のエラストマー構造体の頂部表面上に該第二のエラストマー構造体の底面を結合する、工程、
を包含する、方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載の方法であって、ここで：
前記第一のエラストマー構造体（２０）が、該第一のエラストマー構造体の底部内に前記少なくとも第一の凹部（２１）を形成する少なくとも１つの隆起した突起（１１）を有する第一の微細加工したモールド（１０）の上に作製され；そして
前記第二のエラストマー構造体（２２）が、該第一のエラストマー構造体の底部内に前記少なくとも第二の凹部（２３）を形成する少なくとも１つの隆起した突起（１３）を有する第二の微細加工したモールド（１２）の上に作製される、
方法。
【請求項２９】
請求項２７に記載の方法であって、該方法がさらに以下：
さらなるエラストマー層を連続的に追加する工程であって、それにより各層が以下：
連続エラストマー層を微細加工する工程；および
該連続エラストマー層の底面を前記エラストマー構造体の頂部表面へ結合する工程、
により追加される工程、
を包含する、方法。
【請求項３０】
前記第一および第二のエラストマー構造体が同じ材料から作製される、請求項２７に記載の方法。
【請求項３１】
前記第一および第二のエラストマー構造体の両方が、架橋剤を含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記第一および第二のエラストマー構造体が、接着剤の層により結合される、請求項２７に記載の方法。
【請求項３３】
前記接着剤が、前記第一および第二のエラストマー構造体を一緒に結合するために硬化される、未硬化エラストマーを含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記第一および第二のエラストマー構造体が、酸素プラズマに対する曝露によって化学的に活性化され、前記層の結合を容易にする、請求項２７に記載の方法。
【請求項３５】
エラストマー構造体（２４）の微細加工されたチャネル（３０）内の流体のフローを制御するための撓み可能な膜（２５）の使用。
【請求項３６】
請求項３５の使用であって、ここで、前記微細加工されたチャネル内の流体のフローの制御が、前記膜（２５）への作動力の付与によって実施される、使用。
【請求項３７】
請求項３５に記載の使用であって、ここで、前記微細加工されたエラストマー構造体（２４）がモノリシックである、使用。
【請求項３８】
請求項３５に記載の使用であって、ここで、前記微細加工されたチャネル（３０）内の流体のフローの制御が、前記膜を撓ませるための、前記エラストマー構造体の第二の微細加工されたチャネル（３２）の加圧によって実施される、使用。
【請求項３９】
請求項３５に記載の使用であって、ここで、前記エラストマー構造体が、その中に少なくとも第一および第二の微細加工された凹部（２１、２３）を有して形成され、該微細加工された凹部のうちの１つが前記微細加工されたチャネル（３０）を形成し、そしてここで、前記撓み可能な膜（２５）が、該第一および第二の微細加工された凹部を分離し、そして作動される場合、該第一または第二の微細加工された凹部のうちの１つへ撓み可能である、使用。
【請求項４０】
微細加工された撓み可能な部分（２５）を含むエラストマーデバイス（２４）を作製するための、結合されたエラストマー層（２０、２２）の使用。
【請求項４１】
死容積を含まない微細加工された流体バルブ、または微細加工された蠕動ポンプを作製するための、エラストマー材料の使用。