【手続補正書】
【提出日】平成16年5月6日(2004.5.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン形成面を両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハを、テーブル上にウエハを上にして吸着支持すると共に、上記ウエハに対して両面粘着テープの粘着力を低下させる処理を施し、ダイシングテープを貼り付けたダイシングフレームを上記ウエハ上に供給し、ダイシングフレームをフレーム台で支持した状態で、ダイシングテープとウエハを真空下で貼り付け、この貼り付け後に両面粘着テープとウエハを剥離してダイシングテープにウエハを転写することを特徴とするウエハのダイシングテープへの転写方法。
【請求項２】
上記両面粘着テープにＵＶ粘着力低下タイプを用い、テーブル上に支持部材付きのウエハを供給する前に両面粘着テープにＵＶを照射して粘着力を低下させることを特徴とする請求項１に記載のウエハのダイシングテープへの転写方法。
【請求項３】
パターン形成面を熱剥離タイプの両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハを、加熱テーブル上にウエハを上にして吸着支持すると共に、ウエハ吸着体にてウエハを支持しながら支持部材を剥離し、ダイシングテープを貼り付けたダイシングフレームを上記ウエハ上に供給し、ダイシングフレームをフレーム台で支持した状態で、ダイシングテープとウエハを真空下で貼り付けることを特徴とするウエハのダイシングテープへの転写方法。
【請求項４】
パターン形成面を両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハの上面にダイボンドテープを貼り付け、このウエハをテーブル上にダイボンドテープを上にして吸着支持し、ダイシングテープを貼り付けたダイシングフレームを上記ダイボンドテープ上に供給し、ダイシングフレームをフレーム台で支持した状態で、ダイシングテープとダイボンドテープを貼り付け、この貼り付け後に両面粘着テープとウエハを剥離してダイシングテープにダイボンドテープを介してウエハを転写することを特徴とするウエハのダイシングテープへの転写方法。
【請求項５】
パターン形成面を両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハの支持部材側を吸着保持する吸着テーブルと、上記吸着テーブルの外側に位置し、ダイシングテープを貼り付けたダイシングフレームを支持するフレーム台と、上記吸着テーブルと対向するように位置し、ダイシングテープを介してウエハ部分を吸着支持する吸着保持テーブルとを配置し、吸着保持テーブルでダイシングテープを介してウエハ部分を吸着支持しながら、ウエハに貼り付けられた支持部材を吸着した吸着テーブルを吸着保持テーブルに対して相対的に傾動可能としたことを特徴とするウエハのダイシングテープへの転写装置。
【請求項６】
上記吸着保持テーブルの外径をウエハと同等もしくはやや小径に設定したことを特徴とする請求項５に記載のウエハのダイシングテープへの転写装置。
【請求項７】
パターン形成面を両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハを吸着保持するテーブルの上部に、ダイボンドテープの供給手段と、ダイボンドテープとウエハの貼り付けローラと、ダイボンドテープをウエハの外径に沿って切断するテープカッターを配置し、上記支持部材の上面にウエハの外径に適合する周溝を形成した請求項５又は６に記載のウエハのダイシングテープへの転写装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記のように、薄膜化されたウエハ１から支持部材３を剥離するために、自己剥離性の両面粘着テープを用いた場合、ウエハ１が薄くなるにつれ、ダイシングフレーム５をダイシングテープ４に貼り付けた後、支持部材３をうまく剥離させないと、衝撃が伝わってウエハ１が破損したり、また、ダイシングテープ４への貼り付けが不十分であると、支持部材３の剥離時にウエハ１に無理な力がかかり、ウエハ１が割れたりすることがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項３の発明は、パターン形成面を熱剥離タイプの両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハを、加熱テーブル上にウエハを上にして吸着支持すると共に、ウエハ吸着体にてウエハを支持しながら支持部材を剥離し、ダイシングテープを貼り付けたダイシングフレームを上記ウエハ上に供給し、ダイシングフレームをフレーム台で支持した状態で、ダイシングテープとウエハを真空下で貼り付ける構成を採用したものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このように、テーブル上に支持部材付きのウエハを供給してダイシングテープとウエハを貼り付ける前に、両面粘着テープを加熱するようにすれば、ダイシングテープに熱負荷を与えることがなく、高温加熱が必要な両面粘着テープの使用が可能になる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項５の発明は、パターン形成面を両面粘着テープで支持部材に貼着されたウエハの支持部材側を吸着保持する吸着テーブルと、上記吸着テーブルの外側に位置し、ダイシングテープを貼り付けたダイシングフレームを支持するフレーム台と、上記吸着テーブルと対向するように位置し、ダイシングテープを介してウエハ部分を吸着支持する吸着保持テーブルとを配置し、吸着保持テーブルでダイシングテープを介してウエハ部分を吸着支持しながら、ウエハに貼り付けられた支持部材を吸着した吸着テーブルを吸着保持テーブルに対して相対的に傾動可能とした構成を採用したものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項６の発明は、上記吸着保持テーブルの外径をウエハと同等もしくはやや小径に設定した構成を採用したものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
上記吸着搬送アーム１３は、レール２５に沿ってダイシングフレーム供給部１１とダイシングテープ４の貼り付け機構１２の間を適宜駆動機構で往復移動し、先端と途中にダイシングフレーム５の吸着部２６が設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
上記テープ貼り付け機構１２のダイシングフレーム５をダイシングフレームマウント部１４に搬送する吸着搬送アーム１６は、シリンダ６７による上下動と、適宜駆動機構による水平のレール６８に沿う移動とが自在となり、貼り付け機構１２のフレームテーブル２８上に位置するダイシングフレーム５を、先端と途中に設けた吸着パッド６９を用い、真空ホース７０で真空引きすることで吸着し、このダイシングフレーム５を吸着テーブル４８上の定位置に搬送するようになっている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
次に、フレーム吸着搬送アーム１６で、フレームテーブル２８上にあるダイシングフレーム５をマウント部１４に供給し、このダイシングフレーム５をフレーム台４９の上に載置して、ウエハ１上にダイシングテープ４を臨ませ、図６（ａ）のように、マウント部１４は真空チャンバー４７を閉じ、減圧下で貼り付けローラ５０を移動させることにより、図６（ｂ）のように、ダイシングテープ４をウエハ１に接着する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
ダイシングテープ４をウエハ１に接着すると、図６（ｃ）のように、真空チャンバーの減圧を解いて上部チャンバー５４を上昇させ、真空チャンバー４７を開いた状態で、吸着保持テーブル１７をダイシングテープ４の直上に進入させ、この吸着保持テーブル１７を下降させることでダイシングテープ４を裏側より吸着する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
また、吸着テーブル４８上に残った両面粘着テープ２付きの支持部材３は、図６（ｇ）〜（ｉ）のように、吸着テーブルを水平にした状態で吸着搬送ロボット２１で取り出し、収納部２０内に収納する。
なお、本実施例においてはウエハ１をダイシングテープ４に転写する前にＵＶ照射を行ったが、ＵＶ照射前にウエハ１をダイシングテープ４に転写し、その後にＵＶ照射を行ってウエハ支持部材３を剥離させるようにしてもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
次に、図７乃至図９は、ウエハのダイシングテープへの転写装置の第２の実施の形態を示し、支持部材にウエハを貼り付ける両面粘着テープに熱剥離タイプを用いた場合の例である。なお、先に説明した第１の実施の形態の転写装置と同一部分には、同一符号を付すことによって説明に代える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
また、ウエハ吸着体９３は、ウエハの外径に見合う程度の円板状に形成され、吸引源との接続でウエハ１を吸着するようになっていると共に、水平のレール９７に沿って適宜駆動源で移動する移動アーム９８の先端に、シリンダ９９で上下動すると共に、揺動軸１００を支点に揺動するよう取り付けられており、ウエハ１を吸着テーブル４８へ移し替え時に傾動させるようになっている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
また、ダイボンドテープ１０１の貼り付け機構は本発明の装置内に組み込んでもよいし、別途、本発明装置外に貼り付け装置を設置し、本発明装置の供給部１９にダイボンドテープ貼り付け後の支持部材３付きウエハ１を供給できる構造としてもよい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１      ウエハ
１ａ    オリフラ
２      両面粘着テープ
３      支持部材
４      ダイシングテープ
５      ダイシングフレーム
５ａ    位置決め用切欠き
６      ウエハマウントダイシングフレーム
１１    ダイシングフレーム供給部
１２    貼り付け機構
１３    吸着搬送アーム
１４    ダイシングフレームマウント部
１５    オリフラ位置決めステージ
１６    吸着搬送アーム
１７    吸着保持テーブル
１８    ＵＶ照射領域
１９    供給部
２０    収納部
２１    吸着搬送ロボット
２２    反転移動機構
２３    受け取り搬送部
２４    収納部
２５    レール
２６    吸着部
２７    支持壁
２８    フレームテーブル
２９    昇降軸
３０    ダイシングテープ供給ロール
３１    離型紙巻き取りロール
３２    巻き取りロール
３３    ガイドローラ
３４    ガイドローラ
３５    剥離ローラ
３６    レール
３７    貼り付けローラ
３８    テンションローラ
３９    切断機構
４０    昇降手段
４１    レール
４２    昇降アーム
４３    モータ
４４    回転アーム
４５    テープカッター
４６    押さえローラ
４７    真空チャンバー
４８    吸着テーブル
４９    フレーム台
５０    貼り付けローラ
５１    昇降機構
５２    下部チャンバー
５３    昇降機構
５４    上部チャンバー
５５    真空ホースアダプタ
５６    ヒンジ部材
５７    モータ
５８    ボールネジ
５９    ヒンジ部材
６０    スプリング
６１    シリンダ
６２    突き上げピン
６３    貫通孔
６４    エンドレス走行体
６５    駆動モータ
６６    押圧スプリング
６７    シリンダ
６８    レール
６９    吸着パッド
７０    真空ホース
７１    シリンダ
７２    レール
７３    下容器
７４    開閉機構
７５    遮光蓋
７６    支持枠
７７    透明支持台
７８    支持ピン
７９    ＵＶランプ
８０    モータ
８１    エンドレス走行体
８２    回転吸着テーブル
８３    オリフラセンサ
８４    シリンダ
８５    レール
８６    反転モータ
８７    反転アーム
８８    吸着パッド
８９    搬送レール
９０    フレームプッシャー
９１    予備加熱領域
９２    本加熱領域
９３    ウエハ吸着体
９４    加熱吸着テーブル
９５    シリンダ
９６    突き上げピン
９７    レール
９８    移動アーム
９９    シリンダ
１００  揺動軸
１０１  ダイボンドテープ
１０２  貼り付けローラ
１０３  テープカッター
１０４  周溝
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2004087660.tif 000001
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2004087660.tif 000002