【手続補正書】
【提出日】令和3年1月15日(2021.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図９で示されるように、システム１００は、また接合ウエハ構造の劈開をするための劈開シーケンスが開始したときを検知するためのトリガセンサ１５０を含む。機械的な劈開において、劈開シーケンスの開始は、劈開アームが劈開中にドナーウエハをつかんだときに起きる劈開アームの動作によって示される。トリガセンサ１５０は、劈開アームの動作または劈開が開始したことを示す劈開装置の任意の動作を感知する、例えばカメラ、光電センサまたはリミットスイッチなどの劈開の開始を感知する任意の適切な装置である。トリガセンサ１５０は、また劈開の始まる制御信号を感知または受信するセンサである（すなわち劈開ソフトウエアの一部である）。いくつかの実施形態において、音は、感知され、モニタされ、記録は、音の変化が感知されたとき引き起こされる（例えばオーディオパワーがあらかじめ決められたしきい値を超える）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合ウエハ構造を分離する劈開システムであって、
劈開面に沿って、接合ウエハ構造を劈開する劈開装置と、
劈開中、前記接合ウエハ構造から放出された音を感知し、感知した音に応答して出力を生成する音センサと、
前記音センサの出力の少なくとも一部に基づいて、劈開の特性に関する計量を生成するように構成されたコントローラと、
前記接合ウエハ構造を劈開するための劈開シーケンスが開始したときを検知し、劈開中、前記接合ウエハ構造によって作り出された音を記録することを引き起こすためのトリガセンサであって、前記トリガセンサは、光電センサまたはリミットスイッチである、前記トリガセンサと、を備える劈開システム。
【請求項２】
前記計量は、劈開中に発生されたオーディオパワープロファイルに由来する、請求項１に記載の劈開システム。
【請求項３】
前記劈開装置は、接合ウエハ構造の伝播劈開を作り出すように構成された請求項１または２に記載の劈開システム。
【請求項４】
前記劈開装置は、熱劈開装置である、請求項１または２に記載の劈開システム。
【請求項５】
さらに前記音センサによって感知された音をデータに変換するためのアナログデジタルコンバータを備え、
前記計量は、前記アナログデジタルコンバータによって生成されたデータの少なくとも一部に基づくコントローラによって生成された劈開の特性に関する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の劈開システム。
【請求項６】
接合ウエハ構造を分離するための劈開装置にシステムを取り付けるためのブラケットと、
劈開中、接合ウエハ構造から放出される音を感知する音センサであって、前記音センサは、前記ブラケットに取り付けられる、前記音センサと、
前記接合ウエハ構造を劈開するための劈開シーケンスが開始したときを検知し、劈開中、接合ウエハ構造によって作り出された音を記録することを引き起こすためのトリガセンサであって、前記トリガセンサは、前記ブラケットに取り付けられ、前記トリガセンサは、光電センサまたはリミットスイッチである、前記トリガセンサと、
を備える、取り付け可能な劈開モニタシステム。
【請求項７】
接合ウエハ構造を分離する方法であって、
前記接合ウエハ構造を劈開するステップと、
前記接合ウエハ構造を劈開するための劈開シーケンスが開始したときを検知するステップであって、劈開中、前記接合ウエハ構造によって作り出された音を記録することを引き起こすためのトリガセンサであって、前記トリガセンサは、光電センサまたはリミットスイッチである、検知するステップと、
劈開中及び劈開シーケンスが前記トリガセンサによって検知された後、前記接合ウエハ構造から放出された音を感知するステップと、
感知した音に基づいて劈開の特性に関する計量を生成するステップと、を備える方法。
【請求項８】
後に劈開される接合ウエハ構造の劈開の品質を改善する劈開制御パラメータを調整するステップと、を備える、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記計量は、劈開中に発生したオーディオパワープロファイルに由来する、請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
前記計量は、劈開トリガと劈開の開始の遅延、劈開の期間、平均パワー、最大パワー、最大パワーが起こる頻度、パワーの標準偏差、パワー振動の大きさ、しきい値パワー未満の劈開時間、しきい値パワー未満の最大シングルくぼみ時間及びしきい値パワー未満のパワーくぼみの数からなる群から選択される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記接合ウエハ構造を劈開するための劈開シーケンスが開始したときを検知するステップを備え、音は、前記劈開シーケンスが開始したことを検知するときに感知される、請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
接合ウエハ構造を分離する方法であって、
前記接合ウエハ構造を劈開するステップであって、前記接合ウエハ構造を劈開するステップは分離が前記接合ウエハ構造の最先端から最先端と反対の後縁に向かって進行することによって生じる機械的な劈開プロセスによって第２の構造から第１の構造を分離するステップを備える、劈開するステップと、
前記機械的な劈開プロセスによって前記第２の構造から前記第１の構造を分離しながら、前記接合ウエハ構造から放出された音を感知するステップと、
前記機械的な劈開プロセスによって前記第２の構造から前記第１の構造を分離しながら、感知された音に基づく劈開の特性に関する計量を生成するステップと、を備える方法。
【請求項１３】
後に劈開される接合ウエハ構造の劈開の品質を改善するために劈開制御パラメータを調整するステップを備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記計量は、劈開中に発生したオーディオパワープロファイルに由来する、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記接合ウエハ構造の劈開のための劈開シーケンスが開始されたときを検知するステップを備え、
音は、前記劈開シーケンスが開始することを検知するときに感知される、請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
感知された音をデータに変換するステップを備え、
前記計量は、前記データに基づく劈開の特性に関する、請求項１２乃至１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記機械的な劈開プロセスは、劈開を伝播するために前記接合ウエハ構造の最先端においてブレードまたは機械的なくさびを備える、請求項１２乃至１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
接合ウエハ構造を分離する劈開システムであって、
劈開面に沿って前記接合ウエハ構造を劈開するための劈開装置であって、前記劈開装置は、前記接合ウエハ構造を劈開するために前記接合ウエハ構造に機械的な力を加えるために１またはそれ以上の吸引カップを備える、前記劈開装置と、
劈開中、前記接合ウエハ構造から放出された音を感知し、感知された音に応答して出力を生成するための音センサと、
音センサの出力の少なくとも一部に基づいて劈開の特性に関する計量を生成するように構成されたコントローラと、を備える劈開システム。
【請求項１９】
前記劈開装置は、前記接合ウエハ構造の伝播劈開を作り出すように構成された機械的な劈開装置である、請求項１８に記載の劈開システム。
【請求項２０】
前記劈開装置は、前記接合ウエハ構造の端部において前記劈開を伝播するためのブレードまたは機械的なくさびを備える、請求項１８または１９に記載の劈開システム。