【誤訳訂正書】
【提出日】令和3年8月13日(2021.8.13)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線温度センサシステムを使用して、表面の初期放射率ＥIを測定してこれを予測放射率ＥEと比較する方法であって、前記システムは、測定される表面に向けられた赤外線温度センサと、前記赤外線温度センサの近くに配置されて前記赤外線温度センサを加熱する加熱器とを備え、
ｉ．前記表面を有意に加熱することなく前記赤外線温度センサを加熱するために前記加熱器の温度を上昇させるステップと、
ｉｉ．前記赤外線温度センサを加熱することによって生成された生成電圧ＶGを測定するステップと、
ｉｉｉ．前記赤外線温度センサによって生成された前記生成電圧ＶGを予測電圧ＶEと比較するステップと、
ｉｖ．前記表面の前記初期放射率ＥIを式ＥI＝ＥE（ＶG／ＶE）に従って計算するステップと、を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法であって、前記システムは、赤外線温度センサと、前記赤外線温度センサの近くに配置されて前記赤外線温度センサを加熱する加熱器をと備え、
ｉ．前記赤外線温度センサを前記赤外線温度センサの外部にある物体の放射率Ｅを有する表面に向けるステップと、
ｉｉ．前記物体表面を有意に加熱することなく前記赤外線温度センサを加熱するために前記加熱器の温度を上昇させるステップと、
ｉｉｉ．前記赤外線温度センサを加熱することによって生成された生成電圧ＶGを測定するステップと、
ｉｖ．前記赤外線温度センサによって生成された前記生成電圧ＶGを予測電圧ＶEと比較するステップと、を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項３】
ｖ．ＶGがＶEに実質的に等しくない場合に、前記赤外線システムは理想的な動作状態ではないと判定するステップをさらに含む、
請求項２に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項４】
ｖ．ＶGがＶEに実質的に等しい場合に、前記赤外線システムは理想的な動作状態であると判定するステップをさらに含む、
請求項２に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項５】
前記赤外線センサシステムは、回転機内に配置され、前記赤外線温度センサは、前記回転機の回転面から放出された熱放射を測定するように向けられている、
請求項２ないし４のいずれか１項に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項６】
前記赤外線センサシステムは、真空ポンプ内に配置され、真空ポンプローター表面から、特にターボ分子ポンプローターから放出された熱放射を測定するように向けられている、
請求項２ないし５のいずれか１項に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項７】
前記方法は、前記ポンプが室温である場合に初期化される、
請求項６に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項８】
前記方法は、前記ポンプが定常動作状態にある場合に初期化される、
請求項６に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項９】
赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法であって、前記システムは、モーターの近くに又は該モーターと一体で配置された赤外線温度センサを備え、
ｉ．前記赤外線温度センサを、前記赤外線温度センサの外部にある放射率Ｅを有する物体の表面に向けるステップと、
ｉｉ．前記物体面を有意に加熱することなく前記赤外線温度センサを加熱するために、前記モーターの有意な回転を引き起こすことなく前記モーターの温度を上昇させるように少なくとも１つのモーター巻線に直流を印加するステップと、
ｉｉｉ．前記赤外線温度センサによる生成電圧ＶGを測定するステップと、
ｉｖ．前記赤外線温度センサによって生成された前記生成電圧ＶGを予測電圧ＶEと比較するステップと、を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項１０】
ｖ．ＶGがＶEに実質的に等しくない場合に、前記赤外線システムは理想的な動作状態ではないと判定するステップをさらに含む、
請求項９に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項１１】
ｖ．ＶGがＶEに実質的に等しい場合に、前記赤外線システムは理想的な動作状態であると判定するステップをさらに含む、
請求項９に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項１２】
前記赤外線センサシステム及びモーターは、回転機内に配置され、前記赤外線温度センサは、前記回転機の回転面から放射された熱放射を測定するように向けられている、
請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項１３】
前記赤外線センサシステム及びモーターは、真空ポンプ内に配置され、真空ポンプローター表面から、特にターボ分子ポンプローターから放出された熱放射を測定するように向けられている、
請求項９ないし１２に記載のモーターの近くに又はモーターと一体で配置された赤外線温度センサを備える赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項１４】
前記方法は、前記ポンプが室温である場合に初期化される、請求項１３に記載のモーターの近くに又はモーターと一体で配置された赤外線温度センサを備える赤外線センサシステムの動作状態を試験する方法。
【請求項１５】
ローターの表面から放出された熱放射を測定する赤外線センサシステムであって、
赤外線温度センサと、
前記赤外線温度センサの近くに配置されて前記赤外線温度センサを加熱する加熱器と、
を備え、
前記赤外線センサシステムは、請求項１〜１４の何れか１項に記載の方法を実施するように構成されている、
ことを特徴とする赤外線センサシステム。
【請求項１６】
前記加熱器は、前記赤外線温度センサと一体である、
請求項１５に記載の赤外線センサシステム。
【請求項１７】
前記加熱器は、抵抗加熱器である、
請求項１５又は１６に記載の赤外線センサシステム。
【請求項１８】
請求項１５から１７に記載され、前記真空ポンプのローター表面から放出された熱放射を測定するように配置された赤外線システムを備える、特にターボ分子ポンプである真空ポンプ。
【請求項１９】
請求項１５から１７に記載され、ターボ分子ローターブレード、ターボ分子ステータブレード、ローターシャフト、及び分子ポンプローターのうちの少なくとも１つの表面から放出された熱放射を測定するように配置された赤外線システムを備える、ターボ分子ポンプ。
【請求項２０】
請求項１５の赤外線システムを備える、ローターを回転させるモーターであって、
前記赤外線温度センサは、モーター巻線の近くに位置し、前記ローターを含む装置内にある場合に前記ローターの表面から放出された熱放射を測定するように配置されている、モーター。
【請求項２１】
前記モーター巻線は、ポッティング材の中に封入され、前記赤外線温度センサは、前記ポッティング材の中に取り付けられている、請求項２０に記載のローターを回転させるモーター。
【請求項２２】
前記加熱器は、前記モーターによってもたらされる、請求項２０又は２１に記載のローターを回転させるモーター。
【請求項２３】
請求項２０から２２のいずれかに記載のモーターを備え、前記赤外線温度センサは、ターボ分子ローターブレード、ターボ分子ステータブレード、ローターシャフト、及び分子ポンプローターのうちの少なくとも１つの表面から放出された熱放射線を測定するように向けられている、ターボ分子真空ポンプ。
【請求項２４】
前記赤外線温度センサが向けられている前記表面は、炭素繊維強化スリーブである、
請求項２３に記載のターボ分子ポンプ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
モーター２６を所定の温度に加熱することによって、センサ２及び制御装置１６は、通常であれば室温では存在しないであろうモーター２６及びセンサ２の内部基準温度ＴREFと対象ローター１０１の表面温度ＴOBとの差を検出する必要がある。センサの動作有効性がプロセス副産物の影響を受けていない場合、ＴREFは、ＴOBよりも既知の値だけ大きいはずであり、換言すると、センサＶGによって生成された電圧は、予測生成電圧ＶEとは異ならないはずである。しかしながら、センサが覆われている又は多少なりとも腐食しているか、又はローター表面１０５がセンサの放射率が変わるように覆われている場合、センサ２は、ローター表面温度を正確に測定することができず、生成電圧ＶG（すなわち、測定された温度差）は、予測生成電圧ＶEとは異なることになる。