【手続補正書】
【提出日】平成16年12月24日(2004.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの反射鏡を有し、第１面からの光に基づいて前記第１面の第１中間像を形成するための第１結像光学系と、
少なくとも２つの反射鏡を有し、前記第１結像光学系を介した光に基づいて前記第１面の第２中間像を形成するための第２結像光学系と、
前記第２結像光学系を介した光に基づいて前記第１面の最終像を第２面上に形成するための屈折型の第３結像光学系とを備え、
前記第１結像光学系、前記第２結像光学系および前記第３結像光学系を構成するすべての光学部材が単一の直線状光軸に沿って配置されていることを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項２】
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中にはフィールドレンズが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の反射屈折光学系。
【請求項３】
前記第１結像光学系は、前記２つの反射鏡と、少なくとも１つのレンズ成分とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の反射屈折光学系。
【請求項４】
前記第１結像光学系と前記フィールドレンズとの合成光学系は、第１面側および第２面側にテレセントリックな光学系を構成していることを特徴とする請求項２または３に記載の反射屈折光学系。
【請求項５】
前記第１結像光学系は、前記２つの反射鏡の間の光路中に配置された少なくとも１つの負レンズ成分を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項６】
前記第２結像光学系は、前記２つの反射鏡の間の光路中に配置された少なくとも１つの負レンズ成分を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項７】
前記反射屈折光学系中の全てのレンズ成分は単一種の光学材料で形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載の反射屈折光学系。
【請求項８】
前記第１結像光学系は、前記第１面と前記反射鏡との間の光路中に配置された正レンズを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項９】
第１面と第２面との間の光路中に前記第１面の中間像を２回形成し、前記第１面の第３回目の中間像を最終像として前記第２面上に形成する反射屈折光学系であって、
すべての光学部材が単一の直線状光軸に沿って配置されていることを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項１０】
前記中間像は、前記光軸から離れた位置のみに形成されることを特徴とする請求項９に記載の反射屈折光学系。
【請求項１１】
単一の直線状光軸に沿って配置された複数の反射鏡を有する反射屈折光学系であって、
第１面上において前記光軸から離れた矩形状の領域の像を第２面上の光軸から離れた位置のみに形成することを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項１２】
前記反射屈折光学系は、該反射屈折光学系で形成される像領域を規定する視野絞りと、該反射屈折光学系の開口数を規定する開口絞りとを備えていることを特徴とする請求項１１に記載の反射屈折光学系。
【請求項１３】
第１面からの光に基づいて前記第１面の第１中間像を形成するための第１結像光学系と、前記第１結像光学系を介した光に基づいて前記第１面の第２中間像を形成するための第２結像光学系と、前記第２結像光学系を介した光に基づいて前記第１面の最終像を第２面上に形成するための第３結像光学系とを備え、
前記第１および第２結像光学系は反射鏡を備えていることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項１４】
少なくとも第１反射鏡と第２反射鏡とを有し、第１面からの光に基づいて前記第１面の第１中間像を形成するための第１結像光学系と、
少なくとも第３反射鏡と第４反射鏡とを有し、前記第１結像光学系を介した光に基づいて前記第１面の第２中間像を形成するための第２結像光学系と、
前記第２結像光学系を介した光に基づいて前記第１面の最終像を第２面上に形成するための屈折型の第３結像光学系とを備え、
前記第１結像光学系、前記第２結像光学系および前記第３結像光学系を構成するすべての光学部材が単一の直線状光軸に沿って配置され、
前記第１反射鏡、前記第２反射鏡、前記第３反射鏡および前記第４反射鏡のうちの２つの反射鏡の反射面側の直前に少なくとも１つの負レンズがそれぞれ配置されていることを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項１５】
前記２つの反射鏡の反射面側の直前に少なくとも１つの負レンズがそれぞれ配置されていることにより倍率の色収差の補正が行われ、倍率色収差係数ＬＡＴは、
｜ＬＡＴ｜＜５×１０-6
の条件を満足することを特徴とする請求項１４に記載の反射屈折光学系。
【請求項１６】
前記２つの反射鏡の反射面側の直前に少なくとも１つの負レンズがそれぞれ配置されていることにより軸上の色収差の補正が行われ、軸上色収差係数ＡＸは、
｜ＡＸ｜＜２×１０-4
の条件を満足することを特徴とする請求項１４または１５に記載の反射屈折光学系。
【請求項１７】
前記反射屈折光学系中の全てのレンズ成分は単一種の光学材料で形成されていることを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項１８】
前記第１および第２中間像は、前記光軸から離れた位置のみに形成されることを特徴とする請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項１９】
前記反射屈折光学系の入射瞳は中心遮蔽を有しないことを特徴とする請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項２０】
前記第１面に設定されたマスクを照明するための照明系と、前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に形成するための請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の反射屈折光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項２１】
前記反射屈折光学系に対して前記マスクおよび前記感光性基板を相対移動させて、前記マスクパターンを前記感光性基板上に走査露光することを特徴とする請求項２０に記載の露光装置。
【請求項２２】
請求項２０または２１に記載の露光装置により前記マスクのパターンを前記感光性基板上に露光する露光工程と、前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、調整が容易で高精度に光学系を製造することができ、高解像を達成することのできる反射屈折光学系を提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに、本発明の反射屈折光学系を投影光学系として使用し、０．１μｍ以下の高解像で良好な投影露光を行うことのできる露光装置を提供することを目的とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の反射屈折光学系では、すべての光学部材が単一の直線状光軸に沿って配置されているので、調整が容易で高精度に光学系を製造することができ、高解像を達成することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６３】
さらに、本発明の反射屈折光学系を露光装置の投影光学系に適用することにより、０．１μｍ以下の高解像で良好な投影露光を行うことができる。また、本発明の反射屈折光学系を投影光学系として搭載した露光装置を用いて、たとえば０．１μｍ以下の高解像で良好な投影露光を行うことにより、高精度なマイクロデバイスを製造することができる。