【手続補正書】
【提出日】平成17年2月24日(2005.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＤＰ用基板を複数のローラ上に載置して第一の方向に往復動作させるとともに、給気穴を有する冷却部材を上記第一の方向と上記ＰＤＰ用基板の水平面内で直交する第二の方向に往復運動させながら、隣り合う上記ローラの間から上記給気穴を通して冷却用ガスを供給することにより上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて冷却するＰＤＰ用基板冷却方法。
【請求項２】
上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて冷却した後、上記第一の方向の往復運動を停止し、上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材を直接接触させて冷却する請求項１に記載のＰＤＰ用基板冷却方法。
【請求項３】
上記第二の方向に上記冷却部材を往復動作させる速度が、上記第一の方向に上記ＰＤＰ用基板を往復動作させる速度より速い請求項１または２に記載のＰＤＰ用基板冷却方法。
【請求項４】
上記第二の方向に上記冷却部材を往復動作させるストロークが、上記冷却部材に形成される複数の上記給気穴の上記第二の方向のピッチに大略等しい請求項１〜３のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板冷却方法。
【請求項５】
ＰＤＰ用基板を支持する複数のローラと、
上記各ローラを回転させて上記ＰＤＰ用基板を第一の方向に往復動作させる回転駆動部と、
上記隣り合うローラの間に配置され、かつ、冷却用ガスを上記ＰＤＰ用基板の下面に向かって供給する給気穴を有する冷却部材と、
上記冷却部材を上記第一の方向と直交する第二の方向に往復動作させる往復運動駆動部と、
上記回転駆動部による上記各ローラの回転と上記往復運動駆動部による上記冷却部材の往復動作とを制御する制御部とを備えることを特徴とするＰＤＰ用基板冷却装置。
【請求項６】
上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材の上面を接触させる上昇位置と、上記冷却部材が上記ＰＤＰ用基板から下方に離れてかつ、上記冷却部材の上記給気穴からの上記冷却用ガスが上記ＰＤＰ用基板の下面に達する下降位置との間で昇降する昇降部とを備える請求項５に記載のＰＤＰ用基板冷却装置。
【請求項７】
上記給気穴は、上記冷却部材上面に上記第二の方向に並んで複数形成された列が上記第一の方向に並んで複数形成されており、隣り合う上記列のそれぞれの給気穴の中心を通る第一の方向と平行な線が第二の方向にずれている請求項５または６に記載のＰＤＰ用基板冷却装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第１態様によれば、ＰＤＰ用基板を複数のローラ上に載置して第一の方向に往復動作させるとともに、給気穴を有する冷却部材を上記第一の方向と上記ＰＤＰ用基板の水平面内で直交する第二の方向に往復運動させながら、隣り合う上記ローラの間から上記給気穴を通して冷却用ガスを供給することにより上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて冷却するＰＤＰ用基板冷却方法を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の第２態様によれば、上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて冷却した後、上記第一の方向の往復運動を停止し、上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材を直接接触させて冷却する第１態様に記載のＰＤＰ用基板冷却方法を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第３態様によれば、上記第二の方向に上記冷却部材を往復動作させる速度が、上記第一の方向に上記ＰＤＰ用基板を往復動作させる速度より速い第１または２の態様に記載のＰＤＰ用基板冷却方法を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第４態様によれば、上記第二の方向に上記冷却部材を往復動作させるストロークが、上記冷却部材に形成される複数の上記給気穴の上記第二の方向のピッチに大略等しい第１〜３の態様のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板冷却方法を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第５態様によれば、ＰＤＰ用基板を支持する複数のローラと、
上記各ローラを回転させて上記ＰＤＰ用基板を第一の方向に往復動作させる回転駆動部と、
上記隣り合うローラの間に配置され、かつ、冷却用ガスを上記ＰＤＰ用基板の下面に向かって供給する給気穴を有する冷却部材と、
上記冷却部材を上記第一の方向と直交する第二の方向に往復動作させる往復運動駆動部と、
上記回転駆動部による上記各ローラの回転と上記往復運動駆動部による上記冷却部材の往復動作とを制御する制御部とを備えることを特徴とするＰＤＰ用基板冷却装置を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第６態様によれば、上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材の上面を接触させる上昇位置と、上記冷却部材が上記ＰＤＰ用基板から下方に離れてかつ、上記冷却部材の上記給気穴からの上記冷却用ガスが上記ＰＤＰ用基板の下面に達する下降位置との間で昇降する昇降部とを備える第５の態様に記載のＰＤＰ用基板冷却装置を提供する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第７態様によれば、上記給気穴は、上記冷却部材上面に上記第二の方向に並んで複数形成された列が上記第一の方向に並んで複数形成されており、隣り合う上記列のそれぞれの給気穴の中心を通る第一の方向と平行な線が第二の方向にずれている第５または６の態様に記載のＰＤＰ用基板冷却装置を提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８９】
本発明の上記実施形態にかかるＰＤＰ用基板冷却装置よれば、上記ＰＤＰ用基板を支持しかつ上記搬送方向に揺動可能な少なくとも２個のローラと、上記各ローラを回転させる回転駆動部と、上記隣接するローラの隙間の下方に配置され、かつ、上記冷却用ガスを上記ＰＤＰ用基板の下面に向かって供給する給気穴を有する冷却部材と、上記冷却部材を上記搬送方向に直交する方向に往復運動させる往復運動駆動部とを備え、上記回転駆動部による上記各ローラを正逆回転させて上記ＰＤＰ用基板を搬送方向に動かす揺動運動と、上記往復運動駆動部による上記冷却部材を搬送方向に直交する方向に動かす往復運動とを同時的に行うように上記制御部によって動作制御させることで、上記ローラに載置された上記ＰＤＰ用基板の下面の全体に均一に冷却用ガスを吹付けることができる。よって、ＰＤＰ用基板の全体に渡って温度分布が均一な状態で冷却されることになり、上記ＰＤＰ用基板上の被乾燥物に含まれる溶剤もＰＤＰ用基板の全体に渡って大略均一に蒸発して、乾燥ムラを軽減しながら冷却することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９８】
また、最初の冷却段階として、上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて空冷による冷却を行った後、すなわちＰＤＰ用基板上の被乾燥物内の溶剤が完全に蒸発しきった後、次の冷却段階として、上記搬送方向の上記ＰＤＰ用基板の上記揺動を止めて、隣接する上記ローラの隙間の上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材を直接接触させて伝熱による冷却を行うような２段階の冷却行う場合には、上記ＰＤＰ用基板の熱を直接的、かつ効率的に奪うことによって冷却することで、空冷のみで冷却を行うよりも短時間での冷却が可能となり、生産性の向上に貢献することが可能となる。
【発明の効果】
本発明のＰＤＰ用基板冷却方法によれば、上記ＰＤＰ用基板を複数ローラ上に載置して第一の方向に往復動作させるとともに、給気穴を有する冷却部材を上記第一の方向と上記ＰＤＰ用基板の水平面内で直交する第二の方向に往復運動させながら、隣り合う上記ローラの間から上記給気穴を通して冷却用ガスを供給することにより上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて冷却する。この結果、ＰＤＰ用基板の全体に渡って温度分布が均一な状態で空冷により冷却されることになり、ＰＤＰ用基板の被乾燥物に含まれる溶剤もＰＤＰ用基板の全体に渡って大略均一に蒸発して、乾燥ムラを軽減しながら冷却することができる。
また、上記ＰＤＰ用基板の下面全体に上記冷却用ガスを吹付けて冷却した後、上記第一の方向の往復運動を停止し、上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材を直接接触させて冷却するような２段階の冷却行う場合には、上記ＰＤＰ用基板の熱を直接的、かつ効率的に奪うことによって冷却することで、空冷のみで冷却を行うよりも短時間での冷却が可能となり、生産性の向上に貢献することが可能となる。
また、上記第二の方向に上記冷却部材を往復動作させる速度が、上記第一の方向に上記ＰＤＰ用基板を往復動作させる速度より速いように構成する場合には、冷却部材からＰＤＰ用基板の下面に向かって吹付けられる冷却用ガスが、上記ＰＤＰ用基板の下面の同じ場所に繰り返し当たることなく上記ＰＤＰ用基板の下面の全体にさらに均一に吹付けることができるようになる。よって、さらに乾燥ムラを一層軽減しながら冷却することができる。
また、上記ＰＤＰ用基板の上記第一の方向と直交する上記第二の方向に上記冷却部材を往復動作させる上記往復運動のストロークが、上記冷却部材に形成される複数の上記給気穴の上記第二の方向のピッチに大略等しいように構成する場合には、上記給気穴から供給される冷却用ガスが、上記第二の方向で途切れることなく連続してＰＤＰ用基板に吹付けられるようになり、上記ＰＤＰ用基板の下面の全体にさらに均一に吹付けることができるようになる。よって、さらに乾燥ムラを一層軽減しながら冷却することができる。
また、本発明のＰＤＰ用基板冷却装置よれば、上記ＰＤＰ用基板を支持する複数のローラと、上記各ローラを回転させて上記ＰＤＰ用基板を第一の方向に往復動作させる回転駆動部と、上記隣り合うローラの間に配置され、かつ、冷却用ガスを上記ＰＤＰ用基板の下面に向かって供給する給気穴を有する冷却部材と、上記冷却部材を上記第一の方向と直交する第二の方向に往復動作させる往復運動駆動部と、上記回転駆動部による上記各ローラの回転と上記往復運動駆動部による上記冷却部材の往復動作とを制御する制御部とを備えることで、上記ローラに支持された上記ＰＤＰ用基板の下面の全体に均一に冷却用ガスを吹付けることができる。よって、ＰＤＰ用基板の全体に渡って温度分布が均一な状態で冷却されることになり、上記ＰＤＰ用基板上の被乾燥物に含まれる溶剤もＰＤＰ用基板の全体に渡って大略均一に蒸発して、乾燥ムラを軽減しながら冷却することができる。
また、上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材の上面を接触させる上昇位置と、上記冷却部材が上記ＰＤＰ用基板から下方に離れてかつ、上記冷却部材の上記給気穴からの上記冷却用ガスが上記ＰＤＰ用基板の下面に達する下降位置との間で昇降する昇降部とを備える場合には、上記ＰＤＰ用基板の第一の方向への往復運動停止後、上記ＰＤＰ用基板の下面に上記冷却部材の上面を接触させることで、上記ＰＤＰ用基板の熱を上記冷却部材の下面に直接移動させることができる。よって、上記ＰＤＰ用基板の熱を直接的、かつ効率的に奪うことによって冷却することで、短時間での冷却が可能となって生産性の向上に貢献することが可能となる。
また、上記給気穴は、上記冷却部材上面に上記第二の方向に並んで複数形成された列が上記第一の方向に並んで複数形成されており、隣り合う上記列のそれぞれの給気穴の中心を通る第一の方向と平行な線が第二の方向にずれているように構成する場合には、上記第一の方向に直交した方向で上記給気穴が密に形成されているのと同様とすることができる。よって、さらに乾燥ムラを一層軽減しながら冷却することができる。