【手続補正書】
【提出日】平成17年8月25日(2005.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバに結合するように適応された第一側面とファクトリ・インタフェースに結合するように適応された第二側面を持ったチャンバ本体と、
該チャンバ本体内に形成されたＮ個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバ（ここで、Ｎは２より大きい整数である）であって、前記垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバの少なくとも一つは、前記基板搬送チャンバの少なくとも一つの側壁で配置された通気ポートおよびポンプポートを有する、前記基板搬送チャンバと、
各々の内壁によって隣接の基板搬送チャンバが分けられ、環境的に分離されている、Ｎ−１個の内壁と、
を含む、ロードロックチャンバ。
【請求項２】
該チャンバ本体がワンピース材料から作られている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項３】
該第一側面と第二側面の少なくとも１つがワンピース材料から該内壁と共に作られてチャンバサブアセンブリを形成し、該チャンバサブアセンブリの該第一側面又は第二側面の部分がそれに密封されて結合されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項４】
該チャンバ本体が
各々の部分が少なくとも１つの基板搬送チャンバを含んでいる複数のモジュラー部分であって、該モジュラー部分が垂直に積み重ねられている、前記モジュラー部分
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項５】
該基板搬送チャンバの内容積が約１０００立方リットル以下である、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項６】
該基板搬送チャンバの各々が、該本体と隔置された関係で該基板搬送チャンバ内に配置された基板を維持するように適応された複数の固定基板支持体を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項７】
該基板搬送チャンバの各々が、平面積が少なくとも２.７平方メートルである基板を収容するように適応されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項８】
該基板搬送チャンバの各々が
該チャンバ本体の内壁、最上部又は底部の少なくとも１つに配置された又はそれと一体的に形成された冷却プレート
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項９】
該冷却プレートが
熱伝達流体が貫通して流れるように適応された複数の通路
を更に含んでいる、請求項８記載のロードロックチャンバ。
【請求項１０】
該基板搬送チャンバの各々が
該本体と隔置された関係で該基板搬送チャンバ内に配置された基板を維持するように適応された複数の固定基板支持体と、
該冷却プレートを通って配置された該基板支持体の少なくとも１つと、
該冷却プレートに結合し且つ該基板支持体の遠位端に相対して該冷却プレートの上昇を制御するように適応されたアクチュエータと
を更に含んでいる、請求項８記載のロードロックチャンバ。
【請求項１１】
該基板搬送チャンバの各々が
該基板搬送チャンバの最上部又は底部の少なくとも１つに配置されたヒータ
を更に含んでいる、請求項１０記載のロードロックチャンバ。
【請求項１２】
該基板搬送チャンバの各々が
該基板搬送チャンバの最上部又は底部の少なくとも１つに配置されたヒータ
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１３】
該基板搬送チャンバの各々が
該基板搬送チャンバの少なくとも反対の角に配置され且つ該基板搬送チャンバ内の予め決められた向きに水平に該基板を整列するように適応されたアライメント機構を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１４】
該基板搬送チャンバの各々が
通気ポートとポンプポート
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１５】
各基板搬送チャンバの該ポンプポートが単一ポンプに結合されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１６】
各基板搬送チャンバの該ポンプポートがそれぞれのポンプに結合されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１７】
該内壁が
基板搬送ロボットのエンドエフェクタの少なくとも一部を受容するように適応されている、該第一側面と第二側面との間に通っている複数の溝
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項１８】
該アラインメント機構が
該チャンバ本体を通って形成されたスロットまで伸びているレバーと、
該レバーの第一端に結合された２つのローラと、
該チャンバ本体内に配置された基板の隣接エッジに対して該ロータを押し付けるように適合されている、該レバーに結合されたアクチュエータと
を更に含んでいる、請求項１３記載のロードロックチャンバ。
【請求項１９】
該アラインメント機構が
該スロットの上に密封で配置されたハウジングと、
該アクチュエータを該レバーに該チャンバ本体から真空漏れがなく結合することを容易にするシールと
を更に含んでいる、請求項１８記載のロードロックチャンバ。
【請求項２０】
該レバーが該チャンバ本体にピボット結合されている、請求項18記載のロードロックチャンバ。
【請求項２１】
該基板搬送チャンバの各々が
幅が少なくとも２０００ｍｍより広い２つの基板アクセスポート
を更に含んでいる、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２２】
真空チャンバに結合させるために適応された第一側面とファクトリ・インタフェースに結合させるために適応された第二側面を持ったチャンバ本体と、
該チャンバ本体内に形成された第一チャンバと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成された第一基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合され且つ該第一チャンバに結合された第一スリットバルブと、
該チャンバ本体の該第二側面を通って形成された第二基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合され且つ該第一チャンバに結合された第二スリットバルブと、
該チャンバ本体内に形成され且つ水平壁によって該第一チャンバから分離された少なくとも第二チャンバと、
前記第二チャンバ内に配置された冷却プレートと、
前記冷却プレートに結合され、前記第二チャンバ内部で前記冷却プレートの高さを制御するように配置された、アクチュエータと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成され且つ該第二チャンバに結合された第三基板アクセスポートを選択的に密封している第三スリットバルブと、
該第二チャンバに結合された第四基板アクセス支持体を選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第四スリットバルブと、
該第一チャンバと第二チャンバの上の該チャンバ本体内に形成され且つ第二水平壁によって該第二チャンバから分けられた第三チャンバと、
該第三チャンバに結合された第五基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第五スリットバルブと、
該第三チャンバに結合された第六基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第六スリットバルブと
を含む、ロードロックチャンバ。
【請求項２３】
各チャンバが水平壁によって該隣接チャンバから分離されている、単一基板を受容するために該チャンバ本体内に形成されたＮ個のチャンバ（ここで、Ｎは３より大きい整数である。）
を更に含んでいる、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２４】
該第一チャンバに流体で結合された第一圧力管理システムと、
該第二チャンバに流体で結合された第二圧力管理システム
であって、独立して制御可能な該第一圧力管理システムと第二圧力管理システムを更に含んでいる、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２５】
該第一圧力管理システムが
排気口を通って該第一チャンバに結合された通気バルブと、
ポンピングポートを通って該第一チャンバに結合されたポンプと
を更に含んでいる、請求項２４記載のロードロックチャンバ。
【請求項２６】
該基板搬送チャンバの各々に配置された輻射ヒータ
を更に含んでいる、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２７】
該基板搬送チャンバの各々に配置された冷却プレート
を更に含んでいる、請求項２１記載のロードロックチャンバ。
【請求項２８】
真空チャンバに結合させるために適合された第一側面とファクトリ・インタフェースに結合させるために適合された第二側面を持ったチャンバ本体と、
該チャンバ本体内に形成された第一チャンバと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成された第一基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバに結合され且つ該第一チャンバに結合された第一スリットバルブと、
該チャンバ本体の該第二側面を通って形成された第二基板アクセスポートを選択的に密封している該チャンバ本体に結合され且つ該第一チャンバに結合された第二スリットバルブと、
該チャンバ本体内に形成され且つ水平壁によって該第一チャンバから環境的に分離された第二チャンバと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成され且つ該第二チャンバに結合された第三基板アクセスポートを選択的に密封している第三スリットバルブと、
該第二チャンバに結合された第四基板アクセス支持体を選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第四スリットバルブと、
該チャンバ本体内に形成され且つ水平壁によって該第二チャンバから環境的に分離された第三チャンバと、
該チャンバ本体の該第一側面を通って形成され且つ該第三チャンバに結合された第五基板アクセスポートを選択的に密封している第五スリットバルブと、
該第三チャンバに結合された第六基板アクセス支持体を選択的に密封している該チャンバ本体に結合された第六スリットバルブと
を含み、該チャンバの各々が少なくとも２.７平方メートルの表面積を持った基板を収容するように構成され、各チャンバが
該チャンバの該底部に配置された冷却装置と、
該チャンバの最上部に配置された加熱装置と、
該チャンバの該底部から伸びている複数の基板支持ピンと、
該チャンバ内の基板を中央にするように適応されたアラインメント機構と、
ベントポートと、
ポンプポートと
を更に含んでいる、ロードロックチャンバ。
【請求項２９】
各チャンバの該ポンプポートが単一ポンプに結合されている、請求項２８記載のロードロックチャンバ。
【請求項３０】
各チャンバの該ポンプポートがそれぞれのポンプに結合されている、請求項２８記載のロードロックチャンバ。
【請求項３１】
該チャンバの各々が
該冷却プレートに結合され且つ該基板支持体の遠位端に相対して該冷却プレートの上昇を制御するように適応されたアクチュエータ
を更に含んでいる、請求項２８記載のロードロックチャンバ。
【請求項３２】
該アラインメント機構が
該チャンバ本体を通って形成されたスロットまで伸びているレバーと、
該レバーの第一端に結合された２つのローラと、
該チャンバ本体内に配置された基板の隣接エッジに対して該ローラを押し付けるように適応されている、該レバーに結合されたアクチュエータと
を更に含んでいる、請求項２８記載のロードロックチャンバ。
【請求項３３】
該アラインメント機構が
該スロットの上に密封で配置されたハウジングと、
該チャンバ本体から真空漏れがなく該アクチュエータを該レバーに結合させることを容易にするシールと、
を更に含んでいる、請求項２８記載のロードロックチャンバ。
【請求項３４】
該レバーが該チャンバ本体にピボット結合されている、請求項３２記載のロードロックチャンバ。
【請求項３５】
該レバーに結合され且つ該チャンバ本体を通って配置されたシャフトと、
該チャンバ本体の外側に配置され且つ該シャフトとアクチュエータを結合している第二レバーと
を更に含んでいる、請求項３２記載のロードロックチャンバ。
【請求項３６】
大型基板処理システムであって：
搬送チャンバと；
該搬送チャンバ内に配置された搬送ロボットと；
該搬送チャンバに結合された複数の処理チャンバと；
該搬送チャンバに結合された複数の垂直に積み重ねられた単一基板ロードロックチャンバであって、各ロードロックチャンバは、該基板搬送チャンバの内容積が約１０００立方リットル以下であり、平面積が少なくとも２.７平方メートルである基板を収容するように適応されている、前記単一基板ロードロックチャンバと；
を備える、大面積基板処理システム。
【請求項３７】
前記ポンプポートおよび前記通気ポートは、対向する側壁で配置されている、請求項１記載のロードロックチャンバ。
【請求項３８】
前記第三チャンバ内に配置された第二冷却プレートと；
前記第二冷却プレートに結合され、前記第二チャンバ内部で前記第二冷却プレートの高さを制御するように配置されている、第二アクチュエータと；
を更に備える、請求項２２記載のロードロックチャンバ。
【請求項３９】
ロードロックチャンバであって：
内部に基板搬送チャンバが画成されたチャンバ本体と；
前記チャンバ本体を通って画成された少なくとも２つのアクセスポートであって、前記基板搬送チャンバの出し入れに適している、前記２つのアクセスポートと；
前記基板搬送チャンバ内で配置された基板支持体と；
前記基板支持体に対し所定位置まで基板を選択的に移動させるように適応された前記基板搬送チャンバ内に配置された第一アライメント機構および第二アライメント機構と、
前記基板搬送チャンバの外側に配置され、前記第一アライメント機構に結合された、第一アクチュエータと；
を備える、ロードロックチャンバ。
【請求項４０】
前記第一アライメント機構は、前記チャンバ本体を通って形成されたスロットを介して伸び、前記第一アクチュエータに第一端部で結合されたレバーと、
前記基板支持体の平面に垂直な回転軸を有する２つのローラであって、前記レバーの第二端部で結合されている、前記２つのローラと、
を更に備える、請求項３９記載のロードロックチャンバ。
【請求項４１】
前記スロットの上方で密封可能に配置されたハウジングと、
前記第一アクチュエータを前記レバーに前記チャンバ本体から真空漏れがなく結合することを容易にするシールと、
を更に備える、請求項３９記載のロードロックチャンバ。
【請求項４２】
前記レバーは、前記チャンバ本体にピボット結合されている、請求項４０記載のロードロックチャンバ。
【請求項４３】
前記本体内で画成された第二基板搬送チャンバと、
前記本体内で画成された第三基板搬送チャンバであって、前記基板搬送チャンバの各々は、平面積が少なくとも２.７平方メートルである基板を収容するように適応され、内容積が約１０００立方リットル以下である、第三基板搬送チャンバと、
を更に備える、請求項３９記載のロードロックチャンバ。
【請求項４４】
前記チャンバ本体の側壁を貫通して形成された通気ポートを更に備える、請求項４３記載のロードロックチャンバ。
【請求項４５】
前記第一アクチュエータは、前記基板支持体の平面に対し垂直な回転軸の周りに前記第一アライメント機構を回転させるように適合されている、請求項４３記載のロードロックチャンバ。