【手続補正書】
【提出日】平成16年9月9日(2004.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口と排気口を有し、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより排気部が構成された真空ポンプにおいて、
前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材を加熱する加熱手段を、該排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材の少なくとも一部に接触させて、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材の温度を測定する温度検出手段を、その温度検知部を前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材に接触させて配置したことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記排気部は翼排気部を有し、この翼排気部のステータ側部材、ロータ、該ロータを支承する軸受及び該ロータを回転させるモータの少なくとも一つを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記加熱手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記温度検出手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記排気部のステータ側部材を吸気口側と排気口側に熱的に断絶する断熱手段を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項７】
吸気口と排気口を有し、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより溝排気部が構成された真空ポンプにおいて、
前記溝排気部のロータとの間で排気流路を形成するステータ側部材全体を加熱する加熱手段を、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項８】
前記溝排気部のロータとの間で排気流路を形成するステータ側部材の温度を測定する温度検出手段を、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする請求項７記載の真空ポンプ。
【請求項９】
前記ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部を更に有し、この翼排気部のステータ側部材、ロータ、該ロータを支承する軸受及び該ロータを回転させるモータの少なくとも一つを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項７又は８記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
前記加熱手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
前記温度検出手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
前記排気部のステータ側部材を吸気口側と排気口側に熱的に断絶する断熱手段を有することを特徴とする請求項７乃至１１のいずれかに記載の真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、吸気口と排気口を有し、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材を加熱する加熱手段を、該排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材の少なくとも一部に接触させて、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする真空ポンプである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項２に記載の発明は、前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材の温度を測定する温度検出手段を、その温度検知部を前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材に接触させて配置したことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプである。これにより、加熱する領域から直接温度を検出することで、検出の正確度が高く、良好な温度制御の基になる検出値が得られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項３に記載の発明は、前記排気部は翼排気部を有し、この翼排気部のステータ側部材、ロータ、該ロータを支承する軸受及び該ロータを回転させるモータの少なくとも一つを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項４に記載の発明は、前記加熱手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプである。
請求項５に記載の発明は、前記温度検出手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の真空ポンプである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項６に記載の発明は、前記排気部のステータ側部材を吸気口側と排気口側に熱的に断絶する断熱手段を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の真空ポンプである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
これにより、圧力が高くなり反応生成物が析出しやすい排気口側のステータ温度を高く保持しつつ、ロータの回転による排気ガスの攪拌熱が発生しやすい吸気口側のステータの温度を低く保ち、それによりロータからステータ側への熱伝達を良くしてロータの温度を低く保ち、最終的に反応生成物の析出を阻止しつつ、ポンプの運転可能範囲を広く設定できる。また、前記排気部のステータ側部材を軸受やモータが組み込まれている基部と熱伝導的に断絶する手段（隙間等の空間も含む）を備えることで、ステータ側部材の高温状態が軸受やモータ、更に基部に近傍のロータやシャフトに影響を与えないようにして、高温による弊害を防止するようにしてもよい。
請求項７に記載の発明は、吸気口と排気口を有し、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより溝排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記溝排気部のロータとの間で排気流路を形成するステータ側部材全体を加熱する加熱手段を、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする真空ポンプである。
請求項８に記載の発明は、前記溝排気部のロータとの間で排気流路を形成するステータ側部材の温度を測定する温度検出手段を、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする請求項７記載の真空ポンプである。
請求項９に記載の発明は、前記ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部を更に有し、この翼排気部のステータ側部材、ロータ、該ロータを支承する軸受及び該ロータを回転させるモータの少なくとも一つを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項７又は８記載の真空ポンプである。
請求項１０に記載の発明は、前記加熱手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の真空ポンプである。
請求項１１に記載の発明は、前記温度検出手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の真空ポンプである。
請求項１２に記載の発明は、前記排気部のステータ側部材を吸気口側と排気口側に熱的に断絶する断熱手段を有することを特徴とする請求項７乃至１１のいずれかに記載の真空ポンプである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
なお、ヒータ等のリード線の大気側への取出口は、ポンプ基部だけではなく、ケーシングとポンプ基部との接続部や上ケーシングと下ケーシングとの接続部等の設定しやすい箇所に設けてもよい。また、ねじ溝部スペーサ１９は、ポンプケーシングの中で他のステータ部材と熱伝導的に接触を極力絶っているため、ねじ溝部スペーサを固定している箇所を前述のリード線の取出部に設定するようにしてもよい。