【手続補正書】
【提出日】令和3年5月10日(2021.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料領域（２）の画像を撮影する方法であって、
少なくとも１つの対物レンズ（３）によって、レーザー光線（１９、１９ａ）を、少なくとも１つの境界面（５９）を含む前記試料領域（２）に向けるステップであって、前記対物レンズは、前記レーザー光線を、集束面（２７、２７ｂ）にあり、前記対物レンズの光軸又は該光軸に対して平行な軸上にある集束点に結像する機能を果たすものである、向けるステップと、
前記対物レンズ（３）及び前記試料領域（２）を、前記対物レンズ（３）の前記光軸（１３）に沿って、互いに対して複数の異なる相対変位位置に相対変位させるステップと、
各相対変位位置（Ｚ）に関して、顕微鏡カメラ（８）の検出面（２９）の２次元部分領域（６５）のピクセルによって検出される、前記境界面（５９）において反射されて前記対物レンズ（３）を通過する前記レーザー光線の複数の強度値を捕捉するステップと、
各相対変位位置（Ｚ）に関して、前記部分領域（６５）の捕捉された複数の前記各強度値の各最高強度値を確定するステップと、
前記各最高強度値が前記各相対変位位置（Ｚ）に割り当てられることにより、前記最高強度値の推移（６７）を確定するステップと、
前記最高強度値の前記推移（６７）の少なくとも１つの最大値から、基準相対変位位置（７９）を確定するステップと、
前記基準相対変位位置における前記試料領域の少なくとも１つの画像を捕捉するステップと
を含んでなる方法。
【請求項２】
前記レーザー光線（１９）は、コリメートされた平行な光線束を有し、前記レーザー光線（１９）の前記集束面は、前記対物レンズ（３）の焦点面（２７）と一致する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記対物レンズ（３）及び前記試料領域を、第１の距離分解能を用いて、相対距離を最大距離から最小距離まで減少させることによって、互いに対して相対変位させることにより、前記推移に複数の最大値（７３、７５、７７）が含まれるようにするステップと、
前記複数の最大値（７３、７５、７７）に基づいて、前記基準相対変位位置（７９）を第１の基準相対変位位置として確定するステップと、
前記第１の距離分解能よりも高い第２の距離分解能で、第１の基準相対変位位置に向かって前記相対距離を増加させると同時に、前記各更なる相対変位位置における更なる最高強度値（８１）を捕捉するステップと、
前記更なる最高強度値（８１）に基づいて、極大値（８２）の存在を検出するステップと
を更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記レーザー光線は、前記対物レンズに向かってコリメートされた平行な光線束（１９）を有し、さらに、前記レーザー光線（１９）の前記集束面は、前記対物レンズ（３）の焦点面（２７）と一致し、
前記方法は、各相対変位位置を、前記更なる最高強度値（８１）に基づいて検出された極大値（８５）が存在する又は存在した最終的な基準相対変位位置として設定することを更に含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記レーザー光線は、前記対物レンズに向かって収束する光線束（１９ａ）を有し、さらに、前記レーザー光線の前記集束面（２７ｂ）は、前記対物レンズの焦点面（２７）と一致せず、
前記方法は、予め確定された所与の値だけ、前記相対距離を最終的な基準相対変位位置（８５ｆ）まで繰り返し増加させることを更に含む、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記対物レンズ（３）及び前記試料領域（２）を、前記光軸（１３）に沿って、前記基準相対変位位置の上及び／又は下の最終的な各相対変位位置に、互いに対して相対変位させることと、
前記各最終的な相対変位位置における各画像を捕捉するとともに、前記各画像を記憶することと、
前記各画像に対する各フォーカスメトリックを確定するとともに、最良の前記フォーカスメトリックを有する各画像を選択することと、
を更に含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記レーザー光線（１９）の直径は、前記対物レンズ（３）の開口全体が照明される寸法である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記部分領域は、前記検出器面の１／１０よりも小さく、特に前記検出器面の１／１００よりも小さい、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記対物レンズ（３）と前記検出面（２９）との間の検出光線経路において、レンズ又はレンズ系（６）が配置され、該レンズ又は該レンズ系（６）は、前記対物レンズ（３）の焦点面（２７）を前記検出面（２９）に結像する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
少なくとも１つの境界面（５７、５９）は、空気に接触せず、
前記試料領域（２）は、有機試料（５１）を含み、該有機試料（５１）は、基板キャリア（４５）上に載置され、液体物質（４９）内に埋設され、カバーガラス（５３）によって覆われ、
さらに、前記カバーガラスの上面（５５）は、第１の境界面を形成し、
前記カバーガラスの下面（５７）は、第２の境界面を形成し、
前記基板キャリア（４５）の前記境界面（５９）は、第３の境界面を形成する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記対物レンズ（３）と前記試料領域（２）との間の相対距離を、前記部分領域の前記ピクセルの強度値を捕捉しながら、最大距離を起点としてまず減少させ、
それにより、前記推移には、最初に、該推移の中の第１の極大値（７３）、後続する第２の極大値（７５）、及び最後に第３の極大値（７７）を含み、前記第３の極大値（７７）に基づいて前記基準相対変位位置（７９）を確定する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記基準相対変位位置は、第３の境界面において反射されたレーザー光線が集束して、前記検出面（２９）の前記部分領域（６５）に結像する、相対変位位置（７９）に対応し、
前記画像を撮影するために、前記基準相対変位位置（７９）を、所与の値に基づいて変化又は補正するものである、請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１３】
前記レーザー光線（１９）の供給源（１０）と前記対物レンズ（３）との間に、前記対物レンズを通る前記レーザー光線（１９）を反射させるために、ダイクロイック又は非ダイクロイックのビームスプリッタ（１１、１１ａ、１１ｂ）が配置される、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記ビームスプリッタ（１１ｂ）は、楔形状を有し、前記ビームスプリッタ（１１ｂ）の前面（９１）及び背面（９３）の平面が、特に０．１度〜１度である楔角（α）で交差し、
前記楔角（α）は、前記ビームスプリッタの前面及び背面における反射を重畳させることによって生じる干渉パターンが、前記対物レンズの開口全体にわたって少なくとも１０個の最大値又は最小値を有するように選択されるか、又は、
少なくとも１つの更なる光学素子によって、楔形状を有する前記ビームスプリッタに起因する結像収差を補正するものである、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
試料領域（２）の画像を撮影する顕微鏡システム（１００）であって、
レーザー光線（１９、１９ａ）を生成するように構成されたレーザー源（１０）と、
少なくとも１つの対物レンズ（３）であって、
該少なくとも１つの対物レンズ（３）は、前記レーザー光線（１９、１９ａ）を、少なくとも１つの境界面（５９）を含む前記試料領域（２）に向けるように構成され、該対物レンズ（３）は、前記レーザー光線（１９、１９ａ）を、集束面（２７、２７ｂ）にあり、特に該対物レンズの光軸又は該光軸に対して平行な軸上にある集束点に結像する機能を果たし、
該少なくとも１つの対物レンズ（３）は、前記光軸に沿って、前記試料領域（２）に対して、複数の異なる相対変位位置に変位可能である、少なくとも１つの対物レンズ（３）と、
検出面（２９）を有する少なくとも１つの顕微鏡カメラ（８）であって、該顕微鏡カメラは、各相対変位位置（Ｚ）に関して、前記境界面（５９）において反射されて前記対物レンズを通過する前記レーザー光線の複数の強度値を捕捉するように構成され、前記強度値を、顕微鏡カメラ（８）の検出面（２９）の２次元部分領域（６５）のピクセルによって検出する、少なくとも１つの顕微鏡カメラ（８）と、
少なくとも１つのプロセッサ（３３）であって、
各相対変位位置に関して、前記部分領域（６５）の捕捉された前記強度値の各最高強度値を確定し、
前記各最高強度値が前記各相対変位位置（Ｚ）に割り当てられることにより、前記最高強度値の推移（８１）を確定し、
前記最高強度値の推移（６７）の少なくとも１つの最大値（７７）から、基準相対変位位置（７９）を確定し、
前記基準相対変位位置（７９）に接近するために、駆動手段（１５）を調整し、
さらに、前記顕微鏡カメラ又は更なる顕微鏡カメラを用いて、前記試料領域の画像を捕捉するように構成される、少なくとも１つのプロセッサ（３３）と
を備えてなる顕微鏡システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１３】
特定の実施要件に応じて、本発明の実施例は、プロセッサ及び／又は制御ユニットを、ハードウェア及び／又はソフトウェアにおいて実装することができる。ここで述べたプロセッサ及び／又は制御ユニットは、ここでは、少なくとも１つのユニットとして、又は複数のユニットを組み合わせて実装することができる。この実装は、デジタル記憶媒体、例えば、フロッピーディスク、ＤＶＤ、Ｂｌｕ−Ｒａｙディスク、ＣＤ、ＲＯＭ、ＰＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、若しくはフラッシュメモリ、ハードディスク、又は、電子的に読取り可能な制御信号が記憶される他の磁気メモリ若しくは光学メモリを使用して行うことができ、これらは、各方法を実行するように、プログラマブルハードウェアコンポーネントとインタラクトすることができる又はインタラクトする。プログラマブルハードウェアコンポーネントは、制御ユニットとして、コンピュータプロセッサ（ＣＰＵ＝Central Processing Unit）、コンピュータ、コンピュータシステム、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ＝Application-Specific Integrated Circuit）、集積回路（ＩＣ＝Integrated Circuit）、ワンチップシステム（ＳＯＣ＝System on Chip）、プログラマブル論理素子、又はマイクロプロセッサを備えるフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ＝Field Programmable Gate Array）によって形成することができる。したがって、デジタル記憶媒体は、機械可読又はコンピュータ可読のものとすることができる。したがって、いくつかの実施例は、本明細書に記載の方法を実行するようにプログラマブルコンピュータシステム又はプログラマブルハードウェアコンポーネントとインタラクトするようになっている、電子的に可読な制御信号を含むデータキャリアを備える。一般に、本発明の実施例又は実施例の一部は、プログラム、ファームウェア、コンピュータプログラム、若しくはプログラムコードを有するコンピュータプログラム製品として、又はデータとして実装することができる。プログラムコード又はデータは、プログラムがプロセッサ又はプログラマブルハードウェアコンポーネント上で実行される際に、方法又は方法の一部を実行するのに効果的である。
なお、本願の出願当初の開示事項を維持するために、本願の出願当初の請求項１〜１５の記載内容を以下に追加する。
（請求項１）
試料領域（２）の画像を撮影する方法であって、
少なくとも１つの対物レンズ（３）によって、レーザー光線（１９、１９ａ）を、少なくとも１つの境界面（５９）を含む前記試料領域（２）に向けるステップであって、前記対物レンズは、前記レーザー光線を、集束面（２７、２７ｂ）にあり、特に前記対物レンズの光軸又は該光軸に対して平行な軸上にある集束点に結像する機能を果たすものである、向けるステップと、
前記対物レンズ（３）及び前記試料領域（２）を、前記対物レンズ（３）の前記光軸（１３）に沿って、互いに対して複数の異なる相対変位位置に相対変位させるステップと、
各相対変位位置（Ｚ）に関して、顕微鏡カメラ（８）の検出面（２９）の２次元部分領域（６５）のピクセルによって検出される、前記境界面（５９）において反射されて前記対物レンズ（３）を通過する前記レーザー光線の複数の強度値を捕捉するステップと、
各相対変位位置（Ｚ）に関して、前記部分領域（６５）の捕捉された複数の前記各強度値の各最高強度値を確定するステップと、
前記各最高強度値が前記各相対変位位置（Ｚ）に割り当てられることにより、前記最高強度値の推移（６７）を確定するステップと、
前記最高強度値の前記推移（６７）の少なくとも１つの最大値から、基準相対変位位置（７９）を確定するステップと、
前記基準相対変位位置における前記試料領域の少なくとも１つの画像を捕捉するステップと
を含んでなる方法。
（請求項２）
前記レーザー光線（１９）は、コリメートされた平行な光線束を有し、前記レーザー光線（１９）の前記集束面は、前記対物レンズ（３）の焦点面（２７）と一致する、請求項１に記載の方法。
（請求項３）
前記対物レンズ（３）及び前記試料領域を、第１の距離分解能を用いて、相対距離を最大距離から最小距離まで減少させることによって、互いに対して相対変位させることにより、前記推移に複数の最大値（７３、７５、７７）が含まれるようにするステップと、
前記複数の最大値（７３、７５、７７）に基づいて、前記基準相対変位位置（７９）を第１の基準相対変位位置として確定するステップと、
前記第１の距離分解能よりも高い第２の距離分解能で、第１の基準相対変位位置に向かって前記相対距離を増加させると同時に、前記各更なる相対変位位置における更なる最高強度値（８１）を捕捉するステップと、
前記更なる最高強度値（８１）に基づいて、極大値（８２）の存在を検出するステップと
を更に含む、請求項１に記載の方法。
（請求項４）
前記レーザー光線は、前記対物レンズに向かってコリメートされた平行な光線束（１９）を有し、さらに、前記レーザー光線（１９）の前記集束面は、前記対物レンズ（３）の焦点面（２７）と一致し、
前記方法は、各相対変位位置を、前記更なる最高強度値（８１）に基づいて検出された極大値（８５）が存在する又は存在した最終的な基準相対変位位置として設定することを更に含む、請求項３に記載の方法。
（請求項５）
前記レーザー光線は、前記対物レンズに向かって収束する光線束（１９ａ）を有し、さらに、前記レーザー光線の前記集束面（２７ｂ）は、前記対物レンズの焦点面（２７）と一致せず、
前記方法は、予め確定された所与の値だけ、前記相対距離を最終的な基準相対変位位置（８５ｆ）まで繰り返し増加させることを更に含む、請求項３に記載の方法。
（請求項６）
前記対物レンズ（３）及び前記試料領域（２）を、前記光軸（１３）に沿って、前記基準相対変位位置の上及び／又は下の最終的な各相対変位位置に、互いに対して相対変位させることと、
前記各最終的な相対変位位置における各画像を捕捉するとともに、前記各画像を記憶することと、
前記各画像に対する各フォーカスメトリックを確定するとともに、最良の前記フォーカスメトリックを有する各画像を選択することと、
を更に含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
（請求項７）
前記レーザー光線（１９）の直径は、前記対物レンズ（３）の開口全体が照明される寸法である、請求項１に記載の方法。
（請求項８）
前記部分領域は、前記検出器面の１／１０よりも小さく、特に前記検出器面の１／１００よりも小さい、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
（請求項９）
前記対物レンズ（３）と前記検出面（２９）との間の検出光線経路において、レンズ又はレンズ系（６）が配置され、該レンズ又は該レンズ系（６）は、前記対物レンズ（３）の焦点面（２７）を前記検出面（２９）に結像する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
（請求項１０）
少なくとも１つの境界面（５７、５９）は、空気に接触せず、
前記試料領域（２）は、有機試料（５１）を含み、該有機試料（５１）は、基板キャリア（４５）上に載置され、液体物質（４９）内に埋設され、カバーガラス（５３）によって覆われ、
さらに、前記カバーガラスの上面（５５）は、第１の境界面を形成し、
前記カバーガラスの下面（５７）は、第２の境界面を形成し、
前記基板キャリア（４５）の前記境界面（５９）は、第３の境界面を形成する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
（請求項１１）
前記対物レンズ（３）と前記試料領域（２）との間の相対距離を、前記部分領域の前記ピクセルの強度値を捕捉しながら、最大距離を起点としてまず減少させ、
それにより、前記推移には、最初に、該推移の中の第１の極大値（７３）、後続する第２の極大値（７５）、及び最後に第３の極大値（７７）を含み、前記第３の極大値（７７）に基づいて前記基準相対変位位置（７９）を確定する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法。
（請求項１２）
前記基準相対変位位置は、第３の境界面において反射されたレーザー光線が集束して、前記検出面（２９）の前記部分領域（６５）に結像する、相対変位位置（７９）に対応し、
前記画像を撮影するために、前記基準相対変位位置（７９）を、所与の値に基づいて変化又は補正するものである、請求項８又は９に記載の方法。
（請求項１３）
前記レーザー光線（１９）の供給源（１０）と前記対物レンズ（３）との間に、前記対物レンズを通る前記レーザー光線（１９）を反射させるために、ダイクロイック又は非ダイクロイックのビームスプリッタ（１１、１１ａ、１１ｂ）が配置される、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の方法。
（請求項１４）
前記ビームスプリッタ（１１ｂ）は、楔形状を有し、前記ビームスプリッタ（１１ｂ）の前面（９１）及び背面（９３）の平面が、特に０．１度〜１度である楔角（α）で交差し、
前記楔角（α）は、前記ビームスプリッタの前面及び背面における反射を重畳させることによって生じる干渉パターンが、前記対物レンズの開口全体にわたって少なくとも１０個の最大値又は最小値を有するように選択されるか、又は、
少なくとも１つの更なる光学素子によって、楔形状を有する前記ビームスプリッタに起因する結像収差を補正するものである、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の方法。
（請求項１５）
試料領域（２）の画像を撮影する顕微鏡システム（１００）であって、
レーザー光線（１９、１９ａ）を生成するように構成されたレーザー源（１０）と、
少なくとも１つの対物レンズ（３）であって、
該少なくとも１つの対物レンズ（３）は、前記レーザー光線（１９、１９ａ）を、少なくとも１つの境界面（５９）を含む前記試料領域（２）に向けるように構成され、該対物レンズ（３）は、前記レーザー光線（１９、１９ａ）を、集束面（２７、２７ｂ）にあり、特に該対物レンズの光軸又は該光軸に対して平行な軸上にある集束点に結像する機能を果たし、
該少なくとも１つの対物レンズ（３）は、前記光軸に沿って、前記試料領域（２）に対して、複数の異なる相対変位位置に変位可能である、少なくとも１つの対物レンズ（３）と、
検出面（２９）を有する少なくとも１つの顕微鏡カメラ（８）であって、該顕微鏡カメラは、各相対変位位置（Ｚ）に関して、前記境界面（５９）において反射されて前記対物レンズを通過する前記レーザー光線の複数の強度値を捕捉するように構成され、前記強度値を、顕微鏡カメラ（８）の検出面（２９）の２次元部分領域（６５）のピクセルによって検出する、少なくとも１つの顕微鏡カメラ（８）と、
少なくとも１つのプロセッサ（３３）であって、
各相対変位位置に関して、前記部分領域（６５）の捕捉された前記強度値の各最高強度値を確定し、
前記各最高強度値が前記各相対変位位置（Ｚ）に割り当てられることにより、前記最高強度値の推移（８１）を確定し、
前記最高強度値の推移（６７）の少なくとも１つの最大値（７７）から、基準相対変位位置（７９）を確定し、
前記基準相対変位位置（７９）に接近するために、駆動手段（１５）を調整し、
さらに、前記顕微鏡カメラ又は更なる顕微鏡カメラを用いて、前記試料領域の画像を捕捉するように構成される、少なくとも１つのプロセッサ（３３）と
を備えてなる顕微鏡システム。