(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、水素ゲッターに起因したショートアーク型放電ランプの性能低下を引き起こすことなく、発光管の水素ガスを吸収することにより、ショートアーク型放電ランプの照度変動率を安定させることにある。【解決手段】  発光管の内部に互いに対向して配置される一対の電極と、水素を透過させる物質からなる中空容器と前記中空容器の内部に密閉されたゲッター材料とからなる水素ゲッターと、を備えたものにおいて、前記電極には前記水素ゲッター用のホルダーが保持され、前記水素ゲッターが前記ホルダーに固定されていることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光管の内部に互いに対向して配置される一対の電極と、水素を透過させる物質からなる中空容器と前記中空容器の内部に密閉されたゲッター材料とからなる水素ゲッターと、を備えたショートアーク型放電ランプにおいて、
前記電極に水素ゲッター用のホルダーが保持され、前記水素ゲッターが前記ホルダーに固定されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
【請求項２】
前記中空容器が直管状又は曲管状であることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【請求項３】
前記ホルダーが前記水素ゲッターを固定するための平面部又は一次曲面部を備えることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【請求項４】
前記ホルダーが前記水素ゲッターを固定するための凹部又は穴部を備えることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【請求項５】
前記ホルダーが、タングステン、モリブデン又はタンタルからなることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【請求項６】
前記ホルダーが、タングステンの化合物、タングステン混合物、モリブデン化合物、モリブデン混合物、タンタル化合物又はタンタル混合物からなることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【請求項７】
前記ホルダーが、セラミック又はガラスであることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【請求項８】
前記ホルダーが、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム又は石英ガラスであることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶の製造分野などの露光用光源に適用されるショートアーク型放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ショートアーク型放電ランプは、発光管内に対向配置された一対の電極間の先端距離が短く、点光源に近いことから、光学系と組み合わせることにより集光効率の高い露光装置の光源として利用されている。
しかし、ショートアーク型放電ランプの電極は、点灯中に高温となるため、発光管内に不純ガスが混入していると、最も高温になる電極先端部に不純物化合物が生成し、電極の蒸発が激しくなる。不純ガスのうち特に酸素と炭酸ガスは、電極先端部に酸化物や炭化物といった不純物化合物を生成するため、電極の蒸発を生じさせ易いと考えられていた。
そして、電極の蒸発が激しくなると、電極から蒸発した物質が発光管内面に付着して発光管が黒化し、さらには、露光面における照度に悪影響を与え、また、電極の先端部が蒸発して変形することにより輝点のずれが生じる惧れがあった。
【０００３】
そこで、発光管内の不純ガスを吸収して捕捉するために、電極を支持する内部リード棒にゲッターを取り付けることが従来より行われていた。ゲッター効果を奏する金属はいくつかあるが、従来からショートアーク型放電ランプに使用されている代表的なものは、タンタルである。タンタルは、ゲッター効果を生じる動作温度が７００〜１２００℃と比較的高温であること、また、蒸気圧が低いことからバルブ内の温度が高温になる小型のショートアーク型放電ランプのゲッターとして最良と考えられていた。
【０００４】
特許文献１には、内部リード棒に不純物を捕捉するためのゲッターを取り付けた構成のショートアーク型放電ランプが開示される。図１０は、特許文献１に開示される従来のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す図である。
同図に示すショートアーク型放電ランプは、略球状の発光管１０１を備え、当該発光管１０１内に陰極１０２と陽極１０３とがそれぞれ内部リード棒１０４に支持されて対向している。１０５は内部リード棒に接続された金属箔であり、１０６は排気チップである。タンタルであるタンタルワイヤー１０７は、内部リード棒１０４に巻き付けた後、スポット溶接で強固に固定されており、タンタルワイヤー１０７の温度は点灯時に１５００〜１７００℃である。
【０００５】
このようなショートアーク型放電ランプは、ランプが大型化するに伴って数ミリ秒から数十秒の間で照度変動が大きくなるチラツキという問題が顕著になった。この問題について、本発明者らは鋭意検討した結果、発光管内の水素濃度が関係していることが分かった。しかしながら、従来からショートアーク型放電ランプ用のゲッターとして使用されているタンタルは、水素吸蔵能力が低いため、発光管内の水素を十分に吸収することができなかった。
【０００６】
特許文献２には、発光管内の水素を除去するためのゲッター用金属として、水素吸蔵能力に優れるイットリウムを使用することが開示される。図１１は、同文献に開示される放電ランプの全体構造を示す。図１２は、図１１の放電ランプが備えるゲッターの断面構造を示す。
図１１に示す放電ランプは、バルブ１１１、電極１１２、１１３、封止部１１４、金属箔１１５を備える。１１６は石英筒、１１７は石英棒、１２０は水素ゲッターである。図１２に示すように、水素ゲッター１２０は、タンタル等の金属からなる有底円筒１２１と蓋１２２とからなる金属外皮１２３と、当該金属外皮１２３の内部に密封された円筒状のイットリウムからなるゲッター材１２４とで構成され、有底円筒１２１の鍔部１２１ａと蓋１２２とが抵抗溶接されることによって金属外皮１２３の内部が密封されている。この水素ゲッターは、同図に示すように、石英筒１１６でバルブに固定され、当該石英筒１１６に設けられた石英棒１１７の他端をバルブ１１１に溶着することによりバルブ１１１に固定されている。バルブ１１１内の水素は、タンタル等の水素透過性を有する金属外皮１２３を通じて金属外皮１２３の内部に侵入し、ゲッター材１２４によって吸収される。この文献に記載の水素ゲッター１２０によれば、金属外皮１２３の内部にゲッター材１２４が密封されているため、発光空間内の他の物質と反応することなく水素を吸収することができる。
しかしながら、上記のように水素ゲッター１２０をバルブ１１１に取付けることは、水素ゲッターが１２０バルブ１１１の構成成分であるシリカと反応することにより、照度低下或いはバルブ破裂を引き起こす惧れがある。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１５３４８８号
【特許文献２】特公昭５７−２１８３５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、ショートアーク型放電ランプの発光管内への水素ゲッターの取付けを容易にすることができるとともに、水素ゲッターに起因したショートアーク型放電ランプの性能低下を引き起こすことなく、発光管内の水素ガスを吸収することにより、ショートアーク型放電ランプの照度変動率を安定させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載のショートアーク型放電ランプは、発光管の内部に互いに対向して配置される一対の電極と、水素を透過させる物質からなる中空容器と前記中空容器の内部に密閉されたゲッター材料とからなる水素ゲッターと、を備えたものにおいて、前記電極には前記水素ゲッター用のホルダーが保持され、前記水素ゲッターが前記ホルダーに固定されている、というものである。
【００１０】
請求項２記載のショートアーク型放電ランプは、請求項１記載のショートアーク型放電ランプにおいて、前記中空容器が直管状又は曲管状である、というものである。
【００１１】
請求項３記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが前記水素ゲッターを固定するための平面部又は一次曲面部を備える、というものである。
【００１２】
請求項４記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが前記水素ゲッターを固定するための凹部又は穴部を備える、というものである。
【００１３】
請求項５記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが、タングステン、モリブデン又はタンタルからなる、というものである。
【００１４】
請求項６記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが、タングステンの化合物、タングステン混合物、モリブデン化合物、モリブデン混合物、タンタル化合物又はタンタル混合物からなる、というものである。
【００１５】
請求項７記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが、セラミック又はガラスである、というものである。
【００１６】
請求項８記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム又は石英ガラスである
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載のショートアーク型放電ランプは、ゲッター材料が水素を透過させる中空容器内に密閉された水素ゲッターと、電極に保持された水素ゲッター用のホルダーとを備え、このホルダーに水素ゲッターが固定されているので、次のような効果が期待される。
発光管内に放出された水素が水素ゲッターによって確実に吸収されて、発光管内の水素濃度が低減されるので、ショートアーク型放電ランプの照度変動率を安定に維持することができる。
また、水素ゲッターが水素ゲッター用のホルダーに固定されているので、ゲッター材料を密閉する中空容器が発光管の構成成分であるシリカと反応することがない。したがって、ショートアーク型放電ランプの照度が低下したり発光管が破裂する、といった種々の問題を引き起こす惧れがない。
さらに、水素ゲッターがホルダーに固定されているので、発光管の内部に水素ゲッターを容易に取付けることができる。電極構成体（電極と電極を保持する部品と気密を確保する部品とにより構成されるもの）に対して水素ゲッターを直接取付ける場合に比べ、発光管内への水素ゲッターの取付けが格段に容易となる。
さらにまた、水素ゲッターと水素ゲッターを固定するホルダーとが電極から独立しているため、ゲッター材料の密閉や活性化等を行う工程を、電極の脱ガス処理等の工程から独立して実行することが出来る。したがって、例えば電極の脱ガス時の温度により、ゲッター材料が膨張または蒸発して中空容器の内圧が上昇して中空容器が破損する、という惧れがない。
【００１８】
請求項２記載のショートアーク型放電ランプは、前記中空容器が直管状又は曲管状である、というものである。
直管状の中空容器は、直管の両端を封止することおよび所望の断面形状に変形させることで容易に製造することができる。中空容器を曲管状にすることにより、中空容器をホルダーに容易に固定することができる。
【００１９】
請求項３記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが前記水素ゲッターを固定するための平面部又は一次曲面部を備える、というものである。
このため、前記ホルダーの平面部又は一次曲面部を利用することによって水素ゲッターをホルダーに確実に固定することができる。
【００２０】
請求項４記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが前記水素ゲッターを固定するための凹部又は穴部を備える、というものである。
このため、水素ゲッターを前記ホルダーの凹部又は穴部に嵌め込むことによって水素ゲッターをホルダーに確実に固定することができる。
【００２１】
請求項５記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーがタングステン、モリブデン又はタンタルからなる、というものである。
請求項６記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが、タングステン化合物、タングステン混合物、モリブデン化合物、モリブデン混合物、タンタル化合物又はタンタル混合物からなる、というものである。
請求項７記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーがセラミック又はガラスである、というものである。
これらの物質によってホルダーを構成することにより、ショートアーク型放電ランプが点灯時に高温になったとしても、ホルダーが蒸発したり発光物質と反応する惧れがないので、ショートアーク型放電ランプの放電が安定する。
【００２２】
請求項８記載のショートアーク型放電ランプは、前記ホルダーが酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム又は石英ガラスである、というものである。
これらの熱伝導の低い物質によりホルダーを構成すれば、ショートアーク型放電ランプが点灯時に高温になったとしても、水素ゲッターをより低い温度にすることが出来る。水素ゲッターは低温ほど水素を吸蔵する能力が高くなるので、より効率良く水素を捕捉することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す。
同図に示すショートアーク型放電ランプは、略球状に形成された発光管１を備える。発光管１の内部には、陰極２の本体部２ｂと陽極３の本体部３ｂとが、互いに向き合って配置されると共に、発光物質が封入されている。
発光物質は希ガスであり、例えば、０．５ＭＰａ（室温）以上のキセノンガスが封入されている。また、キセノンガス、アルゴンガス、クリプトンのうちの何れか１種以上を０．０１〜1ＭＰａ（室温）封入しても良い。また、発光物質として1ｍｇ／ｃｃ以上の水銀を封入することもできる。
陰極２は、その先端側が、陽極３の本体部３ｂに向かうにつれて次第に縮径するテーパー部を有する本体部２ｂと、当該本体部２ｂの基端側に続く棒状の軸部２ａとにより構成される。軸部２ａの先端部が、本体部２ｂの基端側に形成された有底穴に嵌入されている。
陽極３は、その先端側に丸みまたは円錐台が形成された本体部３ｂと、当該本体部３ｂの基端側に続く棒状の軸部３ａとにより構成される。軸部３ａの先端部が、本体部３ｂの基端側に形成された有底穴に嵌入されている。
陰極２および陽極３は、例えばタングステンよりなる各本体部２ｂ、３ｂおよび各軸部２ａ、３ａにより構成される。
陰極２および陽極３は、各本体部２ｂ、３ｂと各軸部２ａ、３ａとが互いに別部材であっても良いし、各本体部と各軸部とが一体に形成されていても良い。また、各軸部２ａ，３ａの先端部が、各本体部２ｂ，３ｂの基端側に形成された有底穴に嵌入されていても良い。
【００２４】
図２は、図１のＸ部分を拡大した部分説明図である。同図は、軸部２ａに保持された水素ゲッター用のホルダー１０と、ホルダー１０に固定された水素ゲッター２０とを示す。図３は、ホルダーの詳細を示す説明図である。同図（ａ）は水素ゲッターが水素ゲッター用のホルダー（以下、単にホルダーともいう）の側面に固定された状態を示し、同図（ｂ）はホルダーのみを示す。以下では、便宜のため、陰極２側の軸部２ａについて説明する。
【００２５】
水素ゲッター用の筒形状を有するホルダー１０は、軸部２ａの側面を取り囲むように配置され、軸部２ａの互いに離間した２箇所にホルダー１０の両側を挟むようにして形成された一対の環状の規制部材１２により、軸部２ａの長手方向における移動が規制された状態で軸部２ａに保持されている。
ホルダー１０の側面は、水素ゲッター２０の中空容器２１の形状如何によって、平面又は一次曲面となるように形成することができる。例えば、ホルダー１０は、図３（ｂ）に示すように６つの平面１１が形成され、陰極２の軸線Ｌに直交する方向に切断した断面が六角形となるように形成される。
【００２６】
図２に示すように、水素ゲッター２０は、軸線Ｌ方向に沿ってホルダー１０の側面を包囲するように、ホルダー１０の各々の平面１１上に順次に並ぶように配置されると共に、互いに離間して全ての中空容器２１を取り囲むように各々の中空容器２１上に巻き回された複数の固定部材４によってホルダー１０の各側面１１に固定されている。各水素ゲッター２０は、固定部材４によってホルダー１０の各側面１１に固定されているため、鉛直方向下方に落下する惧れが無い。なお、図示はしていないが、水素ゲッター２０をホルダー１０に溶接して固定することもできる。
【００２７】
水素ゲッター用のホルダー１０は、タングステン、モリブデン、タンタルなどによって構成される。タングステン、モリブデン、タンタルは、単体であっても、他の物質との化合物又は混合物であっても良い。また、ホルダー１０は、種々のセラミックやガラス材料によって構成しても良い。
さらに、ホルダー１０は、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、石英ガラスなどの熱伝導の低い物質よって構成しても良い。このような物質によってホルダー１０を構成すれば、ショートアーク型放電ランプの電極２または電極３が点灯時に高温状態になったとしても、水素ゲッター２０には熱伝導の低いホルダー１０を通して熱が伝わるので、水素ゲッター２０を比較的低温とすることができる。水素ゲッター２０の中空容器２１内に密閉されたゲッター材料２２は、低温であるほど水素を吸蔵する能力が高くなる。したがって、上記の熱伝導の低い物質によりホルダー１０を構成すれば、発光管内の水素を効率良く捕捉することができる。
【００２８】
なお、上記では複数の水素ゲッター２０をホルダー１０の各側面１１に対し互いに重なり合うことなく配置した例を示している。これに限らず、複数の水素ゲッターを互いに重なり合うように配置することもできる。また、１つの水素ゲッターのみをホルダー１０の側面に固定することもできる。
【００２９】
図４は、水素ゲッターの構成を示す説明図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
水素ゲッター２０は、水素を透過させる金属により構成される中空容器２１と、中空容器２１内に密閉されたゲッター材料２２とで構成されている。中空容器２１は、図４（ａ）に示すように、端部に向かうに従い徐々に外径が縮小することで気密に封止された封止部２１ａが両端に形成された直管形状であって、図４（ｂ）に示すように断面が扁平な形状を有している。各々の封止部２１ａは、例えば直管の部材の両端を冷間圧接加工することによって形成される。
なお、中空容器２１は、必ずしもその両端に封止部を形成する必要は無く、例えば有底筒状の部材を用いて一端側のみを封止した構造とすることもできる。また、中空容器２１の端部を溶着することによって気密に封止された封止部を形成しても良い。
【００３０】
さらに、中空容器２１は、水素を透過させる一方で水銀と反応し難い金属からなり、例えば、タンタル、ニオビウムからなる。タンタル、ニオビウムは、単体でも良いし、他の物質との化合物でも良い。これらの物質により中空容器２１を構成すれば、水素を効率良く透過させると共に、中空容器２１内に密閉されたゲッター材料２２が、例えば水銀などの放電媒体と反応する惧れが無い。また、図１において発光管１内に発生した酸素や一酸化炭素が中空容器２１によって除去され、ゲッター材料２２の表面に酸化膜が形成されることがないので、水素の捕捉力が低下する惧れが無い。
【００３１】
ゲッター材料２２は、例えばイットリウム、ジルコニウムである。イットリウムやジルコニウムは、水素の吸蔵力に優れるので、効率良く水素を捕捉することができる。イットリウムやジルコニウムは、単体であっても、他の物質との化合物であっても良い。ゲッター材料２２は、例えば１ｇのイットリウムである。
【００３２】
以上の本発明のショートアーク型放電ランプにおいては、ゲッター材料２２が水素を透過させる中空容器２１内に密閉された水素ゲッター２０と、電極（２，３）に保持された水素ゲッター用のホルダー１０とを備え、このホルダー１０に水素ゲッター２０が固定されているので、次のような効果が期待される。
第１に、点灯時に発光管１内に放出された水素が中空容器２１を透過して水素捕捉能力に優れるゲッター材料２２により吸収され、発光管１内における水素濃度を低くすることができるため、ショートアーク型放電ランプの照度変動率を安定に維持することができる。
第２に、ゲッター材料２２を密閉する中空容器２１が発光管１の構成成分であるシリカと反応することがなく、ショートアーク型ランプの照度低下やバルブの破裂といった問題を引き起こす惧れがない。
第３に、水素ゲッター２０をホルダー１０に保持するため、ショートアーク型放電ランプの内部に水素ゲッター２０を容易に取付けることができる。電極構成体（電極と電極を保持する部品と気密を確保する部品とにより構成されるもの）に対して水素ゲッターを直接取り付ける場合に比べれば、取付けが容易である。
第４に、水素ゲッター２０とホルダー１０とが電極（２，３）から独立して存在するため、ショートアーク型放電ランプの製造に関し、ゲッター材料２２の密閉や活性化等を行う工程を、電極（２，３）の脱ガス処理工程等から独立して実行することができるという利点がある。このため、例えば電極（２，３）の脱ガス時の温度により、ゲッター材料が膨張または蒸発して中空容器の内圧が上昇して中空容器が破損するという問題を引き起こさない。
【００３３】
図５は、水素ゲッター用のホルダーの他の例を示す説明図である。同図において、４は固定部材、５０はホルダー、６０は水素ゲッターである。図６は、水素ゲッターの構成を示す説明図である。図６（ａ）は斜視図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図６（ｃ）は図６（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００３４】
図５のホルダー５０は、陰極２の軸線Ｌ方向の互いに離間した上下２箇所に形成された環状の凹部５１、５２と、軸線Ｌ方向の上下の両端に形成された一対の鍔部５３、５４と、環状の凹部５１、５２によって当該鍔部５３、５４から隔てられた胴部５５とを備える。胴部５５には、互いに離間して軸線Ｌ方向に沿って伸びる複数の凹部５５ａが形成されている。そして、各々の水素ゲッター６０が、軸線Ｌ方向に沿って胴部５５の側面を包囲するように、胴部５５に形成された各々の凹部５５ａに順次に配置されると共に、互いに離間して全ての水素ゲッター６０の中空容器６１を取り囲むように各々の中空容器６１上に巻き回された複数の固定部材４によって、ホルダー５０の胴部５５の側面に固定されている。
なお、各水素ゲッター６０は、固定部材４によってホルダー５０の胴部５５の側面に固定されるため、鉛直方向下方に落下する惧れが無い。このように、ホルダー５０の胴部５５に複数の凹部５５ａを形成することにより、複数の水素ゲッター６０を容易にホルダー５０に固定することができる。
【００３５】
ホルダー５０に固定された水素ゲッター６０は、図６（ａ）に示すように、端部に向かうに従い徐々に外径が縮小して気密に封止された封止部６１ａが両端に形成され、図６（ｃ）に示すように断面が円形状の直管形状を有する中空容器６１と、この中空容器６１の内部に密閉されたゲッター材料６２とで構成される。中空容器６１およびゲッター材料６２は、それぞれ前記した水素ゲッター２０における中空容器２１およびゲッター材料２２と同じである。
【００３６】
図７は、水素ゲッター用のホルダーの他の例を示す説明図である。同図において、７０はホルダー、８０は水素ゲッターである。図８は、図７に示す水素ゲッター８０の詳細を示す説明図である。図８（ａ）は斜視図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【００３７】
水素ゲッター８０は、図８（ａ）に示すように、両端にスロープ状に形成された封止部８１ａが形成され、全体としてＣの字形状を有する扁平な中空容器８１と、この中空容器８１の内部に密閉されたゲッター材料８２とで構成される。
ホルダー７０は、図７に示すように、円筒状の胴部７１と、当該胴部７１の両端に連続して形成された、胴部７１に比べて外径が大きい鍔部７２とで構成され、水素ゲッター８０が胴部７１の側面を包囲するように固定される。水素ゲッター８０は、ホルダー７０の上下に一対の鍔部７２が形成されているため、鉛直方向下方に落下する惧れが無い。勿論、水素ゲッター８０と胴部７１とが、例えば溶接によって一体的に固定されていても良い。
【００３８】
図９は、水素ゲッター用のホルダーの他の例を示す。同図において、６０は水素ゲッター、９０はホルダーである。水素ゲッター６０は、図６に示すものである。
【００３９】
図９のホルダー９０の天板９１には、互いに離間して陰極の軸線方向に沿って伸びる複数の穴部９２が形成されている。穴部９２は、径方向断面が半円ないし円状である。複数の水素ゲッター６０の各々は、各中空容器６１の両端に形成されたスロープ状の各封止部６１ａが各穴部９２の上下に伸び出た状態で、各々の穴部９２に配置されている。各中空容器６１の封止部６１ａは、ホルダー９０の各穴部９２の上下に伸び出た部分を変形させて穴部９２の径よりも幅広に形成されている。このため、各水素ゲッター６０の各中空容器６１がホルダー９０の各穴部９２から脱落することがない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す。
【図２】本発明のショートアーク型放電ランプに係る部分説明図である。
【図３】水素ゲッター用のホルダーの詳細を示す説明図である。
【図４】水素ゲッターの詳細を示す説明図である。
【図５】水素ゲッター用のホルダーの他の例の詳細を示す説明図である。
【図６】水素ゲッターの他の例の詳細を示す説明図である。
【図７】水素ゲッター用のホルダーの他の例の詳細を示す説明図である。
【図８】水素ゲッターの他の例の詳細を示す説明図である。
【図９】水素ゲッター用のホルダーの他の例の詳細を示す説明図である。
【図１０】従来のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す。
【図１１】従来のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す。
【図１２】図１１に示す従来の水素ゲッターの断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１          発光管
２          陰極
２ａ        軸部
２ｂ        本体部
３          陽極
３ａ        軸部
３ｂ        本体部
４          固定部材
１０        ホルダー
１１        平面
２０        水素ゲッター
２１        中空容器
２１ａ      封止部
２２        ゲッター材料
５０        ホルダー
５１        凹部
５２        凹部
５３        鍔部
５４        鍔部
５５        胴部
５５ａ      凹部
６０        水素ゲッター
７０        ホルダー
８０        水素ゲッター
９０        ホルダー
９１      天板
９２      穴部
１０１      発光管
１０２      陰極
１０３      陽極
１０４      内部リード棒
１０５      金属箔
１０６      排気チップ
１０７      タンタルワイヤー
１１１      バルブ
１１２      電極
１１３      電極
１１４      封止部
１１５      金属箔
１１６      石英筒
１１７      石英棒
１２０      水素ゲッター
１２１      有底円筒
１２１ａ    鍔部
１２２      蓋
１２３      金属外皮
１２４      ゲッター材
【図１】
2010135128.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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