【手続補正書】
【提出日】平成17年6月6日(2005.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に第１の有機膜を形成する第１有機膜形成工程と、第１の有機膜上に第２の有機膜を成膜する第２有機膜形成工程と、第１有機膜形成工程後に第１の有機膜を熱処理する第１熱処理工程又は第２有機膜形成工程後に第２の有機膜を熱処理する第２熱処理工程の少なくとも一方と、を含むことを特徴とする有機絶縁膜の製造方法。
【請求項２】
前記第１及び第２の熱処理工程が、第１及び第２の有機膜のガラス転移点以上でかつ第１及び第２の有機膜の融点以下の温度で実施されることを特徴とする請求項１に記載の有機絶縁膜の製造方法。
【請求項３】
前記第１及びは第２の熱処理工程が、第１及び第２の有機膜のガラス転移点以上でかつ基材のキュリー点の１／２以下の温度で実施されることを特徴とする請求項１に記載の有機絶縁膜の製造方法。
【請求項４】
前記第１及び第２の熱処理工程が、大気中で実施されることを特徴とする請求項１に記載の有機絶縁膜の製造方法。
【請求項５】
前記第１有機膜形成工程及び第２有機膜形成工程が、有機材料の蒸着によって有機膜を形成する工程であることを特徴とする請求項１に記載の有機絶縁膜の製造方法。
【請求項６】
少なくとも一部が圧電材料で構成されたインク室の内壁面の少なくとも一部に設けられた電極と、電極の表面を被覆する保護膜と、を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記保護膜を請求項１乃至５の何れかに記載の有機絶縁膜の製造方法によって形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記第１及び第２の有機膜がポリパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記第１及び第２の有機膜がポリモノクロロパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記第１及び第２の有機膜のうち、何れか一方がポリパラキシリレンを主成分とし、残る他方がポリモノクロロパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記第１の有機膜がポリモノクロロパラキシリレンを主成分とし、前記第２の有機膜がポリパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
基材上にポリモノクロロパラキシリレンを主成分とする第１の有機膜を形成する第１有機膜形成工程と、第１の有機膜上にポリパラキシリレンを主成分とする第２の有機膜を成膜する第２有機膜形成工程と、を含むことを特徴とする有機絶縁膜の製造方法。
【請求項１２】
少なくとも一部が圧電材料で構成されたインク室の内壁面の少なくとも一部に設けられた電極と、電極の表面を被覆する保護膜と、を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記保護膜を請求項１１に記載の有機絶縁膜の製造方法によって形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記第１の有機膜が、表面を親水化処理が施されたポリモノクロロパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６または１２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
前記第２の有機膜が、表面を親水化処理が施されたポリパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６または１２に記載のインクジェットヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
電極５とインクとの接触を避けるための絶縁膜には、ポリパラキシリレン（パリレン：登録商標）膜が用いられる。ポリパラキシリレン膜は、ジパラキシリレンダイマを原材料としてＣＶＤ（化学蒸着）法によって形成される。即ち、ジパラキシリレンダイマが気化し、熱分解して発生した安定なジラジカルパラキシリレンモノマが、基材に吸着すると同時に重合して高分子量の薄膜を形成する。以下に、パラキシリレンの２量体であるジパラキシリレンダイマを用いる場合をパリレンＮと称し、モノクロロ置換体をもつハラキシリレンの２量体であるジパラキシリレンダイマを用いる場合をパリレンＣと称する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、特開２０００−７１４５１号公報には、構造式の異なるパリレン膜を２層積層しかつ、第１のパリレン膜成膜後にプラズマ処理を行うことで、パリレン膜の絶縁特性を改善するという技術が開示されている。しかし、この方法では、プラズマ処理を行う真空設備が必要になるため、製造コストが増加するという問題点があった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（３）前記第１及び第２の熱処理工程が、第１及び第２の有機膜のガラス転移点以上でかつ基材のキュリー点の１／２以下の温度で実施されることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この構成においては、第１及び第２の有機膜のうちの少なくとも一方に対して、そのガラス転移点以上でかつ基材のキュリー点の２分の１の温度以下で熱処理が実施される。したがって、基材に磁気特性が与えられている場合にも、積層される２層の有機膜のうちの少なくとも一方が、基材に与えられた磁気特性を消滅させることはない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
この構成においては、インクジェットヘッドのインク室における電極の保護膜が、水蒸気を含む各種ガスの透過防止力に優れたパリレンＣを主成分として電極に接触する有機膜と、耐水性に優れたパリレンＮを主成分としてインクに接触する有機膜と、の２層の有機膜によって構成される。したがって、耐水性に優れた有機膜によって水性インクから電極が保護されるとともに、蒸気を含む各種ガスの透過防止力に優れた有機膜によって気化インクや混入空気から電極が保護される。
（１１）基材上にポリモノクロロパラキシリレンを主成分とする第１の有機膜を形成する第１有機膜形成工程と、第１の有機膜上にポリパラキシリレンを主成分とする第２の有機膜を成膜する第２有機膜形成工程と、を含むことを特徴とする。
（１２）少なくとも一部が圧電材料で構成されたインク室の内壁面の少なくとも一部に設けられた電極と、電極の表面を被覆する保護膜と、を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記保護膜を請求項１１に記載の有機絶縁膜の製造方法によって形成したことを特徴とする。
（１３）前記第１の有機膜が、表面を親水化処理が施されたポリモノクロロパラキシリレンを主成分とすることを特徴とする請求項６または１２に記載のインクジェットヘッド。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
（１４）前記第２の有機膜の表面が、親水化処理を施されていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
インクジェットヘッド１００に第１の有機膜２０１を形成したあと、１００℃のオーブンにおいて２時間の熱処理を行う。ベース部材１は上述したように分極処理を行ったＰＺＴからなっているが、このＰＺＴの分極が消滅する温度、所謂ネール点は２５０℃であり、通常は摂氏温度でキュリー点の１／２の温度までの加熱が許容されるため、１００℃の熱処理ではインクジェットヘッド１００の作成上なんら問題はない。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
この結果から、インク滴の安定した吐出には第１のパリレン膜に対する熱処理が不可欠であるものの、キュリー点の１／２の温度（１２５℃）を超える温度（１５０℃）での熱処理は却ってＰＺＴの分極の乱れによる悪影響によってインク滴の安定した吐出状態を維持できなくなることが判る。そこで、図６に示した実験結果をも考慮して、この実施形態に係るインクジェットヘッド１００では、ガラス転移点（８７〜９７℃）以上でキュリー点の１／２（１２５℃）以下の温度を、第１のパリレン膜に対する熱処理の適正温度範囲とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
（３）第１及び第２の有機膜のうちの少なくとも一方に対して、そのガラス転移点以上でかつ基材のキュリー点の２分の１の温度以下で熱処理を実施することにより、基材に磁気特性が与えられている場合にも積層される２層の有機膜のうちの少なくとも一方が、基材に与えられた磁気特性を消滅させることが無く、基材の使用に支障を来すことがない。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
（１１）インクジェットヘッドのインク室における電極の保護膜を、親水性を与えられた第１の有機膜の表面に第２の有機膜を積層した２層の有機膜によって構成することにより、第１の有機膜の表面に対する第２の有機膜の密着性を向上させ、第１の有機膜から第２の有機膜が剥離しないようにすることができ、電極とインクとの絶縁性を確実に維持できる。
（１２）インクジェットヘッドのインク室における電極の保護膜を構成する２層の有機膜のうち、外側に位置する第２の有機膜の表面に親水性を与えることにより、水性インクを、親水性を有する有機膜に接触して円滑にインク室内に流入させることができる。