【手続補正書】
【提出日】令和3年11月11日(2021.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
【表３】
2021511419.tif 000001
2021511419.tif 000002
本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する：
１．
カンフルスルホン酸、及び構造（Ｉ）（式中、ＲはＨまたはＣ１〜Ｃ１８ｎ−アルキルである）のベンゼンスルホン酸、
【化３５】
2021511419.tif 000003
からなる群から選択されるスルホン酸成分；及び
構造（ＩＩ）を有するジカルボン酸、
【化３６】
2021511419.tif 000004
有機溶剤成分から、または有機溶剤成分と水との混合物から本質的になる溶剤成分、
を含む、またはから本質的になる、またはからなる組成物であって、
前記有機溶剤成分が、約１００重量％〜約８５重量％の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）、（ＶＩ）（式中、Ｒは、−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｎ’−ＯＨ、−ＯＨ、及び−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ３からなる群から選択され、ここでｎ’は１、２、３または４に等しい）、（ＶＩＩ）（式中、ＲａはＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキル部分である）、（ＶＩＩＩ）、（ＩＸ）（式中、ＲｂはＣ１〜Ｃ１８アルキル部分である）、（Ｘ）、及び（ＸＩ）からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも溶剤の混合物である、前記組成物：
【化３７】
2021511419.tif 000005
２．
カンフルスルホン酸、及び構造（Ｉ）（式中、ＲはＨまたはＣ１〜Ｃ１８ｎ−アルキルである）のベンゼンスルホン酸、
【化３８】
2021511419.tif 000006
からなる群から選択されるスルホン酸成分；及び
構造（ＩＩ）を有するジカルボン酸、
【化３９】
2021511419.tif 000007
有機溶剤成分、または有機溶剤成分と水との混合物を含む、またはから本質的になる、またはからなる溶剤成分、
及び界面活性剤、
を含む、またはから本質的になる、またはからなる組成物であって、
前記有機溶剤成分が、約１００重量％〜約８５重量％の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）、（ＶＩ）（式中、Ｒは、−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｎ’−ＯＨ、−ＯＨ及び−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ３からなる群から選択され、ここでｎ’は１、２、３または４に等しい）、（ＶＩＩ）（式中、ＲａはＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキル部分である）、（ＶＩＩＩ）、（ＩＸ）（式中、ＲｂはＣ１〜Ｃ１８アルキル部分である）、（Ｘ）、及び（ＸＩ）からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記組成物：
【化４０】
2021511419.tif 000008
３．
前記界面活性剤が、構造（ＸＩＩＩ）を有するポリマー型界面活性剤であり、ここでｎ’’’はポリマー繰り返し単位の数であり、そしてｎａはＣＨ２スペーサ部分の数であり、８〜１４の整数である、前記２．に記載の組成物。
【化４１】
2021511419.tif 000009
４．
前記ポリマー型界面活性剤が構造（ＸＩＩＩａ）を有する、前記３．に記載の組成物。
【化４２】
2021511419.tif 000010
５．
前記界面活性剤が構造（ＸＩＩＩ）を有するものである、前記２．に記載の組成物。
【化４３】
2021511419.tif 000011
６．
前記界面活性剤が、約０．００５重量％〜約３重量％で存在する、前記２．〜５．のいずれか一つに記載の組成物。
７．
前記スルホン酸成分がカンフルスルホン酸である、前記１．〜６．のいずれか一つに記載の組成物。
８．
前記スルホン酸成分がベンゼンスルホン酸である、前記１．〜６．のいずれか一つに記載の組成物。
９．
前記スルホン酸成分がトルエンスルホン酸である、前記１．〜６．のいずれか一つに記載の組成物。
１０．
前記スルホン酸成分が構造（Ｉ）のベンゼンスルホン酸である、前記１．〜６．のいずれか一つに記載の組成物。
１１．
前記スルホン酸成分が構造（Ｉａ）のアルキルベンゼンスルホン酸であり、ここでｎは０〜１６の整数である、前記１．〜６．または１０．のいずれか一つに記載の組成物。
【化４４】
2021511419.tif 000012
１２．
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）において、ｎが８〜１６の整数である、前記１１．に記載の組成物。
１３．
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）において、ｎが８〜１４の整数である、前記１１．または１２．に記載の組成物。
１４．
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）に関して、ｎが８〜１０の整数である、前記１１．〜１３．のいずれか一つに記載の組成物。
１５．
前記アルキルベンゼンスルホン酸に関して、これが構造（Ｉｂ）を有する、前記１１．〜１３．のいずれか一つに記載の組成物。
【化４５】
2021511419.tif 000013
１６．
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）に関して、ｎが０〜１０の整数である、前記１１．に記載の組成物。
１７．
前記アルキルベンゼンスルホン酸に関して、ｎが０〜５の整数である、前記１１．〜１６．のいずれか一つに記載の組成物。
１８．
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）に関して、ｎが０〜２の整数である、前記１１．または１６．〜１７．のいずれか一つに記載の組成物。
１９．
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｃ）を有する、前記１１．または１６．〜１８．のいずれか一つに記載の組成物。
【化４６】
2021511419.tif 000014
２０．
上記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｄ）を有し、ここでｎｂが０〜１６の整数である、前記１．〜６．または１１．のいずれか一つに記載の組成物。
【化４７】
2021511419.tif 000015
２１．
ｎｂが１０〜１４の整数である、前記２０．に記載の組成物。
２２．
ｎｂが８〜１０の整数である、前記２０．に記載の組成物。
２３．
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｅ）を有する、前記２０．〜２２．のいずれか一つに記載の組成物。
【化４８】
2021511419.tif 000016
２４．
ｎｂが０〜１０の整数である、前記２０．に記載の組成物。
２５．
ｎｂが０〜５の整数である、前記２０．に記載の組成物。
２６．
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｆ）を有する、前記２０．に記載の組成物。
【化４９】
2021511419.tif 000017
２７．
前記スルホン酸が、前記組成物の約０．１重量％〜約１０重量％で存在する、前記１．〜２６．のいずれか一つに記載の組成物。
２８．
前記スルホン酸が、前記組成物の約０．１重量％〜約１０重量％で存在する、前記１５．または２３．に記載の組成物。
２９．
前記スルホン酸が、前記組成物の約０．１重量％〜約１０重量％で存在する、前記２３．に記載の組成物。
３０．
前記スルホン酸が、前記組成物の約０．５重量％〜約２．５重量％で存在する、前記２３．に記載の組成物。
３１．
構造（ＩＩ）の前記ジカルボン酸であるシュウ酸が、全組成物の約１重量％〜約１０重量％で存在する、前記１．〜３０．のいずれか一つに記載の組成物。
３２．
構造（ＩＩ）の前記ジカルボン酸であるシュウ酸が、全組成物の約２重量％〜約５重量％で存在する、前記１．〜３１．のいずれか一つに記載の組成物。
３３．
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約０．０１〜約０．６である、前記１．〜３２．のいずれか一つに記載の組成物。
３４．
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約０．０１〜約０．５５である、前記１．〜３３．のいずれか一つに記載の組成物。
３５．
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約０．０１〜約０．３である、前記１．〜３４．のいずれか一つに記載の組成物。
３６．
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約０．１〜約０．２である、前記１．〜３５．のいずれか一つに記載の組成物。
３７．
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約０．１〜約０．１５である、前記１．〜３６．のいずれか一つに記載の組成物。
３８．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が溶剤（ＩＩＩ）である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
３９．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＶ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４０．
前記有機溶剤成分が溶剤（Ｖ）である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４１．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４２．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４３．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４４．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤が、構造（ＶＩａ）を有するものから選択される有機溶剤であり、ここでｎ’は１、２、３または４である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５０】
2021511419.tif 000018
４５．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤が、１、２、３または４のｎ’の異なる値を有する構造（ＶＩａ）を有する少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
４６．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｂ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５１】
2021511419.tif 000019
４７．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｃ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５２】
2021511419.tif 000020
４８．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｄ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５３】
2021511419.tif 000021
４９．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｅ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５４】
2021511419.tif 000022
５０．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｆ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５５】
2021511419.tif 000023
５１．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｇ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５６】
2021511419.tif 000024
５２．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩ）の範囲に該当する構造を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
５３．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
５４．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩａ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５７】
2021511419.tif 000025
５５．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｂ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５８】
2021511419.tif 000026
５６．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｃ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化５９】
2021511419.tif 000027
５７．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｄ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化６０】
2021511419.tif 000028
５８．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｅ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化６１】
2021511419.tif 000029
５９．
前記溶剤において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
６０．
前記溶剤において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
６１．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有し、ここでＲｂはＣ１〜Ｃ１２アルキルである、少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
６２．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有し、ここでＲｂはＣ１〜Ｃ８アルキルである、少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
６３．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有し、ここでＲｂはＣ１〜Ｃ４アルキルである、少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
６４．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸａ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化６２】
2021511419.tif 000030
６５．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸｂ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化６３】
2021511419.tif 000031
６６．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸｃ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化６４】
2021511419.tif 000032
６７．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤が、構造（ＩＸｄ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
【化６５】
2021511419.tif 000033
６８．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（Ｘ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
６９．
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＸＩ）を有する単一の有機溶剤である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
７０．
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の約９０重量％〜約５０重量％の範囲である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
７１．
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の約７０重量％〜約５０重量％の範囲である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
７２．
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の約６０重量％〜約５０重量％の範囲である、前記１．〜３７．のいずれか一つに記載の組成物。
７３．
前記溶剤成分において、水が約０〜約１５重量％の範囲である、前記１．〜７２．のいずれか一つに記載の組成物。
７４．
前記溶剤成分において、水が約３〜約８重量％の範囲である、前記１．〜７２．のいずれか一つに記載の組成物。
７５．
次のステップ：
ｉ）おおよそ室温から約１００℃までである温度で前記１．〜７４．のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ；
ｉｉ）パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に約１分間〜約６０分間の時間、浸漬した基材からフォトレジストフィルムが除去されるまで、浸漬するステップ；
ｉｉｉ）浸漬ステップｉｉ）の後、フォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬した基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップｉｉ）からの残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ；
ｉｖ）上記のクリーンな基材を、それを空気中でスピン乾燥するか、またはそれを乾燥するために窒素もしくは空気の流れを用いて乾燥するステップ；
を含む、方法。
７６．
ステップｉ）において、前記組成物を約４０℃〜約８０℃に加熱する、前記７５．に記載の方法。
７７．
ステップｉｉ）において、基材が金属である、前記７５．または７６．に記載の方法。
７８．
ステップｉｉ）において、基材が銅である、前記７５．〜７７．のいずれか一つに記載の方法。
７９．
ステップｉｉ）において、基材を約５分間〜約３０分間浸漬する、前記７５．〜７８．のいずれか一つに記載の方法。
８０．
ステップｉｉｉ）において、すすぎを水で行う、前記７５．〜７９．のいずれか一つに記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カンフルスルホン酸、及び構造（Ｉ）（式中、ＲはＨまたはＣ１〜Ｃ１８ｎ−アルキルである）のベンゼンスルホン酸、
【化１】
2021511419.tif 000034
からなる群から選択されるスルホン酸成分；及び
構造（ＩＩ）を有するジカルボン酸、
【化２】
2021511419.tif 000035
有機溶剤成分から、または有機溶剤成分と水との混合物から本質的になる溶剤成分、
から本質的になる組成物であって、
前記有機溶剤成分が、約１００重量％〜約８５重量％の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）、（ＶＩ）（式中、Ｒは、−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｎ’−ＯＨ、−ＯＨ、及び−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ３からなる群から選択され、ここでｎ’は１、２、３または４に等しい）、（ＶＩＩ）（式中、ＲａはＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキル部分である）、（ＶＩＩＩ）、（ＩＸ）（式中、ＲｂはＣ１〜Ｃ１８アルキル部分である）、（Ｘ）、及び（ＸＩ）からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の溶剤の混合物である、前記組成物：
【化３】
2021511419.tif 000036
【請求項２】
カンフルスルホン酸、及び構造（Ｉ）（式中、ＲはＨまたはＣ１〜Ｃ１８ｎ−アルキルである）のベンゼンスルホン酸、
【化４】
2021511419.tif 000037
からなる群から選択されるスルホン酸成分；及び
構造（ＩＩ）を有するジカルボン酸、
【化５】
2021511419.tif 000038
有機溶剤成分、または有機溶剤成分と水との混合物から本質的になる溶剤成分、
及び界面活性剤、
から本質的になる組成物であって、
前記有機溶剤成分が、約１００重量％〜約８５重量％の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）、（ＶＩ）（式中、Ｒは、−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｎ’−ＯＨ、−ＯＨ及び−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ３からなる群から選択され、ここでｎ’は１、２、３または４に等しい）、（ＶＩＩ）（式中、ＲａはＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキル部分である）、（ＶＩＩＩ）、（ＩＸ）（式中、ＲｂはＣ１〜Ｃ１８アルキル部分である）、（Ｘ）、及び（ＸＩ）からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記組成物：
【化６】
2021511419.tif 000039
【請求項３】
前記界面活性剤が、構造（ＸＩＩ）を有するポリマー型界面活性剤であり、ここでｎ’’’はポリマー繰り返し単位の数であり、そしてｎａはＣＨ２スペーサ部分の数であり、８〜１４の整数である、請求項２に記載の組成物。
【化７】
2021511419.tif 000040
【請求項４】
前記スルホン酸成分がカンフルスルホン酸である、請求項１〜３のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項５】
前記スルホン酸成分が構造（Ｉ）のベンゼンスルホン酸である、請求項１〜３のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項６】
前記スルホン酸成分が構造（Ｉａ）のアルキルベンゼンスルホン酸であり、ここでｎは０〜１６の整数である、請求項１〜３または５のいずれか一つに記載の組成物。
【化８】
2021511419.tif 000041
【請求項７】
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）において、ｎが８〜１６の整数である、請求項６に記載の組成物。
【請求項８】
前記アルキルベンゼンスルホン酸に関して、ｎが０〜５の整数である、請求項６に記載の組成物。
【請求項９】
前記スルホン酸が、前記組成物の約０．１重量％〜約１０重量％で存在する、請求項１〜８のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１０】
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約０．０１〜約０．６である、請求項１〜９のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１１】
前記有機溶剤成分が構造（ＩＩＩ）を有する、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１２】
前記有機溶剤成分が、構造（ＩＶ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１３】
前記有機溶剤成分が構造（Ｖ）を有する、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１４】
前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１５】
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｆ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【化９】
2021511419.tif 000042
【請求項１６】
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｇ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【化１０】
2021511419.tif 000043
【請求項１７】
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１８】
前記溶剤において、前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１９】
前記溶剤において、前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２０】
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（Ｘ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２１】
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造（ＸＩ）を有する単一の有機溶剤である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２２】
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の約９０重量％〜約５０重量％の範囲である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２３】
前記溶剤成分において、水が約０〜約１５重量％の範囲である、請求項１〜２２のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項２４】
次のステップ：
ｉ）おおよそ室温から約１００℃までである温度で請求項１〜２３のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ；
ｉｉ）パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に約１分間〜約６０分間の時間、浸漬した基材からフォトレジストフィルムが除去されるまで、浸漬するステップ；
ｉｉｉ）浸漬ステップｉｉ）の後、フォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬した基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップｉｉ）から残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ；
ｉｖ）上記のクリーンな基材を、それを空気中でスピン乾燥するか、またはそれを乾燥するために窒素もしくは空気の流れを用いて乾燥するステップ；
を含む、方法。