(57)【要約】【課題】磁気ヘッドスライダーの加工ばらつきや、磁気ヘッドスライダーをヘッドサスペンションに搭載する際の取り付けばらつき等を補正し、好適な浮上姿勢及び浮上量を得ることが可能な磁気ヘッドスライダー及びヘッドサスペンションアセンブリを提供する。【解決手段】スライダ本体１２の浮上面と反対側となる裏面に、加熱により前記裏面からの膨出量が変化する熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃが設けられ、該熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃは、前記スライダ本体１２をヘッドサスペンションに搭載した状態において、前記スライダ本体１２のピッチング方向及びローリング方向の少なくとも一方の姿勢を可変とする位置に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダ本体の浮上面と反対側となる裏面に、加熱により前記裏面からの膨出量が変化する熱変形部が設けられ、
該熱変形部は、前記スライダ本体をヘッドサスペンションに搭載した状態において、前記スライダ本体のピッチング方向及びローリング方向の少なくとも一方の姿勢を可変とする位置に設けられていることを特徴とする磁気ヘッドスライダー。
【請求項２】
前記熱変形部は、前記スライダ本体の前後方向の一方に偏位した位置に設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダー。
【請求項３】
前記熱変形部は、前記スライダ本体の幅方向の一方側と他方側に偏位した位置にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダー。
【請求項４】
前記熱変形部は、バイメタルからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の磁気ヘッドスライダー。
【請求項５】
前記熱変形部は、スライダ本体よりも熱膨張率の大きな金属あるいは樹脂からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の磁気ヘッドスライダー。
【請求項６】
ヘッドサスペンションのジンバル部に磁気ヘッドスライダーが搭載されたヘッドサスペンションアセンブリにおいて、
前記磁気ヘッドスライダーには、
スライダ本体の浮上面と反対側となる裏面に、加熱により前記裏面からの膨出量が変化する熱変形部が設けられるとともに、該熱変形部は、前記スライダ本体をヘッドサスペンションに搭載した状態において、前記スライダ本体のピッチング方向及びローリング方向の少なくとも一方の姿勢を可変とする位置に設けられ、
前記ジンバル部には、前記熱変形部と同一の平面配置位置に、通電により前記熱変形部を加熱するヒータパターンが設けられていることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
磁気ヘッドスライダー及びサスペンションに磁気ヘッドスライダーを搭載したヘッドサスペンションアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダーはヘッドサスペンションのジンバル部に搭載され、磁気記録媒体の回転によって生じる気流の作用により、磁気記録媒体の表面から浮上し、磁気記録媒体との間で情報の記録・再生動作をなす。
近年、磁気記録媒体の記録密度が徐々に増大してきていることにともない、磁気ヘッドスライダーの浮上量が低くなってきた。この結果、磁気ヘッドスライダーの浮上姿勢及び浮上量が磁気ヘッドの性能に大きく影響するようになり、磁気ヘッドスライダーの浮上姿勢及び浮上量をより正確にコントロールすることが求められるようになってきた。
【０００３】
磁気ヘッドスライダーの浮上姿勢及び浮上量は、磁気ヘッドスライダーの浮上面（ABS面）における浮上パターンの設計、及び磁気ヘッドスライダーの浮上面の面精度（クラウン、キャンバー、ツイスト）といった加工精度に影響される。とくに、磁気ヘッドスライダーの浮上パターンは磁気ヘッドスライダーの浮上姿勢の安定性及び浮上量に大きく影響を与えることから、浮上パターンを最適に設計することが求められる。
【特許文献１】特開２００６−２６０６７９号公報
【特許文献２】特開２００４−１８５７３５号公報
【特許文献３】特開平８−１０６７４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気ヘッドスライダーの浮上パターンを最適にするために浮上パターンを設計する場合は、浮上パターンに合わせてスライダー加工を変更し、ヘッドジンバルアセンブリ（HGA)を組み立て、実際に浮上量を確認しては調節する作業となる。磁気ヘッドスライダーは、磁気記録媒体のインナー側とアウター側との間を移動するから、磁気記録媒体上における移動位置において、磁気ヘッドスライダーの浮上量を狙いとする値にもっていくには非常に労力がかかる。
【０００５】
また、浮上パターンを最適設計したとしても、個々の磁気ヘッドスライダーの加工ばらつきや磁気ヘッド自体の特性のばらつきは避けられない。また、ヘッドサスペンションに磁気ヘッドスライダーを搭載する際の取り付けばらつき、ヘッドサスペンションの製造ばらつき等によって、磁気ヘッドスライダーの浮上姿勢及び浮上量にばらつきが生じることも避けられない。
【０００６】
本発明は、このような磁気ヘッドスライダーの加工ばらつきや、磁気ヘッドスライダーをヘッドサスペンションに搭載する際の取り付けばらつき等を補正し、好適な浮上姿勢及び浮上量を得ることが可能な磁気ヘッドスライダー及びヘッドサスペンションアセンブリを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一観点によれば、スライダ本体の浮上面と反対側となる裏面に、加熱により前記裏面からの膨出量が変化する熱変形部が設けられ、該熱変形部は、前記スライダ本体をヘッドサスペンションに搭載した状態において、前記スライダ本体のピッチング方向及びローリング方向の少なくとも一方の姿勢を可変とする位置に設けられた磁気ヘッドスライダーが提供される。
【０００８】
また、ヘッドサスペンションのジンバル部に磁気ヘッドスライダーが搭載されたヘッドサスペンションアセンブリとして、前記磁気ヘッドスライダーには、スライダ本体の浮上面と反対側となる裏面に、加熱により前記裏面からの膨出量が変化する熱変形部が設けられるとともに、該熱変形部は、前記スライダ本体をヘッドサスペンションに搭載した状態において、前記スライダ本体のピッチング方向及びローリング方向の少なくとも一方の姿勢を可変とする位置に設けられ、前記ジンバル部には、前記熱変形部と同一の平面配置位置に、通電により前記熱変形部を加熱するヒータパターンが設けられたヘッドサスペンションアセンブリが提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る磁気ヘッドスライダー及びヘッドサスペンションアセンブリによれば、磁気ヘッドスライダーの裏面に設けた熱変形部を加熱制御することによって、ヘッドサスペンションに磁気ヘッドスライダーを搭載した状態において、磁気ヘッドスライダーの姿勢あるいは浮上量を制御することができる。この熱変形部の制御は、ヘッドサスペンションに磁気ヘッドスライダーを搭載した状態において行うから、個々の製品のばらつきを吸収するように熱変形部を制御することによって、特性のばらつきのないヘッドサスペンションアセンブリとして提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（磁気ヘッドスライダー）
図１は本発明に係る磁気ヘッドスライダーの組み立て図を示す。本実施形態の磁気ヘッドスライダー１０は矩形のブロック状に形成したスライダ本体１２の裏面（浮上面とは反対側の面）に、第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを取り付けて形成される。
図１（ａ）は、磁気ヘッドスライダー１０のスライダ本体１２の裏面に、第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを装着する溝１３ａ、１３ｂ、１３ｃを設けた状態を示す。これらの溝１３ａ、１３ｂ、１３ｃの位置に合わせて、第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを装着する。
【００１１】
本実施形態の磁気ヘッドスライダー１０においては、スライダ本体１２の幅方向の中央位置の、スライダ本体１２の前後方向の一方に、第１の熱変形部１４ａを配置し、スライダ本体１２の前後方向の中央位置の左右位置に対配置となるように、第２、第３の熱変形部１４ｂ、１４ｃを配置している。
溝１３ａは、第１の熱変形部１４ａの平面形状に合わせた細長の長方形となる平面形状に、前後方向に長手となるように形成されている。溝１３ｂ、１３ｃも、第２、第３の熱変形部１４ｂ、１４ｃの細長の長方形となる平面形状に、幅方向に長手となるように形成されている。
【００１２】
第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃとして、本実施形態においては、バイメタルを使用している。図１（ｂ）に第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃに使用するバイメタルの構造を示す。バイメタルは熱膨張係数が異なる第１の金属１４１と第２の金属１４２とからなる。バイメタルには湾曲係数が異なる種々の製品が提供されている。本実施形態においては、室温においては平坦状となるバイメタル製品を使用し、加熱した状態で上に凸（磁気ヘッドスライダー１０のスライダ本体１２の裏面から突出する向きに湾曲する）となる向きに装着する。
【００１３】
磁気ヘッドスライダー１０では第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを加熱した際に、各々の熱変形部が凸状に変形することを利用して磁気ヘッドスライダー１０の姿勢を制御する。すなわち、第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの外面がスライダ本体１２の裏面から外側に膨出するようになる作用を利用して、磁気ヘッドスライダー１０の姿勢を制御する。
したがって、磁気ヘッドスライダー１０のスライダ本体１２に第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを組み込む際には、熱変形部の中央部については拘束せず、熱変形部の両端のみをスライダ本体１２に拘束するようにして取り付ける。第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを取り付けるには、たとえば熱変形部の両端のみを接着剤によって接着すればよい。
【００１４】
図２（ａ）に、溝１３ａ、１３ｂ、１３ｃに第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを取り付けた状態（室温状態）を示す。第１の熱変形部１４ａは、スライダ本体１２のコア幅方向の中央位置に、第２、第３の熱変形部１４ｂ、１４ｃは、スライダ本体１２の前後方向の中央位置の左右に配置されている。
磁気ヘッドスライダー１０の浮上面（ABS面）には浮上パターン１６ａ、１６ｂが形成されている。スライダ本体１２の側面には接続用の電極１７が形成されている。
磁気ヘッドスライダー１０は、接着剤によりスライダ本体１２の裏面をヘッドサスペンションのジンバル部に接合することによって搭載される。
【００１５】
（ヘッドサスペンションアセンブリ）
図３は、磁気ヘッドスライダー１０を搭載するヘッドサスペンション２０を示す。ヘッドサスペンション２０の先端部には、磁気ヘッドスライダー１０を搭載するジンバル部２２が設けられている。
ジンバル部２２に搭載された磁気ヘッドスライダー１０は記録、再生操作をなす制御部と電気的に接続される。ヘッドサスペンション２０の表面にはジンバル部２２と接続部３２との間を接続する配線３０が設けられている。接続部３２と制御用回路が内臓されている制御部とはフレキシブル配線基板を介して電気的に接続される。
【００１６】
本実施形態のヘッドサスペンション２０は、磁気ヘッドスライダー１０をジンバル部２２に搭載した状態で、磁気ヘッドスライダー１０に装着した第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを加熱するヒータパターンを備える。
図４に、ヘッドサスペンション２０のジンバル部２２の構造を拡大して示す。図は、ジンバル部２２に形成するヒータパターンを示したものである。前述したように、磁気ヘッドスライダー１０の裏面には第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃが組み込まれている。ジンバル部２２には、これら第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの平面配置に合わせてヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃが形成されている。
【００１７】
本実施形態においては、磁気ヘッドスライダー１０をジンバル部２２に接合した際に磁気ヘッドスライダー１０に組み込まれた各々の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの略中央位置にヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃが位置するように設定している。
ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃは、電流を印加した際に発熱するもので、発熱用の抵抗材料を用いて形成してもよいし、ヒータパターンを配置する位置において配線幅を狭く形成し、電流を印加することによって発熱するように形成してもよい。
発熱温度は、印加する電流値によって調節する。ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃは、１００〜１５０℃程度まで加熱可能に設定する。
【００１８】
ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃは、個々に独立に電流を印加できるように設定する必要がある。図示例では、一方の電極を共有とし、他方の電極（Ａ部分）において、ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃのいずれかを選択して、個々のヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃに選択的に電流を印加できるようにしている。
【００１９】
ジンバル部２２には、磁気ヘッドスライダー１０の電極１７と電気的に接続されるパッドが形成される。図４においてはパッド及びパッドに接続される配線を省略している。これらのパッド及び配線は、ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃとは別の配線パターンとして形成すればよい。
【００２０】
図５は、ヘッドサスペンション２０に磁気ヘッドスライダー１０を搭載したヘッドサスペンションアセンブリのジンバル部２２の近傍部分を示す。ジンバル部２２に搭載した磁気ヘッドスライダー１０は破線によって示している。磁気ヘッドスライダー１０は電極１７を手前側（ヘッドサスペンション２０の先端側）に向けて搭載される。
磁気ヘッドスライダー１０をジンバル部２２に搭載することにより、磁気ヘッドスライダー１０の裏面に組み込まれた第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃがヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃと同一の平面位置となる。
したがって、ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃに電流を印加することにより、第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを熱変形させることができ、これによって、ジンバル部２２に搭載された磁気ヘッドスライダー１０の姿勢を制御することができる。
【００２１】
図２（ｂ）に、第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃがヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃによって加熱された際に変形する形態を示す。第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃは、両端が拘束され、中央部分が拘束されていないから、ヒータパターン２４ａ、２４ｂ、２４ｃによって加熱されることによって、中央部が外側に膨出する（凸となる）ように熱変形する。
第１、第２、第３の熱変形部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを選択的に熱変形させることにより、磁気ヘッドスライダー１０の姿勢を制御することができる。
【００２２】
図６は、平板形のバイメタルが熱変形した状態を図示したものである。係数Ｋは、平板形のバイメタルについての湾曲係数を示す。この湾曲係数は、使用するバイメタルによってさまざまな値をとる。市販されているバイメタル板の湾曲係数は９〜２５×１０-6（／Ｋ）程度である。また、Ｔ2−Ｔ1は温度差であり、ｌは有効長、ｔは厚さである。バイメタルの変形量をＤは次式によって表される。
Ｄ＝Ｋ（Ｔ2−Ｔ1）ｌ2／４ｔ
【００２３】
図７は、磁気ヘッドスライダーの、浮上量、ピッチ角がどの程度変化するかを計算した結果を示す。この計算では、磁気ヘッドスライダーの前後方向の長さを1.25mm、熱変形部として使用するバイメタルの湾曲係数20.5×10-6、有効長0.8ｍｍ、厚さ25μmとし、ΔT＝120℃として計算した。上式をもとに計算すると、変形量Ｄ16μｍ、ピッチング方向の角度の変化分が1.5°、浮上量の変化分が2.5nmとなる。
ＭＲ素子は磁気ヘッドスライダー１０の先端側に位置している。したがって、熱変形部１４ａを熱変形させ、図７に示すように、磁気ヘッドスライダー１０の先端側の高さを変えることによって、MR素子の浮上量をコントロールすることができる。
最近の磁気ヘッドスライダーの浮上量は10nm以下程度となってきているから、数nm程度の変形分であっても、磁気ヘッドスライダーの姿勢制御として有効に利用できる。
【００２４】
磁気ヘッドスライダー（MR素子）の浮上量は、ヘッドサスペンションアセンブリを実際に組み立てた状態において最終的に決まる。したがって、磁気ヘッドスライダー１０の浮上量をコントロールする場合は、単品ごとに浮上量をチェックし、所定の浮上量となるように熱変形部１４ａの加熱温度を調節する。最近の磁気ヘッドスライダーは浮上量が10nm程度以下といったようにきわめて低くなってきている。したがって、熱変形部１４ａによってヘッドサスペンションアセンブリの組み立てばらつきを補正する方法は、ヘッドサスペンションアセンブリを高精度に製造する方法として有効である。
【００２５】
図８は、磁気ヘッドスライダーのローリング方向の姿勢を制御する例を示す。磁気ヘッドスライダーのローリング方向姿勢を制御する場合は、熱変形部１４ｂあるいは熱変形部１４ｃを加熱して熱変形させればよい。熱変形部１４ｂを加熱して熱変形させることによってローリング方向の＋側に姿勢が変化し、熱変形部１４ｃを熱変形させることによって−側に姿勢が変化する。
【００２６】
磁気ヘッドスライダーのローリング方向の姿勢を制御する目的の一つは、ヘッドサスペンション２０に磁気ヘッドスライダー１０を搭載した際における、ローリング方向の搭載姿勢のばらつきを補正することである。これによって、ヘッドサスペンションアセンブリの組み立てばらつきを抑えることができる。
【００２７】
また、他の目的は、磁気ヘッドスライダーが磁気記録媒体上において、インナー側とアウター側との間を移動する（径方向に移動する）際のロール角を調節することにある。磁気ヘッドスライダー、その構造上、磁気記録媒体のインナー側とアウター側との間を移動する際にロール方向の角度が変動する。図９は、現行の磁気ディスク装置において、磁気ヘッドがインナー側にある場合とアウター側にある場合とで、磁気ヘッドスライダーのロール角度が変動する例を示している。
本実施形態の磁気ヘッドスライダー１０によれば、ヒータパターン２４ｂ、２４ｃによって熱変形部１４ｂ、１４ｃの加熱をコントロールすることにより、磁気ヘッドスライダー１０が径方向に移動することにより生じるロール角度を補正するように制御することができる。
【００２８】
磁気ヘッドスライダー１０をジンバル部２２に接合する接着剤の厚さは30μm程度である。上述した磁気ヘッドスライダーの姿勢制御による変形は数nm程度であり、熱変形部の熱変形を利用して磁気ヘッドスライダー１０の姿勢制御する際の変形量は接着剤の厚さ内で吸収される。
【００２９】
（磁気ヘッドスライダーの他の例）
図１０（ａ）、（ｂ）は磁気ヘッドスライダーのスライダ本体１２の裏面に熱変形部を組み込んだ磁気ヘッドスライダーの他の例を示す。図１０（ａ）は、磁気ヘッドスライダー１０のスライダ本体１２の裏面に、熱変形部１４ｄ、１４ｅを形成した例である。熱変形部１４ｄ、１４ｅは、スライダ本体１２を幅方向に横断し、かつ磁気ヘッドスライダー１０の前後方向に離間する配置に設けている。熱変形部１４ｄ、１４ｅは、熱膨張率が磁気ヘッドスライダー１０のスライダ本体１２よりも大きな材料によって形成する。スライダ本体１２の裏面の熱変形部１４ｄ、１４ｅを形成する位置に合わせて溝を形成し、溝内にスライダ本体１２よりも熱膨張率の大きな金属あるいは樹脂を充填することによって熱変形部１４ｄ、１４ｅを形成する。
【００３０】
図１０（ｂ）は、磁気ヘッドスライダー１０のスライダ本体１２の裏面に平面形状が円形となる溝穴を形成し、溝穴内にスライダ本体１２よりも熱膨張率の大きな金属あるいは樹脂（絶縁体）を充填して熱変形部１４ｆ、１４ｇ、１４ｈを形成した例である。図１０（ｂ）においては、磁気ヘッドスライダー１０の前部の中央位置と、後部の左右位置にそれぞれ一つずつ熱変形部１４ｆ、１４ｇ、１４ｈを配置している。
【００３１】
図１０（ａ）、（ｂ）に示す磁気ヘッドスライダー１０の場合も、磁気ヘッドスライダー１０を搭載するヘッドサスペンション２０のジンバル部２２に、熱変形部１４ｄ〜１４ｈの平面配置位置に合わせてヒータパターンを形成する。
ヒータパターンにより、個別に熱変形部１４ｄ〜１４ｈを加熱し、熱変形部１４ｄ〜１４ｈを熱変形（熱膨張）させることによって磁気ヘッドスライダー１０の姿勢を制御する方法は前述した実施の形態と同様である。
【００３２】
図１０（ａ）に示すように、磁気ヘッドスライダー１０の前後方向に一対の熱変形部１４ｄ、１４ｅを配置した場合は、熱変形部１４ｄ、１４ｅの熱膨張度を制御することによってピッチング方向の姿勢を制御することができる。ローリング方向の姿勢制御は、熱変形部１４ｄ、１４ｅのそれぞれについて、長手方向に離間する配置に、例として２つのヒータパターンを配置することによって行うことができる。すなわち、熱変形部１４ｄ、１４ｅ上にそれぞれ配置される一方と他方のヒータパターンへの通電を制御し、熱変形部１４ｄ、１４ｅの長手方向の一方側と他方側での熱膨張度を制御する（一方あるいは他方を凸状とする）ことによって行うことができる。
【００３３】
図１０に示した熱変形部１４ｄ〜１４ｈの配置は熱変形部の一つの配置例を示したものであり、熱変形部は磁気ヘッドスライダーの姿勢を制御できる配置に任意数、任意配置に設けることができる。また、図１、２に示したバイメタルを熱変形部１４ａ〜１４ｃに使用した実施形態においても、熱変形部の配置位置、配置数は図示例に限らず任意数、任意配置とすることができる。熱変形部をスライダ本体の前後方向、あるいは幅方向の対称位置に対して一方側に偏位した位置に配置しているのは、熱変形部を加熱し、熱変形部のスライダ本体の裏面からの膨出量を変えることによって磁気ヘッドスライダーの姿勢を制御できるようにするためである。
【００３４】
熱変形部の外面は、室温においてはスライダ本体の裏面と外面位置が均一面となるようにしておけばよいが、室温においてスライダ本体の裏面から突出すること、あるいは裏面位置よりも低位にあることを妨げるものではない。
また、上記実施形態においては、磁気ヘッドスライダーのピッチング方向とローリング方向の双方について姿勢制御するように設定しているが、ピッチング方向とローリング方向の一方のみについて姿勢制御するように設定することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】磁気ヘッドスライダーの組み立て斜視図である。
【図２】磁気ヘッドスライダーの斜視図（ａ）、及び熱変形部が変形した状態を示す説明図（ｂ）である。
【図３】ヘッドサスペンションの斜視図である。
【図４】ヘッドサスペンションのジンバル部に設けたヒータパターンを示す説明図である。
【図５】ヘッドサスペンションアセンブリのジンバル部の近傍を示す説明図である。
【図６】バイメタルの変形量を計算するための説明図である。
【図７】ピッチング方向に磁気ヘッドスライダーが姿勢制御される状態を示す説明図である。
【図８】ローリング方向に磁気ヘッドスライダーが姿勢制御される状態を示す説明図である。
【図９】磁気ヘッドスライダーが径方向に移動する際にロール角が変動する状態を示すグラフである。
【図１０】磁気ヘッドスライダーの他の実施形態の斜視図である。
【００３６】
１０  磁気ヘッドスライダー
１２  本体
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ  溝
１４ａ  第１の熱変形部
１４ｂ  第２の熱変形部
１４ｃ  第３の熱変形部
１６ａ、１６ｂ  浮上パターン
１７  電極
２０  ヘッドサスペンション
２２  ジンバル部
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ  ヒータパターン
３０  配線
【図１】
2010086622.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図５】
2010086622.tif 000011
【図９】
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