【手続補正書】
【提出日】平成17年3月24日(2005.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半田ボール供給方法および半田ボール供給装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田ボールをピックアップヘッドの吸着プレートに設けられた吸着孔に吸着させる吸着工程と、上記半田ボールを吸着した上記ピックアップヘッドを基板上へ移動する搬送工程と、吸着された上記半田ボールを上記基板に搭載する搭載工程と、を有する半田ボール供給方法において、
上記吸着プレートを上記ピックアップヘッドに吸着する前工程と、上記ピックアップヘッド内の真空度が所定の値に達すると自動的に動作し真空度を弱める真空レギュレータとを備え、
上記吸着工程は、上記前工程の後の工程であり、
上記真空レギュレータを動作させない真空度で、上記半田ボールの吸着を開始する第１ステップと、
上記真空レギュレータを動作させない真空度で、上記半田ボールの吸着を継続させる第２ステップと、
上記ピックアップヘッドの内部の真空度が上記所定の値に達したとき、上記真空レギュレータが自動的に動作して、上記ピックアップヘッドの内部の真空度を低く保持する第３ステップと、
を有し、
上記吸着工程後の上記搬送工程は、上記第３ステップの真空度が低い状態を維持して、上記ピックアップヘッドを上記基板上に移動すると共に、その移動の間に上記ピックアップヘッドに光を当て、上記吸着孔を通過する光の有無によって上記半田ボールが上記吸着孔に適切に吸着されたか否かの監視をすることを特徴とする半田ボール供給方法。
【請求項２】
前記前工程では、前記吸着プレートが、前記ピックアップヘッドのヘッドハウジングの側壁部に設けられた空気流通孔によって真空吸着され、前記ピックアップヘッドに吸着されることを特徴とする請求項１記載の半田ボール供給方法。
【請求項３】
半田ボールをピックアップヘッドの吸着プレートに設けられた吸着孔に吸着させる吸着工程と、上記半田ボールを吸着した上記ピックアップヘッドを基板上へ移動する搬送工程と、吸着された上記半田ボールを上記基板に搭載する搭載工程と、を有する半田ボール供給方法において、
上記吸着工程は、
上記ピックアップヘッド内の真空度が所定の値に達すると自動的に動作し真空度を弱めるために設けられた真空レギュレータが動作しない真空度で、上記半田ボールの吸着を開始する第１ステップと、
上記真空レギュレータを動作させない真空度で、上記半田ボールを上記吸着孔に吸着させる第２ステップと、
上記真空レギュレータを動作させない真空度で、上記吸着孔の全てに上記半田ボールが吸着した第３ステップと、
上記吸着孔の全てに上記半田ボールが吸着した状態で、上記ピックアップヘッドの内部の真空度が高くなる第４ステップと、
上記真空レギュレータが自動的に動作して、上記ピックアップヘッドの内部の真空度を低く保持する第５ステップと、
を有し、
上記搬送工程は、上記第５ステップの真空度で、上記ピックアップヘッドを上記基板上に移動することを特徴とする半田ボール供給方法。
【請求項４】
前記第５ステップにおける前記真空度は、前記吸着孔に前記半田ボールを保持できる高さであることを特徴とする請求項３記載の半田ボール供給方法。
【請求項５】
半田ボールを貯留する半田ボールトレイと、貯留された上記半田ボールを吸着するピックアップヘッドと、上記ピックアップヘッドの内部を減圧する真空ポンプと、上記ピックアップヘッドの内部の真空度を調整する真空レギュレータを備えた圧力調節手段と、を有する半田ボール供給装置において、
上記ピックアップヘッドは、上記真空レギュレータに通ずる圧力調節用空気流通孔と、上記真空ポンプに通ずるノズルがそれぞれ取り付けられたことを特徴とする半田ボール供給装置。
【請求項６】
前記真空レギュレータは、前記ピックアップヘッド内部の圧力が必要以上に低くなるだけで、自動的に弁が開き、外気を前記ヘッド内部に導入することを特徴とする請求項５記載の半田ボール供給装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハなどの基板に半田ボールをマウントする際に用いられる半田ボール供給方法および半田ボール供給装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明の半田ボール供給方法は、半田ボールをピックアップヘッドの吸着プレートに設けられた吸着孔に吸着させる吸着工程と、半田ボールを吸着したピックアップヘッドを基板上へ移動する搬送工程と、吸着された半田ボールを基板に搭載する搭載工程と、を有する半田ボール供給方法において、吸着プレートをピックアップヘッドに吸着する前工程と、ピックアップヘッド内の真空度が所定の値に達すると自動的に動作し真空度を弱める真空レギュレータとを備え、吸着工程は、前工程の後の工程であり、真空レギュレータを動作させない真空度で、半田ボールの吸着を開始する第１ステップと、真空レギュレータを動作させない真空度で、半田ボールの吸着を継続させる第２ステップと、ピックアップヘッドの内部の真空度が所定の値に達したとき、真空レギュレータが自動的に動作して、ピックアップヘッドの内部の真空度を低く保持する第３ステップと、を有し、吸着工程後の搬送工程は、第３ステップの真空度が低い状態を維持して、ピックアップヘッドを基板上に移動すると共に、その移動の間にピックアップヘッドに光を当て、吸着孔を通過する光の有無によって半田ボールが吸着孔に適切に吸着されたか否かの監視をしている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
このような真空レギュレータを設けることにより、吸着プレートの各吸着孔に半田ボールが吸着されると同時にまたは相前後して、ピックアップヘッド内部の気圧をある値にまで上昇させてそれを保持するので、吸着プレートに過大な圧力（ピックアップヘッド内部方向への吸引力）が働くことがなくなり、しかも、吸着プレートに吸着した半田ボールの吸着状態をそのまま維持しやすくなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
これによって、前工程で吸着した吸着プレートがたわんで変形したり損傷したりするの防止することができ、ピックアップヘッドが長期間の使用に耐えるようになる。また、前述したように、吸着プレートがたわんで変形することにより、ヘッドハウジングと吸着プレートとの接合部に隙間が生じ、その隙間にも半田ボールが吸着されてしまうといった不都合もなくなる。また、吸着孔に半田ボールが適切に吸着されたか否かの監視も確実に実行される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、他の発明の半田ボール供給方法は、前工程では、吸着プレートが、ピックアップヘッドのヘッドハウジングの側壁部に設けられた空気流通孔によって真空吸着され、ピックアップヘッドに吸着されるようにしている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
このように吸着プレートを真空吸着によってピックアップヘッドに吸着させることにより吸着プレートの取り換えが容易になる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、他の発明の半田ボール供給方法は、半田ボールをピックアップヘッドの吸着プレートに設けられた吸着孔に吸着させる吸着工程と、半田ボールを吸着したピックアップヘッドを基板上へ移動する搬送工程と、吸着された半田ボールを基板に搭載する搭載工程と、を有する半田ボール供給方法において、吸着工程は、ピックアップヘッド内の真空度が所定の値に達すると自動的に動作し真空度を弱めるために設けられた真空レギュレータが動作しない真空度で、半田ボールの吸着を開始する第１ステップと、真空レギュレータを動作させない真空度で、半田ボールを吸着孔に吸着させる第２ステップと、真空レギュレータを動作させない真空度で、吸着孔の全てに半田ボールが吸着した第３ステップと、吸着孔の全てに半田ボールが吸着した状態で、ピックアップヘッドの内部の真空度が高くなる第４ステップと、真空レギュレータが自動的に動作して、ピックアップヘッドの内部の真空度を低く保持する第５ステップと、を有し、搬送工程は、第５ステップの真空度で、ピックアップヘッドを基板上に移動している。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
このような真空レギュレータを設けることにより、吸着プレートの各吸着孔に半田ボールが吸着されると同時にまたは相前後して、ピックアップヘッド内部の気圧をある値にまで上昇させてそれを保持するので、吸着プレートに過大な圧力（ピックアップヘッド内部方向への吸引力）が働くことがなくなり、しかも、吸着プレートに吸着した半田ボールの吸着状態をそのまま維持しやすくなる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、第５ステップにおける真空度は、吸着孔に半田ボールを保持できる高さであるのが好ましい。この方法を採用すると吸着プレートに吸着した半田ボールは吸着プレートに吸着されたままとなる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、本発明の半田ボール供給装置は、半田ボールを貯留する半田ボールトレイと、貯留された半田ボールを吸着するピックアップヘッドと、ピックアップヘッドの内部を減圧する真空ポンプと、ピックアップヘッドの内部の真空度を調整する真空レギュレータを備えた圧力調節手段と、を有する半田ボール供給装置において、ピックアップヘッドは、真空レギュレータに通ずる圧力調節用空気流通孔と、真空ポンプに通ずるノズルがそれぞれ取り付けられている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
この構成の半田ボール供給装置では、ピックアップヘッドに半田ボールが吸着される動作を行う際、圧力調節手段が作動することによって、ピックアップヘッドの内部の気圧をある値にまで上昇させてそれを保持させることができるので、ピックアップヘッドに過大な圧力が働くことがなくなる。これによって、ピックアップヘッドがたわんで変形するの防止することができ、長期間の使用に耐えるようになり、半田ボール供給装置の維持・管理にかかる費用の削減など全体的なコストを減少させることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、他の発明の半田ボール供給装置は、真空レギュレータは、ピックアップヘッド内部の圧力が必要以上に低くなるだけで、自動的に弁が開き、外気をヘッド内部に導入している。この構成を採用すると、制御が簡単となり、動作の確実性を達成できる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図６は、第１層の補強板Ｑ１のある１つの切り欠き窓６０（図５で説明したように９．６ｍｍ×９．６ｍｍの正方形としている）に対向する面に設けられた吸着孔５５を示すもので、この実施の形態では、１つの切り欠き窓６０において行方向および列方向にそれぞれ１８個ずつ（１８×１８＝３２４個）の吸着孔５５が形成されている。なお、隣接する吸着孔同志の中心間距離をこの実施の形態では０．５ｍｍとしている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
【発明の効果】
以上説明したように、各発明によれば、ピックアップヘッド内の気圧を調節する真空レギュレータや圧力調節手段を設けたり、半田ボールの吸着維持に当たって減圧程度を緩くするようにしている。この圧力調節手段や減圧程度を緩くする工程によって、ピックアップヘッド内部の気圧を半田ボールの吸着動作時に必要な気圧よりも高く、かつ、吸着した半田ボールの吸着状態を維持できる気圧とする気圧調節を行うことが可能となるので、半田ボール吸着時に、吸着プレートやピックアップヘッドの吸着部に大きな圧力（ピックアップヘッド内部方向への吸引力）が働くことがなくなる。