(57)【要約】【課題】セルの利用効率が高い材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法を提供する。【解決手段】材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法であって、コンピューターが、（１）ライブラリを構成する成分を規定するステップ、（２）組成図上においてライブラリがカバーする組成範囲を表す三角形の図形を与えられるステップ、（３）前記で定義した三角形の領域を点集合に変換するステップ、（４）ライブラリのセルと前記の（３）で定義した点を対応付けて割付けられるステップ、および（５）ライブラリの各セルに供給する３成分の堆積量の傾斜を定義して各成分毎に各セルへの成分供給量を定めるステップを含み、複数の成分を含む材料のライブラリを構築する際に、基板に対してライブラリの配置を行うために、基板を複数の領域に分割して入力される材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法であって、コンピューターが、（１）ライブラリを構成する成分を規定するステップ、（２）組成図上においてライブラリがカバーする組成範囲を表す三角形の図形を与えられるステップ、（３）前記で定義した三角形の領域を点集合に変換するステップ、（４）ライブラリのセルと前記の（３）で定義した点を対応付けて割付けられるステップ、および（５）ライブラリの各セルに供給する３成分の堆積量の傾斜を定義して各成分毎に各セルへの成分供給量を定めるステップを含み、コンピューターが、複数の成分を含む材料のライブラリを構築する際に、基板に対してライブラリの配置を行うために、基板を複数の領域に分割して入力されることを特徴とする材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法。
【請求項２】
さらに、コンピューターが、（６）前記の各セルへの成分供給量に従って３成分を基板に供給するためのシーケンスを定めて入力され、シーケンスに従って各セルへの前記成分供給量をデータ記録手段から出力するステップを有する請求項１に記載の設計法。
【請求項３】
前記の（６）のステップが、各成分と対応する蒸発源の選択、マスクおよび基板の所定位置までの動作、堆積量を満足するための蒸発源の制御について計算を行い、合成装置が各成分のマッピングを堆積することを可能とする命令のセットを構築し、出力するステップである請求項２に記載の設計法。
【請求項４】
マスクを用いた堆積を含む方法によって材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する方法であって、請求項１〜３のいずれか１項に記載の設計法を含む命令セットに従って前記マスクを移動させて、各成分群によって構成される材料の層を、前記基板上に堆積させることを含む、材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットを設計する方法に関し、特にマスクを用いた堆積を含む方法によって材料の組み合わせライブラリを基板上に構築するための命令セットを設計する方法およびその使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の成分を含有する材料の開発は、組成を変えた材料を１種類ずつ作製し、そして試験することによって行われてきた。しかしながら、望まれる材料の組成が複雑であり、また広い範囲の組成について検討しなければならない場合、この方法は、長い期間を有するようになり、また高いコストを伴うようになってきた。
【０００３】
この問題を解決するために、コンビナトリアルケミストリー（Ｃｏｍｂｉｎａｔｏｒｉａｌ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ）と呼ばれる分野が存在する。コンビナトリアルケミストリーは、多様な材料（化合物を含む）の集合体又はライブラリを一度に構築し、且つ／又は所望の性質を有する化合物又は材料を、このライブラリから選別する技術である（特許文献１及び２）。このような多数の材料のライブラリの構築は、研究者に多様な材料についての情報を提供し、それによって開発の速度を増加させる。また、コンビナトリアルケミストリーは広義には、実際には材料を作らずに、コンピューター上で作製した構造式に基づいて材料の特性を評価すること、材料を構成する個々の成分の特性に基いて、材料の特性をコンピューターで評価すること等も含む。
【０００４】
前記のコンビナトリアルケミストリーにおけるライブラリとは、一般に様々な形態をとることが知られており、材料が円形に配列したものや、三角形に配列したものや、マトリクス状に配列したものが代表的である。
一方、このようなコンビナトリアルケミストリーの使用に関し、全ての可能な材料についてのライブラリを構築すること、又はコンピューター上で評価することは一般的ではなく、材料の構造又は材料の組成の範囲を予め定めておくことが一般に行われる（特許文献１〜４）。
【０００５】
上記のようなコンビナトリアルケミストリーの適用範囲は多岐にわたり、堆積を含む方法のためにコンビナトリアルケミストリーによるライブラリ構築方法を適用することが提案されている。例えば、特許文献２で示されているように、コンビナトリアルケミストリーと呼ばれる多様な材料の集合体又はライブラリを一度に構築する技術を、スパッタリング等の堆積を含む方法によって製造される材料に適用することが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許３６６５７４１号
【特許文献２】特許３８９３１５２号
【特許文献３】特開２００４−８６８９２号
【特許文献４】特開２００４−１５８００８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来公知のコンビナトリアルケミストリーによりライブラリを構築する方法は完全に満足のできるものではなかった。
このため、本特許出願人は、材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの生成方法、その利用について特許出願を行った（特願２００８−２２８６６）。この出願の発明によれば、例えば図１に示すように指定した組成範囲が三角組成図の矩形領域内で作成される。そして、前記特許出願に記載の方法によれば、ライブラリがカバーする組成範囲の形状をテンプレートとして保持することによってライブラリがカバーする組成範囲を直接指定することが可能となる。
しかし、この命令セットの生成方法によっても、マトリクス状に配置したライブラリのセルに対して三角組成図上に三角形で表される組成群を対応付ける際に多くのセルが利用されずに残り、探索の効率が低下する。
従って、本発明の目的は、セルの利用効率が高い材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法を提供することである。
また、本発明の他の目的は、高いセルの利用効率によって基板に対するライブラリの配置を行い得る、材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法であって、コンピューターが、（１）ライブラリを構成する成分を規定するステップ、（２）組成図上においてライブラリがカバーする組成範囲を表す三角形の図形を与えられるステップ、（３）前記で定義した三角形の領域を点集合に変換するステップ、（４）ライブラリのセルと前記の（３）で定義した点を対応付けて割付けられるステップ、および（５）ライブラリの各セルに供給する３成分の堆積量の傾斜を定義して各成分毎に各セルへの成分供給量を定めるステップを含み、コンピューターが、複数の成分を含む材料のライブラリを構築する際に、基板に対してライブラリの配置を行うために、基板を複数の領域に分割して入力されることを特徴とする材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法に関する。
【０００９】
また、本発明は、マスクを用いた堆積を含む方法によって材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する方法であって、前記の設計法によって得られる命令セットに従って前記マスクを移動させて、各成分群によって構成される材料の層を、前記基板上に堆積させることを含む、材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する方法に関する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法において高いセルの利用効率を得ることができる。
また、本発明によれば、材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する方法における命令セットの設計法において高いセルの利用効率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、従来の命令セットの設計法による所定形状が平行四辺形である三角組成図とそれに対応するライブラリのセルを示す図である。
【図２】図２は、従来の命令セットの設計法による所定形状が三角形である三角組成図の他の例とそれに対応するライブラリのセルを示す図である。
【図３】図３は、従来の命令セットの設計法による所定形状が３個の平行四辺形である三角組成図とそれに対応するライブラリのセルを示す図である。
【図４】図４は、本発明の実施態様のライブラリにおける複数（２つ）のグループに分割し定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図５】図５は、ライブラリに含まれる材料が、各成分が各々１元素からなるか又は各成分が複数の元素からなる場合の三角組成図である。
【図６】図６は、三角組成図の３成分の組成範囲の一例を示す図である。
【図７】図７は、三角組成図の３成分の領域の一例を点集合によって示す図である。
【００１２】
【図８】図８は、本発明の実施態様のライブラリにおける複数（２つ）のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図９】図９は、本発明の他の実施態様のライブラリにおける複数（２つ）のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図１０】図１０は、本発明の他の実施態様のライブラリにおける複数（３つ）のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図１１】図１１は、本発明の他の実施態様のライブラリにおける複数（４つ）のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【００１３】
【図１２】図１２は、本発明の他の実施態様のライブラリにおける複数（４つ）のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図１３】図１３は、本発明の他の実施態様のライブラリにおける複数（４つ）のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図１４】図１４は、本発明の他の実施態様のライブラリにおける複数のグループに分割されて定義された複数個のセルと三角組成図の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【図１５】図１５は、実施例のライブラリにおける３成分の三角組成図上での組成範囲を示す図である。
【図１６】図１６は、５列５行のライブラリを用いる場合の、図１５に示す三角形の領域を２５個の点集合に変換した図である。
【図１７】図１７は、実施例のライブラリにおける複数個のセルを２つのグループに分割されて、それぞれのグループに所属するセルと三角組成図における成分Ａ、Ｂ及びＣの３成分の領域の点集合とを対応付けて割付けした図である。
【００１４】
【図１８】図１８は、図１７のライブラリにおける２つのグループに分割されて定義された複数個のセルを含むグループ１における、３成分の堆積量の傾斜を定めて各成分毎に各セルへの成分組成を定める手順を示す図である。
【図１９】図１９は、図１７のライブラリにおける２つのグループに分割されて定義された複数個のセルを含むグループ２における、３成分の堆積量の傾斜を定めて各成分毎に各セルへの成分組成を定める手順を示す図である。
【図２０】図２０は、図１８および図１９のライブラリにおける２つのグループ毎に、各元素の堆積量の傾斜を実現するために、自動蒸着装置が各試料に材料を供給するためのシーケンスにおける各セルへの各成分供給量の傾斜マップを示す図である。
【図２１】図２１は、図２０のライブラリについて、自動蒸着装置によって各成分を供給するためのシーケンで用いられる３種類のマスク（マスク１、２、３）を示す図である。
【００１５】
【図２２】図２２は、図２１に示したマスク１、マスク３を用いてグループ１に属する試料にＡｕを供給するためのシーケンスを示す図である。
【図２３】図２３は、図２１に示したマスク１、マスク３を用いてグループ１に属する試料にＣｕを供給するためのシーケンスを示す図である。
【図２４】図２４は、図２１に示したマスク１、マスク３を用いてグループ１に属する試料にＴｉを供給するためのシーケンスを示す図である。
【図２５】図２５は、図２１に示したマスク２、マスク３を用いてグループ２に属する試料にＡｕを供給するためのシーケンスを示す図である。
【図２６】図２６は、図２０に示したマスク２、マスク３を用いてグループ２に属する試料にＣｕを供給するためのシーケンスを示す図である。
【図２７】図２７は、図２１に示したマスク２、マスク３を用いてグループ２に属する試料にＴｉを供給するためのシーケンスを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図１〜８を参照して、本発明の実施の形態を従来技術と対比させて詳説する。
従来技術によって三角組成図上の組成群を対応付けるとすると、図１に示すように、組成群の形状を平行四辺形とするのが最も容易である。あるいは、組成図の全域又は任意の三角形で表される組成群を上記のセルに割付けたい場合、図２に示すように、セルの大部分が利用されずに残る。逆に、セルを残さず利用する観点からは、図１に示す方法を適用して割付けられた３個の平行四辺形の組成群を用いると、図３に示すように、任意の三角形の組成群を隙間なく埋めることができる。しかし、この方法では、組成がほとんど同一又は同一の試料を多数合成することになるため、結果としてセルの利用効率が低い。
これに対して、図４に示すように、本発明の実施態様のライブラリ上のセルの点集合との対応付けにおいては、基板に対してライブラリの配置を行うために複数のＡ、Ｂ、Ｃ成分を含む材料のライブラリが複数（２つ）の領域に分割してグループ化して材料の組み合わせライブラリが構築されており、幅広い組成の試料について適正な配置を行い得る。さらに、ライブラリ又は基板を複数に分割して材料の配列を行うことによって、三角組成図における組成範囲形状と基板上の材料配列のミスマッチが生じない。
【００１７】
本発明においては、材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法であって、コンピューターが、（１）ライブラリを構成する成分を規定するステップ、（２）組成図上においてライブラリがカバーする組成範囲を表す三角形の図形を与えられるステップ、（３）前記で定義した三角形の領域を点集合に変換するステップ、（４）ライブラリのセルと前記の（３）で定義した点を対応付けて割付けられるステップ、および（５）ライブラリの各セルに供給する３成分の堆積量の傾斜を定義して各成分毎に各セルへの成分供給量を定めるステップを含み、コンピューターが、複数の成分を含む材料のライブラリを構築する際に、基板に対してライブラリの配置を行うために、基板を複数の領域に分割して入力されることが必要である。
【００１８】
本発明の命令セットの設計法における前記の（１）コンピューターがライブラリを構成する成分を規定するステップにおいて、図５に示すように、成分は三角組成図の頂点として定義される。頂点に定義される成分は単一の元素であってもよく、又は図５に示すように複数の元素からなる化合物であってもよく、ライブラリを構成する元素の数には制限はない。この三角組成図上の１点は頂点の３成分の比率を表すものである。例えば図５の（２）に示すように、三角形の重心の位置にある点においては３成分の比率は等しい。
【００１９】
次いで、（２）コンピューターが組成図上においてライブラリがカバーする組成範囲を表す三角形の図形を与えられるステップにおいては、例えば図６の（１）、（２）および（３）に示すように、前記（１）で定義された三角組成図上において組成範囲が三角組成図上に定義される三角形の所定形状を規定して、入力される。
ここで、この所定形状は、堆積において使用されるマスクの形状やライブラリに含まれる個々の材料の基板上における配置などに依存している。
【００２０】
次いで、（３）コンピューターが三角形の領域を点集合に変換するステップにおいては、例えば図７に示すように、前記のステップ（２）で定義した三角形の領域を点集合に変換する。この変換における点の間隔は等間隔でも不等間隔でもよい。この変換した点の個数はライブラリのセルの個数と一致していることが必要である。また、このステップ（３）では頂点の３点以外の点の座標は厳密に決めなくても良い。
【００２１】
次いで、（４）コンピューターが、ライブラリのセルと前記の（３）で定義した点を対応付けて割付けられるステップにおいては、例えば図８の（１）および（２）に示すように、合成されるライブラリのセルは複数個のセルを含む複数、例えば２つ、３つ、４つ、５つのグループに分割されて、グループ毎に前記ステップ（３）で定義された点とセルとを、三角組成図上に対応付けて割付けて、入力される。この場合、図８では２つのグループが示され、１つのグループに１０個のセル、他の１つのグループに１５個のセルが割付けられているが、グループは３つ以上であり得て、各グループには任意の数のセルが割付けられ得る。
このグループの分割は、基板に対してライブラリの適正配置、特に最適な配置を行うために、基板を複数の領域、すなわち三角形の領域に分割するものである。
【００２２】
本発明においては、前記のステップ（４）の後の（５）コンピューターがライブラリの各セルに供給する３成分の堆積量の傾斜を定義されて各成分毎に各セルへの成分供給量を定めるステップにおいて、各セルに供給する三角組成図上のＡ、Ｂ、Ｃ各成分の量は膜厚、質量などによって表示されて、その傾斜が定義され、各成分毎に各セルへの供給量が定められる。
そして、前記のステップ（１）〜（５）によって、コンピューターが、材料を構成する複数のグループ毎の各セルについての３つの成分群を入力される。
本発明は、前記のステップ（１）〜（５）を含むことによって、材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法において高いセルの利用効率を得ることができる。
【００２３】
本発明においては、前記の（５）コンピューターがライブラリの各セルに供給する３成分の堆積量の傾斜を定義して各成分毎に各セルへの成分供給量を定めるステップに続いて、通常は（６）コンピューターが、前記の各セルへの成分供給量に従って３成分を基板に供給するためのシーケンスを定めて入力され、シーケンスに従って各セルへの前記成分供給量をデータ記憶手段から出力し得る。
前記のステップ（６）として、コンピューターが、各成分と対応する蒸発源の選択、マスクおよび基板の所定位置までの動作、堆積量を満足するための蒸発源の制御などの堆積条件の少なくとも１つについて計算を行い、自動蒸着装置が各成分のマッピングを堆積することを可能とする命令のセットを構築、出力するステップが挙げられる。
【００２４】
例えば、前記のマスクを用いた堆積を含む方法によって基板上に材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットを設計する本発明の方法に関して、製造装置、例えば蒸着装置によって各成分のマッピングを堆積する材料の製造方法としては、基板上の所望の位置に、所望の材料、例えば元素の薄膜を堆積させることができる任意の物理的マスキング法を挙げることができる。例えば、マスクを用いた物理的気相堆積法、化学的気相堆積法、及び化学的液相堆積法を挙げることができ、より具体的にはスパッター法、スパッタリング法、パルスレーザー堆積法、電子ビーム堆積法、熱堆積法、イオン注入又はドーピング法等、特にパルスレーザー堆積法、スパッタリング法、又は電子ビーム堆積法を挙げることができる。
【００２５】
前記のパルスレーザー堆積法では、真空チャンバー内にセットしたターゲット材料に、パルスレーザーを照射することによって、ターゲット材料を瞬時に超高温にして蒸発させ、この蒸気を基板表面で凝縮させて堆積させる。このパルスレーザー堆積法は、様々なターゲット材料に適用でき、例えば複数の成分を含有するターゲット材料に適用して、ターゲット材料と同じ組成の膜を基板上に堆積させることができる。
【００２６】
また、マスクを用いた堆積において材料を堆積させる基板は、所望の材料を堆積させることができる任意の基板であり、堆積工程及びライブラリを用いた材料の評価工程が可能となるように選択することができる。
本発明によって、材料を構成する３つの成分群の堆積条件は、その場でコンピューターに入力すること、又は予めコンピューターに備えられたデータ記録手段に記録しておき、材料を構成する３つの成分群の堆積条件をデータ記録手段から必要に応じて出力することができる。
【００２７】
前記のマスクを用いた堆積を含む方法によって材料の組み合わせライブラリを基板上に構築する本発明の方法は、本発明の方法によって得られる命令セットに従ってマスクを移動させて、複数のグループに分割されて規定される３つの成分群によって構成される材料の層を、基板上に堆積させることを含む。またこの方法では、堆積させた層を更に熱処理することによって、３つの成分群を層内で拡散及び／又は反応させることもできる。
【実施例】
【００２８】
表１に列数が５、６、７で、行数が５〜１２であるマトリクスに含まれるセルの総数を示す。
【００２９】
【表１】
2010191546.tif 000002
組成図上に定義した三角形の領域を点集合に変換する際は、点の総数がセルの総数と等しくなるようにする。例えば、マトリクスが５列５行の場合、セルの総数は２５である。
【００３０】
参考例１
マトリクスの分割と、三角組成図上の点集合との対応付けの１例を図９に示す。
図９に示す例は、３６点の点集合に変換された領域に対して、２個のグループの領域に分割した６列６行のマトリクスを三角組成図の点集合に対応付けしたものである。
【００３１】
参考例２
マトリクスの分割と、三角組成図上の点集合との対応付けの１例を図１０に示す。
図１０に示す例は、３５点の点集合に変換された領域に対して、２個のグループの領域に分割した５列７行のマトリクスを三角組成図の点集合に対応付けしたものである。
【００３２】
参考例３
マトリクスの分割と、三角組成図上の点集合との対応付けの１例を図１１に示す。
図１１に示す例は、３５点の点集合に変換された領域に対して、３個のグループの領域に分割した５列７行のマトリクスを三角組成図の点集合に対応付けしたものである。
【００３３】
参考例４
マトリクスの分割と、三角組成図上の点集合との対応付けの１例を図１２に示す。
図１２に示す例は、４５点の点集合に変換された領域に対して、４個のグループの領域に分割した５列７行のマトリクスを三角組成図の点集合に対応付けしたものである。
【００３４】
参考例５
マトリクスの分割と、三角組成図上の点集合との対応付けの１例を図１３に示す。
図１３に示す例は、２８点の点集合に変換された領域に対して、４個のグループの領域に分割した５列６行の、一部のセルを使用しないマトリクスを三角組成図の点集合に対応付けしたものである。
【００３５】
参考例６
マトリクスの分割と、三角組成図上の点集合との対応付けの１例を図１４に示す。
図１４に示す例は、３６点の点集合に変換された領域に対して、４個のグループの領域に分割した５列８行の、一部のセルを使用しないマトリクスを三角組成図の点集合に対応付けしたものである。
【００３６】
実施例１
１．ステップ１
Ａに対してＡｕ、Ｂに対してＣｕ、Ｃに対してＴｉを対応させる。
２．ステップ２
Ａｕ−Ｃｕ−Ｔｉの三角組成図上に、図１５に示す三角形の領域を定義する。
端点における３成分の比率は、それぞれ以下の通りである。
ａ点：Ａｕ：８４ａｔ％、Ｃｕ：８ａｔ％、Ｔｉ：８ａｔ％
ｂ点：Ａｕ：８ａｔ％、Ｃｕ：８４ａｔ％、Ｔｉ：８ａｔ％
ｃ点：Ａｕ：８ａｔ％、Ｃｕ：８ａｔ％、Ｔｉ：８４ａｔ％
３．ステップ３
図１６の（１）に示す５列５行のライブラリを用いて、図１６の（２）に示す三角形の領域を２５個の点集合に変換する。
【００３７】
４．ステップ４
図１７の（１）に示すようにナンバリングされたセルを２個のグループに分割し、それぞれのグループに所属するセルと、ステップ３で定義した点集合の対応付けを行う。
５．ステップ５
各試料の組成を決める。ここでは三角形状に配列したグループの、頂点に位置する３試料の組成を定めてから、頂点間に位置する試料の組成を決めていく。先ず、図１８に示すように、手順１で、グループ１の１番、２１番、２５番試料のＡｕ、Ｃｕ、Ｔｉの組成比を決めてから、次に手順２で、それらの３つの試料の間に位置する試料のＡｕ、Ｃｕ、Ｔｉの組成比を決める。
次いで、図１９に示すように、手順１で、グループ２の２番、５番、２０番試料のＡｕ、Ｃｕ、Ｔｉの組成比を決めてから、次に手順２で、それらの３つの試料の間に位置する試料のＡｕ、Ｃｕ、Ｔｉの組成比を決める。
６．ステップ６
ステップ４で分類したグループ毎に、ステップ５定義した各元素の供給量の傾斜を実現するために、装置が各試料に材料を供給するためのシーケンスを定める。先ず、図２０に各グループ、各元素毎の供給量の傾斜マップを示す。
次に、蒸着法にて各成分を供給するためのシーケンスを示す。図２０に使用する３種類のマスクを図２１に示す。
【００３８】
図２１に示すマスク１、マスク３を利用して、グループ１に属する試料にＡｕを供給するためのシーケンスを図２２〜２７に示す。
図２２はグループ１の試料にＡｕを供給するシーケンスである。
図２３はグループ１の試料にＣｕを供給するシーケンスである。
図２４はグループ１の試料にＴｉを供給するシーケンスである。
図２５はグループ２の試料にＡｕを供給するシーケンスである。
図２６はグループ２の試料にＣｕを供給するシーケンスである。
図２７はグループ２の試料にＴｉを供給するシーケンスである。
【００３９】
ライブラリの構築
複数の蒸着源と可動マスク機構を有する自動蒸着装置の記憶部に、上記によって設計された命令セットを記憶させ、それによって自動蒸着装置を命令セットに従って動作させてライブラリを構築する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の命令セットの設計法によって、従来困難であったコンビナトリアルケミストリーの材料の組み合わせライブラリを構築するための命令セットの設計法において高いセルの利用効率を実現することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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