【手続補正書】
【提出日】平成16年4月28日(2004.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】真空処理装置及び圧力調整方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体をガス供給系及びガス排気系を備えた１又は２以上の移載室内を介して，少なくとも前記移載室に接続された１又は２以上の真空処理室内に搬送するように構成された真空処理装置において，
前記ガス供給系に１又は２以上のバルブ手段を介して１又は２以上のガス充填室を介挿し，所定の前記移載室内を所定の目標圧力雰囲気にまで昇圧させるに際して，前記ガス充填室内に前記所定の目標圧力雰囲気に応じて設定される所定体積，所定圧力及び所定温度のガスを待機させ，所定のトリガ信号に応じて前記バルブ手段を開放するように構成したことを特徴とする，真空処理装置。
【請求項２】
被処理体をガス供給系及びガス排気系を備えた１又は２以上の移載室内を介して，少なくとも前記移載室に接続された１又は２以上の真空処理室内に搬送するように構成された真空処理装置において，
前記ガス供給系に１又は２以上のバルブ手段を介して１又は２以上のガス充填室を介挿し，所定の前記移載室を所定の目標圧力雰囲気にまで所定の目標時間内に昇圧させるに際して，前記ガス充填室内に前記所定の目標圧力雰囲気及び前記所定の目標時間に応じて設定される所定体積，所定圧力及び所定温度のガスを待機させ，所定のトリガ信号に応じて前記バルブ手段を開放するように構成したことを特徴とする，真空処理装置。
【請求項３】
それぞれ異なる体積，圧力及び温度に設定された複数のガス充填室が複数のバルブ手段を介して接続され，昇圧対象である前記移載室で要求される所定の目標圧力雰囲気に応じて選択された前記ガス充填室から所定のガスが供給されることを特徴とする，請求項１又は２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
それぞれ異なる体積，圧力及び温度に設定された複数のガス充填室が複数のバルブ手段を介して接続され，昇圧対象である前記移載室で要求される所定の目標時間に応じて選択された前記ガス充填室から所定のガスが供給されることを特徴とする，請求項２に記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記バルブ手段の切り換えにより，選択された前記ガス充填室と選択された前記移載室とを自在に接続可能であることを特徴とする，請求項１，２，３又は４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記所定の目標時間は，搬送アームの動作に応じて決定されるものであることを特徴とする，請求項２，３，４又は５のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記所定の目標圧力雰囲気は，６６．７Ｐａ以下に設定されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５又は６のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項８】
前記移載室内が所定の圧力雰囲気に到達した時点で，前記移載室内に所定量の圧力調整用ガスを供給することを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６又は７のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項９】
前記移載室内の圧力雰囲気は，前記ガス供給系に介挿されたレギュレータの調整により設定されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７又は８のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１０】
前記移載室内の圧力雰囲気は，前記ガス供給系に介挿された流量調整バルブの開度を調整することにより，一定に維持されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８又は９のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１１】
前記流量調整バルブの開度は，前記移載室内の圧力に応じて常時調整されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９又は１０のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１２】
前記流量調整バルブの開度は，処理開始前に予め調整され，処理時には一定の開度に固定されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９又は１０のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１３】
１又は２以上の真空処理室と，前記真空処理室に接続された１又は２以上の移載室と，前記移載室に所定のガスを供給するガス供給系と，１又は２以上のバルブ手段を介して前記ガス供給系に介挿されて前記移載室に供給されるガスを待機させるガス充填室とを備えた真空処理装置の圧力調整方法であって：
前記移載室内を第１圧力雰囲気に設定する工程と；
所定のガスを前記ガス充填室に供給し，前記ガス充填室内を前記移載室に設定される第２圧力雰囲気より高い第３圧力雰囲気に設定する工程と；
前記ガス充填室内の所定のガスを移載室内に導き，前記移載室内を第１圧力雰囲気よりも高い第２圧力雰囲気に設定する工程と；
を含むことを特徴とする，圧力調整方法。
【請求項１４】
所定のガスの流量を調整して，前記移載室内を第２真空度に維持する工程を含むことを特徴とする，請求項１３に記載の圧力調整方法。
【請求項１５】
それぞれ異なる体積，圧力及び温度に設定された複数のガス充填室が複数のバルブ手段を介して接続され，昇圧対象である前記移載室で要求される第２圧力雰囲気に応じて選択された前記ガス充填室から所定のガスが供給されることを特徴とする，請求項１３又は１４に記載の圧力調整方法。
【請求項１６】
それぞれ異なる体積，圧力及び温度に設定された複数のガス充填室が複数のバルブ手段を介して接続され，昇圧対象である前記移載室を第２圧力雰囲気にまで昇圧させるために要求される所定の目標時間に応じて選択された前記ガス充填室から所定のガスが供給されることを特徴とする，請求項１３又は１４に記載の圧力調整方法。
【請求項１７】
前記バルブ手段の切り換えにより，選択された前記ガス充填室と選択された前記移載室とを自在に接続可能であることを特徴とする，請求項１３，１４，１５又は１６のいずれかに記載の圧力調整方法。
【請求項１８】
前記所定の目標時間は，搬送アームの動作に応じて決定されるものであることを特徴とする，請求項１４，１５，１６又は１７のいずれかに記載の圧力調整方法。
【請求項１９】
前記所定の目標圧力雰囲気は，６６．７Ｐａ以下に設定されることを特徴とする，請求項１３，１４，１５，１６，１７又は１８のいずれかに記載の圧力調整方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】    【発明の属する技術分野】  本発明は，真空処理装置及び圧力調整方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】  本発明は，従来の技術が有する上記のような問題点に鑑みて成されたものであり，移載室に接続されたガス供給系に１又は２以上のバルブ手段を介して１又は２以上のガス充填室を介挿すると共に，ガス充填室内に所定のガスを待機させ，所定のトリガ信号に応じてバルブ手段を開放する構成としたことにより，例えば移載室内のパーティクルを巻き上げることなく，移載室内を所定の目標時間内で所定の目標圧力雰囲気にまで瞬時に昇圧させることが可能な，新規かつ改良された真空処理装置及び圧力調整方法を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】  また，請求項１２に記載の発明によれば，流量調整バルブの開度は，処理開始前に予め調整され，処理時には一定の開度に固定されることを特徴としている。従って，流量調整バルブの開度調整を常時調整する手段を真空処理装置に備える必要がないため，装置構成が容易となる。 また，請求項１３に記載の発明によれば，１又は２以上の真空処理室と，真空処理室に接続された１又は２以上の移載室と，移載室に所定のガスを供給するガス供給系と，１又は２以上のバルブ手段を介してガス供給系に介挿されて移載室に供給されるガスを待機させるガス充填室とを備えた真空処理装置の圧力調整方法であって，移載室内を第１圧力雰囲気に設定する工程と，所定のガスを前記ガス充填室に供給し，ガス充填室内を移載室に設定される第２圧力雰囲気より高い第３圧力雰囲気に設定する工程と，ガス充填室内の所定のガスを移載室内に導き，移載室内を第１圧力雰囲気よりも高い第２圧力雰囲気に設定する工程とを含むことを特徴としている。