【手続補正書】
【提出日】平成16年9月15日(2004.9.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】機能性素子基板、該機能性素子基板を用いた画像表示装置および機能性素子基板の製造装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、前記液滴の液滴飛翔時の形状を、基板面に付着する直前にほぼ丸い滴になるようにする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状の場合はその直径の３倍以内の長さになるようにし、かつ飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴うことのない液滴噴射の駆動波形制御を行って、液滴噴射付与を行い、前記基板の裏面の表面粗さを前記基板の表面の表面粗さより粗くするとともに、前記基板の表面の表面粗さは、前記溶液が付着した際に、毛管現象の原理で、溶液が広がってドットがにじまない範囲内としたことを特徴とする機能性素子基板。
【請求項２】
前記機能性素子群を形成する前記基板の表面の表面粗さは、０.５ｓ以下であることを特徴とする請求項１に記載の機能性素子基板。
【請求項３】
前記基板の裏面の表面粗さは、１ｓ以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の機能性素子基板。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１に記載の機能性素子基板と、該機能性素子基板に対向して配置されたカバープレートからなることを特徴とする画像表示装置。
【請求項５】
基板の表面に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板の製造装置において、前記基板を保持する基板保持手段と、前記基板と対向する領域で前記基板と相対的な移動が可能なキャリッジ上に搭載されるとともに、溶液噴射口面と前記基板の表面とが、一定の距離を保ちつつ、前記相対的な移動を行って、前記溶液の液滴の噴射付与を行う噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段と、入力された前記液滴付与情報に基づいて前記噴射ヘッドから前記溶液を液滴飛翔時の形状が、基板の表面に付着する直前にほぼ丸い滴になるようにする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状の場合はその直径の３倍以内の長さになるようにし、かつ飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴うことのないようにする液滴噴射の駆動波形制御を行う制御手段とを有する機能性素子基板の製造装置であって、該機能性素子基板の製造装置を使用して製作される機能性素子基板は、前記基板の裏面の表面粗さを前記基板の表面の表面粗さより粗くするとともに、前記基板の表面の表面粗さは、前記溶液が付着した際に、毛管現象の原理で、溶液が広がってドットがにじまない範囲内としたことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能性素子基板、該機能性素子基板を用いた画像表示装置および機能性素子基板の製造装置に関し、特に、吐出装置を用いて機能性材料の膜形成を行うことによって形成された機能性素子基板、該機能性素子基板を用いた画像表示装置および機能性素子基板の製造装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような機能性素子を用いた機能性素子基板、それを用いた画像表示装置および機能性素子基板の製造装置に関するものであり、その第１の目的は、高精度、低コストな機能性素子基板を提案することにある。
また第２の目的は、より高精度な機能性素子群を形成することにある。
さらに第３の目的は、このような機能性素子を用いた画像表示装置の機能性素子基板の製造プロセス時における製造不具合が生じにくい機能性素子基板を提案することにある。
また第４の目的は、このような機能性素子基板を用いた画像表示装置を提案することにある。
また第５の目的は、このような機能性素子基板を製造する製造装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために第１に、基板の表面に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板において、前記液滴の液滴飛翔時の形状を、基板面に付着する直前にほぼ丸い滴になるようにする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状の場合はその直径の３倍以内の長さになるようにし、かつ飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴うことのない液滴噴射の駆動波形制御を行って、液滴噴射付与を行い、前記基板の裏面の表面粗さを前記基板の表面の表面粗さより粗くするとともに、前記基板の表面の表面粗さは、前記溶液が付着した際に、毛管現象の原理で、溶液が広がってドットがにじまない範囲内としたことを特徴とする。
また第２に、上記第１の機能性素子基板において、前記機能性素子群を形成する前記基板の表面の表面粗さは、０.５ｓ以下であることを特徴とする。
さらに第３に、上記第１または２の機能性素子基板において、前記基板の裏面の表面粗さは、１ｓ以上であることを特徴とする。
また第４に、上記第１〜３の機能性素子基板と、この機能性素子基板に対向して配置されたカバープレートとを有する画像表示装置であることを特徴とする。
また第５に、基板の表面に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、機能性素子群を形成した機能性素子基板の製造装置において、前記基板を保持する基板保持手段と、前記基板と対向する領域で前記基板と相対的な移動が可能なキャリッジ上に搭載されるとともに、溶液噴射口面と前記基板の表面とが、一定の距離を保ちつつ、前記相対的な移動を行って、前記溶液の液滴の噴射付与を行う噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段と、入力された前記液滴付与情報に基づいて前記噴射ヘッドから前記溶液を液滴飛翔時の形状が、基板の表面に付着する直前にほぼ丸い滴になるようにする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状の場合はその直径の３倍以内の長さになるようにし、かつ飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴うことのないようにする液滴噴射の駆動波形制御を行う制御手段とを有する機能性素子基板の製造装置であって、該機能性素子基板の製造装置を使用して製作される機能性素子基板は、前記基板の裏面の表面粗さを前記基板の表面の表面粗さより粗くするとともに、前記基板の表面の表面粗さは、前記溶液が付着した際に、毛管現象の原理で、溶液が広がってドットがにじまない範囲内としたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
【発明の効果】
請求項１に対応した効果
機能性素子群を形成した機能性素子基板において、前記液滴の液滴飛翔時の形状を、基板面に付着する直前にほぼ丸い滴になるようにする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状の場合はその直径の３倍以内の長さになるようにし、かつ飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴うことのない液滴噴射の駆動波形制御を行って、液滴噴射付与を行い、基板の機能性素子群を形成する面より裏面の表面粗さを粗くするとともに、前記基板の表面の表面粗さは、前記溶液が付着した際に、毛管現象の原理で、溶液が広がってドットがにじまない範囲内となるようにしたので、高精度な機能性素子群のパターンが形成できるとともに、製造コストを低くすることができ、また機能性素子基板の製造時に基板が製造装置の基板保持体に密着することがない。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
請求項４に対応した効果
高性能、低コストな機能性素子基板を画像表示装置に使用するようにしたので、高画質、低コストの画像表示装置を得ることができる。
請求項５に対応した効果
機能性素子基板の製造装置において、特に、溶液の液滴の噴射付与を行う噴射ヘッドから前記溶液を液滴飛翔時の形状が、基板の表面に付着する直前にほぼ丸い滴になるようにする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状の場合はその直径の３倍以内の長さになるようにし、かつ飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴うことのないようにする液滴噴射の駆動波形制御を行う制御手段とを有することと、機能性素子基板は裏面の表面粗さを前記基板の表面の表面粗さより粗くするとともに、前記基板の表面の表面粗さは、前記溶液が付着した際に、毛管現象の原理で、溶液が広がってドットがにじまない範囲内としたことが相俟って、高精度の機能性素子基板を操作性よく製造することができる。