【手続補正書】
【提出日】平成17年2月14日(2005.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光ディスク原盤露光装置および露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成する光ディスク原盤露光装置において、前記光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割する光ビーム分割手段と、前記第１の光ビームの光量を前記ピットを形成するのに必要な光量に変調する第１の光量変調手段と、前記第２の光ビームの光量を前記グルーブを形成するのに必要な光量に変調する第２の光量変調手段と、前記第１の光量変調手段で前記ピット用に光量の変調された前記第１の光ビームをオン／オフする第１のデジタル変調手段と、前記第２の光量変調手段で前記グルーブ用に光量の変調された前記第２の光ビームを前記第１の光ビームがオフの間オンし前記第１の光ビームがオンの間オフする第２のデジタル変調手段と、前記第１のデジタル変調手段で変調された前記第１の光ビームと前記第２のデジタル変調手段で変調された前記第２の光ビームを合成して前記光ディスク原盤に照射して前記ピットを形成するとともに、前記ピットと前記ピットの間に前記グルーブを形成する光照射手段と、を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項２】
光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成する光ディスク原盤露光装置において、前記光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割する光ビーム分割手段と、前記第１の光ビームの光量を前記ピットを形成するのに必要な光量に変調する第１の光量変調手段と、前記第２の光ビームの光量を前記グルーブを形成するのに必要な光量に変調する第２の光量変調手段と、前記第１の光量変調手段で前記ピット用に光量の変調された前記第１の光ビームをオン／オフする第１のデジタル変調手段と、前記第２の光量変調手段で前記グルーブ用に光量の変調された前記第２の光ビームを前記第１のデジタル変調手段で変調された前記第１の光ビームがオフしてから所定の時間ｔα経過した後にオンし、前記第１の光ビームがオンするよりも所定の時間ｔβだけ前にオフする第２のデジタル変調手段と、前記第１のデジタル変調手段で変調された前記第１の光ビームと前記第２のデジタル変調手段で変調された前記第２の光ビームを合成して前記光ディスク原盤に照射して前記ピットを形成するとともに、前記ピットと前記ピットの間に前記グルーブを形成する光照射手段と、を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項３】
前記第２のデジタル変調手段は、前記時間ｔαと時間ｔβの合計時間を一定に保った状態で、時間ｔαと時間ｔβを変化させることを特徴とする請求項２記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項４】
光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成する光ディスク原盤露光方法において、前記光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割し、前記第１の光ビームの光量を前記ピットを形成するのに必要な光量に変調し、前記第２の光ビームの光量を前記グルーブを形成するのに必要な光量に変調し、前記ピット用に光量の変調された前記第１の光ビームをオン／オフしてデジタル変調し、前記グルーブ用に光量の変調された前記第２の光ビームを前記第１の光ビームがオフの間オンし前記第１の光ビームがオンの間オフしてデジタル変調し、デジタル変調された前記第１の光ビームとデジタル変調された前記第２の光ビームを合成して前記光ディスク原盤に照射して前記ピットを形成するとともに、前記ピットと前記ピットの間に前記グルーブを形成することを特徴とする光ディスク原盤露光方法。
【請求項５】
光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成する光ディスク原盤露光方法において、前記光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割し、前記第１の光ビームの光量を前記ピットを形成するのに必要な光量に変調し、前記第２の光ビームの光量を前記グルーブを形成するのに必要な光量に変調し、前記ピット用に光量の変調された前記第１の光ビームをオン／オフしてデジタル変調し、前記グルーブ用に光量の変調された前記第２の光ビームを、前記第１の光ビームがオフしてから所定の時間ｔα経過した後にオンし、前記第１の光ビームがオンするよりも所定の時間ｔβだけ前にオフしてデジタル変調し、デジタル変調された前記第１の光ビームとデジタル変調された前記第２の光ビームを合成して前記光ディスク原盤に照射して前記ピットを形成するとともに、前記ピットと前記ピットの間に前記グルーブを形成することを特徴とする光ディスク原盤露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク原盤露光装置および露光方法に関し、詳細には、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ等のピットとグルーブの形成される光ディスク原盤に高精度にピット間にグルーブを形成する光ディスク原盤露光装置および露光方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
そこで、請求項１または４記載の発明は、光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成するに際して、光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割して、第１の光ビームの光量をピットを形成するのに必要な光量に変調し、第２の光ビームの光量をグルーブを形成するのに必要な光量に変調し、ピット用に光量の変調した第１の光ビームをオン／オフし、グルーブ用に光量の変調された第２の光ビームを第１の光ビームがオフの間オンし第１の光ビームがオンの間オフして、このオン／オフ変調した第１の光ビームと第２の光ビームを合成して光ディスク原盤に照射してピットを形成するとともに、ピットとピットの間にグルーブを形成することにより、ピット及びピット間のグルーブをそれぞれ別々の光量で、かつ、別々のビーム形状で露光して形成し、ピット及びグルーブをそれぞれ最適な形状に露光・形成することのできる光ディスク原盤露光装置または露光方法を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項２または５記載の発明は、光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成するに際して、光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割して、第１の光ビームの光量をピットを形成するのに必要な光量に変調し、第２の光ビームの光量をグルーブを形成するのに必要な光量に変調し、ピット用に光量の変調した第１の光ビームをオン／オフし、グルーブ用に光量の変調された第２の光ビームを第１の光ビームがオフしてから所定の時間ｔα経過した後にオンし、第１の光ビームがオンするよりも所定の時間ｔβだけ前にオフして、このオン／オフ変調した第１の光ビームと第２の光ビームを合成して光ディスク原盤に照射してピットを形成するとともに、ピットとピットの間にグルーブを形成することにより、ピット及びピット間のグルーブをそれぞれ別々の光量で、かつ、別々のビーム形状で露光して形成するとともに、ピットの始端と終端でグルーブ用の光ビームの影響を受けることを防止し、ピット及びグルーブをそれぞれ最適な形状に露光・形成するとともに、ピット開口がだれることを防止して急峻なピットを露光・形成することのできる光ディスク原盤露光装置または露光方法を提供することを目的としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
上記構成によれば、時間ｔαと時間ｔβの合計時間を一定に保った状態で、時間ｔαと時間ｔβを変化させるので、ピット及びピット間グルーブの円周方向の位置を調整することができ、２本の光ビームが光ディスク原盤の円周方向にずれている場合にも、ピット間グルーブをピットとピットの真ん中に露光・形成することができる。
請求項４記載の発明の光ディスク原盤露光方法は、光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成する光ディスク原盤露光方法において、前記光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割し、前記第１の光ビームの光量を前記ピットを形成するのに必要な光量に変調し、前記第２の光ビームの光量を前記グルーブを形成するのに必要な光量に変調し、前記ピット用に光量の変調された前記第１の光ビームをオン／オフしてデジタル変調し、前記グルーブ用に光量の変調された前記第２の光ビームを前記第１の光ビームがオフの間オンし前記第１の光ビームがオンの間オフしてデジタル変調し、デジタル変調された前記第１の光ビームとデジタル変調された前記第２の光ビームを合成して前記光ディスク原盤に照射して前記ピットを形成するとともに、前記ピットと前記ピットの間に前記グルーブを形成する、ことにより上記目的を達成している。
請求項５記載の発明の光ディスク原盤露光方法は、光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成する光ディスク原盤露光方法において、前記光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割し、前記第１の光ビームの光量を前記ピットを形成するのに必要な光量に変調し、前記第２の光ビームの光量を前記グルーブを形成するのに必要な光量に変調し、前記ピット用に光量の変調された前記第１の光ビームをオン／オフしてデジタル変調し、前記グルーブ用に光量の変調された前記第２の光ビームを、前記第１の光ビームがオフしてから所定の時間ｔα経過した後にオンし、前記第１の光ビームがオンするよりも所定の時間ｔβだけ前にオフしてデジタル変調し、デジタル変調された前記第１の光ビームとデジタル変調された前記第２の光ビームを合成して前記光ディスク原盤に照射して前記ピットを形成するとともに、前記ピットと前記ピットの間に前記グルーブを形成する、ことにより上記目的を達成している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
【発明の効果】
請求項１記載の発明の光ディスク原盤露光装置または請求項４記載の発明の光ディスク原盤露光方法によれば、光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成するに際して、光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割して、第１の光ビームの光量をピットを形成するのに必要な光量に変調し、第２の光ビームの光量をグルーブを形成するのに必要な光量に変調し、ピット用に光量の変調した第１の光ビームをオン／オフし、グルーブ用に光量の変調された第２の光ビームを第１の光ビームがオフの間オンし第１の光ビームがオンの間オフして、このオン／オフ変調した第１の光ビームと第２の光ビームを合成して光ディスク原盤に照射してピットを形成するとともに、ピットとピットの間にグルーブを形成しているので、ピット及びピット間のグルーブをそれぞれ別々の光量で、かつ、別々のビーム形状で露光して形成することができ、ピット及びグルーブをそれぞれ最適な形状に露光・形成することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
請求項２記載の発明の光ディスク原盤露光装置または請求項５記載の発明の光ディスク原盤露光方法によれば、光源から出射された光ビームを光ディスク原盤に露光して深さの異なるピットとグルーブを形成するに際して、光源から出射された光ビームを第１の光ビームと第２の光ビームに分割して、第１の光ビームの光量をピットを形成するのに必要な光量に変調し、第２の光ビームの光量をグルーブを形成するのに必要な光量に変調し、ピット用に光量の変調した第１の光ビームをオン／オフし、グルーブ用に光量の変調された第２の光ビームを第１の光ビームがオフしてから所定の時間ｔα経過した後にオンし、第１の光ビームがオンするよりも所定の時間ｔβだけ前にオフして、このオン／オフ変調した第１の光ビームと第２の光ビームを合成して光ディスク原盤に照射してピットを形成するとともに、ピットとピットの間にグルーブを形成しているので、ピット及びピット間のグルーブをそれぞれ別々の光量で、かつ、別々のビーム形状で露光して形成することができるとともに、ピットの始端と終端でグルーブ用の光ビームの影響を受けることを防止することができ、ピット及びグルーブをそれぞれ最適な形状に露光・形成することができるとともに、ピット開口がだれることを防止して急峻なピットを露光・形成することができる。