【手続補正書】
【提出日】平成16年6月9日(2004.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察物体の位置を位置検出系により検出する位置検出方法において、
前記観察物体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて前記位置検出系の計測性能を評価することを特徴とする位置検出方法。
【請求項２】
前記計測性能は前記位置検出系の計測再現性であることを特徴とする請求項１記載の位置検出方法。
【請求項３】
観察物体の位置を位置検出系により検出する位置検出方法において、
前記観察物体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて、前記複数のアライメントマークの中から特定のマークを選択することを特徴とする位置検出方法。
【請求項４】
照明条件が可変な照明系により観察物体を照明し、当該観察物体の位置を位置検出系により検出する位置検出方法において、
前記観察物体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて、前記照明条件を選択することを特徴とする位置検出方法。
【請求項５】
前記照明条件とは照明σ、照明光の波長、前記照明系のＮＡの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４記載の位置検出方法。
【請求項６】
前記マーク間隔情報は、前記アライメントマークを複数回計測し、この計測結果として得られる複数の計測値から算出されるマーク間隔の再現性であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の位置検出方法。
【請求項７】
前記マーク間隔情報は、前記位置検出系に対して、前記アライメントマークを相対的に移動させ、且つ複数の相対位置におけるマーク間隔を算出し、当該複数の相対位置でのマーク間隔情報より算出した変動量であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の位置検出方法。
【請求項８】
前記位置検出系に対して、前記アライメントマークを相対的に移動させる際に、前記観察物体を当該アライメントマークの計測方向に駆動することを特徴とする請求項７記載の位置検出方法。
【請求項９】
観察物体の位置を位置検出系により検出する位置検出方法において、
前記観察物体上に配列された複数のアライメントマークを前記位置検出系に対してフォーカス方向に相対的に移動させ、且つ複数の相対位置におけるマーク間隔を算出し、当該複数の相対位置でのマーク間隔情報から変動量を算出し、
前記変動量から前記位置検出系の軸外テレセンシティを調整することを特徴とする位置検出方法。
【請求項１０】
前記軸外テレセンシティは、前記位置検出系における前記観察物体に対して略フーリエ変換位置に配置された部材により調整され、当該部材は、前記位置検出系に対して位置を調整可能であることを特徴とする請求項９記載の位置検出方法。
【請求項１１】
前記軸外テレセンシティを調整部材は、前記位置検出系における前記観察物体に対して略フーリエ変換位置の近傍に配置された光学部材であることを特徴とする請求項９又は１０記載の位置検出方法。
【請求項１２】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光装置であって、
前記被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて前記位置検出系の計測性能を評価することを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光装置であって、
前記被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて、前記複数のアライメントマークの中から特定のマークを選択することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光装置であって、
照明条件が可変な照明系により前記被露光体を照明し、当該被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて、前記照明条件を選択することを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光装置であって、
前記被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークを前記位置検出系に対してフォーカス方向に相対的に移動させ、且つ複数の相対位置におけるマーク間隔を算出し、当該複数の相対位置でのマーク間隔情報から変動量を算出し、
前記変動量から前記位置検出系の軸外テレセンシティを調整することを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光方法であって、
前記被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて前記位置検出系の計測性能を評価することを特徴とする露光方法。
【請求項１７】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光方法であって、
前記被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて、前記複数のアライメントマークの中から特定のマークを選択することを特徴とする露光方法。
【請求項１８】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光方法であって、
照明条件が可変な照明系により前記被露光体を照明し、当該被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて、前記照明条件を選択することを特徴とする露光方法。
【請求項１９】
アライメントマークが形成された被露光体を、当該アライメントマークの計測結果に基づいて位置決めして投影露光する露光方法であって、
前記被露光体の位置を検出する位置検出系により前記被露光体上に配列された複数のアライメントマークを前記位置検出系に対してフォーカス方向に相対的に移動させ、且つ複数の相対位置におけるマーク間隔を算出し、当該複数の相対位置でのマーク間隔情報から変動量を算出し、
前記変動量から前記位置検出系の軸外テレセンシティを調整することを特徴とする露光方法。
【請求項２０】
請求項１２乃至１５のいずれか１項に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造する工程を有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以上の様なアライメント検出系が持つ問題に対して、観察物体の位置を検出するアライメント検出系により前記観察物体上に配列された複数のアライメントマークの各マーク間隔を計測し、この計測結果として得られるマーク間隔情報に基づいて前記アライメント検出系の計測再現性（計測性能）を評価することで、従来ウエハステージの安定性の影響によって、正確に評価できなかった純粋なアライメント検出系の性能を正確に評価することが可能となる。