【手続補正書】
【提出日】平成16年10月29日(2004.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体に互いに時間的位相差を有する複数の振動を励起させることにより前記振動体の表面に円運動を行わせ、前記振動体の表面に接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置において、
前記振動体は複数の弾性体と、隣接する複数の弾性体を締め付ける締結部材とを有し、前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体との接触する面に密着性を向上させる処理が施されていることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】
前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体と接触する面に耐摩耗処理が施されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項３】
前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体と接触する面の表面粗さが隣接する弾性体と接触しない面の表面粗さよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項４】
前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体と接触する面に潤滑剤が塗布されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項５】
前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体と接触する面に充填剤が塗布されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項６】
前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体と接触する面の外周から充填剤が塗布されていることを特徴とする請求項５に記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体と接触する面に溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体に互いに時間的位相差を有する複数の振動を励起させることにより前記振動体の表面に円運動を行わせ、前記振動体の表面に接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置において、
前記振動体は複数の弾性体と、隣接する複数の弾性体を締め付ける締結部材とを有し、前記隣接する複数の弾性体の接触面の表面硬度がＨＶ１４０以上であることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項９】
電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体に互いに時間的位相差を有する複数の振動を励起させることにより前記振動体の表面に円運動を行わせ、前記振動体の表面に接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置において、
前記振動体は複数の弾性体と、隣接する複数の弾性体を締め付ける締結部材とを有し、前記締結部材と前記締結部材によって締め付けられる弾性体との接触位置が、前記振動波駆動装置を駆動するときに前記振動体に励起される振動の歪量の小さい位置であることを特徴とする振動波駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
ロータgの一方の面は接触幅が小さく、かつ適度なバネ性を有する構造をしており、この面が振動体の摩擦面fに接触する。また、ロータgのもう一方の面には、ロータgと一緒に回転し、モータの出力を伝達するギアhの凹部(または凸部)と係合するよう凸部(または凹部)が形成されている。さらに、ギアhはモータを取り付けるためのフランジiにより、シャフトd1のスラスト方向に位置が固定されており、前記ロータgに加圧力を付与するための加圧バネjがこのギアhとロータgとの間に設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この結果、ロータgが接触する第１の弾性体aの上面には楕円運動が形成され、耐摩耗性を有する摩擦面fに押圧されたロータgが摩擦駆動されるため、該ロータg、ギアh、加圧バネjが一体となって回転する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この問題を解決するために、本発明の請求項１においては、電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体に互いに時間的位相差を有する複数の振動を励起させることにより前記振動体の表面に円運動を行わせ、前記振動体の表面に接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置において、前記振動体は複数の弾性体と、隣接する複数の弾性体を締め付ける締結部材とを有し、前記隣接する複数の弾性体の少なくとも一つは、隣接する弾性体との接触する面に密着性を向上させる処理が施されていることを趣旨としている。
また、本発明の請求項８においては、電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体に互いに時間的位相差を有する複数の振動を励起させることにより前記振動体の表面に円運動を行わせ、前記振動体の表面に接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置において、前記振動体は複数の弾性体と、隣接する複数の弾性体を締め付ける締結部材とを有し、前記隣接する複数の弾性体の接触面の表面硬度がＨＶ１４０以上であることを主旨としている。このHV140以上という値は、以下の結果により定めた。この値を定めるために、図6におけるディスク状弾性体eの部分にHV245程度の硬鋼(SUS440C)、第1の弾性体aの部分にHV110程度の黄銅(C3604)、HV140程度の高力黄銅(HBsB1)、HV170程度の硬鋼(SUS416F)の3種類を使用し、振動体を組立て、性能を評価した。該第1の弾性体aの分割面は駆動に供する振動モードにより発生する歪みが他の分割面において生じる歪みより大きい位置に配置されている。その結果、良好な性能を有する振動体を安定して得ることが出来たものは、第１の弾性体aの部分が高力黄銅と硬鋼の場合の2種類であった。また、分割面の摩耗量も、硬度が大きくなるにつれて、少なくなる傾向が見られた。
また、請求項９においては、電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体に互いに時間的位相差を有する複数の振動を励起させることにより前記振動体の表面に円運動を行わせ、前記振動体の表面に接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置において、前記振動体は複数の弾性体と、隣接する複数の弾性体を締め付ける締結部材とを有し、前記締結部材と前記締結部材によって締め付けられる弾性体との接触位置が、前記振動波駆動装置を駆動するときに前記振動体に励起される振動の歪量の小さい位置であることを主旨としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
なお、一体化するためのテーパ構造及び下のネジ構造部は、それぞれ、ネジ構造、テーパ構造、圧入構造、一体加工構造、キー構造でもよい。ここで、第１の弾性体aがディスク状弾性体eと接触する面（分割面）の表面硬度をHV140以上にするために、第１の弾性体aの材料は高力黄銅、ディスク状弾性体eの材料は硬鋼を使用している。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（第２の実施の形態）
本発明の第2の実施の形態は、上述の第1の実施の形態における第１の弾性体aの挟持面（ディスク状弾性体eと接触する分割面）に、NiPメッキなどの耐摩耗処理を施している。耐摩耗処理については、NiPメッキに限らず、クロムメッキなどの表面処理、または、窒化などの表面硬度を硬くする処理であれば良い。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（第４の実施の形態）
本発明の第4の実施の形態は、第１の弾性体aとディスク状弾性体eの挟持面（分割面）の摩擦係数を下げるために潤滑剤例えば油を塗布している。但し、油に限らず、ポリイミド、薄膜、ビニールなどにより、摩擦係数を下げる構成になる潤滑剤の機能を果たすものならば良い。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（第５の実施の形態）
本発明の第5の実施の形態は、分割面同士の密着性を高めるために、第１の弾性体aとディスク状弾性体eの挟持面（分割面）に接着剤等の充填剤を塗布している。これにより、振動方向による密着面の剛性差を無くすことが可能になり、共振周波数差（Δf）等の問題点も解決できた。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
（第６の実施の形態）
本発明の第6の実施の形態は、摩耗した部分の動的剛性差を対称にするために、第１の弾性体aとディスク状弾性体eの間の分割面に外周から接着剤を塗布している。この場合、振動体を組立てた後、両弾性体ａ、ｅが密着している間に存在する微妙な隙間にのみ、接着剤を充填する構成とすれば、比較的機械的品質係数（Q値）に影響を与えずに密着面の剛性差を改善することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
図6は本発明における振動体を用いた振動波モータの構成図の例である。不図示の電源から圧電素子cに時間的にπ/２の位相差を有する交流電界を印加すると、互いに直交した２方向に２つの曲げ振動を励振する。この振動の合成により、ロータgの接触するディスク状弾性体eの上端面には円運動が形成され、耐摩耗性を有するディスク状弾性体eに押圧されたロータｇは摩擦駆動される。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、振動体の弾性体間の密着性を向上させることができ、特性の良い振動波駆動装置を得ることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
また、本発明によれば、摩耗面を振動体特性に与える影響が緩和されるように、駆動の供する振動モードにより発生する歪みが小さい位置に配置することにより、特性のよい振動体を得ることができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
a：第1の弾性体
a2：第3の弾性体
b：第2の弾性体
c：電気-機械エネルギー変換素子(圧電素子)
d1：シャフト
d2：ナット
e：ディスク状弾性体
e2：第2のディスク状弾性体
f：摩擦面
g：ロータ
h：ギア
i：フランジ
j：加圧バネ
k：バネ
l：バネケース
m：フレキシブル基板
n：支持板
o：中空ボルト