【手続補正書】
【提出日】平成16年4月23日(2004.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１物体の像を第２物体上に形成する投影光学系において、
前記第１物体側から順に、
正の屈折力を有し、３枚の正レンズを含む第１レンズ群と、
負の屈折力を有し、３枚の負レンズと１枚の正レンズとを含む第２レンズ群と、
正の屈折力を有し、３枚の正レンズと１枚の負レンズとを含む第３レンズ群と、
負の屈折力を有し、３枚の負レンズを含む第４レンズ群と、
正の屈折力を有し、６枚の正レンズと１枚の負レンズとを含む第５レンズ群とを備え、
前記第１レンズ群は少なくとも２枚の正レンズを含む部分群Ｇ１ｐを有し、
前記第２レンズ群は少なくとも３枚の負レンズを含む部分群Ｇ２ｎを有し、
前記第３レンズ群は少なくとも３枚の正レンズを含む部分群Ｇ３ｐを有し、
前記第４レンズ群は少なくとも３枚の負レンズを含む部分群Ｇ４ｎを有し、
前記第５レンズ群は少なくとも５枚の正レンズを含む部分群Ｇ５ｐと最も第２物体側に配置されて第２物体側に凹面を向けた正レンズＧ５ｇとを有し、
以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
0.08 ＜ ｆ１/Ｌ＜ 0.25
0.03 ＜-ｆ２/Ｌ＜ 0.1
0.08 ＜ ｆ３/Ｌ＜ 0.3
0.035＜-ｆ４/Ｌ＜ 0.11
0.1  ＜ ｆ５ｐ/Ｌ＜0.25
0.07 ＜ ｆ５ｇ/Ｌ＜0.21
0.25 ＜ Ｒ５ｇ/Ｌ＜0.83
但し、
Ｌ    ：前記第１物体から前記第２物体までの距離、
ｆ１  ：前記第１レンズ群中の部分群Ｇ１ｐの焦点距離、
ｆ２  ：前記第２レンズ群中の部分群Ｇ２ｎの焦点距離、
ｆ３  ：前記第３レンズ群中の部分群Ｇ３ｐの焦点距離、
ｆ４  ：前記第４レンズ群中の部分群Ｇ４ｎの焦点距離、
ｆ５ｐ：前記第５レンズ群中の部分群Ｇ５ｐの焦点距離、
ｆ５ｇ：前記第５レンズ群中の正レンズＧ５ｇの焦点距離、
Ｒ５ｇ：前記第５レンズ群中の正レンズＧ５ｇの第２物体側の凹面の曲率半径、である。
【請求項２】
前記第５レンズ群は、第１物体側に向けられた第１の凹面Ｎ１を有し、
該凹面Ｎ１の曲率半径をＲｎ１とするとき以下の条件を満たすことを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
0.125＜-Ｒｎ１/Ｌ＜0.33
【請求項３】
前記第５レンズ群は、以下の条件を満足する少なくとも４枚の正レンズを含むことを特徴とする請求項１または２記載の投影光学系。
-10＜（ｒ１+ｒ２）/（ｒ１-ｒ２）＜-0.1
但し、
ｒ１：前記少なくとも４枚の正レンズの第１物体側の面の曲率半径、
ｒ２：前記少なくとも４枚の正レンズの第２物体側の面の曲率半径、である。
【請求項４】
前記第５レンズ群は、第２物体側に向けられた第２の凹面Ｎ２と、該第２の凹面Ｎ２よりも第２物体側に位置し第２物体側に向けられた第３の凹面Ｎ３とを有し、
以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の投影光学系。
0.16 ＜Ｒｎ２/Ｌ＜ 0.38
0.055＜Ｒｎ３/Ｌ＜ 0.11
但し、
Ｒｎ２：前記第２の凹面Ｎ２の曲率半径、
Ｒｎ３：前記第３の凹面Ｎ３の曲率半径、
である。
【請求項５】
前記第２レンズ群は、少なくとも１つの正レンズを含み、該正レンズの第２物体を向いた面の曲率半径をＲｐ１とするとき以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の投影光学系。
0.23 ＜-Ｒｐ１/Ｌ＜ 0.5
【請求項６】
前記第２レンズ群中の正レンズは、前記第２レンズ群中の部分群Ｇ２ｎよりも第１物体側に配置されることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項７】
前記第３レンズ群中の負レンズは、前記第３レンズ群中の部分群Ｇ３ｐよりも第１物体側に配置されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項８】
前記第４レンズ群の最も第１物体側には、第１物体側に凸面を向けたレンズが配置され、前記第４レンズ群の最も第２物体側には、第２物体側に凸面を向けたレンズが配置されることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項９】
前記第２レンズ群の最も第１物体側には、正レンズが配置され、
前記第２レンズ群の最も第２物体側には、部分群Ｇ２ｎが配置されることを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項１０】
前記第５レンズ群中の第１及び第２の凹面Ｎ１，Ｎ２は、前記第５レンズ群中の部分群Ｇ５ｐ中に位置することを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項１１】
前記第１レンズ群中の部分群Ｇ１ｐは、正レンズのみからなることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項１２】
前記第２レンズ群中の部分群Ｇ２ｎは、負レンズのみからなることを特徴とする請求項１乃至１１の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項１３】
前記第３レンズ群中の部分群Ｇ３ｐは、正レンズのみからなることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項１４】
前記第４レンズ群中の部分群Ｇ４ｎは、負レンズのみからなることを特徴とする請求項１乃至１３の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項１５】
前記第１物体を照明する照明光学系と、
前記第１物体を支持する第１支持部材と、
請求項１乃至１４のいずれか一項記載の投影光学系と、
前記第２物体を支持する第２支持部材とを備えることを特徴とする投影露光装置。
【請求項１６】
所定の回路パターンが描かれたマスクを紫外域の露光光で照明する工程と、
請求項１乃至１４のいずれか一項記載の投影光学系を用いて前記照明されたマスクの像を基板上に形成する工程とを含むデバイス製造方法。
【請求項１７】
第１物体の像を第２物体上に形成する投影光学系において、
前記第１物体と前記第２物体との間の光路中に配置されて、少なくとも２枚の正レンズを含む部分群Ｇ１ｐを備え、全体として３枚の正レンズを含む正屈折力の第１レンズ群と、
前記第１レンズ群と前記第２物体との間の光路中に配置されて、少なくとも３枚の負レンズを含む部分群Ｇ２ｎを備え、全体として３枚の負レンズと１枚の正レンズとを含む負屈折力の第２レンズ群と、
前記第２レンズ群と前記第２物体との間の光路中に配置されて、少なくとも３枚の正レンズを含む部分群Ｇ３ｐを備え、全体として３枚の正レンズと１枚の負レンズとを含む正屈折力の第３レンズ群と、
前記第３レンズ群と前記第２物体との間の光路中に配置されて、少なくとも３枚の負レンズを含む部分群Ｇ４ｎを備え、全体として３枚の負レンズを含む負屈折力の第４レンズ群と、
前記第４レンズ群と前記第２物体との間の光路中に配置されて、少なくとも５枚の正レンズを含む部分群Ｇ５ｐと最も第２物体側に配置されて第２物体側に凹面を向けた正レンズＧ５ｇとを備え、全体として６枚の正レンズと１枚の負レンズとを含む正の屈折力の第５レンズ群とを備え、
以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
0.08 ＜ ｆ１/Ｌ＜ 0.25
0.03 ＜-ｆ２/Ｌ＜ 0.1
0.08 ＜ ｆ３/Ｌ＜ 0.3
0.035＜-ｆ４/Ｌ＜ 0.11
0.1  ＜ ｆ５ｐ/Ｌ＜0.25
0.07 ＜ ｆ５ｇ/Ｌ＜0.21
0.25 ＜ Ｒ５ｇ/Ｌ＜0.83
但し、
Ｌ    ：前記第１物体から前記第２物体までの距離、
ｆ１  ：前記第１レンズ群中の部分群Ｇ１ｐの焦点距離、
ｆ２  ：前記第２レンズ群中の部分群Ｇ２ｎの焦点距離、
ｆ３  ：前記第３レンズ群中の部分群Ｇ３ｐの焦点距離、
ｆ４  ：前記第４レンズ群中の部分群Ｇ４ｎの焦点距離、
ｆ５ｐ：前記第５レンズ群中の部分群Ｇ５ｐの焦点距離、
ｆ５ｇ：前記第５レンズ群中の正レンズＧ５ｇの焦点距離、
Ｒ５ｇ：前記第５レンズ群中の正レンズＧ５ｇの第２物体側の凹面の曲率半径、である。