(57)【要約】【課題】小さな駆動力を適切に出力すると共に、そのときの消費電力を抑制する。【解決手段】駆動装置は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４を有し、アクチュエータ本体４の振動によって駆動力を出力する超音波アクチュエータ２と、圧電素子に複数の交流電圧を印加してアクチュエータ本体４に振動を発生させる制御部７とを備えている。制御部７は、第１及び第２交流電圧の位相差を調節することで駆動力を制御する位相制御と、各交流電圧において所定のバースト周期中に含まれる波数を調節することで駆動力を制御する波数制御とを組み合わせて行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体を有し、該アクチュエータ本体の振動によって駆動力を出力する振動型アクチュエータと、
前記圧電素子に複数又は単相のパルス信号を印加して前記アクチュエータ本体に振動を発生させる制御部とを備え、
前記制御部は、前記複数のパルス信号の位相差を調節することで駆動力を制御する位相制御又は前記単相のパルス信号のデューティ比を調整することで駆動力を制御するデューティ制御と、前記各交流電圧において所定のバースト周期中に含まれるパルス数を調節することで駆動力を制御する波数制御とを組み合わせて行う駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記波数制御において、前記位相制御における前記位相差に関連するパラメータ又は前記デューティ制御における前記デューティ比に関連するパラメータに基づいて、前記バースト周期中に含まれるパルス数を調節する駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の駆動装置において、
前記制御部は、
前記パラメータが所定の第１閾値よりも大きい状態が所定の第１継続時間よりも長く継続したときは前記バースト周期中に含まれるパルス数を１つ増やす一方、
前記パラメータが該第１閾値よりも小さな第２閾値よりも小さい状態が所定の第２継続時間よりも長く継続したときは前記バースト周期中に含まれるパルス数を１つ減らす駆動装置。
【請求項４】
請求項２に記載の駆動装置において、
前記制御部は、
前記パラメータが所定の第１閾値よりも大きい状態が所定の第１継続時間よりも長く継続したときは、前記バースト周期中に含まれるパルス数を暫定的に１つ増やした後、所定の第１保持時間経過後に該パルス数を元に戻し、再び、該パラメータが該第１閾値よりも大きい状態が該第１継続時間よりも長く継続したときは該パルス数を正式に１つ増やす一方、
前記パラメータが該第１閾値よりも小さな第２閾値よりも小さい状態が所定の第２継続時間よりも長く継続したときは、前記バースト周期中に含まれるパルス数を暫定的に１つ減らした後、所定の第２保持時間経過後に該パルス数を元に戻し、再び、該パラメータが該第２閾値よりも小さい状態が該第２継続時間よりも長く継続したときは該パルス数を正式に１つ減らす駆動装置。
【請求項５】
請求項２に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記パラメータをその大きさに基づいて複数の領域に分割し、該領域ごとに前記バースト周期中に含まれるパルス数を割り当てる駆動装置。
【請求項６】
請求項５に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記パラメータが減少しているときには、各パルス数が割り当てられた前記領域の下限値を、該パラメータが増大しているときの下限値よりも小さく設定している駆動装置。
【請求項７】
請求項２に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記パラメータの大きさに応じて、前記バースト周期中に含まれるパルス数を調節すると共に該バースト周期中に含まれる少なくとも１つのパルスのパルス幅を調節する駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記バースト周期中に含まれるパルスのパルス幅の和が前記パラメータの大きさに比例するように、前記バースト周期中に含まれるパルス数と該パルスのパルス幅を調節する駆動装置。
【請求項９】
請求項２乃至８の１つに記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記振動型アクチュエータにより駆動される駆動対象の実運転状態と目標運転状態との偏差に基づくＰＩＤ制御によって前記位相差の制御量又は前記デューティ比の制御量を求めており、
前記波数制御における前記パラメータは、前記ＰＩＤ制御における積分項及び比例項の少なくとも一方である駆動装置。
【請求項１０】
請求項２乃至８の１つに記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記振動型アクチュエータにより駆動される駆動対象の実運転状態と目標運転状態との偏差に基づくフィードバック制御によって前記位相差の制御量又は前記デューティ比の制御量を求めると共に、該駆動対象及び該振動型アクチュエータのモデルに基づいて設計されたオブザーバを有し、該オブザーバからの補正量によって該位相差の制御量又は該デューティ比の制御量を補正しており、
前記波数制御における前記パラメータは、前記オブザーバからの補正量である駆動装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記位相制御を行うものであって、前記アクチュエータ本体の振動を開始させるときには、所定の待機時間の間、前記複数のパルス信号の位相差を制御して、該アクチュエータ本体に、前記振動型アクチュエータによって駆動される駆動対象の駆動方向への振動成分を含まない振動だけを行わせ、該待機時間経過後に、該アクチュエータ本体に該駆動方向への振動成分を含む振動を行わせる駆動装置。
【請求項１２】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記デューティ制御を行うものであって、前記アクチュエータ本体の振動を開始させるときには、所定の待機時間の間、前記パルス信号のデューティ比を５０％に制御して、前記振動型アクチュエータによって駆動される駆動対象を駆動方向へ移動させない一方、該待機時間経過後に、前記パルス信号のデューティ比を５０％からずらして該駆動対象を該駆動方向へ移動させる駆動装置。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記待機時間の間は、前記バースト周期中に含まれるパルス数を前記アクチュエータ本体の振動を維持できる最小値に設定する駆動装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３の何れか１つに記載の駆動装置において、
前記波数制御において、前記バースト周期中に含まれるパルス信号の最小値又は前記バースト周期中においてパルス信号を出力しない休止期間の最大値は、前記アクチュエータ本体の振動を維持できる値に設定されている駆動装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４の何れか１つに記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記振動型アクチュエータによって駆動される駆動対象を減速させるときには、前記バースト周期中に含まれるパルス数を該駆動対象を駆動できる最小値よりも小さな値に調節する駆動装置。
【請求項１６】
請求項１乃至１５の何れか１つに記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記波数制御において、前記バースト周期中に含まれる、所定のパルス幅を有する通常波形のパルスのパルス数を調節すると共に、該バースト周期のうち該通常波形のパルスを出力しない休止期間においては、該通常波形のパルスよりもパルス幅が狭い狭小パルスを出力する駆動装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記狭小パルスを前記休止期間の終盤にだけ出力する駆動装置。
【請求項１８】
レンズと、
前記レンズを駆動する、請求項１乃至１６の何れか１つに記載の駆動装置とを備えたレンズ鏡筒。
【請求項１９】
レンズと、
前記レンズを駆動する、請求項１乃至１６の何れか１つに記載の駆動装置とを備えたカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータを備えた駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、振動型アクチュエータを備えた駆動装置が知られている。例えば、特許文献１に係る駆動装置の振動型アクチュエータは、圧電素子を用いて構成され、圧電素子に２つの交流電圧を印加することによって、圧電素子に振動を誘起させ、駆動力を出力している。
【０００３】
この駆動装置においては、振動型アクチュエータの駆動力を制御するために、２つの交流電圧の周波数を変更する周波数制御と、２つの交流電圧の電圧値を変更する電圧制御とを組み合わせて行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１９１６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、前述の如く、周波数制御や電圧制御による駆動力の制御においては、必要な駆動力が小さい領域で不感帯が大きくなる。つまり、圧電素子の振動を小さくすべく、２つの交流電圧の周波数を圧電素子の共振周波数から大きくずらしたり、２つの交流電圧の電圧値を小さくし過ぎると、圧電素子が十分に振動しなくなり、小さな駆動力を適切に出力することができない。
【０００６】
それに対して、２つの交流電圧の位相差を変化させることで駆動力を制御する位相制御は、交流電圧の周波数が圧電素子の共振周波数から大きくはずれることもなく、電圧値も十分に確保されるため、駆動力の小さな領域における不感帯が小さく、小さな駆動力を適切に出力することができる。
【０００７】
しかしながら、位相制御においては、小さな駆動力しか出力しないときであっても、交流電圧の電圧値は、大きな駆動力を出力するときと変わらないため、駆動力の割りに消費電力が大きいという問題がある。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小さな駆動力を適切に出力すると共に、そのときの消費電力を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る駆動装置は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体を有し、該アクチュエータ本体の振動によって駆動力を出力する振動型アクチュエータと、前記圧電素子に複数のパルス信号を印加して前記アクチュエータ本体に振動を発生させる制御部とを備え、前記制御部は、前記複数のパルス信号の位相差を調節することで駆動力を制御する位相制御と、前記各交流電圧において所定のバースト周期中に含まれるパルス数を調節することで駆動力を制御する波数制御とを組み合わせて行うようにしたものである。
【００１０】
あるいは、本発明に係る駆動装置は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体を有し、該アクチュエータ本体の振動によって駆動力を出力する振動型アクチュエータと、前記圧電素子に単相のパルス信号を印加して前記アクチュエータ本体に振動を発生させる制御部とを備え、前記制御部は、前記単相のパルス信号のデューティ比を調整することで駆動力を制御するデューティ制御と、前記各交流電圧において所定のバースト周期中に含まれるパルス数を調節することで駆動力を制御する波数制御とを組み合わせて行うようにしたものである。
【００１１】
また、本発明に係るレンズ鏡筒は、レンズと、該レンズを駆動する前記駆動装置とを備えたものとする。
【００１２】
さらに、本発明に係るカメラは、レンズと、該レンズを駆動する前記駆動装置とを備えたものとする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、必要な駆動力が小さな場合であっても、位相制御又はデューティ制御により所望の駆動力を適切に出力することができると共に、波数制御により消費電力を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る駆動装置を搭載したカメラの構成を示すブロック図である。
【図２】フォーカスレンズ駆動部の概略構成を示す正面図である。
【図３】超音波アクチュエータのアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【図４】アクチュエータ本体の概略的な平面図である。
【図５】アクチュエータ本体の１次モードの伸縮振動による変形を示す正面図である。
【図６】アクチュエータ本体の２次モードの屈曲振動による変形を示す正面図である。
【図７】アクチュエータ本体の合成振動による変形を示す正面図である。
【図８】パルス数が最大のときの駆動電圧の波形図である。
【図９】パルス数をパルス５個につき３つ減らしたときの駆動電圧の波形図である。
【図１０】駆動電圧のバースト率と消費電力との関係を表すグラフである。
【図１１】駆動電圧のバースト率と駆動力との関係を表すグラフである。
【図１２】バースト周期を変更した場合の駆動電圧の波形図である。
【図１３】休止期間に狭小パルスを出力する場合の駆動電圧の波形図である。
【図１４】休止期間の終盤にだけ狭小パルスを出力する場合の駆動電圧の波形図である。
【図１５】波数制御のフローチャートである。
【図１６】位相制御部及び可変遅延回路のブロック図である。
【図１７】始動制御における駆動電圧の波形図である。
【図１８】実施形態１の変形例１に係るカメラの構成を示すブロック図である。
【図１９】実施形態１の変形例２に係るカメラの構成を示すブロック図である。
【図２０】実施形態１の変形例３に係る波数制御のフローチャートである。
【図２１】実施形態２に係る駆動装置における、監視パラメータとパルス数との関係を規定するマップである。
【図２２】実施形態２の変形例１に係る監視パラメータとパルス数との関係を規定するマップである。
【図２３】バースト制御部及びパルス生成部のブロック図である。
【図２４】実施形態２の変形例２に係る監視パラメータとパルス数との関係を規定するマップであって、（Ａ）が監視パラメータとパルス数とのマップで、（Ｂ）が監視パラメータとパルス幅とのマップである。
【図２５】通常パルスと可変パルスとを組み合わせた駆動電圧の波形図である。
【図２６】実施形態３に係るカメラのレンズ機構の一部の斜視図である。
【図２７】超音波アクチュエータの概略図であって、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は（Ａ）のｂ−ｂ線における断面図である。
【図２８】待機時の状態を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【図２９】駆動時の状態を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【図３０】駆動時における駆動シャフトとレンズ枠の摩擦部材の位置の時間変化を示す模式図である。
【図３１】待機時の波数制御を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【図３２】駆動時の波数制御を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【図３３】待機時の、狭小パルスを出力する波数制御を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【図３４】駆動時の、狭小パルスを出力する波数制御を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【図３５】始動制御を示すグラフであって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフトの位置を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１に係る駆動装置が搭載されたカメラシステム１について、図１を参照して説明する。図１は、カメラの構成を示すブロック図を示す。
【００１７】
カメラシステム１は、撮像素子１１と、被写体像を該撮像素子１１に結ぶための撮像光学系１２と、撮像素子１１と撮像光学系１２との間の光軸上に設けられた反射ミラー１３と、該反射ミラー１３によって導かれた光を受光して視差を検出する視差検出部１４と、撮像光学系１２中の後述するフォーカスレンズ駆動部１６を制御する制御部７とを備えている。
【００１８】
撮像素子１１は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）で構成されており、撮像面に結像した被写体像を光電変換によって電気信号に変換する。
【００１９】
撮像光学系１２は、少なくとも１つのフォーカスレンズ１５を含むレンズ群と、フォーカスレンズ１５を駆動するフォーカスレンズ駆動部１６とを有する。フォーカスレンズ駆動部１６の詳しい構成については後述する。
【００２０】
反射ミラー１３は、撮像素子１１と撮像光学系１２との間の光軸上に位置して、撮像光学系１２から入射する光を反射して、視差検出部１４へ導く反射状態と、該光軸上から退避した退避状態との間で切換可能に構成されている。つまり、反射ミラー１３は、オートフォーカスのために被写体像の視差を検出するときには反射状態となる一方、撮像素子１１を露光するときには退避状態となる。
【００２１】
視差検出部１４は、被写体像の視差を検出する。例えば、視差検出部１４は、コンデンサレンズ、セパレータレンズ及びラインセンサを有している。コンデンサレンズに入力された光は、コンデンサレンズによって集光されて、セパレータレンズに入射する。該光はセパレータレンズで瞳分割され、ラインセンサ上の２箇所に結像する。こうして、視差検出部１４からは、ラインセンサの出力信号が出力される。
【００２２】
制御部７は、撮像素子１１及び視差検出部１４からの出力信号に基づいて、撮像光学系１２のフォーカスレンズ駆動部１６を制御して、被写体像を撮像素子１１の撮像面上に合焦させる。制御部７の詳しい構成については、後述する。
【００２３】
−フォーカスレンズ駆動部の構成−
以下に、フォーカスレンズ駆動部１６の詳しい構成について、図２を参照しながら説明する。図２は、フォーカスレンズ駆動部１６の概略構成を示す。
【００２４】
フォーカスレンズ駆動部１６は、超音波アクチュエータ２と、レンズ保持機構８と、位置検出部８４とを有している。超音波アクチュエータ２と制御部７とが駆動装置を構成する。
【００２５】
レンズ保持機構８は、ガイドポール８１と、超音波アクチュエータ２が取り付けられると共にガイドポール８１に対して移動可能に構成された可動ケース８２と、フォーカスレンズ１５を保持すると共に該可動ケース８２に一体的に取り付けられた保持枠８３とを有している。このレンズ保持機構８は、図示省略のレンズ群ホルダに配設されている。
【００２６】
ガイドポール８１は、撮像光学系１２の光軸と平行に延びるように、レンズ群ホルダに対して固定的に設けられている。ガイドポール８１には、超音波アクチュエータ２の後述する駆動子４９，４９が当接する当接部材８１ａが固定的に取り付けられている。また、ガイドポール８１は、図２では、１本だけ図示しているが、複数本設けられていてもよい。
【００２７】
可動ケース８２は、超音波アクチュエータ２を収容するように構成されている。また、可動ケース８２は、ガイドポール８１に対してスライド可能に取り付けられている。つまり、可動ケース８２は、レンズ群ホルダに対して相対的に移動する。
【００２８】
保持枠８３は、可動ケース８２に一体的に取り付けられていて、フォーカスレンズ１５をその光軸が撮像光学系１２の光軸と一致する状態で保持する。この保持枠８３は、可動ケース８２と共にガイドポール８１に沿って移動する。つまり、保持枠８３に保持されたフォーカスレンズ１５は、可動ケース８２の移動に従って、撮像光学系１２の光軸に沿って移動する。
【００２９】
位置検出部８４は、磁気センサ８４ａと磁気スケール８４ｂとで構成されている。磁気スケール８４ｂは、可動ケース８２に取り付けられている。磁気センサ８４ａは、磁気スケール８４ｂと対向し且つ磁気スケール８４ｂと所定間隔を保った状態でレンズ群ホルダに取り付けられている。磁気センサ８４ａは、磁気スケール８４ｂを検出するＭＲセンサなどで構成されている。
【００３０】
−超音波アクチュエータの構成−
以下に、超音波アクチュエータの詳しい構成について、図２〜７を参照しながら説明する。図３は、超音波アクチュエータのアクチュエータ本体の分解斜視図で、図４は、アクチュエータ本体の概略的な平面図で、図５は、アクチュエータ本体の１次モードの伸縮振動による変形を示す正面図で、図６は、アクチュエータ本体の２次モードの屈曲振動による変形を示す正面図で、図７は、アクチュエータ本体の合成振動による変形を示す正面図である。
【００３１】
前記超音波アクチュエータ２は、図２に示すように、振動を発生させるアクチュエータ本体４と、該アクチュエータ本体４の駆動力を出力する駆動子４９，４９と、該アクチュエータ本体４を収容するケース５と、アクチュエータ本体４とケース５との間に介設されてアクチュエータ本体４を弾性的に支持する支持ゴム６１，６１と、アクチュエータ本体４をガイドポール８１の当接部材８１ａに付勢するための付勢ゴム６２とを備えている。この超音波アクチュエータ２が振動型アクチュエータを構成する。
【００３２】
前記アクチュエータ本体４は、略長方形状の互いに対向する一対の主面と、この主面と直交して該主面の長手方向に延びる、互いに対向する一対の長辺側面と、これら主面及び長辺側面の両方と直交して該主面の短手方向に延びる、互いに対向する一対の短辺側面とを有する略直方体状をしている。
【００３３】
このアクチュエータ本体４は、圧電素子であって、図３に示すように、５つの圧電体層４１，４１，…と４つの内部電極層４２，４４，４３，４４とを交互に積層して構成される。内部電極層４２，４４，４３，４４は、積層方向に圧電体層４１を介して交互に配された、第１給電電極層４２と共通電極層４４と第２給電電極層４３と共通電極層４４とで構成される。これら第１給電電極層４２、第２給電電極層４３及び共通電極層４４，４４のそれぞれは、各圧電体層４１の主面上に印刷されている。
【００３４】
前記各圧電体層４１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛などのセラミック材料からなる絶縁体層であって、前記アクチュエータ本体４と同様に、一対の主面と、一対の長辺側面と、一対の短辺側面とを有する略直方体状をしている。また、各圧電体層４１には、その長辺側面のうち一方の長辺側面の長手方向中央部に外部電極４５ａが、一方の短辺側面の短手方向中央部に外部電極４６ａが、他方の短辺側面の短手方向中央部に外部電極４７ａがそれぞれ形成されている。
【００３５】
前記各共通電極層４４は、圧電体層４１の主面の略全面に亘って設けられた略長方形状をしている。また、各共通電極層４４の一方の長辺部には、その長手方向中央部から圧電体層４１の前記外部電極４５ａまで延びる引出電極４４ａが形成されている。
【００３６】
前記第１給電電極層４２は、図４に示すように、圧電体層４１の主面をその長手方向及び短手方向にそれぞれ２等分してなる４つの領域のうち該主面の対角線方向に位置する２対の領域のうち一方の対の領域にそれぞれ形成された第１電極４２ａ，４２ｂと、これら第１電極４２ａ，４２ｂを連結して導通させる導通電極４２ｃとを有する。各第１電極４２ａ（４２ｂ）は略矩形状の電極であり、積層方向に見て共通電極層４４と重なっている。また、第１電極４２ａ，４２ｂのうちの一方の第１電極４２ａには、圧電体層４１の前記外部電極４６ａまで延びる引出電極４２ｄが設けられている。
【００３７】
前記第２給電電極層４３は、圧電体層４１の主面の対角線方向に位置する前記２対の領域のうち他方の対の領域にそれぞれ形成された第２電極４３ａ，４３ｂと、これら第２電極４３ａ，４３ｂを連結して導通させる導通電極４３ｃとを有する。各第２電極４３ａ（４３ｂ）は略矩形状の電極であり、積層方向に見て共通電極層４４と重なっている。また、第２電極４３ａ，４３ｂのうちの一方の第２電極４３ｂには、圧電体層４１の前記外部電極４７ａまで延びる引出電極４３ｄが設けられている。
【００３８】
これら圧電体層４１，４１，…と内部電極層４２，４４，４３，４４とを交互に積層することで構成されたアクチュエータ本体４においては、その一方の長辺側面の前記長手方向中央部に、各圧電体層４１の外部電極４５ａが積層方向に並んで一まとまりの外部電極４５が形成されている。つまり、この外部電極４５は、前記共通電極層４４，４４に形成された引出電極４４ａ，４４ａと電気的に接続されている。同様に、アクチュエータ本体４の一方の短辺側面の前記短手方向中央部には、各圧電体層４１の外部電極４６ａが積層方向に並んで一まとまりの外部電極４６が形成されている。つまり、この外部電極４６は、前記第１給電電極層４２の引出電極４２ｄと電気的に接続されている。また、アクチュエータ本体４の他方の短辺側面の前記短手方向中央部には、各圧電体層４１の外部電極４７ａが積層方向に並んで一まとまりの外部電極４７が形成されている。つまり、この外部電極４７は、前記第２給電電極層４３の引出電極４３ｄと電気的に接続されている。
【００３９】
そして、アクチュエータ本体４の長辺側面のうち前記外部電極４５ａが設けられていない側の長辺側面には、前記駆動子４９，４９が前記長手方向に互いに間隔を空けて設けられている。駆動子４９，４９は、該長手方向において、該長辺側面の全長の３０〜３５％距離だけその長手方向両端部から内側に入った位置に配設されている。この位置は、後述するアクチュエータ本体４の屈曲振動の２次モードの腹の位置であって、振動が最も大きくなる位置である。駆動子４９は、アクチュエータ本体４に取り付けられた基端側が円柱状に形成される一方、先端側が半円形状に形成されている。駆動子４９は、セラミック等の硬質部材で形成されている。
【００４０】
前記ケース５は、樹脂製であって、前記アクチュエータ本体４に対応した略直方体状の概略箱形状をしている。ケース５は、アクチュエータ本体４の駆動子４９，４９が設けられた長辺側面に対応する部分には側壁が設けられておらず、駆動子４９，４９に対応する側面が開口した形状となっている。
【００４１】
このように構成されたケース５内に前記アクチュエータ本体４が収容されている。このとき、駆動子４９，４９はケース５から突出している。また、アクチュエータ本体４の一方の短辺側面とケース５との間およびアクチュエータ本体４の他方の短辺側面とケース５との間にはそれぞれ支持ゴム６１，６１が介設されている。このアクチュエータ本体４の両短辺側面は縦振動の腹の部分であるが、支持ゴム６１，６１は弾性体であるため、アクチュエータ本体４の縦振動を阻害することなく、該アクチュエータ本体４を支持することができる。また、アクチュエータ本体４の一方の長辺側面とケース５との間には付勢ゴム６２が介設されている。
【００４２】
前記各支持ゴム６１は、シリコーンゴムに金属粒子を混入した導電性ゴムで構成され、略直方体状をしている。これら支持ゴム６１，６１は、アクチュエータ本体４をその長手方向に付勢した状態で弾性的に支持する。それと共に、支持ゴム６１，６１は、アクチュエータ本体４の外部電極４６，４７とケース５に設けられた電極（図示省略）とを導通させている。
【００４３】
また、前記付勢ゴム６２も、支持ゴム６１と同様に、シリコーンゴムに金属粒子を混入した導電性ゴムで構成され、略直方体状をしている。この付勢ゴム６２は、アクチュエータ本体４をその短手方向（即ち、短手方向が付勢方向に相当する）に付勢するためのものである。それと共に、付勢ゴム６２は、アクチュエータ本体４の外部電極４５とケース５に設けられた電極（図示省略）とを導通させている。
【００４４】
つまり、ケース５に設けられた端子電極（図示省略）に給電することによって、支持ゴム６１，６１及び付勢ゴム６２を介してアクチュエータ本体４に給電することができる。
【００４５】
このように構成された超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９がガイドポール８１の当接部材８１ａに当接するようにして、前記可動ケース８２に取り付けられる。このとき、超音波アクチュエータ２は、付勢ゴム６２が圧縮変形した状態で可動ケース８２に取り付けられている。すなわち、アクチュエータ本体４は当接部材８１ａに向かって付勢され、駆動子４９，４９は当接部材８１ａに押し付けられている。
【００４６】
この状態で、超音波アクチュエータ２は、制御部７から給電される。詳しくは、ケース５の端子電極には、制御部７から延びる信号線が接続される。そして、前記支持ゴム６１，６１及び付勢ゴム６２を介して、アクチュエータ本体４の外部電極４５がグランドに接続され、外部電極４６，４７には別々の交流電圧（以下、「駆動電圧」ともいう）が印加される。このとき、外部電極４６，４７に印加される２つの駆動電圧の位相をずらすことによって、圧電体層４１の主面の対角線方向に位置する一方の対の第１電極４２ａ，４２ｂと、他方の対の第２電極４３ａ，４３ｂとに互いに位相がずれた駆動電圧が印加され、アクチュエータ本体４には、その長手方向への伸縮振動（所謂、縦振動）とその短手方向への屈曲振動（所謂、横振動）とが誘起される。
【００４７】
ここで、アクチュエータ本体４を効率良く振動させるためには、アクチュエータ本体４に印加する駆動電圧の周波数は、アクチュエータ本体４の伸縮振動や屈曲振動の共振周波数又は反共振周波数であることが好ましい。アクチュエータ本体４の共振周波数又は反共振周波数は、アクチュエータ本体４の材料及び形状等、並びにアクチュエータ本体４を支持する力及び支持する箇所によって影響を受ける。つまり、所望のモードの伸縮振動の共振周波数又は反共振周波数と、所望のモードの屈曲振動の共振周波数又は反共振周波数とが一致するようにアクチュエータ本体４の形状等を設定し、該共振周波数又は反共振周波数の駆動電圧をアクチュエータ本体４に印加する。例えば、伸縮振動の１次モード（図５参照）の共振周波数と屈曲振動の２次モード（図６参照）の共振周波数とが一致するようにアクチュエータ本体４の形状等を設計して、該共振周波数近傍の２つの駆動電圧を位相をずらしてアクチュエータ本体４の外部電極４６，４７に印加することによって、アクチュエータ本体４には、伸縮振動の１次モードと屈曲振動の２次モードとが調和的に誘起され、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す形状の変化を順番に起こす。
【００４８】
その結果、各駆動子４９が該アクチュエータ本体４の主面と平行な平面、即ち、長手方向と短手方向とを含む平面（図７における紙面と平行な面）内で周回運動、具体的には、略楕円運動を行う。このとき、駆動子４９，４９は、ガイドポール８１の当接部材８１ａに当接しているため、各駆動子４９は、周回運動において、ガイドポール８１の長手方向の一側へ移動しているときには、当接部材８１ａとの間の摩擦力を増大させる一方、ガイドポール８１の長手方向の他側へ移動しているときには、当接部材８１ａとの間の摩擦力を減少させる。つまり、駆動子４９と当接部材８１ａとの摩擦力が増大するときに、駆動子４９から当接部材８１ａに駆動力が出力されて、超音波アクチュエータ２と当接部材８１ａとが相対移動する。本実施形態では、超音波アクチュエータ２が可動ケース８２と共にガイドポール８１に沿って移動する。このガイドポール８１の長手方向が駆動方向に相当する。
【００４９】
また、２つの駆動子４９，４９は、位相が１８０°ずれた状態で周回運動する。すなわち、２つの駆動子４９，４９から交互に駆動力が出力されて、超音波アクチュエータ２が移動する。
【００５０】
尚、２つの駆動電圧の位相をずらす際に、一方の駆動電圧の位相に対して他方の駆動電圧の位相を進めるか、遅らせるかを切り替えることによって、駆動子４９，４９が出力する駆動力を逆向きにすることができる。
【００５１】
−制御部の構成−
次に、制御部７について説明する。制御部７は、目標位置設定部７１と、減算器７２と、位置制御部７３と、バースト制御部７４と、パルス生成部７５と、位相制御部７６と、可変遅延回路７７と、第１及び第２増幅部７８ａ，７８ｂとを有している。制御部７は、フォーカスレンズ駆動部１６を制御すべく、超音波アクチュエータ２に印加する２つの駆動電圧の位相差を変化させる位相制御を行うと共に、該駆動電圧に含まれる電圧波の波数（即ち、パルス数）を変化させる波数制御を行う。
【００５２】
目標位置設定部７１は、視差検出部１４の出力信号が入力される位相差算出部７１ａと、撮像素子１１の出力信号が入力されるコントラスト評価部７１ｂと、位相差算出部７１ａとコントラスト評価部７１ｂの出力信号が入力される焦点誤差算出部７１ｃと、焦点誤差算出部７１ｃの出力信号が入力されるＡＦアルゴリズム実行部７１ｄとを有する。目標位置設定部７１は、視差検出部１４の出力信号か撮像素子１１の出力信号の何れかを用いて、被写体像を撮像素子１１に合焦させるためのフォーカスレンズ１５の目標位置を算出する。
【００５３】
まず、視差検出部１４の出力信号に基づいてフォーカスレンズ１５の目標位置を算出する場合について説明する。この場合には、いわゆる位相差検出方式のオートフォーカス（以下、「ＡＦ」ともいう）が行われる。
【００５４】
位相差算出部７１ａは、視差検出部１４からの出力信号に基づいて、位相差を算出する。具体的には、位相差算出部７１ａは、被写体像が撮像素子１１に合焦している場合にラインセンサ上に結像される２つの被写体像の間隔である基準間隔と、ラインセンサからの出力信号から得られた、実際にラインセンサ上に結像された２つの被写体像の間隔との偏差を求める。
【００５５】
焦点誤差算出部７１ｃは、位相差算出部７１ａの出力信号（即ち、前述の偏差）に基づいて、焦点位置が前ピンか後ピンか、及び、フォーカスレンズ１５が焦点位置からどれだけずれているかを求める。
【００５６】
ＡＦアルゴリズム実行部７１ｄは、焦点誤差算出部７１ｃの出力信号に基づいて、フォーカスレンズ１５の目標位置を算出して出力する。
【００５７】
次に、撮像素子１１の出力信号に基づいてフォーカスレンズ１５の目標位置を算出する場合について説明する。この場合には、いわゆるコントラスト検出方式のＡＦが行われる。
【００５８】
コントラスト評価部７１ｂは、撮像素子１１の出力信号に基づいて、被写体像のコントラスト値を算出する。
【００５９】
焦点誤差算出部７１ｃは、コントラスト評価部７１ｂで算出したコントラスト値を記憶すると共に、フォーカスレンズ１５を所定の微小量だけ移動させるための出力信号をＡＦアルゴリズム実行部７１ｄに出力する。ＡＦアルゴリズム実行部７１ｄは、前述の如く、焦点誤差算出部７１ｃの出力信号に基づいて、フォーカスレンズ１５の目標位置を算出して出力する。
【００６０】
コントラスト検出方式のオートフォーカスでは、このように、フォーカスレンズ１５を微小量ずつ移動させては、そのときのコントラスト値を算出、記憶して、コントラスト値のピークを探す。そして、コントラスト値のピークが検出されると、焦点誤差算出部７１ｃは、フォーカスレンズ１５の、現在の位置とコントラスト値のピークが検出された位置との誤差をＡＦアルゴリズム実行部７１ｄに出力する。ＡＦアルゴリズム実行部７１ｄは、該出力信号に基づいて、フォーカスレンズ１５の目標位置を算出して出力する。
【００６１】
このように位相差検出方式ＡＦ及びコントラスト検出方式ＡＦの何れを行う場合であっても、焦点誤差算出部７１ｃからは、フォーカスレンズ１５の目標位置が出力される。
【００６２】
減算器７２には、焦点誤差算出部７１ｃからフォーカスレンズ１５の目標位置が入力されると共に、位置検出部８４で検出されたフォーカスレンズ１５の実際の位置である現在位置が入力される。減算器７２は、フォーカスレンズ１５の目標位置と現在位置との偏差を求め、位置制御部７３へ出力する。
【００６３】
位置制御部７３は、フォーカスレンズ１５の目標位置と現在位置の偏差から、駆動電圧に与える位相制御量を算出して、それに応じた出力信号を位相制御部７６に出力する。詳しくは、位置制御部７３は、比例演算部７３ｐと、積分演算部７３ｉと、微分演算部７３ｄとを有し、ＰＩＤ制御によって前記偏差から位置制御量を算出している。詳しくは、比例演算部７３ｐで演算された比例項と、積分演算部７３ｉで演算された積分項とは第１加算器７３ａで加算され、その加算値は第２加算器７３ｂへ入力される。第２加算器７３ｂには、微分演算部７３ｄで演算された微分項も入力されており、比例項と積分項と微分項とを加算したＰＩＤ値が第２加算器７３ｂから出力され、位相制御部７６に入力される。また、第１加算器７３ａからの加算値は、バースト制御部７４にも入力される。尚、バースト制御部７４へは、第１加算器７３ａからの加算値ではなく、比例演算部７３ｐからの比例項や、積分演算部７３ｉからの積分項だけを入力するようにしてもよい。
【００６４】
バースト制御部７４は、位置制御部７３からの比例項と積分項との加算値、即ち、駆動電圧の位相差に関連するパラメータに基づいて、所定の周期（以下、「バースト周期」ともいう）中に含まれるパルス数を決定する。このバースト制御部７４における制御内容については後述する。
【００６５】
パルス生成部７５は、所定のパルス周波数のパルス信号を出力するように構成されている。このとき、パルス生成部７５は、バースト制御部７４からの出力信号に応じた個数のパルスを前記バースト周期ごとに出力する。つまり、パルス生成部７５は、１又は複数のパルスを含んで構成されたバースト周期に相当する時間幅のパルス群を１つのバースト信号として、該バースト信号をバースト周期で連続的に出力する。例えば、パルス生成部７５は、バースト周期をパルス５個分とすると、バースト制御部７４からの出力信号に応じて、５個全てのパルスを出力するときもあれば、５個のうち２個だけパルスを出力するときもある。尚、前述の如くバースト周期の全期間でパルスを出力する場合もあるが、その場合も含めて、便宜上、バースト信号と称する。また、パルス周波数（即ち、バースト信号に含まれる各パルスの周期）は、前述のアクチュエータ本体４の伸縮振動及び屈曲振動の共振周波数の近傍の値に設定されている。パルス生成部７５は、同じバースト信号を、第１バースト信号として第１増幅部７８ａに出力すると共に、第２バースト信号として可変遅延回路７７に出力する。
【００６６】
可変遅延回路７７に入力された第２バースト信号は、該可変遅延回路７７によって位相がシフトされて出力される。
【００６７】
詳しくは、可変遅延回路７７には、位相制御部７６からの出力信号も入力されている。位相制御部７６は、位置制御部７３からの出力信号に基づいて、第２バースト信号の位相を、第１バースト信号の位相に対して、どれだけずらすかを決定する。そして、位相制御部７６は、その位相差に関する出力信号を可変遅延回路７７に入力する。可変遅延回路７７は、位相制御部７６からの出力信号に基づいて、第２バースト信号の位相をシフトして、第２増幅部７８ｂへ出力する。
【００６８】
第１及び第２増幅部７８ａ，７８ｂでは、それぞれ入力された第１及び第２バースト信号を増幅して、第１及び第２駆動電圧として、超音波アクチュエータ２に印可する。第１及び第２駆動電圧はそれぞれ、アクチュエータ本体４の外部電極４６，４７に印加される。
【００６９】
こうして、アクチュエータ本体４に第１及び第２駆動電圧が印可されると、アクチュエータ本体４は伸縮振動と屈曲振動との合成振動を行い、駆動子４９，４９を周回運動させる。そして、この駆動子４９，４９の周回運動によって、保持枠８３に保持されたフォーカスレンズ１５が可動ケース８２と共にガイドポール８１に沿って移動する。移動後のフォーカスレンズ１５の位置は、位置検出部８４によって検出され、前記減算器７２へフィードバックされる。
【００７０】
このようにして超音波アクチュエータ２に印可される第１及び第２駆動電圧は、例えば、図８，９に示すようになる。図８に示す第１及び第２駆動電圧（図中のＡ相が第１駆動電圧を示し、Ｂ相が第２駆動電圧を示す）は、バースト周期の全期間においてパルスが連続的に出力されており、全体としては連続波となる。第２駆動電圧は、第１駆動電圧に対して位相が２７０°遅れている。本実施形態では、第１駆動電圧と第２駆動電圧の位相差が１８０°のときに、アクチュエータ本体４は屈曲振動だけを行って、駆動子４９，４９がガイドポール８１に沿った方向に振動しない。そこで、第１駆動電圧と第２駆動電圧の位相差が１８０°のときを基準位相として、第１駆動電圧と第２駆動電圧の位相差の、該基準位相からのずれ量を調節することによって、超音波アクチュエータ２の駆動力を調節する。すなわち、基準位相を基準とすると、第２駆動電圧は、第１駆動電圧に対して位相が９０°遅れている。
【００７１】
また、図９に示す第１及び第２駆動電圧は、バースト周期中に２つのパルスが出力され、全体としてはバースト周期ごとに２つのパルスが出力されるバースト波となる。詳しくは、第１及び第２駆動電圧は、バースト周期中において、始めにパルスを２つ出力し、残りはパルスを出力しない休止期間となっている。第２駆動電圧は、第１駆動電圧に対して位相が基準位相から４５°遅れている。尚、本実施形態においては、凸状のパルスと凹状のパルスとを合わせて、１つのパルスとして計数する。
【００７２】
このように、制御部７は、フォーカスレンズ１５の現在位置と目標位置との偏差に応じて、第１及び第２駆動電圧の位相差を変化させる位相制御を行うと共に、第１及び第２駆動電圧に含まれるパルス数を変化させる波数制御を行うことによって、駆動力を調節している。尚、フォーカスレンズ１５の位置ではなく、速度等の別の運動状態に基づいて位相制御及び波数制御を行ってもよい。
【００７３】
ここで、位相制御について詳しく説明すると、本実施形態におけるアクチュエータ本体４の構成においては、第１及び第２駆動電圧の位相差を略９０°とすることによって、駆動力は最大となる。つまり、位相差が略９０°のときに、駆動子４９，４９の周回運動のうち、ガイドポール８１の当接部材８１ａとの摩擦力を増大させる方向への成分と、ガイドポール８１の長手方向への成分とのバランスが最もよくなり、大きな駆動力が出力される。一方、位相差が１８０°に近づくにつれて、駆動子４９，４９の周回運動のうち、当接部材８１ａとの摩擦力を増大させる方向への成分が大きくなるものの、ガイドポール８１の長手方向への成分が小さくなるため、駆動子４９，４９の、ガイドポール８１の長手方向への移動量が小さくなり、駆動力は小さくなる。また、位相差が０°に近づくと、駆動子４９，４９の周回運動のうち、ガイドポール８１の長手方向への成分が大きくなるものの、当接部材８１ａとの摩擦力を増大させる方向への成分が小さくなるため、駆動子４９，４９の周回運動が当接部材８１ａに伝わり難くなり、駆動力は小さくなる。そこで、制御部７は、第１及び第２駆動電圧の位相差を１８０°を基準として、９０°〜２７０°の間で調節することによって、駆動力を調節している。尚、位相差を０°を基準として、−９０°〜９０°の間で調節してもよい。
【００７４】
尚、本明細書においては、位相差を大きくするとは、位相差を駆動力が最大となる位相差（本実施形態では９０°又は２７０°）に近づけることを意味し、位相差を小さくするとは、位相差を駆動力が最小となる位相差（本実施形態では１８０°）に近づけることを意味する。
【００７５】
この位相制御では、制御範囲の全域に亘って、駆動電圧の周波数は、アクチュエータ本体４の共振周波数に応じて設定された周波数のままであると共に、駆動電圧の電圧値は、一定の値に維持されている。そのため、小さな駆動力を出力する場合であっても、所望の駆動力を適切に出力することができる。しかしながら、位相差が０°近傍であって、駆動力が小さいときであっても、駆動電圧の電圧値は一定の値に維持されているため、駆動力の割りに消費電力が大きくなってしまう。
【００７６】
そこで、制御部７は、位相制御に波数制御を組み合わせて駆動力を制御している。駆動電圧に含まれるパルス数を減らすと、図１０に示すように、消費電力を低減することができる。ここで、図中のバースト率とは、バースト周期を、バースト周期中に含まれる全パルスの合計の時間幅で除した値である。つまり、バースト周期がパルス５個分に設定されているときに、バースト周期中に５個のパルスを含むときにはバースト率は１００％となり、１個のパルスを含むときにはバースト率２０％となる。つまり、制御部７は、第１及び第２駆動電圧の位相制御をしつつ、波数制御をすることによって、消費電力を低減している。特に、必要な駆動力が小さいときには、駆動電圧に含まれるパルス数を減らしても、アクチュエータ本体４を適切に振動させることができる。ただし、図１１に示すように、バースト周期中に含まれるパルス数を減らしていくと、パルス数が零（即ち、バースト率が零）となる前に駆動力が零となってしまう。つまり、波数制御だけでは、小さな駆動力を適切に出力することができない。そのため、波数制御においては、バースト周期中に含まれる最小のパルス数は、可動ケース８２、保持枠８３及びフォーカスレンズ１５等の駆動対象を駆動できる最小の値（本実施形態では、２個）に設定さている。本実施形態では、制御部７は、必要な駆動力が比較的大きな領域では、連続波の駆動信号を用いた位相制御によって駆動力を制御し、必要な駆動力が比較的小さな領域では、波数制御により波数を調節しつつ位相制御をすることによって駆動力を制御している。
【００７７】
尚、本実施形態では、バースト周期中に含まれるパルスの最小値を２個に設定しているが、これに限られるものではない。つまり、バースト周期を調節することによって、パルスの最小値を変更することができる。例えば、図１２に示すように、バースト周期をパルス３個分に設定することによって、バースト周期中のパルスの最小値を１個にしても、前記駆動対象を駆動することができる。
【００７８】
ただし、アクチュエータ本体４を停止状態から振動をさせる場合と、アクチュエータ本体４が振動を開始し、その振動を維持させる場合とで、バースト周期中に含まれる最小のパルス数や、バースト周期を変更してもよい。つまり、アクチュエータ本体４の振動を維持させるために必要な電力は、アクチュエータ本体４に振動を開始させるために必要な電力よりも小さい。そこで、アクチュエータ本体４が一旦、振動を開始した後は、バースト周期中のパルスの最小値を、アクチュエータ本体４の振動開始時よりも小さくしたり、又は、バースト周期中のパルスを１個としたときのバースト周期を短くしたりすることができる。こうすることによって、消費電力をより低減することができる。
【００７９】
換言すれば、バースト周期中においてパルスを出力していない休止期間の最大値は、アクチュエータ本体４の振動を維持できる期間に設定されている。つまり、所定の個数のパルスを出力してアクチュエータ本体４を振動させた後、所定の休止期間を挟んで、該アクチュエータ本体４の振動が減衰し切る前に次のパルスが出力されるように構成してもよい。アクチュエータ本体４の振動を停止させてしまうと、アクチュエータ本体４を再度、振動させるためには或る程度大きな電圧及び時間を要する。そこで、休止期間の最大値を前記の如く設定することによって、アクチュエータ本体４を振動させ続けることができ、超音波アクチュエータ２の動作を安定させることができる。
【００８０】
また、可動ケース８２を減速させるときには、可動ケース８２を駆動するときのバースト周期中に含まれるパルスの最小値よりも少ないパルス数としてもよい。こうすることで、可動ケース８２、即ち、フォーカスレンズ１５の減速度を調節しつつ、そのときの消費電力を抑制することができる。
【００８１】
尚、第１及び第２駆動電圧は、休止期間においては、パルスを出力しないように構成されているが、これに限られるものではない。例えば、図１３に示すように、休止期間においても、パルス幅を通常波形のパルス（即ち、パルス周期に応じた所定のパルス幅を有するパルス（以下、「通常パルス」ともいう））のパルス幅よりも狭くした狭小パルスを前記パルス周期で出力するようにしてもよい。こうして、休止期間においても、パルスを全く出力しないのではなく、狭小パルスを出力することによって、アクチュエータ本体４に僅かではあっても駆動電圧を印加することができる。その結果、アクチュエータ本体４の振動を維持させることができ、ひいては、駆動子４９，４９の周回運動を維持させることができる。このように、休止期間に狭小パルスを出力する構成であっても、狭小パルスはパルス幅が狭いため、通常パルスを出力し続ける連続波と比較して、消費電力を抑制することができる。また、休止期間に狭小パルスを出力しない構成と比較して、バースト周期を長くすることができるため、場合によっては、消費電力を抑制することができる。
【００８２】
また、休止期間に狭小パルスを出力する構成であっても、図１４に示すように、休止期間の全期間で狭小パルスを出力しなくてもよい。すなわち、駆動子４９，４９の周回運動を維持するために必要な個数だけ狭小パルスを出力すればよい。このとき、図１４に示すように、休止期間のうち、始めは狭小パルスを出力せず、終盤にだけ所定個数の狭小パルスを出力する（即ち、休止期間の終期よりも所定時間（前記所定個数の狭小パルスの出力時間に相当する時間）前から狭小パルスを出力する）ことが好ましい。つまり、アクチュエータ本体４の振動は休止期間の終期に向かって減衰していくため、休止期間の終盤に狭小パルスを出力することによって、アクチュエータ本体４の振動が或る程度減衰したタイミングで駆動電圧を印加することができる。その結果、狭小パルスがより効果的に、アクチュエータ本体４の振動を持続させることができ、消費電力をさらに抑制することができる。尚、このように休止期間の終盤に狭小パルスを出力する構成であっても、休止期間が、アクチュエータ本体の振動が十分に維持される程度に短いときには、狭小パルスを出力しなくてもよい。
【００８３】
−波数制御−
続いて、制御部７による具体的な波数制御について、図１５のフローチャートを参照しながら詳しく説明する。この波数制御は、具体的にはバースト制御部７４によって実行される。
【００８４】
まず、ステップＳａ１において、監視パラメータを取り込む。具体的には、位置制御部７３の第１加算器７３ａから出力される、比例項と積分項との加算値を監視パラメータとして取り込む。この加算値は、第１及び第２駆動信号の位相差に関連するパラメータである。
【００８５】
ステップＳａ２では、監視パラメータが所定の第１閾値よりも大きいか否かを判定する。この第１閾値は、パルス数を増加させるか否かの指標となる値である。監視パラメータが第１閾値よりも大きいときには、Ｓａ５へ進む一方、監視パラメータが第１閾値以下であるときには、ステップＳａ３へ進む。ステップＳａ３では、監視パラメータが所定の第２閾値よりも小さいか否かを判定する。この第２閾値は、パルス数を減少させるか否かの指標となる値であって、第１閾値よりも小さな値である。監視パラメータが第２閾値よりも小さいときには、Ｓａ１０へ進む一方、監視パラメータが第２閾値以上であるときには、ステップＳａ４へ進む。ステップＳａ４では、アップタイマ及びダウンタイマのカウント値をクリアして（即ち、零にして）、ステップＳａ１へ戻る。
【００８６】
つまり、ステップＳａ２，Ｓａ３では、監視パラメータが第１閾値と第２閾値との間に入っているか否かを判定し、監視パラメータが第１閾値を超えているときには、ステップＳａ５へ進む一方、監視パラメータが第２閾値を超えているときには、ステップＳａ１０へ進んで、それぞれ後に続く制御を行う。また、監視パラメータが第１閾値と第２閾値の間に入っているときには、アップタイマ及びダウンタイマのカウント値をクリアする。
【００８７】
続いて、監視パラメータが第１閾値よりも大きいときについて説明する。まず、ステップＳａ５では、アップタイマのカウント値をカウントアップすると共に、ダウンタイマをクリアする。次に、ステップＳａ６において、アップタイマのカウント値を取り込む。そして、ステップＳａ７において、アップタイマのカウント値が所定の第３閾値よりも大きいか否かを判定する。カウント値が第３閾値以下のときには、ステップＳａ１へ戻る一方、カウント値が第３閾値よりも大きいときには、ステップＳａ８へ進む。
【００８８】
ここで、カウント値が第３閾値以下であっても、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が継続されているときには、ステップＳａ１へ戻った後、ステップＳａ２，Ｓａ５，Ｓａ６を経て、再びステップＳａ７まで進んでくる。その際、ステップＳａ５を経ているため、アップタイマのカウント値は１つカウントアップされている。こうして、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が継続している限り、ステップＳａ１，Ｓａ２，Ｓａ５〜Ｓａ７を繰り返し、アップタイマのカウント値がやがて第３閾値よりも大きくなり、ステップＳａ８へ進むことになる。つまり、ステップＳａ７は、監視パラメータが、ノイズのように瞬間的に第１閾値を超えたのか、あるいは、第３閾値に対応する所定の第１継続時間よりも長く継続して第１閾値を超えているのかを判定している。前記第１継続時間は、瞬間的ではないと判断できる時間に設定され、第３閾値は、該第１継続時間に相当する値に設定されている。
【００８９】
尚、監視パラメータが第１閾値を超えた状態が瞬間的である場合には、ステップＳａ１，Ｓａ２，Ｓａ５〜Ｓａ７を繰り返している途中で（具体的には、監視パラメータが第１閾値以下となった状態でステップＳａ２を実行するときに）、ステップＳａ２においてＮｏと判定されて、ステップＳａ３へ進むことになる。そして、アップタイマは、ステップＳａ３以降のステップＳａ４又はステップＳａ１０においてクリアされる。
【００９０】
ステップＳａ８では、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が瞬間的ではなく、或る程度継続しているとして、駆動パルス数を１つ増やす。その後、ステップＳａ９で、アップタイマのカウント値をクリアして、ステップＳａ１へ戻る。
【００９１】
尚、ステップＳａ５において、ダウンタイマを、監視パラメータが第１閾値よりも大きいときには使用しないけれども、クリアすることによって、監視パラメータが、制御周期（フローチャートの繰り返し周期）ごとに第１閾値より大きくなったり、第２閾値よりも小さくなったりを繰り返す場合であっても、監視パラメータが第２閾値よりも小さくなったときには、後述の手順でダウンタイマを必ず零からカウントアップすることができる。つまり、監視パラメータが次に第２閾値よりも小さくなった状態の継続時間を正確に計数することができる。
【００９２】
次に、監視パラメータが第２閾値よりも小さいときについて説明する。ステップＳａ４で監視パラメータが第２閾値よりも小さいと判定されたときには、ステップＳａ１０へ進む。ステップＳａ１０では、ダウンタイマのカウント値をカウントアップすると共に、アップタイマをクリアする。
【００９３】
ここで、アップタイマを、監視パラメータが第２閾値よりも小さいときには使用しないけれども、クリアすることによって、監視パラメータが、制御周期ごとに第１閾値より大きくなったり、第２閾値よりも小さくなったりを繰り返す場合であっても、監視パラメータが第１閾値よりも大きくなったときには、アップタイマを必ず零からカウントアップすることができる。つまり、監視パラメータが次に第１閾値よりも大きくなった状態の継続時間を正確に計数することができる。
【００９４】
次に、ステップＳａ１１において、ダウンタイマのカウント値を取り込む。そして、ステップＳａ１２において、ダウンタイマのカウント値が所定の第４閾値よりも大きいか否かを判定する。カウント値が第４閾値以下のときには、ステップＳａ１へ戻る一方、カウント値が第４閾値よりも大きいときには、ステップＳａ１３へ進む。
【００９５】
ここで、カウント値が第４閾値以下であっても、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が継続されているときには、ステップＳａ１へ戻った後、ステップＳａ２，Ｓａ３，Ｓａ１０，Ｓａ１１を経て、再びステップＳａ１２まで進んでくる。その際、ステップＳａ１０を経ているため、ダウンタイマのカウント値は１つカウントアップされている。こうして、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が継続している限り、ステップＳａ１〜Ｓａ３，Ｓａ１０〜Ｓａ１２を繰り返し、ダウンタイマのカウント値がやがて第４閾値よりも大きくなり、ステップＳａ１３へ進むことになる。つまり、ステップＳａ１２は、監視パラメータが、ノイズのように瞬間的に第２閾値よりも小さくなったのか、あるいは、第４閾値に対応する所定の第２継続時間よりも長く継続して第２閾値よりも小さくなっているのかを判定している。前記第２継続時間は、瞬間的ではないと判断できる時間に設定され、第４閾値は、該第２継続時間に相当する値に設定されている。
【００９６】
尚、この第４閾値は、第３閾値よりも大きな値に設定されている。つまり、第３閾値は、監視パラメータが大きくなるとき、即ち、大きな駆動力が必要なときに用いる値である。大きな駆動力が必要なときには、パルス数を応答性良く増加させて、駆動力を迅速に増大させる必要がある。そのため、第３閾値は相対的に小さな値に設定されている。一方、第４閾値は、監視パラメータが小さくなるとき、即ち、小さな駆動力が必要なときに用いる値である。駆動力を小さくするときには、駆動力を大きくするときほど迅速性が要求されない。そのため、第４閾値を相対的に大きな値に設定して、監視パラメータが第２閾値よりも小さくなった状態が瞬間的でないか否かをより正確に判断している。ただし、前記第３閾値と第４閾値とが同じ値であってもよい。
【００９７】
尚、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が瞬間的である場合には、ステップＳａ１〜Ｓａ３，Ｓａ１０〜Ｓａ１２を繰り返している途中で（具体的には、監視パラメータが第２閾値以上となった状態でステップＳａ３を実行するときに）、ステップＳａ３においてＮｏと判定されて、ステップＳａ４へ進むことになる。ステップＳａ４では、ダウンタイマがクリアされる。
【００９８】
ステップＳｂ１３では、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が瞬間的ではなく、或る程度継続しているとして、駆動パルス数を１つ減らす。その後、ステップＳｂ１４で、ダウンタイマのカウント値をクリアして、ステップＳｂ１へ戻る。
【００９９】
こうして、波数制御においては、監視パラメータが上側の閾値である第１閾値よりも大きい状態が第１継続時間よりも長く継続するとパルス数を１つ増やす。パルス数を増やすことによって駆動力が増大する。パルス数を増やしても、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が第１継続時間よりも長く継続する場合には、パルス数をさらに増やす。こうして、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が第１継続時間よりも長く継続しなくなるまで、あるいは、パルス数が最大値となる（即ち、駆動電圧が連続波となる）までパルス数を増やす。一方、監視パラメータが下側の閾値である第２閾値よりも小さい状態が第２継続時間よりも長く継続するとパルス数を１つ減らす。パルス数を減らすことによって駆動力が減少する。パルス数を減らしても、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が第２継続時間よりも長く継続する場合には、パルス数をさらに減らす。こうして、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が第２継続時間よりも長く継続しなくなるまで、あるいは、パルス数が最小値（アクチュエータ本体４を適切に振動させることができる最小のパルス数）となるまでパルス数を減らす。
【０１００】
このように、第１及び第２駆動信号の位相差に関連するパラメータに基づいてパルス数を制御することによって、必要な駆動力を推定して消費電力を低減することができる。
【０１０１】
また、位相差に関連するパラメータとして、ＰＩＤ制御のＰＩＤ値を用いるのではなく、比例項と積分項との加算値だけを用いることによって、パルス数を安定して制御することができる。つまり、ＰＩＤ値のうち微分項は、高周波成分を含むため、微分項を含んだＰＩＤ値に基づいてパルス数を制御すると、パルス数の変動が激しくなってしまう虞がある。それに対して、比例項と積分項との加算値に基づいてパルス数を制御することによって、パルス数の変動を緩やかにすることができ、パルス数を安定して制御することができる。
【０１０２】
−始動制御−
このように構成された駆動装置においては、アクチュエータ本体４の始動直後は、該アクチュエータ本体４の振動が安定せず、駆動力を適切に出力できない場合がある。特に、波数制御によってパルス数を減らした状態で始動するときには、アクチュエータ本体４の振動を安定させるまでに時間を要する。そこで、制御装置は、以下に説明する始動制御を行う。この始動制御は、制御部７の位相制御部７６で実行される。図１６は、位相制御部７６及び可変遅延回路７７のブロック図を示し、図１７は、始動制御によって出力される駆動電圧の波形図を示す。
【０１０３】
位相制御部７６は、始動タイマ７６ａと、遮断スイッチ７６ｂと、加算器７６ｃとを有している。
【０１０４】
始動タイマ７６ａは、アクチュエータ本体４の始動と同時に計時を開始し、始動後、所定時間経過したときに遮断スイッチ７６ｂに出力信号を出力する。
【０１０５】
遮断スイッチ７６ｂには、始動タイマ７６ａからの出力信号に加えて、位置制御部７３からのＰＩＤ値が入力されている。この遮断スイッチ７６ｂは、始動タイマ７６ａからの出力信号に応じて、ＯＮ／ＯＦＦを切り換えるように構成されている。詳しくは、遮断スイッチ７６ｂは、始動タイマ７６ａから所定時間が経過したことを示す出力信号が入力されたときにはＯＮ状態となり、ＰＩＤ値を加算器７６ｃに出力する一方、該出力信号が入力されていないときにはＯＦＦ状態となり、ＰＩＤ値の加算器７６ｃへの出力を遮断する。
【０１０６】
加算器７６ｃには、ＰＩＤ値に加えて、駆動オフセット補正量が入力される。そして、加算器７６ｃでは、ＰＩＤ値に駆動オフセット補正量を加算して、第２バースト信号を遅延させる遅延量を算出する。加算器７６ｃは、その算出結果を可変遅延回路７７へ出力する。この補正オフセット補正量は、メモリ等に記憶された値であって、アクチュエータ本体４に伸縮振動を発生させず、屈曲振動だけを発生させるために必要な、第１及び第２駆動信号の位相差に対応する値である。
【０１０７】
可変遅延回路７７は、多段シフト回路７７ａと、出力タップ切換部７７ｂと、タップ変換部７７ｃとを有している。
【０１０８】
パルス生成部７５から可変遅延回路７７に出力された第２バースト信号は、多段シフト回路７７ａに入力される。多段シフト回路７７ａに入力された第２バースト信号は、出力タップ切換部７７ｂによって選択された出力タップから出力されることで、位相がシフトした状態で出力される。
【０１０９】
タップ変換部７７ｃは、入力された遅延量に基づいて、多段シフト回路７７ａの何れの出力タップから信号を出力するかを求め、その結果を出力信号として出力タップ切換部７７ｂに出力する。
【０１１０】
出力タップ切換部７７ｂは、タップ変換部７７ｃからの出力信号に基づいて、多段シフト回路７７ａの出力タップを切り換えて、所定の位相遅延量をもった第２バースト信号を出力する。
【０１１１】
このように構成された位相制御部７６で始動制御が行われた結果、第１及び第２駆動電圧は図１７に示すようになる。すなわち、アクチュエータ本体４の始動後、所定の待機時間の間は、位相差が略１８０°に設定され、該待機時間経過後に、所定の位相差が付与された位相制御が開始される。
【０１１２】
詳しくは、位相制御部７６では、アクチュエータ本体４の始動後、所定の待機時間が経過するまでの間は、遮断スイッチ７６ｂがＯＦＦ状態となっている。このとき、加算器７６ｃには駆動オフセット補正量のみが入力され、タップ変換部７７ｃには、駆動オフセット補正量のみに基づく遅延量が出力される。その結果、出力タップ切換部７７ｂからは、駆動オフセット補正量に応じた位相遅延量を有する第２バースト信号が出力される。第１及び第２バースト信号は、それぞれ第１及び第２増幅部７８ａ，７８ｂで増幅され、駆動オフセット補正量に相当する位相差（アクチュエータ本体４の構成等によっては、この位相差が零となる場合もある）を有する第１及び第２駆動電圧としてアクチュエータ本体４の外部電極４６，４７（図では、「Ａ相」と「Ｂ相」とで示す）に印可される。アクチュエータ本体４には屈曲振動だけが誘起され、駆動子４９，４９はガイドポール８１の当接部材８１ａを押圧する方向（即ち、ガイドポール８１に直交する方向）に往復運動を行う。その結果、駆動力は出力されず、可動ケース８２、即ち、フォーカスレンズ１５は移動しない。
【０１１３】
一方、アクチュエータ本体４の始動後、所定の待機時間が経過した後は、遮断スイッチ７６ｂがＯＮ状態となり、加算器７６ｃには、位置制御部７３からのＰＩＤ値が入力される。加算器７６ｃは、該ＰＩＤ値と駆動オフセット補正量とを加算し、その加算値に基づく遅延量をタップ変換部７７ｃに入力する。その結果、出力タップ切換部７７ｂからは、該遅延量に応じた位相遅延量を有する第２バースト信号が出力される。こうして、パルス生成部７５から第１増幅部７８ａに直接入力される第１バースト信号と、パルス生成部７５から可変遅延回路７７を経て第２増幅部７８ｂに入力される第２バースト信号との間には所定の位相差が生じる。第１及び第２バースト信号は、それぞれ第１及び第２増幅部７８ａ，７８ｂで増幅され、所定の位相差を有する第１及び第２駆動電圧としてアクチュエータ本体４の外部電極４６，４７に印可される。アクチュエータ本体４には伸縮振動と屈曲振動とが調和的に誘起され、駆動子４９，４９が周回運動を行って駆動力を出力する。その結果、可動ケース８２と共にフォーカスレンズ１５が移動する。
【０１１４】
このように、始動制御によって、アクチュエータ本体４の始動後、所定の待機時間が経過するまでの間は、駆動力が出力されず、待機時間が経過すると、駆動力が出力され始める。ここで、前記待機時間は、アクチュエータ本体４の振動が安定するまでの時間に設定されている。こうすることで、アクチュエータ本体４の始動後、アクチュエータ本体４の振動が安定するまでの間は、フォーカスレンズ１５の駆動には影響を与えない屈曲振動だけを行わせている。こうすることによって、駆動子４９，４９の周回運動が不安定なまま、フォーカスレンズ１５の駆動が行われることを防止することができる。
【０１１５】
尚、始動制御は、必ずしもパルス数を減らした状態で行う必要はなく、連続波である第１及び第２駆動電圧を用いて行ってもよい。ただし、バースト周期中に含まれるパルス数を最小値に設定して始動制御を行うことによって、振動振幅を徐々に増加させることができるため、駆動開始初期の不安定な振動状態による予期できない動作を防止することができる。
【０１１６】
−実施形態１の効果−
したがって、本実施形態１によれば、位相制御と波数制御とを組み合わせて駆動力を制御することによって、必要な駆動力が小さな場合であっても、駆動力を適切に出力することができると共に、そのときの消費電力を抑制することができる。
【０１１７】
また、バースト周期中に含まれるパルス数を、位相制御における位相差に関連するパラメータである、位置制御部７３の第１加算器７３ａから出力される比例項と積分項との加算値に基づいてパルス数を調節することによって、必要とする駆動力を推定してパルス数を調節することができる。すなわち、位相制御における位相差は、駆動力の大きさに対応して変化する。そのため、位相差の大きさから駆動力を推定することができ、駆動力に応じてパルス数を調節することができる。
【０１１８】
さらに、位相差に関連するパラメータとして、位置制御部７３における比例項と積分項との加算値を用いることによって、高周波成分を有する微分項が含まれていないため、パルス数を安定して制御することができる。
【０１１９】
また、波数制御においては、監視パラメータが第１閾値よりも大きいときにはパルス数を増やす一方、監視パラメータが第２閾値よりも小さいときにはパルス数を減らしている。こうすることで、監視パラメータが上側の閾値である第１閾値と下側の閾値である第２閾値との間で変動している間は、パルス数が変更されずに維持されるため、波数制御を安定させることができる。
【０１２０】
さらに、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が第１継続時間よりも長く継続したときにパルス数を増やす一方、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が第２継続時間よりも長く継続したときにパルス数を減らしている。こうすることで、監視パラメータが第１閾値又は第２閾値を超える状態が瞬間的に生じたとしても、パルス数が変更されないため、波数制御をより安定させることができる。
【０１２１】
また、アクチュエータ本体４の始動後、所定の待機時間が経過するまでの間は、アクチュエータ本体４に屈曲振動だけさせて、駆動力を出力せず、待機時間が経過すると、アクチュエータ本体４に伸縮振動と屈曲振動を行わせて。駆動力を出力している。こうすることによって、駆動子４９，４９の周回運動が不安定なまま、フォーカスレンズ１５の駆動が行われることを防止することができる。
【０１２２】
−変形例１−
次に、前記実施形態１の変形例１について、図１８を参照して説明する。図１８は、変形例１に係る制御部のブロック図を示す。
【０１２３】
変形例１は、制御部の構成が前記実施形態１と異なる。そこで、前記実施形態１と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。
【０１２４】
変形例１に係る制御部２０７における位置制御部２７３は、前記実施形態１と異なり、ＰＩＤ制御によって演算したＰＩＤ値をバースト制御部７４と位相制御部７６とにそれぞれ入力する。
【０１２５】
このような構成であっても、バースト制御部７４は、第１及び第２駆動電圧の位相差に関連するパラメータに基づいてパルス数を制御することができる。その結果、必要な駆動力が小さい場合であっても、駆動力を適切に出力することができると共に、そのときの消費電力を抑制することができる。
【０１２６】
ただし、ＰＩＤ値には高周波成分を有する微分項が含まれるため、パルス数を安定して制御する観点からは、比例項と積分項とを用いてパルス数を制御する前記実施形態１の方が好ましい。
【０１２７】
−変形例２−
次に、前記実施形態１の変形例２について、図１９を参照して説明する。図１９は、変形例２に係る制御部のブロック図を示す。
【０１２８】
変形例２は、制御部の構成が前記実施形態１と異なる。そこで、前記実施形態１と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。
【０１２９】
変形例２に係る制御部３０７における位置制御部３７３は、変形例１と同様に、ＰＩＤ制御により演算したＰＩＤ値を出力する。
【０１３０】
また、制御部３０７は、フォーカスレンズ１５、レンズ保持機構８及び超音波アクチュエータ２のモデルに基づいて設計されたオブザーバ３７９を有している。オブザーバ３７９には、位置検出部８４からのフォーカスレンズ１５の現在位置と、位置制御部３７３からのＰＩＤ値とが入力される。オブザーバ３７９は、ＰＩＤ値とフォーカスレンズ１５の現在位置とから、該モデルによるフォーカスレンズ１５の動作と実際のフォーカスレンズ１５の動作とを比較して、実際のフォーカスレンズ１５がモデルと同様の動作を行うように、ＰＩＤ値を補正する補正値を演算している。すなわち、実際のフォーカスレンズ１５がモデルに比べて移動しすぎている場合には、駆動力を小さくするように補正値を出力し、実際のフォーカスレンズ１５がモデルに比べて移動していない場合には、駆動力が大きくなるように補正値を出力する。
【０１３１】
そして、位置制御部３７３からのＰＩＤ値とオブザーバ３７９からの補正値が加算器３７９ａに入力され、これらの加算値、即ち、補正されたＰＩＤ値が位相制御部７６に入力される。
【０１３２】
ここで、バースト制御部７４には、オブザーバ３７９からの補正値が入力されるように構成されている。このオブザーバ３７９からの補正値も、第１及び第２駆動電圧の位相差に関連するパラメータであって且つ、変動が緩やかな値である。そのため、バースト制御部７４は、パルス数を安定して制御することができる。
【０１３３】
−変形例３−
次に、本実施形態１の変形例３について、図２０を参照して説明する。図２０は、変形例３に係る波数制御のフローチャートを示す。
【０１３４】
変形例３は、波数制御の内容が前記実施形態１と異なる。
【０１３５】
変形例３に係る波数制御においては、監視パラメータが所定の閾値を超えた状態が所定の継続時間よりも長く継続するとパルス数を暫定的に増減させるものの、所定の保持時間経過すると、パルス数を元に戻し、監視パラメータが再度、閾値を超えた状態が所定の継続時間よりも継続するとパルス数を正式に増減させる。
【０１３６】
詳しくは、変形例３に係る波数制御では、ステップＳｂ１〜Ｓｂ９において、監視パラメータが所定の第１閾値よりも大きい状態が所定の第１継続時間（第３閾値に対応）よりも長く継続するか否かを判定し、継続するときにはパルス数を１つ増やして、アップタイマをクリアする。これらステップＳｂ１〜Ｓｂ９は、実施形態１のステップＳａ１〜Ｓａ９と同様である。ただし、ここでのパルス数の増加は暫定的であり、所定の保持期間の経過後、元に戻す。
【０１３７】
詳しくは、アップタイマをクリアした後、ステップＳｂ１０において、保持タイマのカウント値が零か否かを判定する。カウント値が零のときには、ステップＳｂ１１へ進む一方、カウント値が零でないときには、ステップＳｂ１５へ進む。ステップＳｂ１５では、保持タイマをクリアして、ステップＳｂ１へ戻る。
【０１３８】
ステップＳｂ１１では、保持タイマのカウント値をカウントアップする。そして、ステップＳｂ１２で、保持タイマのカウント値を取り込み、ステップＳｂ１３で、該カウント値が第５閾値よりも大きいか否かを判定する。カウント値が第５閾値以下のときには、ステップＳｂ１１〜Ｓｂ１３を繰り返す一方、カウント値が第５閾値よりも大きいときには、ステップＳｂ１４へ進んで、パルス数を１つ減らす（即ち、パルス数を元に戻す）。その後、ステップＳｂ１へ戻る。
【０１３９】
つまり、ステップＳｂ１１〜Ｓｂ１４では、駆動パルス数をステップＳｂ８で１つ増やした状態を、第５閾値に対応する所定の第１保持時間だけ保持し、該第１保持時間経過すると、パルス数を元に戻す。
【０１４０】
ここで、監視パラメータが大きくなる、即ち、大きな駆動力が必要となる状況は、超音波アクチュエータ２によって駆動される可動ケース８２が何かに引っ掛かる場合や、駆動子４９，４９とガイドポール８１の当接部材８１ａとの間に異物が挟まる場合や、駆動子４９，４９及び当接部材８１ａのばらつきによって摩擦力が瞬間的に増大する場合等であって、一時的であることがよくある。そこで、該第１保持時間だけパルス数を増やすことによって駆動力を大きくして、第１保持時間経過後はパルス数を元に戻す。大きな駆動力が必要な状況が一時的である場合には、第１保持時間経過後には、必要な駆動力が小さくなっているため、パルス数を元に戻したとしても、監視パラメータは第１閾値以下となる。すなわち、元のパルス数で且つ第１閾値以下の監視パラメータに対応する位相差によって、必要な駆動力を出力することができる。尚、第１保持時間は、必要な駆動力が一時的に大きくなる場合に、必要な駆動力が大きくなる状況が継続すると想定される時間に設定され、第５閾値は、該第１保持時間に相当する値に設定されている。
【０１４１】
一方、大きな駆動力が必要となる状況が一時的ではなく、継続する場合もあり得る。そのような場合には、パルス数を増やすことで監視パラメータが小さくなって第１閾値以下となったとしても、パルス数を元に戻すと、再び監視パラメータが第１閾値よりも大きくなる。その結果、ステップＳｂ１４からステップＳｂ１へ戻った後、前述のステップＳｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ５〜Ｓｂ７を繰り返して、ステップＳｂ８へ進み、パルス数を再び１つ増やす。その後、ステップＳｂ９を経て、ステップＳｂ１０へ進む。このとき、保持タイマは、先程のステップＳｂ１１〜Ｓｂ１３の繰り返しで計上されたままであるため、ステップＳｂ１０においては、保持タイマが零でないと判定され、ステップＳｂ１５へ進む。そして、ステップＳｂ１５において、保持タイマがクリアされ、ステップＳｂ１へ戻る。
【０１４２】
つまり、大きな駆動力が必要となる状況が継続する場合には、監視パラメータが第１閾値よりも大きくなるため、ステップＳｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ５〜Ｓｂ７を経て、ステップＳｂ８でパルス数が１つ増やされるが、その後、ステップＳｂ１１〜Ｓｂ１４へ進むことなく、ステップＳｂ１へ戻る。この場合、ステップＳｂ１４を通過しないため、パルス数が１つ増やされたままとなる。つまり、パルス数を暫定的に１つ増やした後、元に戻し、再び監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が第１継続時間よりも長く継続する状態となったときには、パルス数を正式に１つ増やし、元には戻さない。その結果、パルス数が１つ増えることによって駆動力が大きくなり、その駆動力が必要な駆動力よりも大きい場合には、位相差が小さく制御され、監視パラメータが小さくなる。そして、パルス数が増えることによって駆動力が大きくなってもなお、監視パラメータが第１閾値を超えている場合には、ステップＳｂ１５において保持タイマがクリアされているため、前述の如く、パルス数の暫定的な増加を経た後、場合によっては、パルス数の正式な増加が実行される。このパルス数の暫定的及び正式な増加は、監視パラメータが第１閾値よりも大きい状態が第１継続時間よりも長く継続しなくなるまで、あるいは、パルス数が最大値となる（即ち、駆動電圧が連続波となる）まで繰り返される。
【０１４３】
尚、ここでいう「元には戻さない」とは、ステップＳｂ１４のようにパルス数を意図的には元に戻さないということを意味し、その後、監視パラメータが減少したとしても、パルス数を減らさないということを意味するものではない。つまり、その後、監視パラメータが減少したときには、後述するステップＳｂ１６以降のフローによってパルス数を減らすことはあり得る。
【０１４４】
ここまでは、監視パラメータが大きくなる場合について説明したが、監視パラメータが小さくなる場合も同様にしてパルス数が制御される。
【０１４５】
詳しくは、ステップＳｂ１〜Ｓｂ３，Ｓｂ１６〜Ｓｂ２０において、監視パラメータが所定の第２閾値よりも小さい状態が所定の第２継続時間（第４閾値に対応）よりも長く継続するか否かを判定し、継続するときにはパルス数を１つ減らして、ダウンタイマをクリアする。これらステップＳｂ１〜Ｓｂ３，Ｓｂ１６〜Ｓｂ２０は、実施形態のステップＳａ１〜Ｓａ３，Ｓａ１０〜Ｓａ１４と同様である。ただし、ここでのパルス数の減少は暫定的であり、所定の保持期間の経過後に、元に戻す。
【０１４６】
つまり、ダウンタイマをクリアした後、ステップＳｂ２１において、保持タイマのカウント値が零か否かを判定する。カウント値が零のときには、ステップＳｂ２２へ進む一方、カウント値が零でないときには、ステップＳｂ２６へ進む。ステップＳｂ２６では、保持タイマをクリアして、ステップＳｂ１へ戻る。
【０１４７】
ステップＳｂ２２では、保持タイマのカウント値をカウントアップする。そして、ステップＳｂ２３で、保持タイマのカウント値を取り込み、ステップＳｂ２４で、該カウント値が第６閾値よりも大きいか否かを判定する。カウント値が第６閾値以下のときには、ステップＳｂ２２〜Ｓｂ２４を繰り返す一方、カウント値が第６閾値よりも大きいときには、ステップＳｂ２５へ進んで、パルス数を１つ増やす（即ち、パルス数を元に戻す）。その後、ステップＳｂ１へ戻る。
【０１４８】
つまり、ステップＳｂ２２〜Ｓｂ２５では、パルス数をステップＳｂ１９で１つ減らした状態を、第６閾値に対応する所定の第２保持時間だけ保持し、該第２保持時間経過すると、パルス数を元に戻す。
【０１４９】
ここで、監視パラメータが小さくなる、則ち、必要な駆動力が小さくなる状況としては、超音波アクチュエータ２によって駆動される可動ケース８２が何かに引っ掛かた後、引っ掛かりが消えて、負荷が急に軽くなる場合や、駆動子４９，４９及び当接部材８１ａのばらつきによって摩擦力が瞬間的に減少する場合等であって、一時的であることがよくある。そこで、該第２保持時間だけパルス数を減らすことによって駆動力を小さくして、第２保持時間経過後はパルス数を元に戻す。必要な駆動力が小さくなる状況が一時的である場合には、第２保持時間経過後には、必要な駆動力が大きくなっているため、パルス数を元に戻したとしても、監視パラメータは第２閾値以上となる。すなわち、元のパルス数で且つ第２閾値以上の監視パラメータに対応する位相差によって、必要な駆動力を出力することができる。尚、第２保持時間は、必要な駆動力が一時的に小さくなる場合に、必要な駆動力が小さくなる状況が継続すると想定される時間に設定され、第６閾値は、該第２保持時間に相当する値に設定されている。
【０１５０】
一方、必要な駆動力が小さくなる状況が一時的ではなく、継続する場合もあり得る。そのような場合には、パルス数を減らすことで監視パラメータが大きくなって第２閾値以上となったとしても、パルス数を元に戻すと、再び監視パラメータが第２閾値よりも小さくなる。その結果、ステップＳｂ２５からステップＳｂ１へ戻った後、前述のステップＳｂ１〜Ｓｂ３，Ｓｂ１６〜Ｓｂ１８を繰り返して、ステップＳｂ１９へ進み、パルス数を再び１つ減らす。その後、ステップＳｂ２０を経て、ステップＳｂ２１へ進む。このとき、保持タイマは、先程のステップＳｂ２２〜Ｓｂ２４の繰り返しで計上されたままであるため、ステップＳｂ２１においては、保持タイマが零でないと判定され、ステップＳｂ２６へ進む。そして、ステップＳｂ２６において、保持タイマがクリアされ、ステップＳｂ１へ戻る。
【０１５１】
つまり、必要な駆動力が小さくなる状況が継続する場合には、監視パラメータが第２閾値よりも小さくなるため、ステップＳｂ１〜Ｓｂ３，Ｓｂ１６〜Ｓｂ１８を経て、ステップＳｂ１９でパルス数が１つ減らされるが、その後、ステップＳｂ２２〜Ｓｂ２５へ進むことなく、ステップＳｂ１へ戻る。この場合、ステップＳｂ２５を通過しないため、パルス数が１つ減らされたままとなる。つまり、パルス数を暫定的に１つ減らした後、元に戻し、再び監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が第２継続時間よりも長く継続する状態となったときには、パルス数を正式に１つ減らし、元には戻さない（ここでいう「元には戻さない」とは、前述の如く、パルス数を意図的には元に戻さないということを意味する）。その結果、パルス数が１つ減ることによって駆動力が小さくなり、その駆動力が必要な駆動力よりも小さい場合には、位相差が大きく制御され、監視パラメータが大きくなる。そして、パルス数が減ることによって駆動力が小さくなってもなお、監視パラメータが第２閾値よりも小さい場合には、ステップＳｂ２６において保持タイマがクリアされているため、前述の如く、パルス数の暫定的な減少を経た後、場合によっては、パルス数の正式な減少が実行される。このパルス数の暫定的及び正式な減少は、監視パラメータが第２閾値よりも小さい状態が第２継続時間よりも長く継続しなくなるまで、あるいは、パルス数が最小値となるまで繰り返される。
【０１５２】
このように、変形例３では、パルス数を増減する必要があるときには、パルス数を暫定的に増減させた後、元に戻して様子を見て、再びパルス数を増減する必要があるようであれば、パルス数を正式に増減させる。こうすることで、パルス数を増減する必要がある状況が一時的であることによって、パルス数の制御が発振してしまうことを防止することができる。
【０１５３】
《発明の実施形態２》
続いて、本発明の実施形態２について説明する。
【０１５４】
実施形態２は、波数制御の方法が実施形態１と異なる。そこで、実施形態１と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【０１５５】
実施形態２では、バースト制御部７４は、監視パラメータとパルス数との関係が規定されたマップを有している。そして、バースト制御部７４は、入力された監視パラメータと、該マップとに基づいてパルス数を決定し、該パルス数に応じた出力信号をパルス生成部７５に出力する。
【０１５６】
詳しくは、マップでは、図２１に示すように、監視パラメータは、その大きさに応じて複数の領域に分割され、該領域ごとにパルス数が割り当てられている。このとき、監視パラメータが大きくなるほど、パルス数が大きくなるように、パルス数が割り当てられている。例えば、バースト制御部は、監視パラメータが第２領域IIの値であるときにはパルス数を３に設定して、監視パラメータが第３領域IIIの値であるときにはパルス数を４に設定して、それぞれに応じた出力信号を出力する。
【０１５７】
このように、監視パラメータの大きさに対応したパルス数のマップを備えておくことによって、監視パラメータとパルス数とを同じタイミングで迅速に切り換えることができる。特に、必要な駆動力が小さいときには、消費電力を速やかに低下させることができる。
【０１５８】
尚、必ずしもマップを有する必要はない。後述の変形例２のように、監視パラメータを所定の分割領域幅で除して、その値に応じてパルス数を決定する等、監視パラメータの大きさに応じてパルス数を決定する構成であれば、任意の構成を採用することができる。
【０１５９】
−変形例１−
尚、図２２に示すように、監視パラメータが増加しているときと、監視パラメータが減少しているときとで、異なるマップを用いるようにしてもよい。
【０１６０】
例えば、第２領域II内の値であった監視パラメータが増加して、第３領域III内に入ると、パルス数が３から４に増加する。こうして、パルス数が増加すると、出力できる駆動力が、パルス数が増加した分だけ大きくなるため、必要な駆動力が同じであれば、必要な位相差が小さくなり、それに伴って監視パラメータが減少する。ここで、監視パラメータが第２領域IIまで減少すると、パルス数が４から３に減少する。こうして、パルス数が減少すると、出力できる駆動力が、パルス数が減少した分だけ小さくなる。そのため、必要な駆動力がパルス数の減少前と同じであっても、必要な位相差が大きくなり監視パラメータが増加する。監視パラメータが第３領域IIIまで増加すると、前述の如く、パルス数が３から４に増加する。このように、パルス数が異なる領域の境目では、パルス数が増減を繰り返して、監視パラメータ及びパルス数の制御が発振してしまう虞がある。
【０１６１】
そこで、監視パラメータが減少しているときのマップでは、各パルス数が割り当てられた領域の監視パラメータの下限値を、監視パラメータが増加しているときのマップにおける下限値よりも低く設定している。こうすることで、パルス数が増加することで、位相差の減少に伴って監視パラメータが少し減少しても、監視パラメータが減少するときのマップでは監視パラメータの領域の下限値が相対的に低く設定されているため、監視パラメータはパルス数が１つ少ない隣りの領域には入らず、増加後のパルス数が割り当てられた領域に入ったままとなる。同様に、パルス数が減少することで、位相差の増大に伴って監視パラメータが少し増大しても、監視パラメータが増大するときのマップでは監視パラメータの領域の上限値が相対的に高く設定されていることになるため、監視パラメータはパルス数が１つ多い隣りの領域には入らず、減少後のパルス数が割り当てられた領域に入ったままとなる。こうして、監視パラメータ及びパルス数の制御が発振してしまうことを防止することができる。
【０１６２】
−変形例２−
次に、変形例２に係る制御装置について、図２３を参照して説明する。図２３は、バースト制御部及びパルス生成部のブロック図を示す。
【０１６３】
変形例２に係る波数制御は、監視パラメータの大きさに応じて、パルス数を決定すると共に、監視パラメータの大きさに応じて、出力する少なくとも１つのパルスのパルス幅を調節する。すなわち、この波数制御では、通常パルスと、該通常パルスのパルス幅よりもパルス幅を狭く調節したパルス（以下、「可変パルス」ともいう）とを組み合わせて出力する。
【０１６４】
変形例２に係るバースト制御部４７４は、パルス数演算部４７４ａと、パルス数決定部４７４ｂと、パルス幅換算部４７４ｃとを有している。
【０１６５】
パルス数演算部４７４ａには、監視パラメータと、メモリに記憶している領域分割幅が入力される。この領域分割幅は、前記マップ（図２１参照）において各パルス幅が割り当てられた監視パラメータの領域幅に相当するものである。パルス数演算部４７４ａは、監視パラメータを領域分割幅で除して、その演算結果のうち整数部分をパルス数決定部４７４ｂへ出力し、小数部分をパルス幅換算部４７４ｃへ出力する。
【０１６６】
パルス数決定部４７４ｂは、パルス数演算部４７４ａから入力された整数部分に基づいて、パルス数を決定する。具体的には、パルス数決定部４７４ｂは、整数部分に１を足した値をパルス数とする。
【０１６７】
パルス幅換算部４７４ｃは、パルス数演算部４７４ａから入力された小数部分に基づいて、可変パルスのパルス幅を決定する。具体的には、パルス幅換算部４７４ｃは、通常パルスのパルス幅を１として、小数部分に比例したパルス幅を決定する。例えば、パルス幅換算部４７４ｃは、小数部分の値が０．５のとき、パルス幅を通常パルスのパルス幅の１／２に設定する。尚、小数部分とパルス幅との関係は比例関係に限られるものではない。
【０１６８】
こうして、パルス数決定部４７４ｂから出力される出力信号と、パルス幅換算部４７４ｃから出力される出力信号とは、パルス生成部４７５に入力される。
【０１６９】
尚、本変形例２では、監視パラメータを領域分割幅で除した値の整数部分と小数部分とに基づいて、それぞれパルス数と可変パルスのパルス幅とを求めているが、これに限られるものではない。例えば、図２４に示すように、監視パラメータに応じてパルス数が規定されたマップ（図（Ａ）参照）と、監視パラメータに応じてパルス幅が規定されたマップ（図（Ｂ）参照）とを有し、両方のマップを用いて、パルス数と可変パルスのパルス幅とを決定してもよい。
【０１７０】
パルス生成部４７５は、パルス信号生成部４７５ａと、波数カウンタ４７５ｂと、バーストゲート４７５ｃと、ゲート信号生成部４７５ｄと、パルス幅信号生成部４７５ｅと、パルスゲート４７５ｆとを有している。
【０１７１】
パルス信号生成部４７５ａは、パルス周期が入力され、パルス周期で出力されるパルスの連続波を生成する。パルス信号生成部４７５ａから出力されるパルスの連続波は、波数カウンタ４７５ｂとバーストゲート４７５ｃとに入力される。
【０１７２】
波数カウンタ４７５ｂには、パルスの連続波に加えて、バースト周期が入力される。波数カウンタ４７５ｂは、連続波のパルス数をカウントし、パルスをカウントするごとに出力信号をゲート信号生成部４７５ｄと、パルス幅信号生成部４７５ｅとへ出力する。このとき、波数カウンタ４７５ｂは、バースト周期ごとの１個目のパルスをカウントしたときは、他のパルスをカウントしたときとは異なる出力信号を出力する。
【０１７３】
ゲート信号生成部４７５ｄは、波数カウンタ４７５ｂからの出力信号に加えて、パルス数決定部４７４ｂからの出力信号が入力されていて、バーストゲート４７５ｃを制御するための出力信号を生成して出力する。ゲート信号生成部４７５ｄは、バースト周期ごとの１個目のパルスから、パルス数決定部４７４ｂの出力信号に応じた個数のパルスがカウントされるまでの間、バーストゲート４７５ｃをＯＮにさせる信号を出力する。
【０１７４】
バーストゲート４７５ｃは、入力されたゲート信号生成部４７５ｄからの出力信号に応じた期間だけ、パルス信号生成部４７５ａから入力された連続波を出力する。その結果、バーストゲート４７５ｃからは、パルス数決定部４７４ｂで決定された個数のパルスがバースト周期ごとに出力されることになる。
【０１７５】
パルス幅信号生成部４７５ｅは、波数カウンタ４７５ｂからの出力信号に加えて、パルス数決定部４７４ｂからの出力信号及びパルス幅換算部４７４ｃからの出力信号が入力されていて、パルスゲート４７５ｆを制御するための出力信号を生成して出力する。パルス幅信号生成部４７５ｅは、バースト周期ごとの最後のパルスが出力されるタイミングを、波数カウンタ４７５ｂの出力信号とパルス数決定部４７４ｂからの出力信号とから求め、そのタイミングで、パルス幅換算部４７４ｃからの出力信号に応じたパルス幅に相当する時間だけパルスゲート４７５ｆをＯＮにさせる信号を出力する。
【０１７６】
パルスゲート４７５ｆは、パルス幅信号生成部４７５ｅからの出力信号に加えて、バーストゲート４７５ｃからの出力信号が入力され、バーストゲート４７５ｃからの出力信号のパルス幅を調節して出力する。詳しくは、パルスゲート４７５ｆは、バーストゲート４７５ｃから入力されたパルス群のうち、パルス幅信号生成部４７５ｅからの出力信号に応じたタイミングで通過するパルスのパルス幅を該出力信号に応じたパルス幅に調節する。その結果、パルスゲート４７５ｆからは、最後のパルスのパルス幅が調節された、パルス数決定部４７４ｂで決定された個数のパルスがバースト周期ごとに出力される。
【０１７７】
こうして、パルス生成部４７５からは、図２５に示すように、監視パラメータの大きさに応じて、１又は複数の通常パルスとパルス幅が調節された１つの可変パルスとを組み合わせたバースト信号がバースト周期ごとに出力される。このようにして出力されるバースト信号に含まれるパルスのパルス幅の和は、監視パラメータの大きさに比例している。尚、可変パルスは、必ずしも、通常パルスの後に出力される必要はなく、通常パルスの前や、通常パルスの間で出力されてもよい。
【０１７８】
このように、監視パラメータの大きさに応じてパルス数及びパルス幅を決定することによって、監視パラメータとパルス数及びパルス幅とを同じタイミングで迅速に切り換えることができる。特に、必要な駆動力が小さいときには、消費電力を速やかに低下させることができる。また、監視パラメータの大きさに応じてパルス数を変化させるだけでなく、パルス幅を変更することによって、駆動力を連続的に調節することができる。つまり、パルス数は離散的にしか変更することができないが、パルス幅は連続的に変更することができるため、パルス数とパルス幅とを組み合わせて調節することによって、駆動力を連続的に調節することができる。
【０１７９】
《発明の実施形態３》
続いて、本発明の実施形態３に係る駆動装置ついて、図２６，２７を参照しながら説明する。図２６は、カメラのレンズ機構３００の一部の斜視図であり、図２７は、超音波アクチュエータ３０２の概略的な側面図である。
【０１８０】
実施形態３は、超音波アクチュエータ３０２の構成が実施形態１と異なる。そこで、実施形態１と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【０１８１】
レンズ機構３００は、レンズ枠３１０と、レンズ枠３１０に保持されたレンズ３１１と、レンズ枠３１０の取付部３１２に設けられた超音波アクチュエータ３０２とを備えている。レンズ枠３１０は、超音波アクチュエータ３０２により、光軸方向へ駆動される。
【０１８２】
超音波アクチュエータ３０２は、振動を発生させるアクチュエータ本体３０４と、アクチュエータ本体３０４の一端部に取り付けられたアンカーウェイト３０５と、アクチュエータ本体４の他端部に取り付けられた駆動シャフト３４９とを備えている。
【０１８３】
アクチュエータ本体３０４は、圧電素子であって、圧電体層３４１と内部電極層（図示省略）とを交互に積層して構成されている。内部電極層は、第１電極層と第２電極層とを有している。第１電極層と第２電極層とは、圧電体層３４１と積層された状態において交互に並んでいる。つまり、各圧電体層３４１は、厚み方向において第１電極層と第２電極層とに挟持されている。圧電体層３４１は、厚み方向、例えば、第１電極層から第２電極層の方向へ分極されている。つまり、隣り合う圧電体層３４１，３４１の間では、分極の向きが厚み方向において逆向きになっている。第１電極層と第２電極層とに電圧を印加することによって、各圧電体層３４１が厚み方向に伸縮する。このとき、隣り合う圧電体層３４１，３４１間で、第１電極層と第２電極層との位置関係が反対になっているが、分極の向きも反対になっている。そのため、第１電極層と第２電極層とに電圧を印加したときに、アクチュエータ本体３０４において伸びる圧電体層３４１と縮む圧電体層３４１とが混在することはなく、アクチュエータ本体３０４全体として圧電体層３４１の積層方向に一律に伸び、一律に縮む。
【０１８４】
アンカーウェイト３０５は、駆動シャフト３４９に対して十分大きな質量を有している。アンカーウェイト３０５は、固定されており、アクチュエータ本体３０４が伸縮振動を発生させても、動くことはない。すなわち、アクチュエータ本体３０４の伸縮変位のほとんど全てが駆動シャフト３４９の変位となる。
【０１８５】
駆動シャフト３４９は、その軸線が、アクチュエータ本体３０４の積層方向、即ち、伸縮方向と一致するようにして、該アクチュエータ本体３０４に取り付けられている。つまり、駆動シャフト３４９は、アクチュエータ本体３０４が伸縮すると、アクチュエータ本体３０４の伸縮変位に伴って、その軸方向に変位する。駆動シャフト３４９には、レンズ枠３１０の取付部３１２に設けられた摩擦部材３１３，３１３を摩擦により保持している。
【０１８６】
レンズ枠３１０の取付部３１２には、一組の摩擦部材３１３，３１３が設けられている。摩擦部材３１３，３１３は、バネ３１４，３１４によって、互いに押し合う方向に付勢されている。各摩擦部材３１３における、他方の摩擦部材３１３と対向する面には、断面Ｖ字状の溝３１５が形成されている。駆動シャフト３４９は、溝３１５，３１５に嵌った状態で摩擦部材３１３，３１３に挟持されている。このとき、各摩擦部材３１３は、バネ３１４により駆動シャフト３４９へ付勢されており、摩擦部材３１３と駆動シャフト３４９との間には摩擦力が作用している。こうして、レンズ枠３１０は、駆動シャフト３４９に対して相対移動することなく、該駆動シャフト３４９に保持された状態となっている。
【０１８７】
このように構成された超音波アクチュエータ３０２には、実施形態１と同様の制御部（図示省略）が接続されている。超音波アクチュエータ３０２は、制御部からの駆動電圧により制御される。駆動信号は、交流信号であって、さらに詳しくは、パルス信号である。実施形態３では、制御部は、超音波アクチュエータ３０２に印加する駆動電圧のデューティ比（パルス周期（凸状（Ｈｉｇｈレベル）のパルスと凹状（Ｌｏｗレベル）のパルスとのパルス幅の合計）に対する凸状パルスのパルス幅の比）を変化させるデューティ制御を行うと共に、該駆動電圧に含まれるパルス数を変化させる波数制御を行う。アクチュエータ本体３０４に駆動電圧を印加して作動させると、駆動シャフト３４９がその軸方向へ振動する。このとき、駆動シャフト３４９には、振動の加速度に応じた慣性力が作用する。慣性力が駆動シャフト３４９と摩擦部材３１３，３１３との間の摩擦力よりも小さいときには、摩擦部材３１３，３１３、即ち、レンズ枠３１０は、駆動シャフト３４９と共に変位する。一方、加速度が大きくなって慣性力が駆動シャフト３４９と摩擦部材３１３，３１３との間の摩擦力よりも大きくなると、駆動シャフト３４９が摩擦部材３１３，３１３に対して滑って、駆動シャフト３４９だけが変位する。
【０１８８】
本実施形態の制御部の基本構成は、図示を省略するが、実施形態１の制御部７と同様である。詳しくは、制御部は、実施形態１と同様に、目標位置設定部と、減算器と、位置制御部と、バースト制御部と、パルス生成部とを備える。それに加えて、制御部は、デューティ比制御部と、増幅部とを有している。
【０１８９】
本実施形態における位置制御部は、フォーカスレンズ１５の目標位置と現在位置の偏差から、パルス信号に与えるデューティ比制御量を算出して、それに応じた出力信号をデューティ比制御部に出力する点で、実施形態１の位置制御部７３と異なる。位置制御部は、該偏差から比例項、積分項及び微分項を求め、それらを加算することでデューティ比制御量を算出している。すなわち、位置制御部は、ＰＩＤ制御によってデューティ比制御量を算出している。
【０１９０】
バースト制御部は、位置制御部からの比例項と積分項との加算値に基づいて、バースト周期中に含まれるパルスの数を決定する。この比例項と積分項との加算値は、パルス信号のデューティ比に関連するパラメータである。そして、バースト制御部は、そのパルス数に関する出力信号をパルス生成部に出力する。
【０１９１】
デューティ比制御部は、位置制御部からの出力信号に基づいて、パルスのデューティ比を決定する。そして、デューティ比制御部は、そのデューティ比に関する出力信号をパルス生成部に出力する。
【０１９２】
パルス生成部は、デューティ比制御部からの出力信号に応じたデューティ比のパルスを、バースト制御部からの出力信号に応じた個数だけバースト周期中に含んだバースト信号を連続的に出力する。このパルス生成部から出力されるバースト信号は、増幅部に入力される。
【０１９３】
増幅部では、入力されたバースト信号を増幅して、パルス信号として超音波アクチュエータ３０２に印加する。
【０１９４】
このように、実施形態１の制御部と実施形態３の制御部とでは、実施形態１では２相の駆動電圧を出力するのに対して、実施形態３では単相の駆動電圧を出力する点、および、実施形態１では２相の駆動電圧の位相差を制御するのに対し、実施形態３では単相の駆動電圧のデューティ比を制御する点で異なる。また、実施形態１の変形例や実施形態２及びその変形例において位相差に関連するパラメータを用いて制御を行っている部分については、デューティ比に関連するパラメータを用いて制御を行うことによって、実施形態３に適用することができる。すなわち、実施形態３では、監視パラメータとして、デューティ比に関連するパラメータ（例えば、ＰＩＤ制御の比例項と積分項など）を用いる。
【０１９５】
続いて、超音波アクチュエータ３０２の動作について、図２８〜３０を参照しながら、さらに詳しく説明する。図２８は、待機時の状態であって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフト３４９の位置を示す。図２９は、駆動時の状態であって、（Ａ）は駆動信号を、（Ｂ）は駆動シャフト３４９の位置を示す。図３０は、駆動時における駆動シャフト３４９とレンズ枠（図示省略）の摩擦部材３１３の位置の時間変化を示す。本実施形態では、説明の便宜上、駆動信号がＨｉｇｈレベルのときにアクチュエータ本体３０４が伸び、駆動信号がＬｏｗレベルのときにアクチュエータ本体３０４が縮むものとする。
【０１９６】
超音波アクチュエータ３０２の電源がオンされると、図２８に示す、待機時の駆動信号がアクチュエータ本体３０４に印加される。待機時の駆動信号は、デューティ比が５０％となっている。このとき、アクチュエータ本体３０４は、伸びるときも、縮むときも、急峻に変位するため、駆動シャフト３４９が摩擦部材３１３，３１３、即ち、レンズ枠３１０に対して滑る。その結果、駆動シャフト３４９だけ進退変位して、レンズ枠３１０はその位置に留まっている。
【０１９７】
それに対し、駆動時には、図２９に示すような駆動信号がアクチュエータ本体３０４に印加される。駆動時の駆動信号は、デューティ比が５０％からずらされている。例えば、図２９では、デューティ比が３０％に設定されている。このような駆動信号が印加されると、アクチュエータ本体３０４は、駆動信号がＨｉｇｈレベルのとき（即ち、伸びるとき）には急峻に変位する一方、駆動信号がＬｏｗレベルのとき（即ち、縮むとき）には緩慢に変位する。その結果、図３０に示すように、アクチュエータ本体３０４が伸びるときには、駆動シャフト３４９と摩擦部材３１３，３１３とが滑り、レンズ枠３１０は移動せず、アクチュエータ本体３０４が縮むときには、摩擦部材３１３，３１３が摩擦力を介して駆動シャフト３４９と係合した状態となり、レンズ枠３１０が駆動シャフト３４９と共に駆動シャフト３４９の基端側へ変位する。つまり、レンズ枠３１０は、停止、基端側への変位、停止、基端側への変位、…を繰り返しながら、基端側へ移動していく。
【０１９８】
尚、以上の説明では、駆動シャフトが軸方向の一方へ変位するときには、摩擦部材３１３，３１３との間で滑りが生じ、駆動シャフトが軸方向の他方へ変位するときには、摩擦部材３１３，３１３との間で滑りが生じない場合について説明したが、これに限られるものではない。すなわち、駆動シャフトが軸方向の一方へ変位するときも、他方へ変位するときも、摩擦部材３１３，３１３との間で滑りが生じる場合がある。そのような場合でも、摩擦部材３１３，３１３、即ち、レンズ枠３１０を移動させることができる。これは、摩擦部材３１３，３１３への動摩擦力の作用する時間が、駆動シャフトの軸方向の一方への変位と軸方向の他方への変位とで異なるためである。
【０１９９】
上記の例では、デューティ比を３０％としているが、デューティ比を調整することによってレンズ枠３１０の速度を調整することができる。また、上記の例では、デューティ比を５０％より小さく変更したが、デューティ比を５０％よりも大きく変更してもよい。デューティ比を５０％よりも大きく変更することによって、レンズ枠３１０を駆動シャフト３４９の先端側へ移動させることができる。
【０２００】
このように駆動信号のデューティ比を調整することによって、レンズ枠３１０の移動方向及び移動速度を調整することができる。例えば、デューティ比を５０％に近づけることによって、レンズ枠３１０の移動速度を遅くすることができる一方、デューティ比を５０％から遠ざけることによって、レンズ枠３１０の移動速度を速くすることができる。
【０２０１】
このデューティ制御では、制御範囲の全域に亘って、駆動電圧の周波数が、アクチュエータ本体３０４の共振周波数に応じて設定された周波数のままであると共に、駆動電圧の電圧値が、一定の値に維持されている。そのため、小さな駆動力を出力すべくデューティ比を５０％に近づけた場合であっても、共振周波数に応じた周波数であって且つ十分な電圧値が維持された駆動電圧が印加されるため、所望の駆動力を適切に出力することができる。しかしながら、駆動力が小さいにもかかわらず、駆動電圧の電圧値は一定の値に維持されているため、駆動力の割りに消費電力が大きくなってしまう。
【０２０２】
そこで、制御部は、デューティ制御に波数制御を組み合わせて駆動力を制御している。つまり、制御部は、駆動電圧のデューティ制御をしつつ、波数制御をすることによって、消費電力を低減している。特に、必要な駆動力が小さいときには、駆動電圧に含まれるパルス数を減らしても、アクチュエータ本体３０４を適切に振動させることができる。ただし、バースト周期中に含まれるパルス数を減らしていくと、パルス数が零（即ち、バースト率が零）となる前に駆動力が零となってしまう。そのため、波数制御においては、バースト周期中に含まれる最小のパルス数は、レンズ枠３１０等の駆動対象を駆動できる最小の値（本実施形態では、３個）に設定さている。本実施形態では、制御部は、必要な駆動力が比較的大きな領域では、連続波の駆動信号を用いたデューティ制御によって駆動力を制御し、必要な駆動力が比較的小さな領域では、波数制御によりパルス数を調節しつつデューティ制御をすることによって駆動力を制御している。
【０２０３】
具体的には、制御部は、待機時には、図３１に示すようなパルス信号をアクチュエータ本体３０４に印加する。待機時は、摩擦部材３１３，３１３を駆動する必要はないが、駆動状態に即座に移行できるように、アクチュエータ本体３０４に共振振動を発生させておく必要がある。待機時のパルス信号では、バースト周期をパルス６個分に設定し、バースト周期中の前半に３個のパルスを出力し、後半のパルス３個分の期間はパルスを出力しない休止期間としている。休止期間中は、アクチュエータ本体３０４の圧電体層３４１の変位が中立位置となるような電圧を印加している。パルス出力中は、駆動シャフト３４９は、パルスに応じた振動を発生させる。休止期間になると、駆動シャフト３４９の振動は減衰していく。このとき、駆動シャフト３４９の振動は小さくなるものの、駆動シャフト３４９と摩擦部材３１３，３１３との間では滑りが生じており、摩擦部材３１３，３１３は、ほとんど動かない。仮に、摩擦部材３１３，３１３が摩擦力を介して駆動シャフト３４９と共に振動したとしても、そのような場合には駆動シャフト３４９の振動もかなり減衰しているため、振幅が小さく、移動量は小さい。この休止期間は、アクチュエータ本体３０４の共振振動が減衰しきらない期間に設定されている。
【０２０４】
そして、制御部は、駆動時には、図３２に示すようなパルス信号をアクチュエータ本体３０４に印加する。このパルス信号では、デューティ比が３０％に設定されている。さらに、このパルス信号は、バースト周期中の前半に３個のパルスを出力し、後半にパルス３個分の休止期間を設けている。パルスの出力中は、駆動シャフト３４９は、パルスがＨｉｇｈレベルのときに急峻に変位する一方、パルスがＬｏｗレベルのときに緩慢に変位する。その結果、摩擦部材３１３，３１３が、駆動シャフト３４９の基端側へ移動する。そして、休止期間中は、アクチュエータ本体３０４の振動が減衰しつつ、その振動が基端側と先端側とで対称になっていく。その結果、摩擦部材３１３，３１３と駆動シャフト３４９とは、軸方向の一方へも他方へも均等に滑るようになり、摩擦部材３１３，３１３はほとんど動かなくなる。ただし、その場合でも、アクチュエータ本体３０４の共振振動は、維持されている。その後、次のパルスが出力されると、アクチュエータ本体３０４の急峻な振動と緩慢な振動とが再開され、摩擦部材３１３，３１３が移動を再開する。
【０２０５】
尚、休止期間においては、図３３，３４に示すように、実施形態１と同様の狭小パルスを出力してもよい。狭小パルスは、ＨｉｇｈレベルとＬｏｗレベルの両方に出力される。さらには、狭小パルスは、通常時のパルス出力期間のうち略真ん中のタイミングで出力される。その結果、休止期間中における、狭小パルスの周期は、待機時であっても、駆動時であっても、パルス周期（デューティ比５０％のときの凸状のパルス及び凹状のパルスの出力周期）と同じになる。こうして、休止期間においても、パルスを全く出力しないのではなく、狭小パルスを出力することによって、アクチュエータ本体３０４に僅かではあっても駆動電圧を印加することができる。その結果、アクチュエータ本体３０４の共振振動を維持させることができる。狭小パルスを出力しない場合と比較しても（図３１，３２参照）、休止期間において、駆動シャフト３４９の振動があまり減衰していない。このように、休止期間に狭小パルスを出力する構成であっても、狭小パルスはパルス幅が狭いため、通常パルスを出力し続ける連続波と比較して、消費電力を抑制することができる。また、休止期間に狭小パルスを出力しない構成と比較して、バースト周期を長くすることができるため、場合によっては、消費電力を抑制することができる。
【０２０６】
また、本実施形態においても、図３５に示すように、実施形態１と同様の始動制御が行われる。つまり、制御部は、アクチュエータ本体３０４の始動後、所定の待機時間が経過するまでの間は、デューティ比が５０％のパルス信号を出力する。このとき、波数制御が行われており、バースト周期における後半には休止期間が設けられている。すなわち、待機時間中は、３個のパルスの出力と休止期間とが繰り返され、アクチュエータ本体３０４に共振振動が励起される。このとき、アクチュエータ本体３０４は、駆動シャフト３４９の軸方向の両側へ均等に振動しているため、摩擦部材３１３，３１３をほとんど移動しない。そして、待機時間が経過すると、制御部は、デューティ比を５０％からずらしたパルス信号をアクチュエータ本体３０４に出力する。その結果、アクチュエータ本体３０４には、駆動シャフト３４９の軸方向の一方と他方とで移動速度が異なる振動が生じ、摩擦部材３１３，３１３がその非対称性に応じて移動していく。ここで、始動時の駆動力が小さい場合には、波数制御が実行される。図３５では、待機時間経過後のパルス信号にも休止期間が設けられている。尚、始動制御は、必ずしもパルス数を減らした状態で行う必要はなく、連続波であるパルス信号を用いて行ってもよい。さらには、待機期間中だけ（即ち、デューティ比５０％のパルス信号を出力するときだけ）、休止期間を設けてもよい。
【０２０７】
《その他の実施形態》
本発明は、前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【０２０８】
前記超音波アクチュエータ２の構成は、前記の構成に限られるものではない。例えば、前記実施形態では、アクチュエータ本体４の長辺側面に駆動子４９，４９が設けられ、アクチュエータ本体４の伸縮振動の方向が駆動力が出力される方向と一致し、屈曲振動の方向が駆動子４９，４９を当接部材８１ａに押圧する方向と一致するように構成しているが、これに限られるものではない。アクチュエータ本体４の短辺側面に駆動子４９を設け、アクチュエータ本体４の伸縮振動の方向が駆動子４９，４９を当接部材８１ａに押圧する方向と一致し、屈曲振動の方向が駆動力が出力される方向と一致するように構成してもよい。
【０２０９】
また、前記実施形態では、駆動子４９，４９が固定側の部材である当接部材８１ａに当接する状態で、超音波アクチュエータ２が可動側の部材である可動ケース８２に取り付けられ、超音波アクチュエータ２自体も移動するように構成されているが、これに限られるものではない。つまり、駆動子４９，４９が可動側の部材に当接する状態で、超音波アクチュエータ２が固定側の部材に取り付けられ、超音波アクチュエータ２自体を移動しないように構成してもよい。
【０２１０】
さらに、前記実施形態では、アクチュエータ本体４に１次モードの伸縮振動と２次モードの屈曲振動とを発生させているが、それ以外のモード又は振動を発生させてもよい。
【０２１１】
さらにまた、前記実施形態では、平面視長方形状の圧電体層４１の主面を、前記のように４分割して、対角線方向に位置する対の電極ごとに異なる駆動電圧を印加しているが、これに限られるものではない。圧電体層４１に設けられた４つの電極に別々に駆動電圧を印加してもよいし、電極の配置を異ならせてもよい。その場合は、電極に印加する複数の駆動電圧の位相差も前記の構成とは異なる。つまり、前記の構成では、平面視長方形状の圧電体層４１の主面を、前記のように４分割して対角線方向に位置する対の電極ごとに異なる駆動電圧を印加しているため、２つの駆動電圧の位相差を９０°としたときに、駆動力が最大となり、位相差を０°又は１８０°としたときに駆動力が最小となったが、圧電体層４１の形状、電極の配置等によっては、駆動力が最大又は最小となる位相差は異なる。
【０２１２】
また、前記実施形態では、駆動電圧の位相制御又はデューティ制御と、波数制御とを組み合わせて駆動力を制御しているが、これは駆動電圧の周波数制御や電圧値制御等を排除するものではない。つまり、位相制御又はデューティ制御と、波数制御とを組み合わせて駆動力を制御している限りにおいては、それに加えて、駆動電圧の周波数制御や電圧値制御を行ってもよい。
【０２１３】
さらに、前記実施形態では、可動側の部材（即ち、可動ケース８２）が直進運動をするように構成されているが、可動側の部材が回転運動する構成であってもよい。すなわち、駆動子４９，４９を円盤体の側周面に当接させて、円盤体を可動側の部材として回動させる、又は、所定の回転軸周りに回動可能な可動側の部材に超音波アクチュエータ２が取り付けられ、超音波アクチュエータ２が可動側の部材と共に回動する構成であってもよい。
【０２１４】
また、前記実施形態では、アクチュエータ本体４が圧電素子で構成されているが、これに限られるものではない。例えば、金属製の共振器を形成し、圧電素子を該共振器に取り付けて、圧電素子を振動させることで、共振器全体を振動させる構成であってもよい。この場合、共振器がアクチュエータ本体を構成する。
【０２１５】
尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０２１６】
以上説明したように、本発明は、振動型アクチュエータを備えた駆動装置について有用である。
【符号の説明】
【０２１７】
２，３０２    超音波アクチュエータ（振動型アクチュエータ）
４，３０４    アクチュエータ本体
７            制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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