(57)【要約】【課題】液晶基板の保管倉庫室に設置される搬送装置であるスタッカクレーンの動作に伴う気流の乱れに対して効果的に防止する液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の液晶基板の保管倉庫室１０は、液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚２０と、複数の保管棚２０に沿って配置したレールを走行し、カセットを搬送するスタッカクレーン３０と、スタッカクレーン３０の走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、スタッカクレーン３０の走行方向後方で排気手段の排気した排気量の空気を給気する給気手段と、スタッカクレーン３０の移動制御信号に基づいて、スタッカクレーン３０の投影面積と移動距離から生じるスタッカクレーン３０の押し退ける空気量を排気手段から排気させると共に給気手段から給気させる制御手段６０と、を備えたことを特徴としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚に沿って配置したレールを走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、
前記スタッカクレーンの走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、
前記スタッカクレーンの走行方向後方で前記排気手段の排気した空気量を給気する給気手段と、
前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて、前記スタッカクレーンの投影面積と移動距離から生じる前記スタッカクレーンの押し退ける空気量を前記排気手段から排気させると共に前記給気手段から給気させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。
【請求項２】
液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚に沿って配置したレール間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、
を備えた液晶基板の保管倉庫室において、
前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算する制御手段と、
前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向前方から排気する第１の給排気手段と、
前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向後方から給気する第２の給排気手段と、
を設けたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。
【請求項３】
前記第１及び第２の給排気手段は、前記空気量を、前記スタッカクレーンの移動速度に合わせて給排気することを特徴とする請求項２に記載の液晶基板の保管倉庫室。
【請求項４】
液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚に沿って配置したレールの間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、
前記レールに沿って配置し、前記保管棚に清浄空気を供給する複数のＦＦＵと、
前記レールに沿って配置し、前記室内の空気を排気する複数のレタン部と、
を備えた液晶基板の保管倉庫室であって、
前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算し、前記スタッカクレーンの走行方向前方の前記レタン部から前記空気量を排気させて、前記空気量を前記スタッカクレーンの走行方向後方の前記ＦＦＵから給気させる制御手段を設けたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。
【請求項５】
前記レタン部と前記ＦＦＵの間に前記レタン部の排気した空気を前記ＦＦＵに供給するファンを設けたことを特徴とする請求項４に記載の液晶基板の保管倉庫室。
【請求項６】
前記ＦＦＵは、前記スタッカクレーンの走行方向に沿って複数の給気ゾーンを形成し、前記スタッカクレーンの通過した前記給気ゾーンごとに段階的に前記空気量を給気することを特徴とする請求項４に記載の液晶基板の保管倉庫室。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に、液晶基板の保管倉庫室において保管棚に収容するカセットを搬送するスタッカクレーン等の移動物体を備えた液晶基板の保管倉庫室に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶や半導体製品の製造に用いられるガラス基板やウェハの一時保管のため、高い清浄度に保持された保管倉庫室がある。
図５は従来の液晶基板の保管倉庫室の構成概略図を示している。図示のように液晶基板の保管倉庫室１は、基板等を保管する複数の保管棚２を室内に設けている。この保管棚２に収容されるカセット３がある。カセット３には、複数の基板が一部露出して保持されている。そしてカセット３は、液晶基板の保管倉庫室１に備えられたスタッカクレーン４で保管棚２に搬入し保管されている。スタッカクレーン（移動体）４は、クリーンルーム内の保管棚２に沿って施工されたレール５上を移動する台車６を備えている。また空間内では、清浄空気を供給する空調手段により、上部から下部へ流れる気流を形成し、清浄空気の循環を行って空間内の高い清浄度を維持している。
【０００３】
ところで近年の液晶基板の大型化に伴い、スタッカクレーンも大型化されている。このため、クレーンが高速で走行することによる倉庫室内の気流が大きく乱れることが問題となっている。具体的には、クレーン自体が大型化し、進行方向に対する投影面積も大きくなり、ストッカ断面積に対する閉塞具合も大きくなる。そうすると押し退ける空気量も大きくなり気流の乱れ具合も大きくなっている。
そこで特許文献１には、スタッカクレーンの走行に伴う室内の気流制御に関して、レール端部で排気する方法などが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３１１２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし特許文献１の方法では、巻き上がりなどの塵埃の拡散防止には有効であるが、排気のみで対応しようとしているため、部屋全体の空気の乱れ自体を防止することは困難である。また、ストッカ端部での対策のみで、ストッカ中央での対策には言及されていない。
【０００６】
そこで上記従来技術の問題点を解決するため本発明は、液晶基板の保管倉庫室に設置される搬送装置であるスタッカクレーンの動作に伴う気流の乱れに対して効果的に防止する液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚と、前記複数の保管棚に沿って配置したレールを走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、前記スタッカクレーンの走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、前記スタッカクレーンの走行方向後方で前記排気手段の排気した空気量を給気する給気手段と、前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて、前記スタッカクレーンの投影面積と移動距離から生じる前記スタッカクレーンの押し退ける空気量を前記排気手段から排気させると共に前記給気手段から給気させる制御手段と、を備えたことを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、前記複数の保管棚に沿って配置したレール間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、を備えた液晶基板の保管倉庫室において、前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算する制御手段と、前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向前方から排気する第１の給排気手段と、前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向後方から給気する第２の給排気手段と、を設けたことを特徴としている。
この場合において、前記第１及び第２の給排気手段は、前記空気量を、前記スタッカクレーンの移動速度に合わせて給排気するとよい。
【０００９】
さらに本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、前記複数の保管棚に沿って配置したレールの間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、前記レールに沿って配置し、前記保管棚に清浄空気を供給する複数のＦＦＵと、前記レールに沿って配置し、前記室内の空気を排気する複数のレタン部と、を備えた液晶基板の保管倉庫室であって、前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算し、前記スタッカクレーンの走行方向前方の前記レタン部から前記空気量を排気させて、前記空気量を前記スタッカクレーンの走行方向後方の前記ＦＦＵから給気させる制御手段を設けたことを特徴としている。
この場合において、前記レタン部と前記ＦＦＵの間に前記レタン部の排気した空気を前記ＦＦＵに供給するファンを設けているとよい。
【００１０】
また前記ＦＦＵは、前記スタッカクレーンの走行方向に沿って複数の給気ゾーンを形成し、前記スタッカクレーンの通過した前記給気ゾーンごとに段階的に前記空気量を給気することを特徴とする請求項４に記載の液晶基板の保管倉庫室。
【発明の効果】
【００１１】
上記構成による本発明の液晶基板の保管倉庫室によれば、スタッカクレーンの走行の際に、スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離に基づいてクレーンが押し退ける空気を演算し、クレーンの進行方向の前方スペースから排気し、その排気した空気をクレーンの進行方向の後方スペースに給気するようにしている。このためクレーンの走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができる。
またクレーンが押し退ける空気量をクレーンの移動速度に合わせて給排気させている。このためクレーンの走行に伴う空気の乱れをより最小限に抑制することができる。
【００１２】
また本発明の液晶基板の保管倉庫室によれば、スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離に基づいてクレーンが押し退ける空気を演算し、浄化空気を供給するＦＦＵと、室内の空気を外部に排気するレタン部により、前記空気量の給排気を行なうようにしている。このため、クレーンの走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができるとともに、構成要件を簡略化して、設備コストを低減化することができる。
また本構成によれば、室内の端部以外のストッカ中央部においても、あるいは搬送装置の移動距離が長い場合でも気流の乱れを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の液晶基板の保管倉庫室の構成概略を示す図である。
【図２】本発明の液晶基板の保管倉庫室のスタッカクレーンの進行方向に対して垂直な断面図である。
【図３】液晶基板の保管倉庫室の変形例１の構成概略を示す図である。
【図４】液晶基板の保管倉庫室の変形例２の構成概略を示す図である。
【図５】従来の液晶基板の保管倉庫室の構成概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の液晶基板の保管倉庫室の実施形態について添付の図面を参照しながら、以下詳細に説明する。
図１は本発明の液晶基板の保管倉庫室の構成概略を示す図である。図示のように液晶基板の保管倉庫室１０の室内は、収容スペース１２と、収容スペース１２の上方に天井裏スペース１４と、収容スペース１２の下方に床下スペース１６とに区分けしている。
【００１５】
収容スペース１２には、空間内を複数に区分けして搬送カセット２２を収容する保管棚２０を形成している。搬送カセット２２には、複数の基板が一部露出して保持されている。保管棚２０は複数列に並べて配置し、列毎に複数段に積み重ねている。また保管棚２０の複数列の間の床下スペース１６上には、後述するスタッカクレーン３０のレール（搬送路）３２を配置している。
【００１６】
スタッカクレーン３０は、前述の複数の保管棚２０に沿って形成したレール３２上を走行させる台車である。スタッカクレーン３０は台車部３４とクレーン部３６から構成されている。台車部３４は、レール３２上を正逆方向に走行し、中央には、移動方向と交差方向にクレーン部３６を立設させている。クレーン部３６は、搬送カセット２２の支持手段を備えている。支持手段は、クレーン部３６の上下方向に移動可能な昇降手段に形成している。
【００１７】
天井裏スペース１４には、空調手段４０と給排気手段５０を形成している。
空調手段４０は、収容スペース１２（室内）の保管棚２０に清浄空気を供給するものであり、本実施形態では一例としてＦＦＵ（ファンフィルタユニット）を用いている。空調手段４０となるＦＦＵは、収容スペース１２に並べた保管棚２０に沿って収容スペース１２の天井面に複数取り付けている。この各ＦＦＵは、収容スペース１２と天井裏スペース１４の間の天井面に吹き出し口を取り付けている。
【００１８】
給排気手段５０は、ＦＦＵと同様に天井裏スペース１４に取り付けた第１及び第２の給排気手段５２，５４から構成されている。第１及び第２の給排気手段５２，５４は、ダクト５６を介して接続させている。ダクト５６の途中にはファン５８を取り付けている。ファン５８は後述する制御手段６０と電気的に接続させている。第１及び第２の給排気手段５２，５４は、室内（収容スペース１２）の空気を排気して、排気した空気量を再び室内（収容スペース１２）に給気する開口である。第１及び第２の給排気手段５２，５４は、室内の両端の上方、換言すればレールの両端の上方に設けて、その間の下方をスタッカクレーン３０が走行するように構成している。
【００１９】
収容スペース１２と床下スペース１６の間には、グレーチング構造の開口部６２を形成している。開口部６２は、収容スペース１２を通った空気が排気される排気口である。床下スペース１６には、スタッカクレーン３０の走行方向に沿って複数のレタン部５９を形成している。床下スペース１６は収容スペース１２の外側を囲むように形成した図示しないリターン領域を介して天井裏スペース１４と接続させている。これにより収容スペース１２を通った空気は、開口部６２から床下スペース１６に導入される。そして床下スペース１６からレタン部５９を介してリターン領域に供給されて天井裏スペース１４に導入される。このように保管倉庫室１０では、室内空気の循環経路を形成している。
【００２０】
制御手段６０は、スタッカクレーン３０とファン５８と電気的に接続している。制御手段６０は、液晶基板の搬送カセット２２を所定の保管棚２０に収容させるためにスタッカクレーン３０の移動距離、移動速度、移動位置を制御する信号を、スタッカクレーン３０に送信している。
【００２１】
制御手段６０は、スタッカクレーン３０の制御信号に基づいて、スタッカクレーン３０が押し退ける空気量を演算している。
ここでスタッカクレーン３０が室内を走行するとき、スタッカクレーン３０の走行に伴いスタッカクレーン３０前方の空気は押し退けられながら、床下スペース１６やスタッカクレーン３０後方に回り込もうとする。この前方に押し退けられる空気量は、次のように求めることができる。
【００２２】
図２は本発明の液晶基板の保管倉庫室のスタッカクレーンの進行方向に対して垂直な断面図である。図示のようにスタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向となる断面の投影面積をＡ（斜線部）とし、スタッカクレーン３０の移動距離をＸ（ｍ）とすると、押し退けられる空気量Ｖ（ｍ３）は次式で表すことができる。
押し退ける空気量Ｖ（ｍ３）＝投影面積Ａ（ｍ２）×移動距離Ｘ（ｍ）
これにより給排気手段の給排気する空気量が演算できる。
【００２３】
また本発明の空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）は、スタッカクレーンの移動速度ｖ（ｍ／ｓ）によっても求めることができる。すなわち
押し退ける空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）＝投影面積Ａ（ｍ２）×移動速度ｖ（ｍ／ｓ）
これにより給排気手段５０における毎秒あたりの給排気する空気量が演算できる。
【００２４】
また制御手段６０は、ファン５８と接続している。制御手段６０は、スタッカクレーン３０の正逆の移動方向に合わせて、スタッカクレーン３０の進行方向前方の給排気手段を排気し、進行方向後方の給排気手段から給気させるように、ファン５８の給排気方向を切替え制御している。図１では一例として、図中矢印ｆの方向にスタッカクレーン３０が走行する場合、走行方向前方に配置された第２給排気手段５４から排気（排気手段）し、走行方向後方に配置された第１の給排気手段５２から給気（給気手段）するようにファン５８の給排気方向を切り替えている。一方、矢印ｆの反対方向にスタッカクレーン３０が走行する場合、スタッカクレーン３０の走行方向前方に配置された第１の給排気手段５２から排気（排気手段）し、走行方向後方の第２の給排気手段５４から給気（給気手段）するようにファン５８の給排気方向を切替えている。
【００２５】
上記構成による本発明の液晶基板の保管倉庫室の作用について以下説明する。
まず、収容スペース１２の上部に取り付けた空調手段４０から清浄空気が下方の保管棚２０に向けて給気される。このとき、収容スペース１２内の複数の保管棚２０の間を清浄空気が通過する。そして、床面に設けられたグレーチング状の開口部６２から収容スペース１２を通過した空気が吸い込まれ、床下スペース１６に導入される。床下スペース１６に導入された空気はレタン部５９を介して図示しないリターン領域を通って上方の天井裏スペース１４へと導入される。そして天井裏スペース１４の空調手段４０によって室内を通過した空気が清浄化されて再び収容スペース１２に導入される。このように保管倉庫室１０は、室内を高い清浄度に維持された循環経路が形成されている。
【００２６】
このような保管倉庫室１０において、スタッカクレーン３０は、搬送カセットを保持しながら、レール上を保管棚２０や製造装置（図示省略）などの必要な個所に移動する。
このとき制御手段６０によりスタッカクレーン３０の移動距離、移動速度、移動位置が制御される。
【００２７】
また制御手段では、スタッカクレーン３０の走行に伴う押し退けられる空気量を演算している。すなわち、押し退ける空気量Ｖ（ｍ３）＝スタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向となる断面の投影面積Ａ（ｍ２）×移動距離Ｘ（ｍ）の関係から空気量Ｖ（ｍ３）を演算する。また、押し退ける空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）＝投影面積Ａ（ｍ２）×移動速度ｖ（ｍ／ｓ）の関係によっても空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）を求めることができる。
【００２８】
そして得られた空気量に基づいて、制御手段６０は、ファン５８を介して給排気手段５０に給排気させている。具体的には、図１に示すスタッカクレーン３０の走行方向前方に配置された第２の給排気手段５４から排気（排気手段）し、走行方向後方に配置された第１の給排気手段５２から給気（給気手段）するようにファン５８の排気方向を切り替えている。
【００２９】
また第１及び第２の給排気手段５２，５４は、空気量を、スタッカクレーン３０の移動速度に合わせて給排気するように、制御手段６０でファン５８の排気出力を調整することもできる。これにより、スタッカクレーン３０の走行に伴う空気の乱れをより最小限に抑制することができる。
【００３０】
図３は液晶基板の保管倉庫室の変形例１の構成概略を示す図である。図示のように変形例１の液晶基板の保管倉庫室１０Ａは、図１に示す液晶基板の保管倉庫室１０の給排気手段５０の替わりに空調手段４０となるＦＦＵと、レタン部５９を用いて給排気する構成としている。
【００３１】
ＦＦＵは、スタッカクレーン３０の走行方向に沿って連続する複数のＦＦＵを１つの給気ゾーン４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ…とし、この給気ゾーン４１ごとに制御手段６０と電気的に接続させている。
【００３２】
複数のレタン部５９は、ファン５８ａに接続しており、ファン５８ａを介して床下スペース１６から天井裏スペース１４へ排気させている。ファン５８ａは制御手段６０と電気的に接続させている。
【００３３】
制御手段６０は、給気ゾーン４１ごとに給気するとともに、複数のレタン部５９からファン５８ａを介して排気するように制御している。その他の構成は図１の構成と同一であり、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３４】
上記構成による液晶基板の保管倉庫室１０Ａの作用について以下説明する。始めにスタッカクレーン３０の移動速度と移動距離又は移動位置の情報から制御手段６０により給排気させる空気量を決定する。スタッカクレーン３０の移動と同時に、スタッカクレーン３０が停止する近傍且つ、進行方向前方の１つ又は複数のレタン部５９から前記空気量を排気するようにファン５８ａを稼動させて床下スペース１６から天井裏スペース１４へ排気した空気量を送る。これと同時にスタッカクレーン３０が通過した空間の給気ゾーン４１から排気した空気と同量の空気量を給気する。ここで給気ゾーン４１による給気は段階的に行なうことができる。例えば図３に示すように位置Ｌのスタッカクレーン３０から位置Ｎに移動する際、給気ゾーン４１Ａから給気し、ついでスタッカクレーン３０の通過した給気ゾーン４１Ｂ〜４１Ｃと順に給気することができる。その他のＦＦＵは通常の空気清浄を行なっている。
【００３５】
なおファン５８ａは、スタッカクレーン３０の走行方向の両端に２台設置するように構成し、スタッカクレーン３０の前進後退移動に伴い切り替えるようにすることができる。またレタン部５９ごとに開閉弁を取り付けてスタッカクレーン３０の停止する近傍且つ、進行方向前方のレタン部５９の開閉弁のみ開放して排気するように構成することもできる。
【００３６】
これによりスタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向の投影面積Ａと移動距離Ｘから生ずるスタッカクレーン３０が押し退ける空気量をレタン部５９から排気して、排気した空気量を給気ゾーン４１から給気することができ、スタッカクレーン３０の走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができる。
【００３７】
図４は液晶基板の保管倉庫室の変形例２の構成概略を示す図である。変形例２の液晶基板の保管倉庫室１０Ｂは、変形例１の保管倉庫室１０Ａと同様の給気ゾーンを備えている。そして給気ゾーン４１Ａ，４１Ｂ…と対向する床下スペース１６には、複数のレタン部５９と、これに接続したファン５８からなる排気ゾーン４２Ａ，４２Ｂ…を形成している。なおファン５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃ，５８Ｄ，５８Ｅ………は制御手段６０と電気的に接続している。図４では対向する給気ゾーン４１と排気ゾーン４２の間をスペースＡ，Ｂ…，Ｆとしている。
【００３８】
上記構成による液晶基板の保管倉庫室１０Ｂの作用について以下説明する。一例としてスタッカクレーン３０がスペースＢからスペースＥに移動する場合、前述同様に制御手段６０により空気量を決定する。スタッカクレーン３０の移動と同時に、停止位置となるスペースＥの排気ゾーン４２からファン５８Ｅを介して前述の空気量を排気する。これと同時にスペースＢの給気ゾーン４１Ｂから、排気した空気と同量の空気量を給気する。又スタッカクレーン３０が通過したスペースＢ，スペースＣ，スペースＤの順に排気ゾーン４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄを介して排気した空気と同量の空気量を給気ゾーン４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄの順に段階的に給気するようにしている。なおスタッカクレーン３０がゾーンを通過する前（前方）と後（後方）で排気ファン５８Ｂ，５８Ｃ，５８Ｄも段階的に排気する風量を変更するように制御することもできる。
【００３９】
これによりスタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向の投影面積Ａと移動距離Ｘから生ずるスタッカクレーン３０が押し退ける空気量を排気ゾーン４２のレタン部５９から排気して、排気した空気量を給気ゾーン４１から給気することができ、スタッカクレーン３０の走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、クリーンルームなど高い清浄度を要求される保管設備の分野において特に利用可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１………液晶基板の保管倉庫室、２………保管棚、３………カセット、４………スタッカクレーン、５………レール、６………台車、１０………液晶基板の保管倉庫室、１２………収容スペース、１４………天井裏スペース、１６………床下スペース、２０………保管棚、２２………搬送カセット、３０………スタッカクレーン、３２………レール、３４………台車部、３６………クレーン部、４０………空調手段、４１………給気ゾーン、４２………排気ゾーン、５０………給排気手段、５２………第１の給排気手段、５４………第２の給排気手段、５６………ダクト、５８………ファン、５９………レタン部、６０………制御手段、６２………開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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