(57)【要約】【課題】平面導波路に良好に光結合させることができる小型の光学装置、光記録ヘッド及び光記録装置を提供する。【解決手段】光源からの光を導く光伝送系と、前記光伝送系に導かれた光が結合される平面導波路と、を備え、前記平面導波路は、前記光伝送系に導かれた光が照射される位置に、該光を該平面導波路に結合させる光入力部を有する光学装置において、前記光伝送系は、前記光源からの光を前記光入力部に収束させるものであって、前記光源の近傍に正のパワーを有する第１の光学素子と、前記第１の光学素子から光が射出した後で前記平面導波路の近傍に正のパワーを有する第２の光学素子と光を前記光入力部に偏向する偏向部と、を備えている。【選択図】図２
2010123200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を導く光伝送系と、
前記光伝送系に導かれた光が結合される平面導波路と、を備え、
前記平面導波路は、前記光伝送系に導かれた光が照射される位置に、該光を該平面導波路に結合させる光入力部を有する光学装置において、
前記光伝送系は、前記光源からの光を前記光入力部に収束させるものであって、
前記光源の近傍に正のパワーを有する第１の光学素子と、
前記第１の光学素子から光が射出した後で前記平面導波路の近傍に正のパワーを有する第２の光学素子と光を前記光入力部に偏向する偏向部と、を備えていることを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記光源は、線状導光体の光射出端部であることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記光入力部は回折格子であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記偏向部は、回折格子を備えていることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項５】
前記第２の光学素子が有する正のパワーは、光軸に対し直交し且つ互いに直交する２方向に異なることを特徴とする請求項４に記載の光学装置。
【請求項６】
前記偏向部は、前記第２の光学素子と一体であることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項７】
前記第２の光学素子は、前記偏向部と一体であって、
前記第１の光学素子の側から光が進む順に、入射面、第１の反射面、回折格子を備える第２の反射面及び前記第１の反射面と同一面である射出面を備え、
前記入射面、第１の反射面及び第２の反射面の何れか一面は正のパワーを有することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項８】
前記第２の光学素子が有する正のパワーは、光軸に対し直交し且つ互いに直交する２方向に異なることを特徴とする請求項７に記載の光学装置。
【請求項９】
光源からの光を情報記録媒体に照射して情報を記録する光記録ヘッドにおいて、
前記光源と、
請求項１から８の何れか一項に記載の光学装置と、
前記平面導波路を備え、前記情報記録媒体に対し相対移動するスライダと、
前記スライダを一方の端部に設けてあるサスペンションと、
前記サスペンションの他方の端部を支持するアームと、を有することを特徴とする光記録ヘッド。
【請求項１０】
前記第１の光学素子は、前記アームに固定され、
前記第２の光学素子は、前記サスペンション若しくは前記スライダに固定されていることを特徴とする請求項９に記載の光記録ヘッド。
【請求項１１】
磁気記録部を備えている請求項９又は１０に記載の光記録ヘッドと、
磁気記録媒体と、
前記光記録ヘッドにより前記磁気記録媒体に磁気記録を行う制御をする制御部と、を備えていることを特徴とする光記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学装置、光記録ヘッド及び光記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年は情報記録媒体の高密度化が求められ、様々な方式の記録方法が提案されている。熱アシスト磁気記録方法もそのうちの１つである。高密度化するために１個１個の磁区の大きさを小さくする必要があるが、データを安定して保存するために保磁力の大きい材料を使う。このような記録媒体では書き込むときに強い磁界を発生させる必要があるが、小さくなった磁区に対応する小さなヘッドでは限界がある。
【０００３】
そこで、記録時に局所的に加熱して磁気軟化を生じさせ、保磁力が小さくなった状態で記録し、その後に加熱を止めて自然冷却することにより、記録した磁気ビットの安定性を保証する方式が提案され、この方式は熱アシスト磁気記録方式と呼ばれている。
【０００４】
熱アシスト磁気記録方式では、記録媒体の加熱を瞬間的に行うことが望ましく、また、加熱する機構と記録媒体とが接触することは許されない。このため、加熱は光の吸収を利用して行われるのが一般的であり、加熱に光を用いる方法は光アシスト式と呼ばれている。
【０００５】
光アシスト式で高密度記録を行う場合、使用光の波長以下の微小な光スポットを必要とする。そのため、入射光の波長以下の大きさの光学的開口から発生する近接場光（近視野光とも称する。）を利用する光ヘッドが利用されている。このような微小な光スポットを用いる光記録ヘッドとして例えば特許文献１がある。
【０００６】
特許文献１に記載の光記録ヘッドは、書き込み磁極とこれに隣接した平面導波路を備えている。平面導波路には、導波路に光を結合させる回折格子（グレーティングカプラと称される。）が設けられ、この回折格子に対して、例えばレーザ光を所定の入射角で照射すると、レーザ光は効率よく平面導波路に結合される。平面導波路に結合された光は、平面導波路の先端部の近傍に位置する焦点に収束し、先端部から放射される光により記録媒体が照射され加熱され、書き込み磁極により書き込みが行われる。
【０００７】
平面導波路に光を結合する回折格子に光を照射する方法として、例えば以下の特許文献２、３に記載されている光記録ヘッドがある。
【０００８】
特許文献２には、光源から光ファイバによりアームに沿って光を導き、光ファイバから射出する光を平面導波路の回折格子に向けて直接照射することが記載されている。
【０００９】
特許文献３には、光ファイバから射出した光がボールレンズに入射し、収束光として射出し、ミラーで偏向され、平面導波路の回折格子に対し収束し照射することが記載されている。
【特許文献１】米国特許第６９４４１１２号明細書
【特許文献２】米国特許第７３４５８４０号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２００５／０１９０６８２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献２に記載の光記録ヘッドにおいて、光ファイバから平面導波路に向かって射出された光は、射出された直後から広がり始め、光ファイバから離れている回折格子に到達するときには結合に最適な光束径よりも大きくなってしまうため、光の利用効率が悪くなる。
【００１１】
また、特許文献３に記載の光記録ヘッドにおいて、この場合、光ファイバ射出端面から平面導波路の回折格子までの距離が大きくなるとボールレンズの有効径が大きくなってしまい光記録ヘッドの大型化を招いてしまう。このため、光記録ヘッドの小型化においては光ファイバ射出端面と平面導波路との間隔が制限されてしまう。
【００１２】
上記より光記録ヘッドは、平面導波路の近くに光ファイバを固定することが良いと考えられる。しかし、記録媒体上から僅かに浮いて飛翔するスライダや、これを支持する容易に撓むサスペンションに、非常に細いとは言え無視できない曲がりにくさを有する光ファイバを固定することは、スライダの飛翔に大きな影響を与え、その制御を複雑にする。このため、光ファイバを平面導波路の近くに固定することは、現状では現実的でない。
【００１３】
また、特許文献１から３の何れにおいても、回折格子に照射した光を平面導波路に効率良く結合させるためには、回折格子への光の入射角度に高い精度が要求される。例えば特許文献３に記載されている光記録ヘッドでは、回折格子に集光する光スポット径は６０μｍ、ＮＡは０．０１とあり、この場合、回折格子への光の入射角度許容範囲は、±０．１°程度といった高精度が要求される。このため、光記録ヘッドの組み立ては、部品が小さいこともあって、容易でない。
【００１４】
また、サスペンションに支持されているスライダは、記録媒体面に対して微妙に上下動するため、平面導波路に固定されていない光源からの光は、平面導波路に設けられている回折格子に入射する入射角度が変動する。この入射角度変動により、光源からの光が回折格子によって平面導波路に十分に結合できない場合が生じ、記録媒体に対し十分な光を照射できなくなり、安定した記録等ができなくなる。
【００１５】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、平面導波路に良好に光結合させることができる小型の光学装置、光記録ヘッド及び光記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の課題は、以下の構成により解決される。
【００１７】
１．光源からの光を導く光伝送系と、
前記光伝送系に導かれた光が結合される平面導波路と、を備え、
前記平面導波路は、前記光伝送系に導かれた光が照射される位置に、該光を該平面導波路に結合させる光入力部を有する光学装置において、
前記光伝送系は、前記光源からの光を前記光入力部に収束させるものであって、
前記光源の近傍に正のパワーを有する第１の光学素子と、
前記第１の光学素子から光が射出した後で前記平面導波路の近傍に正のパワーを有する第２の光学素子と光を前記光入力部に偏向する偏向部と、を備えていることを特徴とする光学装置。
【００１８】
２．前記光源は、線状導光体の光射出端部であることを特徴とする前記１に記載の光学装置。
【００１９】
３．前記光入力部は回折格子であることを特徴とする前記１又は２に記載の光学装置。
【００２０】
４．前記偏向部は、回折格子を備えていることを特徴とする前記１から３の何れか一項に記載の光学装置。
【００２１】
５．前記第２の光学素子が有する正のパワーは、光軸に対し直交し且つ互いに直交する２方向に異なることを特徴とする前記４に記載の光学装置。
【００２２】
６．前記偏向部は、前記第２の光学素子と一体であることを特徴とする前記１から５の何れか一項に記載の光学装置。
【００２３】
７．前記第２の光学素子は、前記偏向部と一体であって、
前記第１の光学素子の側から光が進む順に、入射面、第１の反射面、回折格子を備える第２の反射面及び前記第１の反射面と同一面である射出面を備え、
前記入射面、第１の反射面及び第２の反射面の何れか一面は正のパワーを有することを特徴とする前記１から３の何れか一項に記載の光学装置。
【００２４】
８．前記第２の光学素子が有する正のパワーは、光軸に対し直交し且つ互いに直交する２方向に異なることを特徴とする前記７に記載の光学装置。
【００２５】
９．光源からの光を情報記録媒体に照射して情報を記録する光記録ヘッドにおいて、
前記光源と、
前記１から８の何れか一項に記載の光学装置と、
前記平面導波路を備え、前記情報記録媒体に対し相対移動するスライダと、
前記スライダを一方の端部に設けてあるサスペンションと、
前記サスペンションの他方の端部を支持するアームと、を有することを特徴とする光記録ヘッド。
【００２６】
１０．前記第１の光学素子は、前記アームに固定され、
前記第２の光学素子は、前記サスペンション若しくは前記スライダに固定されていることを特徴とする前記９に記載の光記録ヘッド。
【００２７】
１１．磁気記録部を備えている前記９又は１０に記載の光記録ヘッドと、
磁気記録媒体と、
前記光記録ヘッドにより前記磁気記録媒体に磁気記録を行う制御をする制御部と、を備えていることを特徴とする光記録装置。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の光学装置、光記録ヘッド及び光記録装置によれば、正のパワーを第１の光学素子と第２の光学素子とに分散させることにより光軸に垂直な方向の光学素子の大きさを抑えながら光入力部を照射する光伝送系の光射出側のＮＡを大きくすることができる。また、偏向部を備えていることにより平面導波路と光伝送系とを厚みが薄くできるように配置することができる。
【００２９】
よって、光入力部を照射する光の入射角度の変動による光結合効率の低下を緩和させることができ、平面導波路に良好に光結合させることができる小型の光学装置、光記録ヘッド及び光記録装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明は、平面導波路に効率よく光を結合できるように、光源からの光を伝送し、平面導波路に光を結合させる光入力部を照射する光伝送系に関するものであって、情報記録媒体である、例えば光磁気記録媒体又は光記録媒体に記録を行う光記録ヘッドに使用できる。
【００３１】
以下、本発明を図示の実施の形態である光記録ヘッドに磁気記録部を有する光アシスト式磁気記録ヘッドとそれを備えた光記録装置に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。
【００３２】
図１に光アシスト式磁気記録ヘッド（以下、光記録ヘッドと称する。）を搭載した光記録装置（例えばハードディスク装置）の概略構成例を示す。この光記録装置１００は、以下（１）〜（６）を筐体１の中に備えている。
（１）記録用のディスク（記録媒体）２
（２）支軸６を支点として矢印Ａの方向（トラッキング方向）に回転可能に設けられたアーム５に支持されたサスペンション４
（３）アーム５に取り付けられたトラッキング用アクチュエータ７
（４）サスペンション４の先端に取り付けられたスライダ３
（５）ディスク２を矢印Ｂの方向に回転させるモータ（図示しない）
（６）トラッキング用アクチュエータ６、モータ及びディスク２に記録するために書き込み情報に応じて照射する光、磁界の発生等の制御を行う制御部８
スライダ３には、光アシスト記録を可能とするための平面導波路や磁気記録部４０等を備えている。本発明に係わる光記録ヘッドは、上記のアーム５、サスペンション４、スライダ３を有している。
【００３３】
こうした光記録装置１００は、光記録ヘッドが有しているスライダ３がディスク２上で浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。
【００３４】
図２は、図１の光記録ヘッドの一例の記録書き込み周辺部を側面から概念的に示している。図２の光記録ヘッド３０は、ディスク２に対する情報記録に光を利用する光記録ヘッドであって、アーム５、サスペンション４、スライダ３、光源５０及び光伝送系を構成する第１の光学素子５１と第２の光学素子５２を備えている。スライダ３には、平面導波路２０、磁気記録部４０等を備えている。
【００３５】
光源５０から射出された光は、光伝送系を構成する第１の光学素子５１と第２の光学素子５２により伝送され、平面導波路２０が備える回折格子２０ａに集光される。回折格子２０ａに集光された光は平面導波路２０に結合され、先端部２４に進み、加熱のための放射光６５としてディスク２に向かって放射される。尚、図２では、先端部２４の光を放射する位置又はその近傍に設けている後述の近接場光発生用のプラズモンプローブ２４ｄを省略している。
【００３６】
放射光６５が微小な光スポットとしてディスク２に照射されると、ディスク２の照射された部分の温度が一時的に上昇してディスク２の保磁力が低下する。その保磁力の低下した状態の照射された部分に対して、磁気記録部４０により磁気情報が書き込まれる。
【００３７】
尚、図２ではディスク２の記録領域の進入側から退出側（図の矢印２ａ方向）にかけて、平面導波路２０、磁気記録部４０の順に配置されている。このように、平面導波路２０の退出側直後に磁気記録部４０が位置すると加熱された記録領域の冷却が進みすぎない内に書き込みができるので好ましい。また、磁気記録部４０の退出側又は平面導波路２０の流入側にディスク２に書き込まれた磁気記録情報を読み出す磁気再生部４１を設けてもよい。
【００３８】
スライダ３は、浮上しながらディスク２に対して相対的に移動するが、ディスク２に付着したごみや、媒体に欠陥がある場合には接触する可能性がある。その場合に発生する摩耗を低減するため、スライダ３の材質には耐摩耗性の高い硬質の材料を用いることが望ましい。例えば、Ａｌ２Ｏ３を含むセラミック材料、例えばＡｌＴｉＣやジルコニア、ＴｉＮなどを用いれば良い。また、摩耗防止処理として、スライダ３のディスク２側の面に耐摩耗性を増すためにＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）被膜等の表面処理を行っても良い。
【００３９】
また、スライダ３のディスク２と対向する面には、浮上特性向上のための空気ベアリング面３２（ＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面とも称する。）を有している。
【００４０】
光源５０は、線状導光体である光ファイバの射出端部を示しているが、例えば半導体レーザとしてもよい。線状導光体は、本実施の形態に挙げている光ファイバのような線状導光体の断面の径方向にコア、クラッドと呼ぶ屈折率差を備えた導光体があるが、これに限定されることはなく、ポリマー光導波路のような線状導光体の断面の径方向に屈折率差を有さない導光体とすることもできる。
【００４１】
光源５０から射出する光は第１の光学素子５１に入射する。第１の光学素子５１は、光ファイバ射出端部に接している光が入射する面５１ａと正のパワーを備え光が射出する面５１ｂとを備えている。第１の光学素子５１から射出する光６０は、平行、収束及び発散の何れの状態でもよく、後段の第２の光学素子５２にケラレ等を生じることなく効率良く入射できるのが好ましい。
【００４２】
第１の光学素子５１を光源５０に隣接して設けることは、光源５０より射出する光が発散して広がらないうちに第１の光学素子に結合させることができ、第１の光学素子５１の径を小さくすることができる。また、第１の光学素子５１は正のパワーを備えていることにより、後段の第２の光学素子５２の径を小さくすることができる。第１の光学素子５１は、面５１ｂのような光学的なパワーを有する面（例えば、球面、非球面）を備えたレンズでも良いし、屈折率が一様でない（中心に近いほど屈折率が大きい）媒質を用い、屈折率が連続的に変化することでレンズ作用をする例えば円柱形状のレンズである屈折率分布型レンズとしても良い。
【００４３】
光源５０を固定する位置は、図２のようにアーム５に固定するのが好ましい。光源５０をスライダ３より離して配置することは、光源５０が例えば半導体レーザであれば発熱の影響をスライダ３が受け難くする点や、光源５０の質量や光源が光ファイバであればこれによって生じる付加的な応力によってスライダ３の浮上が妨げられない点等で好ましい。
【００４４】
第１の光学素子５１は、上記の通り光源５０に隣接するのが好ましく、また固定が容易でアーム５の旋回等の運動に質量の影響を少なくできることから、光源５０と同じくアーム５に固定するのが好ましい。
【００４５】
第１の光学素子５１から射出された光６０は、サスペンション４の先端に設けられているスライダ３の近くの固定台４ａを介して固定されている第２の光学素子５２に入射する。第２の光学素子５２の入射面５２ａは正のパワーを有しており、第２の光学素子５２からの射出光は、後述する平面導波路２０に設けてある回折格子２０ａに収束し照射する。また、第２の光学素子５２に入射した光は、上述の収束光となることに加えて射出されるまでの間、面５２ｂで偏向され、回折格子を備えている面５２ｃで回折され、射出面５２ｄで屈折される。
【００４６】
面５２ｂ及び面５２ｃは、射出面５２ｄにおける屈折も含めて第２の光学素子５２に入射した光が平面導波路２０に設けてある回折格子２０ａに所定の入射角で入射できるように偏向するようにしているため、回折格子２０ａを照射する光は効率よく平面導波路２０に結合することができる。
【００４７】
光源５０からの光を回折格子２０ａに収束させるための光伝送系の正のパワーを第１の光学素子と第２の光学素子とで２つに分けることにより、第１の光学素子と第２の光学素子とをサスペンション４の両端程度に離れて配置することができる。
【００４８】
サスペンション４は、静止時と稼働時とでは反りの状態が異なるため、組み立ての際に反りの状態を予測して第１の光学素子５１と第２の光学素子５２とを配置する場合がある。この場合、安定した動作をするアーム５に第１の光学素子５１を配置し、第２の光学素子５２は光結合する平面導波路２０に近い位置が好ましく、サスペンション４の先端付近又はスライダ３に固定することができる。固定部材３ａを介して第２の光学素子５２をスライダ３に固定している例を図３に示す。
【００４９】
また、光伝送系を第１の光学素子５１及び第２の光学素子５２とで構成することにより、光軸に垂直な径方向の大きさを大きくすることなく、倍率を抑えて射出側のＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ）を大きくすることができる。射出側のＮＡを大きくすることにより、回折格子２０ａに良好な小さいスポットを形成して良好な光結合することができ、更に回折格子２０ａに入射する光の光軸に対する最大角度が大きくなるため、回折格子２０ａへの入射角度精度を緩和することができる。このため、光記録ヘッド３０の組み立てが容易となり、また光記録装置１００として稼動している時の回折格子２０ａへの光の入射角度の変動による平面導波路２０への光結合不良を生じ難くすることができる。
【００５０】
第２の光学素子５２が備えている面５２ｃが備えている回折格子に関して説明する。光源５０から射出する光は、半導体レーザ光を使用する場合がある。半導体レーザにおいて、例えば、ファブリペロー共振型は、自身や周囲の温度上昇などによって温度変化があると所謂モードホップ現象が生じ発振波長が変化する。平面導波路２０の回折格子２０ａに入射する光の波長が変化すると、回折角が変化するため、平面導波路２０への光結合効率が低下してしまう。光結合効率が低下しないようにするためには、回折格子２０ａへの入射角度を波長変化に応じて変える必要がある。
【００５１】
波長変化に応じて、回折格子２０ａに入射する光の入射角度を適宜変えるため、第２の光学素子５２の面５２ｃに回折格子を設けるのが好ましい。第２の光学素子５２の面５２ｃに入射する光の波長が変化すると、その波長に応じて回折角度が変わり、最終的に第２の光学素子５２から射出する光の射出角度を変えることができる。
【００５２】
これを利用して、第２の光学素子５２の波長依存する射出角度変化量と回折格子２０ａの波長依存する入射角度変化量とを整合させ相殺させるように波長変動補償することができる。こうした整合により、上記の波長変化に応じて射出角度を補正（色補正）する回折格子を備えた第２の光学素子５２に入射する光は、あたかも波長変動がないかのように平面導波路２０に結合することができる。
【００５３】
第２の光学素子５２が備えるパワーは、光軸に直交する面内で、且つ互いに直交する２方向に異なるパワーを備えていることが好ましい。詳しくは、互いに直交する２方向の内１方向は、第２の光学素子が有する回折格子を備えている面５２ｃに平行な方向である。
【００５４】
光を偏向させるために回折を利用すると、光束の断面形状が元の形から変化してしまう。例えば円形の断面を持つ平行光束が回折されることによって断面形状が楕円の光束となる。更に、光が集光又は拡散している場合には、回折面の効果によって回折方向とこれに垂直な方向とで集光位置が異なる非点隔差を生じてしまう。
【００５５】
このような光束断面形状の変形や非点隔差を補正する直交する２方向でパワーの異なる面を第２の光学素子が備えることにより、回折格子２０ａに良好な光スポットを形成することができ、光結合効率をより良好にすることができる。具体的には、２方向でパワーの異なる面を屈折面や反射面とする場合はアナモルフィック面を用い、回折面とする場合はアナモルフィックに相当する縦方向と横方向とで回折力の異なる面を用いるのが好ましい。
【００５６】
第２の光学素子５２の構成としては、図２に示すように、光源５０側から順に入射面５２ａ、第１の反射面５２ｂ、回折格子を備える反射面５２ｃ、射出面５２ｄとし、第１の反射面５２ｂと射出面５２ｄとは同一面であり、これらの何れかの少なくとも１面に正のパワーを備えることが好ましい。このような構成とすることにより小型で簡単な構成でありながら偏向、入射角度精度の緩和及び波長変動補償の機能を併せて持たせることが可能である。
【００５７】
更に望ましくは、上記で説明した通り、第２の光学素子５２が有する正のパワーは光軸方向に対して直交する２方向でパワーが異なるアナモルフィック面、若しくはアナモルフィックに相当する縦方向と横方向とで回折力の異なる面とすることが好ましい。
【００５８】
上記の第２の光学素子５２は、正のパワーを有する面のほか、回折格子を備えた面及び反射面を備える一体物として部品数が少なく調整がより容易である好ましい状態であるが、必ずしも一体物である必要はない。例えば、第２の光学素子は正のパワーを有する面を備えるものとし、回折格子を備えた面や反射面を第２の光学素子とは別の偏向部とする２体物としてもよく、この場合、第２に光学素子は屈折率分布型レンズを用いても良い。
【００５９】
本発明の光伝送系により、回折格子２０ａへの入射角度精度が緩和され、平面導波路２０の入射結合範囲が例えばφ５０μｍ程度の場合、位置許容誤差は１０μｍと緩い。このため、入射角度精度の緩和により第２の光学素子と回折格子２０ａとの位置合わせはより簡単となり、光伝送系と平面導波路２０を備えているスライダ３との位置合わせを機械加工精度により簡単に行うことができる。
【００６０】
平面導波路２０に関して説明する。平面導波路２０の正面図を図４、側面図を図５にそれぞれ模式的に示す。平面導波路２０は、スライダ３の光源５０側の壁面に設けられており、導波路を構成するコア層２１とクラッド層２２を有し、コア層２１には、光入力部である回折格子２０ａが形成されている。
【００６１】
導波路は、屈折率が異なる物質による複数層で構成することができ、コア層２１の屈折率は、クラッド層２２の屈折率より大きい。この屈折率差により導波路が構成され、コア層２１内の光はコア層２１内部に閉じ込められ、効率よく矢印２５の方向に進み、先端部２４に到達する。図５において、クラッド層２２と接する側と反対側のコア層２１の面は空気に晒されており、この空気がクラッドとして機能している。
【００６２】
コア層２１は、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｎＳｅ等で形成され、厚みは約２０ｎｍから５００ｎｍの範囲としてよく、またクラッド層２２は、ＳｉＯ２、空気、Ａｌ２Ｏ３等で形成され、厚みは約２００ｎｍから２０００ｎｍの範囲としてよい。
【００６３】
コア層２１は、後述の結合された光をコア層２１の焦点Ｆに向かって反射するように形成された、外周面の輪郭形状が放物線である側面２６、２７を備えている。図３において、放物線の左右対称の中心軸を軸Ｃ（準線（図示しない）に垂直で焦点Ｆを通る線）で示し、放物線の焦点を焦点Ｆとして示している。側面２６、２７には、例えば金、銀、アルミニウム等の反射物質を設けて、光反射損失をより少なくする助けとしてもよい。
【００６４】
平面導波路２０のコア層２１に設けてある回折格子２０ａは、コア層２１に設けてある側面２６、２７の形状である放物線の準線に対して平行な複数の溝により構成されている。第２の光学素子５２から射出し回折格子２０ａの面に形成する光スポットを光スポット５５で示している。
【００６５】
尚、光をコア層２１に結合させる光入力部は、上記の回折格子を用いたグレーティングカプラの他、例えば回折格子の代わりにプリズムを用いたプリズムカプラと呼ばれるものがあるが、コア層２１に形成しやすいことや軽量であることから回折格子とすることが好ましい。
【００６６】
導波路のコア層２１の先端部２４は、ディスク２に隣接する放物線の先端が切断されたような平面形状をしている。焦点Ｆから放射される光は急に広がるため、先端部２４の形状を平面とすることにより、ディスク２に焦点Ｆをより近くに配置することができるので好ましく、また、先端部２４に焦点Ｆを形成してもよい。
【００６７】
コア層２１の焦点Ｆ又はその近傍に、プラズモンプローブ２４ｄを配置してもよい。プラズモンプローブ２４ｄの具体例を図６に示す。
【００６８】
図６において、（ａ）は三角形の平板状金属薄膜からなるプラズモンプローブ２４ｄ、（ｂ）はボウタイ型の平板状金属薄膜からなるプラズモンプローブ２４ｄであり、何れも曲率半径２０ｎｍ以下の頂点Ｐを有するアンテナからなっている。また、（ｃ）は開口を有する平板状金属薄膜からなるプラズモンプローブ２４ｄであり、曲率半径２０ｎｍ以下の頂点Ｐを有するアンテナからなっている。何れのプラズモンプローブ２４ｄの金属薄膜の材料は、アルミニウム、金、銀等が挙げられる。
【００６９】
これらのプラズモンプローブ２４ｄに光が作用すると、その頂点Ｐ近辺に近接場光が発生して、非常に小さいスポットサイズの光を用いた記録又は再生を行うことが可能となる。つまり、コア層２１の焦点Ｆ又はその近傍にプラズモンプローブ２４ｄを設けることにより局所プラズモンを発生させれば、焦点に形成された光スポットのサイズをより小さくすることができ、高密度記録に有利となる。尚、焦点Ｆにプラズモンプローブ２４ｄの頂点Ｐが位置することが好ましい。
【実施例】
【００７０】
図２に示すような構成の光記録ヘッド３０において、本発明に係わる光伝送系である光源から光を導光している光ファイバの射出端に配置した第１の光学素子５１と平面導波路２０側に配置されている第２の光学素子５２の具体例として以下の数値例１から６に示す。
【００７１】
各数値例は、シミュレーションの都合上、射出側から、すなわち第２の光学素子側から順に記載している。
【００７２】
各数値例の光路図は、面Ｓ６がパワーを有する面か否かにより２つに大別できるため数値例１から４の光路図を図７に示し、数値例５と６の光路図を図８に示す。図７において、第２の光学素子は面Ｓ３から面６までを備え、第１の光学素子は面８と面９を備えており、図８において、第２の光学素子は面Ｓ３から面６までを備え、第１の光学素子は面７と面８を備えている。
【００７３】
シミュレーションにおける最初の座標軸をそれぞれの図７，８に併せて示す。尚、数値例５では面Ｓ４、数値例６では同一面である面Ｓ３（透過面）、面Ｓ５（反射面）がパワーを有している。
【００７４】
（非球面の記述について）
光軸をＺ軸、これに直交する方向をＹ軸、Ｘ軸とすると、面頂点からの位置を以下で表す。
Ｚ＝ｃ×Ｈ２／｛１＋（１−（１＋ｋ）×ｃ２×Ｈ２）１／２｝＋ΣＡｎ×Ｈｎ
但し、
ｃ：曲率（１／曲率半径）
Ｈ２：Ｘ２＋Ｙ２（光軸からの高さの２乗）
ｋ：円錐定数
Ａｎ：ｎ次の非球面係数
（トロイダル面について）
トロイダル面は以下のように定義する。まずＹＺ平面で標準の非球面の輪郭を最初に定義し、次に、Ｘ方向で曲率の中心を通るＹ軸に対して回転させる。従って、トロイダル面はＹＺ平面では非球面になり、ＸＺ平面では円になる。ＹＺ面内の形状は、以下で表す。
Ｚ＝ｃ×Ｙ２／｛１＋（１−（１＋ｋ）×ｃ２×Ｙ２）１／２｝＋ΣＡｎ×Ｙｎ
但し、
ｃ：曲率（１／曲率半径）
Ｙ２：ＹＺ平面上で光軸からの高さの２乗
ｋ：円錐定数
Ａｎ：ｎ次の非球面係数
（トーリック面について）
トーリック面はＹＺ面で球面を定義した後、Ｘ曲率中心周りに回転させたものである。
【００７５】
（回折面について）
設計波長に対する決まった次数（＋１次、−１次等）を使用する。２つの光源（物体光、参照光）により作成された位相差による回折が基準となる。収差を補正するために２つの光源位置だけでは表現できない光線の入射位置毎の位相差は非球面の表記方法に従って表示する。例えばＸＹ多項式の場合には以下の式で記述する。
Ｚ＝ΣＢｍ，ｎ×Ｘｍ×Ｙｎ
但し、
Ｂｍ，ｎ：Ｘのｍ乗、Ｙのｎ乗の係数
また、Ｓｉ（ｉ＝１、２、・・・）は射出側から数えてｉ番目の面を示し、各面に示す数値は、左から順に、曲率半径（ｍｍ）、軸上面間隔（ｍｍ）及び波長７８０ｎｍにおける屈折率を示す。ただし、面Ｓｉはダミー面である場合があり、この場合、面の表記にダミー面であることを示し図示しない。曲率半径はＸ軸方向とＹ軸方向とで同じであり、トロイダル面及びトーリック面の場合、Ｘ曲率半径は数値の後に（Ｘ）、Ｙ曲率半径は数値の後に（Ｙ）を付加して示す。
【００７６】
偏芯データに示す平行偏芯の単位、及び回折格子に示す格子ピッチの単位はｍｍである。
【００７７】
以下の数値例１から６における平面導波路傾きとは、平面導波路が備えている回折格子に入射する光の入射角度を示し、平面導波路傾きが０°とは、設計値で結合効率が最も良い入射角度を示す。また、数値例１から６の結合効率とは、光源から発せられる光量を１とした際の平面導波路に結合する光量比を示す。
【００７８】
（数値例１）
曲率半径(mm)    軸上面間隔(mm)   屈折率(780nm)
Ｓ１（射出面）：  ∞            0.800000
Ｓ２（ダミー）：  ∞            0.000000
Ｓ３：           ∞            0.200000         1.484470
偏芯データ(ディセンタ&リターン)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.270000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-25.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ４：          ∞  (反射面)  -0.300000        -1.484470
回折格子
回折次数: -1.000000   格子ピッチ: 0.000698
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-67.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ５:           ∞(反射面)     0.232711         1.484470
偏芯データ(第2面基準グローバル)
X平行偏芯: 0.000000    Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 0.000000    Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ６:           -2.36151(Y)    0.000000
非球面係数(トーリック面)
X曲率半径: -1.23040(X)
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 1.871746    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 74.627334   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ７（ダミー）:  ∞            8.446222
偏芯データ(第4面基準グローバル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.287839    Z平行偏芯: 0.232711
X回転(°): 48.000000   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ８:          0.65221        2.000000         1.484470
非球面係数
円錐定数:    0.000000
4次:-0.146078E+00  6次:-0.887338E+01  8次:0.138746E+03  10次:0.000000E+00
Ｓ９:           ∞             0.000000
Ｓ１０（光源）: ∞
仕様
・光源側ＮＡ：０．０９０００
・設計波長：７８０．００ｎｍ
・焦点距離：−９．３９６９
・倍率：０．２５００
・光源の大きさ：φ０．０１ｍｍ
・平面導波路入射面での光スポットの大きさ：φ０．０５ｍｍ
・結合効率の変動
平面導波路傾き０°の結合効率：１８．５％
平面導波路傾き０．５°の結合効率：１７．８％
上記の結合効率より、平面導波路傾きが０°から０．５°に変化しても結合効率がほとんど低下しないことが分かる。
【００７９】
（数値例２）
曲率半径(mm)  軸上面間隔(mm)   屈折率(780nm)
Ｓ１(射出面):     ∞           0.800000
Ｓ２（ダミー面）: ∞           0.000000
Ｓ３:             ∞           0.200000         1.484470
偏芯データ(ディセンタ&リターン)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.270000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-25.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ４:             ∞(反射面)  -0.300000       -1.484470
回折格子
回折次数: -1.000000   格子ピッチ:  0.000698
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.000000     Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-67.722800   Y回転(°): 0.000000     Z回転(°): 0.000000
Ｓ５:            ∞(反射面)     0.232711        1.484470
偏芯データ(第2面基準グローバル)
X平行偏芯: 0.000000    Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 0.000000    Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ６:           -2.36151(Y)     0.000000
非球面係数(トーリック面)
X曲率半径: -1.23040(X)
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000    Y平行偏芯: 1.871746    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 74.627334    Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ７:           ∞              4.151244
偏芯データ(第4面基準グローバル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.287839   Z平行偏芯: 0.232711
X回転(°): 48.000000   Y回転(°): 0.000000   Z回転(°): 0.000000
Ｓ８:           0.65238         2.000000          1.484470 
非球面係数
円錐定数:  0.000000
4次:-0.202998E+00  6次:-0.247704E+01  8次:0.267150E+02  10次:0.000000E+00
Ｓ９:           ∞              0.000000
Ｓ１０（光源）: ∞
仕様
・光源側ＮＡ：０．０９０００
・設計波長：７８０．００ｎｍ
・焦点距離：１．８２４８
・倍率：０．５９９９
・光源の大きさ：φ０．０１ｍｍ
・平面導波路入射面での光スポットの大きさ：φ０．０５ｍｍ
・結合効率の変動
平面導波路傾き０°の結合効率：３９．３％
平面導波路傾き０．５°の結合効率：３３．６％
上記の結合効率より、平面導波路傾きが０°から０．５°に変化しても結合効率がほとんど低下しないことが分かる。
【００８０】
（数値例３）
曲率半径(mm)   軸上面間隔(mm)    屈折率(780nm)
Ｓ１（射出面）:  ∞           0.800000
Ｓ２（ダミー）:  ∞           0.000000
Ｓ３:            ∞           0.200000          1.484470
偏芯データ（ディセンタ&リターン）
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.270000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-25.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ４:            ∞(反射)     -0.300000        -1.484470
回折格子
回折次数: -1.000000   格子ピッチ:    0.000698
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-67.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ５:           ∞(Y反射)     0.232711         1.484470
偏芯データ(第2面基準グローバル)
X平行偏芯: 0.000000    Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 0.000000    Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ６:          -2.36151(Y)    0.000000
非球面係数(トーリック面)
X曲率半径: -1.23040(X)
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 1.871041    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 74.654089   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ７:          ∞             3.368130
偏芯データ(第4面基準グローバル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.287839    Z平行偏芯: 0.232711
X回転(°): 48.000000   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ８:          0.65064        2.000000         1.484470
非球面データ
円錐定数:  0.000000
4次:-0.535365E+00  6次:0.112649E+02  8次:-0.137943E+03  10次:0.000000E+00
Ｓ９:           ∞            0.000000
Ｓ１０（光源）: ∞
仕様
・光源側ＮＡ：０．０９０００
・設計波長：７８０．００ｎｍ
・焦点距離：１．４９５９
・倍率：０．８０１７
・光源の大きさ：φ０．０１ｍｍ
・平面導波路入射面での光スポットの大きさ：φ０．０４ｍｍ
・結合効率の変動
平面導波路傾き０°の結合効率：３６．７％
平面導波路傾き０．５°の結合効率：３３．７％
上記の結合効率より、平面導波路傾きが０°から０．５°に変化しても結合効率がほとんど低下しないことが分かる。
【００８１】
（数値例４）
曲率半径(mm)  軸上面間隔(mm)  屈折率(780nm)
Ｓ１（射出面）:  ∞           0.800000
Ｓ２（ダミー）:  ∞           0.000000
Ｓ３:            ∞           0.200000       1.484470
偏芯データ(ディセンタ&リターン)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.270000   Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-25.722800   Y回転(°): 0.000000   Z回転(°): 0.000000
Ｓ４:            ∞(反射)     -0.300000     -1.484470
回折格子
回折次数: -1.000000   格子ピッチ: 0.000698
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000  Y平行偏芯: 0.000000     Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-67.722800  Y回転(°): 0.000000     Z回転(°): 0.000000
Ｓ５:           ∞(反射)      0.232711       1.484470
偏芯データ(第2面基準グローバル)
X平行偏芯: 0.000000    Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 0.000000    Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ６:          -2.36151(Y)     0.000000
非球面係数(トーリック面)
X曲率半径: -1.23040(X)
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 1.870994    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 74.654134   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ７:            ∞           2.995460
偏芯データ(第4面基準グローバル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.287839    Z平行偏芯: 0.232711
X回転(°): 48.000000   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ８:           0.66783      2.000000       1.484470
非球面係数
円錐定数:  0.000000
4次:0.101810E+01  6次:-0.299954E+02  8次:0.230704E+03  10次:0.000000E+00
Ｓ９:          ∞           0.000000
Ｓ１０:        ∞
仕様
・光源側ＮＡ：０．０９０００
・設計波長：７８０．００ｎｍ
・焦点距離：１．４０４５
・倍率：１．００１２
・光源の大きさ：φ０．０１ｍｍ
・平面導波路入射面でのスポットの大きさ：φ０．０３ｍｍ
・結合効率の変動
平面導波路傾き０°の結合効率：３９．２％
平面導波路傾き０．５°の結合効率：３１．６％
上記の結合効率より、平面導波路傾きが０°から０．５°に変化しても結合効率がほとんど低下しないことが分かる。
【００８２】
（数値例５）
曲率半径(mm)   軸上面間隔(mm)  屈折率(780nm)
Ｓ１（射出面）:  ∞           0.800000
Ｓ２（ダミー）:  ∞           0.000000
Ｓ３:            ∞           0.200000        1.484470
偏芯データ(ディセンタ&リターン)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.270000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-25.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ４:            ∞(反射)     -0.300000      -1.484470
回折面(理想格子)
物体光（座標単位：mm）:  実光源
X座標:0.000000E+00  Y座標:0.000000E+00  Z座標:0.100000E+19
参照光（座標単位：mm）:  実光源
X座標:0.000000E+00  Y座標:0.100000E+21  Z座標:0.100000E+12
回折次数: 1.000000   設計波長:  780.00nm
XY多項式タイプ
B0,1: -1.3892E-01   B2,0: -5.6301E-01  B0,2: -1.1138E-01
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-67.722800   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ５:            ∞(反射)      1.500000       -1.484470
偏芯データ(第2面基準グローバル)
X平行偏芯: 0.000000   Y平行偏芯: 0.000000   Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 0.000000   Y回転(°): 0.000000   Z回転(°): 0.000000
Ｓ６:            ∞            5.445927
偏芯データ(第1面基準グローバル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.905730    Z平行偏芯: 1.500000
X回転(°): 22.277200   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ７:           0.60601        2.000000      1.484470
非球面係数
円錐定数:  0.000000
4次:-0.196797E+01  6次:0.509737E+02  8次:-0.399843E+03  10次:0.000000E+00
Ｓ８:           ∞            0.000000
Ｓ９（光源）：   ∞
仕様
・光源側ＮＡ：０．０９０００
・設計波長：７８０．００ｎｍ
・焦点距離：−８．６４０１
・倍率：０．２５００
・光源の大きさ：φ０．０１ｍｍ
・平面導波路入射面での光スポットの大きさ：φ０．０５ｍｍ
・結合効率の変動
平面導波路傾き０°の結合効率：１８．５％
平面導波路傾き０．５°の結合効率：１７．８％
上記の結合効率より、平面導波路傾きが０°から０．５°に変化しても結合効率がほとんど低下しないことが分かる。
【００８３】
（数値例６）
曲率半径        軸上面間隔       屈折率(780nm)
Ｓ１（射出面）:  ∞            -0.200000
Ｓ２（ダミー）:  ∞             0.500000
Ｓ３:           9.13378(Y)      0.200000       1.484470
非球面係数(トロイダル):
X曲率半径:1.33702
円錐定数: 88.418193
4次:-0.492461E-01  6次:0.799758E+00  8次:-0.420229E+01  10次:0.000000E+00
偏芯データ(ディセンタ＆リターン)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 0.244976    Z平行偏芯: -0.027619
X回転(°):-25.362049   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ４:          ∞(反射)        -0.200000       -1.484470
回折格子
回折次数: -1.000000   格子ピッチ: 0.000698
偏芯データ(ローカル)
X平行偏芯:  0.000000  Y平行偏芯: 0.000000   Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°):-67.722800  Y回転(°): 0.000000   Z回転(°): 0.000000
Ｓ５:          9.13378(Y反射)  1.500000       1.484470
非球面係数(トロイダル)
X曲率半径: 1.33702(X)
円錐定数: 88.418193
4次:-0.492461E-01  6次:0.799758E+00  8次:-0.420229E+01  10次:0.000000E+00
偏芯データ(第2面基準グローバル)
X平行偏芯: 0.000000    Y平行偏芯: 0.000000    Z平行偏芯: 0.000000
X回転(°): 0.000000    Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ６:         ∞                5.000000
偏芯データ(第1面基準グローバル)
X平行偏芯:  0.000000   Y平行偏芯: 1.409937    Z平行偏芯: 3.158578
X回転(°): 22.277200   Y回転(°): 0.000000    Z回転(°): 0.000000
Ｓ７:         0.56214           1.852237       1.484470
非球面係数
円錐定数:  0.000000
4次:0.540654E+00  6次:-0.981087E+01  8次:0.218612E+02  10次:0.000000E+00
Ｓ８:          ∞              0.000000
Ｓ９（光源）:  ∞
仕様
・光源側ＮＡ：０．０９０００
・設計波長：７８０．００ｎｍ
・焦点距離：−１．２４７７
・倍率：０．２５００
・光源の大きさ：φ０．０１ｍｍ
・平面導波路入射面での光スポットの大きさ：φ０．０５ｍｍ
・結合効率の変動
平面導波路傾き０°の結合効率：１８．５％
平面導波路傾き０．５°の結合効率：１７．８％
上記の結合効率より、平面導波路傾きが０°から０．５°に変化しても結合効率がほとんど低下しないことが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】光アシスト式磁気記録ヘッドを搭載した光記録装置の概略構成の例を示す図である。
【図２】光記録ヘッドの構成例を示す図である。
【図３】光記録ヘッドの別の構成例を示す図である。
【図４】平面導波路の正面図である。
【図５】平面導波路の側面図である。
【図６】プラズモンプローブの例を示す図である。
【図７】数値例１から４の光路図を示す図である。
【図８】数値例５、６の光路図を示す図である。
【符号の説明】
【００８５】
１  筐体
２  ディスク
３  スライダ
４  サスペンション
２０  平面導波路
２０ａ  回折格子
２１  コア層
２２  クラッド層
２４  先端部
２６、２７  側面
３０  光記録ヘッド
３２  空気ベアリング面
４０  磁気記録部
４１  磁気再生部
５０  光源
５１  第１の光学素子
５１ａ、５１ｂ、５２ｂ、５２ｃ  面
５２  第２の光学素子
５２ａ  入射面
５２ｄ  射出面
６０  光
５５  光スポット
６５  放射光
Ｃ  軸
Ｆ  焦点
【図１】
2010123200.tif 000003
【図２】
2010123200.tif 000004
【図３】
2010123200.tif 000005
【図４】
2010123200.tif 000006
【図５】
2010123200.tif 000007
【図６】
2010123200.tif 000008
【図７】
2010123200.tif 000009
【図８】
2010123200.tif 000010