(57)【要約】【課題】耐環境性、特に耐薬品性に優れていながらも、廉価な非晶性樹脂からなるマニホールドを提供する。【解決手段】マニホールド１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄは、非晶性樹脂からなる基材部１２と、弁体である複数の電磁弁２０を含む電磁弁部１６と、複数の管継手２２を含む継手部１８とを有する。基材部１２の表面全体は、化学的に安定した物質からなる緻密な膜である保護膜１４によって、ピンホールのないように包被される。必要に応じて、マニホールド１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄは、保護ボックス８０によって囲繞されてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流通するマニホールドであって、
複数の流路が内部に形成された非晶性樹脂からなる基材部と、
前記基材部に設けられ前記流路への流体の導入及び導出を制御する電磁弁部と、
前記基材部の流路と連通して流体の導入及び導出を行う継手部とを有し、
前記基材部は、保護膜によって包被されている
ことを特徴とするマニホールド。
【請求項２】
請求項１記載のマニホールドにおいて、
前記マニホールドは、保護ボックスで包被されている
ことを特徴とするマニホールド。
【請求項３】
請求項２記載のマニホールドにおいて、
前記マニホールドは、前記保護ボックスに導入される不活性ガスで加圧される
ことを特徴とするマニホールド。
【請求項４】
請求項２又は３記載のマニホールドにおいて、
前記保護ボックスは、流体の導入路と、導出路とを有する
ことを特徴とするマニホールド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項記載のマニホールドにおいて、
前記基材部は、アクリル樹脂製である
ことを特徴とするマニホールド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項記載のマニホールドにおいて、
前記保護膜は、フッ素コーティング剤で形成されている
ことを特徴とするマニホールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂製マニホールドに関し、一層詳細には、非晶性樹脂からなるマニホールドに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の流体圧機器間に圧力流体を流通させる場合、流体流路の簡素化と省スペース化を目的として、マニホールドが使用されている。この場合、金属製マニホールドが主として用いられているが、より一層の成形容易性と、軽量化を図る目的で、樹脂製のマニホールドが使用されるに至った。
【０００３】
樹脂製マニホールドに関連して、本出願人は発明「熱可塑性樹脂からなる基材への部品埋め込み方法」をすでに提案しており、この発明は特許第３７７５９７５号公報（特許文献１）として特許が成立するに至っている。前記特許発明は、インサート部品を基材の表面に対して傾けることなく、基材の中間層に容易且つ低コストで埋め込むことができるものであって、特に、前記基材に熱可塑性樹脂を用いるものである。
【０００４】
これに関連して、樹脂製マニホールドの材質として、成形時の寸法精度が出し易いこと等による加工成形の容易性を考慮し、非晶性樹脂が用いられることがある。そこで、樹脂製であるが故に、マニホールドの耐久性、又は製品機能を低下させる要因となる物質と接触する可能性についての懸念を否定できない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３７７５９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前記樹脂製マニホールドに関連してなされたものであって、耐環境性、特に耐薬品性に優れていながらも、廉価な非晶性樹脂からなるマニホールドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するために、本願の請求項１で特定される発明は、流体が流通するマニホールドであって、複数の流路が内部に形成された非晶性樹脂からなる基材部と、前記基材部に設けられ前記流路への流体の導入及び導出を制御する電磁弁部と、前記基材部の流路と連通して流体の導入及び導出を行う継手部とを有し、前記基材部は、保護膜によって包被されていることを特徴とする。
【０００８】
本願の請求項１の発明によれば、保護膜が基材部を包被することによって、非晶性樹脂からなる基材部に、ある特定の溶剤が接触することを可及的に回避させることで、該基材部にソルベントクラックを生じることがなく、該基材部の耐久性、及び該基材部に形成された流路の密封性の低下を抑えることができるという効果が得られる。
【０００９】
本願の請求項２で特定される発明は、請求項１記載のマニホールドにおいて、前記マニホールドは、保護ボックスで包被されていることを特徴とする。
【００１０】
本願の請求項２の発明によれば、保護ボックスがマニホールドを包被することによって、非晶性樹脂からなる基材部を保護膜で防護することに加えて、さらに保護ボックスによって二重に溶剤に対する保護措置を講じている。すなわち、ソルベントクラックを形成する可能性がある特定の溶剤と、該基材部とが接触することを一層減少させることで、該基材部の耐久性、及び該基材部に形成された流路の密封性の低下を一層抑えることができるという効果が得られる。
【００１１】
本願の請求項３で特定される発明は、請求項２記載のマニホールドにおいて、前記マニホールドは、前記保護ボックスに導入される不活性ガスで加圧されることを特徴とする。
【００１２】
本願の請求項３の発明によれば、保護ボックスに導入される不活性ガスでマニホールドが加圧されることによって、前記特定の溶剤の保護ボックス内への浸入を阻止できるという効果が得られる。
【００１３】
本願の請求項４で特定される発明は、請求項２又は３記載のマニホールドにおいて、前記保護ボックスは、流体の導入路と、導出路とを有することを特徴とする。
【００１４】
本願の請求項４の発明によれば、保護ボックスで囲繞された空間に、導入路から導出路への気体の流れを発生させることによって、非晶性樹脂からなる基材部にソルベントクラックを形成する可能性がある特定の溶剤が、該空間に浸入した場合、該溶剤の該空間における滞留が防止されるという効果が得られる。
【００１５】
本願の請求項５で特定される発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載のマニホールドにおいて、前記基材部は、アクリル樹脂製であることを特徴とする。
【００１６】
本願の請求項５の発明によれば、基材部をアクリル樹脂で構成するために、マニホールド全体を廉価に製造することができるという効果が得られる。
【００１７】
本願の請求項６で特定される発明は、請求項１〜５のいずれか１項記載のマニホールドにおいて、前記保護膜は、フッ素コーティング剤で形成されていることを特徴とする。
【００１８】
本願の請求項６の発明によれば、保護膜を化学的に安定した物質であるフッ素コーティング剤で構成するために、取り扱いが容易であると共に、保護膜の耐久性が向上するという効果が得られる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００２０】
すなわち、廉価でありながら、非晶性樹脂からなる基材部に、ある特定の溶剤が接触することを可及的に回避させることで、該基材部にソルベントクラックを生じることがなく、該基材部の耐久性、及び該基材部に形成された流路の密封性の低下を抑えることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、第１の実施の形態に係るマニホールドの一部省略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すマニホールドにおける基材部の分解斜視図である。
【図３】図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った基材部の一部省略断面図である。
【図４】図４は、第１の実施の形態に係るマニホールドの一部省略分解斜視図である。
【図５】図５は、第２の実施の形態に係るマニホールドの一部省略斜視図である。
【図６】図６は、図５に示すマニホールドの一部省略分解斜視図である。
【図７】図７は、第３の実施の形態に係るマニホールドの一部省略断面図である。
【図８】図８は、第４の実施の形態に係るマニホールドの一部省略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る非晶性樹脂からなるマニホールドに関し、第１〜第４の実施の形態として電磁弁マニホールドを例示し、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】
図１に示すように、第１の実施の形態に係る電磁弁マニホールド１０ａは、マニホールド本体としての基材部１２と、複数の電磁弁２０を含む電磁弁部１６と、複数の管継手２２を含む継手部１８とを有する。
【００２４】
基材部１２は、非晶性樹脂製で、好ましくは、アクリル樹脂製であって、略直方体形状を有している。基材部１２は、基本的には、全体として保護膜１４によって包被されている。
【００２５】
図２に示すように、基材部１２は、上層を形成する第１基材１２ａと、中間層を形成する第２基材１２ｂと、下層を形成する第３基材１２ｃとからなる三層構造である。ここでは、基材部１２を三層からなるとしたが、層の数はこれに限定されない。
【００２６】
ここで、三層構造の第１〜第３基材１２ａ、１２ｂ、１２ｃの中、先ず、中間の第２基材１２ｂについて説明する。図２において、第２基材１２ｂの上面、下面には、所定のパターンで複数の溝部２１がそれぞれ形成されると共に、上面の溝部２１と下面の溝部２１とを連通する孔部２３、２３が形成される。
【００２７】
前記第２基材１２ｂの上面側に積層される第１基材１２ａには、その上面から下面に指向して該第１基材１２ａを貫通し、且つ第２基材１２ｂの溝部２１に貫通する孔部３４が形成される。後述するように、孔部３４は第１基材１２ａの上面に複数の電磁弁２０が並設されるとき、電磁弁ポートとして機能する。前記孔部３４の近傍に孔部３６が形成される。この孔部３６に後述するナット３８が嵌合し、該ナット３８に電磁弁取付用ボルト４４が螺合する。
【００２８】
第３基材１２ｃの上面には、溝部２５が所定のパターンで形成されると共に、長尺な側端部近傍に管継手用螺子孔４０が複数個設けられる。そこで、前記第２基材１２ｂは、第１基材１２ａと第３基材１２ｃとの間に介装されて、前記溝部２１、２１が、第１基材１２ａ及び第３基材１２ｃによってそれぞれ閉塞されることにより、流体（例えば、エア）を流通させる複数の流体通路である流路３０が形成される。ここでは、第１基材１２ａと第２基材１２ｂとの間に形成された流路３０を第１流路３０ａとし、第２基材１２ｂと第３基材１２ｃとの間に形成された流路３０を第２流路３０ｂとする（図３参照）。
【００２９】
前記のように、三層に積層される第１〜第３基材１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、一体化されて保護膜１４で包被される。保護膜１４は、例えば、フッ素コーティング剤の如き化学的に安定した物質からなる緻密な膜で、基材部１２の表面全体をピンホールのないように包被している。基材部１２を保護膜１４で包被する際には、フッ素コーティング剤の溶液に基材部１２を浸漬させ、次いで基材部１２を取り出して溶液を固化させればよい。
【００３０】
図４に示すように、電磁弁部１６は、複数の電磁弁２０と、該電磁弁２０のシール材であるガスケット４２と、該電磁弁２０を装着するための電磁弁取付用ボルト４４からなる。電磁弁２０は、略直方体形状弁体であり、その内部に図示しない電磁弁と圧力流体用流路が形成される。弁本体には、電磁弁取付用孔部４６が設けられる。
【００３１】
電磁弁取付用孔部４６は、電磁弁２０を図４において上下方向に貫通する。
【００３２】
電磁弁２０は、基材部１２を構成する第１基材１２ａにガスケット４２を介して固着される。具体的には、電磁弁取付用孔部４６に電磁弁取付用ボルト４４を挿通し、該電磁弁取付用ボルト４４の螺子は、保護膜１４を貫通して孔部３６に嵌合されたナット３８に螺入する。
【００３３】
図４に示すように、継手部１８は、複数の管継手２２と、該管継手２２のシール材であるシールリング５４からなる。
【００３４】
管継手２２は、略円筒形状で、その先端部の螺子は、シールリング５４を介して基材部１２の第３基材１２ｃに設けられた管継手用螺子孔４０に、保護膜１４を貫通して螺入する。
【００３５】
第１の実施の形態に係るマニホールド１０ａは、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその作用並びに効果について説明する。
【００３６】
先ず、第１の実施の形態に係るマニホールド１０ａの組立方法について説明する。準備として、複数組の孔部３４、３６とが形成された第１基材１２ａと、複数の溝部２１及び孔部２３が形成された第２基材１２ｂと、複数の管継手用螺子孔４０が形成された第３基材１２ｃとを用意する。
【００３７】
次に、第１基材１２ａの上面における孔部３６に、ナット３８を嵌合する（図４参照）。
【００３８】
さらに、第１〜第３基材１２ａ、１２ｂ、１２ｃを積層し（図２参照）、図示しない手段によって一体化して固定する。
【００３９】
次いで、図示しない加熱手段によって第１〜第３基材１２ａ、１２ｂ、１２ｃを加熱することでゴム状弾性域まで軟化させ、さらに、図示しない金型又は圧力流体によって、該第１〜第３基材１２ａ、１２ｂ、１２ｃを加圧することで、基材部１２として一体的に結合させた後、加圧状態を維持したまま十分な時間をかけて冷却することで固化させる。これによって、基材部１２内に複数の流路３０が形成される。また、十分な時間をかけて冷却することによって、固化する際の収縮で、基材部１２に発生する可能性のあるクラックを、可及的に減少させることができる。
【００４０】
次に、フッ素コーティング剤の液層に基材部１２全体を浸漬し、該液層から取り出した後、十分な時間をかけて乾燥固化させることで、保護膜１４を形成する。フッ素コーティング剤は、化学的に安定した物質であるため、取り扱いが容易であると共に、保護膜１４の耐久性が向上する。また、基材部１２全体を液層に浸漬することで、例えば、孔部３４、３６、ナット３８、及び管継手用螺子孔４０周辺部の如く、基材部１２に形成された凹凸部分においても、基材部１２の表面全体をピンホールのないように包被することができる。しかも、十分な時間をかけて乾燥固化させることによって、乾燥固化する際の収縮で保護膜１４に発生する可能性のあるピンホールやクラックを可及的に回避することができる。特に、保護膜１４を有することで、マニホールド１０ａの使用環境下において、例えば、四塩化炭素や、エタノールや、トルエン、酢酸エチル、酢酸メチル、キシレン、メタノール等を含む有機溶剤であるシンナーのような溶剤と、該基材部１２とが接触することを可及的に回避することができ、これによって該基材部１２にソルベントクラックを生じることはない。
【００４１】
なお、前記工程を複数回繰り返し、より一層確実に基材部１２を積層された保護膜１４で包被させてもよい。また、保護膜１４は、フッ素コーティング剤の液層に浸漬して形成したが、これに限定されず、例えば、フッ素コーティング剤を刷毛塗り又はスプレーすること等で形成してもよく、またフッ素コーティング剤のフィルムシートを基材部１２の表面全体に被着させることで形成してもよい。
【００４２】
次に、電磁弁取付用ボルト４４を、電磁弁２０の電磁弁取付用孔部４６に挿通させ、さらに、ガスケット４２を介して、ナット３８と螺合させ、且つ図示しない電磁弁２０の圧力流体用流路を孔部３４と嵌合させることで、前記電磁弁２０を、基材部１２を構成する第１基材１２ａの上面に固着する（図４参照）。また、ガスケット４２を、電磁弁２０と、保護膜１４で包被された基材部１２との間に設けることで、該電磁弁２０を固着する際に、ナット３８周辺部へ付与される応力が減少し、該応力によって該ナット３８周辺部の保護膜１４及び基材部１２にクラックが生じる可能性を可及的に減少させることができる。
【００４３】
次いで、管継手２２の螺子側の端部にシールリング５４を介装して、該螺子を管継手用螺子孔４０に形成された螺子溝に螺合させることで、管継手２２を基材部１２を構成する第３基材１２ｃの下面に装着する（図４参照）。
【００４４】
以上のように製造されるマニホールド１０ａを使用するに際しては、流体が、管継手２２へ圧入される。圧入された前記流体は、該管継手２２から、管継手用螺子孔４０、第２流路３０ｂ、孔部２３、第１流路３０ａ、孔部３４を経て、図示しない電磁弁２０内部の圧力流体用流路に至り、一定の圧力を有したまま滞留する。
【００４５】
次に、図示しない電源によって、電磁弁部１６に通電し、さらに、図示しない外部コントローラから所定の電磁弁２０に制御信号を導出することで、該所定の電磁弁２０を駆動させる。すなわち、該所定の電磁弁２０内部の電磁弁（図示せず）を変位させて、開弁する。
【００４６】
従って、一定の圧力を有したまま滞留していた前記流体が、該圧力によって、電磁弁２０内部の圧力流体用流路（図示せず）から、孔部３４、別の第１流路３０ａ、及び孔部２３を経て、前記外部コントローラ所望の別の第２流路３０ｂへと導出する。
【００４７】
さらに、前記別の第２流路３０ｂへと導入された前記流体は、該別の第２流路３０ｂと連通状態にある管継手用螺子孔４０、及び管継手２２を介して、マニホールド１０ａの外部へと導出される。
【００４８】
上述したように、第１の実施の形態に係る非晶性樹脂からなるマニホールド１０ａによれば、廉価でありながら、基材部１２の表面全体が、保護膜１４によってピンホールやクラックのないように包被されることによって、該マニホールド１０ａの使用環境下において、例えば、アクリル樹脂製の該基材部１２にソルベントクラックを形成する可能性がある、例えば、シンナーや四塩化炭素やエタノールの如き特定の溶剤と、接触することを可及的に回避させることができる。これによって、マニホールド１０ａの耐久性、及び該基材部１２に形成された流路３０の密封性の低下を抑えることができる。
【００４９】
次に、第２の実施の形態に係るマニホールド１０ｂについて説明する。なお、以下の実施の形態に係るマニホールド１０ｂ〜１０ｄにおいて、第１の実施の形態のマニホールド１０ａと同一の構成要素については同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５０】
マニホールド１０ｂは、図５に示すように、マニホールド本体としての基材部１２と、複数の電磁弁２０を含む電磁弁部１６と、複数の管継手２２を含む継手部１８と、保護ボックス８０とを有する。すなわち、第１の実施の形態のマニホールド１０ａに対して、保護ボックス８０を加えた構成となっている。
【００５１】
保護ボックス８０は、底板８２と、保護カバー８４とを備え、保護膜１４で包被された基材部１２及び電磁弁部１６を囲繞する大きさを有する。
【００５２】
底板８２は、例えば、透明な合成樹脂からなる板体であり、基材部１２の下面より一回り大きな面を有する。また、底板８２には、複数の底板孔部８６が設けられる（図６参照）。
【００５３】
底板孔部８６は、底板８２の上下方向両面を直線状に貫通し、管継手２２が装着可能な大きさの径を有する。
【００５４】
保護カバー８４は、例えば、透明な合成樹脂からなり、保護膜１４で包被された基材部１２及び電磁弁部１６を囲繞する大きさを有する。
【００５５】
第２の実施の形態に係るマニホールド１０ｂは、基本的には以上のように構成されるものであり、この実施の形態によれば、保護ボックス８０が、保護膜１４で包被された基材部１２及び電磁弁部１６を囲繞することで、二重の保護構造となり、マニホールド１０ｂの使用環境下において、例えば、シンナーや四塩化炭素やエタノールのような溶剤と、該基材部１２とが接触することを一層確実に回避することができ、これによって該基材部１２にソルベントクラックを生じることはない。
【００５６】
なお、第２の実施の形態に係るマニホールド１０ｂの保護ボックス８０は、保護膜１４で包被された基材部１２及び電磁弁部１６を囲繞するとしたが、保護膜１４で包被された基材部１２を囲繞していれば足り、電磁弁部１６は必ずしも囲繞されていなくてもよい。
【００５７】
次に、第３の実施の形態に係るマニホールド１０ｃについて説明する。
【００５８】
図７に示すように、保護カバー８４には、複数（ここでは２つ）の開口部が設けられ、一方を導入孔（導入路）１００、他方を導出孔１０２（導出路）とする。なお、ここでは開口部を２つとしたが、数はこれに限定されない。
【００５９】
導入孔１００及び導出孔１０２は、該導入孔１００と該導出孔１０２との間の距離が可及的に長くなるように設けられる。
【００６０】
第３の実施の形態に係るマニホールド１０ｃは、基本的には以上のように構成されるものであるが、その作用並びに効果については以下の通りである。
【００６１】
図示しない手段によって、導入孔１００から保護ボックス８０内の空間に気体、例えば、不活性ガス１０４を圧入する。圧入された該不活性ガス１０４は、導出孔１０２より保護ボックス８０の外部へと導出される（図７参照）。
【００６２】
導入孔１００と導出孔１０２との間の距離が可及的に長くなるように設けられているため、不活性ガス１０４は、保護ボックス８０内の空間に満遍なく行き渡ることによって、マニホールド１０ｃの使用環境下において、例えば、シンナーや四塩化炭素やエタノールのような溶剤が、保護ボックス８０内の空間に滞留することを防止できることで、該溶剤と、基材部１２とが接触することを可及的に回避することができ、これによって該基材部１２にソルベントクラックを生じることはない。
【００６３】
さらに、不活性ガス１０４を圧入することによって、保護ボックス８０内の空間の気圧は、該保護ボックス８０外の気圧より高くなる。この場合、不活性ガス１０４以外の流体が、保護ボックス８０内の空間に浸入することを減少させることができる。これによって、前記溶剤と、保護ボックス８０内に配設された基材部１２とが接触することを可及的に回避させることができ、該基材部１２の耐久性、及び該基材部１２に形成された流路３０の密封性の低下を抑えることができる。
【００６４】
次に、第４の実施の形態に係るマニホールド１０ｄについて説明する。
【００６５】
基材部１２には、図８において上下方向両面を貫通する導入通路（導入路）１２２が形成され、該基材部１２の上面の周縁部に複数箇所（ここでは２箇所）開口している。該導入通路１２２は、マニホールド１０ｄの種類に応じて、所定の管継手２２と連通接続している。なお、ここでは開口箇所を２箇所としたが、数はこれに限定されない。
【００６６】
さらに、基材部１２には、上下面を貫通する導出通路（導出路）１２６が形成され、該基材部１２の上面の中央部近傍に開口している。該導出通路１２６は、マニホールド１０ｄの種類に応じて、導入通路１２２が接続している管継手２２とは別の所定の管継手２２と連通接続している。なお、ここでは開口箇所を１箇所としたが、数はこれに限定されない。
【００６７】
第４の実施の形態に係るマニホールド１０ｄの作用並びに効果は、以下の通りである。
【００６８】
図示しない手段によって、所定の管継手２２へ気体、例えば、不活性ガス１０４を圧入する。前記所定の管継手２２へ圧入された不活性ガス１０４は、導入通路１２２を経て、基材部１２の上面の周縁部から、保護ボックス８０内の空間へと圧入される。圧入された不活性ガス１０４は、その圧力で付勢され、保護ボックス８０内の空間の上方向端における周縁部まで上昇する。さらに、該不活性ガス１０４は、保護カバー８４と衝突することで、その流通方向が保護ボックス８０内の空間の上方向端から中央部方向へ変更される。
【００６９】
この際、不活性ガス１０４が保護ボックス８０内の空間に圧入されることによって、該保護ボックス８０内の空間の気圧は、該保護ボックス８０外の気圧より高くなるため、該不活性ガス１０４は、基材部１２の上方向面の中央部近傍に開口した導出通路１２６へと導かれ、別の所定の管継手２２を経て、保護ボックス８０の外部へと導出される（図８参照）。
【００７０】
このような不活性ガス１０４の流れを、保護ボックス８０内の空間に発生させることによって、マニホールド１０ｄの使用環境下において、例えば、アクリル樹脂製の該基材部１２にソルベントクラックを形成する可能性がある、例えば、シンナーや四塩化炭素やエタノールのような溶剤が、保護ボックス８０内の空間に滞留することを防止できることによって、該溶剤と、該基材部１２とが接触することを可及的に回避させ、これによって、該基材部１２の耐久性、及び該基材部１２に形成された流路３０の密封性の低下を抑えることができる。
【００７１】
上述の説明は、基材部１２がアクリル樹脂製であることに基づいて行ったが、これには限定されず、例えば、塩化ビニル樹脂製、又はポリカーボネート製であってもよく、この場合に、該基材部１２にソルベントクラックを形成する可能性がある溶剤は、アクリル樹脂製の場合と同様に、シンナーや四塩化炭素やエタノールであってもよい。
【００７２】
以上、本発明について、好適な実施の形態を挙げて説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能なことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００７３】
１０ａ〜１０ｄ…マニホールド    １２…基材部
１２ａ…第１基材                １２ｂ…第２基材
１２ｃ…第３基材                １４…保護膜
１６…電磁弁部                  １８…継手部
２０…電磁弁                    ２１、２５…溝部
２２…管継手                    ２３、３４、３６…孔部
３０…流路                      ３０ａ…第１流路
３０ｂ…第２流路                ３８…ナット
４０…管継手用螺子孔            ４２…ガスケット
４４…電磁弁取付用ボルト        ４６…電磁弁取付用孔部
５４…シールリング              ８０…保護ボックス
８２…底板                      ８４…保護カバー
８６…底板孔部                  １００…導入孔
１０２…導出孔                  １０４…不活性ガス
１２２…導入通路                １２６…導出通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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