(57)【要約】【課題】  圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法を提供する。【解決手段】  圧電アクチュエーター１０と、回転軸と、圧電アクチュエーター１０を回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターの製造方法であって、突起部２１を中心として左右両側の対称な位置で振動部材の前記突起部側の一端部に位置決め用の測定パターン２４，２４Ａを形成する工程と、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置を切欠いて窓部２５，２５Ａを形成する工程と、前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記窓部の外縁を規定する辺２８，２９，３８，３９と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有する。【選択図】  図４
2010233333.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層を挟んで両側にそれぞれ設けられた第１電極及び第２電極を有する圧電素子と、少なくとも片面に前記圧電素子が貼着されている振動部材とを有する圧電アクチュエーターと、前記振動部材の突起部が当接されて回転駆動する回転軸と、前記圧電アクチュエーターを前記回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターの製造方法であって、
前記突起部を中心として左右両側の対称な位置で前記振動部材の前記突起部側の一端部に位置決め用の測定パターンを形成する工程と、
前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置を切欠いて窓部を形成する工程と、
前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記窓部の外縁を規定する辺と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有することを特徴とする圧電モーターの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載する圧電モーターの製造方法において、
前記測定用パターンが形成された前記一端部の位置と前記振動部材の他端部で対応する位置にも測定パターンを形成する工程と、
前記他端部の前記測定パターンに対応する位置における前記圧電素子も切欠いて前記測定パターンに対応する窓部を形成する工程と、
前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記各窓部の外縁を規定する辺と前記各測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有することを特徴とする圧電モーターの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する圧電モーターの製造方法において、
前記測定パターンが前記振動部材の一辺と平行な直線とこれに直交する直線とを有するとともに、前記窓部の外縁を規定する前記辺が前記直線にそれぞれ対応する直線部分を有しており、前記位置関係の調整は前記測定パターンに対する前記窓部の対応する前記直線部分が所定の関係になるようにするものであることを特徴とする圧電モーターの製造方法。
【請求項４】
圧電体層を挟んで両側にそれぞれ設けられた第１電極及び第２電極を有する圧電素子と、少なくとも片面に前記圧電素子が貼着されている振動部材とを有する圧電アクチュエーターと、前記振動部材の突起部が当接されて回転駆動する回転軸と、前記圧電アクチュエーターを前記回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターであって、
前記振動部材の前記突起部側の一端部には前記突起部を中心として左右両側の対称な位置に形成された位置決め用の測定パターンを有するとともに、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置には圧電素子を一部切欠いて形成した窓部を有しており、
さらに前記窓部の外縁を規定する辺と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整してあることを特徴とする圧電モーター。
【請求項５】
請求項４に記載する圧電モーターにおいて、
前記振動部材が、前記一端部の位置と前記振動部材の他端部で対応する位置にも測定パターンを有するとともに、前記圧電素子が、前記他端部の前記測定パターンに対応する位置にも前記測定パターンに対応する窓部を有し、
さらに前記窓部の外縁を規定する辺と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整してあることを特徴とする圧電モーター。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載する圧電モーターにおいて、
前記測定パターンが前記振動部材の一辺と平行な直線とこれに直交する直線とを有するとともに、前記窓部の外縁を規定する前記辺が前記直線にそれぞれ対応する直線部分を有していることを特徴とする圧電モーター。
【請求項７】
請求項４乃至請求項６の何れか一項に記載の圧電モーターを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項８】
請求項４乃至請求項６の何れか一項に記載の圧電モーターを具備することを特徴とする時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子によって被駆動部を駆動する圧電モーターの製造方法、圧電モーター、圧電モーターを用いた液体噴射装置及び圧電モーターを用いた時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電モーターは、圧電素子を具備する圧電アクチュエーターによって回転軸を回転駆動させるものである。ここで、圧電モーターに用いられる圧電アクチュエーターは、振動部材と、振動部材の一方面側に保持された圧電素子とを具備する。圧電素子は、振動部材側に設けられた第１電極と、圧電体層の第１電極とは反対側に設けられた第２電極とで構成されており、振動部材と第１電極とが接着剤を介して接着されている。
【０００３】
このような圧電アクチュエーターでは、圧電素子の第１電極と第２電極との間に電圧を印加し、圧電素子を振動部材の面内方向において縦振動及び屈曲振動させることで、振動部材の端部を回転駆動させる。そして、圧電アクチュエーターを回転軸に向かって付勢しながら、振動部材の端部を回転軸に当接させることで回転軸を回転させる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２６７４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の如き圧電アクチュエーターを製造するに際しては、圧電素子を振動部材に接着剤により貼着する工程がある。かかる貼着工程においては圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く作業を進めることが肝要である。
【０００６】
ところが、従来の貼着工程では圧電素子と振動部材とを単に重ね合わせただけで位置合わせを行っていたので、十分な位置合わせ精度が得られていなかった。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法、圧電モーター、液体噴射装置及び時計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧電体層を挟んで両側にそれぞれ設けられた第１電極及び第２電極を有する圧電素子と、少なくとも片面に前記圧電素子が貼着されている振動部材とを有する圧電アクチュエーターと、前記振動部材の突起部が当接されて回転駆動する回転軸と、前記圧電アクチュエーターを前記回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターの製造方法であって、前記突起部を中心として左右両側の対称な位置で前記振動部材の一端部に位置決め用の測定パターンを形成する工程と、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置を切欠いて窓部を形成する工程と、前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記窓部の外縁を規定する辺と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有することを特徴とする圧電モーターの製造方法にある。
【０００９】
本態様によれば、振動部材と圧電素子との位置合わせを、測定パターンと圧電素子の窓部の外縁を規定する辺との相対的な位置関係に基づき行っているので、これを高精度に行うことができる。ここで、測定パターンに対応して圧電素子に設けた窓部は、圧電アクチュエーターの本来的な駆動に際しては変位が小さく、その仕事量が少ない部分であるので、その全体の駆動効率に対する影響はきわめて少ない。また、窓部は突起部に対して左右対称な位置に形成されているので、窓部の存在が圧電アクチュエーターの振動の不平衡等の原因となることもなく、良好な所定の振動は保証することができる。
【００１０】
ここで、前記測定用パターンが形成された前記一端部の位置と前記振動部材の他端部で対応する位置にも測定パターンを形成する工程と、前記他端部の前記測定パターンに対応する位置における前記圧電素子も切欠いて前記測定パターンに対応する窓部を形成する工程と、前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記各窓部の外縁を規定する辺と前記各測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有するのがより好ましい。この場合には、圧電素子と振動部材との一辺方向とこれに直交する方向に関する両者の位置合わせのみならず、他端部側の測定パターンと窓部の辺とを利用して圧電素子の面内における回転方向の位置合わせも容易に行うことができる。また、前記測定パターンは前記振動部材の一辺と平行な直線とこれに直交する直線とを有するとともに、前記窓部の外縁を規定する前記辺が前記直線にそれぞれ対応する直線部分を有しており、前記位置関係の調整は前記測定パターンに対する前記窓部の対応する前記直線部分が所定の関係になるようにすることができる。この場合には一辺方向とこれに直交する方向における振動部材と圧電素子との相対的な位置合わせを振動部材側と圧電素子側との直線の相対位置関係により容易且つ高精度に行うことができる。
【００１１】
本発明の他の態様は、圧電体層を挟んで両側にそれぞれ設けられた第１電極及び第２電極を有する圧電素子と、少なくとも片面に前記圧電素子が貼着されている振動部材とを有する圧電アクチュエーターと、前記振動部材の突起部が当接されて回転駆動する回転軸と、前記圧電アクチュエーターを前記回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターであって、前記振動部材の前記突起部側の一端部には前記突起部を中心として左右両側の対称な位置に形成された位置決め用の測定パターンを有するとともに、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置には圧電素子を一部切欠いて形成した窓部を有しており、さらに前記窓部の外縁を規定する辺と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整してあることを特徴とする圧電モーターにある。
【００１２】
本態様によれば、振動部材側の測定パターンと圧電素子側の窓部の相対的な位置関係で両者の位置関係を規定して高精度の位置合わせを実現している。この結果、良好な振動特性を有する圧電モーターとなる。ここで、測定パターンに対応して圧電素子に設けた窓部は、圧電アクチュエーターの本来的な駆動に際しては変位が小さく、その仕事量が少ない部分であるので、その全体の駆動効率に対する影響はきわめて少ない。また、窓部は突起部に対して左右対称な位置に形成されているので、窓部の存在が圧電アクチュエーターの振動の不平衡等の原因となることもなく、良好な所定の振動は保証することができる。
【００１３】
ここで、前記振動部材は、前記一端部の位置と前記振動部材の他端部で対応する位置にも測定パターンを有するとともに、前記圧電素子が、前記他端部の前記測定パターンに対応する位置にも前記測定パターンに対応する窓部を有し、さらに前記窓部の外縁を規定する辺と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整してあることが望ましい。この場合には、圧電素子と振動部材との一辺方向とこれに直交する方向に関する両者の位置合わせのみならず、他端部側の測定パターンと窓部の辺とを利用して圧電素子の面内における回転方向の位置合わせも容易に行うことができるので、回転方向に関する位置も高精度に調整された圧電モーターを得ることができる。
【００１４】
さらに、前記測定パターンは前記振動部材の一辺と平行な直線とこれに直交する直線とを有するとともに、前記窓部の外縁を規定する前記辺が前記直線にそれぞれ対応する直線部分を有しているのが望ましい。この場合には一辺方向とこれに直交する方向における振動部材と圧電素子との相対的な位置合わせを振動部材側と圧電素子側との直線の相対位置関係により容易且つ高精度に行うことができる。
【００１５】
本発明の他の態様は、上記何れかの圧電モーターを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００１６】
本態様によれば、液体噴射装置の、例えば紙送り部分等、回転軸の回転駆動を伴う部分に好適に適用できる。
【００１７】
本発明の他の態様は、上記何れかの圧電モーターを具備することを特徴とする時計にある。
【００１８】
本態様によれば、小形化を達成するとともに、耐久性も向上させることができる時計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態１に係る圧電モーターの分解斜視図。
【図２】実施形態１に係る圧電モーターの平面図。
【図３】実施形態１に係る圧電モーターの断面図。
【図４】実施形態１に係る圧電アクチュエーターの位置合わせ時の態様を示す図。
【図５】実施形態１に係る圧電アクチュエーターの動作を示す平面図。
【図６】実施形態１に係る圧電アクチュエーターの動作を示す平面図。
【図７】他の実施形態に係る圧電アクチュエーターの位置合わせ時の態様を示す図。
【図８】一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【図９】一実施形態に係る記録装置の要部拡大平面図である。
【図１０】一実施形態に係る時計の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る圧電モーターの分解斜視図であり、図２は、圧電モーターの平面図であり、図３は、圧電モーターの断面図である。
【００２１】
これらの図に示すように、本実施形態の圧電モーター１を構成する圧電アクチュエーター１０は、振動部材２０と、振動部材２０の両面に貼着された圧電素子３０とを具備する。本実施形態における振動部材２０には位置合わせ用の測定パターン２４，２４Ａが、また圧電素子３０には測定パターン２４，２４Ａに対応させた切欠き部である窓部２５，２５Ａがそれぞれ設けられている。これら、測定パターン２４，２４Ａ及び窓部２５，２５Ａの具体的な構造及びこれらを用いた位置決め工程は、後に詳述する。
【００２２】
振動部材２０の両面に貼着された圧電素子３０は、圧電体層４０と、圧電体層４０の振動部材２０側に設けられた第１電極５０と、圧電体層４０の第１電極５０とは反対側に設けられた第２電極６０とを有する。
【００２３】
圧電体層４０は、電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でも一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物からなる。圧電体層４０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３）等を用いることができる。もちろん、本実施形態の圧電体層４０は、上記した材料に限定されるものではないが、優れた電気機械変換作用を有する圧電体層４０として、鉛を含有するものが挙げられる。
【００２４】
第１電極５０は、圧電体層４０の振動部材２０側の面に亘って連続して設けられて、圧電素子３０の共通電極となっている。
【００２５】
圧電素子３０は、詳しくは後述するが、長手方向の中央部が縦振動及び屈曲振動における基点となっており、長手方向の中央部は比較的変位量が少ない。
【００２６】
第２電極６０は、圧電体層４０の第１電極５０とは反対側に設けられており、溝部７０によって互いに電気的に隔離されて面内方向で複数に分割されている。すなわち、分割されて各領域を個別に駆動するための個別電極となっている。第２電極６０を分割する溝部７０は、圧電素子３０の幅（短手方向）をほぼ三等分するように形成された第１溝部７１と、第１溝部７１によって分割された３つの電極のうち短手方向両側の電極を長手方向でほぼ二等分するように形成された第２溝部７２とからなる。第２電極６０は、これら第１溝部７１及び第２溝部７２からなる溝部７０によって、短手方向中央部に長手方向に亘って設けられた縦振動用電極部６１と、この縦振動用電極部６１の短手方向両側に、縦振動用電極部６１を挟んで対角となるように配置されて対をなす２組の屈曲振動用電極部６２、６３との合計５つに分割されている。ここで、圧電素子３０は、第２電極６０の縦振動用電極部６１が設けられた領域が、圧電素子３０の長手方向の縦振動を励起する縦振動励起領域４１となっている。これに対して、縦振動励起領域４１の短手方向両側の屈曲振動用電極部６２、６３が設けられた領域が、それぞれ圧電素子３０の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域４２、４３となっている。
【００２７】
かかる圧電素子３０は、第１電極５０側が振動部材２０に接着剤３５を介して貼着されている。ここで、振動部材２０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属や樹脂材料で形成された板状部材からなる。
【００２８】
また、振動部材２０は、上述のように圧電素子３０の第１電極５０側と同じ表面形状を有すると共に、長手方向の一端部側に圧電素子３０よりも突出するように延設された突起部２１が設けられている。また、振動部材２０の圧電素子３０の長手方向中央部には、圧電素子３０の短手方向両側に向かって延設された一対の腕部２２を有する。この腕部２２の先端部には、厚さ方向に貫通する貫通孔２３を有しており、貫通孔２３を挿通させたねじ部材８６を介して詳しくは後述する保持部材８１に固定される。この結果、圧電素子３０が、腕部２２を基点として保持部材８１に対し縦振動及び屈曲振動が可能となるように保持されている。
【００２９】
本実施形態における圧電アクチュエーター１０の製造過程において振動部材２０に対して圧電素子３０を貼着する必要があるが、かかる貼着に際しては振動部材２０に対して圧電素子３０の位置合わせを行う必要がある。このため本実施形態における振動部材２０には位置決め用の測定パターン２４，２４Ａが、また圧電素子３０には測定パターン２４，２４Ａを観察するための窓部２５，２５Ａが設けてある。ここで、測定パターン２４は、振動部材２０の突起部２１側の一端部において突起部２１を中心として左右両側の対称な位置に２個形成されている。また、測定パターン２４Ａは、振動部材２０の他端部において前記測定パターン２４が形成された位置に対応する位置に形成されている。ここで、測定パターン２４，２４Ａは振動部材２０の一辺（短手方向の辺）と平行な直線２６、３６とこれに直交する直線２７、３７とを有している。
【００３０】
一方、窓部２５は測定パターン２４にそれぞれ対応する位置において圧電素子３０を一部切欠くことにより形成してある。同様に、窓部２５Ａは測定パターン２４Ａにそれぞれ対応する位置において圧電素子３０を一部切欠くことにより形成してある。ここで、窓部２５，２５Ａはその外縁を規定する辺２８，２９，３８，３９を有する矩形となっている。そして、辺２８，３８が直線２６，３６に対応する直線部をそれぞれ有しており、辺２９，３９が直線２７，３７に対応する直線部をそれぞれ有している。すなわち、振動部材２０と圧電素子３０との位置が所定の位置に位置決めされた場合には測定パターン２４，２４Ａの直線２６，３６，２７，３７が窓部２５，２５Ａの辺２８，３８，２９，３９と平行になり両者間の間隔も所定の寸法に保持されるように構成してある。
【００３１】
かかる本実施形態において振動部材２０に対する圧電素子３０の位置決めを行う場合には、振動部材２０に圧電素子３０を載置するとともに窓部２５，２５Ａの外縁を規定する辺２８，２９，３８，３９と測定パターンの直線２６，２７，３６，３７との相対的な位置関係が所定の位置関係になるように圧電素子３０の振動部材２０に対する相対位置を調整する。ここで、所定の位置関係とは、辺２８，２９，３８，３９と直線２６，２７，３６，３７とがそれぞれ互いに平行であり，且つそれぞれの間隔が等しくなっている状態をいう。さらに、詳言すると、先ず、測定パターン２４と窓部２５とにより一端部側で位置合わせを行い、かかる位置合わせが完了した後、測定パターン２４Ａと窓部２５Ａとを利用して位置合わせを行うのが良い。前者で短手方向と長手方向の位置合わせをそれぞれ行うことができ、後者で圧電素子３０の面内での回転方向の位置合わせを行うことができるからである。
【００３２】
このように、本実施形態によれば、振動部材２０と圧電素子３０との位置合わせを、測定パターン２４，２４Ａと圧電素子３０の窓部２５，２５Ａの外縁を規定する辺２８，２９、３８，３９との相対的な位置関係に基づき行っているので、これを高精度に行うことができる。ここで、測定パターン２４，２４Ａに対応して圧電素子３０に設けた窓部２５，２５Ａは、圧電アクチュエーター１０の本来的な駆動に際しては変位が小さく、その仕事量が少ない部分であるので、その全体の駆動効率に対する影響はきわめて少ない。また、窓部２５，２５Ａは突起部２１に対して左右対称な位置に形成されているので、窓部２５，２５Ａの存在が圧電アクチュエーター１０の振動の不平衡等の原因となることもない。さらに、窓部２５，２５Ａは圧電素子３０の一端側と他端側とで対称な位置に形成されているので、この点でも圧電アクチュエーター１０の振動の不平衡等の原因となるはない。
【００３３】
このような圧電アクチュエーター１０では、圧電素子３０の縦振動励起領域４１と、屈曲振動励起領域４２、４３とをそれぞれ面方向で縦振動及び屈曲振動するように駆動する。すなわち、図５（ａ）に示すように、振動部材２０の面方向において、縦振動励起領域４１を縦方向（長手方向）に伸張・収縮させることで、圧電素子３０を長手方向に縦振動を行わせる。
【００３４】
また、図５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、振動部材２０の面方向において、屈曲振動励起領域４２、４３を伸張・収縮させることで圧電素子３０を屈曲駆動させる。具体的には、圧電素子３０の短手方向で対角となる一方の組の屈曲振動励起領域４２を伸張させると同時に対角となる他方の一対の屈曲振動励起領域４３を収縮させる。これにより、図５（ｂ）に示すように圧電素子３０をＳ字状に変形させる。また、伸張していた屈曲振動励起領域４２を収縮させると同時に収縮していた屈曲振動励起領域４３を伸張させることで、図５（ｃ）に示すように、圧電素子３０を逆Ｓ字状に屈曲させる。この図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示す屈曲変形を交互に繰り返させることで、圧電素子３０にＳ字状及び逆Ｓ字状の屈曲振動が行われる。
【００３５】
そして、圧電素子３０に縦振動励起領域４１による縦振動と屈曲振動励起領域４２、４３による屈曲振動とを交互に繰り返させることで、図６に示すように、圧電素子３０の長手方向の端部、すなわち、振動部材２０の突起部２１を楕円軌道を描くように回転駆動することができる。具体的には、圧電素子３０に、縦方向（長手方向）の伸張、Ｓ字状の屈曲、縦方向の収縮、逆Ｓ字状の屈曲の変形を順次繰り返し行わせることで、突起部２１を振動部材２０の面内において時計方向に楕円軌道を描くように回転駆動することができる。また、圧電素子３０に変形を行わせる際に、屈曲の順番を入れ替えることで、突起部２１を振動部材２０の面内において反時計方向に楕円軌道を描くように回転駆動することができる。
【００３６】
一方、図１及び図２に示すように、圧電モーター１には、装置本体２に軸を中心として回転自在となる回転軸３が設けられている。そして、この回転軸３に圧電アクチュエーター１０の楕円軌道を描くように回転駆動される突起部２１を当接させることで、回転軸３は回転される。本実施形態では、圧電アクチュエーター１０の突起部２１が楕円軌道を描く回転方向が、回転軸３の回転方向となるように、突起部２１が回転軸３の周方向の表面に当接するようにした。もちろん、突起部２１が、回転軸３の端面に当接するようにしてもよい。
【００３７】
また、圧電モーター１には、圧電アクチュエーター１０を回転軸３方向に向かって所定の圧力で押圧する付勢手段８０が設けられている。
【００３８】
付勢手段８０は、圧電アクチュエーター１０を保持する保持部材８１と、保持部材８１に一端が固定されたコイルばね等のばね部材８２と、ばね部材８２の他端に当接すると共に装置本体２に固定された支持ピン８３とを具備する。
【００３９】
保持部材８１は、圧電アクチュエーター１０の腕部２２が固定される一対の固定部８４と、固定部８４の間に一体的に設けられて装置本体２に対してスライド移動可能に支持されるスライド部８５とを具備する。固定部８４には、貫通孔２３に対応して、ねじ部材８６が螺合される雌ねじ部８７が形成されている。この雌ねじ部８７に貫通孔２３を挿通したねじ部材８６を螺合させることで、圧電アクチュエーター１０は保持部材８１に保持される。
【００４０】
スライド部８５には、厚さ方向に貫通し、且つスライド方向に延設された長孔である２つのスライド孔８８が設けられている。そして、各スライド孔８８に挿通されて装置本体２に固定されたスライドピン８９によってスライド部８５は装置本体２に対してスライド移動可能に支持されている。
【００４１】
ばね部材８２は、コイルばねからなり、固定部８４に一端が固定されると共に、装置本体２に固定された支持ピン８３の側面に他端が当接するように配置されている。また、ばね部材８２は、スライド部８５のスライド方向に沿って配置されている。このような、ばね部材８２は、圧電アクチュエーター１０を装置本体２に対して回転軸３に向かって付勢される。
【００４２】
なお、本実施形態では、ばね部材８２としてコイルばねを用いたが、ばね部材８２は特にこれに限定されず、例えば、板ばね等を用いるようにしてもよい。
【００４３】
このような付勢手段８０によって、圧電アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向（縦振動方向）が回転軸３の軸中心となるように、所定の圧力で回転軸３に押圧される。すなわち、本実施形態の圧電アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向が回転軸３の径方向になるように配置され、回転軸３の径方向に向かってスライド移動可能に設けられている。したがって、圧電アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向が回転軸３の径方向となるように押圧される。
【００４４】
そして、上述のように、付勢手段８０によって圧電アクチュエーター１０の突起部２１を回転軸３に押圧しながら、圧電素子３０に縦振動及び屈曲振動を交互に行わせて突起部２１を楕円軌道を描くように回転駆動することで、回転軸３を回転駆動することができる。
【００４５】
なお、圧電アクチュエーター１０によって回転される回転軸３の回転数は、縦振動及び屈曲振動を行う振動周期により規定され、また回転軸３のトルクは、付勢手段８０による圧電アクチュエーター１０の回転軸３への押圧力により規定される。
【００４６】
かかる圧電モーター１においては圧電アクチュエーター１０における突起部２１の楕円運動に伴いこの楕円運動に伴う駆動力が突起部２１を介して回転軸３に伝達される。この結果、回転軸３は圧電素子３０の縦振動及び屈曲振動の振動周期で規定される所定の回転数で回転する。
【００４７】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は、上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、振動部材２０の両面にそれぞれ圧電素子３０を設けた圧電アクチュエーター１０を例示したが、特にこれに限定されず、振動部材２０の一方のみに圧電素子３０を設けた圧電アクチュエーター１０であっても本発明を適用することができる。
【００４８】
上述した実施形態１では振動部材２０の他端部側にも測定パターン２４Ａを形成し、これに対応させて圧電素子３０にも窓部２５Ａを設けたが，原理的には、測定パターン２４及び窓部２５のみでも前述の如き位置合わせを行うことはできる。ただ、測定パターン２４Ａ及び窓部２５Ａを形成することにより面内方向の回転を容易に調整することができる。
【００４９】
また、上述した実施形態１では、圧電アクチュエーター１０を付勢手段８０によって回転軸３に向かって押圧するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、回転軸３を圧電アクチュエーター１０に向かって押圧するようにしてもよい。もちろん、付勢手段８０は必ずしも必要なものではない。
【００５０】
なお、振動部材２０に対する圧電素子３０の位置決めは、図７に示すような態様でも行うことができる。同図に示すように、突起部２１の中央部にはその長手方向に伸びる直線であるマーク５１が、また左右の腕部２２には前記長手方向に直交する短手方向に伸びる直線であるマーク５２が形成されている。一方、圧電素子３０にはその突起部２１側の短手方向の中央部に長手方向に伸びる直線であるマーク５３が、また長手方向の両辺の中央部には短手方向に伸びる直線であるマーク５４がそれぞれ形成してある。かくして、両者の位置合わせの際には振動部材２０に圧電素子３０を載置した状態で、マーク５１にマーク５３を合わせるとともに、マーク５２にマーク５４を合わせる。このことにより、３点において圧電素子３０の振動部材２０に対する位置が規定される。したがって、この状態では、両者の位置が所定通りに調整される。
【００５１】
上述した実施形態の圧電モーター１は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の駆動手段として用いることができる。ここで、実施形態１の圧電モーター１を用いたインクジェット式記録装置の一例を図８及図９に示す。なお、図８は、一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図であり、図９は、要部を拡大した平面図である。
【００５２】
図８に示すインクジェット式記録装置１００において、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド１０１を有する記録ヘッドユニット１０２は、インク供給手段を構成するカートリッジ１０３が着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１０２を搭載したキャリッジ１０４は、記録装置本体１０５に取り付けられたキャリッジ軸１０６に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１０２は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５３】
そして、駆動モーター１０７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１０８を介してキャリッジ１０４に伝達されることで、記録ヘッドユニット１０２を搭載したキャリッジ１０４はキャリッジ軸１０６に沿って移動される。一方、記録装置本体１０５にはキャリッジ軸１０６に沿ってプラテン１０９が設けられており、給紙手段１１０によって給紙された紙等の被噴射媒体である記録シートＳがプラテン１０９に巻き掛けられて搬送される。記録シートＳは、プラテン１０９上でインクジェット式記録ヘッド１０１から吐出されたインクによって印刷される。そしてプラテン１０９上で印刷された記録シートＳは、プラテン１０９の給紙手段１１０とは反対側に設けられた排紙手段１２０によって排紙される。
【００５４】
図９に示すように、給紙手段１１０は、給紙ローラー１１１と従動ローラー１１２とで構成されている。給紙ローラー１１１には、その端部に上述した圧電モーター１の回転軸３が固定されており、圧電アクチュエーター１０の駆動によって回転駆動される。また、給紙ローラー１１１には、同軸上に第１歯車１１３が設けられている。
【００５５】
排紙手段１２０は、排紙ローラー１２１と従動ローラー１２２とで構成されている。排紙ローラー１２１には同軸上に第２歯車１２３が設けられている。そして、給紙ローラー１１１の第１歯車１１３が、この第１歯車１１３に噛み合う第３歯車１３０、第３歯車１３０に噛み合う第４歯車１３１、第４歯車に噛み合う第５歯車１３２を介して排紙ローラー１２１の第２歯車１２３に噛み合うことで、給紙ローラー１１１を回転駆動する圧電モーター１の駆動力が、排紙ローラー１２１に伝達される。
【００５６】
なお、図８及び図９に示す例では、圧電モーター１によって、給紙手段１１０及び排紙手段１２０を回転駆動するものであるが、例えば、上述した実施形態の圧電モーター１を、キャリッジ１０４を移動させる駆動モーター１０７の代わりに用いることも可能である。もちろん、その他の駆動系、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０１にインクを供給するポンプ等に圧電モーター１を用いることもできる。
【００５７】
本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、圧電モーターは、上述したインクジェット式記録装置以外の液体噴射装置に搭載することが可能である。その他の液体噴射装置としては、例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射装置、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射装置等が挙げられる。
【００５８】
さらに、上述した実施形態の圧電モーター１は、時計の駆動手段としても用いることができる。ここで、実施形態１の圧電モーター１を用いた時計の一例を図１０に示す。
【００５９】
図１０に示すように、時計２００を構成するカレンダー表示機能は、圧電モーター１に連結されており、その駆動力によって駆動される。
【００６０】
カレンダー表示機能の主要部は、圧電モーター１の回転軸３の回転を減速する減速輪列とリング状の日車２０１とを具備する。また、減速輪列は日回し中間車２０２と、日回し車２０３とを有する。
【００６１】
そして、上述の圧電モーター１の圧電アクチュエーター１０によって回転軸３を時計回りに回転駆動させると、回転軸３の回転は、日回し中間車２０２を介して日回し車２０３に伝達され、この日回し車２０３が日車２０１を時計回りに回転させる。これら圧電アクチュエーター１０から回転軸３、回転軸３から減速輪列（日回し中間車２０２、日回し車２０３）、減速輪列から日車２０１への力の伝達は、何れも面内方向で行われる。このためカレンダー表示機構を薄型化することができる。
【００６２】
また、日車２０１には、周方向に沿って日付を表す文字が印刷された円盤状の文字板２０４が固定されている。そして、時計２００の本体には、文字板２０４に設けられた一文字を露出する窓部２０５が設けられており、窓部２０５から日付が覗けるようになっている。なお、時計２００には、特に図示していないが、長針及び短針や、これら長針及び短針を駆動するムーブメント等が設けられている。
【００６３】
なお、圧電モーター１は、カレンダー表示機構だけではなく、時計の長針・短針等を駆動するムーブメントとして利用することができる。これら時計の長針・短針等を駆動する構造については従来周知の電磁モーター等の代わりに上述した圧電モーター１を組み込むだけで可能である。
【００６４】
また、本発明は、広く圧電モーター全般を対象としたものであり、上述した液体噴射装置や時計以外の小型デバイスに利用することが可能である。圧電モーターを利用できる小型デバイスとしては、医療用ポンプ、カメラ、産業用や義手などのロボット等が挙げられる。
【符号の説明】
【００６５】
１  圧電モーター、  １０  圧電アクチュエーター、  ２０  振動部材、  ２１  突起部、  ２４，２４Ａ  測定パターン、２５，２５Ａ  窓部、  ２６，２７，３６，３７  直線、  ２８，２９，３８，３９  辺、  ３０  圧電素子、  ４０  圧電体層、  ５０  第１電極、６０  第２電極、  ７０  溝部、  ８０  付勢手段、  １００  記録装置、  ２００  時計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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