(57)【要約】【課題】反射制御板により反射された反射光がフィルタの検査画像を撮像する際に影響を与えることなく、フィルタが正常に作成されているか否かの検査を簡便に行うことができる検査方法を提供する。【解決手段】被検査媒体に光を照射して、前記被検査媒体の検査画像を取得する検査方法において、前記被検査媒体に対して前記光が照射される側とは反対の側に反射制御板を設置する反射制御板設置工程であって、前記反射制御板により反射された光が前記被検査媒体に入射しないように、前記反射制御板を前記被検査媒体に対して傾けて設置する前記反射制御板設置工程と、前記被検査媒体を移動させる移動工程と、前記被検査媒体に対して前記光が照射される側からラインセンサカメラを利用して前記被検査媒体を撮像して、前記検査画像を取得する検査画像取得工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査媒体に光を照射して、前記被検査媒体の検査画像を取得する検査方法において、
前記被検査媒体に対して前記光が照射される側とは反対の側に反射制御板を設置する反射制御板設置工程であって、前記反射制御板により反射された光が前記被検査媒体に入射しないように、前記反射制御板を前記被検査媒体に対して傾けて設置する前記反射制御板設置工程と、
前記被検査媒体を移動させる移動工程と、
前記被検査媒体に対して前記光が照射される側からラインセンサカメラを利用して前記被検査媒体を撮像して、前記検査画像を取得する検査画像取得工程と、
を有することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の検査方法において、
前記反射制御板設置工程は、前記反射制御板を前記被検査媒体に対して４５°傾けて設置することを特徴とする検査方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の検査方法において、
前記反射制御板の、前記被検査媒体の進行方向に沿った幅は、前記被検査媒体の、前記進行方向に沿った幅よりも小さく、かつ、前記反射制御板の、前記進行方向に垂直な幅は、前記被検査媒体の、前記進行方向に垂直な幅よりも大きいことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等に用いられているフィルタ等（被検査媒体）に光を照射して、被検査媒体の検査画像を取得する検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットディスプレイとして、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が注目されており、その薄型、軽量、小消費電力、フリッカーレスといった特徴から、ノート型のパーソナルコンピューター（ＰＣ）、ＰＣ用のモニターを中心に市場が急速に拡大した。ここで、ＬＣＤを表示するためにはフィルタが用いられており、このＬＣＤを正常に機能させるためには、フィルタが正常に作成されていることが必要となる。現在、フィルタが正常に作成されているか否かの検査は、フィルタの検査画像を撮像し、その検査画像を目視したり、あるいは画像処理によって行われている。ここで、このフィルタの検査画像を撮像する際には、図８に示すように、光源１５から反射された光Ｌ１、Ｌ２を光学的に均一にするために、フィルタ１１の下方に、ベース部１９が設置された状態で撮像がなされている。しかし、ベース部１９が反射率の高い材質で形成されている場合には、図８に示すように光源１５からの光Ｌ１、Ｌ２がベース部１９で反射し、その反射光Ｌ３、Ｌ４がカラーフィルム１１に再度入射してしまうため、フィルタ１１をカメラ１６によって撮像する際に、明るさのムラが生じてしまうといった問題が生じていた（図８、９参照）。
【０００３】
具体的には、光源１５からの光Ｌ５がすべてベース部１９で反射し、反射光Ｌ６としてカメラに入射する場合を考えると、（i）光源１５からの光Ｌ５が基板１２の領域から入射し、基板１２の領域から反射光Ｌ６として抜ける場合（図１０（ａ））、（ii）光源１５からの光Ｌ５が基板１２の領域から入射し、着色層１４の領域から反射光Ｌ６として抜ける場合（図１０（ｂ））、（iii）光源１５からの光Ｌ５が着色層１４の領域から入射し、着色層１４の領域から反射光Ｌ６として抜ける場合（図１０（ｃ））、（iv）光源１５からの光Ｌ５が着色層１４の領域から入射し、基板１２の領域から反射光Ｌ６として抜ける場合（図１０（ｄ））の４種類の反射光Ｌ６がカメラ１６に入射すると考えられるが、このうちフィルタ１１の検査画像を撮像する際に問題となるのは（ii）、（iii)の場合の反射光Ｌ６である。ここで、基板１２の領域の光の吸収は無視できるとし、着色層１４の領域においては光が吸収され着色層１４を透過した回数に応じて透過率が低下すると考えると、（ii）においては、着色層１４を1回以上透過するので、着色層１４内の吸収を考慮し、着色層１４を透過した回数に応じて透過率が低下し、（iii）においては、着色層１４を２回以上透過するので、着色層１４内の吸収を考慮し、着色層１４を透過した回数に応じて透過率が低下することから、（ii）による反射光と（iii）による反射光の量を比較すると、着色層１４での吸収が少ない（ii）の場合の方が（iii）の場合よりも反射光の量が多くなるため、フィルタ１１をカメラ１６によって撮像する際に、ブラックマトリックス１３に隣接する隣接部１８が周囲に比べて明るく撮像されてしまうといった問題が生じていた（図８、９参照）。
【０００４】
そこで、ブラックマトリックス１３に隣接する隣接部１８が周囲に比べて明るく撮像されてしまうことを防止するために、ベース部１９に吸収シートを敷いたり、つやを消した黒色でベース部１９の表面を塗装する等がなされ、ベース部１９での反射を抑える工夫がなされていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このベース部１９に吸収シートを敷いても、つやを消した黒色でベース部１９の表面を塗装しても、完全にはベース部１９による反射を抑えることができず、このベース部１９による反射光Ｌ３、Ｌ４（図８参照）、Ｌ６（図１０参照）がフィルタ１１の検査画像を撮影する際に影響を与え、フィルタ１１が正常に作成されているか否かの検査が正確に行われないといった問題が生じていた。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、ベース部により反射された反射光がフィルタの検査画像を撮像する際に影響を与えることなく、フィルタが正常に作成されているか否かの検査を正確に行うことができる検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、被検査媒体に光を照射して、前記被検査媒体の検査画像を取得する検査方法において、前記被検査媒体に対して前記光が照射される側とは反対の側に反射制御板を設置する反射制御板設置工程であって、前記反射制御板により反射された光が前記被検査媒体に入射しないように、前記反射制御板を前記被検査媒体に対して傾けて設置する前記反射制御板設置工程と、前記被検査媒体を移動させる移動工程と、前記被検査媒体に対して前記光が照射される側からラインセンサカメラを利用して前記被検査媒体を撮像して、前記検査画像を取得する検査画像取得工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
これによれば、被検査媒体に対して光が照射される側とは反対の側に反射制御板を設置し、被検査媒体に対して光が照射される側から被検査媒体を撮像する際に、光を被検査媒体に照射する角度に応じて反射制御板を被検査媒体に対して傾けて設置することによって、反射制御板によって光を被検査媒体とは逆方向に反射させることができ、光が被検査媒体に再度入射することを防ぐことができる。よって、反射制御板による反射光が被検査媒体の検査画像を撮像する際に影響を与えることなく、被検査媒体が正常に作成されているか否かの検査を正確に行うことができる。
【０００９】
上記課題を解決するための請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査方法において、前記反射制御板設置工程は、前記反射制御板を前記被検査媒体に対して４５°傾けて設置することを特徴とする。
【００１０】
これによれば、反射制御板を被検査媒体に対して４５°傾けて設置することによって、光を被検査媒体に照射する角度に応じて逐次反射制御板の角度を設定し直す必要がなく、光を被検査媒体に照射する角度が緩やかな場合であっても、鋭い場合であっても、反射制御板によって光を被検査媒体とは逆方向に反射させることができ、光が被検査媒体に再度入射することを防ぐことができる。よって、反射制御板による反射光が被検査媒体の検査画像を撮像する際に影響を与えることなく、被検査媒体が正常に作成されているか否かの検査を正確に行うことができる。
【００１１】
上記課題を解決するための請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の検査方法において、前記反射制御板の、前記被検査媒体の進行方向に沿った幅は、前記被検査媒体の、前記進行方向に沿った幅よりも小さく、かつ、前記反射制御板の、前記進行方向に垂直な幅は、前記被検査媒体の、前記進行方向に垂直な幅よりも大きいことを特徴とする。
【００１２】
これによれば、反射制御板が被検査媒体の一部を包含する程度の大きさのもの、つまり、被検査媒体を全体を包含しない比較的小さな拡散板を使用した場合であっても、被検査媒体全体が順に反射制御板上に配置されるように移動させながらラインセンサカメラによって撮像することにより、被検査媒体と背景（被検査媒体以外の部分）とを含めて撮像できるため、被検査媒体と背景の境界を認識することができる。よって、被検査媒体の範囲が特定されることになるため、特定された被検査媒体の範囲のみを目視することにより、被検査媒体が正常に作成されているかを迅速に、かつ正確に検査することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、被検査媒体に対して光が照射される側とは反対の側に反射制御板を設置し、被検査媒体に対して光が照射される側から被検査媒体を撮像する際に、光を被検査媒体に照射する角度に応じて反射制御板を被検査媒体に対して傾けて設置することによって、反射制御板によって光を被検査媒体とは逆方向に反射させることができ、光が被検査媒体に再度入射することを防ぐことができる。よって、反射制御板による反射光が被検査媒体の検査画像を撮像する際に影響を与えることなく、被検査媒体が正常に作成されているか否かの検査を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】検査装置の概念図である。
【図２】反射制御板を上方から見た概念図である。
【図３（ａ）】反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合について説明する図である。
【図３（ｂ）】反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合について説明する図である。
【図３（ｃ）】反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合について説明する図である。
【図４（ａ）】反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合の反射制御板を上方から見た概念図である。
【図４（ｂ）】反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合の反射制御板を上方から見た概念図である。
【図４（ｃ）】反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合の反射制御板を上方から見た概念図である。
【図５（ａ）】反射制御板の形状を示す概略図である。
【図５（ｂ）】反射制御板の形状を示す概略図である。
【図５（ｃ）】反射制御板の形状を示す概略図である。
【図５（ｄ）】反射制御板の形状を示す概略図である。
【図５（ｅ）】反射制御板の形状を示す概略図である。
【図５（ｆ）】反射制御板の形状を示す概略図である。
【図６（ａ）】反射制御板のフィルタに対する傾け方を示す概略図である。
【図６（ｂ）】反射制御板のフィルタに対する傾け方を示す概略図である。
【図７（ａ）】光源からの光の入射角と反射制御版の傾きとの関係を示した図である。
【図７（ｂ）】光源からの光の入射角と反射制御版の傾きとの関係を示した図である。
【図７（ｃ）】光源からの光の入射角と反射制御版の傾きとの関係を示した図である。
【図８】従来の検査装置の概念図である。
【図９】従来のフィルタの下方に設置されたベース板を上方から見た概念図である。
【図１０（ａ）】従来のベース板を用いた場合の入射光と反射光を示す図である。
【図１０（ｂ）】従来のベース板を用いた場合の入射光と反射光を示す図である。
【図１０（ｃ）】従来のベース板を用いた場合の入射光と反射光を示す図である。
【図１０（ｄ）】従来のベース板を用いた場合の入射光と反射光を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
（検査装置）
まず、フィルタ（被検査媒体の一例）の検査画像を取得する検査方法に用いられる検査装置について図１を用いて説明する。
【００１７】
図１に示すように検査装置は、ガラス基板２とブラックマトリックス３と着色層４とを含むフィルタ１を検査するための光源５、ラインセンサカメラ６、反射制御板７により構成されている。
【００１８】
フィルタ１は、液晶ディスプレイ等の製造に用いるフィルタであり、ガラス基板２上に着色層４やブラックマトリックス３等が形成されているものである。
【００１９】
ガラス基板２は、着色層４やブラックマトリックス３等を形成するための基板である。
【００２０】
ブラックマトリックス３は、光を遮断するためのものであり、着色層４の周りを覆うように取り囲むように形成されている（図２参照）。
【００２１】
着色層４は、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）等の３原色により形成された部分である。
【００２２】
上記フィルタ１、ガラス基板２、ブラックマトリックス３の大きさ、厚さ、形状等は、特に限定されることはなく、フィルタ１の設計目的に応じて各々決定される。
【００２３】
光源５は、特に限定されることはないが、例えば、ＬＥＤ等であることが好ましい。
【００２４】
ラインセンサカメラ６は、フィルタ１を撮像するためのものである。
【００２５】
反射制御板７は、以下、検査方法を説明する際に詳細に説明するが、反射制御板によって光源からの光を被検査媒体とは逆方向に反射させ、光が被検査媒体に再度入射することを防ぐために用いられるものである。
【００２６】
（検査方法）
以下、フィルタの検査画像を取得する検査方法について工程順に説明するが、まず、当該検査方法に必須な反射制御板について説明する。
【００２７】
（Ｉ）反射制御板の大きさ
（i）反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも大きい場合
反射制御板７は、フィルタ１の検査画像を撮像する際に、光源５から反射された光Ｌ１、Ｌ２を光学的に均一にするために、図１に示すように、フィルタ１の下方に設置されるものであるため、フィルタ１の大きさよりも大きければ特に限定することはない。
【００２８】
（ii）反射制御板の大きさがフィルタの大きさよりも小さい場合
ここで、後述するように、フィルタ１の撮像は、フィルタ１を移動させながら撮像するため、ラインセンサカメラ６でフィルタ１を撮像する部分の下方にさえ反射制御板７が設置されていればよい（図３参照）。
【００２９】
詳細には、反射制御板の、フィルタの進行方向に沿った幅は、フィルタの、進行方向に沿った幅よりも小さくてもよいが、反射制御板の、進行方向に垂直な幅は、フィルタの、進行方向に垂直な幅よりも大きいことが必要となる。具体的には、図４に示すように、反射制御板７の、フィルタ１の進行方向に沿った幅ａは、フィルタ１の、進行方向に沿った幅ｃよりも小さく、かつ、反射制御板７の、進行方向に垂直な幅ｂは、フィルタ１の、進行方向に垂直な幅ｄよりも大きいことが必要となる。これは、フィルタ１を移動させ、フィルタ１と背景（フィルタ１以外の部分）とを含めて撮像することにより、フィルタ１と背景との境界がわかれば、フィルタ１の範囲が特定されることになるため、特定されたフィルタ１の範囲のみを目視し検査することにより、フィルタ１が正常に作成されているかを迅速に、かつ正確に検査することができることになるからである。
【００３０】
なお、図４に示すように反射制御板７の、進行方向に垂直な幅ａは、１５ｍｍ〜２０ｍｍであることが好ましい。これは、ラインセンサカメラ６が反射制御板７上を移動するフィルタ１を撮像するために必要な幅である。
【００３１】
（II）反射制御板の形状
反射制御板７の形状を更に詳細に説明すると、図１（図５（ａ））に示すように、反射制御板７の断面は三角形の形状をしており、更に、図５（ａ）に示した矢印の方向から見た形状は、図５（ｂ）に示すように三角柱の形状をしている。
【００３２】
ここで、本発明は、反射制御板７自体により反射された光Ｌ３、Ｌ４がフィルタ１に再度入射してしまうことを防止するために、フィルタ１に対して傾けて設置することによって、反射制御板７によって反射された光をフィルタ１とは逆方向に反射させることを目的としているため、反射制御板７がフィルタ１に対して傾いて設置されていればよい。よって、図５（ｂ）に示したように三角柱の形状でなくても、図５（ｃ）、（ｄ）に示したように、板状のものをフィルタ１に対して傾けて設置してもよい。
【００３３】
また、図５（ｅ）に示すように、反射制御板７をフィルタ１の下方に２つ設置してもよい。この場合には、ブラックマトリックス３に隣接する隣接部８が周囲に比べて明るくなってしまうことを防止することを目的としてなされたものであるため、ブラックマトリックス３が形成されている左右両端に反射制御板７を設置してもよい。
【００３４】
このように、反射制御板７は、光源５から入射された光Ｌ１、Ｌ２の角度に応じてフィルタ１に対して傾けて設置することによって、反射制御板７によって反射された光をフィルタとは逆方向に反射させることが可能となるような形状であれば種々様々な形状であってよい。
【００３５】
（III）反射制御板の材質
反射制御板７の材質は、フィルタ１を撮像する際にフィルタ１の下方にあるものが移りこむことを防ぐためにも用いられるものでもあるため、不透明であることが必要であり、更には、反射制御版により光源からの光を全反射に近いほど反射率が高く、又は、吸収するものであることが必要である。
【００３６】
上述したような反射制御板をフィルタに対して光が照射される側とは反対の側に、反射制御板により反射された光がフィルタに入射しないように、フィルタに対して傾けて設置する（反射制御板設置工程）。
【００３７】
（I）反射制御版の設置位置
ここで、上述した反射制御板７を図１に示したように、フィルタ１に対して光が照射される側（光源５が設置される側）とフィルタ１を撮像する側（ラインセンサカメラ６が設置される側）は同じ方向（同図においてフィルタ１の上方）であり、それに対して反射制御板７は、光源５とラインセンサカメラ６が設置されている方向とは反対側（同図においてフィルタ１の下方）に設置されている場合に本発明の効果を有するものである。しかし、光源５とラインセンサカメラ６が同じ方向に設置されており、それに対して反射制御板７はフィルタ１に対して光源５とラインセンサカメラ６が設置されている方向と反対側に設置されていれば本発明の効果を得ることができるため、光源５とラインセンサカメラ６がフィルタ１の下方に設置され、反射制御板７がフィルタ１の上方に設置されていてもよい。
【００３８】
（II）反射制御板のフィルタに対する傾け方
（i）光源からの光の入射角と反射制御版の傾きとの関係についての概要
図６（ａ）に示すように、光源５から照射される光Ｌ１、Ｌ２がフィルタ１に入射される角度が緩やかな場合には、反射制御板７のフィルタ１に対する傾きは緩やな傾きであってよい。一方、図６（ｂ）に示すように、光源５から照射される光Ｌ１、Ｌ２がフィルタ１に入射される角度が鋭い場合には、反射制御板７のフィルタ１に対する傾きは鋭く傾ける必要がある。
【００３９】
上記に示すように、この反射制御板７は、反射制御板７自体により反射された光Ｌ３、Ｌ４がフィルタ１に再度入射してしまうことを防止するために、光源５から入射された光Ｌ１、Ｌ２に応じてフィルタ１に対して傾けて設置するものである。これにより、反射制御板７によって反射された光Ｌ３、Ｌ４をフィルタ１とは逆方向に反射させることができるため、反射制御板７によって反射された光がフィルタ１に再度入射することを防ぐことができる。
【００４０】
（ii）光源からの光の入射角と反射制御板の傾きとの関係についての具体例
図７（ａ）に示すように、光源５からの光の入射角をθ１、反射制御板７をフィルタ１に平行に設置した場合の法線と、反射制御板７をフィルタ１に対して傾けた場合の法線との間の角度をθ２とすると、反射制御板７をフィルタ１に平行に設置した場合の法線と反射光との間の角度は、
θ２＋θ１＋θ２＝θ１＋２θ２
となる。
【００４１】
ここで、反射制御板７をフィルタ１に平行に設置した場合の法線と反射光との間の角度θ１＋２θ２が９０°以上となる場合には、フィルタ１をラインセンサカメラ６で撮像する際にラインセンサカメラ６に反射光が入射しないことになるため、θ１＋２θ２が９０°以上となることが必要である。
【００４２】
ここで、光源からの光の入射角θ１が０°と３０°である場合について以下説明する。
【００４３】
（ａ）入射角が０°の時（図７（ｂ）参照）
θ１＝０°の場合に、θ１＋２θ２が９０度以上となるθ２は
θ２≧（９０°−θ１）÷２なので、θ２≧４５°
光源からの光の入射角が０°の場合、θ２が４５°以上であれば、全ての入射光を入射側に戻さずに（フィルタをラインセンサカメラで撮像する際にラインセンサカメラに反射光が入射することなしに）反射させることができる。
【００４４】
（ｂ）入射角が３０°の時（図７（ｃ）参照）
θ１＝３０°の場合に、θ１＋２θ２が９０°以上となるθ２は
θ２≧（９０°−θ１）÷２なので、θ２≧３０°
光源からの光の入射角が３０°の場合、θ２が３０°以上であれば、全ての入射光を入射側に戻さずに（フィルタをラインセンサカメラで撮像する際にラインセンサカメラに反射光が入射することなしに）反射させることができる。
【００４５】
上記のように反射制御板７は、光源５から入射された光Ｌ５に応じてフィルタ１に対して傾けられるが、反射制御板７をフィルタ１に対して４５°傾けて設置することによって、光源からの光の入射角（光をフィルタ１に照射する角度）に応じて逐次反射制御板７の角度を設定し直す必要がなく、光をフィルタ１に入射する角度が緩やかな場合であっても、鋭い場合であっても、反射制御板によって光をフィルタ１とは逆方向に反射させることができ、光がフィルタ１に再度入射することを防ぐことができる。
【００４６】
次に、被検査媒体を移動させる（移動工程）。
【００４７】
（i）反射制御板の大きさがフィルタ１の大きさよりも大きい場合
図１に示すように、図中の矢印の方向にフィルタ１を移動させる。
【００４８】
（ii）反射制御板の大きさがフィルタ１の大きさよりも小さい場合
当該位置（図３（ａ）、図４（ａ）参照）から図中の矢印の方向にフィルタ１を移動させ（図３（ｂ）、（ｃ）、図４（ｂ）、（ｃ）参照）、反射制御板７上にフィルタ１の一部が順に配置されるようフィルタを移動させる。
【００４９】
次に、フィルタに対して光が照射される側からラインセンサカメラを利用してフィルタを撮像して、検査画像を取得する（検査画像取得工程）。
【００５０】
（i）反射制御板の大きさがフィルタ１の大きさよりも大きい場合
図１のように矢印の方向にフィルタ１を徐々に移動させ、反射制御板７上に配置されたフィルタ１を連続的に撮像して、ラインセンサカメラを利用してフィルタ１全体を撮像する。
【００５１】
（ii）反射制御板の大きさがフィルタ１の大きさよりも小さい場合
図４（ａ）〜（ｃ）のように矢印の方向にフィルタ１を徐々に移動させ、反射制御板７上にフィルタ１の一部が順に配置されるようにし、その反射制御板７上に配置されたフィルタ１の一部分を連続的に撮像して、ラインセンサカメラを利用してフィルタ１全体を撮像する。
【００５２】
上記示した工程の後に、提示工程を行ってもよい。ここで、提示工程は、撮像された画像を提示する工程であり、上記したようにカメラ６によって撮像された画像はディスプレイ等の画面に表示することにより、観察者に提示してもよいし、紙等の媒体に印刷することにより、観察者に提示してもよい。
【００５３】
以上説明したように、光をフィルタに照射する角度に応じて反射制御板をフィルタに対して傾けて設置することによって、反射制御板によって光をフィルタとは逆方向に反射させることができ、光がフィルタに再度入射することを防ぐことができる。よって、反射制御板による反射光がフィルタの検査画像を撮像する際に影響を与えることなく、フィルタが正常に作成されているか否かの検査を正確に行うことができる。
【符号の説明】
【００５４】
１、１１・・・フィルタ
２・・・ガラス基板
３、１３・・・ブラックマトリックス
４、１４・・・着色層
５、１５・・・光源
６、１６・・・ラインセンサカメラ
７・・・反射制御板
８、１８・・・隣接部
１９・・・ベース部
１２・・・基板
【図１】
2010237016.tif 000003
【図２】
2010237016.tif 000004
【図３（ａ）】
2010237016.tif 000005
【図３（ｂ）】
2010237016.tif 000006
【図３（ｃ）】
2010237016.tif 000007
【図４（ａ）】
2010237016.tif 000008
【図４（ｂ）】
2010237016.tif 000009
【図４（ｃ）】
2010237016.tif 000010
【図５（ａ）】
2010237016.tif 000011
【図５（ｂ）】
2010237016.tif 000012
【図５（ｃ）】
2010237016.tif 000013
【図５（ｄ）】
2010237016.tif 000014
【図５（ｅ）】
2010237016.tif 000015
【図５（ｆ）】
2010237016.tif 000016
【図６（ａ）】
2010237016.tif 000017
【図６（ｂ）】
2010237016.tif 000018
【図７（ａ）】
2010237016.tif 000019
【図７（ｂ）】
2010237016.tif 000020
【図７（ｃ）】
2010237016.tif 000021
【図８】
2010237016.tif 000022
【図９】
2010237016.tif 000023
【図１０（ａ）】
2010237016.tif 000024
【図１０（ｂ）】
2010237016.tif 000025
【図１０（ｃ）】
2010237016.tif 000026
【図１０（ｄ）】
2010237016.tif 000027