(57)【要約】【課題】高密度記録に対応し得るディスクリート型磁気記録媒体及びこの媒体の製造プロセスに適用可能なスタンパーを容易に得る。【解決手段】射出成形された樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録層の表面に凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に、該凹凸パターンを転写する際に適用される樹脂スタンパーの製造方法であって、
前記ディスクリートトラックのための凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、及び
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行う工程を具備することを特徴とする樹脂スタンパーの製造方法。
【請求項２】
前記表面処理工程により、前記樹脂スタンパーの凹凸パターン面の凸パターンを細らせて凹パターンの幅を広げることを特徴とする請求項１に記載の樹脂スタンパーの製造方法。
【請求項３】
前記凸パターンは、その縦断面が三角形状を有することを特徴とする請求項２に記載の樹脂スタンパーの製造方法。
【請求項４】
前記表面処理工程により、前記樹脂スタンパーの凹凸パターン面の凹凸を維持しつつ、該凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすることを特徴とする請求項１に記載の樹脂スタンパーの製造方法。
【請求項５】
前記ドライエッチングプロセスは、Ａｒガスまたは、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いることを特徴とする請求項１に記載の樹脂スタンパの製造方法。
【請求項６】
磁気記録層の表面にディスクリートトラックとして設けられる凹凸パターンに相当する凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行う工程、
該磁気記録媒体の磁気記録層表面と、該樹脂スタンパの表面処理された凹凸パターン面とを、未硬化の紫外線硬化性樹脂層を介して貼り合わせる工程、
該未硬化の紫外線硬化性樹脂層に紫外線を照射して、硬化せしめる工程、
該樹脂スタンパを剥離して、前記磁気記録媒体の片面上に凹凸パターンが転写された紫外線硬化性樹脂層を形成する工程、及び
紫外線硬化性樹脂層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に凹凸パターンを形成する工程を具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記表面処理工程により、前記樹脂スタンパの凹凸パターン面の凸パターンを細らせて凹パターンの幅を広げ、幅広の凹部を有する前記樹脂スタンパを用いて前記磁気記録媒体の片面上に幅広の凸部を持つ凹凸パターンを転写し、該磁気記録層表面に、幅広の凸部を持つ凹凸パターンを形成することを特徴とする請求項５に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記凸パターンは、その縦断面が三角形状を有することを特徴とする請求項７に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項９】
前記表面処理工程により、前記樹脂スタンパーの凹凸パターン面の凹凸を維持しつつ、該凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすることを特徴とする請求項６に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記ドライエッチングプロセスは、Ａｒガスまたは、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いることを特徴とする請求項６に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録層表面にディスクリートトラックを有する磁気記録媒体の製造に使用されるスタンパーの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、磁気ディスクの高密度化手段の一つとして、ディスクリートトラック（ＤＴＲ）媒体というものが検討されている。これは媒体表面に溝を設けてトラックを分断し、トラック方向の記録密度を上げようというものである。またトラック間に溝を設けるのと同時に、サーボパターンも凹凸で刻み込むことができるため、パターニングに工夫をすれば、これまでのようにサーボ信号を一枚一枚記録する必要がなく生産性も向上できる。
【０００３】
このＤＴＲ媒体の製造する過程で、磁気記録層表面に塗布されたレジストに対してインプリントスタンパを押し付け、レジストに凹凸パターンを転写し、さらに、このレジストをマスクとして磁気記録層を加工する（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
このようなインプリントスタンパとしては、電鋳プロセスにより作製及び複製されたＮｉスタンパが、ファザースタンパ、マザースタンパまたはサンスタンパとして用いられていた。しかし、電鋳プロセスを用いた場合、Ｎｉスタンパ１枚あたり１時間程度の長い作製時間がかかるという問題があった。これに対して、電鋳プロセスにより、ファザースタンパとして最初のＮｉスタンパを作製し、その後に作成されるマザースタンパまたはサンスタンパは、射出成形プロセスを用いて作製すれば、１枚当たり数秒程度の短い作製時間で樹脂製インプリントスタンパが得られる。
【０００５】
この射出成形プロセスは、これまで光ディスクの作製に使用されてきた。
【０００６】
このディスクリートトラック型の磁気記録媒体では、トラック溝をいかに細くかつ滑らかにするかが重要である。例えば現在検討されている密度はトラックピッチとして数十ｎｍであるが、信号のＳＮ比を確保するためには、信号が記録されるランド部すなわち凸部または磁性が活きている部分を広くする必要があり、逆に言えばトラック溝すなわち凹部または磁性を失っている部分は可能な限り狭い方が望ましい。また将来、記録密度の向上に従いトラックピッチが狭くなればなおのこと、トラック溝は狭くなる。また、トラック溝のエッジラフネスもノイズ源となるため、当然記録再生信号の品質にかかわってくる。
【０００７】
溝を細くする必要性を、光ディスクと比べて以下に説明する。光ディスクの場合はランドグルーブ記録とグルーブ記録があり、ランドグループ記録はランド（島）部とグルーブ（溝）部の両方にマークを記録しなければならないため、ランドとグルーブの比は１：１程度が望ましい。一方、グルーブ記録においては実際にグルーブ部のみに記録する場合とランド部のみに記録する場合がありうるが、いずれの場合も記録する箇所（グルーブ或いはランド）が狭すぎると記録信号に反応して記録マークができる面積（或いは体積）が狭く、信号が書けずにＳＮ比が悪化する。また光ディスクは記録するトラックピッチに比して記録再生光スポットが大きいため、記録しない箇所（ランド或いはグルーブ）が狭すぎる場合は、隣接トラックの記録マークを誤認識（或いは誤記録）してしまう。よって光ディスクの場合はグルーブ、ランドのいずれも狭くし過ぎる事はできない。一方で広すぎると記録密度の低下を招くため最適な値が存在する。例えばブルーレイディスクの一例では、ランドアンドグルーブのピッチは約０．３２μｍピッチ、ランドとグルーブの幅の比率は１：１程度であり、このピッチは、ディスクリート型磁気ディスクよりも約５倍大きい。一方で、磁気ディスク、特にＤＴＲ媒体の場合はここで言うランド部に記録を行うが、ランドが狭すぎると光ディスクと同じく記録信号に反応して記録マークができる面積が狭く、信号が書けずまたは記録マークが小さく、ＳＮ比が悪化する。ただし、磁気ディスクの場合、記録するトラックピッチに比して記録再生ヘッドの実効面積が小さいため隣接トラックへの誤認識は無視できる。溝により隣接トラックと物理的磁気的に分断されていれば誤記録についても無視できる。そのため記録密度を上げる場合、ランドを狭くするには限界があるが、グルーブ（溝）については隣接トラックと分断さえされていれば狭いほど密度的には有利となる。
【０００８】
このように、ディスクリート媒体表面の凹凸パターンの形成に用いられるスタンパの成形には、光ディスクの作製に使用されてきた射出成形プロセスが有用と考えられるけれども、凹凸パターンに要求されるランド幅とグルーブ幅の比が光ディスクとは異なり、ピッチが小さいことから、光ディスクに用いられていた技術をそのまま使用しても高品質のスタンパが得られないので、さらなる改善が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−１５７５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、高密度記録に対応し得るディスクリート型磁気記録媒体及びこの媒体の製造プロセスに適用可能なスタンパーを容易に得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の樹脂スタンパーの製造方法は、磁気記録層の表面に凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に、該凹凸パターンを転写する際に適用される樹脂スタンパーの製造方法であって、
前記ディスクリートトラックのための凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、及び
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行う工程を具備することを特徴とする。
【００１２】
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録層の表面にディスクリートトラックとして設けられる凹凸パターンに相当する凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行う工程、
該磁気記録媒体の磁気記録層表面と、該樹脂スタンパの表面処理された凹凸パターン面とを、未硬化の紫外線硬化性樹脂層を介して貼り合わせる工程、
該未硬化の紫外線硬化性樹脂層に紫外線を照射して、硬化せしめる工程、
該樹脂スタンパを剥離して、前記磁気記録媒体の片面上に凹凸パターンが転写された紫外線硬化性樹脂層を形成する工程、及び
紫外線硬化性樹脂層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に凹凸パターンを形成する工程を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、高密度記録に対応し得るディスクリート型磁気記録媒体及びこの媒体に適用可能なスタンパーが容易に得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る樹脂スタンパー成形用金型の構成の一例を表す概略図である。
【図２】ディスクリートトラック型磁気記録媒体を形成する工程を表す図である。
【図３】金属スタンパーの製造工程を表す図である。
【図４】本発明のディスクリート型磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の一例を表す図である。
【図５】本発明に係る樹脂スタンパの表面処理前後の凹凸パターン面の様子の一例を表す図である。
【図６】本発明に係る樹脂スタンパの表面処理前後の凹凸パターン面の様子の一例を表す図である。
【図７】本発明に係る樹脂スタンパの表面処理前後の凹凸パターン面の様子の一例を表す図である。
【図８】本発明に係る樹脂スタンパの表面処理前後の凹凸パターン面の様子の一例を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の樹脂スタンパーの製造方法は、磁気記録層の表面に凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に、凹凸パターンを転写する際に適用される凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形により製造する方法であって、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行う。
【００１６】
本発明の樹脂スタンパーの製造方法の一態様によれば、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供する際に、その凸部を細らせて凹部を広げ、幅広の凹部を持つ樹脂スタンパーを形成することができる。
【００１７】
また、本発明の樹脂スタンパーの製造方法の他の態様によれば、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供する際に、その凸部を細らせて凹部を広げ、その凸部の縦断面が三角形状にすることができる。
【００１８】
本発明の樹脂スタンパーの製造方法のさらに他の態様によれば、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供する際に、樹脂スタンパの凹凸パターン面の凹凸を維持しつつ、該凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすることができる。
【００１９】
樹脂スタンパの凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすることにより、ディスクリート型磁気記録媒体の凹凸パターン表面の荒れを防ぐことができるので、ノイズの低い磁気記録媒体を得ることができる。
【００２０】
また、マザースタンパ及びファザースタンパから凹凸パターンの転写を繰り返す場合、凸部幅に対する凹部幅が大きく異なるよりも同等である方が、電子線による露光装置が安価である。細い溝を記録するためにはより大きな加速電圧のものが必要となり、装置が極めて高価となる。また露光に用いる電子ビームが細くなれば電流量が低下して、必要な原盤記録時間も量産工程にとって現実的な値ではなくなる。また、トラック溝を滑らかにしてラフネスを低くすることは困難である。
【００２１】
これに対し、本発明の方法を用いて、樹脂スタンパにランド幅に対するグルーブ幅が同等の凹凸パターンを転写した後、ドライエッチングプロセスにより、凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにするか、あるいは凸部幅を凹部幅より小さく加工すると、ディスクリートトラックを形成するための凹凸パターンを有する樹脂スタンパを、精度良く、容易に、低コストで形成することができる。凸部の縦断面は、矩形であっても三角形状でもよい。
【００２２】
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記樹脂スタンパを用いて磁気記録媒体表面に凹凸パターンを形成する方法であって、
例えば真空下で、磁気記録媒体の磁気記録層表面と、樹脂スタンパの表面処理された凹凸パターン面とを、未硬化の紫外線硬化性樹脂層を介して貼り合わせる工程、
未硬化の紫外線硬化性樹脂層に紫外線を照射して、硬化せしめる工程、
樹脂スタンパを剥離して、磁気記録媒体の片面上に凹凸パターンが転写された紫外線硬化性樹脂層を形成する工程、及び
紫外線硬化性樹脂層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に凹凸パターンを形成する工程を具備する。
【００２３】
本発明の磁気記録媒体の製造方法の一態様によれば、
磁気記録層の表面にディスクリートトラックとして設けられる凹凸パターンに相当する凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、
樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、その凸部を細らせて凹部を広げる処理を行い、幅広の凹部を持つ樹脂スタンパーを形成する工程、
例えば真空下で、該磁気記録媒体の磁気記録層表面と、該幅広の凹部を持つ樹脂スタンパの凹凸パターン面とを、未硬化の紫外線硬化性樹脂層を介して貼り合わせる工程、
未硬化の紫外線硬化性樹脂層に紫外線を照射して、硬化せしめる工程、
樹脂スタンパを剥離して、磁気記録媒体の片面上に幅広の凸部を持つ凹凸パターンが転写された紫外線硬化性樹脂層を形成する工程、
紫外線硬化性樹脂層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に、幅広の凸部を持つ凹凸パターンを形成する工程を具備する方法が提供される。
【００２４】
本発明の磁気記録媒体の製造方法の他の態様によれば、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、その凸部を細らせて凹部を広げる処理を行い、幅広の凹部を持つ樹脂スタンパーを形成する上記工程において、凸部をその縦断面が三角形状を有するまで細らせて凹部を広げることができる。この幅広の凹部を持つ樹脂スタンパを用いて、磁気記録層表面に、本発明の磁気記録媒体の製造方法の一態様と同様の幅広の凸部を持つ凹凸パターンを形成することができる。
【００２５】
本発明の方法を用いて、樹脂スタンパにランド幅に対するグルーブ幅が同等の凹凸パターンを転写した後、ドライエッチングプロセスにより凸部幅を凹部幅より小さく加工すると、精度良く、容易に、凹部幅が凸部幅より小さいディスクリートトラックを有する磁気記録媒体を形成することができる。
【００２６】
本発明の磁気記録媒体の製造方法のさらに他の態様によれば、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、樹脂スタンパーの凹凸パターン面の凹凸を維持しつつ、凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにした樹脂スタンパーを作成し、これを用いて磁気記録層表面に凹凸パターンを形成することができる。
【００２７】
樹脂スタンパの凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすることにより、ディスクリート型磁気記録媒体の凹凸パターン表面の荒れを防ぐことができるので、ノイズの低い磁気記録媒体を得ることができる。
【００２８】
また、本発明にかかる、樹脂スタンパの製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法において、樹脂スタンパの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供する際にＡｒガスまたは、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いることができる。
【００２９】
樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供する際にＡｒガスを用いると、樹脂スタンパの凹凸パターン面の凹凸を維持しつつ、該凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすること、あるいは、さらに、その凸部を細らせて凹部を広げ、矩形状の縦断面を有する凸部及び幅広の凹部を持つ樹脂スタンパーを形成することができる。
【００３０】
また、樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供する際にＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いると、その凸部を細らせて凹部を広げ、その凸部の縦断面が三角形状にすることができる。
【００３１】
以下、図面を参照し、本発明をより詳細に説明する。
【００３２】
図１に、本発明に係る樹脂スタンパー成形用金型の構成の一例を表す概略図を示す。
【００３３】
図示するように、この樹脂スタンパー成形用金型３０は、ランダムな方向に鏡面研磨された金属スタンパー取り付け面１２を備えた固定側型板１と、金属スタンパー３と、固定側型板１に対し、金属スタンパー３を介して対向配置された移動側型板２とを有する。金属スタンパー３は、例えばスパイラルあるいは同心円状のディースクリートトラック、及びサーボ形状に応じた、凹部と凸部の幅が同等の凹凸パターンをもつ凹凸パターン面３ａを有する。４０は、この金型３０を用いて射出成形され得るディスク状の樹脂スタンパーを模式的に表す。
【００３４】
図２に、図１に示す金型から得られた樹脂スタンパーを用いてディスクリートトラックを持つ磁気記録媒体を形成する工程を表す断面図を示す。
【００３５】
樹脂スタンパーを用いて磁気記録媒体を形成するには、図１の金型を用いて射出成形することにより表面処理された樹脂スタンパー４０を得る。固定側型板１上にディスクリートトラック及びサーボパターンに応じた凹凸パターン３ａを有する金属たとえばＮｉスタンパー３を、その凹凸パターン３ａが移動側型板２に向くように載置して、固定側型板１と移動側型板２を合わせて、そのキャビティ内に固定側型板１中央部に通じる注入孔６から、溶融した射出成形樹脂を射出する。続いて、型締めにより加圧した後、冷却することにより、射出成形を行う。成形体の中心部分を図示しないカットパンチにより打ち抜き、中心孔を有するディスク状の樹脂スタンパー４０が得られる。金属スタンパー３の表面３ａには凹凸が刻み込まれている。このため、これを型として成形された樹脂スタンパー４０には、凹凸パターン４ａが転写されている。射出成形樹脂材料としては、例えばシクロオレフィンポリマーやポリカーボネート、アクリルなどを使用することができる。
【００３６】
次に、得られた樹脂スタンパー４０をドライエッチングプロセスに供し、表面処理された凹凸パターン４ａ’を形成する。これにより、凹凸パターン面の凹凸を維持しつつ、該凹凸パターン面の荒れを低減して滑らかにすることができる。あるいは、さらに、その凸部を細らせて凹部を広げ、幅広の凹部を持つ樹脂スタンパーを形成することができる。
【００３７】
次に、図２（ａ）に示すように、基板４２とその上に形成された磁気記録層４１を有する磁気記録媒体４４表面に紫外線硬化樹脂４３を塗布し、その上へこの表面処理された樹脂スタンパー４０を押し付けて紫外線を照射して硬化させる（ＵＶインプリント）。
【００３８】
続いて、図２（ｂ）に示すように、樹脂スタンパー４０を紫外線硬化樹脂から剥す。樹脂スタンパーを剥離して、凹凸パターンが転写された紫外線硬化樹脂層を露出させる
その後、図２（ｃ）に示すように、例えばＣＦ４ガスやＯ２ガスドライエッチングにより、パターン凹部の紫外線硬化樹脂４３の残渣を除去し、凹凸パターンの凹部に磁気記録層４１表面が露出するまで底出しを行う。
【００３９】
さらに、図２（ｄ）に示すように、例えばＡｒ等のイオンミリングにより、紫外線硬化樹脂４３をマスクとして磁気記録層４１表面の加工を行う。これにより磁気記録層４１表面にトラックとサーボパターンの凹凸が形成される。イオンミリングにより、磁気記録層４１表面を加工する。
【００４０】
その後、図２（ｅ）に示すように、紫外線硬化樹脂４３をドライエッチングにより除去することにより、ディスクリートトラック型磁気記録媒体４４’が得られる。
【００４１】
得られた磁気記録媒体に、必要に応じて、パターン凹部への非磁性体の埋め込みや、潤滑剤の塗布、及びテープ研磨などの後工程を行うことが出来る。
【００４２】
なお、ここで取り扱う磁気記録媒体は１．８インチとし、例えば、直径４８ｍｍ±０．２ｍｍ、中心孔の径１２．０１ｍｍ±０．０１ｍｍ、厚み０．５０８ｍｍ±０．０５ｍｍ  とするが、２．５インチ媒体（直径６５ｍｍ±０．２ｍｍ、中心孔の直径２０．０１ｍｍ±０．０１ｍｍ、厚み０．６３５ｍｍ±０．０５ｍｍ）を用いることも出来る。
【００４３】
図３に、金属スタンパーの製造工程を表す図を示す。
【００４４】
図３（ａ）に示すように、まず、Ｓｉウエハ上に電子線レジストを塗布する。
【００４５】
次に、図３（ｂ）に示すように、電子線レジストに電子ビームでトラックとサーボパターンの露光を行う。
【００４６】
続いて、図３（ｃ）に示すように、電子線レジストを現像処理することにより露光部または未露光部を溶解させ、トラックとサーボパターンの凹凸２２’を形成する。
【００４７】
さらに、図３（ｄ）に示すように、この電子線レジストの凹凸２２’上に導電化処理を行った後、Ｎｉメッキを行い、Ｎｉによりパターンを複製して、Ｎｉファザースタンパー２３を作製する。
【００４８】
その後、Ｎｉファザースタンパー２３からＮｉメッキにより、Ｎｉマザースタンパー２４を作製する。
【００４９】
必要に応じて、サンスタンパー、ドータースタンパーを作成することができる。
【００５０】
更に、図３（ｆ）に示すように、Ｎｉマザースタンパー２４の裏面を研磨し、中心孔及び外周を加工して、ドーナツ型にせしめ、射出成形金型に取り付けられるようにする。
【００５１】
本発明では、ディスクリートトラック型の磁気記録媒体に使われる樹脂スタンパに対してドライエッチング処理を行うことで、トラック溝（樹脂スタンパ上では凸部にあたる）を細くかつ滑らかに加工するか、トラック溝を細くする。
【００５２】
本発明のディスクリート型磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の一例の構成図を図４に示す。
【００５３】
本発明に係る情報を記録するための剛構成の磁気ディスク１２１はスピンドル１２２に装着されており、図示しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動される。磁気ディスク１２１にアクセスして情報の記録を行う例えば単磁極型記録ヘッド及び情報の再生を行うためのＭＲヘッドを搭載したスライダー１２３は、薄板状の板ばねからなるサスペンション１２４の先端に取付けられている。サスペンション１２４は図示しない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアーム１２５の一端側に接続されている。
【００５４】
アーム１２５の他端側には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１２６が設けられている。ボイスコイルモータ１２６は、アーム１２５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークにより構成される磁気回路とから構成されている。
【００５５】
アーム１２５は、固定軸１２７の上下２カ所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ１２６によって回転揺動駆動される。すなわち、磁気ディスク１２１上におけるスライダー１２３の位置は、ボイスコイルモータ１２６によって制御される。なお、図１２中、１２８は蓋体を示している。
【実施例】
【００５６】
図５ないし図８に、本発明に係る樹脂スタンパの表面処理前後の凹凸パターン面の様子を表す図を示す。
【００５７】
いずれもＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定した画像である。なお、この例では、樹脂スタンパ材料にポリカーボネートを用い、トラックピッチは７７０ｎｍ、ランドとグルーブの幅の比は約１：１とした。材料にはシクロオレフィンポリマーやアクリルを用いても良く、トラックピッチは更に詰まっていても良い。表面処理はＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ  ）装置で行った。
【００５８】
図５はドライエッチング処理前のイニシャル形状、図６ははＡｒガスを用いて  流量  ５０ｓｃｃｍ，圧力  １．０Ｐａ，  パワー  １４０Ｗ，バイアス  ０ｋＶ，時間  ５分で処理した後の形状、図７はＡｒガスを用いて  流量  ５０ｓｃｃｍ，圧力  １．０Ｐａ，  パワー  ２００Ｗ，バイアス  ０ｋＶ，時間  ３０秒で処理した後の形状、図８はＣＦ４／Ｏ２の混合ガスを用いて  流量  １０／５００ｓｃｃｍ，圧力  ２８Ｐａ，  パワー  ７００Ｗ，時間  ３０秒，  温度３５℃で処理した後の形状である。
【００５９】
図６を見ると、ドライエッチングによりパターンの凸部が細くなっていることがわかる。また図７より、処理時間が短ければパターンの表面が滑らかになることがわかる。ちなみに図５のイニシャル形状の表面粗度は  Ｒｍｓ＝１．００ｎｍ，  Ｒａ＝０．７１６ｎｍ  、図７の処理後形状の表面粗度は  Ｒｍｓ＝０．７９４ｎｍ，  Ｒａ＝０．６６２ｎｍ  である。更に図８では、その断面が矩形であった凸パターンが、肩に当たる部分がドライエッチングされることにより断面が三角形となっていることがわかる。この断面が三角形の樹脂スタンパを、ディスクリート型磁気記録媒体のパターニングのマスク転写に用いることで、より細いトラック溝が形成できることが期待できる。
【００６０】
このように樹脂スタンパに対してドライエッチング（ＲＩＥ）処理を行うことで、ディスクリート型磁気記録媒体のトラック溝を、滑らか（低ラフネス）にすること、及び細くすることが可能である。
【００６１】
次に、本発明により作製したＤＴＲ磁気記録媒体の記録再生実験を行った。
【００６２】
まず、ＤＴＲ媒体上に設ける溝の幅を、２５ｎｍ程度とした。ここではトラックピッチは８３ｎｍとした。この時は磁気記録マークを作るだけのランド幅が確保できずにドライブによる評価はできなかった。
【００６３】
その溝に対して本発明による方法（Ａｒによる短時間処理）で溝を滑らかにしたところ、ＬＥＲ（ラインエッジラフネス）を３σで７ｎｍから５ｎｍへと低減することができた。溝自体が太いためランド幅が確保できずに記録再生までは至らなかったが、今後の原盤記録装置の進歩により細溝が実現（Ｓの向上）すれば、ＬＥＲを低くすることによるノイズの低減（Ｎの低減）で、将来的には良好なＳＮ比を達成できることがわかった。
【００６４】
更に本発明による方法で溝幅を１５ｎｍまで狭くしたところ、十分なＳＮ比を持つ信号を記録するだけのランド幅を確保することができ（ピッチ自体は同じく８３ｎｍ）、Ａｒ長時間処理によるものＣＦ４処理によるもの共にエラーレートが１×１０−４．５と実用レベルに達することができた。
【００６５】
ディスクリートトラック型磁気記録媒体のトラック溝をいかに細くかつ滑らかにすることにより、より良好な記録再生特性が得られる。なぜなら、信号のＳＮ比を確保するためには信号が記録されるランド部を広くすることが望まれ、逆に言えばトラック溝は可能な限り細くすることが望まれるためである。トラック溝のエッジラフネスもノイズ源となるため、信号品質を考えればより滑らかにすることが望ましい。
【００６６】
本発明を用いると、磁気記録媒体へのマスク転写に用いる樹脂スタンパに対してドライエッチング（ＲＩＥ）処理を行うことで、トラック溝（樹脂スタンパ上では凸部にあたる）を細くかつ滑らかに加工することが可能となる。具体的にはＡｒガス単体やＣＦ４／Ｏ２の混合ガスを用いることにより、処理時間を短くして表面ラフネスを向上させたり、より長い時間で処理を行ってトラックを細く加工することができる。
【００６７】
また、このようにして細く滑らかに加工された樹脂スタンパを用いれば、より細いトラック溝を持ち、信号品質に優れ、またトラックピッチを詰めて高密度化が可能なディスクリートトラック型磁気記録媒体を得ることが出来る。
【００６８】
本発明に係る方法は、樹脂スタンパへのドライエッチングという比較的安価な方法で実現でき、トラックの細線化で通常行われるような、高加速電圧の電子ビーム銃などの高価な原盤記録装置の導入は必要ない。また原盤記録時に電子ビームを極度に絞る必要も無いため十分にビーム電流が確保でき、ドーズ量不足により原盤記録が長時間に及ぶことも無く、生産性にも優れる。
【符号の説明】
【００６９】
４ａ…凹凸パターン面、４０…樹脂スタンパー、４１…磁気記録層、４３…紫外線硬化性樹脂層、４４…磁気記録媒体、４４’…ディスクリートトラック型磁気記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年8月9日(2010.8.9)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の樹脂スタンパーの製造方法は、磁気記録層の表面に凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に、該凹凸パターンを転写する際に適用される樹脂スタンパーの製造方法であって、
凹部と凸部が各々同程度の幅をもつ凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、及び
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行うことにより、凸部を細らせて、表面処理前の凸部の０．３６倍以上０．６０倍未満の幅にする工程を具備することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、凹部と凸部が各々同程度の幅をもつ凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、凸部を細らせて、ドライエッチングプロセス前の凸部の０．３６倍以上０．６０倍未満とし、凹部の幅に対する凸部の幅の比を０．２２以上０．４３未満にすることにより、該樹脂スタンパーの表面処理を行う工程、
該磁気記録媒体の磁気記録層表面に設けた未硬化の紫外線硬化性樹脂層に、該樹脂スタンパの表面処理された凹凸パターン面を押し付けて、該磁気記録層と該樹脂スタンパとを該紫外線硬化性樹脂層を介して貼り合わせる工程、
該未硬化の紫外線硬化性樹脂層に紫外線を照射して、硬化せしめる工程、
該樹脂スタンパを剥離して、前記磁気記録媒体の片面上に幅広の凸部を持つ凹凸パターンが転写された紫外線硬化性樹脂層を形成する工程、及び
紫外線硬化性樹脂層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に幅広の凸部を持つ凹凸パターンを形成する工程を具備することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録層の表面に幅広の凸部を持つ凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に該凹凸パターンを転写する際に、該紫外線硬化性樹脂に押し付けて適用される樹脂スタンパーの製造方法であって、
凹部と凸部が各々同程度の幅をもつ凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、及び
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、表面処理を行うことにより、凸部を細らせて、表面処理前の凸部の０．３６倍以上０．６０倍未満の幅にする工程を具備することを特徴とする樹脂スタンパーの製造方法。
【請求項２】
前記樹脂スタンパーの凸パターンは、その縦断面が三角形状を有することを特徴とする請求項１に記載の樹脂スタンパーの製造方法。
【請求項３】
前記ドライエッチングプロセスは、Ａｒガスまたは、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いることを特徴とする請求項１に記載の樹脂スタンパの製造方法。
【請求項４】
凹部と凸部が各々同程度の幅をもつ凹凸パターン面を有する樹脂スタンパーを射出成形する工程、
該樹脂スタンパーの凹凸パターン面をドライエッチングプロセスに供し、凸部を細らせて、ドライエッチングプロセス前の凸部の幅の０．３６倍以上０．６０倍未満の幅とし、凹部の幅に対する凸部の幅の比を０．２２以上０．４３未満にすることにより、該樹脂スタンパーの表面処理を行う工程、
該磁気記録媒体の磁気記録層表面に設けた未硬化の紫外線硬化性樹脂層に、該樹脂スタンパの表面処理された凹凸パターン面を押し付けて、該磁気記録層と該樹脂スタンパとを該紫外線硬化性樹脂層を介して貼り合わせる工程、
該未硬化の紫外線硬化性樹脂層に紫外線を照射して、硬化せしめる工程、
該樹脂スタンパを剥離して、前記磁気記録媒体の片面上に幅広の凸部を持つ凹凸パターンが転写された紫外線硬化性樹脂層を形成する工程、及び
紫外線硬化性樹脂層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に幅広の凸部を持つ凹凸パターンを形成する工程を具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記樹脂スタンパーの凸パターンは、その縦断面が三角形状を有することを特徴とする請求項４に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記ドライエッチングプロセスは、Ａｒガスまたは、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いることを特徴とする請求項４に記載の磁気記録媒体の製造方法。