(57)【要約】【課題】第一配線と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生した場合であっても、製造における容量の精度及び安定性を向上させることが可能な薄膜コンデンサを提供する。【解決手段】矩形状の第一電極２と、第一電極２と第二電極４との間に介装された誘電体層と、第一電極２よりも面積が大きい矩形状の第二電極４を順次積層した薄膜コンデンサ１であって、直線状の第一配線８及び対向配線１０を備え、第一配線８及び対向配線１０の一端を、それぞれ、薄膜コンデンサ１の平面視において、互いに対向させて第一電極２に接続し、第一配線８の幅と対向配線１０の幅を同一とし、第一配線８の長さ方向と対向配線１０の長さ方向を同一とし、第一配線８及び対向配線１０の他端を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第二電極４から突出させる。【選択図】図１
2010123623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の第一電極と、当該第一電極よりも面積が大きい平板状の第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に介装した誘電体層と、を備え、
前記第一電極、前記誘電体層、前記第二電極を順次積層した薄膜コンデンサであって、
直線状の第一配線及び対向配線を備え、
前記第一配線の幅と前記対向配線の幅を同一とし、
前記第一配線の長さ方向と前記対向配線の長さ方向を同一または平行とし、
前記第一配線及び前記対向配線の一端を、それぞれ、前記薄膜コンデンサの平面視において、互いに対向させて前記第一電極に接続し、
前記第一配線及び前記対向配線の他端を、それぞれ、前記薄膜コンデンサの平面視において、互いに離間するように前記第二電極から突出させたことを特徴とする薄膜コンデンサ。
【請求項２】
前記第一電極を、前記薄膜コンデンサの平面視において、前記第一電極全体が前記第二電極と重なる位置に配置したことを特徴とする請求項１に記載の薄膜コンデンサ。
【請求項３】
前記第二電極に一端が接続された第二配線を備え、
前記第一電極を、前記薄膜コンデンサの平面視において、前記第一配線及び前記対向配線が前記第二配線と重ならない位置に配置したことを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜コンデンサ、特に、電極及び配線を形成する金属膜のパターニングを行う金属膜形成工程を製造工程に含む薄膜コンデンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、対向する二枚の電極間に誘電体層を介装したコンデンサとしては、例えば、図８及び図９中に示す構成の薄膜コンデンサ１がある。なお、図８は、従来の薄膜コンデンサ１の構成を示す平面図である。また、図９は、図８のＩＸ―ＩＸ線断面図である。
図８及び図９中に示すように、この薄膜コンデンサ１は、対向する二枚の第一電極２及び第二電極４と、これら第一電極２と第二電極４との間に介装した誘電体層６とを備えている。なお、図８中では、説明のために、第一電極２と第二電極４が水平方向にオフセットした状態を示しているが、実際の第一電極２と第二電極４は、薄膜コンデンサ１の平面視で重なっている。
【０００３】
第一電極２及び第二電極４は、共に、薄膜コンデンサ１の平面視で矩形状に形成されている。また、第一電極２及び第二電極４は、その面積が同一となるように形成されている。すなわち、第一電極２と第二電極４は、同形状に形成されている。
第一電極２は、その一辺に第一配線８が接続されている。また、第二電極４は、その一辺、具体的には、第一電極２の第一配線８を接続した辺と対向する辺に、第二配線１２が接続されている。
【０００４】
このような構成の薄膜コンデンサ１では、第一電極２と第二電極４との対向部分の面積及び誘電体層６の膜厚ＭＷを設定することにより、その容量を設計する。
このため、薄膜コンデンサ１の製造工程において、第一電極２と第二電極４との間に水平方向の位置ずれが発生すると、薄膜コンデンサ１の容量が、設計した容量と異なる値となるという問題が発生するおそれがある。これは、第一電極２と第二電極４との間に水平方向の位置ずれが発生すると、第一電極２と第二電極４との対向部分の面積が、設定した面積と異なる値となるためである。
【０００５】
なお、薄膜コンデンサ１の製造工程において、第一電極２と第二電極４との間に水平方向の位置ずれが発生する場合とは、例えば、第一電極２及び第二電極４に対するフォトリソグラフィを行う際に、フォトマスクのずれが発生した場合等である。
この問題に対し、例えば、特許文献１に記載されている発明が提案されている。
特許文献１に記載の発明は、例えば、図１０中に示すように、薄膜コンデンサ１の平面視において、誘電体層（図示せず）よりも下方に配置する第二電極４の面積を、誘電体層の上方に配置する第一電極２の面積よりも大きくしたものである。なお、図１０は、従来の薄膜コンデンサ１の構成を示す平面図である。
【０００６】
このような構成とすることより、図１１中に示すように、第一電極２と第二電極４との間に水平方向の位置ずれが発生した場合であっても、第一電極２と第二電極４との対向部分の面積の変化を抑制することが可能となる。
なお、図１１は、従来の薄膜コンデンサ１において、互いに水平方向の位置ずれが発生した状態の第一電極２及び第二電極４を示す平面図である。また、図１１（ａ）と図１１（ｂ）には、それぞれ、位置ずれの状態が異なる第一電極２及び第二電極４を示している。また、図１１（ａ）と図１１（ｂ）には、それぞれ、第一配線８と第二電極４の対向部分を、右下がりの斜線で示している。
【特許文献１】特開平７−３３５４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の発明では、第二電極の面積を第一電極の面積よりも大きくして、薄膜コンデンサを構成している。このため、例えば、上記の図１１（ａ）及び図１１（ｂ）中に示すように、第一配線８と第二電極４との間に、第一配線８の長さ方向（図１１中における上下方向）への位置関係が異なる位置ずれが発生すると、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一配線８と第二電極４との対向部分の面積が変化する。
【０００８】
したがって、特許文献１に記載の発明では、製造工程において、第一電極と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生して、第一配線と第二電極との対向部分の面積が変化すると、この変化により、薄膜コンデンサの容量が変化することとなる。これにより、薄膜コンデンサの容量が、設計した容量と異なる値となるという問題が発生する。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、製造工程において、第一配線と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生した場合であっても、容量の変化を抑制することが可能な、薄膜コンデンサを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のうち、請求項１に記載した発明は、平板状の第一電極と、当該第一電極よりも面積が大きい平板状の第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に介装した誘電体層と、を備え、
前記第一電極、前記誘電体層、前記第二電極を順次積層した薄膜コンデンサであって、
直線状の第一配線及び対向配線を備え、
前記第一配線の幅と前記対向配線の幅を同一とし、
前記第一配線の長さ方向と前記対向配線の長さ方向を同一または平行とし、
前記第一配線及び前記対向配線の一端を、それぞれ、前記薄膜コンデンサの平面視において、互いに対向させて前記第一電極に接続し、
前記第一配線及び前記対向配線の他端を、それぞれ、前記薄膜コンデンサの平面視において、互いに離間するように前記第二電極から突出させたことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明によると、第一電極と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生して、第一配線と第二電極との対向部分の面積が変化すると、これに伴い、対向配線と第二電極との対向部分の面積も同じ変化量で変化する。
このため、第一電極と第二電極との間に発生した水平方向の位置ずれに起因する、第一配線と第二電極との対向部分の面積の変化分を、対向配線と第二電極との対向部分の面積の変化分により、相殺することが可能となる。
【００１１】
次に、請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した発明であって、前記第一電極を、前記薄膜コンデンサの平面視において、前記第一電極全体が前記第二電極と重なる位置に配置したことを特徴とするものである。
本発明によると、第一電極と第二電極が薄膜コンデンサの平面視で重ならない部分が発生することを防止することが可能となり、第一電極と第二電極との対向部分の面積が、設定した面積と異なる値となることを防止することが可能となる。
このため、薄膜コンデンサの容量が、設計した容量から変化することを防止することが可能となる。
【００１２】
次に、請求項３に記載した発明は、請求項１または２に記載した発明であって、前記第二電極に一端が接続された第二配線を備え、
前記第一電極を、前記薄膜コンデンサの平面視において、前記第一配線及び前記対向配線が前記第二配線と重ならない位置に配置したことを特徴とするものである。
本発明によると、第二配線と第一配線との対向部分、または第二配線と対向配線との対向部分が形成されることを防止することが可能となる。
このため、第二配線と第一配線との対向部分、または第二配線と対向配線との対向部分による、薄膜コンデンサの容量増加の発生を防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、第一配線と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生した場合であっても、第一配線と第二電極との対向部分の面積の変化分を、対向配線と第二電極との対向部分の面積の変化分により、相殺することが可能となる。
このため、第一配線と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生した場合であっても、薄膜コンデンサの容量の変化を抑制することが可能となり、薄膜コンデンサの製造に関し、容量の精度及び安定性を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
（第一実施形態）
まず、本発明の第一実施形態（以下、「本実施形態」と記載する）について、図面を参照しつつ説明する。
（構成）
まず、図１及び図２を参照して、本実施形態の構成を説明する。なお、上述した従来の薄膜コンデンサと同様の構成については、同一符号を付して説明する。
【００１５】
図１は、本実施形態の薄膜コンデンサ１の構成を示す図であり、薄膜コンデンサ１の平面図である。また、図２は、図１のＩＩ―ＩＩ線断面図である。
図１及び図２中に示すように、この薄膜コンデンサ１は、第一電極２と、第二電極４と、誘電体層６と、第一配線８と、対向配線１０と、第二配線１２とを備えている。
第一電極２は、平板状の部材であり、薄膜コンデンサ１の平面視で矩形状に形成されている。なお、第一電極２の材料としては、例えば、Ａｇ−Ｐｄ系導体を用いる。
【００１６】
第二電極４は、第一電極２と同様、平板状の部材であり、薄膜コンデンサ１の平面視で矩形状に形成されている。なお、第二電極４の材料としては、第一電極２と同様、例えば、Ａｇ−Ｐｄ系導体を用いる。
また、第二電極４の面積は、薄膜コンデンサ１の平面視で、第一電極２よりも大きい。
誘電体層６は、第一電極２と第二電極４との間に介装されている。これにより、薄膜コンデンサ１は、第一電極２、誘電体層６、第二電極４を順次積層して形成されている。なお、誘電体層６の材料としては、例えば、セラミックを用いる。
【００１７】
また、誘電体層６の面積は、第一電極２の面積以下となっている。なお、本実施形態では、図２中に示すように、誘電体層６の面積を、第一電極２の面積と同一とした場合について説明する。
第一配線８は、直線状に形成されている。
第一配線８の一端は、第一電極２の一辺に接続されている。なお、本実施形態では、図１中に示すように、第一電極２に対し、一本の第一配線８のみを接続した場合について説明する。
また、本実施形態では、第一配線８の一端を、第一電極２の四辺のうち、図１の下側に位置する辺（以下、「下辺２ｄ」と記載する）に接続した場合について説明する。また、本実施形態では、図１中に示すように、下辺２ｄのうち図１における左右方向の中心位置に、第一配線８の一端を接続する。
【００１８】
第一配線８の他端は、薄膜コンデンサ１の平面視において、第二電極４から突出している。
また、第一配線８の他端は、図外の抵抗素子等、回路を構成する要素に接続されている。
対向配線１０は、第一配線８と同様、直線状に形成されている。
対向配線１０の一端は、第一電極２の四辺のうち、下辺２ｄと対向する辺に接続されている。なお、本実施形態では、図１中に示すように、第一電極２に対し、一本の対向配線１０のみを接続した場合について説明する。
【００１９】
また、本実施形態では、図１中に示すように、対向配線１０の一端を、第一電極２の四辺のうち、図１の上側に位置する辺（以下、「上辺２ｕ」と記載する）に接続した場合について説明する。また、本実施形態では、図１中に示すように、上辺２ｕのうち図１における左右方向の中心位置に、対向配線１０の一端を接続する。
対向配線１０の他端は、第一配線８の他端と同様、薄膜コンデンサ１の平面視において、第二電極４から突出している。
【００２０】
また、対向配線１０の他端は、図外の抵抗素子等、回路を構成する要素には接続されていない。すなわち、対向配線１０は、薄膜コンデンサ１を用いて形成する回路において、模擬（ダミー）配線となっている。
以上により、第一配線８及び対向配線１０は、第一電極２のうち一対の対向辺（下辺２ｄ及び上辺２ｕ）に、それぞれ、一端が接続されている。これにより、第一配線８及び対向配線１０の一端は、それぞれ、薄膜コンデンサ１の平面視において、互いに対向させて第一電極２に接続されている。
【００２１】
第一配線８及び対向配線１０の幅は、互いに同一となっている。また、第一配線８及び対向配線１０の幅は、第一電極２の四辺のうち、上辺２ｕ及び下辺２ｄの長さよりも短い。
第一配線８及び対向配線１０の長さは、共に、第一電極２の上下方向長さＡ１と第二電極４の上下方向長さＡ２との差（Ａ２−Ａ１）よりも長い。
また、第一配線８及び対向配線１０は、その長さ方向を、互いに同一方向に向けている。具体的には、第一配線８の他端及び対向配線１０の他端を、薄膜コンデンサ１の平面視において、互いに離間する方向へ延在させて、第一配線８及び対向配線１０の長さ方向を、互いに同一方向に向けている。なお、本実施形態では、図１中に示すように、第一配線８及び対向配線１０の長さ方向を、共に、図１における上下方向に向けた場合について説明する。
【００２２】
第二配線１２は、第一配線８及び対向配線１０と同様、直線状に形成されている。
第二配線１２の一端は、第二電極４の一辺に接続されている。なお、本実施形態では、図１中に示すように、第二配線１２の一端を、第二電極４の四辺のうち、図１の右側に位置する辺（以下、「右辺４ｒ」と記載する）に接続した場合について説明する。
また、第二配線１２の他端は、第一配線８と同様、図外の抵抗素子等、回路を構成する要素に接続されている。
また、第二配線１２は、その長さ方向を、第一配線８及び対向配線１０の長さ方向（図１における上下方向）に対して、垂直（図１における左右方向）に向けている。なお、本実施形態では、図１中に示すように、右辺４ｒのうち図１における上下方向の下端に、第二配線１２の一端を接続する。
【００２３】
（製造工程）
以下、図１及び図２を参照して、薄膜コンデンサ１を製造する製造工程の一部について説明する。
薄膜コンデンサ１の製造工程には、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一電極２全体が第二電極４と重なる位置に配置する工程を含む。具体的に、この工程においては、誘電体層６を第一電極２と第二電極４との間に介装する際に、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一電極２全体が第二電極４と重なる位置に配置する。さらに、この工程においては、誘電体層６全体を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一電極２全体と重なる位置に配置する。
【００２４】
なお、図１及び図２中では、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一電極２の中心と第二電極４の中心が重なる位置に配置した状態を示している。
また、上記の工程では、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一配線８及び対向配線１０が、第二配線１２と重ならない位置に配置する。具体的には、製造工程において、誘電体層６を第一電極２と第二電極４との間に介装する際に、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一配線８及び対向配線１０が、第二配線１２と重ならない位置に配置する。
【００２５】
（作用）
次に、図１及び図２を参照しつつ、図３及び図４を用いて、上記の構成を備えた薄膜コンデンサ１の作用について説明する。
まず、図３を用いて、従来構造の薄膜コンデンサ１において、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生した状態の、薄膜コンデンサ１の容量について説明する。
図３は、上述した背景技術の説明で用いた図１０及び図１１中に示したものと同様の構成を有する、従来構造の薄膜コンデンサ１において、互いに水平方向の位置ずれが発生した状態の第一電極２及び第二電極４を示す平面図である。また、図３（ａ）と図３（ｂ）には、それぞれ、位置ずれの状態が異なる第一電極２及び第二電極４を示している。
【００２６】
図３中に示す、従来構造の薄膜コンデンサ１では、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生した場合に、第一電極２と第二電極４の対向部分の面積は変化しないものの、第一配線８と第二電極４の対向部分（以下、「第一対向部１４」と記載する）の面積が変化する。なお、図３（ａ）及び図３（ｂ）中では、共に、第一対向部１４を右下がりの斜線で示している。
具体的には、図３（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１では、第一電極２の上下方向長さをＡ１、第一電極２の左右方向長さをＢ１とし、第一対向部１４の上下方向長さをＡＷ、第一対向部１４の左右方向長さをＢＷとすると、第一電極２及び第一配線８と第二電極４との対向部分の面積は、以下の式（１）から算出される。
Ａ１・Ｂ１＋ＡＷ・ＢＷ…（１）
【００２７】
これに対し、図３（ｂ）中に示すように、第一電極２及び第二電極４に、図３（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１とは異なる状態の位置ずれが発生した薄膜コンデンサ１では、第一配線８の上下方向への位置ずれ分の長さをＸとすると、第一電極２及び第一配線８と第二電極４との対向部分の面積は、以下の式（２）から算出される。なお、図３（ｂ）中には、図３（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１と比較して、第一電極２の位置が、第二電極４に対して、図中の下方にずれた状態を示している。
Ａ１・Ｂ１＋ＢＷ（ＡＷ−Ｘ）…（２）
【００２８】
上記の式（２）から算出されるように、図３（ｂ）中に示す薄膜コンデンサ１では、図３（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１と比較して、第一対向部１４の左右方向長さＢＷと第一配線８の上下方向への位置ずれ分の長さＸとの積の分、第一対向部１４の面積が減少する。これにより、薄膜コンデンサ１の容量が、設計した容量よりも減少した値となる。
【００２９】
以上により、従来構造の薄膜コンデンサ１では、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生すると、薄膜コンデンサ１の容量に関する要素である、第一電極２及び第一配線８と第二電極４との対向部分の面積が、第一配線８の上下方向への位置ずれ分に応じて変化する。
したがって、従来構造の薄膜コンデンサ１では、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生すると、薄膜コンデンサ１の容量が、設計した容量と異なる値に変化する。なお、上記の説明は、誘電体層６の膜厚が設計値から変化していない場合に適用する。
【００３０】
次に、図４を用いて、本実施形態の薄膜コンデンサ１において、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生した状態の、薄膜コンデンサ１の容量について説明する。
図４は、本実施形態の薄膜コンデンサ１において、互いに水平方向の位置ずれが発生した状態の第一電極２及び第二電極４を示す平面図である。また、図４（ａ）と図４（ｂ）には、それぞれ、位置ずれの状態が異なる第一電極２及び第二電極４を示している。
【００３１】
図４（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１の容量は、第一電極２と第二電極４の対向部分の面積に加え、第一対向部１４の面積及び対向配線１０と第二電極４の対向部分（以下、「第二対向部１６」と記載する）の面積に基づいて算出される。これは、誘電体層６の膜厚が設計値から変化していない場合に適用する。なお、図４（ａ）中では、第一対向部１４を右下がりの斜線で示し、第二対向部１６を右上がりの斜線で示している。
【００３２】
具体的には、第一電極２の上下方向長さをＡ１、第一電極２の左右方向長さをＢ１とし、第一対向部１４の上下方向長さをＡＷ、第一対向部１４及び第二対向部１６の左右方向長さをＢＷとする。これに加え、第二対向部１６の上下方向長さをＡＤとすると、第一電極２、第一配線８及び対向配線１０と第二電極４との対向部分の面積は、以下の式（３）から算出される。
Ａ１・Ｂ１＋ＢＷ（ＡＷ＋ＡＤ）…（３）
【００３３】
一方、図４（ｂ）中に示すように、第一電極２及び第二電極４に、図４（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１とは異なる状態の位置ずれが発生した薄膜コンデンサ１では、第一配線８及び対向配線１０の上下方向への位置ずれ分の長さをＸとすると、第一電極２、第一配線８及び対向配線１０と第二電極４との対向部分の面積は、以下の式（４）から算出される。なお、図４（ｂ）中には、図４（ａ）中に示す薄膜コンデンサ１と比較して、第一電極２の位置が、第二電極４に対して、図中の下方にずれた状態を示している。また、図４（ｂ）中では、図４（ａ）中と同様、第一配線８と第二電極４の対向部分を右下がりの斜線で示し、対向配線１０と第二電極４の対向部分を右上がりの斜線で示している。
Ａ１・Ｂ１＋ＢＷ（ＡＷ−Ｘ）＋ＢＷ（ＡＤ＋Ｘ）…（４）
【００３４】
上記の式（４）を、第一配線８及び対向配線１０の上下方向への位置ずれ分の長さであるＸについて整理すると、式（４）と式（３）は、同一の式となる。すなわち、第一電極と第二電極との間に水平方向の位置ずれが発生して、第一対向部１４の面積が変化すると、これに伴い、第二対向部１６の面積も同じ変化量で変化する。これにより、第一電極２及び第二電極４に発生した位置ずれによる、第一対向部１４の面積の減少分は、第二対向部１６の面積の増加分により、相殺されることとなる。
【００３５】
したがって、本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生した場合に、第一対向部１４の面積が変化しても、この変化分を、第二対向部１６の面積の変化分により、相殺することが可能となる。
以上により、本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生した場合であっても、薄膜コンデンサ１の容量に関する要素である、第一電極２、第一配線８及び対向配線１０と第二電極４との対向部分の面積の変化を抑制することが可能となる。このため、第一電極２及び第二電極４に位置ずれが発生しても、薄膜コンデンサ１の容量が、設計した容量と異なる値から変化することを抑制することが可能となる。
【００３６】
（第一実施形態の効果）
以下、本実施形態の効果を列挙する。
（１）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第二電極４よりも面積の小さい第一電極２のうち一対の対向辺に、それぞれ、第一配線８及び対向配線１０の一端を、互いに対向させて接続する。さらに、第一配線８及び対向配線１０の他端を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第二電極４から突出させる。また、第一配線８の幅と対向配線１０の幅を同一とするとともに、第一配線８の長さ方向と対向配線１０の長さ方向を同一とする。
【００３７】
このため、第一電極２と第二電極４との間に水平方向の位置ずれが発生して、第一対向部１４の面積が変化すると、これに伴い、第二対向部１６の面積も同じ変化量で変化する。これにより、第一電極２と第二電極４との間に発生した水平方向の位置ずれに起因する、第一対向部１４の面積の変化分を、第二対向部１６の面積の変化分により、相殺することが可能となる。
その結果、第一配線８と第二電極４との間に水平方向の位置ずれが発生した場合であっても、薄膜コンデンサ１の容量の変化を抑制することが可能となる。これにより、薄膜コンデンサ１の製造に関し、容量の精度及び安定性を向上させることが可能となる。
【００３８】
（２）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一電極２全体が第二電極４と重なる位置に配置する。
このため、薄膜コンデンサ１の製造工程において、第一電極と第二電極が薄膜コンデンサの平面視で重ならない部分が発生することを防止することが可能となる。
その結果、第一電極２と第二電極４との対向部分の面積が、設定した面積と異なる値となることを防止することが可能となるため、薄膜コンデンサ１の容量が、設計した容量から変化することを防止することが可能となる。
【００３９】
（３）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一配線８及び対向配線１０が、第二電極４の一辺に一端を接続した第二配線１２と重ならない位置に配置する。
このため、薄膜コンデンサ１の製造工程において、第二配線１２と第一配線８との対向部分、または第二配線１２と対向配線１０との対向部分が形成されることを防止することが可能となる。
その結果、第二配線１２と第一配線８との対向部分、または第二配線１２と対向配線１０との対向部分による、薄膜コンデンサ１の容量増加の発生を防止することが可能となる。
【００４０】
（応用例）
以下、本実施形態の応用例を列挙する。
（１）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一配線８の長さ方向と対向配線１０の長さ方向を同一としたが、これに限定するものではない。すなわち、例えば、図５中に示すように、第一配線８の一端を、下辺２ｄのうち、図中における左右方向の中心位置よりも左側にオフセットした位置に接続する。これに加え、対向配線１０の一端を、上辺２ｕのうち図中における左右方向の中心位置に接続する。これにより、第一配線８の長さ方向と対向配線１０の長さ方向を、平行としてもよい。なお、図５は、本実施形態の変形例を示す図である。
【００４１】
（２）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第二配線１２の長さ方向を、第一配線８及び対向配線１０の長さ方向に対して、垂直に向けているが、これに限定するものではない。すなわち、例えば、図６中に示すように、第二配線１２の一端を、第二電極４の四辺のうち、図６の下側に位置する下辺４ｄに接続することにより、第二配線１２の長さ方向を、第一配線８の長さ方向と対向配線１０の長さ方向に対して、平行としてもよい。この場合、第二配線１２の一端を、下辺４ｄに接続する位置は、例えば、図中における左右方向の中心位置よりも右側または左側にオフセットした位置に接続して、薄膜コンデンサ１の平面視において、第一配線８と第二配線１２が重ならない位置とすることが好適である。なお、図６は、本実施形態の変形例を示す図である。
【００４２】
（３）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一電極２に対し、一本の第一配線８及び対向配線１０のみを、それぞれ接続したが、これに限定するものではない。すなわち、図７中に示すように、第一電極２に対し、複数本の第一配線８及び対向配線１０を、それぞれ接続してもよい。この場合、図中に示すように、複数本の第一配線８の総幅Ｔａｌｌ（Ｔ１＋Ｔ２＋…＋Ｔｚ）と、複数本の対向配線１０の総幅Ｄａｌｌ（Ｄ１＋Ｄ２＋…＋Ｄｚ）とを、同一の幅とする。すなわち、複数本の第一配線８及び対向配線１０を備える構成であっても、第一配線８の幅と対向配線１０の幅を同一とする。なお、図７は、本実施形態の変形例を示す図である。
【００４３】
（４）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、第一電極２を、薄膜コンデンサ１の平面視で矩形状に形成したが、これに限定するものではない。すなわち、第一電極２を、例えば、薄膜コンデンサ１の平面視で円形状に形成してもよい。
（５）本実施形態の薄膜コンデンサ１では、対向配線１０の他端を、回路を構成する要素には接続せず、対向配線１０を、薄膜コンデンサ１を用いて形成する回路における模擬配線としたが、これに限定するものではない。すなわち、対向配線１０の他端を、抵抗素子等、回路を構成する要素に接続してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の薄膜コンデンサの構成を示す図であり、薄膜コンデンサの平面図である。
【図２】図１のＩＩ―ＩＩ線断面図である。
【図３】従来構造の薄膜コンデンサにおいて、互いに水平方向の位置ずれが発生した状態の第一電極及び第二電極を示す平面図である。
【図４】本発明の薄膜コンデンサにおいて、互いに水平方向の位置ずれが発生した状態の第一電極及び第二電極を示す平面図である。
【図５】本実施形態の変形例を示す図である。
【図６】本実施形態の変形例を示す図である。
【図７】本実施形態の変形例を示す図である。
【図８】従来の薄膜コンデンサの構成を示す平面図である。
【図９】図８のＩＸ―ＩＸ線断面図である。
【図１０】従来の薄膜コンデンサの構成を示す平面図である。
【図１１】従来の薄膜コンデンサにおいて、互いに水平方向の位置ずれが発生した状態の第一電極及び第二電極を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    薄膜コンデンサ
２    第一電極
４    第二電極
６    誘電体層
８    第一配線
１０  対向配線
１２  第二配線
１４  第一対向部
１６  第二対向部
Ａ１  第一電極の上下方向長さ
Ａ２  第二電極の上下方向長さ
Ｂ１  第一電極の左右方向長さ
ＡＷ  第一対向部の上下方向長さ
ＢＷ  第一対向部の左右方向長さ
Ｘ    第一配線の上下方向への位置ずれ分の長さ
ＡＤ  第二対向部の上下方向長さ
Ｔａｌｌ  複数本の第一配線の総幅
Ｄａｌｌ  複数本の対向配線の総幅
ＭＷ  誘電体層の膜厚
【図１】
2010123623.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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