(57)【要約】【課題】圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することの可能な漏洩検査方法および漏洩検査装置を提供する。【解決手段】空隙２Ａ内の流体の圧力を制御するポンプ１２および電磁バルブ１３と、空隙２Ａ内の流体の圧力を測定し、圧力データを出力する圧力センサ１４と、漏洩判定を行う演算部１５とが設けられている。演算部１５は、２種類の圧力データを利用して指数解析を行い、その解析結果に基づいて部品２からの流体の漏洩の有無を判定するようになっている。【選択図】図１
2010271231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第１圧力データに基づいて第１特性値を導出し、前記第１特性値を利用して前記被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第１ステップと
前記判定の結果、前記被検査対象から流体が漏洩している疑いがないと判明した場合には漏洩検査を終了し、前記被検査対象から流体が漏洩している疑いがあると判明した場合には、前記被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第２圧力データに基づいて導出された第２特性値と、前記第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第３特性値とを利用して前記被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第２ステップと
を含む
漏洩検査方法。
【請求項２】
前記第１特性値は、前記第１圧力データにおける圧力変化率、前記第１圧力データにおける圧力変化率と等価な値、または前記第１圧力データにおける指数解析の結果である
請求項１に記載の漏洩検査方法。
【請求項３】
前記第２特性値は、前記第２圧力データにおける圧力変化率、前記第２圧力データにおける圧力変化率と等価な値、または前記第２圧力データにおける指数解析の結果である
請求項２に記載の漏洩検査方法。
【請求項４】
前記第３特性値は、前記第２特性値が前記第２圧力データにおける圧力変化率である場合には、前記第１圧力データにおける指数解析の結果から予測される、前記第２圧力データにおける圧力変化率であり、前記第２特性値が前記第２圧力データにおける圧力変化率と等価な値である場合には、前記第１圧力データにおける指数解析の結果から予測される、前記第２圧力データにおける圧力変化率と等価な値であり、前記第２特性値が前記第１圧力データにおける指数解析の結果である場合には、前記第２圧力データにおける指数解析の結果である
請求項３に記載の漏洩検査方法。
【請求項５】
被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち、前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより第１圧力データを取得し、続いて、前記被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち、所定の期間、測定することにより第２圧力データを取得する第１ステップと、
被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第４特性値と、前記被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち所定の期間、測定することにより得られた第２圧力データに基づいて導出された第５特性値とを利用して前記被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第２ステップと
を含む
漏洩検査方法。
【請求項６】
前記第４特性値は、前記第１圧力データにおける指数解析の結果から予測される、前記第２圧力データにおける圧力変化率、または前記圧力変化率と等価な値である
請求項５に記載の漏洩検査方法。
【請求項７】
前記第５特性値は、漏洩の有無を判定する際に、前記第４特性値として、前記第１圧力データにおける指数解析の結果から予測される、前記第２圧力データにおける圧力変化率を利用する場合には、測定することにより得られた第２圧力データにおける圧力変化率であり、漏洩の有無を判定する際に、前記第４特性値として、前記第１圧力データにおける指数解析の結果から予測される、前記第２圧力データにおける圧力変化率と等価な値を利用する場合には、測定することにより得られた第２圧力データにおける圧力変化率と等価な値である
請求項６に記載の漏洩検査方法。
【請求項８】
前記第５特性値は、漏洩の有無を判定する際に、前記第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果を利用する場合には、測定することにより得られた第２圧力データにおける指数解析の結果である
請求項５に記載の漏洩検査方法。
【請求項９】
前記第１圧力および前記第２圧力のいずれか一方は外気圧である
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項１０】
前記第１圧力データおよび前記第２圧力データは、前記被検査対象内の流体の圧力と、基準として準備された基準容器内の流体の圧力との差圧である
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項１１】
前記第１圧力データおよび前記第２圧力データは、前記被検査対象内の流体の圧力である
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項１２】
前記第１圧力データまたは前記第２圧力データは、前記被検査対象内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束した後に計測されたものである
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項１３】
前記第１圧力データまたは前記第２圧力データは、前記被検査対象内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から計測されたものである
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項１４】
被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第１圧力データに基づいて第１特性値を導出し、前記第１特性値を利用して前記被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第１判定部と
前記判定の結果、前記被検査対象から流体が漏洩している疑いがないと判明した場合には漏洩検査を終了し、前記被検査対象から流体が漏洩している疑いがあると判明した場合には、前記被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第２圧力データに基づいて導出された第２特性値と、前記第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第３特性値とを利用して前記被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第２判定部と
を備えた漏洩検査装置。
【請求項１５】
被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち、前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより第１圧力データを取得し、続いて、前記被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち、所定の期間、測定することにより第２圧力データを取得するデータ取得部と、
被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち前記被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第４特性値と、前記被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち所定の期間、測定することにより得られた第２圧力データに基づいて導出された第５特性値とを利用して前記被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する判定部と
を備えた漏洩検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管やタンクなどの被検査対象からの流体の漏洩を検査する漏洩検査方法および漏洩検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料ガスや石油類などの流体を、配管を用いて輸送したり、各種の圧力タンク内に貯蔵したりする場合には、流体の漏洩の有無またはその程度を検査することが非常に重要である。これらの流体の漏洩は、流体自体の損失や、引火の危険、環境の汚染等につながるからである。
【０００３】
これらの漏洩を検査する方法のうち、最も基本的な方法として、圧力式漏洩検査方法が挙げられる。この方法は、配管やタンク内の流体を所定圧力に加圧し、配管やタンクを閉塞した状態で配管やタンク内の流体の圧力変化を測定することで、流体の漏洩の有無またはその程度を検査するものである。
【０００４】
しかし、これらの流体の圧力は、周囲の温度変化によっても変化してしまう。したがって、この検査方法において、検査精度を向上させ、信頼性のある検査とするためには、配管やタンク内の流体の圧力変化を測定する際に、その圧力変動分が流体の漏洩に起因するものなのか、あるいは流体の温度変化に起因するものなのかを判別し、流体の温度変化に起因する変化分を適切に除去する必要がある。
【０００５】
そこで、従来から、漏洩検査における温度補償に関する方策が多数、提案されている。それらは、おおまかには以下の４つのカテゴリに分類される。
（１）被検査対象の温度変化を軽減する方法（例えば特許文献１）
（２）被検査対象と同じ温度変化をするマスタを用意し、被検査対象とマスタとの差圧を検出する方法（例えば特許文献２）
（３）漏洩検査の前後の圧力変化から温度変化の有無を推定する方法
（４）温度センサの出力信号を用いて温度補償する方法（例えば特許文献３）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２６０１６号公報
【特許文献２】特開２００４−６１２０１号公報
【特許文献３】特開２００１−２７５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述のいずれの方法も、適用限界や弱点を有しており、流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去するのは困難であった。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することの可能な漏洩検査方法および漏洩検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の漏洩検査方法は、以下の２つのステップを含むものである。
（Ａ１）被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第１圧力データに基づいて第１特性値を導出し、第１特性値を利用して被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第１ステップ
（Ａ２）判定の結果、被検査対象から流体が漏洩している疑いがないと判明した場合には漏洩検査を終了し、被検査対象から流体が漏洩している疑いがあると判明した場合には、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第２圧力データに基づいて導出された第２特性値と、第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第３特性値とを利用して被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第２ステップ
【００１０】
本発明の第１の漏洩検査装置は、第１圧力データに基づいて第１特性値を導出し、第１特性値を利用して被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第１判定部を備えたものである。第１圧力データは、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られたものである。この漏洩検査装置は、判定の結果、被検査対象から流体が漏洩している疑いがないと判明した場合には漏洩検査を終了し、被検査対象から流体が漏洩している疑いがあると判明した場合には、さらに以下の判定を行うものである。具体的には、この漏洩検査装置は、第２圧力データに基づいて導出された第２特性値と、第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第３特性値とを利用して被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定するようになっている。第２圧力データは、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られたものである。
【００１１】
本発明の第１の漏洩検査方法および第１の漏洩検査装置では、まず、１種類の圧力データを利用した漏洩判定が行われ、その結果、漏洩の疑いがあるときだけ、２種類目の圧力データを利用した漏洩判定が行われる。２回目の漏洩判定では、指数解析が行われる。これにより、温度変化に起因する圧力変動と、漏洩に起因する圧力変動とを区別することができるので、圧力データから温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。
【００１２】
本発明の第２の漏洩検査方法は、以下の２つのステップを含むものである。
（Ｂ１）被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち、被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより第１圧力データを取得し、続いて、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち、所定の期間、測定することにより第２圧力データを取得する第１ステップ
（Ｂ２）被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られた第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第４特性値と、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち所定の期間、測定することにより得られた第２圧力データに基づいて導出された第５特性値とを利用して被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する第２ステップ
【００１３】
本発明の第２の漏洩検査装置は、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち、被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより第１圧力データを取得し、続いて、被検査対象内の流体の圧力を前記第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち、所定の期間、測定することにより第２圧力データを取得するデータ取得部を備えたものである。この漏洩検査装置は、さらに、第１圧力データに基づいて導出された指数解析の結果もしくはこの結果を用いて導出された第４特性値と、第２圧力データに基づいて導出された第５特性値とを利用して被検査対象からの流体の漏洩の有無を判定する判定部を備えている。第１圧力データは、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力にしたのち被検査対象内の流体の圧力を所定の期間、測定することにより得られたものである。第２圧力データは、被検査対象内の流体の圧力を第１圧力とは異なる第２圧力にしたのち所定の期間、測定することにより得られたものである。
【００１４】
本発明の第２の漏洩検査方法および第２の漏洩検査装置では、２種類の圧力データのうち最初の圧力データを利用した指数解析が行われる。これにより、温度変化に起因する圧力変動と、漏洩に起因する圧力変動とを区別することができるので、圧力データから、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の第１および第２の漏洩検査方法ならびに第１および第２の漏洩検査装置によれば、圧力データから、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができるようにした。これにより、漏洩の有無を確実に判定することができる。つまり、本発明では、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る漏洩検査装置の概略構成図である。
【図２】被検査対象内の圧力の経時変化の一例を表す図である。
【図３】図１の漏洩検査装置による漏洩検査の手順を表す図である。
【図４】被検査対象内の圧力の経時変化の他の例を表す図である。
【図５】被検査対象内の圧力の経時変化の他の例を表す図である。
【図６】被検査対象内の圧力の経時変化の他の例を表す図である。
【図７】図１の被検査対象とは異なる被検査対象としたときの漏洩検査装置の概略構成図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る漏洩検査装置の概略構成図である。
【図９】図８の被検査対象とは異なる被検査対象としたときの漏洩検査装置の概略構成図である。
【図１０】図３の漏洩検査の手順一変形例を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．第１の実施の形態（ゲージ圧式の漏洩検査）
・漏洩検査装置の構成
・漏洩検査の手順
・漏洩検査の原理
・指数解析の手法
・効果
２．第１の実施の形態の変形例（被検査対象が配管である例）
３．第２の実施の形態（差圧式の漏洩検査）
４．第２の実施の形態の変形例（被検査対象が配管である例）
５．各実施の形態およびその変形例に共通する変形例（検査手順のバリエーション）
【００１８】
＜第１の実施の形態＞
［漏洩検査装置の構成］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る漏洩検査装置１の概略構成を表すものである。この漏洩検査装置１は、被検査対象の漏洩検査を行うものである。被検査対象は、例えば、ダイキャスト製の部品や、容器である。ここで、「容器」とは、流体をその内部に充填する「器」を意味しており、例えば、配管や、配管よりも容積の大きいタンクなどを包括する概念である。また、「流体」とは、気体または液体からなる単相状態の物質体に加え、気体、液体または固体のうちの二相以上が混在した状態のもの、さらにそれらが複数種類混合したものをも含む概念である。
【００１９】
なお、以下では、被検査対象が、例えばエンジンのギヤボックスケースなどに用いられるダイキャスト製の部品２である場合について説明する。
【００２０】
漏洩検査装置１は、例えば、図１に示したように、基台１０と、基台１０の上面に設けられたシール材１１とを備えている。基台１０は、被検査対象である部品２を固定するためのものであり、例えば、図１に示したように、シール材１１を介して部品２と密着している。基台１０は、配管１８の一端に接続された貫通孔１０Ａを有している。貫通孔１０Ａは、基台１０上に部品２を固定したときに基台１０と部品２とによって形成される空隙２Ａと連通する位置に形成されている。シール材１１は、空隙２Ａの気密性を確保するためのものである。空隙２Ａには、例えば、流体として気体が充填されている。
【００２１】
この漏洩検査装置１は、また、例えば、図１に示したように、配管１８の一端に接続されたポンプ１２と、配管１８の中途に接続された電磁バルブ１３とを有している。ポンプ１２は、空隙２Ａ内の流体の圧力を制御するものであり、配管１８を介して流体を空隙２Ａ内に供給したり、空隙２Ａ内に充填されている流体をポンプ１２に取り込んだりすることにより、空隙２Ａ内の流体を加圧または減圧するものである。電磁バルブ１３は、後述の圧力センサ１４において圧力を測定する際に閉じてポンプ１２と空隙２Ａとを分離したり、ポンプ１２を駆動する際に開いてポンプ１２と空隙２Ａとを連通させたりするものである。
【００２２】
なお、漏洩検査装置１は、空隙２Ａの圧力を制御する機構（圧力制御部）として、上述のポンプ１２および電磁バルブ１３以外の機構を備えていてもよい。漏洩検査装置１は、例えば、ダイアフラムとムービングコイルとを組み合わせたものを備えていてもよい。
【００２３】
この漏洩検査装置１は、さらに、例えば、図１に示したように、圧力センサ１４（圧力測定部）と、演算部１５（漏洩判定部）と、駆動部１６と、表示部１７とを備えている。
【００２４】
圧力センサ１４は、空隙２Ａ内の流体の圧力を測定するものであり、例えば、基台１０の貫通孔１０Ａと、貫通孔１０Ａに連結された配管１８とを介して空隙２Ａと連通している。圧力センサ１４は、測定した圧力を圧力信号１４Ａとして演算部１５に出力するようになっている。圧力センサ１４によって測定される圧力は、絶対圧力であるとは限らず、例えば、ゲージ圧力（空隙２Ａ内の圧力と外気圧との圧力差）や、他の流体との相対圧力であってもよい。なお、上述の外気圧は、一般的には大気圧であるが、それとは異なる圧力であってもよい。
【００２５】
駆動部１６は、演算部１５からの制御信号に基づいて、ポンプ１２および電磁バルブ１３を駆動するものである。表示部１７は、演算部１５からの、判定結果に対応する信号に基づいて、判定結果を表示し、ユーザへ知らせるものである。なお、ユーザへ知らせる手段として、表示部１７の代わりに、あるいはそれに加えて、例えば、音声を出力するスピーカなどを用いてもよい。
【００２６】
演算部１５は、駆動部１６を制御する機能と、圧力センサ１４から出力された圧力信号１４Ａに基づいて部品２からの流体の漏洩の有無を検査する機能とを有している。以下に、演算部１５において行われる漏洩検査の手順について説明する。
【００２７】
［漏洩検査の手順］
図２は、漏洩検査を行うに際して実施される圧力変動の経時的な変化の一例を表したものである。図３は、演算部１５において実行される漏洩検査の手順の一例を表したものである。演算部１５は、まず、空隙２Ａ内の流体の圧力を所定の圧力（第１圧力）にする（ステップＳ１）。具体的には、演算部１５は、時刻ｔ1に部品２内の流体に対する加圧（圧力変動）を開始し、空隙２Ａ内の流体の圧力が所定の大きさに達したところ（時刻ｔ2）で、加圧（圧力変動）を停止する。
【００２８】
次に、演算部１５は、例えば、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が減衰し収束した後（時刻ｔ3）に、圧力センサ１４から出力される圧力データ（圧力信号１４Ａ）を取得し始める（ステップＳ２）。このとき、演算部１５は、圧力データの取得を、時刻ｔ3から時刻ｔ4までの所定の区間（第１区間Δｔ1）、連続して行う。なお、演算部１５が、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し始めてもよい。また、演算部１５は、この段階で、一連の圧力データ（圧力信号１４Ａ）を利用した指数解析を直ちに行ってもよいし、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行ってもよい。本実施の形態では、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行うものとする。なお、指数解析の具体的な方法については、後に詳述する。
【００２９】
次に、演算部１５は、空隙２Ａ内の流体の圧力を現在の圧力（第１圧力）とは異なる圧力（第２圧力）にする（ステップＳ３）。具体的には、演算部１５は、時刻ｔ4において空隙２Ａ内の流体に対する減圧（圧力変動）を開始し、空隙２Ａ内の流体の圧力が所定の大きさに達したところ（時刻ｔ5）で減圧（圧力変動）を停止する。このとき、空隙２Ａ内の流体の圧力が外気圧（例えば大気圧）またはほぼ外気圧となっていることが好ましい。また、空隙２Ａ内の流体の圧力を減圧するに際して、配管１８に設けられた圧力調整弁１９を開放して空隙２Ａと、外部とを連通させ、その後、空隙２Ａ内の流体の圧力が所望の圧力となったところで圧力調整弁１９を閉塞するようにしてもよい。
【００３０】
次に、演算部１５は、例えば、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が減衰し収束した後（時刻ｔ6）に、２度目の圧力データを取得し始める（ステップＳ４）。このとき、演算部１５は、圧力データの取得を、時刻ｔ6から時刻ｔ7までの所定の区間（第２区間Δｔ2）、連続して行う。なお、演算部１５が、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し始めてもよい。また、演算部１５は、この段階で、一連の圧力データ（圧力信号１４Ａ）を利用した指数解析を直ちに行ってもよいし、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行ってもよい。本実施の形態では、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行うものとする。
【００３１】
次に、演算部１５は、漏洩の有無の判定を行う。具体的には、演算部１５は、まず、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データ、第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用して指数解析を行う（ステップＳ５）。続いて、演算部１５は、その解析結果に基づいて部品２からの流体の漏洩の有無を判定する（ステップＳ６）。例えば、演算部１５は、まず、第１区間Δｔ1の圧力データの経時的な変化を指数関数で近似すると共に、第２区間Δｔ2の圧力データの経時的な変化を指数関数で近似する。続いて、演算部１５は、第１区間Δｔ1の圧力データから求めた指数関数の減衰係数と、第２区間Δｔ2の圧力データから求めた指数関数の減衰係数とが所定の相関関係にあるか否かを判定する。相関の程度については、双方の減衰係数が後述の所定の相関関係式に完全に当てはまる必要はなく、ある程度の幅（誤差）を持っていてもよい。その結果、これらが所定の相関関係にない場合には、演算部１５は、部品２から流体が漏洩している疑いがあると判定し、その旨を表示部１７に表示する（ステップＳ７）。その逆に、これらが所定の相関関係にある場合には、演算部１５は、部品２から流体が漏洩している疑いはないと判定し、その旨を表示部１７に表示する（ステップＳ８）。なお、ステップＳ６において、演算部１５は、漏洩の疑い有りと判定を下した際に、再度、圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し直し、その一連の圧力データを利用して指数解析を行い、減衰係数の相関関係を判定し直してもよい。
【００３２】
なお、上述の漏洩判定では、第１区間Δｔ1の圧力が第２区間Δｔ2の圧力よりも大きくなっていたが、例えば、図４に示したように、第１区間Δｔ1と第２区間Δｔ2の経時的な順番を逆にし、最初の指数解析区間の圧力が次の指数解析区間の圧力よりも小さくなるようにしてもよい。また、上述の漏洩判定では、第１区間Δｔ1の圧力を得るに際して空隙２Ａ内の流体に対して加圧処理がなされていたが、例えば、図５に示したように、減圧処理がなされてもよい。さらに、例えば、図６に示したように、図５に示したプロセスにおいて第１区間Δｔ1と第２区間Δｔ2の経時的な順番を逆にし、最初の指数解析区間の圧力が次の指数解析区間の圧力よりも大きくなるようにしてもよい。
【００３３】
［漏洩検査の原理］
次に、上述した漏洩検査の原理について説明する。漏洩検査においては、被検査対象の温度が指数関数的に減衰していると仮定することができる場合が少なくない。例えば、ダイキャストワークの鬆（す）の検査や、配管施工工事後の検査などでは、洗滌（せんてき）や接続部融着などの前工程において、被検査対象が加熱ないしは冷却されて、その温度が外部の温度（例えば室温）と異なっている場合が多い。この場合、漏洩検査を実施している間、被検査対象の温度が徐々に外部の温度に平衡することになるので、その温度変化はほぼ指数関数的である。このような場合には、互いに異なる２つの圧力において、減衰係数（時定数）を推定することにより、温度変化と漏洩とを区別する簡便なアルゴリズムを考えることができる。
【００３４】
いま、第１区間Δｔ1において、空隙２Ａ内の流体の平均温度Ｔ（ｔ）が数１で示された関係を有しているものと仮定する。数１において、Ｔ2は、被検査対象の周囲の雰囲気の温度であり、通常は、外気温または室温である。ΔＴは、Ｔ2−Ｔ（０）である。Ｔ（０）は、時刻ｔ＝０であるときの温度である。βは、減衰係数である。なお、本実施の形態では、例えば、図２中の時刻ｔ3を基準にとっており、数式内の時刻ｔは、時刻ｔ3を原点として測ったときの経過時間を表している。
【数１】
2010271231.tif 000003
【００３５】
（流体の漏洩が存在しない場合）
もし流体の漏洩が存在しない場合には、空隙２Ａ内の圧力は数２で示される。数２において、Ｍ(1)は、閉塞時（第１区間Δｔ1）の空隙２Ａ内の流体の質量である。Ｖ0は、空隙２Ａの容積である。Ｒは、気体定数である。ｍは、空隙２Ａ内の気体の分子量である。なお、数２における上付き添え字の（１）は、第１区間Δｔ1における推定値であることを意味する。
【数２】
2010271231.tif 000004
【００３６】
ただし、数３、数４に示した関係式が成り立つことから、数２の右辺は、数５に示したようになる。数５において、Ｐ1は、第１区間Δｔ1終了時の圧力である。
【数３】
2010271231.tif 000005
【数４】
2010271231.tif 000006
【数５】
2010271231.tif 000007
【００３７】
数５を利用して指数解析を行うことにより、減衰係数β（あるいはその逆数である時定数）、減衰振幅Ａ(1)およびバイアスオフセットＢ(1)の値を推定することができる。
【００３８】
次に、第２区間Δｔ2において、もし流体の漏洩が存在しない場合には、空隙２Ａ内の流体の圧力は数６で示されるはずである。数６において、Ｍ(2)は、閉塞時（第２区間Δｔ2）の空隙２Ａ内の流体の質量である。Δｔは、第１区間Δｔ1と第２区間Δｔ2との時間間隔であり、図２においてｔ6−ｔ3に相当するものである。数６の左辺をＰ’（ｔ）に置き換えると、数７に示した式となる。なお、数７における上付き添え字の（２）は、第２区間Δｔ2における推定値であることを意味する。
【数６】
2010271231.tif 000008
【数７】
2010271231.tif 000009
【００３９】
ここで、第２区間Δｔ2における減衰係数β(2)、減衰振幅Ａ(2)およびバイアスオフセットＢ(2)の値は、以下の数８、数９および数１０を満たすはずである。なお、数８、数９、数１０において、雑音などの影響による推定誤差は考慮されていない。
【数８】
2010271231.tif 000010
【数９】
2010271231.tif 000011
【数１０】
2010271231.tif 000012
【００４０】
第１区間Δｔ1における３つの推定値と、第２区間Δｔ2におけるにおける３つの推定値とが、上述の数８、数９および数１０を満たす場合には、第１区間Δｔ1における圧力低下は、漏洩によるものではなく、温度の指数関数的低下に起因するものであると判定することができる。
【００４１】
（温度変化が無く、漏洩のみが存在する場合）
次に、温度変化が無く、漏洩のみが存在する場合について考察する。この時の第１区間Δｔ1における圧力変化は数１１となる。また、圧力は指数減衰し、数１２、数１３を満たす。数１２において、ｋは、時定数である。Ｐ2は、第２区間Δｔ2終了時の圧力である。ΔＰは、第１区間Δｔ1終了時の圧力Ｐ1と、第２区間Δｔ2終了時の圧力Ｐ2との圧力差である。
【数１１】
2010271231.tif 000013
【数１２】
2010271231.tif 000014
【数１３】
2010271231.tif 000015
【００４２】
これに対して、第２区間Δｔ2では、内外圧力差がゼロとなっているので、圧力は変化せず、一定である。すなわち、漏洩に起因する圧力の指数関数的変化は、第１区間Δｔ1においてのみ生じ得る。つまり、温度変化が無く、漏洩が存在する場合には、第１区間Δｔ1における３つの推定値と、第２区間Δｔ2におけるにおける３つの推定値とが、上述の数８、数９および数１０を満たさない。言い換えると、第２区間Δｔ2におけるにおける３つの推定値を推定することが困難となる。
【００４３】
（温度変化および漏洩の双方が存在する場合）
次に、周囲温度の指数関数的変化と、漏洩による圧力の指数関数的減衰との双方が同時に存在する場合について考察する。このとき、第１区間Δｔ1において、双方の指数関数が重なり合い、数１４に示した関数形となる。
【数１４】
2010271231.tif 000016
【００４４】
一方、第２区間Δｔ2においては、漏洩による圧力変化が無いので、数１５に示した圧力変化を示すはずである。従って、第１区間Δｔ1における３つの推定値と、第２区間Δｔ2におけるにおける３つの推定値とが、上述の数８、数９および数１０を満たさない。
【数１５】
2010271231.tif 000017
【００４５】
以上のことから、図２に示したような２つの区間で指数解析を行い、それらの結果が上述の数８、数９および数１０を満たすか否かを指標として、漏洩の有無を判別することが可能である。
【００４６】
なお、上述の理論は、図２に示した圧力変動のケースだけでなく、図４、図５および図６のケースにおいても成り立つ。
【００４７】
［指数解析の手法］
次に、指数解析の手法について説明する。本実施の形態では、指数解析の手法として、例えば、フーリエ変換を用いる。以下に、フーリエ変換を用いた指数解析の手法について説明する。
【００４８】
指数解析区間の間の圧力ｐ（ｔ）が、数１６で表されるとする。
【数１６】
2010271231.tif 000018
【００４９】
この関数をＴ秒周期でサンプルして、数１７に示したデータ系列を計測し、ＤＦＴを計算する。ノイズの影響がなければ、ＤＦＴは数１８に示したようになる。
【数１７】
2010271231.tif 000019
【数１８】
2010271231.tif 000020
【００５０】
ここで、数１９に示したようにΩを定義すると、Ωは数２０、数２１を満たす。その結果、指数解析区間における指数関数のパラメータを、数２１、数２２、数２３によって推定することができる。例えば、数２１、数２２、数２３に示した推定式で表される量の推定値（最尤推定値または最小二乗推定値）を求め、この推定値から指数関数のパラメータ（β、Ａ，Ｂ）を求めることができる。これらの推定式は、従来から一般的に知られているフーリエ変換法の推定式とは異なっている。数２１、数２２、数２３に示した推定式では、実計算における有限時間性の影響が考慮されているので、正確な推定値が得られる。
【数１９】
2010271231.tif 000021
【数２０】
2010271231.tif 000022
【数２１】
2010271231.tif 000023
【数２２】
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【数２３】
2010271231.tif 000025
【００５１】
なお、指数解析の手法として、例えば、非線形最適化法を用いることも可能である。特に、圧力信号が２つ以上の指数関数からなる場合のパラメータ推定には、非線形最適化法が適している。なお、非線形最適化法としては、A.A.Istratov and O.F.Vyvenko: Exponential analysis in physical phenomena, RSI, 70(2), 1233/1257, 1999などの文献にも記載されているように、例えば、Simplex法、Newton-Raphson法をベースとした各種の方法、準ニュートン法、Gauss-Newton法をベースとした方法、マルカート法などが挙げられる。
【００５２】
ところで、圧力信号が２つ以上の指数関数を含むのは、例えば、以下の３つの場合である。
（１）温度変化と漏洩の両方がある場合
（２）温度の過渡的な変化が収束する前に圧力データを取得した場合
（３）被検査対象の伝熱システムとしての特性が検査中途で変化した場合
【００５３】
まず、上記の（１）の場合では、非線形最適化法を用いることにより、温度変化と漏洩の両方の指数パラメータを推定することができる。その結果、温度変化のみがある区間（例えば大気圧にした場合）と、温度変化と漏洩の両方がある区間（第１圧力にした場合）とで、温度変化のパラメータが一致する一方で、漏洩の方のパラメータが一致しない（相関関係にない）という結果が出るので、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。なお、上記の（１）の場合において、フーリエ変換法を用いた場合には、指数パラメータの推定自体は正確には行われない。しかし、温度変化のみがある区間と、温度変化と漏洩の両方がある区間とで、指数パラメータが一致しない（相関関係にない）という結果が出る。そのため、フーリエ変換法を用いた場合でも、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することは可能である。
【００５４】
次に、上記の（２）の場合（請求項１３）には、本来の指数関数が１つだけであっても、過渡的な温度変化に伴う指数関数が含まれることになる。従って、この場合には、非線形最適化法を用いることが有利だと思われる。また、上記の（３）の場合についても、非線形最適化法を用いて指数関数を分離し、それぞれを推定した方が有利だと思われる。
【００５５】
［効果］
本実施の形態では、空隙２Ａ内の流体の圧力を制御するポンプ１２および電磁バルブ１３と、空隙２Ａ内の流体の圧力を測定し、圧力データを出力する圧力センサ１４と、漏洩判定を行う演算部１５とが設けられている。そして、演算部１５において、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データと、第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用して指数解析が行われる。これにより、減衰係数の相関関係から、温度変化に起因する圧力変動と、漏洩に起因する圧力変動とを区別することができるので、２種類の圧力データから、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。その結果、漏洩の有無を確実に判定することができる。このように、本実施の形態では、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【００５６】
＜第１の実施の形態の変形例＞
上記第１の実施の形態では、被検査対象が、図１に示したようなダイキャスト製の部品２である場合について説明したが、例えば、図７に示したような配管３であってもよい。この配管３は、例えば、燃料ガスや石油類などの流体を輸送する際の経路としての役割を有しており、流体をその内部に有している。このとき、配管３は、所定の位置に一対の弁３Ａ、３Ｂを有している。これらの弁３Ａ、３Ｂは、漏洩検査を行う際に、所定の配管領域を閉塞するものである。
【００５７】
本変形例においても、上記実施の形態と同様、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データと、第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用した指数解析を行うことが可能である。したがって、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【００５８】
＜第２の実施の形態＞
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る漏洩検査装置４の概略構成を表すものである。この漏洩検査装置４は、差圧式の漏洩検査を行うものであり、ゲージ圧式の漏洩検査を行う漏洩検査装置１とは検査方式の点で相違する。また、検査方式の相違に伴い、漏洩検査装置４は、漏洩検査装置１とは異なる構成を備えている。そこで、以下では、漏洩検査装置１との共通点についての説明を適宜、省略し、漏洩検査装置１との相違点についての説明を主に行うものとする。
【００５９】
本実施の形態の漏洩検査装置４は、例えば、図８に示したように、上記実施の形態と同様、基台１０、シール材１１、ポンプ１２、電磁バルブ１３および配管１８を備えている。この漏洩検査装置４は、また、例えば、図８に示したように、差圧センサ４１、基準容器４２、電磁バルブ４３および配管４４を備えている。差圧センサ４１は、配管１８の中途に挿入されている。配管１８の一端が基台１０の貫通孔１０Ａに連結され、配管１８の他端がポンプ１２に連結されている。配管１８のうちポンプ１２と差圧センサ４１との間に電磁バルブ１３が挿入されており、配管１８のうち電磁バルブ１３と差圧センサ４１との間に、基準容器４２内の空隙４２Ａと連通する貫通孔４２Ｂが連結されている。さらに、配管４４の一端が配管１８のうちポンプ１２と電磁バルブ１３との間に連結されており、配管４４の他端が配管１８のうち差圧センサ４１と貫通孔１０Ａとの間に連結されている。
【００６０】
差圧センサ４１は、配管１８の空隙２Ａ側の圧力と、配管４３の空隙４２Ａ側の圧力との差圧を計測するものである。差圧センサ４１は、差圧を計測するものであることから、上記実施の形態の圧力センサ１４よりも高い分解能を有している。従って、差圧センサ４１は、部品２内の圧力や、基準容器４２内の圧力のわずかな変動を確実に検知することができる。基準容器４２は、例えば、漏洩の無い容器であり、被検査対象内の容積と同様の容積の空隙４２Ａを有している。空隙４２Ａには、必要に応じて何らかの構造物が設けられていてもよい。基準容器４２は、部品２と同一の環境下に置かれており、基準容器４２の周囲温度は部品２の周囲温度とほぼ同一である。従って、基準容器４２内の圧力と部品２内の圧力との差圧を測定することにより、外部温度の影響を取り除くことができる。電磁バルブ１３，４３は、基準容器４２内の圧力と部品２内の圧力との差圧を測定する際に閉じ、ポンプ１２を駆動する際に開く用途で設けられたものである。ポンプ１２は、本実施の形態では、配管１８，４４を介して流体を部品２および基準容器４２の内部に供給したり、流体を部品２および基準容器４２の内部に充填されている流体をポンプ１２に取り込んだりすることにより、流体を部品２および基準容器４２の内部の流体を加圧または減圧するものである。
【００６１】
本実施の形態の漏洩検査装置４は、さらに、例えば、演算部４５、駆動部４６、表示部４７を備えている。
【００６２】
駆動部４６は、演算部４５からの制御信号に基づいて、ポンプ１２および電磁バルブ１３，４３を駆動するものである。表示部４７は、演算部４５からの、判定結果に対応する信号に基づいて、判定結果を表示し、ユーザへ知らせるものである。なお、ユーザへ知らせる手段として、表示部４７の代わりに、あるいはそれに加えて、例えば、音声を出力するスピーカなどを用いてもよい。
【００６３】
演算部４５は、駆動部４６を制御する機能と、差圧センサ４１から出力された圧力信号４１Ａに基づいて部品２からの流体の漏洩の有無を検査する機能とを有している。以下に、演算部４５において行われる漏洩検査の手順について説明する。
【００６４】
［漏洩検査の手順］
演算部４５は、まず、ポンプ１２および電磁バルブ１３，４３を駆動させることにより、部品２および基準容器４２内の流体の圧力を所定の圧力（第１圧力）にする（ステップＳ１）。具体的には、演算部４５は、時刻ｔ1に、部品２および基準容器４２内の流体に対する加圧（圧力変動）を開始し、部品２および基準容器４２内の流体の圧力が所定の大きさに達したところ（時刻ｔ2）で、加圧（圧力変動）を停止する。なお、以下では、便宜的に、「部品２および基準容器４２内の流体」を「部品２等内の流体」と称するものとする。
【００６５】
次に、演算部４５は、例えば、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が減衰し収束した後（時刻ｔ3）に、差圧センサ４１から出力される圧力データ（圧力信号４１Ａ）を取得し始める（ステップＳ２）。このとき、演算部４５は、圧力データの取得を、時刻ｔ3から時刻ｔ4までの所定の区間（第１区間Δｔ1）、連続して行う。なお、演算部１５が、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し始めてもよい。また、演算部４５は、この段階で、一連の圧力データ（圧力信号４１Ａ）を利用した指数解析を直ちに行ってもよいし、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行ってもよい。本実施の形態では、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行うものとする。なお、指数解析の具体的な方法は、上記実施の形態と同様である。
【００６６】
次に、演算部４５は、部品２等内の流体の圧力を現在の圧力（第１圧力）とは異なる圧力（第２圧力）にする（ステップＳ３）。具体的には、演算部１５は、まず、ポンプ１２および電磁バルブ１３，４３を駆動させることにより、時刻ｔ4において部品２等内の流体に対する減圧（圧力変動）を開始する。続いて、演算部１５は、部品２等内の流体の圧力が所定の大きさに達したところ（時刻ｔ5）で、減圧（圧力変動）を停止する。このとき、部品２等内の流体の圧力が外気圧（例えば大気圧）またはほぼ外気圧となっていることが好ましい。また、部品２等内の流体の圧力を減圧するに際して、配管４３に設けられた圧力調整弁４８を開放して部品２等内の空隙と、外部とを連通させ、その後、部品２等内の流体の圧力が所望の圧力となったところで圧力調整弁４８を閉塞するようにしてもよい。
【００６７】
次に、演算部４５は、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が減衰し収束した後（時刻ｔ6）に、２度目の圧力データ（圧力信号４１Ａ）を取得し始める（ステップＳ４）。このとき、演算部４５は、圧力データの取得を、時刻ｔ6から時刻ｔ7までの所定の区間（第２区間Δｔ2）、連続して行う。なお、演算部１５が、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し始めてもよい。また、演算部４５は、この段階で、一連の圧力データ（圧力信号４１Ａ）を利用した指数解析を直ちに行ってもよいし、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行ってもよい。本実施の形態では、漏洩検査に必要な全ての圧力データを取得し終えた段階で、指数解析を行うものとする。
【００６８】
次に、演算部４５は、漏洩の有無の判定を行う。具体的には、演算部４５は、まず、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データ、第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用して指数解析を行う（ステップＳ５）。続いて、演算部４５は、その解析結果に基づいて部品２からの流体の漏洩の有無を判定する（ステップＳ６）。例えば、演算部４５は、まず、第１区間Δｔ1の圧力データの経時的な変化を指数関数で近似すると共に、第２区間Δｔ2の圧力データの経時的な変化を指数関数で近似する。続いて、演算部４５は、第１区間Δｔ1の圧力データから求めた指数関数の減衰係数と、第２区間Δｔ2の圧力データから求めた指数関数の減衰係数とが所定の相関関係にあるか否かを判定する。相関の程度については、双方の減衰係数が後述の所定の相関関係式に完全に当てはまる必要はなく、ある程度の幅（誤差）を持っていてもよい。その結果、これらが所定の相関関係にない場合には、演算部４５は、部品２から流体が漏洩している疑いがあると判定し、その旨を表示部４７に表示する（ステップＳ７）。その逆に、これらが所定の相関関係にある場合には、演算部４５は、部品２から流体が漏洩している疑いはないと判定し、その旨を表示部４７に表示する（ステップＳ８）。なお、ステップＳ６において、演算部４５は、漏洩の疑い有りと判定を下した際に、再度、差圧センサ４１から出力される圧力データを取得し直し、その一連の圧力データを利用して指数解析を行い、減衰係数の相関関係を判定し直してもよい。
【００６９】
なお、上述の漏洩判定では、第１区間Δｔ1の圧力が第２区間Δｔ2の圧力よりも大きくなっていたが、例えば、第１区間Δｔ1と第２区間Δｔ2の経時的な順番を逆にし、最初の指数解析区間の圧力が次の指数解析区間の圧力よりも小さくなるようにしてもよい。また、上述の漏洩判定では、第１区間Δｔ1の圧力を得るに際して部品２等内の流体に対して加圧処理がなされていたが、例えば、減圧処理がなされてもよい。さらに、例えば、第１区間Δｔ1の圧力を得るに際して減圧処理を行うと共に、第１区間Δｔ1と第２区間Δｔ2の経時的な順番を逆にし、最初の指数解析区間の圧力が次の指数解析区間の圧力よりも大きくなるようにしてもよい。
【００７０】
［効果］
本実施の形態では、空隙２Ａ，４２Ａ内の流体の圧力を制御するポンプ１２および電磁バルブ１３，４３と、空隙２Ａと空隙４２Ａとの差圧を測定し、圧力データを出力する差圧センサ４１と、漏洩判定を行う演算部４５とが設けられている。そして、演算部４５において、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データと、第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用した指数解析が行われる。これにより、減衰係数の相関関係から、温度変化に起因する圧力変動と、漏洩に起因する圧力変動とを区別することができるので、２種類の圧力データから、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。その結果、漏洩の有無を確実に判定することができる。このように、本実施の形態においても、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【００７１】
＜第２の実施の形態の変形例＞
上記第２の実施の形態では、被検査対象が、図８に示したようなダイキャスト製の部品２である場合について説明したが、例えば、図９に示したような配管３であってもよい。
【００７２】
本変形例において、漏洩検査装置４では、例えば、図９に示したように、部品２の代わりに配管３が連結されており、基準容器４２の代わりに基準容器５１が連結されている。
【００７３】
基準容器５１は、例えば、漏洩の無い容器であり、被検査対象内の容積と同様の容積の空隙５１Ａを有している。空隙５１Ａには、必要に応じて何らかの構造物が設けられていてもよい。基準容器５１は、配管３と同一の環境下に置かれており、基準容器５１の周囲温度は配管３の周囲温度とほぼ同一である。従って、基準容器５１内の圧力と配管３内の圧力との差圧を測定することにより、外部温度の影響を取り除くことができる。
【００７４】
本変形例においても、上記第２の実施の形態と同様、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データと、第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用した指数解析を行うことが可能である。したがって、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【００７５】
＜上記各実施の形態およびその変形例に共通する変形例＞
［第１の変形例］
上記各実施の形態およびその変形例では、２種類の圧力データに対して指数解析が行われていたが、２種類の圧力データのうち最初の圧力データに対してだけ指数解析が行われるようにしてもよい。例えば、上記実施の形態において記載したステップ５、ステップ６に代わって、以下のステップを実施する。
【００７６】
すなわち、演算部１５は、まず、最初の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データ）を利用して指数解析を行ったのち、この解析結果を用いて第２区間Δｔ2の圧力データの特性値（第４特性値）を導出する。具体的には、演算部１５は、第１区間Δｔ1の圧力データにおける指数解析の結果から予測される、第２区間Δｔ2の圧力データにおける圧力変動幅を導出する。続いて、演算部１５は、予測により得られた圧力変動幅と、第２区間Δｔ2の圧力データに基づいて導出された特性値（測定により得られた圧力変動幅）とを利用して空隙２Ａ（空隙３Ｃ）内の流体の漏洩の有無を判定する。例えば、演算部１５は、予測により得られた圧力変動幅と、測定により得られた圧力変動幅とを対比して、これらが所定の相関関係にあるか否かを判定する。相関の程度については、双方の値が完全に一致する必要はなく、ある程度の幅（誤差）を持っていてもよい。その結果、これらが所定の相関関係にない場合には、演算部１５は、部品２（配管３）から流体が漏洩している疑いがあると判定し、その旨を表示部１７に表示する。その逆に、これらが所定の相関関係にある場合には、演算部１５は、部品２（配管３）から流体が漏洩している疑いはないと判定し、その旨を表示部１７に表示する。なお、本変形例においても、演算部１５が、漏洩の疑い有りと判定を下した際に、再度、圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し直し、その一連の圧力データを利用して指数解析を行い、予測により得られた圧力変動幅と、測定により得られた圧力変動幅との相関関係を判定し直してもよい。
【００７７】
このように、本変形例では、２種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データと、第２区間Δｔ2の圧力データ）のうち最初の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データ）を利用した指数解析が行われる。このようにした場合であっても、温度変化に起因する圧力変動と、漏洩に起因する圧力変動とを区別することができるので、圧力データから、温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。その結果、漏洩の有無を確実に判定することができる。このように、本変形例では、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【００７８】
［第２の変形例］
上記各実施の形態およびその変形例では、圧力データを必ず２回、取得していたが、必要に応じて、２回目の圧力データの取得を省略することも可能である。例えば、まず、１種類の圧力データを利用した漏洩判定を行い、その結果、漏洩の疑いがあるときだけ、２種類目の圧力データを利用した漏洩判定を行うようにしてもよい。以下に、その具体例な手順について説明する。
【００７９】
なお、以下では、図２に示したように圧力変動させた場合を例示して説明するが、本変形例は、図４〜図６に示したような他の圧力変動に対しても適用可能である。また、以下では、被検査対象が部品２である場合について説明するが、本変形例は、図７に示したような被検査対象が配管３である場合についても適用可能である。また、以下では、ゲージ圧式の漏洩検査について説明するが、本変形例は、差圧式の漏洩検査に対しても適用可能である。
【００８０】
図１０は、演算部１５において実行される漏洩検査の手順の一例を表したものである。演算部１５は、まず、空隙２Ａ内の流体の圧力を所定の圧力（第１圧力）にする（ステップＳ１１）。具体的には、演算部１５は、時刻ｔ1に空隙２Ａ内の流体に対する加圧（圧力変動）を開始し、空隙２Ａ内の流体の圧力が所定の大きさに達したところ（時刻ｔ2）で、加圧（圧力変動）を停止する。
【００８１】
次に、演算部１５は、例えば、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が減衰し収束した後（時刻ｔ3）に、圧力センサ１４から出力される圧力データ（圧力信号１４Ａ）を取得し始める（ステップＳ１２）。このとき、演算部１５は、圧力データの取得を、時刻ｔ3から時刻ｔ4までの所定の区間（第１区間Δｔ1）、連続して行う。なお、演算部１５が、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し始めてもよい。
【００８２】
次に、演算部１５は、漏洩の有無の判定を行う。具体的には、演算部１５は、まず、第１区間Δｔ1の圧力データに基づいて特性値（第１特性値）を導出する（ステップＳ１３）。ここで、第１特性値は、第１区間Δｔ1の圧力データにおける圧力変動幅（ここでは圧力降下幅）、もしくは第１区間Δｔ1の圧力データにおける指数解析の結果である。なお、指数解析の手法は、上記第１の実施の形態で述べたものと同様のものである。続いて、演算部１５は、第１特性値に基づいて部品２からの流体の漏洩の有無を判定する（ステップＳ１４）。
【００８３】
例えば、演算部１５は、第１区間Δｔ1の圧力データにおける圧力変動幅と、あらかじめ用意しておいたマスターデータ（圧力変動幅）とを対比して、これらが所定の相関関係にあるか否かを判定する。相関の程度については、双方の値が完全に一致する必要はなく、ある程度の幅（誤差）を持っていてもよい。その結果、これらが所定の相関関係にある場合には、演算部１５は、部品２から流体が漏洩している疑いはないと判定し、その旨を表示部１７に表示する（ステップＳ１５）。その逆に、これらが所定の相関関係にない場合には、演算部１５は、部品２から流体が漏洩している疑いがあると判定し、次にステップに移行する。具体的には、演算部１５は、空隙２Ａ内の流体の圧力を現在の圧力（第１圧力）とは異なる圧力（第２圧力）にする（ステップＳ１６）。具体的には、演算部１５は、時刻ｔ4において空隙２Ａ内の流体に対する減圧（圧力変動）を開始し、空隙２Ａ内の流体の圧力が所定の大きさに達したところ（時刻ｔ5）で減圧（圧力変動）を停止する。このとき、空隙２Ａ内の流体の圧力が外気圧（例えば大気圧）となっていることが好ましい。また、空隙２Ａ内の流体の圧力を減圧するに際して、配管１８に設けられた圧力調整弁１９を開放して空隙２Ａと、外部とを連通させ、その後、空隙２Ａ内の流体の圧力が所望の圧力となったところで圧力調整弁１９を閉塞するようにしてもよい。
【００８４】
次に、演算部１５は、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が減衰し収束した後（時刻ｔ6）に、２度目の圧力データを取得し始める（ステップＳ１７）。このとき、演算部１５は、圧力データの取得を、時刻ｔ6から時刻ｔ7までの所定の区間（第２区間Δｔ2）、連続して行う。なお、演算部１５が、空隙２Ａ内の流体の圧力の変動に伴う過渡的な温度変化が収束する前から圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し始めてもよい。
【００８５】
次に、演算部１５は、漏洩の有無の判定を行う。具体的には、演算部１５は、まず、第２区間Δｔ2の圧力データに基づいて特性値（第２特性値）を導出する（ステップＳ１８）。ここで、第２特性値は、第２区間Δｔ2の圧力データにおける圧力変動幅（ここでは圧力降下幅）、もしくは第２区間Δｔ2の圧力データにおける指数解析の結果である。さらに、演算部１５は、第１区間Δｔ1の圧力データを利用して指数解析を行うか、またはこの指数解析の結果を用いて特性値（第３特性値）を導出する。ここで、第３特性値は、第１区間Δｔ1の圧力データにおける指数解析の結果から予測される、第２区間Δｔ2の圧力データにおける圧力変動幅（ここでは圧力降下幅）である。指数解析の手法は、上記第１の実施の形態で述べたものと同様のものである。なお、演算部１５が、第１区間Δｔ1の圧力データを使用した演算を、この段階よりも前の段階（例えば、ステップＳ１３の段階）で行うようにしてもよい。
【００８６】
続いて、演算部１５は、第２特性値が、第２区間Δｔ2の圧力データにおける圧力変動幅である場合には、演算部１５は、予測により得られた圧力変動幅（第３特性値）と、測定により得られた圧力変動幅（第２特性値）とを対比して、これらが所定の相関関係にあるか否かを判定する（ステップＳ１９）。一方、演算部１５は、第２特性値が、第２区間Δｔ2の圧力データにおける指数解析の結果である場合には、演算部１５は、第１区間Δｔ1の圧力データから求めた指数関数の減衰係数と、第２区間Δｔ2の圧力データから求めた指数関数の減衰係数とが所定の相関関係にあるか否かを判定する（ステップＳ１９）。
【００８７】
相関の程度については、双方の値が完全に一致する必要はなく、ある程度の幅（誤差）を持っていてもよい。その結果、これらが所定の相関関係にない場合には、演算部１５は、部品２から流体が漏洩している疑いがあると判定し、その旨を表示部１７に表示する（ステップＳ２０）。その逆に、これらが所定の相関関係にある場合には、演算部１５は、部品２から流体が漏洩している疑いはないと判定し、その旨を表示部１７に表示する（ステップＳ２１）。なお、本変形例においても、演算部１５が、漏洩の疑い有りと判定を下した際に、再度、圧力センサ１４から出力される圧力データを取得し直し、相関関係を判定し直してもよい。
【００８８】
本変形例では、まず、１種類の圧力データ（第１区間Δｔ1の圧力データ）を利用した漏洩判定が行われ、その結果、漏洩の疑いがあるときだけ、２種類目の圧力データ（第２区間Δｔ2の圧力データ）を利用した漏洩判定が行われる。そして、２回目の漏洩判定では、指数解析が行われる。これにより、温度変化に起因する圧力変動と、漏洩に起因する圧力変動とを区別することができるので、圧力データから温度変化についての情報を除去し、漏洩についての情報だけを抽出することができる。これにより、漏洩の有無を確実に判定することができる。つまり、本変形例でも、圧力式の漏洩検査において、被検査対象内の流体の圧力変化における温度起因の変動分を高精度で確実に除去することができる。
【００８９】
なお、上記各変形例では、一定期間の圧力変動幅を用いて相関関係を判定していたが、一定期間の圧力変動幅と等価な値を用いて、相関関係を判定することも可能である。
【００９０】
例えば、所定の圧力変動幅に達するまでの時間を用いた場合には、以下のようにして、相関関係を判定する。演算部１５は、第２特性値として、第２区間Δｔ2の圧力データにおいて所定の圧力変動幅に達するまでの時間を導出した場合には、第３特性値として、第１区間Δｔ1の圧力データにおける指数解析の結果から予測される、第２区間Δｔ2の圧力データにおいて所定の圧力変動幅に達するまでの時間を導出する。そして、演算部１５は、予測により得られた時間（第３特性値）と、測定により得られた時間（第２特性値））とを対比して、これらが所定の相関関係にあるか否かを判定する（ステップＳ１９）。
【００９１】
また、例えば、一定期間内の圧力変化の微分係数を用いた場合には、以下のようにして、相関関係を判定する。演算部１５は、第２特性値として、第２区間Δｔ2の圧力データにおける一定期間内の圧力変化の微分係数を導出した場合には、第３特性値として、第１区間Δｔ1の圧力データにおける指数解析の結果から予測される、第２区間Δｔ2の圧力データにおける一定期間内の圧力変化の微分係数を導出する。そして、演算部１５は、予測により得られた微分係数（第３特性値）と、測定により得られた微分係数（第２特性値））とを対比して、これらが所定の相関関係にあるか否かを判定する（ステップＳ１９）。
【００９２】
また、例えば、測定開始時と終了時との圧力差を測定開始時から終了時までの間の時間で割ることにより得られる圧力変化率（傾き）を用いた場合には、以下のようにして、相関関係を判定する。演算部１５は、第２特性値として、第２区間Δｔ2の圧力データにおける圧力変化率を導出した場合には、第３特性値として、第１区間Δｔ1の圧力データにおける指数解析の結果から予測される、第２区間Δｔ2の圧力データにおける圧力変化率を導出する。そして、演算部１５は、予測により得られた圧力変化率（第３特性値）と、測定により得られた圧力変化率（第２特性値））とを対比して、これらが所定の相関関係にあるか否かを判定する（ステップＳ１９）。なお、一定期間の圧力変動幅、所定の圧力変動幅に達するまでの時間、および一定期間内の圧力変化の微分係数は、上記圧力変化率と等価な値である。
【符号の説明】
【００９３】
１，４…漏洩検査装置、２…部品、２Ａ，３Ｃ，４２Ａ，５１Ａ…空隙、３，１８，４３…配管、３Ａ，３Ｂ…弁、１０…基台、１０Ａ，４２Ｂ…貫通孔、１１…シール材、１２…ポンプ、１３，４３…電磁バルブ、１４…圧力センサ、１５，４５…演算部、１６，４６…駆動部、１７,４７…表示部、１９，４８…圧力調整弁、４１…差圧センサ、４２，５１…基準容器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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