(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとを位置合わせするための時間を短縮する。【解決手段】メインチャンバー３内に設けたプローバーフレーム７にアライメント用の撮像手段８を設け、この撮像手段８によって基板上のアライメントマーク１８を撮像することによって、プローバーフレーム７と基板１０との位置関係を位置検出手段１１で直接に求め、この位置関係に基づいてステージ制御手段１２によりステージの移動を制御して、基板１０をプローバーフレーム７に対して位置合わせする。【選択図】図１
2010261894.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＦＴ基板の電極とプローバーフレームのプローバピンとを接触させることにより基板検査を行うＴＦＴ基板検査装置であって、
メインチャンバーが内部に備える前記プローバーフレームの所定位置に設置し、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第１の撮像手段と、
前記ＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御するステージ制御手段とを備え、
前記ステージ制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像するアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御することを特徴とする、ＴＦＴ基板検査装置。
【請求項２】
ＴＦＴ基板の電極とプローバーフレームのプローバピンとを接触させることにより基板検査を行うＴＦＴ基板検査装置であって、
メインチャンバーが内部に備える前記プローバーフレームの所定位置に設置し、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第１の撮像手段と、
前記メインチャンバーに対して所定位置に設置し、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第２の撮像手段と、
前記ＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御するステージ制御手段とを備え、
前記ステージ制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像するアライメントマークの画像位置および第２の撮像手段が撮像するアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御することを特徴とする、ＴＦＴ基板検査装置。
【請求項３】
前記第２の撮像手段は、前記メインチャンバーに設置することを特徴とする、請求項２に記載のＴＦＴ基板検査装置。
【請求項４】
プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行う方法であって、
プローバーフレームから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対する基板のアライメントを求める工程と、
前記アライメントに基づいて、基板を載置するステージの移動を制御する工程とを備え、
プローバーフレームに対してＴＦＴ基板を位置合わせすることを特徴とするＴＦＴ基板の位置合わせ方法。
【請求項５】
プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行う方法であって、
メインチャンバーから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対する基板のアライメントを求める工程と、
プローバーフレームから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対する基板のアライメントを求める工程と、
前記２つのアライメントに基づいて、基板を載置するステージの移動を制御する工程とを備え、
プローバーフレームに対してＴＦＴ基板を位置合わせすることを特徴とするＴＦＴ基板の位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴアレイ検査装置及びＴＦＴ基板の位置合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）をアレイ状に配列した構成として例えば液晶基板があり、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等に用いられている。
【０００３】
ＴＦＴ基板の検査方法として、プローバーを用いたものが知られている。このプローバーによるＴＦＴ基板の検査では、ＴＦＴ基板をステージ上に載置し、ＴＦＴ基板の各電極にプローバーが有するプローブピンを接触させ、このプローブピンを介してＴＦＴ基板の回路に通電し、断線や短絡等の検査を行う。
【０００４】
このプローバーを用いたＴＦＴ基板検査では、ＴＦＴ基板上の電極とプローブピンとを正確に接触させることが重要であり、検査前の段階において、ステージ上に載置したＴＦＴ基板をプローバーフレームのプローブピンに対して正確に位置合わせさせておく必要がある。
【０００５】
従来、ＴＦＴ基板に設けた位置認識用のマークを検出することによって、ＴＦＴ基板とプローバーフレームとの位置合わせを行うプローブ装置が知られている（特許文献１、２参照）。
【０００６】
このプローブ装置では、基板をステージ上に載置し、この基板の表面に設けた位置認識用にアライメントマークをＣＣＤカメラで検出し、この検出信号に基づいて基板とプローバーフレームとの相対位置を認識し、基板とプローバーフレームとの位置ずれを補正する移動量を求め、この移動量に基づいてステージを移動させて、基板をプローバーフレームに位置合わせしている。
【０００７】
ＣＣＤカメラ等の撮像手段は、プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせが正確に行われている状態においてＴＦＴ基板に設けられたアライメントマークが撮像範囲内となるような所定位置に固定される。
【０００８】
この位置において、撮像手段によってアライメントマークを撮像する。撮像されたアライメントマークの像位置は撮像手段に対するＴＦＴ基板の位置を表しており、位置合わせされたときに得られる像との位置ずれを求めることによって、ＴＦＴ基板の撮像手段の設置位置に対する位置ずれを知ることができる。ここで、撮像手段を検査装置の本体側のメインチャンバーに固定しプローバーフレームに対して所定位置とすることによって、求めた位置ずれをプローバーフレームに対するＴＦＴ基板の位置ずれとして求める。
【０００９】
この位置ずれを補正するようにステージを移動させることによって、プローバーフレームに対するＴＦＴ基板の位置合わせを行う。
【００１０】
図７〜図９は従来のＴＦＴアレイ検査装置によるプローバーフレームと基板との位置合わせを説明するための図である。
【００１１】
図７は従来のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を示し、ＴＦＴアレイ検査装置の検査を行うメインチャンバーの構成のみを示し、図８は従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明するためのフローチャートを示し、図９は従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明する動作図を示している。
【００１２】
図７において、ＴＦＴアレイ検査装置１０１は、メインチャンバー１０３（以下、ＭＣと云う）内に、基板１１０を載置してＸＹＺ方向に移動可能とするステージ１０６と、ステージ１０６上に載置された基板１１０と接触させて基板に検査信号を印加するプローバーフレーム１０７と、基板１１０上に設けられたアライメントマーク１１９を撮像する撮像手段１０９を備える。撮像手段１０９はメインチャンバー１０３に固定される。
【００１３】
ゲート１０４を開放し、基板１１０をロードロック室１０２（以下ＬＬ室という）に搬入した後（S100)、ゲート１０４を閉じてＬＬ室１０２内を真空排気する（S101）（図９（ａ））。ＬＬ室１０２内を真空状態とした後、ゲート１０５を開放して基板１１０をＭＣ１０３内に搬入する（S102)（図９（ｂ））。
【００１４】
ＭＣ１０３内において、撮像手段１０９で基板上のアライメントマークを撮像し、ＭＣ１０３に対して基板１１０をアライメントする（S103)。アライメントによって得られたＭＣ１０３に対する基板１１０の位置ずれ量に基づいて、基板１１０をプローバーフレーム１０７に対して移動する（S104）（図９（ｃ））。
【００１５】
基板１１０をプローバーフレーム１０７に対して位置合わせした後、ステージ１０６をＺ方向に移動させて、基板１１０をプローバーフレーム１０７に接触させ（S105) （図９（ｄ））、プローバーフレーム１０７のプローブピン（図示していない）を通して基板１１０に検査信号を印加して、基板のＴＦＴアレイ検査を行う（S106）（図９（ｅ））。
【００１６】
検査が終了した後、ゲート１０５を開いて基板１１０をＭＣ１０３からＬＬ室１０２に搬出し（S107)、ゲート１０５を閉じた後、ＬＬ室１０２を大気圧に戻す（S108）。ゲート１０４を開いて、基板１１０をＬＬ室１０２から搬出する（S109) （図９（ｆ））。検査を続行して他の基板を検査する場合（S110)には、S100に戻って処理を繰り返す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特公平８−１７１９４号
【特許文献２】特開２００５−２７４６８６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
従来のＴＦＴアレイ検査装置では、検査装置の本体側であるメインチャンバーと基板とのアライメントのみが行われ、プローバーフレームはメインチャンバーに対して固定されており、その設置精度は高いものではない。その結果、基板のメインチャンバーに対するアライメントのみでは、プローバーフレームに対して基板を正しく合わせることが難しいため、基板位置がプローバーフレームの位置に合うように、基板を載置したステージを駆動することが必要である。
【００１９】
図７において、符号ｂはメインチャンバー１０３に対する基板１１０のアライメントを示し、符号ｃはプローバーフレーム１０７に対するステージ１０６による基板１１０の位置合わせ動作を示している。従来のＴＦＴアレイ検査装置では、撮像手段１０９によって基板１１０上に設けられたアライメントマーク１１９を撮像することで、メインチャンバー１０３に対して基板１１０はアライメントされるが、プローバーフレーム１０７はメインチャンバー１０３に固定されたままであるため、基板１１０をプローバーフレーム１０７に対して移動させる必要がある。
【００２０】
従来のＴＦＴアレイ検査装置では、上記したように、検査装置本体に対して基板をアライメントするのみであるため、基板とプローバーフレームとの位置合わせは、検査装置本体に固定されたプローバーフレームとの位置合わせによって相対的に行うに過ぎない。
【００２１】
従来のＴＦＴアレイ検査装置では、プローバーフレームとメインチャンバー間に位置関係、基板とメインチャンバーとの位置関係が定まっているに過ぎず、プローバーフレームと基板との位置関係は、メインチャンバーを介した相対的な位置関係から求めている。このため、プローバーフレームのプローブピンと基板との接触を正確に行うには、プローバーフレームと基板との位置調整は複雑となり、位置合わせに長時間を要するものとなっている。
【００２２】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとを位置合わせするための時間を短縮することを目的する。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、メインチャンバー内に設けたプローバーフレームにアライメント用の撮像手段を設け、この撮像手段によって基板上のアライメントマークを撮像することによって、プローバーフレームと基板との位置関係を直接に求め、この位置関係に基づいて基板をプローバーフレームに対して位置合わせする。本発明によれば、プローバーフレームと基板との位置関係を、プローバーフレーム上に設けた撮像手段によって直接に取得することができるため、位置合わせの手順数を低減し、位置合わせための時間を短縮することができる。
【００２４】
本発明は、ＴＦＴ基板検査装置の形態、およびＴＦＴ基板の位置合わせ方法の形態とすることができる。
【００２５】
本発明の装置の第１の形態は、ＴＦＴ基板の電極とプローバーフレームのプローバピンとを接触させることにより基板検査を行うＴＦＴ基板検査装置であって、メインチャンバーが内部に備える前記プローバーフレームの所定位置に設置し、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第１の撮像手段と、ＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御するステージ制御手段とを備える。
【００２６】
第１の撮像手段は、プローバーフレームから基板上のアライメントマークを撮像する。この第１の撮像手段で得られた撮像画像において、アライメントマークはプローバーフレームと基板との位置関係を表しており、アライメントマークの位置からプローバーフレームと基板との位置関係を求めることができる。
【００２７】
ステージ制御手段は、第１の撮像手段が撮像するアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御する。
【００２８】
本発明の装置の第２の形態は、前記した第１の形態が備える第１の撮像手段に加えて第２の撮像手段を備える。この第２の撮像手段は、メインチャンバーに対して所定位置に設置し、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する。この第２の撮像手段で得られた撮像画像において、アライメントマークはメインチャンバーと基板との位置関係を表している。
【００２９】
第２の撮像手段は、メインチャンバー上に設ける他、メインチャンバーに対して所定位置に設置された部位に設けることができる。
【００３０】
ステージ制御手段は、第１の撮像手段が撮像するアライメントマークの画像位置および第２の撮像手段が撮像するアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御する。
【００３１】
第１の撮像手段で撮像されるアライメントマークからは、プローバーフレームと基板との位置関係が得られ、第２の撮像手段で撮像されるアライメントマークからは、メインチャンバーと基板との位置関係が得られる。
【００３２】
ステージ制御手段は、メインチャンバーに対する基板の位置およびプローバーフレームに対する基板の位置に基づいて、基板を載置するステージの移動量および移動方向を求め、ステージを駆動制御する。
【００３３】
本発明の方法の形態によるＴＦＴ基板の位置合わせ方法は、プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行う方法であり、撮像工程と制御工程とを備える。
【００３４】
本発明の方法の第１の形態は、プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行う方法であり、プローバーフレームから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対する基板のアライメントを求める工程と、アライメントに基づいて、基板を載置するステージの移動を制御する工程とを備える。
【００３５】
撮像工程は、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像し、撮像した画像中のアライメントマークの位置に基づいて基板のアライメントを取得する。撮像画像で得られる基板のアライメントは、撮像手段が設置されたプローバーフレームを基準とするものである。
【００３６】
制御工程は、基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御する。
【００３７】
本発明の方法の第２の形態は、プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行う方法であり、メインチャンバーから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対する基板のアライメントを求める工程と、プローバーフレームから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対する基板のアライメントを求める工程と、２つのアライメントに基づいて、基板を載置するステージの移動を制御する工程とを備える。
【００３８】
方法の第１の形態および第２の形態の何れの形態においても、プローバーフレームから基板上のアライメントマークを撮像する工程と、撮像による基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対する基板のアライメントを求める工程とを備えることによって、プローバーフレームに対する基板の位置を求めることができ、このプローバーフレームの位置に基づいてプローバーフレームに対する基板の位置制御を行うことができる。
【発明の効果】
【００３９】
以上説明したように、本発明によれば、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの位置合わせための時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の形態の概略を説明するための図である。
【図２】本発明の第１の形態の動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の形態の概略を説明するための図である。
【図４】本発明の第２の形態の動作を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明の第２の形態の動作を説明するための動作図である。
【図６】本発明の第２の形態の動作を説明するための動作図である。
【図７】従来のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を示す図である。
【図８】従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明する動作図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。以下、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例について、図１〜図６を用いて説明する。図１〜２は第１の形態の構成例を説明するための図であり、図３〜図６は第２の形態の構成例を説明するための図である。
【００４２】
図１は本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の形態の概略を説明するための図である。
【００４３】
［第１の形態］
はじめに、本発明の第１の形態について説明する。
【００４４】
図１において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、メインチャンバー３内に、基板１０を載置してＸＹＺ方向に移動可能とするステージ６と、ステージ６上に載置された基板１０と接触させて基板１０に検査信号を印加するプローバーフレーム７と、プローバーフレーム７上に設置され、基板１０上に設けられたアライメントマーク１８を撮像する第１の撮像手段８を備える。
【００４５】
第１の撮像手段８は、プローバーフレーム７上に取り付けられる。これによって、第１の撮像手段８が撮像するアライメントマーク１８の画像から得られる位置は、プローバーフレーム７を基準位置とすることができる。
【００４６】
位置検出手段１１は、第１の撮像手段８が撮像した基板１０のアライメントマーク１８の撮像画像を入力して、プローバーフレーム７を基準位置とするアライメントマーク１８のマーク位置を検出し、基板１０のプローバーフレーム７に対するアライメントを求める。
【００４７】
ステージ制御手段１２は、位置検出手段１１から基板１０の位置情報であるアライメントを取得し、プローバーフレーム７に対して基板１０を位置合わせする。
【００４８】
図１において、符号Ａはプローバーフレーム７に対するステージ６による基板１０の位置合わせ動作を示している。
【００４９】
本発明の第１の形態では、第１の撮像手段８によって基板１０上に設けられたアライメントマーク１８を撮像することで、プローバーフレーム７に対する基板１０をアライメントする。このアライメントによって、プローバーフレーム７に対して基板１０を位置合わせすることができる。
【００５０】
次に、本発明の第１の形態の動作について、図２のフローチャートを用いて説明する。
【００５１】
はじめに、ゲート４を開放し、基板１０をロードロック室２に搬入した後（S1)、ゲート４を閉じてロードロック室２内を真空排気する（S2）。ロードロック室２内を真空状態とした後、ゲート５を開放して基板１０をメインチャンバー３内に搬入する（S3)。
【００５２】
メインチャンバー３内において、プローバーフレーム７に設けた第１の撮像手段８で基板１０上のアライメントマーク１８を撮像し、プローバーフレーム７に対して基板１０をアライメントする（S4)。ステージ制御手段１２は、アライメントによって得られたプローバーフレーム７に対する基板１０の位置ずれ量に基づいて、ステージ６を駆動して基板１０をプローバーフレーム７に対して移動する（S5）。
【００５３】
基板１０をプローバーフレーム７に対して位置合わせした後、ステージ６をＺ方向に移動させて、基板１０をプローバーフレーム７に接触させる（S6)。
【００５４】
プローバーフレーム７から基板１０に検査信号を印加して基板検査を行う（S7）。
【００５５】
検査が終了した後、ゲート５を開いて基板１０をメインチャンバー３からロードロック室２に搬出し（S8)、ゲート５を閉じた後、ロードロック室２を大気圧に戻す（S9）。ゲート４を開いて、基板１０をロードロック室２から搬出する（S10)。検査を続行して他の基板を検査する場合（S11)には、S1に戻って処理を繰り返す。
【００５６】
［第２の形態］
次に、本発明の第２の形態について説明する。第２の形態は、第１の形態が備える第１の撮像手段に加えて、メインチャンバーから基板を撮像する第２の撮像手段を備える構成である。
【００５７】
図３において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、メインチャンバー３内に、基板１０を載置してＸＹＺ方向に移動可能とするステージ６と、ステージ６上に載置された基板１０と接触させ、基板１０に検査信号を印加するプローバーフレーム７と、プローバーフレーム７上に設置され、基板１０上に設けられたアライメントマーク１８を撮像する第１の撮像手段８と、メインチャンバー３上に設置され、基板１０上に設けられたアライメントマーク１９を撮像する第２の撮像手段９とを備える。
【００５８】
第１の撮像手段８はプローバーフレーム７上あるいはプローバーフレーム７に対して所定位置に設けられた部位に取り付けられる。一方、第２の撮像手段９は、メインチャンバー３上あるいはメインチャンバー３に対して所定位置に設けられた部位に取り付けられる。これによって、第１の撮像手段８が撮像するアライメントマーク１８の画像は、プローバーフレーム７と基板１０との位置関係を表し、一方、第２の撮像手段９が撮像するアライメントマーク１９の画像は、メインチャンバー３と基板１０との位置関係を表している。
【００５９】
位置検出手段１１は、第１の撮像手段８が撮像したアライメントマーク１８の撮像画像、および第２の撮像手段９が撮像したアライメントマーク１９の撮像画像を入力して、メインチャンバー３を基準位置とする基板のアライメント、およびプローバーフレーム７を基準位置とする基板のアライメントを検出する。
【００６０】
ステージ制御手段１２は、基板１０とプローバーフレーム７との位置関係、および基板１０とメインチャンバー３との位置関係の位置情報を取得し、基板１０とプローバーフレーム７との位置合わせと共に、メインチャンバー３に対する基板１０の位置合わせを行うことができる。
【００６１】
図３において、符号Ａはプローバーフレーム７に対する基板１０の位置合わせを示し、符号Ｂはメインチャンバー３に対する基板１０の位置合わせを示している。
【００６２】
本発明の第２の形態では、プローバーフレーム７に設けられた第１の撮像手段８によって基板１０上のアライメントマーク１８を撮像することで、プローバーフレーム７に対する基板１０のアライメントを求め、また、メインチャンバー３に設けられた第２の撮像手段９によって基板１０上のアライメントマーク１９を撮像することで、メインチャンバー３に対する基板１０のアライメントを求める。
【００６３】
本発明の第２の形態では、第１の撮像手段８によって基板１０とプローバーフレーム７との位置関係を直接に求めることができることに加えて、第２の撮像手段９によって基板１０とメインチャンバー３との位置関係を求めることができ、メインチャンバー３に対して基板１０を位置合わせすることができる。
【００６４】
次に、本発明の第２の形態の動作について、図４のフローチャートおよび図５、図６の動作図を用いて説明する。
【００６５】
はじめに、ゲート４を開放し、基板１０をロードロック室２に搬入した後(S1)、ゲート４を閉じてロードロック室２内を真空排気する（S2）（図５（ａ））。ロードロック室２内を真空状態とした後、ゲート５を開放して基板１０をメインチャンバー３内に搬入する（S3)（図５（ｂ））。
【００６６】
メインチャンバー３内において、第１の撮像手段８で基板１０上のアライメントマーク１８を撮像し、プローバーフレーム７に対して基板１０をアライメントする（S4a)。また、第２の撮像手段９で基板１０上のアライメントマーク１９を撮像し、メインチャンバー３に対して基板１０をアライメントする（S4b)（図５（ｃ））。
【００６７】
ステージ制御手段１２は、アライメントによって得られた、プローバーフレーム７に対する基板１０の位置ずれ量に基づいて、ステージ６を駆動して基板１０をプローバーフレーム７に対して移動する（S5）（図５（ｄ））。
【００６８】
基板１０をプローバーフレーム７に対して位置合わせした後、ステージ６をＺ方向に移動させて、基板１０をプローバーフレーム７に接触させる（S6)（図６（ａ））。
【００６９】
プローバーフレーム７から基板１０に検査信号を印加して基板検査を行う（S7）（図６（ｂ））。
【００７０】
検査が終了した後、ゲート５を開いて基板１０をメインチャンバー３からロードロック室２に搬出し（S8)、ゲート５を閉じた後、ロードロック室２を大気圧に戻す（S9）。ゲート４を開いて、基板１０をロードロック室２から搬出する（S10)（図６（ｃ））。検査を続行して他の基板を検査する場合（S11)には、S1に戻って処理を繰り返す。
【００７１】
本発明の形態によれば、プローバーフレームのメインチャンバーに対する位置を制御することができるため、基板とプローバーフレームとの間の接触状態を安定させることができ、これによって、接触不良による基板の歩留まり低下や、欠陥の検出漏れの率の増加を抑制することができ、接触不良を修正するために要する処理時間の増加を抑えることができる。
【００７２】
なお、本発明は前記各実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨に基づいて種々変形することが可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置およびＴＦＴ基板の検査方法は、液晶基板に限らず、半導体基板に適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１    ＴＦＴアレイ検査装置
２    ロードロック室
３    メインチャンバー
４    ゲート
５    ゲート
６    ステージ
７    プローバーフレーム
８    撮像手段
９    撮像手段
１０    基板
１１    位置検出手段
１２    ステージ制御手段
１８，１９    アライメントマーク
１０１    アレイ検査装置
１０２    ロードロック室
１０３    メインチャンバー
１０４    ゲート
１０５    ゲート
１０６    ステージ
１０７    プローバーフレーム
１０９    撮像手段
１１０    基板
１１９    アライメントマーク
【図２】
2010261894.tif 000003
【図４】
2010261894.tif 000004
【図８】
2010261894.tif 000005
【図１】
2010261894.tif 000006
【図３】
2010261894.tif 000007
【図５】
2010261894.tif 000008
【図６】
2010261894.tif 000009
【図７】
2010261894.tif 000010
【図９】
2010261894.tif 000011