(57)【要約】【課題】磁気ヘッドの新規開発において、再生と記録の両ヘッド構成で磁気ヘッドを試作した場合、試作ヘッドの製作に３ヶ月以上の期間がかかってしまう為、開発開始から試作評価までの時間が長くなってしまい、大量生産までに遅れが生じてしまう。【解決手段】再生ヘッドを試作するステップ(100)と、前記再生ヘッドの特性を評価するステップ(102)と、前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて不良品と判断された場合、前記再生ヘッドを試作するステップと前記再生ヘッドの特性を評価するステップを繰り返すステップと、前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記再生ヘッドの上に記録ヘッドを積層して磁気ヘッドを試作するステップ(104)と、前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップ(106)と、前記記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記磁気ヘッドの製作を開始するステップ(108)とを含む。【選択図】図１
2010272154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
再生ヘッドを試作するステップと、
前記再生ヘッドの特性を評価するステップと、
前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて不良品と判断された場合、前記再生ヘッドを試作するステップと前記再生ヘッドの特性を評価するステップを繰り返すステップと、
前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記再生ヘッドの上に記録ヘッドを積層して磁気ヘッドを試作するステップと、
前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップと、
前記記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記磁気ヘッドの製作を開始するステップと、
を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて、当該磁気ヘッドの再生ヘッドの特性を再評価することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて不良品と判断された場合、前記再生ヘッドの上に記録ヘッドを積層して磁気ヘッドを試作するステップと前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップを繰り返し行うことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記再生ヘッドの評価すべき特性は、当該再生ヘッドの再生信号から抽出される磁気特性であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記再生ヘッドは磁気抵抗効果型ヘッドであり、前記記録ヘッドは磁気誘導型ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録装置に搭載される磁気ヘッドの製造方法に係り、特に製造期間短縮が可能な製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録装置は、従来の面内記録方式から垂直記録方式に移行しつつある。磁気記録媒体に対する磁気情報の記録・再生は、磁気ヘッドで行われるが、磁気ヘッドは、再生ヘッドとして磁気抵抗効果型ヘッドが用いられ、記録ヘッドとして磁気誘導型ヘッドが用いられる。磁気抵抗効果型ヘッドは、高記録密度化に対応して、巨大磁気抵抗効果(GMR:Giant Magnetoresistive)ヘッドから、磁気抵抗効果センサ膜の膜面の垂直方向にセンス電流を流すCPP (Current perpendicular to the plane)構造の磁気抵抗効果型ヘッドに変わりつつある。CPP構造磁気抵抗効果型ヘッドとしては、トンネル磁気抵抗効果(TMR)ヘッドやCPP-GMRヘッドなどが挙げられる。
【０００３】
このような磁気ヘッドの製造過程における磁気特性の評価は、特許文献１や特許文献２に開示されるように、再生ヘッドとしての磁気抵抗効果型ヘッドと記録ヘッドとしての磁気誘導型ヘッドが組み合わされた状態の磁気ヘッドで行われている。
【０００４】
特許文献１には、磁気記録素子と磁気抵抗効果素子を搭載した薄膜磁気ヘッドの特性検査において、回転する磁気記録媒体上に薄膜磁気ヘッドを位置決めし、磁気記録素子により磁気記録媒体に信号を記録し、記録した信号を磁気抵抗効果素子で再生することにより動的エレキテストを行い、薄膜磁気ヘッドに外部からの磁界を印加し、その磁界によって得られた信号を磁気抵抗効果素子で再生することにより静的エレキテストを行うことが記載されている。
【０００５】
特許文献２には、記録再生分離型磁気ヘッドの再生ヘッドを構成する磁気抵抗効果型ヘッドの検査において、磁気抵抗効果型ヘッドの出力特性を、磁気ディスクを用いずに、交流磁界をかけた状態で予め設定した回数連続して測定し、その測定結果を予め設定した基準値と比較して、予め設定した回数該基準値を満たさぬ場合に不良品として選別することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３４２９０６号公報
【特許文献２】特開２００４−２２０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前術のとおり、従来は、磁気ヘッドの製造過程において磁気特性を評価する場合、磁気記録媒体である磁気ディスク上に情報を記録する磁気誘導型ヘッドである記録ヘッドと、記録された情報を再生する磁気抵抗効果型ヘッドである再生ヘッドが組み込まれた磁気ヘッドが対象にされていた。しかし、磁気ヘッドの新規開発において、再生と記録の両ヘッド構成で磁気ヘッドを試作した場合、試作ヘッドの製作に３ヶ月以上の期間がかかってしまう為、開発開始から試作評価までの時間が長くなってしまい、大量生産までに遅れが生じてしまうという問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、開発期間を大幅に短縮でき、大量生産までの期間を短縮できる磁気ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、高記録密度化に伴い、記録ヘッドに比べて再生ヘッドである磁気抵抗効果型ヘッドの試作回数が多くなっていることに着目し、新規ヘッド開発において、再生ヘッドが試作された時点でそのヘッドをサスペンションに取り付け、再生ヘッドのみの構成で磁気特性の評価を行い、所望の磁気特性が得られた場合に、記録ヘッドまで試作し、量産に結びつけることを特徴とする。
【００１０】
本発明の代表的な磁気ヘッドの製造方法は、
再生ヘッドを試作するステップと、
前記再生ヘッドの特性を評価するステップと、
前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて不良品と判断された場合、前記再生ヘッドを試作するステップと前記再生ヘッドの特性を評価するステップを繰り返すステップと、
前記再生ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記再生ヘッドの上に記録ヘッドを積層して磁気ヘッドを試作するステップと、
前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップと、
前記記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて良品と判断された場合、前記磁気ヘッドの製作を開始するステップと、を有することを特徴とする。
【００１１】
前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて、当該磁気ヘッドの再生ヘッドの特性を再評価することが望ましい。
【００１２】
前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップにおいて不良品と判断された場合、前記再生ヘッドの上に記録ヘッドを積層して磁気ヘッドを試作するステップと前記磁気ヘッドの記録ヘッドの特性を評価するステップを繰り返し行う。
【００１３】
前記再生ヘッドの評価すべき特性は、当該再生ヘッドの再生信号から抽出される磁気特性である。
【００１４】
前記再生ヘッドは磁気抵抗効果型ヘッドであり、前記記録ヘッドは磁気誘導型ヘッドである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、記録ヘッドに比べ試作回数の多い再生ヘッドのみを有する磁気ヘッドを用いて試作評価を行うことにより、開発開始から試作評価までの期間を短縮することができる。また、評価結果により試作を繰り返す事になっても、記録ヘッドを有さないヘッドの製作を繰り返すので、再生ヘッドと記録ヘッドの両方を有する磁気ヘッドの製作を繰り返す場合と比べ、開発期間を大幅に短縮でき、大量生産までの期間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例による磁気ヘッドの製造方法を示す工程図である。
【図２】本発明に係る磁気ヘッドの断面構成を磁気ディスクとの関係で示す図である。
【図３】本発明に係る磁気ヘッド評価装置の概略構成図である。
【図４】磁気ディスク上に記録されるサーボトラック情報の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
まず、図２を参照して、本発明の磁気ヘッドの製造方法にて製造される磁気ヘッドの構成と、垂直磁気記録媒体である磁気ディスクへの記録の原理を説明する。
磁気ヘッド１０は、再生ヘッド２０の上に記録ヘッド３０が積層されて構成される。再生ヘッド２０は下部磁気シールド２２と、下部電極と２４と、磁気抵抗効果素子（CPP構造磁気抵抗効果素子）２６と、上部電極２８と、上部磁気シールド２９が積層されて構成される。記録ヘッド３０は、副磁極３２と、絶縁層３４と、絶縁層３４の中に形成されたコイル３６と、主磁極３８が積層されて構成される。
【００１８】
磁気ディスク４０は、基板４２と、基板４２の上に形成された軟磁性層４４と垂直記録層４６とで構成されており、記録ヘッド３０のコイル３６に通電することにより、副磁極３２に発生した磁束が磁気ディスク４０の軟磁性層４４に向けて放射され、軟磁性層４４を通過する磁束は垂直記録層４６を通って主磁極３８に戻る。主磁極３８の先端部は絞られた先細り形状をなしており、磁束が軟磁性層４４から主磁極３８の先端部に戻る際に、垂直記録層４６が垂直方向に磁化される。
【００１９】
次に、図３を参照して、磁気ヘッド評価装置の概略構成を説明する。磁気ヘッド評価装置５０は、評価対象である再生ヘッド２０を先端に支持したサスペンション５２を取り付け、再生ヘッド２０を磁気ディスク４０上の目的の位置に位置決めするヘッド位置決め機構部５４と、再生ヘッド２０からの再生信号を受信して所定の処理を行い、また、記録ヘッドへ記録信号を供給し、さらにヘッド位置決め機構部５４を制御する信号生成処理部５６と、信号生成処理部５６を制御し、かつ信号生成処理部５６から処理信号を受信して再生ヘッド２０の評価を行う制御部５８とを有する。制御部５８は、信号生成処理部５６を制御するためのプログラムと再生ヘッド２０の特性を評価するためのプログラムを格納する制御プログラムメモリ６０と、標準となる再生ヘッド（磁気抵抗効果型ヘッド）の特性を保存するプログラムメモリ６２とを有している。磁気抵抗効果型ヘッドの特性としては、再生信号振幅、再生信号幅、再生信号間周波数などがある。磁気ディスク４０には、予め、標準となる記録ヘッドで、図４に示すように、サーボエリアにサーボトラック情報が、サーボトラック情報とサーボトラック情報の間のデータエリアに評価情報が記録されている。サーボトラック情報は、サーボパターンと、トラックコードで構成されている。
【００２０】
次に、図１を参照して、本発明の実施例による磁気ヘッドの製造方法を説明する。
まず再生ヘッド２０である磁気抵抗効果型ヘッドを試作する（ステップ１００）。次に試作した磁気抵抗効果型ヘッドの特性（磁気特性）を評価する（ステップ１０２）。磁気特性の評価は以下のようにして行う。試作した磁気抵抗効果型ヘッド２０をサスペンション５２に取り付け、サスペンション５２を磁気ヘッド評価装置５０のヘッド位置決め機構部５４に取り付け、磁気ディスク４０のサーボトラック情報に基づいて所定のトラックに位置決めし、当該トラックのデータエリアに予め記録されている評価情報を再生し、再生信号を信号生成処理部５６で処理して再生信号振幅、再生信号幅及び再生信号周波数などの磁気特性を抽出し、制御部５８に送信する。制御部５８は、信号生成処理部５６から受信した再生信号振幅、再生信号幅及び再生信号周波数などと、予めプログラムメモリ６２に保存されている標準の再生ヘッドの再生信号振幅、再生信号幅及び再生信号周波数などと比較することにより、試作された再生ヘッド２０が良品（ＯＫ）なのか不良品（ＮＧ）なのかを判断する。
【００２１】
もし、ステップ１０２において不良品（ＮＧ）と判断された場合は、ステップ１００に戻り次の再生ヘッドを試作する。ステップ１０２において良品（ＯＫ）となるまで、再生ヘッドの試作は繰り返される。
【００２２】
ステップ１０２において、良品（ＯＫ）と判断された場合は、再生ヘッド２０の上に記録ヘッド３０を積層して磁気ヘッド（記録再生ヘッド）１０を試作する（ステップ１０４）。次に、試作した記録再生ヘッド１０の記録ヘッド３０の評価を行う（ステップ１０６）。記録ヘッドの評価は、以下のようにして行う。試作した記録再生ヘッド１０をサスペンション５２に取り付け、サスペンション５２を前記磁気ヘッド評価装置５０のヘッド位置決め機構部５４に取り付け、磁気ディスク４０上のサーボトラック情報に基づいて所定のトラックに位置決めし、当該トラックのデータエリアに、信号生成処理部５６で生成した記録信号を記録する。続いて、記録再生ヘッド１０の再生ヘッド２０で磁気ディスク４０に記録した信号を再生し、信号生成処理部５６で処理して信号パターン、信号振幅及び信号周波数などの磁気特性を抽出する。制御部５８のプログラムメモリ６２には、予め、信号生成処理部５６で生成した記録信号の信号パターン、信号振幅及び信号周波数などを保存しておき、これと前記再生した信号パターン、信号振幅及び信号周波数などを比較することにより良品（ＯＫ）なのか不良品（ＮＧ）なのかを判断する。
【００２３】
ステップ１０６において不良品（ＮＧ）と判断された場合は、ステップ１０４に戻り次の記録再生ヘッド１０を試作する。ステップ１０６において良品（ＯＫ）となるまで、記録再生ヘッド１０の試作は繰り返される。
【００２４】
ステップ１０６において良品（ＯＫ）と判断された場合は、記録再生ヘッド１０の製作（量産）を開始する（ステップ１０８）。
【００２５】
なお、前記ステップ１０６において、記録ヘッド３０の特性の評価を行ったが、合わせて再生ヘッド２０の特性の再評価を行っても良い。
【００２６】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明によれば、記録ヘッドに比べ試作回数の多い再生ヘッドのみを有する磁気ヘッドを用いて試作評価を行うことにより、開発開始から試作評価までの期間を短縮することができる。また、評価結果により試作を繰り返す事になっても、記録ヘッドを有さないヘッドの製作を繰り返すので、再生ヘッドと記録ヘッドの両方を有する磁気ヘッドの製作を繰り返す場合と比べ、開発期間を大幅に短縮でき、大量生産までの期間を短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、磁気記録装置に搭載される記録再生ヘッドの製造方法として有用である。
【符号の説明】
【００２８】
１０…磁気ヘッド（記録再生ヘッド）、
２０…再生ヘッド、
２２…下部磁気シールド、
２４…下部電極、
２６…磁気抵抗効果素子、
２８…上部電極、
２９…上部磁気シールド、
３０…記録ヘッド、
３２…副磁極、
３４…絶縁層、
３６…コイル、
３８…主磁極、
１００…再生ヘッド試作工程、
１０２…再生ヘッド評価工程、
１０４…再生／記録両構成ヘッド試作工程、
１０６…再生／記録両構成ヘッド評価工程、
１０８…再生／記録両構成ヘッド製作工程。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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