(57)【要約】  【課題】切削屑の堆積を防止するとともに、切削水および排気の排出効率を高め、オイルパン等の洗浄を容易にし、且つ、ウェハ交換部を清浄に維持する。  【解決手段】ワークＷを載置したワークテーブル２４と、該ワークＷを切断するブレード２５と、前記ワークテーブル２４上のワークＷを前記ブレード２５に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構２６と、前記ブレード２５を回転可能に取り付けたスピンドル３０と、該スピンドル３０を移動可能に支持するスピンドル移動機構２８とを備え、該スピンドル移動機構２８と前記ワークテーブル送り機構２６とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、前記ワークＷの切断時に前記ブレード２５に沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に排水口３５を有する排水機構３６が配設され、該排水機構３６は前記排水口３５に接近するに伴い幅狭になる排水路を有し、前記切削水は流速を大きくしながら排水されるように構成した。【選択図】図１
2010272849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、
前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に排水口を有する排水機構が配設され、該排水機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる装置内壁ないしは装置匡体を有することを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置。
【請求項２】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、
前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排気口を有する排気機構が配設され、該排気機構は前記排気口に接近するに伴い幅狭になる装置内壁ないしは装置匡体を有するように構成したことを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置。
【請求項３】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の２つの対角線上に配置され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排水口を有する排水機構と、排気口を有する排気機構とが配設され、該排水機構と排気機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる排水路を有し、且つ、前記排気機構は前記排気口に接近するに伴い幅狭になる排気路を有し、前記排水機構が配置された対角線上であって該排水機構の反対側にワーク交換部が設けられていることを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置。
【請求項４】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の２つの対角線上に配置され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排水口を有する排水機構と、排気口を有する排気機構とが配設され、該排水機構と排気機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる排水路を有し、且つ、前記排気機構は前記排気口に接近するに伴い幅狭になる排気路を有し、更に、前記ワークから流れ出す切削水を受けるオイルパンが前記ワークテーブル送り機構を囲むように設けられ、該オイルパンは、前記ワーク切断加工位置にて幅広に形成されているとともに、該オイルパンに接続された前記排水機構に向かうに伴い幅狭になるように形成されていることを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置。
【請求項５】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の２つの対角線上に配置され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排水口を有する排水機構と、排気口を有する排気機構とが配設された排水排気機構付きダイシング装置の環境制御方法であって、
スピンドル移動機構により、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離し、前記ブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水及びミストを、前記排水機構及び排気機構に夫々直接流入させた後、切削水及びミストを前記排水口及び排気口に向けて収束させながら排出させることを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置の環境制御方法。
【請求項６】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に向かうに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置。
【請求項７】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあり、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置匡体は幅広になるとともに、前記スピンドル移動機構から前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に向かうに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置。
【請求項８】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあるとともに、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上であって、前記ワークテーブル送り機構の他端側付近に排水収集する排水機構が配設され、前記ワークテーブル送り機構を横切って前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置の間にカーテンブラシを有し、該カーテンブラシは、ワークが前記ワーク加工位置から前記ワーク交換位置に移動時にワーク表面に接触し、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置匡体は幅広になるとともに、前記スピンドル移動機構から前記排水機構に接近するに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置。
【請求項９】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあるとともに、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上であって、前記ワークテーブル送り機構の他端側付近に排水収集する排水機構が配設され、前記ワークテーブル送り機構を横切って前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置の間にカーテンブラシを有し、該カーテンブラシは、ワークが前記ワーク加工位置から前記ワーク交換位置に移動時にワーク表面に接触し、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置匡体は幅広になるとともに、前記ワークテーブル送り機構を横切って、カーテンブラシと前記スピンドル移動機構から前記排水機構に接近するに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置。
【請求項１０】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあり、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置。
【請求項１１】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあり、さらに前記スピンドル移動機構上であって前記ワークを移動させるＸ軸から外れた左右の部分にスピンドルメンテナンス位置を設け、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置。
【請求項１２】
ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、スピンドル移動機構を境として装置前部のクリーンゾーンと装置後部のダーティゾーンに区分けされ、前記ワークを交換するワーク交換位置は前記クリーンゾーンにあり、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って切削水及び切削ミストが飛散する方向に前記ダーティゾーンを配置し、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置の匡体幅は増大し、前記スピンドル移動機構から前記ダーティゾーンに向かって装置の匡体幅が狭くなるように構成されていることを特徴とするダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置並びに排水排気機構付きダイシング装置及びその環境制御方法に関し、特に、半導体ウェハ等のワークを小片に切断分割するダイシング装置並びに排水排気機構付きダイシング装置及びその環境制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハや電子部品材料等のワークを個々のチップに切断分割するためにダイシング装置が使用される。ダイシング装置は、ワークが載置されるワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、該ワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えている。
【０００３】
ダイシング装置の代表的な従来例を図１１に示す（特開２００２−２８０３２８参照）。同図に示すように、方形匡体（ダイシング装置１０の本体部）１の右側後部にロードポート２が設けられているとともに、該方形匡体１の右側前部にワーク洗浄部３が設けられている。
【０００４】
又、方形匡体１の左側中央部にワーク（ウェハ）切断加工部４が配設され、且つ、方形匡体１の右側中央部にワークテーブル５が配置され、これにより、ダイシング装置の前面側に位置するオペレータＭは、ロードポート２及びワーク洗浄部３にアクセスできるように構成されている。方形匡体１の前後方向中央部にワークテーブル送り機構６が配置されているため、ワークＷはオペレータＭから遠く離れた方形匡体１の前後方向中央部を左右方向に走行する。
【０００５】
更に、ワークＷを切断するブレード７は、スピンドル８に回転自在に取り付けられている。そして、スピンドル移動機構９には、スピンドル８を支持するガイドレール（図示せず）が設けられている。
【０００６】
ダイシング装置によりワークＷの切断加工を行う際は、切削水ノズル（図示せず）からブレード７及びワークＷの加工ポイントに向けて切削水が供給され、供給した切削水は、その後、ワークテーブル５を囲うように配置されたオイルパン１１に廃液として流れ込む。そして、オイルパン１１に流れ込んだ切削水は、オイルパン１１の下流側に形成された排水口１２から排水管１３を経由して外部に排水される。なお、オイルパン１１には蛇腹が載置された支持板が設けられ、蛇腹は図示しないＸ軸ガイドレール等の駆動機構を覆っている。
【０００７】
従来の排水機構付きダイシング装置としては特開２００６−２４７７６０（特許文献１）、特開２００２−１０３１７７（特許文献２）、特開２００３−１２４１５０（特許文献３）、特許２６９４９３１（特許文献４）及び特開２００２−２８０３２８（特許文献５）などが知られている。
【０００８】
例えば、特許文献１の発明は、防護カバーの内面に切削水が飛散し防護カバーの透明性が失われることを防止するために、防護カバーの内面に親水性塗膜を形成して、水との接触角を３０度以下にすることにより、切削水が水滴になりにくくなるので防護カバーの表面から切削水が流れ落ち易くなる。
【０００９】
また、特許文献２の発明では、切削水を受け止めるウォーターケースを設け、該ウォーターケースにより受け止めた切削水を一時的に貯溜して排水するプールを設け、且つ、この排水プールの底部をウォーターケースの底部よりも低い位置に形成し、更に、排水プールには排水口を前記ウォーターケースの底部よりも高い位置に形成している。
【００１０】
さらに、特許文献３の発明は、ワークを加工部内で切削している間に発生するミストをエアーにより加工部外側に排出するが、その際、いかなる設備環境であっても適切な排気風圧を得ることができるように、排気風量を調整できるように構成している。具体的には、切削中に発生するミストを所定閉空間の外側にエアーによって排出する強制排気装置と、該強制排気装置の排気風量を調整する風量調整手段を設けている。
【００１１】
一方、特許文献４の発明では、切削水とともにミストが周囲一面に飛散することを防止するためのミストカバーを付設し、且つ、ブレードの前方にミスト飛散防止カバーを取り付けている。
【００１２】
又、特許文献５の発明は、フロアスペースを増加させることなく安全な配置を確保するために、ロードポートをダイシング装置の背面側に備え、ウェハを切断する加工部はダイシング装置の左側に配置し、且つ、ワークテーブルはダイシング装置の右側に設置して、オペレータがロードポート及びウェハ洗浄部の双方にアクセスできるように構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００６−２４７７６０
【特許文献２】特開２００２−１０３１７７
【特許文献３】特開２００３−１２４１５０
【特許文献４】特許２６９４９３１
【特許文献５】特開２００２−２８０３２８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上記特許文献１〜５記載の発明は以下のような問題点を有している。先ず、特許文献１記載の発明では、ブレードによるワークの切断方向に対して、ダイシング装置の方形匡体の壁面が直角または略直角に形成されている場合、前記方形匡体もしくは方形匡体に相当する壁部分に切削水が衝突し、衝突後に跳ね返った切削水は周囲に散乱する（図１４参照）。ブレードから飛散する切削水は、通常ブレードの回転方向の延長線上に最も多く、飛散する。その延長線上から横へ離れるに従って、飛散する切削水は減少していく。これは、図１４に示すように、その飛散する分布は、ブレードの回転方向延長線上を中心とした確率分布となる。ブレードからの距離が離れれば離れるほど、飛散する距離は広範囲となる。例えば、防護カバーに親水性塗膜が形成されていても、散乱した切削水は、徐々に流れ落ちる間にその殆どが乾燥してしまう。
【００１５】
その結果、切削水の中に含まれている切削屑によって防護カバーの内壁が汚染し、汚染部分を定期的に清掃する必要がある。このような汚染現象は、防護カバーの内壁に限らずオイルパンや排水口付近についても同様であり、切削水が滞留する部分は、切削水の水分が乾燥して切削屑が堆積することになる。
【００１６】
また、周囲に散乱した切削水は、次に飛散する切削水によって洗い流されないために、結果として、散乱した切削水は周囲一面に滞留して徐々に乾燥して切削屑が堆積することとなる。このため、切削屑が堆積したダイシング装置の内側部分は洗浄水で丹念に洗い流す必要がある。
【００１７】
又、特許文献２の発明では、ウォーターケース（若しくはオイルパン）は、チャックテーブル送り装置機構を覆う蛇腹の形状に合わせてほぼ長方形に形成され、且つ、排水機構の排水口部分は長方形の略頂点付近に形成されている。この構成によれば、ウォーターケースが多少傾斜して形成されていた場合でも、ウォーターケースはその長手方向全域において同一の幅寸法を有するため、切削水はウォーターケースを穏やかな速度で流れて排出される。
【００１８】
特に、オイルパンの上流側は飛散する切削水の量が少ないために、切削水が半分乾燥すると、切削屑が塊を形成し易い。この場合、切削屑が完全な塊にならなくとも、ある程度の大きさの固まりを形成すると、この固まりがウォーターケースを滑り落ちることになるが、このとき、ウォーターケースは、その長手方向全域に及び一定の幅寸法を有し、且つ、ウォーターケースの終端部にドレイン部が設けられているため、ドレイン部付近で切削水が一時的に停滞する。
【００１９】
この結果、切削水の中に含まれる切削屑は、ドレイン部から少し離れた箇所で塊となって沈殿し始める。そして、沈殿した切削屑は、徐々に堆積してウォーターケースの流水路を堰き止める程度に大きくなる。また切削屑は、ウォーターケースの排水口付近のウォータープール内に堆積するようになり、この堆積物はいずれ清掃する必要がある。
【００２０】
特に、切削水などの切削屑を含む水が排出される場合、この水はドレイン部で停滞するため、ドレイン部付近の水の流速が小さくなる。それによって、切削屑の沈殿又は堆積が進行して流動作用が阻害される。よって、切削屑をフィルターなどでドレイン（捕捉）する場合は、ドレインによる流速の減少に応じて流速が自然に増加する方式を採用しないと、ドレイン部付近付近で流動作用が停滞して切削屑が沈殿し、沈殿物が徐々に堆積することになる。
【００２１】
さらに、切削屑が溜まるウォーターケースの排水路は、定期的に清掃する必要がある。しかし、排水路は、その上側の蛇腹部分と対応する形状寸法に制約されている。従って、ウォーターケースの排水路の幅寸法が狭いためにスペース的に切削屑が溜まりやすく、排水路の清掃が非常に困難になる。
【００２２】
前記ウォーターケースの外形は、ダイシング装置の外形とほぼ一致しているために、ウォーターケースの形状を変更すると、ダイシング装置の外形も変更しなければならない。また、セラミックス等の比較的重い被加工物を切削した場合、ウォーターケースの底部にセラミックス等の切削屑（スラッジ）が堆積することがある。この堆積した切削屑は排水路を閉塞させて、使用済みの切削水がドレイン部まで流れなくなり、ウォーターケースから切削水が溢れ出るという問題があった。
【００２３】
又、特許文献３の発明は、ワークを加工部内で切削している最中に発生するミストをエアーにより加工部の外側に排出する際、いかなる環境であっても適切な排気風圧を確保すべく、排気風量を調整できるように構成し、且つ、切削中に発生するミストを閉空間部の外側にエアーで排出するための強制排気装置を備え、しかも、ブレードから切削水の飛散する方向に排気口が配設されている。
【００２４】
この構造によれば、切削水のミストが乱流となってダイシング装置内部に滞留する箇所が発生し、ブレードの回転方向の下流側だけでなく上流側にもミストが充満するようになる。その結果、ミストが滞留する箇所に切削水が固まり易くなり、固まった切削屑は、メンテナンス時に除去する必要がある。
【００２５】
さらに、ダイシング装置の内壁面で排気口が形成されている場合、当該排気口の延長線上に形成されるミスト雰囲気は収集されるが、前記延長線上から位置ずれした排気口周辺のミスト雰囲気は収集されずに、排気口の壁面に淀んでしまう。そのため、排気口周辺にミストが渦を巻くようになり、結果的に、排気口の壁面沿い周辺はミストが残存するので、排気口からミストを効率良く外部に吸引することができなくなる。
【００２６】
この場合も、ミストの残存した壁面に切削屑が固まるために、前記同様に、特別なメンテナンスが必要になる。また、切削屑が固まると、固形物は壁面からいずれ剥がれ落ちて、排水口付近に残存するため、排水作用を阻害する等の問題が懸念される。
【００２７】
次に、特許文献４の発明は、ダイシング加工時、切削水とともにミストが加工部に当たって周囲一面にミストが飛散することを防止するためにミストカバーを設けるとともに、ブレードの前方にミスト飛散防止カバーを設置しているが、飛散防止カバー（緩衝材）によって切削水の跳ね返りが防止され、また、緩衝材から滴下した切削水は、受け板の傾斜面に沿って切削方向に流れて加工部の外側に導かれる。
【００２８】
この場合、前記跳ね返りを防止した緩衝材自体に切削水が残存して、該切削水が乾燥して滞積する。また、緩衝材から滴下した切削水は、受け板の傾斜面上で十分な流量及び流速を有しないために、前記傾斜面上に滞留し、そのまま乾燥して切削屑が滞積する。滞積した切削屑は飛散防止カバーなどを取り外して清掃しなければならず、ダイシング装置を清浄に保つために洗浄などのメンテナンス作業を丹念に行う必要がある。
【００２９】
また、特許文献５の発明は、スピンドル移動機構とワークテーブル移動機構が方形のダイシング装置の方形匡体の縦横方向と対応する直交方向に配設されている。この構成によれば、直交する２つの移動機構の間の隙間部分に余分な空間部が発生するために、ダイシング装置が大型化するのみならず、ダイシング装置内を排気する際に、ダイシング装置が大型化する分だけ内部空間が増大するので、それに応じて排気効率が低下する。
【００３０】
また、ワーク切断加工部から排出される切削水のミストが周囲に飛散して汚染する空間領域と、ワークを搬送又は交換する側の空間領域とが雰囲気的に明確に区分されておらず、しかも、ミストが飛散する汚染部分が効率的良く排気し難い構造になっている。
【００３１】
従って、前記汚染空間領域からワークを搬送する側の空間領域内にミストが飛散することがあり、場合によっては、清浄に維持すべきワーク交換部にもミストが飛散することがある。依って、ミストを効率良く排気するためには、ミストを層流として外部に吸引する設備を付設することが考えられるが、この場合には設備コストが高騰する。
【００３２】
又、図１２及び図１３に示すように、長手方向全域にわたり一定の幅寸法を有するオイルパン（ウォーターケース）１３においては、その下流端にワークの端材等が当該下流端幅方向全域に散在する。依って、前記ワークの端材等を一時的に溜めて、加工後にまとめて回収処理する必要があり、その場合、散在した端材等を掻き集めなければならないので、メンテナンス作業が繁雑になる。散在した端材等を集約させるためには、図１１に示すように、既存のメンテナンスエリアＥの外側に余分なスペースＳを増加させる必要がある。
【００３３】
そこで、切削屑の沈殿・堆積を防止するとともに、切削水およびミストの排出効率を高め、且つ、オイルパン等の洗浄を容易にし、ワーク交換部を清浄に維持するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に排水口を有する排水機構が配設され、該排水機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる装置内壁ないしは装置匡体を有することを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置を提供する。
【００３５】
この構成によれば、スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。この後、切削水は、排水口に接近するに伴い幅狭になる装置内壁ないしは装置匡体を通過することにより、排水口に向けて自然に収束するように流れる。その結果、切削水は流速を大きくしながら排水される。
【００３６】
請求項２記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排気口を有する排気機構が配設され、該排気機構は前記排気口に接近するに伴い幅狭になる装置内壁ないしは装置匡体を有するように構成したことを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置を提供する。
【００３７】
この構成によれば、スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散するミストは、その排出方向の略延長線上に設けた排気機構に直接流れ込む。この後、ミストは、排気口に接近するに伴い幅狭になる装置内壁ないしは装置匡体を通過することにより、排気口に向けて自然に収束するように流れる。依って、ミストは流速を大きくしつつ円滑に排気される。
【００３８】
請求項３記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の２つの対角線上に配置され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排水口を有する排水機構と、排気口を有する排気機構とが配設され、該排水機構と排気機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる排水路を有し、且つ、前記排気機構は前記排気口に接近するに伴い幅狭になる排気路を有し、前記排水機構が配置された対角線上であって該排水機構の反対側にワーク交換部が設けられていることを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置を提供する。
【００３９】
この構成によれば、スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水及びミストは、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構及び排気機構に夫々直接流れ込む。この後、切削水は、排水口に接近するに伴い幅狭になる排水路を通過することにより、排水口に向けて収束するように流れて、流速を大きくしつつ排水される。又、ミストは、排気口に接近するに伴い幅狭になる排気路を通過することにより、排気口に向けて収束するように流れて、流速を大きくしつつ排気される。更に、排水機構と同一対角線上であって、スピンドル移動機構を境として排水機構の反対側にワーク交換部を備えるので、スピンドル移動機構は、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽機能を発揮しうる。
【００４０】
請求項４記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の２つの対角線上に配置され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排水口を有する排水機構と、排気口を有する排気機構とが配設され、該排水機構と排気機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる排水路を有し、且つ、前記排気機構は前記排気口に接近するに伴い幅狭になる排気路を有し、更に、前記ワークから流れ出す切削水を受けるオイルパンが前記ワークテーブル送り機構を囲むように設けられ、該オイルパンは、前記ワーク切断加工位置にて幅広に形成されているとともに、該オイルパンに接続された前記排水機構に向かうに伴い幅狭になるように形成されていることを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置を提供する。
【００４１】
この構成によれば、加工時、ブレードに沿って飛散する切削水及びミストは夫々、排水機構及び排気機構に直接流入するので、周囲に散乱することが防止される。又、切削水及びミストは流速を大きくしながら排出されるので、排水効率及び排気効率を向上させることができる。特に、切削水に含まれた切削屑が排水路底面に沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む切削水により押し流されるので、沈殿・滞積物の除去作業が不要になる。更に、オイルパンは、ワーク切断加工位置にて幅広に形成されているので、ワークテーブルから流出もしくは飛散する切削水はオイルパンにより広範囲に受け止められる。又、オイルパンは排水機構に向かうに伴い幅狭になるように形成されているので、切削水は流速を大きくしながら排水機構に向かって流れる。
【００４２】
請求項５記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の２つの対角線上に配置され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水とミストの排出方向の略延長線上に、排水口を有する排水機構と、排気口を有する排気機構とが配設された排水排気機構付きダイシング装置の環境制御方法であって、スピンドル移動機構により、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離し、前記ブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水及びミストを、前記排水機構及び排気機構に夫々直接流入させた後、切削水及びミストを前記排水口及び排気口に向けて収束させながら排出させることを特徴とする排水排気機構付きダイシング装置の環境制御方法を提供する。
【００４３】
この方法によれば、切削水及びミストは、排水口及び排気口に向けて収束しながら排出し、その際、流速を大きくしつつ排出される。また、スピンドル移動機構は、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽機能を発揮するので、切削水及びミストは、ワーク交換部が設置された側の領域に侵入する虞がない。
【００４４】
請求項６記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に向かうに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００４５】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。この後、切削水は、前記排出方向の略延長線上に向かうに伴い装置匡体が幅狭になることで、前記排水機構における排水口に向けて収束するように流れる。その結果、切削水は流速を大きくしながら排水される。
【００４６】
請求項７記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあり、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置匡体は幅広になるとともに、前記スピンドル移動機構から前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に向かうに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００４７】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。このとき、スピンドル移動機構は、ワーク交換位置側の空間領域を、前記切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽体として機能し、該スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置側の空間領域をクリーンゾーンとし、スピンドル移動機構より後部の切削水及び切削ミストが飛散する空間領域をダーティゾーンとして区分けする。そして該ダーティゾーン側において、装置匡体幅が切削水の排出方向の略延長線上に向かうに伴い幅狭になることで、切削水は流速を増しながら排水機構に集約して該排水機構から排水される。また、切削水と共に発生する切削ミストも流速を増しながら排気機構に集約して該排気機構から排気される。
【００４８】
請求項８記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあるとともに、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上であって、前記ワークテーブル送り機構の他端側付近に排水収集する排水機構が配設され、前記ワークテーブル送り機構を横切って前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置の間にカーテンブラシを有し、該カーテンブラシは、ワークが前記ワーク加工位置から前記ワーク交換位置に移動時にワーク表面に接触し、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置匡体は幅広になるとともに、前記スピンドル移動機構から前記排水機構に接近するに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００４９】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。このとき、スピンドル移動機構は、ワーク交換位置側の空間領域を、前記切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽体として機能し、該スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置側の空間領域をクリーンゾーンとし、スピンドル移動機構より後部の切削水及び切削ミストが飛散する空間領域をダーティゾーンとして区分けする。そして該ダーティゾーン側において、装置匡体幅が排水機構に接近するに伴い幅狭になることで、切削水は流速を増しながら排水機構に集約して該排水機構から排水される。また、切削ミストも流速を増しながら排気機構に集約して該排気機構から排気される。さらに、前記ワーク加工位置においてワークの切断加工が行われる際に、上記のように多くの切削水はダーティゾーンである排水機構側に飛ばされて排水される。しかし、一部の切削ミストは、ワーク切断加工位置で舞い上がり、場合によっては、クリーンゾーン側のワーク交換位置に対流する場合もありうる。これに対し、ワーク加工位置とワーク交換位置との間にカーテンブラシが存在することで、該カーテンブラシが前記一部の切削ミストの飛散からワーク交換位置を遮蔽する遮蔽体として機能し、ワーク加工位置とワーク交換位置を環境的に分離する。また、カーテンブラシは、ワーク加工位置からワーク交換位置に移動するワークの表面に接触することで、切断加工が完了したワーク上に切り屑等が堆積していても、こうした堆積している切り屑等は払いのけられて切断加工が完了したワーク表面が清浄化される。
【００５０】
請求項９記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあるとともに、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上であって、前記ワークテーブル送り機構の他端側付近に排水収集する排水機構が配設され、前記ワークテーブル送り機構を横切って前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置の間にカーテンブラシを有し、該カーテンブラシは、ワークが前記ワーク加工位置から前記ワーク交換位置に移動時にワーク表面に接触し、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置匡体は幅広になるとともに、前記ワークテーブル送り機構を横切って、カーテンブラシと前記スピンドル移動機構から前記排水機構に接近するに伴い幅狭になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００５１】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。このとき、スピンドル移動機構は、ワーク交換位置側の空間領域を、前記切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽体として機能し、該スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置側の空間領域をクリーンゾーンとし、スピンドル移動機構より後部の切削水及び切削ミストが飛散する空間領域をダーティゾーンとして区分けする。そして該ダーティゾーン側において、装置匡体幅が排水機構に接近するに伴い幅狭になることで、切削水は流速を増しながら排水機構に集約して該排水機構から排水される。また、切削ミストも流速を増しながら排気機構に集約して該排気機構から排気される。さらに、前記ワーク加工位置においてワークの切断加工が行われる際に、上記のように多くの切削水はダーティゾーンである排水機構側に飛ばされて排水される。しかし、一部の切削ミストは、ワーク切断加工位置で舞い上がり、場合によっては、クリーンゾーン側のワーク交換位置に対流する場合もありうる。これに対し、ワーク加工位置とワーク交換位置との間にカーテンブラシが存在することで、該カーテンブラシが前記一部の切削ミストの飛散からワーク交換位置を遮蔽する遮蔽体として機能し、ワーク加工位置とワーク交換位置を環境的に分離する。そして、前記装置匡体幅は、該カーテンブラシとスピンドル移動機構の部分から排水・排気機構に接近するに伴い幅狭になることで、カーテンブラシによりワーク交換位置への飛散が遮蔽された前記一部の切削ミストも流速を増しながら排気機構に集約して該排気機構から排気される。また、カーテンブラシは、ワーク加工位置からワーク交換位置に移動するワークの表面に接触することで、切断加工が完了したワーク上に切り屑等が堆積していても、こうした堆積している切り屑等は払いのけられて切断加工が完了したワーク表面が清浄化される。
【００５２】
請求項１０記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあり、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００５３】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。このとき、スピンドル移動機構は、ワーク交換位置側の空間領域を、前記切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽体として機能し、該スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置側の空間領域をクリーンゾーンとし、スピンドル移動機構より後部の切削水及び切削ミストが飛散する空間領域から区分けする。そして、ワーク交換位置側のクリーンゾーンは、装置匡体が前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広に形成されていることで、該ワーク交換位置の局所的な部分から取り込まれるクリーンエアーによりワーク交換位置側からスピンドル移動機構側に一方向放射状のエアーの流れが形成されて該ワーク交換位置は絶えずクリーンな環境に保たれる。
【００５４】
請求項１１記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、前記ワークを交換するワーク交換位置は、前記ワークテーブル送り機構の一端にあり、さらに前記スピンドル移動機構上であって前記ワークを移動させるＸ軸から外れた左右の部分にスピンドルメンテナンス位置を設け、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広になる装置匡体を有することを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００５５】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。このとき、スピンドル移動機構は、ワーク交換位置側の空間領域を、前記切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽体として機能し、該スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置側の空間領域をクリーンゾーンとし、スピンドル移動機構より後部の切削水及び切削ミストが飛散する空間領域から区分けする。そして、ワーク交換位置側のクリーンゾーンにおいて装置匡体は該ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広に形成されていることで、該ワーク交換位置の局所的な部分から取り込まれたクリーンエアーによりワーク交換位置側からスピンドル移動機構側に一方向放射状のエアーの流れが形成されて該ワーク交換位置は絶えずクリーンな環境に保たれる。また、上記のようにワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置の匡体幅が広がる構成に加え、ワークを移動させるＸ軸から外れた左右の部分にスピンドルメンテナンス位置を設けることで、スピンドルや対向する左右のブレードの測定・調整において、それぞれ同軸度、真円度、真直度などのブレードの正面側と垂直側の２方向からアクセスしなければならないメンテナンスに対して、これを一つのメンテナンスサイドから行うことができてスピンドル及びブレードのメンテナンス調整が非常に容易になる。
【００５６】
請求項１２記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設され、前記ワークを加工するワーク加工位置が略装置中央部にあるとともに、スピンドル移動機構を境として装置前部のクリーンゾーンと装置後部のダーティゾーンに区分けされ、前記ワークを交換するワーク交換位置は前記クリーンゾーンにあり、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って切削水及び切削ミストが飛散する方向に前記ダーティゾーンを配置し、前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い装置の匡体幅は増大し、前記スピンドル移動機構から前記ダーティゾーンに向かって装置の匡体幅が狭くなるように構成されていることを特徴とするダイシング装置を提供する。
【００５７】
この構成によれば、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが交差するワーク加工位置において、該スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、該ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流れ込む。このとき、スピンドル移動機構は、ワーク交換位置側の空間領域を、前記切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽体として機能し、該スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置側の空間領域をクリーンゾーンとし、スピンドル移動機構より後部の切削水及び切削ミストが飛散する空間領域をダーティゾーンとして区分けする。そして該ダーティゾーン側において、装置匡体幅が排水・排気機構に接近するに伴い幅狭になることで、切削水は流速を増しながら排水機構に集約して該排水機構から排水され、切削ミストも流速を増しながら排気機構に集約して該排気機構から排気される。一方、ワーク交換位置が存在するクリーンゾーン側においては、装置匡体が前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広に形成されていることで、該ワーク交換位置の局所的な部分から取り込まれるクリーンエアーによりワーク交換位置側からスピンドル移動機構側に一方向放射状のエアーの流れが形成されて該ワーク交換位置を絶えずクリーンな環境に保つことが可能となる。
【発明の効果】
【００５８】
請求項１記載の発明は、加工時、ブレードに沿って飛散する切削水は、排水機構に直接流入するので、周囲に散乱することが防止される。又、切削水は流速を大きくしながら排水されるので、切削水に含まれた切削屑が排水路底面に沈殿・滞積する虞がない。仮に、切削屑が沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む切削水により自然に押し流される。斯くして、従来例のように沈殿・滞積物の除去作業を行う必要がなく、切削水の排水効率を向上させることができる。
【００５９】
請求項２記載の発明は、加工時、ブレードに沿って飛散するミストは排気機構に直接流入するので、周囲に散乱することが防止される。又、ミストは流速を大きくしながら排出されるので、排気効率を向上させることができる。
【００６０】
請求項３記載の発明は、加工時、ブレードに沿って飛散する切削水及びミストは夫々、排水機構及び排気機構に直接流入するので、周囲に散乱することが防止される。又、切削水及びミストは流速を大きくしながら排出されるので、排水効率及び排気効率を向上させることができる。特に、切削水に含まれた切削屑が排水路底面に沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む切削水により自然に押し流されるので、沈殿・滞積物の除去作業が不要になる。更に、スピンドル移動機構は、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽機能を発揮しうる。従って、ワーク交換部側の空間領域にミストが侵入する虞がないので、該ワーク交換部側の空間領域を常時清浄に維持することができる。
【００６１】
請求項４記載の発明は、加工時、ブレードに沿って飛散する切削水及びミストは夫々、排水機構及び排気機構に直接流入するので、周囲に散乱することが防止される。又、切削水及びミストは流速を大きくしながら排出されるので、排水効率及び排気効率を向上させることができる。特に、切削水に含まれた切削屑が排水路底面に沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む切削水により自然に押し流されるので、沈殿・滞積物の除去作業が不要になる。更に、スピンドル移動機構は、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽機能を発揮しうる。従って、ワーク交換部側の空間領域にミストが侵入する虞がないので、該ワーク交換部側の空間領域を常時清浄に維持することができる。又、ワークテーブルから流出もしくは飛散する切削水はオイルパンにより効率良く捕集できるのみならず、切削水は流速を大きくしながら排水されるので、排水口付近で切削水中の切削屑が沈殿したとしても、連続的に流入する切削水の流動作用により、沈殿物を排水口の方へ押し流して除去することができる。さらに、オイルパンを清掃する際、ワークテーブル（及び蛇腹機構）とオイルパンとの隙間が広くなるため、オイルパンのメンテナンス作業を容易に実施することができる。
【００６２】
請求項５記載の発明は、加工時、ブレードに沿って飛散する切削水及びミストは夫々、排水機構及び排気機構に直接流入するので、周囲に散乱することが防止される。又、切削水及びミストは流速を大きくしながら排出されるので、排水効率及び排気効率を向上させることができる。特に、切削水に含まれた切削屑が排水路底面に沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む切削水により自然に押し流されるので、沈殿・滞積物の除去作業が不要になる。更に、スピンドル移動機構は、ワーク交換部が設置された空間領域を、ミストが飛散する空間領域から隔離する遮蔽機能を発揮しうる。従って、ワーク交換部側の空間領域にミストが侵入する虞がないので、該ワーク交換部側の空間領域を常時清浄に維持することができる。
【００６３】
請求項６記載の発明は、ワークの切断加工時、ブレードの回転に沿って飛散する切削水は、その排出方向の略延長線上に設けた排水機構に直接流入することから、加工部分周囲の匡体内に散乱することが防止される。又、切削水は流速を大きくしながら排水されるので、切削水に含まれた切削屑が排水部分の匡体底面に沈殿・滞積する虞がない。仮に、切削屑が沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む流速の大きい切削水により自然に押し流される。斯くして、従来例のように沈殿・滞積物の除去作業を行う必要がなく、切削水の排水効率を高めることができる。
【００６４】
請求項７記載の発明は、ワークの切断加工時、ブレードの回転に沿って飛散する切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストは、ダーティゾーン側において、流速を増大しつつ排水・排気機構に集約することから、該排水・排気機構から効率よく除去することができる。また、切削水に含まれる切削屑は、切削水が流速を増大しつつ排水されることから、匡体底面に沈殿・滞積する虞がない。仮に、切削屑が沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む流速の大きい切削水により自然に押し流される。また、スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置が存在するクリーンゾーンには切削ミストが飛散する虞がなく、ワーク交換位置を常時清浄に維持することができる。
【００６５】
請求項８記載の発明は、ワークの切断加工時、ブレードの回転に沿って飛散する切削水・切削ミストは、ダーティゾーン側において、流速を増大しつつ排水・排気機構に集約することから、該排水・排気機構から効率よく除去することができる。また、切削水に含まれる切削屑は、切削水が流速を増大しつつ排水されることから、匡体底面に沈殿・滞積する虞がない。仮に、切削屑が沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む流速の大きい切削水により自然に押し流される。また、スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置が存在するクリーンゾーンには切削ミストが飛散する虞がなく、ワーク交換位置を清浄に維持することができる。さらに、ワーク切断加工時に一部の切削ミストが舞い上がっても、カーテンブラシが該一部の切削ミストの飛散からワーク交換位置を遮蔽する遮蔽体として機能し、このような一部の切削ミストについてもワーク交換位置に飛散するのを防止することができてワーク交換位置を清浄に維持することができる。また、カーテンブラシは、ワーク加工位置からワーク交換位置に移動するワークの表面に接触して、切断加工が完了したワーク上に切り屑等が堆積していても、こうした堆積している切り屑等を払いのけて切断加工が完了したワーク表面を清浄にすることができる。
【００６６】
請求項９記載の発明は、ワークの切断加工時、ブレードの回転に沿って飛散する切削水・切削ミストは、ダーティゾーン側において、流速を増大しつつ排水・排気機構に集約することから、該排水・排気機構から効率よく除去することができる。また、切削水に含まれる切削屑は、切削水が流速を増大しつつ排水されることから、匡体底面に沈殿・滞積する虞がない。仮に、切削屑が沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む流速の大きい切削水により自然に押し流される。また、スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置が存在するクリーンゾーンには切削ミストが飛散する虞がなく、ワーク交換位置を清浄に維持することができる。さらに、ワーク切断加工時に一部の切削ミストが舞い上がっても、カーテンブラシが該一部の切削ミストの飛散からワーク交換位置を遮蔽する遮蔽体として機能し、このような一部の切削ミストについてもワーク交換位置に飛散するのを防止することができるとともに排気機構に集約させて該排気機構から除去することができてワーク交換位置を清浄に維持することができる。また、カーテンブラシは、ワーク加工位置からワーク交換位置に移動するワークの表面に接触して、切断加工が完了したワーク上に切り屑等が堆積していても、こうした堆積している切り屑等を払いのけて切断加工が完了したワーク表面を清浄にすることができる。
【００６７】
請求項１０記載の発明は、装置匡体がワーク交換位置からスピンドル移動機構に接近するに伴い幅広に形成されていることで、クリーンなエアーをワーク交換位置の局所的な部分から取り込み、これをワークの切断加工部側（スピンドル移動機構側）へ適度に分散させながら導入することができる。その結果、ワーク交換位置側からスピンドル移動機構側に一方向放射状のクリーンなエアーの流れを形成することができて該ワーク交換位置を常時清浄に維持することができる。
【００６８】
請求項１１記載の発明は、装置匡体がワーク交換位置からスピンドル移動機構に接近するに伴い幅広に形成されていることで、クリーンなエアーをワーク交換位置の局所的な部分から取り込み、これをワークの切断加工部側（スピンドル移動機構側）へ適度に分散させながら導入することができる。その結果、ワーク交換位置側からスピンドル移動機構側に一方向放射状のクリーンなエアーの流れを形成することができて該ワーク交換位置を常時清浄に維持することができる。また、上記のようにワーク交換位置からスピンドル移動機構に接近するに伴い装置の匡体幅が広がる構成に加え、ワークを移動させるＸ軸から外れた左右の部分にスピンドルメンテナンス位置を設けることで、スピンドルや対向する左右のブレードの測定・調整において、それぞれ同軸度、真円度、真直度などのブレードの正面側と垂直側の２方向からアクセスしなければならないメンテナンスに対して、これを一つのメンテナンスサイドから容易に行うことができる。
【００６９】
請求項１２記載の発明は、ワークの切断加工時、ブレードの回転に沿って飛散する切削水及び該切削水と共に発生する切削ミストは、ダーティゾーン側において、装置匡体幅が排水・排気機構に接近するに伴い幅狭になることから、流速を増大しつつ排水・排気機構に集約して該排水・排気機構から効率よく除去することができる。また、切削水に含まれる切削屑は、切削水が流速を増大しつつ排水されることから、匡体底面に沈殿・滞積する虞がない。仮に、切削屑が沈殿・滞積しても、該沈殿・滞積物は、次に流れ込む流速の大きい切削水により自然に押し流される。また、スピンドル移動機構より前部のワーク交換位置が存在するクリーンゾーン側においては、装置匡体が前記ワーク交換位置から前記スピンドル移動機構に接近するに伴い幅広に形成されていることで、ワーク交換位置側からスピンドル移動機構側に一方向放射状のクリーンなエアーの流れを形成することができて該ワーク交換位置を常時清浄に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の一実施例を示し、ダイシング装置の各部のレイアウトを説明する配置平面図。
【図２】本発明の実施例に係るダイシング装置の排水排気機構の構成例を示す斜視図。
【図３】本発明の実施例に係るダイシング装置の排水排気機構の作用を説明する解説図。
【図４】図３の排水機構の三角コーナー部における端材の捕集作用を説明する解説図。
【図５】本発明の実施例に係るダイシング装置の環境制御方法を説明する解説図。
【図６】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は、本発明の実施例に係るブレードから飛散する切削水を説明する水量分布図、該切削水の飛散方向を説明する解説図、壁から反射する切削水を説明する水量分布図及び該切削水の反射方向を説明する解説図。
【図７】本発明の実施例において、スピンドルの交換等を説明するための平面図であり、（ａ）はスピンドルＡの交換等を説明するための図、（ｂ）はスピンドルＢの交換等を説明するための図。
【図８】本発明の実施例において、装置匡体におけるワーク交換部の両側を切り欠いてワーク交換部からスピンドル移動機構までを徐々に幅広く設定した構成例を示す平面図であり、（ａ）は切り欠く前の装置匡体、（ｂ）は切り欠いた後の装置匡体構成例。
【図９】本発明の実施例において、装置匡体における排水・排気機構の両側を切り欠いてスピンドル移動機構から排水・排気機構までを徐々に幅狭に設定した構成例を示す平面図であり、（ａ）は切り欠く前の装置匡体、（ｂ）は切り欠いた後の装置匡体構成例。
【図１０】本発明の実施例において、スピンドル移動機構からワーク交換部に戻る途中のワークテーブル送り機構の上方にカーテンブラシを設置した構成例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図（ａ）中のＹ−Ｙ線に沿う断面図、（ｃ）は図（ｂ）を部分的に拡大して詳細に示す図。
【図１１】従来例を示し、ダイシング装置の各部のレイアウトを説明する配置平面図。
【図１２】従来例に係るダイシング装置の排水機構の構成例を示す詳細平面図。
【図１３】従来例に係るダイシング装置の排水機構における端材の捕集作用を説明する解説図。
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）及び（ｄ）は、従来例に係るブレードから飛散する切削水を説明する水量分布図、該切削水の飛散方向を説明する解説図、壁から反射する切削水を説明する水量分布図及び該切削水の反射方向を説明する解説図。
【発明を実施するための形態】
【００７１】
本発明は、切削屑の堆積を防止するとともに、切削水および排気の排出効率を高め、オイルパン等の洗浄を容易にし、且つ、ワーク（ウェハ）交換部を清浄に維持するという目的を達成するために、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置において、前記ワークの切断時に前記ブレードに沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に排水口を有する排水機構が配設され、該排水機構は前記排水口に接近するに伴い幅狭になる排水路を有し、前記切削水は流速を大きくしながら排水されるように構成したことによって実現した。
【実施例１】
【００７２】
以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図６に従って説明する。図１は本実施例に係るダイシング装置２１を示す平面図である。同図に示すように、平面視方形に形成されたダイシング装置２１の本体部である方形匡体２２は、その右前側隅部の直角二等辺三角形部分が切り欠けられ、ダイシング装置２１の前面に対して４５度の角度をなす斜辺縁部が形成されている。該斜辺縁部には開閉カバー付きの開口部２３が設けられ、この開口部２３から方形匡体２２上にてワーク交換及びメンテナンス作業を実施できるように構成されている。
【００７３】
又、方形匡体２２上には、ワークであるウェハＷが載置される回転可能なワークテーブル２４と、該ウェハＷを切断するブレード２５，２５と、ウェハＷを載置したワークテーブル２４をブレード２５，２５に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構２６とが設けられている。ワークテーブル送り機構２６は、方形匡体２２の右前側隅部と左後側隅部とを結ぶ第１対角線上に設置されている。
【００７４】
更に、方形匡体２２上にはスピンドル移動機構２８が設置され、該スピンドル移動機構２８はガイドレール２９を備えている。スピンドル移動機構２８は、方形匡体２２の左前側隅部と右後側隅部とを結ぶ第２対角線上に設置されている。このため、スピンドル移動機構２８は、ワークテーブル送り機構２６に対して直交するように配置されている。従って、スピンドル移動機構２８のガイドレール２９は、ワークテーブル送り機構２６によるワーク送り方向に対して直角に交差している。
【００７５】
ガイドレール２９には、２つのスピンドル３０，３０が移動可能に支持され、該スピンドル３０，３０は同一軸線上にて互いに対向して配設されている。各スピンドル３０，３０には、ブレード２５，２５が回転可能に取り付けられている。
【００７６】
又、ダイシング装置２１の略中央部、即ち、方形匡体２２におけるスピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６とが直交する部分にはワーク切断加工部３２が配設され、該ワーク切断加工部３２においてブレード２５，２５によりウェハＷを切断加工できるように構成されている。
【００７７】
本実施例のワーク切断加工部３２においては、ブレード２５，２５を保持するスピンドル３０，３０の移動距離を対角線の長さに応じて長くすることができるため、大口径のウェハＷであってもこれを効率良く切断することができる。又、スピンドル移動機構２８（又はガイドレール２９）は強度的に門型構造とすることを可とし、本実施例では、スピンドル移動機構２８を支持する門型の支柱は、ダイシング装置２１の方形匡体２２の支柱と共用するように構成されている。
【００７８】
そのため、剛性の高いスピンドル移動機構２８用の門型の支柱を特別に設けなくとも、ダイシング装置２１内にスピンドル移動機構２８及びガイドレール２９を効率良く配置でき、高剛性かつ高精度のダイシング装置２１を構成することができる。
【００７９】
更に、ダイシング装置２１の右前側部分にはワーク交換部３３が設けられ、該ワーク交換部３３は、方形匡体２２の右前側斜辺縁部に設けた開口部２３にに近接して配置されている。このワーク交換部３３において、ワークテーブル２４に載置されたウェハＷを容易に交換することができる。図中の符号３４は、ワーク切断加工部３２から流れ出る切削水や洗浄水の廃液を受けるオイルパンであり、該オイルパン３４はワークテーブル送り機構２６を包囲するように形成されている。
【００８０】
更に、方形匡体２２における左後側隅部には、図２にも示すように、排水口３５を有する排水機構３６と、排気口３７を有する排気機構３８とが配設されている。前記排水口３５は、高速回転するブレード２５，２５でウェハＷを切断する際に、該ブレード２５，２５の回転方向に沿って切削水や洗浄水が飛散する方向の延長線上に配置されている。また、前記排気口３７は排水口３５と対応する略真上部に形成されている。尚、ダイシング装置２１の所定位置には、操作・表示部、撮像手段、モニタテレビ、表示灯及びコントローラ（図示せず）等が設けられている。
【００８１】
次に、上記ダイシング装置２１を用いたダイシング加工方法について説明する。先ず、スピンドル３０，３０にブレード２５，２５を取り付けるとともに、ワークテーブル２４にウェハＷを載置固定する。次いで、ワークテーブル２４をワークテーブル送り機構２６により方形匡体２２の第１対角線方向に沿って方形匡体２２の略中央部に搬送させ、ワーク切断加工部３２にウェハＷを所定の移動速度で搬入させる。
【００８２】
然る後、ワーク切断加工部３２の中心に向かってスピンドル３０，３０を移動させ、該スピンドル３０，３０に取り付けたブレード２５，２５を高速回転させながら、ウェハＷの切断加工を行う。加工中、スピンドル３０，３０先端に設けた切削水用ノズル及び洗浄用ノズル（図示せず）から切削水及び洗浄水をウェハＷの加工ポイントに夫々供給する。
【００８３】
そして、供給された切削水（洗浄水を含む。以下同じ。）は、オイルパン３４により受けられる。この後、切削水は、オイルパン３４の下流側に流れたのち、オイルパン３４に接続した排水機構３６の排水口３５及び排水管（図示せず）を通過して外部に排出される。又、加工時に、切削水と共にミストがブレード２５，２５の回転方向に沿って飛散し、飛散したミストは、ワーク切断加工部３２から方形匡体２２の左後側隅部に向かって流れる。この後、ミストは、排気機構３８の排気口３７より排気管（図示せず）を通過して外部に排出される。
【００８４】
而して、ウェハＷに対する１つの切断ラインに沿うダイシング加工が終了すると、ブレード２５，２５は、次に加工する隣の切断ラインにインデックス送りされて位置決めされ、前記と同様の手順により、当該切断ラインに沿うダイシング加工が実施される。
【００８５】
そして、前記ダイシング加工が繰り返されることにより、所定数の切断ラインに沿うダイシング加工が全て終了すると、ワークテーブル２４と共にウェハＷを９０度回転させて、前記と同様の加工手順により、前述した切断ラインと直交する方向の切断ラインに沿ってダイシング加工が行われる。
【００８６】
而して、当該切断ラインに沿うダイシング加工が全て完了すると、ウェハＷは多数のチップに切断分割される。この後、ウェハＷを載置したワークテーブル２４はワークテーブル送り機構２６によりワーク交換部３３に搬送され、次に加工すべきウェハＷと交換される。この後、上記した加工手順に従って、当該ウェハＷのダイシング加工が新たに実施される。
【００８７】
所定枚数のウェハＷをダイシング加工すると、オイルパン３４の最下流側底部に設けた排水口３５の近傍に研削屑（研削粉を含む）が堆積するので、ダイシング装置２１の稼動を定期的に停止して、オイルパン３４の清掃が実行される。
【００８８】
次に、本実施例に係るダイシング装置２１の排水・排気機構について詳述する。本実施例は、ブレード２５，２５でウェハＷを切断するときに、該ブレード２５，２５に沿って飛散する切削水の排出方向の略延長線上に、排水口３５を有する排水機構３６と、排気口３７を有する排気機構３８とが配設されている。
【００８９】
排水機構３６は、図３に示すように、その最下流側に設けた排水口３５に接近するに伴い漸次幅狭になる排水路を有する。例えば、図１に示すように、排水機構３６の下流側には左右一対の水流ガイド部材４３，４３が設けられ、水流ガイド部材４３，４３はオイルパン３４の下流側に連設されている。該水流ガイド部材４３，４３は、平面視直角三角形のコーナー部と、コーナー部の流入側に連設され、且つ、方形匡体２２の第１対角線方向に延伸する平行水路部から構成できる。このため、切削水は排水口３５に接近するに伴い、流速を増加させながら、排水口３５に向かってスムーズに排水されるように構成されている。
【００９０】
また、排気機構３８は、方形匡体２２の左後側隅部の内面に設けた排気口３７に接近するに伴い漸次幅狭になる排気路を有し、ミストは図示しないブロワー等の作動により、流速を大きくしながら、排気口３７に向かって排出されるように構成されている。
【００９１】
又、ワークテーブル２４から流れ出る切削水を受けるオイルパン３４は、ワークテーブル送り機構２６の外周を包囲するように設けられている。そして、オイルパン３４は、ワーク切断加工部３２にて幅広に形成されているともに、該オイルパン３４の下流側に接続された排水機構３６に向かうに伴い、オイルパン３４の幅寸法が次第に幅狭になるように形成されている。
【００９２】
叙上の如く本発明によると、切削水は排水口３５によって効率良く捕集される。又、ブレード２５，２５の回転方向に沿って切削水とともに飛散するミストについても、排気口３７によって効率良く捕集される。即ち、ブレード２５，２５が回転してミストが飛散したとき、ミストの進行方向（図３の矢印Ｐ参照）において、方形匡体２２の内壁面２２Ｌ，２２Ｒに当たってその内側中央にミストが収束する。そして、収束したミストは排気口３７によって効率良く捕集される。
【００９３】
さらに、ワーク切断加工部３２のブレード２５，２５から流出また飛散する切削水を受けるオイルパン３４は、ウェハ切断位置と対応する部分で幅広に形成されている。依って、切削水等の廃液はオイルパン３４により広範囲で受け止められる。
【００９４】
又、オイルパン３４の下流側には排水機構３６が接続され、該排水機構３６の排水口３５へ向かうに伴い、オイルパン３４の通路幅が漸次狭くなるように形成されている。従って、切削水は排水口３５に向かって流れるに伴い効率良く捕集される。
【００９５】
更に、オイルパン３４を清掃する際、オイルパン３４はワークテーブル及び蛇腹（ワーク送り駆動部を覆う部材）との間の隙間が広いため、メンテナンス作業を容易に実施でき、加えて、切削水はオイルパン３４から排水口３５までの排水路を非常に円滑に流れるようになる。また、排水口３５の近傍上流側の間口が次第に狭くなっているので、切削水等の廃液の流速が相対的に速くなる。その結果、廃液の捕集効率を一層高めることができる。
【００９６】
さらに又、オイルパン３４のら排水口３５近傍部分に関しては、排水口３５に近接するに伴い間口が次第に狭くなっているので、切削水の流速が排水口３５付近で徐々に増大する。そのため、廃液中に含まれた切削屑が排水口３５付近で沈殿しても、該沈殿物は切削水の連続的な流動作用により排水口３５の方へ押し流される。
【００９７】
このように、排水路の幅狭化による切削水の流速の増大化に加えて、ブレード２５，２５の回転力に乗じて勢いのある切削水が絶えず連続して流入することにより、切削屑が排水口３５の方へ強制的に押し流されていく。
【００９８】
こうした切削水の中の切削屑が一部排水路に滞留したとしても、このように回りから連続して流入する切削水によって、一箇所に集められていくという自浄作用が効果的に働くため、定期的な清掃作業を大幅に軽減することが可能となる。
【００９９】
斯くして、本発明によれば、ウェハＷの切断加工により発生した切削屑を自動的に洗い流して、切削屑を効率良く捕集除去することができる。また、排水口３５には面積の広いフィルターやストレーナが取り付けられているために、切削水等の廃液に含まれる切削屑を一層効率的に捕集できる。
【０１００】
一方、ブレード２５，２５の回転に伴い切削水とともに飛散するミストに関しては、ミストが飛散する進行方向に対して、方形匡体２２の隅部両側内面が進行方向に向かって次第に収束する形状に形成され、しかも、ブレード回転方向（ウェハ切断方向）の延長線上に排気口３７が形成されているため、該排気口３７によってミストの排気を効率良く行うこができる。
【０１０１】
本発明は、方形匡体２２の内面ではなく、方形匡体２２の左後側角部付近に排気口３７を配置することにより、排気口３７周辺の内壁面にミストで淀んで該内壁面が汚染される虞もなく、排気口３７に向かうあらゆる方向からミストを効率良く捕集することができる。
【０１０２】
また、方形匡体２２の内面が、ダイシングすることによって飛び散るミストないしは水滴が飛散する方向に向かって次第に収束し、幅狭になるように形成される。これによれば、飛散した水滴が内面に跳ね返ったのちに、幅狭の先の隅部に自動的に集められるようになる。従来のように飛散した水滴によって装置内を汚すこともなく、すべて飛散する切削水、水滴、ミストや切削屑は、平面視方形のコーナ部分に集められることになるため、効率良く切削水、ミストを回収して、排出することが可能となる。
【０１０３】
さらに、第２対角線上に設けたスピンドル移動機構２８を境として、方形匡体２２における排気方向側の領域と異なり、その反対側のワーク交換部３３のあるワーク搬入側の領域は、ミストの飛散を極力回避させて清浄に保つ必要がある。特に、ワーク交換部３３は、ワーク洗浄位置を兼ねる場合があるため、ミストの侵入を防止する必要がある。この点、本発明によれば、第２対角線上に設置したスピンドル移動機構２８は、図５に示すように、ワーク交換側領域ＷＥを清浄な雰囲気に保持すべく、第２対角線Ｌ２を境とするミストの排気方向側領域ＭＥとワーク交換側領域ＷＥとを相互に隔離する機能を有する。
【０１０４】
殊に、ワークが大口径化のウェハＷである場合、ウェハＷの一端部から他端部までを精密に切断しなければならないため、スピンドル移動機構２８の稼動範囲は極力大きくする必要があり、それに対応してスピンドル移動機構２８のブレード２５，２５間の間口も広くなる。
【０１０５】
一方、ワーク交換部３３にミストが侵入しないようにするためには、スピンドル移動機構２８の間口は小さい方がよい。何故ならば、清浄な雰囲気を有する空間領域から、ミストが生じる清浄でない雰囲気に一方向に清浄なエアーを送り込む必要があるからである。スピンドル移動機構２８の間口を小さくした部分から、ワーク切断加工部３２のウェハＷを網羅した状態で清浄なエアーを一方向若しくは放射状に供給することにより、ミストがワーク交換部３３側である上流側領域に侵入することが阻止される。
【０１０６】
このようにエアーの流れを一方向若しくは放射状に供給する上では、ワーク交換部３３側から、清浄なエアーを供給する機構を設けてもよい。また、ワーク交換部３３側に清浄エアーを供給する機構を設けずとも、装置をクリーンルームに置き、装置の排気口３７から十分な差圧で装置内のミスト雰囲気を排気すれば、装置前面の開口部２３から順にクリーンな雰囲気を吸い込み、装置内では自然にエアーの流れができる。
【０１０７】
また、スピンドル移動機構２８において、スピンドル３０を移動させるガイドレール２９自体が十分な幅があるものであれば、清浄な雰囲気に保つ必要があるウェハ交換位置と、切削水が飛び跳ねて切削屑を排出する排気・排水口領域とを遮蔽することができる。この遮蔽効果は、スピンドル移動機構２８があることだけで、十分に機能する場合もあるが、スピンドル移動機構２８に加えて、図５の符号ＳＰで例示する遮蔽板などを付け加えて、さらに領域を分離する機能を高めてもよい。
【０１０８】
この遮蔽板ＳＰの幅や高さについては、切削ミストを排気する差圧にもよるため、一概に定量的に定められるものでもないが、領域として部分的に分離される構造であれば、十分に機能するものである。さらに、スピンドル移動機構２８から、排気口３７及び排水口３５へは徐々に幅狭として、筐体を収束させる一方で、ワーク交換部３３のあるウェハ交換位置も幅狭の状態にした方がよい。なお、図５中の符号５１はミストシャワーノズルである。
【０１０９】
ウェハ交換位置は、最もクリーンな環境としつつ、排気口３７からのミストが対流して、装置前面側に回ってこないようにする必要がある。ウェハ交換位置を広く取ると、切削ミストが回り込み、装置前面に壁を伝って回り込み、ウェハ交換位置に相当する装置壁面部分までも汚す可能性がある。
【０１１０】
スピンドル移動機構２８からウェハ交換位置においては、また、幅狭の状態とすることで、ウェハ交換位置に供給されるクリーンなエアーがスピンドル移動機構２８に分散していく状態を形成する。そのようにすることで、装置内におけるワーク加工位置から装置の背面部に飛散する切削水を効率よく、装置背面部から排出する一方で、スピンドル移動機構２８で簡易的に遮蔽し、さらにそこから、ウェハ交換位置にかけて、幅狭状態にすることで、ウェハ交換位置までに到達する切削ミストは殆ど存在しない。
【０１１１】
結果的に装置内にクリーンエリアと汚いエリアとを分離することができる。切削ミストの対流によるワーク交換位置での汚染は殆ど起こらない。さらに、こうしたクリーンエリアと汚いエリアを分離する際に、ワーク交換位置と切断位置の間にミストシャワー機構（ミストシャワーノズル５１）が設けられる。
【０１１２】
ウェハＷがワーク切断位置からウェハ交換位置に移動する際に、このミストシャワー部分を通過することで、物理的にウェハの搬送を難なく行うことができる一方で、切削ミストをウェハ交換位置に侵入させない雰囲気の遮断を効果的に行うことが可能となる。スピンドル移動機構２８の遮蔽効果と併用することで、さらなる領域分離を行うことができる。
【０１１３】
本実施例では、ガイドレール２９、スピンドル移動機構２８及びスピンドル３０，３０それ自身は、清浄な雰囲気に保持する必要があるワーク交換部３３側の領域と、切削水とそのミストが飛散するメンテナンス位置とを部分的に遮蔽する作用を有する。
【０１１４】
又、図４に示すように、本発明に係る排水機構３６の排水路下端側は、平面視三角形のコーナー部４５を有するので、例えば、切削水と共にワークの端材４４等が流れても、該端材等は三角形のコーナー部４５の頂角部分が自動的に集約される。依って、従来例のように、加工後にまとめて回収処理する必要がない。
【０１１５】
以上の如く本発明の実施例に係るダイシング装置は、切削水の排水及びミストの排気を効率良く行うと共に、ミストの排気を行う雰囲気エリアと、ウェハＷを清浄に保つ雰囲気エリアとを部分的に隔離し、且つ、その隔離された位置よりも上流側においては、清浄なエアーをガイドレール２９等に供給することにより、ダイシング装置２１の内部全体を一層清浄に保つことができる。
【０１１６】
ここで、従来例では、図１４に示すように、ブレードから直接噴射される切削水は、通常同図（ｃ）に示すように、比較的ブロードな確立分布になる。しかし、それに直角に壁を位置させると、その噴射された切削水はさらに跳ね返り、余計に切削水が広がることになる。噴射された切削水が広がると、それだけ表面積が増して乾燥しやすくなる。その結果、辺り一面に切削屑を含んだ切削水が乾燥して、切削屑が残存して汚染する。
【０１１７】
その点、本発明は、図６（ｂ）に示すように、装置匡体がブレード回転方向の延長線上に収束（幅狭が次第に遠ざかる）することで、飛散した切削水が自然に排水口３５に集まるようになる。
【０１１８】
例えば、同図（ｄ）に示すように、放物線状（Ｙ＝Ｘ2）に形成した場合は、この軸に対して平行に飛散する切削水は、全て原点に集まるようになる。
【０１１９】
ミストの発生については、切断点でブレード２５，２５とワーク（被加工物）の間に切削水が入り込む、小さいミストになる場合と、水滴が飛び散り幅狭が遠ざかる匡体内壁に当たって跳ね返る際に、ミストになる場合がある。特に、匡体に当たって跳ね返る場合、多量のミストが発生し、そこで一気にミストが上昇する。上昇したミストは、排気しない場合には装置の上部を伝わって装置の前面へ入り込むほか、小さい隙間を通過して電装関係部分に侵入することもある。装置内の電装関係部分にミストが入り込むと、錆が発生することや、ショートなどが起こることもある。そのため、効率良くミストを集めるとともに、その集めたミストを効率良く排気することが求められる。
【０１２０】
本発明によると、ブレード２５，２５による切削部から飛散する切削屑は、方形匡体２２の内壁面で効率良く一箇所に集められる。その集められた切削水が跳ね返って散った際にミストが舞い上がり、このミストは、集められた部分から急激に上昇することになる。しかし、その場所に排気口３７が設けられているため、効率的にミストを吸い上げることが可能となる。ミストは、排気口３７に接近するに従い負圧が高まるために、装置内でミストの対流が起こることはない。即ち、切削部分で飛散するミストも全て一箇所で集約できるように構成されている。
【０１２１】
さらに、スピンドル移動機構２８がウェハ交換位置と切削水廃液口及び切削ミスト排気位置とを分離する役割を果たす。即ち、スピンドル移動機構２８とそのガイドレール２９の幅寸法を適正に設定することで、装置前面部のクリーンエリアと、装置後角部の廃液・排気部とを互いに遮断分離する。その遮断効果により、装置の前面側と背面側とに適度な差圧にて画成される。
【０１２２】
以上の構成は、方形匡体２２の略対角線上にスピンドル移動機構２８があり、それと垂直にワークテーブル送り機構２６があり、ワークテーブル送り機構２６のスピンドル移動機構２８より手前側にワーク交換部３３によるワーク交換位置があり、奥側に排水口３５やミストの排気口３７がある場合に相当する。しかし、こうした構成を言い換えれば、厳密には方形匡体ではなくてもよく、次に示す特徴を有しているならば以下の作用効果を得ることができる。即ち、構成としては、ワーク交換位置からスピンドル移動機構２８に至る部分は、徐々に装置の筐体幅を広げていく構成とする。こうした構成によれば、次に示す効果を発揮できる。
【０１２３】
先にも述べたが、クリーンなエアーをワーク交換位置の局所的な部分から取り込み、それをワーク切断加工部３２によるウェハ加工部へ適度に分散させながら導入することが可能となる。その結果、一方向放射状のエアーの流れが形成され、絶えずクリーンな環境が保たれる。エアーの取り込みが局所的なワーク交換位置であるので、ウェハを切断加工時に同時に巻き上がる切削ミストが、ワーク交換位置に侵入することが難しくなる。何故ならば、ワーク交換位置から取り込まれるクリーンエアーの流速が最も速いので、切削ミストが逆流しにくくなるためである。
【０１２４】
さらに、ワーク交換位置からスピンドル移動機構２８に至る部分で装置の筐体幅を広げていく構成に加え、ワークを移動させるＸ軸から外れた左右の部分に、スピンドルメンテナンス位置を設ける。このようにすることで、次の作用効果が生まれる。
【０１２５】
対向する左右のブレード２５，２５を交換する場合や、メンテナンスをする場合、及び精度測定する場合など、ブレード２５，２５をワーク交換部３３の位置から左側か右側にずらすとよい。図７の（ａ）、（ｂ）は、この詳細を示している。例えば、ワーク交換位置からみて、右側のＢブレードの交換、調整や、Ｂスピンドルの端面研磨を行う場合、同図（ａ）に示すように、まず双方の対向スピンドルＡ，Ｂを、ワーク交換位置の左側、即ち、スピンドルメンテナンス位置１（ＳＰ・ＭＴ１）に移動させる。ワーク交換位置の左側のスピンドルメンテナンス位置１（ＳＰ・ＭＴ１）の壁面パネルを外す。
【０１２６】
Ｂブレードを外して、Ｂスピンドルの端面が汚れている場合などは、スピンドルメンテナンス位置１（ＳＰ・ＭＴ１）の左側より、（１）で示す右４５度方向にＢスピンドルをみて、Ｂスピンドルの端面を鏡面に研磨する。Ｂブレードを取り付けた後でＢブレードのＢスピンドルに対する同軸度やＢブレードの真円度を測定・調整する場合、スピンドルメンテナンス位置１（ＳＰ・ＭＴ１）の左側より、（１）で示す右４５度方向にＢスピンドルをみて、測定・調整すればよい。
【０１２７】
次に、ＢブレードがＢスピンドルに対して異物を噛まずに取り付けられ、Ｂブレードがワークに対して真直であるかどうかを測定調整する場合は、スピンドルメンテナンス位置１（ＳＰ・ＭＴ１）の右側より、（２）で示す左４５度方向にＢスピンドルをみて、測定・調整すればよい。このようにすることで、Ｂブレードがワークに対して振れている場合などは視認することもできるため、調整することが非常に簡単になる。
【０１２８】
このように、スピンドルやブレードの測定・調整において、それぞれ同軸度、真円度、真直度などのブレードの正面側と垂直側の２方向からアクセスしなければならないメンテナンスに対して、従来は装置の正面と側面という、装置の２つの側面を交互に行き来して調整しなければならなかったが、本発明のように一つのメンテナンスサイド、即ち、同一のスピンドルメンテナンス位置１（ＳＰ・ＭＴ１）の場所から、それぞれ右４５度方向、左４５度方向に確認しながら行うことができるため、スピンドル及びブレードのメンテナンス調整が非常に容易になる。
【０１２９】
また、ワーク交換位置からみて、左側のＡブレードを測定・調整する場合は、図７（ｂ）に示すように、先と対称にスピンドルメンテナンス位置２（ＳＰ・ＭＴ２）に両方のスピンドルＡ，Ｂを移動させ、スピンドルメンテナンス位置２  （ＳＰ・ＭＴ２）から前記と同様に調整することで、容易に確認することができる。以上より、装置外部からブレードまでのアクセスがし易くなる他、ブレードを正面から見る場合と側面から見る場合の二つを行いやすくなる。ブレードを正面から見る場合は、ブレード同軸度やブレードを取り付ける端面を研磨する場合などに必要であり、ブレードを側面から見る場合は、ブレード取付け時の振れを確認する際に必要となる。
【０１３０】
次に、スピンドル移動機構２８の部分奥行きはある程度の幅を確認するとして、切削水、切削ミストの排水・排気効率を向上させるために、徐々に装置の筐体幅を狭くしていく構成にするとよい。そのようにすることで、次に示す作用効果を得ることができる。スピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６が交差するワーク加工部分から飛散する切削水や切削ミストは、筐体幅が狭くなることで流速が増して、効率よく排除することが可能となる。切削ミストが筐体幅が狭くなっている部分が最も排気速度が速くなるため、切削ミストが装置内を対流することを防ぐことができる。以上の効果を得ることができる。
【０１３１】
こうした構成をまとめて言い換えれば次の構成になる。スピンドル移動機構２８を境として、それより前部にあるクリーンゾーンとそれより後部にあるダーティゾーンに区分けされ、該前部のクリーンゾーンにおいては、ワーク交換部３３の位置からスピンドル移動機構２８までは徐々に装置の筐体幅が増大し、装置内部の内壁の幅も増大する。スピンドル移動機構２８で最も幅が大きくなる。該後部のダーティゾーンにおいては、そのスピンドル移動機構２８から、ワーク交換位置と反対側にある後部の排水・排気機構３６，３８まで、徐々に装置の筐体幅が狭くなるように構成されて、筐体幅は後部の排水・排気機構３６，３８において収束する形態で形成される。
【０１３２】
即ち、装置のワーク交換位置側である前部はクリーンゾーンであり、メンテナンスゾーンも隣接する。一方、スピンドル移動機構２８を挟んで後部は、ダイシング加工によるワークのスラッジや、切削水、切削ミストなどが飛散するダーティゾーンとなる。ブレードに供給する切削水などはクリーンゾーン側からダーティゾーン側に供給され、水の供給も一方向の流れを形成する。これにより、ダーティゾーンにおける排水・排気機構３６，３８で全ての水を集約して排水排気される。
【０１３３】
また、オイルパン３４付近のスラッジにおいても、クリーンゾーン側から壁面を介して水を供給する機構を作ってもよい。また、排水のみならず排気においても、ワーク交換部３３付近にクリーンなエアーを吸気する口を設け、オイルパン３４の切削水が流れる溝とウェハ表面付近を通過して、後部の排気機構３８で、排気される構成とする。それにより、水の流れのみならず、気体の流れもワーク交換位置から排気口３７まで一方通行で水と共に空気も流れ、ウェハ切断加工位置においては絶えず比較的クリーンな空気が連続的に供給される雰囲気を形成できる。
【０１３４】
こうした結果、ウェハ切断加工により飛ばされたスラッジが壁に当たって跳ね返り、それが切断加工中のウェハＷ上に乗って、ブレード２５，２５とウェハＷの間に入り込むことがなくなる。また、切削水が飛び散ることにより、切削ミストが壁に当たってそのまま装置内に蔓延して、まさに切削している部分にまでも蔓延して、高速に回転するスピンドル３０の軸受部分に高湿なミストが入り込み、スピンドル３０の寿命が短くなることを防ぐ。ウェハＷは、クリーンゾーンとダーティゾーンの境部分で加工される。切削加工のスラッジや切削水は、ダーティゾーン側に飛ばされる。
【０１３５】
こうした領域分けをするためには、ワーク交換位置とワーク加工位置と切削水排水・排気位置とが略直線状に配置され、ワーク加工位置を境にしてワーク交換位置と切削水排水・排気位置とが、略反対側に配置されていればよい。そのように捉えれば、厳密には方形匡体ではなくてもよい。例えば、コーナー部分を面取りして、筐体を略８角形や、略７角形の装置としてもよい。結果的に上記に示した作用効果は大きく変わらない。
【０１３６】
筐体を略８角形とする場合は、その中における各部の構成は次のように示すことができる。即ち、スピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６はそれぞれが一定の幅を持ち、それらを直交して配置される。スピンドル移動機構２８の幅の部分で構成される両端面で、８角形の２辺をなす。ワークテーブル送り機構２６の幅の部分で構成される端面で一辺をなし、排水・排気機構３６，３８部分の幅で構成される端面で一辺をなす。残りの４辺はこれらの辺をつなげるように構成する。８角形のうち２辺は、スピンドルメンテナンス位置ＳＰ・ＭＴ１及びＳＰ・ＭＴ２に相当させてもよい。なお、７角形とする場合、排水・排気機構３６，３８部分は中央部に切削水を集めるために敢えて辺ではなく、頂点として構成し、あとは８角形の場合と同様にすればよい。
【０１３７】
また、以下のような応用例も考えられる。例えば、スピンドル３０部分でのメンテナンス性を向上させるには、図８の（ａ）→（ｂ）に示すように、装置内のワーク交換部３３において、該ワーク交換部３３の両側を切り欠けばよい。それによって、先述の通り、片側のスピンドル３０及びブレード２５をメンテナンスする際に、ブレード２５に対して垂直方向と正面方向の両方を装置の同一面から確認することができる。従来のように一つのブレードの調整に対して、装置の正面と側面とを行き来して、確認する作業をなくすことで、ブレード調整を簡便に行うことができる。
【０１３８】
さらに、ワーク交換部３３において、両側を切り欠いてワーク交換部３３からスピンドル移動機構２８までを徐々に幅広く設定することで、ワーク交換部３３から取り入れられたクリーンなエアーが、放射状に広がって、スピンドル移動機構２８に行くようになるため、装置内のエアーの流れが滞留することがなくなる。また、スピンドル移動機構２８で発生したワーク切削時のミストが逆流するか、対流するなどしてワーク交換部３３まで来ることはなくなり、ワーク交換部３３は絶えず清浄な環境を保つことが可能となる。
【０１３９】
さらに、ウェハ切断加工時に発生した廃水やミストなどの排気の効率を高めるためには、図９の（ａ）→（ｂ）に示すように、装置内の排気機構３８ないしは排水機構３６において、該排気機構３８ないしは排水機構３６の両側を切り欠けばよい。それによって、先述の通り、ウェハ切断加工によって飛び跳ねた切削水やミストなどが両側から収束して幅狭になっている壁に当たって、排気機構３８に集まりやすくなる他、排水も同様に収束して幅狭になっている内壁に当たって、排水機構３６に集まりやすくなる。
【０１４０】
なお、図８（ｂ）、図９（ｂ）において、装置匡体は破線のように形成しつつ、装置内部の壁面を同図のようにスピンドル移動機構２８から排水・排気機構３６，３８部分で収束して幅狭にするように構成してもよい。装置の占有面積としては大きくなるが、排水効率、排気効率の点において、実質的な作用効果は変わらない。
【０１４１】
次に、排水効率の点において、さらに排水効率を高めるためには、図１０の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す構成をとると更に効果的である。同図（ｂ）は同図（ａ）中のＹ−Ｙ線に沿う断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）を部分的に詳細に示す部分拡大図である。同図（ｂ）に示すように、ワークテーブル送り機構２６に沿って排水機構３６側が低くなるように傾斜させる。ワーク交換部３３の位置が最も高いところにあり、そこからスピンドル移動機構２８、さらに排水機構３６に渡って傾斜させ、排水機構３６が最も低いところにある。ワークは、ワーク交換部３３で投入し、スピンドル移動機構２８と交差するところで、ワークの切断加工が行われる。ワーク切断加工が終わった後に、ワーク交換部３３に戻される。
【０１４２】
スピンドル移動機構２８からワーク交換位置に戻る途中に、カーテンブラシ３９がある。さらにカーテンブラシ３９よりもワーク交換位置には、ミストシャワーノズル(多連シャワーノズル)５１が存在する。カーテンブラシ３９の作用効果としては、以下の二つがある。
【０１４３】
一つ目の作用効果は、カーテンブラシ３９によって、ワークを加工するスピンドル移動機構２８部分とワーク交換部３３のあるワーク交換位置とを環境的に遮蔽するためである。特にワークの切断加工が行われる際に、多くの切削水は排水機構３６部分に飛ばされて回収される。しかし、一部のミストは、切断加工部分で舞い上がり、場合によっては、装置前面のワーク交換位置に対流する場合もありうる。スピンドル移動機構２８部分とワーク交換位置の間にカーテンブラシ３９が存在すると、そのカーテンブラシ３９が、切削水のミストがワーク交換位置に来ることなく遮蔽し、ワーク加工位置とワーク交換位置とを環境的に分離してくれる。
【０１４４】
なお、ここで、上記カーテンブラシ３９を設けた場合においては、前記図９（ｂ）等の構成において、装置匡体幅を該カーテンブラシ３９とスピンドル移動機構２８の部分から排水・排気機構３６，３８に接近するに伴い幅狭に設定することで、カーテンブラシ３９によりワーク交換位置への飛散が遮蔽された前記一部のミストも流速を増しながら排気機構３８に集約して該排気機構３８から効率よく排気することが可能となる。
【０１４５】
二つ目の作用効果としては、スピンドル移動機構２８部分で切断加工が完了したワークは該ワーク上に切り屑やスラッジが堆積している。こうした堆積している切り屑をカーテンブラシ３９のブラシが払いのけるという効果がある。しかし、ブラシ先端がそのままの状態でウェハ（ワーク）表面に接触すると、ウェハ表面を傷つける場合がある。特に、スラッジがウェハ上に乗ったままブラシでこすり付けると、スラッジでウェハ表面を引き掻くことになってしまい、ウェハを傷つけることになる。
【０１４６】
こうした事態を避けるために、カーテンブラシ３９の上流側、即ちワーク交換位置付近から、ミストシャワーノズル５１でシャワーをウェハ上に落とし、ワークを載せたワークテーブル２４に沿いつつ、ワーク表面即ちウェハ表面に沿って水流を形成しながら、カーテンブラシ３９の下を通して、ウェハをワーク交換位置にまで戻す。このようにすることでカーテンブラシ３９の先端が水を介して接触するため、ウェハ上のスラッジでウェハ表面を擦ることはなく、カーテンブラシ３９がスラッジを払いのけると同時にスラッジは水流に乗って流されていく。その結果、ウェハ表面を傷付けることなく効果的に切り屑やスラッジ取り除くことが可能となる。
【０１４７】
ここで、ミストシャワーノズル５１からのシャワーはカーテンブラシ３９よりも上流側からウェハに沿って、もしくはワークテーブル２４に沿って供給するとしたが、カーテンブラシ３９の上側から、該カーテンブラシ３９に水を含ませながら供給しても構わない。この場合、ウェハ上においては、厳密にはウェハに沿った水流にはならず、カーテンブラシ３９に含まれた水で洗い流すことになるが、カーテンブラシ３９がスラッジをかき分ける際にウェハ表面を直接擦ることなく、水を介してスラッジを除去する点で同じような作用効果を得る。
【０１４８】
なお、ミストシャワーノズル５１をウェハに対して、排水機構３６側へ水が流れるように適度に傾けることで、ワーク交換位置から排水機構３６までを傾斜させなくてもよい場合もある。しかし、ウェハ表面のスラッジを取り除くためには、水の量が多くなってしまうことと、ある程度、水がウェハ表面で跳ね返ってしまい、効果的にスラッジを洗い流せない場合がある。
【０１４９】
ウェハを傾ける、ここではワーク交換位置から排水機構３６までを一様に傾けたシステムとし、ウェハ表面に付いたスラッジに対して、カーテンブラシ３９の上流からウェハに沿わせて水を供給することで、少量の水であっても効果的にウェハ表面を覆いつつ移動して滑り落ちる。その状態で、カーテンブラシ３９を使用して洗い流すことで、流れの中でカーテンブラシ３９がウェハ表面に軽く接する状況を巧みに形成することができ、効率的にスラッジを除去することが可能となる。
【０１５０】
結果的に、少ない水であっても、図１０（ｃ）に拡大して示すように、ウェハ表面での界面張力によって、水はウェハ上に広がり、ウェハ上を重力で滑り落ちることによって、効果的にウェハ表面を覆いつつ、そのまま滑り落ちてくれる。また、そのような水でウェハ表面を覆うことで、カーテンブラシ３９によって掃き出されたスラッジを効果的に洗い流すことが可能となる。
【０１５１】
カーテンブラシ３９の材質としては、ナイロン繊維などを使用すればよい。また、切断加工後のワークは静電気を帯びているケースもあるため、カーボンファイバーなどを使用しても構わない。カーボンファイバーの場合は、ウェハ上のスラッジを除去するほか、ウェハ表面を除電することも追加の目的となるため、一端をアースに落としておくことが不可欠となる。
【０１５２】
ナイロン繊維は、例えば、０．１ｍｍ径や０．２ｍｍ径のナイロンブラシを、ワークテーブル送り機構２６を横切る形で目を細かくカーテン上に直線状に束ねたものなどが好適に使用される。ナイロンブラシの長さは１００ｍｍ程度でよく、ワークテーブル送り機構２６の上をワーク（ウェハ）表面がブラシの先端に接触しながらも、ワークはワーク交換位置まで自動的にスライドしていくのが望ましい。
【０１５３】
純水の供給は、ワーク交換位置からカーテンブラシ３９の間に供給され、ワークを横切るような場所にミストシャワーノズル５１が設置されており、そこから、カーテンブラシ３９の下に潜り込ませる形で水を供給する。例えば、３００ｍｍウェハの場合、使用する水の流量は、２Ｌ／ｍｉｎ程度である。この程度の水の供給でウェハ全面を網羅することができると共に、その水の供給でウェハ表面に水膜が形成される。
【０１５４】
さらに、ワークテーブル送り機構２６を傾斜させることで、水平面と比較すると平面状における距離が実質的に短くすることができる。それにより、同じワークテーブル送り機構２６の距離であっても、上下に傾けて、傾斜をつけると、省スペース化を図ることができる。ワークテーブル送り機構２６を傾斜させる角度としては、緩やかに水を移動させたいのであれば、３°〜５°程度傾けるだけでも効果があるが、少量の水を高速に作用させたい場合などでは４５°〜６０°などの急な角度で設定してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１５５】
本発明は、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設された排水排気機構付きダイシング装置であれば全て適用可能である。
【符号の説明】
【０１５６】
２１  ダイシング装置
２２  方形匡体
２３  開口部
２４  ワークテーブル
２５  ブレード
２６  ワークテーブル送り機構
２８  スピンドル移動機構
２９  ガイドレール
３０  スピンドル
３２  ワーク切断加工部
３３  ワーク交換部
３４  オイルパン
３５  排水口
３６  排水機構
３７  排気口
３８  排気機構
３９  カーテンブラシ
４３  水流ガイド部材
４４  ワークの端材
４５  コーナー部
５１  ミストシャワーノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2010272849.tif 000011
【図１０】
2010272849.tif 000012
【図１１】
2010272849.tif 000013
【図１２】
2010272849.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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