(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止し所望の表示画像を得ることが可能であり、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド９と、複数のノズルから吐出された機能液を着弾させる基板を載置するワークステージ６と、各液滴吐出ヘッド９と基板との相対移動及び、各液滴吐出ヘッド９の吐出動作を制御する制御手段８と、を有し、制御手段８は、各液滴吐出ヘッド９を基板に対して主走査方向に複数回繰り返して相対移動を行う制御をし、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出される機能液の吐出数が所定の適正値となるように、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御を行う。【選択図】図１
2010271345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドと、
前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させる基板を載置するワークステージと、
前記各液滴吐出ヘッドと前記基板との相対移動及び、前記各液滴吐出ヘッドの吐出動作を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記各液滴吐出ヘッドを前記基板に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に複数回繰り返して相対移動を行う制御をし、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、
（Ｎ−１）回の走査では、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御を行い、
前記Ｎ回のうちの１回の走査では、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御を、前記（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、前記第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記Ｎ回のうちの１回の走査のタイミングで、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の前記駆動周波数を相対的に大きくする制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記Ｎ回のうちの１回の走査のタイミングで、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を大きくする制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、
前記各液滴吐出ヘッドを基板に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に複数回繰り返して相対移動を行う制御をし、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、
（Ｎ−１）回の走査で、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御を行う第１制御工程と、
前記Ｎ回のうちの１回の走査で、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御を、前記（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、前記第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御を行う第２制御工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
前記第２制御工程では、前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の前記駆動周波数を相対的に大きくする制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記第２制御工程では、前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を大きくする制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置及び液滴吐出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、携帯型コンピューターなどの電子機器の表示部に液晶装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）装置等の電気光学装置が用いられている。これらの電気光学装置は、一般にフルカラー表示が行われる。例えば、液晶装置によるフルカラー表示は、液晶層によって変調される光をカラーフィルターに通すことによって表示される。このようなカラーフィルターは、液滴吐出法を用いた成膜技術によって、基板表面にインクをドット状に吐出することで形成される。
【０００３】
ところで、液滴吐出法を用いた成膜技術においては、複数のノズルのインク吐出量に僅かながらばらつきが生じる。そして、インク吐出量にばらつきを有する状態で描画した場合には、カラーフィルター基板上へのインクの着弾位置がずれることとなり、隣の異なる色の画素に着弾して混色を招いたり、所望の画素が着弾できずに着色ムラが発生したりする場合がある。このような画素の混色や着色ムラは視認されやすく、カラーフィルターを介して表示される画像の画質が低下してしまう惧れがある。
【０００４】
このような問題点を解決するための技術が検討されており、例えば特許文献１では、複数の液滴吐出ヘッドのうち隣り合う液滴吐出ヘッドのそれぞれの最端部に位置するノズル同士の相互間隔及び、液滴吐出ヘッドの副走査ピッチをノズルの配列ピッチの整数倍に設定している。また、基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定量となるように、液滴吐出ヘッドを主走査方向に一定の速度で直線的に走査している。そして、液滴吐出ヘッドが複数回走査されることによって、隔壁の開口部に複数回重ねてインクが吐出されている。これにより、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−８４２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の技術にあっては、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止することができると考えられるが、以下のように問題点もある。
特許文献１では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、隔壁の開口部に複数回重ねてインクが吐出されている。例えば、１つの開口部に対するインク吐出数（所定の適正値）を１２０ドット、１回の走査当たりの最大インク吐出数を５０ドット、とする。すると、１回の走査当たりのインク吐出数（単位インク吐出数）を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）となる。つまり、単位インク吐出数（４０ドット）は、最大インク吐出数の範囲内において、所定の適正値（１２０ドット）を所定の吐出回数（３回）で除して平均化することによって求められる。このため、液滴吐出ヘッドの走査回数が多くなり走査時間がかかってしまい、生産効率に劣るため量産面で好ましくない。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止し所望の表示画像を得ることが可能であり、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の液滴吐出装置は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドと、前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させる基板を載置するワークステージと、前記各液滴吐出ヘッドと前記基板との相対移動及び、前記各液滴吐出ヘッドの吐出動作を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記各液滴吐出ヘッドを前記基板に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に複数回繰り返して相対移動を行う制御をし、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、（Ｎ−１）回の走査では、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御を行い、前記Ｎ回のうちの１回の走査では、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御を、前記（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、前記第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御を行うことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、制御手段により各液滴吐出ヘッドと基板との相対移動及び、各液滴吐出ヘッドの吐出動作が制御されるので、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させることができる。また、本発明の液滴吐出装置では、制御手段により、開口部に対して吐出されるインク（機能液）の吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、（Ｎ−１）回の走査では、液滴吐出ヘッド毎における複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、基板の載置されたワークステージと液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御が行われる。また、Ｎ回のうちの１回の走査では、（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。よって、特許文献１のように液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査されることがない。つまり、単位インク吐出数は、最大インク吐出数の範囲内において所定の適正値を所定の吐出回数で除して平均化することなく、任意の値に設定することができる。このため、液滴吐出ヘッドの走査回数を少なくし走査時間がかからなくすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止し所望の表示画像を得ることが可能となり、さらに生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００１０】
また、上記液滴吐出装置においては、前記制御手段は、前記Ｎ回のうちの１回の走査のタイミングで、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の前記駆動周波数を相対的に大きくする制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御を行ってもよい。
【００１１】
この構成によれば、制御手段により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド毎における複数の駆動素子の駆動周波数を相対的に大きくする制御と、基板の載置されたワークステージと液滴吐出ヘッドとの相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数（第１吐出数）を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）となるように制御されている。これに対して、本発明の液滴吐出装置では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド毎における複数の駆動素子の駆動周波数を相対的に大きくする制御と、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御がされている。このため、１回目の走査のインク吐出数（第１吐出数）を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数（第２吐出数）を７０ドットとし、全体として２回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）となるように制御することができる。したがって、液滴吐出ヘッドの走査回数を少なくし走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００１２】
また、上記液滴吐出装置においては、前記制御手段は、前記Ｎ回のうちの１回の走査のタイミングで、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を大きくする制御を行ってもよい。
【００１３】
この構成によれば、制御手段により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、基板の載置されたワークステージと液滴吐出ヘッドとの相対速度を大きくする制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）となるように制御されている。これに対して、本発明の液滴吐出装置では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が大きくされている。このため、１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を５０ドット、３回目の走査のインク吐出数を２０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）となるように制御することができる。このように、３回目の走査のインク吐出数（２０ドット）が少なくなるように液滴吐出ヘッドの走査速度を速くすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドの走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００１４】
本発明の液滴吐出方法は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、前記各液滴吐出ヘッドを基板に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に複数回繰り返して相対移動を行う制御をし、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、（Ｎ−１）回の走査で、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御を行う第１制御工程と、前記Ｎ回のうちの１回の走査で、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御を、前記（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、前記第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御を行う第２制御工程と、を有することを特徴とする。
【００１５】
この製造方法によれば、開口部に対して吐出されるインク（機能液）の吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、第１制御工程によって、（Ｎ−１）回の走査が行われ、液滴吐出ヘッド毎における複数の駆動素子の駆動周波数を調整する制御と、基板の載置されたワークステージと液滴吐出ヘッドとの相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御が行われる。そして、第２制御工程によって、Ｎ回のうちの１回の走査が行われ、（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。よって、特許文献１のように液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査されることがない。つまり、単位インク吐出数は、最大インク吐出数の範囲内において所定の適正値を所定の吐出回数で除して平均化することなく、任意の値に設定することができる。このため、液滴吐出ヘッドの走査回数を少なくし走査時間がかからなくすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止し所望の表示画像を得ることが可能となり、さらに生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００１６】
また、上記液滴吐出方法においては、前記第２制御工程では、前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記液滴吐出ヘッド毎における前記複数の駆動素子の前記駆動周波数を相対的に大きくする制御と、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御を行ってもよい。
【００１７】
この製造方法によれば、第２制御工程で液滴吐出ヘッド毎における複数の駆動素子の駆動周波数を相対的に大きくする制御と、基板の載置されたワークステージと液滴吐出ヘッドとの相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御される。これに対して、本発明の液滴吐出方法では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド毎における複数の駆動素子の駆動周波数を相対的に大きくする制御と、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度を小さくする制御と、の少なくとも一方の制御が行われる。このため、１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を７０ドットとし、全体として２回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。したがって、液滴吐出ヘッドの走査回数を少なくし走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００１８】
また、上記液滴吐出方法においては、前記第２制御工程では、前記開口部に対して吐出される前記機能液の吐出数が前記所定の適正値となるように、前記基板の載置された前記ワークステージと前記液滴吐出ヘッドとの相対速度を大きくする制御を行ってもよい。
【００１９】
この製造方法によれば、第２制御工程で基板の載置されたワークステージと液滴吐出ヘッドとの相対速度を大きくする制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから基板に設けられた隔壁の開口部に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御される。これに対して、本発明の液滴吐出方法では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度を大きくする制御が行われる。このため、１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を５０ドット、３回目の走査のインク吐出数を２０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。このように、３回目の走査のインク吐出数（２０ドット）が少なくするように液滴吐出ヘッドの走査速度を速くすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドの走査時間を少なくし、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る液滴吐出装置の概略構成を示す模式図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成を示す模式図である。
【図３】カラーフィルター基板上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。
【図４】開口部に対してインクを所定量吐出するように制御する工程を示す図である。
【図５】インクが主走査方向に対して密に吐出されるように制御された状態の図である。
【図６】インクが主走査方向に対して疎に吐出されるように制御された状態の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００２２】
以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ６に対して平行な方向に設定され、Ｚ軸がワークステージ６に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００２３】
（液滴吐出装置）
図１は本発明に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す模式図である。液滴吐出装置１は、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板（基板）Ｐの所定領域にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置である。
【００２４】
液滴吐出装置１は、カラーフィルター基板Ｐを載置する基台２と、基台２上のカラーフィルター基板Ｐを図１中のＸ方向に搬送する搬送装置３と、インクを吐出する液滴吐出ヘッド９と、液滴吐出ヘッド９を複数備えてなるキャリッジ４と、このキャリッジ４をＹ方向に移動させる送り装置５と、搬送装置３を構成するワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対移動を制御するとともに、各液滴吐出ヘッド９の吐出動作を制御する制御装置８（制御手段）と、を具備して構成されている。搬送装置３及び送り装置５により、基板Ｐとキャリッジ４とを、Ｘ方向とＹ方向とにそれぞれ相対移動させる移動装置が構成されている。
【００２５】
搬送装置３は、基台２上に設けられたワークステージ６及びステージ移動装置７を備えて構成されたものである。ワークステージ６は、ステージ移動装置７によって基台２上をＸ方向に移動可能に設けられたもので、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルター基板Ｐを、例えば真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持するものである。ステージ移動装置７は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えたもので、制御装置８から入力される、ワークステージ６のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ６をＸ方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２６】
キャリッジ４は、送り装置５に移動可能に取り付けられた矩形板状のもので、その底面側に複数の液滴吐出ヘッド９を、Ｙ方向に沿って配列させた状態で保持したものである。これら複数の液滴吐出ヘッド９は、後述するように複数のノズルＮを備えたもので、制御装置８から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、インクの液滴を吐出するものである。また、これら液滴吐出ヘッド９は、カラーフィルター材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド９には、図１に示すようにキャリッジ４を介してチューブ（配管）１０が連結されている。
【００２７】
そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド９Ｒには、チューブ１０を介してＲ（赤）用のインクを充填・貯蔵した第１タンク１１Ｒが接続されており、これによって液滴吐出ヘッド９Ｒには、この第１タンク１１ＲからＲ（赤）用のインクが供給されるようになっている。同様に、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド９ＧにはＧ（緑）用のインクを充填した第２タンク１１Ｇが接続され、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド９ＢにはＢ（青）用のインクを充填した第３タンク１１Ｂが接続されている。このような構成によって液滴吐出ヘッド９Ｇには、第２タンク１１ＧからＧ（緑）用のインクが供給されるようになっており、液滴吐出ヘッド９Ｂには、第３タンク１１ＢからＢ（青）用のインクが供給されるようになっている。
【００２８】
図２は、本発明の液滴吐出装置１を構成する圧電素子ＰＺを有する液滴吐出ヘッド９の概略構成を示す図である。図２（ａ）は例えばカラーフィルターの形成材料等の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド９をカラーフィルター基板Ｐに液滴が吐出される側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド９の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド９の１ノズルの部分断面図である。
【００２９】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド９は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ１〜Ｎ１８０を備えている。ノズルＮ１〜Ｎ１８０によってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示しているが、液滴吐出ヘッド９に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分のノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。
【００３０】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド９は、材料を供給するチューブ１０と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数の貯留室２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して圧電素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０が配置されている。駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０は、例えばピエゾ素子である。
【００３１】
液溜まり２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料が充填されるようになっている。貯留室２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されている。また、貯留室２４は、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１に対応して設けられている。また、各貯留室２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、液溜まり２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
【００３２】
図２（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持されたものである。この圧電素子ＰＺは、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されている。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（貯留室２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによって貯留室２４の容積が増大するようになっている。
【００３３】
貯留室２４の容積が増大すると、貯留室２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、貯留室２４も元の容積に戻る。これにより、貯留室２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。
【００３４】
キャリッジ４を移動させる送り装置５は、例えば基台２を跨ぐ橋梁構造をしたもので、Ｙ方向及びＸＹ平面に直交するＺ方向に対して、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えたものである。このような構成のもとに送り装置５は、制御装置８から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ方向に移動させるとともに、Ｚ方向にも移動させるようになっている。
【００３５】
制御装置８は、ステージ移動装置７にステージ位置制御信号を出力し、送り装置５にキャリッジ位置制御信号を出力し、さらには液滴吐出ヘッド９の駆動回路基板（図示せず）に描画データ及び駆動制御信号を出力するものである。これによって制御装置８は、カラーフィルター基板Ｐとキャリッジ４とを相対移動させるべく、ワークステージ６の移動によるカラーフィルター基板Ｐの位置決め動作及び、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド９の位置決め動作の同期制御を行い、さらに液滴吐出ヘッド９に液滴吐出動作を行わせることにより、カラーフィルター基板Ｐ上の所定の位置に所定のタイミングでインクの液滴を配するようになっている。このように、制御装置８により各液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対移動及び、各液滴吐出ヘッド９の吐出動作が制御されるので、液滴吐出ヘッド９から吐出されるインクの着弾精度を向上させることができる。
【００３６】
本実施形態では、制御装置８によって、図４に示す隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、（Ｎ−１）回の走査では、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を調整する制御と、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数（最大吐出数）で吐出する制御が行われる。また、Ｎ回のうちの１回の走査では、（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が後述する所定の適正値となるように調整される。よって、特許文献１のように液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査されることがない。つまり、単位インク吐出数は、最大インク吐出数の範囲内において所定の適正値を所定の吐出回数で除して平均化することなく、任意の値に設定することができる。このため、液滴吐出ヘッド９の走査回数を少なくし走査時間がかからなくすることができる。
【００３７】
図３は、複数の液滴吐出ヘッド９を用いてカラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルター層（カラーフィルター）ＣＦを形成する方法の説明図である。図３（ａ）は、インクの吐出対象物であるカラーフィルター基板Ｐの概略平面図である。図３（ｂ）は、カラーフィルター基板Ｐの部分拡大平面図である。なお、本図では便宜上複数の液滴吐出ヘッド９のうちの一つの液滴吐出ヘッド９を図示している。
【００３８】
図３（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図３（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルター層（着色層）ＣＦが形成される。
【００３９】
図３（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、各液滴吐出ヘッド９をカラーフィルター基板Ｐ上に配置する。そして、カラーフィルター基板Ｐを各液滴吐出ヘッド９に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、各液滴吐出ヘッド９の複数のノズルＮから着色材料を含むインク（カラーフィルター材料）を吐出させ、カラーフィルター基板Ｐ上の各画素ＰＸにカラーフィルター層ＣＦを形成する。
【００４０】
各液滴吐出ヘッド９の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に各液滴吐出ヘッド９を走査した後、副走査方向に各液滴吐出ヘッド９を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルター層ＣＦを形成する。
【００４１】
なお、図３（ｂ）において各液滴吐出ヘッド９が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、各液滴吐出ヘッド９のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド９を斜めに傾ける必要はない。
【００４２】
カラーフィルター層ＣＦは、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図３（ｂ）に示すインクの吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター材料を吐出する複数の液滴吐出ヘッド９を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド９を順次に用いて１つのカラーフィルター基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルター層ＣＦの配列を形成する。
【００４３】
このようなカラーフィルター層ＣＦをフルカラー表示のための光学要素として用いる場合には、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルター層ＣＦを１つのユニットとし、１ユニット内のＲ、Ｇ、Ｂのいずれか１つ又はこれらの組み合わせに光を選択的に透過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、遮光性のない樹脂材料によって形成された隔壁３０は、ブラックマトリクスとして機能する。
【００４４】
ところで、一般的に液滴吐出ヘッドにおいては、複数のノズルのインク吐出量に僅かながらばらつきが生じる。そして、インク吐出量にばらつきを有する状態で描画した場合には、カラーフィルター基板上へのインクの着弾位置がずれることとなり、隣の異なる色の画素に着弾して混色を招いたり、所望の画素が着弾できずに着色ムラが発生したりする場合がある。このような画素の混色や着色ムラは視認されやすく、カラーフィルターを介して表示される画像の画質を低下させる原因となってしまう。
【００４５】
このような問題点を解決するため、例えば特許文献１では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、基板に設けられた隔壁の開口部に複数回重ねてインクが吐出されている。例えば、１つの開口部に対するインク吐出数（所定の適正値）を１２０ドット、１回の走査当たりの最大インク吐出数を５０ドット、とする。すると、１回の走査当たりのインク吐出数（単位インク吐出数）を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）となる。つまり、単位インク吐出数（４０ドット）は、最大インク吐出数の範囲内において、所定の適正値（１２０ドット）を所定の吐出回数（３回）で除して平均化することによって求められる。このため、液滴吐出ヘッドの走査回数が多くなり走査時間がかかってしまい、生産効率に劣るため量産面で好ましくない。
【００４６】
そこで、本発明の液滴吐出方法では、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからワークステージ６上に載置されたカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１（図４参照）に対してインクを所定量吐出するように、（Ｎ−１）回の走査が行われ、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を調整する制御と、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御を行う第１制御工程を設けている。また、隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように、Ｎ回のうちの１回の走査が行われ、（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御を行う第２制御工程を設けている。以下、本発明の液滴吐出方法について一例を挙げて説明する。
【００４７】
（液滴吐出方法）
図４〜図６は、本発明に係る液滴吐出方法を示す模式図である。図４は、カラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対してインクを所定量吐出するように制御を行う第１制御工程を示している。図５及び図６は、隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように制御を行う第２制御工程を示している。これらの図のうち一方の図５は、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御がなされた状態、つまりインクが主走査方向に対して密に吐出されるように制御された状態を示している。また、他方の図６は、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を大きくする制御がなされた状態、インクが主走査方向に対して疎に吐出されるように制御された状態を示している。
【００４８】
図４〜図６に示すように、カラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０には、画素ＰＸに対応する位置に複数の開口部３１がマトリクス状に形成されている。なお、複数の開口部３１内に吐出されるインクの間隔（隣り合うインクの中心間の距離）は、液滴吐出ヘッド９の複数のノズルＮのピッチＰＮに対応して一定の間隔となっている。
【００４９】
先ず、図４に示すように、複数の開口部３１には、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対移動の制御が行われて所定量のインクが吐出される。具体的には、カラーフィルター基板Ｐを各液滴吐出ヘッド９に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、各液滴吐出ヘッド９の複数のノズルＮから所定量のインクが吐出される。例えば、１つの開口部３１に対するインク吐出数（所定の適正値）を１２０ドット、１回の走査当たりの最大インク吐出数を５０ドット、とする。第１制御工程（１回目の走査）において開口部３１に吐出される所定量のインク吐出数（第１吐出数）は、最大インク吐出数と同じ５０ドットとなっている。
【００５０】
そして、図５に示すように、制御装置８により、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御が行われて所定の適正値（１２０ドット）となるようにインクが吐出される。具体的には、制御装置８により、開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値（１２０ドット）となるように、インクが主走査方向に対して密に吐出される。第２制御工程（２回目の走査）において開口部３１に吐出されるインク吐出数（第２吐出数）は、所定の適正値（１２０ドット）から１回目の走査における所定量のインク吐出数（５０ドット）を差し引いたインク吐出数となる７０ドットとなっている。
【００５１】
このようにして、２回目の走査、つまり複数回走査する間の最後の走査タイミング（最終スキャン）で、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度が小さくされ、インクが主走査方向に対して密に吐出される。このため、例えば１回目の走査のインク吐出数（第１吐出数）を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数（第２吐出数）を７０ドットとし、全体として２回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。したがって、液滴吐出ヘッド９の走査回数を少なくし走査時間がかからなくすることができる。
【００５２】
本実施形態の液滴吐出装置１によれば、制御装置８により各液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対移動及び、各液滴吐出ヘッド９の吐出動作が制御されるので、液滴吐出ヘッド９から吐出されるインクの着弾精度を向上させることができる。また、本発明の液滴吐出装置１では、制御装置８により、開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となる走査回数をＮ回とすると、（Ｎ−１）回の走査では、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を調整する制御と、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御が行われる。また、Ｎ回のうちの１回の走査では、（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。よって、特許文献１のように液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッド９が複数回走査されることがない。つまり、単位インク吐出数は、最大インク吐出数の範囲内において所定の適正値を所定の吐出回数で除して平均化することなく、任意の値に設定することができる。このため、液滴吐出ヘッド９の走査回数を少なくし走査時間がかからなくすることができる。したがって、液滴吐出ヘッド９から吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止し所望の表示画像を得ることが可能となり、さらに生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００５３】
この構成によれば、制御装置８により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御されている。これに対して、本発明の液滴吐出装置１では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度が小さくされている。このため、例えば１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を７０ドットとし、全体として２回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。したがって、液滴吐出ヘッド９の走査回数を少なくし走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００５４】
なお、本実施形態の液滴吐出装置１においては、制御装置８により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御が行われているが、これに限らない。例えば、制御装置８により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を相対的に大きくする制御が行われていてもよい。つまり、制御装置８により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御と、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を相対的に大きくする制御と、の少なくとも一方の制御が行われていればよい。
【００５５】
本実施形態の液滴吐出方法によれば、第１制御工程によって、（Ｎ−１）回の走査が行われ、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を調整する制御と、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を調整する制御と、の少なくとも一方の制御によって調整される第１吐出数で吐出する制御が行われる。そして、第２制御工程によって、Ｎ回のうちの１回の走査が行われ、（Ｎ−１）回の走査において採用した駆動周波数と、相対速度との少なくとも一方とは異ならせることにより、第１吐出数と異なる第２吐出数で吐出する制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。よって、特許文献１のように液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査されることがない。つまり、単位インク吐出数は、最大インク吐出数の範囲内において所定の適正値を所定の吐出回数で除して平均化することなく、任意の値に設定することができる。このため、液滴吐出ヘッド９の走査回数を少なくし走査時間がかからなくすることができる。したがって、液滴吐出ヘッド９から吐出されるインクの着弾精度を向上させて、画素の混色や着色ムラを防止し所望の表示画像を得ることが可能となり、さらに生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００５６】
また、この製造方法によれば、第２制御工程でカラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御される。これに対して、本発明の液滴吐出方法では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度を小さくする制御が行われる。このため、１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を７０ドットとし、全体として２回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。したがって、液滴吐出ヘッド９の走査回数を少なくし走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００５７】
なお、上記液滴吐出方法においては、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度を小さくする制御を、第２制御工程における最終スキャンで行っているが、これに限らない。例えば、第１制御工程において複数回走査する間の所定の走査タイミングで行ってもよい。すなわち、開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度を小さくする制御を行っていればよい。
【００５８】
なお、上記液滴吐出方法においては、第２制御工程で、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御を行っているが、これに限らない。例えば、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を相対的に大きくする制御を行ってもよい。つまり、第２制御工程では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を小さくする制御と、液滴吐出ヘッド９毎における複数の駆動素子ＰＺの駆動周波数を相対的に大きくする制御と、の少なくとも一方の制御を行っていればよい。
【００５９】
一方、図６に示すように、制御装置８により、ワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を大きくする制御が行われて所定の適正値（１２０ドット）となるようにインクが吐出されてもよい。具体的には、制御装置８により、開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値（１２０ドット）となるようにインクが主走査方向に対して疎に吐出される。
【００６０】
具体的には、第２制御工程においては２回目の走査と、３回目の走査と、の合計２回の走査が行われる。２回目の走査において開口部３１に吐出されるインク吐出数は、１回目の走査における所定量のインク吐出数（５０ドット）と同じく５０ドットとなっている。そして、３回目の走査において開口部３１に吐出されるインク吐出数（第２吐出数）は、所定の適正値（１２０ドット）から１回目の走査における所定量のインク吐出数（５０ドット）と、２回目の走査における所定量のインク吐出数（５０ドット）と、の合計インク吐出数（１００ドット）を差し引いたインク吐出数となる２０ドットとなっている。
【００６１】
このようにして、３回目の走査、つまり最終スキャンで、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度が大きくされる。このため、例えば１回目の走査のインク吐出数（第１吐出数）を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数（第１吐出数）を５０ドット、３回目の走査のインク吐出数（第２吐出数）を２０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。このとき、３回目の走査においてはインク吐出数（２０ドット）が少なくなるように液滴吐出ヘッド９の走査速度を速くすることができる。したがって、液滴吐出ヘッド９の走査時間がかからなくすることができる。
【００６２】
この構成によれば、制御装置８により、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、カラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を大きくする制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御される。これに対して、本発明の液滴吐出装置１では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド９カラーフィルターと基板Ｐとの相対速度を大きくする制御が行われる。このため、１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を５０ドット、３回目の走査のインク吐出数を２０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。このように、３回目の走査のインク吐出数（２０ドット）が少なくなるように液滴吐出ヘッド９の走査速度を速くすることができる。したがって、液滴吐出ヘッド９の走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００６３】
この製造方法によれば、第２制御工程でカラーフィルター基板Ｐの載置されたワークステージ６と液滴吐出ヘッド９との相対速度を大きくする制御が行われる。これにより、各液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに設けられた隔壁３０の開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように調整される。例えば、所定の適正値を１２０ドット、最大インク吐出数を５０ドット、とする。従来技術の例では、液滴吐出ヘッドと基板との相対速度が一定の速度で、液滴吐出ヘッドが複数回走査され、単位インク吐出数を４０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御される。これに対して、本発明の液滴吐出方法では、複数回走査する間の所定の走査タイミングで、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度を大きくする制御が行われる。このため、１回目の走査のインク吐出数を５０ドット、２回目の走査のインク吐出数を５０ドット、３回目の走査のインク吐出数を２０ドットとし、全体として３回の走査をすることで所定の適正値（１２０ドット）になるように制御することができる。このように、３回目の走査のインク吐出数（２０ドット）が少なくするように液滴吐出ヘッド９の走査速度を速くすることができる。したがって、液滴吐出ヘッド９の走査時間がかからなくなり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【００６４】
なお、上記液滴吐出方法においては、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度を大きくする制御を、第２制御工程における最終スキャンで行っているが、これに限らない。例えば、第１制御工程において複数回走査する間の所定の走査タイミングで行ってもよい。すなわち、開口部３１に対して吐出されるインクの吐出数が所定の適正値となるように、液滴吐出ヘッド９とカラーフィルター基板Ｐとの相対速度を大きくする制御を行っていればよい。
【符号の説明】
【００６５】
１…液滴吐出装置、６…ワークステージ、８…制御装置（制御手段）、９，９Ｒ，９Ｇ，９Ｂ…液滴吐出ヘッド、３０…隔壁、３１…開口部、Ｎ…ノズル、Ｐ…カラーフィルター基板（基板）、ＰＺ…駆動素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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