(57)【要約】      （修正有）【課題】ひびや剥離を防ぐ改善されたはんだバンプ接続を用いる構造、および、かかる構造を製造する方法を提供する。【解決手段】誘電層１０，２０，２２において上部配線層を形成するステップと、上部配線層上に１つ以上の誘電層を堆積するステップと、を含む。更に、１つ以上の誘電層に上部配線層まで延出する複数の個別トレンチを形成するステップを含む。更に、複数の個別トレンチにボール制限金属またはバンプ下地金属を堆積して上部配線レベルに接触する個別金属アイランドを形成するステップを含む。複数の個別金属アイランドに電気的に接続するはんだバンプを形成する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体構造を製造する方法であって、
誘電レベルにおいて上部配線層を形成するステップと、
前記上部配線層上に１つ以上の誘電層を堆積するステップと、
前記１つ以上の誘電層に前記上部配線層まで延出する複数の個別バイアを形成するステップと、
前記複数の個別バイアにボール制限金属またはバンプ下地金属を堆積して前記上部配線レベルに接触する個別金属アイランドを形成するステップと、
前記複数の個別金属アイランドに電気的に接続するはんだバンプを形成するステップと、
を含む、前記方法。
【請求項２】
前記はんだバンプと前記複数の個別金属アイランドとの間に金属層を形成するステップを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記金属層が捕捉パッドおよび導電パッドを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記捕捉パッドが、前記導電パッドの上に堆積され、上部金層と下部バリア層との間に挟まれたニッケル材料を含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記バンプ金属またはボール制限金属が、耐熱金属ベース層、導電金属中間層、および拡散バリア上部層を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記はんだバンプが無鉛はんだバンプである、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記複数の個別バイアを形成する前記ステップが、前記１つ以上の誘電層に様々なサイズおよび形状の開口をエッチングすることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記１つ以上の誘電層が２つの誘電層である、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記誘電層に複数の個別トレンチを形成すること、および、前記個別トレンチに上部配線レベル材料を堆積して個別上部配線層アイランドを形成することを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記個別金属アイランドが前記個別上部配線層アイランドに接触する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
パッケージを製造する方法であって、
１つ以上の誘電層に、下にある金属層まで延出する複数の個別バイアを形成するステップと、
前記下にある金属層に接触するバンプ下地金属またはボール制限金属のアイランドを形成する前記個別バイアに金属材料を堆積するステップと、
前記アイランドに電気的に接続する無鉛はんだバンプを堆積するステップと、
前記無鉛はんだバンプに積層構造を接合するステップと、
を含む、前記方法。
【請求項１２】
前記はんだバンプと前記アイランドとの間に捕捉パッドおよび導電パッドを形成するステップを更に含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記複数の個別バイアを形成する前記ステップが、前記１つ以上の誘電層に様々なサイズおよび形状の開口を形成することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
下部誘電層に複数の個別トレンチを形成することと、
前記複数の個別トレンチに、前記アイランドおよび下にある金属線に接触する導電材料を充填することと、
を更に含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
１つ以上の誘電層に形成され、下部誘電層における上部配線層に接触するバンプ下地金属またはボール制限金属の複数の金属アイランドと、
前記金属アイランドに電気的に接続するはんだバンプと、
を含む、はんだバンプ構造。
【請求項１６】
前記はんだバンプに接合された積層物を更に含み、前記はんだバンプが無鉛はんだバンプである、請求項１５に記載の構造。
【請求項１７】
前記金属アイランドがＴａＮまたはＴｉＷである、請求項１５に記載の構造。
【請求項１８】
前記下部誘電層に形成された導電材料が充填され、前記金属アイランドと位置合わせされ電気的に接触する複数の個別トレンチを更に含む、請求項１５に記載の構造。
【請求項１９】
前記導電材料が拡散バリア層および銅である、請求項１７に記載の構造。
【請求項２０】
前記金属アイランドが様々なサイズおよび形状である、請求項１５に記載の構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は集積回路に関し、更に具体的には、改善されたはんだバンプ接続を用いる構造、および、かかる構造を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チップを基板に接合するために、高温Ｃ４（Controlled Collapse Chip Connection）バンプが用いられている。最も一般的かつ広く利用されているパッケージは有機積層物である。一般に、Ｃ４バンプ（はんだバンプ）は、優れた特性を有するために有鉛はんだから形成される。例えば、鉛は、チップと基板（すなわち有機積層物）との間の熱係数（ＴＣＥ）の不一致を軽減することが知られている。従って、Ｃ４バンプにより、冷却サイクル中に加わる応力が軽減され、これによってチップまたは基板に剥離または他の損傷が生じることが防止される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
現在、多くの国々において無鉛に対する要件が課されており、製造業者はチップ−基板接合を生成するための新しい方法を実施することが求められている。例えば、有鉛はんだ相互接続の代わりとして、ＳＡＣ合金と組み合わせたすず／銅、すず／銀（高濃度の銀）、およびすず／金から成るはんだ相互接続が用いられている。しかしながら、無鉛に対する要件により、Ｃ４相互接続の欠点に関する懸念が明るみに出ている。例えば、Ｃ４バンプのもとでのチップ金属（chip metallurgy）におけるひび（ＣＳＡＭ検査プロセスにおける外見のために「白いバンプ」と名付けられている）は、デバイスの傷害を招くものである。更に具体的には、白いバンプは、Ｃｕの最後の金属パッドに良好な電気的接続を形成しないＣ４であり、この結果、機能試験において、または現場において、チップに障害が起こる。これは、少なくとも部分的に、高応力ＰｂフリーＣ４（はんだバンプ）を用いたチップ設計によって、Ｃ４／ＡｌＣｕバンプ−Ｃｕワイヤ接着問題が悪化することに起因する場合がある。
【０００４】
一つの例として、はんだ相互接続接合を形成するため、チップ接合リフローの間に、チップおよびその基板は高温（約２５０℃）に加熱される。クールダウンの初期には、応力の増大はほとんど見られない。しかしながら、接合が固体化する（小さい無鉛接合では約１８０℃）につれて、パッケージ上で応力の増大が観察される。特に、パッケージ（積層物、はんだおよびチップ）が冷却し始めると、はんだは固体化し始め（例えば約１８０℃で）、積層物は収縮し始め、チップは実質的に同じサイズのままである。チップと基板との熱膨張の差は、デバイスおよび基板の面外変形（out-of-plane deformation）によって、およびはんだ接合のせん断変形によって吸収される。デバイス上の最大応力は、リフローのクールダウン期間中に発生する。
【０００５】
はんだが強固であり、チップの力を超えると、引張応力によってチップ上の構造が剥離し始める。ＴＣＥがチップ（３．５ｐｐｍ）と積層物（１６ｐｐｍ）との間で不一致であることで高いせん断応力が生じ、界面の障害を引き起こす（すなわちＣ４のもとでのＢＥＯＬ銅と誘電体（例えばＦＳＧ）との間の分離）。この界面障害は、Ｃ４バンプのもとでのチップ金属におけるひびとして具現する。更に、これらの上にある膜におけるバリア完全性が不適切であるために、ＰｂフリーはんだバンプからＢＬＭ／捕捉パッド構造を介して最後の金属の銅層内にＳｎが拡散する傾向がある。これが起こると、最後の金属レベルの銅がＳｎと反応して体積が膨張し、ひびを生じる。
【０００６】
従って、当技術分野において、上述した欠点および制約を克服する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様において、半導体構造を製造する方法は、誘電層において上部配線層を形成するステップと、上部配線層上に１つ以上の誘電層を堆積するステップと、を含む。この方法は、更に、１つ以上の誘電層に上部配線層まで延出する複数の個別トレンチを形成するステップを含む。更に、この方法は、複数の個別トレンチにボール制限金属またはバンプ下地金属を堆積して上部配線レベルに接触する個別金属アイランドを形成するステップを含む。複数の個別金属アイランドに電気的に接続するはんだバンプを形成する。
【０００８】
本発明の第２の態様において、パッケージを製造する方法は、１つ以上の誘電層に、下にある配線層まで延出する複数の個別トレンチを形成するステップと、下にある配線層に接触するバンプ下地金属またはボール制限金属のアイランドを形成する個別トレンチに金属材料を堆積するステップと、アイランドに電気的に接続する無鉛はんだバンプを堆積するステップと、無鉛はんだバンプに積層構造を接合するステップと、を含む。
【０００９】
本発明の第３の態様において、はんだバンプ構造は、１つ以上の誘電層に形成され、下部誘電層における上部配線層に接触するバンプ下地金属またはボール制限金属の複数の金属アイランドを含む。はんだバンプは、金属アイランドに電気的に接続する。
【００１０】
本発明の例示的な実施形態の限定ではない例として、ここに示す複数の図面を参照して、以下の詳細な説明において本発明を記載する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図２】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図３】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図４】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図５】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図６】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図７】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図８】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【図９】本発明の態様に従った構造および処理ステップを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明は集積回路に関し、更に具体的には、改善されたはんだバンプ接続を用いる構造、および、かかる構造を製造する方法に関する。更に特定すれば、本発明は、下にあるＢＥＯＬ（後工程）バイアおよび関連する金属相互接続あるいはパッドまたはその両方あるいはワイヤまたはその両方にひびまたは剥離が生じるのを阻止する構造、ならびにそういった構造を製造する方法を提供する。例えば、実施において、本発明は、Ｃ４応力が配線レベル全体に伝搬することを防ぐ。この伝搬は破局的な配線障害に至る恐れがある。これを防止することは、バンプ下地金属（under bump metallurgy）またはボール制限金属（ball limiting metallurgy）による個別の金属アイランドまたはセグメントを設けることによって達成可能である。これによって、冷却期間中に応力がかかることで配線層全体が剥離してデバイスが動作不能になるのを防ぐ。
【００１３】
本発明は、めっき、スクリーニング、および、例えばＣ４ＮＰ（Controlled Collapse Chip Connection NewProcess）等の物理的配置方法を含む、全てのＣ４プロセスに適用可能である。Ｃ４ＮＰは、インターナショナル・ビジネス・マシーンズ社によって開発され、１００パーセント無鉛、高信頼性、狭ピッチ、低材料コストという利点を、実質的に全ての種類のはんだ組成を用いる柔軟性と組み合わせるフリップ・チップ技術を提供するものである。本発明におけるプロセスおよび構造は、既知のおよび次の世代のために使用可能であり、特にＣ４ＮＰを用いる３００ｍｍウェハ技術に適用可能である。従って、本発明のプロセスは、将来の銅配線世代のための利点を提供する。
【００１４】
具体的には、図１は、誘電材料１０に形成された下部金属層１２を含む開始構造を示す。下部金属層１２は、例えば、窒化タンタルの拡散バリア層によってライニングした銅材料とすることができる。金属層１２は、窒化タンタルでライニングした銅に限定されず、例えば、導電性金属または他の拡散バリア層によってライニングした窒化チタニウムとすることも可能であることは、当業者には認められよう。誘電材料１０は例えばＳｉＯ2とすれば良い。
【００１５】
誘電材料１０に、複数のトレンチ１４が形成されて、例えばワイヤである下の金属層１２まで延在している。トレンチ１４は、分離された個別のセグメントを形成し、これらはひび止めが金属層全体に影響を与えるのを防ぐように設計されている（これは、そうでない場合にはデバイスの障害を招く）。トレンチ１４は、いずれかの従来のリソグラフィおよびエッチング・プロセスを用いて形成可能である。例えば、トレンチ１４の形成は、露光したマスキング層を用いて開口を形成し、続いてエッチング（例えば反応性イオン・エッチング（ＲＩＥ））技法によって誘電材料１０にトレンチ１４を形成する従来のフォトリソグラフィを用いて処理することができる。これは、トレンチが２つの異なる断面形状を有する２ステップ・エッチング・プロセスとすることができる。これらは従来のプロセスであるので、当業者には、本発明を実施するために更に詳細な説明は必要ない。
【００１６】
トレンチ１４は、横に１ミクロンから１０ミクロンの範囲とすることができ、いくつかの異なる形状およびサイズとすることができる（例えばもっと小さい開口およびもっと大きい開口とする）。トレンチ１４は、いくつかのサイズの開口を囲む放射状または弧状のオフセット・セグメントを含むことができる。実施形態において、トレンチ１４は、格子パターン、市松模様パターン、セグメント化された線、重複する線、オフセット線、垂直線、弧状セグメント、または本明細書において論じたいずれかの組み合わせ等、１つ以上の開口または形状のパターンを含むことができる。
【００１７】
代替的な実施形態（図４）においては、複数のトレンチ１４を単一のトレンチとして従来の配線層を形成することができる。以下で論じるトレンチ１４は、拡散バリア層によってライニングし、銅または他の導電材料を充填して、上部配線レベルを形成することができる。この実施においては、プロセスは図４のものにより継続する。
【００１８】
図２は、トレンチ１４に堆積された、例えば拡散バリア層のような金属ライナ１６を示す。金属ライナ１６は、例えば窒化タンタル材料とすれば良い。金属ライナ１６は、例えば物理気相堆積（ＰＶＤ）等の従来の堆積方法を用いて堆積するが、本発明と共に、例えば化学気相堆積（ＣＶＤ）のような他の堆積技法も使用可能である。化学機械研磨（ＣＭＰ）を実行して、図２の構造の表面を平坦にすることができる。
【００１９】
図３において、トレンチ１４に金属材料１８が堆積されている。金属材料１８を用いて上部配線レベルを形成することができる。更に具体的には、金属材料１８は、誘電層１０のトレンチに形成されたＢＥＯＬ配線構造とすれば良い。銅配線１８をセグメント化して（トレンチの構成のため）、個別のアイランドを形成することで、この構造にかかる応力が外側のアイランドのみを剥離し、金属層全体には影響を与えないようにする。これによって、構造に応力がかかった場合にデバイスの障害が生じるのを防ぐ。また、化学機械研磨（ＣＭＰ）を実行して、図４の構造の表面を平坦にすることができる。
【００２０】
図４に示す代替的な実施形態においては、複数のトレンチ１４を単一のトレンチとして従来の配線層を形成することができる。トレンチ１４は、拡散バリア層によってライニングし、銅または他の導電材料を充填して、上部配線レベルを形成することができる。この実施においては、プロセスは図４のものにより継続する。
【００２１】
図５において、図３または図４の構造の平坦にした表面上に誘電層２０、２２が堆積されている。いずれの状況でも、誘電層２０は、例えばＳｉＮとすることができる。あるいは、誘電層２０は、ＳｉＮ、ＳｉＯ2、およびＳｉＮの多層構造とすれば良い。誘電層２２は、誘電層２０の上に堆積した感光性ポリイミドまたは他の種類の絶縁材料とすることができる。誘電層２０、２２は、例えばＣＶＤ等の従来の堆積技法を用いて堆積することができる。実施形態において、誘電層２０、２２は高さ約５から１０ミクロンの厚さの範囲とすることができるが、本発明では他の寸法も考えられる。感光性ポリイミドの場合、誘電層２２は厚さ約５ミクロンとすることができる。
【００２２】
図６を参照すると、複数の個別バイア３４を形成するために、誘電層２０、２２にパターニング・ステップが行われている。複数の個別バイア３４は、その形状に応じて、幅または直径を約１ミクロンとすることができるが、この寸法は本発明の限定的な特徴とは見なされない。実施形態において、複数のバイア３４は、横に１ミクロンから１０ミクロンの範囲とすることができ、いくつかの異なる形状およびサイズとすることができる（例えばもっと小さい開口およびもっと大きい開口とする）。複数のバイア３４は、例えば、いくつかのサイズの開口を囲む放射状または弧状のオフセット・セグメントとすることができる。実施形態において、複数のバイア３４は、格子パターン、市松模様パターン、セグメント化された線、重複する線、オフセット線、垂直線、弧状セグメント、または本明細書において論じたいずれかの組み合わせ等、１つ以上の開口または形状のパターンとすることができる。
【００２３】
実施形態において、複数の個別バイア３４はひびの形成を阻止する。これについては以下で更に述べる。個別バイア３４は、例えば露光および現像等のいずれかの従来の方法で形成することができ、ＰＳＰＩ層について、従来のエッチング・プロセス（例えばＲＩＥ）は必要ない。あるいは、従来のリソグラフィおよびエッチング・プロセスを用いてバイア３４を形成することも可能である。バイア３４は、金属材料１８と位置合わせされ、金属材料１８まで延出する。
【００２４】
図７に示すように、金属材料１８に接して、バイア３４に金属材料３６が堆積されている。金属材料３６は、例えばＴａＮまたはＴｉＷとすれば良い。個別バイアの金属によって生じる個別アイランドが、ボール制限金属（ＢＬＭ）またはバンプ下地金属（ＵＬＭ）の一部を形成する。バイア３４において、金属材料３６は、例えば厚さ約０．５５ミクロン（またはバイア３４の直径の１／２よりもわずかに大きい）とすることができる。これによって、金属材料３６は層２２よりも上まで延出する。金属材料３６の上に、例えばＡｌまたは銅から成る導電パッド等の別の金属層３８を堆積する。実施形態において、金属層３８は任意の層である。金属層３８の上にＣｒＣｕまたはＣｕ層４０を堆積して、捕捉パッドを形成することができる。金属層３６、３８、４０は、例えばＣＶＤ等の従来の堆積技法を用いて堆積することができる。
【００２５】
図８において、金属層４０の上にはんだバンプを堆積する。更に具体的には、金属層４０の上に、例えば、ＳＡＣ合金と組み合わせたすず／銅、すず／銀、およびすず／金等の無鉛はんだバンプ２８を堆積する。
【００２６】
図９は、全体的に参照番号５０で示されたパッケージ・チップを示す。パッケージ・チップ５０は、積層物３２のボンディング・パッド３０に接続されたはんだバンプ２８を示す。積層物３２は有機またはセラミック積層物とすることができる。また、図９は、ＢＬＭセグメント（捕捉パッド３０）におけるひび開始および終端を図示する。
【００２７】
ここで、本発明が、配線層全体の剥離を防止するように設計された追加のセグメント化パターンを加えることは、当業者には理解されよう。この追加のセグメント化パターンによって、配線層の周辺部において応力を遮断させ、これが、あらゆるひびの伝搬の終端点として機能する。すなわち、ＴａＮ／ＴｉＷ層３６ａの外側の周辺部セグメントまたはアイランド（図１から図３に示した実施形態を組み合わせて用いる場合は、セグメント１８ａに加えて）が、応力を遮断させ、これがひびの伝搬の終端点として機能する。このように、生じたひびはいずれも単一の相互接続において停止し、従って、ＢＬＭにおける金属管（ＩＭＣ）化合物とはんだ材料との間の界面全体に沿って伝搬することはない。この構造は、特に無鉛Ｃ４のための、いずれかのチップ積層または「３Ｄ」用途を含む、Ｃ４はんだバンプを用いて接合されるあらゆる２つの部品に適用可能である。
【００２８】
上述したような方法は、集積回路チップの製造において用いられる。結果として得られる集積回路チップは、ベア・ダイ（bare die）として、またはパッケージ形態で、未加工のウェハ形態で（すなわち多数の未パッケージ・チップを有する単一ウェハとして）、製造者によって配布することができる。後者の場合、チップは、単一チップ・パッケージ（プラスチック・キャリア等、マザーボードまたは他の高レベル・キャリアに取り付けたリードを用いる）、または多チップ・パッケージ（表面相互接続または埋め込み相互接続のいずれかまたは双方を用いるセラミック・キャリア等）に搭載される。いずれの場合でも、チップを、次いで、（ａ）マザーボード等の中間製品または（ｂ）最終製品のいずれかの部分として、他のチップ、個別回路要素、または他の信号処理デバイスあるいはそれら全てと集積する。最終製品は、集積回路チップを含むいずれかの製品とすることができる。
【００２９】
本明細書において用いた用語は、特定の実施形態を説明するためだけのものであり、本発明を限定することは意図していない。本明細書において用いる場合、文脈によって明らかに他の場合が示されない限り、単数形の「ａ」、「ａｎ」、および「ｔｈｅ」は、複数の形態も含むように意図される。更に、本明細書において用いられる場合、「〜を含む」または「〜を含んでいる」あるいはその両方の言葉は、規定された特徴、整数、ステップ、動作、要素、または構成要素あるいはそれら全ての存在を明示するが、１つ以上の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、構成要素、またはそのグループあるいはそれら全ての存在または追加を除外しないことは理解されよう。
【００３０】
特許請求の範囲において、全てのミーンズ・オア・ステップ・プラス・ファンクション（means or step plus function）要素の対応する構造、材料、行為、および均等物がある場合、具体的に特許請求された他の請求された要素と組み合わせて機能を実行するためのいずれかの構造、材料、または行為を含むことが意図される。本発明の記載は、例示および説明のために提示されているが、網羅的であることも、開示する形態の本発明に限定することも意図していない。本発明の範囲および精神から逸脱することなく、当業者には多くの変更および変形が明らかであろう。実施形態は、本発明の原理および実際の適用を最良に説明するため、更に、想定される特定の使用に適した様々な変更と共に様々な実施形態について当業者が本発明を理解することができるように、選択し記載したものである。
【符号の説明】
【００３１】
１０    誘電材料
１２    下部金属層
１４    トレンチ
１６    金属ライナ
１８、３６    金属材料
２０、２２    誘電層
２８    はんだバンプ
３２    積層物
３４    個別バイア
３６、３８、４０    金属層
５０    パッケージ・チップ
【図１】
2010157703.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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