(57)【要約】【課題】クライオポンプへの輻射熱低減及び排気速度向上を図る。【解決手段】クライオポンプ１０は、開口２０を有する放射シールド１８と、放射シールド１８の内側に配置されるクライオパネル２４と、開口２０に配列された複数の羽板４１を含み、クライオパネル２４を開口２０に投影した投影領域よりも羽板４１を疎に配列した領域を投影領域の外側に有するルーバー２３と、放射シールド１８及びルーバー２３を第１冷却温度に冷却し、クライオパネル２４を第１冷却温度より低い第２冷却温度に冷却する２段冷凍機１４と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する放射シールドと、
放射シールドの内側に配置される低温クライオパネルと、
前記開口部に配列された複数の羽根部材を含み、低温クライオパネルを前記開口部に投影した投影領域よりも前記羽根部材を疎に配列した領域を前記投影領域の外側に有する前部クライオパネルと、
放射シールド及び前部クライオパネルを第１冷却温度に冷却し、低温クライオパネルを第１冷却温度より低い第２冷却温度に冷却する２段冷凍機と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
【請求項２】
前記前部クライオパネルは、前記投影領域よりも前記羽根部材を広い間隔で配列した領域を前記投影領域の外側に有することを特徴とする請求項１に記載のクライオポンプ。
【請求項３】
前記前部クライオパネルは、前記投影領域よりも前記羽根部材を配列面に対し大きい角度で配列した領域を前記投影領域の外側に有することを特徴とする請求項１に記載のクライオポンプ。
【請求項４】
前記前部クライオパネルは、前記羽根部材を配列面に対し垂直に配列した領域を前記投影領域の外側に有することを特徴とする請求項１または２に記載のクライオポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クライオポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
クライオポンプは、極低温に冷却されたクライオパネルに気体分子を凝縮または吸着により捕捉して排気する真空ポンプである。クライオポンプは半導体回路製造プロセス等に要求される清浄な真空環境を実現するために一般に利用される。
【０００３】
例えば特許文献１には、凝縮温度の高いガスを捕集する第１パネルと、凝縮温度の低いガスを捕集する第２パネルと、を備えるクライオポンプが記載されている。このクライオポンプには第１パネルを介して冷却されるバッフルが２つ設けられており、２つのバッフルの間隔を調整する間隔調整装置が設けられている。
【０００４】
また、特許文献２には、放射シールドの開口を横切っており、より高い凝縮温度の気体のためのクライオポンプ表面として機能する前部クライオパネルを備えるクライオポンプが記載されている。前部クライオパネル・アレイが開放的な構成であることで、気体を第２段のアレイに向かって集中させるように形作られた放射シールドへの気体の高いコンダクタンスがもたらされるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−２０６２７８号公報
【特許文献２】特表２００８−５１４８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されるクライオポンプのように多数のバッフルを設ければポンプ内部への気体の進入が阻害され、クライオポンプの排気速度が低下してしまう。一方、特許文献２に記載されるクライオポンプのように開放的な構成とすれば外部からポンプ内部に輻射熱が入射する。
【０００７】
そこで、本発明は、輻射熱低減と排気速度向上とを両立するクライオポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のある態様のクライオポンプは、開口部を有する放射シールドと、放射シールドの内側に配置される低温クライオパネルと、前記開口部に配列された複数の羽根部材を含み、低温クライオパネルを前記開口部に投影した投影領域よりも前記羽根部材を疎に配列した領域を前記投影領域の外側に有する前部クライオパネルと、放射シールド及び前部クライオパネルを第１冷却温度に冷却し、低温クライオパネルを第１冷却温度より低い第２冷却温度に冷却する２段冷凍機と、を備える。
【０００９】
この態様によると、放射シールドの開口部において低温クライオパネルに対応する領域の外側にも羽根部材が配列されるので、低温クライオパネルに入射する輻射熱を低減することができる。また、この外側の羽根部材は疎に配列されているので、気体の流れへの影響が比較的小さい。よって、輻射熱低減と排気速度向上との両立を図ることができる。
【００１０】
前部クライオパネルは、投影領域よりも羽根部材を広い間隔で配列した領域を投影領域の外側に有してもよい。
【００１１】
前部クライオパネルは、投影領域よりも羽根部材を配列面に対し大きい角度で配列した領域を投影領域の外側に有してもよい。
【００１２】
前部クライオパネルは、羽根部材を配列面に対し垂直に配列した領域を投影領域の外側に有してもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、輻射熱低減と排気速度向上とを両立することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るクライオポンプの一部を模式的に示す図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るクライオポンプの一部を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の一実施形態においては、クライオポンプは、開口を有する放射シールドと、該開口に設けられた前部クライオパネルと、を有する放射シールド構造を備える。また、クライオポンプは、放射シールド構造の内部に配置され、放射シールド構造よりも低温に冷却される低温クライオパネルを備える。前部クライオパネルは、開口の全体にわたって設けられ、開口に配列された複数の羽根部材を含んでもよい。前部クライオパネルは、低温クライオパネルを放射シールド開口に投影した投影領域よりも羽根部材を疎に配列した領域を投影領域の外側に有してもよい。
【００１６】
前部クライオパネルは例えば、投影領域を含む領域とそれ以外の領域とで異なるルーバー構造を有していてもよい。例えば、放射シールド開口における位置に応じて羽根部材の分布が異なっていてもよい。前部クライオパネルは、投影領域を含む領域では羽根部材を密に配列した第１構造を有し、投影領域を含む領域の外側では羽根部材を疎に配列した第２構造を有してもよい。言い換えれば、前部クライオパネルは、投影領域を含む領域ではガスの流れに対する抵抗が大きい第１ルーバー構造を有し、投影領域を含む領域の外側ではガスの流れに対する抵抗が小さい第２ルーバー構造を有してもよい。
【００１７】
また、前部クライオパネルは、投影領域を通じて低温クライオパネルへと入射する輻射熱を遮蔽する第１構造と、投影領域の外側を通じて低温クライオパネルへと入射する輻射熱を遮蔽する第２構造と、を備えてもよい。前部クライオパネルは、投影領域を含む領域では羽根部材を密に配列しかつ投影領域を通じて低温クライオパネルへと入射する輻射熱を遮蔽する第１構造と、投影領域を含む領域の外側では羽根部材を疎に配列しかつ投影領域の外側を通じて低温クライオパネルへと入射する輻射熱の少なくとも一部を遮蔽する第２構造と、を備えることが好ましい。
【００１８】
一実施形態においては、前部クライオパネルは、放射シールド中心軸に対し放射方向外側から内側に向かって投影領域の外側を通じて放射シールド内部の低温クライオパネルへと入射する輻射熱の少なくとも一部を遮蔽するよう構成されていることが好ましい。例えば、排気対象容積である真空チャンバの一部（例えば側壁など）が放射シールド開口周縁部の直上に位置する場合がある。真空チャンバの温度は例えば環境温度に等しいから、クライオパネルに対する輻射熱源となる。放射シールド開口周縁部の直上の熱源から放射された輻射熱は、放射シールド中心軸に対し放射方向外側から内側へ斜めにシールド内部へと向かう。
【００１９】
このため、前部クライオパネルは、投影領域を含む領域の外側において、放射方向外側から内側に向かって斜めに進入する輻射熱と角度をなして（すなわち非平行に）設けられた羽根部材を備えてもよい。前部クライオパネルは、投影領域を含む領域では第１の角度で羽根部材が配列され、投影領域を含む領域の外側では第２の角度で羽根部材が配列されていてもよい。第２の角度は第１の角度よりも大きくてもよい。第１の角度を小さくとることによりクライオポンプ中心軸に沿って進入する輻射熱を効果的に遮蔽し、第２の角度を大きくとることにより周縁から斜めに入射する輻射熱を効果的に遮蔽することができる。
【００２０】
一実施形態においては、低温クライオパネルが放射シールド構造の内部空間中心部に配置されていてもよい。この場合、放射シールド開口において低温クライオパネルに対応する中心領域に第１ルーバー構造を設け、放射シールド開口の周縁領域に第２ルーバー構造を設けてもよい。例えば、中心領域は低温クライオパネルを放射シールド開口に投影した投影領域を含む領域であり、周縁領域は中心領域の外側の領域であってもよい。軸方向から見たときに開放されている面積の割合が中心領域よりも周縁領域のほうが大きくなるようにルーバー構造が形成されていてもよい。
【００２１】
第１ルーバー構造は複数の羽根部材の配列で形成され、第２ルーバー構造は少なくとも１つの羽根部材を有してもよい。第２ルーバー構造は、隣接する羽根部材との間隔を第１ルーバー構造よりも広くしてもよい。第２ルーバー構造は、羽根部材の配列面に対する羽根部材の取付角度を第１ルーバー構造よりも大きくしてもよい。第２ルーバー構造においては、羽根部材が配列面に対し垂直に取り付けられていてもよい。
【００２２】
このようにして放射シールド開口に輻射熱遮蔽構造を設けることにより、低温クライオパネルへの輻射熱入射を低減することができる。また、放射シールド開口の低温クライオパネルに対応する領域よりもその周囲の領域においてガスの流れを妨げにくくするよう前部クライオパネルが調整されている。例えば羽根部材の配列間隔または配列角度を位置によって異ならせている。これにより、ポンプ内部に流入して低温クライオパネルに捕捉される例えば水素ガス等の気体の排気速度向上と、低温クライオパネルへの輻射熱低減との両立を図ることができる。
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るクライオポンプ１０の一部を模式的に示す図である。クライオポンプ１０は、例えばイオン注入装置やスパッタリング装置等の真空チャンバに取り付けられて、真空チャンバ内部の真空度を所望のプロセスに要求されるレベルまで高めるために使用される。
【００２４】
クライオポンプ１０は、ポンプ容器１２と、冷凍機１４と、クライオパネル構造体１６と、放射シールド１８とを含んで構成される。図１に示されるクライオポンプ１０は、いわゆる横型のクライオポンプである。横型のクライオポンプ１０とは一般に、筒状の放射シールド１８の中心軸方向に交差する方向（通常は直交方向）に沿って冷凍機１４の第２冷却ステージ２２が放射シールド１８の内部に挿入され配置されているクライオポンプ１０である。なお、本発明はいわゆる縦型のクライオポンプにも同様に適用することができる。縦型のクライオポンプとは、放射シールド１８の中心軸方向に沿って冷凍機１４が挿入されて配置されているクライオポンプである。
【００２５】
図１は、ポンプ容器１２及び放射シールド１８の中心軸Ａを含み、冷凍機１４の中心軸に直交する平面による断面を模式的に示す。図１では、ポンプ外部の排気対象容積である真空チャンバからクライオポンプ内部への気体の進入方向を矢印Ｅで表している。なお、気体進入方向Ｅは、クライオポンプ外部から内部に向かう方向と理解すべきである。図において気体進入方向Ｅが放射シールド１８の中心軸Ａに平行とされているのは、便宜上説明をわかりやすくするためにすぎない。クライオポンピング処理においてクライオポンプ内部へと進入する気体分子の実際の進入方向は、当然、図示される気体進入方向Ｅに厳密に一致するものではなく、むしろ気体進入方向Ｅに交差する方向であることが普通である。
【００２６】
ポンプ容器１２は、一端に開口を有し他端が閉塞されている円筒状の形状に形成された部位を有する。ポンプ容器１２の内部にクライオパネル構造体１６及び放射シールド１８が配設されている。ポンプ容器１２の開口は、排気されるべき気体が進入する吸気口として設けられており、ポンプ容器１２の筒状側面の上端部内面により画定される。ポンプ容器１２の上端部には径方向外側に向けて取付フランジ３０が延びている。クライオポンプ１０は、排気対象容積であるイオン注入装置等の真空チャンバに取付フランジ３０を用いて取り付けられる。なおポンプ容器１２の中心軸Ａに垂直な断面は円形状には限られず、他の形状例えば楕円形状や多角形形状であってもよい。
【００２７】
冷凍機１４は、例えばギフォード・マクマホン式冷凍機（いわゆるＧＭ冷凍機）である。また冷凍機１４は２段式の冷凍機であり、第１冷却ステージ２１及び第２冷却ステージ２２を有する。第２冷却ステージ２２は、ポンプ容器１２及び放射シールド１８に包囲され、ポンプ容器１２及び放射シールド１８の内部空間の中心部に配置されている。第１冷却ステージ２１は第１の冷却温度レベルに冷却され、第２冷却ステージ２２は第１の冷却温度レベルよりも低温の第２の冷却温度レベルに冷却される。第２冷却ステージ２２は例えば１０Ｋ乃至２０Ｋ程度に冷却され、第１冷却ステージ２１は例えば８０Ｋ乃至１００Ｋ程度に冷却される。
【００２８】
クライオパネル構造体１６は、冷凍機１４の第２冷却ステージ２２に熱的に接続された状態で固定されており、第２冷却ステージ２２と同程度の温度に冷却される。クライオパネル構造体１６は、複数のクライオパネル２４と、接続部材２６と、を備える。複数のクライオパネル２４は例えば、それぞれが円すい台の側面の形状、いわば傘状の形状を有する。クライオパネル２４は他の任意の形状であってもよい。各パネル２４には通常活性炭等の吸着剤（図示せず）が設けられている。吸着剤は例えばパネル２４の裏面に接着されている。接続部材２６は、クライオパネル構造体１６を第２冷却ステージ２２に熱的に接続しかつ機械的に支持するための連結部材として設けられている。冷凍機１４の第２冷却ステージ２２に接続部材２６が取り付けられ、接続部材２６に複数のクライオパネル２４が取り付けられる。クライオパネル２４及び接続部材２６はともに例えば銅などの材質で形成される。銅を基材として表面をニッケルでメッキしたものを用いてもよい。また、銅に代えて、アルミニウムでクライオパネル２４等を形成してもよい。熱伝導度を重視する場合には銅を用いればよいし、軽量化ひいては再生時間の短縮を重視する場合にはアルミニウムを用いてもよい。
【００２９】
放射シールド１８は、冷凍機１４の第１冷却ステージ２１に熱的に接続された状態で固定され、第１冷却ステージ２１と同程度の温度に冷却される。放射シールド１８は、クライオパネル構造体１６及び第２冷却ステージ２２を周囲の輻射熱から保護する輻射シールドとして設けられている。放射シールド１８もポンプ容器１２と同様に、一端にシールド開口２０を有し他端が閉塞されている円筒状の形状に形成されている。放射シールド１８はカップ状の形状に形成されている。ポンプ容器１２及び放射シールド１８はともに略円筒状に形成されており、同軸に配設されている。ポンプ容器１２の内径が放射シールド１８の外径を若干上回っており、放射シールド１８はポンプ容器１２の内面との間に若干の間隔をもってポンプ容器１２とは非接触の状態で配置される。また、図１に示される実施例では、放射シールド１８の閉塞部は、中心軸Ａに近づくほどシールド開口２０から離れるようにドーム状に湾曲して形成されている。ポンプ容器１２の閉塞部も同様にドーム状に湾曲して形成されている。
【００３０】
放射シールド１８の内部空間の中心部に冷凍機１４の第２冷却ステージ２２が配置されている。冷凍機１４は放射シールド１８の側面の開口から挿入され、その開口部に第１冷却ステージ２１が取り付けられる。このようにして、冷凍機１４の第２冷却ステージ２２は、放射シールド１８の中心軸上においてシールド開口２０と最深部との中間に配置される。
【００３１】
なお放射シールド１８の形状は、円筒形状には限られず、角筒形状や楕円筒形状などいかなる断面の筒形状でもよい。典型的には放射シールド１８の形状はポンプ容器１２の内面形状に相似する形状とされる。また、放射シールド１８は図示されるような一体の筒状に構成されていなくてもよく、複数のパーツにより全体として筒状の形状をなすように構成されていてもよい。これら複数のパーツは互いに間隙を有して配設されていてもよい。
【００３２】
また放射シールド１８の開口２０にルーバー２３が配置されている。ルーバー２３は放射シールド１８と同軸に配置される。ルーバー２３は、クライオパネル構造体１６とは放射シールド１８の中心軸方向に間隔をおいて設けられている。ルーバー２３は、シールド開口２０の全体にわたって設けられている。なおルーバー２３は放射シールド１８の開口２０から実質的にオフセットを有して（例えばシールド開口２０からシールド内部に入り込んだ位置に）配置されていてもよい。この場合でも、放射シールド１８の中心軸Ａに垂直な断面を占めるように設けられる。なおルーバー２３と真空チャンバとの間にはゲートバルブ（図示せず）が設けられていてもよい。このゲートバルブは例えばクライオポンプ１０を再生するときに閉とされ、クライオポンプ１０により真空チャンバを排気するときに開とされる。
【００３３】
ルーバー２３は、ルーバー取付部４０により放射シールド１８に取り付けられている。ルーバー取付部４０は中心軸Ａの方向から見て放射方向に延びる複数の腕部を有しており、例えば４本の腕部を有する場合には中心軸方向から見て十字状の形状である。ルーバー取付部４０の放射方向に延びる腕部の末端が放射シールド１８の開口近傍の内面に取り付けられている。ルーバー取付部４０が十字形状である場合には例えば９０度おきに４箇所で放射シールド１８に取り付けられる。ルーバー取付部４０は、ルーバー２３を放射シールド１８に機械的に固定するとともに、放射シールド１８とルーバー２３とを熱的に接続する。これにより、ルーバー取付部４０は、放射シールド１８からルーバー２３への伝熱経路としても機能し、ルーバー２３は放射シールド１８と同程度の温度に冷却される。
【００３４】
ルーバー２３は複数の羽板４１から形成されており、各羽板４１はそれぞれ径の異なる円すい台の側面の形状に形成されて同心円状に配列されている。なおルーバー２３は格子状等他の形状に形成されていてもよい。各羽板４１は、開口面２０に対し同じ角度（例えば４５度）だけ傾斜してルーバー取付部４０に取り付けられている。ルーバー２３は、羽板４１が狭い間隔で配列されている中心部分４２と、羽板４１が広い間隔で配列されている周縁部分４４と、を備える。
【００３５】
中心部分４２においてはポンプ外部から中心軸方向に見たときに、隣接する羽板４１が互いに重なり合って各羽板４１の間からポンプ内部（例えばクライオパネル２４）が見えないように各羽板４１の間隙が調整されている。すなわち、隣接する２つの羽板４１のうち内側の羽板４１の外周端が外側の羽板４１の内周端よりも放射方向内側にくるように各羽板４１の間隙が調整されている。逆に、周縁部分４４においてはポンプ外部から中心軸方向に見たときに、隣接する羽板４１が重なり合わずに各羽板４１の間からポンプ内部（例えば放射シールド１８）が見えるように各羽板４１の間隙が調整されている。
【００３６】
よって、中心部分４２は、中心軸方向に見たときに開放領域がなく、いわば光学的に閉塞されている。一方、周縁部分４４は、中心軸方向に見たときに各羽板４１の間に環状の開放領域が形成されており、いわば光学的に開放されている。開放領域の面積は、クライオポンプ１０の排気速度（例えば水素ガスの排気速度）が要求仕様を実現するように設定される。例えば、中心部分４２と周縁部分４４の境界位置、または周縁部分４４における羽板４１の枚数を変えることにより、開放領域の面積を調整することができる。
【００３７】
図１においては、中心部分４２の径はクライオパネル２４の最外部の径よりも若干大きい。中心部分４２は、クライオパネル２４を中心軸方向に開口面２０に投影した領域を包含するように設定されている。しかし、中心部分４２の径はクライオパネル２４の最外部の径よりも小さくてもよい。つまり中心部分４２が投影領域に包含されていてもよい。周縁部分４４の羽板４１によっても輻射熱が遮蔽されるので、中心部分４２を比較的小さくしてもクライオパネル２４への入熱を実用上十分小さくすることも可能である。中心部分４２の径は例えばクライオパネル２４の最外径の７５％乃至１００％であることが好ましく、８５％乃至９５％であることがさらに好ましい。中心部分４２を比較的小さくすることにより、シールド内部への気体の流れ性を向上させて排気速度を高めることができる。
【００３８】
上記の構成のクライオポンプ１０による動作を以下に説明する。クライオポンプ１０の作動に際しては、まずその作動前に他の適当な粗引きポンプを用いて真空チャンバ内部を１Ｐａ程度にまで粗引きする。その後クライオポンプ１０を作動させる。冷凍機１４の駆動により第１冷却ステージ２１及び第２冷却ステージ２２が冷却され、これらに熱的に接続されている放射シールド１８、ルーバー２３、クライオパネル２４も冷却される。
【００３９】
冷却されたルーバー２３は、真空チャンバからクライオポンプ１０内部へ向かって飛来する気体分子を冷却し、その冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体（例えば水分など）を表面に凝縮させて排気する。ルーバー２３の冷却温度では蒸気圧が充分に低くならない気体はルーバー２３を通過して放射シールド１８内部へと進入する。特にルーバー２３の周縁部分４４を通過して進入する。進入した気体分子のうちクライオパネル２４の冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体は、クライオパネル２４の表面に凝縮されて排気される。その冷却温度でも蒸気圧が充分に低くならない気体（例えば水素など）は、クライオパネル２４の表面に接着され冷却されている吸着剤により吸着されて排気される。このようにしてクライオポンプ１０は真空チャンバの真空度を所望のレベルに到達させることができる。
【００４０】
本実施形態によれば、放射シールド開口の周縁部に中心部よりも疎に形成されたルーバー構造が設けられている。このため、放射シールド開口における単位面積あたりのガスの流量を周縁部で比較的大きくすることができる。これとともに、周縁部から進入する輻射熱も低減することができる。
【００４１】
図２は、本発明の第２の実施形態に係るクライオポンプ１０の一部を模式的に示す図である。第２の実施形態においてはルーバー２３の構成が第１の実施形態とは異なる。以下の説明では、第２の実施形態が第１の実施形態と共通する点については、簡潔にするために適宜説明を省略する。
【００４２】
第２の実施形態においては、ルーバー２３の周縁部分４４の羽板４３がルーバー取付部４０に垂直に取り付けられている。すなわち、シールド開口面２０に対しても羽板４３は垂直である。各羽板４３は、中心軸Ａと同心円上に形成されている円筒状部材である。このように、中心軸方向すなわち気体流れ方向に沿って羽板４３を配列することにより、気体の流れに対する抵抗を大きく増加させることなくクライオパネル２４への熱入射を軽減することができる。
【００４３】
なお図２においては羽板４３はいずれも軸方向長さが等しいが、各羽板４３の軸方向長さをそれぞれ異ならせてもよい。例えば、中心軸に近いほど羽板４３の軸方向長さを長くして、ポンプ底部に向けて長く延在させてもよい。このようにすれば、中心軸に対し放射方向外側から内側へ向けて周縁部分４４を通じてクライオパネル２４に斜めに入射しようとする輻射熱をより効果的に遮蔽することができる。
【００４４】
以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。
【００４５】
例えば第１の実施形態においては、各羽板４１は、開口面２０に対し同じ角度だけ傾斜してルーバー取付部４０に取り付けられているが、異なる角度で取り付けられてもよい。例えば中心部分４２と周縁部分４４とで異なる角度で羽板４１が取り付けられてもよい。中心部分４２では開口面２０に対し傾斜して羽板４１が配列され、周縁部分４４では開口面２０に対し垂直に羽板４１が配列されてもよい。
【００４６】
上述の各実施形態においては、ルーバー構造の疎密を中心部分と周縁部分とで段階的に変えているが、これに限られず、ルーバー構造の疎密を部位によって連続的に変えてもよい。例えば羽根部材の配列間隔及び取付角度の少なくとも一方を中心から周縁へと徐々に変化させてもよい。
【００４７】
また、ルーバー構造を１つの配列面に沿って設けなくてもよく、部位によって異なる軸方向位置に設けてもよい。例えば、ルーバー構造の中心部分を周縁部分よりもポンプ内部に設けてもよい。あるいは、ルーバー構造を全周にわたって形成するのではなく、周方向に部分的に設けてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１０  クライオポンプ、  １２  ポンプ容器、  １４  冷凍機、  １６  クライオパネル構造体、  １８  放射シールド、  ２０  シールド開口、  ２１  第１冷却ステージ、  ２２  第２冷却ステージ、  ２３  ルーバー、  ２４  クライオパネル、  ２６  接続部材、  ４０  ルーバー取付部、  ４１  羽板、  ４２  中心部分、  ４４  周縁部分。
【図１】
2010196632.tif 000003
【図２】
2010196632.tif 000004