(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッドの小型化を図ると共にクロストークを抑制することを目的とする。【解決手段】液体導入口３１ａを通ってチャネル３５内に供給された液体をノズル孔３３ａから吐出するヘッドチップ２１と、ヘッドチップ２１に供給される液体の圧力変動を吸収するダンパ部材２２と、を備える液体噴射ヘッド２において、ダンパ部材２２には、液体が流入する流入口５０と、流入口５０を通って供給された液体を貯留すると共に壁部の一部が内圧変動に応じて変形可能な圧力変動吸収室５１と、液体導入口３１ａに直接連結され、圧力変動吸収室５１から流出した液体を液体導入口３１ａに供給する流出口５２と、が備えられており、流出口５２の内側には、ヘッドチップ２１内におけるクロストークを抑制するクロストーク抑制部６０が設けられている。【選択図】図２
2010125607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体導入口を通ってチャネル内に供給された液体をノズル孔から吐出するヘッドチップと、
該ヘッドチップに供給される前記液体の圧力変動を吸収するダンパ部材と、
を備える液体噴射ヘッドにおいて、
前記ダンパ部材には、前記液体が流入する流入口と、該流入口を通って供給された液体を貯留すると共に壁部の一部が内圧変動に応じて変形可能な圧力変動吸収室と、前記液体導入口に直接連結され、前記圧力変動吸収室から流出した液体を前記液体導入口に供給する流出口と、が備えられており、
前記流出口の内側には、前記ヘッドチップ内におけるクロストークを抑制するクロストーク抑制部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記クロストーク抑制部は、前記液体を濾過するフィルタからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、
該搬送手段によって搬送された被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された請求項１または２に記載の液体噴射ヘッドと、
該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル孔より液体を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録する液体噴射ヘッド、及びその液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、液体噴射装置の１つとして、予め決められた方向に搬送される記録紙等の被記録媒体に対してインク（液体）を吐出して画像や文字等の記録を行うインクジェット方式の記録装置（例えば、プリンタやファックス等）が提供されている。この記録装置は、インクタンクからインク供給管（液体供給管）を介してインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）にインクを供給し、該インクジェットヘッドに備えられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録を行っている。また、この記録装置には、被記録媒体の搬送方向に直交する方向に往復移動させるキャリッジ（移動手段）が備えられており、このキャリッジに複数のインクジェットヘッドが搭載されている。これにより、インクを吐出させると共にインクジェットヘッドを往復移動させることで、被記録媒体の幅方向に順次記録が行われる。
【０００３】
上記した記録装置では、インクジェットヘッドの往復移動に伴いインク供給管が揺動するため、インク供給管から流出するインクの圧力に変動が生じる。そこで、従来、インクジェットヘッドには、上記したインクの圧力変動を吸収するためのダンパ部材が備えられている。このダンパ部材には、インク供給管に連結される流入口と、インク供給管から供給されたインクを貯留する圧力変動吸収室と、圧力変動吸収室から流出した液体を流出させる流出口と、が備えられている。上記した圧力変動吸収室の壁部の一部は内圧変動に応じて変形可能となっており、これによりインク供給管から供給されたインクの圧力変動が吸収され、流出口から流出するインクの圧力変動が抑えられる。
また、従来のインクジェットヘッドには、ダンパ部材とヘッドチップとの間に流路部材が介装されている。この流路部材は、ダンパ部材の流出口とヘッドチップのインク導入口とを連通する流路が形成された部材である。この流路には、液体が透過すると共にその液体中の塵を除去するフィルタが設けられている。このフィルタは、チャネル内におけるクロストークを抑制する所定位置に配設されている（例えば、下記特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００３−２２０７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記した記録装置を大型化すると、インクジェットヘッドの往復移動距離が大きくなり、インクの圧力変動が増大するため、ダンパ部材が大型化する傾向がある。一方、記録装置の大型化に伴いインクジェットヘッドの数を増加させる傾向があるが、多数のインクジェットヘッドをキャリッジに搭載させるためにはインクジェットヘッドを小型化する必要がある。仮に、インクジェットヘッドを小型化するために上記した流路部材を小さくすると、フィルタが上記した所定位置（クロストークを抑制する位置）に設置することができなくなる場合があり、その場合、ヘッドチップ内においてクロストークが生じ、インクジェットヘッドによるインク吐出が不安定になるという問題が生じる。
【０００５】
本発明に係る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、液体噴射ヘッドの小型化を図ると共にクロストークを抑制することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体導入口を通ってチャネル内に供給された液体をノズル孔から吐出するヘッドチップと、該ヘッドチップに供給される前記液体の圧力変動を吸収するダンパ部材と、を備える液体噴射ヘッドにおいて、前記ダンパ部材には、前記液体が流入する流入口と、該流入口を通って供給された液体を貯留すると共に壁部の一部が内圧変動に応じて変形可能な圧力変動吸収室と、前記液体導入口に直接連結され、前記圧力変動吸収室から流出した液体を前記液体導入口に供給する流出口と、が備えられており、前記流出口の内側には、前記ヘッドチップ内におけるクロストークを抑制するクロストーク抑制部が設けられていることを特徴としている。
このような特徴により、流路部材が省略されるので、液体噴射ヘッドは小型化される。また、クロストーク抑制部がダンパ部材の流出口の内側に配設されているので、クロストーク抑制部の設置位置の自由度が増し、クロストーク抑制部をヘッドチップ内におけるクロストークを抑制する所定位置に配置させることが可能である。なお、ダンパ部材の流入口から供給された液体は、ダンパ部材の圧力変動吸収室に一旦貯留された後に流出し、流出口からヘッドチップの液体導入口に供給される。
【０００７】
また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記クロストーク抑制部は、前記液体を濾過するフィルタからなることが好ましい。
これにより、フィルタによって液体中に含まれた塵等が除去されると共にクロストークが抑制される。
【０００８】
また、本発明に係る液体噴射装置は、被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された上記液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、搬送手段によって被記録媒体を搬送するとともに、移動手段によって液体噴射ヘッドを往復移動させながらノズル孔から被記録媒体に向けて液体を吐出させることで被記録媒体に画像や文字等が記録される。このとき、液体噴射ヘッドが小型化されるので、移動手段によって移動させられる移動部全体の軽量化および移動手段の省エネルギー化を図ることができ、また、クロストーク抑制部によってクロストークが抑制されるので、ノズル孔から液体が安定的に吐出される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置によれば、液体噴射ヘッドの小型化を図ることができると共にクロストークを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の実施の形態について、図面に基いて説明する。
なお、本実施形態では、液体噴射装置の一例として、非導電性を有する非水性のインク（液体）Ｗを利用して記録を行うインクジェットプリンタ１を例に挙げて説明する。
【００１１】
［第１の実施の形態］
まず、第１の実施の形態について、図１から図６に基いて説明する。
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた矢印Ｌ１方向（搬送方向）に搬送する搬送手段３と、前記搬送方向に直交する矢印Ｌ２方向（走査方向）に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４とを、備えている。
【００１２】
つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを搬送方向に搬送しながら、該搬送方向に直交する走査方向にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録する所謂シャトルタイプのプリンタである。
なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタ及びイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。
【００１３】
これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
このキャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、該基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されており、上記操作方向に沿って配置されたガイドレール７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７に支持された状態で一対のプーリ８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８のうち一方のプーリ８は、モータ１０の出力軸に連結されており、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、走査方向に向けて往復移動できるようになっている。
即ち、これら一対のガイドレール７、一対のプーリ８、搬送ベルト９及びモータ１０は、上記移動手段４として機能する。
【００１４】
また、筐体５には、一対のガイドレール７と同じ走査方向に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６とが間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう前記搬送方向に沿って記録紙Ｐを搬送することができるようになっている。
即ち、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、上記搬送手段３として機能する。
なお、上記した筐体５内には、それぞれ異なる色のインクＷを収容した複数のインクタンク４１が内蔵されている。これら複数のインクタンク４１は供給チューブ４０を介して各々のインク色に対応したインクジェットヘッド２にそれぞれ接続されており、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、供給チューブ４０内を通って各色のインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。
【００１５】
図２に示すように、各インクジェットヘッド２は、図１に示すキャリッジ６にネジ止め等で固定されるベースプレート２０と、そのベースプレート２０に取り付けられたヘッドチップ２１と、ヘッドチップ２１に取り付けられたダンパ部材２２と、後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。これら各インクジェットヘッド２は、搬送手段３によって搬送された記録紙Ｐの表面に対して後述するヘッドチップ２１のノズル孔３３ａが対向する向きに配置されている。
【００１６】
図２から図４に示すように、ヘッドチップ２１は、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１、支持プレート３２及びノズルプレート３３で主に構成されており、アクチュエータプレート３０に図示せぬ接着材を介してカバープレート３１が重ね合わされているとともに、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の端面に図示せぬ接着材を介してノズルプレート３３が貼着された構成からなる。
【００１７】
アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートである。このアクチュエータプレート３０のカバープレート３１側の面（表面）には、図３、図４に示すように、矢印Ｌ３方向（延在方向）に延びたチャネル３５が矢印Ｌ１方向（配列方向）に一定間隔をあけて並列に複数形成されている。即ち、複数のチャネル３５は、側壁３６によってそれぞれ区分けされた状態となっている。これらのチャネル３５は、インクＷが充填される断面視凹形状の吐出チャネルであり、後述するカバープレート３１のインク導入口３１ａにそれぞれ連通されている。チャネル３５の延在方向の一端（先端）は、アクチュエータプレート３０の先端面（ノズルプレート３３側の端面）において開口されている。一方、チャネル３５の延在方向の他端部（基端部）は、アクチュエータプレート３０の途中まで延びており、基端側（ノズルプレート３３側の反対側）に向かうにしたがって漸次深さが浅くなっている。また、アクチュエータプレート３０には、チャネル３５の基端からアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）まで延びた浅溝部３８が形成されている。この浅溝部３８はチャネル３５の延長線上に形成されており、その一端はチャネル３５の内側に向けて開口され、その他端はアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）において開口され、図示しない封止手段によって封止されている。
【００１８】
上記した複数のチャネル３５の側壁３６には、長さ方向に亘って駆動電極３７が蒸着等により形成されている。そして、チャネル３５の両側面に形成された駆動電極３７は、接続電極３９を介して後述するフレキシブル基板２７の引き出し電極２７ａに電気的に接続されるようになっている。
そして、駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、側壁３６を圧電厚み滑り効果により変形させることでチャネル３５内の圧力を高め、充填されたインクＷをチャネル３５内から吐出させる働きをしている。
【００１９】
カバープレート３１は、例えばセラミックス等で形成されたプレートであり、複数の浅溝部３８の基端側部分を露出させた状態で、アクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して重ね合わせて貼着されている。また、カバープレート３１には、ダンパ部材２２からインクＷが供給されてくるインク導入口３１ａ（液体導入口）が形成されている。このインク導入口３１ａは、長方形の開口であり、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に延在されている。
【００２０】
支持プレート３２は、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持していると共に、ノズルプレート３３を支持している。支持プレート３２には、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に延在する嵌合孔３２ａが形成されており、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１をこの嵌合孔３２ａ内に嵌め込んだ状態で両プレート３０、３１を支持している。この際、支持プレート３２の先端側の表面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と面一となっている。
【００２１】
ノズルプレート３３は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状のプレートであり、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着材を介して貼着されている。つまり、ノズルプレート３３の一方の面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着される接着面となっており、ノズルプレート３３の他方の面は、図１に示す記録紙Ｐに対向する対向面となっている。なお、ノズルプレート３３の対向面には、インクＷの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。
【００２２】
また、このノズルプレート３３には、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に所定の間隔を空けて複数のノズル孔３３ａが形成されている。これら複数のノズル孔３３ａは、チャネル３５に対向する位置にそれぞれ形成されており、該チャネル３５に連通するようになっている。各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、図２に示すように、ノズル孔３３ａは、接着面側から対向面側に向かうに従い漸次縮径されたテーパ孔であり、接着面側の入口径（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が対向面側の出口径よりも大きくなっている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置等を用いて形成されている。
【００２３】
図２、図５及び図６に示すように、ダンパ部材２２は、上記したヘッドチップ２１に供給されるインクＷの圧力変動を吸収する部材である。ダンパ部材２２は、ベースプレート２０に対向して縦置きに配置された矩形厚板状のダンパベース５３によって形成された部材であり、上記した支持プレート３２のＬ３方向上部に載置され、ダンパ部材２２（ダンパベース５３）の下部はカバープレート３１に重ね合わせられている。ダンパベース５３は、ポリプロピレンやポリエチレン等の合成樹脂製の部材である。なお、以下、ダンパ部材２２のうち、ベースプレート２０に対向する面を「内面」とし、その反対面を「外面」とし、ベースプレート２０側（図２における右側）を「内面側」とし、その反対側（図２における左側）を「外面側」とする。
【００２４】
ダンパ部材２２には、供給チューブ４０に連結されて供給チューブ４０からインクＷが流入する流入口５０と、流入口５０を通って供給されたインクＷを貯留する圧力変動吸収室５１と、圧力変動吸収室５１から流出したインクＷを流出させる流出口５２と、が備えられている。
【００２５】
圧力変動吸収室５１は、壁部の一部が内圧変動に応じて変形可能な貯留室であり、ダンパベース５３の外面に形成された凹部５４と、凹部５４を外面側から閉塞する可塑性フィルム５５と、によって形成されている。凹部５４は、外面側に向けて開放された断面視凹形状の窪みである。可塑性フィルム５５は、圧力変動吸収室５１の内圧変動に応じて内面側（凹部５４）に窪んだり外面側に膨出したりする可動膜であり、この可塑性フィルム５５の変形によってインクＷの圧力変動が吸収される。
【００２６】
なお、可塑性フィルム５５の内面側には、可塑性フィルム５５を内面側から押さえて圧力変動吸収室５１の大負圧（減圧）時に可塑性フィルム５５が一定以上内面側に変形するのを規制する負圧用押さえ板５６が配設されている。この負圧用押さえ板５６は、バネ等の付勢部材５７によって支持されている。また、可塑性フィルム５５の外面側には、圧力変動吸収室５１の大正圧（加圧）時に可塑性フィルム５５を外面側から押さえて可塑性フィルム５５が一定以上外面側に変形するのを規制する正圧用押さえ板５８が配設されている。この正圧用押さえ板５８は、中央部分が外面側に向けて窪んだ皿状の部材であり、正圧用押さえ板５８の外周部は、可塑性フィルム５５の外周部を挟み込んだ状態でダンパベース５３の外面の外周部分（凹部５４の開口周縁）に固定されている。
【００２７】
流入口５０は、ダンパベース５３の上端面に配設されており、流入口５０と圧力変動吸収室５１とは、ダンパベース５３に形成された流入路５９ａを介して接続されている。圧力変動吸収室５１の入口５１ａは、圧力変動吸収室５１の下部に形成されており、流入路５９ａは、流入口５０の下端（ダンパベース５３の上端面）から圧力変動吸収室５１（凹部５４）の側方を通って下向きに延在し、圧力変動吸収室５１の側面の下部から圧力変動吸収室５１の内部に向けて開放されている。
【００２８】
流出口５２は、圧力変動吸収室５１から流出したインクＷをインク導入口３１ａに供給する口部であり、ダンパベース５３の内面に形成されている。詳しく説明すると、流出口５２は、ダンパベース５３の長さ方向（矢印Ｌ１方向）に延びる凹溝状の口部であり、上記した凹部５４の下方に配設され、上記カバープレート３１のインク導入口３１ａに対向配置されている。この流出口５２はインク導入口３１ａに直接連結されており、流出口５２とインク導入口３１ａとは互いに連通されている。
【００２９】
流出口５２と圧力変動吸収室５１とは、ダンパベース５３に形成された流出路５９ｂを介して接続されている。圧力変動吸収室５１の出口５１ｂは、圧力変動吸収室５１の上部に形成されており、流出路５９ｂは、圧力変動吸収室５１の出口５１ｂから圧力変動吸収室５１（凹部５４）の裏側（内面側）を通って下向きに延在し、流出口５２の長さ方向（矢印Ｌ１方向）の端部に接続されている。
【００３０】
上記した流出口５２の内部には、流出路５９ｂから流出口５２内に流入するインクＷを濾過するフィルタ６０が配設されている。このフィルタ６０は、インクＷが透過可能であると共にインクＷ中に含まれる塵等を除去することが可能な多孔質膜や繊維膜であり、流出口５２の全体に亘って張設されている。また、このフィルタ６０は、ヘッドチップ２１内におけるクロストークを抑制するクロストーク抑制部として機能する部材であり、ヘッドチップ２１内におけるクロストークを抑制することができる所定の位置に配設されている。
【００３１】
また、図２に示すように、ベースプレート２０には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路等の駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５とヘッドチップ２１の駆動電極３７とは、フレキシブル基板２７を介して電気的に接続されている。
フレキシブル基板２７は、図４に示すように、カバープレート３１の基端側に露出された浅溝部３８の基端側部分に嵌合される複数の引き出し電極２７ａがプリント配線されており、この引き出し電極２７ａが接続電極３９に接触して電気的に接続されることでこの接続電極３９を介して駆動電極３７に接続されている。そして、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。
即ち、駆動回路２５及びフレキシブル基板２７は、上記制御手段２３として機能する。
【００３２】
次に、上述したように構成されたインクジェットプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、４つのインクタンク４１にはそれぞれ異なる色のインクＷが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４１内のインクＷが供給チューブ４０、流入口５０及び流入路５９ａを介してダンパ部材２２の圧力変動吸収室５１に供給された状態となっている。そして、所定量のインクＷが、圧力変動吸収室５１から流出路５９ｂ及び流出口５２を介してヘッドチップ２１のインク導入口３１ａに供給され、インク導入口３１ａからチャネル３５内に充填された状態となっている。
【００３３】
このような初期状態のもと、インクジェットプリンタ１を作動させると、一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６が回転して記録紙Ｐを搬送方向（矢印Ｌ１方向）に向けて搬送する。また、これと同時にモータ１０がプーリ８を回転させて搬送ベルト９を動かす。これにより、キャリッジ６がガイドレール７でガイドされながら走査方向（矢印Ｌ２方向）に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド２のヘッドチップ２１より４色のインクＷを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。特に、シャトル方式であるので、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。
【００３４】
ここで、各インクジェットヘッド２の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ６によって往復移動が開始されると、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加する。より詳しくは、インクＷを吐出するチャネル３５の両側の２つの側壁３６にそれぞれ設けられている駆動電極３７に駆動電圧を印加し、この２つの側壁３６を、インクＷを吐出させるチャネル３５に隣接しているチャネル３５側へ突出するように変形させる。即ち、吐出するチャネル３５があたかも膨らむように変形させる。
【００３５】
この２つの側壁３６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出するチャネル３５の容積が増大する。そして、チャネル３５の容積が増大したことにより、インクＷがインク導入口３１ａからチャネル３５に誘導される。そして、チャネル３５の内部に誘導されたインクＷは圧力波となってチャネル３５の内部を通過し、この圧力波がノズル３３ａに到達したタイミングで、駆動電極３７に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、側壁３６の変形が元に戻り、一旦増大したチャネル３５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出するチャネル３５の内部の圧力が増加し、インクＷが加圧される。その結果、インクＷがチャネル３５内から吐出される。
【００３６】
なお、ここで述べている駆動電極３７は、それぞれ隣接するチャネル３５から選択的にインクＷを吐出させるための電極として、別々に機能するように形成されている。また、インクＷを安定して吐出するために、さらなるインクＷの加圧が必要な場合には、側壁３６を吐出するチャネル３５側へ突出するように変形させる。この動作によって、吐出するチャネル３５の内部の圧力がさらに増加するので、インクＷをより加圧することができる。但し、この動作は上述したとおり、インクＷを安定して吐出させることを目的とするものであるので、必須な動作ではなく必要に応じて適宜使用すれば良い。
また、本実施形態では、非水性のインクＷを使用しているので、上述した各動作を必要に応じて組み合わせて実行することにより、最適なインクＷの吐出を実現することができる。
【００３７】
吐出されたインクＷは、ノズル孔３３ａを通って外部に吐出される。しかもノズル孔３３ａを通過する際に、インクＷは液滴状、即ちインク滴となって吐出される。その結果、上述したように、記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態のノズル孔３３ａは、断面テーパ状であるので、インク滴を速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。
【００３８】
上記した構成からなるインクジェットヘッド２によれば、従来のインクジェットヘッドに備えられていた流路部材が省略されるので、インクジェットヘッド２を小型化することができる。これにより、キャリッジ６に多数のインクジェットヘッド２を搭載させることができる。
【００３９】
また、上記したインクジェットヘッド２によれば、クロストーク抑制部として機能するフィルタ６０がダンパ部材２２の流出口５２の内側に配設されているので、フィルタ６０の設置位置の自由度が増し、ヘッドチップ２１内におけるクロストークを抑制する所定位置にフィルタ６０を配置させることができる。これにより、ヘッドチップ２１内におけるクロストークを確実に抑制することができ、ノズル孔３３ａからインクＷを安定的に吐出させることができる。
【００４０】
また、上記したインクジェットヘッド２によれば、インクＷを濾過するフィルタ６０がクロストーク抑制部として機能しているため、フィルタ６０によって、インクＷ中に含まれる塵等が除去されると共にヘッドチップ２１内におけるクロストークが抑制される。これにより、塵等によるノズル孔３３ａの目詰まりを防止することができ、ノズル孔３３ａからインクＷを確実且つ安定的に吐出させることができる。
【００４１】
また、上記したインクジェットヘッド２を備えるインクジェットプリンタ１によれば、インクジェットヘッド２が小型化されることで、キャリッジ６に搭載するインクジェットヘッド２の数を増加することができるので、高速印刷及び大サイズ印刷が可能な大型のインクジェットプリンタ１を実現することができる。また、上記したインクジェットヘッド２によってクロストークが抑制されて安定したインクＷの吐出が可能であるので、高画質の印刷を実現することができる。
【００４２】
［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態について図７に基いて説明する。
なお、本実施の形態は、ダンパ部材１２２の構成が第１の実施の形態と異なり、他の構成は第１の実施の形態の構成と同様である。したがって、本実施の形態においては、ダンパ部材１２２についてのみ説明し、第１の実施の形態の構成と同様の構成については説明を省略する。
【００４３】
図７に示すように、ダンパ部材１２２の圧力変動吸収室１５１は、矩形厚板状のダンパベース１５３の内部に形成された空洞部１５４と、この空洞部１５４の内側に配設された可塑性フィルム１５５と、によって形成されている。詳しく説明すると、可塑性フィルム１５５は、空洞部１５４を内面側（ベースプレート２０側）と外面側とに区画する隔壁部であり、空洞部１５４のうち、可塑性フィルム１５５よりも内面側の部分が圧力変動吸収室１５１となっている。一方、空洞部１５４のうち、可塑性フィルム１５５よりも外面側の部分はインクＷが流入しない空間となっており、この部分の外面側の壁面は、圧力変動吸収室１５１の大正圧（加圧）時に可塑性フィルム１５５を外面側から押さえて可塑性フィルム１５５が一定以上外面側に変形するのを規制する正圧用押さえ部１５８として機能する。一方、可塑性フィルム１５５の内面側には、可塑性フィルム１５５を内面側から押さえて圧力変動吸収室１５１の大負圧（減圧）時に可塑性フィルム１５５が一定以上内面側に変形するのを規制する負圧用押さえ板１５６が配設されている。この負圧用押さえ板１５６は、バネ等の付勢部材１５７によって支持されている。
【００４４】
ダンパ部材１２２の流入口１５０は、上述した第１の実施の形態における流入口５０と同様に、ダンパベース１５３の上端面に配設されており、圧力変動吸収室１５１の側方を通る流入路１５９ａを介して、圧力変動吸収室１５１の下部に形成された入口１５１ａに接続されている。
【００４５】
ダンパ部材１２２の流出口１５２は、ダンパベース１５３の長さ方向（矢印Ｌ１方向）に延びる凹溝状の口部であり、上記した空洞部１５４の下方に配設され、カバープレート３１のインク導入口３１ａに対向配置されている。この流出口１５２はインク導入口３１ａに直接連結されており、流出口１５２とインク導入口３１ａとは互いに連通されている。この流出口１５２は、圧力変動吸収室１５１の外面側を通る流出路１５９ｂを介して、圧力変動吸収室５１の上部に形成された出口１５１ｂに接続されている。また、流出口１５２の内部にはフィルタ１６０（クロストーク抑制部）が配設されている。
【００４６】
上記した構成のダンパ部材１２２を有するインクジェットヘッド２によれば、流出口１５２の奥行き寸法（矢印Ｌ２方向の長さ）が、上述した第１の実施の形態における流出口５２よりも長くなるので、フィルタ１６０の設置位置の自由度が増大する。これにより、インク導入口３１ａから離れた位置にフィルタ１６０を配置させることも可能であり、クロストークを抑制する所定位置にフィルタ１６０を確実に配置させることができる。
【００４７】
また、上記した構成のダンパ部材１２２を有するインクジェットヘッド２によれば、空洞部１５４の外面側の壁面が正圧用押さえ部１５８となるので、上述した第１の実施の形態における正圧用押さえ板５８を省略することができ、部品数を削減することができると共にインクジェットヘッド２の小型化を図ることができる。
【００４８】
以上、本発明の第１及び第２の実施の形態について説明したが、本発明は上記した各実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。  例えば、上記した各実施の形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００４９】
また、上記した実施の形態では、カバープレート３１にインク導入口３１ａが形成されているが、本発明は、アクチュエータプレートにインク導入口が形成されていてもよい。例えば、アクチュエータプレートの裏面（チャネルが形成された表面の反対側の面）に配列方向に延びた断面凹状のインク導入口が形成され、このインク導入口の底面に、チャネルに連通するスリットが形成された構成であってもよい。なお、この場合、ＩＣ基板２６が固定されたベースプレート２０とダンパ部材２２，１２２との位置を入れ換えて、ダンパ部材２２，１２２をアクチュエータプレートに重ね合わせるように配設すると共に、ベースプレート２０をカバープレート３１に重ね合わせるように配置すればよい。
【００５０】
また、上記した実施の形態では、非水性のインクＷを利用した場合を説明したが、例えば、導電性の水性インク、ソルベントインク、オイルインクやＵＶインク等を用いても構わない。
なお、水性インクを用いる場合には、ヘッドチップは次にように構成すれば良い。
即ち、アクチュエータプレートには、インクが充填される吐出チャネルとして機能する吐出チャネルと、インクが充填されないダミーチャネルとして機能するダミーチャネルと、が配列方向に交互に形成される。そして、インク導入口の底面には、吐出チャネルに対向する位置にスリットを形成する。これにより、インク導入口からスリットを通って吐出チャネルにだけインクが充填される。そして、ノズルプレートには、吐出チャネルに対向する位置にノズル孔が形成される。
このようにヘッドチップ２１を構成することで、水性のインクであっても、吐出チャネルに設けられた駆動電極と、ダミーチャネルに設けられた駆動電極とをインクを介して導通させることなく、電気的に切り離した状態で使い分けることができる。従って、水性のインクを利用して記録を行うことができる。
特に、導電性を有するインクであっても問題なく利用できるので、インクジェットプリンタの付加価値を高めることができる。なお、その他は同様の作用効果を奏することができる。
【００５１】
また、上記した実施の形態では、インクＷを濾過するフィルタ６０，１６０がクロストーク抑制部となっているが、本発明は、流出口５２，１５２にフィルタ以外からなるクロストーク抑制部が設けられていてもよい。例えば、図８に示すように、流出口１５２の内側に、クロストーク抑制部として機能する弁体２６０が設けられていてもよい。この弁体２６０は、インクＷの逆流を制限する逆止弁であり、通常時には流出口１５２を閉塞しており、インクＷが圧力変動吸収室１５１側からインク導入口３１ａ側に流通する際には先端部がインク導入口３１ａ側に弾性変形して流出口１５２が開放される。
さらに、本発明は、流出口の壁面がクロストーク抑制部として機能する構成であってもよい。
【００５２】
その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明するための液体噴射装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を説明するための液体噴射ヘッドの縦断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を説明するためのダンパ部材の側面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態を説明するためのダンパ部材の横断面図であり、（ａ）は図３に示すＡ−Ａ´間の断面図であり、（ｂ）は図３に示すＢ−Ｂ´間の断面図であり、（ｃ）は図３に示すＣ−Ｃ´間の断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を説明するための液体噴射ヘッドの縦断面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態を説明するための液体噴射ヘッドの縦断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２  インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３  搬送手段
４  移動手段
２１  ヘッドチップ
２２、１２２  ダンパ部材
３１ａ  インク導入口（液体導入口）
３３ａ  ノズル孔
３５  チャネル
５０、１５０  流入口
５１、１５１  圧力変動吸収室
５２、１５２  流出口
６０、１６０  フィルタ（クロストーク抑制部）
２６０  弁体（クロストーク抑制部）
Ｐ  記録紙（被記録媒体）
Ｗ  インク（液体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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