(57)【要約】【課題】冷却液の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して電気絶縁特性を維持することができる液中ケーブル接続部を有するＸ線管装置を提供する。【解決手段】ハウジング内にＸ線管を冷却液とともに内蔵する。ハウジング内に導入される絶縁被覆ケーブル54を、液中ケーブル接続部61によりＸ線管内の偏向電極51に接続する。液中ケーブル接続部61はＸ線管の真空外囲器の一部を構成する絶縁セラミックス40を備え、絶縁セラミックス40には外側から内側に向かって孔径が細くなるテーパ孔67を設ける。絶縁被覆ケーブル54の絶縁被覆材56の先端部には、先端方向に向かって外径が細くなるテーパ部70を設ける。絶縁セラミックス40のテーパ孔67に絶縁被覆ケーブル54のテーパ部70を挿入することにより、これらテーパ孔67とテーパ部70とがテーパ嵌合して密着する。【選択図】図１
2010244709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空外囲器、この真空外囲器内に配置される陰極およびこの陰極から発生する電子が衝撃してＸ線を発生する陽極ターゲットを有するＸ線管と、
このＸ線管を冷却液とともに内蔵するハウジングと、
前記ハウジング内に導入される絶縁被覆ケーブルと、
前記真空外囲器の一部を構成するとともに前記真空外囲器の外側から内側に向かって孔径が細くなるテーパ孔を有する絶縁体、および前記絶縁被覆ケーブルの先端部にその先端方向に向かって外径が細くなるように設けられたテーパ部を備え、そのテーパ部が前記テーパ孔の内面に密着するように挿入されて固定される液中ケーブル接続部と
を具備していることを特徴とするＸ線管装置。
【請求項２】
前記液中ケーブル接続部は、前記絶縁被覆ケーブルのテーパ部の外面を前記絶縁体のテーパ孔の内面に密着させるように前記絶縁被覆ケーブルを押し付ける押圧機構を具備している
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線管装置。
【請求項３】
前記液中ケーブル接続部は、前記絶縁被覆ケーブルのテーパ部の外面と前記絶縁体のテーパ孔の内面とを接着剤により接着固定している
ことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線管装置。
【請求項４】
前記接着剤は、エポキシ樹脂およびシリコーン樹脂のいずれか一方を主成分とする
ことを特徴とする請求項３記載のＸ線管装置。
【請求項５】
前記液中ケーブル接続部は、前記絶縁被覆ケーブルのテーパ部の外面と前記絶縁体のテーパ孔の内面との少なくともいずれか一方にプライマー処理を施している
ことを特徴とする請求項３または４記載のＸ線管装置。
【請求項６】
前記冷却液は、水系である
ことを特徴とする請求項１ないし５いずれか一記載のＸ線管装置。
【請求項７】
前記陰極から電子が前記陽極ターゲットに進行する電子進行方向に見て、少なくとも前記陰極と前記陽極ターゲットとの間に配置され、Ｖを前記陰極の電位Ｖ１と前記陽極ターゲットの電位Ｖ２との電位差Ｖ２−Ｖ１とした場合、接地電位に対して＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲の電位差が与えられ、前記電子を偏向させる少なくとも一対の偏向電極を具備し、
これら一対の偏向電極への偏向電圧を、前記液中ケーブル接続部を介して接続される前記絶縁被覆ケーブルにより供給する
ことを特徴とする請求項１ないし６いずれか一記載のＸ線管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、陰極から発生する電子を陽極ターゲットに衝突させてＸ線を発生させるＸ線管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、Ｘ線ＣＴ装置などでは、陰極の電子発生源から発生する電子を回転する陽極ターゲット、または固定の陽極ターゲットに衝突させ、この陽極ターゲットの電子が衝突して形成されるＸ線焦点からＸ線を発生させるＸ線管を有するＸ線管装置が用いられている。
【０００３】
このＸ線管装置では、ハウジング内に冷却液とともにＸ線管を内蔵し、冷却液を冷却器との間で循環させてＸ線管を強制的に冷却する構造が採用されている。
【０００４】
ハウジング内で冷却液に取り囲まれているＸ線管に電圧を供給するうえで、ケーブル端末の芯線やＸ線管の電圧供給用端子の金属ピンなどの充電部が露出しても良いように、冷却液として絶縁油が選ばれていた。しかし、充電部と接地電位部との距離が短い場合や、絶縁油の温度が高い場合、また長期間に亙ってハウジングの内面にＸ線遮蔽材として貼られている鉛板が絶縁油中に溶出した結果、絶縁油の導電率が高くなってしまった場合に、絶縁油を通じて漏電が生ずる可能性がある。
【０００５】
また、冷却液の冷却性能を高めるためには、絶縁油に代えて不凍液のような水系の冷却液を使用する必要がある（例えば、特許文献１参照。）。その場合には、ケーブル端末の芯線やＸ線管の電圧供給用端子の金属ピンなどの充電部が露出していると、水系の冷却液の導電率が比較的高いため、冷却液を通じて漏電が生じてしまうという問題が生じる。
【０００６】
このような冷却液を通じての漏電を防ぐために、充電露出部を樹脂によりモールドすることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００５−３８８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
樹脂によるモールドでは、モールド樹脂と相手部品との界面を経由して使用時間の経過とともに徐々に冷却液が浸透し、やがて冷却液が充電部に到達して漏電が発生してしまう。
【０００９】
モールド樹脂は、一般的にシリコーン樹脂やエポキシ樹脂が使用される。ケーブルの絶縁被覆材は、一般的にクロロプレンゴム、ＥＰゴム、シリコーンゴムなどのゴムや、ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ポリオレフィンなどである。漏電が発生する場所は、これらモールド樹脂と絶縁被覆材との接着界面であり、この接着界面を通じての冷却液の浸透性は絶縁被覆材の処理状態により大きく影響されるため、絶縁被覆材の処理を最適化する必要がある。
【００１０】
しかしながら、漏電が発生するまでの時間は、冷却液の温度が高いほど、また供給電圧が高いほど短くなるため、絶縁被覆材の処理を最適化した場合でも、使用条件によっては必ずしも満足できる結果が得られるものではなかった。
【００１１】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、冷却液の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して電気絶縁特性を維持することができる液中ケーブル接続部を有するＸ線管装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、真空外囲器、この真空外囲器内に配置される陰極およびこの陰極から発生する電子が衝撃してＸ線を発生する陽極ターゲットを有するＸ線管と、このＸ線管を冷却液とともに内蔵するハウジングと、前記ハウジング内に導入される絶縁被覆ケーブルと、前記真空外囲器の一部を構成するとともに前記真空外囲器の外側から内側に向かって孔径が細くなるテーパ孔を有する絶縁体、および前記絶縁被覆ケーブルの先端部にその先端方向に向かって外径が細くなるように設けられたテーパ部を備え、そのテーパ部が前記テーパ孔の内面に密着するように挿入されて固定される液中ケーブル接続部とを具備しているものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、真空外囲器の一部を構成する絶縁体のテーパ孔に絶縁被覆ケーブルのテーパ部を挿入することにより、これらテーパ孔とテーパ部とがテーパ嵌合して密着するように液中ケーブル接続部を構成したため、冷却液の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して液中ケーブル接続部の電気絶縁特性を維持することができ、信頼性の高いＸ線管装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示すＸ線管装置の液中ケーブル接続部の断面図である。
【図２】同上Ｘ線管装置の断面図である。
【図３】同上Ｘ線管装置の図２のＡ−Ａ視断面図である。
【図４】同上Ｘ線管装置の陰極を示し、(a)は陰極の断面図、(b)は陰極の底面図である。
【図５】同上Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示すＸ線管装置の液中ケーブル接続部の断面図Ｘ線管装置である。
【図７】本発明の第３の実施の形態を示し、Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態を示し、Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態を示し、Ｘ線管装置の偏向電極の配置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００１６】
図１ないし図５に第１の実施の形態を示す。
【００１７】
図２および図３に示すように、回転陽極型のＸ線管装置は、ハウジング11、およびこのハウジング11内に配置された陽極接地型（陽極電位が接地電位）でかつ回転陽極型のＸ線管12を備えている。ハウジング11とＸ線管12との間の空間には例えばグリコール水などの不凍液を含む水系冷却液あるいは絶縁油などの冷却液13が満たされ、この冷却液13をハウジング11に対して図示しないホースで接続された冷却器に循環させて冷却するように構成されている。
【００１８】
Ｘ線管12は、真空外囲器15を備え、この真空外囲器15は、径大部16、この径大部16の上下の径小部17，18を有する円筒状に形成されている。さらに、真空外囲器15の径大部16上には円筒状の陰極収納部19が形成されている。
【００１９】
真空外囲器15の径大部16の外周面には、陰極収納部19の位置に対応して、Ｘ線が透過するＸ線透過窓20が取り付けられている。
【００２０】
また、真空外囲器15内には、真空外囲器15の中心に固定軸23が配置されているとともに、この固定軸23に対して回転可能に支持された回転体24が配置されている。この固定軸23は、回転体24からみて、回転体24の回転中心となる回転軸として構成される。
【００２１】
この回転体24には、径大部16内に回転可能に配置される円板部25、および下部側の径小部18内に回転可能に配置されるロータ部26が形成されている。回転体24の円板部25の上面外周部側は、Ｘ線透過窓20へ向けて対向するように所定の角度で下降傾斜され、この下降傾斜された表面に電子が衝突してＸ線を発生する陽極ターゲット27が設けられている。
【００２２】
真空外囲器15の下部側の径小部18の外側には、誘導電磁界を発生してロータ部26を介して回転体24および陽極ターゲット27を回転させるコイル28が配置されている。
【００２３】
また、真空外囲器15の陰極収納部19内には、陽極ターゲット27に対向するように配置された陰極31が収納されている。この陰極31は、図４に示すように、電子を発生する電子発生源としてのフィラメント32、およびこのフィラメント32を支持する陰極支持体33を備えている。
【００２４】
フィラメント32は、小焦点用フィラメント32aと大焦点用フィラメント32bとを備え、それぞれ幅が長い長手方向とこの長手方向に直交する幅が狭い幅方向とを有する形状に形成され、陰極支持体33に対して幅方向に沿った方向に互いに並列に配置されている。フィラメント32の長手方向が陽極ターゲット27の径方向に沿って配置され、幅方向が陽極ターゲット27の回転方向に沿って配置されている。
【００２５】
陰極支持体33は、外周部に陰極キャップ34が設けられており、絶縁体35によって真空外囲器15に支持されている。この絶縁体35の箇所を利用して、陰極31に負の高電圧電位を供給する高電圧電源と接続するための高電圧ケーブルが接続される。
【００２６】
また、図２および図３に示すように、真空外囲器15の陰極収納部19は、上部側が円筒状の周壁部38にて構成され、下部側が環状の反跳電子トラップ構造体39にて構成され、これら周壁部38と反跳電子トラップ構造体39との間が環状の絶縁体としての絶縁セラミックス40にて構成されている。
【００２７】
反跳電子トラップ構造体39は、陽極ターゲット27からの反跳電子を捕獲するもので、中心部にはフィラメント32から発生する電子を通過させる円形状の開口部41が形成されており、フィラメント32から発生する電子が陽極ターゲット27へ移動する軌道を取り囲むように配置されている。反跳電子トラップ構造体39の陰極31に対向する面は平坦面に形成され、陽極ターゲット27に対向する面は凹面に形成され、外周面は円筒状側面に形成されている。
【００２８】
反跳電子トラップ構造体39は、高熱伝導性材で形成されていることが好ましく、例えば、銅、銅合金、ＧＬＩＤ−ＣＯＰなどの強化銅、モリブデン、モリブデン合金などの金属材料の他、熱伝導率が大きいＳｉＣ、ＡｌＮ、ＢｅＯなどのセラミックス表面を金属薄膜でコーティングしたものを用いてもよい。さらに、図示していないが、反跳電子トラップ構造体39は冷却構造を備えており、この冷却構造としては、例えば、反跳電子トラップ構造体39の内部に冷却液13が循環する冷却液流路が形成され、この冷却液流路の冷却液13を冷却器に循環させて反跳電子トラップ構造体39を冷却するように構成されている。
【００２９】
また、図１、図２、図３および図５に示すように、真空外囲器15の陰極収納部19の内部には、フィラメント32から電子が陽極ターゲット27に進行する電子進行方向に見て、フィラメント32と陽極ターゲット27との間に、電子を電子進行方向に対して垂直となる方向に静電偏向させる一対の偏向電極51が配置されている。これら一対の偏向電極51は、周方向に２分割され、それぞれ絶縁セラミックス40に支持され、陽極ターゲット27の径方向に沿って互いに離間して対向するように配置されている。一対の偏向電極51の互いに対向する中央部分には、フィラメント32から陽極ターゲット27へ進行する電子が通過する電子通過部52を構成する半円状の窪み部53が形成されている。
【００３０】
図３に示すように、一対の偏向電極51には、偏向電圧を供給する一対の絶縁被覆ケーブル54が電気的に接続されている。一対の絶縁被覆ケーブル54は、ハウジング11を液密に貫通してハウジング11内に導入されており、図示しない偏向電圧供給用電源に接続されている。図１に示すように、絶縁被覆ケーブル54は、導電性を有する芯線55、この芯線55の周囲を絶縁被覆する絶縁被覆材56を有している。絶縁被覆材56は、例えば、ＥＰゴム、シリコーンゴム、ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ポリオレフィンなどが用いられる。
【００３１】
図１および図３に示すように、一対の絶縁被覆ケーブル54は、一対の液中ケーブル接続部61を介して偏向電極51に電気的に接続されている。この液中ケーブル接続部61は、絶縁セラミックス40、この絶縁セラミックス40に密着して固定される絶縁被覆ケーブル54の先端部、この絶縁被覆ケーブル54を絶縁セラミックス40側に押し付ける押圧機構62、絶縁セラミックス40と絶縁被覆ケーブル54とを接着する接着剤63によって構成されている。
【００３２】
絶縁セラミックス40は、陽極ターゲット27の径方向に沿った方向を短手方向、陽極ターゲット27の径方向に直交する方向であって回転方向に沿った方向を長手方向とする長方形に形成され、中央部には偏向電極51を取り付ける取付開口64が形成されて配置されている。
【００３３】
絶縁セラミックス40の長手方向の両端部にはケーブル接続部65が延設され、これらケーブル接続部65には絶縁セラミックス40の長手方向を軸方向としてその外端面と取付開口64とに連通開口する孔部66が形成されている。この孔部66は、ケーブル接続部65の外端面に開口しその外側から内側（取付開口64側）に向かって孔径が細くなるテーパ形状に形成されたテーパ孔67、このテーパ孔67の先端と取付開口64とに貫通する貫通孔68を備えている。テーパ孔67には、絶縁被覆ケーブル54の先端部が挿入される。貫通孔68には、絶縁被覆ケーブル54の芯線55が電気的に接続される偏向電極51の端子部69がテーパ孔67内に突出するように配置されている。
【００３４】
絶縁被覆ケーブル54の先端部には、先端方向に向かうに従って絶縁被覆材56の外径が細くなるテーパ形状のテーパ部70が形成されている。絶縁被覆ケーブル54の中心軸に対するテーパ部70の傾斜角度は、テーパ孔67の中心軸に対する傾斜角度と同じか、同等に形成されており、テーパ孔67にテーパ部70を挿入した際にテーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とが密着するように構成されている。芯線55の先端には偏向電極51と圧着して電気的に接続される端子部を設けてもよい。
【００３５】
押圧機構62は、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とが密着するように押し付けるもので、絶縁被覆ケーブル54の絶縁被覆材56の外面に固定された固定部材71を有し、この固定部材71の周辺部に突出するフランジ部72を挿通する複数のねじ73が絶縁セラミックス40に螺着されている。ねじ73を締め付けてテーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とが密着した状態では、固定部材71は絶縁セラミックス40に接触していない状態にある。
【００３６】
接着剤63は、エポキシ樹脂およびシリコーン樹脂のいずれか一方を主成分とし、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とを接着固定する。テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とのいずれか一方、または両方には、接着剤63を塗布する前に、プライマー処理を施し、接着剤63による接着性を高めている。
【００３７】
この液中ケーブル接続部61に接続された一対の絶縁被覆ケーブル54は、陽極ターゲット27の回転方向に対応した方向であって、ハウジング11と真空外囲器15の陰極収納部19との間のスペースが広い方向に配線されている。
【００３８】
そして、偏向電圧供給用電源により、一対の偏向電極51には、フィラメント32の電位Ｖ１と陽極ターゲット27の電位Ｖ２との電位差Ｖ２−Ｖ１をＶとした場合、接地電位に対して＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲の電位差が与えられる。すなわち、陽極接地型のＸ線管12では、陽極ターゲット27の電位Ｖ２が接地電位であるため、陰極31の電位Ｖ１が例えば−１５０ｋＶであれば、Ｖは１５０ｋＶであり、一対の偏向電極51には接地電位に対して±５０ｋＶの範囲の電位差が与えられる。
【００３９】
一対の偏向電極51に与える電位差のより好ましい範囲は、接地電位に対して＋Ｖ／５から−Ｖ／５の範囲である。この場合には、Ｖが１５０ｋＶであれば、一対の偏向電極51には接地電位に対して±３０ｋＶの範囲の電位差が与えられる。
【００４０】
なお、この陽極接地型のＸ線管12は、陽極ターゲット27のみならず、反跳電子トラップ構造体39や真空外囲器15の金属部分も接地電位である。
【００４１】
また、図２に示すように、ハウジング11には、真空外囲器15のＸ線透過窓20に対向してＸ線が透過するＸ線透過窓11aが設けられている。
【００４２】
そうして、図２において、Ｘ線撮影時には、Ｘ線管装置において、回転体24および陽極ターゲット27が回転し、陰極31のフィラメント32から発生する電子が陽極ターゲット27に衝突して、フィラメント32の形状に対応したＸ線焦点が形成され、この陽極ターゲット27のＸ線焦点から発生したＸ線が真空外囲器15のＸ線透過窓20およびハウジング11のＸ線透過窓11aを通じて外部へ照射される。
【００４３】
ここで、Ｘ線焦点とは、実焦点ではなく、実効焦点を意味している。
【００４４】
陽極ターゲット27からの反跳電子が反跳電子トラップ構造体39で捕獲される。
【００４５】
また、図５に示すように、一対の偏向電極51への偏向電圧の印加にて、一対の偏向電極51間の電子通過部52に偏向電界が発生し、この偏向電界により、フィラメント32から陽極ターゲット27へ向かう電子が陽極ターゲット27の径方向（フィラメント32の長手方向）に偏向され、陽極ターゲット27に形成されるＸ線焦点が陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）に微小移動する。
【００４６】
このとき、フィラメント32から電子が陽極ターゲット27に進行する電子進行方向に見て、フィラメント32と陽極ターゲット27との間に一対の偏向電極51を配置しているため、フィラメント32と陽極ターゲット27との間で、電子の速度が比較的速くなる空間領域に偏向電界を発生させることができ、Ｘ線焦点の形状やＸ線管12の管電流に影響が出ないようにＸ線焦点位置を偏向移動させることができる。
【００４７】
このように構成されたＸ線管装置では、フィラメント32から電子が陽極ターゲット27に進行する電子進行方向に見て、フィラメント32と陽極ターゲット27との間に一対の偏向電極51を配置することにより、一対の偏向電極51には、Ｖをフィラメント32の電位Ｖ１と陽極ターゲット27の電位Ｖ２との電位差Ｖ２−Ｖ１とした場合、接地電位に対して＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲、より好ましくは＋Ｖ／５から−Ｖ／５の範囲の電位差を与えれば、電子を偏向させることができるため、陰極31の高電圧電源および高電圧ケーブルとは別の独立した偏向電圧供給用電源および絶縁被覆ケーブルを用いることができるとともに、絶縁被覆ケーブルを偏向電極51に接続するのに耐電性の高い構造が必要なく、接続構造を簡単にでき、したがって、既存の例えばＸ線ＣＴ装置に組み込まれているＸ線管装置のアップグレイドを経済的に実現することができる。
【００４８】
一対の偏向電極51に与える電位差が、＋Ｖ／３から−Ｖ／３の範囲を超える場合には、絶縁被覆ケーブルとして太い高電圧ケーブルが必要となり、絶縁被覆ケーブルを接続するのに耐電性の高い構造が必要で、接続構造が大掛かりになる。
【００４９】
また、液中ケーブル接続部61では、真空外囲器15の一部を構成する絶縁セラミックス40のテーパ孔67に絶縁被覆ケーブル54のテーパ部70を挿入し、押圧機構62の複数のねじ73を絶縁セラミックス40に螺着して締め付け、テーパ孔67にテーパ部70を押し付けることにより、これらテーパ孔67とテーパ部70とがテーパ嵌合して密着するため、冷却液13の温度や供給電圧が高い場合であっても長期に亙って安定して液中ケーブル接続部61の電気絶縁特性を維持することができ、信頼性の高いＸ線管装置を提供できる。
【００５０】
しかも、テーパ孔67とテーパ部70との間に接着剤63を介在させるため、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とを接着剤63により接着固定でき、より確実に、長期に亙って安定して液中ケーブル接続部61の電気絶縁特性を維持することかできる。さらに、テーパ孔67の内面とテーパ部70の外面とのいずれか一方、または両方には、接着剤63を塗布する前に、プライマー処理を施すことにより、接着剤63による接着性を高めることができる。
【００５１】
さらに、液中ケーブル接続部61によって電気絶縁特性を維持することができるため、水系の冷却液13を用い、冷却性能を向上させることができる。
【００５２】
次に、図６に第２の実施の形態を示す。
【００５３】
第１の実施の形態との違いは、絶縁被覆ケーブル54の絶縁被覆材56の先端部を、その絶縁被覆材56の周囲に外層絶縁被覆材76を形成した２層構造とし、この外層絶縁被覆材76によって先端方向に向かうに従って外径が細くなるテーパ部70が形成されている。
【００５４】
絶縁被覆材56がＥＰゴムである場合、外層絶縁被覆材76は例えばＥＰゴム、シリコーンゴムなどを採用することができる。または、絶縁被覆材56がシリコーンゴムである場合、外層絶縁被覆材76はＥＰゴム、シリコーンゴムなどを採用することができる。
【００５５】
この第２の実施の形態のＸ線管装置においても、第１の実施の形態と同様の作用効果が得られる。
【００５６】
次に、図７に第３の実施の形態を示す。
【００５７】
第１の実施の形態との違いは、一対の偏向電極51が対向する方向を、陽極ターゲット27の径方向に対して所定の角度αだけずらして配置している。
【００５８】
そして、一対の偏向電極51が発生する偏向電界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。
【００５９】
角度αは、Ｘ線焦点の陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）への移動距離および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）への移動距離の比に合わせて設定する。
【００６０】
Ｘ線焦点を、Ｘ線焦点の長さ方向と幅方向に等しい距離移動させるためには、角度αは陽極ターゲット27の傾斜角に等しくする。
【００６１】
次に、図８に第４の実施の形態を示す。
【００６２】
第１の実施の形態との違いは、一対の偏向電極51が対向する方向を、陽極ターゲット27の径方向に対して９０°ずらして配置している。
【００６３】
そして、一対の偏向電極51が発生する偏向電界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に移動することができる。
【００６４】
次に、図９に第５の実施の形態を示す。
【００６５】
第１の実施の形態との違いは、偏向電極51が、周方向に４分割され、中央の電子通過部52を介して互いに対向する一対の偏向電極51を組みとして２組の電極対51a，51bを設け、一方の電極対51aの一対の偏向電極51が対向する方向を陽極ターゲット27の径方向として配置し、他方の電極対51bの一対の偏向電極51が対向する方向を陽極ターゲット27の径方向に対して９０°ずらして配置している。
【００６６】
この場合、４つの偏向電極51にそれぞれ接続される４本の絶縁被覆ケーブル54が用いられ、これら絶縁被覆ケーブル54は、絶縁セラミックス40の両端のケーブル接続部65に液中ケーブル接続部61によって２本ずつ接続され、陽極ターゲット27の回転方向に対応した方向であって、ハウジング11と真空外囲器15の陰極収納部19との間のスペースが広い方向に配線されている。
【００６７】
そして、一方の電極対51aの偏向電圧と他方の電極対51bの偏向電圧との比を変えることにより、Ｘ線焦点を陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に自由に偏向させることができる。
【符号の説明】
【００６８】
11    ハウジング
12    Ｘ線管
13    冷却液
15    真空外囲器
27    陽極ターゲット
31    陰極
40    絶縁体としての絶縁セラミックス
51    偏向電極
54    絶縁被覆ケーブル
61    液中ケーブル接続部
62    押圧機構
63    接着剤
67    テーパ孔
70    テーパ部
【図１】
2010244709.tif 000003
【図２】
2010244709.tif 000004
【図３】
2010244709.tif 000005
【図４】
2010244709.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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