(57)【要約】【課題】着弾位置精度の測定や位置補正の実施のための工程時間の増大や、これらの工程を制御する制御装置の負荷の増加を必要とせずに、吐出された液滴の飛行方向が所定方向からずれることによって、形成される膜の平面形状及び膜厚の精度が損なわれることを抑制することができる液状体吐出ヘッド、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】液状体吐出ヘッドは、液状体を吐出する吐出ノズル孔と、案内針と、を備え、案内針は、吐出ノズル孔の一端が開口しているノズル孔形成面における吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されている。液状体吐出方法は、ノズル孔形成面に開口する吐出ノズル孔から液状体を吐出する液状体吐出方法であって、ノズル孔形成面における吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されている案内針によって、吐出ノズル孔から吐出される液状体の方向を案内する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する吐出ノズル孔と、
案内針と、を備え、
前記案内針は、前記吐出ノズル孔の一端が開口しているノズル孔形成面における前記吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されていることを特徴とする液状体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記案内針の表面は、前記液状体に対して親液性を有することを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項３】
一個の前記吐出ノズル孔に対して、複数の前記案内針を設けたことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記案内針は、先端が前記ノズル孔形成面から突出していることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向は、前記吐出ノズル孔の軸方向と略一致していることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向が、前記吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記案内針の軸方向は、前記液状体を着弾させる対象物の特性に応じて定められていることを特徴とする、請求項６に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記案内針の軸方向を変更可能に、前記案内針を支持する針支持手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記針支持手段を制御して前記案内針の方向を制御する針方向制御手段と、
前記吐出ノズル孔から吐出された前記液状体が着弾した着弾位置の情報を取得する着弾位置情報取得手段と、をさらに備え、
前記針方向制御手段は、前記着弾位置情報取得手段によって取得された前記着弾位置の情報に応じて前記案内針の方向を制御することを特徴とする、請求項８に記載の液状体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出ヘッドと、
前記液状体吐出ヘッドと液状体を着弾させる基材とを相対移動させる移動装置と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
【請求項１１】
ノズル孔形成面に開口して形成された吐出ノズル孔から液状体を吐出する液状体吐出方法であって、
前記ノズル孔形成面における前記吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されている案内針によって、前記吐出ノズル孔から吐出される前記液状体の方向を案内することを特徴とする液状体吐出方法。
【請求項１２】
前記案内針の表面は、前記液状体に対して親液性を有することを特徴とする、請求項１１に記載の液状体吐出方法。
【請求項１３】
一個の前記吐出ノズル孔に対して、複数の前記案内針を設けたことを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の液状体吐出方法。
【請求項１４】
前記案内針は、先端が前記ノズル孔形成面から突出していることを特徴とする、請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項１５】
前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向は、前記吐出ノズル孔の軸方向と略一致していることを特徴とする、請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項１６】
前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向が、前記吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いていることを特徴とする、請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項１７】
前記液状体を着弾させる対象物の特性を取得する対象物特性取得工程を有し、
前記案内針の軸方向は、前記対象物特性取得工程において取得された前記特性に応じて定められていることを特徴とする、請求項１６に記載の液状体吐出方法。
【請求項１８】
前記案内針の軸方向を変更して、前記吐出ノズル孔から吐出される前記液状体の吐出方向を調整する方向調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項１９】
前記吐出ノズル孔から吐出される前記液状体の着弾位置情報を取得する着弾位置情報取得工程をさらに有し、
前記方向調整工程では、前記着弾位置情報に基づいて前記案内針の軸方向の調整を実施することを特徴とする、請求項１８に記載の液状体吐出方法。
【請求項２０】
前記液状体を着弾させる対象物の特性を取得する対象物特性取得工程をさらに有し、
前記方向調整工程では、前記対象物特性取得工程において取得された前記特性に応じて前記案内針の軸方向の調整を実施することを特徴とする、請求項１８に記載の液状体吐出方法。
【請求項２１】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出ヘッド、請求項１０に記載の液状体吐出装置、又は請求項１１乃至２０のいずれか一項に記載の液状体吐出方法を用いて、電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造した電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する液状体吐出ヘッド、液状体を吐出する液状体吐出装置、液状体を吐出する液状体吐出方法、液状体を吐出することによって少なくとも一部を形成する電気光学装置の製造方法、及び当該電気光学装置を備える電子機器に関する。電気光学装置としては、液晶装置や有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス（Organic Electro Luminescence））装置などが挙げられる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置などのカラーフィルター膜のような機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する描画装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置（描画）し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる描画装置は、液滴吐出ヘッドを基板に対して相対移動させながら、液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズル孔から微小な液滴を選択的に吐出して、基板上に位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状を有する膜を形成することができる。微小な液状体の大きさを規定し、その大きさを精度良く実現することができるため、精密な膜厚を有する膜を形成することができる。
特許文献１には、複数のノズルから成るノズル列を有する複数のヘッド部を用いて材料を吐出することによって、製造時間を短縮することができる、材料の吐出装置、及び吐出方法、カラーフィルタの製造装置及び製造方法、液晶装置の製造装置及び製造方法、ＥＬ装置の製造装置及び製造方法、並びにそれら方法により製造される電子機器が開示されている。
【０００３】
しかし、吐出された液滴の飛行方向が所定の飛行方向からずれることによって、形成される膜の、精密であることが求められる平面形状及び膜厚が必ずしも実現できない場合があった。
特許文献２には、ノズルを液滴の着弾位置精度によってグループ分けし、グループごとにノズルの位置を補正することによって、液滴の高い着弾位置精度を実現することができる、液状体の吐出方法、有機ＥＬ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２７３８６８号公報
【特許文献２】特開２００９−６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に開示された装置においては、ノズルごとの着弾位置精度を求める必要があり、液滴吐出を実施する際に、ノズルごとの補正値に基づいてノズルの位置補正を実施する必要がある。これらの着弾位置精度の測定や、位置補正の実施のために液状体を配置する工程の工程時間が増大する可能性があるという課題があった。また、これらの工程の実施を制御する制御装置の負荷が増加する可能性が高いという課題もあった。特に、特許文献１に開示されたような多数のノズルを備えた装置においては、多数のノズルについて補正方向や補正量を求めることが必要であるために、製造工程における工程時間が著しく増大するとともに、吐出装置を制御する制御装置の負荷が著しく増加する可能性が高いという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出ヘッドは、液状体を吐出する吐出ノズル孔と、案内針と、を備え、前記案内針は、前記吐出ノズル孔の一端が開口しているノズル孔形成面における前記吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる液状体吐出ヘッドによれば、液状体を吐出する吐出ノズル孔の開口に案内針が配設されている。一般的に、液状体が流動する流路に物体が存在すると、液状体が物体に当たることによって抵抗を受けることで運動エネルギーが減じられる。減じられるのは、液状体が当たる物体面に垂直な方向の成分である。
吐出ノズル孔の開口から吐出される液状体は、吐出ノズル孔の開口に存在する案内針に当たることによって抵抗を受けることで運動エネルギーが減じられる。このとき減じられるのは、案内針の表面に垂直な方向、すなわち、案内針の軸方向に直角な方向の成分である。このため、吐出される液状体の方向が案内針の軸方向と交差する方向である場合には、液状体の方向は、交差する角度が小さくなる方向に補正される。これにより、吐出ノズル孔の開口に案内針を配設することによって、吐出される液状体の方向を案内針の軸方向に沿う方向に近い方向に補正することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記案内針の表面は、前記液状体に対して親液性を有することが好ましい。
【００１０】
この液状体吐出ヘッドによれば、液状体を吐出する吐出ノズル孔の開口に配設されている案内針の表面が液状体に対して親液性を有している。案内針の表面が液状体に対して親液性を有していることによって、案内針が液状体に濡れることで、液状体には、案内針の液状体に濡れている部分から濡れていない部分に濡れ広がる方向の力が作用する。したがって、液状体には、案内針の表面に沿って案内針の軸方向の力が作用する。これにより、吐出される液状体の方向を案内針の方向に誘導することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、一個の前記吐出ノズル孔に対して、複数の前記案内針を設けたことが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出ヘッドによれば、一個の吐出ノズル孔に対して、複数の案内針が配設されている。案内針を複数にすることによって、液状体の流路の断面としての吐出ノズル孔の断面積に占める案内針の断面積を同じままにして、案内針の表面積を大きくすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記案内針は、先端が前記ノズル孔形成面から突出していることが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出ヘッドによれば、案内針は、先端がノズル孔形成面から突出しており、吐出ノズル孔から吐出された直後の液状体の液滴の中に、案内針の突出した部分が存在する状態となる。これにより吐出されて飛行を始める液滴の飛行方向を案内針によって補正することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向は、前記吐出ノズル孔の軸方向と略一致していることが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出ヘッドによれば、案内針の軸方向は、吐出ノズル孔の軸方向と略一致している。吐出ノズル孔から吐出された液状体の飛行方向は、設計上は吐出ノズル孔の軸方向と一致する。案内針の軸方向が吐出ノズル孔の軸方向と略一致していることで、案内針によって液状体の飛行方向を吐出ノズル孔の軸方向に誘導して、液状体の飛行方向が設定された方向からずれることを抑制することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向が、前記吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いていることが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出ヘッドによれば、案内針の軸方向は、吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いている。吐出ノズル孔から吐出された液状体の飛行方向は、設計上は吐出ノズル孔の軸方向と一致する。案内針の軸方向が吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いていることで、案内針によって液状体の飛行方向を吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いた方向に誘導して、液状体の飛行方向をノズル孔形成面に略垂直な方向とは異なる方向に誘導することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記案内針の軸方向は、前記液状体を着弾させる対象物の特性に応じて定められていることが好ましい。
【００２０】
この液状体吐出ヘッドによれば、液状体を着弾させる対象物の特性に応じて案内針の軸方向を定めるため、吐出ノズル孔からの液状体の吐出方向を、着弾対象物の特性に応じた適切な方向にすることが可能となり、吐出ノズル孔を効率よく使うことができる。例えば、液状体を着弾させて配置する領域の境界部に対向する吐出ノズル孔からは、一般的には吐出を実施しない。着弾対象物の形状に応じて、着弾させない部分に対向する吐出ノズル孔において、案内針の方向を吐出ノズル孔の軸方向に対して傾けることで、着弾位置を液状体を配置する領域にすることができる。これにより、傾いた案内針が配設されていない場合には休止する吐出ノズル孔も、着弾対象物の形状に応じて、有効に稼動させることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記案内針の軸方向を変更可能に、前記案内針を支持する針支持手段をさらに備えることが好ましい。
【００２２】
この液状体吐出ヘッドによれば、案内針の軸方向を変更可能に案内針を支持する針支持手段を用いて、案内針の軸方向を変更することができる。例えば、着弾対象物の形状に応じて、吐出ノズル孔から液状体を吐出する時点における最も好ましい方向に向けて液状体が吐出される方向に案内針の軸方向を変更することができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出ヘッドにおいて、前記針支持手段を制御して前記案内針の方向を制御する針方向制御手段と、前記吐出ノズル孔から吐出された前記液状体が着弾した着弾位置の情報を取得する着弾位置情報取得手段と、をさらに備え、前記針方向制御手段は、前記着弾位置情報取得手段によって取得された前記着弾位置の情報に応じて前記案内針の方向を制御することが好ましい。
【００２４】
この液状体吐出ヘッドによれば、着弾位置情報取得手段が液状体の着弾位置の情報を取得し、針方向制御手段は、取得された着弾位置の情報に応じて案内針の方向を制御する。
例えば、吐出ノズル孔において、吐出されて着弾した液状体の着弾位置が所定の位置からずれていた場合、着弾位置情報取得手段によって液状体の着弾位置がずれている情報が取得される。針方向制御手段は、案内針の方向を、液状体の着弾位置のずれを補正する方向に傾けることで、吐出方向のずれを補正する方向に液状体を誘導して、着弾位置のずれを軽減することができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例にかかる液状体吐出装置は、上記した液状体吐出ヘッドと、前記液状体吐出ヘッドと液状体を着弾させる基材とを相対移動させる移動装置と、を備えることを特徴とする。
【００２６】
本適用例にかかる液状体吐出装置によれば、案内針を有することによって、液状体の吐出方向を適切な方向に誘導することができる液状体吐出ヘッドを備えることで、基材の適切な位置に液状体を着弾させて配置することができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例にかかる液状体吐出方法は、ノズル孔形成面に開口して形成された吐出ノズル孔から液状体を吐出する液状体吐出方法であって、前記ノズル孔形成面における前記吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されている案内針によって、前記吐出ノズル孔から吐出される前記液状体の方向を案内することを特徴とする。
【００２８】
本適用例にかかる液状体吐出方法によれば、液状体を吐出する吐出ノズル孔の開口に配設されている案内針によって吐出ノズル孔から吐出される液状体の方向を案内する。
一般的に、液状体が流動する流路に物体が存在すると、液状体が物体に当たることによって抵抗を受けることで運動エネルギーが減じられる。減じられるのは、液状体が当たる物体面に垂直な方向の成分である。吐出ノズル孔の開口から吐出される液状体は、吐出ノズル孔の開口に存在する案内針に当たることによって抵抗を受けることで運動エネルギーが減じられる。このとき減じられるのは、案内針の表面に垂直な方向、すなわち、案内針の軸方向に直角な方向の成分である。このため、吐出される液状体の方向が案内針の軸方向と交差する方向である場合には、液状体の方向は、交差する角度が小さくなる方向に補正される。これにより、吐出ノズル孔の開口に案内針を配設することによって、吐出される液状体の方向を案内針の軸方向に沿う方向に近い方向に補正することができる。
案内針によって吐出ノズル孔から吐出される液状体の方向を案内することで、吐出ノズル孔から吐出される液状体の方向を、吐出ノズル孔の形状によって吐出される液状体の方向を規定する場合にくらべて、より正確に、吐出ノズル孔から吐出される液状体の方向を規定することができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記案内針の表面は、前記液状体に対して親液性を有することが好ましい。
【００３０】
この液状体吐出方法によれば、液状体を吐出する吐出ノズル孔の開口に配設されている案内針の表面が液状体に対して親液性を有している。案内針の表面が液状体に対して親液性を有していることによって、案内針が液状体に濡れることで、液状体には、案内針の液状体に濡れている部分から濡れていない部分に濡れ広がる方向の力が作用する。したがって、液状体には、案内針の表面に沿って案内針の軸方向の力が作用する。これにより、吐出される液状体の方向を案内針の方向に誘導することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、一個の前記吐出ノズル孔に対して、複数の前記案内針を設けたことが好ましい。
【００３２】
この液状体吐出方法によれば、一個の吐出ノズル孔に対して、複数の案内針が配設されている。案内針を複数にすることによって、液状体の流路の断面としての吐出ノズル孔の断面積に占める案内針の断面積を同じままにして、案内針の表面積を大きくすることができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記案内針は、先端が前記ノズル孔形成面から突出していることが好ましい。
【００３４】
この液状体吐出方法によれば、案内針は、先端がノズル孔形成面から突出しており、吐出ノズル孔から吐出された直後の液状体の液滴の中に、案内針の突出した部分が存在する状態となる。これにより吐出されて飛行を始める液滴の飛行方向を案内針によって補正することができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向は、前記吐出ノズル孔の軸方向と略一致していることが好ましい。
【００３６】
この液状体吐出方法によれば、案内針の軸方向は、吐出ノズル孔の軸方向と略一致している。吐出ノズル孔から吐出された液状体の飛行方向は、設計上は吐出ノズル孔の軸方向と一致する。案内針の軸方向が吐出ノズル孔の軸方向と略一致していることで、案内針によって液状体の飛行方向を吐出ノズル孔の軸方向に誘導して、液状体の飛行方向が設定された方向からずれることを抑制することができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ノズル孔は、その軸方向が前記ノズル孔形成面に略垂直に形成されており、前記案内針の軸方向が、前記吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いていることが好ましい。
【００３８】
この液状体吐出方法によれば、案内針の軸方向は、吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いている。吐出ノズル孔から吐出された液状体の飛行方向は、設計上は吐出ノズル孔の軸方向と一致する。案内針の軸方向が吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いていることで、案内針によって液状体の飛行方向を吐出ノズル孔の軸方向に対して傾いた方向に誘導して、液状体の飛行方向をノズル孔形成面に略垂直な方向とは異なる方向に誘導することができる。
【００３９】
［適用例１７］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記液状体を着弾させる対象物の特性を取得する対象物特性取得工程を有し、前記案内針の軸方向は、前記対象物特性取得工程において取得された前記特性に応じて定められていることが好ましい。
【００４０】
この液状体吐出方法によれば、対象物特性取得工程において液状体を着弾させる対象物の特性を取得し、取得した特性に応じて案内針の軸方向を定める。このため、吐出ノズル孔からの液状体の吐出方向を、着弾対象物の特性に応じた適切な方向にすることが可能となり、吐出ノズル孔を効率よく使うことができる。
例えば、液状体を着弾させて配置する領域の境界部に対向する吐出ノズル孔からは、一般的には吐出を実施しない。着弾対象物の形状に応じて、着弾させない部分に対向する吐出ノズル孔において、案内針の方向を吐出ノズル孔の軸方向に対して傾けることで、着弾位置を液状体を配置する領域にすることができる。これにより、傾いた案内針が配設されていない場合には休止する吐出ノズル孔も、着弾対象物の形状に応じて、有効に稼動させることができる。
【００４１】
［適用例１８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記案内針の軸方向を変更して、前記吐出ノズル孔から吐出される前記液状体の吐出方向を調整する方向調整工程をさらに有することが好ましい。
【００４２】
この液状体吐出方法によれば、方向調整工程において、案内針の軸方向を変更して吐出ノズル孔から吐出される液状体の吐出方向を調整する。これにより、例えば、着弾対象物の形状に応じて、吐出ノズル孔から液状体を吐出する時点における最も好ましい方向に向けて液状体が吐出される方向に案内針の軸方向を変更することができる。
【００４３】
［適用例１９］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ノズル孔から吐出される前記液状体の着弾位置情報を取得する着弾位置情報取得工程をさらに有し、前記方向調整工程では、前記着弾位置情報に基づいて前記案内針の軸方向の調整を実施することが好ましい。
【００４４】
この液状体吐出方法によれば、着弾位置情報取得工程において吐出ノズル孔から吐出されて着弾した液状体の着弾位置情報を取得し、方向調整工程では取得された着弾位置情報に基づいて案内針の軸方向の調整を実施する。例えば、吐出ノズル孔において、吐出されて着弾した液状体の着弾位置が所定の着弾位置からずれていた場合、着弾位置情報取得工程において液状体の着弾位置がずれている情報が取得される。方向調整工程では、案内針の方向を、液状体の着弾位置のずれを補正する方向に傾けることで、着弾位置のずれを補正する方向に液状体を誘導して、着弾位置のずれを軽減することができる。
【００４５】
［適用例２０］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記液状体を着弾させる対象物の特性を取得する対象物特性取得工程をさらに有し、前記方向調整工程では、前記対象物特性取得工程において取得された前記特性に応じて前記案内針の軸方向の調整を実施することが好ましい。
【００４６】
この液状体吐出方法によれば、対象物特性取得工程において液状体を着弾させる対象物の特性を取得し、方向調整工程では取得された特性に応じて案内針の軸方向の調整を実施する。このため、吐出ノズル孔からの液状体の吐出方向を、着弾対象物の特性に応じた適切な方向にすることが可能となり、吐出ノズル孔を効率よく使うことができる。
例えば、液状体を着弾させて配置する領域の境界部に対向する吐出ノズル孔からは、一般的には吐出を実施しない。着弾対象物の形状に応じて、着弾させない部分に対向する吐出ノズル孔において、案内針の方向を吐出ノズル孔の軸方向に対して傾けることで、着弾位置を液状体を配置する領域にすることができる。これにより、傾いた案内針が配設されていない場合には休止する吐出ノズル孔も、着弾対象物の形状に応じて、有効に稼動させることができる。
【００４７】
［適用例２１］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、上記した液状体吐出ヘッド、上記した液状体吐出装置、又は上記した液状体吐出方法を用いて、電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする。
【００４８】
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法によれば、案内針を有することによって、液状体の吐出方向を適切な方向に誘導することができる液状体吐出ヘッド、案内針を有することによって、液状体の吐出方向を適切な方向に誘導することができる液状体吐出ヘッドを備える液状体吐出装置、又は案内針によって、液状体の吐出方向を適切な方向に誘導することができる液状体吐出方法を用いて機能膜を形成する。このため、機能膜を形成する適切な位置に機能膜を形成するための液状体を着弾させて配置することができる。これにより、正確な形状と厚さを有することで好適な機能を有する機能膜を形成して、好適な機能を有する電気光学装置を製造することができる。
【００４９】
［適用例２２］本適用例にかかる電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法を用いて製造した電気光学装置を備えることを特徴とする。
【００５０】
本適用例にかかる電子機器によれば、機能膜を形成する適切な位置に機能膜を形成するための液状体を着弾させて配置することができる液状体吐出ヘッド、液状体吐出装置、又は液状体吐出方法を用いて機能膜を形成した電気光学装置を備えている。当該機能膜は正確な形状と厚さを有することで好適な機能を有するため、当該機能膜を有する電気光学装置は、好適な機能を有する。これにより、電気光学装置を備える電子機器は、好適な機能を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略平行な方向における断面図。（ｂ）は、吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略垂直な方向における断面図。（ｃ）は、吐出ノズルの部分の平面図。
【図４】（ａ）は、非吐出時の吐出ノズルにおける機能液の状態を示す説明図。（ｂ）は、吐出ノズルから機能液が真直ぐに吐出される状態を示す説明図。（ｃ）は、吐出ノズルから吐出される機能液に吐出方向が曲げられるような力が作用した場合の状態を示す説明図。（ｄ）は、吐出ノズルから吐出される機能液に作用する力の方向の概要を示す説明図。
【図５】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図６】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図７】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図８】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図９】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図１０】（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図。（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図。（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図。
【図１１】液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略垂直な方向における断面図。
【図１２】液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略平行な方向における断面図。
【図１３】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図１４】液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略平行な方向における断面図。
【図１５】ノズル形成面に略平行な方向における案内針の形状を吐出ノズルと共に示す説明図。
【図１６】（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図。（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図。（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図。（ｄ）は、情報機器の一例である液晶テレビを示す外観斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
以下、液状体吐出ヘッド、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造方法、及び電子機器の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルター基板を製造する工程において、カラーフィルター膜などの機能膜を製造する工程において用いられる、ノズル孔を備える液状体吐出ヘッドの一例としてのインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を例に説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００５３】
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルター膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を含む液状体を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズル（吐出ノズル孔）から吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状体に熱を加えることがほとんどないため、熱による材料の組成などへの影響がほとんどないという利点を有する。また、駆動電圧などの駆動条件を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるため、正確な吐出量を実現できるという利点も有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる液滴吐出ヘッドを例にして説明する。
【００５４】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００５５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有している。機能液供給部４は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド１７の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００５６】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８によって支持されており、扁平な略直方体形状を有する定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（この方向を、「Ｘ軸方向」と表記する。）に延在する状態で配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、定盤９の上面に並行であってワーク機構部３と直交する方向（（この方向を、「Ｙ軸方向」と表記する。）に延在する状態で配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１７に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００５７】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸テーブル１２によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３を、Ｘ軸テーブル１１によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００５８】
このように、液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００５９】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２及び図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図である。図３は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略平行な方向における断面図であり、図３（ｂ）は、吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略垂直な方向における断面図であり、図３（ｃ）は、吐出ノズルの部分の平面図である。
【００６０】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給部４から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクター７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクター７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７４が構成されている。
【００６１】
ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。
【００６２】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。吐出ノズル７８が吐出ノズル孔に相当し、ノズル形成面７６ａが、ノズル孔形成面に相当する。
【００６３】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８Ａは、図１に示したＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００６４】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液が常に充填される液溜室５５が形成されている。液溜室５５は、振動板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００６５】
圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液溜室５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液溜室５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液溜室５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００６６】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）においては振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液溜室５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。
【００６７】
吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば、１ｐｌから３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００６８】
図３に示したように、吐出ノズル７８は、ノズルプレート７６に形成された略円柱形状の空間を有する孔であって、孔の圧力室５８に開口する開口の縁が面取りされている。吐出ノズル７８の壁面は、機能液の液面がノズル形成面７６ａの縁まで容易に達するようにするために、機能液に対して親液性を有するように処理されている。ノズル形成面７６ａは、機能液が付着することを抑制するために、機能液に対して撥液性を有するように処理されている。
圧力室５８において、振動板５２における吐出ノズル７８と対向する位置には、針支持部３２が振動板５２に固定されて、配設されている。針支持部３２には案内針３１が立設されている。案内針３１は、略円柱形状の吐出ノズル７８の軸の位置を貫通して、ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａから突出している。案内針３１の表面は、機能液に対して親液性を有するように処理されている。
【００６９】
図２（ｂ）、図３（ａ）、及び図３（ｂ）に示すように、振動板５２における針支持部３２が固定された面の反対面には、振動板押え部材３３が固定されている。振動板押え部材３３は、略直方体形状を有し、ノズル列７８Ａに略並行に延在する状態で配設されている。振動板５２における振動板押え部材３３が固定されている部分は、剛性が高い振動板押え部材３３に固定されているため、圧電素子５９が駆動されて振動板５２を押圧することで振動板５２が変形する際にも、ほとんど変形することはない。したがって、振動板５２における振動板押え部材３３が固定されている部分の圧力室５８側に固定された針支持部３２は、圧電素子５９が駆動されてもほとんど動くことなく案内針３１を支持している。これにより、案内針３１と吐出ノズル７８との相対位置は、圧電素子５９が駆動されて液滴が吐出される際も、図３に示した案内針３１が吐出ノズル７８の軸の位置を貫通する位置関係が維持される。
【００７０】
＜吐出ノズルからの吐出＞
次に、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０の液滴の挙動について、図４を参照して説明する。図４は、吐出ノズルから吐出される機能液の液滴の挙動を示す説明図である。図４（ａ）は、非吐出時の吐出ノズルにおける機能液の状態を示す説明図であり、図４（ｂ）は、吐出ノズルから機能液が真直ぐに吐出される状態を示す説明図である。図４（ｃ）は、吐出ノズルから吐出される機能液に吐出方向が曲げられるような力が作用した場合の状態を示す説明図であり、図４（ｄ）は、吐出ノズルから吐出される機能液に作用する力の方向の概要を示す説明図である。
【００７１】
液滴吐出装置１において、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８における機能液８０の液面の位置は、機能液供給部４からの機能液８０の供給圧力を適切に調整することによって、適切な位置に調整されている。例えば、図４（ａ）に示したように、機能液８０の液面の位置は、概ね吐出ノズル７８の開口位置に調整されている。液面がこの位置にあることで、液滴吐出ヘッド１７が稼働していないときに機能液８０が吐出ノズル７８から流出することを実質的になくすることができる。それと共に、液滴吐出ヘッド１７が稼働したときに加えて圧力が機能液８０を液滴吐出ヘッド１７内で移動させることに使われるのを抑制することができる。
【００７２】
吐出ノズル７８における機能液８０の液面の形状は、吐出ノズル７８の壁面が機能液８０に対して親液性を有するため、中央側に対して壁面に濡れている部分が大気側にあるメニスカス形状となる。液滴吐出ヘッド１７は液滴吐出装置１に、ノズル形成面７６ａを鉛直方向の下向きにして取り付けられているため、吐出ノズル７８における機能液８０の液面のメニスカスは、周囲が下側となる。さらに、吐出ノズル７８の中央に配設された案内針３１の表面が機能液８０に対して親液性を有するため、案内針３１の表面に接している部分が案内針３１の表面に濡れ広がる力によって、案内針３１の表面に沿って下側に向かう力を受けている。このため、機能液８０の案内針３１の表面に接している部分は、機能液供給部４からの機能液８０の供給圧力によって定まる周囲の液面高さに対して低い位置に位置している。機能液８０が案内針３１の表面に濡れ広がる力を親液力と表記する。案内針３１による親液力の方向は、矢印ａで示したような、吐出ノズル７８の軸方向に平行な方向である。
【００７３】
次に、機能液８０が所定の適正な方向に向けて吐出される場合における機能液８０の液滴の状態について説明する。上述したように圧電素子５９が駆動されて圧力室５８内の圧力が高くなると、図４（ｂ）に示したように、機能液８０が押し出される。押し出される液滴８０ａに加えられる押し出し力の方向は、図４（ｂ）に矢印Ａで示した円柱形状の孔である吐出ノズル７８の軸方向であって、液滴８０ａは、吐出ノズル７８の軸方向に吐出される。
【００７４】
このとき、案内針３１が存在することによって生ずる親液力の方向は、押し出し力の方向と略同一であって、液滴８０ａの吐出方向は、親液力による影響を受けることは実質的にほとんどない。このため、親液力の存在に関らず、吐出圧力による吐出方向が維持される。
案内針３１が液滴８０ａの移動経路に存在することによって、液滴８０ａが案内針３１に当たる場合には、液滴８０ａは抗力を受ける。しかし、吐出される液滴８０ａの移動方向は吐出ノズル７８の軸方向であって、案内針３１の面に沿っており、案内針３１の軸に平行な方向であるため、液滴８０ａが案内針３１に当たる状態ではない。このため、液滴８０ａが適正な方向に吐出される場合には、液滴８０ａの吐出方向は、案内針３１が存在しても実質的に影響を受けることなく、吐出圧力による吐出方向が維持される。
【００７５】
次に、機能液８０が吐出される方向が所定の適正な方向からずれた方向であった場合における機能液８０の液滴の状態について説明する。図４（ｃ）に示したように、吐出ノズル７８の壁面に付着物８２のような異物が付着した場合には、付着物８２が存在することによる抗力などの影響によって、液滴が吐出される方向がずれる場合がある。例えば、図４（ｃ）に二点鎖線で示した液滴８０ｄは、吐出される方向が、矢印ａで示した方向と同一である設定された適正な方向とは異なる、矢印ｄの方向である。
【００７６】
液滴８０ｄが、吐出ノズル７８の軸方向とは異なる矢印ｄの方向に向けて吐出されようとした場合、案内針３１が存在することによって生ずる親液力の方向は、上述したように吐出ノズル７８の軸方向（矢印ａの方向）であって、液滴８０ｄが吐出されようとする方向とは異なっている。液滴８０ｄには、力の方向が矢印ｄの方向である吐出圧力による押し出し力と、力の方向が矢印ａの方向である親液力による力との合力が作用する。当該合力の方向は、押し出し力の方向（矢印ｄの方向）より、親液力による力の方向（矢印ａの方向）側に寄った方向となる。このため、親液力によって、液滴８０ｄが吐出される方向は所定の方向（矢印Ａの方向）に近づく側に補正される。
【００７７】
液滴８０ｄが、吐出ノズル７８の軸方向とは異なる矢印ｄの方向に向けて吐出されようとした場合、案内針３１が存在することによって、液滴８０ｄは案内針３１に当たる。液滴８０ｄは、案内針３１に当たることで抗力を受ける。当該抗力における案内針３１の軸方向に平行な方向の分力は、液滴８０ｄと案内針３１の面とが互いに擦れることによる力である。この分力により液滴８０ｄの吐出速度が減じられる。当該抗力における案内針３１の軸方向に垂直な方向（図４（ｃ）の矢印ｃの方向）の分力は、液滴８０ｄが案内針３１の面に衝突することによる反力である。この分力により液滴８０ｄが吐出される方向が補正される。液滴８０ｄが吐出される方向が補正された液滴８０ｄ１が吐出される方向は、所定の方向（矢印Ａの方向）により近づく側に補正されている。
【００７８】
図４（ｄ）に示したように、液滴８０ｄ１に加えられている力Ｆｄ１は、上記した力の合力として求められ、液滴８０ｄ１は、力Ｆｄ１の力の方向に吐出される。
圧力室５８内の圧力による押し出し力が付着物８２の影響を受けた力Ｆｄは、矢印ｄの方向に液滴８０ｄを吐出させるように作用する。案内針３１が液滴８０ｄを形成している機能液８０に濡れることによる親液力Ｆａは、案内針３１の軸方向に平行な矢印ａの方向の力である。液滴８０ｄが案内針３１に当たることによる抗力の、案内針３１の軸方向に垂直な方向（矢印ｃの方向）の分力Ｆｃは、案内針３１の軸方向に垂直な方向であって、力Ｆｄの方向を案内針３１の軸方向（矢印Ａの方向）に近づける方向の力である。液滴８０ｄが案内針３１に当たることによる抗力の、案内針３１の軸方向に平行な方向（矢印Ａの方向）の分力が分力ＦＡである。
なお、力Ｆｄ、親液力Ｆａ、分力Ｆｃ、及び分力ＦＡの大きさは、最初の押し出し力の方向や、案内針３１の形状などによって異なり、それぞれの力の大きさによって力Ｆｄ１の方向や大きさも異なる方向や大きさとなる。
【００７９】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図５を参照して説明する。図５は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００８０】
図５に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート６１と、キャリッジプレート６１に搭載された９個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド本体７４がキャリッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図５は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００８１】
一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２を構成している。
【００８２】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組６２は、それぞれが有する１本のヘッド組ノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列７８Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘッド組６２を構成する液滴吐出ヘッド１７の、一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
【００８３】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００８４】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する吐出装置制御部６を備えている。吐出装置制御部６は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー１７ｄとを備えている。
図６に示すように、ヘッドドライバー１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスター（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフター（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００８５】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワーク２０などの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバー１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスター８５に伝送される。
【００８６】
シフトレジスター８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワーク２０などの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングは、例えば液滴吐出ヘッド１７におけるノズル列７８Ａごとに共通であり、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、略同時に機能液の液滴が吐出される。
【００８７】
＜着弾位置＞
次に、吐出ノズル７８と、それぞれの吐出ノズル７８から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図７を参照して説明する。図７は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図７（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図７（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図７に示した矢印ｖの方向に、ワーク２０に対して吐出ノズル７８を相対移動させながら、任意の位置において液状体の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００８８】
図７（ａ）に示すように、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配設されている。上述したように、液滴吐出ヘッド１７における２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
図７（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点８１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円８１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列７８Ａの全部の吐出ノズル７８から、図７（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。
【００８９】
図７（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル７８から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点８１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズル７８の最小吐出間隔（時間）との積である。
吐出ノズル７８の最小吐出間隔は、上述したラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力される間隔である。
図７（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線がＸ軸方向に並列した着弾面が形成される。図７（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点８１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００９０】
液滴を配置することによって画像を描画したり、所定の区画に液状体を充填したりするためには、当該画像の描画や区画への充填に適する着弾点８１を液滴を配置する着弾点８１として選択する。図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点８１の位置について、液滴を配置するか否かを定めることによって、機能液を配置する位置を規定する配置表が形成される。当該配置表に従って、対応する吐出ノズル７８が対応する時点で吐出を実施することで、所望の画像の描画や所望の区画への充填が行われる。
【００９１】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図８参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルターの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルターを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図８を参照して説明する。図８は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図８に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスター（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００９２】
図８に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶（図示省略）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。
【００９３】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００９４】
素子基板２１０の液晶と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００９５】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルター（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルター膜２０５Ｒと、緑色フィルター膜２０５Ｇと、青色フィルター膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルター膜領域２２５が形成されている。フィルター膜領域２２５には、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００９６】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００９７】
対向基板２２０の液晶と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【００９８】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９９】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図９を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図９（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図９（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。
【０１００】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図９（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルター膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルター膜領域２２５にフィルター膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【０１０１】
図９（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。
【０１０２】
＜カラーフィルター膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルター膜２０５（赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂ）などの配列について、図１０を参照して説明する。図１０は、３色カラーフィルターのフィルター膜の配列例を示す模式平面図である。
【０１０３】
図１０に示すように、フィルター膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルター膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルター膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルター膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルター膜領域２２５を埋める膜状のフィルター膜２０５を形成する。フィルター膜２０５が、機能膜に相当する。フィルター膜２０５を構成する色材を含む機能液が、液状体に相当する。
【０１０４】
３色カラーフィルターにおける赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。図１０（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図であり、図１０（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図であり、図１０（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図である。
【０１０５】
ストライプ配列は、図１０（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂになる配列である。
モザイク配列は、図１０（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルター膜２０５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルターの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルター膜２０５が３色となる配列である。
デルタ配列は、図１０（ｃ）に示したように、フィルター膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルターの場合、任意の隣接する３つのフィルター膜２０５が異なる色となる配列である。
【０１０６】
図１０（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルターにおいて、フィルター膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルター膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルター（以降、「絵素フィルター２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルター２５４内の赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。
【０１０７】
＜液晶表示パネルの形成＞
液晶表示パネル２００を製造する工程においては、フィルター膜２０５などを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
フィルター膜２０５の形成は、最初に、ガラス基板２０１の上に、フィルター膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。
【０１０８】
次に、隔壁２０４によって区画されたフィルター膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させる。当該液滴吐出ヘッド１７が有する吐出ノズル７８から、フィルター膜２０５を形成するべきフィルター膜領域２２５に向けて、機能液を吐出することによって、フィルター膜領域２２５に機能液を配置する。この工程は、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂのそれぞれのフィルター膜２０５ごとに実施する。
【０１０９】
次に、配置した機能液を乾燥させることによって、フィルター膜領域２２５に、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂを形成する。
液晶表示パネル２００を形成する工程においては、フィルター膜２０５の他にも、画素電極２１７、走査線２１２、信号線２１４、配向膜２２８などを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１０】
＜液滴吐出ヘッド−２＞
次に、液滴吐出ヘッド１７とは、案内針３１まわりの構成が異なる液滴吐出ヘッド１７０について、図１１を参照して説明する。液滴吐出ヘッド１７０は、液滴吐出ヘッド１７と基本的に同じ構成であり、液滴吐出ヘッド１７とは、吐出ノズル７８及び案内針３１の配設位置が異なっている。図１１は、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略垂直な方向における断面図である。
【０１１１】
図１１に示すように、液滴吐出ヘッド１７０は、液滴吐出ヘッド１７のノズルプレート７６とは、吐出ノズル７８が形成されている位置が異なるノズルプレート１７６を備えている。
ノズルプレート１７６における吐出ノズル７８は、略直方体形状の空間である圧力室５８の長手方向における中央の位置に形成されている。
液滴吐出ヘッド１７と同様に、圧力室５８において、振動板５２における吐出ノズル７８と対向する位置には、針支持部３２が振動板５２に固定されて、配設されている。針支持部３２には案内針３１が立設されている。案内針３１は、略円柱形状の吐出ノズル７８の軸の位置を貫通して、ノズルプレート１７６のノズル形成面１７６ａから突出している。
圧電素子５９は、振動板５２の面に平行な断面における中心位置が、案内針３１が立設されている位置と略一致する位置で、液滴吐出ヘッド１７における圧電素子５９と同様に、振動板５２に一端が固定されている。言い換えると、圧電素子５９は、振動板５２における圧力室５８に臨む部分の略中央に固定されている。
液滴吐出ヘッド１７０は、液滴吐出ヘッド１７が備える振動板押え部材３３に相当する部材は備えていない。
【０１１２】
圧電素子５９が駆動されて伸縮すると、振動板５２は圧力室５８に臨む部分の略中央が変位させられるため、圧力室５８に臨む部分の略中央に関して対称な形状で変形させられて、液滴吐出ヘッド１７０が吐出動作を実施する。振動板５２は略中央に関して対称な形状で変形させられるため、略中央の部分は傾くことなく変位する。この位置に立設されている案内針３１は、液滴吐出ヘッド１７０が吐出動作を実施する際にも傾くことなく、その軸方向がノズル形成面１７６ａに略垂直な姿勢が維持される。
【０１１３】
＜液滴吐出ヘッド−３＞
次に、液滴吐出ヘッド１７とは、案内針３１まわりの構成が異なる液滴吐出ヘッド１８０について、図１２を参照して説明する。液滴吐出ヘッド１８０は、液滴吐出ヘッド１７と基本的に同じ構成であり、液滴吐出ヘッド１７とは、案内針１８１の軸方向が異なっている。図１２は、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略平行な方向における断面図である。
図１２に示すように、液滴吐出ヘッド１８０は、液滴吐出ヘッド１７における案内針３１及び針支持部３２とは異なる案内針１８１及び針支持部１８２を備えている。
案内針１８１及び針支持部１８２は、針支持部１８２に支持されて立設されている案内針１８１の軸方向がノズル形成面７６ａに垂直な方向に対して傾いている。
【０１１４】
上述した液滴吐出ヘッド１７から機能液８０などが吐出される場合と同様に、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０などの液滴は、吐出される方向が、案内針１８１に沿う方向に近い方向に修正される。
【０１１５】
＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド１８０の吐出ノズル７８と、それぞれの吐出ノズル７８から吐出された液滴の着弾位置と、の関係の一例について、図１３を参照して説明する。図１３は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図１３（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図１３（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図１３（ｃ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図１３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図１３に示した矢印ｖの方向に、ワーク２０に対して吐出ノズル７８を相対移動させながら、任意の位置において液状体の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【０１１６】
図１３（ａ）に示すように、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配設されている。液滴吐出ヘッド１７と同様に、液滴吐出ヘッド１８０における２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
吐出ノズル７８１，７８２，７８３，７８４，７８５，７８６，７８７，７８８は、Ｙ軸方向においてこの順番で配設されている。吐出ノズル７８１，７８２，７８５，７８６に対応して配置された案内針１８１は、吐出された機能液８０などの方向がＹ軸方向の負の方向に傾く方向に傾いている。吐出ノズル７８３，７８４，７８７，７８８に対応して配置された案内針１８１は、吐出ノズル７８１，７８２，７８５，７８６とは反対に、吐出された機能液８０などの方向がＹ軸方向の正の方向に傾く方向に傾いている。
【０１１７】
図１３（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点８１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円８１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列７８Ａの全部の吐出ノズル７８から、図１３（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、吐出ノズル７８１，７８２，７８３，７８４から吐出されて着弾した４滴の液滴で形成された着弾塊８１０Ａが形成される。同様の着弾塊８１０Ａが間隔を隔てて連なる直線状の破線が形成される。
図１３（ｃ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３からＬｎ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、Ｙ軸方向の幅が着弾塊８１０Ａの幅でＸ軸方向に延在する複数の直線状の着弾塊線８１１Ａが形成される。
【０１１８】
着弾塊線８１１Ａは、図７（ｄ）に示した着弾面より液滴の密度が高くなっている。また、着弾塊線８１１Ａ間の機能液８０などが配置されない領域は、液滴吐出ヘッド１８０が有する吐出ノズル７８に稼働を停止する吐出ノズル７８を設定することなく形成されている。間隔を隔てた線分を効率良く形成できるため、例えば回路配線のような機能膜の形成に有効である。
【０１１９】
また、フィルター膜領域２２５の端に向けて機能液８０などの液滴を吐出する位置にある吐出ノズル７８においては、案内針１８１をフィルター膜領域２２５の中央側の方に傾けておくことによって、液滴が隔壁２０４に乗り上げる可能性を小さくすることができる。隔壁２０４に対向する位置にある吐出ノズル７８においては、吐出された機能液８０などが通常は隔壁２０４の上に着弾するため稼動させないが、案内針１８１をフィルター膜領域２２５の中央側の方に傾けておくことによって、フィルター膜領域２２５に機能液８０などを配置することができる吐出ノズル７８として稼動させることができる。このように、案内針１８１の方向は、機能液８０などを配置する対象物における機能液８０などの配置規格などに対応して決定することが好ましい。
【０１２０】
＜液滴吐出ヘッド−４＞
次に、液滴吐出ヘッド１７とは、案内針３１を支持する針支持部の構成が異なる液滴吐出ヘッド１９０について、図１４を参照して説明する。図１４は、液滴吐出ヘッド吐出ノズルの部分の構造を示す、ノズル列の延在方向に略平行な方向における断面図である。液滴吐出ヘッド１９０は、液滴吐出ヘッド１７と基本的に同じ構成であり、液滴吐出ヘッド１７の針支持部３２とは異なる針支持部１９２を備えている。
図１４（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１９０は、液滴吐出ヘッド１７と実質的に同様の圧力室５８や吐出ノズル７８や振動板５２を備えている。液滴吐出ヘッド１９０は、液滴吐出ヘッド１７の針支持部３２とは異なる針支持部１９２を備えており、針支持部１９２は振動板５２に固定されており、針支持部１９２には案内針３１が立設されている。案内針３１は、吐出ノズル７８の部分でノズルプレート７６を貫通しており、先端側が、ノズル形成面７６ａから突出している。
【０１２１】
針支持部１９２は、ピエゾ素子と、ピエゾ素子を挟む１対の電極とを有している。電極には信号線（図示省略）が接続されており、電極は、信号線を介して吐出装置制御部６に接続されている。針支持部１９２は、信号線を介して電圧を印加されることによって、ノズル形成面７６ａに垂直な方向においてその形状が微小な大きさで湾曲する。これにより、図１４（ｂ）に示したように、案内針３１が立設された針支持部１９２の頂面が傾き、案内針３１の軸方向が傾く。針支持部１９２に電圧を印加しない状態では、図１４（ａ）に示したように、案内針３１の軸方向は、ノズル形成面７６ａに対して略垂直な方向である。針支持部１９２に電圧を印加することによって、案内針３１の軸方向を、例えば図１４（ｂ）に示した案内針３１ａのように傾かせることができる。また、針支持部１９２に、案内針３１ａのように傾かせる電圧とは異なる電圧を印加することによって、例えば図１４（ｂ）に二点鎖線で示した案内針３１ｂのように傾かせることもできる。
【０１２２】
上述したように、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０などの方向は、案内針３１ａの軸方向に近づく方向に誘導されるため、案内針３１ａの軸方向を調整することで、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０などの方向を調整することができる。
例えば、吐出装置制御部６に、機能液８０などの配置位置の情報が入力され、吐出装置制御部６は、ヘッド機構部２とワーク機構部３とを協働させて、入力された機能液８０などの配置位置の情報に指定された位置に向けて吐出ノズル７８から機能液８０などを吐出させる。このとき、吐出ノズル７８がフィルター膜領域２２５の端に向けて機能液８０などの液滴を吐出する位置に位置する場合には、案内針３１をフィルター膜領域２２５の中央側の方に傾けておくことによって、液滴が隔壁２０４に乗り上げる可能性を小さくする。同じ吐出ノズル７８がフィルター膜領域２２５の端に向けて機能液８０などの液滴を吐出する位置に位置する場合には、案内針３１をノズル形成面７６ａに略垂直にすることによって、図７を参照して説明したように、フィルター膜領域２２５に略均一に機能液８０などを配置し易くする。フィルター膜領域２２５に略均一に機能液８０などを配置することで、機能液８０などが不均一に配置される場合にくらべて、形成されるフィルター膜２０５を均一な厚さの膜にすることができる。
機能液８０などの配置位置の情報を入力する工程が、対象物特性取得工程に相当する。案内針３１の方向を調整する工程が、方向調整工程に相当する。針支持部１９２が、針支持手段に相当し、吐出装置制御部６が、針方向制御手段及び着弾位置情報取得手段に相当する。
【０１２３】
さらに、吐出ノズル７８の形状は、誤差なく形成されれば同じ形状の吐出ノズル７８が形成され、当該吐出ノズル７８吐出される液状体は、ノズル形成面７６ａに略垂直な方向に飛行する。しかし、多数の吐出ノズル７８の中には、形状が必ずしも一定ではなく、形状の違いによって、吐出される機能液８０などの方向がノズル形成面７６ａに略垂直な方向からずれる吐出ノズル７８も存在する。また、使用されているうちに、吐出ノズル７８に機能液８０などの溶質などが付着して、付着した溶質などによって恰も形状が変わったように、吐出される機能液８０などの方向がノズル形成面７６ａに略垂直な方向からずれる吐出ノズル７８も存在する。
液滴吐出ヘッド１９０においては、予め吐出ノズル７８ごとに吐出されて着弾した機能液８０などの液滴の着弾位置を測定し、着弾位置が所定の位置からずれている場合には、針支持部１９２に印加する電圧を調整して、案内針３１をずれている方向と反対側に傾けることによって、着弾位置のずれを補正することができる。吐出されて着弾した機能液８０などの液滴の着弾位置を測定する工程が、着弾位置情報取得工程に相当する。
【０１２４】
＜案内針形状例＞
次に、案内針３１や案内針１８１とは異なる案内針の形状について、図１５を参照して説明する。図１５は、ノズル形成面に略平行な方向における案内針の形状を吐出ノズルと共に示す説明図である。
【０１２５】
図１５（ａ）に示した案内針１９６は、六角形の各辺から頂角が概ね６０°の三角形が６方向に放射状に突出している形状の断面を有している。断面が６個所の山と谷とで構成されることによって、周の長さが、円形断面にくらべて長くなっている。
断面の周の長さが長くなることで、案内針１９６は、案内針３１にくらべて機能液８０などが濡れ広がる表面積が大きくなっている。これにより、案内針３１にくらべて上述した親液力が大きくなるため、液滴の方向を案内針１９６の方向に補正し易くなっている。
【０１２６】
図１５（ｂ）に示した案内針１９７は、略長方形の断面を有している。ノズル形成面７６ａに平行な方向に移動する機能液８０などが案内針１９７に当たると、移動方向によって、案内針１９７に当たったことによる抗力が異なっている。例えば、移動方向が断面の長方形の短辺に略平行な方向の場合には、機能液８０などは、案内針１９７における断面の長方形の長辺と対応する面に当たるため、機能液８０などの移動方向が他の方向である場合にくらべて、機能液８０などが案内針１９７に当たることによる抗力が大きくなる。
吐出方向のずれを抑制することが特に必要な方向に対して、案内針１９７の断面の短辺の延在方向を略一致させることによって、ずれを抑制することが特に必要な方向における吐出方向のずれを、効率良く抑制することができる。
【０１２７】
図１５（ｃ）に示した案内針１９８は、略方形の断面を有する４本の副案内針１９８ａで構成されている。複数の副案内針１９８ａで案内針１９８を構成することで、単独の案内針１９７などにくらべて、周の長さが長くなっている。
断面の周の長さが長くなることで、案内針１９８は、案内針１９７などにくらべて機能液８０が濡れ広がる表面積が大きくなっている。これにより、案内針１９７にくらべて上述した親液力が大きくなるため、液滴の方向を案内針１９８の方向に補正し易くなっている。
【０１２８】
＜情報機器＞
次に、電気光学装置を備える電子機器としての情報機器の具体例について、図１６を参照して説明する。本実施形態の情報機器は、上述した液晶表示パネル２００と同様の構成を有する液晶表示装置を備えた情報機器である。
【０１２９】
図１６（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１６（ａ）に示すように、携帯電話６００は、上述した液晶表示パネル２００を有する表示部６０１と、携帯電話本体６０２と、を備えている。
【０１３０】
図１６（ｂ）は、ワードプロセッサー、パーソナルコンピューターなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１６（ｂ）に示すように、情報処理装置７００は、液晶表示パネル２００と同様の構成を有する液晶表示装置を有する表示部７０２と、キーボード７０１などの入力部と、情報処理本体７０３と、を備えている。
【０１３１】
図１６（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１６（ｃ）に示すように、腕時計８００は、液晶表示パネル２００と同様の構成を有する液晶表示装置を有する表示部８０１と、時計本体８０２と、を備えている。
【０１３２】
図１６（ｄ）は、情報機器の一例である液晶テレビを示す外観斜視図である。図１６（ｄ）に示すように、液晶テレビ９００は、表示部９０１と、テレビ本体９０２と、を備えている。表示部９０１は、上述した液晶表示パネル２００と同様の構成を有する液晶表示装置を表示手段として搭載している。
【０１３３】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８の軸の位置を貫通して、ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａから突出した案内針３１を備える。案内針３１によって、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０などの方向を案内針３１の軸方向に誘導することができるため、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０などの方向が所定の方向からずれることを抑制することができる。
【０１３４】
（２）案内針３１の表面が機能液８０などに対して親液性を有するため、案内針３１の周囲にある機能液８０などは、機能液８０などが案内針３１の表面に接している部分が案内針３１の表面に濡れ広がる力によって、案内針３１の表面に沿って、機能液８０などに濡れていない方に向かう力を受けている。この力によって、吐出ノズル７８から吐出される機能液８０などの方向を案内針３１の軸方向に誘導することができる。
【０１３５】
（３）案内針３１は、略円柱形状の吐出ノズル７８の軸の位置を貫通して、ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａから突出している。吐出ノズル７８から吐出された機能液８０などは、吐出されて液滴となるときに加えられている力の方向に概ね飛行する。このとき、機能液８０などは案内針３１のノズル形成面７６ａから突出した部分を囲む状態であるため、案内針３１によって機能液８０などの飛行する方向を誘導することができる。
【０１３６】
（４）液滴吐出ヘッド１７において、振動板５２における針支持部３２が固定された面の反対面には、剛性が高い振動板押え部材３３が固定されている。これにより、振動板５２における針支持部３２が固定された部分が変形することを抑制して、案内針３１の姿勢が変動することを抑制することができる。
【０１３７】
（５）液滴吐出ヘッド１７０において、案内針３１は、振動板５２の略中央の部分に立設されている。振動板５２は略中央に関して対称な形状で変形させられるため、略中央の部分は傾くことなく変位することから、液滴吐出ヘッド１７０が駆動されている状態において案内針３１が傾くことを抑制することができる。
【０１３８】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１３９】
（変形例１）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、駆動素子として圧電素子５９を備えた電気機械変換方式の液滴吐出ヘッドであったが、液滴吐出ヘッドの駆動方式は、電気機械変換方式に限らない。液滴吐出ヘッドの駆動方式は、帯電制御方式、加圧振動方式、電気熱変換方式、静電吸引方式など、他の方式であってもよい。
【０１４０】
（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。
【０１４１】
（変形例３）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１は９個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、９個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。
【０１４２】
（変形例４）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１個のヘッドユニット２１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは１個に限らない。液滴吐出装置は、何個のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【０１４３】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐出する構成であったが、液滴吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体を供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。
【０１４４】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２３をＸ軸方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット２１をＹ方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、ノズル列を備える液滴吐出ヘッドと基材との、吐出走査における相対移動を基材を移動させることで実施することも、副走査における相対移動を液滴吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
液滴吐出ヘッドと基材との吐出走査における相対移動を、液滴吐出ヘッドを吐出走査の方向に移動させることで実施してもよい。液滴吐出ヘッドと基材との副走査方向の相対移動を、基材を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、液滴吐出ヘッドと基材との、吐出走査方向及び副走査方向の相対移動を、液滴吐出ヘッド、又は基材のどちらか一方を、吐出走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、液滴吐出ヘッド、及び基材の両方を、吐出走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。
【０１４５】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、液滴吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。上述した電気光学装置の製造方法において用いる液滴吐出ヘッド、又は電気光学装置の製造装置が備える液滴吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。
【０１４６】
（変形例８）前記実施形態においては、液状体を配置する機能膜区画としてのフィルター膜領域２２５は、平面視略方形状の領域であったが、液状体を配置する領域の形状が略方形状であることは必須ではない。液状体を配置する領域の形状は、方形状とは異なる多角形や、長円形や、円形や、多角形の角を曲線にした形状や、曲率が異なる複数の曲線で構成された形状や、これらの形状の一部が欠かれた形状などであってもよい。
【０１４７】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出装置を使用して機能液を配置する対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルターを備える液晶表示パネル２００において、フィルター膜２０５を形成する際の描画吐出について説明した。しかし、機能液を配置する対象物の電気光学装置は、液晶装置に限らない。機能液を配置する対象物の電気光学装置は、上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある電気光学装置であれば、どのような電気光学装置であってもよく、有機ＥＬ装置やプラズマ型表示装置など、他の電気光学装置であってもよい。
【０１４８】
（変形例１０）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂの３色のフィルター膜を有する３色フィルターであったが、カラーフィルターは、さらに多くの種類のフィルター膜を有する多色のカラーフィルターであってもよい。多色のカラーフィルターとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルターや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルターなどがあげられる。
【０１４９】
（変形例１１）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるカラーフィルターであるＣＦ層２０８について説明したが、上述した膜形成方法を用いて好適に製造できるカラーフィルターは、液晶表示装置のカラーフィルターに限らない。前記実施形態に記載した電気光学装置の製造方法及び電気光学装置の製造装置を用いることで、無色又は有色の光を発光する発光層と組合せてカラー有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置用のカラーフィルターも好適に製造することができる。
【０１５０】
（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７などにおいて、案内針３１などの案内針は針支持部３２などを介して振動板５２に固定されていたが、案内針を振動板に固定することは必須ではない。圧力室プレート５１などのような構造部材を、吐出ノズル孔に対向する位置など、吐出ノズル孔を貫通する位置に案内針を立設可能な位置まで配設し、当該部分に案内針を固定する構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１５１】
１…液滴吐出装置、６…吐出装置制御部、１１…Ｘ軸テーブル、１２…Ｙ軸テーブル、１７…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、３１，３１ａ，３１ｂ…案内針、３２…針支持部、５１…圧力室プレート、５２…振動板、５７…ヘッド隔壁、５８…圧力室、５９…圧電素子、７６…ノズルプレート、７６ａ…ノズル形成面、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、８０…機能液、８０ａ，８０ｄ…液滴、８１…着弾点、８２…付着物、１７０…液滴吐出ヘッド、１７６…ノズルプレート、１７６ａ…ノズル形成面、１８０…液滴吐出ヘッド、１８１…案内針、１８２…針支持部、１９０…液滴吐出ヘッド、１９２…針支持部、１９６，１９７，１９８…案内針、１９８ａ…副案内針、２００…液晶表示パネル、２０５…フィルター膜、２１７…画素電極、２２０…対向基板、２２５…フィルター膜領域、６００…携帯電話、６０１…表示部、７００…情報処理装置、７０２…表示部、８１０Ａ…着弾塊、８１１Ａ…着弾塊線、９００…液晶テレビ、９０１…表示部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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