(57)【要約】【課題】洗浄液が周囲に飛散しにくく、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板の得られる磁気記録媒体用基板の洗浄装置および洗浄方法を提供する。【解決手段】磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４と、多孔質材料からなる洗浄具３、３と、洗浄具３、３、を磁気記録媒体用基板１上で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用基板１上から洗浄具３、３を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７とを備える磁気記録媒体用基板１の洗浄装置とする。【選択図】図１
2010102772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体用基板上に洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、
多孔質材料からなる洗浄具と、
前記洗浄具を前記磁気記録媒体用基板上で摺動させる摺動手段と、
前記磁気記録媒体用基板上から前記洗浄具を介して前記洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段とを備えることを特徴とする磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄具が、円筒形で側面を前記磁気記録媒体用基板の表面に対向させて、前記表面に平行な方向を軸として回転されるものであり、前記洗浄具の前記円筒形の中心軸に沿って、前記側面から吸引された前記洗浄液を排出するための排出通路が形成されており、
前記洗浄液排出手段が、前記排出通路の端部に取り付けられた洗浄液排出管と、前記洗浄液排出管内の圧力を減圧する減圧手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄具が、円筒形で一端面を前記磁気記録媒体用基板の表面に対向させて、前記表面に直交する方向を軸として回転されるものであり、
前記洗浄液排出手段が、前記洗浄具の前記円筒形の他端面に取り付けられた洗浄液排出管と、前記洗浄液排出管内の圧力を減圧する減圧手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄液ノズル、前記洗浄具、前記摺動手段および前記洗浄液排出手段が、それぞれ２つずつ設けられ、前記磁気記録媒体用基板に対して対称に配置されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
【請求項５】
洗浄液ノズルにより磁気記録媒体用基板上に洗浄液を供給させるとともに、多孔質材料からなる洗浄具を前記磁気記録媒体用基板上で摺動させる洗浄工程を有し、
前記洗浄工程において、前記洗浄液の少なくとも一部を、前記磁気記録媒体用基板上から前記洗浄具を介して吸引して排出することを特徴とする磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
【請求項６】
前記洗浄工程において、前記磁気記録媒体用基板を挟み込むように配置された２つの洗浄具を前記磁気記録媒体用基板の両面上でそれぞれ摺動させることを特徴とする請求項５に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
【請求項７】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いて前記磁気記録媒体用基板を洗浄する工程を備えることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体用基板の洗浄装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法に関し、特に、高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板の得られる磁気記録媒体用基板の洗浄装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ハードディスクドライブなどに用いられる磁気記録媒体用の基板としては、アルミニウム基板やガラス基板が用いられている。近年、磁気記録媒体の記録密度はますます高まってきており、磁気記録面上でのヘッドの低浮上化に対応できるように、磁気記録媒体用基板の表面に対して高い平坦度が求められると共に高い清浄度が求められている。このため、磁気記録媒体用基板の表面に付着した埃等を除去するための高度な洗浄技術が求められている。
【０００３】
磁気記録媒体用基板の洗浄方法として、例えば、特許文献１には、磁気ディスク基板などのワークの表面に研磨加工などの表面処理を行った後、該ワークの表面に付着している異物などを除去するために、ワークを洗浄槽内でコンベアにより搬送しながら、液体を用いて洗浄し、その後、液体で洗浄されたワークを洗浄槽から１つずつ取り出してスクラブ洗浄機の回転ブラシによりワークを１つずつスクラブ洗浄する方法が開示されている。ここで用いられるスクラブ洗浄機としては、ワークの表面に接触するカップ型またはロール型の回転ブラシを有するものなどがある。
【０００４】
また、特許文献２には、スクラブ洗浄により洗い流されるべき研磨滓やポリッシュの遊離砥粒等がスポンジ状の樹脂からなるパッド中に吸い込まれてパッド内に留まり、基板表面が疵つけられることを防止するために、スポンジ状パッドの内部構造に互いに連通した空隙部を設け、パッドの底面から表面に洗浄水を供給する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−９６２４５号公報
【特許文献２】特開２０００−３１５３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、磁気記録媒体の記録容量の上昇はさらに激しさを増しており、磁気記録媒体用基板の洗浄方法に対して今まで以上の高い清浄度が求められている。このため、今までは許容されていた極微小の付着物が欠陥原因として問題視されるようになってきた。例えば、特許文献２に記載の技術を採用した場合、パッド内のゴミ等は洗浄水によりパッド内から流れ出されるため、パッド内を清浄に保つことはできるものの、パッド内から流れ出た研磨滓やポリッシュの遊離砥粒等が洗浄基板に付着する場合があった。
また、従来の洗浄装置では、磁気記録媒体用基板の洗浄液が周囲に飛散するという不都合があった。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、洗浄液が周囲に飛散しにくく、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板の得られる磁気記録媒体用基板の洗浄装置を提供することを目的とする。
また、洗浄液が周囲に飛散しにくく、高い洗浄仕上がりが得られる磁気記録媒体用基板の洗浄方法および、磁気記録面上でのヘッドの低浮上化に対応できる磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意努力検討した。その結果、磁気記録媒体用基板上に洗浄液を供給しながら洗浄具を磁気記録媒体用基板上で摺動させて洗浄する際に、洗浄具として多孔質材料からなるものを用い、洗浄液の少なくとも一部を、洗浄具を介して吸引して排出することで、洗浄液が周囲に飛散しにくく、洗浄によって磁気記録媒体用基板や洗浄具から放出された埃等のゴミが磁気記録媒体用基板上に付着することを防止でき、高い洗浄仕上がりが得られることを見出し、本願発明を完成させた。すなわち本願発明は下記に関する。
【０００８】
（１）磁気記録媒体用基板上に洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、多孔質材料からなる洗浄具と、前記洗浄具を前記磁気記録媒体用基板上で摺動させる摺動手段と、前記磁気記録媒体用基板上から前記洗浄具を介して前記洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段とを備えることを特徴とする磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
【０００９】
（２）前記洗浄具が、円筒形で側面を前記磁気記録媒体用基板の表面に対向させて、前記表面に平行な方向を軸として回転されるものであり、前記洗浄具の前記円筒形の中心軸に沿って、前記側面から吸引された前記洗浄液を排出するための排出通路が形成されており、前記洗浄液排出手段が、前記排出通路の端部に取り付けられた洗浄液排出管と、前記洗浄液排出管内の圧力を減圧する減圧手段とを備えていることを特徴とする（１）に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
（３）前記洗浄具が、円筒形で一端面を前記磁気記録媒体用基板の表面に対向させて、前記表面に直交する方向を軸として回転されるものであり、前記洗浄液排出手段が、前記洗浄具の前記円筒形の他端面に取り付けられた洗浄液排出管と、前記洗浄液排出管内の圧力を減圧する減圧手段とを備えていることを特徴とする（１）に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
（４）前記洗浄液ノズル、前記洗浄具、前記摺動手段および前記洗浄液排出手段が、それぞれ２つずつ設けられ、前記磁気記録媒体用基板に対して対称に配置されていることを特徴とする（２）または（３）に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
【００１０】
（５）洗浄液ノズルにより磁気記録媒体用基板上に洗浄液を供給させるとともに、多孔質材料からなる洗浄具を前記磁気記録媒体用基板上で摺動させる洗浄工程を有し、前記洗浄工程において、前記洗浄液の少なくとも一部を、前記磁気記録媒体用基板上から前記洗浄具を介して吸引して排出することを特徴とする磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
（６）前記洗浄工程において、前記磁気記録媒体用基板を挟み込むように配置された２つの洗浄具を前記磁気記録媒体用基板の両面上でそれぞれ摺動させることを特徴とする（５）に記載の磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
【００１１】
（７）（１）〜（４）のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いて前記磁気記録媒体用基板を洗浄する工程を備えることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置は、磁気記録媒体用基板上から洗浄具を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段を備えているので、磁気記録媒体用基板を洗浄するに際し、洗浄具を介して洗浄液を吸引して排出することにより、洗浄液が周囲に飛散しにくくなるとともに、洗浄によって磁気記録媒体用基板から放出された埃等のゴミを磁気記録媒体用基板から放出された後速やかに洗浄液とともに吸引して洗浄具に捕獲させることができる。したがって、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いて洗浄した場合、洗浄によって磁気記録媒体用基板から放出されたゴミが、磁気記録媒体用基板に再度接触することがなく、洗浄によって磁気記録媒体用基板から放出されたゴミを速やかに磁気記録媒体用基板上から除去できる。
また、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置では、磁気記録媒体用基板上から洗浄具を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段を備えているので、洗浄具から洗浄液に埃等のゴミが放出されることはないし、洗浄具に捕獲された磁気記録媒体用基板から放出されたゴミが再度放出されることもない。
【００１３】
このように、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いて洗浄した場合、洗浄によって磁気記録媒体用基板から放出されたゴミが磁気記録媒体用基板に再度接触することはないし、洗浄具から洗浄液にゴミが放出されることもないので、高い洗浄仕上がりが得られる。その結果、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板を実現できる。
【００１４】
本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄方法では、洗浄工程において、洗浄液の少なくとも一部を、前記磁気記録媒体用基板上から前記洗浄具を介して吸引して排出するので、洗浄液が周囲に飛散しにくく、洗浄によって磁気記録媒体用基板から放出されたゴミや洗浄具から放出されるゴミが、磁気記録媒体用基板上に付着することを防止でき、高い洗浄仕上がりが得られる。
また、本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いる磁気記録媒体用基板を洗浄する工程において清浄度の高い表面が得られるので、磁気記録面上でのヘッドの低浮上化に対応できる磁気記録媒体が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法、磁気記録媒体の製造方法について、図面を参照して説明する。
「第１実施形態」
本実施形態では、磁気記録媒体用基板の洗浄装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法として、磁気記録媒体の製造工程に含まれる磁気記録媒体用基板の洗浄工程を行なう場合を例に挙げて説明する。なお、ここでの磁気記録媒体用基板の洗浄工程は、磁気記録媒体の製造工程においていかなる段階で行なわれる洗浄工程であってもよいが、例えば、所定の表面平均粗さＲａとなるように、磁気記録媒体用基板の表面にメカニカルテクスチャー加工を施した後のスクラブ洗浄工程とすることができる。
【００１６】
図１（ａ）は、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置の一例を磁気記録媒体用基板上側から見た平面図である。また、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す洗浄装置のＡ−Ａ‘断面図であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）に示す洗浄装置のＢ−Ｂ‘断面図である。また、図１（ｄ）は、図１（ａ）に示す洗浄装置に備えられたブラシを拡大して示した拡大斜視図である。
【００１７】
図１（ａ）〜図１（ｄ）に示す洗浄装置は、洗浄される磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４と、ブラシ（洗浄具）３と、ブラシ３を磁気記録媒体用基板１上で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用基板１上からブラシ３を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７とを備えている。また、洗浄液ノズル４、ブラシ３、摺動手段および洗浄液排出手段７は、それぞれ２つずつ設けられており、磁気記録媒体用基板１に対して対称に配置されている。なお、図１に示す洗浄装置は、磁気記録媒体用基板１が水平となるように配置されていてもよいし、磁気記録媒体用基板１が垂直となるように配置されていてもよいし、磁気記録媒体用基板１が斜めになるように配置されていてもよい。
【００１８】
磁気記録媒体用基板１は、磁気記録媒体の製造工程に含まれる洗浄工程を行なう前の被洗浄物である。磁気記録媒体用基板１としては、例えば、直径３．５インチ程度以下で中央に開口部の形成されたディスク状の一般的なものなどが挙げられる。また、磁気記録媒体用基板１の材質としては、特に限定されないが、ＮｉＰメッキ膜の形成されたＡｌ合金基板、ガラス基板、セラミックス基板、可曉性樹脂基板、ＮｉＰ膜をスパッタ法により蒸着せしめた基板などが挙げられる。
【００１９】
また、洗浄液ノズル４は、磁気記録媒体用基板１上に、水、界面活性剤などの洗浄液を所定の供給量で供給するものである。
【００２０】
また、本実施形態においては、ブラシ３が２本設けられており、図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、２本のブラシ３、３が、磁気記録媒体用基板１を挟み込むように配置されている。ブラシ３は、多数の空隙を有するスポンジ状の樹脂などの多孔質材料からなるものであり、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）スポンジなどが用いられる。ＰＶＡスポンジは、親水性高分子であるＰＶＡからなるものであり、高い吸水性および保水性を有し、洗浄用途に適した特性を有する。さらに、ブラシ３として、過酸化水素を含有する保管液中で保管されたＰＶＡスポンジを用いることが好ましい。保管液から取り出されたブラシ３は、純水中でもみ洗いする方法などにより、ブラシ３に含まれた保管液を洗い流してから用いることが好ましい。
【００２１】
本実施形態においては、ブラシ３、３として、円筒形（ロール型）のものが用いられており、側面３ａを磁気記録媒体用基板１の表面に対向させて配置されている。
また、図１（ｄ）に示すように、各ブラシ３には、円筒形の中心軸に沿って排出通路３ｂが形成されている。排出通路３ｂは、ブラシ３の側面３ａから吸引された洗浄液を排出するためのものである。
【００２２】
また、摺動手段は、ブラシ３を磁気記録媒体用基板１上で摺動させるものであり、磁気記録媒体用基板１を保持して回転させるチャックローラ２と、ブラシ３、３を回転させる回転手段（図示略）とからなる。
本実施形態において、チャックローラ２は、磁気記録媒体用基板１の一面側の洗浄に用いられる摺動手段と、他面側の洗浄に用いられる摺動手段とにおいて共通して用いられるものである。チャックローラ２は、図１（ａ）に示すように、磁気記録媒体用基板１の外周に接して等間隔で４本配置されている。そして、４本のチャックローラ２を所定の回転数で同一方向に回転させることにより、磁気記録媒体用基板１が、チャックローラ２に保持された状態で、磁気記録媒体用基板１の表面に直交する方向を軸として、所定の速度で回転されるようになっている。
また、本実施形態においては、図１（ｂ）および図１（ｃ）に示すように、ブラシ３、３が、それぞれ側面３ａを磁気記録媒体用基板１の表面に対向させた状態で、回転手段（図示略）により、磁気記録媒体用基板１の表面に平行な方向を軸として、相反する方向に所定の回転数で回転されるようになっている。
【００２３】
また、本実施形態において、洗浄液排出手段７は、ブラシ３に設けられた排出通路３ｂの端部に取り付けられた洗浄液排出管７ａと、洗浄液排出管７ａ内の圧力を減圧するポンプなどの減圧手段（図示略）とを有している。したがって、本実施形態においては、減圧手段により洗浄液排出管７ａ内の圧力を減圧することによって、磁気記録媒体用基板１上の洗浄液の少なくとも一部が、多孔質材料からなるブラシ３の側面３ａである摺動面から吸引されてブラシ３内の空隙を通過し、排出通路３ｂおよび洗浄液排出管７ａを順に通って外部に排出されるようになっている。
具体的には、洗浄液排出管７ａ内の圧力は、到達圧０．０１Ｐａ程度の真空ポンプ（減圧手段）で洗浄液排出管７ａ内を吸引して、大気圧を１０１３２５Ｐａとした場合に、ブラシ３付近の洗浄液排出管７ａ内の圧力が１０００００Ｐａ以下で洗浄液が適度に吸引される程度となるように調整することが好ましい。
【００２４】
図１（ａ）〜図１（ｄ）に示す洗浄装置を用いて磁気記録媒体用基板１を洗浄するには、まず、洗浄する磁気記録媒体用基板１をチャックローラ２に保持させ、磁気記録媒体用基板１を両面から挟み込むように２本のブラシ３、３を配置する。そして、洗浄液ノズル４により磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給させ、チャックローラ２を図１（ａ）に示す矢印の方向に回転させて磁気記録媒体用基板１を図１（ａ）に示す矢印の方向に回転させるとともに、回転手段によりブラシ３、３を図１（ｂ）および図１（ｃ）に示す矢印の方向に回転させて、磁気記録媒体用基板１の両面上でそれぞれブラシ３、３を摺動させ、磁気記録媒体用基板１の両面を同時に洗浄する（洗浄工程）。本実施形態においては、洗浄工程において、減圧手段により洗浄液排出管７ａ内の圧力を減圧し、洗浄液の少なくとも一部を、磁気記録媒体用基板１上からブラシ３、３を介して吸引して排出通路３ｂおよび洗浄液排出管７ａを通って外部に排出する。
【００２５】
なお、本発明においては、洗浄工程において用いられた洗浄液の全量を、ブラシ３、３を介して外部に排出することが好ましいが、洗浄液の少なくとも一部を、ブラシ３、３を介して吸引して排出すれば、洗浄液の全量を外部に排出しなくても本発明の効果は得られる。
【００２６】
本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置は、磁気記録媒体用基板１上からブラシ３、３を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７を備えているので、ブラシ３、３を介して洗浄液を吸引して排出することにより、洗浄によって磁気記録媒体用基板１から放出された埃等のゴミを磁気記録媒体用基板１から放出された後速やかに洗浄液とともに吸引してブラシ３、３に捕獲させることができる。したがって、本実施形態の洗浄方法では、洗浄によって磁気記録媒体用基板１から放出されたゴミが、磁気記録媒体用基板１に再度接触することはなく、速やかに磁気記録媒体用基板１上から除去される。さらに、本実施形態の洗浄方法では、磁気記録媒体用基板１上からブラシ３、３を介して洗浄液を吸引して排出するので、ブラシ３、３に埃等のゴミが付着していたとしても、ブラシ３、３から洗浄液にゴミが放出されることはないし、ブラシ３、３に捕獲された磁気記録媒体用基板１から放出されたゴミが再度放出されることもない。
【００２７】
ここで、例えば、ノズルを用いて外部から洗浄液を供給する、または、スポンジ状のスクラブパッドの内部から洗浄液を供給する従来の洗浄装置では、洗浄液の供給される部分には常に清浄な洗浄液が供給されるものの、洗浄によって磁気記録媒体用基板や洗浄具から放出された埃等のゴミを含む洗浄液が被洗浄物に触れることにより、被洗浄物にゴミが付着する可能性があった。
これに対し、本実施形態の洗浄方法では、洗浄によって磁気記録媒体用基板１から放出されたゴミが磁気記録媒体用基板１に再度接触することはないし、ブラシ３、３から洗浄液に埃等のゴミが放出されることもないので、高い洗浄仕上がりが得られる。したがって、本実施形態によれば、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板１が得られる。
【００２８】
また、本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置では、磁気記録媒体用基板１上からブラシ３、３を介して洗浄液を吸引して排出するので、洗浄液ノズル４により磁気記録媒体用基板１上に供給された洗浄液が周囲に飛散しにくいものとなる。
【００２９】
また、本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置は、ブラシ３が、円筒形で側面３ａを磁気記録媒体用基板１の表面に対向させて、前記表面に平行な方向を軸として回転されるものであり、ブラシ３の円筒形の中心軸に沿って、側面３ａから吸引された洗浄液を排出するための排出通路３ｂが形成されており、洗浄液排出手段７が、排出通路３ｂの端部に取り付けられた洗浄液排出管７ａと、洗浄液排出管７ａ内の圧力を減圧する減圧手段とを備えているので、洗浄工程において、減圧手段により洗浄液排出管７ａ内の圧力を減圧することにより、磁気記録媒体用基板１上の洗浄液の少なくとも一部が、多孔質材料からなるブラシ３の側面３ａである摺動面から吸引されてブラシ３内の空隙を通過し、排出通路３ｂおよび洗浄液排出管７ａを順に通って外部に排出されるものとなる。
【００３０】
したがって、本実施形態の洗浄装置では、洗浄液の存在下でブラシ３の側面３ａである摺動面と磁気記録媒体用基板１とが擦れることにより、磁気記録媒体用基板１から埃等のゴミが放出された場合に、磁気記録媒体用基板１から放出された直後のゴミを、ブラシ３の側面３ａである摺動面から洗浄液とともにブラシ３に捕獲できるものとなる。また、本実施形態の洗浄装置では、ブラシ３の円筒形の中心軸に沿って、側面３ａから吸引された洗浄液を排出するための排出通路３ｂが形成されているので、ブラシ３の側面３ａにおける洗浄液の吸引力のムラが少ないものとなり、磁気記録媒体用基板１から放出されたゴミを効率よく除去できるとともに、洗浄液が排出通路３ｂおよび洗浄液排出管７ａを通って効率よく外部に排出されるものとなる。
【００３１】
また、本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置では、洗浄液ノズル４、ブラシ３、摺動手段および洗浄液排出手段７が、それぞれ２つずつ設けられ、磁気記録媒体用基板１に対して対称に配置されているので、洗浄工程において、２本のブラシ３、３を磁気記録媒体用基板１の両面上でそれぞれ摺動させることによって、磁気記録媒体用基板１の両面の全面を同時に洗浄でき、効率よく洗浄工程を行うことができる。
【００３２】
また、本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置において、ブラシ３として、過酸化水素を含有する保管液中で保管されたＰＶＡスポンジを用いた場合には、保管中のＰＶＡスポンジにかびが発生することに起因する不都合を十分に防止できる。したがって、過酸化水素を含有する保管液中で保管されたブラシ３を用いて磁気記録媒体用基板１を洗浄した場合、磁気記録媒体用基板１の表面にかびが付着することはないし、保管時に使用した過酸化水素がブラシ３に含まれていたとしても、洗浄時に洗浄液とともに排出通路３ｂおよび洗浄液排出管７ａを通って外部に排出されるため、洗浄後の磁気記録媒体用基板１の表面に過酸化水素が残留することもない。さらに、過酸化水素を含有する保管液中で保管されたブラシ３を用いる場合、従来の防かび剤を用いなくてすむため、従来の防かび剤が、洗浄後の磁気記録媒体用基板１の表面に残留することもない。したがって、より一層高い洗浄仕上がりが得られる。
【００３３】
なお、上述した実施形態においては、磁気記録媒体用基板１上でブラシ３を摺動させるために、チャックローラ２を回転させて磁気記録媒体用基板１を回転させるとともに、回転手段によりブラシ３を回転させたが、磁気記録媒体用基板１とブラシ３の両者を同時に回転させる方法に限定されるものではなく、いずれか一方のみを回転させてもよい。
【００３４】
また、上述した実施形態においては、ブラシ３の円筒形の中心軸に沿って、側面３ａから吸引された洗浄液を排出するための排出通路３ｂが形成されている場合を例に挙げて説明したが、排出通路３ｂの形状は、本実施形態の形状に限定されるものではない。例えば、洗浄液をむらなく効率よく外部に排出できるように、円筒形の中心軸に沿って伸びる排出通路に、排出通路から側面３ａに向かって放射状に伸びる分岐通路が接続されているものとしてもよいし、円筒形の中心軸を囲むようにらせん状に設けられたものとしてもよい。
【００３５】
「第２実施形態」
図２は、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置の他の例を磁気記録媒体用基板上側から見た平面図である。なお、図２に示す洗浄装置において、図１に示す洗浄装置と同一のものについては同一の符号を付し、その説明を省略する。
図２に示す洗浄装置は、図１に示す洗浄装置と同様に、洗浄される磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４と、ブラシ（洗浄具）５と、ブラシ５を磁気記録媒体用基板１上で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用基板１上からブラシ５を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７１とを備えている。また、図２に示す洗浄装置においても、洗浄液ノズル４、ブラシ５、摺動手段および洗浄液排出手段７１は、それぞれ２つずつ設けられており、磁気記録媒体用基板１に対して対称に配置されている（図２においては、磁気記録媒体用基板の一面側のみ図示し、他面側に設置された洗浄液ノズル４、ブラシ５、摺動手段および洗浄液排出手段７１は図示略）。なお、図２に示す洗浄装置においても、磁気記録媒体用基板１が水平となるように配置されていてもよいし、磁気記録媒体用基板１が垂直となるように配置されていてもよいし、磁気記録媒体用基板１が斜めになるように配置されていてもよい。
【００３６】
本実施形態においても、ブラシ５は、２本設けられており、２本のブラシ５、５が、磁気記録媒体用基板１を挟み込むように配置されている。また、本実施形態においても、ブラシ５は、多数の空隙を有するスポンジ状の樹脂などの多孔質材料からなるものであり、ＰＶＡスポンジなどが用いられる。さらに、ブラシ５として、過酸化水素を含有する保管液中で保管されたＰＶＡスポンジを用いることが好ましい。保管液から取り出されたブラシ５は、純水中でもみ洗いする方法などにより、ブラシ５に含まれた保管液を洗い流してから用いることが好ましい。
また、ブラシ５としては、円筒形（カップ型）のものが用いられており、一端面を磁気記録媒体用基板１の表面に対向させて配置されている。また、図２に示すように、ブラシ５の他端面５ａには、ブラシ５を保持するためのアーム６が取り付けられている。
【００３７】
また、摺動手段は、ブラシ５を磁気記録媒体用基板１上で摺動させるものであり、磁気記録媒体用基板１を保持して回転させる図１に示す洗浄装置と同様の４本のチャックローラ２と、アーム６を介してブラシ５を所定の位置に移動させるとともに回転させる回転手段（図示略）とからなる。本実施形態においては、図２に示すように、ブラシ５が、それぞれ一端面を磁気記録媒体用基板１の表面に対向させた状態で、回転手段（図示略）により、磁気記録媒体用基板１の表面に直交する方向を軸として、同じ方向に所定の回転数で回転されるとともに、磁気記録媒体用基板１に対する相対位置を移動されるようになっている。
【００３８】
また、本実施形態において、洗浄液排出手段７は、ブラシ５の他端面５ａに取り付けられ、一部がアーム６の内部に埋め込まれた洗浄液排出管７１ａと、洗浄液排出管７１ａ内の圧力を減圧するポンプなどの減圧手段（図示略）とを有している。したがって、本実施形態においては、減圧手段により洗浄液排出管７１ａ内の圧力を減圧することによって、磁気記録媒体用基板１上の洗浄液の少なくとも一部が、多孔質材料からなるブラシ５の一端面である摺動面から吸引されてブラシ５内の空隙を通過し、洗浄液排出管７１ａを通って外部に排出されるようになっている。
【００３９】
図２に示す洗浄装置を用いて磁気記録媒体用基板１を洗浄するには、まず、洗浄する磁気記録媒体用基板１をチャックローラ２に保持させ、磁気記録媒体用基板１を両面から挟み込むように２本のブラシ５、５を配置する。そして、洗浄液ノズル４により磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給させ、チャックローラ２を回転させて磁気記録媒体用基板１を図２に示す矢印Ｂの方向に回転させるとともに、回転手段によりブラシ５、５を図２に示す矢印Ａの方向に回転させて、磁気記録媒体用基板１の両面上でそれぞれブラシ５を摺動させ、磁気記録媒体用基板１の両面を同時に洗浄する（洗浄工程）。本実施形態においては、洗浄工程において、減圧手段により洗浄液排出管７１ａ内の圧力を減圧し、洗浄液の少なくとも一部を、磁気記録媒体用基板１上からブラシ５を介して吸引して洗浄液排出管７１ａを通って外部に排出する。
【００４０】
本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置においては、磁気記録媒体用基板１上からブラシ５を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７１を備えているので、第１実施形態と同様に、洗浄液が周囲に飛散しにくくなるとともに、洗浄によって磁気記録媒体用基板１から放出されたゴミが磁気記録媒体用基板１に再度接触することはないし、ブラシ５から洗浄液に埃等のゴミが放出されることもないので、高い洗浄仕上がりが得られ、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板１が得られる。
【００４１】
また、本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置は、ブラシ５が、円筒形で一端面を磁気記録媒体用基板１の表面に対向させて、前記表面に直交する方向を軸として回転されるものであり、洗浄液排出手段７１が、ブラシ５の円筒形の他端面５ａに取り付けられた洗浄液排出管７１ａと、洗浄液排出管７１ａ内の圧力を減圧する減圧手段とを備えているので、洗浄工程において、減圧手段により洗浄液排出管７１ａ内の圧力を減圧することにより、磁気記録媒体用基板１上の洗浄液の少なくとも一部が、多孔質材料からなるブラシ５の一端面である摺動面から吸引されてブラシ５内の空隙を通過し、洗浄液排出管７１ａを通って外部に排出されるものとなる。
【００４２】
したがって、本実施形態の洗浄装置は、洗浄液の存在下でブラシ５の一端面である摺動面と磁気記録媒体用基板１とが擦れることにより、磁気記録媒体用基板１から埃等のゴミが放出された場合に、磁気記録媒体用基板１から放出された直後のゴミを、摺動面であるブラシ５の一端面から洗浄液とともにブラシ５に捕獲できるものとなる。また、本実施形態の洗浄装置では、洗浄液排出手段７１が、ブラシ５の円筒形の他端面５ａに取り付けられた洗浄液排出管７１ａを備えているので、摺動面であるブラシ５の一端面における洗浄液の吸引力のムラが少なく、磁気記録媒体用基板１から放出されたゴミを効率よく除去できるとともに、洗浄液が洗浄液排出管７１ａを通って効率よく外部に排出されるものとなる。
【００４３】
また、本実施形態の磁気記録媒体用基板１の洗浄装置においても、洗浄液ノズル４、ブラシ５、摺動手段および洗浄液排出手段７１が、それぞれ２つずつ設けられ、磁気記録媒体用基板１に対して対称に配置されているので、洗浄工程において、２本のブラシ５を磁気記録媒体用基板１の両面上でそれぞれ摺動させることによって、磁気記録媒体用基板１の両面の全面を同時に洗浄でき、効率よく洗浄工程を行うことができる。
【００４４】
「第３実施形態」
次に、第１実施形態または第２実施形態の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いて磁気記録媒体用基板を洗浄する工程を備える磁気記録媒体の製造方法について説明する。
まず、所定の材質の磁気記録媒体用基板１を用意し、磁気記録媒体用基板１の表面に研磨加工を施し、磁気記録媒体用基板１の表面を所定の表面平均粗さＲａとする。続いて、磁気記録媒体用基板１を洗剤の入れられた洗浄槽中に浸漬させて浸漬洗浄する。次いで、第１実施形態または第２実施形態の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いる上述した洗浄方法により、磁気記録媒体用基板１をスクラブ洗浄する。
【００４５】
その後、洗浄された磁気記録媒体用基板１の表面に、スパッタ法を用いて、例えば、ＣｒＷ合金などの非磁性合金からなる下地膜と、ＣｏＣｒＰｔＴａＣｕ合金などの磁性合金からなる磁気記録層膜とを形成する。その後、磁気記録層膜の上に、例えば、プラズマＣＶＤ法を用いて硬質炭素膜からなる保護膜を形成し、保護膜の形成された磁気記録媒体用基板１の表面にディッピング法によりＰＦＰＥ潤滑剤を塗布することにより、磁気記録媒体とする。
【００４６】
本実施形態の磁気記録媒体の製造方法によれば、第１実施形態または第２実施形態の磁気記録媒体用基板の洗浄装置を用いて磁気記録媒体用基板を洗浄する工程を行うことにより清浄度の高い表面が得られるので、磁気記録面上でのヘッドの低浮上化に対応できる磁気記録媒体が得られる。
【００４７】
「実施例」
以下、実施例を示して、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
（実施例）
磁気記録媒体用基板として、表面に厚さ１０μｍのＮｉＰメッキ膜の形成された直径３．５インチ、厚さ０．８ｍｍのディスク状のアルミニウム合金基板を用意した。この磁気記録媒体用基板の表面に、表面平均粗さＲａが１ｎｍとなるようにメカニカルテクスチャー加工を施した。続いて、磁気記録媒体用基板を５％の濃度のアルカリ系洗剤（商品名：ＲＢＳ２２５、ケミカルプロダクト社製）の入れられた洗浄槽中に浸漬させて浸漬洗浄した。
【００４８】
その後、図２に示す洗浄装置を用いて磁気記録媒体用基板の両面を同時に、３回スクラブ洗浄した。このスクラブ洗浄では、ブラシ５として、５質量％の過酸化水素水からなる保管液中に３０℃で７日間保管し、純水中でもみ洗いする方法によりブラシから保管液を洗い流した直径８．５ｃｍ、厚さ２ｃｍのカップ型のＰＶＡスポンジ（イーグル化成社製）を用いた。スクラブ洗浄の条件は、ブラシ５の回転速度を５００ｒｐｍ、磁気記録媒体用基板１の回転速度を１２０ｒｐｍ、１回あたりのスクラブ洗浄時間を8秒間とし、洗浄液ノズル４により洗浄液として純水を供給量１リットル／分で供給させた。なお、洗浄中、洗浄液排出管７１ａ内の圧力を減圧して９００００Ｐａとし、洗浄に用いた洗浄液を磁気記録媒体用基板１上からブラシ５を介して吸引して洗浄液排出管７１ａを通じて外部に排出したが、洗浄液排出管７１ａ以外から放出される洗浄液はほとんど認められず、周囲に飛散する洗浄液はほとんどなかった。
【００４９】
このようにして洗浄された磁気記録媒体用基板の表面に、スパッタ法を用いて、厚さ８ｎｍのＣｒＷ合金（２５質量％Ｃｒ−７５質量％Ｗ）からなる下地膜と、厚さ３０ｎｍのＣｏＣｒＰｔＴａＣｕ合金（１８質量％Ｃｒ−８質量％Ｐｔ−３質量％Ｔａ−１質量％Ｃｕ−残部Ｃｏ）からなる磁気記録層膜とを形成した。その後、磁気記録層膜の上にプラズマＣＶＤ法を用いて厚さ７ｎｍのカーボン膜からなる保護膜を形成し、保護膜の形成された磁気記録媒体用基板の表面にディッピング法によりＰＦＰＥ潤滑剤を塗布する方法により磁気記録媒体を製造した。
【００５０】
（比較例）
洗浄液排出手段が設けられていないこと以外は図２に示す洗浄装置と同様の洗浄装置を用い、洗浄中にブラシを介して洗浄液を吸引して排出しなかったこと以外は、実施例と同様にして磁気記録媒体を製造した。
【００５１】
このようにして得られた実施例および比較例の磁気記録媒体１００枚について、圧電素子付きヘッドの用いられたグライドテスターを用いて磁気記録媒体の表面形状の検査を行った。なお、ヘッドのグライド高さ（ヘッドと磁気記録媒体との距離）は０．２５μインチとした。
その結果、実施例では、１００枚の磁気記録媒体について不良箇所が見つからなかった。  これに対し、比較例では、２枚の不良が見つかった。なお、比較例の２枚の不良の磁気記録媒体は、スクラブ洗浄時に磁気記録媒体用基板の表面に残留した物質が原因であると推測された。
【００５２】
また、実施例および比較例の磁気記録媒体を微分干渉光学顕微鏡（６００倍）で観察した。その結果、比較例の磁気記録媒体では、磁気記録層膜などからなる積層膜の中央付近に、磁気記録媒体用基板のスクラブ洗浄不良に起因するふくれが発生していた。これに対し、実施例の磁気記録媒体では、良好な磁気記録層膜が形成されていた。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】図１は、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置の一例を示した図である。
【図２】図２は、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄装置の他の例を磁気記録媒体用基板上側から見た平面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…磁気記録媒体用基板、２…チャックローラ、３…ブラシ、３ａ…側面、３ｂ…排出通路、４…洗浄液ノズル、５…ブラシ、６…アーム、７、７１…洗浄液排出手段、７ａ、７１ａ…洗浄液排出管。
【図１】
2010102772.tif 000003
【図２】
2010102772.tif 000004