(57)【要約】【課題】ウェハのアライメント後にノッチ合わせ位置にノッチが合っていることを検出し、上位装置への安定した搬送を行うことができるアライメントユニット及びそれを用いたウェハ搬送装置を提供する。【解決手段】ウェハを把持し、回転させる回転機構と、ウェハの外周に光を照射し、照射した光の受光量を検出するラインセンサと、ラインセンサの受光量からウェハの偏心量及びウェハの外周に形成されたノッチ位置を検出し、ウェハの位置を補正するウェハアライメントにおいて、アライメント終了後にノッチの位置ずれを検出するノッチ位置ずれ検出センサを備えた。【選択図】図２
2010123824.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを把持し、回転させる回転機構と、
ウェハの外周に光を照射し、照射した光の受光量を検出するラインセンサとを備え、
前記ラインセンサの前記受光量からウェハの偏心量及びウェハの外縁に形成されたノッチ位置を検出し、ウェハの位置を補正するウェハアライメントユニットにおいて、
アライメント終了後に前記ノッチの位置ずれを検出するノッチ位置ずれ検出センサを備えたことを特徴とするアライメントユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のアライメントユニットにおいて、前記ノッチ位置ずれ検出センサは、光学式センサであることを特徴とするアライメントユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアライメントユニットにおいて、前記ラインセンサが配置された位置を前記ウェハ中心から０度の位置とした場合、前記ノッチ位置ずれ検出センサは、９０度、１８０度、２７０度の３箇所のうち少なくとも１箇所に配置されることを特徴とするアライメントユニット。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のアライメントユニットにおいて、前記ノッチ位置ずれ検出センサには、前記ノッチ位置ずれ検出センサを前記ウェハのエッジに沿って移動させるセンサ移動機構が設けられていることを特徴とするアライメントユニット。
【請求項５】
ウェハの搬送先或いは搬送元に取り付けられる筐体と、
その筐体に設けられ、ウェハを収納する容器と、
前記容器内のウェハを搬送先に供給するまたは前記搬送元のウェハを前記容器に回収するウェハ搬送ロボットと、
搬送されるウェハの位置及び向きを補正するアライメントユニットを備えたウェハ搬送装置において、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のアライメントユニットを備えたことを特徴とするウェハ搬送装置。
【請求項６】
ウェハを回転させながら前記ウェハの外縁に光を照射し、照射した光の受光量を検出し、その検出結果を基に、ウェハの偏心量及びウェハの外周に形成されたノッチ位置を検出し、前記ウェハの位置及び向きを補正するウェハアライメント方法において、
前記ウェハの位置及び向きを補正した後、その補正時に生じうるノッチの位置ずれを検出することを特徴とするウェハアライメント方法。
【請求項７】
請求項６に記載のウェハアライメント方法において、前記ノッチの位置ずれが生じていると検出された場合、再度前記アライメント及び前記ノッチ位置ずれの検出を行い、予め設定された回数だけ前記ノッチ位置ずれの検出を行っても前記ノッチの位置ずれが生じていると検出された場合、前記アライメント或いは前記ノッチ位置ずれの検出にエラーがあったと判断することを特徴とするウェハアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハの偏芯量とノッチの位置検出を行うアライメントユニット及びそれを備えたウェハ搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＳＥＭに代表される上位検査装置等にウェハを供給する搬送装置は、ウェハの向き及び偏心を高精度で補正して、上位検査装置に搬送する。搬送装置は、ウェハの向き及び偏心を補正する装置として、ウェハのアライメントユニットを備えている。
【０００３】
アライメントユニットはウェハを把持した状態でウェハを回転させ、ラインセンサ投光器から投光された光をラインセンサ受光器で受光し受光量の変化でノッチ位置とウェハの偏芯量を検出することでアライメントを行う。アライメントとはウェハの面方向（ＸＹ方向）の位置やウェハの向きを所定の位置に合わせることである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上位検査装置等ではウェハの向きをノッチの位置で判断する。ノッチ位置がずれているとウェハ上にある基準位置の走査に時間を要し生産性が下がる為、アライメント終了時のノッチ位置の停止精度は重要である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３１３８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のアライメントユニットでは、ウェハのノッチ位置やウェハの偏芯量を検出することに重点をおいているが、アライメント終了後、ウェハ停止時のノッチ位置の確認には至っていない。すなわち、従来のアライメントユニットでは、補正前のノッチの位置から補正後のノッチの位置まで、モーターの回転角度をもとに補正すべき量だけ回転させて移動させて終了し、最終的にノッチ合わせ位置にノッチが合っていることを直接確認してはいない。
【０００７】
そのため、ウェハの裏面、チャックの吸着面に汚れが付き摩擦力の低下に伴う把持力低下、ウェハを回転させるモーターの脱調等により、ウェハが滑りノッチの位置がずれていたとしても、アライメントユニット自体はノッチの位置ずれを判断できない。
【０００８】
したがって、アライメント終了時、ウェハがすべることでノッチが指定のノッチ合わせ位置よりずれることにより、上位検査装置等での検査を開始するためのウェハ上にある基準位置の走査に時間を要し装置の稼働率が下がる。
【０００９】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、ウェハのアライメント後にノッチ合わせ位置にノッチが合っていることを検出し、アライメントの信頼性を向上させたアライメントユニット及びそれを用いたウェハ搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく本発明に係るアライメントユニットは、ウェハを把持し、回転させる回転機構と、ウェハの外周に光を照射し、照射した光の受光量を検出するラインセンサと、前記ラインセンサの前記受光量からウェハの偏心量及びウェハの外縁に形成されたノッチ位置を検出し、ウェハの位置を補正するウェハアライメントにおいて、アライメント終了後に前記ノッチ位置ずれを検出するノッチ位置検出センサを備えたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ウェハのアライメント後にノッチ合わせ位置にノッチが合っていることを検出し、アライメントの信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態のアライメントユニットとそれを備えたウェハ搬送装置を示す概略図である。図１に示すように、ウェハ搬送装置は、上位装置（半導体製造装置、検査装置等）６に接続された筐体１と、筐体１の上位装置６と対向する側に設けられ１枚以上のウェハ４を収納する容器（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）３と、筐体１内に設けられ、上位装置６へ搬送する又はＦＯＵＰ３へ収納するウェハ４のアライメント（位置合わせ）を行うアライメントユニット５と、ＦＯＵＰ３、上位装置６及びアライメントユニット５間のウェハの搬送を行うウェハ搬送ロボット２とを有する。
【００１４】
図２は、アライメントユニットの側面図である。図２に示すように、アライメントユニット５は、ノッチが形成されたウェハ４を回転させる回転機構２１と、ウェハ４の偏心量及びノッチ位置を検出するラインセンサ２２と、アライメント後にノッチの位置ずれを検出するノッチ位置ずれ検出センサ（以下「ノッチ合わせセンサ」と称する）１８と、回転機構２１、ラインセンサ２２及びノッチ合わせセンサ１８を制御するコントローラ（制御部）２０とを備える。
【００１５】
回転機構２１は、ウェハ４を真空圧力で吸着し把持するチャック１１と、ウェハ４を把持したチャック１１を回転させるウェハ回転モーター１２とで構成される。回転機構２１には、偏芯量を基に回転機構２１を移動させるＸＹ補正機構１６と、ウェハ４がチャック１１に載置されたことを反射型フォトセンサで検出するウェハ有無センサ１７が設けられている。
【００１６】
ラインセンサ２２は、ウェハ４のエッジに投光する投光器１３と、ウェハ４に対して投光器１３とは反対側に設けられ、ウェハ４のエッジに投光された光を受光する受光器１４と、投光器１３の投光面と受光器１４の受光面とが互いに平行になるように受光器１４に連結して投光器１３を支持する支持機構１５とで構成される。
【００１７】
ノッチ合わせセンサ１８は、ウェハ４のエッジ下方に固定金具１９で固定され、反射型フォトセンサで構成される。ノッチ合わせセンサ１８は、アライメント終了時にウェハ４のノッチが所定位置にあるか否かを検出するものである。
【００１８】
図３は、図２のアライメントユニットの上面図である。図３に示すように、ノッチ合わせセンサ１８の設定場所（アライメント後のノッチの位置：「ノッチ合わせ位置３１」と称する）は、ウェハ４を把持するチャック１１の中心に対して、ラインセンサ２２の支持機構１５の配置方向を０度とした場合、９０度、１８０度、２７０度の３箇所から上位装置６の構成にあわせた所定の位置を選択する。その位置にはノッチ合わせセンサ１８を固定するための固定金具１９を設置できるようになっている。これにより、アライメントユニット５の設置方向にとらわれずにノッチ合わせ位置３１をユーザーが必要としている角度に設定できる。本実施形態では、ノッチ合わせ位置３１を１８０°の位置としている。すなわち、ノッチ合わせセンサ１８は、ウェハ４に対して、ラインセンサ２２の反対側に配置されている。
【００１９】
図７はコントローラ２０の構成を示すブロック図である。図７に示すように、コントローラ２０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）２００と、ＳＲＡＭ２０４と、ウェハ有無センサ１７及びノッチ合わせセンサ１８の検出信号をＣＰＵ２０へ出力するセンサＩ／Ｆ回路２０１と、上位コントローラ２０６と通信するための通信回路２０５と、ラインセンサ２２の受光部１４での検出信号をデジタル信号へ変換してＣＰＵ２００へ伝送するＡ／Ｄ変換回路２０３と、回転機構のウェハ回転モーター及びＸＹ補正軸等、モーターの駆動・制御を行うモーター制御回路２０２とを備える。
【００２０】
ノッチ合わせセンサ１８によるノッチ位置ずれの検出方法について説明する。図４は、図２のウェハ４とノッチ合わせセンサ１８の要部拡大斜視図である。
【００２１】
図４に示すように、ノッチ合わせセンサ１８は、ノッチ合わせセンサ１８の投光部１００から検出対象となるウェハ４との距離を所定の間隔（本実施形態では３０ｍｍ）となるように固定される。投光部１００とウェハ４との距離を投光部１００から投光されるスポット光１０３の焦点に合うように設定することで、誤差を小さくし検出精度を高くすることができる。ノッチ合わせセンサ１８の位置は、スポット光１０３の径（本実施形態ではφ２ｍｍ）とノッチ合わせセンサ１８の繰り返し精度（ノッチ位置合わせを繰り返し行ったときに生じうる誤差の範囲：本実施形態では０．０５ｍｍ）の尤度を加味して決定するのがよい。この時、アライメントユニット５のノッチ位置合わせ精度（アライメントを行ったときに生じうる誤差の範囲）以上を検出できるようにする。
【００２２】
ノッチ位置ずれの有無の検出方法は、アライメント後にウェハ４が滑りノッチ１０２の位置がズレた場合、投光部１００から投光されるスポット光１０３にウェハ４がかかることによってスポット光１０３が反射する。その反射光は受光部１０１へ入光され、受光部１０１の出力がＯＮとなることでノッチ１０２がノッチ合わせ位置２１よりズレていると判断する。アライメント後にノッチ１０２の位置がズレていない場合、スポット光１０３はウェハ４で反射されることなく、受光部１０１の出力はＯＦＦとなる。
【００２３】
図５はノッチ合わせセンサ１８の出力信号である。ノッチ合わせセンサの出力信号は、図５に示すように、受光部１０１に入光ありの場合“Ｈ”、入光なしの場合“Ｌ”が出力される。なお、受光部１０１に入光ありの場合“Ｌ”、入光なしの場合“Ｈ”としてもよい。
【００２４】
図６は本実施形態のアライメントユニットの検出動作を示したフローチャートである。図６に示すように、ロボットハンド２ａで搬送されたウェハ４がチャック１１に載置されたことをウェハ有無センサ１７で検出し、ウェハ４の存在を検出した場合、真空圧力でウェハ４の吸着を開始する。チャック１１がウェハ４を真空圧力で吸着し把持した時、同時にコントローラ２０のＳＲＡＭ２０５内に設定されているノッチ合わせ位置ずれカウンタＰを“０”にする（Ｓ００１）。把持したウェハ４をウェハ回転モーター１２で回転させアライメントを開始する(Ｓ００２)。
【００２５】
アライメントでは、まず、ウェハ４を回転させながら投光器１３からウェハ４のエッジに光を照射し、その光の受光量を受光器１４で検出する。検出した受光量を基にコントローラ２０で演算を行いノッチ位置や偏芯量を求める(Ｓ００３)。偏芯量を求めたら、ウェハ４を把持したままＸＹ補正軸１６を用いて偏芯量を補正する。ウェハ４の偏心を補正した後、ノッチ合わせ位置３１（本実施形態では、上述の１８０°の位置）に合うように、ウェハ回転モーター１２の回転を停止させる(Ｓ００４)。
【００２６】
ウェハ４を停止させた後、ノッチ合わせセンサ１８は、図４で説明した検出方法でノッチ１０２の有無を監視している(Ｓ００５)。ノッチ合わせセンサ１８が、ノッチ１０２が合わせ位置２１に有ることを検出した場合、アライメントユニット５はノッチ合わせ位置ずれカウンタＰを“０”にし(Ｓ００６)、アライメント終了の応答を搬送装置の上位コントローラ２０６へと返す(Ｓ００７)。ノッチ位置の検出後、ロボットハンド２ａがチャック１１からウェハ４を持ち、上位装置６へと搬送する(Ｓ００８)。ウェハ４の搬送後、偏芯量を補正したＸＹ補正軸１６を基準位置へと移動させ(Ｓ００９)、一連のアライメント動作は終了する。
【００２７】
一方、ノッチ合わせセンサ１８が、ノッチ４がノッチ合わせ位置２１からずれていたことを検出した場合には、ノッチ合わせ位置ずれカウンタＰに“１”を書き込む(Ｓ０１０)。その後、搬送装置の上位コントローラ２０６にエラー信号“ウェハすべり”を返し、ロボットハンド２ａがウェハ４をアライメントユニット５から持ち出し、アライメント動作を終了する(Ｓ０１１)。アライメント動作終了後、ユーザーの処理等によってエラーが回復され、搬送装置６の上位コントローラ２０６からエラー復帰操作完了の信号が送られてきたらエラー復帰動作を行い(Ｓ０１２)、ノッチ合わせ位置ずれカウンタＰを“０”にし(Ｓ０１３)、ウェハ４が搬送されてきたらアライメント動作が開始できるようにする。
【００２８】
上述のアライメント実行時におけるコントローラ２０の動作について説明する。コントローラ２０は、ウェハ有無センサ１７からＯＮ／ＯＦＦの信号を、センサＩ／Ｆ回路２０１を通してＣＰＵ２００に取り込む。この信号により、ウェハ４がチャック１１の上にあることを検出し、ＳＲＡＭ２０４の中のノッチ合わせ位置ずれカウンタＰを読み込む。ラインセンサ２２によるアライメント動作時においては、ノッチ合わせ位置ずれカウンタＰが“０”であることを検知したらモーター制御回路２０２へ指示を送りウェハ回転モーター１２へ指令パルス信号を発信する。ラインセンサ２２の受光器１４からアナログ信号でウェハ４の偏芯量が送られてくるのでＡ／Ｄ変換回路２０３を通してデジタル信号へと変換しＣＰＵ２００へ送る。ＣＰＵ２００は、送られてきた偏芯量のデータを演算し、偏心量が閾値の範囲内かを判断する。偏心量がその範囲内にある場合、偏芯量の補正を行うためモーター制御回路２０２へ指示を送りＸＹ補正軸１６へと信号パルスを送る。
【００２９】
ノッチの位置ずれ検出動作時においては、ノッチ合わせセンサ１８からＯＮ／ＯＦＦの信号をセンサＩ／Ｆ回路２０１を通して、ＣＰＵ２００に取り込む。ノッチ１０２が確実にノッチ合わせ位置２１に有ることを検出したら、通信回路２０５を経由して上位コントローラ２０６へとアライメント終了の信号を送る。この時、ＳＲＡＭ２０４のノッチ合わせ位置ずれカウンタＰへと“０”を書き込み、アライメント動作を終了する。ノッチ合わせセンサ１８でノッチ１０２を検出できなかった場合、ＳＲＡＭ２０４のノッチ合わせ位置ずれカウンタＰへ“１”を書き込み、エラー信号を出す。上位コントローラ２０６より発信されたエラー復帰処理の信号を、通信回路２０５を通してＣＰＵ２００が受信したら、ＳＲＡＭ２０４のノッチ合わせ位置ずれカウンタＰへと“０”を書き込み、エラーから復帰する。
【００３０】
図８はエラー復帰処理の操作画面を示す図である。エラー信号が発信された場合、サービス員またはユーザーがマニュアルなどを用いてアライメントユニット５のエラー復帰処理を行う。エラーが生じる要因として、搬送されてきたウェハ４の裏面の汚れ、ウェハ４を把持するチャック１１表面の汚れ、ウェハ回転モーター１２の脱調等が挙げられる。
【００３１】
エラー復帰処理は、１.ウェハ４の交換、２.チャック１１表面の清掃、３.レンズ面の清掃等で対処する。ユーザーは、エラー復帰処理作業を行った後、操作端末２５０の画面を用いて作業終了の確認をする。操作画面２５１には、エラー復帰作業終了確認の項目確認ボタン２５２が表示されている。確認ボタン２５２を押下することによってその項目でのエラー復帰処理作業終了が確認されたと判断する。全ての項目確認ボタン２５２が押下されることによってエラー復帰処理終了の信号がアライメントユニット５に発信される（図６のステップＳ０１２参照）。
【００３２】
本実施形態によれば、アライメントセンサでのアライメント終了後に、ノッチ合わせセンサで、回転機構２１による補正動作が正確に行われたか否かを検出することができる。したがって、アライメントの終了後の補正動作時にウェハ４の滑りや回転モーター１２の脱調等が原因でウェハ４が補正位置よりずれているかを実際に検出することにより、ウェハ４の位置及び向きを正確に補正して上位装置へ搬送することができる。すなわち、アライメントユニット及びアライメントユニットを備えたウェハ搬送装置の信頼性を向上させることができる。
【００３３】
本実施形態では、ノッチ合わせセンサ１８を３箇所（９０°，１８０°，２７０°）の位置から選択して固定設置するようにしているが、ノッチの位置が検出できれば、ノッチ合わせセンサ１８の設置位置は、上記の位置に限定されない。さらに、ノッチ合わせセンサ１８には、ノッチ合わせセンサ１８をウェハ４のエッジに沿って移動させるセンサ移動機構が設けられてもよい。図９に示すように、センサ移動機構は、例えば、ノッチ合わせセンサ１８を接続したノッチ合わせ用回転ガイドレール３００と、その回転ガイドレール３００を回転させる回転歯付きモーターとで構成される。このセンサ移動機構を備えることにより、アライメントユニット５は、上位装置の構成に合わせた自由な角度でのノッチ合わせ位置３１を設定できるようにすることができ、ひいてはウェハ４の種類や上位システムに柔軟に対応することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、ノッチ合わせセンサ１８として、反射型のフォトセンサを用いたが、ウェハに対して投光部と受光部とが互いに反対側に設けられた透過型のフォトセンサや、微小なピン等を用いてノッチ位置を検出する機械式のセンサを用いてもよく、また、ラインセンサがノッチ合わせセンサを兼用する構成としてもよく、アライメント後にノッチの位置を検出することができるものであれば特に限定されない。
【００３５】
次に、本発明の第２の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３６】
本実施形態のアライメントユニットの基本的な構成部分は、上述した図２及び図３のアライメントユニット５とほぼ同様である。前実施形態では、ノッチ合わせセンサ１８でウェハ４がスポット光１０３を反射させたことを検出した場合、ノッチがノッチ合わせ位置３１からずれているとの判断（エラー判断）をするようになっているが、ノッチ合わせセンサ１８による誤検出の可能性がある。そのため、本実施形態では、図１０に示すように、ノッチ合わせセンサ１８でノッチの位置ずれが検出されたウェハに再度アライメントを行うことによってノッチ合わせの検出精度を向上させる。
【００３７】
まず、カウンタＰの値を初期値（Ｐ＝０）にする（Ｓ００１）。図６で説明したようにウェハ４のアライメントを行う。すなわち、ラインセンサ２２でノッチ位置及びウェハの偏心量を検出し、ノッチ位置及び偏心量に基づいて、ウェハ４を移動・回転させる（Ｓ００２〜Ｓ００４）。
【００３８】
アライメント後、ノッチ合わせセンサ１８でノッチが所定停止位置にあるか検出する（Ｓ００５）。ノッチがノッチ合わせ位置３１に停止していた場合（ノッチ合わせセンサ１８でスポット光１０３の反射光を検出しなかった場合）、図６で説明したフローと同様に、位置ずれカウンタを“０”にし、上位コントローラ２０６へアライメント終了発信し、ロボットハンド２ａがチャック１１からウェハ４を受けとり、上位装置６へ搬送する。また、ＸＹ補正機構１６を基準位置へ戻す（Ｓ００６〜Ｓ００９）。
【００３９】
ノッチがノッチ合わせ位置２０からずれていた場合（ノッチ合わせセンサ１８でスポット光１０３の反射光を検出した場合）、位置ずれカウンタＰに“Ｐ＝Ｐ＋１”の値を書き込む(Ｓ０１３)。ノッチ合わせ位置ずれカウンタＰに入力されている値が２以上か２未満かを判断する(Ｓ０１４)。Ｐの値がＰ≧２を満たしてなければ（Ｐ＝１であれば）、ステップＳ００２へ戻り、再アライメントを行う。
【００４０】
再アライメント後、再度ステップＳ０１５のＰ値判定においてＰが２以上であれば（アライメント回数が２回以上）、上位コントローラ２０６へ“ウェハすべり”のエラーがあったことを通知する。以降、ユーザーがエラーの復帰処理を行うと、上位コントローラ２０６からエラー復帰処理完了（Ｓ０１２）の信号を受信し、位置ずれカウンタＰの値を“０”にして終了する。
【００４１】
本実施形態では、１回目のノッチの位置ずれ検出において、ノッチの位置ずれが生じていると検出されても、ノッチ合わせセンサ１８の誤検出の可能性も考慮し、再びアライメントとノッチの位置検出を行っている。すなわち、ノッチの位置ずれ検出の試行回数を２回とし、２回ともノッチのずれが生じていた場合のみエラーとしている。これにより、ノッチの位置ずれ検出の確実性を向上させ、ノッチの位置ずれが検出された際に行うエラー復帰処理のための装置の運転停止の頻度を必要以上に増やすことなく、スループットを向上させることができる。なお、本実施形態では、試行回数を２回としたが３回以上としてもよい（図１０のステップＳ０１５において、Ｐ≧ｎ（ｎは３以上））。
【００４２】
以上、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、他にも種々のものが想定される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係る一実施形態のウェハ搬送装置を示す概略図である。
【図２】一実施形態のウェハアライメントユニットを示す側面図である。
【図３】図２のウェハアライメントユニットの上面図である。
【図４】ウェハ４とノッチ合わせセンサ１８の要部拡大斜視図である。
【図５】ノッチ合わせセンサの出力信号を説明する図である。
【図６】第１の実施形態のウェハアライメント方法を示すフローチャートである。
【図７】コントローラのハードウェアブロック図である。
【図８】エラー復帰処理の操作端末画面である。
【図９】位置合わせセンサの変形例を示す斜視図である。
【図１０】第２の実施形態のウェハアライメント方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４４】
１．筐体  ２．ウェハ搬送ロボット  ３．ＦＯＵＰ  ４．ウェハ  ５．アライメントユニット  ６．上位装置  １１．チャック  １２．ウェハ回転モーター  １３．ラインセンサ投光器  １４． ラインセンサ受光器  １８．ノッチ合わせセンサ  ２０．コントローラ  ２１．回転機構  ２２．ラインセンサ
【図１】
2010123824.tif 000003
【図２】
2010123824.tif 000004
【図３】
2010123824.tif 000005
【図４】
2010123824.tif 000006
【図５】
2010123824.tif 000007
【図６】
2010123824.tif 000008
【図７】
2010123824.tif 000009
【図８】
2010123824.tif 000010
【図９】
2010123824.tif 000011
【図１０】
2010123824.tif 000012