(57)【要約】【課題】簡単な構造で、機能液貯留手段より機能液滴吐出ヘッドに至る流路から気泡を排除できる吐出ヘッド機構等を提供することを課題とする。【解決手段】機能液貯留手段１４１と機能液滴吐出ヘッド１６とを接続する配管ユニット１４３は、上流側に機能液貯留手段１４１に連なる単一の流入ポート２０１を形成すると共に、流出側に主流出ポート２０２および上向きに延在する副流出ポート２０３を形成した分岐継手１６１と、上流端が主流出ポート２０２に接続され、下流端が主ヘッド内流路に連なる機能液管路１６３と、上流端が副流出ポート２０３に接続され、下流端がエアー排出部に連なるエアー抜き管路１６４と、を有し、エアー排出部は、主ヘッド内流路とは独立して機能液滴吐出ヘッド１６に形成され、副機能液導入口５２ｂから不吐出ノズル６５ｂに至る副ヘッド内流路により構成されている。【選択図】図３
2010029861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出に伴って、機能液を貯留する機能液貯留手段と前記機能液滴吐出ヘッドとを接続する配管ユニットを介して、前記機能液滴吐出ヘッドの主機能液導入口から吐出ノズルに至る主ヘッド内流路に、前記機能液貯留手段から機能液を供給する吐出ヘッド機構であって、
前記配管ユニットは、
上流側に前記機能液貯留手段に連なる単一の流入ポートを形成すると共に、流出側に主流出ポートおよび上向きに延在する副流出ポートを形成した分岐継手と、
上流端が前記主流出ポートに接続され、下流端が前記主ヘッド内流路に連なる機能液管路と、
上流端が前記副流出ポートに接続され、下流端がエアー排出部に連なるエアー抜き管路と、を有し、
前記エアー排出部は、前記主ヘッド内流路とは独立して前記機能液滴吐出ヘッドに形成され、副機能液導入口から不吐出ノズルに至る副ヘッド内流路により構成されていることを特徴とする吐出ヘッド機構。
【請求項２】
前記機能液滴吐出ヘッドの前記ノズル面に密接するキャップを介して、前記吐出ノズルおよび前記不吐出ノズルに対し吸引動作をする吸引手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の吐出ヘッド機構。
【請求項３】
前記分岐継手は、前記機能液滴吐出ヘッドの近傍に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出ヘッド機構。
【請求項４】
前記副流出ポートは、基部に機能液に混入したエアーを補足するエアートラップ部を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吐出ヘッド機構。
【請求項５】
前記主流出ポートは、下向きに延在していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の吐出ヘッド機構。
【請求項６】
前記分岐継手は、同軸上の２つの分岐ポートをそれぞれ前記副流出ポートおよび前記主流出ポートとし、これらを上下に配置した横向き姿勢のＴ字分岐継手で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出ヘッド機構。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の吐出ヘッド機構と、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるＸＹ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出に伴って、機能液貯留手段から機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する吐出ヘッド機構およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、印字ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）を備えたインクジェット式記録装置の吐出ヘッド機構において、インクチューブを介してインクタンクの機能液を印字ヘッドのマニホールド（ヘッド内流路）に供給する際、マニホールドを流れているインクに気泡が混入していると、圧電素子等のアクチュエータによるポンプ力が気泡に吸収されてしまうため、インクが適切に吐出されないときがあった。そのため、印字ヘッドのインク導入口部からインクタンクに戻るバイパスチューブを設けて、インクタンクからインクチューブ、インク導入口部およびバイパスチューブを経てインクタンクに戻る閉流路を構成し、この閉流路内でインクをインク循環用ポンプにより循環させることにより、インクに混入した気泡をインクタンクに排出させることで、印字ヘッドに気泡の混入したインクを流入させないようにする吐出ヘッド機構が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１０３０７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の吐出ヘッド機構では、インク循環用ポンプは元よりバイパスチューブ等の複数本のチューブを設ける必要があり、機械的な構造が複雑になると共に、これに伴って制御系も複雑になる問題があった。
また、気泡を排出すべく気泡の混入したインクをインクタンクに回収することから、印字ヘッドに気泡の混入した機能液を流入させないようにできたとしても、インクタンクに貯留しているインクには気泡（エアー）が供給されることとなっていた。したがって、インクに混入した気泡に含まれる酸素や水分とインクに溶解しているインク成分とが反応して機能液の品質が低下したり、インクタンクへのインクの供給に伴う液面の波立ちにより、インクにエアーが再混入したりする問題があった。
【０００５】
本発明は、簡単な構造で、機能液貯留手段より機能液滴吐出ヘッドに至る流路から気泡を排除できる吐出ヘッド機構およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の吐出ヘッド機構は、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出に伴って、機能液を貯留する機能液貯留手段と機能液滴吐出ヘッドとを接続する配管ユニットを介して、機能液滴吐出ヘッドの主機能液導入口から吐出ノズルに至る主ヘッド内流路に、機能液貯留手段から機能液を供給する吐出ヘッド機構であって、配管ユニットは、上流側に機能液貯留手段に連なる単一の流入ポートを形成すると共に、流出側に主流出ポートおよび上向きに延在する副流出ポートを形成した分岐継手と、上流端が主流出ポートに接続され、下流端が主ヘッド内流路に連なる機能液管路と、上流端が副流出ポートに接続され、下流端がエアー排出部に連なるエアー抜き管路と、を有し、エアー排出部は、主ヘッド内流路とは独立して機能液滴吐出ヘッドに形成され、副機能液導入口から不吐出ノズルに至る副ヘッド内流路により構成されていることを特徴とする。
【０００７】
この場合、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密接するキャップを介して、吐出ノズルおよび不吐出ノズルに対し吸引動作をする吸引手段を、さらに備えたことが好ましい。
【０００８】
これらの構成によれば、機能液貯留手段から配管ユニットに導入された流れている機能液に気泡が混入していると、その気泡は、分岐継手において、その浮力により、主流出ポートへ向かわずに、上向きに延在している副流出ポートへ向かって上昇し、エアー抜き管路を介して副ヘッド内流路に排出される。このため、主流出ポートに連なる主ヘッド内流路には、気泡の混入していない機能液が供給される。また、この状態で適宜吸引手段により吸引動作を行えば、副ヘッド内流路に導かれた気泡を機能液と共に吸引して、キャップに排出することができる。すなわち、ノズル詰まり防止のための吸引動作を行うのと同時に副ヘッド内流路から気泡（実際には、気泡の混入した機能液）を吸引排除することができる。
なお、この場合の機能液滴吐出ヘッドとして、２列のノズル列を有するいわゆる２連の機能液滴吐出ヘッドを活用することが可能である。
【０００９】
これらの場合、分岐継手は、機能液滴吐出ヘッドの近傍に設けられていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、混入した気泡が分岐継手の副流出ポートから副ヘッド内流路へ排出された（気泡を混入しない）状態で、主流出ポートから機能液滴吐出ヘッドに向かって流出した機能液に対し、機能液管路内で気泡が発生するおそれがあるところ、機能液管路が極端に短くなるため、そのおそれがほとんどない。特に、ガスバリア性の低い樹脂チューブ等で流路を構成した場合に有用である。
【００１１】
これらの場合、副流出ポートは、基部に機能液に混入したエアーを補足するエアートラップ部を有することが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、機能液の流速が速い場合でも、機能液に混入した気泡がエアートラップ部により確実に補足されるため、主流出ポート側への気泡の流出を防止することができると共に、副流出ポートからエアー抜き管路へ気泡を確実に導くことができる。
【００１３】
これらの場合、主流出ポートは、下向きに延在していることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、気泡の混入した機能液が分岐継手を通過する際に気泡が副ヘッド内流路へ排出されぬまま機能液管路に流出された場合や、機能液管路内で新たに気泡が発生した場合のように、機能液管路を流れている機能液に気泡が混入していたとしても、その気泡は、浮力により上昇して分岐継手の主流出ポートから副流出ポートへと導かれるため、副ヘッド内流路へ排出される。したがって、主ヘッド内流路に気泡の混入した機能液が流入することをより確実に防止することができる。
【００１５】
また、これらの場合、分岐継手は、同軸上の２つの分岐ポートをそれぞれ副流出ポートおよび主流出ポートとし、これらを上下に配置した横向き姿勢のＴ字分岐継手で構成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、上向きに延在するＴ字分岐継手の一方の分岐ポート（副流出ポート）に対して、他方の分岐ポート（主流出ポート）は下向きに延在すると共に、流入ポートは両分岐ポートに直交する。したがって、機能液の流れは、流入ポートから主流出ポート間で９０°折曲することとなるため、機能液に混入した気泡が機能液の流れから分離しやすくなり、副流出ポートへ上昇しやすくなる。
また、機能液管路を流れている機能液に気泡が混入していたとしても、その気泡は、浮力により上昇して分岐継手の主流出ポートから副流出ポートへと導かれるため、副ヘッド内流路へ排出される。このように、Ｔ字分岐継手を横向き姿勢で用いる簡単な構成により、気泡の分離および排除を行うことができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、上記した吐出ヘッド機構と、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるＸＹ移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、液滴吐出装置全体の機械的構造や制御動作にほとんど変更を加えることなく、機能液貯留手段より機能液滴吐出ヘッドに至る流路から気泡を排除することができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２１】
これらの構成によれば、機能液貯留手段より機能液滴吐出ヘッドに至る流路から気泡を排除することができる液滴吐出装置を用いて製造されることから、描画精度が高く、機能液の劣化がないため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２２】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２３】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の吐出ヘッド機構によれば、簡単な構造で、機能液貯留手段より機能液滴吐出ヘッドに至る流路から気泡を排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。
【図２】実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図である。
【図３】実施形態に係る配管ユニットを介して、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する動作を模式的に表した図である。
【図４】他の実施形態に係る配管ユニットを介して、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する動作を模式的に表した図である。
【図５】実施形態に係る機能液タンクの斜視図である。
【図６】実施形態に係る中空針接続部材の要部断面図である。
【図７】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図８】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１３】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１４】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１７】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２２】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２３】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２４】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置１を模式的に表した平面図である。詳細は後述するが、この液滴吐出装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド１６に導入して、基板等のワークＷ上に機能液滴による成膜部を形成するものである。
【００２７】
液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に設置されたヘッド機能回復装置４と、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する機能液タンク１４１等を有する機能液供給装置６と、を備え、ヘッド機能回復装置４により機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を定期的に行うと共に、描画装置３によりワークＷ上に機能液滴による描画を行うようにしている。さらに、この液滴吐出装置１には、ヘッド機能回復装置４の吸引ユニット８２で吸引した機能液を回収する機能液回収装置７（図３および図４参照）、上記の各構成装置を統括制御する制御装置（図示省略）等が組み込まれている。
【００２８】
描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを有している。そして、ヘッドユニット１５には、サブキャリッジ（図示省略）を介して、機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されている。この場合、基板であるワークＷは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対のワーク認識カメラ１７，１７により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。なお、機能液滴吐出ヘッド１６は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために副走査方向（Ｙ軸方向）に対して所定角度傾けて配設することが可能である。また、図示のヘッドユニット１５には、１個の機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されているが、これが複数であってもよい。
【００２９】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これにワークＷを吸着搭載する吸着テーブル２３およびワークθ軸テーブル２４等から成るワークテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有し、これにヘッドθ軸テーブル３２を介して上記のメインキャリッジ１４を移動自在に搭載して、構成されている。
【００３０】
この場合、Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３３，３３に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。
【００３１】
そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置する機能回復エリア４２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア４１に臨ませ、また機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行う場合には、ヘッドユニット１５を機能回復エリア４２に臨ませる。
【００３２】
一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、ワークＷをＸ軸テーブル１２にセットするためのワーク導入エリア４３となっており、このワーク導入エリア４３には、上記一対のワーク認識カメラ１７，１７が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ１７，１７により、吸着テーブル２３上に供給されたワークＷの２箇所の基準マークが同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントがなされる。
【００３３】
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６は、いわゆる２連のものであり、ワークＷに対し機能液滴の吐出を行う多数の吐出ノズル６５ａを等ピッチで並べて構成した吐出ノズル列６４ａと、ワークＷに対して機能液滴の吐出を行わない不吐出ノズル６５ｂを等ピッチで並べて構成した不吐出ノズル列６４ｂとを有している。また、吐出ノズル６５ａおよび不吐出ノズル６５ｂにそれぞれ連通する主接続針５２ａ（主機能液導入口）および副接続針５２ｂ（副機能液導入口）を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なり、主接続針５２ａおよび副接続針５２ｂにそれぞれ対応する主ヘッド基板５３ａおよび副ヘッド基板５３ｂと、機能液導入部５１の下方（同図では上方）に連なるヘッド本体５４とを有している。また、ヘッド本体５４は、ピエゾ素子等で構成され、主接続針５２ａおよび副接続針５２ｂにそれぞれ対応する主ポンプ部６１ａおよび副ポンプ部６１ｂと、主ポンプ部６１ａおよび副ポンプ部６１ｂにそれぞれ対応する上記の吐出ノズル６５ａおよび不吐出ノズル６５ｂを形成したノズル面６３を有するノズルプレート６２と、を有している。
【００３４】
ヘッド本体５４の内部には、主接続針５２ａから吐出ノズル６５ａに至る主ヘッド内流路と、副接続針５２ｂから不吐出ノズル６５ｂに至る副ヘッド内流路とが相互に独立して形成されている。
詳細は後述するが、主接続針５２ａおよび副接続針５２ｂには、機能液供給装置６の機能液チューブ１６３およびエアー抜きチューブ１６４がそれぞれ接続されている（図３および図４参照）。そして、主ヘッド内流路には、機能液チューブ１６３を介して気泡の混入していない機能液が供給され、主ヘッド内流路を満たした機能液が吐出ノズル６５ａからワークＷに吐出される。一方、副ヘッド内流路には、エアー抜きチューブ１６４を介して気泡の混入した機能液が排出される。ただし、副ヘッド内流路は、主ヘッド内流路と略同様の構成であって、ワークＷに対して不吐出ノズル６５ｂから機能液滴を吐出させることも可能である。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１６は、吐出ノズル６５ａおよび不吐出ノズル６５ｂの双方から液滴吐出を行わせることができる。
【００３５】
なお、実施形態の機能液滴吐出ヘッド１６は、多数の不吐出ノズル６５ｂを有しているが、不吐出ノズル６５ｂの個数は、機能液に混入した気泡を排出するのに十分であれば任意であり、例えば１個であってもよい。もっとも、実施形態のように、吐出ノズルとして機能し得る多数のノズルで構成された２列のノズル列のうち一方を不吐出ノズル列６４ｂとし、不吐出ノズル列６４ｂの多数のノズルを不吐出ノズル（エアー排出部）として機能させることで、既存のいわゆる２連の機能液滴吐出ヘッド１６を有効に活用することができる。
また、機能液滴吐出ヘッド１６は、吐出ノズル列６４ａおよび不吐出ノズル列６４ｂの２列のノズル列を有しているが、３列以上のノズル列を有し、そのうち１列以上を不吐出ノズル列６４ｂとした構成であってもよい。
【００３６】
ここで、図１を参照して、描画装置３によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル２３にセットされたワークＷの位置補正が、Ｘ軸テーブル１２によるＸ軸方向の位置補正およびワークθ軸テーブル２４によるθ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１５の位置補正が、Ｙ軸テーブル１３によるＹ軸方向の位置補正およびヘッドθ軸テーブル３２によるθ軸方向の位置補正によりなされる。
【００３７】
次に、ワークＷをＸ軸テーブル１２により主走査方向（Ｘ軸方向）に往復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１６を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット１５をＹ軸テーブル１３により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド１６の駆動とが行われる。そして、これを複数回繰り返すことで、ワークＷの端から端まで描画が行われる。
なお、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向へのワークＷの移動を主走査とし、Ｙ軸方向へのヘッドユニット１５の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット１５を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１５をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。
【００３８】
メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース７１と、共通ベース７１をＸ軸方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール７２と、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）とを備えており、共通ベース７１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットをＸ軸方向に移動させる。
【００３９】
ヘッド機能回復装置４は、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置した保管ユニット８１と、吸引ユニット８２と、ワイピングユニット８３とを備えている。
保管ユニット８１は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出ノズル６５ａの乾燥を防止すべくこれを封止する。すなわち、保管ユニット８１には、機能液滴吐出ヘッド１６に対応する封止キャップ９１が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止時にヘッドユニット１５に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３に封止キャップ９１を密着させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３における機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【００４０】
吸引ユニット８２は、機能液滴吐出ヘッド１６を吐出ノズル６５ａおよび不吐出ノズル６５ｂ側から吸引するものであり、機能液滴吐出ヘッド１６内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に用いられる。すなわち、吸引ユニット８２には、機能液滴吐出ヘッド１６に対応して位置し、底部位に液体吸収材が敷設された吸引キャップ１０１と、吸引キャップ１０１を介して機能液滴吐出ヘッド１６の吸引を行う吸引ポンプ１０２と、吸引キャップ１０１を昇降させる昇降機構（図示省略）と、吸引キャップ１０１と吸引ポンプ１０２とを接続する吸引チューブ１０３とが設けられており、吸引キャップ１０１を上昇させ機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３に密着させて、ポンプ吸引を行う。そして、吸引した機能液は、後述する機能液回収装置７の回収タンク１２１に導かれるようになっている。
なお、詳細は後述するが、この吸引ユニット８２は、請求項にいう吐出ヘッド機構の吸引手段としても機能しており、副ヘッド内流路に導かれた気泡を機能液と共に吸引してキャップに排出する場合にも用いられる。
【００４１】
ワイピングユニット８３は、シート供給ユニット１１１と、拭取りユニット１１２とを備えており、ワイピングシート１１３が繰出し且つ巻取り自在に設けられている。また、図示しないが、洗浄液タンクに貯留する洗浄液（機能液の溶媒等）を洗浄液散布ノズルを介してワイピングシート１１３に供給する洗浄液供給装置を備えている。シート供給ユニット１１１と拭取りユニット１１２とは、メンテナンス系移動テーブル５上に、拭取りユニット１１２を上記の吸引ユニット８２側に位置させてＸ軸方向に並べて配置されており、機能回復エリア４２に存するヘッドユニット１５に向けてメンテナンス系移動テーブル５の動きにより拭取りユニット１１２がシート供給ユニット１１１と一体に払拭方向たるＸ軸方向の一方（図１では上方）に移動し、洗浄液を染み込ませたワイピングシート１１３を介して、ヘッドユニット１５の機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面６３を払拭する。
【００４２】
機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル５により吸引ユニット８２を機能回復エリア４２に移動させると共に、上述したようにＹ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５を機能回復エリア４２に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１６のクリーニング（ポンプ吸引）を行う。またクリーニングを行った場合には、続いてメンテナンス系移動テーブル５によりワイピングユニット８３を機能回復エリア４２に移動させ、クリーニングによりノズル面６３が汚れた機能液滴吐出ヘッド１６のワイピングを行う。
【００４３】
機能液回収装置７は、吸引ユニット８２で吸引した機能液を貯留するためのもので、吸引した機能液を貯留する回収タンク１２１と、吸引ポンプ１０２に接続され、吸引した機能液を回収タンク１２１へ導く回収用チューブ１２２とを有している。
【００４４】
次に、液滴吐出装置１に備えられる機能液供給装置６について詳細に説明する。図３に示すように、機能液供給装置６は、液滴吐出装置１の描画エリア４１の近傍に位置しており（図１参照）、機能液を貯留する機能液タンク１４１と、機台２上に設けられ、機能液タンク１４１を載置する昇降機構付きのタンク架台１４２と、機能液タンク１４１と機能液滴吐出ヘッド１６とを接続する配管ユニット１４３とを備えており、機能液滴吐出ヘッド１６のポンプ作用（機能液の吐出）で機能液タンク１４１内の機能液を、配管ユニット１４３を介して機能液滴吐出ヘッド１６に供給する。
なお、この機能液供給装置６の機能液タンク１４１および配管ユニット１４３、並びに上記の機能液滴吐出ヘッド１６および吸引ユニット８２により、請求項にいう吐出ヘッド機構が構成されている。
【００４５】
機能液タンク１４１は、タンク架台１４２により昇降自在に載置され、機能液滴吐出ヘッド１６よりも低い位置に、すなわち所定の水頭差を生じさせる高さ位置に調整した状態で設置されており、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出ノズル６５ａからの液だれを防ぐと共に、所定量の液滴吐出が為されるようになっている。図５に示すように、機能液タンク１４１は、図外の樹脂ケースに収容された機能液パック１５１を有している。機能液パック１５１は、例えばアルミ蒸着フィルムから成り、変形可能な柔軟性を有する袋状のパック本体１５２で主要部が構成され、パック本体１５２の一端には、機能液供給口１５３が設けられている。機能液供給口１５３は、樹脂材料により所定の強度を有して構成され、パック本体１５２側である基部側の取付孔部１５４と、取付孔部１５４と一体に形成された外側のフランジ部１５５とで構成されている。フランジ部１５５は、外殻を円形状に形成されていると共に、その中心部にパック本体１５２内に連通してインク流出口となる円形の開口部１５６が形成されている。また、機能液供給口１５３は、開口部１５６を栓するブチルゴム製の弾性接続部１５７を有している。そして、配管ユニット１４３のタンク接続チューブ１６２（後述する）上流端に取り付けられた中空針１６７をこの弾性接続部１５７に差し込むことにより、配管ユニット１４３を介して、機能液タンク１４１と機能液滴吐出ヘッド１６とが連通される。
なお、機能液タンク１４１には、製造過程で十分に脱気された機能液がエアーを排除した気密状態で封入されており、機能液中に残留・溶解した酸素等による吐出性能の低下、機能液の変質、乾燥工程におけるクラックの発生等の問題を防止している。また、機能液パック１５１は、ケースに収容しカートリッジ構造とすることが好ましい。
【００４６】
配管ユニット１４３は、機能液滴吐出ヘッド１６の近傍に設けたＴ字分岐継手１６１と、Ｔ字分岐継手および機能液タンク１４１を接続するタンク接続チューブ１６２と、Ｔ字分岐継手１６１および機能液滴吐出ヘッド１６の主接続針５２ａを接続する機能液チューブ１６３と、Ｔ字分岐継手１６１と機能液滴吐出ヘッド１６の副接続針５２ｂを接続するエアー抜きチューブ１６４とで接続されている。
また、機能液チューブ１６３およびエアー抜きチューブ１６４は、硬質樹脂で構成されており、これらに接続したＴ字分岐継手１６１を所定の姿勢（後述する）に支持している。さらに、タンク接続チューブ１６２は、内層をガス透過性の低いエチレンビニルアルコール、外層を防水性の高いポリエチレン等で構成する等、ガスバリア性および防水性に優れたもので構成することが好ましく、これによれば、エアー中の酸素や水分等がチューブを透過してチューブ内を流れる機能液と反応することを防止できる。
【００４７】
機能液チューブ１６３と主接続針５２ａとはブチルゴム製の主ヘッド側コネクタ１６５を、エアー抜きチューブ１６４と副接続針５２ｂとはブチルゴム製の副ヘッド側コネクタ１６６を介して、それぞれ接続されている。また、タンク接続チューブ１６２の上流端には、中空針接続部材１６８を介して、機能液タンク１４１の弾性接続部１５７に差し込むための中空針１６７が接続されている。
【００４８】
図６に示すように、中空針接続部材１６８は、中空針１６７が軸心に挿嵌する針側接続部材１７１と、タンク接続チューブ１６２が軸心に挿嵌する供給管路側接続部材１７２とを有し、両者をフランジ接合することで、中空針１６７をタンク接続チューブ１６２の上流端に接続している。針側接続部材１７１は、真鍮製で円板状の針側フランジ１８１を有しており、その軸心の貫通孔１８２に挿嵌する中空針１６７の針基部には、貫通孔１８２に対するシール用の小径Ｏリング１８３が介装されている。
【００４９】
供給管路側接続部材１７２は、真鍮製で円板状の管路側フランジ１９１と、その一方の面に同心円状に突設させた雄ねじ部１９２に被着される真鍮製の雌ねじ部材１９６とを有している。管路側フランジ１９１の他方の面には、上記の小径Ｏリング１８３の外径と略同径の同心円状の凹部１９３が形成されていると共に、その軸心には、雄ねじ部１９２から凹部１９３を貫通する貫通孔１９４が形成されている。雌ねじ部材１９６は、雄ねじ部１９２と相補的形状をした断面円形のキャップ状であって、底部位の軸心に差込孔１９７が形成されると共に、その内側面に雌ねじが形成されており、雄ねじ部１９２の外側面に形成された雄ねじに螺合して管路側フランジ１９１に固定される。タンク接続チューブ１６２は、上流端が凹部１９３内に位置するように、雌ねじ部材１９６の差込孔１９７から管路側フランジ１９１の貫通孔１９４に差し込まれている。また、雄ねじ部１９２の上面と雌ねじ部材１９６の底内面との間には、貫通孔１９４に対するシール用の大径Ｏリング１９８が介装されている。
【００５０】
そして、針側接続部材１７１の小径Ｏリング１８３を管路側フランジ１９１の凹部１９３に嵌合させると共に、針側フランジ１８１および管路側フランジ１９１をフランジ接合することにより、中空針１６７とタンク接続チューブ１６２とが接続される。
【００５１】
Ｔ字分岐継手１６１は、同径に形成した流入ポート２０１と、主流出ポート２０２と、副流出ポート２０３とを有しており、樹脂またはステンレス等で構成されている。この場合、Ｔ字分岐継手１６１は、その副流出ポート２０３が上向きに、主流出ポート２０２が下向きに、そして流入ポート２０１が水平になるように、上述した硬質樹脂製の機能液チューブ１６３およびエアー抜きチューブ１６４により横向き姿勢に保持されている。すなわち、副流出ポート２０３および主流出ポート２０２は同軸上に位置して上下に配置されている。そして、各ポートと各チューブとを熱溶着等で接合し、ユニット化して全体として交換可能に構成することが好ましい。
なお、機能液チューブ１６３およびエアー抜きチューブ１６４を柔軟な可とう性のチューブで構成し、Ｔ字分岐継手１６１をパイプサポートにより支持するようにしてもよい。
【００５２】
このように構成された機能液供給装置６において、機能液滴吐出ヘッド１６の液滴吐出に伴って主ヘッド内流路内が負圧になると、配管ユニット１４３のタンク接続チューブ１６２および機能液チューブ１６３を介して、機能液タンク１４１から機能液が主ヘッド内流路に供給される。なお、機能液タンク１４１から主ヘッド内流路に至る流路に機能液を初期充填する際は、吸引ユニット８２により吐出ノズル６５ａおよび不吐出ノズル６５ｂに対して吸引動作が行われる。このため、副ヘッド内流路に連通する不吐出ノズル６５ｂからは機能液滴を吐出しないが、Ｔ字分岐継手１６１の副流出ポート２０３から機能液滴吐出ヘッド１６の副ヘッド内流路に至る流路についても、機能液で満たされている。
【００５３】
ところで、機能液タンク１４１から機能液滴吐出ヘッド１６に至る流路では、機能液タンク１４１の交換等のために中空針１６７を弾性接続部１５７に抜差しする際に中空針１６７からエアーが侵入したり、エアーが各チューブ（特に、非ガスバリア性のチューブ）を透過したりすることで、機能液に気泡が混入するときがあるため、Ｔ字分岐継手１６１内の流路において、機能液から気泡を分離するようにしている。すなわち、流入ポート２０１から流入した機能液は、Ｔ字分岐継手１６１内の流路で流入ポート２０１に対向する内壁に当たって９０°下向きに折曲するようにして（図３に機能液の流れを矢印２１１で示す）、主流出ポート２０２へ流出する。したがって、Ｔ字分岐継手１６１内の流路の分岐部において乱流が発生するため、機能液に混入していた気泡は、機能液の流れから分離しやすくなり、副流出ポート２０３へ上昇する。そして、副流出ポート２０３へ上昇した気泡は、エアー抜きチューブ１６４を介して、機能液に混入した状態で副ヘッド内流路に導かれる。
【００５４】
また、Ｔ字分岐継手１６１は、機能液滴吐出ヘッド１６の近傍に設けられていることから、機能液チューブ１６３が極端に短くなるため、エアーが機能液チューブ１６３を透過することで、機能液チューブ１６３内で新たに気泡が発生するおそれが少なくなる。
さらに、主流出ポート２０２が下向きに延在していることから、機能液チューブ１６３内で新たに気泡が発生したとしても、その気泡は、浮力により上昇してＴ字分岐継手１６１の主流出ポート２０２から副流出ポート２０３へと導かれるため、副ヘッド内流路へ排出される。したがって、主ヘッド内流路に気泡の混入した機能液が流入することを確実に防止することができる。なお、Ｔ字分岐継手１６１が機能液滴吐出ヘッド１６の近傍に設けられておらず、機能液チューブ１６３が極端に短くない場合には、機能液チューブ１６３内で新たに気泡が発生するおそれがあるが、この場合でも、主流出ポート２０２が下向きに延在していれば、機能液チューブ１６３内で発生した気泡を副ヘッド内流路へ排出することができる。
【００５５】
そして、機能液が機能液滴吐出ヘッド１６の主ヘッド内流路に供給されるのに従って、機能液に混入していた気泡がエアー抜き管路や副ヘッド内流路に溜まっていくが、この状態で、上記の吸引ユニット８２により吸引動作を行えば、副ヘッド内流路に導かれた気泡を機能液と共に吸引して、吸引キャップ１０１に排出することができる。この場合、ノズル詰まり防止のための吸引動作（クリーニング）を行うのと同時に副ヘッド内流路から気泡の混入した機能液を吸引排除することができるため、エアー抜き管路や副ヘッド内流路に溜まった気泡を排出するための新たな装置を設けたり、複雑な制御動作を行う必要がない。
【００５６】
なお、Ｔ字分岐継手１６１は、副流出ポート２０３が上向きに延在していればよく、上記の構成以外にも、例えば図４示すように、機能液滴吐出ヘッド１６の近傍に位置して、副流出ポート２０３が上向きに、そして主流出ポート２０２および流入ポート２０１が水平になる（流入ポート２０１と主流出ポート２０２とが同軸上に位置する）ように、機能液チューブ１６３およびエアー抜きチューブ１６４により保持される構成であってもよい。この場合、上記の構成とは異なり、流入ポート２０１から流入した機能液は、Ｔ字分岐継手１６１内の流路で折曲せず、直線的に流れて主流出ポート２０２へ向かうことから（同図に機能液の流れを矢印２１２で示す）、気泡が機能液から分離しにくいため、副流出ポート２０３の基部には、機能液に混入したエアー（気泡）を補足するエアートラップ部２０４を設けている。このエアートラップ部２０４は、副流出ポート２０３を流入側に向かって漏斗状に拡径した構成であり、副流出ポート２０３（エアートラップ部２０４）の基部は、主流出ポート２０２の基部よりも径が大きくなっている。これによれば、機能液に混入した気泡がエアートラップ部２０４により確実に補足されるため、主流出ポート２０２側への気泡の流出を防止することができると共に、副流出ポート２０３からエアー抜きチューブ１６４へ気泡を確実に導くことができる。
【００５７】
また、本実施形態では、Ｔ字分岐継手１６１を用いたが、他の形状の分岐継手であってもよく、例えば、流入ポート２０１、主流出ポート２０２および副流出ポート２０３がそれぞれ直交する分岐継手を用いてもよい。
【００５８】
以上のように、機能液に混入した気泡を副ヘッド内流路に排出する構成とするだけで、液滴吐出装置１全体の機械的構造や制御動作にほとんど変更を加えることなく、機能液タンク１４１より機能液滴吐出ヘッド１６（の主ヘッド内流路）に至る流路から気泡を排除することができる。
【００５９】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６０】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図７は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図８は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図８（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６１】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図８（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６２】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００６３】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図８（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６４】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図８（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６５】
図９は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図８に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６６】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図９において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００６８】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６９】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７０】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。
【００７１】
図１０は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７３】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７４】
図１１は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７５】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７６】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７７】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７８】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７９】
次に、図１２は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８０】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８１】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８２】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８３】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８４】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８５】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８６】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８７】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００８８】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８９】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９０】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９１】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１３〜図２１を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１３に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９２】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１４に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１５に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９３】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９４】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【００９５】
図１６に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド１６から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１７に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９６】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９７】
そして次に、図１８に示すように、各色のうちのいずれか（図１８の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９８】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１９に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９９】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１６を用い、図２０に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１００】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１０１】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２１に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０２】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０３】
次に、図２２は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０４】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０５】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０６】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０７】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１６により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０８】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１０９】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１６から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１０】
次に、図２３は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１１】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１２】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１３】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１４】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１５】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２４（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２４（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１１６】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１１７】
１…液滴吐出装置  ６…機能液供給装置  １１…ＸＹ移動機構  １６…機能液滴吐出ヘッド  ５２ａ…主接続針  ５２ｂ…副接続針  ６１ａ…主ポンプ部  ６２ｂ…副ポンプ部  ６５ａ…吐出ノズル  ６５ｂ…不吐出ノズル  ８２…吸引ユニット  １４１…機能液タンク  １４３…配管ユニット  １６１…Ｔ字分岐継手  １６３…機能液チューブ  １６４…エアー抜きチューブ  ２０１…流入ポート  ２０２…主流出ポート  ２０３…副流出ポート  ２０４…エアートラップ部  ５００…カラーフィルタ  ５０８…着色層  Ｗ…ワーク。
【図１】
2010029861.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2010029861.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
2010029861.tif 000023
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【手続補正書】
【提出日】平成21年11月19日(2009.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のノズルと第２のノズルとを有する機能液滴吐出ヘッドの吸引方法であって、
前記第１のノズルは導入口と連通しており、
前記導入口に機能液を供給する機能液貯留手段と前記導入口との間で前記機能液から気泡を分離し、
前記第２のノズルを吸引することによって、分離された前記気泡を排出することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吸引方法。
【請求項２】
前記第２のノズルを吸引するとともに前記第１のノズルを吸引することによって、前記機能液を排出することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引方法。