(57)【要約】【課題】枠体を確実に把持し、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には歪みやたわみを発生させることなく収納容器から簡単に取り出すことが可能なペリクルの枠体を提供すること、およびそのペリクルの枠体を使用した大型ペリクルを提供すること。【解決手段】本発明によれば、複数の辺からなる多角形形状を有する枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とからなり、前記枠体の最も長い辺の長さが１ｍ以上である大型ペリクルの前記枠体を把持するにあたって、前記枠体はすべての辺部にそれぞれ把持用の凸部または凹部を有する枠体であって、前記枠体の各辺部においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を同時に把持することによって、枠体を確実に把持し、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを簡単に取り出すことを可能にする。【選択図】図１Ａ
2010102357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の辺からなる多角形形状を有する枠体であって、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とを備えることができる、前記枠体の最も長い辺の長さが１ｍ以上である大型ペリクルの前記枠体において、前記枠体は、すべての辺にそれぞれ把持用の凸部または凹部を有する大型ペリクルの枠体。
【請求項２】
前記把持用の凸部または凹部が、枠体の外側面上にある請求項１に記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項３】
前記把持用の凸部または凹部が、枠体の外側面上であって上縁面及び下縁面から離間した位置にある請求項２に記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項４】
前記把持用の凸部または凹部が、溝若しくは穴である請求項１〜３のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項５】
前記把持用の凹部が、奥に拡がった空間部を有する溝または穴である請求項４に記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項６】
前記把持用の凹部が、奥に狭くなった空間部を有する溝または穴である請求項４に記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項７】
前記枠体の各辺の外面側に把持用の凸部または凹部を有し、前記把持用の凸部または凹部のペリクル枠体辺方向に沿った長さがそれぞれの辺の長さの１０％以上であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項８】
前記把持用の凸部または凹部が、枠体のすべての辺全周に渡って設けられている溝である請求項７に記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項９】
前記把持用の凸部または凹部が、枠体の辺に部分的に設けられている溝である請求項７に記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項１０】
前記把持用の凹部が、枠体のすべての辺に複数個ずつ設けられている穴である請求項１〜６のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材からなる大型ペリクル。
【請求項１２】
枠体の最も長い辺の長さが、１．４ｍ以上２．０ｍ以下である請求項１１記載の大型ペリクル。
【請求項１３】
枠体の高さに対する幅の比が１．５〜４．０である請求項１１〜１２のいずれか一つに記載の大型ペリクル。
【請求項１４】
請求項１〜１０のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体の把持方法であって、前記大型ペリクルの枠体のすべての辺においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を把持する大型ペリクルの枠体の把持方法。
【請求項１５】
大型ペリクルの枠体のすべての辺部においてすべての把持用の凸部または凹部を把持する請求項１４記載の大型ペリクルの枠体の把持方法。
【請求項１６】
請求項１１〜１３のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体形状を矯正する方法であって、前記大型ペリクルの枠体のすべての辺においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を把持し、前記大型ペリクルの枠体の少なくとも１箇所に応力を加えることで該枠体の変形を少なくする大型ペリクルの枠体形状の矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの構成部材である枠体に関する。特に液晶用大型ペリクルの構成部材であって長辺長さが１ｍ以上である大型ペリクルの構成部材である枠体に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明はペリクルの構成部材である枠体に関する技術であるが、先ず、ペリクルについて説明する。
【０００３】
従来、半導体装置の製造に於いては、ウエハに回路パターンを形成するリソグラフィー工程において、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体、またはフッ素ポリマーなどの透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）を展張して接着したものである。一般的には、ペリクルは、該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材層に保護フィルムを積層させた製品形態で出荷されることが多い。
【０００４】
前記粘着材層は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、前記保護フィルムは該粘着材層がその用に供するまで粘着材の接着力を維持するために、該粘着材層の接着面を保護するものである。
【０００５】
このようなペリクルは、一般的には、ペリクル製造者から、フォトマスク或いはレティクルを製造するメーカー（以下「マスク製造者」という。）に供給される。マスク製造者は、ペリクルから前記保護フィルムを剥離し、ペリクルを粘着材層でフォトマスク或いはレティクルに貼付の後、該マスク或いはレティクルをリソグラフィーを行うメーカー、例えば半導体装置製造者、または液晶パネル製造者に供給する。
【０００６】
ペリクルの取り扱いは、ペリクルが防塵手段として用いられる性格上、塵埃が付着しないように取り扱うことが必要である。通常、ペリクルを取り扱う際は、枠体の外側面に形成された穴に、ピン状の治具を挿入することにより把持し、治具本体を持つことで、ペリクルに直接人手が触れないようにすることが一般的である（例えば特許文献１を参照。）。また、回転レバーを挿入するための溝を枠体の外側面に形成することによって回転レバーを有する治具を用いて把持し、該治具の本体を持つことで、ペリクルに直接人手が触れないようにすることも提案されている（例えば特許文献２を参照。）。
【０００７】
また、ペリクル製造者からマスク製造者へペリクルを運搬する際は、塵埃を付着させない様、密封性をもつ収納容器にペリクルを入れて運搬を行うことが一般的である。当然に、収納容器内でペリクルが確実に固定されていることが要求されるので、枠体の外側面に形成された穴に、ピン状の治具を挿入することによりペリクルを収納容器に固定する方法も提案されている（例えば特許文献３を参照。）。
【０００８】
また、枠体の外側面に形成された水平突出部を収納容器を構成するトレイとフタとで挟み込むことでペリクルを収納容器に固定する方法も提案されている（例えば特許文献４又は５を参照。）。
【０００９】
さらに、枠体の外側面に形成された突出部または溝もしくは穴によるペリクルの把持・固定機能に留まらず、ペリクルの枠体形状は様々な検討が行われている。たとえば、ペリクルの内部と外部の通気性を確保するために、枠体の外側面から内側面に貫通したフィルター付の穴を設けることが提案されている（例えば特許文献６参照）。
【００１０】
また、フォトマスクのパターン面からペリクル膜までの距離（スタンドオフ）制御（例えば特許文献７〜９を参照。）、マスク粘着材のはみ出し制御（例えば特許文献１０又は１１を参照。）、マスク粘着材の段差形成（例えば特許文献１２を参照）、フォトマスクへの貼り付け時の加圧領域確保（例えば特許文献１３を参照。）のため、枠体の上縁面または下縁面に溝や突起や段差を設けた様々な形状が提案されている。
【００１１】
近年、ＬＣＤの大型化に伴い、フォトマスク及びそれに使用するペリクルも大型化し、最も長い辺の長さが１ｍを超えるものが上市されている。今後も、ペリクル、フォトマスクの大型化は、ＬＣＤの大型化・生産効率向上には必要不可欠であると考えられている。
【００１２】
大型のフォトマスクの場合、素材が合成石英基板であることが多く、材料費は非常に高価である。そのため、設定された有効露光エリアサイズに対し、フォトマスクサイズは極力小さく設計するのが一般的である。
【００１３】
大型のフォトマスクに貼り付けられる大型ペリクルの場合、フォトマスクサイズの制約から、有効露光エリアからフォトマスクの外周端までの間に貼り付けられるペリクルの枠体の幅にも制約があり、ペリクルが大型化したとしても、枠体の幅は大きくできないのが実情である。
【００１４】
さらに、フォトマスクのパターン面からペリクル膜までの距離（スタンドオフ）が露光機の光学系によって制約されるため、枠体の高さにも制約があり、ペリクルが大型化したとしても、枠体の高さも大きくできないのが実情である。
【００１５】
一方、ペリクル膜の面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルの枠体のたわみを抑制する方法としては、枠体の長辺の幅を短辺の幅よりも大きくすることが提案されている（特許文献１４参照）。
【００１６】
また、近年は、マスク等のメーカーがペリクルを収納容器から取り出したら直接マスクに取り付けられるよう、収納容器からペリクルを取り出す際に、保護フィルムをトレイに貼着させた状態で、保護フィルムと粘着材の界面からペリクルを取り出す方法が採用されており、取り出しの際にペリクルに歪み撓みを生じさせることなく取り出す方法が要求されている（例えば特許文献１５を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開平９−２０４０３９号公報
【特許文献２】特開２００５−３２６６３４号公報
【特許文献３】特開２００６−２６７１７９号公報
【特許文献４】特開平１０−４８８１２号公報
【特許文献５】特開平１０−４８８１１号公報
【特許文献６】特開２００１−１３３９６０号公報
【特許文献７】特開２００２−１８２３７３号公報
【特許文献８】特開２００２−１８２３７１号公報
【特許文献９】特開２０００−２９８３３３号公報
【特許文献１０】特開２００５−３３８７２２号公報
【特許文献１１】特開２０００−２９２９１０号公報
【特許文献１２】特開２００６−１６３０３５号公報，図６
【特許文献１３】特開２００５−３０８９０１号公報
【特許文献１４】特開２００１−１０９１３５号公報
【特許文献１５】特開２００７−０１７８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
前述のように、大型ペリクルにおいては、枠体の幅・高さの制約のため、枠体の辺部のたわみは、ペリクルの大型化につれ大きくなってきている。そして、本発明者が、最も長い辺の大きさが１．４ｍ〜２．０ｍの大型ペリクルの作製を検討した結果、従来の方法では枠体の把持が極めて困難であることを見出した。
【００１９】
すなわち、前述の特許文献１〜５に記載のように、枠体の対向する二辺の外側面に形成された溝や穴に、ピン・スライドなどの治具を挿入することによって把持または固定する従来の方法では、枠体の辺部のたわみによって、ピン・スライドなどの治具が溝や穴から外れ易くなり、もはや、枠体の外側面の溝や穴では把持・固定が不可能な状況にある。例えば、穴にピンを挿し込む方法（特許文献１）や、回転レバーを溝に差し込む方法（特許文献２）の場合、枠体の各辺でほぼ一点での支えとなる為、荷重が集中しやすく、枠体の辺部のたわみによって容易に外れてしまうことがある。
【００２０】
枠体の素材変更による高剛性化も対策として考えられるが、ペリクルに求められる無発塵等の品質を鑑みた場合、容易に枠体の素材を変更できないのが実情である。
【００２１】
これまで、前述のように枠体形状については、様々のものが考案されているが、基本的には、制約を受けている枠体の幅・高さの範囲内での枠体形状の工夫である（例えば特許文献６〜１２を参照。）ため、枠体の高剛性化には十分寄与していない。
【００２２】
また、枠体の幅・高さの範囲外での枠体形状の工夫も検討されてはいる（例えば特許文献４又は５を参照）。これは、出願当時の枠体への制約に対しては優れた技術といえる。すなわち、特許文献４又は５の出願当時は、ＬＳＩ用途のペリクルが主流であったため、ＬＳＩ用途のフォトマスクサイズは、一般に一辺が５〜７インチ（１２７〜１７８ｍｍ）と、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用途の大型のフォトマスクサイズ（一辺が３３０〜１４００ｍｍ）に比べれば小さなものであるため、大型のフォトマスクサイズに比べ、ペリクルサイズよりもフォトマスクサイズを比較的大きくすることが可能であった。そのため、枠体の幅・高さの範囲外での枠体形状の工夫は、さほど問題とならなかった。
【００２３】
しかし、今後、さらなる大型ペリクルが普及するにつれて表面化すると考えられる課題、すなわち、フォトマスクサイズを極力小さくするため、ペリクルの大型化の要望の割には、枠体の幅・高さは必要以上に大きくできないという課題に対し、ペリクルの把持方法を改善する必要がある。
【００２４】
取り出し方法については、例えば、矩形の枠体の辺の中央部近傍に配置された保護フィルムに相当するタブ（押さえ代）を接着テープでペリクル収納容器に固定したペリクルをペリクル保持具によって保持しながら、かつ、ペリクル保持具にかかる荷重を検出しながら、保持具と収納容器との距離を離してペリクルを剥離させる方法もある（例えば特許文献１３）。しかし、この方法では、大型ペリクルの場合、辺の中央部に配置されたタブ（押さえ代）が接着テープで収納容器に保持されているため、たとえ、荷重を検出しながら剥離させたとしても、枠体のたわみを避けることができないと考えられる（特許文献１３の図９を参照。）。
【００２５】
即ち、ペリクルの枠体は、確実に把持できることに加えて、その後の収納容器からのペリクルの取り出しに際し、枠体にたわみやねじれを生じさせることなく、取り出すことができる方法が要求されているのである。そして、特に、ペリクル自体の重さが大きくなり、ハンドリングも困難となる大型ペリクルにおいては、収納・運搬・保管に際しては、確実な把持はもちろん、収納容器からの取り出しの際、取り出し後直接マスク等に貼り付けられるよう、保護フィルムと粘着材の界面からペリクルの歪み撓みを生じさせることなく取り出す方法が要求されている。
【００２６】
即ち、本発明は、ペリクルの枠体の取り扱い時や、収納・運搬・保管時に、枠体を確実に把持が可能であり、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを簡単に取り出すことを可能とせしめるペリクルの枠体を提供するものである。また、そのペリクルの枠体を使用した大型ペリクルの把持方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意検討した結果、フォトマスクからの制約を受けないように、ペリクルの枠体のすべての辺部にそれぞれ把持用の凸部または凹部を形成することで、最も長い辺の長さが１．４ｍ〜２．０ｍの大型ペリクルの把持という前記課題を解決せしめることを想起した。検討の結果、該手段は、最も長い辺の長さが１ｍ以上の大型ペリクルにも有効に使用できることを見出し、本願発明の完成に至った。すなわち、本発明は以下のものである。
【００２８】
１．複数の辺からなる多角形形状を有する枠体であって、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とを備えることができる、前記枠体の最も長い辺の長さが１ｍ以上である大型ペリクルの前記枠体において、前記枠体は、すべての辺にそれぞれ把持用の凸部または凹部を有する大型ペリクルの枠体。
２．前記把持用の凸部または凹部が、枠体の外側面上にある上記１に記載の大型ペリクルの枠体。
３．前記把持用の凸部または凹部が、枠体の外側面上であって上縁面及び下縁面から離間した位置にある上記２に記載の大型ペリクルの枠体。
４．前記把持用の凸部または凹部が、溝若しくは穴である上記１〜３のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体。
５．前記把持用の凹部が、奥に拡がった空間部を有する溝または穴である上記４に記載の大型ペリクルの枠体。
６．前記把持用の凹部が、奥に狭くなった空間部を有する溝または穴である上記４に記載の大型ペリクルの枠体。
７．前記枠体の各辺の外面側に把持用の凸部または凹部を有し、前記把持用の凸部または凹部のペリクル枠体辺方向に沿った長さがそれぞれの辺の長さの１０％以上であることを特徴とする上記１〜６のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体。
８．前記把持用の凸部または凹部が、枠体のすべての辺全周に渡って設けられている溝である上記７に記載の大型ペリクルの枠体。
９．前記把持用の凸部または凹部が、枠体の辺に部分的に設けられている溝である上記７に記載の大型ペリクルの枠体。
１０．前記把持用の凹部が、枠体のすべての辺に複数個ずつ設けられている穴である上記１〜６のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体。
１１．上記１〜１０のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材からなる大型ペリクル。
１２．枠体の最も長い辺の長さが、１．４ｍ以上２．０ｍ以下である上記１１記載の大型ペリクル。
１３．枠体の高さに対する幅の比が１．５〜４．０である上記１１〜１２のいずれか一つに記載の大型ペリクル。
１４．上記１〜１０のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体の把持方法であって、前記大型ペリクルの枠体のすべての辺においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を把持する大型ペリクルの枠体の把持方法。
１５．大型ペリクルの枠体のすべての辺部においてすべての把持用の凸部または凹部を把持する上記１４記載の大型ペリクルの枠体の把持方法。
１６．上記１１〜１３のいずれか一つに記載の大型ペリクルの枠体形状を矯正する方法であって、前記大型ペリクルの枠体のすべての辺においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を把持し、前記大型ペリクルの枠体の少なくとも１箇所に応力を加えることで該枠体の変形を少なくする大型ペリクルの枠体形状の矯正方法。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の大型ペリクルの枠体、及び該枠体の把持方法によって、ペリクルの取り扱い時や、収納・運搬・保管時に、枠体を確実に把持することが可能であり、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを簡単に取り出すことが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態（把持用の凹部が溝）を説明するための斜視図であり、フォトマスクに接着された大型ペリクルを示す。
【図１Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態（把持用の凹部が溝）を説明する図であり、枠体を含む部分拡大縦断面図を示す。
【図１Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態（把持用の凹部が溝）を説明する図であり、大型ペリクルの枠体を示す。
【図１Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態（把持用の凸部が板状）を説明するための斜視図であり、フォトマスクに接着された大型ペリクルを示す。
【図１Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態（把持用の凸部が板状）を説明する図であり、枠体を含む部分拡大縦断面図を示す。
【図１Ｆ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態（把持用の凸部が板状）を説明する図であり、大型ペリクルの枠体を示す。
【図２Ａ】従来の小型ペリクルの枠体の一形態を説明するための斜視図であり、フォトマスクに接着されたペリクルを示す。
【図２Ｂ】従来の小型ペリクルの枠体の一形態を説明するための図であり、枠体の溝を含む部分拡大縦断面図を示す。
【図２Ｃ】従来の小型ペリクルの枠体の一形態を説明するための図であり、ペリクルの枠体を示す。
【図３Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図３Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図３Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図３Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図３Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図３Ｆ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図３Ｇ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図４Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図４Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図５Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の下縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図５Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の下縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ｆ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図６Ｇ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【図７Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、把持用の溝若しくは穴が複数設けられた形態例である。
【図７Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、把持用の溝若しくは穴が複数設けられた形態例である。
【図７Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、把持用の溝若しくは穴が複数設けられた形態例である。
【図８Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図８Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図８Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図８Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図９Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図９Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図９Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図１０Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するための枠体の側面方向から見た概略図である。
【図１０Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の配置を説明するための枠体の側面方向から見た概略図である。
【図１１Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの一形態例を説明するための部分拡大縦断面図である。
【図１１Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの一形態例を説明するための部分拡大縦断面図である。
【図１１Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの一形態例を説明するための部分拡大縦断面図である。
【図１１Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの一形態例を説明するための部分拡大縦断面図である。
【図１１Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの一形態例を説明するための部分拡大縦断面図である。
【図１２Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の形態例を説明するための図であり、枠体の外側面方向から見た部分概略図である。
【図１２Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の形態例を説明するための図であり、ペリクル膜を見る方向から見た部分概略図である。
【図１２Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の形態例を説明するための図であり、ペリクル膜を見る方向から見た部分概略図である。
【図１２Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝の形態例を説明するための図であり、ペリクル膜を見る方向から見た部分概略図である。
【図１３Ａ】大型ペリクルの枠体においてコーナー部に設けた穴の配置を説明するための図であり、枠体の外側面方向から見た部分概略図である。
【図１３Ｂ】大型ペリクルの枠体においてコーナー部に設けた穴の配置を説明するための図であり、ペリクル膜を見る方向から見た部分概略図である。
【図１４Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１４Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１４Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１４Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１４Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１４Ｆ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１４Ｇ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１５Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１５Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１５Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１５Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１６Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の下縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１６Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の下縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１６Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の下縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１６Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の下縁面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ｆ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１７Ｇ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【図１８Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１８Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１８Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１８Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１８Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１８Ｆ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１８Ｇ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、突出部が複数設けられた形態例である。
【図１９Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図１９Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図１９Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図１９Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図２０Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図２０Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図２０Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図２０Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図２０Ｅ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。
【図２１Ａ】大型ペリクルの枠体に設けた突出部が枠体辺部に脱着自在に固定されている形態であるときの部分拡大縦断面図であり、ねじ止めを示した。
【図２１Ｂ】大型ペリクルの枠体に設けた突出部が枠体辺部に脱着自在に固定されている形態であるときの部分拡大縦断面図であり、カプラーによる固定を示した。
【図２１Ｃ】大型ペリクルの枠体に設けた突出部が枠体辺部に脱着自在に固定されている形態であるときの部分拡大縦断面図であり、弾性体による固定を示した。
【図２１Ｄ】大型ペリクルの枠体に設けた突出部が枠体辺部に脱着自在に固定されている形態であるときの部分拡大縦断面図であり、挟み込みによる固定を示した。
【図２２Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の他形態（突出部が棒状）を説明するための斜視図であり、フォトマスクに接着された大型ペリクルを示す。
【図２２Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の他形態（突出部が棒状）を説明するための斜視図であり、大型ペリクルの枠体を示す。
【図２３Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において棒状の突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図であり、図１２の形態と同一で、短辺と長辺にそれぞれ３本ずつ突出部を設けた場合である。
【図２３Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において棒状の突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図であり、図１２の形態と同一で、短辺と長辺にそれぞれ１本ずつ突出部を設け、さらに、４隅に１歩本ずつ突出部を設けた場合である。
【図２３Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において棒状の突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図であり、図１２の形態と同一で、Ａにおいて、辺ごとに突出部を一体化させた場合である。
【図２４Ａ】大型ペリクルの枠体に設けた突出部を含む部分拡大縦断面図であり、突出部がＬ字形状であり、先端の曲がっている辺部がフォトマスクに接する形態を示した。
【図２４Ｂ】大型ペリクルの枠体に設けた突出部を含む部分拡大縦断面図であり、突出部がＬ字形状であり、先端がフォトマスクに設けた溝に刺さっている形態を示した。
【図２５】大型ペリクルの枠体に設けた突出部に別部品を組み合わせて大型ペリクルを固定したときの部分拡大縦断面図である。
【図２６Ａ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの様子を説明するための部分拡大縦断面図であり、断面が矩形の突出部を把持・固定した形態を示した。
【図２６Ｂ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの様子を説明するための部分拡大縦断面図であり、枠体の外側面に設けた突出部であって、断面がＬ字状の突出部を把持・固定した形態を示した。
【図２６Ｃ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの様子を説明するための部分拡大縦断面図であり、枠体の上縁面に設けた突出部であって、断面がＬ字状の突出部を把持・固定した形態を示した。
【図２６Ｄ】本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの様子を説明するための部分拡大縦断面図であり、枠体の内側面に設けた突出部であって、２つの矩形状の突出部を把持・固定した形態を示した。
【図２７】実施例１にて使用した保護フィルムの平面形状を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
添付の図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下に説明する実施の形態は本発明の構成の例であり、本発明は、以下の実施の形態に制限されるものではない。本発明の効果を奏する限り、種々の形態変更をしてもよい。
【００３２】
本発明の大型ペリクルの枠体は、複数の辺からなる多角形形状を有する枠体であって、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とを備えることができ、前記枠体の最も長い辺の長さが１ｍ以上である大型ペリクルの前記枠体において、前記枠体が、すべての辺部にそれぞれ把持用の凸部または凹部を有するものである。ここで、枠体の多角形形状とは通常略四角形状であるが、角部に切り欠きやＲ部を有した多角形形状であっても良い。
【００３３】
図１Ａは、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の一形態を説明するための斜視図であり、図１Ａ及びＤはフォトマスクに接着された大型ペリクル、図１Ｂ及びＥは枠体を含む部分拡大縦断面図、図１Ｃ及びＦは大型ペリクルの枠体を示す。図２は、従来の小型ペリクルの枠体の一形態（例えば特許文献２のタイプ）を説明するための斜視図であり、図２Ａはフォトマスクに接着されたペリクル、図２Ｂは枠体の溝を含む部分拡大縦断面図、図２Ｃはペリクルの枠体、を示す。
【００３４】
例えば図１に示すように、大型ペリクルは、枠体１０と、枠体１０の上縁面３に接着されたペリクル膜１と、枠体１０の下縁面４に塗着された粘着材２とからなる。ここでペリクル膜１は枠体１０の上縁面３に接着剤（不図示）を介して接着されている。なお、図１Ａ及び図１Ｂでは、ペリクル枠体１０が粘着材２を介してフォトマスク９に接着されている。フォトマスク９に接着される前は、大型ペリクルは、枠体１０の下縁面４に、粘着材２を介して保護フィルム（不図示）が粘着された構造を有している。
【００３５】
ペリクル膜１の材質、粘着材２の材質・形状、接着剤の材質、保護フィルムの材質・形状は、従来一般的に用いられているものが使用できる。
【００３６】
ペリクル膜としては、透明な高分子膜、例えば、ニトロセルロース、セルロース誘導体、またはフッ素ポリマーが使用できる。ペリクル膜の厚さは光線透過率、膜強度を考慮し設定するものであり、例えば、１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。ペリクル膜を枠体の上縁面に接着するにあたっては接着剤、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、または含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーが使用される。
【００３７】
粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、または発泡体を基材とした粘着テープが使用できる。粘着材層の厚さは枠体厚さと粘着材厚さの合計が、規定された膜とマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３８】
保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、またはポリエチレン樹脂からなるフィルムが使用できる。また、粘着材の粘着力に応じて離型剤、例えばシリコーン系離型剤、またはフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３９】
枠体１０の材質は、機械的強度が保たれるものならば特に限定はしない。例えば、金属、樹脂、複合材が挙げられ、より、詳しく言えば、アルミニウムやその合金、例えばジュラルミン、鉄や鉄系合金、例えばステンレス、エンジニアリングプラスチック、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）、及び炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）が挙げられる。なお、大型化による自重の増加を考慮すれば、軽量で、かつ、剛性を有するものを用いることが好ましく、例えば、アルミニウムやその合金が好ましい。
【００４０】
枠体１０の製法は、従来一般的に行われている製法で良い。例えば、一体物の板を、切断・切削加工すれば良い。また、ペリクルの大型化につれ一体物の板の準備が困難な場合は、切断・切削加工に加え、溶接加工や、成型加工（金属ならばダイキャスト成型、樹脂ならば射出成型）することが挙げられる。この時に把持用の凸部または凹部を一体に成型することが好ましいが、後述するように、凸部の場合は脱着自在な部品として成型し、後から取り付けることも好ましい。
【００４１】
また、枠体の表面には、反射防止のために黒色クロムメッキ、黒色アルマイト、黒色塗装等の黒色化処理を施してもよい。また、枠体の内側面には、異物を捕捉するために粘着材を塗布してもよい。
【００４２】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、枠体１０の最も長い辺（以下「長辺」ともいう。同様に枠体の最も短い辺を「短辺」ともいう。）の長さが１ｍ以上である大型ペリクルの枠体を対象としている。このような枠体、枠体の辺（図１Ａ及び図１Ｄの長辺の長さＬ、短辺の長さＳ）の長さの割には、枠体の幅（図１Ｂ及び図１Ｅのｗ）・高さ（図１Ｂ及び図１Ｅのｈ）が小さく、小型のペリクルの枠体に比較して剛性が低くならざるを得ない。
【００４３】
枠体１０の長辺の長さＬが１ｍ以上になると、剛性が低くなる傾向が顕著に見られる。図２に示すような従来のＬＳＩ用の小型ペリクルの枠体３０では、長辺の長さＬがせいぜい１５ｃｍ以下、短辺の長さＳがせいぜい１３ｃｍ以下であり、また枠体３０の幅ｗと高さｈとの比は、（ｗ／ｈ）＝０．３〜０．８であった。ところが、本発明が対象とする大型ペリクルの枠体では、長辺の長さＬが１ｍ以上であり、２ｍに達する場合もあり、今後更に大型化される場合も有りうる。なお、短辺においても短辺の長さＳが例えば７５ｃｍ以上である。また、大型ペリクルの枠体における枠体の幅ｗと高さｈとの比は、例えば（ｗ／ｈ）＝１．５〜４．０と大きいため剛性の低下が大きく、（ｗ／ｈ）＝２．３〜４．０の枠体では特に剛性の低下が大きい。なお、更なる大型化によって、（ｗ／ｈ）は４を超える場合も有りうる。
【００４４】
従って、本発明が対象とする大型ペリクルの枠体では、従来の枠体と比較して、ペリクル膜の表面の法線方向におけるたわみ量が非常に大きい。このように、大型ペリクルの枠体のたわみ方は、従来の小型ペリクルのたわみ方とは全く異なる。さらに、枠体の幅ｗと高さｈとの比（ｗ／ｈ）が従来の枠体のそれと比較して大きい上に、枠体の辺そのものが長いため、ペリクル膜の張力によってペリクル膜の表面と平行な方向のたわみ量も大きくなってしまう。本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、把持用の凸部または凹部を利用して、ペリクル膜の張力による枠体の変形を矯正することも可能である。この点については後述する。
【００４５】
本発明の枠体は、マスク形状と相似の矩形が一般的であるが、マスク等の様々な形状に対応し、多角形状の枠体であるならば特には限定しない。なお、本発明では、長辺の長さが１ｍ以上の枠体を対象としているが、枠体の形状が、（１）矩形の場合は長辺の長さが１ｍ以上の枠体、（２）正方形の場合は一辺の長さが１ｍ以上の枠体、（３）多角形の場合は最も長い辺の長さが１ｍ以上の枠体、をそれぞれ対象とする。本発明では、以下に説明する条件を満足すると、より効果を奏するので、以下に説明する。
【００４６】
第一に、前記枠体が、すべての辺部にそれぞれ把持用の凹部を有する枠体である態様について説明する。該凹部としては、溝または穴がある。尚、本願発明において、溝とは、枠体の外側面、内側面、上縁面、または下縁面に形成された凹部であって、これらの面における該凹部の開口部の周方向の長さが該開口部の高さ方向の長さの１．５倍以上であるものをいい、穴とは、該開口部の周方向の長さが該開口部の高さ方向の長さの１．５倍未満であるものをいう。
【００４７】
枠体に形成した把持用の溝若しくは穴について説明する。図３は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、図３Ａ〜Ｇは枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。図４は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、図４Ａ〜Ｂは枠体の上縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。図５は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、図５Ａ〜Ｂは枠体の下縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。図６は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、図６Ａ〜Ｇが枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態例である。
【００４８】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図３に示すように、枠体の外側面５から内側方向に向いた把持用の溝若しくは穴７を有している。以下、特にことわりがない場合には、溝と穴を区別せずに、把持用の溝若しくは穴７として説明する。
【００４９】
また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図４に示すように、枠体の上縁面３から下方向に向いた把持用の溝若しくは穴７を有していてもよい。また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図５に示すように、枠体の下縁面４から上方向に向いた把持用の溝若しくは穴７を有していてもよい。また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図６に示すように、枠体の内側面６から外側方向に向いた把持用の溝若しくは穴７を有していてもよい。
【００５０】
把持用の溝若しくは穴を枠体のどの面に設けるかは、把持に使用する治具または装置の設計に応じた位置にすることができるが、外側面に設けることが治具または装置の設計上好ましい。また、把持用の溝若しくは穴を枠体の外側面または内側面に設ける場合には、把持時にペリクル膜の接着剤層またはマスクとの粘着材層に余計な力が働くことがないように、上縁面及び下縁面から離間した位置に設けることが好ましい。従って、把持用の溝若しくは穴は、枠体の外側面上であって、上縁面及び下縁面から離間した位置に設けることがより好ましい。
【００５１】
枠体の上縁面３から下方向に向いた把持用の溝若しくは穴７は、上縁面３の法線方向に掘られた形態のほか、法線方向に対して斜め方向に掘られた形態としてもよい。枠体の下縁面４から上方向に向いた把持用の溝若しくは穴７は、下縁面４の法線方向に掘られた形態のほか、法線方向に対して斜め方向に掘られた形態としてもよい。枠体の内側面６から外側方向に向いた把持用の溝若しくは穴７は、内側面６の法線方向に掘られた形態のほか、法線方向に対して斜め方向に掘られた形態としてもよい。把持用の溝若しくは穴７の深さは、枠体の表面を基準として、外側面又は内側面から掘られた溝若しくは穴７の場合は枠体の幅の０．０１〜０．９倍の深さが好ましく、０．０１〜０．５倍の深さがより好ましく、０．０１〜０．３倍の深さがさらに好ましい。また、上縁面又は下縁面から掘られた溝若しくは穴７の場合は枠体の高さの０．１〜１倍（なお１倍は貫通の場合である）の深さが好ましく、０．１〜０．５倍の深さがより好ましく、０．１〜０．３倍の深さがさらに好ましい。
【００５２】
さらに本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図７に示すように枠体の各辺部に複数の把持用の溝若しくは穴７を有していてもよい。図７は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、図７Ａ〜Ｃが把持用の溝若しくは穴が複数設けられた形態例である。組み合わせとしては、枠体の上縁面から下方向に向いた把持用の溝若しくは穴と枠体の下縁面から上方向に向いた把持用の溝若しくは穴を二つ有する場合、枠体の上縁面から下方向に向いた把持用の溝若しくは穴と枠体の内側面から外側方向に向いた把持用の溝若しくは穴を二つ有する場合（例えば図７Ａ）がある。また枠体の下縁面から上方向に向いた把持用の溝若しくは穴と枠体の内側面から外側方向に向いた把持用の溝若しくは穴を二つ有する場合（例えば図７Ｃ）がある。
【００５３】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０では、枠体の上縁面から下方向に向いた把持用の溝若しくは穴、枠体の下縁面から上方向に向いた把持用の溝若しくは穴、又は、枠体の内側面から外側方向に向いた把持用の溝若しくは穴のそれぞれに対して、さらに、枠体の外側面から内側方向に向いた把持用の溝若しくは穴も有していてもよい。例えば、枠体の外側面から内側方向に向いた把持用の溝若しくは穴と枠体の上縁面から下方向に向いた把持用の溝若しくは穴を二つ有する場合（例えば、図７Ｂ）、枠体の外側面から内側方向に向いた把持用の溝若しくは穴と枠体の下縁面から上方向に向いた把持用の溝若しくは穴を二つ有する場合、枠体の外側面から内側方向に向いた把持用の溝若しくは穴と枠体の内側面から外側方向に向いた把持用の溝若しくは穴を二つ有する場合がある。
【００５４】
さらに枠体の４つの表面のうち３つの表面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態又は枠体の４つ表面全てから把持用の溝若しくは穴が掘られた形態もある。枠体の複数の表面に把持用の溝若しくは穴を設けることで、把持・固定がより確実となる。また、枠体の異なる表面を把持する２種以上の把持具に対しても、同じ一つの枠体で対応できるというメリットもある。
【００５５】
また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、上述した把持用の溝若しくは穴７以外に、通気用の穴（ペリクルをマスクに取り付けた時にペリクルとマスクで閉じ込められた空間と外部との通気に使用する穴）などの別の用途に使用する穴または溝を有していても良い。このような別の用途に使用する穴または溝を設けるためには、把持用の凸部または凹部が、枠体の辺部に部分的に設けられている溝又は穴であることが、加工の自由度が高くなりより好ましい。
【００５６】
把持用の溝若しくは穴７の断面形状は、矩形（例えば図６Ａ）、台形（例えば図４Ａ、図５Ａ、図６Ｅ）、多角形、円形・半円形又は楕円形（例えば図６Ｂ）等、特には問わない。また、例えば図４Ａで示したように、溝若しくは穴が深くなる方向に沿って溝の幅若しくは穴の内径が小さくなる形態であってもよい。必要に応じて溝若しくは穴の隅に曲率ＲやＣ面を設けても良い。
【００５７】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、把持用の溝若しくは穴７が、奥に拡がった空間部７ａを有することが好ましい。例えば、Ｌ字形状（例えば図３Ｃ、図４Ｂ、図５Ｂ、図６Ｃ及びＧ、図７Ｃ）、Ｔ字形状（例えば図３Ｄ、図６Ｄ）である。奥に拡がった空間部７ａがない場合と比較して、把持部材に対して引っ掛けることができるので、把持・固定がより確実となる。なお、奥に広がった空間部の形状としては、上述のように枠体の幅方向の断面形状が奥に広がったものでも、枠体の高さ方向の断面形状が奥に広がったものでも、枠体の長さ方向の断面形状が奥に広がったものでもよい。
【００５８】
また、把持用の溝若しくは穴が奥に狭くなった空間部を有することも好ましい。この場合、溝若しくは穴の入り口よりも小さい把持部材を挿入した際、その把持部材が奥の狭くなった部分と接触して位置決めされることで、溝若しくは穴に対し把持部材のズレを防止しながら把持することができる。奥に狭くなった空間部の形状としては、図３Ｂ、図４Ａ、図５Ａのように枠体の幅方向の断面形状が奥に狭くなったものでも、枠体の高さ方向の断面形状が奥に狭くなったものでも、枠体の長さ方向の断面形状が奥に狭くなったものでもよい。
【００５９】
枠体の長さ方向の断面形状が奥に狭くなったものの例としては、辺部に部分的に存在する周方向の溝であって、該溝の開口部の周方向の長さが該溝の溝の深さ（溝の開口部と溝の最深部の最短距離をいう。）より大きい溝があげられる（図１２参照）。また、該溝の開口部の周方向の長さが該溝の溝の深さより小さい場合もあげられる。このような形状の把持部を有する枠体であれば、該溝に先が狭くなった板状の把持具により位置決めしつつ把持することが可能となる。なお、溝の深さに対する溝の開口部の周方向の長さの比は、０．５〜３０倍が好ましく、２〜２０倍がより好ましく、３〜１０倍が最も好ましい。該比が０．５以上あれば把持部材を挿入しやすく、３０以下であれば把持具がはずれにくい。
【００６０】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の他形態は、図３に示すように、枠体１０の外側面５から内側方向に向き、かつ、奥に拡がった空間部７ａを有する把持用の溝若しくは穴７を有する形態である。ここで、枠体の外側面５から内側方向に向いた把持用の溝若しくは穴７は、外側面５の法線方向に掘られた形態のほか、法線方向に対して斜め方向に掘られた形態としてもよい。本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の奥に拡がった空間部７ａの形状は、例えば、Ｌ字形状（例えば図３Ｃ及びＧ）、Ｔ字形状（例えば図３Ｄ）である。奥に拡がった空間部７ａがない場合と比較して、把持部材に対して引っ掛けることができるので、把持がより確実となる。
【００６１】
図８と図９は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝または穴７の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。図８Ａ、Ｃ及びＤと図９に示すように、把持用の溝または穴７の配置は、４辺すべてに把持用の凹部を有していれば、枠体１０の辺部全周に渡って配置されても良いし（図８Ａ）、枠体１０の辺部に部分的に配置されても良い（図８Ｃ〜Ｄ、図９Ａ〜Ｃ）。部分的な配置の場合、治具や装置等の把持部材の位置に合わせて枠体の特定の箇所に把持用の溝または穴を配置させることも可能である。部分的に把持用の溝を配置する場合、枠体のいずれの辺部においても配置しておくことが好ましい。ペリクルの枠体を把持する際に、自重による荷重の偏りを均一分散することができ、たわみの発生を抑制できる。一方、後述の比較例で示すように、対向する辺２つのみに把持用の凸部または凹部を有する態様（図８Ｂ）においては、撓みの発生を十分に抑制できない。
【００６２】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の凹部が溝である場合は、各辺の長さに対して該把持用の凹部が占める長さがそれぞれ１０％以上であることが、自重による荷重の偏りを均一分散させることができより好ましい。さらに好ましくは２０％以上、最も好ましくは３０％以上である。また、枠体に把持以外の機能を有する部分を加工にて形成する余地を残す必要がある場合には、各辺の長さに対して該把持用の凹部が占める長さがそれぞれ９０％以下であることが好ましい。さらに好ましくは８０％以下、最も好ましくは７０％以下である。該把持用の凹部の各辺部における配置は各辺部の各中心に対して対称であることが自重による荷重の偏りを均一分散させることができ好ましい。
【００６３】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の凹部が穴である場合、その配置は、枠体のいずれの辺部においても複数個ずつ配置しておくことが好ましい。ペリクルの枠体を把持する際に、自重による荷重の偏りを均一分散することができ、たわみの発生を抑制できる。
【００６４】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、把持用の溝７は、溝の側壁の一方側を欠いた段削り状の溝であってもよい。また、把持用の穴７は、穴の側壁面の一方側を欠いた縦割り筒状の穴であってもよい。つまり、把持用の溝若しくは穴７は、溝の側壁面若しくは穴の側壁面が枠体１０の表面の一部を構成していてもよい。このような形態としては、例えば溝若しくは穴の側壁面が枠体の表面に達して、溝若しくは穴の側壁面を枠体の表面から掘った形状の溝若しくは穴がある。なお、縦割り円筒の穴には、主軸を通る縦断面で切った横断面が半円の穴は勿論のこと、主軸を通らない縦断面で切った穴も含まれる。その断面形状の例を示せば、例えば、図３Ｆ及びＧ、図６Ｆ及びＧ、図７Ｂである。特に、溝の側壁面若しくは穴の側壁面が枠体１０の下縁面の一部を構成している形態（例えば、図３Ｆ及びＧ、図６Ｆ及びＧ、図７Ｂ）が好ましい。枠体１０の下縁面４には、粘着材２が貼られているが、下縁面４とフォトマスク９の表面との間の距離は、粘着材２の厚み分だけ拡がるため、把持部材が挿しこみ易く、また、溝若しくは穴の径を小さくできるため、枠体の強度低下のおそれが少ない。ただし、上記形態の枠体を使用する場合には、把持時には粘着材層やペリクル膜の接着部に余分な力を与えないように留意する必要がある。
【００６５】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、発塵防止のため、溝若しくは穴と把持部材の接触部は、溝若しくは穴か、把持部材の少なくとも一方に、何らかの表面処理を施しておいても良い。例えば、シリコーンゴム等のクッション材での被覆が挙げられる。
【００６６】
図１０は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の溝７の配置を説明するための枠体の側面方向から見た概略図である。図１０Ａに示すように把持用の溝７は、枠体の側面方向から見て、辺方向に、上縁面側から下縁面側に斜めに配置させることも可能である。さらに、図１０Ｂに示すように枠体の側面方向から見て、辺方向に、上縁面側から下縁面側、下縁面側から上縁面側へと繰り返し配置させることも可能である。
【００６７】
また、枠体の外側面において、４つのコーナー部分に、図１３に記載されたような斜め方向に貫通した穴を設けても良い。このような貫通穴を設けることで、該貫通穴内に棒状の治具を通して把持することも可能となる。
【００６８】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、個々の溝の幅又は穴の内径は、それを設ける枠体の幅Ｗ若しくは高さｈよりも小さく、例えば上縁面３若しくは下縁面４に設ける場合には、枠体の幅の０．０１〜１倍の長さが好ましく、０．０１〜０．５倍の長さがより好ましく、０．０１〜０．２倍がさらに好ましい。例えば外側面５若しくは内側面６に設ける場合には、枠体の高さの０．０１〜１倍の長さが好ましく、０．０１〜０．５倍の長さがより好ましく、０．０１〜０．２倍がさらに好ましい。なお、溝若しくは穴の深さが大きい場合は、枠体の剛性の低下を避けるために、溝の幅若しくは穴の内径は小さい方が好ましい。把持用の溝若しくは穴７の奥に拡がった空間７ａを設ける場合には、拡がった空間７ａの幅若しくは内径は、枠体の幅Ｗ若しくは高さｈよりも小さくする。
【００６９】
把持用の溝若しくは穴７は、ペリクルの枠体の把持（ペリクル膜を接着する前の枠体の把持と、ペリクル膜を接着した後の枠体の把持の双方を含む。）に利用され、ペリクルの取り扱い時、ペリクルの収納容器への収納時、ペリクルの収納容器からの取り出し時に効果的に利用される。
【００７０】
把持用の溝若しくは穴を把持部材で把持・固定する方法を説明する。図１１は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの様子を説明するための部分拡大縦断面図であり、図１１Ａは断面がＴ字形状の把持用の溝若しくは穴７にプラスチック等の弾性体で形成されたロック機構を有する把持部材１６を挿し込んで把持・固定した形態、図１１Ｂは枠体の上縁面に設けた断面がＬ字形状の把持用の溝若しくは穴７にＬ字形状の引っ掛け部を有する把持部材１６を挿し込んで把持・固定した形態、図１１Ｃは枠体の外側面に設けた断面がＬ字形状で、側壁面が枠体の表面の一部を構成する把持用の溝若しくは穴７に、Ｌ字形状の引っ掛け部を有する把持部材１６を挿し込んで把持・固定した形態、図１１Ｄは枠体の下縁面に断面が台形状の把持用の溝若しくは穴７に、Ｌ字形状の把持部材１６の先端部を挿し込んで把持・固定した形態、図１１Ｅは枠体の内側面に設けた断面が矩形の把持用の溝若しくは穴７に、把持部材１６を挿し込んで把持・固定した形態、を示した。図１１Ａ〜Ｅでは、把持用の溝若しくは穴を把持部材１６が確実に把持・固定する。
【００７１】
本発明においては、前述した大型ペリクルの枠体を、枠体の各辺部においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を同時に把持することが撓みを少なくするために好ましい。より好ましくは、大型ペリクルの枠体の各辺部においてすべての把持用の凸部または凹部を同時に把持することである。
【００７２】
また、ペリクルをフォトマスクから引き剥がす際には、把持用の溝若しくは穴を把持した上で剥離できるので、引き剥がしの際に、引き剥がし力を確実に伝えられる。  
【００７３】
第二に、前記枠体が、すべての辺部にそれぞれ把持用の凸部を有する態様について説明する。該凸部としては、板状のものまたは棒状のものがある。尚、本願発明において、板状の凸部とは、枠体の外側面、内側面、上縁面、または下縁面に形成された凸部であって、これらの面における該凸部の周方向の長さが高さ方向の長さの１．５倍以上であるものをいい、棒状の凸部とは、該凸部の周方向の長さが該凸部の高さ方向の長さの１．５倍未満であるものをいう。
【００７４】
まず、枠体に形成した凸部（以下「突出部」ともいう。）について説明する。図１４は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、Ａ〜Ｇは枠体の外側面に突出部が設けられた形態例である。図１５は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、Ａ〜Ｄは枠体の上縁面に突出部が設けられた形態例である。図１６は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、Ａ〜Ｄは枠体の下縁面に突出部が設けられた形態例である。図１７は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、Ａ〜Ｇが枠体の内側面に突出部が設けられた形態例である。
【００７５】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図１４に示すように枠体の外側面５から外側方向に向いた突出部７を有する。また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図１５に示すように枠体の上縁面３から上方向に向いた突出部７を有していてもよい。また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図１６に示すように枠体の下縁面４から下方向に向いた突出部７を有していてもよい。また、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図１７に示すように枠体の内側面６から内側方向に向いた突出部７を有していてもよい。
【００７６】
ここで、枠体の外側面５から外側方向に向いた突出部７は、外側面５の法線方向に突出した形態のほか、法線方向に対して斜め方向に突出した形態としてもよい。枠体の上縁面３から上方向に向いた突出部は、上縁面３の法線方向に突出した形態のほか、法線方向に対して斜め方向に突出した形態としてもよい。枠体の下縁面４から下方向に向いた突出部７は、下縁面４の法線方向に突出した形態のほか、法線方向に対して斜め方向に突出した形態としてもよい。枠体の内側面６から内側方向に向いた突出部７は、内側面６の法線方向に突出した形態のほか、法線方向に対して斜め方向に突出した形態としてもよい。枠体の外側面から外側方向に向いた突出部及び枠体の内側面から内側方向に向いた突出部の突出量は、突出させる枠体の表面を基準として、枠体の幅の０．１〜１０倍の長さ、好ましくは０．１〜５倍の長さ、より好ましくは０．１〜３倍の長さである。また、枠体の上縁面から上方向に向いた突出部及び枠体の下縁面から下方向に向いた突出部の突出量は、突出させる枠体の表面を基準として、枠体の幅の０．１〜１０倍の長さ、好ましくは０．１〜５倍の長さ、より好ましくは０．１〜３倍の長さである。
【００７７】
枠体の上縁面３から上方向に向いた突出部７を設けた場合及び枠体の下縁面４から下方向に向いた突出部７を設けた場合は、把持・固定の確実化のほかに、ペリクル膜１の表面の法線方向のたわみに対して、突出部７が補強リブとして作用する。
【００７８】
一方、枠体の外側面５から外側方向に向いた突出部７を設けた場合、及び枠体の内側面６から内側方向に向いた突出部７を設けた場合は、把持・固定の確実化のほかに、ペリクル膜１を張ったときにペリクル膜１の表面と平行方向にかかる張力によって枠体が中央方向にたわむことに対して補強リブとして作用する。
【００７９】
さらに本実施形態に係る大型ペリクルの枠体１０は、図１８に示すように枠体に複数の突出部７を有していてもよい。図１８は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の各種形態例を示す部分拡大縦断面図であり、Ａ〜Ｇは突出部が複数設けられた形態例である。組み合わせとしては、枠体の外側面から外側方向に向いた突出部と枠体の上縁面から上方向に向いた突出部を二つ有する場合、枠体の外側面から外側方向に向いた突出部と枠体の下縁面から下方向に向いた突出部を二つ有する場合、枠体の外側面から外側方向に向いた突出部と枠体の内側面から内側方向に向いた突出部を二つ有する場合がある。また、枠体の上縁面から上方向に向いた突出部と枠体の下縁面から下方向に向いた突出部を二つ有する場合、枠体の上縁面から上方向に向いた突出部と枠体の内側面から内側方向に向いた突出部を二つ有する場合がある。さらに枠体の下縁面から下方向に向いた突出部と枠体の内側面から内側方向に向いた突出部を二つ有する場合がある。さらに枠体の４つの表面のうち３つの表面に突出部を設ける形態又は枠体の４つ表面全てに突出部を設ける形態もある。枠体の複数の表面に突出部を設けることで、把持・固定がより確実となり、また枠体の補強方向を増やすことができる。また、枠体の異なる表面を把持する２種以上の把持具に対しても、同じ一つの枠体で対応できるというメリットもある。
【００８０】
突出部７の断面形状は、矩形（例えば図１４Ａ及びＢ、図１５Ａ、図１６Ａ、図１７Ａ及びＢ）、台形（例えば図１４Ｆ、図１５Ｄ、図１６Ａ、図１７Ｆ）、多角形、円形・半円形（例えば図１５Ｂ、図１５Ｃ）又は楕円形（例えば図１４Ｇ、図１７Ｇ）、等、特には問わない。必要に応じて角に曲率ＲやＣ面を設けても良い。
【００８１】
図１９と図２０は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図である。図１９Ａ、Ｃ及びＤと図２０に示すように、突出部７の配置は、４辺すべてに把持用の凸部を有していれば、枠体１０の辺部全周に渡って配置されても良いし（図１９Ａ）、枠体１０の辺部に部分的に配置されても良い（図１９Ｃ〜Ｄ、図２０Ａ〜Ｅ）。部分的な配置の場合、貼り付けされるフォトマスク取り扱い時の把持・固定位置、フォトマスクのアライメントマーク位置、フォトマスクを露光機へセットする際の把持・固定位置に適応させて、枠体の特定の箇所に突出部を配置させることも可能である。部分的に突出部に配置する場合、枠体のいずれの辺部においても配置しておくことが好ましい。枠体のたわみに対して強度補強となる。
【００８２】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の凸部が板状である場合は、各辺の長さに対して該把持用の凸部が占める長さがそれぞれ１０％以上であることが、自重による荷重の偏りを均一分散させることができより好ましい。さらに好ましくは２０％以上、最も好ましくは３０％以上である。また、枠体に把持以外の機能を有する部分を加工にて形成する余地を残す必要がある場合には、各辺の長さに対して該把持用の凸部が占める長さがそれぞれ９０％以下であることが好ましい。さらに好ましくは８０％以下、最も好ましくは７０％以下である。該把持用の凸部の各辺部における配置は各辺部の各中心に対して対称であることが自重による荷重の偏りを均一分散させることができ好ましい。
【００８３】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において把持用の凸部が棒状である場合は、その配置は、枠体のいずれの辺部においても複数個ずつ配置しておくことが好ましい。ペリクルの枠体を把持する際に、自重による荷重の偏りを均一分散することができ、たわみの発生を抑制できる。
【００８４】
図１０は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において突出部の配置を説明するための枠体の側面方向から見た概略図である。図１０Ａに示すように突出部は、枠体の側面方向から見て、辺方向に、上縁面側から下縁面側に斜めに配置させることも可能である。さらに、図１０Ｂに示すように枠体の側面方向から見て、辺方向に、上縁面側から下縁面側、下縁面側から上縁面側へと繰り返し配置させることも可能である。
【００８５】
図２１は大型ペリクルの枠体に設けた突出部が枠体辺部に脱着自在に固定されている形態であるときの部分拡大縦断面図であり、図２１Ａはねじ止め、図２１Ｂはカプラーによる固定、図２１Ｃは弾性体による固定、図２１Ｄは挟み込みによる固定、を示した。図２１に示すように本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、枠体１０の突出部７は、枠体１０の辺部に脱着自在に固定されていることが好ましい。ペリクルの枠体よりも剛性の高いフォトマスクへ貼り付けた後は、ペリクルの枠体の剛性は問われなくなるため、剛性向上や、固定・把持に使用していた突出部は、取り外せるようにしておいても良い。こうすることで、フォトマスク取り扱い時の把持・固定位置、フォトマスクを露光機へセットする際の把持・固定位置からの制約を回避できることにもなる。
【００８６】
また、ペリクルをフォトマスクから引き剥がす際には、突出部を取り付けられるようにしておいても良い。こうすることで、ペリクルの枠体の剛性向上が図られ、突出部を把持・固定できるので、引き剥がしの際、引き剥がし力を確実に伝えられる。
【００８７】
脱着方法は、脱着可能な機械的な固定方法ならば何でも良い。例えば、図２１に示すように、ネジ、カプラー、弾性体の差し込み、挟み込み、等が挙げられる。好ましくは、発塵防止のため、接触部は何らかの表面処理を施しておいても良い。例えば、シリコーンゴム等のクッション材での被覆が挙げられる。突出部が脱着可能な場合、突出部は枠体よりも剛性の高い素材で形成していてもよい。突出部を取り付けるための穴若しくは溝の大きさ（内径）は、枠体の外側面若しくは内側面に突出部をつける場合には、枠体の高さの０．０１〜１倍の大きさ、好ましくは０．０１〜０．５倍の大きさ、より好ましくは０．０１〜０．２倍の大きさである。また、枠体の上縁面若しくは下縁面に突出部をつける場合には、枠体の幅の０．０１〜１倍の大きさ、好ましくは０．０１〜０．５倍の大きさ、より好ましくは０．０１〜０．２倍の大きさである。枠体の剛性低下を避けるため、穴若しくは溝は小さい方が好ましい。
【００８８】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、例えば、図１９又は図２０に示すように、枠体１０の突出部の形状が板状であることが好ましい。板の厚さは、それを設ける枠体の幅Ｗ若しくは高さｈよりも薄く、例えば、突出部７の突出量の０．０１倍以上の厚さが好ましく、０．１倍以上の厚さがより好ましい。突出部７を鉤形とする場合には、鉤状の折れ曲がった先端部７ａは、板を設ける枠体の幅Ｗ若しくは高さｈよりも大きくしてもよい。ここで、図２０（ｃ）に示すように、突出部７が板状の場合、枠体の四隅部から辺の中央部にかけて、突出部の突出量を連続的に大きくしても良い。こうすることで、剛性の弱い辺部中央付近の剛性が補強されることとなり、枠体の四隅部の剛性と辺部の剛性が均一になる。
【００８９】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、例えば、図２２に示すように、枠体２０の突出部７の形状を棒状としてもよい。図２２は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体の他形態（突出部が棒状）を説明するための斜視図であり、Ａはフォトマスクに接着された大型ペリクル、Ｂは大型ペリクルの枠体を示す。棒状の突出部７の断面形状は、矩形、台形、多角形、円形、楕円形等、特には問わない。必要に応じて角に曲率ＲやＣ面を設けても良い。突出部７は、枠体２０の上縁面、下縁面、外側面又は内側面のいずれに設けてもよい。図２２は、外側面に突出部を設けた形態例である。棒の径は、例えば上縁面３若しくは下縁面４に設ける場合には、枠体の幅の０．１〜２倍の長さが好ましく、０．１〜０．５倍の長さがより好ましい。例えば外側面５若しくは内側面６に設ける場合には、枠体の高さの０．１〜３倍の長さが好ましく、０．１〜１倍の長さがより好ましい。図２３は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体において棒状の突出部の配置を説明するためのペリクル膜を見る方向の概略図であり、Ａは図２２の形態と同一で、短辺と長辺にそれぞれ３本ずつ突出部を設けた場合、Ｂは短辺と長辺にそれぞれ１本ずつ突出部を設け、さらに、４隅に１本ずつ突出部を設けた場合、ＣはＡにおいて、辺ごとに突出部を一体化させた場合である。図２３Ｃでは、３本の棒状突出部７が一体化しているため、強度の向上が見込めるほか、取り外しするときは作業性がよい。
【００９０】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、突出部は先端が鉤形状をしていることが好ましい。例えば、Ｌ字形状（例えば図１４Ｃ及びＥ、図１５Ｃ、図１６Ｄ、図１７Ｃ及びＥ）、Ｔ字形状（例えば図１４Ｄ、図１７Ｄ）である。鍵がない場合と比較して、把持部材に対して引っ掛けることができるので、把持・固定がより確実となる。
【００９１】
本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、枠体の突出部が、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた際、フォトマスクの外周側面に接するように形成されていてもよい。或いは、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、枠体の突出部が、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた際、フォトマスクに形成した溝に接するように形成されていてもよい。図２４は、大型ペリクルの枠体に設けた突出部を含む部分拡大縦断面図であり、Ａは突出部がＬ字形状であり、先端の曲がっている辺部がフォトマスクに接する形態、Ｂは突出部がＬ字形状であり、先端がフォトマスクに設けた溝に刺さっている形態、を示した。図２４Ａに示すように、下縁面４に対して垂直方向のＬ字状突出部の先端部７ａが、粘着材２の下面よりも突出する場合、Ｌ字状突出部の先端部７ａは、フォトマスク９の外側面にほぼ接するように配置する。或いは図２４Ｂに示すように、フォトマスク９の外側面よりも内側に下縁面４に対して垂直方向のＬ字状突出部の先端部７ａを配置しなければならない場合、フォトマスク９の表面を先端部７ａと同形状に削り込んでも良い。図２４Ａ及びＢのいずれの場合も、ペリクルのフォトマスクへの貼り付け時、ペリクルの位置合わせの簡易化や、ペリクルの貼り付け位置精度向上の効果を奏する。
【００９２】
さらに、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、枠体の突出部が、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた際、フォトマスクの外周側面及びフォトマスクに形成した溝に接するように形成されていてもよい。例えば、枠体の突出部の左右いずれか一方をフォトマスクの外周側面に接するように形成し、他方をフォトマスクに形成した溝に接するように形成する形態である。或いは、枠体の突出部をＦ字形状とし、先端側の曲がっている部分をフォトマスクの外周側面に接するように形成し、手前側の曲がっている部分をフォトマスクに形成した溝に接するように形成する形態である。このように、ペリクルのフォトマスクへの貼り付け時、ペリクルの位置合わせの簡易化や、ペリクルの貼り付け位置精度向上の効果を奏する限り、形態を変形してもよい。
【００９３】
図２５は、大型ペリクルの枠体に設けた突出部に別部品を組み合わせて大型ペリクルを固定したときの部分拡大縦断面図である。図２５に示すように本実施形態に係る大型ペリクルの枠体では、枠体の突出部７が、ペリクルをフォトマスク９に貼り付けた際に、別部品１５と組み合わせることで、フォトマスク９に枠体１０を物理的に固定できるように形成されていることが好ましい。こうすることで、ペリクルをフォトマスクに確実に取り付けられ、脱落等が防止できる。枠体の突出部７に別部品１５を取り付ける方法としては、ねじ止め、カプラー、弾性体を用いた嵌め合わせ、挟み込みなど、各種固定方法を用いてよい。
【００９４】
突出部は、把持・固定にも利用され、ペリクルの取り扱い時、収納容器への収納時、ペリクルの収納容器からの取り出し時に効果的に利用される。突出部を把持部材で把持・固定する方法を説明する。図２６は、本実施形態に係る大型ペリクルの枠体を把持部材で把持・固定するときの様子を説明するための部分拡大縦断面図であり、Ａは断面が矩形の突出部を把持・固定した形態、Ｂ枠体の外側面に設けた突出部であって、断面がＬ字状の突出部を把持・固定した形態、Ｃは枠体の上縁面に設けた突出部であって、断面がＬ字状の突出部を把持・固定した形態、Ｄは枠体の内側面に設けた突出部であって、２つの矩形状の突出部を把持・固定した形態、を示した。図２６Ａ及びＣでは、突出部を把持部材１６が確実に把持・固定する。図２６Ｂでは、突出部のＬ字先端部（鉤部分）が把持部材１６に引っ掛かってより確実に把持・固定される。また、図２６Ｄでは、２つの矩形状の突出部の間に把持部材１６に引っ掛かって確実に把持・固定される。上記に説明した、枠体がすべての辺部にそれぞれ把持用の凹部を有する態様、及び枠体がすべての辺部にそれぞれ把持用の凸部を有する態様については、ひとつの枠体の中で把持用の凹部と凸部を組合せて使用してもよいことはいうまでもない。スペース効率を重視する場合は凹部が好ましく、枠体の補強効果を重視する場合は凸部が好ましいが、前述した様々な態様の範囲内で把持具の設計にあわせて設計することが可能である。
【００９５】
本発明の大型ペリクルの枠体を把持するにあたっては、枠体の各辺部においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を同時に把持することが好ましく、枠体の各辺部においてそれぞれ少なくとも２箇所以上の把持用の凸部または凹部を同時に把持することがより好ましく、枠体の各辺部においてすべての把持用の凸部または凹部を同時に把持することが最も好ましい。
【００９６】
ペリクル膜を接着した枠体には、ペリクル膜の収縮しようとする張力によって内側方向に引張られる応力がかかる。本実施形態において、枠体の内側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態の場合、把持用の溝若しくは穴に挿入された把持部材を介して枠体の辺部に外側の応力をかけることが可能である。これによって、前記応力によって生じる枠体のわずかな変形を矯正することが可能である。さらに、枠体の上縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態、枠体の下縁面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態、又は枠体の外側面から把持用の溝若しくは穴が掘られた形態のいずれにおいても、例えば溝若しくは穴の奥に拡がった空間部を設け、把持部材の挿し込みの先端部にロック機構を設けることで、枠体がペリクル膜による内側への変形を矯正することが可能である。同様に、枠体に形成した凸部についても、凸部を把持することで、枠体のペリクル膜による内側方向への変形を矯正することが可能である。なお、上記の枠体の内側への変形を矯正する方法は、ペリクル膜の収縮張力による内側への変形を矯正する場合以外にも、枠体の自重や、膜張力以外の外力により変形を矯正する場合にも適用できることはいうまでもない。
【００９７】
大型ペリクルの枠体形状を矯正するにあたっては、前記大型ペリクルの枠体の各辺部においてそれぞれ少なくとも１箇所以上の把持用の凸部または凹部を同時に把持し、前記大型ペリクルの枠体の少なくとも１箇所に応力を加えることで該枠体の変形を少なくすることが好ましい。
【実施例】
【００９８】
本発明者らは、前述のような構成を有する本発明の大型ペリクルの枠体を用いて実験をした結果、次のような実施例に示すような好結果が得られた。
【００９９】
［実施例１］
長辺の長さが１６００ｍｍ、短辺の長さが１４００ｍｍ、幅が１４ｍｍ、高さが６ｍｍである四辺形のアルミニウム合金製の枠体を準備した。各辺の外側面の高さ３ｍｍの位置に、各辺の中央、および各辺の両端から２５０ｍｍの３点を中心として、開口部の周方向の長さ２００ｍｍ、開口部の高さ１．５ｍｍ、溝の深さ３ｍｍの溝を、枠体の４辺すべてに対し各辺３箇所ずつ切削加工により形成した。
枠体の下縁面に、表面にアクリル系粘着剤が塗布されたポリエチレン発泡体基材（厚さ１ｍｍ）を粘着材層として貼り付けた。次に、上記枠体と同じ枠形状の保護フィルムであって、長辺の中央部に寸法が幅１０ｍｍ×長さ９００ｍｍの押さえ代、短辺の中央部に寸法が幅１０ｍｍ×長さ７５０ｍｍの押さえ代、及び四隅の頂点に頂点を中心に半径１０ｍｍの押さえ代をそれぞれ枠体の外側方向にはみ出すように設け（図２７参照）、シリコーン系離型剤が表面に塗布されたポリエチレンテレフタレート樹脂製の保護フィルムを該粘着材層上に積層した。
このようにして得た保護フィルム付の大型ペリクルの枠体を、ＡＢＳ樹脂材で真空成形された収納容器のトレイの上に搭載し、前記押さえ代８箇所を粘着テープ（テープサイズ：長辺１５ｍｍ×９４０ｍｍ、短辺１５ｍｍ×７９０ｍｍ、四隅１５ｍｍ×６０ｍｍ）を介してトレイに粘着固定した。
【０１００】
［実施例２］
長辺の長さが１８００ｍｍ、短辺の長さが１６００ｍｍ、幅が１６ｍｍである以外は、前記実施例１と同様の枠体を準備して、実施例１と同様にトレイに固定した。
【０１０１】
［実施例３］
長辺の長さが２０００ｍｍ、短辺の長さが１８００ｍｍ、幅が１８ｍｍである以外は、前記実施例１と同様の枠体を準備して、実施例１と同様にトレイに固定した。
【０１０２】
［実施例４］
各辺の中央および各辺の両端から１５０ｍｍの３点に、枠体の外側面に開口部の直径３ｍｍ、深さ３ｍｍの円形の穴を、枠体の４辺すべてに対し各辺３箇所ずつ形成した以外は、前記実施例２と同様の枠体を準備して、実施例１と同様にトレイに固定した。
【０１０３】
［比較例１］
短辺の外側面の全周に渡って、開口部の高さ１．５ｍｍ、溝の深さ３ｍｍの溝を形成し、長辺には把持部を形成しなかったこと以外は、前記実施例２と同様の枠体を準備して、実施例１と同様にトレイに固定した。
【０１０４】
［実施例５］
長辺の中央および両端から１５０ｍｍの位置で、枠体の外側面に開口部の直径３ｍｍ、深さ３ｍｍの円形の穴を、３箇所ずつ形成し、短辺の中央に、枠体の外側面に開口部の直径３ｍｍ、深さ３ｍｍの円形の穴を、１箇所ずつ形成した以外は、前記実施例２と同様の枠体を準備して、実施例１と同様にトレイに固定した。
【０１０５】
以下の表１に上記実施例１〜５と、比較例１についての評価結果を示す。
【０１０６】
ペリクル枠体の確実な把持評価は、トレイに粘着固定する前の枠体で行った。実施例１〜３の場合は、把持部材として、強化プラスチックで作製した幅１００ｍｍ、厚さ０．７５ｍｍの板形状の把持部材を有する治具を１２組用意し、その把持部材を枠体の各辺においてすべての把持用の溝に挿入して同時に把持し、枠体を水平に持ち上げた。また、比較例１の場合は、両短辺の中央、および両短辺の両端から２５０ｍｍの計６点を中心とした６箇所に同じ治具を挿入して枠体を水平に持ち上げた。また、実施例４〜５の場合は、把持部材として、強化プラスチックで作製した直径２ｍｍの棒を用意し、その把持部材を枠体の各辺においてすべての把持用の穴に挿入し、同時に把持し、枠体を水平に持ち上げた。水平に持ち上げた後、水平状態で、１秒間に１回の割合で、３００ｍｍの高さを５回上下させ、すべての把持部材がすべての把持用の溝または穴から抜け出なかった場合を「○」、一部の把持部材が対応する一部の把持用の溝または穴から抜け出た場合を「△」、すべての把持部材がすべての把持用の溝または穴から抜け出てペリクル枠体が落下した場合を「×」で示す。
【０１０７】
また、ペリクル枠体のたわみ防止評価は、水平に置かれたトレイに保護フィルムを介し粘着固定した枠体で行った。実施例１〜３の場合は、把持部材として、強化プラスチックで作製した幅１００ｍｍ、厚さ０．７５ｍｍの板形状の把持部材を有する治具を１２組用意し、その把持部材を枠体の各辺においてすべての把持用の溝に挿入して同時に把持し、枠体を水平に持ち上げた。また、比較例１の場合は、両短辺の中央、および両短辺の両端から２５０ｍｍの計６点を中心とした６箇所に同じ治具を挿入して枠体を水平に持ち上げた。また、実施例４〜５の場合は、把持部材として、強化プラスチックで作製した直径２ｍｍの棒を用意し、その把持部材を枠体の各辺においてすべての把持用の穴に挿入し、同時に把持し、枠体を水平に持ち上げた。持ち上げる速度は毎秒１ｃｍとし、保護フィルムと粘着材の界面が完全に剥がれる直前のペリクル枠体の辺のたわみ量が１０ｍｍ未満の場合を「◎」、１０ｍｍ以上１５ｍｍ未満の場合を「○」、１５ｍｍ以上２０ｍｍ未満の場合を「△」（実用上問題でない下限レベル）、２０ｍｍ以上の場合を「×」（実用上問題であるレベル）で示す。
【０１０８】
【表１】
2010102357.tif 000003
【符号の説明】
【０１０９】
１  ペリクル枠
２  マスク粘着材
３  枠体の上縁面
４  枠体の下縁面
５  枠体の外側面
６  枠体の内側面
７  把持用の溝若しくは穴または突出部
７ａ  把持用の溝若しくは穴の奥に拡がった内部空間または把持用の突出部の先端部
７ｂ  把持用の溝の開口部
７ｃ  把持用の溝の最深部
９  フォトマスク
１０，２０  枠体
１１  保護フィルム
１１ａ  押さえ代
１１ｂ  押さえ代
１５  別部品
１６  把持部材
２１  溝
３０  枠体（従来品）
【図１Ａ】
2010102357.tif 000004
【図１Ｂ】
2010102357.tif 000005
【図１Ｃ】
2010102357.tif 000006
【図１Ｄ】
2010102357.tif 000007
【図１Ｅ】
2010102357.tif 000008
【図１Ｆ】
2010102357.tif 000009
【図２Ａ】
2010102357.tif 000010
【図２Ｂ】
2010102357.tif 000011
【図２Ｃ】
2010102357.tif 000012
【図３Ａ】
2010102357.tif 000013
【図３Ｂ】
2010102357.tif 000014
【図３Ｃ】
2010102357.tif 000015
【図３Ｄ】
2010102357.tif 000016
【図３Ｅ】
2010102357.tif 000017
【図３Ｆ】
2010102357.tif 000018
【図３Ｇ】
2010102357.tif 000019
【図４Ａ】
2010102357.tif 000020
【図４Ｂ】
2010102357.tif 000021
【図５Ａ】
2010102357.tif 000022
【図５Ｂ】
2010102357.tif 000023
【図６Ａ】
2010102357.tif 000024
【図６Ｂ】
2010102357.tif 000025
【図６Ｃ】
2010102357.tif 000026
【図６Ｄ】
2010102357.tif 000027
【図６Ｅ】
2010102357.tif 000028
【図６Ｆ】
2010102357.tif 000029
【図６Ｇ】
2010102357.tif 000030
【図７Ａ】
2010102357.tif 000031
【図７Ｂ】
2010102357.tif 000032
【図７Ｃ】
2010102357.tif 000033
【図８Ａ】
2010102357.tif 000034
【図８Ｂ】
2010102357.tif 000035
【図８Ｃ】
2010102357.tif 000036
【図８Ｄ】
2010102357.tif 000037
【図９Ａ】
2010102357.tif 000038
【図９Ｂ】
2010102357.tif 000039
【図９Ｃ】
2010102357.tif 000040
【図１０Ａ】
2010102357.tif 000041
【図１０Ｂ】
2010102357.tif 000042
【図１１Ａ】
2010102357.tif 000043
【図１１Ｂ】
2010102357.tif 000044
【図１１Ｃ】
2010102357.tif 000045
【図１１Ｄ】
2010102357.tif 000046
【図１１Ｅ】
2010102357.tif 000047
【図１２Ａ】
2010102357.tif 000048
【図１２Ｂ】
2010102357.tif 000049
【図１２Ｃ】
2010102357.tif 000050
【図１２Ｄ】
2010102357.tif 000051
【図１３Ａ】
2010102357.tif 000052
【図１３Ｂ】
2010102357.tif 000053
【図１４Ａ】
2010102357.tif 000054
【図１４Ｂ】
2010102357.tif 000055
【図１４Ｃ】
2010102357.tif 000056
【図１４Ｄ】
2010102357.tif 000057
【図１４Ｅ】
2010102357.tif 000058
【図１４Ｆ】
2010102357.tif 000059
【図１４Ｇ】
2010102357.tif 000060
【図１５Ａ】
2010102357.tif 000061
【図１５Ｂ】
2010102357.tif 000062
【図１５Ｃ】
2010102357.tif 000063
【図１５Ｄ】
2010102357.tif 000064
【図１６Ａ】
2010102357.tif 000065
【図１６Ｂ】
2010102357.tif 000066
【図１６Ｃ】
2010102357.tif 000067
【図１６Ｄ】
2010102357.tif 000068
【図１７Ａ】
2010102357.tif 000069
【図１７Ｂ】
2010102357.tif 000070
【図１７Ｃ】
2010102357.tif 000071
【図１７Ｄ】
2010102357.tif 000072
【図１７Ｅ】
2010102357.tif 000073
【図１７Ｆ】
2010102357.tif 000074
【図１７Ｇ】
2010102357.tif 000075
【図１８Ａ】
2010102357.tif 000076
【図１８Ｂ】
2010102357.tif 000077
【図１８Ｃ】
2010102357.tif 000078
【図１８Ｄ】
2010102357.tif 000079
【図１８Ｅ】
2010102357.tif 000080
【図１８Ｆ】
2010102357.tif 000081
【図１８Ｇ】
2010102357.tif 000082
【図１９Ａ】
2010102357.tif 000083
【図１９Ｂ】
2010102357.tif 000084
【図１９Ｃ】
2010102357.tif 000085
【図１９Ｄ】
2010102357.tif 000086
【図２０Ａ】
2010102357.tif 000087
【図２０Ｂ】
2010102357.tif 000088
【図２０Ｃ】
2010102357.tif 000089
【図２０Ｄ】
2010102357.tif 000090
【図２０Ｅ】
2010102357.tif 000091
【図２１Ａ】
2010102357.tif 000092
【図２１Ｂ】
2010102357.tif 000093
【図２１Ｃ】
2010102357.tif 000094
【図２１Ｄ】
2010102357.tif 000095
【図２２Ａ】
2010102357.tif 000096
【図２２Ｂ】
2010102357.tif 000097
【図２３Ａ】
2010102357.tif 000098
【図２３Ｂ】
2010102357.tif 000099
【図２３Ｃ】
2010102357.tif 000100
【図２４Ａ】
2010102357.tif 000101
【図２４Ｂ】
2010102357.tif 000102
【図２５】
2010102357.tif 000103
【図２６Ａ】
2010102357.tif 000104
【図２６Ｂ】
2010102357.tif 000105
【図２６Ｃ】
2010102357.tif 000106
【図２６Ｄ】
2010102357.tif 000107
【図２７】
2010102357.tif 000108