(57)【要約】【課題】マザー基板に複数種のパネルパターンを形成する際、これらパネルパターンに所望量のインクを配置できるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。【解決手段】液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドと、駆動素子に駆動信号を供給して駆動素子の駆動を制御する制御部とを備え、液滴吐出ヘッドをマザー基板Ｗに対して相対的に移動させつつ、ノズルからインクの液滴を吐出することにより、マザー基板Ｗに寸法の異なる複数種のパネルパターン３０、４０、５０を形成する液滴吐出装置である。制御部は、複数種のパネルパターン３０、４０、５０のうちの少なくとも第１のパネルパターン３０の形成時と、第２のパネルパターン４０の形成時との間で、ノズルからの液滴の吐出速度が変わるように、駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するよう構成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドと、前記駆動素子に駆動信号を供給して該駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備え、前記液滴吐出ヘッドを前記マザー基板に対して主走査方向及びこれに直交する副走査方向に相対的に移動させつつ、前記ノズルからインクの液滴を吐出することにより、前記マザー基板に寸法の異なる複数種のパネルパターンを形成する液滴吐出装置であって、
前記制御部は、前記複数種のパネルパターンのうちの少なくとも第１のパネルパターンの形成時と、第２のパネルパターンの形成時との間で、前記ノズルからの液滴の吐出速度が変わるように、前記駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するよう構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第１のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、ストライプ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであり、前記第２のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、デルタ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを用い、該液滴吐出ヘッドをマザー基板に対して主走査方向及びこれに直交する副走査方向に相対的に移動させつつ、前記ノズルからインクの液滴を吐出することにより、前記マザー基板に寸法の異なる複数種のパネルパターンを形成する液滴吐出方法であって、
前記複数種のパネルパターンのうちの少なくとも第１のパネルパターンの形成時と、第２のパネルパターンの形成時との間で、前記ノズルからの液滴の吐出速度が変わるように、前記ノズルにそれぞれ対応する駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであることを特徴とする請求項４記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記第１のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、ストライプ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであり、前記第２のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、デルタ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであることを特徴とする請求項５記載の液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置及び液滴吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学装置を構成するパネルについては、電気光学装置の大型化や、携帯製品への応用などに伴って多品種化する傾向にある。したがってそのパネルサイズについても、例えば５０インチ以上の大型のものから２インチ程度の小型のものまで、種々のものが製造されている。
【０００３】
このような背景のもとに従来では、マザー基板に対して、サイズの異なる複数種のＴＦＴパネルパターンを形成することが提案されている（例えば、参考文献１参照）。このように１枚のマザー基板にサイズの異なる複数種のＴＦＴパネルパターンを形成することで、サイズの変更に伴ってマザー基板に対するパネルパターンの非形成領域が増えてしまっても、この非形成領域に小さいパネルパターンを形成することにより、マザー基板の有効利用を図ることができ、パネルの製造コストを安価にすることができる。
【０００４】
ところで、このようにＴＦＴパネルパターンを形成するマザー基板とは別に、カラーフィルターのパネルパターンを形成するマザー基板についても、同様にして、１枚のマザー基板に異なるサイズのパネルパターンを形成することがなされている。
カラーフィルターを基板上に形成する方法としては、スピンコート法やフレキソ印刷法に代えて、近年ではインクジェット法に代表される液滴吐出法が採用されるようになってきている。液滴吐出法は、多数のノズルを形成した液滴吐出ヘッドにより、各ノズルから液滴を吐出することで、薄膜パターンを形成する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−３２５３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
カラーフィルターパネルを用いる電気光学装置としては、液晶テレビや携帯電話、デジタルカメラなどがあるが、一般に、携帯電話やデジタルカメラなどの小型パネルでは、液晶テレビ等の大型パネルに比べ、高精細化によって画素サイズ（画素ピッチ）が小さくなる傾向にある。また、携帯電話、デジタルカメラなどでは、カラーフィルターのパターンがストライプ配列であるのに対し、デジタルカメラのビューワーでは、画像特性が良いとして、デルタ配列が好ましいとされている。
【０００７】
ところが、マザー基板にサイズの異なる複数種のカラーフィルターパネルパターンを液滴吐出法で形成しようとした場合、前述したようにパネルパターン間で画素サイズ（画素ピッチ）が異なることにより、異なるパネルパターン間において、形成するカラーフィルターの膜厚に大きな差が生じてしまうことがある。これは、画素サイズが異なることで、例えば第１のパネルパターンにおける第１の画素に対応するノズルの数と、第２のパネルパターンにおける第２の画素に対応するノズルの数とが異なってしまうことで、起こってしまう。
そして、このように異なるパネルパターン間で形成するカラーフィルターの膜厚に大きな差が生じてしまうと、これらパネルパターンの全ての膜厚を、所望の膜厚に形成するのが困難になってしまう。
【０００８】
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、マザー基板に寸法の異なる複数種のパネルパターンを形成する際に、これら異なるパネルパターンに対してそれぞれに所望量のインクを吐出配置できるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドと、前記駆動素子に駆動信号を供給して該駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備え、前記液滴吐出ヘッドを前記マザー基板に対して主走査方向及びこれに直交する副走査方向に相対的に移動させつつ、前記ノズルからインクの液滴を吐出することにより、前記マザー基板に寸法の異なる複数種のパネルパターンを形成する液滴吐出装置であって、
前記制御部は、前記複数種のパネルパターンのうちの少なくとも第１のパネルパターンの形成時と、第２のパネルパターンの形成時との間で、前記ノズルからの液滴の吐出速度が変わるように、前記駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するよう構成されていることを特徴としている。
【００１０】
この液滴吐出装置によれば、制御部により、複数種のパネルパターンのうちの少なくとも第１のパネルパターンの形成時と、第２のパネルパターンの形成時との間で、駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように制御するので、第１のパネルパターンの形成時と第２のパネルパターンの形成時との間で、対応するノズルからの液滴の吐出速度を変えることができる。したがって、第１のパネルパターンにおける第１の画素に対応するノズルの数と、第２のパネルパターンにおける第２の画素に対応するノズルの数とが異なっていても、これらの間で吐出速度を変えることにより、それぞれの画素に対して所望量のインクを吐出することが可能になる。よって、異なるパネルパターンに対して、それぞれ所望の膜厚の薄膜を形成することができる。
【００１１】
また、前記液滴吐出装置においては、前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであってもよい。
このようにすれば、異なるカラーフィルターパネルパターンに対してそれぞれ所望量のインクを吐出配置することで、画素サイズが異なるカラーフィルターパネルパターンに対して、それぞれ所望の膜厚のカラーフィルターパターンを形成することが可能になる。
【００１２】
また、前記液滴吐出装置においては、前記第１のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、ストライプ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであり、前記第２のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、デルタ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであってもよい。
このようにすれば、特に第１のパネルパターンをテレビ用などの大型のパネルパターンに対応させ、第２のパネルパターンをデジタルカメラのビューワー用などの小型のパネルパターンに対応させることができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出方法は、液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを用い、該液滴吐出ヘッドをマザー基板に対して主走査方向及びこれに直交する副走査方向に相対的に移動させつつ、前記ノズルからインクの液滴を吐出することにより、前記マザー基板に寸法の異なる複数種のパネルパターンを形成する液滴吐出方法であって、
前記複数種のパネルパターンのうちの少なくとも第１のパネルパターンの形成時と、第２のパネルパターンの形成時との間で、前記ノズルからの液滴の吐出速度が変わるように、前記ノズルにそれぞれ対応する駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給することを特徴としている。
【００１４】
この液滴吐出方法によれば、複数種のパネルパターンのうちの少なくとも第１のパネルパターンの形成時と、第２のパネルパターンの形成時との間で、駆動素子に対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するので、第１のパネルパターンの形成時と第２のパネルパターンの形成時との間で、対応するノズルからの液滴の吐出速度を変えることができる。したがって、第１のパネルパターンにおける第１の画素に対応するノズルの数と、第２のパネルパターンにおける第２の画素に対応するノズルの数とが異なっていても、これらの間で吐出速度を変えることにより、それぞれの画素に対して所望量のインクを吐出することが可能になる。よって、異なるパネルパターンに対して、それぞれ所望の膜厚の薄膜を形成することができる。
【００１５】
また、前記液滴吐出方法においては、前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであってもよい。
このようにすれば、異なるカラーフィルターパネルパターンに対してそれぞれ所望量のインクを吐出配置することで、画素サイズが異なるカラーフィルターパネルパターンに対して、それぞれ所望の膜厚のカラーフィルターパターンを形成することが可能になる。
【００１６】
また、前記液滴吐出方法においては、前記第１のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、ストライプ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであり、前記第２のパネルパターンは、赤色、緑色、青色にそれぞれ対応する各カラーフィルターを、デルタ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンであってもよい。
このようにすれば、特に第１のパネルパターンをテレビ用などの大型のパネルパターンに対応させ、第２のパネルパターンをデジタルカメラのビューワー用などの小型のパネルパターンに対応させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る液滴吐出装置の概略構成図である。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドの要部斜視図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図３】ノズルの配置を示す液滴吐出ヘッドの底面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は駆動波形を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）はパネルパターンを説明するための模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は各パネルパターンの塗布領域を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。図１は、本発明の液滴吐出装置の一実施形態を示す概略構成図であって、図１中符号１は液滴吐出装置である。
【００１９】
液滴吐出装置１は、固形分として機能性材料を含有し、これを溶媒に溶解し、あるいは分散媒に分散させてなるインク（液状体）をマザー基板Ｗ上に吐出し、機能性材料からなる薄膜、すなわち機能性薄膜を形成するものである。なお、本実施形態では、機能性材料としてカラーフィルター材料を用い、したがって機能性薄膜としてカラーフィルターを形成するものとする。また、本発明では、マザー基板Ｗに対して、寸法（サイズ）の異なる複数種、本実施形態では３種のパネルパターンを形成するものとする。
【００２０】
この液滴吐出装置１は、ベース２と、ベース２上に設けられてマザー基板Ｗを保持する基板ステージ３と、ベース２と基板ステージ３との間に設けられて、基板ステージ３を移動可能に支持する第１移動装置４と、基板ステージ３に保持されたマザー基板Ｗに対してインクを吐出する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５を移動可能に保持する第２移動装置６と、液滴吐出ヘッド５の液滴の吐出動作を制御する制御装置（制御部）７と、を備えて構成されている。また、この液滴吐出装置１においては、前記第１移動装置４及び第２移動装置６によるマザー基板Ｗと液滴吐出ヘッド５との間の相対的な移動も、制御装置７によって制御されるようになっている。
【００２１】
第１移動装置４は、例えばリニアモーター（図示せず）を有したもので、ガイドレール８、８と、これらガイドレール８、８に沿って移動可能に設けられたスライダー９と、を備えて構成されたものである。このような構成によって第１移動装置４は、リニアモーターにより、ガイドレール８、８に沿ってスライダー９をＹ方向（主走査方向）に沿って移動させ、これにより、基板ステージ３に保持されたマザー基板ＷのＹ方向での位置決めを行うようになっている。
基板ステージ３は、マザー基板Ｗを保持し、所定の位置に位置決めするものである。この基板ステージ３には、吸着保持装置（図示せず）が設けられたおり、吸着保持装置が作動することにより、基板ステージ３の孔３Ａを通してマザー基板Ｗを基板ステージ３上に吸着し、保持するようになっている。
【００２２】
スライダー９には、Ｚ軸回り（θＺ）用のモーター１０が設けられている。このモーター１０は、例えばダイレクトドライブモーターであり、モーター１０のローターは基板ステージ３に固定されている。これにより、モーター１０に通電することでローターと基板ステージ３とをθＺ方向に回転させ、基板ステージ３をインデックス（回転割り出し）することができる。すなわち、第１移動装置４は、基板ステージ３をＹ方向及びθＺ方向に移動させることができるように構成されている。
【００２３】
第２移動装置６は、支柱１１、１１によってベース２に設けられたもので、ベース２の後部２Ａ側に形成されたものである。この第２移動装置６には、リニアモーター（図示せず）が設けられており、支柱１１、１１に取り付けられたコラム１２と、このコラム１２に設けられたガイドレール１３と、ガイドレール１３に沿ってＸ方向に移動可能に支持されているキャリッジ１４と、を備えて構成されたものである。キャリッジ１４は、ガイドレール１３に沿ってＸ方向（副走査方向）に移動し、これによってＸ方向に位置決め可能になっている。
【００２４】
キャリッジ１４には、液滴吐出ヘッド５が取り付けられている。この液滴吐出ヘッド５には、揺動位置決め装置としてのモーター６２，６４，６７，６８が設けられており、これによって液滴吐出ヘッド５は、揺動可能になっている。例えば、モーター６２を作動することにより、液滴吐出ヘッド５はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上において位置決めが可能になっている。ここで、このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。
【００２５】
また、モーター６４を作動すると、液滴吐出ヘッド５はＹ軸回りのβ方向に沿って揺動し、モーター６７を作動すると、液滴吐出ヘッド５はＸ軸回りのγ方向に揺動し、さらにモーター６８を作動すると、液滴吐出ヘッド５はＺ軸回りのα方向に揺動するようになっている。そして、このように揺動することにより、液滴吐出ヘッド５はα方向、β方向、γ方向のいずれにおいても、位置決めが可能になっている。すなわち、第２移動装置６は、液滴吐出ヘッド５をＸ方向及びＺ方向に移動可能に保持するとともに、この液滴吐出ヘッド５をθＸ方向、θＹ方向、θＺ方向にも移動可能に保持したものとなっている。
【００２６】
また、液滴吐出ヘッド５は、その部分斜視図である図２（ａ）に示すように、インクタンク（図示せず）に接続するチューブ（図示せず）に連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバー（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティー（液室）２４とを備えて構成されている。ノズルプレート２１の表面（底面）は、複数のノズルＮを形成したノズル面２１ａとなっている。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子からなっている。
【００２７】
リザーバー２２には、材料供給孔２０ａを介してインクタンクから供給されるインクが充填されるようになっている。キャビティー２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに対して１対１に対応して設けられている。また、各キャビティー２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバー２２からインクが導入されるようになっている。
【００２８】
前記圧電素子ＰＺは、液滴吐出ヘッド９の１ノズル分の部分断面図である図２（ｂ）に示すように、圧電膜２５を一対の電極２６で挟持したもので、一対の電極２６に駆動信号が印加されることにより、圧電膜２５が収縮するように構成されたものである。したがって、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティー２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティー２４の容積が増大するようになっている。
【００２９】
よって、キャビティー２４内に増大した容積分に相当するインクが、リザーバー２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加が停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０とは共に元の形状に戻り、キャビティー２４も元の容積に戻る。これにより、キャビティー２４内のインクの圧力が上昇し、ノズルＮからマザー基板Ｗに向けてインクの液滴Ｌが吐出されるようになっている。
【００３０】
ここで、液滴吐出ヘッド５は、その底面図である図３に示すように、複数（本例では１８０個）のノズルＮをＹ方向と直交するＸ方向に等間隔で配列して、ノズル列ＮＡを形成している。そして、このノズル列ＮＡをＹ方向に２列配列し、ノズル列ＮＡ１、ＮＡ２としており、これによって合計３６０個のノズルＮを形成している。また、本例では、前記２列のノズル列ＮＡ１、ＮＡ２を、各ノズルＮが千鳥状に配置されるように、同一列内における隣り合うノズル間のピッチ（列内ノズルピッチＬＰ）を、二つの列間で半ピッチ（ＬＰ／２）ずらしている。そして、この半ピッチ（ＬＰ／２）に対応する長さＰを、本実施形態ではＸ方向において隣り合う一対のノズルＮ、Ｎ間のピッチＰとしており、具体的には７０．５μｍとなっている。
【００３１】
また、このような構成からなる液滴吐出ヘッド５には、図１において図示を省略しているものの、チューブを介してカラーフィルター用のインクを貯留したタンクが接続されている。これによって液滴吐出ヘッド５は、タンクからカラーフィルター用のインクが供給されることにより、その吐出が可能になっている。
【００３２】
制御装置（制御部）７は、第１移動装置４に、液滴吐出ヘッド５（キャリッジ１４）をマザー基板Ｗに対してＹ方向（主走査方向）に相対移動させる、Ｙ方向位置制御信号を出力するとともに、第２移動装置６に、液滴吐出ヘッド５（キャリッジ１４）をマザー基板Ｗに対してＸ方向（副走査方向）に相対移動させる、Ｘ方向位置制御信号を出力するようになっている。また、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板（図示せず）を介して個々の圧電素子（駆動素子）ＰＺに、それぞれ駆動信号を出力（供給）するようになっている。駆動信号は、例えば図４（ａ）、（ｂ）に示すような駆動波形を有するものであり、インクの単位吐出量（１ドットの量）はこの駆動波形によって変化する。
【００３３】
すなわち、駆動波形は、高電位ＶＨと低電位ＶＬとの電位差によって規定される駆動電圧を有し、基本的にこの駆動電圧によって１ドットの量（単位吐出量）Ｗが決まる。これに対し、単位時間当たりの吐出回数は、図４（ａ）、（ｂ）においてｔ１、ｔ２で示す周期の、１秒間（単位時間）における繰り返し回数である駆動周波数Ｆ１（＝１／ｔ１）、Ｆ２（＝１／ｔ２）によって決まる。したがって、単位時間当たりの吐出量も、駆動電圧が一定（すなわち単位吐出量が一定）である場合、吐出回数に比例することから、駆動周波数Ｆ１、Ｆ２によって決まる。つまり、図４（ａ）、（ｂ）に示したように駆動電圧が一定であり、駆動周波数Ｆ１が例えば２０ｋＨｚであり、駆動周波数Ｆ２が例えば３０ｋＨｚであるとすると、図４（ａ）に示した駆動波形の駆動信号が供給された駆動素子ＰＺに対応するノズルＮでは、図４（ｂ）に示した駆動波形の駆動信号が供給された駆動素子ＰＺに対応するノズルＮに比べ、その単位時間当たりの吐出量が、（２／３）になることになる。
【００３４】
そこで、本実施形態の制御装置７は、前記複数のノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して、これらノズルＮから吐出するインクによって形成するカラーフィルターがそれぞれ所望の膜厚になるように、これらノズルＮにそれぞれ対応する駆動素子ＰＺに対し、異なる駆動周波数Ｆの駆動信号を供給するようにしている。具体的には、マザー基板Ｗに形成する複数種の異なるパネルパターンに対して、それぞれの画素サイズ（画素ピッチ）に応じた適正な量のインクが吐出配置されるように、液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して、それぞれに駆動信号を供給している。
【００３５】
ここで、本実施形態では、１枚のマザー基板Ｗに対して、図５（ａ）に示すように寸法（サイズ）の異なる３種類のパネルパターンを形成する。図５（ａ）において一番大きなサイズの第１のパネルパターン３０は、例えば対角の長さが５０インチの矩形状のものであり、一番小さなサイズの第２のパネルパターン４０は、例えば対角の長さが２インチの正方形状のものである。また、二番目に大きなサイズの第３のパネルパターン５０は、例えば対角の長さが２０インチの矩形状のものである。なお、第１のパネルパターン３０及び第３のパネルパターン５０は、例えば液晶テレビのカラーフィルター基板（カラーフィルターパネル）用であり、第２のパネルパターン４０は、例えばデジタルカメラにおけるビューワーのカラーフィルター基板（カラーフィルターパネル）用である。
【００３６】
また、本実施形態では、１枚のマザー基板Ｗに対してより効率良くパネルパターンを形成できるように、矩形状のマザー基板Ｗの長辺の長さ方向に沿って２枚の第１のパネルパターン３０を配置し、また、５枚の第３のパネルパターン５０を配置し、さらに、１７枚の第２のパネルパターン４０を配置する。ただし、矩形状の第１のパネルパターン３０については、その長辺の長さ方向をマザー基板Ｗの長辺の長さ方向に一致させ、矩形状の第３のパネルパターン５０については、その長辺の長さ方向をマザー基板Ｗの長辺の長さ方向に直交させている。
【００３７】
また、このような各パネルパターン３０、４０、５０において、形成するカラーフィルターの各画素は、それぞれ図５（ｂ）〜（ｄ）に示すようになる。すなわち、第１のパネルパターン３０におけるＡ部を拡大した図５（ｂ）に示すように、各画素３１は矩形状の第１のパネルパターン３０に対してマトリクス状に配置される。そして、各画素３１は、赤色に対応する矩形状のサブピクセル３２Ｒと、緑色に対応する矩形状のサブピクセル３２Ｇと、青色に対応する矩形状のサブピクセル３２Ｂとからなる。これら各サブピクセル３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂは、それぞれ第１のパネルパターン３０の短辺の長さ方向に沿って配列させられ、したがってストライプ配列させられる。
【００３８】
一方、第２のパネルパターン４０では、Ｂ部を拡大した図５（ｃ）に示すように、赤色に対応する正方形状のサブピクセル４２Ｒと、緑色に対応する正方形状のサブピクセル４２Ｇと、青色に対応する正方形状のサブピクセル４２Ｂとをデルタ配列させて、各画素が形成される。
【００３９】
また、第３のパネルパターン５０では、Ｃ部を拡大した図５（ｄ）に示すように、各画素５１は矩形状の第３のパネルパターン５０に対してマトリクス状に配置される。そして、各画素５１は、赤色に対応する矩形状のサブピクセル５２Ｒと、緑色に対応する矩形状のサブピクセル５２Ｇと、青色に対応する矩形状のサブピクセル５２Ｂとからなる。これら各サブピクセル５２Ｒ、５２Ｇ、５２Ｂは、それぞれ第３のパネルパターン５０の短辺の長さ方向に沿って配列させられ、したがってストライプ配列させられる。
【００４０】
また、このように各パネルパターン３０、４０、５０を配置するマザー基板Ｗに対し、液滴吐出ヘッド５は、図５（ａ）に示すようにマザー基板Ｗの短辺の長さ方向に平行に配置され、したがってそのノズル列ＮＡもマザー基板Ｗの短辺の長さ方向に沿って配列させられている。そして、この液滴吐出ヘッド５は、図１に示した第１移動装置４により、マザー基板Ｗに対してＸ方向（副走査方向）に相対移動させられるようになっている。また、マザー基板Ｗは、第２移動装置６により、液滴吐出ヘッド５に対してＹ方向（主走査方向）に相対移動させられるようになっている。
【００４１】
ここで、図５（ｂ）に示した各サブピクセル３２Ｒ（３２Ｇ、３２Ｂ）は、図６（ａ）に示すように長辺が０．６ｍｍ、短辺が０．２ｍｍの矩形状になっており、例えば隔壁（バンク）に囲まれてなるその塗布領域３３は、サブピクセル３２Ｒ（３２Ｇ、３２Ｂ）内に一回り小さく形成される。同様に、図５（ｄ）に示した各サブピクセル５２Ｒ（５２Ｇ、５２Ｂ）は、図６（ｂ）に示すように長辺が０．３２４ｍｍ、横が０．１０８ｍｍの矩形状になっており、その塗布領域５３は、サブピクセル５２Ｒ（５２Ｇ、５２Ｂ）内に一回り小さく形成される。ただし、これらサブピクセル５２Ｒ（５２Ｇ、５２Ｂ）は、その短辺の長さ方向が、サブピクセル３２Ｒ（３２Ｇ、３２Ｂ）の長辺の長さ方向（Ｘ方向）に一致させられて配置される。
【００４２】
また、図５（ｃ）に示した各サブピクセル４２Ｒ（４２Ｇ、４２Ｂ）は、図６（ｃ）に示すように一辺が０．１ｍｍの正方形状になっており、その塗布領域４３は、サブピクセル４２Ｒ（４２Ｇ、４２Ｂ）内に一回り小さく形成される。ただし、これらサブピクセル４２Ｒ（４２Ｇ、４２Ｂ）における塗布領域４３は矩形状になっており、その短辺の長さ方向が、サブピクセル３２Ｒ（３２Ｇ、３２Ｂ）の長辺の長さ方向（Ｘ方向）に一致させられて配置される。
【００４３】
これらパネルパターン３０、４０、５０において、それぞれのサブピクセル３２Ｒ（３２Ｇ、３２Ｂ）、４２Ｒ（４２Ｇ、４２Ｂ）、５２Ｒ（５２Ｇ、５２Ｂ）の塗布領域３３、４３、５３は、その面積が大きく異なることから、これら各塗布領域に形成する全てのカラーフィルターを、例えばほぼ同じ厚さにするなど所望の厚さに形成しようとした場合、塗布領域毎にインクの配置量（吐出量）を変える必要がある。
【００４４】
また、これら塗布領域３３、４３、５３は、そのＸ方向に沿う幅が互いに異なることから、これら各塗布領域３３、４３、５３に対して同時に吐出可能となる液滴吐出ヘッド５のノズルの数も、異なっている。すなわち、図６（ａ）に示した第１のノズルパターン３０における塗布領域３３では、７個のノズルＮが対応可能となっていて、これら７個のノズルＮから該塗布領域３３に同時に吐出するようになっている。一方、図６（ｂ）に示した塗布領域５３、図６（ｃ）に示した塗布領域４３に対しては、いずれも１個のノズルＮのみが対応可能となっており、したがって１個のノズルＮからのみ該塗布領域３３に吐出するようになっている。
【００４５】
そこで、本実施形態では、液滴吐出ヘッド５を用いて第１のパネルパターン３０、第２のパネルパターン、第３のパネルパターン５０をそれぞれ形成する場合に、制御装置（制御部）７により、これら各パネルパターン毎に、これらに対応する液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮの圧電素子（駆動素子）ＰＺに対して、異なる駆動周波数の駆動信号を供給するようにしている。
【００４６】
このような構成の液滴吐出装置１により、マザー基板Ｗに対してインクを吐出してカラーフィルターのパネルパターン３０、４０、５０を形成するには、まず、図１に示した基板ステージ３上にマザー基板Ｗをセットする。
次いで、第１移動装置４及び第２移動装置６により、マザー基板Ｗと液滴吐出ヘッド５（キャリッジ１４）とを、Ｘ方向（副走査方向）及びＹ方向（主走査方向）にそれぞれ相対移動させる。マザー基板ＷのＹ方向への相対移動については、例えば２００ｍｍ／秒とする。そして、制御装置７により、各ノズルＮの駆動素子ＰＺに対して、パネルパターン３０、４０、５０にそれぞれ対応した駆動周波数の駆動信号を供給する。
【００４７】
例えば、図６（ａ）に示した第１のパネルパターン３０の形成時には、そのサブピクセル３２Ｒ（３２Ｇ、３２Ｂ）の塗布領域３３に対して、７個のノズルＮから所定時間内にそれぞれ７ドットずつ吐出し、合計４９ドット配置する。したがって、これら７個のノズルＮについては、その駆動周波数を２０ｋＨｚとする。一方、図６（ｂ）に示した第３のパネルパターン５０の形成時には、そのサブピクセル５２Ｒ（５２Ｇ、５２Ｂ）の塗布領域５３に対して、１個のノズルＮから所定時間内に３０ドット吐出する。したがって、この１個のノズルＮについては、前記第１のパネルパターン３０の形成時に比べ十分に吐出速度を速くするべく、その駆動周波数を３０ｋＨｚとする。
【００４８】
また、図６（ｃ）に示した第２のパネルパターン４０の形成時には、そのサブピクセル４２Ｒ（４２Ｇ、４２Ｂ）の塗布領域４３に対して、１個のノズルＮから所定時間内に１０ドット吐出する。したがって、この１個のノズルＮについては、前記第１のパネルパターン３０の形成時に比べ吐出速度を速くするべく、その駆動周波数を２８．６ｋＨｚとする。
これにより、各パネルパターン３０、４０、５０のサブピクセルにおいて乾燥後に形成されるカラーフィルターを、全て所望の膜厚になるように形成することが可能になる。
【００４９】
このように本実施形態の液滴吐出装置１、及びこの液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法によれば、複数種のパネルパターン３０、４０、５０の各形成時毎に、圧電素子（駆動素子）ＰＺに対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するので、各パネルパターン３０、４０、５０に対応するノズルＮからの液滴の吐出速度を変えることができ、したがって、各パネルパターン３０、４０、５０のそれぞれ画素（サブピクセル）に対して、所望量のインクを吐出することができる。よって、異なるパネルパターン３０、４０、５０に対して、それぞれ所望の膜厚のカラーフィルターパターンを形成することができる。
【００５０】
また、第１のパネルパターン３０及び第３のパネルパターン５０を、ストライプ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンとし、第２のパネルパターン４０を、デルタ配列させてなるカラーフィルターパネルパターンとしたので、特に第１のパネルパターン３０及び第３のパネルパターン５０をテレビ用などの大型のパネルパターンに対応させ、第２のパネルパターンをデジタルカメラのビューワー用などの小型のパネルパターンに対応させることができる。
【００５１】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では本発明をカラーフィルターの形成に適用したが、例えば有機ＥＬ素子（有機ＥＬ装置）において発光材料や正孔注入材料を所定位置に配する場合にも適用することができ、さらには、金属配線など、回路パターンを構成する種々の薄膜要素の形成にも、本発明の吐出装置及び吐出方法を適用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１…液滴吐出装置、５…液滴吐出ヘッド、７…制御装置（制御部）、３０…第１のパネルパターン、３１…画素、３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂ…サブピクセル、３３…塗布領域、４０…第２のパネルパターン、４２Ｒ、４２Ｇ、４２Ｂ…サブピクセル、４３…塗布領域、５０…第３のパネルパターン、５１…画素、５２Ｒ、５２Ｇ、５２Ｂ…サブピクセル、５３…塗布領域、Ｗ…マザー基板、ＰＺ…圧電素子（駆動素子）、Ｎ…ノズル、ＮＡ、ＮＡ１、ＮＡ２…ノズル列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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