(57)【要約】【課題】  磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても、あるいはサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずにテストデータの書込ができ、磁気ヘッドの検査が可能な磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターを提供することにある。【解決手段】  この発明は、磁気ディスクの半径方向に所定の速度で所定のトラックを横断させるとともにライトヘッドにより複数周分テストデータを書込む。このことで、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間で熱ドリフトが発生したとしても所定のトラックには複数周分テストデータの書込みによりテストデータの書込まれた領域を確保することができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ライトヘッドとリードヘッドとを有する複合磁気ヘッドを磁気ディスクの所定のトラックの手前あるいは後ろへシフトさせて位置決めし、
書込開始信号に応じて前記磁気ディスクの半径方向に所定の速度で前記所定のトラックを横断させるとともに前記ライトヘッドにより複数周分テストデータを前記所定のトラックに書込み、
前記複合磁気ヘッドを前記所定のトラック位置に位置決めして前記リードヘッドにより前記テストデータを読出して前記磁気ヘッドの検査をする磁気ヘッドテスト方法。
【請求項２】
前記半径方向の前記所定の速度は、前記磁気ディスクの１回転で前記所定のトラックのトラック幅の１／２〜１／１０を移動する速度であり、前記複数周分のテストデータの書込は、前記複合磁気ヘッドが前記所定のトラックの横断を完了する回数か、それ以上の回数で行われる請求項１記載の磁気ヘッドテスト方法。
【請求項３】
前記リードヘッドにより読出された前記所定のトラックのテストデータに対して最大読出電圧値を検出して、この最大読出電圧値検出点から前記最大読出電圧値に対して所定値低下した読出電圧までの範囲が所定の基準値以上あるときに、その範囲を検査データの範囲として前記所定のトラックに設定して前記検査データの範囲で磁気ヘッドの検査が行われる請求項２記載の磁気ヘッドテスト方法。
【請求項４】
前記磁気ディスクは、各セクタに対応してサーボ情報が設定されたものであり、前記ライトヘッドの書込みトラック幅は、１００ｎｍ以下である請求項３記載の磁気ヘッドテスト方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のうちの１項記載の磁気ヘッドのテスト方法を用いる磁気ヘッドテスター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターに関し、詳しくは、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても、あるいはサーボ情報を読出してトラックにダイナミックにＯＮトラック状態に位置決めするＯＮトラックサーボ制御、いわゆるサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずにテストデータの書込ができ、磁気ヘッドの検査が可能な磁気ヘッドテスト方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータシステムのデータ記憶に使用されるハード磁気ディスク駆動装置（以下単にＨＤＤ）に搭載されている磁気ディスクには、磁気ヘッドの位置制御用などのためにサーボトラックライタによりサーボ情報（サーボ信号）が書込まれ、トラックに対して設定される。
最近の小型ディスクでは、ディスクを１枚あるいは２枚とする場合が多く、サーボ情報の設定方式は、各ディスクのトラックのセクタ対応にそれぞれサーボ情報を設定するセクターサーボ方式が用いられている。
セクターサーボ方式では、１枚のディスクの表裏両面の各トラックの各セクタに同一のサーボ情報が設定される。この種の技術としては、この出願人による特開平１０−１０６１９４号「ディスクドライブのサーボトラック設定方法」（特許文献１）を挙げることができる。
一方、磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターでは、ディスク上に設定されたサーボ情報に従って所定のデータがトラックに書込まれ、そのデータを読出してディスクあるいは磁気ヘッドの電気的な性能のテストが行われる。
【０００３】
近年、磁気ディスクの高密度化が進み、現在では数百ギガオーダのＨＤＤが主流となってきている。このような磁気ディスクの高記録密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量は低下してきている。
そのため、磁気ヘッド検査装置あるいは磁気ディスク検査装置では、磁気ヘッドの位置決めを粗動ステージとピエゾ素子による微動ステージとを組合わせることで位置決め精度の向上を図っているが、トラック幅が１００ｎｍ以下となる現在でも微動移動ステージの移動範囲は、１００本〜２００本程度のトラックの範囲までしか対応できない。そこで、例えば、２００本程度のトラックの位置決め後のその次のトラックは、粗動ステージで磁気ヘッドを移動させなければならず、その上で微動移動ステージで磁気ヘッドを次のトラックに位置決めすることになる。
【０００４】
しかし、粗動ステージを介しての位置決めが入る都度、トラック間隔は不連続になり、磁気ヘッドが高精度にトラックに位置決めされても、磁気ヘッドを位置決めした後には機械的に磁気ヘッドをその位置に固定することになるので、時間経過とともに磁気ディスク上の記録トラック位置と磁気ヘッドのコアの位置とが相対的にずれる熱ドリフトが発生してトラックに対するヘッド位置決め位置がずれる。
そこで、このような熱ドリフトに対処するために、また、トラック間隔の不連続性に対処するために、電気的な制御で磁気ヘッドをトラックに追従させるサーボフォローイングが行われている。
これは、磁気ディスクにサーボ情報をセクタ対応に設定して、サーボ情報を読出してトラックにダイナミックにＯＮトラック状態に位置決めするＯＮトラックサーボ制御による（特許文献２）。
そのために、ＨＤＤの製造工程においてサーボトラックライタによりあらかじめサーボ情報を磁気ディスクに書込んでおき、この書込んだ高密度記録の磁気ディスクのトラックに対して磁気ヘッドをアクセスさせて磁気ヘッド、磁気ディスクの検査が行われている（特許文献３）。
【特許文献１】特開平１０−１０６１９４号公報
【特許文献２】特開２００２−１３３６０１号公報
【特許文献３】特開２００２−９３０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
現在では、トラック幅が１００ｎｍ以下になる場合には、磁気ヘッド検査装置がセクターサーボ方式で磁気ディスクにサーボ情報を書込んで、その後に磁気ヘッドあるいは磁気ディスクの検査をすることが提案されている。
その理由は、磁気ヘッドアッセンブリを交換する都度、サーボ情報書込位置と磁気ヘッドのトラック位置とのずれが生じるからであり、特に、熱ドリフトが発生すると、その分、磁気ヘッドの書込み、読出が不安定になり易く、リードヘッドの再生出力が低下する問題があるからである。
また、検査装置自体が粗動ステージ＋微動ステージで磁気ヘッドを位置決めして磁気ヘッドによりサーボ情報を書込む場合には、書込まれる次のトラックのサーボ情報の書込位置（トラック位置）や書込間隔（トラック間隔）は、磁気ヘッドアッセンブリのばらつきに応じて決定される。そこで、他の磁気ヘッドアッセンブリで設定されて書込まれたサーボ情報との整合性が採れなくなる問題がある。
【０００６】
この意味で特許文献３のようにＨＤＤの製造工程においてサーボトラックライタによりサーボ情報を書込んだ高密度記録の磁気ディスクに対して磁気ヘッドを位置決めして磁気ヘッドの検査をする場合には磁気ヘッドとの不整合性の問題が生じる上に、特許文献３の技術では、磁気ディスクに対してサーボトラックライタによるサーボ情報の設定工程が必要になるので、その分、検査効率が落ちる問題もある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても、あるいはサーボ情報を読出してサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずにテストデータの書込ができ、磁気ヘッドの検査が可能な磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するこの発明の磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターの特徴は、ライトヘッドとリードヘッドとを有する複合磁気ヘッドを磁気ディスクの所定のトラックの手前あるいは後ろへシフトさせて位置決めし、
書込開始信号に応じて磁気ディスクの半径方向に所定の速度で所定のトラックを横断させるとともにライトヘッドにより複数周分テストデータを所定のトラックに書込み、複合磁気ヘッドを所定のトラック位置に位置決めしてリードヘッドによりテストデータを読出して磁気ヘッドの検査をするものである。
【発明の効果】
【０００８】
このように、この発明にあっては、磁気ディスクの半径方向に所定の速度で所定のトラックを横断させるとともにライトヘッドにより複数周分テストデータを所定のトラックに書込む。このことで、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間で熱ドリフトが発生したとしても所定のトラックには複数周分テストデータの書込みにより半径方向のヘッド移動に応じてテストデータの書込まれる領域をトラックの中に必ず確保することができる。
なお、通常、磁気ディスクは、トラックに重ね書きして新しいでデータを記録すると、そのデータの読出信号は、実質的に新しいでデータに対応する信号が強いレベルで発生するので、たとえ、テストデータの書込領域が重なっても問題は生じない。
【０００９】
また、磁気ヘッドのテストは、トラックのうちの１／１６周分程度の領域があればヘッドテストが可能になる。そこで、トラック横断中に、例えば、２周分テストデータが書き込まれると、通常、熱ドリフトに影響でトラックの２個所にテストデータが磁気ヘッドにより一部斜め書きされることになる。このとき、磁気ディスクの半径方向の移動速度と磁気ディスクの回転速度とによりテストデータが書き込まれる領域が決定されることになるが、この発明では、その領域の長さが１／１６周以上あればよいので、例えば、半径方向のヘッドの移動速度は、磁気ディスクの１回転で所定のトラックのトラック幅の１／２〜１／１０程度を移動する速度であればよい。トラック幅の１／２〜１／１０程度の速度があれば十分に磁気ヘッドをテストする１／１６周分程度の書込領域を確保できる。
【００１０】
ところで、通常、磁気ヘッドがトラックにサーボフォローイングできるまでの走査時間は、ディスク１周分＋１／３周分程度の回転か、それ以上の回転が必要になる。したがって、磁気ヘッドの検査の際にサーボフォローイングしたとしても２周分程度の時間は最低でもかかる。この意味から複数周分のテストデータの書込みは、サーボフォローイングに対して時間的なそん色はほとんどない。
その結果、この発明は、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても済み、あるいはサーボ情報を読出してサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずに磁気ヘッドの検査が可能になる。さらに、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても済むので、その分、磁気ヘッドの検査効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、この発明の磁気ヘッドのテスト方法を適用した一実施例の磁気ヘッドテスターの説明図、図２は、検査磁気ヘッドの検査処理のフローチャート、図３（ａ）は、時間経過とともに相対的にずれる熱ドリフトについての説明図、図３（ｂ）は、ライトヘッドの半径方向移動・テストデータ書込み動作の説明図、そして図３（ｃ）のテストデータの記録状態の説明図である。
図１において、１０は、磁気ディスクテスターであり、１は、磁気ディスク（以下ディスク）であって、スピンドル２に着脱可能に挿着されている。
スピンドル２に隣接してヘッドキャリッジとしてＸＹステージ３が設けられ、ＸＹステージ３は、Ｘステージ３ａとＹステージ３ｂからなる。
Ｙステージ３ｂは、Ｘステージ３ａ上に搭載され、ヘッド９に対してスキュー調整のための移動を行うステージである。このＹステージ３ｂ上には、Ｘ方向の位置を微調整するピエゾステージ４が搭載されている。
Ｘステージ３ａは、ディスク１のＸ方向（半径方向）に移動する粗動の移動ステージである。これは、ピエゾステージ４をＹステージ３ｂを介してディスク１の半径方向に移動させる。ピエゾステージ４は、リードヘッド（ＭＲヘッド）とライトヘッド（薄膜インダクティブヘッド）を有する、検査対象となる複合磁気ヘッド９（以下ヘッド９）を半径方向に移動させる。
【００１２】
ピエゾステージ４は、微動ステージであって、移動ベース４ａとカートリッジ取付ベース４ｂ、そしてピエゾアクチュエータ５とからなり、移動ベース４ａの先端側にはヘッドカートリッジ取付ベース４ｂが結合されている。移動ベース４ａは、Ｙステージ３ｂにピエゾアクチュエータ５を介して搭載され、カートリッジ取付ベース４ｂをＸ軸に沿って移動させる。
これにより、ピエゾアクチュエータ５が駆動されることでカートリッジ取付ベース４ｂがＸ方向に移動してディスク１の半径方向のヘッド位置の微調整がヘッドカートリッジ６を介して行われる。なお、Ｘ方向は、ディスク１の中心を通る半径方向に一致している。
【００１３】
ヘッドカートリッジ６は、カートリッジ取付ベース４ｂにピエゾアクチュエータ７を介して搭載され、ヘッドカートリッジ６には、サスペンションスプリング８が固定されている。このピエゾアクチュエータ７は、ヘッドカートリッジ６の内部に設けられていてもよい。このような場合には、サスペンションスプリング８とヘッドカートリッジ６におけるサスペンションスプリング８の取付け台との間に搭載され、サスペンションスプリング８を直接半径方向に移動させる。
サスペンションスプリング８の先端側にはヘッド９が搭載されている。ヘッド９は、ディスク１のＸ軸方向に沿う半径方向に移動してディスク１のトラックをシークしてそのトラックに位置決めされてデータをそのトラックから読出す、あるいはそのトラックにデータを書込む、いわゆるヘッドアクセス動作をする。
【００１４】
ヘッドカートリッジ６は、ヘッド９をヘッドキャリッジに装着するものであって、ヘッド９を着脱可能にヘッドキャリッジに搭載し、内部には読出アンプと書込アンプ等が設けられている。読出アンプは、ＭＲヘッドから読出信号を受けてそれを増幅してデータ読出回路１５に出力する。
データ読出回路１５は、ＭＲヘッドからの読出信号をヘッドカートリッジ６に設けられた読出アンプから受けて、二値化してデータ処理・制御装置２０に送出する。１６は、ヘッドアクセス制御回路であって、データ処理・制御装置２０からの制御信号を受けてＸＹステージ３とピエゾアクチュエータ５，７とを駆動してヘッド９を目標となる所定のトラックに位置決めする。
１７はデータ書込回路、１８は、テストデータ生成回路である。データ書込回路１７は、受けたテストデータに従って書込信号を生成して、ヘッドカートリッジ６に設けられた書込アンプを駆動し、ヘッド９の薄膜インダクティブヘッドを介して所定のトラックにデータを書込む。テストデータ生成回路１８は、データ処理・制御装置２０により制御されて所定のテストデータを作成してそれをデータ書込回路１７に送出する。なお、１９は、ディスク駆動回路であって、ディスク１をスピンドル２を介して回転駆動する。
【００１５】
データ処理・制御装置２０は、ＭＰＵ２１とメモリ２２、インタフェース２３、ＣＲＴディスプレイ２４、そしてキーボード等により構成され、これらがバスにより相互に接続されている。
メモリ２２には、ヘッドアクセスプログラム２２ａ、ヘッドシフト位置決めプログラム２２ｂ、半径方向移動・テストデータ書込みプログラム２２ｃ、テストデータ読出プログラム２２ｄ、検査データ決定プログラム２２ｅ、そして磁気ヘッド合否判定プログラム２２ｆ等が記憶されている。
【００１６】
図２は、検査磁気ヘッドの検査処理のフローチャートである。
ＭＰＵ２１は、ヘッドアクセスプログラム２２ａを実行してインタフェース２３を介してヘッドアクセス制御回路１６の所定のレジスタにＲ方向の移動距離ｒ［ｍｍ］を設定してヘッドアクセス制御回路１６を起動する。
レジスタにＲ方向の移動距離ｒ［ｍｍ］が設定されることにより、Ｘステージ３ａが基準点あるいは所定のトラック位置からｒ［ｍｍ］分、粗動移動し、さらにピエゾステージ４が駆動されて距離ｒに向かって微動移動してヘッド９を目標トラックＴＲ（図３（ａ）〜（ｃ）参照）に位置決めする（ステップ１０１）。  これにより、ヘッド９は、基準点あるいは所定のトラック位置から目標トラックＴＲに移動して位置決めされる。
目標トラックＴＲへのヘッド位置決めが完了すると、ＭＰＵ２１は、ヘッドシフト位置決めプログラム２２ｂをコールする。
【００１７】
ＭＰＵ２１は、ヘッドシフト位置決めプログラム２２ｂを実行してピエゾステージ４（ピエゾアクチュエータ５）を駆動して目標トラックＴＲの手前へヘッド９の位置をシフトさせて位置決めする（ステップ１０２）。
この位置決めは、例えば、ヘッドアクセス制御回路１６のレジスタに設定されるＲ方向の移動距離として、ｒ−［Ｗ／２＋α］の距離が設定されることにより行われる。ただし、Ｗは、トラック幅であり、ここでは、４０ｎｍとする。αは、トラックの手前に移動するための余裕分の距離であり、磁気ヘッドアッセンブリのばらつきを考慮して、例えば、５ｎｍ程度が選択される。
次に、ＭＰＵ２１は、半径方向移動・テストデータ書込みプログラム２２ｃをコールして実行し、書込開始のセクタ信号ＳＣ（以下書込開始信号ＳＣ）（図３（ａ）〜（ｃ）参照）に同期して半径方向のシークを開始し、同時に書込開始信号ＳＣに同期して書込みを開始する（ステップ１０３）。
そして、ヘッドアクセス制御回路１６によりピエゾアクチュエータ５，７とを駆動してながら目標トラックＴＲにテストデータを４周分、書込む（ステップ１０４）。
なお、サーボフォローイングのためのＯＮトラックサーボ回路が設けられているときには、このときのピエゾアクチュエータ５，７の駆動はＯＮトラックサーボ回路で行われてもよい。
【００１８】
図３は、テストデータの書込み状態の説明図であって、図３（ａ）は、ディスク１上の記録トラック位置とヘッド９のライトヘッドのコアの位置とが時間経過とともに相対的にずれる熱ドリフトについての説明図である。
ステップ１０１の目標トラックＴＲへの位置決め後にテストデータの書込みを行うと、ライドヘッド（黒四角）の位置は、図示するように、位置決め位置（●）からの矢印Ａで示すように、トラック１周分走査したときには、トラックから外れた位置にまでヘッド９（ライトヘッド）が移動してしまう。しかし、読出しを行うのはヘッド９のリードヘッドの位置であるので、ヘッド９（リードヘッド）を目標トラックＴＲへの位置決めしても目標トラックＴＲにはテストデータが少ししか記録されていないので、テストデータの読出あるいはヘッド検査が実質的にできない。
図３（ａ）に示すようにヘッド位置決め後の時間経過とともに、ライトヘッドは、目標トラックＴＲに対してずれが生じ、４０ｎｍ幅のトラックでは、ディスクが１回転して１周分の書込みを行うときには、熱ドリフトにより２０ｎｍ〜５０ｎｍ／１回転程度のずれが発生することがある。
【００１９】
図３（ｂ）は、この実施例による前記のステップ１０３により開始される半径方向移動・テストデータ書込み動作の説明図である。
図面左側に示すように半径方向に下から上に向かって１５ｎｍ／１回転の速度でヘッド９を半径方向に移動させると、第１周目の書込みでは、目標トラックＴＲ上にヘッド９は乗らないが、第２周目以降は、目標トラックＴＲの一部でヘッド９がトラックを横断する領域が発生する。そこで、連続的に４周分同じトラックにテストデータを書込むと、図３（ｃ）のテストデータの記録状態に示すように、目標トラックＴＲの一部にテストデータ書込領域が複数個所形成され、確保することができる。
なお、ディスクの１回転に対する半径方向のヘッド９の移動速度は、トラック幅の１／２〜１／１０程度の速度が好ましく、トラック１周分の複数回の書込回数は、ヘッド９がトラックの横断を完了する回数か、それ以上の回数である。
【００２０】
次に、ＭＰＵ２１は、テストデータ読出プログラム２２ｄをコールして実行し、図２のステップ１０５において目標トラックＴＲの中心位置にヘッドを位置決めして、書込開始信号ＳＣに同期してリードヘッドにより目標トラックＴＲからテストデータを読出してメモリ２２の作業領域に記憶する（ステップ１０６）。
次に、ＭＰＵ２１は、検査データ決定プログラム２２ｅをコールして実行し、目標トラックＴＲに書込まれたテストデータの読出電圧Ｑから最大読出電圧値を検出して（ステップ１０７）、この最大読出電圧値検出点から前記最大読出電圧値に対して読出電圧Ｑが所定の基準値Ｐを越えているか否か（Ｑ＞Ｐ）を判定し、さらに所定値低下した読出電圧までの走査時間ｔが所定の基準走査時間ｔsを越えているかを判定して、検査データ範囲を検出する（ステップ１０８）。
なお、読出電圧Ｑにおける最大読出電圧値は、図３（ｃ）のテストデータの記録状態からして通常は実質的に平坦部となって連続的に現れてくるので、その実質的な平坦部において最初の位置を最大読出電圧値検出点とする。
【００２１】
この場合の範囲は、図３（ｃ）に示すように、最大読出電圧値を検出するまでの走査時間ｔ1として、基準値Ｐを越えている最後までの走査時間ｔ2とすると、ステップ１０８における走査時間ｔは、ｔ＝ｔ1−ｔ2により算出される。
この走査時間ｔがｔ＞ｔsであるか否かを判定することにより検査データの範囲が決定される。
すなわち、検査データの範囲は、Ｑ＞Ｐ  ＡＮＤ  ｔ＞ｔsの範囲である。
なお、読出レベルの基準値Ｐは、目標トラックＴＲに９割以上の範囲でテストデータが書込まれた領域であり、走査時間ｔｓは、１／１６周の長さに対応している。
その結果として、図３（ｃ）の中央部分に黒色で示す、テストデータの書込領域Ｒを決定することができる。
【００２２】
ステップ１０８で、ＹＥＳとなると、目標トラックＴＲのこの領域を検査データの範囲Ｒとして目標トラックＴＲに設定して（ステップ１０９）、以後の磁気ヘッドの検査がこの範囲の読出データにおいて行われる。
そして、ＭＰＵ２１は、磁気ヘッド合否判定プログラム２２ｆをコールして、選択された領域の検査データに基づきヘッド９の合否の判定処理をする（ステップ１０９）。さらに、以降の検査処理は、設定された検査データの範囲でヘッドの合否を判定する処理に入る（ステップ１１０）。
これにより、これ以降は、検査データの範囲Ｒでテストデータを読出してヘッドの検査が行われる。
【００２３】
ステップ１０８の判定でＮＯとなると、リトライ回数ｎをインクリメントして（ステップ１１１）、ｎ＞５以上かを判定して（ステップ１１２）、ここでＮＯとなれば、ステップ１０２へと戻り、同様の処理をステップ１０２から繰り返す。
ステップ１１２で、ＹＥＳとなると、ヘッド９を不合格と判定してそのヘッド９を不合格処理にする（ステップ１１３）。
この場合には、新しい未検査のヘッド９をヘッドキャリッジに装着して（ステップ１１４）、ステップ１０１から同様な検査をする。
なお、ステップ１１１におけるｎは、検査開始時に初期値としてｎ＝１に設定されているものである。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
以上説明してきたが、実施例におけるヘッドの半径方向の移動速度は一例であって、実施例に示すものに限定されない。
また、実施例では、ヘッド９をディスク１の所定のトラックに位置決めしてこのトラックの手前にヘッド９の位置をシフト位置決めしている。しかし、これは、所定のトラックの後ろ側にヘッド９の位置をシフトさせて位置決めし、その後目標トラックを前方向に戻って横断するようにしてもよいことはもちろんである。  
なお、実施例のディスクは、各セクタに対応してサーボ情報が設定されたディスクであってもよいことはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、この発明の磁気ヘッドのテスト方法を適用した一実施例の磁気ヘッドテスターの説明図である。
【図２】図２は、検査磁気ヘッドの検査処理のフローチャートである。
【図３】図３（ａ）は、時間経過とともに相対的にずれる熱ドリフトについての説明図、図３（ｂ）は、ライトヘッドの半径方向移動・テストデータ書込み動作の説明図、そして図３（ｃ）のテストデータの記録状態の説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１…ディスク、２…スピンドル、
３…ＸＹステージ、３ａ…Ｘステージ、３ｂ…Ｙステージ、
４…ピエゾステージ、４ａ…移動ベース、４ｂ…カートリッジ取付ベース、
５，７…ピエゾアクチュエータ、６…ヘッドカートリッジ、
８…サスペンションプリング、９…磁気ヘッド、
１０…磁気ヘッドテスター、１５…データ読出回路、
１６…ヘッドアクセス制御回路、１７…データ書込回路、
１８…テストデータ生成回路、１９…ディスク駆動回路、
２０…データ処理・制御装置、
２１…ＭＰＵ、２２…メモリ、
２２ａ…ヘッドアクセスプログラム、
２２ｂ…ヘッドシフト位置決めプログラム、
２２ｃ…半径方向移動・テストデータ書込みプログラム、
２２ｄ…テストデータ読出プログラム、
２２ｅ…検査データ決定プログラム、
２２ｆ…磁気ヘッド合否判定プログラム。
２３…インタフェース、２４…ＣＲＴディスプレイ。
【図１】
2010102746.tif 000003
【図２】
2010102746.tif 000004
【図３】
2010102746.tif 000005