(57)【要約】【課題】実際の製品として利用可能な形態で超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、製品に組み込まれた後であっても容易に押圧力を再設定できる超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供すること。【解決手段】内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bが設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子３に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させて楕円振動を発生させて駆動力を得る超音波モータに、前記圧電振動子3の出力端を被駆動部材7に押し付ける押圧手段5と、前記押圧手段5による押圧力を検出する押圧力検出手段と、を具備させる。前記押圧力検出手段は、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bと、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bにおいて圧電効果によって生じた電気信号に所定のフィルタ処理を施す積分器101と、を有する。【選択図】      図１
2010004612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部電極が設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得る超音波モータであって、
前記圧電振動子の出力端との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、
前記圧電振動子の出力端を被駆動部材に押し付ける押圧手段と、
前記押圧手段による押圧力を検出する押圧力検出手段と、
を具備し、
前記押圧力検出手段は、前記内部電極と、前記内部電極において圧電効果によって生じた電気信号に所定のフィルタ処理を施すフィルタ手段と、を有することを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記フィルタ手段は、積分器を含む構成であることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記積分器は、オペアンプを含む構成であることを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記内部電極は、前記圧電振動子の振動検出電極であることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記内部電極は、前記圧電振動子の駆動電極であることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項６】
上記押圧手段はコイルバネ又はイタバネであることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項７】
内部電極が設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子の出力端を被駆動部材に押圧し、且つ前記圧電振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させて楕円振動を発生させることで、前記楕円振動により駆動力を得て前記被駆動部材を駆動する超音波モータの押圧力検出方法であって、
前記圧電振動子の出力端を被駆動部材に押圧する押圧ステップと、
前記内部電極と、前記内部電極において圧電効果によって生じた電気信号を検出する検出ステップと、
前記検出された電気信号に所定のフィルタ処理を施して前記押圧に係る力に比例する電気信号を生成する押圧力検出ステップと、
を有することを特徴とする超音波モータの押圧力検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、電磁モータに比べて小型、高トルク、長ストローク、且つ高分解能の超音波モータが多く使用されてきている。超音波モータは、超音波振動子を被駆動部材に押し付けることで、両者間に発生する摩擦力によって前記被駆動体を駆動するモータである。このような超音波モータに関連する技術として、例えば特許文献１には、次の様な技術が開示されている。
【０００３】
すなわち、特許文献１には、電気−機械エネルギー変換素子を振動弾性体に接合し、該電気−機械エネルギー変換素子への周波電圧の印加により該振動弾性体の駆動面に進行波を形成する振動子と、該振動子の駆動面に加圧手段を介して加圧接触し、該進行波により摩擦駆動される移動子と、該振動子に対して回転不能である固定軸と、該固定軸を軸とし該固定軸に対して回転可能な軸受部材と、該軸受部材に軸支され該移動子と一体的に移動する歯車形状である出力部材と、該出力部材と該移動子とを連結するものであって、軸方向に弾性変形可能な該加圧手段の一部をなす接手手段と、を有する振動波モータが開示されている。
【０００４】
この特許文献１に開示された技術によれば、出力部材が外力を受けて傾斜しても、接手手段の軸方向への弾性変位により該出力部材の受ける外力が吸収され、振動子と移動子との加圧接触等への影響を最小限に抑えることが可能な超音波モータが提供される。
【０００５】
ところで、超音波モータは、駆動の為に超音波振動子に生じさせる振動波の種類の観点から、定在波型超音波モータと進行波型超音波モータとに大きく分類される。
【０００６】
定在波型超音波モータの駆動では、超音波振動子に例えば縦振動と屈曲振動とを生じさせる。ここで、この２つの振動モードに対応する共振周波数は、超音波振動子を被駆動部材に押し付ける際の押圧力の増大に伴って、より高い周波数へ移行していく。そして、前記の２つの振動モードの共振周波数は所定の幅を持って一致し、所謂“縮退現象”を生じる。この縮退現象が生じた状態において、当該超音波モータは駆動する。
【０００７】
このような定在波型超音波モータの組み立てにおいて非常に重要な事項として、前記押圧力の調整を挙げることができる。この押圧力の調整が適切に行われていなければ、所定のトルクがでなかったり、鳴きが発生したりする等、超音波モータとしての機能に不具合が生じる。
【０００８】
なお、特許文献１に開示されている技術では、弾性部材によって加圧力を付与する振動波モータの加圧の設定の方法として、次の３種類の方法が挙げられている。すなわち、
（１）予めバネの、荷重たわみ特性を測定しておき、設定荷重に相当するたわみになるように、寸法管理によって、加圧力を設定する。
【０００９】
（２）荷重をモニターできるようなロードセルやプッシュプルゲージを用いて荷重管理により、加圧力を設定する。
【００１０】
（３）前記（１）に記載の方法と前記（２）に記載の方法との組合せの方法。加圧力の調整及び、固定はねじで行うようになっているが、前記（１）に記載の方法のように寸法管理だけで加圧設定するのではなく、加圧設定値の例えば、９０％まで荷重計で加圧してばねを変位させ、更に残りの１０％は、荷重たわみ特性曲線から荷重１０％相当の変位をねじの締め込みによって付加する。
【特許文献１】特許第３２０２４９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に開示されている前記（１）乃至前記（３）に記載の方法は、次の様な問題を有している。
【００１２】
前記（１）に記載の方法によれば、押圧バネの荷重と荷重たわみ特性の個々のバラツキがそのまま押圧力の設定誤差となる。したがって、設定精度が良好であるとは言い難く、所望のモータ特性を得ることができないと言うような問題が生じる。
【００１３】
前記（２）に記載の方法によれば、実際には、所定の押圧力を得るために、被押圧部間に狭持したロードセルの出力値をモニターしながら押圧手段を調整することになる。この調整に要する手段は、例えばイタバネ等の機械的な寸法変位を用いる調整手段である。このような方法を採る場合、ロードセルを被押圧部間に狭持させなければならず、このような形態では実際の製品として成り立たない。従って、現実的な方法であるとは言えない。
【００１４】
前記（３）に記載の方法によれば、上述したようにねじの締め込みを利用する。したがって、前記（１）及び前記（２）に記載の方法と同様の問題を有する上に、ねじという代替手段が設定精度に悪影響を与え得る。
【００１５】
本発明は、前記の事情に鑑みてなされたもので、外付けのロードセル等を用いず且つ実際の製品として利用可能な形態で、超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、更に当該超音波モータが製品に組み込まれた後にも、容易に前記押圧力の再設定を行うことが可能な超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による超音波モータは、内部電極が設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得る超音波モータであって、前記圧電振動子の出力端との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、前記圧電振動子の出力端を被駆動部材に押し付ける押圧手段と、前記押圧手段による押圧力を検出する押圧力検出手段と、を具備し、前記押圧力検出手段は、前記内部電極と、前記内部電極において圧電効果によって生じた電気信号に所定のフィルタ処理を施すフィルタ手段と、を有することを特徴とする。
【００１７】
前記の目的を達成するために、本発明の第２の態様による超音波モータの押圧力検出方法は、
内部電極が設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子の出力端を被駆動部材に押圧し、且つ前記圧電振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させて楕円振動を発生させることで、前記楕円振動により駆動力を得て前記被駆動部材を駆動する超音波モータの押圧力検出方法であって、
前記圧電振動子の出力端を被駆動部材に押圧する押圧ステップと、
前記内部電極と、前記内部電極において圧電効果によって生じた電気信号を検出する検出ステップと、
前記検出された電気信号に所定のフィルタ処理を施して前記押圧に係る力に比例する電気信号を生成する押圧力検出ステップと、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、外付けのロードセル等を用いず且つ実際の製品として利用可能な形態で、超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、更に当該超音波モータが製品に組み込まれた後にも、容易に前記押圧力の再設定を行うことが可能な超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係る超音波モータについて、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１は、本発明の第１実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図である。同図に示すように、超音波モータ１は、積層圧電素子である超音波振動子３と、押圧部材５と、保持部材６と、被駆動部材７と、前記超音波振動子３における楕円振動（詳細は後述する）から駆動力を得て前記被駆動部材７を駆動する為の駆動子９と、超音波振動子３の外部電極１０，１１，１２ａ１，１２ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２，１５，１６と、超音波振動子３へ給電する為の例えばリード線から成る給電部材１３と、積分器１０１と、を具備する。なお、外部電極１０，１１，１２ａ１，１２ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２，１５，１６と給電部材１３とは、はんだ接合されている。
【００２１】
前記超音波振動子３は、矩形板状の圧電セラミックスシートの片側面にシート状の内部電極を設けたものを複数枚積層してなる直方体状の圧電積層体である。
【００２２】
前記押圧部材５は、駆動子９を介して超音波振動子３を被駆動部材７に押圧する為の部材である。詳細には、前記押圧部材５は、例えばコイルバネやイタバネ等である。このような押圧部材５は、超音波振動子３を保持する保持部材６、及び超音波振動子３に設けられた駆動子９を介して、被駆動部材７に対して垂直に押圧力を加える。
【００２３】
なお、詳細は後述するが、前記押圧部材５によって超音波振動子３に外部から力を加えると当該超音波振動子３に曲げの力が働き、圧電効果によって前記圧電セラミックスシートの片面側に設けられたシート状の内部電極には、前記曲げ変位に応じた電荷が発生する。
【００２４】
前記被駆動部材７は、後述する超音波振動子３の楕円振動によって駆動される部材である。
【００２５】
前記駆動子９は、超音波振動子３のうち被駆動部材７に対向する面に接着された２個の出力端である。
【００２６】
図２Ａ，図２Ｂは、前記超音波振動子３を構成する圧電材料の一構成例を示す図である。本第１実施形態においては、前記超音波振動子３は、図２Ａに示す圧電材料２１Ａと、図２Ｂに示す圧電材料２１Ｂと、が交互に複数枚積層、焼結されて構成されている。
【００２７】
図２Ａに示すように圧電材料２１Ａにおいて、その表面に形成された３領域の内部電極２３ａ，２５ａ，２７ａは、それぞれ次のような外周への露出部を有する。すなわち、前記内部電極２３ａは、長辺Ａに向かって延出された露出部２３ａ１を有する。前記内部電極２５ａは、長辺Ａに向かって延出された露出部２５ａ１，２５ａ２を有する。前記内部電極２７ａは、長辺Ａに向かって延出された露出部２７ａ１を有する。
【００２８】
ここで、前記内部電極２３ａは、駆動相であるＢ相のプラス電極（Ｂ＋相）である。前記内部電極２５ａ１，２５ａ２は、振動検出相であるＳ相のプラス電極（Ｓ＋相）である。前記内部電極２７ａは、駆動相であるＡ相のマイナス電極（Ａ−相）である。
【００２９】
図２Ｂに示すように圧電材料２１Ｂにおいて、その表面に形成された３領域の内部電極２３ｂ，２５ｂ，２７ｂは、それぞれ次のような外周への露出部を有する。すなわち、前記内部電極２３ｂは、長辺Ａに向かって延出された露出部２３ｂ１を有する。前記内部電極２５ｂは、長辺Ａに向かって延出された露出部２５ｂ１，２５ｂ２を有する。前記内部電極２７ｂは、長辺Ａに向かって延出された露出部２７ｂ１を有する。
【００３０】
ここで、前記内部電極２３ｂは、駆動相であるＢ相のマイナス電極（Ｂ−相）である。前記内部電極２５ｂ１，２５ｂ２は、振動検出相であるＳ相のマイナス電極（Ｓ−相）である。前記内部電極２７ｂは、駆動相であるＡ相のプラス電極（Ａ＋相）である。
【００３１】
ここで、前記圧電材料２１Ａにおける内部電極２３ａ，２５ａ，２７ａと前記圧電材料２１Ｂにおける内部電極２３ｂ，２５ｂ，２７ｂとは、圧電材料２１Ａと圧電材料２１Ｂとが交互に複数枚積層される際に、それぞれ対応して重なるように配置されている。
【００３２】
一方、前記圧電材料２１Ａにおける露出部２３ａ１，２５ａ１，２５ａ２，２７ａ１と前記圧電材料２１Ｂにおける露出部２３ｂ１，２５ｂ１，２５ｂ２，２７ｂ１とは、圧電材料２１Ａと圧電材料２１Ｂとが交互に複数枚積層される際に、それぞれ互いに重なり合わないように（互いに重複しないように）配置されている。
【００３３】
なお、圧電材料２１Ａ及び圧電材料２１Ｂの材料としては、例えばジルコン酸チタン酸鉛等を用いる。また、圧電材料２１Ａ及び圧電材料２１Ｂにおける紙面垂直方向の厚さは、１０〜２００μm程度の任意の厚さとする。
【００３４】
また、内部電極２３ａ，２５ａ，２７ａ及び内部電極２３ｂ，２５ｂ，２７ｂの材料としては、例えば圧電材料焼結時の温度に耐え得る銀パラジウムなどの高融点な導電性材料を用いる。
【００３５】
図３Ａは、図２Ａ，図２Ｂに示す圧電材料２１Ａ，２１Ｂが交互に複数枚積層且つ焼結された際の積層の一例を示す斜視図である。図３Ｂは、図２Ａ，図２Ｂに示す圧電材料２１Ａ，２１Ｂが交互に複数枚積層且つ焼結される際の積層の一例を示す側面図である。
【００３６】
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、上述した圧電材料２１Ａ，２１Ｂを交互に複数枚積層し焼結した後に、次のようにして前記露出部同士を短絡して外部電極を形成する。
【００３７】
すなわち、前記露出部２７ａ１同士を短絡して外部電極１０を形成する。前記露出部２７ｂ１同士を短絡して外部電極１１を形成する。前記露出部２５ａ２同士を短絡して外部電極１２ａ２を形成する。前記露出部２５ａ１同士を短絡して外部電極１２ａ１を形成する。前記露出部２５ｂ２同士を短絡して外部電極１４ｂ２を形成する。前記露出部２５ｂ１同士を短絡して外部電極１４ｂ１を形成する。前記露出部２３ａ１同士を短絡して外部電極１５を形成する。前記露出部２３ｂ１同士を短絡して外部電極１６を形成する。
【００３８】
ここで、前記外部電極１０は、駆動相であるＡ相のマイナス電極（Ａ−相）である。前記外部電極１１は、駆動相であるＡ相のプラス電極（Ａ＋相）である。前記外部電極１２ａ２は、振動検出相であるＳ相のプラス電極（Ｓ＋相）である。前記外部電極１２ａ１は、振動検出相であるＳ相のプラス電極（Ｓ＋相）である。前記外部電極１４ｂ２は、振動検出相であるＳ相のマイナス電極（Ｓ−相）である。前記外部電極１４ｂ１は、振動検出相であるＳ相のマイナス電極（Ｓ−相）である。前記外部電極１５は、駆動相であるＢ相のプラス電極（Ｂ＋相）である。前記外部電極１６は、駆動相であるＢ相のマイナス電極（Ｂ−相）である。
【００３９】
ところで、給電部材１３を介して、駆動相であるＡ相及びＢ相の電極に、所定の位相差を有する２つの交番信号を印加すると、当該超音波振動子３に縦振動モード（図４参照）と屈曲振動モード（図５参照）とが生じる。これら２つの振動モードが合成され、超音波振動子３には楕円振動が発生する。
【００４０】
そして、超音波振動子３に取り付けられた駆動子９も、当然ながら前記超音波振動子３と同様の楕円振動を行う。この駆動子９の楕円運動によって、上述したように駆動子９に接している被駆動部材７が駆動される。
【００４１】
以下、本第１実施形態に係る超音波モータにおける前記超音波振動子３から前記被駆動部材７への押圧力の測定方法について説明する。
【００４２】
積分器１０１を、前記外部電極１２ａ１又は前記外部電極１２ａ２と、前記外部電極１４ｂ１又は前記外部電極１４ｂ２と、に接続する。つまり、振動検出相の＋電極と−電極とに積分器１０１を接続する。具体的には、積分器１０１を超音波振動子３に対して図６に示すように接続する。
【００４３】
詳細には、積分器１０１は、次の様な回路である。すなわち、超音波振動子３に外部から力が加えられる（超音波振動子３が前記被駆動部材７へ押圧される）と、圧電効果によって、前記超音波振動子３に設けられている内部電極に電荷が発生する。本例では、振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂに発生する電荷を利用して前記押圧に係る力（以降、押圧力と称する）を検出する。なお、図６においては、この電荷を可変電池によって表現している。
【００４４】
このようにして振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂに発生した電荷を、前記外部電極１２ａ１或いは前記外部電極１２ａ２、及び前記外部電極１４ｂ１或いは前記外部電極１４ｂ２を介して積分器１０１によって電圧値（押圧力に比例した信号）として出力させる。そして、この電圧値をモニタすることで、押圧力を判定する。
【００４５】
なお、前記電荷と前記電圧値との関係は、次のように表される。
【数１】
2010004612.tif 000003
【００４６】
このような積分器による電圧値検出は、ロードセルのブリッジ回路に比べノイズに強く且つ応答が緩やかである為、押圧力の調整に適している。
【００４７】
なお、前記外部電極１２ａ１或いは前記外部電極１２ａ２のうち前記押圧力の測定に用いていない外部電極、及び前記外部電極１４ｂ１或いは前記外部電極１４ｂ２のうち前記押圧力の測定に用いていない外部電極は、従来より行われている当該超音波モータ駆動時の振動検出信号の取得の為に用いる。
【００４８】
以上説明したように、本第１実施形態によれば、外付けのロードセル等を用いず且つ実際の製品として利用可能な形態で、超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、更に当該超音波モータが製品に組み込まれた後にも、容易に前記押圧力の再設定を行うことが可能な超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供することができる。
【００４９】
詳細には、超音波振動子３に通常設けられている振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂを、上述した押圧力測定の処理に兼用する。この為、外付けのロードセル等の新たな部材を必要とせずに、簡単な構成で押圧力を直接的且つ正確に測定することができる。従って、安定したモータ特性を得ることができる。
【００５０】
また、当該超音波モータが製品に組み込まれ後で、押圧力を再設定する必要が生じた場合であっても、押圧力検出手段として振動検出電極等をそのまま利用できる為、当該製品を分解することなく簡単且つ正確に押圧力の再設定を行うことができる。
【００５１】
具体的には、本第１実施形態に係る超音波モータによれば、超音波振動子３に振動検出電極対を設け、その振動検出電極対から２対の露出部（外部電極）を引き出し、１対の外部電極を従来通りの超音波モータ駆動時の振動検出信号として用い、残りの１対の外部電極を当該超音波モータの押圧力調整の為の押圧力測定に用いる。
【００５２】
より詳細には、前記超音波振動子３は力を加えられる（押圧される）と曲げの力が働き、圧電効果により前記振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂには、前記曲げの力による変位に応じた電荷が発生する。このように発生した電荷を、当該内部電極２５ａ，２５ｂに対応する外部電極１２ａ１或いは前記外部電極１２ａ２及び前記外部電極１４ｂ１或いは前記外部電極１４ｂ２に接続した積分器１０１によって電圧値として取り出す。そして、この電圧値は、前記押圧力に比例した値である。本第１実施形態においては、このように積分器１０１によって取り出した電圧値に基づいて前記押圧力を測定する。
【００５３】
なお、前記第１実施形態においては、振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂを利用して押圧力測定を行う例を示した。この例によれば、当然ながら当該超音波モータの駆動中においても押圧力の測定を行うことができる。しかしながら、当該超音波モータの駆動時以外に押圧力を測定する場合には、振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂの代わりに駆動相の内部電極２３ａ，２３ｂ及び／又は駆動相の内部電極２７ａ，２７ｂを利用しても勿論よい。
【００５４】
［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態に係る超音波モータについて、図面を参照して説明する。なお、説明の重複を避ける為、前記第１実施形態に係る超音波モータとの相違点のみを説明する。
【００５５】
本第２実施形態に係る超音波モータにおける押圧力測定は、当該超音波モータの駆動時以外に押圧力を測定することを前提とした押圧力測定である。すなわち、本第２実施形態においては、振動検出相の内部電極２５ａ，２５ｂ、駆動相の内部電極２３ａ，２３ｂ、及び駆動相の内部電極２７ａ，２７ｂを利用して押圧力測定を行う。換言すれば、全ての内部電極を利用して押圧力測定を行う。つまり、超音波振動子３のうち各々の内部電極が設けられた位置における押圧力を測定することで、押圧力のマッピングを行う。
【００５６】
図７は、本第２実施形態に係る超音波モータにおける押圧力のマッピングを行う為の一構成例を示す図である。同図に示すように、振動検出相（Ｓ相）の前記外部電極１２ａ１或いは前記外部電極１２ａ２と前記外部電極１４ｂ１或いは前記外部電極１４ｂ２とを積分器１０１Ａに接続し、駆動相（Ａ相）の前記外部電極１０と前記外部電極１１とを積分器１０１Ｂに接続し、駆動相（Ｂ相）の前記外部電極１５と前記外部電極１６とを積分器１０１Ｃに接続する。
【００５７】
このような構成のもと、積分器１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃから出力される各々の電圧値に基づいて、各々の外部電極に対応する内部電極が設けられた位置の押圧力を測定する。なお、各々の内部電極と各々の外部電極との対応関係は前記第１実施形態において説明した通りである。
【００５８】
以上説明したように、本第２実施形態によれば、前記第１実施形態に係る超音波モータと同様の効果を奏する上に、超音波振動子３における押圧力のマッピングを行うことができる超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供することができる。
【００５９】
なお、各々の内部電極を設ける位置を、前記駆動子９の位置に対応させることで、各々の前記駆動子９の位置における押圧力を測定することができる。
【００６０】
以上、第１実施形態及び第２実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で、種々の変形及び応用が可能なことは勿論である。
【００６１】
さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図。
【図２Ａ】超音波振動子を構成する圧電材料の一構成例を示す図。
【図２Ｂ】超音波振動子を構成する圧電材料の一構成例を示す図。
【図３Ａ】２種の圧電材料が交互に複数枚積層且つ焼結される際の積層の一例を示す模式図。
【図３Ｂ】２種の圧電材料が交互に複数枚積層且つ焼結される際の積層の一例を示す模式図。
【図４】縦振動モードを示す図。
【図５】屈曲振動モードを示す図。
【図６】積分器と超音波振動子との接続構成を示す図。
【図７】本発明の第２実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図。
【符号の説明】
【００６３】
１…超音波モータ、  ３…超音波振動子、  ５…押圧部材、  ６…保持部材、  ７…被駆動部材、  ９…駆動子、  １３…給電部材、  １０，１１，１２ａ１，１２ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２，１５，１６…外部電極、  ２１Ａ，２１Ｂ…圧電材料、  ２１Ａ．２１Ｂ…圧電材料、  ２３ａ１，２５ａ１，２５ａ２，２７ａ１，２３ｂ１，２５ｂ１，２５ｂ２，２７ｂ１…露出部、  ２３ａ，２３ｂ，２５ａ，２５ｂ，２７ａ，２７ｂ…内部電極、  １０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ…積分器。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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