(57)【要約】  【課題】  空間分解能の高いノイズ評価結果を、注入すべきノイズの周波数の種類にかかわらず短時間で、且つ高い精度で得られるようにすることを目的とする。  【解決手段】  シグナルジェネレータ１２が生成したノイズ信号を、増幅器１３，方向性結合器１４，及びバイアスティ１５を介して評価対象物１１のコネクタ１６へ直接印加する。そして、プローブ１７を複数の測定ポイントに順次移動させつつ、評価対象物１１から発生するノイズを検知し、その強度を測定する。その際、ＰＣ２３がスペクトラムアナライザ２１とシグナルジェネレータ１２を制御して、スペクトラムアナライザ２１における測定周波数を掃引させると共に、シグナルジェネレータ１２で生成するノイズ信号の周波数をその掃引周波数と同期させる。これにより、１つの測定ポイントにおいて複数種類の測定周波数の全てに対する測定データを得ることができる。【選択図】図１
2010237099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定周波数の高周波信号を生成すると共に、該高周波信号を、評価対象物における所定の印加部位に対して直接印加し、
前記評価対象物から発生するノイズを検知するためのノイズ検知手段を、前記評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させ、
前記測定ポイント毎に、測定対象の前記ノイズの周波数を予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定すると共に前記高周波信号の周波数を前記測定周波数と同期するように設定して、該順次設定された測定周波数毎に前記ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定し、
前記測定された強度と前記測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する
ことを特徴とするノイズ評価方法。
【請求項２】
所定周波数の高周波信号を生成して評価対象物へ印加する高周波信号生成手段と、
前記評価対象物から発生するノイズを検知するノイズ検知手段と、
前記ノイズ検知手段を、前記評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させる移動手段と、
前記測定ポイント毎に、前記ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定する測定手段と、
前記測定手段により測定された強度と前記測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する評価結果出力手段と、
を備えたノイズ評価システムであって、
前記測定ポイント毎に、前記測定手段における測定対象の周波数を、予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定する測定周波数設定手段と、
前記高周波信号生成手段が生成する前記高周波信号の周波数を、前記測定周波数設定手段が設定した前記測定周波数と同期するように設定する高周波信号周波数設定手段と、
を備え、
高周波信号生成手段は、前記評価対象物において前記高周波信号が印加される所定の印加部位に対し、前記高周波信号が該印加部位へ直接印加されるように接続されている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項３】
請求項２に記載のノイズ評価システムであって、
前記評価対象物は、当該評価対象物を動作させる際に外部と電気的に接続されるインタフェース部を備え、
前記印加部位は、前記インタフェース部である
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項４】
請求項２に記載のノイズ評価システムであって、
前記評価対象物は、所定の配線パターンが形成されたプリント基板であり、
前記印加部位は、前記配線パターンにおける所定の部位である
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項５】
請求項４に記載のノイズ評価システムであって、
前記高周波信号生成手段からの前記高周波信号は平衡モードの信号であり、
前記高周波信号生成手段からの前記高周波信号を不平衡モードの信号に変換する平衡不平衡変換手段を備え、
前記高周波信号生成手段からの前記高周波信号は、前記印加部位に対し、前記平衡不平衡変換手段により不平衡モードに変換されて印加される
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のノイズ評価システムであって、
前記プリント基板は、複数の端子を有する半導体集積回路が搭載されるよう構成されていると共に、前記配線パターンとして、該複数の端子が接続される端子接続部が形成されており、
前記印加部位は、前記端子接続部である
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項７】
請求項２〜請求項６の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、
前記高周波信号生成手段と前記印加部位との間に設けられ、前記高周波信号に所定の直流バイアスを加える直流バイアス付加手段を備えている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項８】
請求項２〜請求項７の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、
前記高周波信号生成手段と前記印加部位との間に設けられ、前記高周波信号出力回路から出力された前記高周波信号のうち実際に前記印加部位から前記評価対象物内へ入力された入力量を計測する入力量計測手段を備えている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項９】
請求項２〜請求項８の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、
前記測定手段として機能するスペクトラムアナライザと、
前記高周波信号生成手段として機能するトラッキングジェネレータと、
を備え、
前記トラッキングジェネレータは、前記高周波信号周波数設定手段と共に前記スペクトラムアナライザに内蔵されている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【請求項１０】
請求項２〜請求項９の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、
前記評価結果出力手段は、前記評価結果を、測定ポイント毎の強度分布を視覚的に認識可能に表現された状態で出力する
ことを特徴とするノイズ評価システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部から評価対象物へ印加されたノイズに対してその評価対象物から発生するノイズを評価するためのノイズ評価方法、及びノイズ評価システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、家電・情報端末や自動車用の電子制御装置などのあらゆる電子機器において高機能化が進み、電子機器を構成するプリント基板において、ＬＳＩをはじめとする各種電子部品の実装密度の増加、配線パターンの複雑化、ＬＳＩの高速化・微細化などが進んでいる。そのため、電子機器を設計するにあたっては、電子機器から放射される電磁ノイズ（以下単に「ノイズ」という）や、外部から進入してくる外来ノイズに対する耐性（イミュニティ）などの、電磁環境適合性（ＥＭＣ：Electro Magnetic Compatibility）について十分に評価・解析し、ＥＭＣ性能の高い機器設計を行うことが、より一層重要となっている。
【０００３】
こういったＥＭＣ性能の評価方法の１つとして、電子機器を構成するプリント基板などの評価対象物に外部から進入したノイズ、或いは評価対象物に実装されている電子部品（ＬＳＩ等）から発生したノイズが、評価対象物内でどのように伝搬しているかというノイズの伝搬経路を可視化し、それに基づいて評価対象物のＥＭＣ性能を評価する方法が知られている。
【０００４】
そして、ノイズの可視化を容易に行うための具体的方法として、評価対象物に接続されたワイヤハーネスに対し、インジェクションプローブを用いてノイズを印加することで、評価対象物へのノイズ注入を行い、このとき評価対象物から発生するノイズをノイズ可視化用アンテナで検知して、その結果をノイズ強度分布図として表示させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
即ち、この方法では、いわゆるＢＣＩ（Bulk Current Injection）法と呼ばれる方法により、評価対象物（特許文献１では「試験対象物」と表記）のワイヤハーネスへ空間的にノイズが印加される。一方、評価対象物における検出エリア（スキャンエリア）と対向するように設けられたノイズ可視化用アンテナは、そのスキャンエリア全体に渡って設けられた複数の微小アンテナ素子からなり、これら各微小アンテナによって評価対象物からのノイズが検出される。そして、各微小アンテナによる検出結果に基づき、ノイズ強度分布図が生成される。
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されたノイズ可視化方法は、ノイズ可視化用アンテナが、複数の微小アンテナが予めスキャンエリア内に配置されてなるものであるため、ノイズ可視化用アンテナを全体として評価対象物に十分に近接させることができない。しかも、検出制度（分解能）を高くするためにはできる限り短いピッチでノイズを検出するのが好ましいが、複数の微小アンテナを予め配置しておく構成の場合、検出ピッチ（即ち隣接する微小アンテナ相互間の間隔）を小さくするにも限度があり、十分に短いピッチとすることは困難である。
【０００７】
そのため、ノイズの伝搬経路・強度の空間分解能が低くなり、ノイズの伝搬経路・強度が不明確となるおそれがある。また、微小アンテナの配置間隔に起因する検出感度の強弱によって評価結果（可視化結果）にムラが生じてしまう。しかも、評価対象物へのノイズの印加がインジェクションプローブを用いて空間的に（電磁結合により）行われるため、インジェクションプローブからのノイズの一部がノイズ可視化用アンテナに混入してしまうおそれがあり、検出結果の精度が低くなるおそれがある。
【０００８】
これに対し、微小アンテナプローブを被測定プリント基板の二次元平面上に沿って走査させながらノイズを検出し、その検出結果に基づいてノイズ強度分布図を生成する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−１２４８０８号公報
【特許文献２】特開２０００−１９２０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献２によるノイズ可視化方法は、微小アンテナプローブを走査させるものであり、短いピッチでノイズ検出を行うことができる。そのため、特許文献１のノイズ可視化方法においても、この特許文献２の方法のように微小アンテナプローブを走査させながらノイズを検出するという方法を採用すれば、空間分解能の低下や評価結果にムラが生じるといった問題はある程度解決される。
【００１１】
しかし、特許文献１のノイズ可視化方法において、たとえ微小アンテナプローブを走査させながらノイズを検出する方法を採用したとしても、インジェクションプローブからのノイズが微小アンテナプローブに混入して検出結果の精度が低下してしまうという問題は依然として解決されず、特に微小アンテナプローブがインジェクションプローブに近づくほどその問題（検出精度の低下）は顕著となる。
【００１２】
また、特許文献２の方法は、外部からノイズを注入してその伝搬経路・強度を可視化するというものではなく、単に、被測定プリント基板の動作時に放射されるノイズを検出してその強度分布を可視化するものである。そのため、微小アンテナプローブを二次元平面上において一回走査させれば測定結果が得られる。
【００１３】
しかし、特許文献１のノイズ可視化方法のように、評価対象物へ外部からノイズを注入してその伝搬経路・強度を可視化する方法では、一般に、複数種類の周波数のノイズを注入して周波数毎にノイズ強度分布を評価することが望まれる。そのような場合に、単に特許文献２のように微小アンテナプローブを走査させながらノイズを検出するという方法を採用しただけでは、注入すべきノイズの周波数の種類が多いほど、評価時間が増加してしまう。
【００１４】
即ち、評価（注入）すべきノイズの周波数が一種類だけであれば、その周波数のノイズを注入させつつ微小アンテナプローブを一回走査させれば、ノイズ強度分布の可視化及びその評価を行うことができる。しかし、評価すべきノイズの周波数が複数あると、その周波数の種類に応じた回数分、微小アンテナプローブを走査させる必要がある。
【００１５】
通常、１回の走査が行われる間は、検出→移動→検出→移動→検出・・・という動作が繰り返され、しかも検出精度を向上させるために移動ピッチはできる限り短く設定される（即ち検出ポイントが多く設定される）ため、評価対象物全体で一周波数のノイズに対する評価結果を得るだけでも比較的長い時間（例えば半日〜１日）を要する。そのため、注入すべきノイズの周波数が多くなるほど、それに応じて微小アンテナプローブを走査させる回数も増え、全周波数の評価結果を得るための時間は膨大なものとなる。
【００１６】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、評価対象物へ外部からノイズを注入したときの評価対象物におけるノイズ伝搬経路を評価するにあたり、空間分解能の高い評価結果を、注入すべきノイズの周波数の種類にかかわらず短時間で、且つ高い精度で得られるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するためになされた請求項１に記載のノイズ評価方法は、所定周波数の高周波信号を生成すると共に、該高周波信号を、評価対象物における所定の印加部位に対して直接印加し、評価対象物から発生するノイズを検知するためのノイズ検知手段を、評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させる。そして、その測定ポイント毎に、測定対象のノイズの周波数を予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定すると共に高周波信号の周波数を測定周波数と同期するように設定して、該順次設定された測定周波数毎に、ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定する。そして、測定された強度と測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する。
【００１８】
即ち、本発明（請求項１）では、生成した高周波信号を、上述した特許文献１におけるＢＣＩ法のように空間的に（電磁結合により）評価対象物へ印加するのではなく、評価対象物の印加部位へ直接印加する。そのため、ＢＣＩ法において問題となっていた、評価対象物へ印加すべき高周波信号の一部がノイズ検知手段に干渉してノイズ検知手段の検知精度が低下してしまうといった問題の発生を防ぐことができる。
【００１９】
また、評価対象物から発生するノイズの検知は、ノイズ検知手段を複数の測定ポイントに順次移動させつつ行う。そのため、測定ポイントを適宜設定することで、高い空間分解能にてノイズの検知・強度測定を行うことができる。
【００２０】
しかも、各測定ポイント毎に、測定対象の周波数を予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定すると共に、その設定した測定周波数と同期するように（即ち同じ周波数となるように）高周波信号の周波数も設定する。つまり、１つの測定ポイントにおいて、測定対象の周波数の周波数を高周波信号の周波数と同期させながら上記一又は複数の測定周波数に掃引し、各測定周波数毎のノイズ強度を測定して、次の測定ポイントに移動する。これを、複数の測定ポイント毎に行うのである。
【００２１】
そのため、評価対象物に印加すべき高周波信号の周波数が複数種類あっても、ノイズ検知手段を複数の測定ポイントへ順次移動（走査）させる回数は一回で済み、従来のように周波数の種類に応じた回数分走査させる必要はない。
【００２２】
従って、請求項１に記載のノイズ評価方法によれば、評価対象物へ外部からノイズ（高周波信号）を印加したときの評価対象物におけるノイズ伝搬経路を評価するにあたり、空間分解能の高い評価結果を、印加する高周波信号の周波数（測定対象の周波数）の種類にかかわらず、短時間で且つ高い精度で得ることができる。
【００２３】
次に、請求項２に記載の発明は、所定周波数の高周波信号を生成して評価対象物へ印加する高周波信号生成手段と、評価対象物から発生するノイズを検知するノイズ検知手段と、このノイズ検知手段を、評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させる移動手段と、測定ポイント毎に、ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定する測定手段と、この測定手段により測定された強度と測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する評価結果出力手段と、を備えたノイズ評価システムである。
【００２４】
そして、測定ポイント毎に、測定手段における測定対象の周波数を、予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定する測定周波数設定手段と、高周波信号生成手段が生成する高周波信号の周波数を、測定周波数設定手段が設定した測定周波数と同期するように設定する高周波信号周波数設定手段と、を備えている。
【００２５】
更に、高周波信号生成手段は、評価対象物において高周波信号が印加される所定の印加部位に対し、高周波信号が該印加部位へ直接印加されるように接続されている。
従って、このように構成された請求項２に記載のノイズ評価システムによれば、請求項１に記載のノイズ評価方法を実現でき、請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００２６】
ここで、評価対象物に対して具体的にどの部位に高周波信号を印加するか、即ちどこを印加部位とするかについては、適宜設定することができ、例えば請求項３に記載のように、評価対象物が、当該評価対象物を動作させる際に外部と電気的に接続されるインタフェース部を備えた構成である場合には、そのインタフェース部を印加部位としてもよいし、例えば請求項４に記載のように、評価対象物が、所定の配線パターンが形成されたプリント基板である場合には、その配線パターンにおける所定の部位を印加部位としてもよい。
【００２７】
前者（請求項３）の場合、インタフェース部に高周波信号が印加され、その印加された高周波信号が評価対象物内でどのように伝搬するかを評価することができる。そのため、外部からインタフェース部を介して入力される外来ノイズに対する耐性を適切に評価することができる。
【００２８】
後者（請求項４）の場合、配線パターンにおける所定の部位に印加された高周波信号がプリント基板上をどのように伝搬するかを評価することができる。そのため、配線パターン上に実際に回路が形成された場合にその回路を構成する回路素子等から生じるノイズがプリント基板上をどのように伝搬するのかといった、評価対象物内で発生するノイズの伝搬性能の評価を、適切に行うことができる。
【００２９】
そして、そのように配線パターンにおける所定の部位を印加部位とする場合は、更に、請求項５のように構成してもよい。即ち、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のノイズ評価システムであって、高周波信号生成手段からの高周波信号は平衡モードの信号であり、高周波信号生成手段からの高周波信号を不平衡モードの信号に変換する平衡不平衡変換手段を備えている。そして、高周波信号生成手段からの高周波信号は、印加部位に対し、平衡不平衡変換手段により不平衡モードに変換されて印加される。
【００３０】
即ち、高周波信号の印加対象がプリント基板上の配線パターンである場合、その印加対象のモードは不平衡モードである場合が一般的である。これに対し、印加される高周波信号が平衡モードの信号である場合、これをそのまま印加部位へ印加すると、周知の通り、平衡・不平衡のモード不一致による電力損失等の種々の問題が生じる。
【００３１】
そこで、平衡モードの高周波信号を不平衡モードに変換して配線パターンの印加部位へ印加するようにすれば、印加部位が不平衡モードである場合にこれと同じモードの高周波信号が印加されることになるため、より好ましい。
【００３２】
ところで、プリント基板に形成される種々の回路において近年特に問題となっているのが、回路を構成する特定の部品（例えば半導体集積回路）の内部から発生するノイズである。通常、半導体集積回路が発生するノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを評価するにあたっては、プリント基板上に半導体集積回路を実装して動作させた状態で評価する必要がある。しかし、そのような評価方法では、半導体集積回路の性能とプリント基板の性能とを分離して評価することは困難である。
【００３３】
そこで、例えば請求項６に記載のように、プリント基板が、複数の端子を有する半導体集積回路が搭載されるよう構成されていると共に、配線パターンとして、該複数の端子が接続される端子接続部が形成されている場合、その端子接続部を印加部位として高周波信号を印加するようにするとよい。
【００３４】
このように、プリント基板における半導体集積回路の端子接続部に高周波信号を印加するようにすれば、半導体集積回路から発生するノイズを高周波信号で模擬させ、その高周波信号がプリント基板上をどのように伝搬するか等を評価することができる。そのため、半導体集積回路から発生するノイズに対するプリント基板単体の性能を、半導体集積回路を分離して評価することが可能となる。
【００３５】
次に、請求項７に記載の発明は、請求項２〜請求項６の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、高周波信号生成手段と印加部位との間に設けられ、高周波信号に所定の直流バイアスを加える直流バイアス付加手段を備えている。
【００３６】
このように構成された請求項７に記載のノイズ評価システムによれば、直流バイアスが付加された高周波信号を評価対象物へ印加することができるため、評価対象物が実際に動作している際の印加部位の電圧が定常的に０Ｖ以外の所定の電圧である場合（例えば直流電源が入力される電源ラインなど）は、印加部位にその電圧の直流バイアスを付加しつつその直流バイアスに高周波信号を重畳させることができる。そのため、定常時に印加部位へ入力される電圧にノイズが重畳した状態を再現することができ、実際の動作状態と同等の条件でノイズ伝搬経路の評価を行うことができるため、より精度の高い評価結果を得ることができる。
【００３７】
次に、請求項８に記載の発明は、請求項２〜請求項７の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、高周波信号生成手段と印加部位との間に設けられ、高周波信号出力回路から出力された高周波信号のうち実際に印加部位から評価対象物内へ入力された入力量を計測する入力量計測手段を備えている。
【００３８】
高周波信号生成手段から出力された高周波信号が実際にどれだけ評価対象物へ入力されるかは、印加部位からみた評価対象物内のインピーダンスや、高周波信号が伝送される伝送系のインピーダンス等によって異なる。しかも、それら各インピーダンスは周波数特性を有し、周波数によって異なる。そのため、印加する高周波信号の周波数によって、実際に評価対象物へ入力される高周波信号の入力量も異なる。
【００３９】
そこで、請求項８に記載のように、実際に評価対象物へ入力された入力量を計測するようにすれば、測定手段により測定された強度を上記入力量と対応付けて評価でき、例えば、周波数毎に測定された強度を入力量で正規化するといったこともでき、周波数毎のノイズ強度の相対的評価をより適切に行うことができるようになる。
【００４０】
次に請求項９に記載の発明は、請求項２〜請求項８の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、測定手段として機能するスペクトラムアナライザと、高周波信号生成手段として機能するトラッキングジェネレータと、を備え、トラッキングジェネレータは、高周波信号周波数設定手段と共にスペクトラムアナライザに内蔵されている。
【００４１】
つまり、ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を、トラッキングジェネレータ内蔵のスペクトラムアナライザを用いて計測する。スペクトラムアナライザに内蔵されたトラッキングジェネレータは、一般に、スペクトラムアナライザにおける測定対象の周波数と同期した（同じ）周波数の高周波信号を生成する。
【００４２】
そのため、このようにトラッキングジェネレータ内蔵のスペクトラムアナライザを用いれば、本発明のノイズ評価システムをより簡易的に構成でき、評価を効率的に行うことができる。
【００４３】
次に、請求項１０に記載の発明は、請求項２〜請求項９の何れか１項に記載のノイズ評価システムであって、評価結果出力手段は、評価結果を、測定ポイント毎の強度分布を視覚的に認識可能に表現された状態で出力する。
【００４４】
このように構成された請求項１０に記載のノイズ評価システムによれば、測定ポイント毎のノイズ強度分布が可視化された評価結果を得ることができるため、評価対象物におけるノイズ強度分布を視覚的に容易に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】第１実施形態のノイズ評価システムの概略構成を表す構成図である。
【図２】ＰＣが実行するノイズ伝搬可視化制御処理を表すフローチャートである。
【図３】ノイズ強度分布図を表す図であり、（ａ）は本発明のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図、（ｂ）は従来のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図である。
【図４】第２実施形態のノイズ評価システムの概略構成を表す構成図である。
【図５】第３実施形態のノイズ評価システムの概略構成を表す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下に、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１に、本実施形態のノイズ評価システムの概略構成を示す。図１に示すように、本実施形態のノイズ評価システム１は、外来ノイズの伝搬経路を可視化し、これに基づいてノイズ耐性性能を評価することを目的として構成されたものであり、主として、評価対象物１１と、この評価対象物１１に印加するノイズ信号（高周波信号）を生成するシグナルジェネレータ（ＳＧ）１２と、評価対象物１１から発生するノイズを検知するプローブ１７と、このプローブ１７により検知された検知信号に基づいてノイズの強度を測定するスペクトラムアナライザ２１と、プローブ１７を支持する支持部１８と、この支持部１８を移動させることによりプローブ１７を評価対象物１１上の所定の測定ポイントに移動させる駆動機構１９と、この駆動機構１９を駆動するための駆動信号を出力する位置コントローラ２０と、この位置コントローラ２０を介してプローブ１７の位置を制御すると共に、スペクトラムアナライザ２１及びシグナルジェネレータ１２を制御し、スペクトラムアナライザ２１から入力される測定データに基づいてノイズ伝搬経路の評価結果（ノイズ強度分布図）を表示・出力するパーソナルコンピュータ（ＰＣ）２３と、を備えている。
【００４７】
評価対象物１１は、例えば、所定の配線パターンが形成されたプリント基板上に各種電子部品が実装されることにより特定の機能を有する回路が形成された電子機器（プリント回路板）であり、その端部にはコネクタ１６が設けられている。このコネクタ１６は、この電子機器へ電源を供給するための電源端子や、この電子機器と外部機器・回路等との間で各種信号の入出力を行うための信号入出力端子などを有している。つまり、評価対象物１１は、実際に動作する際、このコネクタ１６を介して電源供給を受けたり信号の入出力を行ったりするよう構成されている。
【００４８】
そして、本実施形態では、この評価対象物１１に対してシグナルジェネレータ１２からのノイズ信号が印加されるが、このノイズ信号の印加も、コネクタ１６における一又は複数の所定の端子に対して印加される。
【００４９】
また、評価対象物１１は、設置台２６の上に、スペーサ２７，２８を介して固定されている。
シグナルジェネレータ１２は、ＰＣ２３からのＳＧ制御信号に従ってノイズ信号を生成する。ＰＣ２３からのＳＧ制御信号は、生成すべきノイズ信号の周波数を示すものである。そのため、シグナルジェネレータは、ＳＧ制御信号が示す周波数のノイズ信号を生成する。
【００５０】
シグナルジェネレータ１２にて生成されるノイズ信号は比較的微弱なレベルである。そのため、本実施形態では、シグナルジェネレータ１２から出力されたノイズ信号を、増幅器（Ａｍｐ）１３にて所定の増幅率で増幅している。
【００５１】
更に、増幅器１３から評価対象物１１のコネクタ１６に至る伝送経路上には、方向性結合器１４及びバイアスティ１５が接続されている。
方向性結合器１４は、シグナルジェネレータ１２から出力されたノイズ信号のうち、コネクタ１６を介して実際に評価対象物１１内に入力された入力量を計測するために設けられており、進行波電力を計測する電力計測器３２と、反射波電力を計測する電力計測器３３が、それぞれ接続されている。これら各電力計測器３２，３３による計測結果に基づき、評価対象物１１内に実際に入力されたノイズ信号の入力量を定量的に把握することができる。なお本実施形態における各電力計測器３２，３３は、いずれも、パワーセンサ及びパワーメータにより構成されたものである。
【００５２】
バイアスティ１５は、所定電圧値の直流バイアスを生成する直流バイアス生成部（ＤＣ）３１を備え、この直流バイアス生成部３１からの直流バイアスがコイルＬ１を介してノイズ信号の伝送経路上に重畳される。また、シグナルジェネレータ１２から増幅器１３及び方向性結合器１４を介して伝送されてきたノイズ信号をコネクタ１６側へ出力すると共に直流バイアス生成部３１からの直流バイアスが方向性結合器１４側に流入しないようにするための、カップリングコンデンサＣ１を備えている。
【００５３】
このバイアスティ１５により、シグナルジェネレータ１２からのノイズ信号と直流バイアス生成部３１からの直流バイアスが重畳され、直流バイアスを含むノイズ信号（逆に言えばノイズ信号が重畳した直流電圧）が評価対象物１１のコネクタ１６に印加されることとなる。
【００５４】
このバイアスティ１５から出力される、直流バイアスを含むノイズ信号は、コネクタ１６において、例えば、評価対象物１１が実際に動作する際に電源が供給される電源端子に印加される。そのため、直流バイアス生成部３１は、評価対象物１１が通常動作する際にその電源端子に入力される電源電圧と同じ電圧の直流バイアスを生成する。このように、実際の動作時に印加される電源電圧と同じ直流バイアスをノイズ信号と共に印加することにより、実際の動作時に電源端子からノイズ信号が混入した状態を再現することができる。
【００５５】
なお、このようにバイアスティ１５を用いて直流バイアスを重畳させるのは必須ではなく、実際の動作時に定常的に直流電圧が印加されないような端子（例えばグランド端子や信号入出力端子など）であれば直流バイアスは不要である。また、ノイズ信号の印加部位が、例えば電源端子のように通常の動作時に直流電圧が印可されるような部位であっても、必ずしも直流バイアスを重畳させなくてもよく、ノイズ信号のみを印加するようにしてもよい。
【００５６】
直流バイアスを重畳させずにノイズ信号のみを印加させる場合は、バイアスティ１５をそのまま取り除くか、或いは、カップリングコンデンサＣ１のみ接続するようにするとよい。
【００５７】
このように、本実施形態のノイズ評価システム１では、上述した特許文献１におけるＢＣＩ法のようにノイズ信号を空間的に（電磁結合により）評価対象物１１へ印加するのではなく、増幅器１３、方向性結合器１４、バイアスティ１５を介して、有線にて直接伝送し、コネクタ１６に直接印加するようにしている。
【００５８】
次に、プローブ１７は、評価対象物１１から発生するノイズを検知するための、例えば微小ループアンテナによって構成されたものである。プローブ１７の具体的構成は多種多様であり、例えば、ノイズとして電界のみを測定できればよい場合は電界測定用のプローブを用いても良いし、ノイズとして磁界のみを測定できればよい場合は磁界測定用のプローブを用いても良いし、電界及び磁界の双方を測定する必要がある場合はその双方を測定可能なプローブを用いれば良く、具体的にどのような構成・性能のプローブを用いるかについては評価目的等に応じて適宜決めればよい。
【００５９】
プローブ１７により検知されたノイズを示す検知信号は、信号ケーブル２２を介してスペクトラムアナライザ２１に入力される。
また、プローブ１７は、支持部１８により支持されており、この支持部１８及びこの支持部１８を駆動する駆動機構１９により構成される可動テーブル１０によって、支持部１８と共に移動可能に構成されている。
【００６０】
具体的には、図１の一点鎖線内に示すように、評価対象物１１上における所定の測定領域内を、Ｘ方向，Ｙ方向，及びＺ方向にそれぞれ移動可能であり、且つ、θ方向に回転することも可能である。つまり、本実施形態の可動テーブル１０は、ＸＹＺθ型ステージとして構成されている。なお、Ｘ方向及びＹ方向は、評価対象物１１に対して平行（即ち評価対象物１１を構成するプリント基板の板面に平行）であり、Ｚ方向は、評価対象物１１に対して垂直（即ち評価対象物１１を構成するプリント基板の板面に垂直）である。
【００６１】
可動テーブル１０によるプローブ１７のＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向の移動は、ＰＣ２３からの位置（Ｘ，Ｙ，Ｘ，θ）制御信号に基づき、位置コントローラ２０が駆動機構１９へ駆動信号を出力することにより行われる。
【００６２】
一方、評価対象物１１における、プローブ１７によるノイズ検知が行われる位置（測定ポイント）は、評価対象物１１と平行な二次元平面（Ｘ−Ｙ面）における所定の測定範囲内において予め複数の測定ポイントが設定されている。具体的には、測定範囲内においてＸ方向に等間隔でｎ列、Ｙ方向に等間隔でｍ行、の測定ポイントが予め設定されている。勿論、この測定ポイントの数や間隔、位置などは適宜決めることができる。
【００６３】
そのため、プローブ１７によるノイズ検知が行われる際は、プローブ１７がこれら複数の測定ポイントに順次移動される。
なお、本実施形態の可動テーブル１０は、Ｚ方向（詳しくは評価対象物１１へ向かう下方向）への移動については接触感知型の移動機構となっている。即ち、測定ポイントへ移動される毎に、その測定ポイントにおいて、プローブ１７が評価対象物１１へ当接するまで下方向へ移動される。そして、プローブ１７が評価対象物１１へ接触したことが検知されると、そこで下方向への移動が停止されると共に、その停止位置から所定距離（微小な距離）だけ上方向へ移動されて停止する。このように上下方向の移動に関しては接触感知型となっているため、測定ポイント毎に、Ｚ方向においてプローブ１７を評価対象物１１へ最大限接近させることができ、感度の高いノイズ検知が可能となっている。
【００６４】
また、本実施形態では、プローブ１７が、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向だけでなくθ方向にも移動（回転）できるように構成されている。これは、プローブ１７が指向性を有しているからである。そのため、１つの測定ポイントにおいてθ方向の位置（角度）を変えてノイズを検知し、θ毎のノイズ強度を取得して、例えば最もレベルの高いデータをその測定ポイントでのノイズ強度とするなどの適切なデータ処理を行うことで、各測定ポイントにおいて精度の高い測定結果が得られるようになっている。
【００６５】
スペクトラムアナライザ２１は、プローブ１７にて検知されたノイズの周波数特性を測定可能な周知の測定器であり、本実施形態では、ＰＣ２３からのスペアナ制御信号に基づいてその動作が制御される。具体的には、ＰＣ２３から、スペアナ制御信号として、測定対象の周波数を示すデータが入力されるため、スペクトラムアナライザ２１は、そのデータに従って、検知されたノイズにおける、その設定された周波数成分の強度を測定する。そして、その測定データ（ノイズ強度）を、設定周波数データと共にＰＣ２３へ出力する。
【００６６】
ＰＣ２３は、評価対象物１１のノイズ耐性性能の評価を行うにあたって必要な各種処理を行うものであり、主として、位置コントローラ２０へ位置制御信号を出力することによる、プローブ１７の各測定ポイントへの順次移動の制御、スペクトラムアナライザ２１へスペアナ制御信号を出力することによる、スペクトラムアナライザ２１におけるノイズ強度測定の制御、シグナルジェネレータ１２へＳＧ制御信号を出力することによる、シグナルジェネレータ１２にて生成されるノイズ信号の周波数制御、及び、スペクトラムアナライザ２１から入力された測定データの処理（ノイズ強度分布図の作成など）を行う。
【００６７】
本実施形態では、評価対象物１１へ印加すべきノイズ信号の周波数が予め複数種類設定されており、ＰＣ２３は、スペクトラムアナライザ２１における測定周波数と、シグナルジェネレータ１２にて生成されるノイズ信号の周波数が同じになるよう、双方の周波数の同期制御を行う。即ち、ＰＣ２３は、スペクトラムアナライザ２１へスペアナ制御信号としてある測定周波数を設定した場合、その測定周波数の設定と共に、シグナルジェネレータ１２に対し、スペクトラムアナライザ２１に設定した測定周波数と同じ周波数のノイズ信号を生成すべき旨のＳＧ制御信号を出力する。つまり、スペクトラムアナライザ２１による測定周波数とシグナルジェネレータ１２によるノイズ信号の周波数とを同期させる。
【００６８】
更に、ＰＣ２３は、１つの測定ポイント毎に、スペクトラムアナライザ２１における測定周波数を、上記複数種類の測定周波数に順次設定（掃引）する。そのため、そのスペクトラムアナライザ２１における測定周波数の掃引に同期して、シグナルジェネレータ１２で生成されるノイズ信号の周波数も掃引されることになる。
【００６９】
そして、１つの測定ポイントにおいて、全ての測定周波数について測定データが得られた後に、ＰＣ２３は、プローブ１７を次の測定ポイントへ移動させる。そして、その移動後の測定ポイントにおいても、同様に、シグナルジェネレータ１２におけるノイズ信号の周波数と同期させつつスペクトラムアナライザ２１における測定周波数を掃引させて、測定周波数毎のノイズ強度の測定データを取得する。
【００７０】
つまり、本実施形態では、測定周波数を固定した状態で測定ポイントを順次切り換えていくのではなく、１つの測定ポイント毎に、測定周波数を掃引して、その測定ポイントで測定すべき全ての測定周波数の測定データを取得した上で、次の測定ポイントへ移動するのである。そのため、測定周波数が複数種類設定されても、プローブ１７の各測定ポイントへの移動（走査）は、全体として一回だけで済む。
【００７１】
そして、ＰＣ２３は、測定ポイント毎にスペクトラムアナライザ２１から入力された測定データに基づき、測定ポイント毎のノイズ強度を示すノイズ強度分布図を作成する。即ち、ＰＣ２３には、評価対象物１１の二次元平面画像データが予め保存されている。そのため、ＰＣ２３は、その評価対象物１１の画像に、測定ポイント毎のノイズ強度を示す分布図（例えばノイズ強度に応じて濃淡の差をつけたり或いは色分けをしたりした図）を重ね合わせたものを、ノイズ強度分布図として作成する。
【００７２】
ＰＣ２３は、その作成したノイズ強度分布図を、図示しないディスプレイに表示したり、用紙等に印刷出力するなどして、評価対象物１１におけるノイズの伝搬経路・強度分布を可視化する（図３参照。詳細は後述。）。
【００７３】
図２に、本実施形態のノイズ評価システム１においてノイズ耐性性能評価が行われる際にＰＣ２３にて実行される、ノイズ伝搬可視化制御処理のフローチャートを示す。但し、図２に示した各処理の中で破線で示した処理は、ＰＣ２３以外の各機器にて行われる処理である。
【００７４】
ＰＣ２３は、このノイズ伝搬可視化制御処理を開始すると、まずＳ１１０にて、スペクトラムアナライザ（スペアナ）２１及びシグナルジェネレータ（ＳＧ）１２へ、それぞれ測定初期設定データを出力する。具体的には、スペクトラムアナライザ２１に対しては、複数種類の測定周波数のうち測定開始時の初期値を設定するデータを含む、測定及び測定データ出力のために必要な各種設定データを、スペアナ制御信号として出力する。シグナルジェネレータ１２に対しては、スペクトラムアナライザ２１に対して設定した測定周波数の初期値と同じ周波数のノイズ信号を生成すべき旨の設定データを、ＳＧ制御信号として出力する。
【００７５】
これにより、スペクトラムアナライザ２１及びシグナルジェネレータ１２では、それぞれ、測定開始のために必要な各種の初期設定が行われる（Ｓ１１５）。
そして、ＰＣ２３は、続くＳ１２０にて、位置コントローラ２０へ、初期位置設定データを出力する。即ち、複数の測定ポイントのうち測定開始時の初期位置を設定するデータ（Ｘ，Ｙ，Ｚの各座標及びθを示すデータ）を、位置制御信号として出力する。
【００７６】
これにより、位置コントローラ２０が駆動機構１９を駆動させ、プローブ１７がその初期位置（最初の測定ポイント）へ移動される（Ｓ１２５）。なおこのとき、プローブ１７のＺ方向の位置は、上述したように、その測定ポイントにおいて可能な限り評価対象物１１へ接近した状態となる。
【００７７】
このようにして各種初期設定が終了すると、ＰＣ２３は、続くＳ１３０にて、スペクトラムアナライザ２１及びシグナルジェネレータ１２へ、Ｓ１１０にて初期設定した測定周波数からの測定実行を指示する。これにより、スペクトラムアナライザ２１及びシグナルジェネレータ１２による、その測定ポイントでの測定が開始される（Ｓ１３５）。
【００７８】
具体的には、シグナルジェネレータ１２では、設定された測定周波数と同じ周波数のノイズ信号が生成され、評価対象物１１へ出力される。スペクトラムアナライザ２１では、プローブ１７にて検知された検知信号（ノイズ）における、上記測定周波数での強度測定が行われ、その測定結果が、測定周波数と共にＰＣ２３へ転送される。
【００７９】
ＰＣ２３は、Ｓ１４０にて、スペクトラムアナライザ２１からの測定データを受信・保存すると、続くＳ１５０にて、現在の測定ポイントにおいて測定すべき全ての測定周波数について測定が終了したか否かを判断する。そして、まだ測定すべき測定周波数が残っている場合は（Ｓ１５０：ＮＯ）、Ｓ１６０にて、スペクトラムアナライザ２１及びシグナルジェネレータ１２へ、次に測定すべき周波数を示す測定周波数データを出力する。
【００８０】
これにより、シグナルジェネレータ１２では、生成するノイズ信号の周波数がその新たに設定された測定周波数に変更される（Ｓ１３５）。また、スペクトラムアナライザ２１では、その新たに設定された測定周波数のノイズ強度測定が行われ、その測定結果（測定データ）が、測定周波数と共にＰＣ２３へ転送される（Ｓ１３５）。そして、その出力された測定データは、ＰＣ２３にて受信・保存される（Ｓ１４０）。
【００８１】
そして、測定すべき全ての測定周波数について測定が終了したら（Ｓ１５０：ＹＥＳ）、続くＳ１７０にて、設定されている全てのθ（角度）について測定が終了したか否かを判断する。本実施形態では、例えばθ＝０°，４５°，９０°，１３５°の４ステップでプローブ１７のθ方向の位置（角度）を変えて測定するように構成されている。そのため、この４つのθ全てについて測定が終了していない場合は（Ｓ１７０：ＮＯ）、Ｓ１８０にて、θ方向の位置を移動（つまり回転）させるべき旨のθ方向移動データを位置コントローラ２０へ出力して、プローブ１７のθ方向の位置を移動（回転）させる。そして、再びＳ１３０に戻り、初期設定された測定周波数からの測定を開始する。
【００８２】
つまり、設定されているθ（本例では４種類）毎にＳ１３０〜Ｓ１６０の処理を行い、各θにつき、測定周波数毎のノイズ強度データを取得する。
そして、４種類全てのθについて測定が終了したら（Ｓ１７０：ＹＥＳ）、続くＳ１９０にて、全測定ポイントの走査が完了したか否か、即ち設定されている複数種類の測定ポイント（ｎ列×ｍ行）の全てにおいてノイズ強度の測定が完了したか否かを判断する。
【００８３】
このとき、まだ全ての測定ポイントの測定が完了していない場合は（Ｓ１９０：ＮＯ）、Ｓ２００にて、次の測定ポイントへの移動に必要なＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動データを位置コントローラ２０へ出力することにより、プローブ１７を次の測定ポイントへ移動させる。そして、再びＳ１３０に戻り、初期設定された測定周波数からの測定を開始する。
【００８４】
そして、全ての測定ポイントについてノイズ強度の測定が完了したら（Ｓ１９０：ＹＥＳ）、Ｓ２１０にて、ノイズ強度分布図を作成し、ディスプレイに表示させる。なお、既述の通り用紙等に印刷するようにしてもよい。このようにノイズ強度分布図が作成・表示されることにより、コネクタ１６を介して外部から印加されたノイズ信号が評価対象物１１内をどのように伝搬するかが可視化されたことになる。
【００８５】
図３に、ＰＣ２３にて作成されたノイズ強度分布図の一例を示す。図３（ａ）は、本発明のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図、即ち本実施形態のノイズ評価システム１においてＰＣ２３が作成したノイズ強度分布図であり、図３（ｂ）は、従来のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図、即ち上述した特許文献１に記載の方法で作成したノイズ強度分布図である。
【００８６】
また、この図３のノイズ強度分布図は、評価対象物１１としてプリント基板上にマイコンをはじめとする各種回路素子等が配置されてなる電子機器を用い、この電子機器が有するコネクタ１６における電源端子から、直流バイアスを含むノイズ信号を注入（印加）した場合の、所定の測定周波数におけるノイズ強度分布を示すものである。
【００８７】
図３から明らかなように、従来のノイズ可視化法によるノイズ強度分布図（図３（ｂ））は、複数のノイズ可視化用アンテナが予め固定配置された構成であることから測定ポイントを細かく設定できず、またノイズの注入がＢＣＩ法によるものであって注入ノイズがノイズ可視化用アンテナに干渉してしまうため、空間分解能が低く、注入されたノイズの伝搬経路が明確になっていない。
【００８８】
これに対し、本発明のノイズ可視化法によるノイズ強度分布図（図３（ａ））は、空間分解能が高く、ノイズの伝搬経路が明確になっている。これは、本発明（本実施形態）では評価対象物１１に対してノイズ信号が直接印加されていること、及び、プローブ１７を細かいピッチで設定された複数の測定ポイント（ｎ列×ｍ行）に順次移動させながら測定していること、等によるものである。
【００８９】
以上説明したように、本実施形態のノイズ評価システム１では、シグナルジェネレータ１２が生成したノイズ信号を、上述した特許文献１におけるＢＣＩ法のように空間的に（電磁結合により）評価対象物１１へ印加するのではなく、増幅器１３，方向性結合器１４，及びバイアスティ１５を介して評価対象物１１のコネクタ１６へ直接印加している。そのため、シグナルジェネレータ１２から出力されたノイズ信号が空間的に漏れてノイズ検知用のプローブ１７に干渉してしまうといった問題の発生を防ぐことができる。
【００９０】
また、評価対象物１１から発生するノイズの検知は、プローブ１７を複数の測定ポイントに順次移動させつつ行う。そのため、測定ポイントを細かいピッチで設定することで、高い空間分解能にてノイズの検知・強度測定を行うことができる。
【００９１】
しかも、本実施形態では、ＰＣ２３がスペクトラムアナライザ２１とシグナルジェネレータ１２を制御して、スペクトラムアナライザ２１における測定周波数を掃引させると共に、シグナルジェネレータ１２で生成するノイズ信号の周波数をその掃引周波数と同期させるようにしている。これにより、１つの測定ポイントにおいて複数種類の測定周波数の全てに対する測定データを得ることができる。
【００９２】
そのため、測定すべき測定周波数が多くても、プローブ１７を全ての測定ポイントに渡って走査させる回数は１回で済み、従来のように１つの測定周波数毎にプローブを走査させる（つまり測定周波数が多いほどプローブを走査させる回数も多くなる）方法に比べて、測定時間を大幅に短縮することができる。
【００９３】
従って、本実施形態のノイズ評価システム１によれば、評価対象物１１へ外部からノイズ信号を印加したときの評価対象物１１におけるノイズ伝搬経路を評価するにあたり、空間分解能の高い可視化結果（ノイズ強度分布図）を得ることができ、ノイズの強度分布、伝搬経路を視覚的に容易に且つ確実に把握することができる。
【００９４】
しかも、印加するノイズ信号の周波数（即ちスペクトラムアナライザ２１にて設定される測定周波数）の種類にかかわらず、短時間で且つ高い精度で、可視化結果を得ることができる。
【００９５】
また、本実施形態では、評価対象物１１に対するノイズ信号の印加部位を、コネクタ１６における所定の端子（例えば電源端子）としている。しかも、単にノイズ信号を印加するだけでなく、バイアスティ１５によって直流バイアスも加えている。
【００９６】
そのため、評価対象物１１に電源が供給されて実際に動作している際に電源端子からノイズ信号が混入された状態を再現することができ、その際にノイズ信号が評価対象物１１内でどのように伝搬するかを可視化することができる。つまり、実際の動作状態と同等の条件でノイズ伝搬経路の評価を行うことができるため、より精度の高い評価結果を得ることができ、コネクタ１６を介して入力される外来ノイズに対する耐性を適切に評価することができる。
【００９７】
更に、本実施形態では、方向性結合器１４及び各電力計測器３２，３３により、評価対象物１１に実際に入力されたノイズ信号の入力量を定量的に把握するようにしている。そのため、測定されたノイズ強度を上記入力量と対応付けて評価でき、例えば、測定周波数毎のノイズ強度を入力量で正規化するといったこともでき、測定周波数毎のノイズ強度の相対的評価をより適切に行うことも可能である。
【００９８】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素の対応関係を明らかにする。本実施形態において、シグナルジェネレータは本発明の高周波信号生成手段に相当し、プローブ１７は本発明のノイズ検知手段に相当し、スペクトラムアナライザ２１は本発明の測定手段に相当し、コネクタ１６は本発明のインタフェース部に相当し、バイアスティ１５は本発明の直流バイアス付加手段に相当し、ＰＣ２３は、本発明の評価結果出力手段、測定周波数設定手段、及び高周波信号周波数設定手段に相当する。
【００９９】
また、ＰＣ２３、位置コントローラ２０、及び駆動機構１９により本発明の移動手段が構成され、方向性結合器１４及び各電力計測器３２，３３により本発明の入力量計測手段が構成される。
【０１００】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態のノイズ評価システムについて、図４を用いて説明する。図４は、本実施形態のノイズ評価システム４０の概略構成を示す構成図である。
【０１０１】
図４に示すように、本実施形態のノイズ評価システム４０は、図１に示した第１実施形態のノイズ評価システム１と比較して、主として次の点で異なっている。即ち、スペクトラムアナライザとしてトラッキングジェネレータ（ＴＧ）４２が内蔵されたスペクトラムアナライザ４１を用いる点、評価対象物１１へ印加するノイズ信号はトラッキングジェネレータ４２から供給する点、ノイズ信号は、直流バイアスは重畳させずに、カップリングコンデンサＣ１を介してコネクタ１６における所定の信号入出力端子に印加する点、但し評価対象物１１には直流バイアス生成部３１からの直流電圧をコネクタ１６の電源端子に供給して評価対象物１１を動作状態としている点、などである。
【０１０２】
その他の構成については、基本的に第１実施形態のノイズ評価システム１と同じであるため、第１実施形態のノイズ評価システム１と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１０３】
トラッキングジェネレータ４２は、スペクトラムアナライザ４１において設定されている測定周波数と同期した高周波信号（ノイズ信号）を出力する周知の信号発生器である。
そのため、ＰＣ４３は、第１実施形態のＰＣ２３のようなシグナルジェネレータ１２へのＳＧ制御信号の出力は不要となる。
【０１０４】
これにより、本実施形態においてＰＣ４３が実行するノイズ伝搬可視化制御処理は、基本的には図２に示した第１実施形態のノイズ伝搬可視化制御処理と同じであるが、そのうちＳ１１０，Ｓ１３０，及びＳ１６０の各処理については、スペクトラムアナライザ４１のみを対象に行われることとなる。また、Ｓ１１５及びＳ１３５に示した、スペクトラムアナライザ及びシグナルジェネレータでの処理については、本実施形態ではシグナルジェネレータをトラッキングジェネレータ４２に読み替えればよい。
【０１０５】
このように、本実施形態のノイズ評価システム４０では、トラッキングジェネレータ４２が内蔵されたスペクトラムアナライザ４１を用い、トラッキングジェネレータ４２にてノイズ信号を生成・出力するようにしている。そのため、シグナルジェネレータ１２とスペクトルアナライザ２１を併用した第１実施形態のノイズ評価システム１と比較して、ノイズ評価システム４０全体をより簡易的に構成でき、ノイズ伝搬経路・強度等の各種評価を効率的に行うことができる。
【０１０６】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態のノイズ評価システムについて、図５を用いて説明する。図５は、本実施形態のノイズ評価システム５０の概略構成を示す構成図である。
【０１０７】
図５に示すように、本実施形態のノイズ評価システム５０は、図４に示した第２実施形態のノイズ評価システム４０と比較して、主として次の点で異なっている。即ち、評価対象物５１が、マイコンを含む各種回路素子等がまだ搭載されていないプリント基板単体である点、トラッキングジェネレータ４２からのノイズ信号を、増幅器や方向性結合器等を介さずにそのまま評価対象物５１へ印加する点、ノイズ信号の印加部位は、コネクタ１６ではなく、プリント基板に形成された配線パターンにおける所定の部位である点、この所定の部位に対し、ノイズ信号がバラン５２によってモード変換された上で印加される点、などである。
【０１０８】
その他の構成については、基本的に第２実施形態のノイズ評価システム４０と同じであるため、第２実施形態のノイズ評価システム４０と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１０９】
評価対象物５１におけるノイズ信号の印加部位は、プリント基板においてマイコンが搭載される部位であり、より詳しくは、プリント基板上の配線パターンにおける、マイコンが備える複数の信号端子（外部接続用のピン）の何れかが接続される信号端子接続部５３である。
【０１１０】
また、トラッキングジェネレータ４２からのノイズ信号は平衡モードであるのに対し、印加部位は不平衡モードである。そのため、トラッキングジェネレータ４２からのノイズ信号を、バラン５２にて不平衡モードに変換した上で、評価対象物５１であるプリント基板に印加するようにしている。そのため、バラン５２の出力は、プリント基板上において信号端子接続部５３及びグランド端子接続部５４（グランド電位）にそれぞれ接続される。
【０１１１】
なお、プリント基板上の配線パターンにおける電源ラインには、コネクタ１６を介して、直流バイアス生成部３１からの直流電圧が供給されている。
このように、本実施形態では、トラッキングジェネレータ４２からのノイズ信号を、プリント基板における、マイコンの端子が接続される部分（信号端子接続部５３）に印加するようにしている。このようにしているのは、プリント基板に実際に回路が形成されたときにマイコンの内部から発生するノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを評価するためである。
【０１１２】
上述したように、プリント基板に形成される種々の回路において近年特に問題となっているのが、マイコン等の半導体集積回路の内部から発生するノイズである。通常、マイコン等が発生するノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを評価するにあたっては、プリント基板上にマイコン等を実装して動作させた状態で評価する必要がある。しかし、そのような評価方法では、マイコン等の性能とプリント基板の性能とを分離して評価することは困難である。
【０１１３】
そこで本実施形態では、プリント基板単体に対し、マイコンの端子が接続される部分にノイズ信号を印加することで、マイコンを実際に搭載することなく、マイコンの内部から発生したノイズがその接続部分からプリント基板上に流出した状態を再現し、そのノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを測定・評価するようにしている。
【０１１４】
従って、このように構成された本実施形態のノイズ評価システム５０によれば、配線パターンにおける所定の部位に印加されたノイズ信号がプリント基板上をどのように伝搬するかを評価することができる。
【０１１５】
特に、本実施形態では、マイコンから発生するノイズをトラッキングジェネレータ４２からのノイズ信号で模擬させている。そのため、マイコンから発生したノイズがプリント基板上をどのように伝搬するか等を、マイコンを実装することなく評価することができる。つまり、マイコンから発生するノイズに対するプリント基板単体の性能を、マイコンの性能を考慮することなく、マイコンを分離して評価することが可能となる。
【０１１６】
［変形例］
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の実施の形態は、上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
【０１１７】
例えば、上記各実施形態では、プローブ１７を、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θの４方向に移動できるものとして説明したが、必ずしもこの４方向全てに移動可能に構成する必要はなく、例えばＸ，Ｙ，Ｚ方向への移動のみとしてもよいし、Ｘ，Ｙ方向への移動のみとしてもよい。
【０１１８】
また、上記第１、第２実施形態では、ノイズ信号を、増幅器１３，方向性結合器１４，及びバイアスティ１５を介して評価対象物へ入力するようにしたが、これら増幅器１３，方向性結合器１４，及びバイアスティ１５を設けるかどうかについては適宜決めることができる。
【０１１９】
また、評価対象物に対するノイズ信号の印加部位は、上記各実施形態に例示した部位に限らず、適宜決めることができる。
また、上記第３実施形態では、バラン５２によってノイズ信号を不平衡モードに変換した上で評価対象物１１に印加するようにしたが、必ずしもモード変換する必要はなく、そのまま（平衡モードのまま）印加しても測定することは可能である。
【符号の説明】
【０１２０】
１，４０，５０…ノイズ評価システム、１０…可動テーブル、１１，５１…評価対象物、１２…シグナルジェネレータ、１３…増幅器、１４…方向性結合器、１５…バイアスティ、１６…コネクタ、１７…プローブ、１８…支持部、１９…駆動機構、２０…位置コントローラ、２１，４１…スペクトラムアナライザ、２２…信号ケーブル、２３…ＰＣ、２６…設置台、２７…スペーサ、３１…直流バイアス生成部、３２，３３…電力計測器、４２…トラッキングジェネレータ、５２…バラン、５３…信号端子接続部、５４…グランド端子接続部、Ｃ１…カップリングコンデンサ、Ｌ１…コイル
【図２】
2010237099.tif 000003
【図１】
2010237099.tif 000004
【図３】
2010237099.tif 000005
【図４】
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【図５】
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