(57)【要約】【課題】流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる流量計を提供する。【解決手段】本発明に係る流量計１は、所定方向（Ｘ軸方向）にのびる流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１を流れる流体の流量を検出する流れセンサ８と、流れセンサ８が設けられた回路基板３１と、を備え、回路基板３１における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に突出するように、回路基板３１が流路保持体１０に設けられる。【選択図】図２
2010237057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向にのびる流路が設けられた流路保持体と、
前記流路を流れる流体の流量を検出する流量検出手段と、
前記流量検出手段が設けられた回路基板と、を備え、
前記回路基板における前記流量検出手段を設けた部分が前記流路内に突出するように、前記回路基板が前記流路保持体に設けられる
流量計。
【請求項２】
前記回路基板における前記流量検出手段を設けた面が前記所定方向の線に平行に配置される
請求項１に記載の流量計。
【請求項３】
前記流路保持体は前記流路を構成する面の一部に開口部を有し、
前記回路基板における前記流量検出手段を設けた部分は、前記開口部から前記流路内に突出している
請求項１又は２に記載の流量計。
【請求項４】
前記流路保持体と前記回路基板との間を封止する封止部材を備える
請求項１乃至３の何れか一項に記載の流量計。
【請求項５】
前記封止部材は、前記流路の一部を構成する
請求項４に記載の流量計。
【請求項６】
前記回路基板における前記流路内に配置される部分は、前記流体に対して耐食性を有する
請求項１乃至５の何れか一項に記載の流量計。
【請求項７】
前記回路基板における前記流路内に配置される部分の材料は、セラミックである
請求項１乃至６の何れか一項に記載の流量計。
【請求項８】
前記回路基板における前記流路外に配置される部分に、電子部品が設けられる
請求項１乃至７の何れか一項に記載の流量計。
【請求項９】
前記回路基板の両面が前記流路内に配置される
請求項１乃至８の何れか一項に記載の流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明に係るいくつかの態様は、例えば気体、液体などの流体の流量を測定する流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の流量計として、流路を構成する面に開口部を有し、その開口部に回路基板を配し、この回路基板の流路面に配設した流れセンサとを備えたものが知られている。この流量計は、流れセンサを取り付けるための取付部品を必要とせず、構造が単純になるばかりでなく、流れセンサを取り付けるための穴加工が不要になり、それによって流量計をコンパクトにすることが可能なる。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、回路基板が流路の一部を構成する前述の流量計は、流路を構成する面に開口部を有し、その開口部を回路基板における流れセンサの配設面で塞ぐ構成になっている。
開口部を回路基板の流れセンサの配設面で塞ぐ構成となっているため、開口部において、流路は凹部を有する形状となる。また、配設面と流路間に封止部材を配置する必要があり、その配置のため、流路壁面が厚くなり、開口部の凹部は、さらに大きくなる。この凹部により、例えば流れの乱れなどが発生する可能性が高くなり、精度悪化を引き起こすこととなる。これを防止するため、ケース本体に対して垂直方向に延びる２つの流路部分と当該２つの流路部分を連通する水平方向に延びる流路部分とから構成される、いわゆるコの字状を採用していた。
【０００５】
しかしながら、コの字状の流路における垂直方向に延びる流路部分と水平方向に延びる流路部分との接続部分は屈曲しているので、当該接続部分で流路を流れる流体の向きが変わる。その際、水平方向に延びる流路部分の上面を構成する回路基板に、流体から大きな圧力が加わる。そのため、回路基板において、圧力が加わった部分に設けられた素子や回路が変形し、その結果、回路基板に設けられた流れセンサが検出する流体の流量（検出流量）の精度が悪化するという問題があった。
【０００６】
本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる流量計を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る流量計は、所定方向にのびる流路が設けられた流路保持体と、流路を流れる流体の流量を検出する流量検出手段と、流量検出手段が設けられた回路基板と、を備え、回路基板における流量検出手段を設けた部分が流路内に突出するように、回路基板が流路保持体に設けられる。
【０００８】
かかる構成によれば、回路基板における流量検出手段を設けた部分が流路内に突出するように、回路基板が流路保持体に設けられる。よって、従来の流量計のように流路をコの字状にする必要がなくなり、流路を直線状にすることができる。また、回路基板を流路ののびる方向の線に対して平行に設置すれば、流路内に配置された回路基板の面は、流体から圧力を受け難くなる。つまり、従来の流量計ように、回路基板で流路を構成する面の開口を塞ぎ、流路をコの字状とした場合、回路基板のたわむ方向に流体の圧力を受け、また、回路基板が圧力を受ける面積が大きいため、回路基板は流体から圧力を受け易くなる。一方、回路基板を流路ののびる方向の線に対して平行に設置すれば、回路基板のたわむ方向に流体の圧力を受けず、また、回路基板が圧力を受ける面積が殆どないため、回路基板は流体から圧力を受け難くなる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る流量計によれば、流路を直線状にすることができる。また、回路基板の面が流路ののびる方向の線に対して平行にすれば、流路内に配置された回路基板の面は、流体から圧力を受け難くなる。これにより、回路基板に設けられた流量検出手段への影響を低減することができ、流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態における流量計の斜視図である。
【図２】図１に示した分流式流量計の側方断面図である。
【図３】図２に示したＩＩ−ＩＩ線矢視方向断面図である。
【図４】図１に示した流路保持体の上面図である。
【図５】図４に示したＩＶ−ＩＶ線矢視方向断面図である。
【図６】図４に示したＶ−Ｖ線矢視方向断面図である。
【図７】図２に示したに示した流れセンサの斜視図である。
【図８】図７に示したＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線矢視方向断面図である。
【図９】本発明の第１実施形態の変形例における流量計の縦断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態における流量計の側方断面図である。
【図１１】図１０に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視方向断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の変形例における流量計の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１２】
（第１実施形態）
図１乃至図８は、本発明に係る流量計の第１実施形態を示すものである。図１は、本発明の第１実施形態における流量計の斜視図である。図１に示すように、流量計１は、流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路保持体１０に対して着脱可能な電装カバー３０とを備える。電装カバー３０の上部には、入出力装置３５が配置される。入出力装置３５は、例えばＬＥＤなどの発光体や液晶ディスプレイなどから構成される出力部（図示せず）と、入力キーなどを有しており、各種設定や情報を入力可能な入力部（図示せず）とを備える。
【００１３】
図２は、図１に示した流量計の側方断面図である。なお、図２に示すＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交する座標軸であり、Ｙ軸はＸ軸に対して水平方向に直交し、Ｚ軸はＸ軸に対して垂直方向に直交する。図１に示す六面体の流路保持体１０における対向する二面に、図２に示すように、注入口１３及び排出口１４が設けられている。注入口１３及び排出口１４のそれぞれには、ガスや液体などの流体を通す配管（図示せず）が挿入される。流路保持体１０の内部に設けられた流路１１は、所定方向（図２におけるＸ軸方向）にのびており、注入口１３から排出口１４に貫通している。流路１１は、注入口１３及び排出口１４に接続された配管と連通し、注入口１３から流入した流体を排出口１４から流出する。これにより、流体は、図２に示す一点鎖線矢印Ｌのように、流路１１内を所定方向（図２におけるＸ軸方向）に流れる。
【００１４】
図３は、図２に示したＩＩ−ＩＩ線矢視方向断面図である。図２及び図３に示すように、回路基板３１は、一部が電装カバー３０から流路１１内に突出するように、流路保持体１０に設けられる。また、回路基板３１は、一方の面３１ａに、流れセンサ８、中央演算処理装置（以下、ＣＰＵという）３００、及びその他の電子部品３０１を備える。ＣＰＵ３００には、流れセンサ８及び入出力装置３５が電気的に接続されている。その他の電子部品３０１としては、例えば、抵抗器、コンデンサ、トランジスタなどの素子や、ＩＣ、ＬＳＩなど回路が設けられる。なお、図２に示す回路基板３１は模式的に描かれており、実際には、マイクロプロセッサ、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、Ｉ／Ｏ回路などを備える。
【００１５】
本実施形態では、流れセンサ８、ＣＰＵ３００、及びその他の電子部品３０１の全てを、一方の面３１ａに設けるようにしたが、これに限定されない。例えば、流れセンサ８を一方の面３１ａに設け、ＣＰＵ３００、及びその他の電子部品３０１を他方の面３１ｂに設けるように、回路基板３１に設ける面を分けるようにしてもよい。
【００１６】
図２及び図３に示すように、流量計１は、流路保持体１０と回路基板３１との間（後述の開口部）に、封止部材３２を備える。封止部材３２は、ＣＰＵ３００及びその他の電子部品３０１と流れセンサ８との間で、回路基板３１を取り囲むように配置される。これにより、回路基板３１におけるＣＰＵ３００及びその他の電子部品３０１を設けた部分が電装カバー３０内、すなわち流路１１外に配置され、回路基板３１における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に配置される。また、封止部材３２の下面は、流路１１の一部を構成する。
【００１７】
図２及び図３に示すように、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂは、流路１１がのびる方向の線（図２における一点鎖線矢印Ｌ）に平行な軸（図２におけるＸ軸）と、流路１１がのびる方向の線（図２における一点鎖線矢印Ｌ）に垂直な軸（図２におけるＺ軸）とによって定められる平面になるように配置される。すなわち、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂは、図２及び図３におけるＸＺ平面となる。上述した従来の流量計のように、回路基板における流れセンサの配設面で流路を構成する面の開口部を塞ぐ場合、流路をコの字状にするのが一般的であった。これに対し、本実施形態の流量計１は、回路基板３１における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に突出するように、回路基板３１が流路保持体１０に設けられるので、従来の流量計のように流路をコの字状にする必要がなくなり、流路１１を直線状にすることができる。また、回路基板３１の両面３１ａ，３２ｂが流路１１ののびる方向の線（図２における一点鎖線の矢印Ｌ）に対して平行になるので、流路１１内に配置された回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂは、流体から圧力を受け難くなる。
【００１８】
図４は図１に示した流路保持体の上面図であり、図５は図４に示したＩＶ−ＩＶ線矢視方向断面図であり、図６は図４に示したＶ−Ｖ線矢視方向断面図である。図４乃至図６に示すように、流路保持体１０は流路１１を構成する面の一部に開口部１６を有しており、開口部１６は流路１１の上面の一部を開口する。図１乃至図３に示した電装カバー３０は、流路保持体１０の開口部１６を覆うように、着脱自在に配置される。このとき、回路基板３１の一部は流路保持体１０の開口部１６から流路１１内部に突出し、封止部材３２は、流路保持体１０の開口部１６を封止する。これにより、流路１１内の気密性が確保される。また、封止部材３２の下面は、流路１１の一部を構成する。
【００１９】
図７は、図２に示した流れセンサの斜視図であり、図８は、図７に示したＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線矢視方向断面図である。図２に示す流路１１における流体の流速又は流量を検出する流れセンサ８は、流路１１内に配置されている。図７及び図８に示すように、流れセンサ８は、キャビティ６６が設けられた基板６０、基板６０上にキャビティ６６を覆うように配置された絶縁膜６５、絶縁膜６５に設けられたヒータ６１、ヒータ６１より上流側に設けられた上流側測温抵抗素子６２、ヒータ６１より下流側に設けられた下流側測温抵抗素子６３、及び上流側測温抵抗素子６２より上流側に設けられた周囲温度センサ６４を備える。
【００２０】
図８に示す絶縁膜６５のキャビティ６６を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。周囲温度センサ６４は、図２に示す流路１１に流入してきた流体の温度を測定する。図７及び図８に示すヒータ６１は、キャビティ６６を覆う絶縁膜６５の中心に配置されており、分流路２５に流れる流体を、周囲温度センサ６４が計測した温度よりも一定温度、例えば１０℃高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子６２はヒータ６１より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子６３はヒータ６１より下流側の温度を検出するために用いられる。
【００２１】
ここで、図２に示す流路１１中の流体が静止している場合、図７及び図８に示すヒータ６１で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図２に示す流路１１中の流体が上流から下流に流れている場合、図７及び図８に示すヒータ６１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子６２の温度よりも、下流側測温抵抗素子６３の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差は、図２に示す流路１１中の流体の速度と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差から、流路１１を流れる流体の流量が求められる。
【００２２】
図７及び図８に示す基板６０の材料としては、シリコン（Ｓｉ）などが使用可能である。絶縁膜６５の材料としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）などが使用可能である。キャビティ６６は、異方性エッチングなどにより形成される。また、ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）などが使用可能であり、リソグラフィ法などにより形成可能である。
【００２３】
流れセンサ８は、図２に示す電装カバー３０の内部に配置されたＣＰＵ３００に接続されている。ＣＰＵ３００は、ＲＯＭ（図示せず）にあらかじめ書き込まれた各種制御プログラムや各種情報などを読み込み、種々の情報処理（演算処理）を実行したり、流量計１の各種電子機器を制御したりする。具体的には、ＣＰＵ３００は、流れセンサ８から入力される、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と、流路１１の断面積と基づいて、流路１１を流れる流体の流量（検出流量）を算出する。また、ＣＰＵ３００は、算出された流路１１を流れる流体の流量（検出流量）を入出力装置３５に出力し、入出力装置３５の出力部に表示させる。
【００２４】
このように、本実施形態の流量計１によれば、回路基板３１における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に突出するように、回路基板３１が流路保持体１０に設けられる。上述した従来の流量計のように、回路基板における流れセンサの配設面で流路を構成する面の開口部を塞ぐ場合、流路をコの字状するのが一般的であった。これに対し、本実施形態の流量計１は、回路基板３１における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に突出するように、回路基板３１が流路保持体１０に設けられるので、従来の流量計のように流路をコの字状にする必要がなくなり、流路１１を直線状にすることができる。また、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂが流路１１ののびる方向の線（図２における一点鎖線の矢印Ｌ）に対して平行になるので、流路１１内に配置された回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂは、流体から圧力を受け難くなる。これにより、回路基板３１に設けられた流れセンサ８への影響を低減することができ、流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる。
【００２５】
また、本実施形態の流量計１によれば、流路保持体１０と回路基板３１との間の開口部１６を封止する封止部材３２を備えるので、流路１１内の気密性が確保される。
【００２６】
また、従来の流量計においては、開口部を回路基板の流れセンサの配設面で塞ぐ構成となっていため、封止部材配置用として、流路壁面に凹部を設ける等複雑な構成となっていた。これに対し、本実施形態の流量計１によれば、封止部材３２が開口部１６に配置されるので、従来と比較して、封止部材３２の配置を容易にすることができ、また、流路１１内の流体が漏洩し難くなる。
【００２７】
（第１実施形態の変形例）
図９は、本発明の第１実施形態の変形例における流量計の縦断面図である。なお、同図は第１実施形態の図３に対応する図である。第１実施形態では、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂが図２及び図３におけるＸＺ平面になるように、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂを流路１１内に配置したが、これに限定されない。図９に示すように、流量計１は、回路基板３１における流れセンサ８を設けた面３１ａが流路１１内に配置されていればよい。
【００２８】
このように、本実施形態の流量計１によれば、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂが、流路１１ののびる方向の線（図２における一点鎖線矢印Ｌ）に平行な軸（図２におけるＸ軸）と、流路１１ののびる方向の線（図２における一点鎖線矢印Ｌ）に垂直な軸（図２におけるＺ軸）とによって定められる平面（図２及び図３におけるＸＺ平面）になるように、流れセンサ８を設けた面３１ａが流路１１内に配置される。これにより、第１実施形態と同様に、従来の流量計のように流路をコの字状にする必要がなくなり、流路１１を直線状にすることができる。また、回路基板３１の両面３１ａ，３１ｂが流路１１ののびる方向の線（図２における一点鎖線の矢印Ｌ）に対して平行になるので、流路１１内に配置された流れセンサ８を設けた面３１ａは、流体から圧力を受け難くなる。これにより、回路基板３１に設けられた流れセンサ８への影響を低減することができ、流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる。
【００２９】
（第２実施形態）
図１０及び図１１は、本発明に係る流量計の第２実施形態を示すものである。図１０は、本発明の第２実施形態における流量計の側方断面図であり、図１１は、図１０に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視方向断面図である。なお、図１０に示すＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交する座標軸であり、Ｙ軸はＸ軸に対して水平方向に直交し、Ｚ軸はＸ軸に対して垂直方向に直交する。また、前述した第１実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。
【００３０】
第２実施形態と第１実施形態との相違点は、回路基板３１を、第１の回路基板３３及び第２の回路基板３４に分割したことである。
【００３１】
すなわち、第１の回路基板３３は、一部が電装カバー３０から流路１１内に突出するように、流路保持体１０に設けられる。また、第１の回路基板３３は、一方の面３３ａに流れセンサ８を備える。第２の回路基板３４は、一方の面３４ａに、ＣＰＵ３００、及びその他の電子部品３０１を備える。第１の回路基板３３及び第２の回路基板３４は、互いに電気的に接続されている。よって、第１実施形態と同様に、ＣＰＵ３００に流れセンサ８及び入出力装置３５が電気的に接続される。
【００３２】
本実施形態では、第１の回路基板３３に流れセンサ８のみを備えるようにしたが、これに限定されない。第２の回路基板３４と同様に、第１の回路基板３３は、ＣＰＵ３００、及び／又はその他の電子部品３０１を備えてもよい。また、流れセンサ８、ＣＰＵ３００、及びその他の電子部品３０１を、第１の回路基板３３の一方の面３３ａ、及び第２の回路基板の一方の面３４ａに設ける場合に限定されない点は、第１実施形態と同様である。
【００３３】
図１０及び図１１に示すように、流量計１は、流路保持体１０と第１の回路基板３３との間（開口部１６）に、封止部材３２を備える。封止部材３２は、第２の回路基板３４と流れセンサ８との間で、第１の回路基板３３を取り囲むように配置される。これにより、ＣＰＵ３００及びその他の電子部品３０１を備える第２の回路基板３４が電装カバー３０内、すなわち流路１１外に配置され、第１の回路基板３３における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に配置される。つまり、第１の回路基板３３の一部は流路保持体１０の開口部１６から流路１１内部に突出する。また、封止部材３２の下面は、流路１１の一部を構成する。
【００３４】
流路１１内に配置される第１の回路基板３３は、流路１１を流れる流体に対して耐食性を有する材料、例えばセラミックなどから構成される。一方、第２の回路基板３４は、安価で加工、製作が容易な材料、例えばガラスエポキシなどから構成される。これにより、流路１１を流れる流体が回路基板を腐食するような場合でも、第１の回路基板３３を流路１１内に配置することができる。また、第２の回路基板３４として、流路１１に配置されない回路基板に適した材料を用いることにより、回路基板の全てに耐食性を有する材料を用いる場合と比較して、製造コストを低減することができる。
【００３５】
図１０及び図１１に示すように、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂは、流路１１がのびる方向の線（図１０における一点鎖線矢印Ｌ）に平行な軸（図１０におけるＸ軸）と、流路１１がのびる方向の線（図１０における一点鎖線矢印Ｌ）に垂直な軸（図１０におけるＺ軸）とによって定められる平面になるように配置される。すなわち、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂは、図１０及び図１１におけるＸＺ平面となる。本実施形態の流量計１は、第１の回路基板３３における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に突出するように、第１の回路基板３３が流路保持体１０に設けられるので、従来の流量計のように流路をコの字状にする必要がなくなり、流路１１を直線状にすることができる。また、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂが流路１１ののびる方向の線（図１０における一点鎖線の矢印Ｌ）に対して平行になるので、流路１１内に配置された第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂは、流体から圧力を受け難くなる。
【００３６】
また、封止部材３２は流路保持体１０の開口部１６を封止する。これにより、流路１１内の気密性が確保される。
【００３７】
このように、本実施形態の流量計１によれば、第１の回路基板３３における流れセンサ８を設けた部分が流路１１内に突出するように、第１の回路基板３３が流路保持体１０に設けられるので、従来の流量計のように流路をコの字状にする必要がなくなり、流路１１を直線状にすることができる。また、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂが流路１１ののびる方向の線（図１０における一点鎖線の矢印Ｌ）に対して平行になるので、流路１１内に配置された第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂは、流体から圧力を受け難くなる。これにより、第１の回路基板３３に設けられた流れセンサ８への影響を低減することができ、流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる。
【００３８】
また、本実施形態の流量計１によれば、流路保持体１０と第１の回路基板３３との間（開口部１６）を封止する封止部材３２を備えるので、流路１１内の気密性が確保される。
【００３９】
また、従来の流量計においては、開口部を回路基板の流れセンサの配設面で塞ぐ構成となっていため、封止部材配置用として、流路壁面に凹部を設ける等複雑な構成となっていた。これに対し、本実施形態の流量計１によれば、封止部材３２が開口部に配置されるので、従来と比較して、封止部材３２の配置を容易にすることができ、また、流路１１内の流体が漏洩し難くなる。
【００４０】
また、本実施形態の流量計１によれば、第１の回路基板３３の材料が、流路１１を流れる流体に対して耐食性を有する材料、例えばセラミックである。これにより、流路１１を流れる流体が回路基板を腐食するような場合でも、第１の回路基板３３を流路１１に配置することができる。また、第２の回路基板３４として、流路１１に配置されない回路基板に適した材料を用いることにより、全ての回路基板に耐食性を有する材料を用いる場合と比較して、製造コストを低減することができる。
【００４１】
（第２実施形態の変形例）
図１２は、本発明の第２実施形態の変形例における流量計の縦断面図である。なお、同図は第２実施形態の図１１に対応する図である。第２実施形態では、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂが図１０及び図１１におけるＸＺ平面になるように、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂを流路１１内に配置したが、第１実施形態と同様に、これに限定されない。図１２に示すように、流量計１は、第１の回路基板３３における流れセンサ８を設けた面３３ａが流路１１内に配置されていればよい。
【００４２】
このように、本実施形態の流量計１によれば、第２実施形態と同様に、従来の流量計のように流路の形状をいわゆるコの字状にする必要がなくなり、流路１１を直線状にすることができる。また、第１の回路基板３３の両面３３ａ，３３ｂが流路１１ののびる方向の線（図１０における一点鎖線の矢印Ｌ）に対して平行になるので、流路１１内に配置された流れセンサ８を設けた面３３ａは、流体から圧力を受け難くなる。これにより、第１の回路基板３３に設けられた流れセンサ８への影響を低減することができ、流体からの圧力による検出流量の精度悪化を低減することができる。
【００４３】
なお、前述の各実施形態の構成は、組み合わせたり或いは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本発明の構成は前述の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。
【００４４】
特に、前述の各実施形態では、開口部を流路の上部に設けて、回路基板の面がＸＺ平面になるように設置することしているが、開口部は流路の下部等に設けてもよい。また、流体の流れに平行になれば、ＸＺ平面でなくてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１…流量計
８…流れセンサ
１０…流路保持体
１１…流路
１６…開口部
３０…電装カバー
３１…回路基板
３２…封止部材
３３…第１の回路基板
３４…第２の回路基板
３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ…面
３５…入出力装置
３００…ＣＰＵ
３０１…その他の電子部品
Ｌ…一点鎖線矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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