(57)【要約】      （修正有）【課題】配線基板をアクチュエータに安定して接合、コンパクトに取り回せるようにし、アクチュエータから剥がれ難くする。【解決手段】複数の圧力室及び圧力室に連通する複数のノズルを有する流路ユニットと、その表面に複数の圧力室に対応する複数の電極６５が複数配列して設けられたアクチュエータと、アクチュエータの表面を覆い、各電極に対応して設けられた導電性バンプ６６を介して接続される配線基板２３とを備え、一の列をなす複数の電極７０が、当該一の列と隣接する列をなす複数の電極７０と千鳥状に配列されており、列方向の末端位置に配置された電極６５に対応する前記導電性バンプ６６が、圧力室の中心線に対し、該列方向の中央寄りに偏位して設けられている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力室及び前記圧力室に連通する複数のノズルを有する流路ユニットと、
その表面に前記複数の圧力室に対応する複数の電極が複数配列して設けられたアクチュエータと、
前記アクチュエータの表面を覆い、前記各電極に対応して設けられた導電性バンプを介して接続される配線基板と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記電極の前記複数の配列は、その一の列をなす複数の電極が、当該一の列と隣接する列をなす複数の電極と千鳥状に配列され、列方向の末端位置に配置された前記電極に対応する前記導電性バンプが、前記圧力室の中心線に対し、該列方向の中央寄りに偏位して設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記配線基板は可撓性を有し、前記アクチュエータの表面に対して前記列方向の少なくとも一方側に引き出されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記配線基板が、前記アクチュエータの表面に対して前記列方向の両側に引き出されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の列のうち、相互に千鳥配列をなす２列における列方向の末端位置に配置された電極の夫々に対応して設けられた複数の前記導電性バンプのうち少なくとも２つが、前記列方向に関して同じ位置に設けられることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記末端位置に配置された電極の夫々に対応して設けられた複数の前記導電性バンプが前記列方向に関してすべて同じ位置に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドを所定の走査方向に走査する走査装置と、
前記液体吐出ヘッドより吐出される液体を着弾させるための媒体を前記走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送装置とを備え、
前記列方向が前記搬送方向と平行であることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ等のように、液体を吐出する複数のノズルを有した液体吐出ヘッド、及びこれを備える液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出装置として、例えばインクジェットプリンタは、走査方向に往復移動可能なインクジェットヘッドを備え、このインクジェットヘッドのノズルより下方へインクを吐出可能になっている。このインクジェットヘッドの下方では、搬送装置によって用紙等の媒体が走査方向に直交する搬送方向に搬送されるようになっており、インクをこの媒体に着弾させることによって媒体に画像が記録される。
【０００３】
インクジェットヘッドは、一方向に配列されたノズル列とこれに対応する圧力室列とを有した流路ユニットに、圧電式のアクチュエータを上側から重ねて接着されて構成されている。アクチュエータ内には各圧力室に対応する電極が設けられており、この電極に選択的に電圧を印加すると対応する圧力室内のインクに吐出圧力が付与され、このインクが対応するノズルより外部に吐出される。アクチュエータの上面には各電極と導通した表面電極が設けられており、アクチュエータには、上側から可撓性を有した配線基板が重ねて配置される。このとき、表面電極は、導電性バンプを介して配線基板の下面に露出する端子と導通される。これにより配線基板を介してアクチュエータの電極に電圧を印加可能となる。また、配線基板はアクチュエータに機械的にも接続される。この接合時には、例えば、表面電極上または配線基板の端子に設けた導電性バンプを加熱溶融して再固化させる工法や、所謂カバーコート工法（特許文献１参照）や、接着剤等を用いる工法等が利用されるが、何れにせよ配線基板の上側から面ヒータ等で加熱する工程が行われる。このようにして配線基板の下面はアクチュエータの上面から離れて配置され、配線基板とアクチュエータとは各導電性バンプの設置箇所を接合ポイントとして互いに接合されている。
【０００４】
近年、単一のインクについて、複数の圧力室列及び複数のノズル列を並べて配置したインクジェットヘッドが提案されている（特許文献２参照）。このインクジェットヘッドによれば、各ノズル列をなすノズル群が千鳥状に配列され、各圧力室列をなす圧力室群も同様にして千鳥状に配列される。これにより各ノズル列をなすノズル群全体の解像度を向上させることができる。
【０００５】
図８は従来のインクジェットヘッド５０１の一例としての部分平面図である。図８に示すように、アクチュエータ５０２の表面上には複数の表面電極５０３が複数列配列されている。表面電極５０３は、ノズルの高密度化にともない、圧力室（図示せず）の略直上に配置されて圧力室と同様に千鳥状に配列されている。つまり、各列をなす表面電極５０３は配列方向に少しずつずれて整列され、配列方向と直交方向には同じ位置に整列されていない。このため、図示例では、左端の列内で配列方向一方側の末端位置にある電極５０３ａが、全ての電極のうちで最もアクチュエータ５０２の一方側の外周端に近接して配置され、右端の列内で配列方向他方側の末端位置にある電極５０３ｂが、全ての電極のうちでアクチュエータ５０２の他方側の外周端に最も近接して配置されている。
【０００６】
各表面電極５０３は、圧力室と同程度の大きさの矩形状に形成されたベース部５０４と、ベース部５０４から電極の配列方向と直交方向に細く突出する端子部５０５とを有している。配線基板５０７は図示しない複数の端子を有し、この端子と端子部５０５とが導電性バンプ５０６を介して接合される。そして、配線基板５０８には、アクチュエータ５０２に対して外側に引き出されて外部機器と接続される引出部５０８が形成され、図８に示す例ではその引出方向が表面電極５０３の配列方向に向けられている。
【特許文献１】特開２００５−３０５８４７号公報
【特許文献２】特開２００８−３７０９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図８に示す表面電極５０３の端子部５０５は、ベース部５０４の配列方向に関する中心線上（つまり、対応する圧力室の配列方向に関する中心線上）に形成され、千鳥状に隣接する２列の表面電極５０３の端子部５０５は、互いに向き合うように内側に突出し、その端子部５０５の端部に導電性バンプ５０６が配され、導電性バンプ５０６もノズルや圧力室と同様に千鳥状に配列されている。
【０００８】
このような表面電極５０３を有するアクチュエータ５０２と接合する配線基板５０７は、左端列内の一方側末端位置にある表面電極５０３ａに対応する導電性バンプ５０６ａと、右端列内の他方側末端位置にある表面電極５０３ｂに対応する導電性バンプ５０６ｂとの間の距離Ｌ′だけ引出方向の寸法を確保する必要が生じる。この距離Ｌ′は、ある一つの列の表面電極列をなすために必要な寸法Ｌに比べて長い。この距離Ｌ′が長くなると、接合時に利用する面ヒータが配列方向に大型でなければならない。面ヒータによる加熱は、配線基板に対して必ずしも均一に加熱できない場合があり、その接合領域が増えると温度ムラが顕著になりやすい。例えば、面ヒータの加熱面内では、内側領域よりも外側領域が空間に熱が放熱されやすく、必ずしも均一な温度分布にはならず、配線基板を均一に加熱することが難しくなり、安定してアクチュエータに接合することが困難となるおそれがある。そのため、接合を安定に行うために、面ヒータの放熱領域を考慮してヒータ面がさらに大きくなってしまったり、ヒータの加熱時間や加熱温度を上げるなどして熱を多く与えるようにすることで、逆にアクチュエータや配線基板に熱影響が及んだりするなどしてしまう。
【０００９】
また、引出部５０８は、外部機器との取り回しのために上側に折り曲げられることがある。このとき、引出方向のうち引出部５０８が形成されている側の末端位置に配置される電極に対応した導電性バンプ（図８ではバンプ５０６ａ）が、アクチュエータ５０２に対して最も外周端にあるため、この折り曲げの起点となる。上記のように端子部５０５が形成されることにより、アクチュエータ５０２の外周端からこの導電性バンプ５０６ａまでの距離が小さくなっているため、引出部５０８を折り曲げたときに、アクチュエータ５０２に対して外側にはみ出す長さが大きくなるおそれがある。つまり、配線基板５０７をコンパクトに取り回すことが困難となるおそれがある。
【００１０】
更に、引出部５０８は、配線基板５０７とアクチュエータ５０２との接合後に次の組立工程へ搬送する際に掴み上げることがあり、また、この引出部５０８に対して次の組立工程で作業がなされることがある。この掴み上げ時や作業時には、各列の表面電極５０３のうち引出方向のうち引出部５０８が形成されている側の末端位置に配置された電極に対応した導電性バンプ５０６に、重力や応力等の荷重が負荷される。しかしながら、上記末端位置に配置された各列表面電極５０３の導電性バンプ５０６が千鳥状に配列されて引出方向と直交方向には同じ位置に整列されていないため、引出方向に関しアクチュエータ５０２に対して最も外周端にある単一の導電性バンプ５０６ａに荷重が集中的に負荷される。このため、配線基板５０７がアクチュエータ５０２から剥がれやすくなる可能性があり、組み立てられたインクジェットヘッドに電気的な不具合が生じるおそれがある。
【００１１】
そこで、本発明は、配線基板をアクチュエータに安定して接合可能にすることを目的としており、更には、配線基板をコンパクトに取り回せるようにすること、及び配線基板をアクチュエータから剥がれ難くすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上述のような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液体吐出ヘッドは、複数の圧力室及び前記圧力室に連通する複数のノズルを有する流路ユニットと、その表面に前記複数の圧力室に対応する複数の電極が複数配列して設けられたアクチュエータと、前記アクチュエータの表面を覆い、前記各電極に対応して設けられた導電性バンプを介して接続される配線基板と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記電極の前記複数の配列は、その一の列をなす複数の電極が、当該一の列と隣接する列をなす複数の電極と千鳥状に配列され、列方向の末端位置に配置された前記電極に対応する前記導電性バンプが、前記圧力室の中心線に対し、該列方向の中央寄りに偏位して設けられていることを特徴としている。
【００１３】
このような構成とすることにより、少なくともアクチュエータの外周端に最も近接する電極が中央寄りに偏位しているので、外周端から導電性バンプが設置されている部分までの距離を大きくすることができ、配線基板のうち導電性バンプと接触する部分の面積を、配列方向に小型化することができる。これにより、ヒータにより均一に加熱しやすくなり、配線基板をアクチュエータに安定して接合させることができるようになる。また、ヒータの大型化や熱を過剰にかける必要がなくなる。
【００１４】
前記配線基板は可撓性を有し、前記アクチュエータの表面に対して前記列方向の少なくとも一方側に引き出されていてもよい。このような構成とすることにより、配線基板の引き出し部分を折り曲げる際に、その起点がアクチュエータの中央寄りに偏位する。従って、配線基板がアクチュエータの外周端よりも外側に撓んで折り曲げることを抑制できるためコンパクトに取り回すことができる。このとき、前記配線基板が、前記アクチュエータの表面に対して前記列方向の両側に引き出されていてもよい。このような構成とすることにより、配線基板の配線数が増えたり配線ピッチが高密度化するなど、配線の引き回しの都合で配線基板が両側に引き出されているような場合でも、両側に引き出された引出部を折り曲げる際に両方ともコンパクトに取りまわすことができる。
【００１５】
前記複数の列のうち、相互に千鳥配列をなす２列における列方向の末端位置に配置された電極の夫々に対応して設けられた複数の前記導電性バンプのうち少なくとも２つが、前記列方向に関して同じ位置に設けられていてもよい。このような構成とすることにより、配線基板の引き出されている部分が折り曲げられたとき、折り曲げの起点部分に作用する荷重が、配列方向に関して同じ位置に設けられた２つ以上の導電性バンプによって支持されることとなる。このため、配線基板がアクチュエータから剥がれ難くなる。
【００１６】
前記末端位置に配置された電極の夫々に対応して設けられた複数の前記導電性バンプが前記列方向に関してすべて同じ位置に設けられていてもよい。このような構成とすることにより、アクチュエータの外周端から導電性バンプまでの距離を最も短くすることができ、配線基板においてアクチュエータと接合するために確保すべき領域の面積を小さくすることができ、配線基板とアクチュエータとの接合を安定して行わせることができる。また、引き出されている部分が折り曲げられたときも、導電性バンプが同じ位置にすべて設けられているため荷重が均一に加わり、配線基板がアクチュエータから剥がれにくくなる。
【００１７】
また、本発明に係る液体吐出装置は、上記液体吐出ヘッドを備えることを特徴としており、これにより上記同様の作用効果を生じる液体吐出装置を提供することができる。このとき、前記液体吐出ヘッドを所定の走査方向に走査する走査装置と、前記液体吐出ヘッドより吐出される液体を着弾させるための媒体を前記走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送装置とを備え、前記列方向が前記搬送方向と平行であってもよい。
【発明の効果】
【００１８】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、配線基板をアクチュエータに安定して接合することができ、配線基板をコンパクトに取り回すことができ、配線基板をアクチュエータから剥がれ難くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る液体吐出装置の実施形態としてインクジェットプリンタを例示し、本発明に係る液体吐出ヘッドの実施形態として例示しており、これら本発明に係る実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタ１の概要構成を平面視で示す模式図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、略水平の走査方向に延在する一対のガイドレール２，３を備え、これらガイドレール２，３にキャリッジ４が支持されている。
【００２１】
インクジェットプリンタ１は、キャリッジ４を走査方向に往復移動させるための走査装置５を備えている。走査装置５はガイドレール３の各端部に設けられたプーリ６，７と、これらプーリ６，７の間に巻き掛けられたベルト８とを備えており、ベルト８がキャリッジ４と固定されている。一方のプーリ６には、走査用のモータ９の回転駆動力が入力されるようになっている。この走査装置５によれば、モータ９が駆動されるとプーリ６が回転してベルト８が周回し、キャリッジ４がガイドレール２，３に沿って走査方向にスライドする。
【００２２】
インクジェットプリンタ１にはカートリッジ装着部１０が設けられており、このカートリッジ装着部１０には例えば４つのインクカートリッジＣが着脱交換自在に装着される。各インクカートリッジＣには互いに異なる色（例えばブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクが貯留されている。インクカートリッジＣがカートリッジ装着部１０に装着されると、インクカートリッジＣ内のインクがインク供給チューブ１１を介してキャリッジ４に搭載されたインクジェットヘッド２０に供給される。インクジェットヘッド２０は、インクカートリッジＣから供給されたインクを下向きに吐出可能に配設されている。
【００２３】
キャリッジ４の下方では、被記録媒体である用紙Ｍが搬送機構１２によって走査方向と直交する略水平の搬送方向に搬送されるようになっている。搬送機構１２は、ガイドレール２，３に対して搬送方向上流側と下流側とに夫々配置されている。
【００２４】
インクジェットプリンタ１は、キャリッジ４を移動させながらインクをインクジェットヘッド２０よりインクを下向きに吐出し、吐出したインクを搬送機構１２によって搬送されている用紙Ｍに着弾させることにより、用紙Ｍにフルカラー画像又はモノクロ画像を記録する。ここでは、インクカートリッジＣからインクジェットヘッド２０にインクを供給する方式として所謂チューブ供給方式を採用したインクジェットプリンタ１を例示したが、本発明に係るインクジェットヘッド２０はその他の方式を採用したインクジェットプリンタにも好適に適用することができる。
【００２５】
図２は、図１に示すインクジェットプリンタ１に搭載された本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド２０の分解斜視図である。なお、以下のインクジェットヘッド２０の説明においても、自身からのインク吐出方向を「鉛直下方」、その反対側を「鉛直上方」としている。水平面内の方向については、便宜的にインクジェットプリンタのキャリッジに搭載された状態を基準にし、電極やノズルの配列方向に対応する水平面内の一方向を「搬送方向」、この一方向に直交する方向を「走査方向」として説明している。搬送方向に関して図２右上側を「上流側」、図２左下側を「下流側」とし、走査方向に関して図２右下側を「一方側」、図２左上側を「他方側」としている。
【００２６】
図２に示すように、インクジェットヘッド２０は、複数枚のプレートが積層された流路ユニット２１と、流路ユニット２１に対して上側から重ねて接着される圧電式のアクチュエータ２２とを備えている。アクチュエータ２２の上面には表面電極２４が形成され、外部機器と電気的接続を行うための配線基板２３が上側から重ねて接合される。この配線基板２３の下面側には図示しない端子が露出しており、接合時にこの端子がアクチュエータ２２の表面電極２４に電気的に導通される。アクチュエータ２２は、流路ユニット２１よりも外形状が小さく、流路ユニット２１の後述するインク流入口２６を露出させた状態で流路ユニット２１に対して接着されている。
【００２７】
配線基板２３は帯状の樹脂フィルムから形成されて可撓性を有しており、その搬送方向下流側の領域には上記の図示しない端子が設けられている。この搬送方向下流側の領域がアクチュエータ２２の電極と接合されており、配線基板２３はアクチュエータ２２に対して搬送方向上流側に引き出されている。この引出部２３ａにはアクチュエータ２２に印加される電圧を出力するドライバ２５が実装されており、配線基板２３及びドライバ２５は所謂チップオンフィルム（ＣＯＦ）の形態をなしている。なお、配線基板２３には図示しない配線が配設され、ドライバ２５と上記の端子とはこの配線で接続されている。
【００２８】
流路ユニット２１の上面には４個のインク流入口２６が形成されている。各インク流入口２６は、流路ユニット２１の搬送方向下流側に配置され、走査方向に互いに間隔をおいて並んでいる。各インク流入口２６はインクカートリッジＣ（図１参照）に接続され、各インクカートリッジＣ内のインクが対応するインク流入口２６に供給されるようになっている。流路ユニット２１の上面には各インク流入口２６を覆うフィルタ２７が設けられており、このフィルタ２７で濾過されたインクが各インク流入口２６を通過する。
【００２９】
各インク流入口２６は、インク流路４０（図３及び図４参照）を介し、流路ユニット２１の下面に開口するノズル４１（図３及び図４参照）に連通している。このため、流路ユニット２１には、互いに独立した４系統のインク流路４０が形成されることとなる。
【００３０】
また、流路ユニット２１の上面には多数の圧力室孔２８が形成されている。各圧力室孔２８は、走査方向が長手方向となる矩形状に形成され、アクチュエータ２２の下面で塞がれることによりインク流路４０（図３及び図４参照）の一部である圧力室４５（図３及び図４参照）を構成する。
【００３１】
これら多数の圧力室孔２８は、搬送方向に配列された複数の圧力室孔群２９を形成している。これら圧力室孔群２９はインク流路４０（図３及び図４参照）の各系統に対応して設けられており、本実施形態では４つの圧力室孔群２９が設けられている。
【００３２】
より詳しくは、走査方向一方側の端部に配置される圧力室孔群２９は、第１乃至第６圧力室孔列３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆを有している。各圧力室孔列３０ａ〜３０ｆは、複数の圧力室孔２８が搬送方向に等間隔をおいて配列されて構成され、走査方向に並んで配置されている。
【００３３】
各圧力室孔列３０ａ〜３０ｆをなす圧力室孔２８は千鳥状に配列されている。つまり、第１圧力室列３０ａをなす圧力室孔２８に対して搬送方向上流側に所定間隔Ｂ（図５参照）をおいて第３圧力室孔列３０ｃをなす圧力室孔２８が配置され、この第３圧力室孔列３０ｃをなす圧力室孔２８に対して搬送方向上流側に同じ間隔をおいて第５圧力室孔列３０ｅをなす圧力室孔２８が配置され、この第５圧力室孔列３０ｅをなす圧力室孔２８に対して搬送方向上流側に同じ間隔をおいて第２圧力室孔列３０ｂをなす圧力室孔２８が配置され、この第２圧力室孔列３０ｂをなす圧力室孔２８に対して同じ間隔をおいて第４圧力室孔列３０ｄをなす圧力室孔２８が配置され、この第４圧力室孔列３０ｄをなす圧力室孔２８に対して同じ間隔をおいて第６圧力室孔列３０ｆをなす圧力室孔２８が配置されている。更にこの第６圧力室孔列３０ｆをなす圧力室孔２８に対して同じ間隔をおいて、第１圧力室孔列３０ａをなす圧力室孔のうち上述の圧力室孔と隣接する圧力室孔２８が配置されている。この配置関係が搬送方向に関して連続し、これにより６列をなす複数の圧力室孔２８の千鳥配列が実現される。
【００３４】
また、これ以外の各圧力室孔群２９は、第１乃至第４圧力室孔列３１ａ，３１ｂ，３１ｃ、３１ｄを有している。各圧力室孔列３１ａ〜３１ｄは、複数の圧力室孔２８が搬送方向に等間隔をおいて配列されて構成され、走査方向に並んで配置されている。
【００３５】
各圧力室孔列３１ａ〜３１ｄをなす圧力室孔２８は千鳥状に配列されている。つまり、第１圧力室孔列３１ａをなす圧力室孔２８に対して搬送方向上流側に所定間隔Ｆ（図５参照）をおいて第３圧力室孔列３１ｃをなす圧力室孔２８が配置され、この第３圧力室孔列３１ｃをなす圧力室孔２８に対して搬送方向上流側に同じ間隔をおいて第２圧力室孔列３１ｂをなす圧力室孔２８が配置され、この第２圧力室孔列３１ｂをなす圧力室孔２８に対して搬送方向上流側に同じ間隔をおいて第４圧力室孔列３１ｄをなす圧力室孔２８が配置されている。さらに、この第４圧力室孔列３１ｄをなす圧力室孔２８に対し、第１圧力室孔列３１ａをなす圧力室孔２８のうち上述の圧力室孔と隣接する圧力室孔２８が、搬送方向上流側に同じ間隔をおいて配置されている。この配置関係が搬送方向に関して連続し、これにより４列をなす複数の圧力室孔２８の千鳥配列が実現される。
【００３６】
図３は図２に示すインクジェットヘッド２０を組み立てた状態として図２のIII−III線に沿って切断して示すインクジェットヘッド２０の部分断面図、図４は図３に示すIV−IV線に沿って示すインクジェットヘッド２０の底面図であって、流路ユニット２１に形成されるインク流路４０を底面側から投影して示す図である。
【００３７】
図３に示すように、流路ユニット２１は、上から順に、圧力室プレート３２、第１接続流路プレート３３、第２接続流路プレート３４、第１マニホールドプレート３５、第２マニホールドプレート３６、ダンパープレート３７、カバープレート３８、及びノズルプレート３９が積層接着された構成となっている。ノズルプレート３９はポリイミド等の樹脂シートであり、それ以外の各プレート３２〜３８は４２％ニッケル合金（４２合金）やステンレス等から形成された金属板であり、各々５０〜１５０μｍ程度の肉厚を有している。圧力室プレート３２により本発明に係る圧力室層が構成され、第１及び第２接続流路プレート３３，３４により接続流路層が構成され、第１及び第２マニホールドプレート３５，３６により本発明に係るマニホールド層が構成されている。各層を構成するプレートの枚数は１枚でも２枚でもよく、それ以上の枚数のプレートから各層から構成されていてもよい。
【００３８】
各プレート３２〜３９には、電解エッチング、レーザ加工、プラズマジェット加工等によって開口や凹部が形成されている。各プレート３２〜３９が積層されるとこれら開口や凹部が互いに連通し、流路ユニット２１には上面に形成されるインク流入口２６（図２参照）と下面に開口するノズル４１とを連通するインク流路４０が形成される。インク流入口２６は最上層の圧力室プレート３２に形成され（図２参照）、ノズル４１は最下層のノズルプレート３９に形成されている（図３及び図４参照）。
【００３９】
図３及び図４に示すインク流路４０は、上流側から順にインク導入流路４２、共通インク室４３、接続流路４４、圧力室４５、及びディセンダ４６を有している。
【００４０】
インク導入流路４２は、図４に示すように、平面視でインク流入口２６に重なるように形成される。図３ではこの流路の図示を省略するが、第１及び第２接続流路プレート３４，３５を貫通して形成されてインク流入口２６の直下に配置される貫通孔（図示せず）によってインク導入流路４２が構成されている。
【００４１】
図３に示すように、圧力室４５は、圧力室プレート３２に貫通形成された圧力室孔２８の上下開口がアクチュエータ２２の下面と第１接続流路プレート３３の上面とで閉鎖されることによって構成されている。このため、図４に示すように、圧力室４５は、圧力室孔２８（図１参照）と同様にして千鳥状に配列されている。つまり、走査方向一方側において、第１乃至第６圧力室孔列３０ａ〜３０ｆが構成する圧力室４５により第１乃至第６圧力室列５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅ，５２ｆが形成され、その他の部位において、第１乃至第４圧力室孔列３１ａ〜３１ｄが構成する圧力室４５により第１乃至第４圧力室列５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄが形成されている。
【００４２】
図３に示すように、共通インク室４３は、第１及び第２マニホールドプレート３５，３６にそれぞれ貫通形成されて互いに上下に連通する第１及び第２マニホールド孔３５ａ，３６ａの上下開口が第２接続流路プレート３４の下面とダンパープレート３７の上面とで閉鎖されることによって構成され、共通インク室４３の底壁はダンパープレート３７によって構成されている。このダンパープレート３７の下面側はマニホールド孔３６ａの下側開口と上下に対応する箇所においてハーフエッチング加工され、これによりダンパープレート３７には下面に開口する凹部３７ａが形成されている。この凹部３６ａの下側開口がカバープレート３７の上面で閉鎖されることにより、共通インク室４３の底壁は上下に弾性変形可能なダンパー壁３７ｂとして機能する。
【００４３】
図４に示すように、共通インク室４３は、圧力室４５が配列される搬送方向に延在している。共通インク室４３の搬送方向下流側の端部はインク導入流路４２を構成する貫通孔が形成されている位置まで達しており、共通インク室４３の端部はインク導入流路４２の下流端と連通している。
【００４４】
また、単一のインク流入口２６に対して複数の共通インク室４３が設けられている。より具体的には、６列の圧力室４５が形成された走査方向一方側に配置されたインク流入口２６には３本の共通インク室４３が走査方向に並んで配置され、それ以外の各インク流入口２６には２本の共通インク室４３が走査方向に並んで配置されている。各共通インク室４３は、隣り合う２列の圧力室４５にインクを分配するため、対応する２列の圧力室４５に平面視で跨るよう配置されている。
【００４５】
図３に示すように、接続流路４４は各圧力室４５に個別に設けられ、図４ではこの流路の図示を省略するが、複数の接続流路４４が共通インク室４３の延在方向であり圧力室４５の配列方向である搬送方向に並んで形成されている。接続流路４４は、第２接続流路プレート３４に貫通形成された貫通孔３４ａと、第１接続流路プレート３３の下面に開口する凹溝３３ａと、第１接続流路プレート３５に貫通形成された貫通孔３３ｂとによって構成されている。貫通孔３４ａの下側開口は第１マニホールド孔３５ａの上側開口と連通し、貫通孔３４ａ上側開口は凹溝３３ａの下側開口に連通している。貫通孔３３ｂは下側において凹溝３３ａに連通し、貫通孔３３ｂの上側開口は圧力室孔２８の下側開口に連通している。このようにして共通インク室４３と圧力室４５との間を連通させる接続流路４４が形成されている。
【００４６】
図３に示すように、ディセンダ４６は各圧力室４５に個別に設けられ、第１接続流路プレート３３に形成された貫通孔３３ｃ、第２接続流路プレート３４に形成された貫通孔３４ｂ、第１マニホールドプレート３５に形成された貫通孔３５ｂ、第２マニホールドプレート３６に形成された貫通孔３６ｂ、ダンパープレート３７に形成された貫通孔３７ｃ、及びカバープレート３８に形成された貫通孔３８ａが互いに上下に連通することによって構成されている。第１接続流路プレート３３に形成された貫通孔３３ｃは、圧力室４５の下側開口に連通し、カバープレート３８の貫通孔３８ａはノズルプレート３９に貫通形成されたノズル４１の上側開口に連通している。
【００４７】
図４に示すように、ノズル４１は圧力室４５に個別に対応して設けられ、これら複数のノズル４１は圧力室４５と同様にして千鳥状に配列されている。つまり、複数のノズル４１は、走査方向一方側において、第１乃至第６圧力室列５２ａ〜５２ｆに夫々対応する第１乃至第６ノズル列４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄ，４８ｅ，４８ｆを形成し、その他の部位において、第１乃至第４圧力室列５３ａ〜５３ｄに夫々対応する第１乃至第４ノズル列４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄを形成している。
【００４８】
図５は図４の部分拡大図である。図５に示すように、各圧力室４５の搬送方向に関する中心線と、対応するノズル４１の搬送方向に関する中心線とは一致するように配置されている。
【００４９】
走査方向一方側に配置された第１乃至第６ノズル列４８ａ〜４８ｆをなす複数のノズル４１（４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄ，４９ｅ，４９ｆ）に着目する。第１ノズル列４７ａをなすノズル４９ａの中心線Ａ１（すなわち第１圧力室列５２ａをなす圧力室５０ａの中心線）と、第３ノズル列４７ｃをなすノズル４９ｃの中心線Ａ３（すなわち第３圧力室列５２ｃをなす圧力室５０ｃの中心線）との間の距離Ｂは、第１乃至第６ノズル列４７ａ〜４７ｆをなすノズル群の解像度を規定する。同様に、中心線Ａ３と中心線Ａ５との間の距離、中心線Ａ５と中心線Ａ２との間の距離、中心線Ａ２と中心線Ａ４との間の距離、中心線Ａ４と中心線Ａ６との間の距離、中心線Ａ６と中心線Ａ１との間の距離もＢとなっている。つまり、同一の共通インク室４３からインクが分配供給される隣接する２つのノズル列をなすノズルの各中心線の相互間距離Ｃは、解像度を規定する距離Ｂの３倍となっており、同じ列内の隣接するノズル４１の各中心線の相互間距離Ｄはこの距離Ｂの６倍となっている。
【００５０】
第１乃至第４ノズル列４９ａ〜４９ｄをなす複数のノズル４１（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅ，５１ｆ）に着目する。第１ノズル列４９ａをなすノズル５１ａの中心線Ｅ１（すなわち第１圧力室列５３ａをなす圧力室５２ａの中心線）と、第３ノズル列４９ｃをなすノズル５１ｃの中心線Ｅ３（すなわち第３圧力室列５３ｃをなす圧力室５１ｃの中心線）との間の距離Ｆは、第１乃至第６ノズル列４９ａ〜４９ｆをなすノズル群の解像度を規定する。同様に、中心線Ａ３と中心線Ａ２との間の距離、中心線Ａ２と中心線Ａ４との間の距離、中心線Ａ４と中心線Ａ１との間の距離もＦとなっている。つまり、同一の共通インク室４３からインクが分配供給される隣接する２つのノズル列をなすノズルの各中心線の相互間距離Ｇは、解像度を規定する距離Ｆの２倍となっており、同じ列内の隣接するノズルの各中心線の相互間距離Ｈはこの距離Ｆの４倍となっている。
【００５１】
このように単一のインクに対し、複数の圧力室列及びノズル列を設け、このように設けられる複数の圧力室及びノズルを千鳥状に配列することにより、同じ列内の圧力室同士やノズル同士の間隔を所望の解像度に対して大きく確保することができ、結果としてインクジェットヘッドの解像度を向上させることができる。また、隣接する列をなす圧力室同士やノズル同士の間隔も所望の解像度に対して大きく確保することができ、解像度の低下を抑えつつ接続流路を無理なくレイアウトすることができる。
【００５２】
この流路ユニット２１によると、インク流入口２６を通過したインクは、インク導入流路４２を通って各共通インク室４３に流入し、各共通インク室４３内のインクは、接続流路４４を介して該共通インク室４３に対応する２列の圧力室４５に分配供給される。各圧力室４５内のインクは、ディセンダ４６を介して対応するノズル４１に供給される。
【００５３】
図３に戻り、アクチュエータ２２は、１枚の厚さが略３０μｍ程度のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＸＴ）のセラミックス材料からなる多数枚の圧電シート５５〜６０と、絶縁性を有するトップシート６１とが上下に積層接着された構成となっている。各圧電シート５５〜６０のうち下から数えて奇数番目の圧電シート５５，５７，５９の上面には、圧力室４５の全てに対応して連続配置された共通電極６２が印刷形成され、各圧電シート５５〜６０の下から数えて偶数番目の圧電シート５６，５８の上面には各圧力室４５に個別に対応して配置された複数の個別電極６３が印刷形成されている。共通電極６２は、圧電シート５５〜６０及びトップシート６１に設けられた中継配線（図示せず）を介してトップシート６１の上面に印刷形成された表面電極２４のうちの共通用表面電極６４（図１及び図６参照）に導通されている。各個別電極６３も同様の中継配線（図示せず）を介して表面電極２４のうち個別用表面電極６５（図１，図６及び図７も併せて参照）に導通されている。これら表面電極２４の配置については後述する。
【００５４】
図３には個別用表面電極６５に関する構成のみ示されているが、共通用表面電極６４（図１及び図７参照）及び個別用表面電極６５の上面には、導電性バンプ６６が設置される。上述した配線基板２３の下面に形成された図示しない端子をこの導電性バンプ６６に接触させることにより、配線基板２３上の配線と各表面電極２４とが電気的に導通する。配線基板２３をアクチュエータ２２に対して接合するための手法は特に限定されず、導電性バンプ６６を溶融させる手法を用いてもよいし、所謂カバーコート工法を利用してもよい。この工法については、特開２００５−３０５８４７号公報に開示されており、ここでの詳細な説明を省略する。また、導電性バンプ６６は表面電極２４上に設けてもよいし、配線基板２３の端子上に設けてもよい。いずれの手法を利用するにせよ、配線基板２３の下面はアクチュエータ２２の上面と離間するよう配置され、配線基板２３とアクチュエータ２２とは、導電性バンプ６６の設置箇所において互いに上下に接合された状態となっている。
【００５５】
上記構成のインクジェットヘッド２０は、流路ユニット２１の圧力室とアクチュエータ２２の個別電極とが位置合わせされた状態で接合され、さらに配線基板２３と接合されてなる。このインクジェットヘッド２０において、配線基板２３を介してアクチュエータ２２の個別電極６３に選択的に電圧が印加されると、この個別電極６３と共通電極６２との間には電位差が生じ、これら電極６２，６３間に位置する圧電シート５５〜６０の活性部が略積層方向に歪み変形する。この活性部の変形により、電圧が印加された個別電極６３に対応する圧力室４５に圧力波が作用し、圧力が付与されたインクがディセンダ４６を通ってノズル４１より下方に噴射される。このとき圧力室４５に作用した圧力波には、ノズル４１へ向かう前進成分だけでなく接続流路４４を介して共通インク室４３へ向かう後退成分も含んでいる。共通インク室４３へ伝播した圧力波の後退成分は、ダンパー壁３７ｂの弾性変形により吸収され、圧力室４５で発生した圧力波の後退成分が共通インク室４３を介して他の圧力室４５に伝播する所謂クロストーク現象が防止される。
【００５６】
図６は図２のVI−VI線に沿って示すインクジェットヘッド２０の平面図である。図６に示すようにアクチュエータ２２の上面には上記表面電極２４が印刷形成されている。共通用表面電極６４は、アクチュエータ２２の上面の走査方向各辺縁に沿って搬送方向に延在している。複数の個別用表面電極６５は、圧力室孔２８（図１参照）や圧力室４５（図４参照）やノズル４１（図４参照）と同様にして千鳥状に配列されている。つまり、複数の個別用表面電極６５は、それぞれ搬送方向に配列された複数の電極列を形成している。走査方向一方側においては、第１乃至第６圧力室孔列３０ａ〜３０ｆに対応する第１乃至第６電極列６７ａ，６７ｂ，６７ｃ，６７ｄ，６７ｅ，６７ｆが形成され、各電極列６７ａ〜６７ｆをなす複数の個別用表面電極６５は千鳥状に配列されている。また、その他の部位においては、第１乃至第４圧力室孔列３１ａ〜３１ｄに対応する第１乃至第４電極列６８ａ，６８ｂ，６８ｃ，６８ｄが形成され、各電極列６８ａ〜６８ｄをなす複数の個別用表面電極６５は千鳥状に配列されている。
【００５７】
図７は図６の部分拡大図であり、第１乃至第６電極列６７ａ〜６７ｆに関し、配列方向両側の各末端位置の近傍に配置された個別用表面電極６５を示している。
【００５８】
各個別用表面電極６５は、圧力室４５（図４参照）の直上に配置されて圧力室孔４５と同様にして長手方向を走査方向に向けた矩形状のベース部６５ａと、ベース部６５ａから細く延びて形成された端子部６５ｂとを有している。つまり、ベース部６５ａの配列方向に関する中心線は、直下に配置されている圧力室４５の配列方向に関する中心線であってノズル４１の配列方向に関する中心線と平面視でほぼ重なっている。
【００５９】
ベース部６５ａには上述の図示しない中継配線が接続されている。端子部６５ｂには、配線基板２３の図示しない端子と導通するためであって配線基板２３をアクチュエータ２２に接合するための導電性バンプ６６が設置される。端子部６５ｂは、隣接する第１及び第２電極列６７ｆ，６７ｅの内側に互いに向き合って延びて配置され、その他の部位においても同様にして配置されており、これにより個別用表面電極６５がコンパクトに配置されている。
【００６０】
ここで、図６及び図７において、第１電極列６７ａにおける配列方向の一方側（ここでは搬送方向上流側）の末端位置に配置された個別用表面電極に符号６９ａを付し、第２乃至第６電極列６７ｂ〜６７ｆにおいて同様位置に配置された各個別用表面電極に符号６９ｂ，６９ｃ，６９ｄ，６９ｅ，６９ｆを付しており、第１電極列６７ａにおける配列方向の他方側（ここでは搬送方向下流側）の末端位置に配置された個別用表面電極に符号７０ａを付し、第２乃至第６電極列６７ｂ〜６７ｆにおいて同様位置に配置された各個別用表面電極に符号７０ｂ，７０ｃ，７０ｄ，７０ｅ，７０ｆを付しており、以下ではこれら符号も適宜参照して説明する。また、個別用表面電極６５の配列方向は搬送方向に平行であるが、配線基板２３の引出方向はこの搬送方向に向けられている。配線基板２３の引出部２３ａは搬送方向上流側であって配列方向一方側に引き出されている。
【００６１】
第１乃至第６電極列６７ａ〜６７ｆの各々において配列方向一方側の末端位置に配置された６つの個別用表面電極６９ａ〜６９ｆに着目する。アクチュエータ２２の配列方向一方側（搬送方向上流側）の外周端から各電極６９ａ〜６９ｆのベース部６５ａまでの距離を比較すると、第６電極列６７ｆの電極６９ｆが最も近く、第４電極列６７ｄの電極６９ｄ、第２電極列６７ｂの電極６９ｂ、第５電極列６７ｅの電極６９ｅ、第３電極列６７ｃの電極６９ｃ、第１電極列６７ａの電極６９ａの順で遠くなる。
【００６２】
この第６電極列６７ｆの一方側末端位置に配置された個別用表面電極６９ｆは、端子部６５ｂの配列方向に関する中心線Ｍがベース部６５ａの配列方向に関する中心線Ｎ３に対してアクチュエータ２２の中央寄りに偏位している。したがって、アクチュエータ２２の配列方向一方側の外周縁から、この外周縁に対して最も近接した位置に設置される導電性バンプ６６までの距離Ｋが、図８に示す従来構造のようにベース部の中心線と端子部の中心線とを一致させた場合と比べて大きくなる。
【００６３】
また、第６電極列６７ｆに次いでアクチュエータ２２の外周縁に近接している第４電極列６７ｄの個別用表面電極６９ｄと、この第４電極列６７ｄに次いでアクチュエータ２２の外周縁に近接している第２電極列６７ｂの個別用表面電極６９ｂにおいては、各端子部６５ｂの中心線が自身のベース部６５ａの中心線Ｎ２，Ｎ１と一致しておらず、第６電極列６７ｆの一方側末端位置の個別用表面電極６９ｆの端子部６５ｂの中心線Ｍと一致している。このように中心線Ｍを揃えるため、第２及び第４電極列６７ｂ，６７ｄの一方側末端位置の個別用表面電極６９ｂ，６９ｄの端子部６５ｂの中心線Ｍは、自身のベース部６５ａの中心線Ｎ１，Ｎ２に対してアクチュエータ２２の外側寄りに偏位して配置されている。
【００６４】
次に、第１乃至第６電極列６７ａ〜６７ｆの各々において配列方向の他方側の末端位置に配置された６つの個別用表面電極７０ａ〜７０ｆに着目する。アクチュエータ２２の配列方向他方側（搬送方向下流側）の外周端から各電極７０ａ〜７０ｆまでの距離を比較すると、第１電極列６７ａの電極７０ａが最も近く、第３電極列６７ｃの電極７０ｃ、第５電極列６７ｅの電極７０ｅ、第２電極列６７ｂの電極７０ｂ、第４電極列６７ｄの電極７０ｄ、第６電極列６７ｆの電極７０ｆの順で遠くなる。この第１電極列６７ａの他方側末端位置に配置された個別用表面電極７０ａは、端子部６５ｂの配列方向の中心線Ｐが、ベース部６５ａの配列方向に関する中心線Ｑ１に対し、アクチュエータ２２の中央寄りに偏位している。したがって、アクチュエータ２２の配列方向他方側の外周縁から、この外周縁に対して最も近接した位置に設置される導電性バンプ６６までの距離Ｋが、図８に示す従来構造のようにベース部の中心線と端子部の中心線とを一致させた場合と比べて大きくなる。
【００６５】
また、第１電極列６７ａに次いでアクチュエータ２２の外周縁に近接している第３電極列６７ｃの個別用表面電極７０ｃと、この第３電極列６７ｃに次いでアクチュエータ２２の外周縁に近接している第５電極列６７ｅの個別用表面電極７０ｅにおいては、各端子部６５ｂの中心線が自身のベース部６５ａの中心線Ｑ２，Ｑ３と一致しておらず、第１電極列６７ａの他方側末端位置の個別用表面電極７０ａの端子部６５ｂの中心線Ｐと一致している。このように中心線Ｐを揃えるため、第３及び第５電極列６７ｃ，６７ｅの他方側末端位置の個別用表面電極７０ｃ，７０ｅの端子部６５ｂの中心線Ｐは、自身のベース部６５ａの中心線Ｑ２，Ｑ３に対してアクチュエータ２２の外側寄りに偏位して配置されている。
【００６６】
なお、同じ電極列をなす複数の個別用表面電極は、端子部の中心線がベース部の中心線に対して同じようにして偏位している。このため、同じ列をなす個別用表面電極に対応する各導電性バンプ６６は等間隔をおいて設置されることとなり、この間隔は図５に示す距離Ｄと略等しくなる。また、偶数列目の電極列６７ｂ，６７ｄ，６７ｆにおいては、一方側末端位置に限られず、各行の導電性バンプ６６が配列方向と直交方向（つまり走査方向）に関して同位置に設置される。同様に、奇数列目の電極列６７ａ，６７ｃ，６７ｅにおいては、他方側末端位置に限られず、各行の導電性バンプ６６が配列方向と直交方向（つまり走査方向）に関して同位置に設置される。
【００６７】
なお、図７では図示省略しているが、第１乃至第４電極列６８ａ〜６８ｄについては、アクチュエータ２２の配列方向一方側の外周縁から配列方向の一方側末端位置に配置された電極までの距離は、第４電極列６８ｄの電極が最も近く、次いで第２電極列６８ｂの電極が近い。このため、第４電極列６８ｄの一方側末端位置の電極は、端子部６５ｂの中心線がベース部６５ａの中心線に対してアクチュエータ２２の中央寄りに偏位している。第２電極列６８ｂの一方側末端位置の電極は、端子部６５ｂの中心線がベース部６５ａの中心線と一致しておらず、第４電極列６８ｄの一方側末端位置の電極の端子部６５ｂの中心線と一致しており、これら端子部６５ｂの中心線は、図７に示す中心線Ｍと一致している。また、アクチュエータ２２の配列方向他方側の外周縁から配列方向の他方側末端位置にある電極までの距離については、第１電極列６８ａの電極が最も近く、次いで第３電極列６８ｃの電極が近い。このため、第１電極列６８ａの他方側末端位置の電極は、端子部６５ｂの中心線がベース部６５ａの中心線に対してアクチュエータ２２の中央寄りに偏位している。第３電極列６８ｃの他方側末端位置に配置される電極は、端子部６５ｂの中心線がベース部６５ａの中心線と一致しておらず、第１電極列６８ａの端子部６５ｂの中心線と一致しており、更に、これら端子部６５ｂの中心線は、図７に示す中心線Ｐと一致している。結果、合計１８列の電極列は、末端位置に配置されている端子部の各中心線が互いに一致している。
【００６８】
配線基板２３は、このように形成された端子部６５ｂ上に設置された導電性バンプ６６を介して接合されている。
【００６９】
上記構成により、アクチュエータ２２の外周端に最も近接する電極が中央寄りに偏位しているので、外周端から導電性バンプ６６が設置される位置までの距離Ｋを大きくすることができ、配線基板２３のうち導電性バンプ６６と接触する部分の配列方向の寸法Ｌを短くすることができる。よって、配線基板のうち導電性バンプと接触する部分の面積を、配列方向に小型化することができ、これにより、面ヒータにより均一に加熱しやすくなり、配線基板２３をアクチュエータ３３に安定して接合させることができるようになる。また、接合面積を小型化することができるため、ヒータ面を大型化しなくてもよい。さらに、加熱ムラを解消するために、熱を過剰にかけることを抑制できるため、この過剰な熱が配線基板を介してドライバ２５に伝わることによってドライバ２５が破壊されたり、アクチュエータに熱歪みが生じてインクの吐出特性に影響を及ぼすなど、周辺部品への悪影響を少なくすることができる。
【００７０】
また、引出部２３ａを折り曲げる場合に、その折り曲げの起点が従来よりもアクチュエータ２２の中央寄りに設定される。つまり、距離Ｋの増加によりアクチュエータ２２の引出方向の端部に形成される余白部を大きくすることができる。従って、配線基板２３がアクチュエータ２２からはみ出す長さを小さくすることができるため、配線基板２３をコンパクトに取り回すことができるようになる。
【００７１】
また、末端位置に配置されている電極の端子部の中心位置が揃っているため、この端子部上に設置される導電性バンプも配列方向と直交方向（すなわち走査方向）に同位置に設けられる。このため、引出部２３ａを折り曲げたときに、折り曲げの起点部分に作用する荷重が、これら同位置に設けられた複数の導電性バンプによって支持されるようになる。このため、配線基板がアクチュエータから剥がれ難くなる。また、次工程において、配線基板を掴み上げたり、組み立て作業を行うことにより導電性バンプに作用する重力や応力等も、同位置に設けられた複数の導電性バンプによって支持される。
【００７２】
これまで、本発明に係る実施の形態を説明したが、上記構成に限られず、本発明の範囲を逸脱しない限り適宜変更可能である。例えば、配線基板の引出部は搬送方向の下流側に引き出されていてもよい。配線数が増えたり配線ピッチが高密度化するなどの理由から引出部が搬送方向両側に引き出されていてもよく、その場合、両側に引き出された配線基板をコンパクトに折り曲げることができる。また、配線基板の引き出し方向は搬送方向に限らず走査方向であってもよい。
【００７３】
また、単一のインクに対して６つのノズル列、圧力室列及び電極列を設けた場合と、４つのノズル列、圧力室列及び電極列を設けた場合とを例示したが、これら列の数は特に限定されるものではなく、全体として複数の列が設けられていれば本発明を実施することができる。
【００７４】
また、本実施形態では、電極がベース部６５ａとそこから延びた端子部６５ｂとからなり、端子部６５ｂの配列方向の中心線が、ベース部６５ａの配列方向に関する中心線に対し、アクチュエータ２２の中央寄りに偏位し、端子部６５ｂに導電性バンプが配置されているが、電極にこのような端子部が設けられていない場合であっても、導電性バンプを上述の実施形態のように配置することによって本発明を適用することができる。
【００７５】
また、本実施形態は本発明をインクジェットヘッド及びこれを備えるインクジェットプリンタに適用したものであるが、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置、導電液を吐出して電気配線を形成する装置などに使用する液滴吐出装置のヘッドにも好適に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
以上のように、本発明に係る液体吐出ヘッドは、配線基板をアクチュエータに安定して接合することができるという優れた効果を有し、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッド等に適用すると有益である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概要構成を平面視で示す模式図である。
【図２】図１に示すインクジェットプリンタに搭載された本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】図２に示すインクジェットヘッドを組み立てた状態にして図２に示すIII−III線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図４】図３に示すIV−IV線に沿って示すインクジェットヘッドの底面図である。
【図５】図４の部分拡大図である。
【図６】図３に示すVI−VI線に沿って示すインクジェットヘッドの平面図である。
【図７】図６の部分拡大図である。
【図８】従来のインクジェットヘッドの部分平面図である。
【符号の説明】
【００７８】
Ｍ  用紙（媒体）
Ｃ  インクカートリッジ
１  インクジェットプリンタ（液体吐出装置）
５  走査装置
１２  搬送装置
２０  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
２１  流路ユニット
２２  アクチュエータ
２３  配線基板
２３ａ  引出部
２４  表面電極
４１  ノズル
４５  圧力室
４７ａ〜４７ｆ，４８ａ〜４７ｄ  ノズル列
５２ａ〜５２ｆ，５３ａ〜５３ｄ  圧力室列
６４  共通用表面電極
６５  個別用表面電極
６５ａ  ベース部
６５ｂ  端子部
６６  導電性バンプ
６７ａ〜６７ｆ，６８ａ〜６８ｄ  電極列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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