(57)【要約】【課題】集積度を高めることができるとともに、部品点数を削減でき、かつ、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない流体制御装置を提供する。【解決手段】流体制御機器２〜７は、制御機器本体２１，３１，４１，６１，７１と、この制御機器本体よりも配列前後方向へ突出する突出部２２Ａ，２２Ｂ…７２Ａ，７２Ｂを有する継手部２２，３２，４２，６２，７２とを備える。継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。上側継手部には、制御機器本体に連通し突出部下面に開口する上側流路２５Ａ，２５Ｂ、４２Ａ，４２Ｂが形成され、下側継手部には、制御機器本体に連通し突出部上面に開口する下側流路３５Ａ，３５Ｂ、７５Ａ，７５Ｂが形成される。下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられ、下側継手部に対して上側継手部が着脱可能に連結される。【選択図】図１
2010196792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、
前記流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体に設けられ該制御機器本体よりも前記配列前後方向へ突出する突出部を有する継手部とを備え、
前記継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ前記配列方向に沿って上下交互に重なるように配置され、
前記上側に配置された上側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該上側継手部の突出部下面に開口する上側流路が形成され、
前記下側に配置された下側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該下側継手部の突出部上面に開口しかつ前記上側流路に連通する下側流路が形成され、
前記下側継手部の突出部の上に前記上側継手部の突出部が重ねられた状態で、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御装置において、
前記下側継手部を載置するベースプレートを備え、
前記上側継手部の下面と前記下側継手部の上面との接合面において、前記上側流路と前記下側流路との間にはガスケットが挿入され、
前記上側継手部および前記下側継手部の重ね合わされた突出部を通して前記ベースプレートに螺合されたボルトにより、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の流体制御装置において、
前記下側流路は、前記下側継手部の側面から該下側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記下側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する第１上向き流路と、前記内部流路から前記下側継手部の突出部上面に開口され前記上側流路に連通される第２上向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことを特徴とする流体制御装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の流体制御装置において、
前記上側流路は、前記上側継手部の側面から該上側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記上側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する上向き流路と、前記内部流路から前記上側継手部の突出部下面に開口され前記下側流路に連通される下向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことを特徴とする流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造設備などにおいて、ガスなどの流体の供給を制御する装置として、複数の流体制御機器を一列に連結した集積化ガススティックや、この集積化ガススティックをベースプレート上に多数並設した集積化ガスパネルなどが知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、上面に装着穴および凹部を有し、一側面に凹部に連通するガス流入通路を、他側面に凹部に連通するガス流出通路を有する複数の流路ブロックを、隣接する流路ブロックのガス流出流路とガス流入通路とが連通するように一列に配置するとともに、これらを順次ターンバックル式ナットにより連結し、これをガス供給ラインに沿ってベースプレート上に固定した集積化ガスパネルが示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、取付板上に複数の流体制御機器を一列に配列するとともに、流体制御機器と取付板との間に、隣接する流体制御機器間に跨って流路ブロックを配置し、この流路ブロックにより、隣接する流体制御機器に流体を流通させるようにした集積弁が示されている。
また、特許文献３には、複数の手動弁と、これらを一列に配列した状態で取り付けるとともに、内部にこれら手動弁に連通する流路を形成した流路ブロックとを備えた集積弁ユニットが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６９８８１号公報
【特許文献２】特開２００３−６５４６２号公報
【特許文献３】特開２００５−２７３８６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に示された集積化ガスパネルは、複数の流路ブロックを、隣接する流路ブロックのガス流出流路とガス流入通路とが連通するように一列に配置するとともに、これらを順次ターンバックル式ナットにより連結した構造であるため、流路ブロックの数が多くなるに従ってガスラインの長さが長くなり、集積度が制限される。
【０００７】
また、特許文献２に示された集積弁は、隣接する流体制御機器を連通させるために、これら隣接する流体制御機器間に跨って流路ブロックを設置する必要があるため、連結する流体制御機器の数が増えるに伴って部品点数が増える。
【０００８】
また、特許文献３に示された集積弁ユニットは、複数の手動弁を１つの流路ブロックで連結できるため部品点数を増やさなくてもよい反面、流体制御機器の数や組み合わせなどが一律的に決まり、流体制御機器の数や組み合わせの自由度に欠ける。
【０００９】
本発明の目的は、集積度を高めることができるとともに、部品点数を削減でき、かつ、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の流体制御装置は、流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、前記流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体に設けられ該制御機器本体よりも前記配列前後方向へ突出する突出部を有する継手部とを備え  、前記継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ前記配列方向に沿って上下交互に重なるように配置され、前記上側に配置された上側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該上側継手部の突出部下面に開口する上側流路が形成され、前記下側に配置された下側継手部には、前記制御機器本体に連通するとともに該下側継手部の突出部上面に開口しかつ前記上側流路に連通する下側流路が形成され、前記下側継手部の突出部の上に前記上側継手部の突出部が重ねられた状態で、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体に設けられ制御機器本体よりも配列前後方向へ突出する突出部を有する継手部とを備え、継手部は、隣接する継手部の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置されているから、継手部の突出部が上下に重なった部分だけ配列方向の長さ寸法を短くできる。従って、流体制御機器の集積度を高めることができる。
また、下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられると、上側継手部に形成された上側流路が、下側継手部に形成された下側流路に連通されるから、隣接する流体制御機器を連通させるための連結ブロックなどを不要にできる。従って、部品点数を削減できる。
更に、複数の流体制御機器を組み合わせるにも、隣接する継手部の突出部を、上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置するだけでよいから、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない。
【００１２】
本発明の流体制御装置において、前記下側継手部を載置するベースプレートを備え、  前記上側継手部の下面と前記下側継手部の上面との接合面において、前記上側流路と前記下側流路との間にはガスケットが挿入され、前記上側継手部および下側継手部の重ね合わされた突出部を通して前記ベースプレートに螺合されたボルトにより、前記下側継手部に対して前記上側継手部が着脱可能に連結されている、ことが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、下側継手部の突出部の上に上側継手部の突出部が重ねられた状態において、上側継手部および下側継手部の重ね合わされた突出部を通して、ベースプレートにボルトを締め付け螺合すると、下側継手部に対して上側継手部が着脱可能に連結される。このとき、上側継手部の下面と下側継手部の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケットが圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルトの締め付け動作により、下側継手部に対して上側継手部を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
【００１４】
本発明の流体制御装置において、前記下側流路は、前記下側継手部の側面から該下側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記下側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する第１上向き流路と、前記内部流路から前記下側継手部の突出部上面に開口され前記上側流路に連通される第２上向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことが好ましい。
この発明によれば、下側継手部に、内部流路、第１上向き流路、第２上向き流路をドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路の開口端を栓部材によって塞げば、下側流路を形成することができるから、簡単に加工できる。
例えば、下側継手部の内部に、内部流路、第１上向き流路、第２上向き流路を有するＵ字状流路を形成するには、通常、内部流路を分断し、分断した内部流路および第１上向き流路を有する第１部材と、分断した内部流路および第２上向き流路を有する第２部材とを形成し、これを結合する必要があるため、工数が増え、高くつくという欠点がある。これに対して、本発明では、上述したように１つの部材に孔あけ加工することによって構成することができるため、簡単かつ安価にできる利点がある。
【００１５】
本発明の流体制御装置において、前記上側流路は、前記上側継手部の側面から該上側継手部の内部に向かって形成された内部流路と、この内部流路から前記上側継手部の上面に開口され前記制御機器本体に流通する上向き流路と、前記内部流路から前記上側継手部の突出部下面に開口され前記下側流路に連通される下向き流路と、前記内部流路の開口端を塞ぐ栓部材とを備える、ことが好ましい。
この発明によれば、上側流路と同様に、上側継手部に、内部流路、上向き流路、下向き流路をドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路の開口端を栓部材によって塞げば、下側流路を形成することができるから、簡単かつ安価にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る流体制御装置の実施形態を示す一部切り欠き正面図。
【図２】同上実施形態を示す平面図。
【図３】同上実施形態の上側継手部の断面図。
【図４】同上実施形態の下側継手部の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本実施形態は、流体（ガス）を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する集積化ガススティックに適用した例である。
この集積化ガススティックは、図１および図２に示すように、ベースプレート１と、このベースプレート１の上に一列に配列された複数の流体制御機器、ここでは、マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５、ニードルバルブ６およびフィルタ７と、マニュアルバルブ２に支持ブロック８を介して流体を供給する配管９と、フィルタ７からの流体を半導体製造設備などに供給する配管１０とを備える。
【００１８】
マニュアルバルブ２は、制御機器本体としてのマニュアルバルブ本体２１と、このマニュアルバルブ本体２１の下部に設けられマニュアルバルブ本体２１よりも配列前後方向（図１，図２中左右方向）へ突出する突出部２２Ａ，２２Ｂを有する継手部２２とを備える。
マニュアルバルブ本体２１は、手動操作によって弁２１Ａを後述する弁座に対して昇降させる構造である。
継手部２２は、後段のエアーバルブ３の継手部の上側に配置される上側継手部を構成するもので、上面中央位置にマニュアルバルブ本体２１の下端部を取り付けるための取付穴２３および弁座２４が形成されているとともに、内部に取付穴２３を介してマニュアルバルブ本体２１に連通するとともに上側継手部２２の突出部２２Ａ，２２Ｂの下面に開口する流体流入用上側流路２５Ａおよび流体流出用上側流路２５Ｂが形成されている。取付穴２３の内周面には雌ねじが形成されている。
【００１９】
流体流入用上側流路２５Ａは、図３に示すように、上側継手部２２の前側面から該上側継手部の内部に向かって形成された内部流路２６Ａと、この内部流路２６Ａから弁座２４を介して取付穴２３に開口されマニュアルバルブ本体２１に流通する上向き流路２７Ａと、内部流路２６Ａから上側継手部２２の突出部２２Ａ下面に開口された下向き流路２８Ａと、内部流路２６Ａの開口端（継手部の前側面の開口端）を塞ぐ栓部材２９Ａとを備える。下向き流路２８Ａは、支持ブロック８に形成された流路８Ａを介して、配管９に接続されている。
流体流出用上側流路２５Ｂは、図３に示すように、上側継手部２２の後側面から該上側継手部２２の内部に向かって形成された内部流路２６Ｂと、この内部流路２６Ｂから取付穴２３に開口されマニュアルバルブ本体２１に連通する上向き流路２７Ｂと、内部流路２６Ｂから上側継手部２２の突出部２２Ｂ下面に開口された下向き流路２８Ｂと、内部流路２６Ｂの開口端（継手部の後側面の開口端）を塞ぐ栓部材２９Ｂとを備える。
【００２０】
エアーバルブ３，５は、制御機器本体としてのエアーバルブ本体３１と、このエアーバルブ本体３１に設けられエアーバルブ本体３１よりも配列前後方向へ突出する突出部３２Ａ，３２Ｂを有する継手部３２とを備える。
エアーバルブ本体３１は、エアーの供給・遮断を制御することによって弁３１Ａを後述する弁座に対して昇降させる構造である。
継手部３２は、下側継手部を構成するもので、上面中央位置にエアーバルブ本体３１の下端部を取り付けるための取付穴３３および弁座３４が形成されているとともに、内部に取付穴３３を介してエアーバルブ本体３１に連通するとともに下側継手部３２の突出部３２Ａ，３２Ｂの上面に開口する流体流入用下側流路３５Ａおよび流体流出用下側流路３５Ｂが形成されている。
【００２１】
流体流入用下側流路３５Ａは、図４に示すように、下側継手部３２の前側面から該下側継手部３２の内部に向かって形成された内部流路３６Ａと、この内部流路３６Ａから弁座３４を介して取付穴３３に開口されエアーバルブ本体３１に流通する上向き流路３７Ａと、内部流路３６Ａから上側継手部３２の突出部３２Ａ上面に開口された上向き流路３８Ａと、内部流路３６Ａの開口端（継手部の前側面の開口端）を塞ぐ栓部材３９Ａとを備える。
流体流出用下側流路３５Ｂは、図４に示すように、下側継手部３２の後側面から該下側継手部３２の内部に向かって形成された内部流路３６Ｂと、この内部流路３６Ｂから取付穴３３に開口されエアーバルブ本体３１に連通する上向き流路３７Ｂと、内部流路３６Ｂから下側継手部３２の突出部３２Ｂ上面に開口された上向き流路３８Ｂと、内部流路３６Ｂの開口端（継手部の後側面の開口端）を塞ぐ栓部材３９Ｂとを備える。
【００２２】
マスフローコントローラ４は、制御機器本体としてのマスフローコントローラ本体４１と、このマスフローコントローラ本体４１に設けられマスフローコントローラ本体４１よりも配列前後方向へ突出する突出部４２Ａ，４２Ｂを有する継手部４２とを備える。
マスフローコントローラ本体４１は、詳細構造を図示していないが、流体の流量を検出する流量検出部と、この流量検出部で検出された流量と設定された流量とを比較し、検出流量が設定流量になるように流体の流量を制御する制御部とを備える。
継手部４２は、上側継手部を構成するもので、マスフローコントローラ本体４１に連通するとともに該上側継手部４２の突出部４２Ａ，４２Ｂ下面に開口する流体流入用上側流路４５Ａおよび流体流出用上側流路４５Ｂが形成されている。
【００２３】
ニードルバルブ６は、制御機器本体としてのニードルバルブ本体６１と、このニードルバルブ本体６１に設けられニードルバルブ本体６１よりも配列前後方向へ突出する突出部６２Ａ，６２Ｂを有する継手部６２とを備える。
ニードルバルブ本体６１は、弁座に対して、ニードル６１Ａを進退させることにより流量を調整するよう構成されている。
継手部６２は、上側継手部を構成するもので、図３に示す構成と同様な構成を備えている。このため、上側継手部６２の詳細については、図３をもって説明を省略する。
【００２４】
フィルタ７は、制御機器本体としてのフィルタ本体７１と、このフィルタ本体７１に設けられフィルタ本体７１よりも配列前後方向へ突出する突出部７２Ａ，７２Ｂを有する継手部７２とを備える。
フィルタ本体７１は、ニードルバルブ６から排出された流体を濾過するものである。
継手部７２は、下側継手部を構成するもので、内部にフィルタ本体７１に連通するとともに下側継手部７２の突出部７２Ａ，７２Ｂの上面に開口する流体流入用下側流路７５Ａおよび流体流出用下側流路７５Ｂが形成されている。これら流体流入用下側流路７５Ａおよび流体流出用下側流路７５Ｂは、基本的には図４と同じ構成を備えているため、詳細な説明は省略する。ただし、流体流出用下側流路７５Ｂの開口端は、栓部材で塞がれていず、配管１０が接続されている。
【００２５】
このように構成された流体制御機器は、ベースプレート１の上に一列に配列される。つまり、マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５、ニードルバルブ６、フィルタ７が一列に配列される。
この際、これら流体制御機器の隣接する継手部２２，３２，４２，３２，６２，７２の突出部２２Ａ，２２Ｂ、３２Ａ，３２Ｂ、４２Ａ，４２Ｂ、３２Ａ，３２Ｂ、６２Ａ，６２Ｂ、７２Ａ，７２Ｂが上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。具体的には、支持ブロック８の上にマニュアルバルブ２の上側継手部２２の突出部２２Ａが重ねられ、この上側継手部２２の突出部２２Ｂの下にエアーバルブ３の下側継手部３２の突出部３２Ａが挿入され、この下側継手部３２の突出部３２Ｂの上にマスフローコントローラ４の上側継手部４２の突出部４２Ａが重ねられる。同様にして、エアーバルブ５の下側継手部３２、ニードルバルブ６の上側継手部６２、フィルタ７の下側継手部７２の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置される。
なお、これらの配置にあたって、上側継手部２２，４２，６２の下面と下側継手部３２，３２，７２の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間にガスケット８１を挿入しておく。
【００２６】
すると、配管９→支持ブロック８の流路８Ａ→上側継手部２２の流体流入用上側流路２５Ａ→マニュアルバルブ本体２１→上側継手部２２の流体流出用上側流路２５Ｂ→下側継手部３２の流体流入用下側流路３５Ａ→エアーバルブ本体３１→下側継手部３２の流体流出用下側流路３５Ｂ→上側継手部４２の流体流入用上側流路４５Ａ→マスフローコントローラ本体４１へと流路が形成される。
また、マスフローコントローラ本体４１→上側継手部４２の流体流出用上側流路４５Ｂ→下側継手部３２の流体流入用下側流路３５Ａ→エアーバルブ本体３１→下側継手部３２の流体流出用上側流路３５Ｂ→上側継手部６２の流体流入用上側流路２５Ａ→ニードルバルブ本体６１→上側継手部６２の流体流出用上側流路２５Ｂ→下側継手部７２の流体流入用下側流路７５Ａ→フィルタ本体７１→下側継手部７２の流体流出用下側流路７５Ｂ→配管１０へと流路が形成される。
【００２７】
この状態、つまり、上側継手部２２，４２，６２の突出部および下側継手部３２，３２，７２の突出部が上下に重ね合わされた状態において、これらの重ね合わされた突出部のうえからボルト８２を突出部を通してベースプレート１に螺合させる。具体的には、図２に示すように、突出部の幅方向（配列方向に対して直交する方向）の両端側からボルト８２をベースプレート１に締め付ける。
すると、下側継手部３２，３２，７２に対して上側継手部２２，４２，６２が着脱可能に連結される。同時に、上側継手部２２，４２，６２の下面と下側継手部３２，３２，７２の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケット８１が圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルト８２の締め付け動作により、下側継手部３２，３２，７２に対して上側継手部２２，４２，６２を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
【００２８】
＜実施形態の効果＞
（１）各流体制御機器に設けられた継手部２２，３２，４２，３２，６２，７２は、隣接する継手部２２，３２，４２，３２，６２，７２の突出部が上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置されているから、継手部２２，３２，４２，３２，６２，７２の突出部が上下に重なった部分だけ配列方向の長さ寸法を短くできる。従って、流体制御機器の集積度を高めることができる。
（２）下側継手部３２，３２，７２の突出部の上に上側継手部２２，４２，６２の突出部が重ねられると、上側継手部２２，４２，６２に形成された上側流路２５Ａ，２５Ｂ、４５Ａ，４５Ｂ、２５Ａ，２５Ｂが、下側継手部３２，３２，７２に形成された下側流路３５Ａ，３５Ｂ、３５Ａ，３５Ｂ、７５Ａ，７５Ｂに連通されるから、隣接する流体制御機器を連通させるための連結ブロックなどを不要にできる。従って、部品点数を削減できる。
（３）複数の流体制御機器を組み合わせるにも、隣接する継手部２２，３２，４２，３２，６２，７２の突出部を、上下にかつ配列方向に沿って上下交互に重なるように配置するだけでよいから、流体制御機器の組み合わせの自由度も制限されることがない。
【００２９】
（４）マスフローコントローラ４は、マスフローコントローラ本体４１と、上側継手部４２とを備え、上側継手部４２がエアーバルブ３，５の下側継手部３２，３２の上に重ねられた状態で着脱可能に連結されているから、マスフローコントローラ４の脱着を容易に行うことができる。
一般的に、マスフローコントローラは、メンテナンスや故障などのために定期的に取り外す必要が生じるが、本実施形態では、上述した構成であるから、マスフローコントローラの脱着を容易に行うことができる。
【００３０】
（５）この際、マスフローコントローラ４の前段および後段にエアーバルブ３，５が配置されているから、エアーバルブ３，５によって流体の流通を遮断することができる。そのため、マスフローコントローラ４の脱着時に流体を遮断した状態で行うことができるため、脱着作業を容易に行うことができる。
【００３１】
（６）下側継手部３２，３２，７２の突出部の上に上側継手部２２，４２，６２の突出部が重ねられた状態において、上側継手部２２，４２，６２および下側継手部３２，３２，７２の重ね合わされた突出部を通して、ベースプレート１にボルト８２を螺合すると、下側継手部３２，３２，７２に対して上側継手部２２，４２，６２が着脱可能に連結される。このとき、上側継手部２２，４２，６２の下面と下側継手部３２，３２，７２の上面との接合面において、上側流路と下側流路との間に挿入されたガスケット８１が圧縮されるため、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。つまり、ボルト８２の締め付け動作により、下側継手部３２，３２，７２に対して上側継手部２２，４２，６２を着脱可能に連結することができると同時に、上側流路と下側流路との間を確実にシールすることができる。
【００３２】
（７）下側継手部３２の下側流路３５Ａ，３５Ｂは、下側継手部３２に内部流路３６Ａ，３６Ｂ、上向き流路３７Ａ，３７Ｂ、３８Ａ，３８Ｂをドリルなどにより孔あけ加工したのち、内部流路３６Ａ，３６Ｂの開口端を栓部材３９Ａ，３９Ｂによって塞げば、構成することができるから、簡単に加工できる。
同様に、上側継手部２２の上側流路２５Ａ，２５Ｂについても、同様に行える。
【００３３】
＜変形例＞
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
前記実施形態では、６つの流体制御機器を一列に配列した流体制御装置を例に説明したが、流体制御機器の数については、前記実施形態に限られない。例えば、マスフローコントローラ４と、これに隣接して接続される２つのバルブとで構成してもよい。あるいは、複数の流体制御機器を一列に配列した集積化ガススティックを、ベースプレート１の上に複数並設して集積化ガスパネルとしてもよい。
要は、少なくとも３つ以上の流体制御機器を一列に配列した流体制御装置であれば、全てに適用できる。
【００３４】
前記実施形態では、流体の流量を制御するシステムについて説明したが、これに限らず、流体の圧力を制御する流体制御装置であってもよい。
また、流体としては、ガスに限らず、液体であってもよい。
【００３５】
前記実施形態では、上側流路および下側流路を、ドリルなどで穴あけ加工した内部流路、上向き流路、下向き流路と、栓部材によって構成したが、これに限られない。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、例えば、半導体製造設備などにおいて、流体の流量を制御する装置や、流体の圧力を制御する装置などに利用できる。
【符号の説明】
【００３７】
１…ベースプレート、
２…マニュアルバルブ（流体制御機器）、  
３…エアーバルブ（流体制御機器）、
４…マスフローコントローラ（流体制御機器）、
５…エアーバルブ（流体制御機器）、
６…ニードルバルブ（流体制御機器）、
７…フィルタ（流体制御機器）、
２１…マニュアルバルブ本体（制御機器本体）、
２２…継手部（上側継手部）、
２２Ａ，２２Ｂ…突出部、
２５Ａ…流体流入用上側流路、
２５Ｂ…流体流出用上側流路、
２６Ａ，２６Ｂ…内部流路、
２７Ａ，２７Ｂ…上向き流路、
２８Ａ，２８Ｂ…下向き流路、
２９Ａ，２９Ｂ…栓部材、
３１…エアーバルブ本体（制御機器本体）、
３２…継手部（下側継手部）、
３２Ａ，３２Ｂ…突出部、
３５Ａ…流体流入用上側流路、
３５Ｂ…流体流出用上側流路、
３６Ａ，３６Ｂ…内部流路、
３７Ａ，３７Ｂ…第１上向き流路、
３８Ａ，３８Ｂ…第２上向き流路、
３９Ａ，３９Ｂ…栓部材、
４１…マスフローコントローラ本体（制御機器本体）、
４２…継手部（上側継手部）、
４２Ａ，４２Ｂ…突出部、
４５Ａ…流体流入用上側流路、
４５Ｂ…流体流出用上側流路、
６１…ニードルバルブ本体（制御機器本体）、
６２…継手部（下側継手部）、
６２Ａ，６２Ｂ…突出部、
７１…フィルタ本体（制御機器本体）、
７２…継手部（上側継手部）、
７２Ａ，７２Ｂ…突出部、
７５Ａ…流体流入用上側流路、
７５Ｂ…流体流出用上側流路、
８１…ガスケット、
８２…ボルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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