(57)【要約】【課題】液晶パネルの表示検査に際し、液晶パネルの表面をプローブで接触しても、当該プローブが影となって投影されることが無く、電気光学物質に混入している異物を正確に検出することができるようにする。【解決手段】一対の基板１１，１２間に液晶１４が挟持されている液晶パネル１０の表示状態を検査するに際し、液晶パネル１０の表面にプローブ６５を接触させたときの表示状態から液晶１４の異物Ａの混入の有無を検査する検査装置であって、透明なプローブ６５にて液晶パネル１０の表面を点接触させる。プローブ６５が透明であるため、このプローブ６５が影となって投影されることがない。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に電気光学物質が挟持されている電気光学パネルの表示状態を検査するに際し、該電気光学パネルの一方の面にプローブを接触させたときの表示状態から前記電気光学物質中の異物の混入の有無を検査する電気光学装置の表示検査方法であって、
透明な前記プローブを前記電気光学パネルの一方の面に点接触させる
ことを特徴とする電気光学装置の表示検査方法。
【請求項２】
前記プローブの硬度は、前記電気光学パネルの一方の面の硬度と同じか、該電気光学パネルの一方の面の硬度より低いことを特徴とする請求項１記載の電気光学装置の表示検査方法。
【請求項３】
前記プローブは、前記電気光学パネルの一方の面と同一の材質を有していることを特徴とする請求項１記載の電気光学装置の表示検査方法。
【請求項４】
前記プローブは、前記電気光学パネルの両面の互いに対向する位置にそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の電気光学装置の表示検査方法。
【請求項５】
複数の前記プローブを前記電気光学パネルの一方の面に設定間隔を開けて同時に点接触させることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の電気光学装置の表示検査方法。
【請求項６】
前記プローブの接触面が円環状に形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の電気光学装置の表示検査方法。
【請求項７】
前記プローブを支持するアームが透明であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の電気光学装置の表示検査方法。
【請求項８】
一対の基板間に電気光学物質が挟持されている電気光学パネルの表示状態を検査するに際し、該電気光学パネルの一方の面にプローブを接触させたときの表示状態から前記電気光学物質中の異物の混入の有無を検査する電気光学装置の表示検査装置であって、
透明なプローブを駆動させて該プローブの先端を前記電気光学パネルの一方の面に点接触させると共に該プローブを前記電気光学パネルの一方の面に沿って所定ピッチ毎に移動させる駆動部と、
前記駆動部の動作を制御する制御部とを備えることを特徴とする電気光学装置の表示検査装置。
【請求項９】
電気光学物質を挟持する一対の基板の両面に防塵用基板を貼り合わせて電気光学パネルを形成するパネル形成工程と、
前記電気光学パネルを外装ケースに収容するパネル収容工程と、
前記外装ケースに収容された前記電気光学パネルの一方の面に透明なプローブを点接触させて前記電気光学物質中の異物の混入の有無を検査する表示検査工程とを備えることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学パネルの表示状態により表示欠陥部の有無を検査する電気光学装置の表示検査方法、及び表示検査装置、並びに電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば電気光学パネルの代表である液晶パネルの製造に際しては、ＴＦＴ素子の不良や電気光学物質である液晶に混入する異物などの影響で表示エリア内に欠陥部（点欠陥、線欠陥、シミムラ欠陥など）が発生する場合がある。そのため、製造ラインには、表示欠陥部の有無を調べる表示検査工程が組み込まれている。
【０００３】
一般に、表示検査工程において、画面上に表れる表示欠陥部を検出するに際しては、先ず、検査対象の液晶パネルをプロジェクタにセットし、その後、液晶パネルの表示を投影面であるスクリーン上に投影し、スクリーンに投影された表示画像を検査員が目視により検査して表示欠陥部の有無を調べている。この場合、表示画像をカメラで撮像して表示欠陥部の有無を自動判別するものも知られている。
【０００４】
例えば液晶中に、配向膜をラビング処理した際に発生する微粉体を代表とする微細な異物が混入した場合、異物が混入している部位には液晶が存在しないため、光抜けし、ノーマリブラック表示ではスクリーン上に白点が表示され、ノーマリホワイト表示では黒点が表示されるため、表示不良を容易に検出することができる。
【０００５】
しかし、液晶を挟持する一方の基板(素子基板)にマトリクス状に形成されている画素電極と、これに対向する他方の基板(対向基板)に形成されている遮光層(いわゆるブラックマトリクス)との間(以下、「遮光領域」と称する)は光が透過しないので、この遮光領域に異物が介在している場合、スクリーン上に異物の痕跡が表示されず、当該異物の混入を目視によっては検出することができない。しかし、この遮光領域に介在されている異物は不安定であるため、表示検査工程後に遮光領域から画素上に移動し易く、製品出荷後に表示不良が発生してしまうことになる。
【０００６】
この対策として、例えば特許文献１（特開２００７−３１６３２７号公報）には、液晶パネルの表面を透明なローラで接触転動させながら、表示検査を行う技術が開示されている。すなわち、この公報に開示されている技術では、透明なローラで液晶パネルの表面を接触転動させることで、ローラにより接触された部位の液晶層が薄くなるため、ここに介在されている異物は液晶の流動と共に移動する。従って、この部位が遮光領域であれば、当該遮光領域に介在されている異物が画素上に移動するため、スクリーン上に異物による白点（或いは黒点）を表示させることができる。
【０００７】
又、例えば特許文献２（特開２００７−１７８９１３号公報）には、液晶パネルの表面にペン型の接触部材を点接触させ、この状態で接触部材を移動させながら、表示検査を行う技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００７−３１６３２７号公報
【特許文献２】特開２００７−１７８９１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１に開示されている技術では、液晶パネルの表面をローラで接触しながら転動させるため、接触される領域が連続的に移動してしまい、異物混入の有無を正確に検出することが困難となる。又、ローラが接触されている液晶パネルの表面はローラの幅方向に沿って広く変形するため、接触領域が広範囲となり、ローラが接触されている部位の表示状態を検査することが困難となる問題がある。
【０００９】
更に、ローラは回転支持機構を有するが、例えば小さいサイズの液晶パネルの表面を転動させるローラは、そのサイズも小さくなり、必然的に回転支持機構を小さくする必要がある。そのため、ローラのサイズをあまり小さくすることができず、小さなサイズの液晶パネルの表示検査には適していない。
【００１０】
一方、特許文献２に開示されている技術では、ペン型の接触部材が樹脂材料により形成されているため、この接触部材全体が影となってスクリーン上に表示されてしまうため、液晶基板の表示状態を検査する際に邪魔になってしまう不都合がある。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑み、表示検査に際し、電気光学パネルの表面をプローブで接触しても、当該プローブが影となって投影されることが無く、表示検査の邪魔となることが無く、又、プローブにより電気光学パネルの表面を接触した際に、その接触している部分及びその周辺の表示状態から電気光学物質に混入している異物を正確に検出することのできる電気光学装置の表示検査方法、及び表示検査装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため本発明による第１の電気光学装置の表示検査方法は、一対の基板間に電気光学物質が挟持されている電気光学パネルの表示状態を検査するに際し、該電気光学パネルの一方の面にプローブを接触させたときの表示状態から前記電気光学物質中の異物の混入の有無を検査する電気光学装置の表示検査方法であって、透明な前記プローブを前記電気光学パネルの一方の面に点接触させることを特徴とする。
【００１３】
このような構成では、電気光学パネルの表示検査を行うに際し、電気光学パネルの一方の面に透明なプローブを点接触させるようにしたので、当該プローブが影となって投影されることが無く、表示検査の邪魔となることが無いばかりでなく、点接触している部位の表示状態を検査することかできる。又、プローブにより電気光学パネルの一方の面を点接触しているので接触領域が必要以上に広くならず、従って、点接触している部分はもとより周辺の表示状態から、電気光学物質に混入している異物を正確に検出することができる。
【００１４】
第２の電気光学装置の表示検査方法は、第１の電気光学装置の表示検査方法において、前記プローブの硬度は、前記電気光学パネルの一方の面の硬度と同じか、該電気光学パネルの一方の面の硬度より低いことを特徴とする。
【００１５】
このような構成では、プローブの硬度が電気光学パネルの一方の面の硬度と同じか、それよりも低いので、このプローブにて電気光学パネルの一方の面を点接触しても、この一方の面に傷を付けることがない。
【００１６】
第３の電気光学装置の表示検査方法は、第１の電気光学装置の表示検査方法において、プローブは、前記電気光学パネルの一方の面と同一の材質を有していることを特徴とする。
【００１７】
このような構成では、プローブが電気光学パネルの一方の面と同一の材質を有しているので、このプローブにて電気光学パネルの一方の面を点接触しても、この一方の面に傷を付けることがない。
【００１８】
第４の電気光学装置の表示検査方法は、第１〜第３の電気光学装置の表示検査方法において、前記プローブは、前記電気光学パネルの両面の互いに対向する位置にそれぞれ配設されていることを特徴とする。
【００１９】
このような構成では、プローブが、電気光学パネルの両面の互いに対向する位置にそれぞれ配設されているので、表示検査に際しては、この両プローブにて一対の基板を両面から挟持することで、この両プローブで点接触している周辺の表示状態から電気光学物質に混入している異物をより正確に検出することができる。
【００２０】
第５の電気光学装置の表示検査方法は、第１〜第４の電気光学装置の表示検査方法において、複数の前記プローブを前記電気光学パネルの一方の面に設定間隔を開けて同時に点接触させることを特徴とする。
【００２１】
このような構成では、電気光学パネルの表示検査を行うに際し、複数のプローブで電気光学パネルの一方の面を同時に点接触させることで、表示検査に要する工数を削減することができる。
【００２２】
第６の電気光学装置の表示検査方法は、第１〜第５の電気光学装置の表示検査方法において、前記プローブの接触面が円環状に形成されていることを特徴とする。
【００２３】
このような構成では、プローブの接触面を円環状に形成することで、点接触している部位の周辺のみならず、点接触している部位の中心部を明瞭に表示させることができる。
【００２４】
第７の電気光学装置の表示検査方法は、第１〜第６の電気光学装置の表示検査方法において、前記プローブを支持するアームが透明であることを特徴とする。
【００２５】
このような構成では、プローブを支持するアームも透明にしたので、表示検査の際に、アームが影となって投影されることがなく、表示検査の邪魔となることが無い。
【００２６】
本発明による電気光学装置の表示検査装置は、一対の基板間に電気光学物質が挟持されている電気光学パネルの表示状態を検査するに際し、該電気光学パネルの一方の面にプローブを接触させたときの表示状態から前記電気光学物質中の異物の混入の有無を検査する電気光学装置の表示検査装置であって、透明なプローブを駆動させて該プローブの先端を前記電気光学パネルの一方の面に点接触させると共に該プローブを前記電気光学パネルの一方の面に沿って所定ピッチ毎に移動させる駆動部と、前記駆動部の動作を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【００２７】
このような構成では、電気光学パネルの表示検査を行うに際し、制御部からの制御信号によって駆動する駆動部の動作に従い、透明なプローブを駆動させて、このプローブの先端を電気光学パネルの一方の面に点接触させると共に、このプローブを電気光学パネルの一方の面に沿って所定ピッチ毎に移動させるようにしたので、検査対象となる電気光学パネルの一方の面に対応したピッチでプローブを点接触させることができ、表示検査を効率よく行うことができる。
【００２８】
本発明による電気光学装置の製造方法は、電気光学物質を挟持する一対の基板の両面に防塵用基板を貼り合わせて電気光学パネルを形成するパネル形成工程と、前記電気光学パネルを外装ケースに収容するパネル収容工程と、前記外装ケースに収容された前記電気光学パネルの一方の面に透明なプローブを点接触させて前記電気光学物質中の異物の混入の有無を検査する表示検査工程とを備えることを特徴とする。
【００２９】
このような構成では、表示検査工程において、電気光学パネルの一方の面に透明なプローブを点接触させて電気光学物質中の異物の混入の有無を検査するようにしたので、当該プローブが影となって投影されることが無く、表示検査の邪魔となることが無い。又、プローブにより電気光学パネルの一方の面を点接触しているので接触領域が必要以上に広くならず、点接触している周辺の表示状態から電気光学物質に混入している異物を正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、図面に基づいて本発明の一実施形態を説明する。
【００３１】
［第１実施形態］
図１〜図１２に本発明の第１実施形態を示す。図１、図２に電気光学パネルの一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルを示す。尚、図１は液晶パネルの素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、図２は図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００３２】
この液晶パネル１０は、ＴＦＴ(Thin Film Transistor)が形成されている一方の基板としての透明な素子基板１１と、他方の基板としての透明な対向基板１２とを有している。尚、素子基板１１は石英基板等で形成され、対向基板１２はガラス基板や石英基板等で形成されている。
【００３３】
又、この両基板１１，１２の対向面間がシール材１３を介して相互に接着されている。このシール材１３は、両基板１１，１２に設けられている画像表示領域２６の周囲を囲むように配設されており、このシール材１３と両基板１１，１２とで囲まれた領域に、電気光学物質としての液晶１４が挟持されている。
【００３４】
又、この各基板１１，１２の表面に、防塵用基板１５，１６が貼り合わされている。この防塵用基板１５，１６はガラス基板や石英基板等、透明な基板で形成されている。
【００３５】
又、対向基板１２の四隅に、上下導通材１７が設けられており、素子基板１１に設けられた上下導通端子と対向基板１２に設けた対向電極１８との間で電気的な導通が取られている。
【００３６】
更に、シール材１３が配置される領域の内側に並行して、画像表示領域２６を規定する遮光性の額縁２０が対向基板１２側に設けられている。尚、この額縁２０は素子基板１１側に設けられていても良い。画像表示領域２６の周辺に広がる周辺領域のうち、シール材１３が配置されたシール領域の外側部分には、データ線駆動回路２１及び外部回路接続端子２２が素子基板１１の一辺に沿って設けられており、走査線駆動回路２３が、この一辺に隣接する２辺に沿って設けられている。更に素子基板１１の残る一辺には、画像表示領域２６の両側に設けられた走査線駆動回路２３間をつなぐための複数の配線２５が設けられている。
【００３７】
図７に液晶パネルの一部の断面を拡大して示す。同図に示すように、素子基板１１の画像表示領域２６には、それぞれが画素を構成する複数の透明な画素電極２７が、マトリクス状に設けられている。尚、対向電極１８は、この画素電極２７群に対向配置されている。更に、素子基板１１の画素電極２７の下層に第１遮光層２８が設けられている。この第１遮光層２８は、液晶パネル１０の画像表示領域２６を正面から見たときに、画素の開口領域を囲むように格子状に形成されている。これにより、素子基板１１の表面側からの光（戻り光）が遮光され、この第１遮光層２８の上方に設けられているＴＦＴ（図示せず）に、この光（戻り光）が入射されることが防止される。尚、図７の符号２９は蓄積容量電極（ポリシリコン層）、３０は容量線、３１はデータ線であり、これらは層間絶縁膜を介して、第１遮光層２８の上方であって、後述する対向基板１２に設けた遮光層３３と重なる位置に配設されている。
【００３８】
更に、対向基板１２の対向電極１８の下層にブラックマトリクスと称される第２遮光層３３が設けられている。この第２遮光層３３は、素子基板１１に設けた第１遮光層２８に対向配設されており、その幅は第１遮光層２８の幅よりも広く形成されている。又、両基板１１，１２の最上層に、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜３４，３５が設けられ、この両配向膜３４，３５間に液晶１４が挟持されている。
【００３９】
対向基板１２側から第２遮光層３３に入射された光は遮光されるため、素子基板１１から出射した光をスクリーン等に投影した場合、第２遮光層３３に入射された光は投影されない。従って、図７（ａ）に示すように、この第２遮光層３３により遮光された領域に存在する液晶１４中に、異物Ａが混入されている場合、この異物Ａは投影されない。尚、この異物Ａとしては、例えばラビング処理等の配向処理が行われた際に発生する微粉体がある。
【００４０】
本実施形態では、後述する表示検査工程において、この第２遮光層３３にて遮光されている領域（遮光領域）に介在する異物Ａをも検出できるようにしている。
【００４１】
この表示検査工程は、液晶パネル１０の製造ラインに組み込まれている。図３に示すように、この製造ラインは、液晶パネル１０を成形するパネル形成工程Ｍ１、成形されて組み立てられた液晶パネル１０を外装ケース４０に収容するパネル収容工程Ｍ２、外装ケース４０に収容された液晶パネル１０の表示状態を検査する表示検査工程Ｍ３、及び表示検査工程Ｍ３で不合格となった液晶パネル１０を回収するパネル回収工程Ｍ４を備えている。そして、この表示検査工程Ｍ３で検査合格となった液晶パネル１０が、プロジェクタなどの電子機器に取付ける組立工程Ｍ５へ搬送される。
【００４２】
図４（ａ）〜（ｄ）にパネル形成工程Ｍ１で実行される液晶パネル１０の成形手順の概略を示す。尚、この作業はクリーンルーム内で行われる。
【００４３】
手順（ａ）：先ず、大型基板１１０に複数の素子基板１１を所定に形成した後、各素子基板１１に対して対向基板１２を貼り合わせる。
【００４４】
手順（ｂ）：大型基板１１０の、対向基板１２が貼り合わされている面と反対側の面に、大型基板１１０とほぼ同一かやや小さい形状の大型防塵用基板１５０を貼付する。尚、大型防塵用基板１５０は、チップ状に分割されることで防塵用基板１５となる。
【００４５】
手順（ｃ）：その後、全体を洗浄した後、各対向基板１２の、大型基板１１０に対向する面と反対側の面に対向基板１２とほぼ同形状の防塵用基板１６を貼付する。
【００４６】
手順（ｄ）：大型基板１１０の対向基板１２が貼り合わされている面にスクライブラインを形成し、このスクライブラインに沿って大型基板１１０を分割し、チップ状の液晶パネル１０を切り出す。このとき大型防塵用基板１５０も同時に切り出されて、防塵用基板１６となる。
【００４７】
そして、この切り出された各液晶パネル１０を所定に洗浄した後、素子基板１１に形成されている外部回路接続端子２２にＦＰＣ(Flexible Printed Circuits)２２ａ（図５参照）を接続し、その後、この液晶パネル１０をパネル収容工程Ｍ２へ搬送する。
【００４８】
図４（ｅ）に示すように、パネル収容工程Ｍ２では、両面に防塵用基板１５，１６が貼付されている液晶パネル１０を外装ケース４０に収容する。この外装ケース４０は外装ケース本体４０ａと枠部材４０ｂとを備え、外装ケース本体４０ａに、液晶パネル１０を収容する凹部が形成されている。この凹部に液晶パネル１０を、対向基板１２の表面に貼付されている防塵用基板１６側から装着し、素子基板１１の表面に貼付されている防塵用基板１５の外周を枠部材４０ｂで接触すると共に、この枠部材４０ｂを外装ケース本体４０ａに係合させて固定する。
【００４９】
次いで、この外装ケース４０に収容されている液晶パネル１０を表示検査工程Ｍ３へ移送する。表示検査工程Ｍ３には、図５に示すような表示検査装置５０が備えられている。
【００５０】
この表示検査装置５０は、液晶パネル１０の画像を投影して点欠陥等の表示欠陥を検査するものであり、投影機５１とスクリーン５２とを備えている。尚、本実施形態では、スクリーン５２が天井方向に水平に配設され、このスクリーン５２に対して投影機５１から光を投射させる場合について説明する。この場合、投影機５１から出射される光を反射ミラーを介して水平方向へ反射させ、この反射ミラーの反射方向にスクリーン５２を垂立させるようにしても良い。
【００５１】
この投影機５１の筐体５１ａ内の底部にメタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット５３が配設され、このランプユニット５３の光軸方向にスクリーン５２が配設されている。ランプユニット５３からの光の出射方向に、複数のレンズ及びフィルタからなるレンズユニット５４が配設され、このレンズユニット５４から出射される検査光路の中途にステージ５５が水平状態で配設されている。又、この検査光路のステージ５５の下流側に、この検査光路の焦点距離を調整する投射レンズ５６が配設されている。
【００５２】
このステージ５５の上面に液晶パネル１０を保持する凹部５５ａが形成され、この凹部の底面に、この凹部に載置される液晶パネル１０の画像表示領域２６（図１参照）を逃げる透過孔５５ｂが形成されている。
【００５３】
このステージ５５の凹部５５ａに液晶パネル１０を載置すると、この液晶パネル１０の画像表示領域２６の中心が、検査光路の中心とほぼ一致するように設定される。又、凹部５５ａに液晶パネル１０を載置した状態では、この液晶パネル１０から延出するＦＰＣ２２ａ上に配列された各電極端子（図示せず）に、接触端子ユニット５７から延出する接触端子５７ａがそれぞれ電気的に接続される。この接触端子ユニット５７に表示駆動部５８で生成された所定の検査用駆動信号が送信され、この検査用駆動信号は接触端子５７ａを介してＦＰＣ２２ａに出力され、液晶パネル１０を全画素黒表示、又は全画素中間調表示させる。
【００５４】
又、このステージ５５の側方に駆動部としてのパネル接触駆動部６１が配設されている。図６にパネル接触駆動部６１と液晶パネル１０との位置関係を概略的に示す。尚、図６では、説明を容易にするために外装ケース４０とステージ５５とを除いた状態で示す。
【００５５】
同図に示すように、パネル接触駆動部６１は、ステージ５５に載置された液晶パネル１０の一辺に沿って平行に配設された支持バー６２を有し、この支持バー６２にアーム保持部材６３が支持バー６２に沿うＹ方向へ摺動自在に支持されている。このアーム保持部材６３は、支持バー６２に沿って移動するインナ部材６３ａと、このインナ部材６３ａに外装されて、このインナ部材６３ａと一体に移動するアウタ部材６３ｂとを有し、このアウタ部材６３ｂが軸回転方向であるＯ方向へ回動自在に支持されている。更に、この支持バー６２が、図示しない移動機構の動作により支持バー６２の延出方向に直行する方向であって、液晶パネル１０の表面に沿うＸ方向へ平行移動自在にされている。
【００５６】
又、このアウタ部材６３ｂからアーム６４が延出されている。このアーム６４の先端にプローブ６５が固設されている。このプローブ６５は、液晶パネル１０の一方の面である、防塵用基板１６の表面に接触させるもので、アウタ部材６３ｂがＯ方向へ回動することで接触される。
【００５７】
この支持バー６２のＸ方向への往復移動、アーム保持部材６３のＹ方向への往復移動、及びアウタ部材６３ｂのＯ方向への往復回動は、図５に示す制御部としての接触駆動制御部７０からの駆動信号によって制御される。この接触駆動制御部７０の制御動作については後述する。
【００５８】
アーム６４は、ガラスや石英等を素材とする透明な柱状部材（図においては四角柱が例示されている）であり、又、このアーム６４の先端に固設されているプローブ６５は、このプローブ６５にて接触される防塵用基板１６と同じ硬度か、それよりも低い硬度を有していると共に、透明な材料を用いて形成されている。尚、本実施形態で採用するプローブ６５は、このプローブ６５が接触する面を有する防塵用基板１６と同一の材質で形成されている。
【００５９】
このプローブ６５の形状は様々なものが考えられる。以下、図８〜図１１に形状の一例を示す。図８に示すプローブ６５Ａは円柱形状であり、このプローブ６５Ａの直径は、その先端が防塵用基板１６に対して点接触できるサイズに形成されている。
【００６０】
図９に示すプローブ６５Ｂは、図８に示すプローブ６５Ａの先端部６６ａを球面状に形成したものである。このプローブ６５Ｂは、先端部６６ａを球面形としたことで、防塵用基板１６に対する接触面積が小さくなるため、相対的にプローブ６５Ｂの直径を大きくすることができる。
【００６１】
図１０に示すプローブ６５Ｃは円錐形状を有し、その先端部６６ｂの面積が上述した図８に示すプローブ６５Ａの直径と同一のサイズに形成されている。又、図１１に示すプローブ６５Ｄは、中央に中空部６６ｃを有する円筒状に形成されている。
【００６２】
尚、以下においては、特記しない限り、これら各プローブ６５Ａ〜６５Ｄを、プローブ６５と総称して説明する。
【００６３】
次に、表示検査工程Ｍ３で行われる液晶パネル１０の表示検査手順について説明する。先ず、外装ケース４０に収容されている液晶パネル１０を、投影機５１の筐体５１ａに組み込まれているステージ５５に形成されている凹部５５ａに対して、所定に位置決めした状態で載置固定する。
【００６４】
次いで、ランプユニット５３を点灯させると共に、表示駆動部５８からの検査用駆動信号を接触端子ユニット５７から接触端子５７ａ、ＦＰＣ２２ａを経て液晶パネル１０に印加して、この液晶パネル１０を特殊駆動させる。その結果、投影機５１の上方に対設されているスクリーン５２上に、全画素黒表示又は全画素中間調表示等の検査用画像が表示される。
【００６５】
その後、接触駆動制御部７０にて支持バー６２をＸ方向へ移動させ、更に、アーム保持部材６３をＹ方向へ移動させると共に、このアーム保持部材６３のアウタ部材６３ｂをＯ方向へ回動させる。
【００６６】
すなわち、図１２の移動軌跡に示すように、接触駆動制御部７０は、支持バー６２のＸ方向への移動と、アーム保持部材６３のＹ方向への移動とを制御して、アーム６４を、予め設定されているピッチ毎にステップ移動させ、一筆書きの要領で防塵用基板１６の表面全体を、図においては、図の上方から下方へ往復移動させる。尚、図１２には、説明を容易にするために外装ケース４０とステージ５５とが除かれた状態が示されている。又、アーム保持部材６３の移動パターンは、図に示すものに限定されない。
【００６７】
そして、接触駆動制御部７０がアーム６４の移動を所定ピッチ毎に停止させると、その位置で、アーム保持部材６３のアウタ部材６３ｂが回動する。すると、アーム６４の先端に固設されているプローブ６５の先端が防塵用基板１６の表面に点接触され、そのときのスクリーン５２上に投影されている画像を、検査者が目視して輝点の有無を調べ、その検査結果に従い、合格（ＯＫ）、不合格（ＮＧ）を判定する。
【００６８】
プローブ６５が防塵用基板１６の表面に点接触すると、この防塵用基板１６がわずかに変形される。この防塵用基板１６は対向基板１２に密着されており、しかも、液晶１４が挟持されている素子基板１１と対向基板１２との間の厚さ（セルギャップ）は薄いため、防塵用基板１６に、軽く点接触させただけで、両基板１１，１２間の空隙が狭くなる。その結果、図７（ｂ）に示すように、このセルギャップが薄くなった部分に介在する液晶１４は、その周囲に流出する。
【００６９】
例えば、図７（ａ）に示すように、第２遮光層３３で遮光されている領域（遮光領域）に異物Ａが介在されている場合、この第２遮光層３３に対応する部分、或いはその周辺のセルギャップが、変形により狭くなった場合、第２遮光層３３により遮光されている領域に介在されている液晶１４が周辺に流動する。その結果、図７（ｂ）に示すように、遮光領域に隠れていた異物Ａが液晶１４の流れに沿って、遮光領域の周辺へ異動する。その結果、遮光領域に介在されている異物Ａを表示検査において検出することができる。
【００７０】
又、本実施形態では、プローブ６５とアーム６４とがともに透明な材質で形成されているため、このプローブ６５とアーム６４がスクリーン５２に投影されることがなく、邪魔にならず、表示検査をスムーズに行うことができる。又、プローブ６５とアーム６４とが透明であるため、プローブ６５が点接触している部位、及びその周囲の表示状態を明瞭に目視することができ、検査精度を向上させることができる。
【００７１】
又、プローブ６５が防塵用基板１６と同一の材質で形成されているため、このプローブ６５を防塵用基板１６に点接触させても、この防塵用基板１６の表面に傷を付けることがない。
【００７２】
この場合、図８に示すように、プローブ６５として、円柱形状のプローブ６５Ａを採用すれば、線材を切断するだけでプローブ６５Ａを形成することができるため、安いコストで製造することができる。
【００７３】
又、図９に示すように、プローブ６５として、先端部６６ａが球面状に形成されたプローブ６５Ｂを採用すれば、先端部６６ａを防塵用基板１６の表面に接触させる際の角度が僅かにずれた場合であっても、この先端部６６６ａにて防塵用基板１６の表面を傷つけることがない。
【００７４】
又、図１０に示すように、プローブ６５として円錐形状のプローブ６５Ｃを採用すれば、アーム６４に固設するプローブ６５Ｃの基部側の面積を大きくすることができ、このプローブ６５Ｃをアーム６４に確実に固設することができる。
【００７５】
更に、図１１に示すように、プローブ６５として円筒状のプローブ６５Ｄを採用すれば、中空部６６ｃは防塵用基板１６の表面に接触しないため、接触面は円環状となり、中央は光の透過率が良くなる。その結果、プローブ６５により接触されている面の外周のみならず中央部の表示状態をも明瞭に検査することができる。
【００７６】
尚、本実施形態では、アーム６４の先端に固設したプローブ６５を、対向基板１２側の防塵用基板１６に点接触させるようにしているが、素子基板１１側の防塵用基板１５の表面に点接触させるようにしても良い。
【００７７】
そして、この表示検査工程Ｍ３で、表示欠陥、及び液晶１４中に異物Ａの混入が検出されなかった液晶パネル１０は合格と判定し、組立工程Ｍ５へ移送する。又、表示欠陥、及び液晶１４中に異物Ａの混入が検出された液晶パネル１０は不合格と判定し、パネル回収工程Ｍ４へ移送し、所定にリサイクルされる。
【００７８】
又、組立工程Ｍ５へ移送されると、液晶プロジェクタ等の電子機器に、液晶パネル１０を、それを収容する外装ケース４０と共に組み付けられる。
【００７９】
［第２実施形態］
図１３に本発明の第２実施形態による表示検査装置の要部概略図を示す。上述した第１実施形態では、１本のアーム６４をステップ的に移動させ、その先端に固設されているプローブ６５を防塵用基板１６の表面に点接触させるようにしたが、本実施形態では、２本のアーム６５の先端に固設されている各プローブ６５を防塵用基板１６の表面に点接触させるようにしたものである。
【００８０】
すなわち、一対のアーム６４は、防塵用基板１６を挟んで上下方向で対向する位置から、この防塵用基板１６の表面に各々臨まされている。そして、予め設定されている移動軌跡に従い、本実施形態では、防塵用基板１６の図の上半分を上側から臨まされている一方のアーム６４がステップ移動し、又、下半分を下側から臨まされている他方のアーム６４がステップ移動する。そして、各アーム６４の先端に固設されているプローブ６５を防塵用基板１６の表面に対して、予め設定されているピッチ毎に点接触させる。
【００８１】
本実施形態では、一対のプローブ６５を防塵用基板１６の表面に点接触させるようにしたので、表示検査に要する時間を、第１実施形態の約半分にすることができ、高い作業効率を得ることができる。
【００８２】
［第３実施形態］
図１４に本発明の第３実施形態による表示検査装置の要部概略図を示す。本実施形態は、上述した第２実施形態の変形例である。第２実施形態では、一対のアーム６４を、防塵用基板１６を挟んで対向する側から臨ませるようにしたが、本実施形態では、一方のアーム６４に対して、他方のアーム６４を直行する方向から臨ませるようにしたものである。
【００８３】
すなわち、防塵用基板１６の図の上半分は、第２実施形態と同様、上側から臨まされている一方のアーム６４のステップ移動により、このアーム６４の先端に固設されているプローブ６５を、防塵用基板１６の表面を予め設定されているピッチ毎に点接触させる。
【００８４】
又、防塵用基板１６の図の下半分は、図の左側から臨まされている他方のアーム６４のステップ移動により、このアーム６４の先端に固設されているプローブ６５を、防塵用基板１６の表面に、予め設定されているピッチ毎に点接触させる。尚、各プローブ６５の移動軌跡は、上述した第２実施形態と同じである。
【００８５】
このように、本実施形態では、一方のアーム６４に対して、他方のアーム６４を直行する方向から臨ませるようにしたので、例えば一方のアーム６４に対して、他方のアーム６４を防塵用基板１６を挟んで対向する側に配設するスペースを確保できない場合などに有効である。
【００８６】
［第４実施形態］
図１５に本発明の第４実施形態による表示検査装置の要部概略図を示す。上述した各実施形態では、１つ、或いは一対のアーム６４を、液晶パネル１０の一方の防塵用基板１６の表面に臨ませるようにしたが、本実施形態では、液晶パネル１０の両面の防塵用基板１５，１６に対し、この液晶パネル１０を挟んで対向する位置に一対のアーム６４を臨ませ、それぞれのアーム６４に固設されているプローブ６５を防塵用基板１５，１６の表面に各々点接触させるようにしたものである。
【００８７】
本実施形態では、液晶パネル１０の両面を対向するプローブ６５で挟み込んだ状態で点接触させるようにしたので、液晶１４中に混入されている異物Ａをより確実に検出することができる。
【００８８】
尚、この場合、この一対のアーム６４は１組に限らず、２組であっても良く、各アーム６４の移動軌跡は、図１２〜図１４と同じである。
【００８９】
［電子機器の実施形態］
次に、図１６に示す投射型カラー表示装置の図式的断面図を参照して、上述した外装ケース４０に収容されている液晶パネル１０をライトバルブとして用いた電子機器の一例である投射型カラー表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。
【００９０】
本実施形態における投射型カラー表示装置の一例である液晶プロジェクタ１１００は、外装ケース４０に収容されている液晶パネル１０を３個用意し、夫々ＲＧＢ用のライトバルブ１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂとして用いる。
【００９１】
液晶プロジェクタ１１００では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット１１０２から投射光が発せられると、３枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイックミラー１１０８によって、ＲＧＢの３原色に対応する光成分Ｒ、Ｇ、Ｂに分けられ、各色に対応するライトバルブ１００Ｒ，１００Ｇ及び１００Ｂに夫々導かれる。その際、特にＢ光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ１１２２、リレーレンズ１１２３及び出射レンズ１１２４からなるリレーレンズ系１１２１を介して導かれる。そして、ライトバルブ１００Ｒ，１００Ｇ及び１００Ｂにより夫々変調された３原色に対応する光成分は、ダイクロイックプリズム１１１２により再度合成された後、投射レンズ１１１４を介してスクリーン１１２０にカラー画像として投射される。
【００９２】
尚、本発明は、上述した各実施形態に限るものではなく、例えばプローブ６５の硬度は、このプローブ６５が点接触する防塵用基板１５，１６の硬度よりも低くても良い。又、第２〜第４実施形態において、アーム６４は、同一の防塵用基板の表面に３本以上臨ませるようにしても良い。
【００９３】
又、本発明は、防塵用基板１５，１６が貼付されていない液晶パネル１０にも適用することができる。この場合、プローブ６５は素子基板１１或いは対向基板１２の表面に点接触させる。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明は、上述した各実施形態以外に、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。電気光学パネルは、透過型電気光学パネルに限らず、反射型電気光学パネルにも適用できる。反射型電気光学パネルとしては、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ(Liquid Crystal On Silicon)がある。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】第１実施形態による液晶パネルを示すもので、素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図
【図２】同、図１のＨ−Ｈ’断面図
【図３】同、液晶パネルの製造工程を示す工程図
【図４】同、液晶パネルの形成工程及び液晶パネルを外装ケースに収容するパネル収容工程を示す工程図
【図５】同、表示検査装置の概略構成図
【図６】同、表示検査装置に組み込まれているパネル接触駆動部の要部斜視図
【図７】同、液晶パネルの要部拡大断面
【図８】同、円柱状の接触プローブを固設するアームの説明図
【図９】同、先端が球面状に形成された円柱状の接触プローブを固設するアームの説明図
【図１０】同、円錐形状の接触プローブを固設するアームの説明図
【図１１】同、円筒状の接触プローブを固設するアームの説明図
【図１２】同、液晶パネルの表面に対するアームの移動軌跡を示す説明図
【図１３】第２実施形態による液晶パネルの表面に対するアームの移動軌跡を示す説明図
【図１４】第３実施形態による液晶パネルの表面に対するアームの移動軌跡を示す説明図
【図１５】第４実施形態による液晶パネルとアームの先端に固設されている接触プローブの側面図
【図１６】投射型カラー表示装置の図式的断面図
【符号の説明】
【００９６】
１０…液晶パネル、１１…素子基板、１２…対向基板、１４…液晶、１５，１６…防塵用基板、２６…画像表示領域、２８…第１遮光層、３３…第２遮光層、３４，３５…配向膜、４０…外装ケース、５０…表示検査装置、５１…投影機、５２…スクリーン、５５…ステージ、５８…表示駆動部、６１…パネル接触駆動部、６４…アーム、６５，６５Ａ〜６５Ｄ…プローブ、６６ａ，６６ｂ…先端部、６６ｃ…中空部、７０…接触駆動制御部、Ａ…異物、Ｍ１…パネル形成工程、Ｍ２…パネル収容工程、Ｍ３…表示検査工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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