(57)【要約】      （修正有）【課題】積み重ねられている板状ワーク群からの板状ワークの分離供給を、常に衝撃を少なくして安定して行える板状ワークの分離供給設備を提供する。【解決手段】板状ワークＡを積み重ねて保持する保持装置１０と、保持装置１０に隣接された送り装置２０と、保持装置１０の最上位の板状ワークＡを送り装置２０へ移す移載装置３０を有する。保持装置１０は、送り装置２０側を下位として板状ワークＡ群を傾斜させて保持するとともに、板状ワークＡ群をワーク厚さｔ分だけ間欠的に上昇させるように構成した。送り装置２０は滑動形式であって、保持装置１０の傾斜角度θと同様の傾斜角度θの滑動上面２１ａを形成するとともに、この滑動上面２１ａに液体Ｗを供給するように構成した。移載装置２０は、板状ワークＡの上面に作用自在な吸着盤３１を、傾斜方向に沿って往復移動自在にかつ昇降自在に構成した。【選択図】図１
2010265082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを積み重ねて保持する保持装置と、この保持装置に隣接された送り装置と、保持装置の最上位の板状ワークを送り装置へ移す移載装置とを有し、前記保持装置は、送り装置側を下位として板状ワーク群を傾斜させて保持するとともに、板状ワーク群をワーク厚さ分だけ間欠的に上昇させるように構成し、前記送り装置は滑動形式であって、前記保持装置の傾斜角度と同様の傾斜角度の滑動上面を形成するとともに、この滑動上面に液体を供給するように構成し、前記移載装置は、板状ワークの上面に作用自在な吸着盤を、傾斜方向に沿って往復移動自在にかつ昇降自在に構成したことを特徴とする板状ワークの分離供給設備。
【請求項２】
傾斜角度が５〜１０度であり、液体が水であることを特徴とする請求項１記載の板状ワークの分離供給設備。
【請求項３】
送り装置の下端側に隣接して、この送り装置の滑動上面に連続した傾斜搬送面を有するローラコンベヤ装置を設け、このローラコンベヤ装置は、搬送方向に配置したローラ群の少なくとも一部を搬送幅方向において分断して、分断ローラ間に板状ワークの幅よりも狭い落下用スペースを形成し、ローラコンベヤ装置の下方に落下物回収部を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の板状ワークの分離供給設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば太陽電池のシリコンウエハーなどの板状ワークを積み重ねて保持し、そして、積み重ねている板状ワーク群を一枚ずつ分離したのち次工程へ供給する板状ワークの分離供給設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のものとしては、次のような構成が提供されている。すなわち、ワークを収納したケース内から、吸着ヘッドなどを介してワークを１枚取り出し、樋型のシュータに供給する。このシュータの底板には、板状のワークを浮上させるための空気吹き出し穴を長さ方向に間隔を置いて多数設けており、ワークの搬送時に、空気吹き出し穴からワークに向かって積極的に空気を吹き込み、シュータとワーク間の摩擦をほとんどなくしてワークを搬送する。その際にシュータを、操作手段によって水平状態と傾斜状態とに操作している。そしてシュータから搬送されてきたワークを、ケースに収納して集積している（たとえば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−１２５６５号公報（第２−３頁、第１、２図）
【特許文献２】特開２００８−１５９７８４号公報（第２頁、図１−図３）
【特許文献３】特開２００８−２３６３６号公報（第２頁、図１−図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし上記した従来構成によると、吸着ヘッドなどを介してケース内のワークを１枚持ち上げて（取り出して）シュータに供給する際に、ワークの落下などを防止するために吸着力を強く設定しなければならず、したがって、たとえば太陽電池のシリコンウエハーのように薄くかつ割れ易いワークは取り扱い難いものとなる。さらにワークが、液に濡れて密着して積み重ねられているとき、その分離（剥離）のために吸着力をより強く設定しなければならず、より割れ易いことになる。また、空気の吹き込みによってシュータとワーク間の摩擦をなくする形式によると、ワークが振れて、その一部がシュータの上面に直接に接触し易いなど、シュータでのワークの搬送が不安定になるとともに、接触時の衝撃によってワークが損傷する恐れがある。
【０００５】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、積み重ねられている板状ワーク群からの板状ワークの分離供給を、常に衝撃を少なくして安定して行える板状ワークの分離供給設備を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の板状ワークの分離供給設備は、板状ワークを積み重ねて保持する保持装置と、この保持装置に隣接された送り装置と、保持装置の最上位の板状ワークを送り装置へ移す移載装置とを有し、前記保持装置は、送り装置側を下位として板状ワーク群を傾斜させて保持するとともに、板状ワーク群をワーク厚さ分だけ間欠的に上昇させるように構成し、前記送り装置は滑動形式であって、前記保持装置の傾斜角度と同様の傾斜角度の滑動上面を形成するとともに、この滑動上面に液体を供給するように構成し、前記移載装置は、板状ワークの上面に作用自在な吸着盤を、傾斜方向に沿って往復移動自在にかつ昇降自在に構成したことを特徴としたものである。
【０００７】
したがって請求項１の発明によると、保持装置が、送り装置側を下位として板状ワーク群を傾斜させて保持している状態で、まず、下降動させた吸着盤を最上位の板状ワークの上面に当接させて吸着したのち、吸着盤を送り装置上へ突出動させることで、吸着盤を介して最上位の板状ワークを、２枚目の板状ワーク上を滑らせながら送り装置の滑動上面に移載し得る。その際に、傾斜下方向に移動させて移載することで、吸着盤の吸引力を板状ワーク間の表面密着力よりも少し高く設定するだけで、最上位の板状ワークに過大な吸引力を作用させることなく２枚目の板状ワークと表面分離し得る。このようにして最上位の板状ワークを送り装置の滑動上面上に移載したのち、吸着開放により板状ワークを分離して吸着盤のみを上昇動させ、そして退入動させることで、吸着盤を新たな（次の）最上位の板状ワークの上方に位置し得る。このような移載装置の作用と、板状ワーク群をワーク厚さの分だけ間欠的に上昇させる保持装置の作用との組み合わせ動作によって、保持装置で保持している板状ワーク群のうち、最上位の板状ワークから一枚ずつ分離して送り装置の滑動上面上に移載し得る。
【０００８】
このようにして送り装置の滑動上面上に移載した板状ワークは、この滑動上面の上を傾斜角度に沿って下手側に滑動して行くが、このとき滑動上面の上を液体が下手側に流れていることで、この液体による薄い層に支持された状態で滑動して行くことになる。
【０００９】
また本発明の請求項２記載の板状ワークの分離供給設備は、上記した請求項１記載の構成において、傾斜角度が５〜１０度であり、液体が水であることを特徴としたものである。
【００１０】
したがって請求項２の発明によると、送り装置の滑動上面上に移載した板状ワークは、この滑動上面の上を傾斜角度に沿って下手側に滑動して行くが、このとき傾斜角度が５〜１０度の滑動上面の上を水が下手側に流れていることで、この安定した速度の水による薄い層に支持された状態で滑動して行くことになる。
【００１１】
そして本発明の請求項３記載の板状ワークの分離供給設備は、上記した請求項１または２記載の構成において、送り装置の下端側に隣接して、この送り装置の滑動上面に連続した傾斜搬送面を有するローラコンベヤ装置を設け、このローラコンベヤ装置は、搬送方向に配置したローラ群の少なくとも一部を搬送幅方向において分断して、分断ローラ間に板状ワークの幅よりも狭い落下用スペースを形成し、ローラコンベヤ装置の下方に落下物回収部を設けたことを特徴としたものである。
【００１２】
したがって請求項３の発明によると、送り装置の滑動上面を滑動してきた板状ワークを、ローラコンベヤ装置の分断ローラにより受け止め、すなわち傾斜搬送面により受け止めて、次の工程へと搬送し得る。その際に、板状ワーク群を積み重ねて取り扱う際の衝撃などによって、一部の板状ワークが割れていたとき、この割れている板状ワークは、分断ローラ群による支持が行えなくて落下物回収部に落下することになる。すなわち、板状ワークが左右分割状に割れていたとき、この左右分割物は、左右の分断ローラ間の落下用スペースを通って落下物回収部に落下することになり、また、板状ワークが前後分割状に割れていたとき、この前後分割物は、前後の分断ローラ間である前後のローラピッチ間を通って落下物回収部に落下することになる。
【発明の効果】
【００１３】
上記した本発明の請求項１によると、保持装置が、送り装置側を下位として板状ワーク群を傾斜させて保持している状態で、まず、下降動させた吸着盤を最上位の板状ワークの上面に当接させて吸着したのち、吸着盤を送り装置上へ突出動させることで、吸着盤を介して最上位の板状ワークを、２枚目の板状ワーク上を滑らせながら送り装置の滑動上面に移載できる。その際に、傾斜下方向に移動させて移載することで、吸着盤の吸引力を板状ワーク間の表面密着力よりも少し高く設定するだけで、最上位の板状ワークに過大な吸引力を作用させることなく２枚目の板状ワークと表面分離できる。このようにして最上位の板状ワークを送り装置の滑動上面上に移載したのち、吸着開放により板状ワークを分離して吸着盤のみを上昇動させ、そして退入動させることで、吸着盤を新たな（次の）最上位の板状ワークの上方に位置できる。このような移載装置の作用と、板状ワーク群をワーク厚さの分だけ間欠的に上昇させる保持装置の作用との組み合わせ動作によって、保持装置で保持している板状ワーク群のうち、最上位の板状ワークから一枚ずつ分離して送り装置の滑動上面上に移載できる。
【００１４】
このようにして送り装置の滑動上面上に移載した板状ワークは、この滑動上面の上を傾斜角度に沿って下手側に滑動して行くが、このとき滑動上面の上を液体が下手側に流れていることで、この液体による薄い層に支持された状態で滑動して行くことになり、以て板状ワークは、滑動上面に直接に摺接（接触）することもなく、常に衝撃を少なくして安定して滑動することができる。
【００１５】
このように本発明の請求項１によると、積み重ねられている板状ワーク群からの板状ワークの分離供給を、常に衝撃を少なくして安定して行うことができる。したがって、薄くかつ割れ易い板状ワークであっても容易に取り扱うことができ、さらに板状ワークが、液に濡れて密着して積み重ねられているときでも、その分離（剥離）のための吸着力を低く抑えることができる。
【００１６】
また上記した本発明の請求項２によると、送り装置の滑動上面上に移載した板状ワークは、この滑動上面の上を傾斜角度に沿って下手側に滑動して行くが、このとき傾斜角度が５〜１０度の滑動上面の上を水が下手側に流れていることで、この安定した速度の水による薄い層に支持された状態で滑動して行くことになり、以て板状ワークは、滑動上面に直接に摺接（接触）することもなく、常に衝撃を少なくして安定して滑動することができ、しかも水の使用によって全体を容易にかつ安価に構成できる。
【００１７】
そして上記した本発明の請求項３によると、送り装置の滑動上面を滑動してきた板状ワークを、ローラコンベヤ装置の分断ローラにより受け止め、すなわち傾斜搬送面により受け止めて、次の工程へと搬送できる。その際に、板状ワーク群を積み重ねて取り扱う際の衝撃などによって、一部の板状ワークが割れていたとき、この割れている板状ワークを落下物回収部に落下させることができる。すなわち、板状ワークが左右分割状に割れていたとき、この左右分割物を、左右の分断ローラ間の落下用スペースを通って落下物回収部に落下させることができ、また板状ワークが前後分割状に割れていたとき、この前後分割物を、前後の分断ローラ間である前後のローラピッチ間を通って落下物回収部に落下させることができ。これにより、破損している板状ワークを次の工程へ搬送することを、自動的に未然に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１を示し、板状ワークの分離供給設備における要部の縦断側面図である。
【図２】同板状ワークの分離供給設備の一部切り欠き側面図である。
【図３】同板状ワークの分離供給設備の平面図である。
【図４】同板状ワークの分離供給設備における要部の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態１を、太陽電池のシリコンウエハーの分離、供給に採用した状態として、図に基づいて説明する。
【００２０】
図１〜図４において、枠状の設備本体１側には傾斜枠体２が設けられ、ここで傾斜枠体２は、後述する各種装置の傾斜配置を好適に行えるように構成されている。この傾斜枠体２側には、たとえば厚さｔが０．１５ｍｍの太陽電池のシリコンウエハー（板状ワークの一例）Ａを積み重ねて保持する保持装置１０と、この保持装置１０に隣接された送り装置２０と、前記保持装置１０の最上位のシリコンウエハーＡを送り装置２０へ移す移載装置３０と、前記送り装置２０の下端側に隣接されたローラコンベヤ装置５０とが設けられている。
【００２１】
前記保持装置１０は、その上面である積載面１１ａによりシリコンウエハーＡを積み重ねて保持する板状の積載台１１を有し、この積載台１１の下面に連結された複数本のロッド状の被ガイド体１２が、傾斜枠体２側に支持板１３を介して上下方向に設けられた筒状のガイド体１４に挿通案内されることで、積載台１１は傾斜枠体２側に対して昇降自在に構成される。その際に昇降は、積載面１１ａが送り装置２０側を下位として８度（傾斜角度５〜１０度の一例）の傾斜角度θを維持しながら傾斜して行うように構成されている。
【００２２】
前記被ガイド体１２群の下端間に設けられた連結板にナット体１５が設けられ、このナット体１５に螺合される上下方向の螺子体１６が軸受け部材１７を介して傾斜枠体２側に回転自在に支持されるとともに、螺子体１６の下端が傾斜枠体２側に設けられたピッチ送りモータ１８に連動連結されている。ここでピッチ送りモータ１８によるピッチ送り量は、シリコンウエハー厚さ（ワーク厚さ）ｔの分に設定されている。そして積載台１１の下手部分、すなわち保持装置１０と送り装置２０との間には板状の規制体１９が設けられている。ここで規制体１９は、その内側面１９ａによって、積載台１１により積み重ねて保持されているシリコンウエハーＡ群の送り装置２０側の端面群を受け止めることで、上昇されるシリコンウエハーＡ群が傾斜方向で乱れることを防止し得る。また規制体１９の上端面１９ｂは、シリコンウエハーＡ群を上昇（ピッチ送り）させたときに、２枚目のシリコンウエハーＡの上面と同様のレベルになるように設定されている。
【００２３】
したがって前記保持装置１０は、積載台１１の積載面１１ａ上にシリコンウエハーＡ群を積み重ねて積載することで、送り装置２０側を下位としてシリコンウエハーＡ群を傾斜させて保持し得る。そして、ピッチ送りモータ１８のピッチ送り作動により、螺子体１６やナット体１５などを介して積載台１１を上昇させることで、シリコンウエハーＡ群をシリコンウエハー厚さ（ワーク厚さ）ｔの分だけ間欠的に上昇させ得る。以上の１１〜１９などにより、保持装置１０の一例が構成される。
【００２４】
前記送り装置２０は滑動形式であって、前記保持装置１０の傾斜角度θと同様の傾斜角度θの滑動上面を形成するとともに、この滑動上面に液体を供給するように構成されている。すなわち送り装置２０は、傾斜枠体２側に連結された滑り台板２１を有し、この滑り台板２１の上向き面によって傾斜角度θの滑動上面２１ａが形成されるとともに、滑動上面２１ａの左右には起立状の幅ガイド面２１ｂが形成されている。その際に滑り台板２１は、規制体１９の上端面１９ｂに滑動上面２１ａが連なる状態で配設されている。そして、滑り台板２１の下面側に貯液槽部２２が形成されるとともに、滑り台板２１の複数箇所には、貯液槽部２２を滑動上面２１ａに開放する送液孔２３が形成され、さらに貯液槽部２２には送液管２４が接続されている。
【００２５】
したがって、送液管２４から貯液槽部２２に供給された水（液体の一例）Ｗは、送液孔２３群を通して滑動上面２１ａに供給され、そして滑動上面２１ａの上を、傾斜角度θ（８度）に沿って下手側（保持装置１０とは離れる側）に流れるように構成されている。以上の２１〜２４などにより、送り装置２０の一例が構成される。
【００２６】
前記移載装置３０には、最上位のシリコンウエハーＡの上面に作用自在な吸着盤３１が設けられ、この吸着盤３１が傾斜方向に沿って往復移動自在にかつ昇降自在に構成されている。すなわち、前記保持装置１０を中にして前記送り装置２０とは反対側には、傾斜枠体２に連結されたガイド体３２が設けられるとともに、このガイド体３２に支持案内されて保持装置１０の上方へ出退動自在な可動体３３が設けられている。そして可動体３３と傾斜枠体２側との間に出退動シリンダー装置３４が設けられ、その際に出退動は傾斜方向に沿って行われるように構成されている。前記可動体３３には、出退動方向とは直交状の横軸３５を介して出退動方向への揺動体３６が設けられ、その際に揺動は手動（またはシリンダー装置など）により行われる。そして揺動体３６は、傾斜方向に沿った突出揺動姿勢が可動体３３側の第１ストッパー３７に受け止められ、上方へ起立状の後退揺動姿勢が可動体３３側の第２ストッパー３８に受け止められるように構成されている。
【００２７】
前記揺動体３６の先端に、昇降動シリンダー装置３９を介して前記吸着盤３１が設けられ、ここで吸着盤３１は真空吸着形式とされている。すなわち前記吸着盤３１は、揺動体３６が傾斜方向に沿った突出揺動姿勢でかつ昇降動シリンダー装置３９により下降動したときに、その下向きの吸着面３１ａが最上位のシリコンウエハーＡの上面に当接自在（作用自在）に構成されている。そして、吸着盤３１の上面側に槽部４０が形成されるとともに、吸着盤３１の複数箇所には、槽部４０を吸着面３１ａに開放する通気孔４１が形成されている。なお、槽部４０には吸引管４２が接続され、この吸引管４２は制御部を介して吸引装置（図示せず。）に接続されている。ここで制御部は、吸引状態と吸引開放状態とに切り換え自在に、かつ吸引力を調整自在に構成され、その際に吸引力は、シリコンウエハーＡ間の表面密着力よりも少し高く設定される。
【００２８】
したがって、昇降動シリンダー装置３９により下降動させた吸着盤３１の吸着面３１ａを最上位のシリコンウエハーＡの上面に当接させたとき、その前後に吸引管４２や槽部４０を介して通気孔４１群を吸引状態に制御していることで、吸着面３１ａに吸引力が作用して最上位のシリコンウエハーＡを吸着し得る。そして、出退動シリンダー装置３４を突出動させることで、吸着盤３１を介して最上位のシリコンウエハーＡを、２枚目のシリコンウエハーＡ上から規制体１９の上端面１９ｂ上へと滑らせながら送り装置２０の滑動上面２１ａ上に移載し得る。その際に、傾斜下方向に移動させて移載することで、吸着盤３１の吸引力をシリコンウエハーＡ間の表面密着力よりも少し高く設定するだけで、最上位のシリコンウエハーＡに過大な吸引力を作用させることなく２枚目のシリコンウエハーＡと表面分離し得る。また表面密着力などによって２枚目のシリコンウエハーＡが送り装置２０側へ移動しようとしたとき、その移動は規制体１９の内側面１９ａによって阻止し得る。
【００２９】
このようにして最上位のシリコンウエハーＡを送り装置２０の滑動上面２１ａ上に移載したのち、通気孔４１群を吸引開放状態に制御して吸着面３１ａによるシリコンウエハーＡの吸着を開放し、そして昇降動シリンダー装置３９により吸着盤３１を上昇動させる。次いで出退動シリンダー装置３４を退入動させることで、吸着盤３１を新たな（次の）最上位のシリコンウエハーＡの上方に位置し得、以て最初の状態に戻し得る。以上の３１〜４２などにより、移載装置３０の一例が構成される。
【００３０】
前記ローラコンベヤ装置５０は、搬送方向に配置したローラ群の少なくとも一部が搬送幅方向において分断されている。すなわち、傾斜枠体２側に連結されたコンベヤフレーム５１には、その上手部分に搬送幅方向の連動軸５２が回転自在に設けられ、この連動軸５２には左右一対のローラ５３Ａが外嵌固定されている。そして連動軸５２の下手側で任意な間隔を置いた複数箇所には、それぞれ搬送幅方向において分断された状態で搬送幅方向の分断軸５４が回転自在に設けられ、これら分断軸５４の内端部分にはそれぞれ分断ローラ５３Ｂが外嵌固定されている。これによりローラコンベヤ装置５０は、分断ローラ５３Ｂ間にシリコンウエハーＡの幅よりも狭い幅の落下用スペースＳが形成される。
【００３１】
前記連動軸５２や分断軸５４の外端部分には、それぞれ受動歯車５５が外嵌固定され、これら受動歯車５５に噛合される駆動歯車５６群が搬送方向に沿った伝動軸５７に外嵌固定されている。なお伝動軸５７は、前記コンベヤフレーム５１の外側に回転自在に設けられている。そして一方の伝動軸５７は、コンベヤフレーム５１側に設けられた回転駆動部５８に巻き掛け連動機構５９を介して連動連結されている。なおローラコンベヤ装置５０には、ローラ５３Ａや分断ローラ５３Ｂ群によって、前記送り装置２０の滑動上面２１ａに連続した傾斜搬送面５０ａが形成される。
【００３２】
したがってローラコンベヤ装置５０は、回転駆動部５８により巻き掛け連動機構５９を介して一方の伝動軸５７を駆動回転させることで、連動軸５２などを介して他方の伝動軸５７も駆動回転し得、以て駆動歯車５６群や受動歯車５５群を介してローラ５３Ａや分断ローラ５３Ｂ群を駆動回転し得る。これにより、送り装置２０の滑動上面２１ａを滑動してきたシリコンウエハーＡを傾斜搬送面５０ａで受け止めて搬送し得る。以上の５１〜５９などにより、ローラコンベヤ装置５０の一例が構成される。なおローラコンベヤ装置５０から前記送り装置２０に渡っての下方には、上面開放で箱状の落下物回収部６０が設けられ、この落下物回収部６０は傾斜枠体２側に連結されている。ここで落下物回収部６０には排液ホース（図示せず。）などが接続されている。
【００３３】
以下に、上記した実施の形態１における作用を説明する。
まず、保持装置１０の移載台１１上にシリコンウエハーＡ群をセットする。すなわち図２の仮想線に示すように、揺動体３６を横軸３５の周りに上方へ起立させて、第２ストッパー３８に受け止めさせた後退揺動姿勢とした状態で、移載台１１の積載面１１ａ上にシリコンウエハーＡ群を積み重ねて積載させる。そして図１の実線、図２の実線、図３、図４に示すように、揺動体３６を横軸３５の周りに下方へ揺動させて、第１ストッパー３７に受け止めさせた突出揺動姿勢とする。
【００３４】
この状態で分離供給作業に入る。すなわち、ピッチ送りモータ１８の送り作動により積載台１１を上昇させ、最上位のシリコンウエハーＡの下面が規制体１９の上端面１９ｂと同一状の所定レベルに達したことを検出して上昇を停止させる。
【００３５】
そして前述したように、図１の実線に示すように下降動（図１のイ）させた吸着盤３１の吸着面３１ａを最上位のシリコンウエハーＡの上面に当接させて吸着し、図１の仮想線に示すように吸着盤３１を送り装置２０上へ突出動（図１のロ）させてシリコンウエハーＡを送り装置２０の滑動上面２１ａ上に移載し、吸着面３１ａの吸着開放によりシリコンウエハーＡを分離して吸着盤３１のみを上昇動（図１のハ）させたのち、吸着盤３１を退入動（図１のニ）させて最上位のシリコンウエハーＡの上方に位置させる移載装置３０の作用と、ピッチ送りモータ１８のピッチ送り作動により積載台１１を上昇させることで、シリコンウエハーＡ群をシリコンウエハー厚さｔの分だけ間欠的に上昇させる保持装置１０の作用との組み合わせ動作によって、保持装置１０で保持しているシリコンウエハーＡ群のうち、最上位のシリコンウエハーＡから一枚ずつ分離して送り装置２０の滑動上面２１ａ上に移載し得る。
【００３６】
このようにして送り装置２０の滑動上面２１ａ上に移載したシリコンウエハーＡは、この滑動上面２１ａの上を傾斜角度θ（８度）に沿って下手側に滑動して行くが、このとき傾斜角度θ（８度）の滑動上面２１ａの上を水Ｗが下手側に流れていることで、この安定した速度の水Ｗによる薄い層に支持された状態で滑動して行くことになり、以て滑動上面２１ａに直接に摺接（接触）することもなく、常に衝撃を少なくして安定して滑動することになり、しかも水Ｗの使用によって全体を容易にかつ安価に構成し得る。
【００３７】
このように、積み重ねられているシリコンウエハーＡ群からのシリコンウエハーＡの分離供給を、常に衝撃を少なくして安定して行うことができる。したがって、薄くかつ割れ易いシリコンウエハーＡであっても容易に取り扱うことができ、さらにシリコンウエハーＡが、液に濡れて密着して積み重ねられているときでも、その分離（剥離）のための吸着力を低く抑えることができる。なお、滑動上面２１ａの上を下手側に流れていった水Ｗは、その下手端から落下物回収部６０に落下することになる。
【００３８】
そして送り装置２０の滑動上面２１ａを滑動してきたシリコンウエハーａを、ローラコンベヤ装置５０のローラ５３Ａや分断ローラ５３Ｂにより受け止め、すなわち傾斜搬送面５０ａにより受け止めて、次の工程へと搬送できる。その際に、シリコンウエハーＡ群を積み重ねて取り扱う際の衝撃などによって一部のシリコンウエハーＡが割れていたとき、この割れているシリコンウエハーＡは、分断ローラ５３Ｂ群による支持が行えなくて落下物回収部６０に落下することになる。すなわち、シリコンウエハーＡが左右分割状に割れていたとき、この左右分割物は、左右の分断ローラ５３Ｂ間の落下用スペースＳを通って落下物回収部６０に落下することになる。また、シリコンウエハーＡが前後分割状に割れていたとき、この前後分割物は、前後の分断ローラ５３Ｂ間である前後のローラピッチ間を通って落下物回収部６０に落下することになる。これにより、破損しているシリコンウエハーＡが次の工程へと搬送されることを、自動的に未然に防止できる。
【００３９】
なお次の工程としては、シリコンウエハーＡを処理槽で液処理する液処理工程や、ローラコンベヤ装置５０からのシリコンウエハーＡを上下間隔を取りながらケースに詰め込む積み込み工程や、シリコンウエハーＡを加工処理する加工工程などがある。
【００４０】
上記した実施の形態１では、板状ワークとして太陽電池のシリコンウエハーＡを使用した形式が示されているが、これは種々な板状物を使用する形式などであってもよい。
上記した実施の形態１では、傾斜角度θを８度とした形式が示されているが、これは板状ワークの種類、厚さ、重量などに対応して、傾斜角度θを５〜１０度とした形式、５度以下とした形式、１０度以上とした形式などであってもよい。
【００４１】
上記した実施の形態１では、液体として水Ｗを使用した形式が示されているが、これは液体として各種の洗浄液や処理液を使用した形式などであってもよい。
上記した実施の形態１では、送り装置２０の下端側に隣接してローラコンベヤ装置５０を設けた形式が示されているが、これはベルトコンベヤ装置を設けた形式などであってもよい。
【００４２】
上記した実施の形態１では、送り装置２０の下端側に隣接してローラコンベヤ装置５０を設けた形式が示されているが、これは送り装置２０からのシリコンウエハー（板状ワーク）Ａを他の装置に直接に移す形式などであってもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１        設備本体
２        傾斜枠体
１０      保持装置
１１      積載台
１１ａ    積載面
１５      ナット体
１６      螺子体
１８      ピッチ送りモータ
１９      規制体
１９ａ    内側面
１９ｂ    上端面
２０      送り装置
２１      滑り台板
２１ａ    滑動上面
２１ｂ    幅ガイド面
２３      送液孔
２４      送液管
３０      移載装置
３１      吸着盤
３１ａ    吸着面
３３      可動体
３４      出退動シリンダー装置
３６      揺動体
３９      昇降動シリンダー装置
４１      通気孔
５０      ローラコンベヤ装置
５０ａ    傾斜搬送面
５２      連動軸
５３Ａ    ローラ
５３Ｂ    分断ローラ
５７      伝動軸
５８      回転駆動部
６０      落下物回収部
Ａ        シリコンウエハー（板状ワーク）
ｔ        シリコンウエハー厚さ（ワーク厚さ）
θ        傾斜角度
Ｗ        水（液体）
Ｓ        落下用スペース
【図１】
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【図２】
2010265082.tif 000004
【図３】
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【図４】
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