(57)【要約】【課題】接続流路の長さの確保とヘッドの小型化とを両立する。【解決手段】複数の圧力室３３が共通液室３１の延在方向の直交方向に分かれて２列配置され、一方の列３６をなす圧力室３３と他方の列３７をなす圧力室３３とが千鳥状に配列され、複数の接続流路３２のうち一方の列３６をなす圧力室３３に対応する第１接続流路３８が、平面視で他方の列３７をなす圧力室３３の相互間を上記直交方向に平行に形成され、共通液室３１の平面視外形線から外側の領域まで延びて共通液室３１と連通し、他方の列３７をなす圧力室３３に対応する第２接続流路３９が、平面視で一方の列３６をなす圧力室３３の相互間を上記直交方向に平行に形成され、共通液室３１の平面視外形線から外側の領域まで延びて共通液室３１と連通しており、複数の第１接続流路３８と複数の第２接続流路３９とが上記延在方向に関して交互に配置される。【選択図】図４
2010036449.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する複数のノズルの夫々に対応して設けられた複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の夫々に共通に分配される液体が供給される共通液室と、
前記共通液室を前記圧力室に連通させて液体を前記圧力室に供給すべく、前記複数の圧力室の夫々に対応して設けられた複数の接続流路と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記共通液室が一方向に延在して設けられ、
前記複数の圧力室が、前記共通液室の前記一方向に直交する方向の一方側と他方側とに分かれて２列配置され、その一方の列をなす前記圧力室と他方の列をなす前記圧力室とが千鳥状に配列され、
前記複数の接続流路が、一方の列をなす前記圧力室に対応する複数の第１接続流路と、他方の列をなす前記圧力室に対応する複数の第２接続流路とを含み、
前記複数の第１接続流路の夫々は、前記一方の列をなす圧力室から平面視で前記他方の列をなす複数の前記圧力室の間を前記直交方向に平行に形成され、前記共通液室の平面視外形線の前記他端側から外側の領域まで延びて前記共通液室と連通し、
前記複数の第２接続流路の夫々は、前記他方の列をなす圧力室から平面視で前記一方の列をなす複数の前記圧力室の間を前記直交方向に平行に形成され、前記共通液室の平面視外形線の前記一端側から外側の領域まで延びて前記共通液室と連通し、
前記複数の第１接続流路と前記複数の第２接続流路とが前記一方向に関して交互に配置されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１接続流路及び前記第２接続流路のうちの少なくとも一方が、前記共通液室の鉛直方向上端部に連通していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の第１接続流路は夫々、前記共通液室の前記一端側に開口する流入口を有し、
前記第１接続流路の前記流入口が夫々、隣り合う前記流入口と高さ位置が異なることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の第２接続流路は夫々、前記共通液室の前記他端側に開口する流入口を有し、
前記第２接続流路の前記流入口が夫々、隣り合う前記流入口と高さ位置が異なることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記共通液室を構成するためのマニホールド孔を有するマニホールド層と、
前記圧力室を構成するための圧力室孔を有する圧力室層と、
前記マニホールド層と前記圧力室層との間に介在し、前記接続流路を構成するための孔及び／又は溝を有する接続流路層とを有し、
前記接続流路の上流端部が、前記マニホールド層を構成するプレート部材のうち前記接続流路層が配置される側の面がハーフエッチングされて形成される溝により、構成されており、
前記溝の一端が前記マニホールド孔に繋がり、前記溝の他端が前記接続流路層の前記溝及び／又は孔の一つに連通していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドなど、液体を噴射する複数のノズルを有した液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、ノズルに連通するインク流路を有した流路ユニットと、流路ユニットに積層されるアクチュエータとを備えている。このインク流路は、インク供給源からのインクが供給される共通インク室と、複数のノズルに対応して設けられた複数の圧力室と、共通インク室内のインクを各圧力室に供給すべく各圧力室に個別に設けられた複数の接続流路とを有している。アクチュエータは、圧力室内のインクに圧力波を作用させるよう構成され、これにより圧力室内のインクがノズルより吐出される。
【０００３】
特許文献１には、解像度の向上のため、単一の共通インク室に対し、複数の圧力室及び複数のノズルを共通インク室の延在方向と直交方向に２列に分けて配列したインクジェットヘッドが開示されている。２つのノズル列をなすノズル群の解像度を向上させるため、各ノズル列をなすノズルが千鳥状に配列され、各圧力室列をなす圧力室も同様にして千鳥状に配列されている。一方の列をなす圧力室に対応して設けられた接続流路は、平面視において、他方の列をなす圧力室の相互間を共通インク室の延在方向の直交方向に延びるよう配置されている。
【０００４】
また、解像度の向上にはノズル径を小さくしてインク滴を小さくすることも有効であるため、結果としてノズルの流路抵抗は大きくなりがちである。他方、圧力室内のインクに作用した圧力波をノズル側に伝播させて所望量のインクを吐出させるためには、圧力室の上流側である接続流路にもノズルと同じ程度の流路抵抗を設定しておくことが望ましい。このため、一般に流路ユニットは、接続流路の一部が流路断面積の小さい絞り流路を形成するよう構成されている。
【０００５】
特許文献２には、接続流路に大きな流路抵抗を設定するため、平面視において、共通インク室の延在方向に対して傾斜するよう配置された接続流路が開示されている。これにより、接続流路の絞り流路を長くすることができるため、ノズルの径を小さくしても、圧力室内のインクに圧力波を作用させた際に適正にノズルからインクが吐出されるようになってインク流路内のインクが安定して流通するようになる。
【特許文献１】特開２００８−３７０９９号公報
【特許文献２】特開２００３−３２０６６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示す構成によれば、ノズルの高密度化を実現可能である一方、接続流路の長さを大きく確保することが困難であるため、接続流路にノズルと同じ程度の流路抵抗を設定することが難しい。
【０００７】
特許文献２に示す構成によれば、接続流路を傾斜して配置したために、共通インク室に対して圧力室列を共通インク室の延在方向に偏位して配置する必要が生じる。このため、流路ユニットが共通インク室の延在方向であって圧力室列の配列方向に大型化し、インクジェットヘッド全体が大型化するおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明は、接続流路の長さを確保することと、ヘッドの小型化とを両立することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上述のような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルの夫々に対応して設けられた複数の圧力室と、前記複数の圧力室の夫々に共通に分配される液体が供給される共通液室と、前記共通液室を前記圧力室に連通させて液体を前記圧力室に供給すべく、前記複数の圧力室の夫々に対応して設けられた複数の接続流路と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記共通液室が一方向に延在して設けられ、前記複数の圧力室が、前記共通液室の前記一方向に直交する方向の一方側と他方側とに分かれて２列配置され、その一方の列をなす前記圧力室と他方の列をなす前記圧力室とが千鳥状に配列され、前記複数の接続流路が、一方の列をなす前記圧力室に対応する複数の第１接続流路と、他方の列をなす前記圧力室に対応する複数の第２接続流路とを含み、前記複数の第１接続流路の夫々は、前記一方の列をなす圧力室から平面視で前記他方の列をなす複数の前記圧力室の間を前記直交方向に平行に形成され、前記共通液室の平面視外形線の前記他端側から外側の領域まで延びて前記共通液室と連通し、前記複数の第２接続流路の夫々は、前記他方の列をなす圧力室から平面視で前記一方の列をなす複数の前記圧力室の間を前記直交方向に平行に形成され、前記共通液室の平面視外形線の前記一端側から外側の領域まで延びて前記共通液室と連通し、前記複数の第１接続流路と前記複数の第２接続流路とが前記一方向に関して交互に配置されることを特徴としている。
【００１０】
このような構成とすることにより、接続流路が共通液室の延在方向の直交方向に延びるよう配置されるため、インクジェットヘッドを小型化することができる。また、接続流路のうち共通液室と連通する側が、平面視において共通インク室の平面視輪郭線に対して外側に配置されるため、接続流路を長くすることができる。従って、接続流路の流路抵抗を所望する値に設定し易くなり、以ってインクの流通を安定させることができる。
【００１１】
前記第１接続流路及び前記第２接続流路のうちの少なくとも一方が、前記共通液室の鉛直方向上端部に連通していてもよい。なお、共通液室内には液体とともにエアが侵入する場合があり、侵入したエアは気泡となって共通液室内において鉛直方向の上側に溜まり易いという事情がある。上記の構成によれば、このような気泡が接続流路へと導かれ易くなるため、共通液室内に侵入したエアをノズルから外部に排出し易くなる。
【００１２】
前記複数の第１接続流路は夫々、前記共通液室の前記一端側に開口する流入口を有し、前記第１接続流路の前記流入口が夫々、隣り合う前記流入口と高さ位置が異なっていてもよい。同様に、前記複数の第２接続流路は夫々、前記共通液室の前記他端側に開口する流入口を有し、前記第２接続流路の前記流入口が夫々、隣り合う前記流入口と高さ位置が異なっていてもよい。このような構成とすることにより、流入口が高さ位置を揃えて配置されている場合と比べ、隣り合う接続流路の流入口間の距離を長くすることができる。このため、ある接続流路を介して共通液室内に伝播した圧力波の後退成分が隣の接続流路へ伝播する所謂列内クロストーク現象を抑制することができるようになる。
【００１３】
前記共通液室を構成するためのマニホールド孔を有するマニホールド層と、前記圧力室を構成するための圧力室孔を有する圧力室層と、前記マニホールド層と前記圧力室層との間に介在し、前記接続流路を構成するための孔及び／又は溝を有する接続流路層とを有し、前記接続流路の上流部が、前記マニホールド層を構成するプレート部材のうち前記接続流路層が配置される側の面をハーフエッチングしてなる溝によって構成されており、前記溝の一端が前記マニホールド孔に繋がり、前記溝の他端が前記接続流路層の前記溝及び／又は孔の一つに連通していてもよい。このような構成とすることにより、接続流路の上流部の流路抵抗を増やすことができ、液体の流れを安定させることができる。また、マニホールド層に接続流路層を積層するだけで接続流路を構成することができるため、接続流路を構成するための貫通孔をマニホールド層に形成する必要がなくなる。このため、マニホールド層を容易に形成することができるようになる。
【発明の効果】
【００１４】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、小型化に資する液体吐出ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明に係る液体吐出ヘッドの実施形態として例示するインクジェットヘッドを説明する。なお、このインクジェットヘッドのノズルよりインクが吐出する方向を「下方」、その反対側を「上方」として説明する。
【００１６】
図１は本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド１を示す分解斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、複数枚のプレートが積層された流路ユニット２と、流路ユニット２に対して上側から重ねて接着される圧電式のアクチュエータ３とを備えている。アクチュエータ３の上面には表面電極５が形成されており、外部機器との電気的接続を行うためのフレキシブルフラットケーブル４が上側から重ねて接合される。このフレキシブルフラットケーブル４の下面には端子（図示せず）が露出しており、接合時にこの端子がアクチュエータ３の表面電極５に電気的に導通される。
【００１７】
流路ユニット２及びアクチュエータ３はそれぞれ平面視で略矩形状に形成されており、以下の説明では便宜上、この略矩形を規定する長辺が延在する方向を「Ｘ方向」、短辺が延在する方向であってＸ方向に直交する方向を「Ｙ方向」としている。このＸ及びＹ方向はインクの吐出方向に対して直交する平面（ここでは水平面）を規定する。また、Ｘ方向に関して図１の左下側を「一方側」、右上側を「他方側」としており、Ｙ方向に関して図１の左上側を「一方側」、右下側を「他方側」としている。
【００１８】
流路ユニット２の上面には４個のインク流入口６が形成されている。各インク流入口６は、流路ユニット２のＸ方向一方側に配置されてＹ方向に互いに間隔をおいて並んでいる。各インク流入口６はインク供給経路（図示せず）を介してインクタンク（図示せず）に接続されており、各インクタンク内のインクが対応するインク流入口６に供給されるようになっている。流路ユニット２の上面には各インク流入口６を覆うようにしてフィルタ７が設けられており、このフィルタ７で濾過されたインクが各インク流入口６を通過する。
【００１９】
各インク流入口６は、流路ユニット２に形成されるインク流路３０（図２乃至図５参照）を介し、流路ユニット２の下面に開口するノズル３５（図２乃至図５参照）に連通している。Ｙ方向他方側の端部に配置されたインク流入口６には２系統のインク流路が連通し、他のインク流入口６の各々には１系統のインク流路が連通している。つまり、流路ユニット２には互いに独立した５系統のインク流路が形成されている。
【００２０】
また、流路ユニット２の上面には多数の圧力室孔８が形成されている。各圧力室孔８は、Ｙ方向が長手方向となる矩形状に形成されており、アクチュエータ３の下面で塞がれることによってインク流路３０（図２乃至図５参照）の一部である圧力室３３（図２乃至図５参照）を構成する。
【００２１】
これら多数の圧力室孔８はＸ方向に配列された複数の圧力室孔群９を形成している。これら圧力室孔群９はインク流路３０（図２乃至図５参照）の系統１つずつに対して設けられ、本実施形態においては５つの圧力室孔群９が設けられている。
【００２２】
より詳しくは、各圧力室孔群９は、複数の圧力室孔８がＸ方向に等間隔をおいて配列されてなる第１圧力室孔列１０と、この第１圧力室孔列１０に対してＹ方向他方側に近接して設けられ、複数の圧力室孔８がＸ方向に等間隔をおいて配列されてなる第２圧力室孔列１１とを有している。第１圧力室孔列１０を構成する圧力室孔８と、第２圧力室孔列１１を構成する圧力室孔８とは千鳥状に配列されている。そして、隣接する２つの圧力室孔群９，９に着目すると、２つのうちＹ方向一方側に位置する圧力室孔群９の第２圧力室孔列１１と、Ｙ方向他方側に位置する圧力室孔群９の第１圧力室孔列１０とが近接して設けられている。これら第２圧力室孔列１１を構成する圧力室孔８と、第１圧力室孔列１０を構成する圧力室孔８とは千鳥状に配列されている。
【００２３】
この「千鳥状に配列する」とは、一方の圧力室孔列を構成する圧力室孔のうちＸ方向に隣り合う２つの圧力室孔の各中心線Ａ１，Ａ１の間に、他方の圧力室孔列を構成する圧力室孔の中心線Ａ２を配置することをいう。この「中心線」とは、各圧力室孔列１０，１１の配列方向であるＸ方向についての圧力室孔８の中心線である。また、本実施形態では、バランスよく千鳥状に配列するため、上記各中心線Ａ１，Ａ１の間の中心線Ａ１′を上記中心線Ａ２と一致させるようにして各圧力室孔列１０，１１が配列されている。
【００２４】
図２は図１に示すインクジェットヘッド１を組み付けた状態としてII−II線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１の部分断面図、図３は同様にしてIII−III線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１の部分断面図である。図２には第１圧力室孔列１０をなす圧力室孔８の縦断面形状が示され、図３には第２圧力室孔列１１をなす圧力室孔８の縦断面形状が示されている。
【００２５】
図２及び図３に示すように、インクジェットヘッド１の流路ユニット２は、上から順に圧力室プレート２１、第１接続流路プレート２２、第２接続流路プレート２３、第１マニホールドプレート２４、第２マニホールドプレート２５、ダンパープレート２６、カバープレート２７、及びノズルプレート２８が積層接着された構成となっている。ノズルプレート２８はポリイミド等の樹脂シートであり、それ以外の各プレート２１〜２７は４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）やステンレス等の金属板であり、各々５０〜１５０μｍ程度の肉厚を有している。
【００２６】
各プレート２１〜２８には、電解エッチング、レーザ加工、プラズマジェット加工等によって開口や凹部が形成されている。各プレート２１〜２８が積層されるとこれら開口や凹部が互いに連通し、流路ユニット２には上面に形成されるインク流入口６（図１参照）と下面に開口するノズル３５とを接続するインク流路３０が形成される。インク流入口６は最上層の圧力室プレート２１に形成され（図１参照）、ノズル３５は最下層のノズルプレート２８に形成されている（図２，図３参照）。
【００２７】
インク流路３０は、上流側から順にインク導入流路（図示せず）、共通インク室３１、接続流路３２、圧力室３３、及びディセンダ３４を有している。なお、図示しないインク導入流路は第１及び第２接続流路プレート２２，２３を貫通して形成された図示しない貫通孔により構成されており、該貫通孔は圧力室プレート２１に形成されたインク流入口６（図１参照）の直下に配置され、共通インク室３１に連通されている。
【００２８】
圧力室３３は、圧力室プレート２１に貫通形成された圧力室孔８の上下開口がアクチュエータ３の下面と第１接続流路プレート２２の上面とでそれぞれ閉鎖されることによって構成されている。なお、アクチュエータ３は、その外形形状が流路ユニットよりも小さく、圧力室プレート２１上のインク流入口６を露出した状態で流路ユニット上に配置されている。
【００２９】
図４は図２，図３に示すIV−IV線に沿って示す流路ユニット２の部分平面図であってインク流路３０を構成する流路を平面視で投影した図である。図４に示すように、第１圧力室孔列１０をなす各圧力室孔８により構成される複数の圧力室３３は、Ｘ方向に配列された第１圧力室列３６をなし、第２圧力室孔列１１をなす各圧力室孔８により構成される複数の圧力室３３は、Ｘ方向に配列された第２圧力室列３７をなしている。このように圧力室３３は圧力室孔８により構成されることから、これら圧力室孔８と同様にして配列されており、第１圧力室列３６をなす複数の圧力室３３と第２圧力室列３７をなす複数の圧力室３３とは千鳥状に配列されている。
【００３０】
図２，図３に示すように、共通インク室３１は、第１及び第２マニホールドプレート２４，２５にそれぞれ貫通形成されて互いに上下に連通する第１及び第２マニホールド孔２４ａ，２５ａの上下開口が第２接続流路プレート２３の下面とダンパープレート２６の上面とでそれぞれ閉鎖されることによって構成されており、共通インク室３１の底壁はダンパープレート２６により構成されている。このダンパープレート２６の下面側は、マニホールド孔２５ａの下側開口と上下に対応する箇所においてハーフエッチング加工され、これによりダンパープレート２６には下面に開口する非貫通の凹部２６ａが形成されている。この凹部２６ａの下側開口がカバープレート２７の上面で閉鎖されることにより、共通インク室３１の底壁は上下に弾性変形可能なダンパー壁２６ｂとして機能する。
【００３１】
図４を参照すると、共通インク室３１（すなわち第１及び第２マニホールド孔２４ａ，２５ａ）は、圧力室列３６，３７（すなわち圧力室孔列１０，１１）が配列されるＸ方向に延在している。共通インク室３１のＸ方向一方側の端部はインク流入口６（図１参照）の直下まで達しており、このＸ方向一方側の端部にはインク導入流路（図示せず）の下流端が連通している。また、共通インク室３１はインク流路３０の各系統につき１つずつ設けられ、互いにＹ方向に間隔をおいて配置されている。
【００３２】
また、平面視において共通インク室３１は、互いにＹ方向に近接した第１圧力室列３６と第２圧力室列３７との間に配置されている。より具体的には、共通インク室３１のＹ方向に関する中心線が、各圧力室列３６，３７間の中心線と一致するようにして共通インク室３１が配置されている（図４の一点鎖線Ａ３参照）。
【００３３】
また、第１圧力室列３６をなす圧力室３３のうち、共通インク室３１に近い側であるＹ方向他方側の端部が平面視で共通インク室３１に重なっており、第２圧力室列３７をなす圧力室３３のうち共通インク室３１に近い側であるＹ方向一方側の端部が平面視で共通インク室３１に重なっている。言い換えると、共通インク室３１はＹ方向に分かれて設けられた各圧力室列３６，３７に平面視で跨るようにして配置されている。
【００３４】
図２，図３に示すように、接続流路３２は、上下中間層をなす第１及び第２マニホールドプレート２４，２５に形成された第１及び第２マニホールド孔２４ａ，２５ａが構成する共通インク室３１と、最上層をなす圧力室プレート２１に形成された圧力室孔８が構成する圧力室３３との上下間を接続する流路である。
【００３５】
図４を参照すると、接続流路３２は各圧力室３３に個別に対応して設けられており、接続流路３２には、第１圧力室列３６をなす各圧力室３３に対応する複数の第１接続流路３８と、第２圧力室列３７をなす各圧力室３３に対応する複数の第２接続流路３９とが含まれている。これら接続流路３２は、共通インク室３１の延在方向であり圧力室３３の配列方向であるＸ方向に並んで形成され、同一の共通インク室３１に連通している。本実施形態では、各接続流路３２の上流端が共通インク室３１の側面に連通し、下流端が圧力室３３のＹ方向の端部であって共通インク室３１に近い側の端部に連通している。複数の第１接続流路３８は、第１圧力室列３６をなす複数の圧力室３３のＸ方向の配置間隔に応じて、互いにＸ方向に等間隔をおいて配列されている。同様に、複数の第２接続流路３９は、第２圧力室列３７をなす複数の圧力室３３のＸ方向の配置間隔に応じて、互いにＸ方向に等間隔をおいて配列されている。なお、接続流路３２の詳細構成については後述する。
【００３６】
ディセンダ３４は各圧力室３３に対応して設けられており、その上流端は、各圧力室３３のＹ方向の端部であって共通インク室３１から遠い側の端部に連通している。
【００３７】
図２，図３に示すように、ディセンダ３４は、第１接続流路プレート２２に形成された貫通孔２２ａ，第２接続流路プレート２３に形成された貫通孔２３ａ、第１マニホールドプレート２４に形成された貫通孔２４ｂ、第２マニホールドプレート２５に形成された貫通孔２５ｂ、ダンパープレート２６に形成された貫通孔２６ｃ、及びカバープレート２７に形成された貫通孔２７ａが互いに上下に連通することによって構成されている。カバープレート２７の貫通孔２７ａは、ノズルプレート２８に貫通形成されたノズル３５に連通している。つまり、ノズル３５は各圧力室３３に対応して設けられ、これら複数のノズル３５は圧力室３３と同様にして千鳥状に配列されている（図４参照）。
【００３８】
この流路ユニット２によると、各インク流入口６（図１参照）を通過したインクは、対応するインク流路３０を介して複数のノズル３５に送られる。つまり、インク流入口６からのインクは、まずインク導入流路（図示せず）を介して共通インク室３１に流入し、共通インク室３１内のインクは、各接続流路３２を介して２列の圧力室列３６，３７をなす複数の圧力室３３に分配供給される。各圧力室３３内のインクは、各ディセンダ３４を介して対応する各ノズル３５に供給される。
【００３９】
図２，図３に示すように、アクチュエータ３は、１枚の厚さが略３０μｍ程度のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる多数枚の圧電シート６１〜６６と、絶縁性を有するトップシート６７とが上下に積層接着された構成となっている。各圧電シート６１〜６６のうち下から数えて奇数番目の圧電シート６１，６３，６５の上面には、圧力室３３の全てに対応して連続配置された共通電極６８が印刷形成され、各圧電シート６１〜６６の下から数えて偶数番目の圧電シート６２，６４の上面には各圧力室３３に個別に対応して配置された複数の個別電極６９が印刷形成されている。共通電極６８は、圧電シート６１〜６６及びトップシート６７に設けられた中継配線（図示せず）を介して最上層のトップシート６７の上面に印刷形成された表面電極５（図１参照）のうちの共通用表面電極１２（図１参照）に電気的に導通されている。各個別電極６９も同様の中継配線（図示せず）を介して表面電極５（図１参照）のうち個別用表面電極１３（図１参照）に電気的に導通されている。図１を参照すると、共通用表面電極１２はトップシート６７の上面においてＸ方向一方側の端部をＹ方向に延在している。複数の個別用表面電極１３は圧力室孔８と同様にして千鳥状に配列されている。
【００４０】
上記構成のインクジェットヘッド１において、フレキシブルフラットケーブル４（図１参照）を介してアクチュエータ３の個別電極６９に選択的に電圧が印加されると、この個別電極６９と共通電極６８との間には電位差が生じ、これら電極６８，６９間に位置する圧電シート６１〜６６の活性部が分極方向（すなわち略積層方向）に歪み変形する。この活性部の変形により、電圧が印加された個別電極６９に対応する圧力室３３に圧力波が作用し、圧力が付与されたインクがディセンダ３４を通ってノズル３５より下方に噴射される。このとき圧力室３３に作用した圧力波には、ノズル３５へ向かう前進成分だけでなく接続流路３２を介して共通インク室３１へ向かう後退成分が含まれている。共通インク室３１に伝播した圧力波の後退成分はダンパー壁２６ｂの弾性変形により吸収され、圧力室３３で発生した圧力波の後退成分が共通インク室３１を介して他の圧力室３３に伝播する所謂クロストーク現象が防止される。一般にダンパー壁２６ｂの弾性変形による圧力波の吸収性能はダンパー壁２６ｂの幅（Ｙ方向寸法）の５乗に比例する。このインクジェットヘッド１においては、共通インク室３１及びダンパー壁２６ｂが平面視で２列の圧力室列３６，３７に跨るように配置されており、これら３１，２６ｂの平面視面積を可及的に大きくしている。このため、インクジェットヘッド１を高密度化しても圧力波の吸収性能を可及的に高くすることができる。なお、ここまで説明したインクジェットヘッド１の構成及び作用は、本発明に係る各実施形態に共通している。
【００４１】
次に、第１実施形態の接続流路３２について詳細に説明する。この説明の便宜上、図１，図４には、第１圧力室孔列１０をなす複数の圧力室孔８のうちＹ方向一方側から数えて奇数行目に配置された圧力室孔に符号１０ａを付記し、偶数行目に配置された圧力室孔に符号１０ｂを付記しており、第２圧力室孔列１１をなす複数の圧力室孔８のうちＹ方向一方側から数えて奇数行目に配置された圧力室孔に符号１１ａを付記し、偶数行目に配置された圧力室孔に符号１１ｂを付記している。そして、図４には、圧力室孔１０ａに対応する圧力室に符号３６ａを付記し、圧力室孔１０ｂに対応する圧力室に符号３６ｂを付記しており、圧力室孔１１ａに対応する圧力室に符号３７ａを付記し、圧力室孔１１ｂに対応する圧力室に符号３７ｂを付記している。図１の切断線II−II，III−IIIを参照すると、図２には圧力室３６ａ及びこれに連通する第１接続流路３８の縦断面形状が示され、図３には圧力室３７ａ及びこれに連通する第２接続流路３９の縦断面形状が示されている。
【００４２】
図２に示すように、第１接続流路３８は、共通インク室３１側から順に第１上流流路４０、第２上流流路４１、絞り流路４２、及び下流流路４３を有している。これら流路４０〜４３を構成するため、第１及び第２接続流路プレート２２，２３や第１マニホールドプレート２４には貫通孔２２ｃ，２３ｂや凹溝２２ｂ，２４ｃが形成されている。なお、第１接続流路３８を構成するために第２マニホールドプレート２５を加工する例については後述する。
【００４３】
第１マニホールドプレート２４の上面側はハーフエッチング加工され、これにより第１マニホールドプレート２４には上面に開口する非貫通の凹溝２４ｃが形成されている。凹溝２４ｃは第１マニホールド孔２４ａのＹ方向他方側の辺縁部からＹ方向他方側に向けて延在している。第１上流流路４０は、凹溝２４ｃの上側開口が第２接続流路プレート２３の下面で閉鎖されることによって構成されている。このように第１上流流路４０の上流端は共通インク室３１のＹ方向他方側であって上端部に連通しており、第１上流流路４０はこの上流端からＹ方向他方側に向けて延在している。この延在方向は、共通インク室３１に対し、接続されるべき圧力室３３が配置される側と反対側である。
【００４４】
第２接続流路プレート２３には、凹溝２４ｃの先端部に対応する箇所において貫通孔２３ｂが貫通形成されており、第１マニホールドプレート２４と第２接続流路プレート２３とが積層されると、この貫通孔２３ｂの下側開口が凹溝２４ｃの上側開口の先端部に連通する。このように第２上流流路４１は貫通孔２３ｂによって構成されて積層方向に延在しており、その上流端が第１上流流路４０の下流端に連通される。
【００４５】
第１接続流路プレート２２の下面側はハーフエッチング加工され、これにより第１接続流路プレート２２には下面に開口する非貫通の凹溝２２ｂが形成されている。この凹溝２２ｂは、Ｙ方向に関して、第２接続プレート２３の貫通孔２３ｂに対応する位置から圧力室３３のＹ方向の端部であって共通インク室３１に近い側（Ｙ方向一方側）の端部に対応する位置まで延在している。さらに、第１接続流路プレート２２には、凹溝２２ｂのＹ方向一方側の端部において上下に貫通する貫通孔２２ｃが形成されている。貫通孔２２ｃの形成は凹溝２２ｂの形成後に行われる。
【００４６】
絞り流路４２は、第１及び第２接続流路プレート２２，２３が積層されて凹溝２２ｂの下側開口が第２接続流路プレート２３の上面により閉鎖されることによって構成されている。このとき第２接続流路プレート２３の貫通孔２３ｂの上側開口が凹溝２２ｂの下側開口と連通する。このようにして第２上流流路４１の下流端が絞り流路４２の上流端に連通する。下流流路４３は、圧力室プレート２１と第１接続流路プレート２２が積層されて第１接続流路プレート２２の貫通孔２２ｃの上側開口が圧力室孔８の下側開口に連通することにより構成されている。このように下流流路４３は積層方向に延在しており、絞り流路４２の下流端を圧力室３３のＹ方向の端部であって共通インク室３１に近い側（Ｙ方向一方側）の端部に連通させる。
【００４７】
図３に示すように、第２接続流路３９も、第１接続流路３８と同様に、共通インク室３１側から順に第１上流流路４４、第２上流流路４５、絞り流路４６、及び下流流路４７を有している。これら流路４４〜４７を構成するため、第１及び第２接続流路プレート２２，２３や第１マニホールドプレート２４には貫通孔２２ｅ，２３ｃや凹溝２２ｄ，２４ｄが形成されている。
【００４８】
第１マニホールドプレート２４の凹溝２４ｄは、上面側をハーフエッチング加工することによって非貫通に形成されている。この凹溝２４ｄは第１マニホールド孔２４ａのＹ方向一方側の辺縁部からＹ方向一方側に向けて延在している。第１上流流路４４は、この凹溝２４ｄの上側開口が第２接続流路プレート２３の下面で閉鎖されることによって構成されている。このように第１上流流路４４の上流端は共通インク室３１のＹ方向一方側であって上端部に連通し、第１上流流路４４はこの上流端から、共通インク室３１に対して圧力室３３が配置されている側（Ｙ方向他方側）とは反対側に向けて延在している。
【００４９】
第２接続流路プレート２３の貫通孔２３ｃは凹溝２４ｄの先端部に対応する箇所に形成され、第１マニホールドプレート２４と第２接続流路プレート２３とが積層されると、この貫通孔２３ｃの下側開口が凹溝２４ｄの上側開口の先端部に連通する。このように第２上流流路４５は貫通孔２３ｃによって構成されて積層方向に延在し、その上流端が第１上流流路４４の下流端に連通される。
【００５０】
第１接続流路プレート２２の凹溝２２ｄは、下面側をハーフエッチング加工することによって非貫通に形成されている。この凹溝２２ｄは、Ｙ方向に関し、第２接続プレート２３の貫通孔２３ｃに対応する位置から圧力室３３のＹ方向の端部であって共通インク室３１に近い側（Ｙ方向他方側）の端部に対応する位置まで延在している。さらに、第１接続流路プレート２２には、凹溝２２ｄのＹ方向他方側の端部において上下に貫通する貫通孔２２ｅが形成されている。
【００５１】
絞り流路４６は、第１及び第２接続流路プレート２２，２３が積層されて凹溝２２ｄの下側開口が第２接続流路プレート２３の上面により閉鎖されることによって構成されている。このとき第２接続流路プレート２３の貫通孔２３ｃの上側開口が凹溝２２ｄの下側開口と連通する。このようにして第２上流流路４５の下流端が絞り流路４６の上流端に連通する。下流流路４７は、圧力室プレート２１と第１接続流路プレート２２が積層されて第１接続流路プレート２２の貫通孔２２ｅの上側開口が圧力室孔８の下側開口に連通することにより構成されている。このように下流流路４７は積層方向に延在しており、絞り流路４６の下流端を圧力室３３のＹ方向の端部であって共通インク室３１に近い側（Ｙ方向他方側）の端部に連通させる。
【００５２】
このように第１及び第２接続流路３８，３９はいずれも、凹溝２２ｄにより構成された流路抵抗の大きい（流路断面積の小さい）絞り流路４２，４６を有している。このため、圧力室３３に作用した圧力波の後退成分が第１及び第２接続流路３８，３９を通る過程で減衰されるようになる。
【００５３】
図４を参照すると、平面視において第１接続流路３８は、第２圧力室列３７をなす圧力室３３同士の間のスペースにて、これら圧力室３３の配列方向に直交する方向であるＹ方向に延在している。同様に、第２接続流路３９は、第１圧力室列２６をなす圧力室３３同士の間のスペースにて、これら圧力室３３の配列方向に直交する方向であるＹ方向に延在している。第１圧力室列３６をなす圧力室３３と第２圧力室列３７をなす圧力室３３とは千鳥状に配列されているため、第１接続流路３８と第２接続流路３９とはＸ方向に交互に配置される。なお、この配置間隔Ｄは、第１圧力室列３６をなす圧力室３３の中心線Ａ１と、第２圧力室列３７をなす圧力室３３の中心線Ａ２との間の距離に等しい。
【００５４】
このように第１及び第２接続流路３８，３９が共通インク室３１の延在する方向に直交する方向に配置されることにより、流路ユニット２を共通インク室３１の延在方向に関して小型化することができる。
【００５５】
その上で、第１接続流路３８の絞り流路４２に対して上流部分をなす第１及び第２上流流路４０，４１が、共通インク室３１の平面視輪郭線に対して外側に配置されている。しかも、絞り流路４２が延在するＹ方向に関し、接続されるべき圧力室３３が配置される側と反対側に配置されている。このため、絞り流路４２に対して上流部分をなす流路が共通インク室３１の平面視輪郭線の内側に配置されている場合と比べ、絞り流路４２を長くすることができる。これにより、流路ユニットが小型化されているとともに、接続流路３２に必要な流路抵抗を容易に確保することができる。
【００５６】
また、共通インク室３１には、インク流入口６（図１参照）側からインクとともにエアが侵入することがあり、侵入したエアは鉛直上側に溜まりやすい。一般にインクジェットプリンタはノズル３５側からインク流路３０に負圧を印加するパージ装置を備えており、このパージ装置によりインク流路３０内に侵入したエアをインクと共に強制的に排出可能になっている。図２及び図３を参照すると、第１及び第２接続流路３８，３９は、その上流部分をなす第１上流流路４０，４５において、エアが溜まりやすい共通インク室３１の上端部に連通している。このため、ノズル３５側から負圧が印加された際に共通インク室３１に侵入したエアが接続流路３２に導かれ易くなり、エアがより確実に排出されるようになる。
【００５７】
なお、図４では、第１上流流路４０，４５の幅（Ｘ方向寸法）が絞り流路４２，４６の幅よりも大きく示されているが、両者の幅は互いに等しくてもよいし、絞り流路４２，４６の幅の方が大きくてもよい。
【００５８】
次に、第１接続流路３８についてさらに詳細に説明する。この説明の便宜上、図４には、これら複数の第１接続流路３８のうち奇数行目の圧力室３６ａに接続された流路に符号３８ａを付記し（図２も参照）、偶数行目の圧力室３６ｂに接続された流路に符号３８ｂを付記している（図５も参照）。図５は図１に示すインクジェットヘッド１を組み付けた状態にしてV−V線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１の部分断面図である。図１の切断線II−II，V−Vを参照すると、図２には、第１接続流路３８ａの縦断面形状が示され、図５には圧力室３６ｂ及びそれに接続される第１接続流路３８ｂの縦断面形状が示されている。
【００５９】
図５に示す第１接続流路３８ｂは、図２に示す第１接続流路３８ａと同様に、第１上流流路４０、第２上流流路４１、絞り流路４２、及び下流流路４３を有している。図２と図５を比べると、各第１接続流路３８ａ，３８ｂの絞り流路４２及び下流流路４３の構成は互いに同一であるが、その第１上流流路４０及び第２上流流路４１の構成は相違している。このため、第１接続流路３８ａに係る第１上流流路に符号４０ａを付記し、第２上流流路に符号４１ａを付記しており、第２接続流路３８ｂに係る第１上流流路に符号４０ｂを付記し、第２上流流路に符号４１ｂを付記している。第１上流流路４０ａ及び第２上流流路４０ｂの構成と、絞り流路４２及び下流流路４３の構成とについては既に説明しているため、重複説明を省略する。
【００６０】
図５に示すように、第２マニホールドプレート２５の上面側はハーフエッチング加工され、これにより第２マニホールドプレート２５には上面に開口する非貫通の凹溝２５ｃが形成されている。凹溝２５ｃは第１マニホールド孔２５ａのＹ方向他方側の辺縁部からＹ方向他方側に向けて延在している。第１上流流路４０ｂは、凹溝２５ｃの上側開口が第２接続流路プレート２３の下面で閉鎖されることによって構成されている。このように第１上流流路４０ｂの上流端は共通インク室３１のＹ方向他方側であって上端部に連通しており、第１上流流路４０はこの上流端からＹ方向他方側に向けて延在している。この延在方向は、共通インク室３１に対し、接続されるべき圧力室３３が配置される側と反対側である。
【００６１】
第１マニホールドプレート２４には、凹溝２５ｃの先端部に対応する箇所において貫通孔２４ｅが貫通形成されており、第２接続流路プレート２３には、この貫通孔２４ｅに対応する箇所において貫通孔２３ｄが貫通形成されている。第２接続流路プレート２３、第１及び第２マニホールドプレート２４，２５が積層されると、貫通孔２４ｅ，２３ｄが互いに連通するとともに、貫通孔２４ｅの下側開口が凹溝２４ｃの上側開口の先端部に連通すると共に、貫通孔２４ｅの上側開口が貫通孔２３ｄの下側開口に連通する。このように第２上流流路４１ｂは貫通孔２４ｅ，２３ｄによって構成されて積層方向に延在しており、その上流端が第１上流流路４０の下流端に連通される。そして、第１及び第２接続流路プレート２２，２３が積層されると、貫通孔２３ｄの上側開口が第１接続流路プレートの凹溝２２ｂの下側開口の端部に連通する。これにより、第２上流流路４１ｂの下流端が絞り流路４２の上流端に連通する。
【００６２】
このように、偶数行目の圧力室３６ｂに接続される第１接続流路３８ｂは、奇数行目の圧力室３６ａに接続される第１接続流路３８ａに対し、積層方向に関して第１上流流路４０ｂが形成される位置が相違しており、これにより第２上流流路４０ｂの長さが相違している。他方、図４を参照すると、平面視に投影して示される第１接続流路３８ｂの形状は、第１接続流路３８ｂの形状と同じとなっている。
【００６３】
図６は図２及び図５のVI−VI線に沿って切断して示す流路ユニット２の部分断面図である。図６を参照すると、共通インク室３１の深さ方向を規定する側面の一つであるＹ方向他方側の内側面には、奇数行目の圧力室３６ａに接続される第１接続流路３８ａの第１上流流路４０ａの開口４８と、偶数行目の圧力室３６ｂに接続される第１接続流路３８ｂの第２上流流路４１ｂの開口４９とがＸ方向に交互に配置される。その上で、開口４８は上側に配される第１マニホールドプレート２４に形成され、開口４９は下側に配される第２マニホールドプレート２５に形成されており、開口４８の形成される位置と、開口４９の形成される位置とが共通インク室３１の深さ方向（すなわち積層方向）に相違している。つまり、第１接続流路３８の開口４８，４９は、共通インク室３１の延在方向であるＸ方向、及び共通インク室３１の深さ方向である上下方向に関して千鳥状に配列されている。
【００６４】
図６には隣り合う開口４８，４９の中心間距離がＬで表されている。また、図６には、二点鎖線で開口４９と深さ方向に関して同じ位置に配置された開口４８′が示されており、この開口４８′の中心と開口４９の中心との間の距離がＬ′で表されている。本実施形態の距離Ｌは、距離Ｌ′に比べて長くなっている。このように、開口４８，４９を千鳥状に配列して隣接する開口４８，４９の相互間距離を可及的に長くすることにより、共通インク室３１に伝播した圧力波の後退成分が隣接する開口を介して他の圧力室３３に伝播する可能性が低減される。従って、所謂クロストーク現象の抑制効果が向上する。
【００６５】
なお、奇数行目の圧力室３６ａに対応する第１接続流路３８ａの開口を上側に配置し、偶数行目の圧力室３６ｂに対応する第１接続流路３８ｂの開口を下側に配置するとしたが、これは逆でもよい。また、このように接続流路の開口を千鳥状に配列する構成は、第２接続流路３９においても同様にして適用することができる。
【００６６】
［第２実施形態］
図７及び図８は本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッド１０１の部分断面図である。図７には、接続流路１３２のうち、Ｙ方向一方側に配列された第１圧力室列の奇数行目の圧力室３３（３６ａ）に接続される第１接続流路１３８ａの縦断面形状が示され、図８には、接続流路１３２のうち、Ｙ方向一方側に配列された第１圧力室列の偶数行目の圧力室３３（３６ｂ）に接続される第１接続流路１３８ｂの縦断面形状が示されている。本実施形態は、第１実施形態に対し、各第１接続流路１３８（１３８ａ，１３８ｂ）の第１上流流路１４０（１４０ａ，１４０ｂ）が相違している。以下、第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６７】
図７に示すように、流路ユニット１０２のインク流路１３０の一部をなす第１接続流路１３８ａは、第１上流流路１４０ａと、第１実施形態と同一の第２上流流路４１ａ、絞り流路４２及び下流流路４３とを有している。
【００６８】
第１マニホールドプレート１２４には、第１マニホールド孔１２４ａが第１実施形態と同様にして形成されており、さらにこの第１マニホールド孔１２４ａのＹ方向他方側に連通する貫通孔１２４ｃが形成されている。第１上流流路１４０ａは、第１マニホールドプレート１２４に第２接続流路プレート２３及び第２マニホールドプレート１２５が積層されて貫通孔１２４ｃの上下開口が第２接続流路プレート２３の下面及び第２マニホールドプレート１２５の上面で閉鎖されることによって構成されている。第１上流流路１４０ａの上流端は、共通インク室３１のＹ方向他方側であって上端部に連通している。
【００６９】
第２接続流路プレート２３は第１実施形態と同様の貫通孔２３ｂを有し、この貫通孔２３ｂは、上記貫通孔１２４ｃのＹ方向他方側の端部に対応する箇所に形成されている。第２接続流路プレート２３と第１マニホールドプレート１２４とが積層されるとこの貫通孔２３ｂの下側開口が貫通孔１２４ｃの上側開口の先端部に連通する。このようにして第２上流流路４１ａの上流端は第１上流流路１４０ａの下流端に連通される。
【００７０】
この接続流路１３８ａも、共通インク室３１の上端部に連通しているため、共通インク室３１内に侵入したエアを排出し易い構造となっている。
【００７１】
図８に示すように、第１接続流路１３８ｂは、第１上流流路１４０ｂと、第１実施形態と同一の第２上流流路４１ｂ、絞り流路４２及び下流流路４３とを有している。
【００７２】
第２マニホールドプレート１２５には、第２マニホールド孔１２５ａが第１実施形態と同様にして形成されており、さらにこの第２マニホールド孔１２５ａのＹ方向他方側に連通する貫通孔１２５ｃが形成されている。第１上流流路１４０ｂは、第２マニホールドプレートに第１マニホールドプレート１２４及びダンパープレート２６が積層されて貫通孔１２５ｃの上下開口が第１マニホールドプレート１２４の下面及びダンパープレート２６の上面で閉鎖されることによって構成されている。第１上流流路１４０ａの上流端は、共通インク室３１のＹ方向他方側であって上端部に連通している。
【００７３】
第１マニホールドプレート１２４は、第１実施形態の貫通孔２４ｅと同一の貫通孔１２４ｅを有している。貫通孔１２４ｅは、上記貫通孔１２５ｃのＹ方向他方側の端部に対応する箇所であり、且つ第１接続流路プレート２３に形成された貫通孔２３ｄに対応する箇所に形成されている。第１及び第２マニホールドプレート１２４，１２５が積層されると、貫通孔１２４ｅの下側開口が貫通孔１２５ｃの上側開口の先端部に連通し、貫通孔１２４ｅの上側開口が貫通孔２３ｄの下側開口に連通する。このようにして第２上流流路４１ｂの上流端は第１上流流路１４０ｂの下流端に連通される。
【００７４】
第１上流流路１４０ａを構成する貫通孔１２４ｃは第１マニホールド孔１２４ａと同時に形成することができ、第１上流流路１４０ｂを構成する貫通孔１２５ｃは第２マニホールド孔１２５ａと同時に形成することができる。このため、第１実施形態のように凹溝で流路を構成する場合に比べ、第１及び第２マニホールドプレート１２４，１２５を容易に加工することができる。
【００７５】
本実施形態の第１上流流路１４０ａ，１４０ｂも、その上流端からＹ方向他方側に向けて延在している。この延在方向は、共通インク室３１に対し、接続されるべき圧力室３６ａが配置される側と反対側である。そして、この第１接続流路１３８は平面視で投影すると図４に示す第１実施形態と同一の形状となる。つまり、第１接続流路１３８（１３８ａ，１３８ｂ）は、絞り流路４２の上流部分が共通インク室３１の平面視輪郭線に対して外側に配置される。このため、第１実施形態と同様に絞り流路４２を可及的に長くすることができる。
【００７６】
また、第１上流流路１４０ａの開口１４８は、第２上流流路１４０ｂの開口１４９に対し、下側に配置されており、これら第１接続流路１３８は、Ｘ方向に並ぶ開口１４８，１４９が共通インク室３１の深さ方向に関して千鳥状に配列されている。このため、第１実施形態と同様にして所謂クロストーク現象の抑制効果を高めることができる。
【００７７】
なお、この構成の接続流路は、第１接続流路だけでなく第２接続流路にも同様にして適用可能である。
【００７８】
［第３実施形態］
図９は本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド２０１の部分断面図である。。図９には、接続流路２３２のうち、Ｙ方向一方側に配列された第１圧力室列３６をなす圧力室３３に接続される第１接続流路２３８の縦断面形状が示されている。本実施形態は、第１実施形態に対し、第１接続流路の第１及び第２接続流路２４０，２４１が相違している。以下、第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７９】
図９に示すように、第２接続流路プレート２２３の下面側はハーフエッチング加工されており、これにより第２接続流路プレート２２３には下面に開口する凹溝２２３ｄが形成されている。この凹溝２２３ｄの幅（Ｘ方向寸法）は、図４に示した第１上流流路４０ａの幅に等しくなっている。
【００８０】
凹溝２２３ｄのＹ方向一方側の端部は、第１マニホールド孔２２４ａのＹ方向他端部に対応する箇所、より具体的には第１マニホールド孔２２４ａの平面視輪郭線に対して内側の領域に達するように形成されている。凹溝２２３ｄのＹ方向他方側の端部は、第１マニホールド孔２２４ａの平面視輪郭線に対して外側の領域に達するように形成されている。
【００８１】
第２接続流路プレート２２３には、凹溝２２３ｄのＹ方向他方側の端部において上下に貫通する貫通孔２２３ｅが貫通形成されている。この貫通孔２２３ｅの形成は凹溝２２３ｄの形成後に行われる。
【００８２】
第１上流流路２４０は、第１マニホールドプレート２２４と第２接続流路プレート２２３が積層されて凹溝２２３ｄの下側開口が第１マニホールドプレート２２４の下面で閉鎖されることによって構成される。このとき、凹溝２２３ｄのＹ方向一方側の端部が第１マニホールド孔２２４ａの上側開口のＹ方向他方側の端部と連通する。これにより、第１上流流路２４０の上流端が共通インク室３１のＹ方向他方側であって上端部に連通する。この第１上流流路２４０の開口２４８は、共通インク室３１の上面に形成されることとなる。また、第２上流流路２４１は貫通孔２２３ｅによって構成されており、その上流端は第１上流流路２４０の下流端に連通している。第２接続流路プレート２２３が第１接続流路プレート２２と積層されると貫通孔２２３ｅの上側開口は絞り流路４２を構成する凹溝２２ｂのＹ方向他方側の端部に連通し、これにより第２上流流路２４１の下流端が絞り流路４２の上流端に連通する。
【００８３】
本実施形態の第１接続流路２３８の平面視形状は、第１上流流路２４０の上流端が共通インク室３１の平面視輪郭線に対して内側に配置されることを除き、図４に示したものと同一となる。つまり、絞り流路４２の上流部分が共通インク室３１の平面視輪郭線に対して外側に配置されることとなり、第１実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００８４】
また、本実施形態では、第１及び第２マニホールド孔２２４ａ，２２５ａをそれぞれ形成する第１及び第２マニホールドプレート２２４，２２５には、接続流路２３２を形成するための貫通孔や凹溝が形成されていない。このため、第１及び第２マニホールドプレート２２４，２２５を容易に加工することができるようになる。
【００８５】
なお、この構成の接続流路は、第１接続流路だけでなく第２接続流路にも同様にして適用可能である。
【００８６】
［第４実施形態］
図１０は本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッド３０１の部分断面図である。図１０には、接続流路３３２のうち、Ｙ方向一方側に配列された第１圧力室列３６をなす圧力室３３に接続される第１接続流路３３８の縦断面形状が示されている。本実施形態は、第１実施形態に対し、第１接続流路３３８の第１及び第２上流流路３４０，３４１の構成が相違している。以下、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８７】
図１０に示すように、第２接続流路プレート３２３には、第３実施形態の凹溝２２３ｄ（図９参照）と同様に形成された凹溝３２３ｄと、第３実施形態の貫通孔２２３ｅ（図９参照）と同様にして形成された貫通孔３２３ｅとが形成されている。また、第１マニホールドプレート３２４には、第１実施形態の凹溝２４ｃ（図２参照）と同様に形成されて第１マニホールド孔３２４ａに連通する凹溝３２４ｃが形成されている。
【００８８】
第１上流流路３４０は、第１マニホールドプレート３２４と第２接続流路プレート３２３が積層されて凹溝３２３ｄの下側開口と凹溝の上側開口とが連通することによって構成されている。このとき、凹溝３２３ｄのＹ方向一方側の端部が第１マニホールド孔３２４ａの上側開口のＹ方向他方側の端部と連通する。これにより、第１上流流路の上流端が共通インク室３１のＹ方向他方側であって上端部に連通する。このため、第１上流流路２４０の上流端の開口３４８は、共通インク室３１の上面とＹ方向他方側の側面とに跨るように形成され、断面Ｌ字状をなす。また、第２上流流路２４１は貫通孔３２３ｅにより構成されており、その上流端が第１上流流路の下流端に連通している。第２接続流路プレート３２３が第１接続流路プレート２２と積層されると貫通孔３２３ｅの上側開口は絞り流路４２を構成する凹溝２２ｂのＹ方向他方側の端部に連通し、これにより第２上流流路３４１の下流端が絞り流路４２の上流端に連通する。
【００８９】
本実施形態の第１接続流路３３８の平面視形状は、第３実施形態と同一となる。つまり、絞り流路４２の上流部分が共通インク室３１の平面視輪郭線に対して外側に配置されることとなり、第１実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００９０】
本構成例においては、第１接続流路３３８の開口が上面及び側面に跨って形成され、可及的に大きくなるようにしている。このため、開口周辺での流路抵抗が小さくなり、圧力室側にインクが供給され易くなるとともに、共通インク室３１の上面側に溜まっているエアを排出させ易くなる。
【００９１】
なお、この構成の接続流路は、第１接続流路だけでなく第２接続流路にも同様にして適用可能である。
【００９２】
これまで、本発明に係る実施の形態について説明したが、上記の構成に限られず、実施の形態は本発明の範囲を逸脱しない限り適宜変更可能である。なお、各実施形態として個別に説明した流路構造の２つ以上を単一のインクジェットヘッドに適用してもよい。
【００９３】
また、本実施形態は本発明をインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに適用したものであるが、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置、導電液を吐出して電気配線を形成する装置などに使用する液滴吐出装置のヘッドにも好適に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
以上のように、本発明に係る液体吐出ヘッドは、小型化及び高密度化に資するという優れた効果を有し、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッド等に適用すると有益である。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明に係る第１実施形態のインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドを組み付けた状態にして図１のII−II線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図３】図１に示すインクジェットヘッドを組み付けた状態にして図１のIII−III線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図４】図２及び図３に示すIV−IV線に沿って切断して示す流路ユニットの平面図であって、インク流路を構成する流路の平面視投影図である。
【図５】図１に示すインクジェットヘッドを組み付けた状態にして図１のV−V線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図６】図５に示すVI−VI線に沿って切断して示す流路ユニットの部分断面図である。
【図７】本発明に係る第２実施形態のインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図８】本発明に係る第２実施形態のインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図９】本発明に係る第３実施形態のインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図１０】本発明に係る第４実施形態のインクジェットヘッドの部分断面図である。
【符号の説明】
【００９６】
１，１０１，２０１，３０１  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
３０，１３０，２３０，３３０  インク流路
３１  共通インク室（共通液室）
３２，１３２，２３２，３３２  接続流路
３３  圧力室
３５  ノズル
３６  第１圧力室列
３７  第２圧力室列
３８，１３８，２３８，３３８  第１接続流路
３９  第２接続流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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