(57)【要約】  【課題】固定子と可動子との間に潤滑剤を介在させつつ大きな出力を得ることができる静電モータを提供する。  【解決手段】相互に対面する複数のフィルム20,30を備えた固定子2及び可動子3が潤滑剤4の介在下に筐体5内に収容され、複数相の交流の印加による静電気力に基づき可動子3を駆動する静電モータにおいて、各々上下方向に延びる固定子2及び可動子3の少なくとも一方に交流を印加される多数の帯状電極が上下方向に並ぶように配置され、可動子3は、複数のフィルム30を結合する連結部320を上端部に備え、該連結部320には出力軸33が結合されており、潤滑剤4は固定子フィルム上の電極の少なくとも半分が浸漬し且つ筐体5内に上部空間55を残す量で収容され、可動子3は、上下動における少なくとも上昇位置において上部空間55内へ連結部320を脱出させるように構成されている静電モータ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に対面する複数のフィルムを備えた固定子及び可動子が潤滑剤の介在下に筐体内に収容され、複数相の交流の印加により固定子及び可動子のフィルム間に生じる静電気力に基づき可動子を固定子が備えるフィルムの面に沿って移動させる静電モータにおいて、
前記固定子及び可動子は各々上下方向に延び少なくとも一方には前記複数相の交流を印加される多数の帯状電極がフィルムの面に沿って上下方向に並ぶように配置されており、
前記可動子は、前記筐体内で上下方向に移動可能に収容されており、該可動子の複数のフィルムを相互に結合する連結部をフィルム上端部に備え、該連結部には前記筐体外へ延びる出力軸が結合されており、
前記潤滑剤は、前記固定子と可動子との間の間隙を保持するためのビーズを含んでおり、固定子フィルム上の電極の少なくとも半分が浸漬し且つ前記筐体内に上部空間を残す量で収容され、前記可動子は、上下動における少なくとも上昇位置において、前記潤滑剤から前記上部空間内へ前記連結部を脱出させるように構成されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項２】
前記可動子が、上下動における下降位置及び上昇位置の双方において、前記連結部を前記上部空間内に位置させるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電モータ。
【請求項３】
前記可動子は、前記連結部が、上下動における下降位置において潤滑剤中に浸漬し、上昇位置において潤滑剤から露出するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電モータ。
【請求項４】
前記連結部が、上下方向に貫通する開口部を１箇所又は複数箇所に有していることを特徴とする請求項３に記載の静電モータ。
【請求項５】
前記筐体には、前記固定子及び可動子を収容する筐体室内の上部と下部とを筐体室外を通って連通する潤滑剤流路が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の静電モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数相の交流印加により固定子及び可動子のフィルム間に生じる静電気力に基づいて駆動を行なう静電モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の静電モータの代表的なものとしては、交流駆動両電極形静電モータ及びパルス駆動誘電電荷形モータがある（例えば、非特許文献１、２及び３参照）。図９は、交流駆動両電極形静電モータの基本構造及び動作原理を示す図である。この静電モータは、三相の帯状電極１１１を積層フィルムの内部に有するＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）構造の可動子１１０と、同様に三相の帯状電極１２１を積層フィルム内に有する固定子１２０とを対向配置したものである。可動子１１０と固定子１２０との間には、両者間の摩擦を低減すると共に両者間の絶縁を維持するために絶縁性の潤滑剤１３０が充填され、該潤滑剤１３０には両者の最小間隙を保つためにガラス、シリコン、プラスチックなどのビーズ１３１が分散されることがある。
【０００３】
可動子１１０の帯状電極１１１と固定子１２０の帯状電極１２１とは、結線順が互いに逆方向となるようにして三相正弦波電源１４０に接続される。その結果、可動子１１０及び固定子１２０内には、図９に一点鎖線で示すように互いに逆向きに進行する波形の電圧が印加される。この二つの電圧分布により電極間には互いの相対位置を安定な位置に保とうとする静電気力（クーロン力）が作用し、その結果、可動子１１０は矢印で示す方向に駆動される。
【０００４】
この駆動力を大きくするには電極面積を増大させる必要がある。そして、電極面積の増大は、一つの平面上で行なう代わりに、一般的にはフィルムを複数枚積層することにより行なわれている（非特許文献１及び３参照）。
【０００５】
一方、パルス駆動誘電電荷形モータは、固定子に交流駆動両電極形静電モータと同様の三相帯状電極が設けられるが、可動子（移動子）は微弱な導電性を備えた抵抗体層（微導電層）を備えたものとされ、電極構造を備えない。駆動を行なうには、先ず、固定子の帯状電極への電圧の印加により可動子に逆極性の電荷を誘導する。その直後に１相分電圧パターンをシフトすると、可動子側の誘導電荷は瞬時に移動できないため、可動子が電圧パターンの移動に追随しておよそ電極１ピッチ分移動する。これを繰り返すことで、可動子が駆動される（非特許文献２及び３参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】精密工学会誌Vol. 71 No. 10, 2005, P.1245-1249
【非特許文献２】「東京大学  先端メカトロニクス  静電アクチュエータ」インターネット＜http://www.aml.t.u-tokyo.ac.jp/japanese/index#j.html＞
【非特許文献３】「静電アクチュエータの高出力化とその応用」MATERIAL STAGE Vol. 5, No. 12, 2006, p. 49-54 技術情報協会発行
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
これらの静電モータは、可動子の移動の際に固定子との間で生じる摩擦力を低減するためにフロリナート（スリーエム社製フッ化炭素系不活性液の商標）等の潤滑剤を用いている。そして、筐体を潤滑剤で満たすことにより、静電モータの設置方向に拘わらず、可動子全体がストロークの全範囲に亘って潤滑剤に囲まれる状態を保持していた。潤滑剤はまた、固定子と可動子との電極間の絶縁性を高め、両者間の放電を防止する機能も奏する。
【０００８】
しかしながら、このように可動子全体がストロークの全範囲に亘って潤滑剤に囲まれていると、可動子の移動時に潤滑剤から大きな抵抗力を受ける。特に、積層された固定子と可動子が筐体内に僅かな隙間をもって収容されている状態にあっては、小さい間隙を流れる際の潤滑剤の粘性抵抗が大きく、可動子が受ける抵抗力もそれだけ大きなものとなる。
【０００９】
静電モータは、静電気力を駆動源とするので、大きな出力を得難く、潤滑剤から受ける抵抗力は大きな出力を得るのをさらに困難にしていた。
【００１０】
そこで、本発明は、固定子と可動子との間に潤滑剤を介在させつつ大きな出力を得ることができる静電モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の前記目的は、相互に対面する複数のフィルムを備えた固定子及び可動子が潤滑剤の介在下に筐体内に収容され、複数相の交流の印加により固定子及び可動子のフィルム間に生じる静電気力に基づき可動子を固定子が備えるフィルムの面に沿って移動させる静電モータにおいて、前記固定子及び可動子は各々上下方向に延び少なくとも一方には前記複数相の交流を印加される多数の帯状電極がフィルムの面に沿って上下方向に並ぶように配置されており、前記可動子は、前記筐体内で上下方向に移動可能に収容されており、該可動子の複数のフィルムを相互に結合する連結部をフィルム上端部に備え、該連結部には前記筐体外へ延びる出力軸が結合されており、前記潤滑剤は、前記固定子と可動子との間の間隙を保持するためのビーズを含んでおり、固定子フィルム上の電極の少なくとも半分が浸漬し且つ前記筐体内に上部空間を残す量で収容され、前記可動子は、上下動における少なくとも上昇位置において、前記潤滑剤から前記上部空間内へ前記連結部を脱出させるように構成されていることを特徴とする静電モータにより達成される。
［作用］
【００１２】
（１）本発明に係る静電モータは、上下方向に延びる固定子及び可動子の少なくとも一方が上下方向に並ぶ帯状電極を備えており、しかも、可動子は、前記筐体内で上下方向に移動可能に収容されている。したがって、可動子はその上端部から延びる出力軸と共に上下方向に駆動される。
【００１３】
また、可動子は、複数のフィルムを相互に結合する連結部を上端部に備えている。そして、筐体内に上部空間を残す量で収容された潤滑剤に対して、可動子は、少なくとも上昇位置（上死点）において、潤滑剤から前記上部空間内へ連結部を脱出させる。連結部は、可動子のフィルムを一体的に結合しているため、移動時に潤滑剤から大きな抵抗を受けやすいが、上昇と共に上方空間内へと脱出するので、ストローク中に可動子が潤滑剤から受ける抵抗力は効果的に低減される。
【００１４】
潤滑剤は固定子フィルム上の電極の少なくとも半分が浸漬しているので、可動子は、固定子と対面する位置では固定子との間に潤滑剤が介在して潤滑機能を受ける。一方、可動子は、潤滑剤から脱出した状態では、潤滑剤作用を受けないが、もはや固定子と対面する位置にはないので、潤滑上の問題を生じない。その結果、固定子と可動子との間に潤滑剤を介在させつつ大きな出力を得ることができる。
【００１５】
なお、潤滑剤は、固定子の全体を浸漬状態としていなくても、固定子と可動子との間隙が小さいため、毛管現象によりその間隙を満たす。したがって、結果として固定子と可動子との間の潤滑及び絶縁が十分に行なわれる。
【００１６】
（２）前記（１）の静電モータは、前記可動子が、上下動における下降位置（下死点）及び上昇位置（上死点）の双方において、前記連結部を前記上部空間内に位置させるように構成することができる。連結部は前述の通り、可動子のフィルムを一体的に結合しているため移動時に潤滑剤から大きな抵抗を受けやすいが、このように下降位置及び上昇位置の双方において筐体内の上部空間内に位置することにより、潤滑剤から抵抗を受けるという問題を解消することができ、その結果、より大きな出力を得ることができる。
【００１７】
（３）前記（１）または（３）の静電モータは、前記連結部が、上下動における下降位置（下死点）において潤滑剤中に浸漬し、上昇位置（上死点）において潤滑剤から露出するように構成することができる。このように、連結部が下降位置において潤滑剤中に一旦浸漬した後に上昇するという動作を行なうことにより、連結部には潤滑剤が付着した状態が保たれる。その結果、可動子の一部が上部空間に脱出したときに連結部からフィルム表面に潤滑剤が流れ、これによって絶縁性能をより高めることができる。また、連結部は、下降位置から上昇すれば潤滑剤の中から上部空間へ脱出するので、潤滑剤から流体抵抗を受け続けることがない。その結果、可動子の移動が円滑となり、より大きな出力を得ることができる。
【００１８】
（４）前記（３）の静電モータは、前記連結部が、上下方向に貫通する開口部を１箇所又は複数箇所に有しているものとすることができる。これにより、可動子が潤滑剤に浸漬された状態で移動する際に、その開口部を通じて潤滑剤が流れるので、連結部に与える流動抵抗が小さくなる。この点からも、より大きな出力を得ることができる。また、可動子の一部が上部空間に脱出したときに、開口部を通じてフィルム表面に潤滑剤が流れることによって、絶縁性能をより高めることができる。
【００１９】
（５）前記（１）から（４）の静電モータは、前記固定子及び可動子を収容する筐体室内の上部と下部とを筐体室外を通って連通する潤滑剤流路が前記筐体に設けられているものとすることができる。潤滑剤の移動は、筐体内壁面、固定子及び可動子の間の間隙という狭い空間に限られているが、このように、潤滑剤流路を設けることにより、潤滑剤の移動路を増大させることができる。これにより、潤滑剤の流動を伴って行なわれる可動子の駆動に関し、その流動抵抗を小さくすることができ、その結果、より大きな出力を得ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上の通り、本願発明によれば、固定子と可動子との間に潤滑剤を介在させつつ大きな出力を得ることができる静電モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る静電モータの構造を概略的に示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。
【図２】図１に示した静電モータについて可動子が上昇した状態で示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。
【図３】図１に示した静電モータに使用される固定子の電極構造を示す正面図である。
【図４】図３に示した電極構造の要部の拡大図であり、(a) は帯状電極及び集電線を中心に示し、(b) は電極パターンを概略的に示し、(c) はフィルムの断面の一部を示している。
【図５】本発明の他の実施形態に係る静電モータの構造を概略的に示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態に係る静電モータの構造を概略的に示す縦断正面図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態に係る静電モータの構造を概略的に示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。
【図８】図７に示した静電モータについて可動子が上昇した状態で示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。
【図９】静電モータの基本構造及び動作原理を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。図面中の同一又は同種の部分については、同じ番号を付して説明を一部省略する。
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係る静電モータの構造を概略的に示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。この静電モータは、交流駆動両電極形のものであり、固定子２及び可動子３が潤滑剤４の介在下に筐体５内に収容されている。
【００２４】
固定子２及び可動子３は、各々帯状電極が配列された複数のフィルム２０，３０を備えており、固定子２のフィルム２０の間に可動子３のフィルム３０が交互に位置して対面している。この実施形態では、固定子２のフィルム２０は横長形状であり、可動子３のフィルム３０は縦長形状とされている。そして、固定子２のフィルム２０は両方の側端部が可動子３のフィルム３０から幅方向に突出し、該側端部が連結部２２０で結合されている。また、可動子３のフィルム３０は上下両端部が固定子２のフィルム２０から上下方向に突出し、該上下端部が連結部３２０で結合されている。
【００２５】
固定子２のフィルム２０は、筐体５の底壁５３から上方へ離反した位置で、側壁に固定されている。可動子３は、下端が筐体５の底壁５３に接する位置と、そこから上昇した位置とで上下動可能とされ、固定子２のフィルム２０の下端は、可動子３のこの上下動を可能とする位置とされている。
【００２６】
固定子２の連結部２２０は、スペーサ２２１を介在させてフィルム２０を重ね、その積層方向にボルト２２２を貫通させ、その先端部にナット２２３を螺合させて締結している。可動子３の連結部３２０も同様に、スペーサ３２１を介在させてフィルム３０を重ね、その積層方向にボルト３２２を貫通させ、先端部にナット３２３を螺合させて締結している。可動子３の連結部３２０の上端部には、筐体外へ延びる出力軸３３が結合されている。通常、フィルム２０，３０は各々、２枚以上の複数枚であり、必要とする発生力に応じて積層枚数が設定されるが、ここでは説明を容易にするため、２枚の固定子２及び３枚の可動子３を代表的に取り上げて図示している。
【００２７】
筐体５は、上壁５１，側壁５２、底壁５３、並びに図示されていない前壁及び口壁を備えて直方体状をなしている。側壁５２には固定子２の連結部２２０が固定されている。上壁５１には貫通孔５１０が形成されており、出力軸３３はシール材を介し液密状態を保って該貫通孔に挿通されて上下動を案内される。
【００２８】
筐体５内に収容された潤滑剤４は固定子２の全体を浸漬状態とし且つ筐体５内に上部空間５５を残す量で収容されている。潤滑剤４は、固定子２と可動子３との間の間隙を保持するために、微粒のビーズ４１を分散状態で含んでいる。図では、理解を容易にするため、ビーズ４１の径を拡大して示している。
【００２９】
可動子３は、後述する複数相の交流の印加により上下方向に移動する。可動子３の上下動に関し、図１は下降位置（下死点）、図２は上昇位置（上死点）にある状態を示している。この実施形態では、下降位置及び上昇位置の双方において、連結部３２０は、潤滑剤４の液面より上方、すなわち上部空間５５内に位置している。図２中、水平な一点鎖線は可動子３が下降位置にあったときの液面を示している（以下の図においても同じ）。
【００３０】
図３及び図４は、固定子２のフィルム２０の構造を詳細に示している。図３は１枚のフィルム２０の正面図、図４はフィルム２０の要部の拡大図であり、図４の(a) は帯状電極及び集電線を中心に示し、(b) は電極パターンを概略的に示し、(c) はフィルムの断面の一部を示している。なお、可動子３は、フィルムの縦横比が異なるが、基本的には同様の構造を備えているので、以下では固定子２について説明し、可動子３についての説明を省略する。
【００３１】
この実施形態の静電モータは、三相交流の印加により駆動される構造となっており、このフィルム２０は、ベースフィルム２０ａ上に、第１，第２，第３の帯状電極２１，２２，２３を順番に並べた組を複数備えている。なお、図３では帯状電極の配列方向ＡＲにおける中間部分の図示を省略している。図４(b) に示すように、第１の帯状電極２１は第１の集合線２１Ａを介して第１の端子２１Ｂに接続されている。第２の帯状電極２２は、スルーホール部２２Ｃ、第２の集合線２２Ａ及びスルーホール部２２Ｄを介して第２の端子２２Ｂに接続されている。さらに、第３の帯状電極２３は、第３の集合線２３Ａを介して第３の端子２３Ｂに接続されている。これらの電極配置はベースフィルム２０ａの表裏両側を利用して行なわれており、ベースフィルム２０ａの表側には、第１〜第３の帯状電極２１，２２，２３、第１及び第３の集合線２１Ａ，２３Ａ、第１〜第３の端子２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂが形成され、ベースフィルム２０ａの裏側には第２の集合線２２Ａが形成されている。
【００３２】
ベースフィルム２０ａには、表側の帯状電極及び集合線を覆う表カバー２０ｂ、裏側の集合線を覆う裏カバー２０ｃが設けられ、これらの表カバー２０ｂ及び裏カバー２０ｃは絶縁体で形成されている。
【００３３】
この静電モータの主要部の寸法及び材質は、例えば以下の通りである。
・第１〜第３の帯状電極２１，２２，２３の幅wa：７０μｍ
・第１〜第３の帯状電極２１，２２，２３のピッチp：１８０μｍ
・集合線２１Ａ，２２Ａ，２３Ａの幅wb：５００μｍ
・ベースフィルム２０ａ、表カバー２０ｂ、裏カバー２０ｃの材質：ポリイミド
・帯状電極の材質：銅
・潤滑剤の材質：フロリナートFC40（スリーエム社製フッ化炭素系不活性液）
・潤滑剤中のビーズの径：約２０μｍ
・潤滑剤中のビーズの材質：ミクロパールGS220（微粒プラスチック）
・固定子２及び可動子３の厚さ：８０μｍ
・固定子２及び可動子３の平面寸法：４５ｍｍ×３５ｍｍ
【００３４】
第１〜第３の端子２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂは、中央に貫通孔が設けられリング状をなし、連結部２２０の位置に設けられている。そして、重ねられた端子２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂの貫通孔に連結部２２０のボルト２２２が通される。このため、スペーサ３２１（図１）にも貫通孔が設けられている。第１〜第３の端子２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂ及びその間のスペーサ２２１は少なくとも相互に接触する部分が導電性を有しており、積層された最外層のフィルム２０には導電線２５が接続もしくはフィルムと一体に形成されている。導電線２５は筐体５の側壁５２に設けられたポート５６を通して筐体５外へ延び、図外の給電装置に接続される。
【００３５】
可動子３も同様の構造を有しており、連結部３２０の位置で重ねられた端子及びスペーサ３２１を貫いてボルト３２２が通され、連結されたこれらの一部分に接続された導電線３５がポート５７を経て筐体５外へ延び、図外の給電装置に接続される。スペーサ３２１は、可動子３の隣り合うフィルム３０，３０の間においてフィルム幅方向に間隔をおいて相互に独立して配置されることにより、スペーサ３２１間に上下方向へ開いた開口部３２５が形成されている。
【００３６】
この構造の静電モータに対し、図９について説明したのと同様の三相正弦波電圧が固定子２及び可動子３に印加され、可動子３は出力軸３３を伴って、図１の下降位置と図２の上昇位置との間で上下方向（図３に示す帯状電極の配列方向ＡＲ）に駆動される。この実施形態では、潤滑剤４は、固定子２を浸漬状態とし且つ筐体５内に上部空間５５を残す量で収容され、可動子３は、下降位置及び上昇位置の双方において、連結部３２０が上部空間５５内に位置している。したがって、複数のフィルム３０を結合する連結部３２０が、潤滑剤から流体抵抗を受けることがなく、その結果、ストローク中に可動子３が潤滑剤４から受ける抵抗力は小さい。したがって、駆動が円滑となり、大きな出力を得ることができる。
【００３７】
なお、図示の例では潤滑剤４が固定子２の全体を浸漬状態としているが、固定子２の上端部が露出する状態としていてもよい。この場合においても、固定子２のフィルム２０と可動子３のフィルム３０との間隙が小さいため、潤滑剤４は毛管現象によりその間隙を満たす。したがって、結果として両者の間の潤滑及び絶縁が十分に行なわれる。これを考慮して、筐体５内の潤滑剤４は、固定子フィルム上の電極の少なくとも半分が浸漬する量とされる。
【００３８】
図５は本発明の他の実施形態に係る静電モータの構造を概略的に示しており、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。この実施形態では、固定子２のフィルム２０も可動子３のフィルム３０も縦長形状とされており、固定子２のフィルム２０は下部を連結部２２０で結合され、可動子３のフィルム３０は上部を連結部３２０で結合されている。連結部２２０，３２０は、各々スペーサ２２１，３２１を介在させてフィルム２０，３０を重ね、その積層方向にボルト２２２，３２２を貫通させ、その先端部にナット２２３，３２３を螺合させて締結している。連結部２２０，３２０は、各々３箇所においてボルト２２２，３２２及びナット２２３，３２３が締結されている。
【００３９】
固定子２の連結部２２０及び可動子３の連結部３３０におけるボルト、ナットの締結箇所は、図４と共に説明した端子２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂを用いたものと同様の給電のための接続構造となっており、各々三相交流電源に接続される。図５には、可動子３の連結部３３０から延びる導電性３５が示されている。
【００４０】
この実施形態においては、可動子３は、連結部３２０より下方部分が固定子２の間に延び、下端が固定子２の間の位置で終端している。このように可動子３の下端が固定子間の間隙に納まる薄いものとなっている結果、上下動の際に潤滑剤から受ける抵抗が小さくなっている。
【００４１】
なお、側壁５２の内面の一部と可動子３との間に微小間隙を形成して該側壁内面によって可動子３の上下方向への直線的な移動を案内させることもできる。また、図１に示した静電モータの固定子２も、図５のようにして、左右いずれかの側端部のみに３つの端子を備えた構造とすることもできる。同様にして、図１に示した可動子３も、上部のみに３つの端子を備えた構造とすることもできる。
【００４２】
図６は、本発明のさらに他の実施形態に係る静電モータの縦断正面図である。この静電モータは、図１に示した静電モータに対してさらに、筐体５室内の上部と下部とを連通する流路７を備えている。この流路７は、筐体５の底壁５３への下部接続口７１から上方へ延び、上部空間５５に臨むようにして側壁５２上部の上部接続口７２に達している。この流路７は、潤滑剤４の移動路を増大させる結果、潤滑剤４の流動を伴って行なわれる可動子３の駆動に関し、その流動抵抗を小さくする。これによって、駆動がより円滑となり、より大きな出力を得ることができる。
【００４３】
図６には、１本の流路７を示しているが、複数本の流路を設けることも可能である。また、流路を筐体５の壁部内に埋設することもできる。流路７は、筐体５の下部と上部との間に接続すればよく、上部接続口７２は潤滑剤４の液面より下としてもよいが、上部空間５５に臨む位置に接続することによって、より大きな流動抵抗低減効果が得られる。
【００４４】
図７及び図８は、本発明のさらに他の実施形態に係る静電モータを示しており、各々可動子が下降位置及び上昇位置にある状態を示し、(a) は縦断側面図、(b) は縦断正面図である。この静電モータは、図１に示した静電モータに対して、給電の形態、及び潤滑剤４の充填量が異なる。すなわち、電極への給電は、可動子３のフィルム３０及びスペーサ３２１ａの積層体を貫く給電ピン３４に通した導電線３５によって行なわれる。スペーサ３２１ａは、フィルム３０との間で導通する必要がなく、フィルム３０とのの結合は接着等種々の手段で行なうことができる。
【００４５】
このスペーサ３２１ａもフィルム幅方向に間隔をおいて配置されることにより、スペーサ３２１ａ間に開口部３２５を形成している。この実施形態においては、潤滑剤４は、下方位置にある可動子３の連結部３２０より上方に液面が位置する量とされている。したがって、可動子３が潤滑剤４に浸漬された状態で移動する際に、連結部２２０は潤滑剤４から流動抵抗を受けるが、開口部３２５を通じて潤滑剤４が流れるので、流動抵抗が小さくなる。これに基づいて、より大きな出力を得ることができる。また、可動子３の一部が上部空間５５に脱出したときに、開口部３２５を通じてフィルム３０の表面に潤滑剤が流れることによって、絶縁性能をより高めることができる。
【００４６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、導電線２５は潤滑剤の液面より上に位置するように筐体５の上部に設けることもできる。これにより、ポートから潤滑剤が漏出するのをより確実容易に防止することができる。
【００４７】
実施形態では、交流駆動両電極形の静電モータを取り上げたが、上記で説明した特徴を同様にしてパルス駆動誘電電荷形に適用することもできる。その場合は、帯状電極は固定子及び可動子のいずれかに設けられる。尤も、可動子の可動性を高めるためには、帯状電極は固定子に設けるのが望ましい。また、いずれの場合も、印加する交流は、三相の他、二相または四相または以上の交流とすることができる。
【符号の説明】
【００４８】
2：固定子、    3：可動子、    4：潤滑剤、    5：筐体、    ７：流路、    ２０，３０：フィルム、    ２１，２２，２３：帯状電極、    ２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂ：端子、    ２２０，３２０：連結部、    ３２５：開口部、    ３３：出力軸、    ４１：ビーズ、    ５５：上部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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