(57)【要約】【課題】生産ライン１内の複数の露光装置で使用される複数のレチクルの検査を効率よく実行させることが可能な生産管理装置を提供する。【解決手段】複数のロットが進行する生産ラインに属する露光装置で露光処理に使用される複数のレチクルに対して検査を管理する生産管理装置１であって、露光処理でレチクルに照射された露光量の積算値を取得するレチクル情報収集部６と、取得されたレチクルの積算露光量と、レチクルの継続使用上限露光量未満に設定された基準値とを比較することにより、検査候補となるレチクルを抽出する検査候補レチクル抽出部７と、抽出された検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用される使用予定期間以外の期間を不使用予定期間として算出する不使用予定期間算出部９と、算出された不使用予定期間内に、抽出された検査候補レチクルの検査を検査装置に実行させるレチクル検査計画実行部１０とを備える。【選択図】図１
2010244127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のロットが進行する生産ラインに属する露光装置で露光処理に使用される複数のレチクルに対して検査を管理する生産管理装置であって、
露光処理でレチクルに照射された露光量の積算値を取得する手段と、
取得されたレチクルの積算露光量と、レチクルの継続使用上限露光量未満に設定された基準値とを比較することにより、検査候補となるレチクルを抽出する手段と、
抽出された検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用される使用予定期間以外の期間を不使用予定期間として算出する手段と、
算出された不使用予定期間内に、抽出された検査候補レチクルの検査を検査装置に実行させる手段と、
を備えることを特徴とする生産管理装置。
【請求項２】
投入から完成までにロットが経由する工程を特定するための情報、各工程の処理に要する時間、仕掛りロットについての現在進行中の工程を特定する情報を取得する手段をさらに備え、
前記前記不使用予定期間を算出する手段が、
取得された各情報に基づいて、検査候補レチクルが使用される仕掛りロットの露光処理の開始予定時点から当該露光処理の完了予定時点までの使用予定期間を算出することによって、前記不使用予定期間を算出する、請求項１記載の生産管理装置。
【請求項３】
前記不使用予定期間を算出する手段が、
一の検査候補レチクルに対して算出される使用予定期間のうち、当該検査候補レチクルの積算露光量と、当該検査候補レチクルを使用する露光処理のウエハ１枚当たりの露光量と、仕掛りロットのロットサイズとに基づいて、検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用された場合の当該検査候補レチクルの積算露光量の予定値が当該検査候補レチクルの基準値から継続使用上限露光量までの範囲に属する使用予定期間を抽出し、
抽出された使用予定期間以外の期間のうち、継続使用上限露光量を超過した予定値を有する使用予定期間の開始予定時点よりも前の期間を当該検査候補レチクルの不使用予定期間として算出し、
前記レチクル検査を実行させる手段が、算出された前記検査候補レチクルの不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間に優先して当該検査候補レチクルを検査させる、請求項２記載の生産管理装置。
【請求項４】
前記レチクル検査を実行させる手段が、
一の検査候補レチクルに対して算出される使用予定期間のうち、不使用予定期間の長い順に優先順位の高い優先度を当該不使用予定期間に付す処理を、検査候補レチクル毎に実行し、
一の検査候補レチクルの不使用予定期間が他の検査候補レチクルの不使用予定期間の一部又は全部と重複する場合、不使用予定期間に付された優先度と、不使用予定期間の長さとに基づいて、当該重複を解消した状態で検査候補レチクル毎の不使用予定期間を検査期間として設定し、
設定された検査期間に従って各検査候補レチクルを検査させる、請求項３記載の生産管理装置。
【請求項５】
前記レチクル検査を実行させる手段が、
一の検査候補レチクルの不使用予定期間に優先度を付す処理を実行する場合、使用予定期間で露光処理される仕掛りロットに付されたロット優先度に基づいて、ロット優先度の高い使用予定期間の開始予定時点よりも前の不使用予定期間に優先順位の高い優先度を付す請求項４記載の生産管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産管理装置に関し、詳しくは、生産ライン内の複数の露光装置で使用される複数のレチクルの検査を効率よく実行させることが可能な生産管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体デバイスを製造する生産ラインのうち、特に設備価格の高い露光装置では、当該露光装置へのレチクルの配膳に伴う露光装置の稼働ロスを最小化するとともに、生産ライン全体に対する半導体デバイスの生産性を最大化することが要求されている。当該要求を達成するためには、例えば、露光装置に配膳されるレチクルの効率的な検査方法が不可欠である。
【０００３】
複数の露光装置と、複数の半導体製造装置とから構成される生産ラインにおいて、従来では、以下のようなレチクルを検査する検査方法が採用されていた。すなわち、所定のレチクルが所定の露光設備で正常に使用することができる使用限度回数を、ユーザによりレチクル毎に予め設定しておく。設定された使用限度回数は、例えば、レチクルの識別番号と関連付けて生産ラインを管理する生産管理装置の記憶手段に記憶しておく。次に、前記レチクルが所定の露光設備で使用される毎に、その使用回数をカウントしておき、カウント数が前記使用限度回数を超過した場合、所定の搬送手段により当該レチクルを、レチクルを検査するレチクル検査装置に搬送する。当該レチクル検査装置は、搬送されたレチクルのパターンに問題がないか、レチクルの表面に付着物が無いか等の品質に関する検査を実施する。当該検査が完了し、レチクルに問題が無ければ、当該レチクルは、再度、露光設備や待機場所へ搬送される。一方、レチクルに問題があれば、当該レチクルは、所定のレチクル保管場所へ搬送される。
【０００４】
しかしながら、従来の検査方法において、当該検査を実施している最中のレチクルは当然レチクル検査装置内に配置されているため、当該レチクルの検査を開始した時点から当該検査を完了した時点までの間は、当該レチクルは所定の露光設備で使用することが出来ないという問題がある。
【０００５】
当該問題を解決するために、特開２００５−２０９７８０号公報（特許文献１）には、露光設備へのレチクルの配膳に伴う露光設備の稼働ロスを最小化するレチクルの検査・配膳方法が開示されている。すなわち、露光設備へレチクルを配膳する前に、当該露光設備と別個に設けられた、当該レチクルを収納するレチクル収納棚からレチクルの収納状態を収集する。収集したレチクルの収納状態から、使用予定のないレチクルをレチクル収納棚から搬出し、当該レチクル収納棚に空きを確保する。空きには、上述した使用限度回数よりも少ない使用回数であるレチクルを収納し、当該レチクルを容易に露光設備へ配膳することが可能な状態とする。一方、搬出したレチクルのうち、使用回数が使用限度回数を超過したレチクルを、露光設備へ配膳する前に、レチクル検査装置に搬送して、当該レチクルの検査を実施する。
【０００６】
以下では、特許文献１に記載されたレチクルの検査・配膳方法について、図１７を参照しながら説明する。
【０００７】
図１７は、特許文献１に記載されたレチクル配膳システムの概略構成図である。
【０００８】
図１７に示すように、特許文献１に記載されたレチクル配膳システムでは、ホストコンピュータ１７０１と、通信回線１７０６を介してホストコンピュータ１７０１に接続されている出力端末１７０８と、通信回線１７０９を介してホストコンピュータ１７０１に接続されているレチクル収納棚１７１０ａ、１７１０ｂと、通信回線１７０６を介してホストコンピュータ１７０１に接続されている半導体基板露光装置１７０７ａ、１７０７ｂを有する半導体生産ラインを構成している。
【０００９】
当該半導体生産ラインのホストコンピュータ１７０１は、露光装置のレチクル収納情報管理部１７０２と、レチクル使用限度管理部１７０３と、レチクル所在管理部１７０４と、レチクル出庫指示部１７０５とを備えている。当該レチクル使用限度管理部１７０３は、予めレチクルの種類、使用方法等で決定される使用限度回数をレチクル毎に設定・管理する。さらに、当該レチクル使用限度管理部１７０３は、レチクルが使用されるたびに使用回数をカウントしている。
【００１０】
所定のレチクルが配膳される前に、ホストコンピュータ１７０１は、配膳対象のレチクルの使用回数が使用限度回数を超過しているか否かを判定する。当該レチクルの使用回数が使用限度回数を超過している場合は、ホストコンピュータ１７０１が当該レチクルの配膳を実行させないよう制御する。そのため、使用回数が使用限度回数を超過していないレチクルのみが半導体基板露光装置１７０７ａ、１７０７ｂに搬送され、配膳されることになる。
【００１１】
当該構成により、レチクルを半導体基板露光装置１７０７ａ、１７０７ｂに搬送したにもかかわらず、レチクルの検査のために、当該半導体基板露光装置１７０７ａ、１７０７ｂから当該レチクルを再度、搬出して検査するという無駄な搬送作業が発生する事態を排除することが可能となる。その結果、レチクルの配膳の無駄を減らし、上述した事態に伴う露光設備の稼働ロスを削減し、半導体基板露光装置１７０７ａ、１７０７ｂの稼働率を高めることが可能になるとしている。又、オペレータの工数も削減することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００５−２０９７８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、近年の露光設備に関する技術の発展に伴い、レチクルの検査条件が複雑になってきている。すなわち、当該検査条件において、レチクルの検査の基準が従来から採用されていた使用限度回数から、露光設備でレチクルに照射された露光量、露光設備で使用されたレチクルの使用期間等へ変更されつつある。そのため、基準の変更に伴ってレチクルの検査頻度が変動することになる。
【００１４】
一方、露光設備に関する技術の発展に伴い、露光設備における単位時間当たりの露光処理速度、言い換えると、露光設備のスループットも大きく向上してきている。そのため、露光処理能力が高い露光設備に対して従来のレチクルの検査・配膳方法を採用すると、半導体基板当たりの露光処理速度が速いため、単位時間当たりのレチクルの使用回数が増加することになる。その結果、レチクルは容易に検査が必要なレチクルとなり、当該露光設備へ配膳されるレチクル不足が発生し、露光設備の稼働ロスが発生するという問題がある。当該問題により、当然、生産ライン全体に対する半導体デバイスの生産性が低下する。
【００１５】
更に、特許文献１に記載の技術では、レチクルの使用回数が使用限度回数を超過した場合に、当該レチクルは検査の必要なレチクルであると判定する。そのため、レチクルの検査を実施する具体的な時期が予測することが出来ないという問題がある。レチクルの検査時期を予測出来ないと、所定数の半導体基板（ロットともいう）が投入された生産ラインでは、そのロットの処理中にレチクルの検査が必要となった場合、ロットへの露光処理を中断する必要があり、当該生産ライン内でロットが停滞することとなる。すると、ロットに対して所定の開始命令が発信されてから当該命令に関する処理が完了するまでの期間（リードタイム）が長くなり、結局、生産ラインの生産性が低下することとなる。
【００１６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、露光設備で使用されるレチクルの検査を効率よく実行させることが可能な生産管理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る生産管理装置は、複数のロットが進行する生産ラインに属する露光装置で露光処理に使用される複数のレチクルの検査を管理する。
【００１８】
当該生産管理装置は、露光処理でレチクルに照射された露光量の積算値を取得する手段を備える。前記積算値を取得する手段は、露光装置においてレチクルに照射された露光量の積算値をレチクルごとに取得する。
【００１９】
前記積算値を取得する手段は、例えば、生産管理装置が製造実行システム（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ：ＭＥＳ）等のパーソナルコンピュータからレチクルの検査を実行する旨の命令を受信した時点、新たなロットが生産ラインに投入された時点、予め設定された所定の期間を経過した時点等で、当該取得処理を実行するよう構成される。
【００２０】
又、当該生産管理装置は、取得されたレチクルの積算露光量と、レチクルの継続使用上限露光量未満に設定された基準値とを比較することにより、検査候補となるレチクルを抽出する手段を備える。前記継続使用上限露光量は、レチクル毎に設定される。継続使用上限露光量は、例えば、所定の規格により定められたレチクルの露光量の検査規格値に相当する。
【００２１】
又、当該生産管理装置は、抽出された検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用される使用予定期間以外の期間を不使用予定期間として算出する手段を備える。仕掛りロットは、生産ラインを進行するロットに対応する。更に、当該生産管理装置は、算出された不使用予定期間内に、抽出された検査候補レチクルの検査を検査装置に実行させる手段を備える。
【００２２】
又、当該生産管理装置は、投入から完成までにロットが経由する工程を特定するための情報、各工程の処理に要する時間、仕掛りロットについての現在進行中の工程を特定する情報を取得する手段を備える。更に、前記前記不使用予定期間を算出する手段が、取得された各情報に基づいて、検査候補レチクルが使用される仕掛りロットの露光処理の開始予定時点から当該露光処理の完了予定時点までの使用予定期間を算出することによって、前記不使用予定期間を算出するよう構成することができる。
【００２３】
又、前記不使用予定期間を算出する手段が、一の検査候補レチクルに対して算出された使用予定期間のうち、当該検査候補レチクルの積算露光量と、当該検査候補レチクルを使用する露光処理のウエハ１枚当たりの露光量と、仕掛りロットのロットサイズとに基づいて、検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用された場合の当該検査候補レチクルの積算露光量の予定値が前記検査候補レチクルの基準値から継続使用上限露光量までの範囲に属する使用予定期間を抽出する。更に、当該不使用予定期間を算出する手段が、抽出された使用予定期間以外の期間のうち、継続使用上限露光量を超過した予定値を有する使用予定期間の開始予定時点よりも前の期間を当該検査候補レチクルの不使用予定期間として算出する。そして、前記レチクル検査を実行させる手段が、算出された前記検査候補レチクルの不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間に優先して当該検査候補レチクルを検査させるよう構成することができる。
【００２４】
又、前記レチクル検査を実行させる手段が、一の検査候補レチクルに属する不使用予定期間に、不使用予定期間の長い順に優先順位の高い優先度を付す処理を、検査候補レチクル毎の不使用予定期間に実行する。更に、当該レチクル検査を実行させる手段が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間が他の検査候補レチクルの不使用予定期間の一部又は全部と重複する場合、不使用予定期間に付された優先度と、不使用予定期間の長さとに基づいて、当該重複を解消した状態で検査候補レチクル毎の不使用予定期間を検査期間として設定する。そして、当該レチクル検査を実行させる手段が、設定された検査期間に従って各検査候補レチクルを検査させるよう構成することができる。
【００２５】
又、前記レチクル検査を実行させる手段が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間に優先度を付す処理を実行する場合、使用予定期間で露光処理される仕掛りロットに付されたロット優先度に基づいて、ロット優先度の高い使用予定期間の開始予定時点よりも前の不使用予定期間に優先順位の高い優先度を付すよう構成することができる。
【００２６】
尚、検査装置は、複数の検査候補レチクルのうち、一の検査候補レチクル毎に検査しても、複数の検査候補レチクルを並行して検査しても構わない。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の生産管理装置によれば、露光処理でレチクルに照射された露光量の積算値を取得する手段と、取得されたレチクルの積算露光量と、レチクルの継続使用上限露光量未満に設定された基準値とを比較することにより、検査候補となるレチクルを抽出する手段とを備える。更に、当該生産管理装置は、抽出された検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用される使用予定期間を算出することにより、当該使用予定期間以外の期間を不使用予定期間として算出する手段と、算出された不使用予定期間内に、抽出された検査候補レチクルの検査を検査装置に実行させる手段とを備える。
【００２８】
これにより、継続使用上限露光量未満に設定された基準値に基づいて検査候補レチクルを抽出することにより、生産ラインでレチクルが露光処理に使用されている最中に、当該レチクルの積算露光量が当該レチクルの継続使用上限露光量に達するという事態を防止することが可能となる。更に、当該検査候補レチクルが使用されない期間に、当該検査候補レチクルの検査を実行させることが可能となる。そのため、継続使用上限露光量を超過する前のレチクルを事前に抽出するとともに、当該レチクルの空いた期間に当該レチクルの検査を実行することになるから、生産ラインの生産性を損なうことなく、効率の良い複数のレチクルの検査を実現することが可能となる。
【００２９】
又、前記不使用予定期間を算出する手段が、取得された各情報に基づいて、検査候補レチクルが使用される仕掛りロットの露光処理の開始予定時点から当該露光処理の完了予定時点までの使用予定期間を算出することによって、前記不使用予定期間を算出するよう構成することができる。
【００３０】
これにより、仕掛りロットの進捗状況に応じた使用予定期間を算出し、不使用予定期間を算出することが可能となるから、生産ラインの進行状況に対応した検査候補レチクルの検査を実現することが可能となる。その結果、生産ラインの生産性を損なうことなく、効率の良い検査候補レチクルの検査を実現することが可能となる。
【００３１】
又、前記不使用予定期間を算出する手段が、検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用された場合の当該検査候補レチクルの積算露光量の予定値を考慮して、使用予定期間を抽出し、継続使用上限露光量を超過した予定値を有する使用予定期間の開始予定時点よりも前の期間を当該検査候補レチクルの不使用予定期間として算出するよう構成することができる。更に、前記レチクル検査を実行させる手段が、算出された前記検査候補レチクルの不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間に優先して当該検査候補レチクルを検査させるよう構成することができる。
【００３２】
これにより、継続使用上限露光量を超過しない範囲で検査候補レチクルの不使用予定期間が複数算出されるよう構成し、不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間で検査候補レチクルを検査させることが可能となる。そのため、検査候補レチクルの検査に要する時間が長引いたとしても、当該検査候補レチクルの検査が律速となり、仕掛りロットの露光処理が出来ないという事態を出来る限り回避することが可能となる。その結果、生産ラインの生産性を損なうことなく、効率の良いレチクルの検査を実現することが可能となる。
【００３３】
又、前記レチクル検査を実行させる手段が、一の検査候補レチクルに属する不使用予定期間に、不使用予定期間の長い順に優先順位の高い優先度を付す処理を、検査候補レチクル毎の不使用予定期間に実行する。更に、当該レチクル検査を実行させる手段が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間が他の検査候補レチクルの不使用予定期間の一部又は全部と重複する場合、不使用予定期間に付された優先度と、不使用予定期間の長さとに基づいて、当該重複を解消した状態で検査候補レチクル毎の不使用予定期間を検査期間として設定する。そして、当該レチクル検査を実行させる手段が、設定された検査期間に従って各検査候補レチクルを検査させるよう構成することができる。
【００３４】
これにより、複数の検査候補レチクルが生産ラインに存在したとしても、不使用予定期間の長さに対応する所定の優先度を考慮して検査期間が設定されるため、長い不使用予定期間に検査候補レチクルを検査することが可能となる。そのため、複数の検査候補レチクルが重複した期間に検査されるという事態を回避し、効率のよいレチクルの検査を実現することが可能となる。
【００３５】
又、前記レチクル検査を実行させる手段が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間に優先度を付す処理を実行する場合、使用予定期間で露光処理される仕掛りロットに付されたロット優先度に基づいて、ロット優先度の高い使用予定期間の開始予定時点よりも前の不使用予定期間に優先順位の高い優先度を付すよう構成することができる。
【００３６】
これにより、ロット優先度の高い使用予定期間の開始予定時点よりも前の不使用予定期間に、優先して検査候補レチクルの検査を実行させることが可能となる。そのため、ロット優先度の高いロットに露光処理を実行する場合、当該露光処理に使用されるレチクルは、検査が完了した状態であるため、ロット優先度の高いロットの露光処理を、レチクルの最適な状態で実行させることが可能となる。
【００３７】
総じて、本発明の生産管理装置により、検査候補レチクルの検査により、当該検査候補レチクルが使用される露光処理が滞ることを未然に防止するとともに、レチクルを露光設備に搬送した後に、当該レチクルの検査が必要となる事態を防止することが可能となる。又、検査候補レチクルの検査待ちによる露光装置の稼動率の低下を防止するとともに、露光処理の対象である仕掛りロットの滞留を防止することが可能となる。そのため、仕掛りロットのリードタイムの悪化を防止し、生産ライン全体に対する生産性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態に係る生産管理装置と生産ラインとを示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態の実行手順を示すためのフローチャートである。
【図３】本発明の実施形態に係るレチクル情報収集部の構成図である。
【図４】本発明の実施形態に係るレチクル露光量データテーブルの一例を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係るレチクル検査基準データテーブルの一例を示す図である。
【図６】本発明の実施形態に係る検査候補レチクルデータテーブルの一例を示す図である。
【図７】本発明の実施形態に係る生産ライン情報収集部の構成図である。
【図８】本発明の実施形態に係る工程処理時間データテーブルの一例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態に係るロット仕掛りデータテーブルの一例を示す図である。
【図１０】所定の検査候補レチクル「ＡＡＡ」の不使用予定期間の算出手順を示す工程処理時間データテーブルの一例を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る所定の検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」のレチクル検査候補時刻データテーブルの一例を示す図である。
【図１２】予定累積度の算出手順を示すレチクル検査候補時刻データテーブルの一例を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態に係るレチクル検査計画時刻作成データテーブルの一例を示す図である。
【図１４】本発明の実施形態に係るレチクル検査指示データテーブル１４００の一例を示す図である。
【図１５】レチクル検査必要時間よりも大きい時間間隔の不使用予定期間に優先度が関連付けて記憶されたレチクル検査候補時刻データテーブルの一例を示す図である。
【図１６】仕掛りロットＩＤのロット優先度に基づいて、不使用予定期間に優先度が関連付けて記憶されたレチクル検査候補時刻データテーブルの一例を示す図である。
【図１７】従来技術のレチクル配膳システムの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照しながら説明する。以下の実施形態では、生産ラインと、レチクル検査装置とを管理する生産管理装置として本発明を具体化している。
【００４０】
図１は、本発明の実施形態に係る生産管理装置５と生産ライン１とを示す概略構成図である。
【００４１】
図１に示すように、生産ライン１は、所定のレチクルを使用して半導体基板にパターンを付す複数の露光装置（露光設備２）と、露光処理以外の処理を半導体基板に施す複数の半導体製造装置（半導体製造設備３）とから構成される。又、前記生産ライン１内の複数の露光装置で使用される複数のレチクルのうち、一レチクルに対して検査するレチクル検査装置４が生産ライン１に設置される。レチクル検査装置４は、レチクル収納容器がレチクル検査装置４に搬入されると、当該レチクル収納容器内のレチクルを検査する。又、以下では、一露光装置が一レチクルを保持し、管理する場合を想定する。
【００４２】
図１に示すように、生産管理装置５は、レチクル情報収集部６と、検査候補レチクル抽出部７と、生産ライン情報収集部８と、不使用予定期間算出部９と、検査候補レチクル検査計画実行部１０とから構成される。
【００４３】
レチクル情報収集部６は、定期的に生産ライン１の進捗状況を確認するＭＥＳ等からレチクルの検査を実行する旨の命令を受信する、又は、当該レチクル情報収集部５の記憶手段に予め登録された所定の期間が経過すると、複数の露光装置又ＭＥＳ（図示せず）から、露光装置においてレチクルに照射された露光量の積算値をレチクルごとに取得する。
【００４４】
ここで、積算値（ｋＪ／ｍ2）（積算露光量）は、露光装置でレチクルが最初に使用された時点又はユーザ或いは露光装置により所定の積算露光量がリセットされた時点から前記命令を受信した時点までに、当該レチクルに照射された露光量を積算した値である。所定のレチクルは、所定の露光装置で使用されるように、ユーザにより予め選択・設定されており、所定の記憶手段に、レチクルを識別する識別情報（レチクルＩＤ）と、当該レチクルに対応する積算露光量とが関連付けて記憶される。
【００４５】
尚、前記露光装置が前記レチクルを使用して所定の露光処理を実行すると、当該露光装置が当該露光処理に要した露光量をレチクルの積算露光量に加算した値をＭＥＳに送信するか、ＭＥＳが当該加算処理を実行するよう構成されている。前記レチクル情報収集部６は、前記命令を受信した時点で前記積算露光量を収集してもよいし、定期的に前記積算露光量を収集してもよい。
【００４６】
又、前記レチクル情報収集部６の記憶手段は、検査が必要なレチクルであることを示すための露光量を基準として定められたレチクルの継続使用上限露光量（ｋＪ／ｍ2）（検査規格値）と、ユーザにより当該継続使用上限露光量よりも低く設定された設定値である基準値（ｋＪ／ｍ2）とをレチクルＩＤ毎に格納している。
【００４７】
前記レチクル情報収集部６がレチクルＩＤ毎の積算露光量を取得すると、前記検査候補レチクル抽出部７は、当該レチクル情報収集部６から、同一のレチクルＩＤに対応する積算露光量と基準値とを取得して、両者を比較し、当該積算露光量が基準値を超過するか否かの判定を行う。積算露光量が基準値と同一又は大きい場合、検査候補レチクル抽出部７は、当該レチクルを検査候補レチクルと判定する。積算露光量が基準値よりも小さい場合、当該レチクルを検査候補レチクルと判定しない。検査候補レチクル抽出部７は全てのレチクルに対して前記判定処理を実行し、複数のレチクルのうち、検査候補レチクルを抽出する。
【００４８】
尚、検査候補レチクルを判定する場合、継続使用上限露光量未満で、レチクルごとに設定された基準値を判定基準とすることによって、継続使用上限露光量に近い積算露光量のレチクルを、当該継続使用上限露光量を超過する前の段階で、検査候補レチクルを抽出することが出来る。そのため、露光装置が処理中のロット（仕掛りロット）に対して露光処理を実行している最中に、当該露光処理のレチクルの積算露光量が、当該レチクルの継続使用上限露光量に達するという事態を回避することができる。
【００４９】
検査候補レチクル抽出部７が検査候補レチクルを抽出すると、生産ライン情報収集部８が、生産ライン１から、当該生産ライン１に関する生産ラインデータを収集する。生産ラインデータとは、工程処理データと、ロット仕掛りデータとからなる。工程処理データには、投入から完成までにロットが経由する工程を特定するための情報、各工程の処理に要する時間が含まれる。又、ロット仕掛りデータには、仕掛りロットについての現在進行中の工程を特定する情報が含まれる。
【００５０】
生産ライン情報収集部８が生産ラインデータを収集すると、不使用予定期間算出部９が、生産ライン情報収集部８から当該生産ラインデータを取得し、検査候補レチクル抽出部７から検査候補レチクルのレチクルＩＤ（検査候補レチクルＩＤ）を取得する。前記生産ラインデータと、検査候補レチクルＩＤとに基づいて、不使用予定期間算出部９は、検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用される使用予定期間を算出する。更に、当該不使用予定期間算出部９は、前記使用予定期間以外の期間のうち、最も遅い使用予定期間の開始予定時点よりも前の期間を当該検査候補レチクルＩＤの不使用予定期間として算出する。
【００５１】
不使用期間算出部９が、検査候補レチクルＩＤ毎に不使用予定期間を算出すると、前記検査計画実行部１０は、算出された前記検査候補レチクルの不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間に当該検査候補レチクルをレチクル検査装置４で検査する期間（レチクル検査期間）に決定（設定）する。
【００５２】
又、複数の検査候補レチクルＩＤが抽出されている場合、前記検査計画実行部１０は、一の検査候補レチクルＩＤに属する不使用予定期間に、不使用予定期間の長い順に優先順位の高い優先度を付す処理を、検査候補レチクルＩＤ毎の不使用予定期間に実行する。そして、一の検査候補レチクルの不使用予定期間が他の検査候補レチクルの不使用予定期間の一部又は全部と重複する場合、当該検査計画実行部１０は、不使用予定期間に付された優先度と、不使用予定期間の長さとに基づいて、当該重複を解消した状態で検査候補レチクル毎の不使用予定期間をレチクル検査期間として決定する。つまり、検査計画実行部１０は、一の検査候補レチクルの不使用予定期間が、他の検査候補レチクルの不使用予定期間の一部又は全部と重複することのない状態で、検査候補レチクル毎の不使用予定期間に、当該検査候補レチクルのレチクル検査期間を割り当てる。
【００５３】
前記レチクル検査期間の決定処理が終了すると、検査計画実行部１０は、決定されたレチクル検査期間で、検査候補レチクルを検査するように生産ライン１に指示する。
【００５４】
生産ライン１は、前記検査計画実行部１０から前記検査の指示を受信すると、レチクル検査期間に、所定の検査候補レチクルをレチクル検査装置４で検査する。検査したレチクルに異常があった場合には、生産ライン１は当該レチクルを所定のレチクル保管場所へ配膳する。検査したレチクルに異常が無かった場合には、検査後のレチクルを所定の露光装置に返還する。露光装置に返還された検査後のレチクルの積算露光量は、ゼロにリセットされる。
【００５５】
尚、生産ライン１は、所定数Ｍの露光装置（以下、露光設備２と省略する）と、所定数Ｎの半導体製造装置（以下、半導体製造設備３と省略する）とから構成される。当該生産ライン１は、図示しない搬送手段により、ロット又はロット内の半導体基板（以下、ロット等とする）を所定の露光装置や所定の半導体製造装置に搬送する。搬送されたロット等は露光装置や半導体製造装置で露光処理等の所定の処理が施される。又、生産ライン１は、図示しないレチクル搬送手段により、ロット等が露光装置に搬送されると、当該露光装置に、その露光装置に対応するレチクルを配膳したり、検査候補レチクルをレチクル検査装置４に搬送したりする。尚、露光装置の個数と半導体製造装置の個数とは、生産ライン１の種類、性能、ロットに施す処理の種類等に応じて適宜設計変更される。
【００５６】
又、生産管理装置５の各部は、例えば、専用の演算回路や、プロセッサとＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）やＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）等のメモリとを備えたハードウエア、および当該メモリに格納され、プロセッサ上で動作するソフトウエア等として実現することができる。
【００５７】
次に、図１乃至図１４を参照しながら、本発明の実施形態に係る生産管理装置５が、複数の露光装置で使用される複数のレチクルの検査を効率よく実行させる手順について詳細に説明する。図２は、本発明の実施形態の実行手順を示すためのフローチャートである。なお、本発明の実施形態に直接には関係しない各部の詳細は省略している。
【００５８】
まず、生産ライン１が複数のロットをそれぞれ並行に処理している際に、例えば、生産ライン１と生産管理装置５とに接続されたＭＥＳ（図示せず）から生産管理装置５にレチクルを検査する旨の命令が送信されると、当該命令を受信した生産管理装置５のレチクル情報収集部６は、露光設備２から、当該露光設備２で使用されるレチクルＩＤ毎の積算露光量を収集する（図２：Ｓ１０１）。
【００５９】
図３は、本発明の実施形態に係るレチクル情報収集部６の構成図である。
【００６０】
レチクル情報収集部６は、図３に示すように、レチクルＩＤ毎の積算露光量を収集するレチクル露光量データ収集部６ａと、ユーザによりレチクルＩＤ毎に予め設定された基準値を格納するレチクル検査基準データ格納部６ｂとを備える。
【００６１】
レチクル露光量データ収集部６ａは、露光設備２から、露光設備２に使用されるレチクルＩＤと、当該レチクルＩＤに関連付けられた積算露光量（ｋＪ／ｍ2）と、当該レチクルＩＤのレチクルが使用される露光装置の一ウエハ（半導体基板）当たりに要する露光量（ｋＪ／ｍ2／枚）（基板露光量）とを取得して、レチクル露光量データテーブルを作成する。ここで、基板露光量の単位（ｋＪ／ｍ2／枚）は、ロットに属する半導体基板（レチクル）の一枚当たりに照射される露光量に対応する。基板露光量は、露光装置の基本的な特性値であるため、露光装置又はＭＥＳの記憶手段に、レチクルＩＤと、積算露光量とに関連付けられて記憶されている。
【００６２】
図４は、レチクル露光量データ収集部６ａが作成したレチクル露光量データテーブル４００の一例を示す図である。
【００６３】
レチクル露光量データテーブル４００には、図４に示すように、複数の露光装置で使用される複数のレチクルのレチクルＩＤ４０１と、当該レチクルＩＤ４０１に対応する積算露光量４０２と、当該レチクルＩＤ４０１に対応する基板露光量４０３とが関連付けて記憶される。
【００６４】
又、レチクル検査基準格納部６ｂは、レチクルＩＤ４０１に基準値、継続使用上限露光量等のデータを関連付けるレチクル検査基準データテーブルを格納している。
【００６５】
図５は、レチクル検査基準データ格納部６ｂが格納しているレチクル検査基準データテーブル５００の一例を示す図である。
【００６６】
レチクル検査基準データテーブル５００には、図５に示すように、レチクルＩＤ５０１と、基準値５０２と、継続使用上限露光量５０３と、検査候補累積度（％）５０４とが関連付けられて記憶される。ここで、検査候補累積度（％）は、継続使用上限露光量に対する基準値の割合を示す値であり、ユーザやＭＥＳ等により基準値又は継続使用上限露光量が変更されると、レチクル検査基準データ格納部６ｂが、変更された基準値又は継続使用上限露光量に対応する検査候補累積度を算出し、算出した検査候補累積度をレチクル検査基準データテーブル５００に書き換え、記憶する。
【００６７】
例えば、図５に示すレチクルＩＤ「ＡＡＡ」５０１ａの継続使用上限露光量が２０．０００ｋＪ／ｍ2であり、基準値が１８．０００ｋＪ／ｍ2であれば、その検査候補累積度（％）は、１８．０００／２０．０００×１００＝９０．０００％と算出される。
【００６８】
さて、レチクル露光量データ収集部６ａがレチクル露光量データテーブル４００を作成すると、検査候補レチクル抽出部７が、当該レチクル露光量データ収集部６ａからレチクル露光量データテーブル４００を、前記レチクル検査基準データ格納部６ｂからレチクル検査基準データテーブル５００を参照して、検査候補レチクルの抽出を実行する（図２：Ｓ１０２）。
【００６９】
具体的には、検査候補レチクル抽出部７が、レチクル露光量データテーブル４００からレチクルＩＤ４０１と、積算露光量４０２と、基板露光量４０３とを収集し、レチクル検査基準データテーブル５００から、当該レチクルＩＤと同一のレチクルＩＤに対応する継続使用上限露光量５０３と、検査候補累積度５０４とを収集し、検査候補レチクルデータテーブルを作成する。
【００７０】
図６は、検査候補レチクル抽出部７が作成した検査候補レチクルデータテーブル６００の一例を示す図である。
【００７１】
検査候補レチクルデータテーブル６００には、図６に示すように、レチクルＩＤ６０１と、積算露光量６０２と、継続使用上限露光量６０３と、現時点累積度（％）６０４と、検査候補累積度６０５と、基板露光量６０６と、基板累積度（％／枚）６０７とが関連付けられて記憶される。
【００７２】
ここで、現時点累積度（％）は、継続使用上限露光量に対する積算露光量の割合を示す値であり、検査候補レチクル抽出部７が継続使用上限露光量と積算露光量とを取得する毎に当該累積度を算出する。
【００７３】
例えば、図６に示すレチクルＩＤ「ＡＡＡ」６０１ａの現時点累積度６０４ａは、積算露光量が１８．２００ｋＪ／ｍ2であり、継続使用上限露光量が２０．０００ｋＪ／ｍ2であるため、１８．２００／２０．０００×１００＝９１．０００％と算出される。
【００７４】
又、基板累積度（％／枚）は、継続使用上限露光量に対する基板露光量の割合を示す値であり、検査候補レチクル抽出部７が継続使用上限露光量と基板露光量とを取得する毎に当該基板累積度を算出する。
【００７５】
例えば、図６に示すレチクルＩＤ「ＡＡＡ」６０１ａの基板累積度６０７ａは、基板露光量が０．０３６ｋＪ／ｍ2／枚であり、継続使用上限露光量が２０．０００ｋＪ／ｍ2であるため、０．０３６／２０．０００×１００＝０．１８０％／枚と算出される。
【００７６】
検査候補レチクルデータテーブル６００を作成すると、検査候補レチクル抽出部７が、同一のレチクルＩＤにおける現時点累積度６０４と、検査候補累積度６０５とを比較し、両者の大小関係を決定する。
【００７７】
現時点累積度６０４が検査候補累積度６０５と同一又は大きい場合、検査候補レチクル抽出部７は、そのレチクルＩＤのレチクルは検査候補となるレチクルであると判定し、当該レチクルを検査候補レチクルに決定する。一方、現時点累積度６０４が検査候補累積度６０５よりも小さい場合、そのレチクルＩＤのレチクルは未だ検査が必要でないと判定する。
【００７８】
例えば、図６に示すレチクルＩＤ「ＡＡＡ」６０１ａの現時点累積度６０４ａは、９１．０００％であり、その検査候補累積度６０５ａは、９０．０００％であるから、レチクルＩＤ「ＡＡＡ」６０１ａのレチクルは検査候補レチクルと判定され、当該レチクルＩＤ「ＡＡＡ」６０１ａのレチクルは検査候補レチクルと決定される。一方、レチクルＩＤ「ＨＨＨ」６０１ｂの現時点累積度６０４ｂは、８８．０００％であり、その検査候補累積度６０５ｂは、９０．０００％であるから、レチクルＩＤ「ＨＨＨ」６０１ｂのレチクルは未だ検査が必要でないと判定される。
【００７９】
ここで、前記現時点累積度は、継続使用上限露光量に対する積算露光量の割合を示す値であり、前記検査候補累積度は、継続使用上限露光量に対する基準値の割合を示す値であることから、現時点累積度と検査候補累積度とを比較することは、積算露光量と基準値とを比較することに対応する。前記現時点累積度と、検査候補累積度とを用いて上記判定処理を実行すると、ユーザが１００％を基準として現時点累積度と検査候補累積度とを評価できるため、例えば、所定のテーブルに当該判定処理の結果を残す場合、当該現時点累積度と検査候補累積度とを確認したユーザはレチクルの露光量の積算状況を容易に理解することが出来るようになる。
【００８０】
検査候補レチクル抽出部７が、検査候補レチクルデータテーブル６００の全てのレチクルＩＤについて前記判定処理を実行する。これにより、検査候補レチクル抽出部７は、露光設備２に使用される複数のレチクルのうち、検査候補レチクルを抽出することになる。尚、以下では、検査候補レチクルデータテーブル６００から検査候補レチクルＩＤとして、レチクルＩＤ「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」を抽出したものとする。
【００８１】
検査候補レチクル抽出部７が検査候補レチクルの抽出を終了すると、生産ライン情報収集部８に、生産ラインデータの収集を実行する旨の命令を送信する。当該命令を受信した生産ライン情報収集部８は、生産ライン１から生産ラインデータを収集する（図２：Ｓ１０３）。
【００８２】
図７は、本発明の実施形態に係る生産ライン情報収集部８の構成図である。
【００８３】
図７に示すように、生産ライン情報収集部８は、工程処理データを収集する工程処理時間データ収集部８ａと、ロット仕掛りデータを収集するロット仕掛りデータ収集部８ｂとを備える。
【００８４】
工程処理時間データ収集部８ａは、生産ライン１から、工程処理データを構成する複数の処理の処理ＩＤ（処理を識別する識別情報）と、基板処理時間（ｍｉｎ／枚）と、基板交換時間（ｍｉｎ／枚）と、処理待ち時間（ｍｉｎ）と、予約レチクルＩＤとを収集し、工程処理時間データテーブルを作成する。
【００８５】
ここで、複数の処理ＩＤは、投入から完成までにロットが経由する処理（工程）を特定するための情報に対応し、新たなロットが生産ライン１に搬入されてから搬出されるまでに当該ロットに実行される複数の処理の識別情報である。複数の処理ＩＤは、複数の処理の順番に従って整列される。尚、投入から完成までにロットが経由する複数の処理の順番を、以下では、処理順と称する。
【００８６】
又、基板処理時間（ｍｉｎ／枚）は、各工程の処理に要する時間に対応し、所定の半導体製造装置又は露光装置が所定の処理をロットに実行する場合に当該処理の一ウエハ当たりに要する処理時間である。基板処理時間の単位（ｍｉｎ／枚）は、ロットに属する半導体基板の一枚当たりの処理時間である。
【００８７】
又、基板交換時間（ｍｉｎ／枚）は、各工程における基板当たりの交換時間に対応し、所定の半導体製造装置又は露光装置が所定の処理をロットに実行する場合に、既に処理がなされたウエハを新たなウエハに交換するために要する交換時間である。基板交換時間の単位（ｍｉｎ／枚）は、ロットに属する半導体基板の一枚当たりの交換時間である。ロットに対する交換時間を算出する場合は、ロットサイズから１を減算した値を基板交換時間に乗算すると、乗算した値が当該ロットに対する交換時間となる。
【００８８】
又、処理待ち時間（ｍｉｎ）は、従前の工程から後続の工程へ移行する際に要する待ち時間に対応し、所定の工程（処理）が完了してから後続の工程（処理）を開始するまでの待ち時間である。処理待ち時間（ｍｉｎ）の単位は、一ロット当たりの待ち時間である。尚、当該処理待ち時間（ｍｉｎ）は、生産ラインの進捗状況に応じて随時変更され得る時間であるため、工程処理時間データ収集部８ａが収集した時点の処理待ち時間を利用して、以下の処理等は実行される。
【００８９】
又、予約レチクルＩＤは、複数の処理のうち、レチクルを使用する露光処理（レチクル露光処理）の当該レチクルのレチクルＩＤである。予約レチクルＩＤは、レチクル処理の処理ＩＤ（レチクル露光処理ＩＤ）に関連付けて取得される。又、複数の処理のうち、レチクルを使用しない処理の処理ＩＤには、予約レチクルＩＤは関連付けて記憶されない。
【００９０】
上述した複数の処理ＩＤ、基板処理時間、基板交換時間、処理待ち時間、予約レチクルＩＤ等は、半導体製造装置又は露光装置の基本的な特性値であるため、半導体製造装置、露光装置、ＭＥＳ等の記憶手段に予め記憶されている。
【００９１】
図８は、工程処理時間データ収集部８ａが作成した工程処理時間データテーブル８００の一例を示す図である。
【００９２】
工程処理時間データテーブル８００には、図８に示すように、処理ＩＤ８０１と、基板処理時間８０２と、基板交換時間８０３、処理待ち時間８０４、予約レチクルＩＤ８０５とが関連付けて記憶される。ここで、複数の処理ＩＤ８０１は、工程処理時間データテーブル８００の最上行から処理順に記憶される。又、処理ＩＤ８０１の処理のうち、レチクルを使用しない処理の予約レチクルＩＤ８０５の欄には、レチクルを使用しないことを示す情報８０５ａ（例えば、「−」）が記憶される。又、複数のレチクル処理のうち、所定のレチクル処理に対して一レチクルが予め選択・設定されるため、レチクル処理のレチクル処理ＩＤには、一レチクルＩＤのみ関連付けて記憶され、更に、複数のレチクル処理ＩＤのうち、それぞれのレチクル処理ＩＤのレチクルＩＤは相互に異なるレチクルＩＤが関連付けて記憶される。
【００９３】
次に、ロット仕掛りデータ収集部８ｂは、生産管理装置５がレチクルの検査を実行する旨の信号を受信した際に、生産ライン１のうち、ロットを処理中である露光装置と、半導体製造装置を検知し、仕掛りロットの仕掛りロットＩＤと、ロットサイズと、仕掛り処理ＩＤと、現処理終了予定時刻とを取得し、ロット仕掛りデータテーブルを作成する。
【００９４】
ここで、仕掛りロットＩＤは、仕掛りロットを識別するための識別番号である。ロットサイズは、仕掛りロットに属する半導体基板の枚数である。仕掛り処理ＩＤは、現在進行中の工程を特定する情報に対応し、仕掛りロットが実行されている処理の処理ＩＤである。現処理終了予定時刻は、仕掛り処理ＩＤの処理が終了する予定時刻である。
【００９５】
上述した仕掛りロットＩＤと、ロットサイズと、仕掛り処理ＩＤ等は、半導体製造装置又は露光装置の記憶手段に記憶されており、ロットの進捗状況に応じて、当該ロットの仕掛りロットＩＤ、仕掛り処理ＩＤ等が更新される。又、現処理終了予定時刻は、半導体製造装置等が有する基板処理時間と、現在の時刻を計時する計時手段とを用いて、ロットを処理する毎に算出され、前記記録手段に記憶される。以下、時刻には、日付を省略しているが、日付を含む時刻である。
【００９６】
図９は、ロット仕掛りデータ収集部８ｂが作成したロット仕掛りデータテーブル９００の一例を示す図である。
【００９７】
ロット仕掛りデータテーブル９００には、図９に示すように、仕掛りロットＩＤ９０１と、ロットサイズ９０２と、仕掛り処理ＩＤ９０３と、現処理終了予定時刻９０４とが関連付けられて記憶される。
【００９８】
工程処理時間データテーブル８００とロット仕掛りデータテーブル９００とが作成されると、不使用予定期間算出部９が、当該工程処理時間データテーブル８００と、当該ロット仕掛りデータテーブル９００と、上述した検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」）とに基づいて、検査候補レチクルＩＤ毎に、検査候補レチクルが使用される仕掛りロットの露光処理の開始予定時点から当該露光処理の完了予定時点までの使用予定期間を算出する（図２：Ｓ１０４）。
【００９９】
検査候補レチクルの使用予定期間を算出する方法は、どのような方法、手順であっても良いが、例えば、以下の通りである。
【０１００】
図１０は、所定の検査候補レチクル「ＡＡＡ」の不使用予定期間の算出手順を示す工程処理時間データテーブル８００の一例を示す図である。
【０１０１】
まず、不使用予定期間算出部９は、検査候補レチクル抽出部７から検査候補レチクルＩＤ（例えば、「ＡＡＡ」）を取得する。ここで、検査候補レチクルのレチクルＩＤが複数抽出された場合、不使用予定期間算出部９は、複数の検査候補レチクルのレチクルＩＤ（「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」）のうち、所定の検査候補レチクルＩＤを所定の順番（例えば、アルファベット順番）に従って選択して取得する。
【０１０２】
次に、不使用予定期間算出部９は、図９に示すロット仕掛りデータテーブル９００のうち、所定の仕掛りロットＩＤ、例えば、最上の行に記憶された仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」）と、ロットサイズ（「１０」）と、仕掛り処理ＩＤ（「Ｓ２０４」）と、現処理終了予定時刻（「９：３０」）とを取得する。仕掛りロットＩＤを取得する順番は、例えば、ロットＩＤ内の番号の小さい順番である。
【０１０３】
更に、不使用予定期間算出部９は、工程処理時間データテーブルを検索して、検査候補レチクル抽出部７から取得した検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」）に対応するレチクル処理ＩＤ（「Ｓ３０３」）と、ロット仕掛りデータテーブル９００から取得した仕掛り処理ＩＤ（「Ｓ２０４」）とを特定する。
【０１０４】
図１０に示すように、不使用予定期間算出部９は、工程処理時間データテーブルの処理ＩＤ８０１から、工程処理時間データテーブルの仕掛り処理ＩＤ「Ｓ２０４」１００１を検索し、特定する。又、不使用予定期間算出部９は、工程処理時間データテーブルの予約レチクルＩＤ８０３から、検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１００２を検索し、特定する。当該検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１００２を特定すると、不使用予定期間算出部９は、当該検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１００２に対応する処理ＩＤ、つまり、レチクル処理ＩＤ「Ｓ３０３」１００３を特定する。
【０１０５】
次に、不使用予定期間算出部９は、特定した仕掛り処理ＩＤ「Ｓ２０４」１００１の後続の処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４（以下、開始処理ＩＤとする）と、特定したレチクル処理ＩＤ「Ｓ３０３」１００３の従前の処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５（以下、終了処理ＩＤとする）とを特定する。
【０１０６】
図１０に示すように、不使用予定期間算出部９は、工程処理時間データテーブルの仕掛り処理ＩＤ「Ｓ２０４」１００１に対して直下の行の処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４を開始処理ＩＤとして特定し、工程処理時間データテーブルのレチクル処理ＩＤ「Ｓ３０３」１００３に対して直上の行の処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５を終了処理ＩＤとして特定する。
【０１０７】
開始処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４と、終了処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５とを特定すると、不使用予定期間算出部９は、開始処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４と、終了処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５との間の処理に要する中間処理時間を算出する。当該中間処理時間は、開始処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４と終了処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５に、当該開始処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４と終了処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５との間に存在する複数の処理ＩＤ１００６（「Ｓ３０１」）を含めて、それらに対応する基板処理時間及び基板交換時間のそれぞれに、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」のロットサイズ「１０」を乗算し、更に処理待ち時間を合算して算出される複数の処理時間を全て合算した時間である。
【０１０８】
図１０に示すように、開始処理ＩＤ「Ｓ２０５」１００４の処理時間は、基板処理時間「１３．５ｍｉｎ／枚」１００７にロットサイズ「１０」を乗算した値「１３５．０ｍｉｎ」と、基板交換時間「５．０ｍｉｎ／枚」１００８に、ロットサイズから１を減算した値「９」を乗算した値「４５．０ｍｉｎ」とを合算し、更に、処理待ち時間「２０ｍｉｎ」１００９を合算した値「２００．０ｍｉｎ」である。
【０１０９】
又、図１０に示すように、処理ＩＤ「Ｓ３０１」１００６の処理時間は、基板処理時間「９．５ｍｉｎ／枚」１０１０にロットサイズ「１０」を乗算した値「９５．０ｍｉｎ」と、基板交換時間「５．０ｍｉｎ／枚」１０１１に、ロットサイズから１を減算した値「９」を乗算した値「４５．０ｍｉｎ」とを合算し、更に、処理待ち時間「１０ｍｉｎ」１０１２を合算した値「１５０．０ｍｉｎ」である。
【０１１０】
又、図１０に示すように、終了処理ＩＤ「Ｓ３０２」１００５の処理時間は、基板処理時間「９．５ｍｉｎ／枚」１０１３にロットサイズ「１０」を乗算した値「９５．０ｍｉｎ」と、基板交換時間「５．０ｍｉｎ／枚」１０１４に、ロットサイズから１を減算した値「９」を乗算した値「４５．０ｍｉｎ」とを合算し、更に、処理待ち時間「１０ｍｉｎ」１０１５を合算した値「１５０．０ｍｉｎ」である。
【０１１１】
よって、中間処理時間は、２００．０＋１５０．０＋１５０．０＝５００．０ｍｉｎ（８時間２０分）となる。
【０１１２】
不使用予定期間算出部９が、算出した中間処理時間（８時間２０分）を、仕掛り処理ＩＤ「Ｓ２０４」１００１の処理の現処理終了予定時刻「９：３０」に加算すると、加算された時刻「１５：５０」が、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」に対するレチクル処理ＩＤ「Ｓ３０３」の処理が開始される予定時刻（使用開始予定時刻）となる。
【０１１３】
更に、不使用予定期間算出部９が、レチクル処理ＩＤ「Ｓ３０３」１００３の基板処理時間「１３．５ｍｉｎ／枚」１０１６にロットサイズ「１０」を乗算した値「１３５．０ｍｉｎ」と、基板交換時間「５．０ｍｉｎ／枚」１０１７に、ロットサイズから１を減算した値「９」を乗算した値「４５．０ｍｉｎ」とを合算し、更に、処理待ち時間「２０ｍｉｎ」１０１８を合算した値である処理時間「２００．０ｍｉｎ」を算出する。更に、不使用予定期間算出部９が、当該処理時間「２００．０ｍｉｎ」（３時間２０分）を使用開始予定時刻「１５：５０」に加算すると、加算された時刻「１９：１０」が、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」に対するレチクル処理ＩＤ「Ｓ３０３」の処理が終了する予定時刻（使用終了予定時刻）となる。
【０１１４】
上述した使用開始予定時刻「１５：５０」を始期とし、使用終了予定時刻「１９：１０」を終期とした期間が検査候補レチクルの使用予定期間となる。
【０１１５】
使用予定期間は、所定の検査候補レチクルＩＤ（例えば、「ＡＡＡ」）と、所定の仕掛りロットＩＤ（例えば、「ＬＯＴ０１」）とに応じて算出される。そのため、まず、不使用予定期間算出部９は、所定の検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」）について、ロット仕掛りデータテーブル９００に記憶された全ての仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０５」まで）毎に使用予定期間を算出する。全ての仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０５」まで）について所定の検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」）の使用予定期間を算出すると、不使用予定期間算出部９は、所定の検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」）についてのレチクル検査候補時刻データテーブルを作成する。
【０１１６】
図１１は、不使用予定期間算出部９が作成した所定の検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」のレチクル検査候補時刻データテーブル１１００の一例を示す図である。
【０１１７】
レチクル検査候補時刻データテーブル１１００には、図１１に示すように、所定の検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１１０１と、複数の仕掛りロットＩＤ１１０２（例えば、「ＬＯＴ０１」等）と、当該仕掛りロットＩＤ１１０２のロットサイズ１１０３（例えば、「１０」等）と、当該仕掛りロットＩＤ１１０２の使用開始予定時刻１１０４（例えば、「１５：５０」）と、当該仕掛りロットＩＤ１１０２の使用終了予定時刻１１０５（例えば、「１９：１０」）とが関連付けて記憶される。
【０１１８】
ここで、仕掛りロットＩＤ１１０２等のデータは、仕掛りロットＩＤ１１０２に対応する使用開始予定時刻１１０４（使用終了予定時刻１１０５）が早い順番に整列され、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００の最上の行から早い時刻の順番に記憶される。
【０１１９】
不使用予定期間算出部９が、所定の検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１１０１のレチクル検査候補時刻データテーブル１１００を作成すると、検査候補レチクルデータテーブル６００から、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００の検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１１０１に対応する現時点累積度「９０．５００％」と、基板累積度「０．１８０％／枚」とを取得する。更に、不使用予定期間算出部９が、現時点累積度「９０．５００％」と、基板累積度「０．１８０％／枚」とを利用して、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００の全ての仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０５」まで）毎に予定累積度（％）を算出する。
【０１２０】
ここで、予定累積度（％）は、検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用された場合の当該検査候補レチクルの積算露光量の予定値を継続使用上限露光量で除算して百分率表示した値に対応する。前記予定値は、仕掛りロットの露光完了後の検査候補レチクルの積算露光量の予定値に対応する。
【０１２１】
図１２は、予定累積度の算出手順を示すレチクル検査候補時刻データテーブル１１００の一例を示す図である。
【０１２２】
まず、不使用予定期間算出部９は、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００の複数の仕掛りロットＩＤ１１０２のうち、最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａのロットサイズ「１０」１１０３ａに基板累積度「０．１８０％／枚」を乗算する。不使用予定期間算出部９が、乗算して得られる値（１０×０．１８０＝１．８００％）に現時点累積度「９０．５００％」を加算すると、最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａの予定累積度「９２．３００％」１１０６ａとなる。
【０１２３】
最上行の予定累積度「９２．３００％」１１０６ａに対して直下の行の予定累積度、つまり、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａに対して直下の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂの予定累積度１１０６ｂは、次のように得られる。不使用予定期間算出部９が、最上行の予定累積度「９２．３００％」１１０６ａに、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂのロットサイズ「１５」１１０３ｂに基板累積度「０．１８０％／枚」を乗算して得られる値（１５×０．１８０＝２．７００％）を加算して、加算した値（９２．３００＋２．７００＝９５．０００％）を、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂの予定累積度１１０６ｂとする。
【０１２４】
上述した乗算加算処理を、不使用予定期間算出部９が、全ての仕掛りロットＩＤ１１０２（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０５」まで）について、最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａから順に実行し、算出された予定累積度１１０６をそれぞれの仕掛りロットＩＤ１１０２と関連付けてレチクル検査候補時刻データテーブル１１００に記憶する。
【０１２５】
尚、仕掛りロットＩＤの個数が所定数を超過する場合、前記乗算加算処理が所定回数実行されると、所定の仕掛りロットＩＤの予定累積度は１００％を超過する。
【０１２６】
例えば、図１２に示すレチクル検査候補時刻データテーブル１１００では、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０４」の予定累積度は、９９．３２０％となり、仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０５」の予定累積度は、１０１．４８％となる。よって、予定累積度が１００％を超過する仕掛りロットＩＤは「ＬＯＴ０５」となる。尚、予定累積度は、仕掛りロットＩＤのロットサイズ、仕掛りロットの数、基板累積度等に応じて変動するため、仕掛りロットの数、仕掛りロットの進捗状況に応じて、１００％を超過する予定累積度が存在しない場合もある。
【０１２７】
全ての仕掛りロットＩＤ１１０２（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０５」まで）の予定累積度１１０６がレチクル検査候補時刻データテーブル１１００に関連付けて記憶されると、不使用予定期間算出部９が、記憶された予定累積度のうち、１００％未満の予定累積度に属する仕掛りロットＩＤを特定する。つまり、不使用予定期間算出部９が、上述した予定値が当該検査候補レチクルの基準値から継続使用上限露光量までの範囲に属する使用予定期間を抽出する。
【０１２８】
例えば、図１２に示すレチクル検査候補時刻データテーブル１１００では、１００％未満の予定累積度に属する仕掛りロットＩＤは、「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０４」までの仕掛りロットＩＤとなる。
【０１２９】
１００％未満の予定累積度に対応する仕掛りロットＩＤを特定すると、不使用予定期間算出部９が、当該仕掛りロットＩＤの使用予定期間以外の期間を不使用予定期間として算出する。当該算出方法は、以下の通りである。
【０１３０】
まず、不使用予定期間算出部９が、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００で特定された仕掛りロットＩＤのうち、最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａの使用終了予定時刻「１９：１０」１１０５ａを、不使用開始予定時刻１１０７ａと決定する。次に、不使用予定期間算出部９が、最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａに対して直下の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂの使用開始予定時刻「２０：３０」１１０４ａを、不使用終了予定時刻１１０８ａと決定する。
【０１３１】
不使用予定期間算出部９が、決定した不使用開始予定時刻「１９：１０」１１０７ａと、不使用終了予定時刻「２０：３０」１１０８ａとを最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａに関連付けて、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００に記憶する。上述した不使用開始予定時刻「１９：１０」１１０７ａを始期とし、不使用終了予定時刻「２０：３０」１１０８ａを終期とした期間が所定の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａに対応する検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１１０１の不使用予定期間１１０９となる。当該不使用予定期間は、所定の仕掛りロット（仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」）が生産ライン１から搬出されるまでの期間（仕掛りロット滞留期間）のうち、１００％を超過した予定累積度を有する使用予定期間の開始予定時刻よりも前の期間に対応する。１００％を超過した予定累積度を有する使用予定期間は、継続使用上限露光量を超過した予定値を有する使用予定期間に対応する。
【０１３２】
さて、最上行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａに対して直下の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂの不使用予定期間は、次のように得られる。
【０１３３】
不使用予定期間算出部９が、直下の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂの使用終了予定時刻「２３：５０」１１０５ｂを、不使用開始予定時刻１１０７ｂと決定する。次に、不使用予定期間算出部９が、前記仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂに対して直下の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０３」の使用開始予定時刻「１：００」１１０４ｂを、不使用終了予定時刻１１０８ｂと決定する。不使用予定期間算出部９が、決定した不使用開始予定時刻「２３：５０」１１０７ｂと、不使用終了予定時刻「１：００」１１０８ｂとを、前記仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０２」１１０２ｂに関連付けてレチクル検査候補時刻データテーブル１１００に記憶する。
【０１３４】
上述した決定記憶処理を、不使用予定期間算出部９が、レチクル検査候補時刻データテーブル１１００の全ての仕掛りロットＩＤ１１０２（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０４」まで）について最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａから順に実行する。これにより、不使用予定期間算出部９が、抽出された使用予定期間以外の期間のうち、継続使用上限露光量を超過した予定値を有する使用予定期間の開始予定時点よりも前の期間を当該検査候補レチクルの不使用予定期間として算出することとなる。その結果、不使用予定期間算出部９は、所定の検査候補レチクル「ＡＡＡ」１１０１について全ての仕掛りロットＩＤの不使用予定期間１１０９の算出を終了する（図２：Ｓ１０５）。
【０１３５】
上述した不使用予定期間の算出は、検査候補レチクル抽出部７が抽出した全ての検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」）のレチクル検査候補時刻データテーブル１１００について当該検査候補レチクルＩＤ毎に実行される。
【０１３６】
全ての検査候補レチクルＩＤについて不使用予定期間の算出が終了すると、検査計画実行部１０が、検査候補レチクルの不使用予定期間に当該検査候補レチクルをレチクル検査装置４で検査するために、レチクル検査指示データテーブルを作成する（図２：Ｓ１０６）。
【０１３７】
まず、検査計画実行部１０は、所定の検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」）に対応するレチクル検査候補時刻データテーブルを参照して、不使用予定期間が算出された複数の仕掛りロットＩＤのうち（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０４」まで）最上の行の仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」）を特定する。次に、検査計画実行部１０は、最上の行の仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」）に対応する不使用終了予定時刻（「２０：３０」）から当該仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」）に対応する不使用開始予定時刻（「１９：１０」）を減算した時間間隔（ｍｉｎ）（８０ｍｉｎ）を算出する。検査計画実行部１０は、算出した時間間隔（８０ｍｉｎ）を、最上の行の仕掛りロットＩＤ（「ＬＯＴ０１」）に関連付けて記憶する。
【０１３８】
例えば、図１２に示すレチクル検査候補時刻データテーブル１１００では、最上の行の仕掛りロットＩＤ「ＬＯＴ０１」１１０２ａに対応して、時間間隔「８０」１１１０ａ（ｍｉｎ）が関連付けて記憶される。
【０１３９】
前記時間間隔の算出を、不使用予定期間が算出された全ての仕掛りロットＩＤ１１０２（「ＬＯＴ０１」から「ＬＯＴ０４」まで）について実行する。
【０１４０】
仕掛りロットＩＤ毎に不使用予定期間の時間間隔の算出が終了すると、検査計画実行部１０は、仕掛りロットＩＤ毎の不使用予定期間のうち、長い不使用予定期間に、優先順位の高い優先度（例えば、「１」等）を関連付けて記憶する。
【０１４１】
例えば、図１２に示すレチクル検査候補時刻データテーブル１１００では、検査計画実行部１０が、複数の時間間隔１１１０のうち、間隔の最も大きい時間間隔「８０」１１１０ａを特定し、当該時間間隔「８０」１１１０ａの不使用予定期間に、優先順位が最も高い「１」１１１１ａを記憶し、間隔が次に大きい時間間隔「７０」１１１０ｂを特定し、当該時間間隔「７０」１１１０ｂの不使用予定期間に、優先順位が次に高い「２」１１１１ｂを記憶する。
【０１４２】
上述のようにして、検査計画実行部１０は、仕掛りロットＩＤ毎の不使用予定期間のうち、長い不使用予定期間に、優先順位の高い優先度を関連付けて記憶する。
【０１４３】
尚、複数の時間間隔１１１０のうち、間隔が同一である時間間隔が存在する場合は、仕掛りロットＩＤの識別番号のうち、例えば、アルファベット順に、優先順位の高い優先度を関連付けて記憶する。
【０１４４】
所定の検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１１０１に対応するレチクル検査候補時刻データテーブル１１００の全ての不使用予定期間について優先度１１１１を関連付けて記憶すると、検査実行計画部１０は、全ての検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」）に対応するレチクル検査候補時刻データテーブルについて上述した優先度付け処理を実行する。
【０１４５】
全てのレチクル検査候補時刻データテーブルについて優先度付け処理が終了すると、検査計画実行部１０は、複数のレチクル検査候補時刻データテーブル１１００から、検査候補レチクルＩＤと、優先度と、不使用開始予定時刻と、不使用終了予定時刻と、時間間隔とを取得して、レチクル検査計画時刻作成データテーブルを作成する。
【０１４６】
図１３は、検査計画実行部１０が作成したレチクル検査計画時刻作成データテーブル１３００の一例を示す図である。
【０１４７】
レチクル検査計画時刻作成データテーブル１３００には、図１３に示すように、検査候補レチクルＩＤ１３０１毎に、当該検査候補レチクルＩＤ１３０１の優先度１３０２と、不使用開始予定時刻１３０３と、不使用終了予定時刻１３０４と、時間間隔１３０５とが関連付けて記憶される。ここで、検査候補レチクルＩＤ１３０１等のデータは、検査候補レチクルＩＤ１３０１の優先度１３０２の高い順番に整列される。更に、整列された検査候補レチクルＩＤ１３０１等のデータは、レチクル検査計画時刻作成データテーブル１３００の最上の行から最も優先度の高い順番に、検査候補レチクルＩＤ毎に記憶される。
【０１４８】
次に、検査計画実行部１０は、所定の検査候補レチクルＩＤ（例えば、「ＡＡＡ」）に属する優先度のうち、最も優先順位の高い優先度（「１」）に対応する不使用開始予定時刻（「１９：１０」）を始期とし、不使用終了予定時刻（「２０：３０」）を終期とする期間（第一レチクル検査候補期間）を決定する。第一レチクル検査候補期間を全ての検査候補レチクルＩＤについて決定すると、検査計画実行部１０が、検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」）の第一レチクル検査候補期間の相互を比較して、複数の第一レチクル検査候補期間が相互に重複するか否かを判定する。当該判定は、一の検査候補レチクルの第一レチクル検査候補期間が、他の検査候補レチクルの第一レチクル検査候補期間の一部又は全部と重複するか否かを検査候補レチクルの第一レチクル検査候補期間毎に実行される。
【０１４９】
複数の第一レチクル検査候補期間が相互に重複するか否かを判定する方法は、以下の方法により行われる。
【０１５０】
まず、検査計画実行部１０が、検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」）に対応する第一レチクル検査候補期間（始期「１９：１０」、終期「２０：３０」）を選択し、選択された第一レチクル検査候補期間と、他の全ての第一レチクル検査候補期間の一部又は全部とが重複するか否かを判定する。
【０１５１】
例えば、図１３に示すように、選択された検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「１９：１０」１３０３ａ、終期「２０：３０」１３０４ａ）が、他の全ての第一レチクル検査候補期間である、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「２０：００」１３０３ｂ、終期「２１：００」１３０４ｂ）と、検査候補レチクルＩＤ「ＣＣＣ」１３０１ｃに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「１０：２０」１３０３ｃ、終期「１１：３０」１３０４ｃ）と重複するか否か判定される。
【０１５２】
選択された第一レチクル検査候補期間と、他の全ての第一レチクル検査候補期間の一部又は全部とが重複しない場合、検査計画実行部１０が、選択された第一レチクル検査候補期間を、当該第一レチクル検査候補期間に対応する検査候補レチクルＩＤの検査候補レチクルをレチクル検査装置４で検査する期間（以下、レチクル検査期間とする）と決定する。
【０１５３】
選択された第一レチクル検査候補期間と、他の全ての第一レチクル検査候補期間のうち、一部の第一レチクル検査候補期間が重複する場合、検査計画実行部１０が、重複する第一レチクル検査候補期間の時間間隔を相互に比較する。比較した時間間隔のうち、時間が最も長い時間間隔に関連付けられた第一レチクル検査候補期間を、当該第一レチクル検査候補期間に対応する検査候補レチクルＩＤのレチクル検査期間と決定する。
【０１５４】
例えば、図１３に示すように、選択された検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「１９：１０」１３０３ａ、終期「２０：３０」１３０４ａ）は、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂに対応する第一レチクル検査候補期間（始期「２０：００」１３０３ｂ、終期「２１：００」１３０４ｂ）の一部と重複する。そのため、検査計画実行部１０が、検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａの第一のレチクル検査候補期間の時間間隔「８０」１３０５ａと、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの第一のレチクル検査候補期間の時間間隔「６０」１３０５ｂとを比較する。検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａの第一のレチクル検査候補期間の時間間隔「８０」１３０５ａの方が、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの第一のレチクル検査候補期間の時間間隔「６０」１３０５ｂよりも大きいため、検査計画実行部１０が、検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａの第一のレチクル検査候補期間をレチクル検査期間と決定する。
【０１５５】
尚、第一のレチクル検査候補期間の時間間隔を比較した結果、当該時間間隔の間隔が同一である場合は、それらの時間間隔の検査候補レチクルＩＤの識別番号のうち、例えば、アルファベット順のうち、最初の順番に該当するアルファベットが、識別番号の先頭に存在する検査候補レチクルＩＤの第一のレチクル検査候補期間をレチクル検査期間と決定する。
【０１５６】
レチクル検査期間と決定されなかった第一レチクル検査候補期間は、一端、上述した判定処理の選択対象から除外される。例えば、図１３に示すように、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの第一のレチクル検査候補期間は、判定処理の選択対象から除外され、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの第一のレチクル検査候補期間と、他の全ての第一レチクル検査候補期間の一部又は全部とが重複するか否かの判定はされない。
【０１５７】
又、例えば、図１３に示す検査候補レチクルＩＤ「ＣＣＣ」１３０１ｃが選択された場合、選択された検査候補レチクルＩＤ「ＣＣＣ」１３０１ｃに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「１０：２０」１３０３ｃ、終期「１１：３０」１３０４ｃ）は、他の全ての第一レチクル検査候補期間、つまり、検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「１９：１０」１３０３ａ、終期「２０：３０」１３０４ａ）と、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂに対応する第一のレチクル検査候補期間（始期「２０：００」１３０３ｂ、終期「２１：００」１３０４ｂ）とに対して重複しない。そのため、検査候補レチクルＩＤ「ＣＣＣ」１３０１ｃの第一のレチクル検査候補期間は、レチクル検査期間と決定される。
【０１５８】
全ての第一レチクル検査候補期間毎に上述した判定処理が実行される。全ての第一レチクル検査候補期間に当該判定処理が実行された際に、除外された第一レチクル検査候補期間が存在しなかった場合は、検査計画実行部１０が、後述するレチクル検査指示データテーブルの作成を開始する。
【０１５９】
一方、除外された第一レチクル検査候補期間が存在する場合は、以下の方法により、除外された第一レチクル検査候補期間を検査候補レチクルＩＤのレチクル検査期間と決定する。
【０１６０】
まず、検査計画実行部１０が、除外された検査候補レチクルＩＤの第一レチクル検査候補期間の優先度のうち、二番目に高い優先度に対応する不使用開始予定時刻を始期とし、不使用終了予定時刻を終期とする期間（第二レチクル検査候補期間）を決定する。
【０１６１】
例えば、図１３に示すように、除外された検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの優先度のうち、二番目に高い優先度「２」に対応する不使用開始予定時刻（「８：４０」１３０３ｄ）を始期とし、不使用終了予定時刻（「９：３０」１３０４ｄ）を終期とする期間（第二レチクル検査候補期間）を決定する。
【０１６２】
次に、検査計画実行部１０が、決定された第二レチクル検査候補期間と、決定された他の全てのレチクル検査期間の一部又は全部とが重複するか否かを判定する。
【０１６３】
第二レチクル検査候補期間が、他の全てのレチクル検査期間の一部又は全部と重複しない場合、更に、検査計画実行部１０が、当該第二レチクル検査候補期間以外の他の第二レチクル検査候補期間が存在するか否かを検索する。第二レチクル検査候補期間が他に存在しなければ、検査計画実行部１０が、当該第二レチクル検査候補期間を、当該第二レチクル検査候補期間に対応する検査候補レチクルＩＤのレチクル検査期間と決定する。
【０１６４】
例えば、図１３に示すように、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの第二のレチクル検査候補期間（始期「８：４０」１３０３ｄ、終期「９：３０」１３０４ｄ）は、他の全てのレチクル検査期間、つまり、検査候補レチクルＩＤ「ＡＡＡ」１３０１ａに対応するレチクル検査期間（始期「１９：１０」１３０３ａ、終期「２０：３０」１３０４ａ）と、検査候補レチクルＩＤ「ＣＣＣ」１３０１ｃに対応するレチクル検査期間（始期「１０：２０」１３０３ｃ、終期「１１：３０」１３０４ｃ）とに対して重複しない。更に、他の第二レチクル検査候補期間も存在しない。そのため、検査候補レチクルＩＤ「ＢＢＢ」１３０１ｂの第二のレチクル検査候補期間（始期「８：４０」１３０３ｄ、終期「９：３０」１３０４ｄ）は、レチクル検査期間と決定される。
【０１６５】
一方、第二レチクル検査候補期間が他に存在すれば、検査計画実行部１０が、当該第二レチクル検査候補期間と、他の全ての第二レチクル検査候補期間とが重複するか否かを判定する。第二レチクル検査候補期間と、他の全ての第二レチクル検査候補期間とが重複しない場合、検査計画実行部１０が、当該第二レチクル検査候補期間を、当該第二レチクル検査候補期間の検査候補レチクルＩＤのレチクル検査期間と決定する。
【０１６６】
第二レチクル検査候補期間と、他の全ての第二レチクル検査候補期間のうち、一部の他の第二レチクル検査候補期間とが重複する場合、上述と同様に、検査計画実行部１０が、重複する第二レチクル検査候補期間の時間間隔を相互に比較する。比較した時間間隔のうち、間隔が最も長い時間間隔に関連付けられた第二レチクル検査候補期間を、当該第二レチクル検査候補期間に対応する検査候補レチクルＩＤのレチクル検査期間と決定する。レチクル検査期間と決定されなかった第二レチクル検査候補期間は、前記判定処理の選択対象から除外される。又、第二レチクル検査候補期間が、他のレチクル検査期間と重複する場合、当該第二レチクル検査候補期間は、前記判定処理の対象から除外される。
【０１６７】
このように、全ての第二レチクル検査候補期間毎に上述した判定処理、検索処理が実行される。全ての第二レチクル検査候補期間に当該判定処理、検索処理が実行された際に、除外された第二レチクル検査候補期間が存在しなかった場合は、上述と同様に、検査計画実行部１０が、後述するレチクル検査指示データテーブルの作成を開始する。
【０１６８】
一方、除外された第二レチクル検査候補期間が存在する場合は、上述と同様に、検査計画実行部１０が、除外された第二レチクル検査候補期間の優先度に対応して第三レチクル検査候補期間を新たに決定して、上述した判定処理、検索処理を実行する。このような判定処理、検索処理を繰り返すことにより、複数の検査候補レチクルのレチクル検査期間が相互に重複することのない状態で、検査計画実行部１０が、当該レチクル検査期間を決定する。
【０１６９】
全ての検査候補レチクルＩＤ（「ＡＡＡ」、「ＢＢＢ」、「ＣＣＣ」）についてレチクル検査期間の決定を終了すると、検査計画実行部１０は、当該検査候補レチクルＩＤと、当該レチクル検査期間とを取得して、レチクル検査指示データテーブルを作成する。
【０１７０】
図１４は、検査計画実行部１０が作成したレチクル検査指示データテーブル１４００の一例を示す図である。
【０１７１】
レチクル検査指示データテーブル１４００には、図１４に示すように、検査候補レチクルＩＤ１４０１と、レチクル検査期間１４０２とが関連付けられて記憶される。ここで、検査候補レチクルＩＤ１４０１等のデータは、レチクル検査期間１４０２の始期（レチクル検査開始予定時刻）又は終期（レチクル検査終了予定時刻）が早い順番に整列され、レチクル検査指示データテーブルの最上の行から早い時刻の順番に記憶される。
【０１７２】
レチクル検査指示データテーブル１４００が作成されると、検査計画実行部１０は、レチクル検査指示データテーブル１４００に従って、生産ライン１に検査候補レチクルの検査を当該レチクル検査期間で実行するよう指示する。具体的には、検査計画実行部１０に備えられた、現在の時刻を計時する計時手段の時刻が、レチクル検査開始予定時刻となると、検査計画実行部１０は、当該レチクル検査開始予定時刻に対応する検査候補レチクルＩＤのレチクルをレチクル検査装置４で検査させるよう生産ライン１に指示する（図２：Ｓ１０７）。
【０１７３】
生産ライン１は、検査計画実行部１０の指示に従い、レチクルの検査を実行する。レチクル検査指示データテーブル１４００は、検査候補レチクルが露光設備２で使用されない期間で、当該検査候補レチクルが検査されるよう計画されているから、効率のよいレチクルの検査を実行することが可能となる。
【０１７４】
このように、本発明に係る生産管理装置５は、露光処理でレチクルに照射された露光量の積算値を取得するレチクル情報収集部６と、取得されたレチクルの積算露光量と、レチクルの継続使用上限露光量未満に設定された基準値とを比較することにより、検査候補となるレチクルを抽出する検査候補レチクル抽出部７とを備える。更に、当該生産管理装置５は、抽出された検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用される使用予定期間以外の期間を不使用予定期間として算出する不使用予定期間算出部９と、算出された不使用予定期間内に、抽出された検査候補レチクルの検査を検査装置に実行させる検査計画実行部１０とを備える。
【０１７５】
これにより、継続使用上限露光量未満に設定された基準値に基づいて検査候補レチクルを抽出することにより、生産ラインでレチクルが露光処理に使用されている最中に、当該レチクルの積算露光量が当該レチクルの継続使用上限露光量に達するという事態を防止することが可能となる。更に、当該検査候補レチクルが使用されない期間に、当該検査候補レチクルの検査を実行させることが可能となる。そのため、継続使用上限露光量を超過する前のレチクルを事前に抽出するとともに、当該レチクルの空いた期間に当該レチクルの検査を実行することになるから、生産ラインの生産性を損なうことなく、効率の良い複数のレチクルの検査を実現することが可能となる。
【０１７６】
又、前記不使用予定期間算出部９が、取得された各情報に基づいて、検査候補レチクルが使用される仕掛りロットの露光処理の開始予定時点から当該露光処理の完了予定時点までの使用予定期間を算出することによって、前記不使用予定期間を算出するよう構成することができる。
【０１７７】
これにより、仕掛りロットの進捗状況に応じた使用予定期間を算出し、不使用予定期間を算出することが可能となるから、生産ラインの進行状況に対応した検査候補レチクルの検査を実現することが可能となる。その結果、生産ラインの生産性を損なうことなく、効率の良い検査候補レチクルの検査を実現することが可能となる。
【０１７８】
又、前記不使用予定期間算出部９が、検査候補レチクルが仕掛りロットの露光処理に使用された場合の当該検査候補レチクルの積算露光量の予定値を考慮して、使用予定期間を抽出し、継続使用上限露光量を超過した予定値を有する使用予定期間の開始予定時点よりも前の期間を当該検査候補レチクルの不使用予定期間として算出するよう構成することができる。更に、前記検査計画実行部１０が、算出された前記検査候補レチクルの不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間に優先して当該検査候補レチクルを検査させるよう構成することができる。
【０１７９】
これにより、継続使用上限露光量を超過しない範囲で検査候補レチクルの不使用予定期間が複数算出されるよう構成し、不使用予定期間のうち、最も長い不使用予定期間で検査候補レチクルを検査させることが可能となる。そのため、検査候補レチクルの検査に要する時間が長引いたとしても、当該検査候補レチクルの検査が律速となり、仕掛りロットの露光処理が出来ないという事態を出来る限り回避することが可能となる。その結果、生産ラインの生産性を損なうことなく、効率の良いレチクルの検査を実現することが可能となる。
【０１８０】
又、前記検査計画実行部１０が、一の検査候補レチクルに属する不使用予定期間に、不使用予定期間の長い順に優先順位の高い優先度を付す処理を、検査候補レチクル毎の不使用予定期間に実行する。更に、当該検査計画実行部１０が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間が他の検査候補レチクルの不使用予定期間の一部又は全部と重複する場合、不使用予定期間に付された優先度と、不使用予定期間の長さとに基づいて、当該重複を解消した状態で検査候補レチクル毎の不使用予定期間を検査期間として設定する。そして、当該検査計画実行部１０が、設定された検査期間に従って各検査候補レチクルを検査させるよう構成することができる。
【０１８１】
これにより、複数の検査候補レチクルが生産ラインに存在したとしても、不使用予定期間の長さに対応する所定の優先度を考慮して検査期間が設定されるため、長い不使用予定期間に検査候補レチクルを検査することが可能となる。そのため、複数の検査候補レチクルが重複した期間に検査されるという事態を回避し、効率のよいレチクルの検査を実現することが可能となる。
【０１８２】
尚、本発明の実施形態に係る生産管理装置５では、検査計画実行部１０は、所定の検査候補レチクルＩＤのレチクル検査候補時刻データテーブルについて、複数の不使用予定期間のうち、間隔の大きい時間間隔の順番で、不使用予定期間に優先度を関連付けて記憶するよう構成したが、他の構成でも構わない。例えば、検査計画実行部１０が、複数の不使用予定期間のうち、レチクル検査装置４がレチクルの検査に要する時間（レチクル検査必要時間）よりも長い期間（時間間隔）を有する不使用予定期間を予め抽出しておく。検査計画実行部１０が、抽出された不使用予定期間のうち、長い不使用予定期間の順番で、不使用予定期間に優先度を関連付けて記憶するよう構成しても構わない。
【０１８３】
図１５は、レチクル検査必要時間よりも長い不使用予定期間に優先度が関連付けて記憶されたレチクル検査候補時刻データテーブル１５００の一例を示す図である。
【０１８４】
図１５に示すように、例えば、レチクル検査必要時間が３０ｍｉｎである場合、３０ｍｉｎよりも大きい時間間隔の不使用予定期間（例えば、「４０」１５０１ａ、「６０」１５０１ｂ等）に優先度（例えば、「１」１５０２ａ、「２」１５０２ｂ等）が関連付けて記憶される。
【０１８５】
当該構成とすると、レチクル検査必要時間よりも長い不使用予定期間にのみ、レチクル検査期間が割り当てられることとなるため、レチクルの検査が発生した場合であっても、その検査によって、当該レチクルを必要とする露光装置の稼動率を低下することなく、レチクルの検査を実行することが可能となる。
【０１８６】
尚、例えば、所定の検査候補レチクルＩＤのレチクル検査候補時刻データテーブルについて、レチクル検査必要時間よりも長い不使用予定期間が存在しない場合は、当該レチクル検査必要時間を考慮せずに、検査計画実行部１０が、長い不使用予定期間の順番で、不使用予定期間に優先度を関連付けて記憶するよう構成すればよい。
【０１８７】
又、本発明の実施形態に係る生産管理装置５では、検査計画実行部１０は、所定の検査候補レチクルＩＤのレチクル検査候補時刻データテーブルについて、複数の不使用予定期間のうち、間隔の大きい時間間隔の順番で、不使用予定期間に優先度を関連付けて記憶するよう構成したが、他の構成でも構わない。例えば、ユーザが、仕掛りロットＩＤに対して優先順位を示すロット優先度（例えば、最も優先順位の高い「最優先」、次に優先順位の高い「優先」、一番優先順位の低い「普通」等）を関連付けて記憶させておく。更に、検査計画実行部１０が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間に優先度を付す処理を実行する場合、使用予定期間で露光処理される仕掛りロットに付されたロット優先度に基づいて、ロット優先度の高い使用予定期間の開始予定時点よりも前の不使用予定期間に優先順位の高い優先度を付すよう構成しても構わない。
【０１８８】
図１６は、仕掛りロットＩＤのロット優先度に基づいて、不使用予定期間に優先度が関連付けて記憶されたレチクル検査候補時刻データテーブル１６００の一例を示す図である。
【０１８９】
図１６Ａに示すように、例えば、検査計画実行部１０が、仕掛りロットＩＤのロット優先度が「最優先」１６０１である複数の使用予定期間の使用開始予定時刻１６０２を特定する。次に、検査計画実行部１０が、前記使用開始予定時刻１６０２よりも前の不使用予定期間１６０３を特定し、当該不使用予定期間１６０３の時間間隔１６０４（例えば、「７０」１６０４ａ、「８０」１６０４ｂ）に応じた優先度１６０５（「１」１６０５ａ、「２」１６０５ｂ）を関連付けて記憶する。次に、検査計画実行部１０が、ロット優先度「最優先」１６０１以外のロット優先度「普通」に対応する複数の不使用予定期間の時間間隔、又は、優先度が付されていない不使用予定期間の時間間隔に対して、上記と同様に、優先度を関連付けて記憶することになる。
【０１９０】
当該構成により、ロット優先度の高い使用予定期間の開始予定時点よりも前の不使用予定期間に、優先して検査候補レチクルの検査を実行させることが可能となる。そのため、ロット優先度の高いロットに露光処理を実行する場合、当該露光処理に使用されるレチクルは、検査が完了した状態であるため、ロット優先度の高いロットの露光処理を、レチクルの最適な状態で実行させることが可能となる。
【０１９１】
尚、図１６Ａでは、使用開始予定時刻１６０２よりも前の不使用予定期間１６０３を特定する場合、検査計画実行部１０が、当該使用開始予定時刻１６０２のうち、時刻が遅い使用開始予定時刻よりも前の不使用予定期間１６０３を特定するよう構成しているが、他の構成でも構わない。例えば、検査計画実行部１０が、当該使用開始予定時刻１６０２のうち、時刻が早い使用開始予定時刻よりも前の不使用予定期間１６０３を特定するよう構成しても構わない。当該構成とすると、ロット優先度の高い仕掛りロットの露光処理に使用されるレチクルは、確実に検査が完了した状態とすることが可能となる。
【０１９２】
又、他の構成として、例えば、検査計画実行部１０が、複数の不使用予定期間のうち、レチクル検査必要時間よりも長い期間（時間間隔）を有する不使用予定期間を抽出出来なかった場合、すなわち、算出された全ての不使用予定期間の時間間隔がレチクル検査必要時間よりも短い場合、検査計画実行部１０が、一の検査候補レチクルの不使用予定期間に優先度を付す処理を実行する際に、使用予定期間で露光処理される仕掛りロットに付されたロット優先度に基づいて、不使用予定期間に優先順位の高い優先度を付すよう構成しても構わない。優先度を付す場合、検査計画実行部１０は、ロット優先度の高い使用予定期間の最も速い開始予定時刻から、最も遅い開始予定時刻までの間に存在する不使用予定期間に優先度を付すよう構成される。
【０１９３】
当該構成とすると、ロット優先度の高い仕掛りロットの使用予定期間内に、検査候補レチクルの検査を実行できるため、止む負えないレチクル検査による時間超過を、ロット優先度の高い仕掛りロットの使用予定期間内で生じさせることとなり、出来るだけロット優先度の高い仕掛りロットに対する露光処理等を完了させることが可能となる。
【０１９４】
図１６Ｂは、仕掛りロットＩＤのロット優先度に基づいて、不使用予定期間に優先度が関連付けて記憶されたレチクル検査候補時刻データテーブル１６００の一例を示す図である。
【０１９５】
図１６Ｂに示すように、例えば、検査計画実行部１０が、不使用予定期間の時間間隔と、レチクル検査必要時間（３０ｍｉｎ）とを比較して、全ての不使用予定期間の時間間隔がレチクル検査必要時間よりも短いことを確認する。当該確認後、検査計画実行部１０が、仕掛りロットＩＤのロット優先度が「最優先」１６０６である複数の使用予定期間の使用開始予定時刻１６０７を特定する。次に、検査計画実行部１０が、使用開始予定時刻１６０７のうち、最も速い使用開始予定時刻１６０７ａと最も遅い使用開始予定時刻１６０７ｂとを特定する。そして、検査計画実行部１０が、最も速い使用開始予定時刻１６０７ａから最も遅い使用開始予定時刻１６０７ｂまでの間に存在する不使用予定期間１６０８を特定する。検査計画実行部１０が、当該不使用予定期間１６０８の時間間隔１６０９（例えば、「２０」１６０９ａ、「１０」１６０９ｂ）に応じた優先度１６１０（「１」１６１０ａ、「２」１６１０ｂ）を関連付けて記憶する。後は、上述した通りに検査計画実行部１０が、検査候補レチクルのレチクル検査期間を決定していくことになる。
【０１９６】
尚、当該構成は、複数の仕掛りロットの不使用予定期間が複数の検査候補レチクル毎に算出される場合、簡単に不使用予定期間を決定することが出来るようになるため、特に、有効である。
【０１９７】
又、本発明の実施形態に係るレチクルの管理方法では、一露光装置が一レチクルを保持し、管理するよう構成しているが、他のレチクル管理方法を採用しても構わない。例えば、一露光装置が複数のレチクルを保持し、当該露光装置内に、複数のレチクルを収納するレチクル収納棚を備え、露光装置内でレチクルを管理する方法や、複数の露光装置が使用する複数のレチクルを、露光装置外に設けられたレチクル収納棚に収納して、露光装置外でレチクルを管理する方法でも構わない。
【産業上の利用可能性】
【０１９８】
以上のように、本発明に係る生産管理装置は、露光設備の稼働率を最大化しながら、露光設備でのロット処理待ち時間を短縮することができ、半導体製造装置等の稼働率の低下、スループットの低下等の抑制に有用であり、生産ライン１内の複数の露光装置で使用される複数のレチクルの検査を効率よく実行させることが可能な生産管理装置として有効である。
【符号の説明】
【０１９９】
１  生産ライン
２  露光設備
３  半導体製造設備
４  レチクル検査装置
５  生産管理装置
６  レチクル情報収集部
７  検査候補レチクル抽出部
８  生産ライン情報収集部
９  不使用予定期間算出部
１０  レチクル検査計画実行部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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