(57)【要約】【課題】コストが高騰することなく、圧電素子と振動部材との接着力を向上して耐久性を向上すると共に変位特性を向上した圧電モーター、液体噴射ヘッド及び時計を提供する。【解決手段】圧電体層４０と、該圧電体層４０を挟んだ両面にそれぞれ設けられた第１電極５０及び第２電極６０と、を有する圧電素子３０と、該圧電素子３０の前記第１電極５０側に接着剤２５を介して接着された振動部材２０と、を備える圧電アクチュエーター１０と、前記振動部材２０が当接されて回転する回転軸と、を具備する圧電モーターであって、前記第１電極５０が、前記圧電体層４０側に設けられた密着層５２と、前記振動部材２０側に設けられた導電層５１と、を具備し、前記導電層５１には、厚さ方向に貫通した除去部５３が設けられ、該除去部５３内には、前記接着剤２５が充填されて、前記振動部材２０と前記密着層５２とを接着している。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と、該圧電体層を挟んだ両面にそれぞれ設けられた第１電極及び第２電極と、を有する圧電素子と、
該圧電素子の前記第１電極側に接着剤を介して接着された振動部材と、を備える圧電アクチュエーターと、
前記振動部材が当接されて回転する回転軸と、を具備する圧電モーターであって、
前記第１電極が、前記圧電体層側に設けられた密着層と、前記振動部材側に設けられた導電層と、を具備し、
前記導電層には、厚さ方向に貫通した除去部が設けられ、該除去部内には、前記接着剤が充填されて、前記振動部材と前記密着層とを接着していることを特徴とする圧電モーター。
【請求項２】
前記接着剤がエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１記載の圧電モーター。
【請求項３】
前記導電層が、金、イリジウム及び白金から選択される少なくとも一つの金属材料を主成分とすることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電モーター。
【請求項４】
前記密着層が、ニッケル、クロム、チタン、タングステン及びアルミニウムから選択される少なくとも一つの金属材料を主成分とすることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の圧電モーター。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の圧電モーターを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
前記圧電モーターが、液体が噴射される被噴射媒体を搬送する給紙手段として用いられることを特徴とする請求項５記載の液体噴射装置。
【請求項７】
請求項１〜４の何れか一項に記載の圧電モーターを具備することを特徴とする時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子によって被駆動部を駆動する圧電モーター、圧電モーターを用いた液体噴射装置及び圧電モーターを用いた時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電モーターは、圧電素子を具備する圧電アクチュエーターによって回転軸を回転駆動させるものである。ここで、圧電モーターに用いられる圧電アクチュエーターは、振動部材と、振動部材の一方面側に保持された圧電素子とを具備する。圧電素子は、振動部材側に設けられた第１電極と、圧電体層と第１電極とは反対側に設けられた第２電極とで構成されており、振動部材と第１電極とが接着剤を介して接着されている。
【０００３】
このような圧電アクチュエーターでは、圧電素子の第１電極と第２電極との間に電圧を印加し、圧電素子を振動部材の面内方向において縦振動及び屈曲振動させることで、振動部材の端部を回転駆動させる。そして、振動部材の端部を回転軸に当接させることで回転軸を回転させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２６７４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、第１電極と振動部材との接着力が低いと、第１電極と振動部材との剥離が発生してしまうという問題がある。
【０００６】
また、振動部材に接着される第１電極として、接着力が良好な材料を用いようとすると、コストが増大してしまうという問題がある。
【０００７】
さらに、接着力が比較的高い接着剤は、硬化後の剛性が高く、接着剤が圧電素子の変位を阻害して所望の変位量を得ることができない虞があるという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、コストが高騰することなく、圧電素子と振動部材との接着力を向上して耐久性を向上すると共に変位特性を向上した圧電モーター、液体噴射ヘッド及び時計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧電体層と、該圧電体層を挟んだ両面にそれぞれ設けられた第１電極及び第２電極と、を有する圧電素子と、該圧電素子の前記第１電極側に接着剤を介して接着された振動部材と、を備える圧電アクチュエーターと、前記振動部材が当接されて回転する回転軸と、を具備する圧電モーターであって、前記第１電極が、前記圧電体層側に設けられた密着層と、前記振動部材側に設けられた導電層と、を具備し、前記導電層には、厚さ方向に貫通した除去部が設けられ、該除去部内には、前記接着剤が充填されて、前記振動部材と前記密着層とを接着していることを特徴とする圧電モーターにある。
【００１０】
かかる態様では、振動部材と導電層に設けられた除去部を介して密着層とを接着剤を介して接着することで、接着力を向上して、圧電素子と振動部材との剥離を抑制することができる。また、導電層の一部を除去して除去部を形成するだけで接着力を向上することができるため、新たな第２の密着層等を形成する必要がなく、コストの高騰を抑制できる。さらに、
ここで、前記接着剤がエポキシ系接着剤であることが好ましい。これによれば、比較的低コストの接着剤を用いることで、振動部材と圧電素子とを安価に製造することができる。
【００１１】
また、前記導電層が、金、イリジウム及び白金から選択される少なくとも一つの金属材料を主成分とすることが好ましい。これによれば、第１電極の導電性を確保して、第１電極を比較的薄く形成することができ、第１電極の膜厚が厚くなることによる圧電素子の変位低下を抑制することができる。
【００１２】
また、前記密着層が、ニッケル、クロム、チタン、タングステン及びアルミニウムから選択される少なくとも一つの金属材料を主成分とすることが好ましい。これによれば、密着層として所定の金属材料を用いることで、導電層と圧電体層との密着力を向上することができると共に、密着層を酸化性金属材料で形成することによって、接着剤との被接着面においてＣ−Ｏ結合、Ｏ−Ｈ結合を形成して接着強度を向上することができる。
【００１３】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の圧電モーターを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、小型化及び耐久性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【００１４】
ここで、前記圧電モーターが、液体が噴射される被噴射媒体を搬送する搬送手段として用いられることが好ましい。これによれば、特に小型化した液体噴射装置を実現できる。
【００１５】
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電モーターを具備することを特徴とする時計にある。かかる態様では、小型化及び耐久性を向上した時計を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態１に係る圧電モーターの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る圧電モーターの平面図である。
【図３】実施形態１に係る圧電モーターの断面図である。
【図４】実施形態１に係る圧電アクチュエーターの要部拡大断面図である。
【図５】実施形態１に係る圧電アクチュエーターの動作を示す平面図である。
【図６】実施形態１に係る圧電アクチュエーターの動作を示す平面図である。
【図７】実施形態２に係る圧電モーターの平面図である。
【図８】一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【図９】一実施形態に係る記録装置の要部拡大平面図である。
【図１０】一実施形態に係る時計の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る圧電モーターの分解斜視図であり、図２は、圧電モーターの平面図であり、図３は、圧電モーターの断面図であり、図４は、圧電アクチュエーターの要部拡大断面図である。
【００１８】
図示するように、本実施形態の圧電モーター１を構成する圧電アクチュエーター１０は、振動部材２０と、振動部材２０の両面にそれぞれ接着された圧電素子３０とを具備する。
【００１９】
振動部材２０の両面にそれぞれ設けられた圧電素子３０は、圧電体層４０と、圧電体層４０の振動部材２０側に設けられた第１電極５０と、圧電体層４０の第１電極５０とは反対側に設けられた第２電極６０と、を有する。
【００２０】
圧電体層４０は、電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でも一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物からなる。圧電体層４０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３）等を用いることができる。もちろん、本実施形態の圧電体層４０は、上記した材料に限定されるものではないが、優れた電気機械変換作用を有する圧電体層４０として、鉛を含有するものが挙げられる。
【００２１】
第１電極５０は、圧電体層４０の振動部材２０側の面に亘って連続して設けられた共通電極であり、振動部材２０側に設けられた導電層５１と、導電層５１と圧電体層４０との間に設けられた密着層５２と、を有する。
【００２２】
導電層５１としては、比較的導電性が高い材料、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）などを用いることができる。
【００２３】
密着層５２としては、導電性を有し、且つ導電層５１と圧電体層４０との密着力を向上させる材料、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）から選択される少なくとも一種を用いることができる。本実施形態では、密着層５２としてニッケルクロム（ＮｉＣｒ）を用いた。
【００２４】
このように第１電極５０として、比較的導電性の高い（抵抗の低い）導電層５１を設けることにより、第１電極５０全体の厚さを比較的薄くすることができる。これにより、第１電極５０の剛性によって圧電素子３０の変位が阻害されるのを抑制して圧電素子３０の変位特性を向上することができる。また、第１電極５０が密着層５２を有することで、圧電体層４０と第１電極５０（導電層５１）との密着性を向上し、圧電素子３０の駆動時に圧電体層４０と第１電極５０との間の層間剥離を抑制することができる。
【００２５】
また、図４に示すように、導電層５１には、厚さ方向に貫通する複数の除去部５３が設けられている。除去部５３は、振動部材２０の表面に亘って均一に点在するように設けるのが好ましい。これは、詳しくは後述するが、除去部５３が設けられた領域は振動部材２０と圧電素子３０との接着強度が高められるため、除去部５３を偏在させて振動部材２０の面内で接着強度に偏りが生じると、接着強度が低い領域に応力集中が生じて破壊されてしまう虞があるからである。また、圧電素子３０は、詳しくは後述するが、長手方向の中央部が縦振動及び屈曲振動における基点となっており、長手方向の中央部は比較的変位量が少ない。したがって、除去部５３は、圧電素子３０の長手方向中央部において少ない開口面積となるように設けるようにしてもよい。
【００２６】
第２電極６０は、圧電体層４０の第１電極５０とは反対側に設けられており、溝部７０によって互いに電気的に隔離されて面内方向で複数に分割されている。
【００２７】
第２電極６０を分割する溝部７０は、圧電素子３０の幅（短手方向）をほぼ三等分するように形成された第１溝部７１と、第１溝部７１によって分割された３つの電極のうち短手方向両側の電極を長手方向でほぼ二等分するように形成された第２溝部７２とからなる。第２電極６０は、これら第１溝部７１及び第２溝部７２からなる溝部７０によって、短手方向中央部に長手方向に亘って設けられた縦振動用電極部６１と、この縦振動用電極部６１の短手方向両側に、縦振動用電極部６１を挟んで対角となるように配置されて対をなす２組の屈曲振動用電極部６２、６３との合計５つに分割されている。ここで、圧電素子３０は、第２電極６０の縦振動用電極部６１が設けられた領域が、圧電素子３０の長手方向の縦振動を励起する縦振動励起領域４１となっている。これに対して、縦振動励起領域４１の短手方向両側の屈曲振動用電極部６２、６３が設けられた領域が、それぞれ圧電素子３０の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域４２、４３となっている。
【００２８】
このような圧電素子３０は、第１電極５０側が振動部材２０に接着剤２５を介して接着されている。ここで、振動部材２０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属や樹脂材料で形成された板状部材からなる。本実施形態では、振動部材２０を導電性を有するステンレス鋼で形成し、２つの圧電素子３０の第１電極５０同士を導通させる共通電極としても機能させている。
【００２９】
また、図１に示すように、振動部材２０は、上述のように圧電素子３０の第１電極５０側と同じ表面形状を有すると共に、長手方向の一端部側に圧電素子３０よりも突出するように延設された当接部２１が設けられている。また、振動部材２０の圧電素子３０の長手方向中央部には、圧電素子３０の短手方向両側に向かって延設された一対の腕部２２を有する。この腕部２２には、厚さ方向に貫通する貫通孔２３が設けられており、貫通孔２３を挿通させたねじ部材８６を介して詳しくは後述する保持部材８１に固定される。すなわち、圧電アクチュエーター１０は、振動部材２０の腕部２２が保持部材８１に固定されることで、圧電素子３０は保持部材８１に対して腕部２２を基点として縦振動及び屈曲振動が可能となるように保持される。
【００３０】
このような振動部材２０には、図４に示すように、圧電素子３０の第１電極５０側が接着剤２５を介して接着されている。振動部材２０と圧電素子３０とを接着する接着剤２５は、振動部材２０と圧電素子３０との間に亘って設けられ、且つ導電層５１に設けられた除去部５３内に充填されている。そして、振動部材２０と圧電素子３０とは、導電層５１の表面と振動部材２０との間に設けられた接着剤２５と、導電層５１の除去部５３内に設けられて振動部材２０と密着層５２とを接着する接着剤２５とで接着されている。
【００３１】
このような接着剤２５は、例えば、エポキシ系接着剤からなる。エポキシ系の接着剤２５では、一般的な被接着面との間では、Ｃ−Ｏ結合、Ｏ−Ｈ結合が形成されることによって接着強度が高くなるものの、導電層５１を形成する金（Ａｕ）等の非酸化性金属材料とエポキシ系の接着剤２５とでは、Ａｕ−Ｃ結合が形成され、Ｃ−Ｏ結合、Ｏ−Ｈ結合が形成されないことから、接着強度が低くなる。一方、密着層５２を形成するニッケルクロム（ＮｉＣｒ）などの酸化性金属材料は、エポキシ系の接着剤２５との間にＮｉ−Ｏ−Ｃ結合、Ｃｒ−Ｏ−Ｃ結合が形成されるため接着強度が高くなる。
【００３２】
したがって、非酸化性金属からなる導電層５１のみを振動部材２０とエポキシ系の接着剤２５で接着する場合に比べて、導電層５１の除去部５３を介して酸化性金属である密着層５２と振動部材２０とを同時にエポキシ系の接着剤２５で接着することによって、第１電極５０と振動部材２０との接着強度を向上することができる。
【００３３】
ちなみに、第１電極５０を密着層５２の材料のみで形成することも考えられるが、酸化性金属で十分な導電性（電流量）を確保するためには、第１電極５０を厚く形成しなくてはならず、第１電極５０の剛性が高くなって変位特性に影響を与えてしまう虞があるため好ましくない。
【００３４】
また、導電層５１の振動部材２０側にさらに密着層５２と同じ酸化性金属の第２の密着層を形成することも考えられるものの、新たに第２の密着層を形成するにはコストが高騰してしまうため好ましくない。
【００３５】
本発明では、導電層５１に除去部５３を形成するという簡便な方法で、第１電極５０と振動部材２０とを接着する接着強度を向上することができるため、圧電素子３０の変位特性の低下を招くことなく、コストの高騰を抑えて長期耐久性を向上することができる。
【００３６】
このような圧電アクチュエーター１０では、圧電素子３０の縦振動励起領域４１と、屈曲振動励起領域４２、４３とをそれぞれ面方向で縦振動及び屈曲振動するように駆動する。すなわち、図５（ａ）に示すように、振動部材２０の面方向において、縦振動励起領域４１を縦方向（長手方向）に伸張・収縮させることで、圧電素子３０を長手方向に縦振動を行わせる。
【００３７】
また、図５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、振動部材２０の面方向において、屈曲振動励起領域４２、４３を伸張・収縮させることで圧電素子３０を屈曲駆動させる。具体的には、圧電素子３０の短手方向で対角となる一方の組の屈曲振動励起領域４２を伸張させると同時に対角となる他方の一対の屈曲振動励起領域４３を収縮させる。これにより、図５（ｂ）に示すように圧電素子３０をＳ字状に変形させる。また、伸張していた屈曲振動励起領域４２を収縮させると同時に収縮していた屈曲振動励起領域４３を伸張させることで、図５（ｃ）に示すように、圧電素子３０を逆Ｓ字状に屈曲させる。この図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示す屈曲変形を交互に繰り返させることで、圧電素子３０にＳ字状及び逆Ｓ字状の屈曲振動が行われる。
【００３８】
そして、圧電素子３０に縦振動励起領域４１による縦振動と屈曲振動励起領域４２、４３による屈曲振動とを交互に繰り返させることで、図６に示すように、圧電素子３０の長手方向の端部、すなわち、振動部材２０の当接部２１を楕円軌道を描くように回転駆動することができる。具体的には、圧電素子３０に、縦方向（長手方向）の伸張、Ｓ字状の屈曲、縦方向の収縮、逆Ｓ字状の屈曲の変形を順次繰り返し行わせることで、当接部２１を振動部材２０の面内において時計方向に楕円軌道を描くように回転駆動することができる。また、圧電素子３０に変形を行わせる際に、屈曲の順番を入れ替えることで、当接部２１を振動部材２０の面内において反時計方向に楕円軌道を描くように回転駆動することができる。なお、本実施形態では、振動部材２０の両面にそれぞれ圧電素子３０が設けられているが、２つの圧電素子３０は、振動部材２０の面内において同じ縦振動及び屈曲振動を行う。すなわち、２つの圧電素子３０の各縦振動励起領域４１及び屈曲振動励起領域４２、４３は、圧電アクチュエーター１０を一方の圧電素子３０の第２電極６０側から平面視した際に重なるように配置されており、平面視した際に重なる領域において同じ伸張・収縮を行わせることで、振動部材２０は面内方向に変形する。もちろん、振動部材２０の両面の圧電素子３０に異なる変形を行わせることで、振動部材２０と圧電素子３０との積層方向に変形させて駆動することも可能である。
【００３９】
一方、図１及び図２に示すように、圧電モーター１には、装置本体２に軸を中心として回転自在となる回転軸３が設けられている。そして、この回転軸３に圧電アクチュエーター１０の楕円軌道を描くように回転駆動される当接部２１を当接させることで、回転軸３は回転される。本実施形態では、圧電アクチュエーター１０の当接部２１が楕円軌道を描く回転方向が、回転軸３の回転方向とは反対方向となるように、当接部２１が回転軸３の周方向の表面に当接するようにした。もちろん、当接部２１が、回転軸３の端面に当接するようにしてもよい。
【００４０】
また、圧電モーター１には、圧電アクチュエーター１０を回転軸３方向に向かって所定の圧力で押圧する押圧手段８０が設けられている。
【００４１】
押圧手段８０は、圧電アクチュエーター１０を保持する保持部材８１と、保持部材８１に一端が固定されたコイルばね等のばね部材８２と、ばね部材８２の他端に当接すると共に装置本体２に固定されて、ばね部材８２の付勢力を調整する偏心ピン８３とを具備する。
【００４２】
保持部材８１は、圧電アクチュエーター１０の腕部２２が固定される一対の固定部８４と、固定部８４の間に一体的に設けられて装置本体２に対してスライド移動可能に支持されるスライド部８５とを具備する。固定部８４には、腕部２２の貫通孔２３に対応して、ねじ部材８６が螺合される雌ねじ部８７が形成されている。この雌ねじ部８７に腕部２２の貫通孔２３を挿通したねじ部材８６を螺合させることで、圧電アクチュエーター１０は保持部材８１に保持される。
【００４３】
スライド部８５には、厚さ方向に貫通し、且つスライド方向に延設された長孔である２つのスライド孔８８が設けられている。そして、各スライド孔８８に挿通されて装置本体２に固定されたスライドピン８９によってスライド部８５は装置本体２に対してスライド移動可能に支持されている。
【００４４】
ばね部材８２は、コイルばねからなり、固定部８４に一端が固定されると共に、装置本体２に偏心回転可能に固定された偏心ピン８３の側面に他端が当接するように配置されている。また、ばね部材８２は、スライド部８５のスライド方向に沿って配置されている。このような、ばね部材８２は、圧電アクチュエーター１０を装置本体２に対して回転軸３に向かって付勢する。ちなみに、偏心ピン８３は、装置本体２に対して偏心回転可能に設けられており、偏心ピン８３を偏心回転させることによって、偏心ピン８３の側面と保持部材８１との間隔を変化させて、ばね部材８２による付勢力を調整することができる。
【００４５】
なお、本実施形態では、ばね部材８２としてコイルばねを用いたが、ばね部材８２は特にこれに限定されず、例えば、板ばね等を用いるようにしてもよい。
【００４６】
このような押圧手段８０によって、圧電アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向（縦振動方向）が回転軸３の軸中心となるように、所定の圧力で回転軸３に押圧される。すなわち、本実施形態の圧電アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向が回転軸３の径方向になるように配置され、回転軸３の径方向に向かってスライド移動可能に設けられている。したがって、圧電アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向が回転軸３の径方向となるように押圧される。
【００４７】
そして、上述のように、押圧手段８０によって圧電アクチュエーター１０の当接部２１を回転軸３に押圧しながら、圧電素子３０に縦振動及び屈曲振動を交互に行わせて当接部２１を楕円軌道を描くように回転駆動することで、回転軸３を回転駆動することができる。
【００４８】
なお、圧電アクチュエーター１０によって回転される回転軸３の回転数は、縦振動及び屈曲振動を行う振動周期による影響が大きく、また、回転軸３のトルクは、押圧手段８０による圧電アクチュエーター１０の回転軸３への押圧力による影響が大きい。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態の圧電モーター１に用いられた圧電アクチュエーター１０は、振動部材２０と圧電素子３０の第１電極５０とを接着剤２５を介して接着する際に、第１電極５０を構成する導電層５１に設けられた除去部５３を介して振動部材２０と第１電極５０を構成する圧電体層４０側の密着層５２とを接着するようにした。これにより、振動部材２０と圧電素子３０との密着性を向上して、長期耐久性を向上することができる。
【００５０】
（実施形態２）
図７は、本発明の実施形態２に係る圧電モーターの分解斜視図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５１】
図７に示すように、圧電モーター１Ａを構成する圧電アクチュエーター１０Ａに搭載された圧電素子３０Ａは、第２電極６０Ａが溝部７０Ａによって３分割されている。具体的には、第２電極６０Ａは、圧電素子３０Ａの対角に、Ｌ字状の溝部７０Ａが設けられることによって、電気的に接続されて中央に略Ｚ字状となるように駆動電極６４が形成されている。そして、駆動電極６４の外側の溝部７０Ａで分割された２つの電極は、駆動されない非駆動電極６５となっている。
【００５２】
一方、振動部材２０Ａには、圧電素子３０Ａの長手方向一端部の駆動電極６４側に偏った位置に当接部２１Ａが設けられている。
【００５３】
そして、振動部材２０Ａの圧電素子３０Ａの長手方向における中央部には、短手方向に延設された一対の腕部２２が設けられており、一方の腕部２２の先端部が装置本体２に固定されている。この装置本体２に固定された一方の腕部２２が、板ばね状になっており、圧電アクチュエーター１０Ａを回転軸に押圧する押圧手段としても機能する。
【００５４】
このような圧電アクチュエーター１０Ａでは、駆動電極６４に駆動信号が印加されることにより、圧電素子３０Ａは振動部材２０Ａの面内で、駆動電極６４が設けられた対角線に沿って菱形となるように伸張・収縮する。そして、圧電アクチュエーター１０Ａの当接部２１Ａを、回転軸３の軸中心から偏心した位置に当接させると共に、圧電素子３０の長手方向が回転軸３の径方向とは交差する方向に配置することで、回転軸３は一方向のみに回転駆動される。
【００５５】
具体的には、圧電素子３０が対角線上に沿って伸張することで、当接部２１は、回転軸３の軸中心とは偏心した位置を押圧する。このとき、回転軸３は回転方向のみに移動可能であるため、当接部２１Ａによる押圧は、回転方向に変換される。そして、回転軸３の回転に伴い圧電アクチュエーター１０Ａの当接部２１Ａにも回転軸３の回転方向への圧力が印加されて、結果、当接部２１Ａは楕円軌道を描くように回転駆動される。
【００５６】
このような構成の圧電モーター１Ａであっても、上述した実施形態１と同様に、第１電極５０を導電層５１と、密着層５２とで構成し、且つ導電層５１に厚さ方向に貫通した除去部５３を設けて、除去部５３を介して振動部材２０Ａと密着層５２とを接着剤２５を介して接着することで、両者の接着強度を向上することができる。
【００５７】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は、上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１及び２では、振動部材２０、２０Ａの両面にそれぞれ圧電素子３０、３０Ａを設けた圧電アクチュエーター１０、１０Ａを例示したが、特にこれに限定されず、振動部材２０、２０Ａの一方のみに圧電素子３０、３０Ａを設けた圧電アクチュエーター１０、１０Ａであっても本発明を適用することができる。
【００５８】
また、上述した実施形態１及び２では、圧電アクチュエーター１０、１０Ａを押圧手段８０、２２によって回転軸３に向かって押圧するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、回転軸３を圧電アクチュエーター１０、１０Ａに向かって押圧するようにしてもよい。もちろん、押圧手段８０、２２は必ずしも必要な物ではない。
【００５９】
また、上述した実施形態の圧電モーター１、１Ａは、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の駆動手段として用いることができる。ここで、実施形態１の圧電モーター１を用いたインクジェット式記録装置の一例を図８及図９に示す。なお、図８は、一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図であり、図９は、要部を拡大した平面図である。
【００６０】
図８に示すインクジェット式記録装置１００において、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド１０１を有する記録ヘッドユニット１０２は、インク供給手段を構成するカートリッジ１０３が着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１０２を搭載したキャリッジ１０４は、記録装置本体１０５に取り付けられたキャリッジ軸１０６に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１０２は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００６１】
そして、駆動モーター１０７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１０８を介してキャリッジ１０４に伝達されることで、記録ヘッドユニット１０２を搭載したキャリッジ１０４はキャリッジ軸１０６に沿って移動される。一方、記録装置本体１０５にはキャリッジ軸１０６に沿ってプラテン１０９が設けられており、給紙手段１１０によって給紙された紙等の被噴射媒体である記録シートＳがプラテン１０９に巻き掛けられて搬送される。記録シートＳは、プラテン１０９上でインクジェット式記録ヘッド１０１から吐出されたインクによって印刷される。そしてプラテン１０９上で印刷された記録シートＳは、プラテン１０９の給紙手段１１０とは反対側に設けられた排紙手段１２０によって排紙される。
【００６２】
図９に示すように、給紙手段１１０は、給紙ローラー１１１と従動ローラー１１２とで構成されている。給紙ローラー１１１には、その端部に上述した圧電モーター１の回転軸３が固定されており、圧電アクチュエーター１０の駆動によって回転駆動される。また、給紙ローラー１１１には、同軸上に第１歯車１１３が設けられている。
【００６３】
排紙手段１２０は、排紙ローラー１２１と従動ローラー１２２とで構成されている。排紙ローラー１２１には同軸上に第２歯車１２３が設けられている。そして、給紙ローラー１１１の第１歯車１１３が、この第１歯車１１３に噛み合う第３歯車１３０、第３歯車１３０に噛み合う第４歯車１３１、第４歯車に噛み合う第５歯車１３２を介して排紙ローラー１２１の第２歯車１２３に噛み合うことで、給紙ローラー１１１を回転駆動する圧電モーター１の駆動力が、排紙ローラー１２１に伝達される。
【００６４】
なお、図８及び図９に示す例では、圧電モーター１によって、給紙手段１１０及び排紙手段１２０を回転駆動するものであるが、例えば、上述した実施形態の圧電モーター１を、キャリッジ１０４を移動させる駆動モーター１０７の代わりに用いることも可能である。もちろん、その他の駆動系、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０１にインクを供給するポンプ等に圧電モーター１を用いることもできる。また、本実施形態では、上述した実施形態１の圧電モーター１を用いたが、特にこれに限定されず、例えば、上述した実施形態２の圧電モーター１Ａを用いるようにしてもよい。
【００６５】
なお、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、圧電モーターは、上述したインクジェット式記録装置以外の液体噴射装置に搭載することが可能である。その他の液体噴射装置としては、例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射装置、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射装置等が挙げられる。
【００６６】
さらに、上述した実施形態の圧電モーター１、１Ａは、時計の駆動手段としても用いることができる。ここで、実施形態１の圧電モーター１を用いた時計の一例を図１０に示す。
【００６７】
図１０に示すように、時計２００を構成するカレンダー表示機能は、圧電モーター１に連結されており、その駆動力によって駆動される。
【００６８】
カレンダー表示機能の主要部は、圧電モーター１の回転軸３の回転を減速する減速輪列とリング状の日車２０１とを具備する。また、減速輪列は日回し中間車２０２と、日回し車２０３とを有する。
【００６９】
そして、上述の圧電モーター１の圧電アクチュエーター１０によって回転軸３を時計回りに回転駆動させると、回転軸３の回転は、日回し中間車２０２を介して日回し車２０３に伝達され、この日回し車２０３が日車２０１を時計回りに回転させる。これら圧電アクチュエーター１０から回転軸３、回転軸３から減速輪列（日回し中間車２０２、日回し車２０３）、減速輪列から日車２０１への力の伝達は、何れも面内方向で行われる。このためカレンダー表示機構を薄型化することができる。
【００７０】
また、日車２０１には、周方向に沿って日付を表す文字が印刷された円盤状の文字板２０４が固定されている。そして、時計２００の本体には、文字板２０４に設けられた一文字を露出する窓部２０５が設けられており、窓部２０５から日付が覗けるようになっている。なお、時計２００には、特に図示していないが、長針及び短針や、これら長針及び短針を駆動するムーブメント等が設けられている。
【００７１】
なお、圧電モーター１は、カレンダー表示機構だけではなく、時計の長針・短針等を駆動するムーブメントとして利用することができる。これら時計の長針・短針等を駆動する構造については従来周知の電磁モーター等の代わりに上述した圧電モーター１、１Ａを組み込むだけで可能である。
【００７２】
また、本発明は、広く圧電モーター全般を対象としたものであり、上述した液体噴射装置や時計以外の小型デバイスに利用することが可能である。圧電モーターを利用できる小型デバイスとしては、医療用ポンプ、カメラ、産業用や義手などのロボット等が挙げられる。
【符号の説明】
【００７３】
１、１Ａ  圧電モーター、  １０、１０Ａ  圧電アクチュエーター、  ２０、２０Ａ  振動部材、  ２５  接着剤、  ３０、３０Ａ  圧電素子、  ４０  圧電体層、  ５０  第１電極、  ５１  導電層、  ５２  密着層、  ５３  除去部、  ６０  第２電極、  ７０  溝部、  ８０  押圧手段、  １００  記録装置、  ２００  時計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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