(57)【要約】【課題】インプリントリソグラフィ装置で使用してインプリントテンプレート構成を保持し、移動又は変形させるのに適切な新しい又は代替構成を提供する。【解決手段】インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成が開示される。この構成は、インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のアクチュエータと、支持構造に取り付けられ、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成され、その移動範囲が第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータとを備える。【選択図】図４
2010272860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、
インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のアクチュエータと、
前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成され、その移動範囲が前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータと、
を備える構成。
【請求項２】
前記第１のアクチュエータが、前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置される、請求項１に記載の構成。
【請求項３】
前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、使用時に前記インプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って配置され、前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、並列構成で互いに並んで配置される、請求項１又は請求項２に記載の構成。
【請求項４】
前記第１及び／又は第２のアクチュエータが、前記インプリントテンプレート構成の外周側に力を印加するように配置される、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項５】
別の第１のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触し、及び／又は
別の第２のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触する、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項６】
前記第１のアクチュエータが、複数の第１のアクチュエータのうちの１つであり、及び／又は
前記第２のアクチュエータが、複数の第２のアクチュエータのうちの１つである、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項７】
前記第１のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項８】
前記第２のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項９】
前記第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするように構成されたアクチュエータ位置決め構成をさらに備える、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項１０】
前記インプリントテンプレート構成が、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダである、前記請求項のいずれか１項に記載の構成。
【請求項１１】
インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
第１のインプリントテンプレート構成と第２のインプリントテンプレート構成とを支持するように配置された支持構造と、
前記支持構造に取り付けられた第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータであって、使用時に前記支持構造と前記第１のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置され、前記第１のインプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータと、
前記支持構造に取り付けられた第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータであって、使用時に前記支持構造と前記第２のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置され、前記第２のインプリントテンプレート構成に力を印加する第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータと、
を備える構成。
【請求項１２】
複数の第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第１のインプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って延在するように配置され、及び／又は複数の第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第２のインプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って延在するように配置される、請求項１１に記載の構成。
【請求項１３】
複数の第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第１のインプリントテンプレート構成を取り囲むように配置され、及び／又は複数の第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第２のインプリントテンプレート構成を取り囲むように配置される、請求項１１又は請求項１２に記載の構成。
【請求項１４】
前記第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータ及び／又は前記第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、請求項１１から１３のいずれか１項に記載の構成。
【請求項１５】
前記請求項のいずれか１項に記載の構成を備えるインプリントリソグラフィ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
[0001]    本発明は、インプリントリソグラフィ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
[0002]  リソグラフィ分野では、所与の基板領域上のフィーチャの密度を増大するために、リソグラフィパターン内のフィーチャのサイズを低減するという従来からの要望がある。フォトリソグラフィ分野では、小さいフィーチャへの努力によってコスト高ではあるが液浸リソグラフィ及び極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィなどの技術が開発されてきた。
【０００３】
[0003]  ますます関心が寄せられている潜在的にコスト高でない小さいフィーチャを得る方法が、一般に「スタンプ」（多くの場合、インプリントテンプレートと呼ばれる）を用いて基板上にパターンを転写するいわゆるインプリントリソグラフィである。インプリントリソグラフィの利点は、フィーチャの解像度が、例えば、放射源の放射波長又は投影システムの開口数によって制限されないということである。逆に、解像度は、主としてインプリントテンプレート上のパターンの密度によって制限される。
【０００４】
[0004]  インプリントリソグラフィは、パターン形成する基板の表面上のインプリント可能な媒体のパターン形成工程を含む。パターン形成工程は、インプリントテンプレートのパターン形成された表面とインプリント可能な媒体の層とを一緒に押しつけてインプリント可能な媒体がパターン形成された表面の凹部に流入してパターン形成された表面上の突起によって脇へ押し退けられる工程を含む。凹部は、インプリントテンプレートのパターン形成された表面のパターンフィーチャを形成する。通常、インプリント可能な媒体は、パターン形成された表面とインプリント可能な媒体とが一緒に押しつけられる際に流動することができる。インプリント可能な媒体のパターン形成に続けて、インプリント可能な媒体は流動不能な状態又は凍結状態に適切に達し、インプリントテンプレートのパターン形成された表面とパターン形成されたインプリント可能な媒体は分離される。次に、通常、基板とパターン形成されたインプリント可能な媒体は、さらに処理されて基板のパターン形成又は別のパターン形成が実行される。インプリント可能な媒体は、通常、パターン形成する基板表面上のレジストの液滴から形成される。
【０００５】
[0005]  インプリント可能な媒体内にパターンを正確かつ均一に塗布するには、インプリントテンプレートを移動又は変形させることが必要な場合がある。インプリントテンプレートを移動又は変形させてインプリントテンプレートの熱膨張又は倍率エラー又はその他の異状を考慮に入れるか又は補償することができる。インプリントテンプレートを移動又は変形させるために、インプリントテンプレートの周囲に１つ又は複数のアクチュエータを配置することができる。これらの１つ又は複数のアクチュエータを起動してインプリントテンプレートの一部に押しつけ又はこれを引っ張ってインプリントテンプレートの所望の変形又はその位置の変化を確立することができる。
【発明の概要】
【０００６】
[0006]  インプリントテンプレートは、直接的に（例えば、インプリントテンプレートを移動又は変形させることで）、又は間接的に（例えば、インプリントテンプレートホルダを移動又は変形させることで）移動又は変形させることができる。一般的に、インプリントテンプレートは、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダであるインプリントテンプレート構成を移動又は変形させることで、移動又は変形させることができる。
【０００７】
[0007]  例えば、インプリントリソグラフィ装置で使用してインプリントテンプレート構成を保持し、移動又は変形させるのに適切な新しい又は代替構成を提供することが望ましい。
【０００８】
[0008]  一態様によれば、インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のアクチュエータと、支持構造に取り付けられ、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成され、その移動範囲が第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータとを備える構成が提供される。
【０００９】
[0009]  インプリントテンプレート構成は、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダであってもよい。
【００１０】
[0010]  第１のアクチュエータは、支持構造に取り付けられていてもよく、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置されていてもよい。
【００１１】
[0011]  第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータは、使用時にインプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って配置するように配置されていてもよく、第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータは、並列構成で互いに並んで配置されている。
【００１２】
[0012]  第１及び／又は第２のアクチュエータは、インプリントテンプレート構成の外周側に力を印加するように配置されていてもよい。
【００１３】
[0013]  別の第１のアクチュエータを支持構造の反対側に提供してインプリントテンプレート構成の反対側に接触させてもよく、及び／又は別の第２のアクチュエータを支持構造の反対側に提供してインプリントテンプレート構成の反対側に接触させてもよい。
【００１４】
[0014]  第１のアクチュエータは、複数の第１のアクチュエータのうちの１つであってもよく、及び／又は第２のアクチュエータは、複数の第２のアクチュエータのうちの１つであってもよい。複数の第１のアクチュエータ及び／又は第２のアクチュエータは、使用時に、インプリントテンプレート構成を取り囲むか又はインプリントテンプレート構成の１つ又は複数の側に沿って延在する支持構造上の位置にあってもよい。
【００１５】
[0015]  第１のアクチュエータは、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータであってもよい。第２のアクチュエータは、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータであってもよい。
【００１６】
[0016]  支持構造は、インプリントテンプレート構成を取り囲むように配置されていてもよい。
【００１７】
[0017]  この構成は、第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするように構成されたアクチュエータ位置決め構成をさらに備えていてもよい。アクチュエータ位置決め構成は、第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするように構成された１つ又は複数の圧電要素を備えていてもよい。代替的に又は追加的に、アクチュエータ位置決め構成は、第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするための空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成を備えていてもよい。
【００１８】
[0018]  一態様によれば、インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、第１のインプリントテンプレート構成と第２のインプリントテンプレート構成とを支持するように配置された支持構造と、支持構造に取り付けられた第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータであって、使用時に支持構造と第１のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置され、第１のインプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータと、支持構造に取り付けられた第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータであって、使用時に支持構造と第２のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置され、第２のインプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータとを備える構成が提供される。
【００１９】
[0019]  １つ又は複数のアクチュエータは、インプリントテンプレート構成を取り囲んでいてもよく、すべて同じタイプであってもよく、及び／又はすべて同じ移動範囲を有していてもよい。別の実施形態では、アクチュエータは、１つ又は複数の第１のタイプのアクチュエータと、移動範囲が第１のタイプのアクチュエータの移動範囲より大きい１つ又は複数の第２のタイプのアクチュエータとを備えていてもよい。第１及び第２のタイプのアクチュエータは、並列又は直列に配置してもよい。直列構成では、第１及び第２のタイプのアクチュエータは、直線的に互いに隣接して配置されていてもよい。別の実施形態では、第１の支持構造は、インプリントテンプレート構成を取り囲んでいてもよく、第１のタイプのアクチュエータは、第１の支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在していてもよい。第２の支持構造は、第１の支持構造とインプリントテンプレート構成の両方を取り囲んでいてもよく、第２のタイプのアクチュエータは、第２の支持構造と第１の支持構造との間に延在して直列構成を形成してもよい。
【００２０】
[0020]  アクチュエータは、任意の適切なアクチュエータであってもよく、例えば、圧電アクチュエータ、磁気アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、ねじ山構成などであってもよい。アクチュエータは、それぞれのインプリントテンプレート構成を完全に又は部分的に取り囲んでいてもよい。例えば、アクチュエータは、インプリントテンプレート構成の一方の側に沿って、又はインプリントテンプレート構成の両側に沿って延在していてもよい。
【００２１】
[0021]  ３つ以上のインプリントテンプレート構成を支持することができる。支持構造に別のインプリントテンプレート構成のアクチュエータを取り付け、使用時に支持構造と追加のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置してもよい。例えば、４つのインプリントテンプレート構成を支持することができる。
【００２２】
[0022]  インプリントテンプレート構成は、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダであってもよい。
【００２３】
[0023]  一態様によれば、本明細書に記載する構成のいずれかを備えるインプリントリソグラフィ装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
[0024]  以下、添付の図面を参照しながら、本発明の特定の実施形態について説明する。
【図１ａ】[0025]ホットインプリントリソグラフィの例の略図である。
【図１ｂ】[0025]ＵＶインプリントリソグラフィの例の略図である。
【図２】[0026]第１のタイプのアクチュエータを備える、インプリントテンプレートを変形させる構成の略図である。
【図３】[0027]第２のタイプのアクチュエータを備える、インプリントテンプレートを変形させる別の構成の略図である。
【図４】[0028]本発明のある実施形態によるインプリントテンプレートを変形させる構成の略図である。
【図５】[0029]本発明のある実施形態によるインプリントテンプレートホルダを変形させる構成の略図である。
【図６】[0030]インプリントテンプレートの一方の側に沿って配置されたアクチュエータを用いたインプリントテンプレートの保持、移動又は変形に関連付けられた問題の略図である。
【図７】[0031]インプリントテンプレートの一方の側に沿って配置されたアクチュエータを用いたインプリントテンプレートの保持、移動又は変形に関連付けられた別の問題の略図である。
【図８】[0032]アクチュエータ位置決め構成の略図である。
【図９】[0033]別のアクチュエータ位置決め構成の略図である。
【図１０】[0034]複数のインプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造の略図である。
【図１１】[0035]本発明のある実施形態による複数のインプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造の略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
[0036]  ２つの周知のインプリントリソグラフィ方法の例が、図１ａ〜図１ｂに概略的に示されている。
【００２６】
[0037]  図１ａは、いわゆるホットインプリントリソグラフィ（又はホットエンボス）の一例を示す。典型的なホットインプリント工程では、テンプレート２が、基板６の表面にキャストされた熱硬化性又は熱可塑性のインプリント可能な媒体４内にインプリントされる。インプリント可能な媒体４は、例えば樹脂であってもよい。樹脂は、例えば、スピンコートして基板表面、又は図示の例のように、基板６の平坦化及び転写層８に焼成してもよい。熱硬化性ポリマー樹脂を使用する場合、樹脂はテンプレートに接触すると、テンプレート上に形成されたパターンフィーチャ内に流入する程度に十分に流動可能な状態になるような温度に加熱される。次に、樹脂の温度は、上昇して樹脂を熱硬化（架橋結合）させ、樹脂は固体化し所望のパターンを不可逆的に採用する。次に、テンプレート２を除去してパターン形成された樹脂を冷却することができる。熱可塑性ポリマー樹脂の層を使用するホットインプリントリソグラフィでは、熱可塑性樹脂が加熱されてテンプレート２によるインプリントの直前に自由に流動可能な状態になる。場合によって、熱可塑性樹脂を樹脂のガラス転移温度より大幅に高い温度まで上昇させる必要がある。テンプレートは流動性樹脂に押しつけられ、次にガラス転移温度より下の温度まで冷却され、その間、テンプレート２が所定位置でパターンを硬化させる。その後、テンプレート２は除去される。パターンは、樹脂の残りの層から浮き彫りになったフィーチャからなり、次に、残りの層は、適切なエッチング工程によって除去され、パターンフィーチャだけが後に残される。ホットインプリントリソグラフィ工程で使用される熱可塑性ポリマー樹脂の例は、ポリ（メチルメタクリレート）、ポリスチレン、ポリ（ベンジルメタクリレート）、又はポリ（シクロヘキシルメタクリレート）である。ホットインプリントの詳細情報については、例えば、米国特許第４，７３１，１５５号及び米国特許第５，７７２，９０５号を参照されたい。
【００２７】
[0038]  図１ｂは、紫外線（ＵＶ）を透過する透明な又は半透明のテンプレートとインプリント可能な媒体としてのＵＶ硬化性液体（本明細書では「ＵＶ」という用語が便宜上使用されているが、インプリント可能な媒体を硬化させる任意の適切な化学線放射を含むものと解釈すべきである）の使用を含むＵＶインプリントリソグラフィの一例を示す。ＵＶ硬化性液体は、多くの場合、ホットインプリントリソグラフィで使用される熱硬化性又は熱可塑性樹脂よりも粘性が低く、したがって、はるかに速く移動してテンプレートのパターンフィーチャを充填することができる。図１ａの工程と同様の方法で石英テンプレート１０が、ＵＶ硬化性樹脂１２に当てられる。しかし、ホットインプリントの場合と異なり、熱又は温度サイクリングを用いるのではなく、石英テンプレートを通してインプリント可能な媒体上に印加されるＵＶ放射でインプリント可能な媒体を硬化させることでパターンは固まる。テンプレートを除去した後、パターンは樹脂の残りの層から浮き彫りになったフィーチャからなり、次に、残りの層は、適切なエッチング工程によって除去されてパターンフィーチャだけが後に残される。ＵＶインプリントリソグラフィによって基板をパターン形成する特定の方法は、いわゆるステップアンドフラッシュインプリントリソグラフィ（ＳＦＩＬ）である。ＳＦＩＬは、従来、ＩＣ製造で使用されている光ステッパと類似の方法で基板を細かいステップでパターン形成するために使用することができる。ＵＶインプリントの詳細情報については、例えば、米国特許出願公開第２００４−０１２４５６６号、米国特許第６，３３４，９６０号、ＰＣＴ特許出願公開ＷＯ０２／０６７０５５号、及び「Ｍｏｌｄ−ａｓｓｉｓｔｅｄ  ｎａｎｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ：Ａ  ｐｒｏｃｅｓｓ  ｆｏｒ  ｒｅｌｉａｂｌｅ  ｐａｔｔｅｒｎ  ｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ」、Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ｂ１４（６），１９９６年１１月／１２月と題されたＪ．Ｈａｉｓｍａ氏の論文を参照されたい。
【００２８】
[0039]  また、上記インプリント技術の組合せも可能である。例えば、インプリント可能な媒体の加熱及びＵＶ硬化の組合せを記述する米国特許出願公開第２００５−０２７４６９３号を参照されたい。
【００２９】
[0040]  インプリントテンプレートがインプリント可能な媒体内にインプリントされる間、又はその前に、インプリントテンプレートを少なくとも部分的に変形させることが望ましい場合がある。そのような変形は、例えば、インプリントテンプレートの熱変形を考慮するか又は倍率の修正などを行うために望ましい。
【００３０】
[0041]  図２は、インプリントテンプレートを変形させる構成を概略的に示す。インプリントテンプレート２０が示されている。インプリントテンプレート２０をアクチュエータ支持構造２２が取り囲んでいる。アクチュエータ支持構造２２は、アクチュエータ支持構造２２から延在してインプリントテンプレート２０の外周側に接触する複数のアクチュエータ２４を支持する。アクチュエータ２４は、例えば、圧電アクチュエータなどであってもよい。１つ又は複数のアクチュエータ２４を起動してインプリントテンプレート２０の一部に押しつけ又はこれを引っ張ってインプリントテンプレート２０を適切に変形させることができる。
【００３１】
[0042]  図２は、インプリントテンプレートを変形させる構成として記載されている。本明細書に記載する他のすべての実施形態同様、構成のアクチュエータを、代替的に又は追加的に用いてインプリントテンプレートを保持し（例えば、締め付け）又はインプリントテンプレートを移動させる（例えば、その位置を変更する）ことができる。アクチュエータは、インプリントテンプレートを直接変形させるか、移動させるか、又は保持することができる。あるいは、アクチュエータは、使用時に、インプリントテンプレートを保持するインプリントテンプレートホルダを移動させるか、保持し又は変形させて当該インプリントテンプレートを移動させるか、保持するか、又は変形させることができる。一般の用語では、本明細書に記載する構成は、インプリントテンプレート構成を保持し、移動させ又は変形させるために使用され、インプリントテンプレート構成は、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダである。
【００３２】
[0043]  図３は、インプリントテンプレートを変形させる別の構成を概略的に示す。インプリントテンプレート３０が示されている。インプリントテンプレート３０をアクチュエータ支持構造３２が取り囲んでいる。アクチュエータ支持構造３２は、アクチュエータ支持構造３２から延在してインプリントテンプレート３０の外周側に接触する複数のアクチュエータ３４を支持する。アクチュエータ３４は、例えば、ねじ山構成などであってもよい。１つ又は複数のアクチュエータ３４を起動してインプリントテンプレート３０の一部に押しつけ又はこれを引っ張ってインプリントテンプレート３０を適切に変形させることができる。
【００３３】
[0044]  図２及び図３を組み合わせて参照する。図２のアクチュエータ２４は、第１のタイプである。図３のアクチュエータ３４は、第２の別のタイプである。より詳細には、図３のアクチュエータ３４は、図２のアクチュエータ２４の移動範囲よりも大きい移動範囲を有する。
【００３４】
[0045]  図２のアクチュエータ２４は、より短い移動範囲を有する。しかし、移動はより正確に制御され、アクチュエータ２４がインプリントテンプレート２０に印加する力もより正確に制御される。アクチュエータ２４の移動範囲が限られているため、例えば、インプリントテンプレート２０を迅速かつ容易にロード及びアンロードすることは困難なことがある。代替的に又は追加的に、インプリントテンプレート２０を所望の範囲に移動又は変形することは困難又は不可能なことがある。
【００３５】
[0046]  図３は、増加した移動範囲を有するアクチュエータ３４を示す。アクチュエータ３４の増加した移動範囲によって、より大きい力をインプリントテンプレート３０に印加し、又はより大きい位置の変化を実施することができる。しかし、アクチュエータ３０の大きい移動範囲のために、所望の力又は位置の変化を正確に施すことは困難なことがある。
【００３６】
[0047]  短い移動範囲を有するアクチュエータの利点を有し、長い移動範囲を有するが、例えば、所与の単一のタイプのアクチュエータの使用に関連付けられた問題をほとんど又は全く含まないアクチュエータの利点を有するインプリントテンプレートを変形させ、移動させ又は保持する構成を提供することが望ましい。
【００３７】
[0048]  本発明のある実施形態によれば、インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造（例えば、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダ）を備えるインプリントリソグラフィ装置が提供される。第１のアクチュエータ（又は複数の第１のアクチュエータ）は、支持構造に取り付けられ、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置されている。したがって、第１のアクチュエータは、インプリントテンプレート構成に力を印加する能力がある。第２のアクチュエータ（又は複数の第２のアクチュエータ）も提供される。第２のアクチュエータは、支持構造に取り付けられ、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置されている。したがって、第２のアクチュエータは、インプリントテンプレート構成に力を印加する能力がある。第２のアクチュエータの移動範囲は、第１のアクチュエータの移動範囲より大きい。第１及び第２のアクチュエータの移動範囲の差は、各アクチュエータを切り離して使用する利点が存在するが、欠点はほとんど又は全くないということを意味する。
【００３８】
[0049]  図４は、本発明のある実施形態によるインプリントテンプレートを変形させる構成を概略的に示す。インプリントテンプレート４０が示されている。インプリントテンプレート４０をアクチュエータ支持構造４２が取り囲んでいる。アクチュエータ支持構造４２は、複数の第１のアクチュエータ４４と複数の第２のアクチュエータ４６とを支持する。アクチュエータ４４，４６は、アクチュエータ支持構造４２から延在してインプリントテンプレート４０の外周側（又はすべてが実質的に同じ部分を意味する縁部又は面）に接触する。第２のアクチュエータ４６の移動範囲は、第１のアクチュエータ４４の移動範囲より大きい。この制限はあるが、第１のアクチュエータ及び／又は第２のアクチュエータは、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成（例えば、ねじ、ボルト、ねじスピンドルなどのねじ山を有する任意のもの）のうちの１つであってもよい。
【００３９】
[0050]  アクチュエータ４４、４６は、アクチュエータ支持構造４２とインプリントテンプレート４０との間に延在する。また、アクチュエータ４４、４６は、別の実施形態では、支持構造４２を通って延在することができる。インプリントテンプレート４０の任意の所与の側に沿って、第１のアクチュエータ４４及び第２のアクチュエータ４６を並列構成に互いに並んで配置することができる。これは、インプリントテンプレート４０の任意の所与の側に沿って、アクチュエータ４４、４６が同じ並列方向に延在又は移動することができるということを意味する。
【００４０】
[0051]  アクチュエータ４４、４６を用いてインプリントテンプレート４０の外周側に力を印加してインプリントテンプレート４０を保持し、変形させ又は移動させる（例えば、位置を変更する）ことができる。保持、移動又は変形の正確な制御を達成するために、第１のアクチュエータ４４を支持構造４２の両側に配置してインプリントテンプレート４０の両側に接触させることができる。同様に、第２のアクチュエータ４６を支持構造４２の両側に提供してインプリントテンプレート４０の両側に接触させてもよい。図４では、第１のアクチュエータ４４及び第２のアクチュエータ４６は、使用時に、インプリントテンプレート４０を取り囲む支持構造４２上の所定位置にある。別の実施形態では、アクチュエータ４４は、インプリントテンプレート４０の１つ又は複数の側だけに沿って延在してもよい。インプリントテンプレートの一方の側は、剛性の支持体又は壁などによって支持され、インプリントテンプレートの壁の反対側のアクチュエータは、インプリントテンプレートに押しつけられてインプリントテンプレートを変形させ又は保持するように配置されている。
【００４１】
[0052]  上記のように、図４に示す構成を用いて、インプリントテンプレートを保持し、移動させ又は変形させることができる。図４に示す構成を用いて、一般に、インプリントテンプレート（図４に示す）又は、使用時に、インプリントテンプレートを保持することができるインプリントテンプレートホルダであってもよいインプリントテンプレート構成を保持し、移動させ又は変形させることができる。図５は、本発明の別の実施形態を概略的に示す。図５で、図４のアクチュエータ構成を用いてインプリントテンプレートホルダ５０が支持される。図示のインプリントテンプレートホルダ５０は、インプリントテンプレート５２を保持している。したがって、インプリントテンプレート５２は、インプリントテンプレートホルダ５０を適当に保持し、変形させ又は移動させることで保持し、移動させ又は変形させることができる。
【００４２】
[0053]  第２のアクチュエータの移動範囲が第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータと第１のアクチュエータとを組み合わせて使用することで、１つ又は複数の利点が得られる。例えば、第２のアクチュエータは、空気圧アクチュエータであってもよい。空気圧アクチュエータは、所望の大きい力を提供して、例えば、インプリントテンプレートを変形させることで倍率修正を付与することができる。しかし、空気圧アクチュエータは、一般に、長軸に沿って可撓性を有する。したがって、空気圧アクチュエータは、正確な位置制御には有用でないことがある。第１のアクチュエータは、例えば、ボイスコイルであってもよい。ボイスコイルが印加する力は高い精度で制御することができるため、ボイスコイルは位置決めには極めて適切である。しかし、ボイスコイルで大きい力を印加するためには、ボイスコイルが接触するインプリントテンプレートの領域内に大きい熱負荷が提供され、この熱によって望ましくないことにインプリントテンプレートが変形する可能性があるため、ボイスコイルは倍率修正を提供するのにはあまり適切でない。しかし、これらのタイプのアクチュエータの両方（例えば、ボイスコイルと空気圧アクチュエータ）を組み合わせることで、各々のタイプのアクチュエータに関連付けられた個別の欠点を克服することができる。空気圧アクチュエータを用いてインプリントテンプレートに大きい力を加えることができ、一方、ボイスコイルを用いて小さいが正確な力をインプリントテンプレートに加えることができる。したがって、ボイスコイルを用いて空気圧アクチュエータによって印加された力を微調整し、又はインプリントテンプレートの形状又は位置に対して小さい変更を加えることができる。ボイスコイルはインプリントテンプレートに大きい力を印加する必要がないため、そのような大きい力に関連付けられた大きい熱負荷の問題が回避される。
【００４３】
[0054]  別の例では、第１のアクチュエータより大きい移動範囲を有する第２のアクチュエータは、ねじ山構成であってもよい。ねじ山構成が所定位置にあると、ねじ山を所定位置に保持するためにエネルギーの入力が不要なため、ねじ山構成は有利である。ねじ山構成を用いてインプリントテンプレートに大きい力を印加することができる。しかし、ねじ山によって印加される力を極めて正確に制御することは困難である。ねじ山構成の移動範囲よりも小さい移動範囲を有する第１のアクチュエータは、例えば、圧電アクチュエータであってもよい。圧電アクチュエータを用いてねじ山構成によって印加される力を微調整するか、又はインプリントテンプレートの形状又は位置に対して小さい変更を加えることができる。これは、孤立したねじ山構成では実行することが困難又は不可能であろう。
【００４４】
[0055]  図６及び図７は、図４に示し、それに関連して説明する構成の使用中に発生する可能性がある問題を概略的に示す。これらの問題は、一般に、図５に示す構成にも同様に適用可能である。図６を参照すると、第２のアクチュエータ４６がインプリントテンプレート４０をアクチュエータ支持構造４２から遠ざかるように制御されている。そうすることで、第１のアクチュエータ４４はもはやインプリントテンプレート４０と接触せず、したがって、インプリントテンプレート４０を保持し、変形させ又は移動させるために使用できない。図７は、これとは異なるが、関連した問題を示す。図７で、インプリントテンプレート４０は、第２のアクチュエータ４６と接触した状態で示されている。しかし、インプリントテンプレート４０の製造が不完全なために、インプリントテンプレート４０の側が平坦でなく、起伏を含む。この例では、これらの起伏によって第１のアクチュエータ４４がインプリントテンプレート４０のこの側に接触しない。これは、第１のアクチュエータを、例えば、インプリントテンプレート４０を移動させ、保持し又は変形させるために使用できないということを意味する。
【００４５】
[0056]  図６及び図７で示す１つ又は複数の問題又は本明細書に記載されていないその他の問題を克服するために、第１のアクチュエータ４４を起動して第１のアクチュエータ４４をインプリントテンプレート４０の方へ延在させ又は移動させ、アクチュエータ４４をインプリントテンプレート４０に接触させることが可能である。しかし、そのような移動又は延在を達成するそのような起動は、第１のアクチュエータ４４の移動範囲の貴重な部分を占める場合がある。これは、インプリントテンプレート４０を保持し、変形させ又は移動させるために可能な延在又は移動がほとんど又は全くないということを意味する。別の解決策では、アクチュエータ位置決め構成を提供して第１のアクチュエータ４４を（又は第２のアクチュエータ４６も）位置決めすることができる。第１のアクチュエータ４４は、例えば、第１のアクチュエータ４４をインプリントテンプレート４０の方へ移動させて接触させることで位置決めすることができる。これは、第１のアクチュエータ４４を起動することなく達成可能である。これは、第１のアクチュエータ４４の移動中又は移動後に各第１のアクチュエータ４４の移動範囲は失われていないということを意味する。したがって、第１のアクチュエータ４４の全移動範囲を、インプリントテンプレート４０を保持し、移動させ又は変形させるために利用することができる。
【００４６】
[0057]  図８は、アクチュエータを位置決めする構成の側面図を概略的に示す。この構成は、インプリントテンプレート構成６１を完全に又は部分的に取り囲むことができる支持構造６０を備える。その支持構造６０の異なる側から複数の位置決めアクチュエータ６２が延在している。位置決めアクチュエータ６２は、第１のアクチュエータ４４（例えば、上記の第１のアクチュエータ４４）を支持する。第１のアクチュエータ４４は、支持構造６０を通って延在する。位置決めアクチュエータ６２を用いて、選択的に第１のアクチュエータ４４を連続的又は段階的に締め付け、移動させることができる。位置決めアクチュエータ６２を用いて、例えば、第１のアクチュエータ４４をインプリントテンプレート構成６１の隣に、又はこれと接触させて位置決めすることができる。
【００４７】
[0058]  位置決めアクチュエータ６２は、例えば、高い精度で制御することができる圧電要素であってもよい。別のアクチュエータを使用してもよい。第１のアクチュエータ４４は、高い精度で制御することができる圧電要素であってもよい。別のアクチュエータを使用してもよい。第１のアクチュエータ４４の締め付け及び移動を、位置決めアクチュエータ６２の１つ又は複数のコンポーネントに適切な電界を印加することで達成し、位置決めアクチュエータ６２の１つ又は複数の部分の向き又は範囲を１つ又は複数の次元で制御することができる。
【００４８】
[0059]  別の例（図示せず）では、位置決めアクチュエータは、第１のアクチュエータ４４を締め付けなくてもよい。その代わりに、第１のアクチュエータは、第１のアクチュエータの下方に位置する位置決めアクチュエータ（例えば、図８の下側の複数の位置決めアクチュエータ）上に着座していてもよい。位置決めアクチュエータを選択的に起動して第１のアクチュエータを移動させてもよい。
【００４９】
[0060]  図９は、アクチュエータを位置決めする別の構成を概略的に示す。側面図で示す構成は、インプリントテンプレート構成７１を完全に又は部分的に取り囲む支持構造７０を備える。その支持構造７０の異なる側から複数の位置決めアクチュエータ７２が延在している。位置決めアクチュエータ７２は、第１のアクチュエータ４４（例えば、上記第１のアクチュエータ４４）を支持する。第１のアクチュエータ４４は、支持構造７０を通って延在する。位置決めアクチュエータ７２は、選択的に制御されて第１のアクチュエータ４４の一部を締め付け又は緩める。第１のアクチュエータ４４の一部を１つ又は複数の位置決めアクチュエータ７２で締め付けることができる。第１のアクチュエータ４４は、延在するように制御することができる。次に、別の位置決めアクチュエータ７２は、第１のアクチュエータ４４の別の部分を締め付けることができ、次に以前に締め付けた位置決めアクチュエータ７２を緩めて第１のアクチュエータ４４の一部を位置決めアクチュエータ７２間で移動させることができる。このプロセスを繰り返して位置決めアクチュエータ７２間で第１のアクチュエータ４４を段階的に移動させ、例えば、第１のアクチュエータ４４をインプリントテンプレート構成７１に隣接させ又はこれと接触させて位置決めすることができる。
【００５０】
[0061]  位置決めアクチュエータ７２は、高い精度で制御することができる圧電要素であってもよい。別のアクチュエータを使用してもよい。第１のアクチュエータ４４は、高い精度で制御することができる圧電要素であってもよい。別のアクチュエータを使用してもよい。第１のアクチュエータ４４の締め付け及び移動を位置決めアクチュエータ７２の１つ又は複数のコンポーネントに適切な電界を印加することで達成し、位置決めアクチュエータ７２の１つ又は複数の部分の向き又は範囲を１つ又は複数の次元で制御することができる。
【００５１】
[0062]  図８及び図９に示す構成を用いてインプリントテンプレート構成に対して１つ又は複数のアクチュエータを位置決めすることができる。単一のアクチュエータの移動しか図示していないが、２つ以上のアクチュエータを移動させることもできる。アクチュエータがインプリントテンプレート構成に接触し及び／又は取り付けられている場合、図８及び図９に示す構成を代替的に又は追加的に使用してインプリントテンプレート構成を位置決めすることができる。
【００５２】
[0063]  図８及び図９に示す位置決めアクチュエータは、第１のアクチュエータだけを、又は第１のアクチュエータが取り付けられた、又は第１のアクチュエータがその一部を形成する材料の本体などを移動させることができる。図８及び図９に示す位置決めアクチュエータは、複数のアクチュエータ、例えば、１つ又は複数の別のアクチュエータに取り付けられた第１のアクチュエータを支持することができ、又はこれを移動させるように起動することができる。別のアクチュエータを用いて、例えば、１つ又は複数の別のアクチュエータを適当に拡張又は圧縮することで、第１のアクチュエータの移動を支援することができる。支持構造の１つ又は複数の側又は部分（又は異なる側又は部分）から延在して第１のアクチュエータを支持する複数の位置決めアクチュエータを提供してもよい。支持構造は、インプリントテンプレート構成を完全に又は部分的に取り囲んでいてもよい。支持構造に複数の位置決めアクチュエータを取り付け、複数の位置決めアクチュエータがインプリントテンプレート構成の１つ又は複数の側に沿って延在するように配置してもよい。１つ又は複数の位置決めアクチュエータは、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル又はねじ山構成の１つであってもよく、及び／又は第１のアクチュエータは、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル又はねじ山構成の１つであってもよい。
【００５３】
[0064]  第２のアクチュエータ４６を移動又は延在させてインプリントテンプレートを保持し変形させ又は移動させる動作は、インプリントテンプレートのインプリントが実行される環境（例えば、ハウジング又はステーション）から離れた環境（例えば、ハウジング又はステーション）で実行することができる。これは、第２のアクチュエータの移動又は延在によってアクチュエータから微粒子又は細片等がはがれることがあり、その結果、インプリントテンプレートをインプリントする媒体が汚染される可能性があるためである。第１のアクチュエータ４４の移動又は延在は汚染を引き起こしにくいため、第１のアクチュエータ４４をインプリントテンプレートのインプリントが実行される同じ環境（例えば、ハウジング又はステーション）で起動することができる。
【００５４】
[0065]  インプリントテンプレート構成を変形させるためにインプリントテンプレート構成に印加する必要がある力は、インプリントテンプレート構成を移動させるために必要な力とは全く異なる。一般に、インプリントテンプレート構成を変形させるのに（例えば、倍率異状を補償するのに）必要な力は、インプリントテンプレート構成を移動させる（すなわち、インプリントテンプレート構成を整列させる）のに必要な力よりもはるかに大きい。したがって、インプリントテンプレート構成を変形させるために、インプリントテンプレート構成に印加される力のいかなる小さい変動（例えば、雑音）もインプリントテンプレート構成を移動させるのに必要な力の大きい変動として存在する。これらの大きい変動の結果として、インプリントテンプレート構成のアライメントが不正確になることがある。この問題の解決策は、インプリントテンプレート構成を移動させる制御帯域幅に対してインプリントテンプレート構成を変形させる制御帯域幅を少なくすることである。その結果、インプリントテンプレート構成の移動（例えば、アライメント）の不正確さが低減される。インプリントテンプレート構成を変形させる制御帯域幅の低減によって、変形はより低速で実施される。しかし、例えば、インプリントテンプレート構成をその内部でインプリントするインプリント可能な媒体が硬化する前にインプリントテンプレート構成が確実に所望の変形を遂げるのに十分な速度で変形を実行することができる。
【００５５】
[0066]  上記実施形態では、インプリントテンプレート構成を支持する状態で支持構造を説明してきた。図示の各々の支持構造を単一のインプリントテンプレート構成を保持する状態で示してきた。用途によっては、複数のインプリントテンプレート構成（例えば、複数のインプリントテンプレート）を同時に又は並列で使用してインプリントリソグラフィのプロセス又は方法を改良することが望ましい。図１０は、支持構造８２によって所定位置に強固に保持された４つのインプリントテンプレート８０を概略的に示す。これは、インプリントテンプレート８０を支持構造８２に対して移動させることができないことを意味する。支持構造８２を移動させて、例えば、パターンをインプリントする基板に対してインプリントテンプレート８０を位置決めすることができる。しかし、複数のインプリントテンプレートを支持することができるより多用途の支持構造を提供することが望ましい。
【００５６】
[0067]  本発明のある実施形態によれば、複数のインプリントテンプレートを支持するように配置された支持構造が提供される。第１のインプリントテンプレートアクチュエータは、支持構造に取り付けられ、使用時に支持構造と第１のインプリントテンプレートとの間に延在するように配置される。第１のアクチュエータは、第１のインプリントテンプレートに力を印加して第１のインプリントテンプレートを保持し、第１のインプリントテンプレートを移動させ、又は第１のインプリントテンプレートを変形させるように構成されている。第２のインプリントテンプレートアクチュエータも提供され、支持構造に取り付けられている。第２のインプリントテンプレートアクチュエータは、使用時に、支持構造と第２のインプリントテンプレートとの間に延在する。第２のインプリントテンプレートアクチュエータは、第２のインプリントテンプレートに力を印加するように構成され、したがって、第２のインプリントテンプレートを保持し、移動させ又は変形させることができる。支持構造は、各インプリントテンプレートの１つの、複数の又はすべての側に沿って延在するか又はこれを取り囲むことができる。
【００５７】
[0068]  第１のインプリントテンプレートのための１つ又は複数のアクチュエータと、第２のインプリントテンプレートのための１つ又は複数のアクチュエータとを提供することで、第１のインプリントテンプレートの保持、移動又は変形は、第２のインプリントテンプレートのそれから独立して制御することができる。これによって、支持構造は、全体として複数のインプリントテンプレートを支持する既存の支持構造よりも多用途になる。１つの利点は、各インプリントテンプレートのより正確な保持、移動又は変形を達成することができるように、任意の他のインプリントテンプレートから独立して各インプリントテンプレートを保持し、移動させ又は変形させる能力である。これによって、基板などへのパターンのインプリントの精度を上げることができ、その結果、生産力又はスループットが向上する。
【００５８】
[0069]  図１１は、本発明のある実施形態による複数のインプリントテンプレート構成を支持する構成を示す。４つのインプリントテンプレート構成９０が互いに隣接して配置された状態で示されている。インプリントテンプレート構成９０は、例えば、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダであってもよい。インプリントテンプレート構成９０の各々又はすべてをアクチュエータ支持構造９２が取り囲んでいる。アクチュエータ支持構造９２は、アクチュエータ支持構造９２から延在して各インプリントテンプレート９０の外周側に接触する複数のアクチュエータ９４を支持する。アクチュエータ９４は、例えば、圧電アクチュエータなどであってもよい。１つ又は複数のアクチュエータ９４を起動して１つ又は複数のインプリントテンプレート９０の一部に押しつけ又はこれを引っ張ってそれぞれのインプリントテンプレート９０を適切に変形させ、移動させ又は保持することができる。任意の特定のインプリントテンプレート構成９０を取り囲むアクチュエータ９４を任意の他の特定のインプリントテンプレート構成９０を取り囲むアクチュエータ９４から独立して起動することができる。これによって、任意のインプリントテンプレート構成９０の保持、移動又は変形を他のインプリントテンプレート構成９０の保持、移動又は変形から独立して実行することができる。
【００５９】
[0070]  インプリントテンプレート構成９０を取り囲むアクチュエータ９４は、すべて同じタイプであってもよく、及び／又はすべて同じ移動範囲を有していてもよい。別の実施形態では、アクチュエータ９４は、１つ又は複数の第１のアクチュエータと、移動範囲が第１のアクチュエータの移動範囲より大きい１つ又は複数の第２のアクチュエータとを備えていてもよい。そのような構成の利点については上述している。第１及び第２のアクチュエータは、上記のように並列に、又は直列に配置してもよい。直列構成では、第１及び第２のアクチュエータは、直線的に互いに隣接して配置してもよい。
【００６０】
[0071]  ３つ以上のインプリントテンプレート構成を支持することができる。支持構造に別のインプリントテンプレート構成のアクチュエータを取り付け、使用時に支持構造と追加のインプリントテンプレート構成との間に延在するように構成してもよい。例えば、４つのインプリントテンプレート構成を支持することができる。
【００６１】
[0072]  ある実施形態では、第１の支持構造は、インプリントテンプレートを取り囲んでいてもよく、第１又は第２のアクチュエータは、第１の支持構造とインプリントテンプレートとの間に延在していてもよい。第２の支持構造は、第１の支持構造とインプリントテンプレートの両方を取り囲んでいてもよく、第１又は第２のアクチュエータは、第２の支持構造と第１の支持構造との間に延在して直列構成を形成してもよい。
【００６２】
[0073]  アクチュエータは、任意の適切なアクチュエータであってもよく、例えば、圧電アクチュエータ、磁気アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、ねじ山構成などであってもよい。アクチュエータは、それぞれのインプリントテンプレートを完全に又は部分的に取り囲んでいてもよい。例えば、アクチュエータは、インプリントテンプレートの一方の側に沿って、又はインプリントテンプレートの両側に沿って延在していてもよい。
【００６３】
[0074]  上記実施形態では、アクチュエータは個別に制御可能である。これは、任意のアクチュエータによって印加された力を任意の他のアクチュエータによって印加された力から独立して制御することができ、インプリントテンプレート構成をより正確に保持し、移動させ又は変形させることができるということを意味する。
【００６４】
[0075]  本発明のある実施形態は、インプリントリソグラフィ装置及び方法に関する。この装置及び／又は方法は、電子デバイス及び集積回路などのデバイスの製造、又は集積光学装置、磁気ドメインメモリ用誘導及び検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッドの製造などのその他の用途に使用することができる。
【００６５】
[0076]  上記実施形態では、インプリントテンプレート構成を支持するように構成された支持構造と、支持構造に配置され、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように構成された第１のアクチュエータと、支持構造に取り付けられ、使用時に支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成され、その移動範囲が第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータとを備えるインプリントリソグラフィ装置が提供される。別の実施形態では、第１のアクチュエータは、支持構造に取り付けられていなくてもよく、例えば、別の構造に取り付けられていてもよい。第１のアクチュエータは、支持構造とインプリントテンプレート構成との間に延在していなくてもよく、任意の好都合なロケーション又は位置（例えば、インプリントリソグラフィ装置又は支持構造のベース）から延在してインプリントテンプレート構成に接触してもよい。
【００６６】
[0077]  上記実施形態では、複数のアクチュエータがインプリントテンプレート構成を取り囲んでいる状態で示されている。別の実施形態では、複数の列のアクチュエータがインプリントテンプレート構成の１つ又は複数の側に沿って延在していてもよい。アクチュエータの列又はその列のアクチュエータを選択的に係合してインプリントテンプレート構成を変形させてもよい。例えば、アクチュエータの第１の列を、アクチュエータの第２の列に対してインプリントテンプレート構成の中立面の反対側に配置してもよい。中立面の特定の側のインプリントテンプレート構成に力を印加してインプリントテンプレート構成を屈曲させることができる。インプリントテンプレート構成を屈曲させてインプリント可能な媒体内にインプリントテンプレートをインプリントし、及び／又はその媒体からインプリントテンプレートを剥離する作業をより容易かつ迅速にすることができる。
【００６７】
[0078]  上述し図示した実施形態は、その性質が例示的なものであって制限するものではない。実施形態だけが図示され説明されており、特許請求の範囲に記載する本発明の範囲を逸脱することなく、すべての変更及び修正は保護されることを理解されたい。説明内の「好適な」、「好適には」、「好ましい」又は「より好ましい」などの用語の使用は、そのように記載された特徴が望ましいことを示すが、必ずしも必要ではなく、そのような特徴を有さない実施形態も添付の特許請求の範囲に定義する本発明の範囲内に含まれることを理解されたい。特許請求の範囲に関して、「ある」、「少なくとも１つの」、又は「少なくとも一部」などの用語は、添付の特許請求の範囲で、特に断りのない限り、特許請求の範囲をそのような特徴に限定する意図がない特徴に先行するものである。「少なくとも一部」及び／又は「一部」といった言語が使用される場合には、その要素は、特に断りのない限り、一部及び／又は要素全体を含むことができる。
【００６８】
[0079]  以下の番号の条項に他の実施形態を示す。
１．インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、
インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のアクチュエータと、
前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成され、その移動範囲が前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータと、
を備える構成。
２．前記第１のアクチュエータが、前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置される、条項１に記載の構成。
３．前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、使用時に前記インプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って配置され、前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、並列構成で互いに並んで配置される、条項１又は条項２に記載の構成。
４．前記第１及び／又は第２のアクチュエータが、前記インプリントテンプレート構成の外周側に力を印加するように配置される、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
５．別の第１のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触し、及び／又は
別の第２のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触する、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
６．前記第１のアクチュエータが、複数の第１のアクチュエータのうちの１つであり、及び／又は
前記第２のアクチュエータが、複数の第２のアクチュエータのうちの１つである、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
７．前記複数の第１のアクチュエータ及び／又は第２のアクチュエータが、使用時に、前記インプリントテンプレート構成を取り囲むか又は前記インプリントテンプレート構成の１つ又は複数の側に沿って延在する前記支持構造上の位置にある、条項６に記載の構成。
８．前記第１のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
９．前記第２のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
１０．前記支持構造が、前記インプリントテンプレート構成を取り囲むように配置される、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
１１．前記第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするように構成されたアクチュエータ位置決め構成をさらに備える、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
１２．前記アクチュエータ位置決め構成が、圧電要素、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択される１つ以上を備える、条項１１に記載の構成。
１３．前記インプリントテンプレート構成が、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダである、前記条項のいずれか１項に記載の構成。
１４．インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
第１のインプリントテンプレート構成と第２のインプリントテンプレート構成とを支持するように配置された支持構造と、
前記支持構造に取り付けられた第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータであって、使用時に前記支持構造と前記第１のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置され、前記第１のインプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータと、
前記支持構造に取り付けられた第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータであって、使用時に前記支持構造と前記第２のインプリントテンプレート構成との間に延在するように配置され、前記第２のインプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータと、
を備える構成。
１５．複数の第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第１のインプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って延在するように配置され、及び／又は複数の第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第２のインプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って延在するように配置される、条項１４に記載の構成。
１６．複数の第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第１のインプリントテンプレート構成を取り囲むように配置され、及び／又は複数の第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、使用時に前記第２のインプリントテンプレート構成を取り囲むように配置される、条項１４又は条項１５に記載の構成。
１７．前記第１のインプリントテンプレート構成のアクチュエータ及び／又は前記第２のインプリントテンプレート構成のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、条項１４から１６のいずれか１項に記載の構成。
１８．前記条項のいずれか１項に記載の構成を備えるインプリントリソグラフィ装置。
【図１ａ】
2010272860.tif 000003
【図１ｂ】
2010272860.tif 000004
【図２】
2010272860.tif 000005
【図３】
2010272860.tif 000006
【図４】
2010272860.tif 000007
【図５】
2010272860.tif 000008
【図６】
2010272860.tif 000009
【図７】
2010272860.tif 000010
【図８】
2010272860.tif 000011
【図９】
2010272860.tif 000012
【図１０】
2010272860.tif 000013
【図１１】
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【外国語明細書】
2010272860000001.pdf