(57)【要約】【課題】取り扱いが容易で、揮発性有機化合物の吸収能が高く、揮発性有機化合物の分解にも利用可能で、かつ再生利用も可能な吸収液を用いて、揮発性有機化合物を含む排ガスを効率的かつ連続的に処理することのできる揮発性有機化合物の除去方法とそれに用いる揮発性有機化合物の除去装置を提供する。【解決手段】排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を除去する揮発性有機化合物の除去方法において、油と水を攪拌混合して乳濁液を生成する工程と、排ガスを乳濁液に接触させる工程とを備え、排ガスをエマルション状態にある乳濁液に接触させて、乳濁液中の揮発性有機化合物を溶解ないしは捕捉させて除去する。【選択図】図１
2010036136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を除去する揮発性有機化合物の除去方法において、
油と水を攪拌混合して乳濁液を生成する工程と、
前記排ガスを前記乳濁液に接触させる工程
を備える揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項２】
前記接触させる工程は、
前記乳濁液中に前記排ガスを送給する工程を含む
請求項１に記載の揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項３】
前記接触させる工程は、
充填材を保持する第１の充填層に前記乳濁液を散布する工程と、
前記第１の充填層に前記排ガスまたは前記乳濁液中に送給された後の排ガスを供給する工程を含む
請求項１または２のいずれかの請求項に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項４】
微生物を担持させた坦持体を保持する第２の充填層に前記排ガスと接触させた後の乳濁液を付着させる工程をさらに備える
請求項１乃至３のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項５】
前記第２の充填層に前記排ガスと接触させた後の乳濁液を散布する工程をさらに備える
請求項４に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項６】
前記乳濁液は、界面活性剤を含有している
請求項１乃至５のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項７】
前記界面活性剤の含有量が５重量％以下である
請求項６に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項８】
前記油は、鉱物油、植物油、動物油のうちの少なくとも一つである
請求項１乃至７のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項９】
前記油は、パーム油、オリーブ油、菜種油、紅花油などの植物油である
請求項１乃至８のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項１０】
前記植物油は、主たる成分として炭素数６〜１０の飽和カルボン酸を含有するものである
請求項９に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項１１】
前記乳濁液中の水との油と混合比率（重量比）が１００：５乃至１００：３０の範囲にある
請求項１乃至１０のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項１２】
排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を吸収液により除去する吸収処理槽を備える揮発性有機化合物の除去装置において、
前記吸収処理槽は、前記吸収液としての油と水との乳濁液を貯留する貯留槽と、
前記排ガスを前記乳濁液に接触させる気液接触手段を有する
揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１３】
前記気液接触手段が、
前記貯留槽中の前記乳濁液に前記排ガスを送給するパイプを有する
請求項１２に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１４】
前記吸収処理槽は、前記乳濁液の液面の上方に、
充填材を保持する第１の充填層と、
前記第１の充填層に前記貯留槽内の乳濁液を散布する第１のスプレー装置とを備える
充填塔を有する
請求項１２または１３のいずれかの請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１５】
油と水を乳化した乳濁液を生成する乳濁液生成器を備えた混合槽と、
前記混合槽から前記吸収処理槽に前記混合槽内の乳濁液を移送する第１の移送手段を有する
請求項１２乃至１４のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１６】
微生物を担持させた坦持体が充填された第２の充填層を有する微生物処理槽をさらに備え、
前記微生物処理槽は、前記吸収処理槽の前記乳濁液を移送する第２の移送手段を有し、
前記第２の充填層の一部が前記微生物処理槽中の前記乳濁液中に連続的に順次浸漬される
請求項１２乃至１５いずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１７】
前記第２の充填層は、回転軸を有する
請求項１６に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１８】
前記微生物処理槽は、
前記第２の充填層に前記貯留槽内の乳濁液を散布する第２のスプレー装置を備える
請求項１６または１７に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１９】
前記微生物処理槽は、
ＬＥＤ照明または有機ＥＬ照明を備える
請求項１６乃至１８のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項２０】
前記微生物処理槽は、
紫外線ランプを備える
請求項１６乃至１９のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項２１】
前記微生物処理槽は、
複数配設され、それぞれの前記微生物処理槽は、前記吸収処理槽に対してそれぞれ前記第２の移送手段を有する
請求項１６乃至２０のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項２２】
前記第２の移送手段は、前記吸収処理槽と前記微生物処理槽との間で逆止弁を有する
請求項１６乃至２１のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項２３】
前記貯留槽から前記乳濁液を前記第１のスプレー装置または前記第２のスプレー装置のいずれかに供給する選択手段を有する
請求項１８乃至２２のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項２４】
前記乳濁液が界面活性剤を含有している
請求項１２乃至２３のいずれか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程や印刷工程、液晶製造工程等で発生する排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を除去する揮発性有機化合物の除去方法とそれに用いられる揮発性有機化合物の除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程や印刷工程、液晶製造工程等で発生する排ガス中には、酢酸ブチル、酢酸エチル、イソプロピルアルコール、トルエン、キシレン等の揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compound）が含まれている。このような揮発性有機化合物は光化学オキシダントや浮遊粒子状物質の原因物質とされ、重大な大気汚染物質の一つとして「大気汚染防止法」により規制されている。排ガス中からこれらの揮発性有機化合物を除去して清浄な浄化ガスにして排出する方法として、従来、揮発性有機化合物を吸収する液体状の吸収物質（以下、吸収液という）に排ガスを気液接触させることにより、吸収液に揮発性有機化合物を吸収し、除去する方法が採られてきた。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載のＶＯＣ排ガス処理装置は、揮発性有機化合物を処理するためのＶＯＣ処理部を有し、このＶＯＣ処理部は、排ガスのＶＯＣ処理部への導入部と、集積培養液のＶＯＣ処理部への供給部と、排ガスと集積培養液との気液接触部と、微生物によるＶＯＣ分解処理部と、処理済ガスのＶＯＣ処理部からの排出部とで構成されている。このＶＯＣ排ガス処理装置では、集積培養液（吸収液）として、活性汚泥または土壌と無機塩培地との混合物に揮発性有機化合物を加え、微生物を集積培養して得られる培養液を用いている。
【０００４】
このＶＯＣ処理部（気液接触部）における気液接触の方式として、集積培養液を微細な液滴にして排ガスと接触させる液滴方式、集積培養液を液膜にして排ガスと接触させる液膜方式、あるいは、排ガスを集積培養液中に分散させるガス分散方式などの公知の方式を適用できるとしている。そして、気液接触部において、排ガスと集積培養液とを接触させて、集積培養液中に揮発性有機化合物を吸収ないしは捕捉させ、揮発性有機化合物が除去された処理済ガスを排出部から排出するとともに、ＶＯＣ分解処理部において、集積培養液中に吸収ないしは捕捉された揮発性有機化合物を微生物により分解している。
【特許文献１】特開２００７−２９８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のＶＯＣ排ガス処理装置では、集積培養液が活性汚泥または土壌を介して揮発性有機化合物を加えて集積培養しているため、この集積培養液に微細な粉粒物（活性汚泥や土壌）が混入し、ＶＯＣ処理部への供給部で目詰まりが生じやすく、設備メンテナンスに少なからぬ労力と時間が必要となる。また、目詰まりを防ぐために、スプレーノズルの穴径を大きくすると、ノズルから微細な液滴を噴霧することができず、気液接触による揮発性有機化合物の吸収能が低下するという課題があった。したがって、気液接触による揮発性有機化合物の吸収能を損なうことなく、また、設備メンテナンス等により装置を休止させることなく、排ガス中の揮発性有機化合物の吸収液による除去ならびに揮発性有機化合物の微生物処理による分解を並行的に実施することができる揮発性有機化合物の除去方法および除去装置が求められている。
【０００６】
また、このような揮発性有機化合物の除去方法および除去装置を実現するため、活性汚泥または土壌を用いた集積培養液などの設備トラブルを招くような吸収液ではなく、取り扱いが容易で、揮発性有機化合物の吸収能が高く、揮発性有機化合物の分解にも利用可能で、かつ再生利用も可能な処理液（吸収液）の開発が待たれている。
【０００７】
さらに、上記のＶＯＣ排ガス処理装置では、単位時間当たりの気液接触による排ガス中の揮発性有機化合物の吸収効率（単位時間当たりの処理能力）が、微生物による排ガス中の揮発性有機化合物の分解効率（単位時間当たりの処理能力）よりも大幅に大きいため、集積培養液に蓄積される揮発性有機化合物の濃度が時間経過とともに高くなり、それをさらに気液接触に用いた場合、排ガス中の揮発性有機化合物を吸収ないしは補足し切れずに排出部から放散されるという課題があった。
【０００８】
そして、これを防止するためには、気液接触による揮発性有機化合物の吸収処理を定時的に中断させ、微生物による揮発性有機化合物の分解処理だけを実行するといった措置も考えられるが、装置全体としての処理能力が低下させることになるとともに、工場稼働時において排ガスの導入を無暗に中断させることもできないため、対応が非常に困難である。したがって、揮発性有機化合物の吸収効率と分解効率に違いがあっても、揮発性有機化合物を含む排ガスを効率的かつ連続的に処理できる揮発性有機化合物の除去方法および除去装置が求められている。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みて為されたものであり、取り扱いが容易で、揮発性有機化合物の吸収能が高く、揮発性有機化合物の分解にも利用可能で、かつ再生利用も可能な処理液（吸収液）を用いて、揮発性有機化合物を含む排ガスを効率的かつ連続的に処理することのできる揮発性有機化合物の除去方法とそれに用いられる揮発性有機化合物の除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る揮発性有機化合物の除去方法は、油と水とを攪拌混合して乳濁液を生成する工程と、排ガスを乳濁液に接触させる工程とを備え、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を除去するものである。
【００１１】
このような構成によると、排ガスを乳濁液に接触させることにより、高い吸収率で排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を乳濁液に溶解ないしは補足して、除去することができる。すなわち、エマルション状態にある油と水との乳濁液は、揮発性有機化合物を除去する高い吸収能を有しているため、容易に揮発性有機化合物を除去して、排ガスを浄化することができる。しかも、この乳濁液は、攪拌等の操作により簡単にエマルション状態で維持することができるため、取り扱いが容易であり、微生物を加えても安定であるため、揮発性有機化合物の分解にも利用可能である。さらに、この乳濁液は、しばらく放置しておくと油と水に分離するため、それぞれに回収してあるいはそのままの状態で再生利用することができる。さらに、この乳濁液は、活性汚泥または土壌を用いた集積培養液などの設備トラブルを招くような吸収液ではないため、装置を休止させることなく、連続的な揮発性有機化合物の除去処理を可能とするものである。
【００１２】
なお、ここでのエマルション状態とは、基本的には、粒径１００μｍ以下の油粒子がほぼ均一に水分子の中に分散している状態を言うが、油粒子の大部分（例えば、約９０体積％以上）が分散していれば揮発性有機化合物の吸収能に余り大きな影響を及ぼすものではないため、実用的には、一部の油粒子が凝集して大きな塊状の形態を成していたり、一部の油粒子が浮遊して膜状の形態を成していたりするものも含むものである。
【００１３】
本発明の除去方法において、排ガスを乳濁液に接触させる工程が、乳濁液中に排ガスを送給する工程を含むものであると、水溶性あるいは油溶性の揮発性有機化合物成分を乳濁液中に溶解して、これらの揮発性有機化合物成分を排ガス中から効果的に除去することができる。また、排ガスを乳濁液中に送給する際のパブリング効果によって排ガスを細かい気泡状にすることができ、これにより、水溶性／油溶性の揮発性有機化合物成分を速やかに乳濁液中に溶解させることができ、この揮発性有機化合物成分の除去率（乳濁液への吸収率）を向上させることができる。また、難水溶性／難油溶性の揮発性有機化合物成分も、排ガスの気泡等に捕捉させて除去することができる。
【００１４】
また、本発明の除去方法において、充填材を保持する第１の充填層に乳濁液を散布するとともに、この第１の充填層に排ガスまたは乳濁液中に送給された後の排ガスを送給し、充填材表面に形成された乳濁液の液膜に排ガスまたは乳濁液中に送給された後の排ガスを接触させるようにすると、水溶性あるいは油溶性の揮発性有機化合物成分を乳濁液の液膜中に溶解して、これらの揮発性有機化合物成分を排ガス中から効果的に除去することができる。ここでは、排ガスが直接第１の充填層に送給されても良く、乳濁液中に送給された後に第１の充填層に送給されても良い。排ガスを一旦乳濁液中に送給したた後に第１の充填層に送給すれば、乳濁液中で揮発性有機化合物の多くが除去されており、残余の揮発性有機化合物をより速やかにかつ完全に乳濁液の液膜中に溶解して除去することができる。
【００１５】
また、本発明の除去方法において、さらに、微生物を担持させた坦持体を保持する第２の充填層に排ガスと接触させた後の乳濁液を付着させる工程を備えると、乳濁液中に溶解ないしは捕捉させた揮発性有機化合物を微生物によって分解することができ、さらに、揮発性有機化合物の分解生成物を沈殿物として分離することができる。この沈殿物は定期的に取り除かれて廃棄処理されるとともに、液状物（乳濁液の油と水）は分離されて再利用することができる。
【００１６】
また、本発明の除去方法において、さらに、第２の充填層に排ガスと接触させた後の乳濁液を散布する工程を備えると、微生物により分解された揮発性有機化合物の分解生成物および担持体に担持された微生物を担持体から洗い流すことができ、分解により増殖した微生物が増え過ぎないよう抑制することができる。
【００１７】
また、本発明の除去方法において、乳濁液に界面活性剤を含有させると、水との間でエマルジョン状態を形成する油の混合比率を高めることができ、より多くの揮発性有機化合物を乳濁液中に吸収し、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物の除去効率を高めることができる。
【００１８】
また、本発明の除去方法において、界面活性剤が５重量％以下添加されていると、油と水とを混合してエマルション状態の乳濁液を形成する際に、より容易にエマルション状態にすることができるが、あまり多く添加すると、水に対する油の混合比率を相対的に低下させることになるので、乳濁液中に添加される界面活性剤の含有量は５重量％以下とするのが好適である。
【００１９】
また、本発明の除去方法において、油が、鉱物油、植物油、動物油のうちの少なくとも一つである。鉱物油、植物油、動物油のいずれも水と混合してエマルジョン状態にあるときの揮発性有機化合物の吸収能に優れている。
【００２０】
また、本発明の除去方法において、油が、パーム油、オリーブ油、菜種油、紅花油などの植物油であるのが好適である。植物油の場合、鉱物油に比べて粘性が低いため、水と混合してエマルション状態を形成しやすく、植物油の混合比率を高めて、より多くの揮発性有機化合物を吸収することができる。また、植物油を用いた乳濁液中に排ガスを吹き込んだ場合、気泡が発生しやすく、揮発性有機化合物の吸収能（除去率）を高めることができる。さらに、植物油は、その精製工程で不純物が除去されており、エマルション状態の乳濁液にして用い、揮発性有機化合物を吸収した際に、嫌な臭いを発生することがない。
【００２１】
また、本発明の除去方法において、植物油が、主たる成分として炭素数６〜１０の飽和カルボン酸を含有するものであれば、粘性が低く、水と混合してエマルション状態を形成しやすいため、植物油の混合比率を高めることができ、その結果、より多くの揮発性有機化合物を吸収することができる。
【００２２】
また、本発明の除去方法において、乳濁液中の水との油と混合比率（重量比）が１００：５乃至１００：３０の範囲に設定されるのが好適である。この混合比率は油の種類にもよるが、油の比率が大きいほど、揮発性有機化合物の吸収能を上げることができるが、過度に大きくすると、油と水とが分離しやすくなり、分離した状態を維持するために界面活性剤を添加する必要が生じてくる。
【００２３】
本発明に係る揮発性有機化合物の除去装置は、吸収液により揮発性有機化合物を除去する吸収処理槽を備え、吸収処理槽は、吸収液としての油と水との乳濁液を貯留する貯留槽と、排ガスを乳濁液に接触させる気液接触手段とを有するものとして構成されている。
【００２４】
このような構成によると、エマルション状態にある油と水との乳濁液に排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を溶解ないしは捕捉させて、排ガスを浄化することができる。特に、油と水との乳濁液は、揮発性有機化合物の吸収能が高いため、装置構成を複雑にすることなく、効果的に排ガスを浄化することができる。しかも、この乳濁液は、攪拌等の操作により簡単にエマルション状態で維持することができるため、取り扱いが容易であり、微生物を加えても安定であるため、揮発性有機化合物の分解にも利用可能である。さらに、この乳濁液は、しばらく放置しておくと油と水に分離するため、それぞれに回収してあるいはそのままの状態で再生利用することができる。さらに、この乳濁液は、活性汚泥または土壌を用いた集積培養液などの設備トラブルを招くような吸収液ではないため、装置を休止させることなく、連続的な揮発性有機化合物の除去処理を可能とするものである。
【００２５】
また、本発明の除去装置において、気液接触手段が、貯留槽中の乳濁液に排ガスを送給するパイプを有するように構成すると、パイプを介してエマルション状態にある乳濁液中に排ガスを送給することにより、排ガスを貯留槽内で乳濁液に接触させ、水溶性あるいは油溶性の揮発性有機化合物を乳濁液中に溶解ないしは捕捉させ、これらの揮発性有機化合物を排ガス中から効果的に除去することができる。また、排ガスを乳濁液中に送給する際のパブリング効果によって排ガスを細かい気泡状にすることができ、これにより、水溶性／油溶性の揮発性有機化合物を速やかに乳濁液中に溶解ないしは捕捉させることができ、この揮発性有機化合物の除去率（乳濁液への吸収率）を向上させることができる。また、難水溶性／難油溶性の揮発性有機化合物成分も、排ガスの気泡等に捕捉させて除去することができる。
【００２６】
また、本発明の除去装置において、吸収処理槽が、貯留槽に貯留された乳濁液の液面の上方に、充填材を保持する第１の充填層と、第１の充填層に貯留槽内の乳濁液を散布する第１のスプレー装置とを備える充填塔を有するように構成すると、第１の充填層に散布された乳濁液の液膜が形成された充填材表面に、吸収処理槽で除去し切れなかった残余の揮発性有機化合物を含む排ガスが接触し、乳濁液の液膜に残余の揮発性有機化合物を溶解ないしは捕捉させて、速やかに除去することができる。
【００２７】
また、本発明の除去装置において、油と水を乳化した乳濁液を生成する乳濁液生成器を備えた混合槽と、混合槽から吸収処理槽に混合槽内の乳濁液を移送する第１の移送手段を有するように構成すると、予め混合槽の乳濁液生成器にて油と水とを混合してエマルション状態にした乳濁液を生成した上で吸収処理槽に導入することができる。また、吸収処理槽での揮発性有機化合物の除去処理過程で、その進行度合いや乳濁液中の油と水との混合比率の変動に合わせて、混合槽の乳濁液生成器にて予め濃度調整された乳濁液を吸収処理槽に導入することにより、速やかに所定の混合比率に復帰させることができる。
【００２８】
また、本発明の除去装置において、微生物を担持させた坦持体が充填された第２の充填層を有する微生物処理槽をさらに備え、微生物処理槽が、吸収処理槽の乳濁液を移送する第２の移送手段を有し、第２の充填層の一部が微生物処理槽内の乳濁液中に連続的に順次浸漬されるように構成すると、吸収処理槽から移送され、揮発性有機化合物が溶解ないしは捕捉された乳濁液が、第２の充填層に保持された担持体の表面を濡らし、担持体に担持された微生物により揮発性有機化合物が分解されることになる。これにより、吸収処理槽ならびに充填塔において、排ガス中の揮発性有機化合物を乳濁液に溶解ないしは捕捉させて除去するとともに、同時並行的に、微生物処理槽において、乳濁液に溶解ないしは捕捉された揮発性有機化合物を微生物によって分解することができる。
【００２９】
また、本発明の除去装置において、第２の充填層が回転軸を有するように構成すると、第２の充填層を回転させながら、担持体に担持させた微生物によって連続的に乳濁液中に溶解ないしは捕捉された揮発性有機化合物を分解することができる。
【００３０】
また、本発明の除去装置において、微生物処理槽に、第２の充填層に貯留槽内の乳濁液を散布する第２のスプレー装置を備えると、微生物により分解された揮発性有機化合物の分解生成物および担持体に担持された微生物を担持体から洗い流すことができ、分解により増殖した微生物が増え過ぎないように抑制することができる。
【００３１】
また、本発明の除去装置において、微生物処理槽にＬＥＤ照明または有機ＥＬ照明を備えると、夜間はこのＬＥＤ照明装置を点灯させるにより、微生物処理槽における微生物の活動を鈍らせることなく、活発化して微生物処理を行うことができる。これによって、夜間も含めて２４時間の微生物による揮発性有機化合物の除去処理が可能となる。なお、ＬＥＤ照明装置に代えて有機ＥＬ照明装置であってもよい。
【００３２】
また、本発明の除去装置において、微生物処理槽に紫外線ランプを備えると、処理液貯留部内に貯留された乳濁液中で微生物が過大に増殖した場合に、紫外線ランプを点灯させることにより、過剰な微生物を死滅させることができる。これにより、処理液貯留部内に貯留された乳濁液中の微生物の濃度をほぼ一定に保つことができる。
【００３３】
また、本発明の除去装置において、微生物処理槽が複数配設され、それぞれの微生物処理槽が吸収処理槽に対してそれぞれ第２の移送手段を有するように構成すると、吸収処理槽での揮発性有機化合物の除去能力と微生物処理槽での揮発性有機化合物の分解能力に応じて、１つの吸収処理槽に対して複数の微生物処理槽が配設され、吸収処理槽と微生物処理槽のそれぞれの処理能力を均衡させて、第２の移送手段を介して揮発性有機化合物が溶解ないしは捕捉された乳濁液が適宜それぞれの微生物処理槽に送給され、１日２４時間連続的に揮発性有機化合物の除去・分解処理を実施することができる。
【００３４】
また、本発明の除去装置において、第２の移送手段が、吸収処理槽と微生物処理槽との間で逆止弁を有するように構成すると、吸収処理槽から微生物処理槽に送給された吸収処理済みの乳濁液と吸収処理済液貯留槽内の微生物が吸収処理槽に逆流するのを防止することができ、１つの吸収処理槽に対して複数の微生物処理槽が配設されている場合であっても、無監視状態で連続的に揮発性有機化合物の分解処理を実施することができる。
【００３５】
また、本発明の除去装置において、貯留槽から乳濁液を第１のスプレー装置または第２のスプレー装置のいずれかに供給する選択手段を有するように構成すると、気液接触手段に送給される乳濁液を利用して、微生物処理槽において分解された揮発性有機化合物の分解生成物を除去することができる。また、このような乳濁液送給先の切り替えは、定時的に、または、微生物処理槽における揮発性有機化合物の分解・除去の進行状態を監視して行うことができる。
【００３６】
また、本発明の除去装置において、乳濁液に界面活性剤を含有させると、水との間でエマルジョン状態を形成する油の混合比率を高めることができ、より多くの揮発性有機化合物を乳濁液中に吸収し、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物の除去効率を高めることができる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明に係る揮発性有機化合物の除去方法とそれに用いる揮発性有機化合物の除去装置によれば、取り扱いが容易で、揮発性有機化合物の吸収能が高く、揮発性有機化合物の分解にも利用可能で、かつ再生利用も可能な処理液（吸収液）を用いて、揮発性有機化合物を含む排ガスを効率的かつ連続的に処理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明に係る揮発性有機化合物の除去方法とそれに用いられる揮発性有機化合物の除去装置の実施形態について、図１を参照して説明する。図１は、本願発明の一実施形態に係る揮発性有機化合物除去装置の構成を示すものである。
【００３９】
図１において、本実施形態の揮発性有機化合物除去装置１は、油と水とを攪拌混合してエマルション状態の乳濁液とする混合槽１０と、この混合槽１０からエマルション状態の乳濁液を導入して貯留し、貯留された乳濁液中に揮発性有機化合物を含む排ガスを送給することにより、排ガス中の揮発性有機化合物を除去する吸収処理槽２０と、この吸収処理槽２０の上方に配置され、内部に充填材３２が保持された充填材充填層３１が配設され、吸収処理槽２０内で揮発性有機化合物が除去された排ガスを充填材充填層３１を通過させ、残余の揮発性有機化合物を除去する充填塔３０と、吸収処理槽の２０下流側に配置され、吸収処理槽２０内での揮発性有機化合物除去処理により揮発性有機化合物が溶解ないしは捕捉された乳濁液から微生物処理によって揮発性有機化合物を分解除去する微生物処理槽４０と、を備えて構成されている。
【００４０】
この揮発性有機化合物除去装置１において、混合槽１０は、吸収液としての油と水との乳濁液をエマルション状態で貯留する吸収液貯留槽１１を備え、この吸収液貯留槽１１に油、水および界面活性剤をそれぞれ供給する油供給管１２、水供給管１３および界面活性剤供給管１４が接続され、さらに、吸収液貯留槽１１に導入された油、水および界面活性剤の混合液を攪拌してエマルション状態の乳濁液とする吸収液攪拌装置１５（乳濁液生成器）を備えている。吸収液攪拌装置１５は、モータ１５ａにより回転駆動される攪拌翼１５ｂを備え、上記の各供給管１２、１３、１４を介して吸収液貯留槽１１に導入された油、水および界面活性剤からなる混合液を攪拌翼１５ｂの回転により攪拌してエマルション状態の乳濁液を生成する。
【００４１】
この吸収液貯留槽１１で生成された油、水および界面活性剤からなるエマルション状態の乳濁液は、混合槽１０と吸収処理槽２０との間を接続する吸収液導入管１６（第１の移送手段）を介して、吸収液導入ポンプ１７（第１の移送手段）の駆動により、吸収処理槽２０に導入される。
【００４２】
吸収処理槽２０は、混合槽１０から導入されるエマルション状態の乳濁液を貯留する乳濁液貯留槽２１（貯留槽、気液接触手段）を備え、工場等で発生した揮発性有機化合物を含む排ガスは、誘引ファン２３の駆動により排ガス導入管２２（パイプ）を介して乳濁液貯留槽２１に貯留された乳濁液中に送給される。排ガス導入管２２は、充填塔３０の側壁の略最下方位置に接続され、充填塔３０および吸収処理槽２０の内部空間を経て、その先端開口部２２ａが乳濁液貯留槽２１に貯留された乳濁液の液面より下方で開口するように構成されており、排ガス導入管２２を介して導入された排ガスは、乳濁液中でバルブ（気泡）を発生し、乳濁液を攪拌することにより、乳濁液のエマルション状態が継続的に維持される。そして、揮発性有機化合物の中の水溶性／油溶性成分が乳濁液中に溶解ないしは捕捉され、難水溶性／難油溶性成分が気泡に捕捉（一部は乳濁液中に溶解）され、これにより、排ガスに含まれる揮発性有機化合物が効率よく除去されることになる。さらに、この乳濁液は、活性汚泥または土壌を用いた集積培養液などの設備トラブルを招くような吸収液ではないため、装置を休止させることなく、連続的な揮発性有機化合物の除去処理を可能とする。
【００４３】
乳濁液を構成する油は、鉱物油、植物油、動物油のうちの少なくとも一つであればよく、いずれも水と混合してエマルジョン状態にあるときの揮発性有機化合物の吸収能に優れている。また、これらの油の中でも、パーム油、オリーブ油、菜種油、紅花油などの植物油であればより好適である。植物油の場合、鉱物油に比べて粘性が低いため、水と混合してエマルション状態を形成しやすく、植物油の混合比率を高めて、より多くの揮発性有機化合物を溶解ないし補足して吸収することができる。また、植物油を用いた乳濁液中に排ガスを吹き込んだ場合、気泡が発生しやすく、揮発性有機化合物の吸収能（除去率）を高めることができる。さらに、植物油は、その精製工程で不純物が除去されており、エマルション状態の乳濁液にして用い、揮発性有機化合物を吸収した際に、嫌な臭いを発生することがない。
【００４４】
特に、植物油が主たる成分として炭素数６〜１０の飽和カルボン酸を５０重量％以上含有するものであれば、粘性が低く、水と混合してエマルション状態を形成しやすいため、植物油の混合比率を高めることができ、その結果、より多くの揮発性有機化合物を吸収することができる。
【００４５】
乳濁液中の水との油と混合比率は、重量比で１００：５〜３０の範囲に設定するのが好適である。この混合比率は油の種類にもよるものの、油の比率が大きいほど、揮発性有機化合物の吸収能を上げることができるが、過度に大きくすると、油と水とが分離しやすくなり、分離した状態を維持するために界面活性剤を添加する必要が生じる。
【００４６】
植物油としてパーム油を用いた場合、室温（２５℃）で水１００重量部に対して油３０重量部を混合しても、攪拌すれば、容易にエマルション状態の揮発性有機化合物吸収液とすることができる。ちなみに、模擬的試験の結果ではあるが、水単体でのトルエンの吸収率（除去率）は３８重量％であるのに対して、水１００重量部に対してパーム油３０重量部を混合してエマルション状態にした吸収液では８５重量％であった。トルエンは難水溶性／難油溶性の揮発性有機化合物であり、本来、水や油単体での吸収率の低い物質ではあるが、エマルション状態にすることで吸収率（除去率）を向上させることができる。揮発性有機化合物の除去効率は、エマルション状態における油粒子の径、分散状態（水との混合比率）等の諸条件を適正な状態に設定することによりさらに高めることができる。
【００４７】
また、油と水との乳濁液に界面活性剤を含有させることにより、より容易にかつ安定したエマルション状態にすることができるとともに、水との間でエマルジョン状態を形成する油の混合比率を高めることができるため、より多くの揮発性有機化合物を乳濁液中に吸収し、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物の除去効率を高めることができる。ただし、界面活性剤を含まない状態で、油と水との乳濁液を形成することのできる配合比率領域では、敢えて界面活性剤を含有させなくとも、乳濁液における揮発性有機化合物の吸収能はあまり大きな影響を受けないため、揮発性有機化合物の除去効率に大きな差異は生じない。
【００４８】
油と水とを混合してエマルション状態の乳濁液を形成する際に、油と水との混合液に界面活性剤が添加されていると、より容易にエマルション状態にすることができるが、あまり多く添加すると、水に対する油の混合比率を相対的に低下させることになるので、乳濁液中に添加される界面活性剤の含有量は５重量％以下とするのが好適である。なお、上述したように、水に対する油の混合比率が小さい範囲では、適度に攪拌することによってエマルション状態の油と水との乳濁液を得ることができるので、そのような低混合比率領域では界面活性剤を添加する必要はない。
【００４９】
充填塔３０は、吸収処理槽２０の乳濁液貯留槽２１に貯留された乳濁液の液面の上方に配設され、充填材３２を保持する充填材充填層３１（第１の充填層）と、この充填材充填層３１に乳濁液貯留槽２１に貯留された乳濁液を散布するスプレー装置３３（第１のスプレー装置）とを備え、乳濁液貯留槽２１内にその下端が配設された吸収液散布管路３４を介して導出された乳濁液がこのスプレー装置３３から充填材充填層３１に向けて散布される。吸収液散布管路３４はその途中に移送ポンプ３５が介装され、その上方（下流側）に設けられた切替弁３６（選択手段）で分岐され、分岐された一方の端部が充填塔３０のスプレー装置３３に接続されるとともに、他方の端部が後述する微生物処理槽４０のスプレー装置４４に接続されている。
【００５０】
そして、乳濁液貯留槽２１内に貯留された乳濁液は、移送ポンプ３５により吸引され、吸収液散布管路３４、切替弁３６を介してスプレー装置３３から充填材充填層３１に散布され、充填材３２の表面を濡らし、その表面に乳濁液の液膜を形成する。同時に、乳濁液貯留槽３１内の乳濁液から気泡となって噴き上げられた排ガスは、乳濁液貯留槽３１内で除去されなかった残余の揮発性有機化合物を含んだ状態で、充填塔３０内の充填材充填層３１に通じる内部空間を通って、充填材充填層３１内の隙間を通過するように送給されてくる。これにより、充填材３２の表面に形成された乳濁液の液膜に、残余の揮発性有機化合物を含む排ガスが接触することになる。
【００５１】
このように、充填材３２表面に形成された乳濁液の液膜に、残余の揮発性有機化合物を含む排ガスが接触することにより、排ガス中に残存する水溶性／油溶性の揮発性有機化合物だけでなく、難水溶性／難油溶性の揮発性有機化合物もまた乳濁液に捕捉され、ほぼ完全に除去されることになる。そして、揮発性有機化合物が除去され、清浄となった排ガス（浄化ガス）は、充填塔３０の上部に開口された浄化ガス排出口３７から外部環境に放出される。
【００５２】
充填材３２としては、活性炭等の、比表面積が大きく、その表面に乳濁液や揮発性有機化合物を安定的に付着させることのできる材料が用いられる。特に、活性炭は、揮発性有機化合物の吸着能力に優れており、好適である。
【００５３】
また、充填塔３０内の充填材充填層３１に通じる内部空間には、排ガス中の揮発性有機化合物の濃度を測定する揮発性有機化合物濃度測定装置（図示省略）が配設されており、吸収処理槽２０で揮発性有機化合物が除去された排ガス中の残余の揮発性有機化合物濃度を測定することにより、吸収処理槽２０における揮発性有機化合物の除去処理の進行度合いを評価することができるように構成されている。そして、吸収処理槽２０における除去処理の進行度が所期の設定水準より低い場合には、混合槽１０から乳濁液貯留槽２１に導入される新規の乳濁液の導入量を増加させる、または乳濁液中の油の混合比率を増加させる等の制御が行われ、また、吸収処理槽２０における除去処理の進行度が所期の設定水準より高い場合には、上記制御と逆の制御が行われるように構成されている。
【００５４】
微生物処理槽４０は、吸収処理槽２０の下流側に位置して、吸収処理槽２０で処理された乳濁液を貯留する吸収処理済液貯留槽４１と、微生物を担持させた微生物担持体４４が充填された担持体充填層４３（第２の充填層）を保持する回転接触体４２と、担持体充填層４３の上方に乳濁液を散布するスプレー装置４５（第２のスプレー装置）とを備え、切替弁３６により分岐された吸収液散布管路３４の他方の端部がこのスプレー装置４５に接続されている。吸収処理槽２０（乳濁液貯留槽２１）と微生物処理槽４０（吸収処理済液貯留槽４１）との間は吸収処理済液導出管３８（第２の移送手段）で接続され、吸収処理済液導出管３８の途中に逆止弁３９が設けられている。また、この微生物処理槽４０には、回転接触体４２の上方にＬＥＤ照明装置４６が設けられ、さらに、吸収処理済液貯留槽４１に紫外線ランプ４７が設けられている。
【００５５】
回転接触体４２は、回転主軸を中心に回転することにより、回転接触体４２に保持された担持体充填層４３にある微生物担持体４４が吸収処理済液貯留槽４１に貯留された乳濁液に浸漬されるように構成されている。そして、乳濁液中に浸漬され、表面に乳濁液の液膜が形成された微生物担持体４４は、回転接触体４２の回転に伴い空気中に曝され、乳濁液に溶解ないしは捕捉された揮発性有機化合物が微生物による分解作用により分解、除去される。このような回転接触体４２を用いることにより、乳濁液中での浸漬部位を連続的に順次移しながら、揮発性有機化合物を連続的に分解、除去することができる。
【００５６】
さらに、乳濁液貯留槽２１内に貯留された乳濁液は、移送ポンプ３５により吸引され、吸収液散布管路３４、切替弁３６を介してスプレー装置４５から担持体充填層４３に散布され、微生物担持体４４の表面において微生物により分解された揮発性有機化合物の分解生成物を乳濁液と微生物とともに洗い流すことになる。このようにして、担持体４４の表面から揮発性有機化合物の分解生成物が除去され、洗い流された揮発性有機化合物の分解生成物と微生物は乳濁液とともに吸収処理済液貯留槽４１に貯留され、微生物が微生物担持体４４において過度に増殖するのを抑制することができる。その後、定期的に吸収処理済液貯留槽４１に溜まった沈殿物（揮発性有機化合物の分解生成物、微生物の死骸など）は取り除かれて廃棄処理されるとともに、液状物（乳濁液の油と水）は分離され再利用されることになる。なお、液状物は、その組成比を特定し、調整した上で、新しい乳濁液に混合することで、そのまま再利用しても構わない。
【００５７】
微生物担持体４４に坦持される微生物としては、公知の好気性微生物を用いることができ、例えば、フラバオバクテリューム種、シェードモナス種、アシイノバクター種、メタノカーカウス種、マイクロカーカウス種、バクテリアム種、マイクバクテリウム種、アクロモヴァクター種やエロウモウナス種などから、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物の種類、組成比、濃度などに応じて選択される。
【００５８】
また、微生物担持体４４としては、微生物を多く坦持することのできるスポンジや多孔質セラミックスを好適に用いることができる。
【００５９】
このような微生物処理槽が付設された揮発性有機化合物除去装置１によると、吸収処理槽２０ならびに充填塔３０において、排ガス中の揮発性有機化合物を乳濁液に溶解ないしは捕捉させて除去するとともに、同時並行的に、微生物処理槽４０において、乳濁液に溶解ないしは捕捉された揮発性有機化合物を微生物によって分解除去することができる。
【００６０】
吸収処理槽２０における排ガスからの揮発性有機化合物の除去能力に比べて、微生物処理槽４０における乳濁液中の揮発性有機化合物の分解除去能力は、通常低いものとなる。このような吸収処理槽２０と微生物処理槽４０における揮発性有機化合物の除去能力の差は、処理規模（例えば、１日当たりの排ガス排出量あるいは揮発性有機化合物排出量）が小さい場合には特に問題になることはないが、処理規模が大きい場合、微生物処理槽４０における揮発性有機化合物の除去処理が追いつかず、問題となる。そこで、揮発性有機化合物の除去処理を連続的に実施するため、処理規模に応じての対応が必要となる。
【００６１】
第１の対応方法として、本発明の揮発性有機化合物除去装置１においては、微生物処理槽４０の回転接触体４２の上方にＬＥＤ照明装置４６が設けられている。昼間は自然光を取り入れて微生物処理を行うとともに、夜間はこのＬＥＤ照明装置４６を点灯させるにより、微生物処理槽４０における微生物の活動を鈍らせることなく、活発化して微生物処理を行うことができる。これによって、夜間も含めて２４時間の微生物による揮発性有機化合物の分解処理が可能となる。なお、ＬＥＤ照明装置４６に代えて有機ＥＬ照明装置であってもよい。本実施形態において、ＬＥＤ照明装置４６は、太陽電池パネル４８によって発電された電力を貯蔵する蓄電池４９に接続されており、夜間の照明電力を昼間に発電された電力によって賄っている。この対応方法では、例えば、１日の処理工程において、吸収処理槽２０における排ガスからの揮発性有機化合物の除去処理を８時間実施するとともに、微生物処理槽４０における乳濁液中の揮発性有機化合物の分解除去処理を２４時間実施することができる。
【００６２】
また、第２の対応方法として、微生物処理槽４０は、揮発性有機化合物の分解除去能力に応じて、１つの吸収処理槽２０に対して複数配設されている。この対応方法では、例えば、１基の吸収処理槽２０に対して微生物処理槽４０を３基配設することにより、吸収処理槽２０と微生物処理槽４０の両処理槽における揮発性有機化合物の除去・分解処理を１日２４時間連続的に実施することができる。
【００６３】
また、上述したように、吸収処理槽２０と微生物処理槽４０との間を結ぶ吸収処理済液導出管３８の管路途中に逆止弁３９が設けられているため、吸収処理槽２０から微生物処理槽４０に送給された吸収処理済みの乳濁液と吸収処理済液貯留槽４１内の微生物が吸収処理槽２０に逆流するのを防止することができ、１つの吸収処理槽２０に対して複数の微生物処理槽４０が配設されている場合であっても、無監視状態で連続的に揮発性有機化合物の除去・分解処理を実施することができる。
【００６４】
さらに、上述したように、充填塔３０に設けられたスプレー装置３３と微生物処理槽４０に設けられたスプレー装置４５との間で、乳濁液の送給先を切り替える切替弁３６が設けられているため、充填塔３０に送給される乳濁液を利用して、微生物処理槽４０において分解された揮発性有機化合物の分解生成物と微生物を微生物担持体４４から洗い流すことができる。また、このような乳濁液送給先の切り替えは、定時的に、または、微生物処理槽４０における揮発性有機化合物の分解・除去の進行状態を監視して行うことができる。
【００６５】
微生物処理により、微生物は、揮発性有機化合物を分解しながら、増殖することになる。また、本発明の揮発性有機化合物除去装置１では、吸収液として油と水との乳濁液を用いており、特に、油が植物油である場合、油自体が微生物の栄養源となって微生物を安定的に生育させる役割をも果たす。さらに、乳濁液にリンや窒素を混入させることにより、微生物の栄養源を安定的に確保することもできる。
【００６６】
微生物処理槽４０で微生物処理された乳濁液を貯留する吸収処理済液貯留槽４１に、本実施形態では、紫外線ランプ４７が設けられている。この紫外線ランプ４７は、吸収処理済液貯留槽４１内に貯留された乳濁液中で微生物が過大に増殖した場合に、過剰な微生物を死滅させるのに使用される。このため、吸収処理済液貯留槽４１内に、貯留された乳濁液中の微生物の濃度を測定する微生物濃度測定装置（図示省略）が配設されており、その測定値に応じて紫外線ランプ４７を点灯させるように制御されている。これにより、吸収処理済液貯留槽４１内に貯留された乳濁液中の微生物の濃度をほぼ一定に保つことができる。
【００６７】
上記の実施形態では、混合槽１０を備え、吸収処理槽２０に導入する乳濁液を予め混合槽１０においてエマルション状態にするように構成したが、乳濁液貯留槽２１に貯留された貯留液に排ガスを直接送給しているので、その際に得られる攪拌効果により、貯留液が当初油と水との混合液であったとしても比較的容易にエマルション状態にすることができる。したがって、水に対する油の混合比率が低く、容易にエマルション状態が得られる混合液を用いる場合にあっては、混合槽１０を省略することができる。これにより、油と水とを攪拌混合して乳濁液を生成する工程と、揮発性有機化合物を除去する吸収液として油と水との乳濁液を用い、排ガスをエマルション状態にある乳濁液に接触させて、乳濁液中に揮発性有機化合物を溶解ないしは捕捉させる工程とを、１つの吸収処理槽２０で行うことができる。
【００６８】
さらに、水に対する油の混合比率が比較的高く、エマルション状態を得るために排ガスを送給する前に予め攪拌混合しておく必要のある混合液を用いる場合にあっては、吸収処理槽２０に、乳濁液貯留槽２１に貯留された混合液を攪拌する乳濁液攪拌装置（例えば、上記の実施形態における吸収液攪拌装置１５と同様の構成のもの）を設ければよい。この場合にも、混合槽１０を省略することができる。これにより、油と水とを攪拌混合して乳濁液を生成する工程と、揮発性有機化合物を除去する吸収液として油と水との乳濁液を用い、排ガスをエマルション状態にある乳濁液に接触させて、乳濁液中に揮発性有機化合物を溶解ないしは捕捉させる工程とを、１つの吸収処理槽２０で行うことができる。
【００６９】
なお、上記の実施形態では、吸収処理槽２０に、気液接触手段として、乳濁液の貯留槽を兼ねた乳濁液貯留槽を備えているが、さらに、充填塔の充填材充填層も気液接触手段としての機能している。本発明において気液接触手段は、排ガスを乳濁液に接触させる構成を有するものであれば、特に制限されるものではない。
【００７０】
上記の実施形態では、吸収処理槽２０の上方に充填塔３０を配置し、吸収処理槽２０で除去できなかった難水溶性／難油溶性の揮発性有機化合物および残余の水溶性／油溶性の揮発性有機化合物をこの充填塔３０に保持された充填材充填層３１（充填材３２）により除去するように構成されていたが、難水溶性／難油溶性の揮発性有機化合物を含まない排ガスを浄化処理する場合、あるいは、水溶性／油溶性の揮発性有機化合物がほぼ完全に吸収処理槽２０内で除去される場合にあっては、充填塔３０を設ける必要がなく、吸収処理槽２０における揮発性有機化合物の除去処理だけで十分な浄化性能を達成することができる。また、充填塔３０を設ける必要がある場合であっても、充填塔３０の処理能力を小さくして小型化することができる。
【００７１】
上記の実施形態では、吸収処理槽２０の下流側に微生物処理槽４０を配置し、吸収処理槽２０において揮発性有機化合物が溶解ないしは捕捉された乳濁液に対して、揮発性有機化合物を分解除去するように構成されているが、微生物処理槽４０を設けずに、他の乳濁液再生手段により乳濁液中の揮発性有機化合物を分解除去して、乳濁液貯留槽に供給して再利用するように構成することもできる。本発明の吸収液は、しばらく静置することにより元の油と水に分離した状態に戻すことができ、分離された油と水をそれぞれに再利用するための処置を講じやすく、したがって他の乳濁液再生手段によっても容易に再利用可能なものに再生することができる。また、微生物処理槽４０を設けずに、揮発性有機化合物を含む乳濁液を廃棄物として処理することもできる。
【００７２】
また、上記の実施形態では、微生物処理槽４０として回転接触体４２を備えるものを示したが、微生物処理槽４０の構成はこれに限定されるものではなく、例えば、充填塔３０における充填材充填層３１と同様の、微生物担持体が充填された担持体充填層を微生物処理槽４０の側壁に対して固定した形式のもので構成してもよい。ただ、微生物処理による揮発性有機化合物の分解除去効率の面からは、上記の実施形態で示したような回転接触体４２を備えるものが優れており、このような揮発性有機化合物の分解除去効率の良さから、上記の実施形態では、揮発性有機化合物の連続的な分解・除去処理を実現することができている。
【００７３】
上記の実施形態では、混合槽１０の吸収液貯留槽１１に吸収液攪拌装置１５を設けることにより、吸収液貯留槽１１に導入された油と水との混合液をエマルション状態の乳濁液にし、また、エマルション状態に維持しているが、この吸収液攪拌装置１５の代わりに、吸収液貯留槽１１内の油と水との混合液あるいは乳濁液に超音波振動を加える超音波発振装置を設けてもよい。超音波発振装置により油と水との混合液あるいは乳濁液に超音波振動を加えることによって、効果的にエマルション状態の乳濁液を生成することができる。また、エマルション状態に維持することができるとともに、水との間でエマルジョン状態を形成する油の混合比率を高めることができ、より多くの揮発性有機化合物を乳濁液中に吸収し、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物の除去効率を高めることができる。
【００７４】
また、上記の実施形態の吸収処理槽２０では、エマルション状態にある乳濁液中に排ガスを単に送給することで、排ガスを気泡状にして乳濁液に接触させ、揮発性有機化合物成分を乳濁液中に溶解ないしは捕捉させて、揮発性有機化合物を排ガス中から除去していたが、さらに、排ガス導入管２２の先端開口部２２Ａに気泡細粒化機構を取り付けて、積極的に排ガスを細かい気泡状にすれば、揮発性有機化合物をさらに速やかに乳濁液中に溶解ないしは捕捉させて、揮発性有機化合物の除去率（乳濁液への吸収率）を向上させることができる。
【００７５】
さらに、上記の実施形態に係る揮発性有機化合物除去装置１において、微生物処理槽４０で悪臭が発生するような事態が発生した場合、この悪臭を放つ気体を吸気して充填塔３０の充填材充填層３１に送給するように構成すれば、脱臭処理をも同時に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の一実施形態に係る揮発性有機化合物除去装置の概略構成図。
【符号の説明】
【００７７】
１    揮発性有機化合物除去装置
１０    混合槽
１５    吸収液攪拌装置（乳濁液生成器）
１６    吸収液導入管（第１の移送手段）
１７    吸収液導入ポンプ（第１の移送手段）
１１    吸収液貯留槽
２０    吸収処理槽
２１    乳濁液貯留槽（貯留槽、気液接触手段）
２２    排ガス導入管（パイプ）
３０    充填塔
３１    充填材充填層（第１の充填層）
３２    充填材
３３    スプレー装置（第１のスプレー装置）
３６    切替弁（選択手段）
３８    吸収処理済液導出管（第２の移送手段）
３９    逆止弁
４０    微生物処理槽
４１    吸収処理済液貯留槽
４２    回転接触体
４３    坦持体充填層（第２の充填層）
４４    微生物坦持体
４５    スプレー装置（第２のスプレー装置）
４６    ＬＥＤ照明装置
４７    紫外線ランプ
【図１】
2010036136.tif 000003