(57)【要約】      （修正有）【課題】プローバ本体の小型化と省スペース化を図る手段の提供。【解決手段】プローバ本体１は、前面部に１つのローダロボットおよび２つのウエハカセット据え付けポートを配置し、背面側に４つのウエハステージ部３ａ〜３ｄを並べて配置する構成とした。ウエハステージ部の３ａ〜３ｄのテストヘッド１２ａ〜１２ｄは、軽量化をはかることで、手動でメンテナンス作業が出来る程度の重量になり、並べて配置できるようになった。テストヘッドからの排熱を上方に導き、低温チラー１６ａ、１６ｂにより排熱する構成としたので、温度による不安定な動作も抑制できる。【選択図】図１
2010157550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する２組のウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記２組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、
前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルと
を備えたことを特徴とするウエハテストシステム。
【請求項２】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、
前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルとを備え、
前記テストヘッドは、前記プローブカードと前記テスト回路基板との間にこれらを接続する配線パターンを備えた多層配線基板と、
前記多層配線基板を補強する補強板と
を備えた構成とされていることを特徴とするウエハテストシステム。
【請求項３】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、
前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルと、
前記プローバ本体の側面部に隣接配置され前記ステージロボットの載置台を冷却するためのものであって、側面上部に冷媒の冷却のための吸気口を備えると共に上面側に排気口を有する低温チラーとを備え、
前記テストヘッドは、
ファン装置と、背面側に設けられた吸気口と、前面側に設けられた排気口と、当該排気口からの排気を上方に導くルーバとを備え、
前記ファン装置により、外気を前記吸気口から吸い込んで内部を流通させて前記排気口から前記ルーバを介して上方に向けて排気するように構成され、
前記低温チラーは、前記テストヘッドの前記排気口からの排気を吸い込むように前記吸気口が配置されていることを特徴とするウエハテストシステム。
【請求項４】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する２組のウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記２組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、
前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルとを備え、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に設けられた操作パネルは、いずれか一方の操作により操作された対象となる前記複数のステージロボットのうちのいずれかに対して、他方の操作パネルによる操作を無効化するように他方の操作パネルに表示させることを特徴とするウエハテストシステム。
【請求項５】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する２組のウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記２組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、
前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルと、
前記ヘッドプレートの前記プローブカード据え付け部に装着センサとを備え、
前記装着センサが前記プローブカードの装着を検出すると、当該装着したプローブカードのＩＤの確認を促すように前記操作パネルに報知動作を行わせ、前記装着したプローブカードのＩＤが入力されるとこれを前記ステージに対応付けて照合することを特徴とするウエハテストシステム。
【請求項６】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、
前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルとを備え、
前記複数のステージロボットは、以下の各所要時間に対して、式(１)の関係を満たす最大のＮの値を求め、前記ローダロボットが効率良く稼働する台数Ｎとしていることを特徴とするウエハテストシステム。
Ａ：ウエハカセットのオープン所要時間（秒）
Ｂ：ウエハ取り出し、ステージへの搬送、ウエハアライメントの所要時間（秒）
Ｃ：ウエハ針跡検査（ＰＭＩ：probe mark inspection）のウエハ１枚あたりの所要時間（秒）（ウエハ針跡検査時間／検査頻度の枚数）
Ｄ：ステージからカセットへのウエハ搬送の所要時間（秒）
Ｅ：ローダロボットのステージ間移動の往復の平均所要時間（秒）
Ｆ：ウエハカセットのクローズ所要時間（秒）
（Ａ＋Ｆ）／ｎ＋（Ｂ＋Ｄ＋Ｃ）×Ｎ＋Ｅ  ＜  Ｔ                  …（１）
Ｔ：ウエハ１枚あたりのテストタイム
ｎ：テストするウエハの枚数
【請求項７】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、
前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルと、
前記ヘッドプレート下部に設けられ前記ウエハの径寸法に対応する長さを有し、前記ステージロボットの所定方向への移動時にスキャン動作を行って前記載置台に載置されたウエハの複数の検査点を検知可能なウエハアライメントカメラと、
前記ステージロボットと一体となって所定方向へ移動するように設けられ前記プローブカードに設けられた複数のプローブのうちの検査対象プローブを検知可能なプローブアライメントカメラとを備え、
前記ウエハが前記ステージロボットの載置台に載置されると、当該ウエハに設けられた電気的特性検査パッドと前記プローブカードのプローブとの位置合わせのアライメント処理を、前記ステージロボットを所定方向に移動させて得られる前記ウエハアライメントカメラおよび前記プローブアライメントカメラの撮影画像に基づいて行うように構成されていることを特徴とするウエハテストシステム。
【請求項８】
プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、
前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、
前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、
前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、
前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、
前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルとを備え、
前記テストヘッドおよび前記ステージロボットは、地震発生に基づいて発信される緊急地震速報信号を受信するように設けられると共に両者の間は相互通信が可能なケーブルが接続された構成とされ、
前記ステージロボットは、前記緊急地震速報信号を受信すると、テスト中断処理を開始すると共に、前記テストヘッド側に前記ケーブルを介してステージ降下要求を送信し、前記テストヘッド側から前記ケーブルを介してステージ降下許可信号を受信した時点もしくは前記ステージ降下要求を送信してから所定時間が経過した時点で前記載置台を降下させて載置されているウエハと前記プローブカードのプローブとを切り離す処理を実行し、
前記テストヘッドは、前記緊急地震速報信号を受信すると、電源オフ処理を開始すると共に、前記ステージロボット側から前記ケーブルを介して前記ステージ降下要求を受信するとこれに対応して前記ステージ降下許可信号を送信する処理を実行するように構成されていることを特徴とするウエハテストシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体装置（チップ）の電気的特性を検査するウエハテストシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハに形成された多数の半導体装置（チップ）の電気的特性検査するウエハテストシステムの構成は、ウエハを載置してテストピンを接触させるステージと、ウエハをハンドリングするローダロボットと、ウエハを収容するウエハカセット据え付けポートと、電気的テストを実施するためのテストヘッドとから構成されている。
【０００３】
テスト対象となる半導体装置は、高集積化が進んでいるのでテストに時間を要するため、できるだけステージを増やしてローダロボットの稼働率を高めることが望まれている。しかし、各ステージに対応して設けるテストヘッドは、多数の回路基板やプローブカードあるいはそれらを接続する多数のケーブルなどが設けられているため、重量的にも１００ｋｇを超えるもので、メンテナンスやプローブカードの交換にはテストヘッドを持ち上げるためのモータなどを使った電気的に回動手段が必要であった。このため、１つのステージに対応してテストヘッドの駆動モータ付きの旋回機構とローダロボット駆動部分、ウエハカセット据付けポートが必要となり、かつメンテナンスエリアも全方位に必要で、省スペース化を阻害する問題があった。
【０００４】
また、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムの構成では、プローバヘッドプレート上に配設されるテストヘッドが、プローブカードと接合する接触部材とテスト基板間の配線を導線（ワイヤーハーネス）を使う構成とされ、配線エリアと機構部品が必要で大きな筐体が必要になると共に、配線用の導体の重量がかさんでしまう。このため、メンテナンス時の旋回動作に専用駆動モータが必要になると共に、配線長が長くなることで信号品位が低下し、信号線を同軸にしないと満足した品位が得られない問題がある。また、メンテナンスにおいても配線の本数が多いことから結線作業は多大な時間を要するものとなっていた。
【０００５】
そして、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムの構成では、ウエハの電気的特性検査中に、テストヘッドから排出される熱でプローバヘッドプレートの温度が上昇して、プローブカード針跡が移動したり、オペレータ操作面に熱気が排出されたりして、操作エリアが作業推奨温度に保てない等の問題があった。
【０００６】
さらに、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムの複数ステージを集中操作する構成では、前後にそれぞれ配設された操作パネルで、一人の作業者が一方の操作パネルで作業中に、誤って他の操作パネルで操作をしてしまうことがあり、ウエハローダがもう一方の作業者に衝突動作する恐れがあった。
【０００７】
そして、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムの構成は、所定製品のウエハの電気的特性検査のため準備したプローブカードのＩＤ読み取り作業を、プローブカード着脱の都度実施するしくみになっていなかったため、何らかの間違いで異なる製品のプローブカードを取付けてしまった場合でも、電気的特性検査の測定をスタートしてカードアライメントが実施されるまで発見されないことがあるという問題があった。
【０００８】
また、ウエハのローディングにおいては、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムの構成は、１つあるいは２つのステージに１組のローダロボットと１組または２組（連続ロット処理時）のウエハカセット据付けポートを有する構成としているので、ローダロボットが効率を落とさずに稼働することが難しかった。そして、実際にローダロボットが効率を落とさずに稼働できる最大のステージ数を確保するように試算が成されていなかった。そのために無駄なローダやカセットポートを導入してしまうという問題があった。
【０００９】
さらに、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムの針合わせアライメント機構は、ステージ横にあるカードアライメントカメラと、プローバヘッドプレート裏面にあるウエハアライメントカメラとから構成されていた。しかしながら、この機構ではアライメントカメラは、アライメント精度を上げるためにレンズの倍率を高めると、カメラサイズも大きくなる。このため、アライメントカメラの視野が狭くなり、省スペースを図るためステージ動作範囲を小さいく設定しようとすると、アライメントカメラの設置個数を多数にする必要が生じ、小型化が難しくなると共に、アライメントカメラ設置場所や費用の点で問題であった。
【００１０】
そして、従来のウエハの電気的特性検査するウエハテストシステムでは、緊急地震速報信号に対する、プローブカード保護のためのステージ回避シーケンス構成は、テスタ側のみに信号が入る構成となっているため、テスタシャットダウン後にプローバのステージをカード接触状態から退避してプローブカードを守るものであった。しかしながら、この構成ではテスタにプローバと通信不能となるなんらかの異常が出た場合に、ステージが退避されずプローブカードが保護できなくなるという問題があった。
【特許文献１】特開２００８−１８２０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、ウエハテストシステムにおいて、装置全体の小型化および省スペース化を図り、テストヘッドの軽量化および小型化、信号の信頼性向上を図り、テストヘッドの排熱による測定動作の不具合を回避できるようにし、操作画面の同時操作による事故発生を抑制し、プローブカード装着時に確実にＩＤを読み取ることができるようにし、ローダロボットの稼働を効率良く行えるようにするための最適なステージ数を設定できるようにし、ウエハのアライメントをカメラの台数を増やさずに省スペースで行えるようにし、そして、緊急地震速報信号に対して確実にテスト動作の停止処理を行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する２組のウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記２組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルとを備えたところに特徴を有する。
【００１３】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルとを備え、
前記テストヘッドは、前記プローブカードと前記テスト回路基板との間にこれらを接続する配線パターンを備えた多層配線基板と、前記多層配線基板を補強する補強板とを備えた構成としたところに特徴を有する。
【００１４】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルと、前記プローバ本体の側面部に隣接配置され前記ステージロボットの載置台を冷却するためのものであって、側面上部に冷媒の冷却のための吸気口を備えると共に上面側に排気口を有する低温チラーとを備え、前記テストヘッドは、ファン装置と、背面側に設けられた吸気口と、前面側に設けられた排気口と、当該排気口からの排気を上方に導くルーバとを備え、前記ファン装置により、外気を前記吸気口から吸い込んで内部を流通させて前記排気口から前記ルーバを介して上方に向けて排気するように構成され、前記低温チラーは、前記テストヘッドの前記排気口からの排気を吸い込むように前記吸気口が配置されているところに特徴を有する。
【００１５】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する２組のウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記２組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルとを備え、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に設けられた操作パネルは、いずれか一方の操作により操作された対象となる前記複数のステージロボットのうちのいずれかに対して、他方の操作パネルによる操作を無効化するように他方の操作パネルに表示させるところに特徴を有する。
【００１６】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する２組のウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記２組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルと、前記ヘッドプレートの前記プローブカード据え付け部に装着センサとを備え、前記装着センサが前記プローブカードの装着を検出すると、当該装着したプローブカードのＩＤの確認を促すように前記操作パネルに報知動作を行わせ、前記装着したプローブカードのＩＤが入力されるとこれを前記ステージに対応付けて照合するところに特徴を有する。
【００１７】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルとを備え、前記複数のステージロボットは、以下の各所要時間に対して、式(１)の関係を満たす最大のＮの値を求め、前記ローダロボットが効率良く稼働する台数Ｎとしているところに特徴を有する。
Ａ：ウエハカセットのオープン所要時間（秒）
Ｂ：ウエハ取り出し、ステージへの搬送、ウエハアライメントの所要時間（秒）
Ｃ：ウエハ針跡検査（ＰＭＩ：probe mark inspection）のウエハ１枚あたりの所要時間（秒）（ウエハ針跡検査時間／検査頻度の枚数）
Ｄ：ステージからカセットへのウエハ搬送の所要時間（秒）
Ｅ：ローダロボットのステージ間移動の往復の平均所要時間（秒）
Ｆ：ウエハカセットのクローズ所要時間（秒）
（Ａ＋Ｆ）／ｎ＋（Ｂ＋Ｄ＋Ｃ）×Ｎ＋Ｅ  ＜  Ｔ              …（１）
Ｔ：ウエハ１枚あたりのテストタイム
ｎ：テストするウエハの枚数
【００１８】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルと、前記プローブカードに設けられ前記ウエハの径寸法に対応する長さを有し、前記ステージロボットの所定方向への移動時にスキャン動作を行って前記載置台に載置されたウエハの複数の検査点を検知可能なウエハアライメントカメラと、前記ステージロボットと一体となって所定方向へ移動するように設けられ前記プローブカードに設けられた複数のプローブのうちの検査対象プローブを検知可能なプローブアライメントカメラとを備え、前記ウエハが前記ステージロボットの載置台に載置されると、当該ウエハに設けられた電気的特性検査パッドと前記プローブカードのプローブとの位置合わせのアライメント処理を、前記ステージロボットを所定方向に移動させて得られる前記ウエハアライメントカメラおよび前記プローブアライメントカメラの撮影画像に基づいて行うように構成されているところに特徴を有する。
【００１９】
本発明のウエハテストシステムの一態様は、プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記ウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成されたステージロボットと、前記ステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記ステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記ステージロボットに対する操作可能に設けられた操作パネルとを備え、前記テストヘッドおよび前記ステージロボットは、地震発生に基づいて発信される緊急地震速報信号を受信するように設けられると共に両者の間は相互通信が可能なケーブルが接続された構成とされ、前記ステージロボットは、前記緊急地震速報信号を受信すると、テスト中断処理を開始すると共に、前記テストヘッド側に前記ケーブルを介してステージ降下要求を送信し、前記テストヘッド側から前記ケーブルを介してステージ降下許可信号を受信した時点もしくは前記ステージ降下要求を送信してから所定時間が経過した時点で前記載置台を降下させて載置されているウエハと前記プローブカードのプローブとを切り離す処理を実行し、前記テストヘッドは、前記緊急地震速報信号を受信すると、電源オフ処理を開始すると共に、前記ステージロボット側から前記ケーブルを介して前記ステージ降下要求を受信するとこれに対応して前記ステージ降下許可信号を送信する処理を実行するように構成されているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、装置全体の小型化および省スペース化を図ることができ、テストヘッドの軽量化および小型化、信号の信頼性向上を図ることができ、テストヘッドの排熱による測定動作の不具合を回避でき、操作画面の同時操作による事故発生を抑制することができ、プローブカード装着時に確実にＩＤを読み取ることができ、ローダロボットの稼働を効率良く行えるようにするための最適なステージ数を設定することができ、ウエハのアライメントをカメラの台数を増やさずに省スペースで行えるようなり、緊急地震速報信号に対して確実にテスト動作の停止処理を行えるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
［全体構成］
図１および図２は、本実施形態におけるウエハテストシステムの全体構成を示すもので、図１は背面側、図２は前面側から見た外観斜視図である。また、図３（ａ）〜（ｃ）は、それぞれプローバ本体の背面図、側面図、正面図である。
【００２２】
プローバ本体１は、前面側にローダ部２が設けられ、背面側に４組のウエハステージ部３ａ〜３ｄが横方向に並べて配置された構成である。プローバ本体１は、横方向にはウエハステージ部をさらに並べる構成とすることもでき、メンテナンスなどに必要なスペースは正面側および背面側の通路兼用のスペースだけである。ローダ部２は、上部の左右にウエハカセットを装着するウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂを備えると共に、下部にローダロボット５を備えている。ローダ部２の上部のウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂの前面部分には、それぞれウエハカセットを出し入れするための扉６ａ、６ｂが回動可能に配設されている。
【００２３】
ローダ部２の上部の中央には正面側で作業者が操作あるいは稼働状態を確認をするための２台の操作パネル７ａ、７ｂが配設されている。操作パネル７ａは、正面側操作用のものであり、４つのウエハステージ部３ａ〜３ｄの各テスト内容についての設定、測定あるいはメンテナンスなどの集中操作が可能となっている。操作パネル７ｂは、各テスタに対応して各種設定や状態を確認するためのものである。
【００２４】
ローダロボット５は、上部にアーム部５ａを備え、このアーム部５ａは先端部でウエハを把持するように構成され、Ｚ機構５ｂにより上下動可能設けられている。また、ローダロボット５は、底部に左右方向に敷かれたガイドレール５ｃに沿って左右方向に移動可能に構成されている。ローダロボット５は、アーム部５ａを降下させた状態ではウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂの下部の空間領域にも移動可能となっている。ローダロボット５は、ウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂに載置されているウエハカセットからアーム部５ａによりウエハを取り出し、ガイドレール５ｃに沿って移動し、ウエハステージ部３ａ〜３ｄのいずれか指示されたステージにウエハを搬送する。測定が終了したウエハについてはステージからウエハを取り外し、指定されたウエハカセットに搬送する。
【００２５】
ウエハステージ部３ａ〜３ｄのそれぞれには、ステージロボット８が設けられている。それぞれのステージロボット８は、本体支持部９ａの上部にＸＹ機構９ｂ、Ｚ−θ機構９ｃを介した上部にウエハの載置台であるステージ１０を備え、下部に設けられた制御部であるステージコントローラ１１により上下動および左右前後方向に移動可能に設けられている。ＸＹ機構９ｂはステージ１０の前後左右の位置を移動制御する機構であり、Ｚ−θ機構９ｃはステージ１０を上下移動および旋回移動する機構である。
【００２６】
ウエハステージ部３ａ〜３ｄの上部には、それぞれに対応してテストヘッド１２ａ〜１２ｄが配設されている。テストヘッド１２ａ〜１２ｄは、ヒンジ１３により上方に回動可能に取り付けられており、メンテナンス作業時には作業者により持ち上げて内部のメンテナンスをしたり、プローブカードの交換作業をすることができる。テストヘッド１２ａ〜１２ｄは、それぞれケーブル１４を介してローダ部２の上部に設けられたテスタコントローラ１５ａ〜１５ｄに接続されており、ウエハのテスト内容を制御する信号が与えられる構成である。
【００２７】
また、ウエハステージ部３ｂと３ｃの中央部には、プローバ本体１の背面側で作業者が操作あるいは稼働状態を確認をするための操作パネル７ｃが配設されている。この操作パネル７ｃは、背面側操作用のものであり、４つのウエハステージ部３ａ〜３ｄの各テスト内容についての設定、測定あるいはメンテナンスなどの集中操作を正面側の操作パネル７ａと同様に行えるように構成されている。
【００２８】
図１及び図２には、プローバ本体１の両側部に低温チラー１６ａ、１６ｂを備えている。低温チラー１６ａ、１６ｂは、前述したステージ１０を冷却して試験を行う場合に用いるものであり、ウエハを低温に保持するためにステージ１０に低温の冷媒を供給するための冷凍サイクルを備えている。この低温チラー１６ａ、１６ｂは、上面に排気口１７、プローバ本体１に向かう側面の上部に吸気口１８が設けられ、プローバ本体１側からの排熱を吸気口１８から吸気し、内部を介して上部の排気口１７から排気する。
【００２９】
次に、電気的なブロック構成について図４を参照して説明する。プローバ本体１のローダ部２には、ローダロボット５および４つステージロボット８を駆動制御するためのセントラルＣＰＵ１９が設けられている。セントラルＣＰＵ１９は、前述した操作パネル７ａ、７ｃが接続されると共に、４つのステージコントローラ１１が接続されていて、これらを統括して制御する。さらに、セントラルＣＰＵ１９には、ＩＤ読取装置２０が接続されている。ＩＤ読取装置２０は、ウエハステージ部３ａ〜３ｄ側に配置されており、作業者の読取操作によりたとえばバーコードなどで表示されるステージＩＤやプローブカードＩＤを読み取って入力するバーコードリーダからなり、読み取った情報をセントラルＣＰＵ１９に送信する。
【００３０】
各ステージコントローラ１１は、ステージ１０の移動制御を行うもので、これにはさらにインターロックスイッチ２１およびプローブカード認識センサ２２が接続されている。各インターロックスイッチ２１は、メンテナンスやプローブカード交換の作業などでテストヘッド１２ａ〜１２ｄをオープンにしたときにオフ状態となり、正規の測定位置に配置されたときにオン状態になる。また、プローブカード認識センサ２２は、プローブカードの着脱状態を検出してその検出信号をステージコントローラ１１に出力するもので、たとえば透過型光センサや反射型光センサ、あるいはメカニカルスイッチからなる。
【００３１】
テスタコントローラ１５ａ〜１５ｄの内部には、それぞれ電源回路が設けられると共に各テストヘッド１２ａ〜１２ｄのテスト動作に対応して制御するテスタＣＰＵ２３が設けられている。また、テスタＣＰＵ２３は、それぞれ対応するステージコントローラ１１との間に信号授受が可能なケーブル２４が接続されている。これら４つのテスタＣＰＵ２３は、画面セレクタ２５を共通に介してテスタ画面を表示する操作パネル７ｂに接続されている。
【００３２】
工場などの建物には、地震などが発生したときに装置を安全に停止させるためのシステムが構築されていて、気象庁の緊急地震速報システムから一定以上の震度の地震が発生すると緊急地震速報信号を受信するように構成されている。この緊急地震速報信号は、外部からケーブルを介して工場内の分電ボックス２６に入力され、これからセントラルＣＰＵ１９および４つのテスタＣＰＵ２３のそれぞれに配信されるようになっている。
【００３３】
［テストヘッドの構成］
次に、図５Ａを参照してテストヘッド１２ａ〜１２ｄの構成について説明する。図５Ａ（ａ）および（ｂ）は、テストヘッド１２ａ〜１２ｄのうち同様に構成される１２ａを代表としてその内部構造を示している。図５Ａ（ａ）は、正面側から見た内部構造であり、図５Ａ（ｂ）は右側面側つまり低温チラー１６ａ側から見た内部構造を示している。
【００３４】
テストヘッド１２ａは矩形状の外箱を有し、この外箱の背面側には吸気口２７ａが形成されており、正面側には排気口２７ｂが形成されている。また、排気口部分には、排気が上方に流通するように上向きに配置された複数のルーバ２８が設けられている。また、テストヘッド１２ａの内部には、吸気口２７の下部に対応して複数個のファン２９が並べて設けられており、外気を吸気口２７から吸入して内部を流通させて排気口からルーバ２８を介して外部の上方に向けて排気させるようになっている。
【００３５】
テストヘッド１２ａの内部には、多層配線基板からなる矩形状をなすマザーボード３０が底面部に配置され、これの基板コネクタ３０ａにはテスト用回路基板としての多数のピンエレクトロニクス基板３１が装着されている。各ピンエレクトロニクス基板３１には、電源回路部３１ａがファン２９により吸気口２７ａから吸気された空気が流通する経路に対応する位置に配置され、他の部分にテスト用の回路が設けられている。
【００３６】
マザーボード３０は、剛性を有する上補強板３２と下補強板３３とにより挟まれた状態で保持されている。上補強板３２は、図５Ｂ（ａ）に示すように、マザーボード３０の上面に配置されるもので、基板コネクタ３０ａの部分に切り欠いた孔部３２ａを有する状態に形成されている。
【００３７】
マザーボード３０は、内部に形成される多層配線により、上面に接続される多数のピンエレクトロニクス基板３１の各端子の矩形状配置の電極パターンを環状配置の電極パターンに変換して下面に導出している。このマザーボード３０の下面側の電極部分には環状をなすＰｏｇｏブロック３４が配置されると共に、図５Ｂ（ｂ）に示すように、そのＰｏｇｏブロック３４を切り欠いた孔部３３ａを有する下補強板３３が配置されている。これらマザーボード３０、上補強板３２、下補強板３３およびＰｏｇｏブロック３４はねじ３０ｂにより一体に固定されている。
【００３８】
これにより、マザーボード３０とＰｏｇｏブロック３４との間が、ケーブルレスの構成で物理的に短距離で接続された状態となっている。また、マザーボード３０は、上補強板３２と下補強板３３とにより挟まれて温度や重量などの影響で変形するのを防止できる構成とされている。
【００３９】
Ｐｏｇｏブロック３４には多数のＰｏｇｏピン３５が配設されている。Ｐｏｇｏブロック３４は、ヘッドプレートに載置されるプローブカード３６と電気的に接触するように設けられており、プローブカード３６にはウエハの半導体チップに形成されたパッドに接触するための多数のプローブ３７が配設されている。
【００４０】
［低温チラーの構成］
図６は、プローバ本体１を背面側から見た図で、両側に配置される低温チラー１６ａ、１６ｂは、内部の下方に冷凍サイクルを構成するコンプレッサ３８が配設され、コンプレッサ３８の上部には熱交換器３９が配設されるとともに、コントローラを構成する回路基板４０が設けられている。低温チラー１６ａ、１６ｂの左右に形成された吸気口１８の内部には、吸気用のファン４１がそれぞれに設けられている。これにより、ファン４１により吸気口１８から吸気した空気は、内部の回路基板４０を冷却すると共に熱交換器３９で熱交換を行なって上方の排気口１７から排気される。なお、ファン４１が左右に設けられているのは、低温チラー１６ａ、１６ｂの両側にプローバ本体１が連続的に並べて配置される場合に対応して吸気を行なえるようにしたものである。
【００４１】
図７は、プローバ本体１のウエハステージ部３ｄ部分と低温チラー１６ｂとを部分的に示す図で、テストヘッド１２ｄで発生する熱が排気と共に上方に流れることを示したものである。テストヘッド１２ｄにおいては、ピンエレクトロニクス基板３１で発生する熱を吸気口２７ａからファン２９により吸い込んだ空気により冷却し、その熱と共に排気口２７ｂからルーバ２８で上方に向けて排気する。この排気は、低温チラー１６ｂの吸気口１８側に流動し、低温チラー１６ｂ内を通って排気口１７から上方に向けて吹き出される。
【００４２】
［全体構成、テストヘッドの構成、低温チラーの構成のまとめ］
以上のようにな構成において、近年ではテストの対象となるウエハに作りこまれている半導体装置（チップ）は、テスト用演算回路が組み込まれているものを前提としている。これにより、１チップのテストに必要なパッド数が大きく低減でき、プローブカード３６に設けられているプローブ３７の本数に対して、一度にテスト可能なチップ数が大幅に増大させることができる。例えば、通常のテストにおいては、１チップあたり１０本以下のプローブ３７を割り当てることでテストが可能である場合に、一度アライメントをしてプローブ３７をウエハのパッドに接触させると、ステージ１０の移動をしないで１回の測定で済ませることもできるし、あるいは１回程度のステージ１０の移動で２回の測定で済ませることができる。
【００４３】
したがって、ウエハステージ部３ａ〜３ｄの幅寸法を大幅に低減させることができ、小型化が図れる。また、テストヘッド１２ａ〜１２ｄの構成を、テスト回路を集積化するとともに、上記したウエハ側にテスト用演算回路を作りこむこと、さらにはマザーボード３０とＰｏｇｏブロック３４との間を、ケーブルによる配線に代えて、マザーボード３０を多層配線基板により構成して接続する構成としたので、全体として４００ｋｇ程度あったものが例えば５０〜７０ｋｇ程度まで大幅な軽量化を図ることができた。
【００４４】
さらにメンテナンス等の場合に、モータによる回動で行なう必要がなく、作業者が手動で行なうことができ、これによってメンテナンスエリアも従来のような全方位に設定する必要がなくなるため、前後の領域のみで行なえるようになり、省スペース化を図ることができる。また、ケーブルによる配線に代えて多層配線基板３３を介在させる構成としたので、配線距離を大幅に短くすることができ、これによって信号のケーブル内伝達による信号品質の低下も防止して確実に検出動作を行なうことができる。
【００４５】
また、４つのステージロボット８を設ける構成としながら、ローダロボット５は２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂの下方の空間にまで進入可能な高さに配設しているので、狭い範囲の空間にも移動することができ、確実にウエハを所望の位置に載置させることができる。
【００４６】
加えて、テストヘッド１２ａ〜１２ｄの排気口２７ａを操作面裏側すなわち背面側に具備し、かつ正面側の排気口２７ｂを介して外部に排気し、且つプローバヘッドプレート側に熱が向かわないように上向きルーバ２８を設けているので、テストヘッド１２ａ〜１２ｄの排熱を上方に向けることができ、これによって、低温チラー１６ａ、１６ｂにより吸気および排気を行なうので、冷却効果が高くなり、プローブカード３６の温度上昇を極力低減することができる。
【００４７】
［プローブカード交換時のＩＤ入力］
次に、ウエハのテストを行なうにあたり、作業者がプローブカード３６を適合するものに交換した時のプローブカードＩＤの確実な入力処理を行うようにしたシステムについて図８および図９を参照して説明する。
【００４８】
図８（ａ）は、プローバ本体１を上から見た概略的な図で、背面側の４つのウエハステージ部３ａ〜３ｄに対して、各ステージロボット８に対して第１ステージから第４ステージまでステージＩＤ−１〜ステージＩＤ−４までたとえばバーコードなどによりなるＩＤコード８ａが読み取り可能に表示されている。また、ウエハステージ部３ａ〜３ｄのぞれぞれのヘッドプレートにはプローブカード３６の着脱に対してオンオフするプローブカード認識センサ２２が設けられている。
【００４９】
プローブカード認識センサ２２は、図８（ｂ）に示すように、ヘッドプレート８ｂのプローブカード３６を装着する部分に、投光部２２ａと受光部２２ｂとが対向するように配置され、プローブカード３６の有無に応じて遮光状態、受光状態が変化するのを検出する。各プローブカード３６には、固有のプローブカードＩＤ−Ａ〜プローブカードＩＤ−ＤなどのバーコードからなるＩＤコード３６ａが読み取り可能に表示されている。
【００５０】
ＩＤ読取装置２０は、バーコードリーダなどから構成されるもので、ケーブルでセントラルＣＰＵ１９と接続されている。なお、ＩＤ読取装置２０は、これに代えて無線式のものを用いても良いし、バーコードを読み取る方式以外のものでＩＤを認識する構成のものを用いても良い。
【００５１】
実際の作業においては、プローブカード３６を交換すると、ＩＤ読取装置２０により対応するステージロボット８のステージＩＤを読み取ると共に、装着したプローブカード３６のプローブカードＩＤを読み取って、これをプローバ本体１側のセントラルＣＰＵ１９に入力することが作業者に課せられている。これを確実に実行することで、誤ったプローブカード３６の設定のままでテストを開始してしまう不具合を回避しようというものである。
【００５２】
図９はその制御のフローを示すものである。これは、セントラルＣＰＵ１９が統括して処理を行うようになっている。セントラルＣＰＵ１９は、プローブカード３６の交換に際して、ヘッドプレートから取り外すと、これをプローブカード認識センサ２２がＯＦＦに切り替わったことから認識する。次に、プローブカード認識センサ２２がＯＮになると、プローブカード３６がヘッドプレートに装着されたことを検知する（Ｓ１）。
【００５３】
セントラルＣＰＵ１９は、どのステージロボット８に対応して装着されたのかをプローブカード認識センサ２２の検出信号により判断する（Ｓ２）。このとき、セントラルＣＰＵ１９は、装着されたプローブカード３６のＩＤコードを作業者により入力させるために、操作パネル７ａ、７ｃの双方に警告を表示させる（Ｓ３）。この場合、表示のみならず報知音などを併用して作業者の認識率を高めるようにしても良い。
【００５４】
この後、セントラルＣＰＵ１９は、作業者がＩＤ読取装置２０を使ってＩＤコードを読取入力するのを待機する（Ｓ４）。そして、作業者によりプローブカードＩＤおよびステージＩＤの入力作業が行なわれると、セントラルＣＰＵ１９は、入力されたステージの場所とステージＩＤをチェックし（Ｓ５）、それらが一致している場合には（Ｓ６）プローブカードＩＤとステージＮｏをリンクさせて確認処理を終了する（Ｓ７）。また、不一致の場合にはアラーム警告などを出力して（Ｓ８）、読取エラーもしくは装着ミスなどを作業者に確認させた上で再度入力作業をするように促す。
これにより、何らかの間違いで製品違いのプローブカード３６を取付けてしまった場合でも、テストを開始する前に確実に間違いを発見することが可能となる。
【００５５】
［操作パネルの表示制御］
次に、正面側と背面側との操作パネル７ａ、７ｃの操作について、安全性を考慮しつつ作業効率も向上させることができるようにした制御について図１０〜図１２を参照して説明する。
【００５６】
図１０はプローバ本体１に対して、作業者Ａが前面側（ローダ側）から作業し、作業者Ｂが背面側（テスタ側）から作用をしている状態を示している。４つのテストヘッド１２ａ〜１２ｄに対応して配置されている各ステージロボット８のステージ１０を、第１ステージ、第２ステージ、第３ステージ、第４ステージと呼ぶことにする。前面側から作業をする作業者Ａにとっては、４つのステージ１０は、左に第１ステージ、右に第４ステージという対応関係で配置され、背面側から作業をする作業者Ｂにとっては、左に第４ステージ、右に第１ステージという対向関係で配置されていることになる。
【００５７】
そこで、前面側の操作パネル７ａと背面側の操作パネル７ｃとで、それぞれの画面表示では、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、測定情報の表示をステージ１０の番号に対応した順に一致するようにしている。各操作パネル７ａ、７ｃにおいては、各ステージ１０毎にカセットから取り出した何枚目のウエハが測定されているかがわかるように、その測定時間が表示される。また、その他の情報としてステージの温度、ロット番号、プローブカードのＩＤ情報などが表示されている。
【００５８】
また、操作パネル７ａ、７ｃの画面の右側には、４つのステージ１０に対して作業をしたいステージの操作画面に移行するための操作ボタン「１」〜「４」あるいはローダとステージとの対応関係の設定画面に移行するための操作ボタン「ローダ」が表示されている。作業者Ａ、Ｂは、これらの操作ボタン「１」〜「４」あるいは「ローダ」をタッチ操作することで所望する操作画面への切り換えを行うことができる。
【００５９】
次に、前面側で操作パネル７ａが操作され、背面側で操作パネル７ｃが操作される場合のセントラルＣＰＵ１９による制御について説明する。図１２はその流れを示すもので、基本的には、テスタ側つまり背面側で４つのうちのいずれかのステージロボット８においてメンテナンス作業やプローブカード３６の交換作業などを行なっているときに、ローダ側つまり前面側において作業中のステージロボット８の操作を禁止して作業者の安全性の向上を図ろうとするものである。
【００６０】
図１２において、各ステップの左側の列が正面側の操作パネル７ａに対応し、右側の列が背面側の操作パネル７ｃに対応している。測定が行なわれていないアイドリング状態では、セントラルＣＰＵ１９は、いずれの操作パネル７ａ、７ｃも図１１に示したようなメイン画面を表示させている。次に、正面側においてテストをすべきロットのウエハカセットをセットする場合には、操作パネル７ａにおいて、ステージ選択画面を表示させ、ウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂに収容する。この後、測定をスタートさせると、いずれの操作パネル７ａ、７ｃもメイン画面を表示した状態となる。
【００６１】
上記した測定状態において、次に背面側の操作パネル７ｃにおいて、いずれかのステージロボット８について操作をすると、セントラルＣＰＵ１９は、操作したステージロボット８のステージ番号を認識し、前面側の操作パネル７ａに対してそのステージロボット８についての操作を不可として操作画面への移行を禁止し、その他のステージロボット８については操作を許可状態とする。
【００６２】
禁止状態の表示は、例えば図１１（ａ）に示したメイン画面において、操作ボタン「１」〜「４」のうちの禁止する操作ボタンについて、タッチしても操作不能にするか、一見して操作が不能状態となっていることがわかるように半透明の状態で表示したり、あるいは全く表示を消してしまうなどの表示の仕方がある。
【００６３】
この場合、背面側の操作パネル７ｃにより操作したステージロボット８については、そのステージロボット８に対応するテストヘッド１２ａ〜１２ｄのいずれかがオープン状態となっている場合がある。そして、この場合には、インターロックスイッチ２１がオープン状態を検知しているので、セントラルＣＰＵ１９はそのことを認識することができる。この状態では、作業者がテストヘッド１２ａ〜１２ｄのいずれかをオープン状態としてメンテナンス作業を行なっているか、あるいはプローブカード３６の交換作業をしているなどでそのステージロボット８についての操作は禁止すべき状態である。
【００６４】
しかし、実際に作業者が作業をしている場合以外でも、作業者が背面側の操作パネル７ｃを操作して該当するステージロボット８についての操作状態を解除するのを忘れている場合もある。このような場合には、そのまま放置すると、正面側の操作パネル７ａによる操作が阻害されるので、セントラルＣＰＵ１９は、一定の条件を満たすときにこれを解除するように制御する。
【００６５】
その条件として、セントラルＣＰＵ１９は、まず、操作中のステージのインターロックスイッチ２１がオープン状態を保持しているか否かを判断し（Ｔ１）、続いて、メンテナンスあるいはプローブカード３６の交換の画面であるかを判断し（Ｔ２）、これらが「ＹＥＳ」の場合には禁止状態を保持させる。また、Ｔ１、Ｔ２のいずれにおいてもＮＯである場合には、無操作状態が一定時間（例えば１０分）継続したら（Ｔ３）、テストヘッド１２ａ〜１２ｄのうちの該当するものあるいはステージロボット８については操作や作業が行なわれていないものと判断し、測定終了時と同様にメイン画面に戻す。
【００６６】
これにより、前面側および背面側の各操作パネル７ａ、７ｃの作業優先権を操作項目別に決定し、かつ同ステージ操作を禁止する保護処理を行うことで、前面側あるいは背面側のどちらかの作業者が作業中に、誤ってウエハ搬送のローダロボット５がもう一方の作業者に衝突動作してしまうなどの不具合を未然に防止することができる。
【００６７】
［ローダ画面の設定操作］
上記した操作パネル７ａ、７ｃにおいては、メイン画面に「ローダ」ボタンが設定されており、種々の組み合わせ設定が可能に構成されている。通常は、２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂの双方から４つのステージロボット８に対してローダロボット５によりウエハを搬送させて使用する態様が基本となる。これに対して、例えば図１３〜図１７に示すような組み合わせの設定も可能である。以下、これら図１３〜図１７に示す設定について簡単に説明する。
【００６８】
まず、図１３の設定では、２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂのうち、４ａのみを用いる場合である。これは例えばウエハ枚数が少なくカセットが一つの場合や何らかの理由でカセット据え付けポート４ｂが使用できないような場合などに設定される。次に、図１４の設定では、図１３の設定をした場合などで、ウエハカセット据え付けポート４ａのみでの測定が進行している最中に、ウエハカセット据え付けポート４ｂに適用するロットについて予約をして測定を行なう場合である。これによって、ロットが替わる場合も連続的に測定を行なうことができる。図１５の設定では、第３ステージおよび第４ステージが使用不可となっている場合で、例えば、メンテナンス中あるいは故障中などの状況に対応するものである。この場合には、第３ステージ、第４ステージは選択操作が不能となるように表示状態を変えて表示されている。
【００６９】
図１６の設定では、２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂをそれぞれ異なるロットのカセットを装着して測定を行なう場合である。例えば、ウエハカセット据え付けポート４ａのウエハは第１ステージ、第２ステージで測定をするように設定し、ウエハカセット据え付けポート４ｂのウエハは第３ステージ、第４ステージで測定をするように設定されている。図１７の設定では、図１６の設定に代えて、ウエハカセット据え付けポート４ａのウエハは第１ステージのみで測定をするように設定し、ウエハカセット据え付けポート４ｂのウエハは第２ステージ、第３ステージ、第４ステージで測定をするように設定されている。この場合、図１６、図１７のいずれの設定の場合も、異なるロットは、同じ品種でも良いし、異なる品種に対応させても良い。
【００７０】
このように、操作パネル７ａ、７ｃのいずれかにより、２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂに対して、第１ステージから第４ステージまでの４つのステージロボット８への測定の設定を複合的に行なえるので、ローダロボット５の稼働率を高めながら、自由度の高い柔軟な測定態様を行なうことができる。
【００７１】
［最適なステージロボット数の算出］
次に、本実施形態におけるように、一つのローダロボット５に対して４つのウエハステージ部３ａ〜３ｄを設けている構成について説明する。ローダロボット５は、２つのウエハカセットからウエハを取り出して４つのステージロボット８に搬送を行なうが、この場合、１枚ウエハに必要なテストタイムＴによっては、搬送と搬送との間に時間が大きく空いてしまう場合があり、装置全体の動作の特性とテストタイムＴとの関係はローダロボット５の稼働率に大きく影響を与える。
【００７２】
そこで、１つのローダロボット５と２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂの構成に対して、Ｎ個のステージロボット８を設ける場合を想定する。Ｎは稼働率を高めるための最適なステージロボット８の台数である。このため、ローダロボット５の動作時間を動作工程別にカウントして全体の所要時間を求めてみる。
【００７３】
まず、ローダロボット５の動作について図１８、図１９を参照して簡単に説明する。図１８および図１９では、ステージロボット８をＮ台設けた場合の図として示している。２つのウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂと１つのローダロボット５を上から見た状態で示している。図１８（ａ）〜（ｃ）は、ローダロボット５により、ウエハカセット据え付けポート４ａのＦＯＵＰ（front opening unified pod）型のウエハカセット４２ａからウエハＷａを取り出して第１ステージに対応するステージロボット８のステージ１０上に載置する一連の動作を示している。また、図１９では、ローダロボット５により、ウエハカセット据え付けポート４ａのウエハカセット４２ａからウエハＷａを取り出して最も遠い位置にある第Ｎステージに搬送する場合の様子を示している。
【００７４】
ウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂのそれぞれには、ウエハカセット４２ａ、４２ｂを載置した状態を示しており、ローダロボット５と対向する部分にはそれぞれ扉４３ａ、４３ｂが設けられている。ローダロボット５は、ウエハＷａをステージロボット８に搬送する一連の動作の所要時間として、次の時間Ａ〜Ｆが必要となる。
【００７５】
（１）ウエハカセットの扉を開ける時間…Ａ秒
（２）ウエハカセットからウエハを取り出す所要時間と、ステージに載置する時間と、アライメントの所要時間との合計時間…Ｂ秒
（３）ウエハ針跡検査（ＰＭＩ：probe mark inspection）の所要時間のウエハ１枚あたりに換算した所要時間…Ｃ秒
（４）ウエハをステージからウエハカセットに戻す所要時間…Ｄ秒
（５）ステージ間移動の往復の平均所要時間…Ｅ秒
（６）ウエハカセット４２ａのクローズ時間…Ｆ秒
また、対象となるウエハの一枚当たりのテストタイムをＴ秒とし、テストするウエハの枚数をｎ枚とする。
【００７６】
すると、上記の関係と最大のステージ数Ｎとの関係は、次の式（１）を満たすようにすることである。
（Ａ＋Ｆ）／ｎ＋（Ｂ＋Ｄ＋Ｃ）×Ｎ＋Ｅ  ＜  Ｔ            …（１）
上記した式（Ａ）のうち、Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｆの時間は装置に固有でステージ数Ｎに関係ない時間である。また、Ｃの時間は、ウエハ針跡検査の所要時間が固定的な時間Ｍ秒に対して、何枚（ｍ枚）に１回の検査を行なうか（検査頻度枚数）によって決まるので、ステージ数Ｎに無関係な時間（Ｍ／ｍ）である。
【００７７】
そして、Ｅの所要時間は、ステージ数Ｎの関数となる。具体的には、ステージ数Ｎに対してステージ間の数は（Ｎ−１）であり、ステージ間の移動時間をｔ秒とすると、ローダロボット５が一番端に位置していて、最も近くのステージへの移動時間は０秒であり、隣のステージへの移動時間はｔ秒、最も遠くのステージに移動するのに要する時間は（Ｎ−１）ｔ秒である。この結果、ウエハを往復で搬送するのに必要な平均的な移動時間Ｅは、Ｎ（Ｎ−１）ｔ秒となる。例えばステージ間移動時間ｔが０．５秒である場合には、所要時間ＥはＮ（Ｎ−１）／２秒となる。なお、このステージ間移動時間の平均の所要時間Ｅの値は、差し支えない範囲で一定の時間あるいは適宜の時間に設定することもできる。
【００７８】
次に、上記の各所要時間を具体的に適用して、最適なステージ数Ｎを見積もってみる。
今、装置に固有の所要時間として、
Ａ＝１２秒、Ｂ＝１１０秒、Ｄ＝１０秒、Ｆ＝１２秒とし、
Ｃ＝Ｍ／ｍ  の  Ｍ＝６００秒、ｍ＝５０枚とすると、Ｃ＝１２秒、
ステージ間移動時間ｔ＝０．５秒とすると、
＜第１の具体例＞
テストタイムＴ＝１２００秒、測定枚数ｎ＝１００枚とすると、式（１）は、
（Ａ＋Ｆ）／ｎ＋（Ｂ＋Ｄ＋Ｃ）×Ｎ＋Ｅ
＝（１２＋１２）／１００＋（１１０＋１０＋１２）×Ｎ＋Ｎ（Ｎ−１）／２
＝０．２４＋１３２Ｎ＋Ｎ（Ｎ−１）／２  ＜  １２００
となる。この値が１２００より小となる条件を満たす最大の整数Ｎを求めると、Ｎ＝８が得られる。つまり、この条件の下では、８台のステージロボット８を設けることがローダロボット５の最大の稼働率を確保できるということになる。なお、上記した計算式は、Ｎについての二次関数であるから、これを満たすＮを計算で求めることができる。
＜第２の具体例＞
次に、テストタイムＴ＝６００秒で他の条件は第１の具体例と同じ条件である場合には、同様にして計算すると、Ｎの最大値が４すなわち最適なステージ数Ｎは４台であることが計算される。
【００７９】
［ウエハアライメントの構成］
次に、各ステージロボット８におけるウエハアライメントの構成とそのアライメント方法について図２０〜図２９を参照して説明する。図２０（ａ）はウエハステージ部３ａに配設されているステージロボット８のステージ１０部分を、およびヘッドプレート８ｂに載置されたプローブカード３６の構成を模式的に示したものである。図２０（ｂ）は、ステージ１０を上からみた状態で模式的に示す図である。
【００８０】
図２０（ａ）において、プローブカード３６には、プローブ３７の部分の脇にウエハアライメントカメラ４４および３個のフォーカスカメラ４５ａ〜４５ｃが所定間隔で設けられている。また、ステージ１０には、これと一体となって移動するようにプローブアライメントカメラ４６および３個のフォーカスカメラ４７ａ〜４７ｃが設けられている。これらウエハアライメントカメラ４４およびプローブアライメントカメラ４６は、図２０（ｂ）、（ｃ）にも示しているように、ステージ１０の幅をカバーできる程度の長さを有するライン状のスキャンカメラにより構成されている。また、３個のフォーカスカメラ４５ａ〜４５ｃおよび４７ａ〜４７ｃはステージ１０に載置するウエハＷａの所定の点（たとえば十文字に５点）に対応してフォーカスをチェックするように配置されている。
【００８１】
ウエハアライメントカメラ４４は、プローブカード３６に対向して配置されるウエハＷａの上面に形成された電気的特性検査パッドを撮影してプローブ３７の位置あわせをするためのカメラである。また、プローブアライメントカメラ４６は、ステージ１０上のウエハＷａに対向しているプローブカード３６のプローブ３７を撮影してステージ１０の水平面内でのｘ方向、ｙ方向の移動を制御するためのものである。
【００８２】
ローダロボット５がウエハＷａをステージ１０に搬送し、ステージ１０に載置されたウエハＷａが測定をするのに必要な位置合わせとして、図２１〜図２９に示す手順に従ってアライメントを行なう。まず、ウエハＷａがステージ１０に載置される前に、初期状態を示す図２１の配置状態から図２２の配置状態に移動し、プローブアライメントカメラ４６がウエハアライメントカメラ４４と対向する位置に来るようにステージロボット８のステージコントローラ１１によりステージ１０の位置を移動制御する。
【００８３】
この場合、ステージ１０は、主として前面側と背面側との間の移動方向に大きく移動し、隣接するウエハステージ部３ｂ側つまり横方向への移動量は少なくなるように制御される。これは、ウエハアライメントカメラ４４およびプローブアライメントカメラ４６が共にステージ１０の横方向をカバーできる長さであることから、横方向の移動をするのは、プローブ３７の位置を正確にアライメントするための移動となるからである。
【００８４】
次に、図２３に示すように、ステージ１０を背面側（図中左側）に移動させ、プローブアライメントカメラ４６にてプローブカード３６をスキャンして撮影すると共に、フォーカスカメラ４７ａ〜４７ｃにより所定の５点について高さを撮影し、５点の位置と高さを認識する。続いて、ステージ１０をローダ側（図中右側）に移動させてローダロボット５によりウエハＷａをステージ１０に載置させた後、図２４に示すように、中心位置に戻る際にウエハアライメントカメラ４４によりウエハＷａをスキャンして撮影すると共にフォーカスカメラ４５ａ〜４５ｃにより所定の５点について高さを撮影し、５点の位置及び高さを認識する。
【００８５】
次に、ウエハＷａの測定を高温あるいは低温に保持して行なう場合には、図２５に示すように、温度膨張の飽和をさせるためにプリヒートもしくはプリクールを実施する。この後、図２６に示すように、再度原点補正を行なうため、ウエハアライメントカメラ４４およびプローブアライメントカメラ４６を対向するようにステージ１０を移動させる。
【００８６】
続いて、図２７に示すように、プリヒート（プリクール）実施後のウエハＷａを再スキャンしてウエハアライメントカメラ４４で撮影し、ウエハＷａの領域の５点の重心を算出する。次に、図２８に示すように、プリヒート（プリクール）実施後のプローブカード３６を再スキャンしてプローブアライメントカメラ４６およびフォーカスカメラ４７ａ〜４７ｃで撮影し、プローブカード３６の領域の５点の重心を算出する。そして、図２９に示すように、プローブカード３６の重心とウエハＷａの重心とを位置あわせするようにステージ１０を移動させ、これにりアライメントが終了する。
【００８７】
なお、高さ方向のアライメントは、別のカメラを設けることもできるし、ステージ１０を上昇させてウエハＷａをプローブカード３６のプローブ３７に電気的に接触させることで、電気的動通状態を認識することで行なうことができる。
【００８８】
このように、ウエハＷａ上の電気的特性検査パッドとプローブカード３６のプローブ位置合わせのためのアライメント方式として、ウエハＷａをステージ１０に置く動作時または、ステージ１０への載置の後にウエハＷａの画像情報をラインスキャンできるウエハアライメントカメラ４４、プローブアライメントカメラ４６を設けるので、ステージ１０側の位置を認識するためのアライメントカメラを１つにすることができ、しかも、横方向への移動をすることなくスキャンすることでウエハＷａ、プローブカード３６を認識できるので、迅速にアライメント処理を行えると共に、装置の小型化をはかることができる。
【００８９】
［地震発生時の緊急措置］
次に、プローバ本体１を設置している工場や据え付け場所などにおいて、地震が発生した場合の対処を行うシステムについて図３０を参照して説明する。緊急地震速報信号は前述のように地震が発生すると、気象庁のシステムにより配信されてくる信号である。これに対して、設備側では所定の震度以上の信号が受信されると、設備を強制的に停止する措置をとることになっている。しかし、急に電源を落とした場合には、プローブカード３６などは、プローブ３７に印加していた電圧を急に落とすことで放電や焼きつきなどの不具合が生ずる恐れがある。このような不具合が発生するのを極力抑制するため、次のような措置を講じている。
【００９０】
図４の説明で述べたように、緊急地震速報信号は、分電ボックス２６を介して分電され、ステージロボット８側を統括するセントラルＣＰＵ１９に入力されると共に、各テストヘッド１２ａ〜１２ｄを制御しているそれぞれのテスタＣＰＵ２３にも入力される。セントラルＣＰＵ１９は、緊急地震速報信号を受けるとこれを各ステージロボット８のステージコントローラ１１に配信する。しかし、ステージ側では、緊急地震速報信号を受けてもプローブカード３６側で信号を印加している状態であるから、ステージコントローラ１１はステージ１０を降下させることができない。このため、ステージコントローラ１１はテスタＣＰＵ２３側と通信を行って安全に降下できる条件となるのを待機する。
【００９１】
この過程は、図３０に示すように、テスタＣＰＵ２３側では、緊急地震速報信号を受信すると、テストヘッド電源のオフ処理を開始する（Ｐ１）。一方、ステージコントローラ１１側においても、緊急地震速報信号を受信すると、中断処理を開始し（Ｑ１）、テスタＣＰＵ２３に対してケーブル２４を介してステージ降下要求をして（Ｑ２）テスタＣＰＵ２３側からステージ降下許可コマンドが送信されてくるのを待機する状態となる（Ｑ３）。
【００９２】
テスタＣＰＵ２３側では、テストヘッド電源のオフ処理を実施しているときにステージコントローラ１１側からステージ降下要求を受信することになり、テストヘッド電源のオフ処理が完了すると（Ｐ２）、ステージ降下許可コマンドを送信する（Ｐ３）。このコマンドを受信すると、ステージコントローラ１１側では、コマンドを受信したことで（Ｑ４）、ステージ１０を降下させてプローブカード３６の保護動作を行なう（Ｑ５）。この後、ステージコントローラ１１は、セントラルＣＰＵ１９を通じて操作パネル７ａに専用画面表示を行なわせ（Ｑ６）、リセット待ちの状態となる（Ｑ７）。
【００９３】
なお、何らかの原因でステージコントローラ１１側からテスタＣＰＵ２３側に送信したステージ降下要求に対する許可コマンドが送信されない場合には、ステージコントローラ１１は、所定時間が経過するまで待機した後（Ｑ８）に強制的にプローブカード３６の保護動作（Ｑ５）に移行することもできる。この場合には、テスタＣＰＵ２３側でテストヘッド電源オフ処理が完了していないことも想定されるが、ステージを降下しない状態のままでプローブカード３６に損傷が発生することに比べると、電源が印加されているプローブ３７が損傷する程度で済む。
【００９４】
また、この方式では、テスタＣＰＵ２３およびステージコントローラ１１の双方に緊急地震速報信号が入力されるので、一方が対応することができれば、最悪でも受信をしたいずれかが緊急事態に対処することができ、他方にケーブル２４を介して連絡をすることもできるので、損傷による損害が発生する率を低減することに貢献できる。
【００９５】
このようなシステムによれば、従来のテスタ側だけに緊急地震速報信号を配信する構成と異なり、プローバ側にも信号検知する機構を構成し、テスタ通信が絶たれた場合やテスタ動作不良起こしてステージ回避命令がでない場合でも一定時間経過後にプローバが独自にステージ回避シーケンスに移れるようになり、テスタにプローバと通信不能となるなんらかの異常が出た場合に、ステージが退避されなくなる問題を回避することが可能となる。
【００９６】
このような本実施形態によれば、次のような効果を得ることができる。
第１に、上記した種々の小型化のための技術を適用することにより、装置の据え付け面積とメンテナンス面積の双方において大幅な省スペース化を図ることができた。たとえば、装置の据え付け面積は、従来１２．５４ｍ２程度必要であったものが本実施形態の構成を採用することで０．９８ｍ２に省スペース化でき、メンテナンス面積は、従来８．７８ｍ２程度必要であったものが本実施形態の構成を採用することで、左右のメンテナンス面積が不要になるなどで０．８３ｍ２に省スペース化でき、両者を総合すると従来必要であった面積に対して９２％もの省スペース化を図ることができた。
【００９７】
第２に、テスト基板から、ウエハ上の製品までの距離が短縮され、重量のあるワイヤハーネスを使わないことで、プローバ上に配設されるテストヘッド重量の軽減化と、電気的特性検査の信号品質を現状より改善することが可能となる。
第３に、省スペースシステムにおいても熱気をオペレータ操作面や針位置に影響するプローバヘッドプレート面に吹き付けることなく、快適な操作環境と安定した電機的特性検査を維持することが可能となる。
【００９８】
第４に、省スペース複数ステージ構成テストシステムにおける前後同時オペレーション時に懸念される操作の安全性につき作業者が稼動ローダと衝突するリスクを回避し、安全なオペレーションが可能となる。
第５に、プローブカードの出入れ検知センサを具備し、出入れ毎にプローブカードIDとステージIDを確認する動作シーケンスを追加することで手動テストヘッド開閉時のプローブカード誤挿入リスク回避を可能とした。
【００９９】
第６に、１ローダ２ポート構成で検査効率を落とさずに構成できる最大ステージ数を求めることで、発明前の構成より低価格、省スペース、省エネルギーで運用上無駄の無いテストシステムの享受が可能となる。
第７に、大きなアライメントカメラをステージ、カード設置側面に配設することが不要となり、より省スペース化したテストシステムを構成することが可能となる。
第８に、地震発生時にテスターが故障や異常発生した場合でもプローバ単独でステージ回避することでウエハと接触しているプローブカードをウエハから分離して地震から守ることが可能となる。
【０１００】
（他の実施形態）
本発明は、上記実施例にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
ステージロボット部は、４つ設ける構成について説明したが、必要に応じて５個以上設ける構成としても良いし、適切な台数を横方向に並べて配置することができる。
低温チラー１６ａ、１６ｂは、必要に応じて設ければ良い。また、テストヘッド１２ａ〜１２ｄからの排熱を低温チラー１６ａ、１６ｂのファン４１を利用して行なうようにしたが、別途独立したファンを設けることもできる。
【０１０１】
ステージ１０に設けるプローブアライメントカメラ４６は、１個に限らず、必要に応じて複数設けても良い。
ＩＤ読取装置２０はケーブルを介して有線でセントラルＣＰＵ１９に接続される構成としたが、無線で接続される構成としても良い。
操作パネル７ａ、７ｃの優先操作については、操作不可状態を解除する際の無操作継続時間の設定を１０分としたがこれに限らず、適宜の時間に設定できる。この場合、条件に応じてあるいは個別に異なる時間を設定することも可能である。
【０１０２】
ウエハカセット据え付けポート４ａ、４ｂとステージ１０への振り分けの搬送設定については、図１３〜図１７に示した例だけでなく、これ以外にも適宜の設定をすることができる。また、ステージ数を５以上に増やした場合にはさらに複合的な設定をすることも可能である。
最適なステージ数Ｎの算出に際して用いた各種の所要時間Ａ〜Ｆは一例であり、装置あるいは検査対象に応じて適宜変更して算出することができるものであり、算出に際して必要となる要素を原理的に示しているものである。
【０１０３】
緊急地震速報信号を受信した場合の措置について、実施形態では、４つのウエハステージ部を有する構成で説明しているが、ステージロボットが１つの構成のプローバ本体を有するシステムにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す背面側から見た概略的構成を示す斜視図
【図２】正面側から見た概略的構成を示す斜視図
【図３】プローバ本体の背面図、側面図、正面図
【図４】電気的なブロック構成図
【図５Ａ】テストヘッドの異なる方向から見た内部構成図
【図５Ｂ】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ上補強板、下補強板の平面図
【図６】低温チラーを配置した状態で示す背面図
【図７】低温チラーを配置した状態で示す側面図
【図８】プローバ本体を上面から見たプローブカードの交換時のＩＤ読取の説明図
【図９】プローブカード装着時の確認処理のフローチャート
【図１０】作業者と操作パネルの表示の関係を示すプローバ本体の上面図
【図１１】操作パネルの正面側および背面側に対応した画面表示図
【図１２】正面側および背面側の操作パネルの操作に対する制御を説明するフローチャート
【図１３】ウエハカセット据え付けポートとステージとの対応付けの設定を説明する例（その１）
【図１４】ウエハカセット据え付けポートとステージとの対応付けの設定を説明する例（その２）
【図１５】ウエハカセット据え付けポートとステージとの対応付けの設定を説明する例（その３）
【図１６】ウエハカセット据え付けポートとステージとの対応付けの設定を説明する例（その４）
【図１７】ウエハカセット据え付けポートとステージとの対応付けの設定を説明する例（その５）
【図１８】ステージ数を算出する場合のウエハの移動状況を説明する図（その１）
【図１９】ステージ数を算出する場合のウエハの移動状況を説明する図（その２）
【図２０】アライメント処理を説明するためのステージとプローブカードの構成図
【図２１】アライメント処理の説明図（その１）
【図２２】アライメント処理の説明図（その２）
【図２３】アライメント処理の説明図（その３）
【図２４】アライメント処理の説明図（その４）
【図２５】アライメント処理の説明図（その５）
【図２６】アライメント処理の説明図（その６）
【図２７】アライメント処理の説明図（その７）
【図２８】アライメント処理の説明図（その８）
【図２９】アライメント処理の説明図（その９）
【図３０】緊急地震速報信号を受けたときの処理を示す図
【符号の説明】
【０１０５】
図面中、１はプローバ本体、２はローダ部、３ａ〜３ｄはウエハステージ部、４ａ、４ｂはウエハカセット据え付けポート、５はローダロボット、６ａ、６ｂは扉、７ａ、７ｂ、７ｃは操作パネル、８はステージロボット、１０はステージ（載置台）、１１はステージコントローラ、１２ａ〜１２ｄはテストヘッド、１４はケーブル、１５ａ〜１５ｄはテスタコントローラ、１６ａ、１６ｂは低温チラー、１７は排気口、１８は吸気口、１９はセントラルＣＰＵ、２０はＩＤ読取装置、２１はインターロックスイッチ、２２はプローブカード認識センサ、２３はテスタＣＰＵ、２４はケーブル、２６は分電ボックス、２７ａは吸気口、２７ｂは排気口、２８はルーバ、２９はファン、３０はマザーボード（多層配線基板）、３１はピンエレクトロニクス基板（回路基板）、３２は上補強板、３３は下補強板、３４はＰｏｇｏブロック、３５はＰｏｇｏピン、３６はプローブカード、３７はプローブ、３８はコンプレッサ、３９は熱交換器、４１はファン、４２ａ、４２ｂはウエハカセット、４３ａ、４３ｂは扉、４４はウエハアライメントカメラ、４６はプローブアライメントカメラである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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