(57)【要約】【課題】  燃料電池用の金属セパレータの欠陥を確実かつ簡便に検出するための検査方法を提供する。【解決手段】  金属基材を耐食性被膜で被覆してなる金属セパレータ１１を、密閉型検査容器１の内部に配置し、試験流体を注入口３から密閉型検査容器１の内部に注入して金属セパレータ１１と接触させ、密閉型検査容器１内の金属セパレータ１１よりも上方に存在する気体を排出口４から取り出して検出器６で水素の有無を検査し、水素が検出されたときに金属セパレータ１１を不良と判定する。【選択図】  図１
2010123431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属基材を導電性の耐食性被膜で被覆してなる金属セパレータを、注入口と排出口を備えた密閉型検査容器の内部に配置し、試験流体を注入口から密閉型検査容器内に注入して金属セパレータと接触させ、密閉型検査容器内の前記金属セパレータよりも上方に存在する気体を排出口から取り出して検出器で前記気体に含有される水素の有無を検査し、水素が検出されたときに金属セパレータを不良と判定することを特徴とする燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【請求項２】
前記試験流体は、塩化水素、塩素系ガス、亜硫酸ガス、炭酸ガス、アンモニアガス、硫化水素および二酸化硫黄のいずれかの気体であることを特徴とする請求項１に記載の燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【請求項３】
前記試験流体は、硫酸水溶液、リン酸水溶液、硝酸水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア水溶液、塩化ナトリウム水溶液、王水、クロム酸、フッ化水素、塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液、シュウ酸水溶液、クエン酸水溶液、塩化アンモニウム水溶液、塩化マグネシウム水溶液、炭酸水溶液および酢酸水溶液のいずれかの液体であることを特徴とする請求項１に記載の燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【請求項４】
前記検出器は、ガスクロマトグラフ質量分析計、フーリエ変換赤外分光分析計、水素センサのいずれかであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【請求項５】
前記耐食性被膜は、導電性の耐食性樹脂層であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【請求項６】
前記耐食性被膜は、炭素材料または貴金属からなる被膜であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【請求項７】
前記金属基材は、ステンレス、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、マグネシウム、マグネシウム合金、鉄、鉄ニッケル合金のいずれかからなることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の燃料電池用金属セパレータの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池用のセパレータ、特に固体高分子電解質膜の両側に電極を配した単位セルを複数個接続した燃料電池の各単位セルに使用する金属製のセパレータの不良箇所の有無を検出する検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料電池は、簡単には、外部より燃料（還元剤）と酸素または空気（酸化剤）を連続的に供給し、電気化学的に反応させて電気エネルギーを取り出す装置で、その作動温度、使用燃料の種類、用途などで分類される。また、最近では、主に使用される電解質の種類によって、大きく、固体酸化物型燃料電池、溶融炭酸塩型燃料電池、リン酸型燃料電池、固体高分子電解質型燃料電池、アルカリ水溶液型燃料電池の５種類に分類させるのがー般的である。
これらの燃料電池は、メタン等から生成された水素ガスを燃料とするものであるが、最近では、燃料としてメタノール水溶液をダイレクトに用いるダイレクトメタノール型燃料電池（以下、ＤＭＦＣとも言う）も知られている。
このような燃料電池のなかで、固体高分子膜を２種類の触媒で挟み込み、更に、これらの部材をガス拡散層（ＧＤＬ:Gas Diffusion Layer）とセパレータで挟んだ構成の固体高分子型燃料電池（以下、ＰＥＦＣとも言う）が注目されている。
【０００３】
このＰＥＦＣにおいては、固体高分子電解質膜の両側に、空気極（酸素極）、燃料極（水素極）を配置した単位セルを、所望の起電力を得るために、複数個積層したスタック構造、あるいは、平面状に複数個を直列に接続した構造となっている。例えば、上記のスタック構造の場合、単位セル間に配設されるセパレータは、そのー方の面に、隣接するー方の単位セルに燃料ガスを供給するための燃料ガス供給用溝部が形成され、他方の面に、隣接する他方の単位セルに酸化剤ガスを供給するための酸化剤ガス供給用溝部が形成されている。
このようなセパレータとしては、コスト、強度の点から、金属製のセパレータが好ましいが、耐食性に問題があった。このため、導電性の電着被膜を形成して耐食性を付与した金属セパレータが開発されている（特許文献１、２、３）。
【特許文献１】特開２００４−３１１６６号公報
【特許文献２】特開２００３−２４９２４０号公報
【特許文献３】特開２００４−１９７２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、電着被膜等の耐食性被膜を金属基材上に施した従来の金属セパレータでは、例えば、電着被膜の形成時に発生する水素ガスや熱硬化時の出ガス等により、耐食性被膜にピンホール等の欠陥が生じる可能性がある。このような欠陥が存在すると、金属セパレータの耐食性が劣化し、金属基材の腐食が進行して金属基材と耐食性被膜との接触抵抗が大きくなるという問題があった。特に、金属基材としてアルミニウム等の耐食性の低い金属を使用した場合、ピンホール等の欠陥の発生は燃料電池用セパレータとして使用する上で大きな問題となっている。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、燃料電池用の金属セパレータの欠陥を確実かつ簡便に検出するための検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的を達成するために、本発明は、金属基材を導電性の耐食性被膜で被覆してなる金属セパレータを、注入口と排出口を備えた密閉型検査容器の内部に配置し、試験流体を注入口から密閉型検査容器内に注入して金属セパレータと接触させ、密閉型検査容器内の前記金属セパレータよりも上方に存在する気体を排出口から取り出して検出器で前記気体に含有される水素の有無を検査し、水素が検出されたときに金属セパレータを不良と判定するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記試験流体は、塩化水素、塩素系ガス、亜硫酸ガス、炭酸ガス、アンモニアガス、硫化水素および二酸化硫黄のいずれかの気体、あるいは、硫酸水溶液、リン酸水溶液、硝酸水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア水溶液、塩化ナトリウム水溶液、王水、クロム酸、フッ化水素、塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液、シュウ酸水溶液、クエン酸水溶液、塩化アンモニウム水溶液、塩化マグネシウム水溶液、炭酸水溶液および酢酸水溶液のいずれかの液体であるような構成とした。
【０００６】
本発明の他の態様として、前記検出器は、ガスクロマトグラフ質量分析計、フーリエ変換赤外分光分析計、水素センサのいずれかであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記耐食性被膜は、導電性の耐食性樹脂層であるような構成、あるいは、炭素材料または貴金属からなる被膜であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記金属基材は、ステンレス、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、マグネシウム、マグネシウム合金、鉄、鉄ニッケル合金のいずれかからなるような構成とした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、金属セパレータを構成する耐食性被膜にピンホール等の欠陥箇所が存在する場合、密閉型検査容器内で試験流体に接触することにより、欠陥箇所から金属基材の腐食が進行して水素が発生することとなり、この水素の発生の有無を検出器で検査し、水素が検出されたときに金属セパレータを不良と判定するので、欠陥が存在する金属セパレータを確実に、かつ、簡便に、例えば、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を使用する場合に比べて簡便に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の燃料電池用金属セパレータの検査方法の一実施形態を説明するための装置構成図である。図１において、密閉型検査容器１は注入口３と排出口４とを備えており、内部に金属セパレータ１１が配置可能とされている。また、密閉型検査容器１の排出口４は、密閉型検査容器１内に配置された金属セパレータ１１よりも上方に存在する気体を取り出し可能な位置に設けられており、排出口４から取り出された気体は導管５を介して検出器６に送られるように構成されている。
【０００９】
本発明では、金属基材を耐食性被膜で被覆してなる金属セパレータ１１を、密閉型検査容器１の内部に配置し、試験流体を注入口３から密閉型検査容器１の内部に注入して金属セパレータ１１と接触させる。これにより、金属セパレータ１１を構成する耐食性被膜にピンホール等の欠陥箇所が存在する場合、この欠陥箇所から金属基材の腐食が進行して水素が発生する。例えば、金属基材がアルミニウムであり、試験流体が塩化水素や水酸化ナトリウム水溶液の場合には、以下のように金属基材の腐食が進行する。
６ＨＣｌ＋２Ａｌ  →  ２ＡｌＣｌ3  ＋３Ｈ2↑
ＮａＯＨ aq.＋Ａｌ＋２Ｈ2Ｏ  →  Ａｌ(ＯＨ)3  ＋Ｈ2↑＋Ｎａ+ 
このように発生した水素は、密閉型検査容器１内の上部に溜まるため、排出口４から取り出された気体には水素が含有されており、検出器６で水素の存在が検出される。したがって、検出器６において水素が検出されたときに金属セパレータ１１を不良と判定することができる。
【００１０】
本発明で使用する試験流体は、金属セパレータを構成する金属基材を腐食することができる気体あるいは液体である。気体としては、例えば、塩化水素、塩素系ガス、亜硫酸ガス、炭酸ガス、二酸化硫黄、アンモニアガス、硫化水素を挙げることができる。また、液体としては、例えば、硫酸水溶液、リン酸水溶液、硝酸水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア水溶液、塩化ナトリウム水溶液、王水、クロム酸、フッ化水素、塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液、シュウ酸水溶液、クエン酸水溶液、塩化アンモニウム水溶液、塩化マグネシウム水溶液、炭酸水溶液、酢酸水溶液を挙げることができる。このような試験流体を使用することにより、欠陥を有する金属セパレータの検出が確実となる。
【００１１】
試験流体として気体を使用する場合、密閉型検査容器１内の雰囲気を試験流体（気体）で完全に置換する量を注入することが好ましい。本発明では、試験流体（気体）を注入口３から密閉型検査容器１内を経由して排出口４へ一定流量で流しながら検出器６で排出気体の水素の有無を検査することができる。また、所定流量の試験流体（気体）を密閉型検査容器１内に注入した後、注入口３と排出口４を閉鎖して試験流体（気体）と金属セパレータ１１との接触状態を維持（例えば、１〜１０分間程度）し、その後、排出口４から気体を取り出して検出器６で排出気体の水素の有無を検査することができる。密閉型検査容器１の大きさは金属セパレータ１１を内部に配置可能なものであればよく、内容積も特に制限はないが、大き過ぎると水素濃度が低下して測定誤差を生じるおそれがあるので、例えば、金属セパレータ１１の体積の２倍以下の範囲で適宜設定することができる。
【００１２】
また、試験流体として液体を使用する場合、図２に示されるように、密閉型検査容器１の内部に注入する試験流体（液体）の量は、金属セパレータ１１が完全に浸漬され、かつ、排出口４よりも液面が下方に位置するように調整する。そして、所定流用の試験流体（液体）を密閉型検査容器１内に注入した後、注入口３と排出口４を閉鎖して試験流体（液体）と金属セパレータ１１との接触状態を維持（例えば、１〜３０分間程度）し、その後、排出口４から取り出された気体を検出器６で検査する。尚、試験流体（液体）と金属セパレータとの界面に気泡が発生すると、両者の接触が妨げられ、検査精度が低下する。このため、予め金属セパレータに前処理を施して濡れ性を向上させたり、密閉型検査容器１あるいは金属セパレータ１１を振動させたり、密閉型検査容器１に注入された試験流体（液体）内に超音波振動装置を配置してもよい。金属セパレータに対する前処理としては、例えば、プラズマ処理、アルカリ浸漬、物理研磨、化学研磨等を用いることができる。
【００１３】
検出器６は、排出口４から取り出された気体に水素が含有されているか否かを検査するものであり、例えば、ガスクロマトグラフ質量分析計、フーリエ変換赤外分光分析計、水素センサ等を使用することができる。このような検出器を使用することにより、欠陥を有する金属セパレータの検出が確実となる。
このように、本発明では、密閉型検査容器１内で金属セパレータ１１に試験流体を接触させるので、金属セパレータ１１を構成する耐食性被膜にピンホール等の欠陥箇所が存在すれば、欠陥箇所から金属基材の腐食が進行して水素が発生する。そして、この水素の発生の有無を検出器６で検査し、水素が検出されたときに金属セパレータ１１を不良と判定するので、欠陥が存在する金属セパレータ１１を確実に、かつ、簡便に検出することができる。
【００１４】
本発明で検査対象となり得る金属セパレータは、金属基材を導電性の耐食性被膜で被覆したものであれば、特に制限はない。
金属基材としては、電気導電性が良く、所望の強度が得られ、加工性の良いものが好ましく、例えば、ステンレス、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、マグネシウム、マグネシウム合金、鉄、鉄ニッケル合金等が挙げられる。また、金属基材は、両面、あるいは一方の面に溝部を有するものであってもよく、また、貫通孔を有するものであってもよい。
【００１５】
耐食性被膜は、導電性を有するとともに金属基材に耐食性を付与するためのものであり、例えば、電着性を有する各種アニオン性、またはカチオン性の合成高分子樹脂中に導電材料を分散させた電着液を用いて電着により成膜し、その後、硬化させて形成した耐食性樹脂層することができる。この耐食性樹脂層に含有される導電材料としては、例えば、カーボン粒子、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーン等のカーボン素材、耐食性金属等が挙げられるが、耐酸性かつ導電性が所望のものが得られれば、これらの導電材料に限定されない。特に、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーン等の微細繊維状炭素材料は、樹脂層に導電性を付与するために好適である。
【００１６】
また、耐食性被膜は、炭素材料、または、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、窒化チタン、ホウ化クロム、ホウ化モリブデン等の耐食性物質からなる被膜であってもよい。炭素材料からなる被膜は、電着、ディップコート、スピンコート、樹脂モールド、スパッタリング法や真空蒸着法等の真空成膜法等により形成することができる。また、耐食性物質からなる被膜は、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等の真空成膜法、電気めっき、無電解めっき等により形成することができる。
尚、耐食性被膜は単層構造、多層構造いずれであってもよく、多層構造の場合には異なる材質の耐食性被膜からなるものであってもよい。
上述の実施形態は例示であり、本発明はこのような実施形態に限定されるものではない。
【実施例】
【００１７】
次に、具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
（金属セパレータの作製）
金属板材として、８０ｍｍ×８０ｍｍ、厚み０．８ｍｍのアルミニウム合金（Ａ５０５２Ｐ）を準備し、表面の脱脂処理を行った。
次に、このアルミニウム合金の両面に、ドライフィルムレジスト（ニチゴー・モートン（株）製）をラミネートして３５μｍ厚の感光性レジスト層を形成し、その後、溝部形成用のフォトマスクを介して露光（５ｋＷ水銀灯により１５秒間照射）、現像（３０℃の２％炭酸水素ナトリウム水溶液をスプレー）してレジストを形成した。
【００１８】
次いで、上記のレジストを介してアルミニウム合金の両面から４５℃に加熱した塩化第二鉄水溶液をスプレーして、所定の深さまでハーフエッチングを行った。その後、５０℃の５％炭酸水素ナトリウム水溶液でレジストを剥離し、洗浄処理を施した。これにより、幅が１ｍｍ、深さが０．３ｍｍのほぼ半円形状の断面を有し、振れ幅５０ｍｍ、ピッチ２ｍｍで蛇行した長さ１３００ｍｍの溝部を備えた金属基材を得た。
次に、上記の金属基材に対して、硝酸水溶液を用いて前処理（不動態膜除去）を施し、水洗した。
次いで、エポキシ電着液に、導電材料としてカーボンブラック（Ｃａｂｏｔ（株）製  Ｖｕｌｃａｎ  ＸＣ−７２）を樹脂固形分１００重量部に対して７５重量部添加し分散させて、電着液とした。
【００１９】
この電着液を２０℃に保って撹拌し、この中に上記の金属基材を浸漬し、極間４０ｍｍ、電圧５０Ｖで３０秒間電着を行い、引き上げた金属基材を純水洗浄した。その後、ドライヤーで熱風乾燥（１００℃、３分間）し、さらに、窒素雰囲気中で１８０℃、１時間の熱処理を施した。これにより、金属基材を被覆するように厚み８μｍの導電性の耐食性樹脂層が形成された。これにより、金属セパレータＩを得た。
また、上記の耐食性樹脂層の形成条件のうち、電着プロセスの電圧を５０Ｖから３０Ｖに変更することにより、故意に耐食性樹脂層にピンホールを生じさせた他は、上記と同様にして、金属セパレータIIを得た。
このように作製した金属セパレータＩ、IIについて、その表面を走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した結果、金属セパレータＩではピンホールは見られなかったが、金属セパレータIIは、直径が１０〜１００μｍの円形のピンホールが、平均で１０個／ｍｍ2の割合で存在するものであった。尚、このようなＳＥＭによるピンホールの有無の表面観察は、５０ｍｍ×５０ｍｍの領域について行うのに平均１８０分を要した。
【００２０】
ここで、使用したエポキシ電着液は下記のようにして調製した。
まず、ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル（エポキシ当量９１０）１０００重量部を撹拌下に７０℃に保ちながら、エチレングリコールモノエチルエーテル４６３重量部に溶解させ、さらに、ジエチルアミン８０．３重量部を加えて１００℃で２時間反応させてアミンエポキシ付加物（Ａ）を調製した。
また、コロネートＬ（日本ポリウレタン（株）製  ジイソシアネート：ＮＣＯ１３％の不揮発分７５重量％）８７５重量部にジブチル錫ラウレート０．０５重量部を加え５０℃に加熱し、これに２−エチルヘキサノール３９０重量部を添加し、その後、１２０℃で９０分間反応させた。得られた反応生成物をエチレングリコールモノエチルエーテル１３０重量部で希釈した成分（Ｂ）を得た。
【００２１】
次に、上記のアミンエポキシ付加物（Ａ）１０００重量部と成分（Ｂ）４００重量部からなる混合物を、氷酢酸３０重量部で中和した後、脱イオン水５７０重量部を用いて希釈し、不揮発分５０重量％の樹脂Ａを調製した。この樹脂Ａ２００．２重量部（樹脂成分８６．３容量）、脱イオン水５８３．３重量部、およびジブチル錫ラウレート２．４重量部を配合してエポキシ電着液を調製した。
【００２２】
（金属セパレータの検査）
密閉型検査容器として容積２００ｍｌ（１０ｃｍ（ｌ）×２ｃｍ（ｗ）×１０ｃｍ（ｄ））のガラス製の容器を準備した。この密閉型検査容器は、１０ｃｍ×２ｃｍの壁面下部に注入口を有し、この壁面に対向する１０ｃｍ×２ｃｍの壁面上部に排出口を有するものとした。
また、排出口にステンレス管を介して水素センサ（理研計器（株）製  ＧＨ−２０２）を接続した。
次いで、注入口から密閉型検査容器に試験流体として１０％水酸化ナトリウム水溶液を深さ８．５ｃｍまで注入し、この試験流体中に上記の金属セパレータＩを入れ、容器を密閉し、１分間浸漬した。その後、密閉型検査容器の上部空間の気体を排出口から取り出して水素センサで水素の有無を検査した結果、水素は検出されなかった。
一方、同様の検査を上記の金属セパレータIIについて行ったところ、２０ｐｐｍ以上の水素の発生が確認された。
【００２３】
［実施例２］
試験流体として５％硝酸水溶液を用いた他は、実施例１と同様にして、金属セパレータＩ、IIの検査を行った。その結果、金属セパレータＩでは水素は検出されなかったが、金属セパレータIIでは、２０ｐｐｍ以上の水素の発生が確認された。
【００２４】
［実施例３］
実施例１と同様にして、金属セパレータＩ、IIを作製し、また、密閉型検査容器と水素センサを準備した。
密閉型検査容器内に金属セパレータＩを載置し、密閉した後、注入口から試験流体として塩化水素を１０００ｃｃ注入して密閉型検査容器内の雰囲気を置換した後、試験流体の注入を停止して３分間放置した。その後、密閉型検査容器に上部空間の気体を排出口から取り出して水素センサで水素の有無を検査した結果、水素は検出されなかった。
一方、同様の検査を上記の金属セパレータIIについて行ったところ、２０ｐｐｍ以上の水素の発生が確認された。
【００２５】
［実施例４］
金属板材として、厚み０．８ｍｍのＳＵＳ３０４（８０ｍｍ×８０ｍｍ）を準備し、表面の脱脂処理を行った。
次に、このＳＵＳ３０４の両面に、感光材料（カゼインと重クロム酸アンモニウムとの混合物）をディップコート法により塗布して厚み７μｍの塗膜を形成し、溝部形成用のフォトマスクを介して露光（５ｋＷ水銀灯により６０秒間照射）、現像（４０℃温水をスプレー）してレジストを形成した。
次いで、上記のレジストを介してステンレス板の両面から７０℃に加熱した塩化第二鉄溶液をスプレーして、所定の深さまでハーフエッチングを行った。その後、８０℃の苛性ソーダ水溶液でレジストを剥離し、洗浄処理を施した。これにより、幅が１ｍｍ、深さが０．３ｍｍのほぼ半円形状の断面を有し、振れ幅５０ｍｍ、ピッチ２ｍｍで蛇行した長さ１３００ｍｍの溝部を備えた金属基材を得た。
次に、金属基材に対して、４０℃の塩酸水溶液（水９部に３５％塩酸１部を添加）を用いて前処理を施し水洗した。
【００２６】
次に、上記の金属基材に対して、実施例１と同様にして、導電性の耐食性樹脂層を形成して、金属セパレータIIIを得た。
また、上記の耐食性樹脂層の形成条件のうち、電着プロセスの電圧を５０Ｖから３０Ｖに変更することにより、故意に耐食性樹脂層にピンホールを生じさせた他は、上記と同様にして、金属セパレータIVを得た。
このように作製した金属セパレータIII、IVについて、その表面を走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した結果、金属セパレータIIIではピンホールは見られなかったが、金属セパレータIVは、直径が１０〜１００μｍの円形のピンホールが、平均で８個／ｍｍ2の割合で存在するものであった。
上記のように作製した金属セパレータIII、IVに対して、試験流体として５％リン酸水溶液を用いた他は、実施例１と同様の方法で検査を行った。その結果、金属セパレータIIIについては、水素は検出されなかったが、金属セパレータIVでは、２０ｐｐｍ以上の水素の発生が確認された。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、金属セパレータの製造、および、これを用いた燃料電池の製造に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の燃料電池用金属セパレータの検査方法の一実施形態を説明するための装置構成図である。
【図２】本発明の燃料電池用金属セパレータの検査方法の他の実施形態を説明するための装置構成図である。
【符号の説明】
【００２９】
１…密閉型検査容器
３…注入口
４…排出口
６…検出器
１１…セパレータ
【図１】
2010123431.tif 000003
【図２】
2010123431.tif 000004