(57)【要約】【課題】本発明はワンシート検査装置及びその検査方法に関し、ワンシート検査時不良パネルを検出した後、不良パネルを除いた正常パネル群の電流を測定することによって不良パネルによる電流特性変化を防止できる技術を開示する。【解決手段】本発明はワンシート基板上に形成される複数のパネルと、複数のパネルの間で第１方向に配列され複数のパネルと各々接続される複数の第１配線と、複数のパネルの間で第１方向と第２方向に配列され複数のパネルと各々接続される複数の第２配線と、複数の第１及び第２配線と各々接続されて対応する配線に第１電圧及び第２電圧のうち選択されたいずれか一つを印加する複数の電圧印加部及び複数の電圧印加部を制御して、複数のパネル各々の導通電流及び遮断電流を測定する検査部を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワンシート基板上に形成される複数のパネルと、
前記複数のパネルの間で第１方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第１配線と、
前記複数のパネルの間で前記第１方向と異なる第２方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第２配線と、
前記複数の第１及び第２配線と各々接続されて対応する配線に第１電圧及び第２電圧のうち選択されたいずれか一つを印加する複数の電圧印加部、及び
前記複数の電圧印加部を制御して前記複数のパネル各々の導通電流及び遮断電流を測定する検査部を含むことを特徴とするワンシート検査装置。
【請求項２】
前記第１電圧は電源電圧であり、前記第２電圧は接地電圧であることを特徴とする請求項１に記載のワンシート検査装置。
【請求項３】
前記複数の電圧印加部各々は、
前記第１電圧を生成する電源部と、
前記複数の第１及び第２配線のうち対応する配線と前記電源部との間で接続された第１スイッチ、及び
前記複数の第１及び第２配線のうち対応する配線と前記第２電圧の印加端との間で接続された第２スイッチを含むことを特徴とする請求項１に記載のワンシート検査装置。
【請求項４】
前記検査部は、
前記複数のパネルに逆バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネル各々の前記遮断電流を測定することを特徴とする請求項１に記載のワンシート検査装置。
【請求項５】
前記検査部は、
前記複数のパネルに正バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネル各々の前記導通電流を測定することを特徴とする請求項１に記載のワンシート検査装置。
【請求項６】
前記検査部は、
前記複数のパネルの中で前記遮断電流が基準値以上のパネルを検出し、前記導通電流測定時に前記第１及び第２電圧のうちいずれか一つを検出されたパネルと対応する第１及び第２配線に印加することを特徴とする請求項５に記載のワンシート検査装置。
【請求項７】
前記検査部は、
前記導通電流が流れ始めた時点から所定の安定化時間が経過した後に前記導通電流を測定することを特徴とする請求項１に記載のワンシート検査装置。
【請求項８】
前記検査部は、
前記複数の第２配線と前記複数の電圧印加部との間で各々接続された複数の抵抗と、
前記複数の抵抗各々にかかる電流を増幅して出力する複数の増幅器と、
前記複数の増幅器各々の出力端に接続された複数のスイッチと、
前記複数のスイッチと接続して前記複数の増幅器の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータと、
前記Ａ／Ｄコンバータの出力を読取りする電流読取り部、及び
前記複数のスイッチ及び前記複数の電圧印加部を制御するスイッチング制御信号を生成するスイッチング制御部を含むことを特徴とする請求項１に記載のワンシート検査装置。
【請求項９】
ワンシート基板上に形成される複数のパネル、前記複数のパネルの間で第１方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第１配線及び前記複数のパネルの間で前記第１方向と異なる第２方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第２配線を含むワンシート検査装置の検査方法において、
前記複数のパネルに逆バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネル各々の遮断電流を測定する段階、及び
前記複数のパネルに正バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネル各々の導通電流を測定する段階を含むことを特徴とするワンシート検査装置の検査方法。
【請求項１０】
前記導通電流を測定する段階は、
前記複数のパネル中、前記遮断電流が所定の基準値以上のパネルを検出する段階、及び
前記検出されたパネルに対応する第１配線と第２配線に前記第１及び第２電圧のうちいずれか一つを印加する段階を含むことを特徴とする請求項９に記載のワンシート検査装置の検査方法。
【請求項１１】
前記導通電流を測定する段階は、前記導通電流が流れ始めた時点から所定の安定化時間が経過した後に遂行することを特徴とする請求項９に記載のワンシート検査装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワンシート検査装置及びその検査方法に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
一般に、多数の有機発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ）のパネル群は一つの基板（以下、ワンシート基板）上に形成された後スクライビン（ｓｃｒｉｂｉｎｇ）されて個々のパネルに分離される。
このようなパネル群はワンシート基板から切断、分離される前に、ワンシート基板状態でパネル単位の点灯やパネル単位の検査工程またはエイジング（ａｇｉｎｇ）工程などを進行させる。
【０００３】
前記のような工程において各々のパネルを駆動させるためにワンシート基板の側面から共通配線を用いてワンシート基板に信号を供給する。
この時、複数のパネルのうちいずれか一つのパネルに点灯不良が生じた場合、当該パネルと配線を共有しているパネルの電流特性に影響を与えて、正確な検査ができない問題がある。
【０００４】
また、共通配線に短絡（ｓｈｏｒｔ）が生じた場合、当該配線と接続されたパネルの電流が検査装置に流れないためパネル等に対する検査が思い通りに遂行できない問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記問題を解決するためのもので、本発明の目的は、ワンシート検査時に各パネルに対する検査が正確に行えるワンシート検査装置及びその検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によるワンシート検査装置は、ワンシート基板上に形成される複数のパネルと、前記複数のパネルの間で第１方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第１配線と、前記複数のパネルの間で前記第１方向と異なる第２方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第２配線と、前記複数の第１及び第２配線と各々接続されて対応する配線に第１電圧及び第２電圧の中で選択されたいずれか一つを印加する複数の電圧印加部、及び前記複数の電圧印加部を制御して前記複数のパネル各々の導通電流及び遮断電流を測定する検査部を含む。
【０００７】
ここで、前記第１電圧は電源電圧であり、前記第２電圧は接地電圧である。
前記複数の電圧印加部各々は、前記第１電圧を生成する電源部と、前記複数の第１及び第２配線のうち対応する配線と前記電源部との間で接続された第１スイッチ、及び前記複数の第１及び第２配線のうち対応する配線と前記第２電圧の印加端との間で接続された第２スイッチを含む。
【０００８】
前記検査部は、前記複数のパネルに逆バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネル各々の前記遮断電流を測定する。
前記検査部は前記複数のパネルに正バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネル各々の前記導通電流を測定する。
【０００９】
前記検査部は前記複数のパネル中前記遮断電流が基準値以上のパネルを検出して、前記の導通電流測定時に前記第１及び第２電圧のうちいずれか一つを検出されたパネルと対応する第１及び第２配線に印加する。
前記検査部は前記導通電流が流れ始めた時点から所定の安定化時間が経過した後に前記導通電流を測定する。
【００１０】
前記検査部は前記複数の第２配線と前記複数の電圧印加部との間で各々接続された複数の抵抗と、前記複数の抵抗各々にかかる電流を増幅して出力する複数の増幅器と、前記複数の増幅器各々の出力端に接続された複数のスイッチと、前記複数のスイッチと接続されて前記複数の増幅器の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータと、前記Ａ／Ｄコンバータの出力を読取する電流読取部、及び前記複数のスイッチ及び前記複数の電圧印加部を制御するスイッチング制御信号を生成するスイッチング制御部と、を含む。
【００１１】
そして、本発明によるワンシート基板上に形成される複数のパネルと、前記複数のパネルの間で第１方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第１配線及び前記複数のパネルの間で前記第１方向と異なる第２方向に配列され前記複数のパネルと各々接続される複数の第２配線を含むワンシート検査装置の検査方法において、前記複数のパネルに逆バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネルそれぞれの遮断電流を測定する段階、及び前記複数のパネルに正バイアス電圧を印加した状態で前記複数のパネルそれぞれの導通電流を測定する段階を含む。
【００１２】
ここで、前記導通電流を測定する段階は前記複数のパネルの中で前記遮断電流が所定の基準値以上のパネルを検出する段階、及び前記検出されたパネルに対応する第１配線と第２配線に前記第１及び第２電圧のうちいずれか一つを印加する段階を含む。
前記導通電流を測定する段階は前記導通電流が流れ始めた時点から所定の安定化時間が経過した後に行われる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の特徴により、ワンシート検査時に不良パネルを検出した後、不良パネルを除いた正常パネル群の電流を測定することによって不良パネルによる電流特性変化を防止できる効果を提供できる。
そして、ワンシート検査時に電流安定化時間を利用して正確な電流を測定できる効果を提供する。
また、ワンシート状態で各パネルを独立的に検査できる効果を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態によるワンシート検査装置を示した図面である。
【図２】本発明の実施形態による安定化時間を説明するために示したグラフである。
【図３】本発明の実施形態によるワンシート検査装置を利用してワンシート検査を行って得られた複数のパネルの電流特性を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図を参照して、本発明の実施形態について本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。
しかし、本発明は多様な形態に具現され、ここで説明する実施形態に限られない。
そして、図面において本発明を明確に説明するために説明上不要な部分は省略し、明細書全体にわたって類似の部分については類似の図面符号を付けた。
【００１６】
明細書全体において、ある部分が他の部分と「接続」されているという場合、これは「直接接続」されている場合だけでなく、その中間に他の素子を間において「電気的に接続」されている場合も含む。
また、ある部分がある構成要素を「含む」という場合、これは特に反対の記載がない限り他の構成要素を除くのではなく他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
【００１７】
図１は本発明の実施形態によるワンシート検査装置を示した図面である。
図１を参照すると、本発明のワンシート検査装置は、ワンシート基板１００、第１乃至第６電圧印加部２００_１〜２００_６及び検査部３００を含む。
ワンシート基板１００上には第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９及び第１乃至第６配線１２０_１〜１２０_６が形成されている。
【００１８】
第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９はマトリックス状に配置されており、第１乃至第６配線１２０_１〜１２０_６は第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９の間の空間に配置されている。
ここで、第１乃至第３配線１２０_１〜１２０_３は行方向に配置され、第４乃至第６配線１２０_４〜１２０_６は列方向に配置される。
【００１９】
第１パネル１１０_１は第１配線１２０_１及び第４配線１２０_４と接続されており、第２パネル１１０_２は第１配線１２０_１及び第５配線１２０_５と接続されている。
第３パネル１１０_３は第１配線１２０_１及び第６配線１２０_６と接続されており、第４パネル１１０_４は第２配線１２０_２及び第４配線１２０_４と接続されている。
第５パネル１１０_５は第２配線１２０_２及び第５配線１２０_５と接続されており、第６パネル１１０_６は第２配線１２０_２及び第６配線１２０_６と接続されている。
【００２０】
第７パネル１１０_７は第３配線１２０_３及び第４配線１２０_４と接続されており、第８パネル１１０_８は第３配線１２０_３及び第５配線１２０_５と接続されている。
第９パネル１１０_９は第３配線１２０_３及び第６配線１２０_６と接続されている。
図１では説明上の便宜のために水平方向に３つのパネルが配置され、垂直方向に３つのパネルが配置されることで示したが、本発明はこれに限定されることなく、パネルの数は調節できる。
【００２１】
そして、第１乃至第６電圧印加部２００_１〜２００_６は第１乃至第６配線１２０_１〜１２０_６と各々接続されている。
本発明の実施形態によるワンシート検査装置は、第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９の両側に電源電圧を印加できるダブルソースメッシュ（ｄｏｕｂｌｅ  ｓｏｕｒｃｅ  ｍｅｓｈ）構造を有する。
そのために、電圧印加部の数は配線の数と同一に具備される。
【００２２】
第１乃至第６電圧印加部２００_１〜２００_６各々は検査部３００の制御により第１電圧及び第２電圧のうちいずれか一つを対応する第１乃至第６配線１２０_１〜１２０_６に印加する。
ここで、本発明の実施形態による第１電圧は所定レベルの直流電源電圧であり、第２電圧は接地電圧である。
第１電圧印加部２００_１は第１及び第２スイッチ（ＳＷ１、ＳＷ２）及び第１電源部（ＤＣ１）を含む。
【００２３】
第１スイッチ（ＳＷ１）は第１電源部（ＤＣ１）と第１配線１２０_１との間で接続されており、第２スイッチ（ＳＷ２）は接地電圧（ＶＳＳ）印加端と第１配線１２０_１との間で接続されている。
第２電圧印加部２００_２は第３及び第４スイッチ（ＳＷ３、ＳＷ４）及び第２電源部（ＤＣ２）を含む。
【００２４】
第３スイッチ（ＳＷ３）は第２電源部（ＤＣ２）と第２配線１２０_２との間で接続されており、第４スイッチ（ＳＷ４）は接地電圧（ＶＳＳ）印加端と第２配線１２０_２との間で接続されている。
第３電圧印加部２００_３は第５及び第６スイッチ（ＳＷ５、ＳＷ６）及び第３電源部（ＤＣ３）を含む。
第５スイッチ（ＳＷ５）は第３電源部（ＤＣ３）と第３配線１２０_３との間で接続されており、第６スイッチ（ＳＷ６）は接地電圧（ＶＳＳ）印加端と第３配線１２０_３との間で接続されている。
【００２５】
第４電圧印加部２００_４は第７及び第８スイッチ（ＳＷ７、ＳＷ８）及び第４電源部（ＤＣ４）を含む。
第７スイッチ（ＳＷ７）は第４電源部（ＤＣ４）と第４配線１２０_４との間で接続されており、第８スイッチ（ＳＷ８）は接地電圧（ＶＳＳ）印加端と第４配線１２０_４との間で接続されている。
【００２６】
第５電圧印加部２００_５は第９及び第１０スイッチ（ＳＷ９、ＳＷ１０）及び第５電源部（ＤＣ５）を含む。
第９スイッチ（ＳＷ９）は第５電源部（ＤＣ５）と第５配線１２０_５との間で接続されており、第１０スイッチ（ＳＷ１０）は接地電圧（ＶＳＳ）印加端と第５配線１２０_５との間で接続されている。
第６電圧印加部２００_６は第１１及び第１２スイッチ（ＳＷ１１、ＳＷ１２）及び第６電源部（ＤＣ６）を含む。
【００２７】
第１１スイッチ（ＳＷ１１）は第６電源部（ＤＣ６）と第６配線１２０_６との間で接続されており、第１１スイッチ（ＳＷ１１）は接地電圧（ＶＳＳ）印加端と第６配線１２０_６との間で接続されている。
検査部３００は第１乃至第６電圧印加部２００_６を制御して、第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９各々の導通電流及び遮断電流を測定する。
検査部３００は第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９に正バイアスを電圧を印加して、第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９の導通電流を測定し、第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９に逆バイアス電圧を印加して、第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９の遮断電流を測定する。
【００２８】
本発明の実施形態においては、正バイアス電圧が印加された状態を第４乃至第６配線１２０_４〜１２０_６に電源電圧が印加され、第１乃至第３配線１２０_１〜１２０_３には接地電圧が印加されたものと定義する。
そして、逆バイアス電圧が印加された状態を第１乃至第３配線１２０_１〜１２０_３に電源電圧が印加され、第４乃至第６配線１２０_４〜１２０_６に接地電圧が印加されたものと定義する。
例えば、第１パネル１１０_１の導通電流を測定する場合、検査部３００は第２スイッチ（ＳＷ２）及び第７スイッチ（ＳＷ７）に対応するスイッチング制御信号（ＳＣ）を印加する。
【００２９】
逆に、第１パネル１１０_１の遮断電流を測定する場合、検査部３００は第１スイッチ（ＳＷ１）及び第８スイッチ（ＳＷ８）に対応するスイッチング制御信号（ＳＣ）を印加する。
このように、両方向に電源電圧を供給して導通／遮断電流を測定できる。
本発明はこれに限定されることなく、第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９内の画素の接続方向によって正バイアス電圧と逆バイアス電圧を定義できる。
【００３０】
ここで、本発明の実施形態による検査部３００は導通電流測定を導通電流が流れ始めた時点から所定の安定化時間が経過した後に行う。
これは遮断電流と導通電流測定が順次に行われるため、遮断電流（ｏｆｆ）が流れた状態で導通電流を直ちに測定すると遮断電流が導通電流に影響を与えることもある。
従って、本発明は遮断電流が導通電流によって瞬間的に相殺されて導通電流が安定化された後に導通電流を測定する。
【００３１】
導通電流が安定化する時点は図２に示したように、導通電流が生成された時点から１０秒前後であることが分かる。
つまり、導通電流測定を導通電流が生成された時点から１０秒が経過した後に行うと正確な検査結果を得ることができる。
【００３２】
ここで、検査部３００の具体的な構成を考えると、検査部３００は第１乃至第３抵抗（Ｒ１〜Ｒ３）と、第１乃至第３増幅器３０２、３０４、３０６と、第１２乃至第１４スイッチ（ＳＷ１２〜ＳＷ１４）と、Ａ／Ｄコンバータ３０８と、電流読取部３１０及びスイッチング制御部３１２と、を含む。
第１抵抗（Ｒ１）は第４配線１２０_４と第４電圧印加部２００_４との間で接続されており、第２抵抗（Ｒ２）は第５配線１２０_５と第５電圧印加部２００_５との間で接続されている。
【００３３】
第３抵抗（Ｒ３）は第６配線１２０_６と第６電圧印加部２００_６との間で接続されている。
第１乃至第３増幅器３０２、３０４、３０６は第１乃至第３抵抗（Ｒ１〜Ｒ３）各々に流れる電流を印加されて増幅して出力する。
第１２乃至第１４スイッチ（ＳＷ１２〜ＳＷ１４）は第１乃至第３増幅器３０２、３０４、３０６の出力端とＡ／Ｄコンバータ３０８の入力端との間で接続されている。
Ａ／Ｄコンバータ３０８は第１乃至第３増幅器３０２、３０４、３０６の出力をデジタル信号に変換して出力する。
電流読取部３１０はＡ／Ｄコンバータ３０８の出力を読み取る。
【００３４】
スイッチング制御部３１２は第１乃至第１４スイッチ（ＳＷ１〜ＳＷ１４）のオン（導通）／オフ（遮断）を制御するスイッチング制御信号（ＳＣ）を生成する。
ここで、スイッチング制御信号（ＳＣ）はスイッチの個数に対応する複数の信号を含む。
スイッチング制御部３１２は第１乃至第９パネル１１０_１〜１１０_９のうち遮断電流が所定の基準値以上と検出されると当該パネルに電流が流れないようにする。
例えば、不良パネルが第１パネル１１０_１である場合にスイッチング制御部３１２は第２スイッチ（ＳＷ２）及び第８スイッチ（ＳＷ８）に対応するスイッチング制御信号（ＳＣ）を印加したり、第１スイッチ（ＳＷ１）及び第７スイッチ（ＳＷ７）に対応するスイッチング制御信号（ＳＣ）を印加する。
【００３５】
それにより、第１パネル１１０_１の両方向に同じ電位が形成されて第１パネル１１０_１に電流が流れなくなる。
従って、隣接したパネルの導通電流に影響を与えずに隣接したパネルに対する正常的な検査が行われる。
一方、本発明の実施形態においては検査部３００が第４乃至第６配線１２０_４〜１２０_６と接続されていることを示したが、これに限定されずに第１乃至第３配線１２０_１〜１２０_３と接続されても良い。
【００３６】
図３は本発明の実施形態によるワンシート検査装置を利用してワンシート検査を行って得られた複数のパネルの電流特性を示したグラフである。
図３において横軸は複数のパネルの番号であり、縦軸は各パネルの導通電流から遮断電流を減じた電流値を示す。
【００３７】
図３に示したように、本発明のワンシート検査装置を利用した場合、不良が生じたパネル（Ａ）を除外した他のパネルの電流変化が殆どないことが分かる。
つまり、不良が生じたパネルを予め検出して、検出されたパネルに電流が流れないようにした状態で他のパネル群の導通電流を測定することによって不良が生じたパネルによって他の隣接したパネルの電流特性が影響を受けるのを防止することができる。
【００３８】
従って、ワンシート基板状態で複数のパネル各々の電流特性を精密に検査できる。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるのではなく、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の多様な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属する。
【符号の説明】
【００３９】
１００                ワンシート基板
３００                検査部
１１０_１〜１１０_９  パネル
１２０_１〜１２０_６  配線
２００_１〜２００_６  電圧印加部
３０２,３０４,３０６  増幅器
３０８                Ａ／Ｄ
３１０                電流読取部
３１２                スイッチング制御部
【図１】
2010261926.tif 000003
【図２】
2010261926.tif 000004
【図３】
2010261926.tif 000005