(57)【要約】【課題】ダウンドロー・ガラス製造法（例えば、フュージョン・ダウンドロー法）において形成されるガラスリボン（１５）内の応力及びその形状を制御するための方法及び装置を提供する。【解決手段】ある実施形態において、応力制御領域（５０）は、第１組の牽引ロール（６０）の下方で、かつ第２組の牽引ロール（７０）の上方の位置においてドローイング法に取り込まれる。応力制御領域（５０）は、ガラスリボン（１５）において１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有する。応力制御領域（５０）は、ガラスの設定領域（３１）、例えば、低い３番目の設定領域に位置付けられ得る。このようにして、リボン（１５）に多大なエネルギー量を導入することなく応力を制御することができ、それ故にリボン（１５）が例えばカーテン反りなどの延伸横断方向反りを生み出す機会が低減される。【選択図】  図１
2010265162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスリボンを製造するダウンドロー法によってガラスシートを製造するための装置であって、
（ａ）前記装置の使用中、前記ガラスリボンに接触する第１組の牽引ロールと、
（ｂ）前記装置の使用中、前記ガラスリボンに接触する第２組の牽引ロールであって、前記第１組の牽引ロールの下方に位置付けられる第２組の牽引ロールと、
（ｃ）前記装置の使用中、前記ガラスリボンが通過する応力制御領域と
を含み、
前記応力制御領域は、（ｉ）複数の加熱エレメントを含み、（ｉｉ）前記第１組の牽引ロールと前記第２組の牽引ロールの間に位置付けられ、かつ、（ｉｉｉ）前記ガラスリボンにおいて１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記複数の加熱エレメントが、前記装置の使用中、前記ガラスリボンのエッジを超えて延びることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記加熱エレメントの中心間の平均間隔が５０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
前記装置の使用中、前記加熱エレメントと前記ガラスリボンの表面の間の平均間隔が、前記応力制御領域に最も近い牽引ロールの直径の０．５倍から１．５倍の範囲にあることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記応力制御領域が、前記第２組の牽引ロールよりも前記第１組の牽引ロールに近いことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
ガラスシートを形成する方法であって、
（Ａ）ドローイング法を用いてガラスリボンを製造し、かつ、
（Ｂ）ガラスリボンからシートを裁断する、
各工程を含み、
前記ガラスリボンが、該ガラスリボンにおいて１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有する応力制御領域を通過することを特徴とする方法。
【請求項７】
前記ガラスリボンにおける応力制御領域の延伸横断方向空間温度分解能が、７５ｍｍから１２５ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記応力制御領域が、加熱エレメントのうちの少なくとも１つに関して、加熱エレメントに伝達された電力１ワットの変化によって、前記ガラスリボンから裁断されたシートにおいて少なくとも１つの位置で少なくとも３．５キロパスカルの応力変化が生じるように配置された複数の加熱エレメントを含むことを特徴とする請求項６又は７記載の方法。
【請求項９】
前記応力制御領域がガラスの設定領域内にあることを特徴とする請求項６，７又は８記載の方法。
【請求項１０】
前記応力制御領域が底部から３番目のガラスの設定領域内にあることを特徴とする請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ディスプレイデバイス、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）において基板として用いられるガラスシートなどの製造に関する。より詳細には、本開示は、当該シートがダウンドロー・ガラス製造法（例えば、フュージョン・ダウンドロー法）で製造されるガラスリボン内の応力及びその形状のほかに、ガラスリボンで形成されたガラスシート内の応力及びその形状も制御する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイデバイスは、様々な用途に用いられている。例えば、薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ（ＴＦＴ−ＬＣＤ）は、２、３例を挙げると、ノートブック型コンピュータ、フラットパネルデスクトップモニタ、ＬＣＤテレビ、並びにインターネット及び通信装置に用いられている。
【０００３】
ＴＦＴ−ＬＣＤパネル及び有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）パネルのような多くのディスプレイデバイスは、平坦なガラスシート（ガラス基板）上に直接形成される。生産速度を高めかつコストを低減するために、一般的なパネル製造工程においては、１枚の基板上又は基板のサブピース上に多数枚のパネルを同時に作成している。このような工程における種々の時点において、基板は裁断線に沿って小部分に分割される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような裁断は、ガラス内部の応力分布、特にガラスが真空で平坦化されるときに見られる面内応力分布を変化させる。特に裁断は、裁断されたエッジが引っ張られなくなる態様で裁断線において応力を解放する。このような応力解放は一般に、真空で平坦化されたガラスのサブピースの形状変化、すなわちディスプレイ製造業者が「歪み」と呼んでいる現象を招来する。形状変化の量は一般に極めて僅かであるが、現代のディスプレイに用いられている画素構造の観点からすると、裁断により生じる歪みは、相当な数の欠陥（不合格）ディスプレイを生じさせる程極めて大きい。したがって、歪みの問題はディスプレイ製造業者にとって重要な関心事であり、裁断の結果として許容される歪みに関する仕様が要求される。
【０００５】
ガラスシートがサブピースに裁断されるときに歪みを生じることに加えて、歪みを生むガラスに凍結された残留応力と、ガラスの温度平衡として消滅する一時的な応力とを含む応力はまた、ガラスシートの製造に用いられるガラスリボンの形状に影響を及ぼす。ガラスリボンの形状は、次には、シートの分離といった工程に影響を及ぼす。特に、リボンの形状は、スコアリング（切れ目をつけること）と、リボンから個々のシートの実質的な分離とに影響を及ぼす以外に、スコアリング中のリボンの移動にも影響を及ぼす。
【０００６】
上述の記載を背景に、ダウンドロー・ガラス製造法でガラスシートを製造するために用いられるガラスリボン内の応力及び形状を制御するために、かなり尽力がなされてきた。本開示は、ガラスリボン及びガラスリボンで形成された最終的なシートに対する、これら要求されない応力及び形状の意に沿わない影響を低減する方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の態様によれば、ガラスリボン（１５）を製造するダウンドロー法によってガラスシート（１３）を製造するための装置が開示される。本装置は、
（ａ）装置の使用中、ガラスリボン（１５）に接触する第１組の牽引ロール（６０）と、
（ｂ）装置の使用中、ガラスリボン（１５）に接触する第２組の牽引ロール（７０）であって、第１組の牽引ロール（６０）の下方に位置付けられる第２組の牽引ロール（７０）と、
（ｃ）装置の使用中、ガラスリボン（１５）を通過する応力制御領域（５０）であって、第１組の牽引ロール（６０）と第２組の牽引ロール（７０）の間に位置付けられ、かつ、ガラスリボン（１５）において１５０ｍｍ以下の延伸横断方向（across-the-draw）空間温度分解能を有する応力制御領域（５０）
とを含む。
【０００８】
第２の態様によれば、２列に配置された加熱エレメント（５１）を含み、かつ、ガラスリボン（１５）を受け取るために２列の間に開口部（５５）を有する装置において、当該装置がガラスリボン（１５）において１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有することを特徴とする装置が開示される。
【０００９】
第３の態様によれば、
（Ａ）ドローイング法を用いてガラスリボン（１５）を製造し、かつ、
（Ｂ）ガラスリボン（１５）からシート（１３）を裁断する
各工程を含み、
ガラスリボン（１５）において１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有する応力制御領域（５０）を、ガラスリボン（１５）が通過することを特徴とするガラスシートを形成する方法が開示される。
【００１０】
本開示の様々な態様の上述した概要において用いられた符号は、読者の便宜のためのものであって、本発明の範囲を制限すると解釈されるものではない。より一般的に言えば、上述した発明の概要及び後述する詳細な説明は、単に本発明の例示に過ぎず、本発明の性質及び性格を理解するための概観及び骨組みを提供することを意図したものであることを理解されたい。
【００１１】
本発明のさらなる特徴および利点は、後述する詳細な記載中に説明されており、当業者にとっては、その記載から、または本発明をここに記載されたように実施することによって、その一部が直ちに明らかになるであろう。添付の図面は、本発明の理解を深めるために備えられたものであって、本明細書の一部に組み込まれて、その一部を構成するものである。本明細書及び図面に開示された本発明の種々の特徴は、いかなる組合せにおいても利用が可能なことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】例示的実施形態の溶融ガラス製造装置の概略正面図である。
【図２】例示的実施形態の溶融ガラス製造装置の概略側面図である。ガラスリボン（図示せず）は牽引ロールの間で図面の中心線を下方に動く。
【図３】応力制御領域の加熱エレメントの実施形態の概略正面図である。
【図４】応力制御領域の加熱エレメント及び関連機器の実施形態の斜視図である。
【図５】応力制御領域の４つの能動的加熱エレメントに対するガラスシートの測定応力を示すグラフである。
【図６】応力制御領域の９つの能動的加熱エレメントに対するガラスシートの測定応力を示すグラフである。
【００１３】
図１−３は測定したものではなく、かつ、図示した要素の相対的な大きさを示すことを意図したものではない。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、（フュージョン法、オーバーフロー・ダウンドロー法又はオーバーフロー法として公知の）フュージョン・ダウンドロー法に関して説明する。本明細書に開示されかつ特許請求の範囲の方法及び装置はまた、例えばスロット・ドロー法などの他のダウンドロー法に適用できることを理解されたい。溶融装置は当該技術分野で公知であり、例示的実施形態の説明を曖昧にしないため詳細を省略している。
【００１５】
図１に示すように、従来のフュージョン法は、キャビティ３９に溶融ガラス（図示せず）を受け取る形成構造体（アイソパイプ）３７を用いる。アイソパイプは、リボン１５を形成するためにアイソパイプの２つの収束する側壁からの溶融ガラスが合流する根元４１を含む。根元を離れた後、リボンは、最初にエッジローラ２７を超え、次いで第１組の牽引ロール６０を超える。下方に流動すると、ガラスは図１の３１で概略的に示される設定領域を通過する。当該技術分野において公知のように、設定領域の上方の温度において、ガラスは基本的に粘性液体のようになる。設定領域の下方の温度において、ガラスは基本的に弾性固体のようになる。ガラスが設定領域を介して高温から冷却されるので、粘性挙動から弾性挙動への突然の変化は見られない。代わりに、ガラスの粘度が次第に増加し、粘性応答と弾性応答が顕著で、かつ最終的には弾性固体として挙動する粘弾性状態を経由する。
【００１６】
高温から低温に冷却されるガラスは、応力緩和をもたらす粘度増加を有する。最初に温度Ｔ０で、一定の割合ＣＲで冷却するガラス材料を考える。時間の関数としての温度は、次式で与えられる。
【数１】
2010265162.tif 000003
【００１７】
時刻ｔ＝０において、ガラスの小さな瞬間的な剪断歪みをγとする。ある剪断応力σが、歪みを維持するために要求される。一般に、温度Ｔ０が非常に低くなければ、応力は時間内に減少する。ゼロより大きな時刻に対して、剪断緩和係数は次のように定義される。
【数２】
2010265162.tif 000004
【００１８】
歪みが非常に小さい場合、剪断応力は直線的に剪断歪みに関連し、かつ、係数は歪みと独立する。冷却中、時間が進むと、Ｇ（ｔ；Ｔ０，ＣＲ）は一般的に応力緩和のために減少する。Ｔ０が高く、かつＣＲが小さい場合、Ｇ（ｔ；Ｔ０，ＣＲ）は急激にゼロに減衰する。Ｔ０が低く、かつＣＲが非常に大きい場合、Ｇ（ｔ；Ｔ０，ＣＲ）ははっきりとは減衰しない。とにかく、時間をかけて係数Ｇ（ｔ；Ｔ０，ＣＲ）は漸近値Ｇ（∞；Ｔ０，ＣＲ）に近づく。
【００１９】
応力緩和率Ｆ（Ｔ０，ＣＲ）は次のように定義される。
【数３】
2010265162.tif 000005
【００２０】
高温の初期温度又はゆっくりした冷却では、Ｆがゼロに近づく。低温の初期温度又は速い冷却では、Ｆが１に近づく。設定領域は、ある冷却率ＣＲ、上記の応力緩和率の定義に従って、次のように定義される。
【数４】
2010265162.tif 000006
【００２１】
設定領域はＴ９５からＴ０までの温度領域である。
【００２２】
第１組の牽引ロール６０が設定領域内に位置付づけられている間、エッジローラ２７は図１の設定領域の上方の位置でリボン１５に接触する。用途に応じて、第２組の牽引ロール７０は設定領域内に又は設定領域の下方に位置付けられる。図２に示すように、必要ならば追加の組の牽引ロール８０及び９０を用いて差し支えない。エッジローラの温度はガラスの温度以下である。例えば、エッジローラは水冷又は空冷される。この低い温度の結果として、エッジローラは局所的にガラスの温度を下げる。当該冷却はリボンの減衰を低減する。すなわち、局所の冷却支援は、引っ張り中に（例えば、牽引ロールの働きを介して）生じるリボンの幅における減少を制御する。牽引ロールはまた、一般的に、接触するガラスよりも温度が低いが、引っ張り装置のはるか下方に位置付けられているため、温度差はエッジローラにおいてよりも小さくできる。
【００２３】
ある実施形態によれば、応力制御領域５０（応力制御アセンブリ）は、第１組の牽引ロール６０の下方で、第２組の牽引ロール７０の上方の位置においてドローイング法に組み込まれる。図１に示されるように、応力制御領域は、第２組の牽引ロールよりも第１組の牽引ロールに近い。ある実施形態において、必要ならば他の位置において用いられることもできるけれども、応力制御領域が、設定領域、例えば、低い３番目の設定領域に位置付けられる。
【００２４】
応力制御領域は、従来のドローイング法で達成できなかった延伸横断方向温度制御水準を提供する。数量的に、応力制御領域は、１５０ｍｍ以下（〜６インチ）の延伸横断方向空間温度分解能、例えば約７５−約１２５ｍｍ（〜３−５インチ）の空間温度分解能を提供する。本明細書で用いられるように、応力制御領域の空間温度分解能は、２点の温度が実質的に互いに独立に変化する、すなわち、ある点における温度の変化が他の点における最大で±１０％の温度変化を提供する２点の間の最小水平距離である。２点はガラスリボンの高品質部分、すなわち、最終的にガラスシート（ガラス基板）になる部分に位置付けられる。特に、空間温度分解能の水準はガラスリボンの応力を制御するために使用され、サブピースに裁断されるときにガラス基板の歪みを低減できる（上記参照）。
【００２５】
図３は、ガラスリボン内で応力を制御できる延伸横断方向空間温度分解能を達成するために、複数の密集した加熱エレメント５１の使用を示す応力制御領域の実施形態の概略図である。加熱エレメント（巻き線）がすべての温度制御のために以前は溶融装置に使用されていたが、巻き線が、ガラスリボン内の応力を有意に制御できるほど十分に細かい、リボンの表面における空間温度分解能を提供するには、延伸横断方向の方向にあまりにも広い間隔であった。また、巻き線とリボンの表面の間の間隔は、この目的のためにはあまりにも大きすぎた。
【００２６】
本開示によれば、加熱エレメント間の延伸横断方向間隔（すなわち、隣接するエレメント間の中心間の距離）と、エレメントからガラスリボンまでの間隔（すなわち、リボンから加熱エレメントまでの距離）との両方が、１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を達成するために使用される。製造を簡単にするために、隣接する加熱エレメントの間の物理的な間隔は通常、全てのエレメントに対して同じである。しかしながら、必要ならば変化する間隔を用いることができる。従って、本明細書に用いられるように、加熱エレメントの間の間隔は、応力制御領域において用いられた全エレメントに対する中心間の平均間隔である。
【００２７】
同様に、エレメントからガラスリボンまでの間隔は通常、全てのエレメントに対して同じであるが、必要であればいくつかのエレメント又は全てのエレメントについて異ならせることもできる。例えば、特定の装置の特性を考慮するために、リボンの一方の側の間隔を他方の側の間隔と異ならせることができ、あるいは、リボンの一方のエッジ近くの間隔を反対方向のエッジ近くの間隔と異ならせることができる。従って、本明細書に用いられるように、エレメントからリボンまでの間隔は、応力制御領域内で使用されるすべてのエレメントに関する平均間隔である。本間隔における調整は通常、例えば、全てのエレメントをリボンから近づけ又は遠くに移動することによって、あるいは、特定のエレメントからリボンまでの間隔を有する応力制御領域装置を、異なるエレメントからリボンまでの間隔を有する異なる装置に交換することによって、全ての間隔を均等に変化させる。また、必要ならば、いくつかのエレメント又は全てのエレメントに関する個々の間隔を調節しても差し支えない。
【００２８】
これらの２つの間隔、すなわち、エレメント間の間隔及びエレメントとリボンの間の間隔について、エレメント間の間隔は通常、エレメントとリボンの間の間隔よりも実質的に小さい。例えば、一実施形態において、ガラスリボンからエレメントまでの間隔が５０ｍｍと２００ｍｍの間（〜２−８インチ）にあるのに対し、エレメント間の間隔は５０ｍｍ（〜２インチ）以下、例えば、約３０ｍｍ（〜１インチ）以下である。他の実施形態において、同様のエレメント間の間隔に対して、エレメントからガラスリボンまでの間隔は、最も近い牽引ロールの直径の０．５倍から１．５倍の範囲にある。参考までに、従来の牽引ロールの直径は、１２０−１５０ｍｍ（〜５−６インチ）の範囲にある。加熱エレメントとガラスリボンの間の間隔には通常、局所的にリボンの温度に影響を与え、個々のエレメントの能力を妨げないように、牽引ロールがない又は他のタイプのロールがあることに留意されたい。
【００２９】
エレメント間及びエレメントからリボンまでの間の間隔の様々な組合せが、応力制御領域に用いられる。ある実施形態において、これらの間隔は、個々の加熱エレメントに伝達された電力１ワットの変化が、リボンから裁断された代表するガラスシートにおいて少なくとも１つの位置で少なくとも３．５キロパスカル（〜３．５ｐｓｉ）の応力変化を生じるように選択されている。他の実施形態において、その間隔は少なくとも７キロパスカル（〜１ｐｓｉ）の応力変化を達成する。
【００３０】
応力制御領域の加熱エレメントは、様々な材料から構成することができ、かつ様々な形状を有することができる。例えば、ワイヤ又はロッド形状の耐火材料がこのために用いられる。図４は、加熱エレメント５１を形成するために、鉄／クロム／アルミニウム高温ワイヤを使用する実施形態を示している。エレメントは、個々のエレメント又は（個々に供給される中央部の加熱エレメントと、端部において群として供給されるエレメントとを比較して）順にエレメント群に供給するリード線５２を介して電流が供給される。隣接又は隣接しない加熱エレメントは、取付仕様に依存して、順に供給され得る。エレメントは、例えば、ボルト５４を介してフュージョン・ドロー装置の所定の位置に固定される耐熱フレーム５３に取り付けられている。断熱体（例えば、アルミナ断熱体；図示せず）は応力制御領域から熱損失を制御するために用いられる。使用中、ガラスリボンは開口部５５を介して、例えば開口部の中心を介して通過する。
【００３１】
フレーム５３の長さは、リボンの幅に依存する。通常は、応力制御領域が必要ならばリボンの幅よりも短い長さを有するけれども、フレームの長さはリボンの幅よりも少し長い。ある実施形態において、フレーム５３の高さは、少し短い加熱エレメント５１のために、１２５−１５０ｍｍ（〜５−６インチ）の範囲にある。例えば、加熱エレメントの平均高さは、５０−１００ｍｍ（〜２−４インチ）の範囲、例えば、約７５ｍｍ（〜３インチ）である。フレーム及び、必要ならば加熱エレメントは、必要ならば、覗き窓をフレーム５３の端部に形成できる場合に、高さをより高くできる。（また、図２に示すように、１以上の覗き窓４５が、牽引ロールアセンブリの一部分として与えられる。）５０ｍｍ（〜２インチ）より短い高さを有する加熱エレメントは非常に小さなエレメントとリボン間の間隔が要求され、それ故にほとんどの用途に適していない可能性がある。
【００３２】
フレームの深さはエレメントとリボン間の間隔に依存している。いくつかの実施形態において、フレームの深さは、フレームの高さの約３倍である。リボンが応力制御領域の開口部の中心を通過すると、開口部の深さはエレメントとリボン間の間隔の２倍にガラスの厚さを足したのと等しいことに留意されたい。薄いガラス、例えば、一般的なＬＣＤ及びＯＬＥＤガラスのような、厚さ０．７ｍｍ以下を有するガラスに対して、深さは基本的にエレメントとリボン間の間隔の２倍、例えば、１００ｍｍと４００ｍｍの間（〜４−１６インチ）に等しい。
【００３３】
上記から明らかであるように、応力制御領域の全体の寸法は、領域の構造と取付を簡易にするフュージョン・ドロー装置全体のサイズの観点から適当である。
【００３４】
応力制御領域を用いる重要な利点は、応力制御領域が、フュージョン・ドロー装置の他の部分が、応力制御を実行する必要性を減らし、かつ、いくつかの実施形態においてなくすことである。特に、応力制御領域上の部分をガラス製造法の当該態様により気遣う必要性を、実質的に減らすことができる。その他の部分は、応力を制御するためにうまく位置付けられていない。すなわち、応力制御領域と比較して、より多くのエネルギー（熱）がリボンに加えられなければならないということである。より多くのエネルギーは、次には、リボンの延伸横断方向張力を低減し、リボンが、延伸横断方向反り（warp）、特にリボンの表面が、垂直に吊るされたカーテンの横の起伏に似た形状を生み出すカーテン反り（curtain warp）の影響を受けやすくなる。設定領域、例えば、低い３番目の設定領域に応力制御領域を設けることによって、リボンに多大なエネルギー量を導入することなく応力を制御することができ、それ故にリボンが例えばカーテン反りなどの延伸横断方向反りを生み出す機会が低減される。
【００３５】
延伸横断方向反りの可能性を低減することができることに加えて、再び、相対的に小さなエネルギー量しか応力制御御領域においてリボンに導入されないため、応力制御領域はまた、延伸方向（down-the-draw）温度分布に悪影響を与えない。このためさらに、反りの生成の可能性が低減する。何故ならば、延伸方向温度分布はまた反りを生み出すが、それらの分布を変えずに放置することによって、応力制御領域の導入前に反りが制御されたシステムは、この領域の導入の結果としてその制御を失う可能性は低いからである。
【００３６】
次の制限されない実施例は、本開示の応力制御領域の特定の用途を示す。
【実施例】
【００３７】
本実施例は、フュージョン・ドロー装置を用いて調製されたガラスシートの残留応力を低減するために、応力制御領域の能力を示す。特に、実施例は、４つの能動的加熱エレメントを用いて提供された応力水準（図５；比較例）と、９つの能動的加熱エレメントを用いて提供された応力水準（図６；実施例）を比較する。応力制御領域は、図４との関係で上述したように構成され、かつ、フュージョン・ドロー装置の第１組の牽引ロールの下方で、第２組の牽引ロールの上方の、すなわち、図１の牽引ロール６０と７０の間の、底部から３番目の設定領域に位置付けられる。
【００３８】
図５及び図６の横軸に沿った数字は応力制御領域の個々の加熱エレメントを示し、横軸上に位置付けられた三角形のデータ点は個々の巻き線に施された電力量を示している。四角形のデータ点は、三角形のデータ点の配電を用いて製造された代表的なガラスシートにおける測定応力を示している。各図における黒データ点はシートの上部エッジにおける測定応力を示し、一方、白データ点はシートの底部における測定応力を示している。横線は、正の応力値を示す線より上方の点と負の応力値を示す線より下方の点とともに、ゼロ応力を表わしている。応力を従来の複屈折技術を用いて測定した。
【００３９】
図５において、加熱エレメント２７，２８，４２及び４３のみに電流が供給され、エレメント２７及び２８は〜９０ワット／エレメントの電力で、エレメント４２及び４３は〜３５ワット／エレメントの電力で動作された。図６において、エレメント２４から３０とエレメント４２及び４３が機能しており、エレメント４２及び４３は再び〜３５ワット／エレメントの電力で、エレメント２７及び２８は〜９０ワット／エレメントの電力で、エレメント２４から３０のうちで残りのエレメントが〜５０ワット／エレメントの電力で動作された。
【００４０】
残留応力を減少させる応力制御領域の有効性は、これらの図から直ちに明白である。図５において、最大応力は約９００キロパスカル（〜１３０ｐｓｉ）であり、一方、図６において、最大応力は約４８０キロパスカル（〜７０ｐｓｉ）まで減少した、すなわち、４５％以上の減少である。さらに、応力分布は、図５よりも図６で、より平坦であり、ほとんどの用途に対して有利である。その上、図６の最大応力は、加熱エレメントが機能していなかった領域で生じている。当該領域においてエレメントを機能させることによって、さらに低下した最大応力値及びより平坦な全体分布が達成された。
【００４１】
従って、本発明は、以下に限定されないが、以下の態様及び実施形態を含む。
【００４２】
Ｃ１．ガラスリボンを製造するダウンドロー法によってガラスシートを製造するための装置であって、
（ａ）装置の使用中、ガラスリボンに接触する第１組の牽引ロールと、
（ｂ）装置の使用中、ガラスリボンに接触する第２組の牽引ロールであって、第１組の牽引ロールの下方に位置付けられる第２組の牽引ロールと、
（ｃ）装置の使用中、ガラスリボンが通過する応力制御領域であって、第１組の牽引ロールと第２組の牽引ロールの間に位置付けられ、かつ、ガラスリボンにおいて１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有する応力制御領域と
を含む装置。
【００４３】
Ｃ２．応力制御領域が複数の加熱エレメントを含むことを特徴とするＣ１記載の装置。
【００４４】
Ｃ３．複数の加熱エレメントが、装置の使用中、ガラスリボンのエッジを超えて延びることを特徴とするＣ２記載の装置。
【００４５】
Ｃ４．複数の加熱エレメントが、装置の使用中、ガラスリボンが通過する開口部を形成することを特徴とするＣ２又はＣ３記載の装置。
【００４６】
Ｃ５．加熱エレメントの中心間の平均間隔が５０ｍｍ以下であることを特徴とするＣ２、Ｃ３又はＣ４記載の装置。
【００４７】
Ｃ６．装置の使用中、加熱エレメントとガラスリボンの表面の間の平均間隔が５０ｍｍと２００ｍｍの間にあることを特徴とするＣ２、Ｃ３、Ｃ４又はＣ５記載の装置。
【００４８】
Ｃ７．装置の使用中、加熱エレメントとガラスリボンの表面の間の平均間隔が、応力制御領域に最も近い牽引ロールの直径の０．５倍から１．５倍の範囲にあることを特徴とするＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５又はＣ６記載の装置。
【００４９】
Ｃ８．加熱エレメントの平均高さが５０ｍｍから１００ｍｍの範囲にあることを特徴とするＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６又はＣ７記載の装置。
【００５０】
Ｃ９．応力制御領域が、第２組の牽引ロールよりも第１組の牽引ロールに近いことを特徴とするＣ１からＣ８のいずれかに記載の装置。
【００５１】
Ｃ１０．ガラスリボンにおける応力制御領域の延伸横断方向空間温度分解能が、７５ｍｍから１２５ｍｍの範囲にあることを特徴とするＣ１からＣ９のいずれかに記載の装置。
【００５２】
Ｃ１１．２列に配置された複数の加熱エレメントを含み、かつ、ガラスリボンを受け取るための２列の間の開口部を有する装置であって、装置がガラスリボンにおいて１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有することを特徴とする装置。
【００５３】
Ｃ１２．加熱エレメントの平均高さが５０ｍｍから１００ｍｍの範囲にあることを特徴とするＣ１１記載の装置。
【００５４】
Ｃ１３．加熱エレメントの中心間の平均間隔が５０ｍｍ以下であることを特徴とするＣ１１又はＣ１２記載の装置。
【００５５】
Ｃ１４．開口部の深さが１００ｍｍから４００ｍｍの範囲にあることを特徴とするＣ１１，Ｃ１２又はＣ１３記載の装置。
【００５６】
Ｃ１５．開口部が、７５ｍｍから１２５ｍｍの範囲にある、ガラスリボンにおける応力制御領域の延伸横断方向空間温度分解能を有することを特徴とするＣ１，Ｃ１２，Ｃ１３又はＣ１４記載の装置。
【００５７】
Ｃ１６．ガラスシートを形成する方法であって、
（Ａ）ドローイング法を用いてガラスリボンを製造し、かつ、
（Ｂ）ガラスリボンからシートを裁断する、
各工程を含み、
ガラスリボンにおいて１５０ｍｍ以下の延伸横断方向空間温度分解能を有する応力制御領域に、ガラスリボンを通過させることを特徴とする方法。
【００５８】
Ｃ１７．ガラスリボンにおける応力制御領域の延伸横断方向空間温度分解能が、７５ｍｍから１２５ｍｍの範囲にあることを特徴とするＣ１６記載の方法。
【００５９】
Ｃ１８．応力制御領域が、加熱エレメントのうちの少なくとも１つに関して、加熱エレメントに伝達された電力１ワットの変化によって、ガラスリボンから裁断されたシートにおいて少なくとも１つの位置で少なくとも３．５キロパスカルの応力変化が生じるように配置された複数の加熱エレメントを含むことを特徴とするＣ１６又はＣ１７記載の方法。
【００６０】
Ｃ１９．応力制御領域がガラスの設定領域内にあることを特徴とするＣ１６，Ｃ１７又はＣ１８記載の方法。
【００６１】
Ｃ２０．応力制御領域が底部から３番目のガラスの設定領域内にあることを特徴とするＣ１９記載の方法。
【００６２】
本発明の範囲及び精神から離れることのなく、上記の記載から多くの変更が、当業者には明らかであろう。特許請求の範囲には、明細書で説明された特定の実施形態と同様、それらの変更、変更及び均等なものを含むことを意味する。
【符号の説明】
【００６３】
１３  ガラスシート（ガラス基板）
１５  ガラスリボン
２７  エッジローラ
３１  ガラス設定領域
３５  分離線
３７  アイソパイプ
３９  溶融ガラスを受け取るためのアイソパイプのキャビティ
４１  アイソパイプの根元
４５  覗き窓
５０  応力制御領域
５１  応力制御領域の加熱エレメント
５２  応力制御領域の加熱エレメント用電気リード線
５３  加熱エレメント用支持フレーム
５４  取付ボルト
５５  ガラスリボン用開口部
６０  第１組の牽引ロール
７０  第２組の牽引ロール
８０，９０  追加の組の牽引ロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
2010265162000001.pdf