(57)【要約】      （修正有）【課題】パッケージとＰＣＢ（プリント回路基板）との間の電気的接続の信頼性を改良した保護バーを有する半導体パッケージ構造を提供する。【解決手段】半導体パッケージ構造１は、キャリア基板１０と、キャリア基板１０の頂面１０ａに設けられるＩＣ（集積回路）ダイ２０と、頂面１０ａとＩＣダイ２０を被覆・封止する成形材料３０と、キャリア基板１０の底面１０ｂに設けられる複数のはんだボール４０と、キャリア基板１０の底面１０ｂに設けられる少なくとも１本の保護バー５０とを含む。保護バー５０は熱硬化性ポリマーでつくられる。【選択図】図２
2010157672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体パッケージ構造であって、
キャリア基板と、
前記キャリア基板の頂面に設けられるＩＣ（集積回路）ダイと、
前記頂面と前記ＩＣダイを被覆・封止する成形材料と、
前記キャリア基板の底面に設けられる複数のはんだボールと、
前記キャリア基板の前記底面に設けられる少なくとも１本の保護バーとを含み、
前記保護バーは熱硬化性ポリマーでつくられる、半導体パッケージ構造。
【請求項２】
前記成形材料と前記保護バーは同一の材料でつくられる、請求項１に記載の半導体パッケージ構造。
【請求項３】
前記保護バーは前記キャリア基板の前記底面の周縁に設けられる、請求項１に記載の半導体パッケージ構造。
【請求項４】
前記熱硬化性ポリマーの材料は、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＺ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＢ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＣ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、及びＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡからなる群れから選ばれる、請求項１に記載の半導体パッケージ構造。
【請求項５】
メモリモジュール構造であって、
ＰＣＢ（プリント回路基板）と、
前記ＰＣＢに設けられる複数のメモリチップパッケージと、
前記メモリチップパッケージの各々を覆い、かつ、放熱接着剤を介して前記メモリチップパッケージの各々と熱的に接触するヒートシンクリッドとを含み、
前記メモリチップパッケージの各々は、
キャリア基板と、
前記キャリア基板の頂面に設けられるＩＣダイと、
前記頂面と前記ＩＣダイを被覆・封止する成形材料と、
前記キャリア基板の底面に設けられる複数のはんだボールと、
前記キャリア基板の前記底面に設けられる少なくとも１本の保護バーとを含み、
前記保護バーは熱硬化性ポリマーでつくられる、メモリモジュール構造。
【請求項６】
前記成形材料と前記保護バーは同一の材料でつくられる、請求項５に記載のメモリモジュール構造。
【請求項７】
前記保護バーは前記キャリア基板の前記底面の周縁に設けられる、請求項５に記載のメモリモジュール構造。
【請求項８】
前記熱硬化性ポリマーの材料は、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＺ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＢ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＣ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、及びＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡからなる群れから選ばれる、請求項５に記載のメモリモジュール構造。
【請求項９】
前記はんだボールは前記ＰＣＢに設けられるそれぞれ対応するボンドパッドに電気的に接続される、請求項５に記載のメモリモジュール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体パッケージ構造に関し、特にパッケージの反りを防止できる保護バーを有する半導体パッケージ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの実装において、プラスチックパッケージ技術の信頼性を改善するためにたゆまぬ努力が払われている。プラスチックパッケージの信頼性不足の主因のひとつは、物理的特性が異なる複数の材料が相互に接触していることである。例えば、パッケージ本体を作成する成形材料と、シリコンでつくられた半導体チップと、スズ合金を含むはんだボールの熱膨張係数の差は、製造後の信頼性試験において材料の分離を起こしうる。信頼性試験は一般に、チップとチップキャリアの間のはんだ接合における、熱応力及び歪み集中を評価するために行われる。この熱応力及び歪み集中は、システムの潜在的な疲労破壊の原因となりうる。
【０００３】
図１は、チップパッケージに施す従来の信頼性試験プロセスの熱サイクルにおける反りの度合い対温度の説明図である。図１に示すように、熱サイクルにおいて、チップキャリアと成形材料との熱膨張係数の不一致により、パッケージには異なった反り効果が生じうる。相対的低温帯に冷却すると、パッケージの側面は湾曲して凸曲線（クライイング（泣き顔に見える）カーブ）となり、収縮の差によりはんだ接合には圧縮応力がかけられる。相対的高温帯では、パッケージの側面は湾曲してスマイリング（笑い顔に見える）カーブとなる。したがって、相対的高温帯では、はんだ接合には引張応力が作用する。はんだ接合に圧縮応力と引張応力を繰り返して集中してかければ、はんだ接合はプリント回路基板（ＰＣＢ）上のボンドパッドに固く接合できなくなる可能性があり、パッケージとＰＣＢとの電気的接続に障害が生じる。
【０００４】
したがって、チップパッケージに施す信頼性試験プロセスの熱サイクルにおいて発生するパッケージの反りを解決し、パッケージとＰＣＢとの電気的接続障害を防止し、信頼性を向上させる有効な解決策は、業界で強く求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的のひとつは、従来の技術によるパッケージとＰＣＢとの間の電気的接続の信頼性不足という問題を解決するために、改良された半導体パッケージ構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の好ましい実施例の１つによれば、半導体パッケージ構造は、キャリア基板と、キャリア基板の頂面に設けられるＩＣ（集積回路）ダイと、頂面とＩＣダイを被覆・封止する成形材料と、キャリア基板の底面に設けられる複数のはんだボールと、キャリア基板の底面に設けられる少なくとも１本の保護バーとを含む。保護バーは熱硬化性ポリマーでつくられる。
【０００７】
本発明の好ましい他の実施例によれば、メモリモジュール構造は、プリント回路基板（ＰＣＢ）と、ＰＣＢに設けられる複数のメモリチップパッケージと、各メモリチップパッケージを覆い、放熱接着剤を介して各メモリチップパッケージと熱的に接触するヒートシンクリッドとを含む。メモリチップパッケージは、キャリア基板と、キャリア基板の頂面に設けられるＩＣダイと、頂面とＩＣダイを被覆・封止する成形材料と、キャリア基板の底面に設けられる複数のはんだボールと、キャリア基板の底面に設けられる少なくとも１本の保護バーとを含み、保護バーは熱硬化性ポリマーでつくられる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】チップパッケージに施す従来の信頼性試験プロセスの熱サイクルにおける反りの度合い対温度の説明図である。
【図２】本発明の１つの好ましい実施例による、相対的低温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。
【図３】本発明による、相対的高温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。
【図４】本発明による、種々の二酸化珪素充填剤の配合でつくられた成形材料を用いた場合の反り対温度の説明図である。
【図５】本発明による、キャリア基板の底面から見た半導体パッケージ構造の保護バーのレイアウト例である。
【図６】本発明による、キャリア基板の底面から見た半導体パッケージ構造の保護バーのレイアウト例である。
【図７】本発明の好ましい他の実施例によるメモリモジュール構造の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
かかる装置の特徴を詳述するために、具体的な実施例を挙げ、図を参照して以下に説明する。この説明を読めば、本願発明の前述の課題及び他の課題は、当業者には明らかになる。
【００１０】
図２と図３を参照する。図２は本発明の１つの好ましい実施例による、相対的低温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。図３は相対的高温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。
【００１１】
図２に示すように、半導体パッケージ構造１はキャリア基板１０を含む。キャリア基板１０の頂面１０ａにはＩＣ（集積回路）ダイ２０が設けられている。ＩＣダイ２０は、複数のボンドワイヤ２２でキャリア基板１０に電気的に接続されている。キャリア基板１０の頂面１０ａとＩＣダイ２０は、成形材料３０により被覆・封止されている。キャリア基板１０の底面１０ｂには複数のはんだボール４０が設けられている。複数のはんだボール４０は、ＰＣＢ１００に設けられるそれぞれ対応するボンドパッド１０２に接合され、それを通してＰＣＢ１００のキャリア基板１０に電気的に接続されている。
【００１２】
本発明の核心となる特徴のひとつとして、キャリア基板１０の底面１０ｂには少なくとも１本の保護バー５０が設けられている。保護バー５０は熱硬化性ポリマー材料、例えばＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＺ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＢ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＣ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、またはＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡ（いずれも日立化成工業株式会社の製品名）でつくられる。本発明のこの好ましい実施例によれば、保護バー５０と成形材料は同じポリマー材料でつくられ、望ましくは、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、またはＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡでつくられる。
【００１３】
図２に示すように、本発明のこの好ましい実施例によれば、半導体パッケージ構造１が相対的低温帯（例えば２５℃〜１２５℃の相対的低温帯）にあった場合、剛体の保護バー５０は、半導体パッケージ構造１の反りエッジを押し当てて支えるので、半導体パッケージ構造１の反り力は抑えられる。保護バー５０がＰＣＢ１００の頂面に押しあてられると、半導体パッケージ構造１の反り力に対抗し、ＰＣＢ１００から機械的支持が得られる。このような構成は、低温状態で半導体パッケージ構造１の形を保ち、圧縮応力によるはんだ接合の損傷を防止する。
【００１４】
図３に示すように、半導体パッケージ構造１が相対的高温帯（例えば１２５℃〜２８０℃の相対的高温帯）にあった場合、熱及び熱膨張係数の不一致により、半導体パッケージ構造１の縁部は反り上がり、側面から見ればスマイリングカーブとなる。しかし、熱硬化性ポリマーでつくられた保護バー５０は一部の反り力に対抗でき、はんだボール４０にかかる引張応力を削減することができる。保護バー５０は剛体で、キャリア基板１０の底面１０ｂの周辺に設けられるので、半導体パッケージ構造１の反り上がりを抑えることができる。
【００１５】
本発明の核心となる他の特徴として、成形材料３０として特別に選ばれたものを使用し、信頼性試験の熱サイクルにおいて半導体パッケージ構造１の変形をクライイングカーブのみに保持する。言い換えれば、信頼性試験の熱サイクルにおいて、半導体パッケージ構造１は下向きにのみ反る。
【００１６】
図４を参照する。図４は種々の二酸化珪素充填剤の配合でつくられた成形材料を用いた場合の反り対温度の説明図である。図４に示すように、曲線（ａ）〜（ｆ）は種々の割合の二酸化珪素充填剤を含む熱硬化性ポリマー材料でつくられた成形材料の曲線を示す。例えば、曲線（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＺ（二酸化珪素充填剤７０％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＢ（二酸化珪素充填剤７２％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＣ（二酸化珪素充填剤７３％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ（二酸化珪素充填剤７６％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ（二酸化珪素充填剤７９％）、及びＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡ（二酸化珪素充填剤８１％）に対応する。
【００１７】
本発明のこの好ましい実施例によれば、曲線（ｄ）、曲線（ｅ）、及び曲線（ｆ）は、信頼性試験の熱サイクルにおいて半導体パッケージ構造１の変形をクライイングカーブのみに保持するので、これらの曲線に対応するＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ（二酸化珪素充填剤７６％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ（二酸化珪素充填剤７９％）、及びＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡ（二酸化珪素充填剤８１％）は、成形材料３０のための好ましい熱硬化性ポリマー材料である。
【００１８】
図５と図６を参照する。図５と図６はキャリア基板１０の底面１０ｂから見た半導体パッケージ構造１の保護バー５０のレイアウト例である。図５に示すように、保護バー５０を、キャリア基板１０の底面１０ｂの周縁に設けてよい。或いは、図６に示すように、保護バー５０を、キャリア基板１０の底面１０ｂにおける一対の反対辺に設けてもよい。本発明の特長のひとつとして熱硬化性ポリマー材料でつくられた相対的に硬い保護バー５０を用いるので、半導体パッケージ構造１のエッジ破断試験（ｅｄｇｅ  ｂｒｅａｋ  ｔｅｓｔ）の合格率が改善される。
【００１９】
図７を参照する。図７は本発明の好ましい他の実施例によるメモリモジュール構造の断面図である。図７に示すように、本実施例ではメモリモジュール構造２を提供する。メモリモジュール構造２はＰＣＢ１００と、ＰＣＢ１００に設けられる複数のメモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄと、複数のメモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを覆って接触するモノリシックのヒートシンクリッド７０とを含む。メモリチップパッケージ１ａとヒートシンクリッド７０の間、メモリチップパッケージ１ｂとヒートシンクリッド７０の間、メモリチップパッケージ１ｃとヒートシンクリッド７０の間、及びメモリチップパッケージ１ｄとヒートシンクリッド７０の間には、放熱接着剤が設けられている。
【００２０】
本発明のこの好ましい実施例によれば、各メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄは図２に示す半導体パッケージ構造１と同様の構造を有し、キャリア基板１０と、キャリア基板１０の頂面１０ａに設けられるＩＣダイ２０と、ＩＣダイ２０とキャリア基板１０を電気的に接続するボンドワイヤ２２と、キャリア基板１０の頂面１０ａを被覆してＩＣダイ２０を封止する成形材料３０とを含む。同じく、ボンドパッド１０２をＰＣＢ１００に電気的に接続するために、キャリア基板１０の底面１０ｂには複数のはんだボール４０が設けられている。キャリア基板１０の底面１０ｂには、熱硬化性ポリマー材料でつくられた保護バー５０が設けられている。本発明のこの好ましい実施例によれば、保護バー５０と成形材料３０は同じポリマー材料でつくられ、望ましくは、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡでつくられる。
【００２１】
メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの保護バー５０は、キャリア基板１０とＰＣＢ１００の間のスペーサーとして働き、メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの頂面の平面度制御を改善する。保護バー５０は、メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの頂面を同一平面にでき、その平面度がはんだボール４０のサイズ変化に影響されないように確保することができる。改善された平面度制御により、ヒートシンクリッド７０を取りつける場合の信頼性を向上させる。また、保護バー５０により、ヒートシンクリッド７０は、メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの頂面の各々と確実に接触できる。
【００２２】
本発明の教示を保ちながら本装置及び本方法の数多くの変更及び変形を行ってもよいということは当業者には自明である。以上は本発明の好ましい実施例であって、本発明の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、本発明の精神の下においてなされ、本発明に対して均等の効果を有するものは、いずれも本発明の特許請求の範囲に属するものとする。
【図１】
2010157672.tif 000003
【図２】
2010157672.tif 000004
【図３】
2010157672.tif 000005
【図４】
2010157672.tif 000006
【図５】
2010157672.tif 000007
【図６】
2010157672.tif 000008
【図７】
2010157672.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成21年3月19日(2009.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体パッケージ構造に関し、特にパッケージの反りを防止できる保護バーを有する半導体パッケージ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの実装において、プラスチックパッケージ技術の信頼性を改善するためにたゆまぬ努力が払われている。プラスチックパッケージの信頼性不足の主因のひとつは、物理的特性が異なる複数の材料が相互に接触していることである。例えば、パッケージ本体を作成する成形材料と、シリコンでつくられた半導体チップと、スズ合金を含むはんだボールの熱膨張係数の差は、製造後の信頼性試験において材料の分離を起こしうる。信頼性試験は一般に、チップとチップキャリアの間のはんだ接合における、熱応力及び歪み集中を評価するために行われる。この熱応力及び歪み集中は、システムの潜在的な疲労破壊の原因となりうる。
【０００３】
図１は、チップパッケージに施す従来の信頼性試験プロセスの熱サイクルにおける反りの度合い対温度の説明図である。図１に示すように、熱サイクルにおいて、チップキャリアと成形材料との熱膨張係数の不一致により、パッケージには異なった反り効果が生じうる。相対的低温帯に冷却すると、パッケージの側面は湾曲して凸曲線（クライイング（泣き顔に見える）カーブ）となり、収縮の差によりはんだ接合には圧縮応力がかけられる。相対的高温帯では、パッケージの側面は湾曲してスマイリング（笑い顔に見える）カーブとなる。したがって、相対的高温帯では、はんだ接合には引張応力が作用する。はんだ接合に圧縮応力と引張応力を繰り返して集中してかければ、はんだ接合はプリント回路基板（ＰＣＢ）上のボンドパッドに固く接合できなくなる可能性があり、パッケージとＰＣＢとの電気的接続に障害が生じる。
【０００４】
したがって、チップパッケージに施す信頼性試験プロセスの熱サイクルにおいて発生するパッケージの反りを解決し、パッケージとＰＣＢとの電気的接続障害を防止し、信頼性を向上させる有効な解決策は、業界で強く求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６９０６４２５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的のひとつは、従来の技術によるパッケージとＰＣＢとの間の電気的接続の信頼性不足という問題を解決するために、改良された半導体パッケージ構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の好ましい実施例の１つによれば、半導体パッケージ構造は、キャリア基板と、キャリア基板の頂面に設けられるＩＣ（集積回路）ダイと、頂面とＩＣダイを被覆・封止する成形材料と、キャリア基板の底面に設けられる複数のはんだボールと、キャリア基板の底面に設けられる少なくとも１本の保護バーとを含む。保護バーは熱硬化性ポリマーでつくられる。
【０００８】
本発明の好ましい他の実施例によれば、メモリモジュール構造は、プリント回路基板（ＰＣＢ）と、ＰＣＢに設けられる複数のメモリチップパッケージと、各メモリチップパッケージを覆い、放熱接着剤を介して各メモリチップパッケージと熱的に接触するヒートシンクリッドとを含む。メモリチップパッケージは、キャリア基板と、キャリア基板の頂面に設けられるＩＣダイと、頂面とＩＣダイを被覆・封止する成形材料と、キャリア基板の底面に設けられる複数のはんだボールと、キャリア基板の底面に設けられる少なくとも１本の保護バーとを含み、保護バーは熱硬化性ポリマーでつくられる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】チップパッケージに施す従来の信頼性試験プロセスの熱サイクルにおける反りの度合い対温度の説明図である。
【図２】本発明の１つの好ましい実施例による、相対的低温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。
【図３】本発明による、相対的高温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。
【図４】本発明による、種々の二酸化珪素充填剤の配合でつくられた成形材料を用いた場合の反り対温度の説明図である。
【図５】本発明による、キャリア基板の底面から見た半導体パッケージ構造の保護バーのレイアウト例である。
【図６】本発明による、キャリア基板の底面から見た半導体パッケージ構造の保護バーのレイアウト例である。
【図７】本発明の好ましい他の実施例によるメモリモジュール構造の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
かかる装置の特徴を詳述するために、具体的な実施例を挙げ、図を参照して以下に説明する。この説明を読めば、本願発明の前述の課題及び他の課題は、当業者には明らかになる。
【００１１】
図２と図３を参照する。図２は本発明の１つの好ましい実施例による、相対的低温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。図３は相対的高温帯における半導体パッケージ構造の断面図である。
【００１２】
図２に示すように、半導体パッケージ構造１はキャリア基板１０を含む。キャリア基板１０の頂面１０ａにはＩＣ（集積回路）ダイ２０が設けられている。ＩＣダイ２０は、複数のボンドワイヤ２２でキャリア基板１０に電気的に接続されている。キャリア基板１０の頂面１０ａとＩＣダイ２０は、成形材料３０により被覆・封止されている。キャリア基板１０の底面１０ｂには複数のはんだボール４０が設けられている。複数のはんだボール４０は、ＰＣＢ１００に設けられるそれぞれ対応するボンドパッド１０２に接合され、それを通してＰＣＢ１００のキャリア基板１０に電気的に接続されている。
【００１３】
本発明の核心となる特徴のひとつとして、キャリア基板１０の底面１０ｂには少なくとも１本の保護バー５０が設けられている。保護バー５０は熱硬化性ポリマー材料、例えばＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＺ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＢ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＣ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、またはＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡ（いずれも日立化成工業株式会社の製品名）でつくられる。本発明のこの好ましい実施例によれば、保護バー５０と成形材料は同じポリマー材料でつくられ、望ましくは、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、またはＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡでつくられる。
【００１４】
図２に示すように、本発明のこの好ましい実施例によれば、半導体パッケージ構造１が相対的低温帯（例えば２５℃〜１２５℃の相対的低温帯）にあった場合、剛体の保護バー５０は、半導体パッケージ構造１の反りエッジを押し当てて支えるので、半導体パッケージ構造１の反り力は抑えられる。保護バー５０がＰＣＢ１００の頂面に押しあてられると、半導体パッケージ構造１の反り力に対抗し、ＰＣＢ１００から機械的支持が得られる。このような構成は、低温状態で半導体パッケージ構造１の形を保ち、圧縮応力によるはんだ接合の損傷を防止する。
【００１５】
図３に示すように、半導体パッケージ構造１が相対的高温帯（例えば１２５℃〜２８０℃の相対的高温帯）にあった場合、熱及び熱膨張係数の不一致により、半導体パッケージ構造１の縁部は反り上がり、側面から見ればスマイリングカーブとなる。しかし、熱硬化性ポリマーでつくられた保護バー５０は一部の反り力に対抗でき、はんだボール４０にかかる引張応力を削減することができる。保護バー５０は剛体で、キャリア基板１０の底面１０ｂの周辺に設けられるので、半導体パッケージ構造１の反り上がりを抑えることができる。
【００１６】
本発明の核心となる他の特徴として、成形材料３０として特別に選ばれたものを使用し、信頼性試験の熱サイクルにおいて半導体パッケージ構造１の変形をクライイングカーブのみに保持する。言い換えれば、信頼性試験の熱サイクルにおいて、半導体パッケージ構造１は下向きにのみ反る。
【００１７】
図４を参照する。図４は種々の二酸化珪素充填剤の配合でつくられた成形材料を用いた場合の反り対温度の説明図である。図４に示すように、曲線（ａ）〜（ｆ）は種々の割合の二酸化珪素充填剤を含む熱硬化性ポリマー材料でつくられた成形材料の曲線を示す。例えば、曲線（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＺ（二酸化珪素充填剤７０％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＢ（二酸化珪素充填剤７２％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＣ（二酸化珪素充填剤７３％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ（二酸化珪素充填剤７６％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ（二酸化珪素充填剤７９％）、及びＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡ（二酸化珪素充填剤８１％）に対応する。
【００１８】
本発明のこの好ましい実施例によれば、曲線（ｄ）、曲線（ｅ）、及び曲線（ｆ）は、信頼性試験の熱サイクルにおいて半導体パッケージ構造１の変形をクライイングカーブのみに保持するので、これらの曲線に対応するＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ（二酸化珪素充填剤７６％）、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ（二酸化珪素充填剤７９％）、及びＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡ（二酸化珪素充填剤８１％）は、成形材料３０のための好ましい熱硬化性ポリマー材料である。
【００１９】
図５と図６を参照する。図５と図６はキャリア基板１０の底面１０ｂから見た半導体パッケージ構造１の保護バー５０のレイアウト例である。図５に示すように、保護バー５０を、キャリア基板１０の底面１０ｂの周縁に設けてよい。或いは、図６に示すように、保護バー５０を、キャリア基板１０の底面１０ｂにおける一対の反対辺に設けてもよい。本発明の特長のひとつとして熱硬化性ポリマー材料でつくられた相対的に硬い保護バー５０を用いるので、半導体パッケージ構造１のエッジ破断試験（ｅｄｇｅ  ｂｒｅａｋ  ｔｅｓｔ）の合格率が改善される。
【００２０】
図７を参照する。図７は本発明の好ましい他の実施例によるメモリモジュール構造の断面図である。図７に示すように、本実施例ではメモリモジュール構造２を提供する。メモリモジュール構造２はＰＣＢ１００と、ＰＣＢ１００に設けられる複数のメモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄと、複数のメモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを覆って接触するモノリシックのヒートシンクリッド７０とを含む。メモリチップパッケージ１ａとヒートシンクリッド７０の間、メモリチップパッケージ１ｂとヒートシンクリッド７０の間、メモリチップパッケージ１ｃとヒートシンクリッド７０の間、及びメモリチップパッケージ１ｄとヒートシンクリッド７０の間には、放熱接着剤が設けられている。
【００２１】
本発明のこの好ましい実施例によれば、各メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄは図２に示す半導体パッケージ構造１と同様の構造を有し、キャリア基板１０と、キャリア基板１０の頂面１０ａに設けられるＩＣダイ２０と、ＩＣダイ２０とキャリア基板１０を電気的に接続するボンドワイヤ２２と、キャリア基板１０の頂面１０ａを被覆してＩＣダイ２０を封止する成形材料３０とを含む。同じく、ボンドパッド１０２をＰＣＢ１００に電気的に接続するために、キャリア基板１０の底面１０ｂには複数のはんだボール４０が設けられている。キャリア基板１０の底面１０ｂには、熱硬化性ポリマー材料でつくられた保護バー５０が設けられている。本発明のこの好ましい実施例によれば、保護バー５０と成形材料３０は同じポリマー材料でつくられ、望ましくは、日立化成工業株式会社のＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＦ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＧＪ、ＣＥＬ−１８０２−ＨＦ１９−ＨＡでつくられる。
【００２２】
メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの保護バー５０は、キャリア基板１０とＰＣＢ１００の間のスペーサーとして働き、メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの頂面の平面度制御を改善する。保護バー５０は、メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの頂面を同一平面にでき、その平面度がはんだボール４０のサイズ変化に影響されないように確保することができる。改善された平面度制御により、ヒートシンクリッド７０を取りつける場合の信頼性を向上させる。また、保護バー５０により、ヒートシンクリッド７０は、メモリチップパッケージ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの頂面の各々と確実に接触できる。
【００２３】
本発明の教示を保ちながら本装置及び本方法の数多くの変更及び変形を行ってもよいということは当業者には自明である。以上は本発明の好ましい実施例であって、本発明の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、本発明の精神の下においてなされ、本発明に対して均等の効果を有するものは、いずれも本発明の特許請求の範囲に属するものとする。