(57)【要約】【課題】  安全性の点で有利な露光装置を提供する。【解決手段】  基板（１）を露光する露光装置であって、露光装置本体（１２）と、前記露光装置本体（１２）に設けられた開口（２３，２４）を開閉可能なユニット（１３，１４）と、前記ユニット（１３，１４）の開および閉を許可する認証手段（１５，１６）と、前記認証手段（１５，１６）により前記開が許可されてから前記閉が許可されるまでの間、少なくとも一部の動作を禁止する制御手段（１０）と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を露光する露光装置であって、
外装と、
前記外装に設けられた開口を開閉可能なユニットと、
前記ユニットの開および閉を許可する認証手段と、
前記認証手段により前記開が許可されてから前記閉が許可されるまでの間、少なくとも一部の動作を禁止する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記ユニットは、扉、原版を搬送するためのロボット、および前記基板を搬送するためのロボットの少なくとも１つである、ことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記動作に対応したコマンドを無効にすることにより前記動作を禁止することを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記開口は複数設けられ、
前記制御手段は、前記開および閉を許可された前記開口に対応した前記動作を禁止する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を露光する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置は様々な技術を使用して作られているため、露光装置全体の詳細な習熟には時間がかかるため、露光装置を使用するだけのユーザーや、露光装置の個々の部分のみに携わる人には詳細な習熟が求められてはいなかった。そのため、露光装置に携わる人のスキルレベルは人によって異なっているのが現状である。
【０００３】
また、露光装置内部はランプやレーザ等の光、ステージの移動等により人体に及ぼす影響のある箇所が多数あるが、扉を開けることにより露光装置内部に入ることができる。通常は扉を開けるとインターロックがかかり、動作させられない状態になるが、このインターロックは設定で無効にすることが可能である。
【０００４】
特許文献１にて、産業用機器から送られてくる情報に基づいて、産業用機器の性能に関する所定の項目について、関連するデータを抽出し、産業用機器の異常の有無を早期に診断する診断装置が提案されている。この診断装置は、異常があればその原因を分析するとともに、診断結果及び分析結果を外部に通知する。
【特許文献１】国際公開公報ＷＯ２００２／０６１５１４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の診断装置は、産業用機器の異常の有無を早期に診断するが、露光装置内部に人間がアクセスすることを回避できるものではない。
本発明は、安全性の点で有利な露光装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の露光装置は、基板を露光する露光装置であって、
外装と、前記外装に設けられた開口を開閉可能なユニットと、前記ユニットの開および閉を許可する認証手段と、前記認証手段により前記開が許可されてから前記閉が許可されるまでの間、少なくとも一部の動作を禁止する制御手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、安全性の点で有利な露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１の構成図を参照して、本発明の実施形態１に係る露光装置を説明する。
実施形態１の露光装置は、図１に示すように、露光装置本体１２（筐体または外装）内にチャンバ９、照明系６、原版であるレチクル３を搭載したレチクルステージ４、投影光学系５、基板であるウエハ１を搭載したウエハステージ２とを有する。投影光学系５およびアライメント光学系８は、本体構造体７に支持される。露光装置は、レチクル３に形成された回路パターンをウエハ１に投影露光するものであり、ステップアンドリピート投影露光方式またはステップアンドスキャン投影露光方式であってもよい。
【０００９】
照明系６は回路パターンが形成されたレチクル３を照明し、光源部と照明光学系とを有する。光源部は、例えば、光源としてレーザを使用する。レーザは、波長約１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ、波長約２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ、波長約１５３ｎｍのＦ２エキシマレーザなどを使用することができる。しかし、レーザの種類はエキシマレーザに限定されず、例えば、ＹＡＧレーザを使用してもよいし、そのレーザの個数も限定されない。
【００１０】
光源にレーザが使用される場合、レーザ光源からの平行光束を所望のビーム形状に整形する光束整形光学系、コヒーレントなレーザ光束をインコヒーレント化するインコヒーレント化光学系を使用することが好ましい。また、光源部に使用可能な光源はレーザに限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプなどのランプも使用可能である。照明光学系はマスクを照明する光学系であり、レンズ、ミラー、ライトインテグレーター、絞り等を含む。
【００１１】
投影光学系５は、複数のレンズ素子のみからなる光学系、複数のレンズ素子と少なくとも一枚の凹面鏡とを有する光学系（カタディオプトリック光学系）等を使用することができる。さらに、複数のレンズ素子と少なくとも一枚のキノフォームなどの回折光学素子とを有する光学系、全ミラー型の光学系等を使用することができる。
【００１２】
レチクルステージ４およびウエハステージ２は、例えば、リニアモータによって移動可能である。ステップアンドスキャン投影露光方式の場合には、それぞれのステージ２，４は同期して移動する。また、レチクル３のパターンをウエハ１上に位置合わせするためにウエハステージ４およびレチクルステージ２の少なくともいずれかに別途アクチュエータを備える。
このような露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用される。
【００１３】
開口２３，２４を開閉可能なユニットである扉１３，１４が、露光装置本体１２に設けられる。このユニットは、扉１３，１４の代わりに、レチクル３を搬送するための図示されないロボット、ウエハ１を搬送するための図示されないロボットのいずれから構成される場合もある。認証手段である認証機構１５，１６は、扉１３，１４の開および閉を許可する手段である。
【００１４】
制御手段である制御装置１０は、認証機構１５，１６により扉１３，１４の開が許可されてから閉が許可されるまでの間、少なくとも一部の動作を禁止する手段である。制御装置１０は、動作に対応したコマンドを無効にすることにより動作を禁止する。開口２３，２４は複数設けられ、制御装置１０は、開および閉を許可された開口２３，２４に対応した動作を禁止する。
【００１５】
露光装置内の物体が稼動する領域や、安全確認が行いづらい箇所、取り扱いに注意しなければならない物体を備えた箇所に立ち入る際の扉１５，１６に認証機構１５，１６を備え、立ち入りや接触を制限する。さらに、露光装置各部の認証がされている間は、その箇所において人が立ち入りや接触を行っているとみなし、認証されている箇所に応じてあらかじめ決められたコマンドをロックすることにより、人為的なミスが起らないようにする。
【００１６】
図１に示されるように実施形態１の露光装置の内部は稼動時に安全を保障できないため、露光装置本体１２は扉１３，１４や板により内部と外部は仕切られている。各露光装置により扉のついている場所や扉の数は異なっているが、チャンバ９、照明系６、ウエハステージ２などに立ち入りや、内部との接触を行うためには扉１３，１４をまず開ける必要がある。各々の扉１３、１４に認証機構１５、１６を取り付けることにより、露光装置内において、安全を保障できない箇所に立ち入る際には、認証を必要とさせる。認証が通らない場合は、扉１３、１４のロックが外れず開かないため、安全を保障できない箇所に立ち入ることは出来ない。
【００１７】
認証は、その箇所に立ち入る作業者一人一人が認証機能により認証することにより、例え、一人でも認証されずに、露光装置の稼動中に安全を保障することができないエリアに立ち入ることを出来ないようにすることが好適である。さらに、露光装置から立ち去る際、再び認証をさせることで認証を解除してから、扉１３，１４を閉める。これにより、扉１３，１４のロックがかかるような機能を設けることで、例えば、図２の実施形態２が有する認証管理機構１７は、露光装置内に人がいる期間を特定できる。
【００１８】
制御装置１０は、個人を認証する認証手段である認証機構１１を有する。露光装置の操作を行うためには認証機構１１において個人、個人の認証を受けることを必要とする。この認証機構１１において認証を受けなければ、制御装置１０により露光装置のコマンドを操作することを不可能にする。露光装置の操作を可能にするためには初めに個人の認証が必要で、その認証には、前もって個人、個人のレベル分けが設定されており、個人が操作できるコマンドの制限をかける。
【００１９】
露光装置のコマンドを操作するのが制御装置１０であるため、図１の実施形態１では好適な構成として、認証機構１１を制御装置１０に設けるが、ここの場所に限定されない。ネットワーク経由で、露光装置の操作が行えるものもあるが、その場合はネットワーク先から認証を受けられてもよい。
【００２０】
認証機構１１，１５，１６は、特開昭６０−２４７７８号公報、特開昭６１−１０５６７８号公報に示される画像認証、カード認証、虹彩認証、指紋認証のいずれかにより構成され、あるいは、それらの組み合わせで、個人識別が可能であればよい。
【００２１】
認証機構１１の認証機能に、個人、個人のセキュリティ情報機能を付加することで、個人、個人のセキュリティ情報によって、制御装置１０において実施できるコマンド群の制限をかける場合もある。
まず、いくつかのコマンド群を前もって決めておき、制御装置１０にコマンド群のセキュリティ情報と、個人、個人のセキュリティ情報を登録する。認証機構１１による個人の認証が通っても、認証が通った個人のセキュリティ情報が、次にコマンド群のセキュリティ情報とも比較される。もし、使用しようとするコマンドが対象となるコマンド群のセキュリティの認証が通らなかった場合は、そのコマンドを使用することはできない。
【００２２】
これにより、認証機構１１による個人の認証が通った個人においても、個人、個人で認められたコマンド群以外は操作できなくなり、誤った操作を行う可能性を減らすことが出来る。この個人、個人のセキュリティ情報によって、露光装置の教育を受けていない操作や、操作者に関わりの無い操作を実施できないようにする。
【００２３】
次に、図３を参照して、個人認証による本実施形態１の露光装置の動作のシーケンスを示す。
初めに認証をうけるユーザーは個人認証機構１１により個人認証を受ける。（ステップ１０１）
セキュリティ認証（ステップ１０２）が通らないユーザーはコマンドの操作を不可にする。（ステップ１０３）
セキュリティ認証が通った場合、制御装置１０は、コンソール上のログの記録を自動的に開始する。（ステップ１０４）
さらに、コマンド群ごとに制御装置１０によりコマンド操作のセキュリティレベルが設定されており（ステップ１０５）、個人、個人で認められたコマンドだけが操作可能になる（ステップ１０６）。
個人、個人で認められないコマンドは操作が不可能になる。（ステップ１０７）
最後に操作を終えたユーザーはセキュリティ認証を解除することにより（ステップ１０８）、コンソール上のログの記録が自動で終了する。（ステップ１０９）
【００２４】
個人認証機構１１により実施形態１の露光装置を使用している個人が判明し、認証されている間は操作ログを自動で保存されているため、誰がどのような操作を行ったかのログを取得できる。これはもしも何らかの不具合が起きたときに、なぜ発生したかの解析資料としてこのログを使用できる。
【００２５】
次に、図２を参照して、本発明の実施形態２の露光装置を説明する。
実施形態２の露光装置は、認証機構１１，１５，１６が認証管理機構１７に接続され、それぞれの認証情報を管理できる機能を有する。認証機構１５，１６と認証管理機構１７とを接続することで、露光装置の扉１３，１４の認証情報を集め管理する。扉１３，１４の認証が受け付けられている時は認証されている扉１３，１４の内部に人が居ると認識し、その場所に関係するコマンドを操作することができないように、制御装置１０にてロックが掛かるようなシステムとする。
【００２６】
誰かが安全を保証できないエリアに残っている場合はその箇所に関する動作を行うことへのロックが掛かるため、操作コマンドを実行しても、露光装置が稼動して万一にも作業者に危害を加えることがなく、安全を確保することができる。
このコマンドロックは扉１３，１４に対応してロックが掛かるコマンドをあらかじめ決めておき、制御装置１０においてロックを掛ける。または、露光装置全体を操作できなくするものでもよい。例えば、認証機構１６により扉１４を開けてチャンバ９内に立ち入って作業をしている場合、チャンバ９に関係しないコマンドは操作可能にしてもよいし、関係しないコマンドも合わせて操作不能にしてもよい。
【００２７】
次に、図４のシーケンス図を参照して、実施形態２の露光装置内の作業を説明する。
まず、実施形態２の露光装置内での作業を行うため（ステップ２０１）、扉１３，１４に備え付けられた認証機構１５，１６により認証を受ける。（ステップ２０２）
認証が通らない場合は扉１３，１４が開かないため、露光装置内への立ち入りは不可である。（ステップ２０３）
認証が通ると認証管理機構１７は認証が通った扉が開いたことを認識する。さらに、制御装置１０に通知され、開いた扉１３，１４から露光装置内部で作業できる範囲にある機能の操作を不可にするようなコマンドロックが掛けられる。（ステップ２０４）
これによりユーザーが露光装置内で作業しているときに、人為的なミスで露光装置を操作することによる露光装置の稼動からユーザーが守られる。
【００２８】
ユーザーは作業が終わったら、再びセキュリティ認証を受け、認証を解除して露光装置から退出し、扉を閉める。（ステップ２０５）
このため、扉１３，１４のロックが掛かり、認証管理機構１７は露光装置内に人がいなくなったことを認識する。そして制御装置１０に通知されることでコマンドロックを解除し、コマンドを再び操作できるようにする。（ステップ２０６）
【００２９】
以上説明した本発明の実施形態１および２によれば、個人認証があるために、作業者が教育を受けていない操作をすることができなくなり、人為的な操作ミスが少なくなる。また、装置の稼動中に人が立ち入っていると安全が確立できない場所に人がいた場合においても、ユーザーは、その都度確認する必要がなくなる。また、その箇所に関する操作自体ができなくなるため、装置内に人が居るかどうか確認しないで動作させるなどの人為的ミスからの安全性が増す。
【００３０】
［デバイス製造方法の実施形態］
つぎに、本発明の一実施形態のデバイス（半導体デバイス、液晶表示デバイス等）の製造方法について説明する。当該方法において、本発明を適用した露光装置を使用し得る。
半導体デバイスは、ウエハ（半導体基板）に集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程とを経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、その工程で露光されたウエハを現像する工程とを含みうる。後工程は、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）と、パッケージング工程（封入）とを含みうる。また、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、その工程で露光されたガラス基板を現像する工程とを含みうる。
本実施形態のデバイス製造方法は、デバイスの生産性、品質および生産コスト、ならびに安全性の少なくとも一つにおいて従来よりも有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態１の露光装置の構成図である。
【図２】本発明の実施形態２の構成図である。
【図３】本発明の実施形態１におけるコマンド操作時のシーケンス図である。
【図４】本発明の実施形態２の露光装置内の立ち入り作業時のシーケンス図である。
【符号の説明】
【００３２】
１：ウエハ  ２：ウエハステージ  ３：レチクル
４：レチクルステージ  ５：投影光学系  ６：照明光学系
７：本体構造体  ８：アライメント光学系  ９：チャンバ
１０：制御装置  １１：認証機構    １２：露光装置本体
１３：扉  １４：扉  
１５：認証機構  １６：認証機構    １７認証管理機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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