(57)【要約】【課題】スライドテーブルが往復動するときにリニアガイド部にかかる偏荷重を抑制できるとともに、スライドテーブルがシリンダ装置に重ねて配置されたリニアアクチュエータに比べて薄型のリニアアクチュエータにすること。【解決手段】リニアアクチュエータ１１は、ピストンロッド１２を有するシリンダ装置１３と、ピストンロッド１２の軸線方向に沿ってシリンダ装置１３と並ぶように配置されたスライドテーブル１７とを備えている。ピストンロッド１２は、第１及び第２フローティング部材３９，４０を介してスライドテーブル１７と連結されている。スライドテーブル１７は、一対のリニアガイド３３、及び一対のリニアガイド３３それぞれに係合した一対のガイドレール３２によって、往復動が案内される。ピストンロッド１２は、リニアガイド３３と平行で、かつ、一対のリニアガイド３３との間の距離が等しくなっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に移動可能なピストンロッドを有するシリンダ装置と、前記ピストンロッドからの推力により前記ピストンロッドの軸線方向に沿って往復動するスライドテーブルとを備えたリニアアクチュエータであって、
前記スライドテーブルの往復動を案内するリニアガイド部と、
前記ピストンロッド及び前記スライドテーブルを連結する連結部と、を備え、
前記リニアガイド部は、前記ピストンロッドを間に挟んで両側に配置され、
前記スライドテーブルは前記ピストンロッドの軸線方向において前記シリンダ装置に並べて配置されるとともに、前記ピストンロッドは前記リニアガイド部と平行に配置されており、
前記ピストンロッドと前記リニアガイド部との間の距離は等しくなっていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記リニアガイド部は、前記スライドテーブル側に設けられたリニアガイドと、前記リニアガイドと係合するガイドレールとを備え、前記ピストンロッドの軸線と、前記ガイドレールと係合する前記リニアガイドの係合部の上下方向中央とは、上下方向の位置が同じである請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記連結部は、前記ピストンロッド側に固定された第１フローティング部材と、前記スライドテーブル側に固定されるとともに前記第１フローティング部材に対して所定範囲内の相対移動が可能な状態で係合する第２フローティング部材とを備え、
前記ピストンロッドの軸線方向において、前記第２フローティング部材は、前記リニアガイド部の中央部と同じ位置に配置されている請求項２に記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダ装置のピストンロッドからの推力によってスライドテーブルが往復動するリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、製品の製造現場等において治具、ワーク等を搬送するリニアアクチュエータとして、ワークを載置可能なスライドテーブルをシリンダ装置のボディ側面に重ねて配置し、シリンダ装置の推力によってスライドテーブルが直線状の往復運動を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載のリニアアクチュエータでは、内部にシリンダ室が設けられたボディと、シリンダ室に往復動自在に収容されたピストンと、ボティに対して重なるように配置されたテーブルと、テーブルを往復動自在に支持するガイドとを備えている。そして、このリニアアクチュエータでは、ピストンと一体移動するロッドが先端ブロックを介してテーブルに連結され、ガイドは、テーブルの下面に固定されたリニアガイドと、ボディの上面に設けられたガイドレールとにより構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平６−４３３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載のリニアアクチュエータにおいて、先端ブロックに対して推力を伝えるロッドは、リニアガイドに対して左右方向の一方にずれた位置に存在している。そのため、シリンダ装置の推力をロッドから先端ブロックに作用させてテーブルを往復動させるとき、リニアガイドにはモーメントが作用して、それによってリニアガイドには左方向又は右方向の偏荷重がかかる。そして、このリニアガイドに偏荷重がかかるとリニアアクチュエータの寿命が短くなる要因となり、問題となっていた。また、リニアアクチュエータでは、ボディの上にテーブルが重ねて配置されているため、リニアアクチュエータの全体的な厚みが厚いという欠点もあった。
【０００５】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、スライドテーブルが往復動するときにリニアガイド部にかかる偏荷重を抑制できるとともに、スライドテーブルがシリンダ装置に重ねて配置されたリニアアクチュエータに比べて薄型のリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、軸線方向に移動可能なピストンロッドを有するシリンダ装置と、前記ピストンロッドからの推力により前記ピストンロッドの軸線方向に沿って往復動するスライドテーブルとを備えたリニアアクチュエータであって、前記スライドテーブルの往復動を案内するリニアガイド部と、前記ピストンロッド及び前記スライドテーブルを連結する連結部と、を備え、前記リニアガイド部は、前記ピストンロッドを間に挟んで両側に配置され、前記スライドテーブルは前記ピストンロッドの軸線方向において前記シリンダ装置に並べて配置されるとともに、前記ピストンロッドは前記リニアガイド部と平行に配置されており、前記ピストンロッドと前記リニアガイド部との間の距離は等しくなっていることを要旨とする。
【０００７】
この発明では、ピストンロッドが軸線方向に移動することで連結部を介してスライドテーブルに推力を与える。すると、スライドテーブルは、リニアガイド部によって案内されながら往復動する。そして、この場合に、推力を与えるピストンロッドとリニアガイド部とが離間していても、ピストンロッドとリニアガイド部との間の距離は等しいため、リニアガイド部にかかる偏荷重を低減できる。
【０００８】
また、スライドテーブルとシリンダ装置とはピストンロッドの軸線方向に沿うように並べて配置されているため、スライドテーブルがシリンダ装置に重ねられてなるリニアアクチュエータに比べて、リニアアクチュエータ全体を薄型化することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記リニアガイド部は、前記スライドテーブル側に設けられたリニアガイドと、前記リニアガイドと係合するガイドレールとを備え、前記ピストンロッドの軸線と、前記ガイドレールと係合する前記リニアガイドの係合部の上下方向中央とは、上下方向の位置が同じであることを要旨とする。
【００１０】
この発明では、ピストンロッドがリニアガイドに対して上方向又は下方向にずれていることに起因したモーメントがリニアガイド及びガイドレールに作用することはない。その結果、リニアガイド部に対して上又は下方向へかかる偏荷重を低減できる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記連結部は、前記ピストンロッド側に固定された第１フローティング部材と、前記スライドテーブル側に固定されるとともに前記第１フローティング部材に対して所定範囲内の相対移動が可能な状態で係合する第２フローティング部材とを備え、前記ピストンロッドの軸線方向において、前記第２フローティング部材は、前記リニアガイドの中央部と同じ位置に配置されていることを要旨とする。
【００１２】
この発明では、スライドテーブルに例えばワークが載置され、それによってスライドテーブルが撓むとともにリニアガイドが傾いた場合に、その影響による第２フローティング部材の最大傾き量を小さくできる。すなわち、スライドテーブルの撓み量及びリニアガイドの傾き量が同じであっても、ピストンロッドの軸線方向において、第２フローティング部材がリニアガイドの端と同じ位置に位置する場合に比べて、第２フローティング部材の最大傾き量を小さくすることができる。その結果、スライドテーブルの撓み及びリニアガイドの傾きに起因した第１フローティング部材と第２フローティング部材との摩擦を抑えることができ、ひいては第１フローティング部材と第２フローティング部材とが磨耗することを抑制できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、スライドテーブルが往復動するときにリニアガイド部にかかる偏荷重を抑制できるとともに、スライドテーブルがシリンダ装置に重ねて配置されたリニアアクチュエータに比べてリニアアクチュエータを薄型にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（ａ）はリニアアクチュエータの一部破断平面図、（ｂ）はリニアアクチュエータの側面図。
【図２】図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図。
【図３】図２のＢ−Ｂ線部分断面図。
【図４】（ａ）は別の実施形態におけるリニアアクチュエータの断面図、（ｂ）は別の実施形態におけるリニアアクチュエータの部分平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図３にしたがって説明する。なお、以下では、前後方向を図１（ａ）及び（ｂ）の矢印Ｙ１で示し、左右方向を図１（ａ）の矢印Ｙ２で示し、上下方向を図１（ｂ）の矢印Ｙ３で示す。
【００１６】
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、リニアアクチュエータ１１は、軸線方向（前後方向）に移動可能なピストンロッド１２を有するシリンダ装置１３と、連結用ブロック１４を介してシリンダ装置１３に連結された支持板１５と、リニアガイド部１６を介して支持板１５上を移動可能に支持されたスライドテーブル１７とを備えている。
【００１７】
図１（ａ）に示すように、シリンダ装置１３のシリンダハウジング１８には、その内部に前後方向に延びるシリンダ室１９が形成されている。シリンダ室１９は、その一方の開口がロッドカバー２０によって封止されるとともに、その他方の開口がヘッドカバー２１によって封止されることで区画されている。ヘッドカバー２１は、Ｃリング２２によってシリンダハウジング１８から抜け止めされている。また、ロッドカバー２０は、図示しない抜け止め部材によってシリンダハウジング１８から抜け止めされている。そして、シリンダ室１９には、ピストンロッド１２の軸線方向に沿って移動可能なピストン２３が収容されている。
【００１８】
ピストン２３の周面にはピストンパッキン２４が装着されるとともに、ピストンパッキン２４よりもロッドカバー２０側の部位に環状のマグネット２５が装着されている。なお、マグネット２５は、図示しない位置検出スイッチによって検出可能に構成されている。ピストン２３は、シリンダ室１９をロッドカバー２０側の第１室２６とヘッドカバー２１側の第２室２７とに仕切るとともに、ピストンロッド１２と一体移動可能に結合されている。
【００１９】
第１室２６は一端が外部に開口する第１給排ポート２８と連通している。第２室２７は一端が外部に開口する第２給排ポート２９と連通している。第１給排ポート２８及び第２給排ポート２９には、図示しない配管を介して、図示しないエア供給手段が接続されている。ピストンロッド１２は、ロッドカバー２０及び連結用ブロック１４を貫通して一部が第１室２６に収容されている。なお、ロッドカバー２０の内周面には、ピストンロッド１２とロッドカバー２０との間をシールするロッドパッキン３０が設けられている。そして、シリンダハウジング１８から延出したピストンロッド１２の部分の下方には、平面視矩形状の支持板１５が設けられている。
【００２０】
支持板１５は、一方の端部が、連結用ブロック１４を介してシリンダハウジング１８の端部に連結されている。支持板１５は、その長手方向がピストンロッド１２の軸線方向と平行になっている。すなわち、支持板１５は、ピストンロッド１２の軸線方向に沿ってシリンダ装置１３と直列に配置されている。
【００２１】
支持板１５上に設けられたスライドテーブル１７は平面視矩形状に形成されるとともに、その上面１７ａがワークを載置するための載置面として構成されている。スライドテーブル１７は、リニアガイド部１６によって案内されながらＹ１で示す前後方向に往復動することで図示しないワークを搬送するとともに、ピストンロッド１２の軸線方向に沿ってシリンダ装置１３と直列に並んでいる。
【００２２】
リニアガイド部１６は、ボルト３１によって支持板１５の上面１５ａに締結された一対のガイドレール３２と、スライドテーブル１７の下面１７ｂ（図２参照）に設けられるとともにガイドレール３２と係合する一対のリニアガイド３３とから構成されている。そして、一対のリニアガイド３３は左右方向において一対のガイドレール３２の間に挟まれるように位置するとともに、ボルトＢによってスライドテーブル１７の下面１７ｂに締結されている。図２に示すように、リニアガイド３３のうち、ガイドレール３２と対向する側部には、ガイドレール３２と係合する複数のボールベアリング３４が設けられている。複数のボールベアリング３４は、上下に配置されている。複数のボールベアリング３４は、ガイドレール３２に対してリニアガイド３３が円滑に摺動するために設けられており、複数のボールベアリング３４全体によってリニアガイド３３の係合部を構成している。
【００２３】
一対のガイドレール３２は、支持板１５の左右両側に設けられるとともに、ピストンロッド１２の軸線方向に平行に、かつ支持板１５の長手方向略全体に亘って延びている。一対のガイドレール３２は、支持板１５の左右両側部に設けられた突条３５によって支持板１５に対する位置合わせが行われている。リニアガイド３３は、ピストンロッド１２の軸線方向が長手方向となるように延びるとともに、一対のガイドレール３２と平行な位置関係になっている。
【００２４】
ボールベアリング３４はスライドテーブル１７が往復動するのに伴って、ガイドレール３２の転動溝３６及びリニアガイド３３の転動溝３７を転動するとともに、ボール循環穴３８を介して循環するようになっている。なお、ボールベアリング３４は、図示しないボールリターン部材を経由して転動溝３６とボール循環穴３８とを媒介する。
【００２５】
そして、スライドテーブル１７には、その下面１７ｂに、第１フローティング部材３９及び第２フローティング部材４０を介してピストンロッド１２の先端部１２ａ（図３参照）が連結されている。図３に示すように、第１フローティング部材３９は両端部３９ａ，３９ｂがフランジ状に形成されるとともに、ピストンロッド１２に対してボルト４１によって締結されている。そして、第１フローティング部材３９には、略コ字状の第２フローティング部材４０が係合している。
【００２６】
第２フローティング部材４０は下方に開口する凹部４２が第１フローティング部材３９の中間部３９ｃに係合するとともに、ボルト４３によってスライドテーブル１７に締結されている。そして、第２フローティング部材４０がスライドテーブル１７に締結された状態で、第２フローティング部材４０の中央部Ｐ１とリニアガイド３３の中央部Ｐ２とは、ピストンロッド１２の軸線方向において同じ位置にある。なお、第２フローティング部材４０の中央部Ｐ１は、各ボルト４３の軸心に対して等距離離間している。リニアガイド３３の中央部Ｐ２とは、ピストンロッド１２の軸線方向における中央のことを意味し、リニアガイド３３の両端からピストンロッド１２の軸線方向において等距離離間している。そして、第２フローティング部材４０と第１フローティング部材３９の両端部３９ａ，３９ｂとの間、及び第２フローティング部材４０と第１フローティング部材３９の中間部３９ｃとの間には、所定のクリアランスが存在している。そのため、第１フローティング部材３９及び第２フローティング部材４０は、前後方向及び左右方向において所定範囲だけ相対移動可能に構成されるとともに、ピストンロッド１２及びスライドテーブル１７を連結する連結部を構成している。
【００２７】
ピストンロッド１２は、第１フローティング部材３９及び第２フローティング部材４０によってスライドテーブル１７に連結された状態において、その先端部１２ａが一対のリニアガイド３３の間に位置し、かつ、スライドテーブル１７の下方に位置している。そして、図２に示すように、ピストンロッド１２の軸線Ｌと、上下に配置されたボールベアリング３４全体の上下方向における中央位置Ｑとは、上下方向において同じ位置になっている。ボールベアリング３４全体の上下方向における中央位置Ｑは、上下に配置されたボールベアリング３４それぞれの中心に対して等距離離間した位置にある。また、ピストンロッド１２は、一対のリニアガイド部１６に対して平行であるとともに等距離離間している。すなわち、図３に示すように、ピストンロッド１２の軸線Ｌからピストンロッド１２の右側に位置するリニアガイド部１６（ピストンロッド１２の右方におけるボールベアリング３４全体の中央位置Ｑ）までの距離Ｔ１と、ピストンロッド１２の軸線Ｌからピストンロッド１２の左側に位置するリニアガイド３３（ピストンロッド１２の左方におけるボールベアリング３４全体の中央位置Ｑ）までの距離Ｔ２とは、等しくなっている。そのため、ピストンロッド１２の推力により一対のリニアガイド部１６に作用するモーメントが互いに釣り合うように、ピストンロッド１２の位置は設定されている。
【００２８】
次に、本実施形態におけるリニアアクチュエータ１１の動作を説明する。
リニアアクチュエータ１１においては、第１給排ポート２８を介して第１室２６のエアが排出されるとともに、第２給排ポート２９を介して第２室２７にエアが供給されると、ピストン２３及びピストンロッド１２は、前方に移動する。すると、ピストンロッド１２は、第１，第２フローティング部材３９，４０を前方に押し、これによって、スライドテーブル１７は案内されつつピストンロッド１２の軸線方向に沿って前方に移動する。また、リニアアクチュエータ１１において、第１給排ポート２８を介して第１室２６にエアが供給されるとともに、第２給排ポート２９を介して第２室２７からエアが排出されると、ピストン２３及びピストンロッド１２は、後方に移動する。すると、ピストンロッド１２は、第１，第２フローティング部材３９，４０を後方に引き込み、これによって、スライドテーブル１７は案内されつつピストンロッド１２の軸線方向に沿って後方に移動する。
【００２９】
そして、ピストンロッド１２から推力が与えられてスライドテーブル１７が往復動するとき、ピストンロッド１２から一方のリニアガイド部１６（一方のボールベアリング３４全体の中央位置Ｑ）までの距離Ｔ１と、ピストンロッド１２から他方のリニアガイド部１６（他方のボールベアリング３４全体の中央位置Ｑ）までの距離Ｔ２とは等しくなっているため、左右両側のリニアガイド部１６に作用するモーメント同士は釣り合った状態になる。そのため、各リニアガイド部１６に余分なモーメントが発生しなくなっており、ピストンロッド１２から推力が与えられた場合、一対のリニアガイド部１６に左右方向の偏荷重がかからない状態でスライドテーブル１７は往復動する。
【００３０】
また、ピストンロッド１２と上下に配置されたボールベアリング３４の中央位置Ｑとは、上下方向における位置が同じになっており、ピストンロッド１２は上下に配置された複数のボールベアリング３４全体に対して上下方向にずれていない。そのため、ピストンロッド１２から推力を与えてスライドテーブル１７を往復動させるときに、ピストンロッド１２がリニアガイド３３の係合部に対して上方向又は下方向にずれていることに起因した余分なモーメントがリニアガイド３３及びガイドレール３２に発生しない。したがって、一対のリニアガイド３３に対して上方向又は下方向の偏荷重がかからない状態で、スライドテーブル１７は往復動する。本実施形態では、ピストンロッド１２から推力が与えられてスライドテーブル１７が往復動するときに、リニアガイド部１６にはピストンロッド１２の軸方向に沿った推力以外の余分な荷重が極力作用しないようになっている。
【００３１】
また、スライドテーブル１７がワークを搬送する場合、スライドテーブル１７の上面１７ａにワークが載置される。この場合、スライドテーブル１７はワークから荷重を受けて撓み、スライドテーブル１７が撓むことに伴って、リニアガイド３３も傾くことがある。この場合に、第２フローティング部材４０は傾くが、第２フローティング部材４０の中央部Ｐ１は、ピストンロッド１２の軸線方向におけるリニアガイド３３の中央部Ｐ２に位置しているため、第２フローティング部材４０は、リニアガイド３３の傾きによって受ける影響は少ない。すなわち、スライドテーブル１７の撓み量及びリニアガイド３３の傾き量が同じであっても、ピストンロッド１２の軸線方向においてリニアガイド３３の端と一致するように第２フローティング部材４０が設けられた場合に比べて、第２フローティング部材４０の傾き量を小さく抑えることができる。したがって、スライドテーブル１７の撓み及びリニアガイド３３の傾きによって生じる第１フローティング部材３９と第２フローティング部材４０との摩擦を抑えることができ、その結果、第１フローティング部材３９及び第２フローティング部材４０の磨耗を抑制できる。
【００３２】
この実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）リニアアクチュエータ１１は、ピストンロッド１２を有するシリンダ装置１３と、スライドテーブル１７の往復動を案内するリニアガイド部１６とを備えている。ピストンロッド１２は、リニアガイド部１６と平行で、かつ、リニアガイド部１６との間の距離が等しくなるように配置されている。したがって、ピストンロッド１２から推力が与えられてスライドテーブル１７が往復動するときに、リニアガイド部１６にかかる偏荷重を低減できる。
【００３３】
（２）スライドテーブル１７は、ピストンロッド１２の軸線方向に沿うようにシリンダ装置１３に並べて配置されている。したがって、スライドテーブル１７がシリンダ装置１３に重ねられてなるリニアアクチュエータ１１に比べて、リニアアクチュエータ１１全体を薄型化することができる。
【００３４】
（３）ピストンロッド１２の軸線Ｌと上下に配置されたボールベアリング３４全体の中央位置Ｑとは上下方向において同じ位置となる。したがって、ピストンロッド１２が上下に配置された複数のボールベアリング３４に対して上方向又は下方向にずれていることに起因した余分なモーメントがリニアガイド３３及びガイドレール３２に発生しない。その結果、リニアガイド３３に対して上又は下方向へかかる偏荷重を低減できる。
【００３５】
（４）ピストンロッド１２とスライドテーブル１７とは、第１フローティング部材３９及び第２フローティング部材４０によって連結されている。そして、第１フローティング部材３９及び第２フローティング部材４０は、所定範囲だけ相対移動可能な状態で係合している。第２フローティング部材４０の中央部Ｐ１は、ピストンロッド１２の軸線方向において、リニアガイド３３の中央部Ｐ２と同じ位置に位置している。したがって、スライドテーブル１７の撓み及びリニアガイド３３の傾きに起因した第１フローティング部材３９と第２フローティング部材４０との摩擦を抑えることができ、第１フローティング部材３９と第２フローティング部材４０とが磨耗することを抑制できる。
【００３６】
（５）リニアガイド３３の傾き量が同じであっても、ピストンロッド１２の軸線方向における、リニアガイド３３の端とピストンロッド１２の軸線方向において同じ位置に第２フローティング部材４０の中央部Ｐ１が位置している場合に比べて、第２フローティング部材４０の傾き量を小さく抑えることができる。そのため、第１フローティング部材３９と第２フローティング部材４０との間でのこじりを抑え、ひいてはリニアアクチュエータ１１の作動不良を抑えることができる。
【００３７】
実施形態は、前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
○  リニアガイド部１６の構成を変更してもよい。例えば、図４（ａ）に示すように、延設方向と直交する断面形状が略コ字状（チャネル状）であるリニアガイド３３を形成し、そのリニアガイド３３の凹部４２がガイドレール３２と係合するようにしてもよい。そして、この場合、ガイドレール３２と対向する凹部４２の内側壁面にボールベアリング３４を配置する。そして、ボールベアリング３４がガイドレール３２とリニアガイド３３との間で転動するように構成して、スライドテーブル１７がリニアガイド部１６に案内されて往復動するように構成すればよい。また、リニアガイド３３の係合部の上下方向中央は、ボールベアリング３４の球心に対応している。
【００３８】
○  複数のボールベアリング３４が循環する構成に限らず、例えば、ボール循環穴３８及びボールリターン部材を省略し、複数のボールベアリング３４は循環せずに転動するのみの構成にしてもよい。
【００３９】
○  リニアガイド部１６はスライドテーブル１７の往復動を案内する構成であればよく、ガイドレール３２とリニアガイド３３との間に介装されるボールベアリング３４を省略してもよい。そして、例えば、延設方向と直交する断面形状が略コ字状（チャネル状）となるようにリニアガイド３３を形成し、リニアガイド３３の凹部がガイドレール３２と係合するようにしてもよい。なお、この場合、ガイドレール３２と係合するリニアガイド３３の凹部が、リニアガイド３３の係合部として構成される。
【００４０】
○  ピストンロッド１２とリニアガイド部１６との間の距離が等しい位置に、ピストンロッド１２が配置されるのであれば、ピストンロッド１２を連結するスライドテーブル１７の部位を変更してもよい。例えば、図４（ｂ）に示すように、スライドテーブル１７の後側（シリンダ装置１３側）の側面１７ｃに第２フローティング部材４０を当接させ、その状態で、ボルト５０によってスライドテーブル１７の後側の側面１７ｃに対して第２フローティング部材４０を固定してもよい。このように構成すれば、ピストンロッド１２とスライドテーブル１７とを連結することができ、しかも、支持板１５とスライドテーブル１７との間に挟まれるように第２フローティング部材４０が配置されない分だけ、支持板１５の底面からスライドテーブル１７の上面１７ａまでの厚みを薄くすることができる。
【００４１】
○  リニアガイド部１６及びピストンロッド１２の上下方向における位置関係を変更してもよい。例えば、ピストンロッド１２とリニアガイド部１６との間の距離が等しく、ピストンロッド１２がリニアガイド部１６に対して平行であれば、ピストンロッド１２の軸線Ｌが上下に配置されたボールベアリング３４全体の中央位置Ｑに対して下方にずれた状態で、ピストンロッド１２とスライドテーブル１７とを連結してもよい。
【００４２】
○  ガイドレール３２及びリニアガイド３３の数を増やしてもよい。例えば、ガイドレール３２及びリニアガイド３３の左右両側に、さらに、ガイドレール及びリニアガイドからなるリニアガイド部を設け、そのリニアガイド部もピストンロッド１２を間に挟むように配置してもよい。そして、この場合、ピストンロッド１２と、リニアガイド部１６とは別の左右両側のリニアガイド部との間の距離は、それぞれ同じとなるようにすればよい。
【００４３】
○  ピストンロッド１２とは別部材の第１フローティング部材３９を設ける代わりに、ピストンロッド１２の先端部１２ａを第１フローティング部材３９と同じ形状に形成して、第１フローティング部材３９を省略してもよい。この場合、シリンダ装置１３の製作に手間がかかるが、第１フローティング部材３９をピストンロッド１２に組み付ける作業を省略することができる。
【００４４】
○  シリンダ装置１３を、エア以外の気体、又は油等の液体にて駆動される流体圧シリンダによって構成してもよい。
【符号の説明】
【００４５】
Ｌ…軸線、１１…リニアアクチュエータ、１２…ピストンロッド、１３…シリンダ装置、１６…リニアガイド部、１７…スライドテーブル、３２…ガイドレール、３３…リニアガイド、３９…第１フローティング部材、４０…第２フローティング部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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