(57)【要約】【課題】キャビティユニット、保護層及びアクチュエータを重ねて構成される液体吐出ヘッドを小型化するとともにその部品点数を削減する。【解決手段】複数枚のキャビティプレート１１〜１６を積層してなるキャビティユニット２と、キャビティユニット２のノズル開口面２ａとは反対側の面に重ねられたアクチュエータ３と、キャビティユニット２とアクチュエータ３との間に介在する保護層６とを備え、保護層６がキャビティユニット２に対して外側に延在する延在部８を有し、該延在部８がキャビティユニット２の外側にて折り返されてキャビティプレート１１〜１６のうちの少なくとも１枚を構成する。例えば延在部８は絞り流路２３をなすための貫通孔１２ｂを有し、接続流路プレート部材１２として機能する。また、延在部は共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁をなし、ダンパープレート部材として機能する。【選択図】図３
2010125743.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のキャビティプレートを積層してなり、液体を吐出するためのノズルに連通する液体流路が内部に形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットのノズル開口面とは反対側の面に重ねられ、前記液体流路内の液体に圧力を付与して該液体を前記ノズルより吐出させるアクチュエータと、
前記キャビティユニットと前記アクチュエータとの間に介在し、前記液体流路内の液体から前記アクチュエータを保護する保護層と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記液体流路は、液体をキャビティユニット内に導入するための液体導入口に連通する共通液室と、前記共通液室に連通する絞り流路と、前記絞り流路に連通する圧力室とを有し、前記圧力室に対応して前記ノズルが設けられ、
前記キャビティプレートには少なくとも、前記ノズルを構成して前記ノズル開口面をなすノズルプレート部材と、前記圧力室を構成して前記反対側の面をなす圧力室プレート部材と、前記ノズルプレート部材と前記圧力室プレート部材との間に介在して前記共通液室を構成するマニホールドプレート部材と、前記圧力室プレート部材と前記マニホールドプレート部材との間に介在して前記絞り流路を構成する接続流路プレート部材とが含まれ、
前記保護層は前記キャビティユニットに対して外側に延在する延在部を有し、該延在部は、該キャビティユニットの外側にて折り返されて前記キャビティプレートのうちの少なくとも１枚を構成し、
前記延在部は前記絞り流路をなすための貫通孔を有し、前記接続流路プレート部材として機能していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記キャビティプレートには更に、前記マニホールドプレート部材と前記ノズルプレート部材との間に介在し、前記共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁を構成するダンパープレート部材が含まれ、
前記延在部は、前記接続流路プレート部材として機能する積層位置から前記キャビティユニットに対して外側に延在して再び折り返され、
前記延在部は前記ダンパー壁をなし、前記ダンパープレート部材として機能していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記キャビティプレートには更に、前記マニホールドプレート部材と前記ノズルプレート部材との間に介在し、前記共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁を構成するダンパープレート部材が含まれ、
前記延在部は、前記キャビティユニットの外側にて折り返されて前記接続流路プレート部材として機能する第１延在部と、前記キャビティユニットに対して該第１延在部とは異なる方向に延在して前記キャビティユニットの外側にて折り返される第２延在部とを有し、前記第２延在部は前記ダンパー壁をなし、前記ダンパープレート部材として機能していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液体導入口が前記キャビティユニットの前記反対側の面に形成され、前記流体流路の前記液体導入口から前記共通液室に至るまでの間には液体を濾過するフィルタが設けられ、
前記フィルタが、前記保護層に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記保護層が電鋳により形成される金属製の薄板であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記液体流路は、前記圧力室プレート部材と前記ノズルプレート部材の間に構成されたて前記圧力室と前記ノズルとを連通させるディセンダを含み、前記延在部に前記ディセンダを形成するための貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
複数枚のキャビティプレートを積層してなり、液体を吐出するためのノズルに連通する液体流路が内部に形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットのノズル開口面とは反対側の面に重ねられ、前記液体流路内の液体に圧力を付与して該液体を前記ノズルより吐出させるアクチュエータと、
前記キャビティユニットと前記アクチュエータとの間に介在し、前記液体流路内の液体から前記アクチュエータを保護する保護層と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記液体流路は、液体をキャビティユニット内に導入するための液体導入口に連通する共通液室と、前記共通液室に連通する圧力室とを有し、前記圧力室に対応して前記ノズルが設けられ、
前記キャビティプレートには少なくとも、前記ノズルを構成して前記ノズル開口面をなすノズルプレート部材と、前記圧力室を構成して前記反対側の面をなす圧力室プレート部材と、前記ノズルプレート部材と前記圧力室プレート部材との間に介在して前記共通液室を構成するマニホールドプレート部材と、前記マニホールドプレート部材に積層されて前記共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁を構成するダンパープレート部材とが含まれ、
前記保護層は、前記キャビティユニットに対して外方に延在する延在部を有し、該延在部は、折り返されて前記キャビティプレートのうちの少なくとも１枚を構成し、
前記延在部は前記ダンパー壁をなし、前記ダンパープレート部材として機能していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェットヘッド等のように、内部に液体流路が形成されたキャビティユニットと、キャビティユニットに重ねられたアクチュエータとを備え、アクチュエータの動作により液体流路内の液体に圧力を付与して液体流路に連通するノズルより液体を吐出させる液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドは、キャビティユニットのノズル開口面よりインクを吐出する構成となっており、一般にノズル開口面を下方に向けてインクを下方に吐出するよう配置される。その反対側であるキャビティユニットの上面にはインク流路の一部をなす圧力室が開口し、アクチュエータはこの圧力室を閉鎖するようにキャビティユニットに上側から重ねられる。アクチュエータにインクが侵入すると電気的な不具合が生じるおそれがあるため、キャビティユニットの上面とアクチュエータの底面との間には、インク流路内のインクからアクチュエータを保護する保護層が設けられる。
【０００３】
所謂圧電式のアクチュエータは、印加された駆動電圧に基づいて逆圧電効果により変形し、これにより圧力室の容積を変動させて圧力室内のインクに吐出圧力を付与し得るようになっている。例えば、特許文献１にあるように、このアクチュエータの変形動作が阻害されないように、保護層を可撓性が高くなるように電鋳法等によって薄板状に形成して、アクチュエータの変形動作と連動して弾性変形する、所謂振動板として兼ねて用いられていることもある。
【特許文献１】特開２００８−１６８５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
キャビティユニットは、内部に複雑なインク流路を形成するため、開口や溝を有した複数のプレートを積層して構成されており、圧電式のアクチュエータも低電位に導通される電極と駆動電圧が印加する電極とを階層的に配置するために複数の圧電セラミクスを積層して構成されることがある。更にこれに保護層を介在させてインクジェットヘッドが構成されているため、インクジェットヘッドは部品点数が多くなりがちであるとともにプレートや圧電セラミクスの積層方向に大型化しがちである。
【０００５】
そこで本発明は、キャビティユニット、保護層及びアクチュエータを重ねて構成される液体吐出ヘッドの小型化や部品点数の削減を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液体吐出ヘッドは、複数枚のキャビティプレートを積層してなり、液体を吐出するためのノズルに連通する液体流路が内部に形成されたキャビティユニットと、前記キャビティユニットのノズル開口面とは反対側の面に重ねられ、前記液体流路内の液体に圧力を付与して該液体を前記ノズルより吐出させるアクチュエータと、前記キャビティユニットと前記アクチュエータとの間に介在し、前記液体流路内の液体から前記アクチュエータを保護する保護層と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記液体流路は、液体をキャビティユニット内に導入するための液体導入口に連通する共通液室と、前記共通液室に連通する絞り流路と、前記絞り流路に連通する圧力室とを有し、前記圧力室に対応して前記ノズルが設けられ、前記キャビティプレートには少なくとも、前記ノズルを構成して前記ノズル開口面をなすノズルプレート部材と、前記圧力室を構成して前記反対側の面をなす圧力室プレート部材と、前記ノズルプレート部材と前記圧力室プレート部材との間に介在して前記共通液室を構成するマニホールドプレート部材と、前記圧力室プレート部材と前記マニホールドプレート部材との間に介在して前記絞り流路を構成する接続流路プレート部材とが含まれ、前記保護層は前記キャビティユニットに対して外側に延在する延在部を有し、該延在部は、該キャビティユニットの外側にて折り返されて前記キャビティプレートのうちの少なくとも１枚を構成し、前記延在部は前記絞り流路をなすための貫通孔を有し、前記接続流路プレート部材として機能していることを特徴としている。
【０００７】
このような構成とすることにより、薄板の保護層をキャビティプレートのうちの１枚として機能させているため、キャビティユニットをキャビティプレートの積層方向に小型化することができる。
【０００８】
前記キャビティプレートには更に、前記マニホールドプレート部材と前記ノズルプレート部材との間に介在し、前記共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁を構成するダンパープレート部材が含まれ、前記延在部は、前記接続流路プレート部材として機能する積層位置から前記キャビティユニットに対して外側に延在して再び折り返され、前記延在部は前記ダンパー壁をなし、前記ダンパープレート部材として機能していてもよい。これにより、薄板の保護層をダンパープレート部材として機能させることにより、ダンパー性能の高いキャビティユニットを構成することができる。また、キャビティユニットのさらなる小型化に資する。
【０００９】
前記キャビティプレートには更に、前記マニホールドプレート部材と前記ノズルプレート部材との間に介在し、前記共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁を構成するダンパープレート部材が含まれ、前記延在部は、前記キャビティユニットの外側にて折り返されて前記接続流路プレート部材として機能する第１延在部と、前記キャビティユニットに対して該第１延在部とは異なる方向に延在して外側に折り返される第２延在部とを有し、前記第２延在部は前記ダンパー壁をなし、前記ダンパープレート部材として機能していてもよい。これにより、一枚の薄板の保護層をダンパープレートと接続プレートとして機能させることにより、より小型化できる。
【００１０】
前記液体導入口が前記キャビティユニットの前記反対側の面に形成され、前記流体流路の前記液体導入口から前記共通液室に至るまでの間には液体を濾過するフィルタが設けられ、前記フィルタが、前記保護層に設けられていてもよい。これにより、フィルタを保護層と一体に形成することができるため、部品点数が削減されて低コスト化に繋がる。また、フィルタは従来小型で薄肉のためハンドリング性の悪い部品の一つであった。本発明によれば、より大型の保護層と一体となり、液体吐出ヘッドの製造を容易に行えるようになる。
【００１１】
前記保護層が電鋳により形成される金属製の薄板であってもよい。これにより、板厚の薄い保護層を提供することができるため、キャビティプレートとして機能させるために折り返すことができる保護層が容易に実現され、また、キャビティユニットの積層方向の小型化が容易に実現される。
【００１２】
前記液体流路は、前記圧力室プレート部材と前記ノズルプレート部材の間に構成されたて前記圧力室と前記ノズルとを連通させるディセンダを含み、前記延在部に前記ディセンダを形成するための貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。これにより、薄板の保護層をキャビティプレートのうちの１枚として機能させてそこにディセンダをなす貫通孔を形成しているため、ディセンダの流路長を短くすることができる。これによりディセンダの流路抵抗が小さくなるので、アクチュエータに供給する駆動電圧を低くして液体を吐出させることができる。
【００１３】
また、本発明に係る液体吐出ヘッドは、複数枚のキャビティプレートを積層してなり、液体を吐出するためのノズルに連通する液体流路が内部に形成されたキャビティユニットと、前記キャビティユニットのノズル開口面とは反対側の面に重ねられ、前記液体流路内の液体に圧力を付与して該液体を前記ノズルより吐出させるアクチュエータと、前記キャビティユニットと前記アクチュエータとの間に介在し、前記液体流路内の液体から前記アクチュエータを保護する保護層と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記液体流路は、液体をキャビティユニット内に導入するための液体導入口に連通する共通液室と、前記共通液室に連通する圧力室とを有し、前記圧力室に対応して前記ノズルが設けられ、前記キャビティプレートには少なくとも、前記ノズルを構成して前記ノズル開口面をなすノズルプレート部材と、前記圧力室を構成して前記反対側の面をなす圧力室プレート部材と、前記ノズルプレート部材と前記圧力室プレート部材との間に介在して前記共通液室を構成するマニホールドプレート部材と、前記マニホールドプレート部材に積層されて前記共通液室に面して弾性変形可能なダンパー壁を構成するダンパープレート部材とが含まれ、前記保護層は、前記キャビティユニットに対して外方に延在する延在部を有し、該延在部は、折り返されて前記キャビティプレートのうちの少なくとも１枚を構成し、前記延在部は前記ダンパー壁をなし、前記ダンパープレート部材として機能していることを特徴としている。
【００１４】
このような構成とすることにより、薄板の保護層をダンパープレート部材として機能させることにより、ダンパー性能の高いキャビティユニットを構成することができる。また、キャビティユニットをキャビティプレートの積層方向に小型化することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、キャビティユニット、保護層及びアクチュエータを重ねて構成される液体吐出ヘッドを小型化することができ、その部品点数を削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しながら本発明に係る液体吐出ヘッドの実施形態について説明する。ここでは液体吐出ヘッドとしてインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドを例示しており、インクジェットヘッドよりインクが吐出する方向を「下方」としている。
【００１７】
［第１実施形態］
図１は本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド１の分解斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、内部でインクが流れるキャビティユニット２に上側から圧電式のアクチュエータ３を重ねて構成され、このアクチュエータ３には上側から樹脂基板４が重ねて設けられる。アクチュエータ３は樹脂基板４に実装されたドライバ５から供給される駆動電圧に基づいて逆圧電効果を発揮して変形動作し、この変形動作によってキャビティユニット２内のインクに吐出圧力を付与する構成となっている。
【００１８】
キャビティユニット２の上面とアクチュエータ３の底面との上下間には保護板６が介装される。この保護板６はステンレスやニッケル等の薄肉の金属板からなり（板厚５〜１０μｍ）、これを実現するため電鋳法によって形成されている。保護板６が介在されることによりキャビティユニット２内のインクとアクチュエータ３とを分離し、インクからアクチュエータ３が保護され、アクチュエータ３の電気的な不具合を防ぐことができる。なお、保護板６を高い可撓性を有するように形成することで、吐出圧力を付与すべくアクチュエータ３が変形するとアクチュエータ３と平面視で重なる部分が連動して弾性変形するようにした所謂振動板としても兼ねることができ、アクチュータの変形を阻害しないで、アクチュエータ３をインクから保護することもできる。
【００１９】
保護板６は、このようにアクチュエータ３をインクから保護するための部分であってアクチュエータ３と平面視で重なる部分でもある保護部７を有し、この保護部７からは一体的に延在部８が連続して延びている。なお、本実施形態の延在部８は保護部７に対して後述するノズル配列方向に延在しており、後述するようにキャビティユニット２の一構成要素として機能する部分となる。
【００２０】
図２は図１に示すインクジェットヘッド１を組み立てた状態として示す平面図、図３は図２のII−II線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１の断面図であり、図２及び図３においては樹脂基板４の図示を省略している。
【００２１】
図２に示すように、平面視においてキャビティユニット２の外形輪郭線はアクチュエータ３の輪郭線よりも大きく、キャビティユニット２の外形輪郭線の内側領域にアクチュエータ３が配置されている。キャビティユニット２の上面のうちアクチュエータ３が重ねられることなく上方に露出している領域には、例えば図示しないインクカートリッジ等の外部からのインクをキャビティユニット２内に導入するためのインク導入口９が開口している。
【００２２】
保護板６の保護部７は、インク導入口９が開口している部分も含めてキャビティユニット２の上面のほぼ全域を覆っている。保護部７のうちインク導入口９を閉鎖する部分はメッシュ状（便宜的にクロスハッチングにて示す）に形成され、外部から供給されるインクを濾過して異物を捕捉するフィルタ部１０を構成している。このフィルタ部を保護板と別部品としたときには、フィルタ部を別途張り合わせる工程が必要となるとともに、フィルタ側が小型の部品となるため、位置ズレがおきたりハンドリングしにくくなったりし、インクジェットヘッドの組立作業が煩雑になるおそれがある。さらに、インクがフィルタ部を通過するときの圧力損失を小さくするためにはフィルタ部がなるべく薄く形成されていることが好ましく、フィルタ部のハンドリング性の確保とフィルタ部における圧力損失の低減とを両立することが困難となる。しかしながら、本実施形態のように、後から記述する電鋳法によって保護板６にフィルタ部１０を一体的に成形されているため、薄くかつ非常に微小の濾過孔を形成可能となり、部品点数が削減されるだけでなく、フィルタ部１０のハンドリングの困難性が解消されてインクジェットヘッド１の組立作業を簡便に行うことができるようになる。しかも、フィルタ部１０を備えた保護板６は平面視で比較的大型の部品となるため、薄くしてもハンドリング性が大きく損なわることはない。従って、ハンドリング性を十分に確保した上で圧力損失の少ないフィルタ部１０を提供することができる。
【００２３】
図３に示すように、キャビティユニット２は複数のキャビティプレート部材１１〜１６が上下に積層されて構成される。なお、このキャビティプレート部材１１〜１６には、上側から順に圧力室プレート部材１１、接続流路プレート部材１２、マニホールドプレート部材１３、ダンパープレート部材１４、カバープレート部材１５、及びノズルプレート部材１６が含まれている。なお、図３及び図４には、圧力室プレート部材１１及びマニホールドプレート部材１２がそれぞれ１枚のプレートにより構成される場合を例示しているが、これらプレート部材１１，１２を２枚以上のプレートによって構成してもよい。
【００２４】
各キャビティプレート部材１１〜１６には開口や溝が形成されており、上下に積層されることによってこれら開口や溝が連通してインクが流れるインク流路１７が形成される。前述のインク導入口９を通過したインクはインク流路１７に流入する。このインク流路１７には、ノズルプレート部材１６に形成されてキャビティユニット２の最下面をなすノズル開口面２ａに開口するノズル１８（図４参照）が連通しており、アクチュエータ３の動作に従ってインク流路１７内のインクがノズル１８より下方に吐出される。
【００２５】
本実施形態では、圧力室プレート部材１１、マニホールドプレート部材１３、ダンパープレート部材１４及びカバープレート部材１５は、平面視での外形形状が互いに同一の略矩形状である金属板からなる。ノズルプレート部材１６はポリイミド等の樹脂シートからなり、その平面視外形形状はこれら金属板と同一となっている。そして、前述した保護板６の延在部８が圧力室プレート部材１１の上面の外側の領域（ノズル配列方向に外側）においてＵ状に１８０度折り返され、圧力室プレート部材１１とマニホールドプレート部材１３との上下間に介在している。すなわち、この延在部８はキャビティユニット２を構成する接続流路プレート部材１２として機能しており、そのため延在部８にはインク流路１７を形成するための複数の開口が形成されている。
【００２６】
図４は図３のIV−IV線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１の部分断面図であり、以下、図３及び図４を参照してインク流路１７の構造と各キャビティプレート部材１１〜１６の構造について具体的に説明する。
【００２７】
図３及び図４を併せて参照すると、インク流路１７は、各インク導入口９に接続されたインク導入流路２１（図３参照）、インク導入流路２１に接続された共通インク室２２（図３及び図４参照）、共通インク室２２に接続された複数の絞り流路２３（図３及び図４参照）、各絞り流路２３に対応して設けられた複数の圧力室２４（図４参照）、及び各圧力室２４に対応して設けられた複数のディセンダ２５（図４参照）を有し、各ディセンダ２５には複数のノズル１８（図４参照）の各々が個別に対応して連通している。ここでは詳細な図示を省略するが、これら複数のノズル１８はノズル開口面２ａにおいて平面視矩形状のキャビティユニット２の一辺方向に配列されている。そして、共通インク室２２はこのノズル配列方向に沿って延在しており、複数の接続流路２３、複数の圧力室２４及び複数のディセンダ２５はそれぞれノズル配列方向に沿って配列されている。
【００２８】
また、インク導入口９は圧力室プレート部材１１に形成され、インク導入流路２１は圧力室プレート部材１１及び接続流路プレート部材１２を貫通して上下に延びるようにして形成され、共通インク室２２はマニホールドプレート部材１３に形成されている。各絞り流路２３は接続流路プレート部材１２に形成され、各圧力室２４は圧力室プレート部材１１に形成され、各ディセンダ２５は接続流路プレート部材１２からカバープレート部材１５までを貫通して上下に延びるようにして形成されている。つまり、キャビティユニット２の上面に開口するインク導入口９を通過したインクは、インク導入流路２１に沿って下方へと流れて共通インク室２２内に流入する。共通インク室２２内のインクは各絞り流路２３を上方へと流れて各圧力室２４内に流入し得る。各圧力室２４内のインクは各ディセンダ２５を介して下方に向けて流れ、圧力室２４と個別対応するノズル１８より下方に吐出され得る。
【００２９】
各プレート部材１１〜１６の形状とインク流路１７の構造との関係をより詳細に説明すると、圧力室プレート部材１１には、インク導入口９及びインク導入流路２１を形成するための孔１１ａ（図３参照）と、圧力室２４を形成するための複数の圧力室孔１１ｂ（図４参照）とが貫通形成され、貫通孔１１ａの上側開口がインク導入口９として機能している。圧力室孔１１ｂはノズル配列方向に配列されており、各圧力室２４は、圧力室孔１１ｂの下側開口が接続流路プレート部材１２で閉鎖され、上側開口が保護板６の保護部７で閉鎖されることによって構成されている。このように圧力室２４の上側には保護板６の保護部７を介してアクチュエータ３が重ねられている。アクチュエータ３が逆圧電効果を発揮して変形すると、圧力室２４の容積が変動して圧力室２４内のインクに吐出圧力が付与されるようになっており、このインクはディセンダ２５を介してノズル１８より下方に吐出されることとなる。
【００３０】
接続流路プレート部材１２（すなわち保護板６の延在部８）には、インク導入流路２１を形成するための孔１２ａ（図３参照）と、絞り流路２３を形成するための複数の孔１２ｂ（図３及び図４参照）と、ディセンダ２５を形成するための複数の孔１２ｃ（図３及び図４参照）とが貫通形成されている。孔１２ａは圧力室プレート部材１１の孔１１ａと上下に連通しており、孔１２ｂは延在部８をストレートに貫通している。孔１２ｂ，１２ｃはそれぞれノズル配列方向に配列され、そのうち孔１２ｂは圧力室孔１１ｂの下側開口の一端側端部と連通し、孔１２ｃはその他端側端部と連通している。これにより圧力室２４が接続流路２３及びディセンダ２５と連通する。
【００３１】
マニホールドプレート部材１３には、共通インク室２２を形成するためのマニホールド孔１３ａ（図３及び図４参照）と、ディセンダ２５を形成するための複数の孔１３ｂ（図４参照）とが形成され、この孔１３ｂは接続流路プレート１２の孔１２ｃのそれぞれと上下に連通している。共通インク室２２はマニホールド孔１３ａの上側開口が接続流路プレート１２で閉鎖され、下側開口がダンパープレート部材１４で閉鎖されることにより構成されている。マニホールド孔１３ａはノズル配列方向に延在しており、その上側開口のノズル配列方向一端部が接続流路プレート１２の孔１２ａと連通している。これによりインク導入流路２１が共通インク室２２と連通する。また、マニホールド孔１３ａの上側開口には接続流路プレート１２の複数の孔がそれぞれ連通しており、これにより共通インク室２２が各接続流路２３及びこれに繋がる圧力室２４と連通する。
【００３２】
ダンパープレート部材１４には、ディセンダ２５を形成するための複数の孔１４ａが形成されており、この孔１４ａはマニホールドプレート部材１３の孔１３ｂと連通している。また、ダンパープレート部材１４の下面には、マニホールド孔１３ａと平面視で重なる位置にハーフエッチング加工を用いて凹溝１４ｂが形成されており、この凹溝１４ｂの開口はカバープレート部材１５により閉鎖される。このため、共通インク室２２を区画する底壁は上下に弾性変形可能な薄肉のダンパー壁１４ｃを構成することとなる。
【００３３】
アクチュエータ３の変形動作時に圧力室２４内に伝播する圧力波には、ノズル１８側に向かう前進成分だけでなく共通インク室２２側に向かう後退成分も含まれる。このように共通インク室２２内に圧力波の後退成分が伝播してもダンパー壁１４ｃの弾性変形によりその圧力波を減衰可能となる。これにより、圧力波の後退成分が共通インク室２２を介して他の接続流路２３内に伝播し、この接続流路２３に対応する他のノズル１８よりインクが吐出されてしまう現象（所謂列内クロストーク現象）を抑制可能となる。
【００３４】
カバープレート部材１５には、ディセンダ２５を形成するための複数の孔１５ａが形成されており、この孔１５ａはダンパープレート部材１４の孔１４ａと上下に連通している。このように、ディセンダ２５は接続流路プレート部材１２からカバープレート部材１５までの各部材１２〜１５に形成された孔１２ｃ，１３ｂ，１４ａ，１５ａが順に上下に連通することによって構成される。ノズルプレート部材１６には、下方に向けて縮径するノズル１６ａが貫通形成されており、ノズル１６ａの上側開口がディセンダ２５の下流端をなすカバープレート部材１５の孔１５ａの下側開口に連通している。
【００３５】
前述したように本インクジェットヘッド１はアクチュエータ３の変形により圧力室２４の容積を変動させて圧力室２４内のインクをノズル１８より吐出する。例えば圧力室２４の容積を減少させることでインクをノズル１８より吐出させる場合、アクチュエータ３が元に戻る過程で圧力室２４の容積が再び増加する際に共通インク室２２内のインクが絞り流路２３を介して圧力室２４内に補給される。この一連のインクの流れを円滑に行わせるためには、圧力室２４に対して上流側である絞り流路２３の流路抵抗と、圧力室２４に対して下流側であるディセンダ２５の流路抵抗とがなるべく等しいことが好ましい。そして、アクチュエータ３に同じ駆動電圧を供給しても、この流路抵抗がどのような値に設定されるのかに応じてノズル１８のインク吐出特性は変化する。
【００３６】
ここで、本実施形態では、電鋳法を用いて薄肉に形成された保護板６の延在部８には、Ｕ字状に１８０度折り返されたときに圧力室２４と共通インク室２２とを連通する絞り流路２３となる貫通孔が形成されていて、接続流路プレート部材１２として機能しており、この延在部８は従来のように圧延成形後にエッチング法を用いて成形した接続流路プレート部材と比べて板厚を薄くすることができる。このため、キャビティユニット２を積層方向に小型化することができるだけでなく、上下に延びるディセンダ２５の流路長が短くなるため、流路断面積を拡大することなくディセンダ２５に設定すべき流路抵抗を小さくすることができる。このため、ディセンダ２５を形成するための孔の径を小型化しても従来の流路抵抗を維持することができ、また、孔の径を維持した場合にはより小さい吐出圧力で従来の所望量のインクを吐出可能となるためアクチュエータ３に供給する駆動電圧を小さくすることができる。
【００３７】
なお、電鋳法を用いて保護板６と一体化されたプレートを形成する場合、基材型表面に、時間と電圧の制御によって金属層が析出していくことで保護板６が形成されるため、薄くて一様の厚さの面部材を形成することができ、保護板６の形成に適している。また、振動板として機能させる上で必要となる可撓性を有するようにその板厚を薄くすることができる。そして、そのプレートに寸法精度を高くして孔を形形成することができる。すなわち、絞り流路２３を形成するにあたって、ディセンダ２５の流路抵抗と等しくなるような径の孔を精度よく形成可能となるため、絞り流路２３に設定される流路抵抗の個体差が小さくなり、各ノズル１８のインク吐出特性のバラツキを小さくすることができる。しかも、孔の径が数μｍ程度の非常に小さいものであっても寸法精度を高くして孔を形成可能となるため、絞り流路２３の流路長が実質的に延在部８の板厚分だけしか確保できないにしても、その流路断面積を極力絞ることによって絞り流路２３の流路抵抗をディセンダ２５の流路抵抗と等しくすることができるようになる。つまり、延在部８を接続流路プレート１２として機能させることで絞り流路２３の流路長も短くなるが、このことは絞り流路２３の流路抵抗をディセンダ２５と同等程度に確保する上では問題とならない。また、流路断面積を複雑な形状にしなくてもストレート形状の孔により設定した流路抵抗が得られた絞り流路を形成させることができる。
【００３８】
また、電鋳法は圧延成形されたプレートをエッチング加工する場合と比べて成形に要する時間及びコストが大きいが、保護板６の延在部８がこの接続流路プレート部材１２として機能するようにしている。このように本来の保護部として機能する部分と、キャビティプレートのうちの１つとして機能する部分とが一体となった電鋳部品を成形するようにしているため、これら２つの部分を単に別個の電鋳部品として成形する場合と比べ、成形に要する時間やコストを低減することができる。
【００３９】
また、圧延成形後にエッチング加工を施す場合には成形されるプレートの板厚を薄くするのに限界があったため、設定すべき流路抵抗を得るためには、接続流路プレートには絞り部としてハーフエッチング加工した凹溝がプレートの面方向に延びて形成され、この凹溝に対して共通インク室（または圧力室）に連通する貫通孔を備え、さらに接続流路プレートの上面には、凹溝の開口を覆うとともに、圧力室と連通する貫通孔を有した別のプレートを積層することによって設定すべき流路抵抗を有した絞り流路が形成されており、絞り流路の複雑化を招いている（図７参照）。本実施形態では、電鋳法にて接続流路プレート部材１２を形成することで、薄厚な１枚のプレート部材で必要とする流路抵抗を保持する孔１２ｂを形成すれば設定すべき流路抵抗をもった絞り流路２３を構成することができ、絞り流路２３の構造を簡単にすることができる。
【００４０】
本構成の保護板６と他の部材とを組み立てる手順は様々に変更可能である。例えば、圧力室プレート部材１１の上面に保護部７を接着し、圧力室プレート部材１１の外側へと延びる延在部８をＵ状に１８０度折り返して圧力室プレート部材１１の下面に接着し、延在部８とマニホールドプレート部材１３とを接着してもよい。このときにマニホールドプレート部材１３に既にダンパープレート部材１４が接着されていてもよいし接着されていなくてもよく、また、圧力室プレート部材１１の上面に保護部７を接着する段階において保護部７の片面にアクチュエータ３の下面が接着されていてもよいし接着されていなくてもよい。また、圧力室プレート部材１１の下面に延在部８を接着し、圧力室プレート部材１１の外側へと延びる保護部７をＵ状に１８０度折り返して圧力室プレート部材１１の上面に接着してもよい。延在部８とマニホールドプレート部材１３との接着は圧力室プレート部材１１との接着前に行ってもよいし接着後に行ってもよく、また、保護部７とアクチュエータ３との接着は圧力室プレート部材１１との接着前に行ってもよいし接着後に行ってもよい。以降に説明する他の実施形態においても、その詳細な説明は省略するが、保護板と他の部材とを組み立てる手順は様々に変更可能である。なお、Ｕ字状に折り返された保護板は図示しない位置合わせマークにより他のプレートと位置合わせして積層されている。
【００４１】
なお、図３においては保護板６を１８０度折り曲げることにより圧力室プレート部材１１の外側に形成されるＵ状の折り返し部６ａを残したままとした場合を例示しているが、この残した折り返し部６ａをアクチュエータ３のグランド電極として用いることも可能で、アクチュエータ３の表面上に形成された図示しないグランド電極とこの折り返し部６aとをＡｇペーストなどで塗布していてもよく、キャビティユニットが電荷を帯びてキャビティユニット内のインクが電荷を帯びてしまうことを防止することができる。また、インクジェットヘッド１全体の小型化のため、インクジェットプリンタに搭載する前の段階でこの折り返し部６ａを切除してもよい。このように折り返し部をグランド電極として用いたり切除したりしてもよいのは、以降に説明する他の実施形態においても同様である。
【００４２】
［第２実施形態］
図５は本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッド５１の断面図である。本実施形態はフィルタ部６０の配置が第１実施形態と相違している。その他の点では第１実施形態と共通しており、この共通点については第１実施形態と同一の符号を付して重複する詳細な説明を省略している。
【００４３】
図５に示すインクジェットヘッド５１のキャビティユニット５２の上面とアクチュエータ３の底面との間には保護板５６が介装されており、保護板５６の保護部５７がキャビティユニット２の上面に接着されている。保護部５７のうちインク導入口９を覆う部分には、インク導入口９に連通する貫通孔５７ａが形成されており、外部から供給されるインクはこの貫通孔５７ａ及びインク導入口９を通過してインク流路６７のインク導入流路７１に流入する。
【００４４】
本実施形態においても保護板５６の延在部５８は、保護部５７に対してノズル配列方向に延在するよう形成され、圧力室プレート部材１１の外側の領域において１８０度折り返されて圧力室プレート部材１１とマニホールドプレート部材１３との上下間に介在し、キャビティユニット５２の接続流路プレート部材６２として機能している。第１実施形態の延在部８（図３参照）には、インク導入流路７１を形成するための孔１２ａが形成されていたが、本実施形態の延在部５８にはこの孔１２ａに替えてメッシュ状のフィルタ部６０が形成されている。このためインク導入流路７１に流入したインクはフィルタ部６０において異物が除去された後に、共通インク室２２へと流入することとなる。このように外部からのインクは少なくとも共通インク室２２に流入する前の段階で濾過されればよく、本発明によればフィルタ部をキャビティユニット５２内に容易に配置することが可能となる。
【００４５】
［第３実施形態］
図６は本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド１０１の断面図、図７は図６のVII−VII線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１０１の部分断面図である。本実施形態は第１実施形態に対し、保護板の延在部によって構成されるキャビティプレート部材の種類が相違している。その他の点は第１実施形態と共通しており、この共通点については第１実施形態と同一の符号を付して重複する詳細な説明を省略している。
【００４６】
図６に示すインクジェットヘッド１０１のキャビティユニット１０２の上面とアクチュエータ３の底面との間には保護板１０６が介装され、保護板１０６の保護部１０７がキャビティユニット１０２の上面に接着されている。保護部１０７からは一体的に延在部１０８が連続してノズル配列方向に延びており、この延在部１０８は圧力室プレート部材１１の上面に対して外側の領域においてＵ状に１８０度折り返され、マニホールドプレート部材１３の直下に配されている。
【００４７】
図７に示すように、本実施形態のダンパープレート部材１１４は、このマニホールドプレート部材１３の直下に配された延在部１０８と、延在部１０８とカバープレート部材１５との上下間に介在する第２ダンパープレート１２６とにより構成された２層構造となっている。このため、マニホールド孔１３ａの下側開口はダンパープレート部材１１４の延在部１０８によって閉鎖されることとなる。なお、マニホールド孔１３ａの上側開口は後述する接続流路プレート部材１１２の第２接続流路プレート１２８で閉鎖される。
【００４８】
延在部１０８にはインク流路１１７のディセンダ１２５を構成する孔１１４ａが形成され、第２ダンパープレート１２６にはこの孔１１４ａと上下に連通してディセンダ１２５を共に構成する孔１２６ａが形成されている。延在部１０８の孔１１４ａはマニホールドプレート部材１３の孔１３ｂと上下に連通し、第２ダンパープレート部材１２６の孔１２６ａはカバープレート部材１５の孔１５ａと上下に連通している。
【００４９】
第２ダンパープレート部材１２６には、第１実施形態における凹溝１４ｂ（図４参照）と同様にして、マニホールド孔１３ａと平面視で重なる位置にノズル配列方向に延びる貫通孔１１４ｂが形成されている。この貫通孔１１４ｂの上側開口は延在部１０８で閉鎖され、下側開口はカバープレート部材１５で閉鎖される。これにより、延在部１０８はマニホールド孔１３ａを閉鎖する部分であり第２ダンパープレート１２６の貫通孔１１４ｂを閉鎖する部分において、上下に弾性変形可能なダンパー壁１１４ｃを構成する。このダンパー壁１１４ｃによって、第１実施形態と同様にして所謂クロストーク現象を抑制することができる。
【００５０】
このダンパー壁１１４ｃの板厚は保護板６の板厚と同じとなる。第１実施形態においては圧延成形されたプレートをエッチング法でハーフエッチング加工し、非貫通として残した壁部分をダンパー壁１４ｃとして機能させている。圧延法で成形した金属板をハーフエッチング加工して凹溝を形成するにあたっては、非貫通として残した部分にクラックや孔が形成されないようにするためにはこの非貫通の部分の板厚を概ね２０〜３０μｍ程度確保する必要があることが知られている。このダンパー壁としての機能の向上にはその板厚を薄くして可撓性を高めることが好ましい（例えば１５μｍ）が、ハーフエッチング加工では板厚を薄くする上で限界がある。本実施形態ではこのダンパー壁として機能する部分を電鋳部品としているため、その板厚をより薄くすることが可能である。他方、第２ダンパープレート１２６の板厚は第１実施形態の凹溝１４ｃの深さ寸法と同じにすることはできるため、延在部１０８及び第２ダンパープレート１２６を合わせた本実施形態のダンパープレート部材１１４の板厚は、第１実施形態のダンパープレート部材１４の板厚よりも薄くすることができ、キャビティユニット１０２を積層方向に小型化することができる。
【００５１】
また、ダンパー壁１１４ｃの板厚が薄くなるとダンパー壁１１４ｃの可撓性が向上するため、所謂クロストーク現象の抑制効果も高くなる。逆に、従来と同様のダンパー性能を維持するのであれば、ダンパー壁１１４ｃの面積を小さくすることができ、インクジェットヘッド全体を小型化したりノズル１８を高密度に配置するためのスペースを確保することができるようになる。
【００５２】
ところで、本実施形態の接続流路プレート部材１１２は、従来と同様にして圧延成形されたプレートにエッチング加工を施して成形された第１及び第２接続流路プレート部材１２７，１２８により構成された２層構造となっている。図６に示すように第１及び第２接続流路プレート１２７，１２８にはそれぞれ、圧力室プレート部材１１の孔１１と共にインク導入流路１２１を形成するための孔１２７ａ，１２８ａが形成されている。また、図７に示すように下側の第２接続流路プレート部材１２８にはマニホールド孔１３ａの上側開口に連通する孔１２８ｂと、上面に形成されて孔１２ａと連通する凹溝１２８ｃとが形成されており、上側の第１接続流路プレート部材１２７には凹溝１２８ｃの開口と圧力室孔１１ｂの下側開口とに連通する孔１２７ｂが貫通形成されている。これら孔１２８ｂ，１２７ｂ及び凹溝１２８ｃによってインク流路１２７の絞り流路１２３が形成されている。また、第１及び第２接続流路プレート１２７，１２８にはそれぞれディセンダ１２５を形成するための孔１２７ｃ，１２８ｄが形成されている。図４と図７とを併せて参照すると、第１実施形態のキャビティユニット２は、従来と比べて積層方向に小型化されていることがわかる。
【００５３】
［第４実施形態］
図８は本発明の第４実施形態のインクジェットヘッド１５１の断面図、図９は図８のIX−IX線に沿って切断して示すインクジェットヘッド１５１の部分断面図である。本実施形態は第１及び第３実施形態の各特徴とを包含しており、上記各実施形態との共通点については同一の符号を付して重複する説明を省略している。
【００５４】
図８に示すインクジェットヘッド１５１のキャビティユニット１５２の上面とアクチュエータ３の底面との間には保護板１５６が介装され、保護板１５６の保護部１５７がキャビティユニット１５２の上面に接着されている。保護部１５７からは一体的に延在部１５８が連続してノズル配列方向に延びている。
【００５５】
この延在部１５８は、圧力室プレート部材１１の上面に対しノズル配列方向の一方側の外側領域においてＵ状に１８０度折り返されて圧力室プレート部材１１とマニホールドプレート部材１３との上下間に介在している。更に延在部１５８は、これら部材１１，１３の上下間からノズル配列方向の他方側にはみ出し、この他方側の外側領域において再びＵ状に１８０度折り返されてマニホールドプレート部材１３の直下に配されている。
【００５６】
このように延在部１５８のうち圧力室プレート部材１１とマニホールドプレート部材１３との間に介在する部分１７９（以下「第１延在部」と呼ぶ）は接続流路プレート部材１６２として機能している。この第１延在部１７９には、第１実施形態と同様にインク流路１６７のインク導入流路２１や絞り流路２３をそれぞれ形成するための孔１２ａ，１２ｂが形成されている。つまり、ここでは保護板１５６の保護部１５７にメッシュ状のフィルタ部１０を一体的に形成する場合を例示しているが、接続流路プレート部材１６２として機能する第１延在部１７９に、第２実施形態と同様にして孔１２ａに替えてフィルタ部を形成してもよい。
【００５７】
延在部１５８のうちマニホールドプレート部材１３の直下に配された部分１８０（以下「第２延在部」と呼ぶ）の下側には、第３実施形態と同様の第２ダンパープレート１２６が配されており、本実施形態のダンパープレート部材１６４は第２延在部１８０及び第２ダンパープレート１２６からなる２層構造となっている。第２延在部１８０はマニホールドプレート部材１３のマニホールド孔１３ａ及びダンパープレート１２６の貫通孔１１４ｂに対応する部分において上下に弾性変形可能なダンパー壁１６４ｃを構成しており、第３実施形態と同様にして所謂クロストーク現象の抑制効果を高めることができる。なお、この第２延在部１８０には、第３実施形態の延在部１０８と同様にして、ディセンダ１７５を形成するための孔１１４ａが形成されている。
【００５８】
このように本実施形態においては、保護板１５６の延在部１５８が接続流路プレート部材１６２とダンパープレート部材１６４として機能している。このため、第１及び第３実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、キャビティユニット１５２を積層方向に更に小型化することができる。特に、ディセンダ１７５の流路長が第１及び第３実施形態のいずれと比べても短くすることができ、アクチュエータ３の駆動電圧をさらに小さくすることができるようになる。
【００５９】
なお、ここでは延在部１５８がノズル配列方向に帯状に延在するよう形成され、第１延在部１７９が延在部１５８のうち保護部１５７から見て近位側の部分であって、第２延在部１８０が延在部１５８のうち保護部１５７から見て遠位側の部分であり、延在部１５８がＳ字をなすよう２回折り返される場合を例示したが、第２延在部１８０を保護部１５７から見て近位側の部分として延在部１５８が６の字をなすよう２回折り返されるようにしてもよい。
【００６０】
［第５実施形態］
図１０は本発明の第５実施形態に係るインクジェットヘッド２０１の分解斜視図である。本実施形態は第１及び第３実施形態の各特徴を包含する点で第４実施形態と共通しているが、保護板の延在部の形状が第４実施形態と相違している。上記各実施形態との共通点については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００６１】
図１０に示すインクジェットヘッド２０１においては、保護板２０６が平面視Ｌ字状に形成されており、キャビティユニット２０２の上面に接着される保護部２０７と、保護部２０６から第１乃至第４実施形態と同様にしてノズル配列方向に延在する第１延在部２２９と、保護部２０６から第１延在部２２９と直交する方向に延在する第２延在部２３０とを有している。このように、第４実施形態の保護板１５６には保護部１５７から見て一方向（ノズル配列方向）に延在する長尺の延在部１５８が設けられているが、本実施形態の保護板２０６には保護部２０７から見て２つの異なる方向に延在する第１及び第２延在部２２９，２３０が設けられている。
【００６２】
図１１は図１０に示すインクジェットヘッド２０１を組み立てた状態にして示す斜視図である。図１１に示すように、第１延在部２２９は圧力室プレート部材１１の上面に対し、ノズル配列方向の一方側の外側領域においてＵ状に１８０度折り返されて圧力室プレート部材１１とマニホールドプレート部材１３との上下間に介在しており、第４実施形態の第１延在部１７９と同様にしてキャビティユニット２０２の接続流路プレート部材２１２として機能している。第２延在部２３０は圧力室プレート部材１１の上面に対しノズル配列方向と直交する方向の一方側の外側領域においてＵ状に１８０度折り返されてマニホールドプレート部材１３の直下に配されている。この第２延在部２８０の直下には第３及び第４実施形態と同様の第２ダンパープレート１２６が配されており、本実施形態のダンパープレート部材２１４はこれら第２延在部２８０及び第２ダンパープレート２２６からなる２層構造となっており、詳細図示を省略するが第２延在部２８０が第３，第４実施形態と同様にしてダンパー壁を構成している。この本実施形態においても、第４実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００６３】
なお、第１延在部２２９が保護部２０７からノズル配列方向に延在し、第２延在部２３０が保護部２０７からノズル配列方向と直交する方向に延在する場合を例示したが、第１及び第２延在部はその他の方向に延在していてもよい。すなわち、第１延在部が保護部から見てノズル配列方向の一方側に延在し、第２延在部が保護部から見てノズル配列方向の他方側に延在していてもよいし、第１延在部が保護部から見てノズル配列方向と直交する方向の一方側に延在し、第２延在部が保護部から見てこの直交方向の他方側に延在していてもよい。
【００６４】
また、ここではノズル配列方向に延在する第１延在部２２９を接続流路プレート部材として機能させ、ノズル配列方向と直交する方向に延在する第２延在部２３０をダンパープレート部材として機能させる場合を例示したが、この関係は逆でもよい。これは上記のように第１及び第２延在部の延在方向の変形例においても同様である。
【００６５】
これまで本発明の実施形態について説明したが、上記構成は本発明の範囲内で適宜変更可能である。例えば、第１乃至第４実施形態の延在部は保護部から見てノズル配列方向と直交する方向に延在していてもよい。
【００６６】
また、第１乃至第４実施形態において、保護板に保護部から見て一方向に延在する延在部を設けた場合を例示し、第５実施形態において、保護板に保護部から異なる２方向に延在する第１及び第２延在部を設けた場合を例示したが、保護板に保護部から見て異なる３方向又は４方向に延在する延在部を設けてもよい。このときには、各延在部を異なる３種類又は４種類のキャビティプレート部材として機能させることができるようになる。
【００６７】
また、本発明に係る液体吐出ヘッドは、インクジェットプリンタに搭載されてインクを吐出するインクジェットヘッドに限定されず、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置や、導電液を吐出して電気配線を形成する装置等に使用する液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドにも好適に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上のように本発明は、キャビティユニット、保護層及びアクチュエータを重ねて構成される液体吐出ヘッドの小型化や部品点数の削減に資するという優れた作用効果を奏するものであり、例えばインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッド等に適用すると有益である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドを組み立てた状態として示す平面図である。
【図３】図２のII−II線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの断面図である。
【図４】図３のIV−IV線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図７】図６のVII−VII線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図８】本発明の第４実施形態のインクジェットヘッドの断面図である。
【図９】図８のIX−IX線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図１１】図１０に示すインクジェットヘッドを組み立てた状態として示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  インクジェットヘッド
２  キャビティユニット
３  アクチュエータ
６  保護板
７  保護部
８  延在部
９  インク導入口
１０  フィルタ部
１１  圧力室プレート部材
１２  接続流路プレート部材
１３  マニホールドプレート部材
１４  ダンパープレート部材
１４ｃ  ダンパー壁
１５  カバープレート部材
１６  ノズルプレート部材
１７  インク流路
１８  ノズル
２１  インク導入流路
２２  共通インク室
２３  絞り流路
２４  圧力室
２５  ディセンダ
５１  インクジェットヘッド
５６  保護板
５７  保護部
５８  延在部
６０  フィルタ部
６７  インク流路
７１  インク導入流路
１０１  インクジェットヘッド
１０６  保護板
１０７  保護部
１０８  延在部
１１２  接続流路プレート部材
１１４  ダンパープレート部材
１１４ｃ  ダンパー壁
１１７  インク流路
１２５  ディセンダ
１２６  第２ダンパープレート
１５１  インクジェットヘッド
１５６  保護板
１５７  保護部
１５８  延在部
１６２  接続流路プレート部材
１６４  ダンパープレート部材
１６４ｃ  ダンパー壁
１６７  インク流路
１７５  ディセンダ
１７９  第１延在部
１８０  第２延在部
２０１  インクジェットヘッド
２０６  保護板
２０７  保護部
２１２  接続流路プレート部材
２１４  ダンパープレート部材
２２９  第１延在部
２３０  第２延在部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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