(57)【要約】【課題】  製造装置の制御情報の更新に有利な情報処理装置を提供する。【解決手段】  製造装置を制御するソフトウェア及びそれに付随するデータの少なくとも一方を含む制御情報を更新する情報処理装置は、前記製造装置に組み込まれた制御情報を新たな制御情報で更新する更新部と、前記製造装置の構成と制御情報との整合性を示す整合性情報と、前記製造装置に対して制御情報を組み込んだ結果を示す結果情報とに基づいて、前記更新部による更新で新たな制御情報が組み込まれる製造装置の構成と当該更新で組み込まれる新たな制御情報との間に整合性があるか否か第１の判定を行い、当該新たな制御情報が組み込まれた後に前記製造装置が正常に動作するか否か第２の判定を行い、それぞれの判定が否でなかった場合に、前記製造装置に組み込まれた制御情報を当該新たな制御情報で更新するように前記更新部に指令する判定部と、を有する。【選択図】図１
2010272829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置を制御するソフトウェア及びそれに付随するデータの少なくとも一方を含む制御情報を更新する情報処理装置であって、
前記製造装置に組み込まれた制御情報を新たな制御情報で更新する更新部と、
前記製造装置の構成と制御情報との整合性を示す整合性情報と、前記製造装置に対して制御情報を組み込んだ結果を示す結果情報とに基づいて、前記更新部による更新で新たな制御情報が組み込まれる製造装置の構成と当該更新で組み込まれる新たな制御情報との間に整合性があるか否か第１の判定を行い、当該新たな制御情報が組み込まれた後に前記製造装置が正常に動作するか否か第２の判定を行い、それぞれの判定が否でなかった場合に、前記製造装置に組み込まれた制御情報を当該新たな制御情報で更新するように前記更新部に指令する判定部と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
複数の製造装置それぞれについて、その構成と制御情報との整合性を示す整合性情報と、制御情報を組み込んだ結果を示す結果情報とを保持する保持部をさらに有し、
前記判定部は、前記保持部により保持された前記整合性情報と前記結果情報とに基づいて、前記第１の判定および前記第２の判定を行う、ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記更新部により制御情報の更新がなされた場合に、当該制御情報の更新がなされた後の製造装置が正常に動作するか否かをテストした結果を前記結果情報として蓄積する、ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記製造装置の構成は、前記製造装置を構成する複数のハードウェアをそれぞれ識別する複数の識別情報によって示される、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記識別情報は、対応するハードウェアの状態についての情報を含む、ことを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記整合性情報は、同一の製造装置に組み込まれうる複数のソフトウェアの間の整合性についての情報と、製造装置に組み込まれうるソフトウェアと製造装置を構成するハードウェアとの間の整合性についての情報との少なくとも一方を含む、こと特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記結果情報は、製造装置に対して制御情報を組み込んだ後における当該製造装置の運用履歴を示す情報を含み、
前記判定部は、前記運用履歴の情報を解析し、当該解析した結果に基づいて、前記第２の判定を行う、ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記判定部は、前記第１の判定および前記第２の判定の少なくとも一方が否であった場合に、当該少なくとも一方に関する情報を表示するとともに、前記製造装置に組み込まれた制御情報を前記新たな制御情報で強制的に更新するように指令する強制指令を受け入れ可能とするように前記更新部に指令する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項９】
パターンを基板に転写する製造装置であって、
請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の情報処理装置
を有することを特徴とする製造装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の製造装置を用いてパターンを基板に転写する工程と、
前記工程でパターンを転写された基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報処理装置、製造装置及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種製品を生産する為の製造装置は、各種製品の高性能化や高機能化に伴い、高性能化や高機能化が進んでいる。例えば、ICやLSI等の半導体装置や液晶パネル等の製造装置を例に述べると、これらの製品の微細化や高集積化に伴い、半導体装置等の生産に用いる露光装置も高精度化や高機能化が進んでいる。このような露光装置としては、ステッパやスキャナと呼ばれる装置を用いることが多い。これらの装置は、基板(例えば半導体ウエハ)をステップ移動しながら、原板(例えばレチクル)上に形成したパターンを基板の複数個所に順次転写していく。この転写を一括で行う装置をステッパと呼び、ステージをスキャンしながら転写する装置をスキャナと呼んでいる。近年においては、露光装置の重要な性能である重ね合わせ精度及びスループットの向上という２つの要求を満たすため、基板を保持する基板ステージを２つ搭載した露光装置が実用化されている。また、原板のパターンを投影する投影光学系と基板との間に液体を満たして転写を高解像度化した露光装置の開発も進んでいる。
【０００３】
この様に露光装置に代表される製造装置の高精度化や高機能化が進む中、製造装置の制御を行うソフトウェアも高精度化や高機能化の為に随時改良されている。この様なソフトウェアの改良は、新規に開発される装置だけで無く、既に稼動中の製造装置であっても適用可能な場合が多く、稼動中の製造装置のソフトウェアの更新（バージョンアップ）も頻繁に行われている。
【０００４】
従来の製造装置におけるソフトウェアの更新の一例として、露光装置のソフトウェアを更新する手順について図１８を用いて説明する。事前に露光装置のハードウェア構成や必要機能を調査して適用するソフトウェアのバージョンを決める（Ｓ４００１）。次に、必要となるソフトウェア及びそれに付随するデータを含む制御情報が格納されたメディアを準備する（Ｓ４００２）。事前にステップＳ４００１とステップＳ４００２を行った後、ステップＳ４００３でソフトウェア等の制御情報を更新する露光装置の露光処理を停止する。ここで、露光装置の設定場所の一例として、図１９を用いて半導体装置の製造場所である半導体装置製造工場又は事業所（以下、半導体装置製造工場７と呼ぶ）について簡単に説明する。半導体装置製造工場７はローカルエリアネットワーク等の第１通信網６を備え、製造工場の制御装置３で露光装置１やその他の製造装置２（加工装置等）のスケジューリング等を行っている。
【０００５】
ステップＳ４００３では、この制御装置３から該当する露光装置１への露光処理要求を止める事で該当露光装置１の露光処理を停止する。次にステップＳ４００４では露光装置１の制御情報を更新する。具体的にはオペレータがソフトウェア等の制御情報の入った光磁気ディスクやフロッピー（登録商標）ディスク等のメディアを露光装置１に挿入し、更新条件の設定や制御情報をコピーする等の操作をして実行する。（特許文献１参照）
ソフトウェアを更新した後に、露光装置１の制御部を起動し直す事で制御情報を反映する。最後に、ステップＳ４００５で制御情報を更新した後の露光装置１をテストし、ステップＳ４００５のテストで問題がなければステップＳ４００６で露光処理を開始する。
【０００６】
一方、インターネットやローカルエリアネットワーク等の通信網を用いて露光装置１のソフトウェア等の制御情報を更新する提案も行われている。例えば、図１９で説明した製造工場の制御装置３から半導体装置製造工場７の第１通信網６を介して露光装置１のソフトウェア等の制御情報を更新する。（特許文献２参照）
一例を示した様に、製造装置のソフトウェアの更新は、稼動中の装置であっても高精度化や高機能化が可能な方法であり、製造装置の生産性の向上に有効である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２９６３５２号公報
【特許文献２】特開２０００−１８８２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述した様に、ソフトウェアの更新による製造装置の高精度化や高機能化は稼動中装置の生産性の向上に有効である。このソフトウェアの更新においては、事前に露光装置のハードウェア構成や必要機能を調査して適用するソフトウェアのバージョンを決める必要がある（図１８のステップＳ４００１）。従来、この事前調査工程は、ソフトウェアの選択肢が少なかった事もあり、簡易な作業であった。しかし、近年、製造装置及びそれを制御するソフトウェアが複雑化しており、適用するソフトウェアの選択に時間がかかる様になっている。背景技術でも述べた様に各種製品の高性能化や高機能化に伴い、それを製造する製造装置も高性能化や高機能化が進んでいる。これに伴い、製造装置には多くのオプションが存在し、それに対応して多くのソフトウェアのバージョンが存在する。また、ソフトウェア自体も高機能化に伴い巨大化しており、複数のソフトウェアを組み合せて製造装置を制御する方法が主流となっている。このため、必要となるソフトウェアの数も増えている。例えば、製造装置の一例である露光装置においては、露光光をユーザの用途に合わせて選択するオプションや露光装置の設置場所に応じて基板を装置内に搬入する位置を選択するオプションがあり、それぞれに対応したソフトウェアが用意されている。また、ソフトウェア自体においても、ユーザの運用に合わせて制御方法を最適化する事により処理の高速化を計るオプションがある。この様に製造装置及びそれを制御するソフトウェアが複雑化する中で、バージョンアップを行う装置の構成を踏まえて、多くのソフトウェアに対して多くのバージョンから目的のバージョンを選択しなければならなくなってきている。また、この判断を間違うと、バージョンアップが出来ず、無駄に製造装置を停止する事になる。
【０００９】
一方、露光装置を始めとする製造装置は製品を製造するための生産設備であるため、終日停止する事無く使用するのが一般的である。このため、メンテナンス等、製造処理以外の使用時間であるダウンタイムはユーザの生産性に影響を与える。前記ソフトウェアの更新も長期的には生産性の向上に有効であるが、ソフトウェアの更新中は製造装置の処理を止めなければならため、一時的には生産性の低下となる。ここで、前述した様にバージョンアップすべきバージョンの判断を間違えると、その生産性の低下はより大きくなる。これらのことから、より簡易にかつ安全な方法でバージョンアップするソフトウェアのバージョンを選択することが求められていた。
【００１０】
本発明は、例えば、製造装置の制御情報の更新に有利な情報処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、製造装置を制御するソフトウェア及びそれに付随するデータの少なくとも一方を含む制御情報を更新する情報処理装置であって、前記製造装置に組み込まれた制御情報を新たな制御情報で更新する更新部と、前記製造装置の構成と制御情報との整合性を示す整合性情報と、前記製造装置に対して制御情報を組み込んだ結果を示す結果情報とに基づいて、前記更新部による更新で新たな制御情報が組み込まれる製造装置の構成と当該更新で組み込まれる新たな制御情報との間に整合性があるか否か第１の判定を行い、当該新たな制御情報が組み込まれた後に前記製造装置が正常に動作するか否か第２の判定を行い、それぞれの判定が否でなかった場合に、前記製造装置に組み込まれた制御情報を当該新たな制御情報で更新するように前記更新部に指令する判定部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、例えば、製造装置の制御情報の更新に有利な情報処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施例の製造システムの模式図
【図２】更新部の模式図
【図３】露光装置の模式図
【図４】露光装置制御部の模式図
【図５】装置構成情報リスト
【図６】判定部の模式図
【図７】整合性情報を示す図
【図８Ａ】整合性情報の一部を示す図
【図８Ｂ】整合性情報の一部を示す図
【図８Ｃ】整合性情報の一部を示す図
【図８Ｄ】整合性情報の一部を示す図
【図９Ａ】結果情報の一部を示す図
【図９Ｂ】結果情報の一部を示す図
【図９Ｃ】結果情報の一部を示す図
【図９Ｄ】結果情報の一部を示す図
【図１０】テスト結果を示すリスト
【図１１】露光部の模式図
【図１２】第１実施例における露光装置の制御情報を更新する方法のフローチャート
【図１３】第１実施例における整合性を確認する方法のフローチャート
【図１４】第１実施例における結果を確認する方法のフローチャート
【図１５】露光装置の制御情報を更新するときの操作画面例
【図１６】第２実施例における露光装置の制御情報を更新する方法のフローチャート
【図１７】第３実施例における製造システムの模式図
【図１８】露光装置の制御情報を更新する方法の従来例
【図１９】製造システムの従来例
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［第１実施例］
本発明に係る製造装置を制御するソフトウェア及びそれに付随するデータの少なくとも一方を含む制御情報を更新することが可能な情報処理装置の第１実施例について説明する。図１は製造装置としての露光装置を含む製造システムの模式図である。本実施例では、半導体装置の製造場所である工場又は事業所である半導体装置製造工場７に設置された製造システムについて説明する。半導体装置製造工場７には１つ以上の露光装置１とその他の製造装置２が配置されている。１つ以上の露光装置１とその他の製造装置２とは製造工場の制御装置３と半導体装置製造工場７のローカルエリアネットワーク等の第１通信網６で接続されている。制御装置３は、露光装置１、その他の製造装置２を制御して半導体装置の生産を行っている。
【００１５】
更新部４は、露光装置１を制御するソフトウェア及びそれに付随するパラメータ等のデータを含む制御情報（以降、これを単に「制御情報」と呼称する）を蓄積している。更新部４は、第１通信網６を介して１つ以上の露光装置１と接続されており、露光装置１に組み込まれた制御情報を新たな制御情報で更新（バージョンアップ）する。また、更新部４は、更に第１通信網６を介して判定部５と接続されている。更新部４と判定部５とは、制御情報を更新する情報処理装置を構成している。
【００１６】
判定部５は、更新部４から取得される制御情報のバージョン、及び露光装置１から取得される構成の情報を、予め保持している整合性情報と照合する事により、露光装置１の制御情報を更新してよいか否かについて第１の判定を行う。なお、整合性情報との照合に基づいて制御情報の更新の可否を判定する方法の詳細については、後述する。また判定部５は、更新部４から取得される制御情報のバージョン、及び露光装置１から取得される構成の情報を、あらかじめ保持している過去の結果情報と照合する。結果情報は、制御情報を更新する露光装置１又は当該露光装置１と同一のグループに属する他の露光装置１に対して制御情報を組み込んだ結果を示す情報である。この照合結果に基づき、判定部５は、露光装置１の制御情報の更新の可否について第２の判定を行う。なお、結果情報との照合に基づいて制御情報の更新の可否を判定する方法については、後述する。これにより、更新部４は、過去の結果も含めて判定部５が行った制御情報の更新の可否についての判定に基づいて更新を行う事ができる。本実施例では、判定部５が整合性情報及び結果情報を保持するが、判定部５とは別の保持部に整合性情報及び結果情報を保持させても構わない。
【００１７】
次に、更新部４について述べる。図２は更新部の一例の模式図である。更新部４は、第１制御部２０１、少なくとも１つ以上の第１通信部２０２、第１記憶部２０３、第１表示部２０４、第１操作部２０５、記録媒体読取部２０６を有している。一例として、第１制御部２０１は公知の計算機やボードコンピュータ、第１通信部２０２は公知の通信ボード、第１記憶部２０３は公知のハードディスク、第１表示部２０４は公知のモニタ、第１操作部２０５は公知のキーボード等で実現できる。また、記録媒体読取部２０６は公知の光磁気ディスク等の記録媒体読み書き装置で実現できる。第１記憶部２０３は制御情報を保持している。第１制御部２０１は、記録媒体読取部２０６に挿入される記録媒体に予め格納されている制御情報を、第１通信部２０２の１つを用いて露光装置１へ転送する事により、露光装置の制御情報を更新（バージョンアップ等）する事が出来る。尚、制御情報は予め記録媒体読取部２０６に挿入される記録媒体に格納されている必要はなく、第１通信部２０２のいずれかを用いて外部から制御情報を第１記憶部２０３に転送し、更にこれを露光装置１へ転送して制御情報の更新を実現してもよい。
【００１８】
次に、レチクルのパターンを介して基板を露光する露光装置１について述べる。図３は露光装置の一例の模式図である。露光装置１は１つ以上の第２通信部３０１、第２表示部３０２、露光装置制御部３０３、第２記憶部３０４、第２操作部３０５、露光部３０６を有している。一例として、第２表示部３０２は公知のモニタ、第２操作部３０５は公知のキーボード等で実現できる。露光装置制御部３０３は露光部３０６を制御し、後述する様に、主制御系制御部４０１を要として、制御系通信網４０２を介して少なくとも１つ以上接続される各ユニット制御部４０３を更に含む。露光装置制御部３０３は第２記憶部３０４に格納されている制御情報に従って露光部３０６を制御する。第２記憶部３０４の一例としては、外部記憶であるハードディスクであり、ハードディスクにはソフトウェアやデータベースシステムを用いてデータを保存している。第２通信部３０１の一例としては、公知の通信インターフェースボードであり、露光装置制御部３０３は第２通信部３０１を介して更新部４や判定部５等と通信を行う事が可能である。
【００１９】
次に、露光装置制御部３０３について図４を用いて説明する。露光装置制御部３０３は、主制御系制御部４０１、制御系通信網４０２、少なくとも１つ以上のユニット制御部４０３、少なくとも１つ以上のユニット４１０を有している。主制御系制御部４０１は、制御系通信網４０２を介して接続されるユニット制御部４０３を統括し集中制御し、一例として公知の計算機やボードコンピュータで実現できる。制御系通信網４０２は、例として主制御系制御部４０１及びユニット制御部４０３が備える公知の通信インターフェースボードを介して、主制御系制御部４０１により少なくとも１つ以上のユニット制御部と通信する。制御系通信網４０２として、広く普及した汎用の通信規格を採用する事も可能であるが、リアルタイム性といった制御系システムに特有な要件を満たすため、リアルタイム性を有した通信規格を採用するのが一般的である。
【００２０】
ユニット制御部４０３は、制御系通信網４０２を介した主制御系制御部４０１からの制御指令を解釈し、接続される少なくとも１つ以上のユニット４１０に対して制御指令に応じた制御を行う。ユニット制御部４０３は、ユニット制御プログラムを解釈するＣＰＵ４０８、ユニット制御プログラムやデータを一時格納するメモリ４０４、不揮発性が求められるユニット制御プログラムを格納するユニット制御プログラム格納部４０５を有している。更にユニット制御部４０３は、ユニット制御プログラムのバージョンを格納するユニット制御プログラムバージョン格納部４０７を有している。更にユニット制御部４０３は、ユニット制御部を構成するハードウェア変更時に更新される識別番号（以降、これを単に「ユニットＩＤ」と呼称する）を格納するユニットＩＤ格納部４０６を有している。更にユニット制御部４０３は、ユニットを制御するための制御ライン４０９を有している。ユニットＩＤは、ハードウェアの変更時に変更するとともに、ディップスイッチ等を用いてハードウェアの設定を変更した時やハードウェアの調整時にも変更する事でハードウェアの設定や調整履歴も含む事ができる。ユニット制御部４０３の一例として、統合型マイクロコンピュータＬＳＩと周辺回路を含む制御用ボードで実現できる。その場合、ＣＰＵ４０８は公知のマイクロコンピュータＬＳＩ内蔵ＣＰＵで実現される。メモリ４０４はマイクロコンピュータＬＳＩ内蔵メモリ又はマイクロコンピュータＬＳＩ外部バスに接続される公知の外部メモリで実現される。ユニット制御プログラム格納部４０５はマイクロコンピュータＬＳＩ内蔵プログラマブルＲＯＭあるいはマイクロコンピュータＬＳＩ外部バスに接続される公知の外部プログラマブルＲＯＭで実現される。ユニットＩＤ格納部４０６はマイクロコンピュータＬＳＩ内蔵プログラマブルＲＯＭあるいはマイクロコンピュータＬＳＩ外部バスに接続される公知の外部プログラマブルＲＯＭで実現される。ユニット制御プログラムバージョン格納部４０７はマイクロコンピュータＬＳＩ内蔵プログラマブルＲＯＭあるいはマイクロコンピュータＬＳＩ外部バスに接続される公知の外部プログラマブルＲＯＭで実現される。制御ライン４０９はマイクロコンピュータＬＳＩ内部コントローラ又はマイクロコンピュータＬＳＩ外部バスに接続される周辺コントローラによって入出力されるシリアル／パラレルポートなどで実現される。尚、ユニット制御プログラム格納部４０５及びユニットＩＤ格納部４０６及びユニット制御プログラムバージョン格納部４０７は、同一のプログラマブルＲＯＭでも個別のそれでもよい。ただし、ユニットＩＤ格納部４０６については、ユニット制御プログラム更新等でユニットＩＤが意図せず書き換えられる事を未然に防ぐため、個別のプログラマブルＲＯＭで実現される事が望ましい。また、ユニットＩＤ格納部４０６を備えないユニット４１０については、ユニットＩＤに相当する識別情報をユニット制御部４０３が備えるユニットＩＤ格納部４０６の一部に格納し、ユニット変更に同期してこれを書き換える事で代替してもよい。ユニット４１０は、ユニット制御部４０３の制御対象となる一連のセンサやアクチュエータなどを総称している（以降、これらを単に「ユニット」と呼称する）。ユニット４１０は、ユニット制御部４０３と同様にユニットＩＤ格納部４０６を有する事が出来る。
【００２１】
本発明を適用した露光装置制御部３０３は、制御情報の更新に付随する整合性情報の照合に必要な装置の構成の情報を収集する機能が提供される。ここで言う構成の情報とは、ユニット４１０が有するユニットＩＤ、ユニット制御部４０３が有するユニットＩＤ、ユニット制御部４０３が有するユニット制御プログラムのバージョンなどである（以降、これを単に「装置構成情報」と呼称する）。
【００２２】
まず、露光装置制御部３０３の起動直後又は主制御系制御部４０１から要求された時点において、各ユニット制御部４０３は制御ライン４０９を介してユニットＩＤを有するユニット４１０からユニットＩＤを読出す。次に、読み出したユニット名称とユニットＩＤが対を成す形でユニットＩＤリストを形成し、メモリ４０４に一時記憶する。更に、ユニット制御部自身のユニットＩＤをユニットＩＤ格納部４０６から読み出し、ユニットＩＤリストに含める事ができる。また、ユニットＩＤを持たないユニット４１０について、ユニット制御部４０３が備えるユニットＩＤ格納部４０６を代替している場合、ここからユニットＩＤを読み出しユニットＩＤリストに含める事ができる。また、主制御系制御部４０１は制御系通信網４０２を介して各ユニット制御部４０３からユニットＩＤリストを受信する。更に、主制御系制御部４０１は制御系通信網４０２を介して各ユニット制御部４０３からユニット制御プログラムのバージョンを受信する。最終的に主制御系制御部４０１は、各ユニット制御部４０３から取得したユニットＩＤリスト及びユニット制御プログラムのバージョンをユニット制御部４０３の名称と対を成す形で装置構成情報を構成する。更に、構成された装置構成情報を第２記憶部３０４に記憶する。
【００２３】
図５は前記装置構成情報のデータ構造を一例として表したものである。図５は装置構成情報を表形式で表したものであり装置構成情報リストと呼ぶ。図５の装置構成情報リストの作成、編集、参照は予め第２記憶部３０４に具備されている公知のリレーショナル・データ−ベース管理システム等を用いて行う事が出来る。図５に示した装置構成情報リストの第１列の「Unit Controller name」は、露光装置制御部３０３に構成される全ユニット制御部４０３の名称を列挙したものである。第２列の「Firmware version」は、第１列の名称に対応するユニット制御部４０３のユニット制御プログラムのバージョンを列挙したものである。第３列の「Unit name」は、第１列の名称に対応するユニット制御部４０３が制御するユニット４１０の名称を列挙したものである。第４列の「Unit-ID」は、第３列の名称に対応するユニット４１０が有するユニットＩＤを列挙したものである。ここで、第３列と第４列の２つの列は、ユニット名称とユニットＩＤが対を成す前記ユニットＩＤリストに相当する。
【００２４】
次に、判定部５について図６を用いて説明する。判定部５は、第３制御部５０１、１つ以上の第３通信部５０２、第３記憶部５０３、第３表示部５０４、第３操作部５０５を有している。第３制御部５０１は一例として公知の計算機やボードコンピュータで実現できる。第３通信部５０２は一例として公知の通信インターフェースボードで実現できる。第３記憶部５０３は一例として公知のハードディスクで実現できる。第３表示部５０４は一例として公知のモニタで実現できる。第３操作部５０５は一例として公知のキーボード等で実現できる。判定部５は、制御情報の更新に付随する整合性情報、及び過去に同じ制御情報の更新を行った事例におけるテストの結果や、運用後に定期的に取得される運用履歴などを結果情報として予め第３記憶部５０３に保持する。更に、判定部５は、整合性情報に基づいて整合性を確認する整合性確認プログラムと、結果情報に基づく確認を行う結果確認プログラムを第３記憶部５０３に保持する。
【００２５】
次に、整合性情報の詳細について述べる。整合性情報は以下の２つの情報を含んでいる。
１．露光装置が動作する上でのモジュール（後述）間における条件（バージョン又はユニットＩＤの組み合せ）である「依存関係」の有無を示す情報（後述するモジュール間依存関係リスト）。
２．依存関係の詳細を示す情報であり、モジュール間の各条件（バージョン又はユニットＩＤの各組み合せ）において、露光装置が動作可能である事を示す「相性」の有無を示す情報（後述する相性テーブル）。
ここで、上記モジュールをハードウェアモジュールとソフトウェアモジュールの２つに分けて説明する。ハードウェアモジュール及びソフトウェアモジュールは、ハードウェア及びソフトウェアを管理する単位である。ハードウェアモジュールは、ユニットＩＤを有するユニット４１０及びユニット制御部４０３である。ソフトウェアモジュールは、制御情報を機能毎に分割した単位であり、最小単位としては例えばファイルである。また、ソフトウェアモジュールは、更にサブモジュールとして複数のソフトウェアモジュールを包含し、より大きな単位で構成される事も可能である。また、「モジュール間」と呼称するものは、少なくとも１つ以上のハードウェアモジュールと少なくとも１つ以上のソフトウェアモジュール間、あるいは少なくとも２つ以上のソフトウェアモジュール間、の双方を指す。
【００２６】
図７と図８Ａ〜図８Ｄは前記整合性情報のデータ構造を一例として表したものである。図７はモジュール間の依存関係の有無を表形式で示すモジュール間の依存関係リストである。モジュール間の依存関係リストの作成、編集、参照は予め第３記憶部３０４に具備されている公知のリレーショナル・データ−ベース管理システム等を用いて行う事が出来る。図７は、全モジュール数分の列数／行数を有する表で構成され、行／列共に各モジュール用の領域が割り当てられている。ここで、図７の表において、列数をCmax、行数をRmax、i番目の行（以降、「i行」と呼称する）をRi、j番目の列（以降、「j列」と呼称する）をCj、i行j列のフィールドをRiCjで表す。i行に対応するモジュール（以降、「モジュールi」と呼称する）とj列に対応するモジュール（以降、「モジュールj」と呼称する）との間に依存関係が存在する場合、RiCjには依存関係の詳細を示す相性テーブルへのラベル「L:i-j」が設定される。依存関係が存在しない場合は「−」と表記している。また、図中の斜線を付した部分は重複した組み合せである為に表記を省略している事を示す。図７の例では、R1に割り当てられているユニット制御部「Unit Controller-A」と、C2に割り当てられているユニット「Unit-A1」との間に依存関係があり、対応する相性テーブルへのラベル「L:1-2」が設定される。同様に、R1に割り当てられているユニット制御部「Unit Controller-A」と、C3に割り当てられているユニット「Unit-A2」との間に依存関係があり、対応する相性テーブルへのラベル「L:1-3」が設定される。同様に、R1に割り当てられているユニット制御部「Unit Controller-A」と、C4に割り当てられているソフトウェアモジュール「Soft-1」との間に依存関係があり、対応する相性テーブルへのラベル「L:1-4」が設定される。同様に、R4に割り当てられているソフトウェアモジュール「Soft-1」と、C5に割り当てられているソフトウェアモジュール「Soft-2」との間に依存関係があり、対応する相性テーブルへのラベル「L:4-5」が設定される。図７のようにモジュール間の依存関係を表す場合、Ci＞Riの関係を満たす全てのフィールドによって、全モジュールの全ての組み合せにおけるモジュール間の依存関係の有無を網羅する事が可能である。
【００２７】
図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄは、依存関係を有するモジュール間において、依存関係の詳細を示した相性テーブルである。図８Ａ〜図８Ｄにおけるラベル「L:i-j」単位で相性テーブルが設定され、行にはモジュールiの各バージョン又はユニットＩＤが割り当てられ、列にはモジュールjの各バージョン又はユニットＩＤが割り当てる。対応するバージョン又はユニットＩＤのモジュールiと、対応するバージョン又はユニットＩＤのモジュールjが、露光装置が動作可能な組み合せであるか（相性）を各フィールドは示している。図８Ａ〜８Ｄでは露光装置が動作可能な組み合せ（相性有り）を〇、動作しない組み合せ（相性無し）を×として表している。本実施例において、図８Ａは上述した図７のラベル「L:1-2」によって参照される相性テーブルであり、R1に割り当てられている「Unit Controler-A」の全バージョンが「行」として列挙される。C2に割り当てられている「Unit-A1」の全ユニットIDが「列」として列挙される。また、双方の各バージョン及び各ユニットＩＤの組み合せにおける相性の有無が設定される。同様にして、図８Ｂは上述した図７のラベル「L:1-3」によって参照される相性テーブルである。図８Ｃは図７のラベル「L:1-4」によって参照される相性テーブルである。図８Ｄは図７のラベル「L:4-5」によって参照される相性テーブルである。整合性の確認プログラムとは、第３記憶部５０３に記憶されている整合性情報に基づき、露光装置１から取得した装置構成情報と、更新部４から取得した制御情報との整合性を照合し、更新可能か否かを判定する。また、ここで言う結果情報とは、更新しようとしている制御情報を過去に適用した事例におけるテスト結果、及び運用後に定期的に取得される運用履歴を指す。結果情報は、ソフトウェアモジュール毎にそのテスト結果や運用履歴をバージョン情報とセットで第３記憶部５０３に記憶する。更に結果情報は、モジュール間で依存関係を有する場合においては、その組み合せにおけるテスト結果や運用履歴を双方のバージョン（又はユニットＩＤ）及び整合性情報とセットで第３記憶部５０３に記憶される。
【００２８】
図９Ａ〜図９Ｄと図１０は前記結果情報のデータ構造を一例として表したものである。図９Ａ〜図９Ｄは依存関係を有するモジュールの組み合せにおける結果を表形式で表したモジュール間の結果リストであり、前述した図７の相性テーブルと同じ行／列で構成される。図９Ａは、依存関係を有する「Unit Controller-A」と「Unit-A1」とのラベル「L:1-2」によって参照される図８Ａの相性テーブルで、相性のある全てのバージョンの組み合せのテスト結果を格納したモジュール間の結果リストである。同様にして、図９Ｂは、ラベル「L:1-3」によって参照される図８Ｂの相性テーブルにおいて、相性のある全てのバージョンの組み合せにおけるテスト結果を格納したモジュール間の結果リストである。同様にして、図９Ｃは、ラベル「L:1-4」によって参照される図８Ｃの相性テーブルにおいて、相性のある全てのバージョンの組み合せにおけるテスト結果を格納したモジュール間の結果リストである。同様にして、図９Ｄは、ラベル「L:4-5」によって参照される図８Ｄの相性テーブルにおいて、相性のある全てのバージョンの組み合せにおけるテスト結果を格納したモジュール間の結果リストである。図９Ａ〜図９Ｄの各モジュール間の結果リストの各フィールドには、該当するバージョンのモジュールの組み合せにおけるテスト結果リストへのラベルが格納される。モジュール間の結果リストで、モジュールiのバージョン又はユニットＩＤがm行に、モジュールjのバージョン又はユニットＩＤがn行に存在する場合、この組み合せにのテスト結果はラベル「TST:i-j-m-n」によって参照される。一例を挙げると、図９Ｃはラベル「L:1-4」により参照される「Unit Controller-A」と「Soft-1」との各バージョンの組み合せにおけるテスト結果を表している。「Unit-Controller-A」のバージョンv1.01は第二行に相当し、「Soft-1」のバージョンv1.00は第一列に相当するため、このバージョンの組み合せにおけるテスト結果は、ラベル「TST:1-4-2-1」によって参照出来る。もちろん、相性のない組み合せにおける結果は存在しないため、該当フィールドは「×」と表記している。
【００２９】
図１０は、図９Ａ〜図９Ｄのテスト結果へのラベル「TST:i-j-m-n」によって参照されるテスト結果リストであり、列には日付情報、行には図９Ａ〜図９Ｄで参照するラベル「TST:i-j-m-n」が全て列挙される。各フィールドには、該当するバージョンのモジュールの組み合せにおけるテスト結果が記録され、新たな結果が出来る毎に日付情報である列が追加され、各フィールドにテスト結果が記録される。一例を挙げると、図１０の第２行はラベル「TST:1-2-1-1」であり、これは図９Ａから「Unit Contoller-A」のバージョンv1.00と「Unit-A1」のユニットID a1-20-10 の組み合せにおける結果である事が分かる。図１０のラベル「TST:1-2-1-1」から、テスト結果として2008/6/1にＯＫの結果であると確認する事ができる。また、各フィールドにはその日付に対応するテスト結果が存在すれば、テスト結果としてＯＫ又はＮＧが記録されるが、テスト未実施の場合は「−」と表記される。ところで、図９Ａ〜図９Ｄには存在しない末尾が０のラベル「TST:i-j-m-0」が図１０の行に構成されているのは、モジュールの組み合せにおける結果ではなく、モジュールi 単体のテスト結果を含めるための配慮である。例えば、図１０の第２行はラベル「TST:1-2-1-0」であるが、これは図９Ａから「Unit Controller-A」のバージョンv1.00単体のテスト結果を表している。結果確認プログラムとは、第３記憶部５０３に記憶されている結果情報に基づき全てのモジュール自体又は互いに依存関係を有する複数のモジュール間の組み合せにおいて過去に結果があるか否か確認し、更新可能か否かを判定する。これにより、制御情報を更新するときにおいて、整合性確認プログラムは、整合性情報との照合により整合性確認を行い、バージョンアップの可否について判定する事が可能となる。更に結果確認プログラムは、過去に同一の制御情報が適用された事例における結果を確認する事で、より確実にバージョンアップの可否について判定する事が可能となる。
【００３０】
以上が、更新部４、露光装置１、露光装置制御部３０３、判定部５についての説明である。これまで説明してきたように、露光装置制御部３０３に含まれるユニット制御部４０３は少なくとも１つ以上のユニット４１０からユニットＩＤを取得し、ユニットＩＤリストを形成してユニット制御プログラムのバージョンと共に保持する。露光装置制御部３０３に含まれる主制御系制御部４０１は少なくとも１つ以上のユニット制御部４０３からユニットＩＤリスト及びユニット制御プログラムのバージョンを取得し、整合性の確認に必要となる装置構成情報として第２記憶部３０４に記憶する。一方、判定部５は、モジュール間の整合性情報及び結果情報を予め第３記憶部５０３に保持している。更に判定部５は、露光装置制御部３０３から取得した装置構成情報と整合性情報を整合性確認プログラムによって照合する。更に判定部５は、過去の結果情報を結果確認プログラムによって照合する。これにより、確実にバージョンアップの可否について判定する事が可能となる。
【００３１】
次に、図３の露光部の一例として基板を保持する基板ステージを２つ搭載した露光装置１について説明する。図１１は露光装置１の模式図である。露光装置１は、計測ステーション６０１及び露光ステーション６０２を備えている。露光ステーション６０２は、レチクル６０３を支持するレチクルステージ６０４と、基板６０５（６０５aと６０５b）を支持する。更に露光ステーション６０２は、２つのステーション間で移動可能な２つの基板ステージ６０６（６０６aと６０６b）と２つの基板ステージ６０６を支持する天板６０７を有する。また、露光装置１は、レチクルステージ６０４に支持されているレチクル６０３を露光光で照明する照明光学系６０８と、露光光で照明されたレチクル６０３のパターンを基板ステージ６０６上の基板６０５aに投影露光する投影光学系６０９とを備える。なお、本実施例では基板ステージ６０６が２つ配設されているが、１つ又は２つ以上の基板ステージ６０６を有する露光装置であってもよい。ここでは、露光装置１として、レチクル６０３と基板６０５とを走査方向に互いに同期移動しつつレチクル６０３に形成されたパターンを基板６０５に露光する走査型露光装置（スキャナ）を使用する場合を例にして説明する。もちろん、露光装置１は一括転写型露光装置（ステッパ）でも構わない。以下の説明において、投影光学系６０９の光軸と一致する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向に垂直な平面内でレチクル６０３と基板６０５との同期移動方向（走査方向）をＹ軸方向、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向（非走査方向）をＸ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわり方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００３２】
レチクル６０３上の所定の照明領域は照明光学系６０８により均一な照度分布の露光光で照明される。照明光学系６０８から射出される露光光として、一般的に、水銀ランプ、ＫｒＦエキシマレーザ、ＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２レーザ、極端紫外光（Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ光）が使用されるが、これらの露光光に限らなくても構わない。レチクルステージ６０４は、レチクル６０３を支持し、投影光学系６０９の光軸に垂直な平面内、すなわちＸＹ平面内での２次元移動と、θＺ方向に微小回転とが可能である。レチクルステージ６０４はリニアモータ等のレチクルステージ駆動装置（不図示）により駆動され、レチクルステージ駆動装置は図３の露光装置制御部３０３により制御される。レチクルステージ６０４上にはミラーが設けられている。また、ミラーに対向する位置には不図示のレーザ干渉計が設けられている。レチクルステージ６０４上のレチクル６０３のＸＹ平面内での２次元方向の位置、及び回転角θＺはレーザ干渉計によりリアルタイムで計測され、計測結果は露光装置制御部３０３に出力される。露光装置制御部３０３はレーザ干渉計の計測結果に基づいてレチクルステージ駆動装置を駆動することでレチクルステージ６０４に支持されているレチクル６０３の位置決めを行う。投影光学系６０９は、レチクル６０３のパターンを所定の投影倍率βで基板６０５に投影露光するものであって、複数の光学素子で構成されており、これら光学素子は金属部材としての鏡筒で支持されている。本実施例において、投影光学系６０９は、投影倍率βが例えば１／４又は１／５の縮小投影系である。
【００３３】
各基板ステージ６０６は基板６０５を支持するものであって、基板６０５を基板チャックを通して保持するＺステージと、Ｚステージを支持するＸＹステージと、ＸＹステージを支持するベースとを備えている。基板ステージ６０６はリニアモータ等の基板ステージ駆動装置（不図示）により駆動される。基板ステージ駆動装置は露光装置制御部３０３により制御される。基板ステージ６０６上には基板ステージ６０６とともに移動するミラーが設けられている。また、ミラーに対向する位置には不図示のレーザ干渉計が設けられている。基板ステージ６０６のＸＹ方向の位置、及びθＺはレーザ干渉計によりリアルタイムで計測され、計測結果は露光装置制御部３０３に出力される。また、基板ステージ６０６のＺ方向の位置、及びθＸ、θＹについてはレーザ干渉計によりリアルタイムで計測され、計測結果は露光装置制御部３０３に出力される。レーザ干渉計の計測結果に基づいて基板ステージ駆動装置を通してＸＹＺステージを駆動することで基板６０５のＸＹＺ方向における位置を調整し、基板ステージ６０６に支持されている基板６０５の位置決めを行う。レチクルステージ６０４の近傍には、不図示のレチクルアライメント検出系が設けられている。レチクルアライメント検出系とは、レチクルステージ６０４上に配置されているレチクル基準マーク６１０と投影光学系６０９とを通して基板ステージ６０６上のステージ基準マーク６１１（６１１aと６１１b）を検出する。このレチクルアライメント検出系を用いてレチクル基準マーク６１０に対しステージ基準マーク６１１の位置合わせを行う。
【００３４】
また計測ステーション６０１は基板アライメント検出系６１３を備えている。基板アライメント検出系６１３は、基板６０５表面の位置情報（Ｚ軸方向における位置情報及び傾斜情報）を検出するフォーカス検出系６１２と、基板６０５とステージ基準マーク６１１の位置を検出するアライメント検出系である。フォーカス検出系６１２は検出光を基板６０５表面に投射する投射系とその基板６０５からの反射光を受光する受光系とを備えており、フォーカス検出系６１２の検出結果（計測値）は露光装置制御部３０３に出力される。露光装置制御部３０３は、フォーカス検出系６１２の検出結果に基づいてＺステージを駆動し、Ｚステージに保持されている基板６０５のＺ軸方向における位置（フォーカス位置）及び傾斜角を調整する。また、基板アライメント検出系６１３による基板６０５とステージ基準マーク６１１の位置検出の結果（計測値）は、レーザ干渉計により規定される座標内で、アライメント位置情報として、露光装置制御部３０３に出力される。ステージ基準マーク６１１は、基板６０５の表面とほぼ同じ高さに設置されており、図４に示すように、レチクルアライメント検出系と基板アライメント検出系６１３で位置を検出するのに用いる。また、ステージ基準マーク６１１は表面がほぼ平坦部分も有しており、フォーカス検出系６１２の基準面の役割も備えている。ステージ基準マーク６１１は基板ステージ６０６の複数のコーナーに配置されていてもよい。基板６０５は基板アライメント検出系６１３により検出される基板アライメントマークを備えている。この基板アライメントマークとは基板上の各ショット領域周辺に複数個備えられており、基板アライメントマークとショット領域の位置関係（ＸＹ方向）は既知であるとする。基板ステージを２つ搭載した露光装置１では、例えば露光ステーション６０２における基板ステージ６０６上の第１の基板６０５の露光処理中に、計測ステーション６０１における基板ステージ６０６上の第２の基板６０５の交換及び計測処理を行う。各々の作業が終了すると、露光ステーション６０２の基板ステージ６０６が計測ステーション６０１に移動し、それと並行して計測ステーション６０１の基板ステージ６０６が露光ステーション６０２に移動し、第２の基板６０５に対して露光処理が行われる。
【００３５】
次に、本実施例による露光方法を説明する。計測ステーション６０１への基板６０５の搬入後、ステージ基準マーク６１１を基板アライメント検出系６１３で検出する。このために、露光装置制御部３０３は基板アライメント検出系６１３の光軸がステージ基準マーク６１１上にあるようにレーザ干渉計の出力をモニタしつつ基板ステージ６０６を移動する。これにより、レーザ干渉計によって規定される座標系内で、基板アライメント検出系６１３でステージ基準マーク６１１の位置情報が計測される。同じく計測ステーション６０１にて、フォーカス検出系６１２によりステージ基準マーク６１１の表面の位置情報を検出する。
【００３６】
次に、基板６０５のショット領域の位置検出が行われる。露光装置制御部３０３は、基板アライメント検出系６１３の光軸が基板６０５の各ショット領域周辺にある基板アライメントマーク上を進むようにレーザ干渉計の出力をモニタしつつ基板ステージ６０６を移動する。その移動の途中で、基板アライメント検出系６１３は基板６０５のショット領域周辺に形成されている複数の基板アライメントマークを検出する。これにより、レーザ干渉計により規定される座標系内での各基板アライメントマークの位置が検出される。基板アライメント検出系６１３によるステージ基準マーク６１１と、各基板アライメントマークの検出結果より、ステージ基準マーク６１１と各基板アライメントマークとの位置関係が求められる。各基板アライメントマークと各ショット領域との位置関係はそれぞれ既知であるので、ＸＹ平面内でのステージ基準マーク６１１と基板６０５上の各ショット領域との位置関係もそれぞれ決定されたことになる。
【００３７】
次にフォーカス検出系６１２により、基板６０５上の全てのショット領域毎に基板６０５表面の位置情報の検出が行われる。検出結果はレーザ干渉計により規定される座標系内でＸＹ方向の位置を対応させ、露光装置制御部３０３に記憶される。フォーカス検出系６１２によるステージ基準マーク６１１表面の位置情報と基板６０５上の全てのショット領域表面の位置情報の検出結果より、ステージ基準マーク６１１表面と基板６０５上の各ショット領域表面との位置関係が決定されたことになる。次に計測ステーション６０１にて計測した基板６０５の計測処理をもとに、露光ステーション６０２にて露光を行う。露光装置制御部３０３は、レチクルアライメント検出系を用いてステージ基準マーク６１１を検出できるように基板ステージ６０６を移動する。
【００３８】
次に、レチクルアライメント検出系により、レチクル基準マーク６１０と投影光学系６０９を通してステージ基準マーク６１１の検出を行う。すなわち、レチクル基準マーク６１０とステージ基準マーク６１１とのＸＹ方向の関係、及びＺ方向の関係を投影光学系６０９を通して検出する。これにより投影光学系６０９を通して、投影光学系６０９が基板６０５上に投影するレチクルパターン像の位置がステージ基準マーク６１１を使って検出されたことになる。投影光学系６０９が形成するレチクルパターン像の位置検出が終了すると、露光装置制御部３０３は、基板６０５上の各ショット領域を露光するために、基板ステージ６０６を移動して投影光学系６０９下に基板６０５上のショット領域へ移動する。そして、計測ステーション６０１にて得られた各計測結果を使って、基板６０５上の各ショット領域を走査露光する。露光中は基板６０５上の各ショット領域とレチクル６０３との位置合わせを行う。この際、位置合わせは計測ステーション６０１で求めた基板基準マーク６１１と各ショット領域との位置関係及び露光ステーション６０２で求めたステージ基準マーク６１１とレチクルパターン像の投影位置関係に基いて行われる。また、走査露光中は、基板６０５表面と、投影光学系６０９によって投影されるレチクルパターン像面との位置関係が調整される。その調整は、計測ステーション６０１で求めたステージ基準マーク６１１表面と基板６０５表面との位置関係及び露光ステーション６０２で求めたステージ基準マーク６１１表面と投影光学系６０９が形成するレチクルパターン像面との位置関係に基づき行われる。
【００３９】
次に、今まで説明した露光装置を含むシステムにおける露光装置の制御情報を更新する方法を図１２に示すフローチャートを用いて説明する。尚、本例における事前調査、露光処理の停止、露光処理の開始は、図１８を用いて従来例で示した同名の工程と同じなので説明を省略し、図１２のフローチャートでは本発明を適用した制御情報の更新及びテストについてのみ示している。図１２のステップＳ１００１では、更新部４において、露光装置１の制御情報を更新するためのバージョンを操作者が選択する。この時、選択された制御情報に含まれるソフトウェアモジュールのバージョン一覧が第１通信部２０２を介して判定部５に送信される。ステップＳ１００２では、露光装置１において、制御情報の更新に付随する整合性の確認に必要な装置構成情報を取得する。上述の様に、露光装置制御部３０３に含まれるユニット制御部４０３は少なくとも１つ以上のユニット４１０からユニットＩＤを取得し、ユニットＩＤリストを形成してユニット制御プログラムバージョンと共に保持する。更に、露光装置制御部３０３に含まれる主制御系制御部４０１は少なくとも１つ以上のユニット制御部４０３からユニットＩＤリスト及びユニット制御プログラムのバージョンを取得し、整合性の確認に必要となる装置構成情報として第２記憶部３０４に記憶する。尚、前記装置構成情報のデータ構造は、露光装置制御部３０３の説明にある様に、図５で表される形式を成す。図１２のステップＳ１００３では、判定部５は第３通信部５０２を介して露光装置１から装置構成情報を取得する。更に、判定部５はモジュール間の整合性情報及び結果情報を第３記憶部５０３から取得する。ここで言う整合性情報とは、判定部５の上記説明にある様に、依存関係を有するモジュール間において、相性を有する双方のバージョン（又はユニットＩＤ）を対とした相性テーブルとして構成される。尚、前記整合性情報のデータ構造は、図７のモジュール間依存関係リストと図８Ａ〜図８Ｄの相性テーブルによって構成される。ここで言う結果情報とは、更新する制御情報を過去に適用した事例におけるテスト結果、及び運用後に定期的に取得される運用履歴を指す。結果情報は、ソフトウェアモジュール毎にそのテスト結果や運用履歴をバージョン又はユニットＩＤの情報とセットで第３記憶部５０３に記憶される。更に結果情報は、モジュール間において依存関係を有する場合は、その組み合せにおけるテスト結果や運用履歴を整合性情報とセットで第３記憶部５０３に記憶される。尚、前記結果情報のデータ構造は、図９Ａ〜図９Ｄのモジュール間結果リストと図１０のテスト結果リストによって構成される。
【００４０】
図１２のステップＳ１００４では、整合性確認プログラムによって、ステップＳ１００３で取得された整合性情報に基づき、ステップＳ１００２で取得された装置構成情報と、制御情報に含まれるソフトウェアモジュールのバージョン一覧の整合性を確認する。具体的には、モジュール間依存関係リストに基づき、モジュール依存関係がある全てのモジュール間の整合性について、それぞれ対応するバージョン又はユニットＩＤを装置構成情報とバージョン一覧から参照して確認する。
【００４１】
図１３は、図１２のステップＳ１００４における整合性を確認する工程のサブルーチンの流れを示すフローチャートである。まず、ステップＳ２００１〜Ｓ２００２において、モジュール間依存関係リストの参照行番号i、参照列番号jの値をそれぞれ「１」に初期化する。次に、ステップＳ２００３において、図７で表されるモジュール間依存関係リストのi行j列のフィールドを参照し、ラベル「L:i-j」の有無によりモジュールiとモジュールjとの間に依存関係があるか否かを確認する。ステップＳ２００３において、ラベル「L:i-j」が無い場合、つまり「依存関係なし」と判定した場合は、ステップＳ２００７にスキップする。ステップＳ２００３において、ラベル「L:i-j」がある場合、つまり「依存関係あり」と判定した場合は、ステップＳ２００５に進む。次に、ステップＳ２００５において、整合性確認プログラムは、更新選択した制御情報のバージョン一覧及び装置構成情報リストより、モジュールiとモジュールjのバージョンを取得する。そして、整合性確認プログラムは、図８Ａ〜８Ｄで表される相性テーブル「L:i-j」からモジュールiとモジュールjの相性の有無を確認する。具体的には、最初にモジュールiのバージョン又はユニットＩＤをバージョン一覧（更新するモジュールの場合）又は装置構成情報リストから参照する。同様にモジュールｊのバージョン又はユニットＩＤを参照する。最後に、相性バージョンモジュールテーブル「L:i-j」の列及び行の値がモジュールiとjのバージョン又はユニットＩＤであるフィールドの内容を参照する。ステップＳ２００５において、参照した値が〇だった場合、つまり「相性あり」と判定した場合は、ステップＳ２００７に進み、図７で表されるモジュール間依存関係リストの参照列番号jを「＋１」する。逆に、ステップＳ２００５において、参照した値が×だった場合、つまり相性なしと判定した場合は、ステップＳ２００６に進む。そして、相性なしと判定したモジュール名の対とそれぞれのバージョン又はユニットＩＤを保存した後ステップＳ２００７に進む。ステップＳ２００８において、参照列番号jが列数Cmaxを超えない場合はステップＳ２００３に戻り、参照列番号jが列番号Cmaxを超えた場合はステップＳ２００９に進む。ステップＳ２００９において、図７で表されるモジュール間依存関係リストの参照行番号iを「＋１」する。ステップＳ２０１０において、参照行番号iがRmaxを超えない場合はステップＳ２００２に戻り、ステップＳ２０１０において、参照行番号iがRmaxを超えた場合はステップＳ２０１１に進む。以上ステップＳ２００１〜Ｓ２０１０の処理により、全てのモジュールの組み合せにおいて依存関係有無のチェックを行う事が出来、依存関係がある全てのモジュールの組み合せにおいてバージョン又はユニットＩＤの相性をチェックする事が出来る。ステップＳ２００５において、１回でも「相性なし」と判定されステップＳ２００６が実行された場合、ステップＳ２０１３に進んで「整合性なし」と判定され、図１２のステップＳ１００４は「整合性なし」で終了する。ステップＳ２００５で、１回も「相性なし」と判定されず、ステップＳ２００６が実行されなかった場合は、ステップＳ２０１１に進み、整合性あり」と判定され、図１２のス���ップＳ１００４の整合性を確認する工程は「整合性あり」で終了する。次に、ステップＳ１００６において、結果確認プログラムは取得された結果情報を参照し、更新するソフトウェアモジュール全てにおいて過去に結果があるか否かを確認する。更に、モジュール間に依存関係がある場合はその組み合せにおいて過去に結果があるか否かを確認し、結果がある場合は「結果あり」と判定する。
【００４２】
図１４は、図１２のステップＳ１００６における結果を確認する工程の流れを示すフローチャートである。図１４で示されるように、まず、ステップＳ３００１〜Ｓ３００２において、モジュール間依存関係リストの参照行番号i、参照列番号jの値をそれぞれ「１」に初期化する。次に、ステップＳ３００３において、図９で表されるモジュール間結果リストを参照し、選択されたモジュールiのバージョン又はユニットＩＤに対応する行番号mと、選択されたモジュールjのバージョン又はユニットＩＤに対応する列番号nを検索する。ステップＳ３００４において、対応するフィールドからラベル「TST:i-j-m-n」を読み出す。ステップＳ３００５において、図１０テスト結果リストにおけるラベル「TST:i-j-m-0」の行を参照し、モジュールi単体の結果について列単位で日付毎に記録されたテスト結果を全てチェックする。「OK」のフィールドが少なくとも１つあれば「結果あり」と判定してステップＳ３００７に進む。逆に、「OK」のフィールドが１つもない場合は「結果なし」と判定してステップＳ３００６に進み、モジュール名とバージョン又はユニットＩＤを保存した後ステップＳ３００９にスキップする。ここで、結果判定の方針に従い、「NG」のフィールドが存在する場合に、「結果なし」と判定してもよい。次に、ステップＳ３００７では、図１０のテスト結果リストのラベル「TST:i-j-m-n」の行を参照し、モジュールiの選択されたバージョン又はユニットＩＤと、モジュールjの選択されたバージョン又はユニットＩＤとの組み合せにおける結果を確認する。図１０のテスト結果リストにおけるラベル「TST:i-j-m-n」の行を参照し、列単位で日付毎に記録されたテスト結果を全てチェックし、「OK」のフィールドが少なくとも１つあれば「結果あり」と判定してステップＳ３００９に進む。逆に、「OK」のフィールドが１つもない場合は「結果なし」と判定してステップＳ３００８に進み、結果なしと判定したモジュール名の対とそれぞれのバージョン又はユニットＩＤを保存した後ステップＳ３００９に進む。ここで、結果判定の方針に従い、「NG」のフィールドが存在する場合に、「結果なし」と判定してもよい。ステップＳ３００９において、図９で表されるモジュール間結果リストの参照列番号jを「＋１」する。ステップＳ３０１０において、参照列番号jが列数Cmaxを超えない場合はステップＳ３００３に戻り、参照列番号jが列番号Cmaxを超えた場合はステップＳ３０１１に進む。ステップＳ３０１１において、図９で表されるモジュール間結果リストの参照行番号iを「＋１」する。ステップＳ３０１２において、参照行番号iがRmaxを超えない場合はステップＳ３００２に戻り、ステップＳ３０１２において、参照行番号iがRmaxを超えた場合はステップＳ２０１３に進む。以上ステップＳ３００１〜Ｓ３０１２の処理により、依存関係がある全てのモジュールの組み合せにおいて結果の有無をチェックする事が出来る。ステップＳ３０１３で、１回でも「結果なし」と判定されステップＳ３００６又はＳ３００８が実行された場合は、ステップＳ３０１５に進み、結果確認は「結果なし」と判定され、図１２のステップＳ１００６の結果を確認する工程は「結果なし」で終了する。ステップＳ３０１３で、１回も「結果なし」と判定されず、ステップＳ３００６又はＳ３００８が実行されなかった場合、ステップＳ３０１４に進んで「結果あり」と判定され、図１２のステップＳ１００６は「結果あり」で終了する。
【００４３】
整合性を確認するステップＳ１００４で「整合性あり」でかつ結果を確認するステップＳ１００６で「結果あり」と判定された場合は、ステップＳ１００８の制御情報を更新する工程に進み、更新部４により選択された制御情報の更新を開始する。整合性を確認するステップＳ１００４で「整合性なし」と判定された場合は、ステップＳ１００５の整合性情報を表示する工程で整合性なしとの判定の基礎とされたモジュールの一覧を表示部に出力する。更に、相性リストから「整合性あり」を示す「〇」のフィールドを検索する事で、整合性があるバージョン又はユニットＩＤの組み合せを探す。整合性が満たされる別のバージョン又はユニットＩＤの組み合せが存在する場合は、そのバージョン及びユニットＩＤの組み合せ一覧を表示部に出力する。結果を確認するステップＳ１００６で「結果なし」と判定された場合は、ステップＳ１００７の結果情報を表示する工程で結果なしとの判定の基礎とされたモジュールのバージョン一覧を表示部に出力する。更に、テスト結果リストから「結果あり」を示す「ＯＫ」のフィールドを検索する事で、結果があるバージョン又はユニットＩＤの組み合せを探す。結果がある別のバージョン又はユニットＩＤの組み合せが存在する場合は、そのバージョン及びユニットＩＤの組み合せ一覧を表示部に出力する。また、判定部５は、制御情報を強制的に更新するように指令する強制指令を受け入れ可能とするように更新部４に指令する。したがって、作業者は、その第３表示部５０４の内容から、制限事項、その他影響範囲を承知の上で制御情報の更新を続行できると判定した場合、強制的に更新作業を続行する事も可能である。制御情報の更新が完了したら、ステップＳ１００９のテスト工程を経て全ての工程は終了となる。
【００４４】
図１５は制御情報を更新するときにおける判定部５の第３表示部５０４の表示例である。８０１は更新部４によって更新される制御情報のバージョンと、それに含まれる個々のソフトウェアモジュールの名称とバージョンの一覧を表示する領域である。８０２は整合性確認の結果、「整合性なし」と判定されたモジュールの名称、バージョン又はユニットＩＤ、及び整合性のある別のバージョン、を一覧表示する領域である。８０３は結果がないモジュール、又は結果がない複数のモジュールの組み合せについて、そのモジュールの名称、バージョン又はユニットＩＤ、及び結果のある別のバージョン一覧を表示する領域である。８０４は整合性及び結果についての付随情報を表示する領域で、操作者はこの情報に基づき制御情報の更新を中止して別のバージョンを適用するか、あるいは強制的に制御情報の更新を続行するか否かの判定を可能にさせる。
【００４５】
以上これまでに説明したように、本発明を適用した製造装置の一例である露光装置を含むシステム及び露光装置の制御情報を更新する方法では、制御情報の更新に付随する整合性を確認する。それと同時に、過去に結果があるか否かを更に確認する事で、より確実で安全なバージョンアップが可能となる。尚、上述の例では、制御情報の整合性情報を、２バージョン間の対の相性情報で構成しているが、それ以上の複数のバージョン間における相性情報を整合性情報に含め、整合性を判定する事も可能である。
【００４６】
［第２実施例］
製造装置の一例である露光装置を含むシステム及び露光装置の制御情報を更新する方法の第２実施例について説明する。尚、本実施例における露光装置のシステムについては、図１を用いて説明した第１実施例のそれと全く同一であるため説明を省略する。第２実施例における露光装置の更新方法について、図１６のフローチャートを用いて説明する。Ｓ１００１〜Ｓ１００５のバージョンを選択するステップ、装置構成情報を取得するステップ、整合性情報、結果情報を取得するステップ、整合性を確認するステップ、整合性情報を表示するステップは、第１実施例と同一なので説明を省略する。更に、Ｓ１００６〜Ｓ１００９の結果を確認するステップ、結果情報を表示するステップ、制御情報を更新するステップ、テストを行うステップについても第１実施例と同一であるため説明を省略する。図１６から明らかであるが、露光装置の更新方法において本実施例第１実施例と異なる点は、テストを行うステップＳ１００９の後に結果を記録するステップＳ１０１０が追加されている点である。本実施例によると、結果を記録するステップＳ１０１０では、判定部５は制御情報の更新後に実施されるステップＳ１００９のテスト結果を第３通信部５０２を介して受信し、これを結果情報として記憶する。ここで、新たな結果情報の記憶は、図１０のテスト結果リストに新たに行を追加し、対応するフィールドに結果が反映される事で実現される。尚、ステップＳ１００９後に取得されるテスト結果を予め保持することは、特に露光装置１や更新部４に限定されず、判定部５が第３通信部５０２を介して受信可能であれば判定部５でも可能である。
【００４７】
本実施例が第１実施例に対して優位な点について説明する。露光装置の第２の更新方法によると、制御情報の更新後に行われるテスト結果を結果情報として判定部５に記憶する事で、その後実施される別の露光装置の更新時における結果を確認するステップＳ１００６で、この結果情報に基づいて更新可否を判定できる。ここで、仮に結果を確認するステップＳ１００６において、「結果なし」と判定された状態で制御情報の更新を行い、結果を記録するステップＳ１０１０で正常なテスト結果を結果情報として記録出来たとする。その場合、その後実施される別の露光装置の更新時における結果を確認するステップＳ１００６で「結果あり」の判定を得る事ができ、過去の結果に基づいたより安全な制御情報の更新が可能となる。尚、図１６には図示していないが、制御情報を更新した後の露光装置の運用において、判定部５は第３通信部５０２を介して露光装置１から運用履歴を定期的に受信し、結果情報として記録してもよい。運用履歴を結果情報として記録する事により、より多くの結果を蓄積する事が可能となる。また、判定部５は、運用履歴を示す情報を解析し、当該解析した結果と他の結果情報とに基づいて更新後の露光装置１が正常に動作するか否かを判定することができる。
【００４８】
以上これまでに説明したように、本発明を適用した製造装置の一例である露光装置を含むシステム及び露光装置の更新方法では、制御情報の更新に付随する整合性を確認すると同時に、過去に結果があるか否かを更に確認する事ができる。また、露光装置の更新後に行われるテスト結果を結果情報として記録する事で、その後実施される別の露光装置の更新時にこの結果情報を更新可否の判定に用いる事が可能となる。これにより、より確実で安全なバージョンアップが可能となる。
【００４９】
［第３実施例］
露光装置を含むシステム及び露光装置の制御情報を更新する方法の第３実施例について図１７を用いて説明する。図１７は本発明を適用した露光装置を含む第２のシステムの模式図である。尚、本実施例における露光装置の更新方法については、図１２を用いて説明した第１実施例の更新方法、又は図１６を用いて説明した第２実施例の更新方法のいずれかを適用可能であるため、説明を省略する。また、本実施例の露光装置１、その他の製造装置２、製造工場の制御装置３、更新部４、判定部５、及び第１の通信網６は、図１を用いて説明した第１実施例と全く同一であるため説明を省略する。本実施例では、少なくとも１つ以上の半導体装置製造工場７は、第２の通信網８を介して半導体装置製造工場外に設置されている少なくとも１つ以上の第２判定部９と接続されている。ここで、第２判定部９と少なくとも１つ以上の判定部５は、第２の通信網８を介してと通信してお互いの整合性情報及び結果情報のデータを更新し、同じ整合性情報及び結果情報を共有している。これにより、複数の半導体装置製造工場７を跨って整合性情報及び結果情報を共有及び管理する事ができる。本来手作業で行っていたデータベースのメンテナンス負荷が軽減されるとともに、より多くの結果に基づく制御情報の更新可否について判定する事が可能となる。また、整合性情報と結果情報との保持を第２判定部９が行い、整合性情報と結果情報とに基づく判定を判定部５が行うように、判定部５と第２判定部９との機能を切り分けることが可能である。
【００５０】
以上これまでに説明したように、本発明を適用した製造装置の一例である露光装置を含むシステム及び露光装置の更新方法では、制御情報の更新に付随する整合性を確認すると同時に、過去に結果があるか否かを更に確認する事ができる。更に、複数の半導体装置製造工場間及び半導体装置製造工場外で整合性情報及び結果情報を共有する事で、より確実で安全なバージョンアップが可能となる。
【００５１】
次に、上述露光装置を備える製造システムを利用した半導体集積回路素子、液晶表示素子等のデバイス製造方法を例示的に説明する。
【００５２】
デバイスは、露光装置を用いてパターンを基板を転写する工程と、パターンを転写された基板を現像する工程と、現像された基板を加工する他の周知の工程とを経ることによって製造される。他の周知の工程は、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング工程などである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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