(57)【要約】【課題】カラーフィルタの色ムラを低減させる。【解決手段】基材上にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、吐出ヘッドから前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出して、前記基材に前記液状体を塗布する塗布工程を含み、前記塗布工程では、前記吐出ヘッドに配置された複数のノズルを複数のノズル群に区分けして、前記ノズル群に含まれるノズルから前記パターン膜領域に向けて前記液滴を吐出し、所定の吐出量の前記液状体を塗布する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、
吐出ヘッドから前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出して、前記基材に前記液状体を塗布する塗布工程を含み、
前記塗布工程では、
前記吐出ヘッドに配置された複数のノズルを複数のノズル群に区分けして、前記ノズル群に含まれるノズルから前記パターン膜の領域に向けて前記液滴を吐出し、所定の吐出量の前記液状体を塗布することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
連続して配置された複数のノズルを区分けすることを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記パターン膜領域の態様に応じて、前記複数のノズルを区分けすることを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程の前に、
前記ノズルから吐出される前記液滴の吐出量を調整する調整工程を行うことを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
前記吐出ヘッドと前記基材との相対的な走査方向に対して、前記ノズル群のノズル列の方向を傾けることを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
パターン膜領域内に納まる前記ノズル群のノズルの数が最大となるように、前記ノズル列の方向を傾けることを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
連続して配置されたパターン膜領域に納まる前記ノズル群のノズルの数が最大となるように、前記ノズル列の方向を傾けることを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記吐出ヘッドに配列された複数のノズル列のノズルから吐出される液滴の着弾するピッチが等しくなるように前記ノズル列の方向を傾けることを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
前記パターン膜領域に対して複数回に分けて前記ノズル群から液滴を吐出することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法によって製造されたパターン膜形成部材。
【請求項１１】
請求項１０に記載のパターン膜形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン膜形成部材、パターン膜形成部材の製造方法、電気光学装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法は、例えば、インクジェット法を用いて、ガラス基材に形成された区画部によって区画されたパターン膜領域（画素領域）に向けて、吐出ヘッドに設けられた複数のノズルからパターン膜の材料となる液状体を吐出し、パターン膜としての色素膜を形成する製造方法が知られている。このようなカラーフィルタの製造においては各画素或いは画素間の色ムラを低減させる必要がある。このため、各ノズルに対してヒートパルスの印加時間の調整することにより各ノズルから吐出される吐出量の均一化を図るとともに、吐出ヘッドの走査時における液滴の着弾位置を変えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８１３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、各ノズルから吐出される液滴の吐出量は、各ノズル毎に吐出量を調整しても僅かながらもバラツキが生じてしまう。そうすると、各画素領域における吐出量のバラツキによって、各画素間における色素膜の厚みにムラが生じ、色ムラが発生してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材上にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、吐出ヘッドから前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出して、前記基材に前記液状体を塗布する塗布工程を含み、前記塗布工程では、前記吐出ヘッドに配置された複数のノズルを複数のノズル群に区分けして、前記ノズル群に含まれるノズルから前記パターン膜の領域に向けて前記液滴を吐出し、所定の吐出量の前記液状体を塗布することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、吐出ヘッドに配置された複数のノズルをノズル群として区分けすることにより、各ノズル間に生じる吐出量のバラツキは、ノズル群内に吸収され、各ノズル群間における吐出量のバラツキが低減される。そして、ノズル群を一つのグループとして、各ノズル群のノズルから各パターン膜領域に液滴を吐出することにより、各パターン膜領域間の吐出量は、ほぼ等しくなる。従って、各パターン膜間におけるパターン膜の厚みは均一化され、色ムラ等を低減させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法では、連続して配置された複数のノズルを区分けすることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、各ノズル間の吐出量のバラツキを容易にノズル群内に吸収させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法では、前記パターン膜領域の態様に応じて、前記複数のノズルを区分けすることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、例えば、パターン膜領域の形状や寸法等に合わせてノズル群を規定することにより、パターン膜領域に対して効率良く液状体を塗布することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法では、前記塗布工程の前に、前記ノズルから吐出される前記液滴の吐出量を調整する調整工程を行うことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ノズル間の吐出量のバラツキが低減されるので、さらに、各パターン膜間におけるパターン膜の厚みは均一化され、色ムラ等を低減させることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記塗布工程では、前記吐出ヘッドと前記基材との相対的な走査方向に対して、前記ノズル群のノズル列の方向を傾けることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、ノズル列の方向を傾けることにより、基材に対する液滴の着弾ピッチが狭くなるので、微細なパターン膜を形成することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法では、パターン膜領域内に納まる前記ノズル群のノズルの数が最大となるように、前記ノズル列の方向を傾けることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、パターン膜領域に吐出できる範囲が広くなるので、効率良く液状体を塗布することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法では、連続して配置されたパターン膜領域に納まる前記ノズル群のノズルの数が最大となるように、前記ノズル列の方向を傾けることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、連続して配置されたパターン膜領域に対して一度に液状体を塗布することができるので、走査パス数を減らすことができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法では、前記吐出ヘッドに配列された複数のノズル列のノズルから吐出される液滴の着弾するピッチが等しくなるように前記ノズル列の方向を傾けることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、有効にノズルを使用することができる。
【００２２】
［適用例９］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記塗布工程では、前記パターン膜領域に対して複数回に分けて前記ノズル群から液滴を吐出することを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、例えば、１回の吐出毎に液滴の着弾位置を変えて液滴を吐出することにより、パターン膜領域に隅々まで液状体を付着させることができる。
【００２４】
［適用例１０］本適用例にかかるパターン膜形成部材は、上記のパターン膜形成部材の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００２５】
これによれば、パターン膜の膜厚が均一な高品位のパターン膜形成部材を提供することができる。この場合、パターン膜形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬの部材、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の部材等がこれに該当する。
【００２６】
［適用例１１］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン膜形成部材を備えたことを特徴とする。
【００２７】
このような電気光学装置によれば、信頼性の高いパターン膜形成部材を備えることができる。この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００２８】
［適用例１２］本記適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２９】
このような電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を搭載することができる。この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００３１】
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置を代表として説明する。インクジェット法を用いた液滴吐出装置は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００３２】
図１は、液滴吐出装置１の構成を示す斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され、ワークとしての基材７に液滴が塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１は直方体形状に形成された基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３３】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。なお、上記の往動又は復動駆動手段は、リニアモータ等、他の駆動手段を使用してもよい。
【００３４】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂに平行して主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００３５】
ステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面６に基材７を載置すると、基材チャック機構によって、その基材７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００３６】
基台２のＸ方向両側には一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂにはＸ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９のＸ方向の幅はステージ４のＸ方向よりも長く形成され、案内部材９の一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。
【００３７】
案内部材９の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００３８】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば、ステージ４が備える直動機構と同様の機構である。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をキャリッジ１２が備えるＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。このキャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、吐出ヘッド１４が凸設されている。
【００３９】
基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００４０】
保守ステージ１７の上には、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０が、配置してある。フラッシングユニット１８は、吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を吐出ヘッド１４から排除するため、吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。
【００４１】
キャッピングユニット１９は、吐出ヘッド１４に蓋をする装置である。吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【００４２】
ワイピングユニット２０は、吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、吐出ヘッド１４において、基材７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基材７とが接触して、基材７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基材７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【００４３】
保守ステージ１７が、案内レール１６ａ，１６ｂに沿って移動することにより、吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、によりヘッドクリーニング部２１を構成している。
【００４４】
保守用基台１５と基台２との間には、液滴重量測定装置２２が配置されている。液滴重量測定装置２２は、吐出ヘッド１４から吐出された液滴の重量（吐出量）を測定する装置である。液滴重量測定装置２２には、電子天秤が設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。
【００４５】
キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１、液滴重量測定装置２２、基材７と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。
【００４６】
図２は、液滴を吐出する吐出ヘッド１４の構造を示す要部断面図である。図２に示すように、吐出ヘッド１４は、ノズル３１を有するノズルプレート３０を備えている。ノズルプレート３０の一方面には機能液３３の流路が形成された流路形成基材３９が配置され、ノズルプレート３０と接着されている。流路形成基材３９には、ノズル３１と相対する位置にノズル３１と連通する圧力発生室３２が形成されている。
【００４７】
圧力発生室３２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、圧力発生室３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。
【００４８】
圧電素子３５には、各圧電素子３５を駆動するための信号を供給する回路基材３７が接続されている。そして、回路基材３７には、圧電素子３５の駆動を制御する駆動素子３８が接続されている。さらに、回路基材３７は、駆動信号を生成するための回路を含む配線基材（図示せず）に接続されている。
【００４９】
そして、圧力発生室３２に充填された機能液３３を液滴として吐出する際に、圧電素子３５および振動板３４の変形によって各圧力発生室３２の容積を変化させて所定のノズル３１から液滴３６を吐出させるようになっている。具体的には、圧電素子３５に駆動電圧を印加することにより圧電素子３５を収縮させる。これにより、振動板３４が圧電素子３５と共に変形されて圧力発生室３２の容積が広げられ、圧力発生室３２内に機能液３３が引き込まれる。そして、ノズル３１に至るまで内部に機能液３３を満たした後、配線基材を介して供給される記録信号に従い、圧電素子３５に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子３５が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板３４も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室３２の容積が収縮して圧力発生室３２内の圧力が高まりノズル３１から機能液３３が液滴３６として吐出される。
【００５０】
次に、以上述べた構成を制御する制御部４０の構成について説明する。図３は、制御部４０の構成を示すブロック図である。制御部４０は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。また、液滴重量測定装置２２が入出力インターフェース１３１を介してＣＰＵ１３２等に接続されている。
【００５１】
駆動部１４０は、ヘッドドライバ１４１、モータドライバ１４２、ポンプドライバ１４３及びメンテドライバ１４５から構成されている。モータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材７、キャリッジ１２の移動を制御する。さらに、メンテモータ８３を制御してメンテナンスユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ１４１は、吐出ヘッド１４からの液状体の吐出を制御し、モータドライバ１４２の制御と同調して、基材７上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバ１４３は、液状体の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、吐出ヘッド１４への供給を最適に制御する。メンテドライバ１４５は、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０およびフラッシングユニット１８を制御する。
【００５２】
（各ノズルの液滴吐出量について）
ここで、本発明で課題とする吐出ヘッド１４内の吐出量のバラツキについて説明する。図４（ａ）は、吐出ヘッド１４の吐出量のバラツキの例を表した模式図である。図中の曲線は、各ノズル３１の吐出量を示している。横軸は、吐出ヘッド１４に配列されたノズル３１を示している。具体的には、吐出ヘッド１４に配列された一方端に配置されたノズル３１から他方端のノズル３１を一列に示している。また、縦軸は、各ノズル３１から吐出される液滴３６の吐出量（吐出重量）を示している。
【００５３】
図４（ａ）に示す例では、一方端部及び他方端に配置されたノズル３１の吐出量が最も多く、次に吐出量が多いのがノズル列の中央部に配置されたノズル３１であり、一方端部及び他方端と中央部との間に配置されたノズル３１の吐出量が最も少ない傾向である。
【００５４】
このように、ノズル間に吐出量のバラツキが存在すると、例えば、カラーフィルタの製造においては色ムラの原因となる。そこで、ノズル３１間の吐出量のバラツキを低減するため、ノズル３１毎に吐出量の調整を行っている。例えば、各ノズル３１に対応する圧電素子３５に印加される駆動電圧を調整することによって、ノズル間の吐出量の均一化を図ることができる。なお、調整方法については後述する。
【００５５】
図４（ｂ）の示す例では、上記の調整方法に従って各ノズル３１の吐出量を調整した後の状態の例を表した模式図である。図４（ｂ）に示すように、吐出ヘッド１４の吐出量のバラツキは、同図（ａ）に比べ、およそ１／４程度抑えられている。しかしながら、わずかながらもノズル３１間における吐出量のバラツキが存在している。このため、依然として色ムラ等の不具合が生じるおそれがある。
【００５６】
そこで、以下に説明するように、本実施形態では、吐出ヘッド１４内に配置された複数のノズル３１を複数のノズル群Ｄ（Ｄ１〜Ｄｎ）としてグループ化し、ノズル群Ｄに各ノズル３１間の吐出量のバラツキを吸収させ、ノズル群Ｄ間における吐出量の均一化を行っている。
【００５７】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。図５（ａ），（ｂ）は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示すフローチャートである。
【００５８】
図５（ａ）に示すように、カラーフィルタの製造方法は、調整工程Ｓ１０、塗布工程Ｓ２０、固化工程Ｓ３０の順に行われる。以下、詳細に説明する。
【００５９】
ステップＳ１０は、調整工程である。調整工程では、ノズル３１から吐出される液滴３６の吐出量を調整する。吐出ヘッド１４内のノズル３１間の液滴吐出量のバラツキを低減させるためである。図５（ｂ）は、調整工程のフローチャートである。以下、調整工程について説明する。
【００６０】
まず、ステップＳ１０ａにおいて、各ノズル３１から液滴３６を吐出し、各ノズル３１における吐出量を計測する。具体的には、吐出ヘッド１４が液滴重量測定装置２２に対向する位置までキャリッジ１２を移動させ、吐出ヘッド１４の各ノズル３１から液滴３６を吐出させる。そして、吐出された液滴３６の重量は、液滴重量測定装置２２によって計測される。
【００６１】
次に、ステップＳ１０ｂにおいて、計測された吐出重量が所定量の範囲であるか否かを判断する。判断基準となる所定量は、予めＲＡＭ１３４等のメモリに格納されており、計測された吐出量と所定量とを比較する。そして、計測された吐出量が所定量である場合（ＹＥＳ）には、調整工程は終了（図５（ａ）ステップＳ２０に移行）し、計測された吐出量が所定量でない場合（ＮＯ）には、ステップＳ１０ｃに移行する。
【００６２】
ステップＳ１０ｃでは、ノズル３１毎に液滴３６の吐出量を調整する。具体的には、計測された吐出量に基づいて、対応するノズル３１に印加する駆動電圧を調整する。例えば、所定量に到達しない場合には、駆動電圧を高くする。また、所定量を超えた場合には、駆動電圧を低くする。こうして、吐出量調整が終了したら、ステップＳ１０ａに移行し、再度吐出量の計測を行う。そして、ステップＳ１０ｂにおいて所定量であると判断されれば、調整工程は終了し、図５（ａ）のステップＳ２０に移行する。
【００６３】
ステップＳ２０は、塗布工程である。塗布工程では、吐出ヘッド１４からパターン膜としての色素膜の材料となる液状体を液滴として吐出して、基材７に液状体を塗布する工程である。
【００６４】
まず、液状体を塗布する前に、吐出ヘッド１４に配置された複数のノズル３１を複数のノズル群Ｄ（Ｄ１〜Ｄｎ）に区分けする。区分け方法は、図４（ｂ）に示すように、連続して配置された複数のノズル３１を一のノズル群Ｄとして区分けする。また、ノズル群Ｄ（Ｄ１〜Ｄｎ）は、色素膜領域１０７の態様、例えば、形状や配置等に応じて区分けされる。
【００６５】
図６は、基材７に対する吐出ヘッド１４の配置位置を示す平面図である。吐出ヘッド１４は、基材７との相対的な走査方向（Ｙ方向）に対して、平行となる方向に傾けて配置されている。これに伴い、吐出ヘッド１４のノズル列ＮＬも走査方向（Ｙ方向）に対して、平行となる方向に傾けている。
【００６６】
走査方向（Ｙ方向）に対する傾き角度は、例えば、図７（ａ）に示すように、ノズル群Ｄに含まれるノズル３１の数が、色素膜領域１０７内に最大に納まるように角度を傾ける。この例では、一の色素膜領域１０７に１２個のノズルが対応するように傾けている。また、図７（ｂ）に示すように、連続して配置された色素膜領域１０７に、ノズル群Ｄに含まれるノズル３１の数が、色素膜領域１０７内に最大に納まる角度に傾ける。この例では、連続して配置された色素膜領域１０７のそれぞれに１２個のノズル３１が対応するように傾けている。なお、色素膜領域１０７間を区画する区画部に対応するノズル３１（ＮＤ）からは液滴は吐出されないように考慮され、各ノズル群Ｄが規定される。従って、先に説明したノズル群Ｄの区分けは、吐出ヘッド１４が配置された傾きと色素膜領域１０７の形状によって行われるとも言える。
【００６７】
ノズル群Ｄと吐出ヘッド１４の配置位置が確定したのち、ノズル群Ｄに含まれるノズル３１から色素膜領域１０７にむけて、所定量の液滴３６を吐出する。図８は、カラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００６８】
図８（ａ）に示すように、基材７上の区画部１０４によって区画された色素膜領域１０７に向けて、ノズル群Ｄのノズル３１から液滴３６を吐出して、基材７に液状体１０８ａを付着させる。本実施形態では、一の色素膜領域１０７に対して一のノズル群Ｄを対応させている。基材７は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部１０４は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用い、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成することができる。また、塗布工程の前に、色素膜領域１０７に親液処理を施してもよい。親液処理は、例えば、酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって行うことができる。このように親液処理を施すことにより塗布された液状体が濡れ広がり、色抜け等を防止することができる。
【００６９】
そして、図８（ｂ）に示すように、色素膜領域１０７に所定の液状体１０８ｂの量が塗布されるまで液滴３６を吐出する。所定の量に達したら液滴の吐出が終了し、ステップＳ３０に移行する。
【００７０】
ステップＳ３０は、固化工程である。塗布された液状体１０８ｂを一括乾燥処理して固化し、色素膜１０８を形成する。乾燥方法としては、液状体１０８ｂに含まれる溶媒を均一に蒸発させることが可能な減圧乾燥が好ましい。これによれば、より均一な膜厚を有する色素膜１０８を形成することができる。その後、必要に応じて、区画部１０４と色素膜１０８の上に保護膜を形成する。保護膜の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００７１】
以上、上記の製造方法によって、基材７と、基材７上に形成された区画部１０４によって区画された色素膜領域１０７に形成された色素膜１０８と、を備えたカラーフィルタ１１０が形成される。
【００７２】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図９は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００７３】
図９において、液晶ディスプレイ１２０は、カラーフィルタ１１０と、カラーフィルタ１１０に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１１０と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００７４】
カラーフィルタ１１０の保護膜１１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材７の色素膜１０８が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００７５】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００７６】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図１０は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図１０において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１２０が搭載されている。
【００７７】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００７８】
（１）吐出ヘッド１４に配置されたノズル３１を複数のノズル群Ｄに区分けした。これにより、ノズル間の吐出量のバラツキをノズル群Ｄによって吸収することができ、さらに、ノズル群Ｄ間における吐出量のバラツキを低減させることができる。従って、ノズル群Ｄを用いて色素膜領域１０７に液状体１０８ｂを塗布することにより、各色素膜１０８の厚みは均一化され、色ムラ等を低減させることができる。
【００７９】
（２）基材７との走査方向に対して、色素膜領域１０７内に納まるノズル３１の数が最大となるように吐出ヘッド１４を傾けた。従って、多くのノズル３１によって液滴３６を吐出できるので、パス数を減らすことができる。
【００８０】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００８１】
（変形例１）上記実施形態では、吐出ヘッド１４の全ノズル３１をノズル群Ｄに区分けしたが、これに限定されない。例えば、ステップＳ１０の調整工程において、吐出量が所定の吐出量に達しない場合には、所定の吐出量に達しないノズル３１以外のノズル３１のみからなるノズル群Ｄを規定してもよい。このようにすれば、吐出量のバラツキをさらに低減させることができる。
【００８２】
（変形例２）上記実施形態では、調整工程を実施したが、これを省略してもよい。このようにしても、ノズル群Ｄ間の吐出量のバラツキを低減することができる。
【００８３】
（変形例３）上記実施形態では、色素膜領域１０７の形状に対応して吐出ヘッド１４を傾けたが、図１１に示すように、隣接するノズル列ＮＬのノズル３１から吐出される液滴の着弾位置ＤＰのピッチが等しくなるように吐出ヘッド１４を傾けてもよい。このようにすれば、ノズル３１同士が干渉することなく、有効にノズル３１を使用することができる。
【００８４】
（変形例４）上記実施形態では、一の色素膜領域１０７に対して一のノズル群Ｄを使用して、一度に液状体１０８ｂを塗布したが、これに限定されない。色素膜領域１０７に対して複数回に分けてノズル群Ｄから液滴３６を吐出してもよい。例えば、図１２（ａ）に示すように、まず、ノズル群Ｄ１のうちの先の５個のノズル３１を使用して、一の色素膜領域１０７Ｒに液滴を吐出して、着弾位置ＤＰ１に液滴を塗布する。その後、Ｙ方向に吐出ヘッド１４と基材７とを相対移動させるともに、吐出ヘッド１４をＸ方向に移動させる。そして、ノズル群Ｄ１のうち先の５個のノズル３１を使用して、他の色素膜領域１０７Ｒに液滴を吐出するとともに、一の色素膜領域１０７Ｒに液滴を吐出して着弾位置ＤＰ２に液滴を塗布する。このようにして、色素膜領域１０７Ｒに液状体を塗布する。また、図１２（ｂ）に示すように、連続して配置された色素膜領域１０７においても、同様に、まず、ノズル群Ｄの一部のノズル３１を使用して液滴３６を吐出し、着弾位置ＤＰ１に付着させる。そして、走査方向（Ｘ，Ｙ方向）に移動させた後、他のノズル群Ｄの一部のノズル３１を使用して、液滴３６を着弾位置ＤＰ１に付着させる。このようにすれば、例えば、１回の吐出毎に液滴の着弾位置を変えて液滴を吐出することにより、色素膜領域１０７に隅々まで液状体１０８ｂを付着させることができる。この場合、走査方向（Ｙ方向）に対して垂直方向に、色素膜領域１０７の長辺方向が配置された場合に特に効果的である。
【００８５】
（変形例５）上記実施形態のカラーフィルタの製造方法において、ストライプ型の配列構成について説明したが、この構成に限定されない。ストライプ型のほか、デルタ型やモザイク型の配列構成であってもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【００８６】
（変形例６）上記の実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルタを例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】吐出ヘッドの構造を示す要部断面図。
【図３】液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図４】吐出量の傾向を説明する説明図。
【図５】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図６】吐出ヘッドの配置位置を示す平面図。
【図７】色素膜領域に対するノズル群の配置を示す平面図。
【図８】カラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図９】液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図１０】テレビ受像機の斜視図。
【図１１】変形例における色素膜領域に対するノズル群の配置を示す平面図。
【図１２】変形例における色素膜領域に対するノズル群の配置を示す平面図。
【符号の説明】
【００８８】
１…液滴吐出装置、７…基材、１４…吐出ヘッド、２２…液滴重量測定装置、３１…ノズル、３５…圧電素子、３６…液滴、１０７…色素膜領域、１０８…色素膜、１１０…パターン膜形成部材としてのカラーフィルタ、１２０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機、Ｄ（Ｄ１〜Ｄｎ）…ノズル群、ＮＬ…ノズル列、ＤＰ１，ＤＰ２…着弾位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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