(57)【要約】      （修正有）【課題】アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の３次元的な形状精度を短時間で正確に検査する。【解決手段】所定間隔を開けてそれぞれ対向配置した４組のレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の間に、被検査体を置き、被検査体の両切断端面の各隅部にレーザビームを照射し、各レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の検出信号に基づき、各測定ポイント毎に予め標準試料１に対して設定された基準位置からの変位を求める。レーザ変位計Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２から被検査体の側面及び底面にレーザビームを照射し、被検査体の標準試料１からの傾斜角度を求め、前記変位をこの傾斜角度によって補正し、実際の変位（実変位）を算出し、この実変位に基づいて被検査体の形状精度を検査する。３次元的な形状精度として、切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面の押出方向に対する直角度（Ｙ方向直角度及びＺ方向直角度）が検査される。【選択図】図７
2010237123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略矩形断面を有するアルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体を測定ジグの上に載せて形状精度を検査する検査方法において、前記測定ジグの面がＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系のＸ−Ｙ平面としたとき、標準試料を押出方向がＸ軸に平行、底面がＸ−Ｙ平面に平行、側面がＸ−Ｚ平面に平行になるように前記測定ジグの面上に位置決めし、所定間隔を開けてそれぞれ対向配置したレーザ変位計から前記標準試料の両切断端面のＮ（Ｎ：２以上の整数）組の測定ポイントにレーザビームを照射し、かつ基準面とする前記底面及び側面のＸ軸方向に沿ったそれぞれ複数の測定ポイントに他のレーザ変位計からレーザビームを照射し、各レーザ変位計の検出信号に基づき、各測定ポイント毎に基準位置を設定し、次に被検査体を前記測定ジグの上に載せ、前記各レーザ変位計から前記被検査体にレーザビームを照射し、前記各レーザ変位計の検出信号に基づき、前記被検査体について各測定ポイント毎に前記基準位置からの変位を求め、かつ底面及び側面における前記変位から、前記被検査体の底面及び側面の前記基準面からの傾斜角度を求め、前記両切断端面における変位と前記傾斜角度から、前記傾斜角度がゼロと仮定したときの両切断端面における変位を算出してこれを実変位とし、前記実変位に基づいて前記被検査体の形状精度を検査することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
Ｎ≧４であり、測定ポイントとして少なくとも各切断端面の４つの隅部近傍が設定されていることを特徴とする請求項１に記載された検査方法。
【請求項３】
両切断端面におけるＮ組の測定ポイント毎に、前記真の変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、切断長さの基準値と比較して公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項１又は２に記載された検査方法。
【請求項４】
両切断端面におけるＮ組の測定ポイント毎に、前記真の変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、その最大値Ｌmaxと最小値ＬminからΔＬ＝Ｌmax−Ｌminを両切断端面の平行度として算出し、このΔＬが平行度の公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項１又は２に記載された検査方法。
【請求項５】
各切断端面の隅部に設定された４つの測定ポイントを、Ｚ座標が同一又は近い２組の測定ポイントに分け、一方の組の２つの測定ポイントにおける真の変位差と、他方の組の２つの測定ポイントにおける真の変位差を算出し、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するＹ方向直角度として求め、このＹ方向直角度が公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項２に記載された検査方法。
【請求項６】
各切断端面の隅部に設定された４つの測定ポイントを、Ｙ座標が同一又は近い２組の測定ポイントに分け、一方の組の２つの測定ポイントにおける真の変位差と、他方の組の２つの測定ポイントにおける真の変位差を算出し、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するＺ方向直角度として求め、このＺ方向直角度が公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項２に記載された検査方法。
【請求項７】
標準試料の両切断端面にレーザビームを照射するレーザ変位計がスポットレーザ変位計であり、その照射光軸がＸ軸に平行に設定され、標準試料の両基準面にレーザビームを照射するレーザ変位計がスポットレーザ変位計であり、底面に対する照射光軸がＺ軸に平行に、側面に対する照射光軸がＹ軸に平行に設定されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載された検査方法。
【請求項８】
標準試料の両切断端面にレーザビームを照射するレーザ変位計が２次元レーザ変位計であり、その照射光軸が走査する平面がＸ−Ｚ平面に平行に設定され、標準試料の両基準面にレーザビームを照射するレーザ変位計が２次元レーザ変位計であり、底面に対する照射光軸が走査する平面がＸ−Ｙ平面に平行に、側面に対する照射光軸が走査する平面がＸ−Ｚ平面に平行に設定されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載された検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の形状精度を検査する検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車のＡＢＳ（アンチスキッド・ブレーキ・システム）のハウジング等は、アルミニウム合金鋳塊を押出加工した後、所定の寸法に切断して押出材半製品を得、これを必要に応じて鍛造した後、切削加工を行って最終製品に仕上げる。ＡＢＳのハウジング等は高い表面精度が要求されるため、押出材半製品の段階で押出材切断面を検査し、所定の形状精度を満たさないものは不良品として排除される。
【０００３】
形状精度を検査する方法として、従来から接触式計測方法が使用されている。これは切断面に接触式のセンサを走査させて切断面上のポイント毎の３次元位置を測定し、切断長さ、両切断端面の平行度、及び各切断端面の押出方向に対する垂直度等の形状精度を検査する方法である。しかし、接触式計測方法は、被検査体の表面上の測定点毎にセンサを走査させて位置を測定するため測定に時間がかかる。従って、生産工程で検査による時間ロスを生じさせないため、すなわち生産性を損なわないため、全数検査ではなくサンプリング検査が行われているが、不良品の検査としては十分でない。
一方、レーザ変位計を用いた非接触式計測方法も知られているが（特許文献１〜３参照）、前記のような形状精度を知るには、いずれにしても被検査体自体をレーザ変位計の前で移動させるかレーザ変位計を走査させる必要があり、測定に時間がかかる点は同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２５１９３７５号公報
【特許文献２】特開平５−９９６３６号公報
【特許文献３】特開平８−２３３３５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の形状精度を検査する場合における前記従来技術の問題点にかんがみてなされたもので、ごく短時間で被検査体の形状精度を検査できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、略矩形断面を有するアルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体を測定ジグの上に載せて形状精度を検査する検査方法において、前記測定ジグの面がＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系のＸ−Ｙ平面としたとき、標準試料を押出方向がＸ軸に平行、底面がＸ−Ｙ平面に平行、側面がＸ−Ｚ平面に平行になるように前記測定ジグの面上に位置決めし、所定間隔を開けてそれぞれ対向配置したレーザ変位計から前記標準試料の両切断端面のＮ（Ｎ：２以上の整数）組の測定ポイントにレーザビームを照射し、かつ基準面とする前記底面及び側面のＸ軸方向に沿ったそれぞれ複数の測定ポイントに他のレーザ変位計からレーザビームを照射し、各レーザ変位計の検出信号に基づき、各測定ポイント毎に基準位置（ゼロ点）を設定し、次に被検査体を前記測定ジグの上に載せ、前記各レーザ変位計から前記被検査体にレーザビームを照射し、前記各レーザ変位計の検出信号に基づき、前記被検査体について各測定ポイント毎に前記基準位置からの変位を求め、かつ底面及び側面における前記変位から、前記被検査体の底面及び側面の前記基準面からの傾斜角度を求め、前記両切断端面における変位と前記傾斜角度から、前記傾斜角度がゼロと仮定したときの両切断端面における変位を算出してこれを実変位とし、前記実変位に基づいて前記被検査体の形状精度を検査することを特徴とする。
本発明において、望ましくはＮ≧４であり、さらに測定ポイントとして少なくとも各切断端面の４つの隅部近傍が設定されることが望ましい。
【０００７】
本発明において、標準試料とは、断面が被検査体の断面形状と同じで、長さ方向（被検査体の押出方向に相当）両端の端面（被検査体の切断端面に相当）が長さ方向に対し正確に垂直で、両端面間の長さが被検査体の目標値と正確に一致する試料である。標準試料の代わりに、断面が被検査体の断面形状と同じで、両端の端面が長さ方向に対し正確に垂直で、両端面間の長さが標準試料とは異なるが既知の他の試料を用いて、標準試料に対応する基準位置を設定（補正が必要）することもできる。
本発明でいう略矩形断面には、矩形断面に近い形状、例えば上面（底面の反対側の面）に段差がある断面（Ｌ字形）など、矩形断面と同様の方法で形状精度が測定できる断面も含まれる。また、アルミニウム押出材には純アルミニウム及びアルミニウム合金が含まれる。
【０００８】
本発明でいう形状精度には、具体的には切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面の押出方向に対する直角度（Ｙ方向直角度、Ｚ方向直角度）が含まれる。
被検査体の切断長さの形状精度については、両切断端面におけるＮ組の測定ポイント毎に、前記実変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、切断長さの基準値と比較して公差範囲内であるかどうかを判定する。
両切断端面の平行度の形状精度については、両切断端面におけるＮ組の測定ポイント毎に、前記実変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、その最大値Ｌmaxと最小値ＬminからΔＬ＝Ｌmax−Ｌminを両切断端面の平行度として算出し、このΔＬが平行度の公差範囲内（平行度の基準値は０）であるかどうかを判定する。
【０００９】
Ｙ方向直角度の形状精度については、各切断端面の隅部に設定された４つの測定ポイントを、Ｚ座標が同一又は近い２組の測定ポイントに分け、一方の組の２つの測定ポイントにおける実変位の差（実変位差）と、他方の組の２つの測定ポイントにおける実変位の差（実変位差）を算出し、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するＹ方向直角度として求め、このＹ方向直角度が公差範囲内（Ｙ方向直角度の基準値はゼロ）であるかどうかを判定する。
また、Ｚ方向直角度の形状精度については、各切断端面の隅部に設定された４つの測定ポイントを、Ｙ座標が同一又は近い２組の測定ポイントに分け、一方の組の２つの測定ポイントにおける時変位の差（実変位差）と、他方の組の２つの測定ポイントにおける実変位の差（実変位差）を算出し、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するＺ方向直角度として求め、このＺ方向直角度が公差範囲内（Ｙ方向直角度の基準値はゼロ）であるかどうかを判定する。
【００１０】
上記検査方法において、標準試料の両切断端面にレーザビームを照射するレーザ変位計がスポットレーザ変位計の場合、その照射光軸をＸ軸に平行に設定し、また標準試料の両基準面にレーザビームを照射するレーザ変位計がスポットレーザ変位計の場合、底面に対する照射光軸をＺ軸に平行に、側面に対する照射光軸をＹ軸に平行に設定すればよい。
一方、標準試料の両切断端面にレーザビームを照射するレーザ変位計が２次元レーザ変位計の場合、その照射光軸が走査する平面をＸ−Ｚ平面に平行に設定し、標準試料の両基準面にレーザビームを照射するレーザ変位計が２次元レーザ変位計の場合、底面に対する照射光軸が走査する平面をＸ−Ｚ平面に平行に、側面に対する照射光軸が走査する平面をＸ−Ｙ平面に平行に設定する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、対向配置した複数組のレーザ変位計により、アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体における複数箇所の切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面の押出方向に対する直角度などの３次元的形状を正確に測定し、その形状精度を基準値と比較して公差範囲内かどうかを判定し、しかもこれをごく短時間に行うことができる。
検査工程が短時間で行えることから、例えば全数検査しても生産性が特に阻害されるようなこともなく、また、必要に応じて、検査結果に基づいて被検査体の良否判定を行い、直ちに良品と不良品を仕分けることもできるから、切断工程と検査工程、さらには鍛造、切削等の製品製造工程をインライン化することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】被検査物の切断端面の基準位置からの変位の意味について説明する図である。
【図２】参考例に係る検査装置の構成を示す斜視図である。
【図３】その平面図である。
【図４】同じく側面断面図である。
【図５】同じく正面断面図である。
【図６】参考例に係る検査方法における処理を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係る検査方法を説明する図である。
【図８】図７の平面図である。
【図９】図７の側面図（Ｙ方向に見た図）である。
【図１０】図７の断面図（測定ポイントｃ１，ｄ１，ｃ２，ｄ２での断面）である。
【図１１】傾斜角度の説明図（測定ポイントｅ１，ｅ２を通るＸ−Ｙ平面に平行な断面）である。
【図１２】本発明例に係る他の検査方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
まず図１を参照して、本発明に係る検査方法のベースになる考え方について説明する。
被検査体の形状精度の検査に先立ち、図１（ａ）に示すように、各レーザ変位計のキャリブレーション（基準位置の設定）が行われる。なお、図１（ａ）において、レーザ変位計２，３のレーザビーム（スポットレーザ）の照射光軸は互いに平行で、標準試料１は押出方向（長さ方向）が前記照射光軸に平行になるように位置決めされる。
図１（ａ）に示すように、標準試料１の長さをＬ０、対向配置されたレーザ変位計２，３から標準試料１の端面までの距離をα０，β０、レーザ変位計２，３間の距離をＷとしたとき、次式が成立する。
Ｗ＝Ｌ０＋（α０＋β０）・・・（１）
【００１４】
次に図１（ｂ）に示すように、被検査体４を押出方向が前記照射光軸に平行になるように位置決めし、前記レーザ変位計２，３からレーザビームを照射して、被検査体４の両切断端面の各測定ポイント毎に、各基準位置（ゼロ点）からの変位を測定する。
被検査体４の長さをＬ、被検査体４の端面までの距離をα，βとしたとき、次式が成立する。
Ｗ＝Ｌ＋（α＋β）・・・（２）
（１）、（２）式より、次式が成立する。
Ｌ＝Ｌ０−｛（α−α０）＋（β−β０）｝・・・（３）
【００１５】
（α−α０）と（β−β０）は、それぞれ標準試料１に対して設定された基準位置からの変位であるから、これをそれぞれΔα，Δβとすると、次式のようになる。
Ｌ＝Ｌ０−（Δα＋Δβ）・・・（４）
このように、標準試料１に対して設定された基準位置からの変位Δα，Δβに基づいて、被検査体４の押出方向に沿った長さ（切断長さ）を算出することができる。被検査体４の両切断端面にＮ（Ｎ：２以上の整数）組の測定ポイントを設定する場合、被検査体４の断面のＮ組の測定ポイントにおいて切断長さを算出することになる。
続いて算出した切断長さＬを基準値Ｌ０と比較し、当該被検査体４の切断長さＬが予め設定した公差範囲内であるかどうかを判定する。
【００１６】
続いて、図２〜６に基づいて、本発明に係る検査方法のベースになる考え方について、さらに具体的に説明する。
図２は、断面矩形のアルミニウム合金押出材を押出方向に垂直に所定長さに切断した被検査体の形状精度を検査する方法及び装置を説明するもので、４組（計８個）のレーザ変位計Ａ１−Ａ２，Ｂ１−Ｂ２，Ｃ１−Ｃ２，Ｄ１−Ｄ２が，被検査体４の長さより所定間隔長い距離を置いて対向配置され、いずれもレーザビームの照射光軸はＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系のＸ軸に平行に設定され、対向配置された（同じ組の）レーザ変位計（例えばＡ１とＡ２）はいずれもレーザビームの照射光軸がそれぞれ一直線上になるように設定されている。また、各レーザ変位計の測定ポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２は、位置決めされた被検査体４の切断端面の各隅部に位置し、かつ各切断端面の測定ポイントａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１、及びａ２，ｂ２，ｃ２，ｄ２を仮に線分でつなぐと矩形となるように位置設定されている。
【００１７】
図３〜図５に示すように、対向配置されたレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１とレーザ変位計Ａ２〜Ｄ２の間に、被検査体４を載置する水平面（Ｘ−Ｙ平面）を有する測定ジグ５が配置され、その一端に前記レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の照射光軸に平行な位置決め面（Ｘ−Ｚ平面）を有する位置決め部材６が設置され、その反対側に位置決め部材６に向けて進退する当接部材（プッシャー）７が設置されている。この当接部材７は、前進して被検査体４を押し、被検査体４の側面を位置決め部材６に当接させて、被検査体４の押出方向がレーザビームの照射光軸（Ｘ軸）と平行になるように位置決めする機能を有する。レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２はいずれも先に述べたように予め標準試料を用いてキャリブレーションされ、各々基準位置（ゼロ点）が設定されている。
【００１８】
図示しない手段により測定ジグ５上に被検査体４が載置されると、当接部材７が前進して被検査体４の側面を位置決め部材６の位置決め面に当接させ、ここでレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２から両切断端面４ａ，４ｂにレーザビームが照射され、検出信号が制御装置８（図２参照）に送られ、その検出信号に基づき、各測定ポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２毎に前記基準位置からの変位が求められ、さらにこの変位に基づいて被検査体４の形状精度が算出及び検査され、続いて当接部材７が後退し、図示しない手段により被検査体４が定盤５上から排出される。なお、図３〜５において９はレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１及びレーザ変位計Ａ２〜Ｄ２を設置した共通のフレームである。
【００１９】
前記制御装置８による一連の制御手順の例について、図６のフローチャート及び図２を参照して説明する。
被検査体４の位置決め後、ステップ１において、レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２から両切断端面４ａ，４ｂにレーザビームを照射し、それぞれの検出信号に基づき、各測定ポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２毎に基準位置からの変位（それぞれΔａ１，Δａ２，Δｂ１，Δｂ２，Δｃ１，Δｃ２，Δｄ１，Δｄ２とする）を求める。ステップ２において、対向配置されたレーザ変位計に対応する４組の測定ポイント（ａ１とａ２，ｂ１とｂ２，ｃ１とｃ２，ｄ１とｄ２）毎に、求めた変位（Δａ１とΔａ２，Δｂ１とΔｂ２，Δｃ１とΔｃ２，Δｄ１とΔｄ２）から切断長さを算出する。切断長さは４つ算出される。
【００２０】
ステップ３において、算出した切断長さを基準長さと比較し、切断長さが予め設定した公差範囲内かどうかを判定する。ＮＯと判定したとき、ステップ１０においてこの被検査体を不良品と判定し、ステップ１１において排出指令を出し、製品製造工程に供給することなくライン外に排出する。なお、ステップ３における判定の仕方として、例えば算出した４つの切断長さ毎に基準長さと比較し、あるいは４つの切断長さの平均値をとって基準長さと比較するなど、具体的な比較の仕方は適宜設定できる。
ステップ３においてＹＥＳのとき、ステップ４において、算出した切断長さに基づいて両切断端面の平行度を算出する。具体的には、切断長さの最大値Ｌmaxと最小値ＬminからΔＬ＝Ｌmax−Ｌminを両切断端面の平行度として算出する。ステップ５において、算出した平行度ΔＬが予め設定した公差範囲内であるかどうかを判定する。ＮＯと判定したとき、ステップ１０においてこの被検査体を不良品と判定し、ステップ１１において排出指令を出し、製品製造工程に供給することなくライン外に排出する。
【００２１】
ステップ５においてＹＥＳのとき、ステップ６において、各切断端面４ａ，４ｂのＹ方向直角度を算出する。なお、図２に示すＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系において、Ｙ方向はＸ軸に直角で測定ジグ５の面に平行な方向である。
切断端面４ａのＹ方向直角度は、切断端面４ａに設定された４つの測定ポイントａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１を、Ｚ座標が同一の２組の測定ポイント（ａ１とｃ１，ｂ１とｄ１）に分け、ａ１とｃ１の組で測定された変位Δａ１，Δｃ１の差（変位差＝｜Δａ１−Δｃ１｜）と、ｂ１とｄ１の組で測定された変位Δｂ１，Δｄ１の差（変位差＝｜Δｂ１−Δｄ１｜）を算出し、いずれか大きい方として求められる。一方、切断端面４ｂのＹ方向直角度は、切断端面４ｂに設定された４つの測定ポイントａ２，ｂ２，ｃ２，ｄ２を、Ｚ座標が同一の２組の測定ポイント（ａ２とｃ２，ｂ２とｄ２）に分け、ａ２とｃ２の組で測定された変位Δａ２，Δｃ２の差（変位差＝｜Δａ２−Δｃ２｜）と、ｂ２とｄ２の組で測定された変位Δｂ２，Δｄ２の差（変位差＝｜Δｂ２−Δｄ２｜）を算出し、いずれか大きい方として求められる。
【００２２】
ステップ７において、算出した各切断端面４ａ，４ｂのＹ方向直角度がそれぞれ予め設定した公差範囲内であるかどうかを判定する。ＮＯと判定したとき、ステップ１０においてこの被検査体を不良品と判定し、ステップ１１において排出指令を出し、製品製造工程に供給することなくライン外に排出する。
ステップ７においてＹＥＳのとき、ステップ８において、各切断端面４ａ，４ｂのＺ方向直角度を算出する。なお、図２に示すＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系において、Ｚ方向はＸ軸に直角で位置決め部材６の位置決め面に平行な方向である。
【００２３】
切断端面４ａのＺ方向直角度は、切断端面４ａに設定された４つの測定ポイントａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１を、Ｙ座標が同一の２組の測定ポイント（ａ１とｂ１，ｃ１とｄ１）に分け、ａ１とｂ１の組で測定された変位Δａ１，Δｂ１の差（変位差＝｜Δａ１−Δｂ１｜）と、ｃ１とｄ１の組で測定された変位Δｃ１，Δｄ１の差（変位差＝｜Δｃ１−Δｄ１｜）を算出し、いずれか大きい方として求められる。一方、切断端面４ｂのＺ方向直角度は、切断端面４ｂに設定された４つの測定ポイントａ２，ｂ２，ｃ２，ｄ２を、Ｙ座標が同一の２組の測定ポイント（ａ２とｂ２，ｃ２とｄ２）に分け、ａ２とｂ２の組で測定された変位Δａ２，Δｂ２の差（変位差＝｜Δａ２−Δｂ２｜）と、ｃ２とｄ２の組で測定された変位Δｃ２，Δｄ２の差（変位差＝｜Δｃ２−Δｄ２｜）を算出し、いずれか大きい方として求められる。
【００２４】
ステップ９において、算出した各切断端面４ａ，４ｂのＺ方向直角度がそれぞれ予め設定した公差範囲内であるかどうかを判定する。ＮＯと判定したとき、ステップ１０においてこの被検査体を不良品と判定し、ステップ１１において排出指令を出し、製品製造工程に供給することなくライン外に排出する。
ステップ９においてＹＥＳと判定したとき、この被検査体４はステップ１２において良品と判定し、ステップ１３において製品製造工程に供給する。
なお、各被検査体毎にスタートからエンドまでの制御が行われる。また、この検査方法では、切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面のＹ方向垂直度及びＺ方向垂直度の全てについて形状精度を算出し、その３次元的形状精度が予め設定した公差の範囲内かどうかを判定したが、これらの一部のみについて算出及び判定することもできる。
【００２５】
図２〜６によって説明した検査方法は、標準試料１及び被検査体４ともに、押出方向がＸ軸に平行、かつ底面がＸ−Ｙ平面に平行になるように位置決めされることを前提としている。しかし、被検査体４の場合、このように位置決めしても、切断端面に生じるばり等の影響で押出方向がＸ軸に正確に平行にならなかったり、底面がＸ−Ｙ平面から傾斜する場合があり、また検査工程をさらに短縮するために位置決め工程を省いた場合には、押出方向は一般にＸ軸に平行にならない。
以下、図７〜図１２を参照して、被検査体の押出方向がＸ軸に正確に平行でない場合、及び／又は底面がＸ−Ｙ平面に平行でない場合でも、同様に被検査体の形状精度の検査が可能な検査方法（本発明）について説明する。
【００２６】
図７において、標準試料１は長さ方向両端面（切断端面）１ａ，１ｂ、側面１ｃ，１ｄ、上面１ｅ、底面１ｆからなり、上面に段差がある略矩形断面（Ｌ字形）を有し、被検査体も同じ断面形状を有する。図２のものと同じく、標準試料１を載置する水平面（Ｘ−Ｙ平面）を有する図示しない測定ジグが設置され、照射光軸がＸ軸に平行とされた各４個のレ−ザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２（照射光軸のみ示す）が、切断端面１ａ側及び１ｂ側にそれぞれ対向配置されている。それぞれの測定ポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２は、切断端面１ａ，１ｂの隅部に設定されている。
また、側面１ｃ側に照射光軸がＹ軸に平行とされたレーザ変位計Ｅ１，Ｅ２（照射光軸のみ示す）がＸ軸方向に所定間隔を置いて設置され、底面４ｆ側に照射光軸がＺ軸に平行とされた図示しないレーザ変位計Ｆ１，Ｆ２（照射光軸のみ示す）がＸ軸方向に所定間隔を置いて設置されている。それぞれの測定ポイントが、ｅ１，ｅ２，ｆ１，ｆ２で示されている。
【００２７】
レーザ変位計Ａ１とＢ１，Ｃ１とＤ１，Ａ２とＢ２，Ｃ２とＤ２のそれぞれの照射光軸のＹ座標は同一に設定され、レーザ変位計Ｅ１とＥ２の照射光軸のＺ座標及びレーザ変位計Ｆ１とＦ２の照射光軸のＹ座標も同一に設定されている。また、図８〜１０に示すように、レーザ変位計Ａ１，Ｃ１の照射光軸の間隔Ｌ１（レーザ変位計Ｂ１，Ｄ１の照射光軸の間隔も同じ）とレーザ変位計Ａ２，Ｃ２の照射光軸の間隔Ｌ２（レーザ変位計Ｂ２，Ｄ２の照射光軸の間隔も同じ）が同一（Ｌ１＝Ｌ２）に設定され、レーザ変位計Ａ１，Ｂ１の照射光軸の間隔Ｌ３とレーザ変位計Ａ２，Ｂ２の照射光軸の間隔Ｌ４が同一（Ｌ３＝Ｌ４）に設定され、レーザ変位計Ｃ１，Ｄ１の照射光軸の間隔Ｌ５とレーザ変位計Ｃ２，Ｄ２の照射光軸の間隔Ｌ６が同一（Ｌ５＝Ｌ６）に設定されている。なお、種々の断面サイズに対応できるように、例えばリニアステージによりレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２を移動可能とする（Ｌ１〜Ｌ６をそれぞれ可変とする）ことが望ましい。また、レーザ変位計Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２も移動可能（レーザ変位計Ｅ１，Ｅ２の照射光軸の間隔Ｌ７とレーザ変位計Ｆ１，Ｆ２の照射光軸の間隔Ｌ８をそれぞれ可変とする）とすることが望ましい。
【００２８】
検査の手順は、図２を参照して説明したものとほぼ同様で、まず、標準試料１を図示しない測定ジグの上に、底面１ｆがＸ，Ｙ，Ｚ直交座標系のＸ−Ｙ平面に平行、押出方向がＸ軸に平行（結果的に側面１ｃがＸ−Ｚ平面に平行）になるように位置決めし、レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２から両切断端面１ａ，１ｂに、レーザ変位計Ｅ１，Ｅ２から側面１ｃに、レーザ変位計Ｆ１，Ｆ２から底面１ｆに、それぞれレーザビームを照射して、各レーザ変位計のキャリブレーションが行われ、各測定ポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２，ｅ１，ｅ２，ｆ１，ｆ２毎に基準位置（ゼロ点）が設定される。
続いて、図示しない手段により測定ジグ５上に被検査体を載置し、レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２，Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２から、標準試料１に対してと同様にレーザビームを照射する。検出信号は図示しない制御装置に送られ、その検出信号に基づき、被検査体の各測定ポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２，ｅ１，ｅ２，ｆ１，ｆ２毎に前記基準位置からの変位（それぞれ、Δａ１，Δａ２，Δｂ１，Δｂ２，Δｃ１，Δｃ２，Δｄ１，Δｄ２，Δｅ１，Δｅ２，Δｆ１，Δｆ２とする）が求められる。
【００２９】
被検査体４の測定ポイントｅ１，ｅ２，ｆ１，ｆ２で測定された変位Δｅ１，Δｅ２，Δｆ１，Δｆ２から、被検査体４が標準試料１にたいしてどのように傾斜しているかが，前記制御装置により求められる。具体的には、測定ポイントｅ１，ｅ２で測定された変位Δｅ１，Δｅ２から、図１１（ａ）に例示するように、被検査体４の側面４ｃの標準試料１の側面１ｃに対する傾斜角度θ１（Ｘ−Ｙ平面で測定した角度）が求められ、測定ポイントｆ１，ｆ２で測定された変位Δｆ１，Δｆ２から、図１１（ｂ）に例示するように、標準試料１の底面１ｆと被検査体４の底面４ｃに対する傾斜角度θ２が求められる。傾斜角度θ１，θ２は次のように計算される。
ｓｉｎθ１＝（Δｅ１−Δｅ２）／Ｌ７
ｓｉｎθ２＝（Δｆ１−Δｆ２）／Ｌ８
【００３０】
この傾斜角度θ１，θ２と、被検査体４の切断端面４ａ，４ｂで測定された変位Δａ１，Δａ２，Δｂ１，Δｂ２，Δｃ１，Δｃ２，Δｄ１，Δｄ２（見かけ上の変位）から、前記制御装置により、被検査体４の前記傾斜角度θ１，θ２がゼロと仮定したときの（言いかえれば、被検査体４の押出方向がＸ軸に平行に、かつ底面４ａがＸ−Ｙ平面に平行に位置決めされたと仮定したときの）両切断端面４ａ，４ｂにおける変位（実際の変位）が簡単な幾何学で算出される。そして、算出された変位を実変位とし、この実変位に基づき、被検査体４の切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面のＹ方向垂直度及びＺ方向垂直度などの形状精度が，前記（図６を用いた説明参照）と同様に算出される。
【００３１】
図２〜図６で説明した検査方法は、切断端面側に８個のスポットレーザ変位計、図７〜図１１で説明した検査方法は、切断端面側に８個、側面側に２個及び底面側に２個の計１２個のスポットレーザ変位計を用いる必要があるが、公知の２次元レーザ変位計を用いることにより、前者では４個、後者では６個の２次元レーザ変位計により、同様の検査を行うことができる。
図１２は、図７のレーザ変位計Ａ１，Ｂ１の代わりに２次元レーザ変位計Ｇ１、同じくＡ２，Ｂ２の代わりにＧ２、Ｃ１，Ｄ１の代わりにＨ１、Ｃ２，Ｄ２の代わりにＨ２、Ｅ１，Ｅ２の代わりにＩ１、Ｆ１，Ｆ２の代わりにＪ１を用いた例である。
【００３２】
標準試料１の両切断端面１ａ，１ｂに対して設置される２次元レーザ変位計Ｇ１，Ｇ２，Ｈ１，Ｈ２は、その照射光軸が走査する平面がＸ−Ｚ平面に平行に設定される。測定ポイントは、図７のものと同じポイントａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２に設定すればよい。標準試料１の側面１ｃに対して設置される２次元レーザ変位計Ｉ１は、その照射光軸が走査する平面がＸ−Ｙ平面に平行に設定される。測定ポイントは、図７のものと同じポイントｅ１，ｅ２に設定すればよい。標準試料１の底面１ｆに対して設置される２次元レーザ変位計Ｊ１は、その照射光軸が走査する平面がＸ−Ｚ平面に平行に設定される。測定ポイントは、図７のものと同じポイントｆ１，ｆ２に設定すればよい。
【符号の説明】
【００３３】
１  標準試料
１ａ，１ｂ  切断端面
１ｃ  側面
１ｆ  底面
２，３  レーザ変位計
４  被検査体
４ａ，４ｂ  切断端面
４ｃ  側面
４ｆ  底面
５  定盤
６  位置決め部材
７  当接部材（プッシャー）
８  制御装置  
Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２，Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２  スポットレーザ変位計
Ｇ１，Ｇ２，Ｈ１，Ｈ２，Ｉ１，Ｊ１  ２次元レーザ変位計
ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２，ｅ１，ｅ２，ｆ１，ｆ２  測定ポイント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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