(57)【要約】      （修正有）【課題】ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換を行う。【解決手段】吸着ヘッドは、部品の吸着のための負圧が供給される通路が形成された中空長尺状を呈し、その軸線を中心軸として回転可能で、かつ、所定範囲にわたり昇降可能なセンターシャフト４と、センターシャフト４の周面に沿って配備され、センターシャフト４の下端に対して選択的に着脱される、複数の吸着ノズル５１、５２、・・・と、センターシャフト４の上昇動作を受けて、センターシャフト４の下端に対して装着された吸着ノズルを離脱し、センターシャフト４の回転動作を受けて、複数の吸着ノズル５１、５２、・・・のうちの一つを選択するとともに、センターシャフト４の下降動作を受けてセンターシャフト４の下端に対して選択された吸着ノズルの装着を行うように構成された交換操作手段とを備えている。【選択図】図３
2010157635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに備えられる吸着ヘッドであって、
部品の吸着のための負圧が供給される通路が形成された中空長尺状を呈し、その軸線を中心軸として回転可能で、かつ、所定範囲にわたり昇降可能なセンターシャフトと、
該センターシャフトの周面に沿って配備され、前記センターシャフトの下端に対して選択的に着脱される、複数の吸着ノズルと、
前記センターシャフトの上昇動作を受けて、前記センターシャフトの下端に対して装着された吸着ノズルを離脱し、前記センターシャフトの回転動作を受けて、前記複数の吸着ノズルのうちの一つを選択するとともに、前記センターシャフトの下降動作を受けて前記センターシャフトの下端に対して前記選択された吸着ノズルの装着を行うように構成された交換操作手段とを備えていることを特徴とする吸着ヘッド。
【請求項２】
前記交換操作手段は、
前記複数の吸着ノズルを、それぞれ、前記センターシャフトの周面に沿って支持する支持手段と、
前記センターシャフト上昇時に前記支持手段の上昇を規制して、前記支持手段を前記センターシャフトに対して相対的に下方に変位させる高さ調整手段と、
前記複数の吸着ノズルに対してそれぞれ設けられ、前記センターシャフトに対して相対的に上下に変位可能であり、かつ、前記センターシャフトに対する下方への相対変位に伴って吸着ノズルを前記センターシャフトの下方の装着位置へ押動する押動手段と、
前記センターシャフトの回転位置に応じて選択的に一つの前記押動手段に対応し、前記センターシャフトの所定量以上の上昇に応じて当該押動手段を前記センターシャフトに対して相対的に下方へ変位させるように押圧する選択手段とを含む請求項１記載の吸着ヘッド。
【請求項３】
前記吸着ノズルには、上部に、前記センターシャフトの下端に係合可能な凸部が形成されている請求項１または２のいずれか１項に記載の吸着ヘッド。
【請求項４】
基台と、
該基台上で部品を供給する部品供給部と、
該部品供給部で供給された部品を保持する請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着ヘッドを複数備え、前記基台上の所定の位置に前記部品を搬送するために水平方向に移動可能に支持されたヘッドユニットとを含む部品移載装置。
【請求項５】
前記部品移載装置が、
前記基台上の所定の位置に基板を搬送する基板搬送手段を備え、
前記吸着ヘッドの吸着ノズルにより、前記部品供給部から吸着した部品を前記基板に装着するようにした表面実装機であることを特徴とする請求項４記載の部品移載装置。
【請求項６】
前記部品移載装置が、
未検査部品を供給する未検査部品供給部と、
前記基台上の所定の位置で、部品の検査を行う検査手段と、
前記検査手段による検査が終了した部品を収納する検査終了部品収納部とを備え、
前記未検査部品供給部から前記検査手段への部品の移載、および検査手段から検査終了部品収納部への部品の移載を前記ヘッドユニットにより行うことをようにした部品検査装置であることを特徴とする請求項４記載の部品移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに備えられる、電子部品を吸着・保持するための吸着ヘッド、部品移載装置、表面実装機および部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント基板上に電子部品を実装するための表面実装機や、電子部品の性能を検査するための部品検査装置などに用いられる部品移載装置が知られている。部品移載装置には、電子部品を保持した状態で、電子部品を所定の位置に搬送するヘッドユニットが水平方向に移動可能に備えられている。そして、ヘッドユニットには、電子部品を吸着するための吸着ヘッドが複数備えられている。各吸着ヘッドは、主に、電子部品を保持するための負圧が供給される通路が形成されたセンターシャフトと、センターシャフトの下端を所定の高さに上げ下げする昇降駆動手段と、センターシャフトをノズル中心軸回りに回転させる回転駆動手段とから構成されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特公平７−３８５１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
吸着ヘッドのセンターシャフトの下端には、電子部品に直に接触する吸着ノズルが装着される。吸着ノズルには電子部品の形態に応じていくつかのタイプがあり、吸着ヘッド毎に、吸着する電子部品の形態に応じたタイプのものに交換される。
【０００４】
吸着ノズルの交換は、ノズルの保管場所であるノズルステーションを表面実装機や部品検査装置の基台上に設けて、ノズルステーション上にヘッドユニットを移動させて吸着ノズルの着脱を行うものや、吸着ノズルを交換するための交換専用のヘッドをヘッドユニットに備え、交換専用のヘッドで吸着ノズルの交換を行うものなどが開発されている。
【０００５】
前者の吸着ノズルの交換は、基台上の所定の位置にノズルステーションを備える必要があるとともに、吸着ノズルの交換のたびにヘッドユニットをノズルステーション上まで移動させなければならないという問題がある。
【０００６】
一方、後者の吸着ノズルの交換は、ノズルステーションまでの移動を省くことができ、前者の吸着ノズルの交換より効率よく吸着ノズルの交換を行うことができるが、開発されている交換専用のヘッドは大型のものであり、ヘッドユニットが大型化するという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記の従来の問題に鑑みてなされたものであり、ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換が可能な吸着ヘッド、部品移載装置、表面実装機および部品検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の吸着ヘッドは、部品供給部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに備えられる吸着ヘッドであって、部品の吸着のための負圧が供給される通路が形成された中空長尺状を呈し、その軸線を中心軸として回転可能で、かつ、所定範囲にわたり昇降可能なセンターシャフトと、該センターシャフトの周面に沿って配備され、前記センターシャフトの下端に対して選択的に着脱される、複数の吸着ノズルと、前記センターシャフトの上昇動作を受けて、前記センターシャフトの下端に対して装着された吸着ノズルを離脱し、前記センターシャフトの回転動作を受けて、前記複数の吸着ノズルのうちの一つを選択するとともに、前記センターシャフトの下降動作を受けて前記センターシャフトの下端に対して前記選択された吸着ノズルの装着を行うように構成された交換操作手段とを備えていることを特徴としている。
【０００９】
この発明によれば、複数の吸着ノズルが、センターシャフトの周面に沿って配備されている。そして、交換操作手段によって、これらの吸着ノズルのうちの１つが、センターシャフトの回転動作およびセンターシャフトの昇降動作を受けてセンターシャフトの下端に対して選択的に着脱される。すなわち、吸着ノズルがセンターシャフトの周面に沿って保管されているので、吸着ノズルの一連の交換作業が、センターシャフトの外周面に沿ったコンパクトな動作で実現されることになる。これによって、吸着ヘッドが過度に大型化されなくとも、吸着ノズルの保管・交換が吸着ヘッド単体で可能になる。さらに、吸着ノズルのセンターシャフトへの着脱は、センターシャフトの昇降動作およびセンターシャフトの回転動作という、元来備わった動作に連動して行われることになる。つまり、吸着ノズルを交換するための駆動装置等を追加的に設ける必要もない。したがって、ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換を行うことができる。しかも、各々の吸着ヘッドが個別に吸着ノズルの交換の一連の作業を完結させることが可能であり、吸着ノズルを保管しておくノズルステーションなどの備品を省くことができるとともに、ノズルステーションまでの移動動作を省くことができるので、ノズルステーション上で吸着ノズルの交換作業を行う場合よりも交換作業が速やかに終了する。
【００１０】
また、前記交換操作手段は、前記複数の吸着ノズルを、それぞれ、前記センターシャフトの周面に沿って支持する支持手段と、前記センターシャフト上昇時に前記支持手段の上昇を規制して、前記支持手段を前記センターシャフトに対して相対的に下方に変位させる高さ調整手段と、前記複数の吸着ノズルに対してそれぞれ設けられ、前記センターシャフトに対して相対的に上下に変位可能であり、かつ、前記センターシャフトに対する下方への相対変位に伴って吸着ノズルを前記センターシャフトの下方の装着位置へ押動する押動手段と、前記センターシャフトの回転位置に応じて選択的に一つの前記押動手段に対応し、前記センターシャフトの所定量以上の上昇に応じて当該押動手段を前記センターシャフトに対して相対的に下方へ変位させるように押圧する選択手段とを含むことが好ましい。
【００１１】
この発明によれば、センターシャフトの昇降動作および回転動作に連動させて、交換操作手段の支持手段、高さ調整手段、選択手段および押動手段を作動させるができる。
【００１２】
また、前記吸着ノズルには、上部に、前記センターシャフトの下端に係合可能な凸部が形成されていることが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、吸着ノズルの上部に凸部が形成されているので、吸着ノズルのセンターシャフト下端への着脱をスムーズに行うことができる。
【００１４】
本発明の部品移載装置は、基台と、該基台上で部品を供給する部品供給部と、該部品供給部で供給された部品を保持する上記の吸着ヘッドを複数備え、前記基台上の所定の位置に前記部品を搬送するために水平方向に移動可能に支持されたヘッドユニットとを含むことを特徴としている。
【００１５】
前記部品移載装置は、前記基台上の所定の位置に基板を搬送する基板搬送手段を備え、前記吸着ヘッドの吸着ノズルにより、前記部品供給部から吸着した部品を前記基板に装着するようにした表面実装機であることが好ましい。
【００１６】
また、前記部品移載装置は、未検査部品を供給する未検査部品供給部と、前記基台上の所定の位置で、部品の検査を行う検査手段と、前記検査手段による検査が終了した部品を収納する検査終了部品収納部とを備え、前記未検査部品供給部から前記検査手段への部品の移載、および検査手段から検査終了部品収納部への部品の移載を前記ヘッドユニットにより行うことをようにした部品検査装置であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ヘッドユニットの大型化を避けつつ、吸着ノズルの保管・交換を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下で、本実施の形態の吸着ヘッドおよび部品移載装置について、図面を用いて詳細に説明する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、表面実装機の平面図である。
【００２０】
表面実装機は、図１に示されるように、基台１０と、基台１０上でプリント基板Ｐを搬送するコンベア（基板搬送手段）１１と、プリント基板Ｐ上に実装するための電子部品を供給する部品供給部１２と、部品供給部１２から供給された電子部品を吸着・保持する複数の吸着ヘッド１５ａが備えられたヘッドユニット１５と、ヘッドユニット１５を水平方向に移動可能に支持する水平方向移動手段１４と、部品供給位置と部品実装位置（部品装着部）との間に、上向きの姿勢で設けられている部品撮像部１３とを含む。ここで、本実施の形態における部品移載装置は、基台１０と、部品供給部１２と、ヘッドユニット１５とによって構成される。
【００２１】
コンベア１１は、基台１０上を横切るように設置されている。プリント基板Ｐは、コンベア１１によって、基台１０上に搬入される。プリント基板Ｐが基台１０上の部品実装位置まで搬送されるとコンベア１１は停止し、不図示の基板保持装置によりプリント基板Ｐが保持固定され、プリント基板Ｐへ電子部品の実装作業が開始される。そして、プリント基板Ｐへの電子部品の実装作業が終了すると、基板保持装置によるプリント基板Ｐの保持が開放されてコンベア１１が駆動し、部品実装位置のプリント基板Ｐは基台１０上から搬出される。
【００２２】
以下では、プリント基板Ｐの搬送方向に平行な方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直な方向であって、水平な方向をＹ方向、Ｘ方向およびＹ方向により形成される面に対して垂直な方向をＺ方向として説明する。
【００２３】
部品供給部１２は、複数のテープフィーダ１２ａが、それぞれの部品供給位置をコンベア１１へ向けた状態で基台１０上に設置されている。各テープフィーダ１２ａは、リールと、リールに巻き付けられたテープと、テープを長手方向に間欠的に送り出す送り出し機構とを含む。テープには、長手方向に沿って複数の凹部が形成されており、この凹部内に電子部品が収容されている。
【００２４】
図２は、ヘッドユニット１５に備えられた複数の吸着ヘッド１５ａの側面図である。
【００２５】
ヘッドユニット１５には、電子部品を吸着・保持するための複数の吸着ヘッド１５ａ、プリント基板Ｐ上に施されたフィデューシャルマーク等を撮像するための基板撮像カメラ１５ｂなどが一体に備えられている。本実施の形態では、１１本の吸着ヘッド１５ａが、所定の間隔でＸ方向に平行な列をなしてヘッドユニット１５に備えられている。なお、吸着ヘッド１５ａについては、のちに詳しく説明する。
【００２６】
水平方向移動手段１４は、Ｙ方向移動装置と、Ｙ方向移動装置によってＹ方向に移動可能に支持されたＸ方向移動装置とを含む。ヘッドユニット１５はＸ方向移動装置によってＸ方向に移動可能に支持されている。
【００２７】
具体的には、Ｙ方向移動装置は、サーボモータ１４ａと、Ｙ方向に略平行に延び、サーボモータ１４ａの駆動力を受けて回転するボールねじ軸１４ｂと、ボールねじ軸１４ｂの長手方向に沿って延びるように設けられた固定レール１４ｃと、ボールねじ軸１４ｂに螺合したボールナット１４ｆとを備えている。また、Ｘ方向移動装置は、サーボモータ１４ｄと、Ｘ方向に略平行に延びてサーボモータ１４ｄの駆動力を受けて回転するボールねじ軸１４ｅと、両端がＹ方向移動装置の固定レール１４ｃによって移動可能に支持されたフレーム部材１４ｇと、ボールねじ軸１４ｅに螺合するボールナット（図示しない）とを備えている。そして、Ｙ方向移動装置のボールナット１４ｆはフレーム部材１４ｇに固定されている。Ｘ方向移動装置のボールナットは、ブラケットを介してヘッドユニット１５に固定されている。
【００２８】
Ｙ方向移動装置のサーボモータ１４ａが駆動すると、サーボモータ１４ａの駆動力を受けてボールねじ軸１４ｂが回転し、ボールナット１４ｆはボールねじ軸１４ｂの長手方向に移動する。この移動に伴い、ボールナット１４ｆが固定されたＸ方向移動装置全体がＹ方向に移動する。
【００２９】
また、Ｘ方向移動装置のサーボモータ１４ｄが駆動すると、サーボモータ１４ｄの駆動力を受けてボールねじ軸１４ｂが回転し、Ｘ方向移動装置のボールナットはボールねじ軸１４ｅの長手方向に沿って移動する。この移動に伴い、ブラケットを介してボールナットが固定されたヘッドユニット１５が、Ｘ方向に移動する。
【００３０】
部品撮像部１３は、吸着ヘッド１５ａによる電子部品の吸着状態を調べるためのものであり、リニアセンサあるいはＣＣＤカメラ、照明装置などから構成されている。ヘッドユニット１５は、部品供給部１２で電子部品を吸着すると、この部品撮像部１３上を経由してプリント基板Ｐ上の所定の位置まで移動する。そして、部品撮像部１３は、ヘッドユニット１５が部品撮像部１３の上方を通過する際に、吸着ヘッド１５ａの下側から電子部品を撮像する。
【００３１】
ここで、実施の形態１の吸着ヘッド１５ａについて詳しく説明する。
【００３２】
実施の形態１の吸着ヘッド１５ａは、図１に示されるように、表面実装機のヘッドユニット１５に１１本、Ｘ方向に平行な列をなすように備えられている。
【００３３】
図３は、ヘッドユニット１５の筐体の下方に突出したノズルの部分を説明するための斜視図である。図４は、吸着ヘッド１５ａの全体を説明するための図である。
【００３４】
吸着ヘッド１５ａは、図３および図４に示されるように、回転駆動手段２と、昇降駆動手段３と、センターシャフト４と、吸着ノズル５と、交換操作手段６とを備えている。
【００３５】
回転駆動手段２は、Ｚ方向に延びるノズル中心軸（軸線）Ａｘ１を回転の中心としてセンターシャフト４を回転駆動するためのものである。具体的には、Ｒ軸サーボモータと、Ｒ軸サーボモータの駆動力をセンターシャフト４に伝達する伝達ベルト２１とを含む。伝達ベルト２１は、Ｒ軸サーボモータの駆動力を受けて循環し、伝達ベルト２１がセンターシャフト４をノズル中心軸Ａｘ１回りに回転させる。
【００３６】
昇降駆動手段３は、リニアモータやＺ軸サーボモータなどから構成されており、センターシャフト４をＺ方向に所定範囲にわたって昇降駆動し、センターシャフト４の下端の高さを調整する。具体的には、電子部品の吸着時には、昇降駆動手段３は、部品供給部１２の部品供給位置でセンターシャフト４の下端を、吸着ノズル５が電子部品を吸着可能となる位置まで下降させ、電子部品が吸着されたのち上昇し、電子部品を所定の高さに保つ。そして、プリント基板Ｐ上の所定の位置まで電子部品が搬送されると、再び昇降駆動手段３が駆動し、センターシャフト４の下端を下降させて、電子部品をプリント基板Ｐ上の所定の位置に装着する。
【００３７】
センターシャフト４は、回転駆動手段２および昇降駆動手段３の駆動力を受けて、ノズル中心軸Ａｘ１回りに回転運動および昇降運動する中空長尺状の昇降シャフト４ａと、昇降シャフト４ａの下端部に圧入固着された中空長尺状のノズルシャフト４ｂとを含む（図５参照）。昇降シャフト４ａの中空部、ノズルシャフト４ｂの中空部はそれぞれ、センターシャフト４の軸線Ａｘ１に沿う通路４ａ１、通路４ｂ１とされている。そして、昇降シャフト４ａにノズルシャフト４ｂが装着された状態では、昇降シャフト４ａの通路４ａ１と、ノズルシャフト４ｂの通路４ｂ１とが連通する。この通路４ａ１および通路４ｂ１には、図示しない負圧供給部がバルブ等を介して接続され、電子部品の吸着時に当該通路内を負圧状態にする。電子部品の装着時には当該通路内を大気開放状態あるいは正圧状態にする。また、ノズルシャフト４ｂの外周面には、ノズルシャフト４ｂの長手方向に沿って延びる３本の溝（以下、上下溝４ｂ２という）が形成されている。
【００３８】
吸着ノズル５は、電子部品を直に吸着する部材である。吸着ノズル５は、電子部品の種類や大きさの違いに応じた異なるタイプが装備され、ノズルシャフト４ｂの外周を囲むように配備される。吸着ノズル５は、吸着ヘッド毎に、これら異なるタイプのうちから１つが選択され、ノズルシャフト４ｂの下端部に着脱される。本実施の形態では、吸着ノズル５として、内径が互いに異なる第１の吸着ノズル５１と第２の吸着ノズル５２と第３の吸着ノズル５３とが備えられている。各吸着ノズル５１、５２、５３は、センターシャフト４の下端より下方に位置した状態で、下面視でノズル中心軸Ａｘ１を中心として互いに約１２０度の角度をなすように配備されている（図８参照）。
【００３９】
また、各吸着ノズル５１、５２、５３の上端部は、ノズルシャフト４ｂの下端に吸着ノズル５１、５２、５３を係合させるために、吸着ノズルの上端へ向けて外径が小さくなる凸部５ａが形成されている。具体的には、この凸部５ａはテーパ状を呈している。また、ノズルシャフト４ｂの下端部には、下端へ向けて内径が大きくなる裾広がりの凹部が形成されている。具体的には、この凹部はテーパ状を呈している。このように、吸着ノズルの上端の外径をノズルシャフト４ｂの下端の内径よりも大幅に小さく設定しておくことで、吸着ノズル５１、５２、５３のノズルシャフト４ｂの下端への着脱がスムーズに行われる。また、ノズルシャフト４ｂの下端部のテーパ状の凹部に、吸着ノズル５１、５２、５３のテーパ状の凸部５ａを嵌合させることで、ノズルシャフト４ｂに吸着ノズル５１、５２、５３を安定的に連結保持することができる。
【００４０】
交換操作手段６は、第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３をそれぞれノズルシャフト４ｂの周面に沿って支持する支持部材（支持手段）６０と、センターシャフト４の上昇時に支持部材６０を下方に押圧し、支持部材６０に支持される第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３をそれぞれノズルシャフト４ｂの下端より下方位置とする吸着ノズル押し下げ手段（高さ調整手段）６７と、下方へ向けた力を水平方向に伝達し、支持部材６０によって支持された吸着ノズル５をセンターシャフト４の下方の装着位置へ移動させる押動手段６４と、押動手段６４を下方に押圧することによって、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３のうちの一つを間接的に選択する選択手段６５とを含む（図２参照）。
【００４１】
支持部材６０は、吸着ノズル５をノズルシャフト４ｂの下端またはノズルシャフト４ｂ周面の所定の位置に支持するとともに、吸着ノズル５をノズルシャフト４ｂの長手方向に沿って移動させるためのものである。具体的には、支持部材６０は、第１の吸着ノズル５１を支持する第１の支持部材６１と、第２の吸着ノズル５２を支持する第２の支持部材６２と、第３の吸着ノズル５３を支持する第３の支持部材６３と、第１〜第３の各支持部材６１、６２、６３をノズルシャフト４ｂに対して上方へ向けて付勢する第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃと、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃとともに補助的に第１〜第３の各支持部材６１、６２、６３を上方へ向けて付勢する補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１（図３参照）と、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ２、６３ｃ１をノズルシャフト４ｂの所定の位置に支持する台座６６とを含む。
【００４２】
各支持部材６１、６２、６３は、吸着ノズルを保持する略Ｌ字状を呈した板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａと、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａを下部で支持するとともに、ノズルシャフト４ｂの外周面に形成された３つの上下溝４ｂ２にそれぞれ嵌合し、上下溝４ｂ２に沿って高さ方向に摺動する上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂとを有する（図５参照）。
【００４３】
板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａは、側面視で略Ｌ字状を呈し、押圧力を加えない状態で、ノズル中心軸Ａｘ１から離れるように反っている。
【００４４】
また、各上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂには、上部に、ノズル中心軸Ａｘ１を中心とした径方向に延びる受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が形成されているとともに、下部に、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａが小ネジ６１ｄ、６２ｄ、６３ｄで固定される固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１が形成されている。受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２には、後述の押動手段６４の進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を挿通させるための貫通孔が形成されている。上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂは、吸着ノズル５の交換時以外は、ノズルシャフト４ｂと一体となって昇降する。一方、吸着ノズル５の交換時には、センターシャフト４の上昇に伴い、後述するコイルばね６７ｃが、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１による反力に打ち勝って、後述するブッシュ６７ａを介して受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２を下方に押圧する。この押圧する力を受けて、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂがノズルシャフト４ｂの外周面を下方へ向けて摺動する。
【００４５】
吸着ノズル押し下げ手段６７は、略筒状を呈し、センターシャフト４に摺動可能に外嵌される開口を下としたカップ状のブッシュ６７ａと、ブッシュ６７ａを吊り下げた状態で支持する３本の棒状の部材からなるブッシュ吊設部６７ｂと、ブッシュ６７ａの上端と後述の保持部材６５ｂとの間であって、センターシャフト４の外周に巻き付けられた状態で設けられるコイルばね（ブッシュ付勢部材）６７ｃと、各ブッシュ吊設部６７ｂに嵌合するカラー６７ｄとを含む。
【００４６】
ブッシュ吊設部６７ｂの下端６７ｂ１にはフランジが形成され、ブッシュ６７ａがブッシュ吊設部６７ｂから抜け落ちないよう、ブッシュ６７ａの下端を支持している。
【００４７】
カラー６７ｄは、センターシャフト４の上昇に伴い、受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２からの反力を受けて上昇移動するブッシュ６７ａが、所定の高さを超えないよう移動を規制する。これによって、支持部材６０は所定の高さより上方への移動が規制される。すなわち、センターシャフト４が所定の高さまで上昇すると、支持部材６０によって支持された吸着ノズル５は、それ以上の上昇が規制される。
【００４８】
選択手段６５は、ヘッドユニット１５の筐体の下面に固定される保持部材６５ｂと、保持部材６５ｂの所定の位置において圧入固定され、下方に向けて突出するピン６５ａとを有する。ピン６５ａの下端の高さは、ヘッドユニット１５の筐体下面から所定の距離になるように設定されている。そして、ピン６５ａはその下端で、押動手段６４を作動させる。
【００４９】
押動手段６４は、第１の支持部材６１を作動させる第１の押動手段６４ａと、第２の支持部材６２を作動させる第２の押動手段６４ｂと、第３の支持部材６３を作動させる第３の押動手段６４ｃとを含む。
【００５０】
各押動手段６４ａ、６４ｂ、６４ｃは、ノズル中心軸Ａｘ１に対して略平行に備えられ、センターシャフト４の上昇に伴う選択手段６５のピン６５ａによる押圧力を受けて、ノズルシャフト４ｂに対して相対的に下方向にスライドする進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１と、進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の下端部に設けられ、進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１が下方にスライドしたときに、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａをノズル中心軸Ａｘ１に略平行な状態になるように押し込む押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２と、各頂部膨隆部Ｔを押圧して進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を上方へ向けて付勢する第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４とを含む。
【００５１】
各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１は、棒状の部材である。各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１は、各上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２、上下逆としたカップ状のブッシュ６７ａの底部、および台座６６に形成された貫通孔に挿通された状態で、貫通孔の内側面を摺動するように備えられている。なお、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の外周に各第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４が取り付けられた状態において、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１および各第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４が、上下逆としたカップ状のブッシュ６７ａの底部に設けられた貫通孔を貫通配置されている。そして、３本の進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１のうち、選択手段６５のピン６５ａの真下に位置する進退軸は、センターシャフト４の上昇に伴い、頂部膨隆部Ｔをピン６５ａの下端で押圧されて、ノズルシャフト４ｂに対して下方向に移動する。
【００５２】
各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２は、各支持部材６１、６２、６３の板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａに接触するノズルシャフト４ｂへ向けた面が略円弧状を呈している。進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１がノズルシャフト４ｂに対して下方へ押し下げられると、各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２の略円弧状の面が、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａの外側面に接触する。そして、各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２は、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａを押し込む。各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２によって押圧された板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａは、反りが矯正されるように変形し、吸着ノズル５１、５２、５３は待機位置（ノズル中心軸Ａｘ１の延長線上から吸着ノズルの通路が外れる位置）から装着位置（ノズル中心軸Ａｘ１の延長線上に吸着ノズルの通路が重なる位置）に水平移動する。
【００５３】
第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃは、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に巻き掛けられ、上端は上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２の下面に当接し、下端は台座６６の上面に当接している。そして、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃが自然長より短くなるように圧縮されると、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃは、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂをノズルシャフト４ｂに対して上方へ向けて付勢する。
【００５４】
第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４は、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に巻き掛けられ、上端は各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の頂部膨隆部Ｔに当接し、下端は上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２の上面に当接している。そして、第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４が自然長より短くなるように圧縮されると、第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４は、受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２と上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの頂部膨隆部Ｔとの間を離間するように付勢する。すなわち、昇降シャフト４ａ下端に受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が当接している場合は、第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４の付勢力が、受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が昇降シャフト４ａの下端から離れている場合は、並列配置の第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１、これらに対して直列配置される第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４の各付勢力に基づく付勢力が、ノズルシャフト４ｂに対して各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を上方へ向けて付勢する。
【００５５】
補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１は、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に平行な状態で、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１の両側部であって、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの受け部６１ｂ１、６２ｂ２、６３ｂ２と、台座６６との間に一対ずつ設けられている。補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１は、円柱状の棒部材と、棒部材の周面に巻き付けられたコイルばねとから構成されている。棒部材は、上部が上下動部材６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｃ１の受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２に形成された貫通孔に挿通されており、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが下方へ移動すると、棒部材の上部が受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２の上方に突出する。
【００５６】
台座６６は、略環状の部材であり、鍔状に設けられている。台座６６は、ノズルシャフト４ｂの下端から所定の距離だけ上方の位置において、ノズルシャフト４ｂの外周面に固設されたサークリップ６６ａにより下側が支持されており、その上面で、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃの下端および補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１の下端を支持している。また、台座６６の中央貫通孔には、ノズルシャフト４ｂ、およびその外周面に形成された３つの上下溝４ｂ２それぞれに移動可能に嵌合する上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが貫通配置される。台座６６は、ノズルシャフト４ｂに上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂに第２のコイルばね６４ａ４、６４ｂ４、６４ｃ４および各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１が、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１が、それぞれ取り付けられた状態で、中央貫通孔に固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１の外周を挿入させ、３ケ所の貫通孔に各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１を挿入させ、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃおよび補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１を圧縮しつつ、ノズルシャフト４ｂの所定位置に保持した状態で、下側においてノズルシャフト４ｂにサークリップ６６ａを取り付けることで、組み付けられる。その後、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａが小ネジ６１ｄ、６２ｄ、６３ｄで固定される固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１が形成されている。固定部６１ｂ１、６２ｂ１、６３ｂ１に、吸着ノズル５１、５２、５３がそれぞれ取り付けられた各板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａが、小ネジ６１ｄ、６２ｄ、６３ｄで固定される。さらに、各進退軸６４ａ１、６４ｂ１、６４ｃ１に各押込部６４ａ２、６４ｂ２、６４ｃ２が、小ネジ６４ａ３、６４ｂ３、６４ｃ３で固定される。
【００５７】
この吸着ヘッド１５ａの動作について、以下で図面を用いて詳細に説明する。
【００５８】
図５は、吸着ヘッド１５ａのノズル部分の断面図であり、第２の吸着ノズル５２がノズルシャフト４ｂの下端に取り付けられた状態を示す。図６は、図５のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３のうち、第２の吸着ノズル５２がノズルシャフト４ｂの下端に取り付けられた状態を示す。図７は、吸着ヘッド１５ａのノズル部分の断面図であり、センターシャフト４が上昇することによってノズル部分全体が上昇するとともに、第２の吸着ノズル５２がノズルシャフト４ｂの下端から外れるとともに、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３がノズルシャフト４ｂの下端より下方に位置した状態を示す。図８は、図７のノズル部分の下面図である。図９は、吸着ヘッド１５ａのノズル部分の断面図であり、第１の吸着ノズル５１が押込部６４ａ２によって押し出されて、ノズルシャフト４ｂの下方に位置した状態を示す。図１０は、図９のノズル部分の下面図である。
【００５９】
ここで、第２の吸着ノズル５２を第１の吸着ノズル５１に交換する際の動作を説明する。
【００６０】
まず、回転駆動手段２が駆動する。回転駆動手段２が駆動すると、センターシャフト４、支持部材６０、第１〜第３の押動手段６４ａ、６４ｂ、６４ｃおよび第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３は、一体となって、ピン６５ａの下端がちょうど第１の押動手段６４ａの進退軸６４ａ１の真上に位置するように、所定の角度だけノズル中心軸Ａｘ１回りに回転する。これによって、図５および図６に示されるように、ピン６５ａの下方に位置する第１の押動手段６４ａによって押圧される第１の吸着ノズル５１の選択が完了する。
【００６１】
つぎに、昇降駆動手段３が駆動し、センターシャフト４が上昇することによって、サークリップ６６ａ、台座６６、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１を介して、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２が押し上げられ、各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２がブッシュ６７ａの下端面に当接する位置まで上昇する。ブッシュ６７ａはコイルばね６７ｃによって下方に付勢されるので、ブッシュ６７ａはその下端面で上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂの各受け部６１ｂ２、６２ｂ２、６３ｂ２を下方へ押圧し、センターシャフト４がさらに上昇しても、上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂはブッシュ６７ａの押圧力を受けて上昇せず、ノズルシャフト４ｂに対して相対的に下方へ移動する（図７参照）。
【００６２】
そして、第１の支持部材６１によって支持された第１の吸着ノズル５１、第２の支持部材６２によって支持された第２の吸着ノズル５２および第３の支持部材６３によって支持された第３の吸着ノズル５３は、ノズルシャフト４ｂに対してその下端より下方へ離間しほぼ同一の高さに並ぶ（図７および図８参照）。
【００６３】
昇降駆動手段３の駆動力を受けて、さらに、図７の状態からセンターシャフト４が上昇すると、サークリップ６６ａ、台座６６、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１を介して押圧されて上下動部材６１ｂ、６２ｂ、６３ｂが上昇する一方、この内の上下動部材６１ｂの上昇に伴い第２のコイルばね６４ａ４を介して押圧される第１の押動手段６４ａの進退軸６４ａ１の頂部膨隆部Ｔが、ピン６５ａの下端によって移動が阻止されるので、第１の押動手段６４ａの進退軸６４ａ１および押込部６４ａ２が、第１の支持部材６１に対して相対的に下方へ移動する。
【００６４】
そして、第１の押動手段６４ａの押込部６４ａ２は、板ばね６１ａの外側面をノズル中心軸Ａｘ１へ向けて押圧する。これにより、板ばね６１ａは変形し、第１の吸着ノズル５１がノズルシャフト４ｂの真下に、つまり、ノズルシャフト４ｂの通路４ｂ１と第１の吸着ノズル５１の通路５１ａとが一直線上に並ぶ装着位置に移動する（図９および図１０参照）。
【００６５】
つぎに、昇降駆動手段３の駆動により、昇降シャフト４ａおよびノズルシャフト４ｂは、一体となって下降する。このとき、第１〜第３の支持部材６１、６２、６３は、それぞれ、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、ならびに、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１によって上方に付勢されているため、ノズルシャフト４ｂおよび昇降シャフト４ａの下降動作より一歩遅れて下降を開始する。つまり、第１のコイルばね６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、補助付勢手段６１ｃ１、６２ｃ１、６３ｃ１のコイルばねの付勢力で、ノズルシャフト４ｂの下降動作と支持部材６０の動作とにずれを生じさせて、ノズルシャフト４ｂに対する吸着ノズルの高さ方向の位置を相対的に変化させる。したがって、ノズルシャフト４ｂの真下に位置し、第１の支持部材６１に支持された第１の吸着ノズル５１は、テーパが形成された上端の凸部５ａがノズルシャフト４ｂの下端部の凹部に装着される。また、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３は、ノズルシャフト４ｂに対して相対的に上昇し、ノズルシャフト４ｂの外周面に配備される。
【００６６】
こうして、第２の吸着ノズル５２を第１の吸着ノズル５１に交換する動作が完了する。
【００６７】
以上の実施の形態によれば、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３が、センターシャフト４の周面を囲むように配備されている。そして、これらの第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３のうちの１つが、交換操作手段６によって、センターシャフト４の回転動作およびセンターシャフト４の昇降動作を受けてセンターシャフト４の下端に対して選択的に着脱される。すなわち、第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３の内選択されなかったものが、その長手方向を上下方向とした状態でセンターシャフト４の周面に沿って保管され、選択されたものがセンターシャフト４の下端に装着されて、相対的に上方位置となる選択されなかった吸着ノズルが邪魔となることなく部品の吸着・搬送が可能となる。また、吸着ノズル５１、５２、５３の一連の交換作業中も、各吸着ノズル５１、５２、５３はセンターシャフト４の外周面に沿って、その長手方向を上下方向としたコンパクトな状態を維持する。これによって、吸着ヘッド１５ａは常時過度に大型化されることはない。また、第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３の交換のための駆動装置も、部品の吸着・装着のための昇降駆動装置、部品装着時の部品装着方向を調整するための回転駆動装置を用い、特別なものを追加的に設ける必要もない。しかも、各々の吸着ヘッド１５ａが個別に吸着ノズル交換の一連の作業を完結させることが可能であり、吸着ノズルを保管しておくノズルステーションなどの備品を省くことができるとともに、ノズルステーションまでの移動動作を省くことができるので、ノズルステーション上で吸着ノズルの交換作業を行う場合よりも交換作業が速やかに終了する。
【００６８】
なお、上記実施の形態では、表面実装機のヘッドユニット１５に備えられた吸着ヘッド１５ａについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、部品を吸着する吸着ノズルを設けた吸着ヘッドを備え、移動可能なヘッドユニットを含む他の部品移載装置の吸着ヘッドに対して、本発明の吸着ヘッドを適用する形態であってもよい。たとえば、未検査部品を供給する未検査部品供給部と、基台上の所定の位置で、部品の検査を行う検査ソケット等の検査手段と、検査手段による検査が終了した部品を収納する検査終了部品収納部とを備え、未検査部品供給部から検査手段への部品の移載、および検査手段から検査終了部品収納部への部品の移載をヘッドユニットにより行う、電子部品の性能を検査するＩＣハンドラー（部品検査装置）において、そのヘッドユニットに備えられる吸着ヘッドに対して本発明の吸着ヘッドを適用する形態であってもよい。この場合、ＩＣハンドラー（部品検査装置）は、部品供給部に配置した部品供給用のトレイから部品を吸着して検査手段へ移載するとともに、検査が終了した部品を検査終了部品収納用トレイに移載する処理を同じヘッドユニットにより行なうようになっているものでもよいし、検査が終了した部品を所定の受渡部でヘッドユニットから別の搬送手段に受け渡して、この別の搬送手段で検査終了部品収納用トレイに移載するようになっているものでもよい。前者であれば、上記検査終了部品収納用トレイが検査終了部品収納部に相当し、後者であれば上記受渡部が検査終了部品収納部に相当する。
【００６９】
また、上記実施の形態では、第１〜第３の吸着ノズル５１、５２、５３を板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａで保持し、板ばね６１ａ、６２ａ、６３ａを押圧して変形させることで、吸着ノズルを待機位置から装着位置に移動させた形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１１は、吸着ノズルを支持するための支持部材の他の形態を示す図である。たとえば、図１１に示されるように、板ばねの代わりに、上下動部材の下部に支持軸２００を介して支持部材６１〜６３を回動可能に支持し、支持軸２００の周りに各支持部材６１〜６３をそれぞれノズルシャフト４ｂの周面から離れるように付勢するコイルスプリングＣｓなどを配置し、各支持部材６１〜６３は側面視で略Ｌ字上の部材で吸着ノズルを保持する形態であってもよい。
【００７０】
また、上記実施の形態では、板ばねの外側面を押込部の円弧状の面でノズル中心軸Ａｘ１へ向けて押圧した形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１２は、押込部６４ａ２、６４ｂ２と支持部材の位置関係が異なる他の形態を示す図である。たとえば、図１２に示されるように、支持部材６１、６２よりも内側に押動手段６４を配置して、吸着ノズルを保持する部材の姿勢を変化させる形態であってもよい。この場合、押込部６４ａ２、６４ｂ２の円弧状の面は、ノズルシャフト４ｂの外方を向けて設けられ、押込部６４ａ２が下方に下がった状態で支持部材６１はノズル中心軸Ａｘ１から離れる方向に押圧され、吸着ノズル５１が待機位置に位置する。また、押込部６４ｂ２が上方に上がった状態で、支持軸２００の周りに配置されノズル中心軸Ａｘ１に近づく方向に支持部材６２を付勢するコイルスプリングＣｓによって、支持部材６２が押圧され、吸着ノズル５２が装着位置に位置する。
【００７１】
また、上記実施の形態では、吸着ノズル５として第１の吸着ノズル５１、第２の吸着ノズル５２および第３の吸着ノズル５３の３つを備えた形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、吸着ノズルの数は２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】表面実装機の平面図である。
【図２】ヘッドユニットに備えられた複数の吸着ヘッドの側面図である。
【図３】ノズル部分を説明するための斜視図である。
【図４】吸着ヘッドの全体を説明するための図である。
【図５】吸着ヘッドのノズル部分の断面図であり、第２の吸着ノズルがノズルシャフトの下端に取り付けられた状態を示す。
【図６】図５のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル、第２の吸着ノズルおよび第３の吸着ノズルのうち、第２の吸着ノズルがノズルシャフトの下端に取り付けられた状態を示す。
【図７】吸着ヘッドのノズル部分の断面図であり、ノズル部分全体が上昇するとともに、第２の吸着ノズルがノズルシャフトの下端から外れた状態を示す。
【図８】図７のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル、第２の吸着ノズルおよび第３の吸着ノズルがほぼ同じ高さにある状態を示す。
【図９】吸着ヘッドのノズル部分の断面図であり、第１の吸着ノズルが押込部によって押し出されて、ノズルシャフトの下方に位置した状態を示す。
【図１０】図８のノズル部分の下面図であり、第１の吸着ノズル、第２の吸着ノズルおよび第３の吸着ノズルのうち、第１の吸着ノズルがノズルシャフトの下端に取り付けられた状態を示す。
【図１１】吸着ノズルを支持するための支持部材の他の形態を示す図である。
【図１２】押込部と支持部材の位置関係が異なる他の形態を示す図である。
【符号の説明】
【００７３】
４  センターシャフト
５  吸着ノズル
６  交換操作手段
１０  基台
１２  部品供給部
１５  ヘッドユニット
１５ａ  吸着ヘッド
６０  支持部材（支持手段）
６４  押動手段
６５  選択手段
６７  吸着ノズル押し下げ手段（高さ調整手段）
Ａｘ１  ノズル中心軸（軸線）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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