(57)【要約】【課題】機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に膠着した異物等を確実に排出除去することのできる機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法等を提供することを課題とする。【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド２５から機能液滴を吐出してワークＷに描画を行なう液滴吐出装置１に搭載され、機能液供給流路を介して機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法であって、機能液供給流路にクリーニング剤を供給するクリーニング剤供給流路６２を接続し、機能液滴吐出ヘッド２５を吸引して、クリーニング剤供給流路６２から導入したクリーニング剤を機能液と共に機能液滴吐出ヘッド２５に通液し、機能液滴吐出ヘッド２５をクリーニングする。【選択図】図７
2010214315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出してワークに描画を行なう液滴吐出装置に搭載され、
機能液供給流路を介して機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記機能液供給流路にクリーニング剤を供給するクリーニング剤供給流路を接続し、
前記機能液滴吐出ヘッドを吸引して、前記クリーニング剤供給流路から導入した前記クリーニング剤を前記機能液と共に前記機能液滴吐出ヘッドに通液し、前記機能液滴吐出ヘッドをクリーニングすることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項２】
前記クリーニング剤は、前記機能液の溶媒であることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項３】
前記クリーニング剤は、気体であることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項４】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出してワークに描画を行なう液滴吐出装置に搭載され、
機能液供給流路を介して機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置であって、
前記機能液供給流路に接続されたクリーニング剤供給流路と、
前記クリーニング剤供給流路を介して前記機能液供給流路にクリーニング剤を供給するクリーニング剤供給手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドに離接自在に密接する吸引キャップを有する吸引手段と、
前記クリーニング剤供給手段および前記吸引手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを吸引すると共に、前記クリーニング剤供給流路から前記クリーニング剤を供給し、前記クリーニング剤を前記機能液と共に前記機能液滴吐出ヘッドに通液し、前記機能液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置。
【請求項５】
前記機能液供給流路と前記クリーニング剤供給流路との接続部分には、前記機能液と前記クリーニング剤とを合流させるＹ字状の合流部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置。
【請求項６】
前記クリーニング剤は、前記機能液の溶媒であることを特徴とする請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置。
【請求項７】
前記クリーニング剤は、気体であることを特徴とする請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置。
【請求項８】
請求項４ないし７のいずれかに記載のクリーニング装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に搭載された機能液滴吐出ヘッドをクリーニングする機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、クリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して相対移動しながら機能液を吐出して所定の描画処理を機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する加圧送液手段と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させ、吸引ポンプを駆動することで機能液滴吐出ヘッドのノズルから機能液の強制吸引を行う吸引ユニットと、を備えた液滴吐出装置が知られている（特許文献１）。
この液滴吐出装置では、加圧送液手段を用いて、機能液滴吐出ヘッドに機能液を加圧送液した後、吸引ユニットによる負圧を用いて、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引することで、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路の変質した機能液の固形成分からなる異物や残留気泡を機能液と共に排出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１８８４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記の異物や残留気泡には、ヘッド内流路に膠着したものもあり、このような異物等の場合、機能液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引しただけでは確実に除去できないという問題が実際に生じていた。もちろん、吸引ユニットの吸引力を極端に強くすれば、このような異物も除去することができるが、このようにすると吸引ユニットが大掛かりになると共に、強い負圧により機能液滴吐出ヘッドが損傷するおそれがある。
【０００５】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に膠着した異物や（残留）気泡であっても確実に排出除去することのできる機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、クリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出してワークに描画を行なう液滴吐出装置に搭載され、機能液供給流路を介して機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、機能液供給流路にクリーニング剤を供給するクリーニング剤供給流路を接続し、機能液滴吐出ヘッドを吸引して、クリーニング剤供給流路から導入したクリーニング剤を機能液と共に機能液滴吐出ヘッドに通液し、機能液滴吐出ヘッドをクリーニングすることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出してワークに描画を行なう液滴吐出装置に搭載され、機能液供給流路を介して機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッドのクリーニング装置であって、機能液供給流路に接続されたクリーニング剤供給流路と、クリーニング剤供給流路を介して機能液供給流路にクリーニング剤を供給するクリーニング剤供給手段と、機能液滴吐出ヘッドに離接自在に密接する吸引キャップを有する吸引手段と、クリーニング剤供給手段および吸引手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドを吸引すると共に、クリーニング剤供給流路からクリーニング剤を供給し、クリーニング剤を機能液と共に機能液滴吐出ヘッドに通液し、機能液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うことを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッド内の流路（ヘッド内流路）に膠着した異物等（気泡含む）は、ヘッド内流路に導入されたクリーニング剤により溶解（分解）或いは衝撃を受け、機能液滴吐出ヘッドから確実に排出除去することができる。これにより、機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行うことができ、高品質な機能液の吐出を維持することができる。
【０００９】
この場合、機能液供給流路とクリーニング剤供給流路との接続部分には、機能液とクリーニング剤とを合流させるＹ字状の合流部が設けられていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、機能液とクリーニング剤との合流を円滑に行うことができる。これにより、機能液滴吐出ヘッドに対する送液を阻害することがなく、所定の流速を維持することができるため、機能液滴吐出ヘッドから異物等の排出を確実に行うことができる。
【００１１】
これらの場合、クリーニング剤は、機能液の溶媒であることが好ましい。
【００１２】
これらの構成によれば、例えば、異物が機能液の変質による固形成分のこびりつきであった場合、この異物は、導入された機能液の溶媒により溶解される。また、溶媒は、機能液よりも比重（密度）が小さいため、吸引して機能液滴吐出ヘッド内に通液する機能液とクリーニング剤（溶媒）との混合液は、機能液よりも軽量なものとなる。このため、吸引力を増強することなく、機能液のみを吸引する場合に比して、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路を通液する混合液の速度を向上させることができる。これにより、混合液が機能液滴吐出ヘッド内の異物に対して生じさせる衝撃を増強することができ、確実に異物を排出除去することができる。
【００１３】
他にも、これらの場合、クリーニング剤は、気体であることが好ましい。
【００１４】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路をバブリング洗浄することができる。また、機能液と気体との気体混合液は、機能液に比して軽量（単位体積あたり）となるため、ヘッド内流路を通液する気体混合液の速度を飛躍的に向上させることができる。これにより、機能液滴吐出ヘッド内の異物除去率を更に高めることができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、上記したクリーニング装置と、機能液滴吐出ヘッドと、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッド内の異物を適切に除去することができ、吐出不良を適切に防止することができる。これにより、ワークに対して所定の描画を適切に行うことができ、液滴吐出装置で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載されたキャリッジユニット（ヘッドユニット）を模式的に表した平面図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図４】機能液供給ユニットを模式的に示した系統図である。
【図５】キャップユニットの平面図（ａ）および吸引ユニットの側面図（ｂ）である。
【図６】吸引ユニットの配管系統図である。
【図７】機能液供給ユニット、クリーニング剤供給装置および吸引ユニットを模式的に示した系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るクリーニング装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。また、クリーニング剤供給装置（クリーニング装置）は、サブタンクから供給された機能液にクリーニング剤を混入して機能液滴吐出ヘッドをクリーニングするものである。
【００１９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１２ａ上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル１２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３ａ上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５が搭載された１３個のキャリッジユニット１４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー１５と、チャンバー１５を貫通して機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液供給ユニット１６と、を備えており、チャンバー１５の側壁の一部には、機能液供給ユニット１６の主要部を為すメインタンク４０等を収納するタンクキャビネット５０が設けられている。この液滴吐出装置１は、制御装置１７により装置全体が統括制御され、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド２５を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００２０】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット２１、吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３、吐出性能検査ユニット２４から成るメンテナンス装置１８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド２５の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１２とＹ軸テーブル１３とが交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル１３とメンテナンス装置１８（吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３）が交わる部分（メンテナンスエリア）にキャリッジユニット１４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を行う。
【００２１】
図１および図２に示すように、各キャリッジユニット１４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート２６と、各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を大気圧基準で供給する１２個の圧力調整弁２７と、を有するヘッドユニット１９を備えている。各圧力調整弁２７は、ヘッドプレート２６上において機能液滴吐出ヘッド２５の分割方向と直交する方向に６個ずつ２群に分割して配設されている。各キャリッジユニット１４は、一対のＹ軸支持ベース１３ａに掛け渡されたブリッジプレート１３ｂに吊設されている。各キャリッジユニット１４は、ブリッジプレート１３ｂ上に配設されたサブタンク４１から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁２７を介して各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液が供給されるようになっている（図４参照）。なお、キャリッジユニット１４の個数および各キャリッジユニット１４に搭載される機能液滴吐出ヘッド２５の個数は任意である。
【００２２】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なる２連のポンプ部３３と、ポンプ部３３に連なるノズルプレート３５と、を備えている。機能液導入部３１の接続針３４には、後述する２本の２次側チューブ４３ｂが接続され（図４参照）、ノズルプレート３５のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３６で構成されている。ヘッド基板３２は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置１７が接続されており、制御装置１７から出力された駆動波形が各ポンプ部３３（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３６から機能液が吐出される。なお、各接続針３４から各吐出ノズル３６に至る経路を、以下「ヘッド内流路３７」と呼ぶ。
【００２３】
図１および図４に示すように、機能液供給ユニット１６は、チャンバー１５に併設のタンクキャビネット５０に収容された６個（６色）のメインタンク４０と、各ブリッジプレート１３ｂ上に配設された複数（１３個）のサブタンク４１と、メインタンク４０と複数のサブタンク４１とを接続するタンク側チューブ４２と、各サブタンク４１と各機能液滴吐出ヘッド２５を接続する複数のヘッド側チューブ４３と、を備えている。各ヘッド側チューブ４３には、機能液滴吐出ヘッド２５と共にキャリッジユニット１４に搭載された圧力調整弁２７が介設されており、ヘッド側チューブ４３は、サブタンク４１と圧力調整弁２７とを接続する１次側チューブ４３ａと、圧力調整弁２７と機能液滴吐出ヘッド２５とを接続する２次側チューブ４３ｂと、を有している。また、２次側チューブ４３ｂには、クリーニング剤供給装置６０（クリーニング装置）が介設されており、２次側チューブ４３ｂに対してクリーニング剤を供給するようになっている（詳細は後述）。
【００２４】
メインタンク４０から送液された機能液は、タンク側チューブ４２を通って各サブタンク４１に貯留される。各サブタンク４１の機能液は、各機能液滴吐出ヘッド２５の駆動に応じ、ヘッド側チューブ４３および圧力調整弁２７を介して、機能液滴吐出ヘッド２５に自然水頭で供給される。一方、１次側チューブ４３ａには、サブタンク４１の近傍に位置してチューブ開閉バルブ４３ｃ介設されており、キャリッジユニット１４（ヘッドユニット１９）を交換する場合には、このチューブ開閉バルブ４３ｃを閉弁した後、１次側チューブ４３ａを圧力調整弁２７から接続を解除（離脱）し、この状態で交換が行われる。
【００２５】
図１に示すように、フラッシングユニット２１は、一対の描画前フラッシングユニット２１ａと、定期フラッシングユニット２１ｂと、を有し、描画処理直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド２５の捨て吐出を受ける。吸引ユニット２２は、１３台のキャップユニット４４を有し、各機能液滴吐出ヘッド２５の吐出ノズル３６から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット２３は、吸引後の機能液滴吐出ヘッド２５のノズル面ＮＦを拭取る。吐出性能検査ユニット２４は、機能液滴吐出ヘッド２５の吐出の有無および飛行曲りを検査する。
【００２６】
次に、図５および図６を参照して、吸引ユニット２２について説明する。吸引ユニット２２は、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５に対応する１２個の吸引キャップ４４ａをキャッププレート４４ｂに配置した１３台のキャップユニット４４と、支持部材４５ａを介して各キャップユニット４４を昇降させる１３台の昇降機構４５と、各キャップユニット４４に連なると共に機能液の流路を有する１３個の吸引流路系４６と、各吸引流路系４６に連なると共に２つの圧力水準の異なる（高圧・低圧）２つのエジェクター５５に対応した２つの廃液タンク５３を有する吸引機構４７と、を備えている。また、吸引ユニット２２は、吸引機構４７等に制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備４８と、各部から排気を行うための排気設備４９と、を備えている（正確には、これらは、液滴吐出装置１を設置する工場内に備え付けられている）。
【００２７】
各キャップユニット４４は、各色２個、計１２個の機能液滴吐出ヘッド２５に対応した吸引キャップ４４ａと、これらを一括して搭載したキャッププレート４４ｂと、から成り、１２個の吸引キャップ４４ａは、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５と同じ並びで且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート４４ｂに搭載されている（図５（ａ）参照）。各昇降機構４５は、支持部材４５ａを介して吸引キャップ４４ａを直接昇降させる昇降シリンダ４５ｂと、昇降シリンダ４５ｂによる昇降をガイドする一対のリニアガイド４５ｃと、これらを支持するベース部４５ｄと、を有している（図５（ｂ）参照）。昇降機構４５は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離間位置と、ヘッドユニット１９の交換やキャップユニット４４の消耗品交換（メンテナンス）用の交換位置との間でキャップユニット４４を３段階に昇降させる。
【００２８】
図６に示すように、各吸引流路系４６は、各キャップユニット４４に連なるキャップ側流路５１と、キャップ側流路５１に連なるタンク側流路５２と、から構成されている。キャップ側流路５１は、１２個の吸引キャップ４４ａに接続され、機能液の色別に合流して計６本になり、その各下流端で一次マニホールド５１ａに接続されている。タンク側流路５２は、上流端を一次マニホールド５１ａに接続し、各二次マニホールド５２ａを介して、２つの圧力水準に対応した各廃液タンク５３に、それぞれ接続されている。なお、キャップ側流路５１およびタンク側流路５２には、流路の開閉するキャップ側流路開閉バルブ５１ｂおよびタンク側流路開閉バルブ５２ｂが、それぞれ介設されている。
【００２９】
吸引機構４７の廃液タンク５３は、高圧（第１水準）で使用する第１廃液タンク５３ａと、低圧（第２水準）で使用する第２廃液タンク５３ｂとで構成されている。さらに、第２廃液タンク５３ｂには、上記したフラッシングユニット２１が、フラッシング流路５４を介して接続されている。また、各エジェクター５５は、圧縮エアー供給設備４８から一次側に圧縮エアーを導入すると共に、二次側にタンク連通流路５６を介して接続した廃液タンク５３から、排気設備４９にエアーを排気することでタンク連通流路５６内を減圧する。
【００３０】
本実施形態における液滴吐出装置１の稼動停止時には、Ｙ軸テーブル１３により１３個のキャリッジユニット１４が１３台の吸引ユニット２２の位置まで移動し、キャップユニット４４を密接位置に上昇させ、全機能液滴吐出ヘッド２５に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全機能液滴吐出ヘッド２５に対し、キャッピングされた状態でエジェクター５５を駆動して吸引処理が行なわれ（初期充填）、続いてキャリッジユニット１４単位でワイピング処理が行なわれる。そして、１３台のキャリッジユニット１４は順次、Ｘ軸テーブル１２にセットされたワークＷ上に移動する。
【００３１】
次に、図７を参照して、クリーニング剤供給装置６０（クリーニング装置）について詳細に説明する。詳細は後述するが、このクリーニング剤供給装置６０は、機能液滴吐出ヘッド２５に対して吸引ユニット２２により吸引処理を施すことで機能液滴吐出ヘッド２５の機能回復を図る際に用いられるものである。クリーニング剤供給装置６０は、上記した通り、２次側チューブ４３ｂに介設されているものであり、クリーニング剤を貯留するクリーニング剤タンク６１と、クリーニング剤タンク６１に接続し、クリーニング液が通液する複数のクリーニング剤供給流路６２と、各２次側チューブ４３ｂに介設され、各クリーニング剤供給流路６２を２次側チューブ４３ｂに連通させる複数のクリーニング剤合流部６３と、から構成されている。なお、本実施形態では、クリーニング剤として機能液の溶媒を用いている。
【００３２】
クリーニング剤タンク６１は、圧空流路７１を介して圧縮エアー供給設備４８に連通しており、クリーニング剤タンク６１内を加圧することで、貯留したクリーニング剤を各クリーニング剤供給流路６２へと送液することができるようになっている。なお、圧空流路７１には、これを開閉する圧空開閉バルブ７２が介設されている。
【００３３】
各クリーニング剤供給流路６２には、これを開閉するためのクリーニング開閉バルブ７３が介設されている。このクリーニング開閉バルブ７３は制御装置１７により開閉制御されている。なお、クリーニング開閉バルブ７３は、クリーニング剤の通液量を制御可能（調整可能）なものであってもよい。
【００３４】
クリーニング剤合流部６３は、略円筒形状の外観を為し、内部に円柱形の合流室７６が形成された合流部本体７５と、合流室７６の上流側端部に開口した流入ポート７７と、合流室７６の下流側端部に開口した流出ポート７８と、合流部本体７５の側面に凸設され、クリーニング剤供給流路６２が接続されるクリーニング剤合流ポート７９と、を有している。流入ポート７７および流出ポート７８には、それぞれ２次側チューブ４３ｂが、直線的に連通するように接続されており、この直線的な流れが本流（メインストリーム）となっている。
【００３５】
クリーニング剤合流ポート７９は、合流部本体７５側面の流入ポート７７側において、上流側に向かって斜めに凸設されており、クリーニング剤合流部６３は、全体として略「Ｙ」字状の外観を為している。上記のクリーニング剤供給流路６２は、上流側から下流側に向かって斜めにクリーニング剤合流ポート７９に挿通され、合流室７６まで延在している。すなわち、クリーニング剤供給流路６２の下流端部は、合流室７６に斜めに突き出してクリーニング剤を、斜め下流方向に噴き出す噴出ノズル７４を為している。この噴出ノズル７４から噴き出されたクリーニング剤は、合流室７６において機能液の流れ（本流）を阻害することなく合流し、機能液と混合された混合液となって流出ポート７８から機能液滴吐出ヘッド２５のヘッド内流路３７へと送液される。
【００３６】
これにより、吸引ユニット２２による吸引の際に、ヘッド内流路３７を通る混合液の流速を高めることができる。また、クリーニング剤として用いられている機能液の溶媒は、機能液より軽量であり、通液する混合液の単位体積当りの重量も軽くなるため、吸引ユニット２２の吸引力を増強することなく、その流速を高めることができる。このように、ヘッド内流路３７を通る混合液の流速を高めることで、後述する機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法（機能回復）による異物除去率を向上させている。なお、クリーニング剤合流部６３は、単なるＹ継手であってもよい。
【００３７】
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置１の制御装置１７による吸引ユニット２２を用いた機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法（吐出不良解消等の機能回復処理）について説明する。このクリーニング方法は、吐出性能検査ユニット２４により吐出不良と判断された機能液滴吐出ヘッド２５に対し、吸引ユニット２２により強制的な吸引を行うことで、ヘッド内流路３７をクリーニングし、その機能を回復させるものである。なお、機能液滴吐出ヘッド２５の吐出不良の原因としては、ヘッド内流路３７における機能液の増粘や、機能液の変質による固形成分のこびりつき等がある。他にも、本装置の設置時やキャリッジユニット１４交換時等に各機能液滴吐出ヘッド２５に対して機能液を導入する、いわゆる初期充填の際に混入（流入）した気泡が吐出不良の原因となる場合がある。なお、吸引ユニット２２による吸引は、機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング時のみならず、上記の初期充填時にも行われる。
【００３８】
先ず、機能回復の対象となる機能液滴吐出ヘッド２５を有するキャリッジユニット１４をメンテナンスエリアに臨ませる。そして、対応するキャップユニット４４を、昇降機構４５を駆動して密着位置に上昇させ、各機能液滴吐出ヘッド２５のノズル面ＮＦを封止すると共に、チューブ開閉バルブ４３ｃ、キャップ側流路開閉バルブ５１ｂおよびタンク側流路開閉バルブ５２ｂを開き、各サブタンク４１と第１廃液タンク５３ａとを連通させる。また、これに伴い、圧空開閉バルブ７２およびクリーニング開閉バルブ７３も開く。
【００３９】
その後、圧縮エアー供給設備４８を駆動し、クリーニング剤の供給を開始すると共に、各機能液滴吐出ヘッド２５から機能液とクリーニング剤との混合液を高圧吸引する。これにより、上述したように、ヘッド内流路３７を流れる混合液の流速は、機能液のみの吸引時よりも高速となるため、吐出不良の原因となる異物を確実に排出除去することができる。また、クリーニング剤として機能液の溶媒を使用しているため、異物として機能液の固形成分がヘッド内流路３７に付着している場合には、これを溶解し、除去することができる。なお、十分な流速が得られるのであれば、第２廃液タンク５３ｂに連通させ、低圧で吸引してもよいし、高圧・低圧を組み合わせて（例えば、交互に）吸引してもよい。
【００４０】
所定時間が経過すると、ヘッド内流路３７内の異物が排出されたものとみなされ、クリーニング開閉バルブ７３は、閉塞されクリーニング剤の供給が停止される。すると、ヘッド内流路３７には、機能液のみが供給され続ける。そして、混合液がヘッド内流路３７から全て排出された時点（所定時間経過）で、キャップ側流路開閉バルブ５１ｂおよびタンク側流路開閉バルブ５２ｂを閉じ、機能液の吸引を停止する。これにより、異物が除去されたヘッド内流路３７には機能液が充填された状態となり、再び吐出性能検査ユニット２４による吐出検査の実施後に、ワークＷに対する描画処理へと無駄なく円滑に移行することができる。
【００４１】
上述した機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法（第１実施形態）では、機能液とクリーニング剤（溶媒）との混合液を機能液滴吐出ヘッド２５のヘッド内流路３７に導入して吸引ユニット２２により吸引しているが、クリーニング剤のみを吸引するようにしてもよい（第２実施形態）。この場合、吸引処理の際に、チューブ開閉バルブ４３ｃを閉じて、クリーニング剤供給装置６０に機能液が供給されないように制御する。なお、その他の実施手順は、第１実施形態と同様であるため説明は省略する。
【００４２】
また、その他の機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法の実施手順として、機能液のみの吸引と、機能液およびクリーニング剤（混合液）の吸引と、クリーニング剤のみの吸引と、をそれぞれ任意に組み合せてもよい（第３実施形態）。このように、供給する液体の密度を変えることにより、ヘッド内流路３７に導入された液体が脈動するため、異物に対する衝撃が強まり、異物除去率が更に高まる。
【００４３】
次に、クリーニング剤供給装置６０の他の形態（第４実施形態）について説明する。この第４実施形態に係るクリーニング剤供給装置６０では、上述の第１実施形態においてクリーニング剤として用いていた機能液の溶媒に代えて、クリーニングガス（気体）を用いている。このクリーニングガスとしては、装置外側の外気（いわゆる空気）、窒素若しくはアルゴン等またはこれらの混合ガス等を用いている。クリーニングガスとして空気を用いる場合には、クリーニング剤タンク６１を省略し、クリーニング剤供給流路６２の上流端を圧縮エアー供給設備４８に接続して、クリーニング剤合流部６３に圧空を供給する。また、クリーニングガスとして窒素等を用いる場合には、クリーニング剤タンク６１をクリーニングガスの貯留に適したものに変更することが好ましい（例えば、高い内圧に耐えるような球形タンク等）。なお、気体用のクリーニング剤タンク６１に圧縮エアーを貯留するようにしてもよい。
【００４４】
一般的には、ヘッド内流路３７に気泡が残留すると吐出不良の原因となるため、ヘッド内流路３７のクリーニング時に通液するクリーニング剤には、気体を混入させないようにしている。これに対し、第４実施形態に係る機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法では、意識的にクリーニングガスを機能液に混入した気体混合液を用いることで、ヘッド内流路３７を通る気体混合液の流速を飛躍的に高め、ヘッド内流路３７に膠着した異物等の排出除去を確実に行えるようにしている。
【００４５】
なお、クリーニング方法の手順は、第１実施形態等と同様であるため詳細な説明は省略するが、上記の気体混合液の通液に続いて機能液のみの通液が行われるため、ヘッド内流路３７に（気体混合液の）気泡が残留することなく、機能液の充填が完了する。これにより、ヘッド内流路３７に対し、いわゆるバブリング洗浄を施すことができ、且つ機能回復した状態の機能液滴吐出ヘッド２５を即座にワークＷに対する描画処理に供することができる。なお、この場合、第３実施形態と同様に、機能液のみの吸引と、機能液およびクリーニングガス（気体混合液）の吸引と、をそれぞれ任意に組み合せてもよい。
【００４６】
以上の構成によれば、吸引ユニット２２の吸引力を増強することなく、機能液滴吐出ヘッド２５のヘッド内流路３７を通液する混合液の速度を向上させることができる。これにより、混合液がヘッド内流路３７の異物（気泡含む）に対して生じさせる衝撃を増強することができ、確実に異物を排出除去することができる。これにより、各機能液滴吐出ヘッド２５の吐出不良を防止し、ワークＷに対して所定の描画を適切に行うことができ、液滴吐出装置１で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１：液滴吐出装置、１６：機能液供給ユニット、１７：制御装置、２２：吸引ユニット、２５：機能液滴吐出ヘッド、４０：メインタンク、４１：サブタンク、４３：ヘッド側チューブ、４３ａ：１次側チューブ、４３ｂ：２次側チューブ、６０：クリーニング剤供給装置、６１：クリーニング剤タンク、６２：クリーニング剤供給流路、６３：クリーニング剤合流部、７６：合流室、Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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