(57)【要約】 【課題】プレート部材の形状やサイズ寸法によらずに、工程上安定した組立を可能にし、衝撃などが加わっても高品位な画像品質を提供可能とする。【解決手段】少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これらを一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、前記ホルダが前記プレート部材と接する面、或いはその近傍で前記プレート部材と対向する面には、固定作業に使用する貫通穴を設けたことを特徴とする。【選択図】図６
2010197714.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これらを一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、
前記プレート部材と接する前記ホルダの固定面、或いは前記固定面の近傍で前記プレート部材と対向する前記ホルダの面には、固定作業に使用する貫通穴を設けたことを特徴とする光偏向装置。
【請求項２】
前記貫通穴は、固定作業において真空吸着して仮固定するための吸引穴として利用されることを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項３】
前記貫通穴は前記ホルダに複数設けられ、少なくとも一つが真空吸着して仮固定するための吸引穴であり、プレート部材によって塞がれていることを特徴とする請求項２に記載の光偏向装置。
【請求項４】
前記吸引穴以外の貫通穴のうちの一つは、締結部材を通して本固定するための固定穴であることを特徴とする請求項３に記載の光偏向装置。
【請求項５】
前記貫通穴には、接着剤が注入され、前記プレート部材を前記ホルダに接着固定していることを特徴とする請求項１記載の光偏向装置。
【請求項６】
前記貫通穴は前記ホルダに複数設けられ、前記プレート部材によって塞がれる前記貫通穴の少なくとも１つに接着剤が注入されていることを特徴とする請求項５に記載の光偏向装置。
【請求項７】
画像情報に基づいて変調されたレーザビームを出射する光源装置と、該光源装置から出射されるレーザビームを偏向して感光体上に走査する光偏向装置と、該光偏向装置により走査されたレーザビームを感光体上に結像する結像光学系と、これらを一体に収容する光学箱とを有する光学走査装置であって、
前記光偏向装置として請求項１乃至６のいずれかの項に記載の光偏向装置を用いたことを特徴とする光学走査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の光学走査装置を具備した画像形成装置。
【請求項９】
少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これらを一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、
前記プレート部材と接する前記ホルダの固定面、或いは前記固定面の近傍で前記プレート部材と対向する前記ホルダの面には、固定作業に使用する貫通穴が設けられており、第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持して前記ホルダの所定位置まで搬送し、前記第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持した状態で、前記貫通穴を通じて第２の真空吸着装置で前記ホルダ側から前記プレート部材を真空吸着して前記プレート部材を前記ホルダに対して仮固定し、その後、前記第１の真空吸着装置の吸着を解除して前記第１の真空吸着装置を前記プレート部材から離間させ、前記第２の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着した状態で前記ホルダに前記プレート部材を固定することを特徴とする光偏向装置の組み立て方法。
【請求項１０】
少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これら
を一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、
前記プレート部材と接する前記ホルダの固定面、或いは前記固定面の近傍で前記プレート部材と対向する前記ホルダの面には、固定作業に使用する貫通穴が設けられており、第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持して前記ホルダの所定位置まで搬送し、前記第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持した状態で、前記貫通穴に接着剤を注入し、接着剤が硬化した後、前記第１の真空吸着装置の吸着を解除することを特徴とする光偏向装置の組み立て方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば、ＬＢＰやデジタル複写機、デジタルＦＡＸ等の画像形成装置において、レーザビームを用いて光書き込みを行う光学走査装置に用いられる光偏向装置、それを備えた光学走査装置、画像形成装置及び光偏向装置の組み立て方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の揺動するミラーを用いた光偏向装置には、複数のミラーを具備し、それらを揺動軸方向に両側支持したものだけでなく、片側支持をしているものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３２６７４５号公報（第６頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来例では、２つの振動子を片側支持する構成であったため、プレート部材の形状や、それによって定まる重心によっては、以下のような未解決の課題があった。
【０００５】
図１１は、プレート部材６１を、ホルダ７０に対して組み付ける工程を順次示したものである。
【０００６】
従来例では述べられていないものの、プレート部材６１の固定部７２は、仮に正方形状であると仮定して説明する。
【０００７】
半導体プロセスによって製作されたプレート部材６１は、１つ１つの素子にダイシングされた後、マグネット６６を実装、着磁等の工程を経た後、搬送トレイ７５に載置され、次工程に搬送される（図１１（Ａ）あるいは図１１（Ｂ））。図１１（Ａ）は上面図、図１１（Ｂ）が正面図となっている。
【０００８】
次工程を示すのが、図１１（Ｃ）である。本工程では、搬送トレイ７５に載置され搬送されてきたプレート部材６１をバキュームコレット７６によって吸着し、搬送トレイ７５から持ち上げる。この時、バキュームコレット７６のバキューム孔７７によって、プレート部材６１はバキュームされ、矢印Ｅ方向に持上げられる。矢印Ｄはバキュームエアを示す。バキュームコレット７６で吸着しているのは、プレート部材６１の固定部７２である。
【０００９】
次に、図１１（Ｄ）に示すように、プレート部材６１をホルダ７０上の所定の組付け位置にセットする。バキュームコレット７６でプレート部材６１の固定部７２を吸着して搬送し、プレート部材６１の固定部７２をホルダ７０の固定面７４にしっかり当接させる。
【００１０】
そして、図１１（Ｅ）に示すように、バキュームコレット７６のバキュームを切って、バキュームコレット７６からプレート部材６１が剥がれるようにし、バキュームコレット７６が矢印Ｆ方向に退避する。その後、接着などの方法を用いて、プレート部材６１をホルダ７０にしっかりと固定する。
【００１１】
しかし、実際には図１１（Ｅ）で示したように、バキュームコレット７６が退避すると、次のような不具合が発生する。
【００１２】
その様子を、図１１（Ｆ）に示す。プレート部材６１の重心Ｇが固定部７２上に必ずしも存在しないために、矢印Ｈで示す方向にプレート部材６１は傾いて、プレート部材６１の固定部７２がホルダ７０の固定面７４から浮いてしまい、姿勢が崩れる。
【００１３】
これにより以下のような問題が生じる。
プレート部材６１の固定部７２とホルダ７０の固定面７４とが、しっかり当接した状態が正規の状態であるので、傾くということは、プレート部材６１の初期姿勢が出ていないことを指す。
【００１４】
これにより、光学走査装置において、ビームが光学レンズの有効範囲から外れたりなど設計範囲外の軌跡を辿ることで、感光体上でビームスポット形状が崩れたり回転したりして結像性能が悪化する恐れがある。
【００１５】
プレート部材６１が傾いてしまうと、その後の工程でしっかりとした接着などの固定ができない等の恐れもある。つまり、固定部７２が浮いた状態では、隙間に接着剤等が十分に浸透せず、部分的にしか接着ざれずに固定面積が不十分となるために、保持力が低下する恐れもある。プレート部材６１の固定において保持力が不十分だと、その後、画像形成装置に衝撃などが加わった場合に、プレート部材１が脱落したり、ずれたりする恐れがある。
【００１６】
また、プレート部材６１が傾いてしまうだけでなく、最悪の場合、接着するまでの間にプレート部材６１がホルダ７０から脱落してしまい、工程上損品となる恐れもある。工程において、プレート部材６１が脱落して損品となると、製造コストを押し上げる恐れがある。
【００１７】
これら不具合を回避するために、プレート部材６１がホルダ７０と当接する固定面７４のみで支持できるように、プレート部材６１の形状を工夫することも可能であるが、それは設計上大きな制約となる。プレート部材６１が組み込まれる光偏向装置や光学走査装置の大きさ・形状等の制限によっては、設計解がない場合も発生しうる。
【００１８】
プレート部材６１は半導体プロセスで製作されるため、コストを安く作るためには、一枚のウェハあたりから取れる数、所謂取り個数ができる限り多い方が望ましい。ウェハサイズを大きくすると、ウェハ単価や場合によっては工数が増えるし、取扱も難しくなるので、プレート部材６１の一個あたりのサイズを小さくして、取り個数を増やし、コストを低減することが一般的である。
【００１９】
これによりプレート部材６１のサイズは可能な限り小さいことが望ましく、固定部７２もできる限り小さいことが望ましい。つまり、固定部７２はバキュームコレット７６で吸着する面積以上に大きくするのは避けるべきであり、これによりバキュームコレット７６退避後にプレート部材６１の姿勢を保持するために用いるべき面積の確保が難しくなるのである。
【００２０】
すると、単結晶シリコン等からなるプレート部材６１もサイズが小さくなると非常に軽くなるので、プレート部材６１をホルダ７０に置くだけでは、工程において振動や空調の風などが当たることによってそもそも位置ズレは生じやすい。
【００２１】
一方、図１１（Ｅ）でバキュームコレット７６が退避せず、プレート部材６１をバキューム保持しながら、プレート部材６１をホルダ７０に固定する方法もある。しかし、プレート部材６１のサイズが小さくなると固定部７２が小さくなり、固定部７２の一方の面は、ホルダ７０の固定面７４に当接させるだけで面積を使いきってしまい、反対側の面もバキュームコレット７６で吸着するだけで面積を目一杯使いきってしまう。
【００２２】
プレート部材６１のサイズを最小にし、これによりプレート部材６１のコストを可能な限り下げる、そのためにはプレート部材６１の固定部７２を大きくするわけにはいかない。つまり、これまで説明してきたような構成では、バキューム保持しながらプレート部材６１をホルダ７０に固定するのは非常に困難である。
本出願に係る発明の目的は、上述の問題を解消し、プレート部材の形状やサイズ寸法によらずに、工程上安定した組立を可能にし、衝撃などが加わっても高品位な画像品質を提供可能な光偏向装置、それを備えた光学走査装置、画像形成装置及び光偏向装置の組み立て方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するために、本発明の光偏向装置は、少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これらを一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、前記ホルダが前記プレート部材と接する面、或いはその近傍で前記プレート部材と対向する面には、固定作業に使用する貫通穴を設けたことを特徴とする。
本発明の光学走査装置は、画像情報に基づいて変調されたレーザビームを出射する光源装置と、該光源装置から出射されるレーザビームを偏向して感光体上に走査する上記した光偏向装置と、この光偏向装置により走査されたレーザビームを感光体上に結像する結像光学系と、これらを一体に収容する光学箱とを有する。
また、本発明の画像形成装置は、上記した光学走査装置を具備することを特徴とする。
また、本発明の光偏向装置の組み立て方法は、第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持して前記ホルダの所定位置まで搬送し、前記第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持した状態で、前記貫通穴を通じて第２の真空吸着装置で前記ホルダ側から前記プレート部材を真空吸着して前記プレート部材を前記ホルダに対して仮固定し、その後、前記第１の真空吸着装置の吸着を解除して前記第１の真空吸着装置を前記プレート部材から離間させ、前記第２の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着した状態で前記ホルダに前記プレート部材を固定することを特徴とする。
また他の光偏向装置の組み立て方法は、第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持して前記ホルダの所定位置まで搬送し、前記第１の真空吸着装置で前記プレート部材を吸着保持した状態で、前記貫通穴に接着剤を注入し、接着剤が硬化した後、前記第１の真空吸着装置の吸着を解除することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように、本発明によれば、ホルダに、固定作業に使用する貫通穴を設けたので、貫通穴を利用して真空吸着、あるいは接着固定することができ、プレート部材を最小限の大きさとすることができる。したがって、一枚のウェハからの取り個数を最大限に確保し、コストを最小限に抑えながら、プレート部材をホルダに高精度に十分な保持力で仮固定できる。これにより、プレート部材の初期姿勢を高精度化し、工程での脱落などの不良を低減して、安定した組立工程が実現できる。ひいては、工数コストを低減し、安価な光学走査装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施例１に係る光偏向装置を具備した画像形成装置の構成を示す断面図である。
【図２】実施例１に係る光偏向装置を具備した光学走査装置の構成を示す斜視図である。
【図３】図２の光偏向装置の一部の構成を示す斜視図である。
【図４】図２の光偏向装置の動作原理を説明する図である。
【図５】図２の光変向装置の構成を示すもので、同図（Ａ）は組み立て状態の斜視図、同図（Ｂ）は分解斜視図である。
【図６】図５に示す光偏向装置においてプレート部材をホルダに組み付ける工程を説明する図である。
【図７】図５の光偏向装置の変形例を示す部分断面図であり、組立工程の一部を説明する図である。
【図８】図５の光偏向装置の変形例を示す部分断面図であり、組立工程の一部を説明する図である。
【図９】実施例２に係る光変向装置において、プレート部材をホルダに組み付ける工程を説明する図である。
【図１０】図２の光偏向装置のホルダの固定面の変形例を示す図である。
【図１１】従来の光偏向装置の課題を説明するための組み立て工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。  
【実施例１】
【００２７】
図１は、本発明を適用可能な実施例１に係る光偏向装置が適用される光学走査装置を具備した画像形成装置の一例を示す断面図である。
すなわち、この画像形成装置は、画像情報に基づいて変調されたレーザビームＬが光学走査装置３１から出射され、このレーザビームＬにより感光体上である感光ドラム３２のドラム表面が走査されて静電潜像が形成される。この静電潜像は、一次帯電器３３によって一様に帯電している感光ドラム３２面上に形成されており、現像器３４によって可視像化される。感光ドラム３２面上に形成された画像は、転写帯電ローラ３５によって転写材３６に転写された後、定着器３７によって熱定着され、排紙ローラ３８等によって装置外に出力される。
【００２８】
図２は、上記画像形成装置に具備された光学走査装置の構成を示す斜視図である。
レーザユニット（光源装置と呼び替えてもよい）４１から取り出されたコリメート光は、光偏向装置４２によって偏向走査される。その後、順に結像光学系を構成するＦθレンズ４３、折り返しミラー４４によって最終的には感光ドラム３２表面に到達する（一点鎖線）。コリメート光は、感光ドラム３２幅内で最適に絞り込んだビームとして走査されるようにＦθレンズ４３により成形される。それと共に、走査ビームの一部はＢＤミラー４５により反射されてＢＤセンサ４６により光検知し、ＢＤセンサ４６からの出力信号を基準に走査回毎の書き込み信号を同期させる。
【００２９】
つまり、ビームの書き込み位置ズレを防止する作用もなされている。また光偏向装置４２の反射面の倒れ誤差による感光ドラム３２上の副走査方向（光軸及びビームの走査方向と直角をなす方向、転写材３６の送り方向）のビーム位置ズレを防止するために、シリンドリカルレンズ４７が用いられる。すなわち、結像光学系を構成するシリンドリカルレンズ４７によって、レーザユニット４１から取り出されたビームが、反射面上では副走査方向に圧縮して結像した線像とする。それと共に、反射面と感光ドラム３２面上は、副走査方向では共役関係とする構成が取られている。これらのレーザユニット４１、光偏向装置４２及び結像光学系が不図示の光学箱に一体に収容されている。
【００３０】
図３は、本発明に最も好適な光偏向装置４２の構成の一部を示す斜視図である。
プレート部材（素子）６１は、Ｓｉ単結晶のウェハをエッチング加工して製作されている。プレート部材６１には、２つの可動子６２、６３が備えられている。これら可動子６２、６３はねじりバネ６４、６５によってそれぞれ支持されている。
【００３１】
一方の可動子（駆動子）６３には、棒状の永久磁石（マグネット）６６が接着固定されており、他方の可動子（反射子）６２の表面はアルミ等が蒸着されている。このアルミ等が蒸着された表面は、レーザビームを反射するのに好適な反射膜となっている。レーザビームは矢印Ｌａ（二点鎖線）で示すように偏向される。これら２つの可動子６２、６３やねじりバネ６４、６５等からなるプレート部材６１は、複数の固有振動モードを有しており、本実施例では、走査周期に応じた基本周波数と基本周波数の２倍の周波数の振動モードを有する。これら振動モードでは、２つの可動子６２、６３が揺動軸Ｏまわりにねじり振動する。
【００３２】
アクチュエータ部６７は、鉄心（コア）６８に巻線（コイル）６９を周回させたものである。光偏向装置４２の駆動時は、巻線６９に通電することで駆動子６３に実装された永久磁石６６との間でローレンツ力が生じ、駆動子６３を回動させるトルクが働く。そして、電流をプレート部材６１の振動モードに合わせて変調させることにより、プレート部材６１の可動部が共振振動する。
【００３３】
前述の光偏向装置４２は、プレート部材６１の複数の固有振動数（基本と２倍）を重ね合わせて駆動される。この点を、図４を用いて説明する。図４は本発明の光学走査装置に具備された光偏向装置４２の動作を説明するグラフである。
【００３４】
レーザビームの偏向走査に用いられる反射子６２の振幅角度をθ、時間をｔとすると、下記の式で表される挙動を示す。
θ（ｔ）＝Ａ１ｓｉｎ（ωｔ）＋Ａ２ｓｉｎ（２ωｔ＋φ）＋Ａ３
Ａ１：基本周波数（基本波）における振幅
Ａ２：基本周波数の２倍（倍波）における振幅
ω：基本周波数
φ：基本波と倍波の位相差
Ａ３：静的な角度誤差、例えば反射子６２が振動していない時の姿勢の角度誤差
【００３５】
図４ではφ＝０、Ａ３＝０として図示している。
２つの可動子６２、６３が同じ方向へ同位相で振動する基本波成分と、２つの可動子６２、６３が互い違いに逆位相で且つ基本波の２倍の周波数で振動する倍波成分、この２つを重ね合わせた反射子６２の実際の挙動である合成波の３つを示している。
【００３６】
ここで、各パラメータを適切に設定することにより、１周期内のある範囲において、
θ（ｔ）≒ｋｔ＋α
ｋ，α：いずれも定数
と近似可能な部分が合成波形に現れる。
ｄθ（ｔ）／ｄｔ＝ｋ
【００３７】
この範囲では、上式の関係が成り立つので、反射子６２は略等角速度で振動することとなり、図３におけるビームＬａはある時間範囲では、略等角速度で偏向走査される。
【００３８】
図５は本発明に最も好適な光偏向装置の構成を示す斜視図である。
図５（ａ）に示すように、前述のプレート部材６１及びアクチュエータ部６７は、ホルダ７０によって一体に保持されている。また、図５（ｂ）に示すように、ホルダ７０に対
しアクチュエータ部６７、プレート部材６１が矢印Ｂ、Ｃで示すように順次組みつけられている。
ホルダ７０のプレート部材６１が固定される固定面７４には貫通した貫通穴７３が設けられている。
【００３９】
次に、プレート部材６１をホルダ７０に組み付ける組立工程について、図６を用いて具体的に説明する。
半導体プロセスによって製作されたプレート部材６１は、１つ１つの素子にダイシングされ、マグネット６６を実装、着磁等の工程を経た後、搬送トレイ７５に載置され、次工程に搬送される（図６（Ａ）あるいは図６（Ｂ））。図６（Ａ）は上面図、図６（Ｂ）が正面図となっている。
【００４０】
次工程を示すのが、図６（Ｃ）である。
本工程では、搬送トレイ７５に載置され搬送されてきたプレート部材６１を第１の真空吸着装置としてのバキュームコレット７６によって吸着し、搬送トレイ７５から持ち上げる。この時、バキュームコレット７６のバキューム孔７７によって、プレート部材６１はバキュームされ、矢印Ｅ方向に持ち上げられる。矢印Ｄはバキュームエアを示す。バキュームコレット７６で吸着しているのは、プレート部材６１の固定部７２である。
【００４１】
次に、図６（Ｄ）に示すようにプレート部材６１を、ホルダ７０上の所定位置である組付け位置まで搬送してセットする。次に、第２の真空吸着装置としてのバキューム工具７８で、ホルダ側からプレート部材６１の固定部７２を吸着して搬送し、プレート部材６１の固定部７２をホルダ７０の固定面７４にしっかり当接させる。
そして、図６（Ｅ）に示すように、バキュームコレット７６のバキュームを切って吸着を解除し、バキュームコレット７６からプレート部材６１が剥がれるようにし、バキュームコレット７６が矢印Ｆ方向に離間、すなわち退避する。その後、接着などの方法を用いて、プレート部材６１をホルダ７０にしっかりと固定する。
【００４２】
ホルダ７０の固定面７４は、ホルダ７０がプレート部材６１と接する面であり、固定作業に使用する貫通穴７３が設けられている。この貫通穴７３は、この実施例では、固定作業において真空吸着して仮固定するための吸引穴として利用される。
【００４３】
貫通穴７３の固定面７４と反対側の面には、別のバキューム工具７８が当接している（図６（Ｄ）参照）。プレート部材６１が、バキュームコレット７６によって、ホルダ７０の固定面７４にしっかりと当接するよう支持された状態で、バキューム工具７８が矢印Ｉ方向にバキュームを行い、プレート部材６１をしっかりと支持する（図６（Ｅ）参照）。このように、ホルダ７０の貫通穴７３をプレート部材６１が塞いでいることにより、プレート部材６１はバキュームによってしっかりとホルダ７０に吸着され保持されるのである（図６（Ｆ）参照）。この状態でバキュームコレット７６の矢印Ｉ方向のバキュームを切って解除するので、バキュームコレット７６が退避した後も、プレート部材６１はしっかりとホルダ７０の固定面７４に当接した状態で姿勢を保持できる。すなわち、貫通穴７３を通じてバキューム工具７８でホルダ７０側からプレート部材６１を真空吸着してプレート部材６１をホルダ７０に対して仮固定し、その後、バキュームコレット７６の吸着を解除してバキュームコレット７６をプレート部材６１から離間させる。
【００４４】
但し、ホルダ７０の固定面７４とプレート部材６１の固定部７２が、隙間無く完全密着する必要は必ずしもない。多少隙間があっても吸着保持は可能である。
【００４５】
ホルダ７０の固定面７４はできるかぎり面積を小さくした方が精度は出やすいので、例えば、図１０に示すように、座面（ここでいう固定面７４）は複数にし、面積の小さい複
数点でプレート部材６１を支持する構成としてもよい。
【００４６】
つまり、貫通穴７３が設けられている面は、複数の面積の小さな座面（固定面７４）に設けられているのではなく、そこから一段下がった面に貫通穴７３が設けられている、という構成となっている。換言すれば、貫通穴が設けられる面は、プレート部材６１が接する面ではなく、その近傍でプレート部材６１と対向する面である。すなわち、固定面７４の近傍でプレート部材６１と対向するホルダの面である。
そしてバキューム工具７８がバキュームすることで、プレート部材６１の姿勢を保持しながら、プレート部材６１をホルダ７０に対して接着などの方法を用いて固定する。すなわち、バキューム工具７８でプレート部材６１を吸着した状態でホルダ７０にプレート部材６１を固定する。
【００４７】
以上説明したように、本発明によれば、ホルダ７０の固定面７４に貫通穴７３を有することによって、プレート部材６１をホルダ７０に対し高精度に位置決めした状態で仮固定ができる。また、この構成においてはプレート部材６１の固定部７２を不必要に大面積にする必要がなく、また、設計上の制約もほとんどない。
【００４８】
これによって、ウェハから十分な取り個数を確保しつつ、最小サイズのプレート部材６１サイズを実現しながら、高精度に十分な保持力を有した固定ができる。
また、しっかりとバキュームされた状態で、その後、本固定するので、例えば、バネなどで本固定する際に、バネの当接部がプレート部材６１を位置ズレさせる恐れも低減される。このような点でも初期位置・姿勢に対し有利である。
【００４９】
組み付け後の初期姿勢が高精度なものとなるので、これにより高精度なビーム走査が可能となり、高品位な結像性能を実現し、印刷画質を向上させることができる。
接着などを用いて本固定する際も、しっかりとバキュームされることで初期的に傾いてしまうようなことがない。したがって、例えば、ホルダ７０の固定面７４とプレート部材６１の固定部７２との隙間が空いて、接着面積が減少不足して固定保持力が低下するような状態となるのを防ぎ、十分な耐衝撃性を得ることができる。
また、組み立て工程において、プレート部材６１が脱落して損品になったりすることを防ぐことができ、製造コストを押し上げることなく安定した組立を実現できる。
【００５０】
図６（Ａ）乃至（Ｆ）では、プレート部材６１の姿勢が水平方向になっており、ホルダ７０の固定面７４も水平方向に図示している。しかし、バキュームによってプレート部材６１を支持すれば、水平支持でなくとも姿勢を保持することが可能である。
図５の光学走査装置の斜視図に示すように、プレート部材６１は光学走査装置上では立てて配置されるわけであるから、例えば、プレート部材６１を立てた状態で組み立てる工程にしたとしても、上記効果をそのまま享受できる。
【００５１】
姿勢を変えるだけでも１つの工程であり、工程の後になればなるほど部品点数は増え、姿勢を変える工程は複雑、且つ、大型化する。もし姿勢を変える工程で落下などが起きてしまうと、後の工程になるほど多くの部品が実装された状態で損品となるのでコスト的に不利である。そこで、プレート部材６１単品の状態で搬送トレイ７５から取り出して、姿勢を変え（水平から垂直に）その姿勢を保ちながら順次工程を流すことで、工数やかかるコストをできるかぎり低く抑えることができるようにもなる。
以上のように、様々な効果が期待できる。
【００５２】
尚、本実施例では、ホルダ７０の固定面７４の貫通穴７３を１つとして図示しているが、図７に示すように、貫通穴７３が複数設けられる構成としてもよい。この場合、少なくとも一つが真空吸着して仮固定するための吸引穴であり、プレート部材６１によって塞が
れていればよい。
【００５３】
図７では、貫通穴７３は２つとしているが、３つ以上でもよい。また３つ以上貫通穴７３を有する場合に、必ずしも１列に並べる必要はなく、自由に配置してよいのは勿論である。
また、この貫通穴７３を、図８に示すような構成としてもよい。
【００５４】
図８でも、貫通穴７３は複数（本図では２つ）としているが、７３ａはバキュームして仮固定するのに用いる吸引穴であって、吸引穴以外の穴７３ｂは締結部材としてのねじ８２でもってプレート部材６１を固定するための固定穴である。
【００５５】
ホルダ７０は安価な樹脂などの材質であって、ねじ８２はセルフタップビスとなっており、貫通穴７３ｂはねじ径よりやや径の小さい貫通穴となっている。これにより貫通穴７３ａを通してバキュームにより仮固定した後、バキュームコレット７６が退避して、その後、ねじ８２がねじ穴７３ｂに挿入され、プレート部材６１をねじ８２により本固定する。
【実施例２】
【００５６】
次に、本発明を適用可能な実施例２を説明する。
図９は、本実施例２に係る光偏向装置を示す図であり、プレート部材６１をホルダ７０に組み付ける工程について説明する工程図である。
【００５７】
半導体プロセスによって製作されたプレート部材６１は、１つ１つの素子にダイシングされた後、マグネット６６を実装、着磁等の工程を経た後、搬送トレイ７５に載置され、次工程に搬送される（図９（Ａ）あるいは図９（Ｂ））。図９（Ａ）は上面図、図９（Ｂ）が正面図となっている。
【００５８】
次工程を示すのが、図９（Ｃ）である。本工程では、搬送トレイ７５に載置され搬送されてきたプレート部材６１を第１の真空吸着装置であるバキュームコレット７６によって吸着し搬送トレイ７５から持ち上げる。この時、バキュームコレット７６のバキューム孔７７によって、プレート部材６１はバキュームされ、矢印Ｅ方向に持ち上げられる。矢印Ｄは、バキュームエアを示す。バキュームコレット７６で吸着しているのは、プレート部材６１の固定部７２である。
【００５９】
次に、図９（Ｄ）に示すように、プレート部材６１をホルダ７０に対し所定の組付け位置に搬送する。この間にプレート部材６１は９０°姿勢を変えて搬送させている。
バキュームコレット７６でプレート部材６１の固定部７２を吸着して搬送し、プレート部材６１の固定部７２を、ホルダ７０の固定面７４にしっかり当接させる。ホルダ７０の固定面７４には、貫通する貫通穴７３が設けられている。
【００６０】
その後、貫通穴７３の固定面７４に対する反対側の面側からは、ディスペンサ７９が移動してきて、先端のニードル部がホルダ７０の貫通穴７３に挿入される。ディスペンサ７９のシリンジには、紫外線硬化型の接着剤が充填されており、貫通穴７３に対しエア圧によって接着剤８１を注入する。吐出後、ディスペンサ７９は退避する。すなわち、バキュームコレット７６でプレート部材６１を吸着保持した状態で、貫通穴７３に接着剤８１を注入する。
【００６１】
そして、図９（Ｅ）に示すように、ディスペンサ７９が退避した後に、紫外線照射器と連結された光ファイバ、所謂ＵＶファイバ８０が移動してきて、貫通穴７３と同軸に位置決めされる。このファイバ８０先端から紫外線（ＵＶ）が照射され、照射光量に応じた時
間だけ経過すると、接着剤８１が硬化する。この接着剤８１によってプレート部材６１の固定部７２はホルダ７０の固定面７４に固定される。
【００６２】
その後、図９（Ｆ）に示すように、バキュームコレット７６のバキュームを切って、バキュームコレット７６からプレート部材６１が剥がれるようにし、バキュームコレット７６が矢印Ｋ方向に退避する。すなわち、接着剤８１が硬化した後、バキュームコレット７６の吸着を解除する。ここでプレート部材６１は接着剤８１によってホルダ７０に固定されているのでバキュームコレット７６退避後も高精度に姿勢を保持できる。もし必要があれば、その後、接着やバネなどの追加手段を用いて、プレート部材６１をホルダ７０にさらにしっかりと固定する。
【００６３】
本実施例２によれば、プレート部材６１はホルダ７０に対し接着剤８１を用いて固定しているので保持力が強く、衝撃などによって位置ズレが生じることがない。耐衝撃性にすぐれた工程とすることができるので、損品発生の少ない安定した工程が実現できる、という効果が得られる。
また、本実施例２では、接着剤は紫外線硬化型の樹脂としたが、例えば熱硬化型など異なる種類の接着剤を用いても同様な効果が得られることは言うまでも無い。
【符号の説明】
【００６４】
４２・・・・光偏向装置
６１・・・・プレート部材６２・・・・可動子（反射子）
６３・・・・可動子（駆動子）
６４・・・・ねじりバネ（内バネ）
６５・・・・ねじりバネ（外バネ）
６６・・・・永久磁石（マグネット）
６７・・・・アクチュエータ部
７０・・・・ホルダ
７３・・・・貫通穴
７４・・・・固定面
７６・・・・バキュームコレット（第１の真空吸着装置）
７７・・・・バキューム孔
７８・・・・バキューム工具（第２の真空吸着装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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