(57)【要約】【課題】配線のレイアウトパターンを決定する際の処理モードを適宜選択し得るようにして、配線パターンの自動生成を良好に行えるようにする。【解決手段】配線パターンを自動生成に必要な情報を取得する情報取得手段４ａと、前記情報取得手段４ａが取得した各情報に基づき、接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するとともに、当該レイアウトパターンの決定を予め規定された互いに異なる複数の処理モードのいずれかに対応して行う配線処理手段４ｂと、前記配線処理手段４ｂが対応する処理モードを選択し、その選択結果を前記配線処理手段４ｂに指示するモード選択手段４ｃと、を備えて配線パターン生成装置を構成する。【選択図】図１
2010092254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段が取得した各情報に基づき、接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するとともに、当該レイアウトパターンの決定を予め規定された互いに異なる複数の処理モードのいずれかに対応して行う配線処理手段と、
前記配線処理手段が対応する処理モードを選択し、その選択結果を前記配線処理手段に指示するモード選択手段と
を備える配線パターン生成装置。
【請求項２】
前記配線処理手段は、少なくとも、前記レイアウトパターンを配線スペース基準で決定する処理モードと、前記レイアウトパターンを配線ジョグ数基準で決定する処理モードとに対応し得る
請求項１記載の配線パターン生成装置。
【請求項３】
前記モード選択手段は、前記配線領域内における領域部分に応じて前記処理モードの選択を可変させる
請求項１または２記載の配線パターン生成装置。
【請求項４】
前記モード選択手段は、前記配線処理手段が複数の配線を順次処理する場合に、所定の配線数毎に前記処理モードの選択を可変させる
請求項１または２記載の配線パターン生成装置。
【請求項５】
コンピュータを、
矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段が取得した各情報に基づき、接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するとともに、当該レイアウトパターンの決定を予め規定された互いに異なる複数の処理モードのいずれかに対応して行う配線処理手段と、
前記配線処理手段が対応する処理モードを選択し、その選択結果を前記配線処理手段に指示するモード選択手段
として機能させる配線パターン生成プログラム。
【請求項６】
半導体装置を構成する配線の生成にあたり、矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得工程と、
前記情報取得工程で取得した各情報に基づき、接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するとともに、当該レイアウトパターンの決定を予め規定された互いに異なる複数の処理モードのいずれかに対応して行う配線処理工程と、
前記配線処理工程が対応する処理モードを選択し、その選択した処理モードに対応して前記配線処理工程での前記レイアウトパターンの決定を行わせるモード選択工程と
を含む半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の配線パターンを自動生成する配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、および、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体装置の配線パターンについては、コンピュータ装置を用いて自動生成し得ることが知られている（例えば、特許文献１参照。）。配線パターンの自動生成とは、導通させるべきパッド（接続端子）の位置を与えると、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターンを、コンピュータ装置が自動的に決定することをいう。
【０００３】
【特許文献１】特開平０１−１１４０５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来における配線パターンの自動生成では、一律の処理モードを適用して、当該自動生成を行うものが一般的である。処理モードとしては、例えば、レイアウトパターンを配線スペース基準で決定し、配線領域内に極力無駄なスペースが生じないようにする、というものがある。また、他の処理モードとしては、例えば、レイアウトパターンを配線ジョグ数基準で決定し、配線のジョグ（折れ曲がり部分）の数を極力抑制する、というものもある。
したがって、従来における配線パターンの自動生成では、必ずしも配線パターンの自動生成を良好に行えるとは限らない。例えば、配線領域の大きさに余裕がある場合でも、配線スペース基準の処理モードでレイアウトパターンを決定することで、必要以上に配線のジョグ数が多くなってしまう、といったことが起こり得る。あるいは、配線領域の大きさに制限がある場合に、配線ジョグ数基準の処理モードでレイアウトパターンを決定することで、未結線や配線ショート等の不都合が発生してしまう、といったことも起こり得る。
【０００５】
そこで、本発明は、配線のレイアウトパターンを決定する際の処理モードを適宜選択し得るようにすることで、配線パターンの自動生成を良好に行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために案出された配線パターン生成装置で、矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、前記情報取得手段が取得した各情報に基づき、接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するとともに、当該レイアウトパターンの決定を予め規定された互いに異なる複数の処理モードのいずれかに対応して行う配線処理手段と、前記配線処理手段が対応する処理モードを選択し、その選択結果を前記配線処理手段に指示するモード選択手段とを備える。
【０００７】
上記構成の配線パターン生成装置では、配線のレイアウトパターンの決定を、複数の処理モードのいずれかに対応して行い得るとともに、どの処理モードに対応して行うかを選択し得るようになっている。つまり、配線のレイアウトパターンを決定する際の処理モードを、適宜選択し得るのである。この選択は、例えば、配線パターンの自動生成を行う毎、当該自動生成の対象となる配線領域毎、または、配線領域内における領域部分毎に、行うことが考えられる。また、この選択は、例えば、上位機器（例えば、ユーザインタフェース機器。）からの指示に従いつつ行ってもよいし、所定基準（例えば、配線処理数。）に従いつつ自動的に行ってもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、配線のレイアウトパターンを決定する際の処理モードを適宜選択し得るので、処理条件（例えば、処理対象となる配線領域の形状やパッド位置等。）に応じた処理モードで当該レイアウトパターンを決定する、といったことが実現可能になる。したがって、一律の処理モードを適用して配線パターンの自動生成を行う場合に比べて、当該自動生成を良好に行うことができる。例えば、配線領域の大きさに余裕がある場合には、必要以上に配線のジョグ数が多くなるのを抑制し、また配線領域の大きさに制限がある場合には、未結線や配線ショート等の不都合が発生してしまうのを回避する、といったことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面に基づき本発明に係る配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、および、半導体装置の製造方法について説明する。
【００１０】
〔配線パターン生成装置の概略構成〕
先ず、配線パターン生成装置の概略構成を説明する。
図１は、本発明に係る配線パターン生成装置の概略構成例を示すブロック図である。
図例の配線パターン生成装置は、ディスプレイパネルまたはＣＲＴ（Cathode Ray Tube）からなる表示部１と、キーボードやマウス等からなる入力部２と、ＨＤＤ（Hard disk drive）等の記憶装置からなるデータ格納部３と、コンピュータ装置としての機能を有する自動配線処理部４と、を備えている。そして、入力部２からの入力情報またはデータ格納部３での記憶情報を基に、自動配線処理部４が配線パターンの自動生成を行うように構成されている。
【００１１】
配線パターンの自動生成を行うために、自動配線処理部４は、情報取得手段４ａ、配線処理手段４ｂおよびモード選択手段４ｃとしての機能を有している。
情報取得手段４ａは、入力部２またはデータ格納部３から、配線パターンの自動生成に必要となる情報を取得するものである。
配線処理手段４ｂは、情報取得手段４ａが取得した各情報に基づき、接続対応関係にあるパッド同士について、その間を導通させる配線の平面的なレイアウトパターンを、自動的に決定するものである。ただし、配線処理手段４ｂでは、予め規定された互いに異なる複数の処理モードのいずれかに対応しつつ、配線のレイアウトパターンの決定を行うようになっている。
モード選択手段４ｃは、配線処理手段４ｂが対応する処理モードを選択し、その選択結果を配線処理手段４ｂに指示するものである。
【００１２】
これらの各手段４ａ〜４ｃは、自動配線処理部４におけるコンピュータ装置としての機能が、所定プログラムを実行することによって実現されるものとする。つまり、上述した各手段４ａ〜４ｃとしての機能は、コンピュータ装置にインストールされた所定プログラム（配線パターン生成装置）によって実現される。なお、当該所定プログラムは、コンピュータ装置へのインストールに先立ち、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に格納されて提供されるものであっても、または通信回線を介して外部から配信されるものであってもよい。
【００１３】
〔配線パターンの自動生成に必要な情報〕
続いて、情報取得手段４ａでの取得情報、すなわち配線パターンの自動生成に必要となる情報について説明する。
配線パターンの自動生成に必要となる情報としては、配線を這わす領域（以下、単に「配線領域」という。）に関する情報と、配線によって導通させるべきパッドに関する情報と、配線のレイアウトパターンを決定する際の条件に関する情報と、が挙げられる。
【００１４】
配線領域に関する情報は、当該配線領域の位置、大きさ、範囲等を特定する情報である。なお、配線領域は、その設定の容易さ等を考慮して、矩形状に設定されるものとする。
図２は、配線領域の一具体例を示す説明図である。
図例は、液晶表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等といった、いわゆるフラットパネルディスプレイのパネル面上において、設定される配線領域１１を示している。すなわち、図中に破線で示す配線領域１１は、画像表示領域１２における電源供給線や信号線等に繋がるパッド（ただし不図示）と、電源供給ＴＣＰ（Tape Carrier Package）１３や信号供給ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）１４等を接続すべく画像表示領域１２の周囲に配された周辺領域１５に設けられたパッド（ただし不図示）との間について、これらを導通させるための配線を這わす領域として設定されるものである。
【００１５】
パッドに関する情報としては、当該パッドについての位置情報と、パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報と、が挙げられる。
図３は、パッド配置の一具体例を示す説明図である。
図例のように、配線によって導通させるべきパッド１６ａ，１６ｂは、配線領域１１の構成辺に沿うように配されている。各パッド１６ａ，１６ｂについての位置情報としては、座標値情報を用いることが考えられるが、ある１点を特定するものであっても、あるいは領域範囲を特定するものであってもよい。
また、識別子情報としては、図例のような「1Pin」「2Pin」…といったものが挙げられるが、接続対応関係を特定可能であれば、その形式が特に限定されるものではない。
なお、ここでいう「パッド」は、配線が接続される端子部分を総称するものであり、配線が接続されるものであればピンやターミナル等も含まれるものとする。
【００１６】
図４は、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一具体例を示す説明図である。
図例のように、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一つとしては、配線領域１１内での配線の最低突き出し量（図中Ａ，Ｂ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、生成後の配線が外部（例えば、他のパッド。）との間で電気的短絡を発生させてしまうのを防止するために、予め設定されるものである。
また、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の他の一つとしては、配線の最小線幅（図中Ｃ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、解像限界を超える細さで適切な形成が行えなくなったりするのを防止するために、予め設定されるものである。
さらに、レイアウトパターンの決定条件に関する情報のさらに他の一つとしては、配線の最小線間（図中Ｄ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、隣り合う配線間で電気的短絡が発生するのを防止するために、予め設定されるものである。
【００１７】
〔配線パターンの自動生成の基本的な手順〕
次に、自動配線処理部４が配線パターンの自動生成を行う場合の処理手順の概要を説明する。
図５は、本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作例を示すフローチャートである。
【００１８】
自動配線処理部４では、配線パターンの自動生成にあたり、先ず、情報取得手段４ａが情報取得工程を実行して、入力部２またはデータ格納部３からの情報取得を行う（ステップ１０１、以下ステップを「Ｓ」と略す。）。取得する情報は、既に説明した通りである。ただし、情報取得手段４ａは、上述した取得情報に加えて、他の情報を取得するものであってもよい。
【００１９】
情報取得手段４ａが各種情報を取得した後、配線処理手段４ｂは、配線処理工程を実行開始するのに先立ち、当該配線処理工程における処理基準を認識する（Ｓ１０２）。ここで、処理基準とは、配線処理工程における処理単位および処理開始位置のことをいう。処理単位は、配線処理工程において、一つの単位として扱われる量をいい、具体的には配線数や領域部分の大きさ等が挙げられる。ただし、処理単位は、予め設定されているものであればよく、その内容が特に限定されるものではない。また、必ずしも固定量である必要はなく、可変量であっても構わない。例えば、処理が進むに応じて、処理単位となる配線数が可変する、といった具合である。また、処理開始位置は、配線領域１１内で、最初に配線のレイアウトパターンを決定し始める位置のことをいう。このような処理基準の認識については、入力部２またはデータ格納部３からの取得情報に基づいて行えばよい。
【００２０】
配線処理手段４ｂが処理基準を認識すると、ここで、モード選択手段４ｃがモード選択工程を実行し、当該配線処理手段４ｂが配線処理工程の処理対象とする最初の処理単位について、その処理モードを選択する（Ｓ１０３）。すなわち、モード選択手段４ｃは、最初の処理単位について、配線処理手段４ｂが対応する処理モードを選択するのである。処理モードの選択は、予め設定されている所定基準または入力部２からの取得情報に基づいて行えばよい。そして、処理モードを選択したら、モード選択手段４ｃは、その選択結果を配線処理手段４ｂに対して指示する。
【００２１】
その後は、配線処理手段４ｂが最初の処理単位について配線処理工程を実行し、接続対応関係にあるパッド１６ａ，１６ｂ同士（例えば、図３または後述する図６（a）参照。）の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する（Ｓ１０４）。ただし、このとき、配線処理手段４ｄは、配線レイアウトパターンの決定を、モード選択手段４ｃから指示された処理モードに対応しつつ行う。例えば、レイアウトパターンを配線スペース基準で決定する処理モードがモード選択手段４ｃから指示された場合に、配線処理手段４ｄは、配線領域１１内に極力無駄なスペースが生じないように、当該レイアウトパターンの決定を行う。また、例えば、レイアウトパターンを配線ジョグ数基準で決定する処理モードがモード選択手段４ｃから指示された場合に、配線処理手段４ｄは、配線のジョグ（折れ曲がり部分）の数を極力抑制するように、当該レイアウトパターンの決定を行う。
【００２２】
そして、配線処理手段４ｂおよびモード選択手段４ｃは、以上のような一連の処理を、全ての処理単位について終了するまで（Ｓ１０５）、繰り返して行う（Ｓ１０３〜Ｓ１０５）。このようにして、配線処理手段４ｄは、各パッド１６ａ，１６ｂ間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するのである。
【００２３】
〔配線パターンの自動生成の具体例〕
ここで、上述した一連の配線パターンの自動生成手順について、具体例を挙げてさらに詳しく説明する。
【００２４】
図６〜図７は、配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図である。
ここでは、図６（ａ）に示す配線領域１１および各パッド１６ａ，１６ｂについて、配線パターンの自動生成を行う場合を例に挙げる。
【００２５】
配線パターンの自動生成にあたっては、先ず、図６（ｂ）に示すように、各パッドの配置位置が配線領域のどの構成辺に接しているかに応じて、当該各パッドを第一パッド群２１ａと第二パッド群２１ｂとに分類する。
分類後は、さらに、図６（ｃ）に示すように、第一パッド群２１ａにおける各パッドと第二パッド群２１ｂにおける各パッドとの間で、配線領域１１の対向辺上における位置（座標値）が同一のものがあるか否かを判断する。そして、同一位置のものがあれば、当該同一位置のパッド同士を、二点接続パターン２２を構成するものとして、抽出する。さらには、他のパッド同士についても、二点接続パターン２２よりも左側に位置する第一パッド群２３ａに属するもの、同じく左側に位置する第二パッド群２３ｂに属するもの、当該二点接続パターン２２よりも右側に位置する第一パッド群２４ａに属するもの、同じく右側に位置する第二パッド群２４ｂに属するものに、それぞれ分類する。つまり、二点接続パターン２２を挟んで左右にグループ分けをする。
【００２６】
その後は、図６（ｄ）に示すように、二点接続パターン２２を構成する各パッドについて、これらを直線的に結ぶように、配線のレイアウトパターンを決定する。これにより、二点接続パターン２２については、各パッド同士の間を直線状に延びる配線２５のみが存在するように、当該パッド間を導通させる配線パターンが決定されることになる。
このように、配線パターンの自動生成にあたり、先ず、二点接続パターン２２から配線パターンを決定すれば、配線領域１１内における配線のジョグ数を削減する上で、非常に有効である。
【００２７】
また、二点接続パターン２２を除く他のパッド間については、第一パッド群２３ａおよび第二パッド群２３ｂと、第一パッド群２４ａおよび第二パッド群２４ｂとのそれぞれについて、別個に配線のレイアウトパターンを決定する。具体的には、図７（ａ）〜（ｄ）のいずれかに示すように、先ず、配線処理の開始点となる基準位置を特定する（図中矢印Ｇ参照。）。基準位置とは、所定の基準に従って特定される位置のことをいい、例えばグループ中で最も端縁側に位置するパッド位置をいう。この基準位置は、予め設定されていれば、二点接続パターン２２を挟んだ両側で、例えばいずれも右詰めといったように、それぞれが共通のものであってもよいし、それぞれで互いに異なるものであってもよい。そして、このような基準位置から、処理対象となる二点接続パターン２２以外の全てのパッド群２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂについて、順次（図中矢印Ｈ参照。）配線のレイアウトパターンを決定する。なお、このときの具体的なレイアウトパターンの決定手法は、公知技術を利用して行えばよい。
【００２８】
ところで、基準位置から順に配線処理を開始する際には、当該配線処理を行う際の処理単位が特定されているとともに、当該配線処理についての処理モードの選択が行われているものとする。
ここでは、処理単位が配線数によって規定される場合を例に挙げて以下の説明を行う。
また、ここでは、処理モードとして、レイアウトパターンを配線スペース基準で決定する処理モードと、配線ジョグ数基準で決定する処理モードとに、それぞれ選択的に対応し得る場合を例に挙げて以下の説明を行う。
【００２９】
配線処理の開始後は、先ず、基準位置に関して、デフォルトとして設定されている処理モードを選択して、その配線処理を行う。例えば、デフォルトとしてレイアウトパターンを配線ジョグ数基準で決定する処理モードが設定されていれば、基準位置に関しては、配線のジョグ数を極力抑制するように、当該配線のレイアウトパターンを決定することになる。そして、基準位置に関して配線のレイアウトパターンを決定すると、処理が完了した配線数についてのカウント値をインクリメントする。
【００３０】
基準位置についての処理が完了した後は、続いて、当該基準位置の隣に位置するパッドに関して配線処理を行う。このときの配線処理は、配線数のカウント値が処理単位として規定された配線数を超えるまでは、基準位置についての配線処理の場合と全く同様に行う。すなわち、基準位置の場合と同様に、例えば配線ジョグ数基準で決定する処理モードにて配線処理を行う。そして、このような配線処理を、基準位置から順次繰り返して行う。
【００３１】
その後、配線数のカウント値が処理単位として規定された配線数を超えると、次に行う配線処理については、処理モードの選択を変更して当該配線処理を行う。具体的には、処理モードの選択を、レイアウトパターンを配線ジョグ数基準で決定する処理モードから、配線スペース基準で決定する処理モードへと変更する。したがって、処理単位を超えた次のパッドに関しては、配線のジョグ数が増えても、配線領域１１内に極力無駄なスペースが生じないように、当該配線のレイアウトパターンの決定することになる。そして、配線スペース基準でのレイアウトパターン決定を行うと、配線数についてのカウント値をリセットする。
【００３２】
その後は、処理モードの選択を再びデフォルト設定に戻し、次の配線処理を行う。そして、配線数のカウント値が処理単位として規定された配線数を超えるまでは、デフォルト設定の処理モードによる配線処理を順次繰り返し行う。配線のカウント値が処理単位として規定された配線数を超えた場合には、再び処理モードの選択を変更し、その変更後の処理モードによる配線処理を行う。
【００３３】
配線処理手段４ｂおよびモード選択手段４ｃは、以上のような一連の処理を、配線領域１１内の全てのパッド１６ａ，１６ｂについて終了するまで、すなわち全処理単位についての処理が終了するまで、繰り返して行うのである。
【００３４】
なお、以上の説明では、配線処理の際に、二点接続パターン２２の抽出を行う場合を例に挙げたが、当該二点接続パターン２２の抽出は必須な処理ではない。すなわち、二点接続パターン２２の抽出を省略し、配線領域１１における各パッド１６ａ，１６ｂについて、一律の基準で順次配線処理を行うようにしても構わない。
【００３５】
また、上述した一連の配線パターンの自動生成手順においては、与えられた条件では配線処理が行えないといったことも起こり得る。その場合には、配線処理に破綻を来すことが判明した時点で、その旨のアラーム出力を表示部１等で行い、その後の対応処理（例えば、設定条件の変更。）を配線パターン生成装置の操作者に委ねるようにすることが考えられる。
【００３６】
また、上述した一連の説明では、配線領域１１が図中左右方向に長い場合を例に挙げたが、上下方向に長い場合であっても、全く同様に配線処理を行うことが可能である。
【００３７】
〔生成される配線パターンの具体例〕
図８は、以上のような一連の自動生成手順を経て得られる配線パターンの一具体例を示す説明図である。
図例の配線パターン（すなわち、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターン。）では、基準位置から処理単位となる配線数（例えば、５本。）を超えるまでは、配線ジョグ数基準の処理モードによって、配線のレイアウトパターンが決定されている。すなわち、配線のジョグ数を極力抑制するように、各パッド間を結ぶ配線が延びている。
ところが、処理単位となる配線数を超えると（例えば、基準位置から５本目。）、配線スペース基準の処理モードによって、配線のレイアウトパターンが決定されている。すなわち、配線のジョグ数が増えても、既に存在する配線位置に極力詰めて無駄なスペースが生じないように、パッド間を結ぶ配線が延びている（図中におけるジョグ追加位置参照。）。
そして、このような配線のレイアウトパターンが、配線領域１１内において、処理単位毎に繰り返されて連続している。
【００３８】
したがって、図例の配線パターンでは、原則としてジョグ数を抑えるように配線のレイアウトパターンが決定されているが、処理単位毎（具体的には、配線数が５本毎。）に、配線位置を極力詰めるように、ジョグが追加して設けられることになる。そのため、当該ジョグの追加を行わない場合に比べて、限られた大きさの配線領域１１の有効活用が可能となり、未結線や配線ショート等の不都合が発生する可能性が低くなる。しかも、全ての配線について配線スペース基準の処理モードを適用する場合に比べて、配線のジョグ数を抑えることができ、必要以上に配線距離が大きくなってしまうのを抑制することが可能になる。
【００３９】
以上のように、本実施形態で説明した自動生成手順によれば、配線のレイアウトパターンの決定を、複数の処理モードのいずれかに対応して行い得るとともに、どの処理モードに対応して行うかを選択し得るようになっている。つまり、配線のレイアウトパターンを決定する際の処理モードを、適宜選択し得るのである。
したがって、一律の処理モードを適用して配線パターンの自動生成を行う場合に比べて、当該自動生成を良好に行うことができる。例えば、配線領域１１の大きさに余裕がある場合には、必要以上に配線のジョグ数が多くなるのを抑制し、また配線領域１１の大きさに制限がある場合には、未結線や配線ショート等の不都合が発生してしまうのを回避する、といったことが可能になる。
【００４０】
つまり、本実施形態で得られる配線パターンによれば、処理モードの選択を通じて、配線領域１１内に無駄なスペースやジョグ等が存在してしまうのを極力抑制することができる。
【００４１】
このことは、フラットパネルディスプレイのパネル面上における配線パターンの自動生成に適用して非常に好適であることを意味する。例えば、一律の処理モードによる場合には、最小線間スペースかつ最小ジョグ数で結線できる領域であっても、アルゴリズム上無駄なスペースやジョグが入ったりすることで、未結線や配線ショート等が発生してしまうおそれがある。ところが、本実施形態で説明したように、処理モードを選択し得るようにすれば、限られた大きさの配線領域１１であっても、未結線や配線ショート等を回避し得るようになる。したがって、特にフラットパネルディスプレイのパネル面上における配線パターンの自動生成に適用して非常に好適なものとなるのである。
【００４２】
また、このことは、本実施形態で説明したように、処理モードとして、少なくとも、配線スペース基準の処理モードと、配線ジョグ数基準の処理モードとに対応し得ることによって実現される。すなわち、本実施形態では、配線のレイアウトパターンを配線スペース基準で決定する処理モードと、配線のレイアウトパターンを配線ジョグ数基準で決定する処理モードとを、それぞれ選択するようになっている。このことによって、配線領域１１内における無駄なスペースやジョグ等の存在を抑制することが可能になるのである。
なお、本実施形態では、配線スペース基準の処理モードと配線ジョグ数基準の処理モードとの二つを例に挙げたが、これら以外の処理モードに対応し得るものであってもよいことは勿論である。
【００４３】
さらに、このことは、本実施形態で説明したように、処理モードの選択可変を、所定の配線数毎に行うことによって実現される。すなわち、配線処理手段４ｂが複数の配線を順次処理する場合に、処理単位が配線数によって規定され、所定の配線数毎に処理モードの選択を可変させることによって、配線領域１１内における無駄なスペースやジョグ等の存在の抑制が可能になるのである。
なお、本実施形態では、処理単位が配線数によって規定される場合を例に挙げたが、必ずしもこれに限定されるものではなく、他の基準によって規定されたものであっても構わない。他の基準としては、例えば、処理単位が配線領域１１内の位置によって規定される場合が考えられる。すなわち、配線領域１１内における領域部分に応じて、処理モードの選択を可変させるのである。この場合、領域部分の認識は、例えば、処理対象となるパッドの座標位置等に基づいて行えばよい。さらに、他の基準としては、例えば、パネル上に複数の配線領域１１が存在する場合に、各配線領域１１のそれぞれを処理単位とし、各配線領域１１で処理モードの選択を可変させることも考えられる。
【００４４】
〔半導体装置の製造方法への適用〕
以上のような一連の配線パターンの自動生成手順は、半導体装置の製造方法に適用することが考えられる。すなわち、半導体装置の製造過程において、上述した一連の自動生成手順を経て配線パターンを決定した後、その決定した配線パターンによる配線をパターニング形成するためのマスクパターンを備えた露光用マスクを作成する。そして、その作成した露光用マスクを用いてリソグラフィ工程を実行し、これにより基板上への配線の形成を行うのである。
なお、マスクパターン以外については、公知技術を利用して実現すればよいため、ここではその説明を省略する。また、このような露光用マスクを用いて行うリソグラフィ工程についても、公知技術を利用して行えばよいため、ここではその説明を省略する。
【００４５】
半導体装置は、半導体製造プロセスを経て形成され、かつ、基板上への配線の形成を必要とするものであれば、特に限定されることはなく、様々なものへの適用が考えられる。
その一具体例としては、例えば、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等といった、フラットパネルディスプレイと呼ばれる画像表示装置が挙げられる。
画像表示装置は、通常、画像表示領域と、当該画像表示領域に周囲に配された周辺領域と、を備えて構成されている。そして、周辺領域には、矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された複数のパッドと、接続対応関係にあるパッド間を導通させる配線と、が設けられるようになっている。この配線の平面的なレイアウトパターンを決定するにあたり、上述した一連の配線パターンの自動生成手順を適用することで、その画像表示装置における配線は、配線領域内における無駄なスペースやジョグ等の存在が抑制されたものとなる。
【００４６】
なお、上述した実施形態では、本発明の好適な実施具体例を説明したが、本発明はその内容に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る配線パターン生成装置の概略構成例を示すブロック図である。
【図２】配線領域の一具体例を示す説明図である。
【図３】パッド配置の一具体例を示す説明図である。
【図４】レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一具体例を示す説明図である。
【図５】本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作例を示すフローチャートである。
【図６】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図（その１）である。
【図７】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図（その２）である。
【図８】本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作を経て得られる配線パターンの一具体例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
４…自動配線処理部、４ａ…情報取得手段、４ｂ…配線処理手段、４ｃ…モード選択手段、１１…配線領域、１２…画像表示領域、１５…周辺領域、１６ａ，１６ｂ…パッド、２１ａ，２３ａ，２４ａ…第一パッド群、２１ｂ，２３ｂ，２４ｂ…第二パッド群、２２…二点接続パターン、２５…配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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