(57)【要約】【課題】選択的波長の反射率を高めた透明複合シートにより光閉じ込め効果を誘起させ太陽電池の変換効率の高い太陽電池用基板を提供すること。【解決手段】透明樹脂と球状ナノ微粒子を含む透明複合シートで、前記球状ナノ粒子が充填配列構造を成している透明複合シートから構成される太陽電池用基板であり、好ましくは透明複合シートが光照射下で全光線透過率が８０％以上かつ構造発色による光を反射するものであり、前記球状ナノ粒子の一次粒子の平均粒子径が１５〜５００ｎｍである太陽電池用基板。【選択図】 図３
2010278180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明樹脂と球状ナノ微粒子を含む透明複合シートで、前記球状ナノ粒子が充填配列構造を成している透明複合シートから構成される太陽電池用基板。
【請求項２】
前記透明複合シートが光照射下で全光線透過率が８０％以上かつ構造発色による光を反射するものである請求項１記載の太陽電池用基板。
【請求項３】
前記球状ナノ粒子の一次粒子の平均粒子径が１５〜５００ｎｍである請求項１又は２記載の太陽電池用基板。
【請求項４】
前記球状ナノ粒子の含有量が０．１〜７０体積％である請求項１〜３いずれか一項に記載の太陽電池用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、選択的な波長領域の反射率を高めた透明複合シートを使用した太陽電池用基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薄膜シリコン太陽電池の変換効率を増加させるために透明導電膜であるＳｎＯ2膜をＣＶＤ法で形成することでテクスチャと呼ばれる凹凸構造が付与される。この透明導電膜の凹凸形状により光の経路長が増加するため光閉じ込め効果が得られ変換効率が増加する。しかしながら、この方法では短絡電流密度(Jsc)は増加するが、凹凸構造がもたらす構造欠陥のため開放電圧（Voc）や曲線因子（FF）が下がるといったことも見られた。
【０００３】
太陽電池における光閉じ込め効果については滑らかな構造形成を目指しモスアイ構造やハニカム構造などによる凹凸構造の付与が提唱されている。又、微粒子を基板表面に存在させることで凹凸を形成する技術も提唱されている（例えば、特許文献1参照）。しかしながら、光閉じ込め効果手法として、球状粒子の高充填による配列構造により特定の波長の光の反射率を高めて光閉じ込め効果を示した透明複合シートは得られていなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２６０８５号公報。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、選択的波長の反射率を高めた透明複合シートにより光閉じ込め効果を誘起させ太陽電池の変換効率を高めさせることにある。  
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は以下の通りである。
（１）透明樹脂と球状ナノ微粒子を含む透明複合シートで、前記球状ナノ粒子が充填配列構造を成している透明複合シートから構成される太陽電池用基板。
（２）前記透明複合シートが光照射下で全光線透過率が８０％以上かつ構造発色による光を反射するものである（１）記載の太陽電池用基板。
（３）前記球状ナノ粒子の一次粒子の平均粒子径が１５〜５００ｎｍである（１）又は（２）記載の太陽電池用基板。
（４）前記球状ナノ粒子の含有量が０．１〜７０体積％である（１）〜（３）いずれか記載の太陽電池用基板。
【発明の効果】
【０００７】
本発明による透明複合シートを使用することによって、太陽電池の変換効率を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例１の透明複合シートの小角Ｘ線散乱測定のデータ
【図２】（ａ）実施例１の透明複合シートの全光線反射率のデータ、および（ｂ）実施例２の透明複合シートの全光線反射率のデータ（横軸：波長（ｎｍ）、縦軸：全光線反射率（％））
【図３】実験例２の透明複合シートを使用した光電変換素子（実線）および比較例１の透明複合シートを使用した光電変換素子（点線）の量子収率の波長依存性のデータ（横軸：波長（ｎｍ）、縦軸：量子収率）
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、透明樹脂と球状ナノ微粒子を含む透明複合シートで、球状ナノ粒子が充填配列構造を成している透明複合シートから構成される太陽電池用基板である。
本発明で用いられる透明樹脂は、特に制限されないが、２つ以上の官能基を有する化合物を含有する樹脂組成物を熱、光等により硬化・架橋して得られるものが好ましい。２つ以上の官能基を有する化合物としては、（メタ）アクリレート、エポキシ化合物、グリシジル型エポキシ樹脂、オキセタン化合物、オキセタニル基を有する化合物、ビニルエーテル化合物等が挙げられる。
【００１０】
グリシジル型エポキシ樹脂としてはビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂またはこれらの水添化物、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート骨格を有するエポキシ樹脂、カルド骨格を有するエポキシ樹脂、ポリシロキサン構造を有するエポキシ樹脂が挙げられ、脂環式エポキシ樹脂としては例えば３，４−エポキシシクロヘキシルメチル３‘、４’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、１，２，８，９−ジエポキシリモネン、ε−カプロラクトンオリゴマーの両端にそれぞれ３，４−エポキシシクロヘキシルメタノールと３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸がエステル結合したもの、水添ビフェニル骨格、及び水添ビスフェノールＡ骨格を有する脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。）等が好適に用いられる。
【００１１】
ただし、耐熱性、線膨張係数の点で、脂環式構造を有し、２つ以上の官能基を有する（メタ）アクリレートが好ましく、脂環式構造を含む２つ以上の官能基を有する（メタ）アクリレートであれば特に制限されないが、耐熱性や透明性の点から下記の化学式（１）及び化学式（２）より選ばれた少なくとも１種以上の（メタ）アクリレートが好ましい。
【００１２】
【化１】
2010278180.tif 000003
（式（１）中、Ｒ1及びＲ2は、互いに異なっていても良く、水素原子又はメチル
基を示す。ａは１又は２を示し、ｂは０又は１を示す。）
【００１３】
【化２】
2010278180.tif 000004
【００１４】
式（１）、式（２）で示される（メタ）アクリレートの中でも、反応性、熱安定性の面から、式（１）、式（２）より選ばれた少なくとも１種のアクリレートが好ましく、さらに好ましくは、一般式（１）において、Ｒ1、Ｒ2が水素で、ａが１、ｂが０である構造を持つジシクロペンタジエニルジアクリレート、一般式（２）において、Ｘが−ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｒ3、Ｒ4が水素で、ｐが１である構造を持つパーヒドロ−１，４；５，８−ジメタノナフタレン−２，３，７−（オキシメチル）トリアクリレート、 Ｘ、Ｒ3、Ｒ4がすべて水素で、ｐが０または１である構造を持つアクリレートより選ばれた少なくとも１種以上のアクリレートであり、粘度等の点を考慮すると、最も好ましくは、 Ｘ、Ｒ3、Ｒ4がすべて水素で、ｐが０である構造を持つノルボルナンジメチロールジアクリレートである。式（２）で示される（メタ）アクリレートは、特開平５−７０５２３で示される公知の方法で得ることができる。
【００１５】
本発明で用いられる官能基を有する化合物中には、柔軟性を付与する等の目的で、要求される特性を極端に損なうことのない範囲で、単官能の化合物を含有させることができる。
【００１６】
本発明で用いられる球状ナノ微粒子は、特に制限されるものではないが、ケイ素を含有する無機化合物の微粒子、半導体微粒子などが挙げられる。ケイ素を含有する微粒子としては、乾燥された粉末状のシリカ微粒子、有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ（シリカゾル）を使用することができる。分散性の点で、有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ（シリカゾル）を用いることが好ましい。
【００１７】
有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ（シリカゾル）を用いる場合の有機溶媒としては、樹脂組成物中に使用する有機成分が溶解するものを用いることが好ましく、例えば、アルコール類、ケトン類、エステル類、グリコールエーテル類が挙げられる。脱溶媒のしやすさから、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール等のアルコール系、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系の有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ、シリカゾル、シリカ微粒子を用いることが好ましく、さらに好ましくは、イソプロピルアルコールに分散されたコロイダルシリカである。特に、イソプロピルアルコールに分散されたコロイダルシリカを用いた場合は、脱溶媒後の粘度が他の溶剤系に比べて低く、粘度が低い複合体組成物を安定して作製するのに適している。
【００１８】
これらの有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ（シリカゾル）、シリカ微粒子は、要求される特性を極端に損なうことのない範囲で、シランカップリング剤、チタネート系カップリング剤等のカップリング剤で表面処理されたものであっても良く、有機溶媒に分散させるために、界面活性剤等の分散剤を使用しているものであっても良い。
【００１９】
半導体微粒子としては、光や電子線のようなエネルギーを吸収することにより、２つのエネルギー順位の差に反比例する波長の光を発する性質を有するものであれば、特に制限されないが、カルコゲン化物を含有する微粒子が好適に用いられる。
カルコゲン化物としては、カルコゲン（周期律表のVI族元素のうち、酸素（O）、硫黄（S）、セレン（Se）、テルル（Te）、ポロニウム（Po）の５元素の総称）を含む化合物を称し、特に、周期律表のII族元素とVI族元素との化合物であるII−VI族化合物が好ましい。さらに好ましくは、ZnS、CdS、ZnSe、CdSe、ZnTe、CdTe、ZnOから選択される少なくとも１種である。
【００２０】
半導体微粒子は、発行効率を増加させるため、ボーア半径の２倍よりも小さな粒子径の半導体超微粒子をマトリックス中に凝集なく均一に分散してなる微粒子にすることが好ましい。マトリックスには、種々の無機物、有機物を用いることができる。無機物としては、ケイ素系の化合物などが挙げられる。有機物としては、耐熱性の面から、ポリイミドや脂環式構造を有する樹脂などが挙げられる。マトリックス中にケイ素やチタンを含有するカップリング剤を使用することもできる。
【００２１】
透明複合シート中の球状ナノ微粒子の含有量は０．１〜７０ｖｏｌ％が好ましく、さらに好ましくは、１５〜６０ｖｏｌ％、より好ましくは、２０〜６０ｖｏｌ％、最も好ましくは、２０〜３５ｖｏｌ％である。この範囲であれば、透明複合シート作成前の複合体組成物の流動性、分散性が良好であるため、製造が容易であり、透明性を維持したままの構造発色を示すシートを製造することができる。
【００２２】
球状ナノ微粒子の一次粒子の平均粒径は、１５〜５００ｎｍが好ましく、透明性と流動性とのバランスの点で、さらに好ましくは５０〜１５０ｎｍ、最も好ましくは８０〜１２０ｎｍである。平均粒径が下限値未満では、作製した複合体組成物の粘度が極端に増大するため、シリカ微粒子の充填量が制限されるとともに分散性が悪化し、十分な透明性を得ることができない場合があった。また、上限値を超えると透明性が著しく悪化する恐れがあるので好ましくない。
【００２３】
波長４００〜８００ｎｍの可視光領域の光線透過率を低下させないために、１次粒径が５００ｎｍ以上の微粒子が５％以下の割合で存在する微粒子を用いることが好ましく、その割合が０％であることがより好ましい。
【００２４】
本発明における透明複合シートにおいて、透明性を維持したまま高い反射率を示すためには、透明複合シート中における微粒子の配列が充填配列であることが必要である。
【００２５】
本発明おける透明複合シートにおいて、透明性とは、シートを透過する光線量のことであり、透明性が高い複合シートは透過する光線量が多いことを意味する。透明性の判定は、透明複合シートのＤ65標準光源における全光透過率を測定し、７０％以上である場合に透明であると判定する。
【００２６】
本発明おける透明複合シートにおいて、充填配列とは、一次粒子もしくは高次粒子が規則正しく並んでいる配列を意味し、不均一な凝集構造が見られない状態をいう。充填配列であるかどうかの判別は、定量的に、以下のように実施できる。透明複合シートの小角Ｘ線散乱測定により得られる小角Ｘ線散乱プロファイルにおいて、粒子径に相当するピークが少なくともひとつ以上存在し、好ましくは高次のピークまでさらに好ましくは１０次のピークまで一定間隔でピークトップが観察された場合、微粒子の１次粒子が充填配列構造を有すると判別する。通常これらの判断に用いる小角X線散乱測定は８GEV程度の出力を有する高輝度放射光を線源として用いるのが良い。
【００２７】
本発明における透明複合シートにおいて、構造発色性の反射を示すことが好ましい。構造発色性の反射とは、規則的に並んだ立体構造に起因して光が反射する現象のことである。反射を示すかどうかの判別は、定量的に、以下のように実施できる。透明複合シートの波長分散の光線透過率において構造発色により反射する色の波長領域の光線透過率、例えば青色なら３００から５００nmの光線透過率において最も高い全光線透過率に対して１０％以上の減少が観察され、かつ全光線反射率測定において同波長領域に一様なピークが見られた場合、構造発色に起因する反射を示すと判別する。
【００２８】
本発明の透明複合シートの製造方法は、透明樹脂の原料となる官能基を有する化合物を含有する樹脂組成物と球状ナノ微粒子とからなる複合体組成物を、熱、光等により硬化・架橋して得られる。
【００２９】
本発明で作製される複合体組成物中には、複合体組成物作製時に重合反応が進行し、粘度が上昇することを防ぐ目的で、重合禁止剤を含有させても良い。
【００３０】
複合体組成物中には、必要に応じて、透明性、耐溶剤性、耐熱性等の特性を損なわない範囲で、熱可塑性又は熱硬化性のオリゴマーやポリマーを併用することができる。又、必要に応じて、透明性、耐溶剤性、耐液晶性、耐熱性等の特性を損なわない範囲で、少量の酸化防止剤、紫外線吸収剤、染顔料、他の無機フィラー等の充填剤等を含んでいても良い。
【００３１】
複合体組成物を製造する方法としては、特に限定されないが、球状ナノ微粒子としてシリカ（シリカゾル）を用いる場合の例を以下に示す。
（１）有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ（シリカゾル）と樹脂組成物及びその他の配合物を混合し、必要に応じて、撹拌しながら減圧することにより有機溶媒を除去する方法、
（２）有機溶媒に分散されたコロイダルシリカ（シリカゾル）と樹脂組成物及びその他の配合物を混合し、必要に応じて、脱溶媒した後、キャストし、さらに脱溶媒させる方法、
（３）粉末状のシリカ微粒子と樹脂組成物及びその他の配合物を混合し、分散能力の高い混合装置を用いて乾燥した分散させる方法、
などが挙げられる。
【００３２】
分散能力が高い装置としては、例えば、特殊機化工業（株）製のフィルミックスや種々のビーズミル等が挙げられる。分散能力が高い装置を使用するときは、混合又は混練中に、反応が急速に進まないように、温度が上昇しすぎないよう注意する必要がある。
【００３３】
複合体組成物を製造するときの、複合体組成物の温度は、３０〜１００℃に保つことが好ましく、脱溶媒スピードとのバランスで、さらに好ましくは３０〜７０℃、最も好ましくは、３５〜６０℃である。温度を上げすぎると、流動性が極端に低下したり、ゲル状になってしまい、シート化できなくなる。
【００３４】
有機溶媒に分散したコロイダルシリカを用いる場合、この有機溶媒を複合体組成物中に残存させても良い。有機溶媒を含有させる場合、熱処理等の後処理工程を設け、最終的に複合シートから有機溶媒を脱離させればよい。有機溶媒の複合体組成物中における含有量は、架橋工程や熱処理等によって揮発成分を除去する工程で、発泡する、シートにうねりが発生する、着色するなどの問題を回避するためには、複合体組成物の１０重量％以下が好ましく、さらに好ましくは、５重量％以下であり、最も好ましくは、３重量％以下である。
【００３５】
複合体組成物を、熱、光等により硬化・架橋して透明複合シートが得られる。
シート化する方法としては、複合体組成物をキャストし、必要に応じ乾燥させる方法、表面平滑性を持つガラス板、プラスチック板、金属板等の間に所望のシート厚さが得られるようにスペーサーを挟み、複合体組成物を挟み込む方法等がある。後者を用いて、活性エネルギー線等で硬化させる場合は、少なくとも１方は、透明なガラス板、プラスチック板を使用する必要がある。
【００３６】
複合体組成物を架橋させる方法としては、活性エネルギー線により硬化させる方法、熱をかけて熱重合させる方法等があり、これらを併用することもできる。使用する活性エネルギー線としては、紫外線が好ましい。紫外線を発生させるランプとしては、例えば、メタルハライドタイプ、高圧水銀灯ランプ等が挙げられる。
硬化反応の完結、揮発分の除去をする等の目的で、さらに高温での熱処理工程を併用することが好ましい。
【００３７】
複合体組成物を紫外線等の活性エネルギー線により硬化させる場合は、複合体組成物中にラジカル、カチオン等を発生する光重合開始剤を含有させることが好ましい。その際に用いる光重合開始剤としては、例えばラジカル発生剤としてはベンゾフェノン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン、２，６−ジメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドが挙げられ、カチオン発生剤としては芳香族スルホニウム塩、芳香族ヨードニウム塩等が挙げられる。これらの光重合開始剤は２種以上を併用しても良い。
【００３８】
光重合開始剤の複合体組成物中における含有量は、適度に硬化させる量であればよく、複合体組成物中の官能基を含有する有機成分１００重量部に対し、０．０１〜２重量部が好ましく、さらに好ましくは、０．０２〜１重量部であり、最も好ましくは、０．１〜０．５重量部である。光重合開始剤の添加量が多すぎると、重合が急激に進行し、複屈折の増大、着色、硬化時の割れ等の問題が発生する。また、少なすぎると組成物を十分に硬化させることができず、架橋後に型に付着して取れない等の問題が発生する。
【００３９】
複合体組成物に熱をかけて熱重合させる場合は、必要に応じて、複合体組成物中に熱重合開始剤を含有させることができる。その際に用いる熱重合開始剤としては、ラジカル発生剤としてはベンゾイルパーオキシド、ジイソプロピルパーオキシカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ（２−エチルヘキサノエート）等が挙げられ、カチオン発生剤としては芳香族スルホニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、アンモニウム塩、アルミニウムキレート、三フッ化ホウ素アミン錯体等が挙げられる。使用量は、複合体組成物中の官能基を含有する有機成分１００重量部に対し、３重量部以下が好ましい。
【００４０】
活性エネルギー線による硬化及び／又は熱重合による架橋後に高温で熱処理する場合は、その熱処理工程の中に、線膨張係数を低減する等の目的で、窒素雰囲気下又は真空状態で、２００℃〜３００℃、１〜２４時間の熱処理工程を含ませることが好ましい。
【００４１】
本発明は上記透明複合シートから構成される太陽電池基板であり、透明複合シートの厚みは４〜２０００μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜４００μｍである。他の構成要件からなる透明複合シートをコア層として、本発明の透明複合シートをコート層として用いても良い。
【実施例】
【００４２】
以下、本発明の内容を実施例により詳細に説明するが、本発明は、その要旨を越えない限り以下の例に限定されるものではない。
【００４３】
《実施例１》
（１）複合体組成物
化学式（２）において、Ｘ、Ｒ3、Ｒ4がすべて水素で、ｐが０である構造を持つノルボルナンジメチロールジアクリレート（ＴＯ−２１１１；東亞合成株式会社製）５重量部、γ−アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン１重量部、イソプロピルアルコール分散型コロイダルシリカ２０重量部（シリカ含量３０重量％、平均粒子径１００ｎｍ、日産化学製）を配合し、４０℃で撹拌しながら減圧下揮発分を除去した。その後、光重合開始剤として１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン（チバスペシャリティケミカル製のイルガキュア１８４）を０．０３重量部添加して溶解させた後、さらに減圧下揮発分を除去し、複合体組成物を得た。複合体組成物中の溶剤含有量は１０％未満であった。
複合体組成物の硬化アニール後の４００℃、１時間加熱後の重量残さからシリカ体積分率は３３ｖｏｌ％であった。
【００４４】
（２）シート化
（１）で得られた複合体組成物を所定の温度（６０〜８０℃）のオーブンで加熱し、ガラス板上に作成した厚み０．４ｍｍの枠内に注入し、上部よりガラス板をのせ枠内に複合体組成物を充填した。
（３）架橋
（２）で得られた、ガラス板に挟んだ複合体組成物に、両面から約５００ｍＪ／ｃｍ2のＵＶ光を照射して硬化させ、ガラスからシートを剥離した。
（４）熱処理
（３）で得られたシートを、真空オーブン中で、約１００℃で３時間加熱後、さらに約２７５℃で３時間加熱し、厚み２３２μｍの透明複合シートを得た。
【００４５】
《実施例２》
Ｔガラス系クロス(厚さ１００μｍ、屈折率１.５２３、日東紡製)に、水添ビフェニル型脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学工業製Ｃｅｌ８０００）１００重量部、芳香族スルホニウム系熱カチオン触媒（三新化学製ＳＩ−１００Ｌ）１重量部を溶融混合した樹脂組成物（硬化後の屈折率１．５２０）を含浸し、脱泡した。このガラスクロスを離型処理したガラス板に挟み込んで、オーブン中、８０℃にて２時間加熱後、さらに２００℃にて２時間加熱して、厚さ０.１ｍｍの透明プラスチックシートを得た。つぎに透明プラスチックシート（コア層）の片面に実施例１に使用した複合体組成物をコーターを用いて一様に塗布し、５００ｍＪ／ｃｍ２の活性エネルギー線を照射した後に更に高温で熱処理することにより、コア層（厚み１００μｍ）／コート層（厚み５μｍ）からなる透明複合シートを得た。
【００４６】
《比較例１》
Ｔガラス系クロス(厚さ１００μｍ、屈折率１.５２３、日東紡製)に、水添ビフェニル型脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学工業製Ｃｅｌ８０００）１００重量部、芳香族スルホニウム系熱カチオン触媒（三新化学製ＳＩ−１００Ｌ）１重量部を溶融混合した樹脂組成物（硬化後の屈折率１．５２０）を含浸し、脱泡した。このガラスクロスを離型処理したガラス板に挟み込んで、オーブン中、８０℃にて２時間加熱後、さらに２００℃にて２時間加熱して、厚さ０.１ｍｍの透明プラスチックシートを得た。つぎに水添ビフェニル型脂環式エポキシを８０重量部、オキセタニル基を有するシルセスキオキサンを１７重量部、光カチオン開始剤（アデカ社製ＳＰ−１７０）３重量部を均一に混合させ，透明プラスチックシートの片面にワイヤーバーで塗布した後、高圧水銀灯にて１１００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し、更にもう片面も同様に樹脂層を塗布硬化させた後、２５０℃で２時間加熱することで厚さ５μｍの樹脂硬化層（コート層）を透明プラスチックシート（コア層）の両面に積層した。得られた透明複合シートはコート層（厚み５μｍ）／コア層（厚み１００μｍ）／コート層（厚み５μｍ）からなるもので、シート表面の凹凸は、Ｒｍｓを測定したところ１．２ｎｍであった。
【００４７】
《実験例》
実施例１、２及び比較例１で得た透明複合シート表面に、まず、スパッター法で温度３００℃、表面温度は約２００℃でＧＺＯ膜を５００ｎｍの厚みで透明導電膜として形成した。次に、この導電膜上にＰＩＮ接合をもつ厚さがそれぞれＰ＝約２０ｎｍ、Ｉ＝約２５０ｎｍ、Ｎ＝約３０ｎｍの計３００ｎｍのアモルファスシリコン膜（光電変換層）をプラズマＣＶＤ法で形成した。その後室温で４５ｎｍのＧＺＯ膜を形成し、最後に、Ａｇ電極を２００ｎｍの厚さでスパッター法で形成し、薄膜太陽電池用光電変換素子を作成した。この光電変換素子の変換効率において実施例１は比較例１を使用した光電変換素子と比較して１０〜３０％高い値を示した。また、実施例１の基材を使用した光電変換素子の生産歩留まりは、比較例１による基材を使用した光電変換素子の生産歩留まりと比較して２０％程度高くなった。
【００４８】
以上のようにして作製した透明複合シートおよび実験例で示した光電変換素子について、下記に示す評価方法により、各種特性を測定した。
【００４９】
（ａ）ヘイズ及び全光線透過率
日本電色工業株式会社製ＮＤＨ２０００を用いて測定した。
（ｂ）波長依存性の全光線透過率および全光線反射率
分光光度計ＵＳ３２００（日立製作所製）で測定した。
（ｃ）基板の厚さ
マイクロメータにより、フィルム中央部（リタデーション測定点）を測定した。
（ｄ）小角Ｘ線散乱測定
SPring8  BL08B2ラインを使用して波長１．５Å、カメラ長６ｍに調節したイメージングプレート検出器を備えた小角散乱測定装置で測定した。
【００５０】
（ｅ）光電変換素子に対してソーラシミュレーターによりAM1.5の標準擬似太陽光100mW/cm2を照射した。そして、短絡電流密度Jsc、開放電圧Voc、曲線因子FF、変換効率ηの測定を行った。また量子収率の波長依存性を測定した。
【００５１】
実施例及び比較例の透明複合シートの評価結果を表１に示す。
【００５２】
【表１】
2010278180.tif 000005
【００５３】
実施例１及び実施例２の透明複合シートの全光線反射率のデータを図２に示す。実施例１のシートは、２５０〜４００ｎｍの波長領域の透過率が減少しており、同様の領域で反射率が増加している。
【００５４】
実験例の光電変換素子の評価結果を表２に示す。
【００５５】
【表２】
2010278180.tif 000006
【００５６】
実施例２の透明複合シートを使用した光電変換素子および比較例１の透明複合シートを使用した光電変換素子の量子収率の波長依存性のデータを図３に示す。前者に見られる６２０〜６６０nmのピークが光閉じ込め効果を示す。
【図１】
2010278180.tif 000007
【図２】
2010278180.tif 000008
【図３】
2010278180.tif 000009