(57)【要約】【課題】  被着体が極めて脆弱であり、且つ被着体に熱工程を含む加工を施す場合にも、被着体の「割れ」や「欠け」の発生を防止できるとともに、被着体の加工後には容易に被着体から剥離できる再剥離性粘着シートを得る。【解決手段】  本発明の再剥離性粘着シートは、第１粘着剤層、第１剛性フィルム層、弾性層及び熱収縮性フィルム層がこの順に積層され、熱刺激により自己巻回しうる自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に、さらに第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層がこの順に積層されており、第２粘着剤層が熱収縮性フィルム層に対して剥離可能であるか、又は第２剛性フィルム層が第２粘着剤層に対して剥離可能に形成されている。前記自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に積層する第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層として基材付き粘着シートを用いてもよい。【選択図】        図１
2010241967.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１粘着剤層、第１剛性フィルム層、弾性層及び熱収縮性フィルム層がこの順に積層され、熱刺激により自己巻回しうる自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に、さらに第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層がこの順に積層されており、第２粘着剤層が熱収縮性フィルム層に対して剥離可能であるか、又は第２剛性フィルム層が第２粘着剤層に対して剥離可能に形成されている再剥離性粘着シート。
【請求項２】
自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に積層する第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層として、基材付き粘着シートを用いる請求項１記載の再剥離性粘着シート。
【請求項３】
第２剛性フィルム層の８０℃におけるヤング率が１×１０6〜２×１０10Ｐａである請求項１又は２記載の再剥離性粘着シート。
【請求項４】
第２粘着剤層の８０℃におけるずり弾性率が４×１０4Ｐａ以上である請求項１〜３の何れかの項に記載の再剥離性粘着シート。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかの項に記載の再剥離性粘着シートを貼着した被着体に所用の加工を施す加工工程と、該加工工程の後、（１）前記再剥離性粘着シートの第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層、又は（２）第２剛性フィルム層を剥離し、次いで熱処理により被着体から、（１）自己巻回性粘着シート、又は（２）自己巻回性粘着シート及び第２粘着剤層を巻回剥離する工程とを含む被着体の加工方法。
【請求項６】
被着体の加工工程が８０℃以上の熱工程を含む請求項５記載の被着体の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱工程を経ても被着体に貼着した状態を維持でき、しかも熱により被着体から容易に剥離できる再剥離性粘着シートと、これを用いた被着体の加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン、ゲルマニウム、ガリウム−ヒ素等を材料とする半導体ウェハは、大径の状態で製造された後、所定の厚さになるように裏面研削（バックグラインド）され、更に、必要に応じて裏面処理（エッチング、ポリッシング等）、切断加工等を施すことにより半導体チップが製造される。近年、半導体材料に対する薄型化、軽量化の要望が一層高まり、半導体ウェハについては、厚み１００μｍ若しくはそれ以下にまで薄くする必要が生じているが、このような薄膜ウェハは、非常にもろく割れやすい。そこで、半導体ウェハ加工時には、仮固定用粘着テープを使用して半導体ウェハを保持し、しかるべき加工を施した後、仮固定用粘着テープを半導体ウェハから剥離、回収する方法が採用されている。
【０００３】
このような仮固定用粘着シートは、一般にエネルギー線硬化型粘着剤層で構成されており、例えば、ウェハに貼着し、仮固定したウェハに研磨やダイシング等の加工を施した後、エネルギー線照射により粘着剤層を硬化させ、粘着力が低下した粘着シートをウェハから剥離する方法に利用される。しかしながら、エネルギー線照射により粘着力が低下した粘着シートは、なお、大気圧によってウェハ表面に密着されている。従って、粘着シートをウェハから剥離するためには、粘着シートをめくり上げるなどの操作が必要であるが、この際の応力などによりウェハの縁が欠けたり、破損しやすいという問題があった。さらに、研削後ウェハの厚みが薄くなると（例えば２５μｍ程度まで薄くなると）、ウェハに貼り付けた粘着シートの端部はウェハ端部よりも外側へはみ出すことがあり、このはみ出し部分が、作業の台座面や、ダイシングテープなど、ウェハの研磨面側に設置される部材に貼りつくなどして剥離困難を引き起こす懸念も生じてきている。
【０００４】
特開２００８−１５５６１９号公報には、熱収縮性フィルム層、弾性層、剛性フィルム層及び粘着剤層がこの順に積層され、加熱により自発的に巻回体を形成する自己巻回性粘着シートを仮固定用粘着シートとして使用することが記載されている。しかしながら、上記自己巻回性粘着シートの巻回は、熱収縮性フィルム層の熱収縮温度に依存するため、被着体に熱工程を含む加工を施す場合、加工条件によっては、加工中に自己巻回性粘着シートが被着体から剥離してしまい、被着体に「割れ」や「欠け」が発生することを防止することが困難となる場合があった。例えば、ＰＶＤ（物理蒸着）やプラズマエッチングなどの加工では、最も低温の熱工程でもおよそ７０℃以上となるような熱がかかることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１５５６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、本発明の目的は、被着体が極めて脆弱であり、且つ被着体に熱工程を含む加工を施す場合にも、被着体の「割れ」や「欠け」の発生を防止できるとともに、被着体の加工後には容易に被着体から剥離できる再剥離性粘着シートと、該再剥離性粘着シートを用いた被着体の加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討した結果、粘着剤層、剛性フィルム層、弾性層及び熱収縮性フィルム層からなる自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に、特定の構造を有する粘着シートを積層した再剥離性粘着シートを仮固定用粘着シート等として用いると、再剥離性粘着シートの耐熱性が向上し、被着体に熱工程を含む加工を施しても、再剥離性粘着シートが剥離せず、被着体に貼着した状態を維持できるとともに、加工後には、前記特定構造の粘着シートを剥離し、次いで加熱することにより、再剥離性粘着シートを容易に被着体から剥離除去できることを見出した。本発明はこれらの知見に基づき、さらに研究を重ねて完成したものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、第１粘着剤層、第１剛性フィルム層、弾性層及び熱収縮性フィルム層がこの順に積層され、熱刺激により自己巻回しうる自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に、さらに第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層がこの順に積層されており、第２粘着剤層が熱収縮性フィルム層に対して剥離可能であるか、又は第２剛性フィルム層が第２粘着剤層に対して剥離可能に形成されている再剥離性粘着シートを提供する。
【０００９】
この再剥離性粘着シートにおいて、前記自己巻回性シートの熱収縮性フィルム層側に積層する第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層として基材付き粘着シートを用いてもよい。
【００１０】
第２剛性フィルム層の８０℃におけるヤング率は、１×１０6Ｐａ〜２×１０10Ｐａの範囲が好ましい。また、第２粘着剤層の８０℃におけるずり弾性率は、４×１０4Ｐａ以上であるのが好ましい。
【００１１】
本発明は、また、前記の再剥離性粘着シートを貼着した被着体に所用の加工を施す加工工程と、該加工工程の後、（１）前記再剥離性粘着シートの第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層、又は（２）第２剛性フィルム層を剥離し、次いで熱処理により被着体から、（１）自己巻回性粘着シート、又は（２）自己巻回性粘着シート及び第２粘着剤層を巻回剥離する工程とを含む被着体の加工方法を提供する。
【００１２】
この被着体の加工方法において、被着体の加工工程が８０℃以上の熱工程を含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、再剥離性粘着シートが自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側に特定構造の粘着シートが積層された構成を有しているため、この再剥離性粘着シートを仮固定用或いは表面保護用粘着シート等として用いた場合、被着体（被加工体）に熱工程を含む加工［例えば、スパッタリング、深掘り反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）等］を施しても、加工中に再剥離性粘着シートが剥離せず、したがって極めて脆弱な被着体（例えば、厚み２０〜２５μｍ程度の被着体）であっても、「割れ」や「欠け」等の発生を抑制できる。そして、被着体の加工後、前記特定構造の粘着シート又はその一部の層を剥離（例えば、ピール剥離）し、続いて、被着体に貼着している自己巻回性粘着シートに対して加熱処理を施すことにより、自己巻回性粘着シートが自己巻回するため、被着体を汚染したり破損することなく、該自己巻回性粘着シートを被着体から容易に剥離、回収できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の再剥離性粘着シートの一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明における自己巻回性粘着シートが自己巻回する様子を示す図（斜視図）である。
【図３】本発明の被着体の加工方法の一例を示す概略工程図（断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００１６】
［再剥離性粘着シート］
図１は、本発明の再剥離性粘着シートの一例を示す概略断面図である。この例では、再剥離性粘着シート１は、第１粘着剤層２４、第１剛性フィルム層２３、弾性層２２及び熱収縮性フィルム層２１がこの順に積層され、熱刺激により自己巻回しうる自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１側に、さらに第２粘着剤層３２及び第２剛性フィルム層３１がこの順に積層されており、第２粘着剤層３２が熱収縮性フィルム層２１に対して剥離可能であるか、又は第２剛性フィルム層３１が第２粘着剤層３２に対して剥離可能に形成されている。再剥離性粘着シートはテープ状であってもよい。本明細書では、第１剛性フィルム層２３と弾性層２２の積層を「拘束層」、第２粘着剤層３２と第２剛性フィルム層３１の積層を、単に「粘着シート」又は「粘着シート層」と称することがある。
【００１７】
（自己巻回性粘着シート）
自己巻回性粘着シート２は、第１粘着剤層２４、第１剛性フィルム層２３、弾性層２２及び熱収縮性フィルム層２１がこの順に積層されており、熱刺激を付与することにより巻回しうるシートである。自己巻回性粘着シート２はテープ状であってもよい。なお、自己巻回性とは、熱刺激を付与した後、特に外力を加えることなく自発的に巻回する性質を意味する。なお、自己巻回性粘着シート２は、熱刺激により、両端が重なって完全に筒状に巻回した筒状巻回体を形成するものが好ましいが、完全に筒状に巻回するには至らず、両端が重ならずに、筒の側面の一部が長さ方向に開いた形状の筒状体を形成するものであってもよい。また、被着体の加工後、自己巻回性粘着シート２を被着体から剥離テープ等を用いて剥離・除去する際には、加熱を制御して、自己巻回性粘着シート２の端部を被着体から浮き上がらせるだけでもよい。
【００１８】
（熱収縮性フィルム層）
熱収縮性フィルム層２１は、加熱することにより収縮性を発揮するフィルム層であればよく、一軸収縮性フィルム、二軸収縮性フィルム等のいずれであってもよい。一軸収縮性フィルムとしては、一軸方向のみに収縮性を有する一軸収縮性フィルムを使用してもよく、或る方向（一軸方向）に主たる収縮性を有し、該方向とは異なる方向（例えば、該方向に対して直行する方向）に副次的な収縮性を有する収縮性フィルムを使用してもよい。また、熱収縮性フィルム層２１は単層であってもよく、二以上の層からなる複層であってもよい。
【００１９】
熱収縮性フィルム層２１を構成する収縮性フィルムの主収縮方向の収縮率は、６０〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば８０℃）において、好ましくは３０〜９０％、特に好ましくは５０〜９０％である。なお、６０〜１８０℃の範囲内の所定温度（例えば８０℃）において二軸に収縮する場合、収縮率がより高い軸方向を主収縮方向とする。収縮性フィルムの熱収縮性は、例えば押出機により押し出されたフィルムに一軸方向又は二軸方向に延伸処理を施すことにより付与することができ、その延伸の程度により収縮率を調整することができる。
【００２０】
一軸収縮性フィルムとしては、主収縮方向以外の方向の収縮率が、１０％未満（好ましくは５％以下、特に好ましくは３％以下）である収縮性フィルムを使用できる。一軸収縮性フィルムの場合、熱刺激を与えると、後述するように拘束層における熱収縮性フィルム層２１の収縮力に対する反発力が駆動力となって、自己巻回性粘着シート２の外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、熱収縮性フィルム層２１側を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、熱収縮性フィルム２１の主収縮軸方向）へ自発的に巻回して筒状巻回体が形成される。
【００２１】
二軸収縮性フィルムとしては、主収縮方向以外の方向の収縮率が１０％以上［例えば１０〜８０％、好ましくは１５％以上（例えば、１５〜８０％）］である収縮性フィルムを使用できる。主収縮方向における収縮率［Ａ（％）］と主収縮方向に直交する方向における収縮率［Ｂ（％）］の比（Ａ：Ｂ）としては、１：１〜１０：１、なかでも１：１〜５：１が好ましく、特に１：１〜３：１が好ましい。二軸収縮性フィルムの場合、直交する２方向のみでなく、実際には２つの収縮軸で作られる収縮応力が合成されて働くと推測されるため、熱収縮性フィルムをどの方向から加熱しても収縮させることができ、自己巻回性粘着シート２が、熱収縮性フィルム層２１側を内にして自発的に反り、被着体との間に浮きを生じ、さらに加熱することにより１端部から１方向へ自発的に巻回する。
【００２２】
熱収縮性フィルム層２１と第１剛性フィルム層２３とを接合する弾性層２２、及び被着体と貼り合わせるための第１粘着剤層２４として活性エネルギー線硬化型粘着剤層を使用する場合で、且つ、活性エネルギー線照射を熱収縮性フィルム層２１を通して行うときは、熱収縮性フィルム層２１は、所定量以上の活性エネルギー線を透過し得る材料（例えば、透明性を有する樹脂）で構成する必要がある。
【００２３】
熱収縮性フィルム層２１を構成する熱収縮性フィルムとしては、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン類；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ乳酸等のポリエステル類；カプトン等のポリイミド類；６，６−ナイロン等のポリアミド類；ポリエーテルスルホン酸類；ポリノルボルネン；ポリウレタン；ポリスチレン；ポリ塩化ビニリデン等の紫外線透過性を有するポリマーから選択される１種又は２種以上の樹脂からなる熱収縮性フィルムを好適に使用することができる。
【００２４】
熱収縮性フィルムとしては、なかでも、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリノルボルネン等のポリオレフィン系樹脂（環状ポリオレフィン系樹脂を含む）、ポリウレタン系樹脂からなる一軸又は二軸延伸フィルムが好ましい。これらのフィルムは、粘着剤の塗工作業性、コスト面などの経済性に優れ、後述する剛性フィルム層との貼り合わせに用いる弾性層との粘着性が高いことのほか、収縮開始温度に対しての応答性が高い等の利点がある。
【００２５】
熱収縮性フィルム層２１の厚みとしては、一般には５〜３００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍである。厚みが５μｍを下回ると、製造時のフィルム巻き取りや、繰り出し操作等が困難になる等操作性が悪く、一方、厚みが３００μｍを超えると、不経済となるだけでなく、剛性が高くなり過ぎるため自発的な巻回が起こりにくくなる。また、剛性が高いと、自己巻回性粘着シートを被着体に貼り合わせる際の応力による弾性変形力が大きくなりすぎるため、半導体ウェハ等の被着体を薄く研磨した際に被着体に「反り」等の変形を引きおこし、被着体破損の原因となる場合がある。
【００２６】
本発明における熱収縮性フィルム層２１を形成する一軸収縮性フィルムとしては、例えば、商品名「スペースクリーン」（東洋紡社製）、商品名「ルミラー」（東レ社製）、商品名「アートン」（ＪＳＲ社製）、商品名「ゼオノア」（日本ゼオン社製）、商品名「サンテック」（旭化成社製）等の市販品を使用することができる。本発明における熱収縮性フィルム層２１を形成する二軸収縮性フィルムとしては、例えば、商品名「スペースクリーン」（東洋紡社製）、商品名「ファンシーラップ」（グンゼ社製）、商品名「トレファン」（東レ社製）、商品名「ルミラー」（東レ社製）、商品名「アートン」（ＪＳＲ社製）、商品名「ゼオノア」（日本ゼオン社製）、商品名「サンテック」（旭化成社製）、商品名「ソプラ」（積水フィルム社製）、商品名「コージンポリセット」（興人社製）、商品名「テラマック」（ユニチカ社製）等の市販品を使用することができる。また、上記市販品に、必要に応じて適宜延伸処理や架橋処理を施してもよく、表面にコロナ処理や印刷加工処理を施してもよい。延伸処理を施すことにより、更に高い収縮性を付与することができる。
【００２７】
（弾性層）
本発明において、弾性層２２と第１剛性フィルム層２３は熱収縮性フィルム層２１の収縮を拘束する拘束層として機能する。この拘束層は、熱収縮性フィルム層２１の収縮を拘束し、反作用力を生み出すことにより、自己巻回性粘着シート２全体として偶力を生み出し、巻回を引き起こす駆動力となる。
【００２８】
弾性層２２は、熱収縮性フィルム層２１の収縮時の温度下で変形しやすいこと、すなわちゴム状態であることが好ましい。但し、流動性のある材料では、十分な反作用力が生じず、最終的には熱収縮性フィルム層２１単独で収縮してしまい、変形（自発巻回）を起こすことができない。従って、弾性層２２は３次元架橋等により流動性を抑えたものが好ましい。また、弾性層２２は、その厚みによっても、熱収縮性フィルム層２１の非一様な収縮力のうち弱い力の成分に抵抗して、該弱い力の成分による収縮変形を防ぐことで、一様な収縮方向へと変換する作用を有する。ウェハ研削後によって生じる反りは、ウェハへ粘着シートを貼り合わせる際の応力が残存し、この残存応力によって熱収縮性フィルムが弾性変形することによって生じると考えられるが、弾性層２２はこの残存応力を緩和して反りを低下させる働きもある。
【００２９】
従って、弾性層２２は、粘着性を有し、ガラス転移温度が例えば５０℃以下、好ましくは室温（２５℃）以下、より好ましくは０℃以下の樹脂で形成するのが望ましい。弾性層２２の熱収縮性フィルム層２１側の表面の粘着力は、１８０°ピール剥離試験（ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に準拠、引張り速度３００ｍｍ／分、５０℃）の値で、好ましくは０．５Ｎ／１０ｍｍ以上の範囲である。この粘着力が低すぎると、熱収縮性フィルム層２１と弾性層２２との間で剥離が生じやすくなる。
【００３０】
また、弾性層２２のずり弾性率Ｇは室温（２５℃）から剥離時温度（例えば８０℃）において、１×１０4Ｐａ〜５×１０6Ｐａであり、特に０．０５×１０6Ｐａ〜３×１０6Ｐａであるのが好ましい。ずり弾性率が小さすぎると熱収縮性フィルム層２１の収縮応力を巻回に必要な応力へと変換する作用が乏しくなり、逆に大きすぎると、剛性を強めるために巻回性に乏しくなるほか、一般に弾性が高いものは粘着性に乏しく積層体の作製が困難になりやすいことや、残存応力を緩和する働きも乏しくなるからである。弾性層２２の厚みは、１５〜１５０μｍ程度である。前記厚みが薄すぎると、熱収縮性フィルム層２１の収縮に対する拘束性が得られにくく、応力緩和の効果も小さくなる。逆に厚すぎると、自己巻回性（自発巻回性）が低下しやすくなり、また取扱性、経済性に劣り好ましくない。従って弾性層２２のずり弾性率Ｇ（例えば８０℃における値）と厚みの積（ずり弾性率Ｇ×厚み）は、好ましくは１〜７５０Ｎ／ｍ（より好ましくは１〜１５０Ｎ／ｍ、さらに好ましくは１．２〜１００Ｎ／ｍ）である。
【００３１】
弾性層２２として、例えば、表面（少なくとも熱収縮性フィルム層２１側の表面）に粘着処理が施されたウレタンフォームやアクリルフォームなどのフォーム材料（発泡フィルム）やゴム、熱可塑性エラストマー等を素材とする非発泡樹脂フィルム等の樹脂フィルム（シートを含む）などを使用できる。
【００３２】
前記粘着処理に用いる粘着剤としては、特に制限はなく、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤などの公知の粘着剤を１種又は２種以上組み合わせて用いることができる。特に、粘着力の調整などの点から、アクリル系粘着剤が好ましく用いられる。なお、粘着処理に用いる粘着剤の樹脂と、発泡フィルムや非発泡樹脂フィルムの樹脂は、高い親和性を得るため同種の樹脂が好ましい。例えば、粘着処理にアクリル系粘着剤を用いる場合には、樹脂フィルムとしてアクリルフォームなどが好適である。
【００３３】
また、弾性層２２として、例えば、架橋型アクリル系粘着剤、架橋型ポリエステル系粘着剤等のそれ自体接着性を有する樹脂組成物で形成してもよい。このような、架橋型アクリル系粘着剤、架橋型ポリエステル系粘着剤等により形成された層（粘着剤層）は、別途粘着処理を施す必要がなく比較的簡便な方法で製造可能であり、生産性、経済性に優れるため好ましく用いられる。
【００３４】
上記架橋型アクリル系粘着剤は、アクリル系重合体をベースポリマーとするアクリル系粘着剤に架橋剤が添加された構成を有している。アクリル系重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー；（メタ）アクリロニトリルなどのシアノ基含有モノマー；（メタ）アクリル酸イソボルニルなどの脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル等］との共重合体などが挙げられる。
【００３５】
アクリル系重合体としては、特に、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ12アルキルエステルの１種又は２種以上と、２−ヒドロキシエチルアクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー及びアクリル酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーから選択された少なくとも１種の共重合性モノマーとの共重合体、或いは（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ12アルキルエステルの１種又は２種以上と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、ヒドロキシル基含有モノマー及びカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーから選択された少なくとも１種の共重合性モノマーとの共重合体が好ましい。
【００３６】
アクリル系重合体は、例えば、上記に例示の単量体成分（及び重合開始剤）を無溶剤で光（紫外線等）重合することにより、高粘度の液状プレポリマーとして調製される。次に、このプレポリマーに架橋剤を添加することにより架橋型アクリル系粘着剤組成物を得ることができる。なお、架橋剤はプレポリマー製造時に添加しておいてもよい。また、上記に例示の単量体成分を重合して得られたアクリル系重合体又はその溶液に架橋剤と溶媒（アクリル系重合体の溶液を用いる場合は必ずしも必要ではない）を加えることにより、架橋型アクリル系粘着剤組成物を得ることもできる。
【００３７】
架橋剤としては、特に制限はなく、例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アクリレート系架橋剤（多官能アクリレート）、イソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステル等を使用できる。アクリレート系架橋剤としては、例えば、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどが例示される。イソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、２−イソシアナトエチルアクリレート、２−イソシアナトエチルメタクリレートなどが例示される。なかでも、架橋剤として、アクリレート系架橋剤（多官能アクリレート）やイソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステル等の紫外線（ＵＶ）反応性架橋剤が好ましい。
【００３８】
架橋剤の添加量は、通常、上記ベースポリマー１００重量部に対して０．０１〜１５０重量部程度、好ましくは０．０５〜５０重量部程度、特に好ましくは０．０５〜３０重量部程度である。
【００３９】
架橋型アクリル系粘着剤は、ベースポリマー及び架橋剤のほかに、架橋促進剤、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂など）、増粘剤、可塑剤、充填剤、老化防止剤、酸化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。
【００４０】
弾性層２２としての架橋型アクリル系粘着剤層は、例えば、上記プレポリマーに架橋剤を添加した架橋型アクリル系粘着剤組成物を、キャスト法などの公知の方法により、所望の厚み、面積を有するフィルム状とし、再度光照射して架橋反応（及び未反応モノマーの重合）を進行させることにより、目的に見合った弾性層２２を簡便に得ることができる。こうして得られた弾性層（架橋型アクリル系粘着剤層）は自粘着性を有するため、熱収縮性フィルム層２１と第１剛性フィルム層２３の層間にそのまま貼り合わせて使用することができる。架橋型アクリル系粘着剤層として、日東電工（株）製の商品名「ＨＪ−９１５０Ｗ」などの市販の両面接着テープを利用できる。なお、フィルム状の粘着剤を熱収縮性フィルム層２１と第１剛性フィルム層２３の層間に貼り合わせた後、再度光照射することにより架橋反応を行ってもよい。
【００４１】
また、弾性層２２としての架橋型アクリル系粘着剤層は、上記のアクリル系重合体と架橋剤とが溶媒に溶解した架橋型アクリル系粘着剤組成物を第１剛性フィルム層２３の表面に塗工し、その上に熱収縮性フィルム層２１を貼り合わせた後、光照射することにより得ることもできる。
【００４２】
上記架橋型エステル系粘着剤は、エステル系重合体をベースポリマーとするエステル系粘着剤に架橋剤が添加された構成を有している。エステル系重合体としては、例えば、ジオール成分とジカルボン酸成分との縮合重合物からなるポリエステルなどが挙げられる。
【００４３】
ジオール成分の例としては、例えば、（ポリ）カーボネートジオールが挙げられる。（ポリ）カーボネートジオールとしては、例えば、（ポリ）ヘキサメチレンカーボネートジオール、（ポリ）３−メチル（ペンタメチレン）カーボネートジオール、（ポリ）トリメチレンカーボネートジオールや、これらの共重合物などが挙げられる。なお、（ポリ）カーボネートジオールが、ポリカーボネートジオールである場合、その重合度は特に制限されない。
【００４４】
（ポリ）カーボネートジオールの市販品としては、例えば、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２０８ＰＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２１０ＰＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０ＰＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２０８」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２１０」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２０８ＨＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬＣＤ２１０ＨＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０ＨＬ」［以上、ダイセル化学工業（株）製］などが挙げられる。
【００４５】
ジオール成分としては、（ポリ）カーボネートジオールのほか、必要により、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、デカンジオール、オクタデカンジオールなどの成分を併用してもよい。ジオール成分又は（ポリ）カーボネートジオールは単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００４６】
ジカルボン酸成分としては、炭素数２〜２０の脂肪族又は脂環族炭化水素基を分子骨格とするジカルボン酸又はその反応性誘導体を必須成分として含むジカルボン酸成分を好適に用いることができる。前記炭素数２〜２０の脂肪族又は脂環族炭化水素基を分子骨格とするジカルボン酸又はその反応性誘導体において、炭化水素基は直鎖状であってもよく、また分岐鎖状であってもよい。このようなジカルボン酸又はその反応性誘導体の代表的な例として、コハク酸、メチルコハク酸、アジピン酸、ピメリック酸、アゼライン酸、セバシン酸、１，１２−ドデカン二酸、１，１４−テトラデカン二酸、テトラヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、及びこれらの酸無水物や低級アルキルエステルなどが挙げられる。ジカルボン酸成分は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００４７】
ジオール成分とジカルボン酸成分との組み合わせとしては、ポリカーボネートジオールとセバシン酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、フタル酸又はマレイン酸などが好ましく使用できる。
【００４８】
架橋型エステル系粘着剤における架橋剤としては、前記架橋型アクリル系粘着剤における架橋剤と同様のものを使用できる。架橋剤の添加量、添加してもよい添加剤、弾性層の形成方法も前記架橋型アクリル系粘着剤の場合と同様である。
【００４９】
本発明における弾性層２２の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。弾性層２２にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、粘着特性やずり弾性率を制御しやすい点で有利である。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μｍ、好ましくは１〜２０μｍ程度である。ビーズの添加量は、弾性層２２の全体１００重量部に対して、例えば０．１〜１０重量部、好ましくは１〜４重量部である。前記添加量が多すぎると粘着特性が低下する場合があり、少なすぎると上記効果が不十分となりやすい。
【００５０】
（第１剛性フィルム層）
第１剛性フィルム層２３は拘束層（弾性層２２＋第１剛性フィルム層２３）に剛性あるいは靱性を付与することで、収縮性フィルム層２１の収縮力に対して反作用の力を生み出し、ひいては巻回に必要な偶力を発生する機能を有する。第１剛性フィルム層２３を設けることにより、熱収縮性フィルム層２１に熱刺激が付与された際、自己巻回性粘着シート２が、途中で停止したり方向がずれたりすることなく円滑に自発巻回（自己巻回）し、形の整った筒状巻回体を形成することができる。
【００５１】
第１剛性フィルム層２３を構成する剛性フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリイミド；ポリアミド；ポリウレタン；ポリスチレン等のスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン；ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなるフィルムが挙げられる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム等が好ましい。第１剛性フィルム層２３は単層であっても２以上の層が積層された複層であってもよい。第１剛性フィルム層２３を構成する剛性フィルムは非収縮性であり、収縮率は、例えば５％以下、好ましくは３％以下、さらに好ましくは１％以下である。
【００５２】
第１剛性フィルム層２３のヤング率と厚みの積（ヤング率×厚み）は、剥離時温度（例えば８０℃）において、好ましくは３．０×１０5Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０2〜３．０×１０5Ｎ／ｍ）、さらに好ましくは２．８×１０5Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０3〜２．８×１０5Ｎ／ｍ）である。第１剛性フィルム層２３のヤング率と厚みの積が小さすぎると熱収縮性フィルム層２１の収縮応力を巻回応力へと変換する作用に乏しく、方向性収斂作用も低下しやすくなり、逆に大きすぎると剛性によって巻回が抑制されやすくなる。
【００５３】
第１剛性フィルム層２３のヤング率は、剥離時温度（例えば８０℃）において、好ましくは３×１０6〜２×１０10Ｎ／ｍ2、さらに好ましくは１×１０8〜１×１０10Ｎ／ｍ2である。ヤング率が小さすぎると形の整った巻回した筒状巻回体が得られにくくなり、逆に大きすぎると自発巻回が起こりにくくなる。第１剛性フィルム層２３の厚みは、例えば２０〜１５０μｍ、好ましくは２５〜９５μｍ、さらに好ましくは３０〜９０μｍ、特に好ましくは３０〜８０μｍ程度である。前記厚みが薄すぎると、形の整った巻回した筒状巻回体が得られにくくなり、厚すぎると自発巻回性が低下し、また取扱性、経済性に劣り好ましくない。
【００５４】
また、第１剛性フィルム層２３としては、第１粘着剤層２４がエネルギー線硬化型粘着剤層の場合にはエネルギー線を透過しやすい材料で形成され、製造上や作業性等の観点から厚みが適宜選択できてフィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものであるのが好ましい。
【００５５】
（第１粘着剤層）
第１粘着剤層２４としては、もともと粘着力の小さい粘着剤層を用いることもできるが、被着体に貼着可能な粘着性を有しており、所定の役割が終了した後には、何らかの方法（低粘着化処理）で粘着性を低下又は消失可能な再剥離性の粘着剤層であるのが好ましい。このような再剥離性粘着剤層は、公知の再剥離性粘着シートの粘着剤層と同様に構成できる。自己巻回性の観点から、粘着剤層又は低粘着化処理後の粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）は、例えば常温（２５℃）で、６．５Ｎ／１０ｍｍ以下（特に６．０Ｎ／１０ｍｍ以下）であるのが望ましい。
【００５６】
第１粘着剤層２４としては、特にエネルギー線硬化型粘着剤層であるのが好ましい。エネルギー線硬化型粘着剤層は、初期には粘接着性を有し、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などのエネルギー線の照射により３次元網目構造を形成して高弾性化するような材料で構成することができ、このような材料として、エネルギー線硬化型粘着剤等を利用できる。エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、又はエネルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線硬化性樹脂）を含有する。従って、エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤、又はエネルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線硬化性樹脂）を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。
【００５７】
前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧性接着剤（粘着剤）等の粘着物質を使用することができる。粘着剤として、例えば、天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲなどのゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が例示される。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましい。母剤は１種、又は２種以上の成分で構成してもよい。
【００５８】
アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー等］との共重合体などのアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
【００５９】
エネルギー線硬化型粘着剤をエネルギー線硬化させるための化学修飾に用いるエネルギー線反応性官能基、及びエネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などのエネルギー線により硬化可能なものであれば特に限定されないが、エネルギー線照射後のエネルギー線硬化型粘着剤の３次元網状化（網目化）が効率よくなされるものが好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。化学修飾に用いられるエネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基などの炭素−炭素多重結合を有する官能基等が挙げられる。これらの官能基は、エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。なかでも、（メタ）アクリロイル基は、エネルギー線に対して比較的高反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できるなど、反応性、作業性の観点で好ましい。
【００６０】
エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例として、ヒドロキシル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する基（イソシアネート基、エポキシ基等）及びエネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネートなど］を反応させて得られる重合体が挙げられる。
【００６１】
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば５〜４０重量％、好ましくは１０〜３０重量％である。前記反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に前記反応性官能基と反応する基及びエネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば５０〜１００モル％、好ましくは６０〜９５モル％である。
【００６２】
エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等のポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物等の炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物などが挙げられる。これらの化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物が好ましく、例えば特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている。以下、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物を、「アクリート系架橋剤」と称する場合がある。
【００６３】
エネルギー線硬化性化合物としては、また、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。前記混合物は、エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。前記有機塩類には、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が含まれ、前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環には、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が含まれる。具体的には、技術情報協会編、光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用できる。
【００６４】
エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有するエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマーなど、感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマーなどが挙げられる。さらに高エネルギー線で反応するポリマーとしては、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサンなどが挙げられる。なお、エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前記母剤は必ずしも必要でない。
【００６５】
エネルギー線硬化型粘着剤としては、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体（側鎖にエネルギー線反応性官能基が導入されたアクリル系重合体）と前記エネルギー線硬化性化合物（炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物など）との組み合わせからなるものが特に好ましい。前記組み合わせは、エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すアクリレート基を含み、しかも多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み合わせの具体例として、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体と、炭素−炭素二重結合を有する官能基（特にアクリレート基）を２つ以上有する化合物との組み合わせ等が挙げられる。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。
【００６６】
前記側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体の調製法としては、例えば、側鎖に水酸基を含むアクリル系重合体に、アクリロイルオキシエチルイソシアナート、メタクリロイルオキシエチルイソシアナートなどのイソシナナート化合物を、ウレタン結合を介して結合する方法等を用いることができる。
【００６７】
エネルギー線硬化性化合物の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、０．５〜２００重量部程度、好ましくは５〜１８０重量部、さらに好ましくは２０〜１３０重量部程度の範囲である。
【００６８】
エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的として、エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるためのエネルギー線重合開始剤が配合されていてもよい。
【００６９】
エネルギー線重合開始剤は、用いるエネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知乃至慣用の重合開始剤を適宜選択できる。作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的なエネルギー線重合開始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤などが挙げられるが、これらに限定されない。市販品として、例えば、チバガイギー社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」などがある。
【００７０】
エネルギー線重合開始剤は単独で又は２種以上を混合して使用できる。エネルギー線重合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部程度、好ましくは１〜８重量部程度である。なお、必要に応じて前記エネルギー線重合開始剤とともにエネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
【００７１】
エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。
【００７２】
好ましいエネルギー線硬化型粘着剤としては、例えば、エネルギー線硬化性化合物を母剤（粘着剤）中に配合した組成物、好ましくはＵＶ硬化性化合物をアクリル系粘着剤中に配合したＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。特にエネルギー線硬化型粘着剤の好ましい態様としては、側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤、アクリレート系架橋剤（ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物；多官能アクリレート）、及び紫外線光開始剤を含むＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤とは、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体の意味であり、上記と同様のものを同様の方法で調製して利用できる。アクリレート系架橋剤とは、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物として上記に例示の低分子化合物である。紫外線光開始剤としては、代表的なエネルギー線重合開始剤として上記に例示のものを利用できる。
【００７３】
なお、第１粘着剤層２４がエネルギー線硬化型粘着剤で構成されている場合は、エネルギー線照射後の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）は、一般に、例えば常温（２５℃）で、０．０１Ｎ／１０ｍｍ以下となる。
【００７４】
また、第１粘着剤層２４を構成する粘着剤として、上記アクリル系粘着剤を母材とした非エネルギー線硬化型粘着剤を用いることも可能である。この場合には、筒状巻回体を生成する際の剥離応力よりも小さな粘着力を有するものが適合可能であり、例えば、シリコンミラーウェハを被着体に用いた１８０°ピール剥離試験（室温（２５℃））において、６．５Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．５Ｎ／１０ｍｍ、好ましくは０．２〜６．５Ｎ／１０ｍｍ）、特に６．０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．０Ｎ／１０ｍｍ、好ましくは０．２〜６．０Ｎ／１０ｍｍ）のものを用いることができる。
【００７５】
このような粘着力の小さいアクリル系粘着剤を母材とした非エネルギー線硬化型粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル］と、反応性官能基を有するモノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー等］と、必要に応じて用いられる他の共重合性モノマー［例えば、（メタ）アクリル酸イソボルニルなどの脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル、アクリロニトリル等］との共重合体に、前記反応性官能基と反応しうる架橋剤［例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤等］を添加して架橋させたアクリル系粘着剤などが好ましく用いられる。
【００７６】
第１粘着剤層２４は、例えば、粘着剤、エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、第１剛性フィルム層２３の表面に塗布する方法、適当な剥離ライナー（セパレータ）上に前記コーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを第１剛性フィルム層２３上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成できる。転写による場合は、第１剛性フィルム層２３との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。第１粘着剤層２４は単層、複層の何れであってもよい。
【００７７】
本発明における第１粘着剤層２４の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。第１粘着剤層２４にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、ずり弾性率を高めて粘着力を低下させやすくなる。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μｍ、好ましくは１〜２０μｍ程度である。ビーズの添加量は、第１粘着剤層２４の全体１００重量部に対して、例えば２５〜２００重量部、好ましくは５０〜１００重量部である。前記添加量が多すぎると分散不良を起こして粘着剤の塗布が困難になる場合があり、少なすぎると上記効果が不十分となりやすい。
【００７８】
第１粘着剤層２４の厚みは、一般には１０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ、さらに好ましくは３０〜６０μｍである。前記厚みは、薄すぎると粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となりやすく、厚すぎると不経済であり、取扱性にも劣るため好ましくない。
【００７９】
自己巻回性粘着シート２は、熱収縮性フィルム層２１、弾性層２２及び第１剛性フィルム層２３を重ね、ハンドローラーやラミネーター等の積層手段や、オートクレーブなどの大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させ、次いでこの自己巻回性粘着シートの第１剛性フィルム層２３の表面に第１粘着剤層２４を設けることにより、あるいは予め片面に第１粘着剤層２４を設けた第１剛性フィルム層２３を、熱収縮性フィルム層２１と弾性層２２と重ね合わせて積層することにより製造できる。
【００８０】
本発明における自己巻回性粘着シートは、上述したように、収縮原因となる熱刺激の付与により、端部が浮き上がり、自発的に巻回して筒状巻回体を形成しうる。
【００８１】
図２は本発明における自己巻回性粘着シート２が自己巻回する様子の一例を示す図（斜視図）である。図２において、（Ａ）は熱収縮性フィルム層の収縮原因となる熱刺激を加える前の自己巻回性粘着シート２を示す図、（Ｂ）は熱収縮性フィルム層に収縮原因となる熱刺激が付与された自己巻回性粘着シート２がシート外縁部（１端部）から一方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状態を示す図、（Ｃ）はシートの巻回が終了して１個の筒状巻回体が形成された時の状態（一方向巻回）を示す図である。また、（Ｄ）はシートの対向する２端部から中心に向かって（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向へ）自発的に巻回して２個の筒状巻回体が形成されたときの状態（二方向巻回）を示す図である。自己巻回性粘着シート２が一方向巻回を起こすのか、或いは二方向巻回を起こすのかは、拘束層（弾性層２２＋第１剛性フィルム層２３）の熱収縮性フィルム層２１に対する粘着力や拘束層（特に弾性層２２）のずり弾性率等によって変わる。
【００８２】
図２において、Ｌは自己巻回性粘着シート２の巻回方向（通常、熱収縮性フィルム層の主収縮軸方向）の長さ（自己巻回性粘着シートが円形状の場合は直径）を示し（図２（Ａ））、ｒは形成された筒状巻回体の直径（自己巻回性粘着シートが円形状等の場合のように筒状巻回体の直径が巻回体の長さ方向において一定でない場合は、最大直径）を示す（図２（Ｃ）、（Ｄ））。本発明における自己巻回性粘着シートにおいて、ｒ／Ｌの値は、好ましくは０．００１〜１、さらに好ましくは０．００１〜０．３３３、特に好ましくは０．０１〜０．２の範囲である。なお、この場合のｒ／Ｌの値は、１００ｍｍ×１００ｍｍの大きさの自己巻回性粘着シートの１端部を熱収縮性フィルムの収縮軸方向に沿って８０℃の温水に浸漬し、変形を促して得られる筒状巻回体の直径を定規を用いて求め、この値を１００ｍｍで除すことにより得られる値である。
【００８３】
ｒ／Ｌの値は、熱収縮性フィルム層２１、拘束層（弾性層２２及び第１剛性フィルム層２３）の各層の材料の種類、組成及び厚み等、特に弾性層２２のずり弾性率及び厚み、第１剛性フィルム層２３のヤング率及び厚みを調整することにより上記の範囲にすることができる。この例では、自己巻回性粘着シート２の形状は四角形であるが、これに限らず、目的に応じて適宜選択でき、円形状、楕円形状、多角形状等の何れであってもよい。
【００８４】
なお、自己巻回性粘着シート２は、シートの巻回方向の長さＬが長くなっても同様に巻回する。したがって、当該自己巻回性粘着シートに熱刺激を付与したときに自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと該自己巻回性粘着シートの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）の下限値は、自己巻回性粘着シートの巻回方向の長さＬが大きくなるほど小さくなるものである。
【００８５】
本発明における自己巻回性粘着シート２には、第１粘着剤層２４の表面の保護、ブロッキング防止の観点などから、第１粘着剤層２４の表面にセパレータ（剥離ライナー）が設けられていてもよい。セパレータは自己巻回性粘着シート２を被着体に貼着する際に剥がされるものである。用いられるセパレータとしては、特に限定されず、公知慣用の剥離紙などを使用できる。例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン系等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。
【００８６】
（粘着シート層）
本発明の再剥離性粘着シートは、自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１側に粘着シート層３が積層されている。粘着シート層３は、自己巻回性粘着シート２側の第２粘着剤層３２と、自己巻回性粘着シート２とは反対側の第２剛性フィルム層３１とを有している。
【００８７】
粘着シート層３は、自己巻回性粘着シート２に耐熱性を付与する働きを有し、被着体に熱工程を含む加工を施す際に、自己巻回性粘着シート２が被着体から剥離することを防止する働きを有する。前記のように、自己巻回性粘着シート２は最外層の熱収縮性フィルム層２１の熱時収縮力と第１剛性フィルム層２３の反作用により偶力が発生し巻回剥離する。この自己巻回性粘着シート２に粘着シート層３を積層することで、熱工程時、自己巻回性粘着シート２に生じる偶力と反回転の偶力を生じさせ、自己巻回性粘着シート２の巻回剥離を阻害する。また、粘着シート層３を積層することで再剥離性粘着シート（テープ）としての総厚さが増すため、結果として再剥離性粘着シートの曲げ剛性も向上し、巻回が阻害されやすくなるとも考えられる。そして、熱工程後、粘着シート層３のみ（又は、第２剛性フィルム層３１のみ）を剥離し、次いで、自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１が収縮する温度で加熱すれば、自己巻回性粘着シート２の巻回剥離を起こすことが可能となる。
【００８８】
なお、本発明の再剥離性粘着シートを被着体に貼り合わせる場合、予め自己巻回性粘着シート２と粘着シート層３とを積層した形態で被着体に貼り合わせてもよく、また、被着体に、まず自己巻回性粘着シート２を貼り合わせ、次いでこの自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１側に粘着シート層３を積層して再剥離性粘着シートを形成してもよい。粘着シート層３（又は、第２剛性フィルム層３１）は、被着体の加工終了後、自己巻回性粘着シート２を被着体から剥離する前に、好ましくは再剥離性粘着シートが貼着された被着体を冷却した後、自己巻回性粘着シート２から剥離される。
【００８９】
（第２剛性フィルム層）
第２剛性フィルム層３１は粘着シート層３の支持基材として機能する。第２剛性フィルム層３１としては耐熱性基材を用いることが好ましく、例えば、各種樹脂によるフィルムやシートなどのプラスチック系基材；ゴムシートなどのゴム系基材；紙；金属箔、金属板などの金属系基材や、これらの同種又は異種の積層体等の適宜な薄葉体を用いることができる。上記プラスチック系基材の材質又は素材としては、例えば、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレートなど）、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体など）、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリイミド、セルロース類、フッ素系樹脂、ポリエーテル、ポリスチレン系樹脂（ポリスチレンなど）、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホンなどが挙げられる。これらの中でも、第２剛性フィルム層３１としては、プラスチックフィルム、特に、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリイミドフィルムが好ましい。
【００９０】
また、第２剛性フィルム層３１として、上記例示の耐熱性基材の第２粘着剤層側の表面を、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン系等の剥離剤により離型処理したものを使用することもできる。この場合には、本発明の再剥離性粘着シート１が貼付された被着体の加工終了後、粘着シート層３を剥離するのではなく、表面が離型処理された第２剛性フィルム層３１のみを剥離し、次いで自己巻回性粘着シート２と第２粘着剤層３２との積層体を巻回剥離させてもよい。なお、この場合には、第２粘着剤層３２として自己巻回性粘着シート２の自己巻回を阻害しないように、第２粘着剤層３２の弾性率、厚み等を選択する必要がある。
【００９１】
第２剛性フィルム層３１は、適度な剛性、例えば、熱時において、自己巻回性粘着シート２における第１剛性フィルム層２３と同等の剛性を示すのが好ましい。第２剛性フィルム層３１のヤング率Ｅ’は、自己巻回性粘着シート２の巻回剥離する温度（例えば８０℃）において、例えば、１×１０6Ｐａ〜２×１０10Ｐａ、好ましくは、１×１０8Ｐａ〜１×１０10Ｐａである。第２剛性フィルム層３１のヤング率が小さすぎると、自己巻回性粘着シート２に生じる偶力に抗するだけの反偶力を生じさせることができず、熱工程時に、自己巻回性粘着シート２が巻回剥離したり、自己巻回性粘着シート２の端部での浮きが生じるおそれがある。第２剛性フィルム層３１のヤング率が大きすぎると、粘着シート層３を剥離する（例えば、ピール剥離する）際の作業性が低下しやすくなる。
【００９２】
第２剛性フィルム層３１の厚さとしては、通常、１０μｍ以上（例えば１０〜５００μｍ）、好ましくは２５μｍ以上（例えば２５〜２５０μｍ）程度である。第２剛性フィルム層３１が薄すぎると、粘着シート層３の貼り付け作業性が低下しやすくなり、反回転偶力を生み出すだけの熱収縮フィルム層２１の熱収縮に対する反作用を生じさせることができず、熱加工時に自己巻回性粘着シート２が被着体から剥離してしまうおそれがある。第２剛性フィルム層３１が厚すぎると、粘着シート層３を剥離する（例えば、ピール剥離する）際の作業性が低下しやすくなる。
【００９３】
第２剛性フィルム層３１の表面には、必要に応じて、第２粘着剤層３２との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよい。
【００９４】
（第２粘着剤層）
第２粘着剤層３２を構成する粘着剤としては、アクリル系、ゴム系、シリコーン系、ポリエステル系等のいずれの粘着剤も使用でき、エネルギー線硬化型粘着剤、非エネルギー線硬化型粘着剤のいずれを用いることもできる。また、感圧型、紫外線硬化型、熱硬化型、熱可塑型（感熱型）等のいずれの粘着剤であってもよい。これらの粘着剤としては、前記弾性層２２、第１粘着剤層２４の説明箇所で述べた粘着剤を使用できる。
【００９５】
第２粘着剤層３２を構成する粘着剤としては、上記の中でも、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤が、第２粘着剤層３２の弾性率の制御が容易である点で好ましい。
【００９６】
第２粘着剤層３２は、自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１の収縮応力で変形を生じない高弾性を有するのが好ましい。第２粘着剤層３２を高弾性の粘着剤層とすることで、効率的に反回転の偶力を生むことができ、耐熱性を付与できる。
【００９７】
第２粘着剤層３２のずり弾性率は、自己巻回性粘着シート２の巻回剥離する温度（例えば８０℃）において、例えば４×１０4Ｐａ以上（例えば、４×１０4Ｐａ〜１×１０7Ｐａ）、好ましくは１×１０5Ｐａ以上（例えば、１×１０5Ｐａ〜１×１０7Ｐａ）、さらに好ましくは３×１０5Ｐａ以上（例えば、３×１０5Ｐａ〜１×１０7Ｐａ）である。第２粘着剤層３２のずり弾性率が低すぎると、自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１の収縮応力が第２粘着剤層３２で緩和され、巻回を阻害するだけの反回転偶力が得られにくくなる。
【００９８】
第２粘着剤層３２の厚みは、例えば１〜５００μｍ、好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍの範囲である。第２粘着剤層３２が薄すぎると、自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１に対して十分な粘着性が得られにくくなる。また、第２粘着剤層３２が厚すぎると、自己巻回性粘着シート２の熱収縮性フィルム層２１の収縮応力を緩和してしまい、巻回を阻害しにくくなる。
【００９９】
第２粘着剤層３２には、架橋剤、可塑剤、充填剤（ガラスビーズ、樹脂ビーズ等）、開始剤など適宜な添加物を配合することで、弾性率や粘着力を制御することができる。
【０１００】
第２粘着剤層３２は、例えば、粘着剤、必要に応じて、エネルギー線硬化性化合物、溶媒、適宜な添加物を添加して調製したコーティング液を、第２剛性フィルム層３１の表面に塗布する方法、適当な剥離ライナー（セパレータ）上に前記コーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを第２剛性フィルム層３１上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成できる。転写による場合は、第２剛性フィルム層３１との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。第２粘着剤層３２は単層、複層の何れであってもよい。
【０１０１】
被着体への熱工程を含む加工後、粘着シート層３（第２剛性フィルム層３１表面に離型層が設けられている場合には、第２剛性フィルム層３１）を剥離する際に、「自己巻回性粘着シート２の被着体に対する粘着力＞粘着シート層３の自己巻回性粘着シート２における熱収縮性フィルム層２１に対する粘着力（第２剛性フィルム層３１表面に離型層が設けられている場合には、第２剛性フィルム層３１の第２粘着剤層３２に対する粘着力）」の関係を成立させることで、熱工程後に、粘着シート層３（又は、第２剛性フィルム層３１）を自己巻回性粘着シート２の背面（又は、第２粘着剤層３２）から剥離させることができる。そして、その後、被着体上に残った自己巻回性粘着シート２（又は、自己巻回性粘着シート２と第２粘着剤層３２）を加熱することで、自己巻回性粘着シート２（又は、自己巻回性粘着シート２と第２粘着剤層３２）を巻回剥離させることができる。
【０１０２】
第２粘着剤層３２の粘着力（第２粘着剤層３２がエネルギー線硬化型粘着剤で構成されている場合は、エネルギー線照射後の粘着力）（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）は、例えば常温（２５℃）で、６．０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．０Ｎ／１０ｍｍ）、好ましくは３．０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜３．０Ｎ／１０ｍｍ）、さらに好ましくは１．０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜１．０Ｎ／１０ｍｍ）である。なお、第２剛性フィルム層３１の表面に離型層が設けられている場合には、第２粘着剤層３２の粘着力は上記範囲より大きくてもよい。第２粘着剤層３２がエネルギー線硬化型粘着剤で構成されている場合は、エネルギー線照射後の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）は、一般に、例えば常温（２５℃）で、０．０１Ｎ／１０ｍｍ以下となる。
【０１０３】
なお、粘着シート層３のサイズを自己巻回性粘着シート２のサイズよりも大きくしておくと、余りの部分を剥離きっかけとすることができるので、粘着シート層３の剥離をより容易に行うことができる。
【０１０４】
粘着シート層３には、自己巻回性粘着シート２に積層する前には、第２粘着剤層３２表面の保護、ブロッキング防止の観点などから、第２粘着剤層３２表面にセパレータ（剥離ライナー）が設けられていてもよい。セパレータとしては、特に限定されず、前記セパレータと同様の例を挙げることができる。
【０１０５】
粘着シート層３としては、作業性等の観点から、予め作製された基材付き粘着シート（テープを含む）（例えば、基材付きの弱粘着シート又はテープ）を用いるのが好ましい。
【０１０６】
本発明の再剥離性粘着シートは、例えば、半導体等の保護用粘着シート、半導体ウェハ等の固定用粘着シートとして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラインド用粘着シート、化合物半導体バックグラインド用粘着シート、シリコン半導体ダイシング用粘着シート、化合物半導体ダイシング用粘着シート、半導体パッケージダイシング用粘着シート、ガラスダイシング用粘着シート、セラミックスダイシング用粘着シート等として使用できる。特に、半導体保護用粘着シート、半導体ウェハ固定用粘着シート等の半導体用粘着シートとして有用である。また、とりわけ、被着体に熱工程を含む加工［例えば、スパッタリング、深掘り反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）］を施す場合の仮固定用粘着シートとして有用である。
【０１０７】
［被着体の加工方法］
本発明の被着体の加工方法では、前記本発明の再剥離性粘着シートを貼着した被着体に所用の加工を施す加工工程と、該加工工程の後、（１）前記再剥離性粘着シートの第２粘着剤層及び第２剛性フィルム層、又は（２）第２剛性フィルム層を剥離し、次いで熱処理により被着体から、（１）自己巻回性粘着シート、又は（２）自己巻回性粘着シート及び第２粘着剤層を巻回剥離する工程とを含む。被着体の加工工程は８０℃以上の熱工程を含むものであってもよい。
【０１０８】
図３は本発明の被着体の加工方法の一例を示す概略工程図（断面図）であり、次のような各工程を有する。すなわち、
１．半導体ウェハ等の被着体４に、本発明の再剥離性粘着シート１（自己巻回性粘着シート２及び粘着シート層３）を貼り合わせる。
２．再剥離性粘着シート１を貼り合わせた被着体４に熱工程を含む所用の加工（研磨処理等）を施す。
３．粘着テープ３を剥離する。
４．自己巻回性粘着シート２に熱刺激を与えて、自己巻回剥離させる（又は、被着体４から浮き上がった端部から自己巻回性粘着シート２を引っ張って剥離する）。
【０１０９】
被着体としては、例えば、シリコンやガリウム−ヒ素等を材料とする半導体ウェハ、半導体パッケージ、ガラス、又は、セラミックス等を挙げることができる。被着体の加工の種類には、例えば、研削、切断、研磨、スパッタリング、エッチング、旋盤加工、及び加熱等が含まれる。本発明においては、加熱することにより自発的に剥離する自己巻回性粘着シート２上に粘着シート層３を積層した再剥離性粘着シート１を仮固定用粘着シート等として使用するため、被着体４に熱工程を含む加工（例えば、８０℃以上の温度となる熱工程を含む加工）を施しても、自己巻回性粘着シート２が被着体４表面から剥離しない。そのため、被着体４に熱工程を含む加工を施しても、被着体４に「割れ」や「欠け」が発生するのを防止できる。そして、本発明における再剥離性粘着シート２は該被着体４に所用の加工を施した後は、熱刺激の付与により被着体４から剥離、回収される。
【０１１０】
被着体４表面に、再剥離性粘着シート１を貼り合わせる方法としては、前記のように、被着体４表面に自己巻回性粘着シート２を貼着し、該自己巻回性粘着シート２上に粘着シート層３を積層してもよく、予め自己巻回性粘着シート２と粘着シート層３とを積層した再剥離性粘着シート１を被着体４表面に貼着してもよい。
【０１１１】
本発明においては、作業性等の点で、被着体４表面に自己巻回性粘着シート２を貼着し、該自己巻回性粘着シート２上に粘着シート層３を積層する方法が好ましい。また、特に、自己巻回性粘着シート２に、該自己巻回性粘着シート２の端部より長さ方向に延出している状態で粘着シート層３を積層して貼着することが好ましい。端部より延出している状態で積層することにより、該延出部分を剥離きっかけとすることができる。
【０１１２】
また、粘着シート層３を剥離する際、粘着シート層３の熱収縮性フィルム層２１に対する粘着力が、自己巻回性粘着シート２の被着体４に対する粘着力より小さい状態で粘着シート層３を剥離することが好ましい。粘着シート層３の熱収縮性フィルム層２１に対する粘着力が、自己巻回性粘着シート２の被着体４に対する粘着力を上回ると、粘着シート層３を剥離する際に自己巻回性粘着シート２も一緒に被着体４から引き剥がすこととなり、剥離応力により脆弱被着体が破損する場合がある。
【０１１３】
さらに、被着体４の加工終了後、粘着シート層３の剥離前に冷却処理を施して、自己巻回性粘着シート２の変形が引き起こされる温度より低い温度（例えば７０℃以下、好ましくは５０℃以下）に冷却することが望ましい。冷却処理を施すことにより、粘着シート層３を剥離する際に自己巻回性粘着シート２が巻回剥離する可能性を低減することができ、脆弱被着体の破損の可能性を最小にすることができる。冷却処理方法としては、例えば、自然冷却、送風等を挙げることができる。
【０１１４】
また、第２粘着剤層３２、第１粘着剤層２４、弾性層２２として活性エネルギー線硬化型粘着剤層を使用する場合、例えば粘着シート層３剥離前等の適宜な時点で、活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化させる。第２粘着剤層３２を硬化させることにより、粘着シート層３の自己巻回性粘着シート２に対する粘着力を低下させることができ、第１粘着剤層２４を硬化させることにより、自己巻回性粘着シート２の半導体ウェハ等の被着体４に対する粘着力を低下させることができ、さらに、弾性層２２を硬化させることにより、続いて行う熱付与による自己巻回性粘着シート２の自己巻回剥離（又は、端部の浮きの形成）をより効率的に引き起こすことができる。
【０１１５】
活性エネルギー線露光手段としては、特に限定されず、例えば紫外線を照射する場合には、高圧水銀灯、中圧水銀灯、低圧水銀灯等の紫外線を効率よく生成する光源を使用した紫外線露光装置を使用することができる。活性エネルギー線照射の際の照射強度、照射時間等の照射条件は、特に限定されるものではなく、適宜必要に応じて設定することができ、例えば活性エネルギー線として紫外線を使用する場合、５０〜２０００ｍＪ／ｃｍ2、１〜１８０秒間照射程度である。
【０１１６】
粘着シート層３の剥離方法としては、例えば、粘着シート層３表面に剥離テープを貼り付けて、貼り付けられた剥離テープを上方に引っ張ることにより容易に回収することができる。
【０１１７】
なお、前記のように、第２剛性フィルム層３１表面に離型層が設けられている場合には、粘着シート層３を剥離する代わりに、第２剛性フィルム層３１を剥離してもよい。
【０１１８】
粘着シート層３を自己巻回性粘着シート２表面から剥離した後（又は、第２剛性フィルム層３１を剥離した後）は、熱収縮性フィルムとして一軸延伸収縮性フィルムを使用する場合は、自己巻回性粘着シート２における収縮方向の端部を加熱することにより、また、二軸延伸収縮性フィルムを使用する場合は自己巻回性粘着シート２における任意の一方向から加熱することによって、自己巻回性粘着シート２の外縁部を変形させて被着体４との間に浮きを生じさせ、続いて自己巻回剥離させることができる。自己巻回性粘着シート２の加熱温度、及び加熱時間は、使用する熱収縮性フィルムの熱収縮性に応じて適宜調節することができ、加熱温度は、例えば７０〜１８０℃、好ましくは７０〜１４０℃である。加熱時間は、例えば５〜１８０秒間程度である。
【０１１９】
なお、加熱を調整することにより、自己巻回性粘着シート２の外縁部と被着体４との間に浮きが生じた状態で止めることができる。この場合には、自己巻回性粘着シート２の外縁部の浮き上がった部位を剥離きっかけとして、剥離テープを貼り付け、貼り付けられた剥離テープを上方に引っ張ることにより、自己巻回性粘着シート２を容易に回収することができる。
【０１２０】
本発明によれば、自己巻回性粘着シートを利用するため、被着体にかかる剥離応力を極力小さくできるので、被着体が脆弱であっても、被着体の破損や糊残り等の汚染を防止できる。
【実施例】
【０１２１】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【０１２２】
製造例１（自己巻回性粘着シートの作製）
エステル系重合体（ダイセル化学社製「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０ＰＬ」１００重量部、セバシン酸１０重量部から得られた重合物）１００重量部と、架橋剤（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）４重量部からなるエステル系重合体混合液を、剛性フィルム層としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み３８μｍ：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」）の一方の面に塗布し、その上に熱収縮性フィルム（１軸延伸ポリエステルフィルム、厚み３０μｍ：東洋紡社製、商品名「スペースクリーンＳ５６３０」）を重ね、ハンドローラーを用いて積層し、３層積層シート[エステル系粘着剤層（弾性層）の厚み３０μｍ］を得た。
次に、アクリル系共重合体Ａ［ブチルアクリレート：アクリル酸＝１００：３（重量比）を共重合して得られたもの］１００重量部に、架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．７重量部、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）２重量部を混合して非エネルギー硬化型粘着剤（感圧型粘着剤）Ａを調製した。
得られた非エネルギー線硬化型粘着剤Ａを、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム社製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒などの揮発物を乾燥して、厚み３０μｍの非エネルギー線硬化型粘着剤層が剥離シート上に設けられた積層体を得た。
この積層体を上記３層積層シートのポリエチレンテレフタレートフィルム側に積層し、熱収縮性フィルム層／弾性層／剛性フィルム層／粘着剤層／剥離シートの層構成を有する自己巻回性粘着シートを得た。
【０１２３】
製造例２［粘着シート（１）の作製］
アクリル系共重合体Ｂ［ブチルアクリレート：エチルアクリレート：アクリル酸：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：５：０．１（重量比）を共重合して得られたもの］１００重量部に、架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）４重量部、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）１．５重量部を混合して非エネルギー硬化型粘着剤（感圧型粘着剤）Ｂを調製した。
得られた非エネルギー線硬化型粘着剤Ｂを、アプリケータを用いてポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み２５μｍ：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」）の一方の面に塗布し、溶媒などの揮発物を乾燥して、厚み３０μｍの非エネルギー線硬化型粘着剤層が基材フィルム（剛性フィルム層）上に設けられた粘着シート（１）を得た。
【０１２４】
製造例３［粘着シート（２）の作製］
アクリル系共重合体［ブチルアクリレート：エチルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：２０（重量比）を共重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の８０％をメタクリロイルオキシエチルイソシアナート（２−イソシアナトエチルメタクリレート）と結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系共重合体Ｃを製造した。
この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系共重合体Ｃ１００重量部に対して、光開始剤（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製、商品名「イルガキュア１８４」）３重量部、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）０．２重量部を混合してエネルギー硬化型粘着剤Ｃを調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤Ｃを、アプリケータを用いてポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み５０μｍ：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」）の一方の面に塗布し、溶媒などの揮発物を乾燥して、厚み３０μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層が基材フィルム（剛性フィルム層）上に設けられた粘着シート（２）を得た。
【０１２５】
製造例４［粘着シート（３）の作製］
アクリル系共重合体Ｂ［ブチルアクリレート：エチルアクリレート：アクリル酸：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：５：０．１（重量比）を共重合して得られたもの］１００重量部に、架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．０７重量部を混合して非エネルギー硬化型粘着剤（感圧型粘着剤）Ｄを調製した。
得られた非エネルギー線硬化型粘着剤Ｄを、アプリケータを用いてポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み５０μｍ：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」）の一方の面に塗布し、溶媒などの揮発物を乾燥して、厚み３０μｍの非エネルギー線硬化型粘着剤層が基材フィルム（剛性フィルム層）上に設けられた粘着シート（３）を得た。
【０１２６】
製造例５［粘着シート（４）の作製］
エチレン−アクリル酸エチル共重合体（ＥＥＡ樹脂、三井・デュポンポリケミカル社製、商品名「ＡＲ−２１０」）をトルエンに溶解し、アプリケータにて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム社製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、乾燥して、厚さ８０μｍのＥＥＡシートを得た。
次いで、同剥離シートに、製造例２と同様にして調製した非エネルギー硬化型粘着剤（感圧型粘着剤）Ｂを塗布し、乾燥して、厚み３０μｍの非エネルギー線硬化型粘着剤層を形成した。これを上記ＥＥＡシート上に転写して、厚み３０μｍの非エネルギー線硬化型粘着剤層が基材フィルム上に設けられた粘着シート（４）を得た。
【０１２７】
実施例１
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを４インチオリフラウェハに貼り合わせた後、予めφ４インチにプリカットした上記粘着シート（１）を貼り合わせて、ウェハ／自己巻回性粘着シート／粘着シート（１）の層構成からなる積層体（１）を得た。
【０１２８】
実施例２
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを４インチオリフラウェハに貼り合わせた後、予めφ４インチにプリカットした上記粘着シート（２）を貼り合わせて、ウェハ／自己巻回性粘着シート／粘着シート（２）の層構成からなる積層体（２）を得た。
【０１２９】
比較例１
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを４インチオリフラウェハに貼り合わせ、ウェハ／自己巻回性粘着シートの層構成からなる積層体（３）を得た。
【０１３０】
比較例２
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを４インチオリフラウェハに貼り合わせた後、予めφ４インチにプリカットした上記粘着シート（３）を貼り合わせて、ウェハ／自己巻回性粘着シート／粘着シート（３）の層構成からなる積層体（４）を得た。
【０１３１】
比較例３
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを４インチオリフラウェハに貼り合わせた後、予めφ４インチにプリカットした上記粘着シート（４）を貼り合わせて、ウェハ／自己巻回性粘着シート／粘着シート（４）の層構成からなる積層体（５）を得た。
【０１３２】
［評価試験］
実施例及び比較例で得られた各積層体及びその構成部材について、下記の評価試験を行った。その結果を表１に示す。表中、「−」は未実施を意味する。
【０１３３】
［自己巻回性粘着シートのシリコンウェハに対する粘着力］
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを幅１０ｍｍに切断し、剥離シート（セパレータ）を除去した後に４インチシリコンミラーウェハ（信越半導体社製、商品名「ＣＺ−Ｎ」）にハンドローラーで貼り合わせた。これにピール剥離試験機の引張り治具を粘着テープを用いて貼り合わせた。引張り治具を１８０°方向に、引張り速度３００ｍｍ／分で引張り、シリコンウェハと非エネルギー線硬化型粘着剤層との間で剥離が生じたときの力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
【０１３４】
［粘着シートの基材フィルムのヤング率（８０℃）］
製造例２〜５で得られた粘着シート（１）〜（４）の基材フィルムのヤング率はＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じ、以下の方法で測定した。引張り試験機として島津社製オートグラフＡＧ−１ｋＮＧ（加温フード付き）を用いた。長さ２００ｍｍ×幅１０ｍｍに切り取った基材フィルムをチャック間距離１００ｍｍで取り付けた。加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪が０．２％と０．４５％の２点について荷重を求めヤング率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した（基材フィルムのＴＤ方向及びＭＤ方向について測定した）。なお、比較例３で用いた粘着シート（４）（製造例５）の基材フィルムのヤング率については、下記の粘着シートの粘着剤層のずり弾性率の測定方法と同様にして、ずり弾性率Ｇを測定した後、Ｅ’＝３×Ｇの関係式より、ヤング率Ｅ’を求めた。
【０１３５】
［粘着シートの粘着剤層のずり弾性率（８０℃）］
製造例２〜５で得られた粘着シート（１）〜（４）の粘着剤層のずり弾性率については以下の方法で測定した。粘着剤層を1．５ｍｍ〜２ｍｍの厚みで作製した後、これを直径７．９ｍｍのポンチで打ち抜き、測定用の試料を得た。Ｒｈｅｏｍｅｔｒｉｃ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ  社製の粘弾性スペクトロメーター（ＡＲＥＳ）を用いて、チャック圧１００ｇ重、ずりを周波数１Ｈｚに設定して測定を行った［ステンレススチール製８ｍｍパラレルプレート（ティエーインスツルメンツ社製、型式７０８．０１５７）を使用］。８０℃におけるずり弾性率を用いた。
【０１３６】
［粘着シートの自己巻回性粘着シートに対する粘着力］
シリコンミラーウェハに製造例１で得られた自己巻回性粘着シートを貼り付け、自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側の面に、実施例１、２、比較例２、３で用いた各粘着シート（１）〜（４）（幅１０ｍｍの大きさに切断したもの）を貼着したものを試料とした。ピール剥離試験装置の引張り治具を使用して、該粘着シートを引張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎで１８０°方向に引張り、粘着シートの粘着剤層と自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層との間で剥離が生じた時の力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
なお、実施例２［粘着シート（２）を用いた場合］については、紫外線照射後の粘着シートの自己巻回性粘着シートに対する粘着力も測定した。この粘着力は、後述する耐熱性試験後、粘着シートの背面から、紫外線を照射（積算光量３００ｍＪ／ｃｍ2）した後、上記と同様にして測定した。
【０１３７】
［耐熱性試験］
製造例１で得られた自己巻回性粘着シートから剥離シート（セパレータ）を剥離し、４インチシリコンミラーウェハに貼り合わせ、さらにその自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層側の面に、実施例１、２、比較例２、３で用いた各粘着シート（１）〜（４）を貼着後、ウェハ外周に沿ってはみ出したシートを切断したもの（比較例１では、自己巻回性粘着シート上に粘着シートを積層していないもの）を試料とした。前記試料に、１００℃、３０分間加熱処理を施し、自己巻回性粘着シートがシリコンミラーウェハ表面から剥離するか否かを目視で観察した。
【０１３８】
［粘着シートの剥離試験］
上記耐熱性試験後、剥離テープ（商品名「ＢＴ−３１５」、日東電工社製、幅３０ｍｍ）を粘着シート背面に貼付し、該剥離テープを、ピール剥離試験装置の引張り治具を使用して、引張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎで１８０°方向に引張り、粘着シートの粘着剤層と自己巻回性粘着シートの熱収縮性フィルム層との間で剥離が生じるか否かを観察した。剥離した場合を「可」、剥離しない場合を「不可」とした。なお、実施例２［粘着シート（２）を用いた場合］については、上記耐熱性試験後、粘着シートの背面から、紫外線を照射（積算光量３００ｍＪ／ｃｍ2）した後、上記と同様にして行った。
【０１３９】
［自己巻回性粘着シートの剥離試験］
上記粘着シートの剥離試験実施後（粘着シート剥離後）、ドライヤーで各試料の自己巻回性粘着シートの長さ方向の端部を８０℃に加熱し、自己巻回剥離するか否かを観察した。自己巻回剥離した場合を「可」、自己巻回剥離しない場合を「不可」とした。
【０１４０】
【表１】
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【符号の説明】
【０１４１】
１    再剥離性粘着シート
２    自己巻回性粘着シート
２１  熱収縮性フィルム層
２２  弾性層
２３  第１剛性フィルム層
２４  第１粘着剤層
３    粘着シート層
３１  第２剛性フィルム層
３２  第２粘着剤層
４    被着体（被加工体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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