(57)【要約】【課題】搬送車の走行領域内に工具等の障害物が置かれた状態で、搬送車が起動したとしても、搬送車が障害物と強く接触して、搬送車が損傷することを抑制することができる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置は、予め規定された走行領域Ｒ内を走行可能とされ、被搬送物を搬送可能な搬送台１１１と、走行領域内に侵入した侵入物を検知可能な接触センサ２２０と、接触センサ２２０および載置台１１１の駆動を制御可能な制御部５００と、搬送台１１１を起動させる起動信号または搬送台１１１の駆動を停止させる停止信号を制御部に送信可能な操作部とを備え、制御部５００は、停止信号Ｔ２を受信すると、搬送台１１１を停止させる停止処理部と、起動信号Ｔ１を受信すると起動し、接触センサ２２０の信号に基づいて、走行領域Ｒ内に記侵入物があると判断したときに載置台１１１を停止状態とし、走行領域Ｒ内に侵入物がないと判断すると、搬送台１１１を通常走行速度で通常走行状態とする起動処理部とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め規定された走行領域内を走行可能とされ、被搬送物を搬送可能な搬送台と、
前記走行領域内に侵入した侵入物を検知可能な検知部と、
前記検知部および前記搬送台の駆動を制御可能な制御部と、
前記搬送台を起動させる起動信号または前記搬送台の駆動を停止させる停止信号を前記制御部に送信可能な操作部と、
を備えた搬送装置であって、
前記制御部は、前記停止信号を受信すると、前記搬送台を停止させる停止処理部と、
前記起動信号を受信すると起動し、前記検知部の信号に基づいて、前記走行領域内に前記侵入物があると判断したときに前記搭載台を停止状態とし、前記走行領域内に前記侵入物がないと判断すると、前記搬送台を通常走行速度で通常走行状態とする起動処理部と、
を備えた、搬送装置。
【請求項２】
前記検知部は、接触感知部を含み、
前記接触感知部は、前記搬送台のうち、進行方向両端部に設けられ、前記侵入物と接触すると前記制御部に信号を送信可能とされ、
前記起動処理部は、前記起動信号を受信すると、前記通常走行速度よりも低速に設定された検査走行速度で前記搬送台を走行させ、該搬送台が前記走行領域の全域に亘って走行したかを判断する走行領域判断部と、
前記検知部からの信号に基づいて、前記侵入物を検知したと判断すると、前記検査走行速度で走行する前記搬送台を停止状態とする緊急停止部とを含み、
前記制御部は、前記走行領域判断部からの出力に基づいて、前記搬送台が前記走行領域全域の走行を完了したと判断すると、起動速度制御部による前記搬送台の駆動制御を停止させ、前記搬送台を前記検査走行状態から前記通常走行状態に切り替える、走行状態切替部を含む、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記接触感知部は、前記搬送台の進行方向端部に向けて進退可能に設けられたバンパ部と、前記搬送台の前記進行方向端部に設けられ、前記バンパ部と接触することで前記制御部に信号を送信可能な接触感知センサとを含む、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記検知部は、前記搬送台に設けられ、前記侵入物を検知可能な非接触感知部を含む、請求項１から請求項３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記検知部は、前記走行領域内の全域に亘って、前記侵入物の有無を検知可能とされた、請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、特に、走行領域が予め規定された搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からガラス基板などの被搬送物を搬送する搬送装置が各種提案されている。たとえば、特開２００２−１７９２０５号公報に記載された軌道搬送システムにおいては、複数の搬送車が、ループ状の案内軌道上にそって移動可能に設けられており、ベイを構成する処理装置間でカセットの搬出および搬入をおこなっている。
【特許文献１】特開２００２−１７９２０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特開２００２−１７９２０５号公報に記載された軌道搬送システムにおいては、システムの起動時に、搬送車の走行領域内に障害物等が置かれているか否かを検知する検知手段が設けられていない。
【０００４】
このため、たとえば、停止時にメンテナンス等を行った作業者が、搬送車の走行領域内に工具等を置き忘れ、その後、搬送車を軌道させると、搬送車と工具と衝突し、搬送車が損傷するおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、搬送車の走行領域内に工具等の障害物が置かれた状態で、搬送車が起動したとしても、搬送車が障害物と強く接触して、搬送車が損傷することを抑制することができる搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送装置は、予め規定された走行領域内を走行可能とされ、被搬送物を搬送可能な搬送台と、走行領域内に侵入した侵入物を検知可能な検知部と、検知部および搬送台の駆動を制御可能な制御部と、搬送台を起動させる起動信号または搬送台の駆動を停止させる停止信号を制御部に送信可能な操作部とを備える。そして、上記制御部は、停止信号を受信すると、搬送台を停止させる停止処理部と、起動信号を受信すると起動し、検知部の信号に基づいて、走行領域内に走行領域内に侵入物があると判断したときに搭載台を停止状態とし、走行領域内に侵入物がないと判断すると、搬送台を通常走行速度で通常走行状態とする起動処理部とを備える。
【０００７】
好ましくは、上記検知部は、接触感知部を含む。そして、上記接触感知部は、搬送台のうち、進行方向両端部に設けられ、侵入物と接触すると制御部に信号を送信可能とされる。さらに、上記起動処理部は、起動信号を受信すると、通常走行速度よりも低速に設定された検査走行速度で搬送台を走行させ、該搬送台が走行領域の全域に亘って走行したかを判断する走行領域判断部と、検知部からの信号に基づいて、侵入物を検知したと判断すると、検査走行速度で走行する搬送台を停止状態とする緊急停止部とを含む。さらに、上記制御部は、走行領域判断部からの出力に基づいて、搬送台が走行領域全域の走行を完了したと判断すると、起動速度制御部による搬送台の駆動制御を停止させ、搬送台を検査走行状態から通常走行状態に切り替える、走行状態切替部を含む。
【０００８】
好ましくは、上記接触感知部は、搬送台の進行方向端部に向けて進退可能に設けられたバンパ部と、搬送台の進行方向端部に設けられ、バンパ部と接触することで制御部に信号を送信可能な接触感知センサとを含む。
【０００９】
好ましくは、上記検知部は、搬送台に設けられ、侵入物を検知可能な非接触感知部を含む。好ましくは、上記検知部は、走行領域内の全域に亘って、侵入物の有無を検知可能とされる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る搬送装置によれば、搬送台の走行領域内に障害物が置かれた状態で搬送台が起動したとしても、搬送台が障害物と衝突することで、搬送台が大きく損傷することを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本実施の形態に係る基板搬送装置１００について、図１から図１３を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１に係る基板搬送装置１００を模式的に示す平面図である。この図１に示すように、フェンス部１０１によって規定された走行領域Ｒ内を走行する搬送車両１１０と、搬送車両１１０を案内するレール１５０と、搬送車両１１０の駆動を制御する制御部５００と、制御部５００に搬送車両１１０を起動させる起動信号Ｔ１または搬送車両１１０の駆動を停止させる停止信号Ｔ２を送信可能な操作部６００とを備えている。
【００１２】
この図１に示す例においては、フェンス部１０１には、センサ１６０，センサ１６１が設けられており、センサ１６０，１６１は、検知した搬送車両１１０までの距離に対応する位置検知信号Ｓ３，Ｓ４を制御部５００に送信し、制御部５００は、位置検知信号Ｓ３，Ｓ４に基づいて搬送車両１１０の位置を把握する。
【００１３】
さらに、フェンス部１０１には、扉が設けられており、たとえば、基板搬送装置１００の駆動が停止している際に、フェンス部１０１内に作業者が入り、搬送車両１１０やレール１５０等のメンテナンスを行うことができる。
【００１４】
搬送車両１１０は、基板収容カセット３００を載置して、走行可能とされており、フェンス部１０１の外側には、基板収容カセット３００が載置されるローダ１２０が間隔を隔てて複数設けられている。
【００１５】
そして、フェンス部１０１には、ローダ１２０に基板収容カセット３００を搬入したり、ローダ１２０から搬送車両１１０に基板収容カセット３００を搬出するための開口部や扉等の搬入搬出部１２１が設けられている。
【００１６】
図２は、搬送車両１１０の側面図であり、この図２および上記図１に示すように、搬送車両１１０は、基板収容カセット３００を載置可能な載置台１１１と、レール１５０に案内され、載置台１１１を走行させる車輪２５０と、車輪２５０を駆動するモータ２４０と、車輪２５０の回転を停止させるブレーキ機構２４１とを備えている。
【００１７】
制御部５００は、モータ２４０およびブレーキ機構２４１の駆動を制御しており、搬送車両１１０の走行速度、起動および停車を設定する。そして、モータ２４０は、制御部５００からのモータ駆動信号Ｓ６によって、出力が制御されており、ブレーキ機構２４１は、制御部５００からのブレーキ駆動信号Ｓ５によってＯＮ／ＯＦＦが切り替えられる。
【００１８】
基板搬送装置１００の通常の駆動時においては、制御部５００は、予め制御部５００の記憶部に格納された制御フローにしたがって、搬送車両１１０の駆動や搬入搬出部１２１の開閉制御を行う。
【００１９】
これにより、たとえば、処理済のガラス基板が収容された基板収容カセット３００を、搬入搬出部１２１を通して、ローダ１２０から搬出して搬送車両１１０に載置し、基板収容カセット３００を次の処理装置に搬送したりする。
【００２０】
搬送車両１１０は、載置台１１１の進行方向に配列する一方の端部に設けられた接触センサ２２０と、他方の端部に設けられた接触センサ２２１と、載置台１１１の側辺部に設けられたセンサ２００，センサ２０５とを備えている。
【００２１】
図３は、接触センサ２２０の構成を示す平面図である。この図３に示すように、接触センサ２２０は、載置台１１１の前方側に位置し、載置台１１１の一方の端部に対して近接可能に設けられたバンパ２３０と、載置台１１１の一方の端部に設けられ、バンパ２３０によって覆われるように、配置された複数のセンサ（接触感知センサ）２３１，２３２，２３３とを備えている。
【００２２】
バンパ２３０には、載置台１１１に向けて延びる軸部２３５が形成されている。軸部２３５の端部は、載置台１１１に形成された穴部に挿入されており、軸部２３５の外周面には、バンパ２３０を載置台１１１から引き離す方向に付勢するコイルバネ等の弾性部材２３４が設けられている。
【００２３】
このため、バンパ２３０は、通常の状態においては、搬送車両１１０の端部から僅かに離れた位置に位置している。
【００２４】
そして、バンパ２３０は、置き忘れられた工具等と接触し押圧されると、弾性部材２３４からの付勢力に抗して、載置台１１１に近接し、センサ２３１，２３２，２３３のいずれかと接触する。センサ２３１，２３２，２３３は、バンパ２３０と接触すると、制御部５００に接触信号Ｓ１を送信する。
【００２５】
制御部５００は、センサ２３１，２３２，２３３のいずれかから接触信号Ｓ１を受信すると、ブレーキ機構２４１を起動すると共に、モータ２４０の駆動を停止させ、搬送車両１１０を停車させる。これにより、載置台１１１が置き忘れられた工具等と接触して、損傷することを抑制することができる。
【００２６】
図４は、センサ２００およびその近傍の構成を示す搬送車両１１０の側面図である。この図４に示すように、搬送車両１１０の一方の側辺部に設けられたセンサ２００は、複数の白色ダイオード等の発光素子２０１と、受光素子２０２とを備える。受光素子２０２は、搬送車両１１０の側面からフェンス部１０１に向けて光を放射し、発光素子２０１は、フェンス部１０１からの反射光を受光し、受光した光の受光強度に対応する電圧を異物検知信号Ｓ２として、制御部５００に送信する。制御部５００は、異物検知信号Ｓ２に基づいて、フェンス部１０１からの反射光が所定の受光強度よりも小さいと判断すると、搬送車両１１０の側面とフェンス部１０１との間に異物があるものと判断して、搬送車両１１０の走行を停止させる。
【００２７】
なお、図３に示すセンサ２０５も、センサ２００と同様に、複数の発光素子と、受光素子とを備えており、受光素子は、受光強度に相当する異物検知信号を制御部５００に送信する。そして、制御部５００は、送信された異物検知信号に基づいて、受光素子が受光した受光強度が所定の受光強度よりも小さいと判断すると、搬送車両１１０の駆動を停止させる。
【００２８】
図５は、制御部５００のブロック図である。そして、この図５および適宜上記図１から図４を用いて、基板搬送装置１００の起動時の処理過程について説明する。
【００２９】
図５に示すように、制御部５００は、操作部６００からの停止信号Ｔ２を受信する停止処理部５２０と、記憶部５３０とを備えている。
【００３０】
停止処理部５２０は、操作部６００から停止信号Ｔ２を受信すると、搬送車両１１０に対して、モータ２４０の駆動を停止させると共に、ブレーキ機構２４１を駆動させるブレーキ駆動信号Ｓ５を送信する。
【００３１】
これにより、操作者は、操作部６００を操作することで、搬送車両１１０を停止させることができる。
【００３２】
制御部５００は、操作部６００からの起動信号Ｔ１を受信する起動処理部５１０を備えており、起動処理部５１０は、起動信号Ｔ１を受信すると、搬送車両１１０の起動処理を行う。この起動処理によって、起動処理部５１０は、搬送車両１１０の停止中に、フェンス部１０１内に置き忘れられた工具等の侵入物の有無を確認し、侵入物がない場合には、搬送車両１１０を通常走行速度で走行させ、侵入物がある場合には、搬送車両１１０を停止状態とする。
【００３３】
これにより、フェンス部１０１内に置き忘れられた工具等の侵入物と搬送車両１１０とが衝突することを抑制することができ、搬送車両１１０が大きく損傷することを抑制することができる。
【００３４】
ここで、図５から図９を用いて、起動処理部５１０における起動処理について詳細に説明する。
【００３５】
起動処理部５１０は、操作部６００からの起動信号Ｔ１および位置検知信号Ｓ３，Ｓ４を受信して、搬送車両１１０が起動したときにおける進行方向を設定する起動方向設定部５０１と、起動方向設定部５０１から出力される走行方向信号Ｓ８Ａ，Ｓ８Ｂに基づいて、搬送車両１１０を定常速度より遅い検査速度で走行させると共に、検査速度で走行する搬送車両１１０が走行領域Ｒ全域を走行したかを判断する走行領域判断部５０２とを備える。
【００３６】
ここで、搬送車両１１０は、起動した際に、搬送車両１１０が走行する方向としては、センサ１６１に近づく方向またはセンサ１６０に近づく方向のいずれかがあるが、搬送車両１１０が走行領域Ｒ全域を走行するまでの間に、搬送車両１１０が走行する走行距離が短い方を選択する。これにより、検査時間の低減を図ることができる。
【００３７】
走行領域判断部５０２は、搬送車両１１０が検査速度で走行領域Ｒ全域を走行したと判断すると、走行状態切替部５０３に検査完了信号Ｓ９を送信する。
【００３８】
走行状態切替部５０３は、検査完了信号Ｓ９を受信すると、記憶部５３０に格納された通常搬送処理フローにしたがって、搬送車両１１０を走行させる。この際、搬送車両１１０は、通常走行速度で走行する。
【００３９】
起動処理部５１０は、センサ２００，センサ２０５からの出力に基づいて、走行領域Ｒ内に置き忘れられた工具等を検知した場合や、接触センサ２２０，２２１からの信号により、置き忘れられた工具と接触センサ２２０，２２１とが接触したことを検知すると、搬送車両１１０を停止状態とする緊急停止制御部５０４を備える。
【００４０】
ここで、走行領域判断部５０２や走行状態切替部５０３から搬送車両１１０に出力される信号は、リレー５５０を介して搬送車両１１０に送信され、緊急停止制御部５０４から搬送車両１１０に送信される信号は、リレー５５１を介して送信される。
【００４１】
リレー５５０は、通常の状態では、ＯＮとなっており、緊急停止制御部５０４からの停止信号ＳＡによって、ＯＦＦとなる。その一方で、リレー５５１は、通常の状態では、ＯＦＦ状態となっており、緊急停止制御部５０４からの停止信号ＳＡによってＯＮに切り替えられる。
【００４２】
そして、緊急停止制御部５０４は、センサ２００，２０５および接触センサ２２０，２２１によって、フェンス部１０１内に侵入物の存在を検知すると、リレー５５０をＯＦＦとし、リレー５５１をＯＮとする。これにより、走行領域判断部５０２等からの信号が切断される一方で、リレー５５１を介して、緊急停止制御部５０４からの信号が搬送車両１１０に送信され、搬送車両１１０が停止する。
【００４３】
このように、緊急停止制御部５０４以外の制御部構成要素からの信号が送信される配線を強制的に切断し、搬送車両１１０を停車させる緊急停止制御部５０４からの信号を搬送車両１１０に送信することで、搬送車両１１０を確実に停止させることができる。
【００４４】
さらに、緊急停止制御部５０４は、起動方向設定部５０１および走行領域判断部５０２等の駆動を停止させるために、記憶部５３０に停止命令信号ＳＢを格納する。
【００４５】
起動方向設定部５０１および走行領域判断部５０２は、駆動中に適宜記憶部５３０にアクセスして、停止命令信号ＳＢが記憶部５３０に格納されたか否かを判断し、停止命令信号ＳＢが格納されたと判断すると、搬送車両１１０を停止させる。
【００４６】
なお、制御部５００は、走行領域Ｒ内に侵入物があるものと判断した際には、搬送車両１１０を停止させると共に、操作者に注意を喚起するための警告部を作動させるようにしてもよい。
【００４７】
図６は、起動方向設定部５０１が搬送車両１１０の走行方向を設定する際に行う処理を示すフロー図である。この図６に示すように、起動方向設定部５０１は、位置検知信号Ｓ３，Ｓ４に基づき、搬送車両１１０が走行領域Ｒのうち、センサ１６０側の端部に位置するか否かを判断する（ＳＴＥＰ１０）。センサ１６０側の端部に搬送車両１１０が位置していないと判断すると、センサ１６１側の端部に位置するか否かを判断する（ＳＴＥＰ１１）。そして、センサ１６０およびセンサ１６１のいずれの端部にも搬送車両１１０が位置していないと判断すると、起動方向設定部５０１は、位置検知信号Ｓ３，Ｓ４に基づいて、搬送車両１１０とセンサ１６０の距離の方が、搬送車両１１０とセンサ１６１との距離よりも短いか否かを判断する（ＳＴＥＰ１２）。
【００４８】
そして、上記（ＳＴＥＰ１１）において、搬送車両１１０がセンサ１６１側の端部に位置していると判断したときと、（ＳＴＥＰ１２）において、搬送車両１１０とセンサ１６０との間の距離の方が小さいと起動方向設定部５０１が判断したときには、走行領域判断部５０２に、搬送車両１１０の走行方向に関する情報を含む走行方向信号Ｓ８Ａを送信し（ＳＴＥＰ１５）する。
【００４９】
その一方で、（ＳＴＥＰ１０）および（ＳＴＥＰ１２）において、搬送車両１１０が
１１６側の端部に位置している場合や、搬送車両１１０とセンサ１６１との距離の方が短いと判断すると、走行領域判断部５０２に搬送車両１１０の走行方向に関する情報を含む走行方向信号Ｓ８Ｂを送信する（ＳＴＥＰ１９）。
【００５０】
図７から図９は、走行領域判断部５０２の制御フローを示すフロー図である。この図７に示すように、走行領域判断部５０２は、まず、記憶部５３０にアクセスして、停止命令信号ＳＢが格納されているかを判断する（ＳＴＥＰ２０）。
【００５１】
そして、記憶部５３０に停止命令信号ＳＢが格納されていると判断すると、記憶部５３０に格納された停止命令信号ＳＢを消去（ＳＴＥＰ２１）して、駆動を停止する。
【００５２】
その一方で、停止命令信号ＳＢが記憶部５３０に格納されていないと判断した場合には、走行領域判断部５０２から走行方向信号Ｓ８Ａを受信したかを判断し（ＳＴＥＰ２２）、走行方向信号Ｓ８Ａを受信していると判断したときには、図９に示すフローに従って上処理を行う（ＳＴＥＰ２２）。
【００５３】
図８において、走行領域判断部５０２は、上記（ＳＴＥＰ２２）において、走行方向信号Ｓ８Ａを受信したと判断した場合には、センサ１６０に向けて搬送車両１１０を走行させる。この際、ブレーキ機構２４１をＯＦＦとするブレーキ駆動信号Ｓ５を送信すると共に、搬送車両１１０がセンサ１６０に向かうように、モータ２４０を駆動させるモータ駆動信号Ｓ６をモータ２４０に送信する（ＳＴＥＰ３０）。
【００５４】
ここで、モータ２４０は、コイルが巻回されたステータと、ステータからの磁力によって回転するロータと、ロータに固定された出力軸と、当該出力軸を車輪２５０に伝達する動力伝達機構とを備え、この動力伝達機構は、走行領域判断部５０２からのモータ駆動信号Ｓ６にしたがって、車輪２５０の回転方向を切替可能となっている。これにより、搬送車両１１０は、センサ１６０に近接するように走行する。
【００５５】
走行領域判断部５０２は、搬送車両１１０をセンサ１６０に向けて走行させる信号を送信した後、記憶部５３０にアクセスして、停止命令信号ＳＢが格納されているかを判断する（ＳＴＥＰ３１）。
【００５６】
走行領域判断部５０２は、記憶部５３０に停止命令信号ＳＢが格納されていないと判断すると、センサ１６０，１６１からの位置検知信号Ｓ３，Ｓ４に基づいて、搬送車両１１０が走行領域Ｒ内のうち、センサ１６０側の端部に達したか否かを判断する（ＳＴＥＰ３２）。
【００５７】
そして、走行領域判断部５０２は、搬送車両１１０が未だセンサ１６０側の端部に達していないと判断すると、搬送車両１１０をセンサ１６０に向けて走行させる（ＳＴＥＰ３０）。その一方で、搬送車両１１０が走行領域Ｒのセンサ１６０側の端部に達したと判断すると、搬送車両１１０をセンサ１６１に向けて走行させる（ＳＴＥＰ３３）。
【００５８】
そして、記憶部５３０にアクセスして、緊急停止制御部５０４から停止命令信号ＳＢが走行状態切替部５０３に格納されたかを判断する（ＳＴＥＰ３４）。
【００５９】
停止命令信号ＳＢが格納されていないと判断すると、搬送車両１１０がセンサ１６１側の端部に達しているか判断する（ＳＴＥＰ３５）。そして、センサ１６１側の端部にまで達していないと判断すると、停止命令信号ＳＢの有無を確認しながら、搬送車両１１０をセンサ１６１側の端部に向けて走行させる。
【００６０】
その後、搬送車両１１０がセンサ１６１側の端部にまで達したと判断すると、走行状態切替部５０３に検査完了信号Ｓ９を送信する（ＳＴＥＰ３６）。
【００６１】
その一方で、上記（ＳＴＥＰ３１）および（ＳＴＥＰ３４）において、記憶部５３０に停止命令信号ＳＢが格納されていると判断した場合や、検査完了信号Ｓ９を送信した後（ＳＴＥＰ３６）、搬送車両１１０を停車させる（ＳＴＥＰ３７）。
【００６２】
図９は、走行領域判断部５０２が起動方向設定部５０１から走行方向信号Ｓ８Ｂを受信したときの処理フローを示すフロー図である。走行方向信号Ｓ８Ｂを受信したときも、走行方向信号Ｓ８Ａを受信したときと同様の制御が行われる。
【００６３】
そして、走行領域判断部５０２は、停止命令信号ＳＢが緊急停止制御部５０４から送信されたか否かを確認しながら、搬送車両１１０を走行させる（ＳＴＥＰ４０，４１）。
【００６４】
走行領域判断部５０２は、緊急停止制御部５０４から停止命令信号ＳＢが記憶部５３０に送信されずに、センサ１６１側の端部にまで搬送車両１１０が到達したことを確認する（ＳＴＥＰ４２）と、搬送車両１１０をセンサ１６０に向けて走行させる（ＳＴＥＰ４３）。そして、緊急停止制御部５０４から停止命令信号ＳＢが送信されているかを確認しながら（ＳＴＥＰ４４）、搬送車両１１０をセンサ１６０側の端部に向けて走行させる。そして、緊急停止制御部５０４から停止命令信号ＳＢが送信されずに、搬送車両１１０が
センサ１６０側の端部にまで達したと判断すると（ＳＴＥＰ４５）、走行状態切替部５０３に検査完了信号Ｓ９を送信する（ＳＴＥＰ４６）。
【００６５】
その一方で、上記（ＳＴＥＰ４１）および（ＳＴＥＰ４４）において、停止命令信号ＳＢが緊急停止制御部５０４から送信されたことを確認した場合や、走行状態切替部５０３に検査完了信号Ｓ９を送信した後（ＳＴＥＰ４６）、搬送車両１１０を停止させる（（ＳＴＥＰ４７）。
【００６６】
そして、走行状態切替部５０３は、走行領域判断部５０２から検査完了信号Ｓ９を受信すると、記憶部５３０内に格納されたプログラムにしたがって、搬送車両１１０を通常走行速度で駆動し始める。
【００６７】
上記のように、搬送車両１１０は、走行領域Ｒ内に工具等が置き忘れられているかを確認した後に、通常走行状態となるので、搬送車両１１０が工具等の侵入物と接触したとしても、搬送車両１１０が大きく損傷することを抑制することができる。
【００６８】
図１０は、本実施の形態１に係る基板搬送装置１００の変形例を示す平面図である。この図１０に示すように、この基板搬送装置１００においては、複数の搬送車両１１０Ａ，１１０Ｂが走行する。
【００６９】
この図１０に示す例においては、起動時には、搬送車両１１０Ａは、走行領域Ｒの一部である分割走行領域Ｒ２内を走行し、搬送車両１１０Ｂは、他の分割走行領域Ｒ１内を走行する。そして、搬送車両１１０Ａは、分割走行領域Ｒ２内に侵入物の有無を確認し、搬送車両１１０Ｂは、分割走行領域Ｒ１内に侵入物の有無がないかを確認する。
【００７０】
このように、走行領域Ｒを複数の分割走行領域Ｒ１，Ｒ２に分割して、それぞれを別個に搬送車両１１０Ａ，１１０Ｂで侵入物の確認を行うことで、短時間で走行領域Ｒ内における侵入物の有無の確認を行うことができる。
【００７１】
（実施の形態２）
図１１から図１６を用いて、本実施の形態２に係る基板搬送装置１００について説明する。なお、図１１から図１６に示された構成において、上記図１から図１０に示された構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００７２】
図１１は、本実施の形態２に係る基板搬送装置１００の平面図であり、図１２は、図１１に示された搬送車両１１０の側面図である。
【００７３】
この図１１および図１２に示すように、載置台１１１の上面のうち、進行方向に配列する一方の端部には、光電センサ２１０が設けられており、他方の端部には、光電センサ２１５が設けられている。
【００７４】
そして、光電センサ２１０は、走行領域Ｒのうち、搬送車両１１０の一方の端部からセンサ１６０までの間に位置する検査空間Ｋ１内における侵入物の有無をセンシングする。さらに、光電センサ２１５は、走行領域Ｒ内のうち、搬送車両１１０の他方の端部からセンサ１６１までの間に位置する検査空間Ｋ２内における侵入物の有無をセンシングする。
【００７５】
そして、制御部５００は、センサ２００およびセンサ２０５からの異物検知信号Ｓ２に基づいて、搬送車両１１０の両側面とフェンス部１０１との間に侵入物がないことを確認すると共に、光電センサ２１０および光電センサ２１５からの領域検知信号Ｓ７に基づいて、検査空間Ｋ１，Ｋ２内に侵入物がないことを確認した上で、搬送車両１１０を走行させる。
【００７６】
光電センサ２１０，２１５は、図１２および図１３に示すように、搬送車両１１０の高さ方向に延びている。そして、光電センサ２１０は、搬送車両１１０の高さ方向に交互に設けられた発光部２１１と光電センサ２１０とを備えている。そして、各発光部２１１は、搬送車両１１０の進行方向を中心として、左右に９０度首振り可能に設けられている。
【００７７】
発光部２１１の下側に位置する受光部２１２は、受光部２１２から放射された光を受光し、制御部５００は、放射光と受光した光の位相差から光の反射位置と、発光部２１１との距離を算出する。
【００７８】
さらに、制御部５００の記憶部５３０には、走行領域Ｒの三次元座標データが格納されている。制御部５００は、搬送車両１１０の位置から、各発光部２１１における首振り角度θに対する反射距離（基準反射距離）を算出する。
【００７９】
そして、実際の反射光によって算出された反射光と、算出した基準反射距離とを比較して、予め設定されたしきい値を超えて、実際に測定した反射距離の方が短いときには、侵入物があるものと判断する。
【００８０】
さらに、発光部２１１および受光部２１２は、それぞれ高さ方向に複数設けられているので、搬送車両１１０の高さ方向に亘って侵入物の有無を判断することができる。
【００８１】
このような光電センサ２１０，光電センサ２１５を利用することで、広範囲にわたって、侵入物の有無を判定することができ、走行領域Ｒの形状によっては、搬送車両１１０が停止した状態で、侵入物の有無を判定することができ、判定した後に、搬送車両１１０を走行させることができる。
【００８２】
なお、本実施の形態２に示された光電センサ２１０，光電センサ２１５を、上記実施の形態に係る搬送車両１１０に搭載してもよい。
【００８３】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。さらに、上記数値などは、例示であり、上記数値および範囲にかぎられない。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、搬送装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本実施の形態１に係る基板搬送装置を模式的に示す平面図である。
【図２】搬送車両の側面図である。
【図３】接触センサの構成を示す平面図である。
【図４】センサおよびその近傍の構成を示す搬送車両の側面図である。
【図５】制御部のブロック図である。
【図６】起動方向設定部が搬送車両の走行方向を設定する際に行う処理を示すフロー図である。
【図７】走行領域判断部の第１制御フロー図である。
【図８】走行領域判断部の第２制御フロー図である。
【図９】走行領域判断部の第３制御フロー図である。
【図１０】本実施の形態１に係る基板搬送装置の変形例を示す平面図である。
【図１１】本実施の形態２に係る基板搬送装置の平面図である。
【図１２】図１１に示された搬送車両の側面図である。
【図１３】光電センサ２１０を構成を示す搬送車両の側面図である。
【符号の説明】
【００８６】
１００  基板搬送装置、１０１  フェンス部、１１０  搬送車両、１１１  載置台、１２０  ローダ、１２１  搬入搬出部、１５０  レール、１６０，１６１，２００，２０５  センサ、２０１  発光素子、２０２  受光素子、２１０，２１５  光電センサ、２２０，２２１  接触センサ、２２１  接触センサ、２３０  バンパ、２３１，２３２，２３３  センサ、２３４  弾性部材、２３５  軸部、２４０  モータ、２４１  ブレーキ機構、２５０  車輪、３００  基板収容カセット、５００  制御部、５０１  起動方向設定部、５０２  走行領域判断部、５０３  走行状態切替部、５０４  緊急停止制御部、５１０  起動処理部、５２０  停止処理部、５３０  記憶部、６００  操作部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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