(57)【要約】【課題】貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれている貼合対象に対して、フィルム等の貼合体を好適に貼合できるワーク貼合装置を提供する。【解決手段】貼合体Ｗ１を支持する第１貼合台１と、貼合対象Ｗ２を支持する第２貼合台２とを備えている。貼合対象Ｗ２は、貼付け面５と額縁状の枠体６を備えていて、両者の間に段差Ｔ２がある。第１貼合台１は、真空チャンバー８とシルクスクリーン９とを有し、シルクスクリーン９の外面に貼合体Ｗ１を支持する載置ベース１０を配置する。真空チャンバー８の内部には、載置ベース１０を押圧操作するローラー１１を設ける。載置ベース１０は、通気可能な一群の硬質シート１４を積層し、積層された硬質シート１４の押圧始端側の端面を固定して構成する。以て、載置ベース１０を、ローラー１１に追随して局部的に湾曲変形させながら貼合体Ｗ１を貼付け面５に貼合する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ないしフィルム状の貼合体（Ｗ１）を支持する第１貼合台（１）と、貼合対象（Ｗ２）を貼合体（Ｗ１）と所定隙間（Ｅ）を介して正対する状態で支持する第２貼合台（２）とを備えており、
貼合対象（Ｗ２）は、貼合体（Ｗ１）が貼り付けられる貼付け面（５）と、貼付け面（５）の周囲を囲む額縁状の枠体（６）を備えていて、枠体（６）の表面と貼付け面（５）との間に段差（Ｔ２）が形成されており、
第１貼合台（１）は、真空チャンバー（８）と、真空チャンバー（８）の開口面に張設される通気可能なシルクスクリーン（９）とを有し、
シルクスクリーン（９）の外面には貼合体（Ｗ１）を支持する載置ベース（１０）が配置されており、
真空チャンバー（８）の内部には、シルクスクリーン（９）および載置ベース（１０）を介して貼合体（Ｗ１）を貼付け面（５）に押し付けるローラー（１１）が配置されており、
載置ベース（１０）は、通気可能な一群の硬質シート（１４）を積層し、積層された硬質シート（１４）の押圧始端側の端面を分離不能に固定して構成してあり、
載置ベース（１０）が、ローラー（１１）に追随して局部的に湾曲変形しながら貼合体（Ｗ１）を貼付け面（５）に貼合することを特徴とするワーク貼合装置。
【請求項２】
載置ベース（１０）が弾性シート（１５）を含んで構成されており、
弾性シート（１５）の外面に押圧面（１６）を構成する１枚の硬質シート（１４）が積層してある請求項１記載のワーク貼合装置。
【請求項３】
硬質シート（１４）が、金属シートおよび／またはプラスチックシートで形成されており、弾性シート（１５）が、ウレタンシートとシリコンゴムシートのいずれかで形成してある請求項２に記載のワーク貼合装置。
【請求項４】
載置ベース（１０）を支持する複数の支持台（１２）がシルクスクリーン（９）の内部に配置されており、
支持台（１２）は、載置ベース（１０）を支持する支持位置と、ローラー（１１）の移動軌跡の下方の退避位置との間で変位できるように支持されており、
ローラー（１１）の貼合移動に連動して、複数の支持台（１２）を順次退避位置へ退避移動させて、貼合体（Ｗ１）を貼付け面（５）に貼合する請求項１、２または３に記載のワーク貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周囲が額縁状の枠体で囲まれている貼合対象に、偏光フィルムや保護フィルムあるいは板ガラスなどの貼合体を貼合するためのワーク貼合装置に関する。本発明のワーク貼合装置は、例えば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、タッチパネルなどを製造する過程で使用する。
【背景技術】
【０００２】
本発明のワーク貼合装置では、真空チャンバーの上開口面に通気可能なシルクスクリーンを張設しておき、シルクスクリーンを介して間接支持した貼合体をローラーで上向きに押圧して貼合対象に貼り付けるが、この種の貼合装置の基本構造は特許文献１に公知である。そこでは、シルクスクリーンの上面に載置した反射防止フィルムを真空圧で吸着保持し、真空チャンバーの左右両側に設けた載置ベースでブラウン管を反射防止フィルムと上下に対向する状態で支持し、シルクスクリーンの内面に配置したローラーで反射防止フィルムをブラウン管の表示面に押し付けて貼合を行なう。
【０００３】
本発明に係るワーク貼合装置は、貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれ、さらに枠体の表面と貼付け面とに段差がある貼合対象に対してフィルムを好適に貼合できるが、この種の貼合対象は例えば特許文献２にみることができる。そこでは、プラズマディスプレイの前面に配置した光学フィルターを額縁状の前枠で支持している。光学フィルターの外面には、必要に応じて保護フィルムや機能性シートが貼合される。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３３４８０７号公報（段落番号００３９、図７）
【特許文献２】特開２００７−２０６４６８号公報（段落番号００１８、図２）
【０００５】
上記のように、貼合対象の貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれている場合には、枠体が貼付け面より出っ張って邪魔になるため、フィルムを貼付け面に対して適正に貼合するのが困難となる。このような貼合作業を自動的に行なうために、本発明者は図５に示す貼合装置を試作した。そこでは、シルクスクリーン４０の上面に通気自在な弾性発泡体４１を固定しておき、その上面に載置したフィルム４２を貼合対象４３の貼付け面４４に貼合する。弾性発泡体４１の厚み寸法は、枠体４５と貼付け面４４との段差寸法より大きく設定してあり、シルクスクリーン４０の内面に配置したローラー４６で、弾性発泡４１を介してフィルム４２を貼付け面４４に押し付けて接着する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の貼合装置によれば、枠体が貼合の邪魔になるのを解消でき、ローラーで弾性発泡体を貼付け面に押し付けることにより、その上面に吸着したフィルムを貼付け面に好適に接着できるはずである。しかし、フィルムを適正に接着するのが難しく、例えば、フィルムが位置ずれしたり、貼合面にしわを生じたり、局部的に気泡を生じるなどの貼合不良が生じるのを避けられなかった。
【０００７】
弾性発泡体の弾性や厚み、あるいはローラーの押し付け力などを種々に変更して、貼合不良の解消を図ったが、好ましい結果は得られなかった。その原因を検討した結果、弾性発泡体を貼付け面に押し付ける状態において、弾性発泡体がローラーの進行方向へも押し潰され、そのときフィルムがローラーの進行方向へ斜めに押圧されて褶曲するのが原因であるとの確信を得た。因みに、貼合に失敗したフィルムは剥離して廃棄する以外になく、廃棄に伴なうコストは貼合対象のコストを削減するうえで大きな障害となる。とくに、価格が高い偏光フィルムや反射防止フィルムなどの機能性フィルムは、貼合不良に伴なうコストが高く付く。
【０００８】
本発明は、上記の知見に基づき提案されたものであって、その目的は、貼付け面の周囲が額縁状の枠体で囲まれている貼合対象に対して、フィルム等を好適に貼合して貼合対象の歩留まりを向上し、その分だけ貼合対象の製造コストを削減できるワーク貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のワーク貼合装置は、板状ないしフィルム状の貼合体Ｗ１を支持する第１貼合台１と、貼合対象Ｗ２を貼合体Ｗ１と所定隙間Ｅを介して正対する状態で支持する第２貼合台２とを備えている。貼合対象Ｗ２は、貼合体Ｗ１が貼り付けられる貼付け面５と、貼付け面５の周囲を囲む額縁状の枠体６を備えていて、枠体６の表面と貼付け面５との間に段差Ｔ２が形成してある。第１貼合台１は、真空チャンバー８と、真空チャンバー８の開口面に張設される通気可能なシルクスクリーン９とを有する。シルクスクリーン９の外面には貼合体Ｗ１を支持する載置ベース１０を配置する。真空チャンバー８の内部には、シルクスクリーン９および載置ベース１０を介して貼合体Ｗ１を貼付け面５に押し付けるローラー１１を配置する。載置ベース１０は、通気可能な一群の硬質シート１４を積層し、積層された硬質シート１４の押圧始端側の端面を分離不能に固定して構成する。以て載置ベース１０を、ローラー１１に追随して局部的に湾曲変形させながら貼合体Ｗ１を貼付け面５に貼合することを特徴とする。
【００１０】
載置ベース１０は弾性シート１５を含んで構成することができ、弾性シート１５の外面に押圧面１６を構成する１枚の硬質シート１４を積層して構成する。
【００１１】
硬質シート１４は、金属シートおよび／またはプラスチックシートで形成する。弾性シート１５は、ウレタンシートとシリコンゴムシートのいずれかで形成する。
【００１２】
載置ベース１０を支持する複数の支持台１２をシルクスクリーン９の内部に配置する。支持台１２は、載置ベース１０を支持する支持位置と、ローラー１１の移動軌跡の下方の退避位置との間で変位できるように支持する。以て、ローラー１１の貼合移動に連動して、複数の支持台１２を順次退避位置へ退避移動させて、貼合体Ｗ１を貼付け面５に貼合する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、真空チャンバー８の開口面を覆うシルクスクリーン９の外面に通気自在な載置ベース１０を配置し、その上面に真空圧を作用させて貼合体Ｗ１をで吸着保持した。また、貼合対象Ｗ２を第２貼合台２で支持して、その貼付け面５を貼合体Ｗ１に対して所定の隙間Ｅを介して正対させ、この状態のシルクスクリーン９および載置ベース１０を、ローラー１１で貼合対象Ｗ２へ向かって押し付けて、貼合体Ｗ１を貼合対象Ｗ２の貼付け面５に貼合するようにした。このように、載置ベース１０をローラー１１で押し付けながら、載置ベース１０の上面にの貼合体Ｗ１を貼付け面５に貼合すると、貼付け面５の周囲が額縁状の枠体６で囲まれている場合であっても、枠体６に邪魔されることもなく貼合体Ｗ１を貼付け面５に対して確実に貼合できる。
【００１４】
通気可能な一群の硬質シート１４を積層し、積層された硬質シート１４の押圧始端側の端面を分離不能に固定して載置ベース１０を構成するので、積層された硬質シート１４が分離するのを防ぎながら、個々の硬質シート１４の動きやすさを確保できる。これにより、載置ベース１０がローラー１１に追随して局部的に湾曲変形するときの、個々の硬質シート１４の湾曲形状の違いを各硬質シート１４がずれ動くことで円滑に吸収できる。
【００１５】
したがって、本発明のワーク貼合装置によれば、載置ベース１０をローラー１１に追随して円滑に湾曲変形させながら、額縁状の枠体６を備えた貼合対象Ｗ２の貼付け面５に貼合体Ｗ１を適正に貼合でき、貼合体Ｗ１が位置ずれしたり、貼合面にしわを生じたり、局部的に気泡を生じるなどの貼合不良を一掃して、貼合対象Ｗ２を製造するときのの歩留まりを向上し、その分だけ貼合対象Ｗ２の製造コストを削減できる。
【００１６】
一群の硬質シート１４に加えて弾性シート１５を含む載置ベース１０においては、弾性シート１５の外面に押圧面１６を構成する１枚の硬質シート１４を積層して構成すること、換言すると、押圧面１６より内側に弾性シート１６を設けておくことによって、貼合体Ｗ１に作用する押圧力のばらつきを弾性シート１６が弾性変形することで吸収できる。その結果、貼合体Ｗ１を接着むらのない状態で、貼付け面５に対して均一に接着して、貼合対象Ｗ２の歩留まりを向上できる。因みに、載置ベース１０がローラー１１に追随変形するときの湾曲形状は、ローラー１１が載置ベース１０のどの部分を押圧しているかで僅かずつ異なっており、この湾曲形状の変化によって、押圧面１６から貼合体Ｗ１に加えられる押圧力にばらつきが生じてしまう。
【００１７】
硬質シート１４は、金属シートやプラスチックシートで形成することができる。金属シートとしては、ステンレスシート、鋼合金シート、銅合金シートなどが好適であり、これらの金属シートによれば、長期使用時の耐久性を向上でき、さらに隣接する硬質シート１４どうしの動きやすさを確保できる。また、硬質シート１４は、例えばフッ素樹脂や、ＰＥＴ樹脂、超高分子ポリエチレンなどの滑性に優れたプラスチックシートで形成することができ、その場合には、隣接する硬質シート１４どうしの滑りやすさを向上して、載置ベース１０がローラー１１に追随して局部的に湾曲変形するときの変形動作をさらに円滑化できる。ウレタンシート、あるいはシリコンゴムシートで形成した弾性シート１５によれば、他の弾性材に比べて、長期にわたって安定した弾性を発揮でき劣化しにくい。また、入手しやすくコストも少なくて済む。
【００１８】
載置ベース１０をシルクスクリーン９の内部に設けた複数の支持台１２で支持すると、載置ベース１０の重みと負圧によってシルクスクリーン９が撓み変形するのを規制して、貼合体Ｗ１と貼付け面５との隙間Ｅを常に一定にできる。したがって、ローラー１１による載置ベース１０の押圧操作を常に一定にして、貼合体Ｗ１を貼付け面５にむらのない状態で適正に貼合できる。また、複数の支持台１２を順次退避位置へ退避移動させながらローラー１１を貼合移動することにより、貼合される直前まで載置ベース１０を支持台１２で支持して、先の隙間Ｅを適正な状態に維持し、貼合体Ｗ１を一端から他端まで均一に貼合できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施例）  図１ないし図４は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。図２においてワーク貼合装置は、貼合体Ｗ１を支持する第１貼合台１と、貼合対象Ｗ２を貼合体Ｗ１と所定隙間Ｅを介して正対する状態で支持する第２貼合台２とを備えている。第２貼合台２は第１貼合台１に対して揺動開閉自在に連結してあり、図示していないエアーシリンダーおよびモーターで開閉操作される。
【００２０】
貼合体Ｗ１は、静電防止フィルムや反射防止フィルムなどの機能性フィルム、あるいは透明な板ガラスまたはプラスチック板材からなり、その上面には透明な接着剤層が全面にわたって形成してある。貼合対象Ｗ２は、貼合体Ｗ１が貼り付けられる貼付け面５と、貼付け面５の周囲を囲む額縁状の枠体６を備えていて、枠体６の表面と貼付け面５との間に段差Ｔ２が形成してある。先の貼合体Ｗ１の外形形状は、貼付け面５と同じ四角形に形成してある。貼合対象Ｗ２の具体例としては、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、タッチパネルなどがあり、これらの表示面が貼付け面５となる。もちろん、前記ディスプレイ以外の機器類が貼合対象Ｗ２であってもよい。
【００２１】
第１貼合台１は、上向きに開口する箱構造の真空チャンバー８と、真空チャンバー８の開口面に張設される通気可能なシルクスクリーン９とを備えている。シルクスクリーン９の外面には、貼合体Ｗ１を支持する載置ベース１０が配置してある。また、真空チャンバー８の内部には、シルクスクリーン９および載置ベース１０を介して貼合体Ｗ１を貼付け面５に押し付けるローラー１１と、載置ベース１０を支持する左右一対の支持台１２が配置してある。図２において符号１３は真空チャンバー８内の空気を排気する真空ポンプ（真空源）である。載置ベース１０の載置部分を除くシルクスクリーン９のスクリーン面は、図示していない遮蔽シートで通気不能に封止してある。
【００２２】
第２貼合台２には取付治具（図示していない）が設けてあり、ごく簡単な操作で貼合対象Ｗ２を所定の姿勢で固定することができる。
【００２３】
載置ベース１０は、通気可能な一群の硬質シート１４、および弾性シート１５を積層要素にして構成する。図２および図３に示すように、６枚の硬質シート１４のうち、５枚の硬質シート１４でベース層を形成し、その外面に弾性シート１５を積層する。さらに、弾性シート１５の外面に残る１枚の硬質シート１４を積層して押圧面１６を構成し、これら積層体の押圧始端側の端面を固定して載置ベース１０を構成する。
【００２４】
硬質シート１４は、厚みが０．０５〜０．２ｍｍのステンレスシートからなり、弾性シート１５は、厚みが０．３〜１．０ｍｍのウレタンシート、あるいはシリコンゴムシートで形成する。各硬質シート１４のシート面、および弾性シート１５のシート面には、それぞれ一群の通気穴１７・１８が、同じ配置パターンで、厚み方向に貫通する状態で形成してある。通気穴１７の直径寸法は、０．３〜１．０ｍｍの範囲内から選定するのが好ましく、より好ましくは０．５〜０．８ｍｍの範囲内から選定する。直径寸法が０．３ｍｍ未満であると、通気穴１７の形状および寸法がばらつきやすく、さらに塵埃などの異物の侵入によって穴が塞がれるおそれがある。また、直径寸法が１．０ｍｍを越えると、貼合体Ｗ１のフィルム厚みが小さい場合に、真空圧によってフィルム面が最上面の硬質シート１４の通気穴１７に吸い込まれて変形するおそれがある。
【００２５】
硬質シート１４の通気穴１７は、ステンレスシートにエッチング処理を施して、あるいはレーザー加工機で穿孔加工を施して、直径および配置パターンが一定になる状態で正確に形成してある。また、弾性シート１５の通気穴１８は、レーザー加工機で穿孔加工を施して、直径および配置パターンが一定になる状態で正確に形成してある。したがって、全ての硬質シート１４と弾性シート１５を積層した状態では、全ての通気穴１７・１８を上下方向に連通させて、押圧面１６に載置した貼合体Ｗ１に真空チャンバー８内の真空圧を作用させることができる。積層した状態の硬質シート１４と弾性シート１５とは、載置ベース１０がローラー１１で押圧されるときの、載置ベース１０の押圧始端側に臨むシート端をレーザー溶接して分離不能に一体化してあり、この固定部分を符号１９で示している。
【００２６】
得られた載置ベース１０の外形形状は貼合体Ｗ１と同じ四角形で、枠体６に対して出入りできる大きさになっている。また、載置ベース１０の全厚寸法Ｔ１は、先に説明した段差Ｔ２より僅かに大きく設定してあり、この実施例では段差Ｔ２が４〜４．５ｍｍであるとき、載置ベース１０の全厚寸法Ｔ１を５ｍｍとした。
【００２７】
載置ベース１０を前後および左右に位置決めするために、シルクスクリーン９の上面に位置決め枠３２を設ける。位置決め枠３２は、載置ベース１０の左右側面および前後側面を受け止めて位置決めしており、ローラー１１で押し上げ操作される載置ベース１０に同行して上方移動できる。そのために、位置決め枠３２の前後端を、真空チャンバー８の周囲壁の上端で昇降移動のみ自在に案内支持している。
【００２８】
ローラー１１は、真空チャンバー８の内部に設けたローラー軸受２１で回転自在に支持してある。また、ローラー軸受２１とローラー支持台２０との間に設けたエアーシリンダー２２で、シルクスクリーン９の下方の待機位置と、載置ベース１０を貼合対象Ｗ２に押し付ける上方の押圧位置とに昇降操作できるように構成してある。
【００２９】
ローラー支持台２０は、駆動構造で往復駆動されて真空チャンバー８の左端と右端との間を往復移動できる。図２に示すように、ローラー支持台２０をガイドレール２３でスライド自在に案内支持し、ガイドレール２３と平行に配置したタイミングベルト２４の直線移行部分にローラー支持台２０を固定して、ローラー１１を左右に往復駆動できるようにしている。タイミングベルト２４は左右一対のタイミングプーリ２５に巻き掛けてあり、一方のタイミングプーリ２５をステップモーター２６で正逆双方向へ回転駆動することにより、ローラー支持台２０をタイミングプーリ２５を介して往復操作できる。
【００３０】
支持台１２はパンチングメタルや金属網体などの通気自在な板状体からなり、シルクスクリーン９の下面側に水平に配置されて、エアーシリンダー２９で支持してある。支持台１２はエアーシリンダー２９で昇降操作されて、その上面がシルクスクリーン９の下面に接当する上側の支持位置と、支持台１２がローラー１１の移動軌跡の下方へ下降する退避位置との間を変位できる。
【００３１】
左右の支持台１２でシルクスクリーン９を介して載置ベース１０を支持することにより、載置ベース１０の重みと負圧によってシルクスクリーン９が下向きに撓むのを防止できる。これにより、載置ベース１０の上面に載置した貼合体Ｗ１を、貼合対象Ｗ２の貼付け面５に対して、適正な隙間Ｅを介して正対させることができる。なお、左右の支持台１２は、ローラー１１が矢印Ｍの方向へ移動するとき、ローラー１１に近い側から順に退避位置へ下降される。
【００３２】
以上のように構成した貼合装置は、次のようにして貼合体Ｗ１を貼合対象Ｗ２に貼合する。まず、第２貼合台２を開放操作して、その貼合面側に設けた取付治具に貼合対象Ｗ２を装着する。上面が開放された載置ベース１０の上面にフィルム状の貼合体Ｗ１を載置して位置決めし、真空チャンバー８に真空圧を作用させて貼合体Ｗ１を載置ベース１０で吸着固定する。次に、第２貼合台２を反転して、図２に示すように貼合対象Ｗ２の貼付け面５を貼合体Ｗ１と所定の隙間Ｅを間にして正対させる。隙間Ｅの値は０．１〜３ｍｍが好適である。この状態の第２貼合台２は、図示していない位置決め台に受け止められて分離不能にロック固定してある。また、載置ベース１０は左右一対の支持台１２で支持されている。
【００３３】
上記のように貼合準備が終了したのち、ローラー１１を載置ベース１０の押圧始端の下方位置まで移動させ、さらにローラー１１をエアーシリンダー２２で上方の押圧位置へ上方移動させて、載置ベース１０をシルクスクリーン９ごと貼合対象Ｗ２の貼付け面５へ向かって押し付ける。これにより載置ベース１０の上面に真空吸着されていた貼合体Ｗ１を、貼付け面５に押圧して接着固定できる。
【００３４】
ローラー１１で押し上げ操作されるときの載置ベース１０は、図１に示すように局部的に湾曲変形して、貼合体Ｗ１を部分的に貼付け面５に押圧する。このように、ローラー１１で押された載置ベース１０を、ローラー１１に追随して円滑に湾曲させるために、積層した６枚の硬質シート１４と弾性シート１５の押圧始端のみを溶接層で固定して、各シートが自由に相対移動できるようにしている。つまり、各シートが湾曲するときの形状変化を、各シートがずれ動くことで円滑に吸収できるようにしている。因みに、載置ベース１０の押圧始端と押圧終端、あるいは四周辺部が固定してあるような場合には、各シートが固定部分に拘束されて相対移動できないので、載置ベース１０をローラー１１に追随して円滑に湾曲させることはできない。
【００３５】
載置ベース１０には、ベース層と最上面の硬質シート１４との間に弾性シート１５を設けるが、それは以下の理由による。載置ベース１０がローラー１１に追随変形するときの湾曲形状は、ローラー１１が載置ベース１０のどの部分を押圧しているかで僅かずつ異なる。例えば、左右両端と中央部とで載置ベース１０の湾曲形状は異なっており、この形状変化によって貼合体Ｗ１が押圧面１６で押圧されるときの押圧力にばらつきが生じる。しかし、押圧面１６の下面側に弾性シート１６を設けておくと、貼合体Ｗ１に作用する押圧力のばらつきを弾性シート１６が弾性変形することで吸収でき、これにより貼合体Ｗ１を接着むらのない状態で均一に接着できる。
【００３６】
ローラー１１は、図４において貼合体Ｗ１の左端から右端へ向かって一定速度で移動操作されるが、ローラー１１の移動に伴なって左右の支持台１２を順次下降操作する。まず、ローラー１１が載置ベース１０の押圧始端を押し上げ操作した時点で、ローラー１１に近い左側の支持台１２をエアーシリンダー２９で下降操作して、ローラー１１の移動空間から退避位置へと移動させる。また、ローラー１１が載置ベース１０の中央部に到達するのに先行して、右側の支持台１２をエアーシリンダー２９で下降操作して、ローラー１１の移動空間から退避位置へと移動させる。接着が完了したのち、ローラー１１は図２に示すホーム位置へ復帰移動し、さらに左右の支持台１２は支持位置へ復帰して載置ベース１０を支持する。最後に、第２貼合台２を開放揺動して貼合対象Ｗ２を取り出す。
【００３７】
上記の実施例では、貼合体Ｗ１がフィルムである場合について説明したが、貼合体Ｗ１がガラス基板やプラスチック基板である場合にも、同様にして貼合体Ｗ１を貼合対象Ｗ２に対して適正にしかも迅速に貼合することができる。第２貼合台２は、垂直の揺動軸の周りに揺動開閉して、貼合体Ｗ１と正対することができる。
【００３８】
硬質シート１４はプラスチックシート、例えばフッ素樹脂、ＰＥＴ樹脂、超高分子ポリエチレンなどの滑性に優れたプラスチックシートで形成することができる。その場合には、載置ベース１０の押圧始端側に臨むシート端面に接着剤を塗布して固定部分１９を形成することができ、通気穴１７はＮＣ加工機で形成するとよい。また、ステンレスシート以外に、鋼合金シート、銅合金シートなどの金属シートで硬質シート１４を形成することができ、とくに滑性に優れた金属シートであれば好適に使用できる。なお、ベース層を構成する硬質シート１４の構成枚数は段差Ｔ２の寸法に応じて適宜変更すべきであるので、その数は実施例で説明した枚数には限定しない。
【００３９】
貼合対象Ｗ２の貼付け面５を貼合体Ｗ１と所定の隙間Ｅを間にして正対させた状態において、第１貼合台１あるいは貼合体Ｗ１を位置基準にして、第２貼合台２をアライメント装置で調整操作して位置決めすることができる。載置ベース１０は弾性シート１５を含んで構成するのが好ましいが、貼合体Ｗ１の素材によっては弾性シート１５を省略することができる。支持台１２は、必要に応じて２個以上設けることができる。また、載置ベース１０の重量を真空チャンバー８の周囲壁３で支持する場合には、支持台１２を省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】貼合構造の詳細を示す要部のみの縦断正面図である。
【図２】ワーク貼合装置の縦断正面図である。
【図３】載置ベースの斜視図である。
【図４】貼合途中状態のワーク貼合装置の縦断正面図である。
【図５】比較例を示すワーク貼合構造の縦断正面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  第１貼合台
２  第２貼合台
５  貼付け面
６  枠体
８  真空チャンバー
９  シルクスクリーン
１０  載置ベース
１１  ローラー
１４  硬質シート
１５  弾性シート
Ｗ１  貼合体
Ｗ２  貼合対象
Ｔ２  段差
【図１】
2010094910.tif 000003
【図２】
2010094910.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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