(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のインクジェットヘッドを用いて、大きな塗布領域に均一にムラなく、色度のばらつきを所定の幅にする仕様に関する要求を満たすカラーフィルタを低コストで製造することのできる塗布装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドモジュールは、インクジェットヘッドノズルの吐出特性を記録するメモリ２０を有し、インクジェッドヘッドモジュールから吐出特性のデータを受信し、塗布のシーケンスを示すＭａｐ情報を作成し、更新する。従って、インクジェットヘッドバー中にある数千に近いインクジェットヘッドノズルの吐出特性を逐一塗布装置の制御部に入力しなくてよい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットノズルを複数有するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに関する情報を記録したメモリを有するインクジェットモジュール。
【請求項２】
前記情報は、前記インクジェットヘッドを識別する情報と、前記インクジェットヘッド中の前記インクジェットノズルを識別する情報を含む請求項１に記載されたインクジェットモジュール。
【請求項３】
前記情報は、前記インクジェットノズル毎の吐出量、吐出速度、位置のうち少なくとも１つに関する情報を含む請求項１または２のいずれかの請求項に記載されたインクジェットモジュール。
【請求項４】
塗布対象物を固定するステージと、
ヘッドモジュール搭載ソケットを有し、
インクジェットヘッドと前記インクジェットヘッド情報を記録したメモリを有するインクジェットモジュールを前記ヘッドモジュール搭載ソケットに搭載したインクジェットバーと、
主記憶部と、
前記メモリから前記インクジェットヘッド情報を読み出し、前記ヘッドモジュール搭載ソケットの位置と関連付け、前記主記憶部に記憶する制御部とを有する塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のインクジェットノズルを有する複数のインクジェットヘッドから構成されるインクジェットヘッドモジュール、およびこのインクジェットヘッドモジュールを用いて保持ステージに保持された塗布対象物にインクを塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の情報端末の画像表示技術の進展は目覚ましく、大画面の画像表示機器（ディスプレイ）や、あるいは小型の画面であっても非常に高い精細度の画像表示機器が実用化され、製造されている。このような状況の中で、低コストで高品位な画像表示を可能とする画像表示機器に対する要求が強くなってきている。このような要求に応える画像表示機器のキーデバイスとしてカラーフィルタがあり、このカラーフィルタの製造装置および製造方法にも様々な工夫が取り入れられている。
【０００３】
このようなカラーフィルタの製造方法及び製造装置において開発された従来技術の一つに、遮光機能を果たす種々の材料によって基板等にマトリクス状の遮光部を形成し、この遮光部のマス目にコーティング技術を利用してインクを塗布する技術がある。しかし、このような製造方法及び製造装置では、ＲＧＢ３色の着色工程がそれぞれ独立しており、それぞれの着色工程で、遮光などのための非常に高い精度が要求される遮蔽部材（マスク）を必要とした。
【０００４】
また、工数的にも、使用する装置及び部材の点でも、製造コストが高くつくという問題を抱えていた。最近では、そのような工法に代わりインクジェットヘッドを装備した塗布装置を用いて、マトリクス状に遮光部が形成された基板等上にインクをインクジェットヘッドのインクジェットノズルから供給・塗布してカラーフィルタを製造する方法が提案されている。
【０００５】
カラーフィルタは高精細を実現するために、微小な画素が高密度で配置される。インクジェットによる塗布はインクジェットヘッドのノズルからインクを吐出させ塗布する方法であるので、画素の配列に合わせたノズル配置が必要となる。すなわち、幅の広い基板にインクを塗布するには、基板の幅若しくは基板の幅に近い長さに渡って、ノズルを配置するのが、塗布の工数を少なくできる。
【０００６】
しかし、インクジェットヘッドのノズルは、完全に全く同じものを作製するのは困難であるため、ノズル毎に微妙にインクの吐出量が異なる。この吐出量の差は微妙な差であるが、広範囲の領域を塗布した場合は、この微妙な違いが塗布ムラとなって現れる。
【０００７】
特許文献１では、こうした塗布ムラを避ける一案として、ノズルが列状に配置されたインクジェットヘッドを、それぞれのヘッドのノズルが、他方のヘッドのノズルの間になるように配置し、１つの画素を複数のヘッドのノズルを使って塗布することで、個々のノズルからの吐出量にばらつきがあっても、カラーフィルタ全体の色ムラの発生が抑えられることが開示されている。
【０００８】
一方、特許文献２では、所定駆動電圧に対するノズル毎の吐出量を測定しておき、すべてのノズルの吐出量が同じになるように、ノズル毎の駆動電圧の補正値を求める技術が開示されている。この吐出量制御方法では、その補正値を記録しておき、インクを吐出させる場合には、その補正値で補正された駆動電圧をノズル毎に用いることで、ノズル毎の吐出量の均一化を図っている。
【特許文献１】特許第３９２５５２５号
【特許文献２】特開２００６−３４１２３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
カラーフィルタで許容される色度の値は、画像表示装置の普及に従いますます厳しい要求がある。具体的には、カラーフィルタでは、色度のばらつきを許容値である１０００分の３以内に収めることが要求される場合もある。色度のばらつきの許容値を満足させるためには、塗布膜の膜厚（インクの塗布量）を管理する必要がある。しかし、インクジェットヘッドに内蔵された各インクジェットノズルに対応した圧電素子への駆動電圧を所定の電圧に設定したとき、各インクジェットノズルからのインク吐出により塗布された塗布膜の膜厚は平均膜厚に対して±５％を超えるバラツキを有して分散しているのが実情である。
【００１０】
また、インクジェットヘッドの違いによる塗布膜の平均膜厚にも差違が存在する。そして、カラーフィルタに要求される色度のばらつきの許容値である１０００分の３以内を実現するためには、塗布量の誤差を許容値として３％以内に収める必要がある。
【００１１】
インクジェットを用いた塗布において、塗布ムラは各ノズルからの吐出量の微妙な違いが原因である。従って、カラーフィルタ全体の色度のばらつきを上記のような精度で塗布するには、ノズル毎の制御を行うのは１つの好ましい方法である。
【００１２】
しかし、多くのノズルに対してそれぞれのノズルの吐出量に関する情報を管理するのは容易ではない。特に、多くのノズルを用意する場合は、ヘッドバーの基準面に対してそれぞれのノズルの位置と、各ノズルの吐出量を正確に管理しなければ、均一な塗布を行うことができない。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的に鑑み、インクジェットヘッドに形成された個々のインクジェットノズルに関する情報を誤ることなく管理することを目的とする。そのため、本発明では、モジュールを交換すれば、ヘッドモジュールに形成されたノズルの情報も共に移動させることが可能なように、物理的にノズルの集合として扱われるヘッドモジュールにメモリを搭載したヘッドモジュールを提供するものである。
【００１４】
すなわち、本発明は、
インクジェットノズルを複数有するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに関する情報を記録したメモリを有するインクジェットモジュールを提供するものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明はインクジェットヘッドモジュールにメモリを搭載させ、モジュール内のすべてのインクジェットノズルの吐出特性を記録しておくので、ヘッドモジュールを交換若しくはヘッドバーへの取り付け位置を変えても、ヘッドバーに対するノズルの相対的な位置と吐出特性を間違えることなく管理できる。
【００１６】
また、本発明の塗布装置は、そのメモリからインクジェットヘッドバー中の全てのインクジェットノズルの吐出特性を、ヘッドモジュール自体から得るので、数千にのぼるインクジェットヘッドノズルの個々を間違えなく制御しながら、塗布対象物に塗布をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係る塗布装置の最良の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下において、塗布装置の具体例として、インクを塗布対象物としてのガラス基板に塗布するカラーフィルタ製造装置を例に挙げて説明する。
【００１８】
（塗布装置の構成）
図１は、本願発明の一実施形態に係る塗布装置としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台３０上に吸着テーブル３（保持ステージ）、塗布ガントリー４、カメラガントリー６が配置されている。保持ステージである吸着テーブル３は、ガラス基板２を吸着保持するものであり、このガラス基板２を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｚ軸周りに回転駆動されるとともに、副走査方向（Ｙ方向）に駆動される。
【００１９】
また、塗布ガントリー４は、インクジェットヘッドバー５を保持するものであり、ガラス基板２の所定位置にインクを塗布するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって主走査方向（Ｘ方向）に駆動されるとともに、ガラス基板２に対する相対位置を調整するため、駆動機構、ガイド機構によってＺ方向、副走査方向（Ｙ方向）に駆動される。
【００２０】
カメラガントリー６は、ガラス基板２のアラインメントのためのアラインメントカメラ７、８を保持するとともに、ガラス基板２に供給されたインクを検出するための計測手段であるスキャンカメラ９を保持しており、アラインメント、インクの検出のため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＸ方向に駆動される。また、アラインメントカメラ７、８及びスキャンカメラ９は、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＹ方向に駆動される。
【００２１】
アラインメントカメラ７、８は、ガラス基板２のマーク（図示せず）を検出するものであり、アラインメントカメラ７、８によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル３を回転させ、またはＹ方向に移動させることにより、ガラス基板２に対するアラインメントを実行することができる。Ｘ軸方向のアライメント誤差は、吐出タイミングを調整することで修正することができる。ここで、Ｘ軸、Ｙ軸は、吸着テーブル３により吸着保持されたガラス基板２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する軸であり、Ｚ軸は、Ｘ軸とＹ軸により規定された平面と直交する軸である。
【００２２】
なお、スキャンカメラ９に代えて二次元ＣＣＤカメラを採用すれば、着滴痕の高さを計測することもでき、使用するインクについて事前に得た着滴時の液滴の形状により、その高さの計測値から液滴の体積を算出することが可能であり、より精度の高い各インクジェットノズルからのインクの吐出量を知ることができる。
【００２３】
インクジェットヘッドバー５は、少なくとも１以上のインクジェットヘッドユニット１０を保持する。インクジェットヘッドユニット１０は、異なる色調のインクを吐出する複数のインクジェットモジュール１１を有し、各インクジェットモジュール１１は、各色調のインクを吐出する複数のインクジェットノズル１３を有するインクジェットヘッド１２を整列配置して構成されるものである。インクジェットヘッドバー５は、塗布ガントリー４に保持された状態で、主走査方向（Ｘ方向）、副走査方向（Ｙ方向）およびＺ方向に駆動され、複数のインクジェットモジュール１１に組み込まれたインクジェットノズル１３から各色調のインクを吐出し、ガラス基板２の所定位置に塗布する。
【００２４】
なお、ヘッドバーには基準位置が設けられており、吸着テーブル３を含む平面内には、座標（以後「テーブル座標」と呼ぶ。）が設けられている。従って、ヘッドバーの基準位置に対してこのテーブル座標上の位置座標が決まる。また、ヘッドバー内の任意の位置は、この基準位置からの相対位置によって、テーブル座標上の位置座標を得ることができる。
【００２５】
（インクジェットヘッドモジュールの構成）
次に、本発明の塗布装置に用いられるインクジェットヘッドモジュール１１の構成について説明する。図２は本発明のインクジェットヘッドモジュール１１の概念図を示す。インクジェットヘッドモジュール１１には、インクジェットヘッド１２を外装体１５中に組み込み、固定したものである。インクジェットヘッドは複数個が組み込まれていてもよい。インクジェットモジュールは、モジュール基準位置を有する。モジュール基準位置はヘッドモジュールの側面のいずれかに設定するのが好ましい。
【００２６】
インクジェットヘッド１２は、ノズルが形成されている面が、露出するように固定されている。図２では、ノズルは方向Ａに露出している。ヘッドモジュール１１には、インクジェットヘッドにインクを供給するヘッドインク供給パイプ１６と、それぞれのヘッドのノズルを駆動するための、ヘッド駆動電力供給線１７が配設されている。図２では、１つのヘッドについてのみインクヘッド供給パイプとヘッド駆動電力供給線を示したが、すべてのヘッドについて提供される。
【００２７】
本発明のインクジェットモジュールは、さらに、メモリ２０を搭載している。メモリは、接続端子２１を有しており、インクジェットヘッドバー５内に設けられた接続端子を通じて、塗布装置の制御部と結合することができる。
【００２８】
インクジェットヘッド１２は複数のインクジェットノズルと、インクジェットノズルからインクを吐出させる吐出手段（図示せず）とを備えている。吐出手段は特に限定されないが、インクジェットノズル近傍でインクに瞬間的な圧力をかけるピエゾ素子を用いた吐出手段を利用することができる。ヘッド駆動電力供給線は、この吐出手段を駆動させる電力供給線である。
【００２９】
メモリ２０にはインクジェットヘッドモジュールの識別番号や、搭載されたインクジェットヘッドの識別番号、それぞれのインクジェットヘッドの搭載位置、それぞれのインクジェットヘッドに形成されたインクジェットノズル個々の位置情報および吐出特性と補正値や、これらの情報を更新した日時若しくはバージョン番号を含むことができる。
【００３０】
図３は、図２の方向Ａからインクジェットモジュール１１を見た図である。ヘッド１２はノズル配列方向を副走査方向（Ｙ方向）として主走査方向（Ｘ方向）に並列配置されている。５基のインクジェットヘッド１２は、それぞれ所定のピッチＰずつ副走査方向にシフトして配置してもよい。このようにすると、インクジェットノズルがあるピッチを有しているインクジェットヘッドを僅かずつシフトして、所望の塗布ピッチを得ることができる。インクジェットヘッドモジュール１１の塗布幅はＷｍである。なお、インクジェットヘッドモジュール１１を構成するインクジェットヘッドの数は５つに限定されるものではない。またピッチＰは小さいため図３では、表示を省略した。
【００３１】
図４は、本願発明に係る塗布装置のインクジェットヘッドバー５に組み込まれた複数のインクジェットヘッドモジュール１１の配列状態を模式的に示す斜視図である。インクジェットヘッドバー５には、Ｒ（赤）１１ａ、Ｇ（緑）１１ｂ、Ｂ（青）１１ｃの色調の異なるインクを吐出するインクジェットヘッドモジュール１１が、吐出面（ノズル配置面）を下にして固定される。この３つのヘッドモジュールをまとめてヘッドユニット１０と呼んでもよい。ヘッドユニット１０は複数セットをヘッドバー５に搭載してよい。
【００３２】
ヘッドバー５には３色のインクを供給するモジュールインク供給パイプ２６ａ乃至２６ｃとそれぞれのヘッドを駆動するためのモジュール電力供給線２７が供給される。供給されたインクと電力はヘッドバーの中で、図示していない供給パイプや接続線によって各ヘッドに供給される。
【００３３】
また、ヘッドバー５には、各ヘッドモジュールのメモリ２０からの情報を塗布装置の制御部に送信する情報送信ライン２８も供給される。これも、ヘッドバーの中で、図示していない接続線によって各ヘッドモジュールのメモリ２０と接続しており、それぞれのメモリの情報を取り出すことができる。なお、ヘッドバー５において、ヘッドモジュールが固定される位置はソケットが形成されており、情報送信ラインは個々のソケットにも接続されている。そのため、制御部は、個々のソケットに対してメモリ内容の呼び出しを行うことで、どのソケットにどのヘッドモジュールが固定されたかという情報を得ることができる。
【００３４】
図５は、このインクジェットヘッドバーをインク吐出面（図４の方向Ｂ）から見たモジュール１１の配列状態を模式的に示す平面配置図である。
【００３５】
図４に示したように、インクジェットヘッドバー５には、インクジェットヘッドモジュール１１として、Ｒ（赤）１１ａ、Ｇ（緑）１１ｂ、Ｂ（青）１１ｃのそれぞれ色調の異なるインクを吐出する３種が搭載されている。ヘッドバー５のヘッドモジュール搭載位置にはソケット１８が形成されており、ヘッドモジュールはこのソケットの位置に固定される。
【００３６】
これらのインクジェットヘッドモジュール１１は、互いに副走査方向に所定の間隔Ｄ１ずつずらして配置され、１組のインクジェットヘッドユニット１０を構成する。インクジェットヘッドユニット１０は、各インクジェットヘッドモジュール１１のノズル配列方向を副走査方向として互いに副走査方向に所定の間隔Ｄ２を隔てて副走査方向に並列配置されている。
【００３７】
このように構成された１組以上のインクジェットヘッドユニット１０は、インクジェットヘッドバー５に副走査方向に配列されて一体化されて組み込まれている。このように異なる色調のＲ色、Ｇ色、Ｂ色のインクを塗布するインクジェットヘッドモジュール１１によって１組のインクジェットヘッドモジュール（インクジェットヘッドユニット１０）が構成され、複数組のインクジェットヘッドモジュール１１が副走査方向に配列されてインジェットバー５に一体的に組み込まれる。
【００３８】
そして、このような複数組のインクジェットヘッドユニット１０がインクジェットヘッドバー５に一体的に組み込まれて、インクジェットヘッドバー５をＸ方向（主走査方向）およびＹ方向（副走査方向）に駆動することにより、ガラス基板２に対して相対的に移動させ、インクジェットノズル１３からのインク吐出によりガラス基板２にインクを塗布させる。そして、このインクジェットヘッドバー５のＸ方向およびＹ方向への駆動、ならびにガラス基板２へのインク吐出は、制御部１００により制御される。
【００３９】
図６には、図５のヘッドバーの断面の模式図を示す。主走査方向となるＸ方向は紙面に垂直な方向である。ヘッドバーにはヘッドモジュールを搭載するソケット１８が形成されている。このソケット１８はヘッドバー５の基準位置に対して所定の精度で正確に形成されている。従って、このソケット１８に組み込まれたヘッドモジュール１１は、ヘッドバー５の基準位置からの正確な位置を決めることができる。ヘッドモジュール内のノズル位置はヘッドモジュール基準位置から所定の精度で位置が測定されており、メモリ２０に記録されている。つまり、ヘッドモジュールがこのソケットに組み込まれると、個々のノズルはヘッドバーの基準位置からの位置を所定の精度で決めることができる。
【００４０】
また、それぞれのソケットには制御部１００からの情報送信ライン２８が配設されている。符号１９は情報送信ラインを集結するための基板である。この情報送信ラインはヘッドモジュールの端子２１と接続される。制御部１００は、それぞれのソケットを指定して信号の送受信をすることが可能である。なお、図６では、ＢとＧのヘッドモジュールと、インクの供給ラインについては省略した。
【００４１】
図７は塗布を行う際に関係する構成同士の関係を示す図である。また、図７は図１の塗布装置を上方から見た模式的な平面図として示した。機台３０上に配置された吸引テーブル３上で、塗布ガントリー４に搭載されたインクジェットヘッドバー５が、Ｘ方向およびＹ方向に移動する。このインクジェットヘッドバーの移動は、Ｙ方向駆動モータ１０２およびＸ方向駆動モータ１０３によるものである。
【００４２】
インクジェットヘッドバー５には、インクジェットヘッドモジュール１１が搭載されている。図７では、３つのインクジェットヘッドモジュールで構成される１つのインクジェットヘッドユニットが２つ搭載された状態を示しているが、いくつあってもよい。インクジェットヘッドモジュールに搭載されたメモリは制御部１００と接続される。
【００４３】
インクジェットヘッドバー５には、インクタンク６０が接続されており、図示していない圧力調整手段によってインクが供給される。
【００４４】
またカメラガントリ６には、スキャンカメラ９と図示しないアライメントカメラが搭載されている。カメラガントリー６はＸ方向駆動モータ１０５によってＸ方向に可動である。また、スキャンカメラはＹ方向駆動モータ１０４を介してカメラガントリー６に設置されているので、Ｙ方向に可動である。これらのＸ方向駆動モータ１０５とＹ方向駆動モータ１０４は、制御部１００と接続されている。また、スキャンカメラ９も制御部１００と接続されており、撮影した画像データＳｖを制御部１００に送信する。
【００４５】
塗布を制御する制御部１００は、Ｘ方向駆動モータ１０３と、Ｙ方向駆動モータ１０２と、インクジェットヘッドバー５およびカメラガントリー６に接続されている。制御部１００は、Ｘ方向駆動モータ１０３およびＹ方向駆動モータ１０２に駆動指示ＣｘおよびＣｙを出力し、インクジェットヘッドバーを稼動範囲の任意の位置に移動させる。
【００４６】
また、制御部１００は、Ｘ方向駆動モータ１０３およびＹ方向駆動モータ１０２からインクジェットヘッドバーの駆動範囲内での座標に関する情報ＤｘおよびＤｙを受信する。なお、インクジェットヘッドバーの座標は別途位置センサを設け、その位置センサから受け取ることとしてもよい。
【００４７】
また、制御部１００は、インクジェットヘッドバー内の全てのインクジェットノズルに対して、それぞれ個々に塗布指示Ｃｔを送信する。この塗布指示Ｃｔによってそれぞれのインクジェットノズルはピエゾ素子等で構成される吐出手段を作動させ、インクを吐出させる。
【００４８】
また、制御部１００は、メモリからインクジェットヘッドバーに搭載されたインクジェットヘッドモジュール内のインクジェットヘッドに関する情報を受信する。図７では、制御部１００がメモリ２０に情報を要求する信号Ｒｑを送信し、メモリ２０からメモリ内の情報Ｉｎｆを受信する。
【００４９】
次に本願発明の塗布装置についてヘッドモジュールのメモリからの情報を取得する動作を説明する。
【００５０】
図８は塗布装置全体を制御する制御部１００の処理のフローを示す。なお、ここでは、制御部１００の本発明に必要な処理だけを抜き出して説明する。塗布装置１自体は、処理が開始されると（Ｓ１００）、前処理（Ｓ１０２）を行い、塗布処理を行う（Ｓ１０４）。塗布対象物の交換を含め、塗布処理が終了したか否かを判断し（Ｓ１０６）、処理が終了した場合は停止する（Ｓ１０８）。そうでなければ、塗布処理を継続する（Ｓ１０６のＮ分岐）。
【００５１】
次にステップＳ１０２の前準備の詳細について説明する。インクジェットヘッドバーは多くのインクジェットノズルが存在する。そしてインクジェットヘッドバーの動きに従って、それぞれのインクジェットノズルからインクが吐出される。しかも、上述したように個々のインクジェットノズルは全く同じものはなく、わずかに吐出特性が異なる。そして塗布ムラのない（色度のばらつきが少ない）を得るためには、非常に均一な塗布を行う必要がある。そこで、個々のインクジェットノズルの吐出特性を考慮した塗布動作が必要になる。
【００５２】
この塗布動作は、塗布対象物であるカラーフィルタ基板に関する情報に基づいて、塗布処理の前に予め塗布処理の手順を記録しておく。多くのノズルを動的に制御するのは、容易でないからである。この塗布処理の手順は塗布プログラムとも呼べる。
【００５３】
塗布動作については、さまざまな方法が考えられるが、少なくとも塗布対象上に正確にインクを吐出するためには、ヘッドバーから見て個々のノズルの位置と個々のノズルの吐出量に関する情報が必要である。そこで、本発明の塗布装置では、制御部が、この前準備のステップＳ１０２において、ヘッドバーに搭載された全てのヘッドモジュールのインクジェットノズルの情報を取得する。この時に取得するのは、少なくとも各ノズルの位置情報と、各ノズルの吐出量の情報を含む。
【００５４】
図９には、前準備のステップＳ１０２の処理の一例を説明する。前準備のステップでは、少なくとも、制御部１００が各ヘッドのノズルの情報を取得する処理と、塗布処理の手順を作成するフローがある。なお、ここで、ソケットはＮｓ個用意されているとする。
【００５５】
前処理がスタートすると（Ｓ２００）、初期設定を行う（Ｓ２０２）。初期設定は、調べるソケットの番号を示す変数ｍを初期化する処理を含む。ここで、変数ｍの初期値は１とする。
【００５６】
次にｍ番目のソケットを調べる（Ｓ２０４）。ソケットを調べるとは、ｍ番目のソケットの接続線に対して情報取得指示Ｒｑを出力し、ノズルに接続されたヘッドモジュールからノズルに関する情報Ｉｎｆを取得することをいう。ノズルに関するデータを読み込んだら、制御部１００のメモリ中に記録する（Ｓ２０６）。全てのソケットについて、接続されたヘッドモジュールからデータを読み込んだか否かを判断し（Ｓ２０８）、全てのソケットについて調べ終わったら、ノズル情報の読み込みは完了する（Ｓ２０８のＹ分岐）。そうでなければ、変数ｍをインクリメントしてソケット調査に戻る（Ｓ２１０）。
【００５７】
図１０には制御部１００が読み込んだノズル情報の一例を示す。今ソケットはＮｓ個あるとしているので、ソケット番号Ｓｏｋｅｃｋ１からＳｏｃｋｅｔＮｓまでのソケットに対して、搭載されたヘッドモジュール中にあるノズルの情報が得られている。ノズル番号はヘッド番号とヘッドのノズル番号からなる。ヘッド番号は「Ｈ」の次に数字を記載して示した。またノズル番号は「Ｎ」の後に数字を記載して示す。例えば、「Ｈ１Ｎ００１」は、ソケット番号がＳｏｃｋｅｔ１のヘッド番号１番、ノズル番号が２５６番のノズルを表わす。なお、１つのヘッドに２５６個のノズルがあるとしている。
【００５８】
ノズル座標は、ヘッドモジュールのモジュール基準位置からの座標を表わす。また、吐出量はそれぞれのノズルに標準的な駆動電圧が印加された時の吐出量を示す。吐出量は、体積や重量が用いられるが、これ以外の指標であっても構わない。１つのヘッドモジュールには５つのヘッドがあり、１つのヘッドには２５６個のノズルがあるので、１つのソケットには、Ｈ１Ｎ００１からＨ５Ｎ２５６までの、１２８０個のノズルに関する情報が得られる。このノズル情報は全てのソケットに対して得られるので、図１０に示したノズル情報は、全部で１２８０×Ｎｓ個の情報となる。
【００５９】
図９に戻って、次にＭａｐ処理を行う（Ｓ２１２）。Ｍａｐ処理とは、全てのノズルの位置情報と吐出量の情報を含むノズル情報及び塗布対象物に関する情報に基づいて、塗布処理の手順を作成することである。塗布対象物に関する情報とは、塗布する画素の位置、塗布するインクの色、塗布するインク量といった情報を含む。
【００６０】
このＭａｐ処理はさまざまな種類の処理が考えられる。しかし、Ｍａｐ処理は、結果として塗布処理の手順を出力し、少なくともヘッドバーの位置座標とインクを吐出するノズルの指定が関連づけられた情報である。この情報をＭａｐと呼ぶ。図９を再び参照して、Ｍａｐ処理が終了したらメインに戻る（Ｓ２１４）。
【００６１】
図１１ノズル情報と塗布対象物の情報に基づいて作成されたＭａｐを例示する。横軸はインクジェットノズル番号を表し、縦軸はインクジェットヘッドバーの座標を表す。インクジェットノズル番号は、インクジェットモジュール番号、インクジェットヘッド番号、インクジェットノズル番号の３つの数字によって特定することができる。図１１では、この数字を順に並べた。例えば、（１１−１）は、インクジェットモジュール番号１、インクジェットヘッド番号１、インクジェットノズル番号１のインクジェットノズルを表す。また、（１１−２５６）は、インクジェットモジュール番号１、インクジェットヘッド番号１、インクジェットノズル番号２５６のインクジェットノズルを表す。なお、ヘッドユニット番号を含めてもよい。
【００６２】
従って、最後の（Ｎｓ５−２５６）は、インクジェットモジュール番号Ｎｓ、インクジェットヘッド番号５、インクジェットノズル番号２５６のインクジェットノズルを表す。これは、インクジェットヘッドユニットがＮｓ個搭載されたインクジェットヘッドバーの最後のインクジェットノズルを示している。
【００６３】
また、インクジェットヘッドバーの座標は、（Ｙ１，Ｘ１）から、（Ｙ１，Ｘｎ）まで記載され、次は（Ｙ２，Ｘｎ）から（Ｙ２，Ｘ１）へ向かって記載される。これはインクジェットヘッドバーがステージの端から端まで往路を移動した後、Ｙ方向に移動して復路を移動することを表している。
【００６４】
また、インクジェットヘッドバーの位置座標に対して、吐出すべきインクジェットノズルに「１」が記載されている。例えば、ある塗布領域に対しては、インクジェットヘッドモジュール１に搭載された１番目のインクジェットヘッドのノズルがインクを吐出する。図１１では（Ｘ１，Ｙ１）の時に（１１−＊）（ここで「＊」は任意の数字を表わす）で表わされる１番目のインクジェットヘッドのノズルからインクを吐出させている。もちろん、これは例示であるので、ヘッドモジュール１のヘッド１の任意のノズルだけから吐出するようにしてもよい。
【００６５】
ここで、ヘッドバーの座標と、各ノズルの位置関係は、ヘッドバーの位置座標である（Ｄｘ，Ｄｙ）、ヘッドバーの基準位置、ソケットの位置、ヘッドモジュールのモジュール基準位置、ノズル情報中のノズル座標から得ることができる。このようにして塗布処理の手順（シークエンス）を表わすＭａｐが完成する。
【００６６】
以上のように本発明のインクジェットヘッドモジュールと塗布装置を用いると、インクジェットヘッドモジュール内のインクジェットノズルのデータをインクジェットヘッドモジュール自体から取得するので、塗布シークエンスを表わすＭａｐを誤りなく作製できる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
以上、本発明の塗布装置について、代表的な応用例として液晶表示装置などに用いられるカラーフィルタの製造に適用する事例を説明したが、この塗布装置（塗布方法）は、このようなカラーフィルタの製造装置だけでなく、他の平面的な部材にインクあるいは被膜材料を塗布する装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本願発明の一実施形態に係る塗布装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本発明のインクジェットモジュールの構成を示す斜視図である。
【図３】本発明のインクヘッドモジュールを塗布面から見た平面図である。
【図４】本願発明に係る塗布装置のインクジェットヘッドバーに組み込まれた複数のインクジェットヘッドモジュールの配列状態を模式的に示す斜視図である。
【図５】本願発明に係る塗布装置のインクジェットヘッドバーにおけるインクジェットヘッドモジュールの配列状態を模式的に示す平面配置図である。
【図６】インクジェットバーの断面図である。
【図７】本願発明に係る塗布装置の制御系の構成を示す模式図である。
【図８】本発明の塗布装置の処理のフローを示す図である。
【図９】本発明の前準備のフローを示す図である。
【図１０】ノズル情報を例示する図である。
【図１１】Ｍａｐ情報を例示する図である。
【符号の説明】
【００６９】
１    塗布装置
２    ガラス基板（塗布対象物）
３    吸着テーブル（保持ステージ）
４    塗布ガントリー
５    インクジェットヘッドバー
６    カメラガントリー
７，８    アラインメントカメラ
９    スキャンカメラ（計測手段）
１０    インクジェットヘッドユニット
１１    インクジェットヘッドモジュール
１２    インクジェットヘッド
１３    インクジェットノズル
１５    外装体
１６    ヘッドインク供給パイプ
１７    ヘッド駆動電力供給線
１８    ソケット
１９    基板
２０    メモリ
２１    接続端子
２６    モジュールインク供給パイプ
２７    モジュール電力供給線
２８    情報送信ライン
３０    機台
１００    制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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