(57)【要約】【課題】  セラミック製の発光管を備えた放電ランプをメタライズ層を設けることなくろう付けにより封止し、かつ封着部の信頼性を高めた放電ランプおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】  セラミックス部材と金属部材とを備えた発光管を具備し、該発光管の内部に放電ガスが封入されたセラミック製放電ランプにおいて、前記セラミックス部材の表面上に、前記金属部材に覆われることなくろう材が固着形成されると共に、前記ろう材とセラミックス部材表面の間にチタン層を備えてなり、前記ろう材と連続的に形成されたろう材により前記金属部材の一部が覆われることにより、前記セラミックス部材と前記金属部材とが気密に接合されていることを特徴とする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックス部材と金属部材とを備えた発光管を具備し、該発光管の内部に放電ガスが封入されたセラミック製放電ランプにおいて、
前記セラミックス部材の表面上に、前記金属部材に覆われることなくろう材が固着形成されると共に、前記ろう材とセラミックス部材表面の間にチタン層を備えてなり、
前記ろう材と連続的に形成されたろう材により前記金属部材の一部が覆われることにより、前記セラミックス部材と前記金属部材とが気密に接合されている
ことを特徴とするセラミック製放電ランプ。
【請求項２】
前記金属部材はニッケルまたはニッケル合金よりなるものであり、
前記セラミックス部材上のろう材及びチタン層は、前記金属部材から一定距離離間した部分に亘って固着形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック製放電ランプ。
【請求項３】
前記ろう材として活性銀ろうを用いた
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のセラミック製放電ランプ。
【請求項４】
セラミックス部材と金属部材とを備えた発光管を具備してなるセラミック製放電ランプの製造方法であって、
前記セラミックス部材の表面上にチタンを０．５〜１０ｗｔ％の割合で含む第１のろう材を配置する工程と、
前記金属部材の表面上に第２のろう材を配置する工程とを備え
前記金属部材を、前記第１のろう材の少なくとも一部が露出するよう前記セラミックス部材の端部に位置すると共に、前記第１のろう材と前記第２のろう材とを連続的に形成した状態で、前記セラミックス部材と前記金属部材をろう付け温度まで昇温してろう材を溶融、固着し、
その後、発光管の内部に放電ガスを気密に封入する
ことを特徴とするセラミック製放電ランプの製造方法。
【請求項５】
前記セラミックス部材の表面上に配置される第１のろう材は活性銀ろうである
ことを特徴とする請求項４に記載のセラミック製放電ランプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光管の透光性部分の材質がセラミックスよりなるセラミック製放電ランプ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
放電ランプにおいて、発光管は、放電空間内で発生した光を高効率に透過するため、また、放電アークによる高熱に耐えられるよう石英ガラスや透光性のセラミックスが好適に使用されている。後者の透光性セラミックスは、放電空間の内部に封入されるガスの特性上、石英ガラスを使用することができない場合には、発光管の構成材料として必須の構成となる。無論、そのほかの場合でも、石英ガラスがランプの動作温度如何によって白濁を生じることがあるなどの理由で、ランプ種類や用途によって、適宜、セラミック製発光管が選択され、使用されている。
このようなランプの具体例を挙げると、エキシマランプ（特許文献１）、メタルハライドランプ（特許文献２）、フラッシュランプ（特許文献３）などである。
【０００３】
セラミック製発光管は、透光性部分におけるセラミックスの材質はＹＡＧ、単結晶サファイアであり、封止用の部材は、略円板状蓋部材であって、筒状の管の端部に銀ロウによって気密に接着して構成する。この封止工程の内容について図９を参照しながら説明する。図９は封止工程の手順を説明する図である。
（１）メタライズ層形成用のペースト状材料９２を管状のセラミックス部材９１の端部に塗付する（図９（ａ））。
（２）セラミック部材９１を１４００℃以上に加熱し、メタライズ層を焼成する。
（３）できあがったメタライズ層９２’上にペースト状のろう材９３を塗付する（図９（ｂ））。
（４）セラミックス部材９１に蓋部材９４をかぶせ、これらを焼成炉に入れて焼成する（図９（ｃ））。
（５）蓋部材９４に付設した排気管を使用して管内部を排気し、放電用ガスを封入して排気管を封止する。
なお図９（ｃ）において符合９３’は、焼成で一度溶融したのち固着した状態のろう材である。
【０００４】
このように、放電ランプの製造方法において、セラミックス部材９１端部の少なくともろう材９３（９３’）が配置される部分にはメタライズ処理を施す必要がある。この理由は、ろう材の濡れ性に関係しており、セラミックに対してろう材は濡れ性が低いため、セラミック表面上のろう付けには下地として金属層を形成する必要があるからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２３６０８４号公報
【特許文献２】特開平８−３２９８９６号公報
【特許文献３】特開２００６−３１８６５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ろう付けに必須であるメタライズ処理には、非酸化性雰囲気において１４００℃以上という高温で処理することが必要である。そのため、このような放電ランプにおいてはろう付けの前段階であるにもかかわらず、時間的およびエネルギー的にコストがかかることが問題となる。
更に、メタライズ処理する工程で、高温の炉内に発光管構成材料を一定時間放置することが必須である。このとき、メタライズ層の成分から金属等の物質が浮遊し、高温で発光管の内部に焼きつけを生じる可能性がある。発光管内に微量混入した物質が放電に曝されるなどして反応が生じた場合、所期のランプ性能を発揮できないといった事態も起こり得る。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、セラミック製の発光管を備えた放電ランプにおいて、高い気密性を維持できると共に、セラミックス部材と金属部材との接合部にメタライズ層を設けることなく、ろう付けによって接合した放電ランプを提供することである。
また、本発明の別の課題は、セラミック製の発光管を備えた放電ランプの製造方法において、セラミックス部材と金属部材との接合部にメタライズ層を設けることなく、ろう付けによって接合した場合にも、高い気密性を維持できる、放電ランプの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、セラミックス部材と金属部材とを備えた発光管を具備し、該発光管の内部に放電ガスが封入されたセラミック製放電ランプにおいて、
前記セラミックス部材の表面上に、前記金属部材に覆われることなくろう材が固着形成されると共に、前記ろう材とセラミックス部材表面の間にチタン層を備えてなり、
前記ろう材と連続的に形成されたろう材により前記金属部材の一部が覆われることにより、前記セラミックス部材と前記金属部材とが気密に接合されている
ことを特徴とする。
また、前記金属部材はニッケルまたはニッケル合金よりなるものであり、
前記セラミックス部材上のろう材及びチタン層は、前記金属部材から一定距離離間した部分に亘って固着形成されているのがよい。
また、前記ろう材として活性銀ろうを用いるのがよい。
【０００９】
また、本発明のセラミック製ランプの製造方法においては、セラミックス部材と金属部材とを備えた発光管を具備してなるセラミック製放電ランプの製造方法であって、
前記セラミックス部材の表面上にチタンを０．５〜１０ｗｔ％の割合で含む第１のろう材を配置する工程と、
前記金属部材の表面上に第２のろう材を配置する工程とを備え
前記金属部材を、前記第１のろう材の少なくとも一部が露出するよう前記セラミックス部材の端部に位置すると共に、前記第１のろう材と前記第２のろう材とを連続的に形成した状態で、前記セラミックス部材と前記金属部材をろう付け温度まで昇温してろう材を溶融、固着し、その後、発光管の内部に放電ガスを気密に封入することを特徴とする。
また、前記セラミックス部材の表面上に配置される第１のろう材は活性銀ろうであるのがよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のセラミック製放電ランプおよび本発明の製造方法によって製造されたセラミック製放電ランプでは、発光管の気密封止構造をチタンを含むろう材を使用してろう付けするため、中に含まれるチタンがセラミック表面上に薄い層を形成してろう材の濡れ性を解消するため、メタライズ層を形成することなくろう付け作業のみで金属部材をセラミックに接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態を説明する放電ランプの管軸方向断面図である。
【図２】図１中のＡで囲まれたろう付け部分を拡大して示す図である。
【図３】本発明の実施形態を説明する放電ランプ製造方法を説明する図である。
【図４】本発明の他の実施形態を説明する放電ランプの管軸方向断面図である。
【図５】本発明の他の実施形態を説明する放電ランプの管軸方向断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態を説明する放電ランプの管軸方向断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態を説明する放電ランプの管軸方向断面図である。
【図８】本発明とは異なる放電ランプの製造方法を説明する要部を拡大して示す断面図である。
【図９】従来技術に係る放電ランプの封止工程の手順を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明のセラミック製放電ランプの実施形態の一例について説明する。ここで説明するセラミック製放電ランプ（以下簡単に「放電ランプ」という）は、放電ガスとしてアルゴン（Ａｒ）とフッ素（Ｆ）が封入され、発光管の外表面上に一対の外部電極を形成したエキシマランプである。なお、図１は、本発明の実施形態を説明する放電ランプの管軸方向断面図であり、図２はその要部を拡大して示す図である。
図１に示すように、本実施形態の放電ランプ１は、管状のセラミックス部材１２とその両方の端面に沿って配置されたキャップ状の金属部材１４とを備えて発光管１１が構成されている。セラミックス部材１２は、同図に示すように直管状であり、材質として具体的には、サファイア、ＹＡＧ、単結晶イットリア等の透光性セラミックス材料が使用される。この例に係るエキシマランプにおいてセラミックスが使用される理由は、放電ガスにフッ素が使用されているためガラスを使用することができないからである。
【００１３】
外部電極１３ａ，１３ｂは、セラミックス部材１２の外周面上であって、管１２が伸びる方向に形成された帯状のものであり、互いに離間して形成された導電体層からなる。ここでは図示を省略するが、電極１３ａ，１３ｂにはリード線が半田付けなどで接続される。この外部電極１３ａ，１３ｂ（導電体層）を形成するための導電材料は、公知の導電材料の中から任意に選択することができる。なお、発光管１１内において電極形成個所から光を取り出す場合には透明電極（ＩＴＯ）が使用される。
【００１４】
金属部材１４は、熱伝導特性が良好な金属よりなり、好ましくはニッケル又はニッケル合金が選択される。ニッケル合金としては、例えば、Ｎｉ−Ｃｒ系合金、Ｎｉ−Ｃｕ系合金、Ｎｉ−Ｆｅ系合金であり、概ねニッケルを２５ｗｔ％以上含むものである。
【００１５】
金属部材１４は、有底筒型であり、筒部における内径がセラミックス部材１２の外径に適合し、セラミックス部材１２の端部にキャップ状に嵌合することで、開口部が非気密状態にふさがれる。
そして、この金属部材１４の外周縁部の近傍において、セラミックス部材１２と金属部材１４の外周面の両方に亘るようにろう材２０（具体的には、未溶融のろう材を加熱、溶融後、固着した状態のもの）によって気密に接合された状態となって、発光管１１が構成される。
なお、一方の金属部材１４には排気管残部１５が一体的に具備されている。この排気管残部１５もまた熱伝導が良好な金属、例えばニッケル又はニッケル合金よりなる。排気管と金属部材１４とはいずれも金属よりなるため、溶接、ろう接などの公知の手段で気密に接続されている。
【００１６】
図２は、図１中のＡで囲まれたろう付け部分を拡大して示す図である。
ろう材２０の下部にはセラミックス部材１２の表面を覆うように緻密なチタン（Ｔｉ）の層２０１が形成されている。この層２０１の厚みｔは例えば０．１〜５μｍであり、ろう材２０はこのチタン層２１を被覆すると共に、金属部材１４の外周面上を被覆するよう形成されている。ろう材２０およびチタン層２１が共に形成される領域Ｐは、この実施形態のように、金属部材１４にニッケル系の金属が使用されている場合、この金属部材１４から所定距離離間した位置に至るまで、実用には２ｍｍ以上離れた部分に至るまで、連続的に形成しているのが好ましい。
【００１７】
このようにチタン層２０１を形成するために、未溶融のろう材としては、Ａｇ−Ｃｕ−Ｔｉ系ろう材又はＡｇ−Ｃｕ−Ｉｎ−Ｔｉ系ろう材などの活性銀ろうを使用することにより得ることができる。
この活性銀ろうは、いずれも銀−銅を含む銀ろう成分中にチタンが含まれており、ろう付け温度（Ａｇ−Ｃｕ−Ｔｉ系ろう材：７８０〜８００℃、Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎ−Ｔｉ系ろう材：６２０〜７２０℃）に加熱されたときにチタンがセラミックス上に凝集することによって緻密な層を形成する。
この結果、固着後のろう材２０はＡｇ−Ｃｕ、またはＡｇ−Ｃｕ−Ｉｎなどのいわゆる銀ろうと同じ成分により構成され金属部材１４上に銀ろうが被覆されることで金属（ニッケルまたはニッケル合金）と強く結合し、耐熱性、耐食性等が良好で強固かつ気密な接着を可能とする。
【００１８】
そして、セラミックス部材１２の表面においては、ろう付けされる部分にチタン層２０１が形成されているため、ろう材２０の濡れ性が良好になり、メタライズ処理を施すことなくセラミック表面（厳密にはチタン層の上）に、ろう付けすることができるようになる。
【００１９】
このような放電ランプは、例えば次の工程によって製造することができる。
（１）図３Ａに示すように、管状のセラミックス部材１２の両方の端部を覆うようにキャップ状の金属部材１４をはめ込む。
（２）図３Ｂに示すように、セラミックス部材１２の端部近傍であって金属部材１４に覆われていない外表面上に、第１のろう材８１として、箔状の活性銀ろう（Ａｇ−Ｃｕ−Ｔｉ系ろう材、或いは、Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎ−Ｔｉ系ろう材）を管の全周に亘って配置し、更に、この第１のろう材８１および金属部材１４の上に第２のろう材８２を配置する。第２のろう材８２は、第１のろう材８１との結合が容易なものであれば、特に限定されるものではないが、例えば銀ろう（Ａｇ−Ｃｕ系ろう材）である。この第２のろう材はチタンを含むものであっても良いし含まないものであってもよい。すなわち第２のろう材に活性銀ろうを用いても問題ない。
（３）続いてこのセラミックス部材を、第１、第２のろう材を溶融するため真空炉内に配置して加熱する。処理条件は例えば到達温度８００℃として１０分間維持する。この結果、箔状のろう材は溶融し、先に図２で示したようなチタン層２０１を有した状態でろう付けが完了する。
（４）しかる後、できあがったセラミックス部材１２の内部を、予め金属部材１４に接続しておいた排気管１５を用いて排気し、所定のガスを封入して排気管１５をチップオフする。
（５）その後、外部電極を発光管１１外表面の所定位置に形成する。
【００２０】
このようにして、セラミックス部材１２上にチタンを含む活性銀ろうを配置してろう付けを行う。ろう材８１中に含まれるチタン（Ｔｉ）は、加熱中セラミックに表面上に凝集し、緻密かつ強固にチタンの層２１を形成して、ろう材とセラミックの間の濡れ性を改善させてろう付けを可能とする。
【００２１】
なお、上記では箔状のろう材を用いたが、同様の成分のペースト状のろう材を用いてもよい。
図４はペースト状のろう材をセラミックス部材に塗付形成した例である。
図４（Ａ）に示すように、第１のろう材についてはチタンを含むものを使用し、これをセラミックス部材の表面上に塗布し、金属部材上に塗布される第２のろう材を第１のろう材と連続するように形成する、または、図４（Ｂ）に示すように、第２のろう材を金属部材上に形成して、当該第２のろう材とセラミックス部材の両方を覆うように第１のろう材を形成してもよい。
いずれの場合でも、ろう付け温度に加熱するとセラミック表面上にチタン層を形成しこのチタン層上にろう材が固着形成され、結果的に図１、図２で示したようにろう付けによる気密接合が可能になる。
【００２２】
ところで、このように活性銀ろうを用いる場合でも、金属部材にニッケル系の金属が使用される場合には、注意が必要である。例えば、図８に示すように、セラミックス部材６１とキャップ状金属部材６２の間に活性銀ろうを単に挟んで配置した場合、ろう付け温度に加熱するとチタンはニッケルに誘引されて合金を形成し、セラミック表面のチタンが欠乏するためセラミック表面上にチタン層を形成することができず、セラミックスとろう材の間にポーラスが形成されて気密接合が不可能となる。
【００２３】
このような問題を回避するため、本発明の図３（Ｂ）、図４のように、セラミックス部材１２の上に配置する第１のろう材（活性銀ろう、チタン含有ろう材）８１をセラミックス部材１２の表面のみを覆うように配置することが必須となる。そして更に、金属部材１４上に配置する第２のろう材８２を第１のろう材８１と連続的に形成されるよう配置することが必要である。
第１のろう材８１を通常のろう付け領域よりも広い範囲で、金属部材１４からある程度離間した位置まで形成することで、セラミックス部材１２表面上にチタン層２０１を形成することができ、発光管の気密状態を確実かつ安定的に得ることができるようになる。
【００２４】
本発明の他の実施形態にかかるランプの製造方法を図５を参照して説明する。
このセラミック製放電ランプは先に説明したものと同じくエキシマランプであるが、発光管構造が異なるものである。これは、２つの径が異なる２つの管状のセラミックス部材を使用した例であり、径が比較的大きい第１のセラミックス部材３１と、それより径が小さい第２のセラミックス部材３２を備えている。第１のセラミックス部材３１の両端部外周にキャップ状の金属部材３３が嵌合して配置されており、この金属部材３３の中心部に形成された穴３３０の内部に第２のセラミックス部材３２の端部が挿入されることで、金属部材３３によって第２のセラミックス部材３２が支持され、第１、第２のセラミックス部材が２重管構造を構成している。
なお、一方の金属部材３４には排気管３３１が気密に接続されている。
【００２５】
このように第１、第２のセラミックス部材３１，３２と金属部材３４とを機械的に結合、配置した状態で、第１のセラミックス部材３１及び第２のセラミックス部材３２の各々表面上にチタンを含むろう材（好ましくは、活性銀ろう（Ａｇ−Ｃｕ−Ｔｉ系ろう材、或いは、Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎ−Ｔｉ系ろう材））からなる第１のろう材３４を配置する。
更に、金属部材３３における開口側の各々表面上に第２のろう材３５を配置する。この例のように金属部材３３にある程度厚みがあるものであれば、第２のろう材３５を金属部材の外周面上まで配置する必要はない。
ここで使用される第２のろう材３５は、限定されるものではないが、第１のろう材と同じものを使用しても良いし、異なるろう材、例えば銀ロウなどを用いてもよい。
【００２６】
図５（Ｂ）のように第１、第２のろう材３４，３５を必要部分に配置した状態で、セラミックス部材３１，３２と金属部材３３の組立体を真空炉に入れ、１×１０−２Ｐａ以下の真空雰囲気において、温度８００℃、１０ｍｉｎ加熱し、ろう付け処理する。
この結果、図５（Ｃ）に示すように、第１のろう材に含まれるチタンがセラミック表面に凝集することにより、チタン層３４１が形成され、ろう材の成分が溶融してチタン層３４１と金属部材３３との間に固着され、これらを気密に接合する。なお同図において符号３６は固着後のろう材である。
なおこの実施形態においては未溶融のろう材を箔状（板状）のものを使用した例で説明したが、ペースト状のものを用いても構わない。
【００２７】
ろう付け後、先に図５（Ａ）で示した排気管３３１を用いて発光管内が排気され、所定の放電ガスが封入される。この排気管３３１がチップオフされることで、発光管の内部が密閉状態となる。封入される放電ガスは、例えばＦ２−Ａｒ混合ガスである。
この実施形態に係るセラミック製放電ランプにおいては、最終的に図６に示すように、第１のセラミックス部材の外周面上に一方の外部電極３７１が配置され、第２のセラミックス部材の内周面上に他方の外部電極３７２が配置される。外部電極３７１，３７２に高周波高電圧が印加されると、セラミックの壁（３１，３２）を介在させて半径方向に誘電体バリア放電が形成されるようになる。
【００２８】
以上説明した第１、第２の実施形態においては、セラミックス部材と接合する金属部材としてキャップ状部材の例を挙げた。本発明はこのような金属部材の形状に限定されず、その他の構成に適用できることはいうまでもない。
【００２９】
図７は、更に別の実施形態を説明するセラミック製発光管の端部を拡大して示す図である。この実施形態に係るランプは、先に図１で説明したものと類似する構造のエキシマランプの例である。
この発光管４１は、管状のセラミックス部材４２の端部に円板状のセラミックス部材４３がはめ込まれた状態で一体化されることで、ほぼ全体がセラミックスにより構成されたものである。この板状のセラミックス部材４３の中心部には、排気管接続用の穴４３１が設けられており、金属からなる排気管４４の一端がこの穴４３１の内部に挿入される（図７（Ａ））。
【００３０】
図７（Ｂ）に示すように、板状のセラミックス部材４３の上に未溶融の状態でチタンを含有してなる第１のろう材４５が配置されると共に、排気管４４の外周に第２のろう材４６が配置されて、第１、第２のろう材４５，４６が接するよう形成された構造となっている。
ここに、第１のろう材４５は活性銀ろうであり、第２のろう材４６は公知のろう材から適宜のものを使用できる。
【００３１】
しかる後、第１、第２のろう材４５，４６を必要部分に配置した状態で、ろう付け処理（１×１０−２Ｐａ以下の真空雰囲気において、温度８００℃、１０ｍｉｎ加熱）を行うと、ろう材４５，４６が溶融してセラミックス部材４３上の所定の領域にチタン層が形成されると共に、ろう材中の銀、銅の成分によって排気管４４を構成する金属部材に接合する。図７（Ｃ）はこの状態を示すものである。
【００３２】
この発光管に図７（Ｄ）で示すように一対の外部電極４７ａ，４７ｂを形成し、例えばＦ２−Ａｒ混合ガスなどの放電ガスを排気管４４より封入して気密封止すると、この実施形態にかかるエキシマランプ４０が完成する。
【００３３】
以上、本発明について実施形態を説明したが本発明は上述したエキシマランプの用途に限定されずその他の放電ランプに適用できることはいうまでもない。
【００３４】
［実施例１］
図１に示す構成および下記の条件に従って、本発明に係るエキシマランプを作製した。
発光管（１１）；発光管全長：２００ｍｍ。
管状のセラミックス部材（１２）；透光性Ａｌ２Ｏ３製、外径φ１０ｍｍ、内径φ７．６ｍｍ（肉厚１．２ｍｍ）。
金属部材（１４）；ニッケル（Ｎｉ）、厚さ０．１ｍｍの板を深絞りにより内径１０．０ｍｍ、外径１０．２ｍｍ、高さ６ｍｍの有底円筒に形成した。
外側電極（１３ａ，１３ｂ）；金電極、厚さ：１０μｍ、幅２ｍｍ、全長１００ｍｍ。
放電ガス；Ｆ２−Ａｒガス（４０ｋＰａ）。
第１のろう材（未溶融状態）；活性銀ろう
第２のろう材（未溶融状態）；活性銀ろう
セラミックス部材の端部に金属部材を嵌合した状態で、未溶融時において厚さ０．１ｍｍの箔状に成形された第１のろう材を、幅３ｍｍに切り出して、セラミックス部材端部の外周面上に直接的に巻きつけて配置した。次に、未溶融時において厚さ０．１ｍｍの板状に成形された第２のろう材を、幅５ｍｍに切り出して、金属部材および第１のろう材の両者に重なるよう巻きつけて配置した。
その後、１×１０−２Ｐａ以下の真空雰囲気において、温度８００℃、１０ｍｉｎ加熱してろう材を溶融し、固着することにより、金属部材とセラミックス部材とを接合した。
しかる後、発光管内部を排気して放電用ガスを所定量封入して気密封止し、外部電極を形成してエキシマランプを作製した。
【００３５】
このエキシマランプを８ｋＶ（ｐ−ｐ）の電圧で高周波をかけて点灯したところ、発光管の気密性に何の問題もなく、所定の発光を得ることができ、確実にろう付けされていることが確認された。
【符号の説明】
【００３６】
１０        セラミック製放電ランプ
１１        発光管
１２        セラミックス部材
２０        ろう材
２１        チタン層
１３ａ，１３ｂ    外部電極
１４        金属部材
１５        排気管
８１        第１のろう材
８２        第２のろう材
３１        第１のセラミックス部材
３２        第２のセラミックス部材
３３        金属部材
３３０      穴
３４        第１のろう材
３５        第２のろう材
３６        固着後ろう材
３４１      チタン層
４２        セラミックス部材
４３        セラミックス部材
４３１      穴
４４        金属部材（排気管）
４５        第１のろう材
４６        第２のろう材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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