(57)【要約】【課題】電子デバイスの生産効率の向上を図った電子デバイス検査装置及び電子デバイスの検査方法を提供する。【解決手段】ターンテーブル５に保持された治具７に加速度センサーや傾斜角度センサーとして採用される電子デバイス６を供給し、電子デバイス６の供給された治具７を一定方向に回転されるターンテーブル５によって、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２の順に搬送する。これらの検査ユニットまで搬送されてきた電子デバイス６は、常温、低温、高温状態で傾斜されて電気的特性の検査が行なわれた後、電子デバイス６の供給位置近くに配置された回収位置から順次回収される。こうした一連の動作を繰り返し行なうことにより、電子デバイス６の検査や回収を継続的に効率良く行なうことができる【選択図】図１
2010175287.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動手段により一定方向に回転されるターンテーブルに保持された治具に、検査対象たる複数の電子デバイスをロードし、
前記ターンテーブルの回転により前記電子デバイスを回収するアンロード位置まで回転させる迄の工程間に、常温で前記電子デバイスを検査する常温検査ユニットと、低温で前記電子デバイスを検査する低温検査ユニットと、高温で前記電子デバイスを検査する高温検査ユニットとを備え、
これら常温検査ユニット、低温検査ユニット、高温検査ユニットにより前記電子デバイスの検査を行なった後であって前記治具から前記電子デバイスをアンロードするより前に、前記常温検査ユニット、前記低温検査ユニット、前記高温検査ユニットにより検査された前記電子デバイスの各々の検査結果情報を、前記ターンテーブルにより前記アンロード位置側に回転されてきた前記電子デバイスに書き込みをするデータ記録手段を備えたことを特徴とする電子デバイス検査装置。
【請求項２】
前記常温検査ユニット、前記低温検査ユニット、前記高温検査ユニットの順序でこれらを前記ターンテーブルの回転方向に配設し、前記治具に保持された電子デバイスの検査を、常温、低温、高温の工程順で行うことを特徴とする電子デバイス検査装置。
【請求項３】
電子デバイス検査装置に備えた一定方向に回転されるターンテーブルに保持された治具に、検査対象たる複数の電子デバイスをロードし、
該ロードされることで治具に保持された前記電子デバイスを前記ターンテーブルの回転によりアンロード位置まで回転させて前記治具からアンロードする迄の工程間に、常温、低温、及び高温で前記電子デバイスの検査を行い、
これら常温、低温、高温で前記電子デバイスの検査が終了した後に該電子デバイスの各々に対応するその検査結果情報を前記電子デバイスの各々に書き込み、
該検査結果情報が書き込まれた電子デバイスを前記治具から前記ターンテーブルから順次回収することを特徴とする電子デバイス検査装置の検査方法。
【請求項４】
前記電子デバイスの検査を常温で行う常温工程を行い、該常温の電子デバイスを冷却して低温工程を行い、該低温の電子デバイスを加熱して高温工程を行なうことにより、前記電子デバイスの検査を常温、低温、高温の工程順で行うことを特徴とする請求項３記載の電子デバイス検査装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度を変化させた状態で電子デバイスの電気的特性を検査する電子デバイス検査装置及び電子デバイスの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話などの電子機器には、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を用いた加速度センサーが搭載されてきている。こうした加速度センサーには、傾斜角度の検出を行なうための電子デバイスが搭載されているが、その個体差、常温、低温、高温等の環境下において出力される電圧に変化が生じるため、常温、低温、高温時の環境下で、製造された電子デバイスの電気的特性の検査が一般的に行われている。
【０００３】
特許文献１には、常温、低温、高温の環境下で電子デバイスの姿勢を変化させ、所定の傾斜角度における電子デバイスの電気的特性を検査する検査方法及び装置が開示されている。また、特許文献２には、電子デバイスを所定角度に傾斜させた状態でその電子デバイスの電気的特性を検査する検査方法及び装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２９２７７４号公報
【特許文献２】特開２００５−３２６３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来における一般的な電子デバイスの電気的特性の検査においては、低温、常温、高温に電子デバイスを温度変化させた状態で行なうため、例えば、−３０℃等に極めて低温化された電子デバイスを単に２５℃などの常温にしたりすると、その温度変化の過程で電子デバイスの表面に結露が発生する懸念があり、結露が発生したりすると、電子デバイスを搬送する装置の作動に伴い、電子デバイスに付着した結露が飛散したり滴下してしまい、装置や電子デバイスの故障を招いてしまう虞がある。
【０００６】
また、特許文献１及び２においては、低温、常温、及び高温の三者で検査対象たる電子デバイスを検査するに際し、直線的に配列された低温調整検査部、常温調整検査部、高温調整検査部へ直線的に配設されたコンベアを用いて電子デバイスが搬送されることから、電子デバイスをロードするコンベアの入口とアンロードする出口の距離が必然的に離れざるを得ないため、オペレータが、電子デバイスの供給及び回収作業が正常に行なわれているか否か保守・点検するに際しては、いちいちコンベアの入口と出口との間を移動しなければならず作業性に劣ることになる。
【０００７】
特許文献１及び２における検査装置おいては、電子デバイスを傾斜することを目的とした単独の回転測定ユニットを備え、保持した電子デバイスを回転測定ユニットにより一定方向に回転させることで、０度、９０度、１８０度、２７０度の角度で傾斜させた状態で電子デバイスの電気的特性を検査することが可能ではあるものの、電子デバイスを傾斜させる方向いかんによっては、傾斜角度が同じであったとしても電子デバイスの電気的特性に変化が生じるため、回転方向を各種方向に変えて検査するには、所望する回転方向になるように、回転測定ユニットに保持される電子デバイスの向きをいちいち手作業で変えるなどして対応しなければならないことから、上下・左右・前後方向の３方向に電子デバイスを傾斜させた状態で検査を行なうには、手作業で電子デバイスの取り付け方向を着脱して向きを代える作業が生じてしまうことから、検査工程に時間を費やしてしまい、製品のコストの上昇を招いてしまう。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、電子デバイスの検査を効率的に行い、生産効率の向上を図った電子デバイス検査装置及び電子デバイスの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に係る電子デバイス検査装置は、
回転駆動手段により一定方向に回転されるターンテーブルに保持された治具に、検査対象たる複数の電子デバイスをロードし、
前記ターンテーブルの回転により前記電子デバイスを回収するアンロード位置まで回転させる迄の工程間に、常温で前記電子デバイスを検査する常温検査ユニットと、低温で前記電子デバイスを検査する低温検査ユニットと、高温で前記電子デバイスを検査する高温検査ユニットとを備え、
これら常温検査ユニット、低温検査ユニット、高温検査ユニットにより前記電子デバイスの検査を行なった後であって前記治具から前記電子デバイスをアンロードするより前に、前記常温検査ユニット、前記低温検査ユニット、前記高温検査ユニットにより検査された前記電子デバイスの各々の検査結果情報を、前記ターンテーブルにより前記アンロード位置側に回転されてきた前記電子デバイスに書き込みをするデータ記録手段を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項１の電子デバイス検査装置の発明によれば、ターンテーブルに保持された治具にロードされた複数の電子デバイスは、ターンテーブルの回転に伴い、常温検査ユニット、低温検査ユニット、及び高温検査ユニットに搬送されてゆき、これら常温検査ユニット、低温検査ユニット、高温検査ユニットにより、常温、低温、高温状態における検査が行なわれた後、データ記録手段により電子デバイスの各々に検査結果情報が書き込まれてゆく。こうした一連の動作をターンテーブルを回転させることで継続的に連続して行なうことができるから電子デバイスの検査を効率的に行なうことができる。しかも、ターンテーブルによって電子デバイスを搬送するから、ロード位置近傍に電子デバイスを回収するアンロード位置を配置することが可能だから、電子デバイスの供給作業や回収作業を効率良く行なうことができるよう配置することが可能になる。
【００１１】
請求項２に係る電子デバイス検査装置は、請求項１において、
前記常温検査ユニット、前記低温検査ユニット、前記高温検査ユニットの順序でこれらを前記ターンテーブルの回転方向に配設し、前記治具に保持された電子デバイスの検査を、常温、低温、高温の工程順で行うことを特徴とする。
【００１２】
請求項２の電子デバイス検査装置の発明によれば、請求項１において、電子デバイスの検査を、常温検査ユニットで常温検査を行なった後、常温の電子デバイスを低温検査ユニットで冷却してから低温検査を行い、低温の電子デバイスを高温検査ユニットで高温に加熱してから高温検査を行なうことから、例えば、−３０℃等に低温化された電子デバイスは、その後の過程で温度の変化により表面に結露が付着する虞があるが、そうした不具合を、低温化された電子デバイスを速やかに８０℃等の高温で加熱して結露が付着しないよう防止することができる。
【００１３】
請求項３に係る電子デバイスの検査方法は、
電子デバイス検査装置に備えた一定方向に回転されるターンテーブルに保持された治具に、検査対象たる複数の電子デバイスをロードし、
該ロードされることで治具に保持された前記電子デバイスを前記ターンテーブルの回転によりアンロード位置まで回転させて前記治具からアンロードする迄の工程間に、常温、低温、及び高温で前記電子デバイスの検査を行い、
これら常温、低温、高温で前記電子デバイスの検査が終了した後に該電子デバイスの各々に対応するその検査結果情報を前記電子デバイスの各々に書き込み、
該検査結果情報が書き込まれた電子デバイスを前記治具から前記ターンテーブルから順次回収することを特徴とする。
【００１４】
請求項３の電子デバイスの検査方法によれば、ターンテーブルに保持された治具から電子デバイスを、ターンテーブルの回転により順次アンロード位置に搬送することができるから、アンロード位置にて電子デバイスを継続的に回収することができる。よって、電子デバイスの検査を効率的に行なうことが可能になると共に、ターンテーブルによって電子デバイスを搬送するから、電子デバイスがロードされたロード位置近傍に電子デバイスを回収するためのアンロード位置を配置することができる。
【００１５】
請求項４の電子デバイスの検査方法の発明は、請求項３において、
前記電子デバイスの検査を常温で行う常温工程を行い、該常温の電子デバイスを冷却して低温工程を行い、該低温の電子デバイスを加熱して高温工程を行なうことにより、前記電子デバイスの検査を常温、低温、高温の工程順で行うことを特徴とする。
【００１６】
請求項４の電子デバイスの検査方法の発明によれば、請求項３において、
電子デバイスの検査を、常温、低温、高温の順序で行なうことから、例えば、−３０℃等に低温化された電子デバイスは、その後の過程で温度の変化により表面に結露が付着する虞があるが、そうした不具合を、低温化された電子デバイスを速やかに８０℃等の高温で加熱して結露が付着しないよう防止することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ターンテーブルに保持された治具にロードされた電子デバイスが、ロードされてから、温度検査（常温、低温、高温検査）を終了してアンロードされるまでの間に、電子デバイスがターンテーブルの回転により搬送されることから、電子デバイスが回収されるアンロード位置を、ロード位置近傍に配置することができる。よって、電子デバイスの供給されるロード位置に電子デバイスを回収するアンロード位置を近づけることができる。よって、電子デバイスの供給・回収作業を効率的に行なうことができ、生産性の向上を図ることができる。
【００１８】
さらに、従来のように電子デバイスが低温に冷却された後には、常温化されるのではなく、高温検査ユニットによって速やかに高温化されるので、電子デバイスの表面に結露が発生しないよう確実に防止することができ、結露に伴う電子デバイスの故障や検査の誤作動を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一例の電子デバイスの電気的特性の検査を行なう電子デバイス検査装置を示す平面図である。
【図２】同上、電子デバイス検査装置に構成された常温検査ユニットを側方から視た状態を示す側面図である。
【図３】同上、常温検査ユニットの要部を示す拡大側面図である。
【図４】同上、常温検査ユニットを上方から視た状態を示す平面図である。
【図５】同上、Ｙ軸方向に挟持手段を配置した状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図６】同上、挟持手段をＺ軸方向に配置すると共に下方側に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図７】同上、挟持手段をＹ軸方向に配置すると共に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図８】同上、挟持手段をＺ軸方向に配置すると共に上方側に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図９】同上、Ｙ軸方向に挟持手段を配置した状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図１０】同上、挟持手段をＹ軸方向に配置すると共に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図１１】同上、挟持手段をＹ軸方向に配置すると共に１８０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図１２】同上、複数の電子デバイスを保持する治具を示す平面図である。
【図１３】同上、治具の要部を示す拡大平面図である。
【図１４】同上、電子デバイスを治具に保持した状態を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明を実施するための最良の形態としての実施例を以下に説明する。もちろん、本発明は、その発明の趣旨に反しない範囲で、実施例において説明した以外の構成のものに対しても容易に適用可能なことは説明を要するまでもない。
【００２１】
図１はＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を用いた加速度センサーや傾斜角度センサー等の電子デバイスの電気的特性の検査を行なう電子デバイス検査装置を示す平面図である。同図に示すように、電子デバイス検査装置１には、駆動源たるサーボモータ２により、機台３に回転自在に保持された、鉛直方向の回転軸部４を軸心として回転される略円盤状のターンテーブル５、このターンテーブル５に保持された治具７に検査対象たる電子デバイス６をロード位置ａにて供給したりアンロード位置ｂから回収を行なうロボット８、後述する、３つの検査ユニット（常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２）、これら３つの検査ユニット１０，１１，１２で０度〜１８０度等の角度で傾斜させた状態であって所定の温度になされた電子デバイス６の検査結果情報の補正（補正計算）を行なうと共にそれと同時に電子デバイス６の検査結果情報を対応する電子デバイス６に書き込みを行なうデータ記録手段としてのキャリブレーション装置１３、電子デバイス６に品名・Ｌｏｔナンバーなどを印字するレーザーマーク装置等の印字装置１４、常温検査ユニット１０による電子デバイス６の常温検査後に、ターンテーブル５により搬送されてきた電子デバイスの結露を抑えるドライエアー供給室１５、第１，第２の予備加熱手段１６，１７等を備えている。なお、前記治具７はアルマイト処理がなされていることで絶縁性を有していると共に外観は平板状の矩形に形成されており、また、ターンテーブル５の外周側には、前記回転軸部４を中心として１８度間隔で前記治具７が着脱自在に保持されている。
【００２２】
本実施例におけるターンテーブル５は一定方向（図１に示す反時計回り）に回転されるように構成されており、ロボット８により、治具７の所定位置（後述する載置凹部４６）に複数の電子デバイス６の供給が行なわれるようになっており、電子デバイスが供給されるロード位置ａから電子デバイス６の回収されるアンロード位置ｂ間の略円形の搬送経路の途中には、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２がターンテーブル５の外周に沿うようにして配設されている。
【００２３】
また、２０は検査対象たる複数の電子デバイス６が予めストックされるトレイ装置であり、このトレイ装置２０のロードトレイ１８に載置された電子デバイス６は、前述したロボット８によりロードトレイ１８上に載置された電子デバイス６を、ロード位置ａに配置された治具７に供給する一方で、キャリブレーション装置１３に出力された電子デバイス６の検査結果情報が、所定の条件を満たした良品の場合には、ロボット８がターンテーブル５の回転によりアンロード位置ｂに配置された治具７から良品の電子デバイス６を選別して良品用トレイ２１へと移載する一方で、所定の検査条件を満たさない不良の電子デバイス６の場合には、ロボット８がアンロード位置ｂに配置された治具７から不良品専用トレイ２２へ移載して回収される。
【００２４】
図２は常温検査ユニットを側方から視た状態を示す側面図、図３は常温検査ユニットの要部を示す拡大側面図、図４は常温検査ユニットを上方から視た状態を示す平面図である。図２〜図４に示すように、常温検査ユニット１０は、機台３に固定されたガイドレール２３に沿って進退されるようになっていると共に、ターンテーブル５の回転により搬送されてきた治具７を挟持する挟持手段２８を備え、この挟持手段２８には、プローブ装置２４が上部に設けられると共に上下にスライド自在な支持部２５と、保持部２６等からなる挟持手段２８を備えている。挟持手段２８により水平に挟持される治具７は、支持部２５が上方にスライドすることで保持部２６の下面に構成された温度調整手段３０の下面とプローブ装置２４の上面とにより電子デバイス６の保持された治具７を挟持した状態で、電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれるようになっており、ターンテーブル５から常温検査ユニット１０へ電子デバイス６の保持された治具７が引き渡される際には、常温検査ユニット１０に最も近接したターンテーブル５の係止爪３１に係止されている治具７が挟持手段２８により挟持された後、治具７が係止爪３１から外されてターンテーブル５上から常温検査ユニット１０へと取り出され、常温検査ユニット１０がガイドレール２３により後退（図２に示す左方向）されてから、温度調整手段３０が加熱（若しくは冷却）されることにより治具７に保持された複数の電子デバイス６が常温化（本実施例では２５℃）される。
【００２５】
ここで、常温検査ユニット１０等について、図５〜図１１及び図２に基づきさらに詳述する。これらの図に示すように、常温検査ユニット１０は、機台３に固定されたガイドレール２３にフレーム４３を介して進退自在に取り付けられており、第１の軸部３６の軸心はＹ軸方向からＺ軸方向に回転移動できる一方で第２の軸部３９の軸心はＸ軸方向に保持されている。常温検査ユニット１０には、第１のモータ３５の第１の軸部３６の先端に、前述した挟持手段２８が固定されており、図５においては、挟持手段２８が鉛直方向と直交する水平なＹ軸方向を軸心として回転自在に保持されている。また、第１のモータ３５の第１の軸部３６はコ字型の保持部材３７により回動自在に保持されており、この保持部材３７は、第２のモータ３８を駆動することにより、この第２のモータ３８の第２の軸部３９に固定されたプーリ４０、及び、駆動伝達ベルト４１、被動プーリ４２を介して、第１の軸部３６と直交関係を有する第２の軸部３９のＸ軸方向を軸心として保持部材３７を回転することができる。
【００２６】
また、保持部材３７は、図５に示されているように、挟持手段２８で治具７を水平に保持した状態から、図６や図８に示すように、第１の軸部３６を９０度回転することにより、第１のモータ３５の第１の軸部３６の軸心を、Ｙ軸方向から鉛直方向のＺ軸方向に切り替えることができるようになっており、第１の軸部３６と第２の軸部３９の２軸により、相互に直交関係を有するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向を軸心として３次元的に、挟持手段２８に挟持した治具７を傾斜することが可能になっている。なお、常温検査ユニット１０について説明したが、低温検査ユニット１１及び高温検査ユニット１２についても、常温検査ユニット１０と実質的に同様の構成を備えており、前者の低温検査ユニット１１においては、常温検査ユニット１０で常温化された治具７に保持されている複数の電子デバイス６が、低温検査ユニット１１の温度調整手段３０により低温化（本実施例では−２０℃）され、後者の高温検査ユニット１２においては、低温検査ユニット１１で低温化された治具７に保持されている複数の電子デバイス６が、高温検査ユニット１２の温度調整手段３０により高温化（本実施例では８０℃）される点で前述した常温検査ユニット１０とはその機能が異なるに過ぎないことから、低温検査ユニット１１及び高温検査ユニット１２の説明は省略する。
【００２７】
次に、複数の電子デバイス６を保持する治具７について、図１２〜図１４により以下にさらに説明する。図１２は複数の電子デバイスが保持される治具を示す平面図、図１３は治具の要部を示す拡大平面図、図１４は電子デバイスを治具に保持させた状態を示す拡大平面図である。図１２に示すようにこの治具７には、治具７が位置決めされるための位置決め孔４５が一対形成されていると共に、治具７に保持される電子デバイス６の数（本実施例では２４箇所）に対応して、電子デバイス６が載置される凹状の載置凹部４６と、板バネ挿入凹部４７と、ピン挿通孔４８とからなる形成部が２４箇所形成されている。
【００２８】
図１３に示すように、板バネ挿入凹部４７の基端部側には、板バネ支点部５０が設けられており、板バネ挿入凹部４７に挿通されている板バネ５１は、板バネ支点部５０により一方が固定されている。そして、図１４に示すように、載置凹部４６の上に載置された電子デバイス６は、ピン挿通孔４８に板バネ動作ピン５２が挿入されることで板バネ５１の先端部が電子デバイス６の側部側の角部を板バネ５１の弾性力により押圧され、治具７から電子デバイス６が脱落等しないよう位置決めされ且つ強固に保持される。そして、電子デバイス６の電気的特性を検査する際には、載置凹部４６に形成された挿通孔５３から、プローブ装置２４に備えたコンタクトプローブ（導電接触子）５４が挿通され、コンタクトプローブ（導電接触子）５４が電子デバイス一方面の端子に接続されることで、治具７に保持されている電子デバイス６を、所定の温度（本実施例では、２５℃（常温）、−２０℃（低温）、８０℃（高温））であって、且つ前述したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を軸心方向として所定角度に回転させ傾斜させた状態（０度、９０度、１８０度）で電気的特性の検査が行なわれる。
【００２９】
次に、電子デバイス検査装置１における電子デバイス６の検査工程について説明する。
【００３０】
先ず、トレイ装置２０にストックされている複数の電子デバイス６を保持したロードトレイ１８から、ターンテーブル５の係止爪３１に係止されていると共にロード位置ａに有する治具７のすべての載置凹部４６に対して、ロボット８により電子デバイス６が載置され満たされると、ターンテーブル５は回転軸部４を中心として反時計回りに１８度毎に回転され、その回転の度に、ロード位置ａへ搬送された治具７の載置凹部４６には、前述した工程と同様に、順次電子デバイス６が載置され満たされてゆく。
【００３１】
ターンテーブル５の回転に伴い、電子デバイス６の載置された治具７が常温検査ユニット１０まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０の挟持手段２８により治具７が水平状態で挟持され、これに伴い、治具７の位置決め孔４５及びピン挿通孔４８に、図３に示す温度調整手段３０に一体に設けられた板バネ動作ピン５２が挿通され、さらに板バネ動作ピン５２がピン挿通孔４８に挿入され、板バネ５１の先端部は電子デバイス６の側部側の角部を弾性的に押圧し、載置凹部４６内の電子デバイス６は位置決めされ且つ強固に保持されると共に、プローブ装置２４に設けたコンタクトプローブ５４が挿通孔５３を介して各電子デバイス６の端子に接触され、治具７及び治具７に保持された電子デバイス６は水平に保持される（図５に示した状態）。
【００３２】
そして、係止爪３１から治具７が取り外され、常温検査ユニット１０はガイドレール２３により後退され、ターンテーブル５と接触しない位置まで後退されると、常温検査ユニット１０に対して、治具７を介して保持された電子デバイス６は、温度調整手段３０により加熱（或いは冷却）されることで、２５℃の常温が維持され、その状態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３方向の各々を軸心方向として、０度、９０度、１８０度の所定の各角度で傾斜された各電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれ、その各検査結果情報がプローブ装置２４を介してキャリブレーション装置１３に出力され、次に、常温検査ユニット１０はガイドレール２３に沿って前進され、ターンテーブル５上のもとの位置に治具７が戻され、再び係止爪３１に係止されターンテーブル５に保持される。
【００３３】
続いて、ターンテーブル５の回転に伴い、複数の電子デバイス６が保持された治具７が乾燥空気の満たされたドライエアー供給室１５内に搬送され、その内部で電子デバイス６の乾燥がなされ、乾燥中にある電子デバイス６の保持された治具７が低温検査ユニット１１まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０のときと同様に、低温検査ユニット１１の挟持手段２８によって治具７が挟持され、これに伴い、治具７の位置決め孔４５及びピン挿通孔４８に温度調整手段３０に一体に設けられた板バネ動作ピン５２が挿通され、さらに板バネ動作ピン５２がピン挿通孔４８に挿入され、板バネ５１の先端部は電子デバイス６の側部側の角部を弾性的に押圧し、載置凹部４６内の電子デバイス６は位置決めされ且つ強固に保持され、プローブ装置２４に設けたコンタクトプローブ５４が挿通孔５３を介して各電子デバイス６の端子に接触され、治具７及び治具７に保持された電子デバイス６が水平に保持され、係止爪３１から治具７が取り外され、低温検査ユニット１１はガイドレール２３により後退され、ターンテーブル５と接触しない位置まで後退される。そして、低温検査ユニット１１に治具７を介して保持された電子デバイス６は、温度調整手段３０により冷却されることで、−２０℃の低温が維持され、その状態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３方向の各々を軸心方向として、０度、９０度、１８０度の所定の各角度で傾斜された各電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれ、その各検査結果情報がキャリブレーション装置１３に出力され、低温検査ユニット１１はガイドレール２３に沿って前進され、ターンテーブル５上のもとの位置に治具７が戻され、再び係止爪３１に係止されターンテーブル５に保持される。
【００３４】
続いて、ターンテーブル５の回転に伴い、冷却された電子デバイス６の保持された治具７が高温検査ユニット１２まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０や低温検査ユニット１１のときと同様に、高温検査ユニット１２の挟持手段２８によって治具７が挟持され、これに伴い、治具７の位置決め孔４５及びピン挿通孔４８に、温度調整手段３０に一体に設けられた板バネ動作ピン５２が挿通され、さらに板バネ動作ピン５２がピン挿通孔４８に挿入され、板バネ５１の先端部は電子デバイス６の側部側の角部を弾性的に押圧し、載置凹部４６内の電子デバイス６は位置決めされ且つ強固に保持され、プローブ装置２４に設けたコンタクトプローブ５４が挿通孔５３を介して各電子デバイス６の端子に接触され、治具７及び治具７に保持された電子デバイス６が水平に保持され、係止爪３１から治具７が取り外され、高温検査ユニット１２はガイドレール２３により後退され、ターンテーブル５と接触しない位置まで後退される。
そして、高温検査ユニット１２に治具７を介して保持された電子デバイス６は、温度調整手段３０により加熱されることで、８０℃の高温に維持され、その状態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３方向の各々を軸心方向として、０度、９０度、１８０度の所定の各角度で傾斜された各電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれ、その各検査結果情報がキャリブレーション装置１３に出力され、高温検査ユニット１２はガイドレール２３に沿って前進され、ターンテーブル５上のもとの位置に治具７が戻され、再び係止爪３１に係止されターンテーブル５に保持される。
【００３５】
次に、常温、低温、高温の順序で検査された複数の電子デバイス６を保持した治具７は、ターンテーブル５の回転に伴いキャリブレーション装置１３まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、及び高温検査ユニット１２から出力された各電子デバイス６の各々に対応する検査結果情報に基づき、電子デバイスのそれぞれに電気的特性の書き込み及び補正計算が行なわれる。
【００３６】
続いて、常温、低温、高温の順序で検査された複数の電子デバイス６を保持した治具７は、ターンテーブル５の回転に伴い印字装置１４まで搬送されてゆき、所定の条件を満たした良品の場合には、印字装置１４により品名・Ｌｏｔナンバーなど（図示せず）が電子デバイス６の表面に付与され、この品目・Ｌｏｔナンバーなどの付与された電子デバイス６は、ロボット８によりロード位置ａ近傍に配置されているアンロード位置ｂから良品用トレイ２１へと回収される。その一方で、所定の条件を満たさない不良品の場合には、ロボット８によりアンロード位置ｂから不良品専用トレイ２２へ不良品の電子デバイス６が回収される。そして、こうした動作工程が順次繰り返し行なわれることで、電子デバイス６の検査が多数連続して行われる。
【００３７】
以上のように、本発明の電子デバイス検査装置１の一例によれば、駆動源としての回転駆動手段たるサーボモータ２により一定方向に回転されるターンテーブル５に保持された治具７の載置凹部４６に、ロボット８により検査対象たる複数の電子デバイス６をロード（供給）し、ターンテーブル５に保持された治具７にロードされた電子デバイス６を、ターンテーブル５の回転によりアンロード位置ｂまで回転させる迄の工程間に、常温で電子デバイス６を検査する常温検査ユニット１０と、低温で電子デバイス６を検査する常温検査ユニット１１と、高温で電子デバイス６を検査する高温検査ユニット１２とを備え、これら常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２により、電子デバイス６の検査を行ない、電子デバイス６をターンテーブル５に保持された治具７からアンロード（回収）するより前に、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２により検査された電子デバイス６の各々の検査結果情報を、ターンテーブル５によりアンロード位置側に回転されてきた電子デバイス６の各々に対し、キャリブレーション装置１３により書き込みを行なうようにしたものである。これにより、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２により、常温、低温、高温状態であって所定の傾斜状態等における電子デバイス６の電気的特性の検査を行なった後、キャリブレーション装置１３により、その検査結果情報が各電子デバイス６に書き込む一連の検査工程を、ターンテーブル５を順次回転させ、電子デバイス６の電気的特性の検査を継続的に繰り返し行なうことが可能となるから、ひいては電子デバイス６の量産性を向上することができる。しかも、ターンテーブル５を用いて電子デバイス６を回転移動させることで、常温、低温、及び高温の各温度検査を終えた後に電子デバイス６を回収するアンロード位置ｂを、ロード位置ａ近傍に配置することが可能なことから、図１に示すように、ロード位置ａにアンロード位置ｂを近づけることで、電子デバイス６の供給・回収作業を効率的に行なうことができる、ひいてはその生産効率を向上させ製品コストを安価に抑えることができる。
【００３８】
さらに、ターンテーブル５の回転方向に、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２の順序でこれらを配設し、治具７に着脱自在に保持された電子デバイス６の検査を、常温、低温、高温の工程順で行うことから、常温検査ユニット１０で２５℃の常温検査を行なった後、常温の電子デバイス６を低温検査ユニット１１で冷却して−２０℃の低温検査を行い、低温の電子デバイス６を高温検査ユニット１２で８０℃の高温に加熱してから高温検査を行なうので、−３０℃等に低温化された状態から温度変化に伴って電子デバイス６の表面に結露が付着することがないよう、電子デバイス６を８０℃等の高温に可及的に速やかに加熱して結露の付着を確実に抑えることができる。よって、結露に伴う検査の誤作動や電子デバイスの故障を確実に防止することができる。
【００３９】
また、電子デバイス６の検査方法によれば、電子デバイス検査装置１に備えた一定方向に回転されるターンテーブル５に着脱自在に保持された治具７に、ロード位置ａにて検査対象たる複数の電子デバイス６をロードし、ロードされた電子デバイス６を保持している治具７をターンテーブル５の回転によりアンロード位置ｂまで回転させて、治具７に保持された電子デバイス６をアンロード位置ｂから回収する迄の工程間に、常温、低温、高温の順序で電子デバイス６の検査を行い、これら常温、低温、高温で電子デバイス６の検査が終了した後に、キャリブレーション装置１３により、電子デバイス６の各々に対応するその検査結果情報を電子デバイス６の各々に書き込み、検査結果情報が書き込まれた良品の電子デバイス６については、ロボット８によりロード位置ａ近くのアンロード位置ｂから良品用トレイ２１へ、不良品についてアンロード位置ｂからは不良品専用トレイ２２へ回収させる。よって、治具７に保持された複数の電子デバイス６の検査を、ターンテーブル５を回転させてゆくことで継続的に繰り返し行なうことができると共に、良品の電子デバイス６に不良品が混在しないよう良品用トレイ２１と不良品専用トレイ２２へ分別して回収させることができ、その作業を効率的に行なうことが可能になる。
【００４０】
以上、本発明の一例を詳述したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば本実施例では、図１に示すように、第１，第２の予備加熱手段１６，１７を備えていることから、常温検査ユニット１０や高温検査ユニット１２へ電子デバイス６が治具７と共に回転搬送されてゆく途中の前段階で、電子デバイス６を予め加熱するようにしてもよい。また、本実施例では、高温を８０℃、常温を２５℃、低温を−２０℃としたが、高温を７０℃以上９０℃以下、常温を１５℃以上３５℃以下、低温を−３０以上−１０℃以下にするなど適宜選定実施してもよく、また、高温、常温、低温の温度が規格化された際には、その規格に対応した常温、低温、高温に温度設定できるようにしてもよい。また、本実施例における温度調整手段３０により加熱や冷却を行う際には、ペルチェ素子を冷却源・加熱源としてもよいし、また、加熱源のみあれば足りる場合には、セラミックヒータを具備した加熱プレート等を高温検査ユニット１２の温度調整手段として適宜選定してもよい。また、本実施例における検査ユニットの第１の軸部３６は、第２の軸部３９を回転させることにより、軸心方向をＸ軸方向やＹ軸方向だけではなく任意の角度に回転させることができるので、第１の軸部３６と第２の軸部３９とからなる２軸を用いて、挟持手段２８に保持した電子デバイス６を向けない方向はないよう自由に傾斜することができる。よって、所望する任意の方向に電子デバイス６を自由に傾斜させた状態で検査を行なうことができる。
【符号の説明】
【００４１】
１  電子デバイス検査装置。
２  サーボモータ（回転駆動手段）
５  ターンテーブル
６  電子デバイス
７  治具
１０  常温検査ユニット
１１  低温検査ユニット
１２  高温検査ユニット
１３  データ記録手段（キャリブレーション装置）
ａ  ロード位置
ｂ  アンロード位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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