(57)【要約】【課題】基板処理を効率的に行い、スループットを向上する。【解決手段】一対の回転軸２，３と、前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材４と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材５と、基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられ、前記被処理基板の左右両縁部がそれぞれ載置される一対の第一無端駆動部材６，７と、前記一対の第一無端駆動部材間に並列して架設され、前記被処理基板の中央部を支持する複数の線状部材８と、前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部１４と、基板搬送路に設けられ、複数の基板支持部材２６により前記被処理基板を所定位置に支持する基板受け渡し機構２０とを備える。【選択図】図１
2010212268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板を平流し搬送する基板搬送装置であって、
水平方向に軸支され、且つ平行に配置された一対の回転軸と、
前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材と、
基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられ、前記被処理基板の左右両縁部がそれぞれ載置される一対の第一無端駆動部材と、
前記一対の第一無端駆動部材間に並列して架設され、前記被処理基板の中央部を支持する複数の線状部材と、
前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部と、
基板搬送路の前端部に設けられ、複数の基板支持部材により前記被処理基板を所定位置に支持し、前記被処理基板を前記第一無端駆動部材上に受け渡す基板受け渡し機構とを備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
被処理基板を平流し搬送する基板搬送装置であって、
水平方向に軸支され、且つ平行に配置された一対の回転軸と、
前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材と、
基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられ、前記被処理基板の左右両縁部がそれぞれ載置される一対の第一無端駆動部材と、
前記一対の第一無端駆動部材間に並列して架設され、前記被処理基板の中央部を支持する複数の線状部材と、
前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部と、
基板搬送路の後端部に設けられ、前記第一無端駆動部材に載置されている前記被処理基板を受け取り、複数の基板支持部材により前記被処理基板を所定位置に支持する基板受け渡し機構とを備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
前記基板受け渡し機構は、
基板搬送方向下流側の前記一の回転軸において、前記一対の第一滑車部材間に設けられた複数の第三滑車部材と、前記第三滑車部材よりも基板搬送方向上流側において、前記一の回転軸と平行な軸周りに回転自在に設けられた複数の第四滑車部材と、
基板搬送方向に相対向する前記第三滑車部材と前記第四滑車部材との間にそれぞれ掛け回され、周回軌道に沿って移動自在に設けられた複数の第二無端駆動部材と、
前記複数の第二無端駆動部材上に基板搬送方向に沿って設けられた複数の前記基板支持部材とを備え、
前記被処理基板を支持する基板支持部材の先端は、前記第一無端駆動部材の基板載置面よりも突出していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された基板搬送装置。
【請求項４】
前記第三滑車部材及び第四滑車部材は共に、前記第一滑車部材及び第二滑車部材よりも小径であることを特徴とする請求項３に記載された基板搬送装置。
【請求項５】
前記一対の無端駆動部材の表面には、載置される被処理基板の後端角部を支持するガイド部材が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載された基板搬送装置。
【請求項６】
前記被処理基板を支持する基板支持部材の先端は、当接する基板面に対し回転自在な回転体であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された基板搬送装置。
【請求項７】
前記回転体は球体であることを特徴とする請求項６に記載された基板搬送装置。
【請求項８】
前記基板支持部材は、前記第二無端駆動部材の表面に、その周回移動方向に対し直交方向に立設された棒体であって、前記棒体の先端に前記回転体が設けられていることを特徴とする請求項６または請求項７に記載された基板搬送装置。
【請求項９】
前記基板受け渡し機構は、
前記基板支持部材により支持された被処理基板の先端部に当接する基板受け部材を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載された基板搬送装置。
【請求項１０】
基板搬送方向に沿って複数設けられ、前記被処理基板が載置される前記一対の第一無端駆動部材の裏側を支持する回転自在な支持滑車を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載された基板搬送装置。
【請求項１１】
前記支持滑車を他の支持滑車より高い位置に配置し、前記第一無端駆動部材の移動経路を山なりに形成し、前記基板受け渡し機構に対して被処理基板を受け渡すことを特徴とする請求項１０に記載された基板搬送装置。
【請求項１２】
隣り合う前記支持滑車の間に配置され、前記第一無端駆動部材の周回軌道を変換する変換滑車を備え、
前記変換滑車により、前記隣り合う支持滑車の間に前記第一無端駆動部材が下方に凹状に屈曲する区間が形成されることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載された基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板を平流し方式で水平方向に搬送する基板搬送装置に関し、特に被処理基板としてＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）等に用いる被処理基板を搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＰＤ製造におけるレジスト塗布現像処理システムでは、ＦＰＤ用基板（たとえばガラス基板）の大型化に有利に対応できる現像方式として、コロを水平方向に敷設した搬送路上で基板を搬送しながら現像、リンス、乾燥等の一連の現像処理工程を行うようにした、いわゆる平流し方式が普及している。このような平流し方式は、基板を回転運動させるスピンナ方式と較べて、大型基板の取扱いが簡単であり、ミストの発生ないし基板への再付着が少ない等の利点がある。
【０００３】
前記平流しの搬送方式においては、従来、例えば図９の平面図に示すように丸棒状の搬送コロ２０１を搬送方向に一定間隔で敷設してなる。各コロ２０１は、それぞれ一定の太さ（径）を有する剛体（例えばＳＵＳ製）のシャフトを有している。各コロ２０１の両端は、フレーム２０３に固定された左右一対の軸受２０４に水平姿勢で回転可能に支持されている。
各コロ２０１をそれぞれ駆動するための搬送駆動部は、駆動源の電気モータ２０２と、この電気モータ２０２の回転駆動力を各コロ２０１に伝えるための伝動機構とを有する。この伝動機構は、電気モータ２０２の回転軸に無端ベルト２０５を介して接続された搬送方向に延びる回転駆動シャフト２０６と、各コロ２０１とを作動結合する交差軸型のギア２０７とで構成されている。
【０００４】
この構成において、電気モータ２０２が駆動すると、前記伝動機構により各コロ２０１が一方向に回転し、コロ２０１上の基板Ｇが搬送されるようになされている。
しかしながら、そのように複数の搬送コロ２０１を敷設した構成の場合、搬送される基板Ｇの下面が複数の搬送コロ２０１によって隠れるため、基板Ｇを搬送しながら、その下面に対し所定の処理（例えば洗浄、熱処理等）を施すことができず、処理効率が低下するという課題があった。また、使用する搬送コロ２０１の本数が多いために、コストが嵩むという課題があった。
【０００５】
前記課題を解決するものとして、本願出願人が特許文献１に開示した加熱モジュールの基板搬送構造がある。図１０に、特許文献１に開示された加熱モジュールの構成を斜視図により示す。図１０に示す加熱モジュール２５０においては、被処理基板であるウエハＷを平流し搬送するための搬送路部２５１を備える。
【０００６】
前記搬送路部２５１は、水平軸周りに回動し、回動軸が互いに平行となるように前後に配置された一対のプーリ２５２、２５３を有し、これら相対向するプーリ２５２、２５３の間には、一対のタイミングベルト２５４、２５５が掛け回されている。前記一対のタイミングベルト２５４、２５５の間には、多数のワイヤ２５６が並列に設けられている。
前記プーリ２５２は、モータ２５７により回転駆動され、それに掛け回されたタイミングベルト２５４、２５５が周回軌道に沿って移動し、ワイヤ２５６上に載置されたウエハＷが搬送される構成となされている。
【０００７】
この加熱モジュール２５０にあっては、平流し搬送しながら加熱処理を行うモジュールであるため、搬送路部２５１における搬送経路に沿って、ウエハＷを冷却する第一の冷却プレート２５８、ウエハＷを加熱する熱板２５９、熱板２５９によって加熱されたウエハＷを冷却する第二の冷却プレート２６０が順に設けられている。
したがって、被処理基板でありウエハＷを搬送しながら、その下面に対しても熱処理を施すことができ、ウエハＷに対する処理を効率的に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２７７５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に開示された加熱モジュール２５０の搬送路部２５１にあっては、基板処理後の被処理基板を基板搬送アーム（図示せず）に受け渡す際に、タイミングベルト２５４、２５５の駆動を一旦停止する必要があり、効率が悪かった。
即ち、被処理基板の搬入出のために搬送路部２５１の搬送駆動を停止すると、搬送路上にある他の被処理基板に対する処理に影響が生じるため、加熱モジュール２５０に連続的に被処理基板を投入することができず、スループット向上が望めないという課題があった。
【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、被処理基板に所定の処理を施すために被処理基板を平流し搬送する基板搬送装置において、基板処理を効率的に行い、スループットを向上することのできる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記した課題を解決するために、本発明に係る基板搬送装置は、被処理基板を平流し搬送する基板搬送装置であって、水平方向に軸支され、且つ平行に配置された一対の回転軸と、前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材と、基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられ、前記被処理基板の左右両縁部がそれぞれ載置される一対の第一無端駆動部材と、前記一対の第一無端駆動部材間に並列して架設され、前記被処理基板の中央部を支持する複数の線状部材と、前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部と、基板搬送路の前端部に設けられ、複数の基板支持部材により前記被処理基板を所定位置に支持し、前記被処理基板を前記第一無端駆動部材上に受け渡す基板受け渡し機構とを備えることに特徴を有する。
【００１２】
また、前記した課題を解決するために、本発明に係る基板搬送装置は、被処理基板を平流し搬送する基板搬送装置であって、水平方向に軸支され、且つ平行に配置された一対の回転軸と、前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材と、基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられ、前記被処理基板の左右両縁部がそれぞれ載置される一対の第一無端駆動部材と、前記一対の第一無端駆動部材間に並列して架設され、前記被処理基板の中央部を支持する複数の線状部材と、前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部と、基板搬送路の後端部に設けられ、前記第一無端駆動部材に載置されている前記被処理基板を受け取り、複数の基板支持部材により前記被処理基板を所定位置に支持する基板受け渡し機構とを備えることに特徴を有する。
尚、前記基板受け渡し機構は、基板搬送方向下流側の前記一の回転軸において、前記一対の第一滑車部材間に設けられた複数の第三滑車部材と、前記第三滑車部材よりも基板搬送方向上流側において、前記一の回転軸と平行な軸周りに回転自在に設けられた複数の第四滑車部材と、基板搬送方向に相対向する前記第三滑車部材と前記第四滑車部材との間にそれぞれ掛け回され、周回軌道に沿って移動自在に設けられた複数の第二無端駆動部材と、前記複数の第二無端駆動部材上に基板搬送方向に沿って設けられた複数の前記基板支持部材とを備え、前記被処理基板を支持する基板支持部材の先端は、前記第一無端駆動部材の基板載置面よりも突出していることが望ましい。
【００１３】
このように構成することにより、基板搬送路の前端部においては、第一無端駆動部材の周回移動を継続した状態で、基板受け渡し機構上の所定位置に基板を保持し、所定のタイミングで基板を一対の第一無端駆動部材上に受け渡すことができる。
また、基板搬送路の後端部においては、一対の第一無端駆動部材によって搬送されてきた被処理基板を基板支持部材により上方に持ち上げ、前記基板支持部材上で支持し、第一無端駆動部材の周回移動を継続した状態で、基板受け渡し機構上の所定位置において基板を保持することができる。
したがって、この基板搬送装置において、基板搬送を停止することなく被処理基板の受け渡しが可能となり、基板搬送装置における他の基板処理に影響を与えないため、スループットを向上することができる。
【００１４】
また、前記第三滑車部材及び第四滑車部材は共に、前記第一滑車部材及び第二滑車部材よりも小径であることが望ましい。
このように構成することにより、前記第三滑車部材と第四滑車部材とに掛け回された第二無端駆動部材が前記線状部材に干渉することを防止することができる。
【００１５】
また、前記一対の無端駆動部材の表面には、載置される被処理基板の後端角部を支持するガイド部材が設けられていることが望ましい。
このように構成することにより、被処理基板が基板支持部材によって上方に持ち上げられる際に、ガイド部材が基板後端部を支持し、被処理基板が後方に滑らないようにして、確実に基板を基板受け渡し機構上に移動させることができる。
【００１６】
また、前記被処理基板を支持する基板支持部材の先端は、当接する基板面に対し回転自在な回転体であることが望ましく、前記回転体は球体であることが望ましい。
また、前記基板支持部材は、前記第二無端駆動部材の表面に、その周回移動方向に対し直交方向に立設された棒体であって、前記棒体の先端に前記回転体が設けられていることが望ましい。
また、前記基板受け渡し機構は、前記基板支持部材により支持された被処理基板の先端部に当接する基板受け部材を備えることが望ましい。
このように構成することにより、第一無端駆動部材の周回移動を継続しつつ、また、被処理基板を、その振動を抑制しながら基板受け渡し機構上の所定位置において保持することができる。
【００１７】
また、基板搬送方向に沿って複数設けられ、前記被処理基板が載置される前記一対の第一無端駆動部材の裏側を支持する回転自在な支持滑車を備えることが望ましい。
このように構成することにより、被処理基板が載置される第一無端部材の撓みを防止することができる。
【００１８】
また、前記支持滑車を他の支持滑車より高い位置に配置し、前記第一無端駆動部材の移動経路を山なりに形成し、前記基板受け渡し機構に対して被処理基板を受け渡すことが望ましい。
このように構成することにより、第一無端駆動部材から基板受け渡し機構への上り傾斜状の搬送路を滑らかに形成することができ、第一無端駆動部材に載置されていた基板を、基板受け渡し機構上に移動し易くすることができる。
【００１９】
また、隣り合う前記支持滑車の間に配置され、前記第一無端駆動部材の周回軌道を変換する変換滑車を備え、前記変換滑車により、前記隣り合う支持滑車の間に前記第一無端駆動部材が下方に凹状に屈曲する区間が形成されることが望ましい。
このように構成することにより、搬送される被処理基板の上下方向に基板処理に必要なスペースを確保することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、被処理基板に所定の処理を施すために被処理基板を平流し搬送する基板搬送装置において、基板処理を効率的に行い、スループットを向上することのできる基板搬送装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明に係る基板搬送装置の全体構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】図３は、図１のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図４】図４は、本発明の基板搬送装置において搬送される基板の上下のスペース領域を模式的に示す図である。
【図５】図５は、本発明の基板搬送装置を基板洗浄装置に適用する場合において、タイミングベルトの迂回路を形成した状態を示す図である。
【図６】図６は、本発明の基板搬送装置が有する基板受け渡し機構の平面図である。
【図７】図７は、本発明の基板搬送装置が有する基板受け渡し機構の側面図である。
【図８】図８は、本発明の基板搬送装置が有する基板受け渡し機構において、基板を支持する基板支持部材の取り付け構成を示す斜視図である。
【図９】図９は、従来のコロ搬送装置を説明するための図である。
【図１０】図１０は、タイミングベルトとワイヤを用いた従来の搬送装置を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の基板搬送装置にかかる実施の形態につき、図に基づいて説明する。本発明の基板搬送装置は、たとえばＦＰＤ用のガラス基板を被処理基板（以下、基板と呼ぶ）とし、ＦＰＤ製造プロセスにおいてフォトリソグラフィ工程の中の洗浄、レジスト塗布、プリベーク、現像およびポストベーク等の各処理を行う塗布現像処理システムの一部構成に適用することができる。即ち、塗布現像処理システムにおいて、従来、平流し搬送を例えばコロ搬送により行っていた基板搬送装置に適用することができる。
【００２３】
以下、図を参照して本発明の実施形態を説明する。図１の斜視図に、この実施形態における基板搬送装置１の全体構成を模式的に示す。また、図２に図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３に図１のＢ−Ｂ矢視断面図を示す。
基板搬送装置１は、基板搬送方向（Ｘ軸方向）に直交するＹ軸方向に沿って平行に対配置された２本の回転軸２，３を備え、これら回転軸２、３は、この基板搬送装置１の前端及び後端位置において、それぞれ軸受１０、１１に軸支されている。
各回転軸２，３には基板Ｇの幅程の間隔を空けて一対のタイミングプーリ４，５（第一滑車部材、第二滑車部材）がそれぞれ軸周りに回動自在に設けられている。
【００２４】
図１に示すように２本の回転軸２，３の間で基板搬送方向（Ｘ軸方向）に相対向するタイミングプーリ４、５間には、タイミングベルト６、７（第一無端駆動部材）が掛け回されている。即ち、基板搬送路の左右両側において、タイミングベルト６，７は、タイミングプーリ４，５の回転によって周回軌道に沿って移動するように設けられている。尚、タイミングプーリ４，５の回転方向は、タイミングベルト６，７の上面部が基板搬送方向に移動する方向となされている。
また、基板搬送方向に沿って平行に設けられた前記一対のタイミングベルト６，７間には、線状部材である多数のロッド部材８がＹ軸方向に並列に架設されている。尚、このロッド部材８は、弾性を有する部材、例えばカーボンファイバーにより形成され、その直径は例えば１０ｍｍとなされている。
基板Ｇは、搬送方向に移動する前記タイミングベルト６，７及びロッド部材８上で搬送されるが、タイミングベルト６、７上に基板Ｇの左右両側縁部が載置され、基板Ｇの中央部は前記ロッド部材８によって支持されるようになされている。
【００２５】
また、タイミングプーリ４，５の間に張架されたタイミングベルト６，７（基板Ｇを支持する部分の裏側）には、図１に示すように複数のアイドラプーリ１２（支持滑車）が回転自在に設けられ、下方に撓むことのないようになされている。
また、一方の回転軸３は駆動軸となるため、図２、図３に示すようにカップリング１３を介して駆動部であるモータ１４が連結されている。即ち、モータ１４により回転軸３が回転駆動され、タイミングプーリ５が回転することによってタイミングベルト６，７が一方向に周回移動するようになされている。
【００２６】
また、この基板搬送装置１にあっては、タイミングベルト上に基板Ｇの側縁部が載置されると共に、基板Ｇの中央部はロッド部材８により支持されるため、従来のコロ部材のように多数敷設する必要がなく、ロッド部材８間に所定の間隔を空けて配置することができる。その結果、図４に示すように搬送される基板Ｇの上下方向に基板処理に必要なスペースＳを確保することができる。
例えば、この基板搬送装置１を基板洗浄装置に適用する場合、図５に示すように基板Ｇが載置されるタイミングベルト６（７）の裏側を支持するアイドラプーリ１５ａ（支持滑車）の間に、タイミングベルト６（７）の周回軌道を変換するアイドラプーリ１５ｂ（変換滑車）が配置される。このアイドラプーリ１５ｂによりタイミングベルト６（７）が下方に凹状に屈曲する迂回路（区間）が形成され、基板洗浄のためのクリーニングローラ１６を基板上下に対配置した構造とすることができる。
したがって、基板Ｇを安定して搬送しながら、その上下面に対し効率的にクリーニングローラ１６によるクリーニング処理を施すことができる。
【００２７】
また、本発明に係る基板搬送装置１にあっては、前記のように基板Ｇに対し所定の処理（熱処理、洗浄処理等）を行った後に、基板Ｇを搬送アーム（図示せず）に受け渡すための機構を有する。具体的には、図１に示すように、この基板搬送装置１の後端部（基板搬送路の後端部）において、タイミングベルト６，７の間に配置された基板受け渡し機構２０を備える。この基板受け渡し機構２０について、さらに図６の平面図、及び図７の側面図を用いて説明する。
【００２８】
基板受け渡し機構２０は、回転軸３において前記一対のタイミングプーリ５の間に設けられ、タイミングプーリ５の回転と同期して軸周りに回転する複数（図では３つ）のタイミングプーリ２１（第三滑車部材）を備える。さらに、タイミングプーリ２１よりも上流側において基板搬送方向に沿って各タイミングプーリ２１と相対向して設けられ、回転軸３と平行な回転軸２４によって回転自在に設けられた複数のタイミングプーリ２２（第四滑車部材）を備える。前記回転軸２４は、軸受２３に軸支されている。
【００２９】
前記対配置されたタイミングプーリ２１、２２間には、それぞれタイミングベルト２５（第二無端駆動部材）が掛け回され、タイミングプーリ２１、２２の回転によって、周回軌道に沿って移動するようになされている。
ここで、回転軸３に設けられたタイミングプーリ２１の回転駆動は、モータ１４の駆動によってなされるため、基板Ｇが載置されるタイミングベルト６，７の周回移動と共に、タイミングベルト２５も同期して周回移動するようになされている。
尚、タイミングプーリ２１、２２は、タイミングプーリ４，５よりも小径であり、それに掛け回されたタイミングベルト２５がロッド部材８に干渉しないようになされている。
【００３０】
また、前記複数のタイミングベルト２５の表面には、図示するようにベルト表面に対し（即ち周回移動方向に対し）直交方向に延びる棒状の基板支持部材２６が、基板搬送方向に沿って所定間隔毎に立設されている。
これら複数の基板支持部材２６は、図７に示すように、その先端の回転部材２７（回転体）上で基板Ｇを支持するものであり、前記回転部材２７は、タイミングベルト６、７における基板搬送高さよりも突出し、所定高さ寸法ｈ高くなるように設けられている。
前記回転部材２７は、具体的には基板支持部材２６の棒体２６ａの先端に回転自在に設けられたボールベアリング（球体）からなる。
【００３１】
タイミングベルト２５に対し基板支持部材２６を取り付ける構造としては、例えば図８（ａ）に示すように、先端に回転体２７が設けられた棒体２６ａを、タイミングベルト２５に一体形成されたボス２８に（例えばエンザートを介して）ねじ込むことにより固定し、設けることができる。
あるいは、図８（ｂ）に示すように、棒体２６ａのねじ切りされた先端２６ｂを、タイミングベルト２５を貫通させて、タイミングベルト２５の裏側からナット２９により固定してもよい。
またあるいは、図８（ｃ）に示すようにタイミングベルト２５（図では正面からの断面）を一対の板部材３０、３１により上下から挟み込み、螺子３２により固定してもよい。この場合、ベルト表側の板部材３０上に棒体２６ａが一体形成されていることが望ましい。
【００３２】
このようにタイミングベルト２５に対し、基板支持部材２６は搬送方向に沿って所定間隔毎に設けられており、タイミングベルト２５の周回移動と共に（ベルトに対し）直立した状態で移動するようになされている。尚、タイミングベルト６，７間に架設されたロッド部材８と、タイミングベルト２５上の基板支持部材２６とは、それぞれが干渉しないよう配置されている。
このように構成されることにより、基板支持部材２６の先端の回転体２７もまた周回軌道に沿って移動し、図７に示すように、タイミングベルト６，７から基板受け渡し機構２０に基板Ｇが受け渡される区間においては、前記基板支持部材２６（先端の回転体２７）によって上りエスカレータのようにタイミングベルト６，７の高さから徐々に上昇軌道となる基板搬送路が形成される。
【００３３】
したがって、タイミングベルト６，７によって搬送されてきた基板Ｇは、基板受け渡し機構２０に差し掛かると、基板支持部材２６によって、基板先端から徐々に上方に持ち上げられ、最終的には図７に示すように基板全体が複数の基板支持部材２６の先端の回転体２７によって支持される。
【００３４】
尚、タイミングベルト６，７の表面には、凸状に形成され、その側面で基板Ｇの後端角部を支持するガイド部３５（ガイド部材）が設けられている。このため、基板Ｇが基板支持部材２６によって上方に持ち上げられる際に、ガイド部３５が基板後端部を支持し、基板Ｇが後方に滑らないようにして、確実に基板Ｇを基板受け渡し機構２０上に移動させることができる。
また、前記したようにタイミングベルト６，７の裏側に設けられたアイドラプーリ１２のうち、図７に示すようにタイミングベルト６，７から基板受け渡し機構２０に基板Ｇが受け渡される区間に設けられたアイドラプーリ１２ａは、他より高い位置に配置されている。この配置によりアイドラプーリ１２ａに掛かったタイミングベルト６，７は山なりとなって、上りエスカレータ状の搬送路がより滑らかに形成され、タイミングベルト６，７に載置されていた基板Ｇを、基板受け渡し機構２０上に移動し易くすることができる。
【００３５】
また、図７に示すように基板受け渡し機構２０の下流側端部において、基板支持部材２６によって支持された基板Ｇの先端部に当接し、基板Ｇの移動を停止するためのストッパ部材３６（基板受け部材）が設けられている。このストッパ部材３６は例えばチャンバ内壁３７等に設けられている。
前記したように、基板支持部材２６の先端はボールベアリング構造の回転体２７であるため、基板Ｇの移動がストッパ部材３６によって停止されても、基板支持部材２６は基板Ｇの下面を周回軌道に沿って滑らかに移動する。また、基板Ｇの振動も抑制される。
したがって、タイミングベルト６，７の周回移動を停止することなく、所定の基板処理が完了した基板Ｇは基板受け渡し機構２０の所定位置に保持され、この状態で搬送アーム（図示せず）に基板Ｇが受け渡される。
【００３６】
以上のように、本発明に係る実施の形態によれば、タイミングベルト６，７によって搬送されてきた基板Ｇを基板受け渡し機構２０により受け取り、基板支持部材２６の回転体２７上で支持することにより、タイミングベルト６，７の周回移動を継続した状態で、基板受け渡し機構２０上の所定位置において基板Ｇを保持することができる。
したがって、基板搬送装置１において、基板搬送を停止することなく搬送アームへの基板Ｇの受け渡しが可能となり、基板搬送装置１における他の基板処理に影響を与えないため、スループットを向上することができる。
【００３７】
尚、前記実施の形態においては、基板支持部材２６の先端に設けられる回転体として、ボール部材を例に説明したが、それに限定されず、滑車形状の回転体でもよい。
また、基板支持部材２６は棒体の形状に限定されるものではなく、基板Ｇに当接する回転体を回転自在に保持することができれば、他の形状であってもよい。
また、線状部材として、例えばカーボンファイバーからなるロッド部材８を示したが、本発明の基板搬送装置にあっては、それに限定されず、線状部材として弾性を有するワイヤ部材（ＳＵＳ等により形成）を用いてもよい。
また、無端駆動部材としてタイミングベルト６，７、２１を用いたが、それに限定されず、無端駆動部材としてチェーンを用いてもよい。
【００３８】
また、前記実施の形態においては、基板受け渡し機構を基板搬送装置１（基板搬送路）の後端部に設け、基板Ｇに対し所定の処理（熱処理、洗浄処理等）を行った後に、基板Ｇを搬送アーム（図示せず）に受け渡すものとした。
しかしながら、本発明に係る基板搬送装置においては、その構成に限定されず、基板受け渡し機構を基板搬送装置１（基板搬送路）の前端部に設け、搬送アーム（図示せず）から基板Ｇを受け取って所定位置に支持し、所定のタイミングでタイミングベルト６，７上に受け渡すように構成してもよい。その場合、基板支持部材２６によって支持された基板Ｇの先端部に当接し、基板Ｇの移動を停止するためのストッパ部材３６（基板受け部材）を基板先端に対して進退移動させ、基板Ｇの移動を制御することが望ましい。
また、この基板受け渡し機構は、基板搬送装置１（基板搬送路）の前端部と後端部のいずれか一方、或いは、その両方に設けられる構成であってもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１          基板搬送装置
２          回転軸
３          回転軸
４          タイミングプーリ（第一滑車部材）
５          タイミングプーリ（第二滑車部材）
６          タイミングベルト（第一無端駆動部材）
７          タイミングベルト（第一無端駆動部材）
８          ロッド部材（線状部材）
９          ガイド部材
１２        アイドラプーリ（支持滑車）
１２ａ      アイドラプーリ（支持滑車）
１３        カップリング
１４        モータ（駆動部）
１５ａ      アイドラプーリ（支持滑車）
１５ｂ      アイドラプーリ（変換滑車）
１６        クリーニングローラ
２０        基板受け渡し機構
２１        タイミングプーリ（第三滑車部材）
２２        タイミングプーリ（第四滑車部材）
２５        タイミングベルト（第二無端駆動部材）
２６        基板支持部材
２７        回転部材（回転体）
３６        ストッパ部材（基板受け部材）
Ｇ          ガラス基板（被処理基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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