(57)【要約】【課題】ワークが大きいときにも位置精度良く液滴を吐出できる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】ノズル２３から液滴２８を基板７に吐出する液滴吐出装置１にかかわる。基板７をＹ方向に移動する第１ステージ５と、ノズル２３をＹ方向に移動する第２ステージ１０と、を有し、第１ステージ５と第２ステージ１０とを移動して液滴２８を吐出する。そして、Ｙ方向において第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を制御する制御部を有する。【選択図】図８
2010094614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記ワークを第１方向に移動する第１ステージと、
前記ノズルを前記第１方向に移動する第２ステージと、を有し、
前記第１ステージと前記第２ステージとを移動して前記液状体を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を制御する制御部を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１ステージが移動するときのヨーイング変化と前記第２ステージが移動するときのヨーイング変化とが同じ方向に変化するように前記第１ステージと前記第２ステージとの少なくとも一方のステージが調整されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項２に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１方向及び前記液状体を吐出する方向と直交する方向を第２方向とするとき、
前記第１ステージが移動するときに前記第１ステージが前記第２方向に蛇行する蛇行パターンと前記第２ステージが移動するときに前記第２ステージが前記第２方向に蛇行する蛇行パターンとが同じ方向に変化するように前記第１ステージと前記第２ステージとの少なくとも一方のステージの蛇行パターンが調整されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項３に記載の液滴吐出装置であって、
前記制御部は前記第１ステージと前記第２ステージとを同じ速さで逆方向に駆動し、前記液状体を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１方向において前記第１ステージと前記第２ステージとのうち少なくとも一方の位置を検出する検出部を備え、前記第１ステージと前記第２ステージとのうち少なくとも一方の位置情報を用いて前記液状体を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１方向において前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を検出する検出部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項５に記載の液滴吐出装置であって、
前記ノズルを前記第１方向と交差する第３方向に移動する第３ステージを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置にかかわり、特に、ワークを移動する構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。この液滴吐出装置の構造が特許文献１に開示されている。それによると、液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるＸ軸テーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に移動するＹ軸テーブルとを備えている。Ｙ軸テーブルには機能液吐出ヘッドを配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。以下、機能液吐出ヘッドを液滴吐出ヘッドと称し、テーブルをステージと称す。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−７６０６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワークを移動させるステージは移動距離が長くなるにつれて真直度及びヨーイングの変化量が大きくなる。そして、真直度及びヨーイングの変化量を小さくなるように調整することが困難になる。従って、ワークの寸法が大きいときには、液滴を吐出する場所の位置精度が悪くなる可能性があった。そして、ワークが大きいときにも位置精度良く液滴を吐出できる液滴吐出装置が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、ノズルから液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ワークを第１方向に移動する第１ステージと、前記ノズルを前記第１方向に移動する第２ステージと、を有し、前記第１ステージと前記第２ステージとを移動して前記液状体を吐出することを特徴とする。
【０００７】
この液滴吐出装置によれば、第１ステージ及び第２ステージを第１方向に移動して液状体を吐出している。吐出可能な範囲の第１方向の長さは第１ステージが移動可能な長さと第２ステージが移動可能な長さとを加算した長さとなる。従って、第１ステージ及び第２ステージの各ステージが移動可能な長さは吐出範囲の長さより短くすることができる。
【０００８】
ステージは移動距離が長い程ヨーイング変化量を小さくなるように調整することが困難になる。そして、ステージは移動距離を短くすることによりヨーイング変化量を小さくできる。従って、移動距離の長いステージを１つ用いる場合に比べて、移動距離の短いステージを複数組み合わせた方がヨーイング変化量を小さくすることができる。その結果、ステージのヨーイング変化量を小さくすることにより液状体を吐出する位置精度を高くすることができる。
【０００９】
［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を制御する制御部を有することを特徴とする。
【００１０】
この液滴吐出装置によれば、第１ステージと第２ステージとの相対位置を制御している。従って、第１方向においてワークとノズルとの相対位置を制御することができる。
【００１１】
［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第１ステージが移動するときのヨーイング変化と前記第２ステージが移動するときのヨーイング変化とが同じ方向に変化するように前記第１ステージと前記第２ステージとの少なくとも一方のステージが調整されていることを特徴とする。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、第１ステージのヨーイング変化と第２ステージのヨーイング変化とが同じ方向に変化する。従って、第１ステージと第２ステージとの相対的ヨーイング変化は各ステージのヨーイング変化より小さくすることができる。
【００１３】
［適用例４］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第１方向及び前記液状体を吐出する方向と直交する方向を第２方向とするとき、前記第１ステージが移動するときに前記第１ステージが前記第２方向に蛇行する蛇行パターンと前記第２ステージが移動するときに前記第２ステージが前記第２方向に蛇行する蛇行パターンとが同じ方向に変化するように前記第１ステージと前記第２ステージとの少なくとも一方のステージの蛇行パターンが調整されていることを特徴とする。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、第１ステージの蛇行パターンと第２ステージの蛇行パターンとが同じ方向に変化する。従って、第１ステージと第２ステージとの第２方向の相対的移動量は各ステージの移動量より小さくすることができる。
【００１５】
［適用例５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記制御部は前記第１ステージと前記第２ステージとを同じ速さで逆方向に駆動し、前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００１６】
この液滴吐出装置によれば、第１ステージと第２ステージとが同じ速さで移動する。従って、第１ステージの移動量と第２ステージの移動量とは同じ量になる。そして、第１ステージに対する第２ステージの移動量は第１ステージの移動量の２倍になる。従って、第１ステージに対する第２ステージの移動量における半分の移動量を第１ステージ及び第２ステージが移動するように制御部が駆動を指示する。そして、２つのステージに対して駆動を指示する信号は移動量と速さとを同じ信号にできる。その結果、２つのステージの制御を簡便にすることができる。
【００１７】
［適用例６］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第１方向において前記第１ステージと前記第２ステージとのうち少なくとも一方の位置を検出する検出部を備え、前記第１ステージと前記第２ステージとのうち少なくとも一方の位置情報を用いて前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００１８】
この液滴吐出装置によれば、検出部が第１ステージまたは第２ステージの位置を検出する。そして、第１ステージと第２ステージとの相対位置が制御されている。従って、第１ステージまたは第２ステージの位置を検出することにより、第１ステージ及び第２ステージの位置を認識することができる。従って、所定の場所に液状体を吐出することができる。
【００１９】
［適用例７］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記第１方向において前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を検出する検出部を備えることを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、検出部が第１ステージと第２ステージとの相対位置を検出している。そして、この検出結果を用いて制御部は第１ステージと第２ステージとの相対位置を制御することができる。従って、第１ステージと第２ステージとの位置を精度良く制御することができる。
【００２１】
［適用例８］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズルを前記第１方向と交差する第３方向に移動する第３ステージを有することを特徴とする。
【００２２】
この液滴吐出装置によれば、ノズルが第３方向に移動するので、ノズルが吐出可能な範囲を広くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（第１の実施形態）
本実施形態における特徴的な液滴吐出装置について図１〜図８に従って説明する。尚、以下の説明に用いた各図においては、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせてある。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００２４】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１は、２つの直方体を重ねた形状に形成される基台２を備えている。この基台２の長手方向を第１方向としてのＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向を第２方向としてのＸ方向とする。
【００２５】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３，４が凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３，４に対応する図示しない直動機構を備えた第１ステージ５が取付けられている。その第１ステージ５の直動機構は、例えば案内レール３，４に沿ってＹ方向に延びるリニアモータを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモータに入力されると、リニアモータが前進または後退して、第１ステージ５が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動または復動する。この動作により第１ステージ５がＹ方向に走査するようになっている。この第１ステージ５が走査する方向を主走査方向とする。
【００２６】
基台２の上面２ａにおいて案内レール３と案内レール４との間には検出部としての第１主走査位置検出装置６が配置されている。第１主走査位置検出装置６は等間隔にマークが配置されたスケールとマークを検出するマーク検出器等とから構成されている。スケールはＹ方向に延在して配置され、基台２に配置されている。マーク検出器は第１ステージ５に配置されている。第１ステージ５が移動するときマーク検出器がマークを検出することにより、第１ステージ５のＹ方向における位置を検出することが可能になっている。
【００２７】
その第１ステージ５の上面には、載置面５ａが形成され、その載置面５ａには、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面５ａ上にワークとしての基板７が載置される。このとき、基板７は基板チャック機構によって載置面５ａに固定される。
【００２８】
基台２のＸ方向両側には、Ｙ方向に延びる一対の案内レール８，９が凸設されている。そして、一対の案内レール８，９に対応する図示しない直動機構を備えた第２ステージ１０が取付けられている。その第２ステージ１０の直動機構は、例えば、第１ステージ５が備える直動機構と同様のリニアモータを用いることができる。第２ステージ１０上には検出部としての第２主走査位置検出装置１１が配置されている。第２主走査位置検出装置１１は等間隔にマークが配置されたスケール１１ａとマークを検出するマーク検出器１１ｂ等とから構成されている。スケール１１ａはＹ方向に延在して配置され第１ステージ５に配置されている。マーク検出器１１ｂは第２ステージ１０に配置されている。第１ステージ５または第２ステージ１０が移動するとき、マーク検出器１１ｂがスケール１１ａのマークを検出することにより、第１ステージ５と第２ステージ１０とのＹ方向における相対位置を検出することが可能になっている。
【００２９】
一対の第２ステージ１０の上には支持台１２，１３が立設され、その一対の支持台１２，１３には、Ｘ方向に延びる案内部材１４が架設されている。案内部材１４の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１５が配設されている。
【００３０】
一方、その案内部材１４の下側には、第３方向としてのＸ方向に延びる案内レール１６がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１６に沿って略直方体形状に形成された第３ステージとしてのキャリッジ１７が配置されている。キャリッジ１７は第１ステージ５の直動機構と同様な機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。そして、案内部材１４とキャリッジ１７との間には副走査位置検出装置１８が配置されている。副走査位置検出装置１８は第１主走査位置検出装置６と同様な装置である。そして、キャリッジ１７のＸ方向の場所を検出することができる。キャリッジ１７の下面には、液滴吐出ヘッド１９が凸設されている。第１ステージ５が基板７をＹ方向に走査して、第２ステージ１０が液滴吐出ヘッド１９をＹ方向に走査する。さらに、キャリッジ１７が液滴吐出ヘッド１９をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド１９は基板７上の所望の場所に機能液を吐出して塗布することが可能になっている。
【００３１】
基台２上の図中右側には保守装置２０が配置されている。保守装置２０にはワイピング装置２０ａ、キャッピング装置２０ｂ、フラッシング装置２０ｃを備えている。ワイピング装置２０ａは液滴吐出ヘッド１９に付着した機能液を拭き取る装置である。キャッピング装置２０ｂは液滴吐出ヘッド１９に蓋をする装置である。そして、液滴吐出ヘッド１９が乾燥して機能液が固化することにより、液滴吐出ヘッド１９が目詰まりすることをキャッピング装置２０ｂが防止する。フラッシング装置２０ｃは液滴吐出ヘッド１９が洗浄時に吐出する機能液を受ける装置である。
【００３２】
図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２に示すようにキャリッジ１７には９個の液滴吐出ヘッド１９が配置され、液滴吐出ヘッド１９の下面には、それぞれノズルプレート２２が備えられている。そのノズルプレート２２には、それぞれ複数のノズル２３がＸ方向に所定の間隔で配列されている。
【００３３】
図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図である。図２（ｂ）に示すように、ノズルプレート２２の上側であってノズル２３と相対する位置には、キャビティ２４が形成されている。そして、キャビティ２４には収容タンク１５に貯留されている液状体としての機能液２５が供給される。キャビティ２４の上側には、上下方向に振動して、キャビティ２４内の容積を拡大縮小する振動板２６と、上下方向に伸縮して振動板２６を振動させる圧電素子２７が配設されている。圧電素子２７が上下方向に伸縮して振動板２６を振動し、振動板２６がキャビティ２４内の容積を拡大縮小する。それにより、キャビティ２４内に供給された機能液２５はノズル２３を通って吐出されるようになっている。
【００３４】
液滴吐出ヘッド１９は、機能液２５を液滴２８にして吐出する。そして、液滴吐出ヘッド１９が圧電素子２７を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子２７が伸張して、振動板２６がキャビティ２４内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１９のノズル２３からは、縮小した容積分の機能液２５が液滴２８となって吐出される。
【００３５】
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１の制御部としての制御装置３１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）３２と各種情報を記憶する記憶部としてのメモリ３３とを有する。
【００３６】
主走査駆動装置３４、第１主走査位置検出装置６、第２主走査位置検出装置１１、副走査駆動装置３５、副走査位置検出装置１８、ヘッド駆動回路３６は、入出力インターフェース３７及びデータバス３８を介してＣＰＵ３２に接続されている。さらに、入力装置３９、表示装置４０、保守装置２０も入出力インターフェース３７及びデータバス３８を介してＣＰＵ３２に接続されている。
【００３７】
主走査駆動装置３４は第１ステージ５の直動機構を構成する第１モータ４１を駆動する。そして、主走査駆動装置３４は第１ステージ５の移動を制御する装置である。さらに、主走査駆動装置３４は第２ステージ１０の直動機構を構成する第２モータ４２を駆動する。そして、主走査駆動装置３４は第２ステージ１０の移動を制御する。第１主走査位置検出装置６は第１ステージ５の位置を検出する装置である。そして、第２主走査位置検出装置１１は第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を検出する装置である。第１ステージ５の位置情報及び第１ステージ５に対する第２ステージ１０の位置情報を用いて主走査駆動装置３４が第１ステージ５及び第２ステージ１０の移動を制御する。
【００３８】
副走査駆動装置３５はキャリッジ１７の移動を制御する装置である。副走査位置検出装置１８はキャリッジ１７の位置を検出する装置である。副走査位置検出装置１８が検出するキャリッジ１７の位置情報を用いて副走査駆動装置３５がキャリッジ１７の移動を制御する。そして、液滴吐出ヘッド１９を基板７に対して所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。
【００３９】
ヘッド駆動回路３６は液滴吐出ヘッド１９を駆動する回路である。そして、ＣＰＵ３２が指示する駆動電圧、吐出数、吐出間隔等の吐出条件に従って、ヘッド駆動回路３６は液滴吐出ヘッド１９を駆動する。
【００４０】
入力装置３９は液滴２８を吐出する各種吐出条件や吐出パターンを入力する装置である。例えば、基板７に液滴２８を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。表示装置４０は吐出条件や作業状況を表示する装置である。表示装置４０に表示される情報を基に入力装置３９を用いて操作者が入力操作を行う。
【００４１】
メモリ３３は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト４３を記憶する記憶領域がメモリ３３に設定される。さらに、基板７に吐出する吐出位置の座標データである描画パターンデータ４４を記憶するための記憶領域もメモリ３３に設定される。さらに、圧電素子２７を駆動する駆動信号データ４５を記憶するための記憶領域もメモリ３３に設定される。さらに、基板７の座標や基板７上に塗布される膜の座標を示す基板位置データ４６を記憶するための記憶領域もメモリ３３に設定される。他にも、ＣＰＵ３２のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域がメモリ３３に設定される。
【００４２】
ＣＰＵ３２はメモリ３３内に記憶されたプログラムソフト４３に従って、基板７の所定の位置に機能液２５を液滴２８にして吐出するための制御や液滴吐出ヘッド１９を保守するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド１９において液滴２８を吐出するための演算を行う吐出演算部４７等を有する。吐出演算部４７を詳しく分割すれば、吐出演算部４７は基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部４８を有する。加えて、吐出演算部４７は液滴吐出ヘッド１９を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部４９を有する。さらに、吐出演算部４７は液滴吐出ヘッド１９内に複数あるノズル２３の内、どのノズル２３を作動させて液滴２８を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部５０等といった各種の機能演算部を有する。吐出演算部４７の他にも、保守装置制御演算部５１を有する。保守装置制御演算部５１は保守装置２０を駆動するための制御を演算する演算部である。
【００４３】
（ステージ駆動方法）
次に、図４及び図５を用いて第１ステージ５及び第２ステージ１０の駆動方法を説明する。図４及び図５はステージ駆動方法を説明するための図である。図４において、図を解り易くするために液滴吐出ヘッド１９は１つのみ記載してある。図４（ａ）は基板７の左側の端に近い場所と対向する場所に液滴吐出ヘッド１９が位置するときの図である。図４（ａ）に示すように、第１ステージ５は基台２の上面２ａに配置され、基台２の右側の端に近い場所に位置している。第１ステージ５の右側の端面を第１端面５ｂとする。そして、基台２上で第１端面５ｂが位置する場所を第１ステージ基準位置２ｂとする。この第１ステージ基準位置２ｂと第１端面５ｂとの距離を第１ステージ移動距離５４とする。図４（ａ）では第１ステージ基準位置２ｂと第１端面５ｂとが同じ場所に位置するので第１ステージ移動距離５４は０となる。
【００４４】
第２ステージ１０は基台２上に配置され、基台２の左側の端面２ｃと近い場所に位置している。第２ステージ１０の左側の端面を第１端面１０ａとする。そして、基台２上で第１端面１０ａが位置する場所を第２ステージ基準位置２ｄとする。この第２ステージ基準位置２ｄと第１端面１０ａとの距離を第２ステージ移動距離５５とする。図４（ａ）では第２ステージ基準位置２ｄと第１端面１０ａとが同じ場所に位置するので第２ステージ移動距離５５は０となる。液滴吐出ヘッド１９は第１ステージ５上に載置された基板７と対向する場所に位置している。そして、液滴吐出ヘッド１９は第１ステージ５の左側の第２端面５ｃと近い場所に位置している。液滴吐出ヘッド１９の中央と第２端面５ｃとの距離をヘッド・ステージ端間距離５６とする。
【００４５】
図４（ｂ）は基板７の中央に近い場所と対向する場所に液滴吐出ヘッド１９が位置するときの図である。第１ステージ５は左側に移動し、保守装置２０と離れた場所に位置している。従って、第１ステージ移動距離５４が長くなっている。第２ステージ１０は基台２の右側に移動し、端面２ｃと離れた場所に位置している。従って、第２ステージ移動距離５５が長くなっている。液滴吐出ヘッド１９は第２ステージ１０と一緒に移動する。そして、第１ステージ移動距離５４と第２ステージ移動距離５５とを加算した距離と同じ距離だけヘッド・ステージ端間距離５６が増加する。
【００４６】
図４（ｃ）は基板７の右側の端に近い場所と対向する場所に液滴吐出ヘッド１９が位置するときの図である。第１ステージ５は左側に移動し、さらに、保守装置２０と離れた場所に位置している。従って、第１ステージ移動距離５４がさらに長くなっている。第２ステージ１０は基台２の右側に移動し、さらに、端面２ｃと離れた場所に位置している。従って、第２ステージ移動距離５５がさらに長くなっている。従って、ヘッド・ステージ端間距離５６がさらに増加している。
【００４７】
図５（ａ）は主走査駆動装置の回路構成図である。図５（ａ）に示すように、主走査駆動装置３４は制御回路５７、第１駆動回路５８及び第２駆動回路５９等を備えている。制御回路５７は主走査制御演算部４８と接続され、第１ステージ５及び第２ステージ１０を移動または停止する指示信号を受信する。制御回路５７は指示信号を用いて第１モータ４１及び第２モータ４２を駆動する駆動データを演算する。駆動データには回転数、回転方向、トルク及び回転速度等が含まれる。このとき、制御回路５７は第１ステージ５と第２ステージ１０とが同じ速度で逆方向に進行するように演算する。制御回路５７には第１駆動回路５８及び第２駆動回路５９が接続されている。そして、制御回路５７は演算した駆動データを第１駆動回路５８及び第２駆動回路５９に送信する。第１駆動回路５８及び第２駆動回路５９は駆動データを受信して、駆動データに従って第１モータ４１及び第２モータ４２を駆動する。続いて、第１モータ４１は第１ステージ５を移動させ、第２モータ４２は第２ステージ１０を移動させる。従って、第１ステージ５と第２ステージ１０とは同じ速さで逆の方向へ進行する。
【００４８】
図５（ｂ）は第１ステージ及び第２ステージの動作を示すグラフである。横軸は時間６０の経過を示し、左から右へ時間が経過する。縦軸は５つの要素から成っている。図中１番上のグラフにおいて縦軸は第１ステージ速度６１を示している。上側が正の速度を示し、第１ステージ５がＹ方向（図４における左側）に進行する速度を示す。そして、第１速度推移線６２は第１ステージ５が移動する速度の推移を示している。第１速度推移線６２は速度が０から始まり第１速度６３まで上昇する。そして、所定の間、等速度で推移する。次に第１ステージ速度６１が０になるまで下降する。ここまでは第１ステージ５がＹ方向に移動する。この移動する区間を往路区間６４とする。続いて、第１ステージ５の進行方向を逆方向（図４における右側）に変える。そして、第１速度推移線６２は速度が０から始まり第２速度６５まで下降する。そして、所定の間、等速度で推移する。次に第１ステージ速度６１が０になるまで上昇する。ここまでは第１ステージ５がＹ方向と逆の方向に移動する。この移動する区間を復路区間６６とする。第１速度６３と第２速度６５とは同じ速さであり、方向が異なっている。第１速度推移線６２において等速度で推移する区間は吐出区間６７である。吐出区間６７において液滴吐出装置１はノズル２３から液滴２８を吐出する。
【００４９】
図中上から２番目のグラフにおいて縦軸は第１ステージ移動距離５４を示している。上側が正の値を示す。そして、第１移動推移線６８は第１ステージ５が移動する距離の推移を示している。第１移動推移線６８が示すように、第１ステージ５は往路区間６４で上昇し、復路区間６６にて下降する。
【００５０】
図中上から３番目のグラフにおいて、縦軸は第２ステージ速度６９を示している。上側が正の速度を示し、第２ステージ１０がＹ方向と逆の方向（図４における右側）に進行する速度を示す。そして、第２速度推移線７０は第２ステージ１０が移動する速度の推移を示している。第２速度推移線７０は第１速度推移線６２と同様の推移をする。そして、吐出区間６７の間では第２速度推移線７０は第１速度６３及び第２速度６５にて等速度に推移する。
【００５１】
図中上から４番目のグラフにおいて縦軸は第２ステージ移動距離５５を示している。上側が正の値を示す。そして、第２移動推移線７１は第２ステージ１０が移動する距離の推移を示している。第２移動推移線７１が示すように、第２ステージ１０は往路区間６４で上昇し、復路区間６６にて下降する。
【００５２】
図中上から５番目のグラフにおいて縦軸はヘッド・ステージ端間距離５６を示している。上側が正の値を示す。そして、ヘッド・ステージ間距離推移線７２はヘッド・ステージ端間距離５６の推移を示している。ヘッド・ステージ間距離推移線７２が示すように、ヘッド・ステージ端間距離５６は往路区間６４で上昇し、復路区間６６にて下降する。そして、ヘッド・ステージ間距離推移線７２が変化する量は第１移動推移線６８と第２移動推移線７１とを加算した量になっている。
【００５３】
次に、ステージのヨーイング調整について、図６及び図７を用いて説明する。図６及び図７はステージのヨーイング調整を説明するための図である。図６（ａ）において、第１軌跡７５は第１ステージ５が移動するときの軌跡を示している。第１位置７５ａは第１ステージ５が右側に位置するときの場所を示している。そして、第１方向７５ｂは第１位置７５ａにおいて第１ステージ５が移動するときの方向を示し、第１軌跡７５の接線方向となっている。第１方向７５ｂは右下から左上に向かう方向となっている。
【００５４】
第２位置７５ｃは第１ステージ５が第１軌跡７５の中央に位置するときの場所を示している。そして、第２方向７５ｄは第２位置７５ｃにおいて第１ステージ５が移動するときの方向を示し、第１軌跡７５の接線方向となっている。第２方向７５ｄは左右方向になっている。第３位置７５ｅは第１ステージ５が第１軌跡７５の左側に位置するときの場所を示している。そして、第３方向７５ｆは第３位置７５ｅにおいて第１ステージ５が移動するときの方向を示し、第１軌跡７５の接線方向となっている。第３方向７５ｆは右上から左下に向かう方向となっている。
【００５５】
第２軌跡７６は第２ステージ１０が移動するときの軌跡を示している。第４位置７６ａは第２ステージ１０が左側に位置するときの場所を示している。そして、第４方向７６ｂは第４位置７６ａにおいて第２ステージ１０が移動するときの方向を示し、第２軌跡７６の接線方向となっている。第４方向７６ｂは右下から左上に向かう方向となっている。
【００５６】
第５位置７６ｃは第２ステージ１０が第２軌跡７６の中央に位置するときの場所を示している。第５方向７６ｄは第５位置７６ｃにおいて第２ステージ１０が移動するときの方向を示し、第２軌跡７６の接線方向となっている。そして、第５方向７６ｄは左右方向になっている。第６位置７６ｅは第２ステージ１０が第２軌跡７６の右側に位置するときの場所を示している。そして、第６方向７６ｆは第６位置７６ｅにおいて第２ステージ１０が移動するときの方向を示し、第２軌跡７６の接線方向となっている。第６方向７６ｆは右上から左下に向かう方向となっている。
【００５７】
案内レール３及び案内レール４の位置を調整することにより第１軌跡７５が調整される。そして、案内レール８及び案内レール９の位置を調整することにより第２軌跡７６が調整される。各レールの調整方法はレールを保持する部材を研削加工して調整する方法や厚みの異なる薄板を入れ替えて調整する方法などの公知の方法を用いることが可能である。調整の詳細な説明は省略する。
【００５８】
図６（ｂ）は、第１ステージ５が第１位置７５ａに位置し、第２ステージ１０が第４位置７６ａに位置するときの様子を示している。第１ステージ５は第１方向７５ｂの方向を向き、第２ステージ１０は第４方向７６ｂの方向を向いている。そして、第１方向７５ｂと第４方向７６ｂとはほぼ同じ向きとなっている。第１ステージ５が進行する方向とＹ方向とが成す角を第１ヨーイング角７７とする。ヨーイング角はＹ方向を０とし、Ｙ方向に対して時計周りの角度を正の角度とする。そして、第２ステージ１０が進行する方向とＹ方向とが成す角を第２ヨーイング角７８とする。このとき、第１ヨーイング角７７と第２ヨーイング角７８とがほぼ同じ角度となっている。
【００５９】
図６（ｃ）は、第１ステージ５が第２位置７５ｃに位置し、第２ステージ１０が第５位置７６ｃに位置するときの様子を示している。第１ステージ５は第２方向７５ｄの方向を向き、第２ステージ１０は第５方向７６ｄの方向を向いている。そして、第２方向７５ｄと第５方向７６ｄとはほぼ同じ向きとなっている。このとき、第１ヨーイング角７７と第２ヨーイング角７８とがほぼ同じ角度となる。
【００６０】
図６（ｄ）は、第１ステージ５が第３位置７５ｅに位置し、第２ステージ１０が第６位置７６ｅに位置するときの様子を示している。第１ステージ５は第３方向７５ｆの方向を向き、第２ステージ１０は第６方向７６ｆの方向を向いている。そして、第３方向７５ｆと第６方向７６ｆとはほぼ同じ向きとなっている。このとき、第１ヨーイング角７７と第２ヨーイング角７８とがほぼ同じ角度となる。
【００６１】
図７（ａ）は相対ヨーイング角を説明するための図である。図７（ａ）において、第１ステージ５の進行方向と第２ステージ１０の進行方向とが成す角を相対ヨーイング角７９とする。相対ヨーイング角７９は第２ヨーイング角７８から第１ヨーイング角７７を減算した角度となっている。
【００６２】
図７（ｂ）は第１ヨーイング角７７の推移を説明するためのグラフである。図７（ｂ）において横軸はステージ位置８０を示す。縦軸は第１ヨーイング角７７を示し、上側が下側より大きい値となっている。そして、第１ヨーイング角推移線８１は第１ヨーイング角７７の推移を示している。第１ヨーイング角推移線８１が示すように、第１位置７５ａでは第１ヨーイング角７７は正の値となっている。そして、第１位置７５ａから第３位置７５ｅに移動するのに従って、第１ヨーイング角７７が減少している。第１位置７５ａと第３位置７５ｅとの中間に位置する第２位置７５ｃでは第１ヨーイング角７７が０になっている。
【００６３】
図７（ｃ）は第２ヨーイング角７８の推移を説明するためのグラフである。図７（ｃ）において横軸はステージ位置８０を示す。縦軸は第２ヨーイング角７８を示し、上側が下側より大きい値となっている。そして、第２ヨーイング角推移線８２は第２ヨーイング角７８の推移を示している。第２ヨーイング角推移線８２が示すように、第４位置７６ａでは第２ヨーイング角７８は正の値となっている。そして、第４位置７６ａから第６位置７６ｅに移動するのに従って、第２ヨーイング角７８が減少している。第４位置７６ａと第６位置７６ｅとの中間に位置する第５位置７６ｃでは第２ヨーイング角７８が０になっている。
【００６４】
図７（ｄ）は相対ヨーイング角７９の推移を説明するためのグラフである。図７（ｄ）において横軸はステージ位置８０を示す。縦軸は相対ヨーイング角７９を示し、上側が下側より大きい値となっている。そして、相対ヨーイング角推移線８３は相対ヨーイング角７９の推移を示している。相対ヨーイング角推移線８３が示すように、第１ステージ５が第１位置７５ａから第３位置７５ｅに移動し、第２ステージ１０が第４位置７６ａから第６位置７６ｅに移動するとき相対ヨーイング角７９はほぼ０になっている。
【００６５】
第１ステージ５と第２ステージ１０とがどの位置にある場合でも、第１ヨーイング角７７と第２ヨーイング角７８とがほぼ同じ角度となっている。そして、キャリッジ１７が移動するときキャリッジ１７は第１ステージ５の進行方向とほぼ直交する方向に移動する。従って、第１ステージ５及び第２ステージ１０が相対的に移動するときにも、液滴吐出ヘッド１９は位置精度良く液滴２８を吐出することができる。
【００６６】
次に、描画時のステージ制御について、図８を用いて説明する。図８は描画時のステージ制御を説明するための図である。図８（ａ）に示すように、液滴吐出装置１は第１主走査位置検出装置６を備えている。第１主走査位置検出装置６はスケール６ａ及びマーク検出器６ｂ等から構成される。スケール６ａは基台２に設置され、マーク検出器６ｂは第１ステージ５に設置されている。スケール６ａ及びマーク検出器６ｂの機能はスケール１１ａ及びマーク検出器１１ｂの機能と同様であり、詳細な説明は省略する。
【００６７】
液滴吐出装置１を起動するとき、まず、主走査制御演算部４８は第１ステージ５及び第２ステージ１０を初期位置に移動する。主走査制御演算部４８は第１主走査位置検出装置６を駆動して第１ステージ５の位置を検出する。次に、主走査駆動装置３４を駆動して第１ステージ５を初期位置に移動させる。続いて、主走査制御演算部４８は第２主走査位置検出装置１１を駆動して第１ステージ５の位置に対する第２ステージ１０の位置を検出する。次に、主走査駆動装置３４を駆動して第２ステージ１０を初期位置に移動させる。このとき、第１ステージ５は第１位置７５ａに位置し、第２ステージ１０は第４位置７６ａに位置する。
【００６８】
続いて、吐出演算部４７はノズル２３から液滴２８を吐出しながら、第１ステージ５及び第２ステージ１０を移動させる。このとき、主走査制御演算部４８は第２主走査位置検出装置１１を用いて第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を検出する。そして、液滴２８を着弾させる場所と対向する場所にノズル２３が位置するときにヘッド駆動回路３６はノズル２３から液滴２８を吐出させる。
【００６９】
その結果、図８（ｂ）に示すように、第１ステージ５は第３位置７５ｅまで移動する。そして、第２ステージ１０は第６位置７６ｅまで移動する。基板７上には液滴２８が吐出されることにより、機能液２５が塗布される。
【００７０】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１ステージ５及び第２ステージ１０をＹ方向に移動して液滴２８を吐出している。吐出可能な範囲のＹ方向の長さは第１ステージ５が移動可能な長さと第２ステージ１０が移動可能な長さとを加算した長さとなる。従って、第１ステージ５及び第２ステージ１０の各ステージが移動可能な長さは吐出範囲の長さより短くすることができる。
【００７１】
ステージは移動距離を短くすることによりヨーイング変化量を小さくできる。そして、移動距離の長いステージを１つ用いる場合に比べて、移動距離の短いステージを複数組み合わせた方がヨーイング変化量を小さくすることができる。その結果、ステージのヨーイング変化量を小さくすることにより液状体を吐出する位置精度を高くすることができる。
【００７２】
（２）本実施形態によれば、第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を制御している。従って、Ｙ方向において基板７とノズル２３との相対位置を制御することができる。
【００７３】
（３）本実施形態によれば、第１ステージ５の第１ヨーイング角７７と第２ステージ１０の第２ヨーイング角７８とが同じ方向になるように調整されている。従って、第１ステージ５と第２ステージ１０との相対ヨーイング角７９の変化は第１ヨーイング角７７及び第２ヨーイング角７８の変化より小さくすることができる。
【００７４】
（４）本実施形態によれば、第１ステージ５と第２ステージ１０とが同じ第１速度６３及び第２速度６５で逆方向に移動する。従って、第１ステージ５の移動量と第２ステージ１０の移動量とは同じ量になる。第１ステージ５及び第２ステージ１０に対する駆動指示信号は移動量と速度とを同じ信号にできる。その結果、２つのステージの制御を簡便にすることができる。
【００７５】
（５）本実施形態によれば、第１ステージ５に対する第２ステージ１０の移動量は第１ステージ５の移動量の２倍になる。従って、基板７に対する液滴吐出ヘッド１９の移動量は第１ステージ５の移動量の２倍になる。その結果、描画時に第１ステージ５に対する第２ステージ１０の移動量を容易に演算することができる。
【００７６】
（６）本実施形態によれば、第２主走査位置検出装置１１が第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を検出している。そして、この検出結果を用いて主走査制御演算部４８は第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を制御することができる。従って、第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を精度良く制御することができる。
【００７７】
（７）本実施形態によれば、ノズル２３がＸ方向に移動するので、ノズル２３が吐出可能な範囲を広くすることができる。そして、相対ヨーイング角７９の変化が小さくなるように調整されている。従って、ノズル２３がＸ方向に移動して機能液２５を吐出するときにも位置精度良く機能液２５を吐出することができる。
【００７８】
（８）本実施形態によれば、第１ステージ５と第２ステージ１０とを共にＹ方向に移動している。従って、第２ステージ１０を配置しない場合に比べて第１ステージ５の移動範囲を短くすることが可能になっている。その結果、基台２のＹ方向の長さを短くできる為、液滴吐出装置１の床面積を小さくすることができる。
【００７９】
（９）本実施形態によれば、第１ステージ５及び第２ステージ１０を同時に移動している。従って、第１ステージ５及び第２ステージ１０の相対速度は第１ステージ５が移動する速さと第２ステージ１０が移動する速さが加算される。その結果、第１ステージ５のみ移動する場合に比べて、速く基板７を移動させることができる。
【００８０】
第１ステージ５のみ移動する場合の速さと同じ速さで第１ステージ５及び第２ステージ１０を相対移動させる場合には、第１ステージ５の第１速度６３及び第２ステージ１０の第２速度６５を低減することができる。従って、第１速度６３または第２速度６５に移行する加減速時間を短縮できるので、生産性良く基板７を移動させることができる。
【００８１】
基板７を移動させる速さを速くしないとき、第１ステージ５及び第２ステージ１０の加速度を低くすることができる。従って、第１モータ４１及び第２モータ４２は加速力を下げることができる為、第１モータ４１及び第２モータ４２を小型にすることができる。さらに、第１モータ４１及び第２モータ４２は加速力を下げることができる為、第１モータ４１及び第２モータ４２に流す電流を低くすることができる。その結果、省電力な装置にすることができる。
【００８２】
（１０）本実施形態によれば、第１ヨーイング角推移線８１及び第２ヨーイング角推移線８２が同じ傾向となるように調整されている。第１ヨーイング角推移線８１及び第２ヨーイング角推移線８２を共に直線となるように調整するには調整に時間がかかることがある。このときにも、ヨーイング角推移線が変化する傾向を揃えることにより、第１ステージ５と第２ステージ１０との相対ヨーイング角７９を小さくすることができる。その結果、生産性良く相対ヨーイング角７９を調整することができる。
【００８３】
（第２の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図９におけるステージの直進性の調整を説明するための図を用いて説明する。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第１ステージ５及び第２ステージ１０の直進性を調整する点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００８４】
図９（ａ）において、第１軌跡８６は第１ステージ５が移動するときの軌跡を示している。第１位置８６ａは第１ステージ５が右側に位置するときの場所を示している。そして、第２位置８６ｂは第１ステージ５が第１軌跡８６の中央に位置するときの場所を示している。そして、第３位置８６ｃは第１ステージ５が第１軌跡８６の左側に位置するときの場所を示している。第１ステージ５がＹ方向に移動するときに第１ステージ５がＸ方向に変動する量を第１位置ズレ量８７とする。第１位置ズレ量８７の基準位置は、第１ステージ５が第１位置８６ａにいるときのＸ方向の場所とする。
【００８５】
第２軌跡８８は第２ステージ１０が移動するときの軌跡を示している。第４位置８８ａは第２ステージ１０が左側に位置するときの場所を示している。そして、第５位置８８ｂは第２ステージ１０が第２軌跡８８の中央に位置するときの場所を示している。そして、第６位置８８ｃは第２ステージ１０が右側に位置するときの場所を示している。第２ステージ１０がＹ方向に移動するときに第２ステージ１０がＸ方向に変動する量を第２位置ズレ量８９とする。第２位置ズレ量８９の基準位置は、第２ステージ１０が第４位置８８ａにいるときのＸ方向の場所とする。
【００８６】
案内レール３及び案内レール４の位置を調整することにより第１軌跡８６が調整される。そして、案内レール８及び案内レール９の位置を調整することにより第２軌跡８８が調整される。各レールの調整方法は公知であり、説明を省略する。
【００８７】
図９（ｂ）は相対位置ズレ量を説明するための模式図である。図９（ｂ）において、第１ステージ５の中心と第２ステージ１０の中心とのＸ方向の差を相対位置ズレ量９０とする。
【００８８】
図９（ｃ）は第１位置ズレ量８７の推移を説明するためのグラフである。図９（ｃ）において横軸はステージ位置８０を示す。縦軸は第１位置ズレ量８７を示し、上側が下側より大きい値となっている。そして、第１位置ズレ量線９１は第１位置ズレ量８７の推移を示している。第１位置ズレ量線９１が示すように、第１位置８６ａでは第１位置ズレ量８７は０となっている。そして、第１位置８６ａから第２位置８６ｂに移動するのに従い、第１位置ズレ量８７が増加している。第２位置８６ｂから第３位置８６ｃに移動するのに従って、第１位置ズレ量８７が減少している。
【００８９】
図９（ｄ）は第２位置ズレ量８９の推移を説明するためのグラフである。図９（ｄ）において横軸はステージ位置８０を示す。縦軸は第２位置ズレ量８９を示し、上側が下側より大きい値となっている。そして、第２位置ズレ量線９２は第２位置ズレ量８９の推移を示している。第２位置ズレ量線９２が示すように、第４位置８８ａでは第２位置ズレ量８９は０となっている。そして、第４位置８８ａから第５位置８８ｂに移動するのに従い、第２位置ズレ量８９が増加している。第５位置８８ｂから第６位置８８ｃに移動するのに従って、第２位置ズレ量８９が減少している。そして、第２位置ズレ量線９２は第１位置ズレ量線９１と同様の曲線となるように調整されている。
【００９０】
図９（ｅ）は相対位置ズレ量９０の推移を説明するためのグラフである。図９（ｅ）において横軸はステージ位置８０を示す。縦軸は相対位置ズレ量９０を示し、上側が下側より大きい値となっている。そして、相対位置ズレ量推移線９３は相対位置ズレ量９０の推移を示している。相対位置ズレ量推移線９３が示すように、第１ステージ５が第１位置８６ａから第３位置８６ｃに移動し、第２ステージ１０が第４位置８８ａから第６位置８８ｃに移動するとき相対位置ズレ量９０は０に近い値で推移している。従って、第１ステージ５及び第２ステージ１０が移動するときにも、液滴吐出ヘッド１９は位置精度良く液滴２８を吐出することができる。
【００９１】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１ステージ５の第１位置ズレ量線９１と第２ステージ１０の第２位置ズレ量線９２とが同じように変化する。従って、第１ステージ５と第２ステージ１０とのＸ方向の相対位置ズレ量９０は各ステージの位置ズレ量より小さくすることができる。その結果、第１ステージ５及び第２ステージ１０が移動するときにも、液滴吐出ヘッド１９は位置精度良く液滴２８を吐出することができる。
【００９２】
（２）本実施形態によれば、第１軌跡８６及び第２軌跡８８が同じ向きに湾曲するように調整されている。第１軌跡８６及び第２軌跡８８共に直線となるように調整するには調整に時間がかかることがある。このときにも、軌跡が変化する傾向を揃えることにより、第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置ズレ量９０を小さくすることができる。その結果、生産性良く相対位置ズレ量９０を調整することができる。
【００９３】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、第２主走査位置検出装置１１を用いて第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を検出しながら、ノズル２３から液滴２８を吐出した。第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を精度良く制御できる場合には、第２主走査位置検出装置１１を用いずに第１ステージ５と第２ステージ１０とを制御しても良い。このとき、第１主走査位置検出装置６を用いて第１ステージ５の位置を検出することにより、第２ステージ１０の位置を推測することができる。従って、所定の場所に液滴２８を吐出することができる。
【００９４】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、第１主走査位置検出装置６は第１ステージ５の位置を検出したが、第１主走査位置検出装置６が第２ステージ１０の位置を検出するように設置しても良い。この場合にも、同様な方法にて第１ステージ５及び第２ステージ１０を制御することができる。
【００９５】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、第１ステージ５が移動する範囲内の総ての場所において第１主走査位置検出装置６は第１ステージ５の位置を検出したが、第１主走査位置検出装置６は第１ステージ５が初期位置の場所を通過するときを検出する機能だけにしても良い。この方法でも第１ステージ５を初期位置に移動することが可能である。そして、第２主走査位置検出装置１１を用いて基板７と液滴吐出ヘッド１９との相対位置を精度良く制御することができる。
【００９６】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、第１ステージ５と第２ステージ１０とは移動の向きが逆で速さは同じ速さに制御した。描画時に第１ステージ５と第２ステージ１０とが移動する速さは同じ速さに限定されない。例えば、第１ステージ５が移動する速さを第２ステージ１０が移動する速さの２倍に設定しても良く、他の倍数にしても良い。この場合にも、第１ステージ５と第２ステージ１０とが相対移動する速さと位置とを制御することができる。
【００９７】
（変形例５）
前記第１の実施形態では、基板７に液滴２８を吐出したが、板状の基板７に限定されない。直方体や円柱等、液滴２８を吐出可能な物であれば適用することができる。
【００９８】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、キャビティ２４を加圧する加圧手段に、圧電素子２７を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板２６を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ２４内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液２５を気化させたり、機能液２５に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板２６を変形させて、加圧しても良い。前記実施形態と同様に機能液２５を塗布することができる。この内容は第２の実施形態にも適用することができる。
【００９９】
（変形例７）
前記第１の実施形態では、第１ステージ５、第２ステージ１０及びキャリッジ１７の直動機構にリニアモータを用いたがこれに限定されない。ボールネジとサーボモータやステップモータとを組み合わせても良い。この場合にも、同様な機能を備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】第１の実施形態にかかわる液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】ステージ駆動方法を説明するための図。
【図５】ステージ駆動方法を説明するための図。
【図６】ステージのヨーイング調整を説明するための図。
【図７】ステージのヨーイング調整を説明するための図。
【図８】描画時のステージ制御を説明するための図。
【図９】第２の実施形態にかかわるステージの直進性の調整を説明するための図。
【符号の説明】
【０１０１】
１…液滴吐出装置、５…第１ステージ、６…検出部としての第１主走査位置検出装置、７…ワークとしての基板、１０…第２ステージ、１１…検出部としての第２主走査位置検出装置、１７…第３ステージとしてのキャリッジ、２３…ノズル、２５…液状体としての機能液、３１…制御部としての制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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