(57)【要約】【課題】本発明は、インクの吐出体積のばらつきを抑制して印字品質を高めることができるインクジェットヘッドを得ることにある。【解決手段】インクジェットヘッド(1)は、複数のノズル(13)を有するノズルプレート(5)と、複数の圧力室(21)を有するアクチュエータ(15a, 15b)とを備えている。アクチュエータ(15a, 15b)は、一回のインク吐出動作時に、加圧されたインクを間欠的にノズル(13)から吐出させる。各ノズル(13)は、圧力室(21)に連通するインク入口部(30)と、インク入口部(30)よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されたインク出口部(31)とを含む。インク出口部(31)のインク吐出方向に沿う長さをＬｎ１、インク出口部(31)のインク吐出方向と直交する方向の断面積をＣ１、インク噴射時間により定まる各ノズル(13)から吐出されるインクの吐出体積をＶとした時、Ｌｎ１＝Ｖ／Ｃ１×０．５〜１の関係を満たしている。【選択図】図１
2010214894.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するノズルプレートと、
上記ノズルに対応する複数の圧力室を有し、上記圧力室に供給されたインクを加圧することで上記ノズルから吐出させるアクチュエータと、を具備し、
連続的に複数滴のインクを吐出させて記録媒体上に１画素を形成するオンディマンド型のインクジェットヘッドであって、
上記ノズルプレートの各ノズルは、上記圧力室に連通するインク入口部と、このインク入口部との間に段差を形成するように上記インク入口部よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されたインク出口部とを含み、
上記インク出口部のインク吐出方向に沿う長さをＬｎ１、上記インク出口部のインク吐出方向と直交する方向の断面積をＣ１、インク噴射時間により定まる上記各ノズルから吐出されるインクの吐出体積をＶとした時、
Ｌｎ１＝Ｖ／Ｃ１×０．５〜１
の関係を満たすことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１の記載において、上記インク入口部の口径は、上記インク出口部の口径の２倍以上であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２の記載において、上記インク入口部のインク吐出方向に沿う長さＬｎ２は、上記インク出口部のインク吐出方向に沿う長さＬｎ１よりも大きいことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１の記載において、上記インク出口部は、インク吐出方向に沿う全長に亘って口径が一定であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
連続的に複数滴のインクを吐出させて記録媒体上に１画素を形成する複数のノズルを有するノズルプレートであって、
上記各ノズルは、インク入口部と、このインク入口部との間に段差を形成するように上記インク入口部よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されたインク出口部とを含み、
上記インク出口部のインク吐出方向に沿う長さをＬｎ１、上記インク出口部のインク吐出方向と直交する方向の断面積をＣ１、インク噴射時間により定まる上記各ノズルから吐出されるインクの吐出体積をＶとした時、
Ｌｎ１＝Ｖ／Ｃ１×０．５〜１
の関係を満たすことを特徴とするノズルプレート。
【請求項６】
請求項５の記載において、上記インク入口部の口径は、上記インク出口部の口径の２倍以上であることを特徴とするノズルプレート。
【請求項７】
請求項５又は請求項６の記載において、上記インク入口部のインク吐出方向に沿う長さＬｎ２は、上記インク出口部のインク吐出方向に沿う長さＬｎ１よりも大きいことを特徴とするノズルプレート。
【請求項８】
請求項５の記載において、上記インク出口部は、インク吐出方向に沿う全長に亘って口径が一定であることを特徴とするノズルプレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続的に複数滴のインクを吐出させて、記録媒体上に１画素を形成するオンディマンド型のインクジェットヘッドに関する。さらに本発明は、段付き形状のノズルを有するノズルプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクを吐出させる複数のノズルを有するインクジェットヘッドは、例えばプリンタのような民生機器に広く用いられている。この種のインクジェットヘッドは、基板と、基板上に接着された枠状のスペーサと、スペーサに接着されたノズルプレートと、を備えている。基板、スペーサおよびノズルプレートは、互いに協働してインク流通室を形成している。このインク流通室内にアクチュエータとしての圧電部材が収容されている。
【０００３】
圧電部材は、ノズルプレートに向けて開口する複数の溝を有している。溝は、互いに間隔を存して一列に並んでいる。隣り合う溝は、圧電部材の側壁によって区画されている。各溝の内面とノズルプレートとで囲まれる空間は、インク流通室に開口する圧力室を構成しており、この圧力室に臨む側壁の表面に電極が形成されている。
【０００４】
ノズルプレートは、複数のノズルを有している。ノズルは、ノズルプレートを貫通するミクロン単位の微小な孔であり、上記電極を有する圧力室に個々に連通している。
【０００５】
電極に駆動電圧を印加すると、圧力室を間に挟んで向かい合う側壁が互いに接離する方向に変形し、圧力室に充填されたインクを加圧する。これにより、圧力室内のインクがノズルプレートのノズルから記録媒体に向けて吐出される。
【０００６】
インクを吐出させるノズルは、インク吐出方向に進むに従い口径が減少するテーパ状に形成されていることが多い。しかしながら、テーパ形状のノズルを精度よく形成することは非常に困難であり、特にノズルプレートを例えばシリコンのような硬質な材料によって形成した場合には、ドライエッチングのような製法を用いたとしても、ノズルの寸法精度にばらつきが生じるのを否めない。
【０００７】
一方、例えば特許文献１に開示されたインクジェットヘッドは、シリコン製のノズルプレートを有し、このノズルプレートに段付き形状のノズルがドライエッチングにより形成されている。ノズルは、ノズルプレートの吐出側に位置する絞り部と、絞り部よりもインクの吐出方向に沿う上流に位置する拡開部とを備えている。絞り部は、拡開部よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されたストレートな孔である。そのため、ノズルは、絞り部と拡開部との間に段差を有している。
【０００８】
このような段付き形状のノズルは、シリコン酸化膜を間に挟んで積層された第１の単結晶シリコン層および第２の単結晶シリコン層を有するＳＯＩ基板に対し、インクの吐出側あるいは吐出側とは反対側からエッチングを施すことにより形成される。
【０００９】
シリコン酸化膜は、エッチングストップ層として機能する。このため、絞り部および拡開部の深さ寸法は、第１の単結晶シリコン層および第２の単結晶シリコン層の厚みを夫々表面研磨により制御することで設定される。
【００１０】
さらに、ノズルの穴形状は、フォトリソグラフィーの技術により高精度に形成できるので、段付き形状のノズルは、テーパ形状のノズルとの比較において、寸法のばらつきを少なく抑えることができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
インクジェットヘッドにおいては、常に印字品質を高めたいという要求がある。印字品質は、ノズルから吐出されるインクの吐出体積のばらつきに左右されることが知られている。
【００１２】
特許文献１に開示された段付き形状のノズルを有するインクジェットヘッドでは、インク吐出動作時に、ノズルの絞り部に充填されたインクが記録媒体に向けて吐出され、インク吐出動作の度に絞り部の内部でインクが急激に加速される。
【００１３】
絞り部は流体的な抵抗となるため、インク吐出方向に沿う絞り部の長さ寸法は、インクの吐出体積に大きな影響を及ぼすことになる。
【００１４】
従来の技術によると、ノズルの穴形状は、フォトリソグラフィーにより高精度に形成することができる。しかしながら、絞り部の長さ寸法の精度は、機械加工である表面研磨加工の精度に依存するため、長さ寸法の精度を高めることが困難となる。この結果、絞り部の長さ寸法のばらつきによりインクの吐出体積が変動し、印字品質が低下する。
【００１５】
本発明の目的は、インクの吐出体積のばらつきを抑制することができ、印字品質を高めることができるインクジェットヘッドおよびノズルプレートを得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るインクジェットヘッドは、  
複数のノズルを有するノズルプレートと、  
上記ノズルに対応する複数の圧力室を有し、上記圧力室に供給されたインクを加圧することで上記ノズルから吐出させるアクチュエータと、を備えており、  
連続的に複数滴のインクを吐出させて記録媒体上に１画素を形成するオンディマンド型のインクジェットヘッドであって、  
上記ノズルプレートの各ノズルは、上記圧力室に連通するインク入口部と、このインク入口部との間に段差を形成するように上記インク入口部よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されたインク出口部とを含んでおり、  
上記インク出口部のインク吐出方向に沿う長さをＬｎ１、上記インク出口部のインク吐出方向と直交する方向の断面積をＣ１、インク噴射時間により定まる上記各ノズルから吐出されるインクの吐出体積をＶとした時、
Ｌｎ１＝Ｖ／Ｃ１×０．５〜１
の関係を満たすことを特徴としている。
【００１７】
上記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るノズルプレートは、  
連続的に複数滴のインクを吐出させて記録媒体上に１画素を形成する複数のノズルを有している。  
上記各ノズルは、インク入口部と、このインク入口部との間に段差を形成するように上記インク入口部よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されたインク出口部とを含んでおり、  
上記インク出口部のインク吐出方向に沿う長さをＬｎ１、上記インク出口部のインク吐出方向と直交する方向の断面積をＣ１、インク噴射時間により定まる上記ノズルから吐出されるインクの吐出体積をＶとした時、
Ｌｎ１＝Ｖ／Ｃ１×０．５〜１
の関係を満たすことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ノズルのインク出口部の長さにばらつきが生じたとしても、インクの吐出体積の変動を抑制することができ、印字品質を良好に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドの斜視図。
【図２】本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドの平面図。
【図３】図２のF3-F3線に沿う断面図。
【図４】本発明の実施の形態において、ノズルと圧力室との位置関係を示す断面図。
【図５】本発明の実施の形態に係るノズルの形状を拡大して示す断面図。
【図６】本発明の実施の形態において、一回のインク吐出動作時にアクチュエータに印加される駆動パルスの波形を示す図。
【図７】本発明の実施の形態において、ノズルのインク出口部の口径およびインク吐出時間を変化させた時のインク出口部の長さとインクの吐出体積との関係を示す図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明の実施の形態を図１ないし図７に基づいて説明する。
【００２１】
図１ないし図３は、例えばプリンタのキャリッジに取り付けられるオンディマンド型のインクジエットヘッド１を開示している。インクジェットヘッド１は、インク槽２、基板３、スペーサ４およびノズルプレート５を備えている。
【００２２】
インク槽２は、インク供給管６およびインク戻し管７を介して図示しないインクカートリッジに接続されている。
【００２３】
基板３は、インク槽２の開口端を塞ぐようにインク槽２に重ねられている。基板３は、例えば矩形状のセラミックスで構成されている。基板３は、複数のインク供給口９および複数のインク排出口１０を備えている。
【００２４】
インク供給口９は、基板３の幅方向に沿う一端部および他端部において、基板３の長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。インク排出口１０は、基板３の幅方向に沿う中央部において、基板３の長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。
【００２５】
スペーサ４は、四角い枠状をなしている。スペーサ４は、基板３の上に接着等の手段により固定されて、インク供給口９およびインク排出口１０を取り囲んでいる。
【００２６】
ノズルプレート５は、例えばポリイミドのような樹脂フィルムよりも硬質なシリコン基板により構成されている。ノズルプレート５は、スペーサ４の上に接着等の手段により固定されて、基板３と向かい合っている。
【００２７】
基板３、スペーサ４およびノズルプレート５は、互いに協働してインク流通室１１を構成している。インク流通室１１は、インク供給口９およびインク排出口１０を介してインク槽２に連通している。インク供給口９は、インクをインク槽２からインク流通室１１に供給する。インク流通室１１に供給された余剰のインクは、インク排出口１０からインク槽２に戻される。
【００２８】
図１ないし図３に示すように、ノズルプレート５は、一対のノズル列１２ａ，１２ｂを備えている。ノズル列１２ａ，１２ｂは、ノズルプレート５の長手方向に延びるように、ノズルプレート５の幅方向に間隔を存して互いに平行に配置されている。ノズル列１２ａ，１２ｂは、夫々複数のノズル１３を有している。ノズル１３は、インク流通室１１に開口するとともに、記録紙のような記録媒体（図示せず）と向かい合っている。
【００２９】
インク流通室１１に一対のアクチュエータ１５ａ，１５ｂが収容されている。アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、ノズル列１２ａ，１２ｂに対応するように基板３に固定されているとともに、インク供給口９とインク排出口１０との間に位置している。さらに、アクチュエータ１５ａ，１５ｂの基板３とは反対側の表面は、ノズルプレート５の内面に接している。
【００３０】
図４に示すように、アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、夫々ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）製の二枚の圧電部材１６，１７を積層することにより構成されている。圧電部材１６，１７は、その分極方向が圧電部材１６，１７の厚み方向に互いに逆向きとなっている。
【００３１】
アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、夫々複数の溝１９を有している。溝１９は、アクチュエータ１５ａ，１５ｂの表面および側面に連続して開口するとともに、アクチュエータ１５ａ，１５ｂの長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。隣り合う溝１９は、側壁２０によって区画されている。
【００３２】
さらに、各溝１９の内面とノズルプレート５で囲まれる空間は、圧力室２１を構成している。圧力室２１は、インク流通室１１に連通されているとともに、ノズルプレート５の各ノズル１３に対応している。そのため、インク流通室１１を流れるインクが個々の圧力室２１に充填されるようになっている。
【００３３】
各圧力室２１に臨む側壁２０の表面および各圧力室２１の底面に電極２２が形成されている。電極２２は、基板３の上に形成した導体パターン２３に電気的に接続されているとともに、図示しない絶縁膜により覆われている。
【００３４】
図２に示すように、導体パターン２３の先端は、スペーサ４の外に導かれるとともに、複数のフレキシブルプリント回路板２４に接続されている。フレキシブルプリント回路板２４は、インクジェットヘッド１を駆動する駆動回路２５を搭載している。
【００３５】
駆動回路２５は、インクジェットヘッド１の電極２２に駆動電圧を印加する。これにより、圧力室２１を間に挟んで隣り合う電極２２の間に電位差が生じ、電極２２に対応する側壁２０に電界が生じる。この結果、圧力室２１を間に挟んで隣り合う側壁２０がシェアモード変形により圧力室２１の容積を大きくする方向へ湾曲する。
【００３６】
この後、電極２２に印加する駆動電圧を０にすると、側壁２０が初期位置に復帰する。側壁２０が初期位置に復帰することで、圧力室２１に充填されたインクが加圧される。加圧されたインクの一部は、複数のインク滴となってノズル１３から記録媒体に吐出される。
【００３７】
本実施の形態に係るインクジェットプリンタ１では、一回のインク吐出動作時に、加圧されたインクを所定の周期で連続的に噴射することで１画素を形成している。図６は、一回のインク吐出動作時にインクジェットヘッド１に供給される駆動パルスを示している。
【００３８】
この図６において、Ｔ１はインクの噴射時間、Ｔ２はインクを噴射する周期、Ａは電極２２に印加される駆動電圧を示している。本実施の形態では、圧力室２１で加圧されたインクは、Ｔ２の周期で４回噴射されるとともに、各回当たりのインクの噴射時間がＴ１となっている。
【００３９】
さらに、本実施の形態では、一回のインクの噴射が終了する毎に、キャンセルパルスＴ３を電極２２に供給している。これにより、圧力室２１に生じるインクの圧力振動が相殺されるようになっている。
【００４０】
インクを記録媒体に吐出する各ノズル１３は、図４および図５示すような段付き形状を有している。具体的には、ノズル１３は、圧力室２１に連通するインク入口部３０と、このインク入口部３０よりもインク吐出方向に沿う下流側に位置するインク出口部３１とを有している。
【００４１】
インク入口部３０およびインク出口部３１は、夫々ノズルプレート５の厚み方向に沿うストレートな穴であり、互いに同軸状に配置されている。インク入口部３０は、インク吐出方向と直交する方向の断面形状が円形であるとともに、インク吐出方向と直交する方向の断面積が全長に亘って一定となっている。
【００４２】
インク出口部３１は、インク吐出方向と直交する方向の断面形状が円形であるとともに、インク吐出方向と直交する方向の断面積が全長に亘って一定となっている。加えて、インク出口部３１は、インク入口部３０よりもインク吐出方向と直交する方向の断面積が小さく形成されている。
【００４３】
言い換えると、インク出口部３１の口径Ｄ１は、インク入口部３０の口径Ｄ２よりも小さく形成されている。そのため、インク入口部３０とインク出口部３１との境界部分には、ノズル１３の径方向に沿う段差３２が形成されている。
【００４４】
なお、インク出口部３１に対するインクの充填を確実に行うことを考慮すると、インク入口部３０の口径Ｄ２は、インク出口部３１の口径Ｄ１の２倍以上とすることが望ましい。
【００４５】
さらに、インク出口部３１のインク吐出方向に沿う長さＬｎ１は、インク入口部３０のインク吐出方向に沿うＬｎ２よりも短くなっている。これにより、インク出口部３１の容積がインク入口部３０の容積よりも小さくなっており、ノズル１３内でのインクの液面（メニスカス）Ｌは、インク吐出動作の度にインク出口部３１の内部で移動するようになっている。
【００４６】
このような段付き形状のノズル１３は、図５に示すように、シリコン酸化膜４１を間に挟んで積層された第１の単結晶シリコン層４２および第２の単結晶シリコン層４３を有するＳＯＩ基板４４に対し、インクの吐出側あるいは吐出側とは反対側からエッチングを施すことにより形成される。
【００４７】
具体的には、最初にＳＯＩ基板４４の第１の単結晶シリコン層４２および第２の単結晶シリコン層４３を機械加工により表面研磨し、第１および第２の単結晶シリコン層４１、４２の厚さが夫々Ｌｎ１およびＬｎ２になるようにする。
【００４８】
次に、第２の単結晶シリコン層４３の表面に、周知のフォトリソグラフィーの技術を用いてポッシュプロセスによるドライエッチングを施し、口径がＤ２の円形の穴を形成する。シリコン酸化膜４１は、エッチングストップ層として機能するため、ＳＯＩ基板４４にインク入口部３０が形成される。
【００４９】
次に、第１の単結晶シリコン層４２の表面に、同様の工程により口径がＤ１の円形の穴を形成する。この場合においても、シリコン酸化膜４１がエッチングストップ層として機能するため、ＳＯＩ基板４４にインク出口部３１が形成される。
【００５０】
最後に、シリコン酸化膜４１をフッ酸溶液等により除去し、インク入口部３０とインク出口部３１とを互いに貫通させる。
【００５１】
なお、先にインク出口部３１を形成した後に、インク入口部３０を形成してもよい。
【００５２】
ところで、インク出口部３１の長さＬｎ１およびインク入口部３０の長さＬｎ２は、夫々第１および第２の単結晶シリコン層４１、４２に機械加工の一種である表面研磨を施すことにより定まる。この際、例えばＳＯＩ基板４４の反りや加工精度の限界等により、インク出口部３１の長さＬｎ１に±１μｍ程度のばらつきが生じることがあり得る。インク出口部３１の長さＬｎ１にばらつきが生じると、印字品質に悪影響を及ぼす。
【００５３】
そこで、本実施の形態では、インク出口部３１の長さＬｎ１にばらつきが生じた場合でも、インクの吐出特性に影響を及ぼすことがない長さＬｎ１の範囲について究明した。
【００５４】
その結果、インク出口部３１のインク吐出方向と直交する方向の断面積をＣ１、インク噴射時間Ｔ１により定まるインクの吐出体積をＶとした時、インク出口部３１の長さＬｎ１が下記の式で示す範囲内にあれば、インクの吐出特性に与える影響が少ないことが明らかとなった。
【００５５】
Ｌｎ１＝Ｖ／Ｃ１×０．５〜１
以下、この根拠について説明する。
【００５６】
本発明者は、インク出口部３１の口径Ｄ１およびインク噴射時間Ｔ１を変化させた時に、インクの吐出体積がどのように変化するかを調べた。この試験では、インクの吐出速度を一般的な１０ｍ/Ｓに設定するとともに、Ｌｎ１とＬｎ２との和を５０μｍに設定した。
【００５７】
図７は、インクの吐出体積をインク出口部３１の断面積で割ることで得られるインク出口部３１の長さの比を０．５から１．５の範囲内で１１段階に変化させた時のインクの吐出体積とインク出口部３１の長さＬｎ１との関係を示している。
【００５８】
図７によると、インク出口部３１の口径Ｄ１が３０μｍの場合、インク出口部３１の長さの比が１．０以下であれば、インク出口部３１の長さＬｎ１に多少のばらつきが生じてもインク吐出体積が概ね一定に保たれている。
【００５９】
同様に、インク出口部３１の口径Ｄ１が２５μｍの場合、インク出口部３１の長さの比が１．０以下であれば、インク出口部３１の長さＬｎ１に多少のばらつきが生じてもインク吐出体積が概ね一定に保たれている。
【００６０】
さらに、インク出口部３１の口径Ｄ１が２０μｍおよび１５μｍの場合でも、インク出口部３１の長さの比が１．０以下であれば、インク出口部３１の長さＬｎ１に多少のばらつきが生じてもインク吐出体積が概ね一定に保たれている。
【００６１】
言い換えると、インク出口部３１の口径Ｄ１がいずれの場合も、インク出口部３１の長さの比が１．０を上回ると、インクの吐出体積の変動が大きくなる傾向にある。
【００６２】
一方、インク出口部３１の長さの比が０．５を下回ると、インク出口部３１の口径Ｄ１が小さくなるに従い、インク出口部３１の長さＬｎ１も短くなる。特にインク出口部３１の口径Ｄ１が１５μｍの場合は、インク出口部３１の長さＬｎ１が５μｍ未満となる。
【００６３】
そのため、インク出口部３１の長さＬｎ１が短くなり過ぎてしまい、製造が困難となるとともに、インクジェットヘッド１の実情から考えても非現実的なものとなる。この結果、インク出口部３１の長さの比の下限は、０．５とすることが望ましいとの結論を得た。
【００６４】
このような本発明の実施の形態によれば、インクの吐出体積をインク出口部３１の断面積で割ることで得られるインク出口部３１の長さの比を０．５〜１．０の範囲内に収めることで、インク出口部３１の長さＬｎ１に多少のばらつきが生じたとしても、インクの吐出体積の変動を防止することができる。
【００６５】
したがって、インクの吐出特性が安定し、印字品質を高めることができる。
【００６６】
本発明は上記実施の形態に特定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施可能である。
【００６７】
例えば、ノズルのインク出口部は、口径が一定のストレートな穴に限定されるものではなく、インク出口部の内周面が僅かに傾斜していても何等差し支えない。この場合、インク出口部の口径は、インク出口部の内周面の傾斜に応じて変化するため、上述の式中の断面積Ｃ１については、例えば平均値のような代表値をとるように設定することが望ましい。
【００６８】
さらに、インク出口部とインク入口部の長さの関係についても上記実施の形態に限らず、インク出口部の長さとインク入口部の長さが互いに同等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明に係るインクジェットヘッドおよびノズルプレートによれば、ノズルのインク出口部の長さに多少のばらつきが生じたとしても、インクの吐出体積の変動を抑制することができ、プリンタのような印字装置に広く適用が可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１…インクジェットヘッド、５…ノズルプレート、１３…ノズル、１５ａ，１５ｂ…アクチュエータ、２１…圧力室、３０…インク入口部、３１…インク出口部、３２…段差。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７１】
【特許文献１】特開２００８−８７３６７号公報
【図１】
2010214894.tif 000003
【図２】
2010214894.tif 000004
【図３】
2010214894.tif 000005
【図４】
2010214894.tif 000006
【図５】
2010214894.tif 000007
【図６】
2010214894.tif 000008
【図７】
2010214894.tif 000009