(57)【要約】【課題】端末装置が情報管理装置から情報を取得する際に要する時間を短縮する。【解決手段】基板処理システムは、群管理サーバ及び端末装置を有する。群管理サーバは、基板処理装置から送信されるデータに基づいて、当該データが送信された時点の前記基板処理装置の装置情報を記憶する現在情報記憶部４０２と、装置情報と時刻とを関連付けて記憶する装置情報ＤＢ４００と、装置情報が蓄積される条件を記憶する定義情報記憶部４０４と、定義情報記憶部４０４に記憶されている条件が満たされた場合、当該条件が満たされた時刻と現在情報記憶部４０２に記憶されている装置情報とを関連付けて装置情報ＤＢ４００に登録する装置情報登録部４１０とを有する。端末装置は、装置情報ＤＢ４００に記憶されている装置情報を検索する装置情報取得部６０２を有する。【選択図】図７
2010027646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置から送信される装置情報またはイベント情報を含む電文に基づいて情報を管理する情報管理方法であって、装置情報を含む電文が送信された時点の前記基板処理装置の装置情報を第１の装置情報記憶手段に記憶すると共に、イベント情報を含む電文が送信された際に、該イベント情報と前記装置情報を蓄積する条件とを比較し、一致した場合、前記装置情報と前記イベント情報が発生した時刻とを関連付けて第２の装置情報記憶手段に記憶する情報管理方法。
【請求項２】
前記イベント情報を含む電文が送信された際に、該イベント情報と第１の装置情報記憶手段に格納された装置情報を第２の装置情報記憶手段に移動させる移動条件と移動対象の装置情報とが設定された条件記憶手段とを比較し、前記イベント情報と前記条件とが一致した場合、前記第１の装置情報記憶手段に格納された装置情報であって、前記設定された移動対象の装置情報に前記イベント情報が発生した時刻を付加して第２の装置情報記憶手段に記憶する請求項１の情報管理方法。
【請求項３】
操作画面を有する操作端末に情報を表示する情報表示方法であって、基板を処理する基板処理装置からイベント情報を含む電文が送信された際に、前記操作端末は、該イベント情報と第１の装置情報記憶手段に格納された装置情報を第２の装置情報記憶手段に移動させる移動条件と移動対象の装置情報とが設定された条件記憶手段を参照し、前記設定された移動対象の装置情報に前記イベント情報が発生した時刻を付加して記憶された第２の装置情報記憶手段を検索し、該検索した結果情報と前記設定された装置情報とを比較し、一致していれば前記操作画面に前記装置情報を表示する情報表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理装置から送信される情報を管理する情報管理方法及び装置又は基板処理装置と情報管理装置とを含む基板処理システム又は情報管理装置に蓄積される情報を表示する方法及びこの情報を含む基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、この種の基板処理システムには、基板に処理を施す複数の基板処理装置と、この複数の基板処理装置の稼働状態の監視及び生産履歴等の情報（データ）を管理する群管理サーバ（情報管理装置）とで構成される。そこで、情報管理装置は、基板処理装置から送信される温度、圧力、ガス等の測定値や稼働状況等の種々の情報を管理する。このような情報管理装置により、半導体生産の効率向上が図られている。ユーザは、端末装置を用いて、情報管理装置により管理されている情報を取得する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の基板処理システムにおいては、端末装置が情報管理装置から情報を取得するために時間を要することがあった。
【０００４】
本発明は、上述した課題を解決するためにからなされるものであり、端末装置が情報管理装置から情報を取得する時間を短縮することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る第１の情報管理方法は、基板を処理する基板処理装置から送信される装置情報またはイベント情報を含む電文に基づいて情報を管理する情報管理方法であって、装置情報を含む電文が送信された時点の前記基板処理装置の装置情報を第１の装置情報記憶手段に記憶すると共に、イベント情報を含む電文が送信された際に、該イベント情報と前記装置情報を蓄積する条件とを比較し、一致した場合、前記装置情報と前記イベント情報が発生した時刻とを関連付けて第２の装置情報記憶手段に記憶する。
【０００６】
本発明に係る第２の情報管理方法は、前記イベント情報を含む電文が送信された際に、該イベント情報と第１の装置情報記憶手段に格納された装置情報を第２の装置情報記憶手段に移動させる移動条件と移動対象の装置情報とが設定された条件記憶手段とを比較し、前記イベント情報と前記条件とが一致した場合、前記第１の装置情報記憶手段に格納された装置情報であって、前記設定された移動対象の装置情報に前記イベント情報が発生した時刻を付加して第２の装置情報記憶手段に記憶する。
【０００７】
本発明に係る情報表示方法は、操作画面を有する操作端末に情報を表示する情報表示方法であって、基板を処理する基板処理装置からイベント情報を含む電文が送信された際に、前記操作端末は、該イベント情報と第１の装置情報記憶手段に格納された装置情報を第２の装置情報記憶手段に移動させる移動条件と移動対象の装置情報とが設定された条件記憶手段を参照し、前記設定された移動対象の装置情報に前記イベント情報が発生した時刻を付加して記憶された第２の装置情報記憶手段を検索し、該検索した結果情報と前記設定された装置情報とを比較し、一致していれば前記操作画面に前記装置情報を表示する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、端末装置が情報管理装置から情報を取得する際、検索に要する時間を短縮することができる。さらに、基板処理装置で基板を処理する際に生成される各種情報を利用して、データ解析（例えば、基板処理装置で発生した異常の要因追求など）及びデータ加工（例えば、基板処理装置から送信される生産情報のグラフ化など）を行う時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
まず、図１に基づいて、本発明の背景を説明する。
図１は、従来の群管理サーバに記憶される装置情報及びその構造と、記憶されている装置情報の検索方法とを示す図である。
図１（Ａ）は、基板処理装置から送信される電文を例示する図である。図１（Ａ）に例示するように、各電文には、送信された時刻、送信元の基板処理装置の名称（装置名称）、アイテム種別、及びこのアイテムの情報（測定値など）が含まれる。群管理サーバは、複数の基板処理装置から送信される電文を受信し、この電文から装置情報を取得し、装置情報を記憶する。
【００１０】
図１（Ｂ）は、装置情報が記憶される構造を模式的に示す図である。図１（Ｂ）に示すように、装置情報は、データベース（ＤＢ）に記憶される。ＤＢには、アイテム管理テーブル、測定データ管理テーブル及び装置管理テーブルが含まれる。アイテム管理テーブルでは、アイテム種別に対応する各アイテムが管理される。装置管理テーブルでは、各基板処理装置が管理される。測定データ管理テーブルでは、アイテム管理テーブルに管理されるアイテムと装置管理テーブルに管理される装置とに関連付けられた情報（測定値など）及び電文に含まれる時刻（図１（Ａ）の'時間'に相当）が管理される。
【００１１】
このＤＢ構造のメリットは、次の通りである。即ち、１）アイテムが追加された場合においてもＤＢ構造への影響（例えば、新たなテーブルを追加しなければならなくなるなど）がない、２）基板処理装置が追加された場合においてもＤＢ構造への影響がない、３）各基板処理装置が異なるアイテムを含む場合においても、装置情報は測定データ管理テーブルで管理される、４）測定データ管理テーブルには基板処理装置に含まれるアイテムに関する情報（測定値など）のみが記憶されるので、不要なデータ領域が存在しない。
【００１２】
図１（Ｃ）は、ＤＢに記憶されている装置情報の取得方法を示す。例えば障害発生時点の基板処理装置（障害発生装置）の状態を確認する際、操作端末としての端末装置は、ＤＢのアイテム管理テーブル、測定データ管理テーブル及び装置管理テーブルを参照し、これら３つのテーブルを図１（Ｃ）に例示されるテーブルとして再構成し、図１（Ｃ）のテーブルにおいて、障害発生装置について、各時刻の各アイテムの測定値を検索する。ここで、各時刻には、全てのアイテムの測定値が記憶されているとは限らないので、所望の時刻に測定値が記憶されていない場合、測定値が記憶されている時刻まで遡る必要がある。具体的には、端末装置は、アイテム毎に、所望の時刻から測定値が記憶されている時刻まで、測定値の補完作業を行う必要がある。例えば、端末装置は、時刻１２：００：０４において、温度ｃｈ１の値（６９０．０）を検索できるが、温度ｃｈ２及びガスｃｈ１の値を検索できず、温度ｃｈ２の値及びガスｃｈ１の値を検索するには、時刻１２：００：０２まで遡る必要がある。
このように、このＤＢ構造には、次のデメリットがある。即ち、１）互いに関連する複数のテーブルを、データ検索用の１つのテーブルとして再構成するのに時間がかかってしまう、２）測定値を補間するのに時間がかかってしまう。
【００１３】
以下、上述した背景をふまえて、本発明の実施形態に係る基板処理システムを説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
図２に示すように、基板処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、群管理サーバ４及び端末装置６を有する。基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、群管理サーバ４及び端末装置６は、例えばＬＡＮ、ＷＡＮなどのネットワーク１２を介して、データの送信及び受信が互いに可能に接続されている。なお、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。
【００１４】
基板処理装置１０は、プロセスレシピ等に基づいて基板の処理を実行する。具体的には、プロセスレシピには、基板を処理するための手順が記載されており、基板処理装置１０は、この手順に基づいて装置内の構成要素の制御を行う。また、基板処理装置１０は、温度情報、圧力情報、ガス情報等の生産情報を含む基板処理装置１０の処理に関する情報（以下、「装置情報」と記載）を含む電文を、ネットワーク１２を介して群管理サーバ４に対して送信する。さらに、基板処理装置１０は、例えば、障害発生を示す情報（エラー情報）や基板処理における所定の動作を示す情報（稼働情報）など、発生頻度が少ない情報又は突発的に発生する情報（以下、「イベント情報」と記載）を含む電文を、群管理サーバ４に対して送信する。
【００１５】
基板処理装置１０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置を適用した実施例について述べる。なお、基板処理装置１０の詳細な構造については、後で詳述する。
【００１６】
群管理サーバ４（情報管理装置）は、基板処理装置１０から送信される電文を受信し、電文に含まれる装置情報又はイベント情報の保存及び管理を行う。また、群管理サーバ４は、複数のデータベース（ＤＢ）を備えるよう実現されてもよい。なお、群管理サーバ４の機能及びＤＢ構造については、後で詳述する。
【００１７】
端末装置６は、群管理サーバ４により蓄積されている情報を検索し、検索結果を画面に表示し、ユーザに対して情報の提供を行うインタフェースを構成する。より具体的には、端末装置６は、キーボード又はマウスなどを介してユーザの要求を受け付け、群管理サーバ４から情報を取得し、この情報を画面に表示する。なお、端末装置６は、基板処理装置１０が配置された場所（例えば、クリーンルーム）に配置される必要はなく、例えば事務所など基板処理装置１０が配置された場所とは異なる場所に配置されてもよい。
【００１８】
次に、基板処理装置１０の詳細な構成を説明する。
図３は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。また、図４は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の側面透視図を示す。
図３及び図４に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の実施形態に係る基板処理装置１０は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。
【００１９】
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００２０】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００２１】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００２２】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２３】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図４に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００２４】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理室２０２が設けられている。処理室２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００２５】
図３に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理室２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２６】
図３に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
【００２７】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００２８】
次に、基板処理装置１０内に設けられており、基板処理装置１０内の各装置の制御を行うプロセスモジュールコントローラ（ＰＭＣ）１４について説明する。
図５は、ＰＭＣ１４を中心とした基板処理装置１０の機能構成を示す。
図５に示すように、ＰＭＣ１４は、ＣＰＵ１４０、ＲＯＭ１４２、ＲＡＭ１４４、データを記憶するハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１５８、図示しないディスプレイ等の表示装置及びキーボード等の入力装置との間でのデータの送受信を行う入出力インタフェース（ＩＦ）１４６、ネットワーク１２を介して群管理サーバ４等との間でのデータの通信を制御する通信制御部１５６、温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び温度制御部１５０等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１４８を有する。これらの構成要素はバス１６０を介して相互に接続されており、データは構成要素の間でバス１６０を介して入出力される。
【００２９】
ＰＭＣ１４において、ＣＰＵ１４０は、所定のレシピに基づいて基板を処理する。具体的には、ＣＰＵ１４０は、制御データ（制御指示）を、温度制御部１５０、ガス制御部１５２及び圧力制御部１５４等に対して出力する。ＲＯＭ１４２、ＲＡＭ１４４、及びＨＤＤ１５８には、シーケンスプログラム、入出力ＩＦ１４６より入力されるデータ、通信制御部１５６を介して入力されるデータ等が格納される。
【００３０】
温度制御部１５０は、上述した処理室２０２の外周部に設けられたヒータ３３８により該処理室２０２内の温度を制御する。ガス制御部１５２は、処理室２０２のガス配管３４０に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）３４２からの出力値に基づいて処理室２０２内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部１５４は、処理室２０２の排気配管３４４に設けられた圧力センサ３４６の出力値に基づいてバルブ３４８を開閉することにより処理室２０２内の圧力を制御する。搬送制御部１５９は、ポッドオープナ１２１、ボートエレベータ１１５及びウエハ搬送機構等の搬送系を制御する。このように、温度制御部１５０等は、ＣＰＵ１４０からの制御指示に基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。
【００３１】
したがって、ＣＰＵ１４０は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、レシピのコマンドを呼び込み実行することで、制御パラメータの目標値等が設定されているステップが逐次実行され、Ｉ／Ｏ制御部１４８を介して温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び搬送制御部１５９に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部１５０等は、制御指示に従って基板処理装置１０内の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。これにより、ウエハ２００の処理が行われる。
【００３２】
ＣＰＵ１４０（送信手段）は、温度情報、圧力情報、ガス情報などの生産情報を含む基板処理装置１０の装置情報又はイベント情報を含む電文を、通信制御部１５６を介して群管理サーバ４に対して送信する。例えば、ＣＰＵ１４０は、いずれかの生産情報が変化した場合、この変化情報を反映する装置情報を含む電文を送信する。また、ＣＰＵ１４０は、基板処理装置１０のイベント及び障害に関する情報（イベント情報）を含む電文を、群管理サーバ４に対して送信する。イベントは、例えば、ボート２１７の上昇開始時、上昇終了時、下降開始時及び下降終了時などである。このようなイベントが発生した場合、ボートエレベータ１１５の位置センサのオン・オフが切り替わり、切り替え信号が送信される。
【００３３】
図６は、端末装置６のハードウェア構成を、制御装置１６を中心にして示す図である。
図６に示すように、端末装置６は、ＣＰＵ１８及びメモリ２０などを含む制御装置１６、ネットワーク１２を介して外部のコンピュータとデータの送信及び受信を行う通信インタフェース（ＩＦ）２２、ハードディスクドライブなどの記憶装置２６、及び液晶ディスプレイなどの表示装置並びにキーボード及びマウス等のポインティングデバイスを含む表示・入力装置２４を有する。このように、端末装置６は、例えばパーソナルコンピュータなどの汎用コンピュータとして実現される。なお、群管理サーバ４は、上述した制御装置１６、通信ＩＦ２２及び記憶装置２６を有する。また、群管理サーバ４は、通信ＩＦ２２を介して、端末装置６の表示・入力装置２４に接続されるよう構成される。
【００３４】
次に、群管理サーバ４の機能及びＤＢ構造と端末装置６の機能を説明する。
図７は、群管理サーバ４により実行される群管理プログラム４０、及び端末装置６により実行される端末プログラム６０の機能構成を示す図である。
図７に示すように、群管理プログラム４０は、装置情報ＤＢ４００、現在情報記憶部４０２、定義情報記憶部４０４、通信部４０６、電文受付部４０８及び装置情報登録部４１０を有する。群管理プログラム４０は、群管理サーバ４のメモリ２０にロードされ、制御装置１６上で動作する図示しないＯＳ上で実行される。
【００３５】
群管理プログラム４０において、現在情報記憶部４０２（第１の装置情報記憶手段）は、各基板処理装置１０の最新の装置情報を記憶する。具体的には、現在情報記憶部４０２は、基板処理装置１０から送信される電文に基づいて、この電文が送信された時点の装置情報を記憶する。装置情報には、装置識別情報、温度情報、圧力情報、ガス情報等の生産情報及び各生産情報についての測定データが含まれる。現在情報記憶部４０２（第１の装置情報記憶手段）は、電文から取得される各基板処理装置１０の全ての装置情報について、その測定値を記憶する。現在情報記憶部４０２は、メモリ２０により実現される。
【００３６】
装置情報ＤＢ４００（第２の装置情報記憶手段）は、各基板処理装置１０について、装置情報と時刻とを関連付けて記憶する。具体的には、装置情報ＤＢ４００は、装置情報の一部であって後述する定義情報記憶部４０４により定義された装置情報を、定義されたイベント情報が発生した時刻毎に記憶する。装置情報ＤＢ４００は、メモリ２０及び記憶装置２６の少なくともいずれかにより実現される。なお、装置情報ＤＢ４００及び現在情報記憶部４０２に記憶される装置情報の構造については、後で詳述する。
【００３７】
定義情報記憶部４０４は、定義情報が変更可能に記憶されている。定義情報には、現在情報記憶部４０２に記憶されている装置情報が読み出されて装置情報ＤＢ４００に蓄積される条件（蓄積条件）及び端末装置６で表示される装置情報などが含まれる。例えば、蓄積条件として、所定のイベントの発生が含まれる。また例えば、端末装置６で表示される装置情報として、「温度ｃｈ１」「温度ｃｈ２」「ガスｃｈ１」など生産情報の種別及び各生産情報の測定値が含まれる。なお、定義情報記憶部４０４は、複数の定義情報を記憶してもよく、この場合には、群管理プログラム４０は、定義情報ごとに装置情報ＤＢ４００を有するのが好ましい。
【００３８】
通信部４０６は、基板処理装置１０との間の通信に必要とされる通信処理を行う。具体的には、通信部４０６は、基板処理装置１０から送信される電文を、所定の手順で通信ＩＦ２２を介して取得し、電文受付部４０８に対して出力する。
【００３９】
電文受付部４０８は、通信部４０６から出力された電文を受け付け、この電文が装置情報を含む場合には、当該装置情報を現在情報記憶部４０２に記憶させる。具体的には、電文受付部４０８は、現在情報記憶部４０２に記憶されている装置情報のうち、通信部４０６から出力された電文に含まれる装置情報の測定値を更新する。例えば、電文受付部４０８は、電文に含まれる装置情報の測定値を、現在情報記憶部４０２に記憶されている測定値に上書きする。これにより、現在情報記憶部４０２には、電文が送信された時点、即ち最新の基板処理装置１０の装置情報が記憶される。
また、電文受付部４０８は、通信部４０６から受け付けた電文がイベント情報を含む場合には、当該イベント情報を装置情報登録部４１０に対して出力する。
【００４０】
装置情報登録部４１０は、定義情報記憶部４０４を参照し、定義情報記憶部４０４に記憶されている蓄積条件に従って、現在情報記憶部４０２に記憶されている装置情報を装置情報ＤＢ４００に登録する。具体的には、装置情報登録部４１０は、電文受付部４０８から出力されたイベント情報と、定義情報記憶部４０４に蓄積条件として記憶されているイベント情報とが一致する場合、イベント情報の送信元である基板処理装置１０の装置情報を現在情報記憶部４０２から読み出し、読み出された装置情報の少なくとも一部を、イベントが発生した時刻と対応付けて装置情報ＤＢ４００に登録する。ここで、装置情報登録部４１０は、定義情報記憶部４０４に記憶されている定義情報を参照し、定義された装置情報だけを読み出し、当該情報が所定のデータ形式にまとめられるように加工して登録する。これにより、基板処理装置１０において蓄積条件としてのイベントが発生する毎に、発生時点での基板処理装置１０の装置情報が、装置情報ＤＢ４００に蓄積される。
【００４１】
端末プログラム６０は、ユーザインタフェース（ＵＩ）部６００、装置情報取得部６０２及び画面生成部６０４を有する。端末プログラム６０は、端末装置６のメモリ２０にロードされ、制御装置１６上で動作する図示しないＯＳ上で実行される。
【００４２】
端末プログラム６０において、ＵＩ部６００（表示手段）は、表示・入力装置２４を介して入力された内容を受け付けて、装置情報取得部６０２に対して出力する。例えば、ＵＩ部６００は、基板処理装置１０の名称や識別子（ＩＤ）などの識別情報及び時刻を受け付ける。また、ＵＩ部６００は、画面生成部６０４により生成される障害情報画面（後述）などを表示・入力装置２４に表示する。
【００４３】
装置情報取得部６０２は、ＵＩ部６００から出力された識別情報及び時刻に基づいて装置情報ＤＢ４００に記憶されている装置情報を検索し、当該識別情報により識別される基板処理装置１０の当該時刻における装置情報を取得する。装置情報取得部６０２は、取得された装置情報を画面生成部６０４に対して出力する。
【００４４】
画面生成部６０４は、定義情報記憶部４０４を参照し、定義された装置情報の種別及び各装置情報の測定値を取得する。画面生成部６０４は、この装置情報の種別に基づいて障害情報画面の画面構成を生成する。さらに、画面生成部６０４は、装置情報取得部６０２により取得された装置情報を障害情報画面の画面構成に合成して、障害情報画面を生成する。画面生成部６０４は、生成された障害情報画面をＵＩ部６００に対して出力する。なお、障害情報画面については、後で詳述する。
【００４５】
図８は、群管理プログラム４０の現在情報記憶部４０２及び装置情報ＤＢ４００の記憶構造を模式的に示す図であって、（Ａ）は現在情報記憶部４０２を例示し、（Ｂ）は装置情報ＤＢ４００を例示する。
図８（Ａ）に例示するように、現在情報記憶部４０２には、各基板処理装置１０について、全ての種別とその測定値とを含む装置情報が記憶されている。現在情報記憶部４０２には、各基板処理装置１０の各装置情報の最新の測定値が記憶されている。よって、現在情報記憶部４０２に記憶された装置情報は、測定値が変更された場合にのみ更新される。
なお、図８には、３つの種別が表示される場合が例示されているが、実際には、３つに限定されない数の種別が表示される。
【００４６】
図８（Ｂ）に例示するように、装置情報ＤＢ４００には、各基板処理装置１０について、定義情報記憶部４０４で定義されている種別とその測定値とを含む装置情報が記憶されている。この装置情報は、定義情報記憶部４０４に定義されている蓄積条件が満たされる毎に蓄積される。各時刻における装置情報は、複数の種別とその測定値とが１つのデータにまとめられた形式である。例えば、種別とその測定値とは"／"などの連結記号により連結されており、このように連結された情報が１つの装置情報内に含まれる。
【００４７】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の動作を詳細に説明する。
まず、基板処理装置１０による基板処理を説明する。
図３及び図４に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【００４８】
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００４９】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
【００５０】
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７に装填する。
【００５１】
この一方（上段又は下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００５２】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理室２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理室２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００５３】
ローディング後、処理室２０２にて、所定のレシピに基づいて、処理がウエハ２００に対して実施される。処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払出される。
【００５４】
基板処理装置１０は、このような基板処理の間、温度情報、圧力情報、ガス情報など基板処理装置１０の装置情報を含む電文を群管理サーバ４に対して送信する。さらに、基板処理装置１０は、イベントが発生する毎に、イベント情報を群管理サーバ４に対して送信する。
【００５５】
次に、本発明の実施形態に係る群管理サーバ４の動作を説明する。
図９は、本発明の実施形態に係る群管理サーバ４の動作（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
図９に示すように、群管理サーバ４（群管理プログラム４０）において、通信部４０６は、基板処理装置１０から電文を受け付けたか否かを判定する。群管理サーバ４は、電文を受け付けた場合にはステップ１０２（Ｓ１０２）の処理に進み、そうでない場合には処理を終了する。
【００５６】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、通信部４０６は、電文を電文受付部４０８に対して出力し、電文受付部４０８は、出力された電文にイベント情報が含まれているか否かを判定する。電文にイベント情報が含まれている場合、群管理サーバ４は、ステップ１０６（Ｓ１０６）の処理に進み、そうでない場合にはステップ１０４（Ｓ１０４）の処理に進む。
【００５７】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、電文受付部４０８は、現在情報記憶部４０２に記憶されている装置情報のうち、当該電文に含まれる装置情報のデータを更新する。データ更新後、群管理サーバ４は、ステップ１００（Ｓ１００）の処理に戻る。
【００５８】
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、電文受付部４０８は、電文に含まれるイベント情報を装置情報登録部４１０に対して出力し、装置情報登録部４１０は、このイベント情報が蓄積条件として指定されているか否かを判定する。当該イベント情報が蓄積条件として指定されている場合には、群管理サーバ４は、ステップ１０８（Ｓ１０８）の処理に進み、そうでない場合にはステップ１００（Ｓ１００）の処理に戻る。
【００５９】
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、装置情報登録部４１０は、現在情報記憶部４０２に記憶されている装置情報であってイベント情報の送信元の基板処理装置１０に関するものを読み出し、この装置情報とイベント発生時刻とを関連付けて、装置情報ＤＢ４００に蓄積する。蓄積後、群管理サーバ４は、ステップ１００（Ｓ１００）の処理に戻る。
【００６０】
以上、群管理サーバ４において、基板処理装置１０からの装置情報のうち最新の情報が、いったん現在情報記憶部４０２に記憶され、現在情報記憶部４０２に記憶されている情報のうち、定義情報記憶部４０４の定義情報で定義されるイベントに関する情報のみが装置情報ＤＢ４００に蓄積されることを説明したが、群管理サーバ４における動作はこれに限られない。
例えば、群管理サーバ４において、定義情報記憶部４０４の定義情報をあらかじめ参照し、基板処理装置１０からの装置情報のうち、定義情報で定義される装置情報のみが現在情報記憶部４０２に記憶され、現在情報記憶部４０２に記憶されている情報のうち、定義情報記憶部４０４の定義情報で定義されるイベントに関する情報のみが装置情報ＤＢ４００に蓄積されてもかまわない。
【００６１】
次に、端末装置６を用いた基板処理装置１０に関する情報の閲覧を説明する。
図１０は、端末装置６に表示される障害情報画面を例示する図である。
図１０（Ａ）は、定義情報記憶部４０４に定義情報として指定されている種別と、装置情報ＤＢ４００に記憶されている所望の時刻の装置情報の種別とが一致する場合の例である。図１０（Ａ）に例示するように、障害情報画面には、障害内容及び障害発生時の装置情報が含まれ、この装置情報には、定義情報記憶部４０４で定義された種別及び障害発生時の測定値が含まれる。ここでは定義された全ての種別に応じた測定値が表示される。
【００６２】
定義情報記憶部４０４に記憶される定義情報は、変更可能である。したがって、定義情報が変更されている場合、定義情報で指定されている種別と、所望の時刻の装置情報の種別とは一致しないことがある。
【００６３】
図１０（Ｂ）は、定義情報記憶部４０４に定義情報として指定されている種別と、装置情報ＤＢ４００に記憶されている所望の時刻の装置情報の種別とが一致しない場合の例である。図１０（Ｂ）に例示するように、検索時点での定義情報では種別「圧力」は定義されているが、所望の時刻での定義情報では種別「圧力」は定義されていない場合、この時刻での種別「圧力」の測定値は装置情報ＤＢ４００には蓄積されていない。この場合、障害情報画面の種別「圧力」の欄には、測定値が表示されず、当該欄は空欄のままである。
【００６４】
このように、定義情報が変更された場合においても、端末装置６は、基板処理装置１０の装置情報のうち蓄積されている種別に関する情報を表示することができる。なお、装置情報ＤＢ４００には蓄積されているが、検索時の定義情報には定義されていない種別に関する測定値は、端末装置６により群管理サーバ４から取得されるが障害情報画面には表示されない。
【００６５】
以上説明したように、本発明に係る基板処理システム１は、基板処理装置１０から送信される電文に基づいて基板処理装置１０の最新の装置情報を保持し、基板処理装置１０でイベントが発生したタイミングで装置情報のうち指定された種別とその測定値とを装置情報ＤＢ４００に蓄積する群管理サーバ４と、群管理サーバ４の装置情報ＤＢ４００に記憶されている装置情報を検索する端末装置６とを有する。したがって、各時刻における装置情報は、定義された種別の測定値を含むので、端末装置６は、時刻情報に基づいて装置情報を検索できることができ、検索時に、時間を遡って種別の測定値を補完する必要がなくなる。これにより、検索時間が短縮されるので、例えば、データ解析作業などの作業の効率を向上することができる。
【００６６】
次に、群管理プログラム４０の現在情報記憶部４０２の記憶構造の変形例及びアイテム情報ＤＢ４１２の記憶構造を説明する。なお、アイテム情報には、装置情報及びイベント情報が含まれる。
図１１は、群管理プログラム４０の現在情報記憶部４０２の記憶構造の変形例及びアイテム情報ＤＢ４１２の記憶構造を示す図であって、（Ａ）は現在情報記憶部４０２を例示し、（Ｂ）はアイテム情報ＤＢ４１２を例示する。
図１１（Ｂ）に例示するように、アイテム情報には、プロセスレシピに関する情報（例えば、プロセスレシピの名称）、ウエハマップ、Ｏ２濃度などが含まれてもよい。即ち、アイテム情報は、各基板処理装置１０のプロセス情報を含んでもよい。例えば、ボート２１７の上昇開始時と上昇終了時とで、プロセスレシピの名称、ウエハマップ、Ｏ２濃度などに変化がある場合、ユーザは、端末装置６を用いてボート２１７の上昇前後の時刻に関する情報を取得することにより、その違いを確認することができる。なお、ウエハマップやＯ２濃度などはあくまで例示であり、他の種別が記憶されてもよい。
【００６７】
なお、本発明に係る基板処理装置１０は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用される。また、本発明に係る基板処理装置１０は、他の基板処理装置である露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置などにも適用される。また、本発明に係る基板処理装置１０は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。さらに、本発明に係る基板処理装置１０は、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等を行うことができる。
【００６８】
また、本発明は、以下の実施態様も含む。
本発明に係る情報管理装置は、基板を処理する基板処理装置から送信される電文に基づいて、当該電文が送信された時点の前記基板処理装置の装置情報を記憶する第１の装置情報記憶手段と、装置情報と時刻とを関連付けて記憶する第２の装置情報記憶手段と、移動する装置情報の設定及び該装置情報を蓄積する条件を記憶する条件記憶手段と、前記条件記憶手段に記憶されている条件が満たされた場合、当該条件が満たされた時刻と前記第１の装置情報記憶手段に記憶されている当該設定と一致した装置情報とを関連付けて前記第２の装置情報記憶手段に登録する登録手段とを有する。
【００６９】
本発明に係る第１の基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、前記基板処理装置から送信される電文を処理する情報管理装置と、前記情報管理装置に接続された端末装置とを含む基板処理システムであって、前記基板処理装置は、装置情報又はイベント情報を含む電文を前記情報管理装置に送信する送信手段を有し、前記情報管理装置は、前記送信手段から送信される電文に基づいて、当該電文が送信された時点の前記基板処理装置の装置情報を記憶する第１の装置情報記憶手段と、装置情報と時刻とを関連付けて記憶する第２の装置情報記憶手段と、装置情報が蓄積される条件を記憶する条件記憶手段と、前記条件記憶手段に記憶されている条件と前記イベント情報が一致した場合、当該条件が満たされた時刻と前記第１の装置情報記憶手段に記憶されている装置情報とを関連付けて前記第２の装置情報記憶手段に登録する登録手段とを有し、前記端末装置は、前記第２の装置情報記憶手段に記憶されている装置情報を検索する検索手段を有する。
【００７０】
本発明に係る第２の基板処理システムは、第１の基板処理システムにおいて、さらに、前記端末手段に表示手段を設け、前記条件記憶手段と前記第２の装置情報記憶手段に記憶されている装置情報を参照し、該記憶された装置情報が前記条件記憶手段の内容と一致していれば前記表示手段に表示する。
【００７１】
本発明に係る第３の基板処理システムは、第１の基板処理システムにおいて、さらに、前記基板処理装置は、第２の装置情報記憶手段に蓄積される装置情報を検索する検索手段を有し、前記検索手段により検索された装置情報を表示する表示手段を有する。
【００７２】
本発明に係る第１のデータ検索方法は、装置から送信される最新のデータを格納する第１の格納手段に格納しておき、予め設定されていた所定のデータを受信すると、前記第１の格納手段に格納されていたデータの少なくとも一部のデータを前記所定のデータが発生した時刻を付加して第２の格納手段に蓄積し、該蓄積されたデータを検索する。
【００７３】
本発明に係る第２のデータ検索方法は、装置から送信される最新のデータを格納する第１の格納手段に格納しておき、所定のデータ及び該所定のデータが発生したときにのみ第２の格納手段に移動させるデータを設定したパラメータを参照し、前記所定のデータを受信すると、前記第１の格納手段に格納されていたデータの少なくとも一部のデータを前記第２の格納手段に蓄積し、該蓄積されたデータを検索する。
【００７４】
本発明に係る第１のデータ検索システムは、処理装置から送信されるデータを上書きして保存する第１の格納手段と、所定のデータ及び該所定のデータを受信したときに前記第１の格納手段から移動させるデータを設定したパラメータに応じ、前記第１の格納手段に格納されていたデータを蓄積する第２の格納手段と、該蓄積されたデータを検索する端末手段とを有する。
【００７５】
本発明に係る第２のデータ検索システムは、第１のデータ検索システムにおいて、さらに、前記端末手段に表示手段を設け、前記パラメータと前記蓄積されたデータとを検索し、該蓄積されたデータが前記パラメータの内容と一致していれば前記表示手段に表示する。
【００７６】
本発明に係る第３のデータ検索システムは、第１のデータ検索システムにおいて、さらに、前記処理装置は、第２の格納手段に蓄積されるデータを検索する検索手段を有し、前記検索手段により検索されたデータを表示する表示手段を有する。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】従来の群管理サーバに記憶される装置情報及びその構造と、記憶されている装置情報の取得方法とを示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の側面透視図を示す。
【図５】ＰＭＣ１４を中心とした基板処理装置１０の機能構成を示す。
【図６】端末装置６のハードウェア構成を、制御装置１６を中心にして示す図である。
【図７】群管理サーバ４により実行される群管理プログラム４０、及び端末装置６により実行される端末プログラム６０の機能構成を示す図である。
【図８】群管理プログラム４０の現在情報記憶部４０２及び装置情報ＤＢ４００の記憶構造を模式的に示す図であって、（Ａ）は現在情報記憶部４０２を例示し、（Ｂ）は装置情報ＤＢ４００を例示する。
【図９】本発明の実施形態に係る群管理サーバ４の動作（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
【図１０】端末装置６に表示される障害情報画面を例示する図である。
【図１１】群管理プログラム４０の現在情報記憶部４０２の記憶構造の変形例及びアイテム情報ＤＢ４１２の記憶構造を示す図であって、（Ａ）は現在情報記憶部４０２を例示し、（Ｂ）はアイテム情報ＤＢ４１２を例示する。
【符号の説明】
【００７８】
１      基板処理システム
４      群管理サーバ
６      端末装置
１０    基板処理装置
１２    ネットワーク
１６    制御装置
１８    ＣＰＵ
２０    メモリ
２２    通信ＩＦ
２４    表示・入力装置
２６    記憶装置
４０    群管理プログラム
４００  装置情報ＤＢ
４０２  現在情報記憶部
４０４  定義情報記憶部
４０６  通信部
４０８  電文受付部
４１０  装置情報登録部
４１２  アイテム情報ＤＢ
６０    端末プログラム
６００  ＵＩ部
６０２  装置情報取得部
６０４  画面生成部
【図１】
2010027646.tif 000003
【図２】
2010027646.tif 000004
【図３】
2010027646.tif 000005
【図４】
2010027646.tif 000006
【図５】
2010027646.tif 000007
【図６】
2010027646.tif 000008
【図７】
2010027646.tif 000009
【図８】
2010027646.tif 000010
【図９】
2010027646.tif 000011
【図１０】
2010027646.tif 000012
【図１１】
2010027646.tif 000013