(57)【要約】【課題】  Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】  一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
出射窓が形成されている外側筐体と、当該外側筐体の内部に配置される内側筐体と、前記外側筐体の内周面と内側筐体の外周面との間に充填される絶縁油と、当該内側筐体の内部に端面が配置された陽極であるターゲットと、当該内側筐体の内部に配置された陰極であるフィラメントとを有し、前記ターゲットの端面で発生した一次Ｘ線を外側筐体の出射窓から出射するＸ線管と、
試料に一次Ｘ線が照射されることにより、当該試料で発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器と、
高電圧用ケーブルを介してターゲットに高電圧を印加する高圧電源と、
低電圧用ケーブルを介してフィラメントに低電圧を印加する低圧電源と、
入力操作される入力装置と、
前記入力装置から入力される分析開始操作信号に基づいて、前記ターゲットに高電圧を印加するとともにフィラメントに低電圧を印加することにより、前記検出器で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部とを備える蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記Ｘ線管の外側筐体の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサを備え、
前記制御部は、前記入力装置から分析開始操作信号が入力された際に、前記結露センサで検出された水分情報に基づいて、前記ターゲットに低電圧を印加するか、若しくは、前記ターゲットに電圧を印加しないようにすることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
前記制御部には、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、前記ターゲットに高電圧を印加するとともにフィラメントに低電圧を印加する分析を行う分析モードと、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、前記ターゲットとフィラメントとに電圧を印加しない状態である待機モードと、蛍光Ｘ線分析装置用電源が切られている状態である電源ＯＦＦモードとなる群から選択されるいずれかのモードが入力装置によって設定され、
前記制御部は、前記待機モードが設定されている際には、前記結露センサで検出された水分情報を記憶していき、前記待機モードから分析モードへ設定された際には、前記待機モードで記憶された水分情報に基づいて、前記ターゲットに低電圧を印加するか、若しくは、前記ターゲットに電圧を印加しないことを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記電源ＯＦＦモードから分析モードへ設定された際には、前記ターゲットに低電圧を印加することを特徴とする請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料中に含まれる元素の濃度を算出する蛍光Ｘ線分析装置に関し、特にエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、一般的なエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の構成を示す図である。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００は、一次Ｘ線を出射するＸ線管１０と、試料Ｓが配置される試料台２０と、蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを検出する検出器３０と、高電圧Ｖｈｉｇｈを印加する高圧電源４０と、低電圧Ｖｌｏｗ’を印加する低圧電源９０と、蛍光Ｘ線分析装置１００全体を制御する制御部１５０とを備える（例えば、特許文献１参照）。
試料台２０には、円形状の開口２１が形成されており、Ｘ線管１０から出射する一次Ｘ線が開口２１に入射するように構成されている。これにより、試料Ｓの分析面が開口２１を塞ぐように当接されることで、試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されることになる。試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されると、試料Ｓの分析面で蛍光Ｘ線が発生する。
検出器３０は、導入窓３１が形成されており、試料Ｓの分析面で発生する蛍光Ｘ線が導入窓３１に入射するように構成されている。これにより、検出器３０は、蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを検出する。
【０００３】
高圧電源４０は、例えば電圧値１ｋＶ〜５０ｋＶ程度のうちから自由に選択して、選択した電圧値Ｖを印加できるようになっている。
低圧電源９０は、電圧値Ｖ（例えば、２〜３Ｖ等）を印加できるようになっている。
制御部１５０は、ＣＰＵ６０とメモリ７０とを備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置８１と、キーボードやマウスや蛍光Ｘ線分析装置用電源等を有する入力装置８２とが連結されている。そして、入力装置８１から入力される分析開始操作信号に基づいて、高圧電源４０と低圧電源９０とを制御して、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを取得することにより、試料Ｓの定性、定量分析を行うようになっている。
【０００４】
ここで、一次Ｘ線を出射するＸ線管１０について説明する。図５は、図４に示すＸ線管１０を示す断面図である。Ｘ線管１０は、陽極であるターゲット１１と陰極であるフィラメント１２とを内部に有する円筒形状の内側筐体１３と、内側筐体１３を内部に有する円筒形状の外側筐体１４とを有する。
内側筐体１３の側壁には、円形状の開口１３ａが形成されており、開口１３ａと対向する位置にターゲット１１の端面１１ａが配置されるとともに、ターゲット１１の端面１１ａと対向する位置にフィラメント１２の先端が配置されている。そして、ターゲット１１は、高電圧用ケーブル１５を介して高圧電源４０と接続されるとともに、フィラメント１２は、低電圧用ケーブル１６を介して低圧電源９０と接続されている。
これにより、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加するとともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧Ｖｌｏｗ’を印加することで、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面１１ａに衝突させることで、ターゲット１１の端面１１ａで発生した一次Ｘ線を開口１３ａから出射する。
【０００５】
外側筐体１４の内部には、絶縁油が充填されており、外側筐体１４の内部の中央部に内側筐体１３が配置される。これにより、ターゲット１１で発生する熱を絶縁油の対流により外側筐体１４に逃がすことができる。さらに、絶縁油が絶縁材の役割を果すことになる。
そして、外側筐体１４の側壁には、内側筐体１３の開口１３ａと連結される円筒形状の窓部１４ａが形成されるとともに、端面には絶縁体である円筒形状の高電圧用開口部１４ｂと低電圧用開口部１４ｃとが形成されている。
ターゲット１１の他端面と高電圧用開口部１４ｂの金属製の端部１４ｄとは、配線１１ｂを介して接続されており、高電圧用開口部１４ｂに、高圧電源４０の陽極と接続された高電圧用ケーブル１５の導線１５ａが挿入されることにより、高電圧用ケーブル１５の導線１５ａの先端部と高電圧用開口部１４ｂの端部１４ｄとが電気的に接続され、その結果、ターゲット１１と高圧電源４０の陽極とが電気的に接続されるようになっている。また、高圧電源４０の陰極と接続された高電圧用ケーブル１５の導線１５ｂが高電圧用開口部１４ｂの入口部でアースされる。
このとき、高電圧用ケーブル１５の導線１５ａの先端部と導線１５ｂの先端部とは高電圧Ｖｈｉｇｈが印加されており、導線１５ａの先端部と導線１５ｂの先端部との間で、放電を起こさないように沿面距離を大きくするために、高電圧用開口部１４ｂの端部１４ｄは、外側筐体１４の内部まで伸びている。
【０００６】
また、フィラメント１２と低電圧用開口部１４ｃとは、電気的に接続されており、低電圧用開口部１４ｃには、低圧電源９０の陽極と接続された低電圧用ケーブル１６の導線１６ａの先端部と、低圧電源９０の陰極と接続された低電圧用ケーブル１６の導線１６ｂの先端部とが電気的に接続され、その結果、フィラメント１２と低圧電源９０とが電気的に接続されるようになっている。なお、低電圧用ケーブル１６の導線１６ａの先端部と導線１６ｂの先端部とは低電圧Ｖｌｏｗ’が印加されており、危険でないので、外側筐体１４の表面で電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−３２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、蛍光Ｘ線分析装置１００が設置された室内の暖房等の電源が入れられると、室内の空気の温度は上昇するが、熱容量が大きい絶縁油の温度は、なかなか上昇せずに低いままとなるので、外側筐体１４の外周面に水滴が付着することがある。このとき、高電圧用開口部１４ｂの内周面も、結露することになる。
このように高電圧用開口部１４ｂの内周面が結露した状態で、試料Ｓの分析を行おうとして、ターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加させる分析開始操作信号を入力装置８１から入力することにより、分析開始操作信号に基づいてターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加すると、沿面距離を大きくしているのもかかわらず高電圧用開口部１４ｂで放電が発生して、その結果、高電圧用開口部１４ｂや高電圧用ケーブル１５を破損することがあった。
【０００９】
また、高電圧用開口部１４ｂの内周面が、入力装置８１から分析開始操作信号を入力した際には、結露していなくても、分析開始操作信号に基づいてターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加すると、高電圧用開口部１４ｂの温度が上昇することにより、高電圧用ケーブル１５の導線１５ａを覆う被覆層１５ｃに浸み込んでいた水分が蒸発することにより、高電圧用開口部１４ｂの内周面に水分が付着して、その結果、高電圧用開口部１４ｂで放電が起こることがあった。
そこで、本発明は、Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管の高電圧用開口部等を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。さらに、分析開始操作信号を入力した際には、Ｘ線管の高電圧用開口部等が結露していなくても、Ｘ線管の高電圧用開口部等を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するためになされた本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、出射窓が形成されている外側筐体と、当該外側筐体の内部に配置される内側筐体と、前記外側筐体の内周面と内側筐体の外周面との間に充填される絶縁油と、当該内側筐体の内部に端面が配置された陽極であるターゲットと、当該内側筐体の内部に配置された陰極であるフィラメントとを有し、前記ターゲットの端面で発生した一次Ｘ線を外側筐体の出射窓から出射するＸ線管と、試料に一次Ｘ線が照射されることにより、当該試料で発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器と、高電圧用ケーブルを介してターゲットに高電圧を印加する高圧電源と、低電圧用ケーブルを介してフィラメントに低電圧を印加する低圧電源と、入力操作される入力装置と、前記入力装置から入力される分析開始操作信号に基づいて、前記ターゲットに高電圧を印加するとともにフィラメントに低電圧を印加することにより、前記検出器で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部とを備える蛍光Ｘ線分析装置であって、前記Ｘ線管の外側筐体の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサを備え、前記制御部は、前記入力装置から分析開始操作信号が入力された際に、前記結露センサで検出された水分情報に基づいて、前記ターゲットに低電圧を印加するか、若しくは、前記ターゲットに電圧を印加しないようにするようにしている。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、制御部は、入力装置から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサで検出された水分情報に基づいて、Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定する。これにより、Ｘ線管が結露した状態でないと判定したときには、ターゲットに高電圧を印加させる分析開始操作信号に基づいて、ターゲットに高電圧を印加する。一方、Ｘ線管が結露した状態であると判定したときには、ターゲットに高電圧を印加させる分析開始操作信号に基づかず、ターゲットに低電圧を印加するか、若しくは、ターゲットに電圧を印加しない。その結果、Ｘ線管の高電圧用開口部等を破損することを防止することができる。
【００１２】
（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記の発明において、前記制御部には、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、前記ターゲットに高電圧を印加するとともにフィラメントに低電圧を印加する分析を行う分析モードと、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、前記ターゲットとフィラメントとに電圧を印加しない状態である待機モードと、蛍光Ｘ線分析装置用電源が切られている状態である電源ＯＦＦモードとなる群から選択されるいずれかのモードが入力装置によって設定され、前記制御部は、前記待機モードが設定されている際には、前記結露センサで検出された水分情報を記憶していき、前記待機モードから分析モードへ設定された際には、前記待機モードで記憶された水分情報に基づいて、前記ターゲットに低電圧を印加するか、若しくは、前記ターゲットに電圧を印加しないようにしてもよい。
本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、制御部は、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、分析に関する機能は通電せずに、結露センサのみが動作する省電力状態である待機モードとすることができる。
【００１３】
さらに、上記の発明において、前記制御部は、前記電源ＯＦＦモードから分析モードへ設定された際には、前記ターゲットに低電圧を印加するようにしてもよい。
本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、制御部は、電源ＯＦＦモードから分析モードへ設定された際に、ターゲットに高電圧を印加させる前に、ターゲットに低電圧を印加する。これにより、Ｘ線管に存在する水分を外部へと蒸発させることができる。その結果、Ｘ線管の高電圧用開口部等を破損することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】図１に示すＸ線管を示す断面図である。
【図３】分析方法について説明するためのフローチャートである。
【図４】従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。
【図５】図４に示すＸ線管を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００１６】
図１は、実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図であり、図２は、図１に示すＸ線管を示す断面図である。なお、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００と同様のものについては、同じ符号を付している。
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１は、一次Ｘ線を出射するＸ線管１０と、試料Ｓが配置される試料台２０と、蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを検出する検出器３０と、高電圧Ｖｈｉｇｈを印加する高圧電源４０と、低電圧Ｖｌｏｗ’を印加する低圧電源９０と、蛍光Ｘ線分析装置１全体を制御する制御部５０とを備える。
【００１７】
Ｘ線管１０は、陽極であるターゲット１１と陰極であるフィラメント１２とを内部に有する円筒形状の内側筐体１３と、内側筐体１３を内部に有する円筒形状の外側筐体１４と、高電圧用開口部１４ｂ付近の外側筐体１４の外周面に取り付けられる結露センサ１７とを有する。
外側筐体１４の内部には、絶縁油が充填されており、外側筐体１４の内部の中央部に内側筐体１３が配置される。これにより、ターゲット１１で発生する熱を絶縁油の対流により外側筐体１４に逃がすことができる。さらに、絶縁油が絶縁材の役割を果すことになる。
結露センサ１７は、水分情報Ｗ（ｔ）を検出し、制御部５０に所定の時間間隔（例えば、数ミリ秒間隔）で順次出力する。結露センサとしては、例えば、結露センサ「ＨＤＰシリーズ」（北陸電気工業製）等が挙げられる。
【００１８】
制御部５０は、ＣＰＵ６０とメモリ７０とを備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置８１と、キーボードやマウスや蛍光Ｘ線分析装置用電源等を有する入力装置８２とが連結されている。
また、ＣＰＵ６０が処理する機能をブロック化して説明すると、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とに基づいて試料Ｓ中に含まれる元素の濃度を算出する検出器制御部６１と、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加するととともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧Ｖｌｏｗ’を印加する電源制御部６２とを有する。
【００１９】
さらに、メモリ７０は、水分情報Ｗ（ｔ）を記憶していく水分情報記憶領域７１と、高電圧用開口部１４ｂが結露した状態にターゲット１１に印加する低い電圧値Ｖｌｏｗを予め記憶する電圧値記憶領域７３と、蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを記憶していく蛍光Ｘ線記憶領域７４とを有する。
なお、電圧値記憶領域７３に記憶される電圧値Ｖｌｏｗは、導線１５ａの先端部と導線１５ｂの先端部との間で放電が発生することなく、高電圧用開口部１４ｂ内に存在する水分を外部へと蒸発させるための電圧値（例えば、５ｋＶ等）とされている。
【００２０】
また、制御部５０には、「分析モード」と「待機モード」と「電源ＯＦＦモード」となる群から選択されるいずれかのモードが設定されるようになっている。「分析モード」とは、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、ターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加するとともにフィラメント１２に低電圧Ｖｌｏｗ’を印加する分析を行うモードのことであり、入力装置８２から分析開始操作信号が入力されることで呼び出される。また、「待機モード」とは、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、分析に関する機能は通電せずに、結露センサ１７のみが動作する省電力状態であるモードのことである。さらに、「電源ＯＦＦモード」とは、蛍光Ｘ線分析装置用電源が切られている状態であるモードのことである。
【００２１】
ここで、蛍光Ｘ線分析装置１による分析方法について説明する。図３は、分析方法について説明するためのフローチャートである。なお、図３に示すフローチャートは、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられることで呼び出されるものである。そして、呼び出されると同時に、制御部５０には「分析モード」に設定されることになる。
まず、ステップＳ１０１の処理において、電源制御部６２は、高圧電源４０によってターゲット１１に、電圧値記憶領域７３に記憶された低い電圧値Ｖｌｏｗを所定の時間印加する。その結果、電圧用開口部１４ｂ内に水分が存在すれば、高電圧用開口部１４ｂ内で放電が発生することなく、高電圧用開口部１４ｂ内に存在した水分を外部へと蒸発させることになる。
【００２２】
次に、ステップＳ１０２の処理において、検出器制御部６１は、入力装置８２から入力された分析開始操作信号（高電圧Ｖｈｉｇｈ）に基づいて、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加するとともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧Ｖｌｏｗ’を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを取得して、蛍光Ｘ線記憶領域７４に記憶させる。このとき、高電圧用開口部１４ｂが結露した状態で確実にないので、高電圧用開口部１４ｂや高電圧用ケーブル１５を破損することがない。
次に、ステップＳ１０３の処理において、検出器制御部６１は、モードが何に変更されたか否かを判定する。「分析モード」を続けると判定したときには、ステップＳ１０２の処理に戻る。つまり、試料Ｓの分析を繰り返すことになる。
【００２３】
また、ステップＳ１０３の処理において、「電源ＯＦＦモード」に変更すると判定したときには、蛍光Ｘ線分析装置用電源を切って本フローチャートを終了させることになる。
さらに、ステップＳ１０３の処理において、「待機モード」に変更すると判定したときには、ステップＳ１０４の処理において、電源制御部６２は、結露センサ１７で検出された水分情報Ｗ（ｔ）を取得して、水分情報記憶領域７１に記憶させる。
次に、ステップＳ１０５の処理において、電源制御部６２は、「分析モード」が選択されたか否かを判定する。「分析モード」が選択されていないと判定したときには、ステップＳ１０４の処理に戻る。つまり、水分情報Ｗ（ｔ）の記憶を繰り返すことになる。
【００２４】
一方、「分析モード」が選択されたと判定したときには、ステップＳ１０６の処理において、電源制御部６２は、水分情報記憶領域７１に記憶された水分情報Ｗ（ｔ）によって、高電圧用開口部１４ｂが結露した状態であるか否かを判定する。具体的には、所定の時間間隔で取得した水分情報Ｗ（ｔ）が一度でも高電圧用開口部１４ｂが結露した状態であると判定したときには、ステップＳ１０１の処理に戻る。
一方、所定の時間間隔で取得した水分情報Ｗ（ｔ）が一度も高電圧用開口部１４ｂが結露した状態でないと判定したときには、ステップＳ１０２の処理に戻る。つまり、高圧電源４０によってターゲット１１に、電圧値記憶領域７３に記憶された低い電圧値Ｖｌｏｗを所定の時間印加せずに、試料Ｓの分析を行うことになる。
【００２５】
以上のように、本発明のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１によれば、制御部５０は、高電圧用開口部１４ｂが結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管１０の高電圧用開口部１４ｂや高電圧用ケーブル１５を破損することを防ぐことができる。
また、本発明のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１によれば、制御部５０は、蛍光Ｘ線分析装置用電源が入れられた状態で、分析に関する機能は通電せずに、結露センサ１７のみが動作する省電力状態である待機モードとすることができる。
さらに、本発明のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１によれば、制御部５０は、「電源ＯＦＦモード」から「分析モード」へ設定された際に、ターゲット１１に高電圧Ｖｈｉｇｈを印加させる前に、ターゲット１１に低電圧Ｖｌｏｗを印加する。これにより、高電圧用開口部１４ｂに存在する水分を外部へと蒸発させることができる。その結果、Ｘ線管１０の高電圧用開口部１４ｂや高電圧用ケーブル１５を破損することを防止することができる。
【００２６】
（他の実施形態）
上述したエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１では、水分情報記憶領域７１に記憶された水分情報Ｗ（ｔ）によって、Ｘ線管１０が結露した状態であると判定したときには、高圧電源４０によってターゲット１１に低い電圧値Ｖｌｏｗを所定の時間印加するような構成を示したが、高圧電源４０によってターゲット１１に電圧を印加しないような構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、試料中に含まれる元素の濃度を算出する蛍光Ｘ線分析装置等に利用することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１、１００  蛍光Ｘ線分析装置
１０  Ｘ線管
１１  ターゲット
１２  フィラメント
１４  外側筐体
１４ａ  窓部（出射窓）
１５  高電圧用ケーブル
１６  低電圧用ケーブル
１７  結露センサ
２０  試料台
３０  検出器
４０  高圧電源
５０、１５０  制御部
８２  入力装置
Ｓ  試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010197205.tif 000005
【図４】
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【図５】
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