(57)【要約】【課題】本発明の課題は、１つのプログラムで複数の振動子タイプに対応することにより、コストを削減すると共に容易に振動子切換えを行うことができる超音波発振器を提供することにある。【解決手段】本発明は、タイプの異なる複数種類の振動子１２と、前記振動子１２の種類に対応して設定するディップスイッチ１４と、前記振動子１２の種類別のパラメータが保存された保存部１６１，１６２，…，１６ｎと、前記ディップスイッチ１４で設定された振動子１２の種類をプログラムで判定し、当該振動子用パラメータを前記保存部１６１，１６２，…，１６ｎからプログラムで読み込んで処理して超音波を発振出力する制御部１５とを具備することを特徴とするものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タイプの異なる複数種類の振動子と、
前記振動子の種類に対応して設定する入力部と、
前記振動子の種類別のパラメータが保存された保存部と、
前記入力部で設定された振動子の種類をプログラムで判定し、当該振動子用パラメータを前記保存部からプログラムで読み込んで処理して超音波を発振出力する制御部と
を具備することを特徴とする超音波発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は振動子タイプ（ノズル式や流水式など）毎に対応するパラメータ（出力の電力範囲、エラーおよびインターフェイス等）を持つ枚葉式超音波発振器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の洗浄を行う超音波洗浄装置がある（例えば、特許文献１参照。）。このような超音波洗浄装置では洗浄する対象物に合わせて、複数の振動子を組み合わせて複数種類の振動子が用いられていた。
しかしながら、従来の超音波洗浄装置では振動子の種類毎に超音波発振器を使用していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２４９２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術における問題点は、
（１）  振動子の種類毎に超音波発振器が必要となるためコスト高となる。
（２）  振動子の種類毎に対応した超音波発振器の用意が必要となるため、環境の設定（準備）に時間を要する。
【０００５】
上記問題点を解決するため本発明は、１つのプログラムで複数の振動子タイプに対応することにより、コストを削減すると共に容易に振動子切換えを行うことができる超音波発振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため本発明の超音波発振器は、タイプの異なる複数種類の振動子と、前記振動子の種類に対応して設定する入力部と、前記振動子の種類別のパラメータが保存された保存部と、前記入力部で設定された振動子の種類をプログラムで判定し、当該振動子用パラメータを前記保存部からプログラムで読み込んで処理して超音波を発振出力する制御部とを具備することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の超音波発振器は、
（１）  振動子タイプ毎に発振器を設ける必要がないため、コストを削減できる。
（２）  １台の発振器で振動子を取り替えるだけなので省スペースで効率よく作業が行える。
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る超音波発振器を示す構成説明図である。
【図２】本発明の実施形態に係る超音波発振動作を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係る超音波発振器を示し、１１は枚葉式超音波発振器、１２は振動子、１３はケーブル、１４はディップスイッチ（入力部）、１５は制御部、１６１，１６２，…，１６ｎは保存部（メモリ）である。
【００１０】
図１に示すように、枚葉式超音波発振器１１には振動子１２が取付けられ、振動子１２はケーブル１３により枚葉式超音波発振器１１に接続される。振動子１２は振動子タイプ（ノズル式や流水式など）の異なる複数種類の振動子が適宜選択されて取付けられる。ディップスイッチ１４は適宜選択されて取付けられた振動子１２の種類に対応して動作設定される。
【００１１】
保存部１６１，１６２，…，１６ｎには振動子１２の種類別のパラメータ（出力の電力範囲、エラーおよびインターフェイス等）が保存される。例えば、保存部１６１には振動子Ａ用パラメータが保存され、保存部１６２には振動子Ｂ用パラメータが保存され、保存部１６ｎには振動子ｎ用パラメータが保存される。制御部１５は１つのプログラムを有し、枚葉式超音波発振器１１の電源投入により、プログラムがスタートし、ディップスイッチ１４で設定された振動子１２の種類をプログラムで判定し、当該振動子用パラメータを前記保存部１６１，１６２，…，１６ｎからプログラムで読み込んで処理して超音波を発振出力する。
【００１２】
図２は本発明の実施形態に係る超音波発振動作を説明するもので、枚葉式超音波発振器１１の電源投入により、ステップＳ１でプログラムがスタートし、ステップＳ２でディップスイッチ１４の設定がプログラムで読み込まれる。プログラムで読み込まれたディップスイッチ１４で設定された振動子１２の種類をプログラムで判定し、ステップＳ３１，Ｓ３２，…，Ｓ３ｎで当該振動子Ａ，Ｂ，…，ｎ用パラメータを保存部１６１，１６２，…，１６ｎからプログラムで読み込んで処理し、ステップＳ４でプログラムが発振ありの場合は、ステップＳ５で当該振動子Ａ，Ｂ，…，ｎに応じた発振出力範囲で超音波を発振出力し、ステップＳ６でプログラムが発振停止になれば、ステップＳ７で発振を停止する。
【００１３】
すなわち、枚葉式超音波発振器１１は振動子タイプ（ノズル式や流水式など）毎に対応するパラメータを持っているので、電源投入でプログラムがスタートし、ディップスイッチ１４で設定された振動子タイプを読み込み、振動子タイプに対応したパラメータを保存部１６１，１６２，…，１６ｎから読み込んで、発振電力制御を行う。
【００１４】
次に、枚葉式超音波発振器１１の動作の一例を示す。
（１）  発振器１１の電源ＯＦＦ（オフ）の状態でディップスイッチ１４を振動子Ａ用の設定とする。
（２）  発振器１１の電源をＯＮ（オン）する。
（３）  振動子Ａ用の発振器として発振／停止動作する。
（４）  発振器１１の電源をＯＦＦする。
（５）  発振器１１の電源ＯＦＦの状態でディップスイッチ１４を振動子Ｂ用の設定とする。
（６）  発振器１１の電源をＯＮする。
（７）  振動子Ｂ用の発振器として発振／停止動作する。
（８）  発振器１１の電源をＯＦＦする。
【００１５】
以上のように本発明の実施形態によれば、振動子タイプ毎の機能を、１台の発振器に取り込み、発振器には、ディップスイッチを設け、振動子タイプの種類に対応して設定を行うものである。発振器の電源投入により、発振器プログラムがスタートし、振動子の種類別のパラメータを使用することで１つのプログラムで処理を行うことが出来る。１つのプログラムで複数の振動子に対応するものである。
これにより１つの発振器で複数の振動子タイプに対応できるため、コストを削減すると共に容易に振動子切換えを行うことが出来る。
【００１６】
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【００１７】
１１…枚葉式超音波発振器、１２…振動子、１３…ケーブル、１４…ディップスイッチ（入力部）、１５…制御部、１６１，１６２，…，１６ｎ…保存部（メモリ）。
【図１】
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【図２】
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