(57)【要約】【課題】不具合特定が容易で、効率的な半導体装置を提供する。【解決手段】本発明の半導体装置１は、本体回路部２と、本体回路部２に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、監視結果を可視化した情報として通知する電源監視部３と、本体回路部２に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、監視結果を可視化した情報として通知するシーケンス監視部４と、本体回路部２に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、監視結果を可視化した情報として通知するクロック監視部５と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体回路部と、
前記本体回路部に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する電源監視部と、
前記本体回路部に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知するシーケンス監視部と、
前記本体回路部に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知するクロック監視部と、
を備える半導体装置。
【請求項２】
前記電源監視部は、電源監視回路と、可視化部と、を有し、
前記電源監視回路は、前記本体回路部に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果に基づいて、前記可視化部を制御することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記シーケンス監視部は、シーケンス監視回路と、可視化部と、を有し、
前記シーケンス監視回路は、前記本体回路部に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、当該監視結果に基づいて、前記可視化部を制御することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記クロック監視部は、クロック監視回路と、可視化部と、を有し。
前記クロック監視回路は、前記本体回路部に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果に基づいて、前記可視化部を制御することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記電源監視部は、さらに分圧回路を有し、
前記分圧回路は、前記本体回路部に供給される電源の電圧を分圧して前記電源監視回路に供給することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記シーケンス監視部は、さらに時定数回路を有し、
前記シーケンス監視部には、第１電源と第２電源とが順に時間差で供給され、
前記時定数回路は、前記第１電源を所定の時間遅延させて前記シーケンス監視回路に供給し、
前記シーケンス監視回路は、前記第１電源と前記第２電源とが同時に供給されたか否かを監視し、当該監視結果に基づいて、前記可視化部を制御することを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記本体回路部に供給される電源の電圧を検出するモニタポイントを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記電圧を検出するモニタポイントを複数個有することを特徴とする請求項７に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記本体回路部に供給されるクロック信号を検出するモニタポイントを有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記可視化部は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記発光ダイオードは、半導体装置の隅部に配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の半導体装置を有する基地局。
【請求項１３】
本体回路部に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知し、
本体回路部に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知し、
本体回路部に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する半導体装置の異常確認方法。
【請求項１４】
前記本体回路部に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視する際には、前記本体回路部に供給される電源の電圧を分圧し、当該分圧が予め設定された電圧か否かを監視することを特徴とする請求項１３の半導体装置の異常確認方法。
【請求項１５】
前記本体回路部に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視する際には、予め第２電源に対して時間差を設けて先に前記本体回路部に供給される第１電源を所定の時間遅延させ、前記第１電源と前記第２電源とが同時に供給されたか否かを監視することを特徴とする請求項１３に記載の半導体装置の異常確認方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置及び半導体装置の異常確認方法、基地局に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器（例えば、基地局）の評価の際や量産時の出荷前検査において、当該電子機器内の半導体装置が動作しなかったり、起動しなかったりする可能性がある。
そのため、特許文献１、２には、半導体装置に供給される電源の電圧が正常か否かを発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）やディスプレイによって視認可能とする技術が開示されている。
また、特許文献３には、半導体装置の信号モニタを行うためのモニタポイントを設ける技術が開示されている。
【０００３】
ところで、特許文献４には、有機ＥＬ（Electroluminescence）パネルに供給される電源の電圧、シーケンス及びクロック信号が正常か否かを監視し、いずれか一つの異常を確認すると当該有機ＥＬパネルに供給される電源を遮断する技術が開示されている。
また、特許文献５には、クロック信号が正常か否かを監視し、異常を確認すると予備系回路に切り替える技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３４９６２６号公報
【特許文献２】特開２００８−２６８０７７号公報
【特許文献３】特開平５−２９４１４号公報
【特許文献４】特開２００６−１１３４７１号公報
【特許文献５】特開２００７−２９３６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体装置の不具合原因の特定ができないと、デバック時間に時間がかかり、出荷試験全体に遅延が生じる。しかも、不具合による調査工数費用が発生するため、効率的でない。
また、当該不具合が電源やクロック信号に問題があった場合、いずれに原因があるのかを確認するのに時間を要することがある。
【０００６】
特許文献１、２の技術は、半導体装置に供給される電源の電圧が正常か否かをＬＥＤやディスプレイによって視認することができる。そのため、半導体装置に供給される電源の電圧に異常が生じたことを迅速に確認することができる。しかし、半導体装置の不具合は、他に電源のシーケンスやクロック信号の場合もあり、このような場合、いずれに不具合が生じているのかを確認することができない。
特許文献３の技術は、当該モニタポイントにオシロスコープなどのプローブに接続しないと、不具合を確認することができない。しかも、不具合を可視化できる機能を有していない。
特許文献４、５の技術も、不具合を可視化できる機能を有していない。
【０００７】
本発明の目的は、上述した課題を解決する半導体装置及び半導体装置の異常確認方法、基地局を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る半導体装置は、本体回路部と、前記本体回路部に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する電源監視部と、前記本体回路部に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知するシーケンス監視部と、前記本体回路部に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知するクロック監視部と、を備える。
【０００９】
本発明に係る基地局は、上述の半導体装置を有する。
【００１０】
本発明に係る半導体装置の異常確認方法は、本体回路部に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知し、本体回路部に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知し、本体回路部に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、不具合特定が容易で、効率的な半導体装置及び半導体の異常確認方法、基地局を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１の半導体装置を概略的に示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１の半導体装置における、電源監視部を概略的に示す回路構成図である。
【図３】本発明の実施の形態１の半導体装置を概略的に示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態１の半導体装置における、シーケンス監視部を概略的に示す回路構成図である。
【図５】本発明の実施の形態１の半導体装置における、クロック監視部を概略的に示す回路構成図である。
【図６】本発明の実施の形態２の半導体装置を概略的に示す平面図である。
【図７】本発明の実施の形態２の半導体装置の異常確認方法をモニタポイントから行うための構成を示す回路構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係る半導体装置及び半導体装置の異常確認方法、基地局の実施の形態について説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
【００１４】
＜実施の形態１＞
本発明の実施の形態１を説明する。
本実施の形態の半導体装置１は、図１に示すように、本体回路部２と、電源監視部３と、シーケンス監視部４と、クロック監視部５と、を有する。
【００１５】
本体回路部２は、当該半導体装置１の駆動を司る駆動回路である。電源監視部３は、本体回路部２に供給される電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する。シーケンス監視部４は、本体回路部２に供給される電源のシーケンスが予め設定されたシーケンスか否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する。クロック監視部５は、本体回路部２に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果を可視化した情報として通知する。
【００１６】
このような半導体装置及び半導体装置の異常確認方法は、半導体装置１に不具合が生じた場合、当該不具合が供給される電源の電圧に起源するものか、シーケンスに起源するものか、クロック信号に起源するものなのかを、視覚的に確認することができる。そのため、半導体装置１の不具合特定が容易で、効率的である。つまり、半導体装置１の不具合を短時間に特定でき、しかもコストの削減に寄与できる。
【００１７】
次に、半導体装置及び半導体装置の異常確認方法の好ましい形態を説明する。
電源監視部３は、図２に示すように、分圧回路３１（３１ａ、３１ｂ）と、電源監視回路３２と、可視化部３３（３３ａ、３３ｂ）と、を有することが好ましい。ちなみに、本実施の形態の電源監視部３には、第１電源と第２電源とが供給される。
【００１８】
分圧回路３１ａは、第１電源の電圧を電源監視部３で当該電圧を監視できる程度に分圧する。分圧回路３１ａは、第１抵抗３１１と第２抵抗３１２とが直列に接続されている。分圧回路３１ａは、第１抵抗３１１と第２抵抗３１２との間と電源監視回路３２とが接続されている。
【００１９】
分圧回路３１ｂは、第２電源の電圧を電源監視部３で当該電圧を監視できる程度に分圧する。分圧回路３１ｂは、第３抵抗３１３と第４抵抗３１４とが直列に接続されている。分圧回路３１ｂは、第３抵抗３１３と第４抵抗３１４との間と電源監視回路３２とが接続されている。
【００２０】
電源監視回路３２は、分圧された第１電源の電圧及び第２電源の電圧が予め設定された電圧か否かを監視し、当該監視結果に基づいて、可視化部３３を制御する。
すなわち、電源監視回路３２には、分圧された第１電源の電圧が供給される。電源監視回路３２には、予め第１電源の電圧が分圧された際の正常な電圧が設定されている。電源監視回路３２は、当該設定された電圧と、実際に分圧された第１電源の電圧と、を比較する。このとき、電源監視回路３２は、当該比較結果が等しい場合は、可視化部３３ａにＨｉｇｈレベル（例えば、＋３．３Ｖ）の信号を出力し、可視化部３３ａを点灯させる。一方、電源監視回路３２は、当該比較結果が異なる場合は、可視化部３３ａにＬｏｗレベル（例えば、０Ｖ）の信号を出力し、可視化部３３ａを点灯させない。
【００２１】
また、電源監視回路３２には、分圧された第２電源の電圧が供給される。電源監視回路３２には、予め第２電源の電圧が分圧された際の正常な電圧が設定されている。電源監視回路３２は、当該設定された電圧と、実際に分圧された第２電源の電圧と、を比較する。このとき、電源監視回路３２は、当該比較結果が等しい場合は、可視化部３３ｂにＨｉｇｈレベル（例えば、＋３．３Ｖ）の信号を出力し、可視化部３３ｂを点灯させる。一方、電源監視回路３２は、当該比較結果が異なる場合は、可視化部３３ｂにＬｏｗレベル（例えば、０Ｖ）の信号を出力し、可視化部３３ｂを点灯させない。
【００２２】
可視化部３３（３３ａ、３３ｂ）はＬＥＤであることが好ましい。可視化部３３（３３ａ、３３ｂ）は、半導体装置１の上面から露出するように配置される。ちなみに、可視化部３３（３３ａ、３３ｂ）は、図３に示すように、平面的に見て半導体装置１の隅部（角部）に配置されていることが好ましい。半導体装置１の比較的空いているスペースを有効に用いることができる。
【００２３】
可視化部３３ａのアノードは、電源監視回路３２に接続されている。可視化部３３ａのカソードは、接地端子に接続されている。可視化部３３ａは、第１電源の電圧の監視結果に基づいて、電源監視回路３２に制御される。つまり、供給される第１電源の電圧が正常であると電源監視回路３２が判断し、当該電源監視回路３２からＨｉｇｈレベルの信号が可視化部３３ａに入力されると、当該可視化部３３ａは点灯する。
【００２４】
可視化部３３ｂのアノードは、電源監視回路３２に接続されている。可視化部３３ｂのカソードは、接地端子に接続されている。可視化部３３ｂは、第２電源の電圧の監視結果に基づいて、電源監視回路３２に制御される。つまり、供給される第２電源の電圧が正常であると電源監視回路３２が判断し、当該電源監視回路３２からＨｉｇｈレベルの信号が可視化部３３ｂに入力されると、当該可視化部３３ｂは点灯する。
【００２５】
要するに、電源監視部３は、本体回路部２で使用しない電圧が供給されていた場合、分圧回路３１によって予め設定された電圧とはならず、電源監視回路３２にてそれらが正常な電圧で供給されたか否かを判断する。
【００２６】
シーケンス監視部４は、図４に示すように、時定数回路４１と、シーケンス監視回路４２と、可視化部４３と、を有することが好ましい。ちなみに、本実施の形態のシーケンス監視部４にも、第１電源と第２電源とが供給される。このとき、シーケンス監視部４には、本体回路部２をシーケンス制御するために時間差が設けられた、第１電源と第２電源とが順に供給される。
【００２７】
時定数回路４１は、抵抗４１１と、コンデンサ４１２と、を有する。抵抗４１１は、第１電源をシーケンス監視回路４２に供給する配線４４に設けられている。コンデンサ４１２の一方の端子は、当該配線４４における抵抗４１１とシーケンス監視回路４２との間の部分に接続されている。コンデンサ４１２の他方の端子は、接地端子と接続されている。この時定数回路４１は、先に供給された第１電源を所定の時間遅延させてシーケンス監視回路４２に供給する。このとき、第１電源を遅延させる時間は、上述したように本体回路部２をシーケンス制御するために設けた第１電源と第２電源との時間差である。
【００２８】
シーケンス監視回路４２は、第１電源と第２電源とが同時に供給されたか否かを監視し、当該監視結果に基づいて、可視化部４３を制御する。
すなわち、シーケンス監視回路４２には、時定数回路４１によって遅延した第１電源が供給される。つまり、予め本体回路部２をシーケンス制御するために第２電源に対して時間差を設けて当該本体回路部２に供給された第１電源は、時定数回路４１によって所定の時間遅延してシーケンス監視回路４２に供給される。そのため、予め第２電源に対して設けられた時間差が正常であれば、当該時間差は相殺されるはずである。シーケンス監視回路４２には、上述のように予め第１電源に対して時間差を設けて遅延した第２電源が供給される。つまり、シーケンス監視回路４２は、当該シーケンス監視回路４２に第１電源と第２電源とが同時に供給されると、第１電源と第２電源とは本体回路部２をシーケンス制御するために設けられた正常な時間差を有し、且つ正しい順序で供給されていると判断できる。そこで、シーケンス制御回路４２は、第１電源の供給タイミングと、第２電源の供給タイミングと、を比較する。このとき、シーケンス監視回路４２は、当該比較結果が等しい場合は、可視化部４３にＨｉｇｈレベル（例えば、＋３．３Ｖ）の信号を出力し、可視化部４３を点灯させる。一方、シーケンス監視回路４２は、当該比較結果が異なる場合は、可視化部４３にＬｏｗレベル（例えば、０Ｖ）の信号を出力し、可視化部４３を点灯させない。
【００２９】
可視化部４３はＬＥＤであることが好ましい。可視化部４３は、半導体装置１の上面から露出するように配置される。ちなみに、可視化部４３は、図３に示すように、半導体装置１の隅部に配置されていることが好ましい。半導体装置１の比較的空いているスペースを有効に用いることができる。
【００３０】
可視化部４３のアノードは、シーケンス監視回路４２に接続されている。可視化部４３のカソードは、接地端子に接続されている。可視化部４３は、当該電源のシーケンスの監視結果に基づいて、シーケンス監視回路４２に制御される。つまり、供給される電源のシーケンスが正常であるとシーケンス監視回路４２が判断し、当該シーケンス監視回路４２からＨｉｇｈレベルの信号が可視化部４３に入力されると、当該可視化部４３は点灯する。
【００３１】
クロック監視部５は、図５に示すように、クロック監視回路５１と、可視化部５２と、を有する。
クロック監視回路５１は、本体回路部２に供給されるクロック信号が予め設定されたクロック信号か否かを監視し、当該監視結果に基づいて、可視化部５２を制御する。すなわち、クロック監視回路５１には、本体回路部２に供給されるクロック信号が供給される。ここで、クロック監視回路５１に供給されるクロック信号が正常であれば当該クロック信号は変化（ＨｉｇｈからＬｏｗ、又はＬｏｗからＨｉｇｈ）し、クロック信号に異常があれば当該クロック信号は変化しないはずである。そこで、クロック監視回路５１は、一定時間内にクロック信号に変化があるか否かを判断する。このとき、クロック監視回路５１は、当該比較結果が「変化あり」の場合は、可視化部５２にＬｏｗレベル（例えば、０Ｖ）の信号を出力し、可視化部５２を点灯させる。一方、クロック監視回路５１は、当該比較結果が「変化なし」の場合は、可視化部５２にＨｉｇｈレベル（例えば、＋２．７Ｖ程度）の信号を出力し、可視化部５２を点灯させない。
【００３２】
可視化部５２はＬＥＤであることが好ましい。可視化部５２は、半導体装置１の上面から露出するように配置される。ちなみに、可視化部５２は、図３に示すように、半導体装置１の隅部に配置されていることが好ましい。半導体装置１の比較的空いているスペースを有効に用いることができる。
【００３３】
可視化部５２のアノードは、電源供給側に接続されている。可視化部５２のカソードは、クロック監視回路５１に接続されている。可視化部５２は、当該クロック信号の監視結果に基づいて、クロック監視回路５１に制御される。つまり、供給されるクロック信号が正常であるとクロック監視回路５１が判断し、当該クロック監視回路５１からＬｏｗレベルの信号が可視化部５２に入力されると、当該可視化部５２は点灯する。一方、供給されるクロック信号に異常が生じているとクロック監視回路５１が判断し、当該クロック監視回路５１からＨｉｇｈレベルの信号が可視化部５２に入力されると、当該可視化部５２は消灯する。
【００３４】
このような半導体装置及び半導体の異常確認方法は、当該半導体装置１に不具合が生じた場合、当該不具合が供給される電源の電圧に起源するものか、シーケンスに起源するものか、クロック信号に起源するものなのかを、夫々の可視化部によって視覚的に確認することができる。そのため、半導体装置１の不具合特定が容易で、効率的である。つまり、半導体装置１の不具合を短時間に特定でき、結果として不具合を特定するための人員を削減することができる。しかも、半導体装置の異常確認方法をテスターやオシロスコープなどを用いることなく、自動的に行うことができる。よって、コストの削減にも寄与できる。
【００３５】
＜実施の形態２＞
本発明の実施の形態２を説明する。
本実施の形態２の半導体装置１００は、上記実施の形態１の半導体装置１と略同様の構成とされているが、別途、テスターやオシロスコープなどを用いて、半導体の異常確認を行うことができる構成とされている。
【００３６】
すなわち、半導体装置１００は、図６に示すように、当該半導体装置１００の表面から露出するように、本体回路部２に供給される第１電源の電圧を検出するモニタポイント１０１を有する。また、半導体装置１００は、当該半導体装置１００の表面から露出するように、本体回路部２に供給される第２電源の電圧を検出するモニタポイント１０２を有する。さらに、半導体装置１００は、当該半導体装置１００の表面から露出するように、本体回路部２に供給されるクロック信号を検出するモニタポイント１０３を有する。
【００３７】
具体的に云うと、半導体装置１００は、図７に示すように、第１電源、第２電源、クロック信号を抽出することができるように、内部配線であるモニタ回路１０４を有し、当該モニタ回路１０４と夫々のモニタポイント１０１、１０２、１０３が接続されている。
【００３８】
このような半導体装置１００により、上述した作用、効果に加えて、さらに可視化部が損傷している場合などの非常時でも、容易に半導体の異常確認を行うことができる。
なお、本実施の形態では、電圧を検出するモニタポイント１０１、１０２とクロック信号を検出するモニタポイント１０３とを有するが、いずれか一方でも良い。
【００３９】
＜実施の形態３＞
上述した構成の半導体装置１（１００）は、基地局を構成する際に好適に用いることができる。
すなわち、基地局は、送信装置、受信装置、信号多重分離装置等からなるが、これらの装置に用いられる半導体装置として上述した構成の半導体装置を用いると良い。このような基地局は、不具合が生じた際に、当該不具合がいずれの装置において生じているのかを視覚的に確認することができる。しかも、どの半導体装置において不具合が生じているのかを視覚的に確認することができる。さらに、当該半導体装置において、電圧に不具合が生じているのか、シーケンスに不具合が生じているのか、クロック信号に不具合が生じているのかを、視認的に確認することができる。そのため、迅速、且つ容易に大規模な基地局の異常確認を行うことができる。
【００４０】
本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上記実施の形態では、本体回路部に第１電源と第２電源とが供給される構成とされているが、供給される電源の数は特に限定しない。この場合、例えば全ての電源が電源監視部に供給される。また、時間差を設けて供給される電源は、最も遅延して供給される電源を基準として、夫々の電源が時定数回路で遅延してシーケンス監視回路に供給される。
【００４１】
上記実施の形態では、電源の電圧を分圧回路で分圧した後に、電源監視回路に供給しているが、この限りでない。電源監視回路が電圧を監視できる程度まで当該電圧を低くする手段は、特に限定されない。
【００４２】
上記実施の形態では、第１電源を時定数回路で遅延させてシーケンス監視回路に供給しているが、この限りでない。例えばシーケンス監視回路内で第１電源と第２電源との時間差を計測し、当該計測結果に基づいてシーケンスが正常か否かを判断しても良い。
【００４３】
上記実施の形態では、可視化部を平面から見て半導体装置の隅部に配置したが、配置は特に限定しない。要するに、外部から可視化部を視認できる位置に配置されていれば良い。また、可視化部はＬＥＤに限定されない。可視化部は外部から視認できる手段であれば良い。
【符号の説明】
【００４４】
１  半導体装置
２  本体回路部
３  電源監視部、３１（３１ａ、３１ｂ）  分圧回路、３２  電源監視回路、３３（３３ａ、３３ｂ）  可視化部
４  シーケンス監視部、４１  時定数回路、４２  シーケンス監視回路、４３  可視化部、４４    配線
５  クロック監視部、５１  クロック監視回路、５２  可視化部
１００  半導体装置
１０１、１０２、１０３  モニタポイント
１０４  モニタ回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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