(57)【要約】【課題】加工室内のスラッジを適切に除去することのできる技術を提供する。【解決手段】周囲が囲こまれている加工室Ｒ内でウェーハＷを研削する研削処理方法において、加工室Ｒ内でウェーハＷを研削している時点、又は研削した直後の時点の少なくとも一方の時点において、扉用洗浄ノズル部１２が、加工室Ｒ内の扉７の内側面に対して、内側面に沿って流れるように洗浄液を供給するようにする。係る研削処理方法によると、所定の面に付着しているスラッジや、所定面に向かって飛んできたスラッジを、その面に流れる洗浄液により適切に洗い流すことができる。このため、所定の面に付着するスラッジが付着することを適切に防止することができる。また、飛散しているスラッジを適切に低減することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周囲が囲こまれている加工室内でワークピースを研削する研削処理方法であって、
前記加工室内で前記ワークピースを研削している時点、又は研削した直後の時点の少なくとも一方の時点において、前記加工室内の所定の面に対して、前記所定の面に沿って流れるように洗浄液を供給する研削処理方法。
【請求項２】
前記所定の面は、前記加工室を画成する画成部の少なくとも一部の面を含む
請求項１に記載の研削処理方法。
【請求項３】
前記加工室の画成部は、前記加工室内を外部から観察可能な観察部を有しており、
前記所定の面は、前記観察部の表面を含む
請求項２に記載の研削処理方法。
【請求項４】
前記所定の面は、前記ワークピースの研削屑が到達する方向の画成部の少なくとも一部の面である
請求項２又は請求項３に記載の研削処理方法。
【請求項５】
前記加工室内に、前記ワークピースを研ぐ砥石面を有する砥石部と、前記砥石部を所定の軸を中心に回転駆動させるための砥石軸部とを収容し、
前記ワークピースの研削屑が到達する方向の画成部は、前記所定の軸に対して平行な画成部である
請求項４に記載の研削処理方法。
【請求項６】
ワークピースを研ぐ砥石部と、前記砥石部を収容する加工室とを有する研削装置であって、
前記加工室内の所定の面に対して、前記所定の面に沿って流れるように洗浄液を供給する洗浄液供給部を備える研削装置。
【請求項７】
前記洗浄液供給部は、前記洗浄液を吐出する吐出口を所定方向に複数有する吐出口列を複数有し、
一の前記吐出口列の前記吐出口が前記洗浄液を吐出する方向が、他の前記吐出口列の前記吐出口が前記洗浄液を吐出する方向と異なる
請求項６に記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工室内においてワークピースを研削する研削処理方法等に関し、特に、加工室内の研削屑（スラッジ）を除去するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、ウェーハ等のワークピースを研削する研削装置が知られている。このような研削装置には、研削対象のウェーハを収容する加工室を有し、加工室内でウェーハを研削するものがある。
【０００３】
研削装置において、ウェーハに対して研削処理を実行すると、加工室内には、スラッジが舞い、加工室内の各部には、スラッジが付着することとなる。
【０００４】
このような加工室内に付着したスラッジを除去するためには、例えば、定期的に清掃することが行なわれる。
【０００５】
なお、汚れの除去に関する異なる分野の技術としては、例えば、バルコニーがない窓の外側を清掃する技術（例えば、特許文献１）がある。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１３３６９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
研削装置において、例えば、定期的にスラッジを除去する清掃を行う場合には、清掃を行う時点においては、各部に付着したスラッジが乾燥して固着してしまっていることもある。このため、スラッジを除去するためには、長時間を要するという問題がある。
【０００８】
また、ウェーハを研削すると、加工室内にスラッジが舞ってしまう。このため、複数のウェーハを順次研削処理の対象として研削処理が行っていく場合において、研削処理を施したウェーハをステージから取り外し、次の研削対象のウェーハをステージに載置、吸着等させるまでの間に、ステージとウェーハとの間に、加工室内に舞っているスラッジが入り込んでしまう虞がある。このように、ステージとウェーハとの間にスラッジが入り込んだ状態で研削処理を行うと、研削後のウェーハにディンプル（くぼみ）が発生する問題が生じる。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、加工室内のスラッジを適切に除去することのできる技術を提供することにある。また、本発明の目的は、ワークピースに対する欠陥の発生を適切に防止することのできる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的達成のため、本発明の第１の観点に係る研削処理方法は、周囲が囲こまれている加工室内でワークピースを研削する研削処理方法であって、加工室内でウェーハを研削している時点、又は研削した直後の時点の少なくとも一方の時点において、加工室内の所定の面に対して、所定の面に沿って流れるように洗浄液を供給する。係る方法によると、ワークピースを研削している時点、又は研削した直後の時点の少なくとも一方の時点において、加工室内の所定の面に対して、所定の面に沿って流れるように洗浄液を供給することができ、所定の面に付着しているスラッジや、所定面に向かって飛んでくるスラッジを、その面に流れる洗浄液により適切に洗い流すことができる。このため、所定の面に付着するスラッジを適切に防止することができる。また、飛散しているスラッジを適切に低減することができる。
【００１１】
上記研削処理方法において、所定の面は、加工室を画成する画成部の少なくとも一部の面を含んでいてもよい。係る方法によると、画成部の少なくとも一部の面に付着するスラッジを適切に除去することができる。
【００１２】
また、上記研削処理方法において、加工室の画成部は、加工室内を外部から観察可能な観察部を有しており、前記所定の面は、前記観察部の表面を含んでいてもよい。係る方法によると、観察部の表面に付着するスラッジを適切に除去することができ、加工室内部を適切に観察することができる。
【００１３】
また、上記研削処理方法において、所定の面は、ワークピースの研削屑（スラッジ）が到達する方向の画成部の少なくとも一部の面であってもよい。係る方法によると、より多くのスラッジを適切に除去することができる。
【００１４】
上記研削処理方法において、加工室内に、ワークピースを研ぐ砥石面を有する砥石部と、砥石部を所定の軸を中心に回転駆動させるための砥石軸部とを収容し、ワークピースの研削屑が到達する方向の画成部は、所定の軸に対して平行な画成部であってもよい。係る方法によると、砥石部の回転による飛散するスラッジを適切に除去することができる。
【００１５】
また、上記目的達成のため、本発明の第２の観点に係る研削装置は、ワークピースを研ぐ砥石部と、砥石部を収容する加工室とを有する研削装置であって、加工室内の所定の面に対して、所定の面に沿って流れるように洗浄液を供給する洗浄液供給部を備える。係る装置によると、加工室内の所定の面に対して、所定の面に沿って流れるように洗浄液を供給することができ、所定の面に付着しているスラッジや、所定面に向かって飛んでくるスラッジを、その面に流れる洗浄液により適切に洗い流すことができる。このため、所定の面に付着するスラッジを適切に防止することができる。また、飛散しているスラッジを適切に低減することができる。
【００１６】
上記研削装置において、洗浄液供給部は、洗浄液を吐出する吐出口を所定方向に複数有する吐出口列を複数有し、一の吐出口列の吐出口が洗浄液を吐出する方向が、他の吐出口列の吐出口が洗浄液を吐出する方向と異なっていてもよい。係る装置によると、より広範囲に洗浄液を吐出することができ、所定の面の広範囲に洗浄液を流すことができる。このため、スラッジの付着を防止することのできる範囲を広くすることができるとともに、飛散するスラッジをより効果的に洗い流すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている諸要素及びその組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１８】
本発明の一実施形態に係る研削装置及び研削処理方法を説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係る研削装置の概略構成図であり、図２は、砥石軸方向の一方側（図１の左側）から観察した研削装置の一部構成図である。
【００２０】
研削装置１は、加工室Ｒ内に、ワークピースの一例であるウェーハＷを垂直な状態で吸着保持する吸着ステージ３と、吸着ステージ３を保持し、吸着ステージ３を所定方向（例えば、図２における時計回り方向）に回転駆動させるステージ駆動部２と、ウェーハＷを研削するための砥石が設けられた砥石部４と、砥石部４を回転駆動可能に支持する砥石軸部５と、砥石軸部５をその軸線方向（図１の左右方向：砥石軸方向）に往復移動させ、また、砥石軸部５を中心軸周りに所定方向（例えば、図２における反時計回り方向）に回転させる砥石軸駆動部６とを有する。
【００２１】
ウェーハＷと、砥石部４とが接触する研削面の横側面及び上面を囲むように、研削屑（スラッジ）等の飛散を防止するための飛散防止カバー８が設けられている。なお、本実施形態の飛散防止カバー８においては、その構成上、一部分（図１の手前側、図２の左側）には、スラッジが飛び出してしまうすき間Ｇが存在している。
【００２２】
ここで、図１及び図２においては、研削処理により発生したスラッジＳの飛散状態の一例を示している。研削処理により発生したスラッジＳは、例えば、ミスト状となって飛散防止カバー８のすき間Ｇから扉７の方向に飛び出す。このすき間Ｇから飛び出したスラッジＳは、扉７の方向や、加工室Ｒの任意の方向に飛散することとなる。
【００２３】
加工室Ｒは、底面２２と、上側面２１と、複数の側壁２３等と、扉側側壁２４と、扉７（画成部の一例）とによって画成されている。
【００２４】
加工室Ｒの上側面２１には、加工室Ｒ内を照らすための照明を有する照明部９が設けられている。照明部９のウェーハＷが研削される領域側（図１の左下側）には、照明カバー１０が設けられている。照明カバー１０の上方近傍には、照明カバー１０の表面を洗浄する洗浄液（例えば、水）を吐出するための洗浄液供給部の一例としての照明用洗浄ノズル部１１が設けられている。照明用洗浄ノズル部１１には、図示しない洗浄液供給源から洗浄液が供給されるようになっている。照明用洗浄ノズル部１１に洗浄液が供給されると、洗浄液が照明カバー１０に向けて吐出されるようになっており、吐出された洗浄液は、照明カバー１０の表面に沿って下方に流れるようになっている。したがって、照明カバー１０に付着したスラッジや、照明カバー１０に向かって飛んでくるスラッジを洗浄液により洗い流す（除去する）ことができる。
【００２５】
扉７には、加工室Ｒ内を観察可能にする透明な部材で形成された観察部７ａが設けられている。また、扉７の上方近傍には、扉７を洗浄するための洗浄液を扉７に向けて供給するための洗浄液供給部の一例としての扉用洗浄ノズル部１２が設けられている。扉用洗浄ノズル部１２には、図示しない洗浄液供給源から洗浄液が供給されるようになっている。本実施形態では、照明用洗浄ノズル部１１に洗浄液を供給する洗浄液供給源から扉用洗浄ノズル部１２にも洗浄液が供給されるようになっている。扉用洗浄ノズル部１２に洗浄液が供給されると、洗浄液が扉７に向けて吐出されるようになっており、吐出された洗浄液は、扉７（観察部７ａを含む）の表面に沿って下方に流れるようになっている。したがって、扉７に付着したスラッジや、扉７に向かって飛んでくるスラッジを洗浄液により洗い流す（除去する）ことができる。
【００２６】
扉用洗浄ノズル部１２は、第１方向（例えば、鉛直方向に対して第１角度をなした方向）に洗浄液を吐出する所定方向に一列に並ぶ複数の吐出口を有する第１ノズル列（第１吐出口列）１２ａと、第１方向と異なる第２方向（例えば、鉛直方向に対して第１角度よりも小さい角度をなした方向）に洗浄液を吐出する一列に並ぶ複数の吐出口を有する第２ノズル列（第２吐出口列）１２ｂとを有する。各ノズル列１２ａ、１２ｂは、高さ方向（図１上下方向）に並んで設けられている。なお、本実施形態では、扉用洗浄ノズル部１２は、一方側（図１の左側）が他方側（図１の右側）よりも多少高い位置になるように設置されている。
【００２７】
扉用洗浄ノズル部１２によると、第１ノズル列１２ａにより吐出される洗浄液の方向と、第２ノズル列１２ｂにより吐出される洗浄液の方向が異なるので、水平方向（図１の左右方向）のより広い範囲に洗浄液を吐出することができ、扉７の広い範囲（本実施形態では、扉の全面）に洗浄液を流すことができる。
【００２８】
本実施形態では、ウェーハＷの研削処理を行っている際には、照明用洗浄ノズル部１１及び扉用洗浄ノズル部１２に洗浄液供給源から常に洗浄液が供給されるように、図示しない制御部により制御されている。
【００２９】
次に、本実施形態に係る研削装置による研削処理を説明する。
【００３０】
研削装置１では、研削対象のウェーハＷが吸着ステージ３に装着された後に、研削処理が開始される。研削処理においては、まず、研削装置１のステージ駆動部２が、ウェーハＷを吸着している吸着ステージ３を所定の方向に回転駆動させる。これと並行して、砥石軸駆動部６が砥石軸部５を所定方向に回転させるとともに、砥石軸部５を最も後退した位置から前方（図１左方向）へ移動させる。これにより、砥石部４が回転しつつ、徐々にウェーハＷに近づいていくこととなる。
【００３１】
そして、砥石部４の前面の砥石がウェーハＷに接触することにより、ウェーハＷが研削されることとなる。なお、砥石部４の前方への移動は、所定の加工パターンに従って制御される。このように、ウェーハＷが研削されている場合には、スラッジＳが発生することとなる。スラッジＳは、基本的には、ウェーハＷと砥石部４が接触している研削面から砥石軸に対して垂直外側方向に飛び出す。この際、飛散防止カバー８から外側に飛び出すスラッジＳも存在する。このように、飛散防止カバー８から飛び出したスラッジＳは、扉７の方向や、加工室Ｒ内のその他の方向に飛散する。
【００３２】
本実施形態では、上記した研削処理が実行されている間は、常に、図示しない洗浄液供給源から照明用洗浄ノズル部１１及び扉用洗浄ノズル部１２に洗浄液が供給されている。このため、照明用洗浄ノズル部１１から洗浄液が照明カバー１０に吐出され、照明カバー１０には、洗浄液が流れることとなり、また、扉用洗浄ノズル部１２から洗浄液が扉７に向けて吐出され、扉７に沿って洗浄液が流れることとなる。
【００３３】
したがって、照明カバー１０に付着しているスラッジや、照明カバー１０に向かって飛んできたスラッジは、照明カバー１０に流れている洗浄液に取り込まれて流され、加工室Ｒ外に排出されることとなる。また、扉７に付着しているスラッジや、扉７に向かって飛んできたスラッジは、扉７に流れている洗浄液に取り込まれて流され、加工室Ｒ外に排出されることとなる。このため、照明カバー１０や扉７へスラッジが付着することを適切に低減することができる。これにより、照明部９による加工室Ｒ内の照明を適切に行うことができる。また、観察部７ａを介して加工室Ｒ内を適切に観察することができる。また、照明カバー１０や扉７に向かって飛んでくるスラッジを洗浄液に取り込んで適切に加工室Ｒ外に排出することができるので、加工室Ｒ内に飛散するスラッジの量を適切に低減することができる。
【００３４】
そして、ウェーハＷに対して所望の研削が行なわれた場合には、砥石軸駆動部６により砥石軸部５が後方に移動され、吸着ステージ３の回転が停止され、研削処理が終了する。この後、研削されたウェーハＷは、吸着ステージ３から取り外され、次の研削対象のウェーハＷが吸着ステージ３に装着され、上記同様な研削処理が行われる。ここで、上記したように、照明カバー１０や扉７に向かって飛んでくるスラッジを洗浄液に取り込んで加工室Ｒ外に排出しているので、加工室Ｒ内に飛散するスラッジの量を適切に低減することができる。従って。新たな研削対象のウェーハＷを吸着ステージ３に吸着させる際に、ウェーハＷと吸着ステージ３との間にスラッジが入り込んでしまう事態を適切に防止又は低減することができ、研削処理が実行されたウェーハＷにディンプルが発生してしまうことを適切に防止できる。
【００３５】
上記実施形態に係る研削装置によると、扉７や照明カバー１１へのスラッジの付着を低減することができる。このため、例えば、定期的に清掃を行う場合における清掃に要する工数を低減することができる。
【００３６】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明したが、本発明は上述した実施の形態に限られず、他の様々な態様に適用可能である。例えば、上記実施形態では、研削処理中において、常に洗浄液を照明カバー１０や扉７に流すようにして、洗浄効果を高めていたが、本発明はこれに限られず、例えば、研削処理の一部の期間だけ洗浄液を流すようにしてもよい。また、研削処理中に限らず、例えば、研削処理直後の所定の時間に洗浄液を流すようにしてもよい。
【００３７】
また、上記実施形態では、扉７の略全面に洗浄液が流れるようにしていたが、本発明はこれに限られず、扉７の一部の範囲に洗浄液が流れるようにしてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態では、扉７に洗浄液が流れるようにしていたが、扉７以外の他の側壁２３等に洗浄液を流すようにしてもよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、照明カバー１０及び扉７との両方に洗浄液を流すようにしていたが、本発明はこれに限られず、いずれか一方に洗浄液を流すようにしてもよい。
【００４０】
また、上記実施形態では、ウェーハＷを垂直に保持して研削する研削装置を例に説明していたが、本発明はこれに限られず、ウェーハを水平に保持する研削装置にも本発明を適用することができる。
【００４１】
また、上記実施形態では、研削対象のワークピースとして、ウェーハＷを例に説明していたが、本発明はこれに限られず、例えば、ハードディスク等の他のワークピースであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態に係る研削装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る砥石軸方向から観察した研削装置の一部構成図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  研削装置、２  ステージ駆動部、３  吸着ステージ、４  砥石部、５  砥石軸部、６  砥石軸駆動部、７  扉、７ａ  観察部、８  飛散防止カバー、９  照明部、１０  照明カバー、１１  照明用洗浄ノズル部、１２  扉用洗浄ノズル部、２１  上側面、２２  底面、２３  側壁、２４  扉側側壁、Ｗ  ウェーハ。
【図１】
2010094769.tif 000003
【図２】
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