(57)【要約】【課題】  油圧式調整保持装置において、結露現象の発生を無くし、電動式保持装置を用いる必要がなし、それにより、測定結果の正確さに悪影響を与えるおそれをなくす。【解決手段】  本発明に係わる低温測定装置１００は、ハウジング１０と、ハウジング１０内に設けられ被測定素子６２を保持する保持台６０と、ハウジング１０内に設けられたフラットテーブル５０と、フラットテーブル５０上に設けられた少なくとも１つの油圧式調整保持装置３０とを備える。ハウジング１０は、測定室１２を規定した密閉式ハウジングであり、その上部蓋が透明部を含む。油圧式調整保持装置３０は少なくとも１つのプローブ４２を保持するように構成された。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明部を備えると共に測定室を規定したハウジングと、
前記ハウジング内に設けられるとともに被測定素子を保持するように構成された保持台と、
前記測定室内に設けられたフラットテーブルと、
前記フラットテーブルの上に設けられるとともに少なくとも１つのプローブを保持するように構成された少なくとも１つの油圧式調整保持装置と
を備えた低温測定装置。
【請求項２】
前記透明部を介して前記プローブと前記被測定素子との位置決め画像を撮像するように構成された撮像素子をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の低温測定装置。
【請求項３】
前記透明部は前記ハウジングに設けられた上部蓋であることを特徴とする請求項１記載の低温測定装置。
【請求項４】
前記油圧式調整保持装置が
前記フラットテーブルの上に設けられた固定部と、
前記プローブを保持するように構成された可動部と、
前記固定部と前記可動部とを連結するとともに前記プローブと前記被測定素子との相対位置を調整可能に構成された油圧駆動機構と
を備えたことを特徴とする請求項１記載の低温測定装置。
【請求項５】
前記可動部が前記プローブを把持するように構成された把持具を備えたことを特徴とする請求項４記載の低温測定装置。
【請求項６】
前記ハウジングは密閉式ハウジングであることを特徴とする請求項１記載の低温測定装置。
【請求項７】
前記透明部がガラスまたはプラスチックによって構成されたことを特徴とする請求項１記載の低温測定装置。
【請求項８】
透明部を備えると共に測定室を規定したハウジングと、
前記ハウジング内に設けられるとともに被測定素子を保持するように構成された保持台と、
前記測定室内に設けられたフラットテーブルと、
前記フラットテーブルの上に設けられるとともに測定カードを保持するように構成された少なくとも１つの油圧式調整保持装置と
を備えた低温測定装置。
【請求項９】
前記透明部を介して前記測定カードと前記被測定素子との位置決め画像を撮像するように構成された撮像素子をさらに含むことを特徴とする請求項８記載の低温測定装置。
【請求項１０】
前記透明部は前記ハウジングに設けられた上部蓋であることを特徴とする請求項８記載の低温測定装置。
【請求項１１】
前記油圧式調整保持装置が
前記フラットテーブルの上に設けられた固定部と、
前記測定カードを保持するように構成された可動部と、
前記固定部と前記可動部とを連結するとともに前記測定カードと前記被測定素子との相対位置を調整可能に構成された油圧駆動機構と
を備えたことを特徴とする請求項８記載の低温測定装置。
【請求項１２】
前記可動部が前記測定カードを把持するように構成された把持具を備えたことを特徴とする請求項１１記載の低温測定装置。
【請求項１３】
前記ハウジングは密閉式ハウジングであることを特徴とする請求項８記載の低温測定装置。
【請求項１４】
前記透明部がガラスまたはプラスチックによって構成されたことを特徴とする請求項８記載の低温測定装置。
【請求項１５】
前記測定カードが、
回路基板と、
前記回路基板上に設けられた少なくとも１つのプローブと
を備えたことを特徴とする請求項８記載の低温測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低温測定装置に関し、とりわけ油圧式調整保持装置によってプローブまたは測定カードを保持する低温測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路素子は、さまざまな電子装置にとって欠かすことのできない中核的な存在になってきている。例えば、摂氏零度以下の温度で走行する自動車の走行システムや摂氏零下数十度の上空を飛ぶ飛行機の通信システムに搭載された集積回路は、このような低温環境においても正常に稼動できなければならず、温度の変化によって機能の発揮に支障をきたすようなことがあってはならない。集積回路素子が低温環境下（例えば摂氏零度以下）においても正常に稼動することを検知するために、より低温な測定室で集積回路素子を測定することが必要である。
【０００３】
一般に、ウエハ上に形成された集積回路素子は、あらかじめその電気的特性を検査することによって良品か否かを判定しなければならない。集積回路素子のうち、良品は後工程の封止工程に移送されるが、不良品は無駄な封止コストの増加を避けるため破棄される。封止工程で発生した不良品を取り除くために封止工程を経た集積回路素子を再び電気的特性試験にかけることによって最終的な良品率を高める。つまり、集積回路素子は、製造過程において何回も電気的特性試験を行わなければならない。
【０００４】
従来において、被測定素子と測定器具（例えば、測定カードやプローブ、手動式保持装置）の位置を設定した後に、測定室を周辺環境から遮断するとともに液状窒素により測定室を測定温度まで冷却して低温測定を行うような方法が取られていた。測定プロセスにおいて、測定カードのプローブが異なる集積回路素子または同一の集積回路素子の異なるパッドに接触できるように手動式保持装置によって被測定素子または測定カードを移動するようにしなければならない。
【０００５】
しかしながら、手動式保持装置によって被測定素子または測定カードを移動する場合には測定室を開放しなければならず、それによって低温雰囲気下におかれた測定室が外部環境に曝されて低温の測定室の内部に結露現象が生じ、測定室の湿度に影響が及ぼされてしまう。また、凝結した水滴や氷塊が測定室内の器具に滴下して短絡を引き起こしてしまうおそれさえある。
【０００６】
上記のような問題を解決するために、研究者たちが測定室を開放することを避けるため手動式保持装置の代わりに電動式保持装置の使用を試みた。しかし、電動式保持装置を用いて被測定素子または測定カード（プローブ）を保持する場合には、電動式保持装置を被測定素子または測定カード（プローブ）の近傍まで近づかせなければならず、そのため、電動式保持装置のモータ稼動時に発生する電磁波ノイズによって測定結果の正確さに悪影響を及ぼすおそれがある。したがって、手動式保持装置の代わりに電動式保持装置を用いて低温測定を行う方法は現実的とはいえない。
【０００７】
特許文献１において、低温または高温環境下で集積回路素子の電気的特性試験を行える集積回路測定装置を開示している。しかし、特許文献１において低温または高温測定環境の生成方法については記載したものの上記のような問題を解決するための技術手段についての記載がなされていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第６，２５７，３１９号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、油圧式調整保持装置を用いてプローブまたは測定カードを保持する低温測定装置を提供する。本発明の低温測定装置は、測定室を開放することなく位置を調整することができるので、結露現象の発生を無くすことができるとともに、電動式保持装置を使用しないため、測定結果の正確さがモータ稼動時に発生する電磁波ノイズによって影響されてしまうおそれがない。
【００１０】
本発明の低温測定装置の一実施例において、ハウジングと、該ハウジング内に設けられ被測定素子を保持する保持台と、該ハウジング内に設けられたフラットテーブルと、該フラットテーブルの上に設けられた少なくとも１つの油圧式調整保持装置とを備える。該ハウジングは測定室を規定した密閉式ハウジングであり、その上部蓋が透明部を含む。該油圧式調整保持装置は少なくとも１つのプローブを保持するように構成された。
【００１１】
本発明の低温測定装置の一実施例において、ハウジングと、該ハウジング内に設けられ被測定素子を保持する保持台と、該測定室内に設けられたフラットテーブルと、該フラットテーブルの上に設けられた少なくとも１つの油圧式調整保持装置とを備える。該ハウジングは測定室を規定した密閉式ハウジングであり、その上部蓋が透明部を含む。該油圧式調整保持装置は少なくとも１つのプローブを備えた測定カードを保持するように構成された。
【発明の効果】
【００１２】
本発明において、該密閉式ハウジングおよび該油圧式調整保持装置によって該プローブ（または該測定カード）を保持するので、該ハウジングを開放することなく該上部蓋における透明部を介して該プローブ（または該測定カード）と該被測定素子との相対位置を観察することができる。また、該油圧式調整保持装置によって該プローブ（または該測定カード）の位置を調整することができるので、結露現象の発生を無くすことができる。さらに、本発明において、該油圧式調整保持装置によって該プローブ（または該測定カード）を保持するため、電動式保持装置を用いる必要がなく、電動式保持装置のモータ稼動時に発生する電磁波ノイズによって測定結果の正確さに悪影響を与えるおそれがない。
【００１３】
上記の説明において広範囲にわたって本発明の技術的特徴およびその長所を説明したが、本発明をよりよく理解できるように以下において本発明について詳しく説明する。本発明を構成する特許請求の範囲とその目的に係わる他の技術的特長およびその長所は以下の説明によって明らかになる。当業者は、下記の説明において開示する概念および特定の実施例に基づいて変更を加えたり他の構造またはプロセスを設計したりすることによって本発明と同様の目的を容易に実現することができる。当業者によるこのような等価的な構成は、下記の本発明の特許請求の範囲によって限定された本発明の主旨と範囲から逸脱するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の低温測定装置の一実施例を示す図
【図２】本発明の低温測定装置の他の実施例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は本発明の低温測定装置１００の一実施例を示す図である。該低温測定装置１００は、ハウジング１０と、該ハウジング１０内に設けられた支持座７０と、該ハウジング１０内に設けられ被測定素子６２（例えば、半導体素子）を保持する保持台６０と、該保持台６０に設けられ該保持台６０の温度を制御する温度制御素子６４（例えば、ヒータ）と、該ハウジング１０内の支持部材４０上に設けられたフラットテーブル５０と、該フラットテーブル５０上に設けられた少なくとも１つの油圧式調整保持装置３０とを備える。
【００１６】
該ハウジング１０は測定室１２を規定した密閉式ハウジングであり、その上部蓋１４には透明部１６が設けられている。該油圧式調整保持装置３０は少なくとも１つのプローブ４２を保持するように構成されている。本発明の一実施例において、該透明部１６がガラスまたはプラスチックによって構成された。また、該低温測定装置１００は、利用者が該油圧式調整保持装置３０によって該プローブ４２の位置を調整できるように、該上部蓋１４における透明部１６を介して該プローブ４２と該被測定素子６２との位置決め画像を撮像するように構成された撮像素子２０をさらに含んでもよい。
【００１７】
本発明の一実施例において、該油圧式調整保持装置３０は、固定部３２、可動部３４および該固定部と該可動部とを連結する油圧駆動機構３６を有している。該固定部３２が該フラットテーブル５０上に設けられ、該可動部３４は把持具３８を介して該プローブ４２を把持するように構成されている。該油圧駆動機構３６は、該プローブ４２と該被測定素子６２との相対位置を調整可能に構成された。また、該油圧式調整保持装置３０としてＳＩＧＭＡ ＫＯＫＩ社製のＨＹＭシリーズの装置を用いてもよい。
【００１８】
図２は、本発明の低温測定装置２００の他の実施例を示す図である。該低温測定装置２００は、ハウジング１０と、該ハウジング１０内に設けられた支持座７０と、該ハウジング１０内に設けられ被測定素子６２（例えば、半導体素子）を保持する保持台６０と、該保持台６０に設けられ該保持台６０の温度を制御する温度制御素子６４（例えば、ヒータ）と、該ハウジング１０内の支持部材４０の上に設けられたフラットテーブル５０と、該フラットテーブル５０の上に設けられた少なくとも１つの油圧式調整保持装置３０とを備えている。
【００１９】
該ハウジング１０は測定室１２を規定した密閉式ハウジングであり、その上部蓋１４には透明部１６が設けられている。該油圧式調整保持装置３０は、少なくとも１つの測定カード２６を保持するように構成されている。該測定カード２６は回路基板２２および該回路基板２２に設けられた少なくとも１つのプローブ２４を有している。本発明の一実施例において、該透明部１６がガラスまたはプラスチックによって構成された。また、該低温測定装置２００は、利用者が該油圧式調整保持装置３０によって該測定カード２６のプローブ２４の位置を調整できるように、該上部蓋１４における透明部１６を介して該測定カード２６のプローブ２４と該被測定素子６２との位置決め画像を撮像するように構成された撮像素子２０をさらに含んでもよい。
【００２０】
本発明の一実施例において、該油圧式調整保持装置３０は、固定部３２、可動部３４および該固定部と該可動部とを連結する油圧駆動機構３６を有している。該固定部３２が該フラットテーブル５０の上に設けられ、該可動部３４は把持具３８を介して該測定カード２６を把持するように構成されている。該油圧駆動機構３６は、該測定カード２６と該被測定素子６２との相対位置を調整可能に構成された。また、該油圧式調整保持装置３０としてＳＩＧＭＡ ＫＯＫＩ社製のＨＹＭシリーズの装置を用いてもよい。
【００２１】
本発明において、該密閉式ハウジング１０および該油圧式調整保持装置３０によって該プローブ４２または該測定カード２６を保持するので、該ハウジング１０を開放することなく該上部蓋１４における透明部１６を介して該プローブ４２または該測定カード２６と該被測定素子６２との相対位置を観察することができる。また、該油圧式調整保持装置３０によって該プローブ４２または該測定カード２６の位置を調整することができるので、結露現象の発生を無くすことができる。さらに、本発明において、該油圧式調整保持装置３０によって該プローブ４２または該測定カード２６を保持するため、電動式保持装置を用いる必要がなく、電動式保持装置のモータ稼動時に発生する電磁波ノイズによって測定結果の正確さに悪影響を与えるおそれがない。
【００２２】
以上において本発明の技術的内容および技術的特長を説明したが、当業者は、下記の特許請求の範囲によって規定された本発明の主旨を逸脱しない範囲内において、本発明の教示および開示について種々の組み合わせや変更を行うことができる。例えば、異なる方法で上述した多くの製造プロセスを実施しまたは上述した製造プロセスの代わりに他の製造プロセスを実施し、または上記２種類の方法を組み合わせて用いることができる。
【００２３】
また、本発明の特許請求の範囲は、上述した特定の実施例の製造プロセス、測定装置、製造、物質の成分、装置、方法またはステップによって限定されない。当業者が、本発明において教示しまたは開示した製造プロセス、測定装置、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに基づいて開発したものであって、既存のものか後になって開発されたものかを問わず、本発明の実施例において開示したものと実質的に同様の機能を実質的に同様の方法により実施し実質的に同様の結果を達成するものであれば、本発明にも使用することができる。したがって、上記のような製造プロセス、測定装置、製造、物質の成分、装置、方法またはステップは下記の特許請求の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００２４】
１０  ハウジング
１２  測定室
１４  上部蓋
１６  透明部
２０  撮像素子
２２  回路基板
２４，４２  プローブ
２６  測定カード
３０  油圧式調整保持装置
３２  固定部
３４  可動部
３６  油圧駆動機構
４０  支持部材
５０  フラットテーブル
６０  保持台
６２  被測定素子
６４  温度制御素子
７０  保持座
１００，２００  低温測定装置
【図１】
2010060555.tif 000003
【図２】
2010060555.tif 000004