(57)【要約】【課題】主にクリーンルームに使用されるファンフィルタユニットにおいて、部品点数が少なくシンプルでかつ、メンテナンス性にすぐれた構造が実現できることを目的とする。【解決手段】本発明は、吸込口１とファン２とモータ３とモータサポート４からなるファンユニット５を接合した天板６と、そのファンユニット４を内蔵するチャンバ７と、その下流側に配設される塵埃除去フィルタ８と、その塵埃除去フィルタ８とチャンバ７の間に挿入される弾性を備えたパッキン９を配設した構造を特徴とし、部品点数を少なくし、シンプルな構造でメンテナンス性および気密性能を向上が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸込口とファンとモータとモータサポートからなるファンユニットを接合した天板と、そのファンユニットを内蔵するチャンバと、その下流側に配設される塵埃除去フィルタと、その塵埃除去フィルタとチャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンを配設したファンフィルタユニットであって、チャンバの一端に着脱可能な天板が配設された構成となることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
チャンバ外形寸法に対し塵埃除去フィルタ外形寸法が極小となる塵埃除去フィルタからなる構成となることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタ。
【請求項３】
チャンバの一端に少なくとも２本の通しボルトを配設し、その通しボルトに少なくとも１枚のガス吸着フィルタを貫通させ、最下流側の塵埃除去フィルタ下流側に配設した少なくとも２つの固定ナットと前記通しボルトによって、ガス吸着フィルタ、塵埃除去フィルタの固定を確保することを特徴とする請求項１または請求項２記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
チャンバの一端に塵埃除去フィルタを配設し、そのチャンバの他端に第２チャンバを配設し、その第２チャンバの他端に少なくとも２本の通しボルトを配設し、その通しボルトに少なくとも１枚のガス吸着フィルタを貫通させ、最上流側のガス吸着フィルタ上流側に配設した少なくとも２つの固定ナットと前記通しボルトによって、ガス吸着フィルタの固定を確保することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３記載のファンフィルタユニット。
【請求項５】
第２チャンバの内壁に突起部を設け、この突起部に着脱可能な天板を配設することを特徴とする請求項４記載のファンフィルタユニット。
【請求項６】
第２チャンバの内壁に第１突起部と第２突起部と第３突起部を設け、この第１突起部の上流側に少なくとも１枚のガス吸着フィルタを配設し、第２突起部に着脱可能な天板を配設し、第３突起部の下流側に塵埃除去フィルタを配設することを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項７】
天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタ接合部分のチャンバ形状を鍵型凸形状とし、塵埃除去フィルタのチャンバ接合部分のフィルタ形状を鍵形凹形状とすることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項８】
天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタ接合部分のチャンバ形状をＬ字型凸形状とし、塵埃除去フィルタのチャンバ接合部分のフィルタ側面形状を凹形状とすることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項９】
天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタの接合部分のチャンバ形状を凹型形状とし、その下流側に設けられる少なくとも１枚のガス吸着フィルタの上流側形状を凸型形状、下流側形状を凹形状とし、そのガス吸着フィルタの下流側に配設される塵埃除去フィルタの上流側形状を凸形状とすることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項１０】
チャンバの上流側の形状を凸形状とし、チャンバの下流側の形状を凹形状とし、チャンバの上流側に上流側形状を凸型形状、下流側形状を凹形状からなる少なくとも１枚のガス吸着フィルタを配設し、チャンバの下流側の形状を凹形状とし、その下流側に配設される塵埃除去フィルタの上流側形状を凸形状とすることを特徴とするファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、液晶工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットの構造はファンとモータからなるファンユニットのケーシングと、フィルタ濾材と型材フレームからなるフィルタが接続されている構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２７１４１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルタユニット構造では、ファンモータがチャンバ内に内蔵された状態で固定されているため、ファンモータの交換等メンテナンスの場合、すべての部品を取り外さなくてはならないという課題があり、フィルタ交換の際も、フィルタがチャンバにねじ止めされているため、ファンフィルタユニットを設置された装置筐体から取り外す必要性がある。また昨今の微細化への要求に対し、ガス吸着フィルタの装着ニーズが高まりつつある中、従来のファンフィルタユニット形状では、これらのガス吸着フィルタへの装着自由度が図れないという課題がある。さらには、小型化への要求に対し、構造が複雑なため極小空間での設置容易性に課題があり、また、基本要件である気密性の確保という課題がある。このように、近年のファンフィルタユニットにおいては、メンテナンス容易性および、ガス吸着フィルタの装着容易性、極小空間に合わせた設置自由度、気密性確保のが要求されている。
【０００４】
本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの課題を解決するものであり、構造がシンプルで、メンテナンスの容易性、微細化に対するガス吸着フィルタ装着の際の自由度を有し、また極小空間での取付け作業性に優れたファンフィルタユニットを提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために吸込口とファンとモータとモータサポートからなるファンユニットを接合した天板と、そのファンユニットを内蔵するチャンバと、その下流側に配設される塵埃除去フィルタと、その塵埃除去フィルタとチャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンを配設したファンフィルタユニットであって、チャンバの一端に着脱可能な天板が配設された構成となることを特徴とするものである。
【０００６】
この手段によりファンユニットのメンテナンスが容易なファンフィルタユニットが得られる。
【０００７】
また、ほかの手段は、チャンバ外形寸法に対し塵埃除去フィルタ外形寸法が極小となる塵埃除去フィルタからなる構成となることを特徴とするファンフィルタである。
【０００８】
この手段によりチャンバサイズに拘ることなく任意のサイズのフィルタを設けることができるファンフィルタユニットが得られる。
【０００９】
また、ほかの手段は、チャンバの一端に少なくとも２本の通しボルトを配設し、その通しボルトに少なくとも１枚のガス吸着フィルタを貫通させ、最下流側の塵埃除去フィルタ下流側に配設した少なくとも２つの固定ナットと前記通しボルトによって、ガス吸着フィルタ、塵埃除去フィルタの固定を確保することを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１０】
この手段により容易にガス吸着フィルタを装着できるファンフィルタユニットが得られる。
【００１１】
また、ほかの手段は、チャンバの一端に塵埃除去フィルタを配設し、そのチャンバの他端に第２チャンバを配設し、その第２チャンバの他端に少なくとも２本の通しボルトを配設し、その通しボルトに少なくとも１枚のガス吸着フィルタを貫通させ、最上流側のガス吸着フィルタ上流側に配設した少なくとも２つの固定ナットと前記通しボルトによって、ガス吸着フィルタの固定を確保することを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１２】
この手段によりファンフィルタユニットの設置状況や要求交換頻度に応じ、容易にガス吸着フィルタを交換できるファンフィルタユニットが得られる。
【００１３】
また、ほかの手段は、第２チャンバの内壁に突起部を設け、この突起部に着脱可能な天板を配設することを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１４】
この手段によりシンプルな構造でファンモータのメンテナンス交換およびガス吸着フィルタを容易に交換できるファンフィルタユニットが得られる。
【００１５】
また、ほかの手段は、第２チャンバの内壁に第１突起部と第２突起部と第３突起部を設け、この第１突起部の上流側に少なくとも１枚のガス吸着フィルタを配設し、第２突起部に着脱可能な天板を配設し、第３突起部の下流側に塵埃除去フィルタを配設することを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１６】
この手段によりガス吸着フィルタの装着の際、部品点数が少ない構造で容易にガス吸着フィルタの装着や交換が可能で、かつ塵埃除去フィルタもチャンバにネジ止め固定をしなくても容易に装着固定でき気密性確保が可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１７】
また、ほかの手段は、天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタ接合部分のチャンバ形状を鍵型凸形状とし、塵埃除去フィルタのチャンバ接合部分のフィルタ形状を鍵形凹形状とすることを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１８】
この手段によりパッキン等を使用しなくとも簡単な構造で気密性の確保ができ、かつフィルタのチャンバとのズレ防止ができる構造のファンフィルタユニットが得られる。
【００１９】
また、ほかの手段は、天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタ接合部分のチャンバ形状をＬ字型凸形状とし、塵埃除去フィルタのチャンバ接合部分のフィルタ側面形状を凹形状とすることを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００２０】
この手段により気密性の確保とともに、フィルタ交換の際、装置筐体からチャンバを取り外さなくともフィルタ交換が可能な構造のファンフィルタユニットが得られる。
【００２１】
また、ほかの手段は、天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタの接合部分のチャンバ形状を凹型形状とし、その下流側に設けられる少なくとも１枚以上からなるガス吸着フィルタの上流側形状を凸型、下流側形状を凹形状とし、そのガス吸着フィルタの下流側に配設される塵埃除去フィルタの上流側形状を凸形状とすることを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００２２】
この手段により、積層時ガス吸着および塵埃除去フィルタ同士がずれることもなくかつ、ねじ止めなど固定する手段を講じなくとも気密性が確保できる構造のファンフィルタユニットが得られる。
【００２３】
また、ほかの手段は、チャンバの上流側の形状を凸形状とし、チャンバの下流側の形状を凹形状とし、チャンバの上流側に上流側形状を凸型形状、下流側形状を凹形状からなる少なくとも１枚以上からなるガス吸着フィルタを配設し、チャンバの下流側の形状を凹形状とし、その下流側に配設される塵埃除去フィルタの上流側形状を凸形状とすることを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００２４】
この手段によりファンフィルタユニットの設置状況や要求交換頻度に応じ、装置筐体からチャンバを取り外すこともなく、かつねじ止めをしなくても容易にガス吸着フィルタを交換でき、かつ気密性の確保が容易できる構造のファンフィルタユニットが得られる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、チャンバの天板にファンユニットを一体設けた構成により、ファンユニットのメンテナンスが容易という効果が得られる。
【００２６】
また、本発明によれば、チャンバサイズに拘ることなく任意のサイズのフィルタを設けることができる効果が得られる。
【００２７】
また、本発明によれば、容易にガス吸着フィルタを装着できる効果が得られる。
【００２８】
また、本発明によれば、ファンフィルタユニットの設置状況や要求交換頻度に応じ、容易にガス吸着フィルタを交換できる効果が得られる。
【００２９】
また、本発明によれば、シンプルな構造でファンモータのメンテナンス交換およびガス吸着フィルタを容易に交換できる効果が得られる。
【００３０】
また、本発明によれば、ガス吸着フィルタの装着の際、部品点数が少ない構造で容易にガス吸着フィルタの装着や交換が可能で、かつ塵埃除去フィルタもチャンバにネジ止め固定をしなくても容易に装着固定でき気密性確保が可能な効果が得られる。
【００３１】
また、本発明によれば、パッキン等を使用しなくとも簡単な構造で気密性の確保ができ、かつフィルタのチャンバとのズレ防止ができるという効果が得られる。
【００３２】
また、気密性の確保とともに、フィルタ交換の際、装置筐体からチャンバを取り外さなくともフィルタ交換が可能という効果が得られる。
【００３３】
また、本発明によれば、積層時ガス吸着および塵埃除去フィルタ同士がずれることもなくかつ、ねじ止めなど固定する手段を講じなくとも気密性が確保できるという効果が得られる。
【００３４】
また、本発明によれば、ファンフィルタユニットの設置状況や要求交換頻度に応じ、装置筐体からチャンバを取り外すこともなく、かつねじ止めをしなくても容易にガス吸着フィルタを交換でき、かつ気密性の確保が容易できるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
本発明の請求項１記載の発明は、吸込口とファンとモータとモータサポートからなるファンユニットを接合した天板と、そのファンユニットを内蔵するチャンバと、その下流側に配設される塵埃除去フィルタと、その塵埃除去フィルタとチャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンを配設したファンフィルタユニットであって、チャンバの一端に着脱可能な天板とから構成されることを特徴とするファンフィルタユニットであり、ファンユニットのメンテナンスが容易という作用を有する。
【００３６】
また、本発明の請求項２記載の発明は、チャンバ外形寸法に対し塵埃除去フィルタ外形寸法が極小となる塵埃除去フィルタとから構成されることを特徴とするファンフィルタユニットであり、チャンバサイズに拘ることなく任意のサイズのフィルタを設けることができるという作用を有する。
【００３７】
また、本発明の請求項３記載の発明は、チャンバの一端に少なくとも２本のの通しボルトを配設し、その通しされるボルトに少なくとも１枚のガス吸着フィルタを貫通させ、最下流側の塵埃除去フィルタ下流側に配設した少なくとも２つの固定ナットから構成されることを特徴とするファンフィルタユニットであり、容易にガス吸着フィルタを装着できるという作用を有する。
【００３８】
また、本発明の請求項４記載の発明は、チャンバの一端に塵埃除去フィルタを配設し、そのチャンバの他端に第２チャンバを配設し、その第２チャンバの他端に少なくとも２本の通しボルトを配設し、その通しボルトに少なくとも１枚のガス吸着フィルタを貫通させ、最上流側のガス吸着フィルタ上流側に配設した少なくとも２つの固定ナットから構成されることを特徴とするファンフィルタユニットであり、ファンフィルタユニットの設置状況や要求交換頻度に応じ、容易にガス吸着フィルタを交換できるという作用を有する。
【００３９】
また、本発明の請求項５記載の発明は、第２チャンバの内壁に突起部を設け、この突起部に着脱可能な天板とから構成されることを特徴とするファンフィルタユニットであり、シンプルな構造でファンモータのメンテナンス交換およびガス吸着フィルタを容易に交換できるという作用を有する。
【００４０】
また、本発明の請求項６記載の発明は、第２チャンバの内壁に第１突起部と第２突起部と第３突起部を設け、この第１突起部の上流側に少なくとも１枚のガス吸着フィルタを配設し、第２突起部に着脱可能な天板を配設し、第３突起部の下流側に塵埃除去フィルタとからなる構成を特徴とするファンフィルタユニットであり、ガス吸着フィルタの装着の際、部品点数が少ない構造で容易にガス吸着フィルタの装着や交換が可能で、かつ塵埃除去フィルタもチャンバにネジ止め固定をしなくても容易に装着固定でき気密性確保ができるという作用を有する。
【００４１】
また、本発明の請求項７記載の発明は、天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタ接合部分のチャンバ形状を鍵型凸形状とし、塵埃除去フィルタのチャンバ接合部分のフィルタ形状を鍵形凹形状とする構成を特徴とするファンフィルタユニットであり、パッキン等を使用しなくとも簡単な構造で気密性の確保ができ、かつフィルタのチャンバとのズレ防止ができるという作用を有する。
【００４２】
また、本発明の請求項８記載の発明は、天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタ接合部分のチャンバ形状をＬ字型凸形状とし、塵埃除去フィルタのチャンバ接合部分のフィルタ側面形状を凹形状とからの構成を特徴とするファニルタユニットであり、気密性の確保とともに、フィルタ交換の際、装置筐体からチャンバを取り外さなくともフィルタ交換が可能という作用を有する。
【００４３】
また、本発明の請求項９記載の発明は、天板と天板の下流側に設けられたチャンバと塵埃除去フィルタの接合部分のチャンバ形状を凹型形状とし、その下流側に設けられる少なくとも１枚以上からなるガス吸着フィルタの上流側形状を凸型形状、下流側形状を凹形状とし、そのガス吸着フィルタの下流側に配設される塵埃除去フィルタの上流側形状を凸形状とからの構成を特徴とするファンフィルタユニットであり、積層時ガス吸着および塵埃除去フィルタ同士がずれることもなくかつ、ねじ止めなど固定する手段を講じなくとも気密性が確保できるという作用を有する。
【００４４】
また、本発明の請求項１０記載の発明は、チャンバの上流側の形状を凸形状とし、チャンバの下流側の形状を凹形状とし、チャンバの上流側に上流側形状を凸型形状、下流側形状を凹形状からなる少なくとも１枚以上からなるガス吸着フィルタを配設し、チャンバの下流側の形状を凹形状とし、その下流側に配設される塵埃除去フィルタの上流側形状を凸形状とからの構成を特徴とするファンフィルタユニットであり、ファンフィルタユニットの設置状況や要求交換頻度に応じ、装置筐体からチャンバを取り外すこともなく、かつねじ止めをしなくても容易にガス吸着フィルタを交換でき、かつ気密性の確保が容易できるという作用を有する。
【００４５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４６】
（実施の形態１）
図１に示すように、風の流れに沿って、吸込口１、ファン２とモータ３とモータサポート４よりなるファンユニット５、これらを支持する天板６、風下に塵埃除去フィルタ８、天板６と塵埃除去フィルタ８の間にパッキン９とチャンバ７が配置されたファンフィルタユニット１０から構成されている。
【００４７】
上記構成において、吸込口１とファンユニット５が天板６に一体化固定され、かつその天板６がチャンバ７に固定されていることで、ファン２やモータ３の交換メンテナンスの際は、ファンフィルタユニット１０全体を分解することなく、天板６のみをチャンバ７から取り外すことでファン２やモータ３などからなるファンユニット５のメンテナンスが容易にできる。
【００４８】
（実施の形態２）
図２に示すように、チャンバ７の外形寸法に対し外形寸法が極小となる塵埃除去フィルタ８ａとから構成されている。
【００４９】
上記構成において、一般に一体型のチャンバ７でフィルタとの接合面のみの開口部を設ける場合、チャンバコーナー折り返し部分の折り曲げ加工はベンダー金型を用いるが、このベンダー金型の抜き寸法の制約上、チャンバ７端面より各々３０ｍｍ程度が限界とされている。このことよりチャンバ７に接合できるフィルタ外形最小寸法は、チャンバ７外形寸法に対し３０ｍｍ小さい寸法が限界となる。しかしながらチャンバ７天面に天板６を固定する方式を用いることで、チャンバ７の鉛直方向の断面形状は、コの字形状でも可能となり、その場合、チャンバ７折り返し部分の寸法はベンダー金型の制約を受けることなく任意の寸法でも製作可能となり、フィルタサイズは、チャンバ７外形寸法にこだわることなく設置できる。
【００５０】
（実施の形態３）
図３に示すように、チャンバ７の一端に少なくとも２本の通しボルト１１、その通しボルト１１に少なくとも１枚のガス吸着フィルタ１２を貫通させ、最下流側の塵埃除去フィルタ８下流側に少なくとも２つの固定ナット１３から構成されている。
【００５１】
上記構成において、ガス吸着フィルタ１２は、通しボルト１１に串刺し状に貫通して固定することができるため、積層されたガス吸着フィルタ１２同士のズレを防ぎ、位置決めも可能で、かつファンユニット５の下流側に設けることで、ファンユニット５からの発生するアウトガスもガス吸着フィルタ１２で吸着することができ、ガス吸着フィルタ１２の厚み、枚数にこだわることなく容易にファンフィルタユニット１０に装着が可能となる。
【００５２】
（実施の形態４）
図４に示すように、チャンバ７の一端に塵埃除去フィルタ８、そのチャンバ７の他端に第２チャンバ１４、その第２チャンバ１４の他端に少なくとも２本の通しボルト１１、その通しボルト１１に少なくとも１枚のガス吸着フィルタ１２を貫通させ、最上流側のガス吸着フィルタ１２上流側に配設した少なくとも２つの固定ナット１３から構成されている。
【００５３】
上記構成において、ガス吸着フィルタ１２の寿命は、塵埃除去フィルタ８に対し１／１０程度の寿命しか有しないことより、ガス吸着フィルタ１２の方が交換頻度は多くなることとなる。したがって塵埃除去フィルタ８とガス吸着フィルタ１２は積層することなく、かつ交換頻度の多いガス吸着フィルタ１２は通しボルト１１で固定することより、ファンフィルタユニット１０の設置状況や要求交換頻度に応じ、容易にガス吸着フィルタのみを自由に交換できる。
【００５４】
（実施の形態５）
図５に示すように、第２チャンバ１４ａの内壁に突起部１５を設け、この突起部１５に着脱可能な天板６を設ける。
【００５５】
上記構成において、第２チャンバ１４ａは、内壁に突起部１５を設けることで、チャンバ７と第２チャンバ１４を一体化することができ、部品点数を削減することが可能となり、かつ突起部１５にファンユニット５を支持する天板６を容易に固定することができるので、部品点数の少ないシンプルな構造でファンフィルタユニット１０全体を分解することなく、天板６のみを第２チャンバ１４ａから取り外すことでファン２やモータ３などからなるファンユニット５のメンテナンスやガス吸着フィルタ１２を容易に交換できる。
【００５６】
（実施の形態６）
図６に示すように、第２チャンバ１４ａは、内壁に第１突起部１６ａと第２突起部１６ｂと第３突起部１６ｃからなり、この第１突起部１６ａの上流側に少なくとも１枚のガス吸着フィルタ１２を設け、第２突起部１６ｂに着脱可能な天板６を設けし、第３突起部１６ｃの下流側に塵埃除去フィルタ８を設ける。
【００５７】
上記構成において、ガス吸着フィルタ１２の装着の際、部品点数が少ない構造で容易にガス吸着フィルタ１２の装着や交換が可能で、かつ第２チャンバ１４ａの下端部分の断面形状Ｌ型部分で、塵埃除去フィルタ８を抱え込むような形態で装着固定することにより、塵埃除去フィルタ８は、第２チャンバ１４ａとの間でネジ止め固定をしなくてもズレ防止ができることから、装着固定と気密形確保、メンテナンス交換が容易にできる。
【００５８】
（実施の形態７）
図７に示すように、天板６と天板６の下流側に設けられたチャンバ７ａと塵埃除去フィルタ８ａ接合部分のチャンバ形状の少なくとも対向する端部２辺を鍵型凸形状とし、塵埃除去フィルタ８ａのチャンバ７ａ接合部分も同様にチャンバ７ａ形状に相応する形で少なくとも対向する端部２辺のフィルタ形状を鍵形凹形状とする。
【００５９】
上記構成において、チャンバ７ａと塵埃除去フィルタ８ａ間は、断面形状が鍵型形状の凹凸の組み合わせとすることで、従来のように接合部分の形状が平面状に対し、チャンバ７ａと塵埃除去フィルタ８ａ間の接触面積が増大することとなり、従来のようにパッキンを介した構造をとらなくとも気密性の確保ができ、かつ鍵型の凹凸形状による引っ掛かりが生じてチャンバ７ａと塵埃除去フィルタ８ａとのズレ防止が確実にできる。
【００６０】
なお、チャンバ７ａ形状およびそれに相応する形で塵埃除去フィルタ８ａの端部４辺を鍵型凸形状とすることで、より気密性の確保およびチャンバ７ａと塵埃除去フィルタ８ａとのズレ防止がより確実にできる。
【００６１】
また、天板６がチャンバ７に固定されていることで、ファン２やモータ３の交換メンテナンスの際は、ファンフィルタユニット１０全体を分解することなく、天板６のみをチャンバ７から取り外すことでファン２やモータ３などからなるファンユニット５のメンテナンスが容易にできる。
【００６２】
（実施の形態８）
図８に示すように、天板６と天板６の下流側に設けられたチャンバ７ｂと塵埃除去フィルタ８ｂ接合部分のチャンバ形状の対向する端部２辺をＬ型凸形状とし、塵埃除去フィルタ８ａのチャンバ７ａ接合部分も同様にチャンバ７ａ形状に相応する形で対向する端部２辺のフィルタ形状を凹形状とする。
【００６３】
上記構成において、チャンバ７ｂと塵埃除去フィルタ８ｂ間は、断面形状がＬ型形状の凹凸の組み合わせとすることで、従来のように接合部分の形状が平面状に対し、チャンバ７ｂと塵埃除去フィルタ８ｂ間の接触面積が増大することとなり、従来のようにパッキンを介した構造をとらなくとも気密性の確保ができ、かつＬ型の凹凸形状を装置筐体設置方向に対し水平方向に対向するように設けることで、凹凸部分でチャンバ７ｂに塵埃除去フィルタ８ｂが引っ掛った状態で固定されるため、ファンフィルタユニット１０を装置筐体に垂直設置した場合でも、チャンバ７ａと塵埃除去フィルタ８ａとのズレ防止および気密性の確保が確実できる。
【００６４】
また、天板６がチャンバ７に固定されていることで、ファン２やモータ３の交換メンテナンスの際は、ファンフィルタユニット１０全体を分解することなく、天板６のみをチャンバ７から取り外すことでファン２やモータ３などからなるファンユニット５のメンテナンスが容易にできる。
【００６５】
（実施の形態９）
図９に示すように、天板６と天板６の下流側に設けられたチャンバ７ｃと塵埃除去フィルタ８ｃ接合部分のチャンバ形状の少なくとも対向する端部２辺を鍵型凹形状とし、その下流側に少なくとも１枚以上からなるガス吸着フィルタ１２ａのチャンバ７ｃ接合部分も同様にチャンバ７ｃ形状に相応する形で少なくとも対向する端部２辺のフィルタ形状を鍵形凸形状、同じく下流側形状を凹形状とし、そのガス吸着フィルタ１２ａの下流側に配設される塵埃除去フィルタ８ｃの相応する形で少なくとも対向する端部２辺の上流側形状を凸形状とする。
【００６６】
上記構成において、チャンバ７ｃとガス吸着フィルタ１２ａと塵埃除去フィルタ８ｃ間は、断面形状が鍵型形状の凹凸の組み合わせとすることで、従来のように接合部分の形状が平面状に対し、チャンバ７ｃとガス吸着フィルタ１２ａと塵埃除去フィルタ８ｃ各々間の接触面積が増大することとなり、従来のようにパッキンを介した構造をとらなくとも気密性の確保ができ、かつ鍵型の凹凸形状による引っ掛かりが生じてチャンバ７ｃとガス吸着フィルタ１２ａと塵埃除去フィルタ８ｃとのズレ防止が確実にできる。
【００６７】
また各々のフィルタを積層設置する場合、フィルタ同士のズレ防止、位置決めが可能となり、かつ各々自重により各フィルタ間の接合は確保できることより、各フィルタ間の固定のためのねじ止めは不要となる。
【００６８】
また、天板６がチャンバ７に固定されていることで、ファン２やモータ３の交換メンテナンスの際は、ファンフィルタユニット１０全体を分解することなく、天板６のみをチャンバ７から取り外すことでファン２やモータ３などからなるファンユニット５のメンテナンスが容易にできる。
【００６９】
（実施の形態１０）
図１０に示すように、チャンバ７ｄと塵埃除去フィルタ８ｃ接合部分のチャンバ形状が少なくとも対向する端部２辺を鍵型凹形状とし、その下流側に配設されチャンバ７ｄとの接合部分のチャンバ７ｄ形状が少なくとも対向する端部２辺を凸形状とし、またチャンバ７ｄ上流側に設けられた少なくとも１枚以上からなるガス吸着フィルタ１２ａの下流側で、チャンバ７ｃ接合部分がチャンバ７ｃ形状に相応する形で少なくとも対向する端部２辺の凹形状、同じく上流側形状を凸形状とし、各々ガス吸着フィルタ１２ａ同士は積層できる構造とする。
【００７０】
上記構成において、ファンフィルタユニット１０の設置状況や要求交換頻度に応じ、ガス吸着フィルタ１２ａは、ファンフィルタユニット１０の上流側に設けられる場合もあり、その場合、ガス吸着フィルタ１２ａはチャンバ７ｄの上流側凸形状と勘合固定にて設置することが可能となり、また、ガス吸着フィルタ１２ａ同士を積層する場合でも、凹凸形状により勘合できることから、金具やネジなどを用いて固定することも必要なく、かつ装置筐体にファンフィルタユニット１０を設置したまま容易に交換頻度の多いガス吸着フィルタ１２ａを交換することができ、気密性の確保、メンテナンスの容易性が得られる。
【００７１】
また、チャンバ７ｄ下流側に設けられた塵埃除去フィルタ８ｃもガス吸着フィルタ１２ａ同様、各々の凹凸形状を利用してチャンバ７ｄと勘合固定が可能となり、ファンフィルタユニット１０全体の自重によりシール性が増し、気密性の確保が可能となる。
【００７２】
なお、チャンバ７ｄ形状およびそれに相応する形で塵埃除去フィルタ８ｃおよびガス吸着フィルタ１２ａの端部４辺を鍵型凸形状とすることで、より気密性の確保およびチャンバ７ｄと塵埃除去フィルタ８ａおよびガス吸着フィルタ１２ａとのズレ防止がより確実にできる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明は、チャンバの一端に着脱可能な吸込口とファンとモータからなるファンユニットを接合した天板をチャンバに配設することにより、部品点数が少なくシンプルでかつ、メンテナンス性にすぐれた構造が実現できることにより、半導体工場、液晶工場などの清浄空間を必要とするクリーンルーム等のファンフィルタユニットとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す断面図
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す断面図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す断面図
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す断面図
【図６】本発明の実施の形態６の構成を示す断面図
【図７】本発明の実施の形態７の構成を示す断面図
【図８】本発明の実施の形態８の構成を示す断面図
【図９】本発明の実施の形態９の構成を示す断面図
【図１０】本発明の実施の形態１０の構成を示す断面図
【符号の説明】
【００７５】
１      吸込口
２      ファン
３      モータ
４      モータサポート
５      ファンユニット
６      天板
７      チャンバ
７ａ    チャンバ
７ｂ    チャンバ
７ｃ    チャンバ
７ｄ    チャンバ
８      塵埃除去フィルタ
８ａ    塵埃除去フィルタ
８ｂ    塵埃除去フィルタ
８ｃ    塵埃除去フィルタ
９      パッキン
１０    ファンフィルタユニット
１１    通しボルト
１２    ガス吸着フィルタ
１２ａ  ガス吸着フィルタ
１３    固定ナット
１４    第２チャンバ
１４ａ  第２チャンバ
１５    突起部
１６ａ  第１突起部
１６ｂ  第２突起部
１６ｃ  第３突起部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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