(57)【要約】【課題】本発明は、固体撮像素子とこの固体撮像素子の背面側に配置された支持部材とを備えた固体撮像ユニット等に関し、固体撮像素子や支持部材の部品誤差の影響を受けることなく位置決めされた固体撮像ユニット等を提供することを目的とする。【解決手段】ＣＣＤ１１２Ａとフレキシブル基板１１５とＣＣＤプレート１１６とから構成されているＣＣＤユニット１２０のＣＣＤプレート１１６は、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６との間に配置させた状態で、ＣＣＤ１１２Ａの背面側にＣＣＤ１１２Ａと非接触に配置され、貫通孔１１６１，１１５１から流し込まれた接着剤３００で、このＣＣＤ１１２Ａと非接触の状態で接着（いわゆる空中接着）されている。【選択図】        図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子と、
前記固体撮像素子の背面側に該固体撮像素子と非接触に配置された支持部材とを備え、
前記固体撮像素子と前記支持部材が互いに非接触の状態で接着されてなることを特徴とする固体撮像ユニット。
【請求項２】
前記支持部材が、前記固体撮像素子の背面を覗かせる貫通孔を有し、
前記固体撮像素子と前記支持部材が互いに非接触の状態で、前記貫通孔から流し込まれた接着剤で接着されてなることを特徴とする請求項１記載の固体撮像ユニット。
【請求項３】
撮影光学系を有し、該撮影光学系を経由して入射した被写体光を捉えることにより撮影を行う撮影装置において、
前記被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子と、
前記固体撮像素子の背面側に該固体撮像素子と非接触に配置された支持部材とを備え、
前記固体撮像素子と前記支持部材が互いに非接触の状態で接着されてなることを特徴とする撮影装置。
【請求項４】
前記支持部材が、前記固体撮像素子の背面を覗かせる貫通孔を有し、
前記固体撮像素子と前記支持部材が互いに非接触の状態で、前記貫通孔から流し込まれた接着剤で接着されてなることを特徴とする請求項３記載の撮影装置。
【請求項５】
被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子を支持するとともに、該固体撮像素子の背面側に該固体撮像素子とは非接触に支持部材を支持し、
前記固体撮像素子を位置決めし、
前記固体撮像素子と前記支持部材が互いに非接触の状態のまま接着することを特徴とする固体撮像素子固定方法。
【請求項６】
前記支持部材が、前記固体撮像素子の背面を覗かせる貫通孔を有し、
前記固体撮像素子と前記支持部材が互いに非接触の状態のまま、前記貫通孔から接着剤を流し込んで接着することを特徴とする請求項５記載の固体撮像素子固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子とこの固体撮像素子の背面側に配置された支持部材とを備えた固体撮像ユニット、このような固体撮像ユニットが備えられた、被写体を撮影する撮影装置、および、このような固体撮像ユニットにおける固体撮像素子固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、撮影光学系により被写体光を導き、この被写体光による被写体像を固体撮像素子上に結像させ、その被写体像を表す画像信号を取り込む、いわゆるデジタルカメラが知られている。また、固体撮像素子としては、例えば、電荷結合素子であるＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサや、安価で低消費電力のＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどが広く用いられている。そして、この固体撮像素子は、固体撮像素子の撮像面が光軸に対して垂直に交わるように、撮影光学系に対して位置決めされている必要がある。
【０００３】
この位置決めの技術として、例えば、デジタルカメラの組立時に、支持部材に固体撮像素子の背面を固定しておき、この支持部材を撮影光学系の保持体に取り付けることによって、固体撮像素子を撮影光学系に対して位置決めする技術が知られている。
【０００４】
また、固体撮像素子の背面側に支持部材を固定する技術として、例えば、支持部材に複数の突起部を設けるとともに、突起部の近傍に開口部を設け、この支持部材に設けられた複数の突起部に固体撮像素子を突き当てて、突起部の近傍に形成された開口部から固体撮像素子と支持部材との隙間に接着剤を流し込み、固体撮像素子と支持部材とを接着固定する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２６１９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１に提案された技術によると、固体撮像素子の背面側に支持部材を固定するときに、治具を用いて精度良く位置決めしても、固体撮像素子や支持部材の部品誤差は吸収されない。そのため、この技術を適用して固体撮像素子の背面側に固定された支持部材を撮影光学系の保持体に取り付けたとき、固体撮像素子や支持部材の部品誤差に起因して、固体撮像素子の撮像面が光軸に対して垂直に交わらずに傾斜してしまう“撮像面のあおり”が発生し、光軸位置精度が悪くなるおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑み、固体撮像素子や支持部材の部品誤差の影響を受けることなく位置決めされた固体撮像ユニット、このような固体撮像ユニットが備えられた撮影装置、および、このような固体撮像ユニットにおける固体撮像素子固定方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成する本発明の固体撮像ユニットは、
被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子と、
上記固体撮像素子の背面側にこの固体撮像素子と非接触に配置された支持部材とを備え、
上記固体撮像素子と上記支持部材が互いに非接触の状態で接着されてなることを特徴とする。
【０００９】
ここで、本発明にいう「固体撮像素子」とは、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどのイメージセンサをいう。
【００１０】
本発明の固体撮像ユニットは、固体撮像素子と支持部材が互いに非接触の状態で接着（いわゆる空中接着）されてなるものであるため、固体撮像素子や支持部材の部品誤差の影響を受けることなく、固体撮像素子が支持部材に対して位置決めされる。
【００１１】
ここで、本発明の固体撮像ユニットは、
「上記支持部材が、上記固体撮像素子の背面を覗かせる貫通孔を有し、
上記固体撮像素子と上記支持部材が互いに非接触の状態で、上記貫通孔から流し込まれた接着剤で接着されてなる」
ことが好ましい。
【００１２】
このような好ましい形態によれば、固体撮像素子と支持部材が互いに非接触の状態を保持した上で、貫通孔から接着剤を流し込むことができるため、固体撮像素子が支持部材に対して確実に位置決めされる。
【００１３】
また、上記目的を達成する本発明の撮影装置は、
撮影光学系を有し、この撮影光学系を経由して入射した被写体光を捉えることにより撮影を行う撮影装置において、
上記被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子と、
上記固体撮像素子の背面側にこの固体撮像素子と非接触に配置された支持部材とを備え、
上記固体撮像素子と上記支持部材が互いに非接触の状態で接着されてなることを特徴とする。
【００１４】
ここで、本発明にいう「固体撮像素子」とは、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどのイメージセンサをいう。
【００１５】
本発明の撮影装置は、本発明の固体撮像ユニットが備えられたものである。従って、本発明の撮影装置によれば、本発明の固体撮像ユニットと同様に、固体撮像素子や支持部材の部品誤差の影響を受けることなく、固体撮像素子が支持部材に対して位置決めされる。そのため、本発明の撮影装置によれば、固体撮像素子や支持部材の部品誤差に起因して固体撮像素子の撮像面が光軸に対して垂直に交わらずに傾斜してしまう“撮像面のあおり”が発生することが回避され、良好な光軸位置精度が得られる。
【００１６】
ここで、本発明の撮影装置は、
「上記支持部材が、上記固体撮像素子の背面を覗かせる貫通孔を有し、
上記固体撮像素子と上記支持部材が互いに非接触の状態で、上記貫通孔から流し込まれた接着剤で接着されてなる」
ことが好ましい。
【００１７】
このような好ましい形態によれば、固体撮像素子と支持部材が互いに非接触の状態を保持した上で、貫通孔から接着剤を流し込むことができるため、固体撮像素子が支持部材に対して確実に位置決めされる。
【００１８】
また、上記目的を達成する本発明の固体撮像素子固定方法は、
被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子を支持するとともに、この固体撮像素子の背面側にこの固体撮像素子とは非接触に支持部材を支持し、
上記固体撮像素子を位置決めし、
上記固体撮像素子と上記支持部材が互いに非接触の状態のまま接着することを特徴とする。
【００１９】
ここで、本発明にいう「固体撮像素子」とは、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどのイメージセンサをいう。
【００２０】
本発明の固体撮像素子固定方法は、固体撮像素子と支持部材のそれぞれを互いに非接触の状態で支持し、固体撮像素子を位置決めし、その状態のまま接着（いわゆる空中接着）する固定方法であるため、固体撮像素子や支持部材の部品誤差の影響を受けることなく、固体撮像素子が支持部材に対して位置決めされる。
【００２１】
ここで、本発明の固体撮像素子固定方法は、
「上記支持部材が、上記固体撮像素子の背面を覗かせる貫通孔を有し、
上記固体撮像素子と上記支持部材が互いに非接触の状態のまま、上記貫通孔から接着剤を流し込んで接着する」
ことが好ましい。
【００２２】
このような好ましい形態によれば、接着剤を流し込むときに固体撮像素子や支持部材がずれてしまうといったような作業工程における不具合が発生する確率が低く、固体撮像素子を支持部材に対して確実に位置決めすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、固体撮像素子や支持部材の部品誤差の影響を受けることなく位置決めされた固体撮像ユニット、このような固体撮像ユニットが備えられた撮影装置、および、このような固体撮像ユニットにおける固体撮像素子固定方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の固体撮像ユニットの一実施形態であるＣＣＤユニットを備えた撮影装置１の外観を示す図である。
【図２】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図３】図２のフレキシブル基板の拡大図である。
【図４】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図５】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図６】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図７】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図８】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図９】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図１０】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図１１】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図１２】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図１３】ＣＣＤユニットを保持するＸＹステージの構成を示す図である。
【図１４】マグネットＭＡＧ１，ＭＡＧ２の配列と、接合体ＹＭ１，ＹＭ２とホール素子ｈ１，ｈ２と対向ヨークＹ１２，Ｙ２２と追加ヨークＹ１３，Ｙ２３の位置関係を示す図である。
【図１５】調整時のホール素子の出力を説明する図である。
【図１６】本発明の固体撮像素子固定方法の一実施形態であるＣＣＤ固定方法を説明する模式図である。
【図１７】本発明の固体撮像素子固定方法の一実施形態であるＣＣＤ固定方法を説明する模式図である。
【図１８】本発明の固体撮像素子固定方法の一実施形態であるＣＣＤ固定方法を説明する模式図である。
【図１９】従来のＣＣＤ固定方法を説明する模式図である。
【図２０】従来のＣＣＤ固定方法を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００２６】
図１は、本発明の固体撮像ユニットの一実施形態であるＣＣＤユニット１２０を備えた撮影装置１の外観を示す図である。
【００２７】
図１の撮影装置１は、本発明の撮影装置の一実施形態でもある。また、図１の撮影装置１は、ＸＹステージ１１０によってＣＣＤユニット１２０が保持されており、撮影時の手ぶれに応じてそのＸＹステージが駆動されＣＣＤユニット１２０が動かされることによって手ぶれが補正される。
【００２８】
図１の撮影装置においては、ＣＣＤユニット１２０を保持するＸＹステージ１１０がレンズ鏡胴１００とカメラ本体１９０との接続部付近に配備されている。
【００２９】
図２〜図４にはＸＹステージ１１０のＸ方向、Ｙ方向を明確にするためにＸ軸とＹ軸さらにＺ軸が示されている。図２と図４の３つの軸の方向は同じであるが、図３にはフレキシブル基板ＦＰＣの構成をより分かり易くするために異なる方向から見た図が示されているので、３つの軸の方向が異なる。以降の説明においては、これらの軸を使って方向を示すことにする。
【００３０】
図２には、ＣＣＤユニット１２０を保持するＸＹステージ１１０の分解図が示されており、図３には、図２中のフレキシブル基板ＦＰＣの拡大図が示されており、図４には図２の分解図に加えてそのＸＹステージ１１０が組み込まれるレンズ鏡胴１００が示されている。なお、図４には、ズームモータＺＭやフォーカスモータＦＭ、さらにそれらのモータをレンズ鏡胴１００に組み込むときの部品や図１の撮影装置１内の制御部とを接続するためのメインＦＰＣ１１８や防塵テープ１１７等も図示されている。
【００３１】
また、図５には、ＸＹステージ１１０が組立てられるとともにそのＸＹステージ１１０がレンズ鏡胴１００に組み込まれた後の状態を、蓋部材１１４を透明にして蓋部材１１４側からＺ方向に沿って見た図が示されており、図６〜図１３には、図５中の符号Ｐで示す線に沿って切断した断面を示すＸ断面図およびこのＸ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図、図５中の符号Ｑで示す線に沿って切断した断面を示すＸ断面図、図８に示すＸ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図、図５を右側面から見た右側面図、図５中の符号Ｒで示す線に沿って切断した切断面を示すＹ断面図、図１１に示すＹ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図、および図５を底面から見た底面図がそれぞれ示されている。
【００３２】
まず、図２，図４を参照して、ＸＹステージ１１０を構成する各部材、およびＸＹステージ１１０の構成を説明する。
【００３３】
ＸＹステージ１１０には、図２に示す様に基体１１１ほか多数の部材が備えられており、その基体１１１上にその多数の部材の中のＣＣＤユニット１２０やＣＣＤホルダー１１２やＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂ等の各部材が組み込まれていってＸＹステージ１１０になり、組立てられたＸＹステージ１１０が図４に示すレンズ鏡胴１００に組み込まれると、図５〜図１３に示す構成になる。
【００３４】
図２の中央には、被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２が示されている。このＣＣＤホルダー１１２に、ＣＣＤユニット１２０が保持される。
【００３５】
ＣＣＤユニット１２０は、ＣＣＤ１１２Ａと、フレキシブル基板１１５と、ＣＣＤプレート１１６とから構成されている。このＣＣＤ１１２Ａが、本発明にいう固体撮像素子の一例であり、このＣＣＤプレート１１６が、本発明にいう支持部材の一例である。ＣＣＤ１１２Ａは、被写体光を受けて被写体像を表す画像信号を生成する固体撮像素子であり、このＣＣＤ１１２Ａには、フレキシブル基板１１５が半田接続される構成になっており、そのフレキシブル基板１１５は、ＣＣＤ１１２Ａの背面側とＣＣＤプレート１１６との間に配置される。また、ＣＣＤプレート１１６およびフレキシブル基板１１５には接着用の貫通孔１１６１，１１５１（図７参照）が設けられており、その貫通孔１１６１，１１５１に接着剤が流し込まれてＣＣＤプレート１１６がＣＣＤ１１２Ａに空中接着され固定される。また、フレキシブル基板１１５も、ＣＣＤ１１２Ａの背面側とＣＣＤプレート１１６の間の位置に接着剤で固定される。そして、このように構成されたＣＣＤユニット１２０のＣＣＤプレート１１６を介して、ＣＣＤユニット１２０がＣＣＤホルダー１１２に固定される。ＣＣＤユニット１２０がＣＣＤホルダー１１２に固定された状態については、図６，図７を参照して後述する。なお、ＣＣＤ１１２Ａから引き出されたフレキシブル基板１１５には、撓み部１１５Ａが設けられており、その撓み部１１５ＡにはスリットＳＬが設けられている。このためこのフレキシブル基板１１５が組み込まれた後においては、その撓み部１１５ＡによってＣＣＤ１１２Ａがスライドしている最中のフレキシブル基板１１５に加えられるＸ方向のストレスが吸収され、スリットＳＬによってＣＣＤ１１２Ａがスライドしているときのフレキシブル基板１１５に加えられるＹ方向のストレスが吸収される。
【００３６】
本実施形態においては、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂそれぞれのスライドに応じて、ＣＣＤ１１２Ａ、フレキシブル基板１１５、およびＣＣＤプレート１１６から構成されたＣＣＤユニット１２０と、そのＣＣＤユニット１２０を保持するＣＣＤホルダー１１２とが、すべてスライドすることになる。
【００３７】
また、図２の中央には、その被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２等をＸ方向とＹ方向とに各々移動させるためのＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂが示されている。図２のＸステージ１１３Ａは、中心軸を半周にわたって取り巻き、Ｘ方向にスライド自在に基体１１１に支持されるとともに、ＣＣＤホルダー１１２をＸ方向に拘束しＹ方向にスライド自在に支持して、Ｘ方向へのスライドによりＣＣＤホルダー１１２をＸ方向に移動させるものであり、図２のＹステージ１１３Ｂは、中心軸を半周にわたって取り巻き、Ｙ方向にスライド自在に基体１１１に支持されるとともに、ＣＣＤホルダー１１２をＹ方向に拘束しＸ方向にスライド自在に支持して、Ｙ方向へのスライドによりＣＣＤホルダー１１２をＹ方向に移動させるものである。これらのステージ１１３Ａ，１１３Ｂが基体１１１に組み込まれた後の状態については図５を参照したときに詳述する。なお、これらのＸステージ１１３ＡおよびＹステージ１１３Ｂをスライドさせるにあたっては、従来より知られているボイスコイルモータが用いられる。
【００３８】
このボイスコイルモータは、周知の通り、マグネットと、コイルと、ヨークとからなるものであり、本実施形態では、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂとにそれぞれ、第１の基板固定部１１３０Ａ、第２の基板固定部１１３０Ｂが備えられ、それらの基板固定部１１３０Ａ，１１３０Ｂにボイスコイルモータの移動子となる第１のコイル基板１１３１Ａと第２のコイル基板１１３１Ｂがそれぞれ固定され、さらにそれらのコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂを駆動するためのマグネットＭＧ１，ＭＧ２とヨークＹ１１〜Ｙ１３，Ｙ２１〜Ｙ２３とＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂそれぞれが基体１１１に組み込まれることによってボイスコイルモータが組み立てられてる。つまり、ボイスコイルモータによってＸステージ駆動機構およびＹステージ駆動機構が構成される。
【００３９】
図２の左側には、基体１１１の外壁部の外側にＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂそれぞれのコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂに対応するように、それぞれ、上記Ｘステージ駆動機構、上記Ｙステージ駆動機構それぞれを構成するマグネットＭＧ１，ＭＧ２と３種類のヨークＹ１１〜Ｙ１３，Ｙ２１〜Ｙ２３が示されている。なお、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂとのそれぞれに設けられる第１のコイル基板１１３１Ａと第２のコイル基板１１３１Ｂとに対応してそれぞれヨークＹ１１〜Ｙ１３，Ｙ２１〜Ｙ２３が３種類づつ設けられているので、以降においては、Ｘステージ駆動機構側の符号Ｙ１１のヨークを第１のヨークと記載し、Ｙステージ駆動機構側の符号Ｙ２１のヨークを第２のヨークと記載し、Ｘステージ駆動機構側の符号Ｙ１２のヨークを第３のヨーク（以降においては第１のマグネットＭＧ１に対向して配設されるので対向ヨークということもある）と記載し、Ｙステージ駆動機構側の符号Ｙ２２のヨークを第４のヨーク（以降においては第２のマグネットＭＧ２に対向して配設されるので対向ヨークということもある）と記載することにし、Ｘステージ駆動機構側の符合Ｙ１３のヨークを第１のサブヨークと記載し、Ｙステージ駆動機構側の符号Ｙ２３のヨークを第２のサブヨークと記載することにする。また、第１のヨークＹ１１は第１のマグネットＭＧ１に接着固定され、第２のヨークＹ２１は第２のマグネットＭＧ２に接着固定されるので、それらを含めて第１の接合体ＹＭ１、第２の接合体ＹＭ２と記載することがある。
【００４０】
つまり、Ｘステージ駆動機構が、Ｘ−Ｚ平面に広がってＸステージ１１３Ａに対向した第１のマグネットＭＧ１と、その第１のマグネットＭＧ１の、Ｘステージ１１３Ａから見たときの裏側に固定された第１のヨークＹ１１とからなる第１の接合体ＹＭ１と、Ｘステージ１１３Ａの、第１のマグネットＭＧ１に対面した位置に固定され、電流の供給を受けて、第１のマグネットＭＧ１との相互作用によりそのＸステージ１１３ＡをＸ方向に駆動する力を発生する第１のコイルが形成された第１のコイル基板１１３１Ａとを備え、Ｙステージ駆動機構が、Ｙ−Ｚ平面に広がってＹステージ１１３Ｂに対向した第２のマグネットＭＧ２と、その第２のマグネットＭＧ２の、Ｙステージ１１３Ｂから見たときの裏側に固定された第２のヨークＹ２１とからなる第２の接合体ＹＭ２と、Ｙステージ１１３Ｂの、第２のマグネットＭＧ２に対面した位置に固定され、電流の供給を受けて、第２のマグネットＭＧ２との相互作用によりそのＹステージ１１３ＢをＹ方向に駆動する力を発生する第２のコイルが形成された第２のコイル基板１１３１Ｂとを備えたものということになる。
【００４１】
その第１のヨークＹ１１が、第１のマグネットＭＧ１よりもＸ方向に幅広の部材であって、Ｘステージ駆動機構が、第１のヨークＹ１１の、第１のマグネットＭＧ１から見たときの裏面の、その第１のマグネットＭＧ１と対向する位置に固定された、その第１のヨークＹ１１よりもＸ方向に幅狭の第１のサブヨークＹ１３を備え、第２のヨークＹ２１が、第２のマグネットＭＧ２よりもＸ方向に幅広の部材であって、Ｙステージ駆動機構が、第２のヨークＹ２１の、第２のマグネットＭＧ２から見たときの裏面の、その第２のマグネットＭＧ２と対向する位置に固定された、その第２のヨークＹ２１よりもＸ方向に幅狭の第２のサブヨークＹ２３を備えている。
【００４２】
図２の、Ｘステージ駆動機構とＹステージ駆動機構がそれぞれ示されているところの基体１１１の外壁部には、図示はされていないが上記マグネットＭＧ１，ＭＧ２と３種類のヨークＹ１１〜Ｙ１３，Ｙ２１〜Ｙ２３を収容する凹みが、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂとに対応してそれぞれ設けられており、それらの凹みに、まず対向ヨークＹ１２，Ｙ２２がそれぞれ配設されて各凹みの内壁面にネジ止めされる。次にマグネットＭＧ１，ＭＧ２と第１のヨークＹ１１，Ｙ２２とからなる第１の接合体ＹＭ１と第２の接合体ＹＭ２が基体１１１の外壁面にそれぞれネジ止めされ、さらにそれらの接合体の第１、第２のヨークＹ１１，Ｙ２２の、マグネット側から見た裏面のそのマグネットと対向した位置に、第１、第２のヨークよりもＸ方向、Ｙ方向の長さが短い第１、第２のサブヨークＹ１３，Ｙ２３がそれぞれ固定される。上記第１、上記第２の接合体ＹＭ１，ＹＭ２とそれらの接合体の面に対向する位置にある対向ヨークＹ１３，Ｙ２３との間に形成されるギャップに、Ｘステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂの基板固定部１１３０Ａ，１１３０Ｂに固定されたコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂが基体１１１の外壁を回りこんで配設されることにより、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂが基体１１１に組み込まれる。
【００４３】
このためコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂが通電されると、フレミング左手の法則によりコイル基板１１３１Ａ，１１３１ＢがマグネットＭＧ１，ＭＧ２に沿って平行（Ｘ方向、Ｙ方向）にスライドするようになる。その結果、各ステージ１１３Ａ，１１３Ｂの基板固定部１１３０Ａ，１１３０Ｂに固定されたコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂの動きに応じて、被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２、並びにＣＣＤホルダー１１２に保持されているＣＣＤユニット１２０が移動することとなる。
【００４４】
こうしてＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂ、およびＣＣＤホルダー１１２が、コイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂ上のコイルの通電に応じて素早く動くことができるように基体１１１に組み込まれる。
【００４５】
ここでＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂに挿通されるか、又は固定されるガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６および、支持軸Ｇ２，Ｇ５がどのようにして基体１１１に組み込まれていくかを簡単に説明する。
【００４６】
まず、Ｘ方向に延びる２本のガイド軸Ｇ１，Ｇ３およびおよび１本の支持軸Ｇ２がどのようにして基体１１１側に配設されて基体１１１に組み込まれていくかを図２を参照して簡単に説明する。
【００４７】
まず、Ｘステージ１１３Ａには、２つの軸受（後述する）が備えられており、それら２つの軸受にＸ方向に延び基体１１１に固定的に支持される第１のガイド軸Ｇ１が挿通されその第１のガイド軸Ｇ１の両端が基体１１１が備える軸受に嵌入され基体１１１に固定的に支持される。さらにＸ方向に突出してＸ方向へのスライドが自在に基体１１１に支持される第１の支持軸Ｇ２の一端がＸステージ１１３Ａに固定的に支持される。第１のガイド軸Ｇ１は、その両端が基体１１１のＵ溝形状の軸受にそれぞれ嵌入され、さらに蓋部材１１４の押さえ部（後述する）に押さえられることにより基体１１１に固定的に支持される。
【００４８】
さらに、Ｘ方向に延びる第２のガイド軸Ｇ３の両端が、Ｙステージ１１３Ｂに固定的に支持され、ＣＣＤホルダー１１２に設けられている２つの軸受（後述する）がその第２のガイド軸Ｇ３にＸ方向にスライド自在に連結されることによりＣＣＤホルダー１１２がＹステージ１１３Ｂに連結される。この第２のガイド軸Ｇ３は、上述した様に被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２をＹ方向に拘束してＸ方向のみの移動を補助する役目を担う。
【００４９】
一方、Ｙ方向に延びる３本の軸の方の第３のガイド軸Ｇ６は、その両端がＸステージ１１３Ａに固定され、ＣＣＤホルダー１１２に設けられているもう一つの軸受（後述する）がその第３のガイド軸Ｇ６にＹ方向にスライド自在に連結されることによりＣＣＤホルダー１１２がＸステージ１１３Ａに連結される。このＹ方向に延びる第３のガイド軸Ｇ６は、Ｘステージ１１３Ａに固定的に支持されることによりＣＣＤホルダー１１２をＸ方向に拘束してＹ方向のみの移動を補助する役目を担う。
【００５０】
また、第４のガイド軸Ｇ４は、Ｙステージ１１３Ｂが備える２つの軸受に挿通されその両端が基体１１１のＵ溝形状の軸受に嵌入され蓋部材１１４の押さえ部（後述する）により押さえられることにより基体１１１に固定的に支持される。また、第２の支持軸Ｇ５は、Ｙステージ１１３Ｂに固定される。
【００５１】
こうして各ステージ１１３Ａ，１１３Ｂおよび被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２をスライド自在にするためのガイド軸Ｇ１，Ｇ４および支持軸Ｇ２，Ｇ５が基体１１１に組み込まれるとともに、ＣＣＤホルダー１１２の一方向の動きを拘束するガイド軸Ｇ３，Ｇ６がそれぞれＹステージ１１３Ｂ及びＸステージ１１３Ａに固定的に支持されて各ステージ１１３Ａ，１１３ＢとＣＣＤホルダー１１２とがそれぞれ基体１１１に組み込まれることになる。組み込まれた後の状態については図５を参照したときに詳述する。
【００５２】
また、各ステージが備えるコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂにはコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂ上のコイルを通電するための配線を行なわなければならないので、図２にはそのためのフレキシブル基板ＦＰＣが図示されている。このフレキシブル基板ＦＰＣは、図３に示す様に第１のコイル基板１１３１Ａに固定される第１の固定部ＦＰＣ１を有し、第１のコイルに供給される電流の流路が形成され、第２のコイル基板１１３１Ｂに固定される第２の固定部ＦＰＣ２とを有し、第２のコイルに供給される電流の流路が形成されたものである。本実施形態においては、１本のフレキシブル基板ＦＰＣで２つのコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂの接続を行なうことができるようにしているが、２本別々であっても良い。
【００５３】
図３に示す１本のフレキシブル基板ＦＰＣには、Ｚ方向に撓み撓んだ場合の面が互いにＸ方向に対面した第１の撓み部ＦＰＣ３と、Ｚ方向に撓み撓んだ場合の面が互いにＹ方向に対面した第２の撓み部ＦＰＣ４とが設けられている。なお、このフレキシブル基板ＦＰＣには、第１、第２のコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂに固定された部分に第１、第２のマグネットＭＧ１，ＭＧ２の磁力を検出することによりＸステージ、ＹステージのＸ方向、Ｙ方向の位置を検出するための第１のホール素子ｈ１、第２のホール素子ｈ２が搭載されているのでそれらのホール素子ｈ１，ｈ２で得られた検出信号を伝送する伝送路も形成されている。
【００５４】
Ｘステージ１１３ＡがＸ方向に移動しているときには上記第１の撓み部ＦＰＣ３によってフレキシブル基板ＦＰＣに加えられるストレスが吸収され、Ｙステージ１１３ＢがＹ方向に移動しているときには上記第２の撓み部ＦＰＣ４によってフレキシブル基板ＦＰＣに加えられるＹ方向のストレスが吸収される。
【００５５】
このフレキシブル基板ＦＰＣによる配線が終了したら、最後にＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂ、ＣＣＤホルダー１１２をＺ方向から覆うように蓋部材１１４が被せられて組立が終了する。
【００５６】
ここで、基体１１１に、ＣＣＤユニット１２０やＣＣＤホルダー１１２や各ステージ１１３Ａ，１３３Ｂ等が組み込まれ、ＸＹステージ１１０が組み立てられ、さらにそのＸＹステージ１１０がレンズ鏡胴１００に組み込まれた後の状態を、図５を参照して説明する。
【００５７】
上述した様に、図５には、ＸＹステージ１１０がレンズ鏡胴１００に組み込まれた後の状態を、蓋部材１１４を透明にして図２，図４の右上方向から、つまりＺ方向に沿って見た図が示されている。
【００５８】
図２を参照して説明したように、第１〜第４のガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６および、第１、第２の支持軸Ｇ２，Ｇ５が各ステージ１１３Ａ，１１３Ｂとともに基体１１１に組み込まれていって各ステージが基体１１１に支持されるので、まずガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６と支持軸Ｇ２，Ｇ５を含めた軸周りの構造を説明する。
【００５９】
図５に示す様に、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂには、それぞれ、第１のガイド軸Ｇ１、第４のガイド軸Ｇ４が挿通される２つの軸受Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４がそれぞれ備えられている。
【００６０】
また、図５に示す基体１１１には、その第１のガイド軸Ｇ１の両端を固定的に支持する、上記蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の２つの第１の支持部ＢＥ１，ＢＥ２と、上記第４のガイド軸Ｇ４の両端を固定的に支持する、上記蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の２つの第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４と、上記第１の支持軸Ｇ２をＸ方向にスライド自在に支持する、上記蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の第３の支持部ＢＥ５と、上記第２の支持軸Ｇ５をＹ方向にスライド自在に支持する、上記蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の第４の支持部ＢＥ６とが備えられている。図５には上記第１の支持部ＢＥ１，ＢＥ２と第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４の構造が同じであるので第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４のうちの一方の支持部ＢＥ４の構造を示す拡大図が示されており、上記第３の支持部ＢＥ５と第４の支持部ＢＥ６の構造が同じであるので第３の支持部ＢＥ５の構造を示す拡大図が示されている。また、図５には、ＣＣＤホルダー１１２の、第２のガイド軸Ｇ３に支持された２つの軸受Ｂ１，Ｂ２の構造を示す拡大図やＣＣＤホルダー１１２の、第１のガイド軸Ｇ１に支持されたもう一つの軸受Ｂ３の構造を示す拡大図も示されている。
【００６１】
つまり、Ｘステージ１１３Ａの２つの軸受Ａ１，Ａ２に第１のガイド軸Ｇ１が挿通されてその第１のガイド軸Ｇ１の両端が第１の支持部ＢＥ１，ＢＥ２に嵌入されて第１のガイド軸Ｇ１およびＸステージ１１３Ａが基体１１１に支持され、Ｙステージ１１３Ｂに第４のガイド軸Ｇ４が軸受Ａ３，Ａ４に挿通されてその第４のガイド軸Ｇ４の両端が第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４に嵌入されて第４のガイド軸Ｇ４およびＹステージ１１３Ｂが基体１１１に支持される。
【００６２】
上述したように、最後に図５の表面側から蓋部材１１４が被せられるため、蓋部材１１４には、上記第１のガイド軸Ｇ１の、上記２つの第１の支持部ＢＥ１，ＢＥ２それぞれに支持された各部分を押さえる２つの第１の押え部１１４Ａと、上記第４のガイド軸Ｇ４の、上記２つの第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４それぞれに支持された各部分を押さえる２つの第２の押え部１１４Ａと、上記第３の支持部ＢＥ５の、当該蓋部材１１４に向かう開口を塞ぎその第３の支持部ＢＥ５と共同して上記第１の支持軸Ｇ２が貫通する第１の支持孔１１４Ｂを形成する第１の塞ぎ片と、上記第４の支持部ＢＥ６の、当該蓋部材１１４に向かう開口を塞ぎ第４の支持部ＢＥ６と共同して上記第２の支持軸Ｇ５が貫通する第２の支持孔１１４Ｂを形成する第２の塞ぎ片とが備えられているので、その蓋部材１１４と上記基体１１１に設けられている軸受とによってＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂが好適に支持されることになる。
【００６３】
さらに、蓋部材１１４には、この蓋部材１１４に固定され、ＣＣＤホルダー１１２をＺ方向に付勢する付勢部材として作用するバネ部材ＳＰ１が備えられており、ＣＣＤホルダー１１２の、上記第２のガイド軸Ｇ３に支持された２つの軸受Ｂ１，Ｂ２それぞれには、図５中の拡大図に示す様にＺ方向とＹ方向とに角を有し上記第２のガイド軸Ｇ３が貫通した矩形の貫通孔が設けられている。こうしておくと、丸い第２のガイド軸Ｇ３が矩形の４つの辺のうちの２つの辺の、２箇所の点で押さえられるようになって、Ｙ方向のがたが吸収されるように支持されるとともにフリクションが軽減されるように支持される。
【００６４】
また、ＣＣＤホルダー１１２をＸステージ１１３Ａに対してＸ方向に片寄せするための付勢部材として作用するバネＳＰ２が設けられており、そのバネＳＰ２によってＣＣＤホルダー１１２がＸ方向に片寄せされている。こうしておくと、Ｘステージ１１３Ａが絶えず一方方向に付勢された状態になるので、被移動ステージとなるＣＣＤホルダー１１２が移動しているときのＸ方向のがたが吸収される。
【００６５】
こうして、バネＳＰ１、およびＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂと基体１１１、Ｘステージ１１３ＡとＹステージ１１３ＢとＣＣＤホルダー１１２とを繋ぐ軸受によって、ＣＣＤホルダー１１２の、スライド中のガタが抑制されるようにＣＣＤホルダー１１２が程よく支持される。
【００６６】
また、図２を参照して説明したが、組み立てられた後の構成をより明確にするために、Ｘステージ駆動機構とＹステージ駆動機構についてもその構成を図５を参照して説明する。
【００６７】
図５に示すＸステージ駆動機構には、上述した様に、Ｘ−Ｚ平面に広がってＸステージ１１３Ａに対向した第１のマグネットＭＧ１と、その第１のマグネットＭＧ１の、Ｘステージ１１３Ａから見たときの裏面に固定された第１のヨークＹ１１とからなる第１の接合体ＹＭ１と、Ｘステージ１１３Ａの、上記第１のマグネットＭＧ１に対面した位置に固定され、電流の供給を受けて、第１のマグネットＭＧ１との相互作用によりそのＸステージ１１３ＡをＸ方向に駆動する力を発生する第１のコイルが形成された第１のコイル基板１１３１Ａとが備えられており、また、Ｙステージ駆動機構には、Ｙ−Ｚ平面に広がってＹステージ１１３Ｂに対向した第２のマグネットＭＧ２と、その第２のマグネットＭＧ２の、上記Ｙステージ１１３Ｂから見たときの裏面に固定された第２のヨークＹ２１とからなる第２の接合体ＹＭ２と、Ｙステージ１１３Ｂの、第２のマグネットＭＧ２に対面した位置に固定され、電流の供給を受けて、第２のマグネットＭＧ２との相互作用によりそのＹステージ１１３ＢをＹ方向に駆動する力を発生する第２のコイルが形成された第２のコイル基板１１３１Ｂとが備えられている。
【００６８】
第１のヨークＹ１１は、第１のマグネットＭＧ１よりもＸ方向に幅広の部材であって、Ｘステージ駆動機構には第１のヨークＹ１１の、第１のマグネットＭＧ１から見たときの裏面の、その第１のマグネットＭＧ１と対向する位置に固定された、その第１のヨークＹ１１よりもＸ方向に幅狭の第１のサブヨークＹＭ１３が備えられており、第２のヨークＹ２１は、第２のマグネットＭＧ２よりもＸ方向に幅広の部材であって、Ｙステージ駆動機構には、第２のヨークＹ２１の、第２のマグネットＭＧ２から見たときの裏面の、その第２のマグネットＭＧ２と対向する位置に固定された、その第２のヨークＹ２１よりもＸ方向に幅狭の第２のサブヨークＹ２３が備えられている。
【００６９】
こうして第１の基板固定部１１３０Ａと第２の基板固定部１１３０Ｂとに固定された第１のコイル基板１１３１Ａと第２のコイル基板１１３１Ｂが、第１のマグネットＭＧ１と、その第１のマグネットＭＧ１に対向する第２のヨークＹ１２、第２のマグネットＭＧ２とその第２のマグネットＭＧ２に対向する第４のヨークＹ２２との間に要領よく配設され各ステージを駆動するためのボイスコイルモータと各ステージとが基体１１１に組み込まれる。
【００７０】
本実施形態においては、マグネットＭＧ１，ＭＧ２を挟んで第１のヨークＹ１１と第３のヨークＹ１２、第２のヨークＹ２１と第４のヨークＹ２２を対向して配設することに加えて、マグネットＭＧ１，ＭＧ２に対向して第１のヨークＹ１１、第２のヨークＹ２１の裏面側に第１のサブヨークＹ１３、第２のサブヨークＹ２３を追加することで、コイルを駆動するときの磁束の漏れを最小限に抑えることができるようにしてコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂに対して効率良く磁力を加えることができるようにしている。
【００７１】
このようにしてガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６および、支持軸Ｇ２，Ｇ５、さらにＸ駆動機構、Ｙ駆動機構が基体１１１に組み込まれてＸＹステージ１１０が組立てられる。
【００７２】
次に、図５〜図１３を参照して、レンズ鏡胴１００に組み込まれた後のＸＹステージ１１０の構成、およびＸＹステージ１１０を構成する各部材の位置関係を説明する。
【００７３】
図６には、図５中の符号Ｐで示す線に沿って切断した断面を示すＸ断面図、図７には図６に示すＸ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図、図８には図５中の符号Ｑで示す線に沿って切断した断面を示すＸ断面図、図９には図８に示すＸ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図、図１０には図５を右側面から見た右側面図、図１１には図５中の符号Ｒで示す線に沿って切断した切断面を示すＹ断面図、図１２には図１１に示すＹ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図、および図１３には、図５を底面から見た底面図がそれぞれ示されている。
【００７４】
図６，図１１に示す様に、レンズ鏡胴１００の後方にＸＹステージ１１０が組み込まれており、最後に被せられる蓋部材１１４に設けられたバネＳＰ１によってＣＣＤプレート１１６およびＣＣＤホルダー１１２がレンズ鏡胴１００側に付勢されるようにしてＸＹステージ１１０を構成する各部材がレンズ鏡胴１００に組み込まれている。
【００７５】
図６，図７に示す様に、ＣＣＤホルダー１１２には、ＣＣＤ１１２Ａが装着されそのＣＣＤ１１２Ａにはフレキシブル基板１１５が半田接続されている。このフレキシブル基板１１５を剥き出しにしたまま外部へと引き出すと、ＣＣＤ１１２ＡがＣＣＤホルダー１１２とともに移動しているときにフレキシブル基板１１５が暴れてキズが付いてしまう恐れがある。そこで、本実施形態では、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６との間に配置させている。また、さらに、蓋部材１１４のバネＳＰ１でそのＣＣＤプレート１１６をＣＣＤホルダー１１２側に押してフレキシブル基板１１５の姿勢を矯正している。
【００７６】
上述したように、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２Ａの背面側に押さえつけるＣＣＤプレート１１６は、ＣＣＤ１１２Ａの背面を覗かせる貫通孔１１６１を有している。また、フレキシブル基板１１５も、ＣＣＤ１１２Ａの背面を覗かせる貫通孔１１５１を有している。そして、このＣＣＤプレート１１６は、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６との間に配置させた状態で、ＣＣＤ１１２Ａの背面側にＣＣＤ１１２Ａと非接触に配置され、貫通孔１１６１，１１５１から流し込まれた接着剤３００で、このＣＣＤ１１２Ａと非接触の状態で接着（いわゆる空中接着）されている。このように、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６との間に配置させて空中接着してなる、フレキシブル基板１１５とＣＣＤプレート１１６とＣＣＤ１１２Ａとの組み合わせが、ＣＣＤユニット１２０である。なお、ＣＣＤ１１２Ａの背面側にＣＣＤプレート１１６を固定するＣＣＤ固定方法については、図１６〜図１８を参照して後述する。
【００７７】
さらに、フレキシブル基板１１５には、図２を参照して説明した様に、Ｘ方向にコの字状の撓み部１１５Ａが設けられており、そのコの字状の撓み部１１５Ａが蓋部材１１４と基体１１１とで構成される空きスペース内に巧みに組み込まれている。上述した様に、その撓み部１１５Ａが設けられている部分にはＹ方向にスリットＳＬが設けられているので、ＣＣＤホルダー１１２がスライドしているときにフレキシブル基板１１５にＸ方向、Ｙ方向のストレスが加えられるようなことがあってもそれらのストレスがその撓み部１１５ＡとスリットＳＬ（図２参照）により緩和される。また、配線スペースを確保するためにわざわざ基体１１１側の大きさを大きくする必要がなくなって、ＸＹステージ１１０の小型化を図ることが可能となる。
【００７８】
また、図８，図９には、図２を参照して説明した様に、対向ヨーク（第４のヨーク）Ｙ２２が基体１１１の外壁の凹みの内壁にネジで固定され、その後マグネットＭＧ２と第２のヨークＹ２１が接着された第２の接合体ＹＭ２が基体１１１の外壁面に固定された後の状態が示されている。
【００７９】
Ｙステージ１１３Ｂには、基体１１１の外壁外側に回り込んでＺ方向およびＹ方向に広がり第２のコイル基板１１３１Ｂが固定された、Ｚ方向の寸法が基体１１１のＺ方向の寸法よりも短い第２の基板固定部１１３０Ｂが備えられている。本実施形態では、第２の基板固定部１１３０Ｂと第２のコイル基板１１３１Ｂとは、互いに非接触に配置され、接着剤３０１で、互いに非接触の状態で接着（いわゆる空中接着）されることにより、固定されている。尚、第２のコイル基板１１３１Ｂは、プリントコイルであってもよく、あるいは、巻線コイルであってもよい。
【００８０】
また、Ｙステージ駆動機構には、基体１１１の外壁と第２のコイル基板１１３１Ｂとの間の、Ｚ方向について第２の基板固定部１１３０Ｂとの干渉が免れた位置に配置された第４のヨークＹ２２が備えられている。
【００８１】
そのマグネットＭＧ２と上記対向ヨーク(第４のヨーク)Ｙ２２との間のギャップに第２のコイル基板１１３１Ｂが基体１１１の外壁を回りこんで挿入されている。なお、基体１１１にはマグネットＭＡＧ２の裏面に第２のヨークＹ２１が接着されて接合体ＹＭ２にされてから組み込まれている。
【００８２】
図８，図９の第２のコイル基板１１３１Ｂに連結されているＹステージ１１３Ｂが、第２のコイル基板１１３１Ｂとともに紙面に向かって表から裏へ、あるいは裏から表に向かって移動するとＹステージ１１３Ｂが共にＹ方向にスライドすることになる。
【００８３】
詳細な説明は省略するが、図１１，図１２に示すように、Ｘステージ１１３Ａ側の構造も、図８，図９を参照して説明したＹステージ１１３Ｂ側の構造と同じである。そして、本実施形態では、第１の基板固定部１１３０Ａと第１のコイル基板１１３１Ａとは、互いに非接触に配置され、接着剤３０２で、互いに非接触の状態で接着（いわゆる空中接着）されることにより、固定されている。尚、第１のコイル基板１１３１Ａは、プリントコイルであってもよく、あるいは、巻線コイルであってもよい。
【００８４】
このように本実施形態においては、Ｘステージ駆動機構を構成するボイスコイルモータとＹステージ駆動機構を構成するボイスコイルモータが非常に狭いスペースに高密度に実装され、従来に比べて小型の駆動機構がＸＹステージ１１０に組み込まれることによってＸＹステージ１１０の小型化が図られている。
【００８５】
ここで本実施形態においては、フレキシブル基板ＦＰＣに装備されたホール素子ｈ１，ｈ２でコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂつまり各ステージの位置を精度良く検出することができるようにするためにホール素子ｈ１，ｈ２の出力調整（直線性を得る）を簡単に行なうことができる構成を採用しているのでその構造を説明する。
【００８６】
図１０には、図５の右側面図が示されている。図５の右側にはＹステージ１１３Ｂを駆動するＹステージ駆動機構が備えられているので、図１０にはそのＹステージ駆動機構が備える第１のヨークＹ２１およびその裏面に貼着された追加ヨークＹ２３が示されている。この第１のヨークＹ２１は、上述した様に、内部のマグネットＭＧ２に接着固定されている。Ｘステージ駆動機構側も同じ構成であるので、図１０のＹステージ駆動機構側の構造の方を説明する。
【００８７】
この図１０にはフレキシブル基板ＦＰＣの第２の撓み部ＦＰＣ４が基体１１１とレンズ鏡鏡１００とで形成される僅かなスペースに要領よく組み込まれていることが示されている。
【００８８】
上述した様に、このフレキシブル基板ＦＰＣを通して通電されるコイル基板を磁場中で運動させるためのＹステージ駆動機構が基体１１１には組み込まれており、図１０にはそのＹステージ駆動機構が備える第２のヨークＹ２１と第２のサブヨークＹ２３とが示されている。上述した様に、この第２のヨークＹ２１にはマグネットＭＧ２（図５参照）が接着固定され第２の接合体ＹＭ２が構成されている。
【００８９】
図１０に示す基体１１１には第２の接合体ＹＭ２の、Ｙ方向に延びる一辺に接してその第２の接合体のＹ方向への位置調整時のガイドとなるガイド部１１１Ｇが備えられており、さらに、蓋部材１１４には基体１１１のガイド部１１１Ｇとの間に第２の接合体ＹＭ２を挟みそのガイド部１１１Ｇと協同してその第２の接合体ＹＭ２のＹ方向への位置調整時のガイドとして作用するガイド片１１４Ｃが備えられている。この蓋部材１１４には、さらに第２の接合体の、Ｙステージ１１３Ｂから見たときの背面に接して第２の接合体の背面をガイドする第１の背面ガイド部１１４Ｄも備えられている。
【００９０】
ここで、図番が前後するが、その感度調整を行なう部分の構成を説明する。
【００９１】
図１４は、マグネットＭＧ１，ＭＧ２の構成と、接合体ＹＭ１，ＹＭ２とホール素子ｈ１，ｈ２と、第１、第３、第２、第４のヨークＹ１１，Ｙ１２，Ｙ２１，Ｙ２２と第１、第２のサブヨークＹ１３，Ｙ２３との間の位置関係を示す図である。
【００９２】
図１４（ａ）には、図８，図９で説明したコイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂと各ヨークＹ１１〜Ｙ１３，Ｙ２１〜Ｙ２３の位置関係およびホール素子ｈ１，ｈ２の位置が示されており、図１４（ｂ）には、第１のヨークＹ１１又は第２のヨークＹ２１と、第３のヨークＹ１２又は第４のヨークＹ２２と、第１のコイル基板１１３１Ａ又は第２のコイル基板１１３１Ｂの位置関係が示されている。また、図１４（ｃ），図１４（ｄ）には、マグネットＭＧ１又はＭＧ２の配列が示されている。
【００９３】
また、図１５は、接合体を図１０に示すガイド１１１Ｇ等に沿って動かしているとき（図中の矢印の方向）のホール素子ｈ１又はｈ２の出力の変化を説明する図である。
【００９４】
第１の接合体ＹＭ１又は第２の接合体ＹＭ２には、基体１１１側のネジ穴と連通する、締結部を構成する長穴ＨＬ１が設けられている。この長穴ＨＬ１に偏芯ピンＰ１を挿入してガイド１１１Ｇ（図１０参照）に沿って接合体ＹＭ１又はＹＭ２をＸ方向又はＹ方向に移動させることにより位置調整が行なわれる。また、位置調整が行なわれた後にあっては、偏芯ピンが取り除かれて締結部にネジが挿入されて第１、第２の接合体が基体１１１に固定されるようにもなっている。
【００９５】
また、図１４（ａ）に示す様に、Ｘステージ駆動機構やＹステージ駆動機構には、第１のマグネットＭＧ１や第２のマグネットＭＧ２よりもＸ方向やＹ方向に幅広の部材であって、第１の接合体ＹＭ１や第２の接合体ＹＭ２が、第１のヨークＹ１１や第２のヨークＹ２１の、第１のマグネットＭＧ１や第２のマグネットＭＧ２から見たときの裏面の、その第１のマグネットＭＧ１やその第２のマグネットＭＧ２と対向する位置に固定された、その第１のヨークＹ１１、その第２のヨークＹ２１よりもＸ方向やＹ方向に幅狭の第１のサブヨークＹ１３や第２のサブヨークＹ２３が備えられている。これらのサブヨークＹ１３，Ｙ２３はマグネットＭＧ１，ＭＧ２の極の変化する範囲（図１４（ｃ）参照）をカバーすることができるところに設けられている。ここでは、第１のヨークと第２のヨークを厚くするとヨークが大型化してしまうので、薄くして、必要なところだけに第１のサブヨークＹ１３、第２のサブヨークＹ１３を設けることで、狭いスペースへの組み込みを可能にするとともに、それらのサブヨークでマグネットＭＧ１，ＭＧ２とヨークＹ１１〜Ｙ１３，Ｙ２１〜Ｙ２３とで形成される磁気回路中の磁束の漏れを低減させ、より効率的にコイルに対して磁力を加えることができるようにしている。
【００９６】
また、本実施形態のボイスコイルモータのマグネットには図１４（ｃ），（ｄ）に示す様に、２極（Ｓ，Ｎ）の磁石が交互に並べて設けられており、各ステージが各ステージのストロークの範囲の中心に位置した時に、ホール素子ｈ１，ｈ２がその２極の磁石のＮ極とＳ極との境界に対向した位置（図中の符号Ｂ１で示した方）にくるように各接合体の位置が調整される。なお、コイル基板１１３１Ａ，１１３１Ｂは、ホール素子ｈ１，ｈ２がマグネットの境界（Ｂ１）を中心にして上側のＳ極と下側のＮ極と対向する範囲内しか移動しない。
【００９７】
図１５には、調整時に接合体が動かされているときのホール素子ｈ１，ｈ２の出力の変化が示されている。
【００９８】
例えばホール素子ｈ１，ｈ２の出力を電気的にモニターしておいて、接合体ＹＭ１，ＹＭ２をいずれか一方の方向に移動させホール素子ｈ１，ｈ２の最大出力を検出していって最大出力を検出したら今度は反対方向に移動させていってホール素子ｈ１，ｈ２の最小出力を検出する。双方の出力が得られたら、その出力値を２で割ってその値が得られる位置に接合体を移動させるとちょうどマグネットＭＧ１，ＭＧ２のＮ極とＳ極との境界に対向した位置（図１４の符号Ｂ１で示す方の境界）にホール素子ｈ１，ｈ２が位置するように調整が行なわれることになる。
【００９９】
このような調整が行なわれると、実際にコイル基板が最大ストローク動いたとしてもホール素子ｈ１，ｈ２の出力が飽和することなく、位置の変化に応じてホール素子ｈ１，ｈ２の出力がリニア（直線性）に得られるので、位置の検出精度が非常に高くなる。
【０１００】
こうして今までの駆動力を保ったままのボイスコイルモータがいままでよりも狭いスペースに高密度に実装される。
【０１０１】
ここで話を元に戻して図１１〜図１３を参照してＸＹステージ１１０の構成を説明する。
【０１０２】
図１１には図５中の符号Ｒで示す線に沿って切断し切断した面を見たＹ断面図が示され、図１２には図１１に示すＹ断面図の一部分を拡大した部分拡大断面図が示されている。図１３には、図５の底面図が示されている。
【０１０３】
図１１は、図６と同様の図であるが、図１１には、図６とは見る方向が異なるのでズームモータＺＭの配置が示されている。また、図１３には、図１０と同様の図であってＸステージ駆動機構の構成が示されている。図１０と同様にフレキシブル基板ＦＰＣの第１の撓み部ＦＰＣ３が狭いスペース内に要領よく実装されていることが分かる。
【０１０４】
このようにレンズ鏡胴１００にＸＹステージ１１０が組み込まれて図１の撮影装置１が構成される。
【０１０５】
ところで、従来においては４本のガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６のアライメント調整を個別に行なう必要があったために組立が難しいという問題を抱えていた。そこで、本実施形態においては、上述した様に、Ｘステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂ、ＣＣＤホルダー１１２をすべて３点で支持することによって、アライメント調整を不要にして組立の簡素化を図っている。
【０１０６】
再び図５を参照して、本実施形態のＸＹステージ１１０が如何に組み立てやすいものであるかということを説明する。
【０１０７】
また、図５に示す様に中心軸を取り巻くようにＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂが配設されている。これらのステージ１１３Ａ，１１３Ｂは、基体１１１に設けられているＵ字形状の溝に各ガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６が嵌入されることにより基体１１１に支持される。基体１１１の加工においては直角度および平行度の精度を出すことは容易であるので、直角度および平行度を持つＵ溝を基体１１１に予め設けてそのＵ字状の溝にガイド軸Ｇ１，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ６および支持軸Ｇ２，Ｇ５を嵌め入れることにより、各軸の直角度、平行度を容易く得ることができるようにしておく。こうしておくと、従来例のように各軸の調整を個別に行なう必要がなくなる。
【０１０８】
こうしてそれらの溝に、Ｘステージ１１３Ａが備える２つの軸受Ａ１，Ａ２を貫通するようにして挿通された第１のガイド軸Ｇ１の両端部が嵌め入れられ、さらに第１のガイド軸Ｇ１に対してＸ方向に突出した第１の支持軸Ｇ２も嵌め入れられる。こうして軸受Ａ１，Ａ２および支持軸Ｇ２の３点でＸステージ１１３Ａが基体１１１に支持されると、Ｘステージ１１３Ａは高い平面度で基体１１１に支持されることになる。
【０１０９】
また、Ｙステージ１１３Ｂは、同様にＹステージ１１３Ｂが備える２つの軸受Ａ３，Ａ４を貫通するようにして挿通された第４のガイド軸Ｇ４の両端部が嵌め入れられ、さらに第４のガイド軸Ｇ４に対してＹ方向に突出した第２の支持軸Ｇ５も嵌め入れられる。こうして２つの軸受Ａ３，Ａ４と支持軸Ｇ５の３点でＹステージ１１３Ｂが基体１１１に支持されると、Ｙステージ１１３Ｂは高い平面度で基体１１１に支持されることになる。
【０１１０】
こうしてＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂの平面が高い精度で保たれたら、これらのステージで被移動ステージを支持することにより被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２にも高い平面度を得ることができるようになる。
【０１１１】
さらに図５の例では、Ｙステージ１１３ＢにＸ方向に延びＹステージ１１３Ｂに固定的に支持された第２のガイド軸Ｇ３が備えられているので、被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２に、Ｙ方向に拘束されＸ方向にスライド自在に上記第２のガイド軸Ｇ３に支持される２つの軸受Ｂ１，Ｂ２が設けられるとともに、Ｘ方向およびＹ方向の双方に非拘束に第１のガイド軸Ｇ１に支持される１つの軸受Ｂ３が設けられ、第２のガイド軸Ｇ３に支持される２つの軸受Ｂ１，Ｂ２と第１のガイド軸Ｇ１に支持される１つの軸受Ｂ３との合計３点で支持されることにより、基体１１１に対する姿勢が規定される。図中に示されているように、軸受Ｂ１，Ｂ２にはＺ方向とＹ方向とに角を持つ軸受が構成されており、軸受Ｂ３には、Ｕ字形状の軸受が設けられている。さらに蓋部材１１４によって設けられているバネＳＰ１によって紙面裏側にＣＣＤプレート１１６を含むＣＣＤホルダー１１２等が付勢されるので、双方の軸受ともに被移動部材のＺ方向の姿勢を規定する作用を担うことになる。このため、より高い平面が得られるようになる。
【０１１２】
こうして、高い平面度が得られているＹステージ１１３Ｂ側の２点と、同じく高い平面度が得られているＸステージ１１３Ａ側の１点とのＣＣＤホルダー１１２を挟んだ、対向する３点でＣＣＤホルダー１１２が支持されると、ＣＣＤホルダー１１２に高精度の平面度が得られる。
【０１１３】
また、上記構造によりＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂ並びにＣＣＤホルダー１１２に基体１１１に対して同程度の平面度が得られたとしても、軸受部のがたが大きくなると、被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２、又はＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂがいずれかの方向にスライドしている最中にがたついてＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂの動きが鈍くなるとともにＣＣＤホルダー１１２の動きが鈍くなる恐れがある。
【０１１４】
そこで、本実施形態においては、上述した様に、Ｘステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂのスライド中のがたつきをとることができるように、蓋部材１１４と蓋部材１１４に設けたバネＳＰ１と軸受の形状を用いて被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２等のスライド中のがたつきをできる限り小さくすることができるように工夫している。
【０１１５】
上述した様に、基体１１１には第１のガイド軸Ｇ１の両端を固定的に支持する、蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の２つの第１の支持部ＢＥ１，ＢＥ２と、第４のガイド軸Ｇ４の両端を固定的に支持する、蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の２つの第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４と、第１の支持軸Ｇ２をＸ方向にスライド自在に支持する、蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の第３の支持部ＢＥ５と、第２の支持軸Ｇ５をＹ方向にスライド自在に支持する、蓋部材１１４に向かって開口したＵ溝形状の第４の支持部ＢＥ６とが設けられている。
【０１１６】
また、蓋部材１１４には、それらに対応して、第１のガイド軸Ｇ１の、２つの第１の支持部ＢＥ１，ＢＥ２それぞれに支持された各部分を押さえる２つの第１の押え部と、第４のガイド軸Ｇ４の、２つの第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４それぞれに支持された各部分を押さえる２つの第２の押え部と、第３の支持部ＢＥ５の、当該蓋部材１１４に向かう開口を塞ぎその第３の支持部ＢＥ５と共同して前記第１の支持軸Ｇ２が貫通する第１の支持孔１１４Ｂを形成する第１の塞ぎ片と、第４の支持部ＢＥ６の、当該蓋部材１１４に向かう開口を塞ぎその第４の支持部ＢＥ６と共同して第２の支持軸Ｇ５が貫通する第２の支持孔１１４Ｂを形成する第２の塞ぎ片とが設けられている。
【０１１７】
図５の紙面表側つまりＺ方向へＸステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂおよび被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２を覆うようにして蓋部材１１４が装着されて蓋部材１１４と基体１１１とが協同して軸受が構成される。
【０１１８】
図５には、そのことを示すために各支持部ＢＥ１〜ＢＥ６の構造が抜粋して示されている。
【０１１９】
第１の押さえ部と第２の押さえ部の構造は同じなので、図５には、第４のガイド軸Ｇ４の、２つの第２の支持部ＢＥ３，ＢＥ４のうちの一方が示されている。図５の拡大図に示す様に、Ｕ溝のところにガイド軸Ｇ４が嵌め入れられ、蓋部材１１４の、端部の段差で構成される押さえ部１１４Ａによってガイド軸Ｇ４が弾力的に押さえ込まれる。こうして第１の支持部と第２の支持部によって第１のガイド軸Ｇ１と第４のガイド軸Ｇ４が支持されると、第１のガイド軸Ｇ１と第４のガイド軸Ｇ４が基体１１１に対して固定的に支持される。
【０１２０】
さらに第３の支持部ＢＥ５と第１の塞ぎ片の構造と第４の支持部ＢＥ６と第２の塞ぎ片の構造は同じなので、第３の支持部ＢＥ５と第１の塞ぎ片が示されている。図５中の拡大図に示す様に、蓋部材１１４の塞ぎ片によってＵ溝が塞がれることにより支持孔１１４Ｂが形成され、その支持孔１１４Ｂを貫通するようにして第１の支持軸Ｇ２、第２の支持軸Ｇ５がスライド自在に支持されると、Ｘステージ１１３Ａ、Ｙステージ１１３Ｂそれぞれがスムーズにスライドするように基体１１１に支持される。
【０１２１】
また、各ステージ１１３Ａ，１１３Ｂと被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２との連結部にも工夫が凝らされている。この例ではＸステージ１１３ＡとＹステージ１１３Ｂの動きに応じてＣＣＤホルダー１１２が敏感に反応して動くように、ＣＣＤホルダー１１２を３点で支持するとともに、３点の軸受部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３の形状に工夫が凝らされている。
【０１２２】
上述した様に、ＣＣＤホルダー１１２には、Ｘ方向に延びＹステージ１１３Ｂに固定的に支持された第２のガイド軸Ｇ３に、Ｙ方向に拘束されＸ方向にスライド自在に支持された２つの軸受Ｂ１，Ｂ２と、第１のガイド軸Ｇ１に、Ｘ方向およびＹ方向の双方に非拘束に支持された１つの軸受Ｂ３との３点で支持されることによりＣＣＤホルダー１１２の基体１１１に対する姿勢が規定されている。
【０１２３】
そこで、蓋部材１１４に設けられたバネＳＰ１によりＣＣＤホルダー１１２が紙面裏側に向かって付勢されていることを利用して、そのＣＣＤホルダー１１２の、第１のガイド軸Ｇ１に支持された軸受Ｂ３をＹ方向に開口してその第１のガイド軸Ｇ１を挟むＵ溝形状の軸受にしてＵ字の一方の側にガイド軸を片寄らせる様にしてＣＣＤホルダー１１２のＺ方向の姿勢を定めるように支持させている。また、ＣＣＤホルダー１１２の、第２のガイド軸Ｇ３に支持された２つの軸受Ｂ１，Ｂ２それぞれに、Ｚ方向とＹ方向とに角を有し第２のガイド軸Ｇ３が貫通した矩形の貫通孔を設けて矩形の貫通孔の一方の側に寄らせるようにしてＣＣＤホルダー１１２が移動している最中のＹ方向のがたつきを吸収させるようにしてＣＣＤホルダー１１２を支持させている。
【０１２４】
また、ＣＣＤホルダー１１２の、第３のガイド軸Ｇ６に支持された軸受部Ｂ４を、Ｚ方向に開口して第３のガイド軸Ｇ６を挟むＵ溝形状の軸受にして、そのＵ溝内に第３のガイド軸Ｇ６を常に位置させるようにしてＺ方向に非拘束にするとともにＸ方向への動きを拘束するようにしてＣＣＤホルダー１１２を支持させてもいる。
【０１２５】
上述のように、ＣＣＤホルダー１１２はバネＳＰ２によってＸ方向に付勢されている。このため、第３のガイド軸Ｇ６が軸受部Ｂ４のＵ溝の一方の側に片寄せされている。これによってＣＣＤホルダー１１２が移動しているときのＸ方向のがたが吸収される。
【０１２６】
この軸受部Ｂ４は、ＣＣＤホルダー１１２を第１のガイド軸Ｇ１と第３のガイド軸Ｇ３に沿ってＸ方向にスライドさせているときの、双方のガイド軸Ｇ１，Ｇ３からＣＣＤホルダー１１２に加えられるモーメントがちょうど打ち消される位置に設けられているので、ＣＣＤホルダー１１２がＸ方向に円滑に動く。
【０１２７】
こうして、Ｘ方向、Ｙ方向のがたを吸収すると共に被移動ステージであるＣＣＤホルダー１１２のＺ方向の姿勢をスライド中であっても常に保つことができるようにすることによって、ＣＣＤホルダー１１２の円滑かつ俊敏な反応が約束されるＸＹステージ１１０が構成される。
【０１２８】
以上説明した様に、本実施形態のＣＣＤユニット１２０は、ＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６が互いに非接触の状態で接着（いわゆる空中接着）されてなるものであるため、ＣＣＤ１１２ＡやＣＣＤプレート１１６の部品誤差の影響を受けることなく、ＣＣＤ１１２ＡがＣＣＤプレート１１６に対して位置決めされる。
【０１２９】
また、本実施形態のＣＣＤユニット１２０が備えられた、本実施形態の撮影装置１は、ＣＣＤ１１２ＡやＣＣＤプレート１１６の部品誤差の影響を受けることなく、ＣＣＤ１１２ＡがＣＣＤプレート１１６に対して位置決めされるため、ＣＣＤ１１２ＡやＣＣＤプレート１１６の部品誤差に起因してＣＣＤ１１２Ａの撮像面が光軸に対して垂直に交わらずに傾斜してしまう“撮像面のあおり”が発生することが回避され、良好な光軸位置精度が得られる。
【０１３０】
以上で、本発明の固体撮像ユニットの一実施形態であるＣＣＤユニット１２０を備えた撮影装置１の説明を終了する。
【０１３１】
次に、図１６〜図１８を参照して、本発明の固体撮像素子固定方法の一実施形態である、ＣＣＤ１１２Ａの背面側にＣＣＤプレート１１６を固定するＣＣＤ固定方法を説明する。
【０１３２】
図１６〜図１８は、本発明の固体撮像素子固定方法の一実施形態であるＣＣＤ固定方法を説明する模式図である。
【０１３３】
図１６に示すように、フレキシブル基板１１５が半田接続されたＣＣＤ１１２Ａを位置決め台２１０で支持するとともに、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６との間に配置させた状態で、ＣＣＤ１１２Ａの背面側にＣＣＤ１１２Ａとは非接触にＣＣＤプレート１１６を位置決め台２１０と第１の位置決め具２２０で挟み込んで支持する。尚、ＣＣＤプレート１１６は、ＣＣＤ１１２Ａの背面を覗かせる貫通孔１１６１を有する。
【０１３４】
次に、ＣＣＤ１１２Ａの隣接する２つの側面の双方を第２の位置決め具２３０に当接させるように付勢するとともに、ＣＣＤ１１２Ａを位置決め台２１０に設けられた孔２１１から下方に向けて吸引することによって、ＣＣＤ１１２Ａを位置決めする。すなわち、本実施形態では、第１の位置決め具２２０および第２の位置決め具２３０それぞれによって、ＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６とが独立に位置決めされる。
【０１３５】
その後、図１７に示すように、ＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６が互いに非接触の状態のまま、貫通孔１１６１から接着剤３００を流し込む。そして、図１８に示すように、フレキシブル基板１１５をＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６との間に配置させた、ＣＣＤ１１２ＡとＣＣＤプレート１１６が互いに非接触の状態のまま、貫通孔１１６１から流し込まれた接着剤３００で接着（いわゆる空中接着）される。なお、図１８に模式的に示した、ＣＣＤ１１２Ａとフレキシブル基板１１５とＣＣＤプレート１１６とから構成されたものは、図７に示すＣＣＤユニット１２０に相当するものである。
【０１３６】
以上説明した様に、本実施形態のＣＣＤ固定方法は、ＣＣＤ１１２ＡやＣＣＤプレート１１６の部品誤差の影響を受けることなく、位置決め台２１０や第１の位置決め具２２０や第２の位置決め具２３０によって、ＣＣＤ１１２ＡがＣＣＤプレート１１６に対して位置決めされる。
【０１３７】
また、本実施形態のＣＣＤ固定方法は、貫通孔１１６１から接着剤３００を流し込んで空中接着する方法であるため、例えば図１９，図２０に示したような、従来の固定方法において発生するおそれのあったＣＣＤ１１２ＡやＣＣＤプレート１１６がずれてしまうといったような作業工程における不具合の発生する確率が低く、ＣＣＤ１１２ＡをＣＣＤプレート１１６に対して確実に位置決めすることができる。
【０１３８】
以上で、本発明の固体撮像素子固定方法の一実施形態であるＣＣＤ固定方法の説明を終了する。
【０１３９】
尚、上述した実施形態では、本発明にいう固体撮像素子が、ＣＣＤである例を挙げて説明したが、本発明にいう固体撮像素子は、これらに限られるものではなく、例えば、ＣＭＯＳイメージセンサなどであってもよい。
【０１４０】
また、上述した実施形態では、本発明の固体撮像ユニットが、固体撮像素子（ＣＣＤ）と、フレキシブル基板と、支持部材（ＣＣＤプレート）とから構成されている例を挙げて説明したが、本発明の固体撮像ユニットは、これらに限られるものではなく、少なくとも固体撮像素子と支持部材とから構成されていればよい。
【符号の説明】
【０１４１】
１    撮影装置
１９０    カメラ本体
１００    レンズ鏡胴
１１０    ＸＹステージ
１２０    ＣＣＤユニット
１１１    基体
１１２    ＣＣＤホルダー
１１２Ａ    ＣＣＤ
１１３Ａ    Ｘステージ
１１３０Ａ    第１の基板固定部
１１３１Ａ    第１のコイル基板
１１３Ｂ    Ｙステージ
１１３０Ｂ    第２の基板固定部
１１３１Ｂ    第２のコイル基板
１１４    蓋部材
１１５    フレキシブル基板
１１６    ＣＣＤプレート
１１６１，１１５１    貫通孔
ＹＭ１    第１の接合体
ＭＧ１    第１のマグネット
Ｙ１１    第１のヨーク
ＹＭ２    第２の接合体
ＭＧ２    第２のマグネット
Ｙ２１    第２のヨーク
Ｙ１２    第３のヨーク
Ｙ２２    第４のヨーク
Ｙ１３    第１のサブヨーク
Ｙ２３    第２のサブヨーク
Ｇ１  第１のガイド軸
Ｇ２  第１の支持軸
Ｇ３    第２のガイド軸
Ｇ４    第４のガイド軸
Ｇ５    第２の支持軸
Ｇ６    第３のガイド軸
ｈ１，ｈ２    ホール素子
２１０    位置決め台
２１１    孔
２２０    第１の位置決め具
２３０    第２の位置決め具
３００，３０１，３０２    接着剤
【図１】
2010278667.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2010278667.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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