(57)【要約】【課題】ペーストが空気を巻き込むことによる印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板ＰＢの電極ＤＴとマスク部材２３のパターン孔２３ｈが上下に合致するように基板ＰＢとマスク部材２３の位置合わせをした後、マスク部材２３にスキージ２４ａを上方から当接させて水平方向に移動させ、マスク部材２３上に供給したペーストＰＴをスキージ２４ａによって掻き寄せてマスク部材２３のパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させる。そして、スキージ２４ａの水平方向への移動を継続させながらスキージ２４ａを上昇させた後に下降させることにより、スキージ２４ａに付着したペーストＰＴをマスク部材２３上に引き伸ばしてスキージ２４ａをペーストＰＴから離間させる。【選択図】図９
2010214679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の電極に対応して設けられたパターン孔が基板の電極と上下に合致するように基板と位置合わせされるマスク部材と、
基板と位置合わせされたマスク部材に上方から当接して水平方向に移動することにより、マスク部材上に供給されたペーストをマスク部材のパターン孔内に充填させるスキージと、
を備え、
スキージはマスク部材のパターン孔内にペーストを充填させた後、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降することにより、付着したペーストをマスク部材上に引き伸ばしてペーストから離間することを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
スキージは、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降している間、マスク部材上のペーストから離間しないことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
基板の電極とマスク部材のパターン孔が上下に合致するように基板とマスク部材の位置合わせをする工程と、
基板と位置合わせしたマスク部材にスキージを上方から当接させて水平方向に移動させることにより、マスク部材上に供給したペーストをマスク部材のパターン孔内に充填させる工程と、
スキージによりマスク部材のパターン孔内にペーストを充填させた後、スキージの水平方向への移動を継続させながらスキージを上昇させた後に下降させることにより、スキージに付着したペーストをマスク部材上に引き伸ばしてスキージをペーストから離間させる工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項４】
スキージの水平方向への移動を継続させながらスキージを上昇させた後に下降させている間、スキージをマスク部材上のペーストから離間させないことを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク部材のパターン孔を介して基板の電極にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、基板の電極とマスク部材のパターン孔が上下に合致するように基板とマスク部材の位置合わせをしたうえで、マスク部材にスキージを当接させて水平方向に移動させ、マスク部材上に供給されたペーストをスキージによって掻き寄せてマスク部材のパターン孔内にペーストを充填させた後、基板とマスク部材を相対的に離間させてパターン孔内のペーストを電極上に版抜けさせるようになっている。このようなスクリーン印刷機の中には、ペーストを掻き寄せる面同士を移動方向に対向させた一対のスキージを備え、移動方向に応じてペーストを掻き寄せるスキージを切り替えるようにしたものが知られている（特許文献１）。このようなスクリーン印刷機では、スキージの切り替えを行うときには、それまでペーストの掻き寄せを行っていたスキージを上昇させてそのスキージをペーストから離間させ、掻き寄せられたペーストを跨ぐ位置に他方のスキージを下降させた後、それまでとは反対の方向にスキージを移動させる。
【特許文献１】特開２００８−１１９８５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来ではペーストからスキージを離間させる際、スキージをそのまま上昇させていたため、スキージに付着したペーストの一部が上方に引っ張られて先細りになった後、スキージの離間とともに輪を描くように倒れ込んでしまい、空気を巻き込んで印刷不良の原因となるおそれがあるという問題点があった。
【０００４】
そこで本発明は、ペーストが空気を巻き込むことによる印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の電極に対応して設けられたパターン孔が基板の電極と上下に合致するように基板と位置合わせされるマスク部材と、基板と位置合わせされたマスク部材に上方から当接して水平方向に移動することにより、マスク部材上に供給されたペーストをマスク部材のパターン孔内に充填させるスキージと、を備え、スキージはマスク部材のパターン孔内にペーストを充填させた後、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降することにより、付着したペーストをマスク部材上に引き伸ばしてペーストから離間する。
【０００６】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、スキージは、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降している間、マスク部材上のペーストから離間しない。
【０００７】
請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、基板の電極とマスク部材のパターン孔が上下に合致するように基板とマスク部材の位置合わせをする工程と、基板と位置合わせしたマスク部材にスキージを上方から当接させて水平方向に移動させることにより、マスク部材上に供給したペーストをマスク部材のパターン孔内に充填させる工程と、スキージによりマスク部材のパターン孔内にペーストを充填させた後、スキージの水平方向への移動を継続させながらスキージを上昇させた後に下降させることにより、スキージに付着したペー
ストをマスク部材上に引き伸ばしてスキージをペーストから離間させる工程と、を含む。
【０００８】
請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、請求項３に記載のスクリーン印刷方法であって、スキージの水平方向への移動を継続させながらスキージを上昇させた後に下降させている間、スキージをマスク部材上のペーストから離間させない。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、マスク部材のパターン孔内にペーストを充填し終わったスキージは、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降し、付着したペーストをマスク部材上に引き伸ばしてペーストから離間するようになっているので、従来のように、スキージに付着して先細りになったペーストがスキージの離間とともに輪を描くように倒れこんでしまうといったことがなく、ペーストが空気を巻き込むことによる印刷不良の発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える印刷実行部の正面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク部材の平面図、図４は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図５は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すフローチャート、図６（ａ），（ｂ）、図７（ａ），（ｂ）、図８（ａ），（ｂ）、図９（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）、図１０（ａ），（ｂ）及び図１１（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図である。
【００１１】
図１において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基台２と、基台２上に設けられ、印刷対象物である基板ＰＢの搬送及び位置決めを行う基板搬送路３と、基板搬送路３によって位置決めされた基板ＰＢに対してスクリーン印刷を実行する印刷実行部４を備えて構成されている。以下、スクリーン印刷機１における基板ＰＢの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内の方向をＹ軸方向とする。このスクリーン印刷機１のオペレータＯＰはスクリーン印刷機１のＹ軸方向の一端側において作業を行うが、このオペレータＯＰが作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、反対側（図１の紙面上方）をスクリーン印刷機１の後方とする。
【００１２】
図１において基板搬送路３は、Ｘ軸方向に並んで設けられた搬入コンベア１１、位置決めコンベア１２及び搬出コンベア１３から成る。搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部（図１の紙面左方）から投入された基板ＰＢをスクリーン印刷機１の内部に搬入して位置決めコンベア１２に受け渡す。位置決めコンベア１２は搬入コンベア１１から受け取った基板ＰＢを印刷実行位置（図１に示す基板ＰＢの位置）に位置決めし、基板ＰＢに対するスクリーン印刷が終了した後、基板ＰＢを搬出コンベア１３に受け渡す。搬出コンベア１３は位置決めコンベア１２から受け取った基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部（図１の紙面右方）に搬出する。
【００１３】
図２において印刷実行部４は、位置決めコンベア１２上の基板ＰＢをクランプしてその基板ＰＢの水平面内の方向への移動と上下方向（Ｚ軸方向とする）への移動を行う基板移動ユニット２１、基板移動ユニット２１の上方をＹ軸方向に延びて設けられた一対の支持レール２２、支持レール２２によってＹ軸方向にスライド自在に支持されたプレート状のマスク部材２３、マスク部材２３の上方をＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージユニット２４、基台２上に設けられたＸＹロボット２５（図１）によって基板移動ユニット２１とマスク部材２３の間の空間を水平面内の方向に移動自在なカメラユニット２６及びマ
スク部材２３上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰＴを供給するシリンジユニット２７を備えている。
【００１４】
図２において、印刷実行部４の基板移動ユニット２１は、基台２に対してＹ軸方向に相対移動するＹテーブル２１ａ、Ｙテーブル２１ａに対してＸ軸方向に相対移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに相対回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃに固定されたベースプレート２１ｄ、ベースプレート２１ｄに対して相対昇降する第１昇降プレート２１ｅ、第１昇降プレート２１ｅに対して相対昇降する第２昇降プレート２１ｆ、第２昇降プレート２１ｆに固定された下受けユニット２１ｇ、基板搬送路３を構成する位置決めコンベア１２及び位置決めコンベア１２の上方でＹ軸方向に開閉動作する一対のクランパ２１ｈ（図１も参照）から成る。
【００１５】
図１及び図３において、マスク部材２３は平面視において矩形形状を有する枠部材２３ｗによって四辺が支持されており、枠部材２３ｗによって囲まれた領域内のマスク部材２３上の所定領域（マスク領域ＭＲと称する）には、基板ＰＢに設けられた電極ＤＴ（図１）に対応する多数のパターン孔２３ｈが設けられている。
【００１６】
図１において、基板ＰＢの対角位置には２つ一組の基板位置合わせマークｍが設けられている。一方、図３において、マスク部材２３には、マスク部材２３を基板ＰＢに位置合わせするための２つ一組のマスク部材位置合わせマークＭＫが基板位置合わせマークｍに対応して設けられている。
【００１７】
マスク部材２３は、オペレータＯＰがこのマスク部材２３を両手で把持してスクリーン印刷機１の前方から一対の支持レール２２の間に挿入し（図１中に示す矢印Ａ）、枠部材２３ｗの先頭部が支持レール２２上に設けられたストッパ２２ａに当接するまで後方に押し込むことによって、所定の位置に設置される。
【００１８】
図２において、スキージユニット２４は支持レール２２の上方を基板移動ユニット２１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージベース２４ｐと、スキージベース２４ｐに取り付けられて上下方向に延びた２つのスキージ昇降シリンダ（空圧シリンダ）２４ｓと、各スキージ昇降シリンダ２４ｓの下部に取り付けられ、ペーストＰＴを掻き寄せる面同士をＹ軸方向に対向させた一対のスキージ（前方側に設けられた前方スキージ２４ａ及び後方側に設けられた後方スキージ２４ｂ）を備えて成る。前方スキージ２４ａ及び後方スキージ２４ｂはともにＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、それぞれスキージ昇降シリンダ２４ｓの下方への突没動作によって、スキージベース２４ｐに対して昇降される。
【００１９】
図１において、ＸＹロボット２５は、基台２の上方をＹ軸方向に延び、基台２に相対的に固定して設けられたＹ軸ステージ２５ａ、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸ステージ２５ａ上をＹ軸方向に移動自在に設けられたＸ軸ステージ２５ｂ及びＸ軸ステージ２５ｂ上をＸ軸方向に移動自在に設けられた移動プレート２５ｃから成っている。図２においてカメラユニット２６は、ＸＹロボット２５の移動プレート２５ｃに、撮像面を下方に向けた第１カメラ２６ａと、撮像面を上方に向けた第２カメラ２６ｂが取り付けられた構成となっている。
【００２０】
図２においてシリンジユニット２７は、基板移動ユニット２１に対して水平面内方向に移動自在に設けられたシリンジベース２７ｐに、ペーストＰＴを下方に吐出するシリンジ２７ｓが取り付けられた構成となっている。
【００２１】
基板搬送路３を構成する搬入コンベア１１、位置決めコンベア１２及び搬出コンベア１３による基板ＰＢの搬送及び位置決め動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置
３０（図４）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構３１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２２】
基台２に対するＹテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃのＺ軸回りの回転、ベースプレート２１ｄに対する（すなわちθテーブル２１ｃに対する）第１昇降プレート２１ｅの昇降、第１昇降プレート２１ｅに対する第２昇降プレート２１ｆの（すなわち下受けユニット２１ｇの）昇降及びクランパ２１ｈの開閉動作の各動作は、制御装置３０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図２）等のアクチュエータ等から成る基板移動ユニット作動機構３２（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２３】
スキージユニット２４の（スキージベース２４ｐの）Ｙ軸方向への移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構３３（図４）の作動制御を行うことによってなされ、前方スキージ２４ａ及び後方スキージ２４ｂそれぞれの昇降動作は、制御装置３０が前述のスキージ昇降シリンダ２４ｓ等から成るスキージ昇降機構３４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２４】
ＸＹロボット２５を構成するＸ軸ステージ２５ｂのＹ軸方向への移動動作及び移動プレート２５ｃのＸ軸方向への移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るＸＹロボット作動機構３５（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２５】
第１カメラ２６ａは、制御装置３０に制御されて、基板ＰＢに設けられた基板位置合わせマークｍの撮像を行い、第２カメラ２６ｂは、制御装置３０に制御されて、マスク部材２３に設けられたマスク部材位置合わせマークＭＫの撮像を行う。第１カメラ２６ａの撮像によって得られた画像データ及び第２カメラ２６ｂの撮像によって得られた画像データは制御装置３０に入力される（図４）。
【００２６】
シリンジユニット２７の移動（シリンジベース２７ｐの移動）動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ移動機構３６（図４）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ２７ｓによるペーストの供給動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ作動機構３７（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２７】
次に、図５のフローチャート及び図６〜図１１の動作説明図を参照してスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷工程の流れを説明する。スクリーン印刷機１の制御装置３０は、図示しない検出手段によってオペレータＯＰ（或いはスクリーン印刷機１の上流側に設置された図示しない他の装置）から基板搬送路３（搬入コンベア１１）に基板ＰＢが投入されたことを検知したら、搬入コンベア１１と位置決めコンベア１２を連動作動させて、スクリーン印刷機１内に基板ＰＢを搬入する（基板搬入工程。図５のステップＳＴ１）。
【００２８】
制御装置３０は基板ＰＢを搬入したら、基板移動ユニット２１による基板ＰＢの固定を行う（基板固定工程。図５のステップＳＴ２）。これには先ず、基板移動ユニット２１の第２昇降プレート２１ｆを第１昇降プレート２１ｅに対して相対上昇させ（図６（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、下受けユニット２１ｇの上面を基板ＰＢの下面に下方から当接させて、下受けユニット２１ｇに基板ＰＢを支持させる（図６（ａ））。そして、下受けユニット２１ｇに基板ＰＢを支持させたら、クランパ２１ｈにより基板ＰＢをクランプしたうえで更に第２昇降プレート２１ｆを上昇させ（図６（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、下受けユニット２１ｇで基板ＰＢを押し上げる。これにより基板ＰＢは両端をクランパ２１ｈに対して摺動させながら上昇し、位置決めコンベア１２から上方に離間し、かつ基板ＰＢの上面
が両クランパ２１ｈの上面と同じ高さになった状態で、基板移動ユニット２１に固定される（図６（ｂ））。
【００２９】
制御装置３０は、基板ＰＢの固定が終了したら、基板ＰＢの電極ＤＴとマスク部材２３のパターン孔２３ｈが上下に合致するように基板ＰＢとマスク部材２３の位置合わせをする（位置合わせ工程。図５のステップＳＴ３）。
【００３０】
この位置合わせ工程では、制御装置３０は先ず、カメラユニット２６の移動と第１カメラ２６ａの撮像動作制御を行って基板ＰＢに設けられた基板位置合わせマークｍの画像データを取得し、基板ＰＢの位置を把握するとともに、カメラユニット２６の移動と第２カメラ２６ｂの撮像動作制御を行ってマスク部材２３に設けられたマスク部材位置合わせマークＭＫの画像データを取得し、マスク部材２３の位置を把握する。
【００３１】
制御装置３０は、基板ＰＢの位置とマスク部材２３の位置を把握したら、基板移動ユニット２１による基板ＰＢの水平面内の方向の移動動作によって、基板ＰＢをマスク部材２３のマスク領域ＭＲの下方に位置させた後、基板移動ユニット２１による基板ＰＢの垂直方向の移動（第１昇降プレート２１ｅの上昇）動作を行って、基板位置合わせマークｍとマスク部材位置合わせマークＭＫが上下に合致するようにし、基板ＰＢの上面をマスク部材２３の下面に下方から接触させる（図７（ａ）中に示す矢印Ｃ３）。これにより基板ＰＢとマスク部材２３の位置合わせ工程が終了する（図７（ａ））。
【００３２】
制御装置３０は位置合わせ工程が終了したら、前方スキージ２４ａによりパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させる第１のペースト充填工程を実行する（図５のステップＳＴ４）。これには先ず、制御装置３０は、一対のクランパ２１ｈのうち、スクリーン印刷機１の前方に位置するクランパ２１ｈ（前方のクランパ２１ｈ）の上面に相当するマスク部材２３上に、シリンジユニット２７によってペーストＰＴを供給する（図７（ａ））。そして、前方のクランパ２１ｈの上方にスキージユニット２４を移動させて前方スキージ２４ａを下降させ、その下端を前方のクランパ２１ｈの上面に相当するマスク部材２３上に当接させた後（図７（ｂ））、スキージユニット２４を後方に移動させることによって（図８（ａ）中に示す矢印Ｃ４）、前方スキージ２４ａをマスク部材２３上で摺動させ、マスク部材２３上でペーストＰＴを掻き寄せて、マスク領域ＭＲのパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを押し込んで充填させる。そして、前方スキージ２４ａが、スクリーン印刷機１の後方に位置するクランパ２１ｈ（後方のクランパ２１ｈ）の上面に相当するマスク部材２３上に達したら（図８（ｂ））、第１のペースト充填工程が終了する。
【００３３】
制御装置３０は、ステップＳＴ４の第１のペースト充填工程が終了したら、前方スキージ２４ａをペーストＰＴから離間させる第１のスキージ離間工程を実行する（図５のステップＳＴ５）。これには先ず、制御装置３０は、前方スキージ２４ａの水平方向（後方）への移動を継続させながら（図９中に示す矢印Ｃ４参照）、前方スキージ２４ａを一旦上昇させた後（図９（ａ）。図中に示す矢印Ｃ５）、下降させ（図９（ｂ）。図中に示す矢印Ｃ６）、前方スキージ２４ａに付着したペーストＰＴの一部をマスク部材２３の表面に近づけるようにしてマスク部材２３上に引き伸ばして前方スキージ２４ａをペーストＰＴから離間させる（図９（ｃ））。そして、前方スキージ２４ａがペーストＰＴから離間したら、前方スキージ２４ａを上昇させる（図９（ｄ）中に示す矢印Ｃ７）。これにより第１のスキージ離間工程が終了する。
【００３４】
前方スキージ２４ａはこのように一旦上昇した後に下降し、付着したペーストＰＴをマスク部材２３上に引き伸ばして（或いはペーストＰＴをマスク部材２３の表面に擦り付けて）ペーストＰＴから離間するので、付着したペーストＰＴを引き伸ばした分、マスク部材２３上のペーストＰＴが減少し、前方スキージ２４ａに付着したペーストＰＴの一部が
上方に引っ張られにくくなる。このため、前方スキージ２４ａをそのまま上昇させた場合のように、前方スキージ２４ａに付着したペーストＰＴの一部が上方に引っ張られて先細りになったとしても、前方スキージ２４ａの離間とともに下方に倒れこんでしまうことがなく、空気を巻き込んで印刷不良の原因となるおそれがない。
【００３５】
また、前方スキージ２４ａの水平方向への移動を継続させながら前方スキージ２４ａを上昇させた後に下降させている間、前方スキージ２４ａをペーストＰＴから離間させないようにしているので、ペーストＰＴを下方にスムーズに誘導することができ、空気の巻き込みによる印刷不良をより一層確実に防止することができるようになっている。
【００３６】
なお、このような前方スキージ２４ａの動作（後述する後方スキージ２４ｂの動作についても同じ）における前方スキージ２４ａの上方及び下方への動作量は、ペーストＰＴが空気を巻き込むことなく前方スキージ２４ａがペーストＰＴから離間できるような動作量のデータを予め実験等により取得しておき、その取得しておいたデータに基づいて決定するようにすることが好ましい。
【００３７】
制御装置３０は、ステップＳＴ５の第１のスキージ離間工程が終了したら、後方スキージ２４ｂによりパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させる第２のペースト充填工程を実行する（図５のステップＳＴ６）。これには先ず、制御装置３０は、スキージユニット２４を後方のクランパ２１ｈの上方に位置させた状態で、後方スキージ２４ｂを下降させ、その下端を後方のクランパ２１ｈの上面に相当するマスク部材２３上に当接させる（図１０（ａ））。これにより、前方スキージ２４ａによって掻き寄せられたペーストＰＴを跨ぐ位置に後方スキージ２４ｂが配置されることになる。そして、制御装置３０は、スキージユニット２４を前方に移動させることによって（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｃ８）、後方スキージ２４ｂをマスク部材２３上で摺動させ、マスク部材２３上でペーストＰＴを掻き寄せて、マスク領域ＭＲ内のパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを押し込み、前方スキージ２４ａの摺動によってはペーストＰＴが充填されなかったパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させる。後方スキージ２４ｂが前方のクランパ２１ｈの上面に相当するマスク部材２３上に達したら（図１１（ａ））、第２のペースト充填工程が終了する。
【００３８】
制御装置３０は、ステップＳＴ６の第２のペースト充填工程が終了したら、後方スキージ２４ｂをペーストＰＴから離間させる第２のスキージ離間工程を実行する（図５のステップＳＴ７）。第２のスキージ離間工程では、制御装置３０は、ステップＳＴ５の第１のスキージ離間工程と同様の要領で、後方スキージ２４ｂを前方のクランパ２１ｈの上面に相当するマスク部材２３上のペーストＰＴから離間させる（図１１（ｂ））。これは、次の基板ＰＢに対するペースト充填工程（第１のペースト充填工程）の実行に備えるものである。
【００３９】
制御装置３０は、ステップＳＴ７の第２のスキージ離間工程が終了したら、次いで版抜け工程を実行する（図５のステップＳＴ８）。版抜け工程は、制御装置３０が、第１昇降プレート２１ｅを下降させて（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｃ９）、基板ＰＢとマスク部材２３を相対的に離間させることによって行う。これにより各パターン孔２３ｈ内に充填されたペーストＰＴが基板ＰＢの電極ＤＴ上に版抜けし、ペーストＰＴが基板ＰＢに印刷（転写）される。
【００４０】
制御装置３０は、ステップＳＴ８の版抜け工程が終了したら、クランパ２１ｈを開いて基板移動ユニット２１に対する基板ＰＢの固定を解除する（基板固定解除工程。図５のステップＳＴ９）。そして、第２昇降プレート２１ｆを下降させて基板ＰＢを位置決めコンベア１２上に載置し、基板移動ユニット２１を作動させて、位置決めコンベア１２の搬出コンベア１３に対する位置調整を行う。制御装置３０は、位置決めコンベア１２の搬出コ
ンベア１３に対する位置調整が終了したら、位置決めコンベア１２と搬出コンベア１３を連動作動させて、スクリーン印刷機１から基板ＰＢを搬出する（基板搬出工程。図５のステップＳＴ１０）。
【００４１】
制御装置３０は、基板ＰＢを搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがあるかどうかの判断を行う（判断工程。図５のステップＳＴ１１）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがあった場合にはステップＳＴ１に戻って基板ＰＢの搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがなかった場合には一連のスクリーン印刷工程を終了する。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの電極ＤＴに対応して設けられたパターン孔２３ｈが基板ＰＢの電極ＤＴと上下に合致するように基板ＰＢと位置合わせされるマスク部材２３と、基板ＰＢと位置合わせされたマスク部材２３に上方から当接して水平方向に移動することにより、マスク部材２３上に供給されたペーストＰＴをマスク部材２３のパターン孔２３ｈ内に充填させるスキージ（前方スキージ２４ａ及び後方スキージ２４ｂ）を備え、スキージ（前方スキージ２４ａ又は後方スキージ２４ｂ）はマスク部材２３のパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させた後、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降することにより、付着したペーストＰＴをマスク部材２３上に引き伸ばしてペーストＰＴから離間するようになっている。
【００４３】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、基板ＰＢの電極ＤＴとマスク部材２３のパターン孔２３ｈが上下に合致するように基板ＰＢとマスク部材２３の位置合わせをする工程（位置合わせ工程）と、基板ＰＢと位置合わせしたマスク部材２３にスキージ（前方スキージ２４ａ又は後方スキージ２４ｂ）を上方から当接させて水平方向に移動させることにより、マスク部材２３上に供給したペーストＰＴをマスク部材２３のパターン孔２３ｈ内に充填させる工程（第１のペースト充填工程又は第２のペースト充填工程）と、スキージによりマスク部材２３のパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させた後、スキージの水平方向への移動を継続させながらスキージを上昇させた後に下降させることにより、スキージに付着したペーストＰＴをマスク部材２３上に引き伸ばしてスキージをペーストＰＴから離間させる工程（第１のペースト離間工程又は第２のペースト離間工程）を含むものとなっている。
【００４４】
このように本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷方法では、マスク部材２３のパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填し終わったスキージ（前方スキージ２４ａ又は後方スキージ２４ｂ）は、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降し、付着したペーストＰＴをマスク部材２３上に引き伸ばしてペーストＰＴから離間するようになっているので、従来のように、スキージに付着して先細りになったペーストＰＴがスキージの離間とともに輪を描くように倒れこんでしまうといったことがなく、ペーストＰＴが空気を巻き込むことによる印刷不良の発生を抑えることができる。
【００４５】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、スキージ（前方スキージ２４ａ及び後方スキージ２４ｂ）は、水平方向への移動を継続しながら上昇した後に下降している間、マスク部材２３上のペーストＰＴから離間しないようにしており、また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、スキージ（前方スキージ２４ａ及び後方スキージ２４ｂ）の水平方向への移動を継続させながらスキージを上昇させた後に下降させている間、スキージをマスク部材２３上のペーストＰＴから離間させないようにしているので、空気の巻き込みによる印刷不良をより一層確実に防止することができる。
【００４６】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、一対のスキージ（前方スキー
ジ２４ａ及び後方スキージ２４ｂ）をそれぞれ１回ずつ移動させたスキージユニット２４の１往復動作によって１枚の基板ＰＢにペーストＰＴの充填を行うようになっていたが、一対のスキージをそれぞれ複数回ずつ移動させるスキージユニット２４の複数の往復動作によって１枚の基板ＰＢにペーストＰＴの充填を行うようになっていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
ペーストが空気を巻き込むことによる印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える印刷実行部の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク部材の平面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すフローチャート
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【符号の説明】
【００４９】
１  スクリーン印刷機
２３  マスク部材
２３ｈ  パターン孔
２４ａ  前方スキージ（スキージ）
２４ｂ  後方スキージ（スキージ）
ＰＢ  基板
ＤＴ  電極
ＰＴ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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