(57)【要約】【課題】  本発明は、各種分野における、清浄化域を必要とする装置の空気環境を外部汚染環境から遮断し、必要とする清浄度空間を低コスト・使用材料低減・メンテナンスの容易性を高めたクリーンブースを提供する。【解決手段】  パンチング等の拡散板を使用せず軽量化し、全周方向に清浄化気流の送気を可能とした円筒型フィルタを有する清浄化ユニット（１）（６）をブース構造材の脚柱等（３）に設置することで部材の使用量を低減し、かつ外部の汚染環境から遮断するための帯電防止ビニルシート等（４）の加工エネルギーを最小としたことを特徴としたクリーンブース。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）塵埃を除去するための円筒型フィルタ（２）とファンを内蔵し清浄空気をブース内の全方位に送気するための清浄化ユニット（１）を設ける。
（ロ）円筒型フィルタ（２）を装着する清浄化ユニット（１）より吹出される清浄空気の吹出し方向を制御するためのフード（６）を設ける。
（ハ）清浄化ユニットを任意の位置に装着するためのアルミ材等の脚柱・梁（３）を設ける。
（ニ）外部汚染物質から遮断するための遮蔽材であるビニル等（４）を設ける。
（ホ）ブース全体を支持するキャスタ・アジャスタ（５）を設ける。
以上から構成されるクリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、各種分野における、清浄化域を必要とする装置の空気環境を外部汚染環境から遮断し、必要とする清浄度空間を低コスト・使用材料低減・メンテナンスの容易性を高めたクリーンブースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、クリーンブースの構造は、清浄化ユニットをブース中央の天井面に配置し、上部より汚染空気を吸引し浄化空気をダウンフローにて送気・浄化していた。
しかし、この方法では、中央に設置した浄化ユニットからの吹出による誘引圧力により周辺汚染空気を巻き込んでしまい下方にある最も清浄化域を必要とする装置・製品への汚染確率を高める結果となっていた。
また、ブース天井面中央に浄化ユニットを設置するため、保持するブースを構成する脚柱・梁の強度を必要とするために相応の材料を使用しなければならず、製作時は、勿論のことブースの廃棄処分に際しても限りある資源を有効に使用しているとは、いい難いものがあった。
さらに、外部汚染環境から遮断するための、例えば、帯電防止ビニルシートの加工方法においては、各端面部に強度を持たせるためにシートを重ねて溶着、更に、下部にステンレスチェーン等の錘をシート折返し内に溶着で封じ込める等の加工を行っていたが製作工程での溶着エネルギー・使用材料の無駄な消費を行う結果となっていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  従来は、次のような問題点があった。
清浄化ユニットは、天井面中央に設置され多孔板等を介して清浄空気を吹出すためにその周辺は、吹出し空気による誘引圧力で汚染空気を巻き込み、下方にある最も清浄化域を必要とする装置・製品へ汚染された空気を吹付ける状況にあった。
この巻きこみを防止するために吹出し形状を台形形状の多孔板等を使用して巻きこみ防止対策を図っていたが装置コスト・重量の上昇を伴っていた。
また、浄化ユニットには、ファンとフィルタが内蔵されているためにその重量に対応した部材で荷重を受持つために相応の強度を有する部材を使用する必要があり、限られた資源の有効利用から反し無駄な材料を使用していた。
また、従来の清浄化ユニットは、ブース上面に突出した形で設置されており、かつ上部からの吸込みとなるために設置上の問題点、例えば天井高が低く制約のある場合には、ブース内部の高さを低くすることは、作業性を損なうなど、対応困難な状況にあった。
また、メンテナンスの際には、通常ブースの上部、吸込み側からのメンテナンスとなるために高所作業となりメンテナンス性が悪かった。
ブース内部からのメンテナンスでは、中央に設置した装置等が干渉し、やはりメンテナンス性に難があった。
さらには、外部との遮断に使用する。
例えば、帯電防止ビニルシートの場合、各端面部の無用な強度を高めるためにシートを重ねて溶着するなどして、無駄な加工エネルギーを消費していた。
本発明は、上記欠点を解決しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  上記欠点を解消するため本発明は、図１に示すように清浄化ユニット（１）は、ブース容積に応じた処理風量を清浄空気給気用ファンボックスと汚染空気を巻き込まないよう全方位から清浄空気が吹出すようフィルタ素材をプリーツ状に折り込んだ円筒型フィルタ（２）からなり、パンチング等を介さずに清浄空気を吹出すことで軽量化と吹出し気流による汚染空気の巻込みを無くすことを可能とする。
この清浄化ユニット（１）は、図１に示すようにブース脚柱（３）に、その荷重を持たせることで構造部材である脚柱、梁（３）等の使用材料を低減することで資源の無駄を省くことが可能となる。
また、ブース脚柱部に設置するのでメンテナンス性が高く、フィルタ交換等もブース内部中央にある装置に関係なく容易に可能とする。
さらには、帯電防止ビニルシート（４）は、組立時に脚柱・梁構造部材（３）に設けられている溝部等に嵌合部材により固定するので端面部の溶着補強を必要とせず無駄な加工エネルギーを消費することなく製作・設置可能である。
【発明を実施するための形態】
【０００５】  以下本発明の実施形態の図面について説明する。
清浄化ユニット（１）のファンボックスは、種々材質の筐体からなり、必要に応じた給気用送風機を内装し、清浄化ユニット（１）の円筒型フィルタは、パッキンを介して（１）のファンボックスに締結材にて固定される。
この組合わされた清浄化ユニットは、クリーンブースの容積等に応じて１台以上、複数台を設置して対応する。
この清浄化ユニットは、ブースの脚柱または、梁に締結材により固定される。
ブース内に設置される装置形状・作業者動線により、設置する位置並びに台数を決定するが図１に示すような垂直設置のみならず清浄化ユニット（１）は、水平設置も可能である。
水平設置の場合には、ブース上面が天井面に接した状態でも使用可能である。
また、ブース内に限らずブース外での設置も可能とした。
円筒型フィルタは、その長さ方向の全方位に清浄空気を吹出すため汚染気流を誘引することなく、かつ滞留することなく全方向に清浄空気を送気することを可能とし、その口径、長さは、風量に応じて任意寸法が可能であり、塵埃捕集効率も必要に応じて高性能フィルタから超高性能フィルタまで対応可能である。
さらに円筒型フィルタ（２）には、スリット等を有するフード（６）を取付けることでスリットからの吹出風速による誘引圧力を逆利用し、ブース中心部に浮遊する汚染源を中心部より引寄せて浄化することで、清浄化を必要とする装置周辺の汚染確率を低減することも可能である。
このような機能を有する清浄化ユニット（１）をクリーンブース構造材である脚柱、梁部（３）に固定金具により縦または、横設置するが、主に脚柱近傍に設置することで各部材の使用量を低減し対応するが止むを得ず脚柱から離れて設置する場合には、中間梁を入れ対処することも可能である。
また、帯電防止ビニルシート（４）は、ブース構造材に設けられた溝に嵌合部材により容易に設置することができるためビニルシートの強度アップのための重ね溶着などを不要としたものである。
【発明の効果】
【０００６】  本清浄化ユニットにより全方位への吹出しとしたため、汚染空気の滞留と巻込みを抑制することが可能となり、より高度な清浄空間を作り出す事ができる。
本清浄化ユニットは、垂直設置のみならず水平設置も可能なため設置場所の制約がなく設置場所に応じて上部吸込みまたは、側面吸込みを選択することができる。
清浄化ユニットに無用な拡散板をつける必要がなく清浄化ユニットの軽量化が図れるのでブース構造部材の使用量も低減できるため限りある資源の有効利用も可能とする。
清浄化ユニットの軽量化と脚柱等への設置場所によりメンテナンス性を大幅に高めることを可能とした。
清浄化ユニットの軽量化により、ブース構成材料全体の使用量低減が図れたことで施工性の向上が図れた。
本ブースの製作においては、溶接構造を皆無としたため製造工程における溶接ヒューム等、作業環境は、勿論のこと周囲環境汚染をなくすことが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  本発明の全体の構成を示した斜視図である
【図２】  清浄化ユニットの構成を示した（ａ）は、清浄化ユニット（１）の斜視図である。（ｂ）は、清浄化ユニット（１）のフード（６）の斜視図である。
【符号の説明】
【０００８】１  清浄化ユニット
２  円筒型フィルタ
３  構造部材（脚柱・梁）
４  帯電防止ビニルシート
５  ブース支持部品（キャスタ・アジャスタ）
６  フード
【図１】
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【図２】
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