(57)【要約】【課題】接合体における各構成の屈折率差の大小に関係なく、好適に接着層の厚さを測定することができる、接合体における接着層の厚さの測定方法を提供する。【解決手段】第１層と、第１層と同等の屈折率を有し、第１層に接合される接着層とを有する接合体の接着層の厚さを測定するための測定方法は、第１層と接着層との界面に、界面よりも高い反射率を有する反射層を形成する反射層形成工程Ｓ１０と、反射層に測定光を照射する測定光照射工程Ｓ２０と、測定光が反射層で反射された反射光を取得する反射光取得工程Ｓ３０と、取得された反射光に基づいて接着層の厚さを算出する反射光解析工程Ｓ４０とを備えることを特徴とする。【選択図】図３
2010249600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１層と、前記第１層と同等の屈折率を有し、前記第１層に接合される接着層とを有する接合体の前記接着層の厚さを測定するための測定方法であって、
前記第１層と前記接着層との界面に、前記界面よりも高い反射率を有する反射層を形成する反射層形成工程と、
前記反射層に測定光を照射する測定光照射工程と、
前記測定光が前記反射層で反射された反射光を取得する反射光取得工程と、
取得された前記反射光に基づいて前記接着層の厚さを算出する反射光解析工程と、
を備えることを特徴とする測定方法。
【請求項２】
第１レンズ部材と第２レンズ部材とが、接着層を間に挟んで接合された接合レンズであって、
前記接着層に対向する前記第1レンズ部材の面上に形成された第１の反射層と、
前記接着層に対向する前記第２レンズ部材の面上に形成された第２の反射層と、
を備え、
前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合レンズの光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする接合レンズ。
【請求項３】
前記第１の反射層及び前記第２の反射層は、周方向に連続して環状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の接合レンズ。
【請求項４】
第１の部材と第２の部材とが、接着層を間に挟んで接合された接合体であって、
前記接着層に対向する前記第1の部材の面上に形成された第１の反射層と、
前記接着層に対向する前記第２の部材の面上に形成された第２の反射層と、
を備え、
前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合体の光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする接合体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合体における接着層の厚さの測定方法及び接合レンズ並びに接合体に関する。より詳しくは、接着剤等によって接合された光学素子等の接合体における接着層の厚さの測定方法、及び当該測定方法の適用可能な接合レンズ並びに接合体に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学製品の分野では、重ね合わせた二枚のレンズの間に膜状の接着剤を介在させることによって、それら二枚のレンズが一体に固定された接合レンズが広く用いられている。
このような接合レンズでは、レンズの間に介在する接着剤の厚さ寸法の均一性が性能を決定する大きな要素の一つである。したがって、接合レンズの性能を一定水準以上に保つためには接着剤の厚さを高精度で測定できることが重要である。
【０００３】
このような目的に適用可能な厚さ測定方法として、特許文献１に記載の透明フィルムの厚み測定方法が知られている。この方法は、ピークバレー法とも呼ばれる。以下、図８及び図９を参照して本方法について簡潔に説明する。
図８に示すように、白色の平行光線２０１をフィルム２０２に照射すると、フィルム２０２の表面で直接反射される反射光Ｒ２１の他に、フィルム２０２内に進入して両表面の間を何回か反射した後にフィルム２０２外に出て行く反射光Ｒ２２、Ｒ２３・・・が存在する。フィルム２０２内で反射する反射光Ｒ２２、Ｒ２３等は互いに干渉し合い、その結果、特定の波長の光が強く、また特定の波長の光が弱くなる。つまりフィルム２０２に入る前の光の放射エネルギーの波長強度分布（以下、「光のスペクトル」と称する。）がフィルム２０２内で反射されることにより図９に示すように変化する。
【０００４】
この変化は図８に示す平行光線２０１の入射角θが一定ならば、フィルム２０２の厚さｄおよび屈折率ｎに依存する。したがって、フィルム２０２に白色の平行光線２０１を照射し、フィルム２０２により反射された光のスペクトルを測定すれば、これと予め測定したフィルム２０２の屈折率ｎとからフィルム２０２の厚さｄを求めることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５６−１１５９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の測定方法を実行するためには、一定の光量の反射光を取得する必要がある。反射光の光量を決定する反射率は、フレネルの公式によって定義されており、図１０において、媒質１３１の屈折率をｎ１、媒質１３２の屈折率をｎ２とすると、反射率Ｒは以下の数１で表すことができる。
この数１より、ｎ１値とｎ２の値の差が小さい、すなわち隣接する媒質の屈折率差が小さいと、２つの媒質の界面における反射率Ｒの値が小さくなり、その結果反射光量が少なくなることがわかる。
【０００７】
【数１】
2010249600.tif 000003
【０００８】
しかしながら、通常接合レンズにおいては、接合されるレンズと接合する接着剤とを一体の光学素子として機能させるために、レンズと接着剤との屈折率差が小さくなるようにそれぞれの材料が選択、調整されていることが多い。その結果、特許文献１の方法を用いて接合レンズの接着剤層の厚さを測定しようとしても、レンズと接着剤層との界面における反射率が小さいために十分な反射光が得られず、測定が困難である場合が多いという問題がある。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、接合体における各構成の屈折率差の大小に関係なく、好適に接着層の厚さを測定することができる、接合体における接着層の厚さの測定方法を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、各構成の屈折率差が小さくても接着層の厚さを好適に測定可能な接合レンズ及び接合体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第一の態様である厚さの測定方法は、第１層と、前記第１層と同等の屈折率を有し、前記第１層に接合される接着層とを有する接合体の前記接着層の厚さを測定するための測定方法であって、前記第１層と前記接着層との界面に、前記界面よりも高い反射率を有する反射層を形成する反射層形成工程と、前記反射層に測定光を照射する測定光照射工程と、前記測定光が前記反射層で反射された反射光を取得する反射光取得工程と、取得された前記反射光に基づいて前記接着層の厚さを算出する反射光解析工程とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の第二の態様である接合レンズは、第１レンズ部材と第２レンズ部材とが接着層を間に挟んで接合された接合レンズであって、前記接着層に対向する前記第１レンズ部材の面上に形成された第１の反射層と、前記接着層に対向する前記第２レンズ部材の面上に形成された第２の反射層とを備え、前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合レンズの光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする。
このとき、前記第１の反射層及び前記第２の反射層は、周方向に連続して環状に形成されてもよい。
【００１２】
本発明の第三の態様である接合体は、第１の部材と第２の部材とが接着層を間に挟んで接合された接合体であって、前記接着層に対向する前記第１の部材の面上に形成された第１の反射層と、前記接着層に対向する前記第２の部材の面上に形成された第２の反射層とを備え、前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合体の光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の部材の厚さの測定方法によれば、接合体における各構成の屈折率差の大小に関係なく、好適に接着層の厚さを測定することができる。
本発明の接合レンズ及び接合体によれば、各構成の屈折率差が小さくても接着層の厚さを好適に測定可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置の一例を示す図である。
【図２】同厚さ測定方法の対象となる接合体である接合レンズの一例を示す図である。
【図３】同厚さ測定方法の流れを示すフローチャートである。
【図４】白色光が照射された同接合レンズの拡大断面図である。
【図５】取得された反射光のスペクトルの一例を示すグラフである。
【図６】本発明の第２実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置の一例を示す図である。
【図７】同厚さ測定方法の対象となる接合体である接合レンズの一例を示す図である。
【図８】従来の厚さ測定方法の原理を説明する図である。
【図９】従来の厚さ測定方法において取得される反射光のスペクトルの一例を示す図である。
【図１０】フレネルの公式を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の第１実施形態の接合体及び本発明の一実施形態に係る、接合体における接着層の厚さの測定方法（以下、単に「厚さ測定方法」と称する。）について、図１から図５を参照して説明する。
図１は、本実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置１の一例を示す図である。測定装置１は、上述の特許文献１に記載のように、反射分光を用いて膜厚等を測定する装置であり、被検物としての接合レンズ１００を保持する保持部１０と、保持部１０に保持された被検物に光を射出する光源部２０と、被検物からの反射光を受光する受光部３０と、受光部３０と接続されたパソコン４０とを備えている。
【００１６】
保持部１０は、被検物が載置されるホルダ１１と、ホルダ１１に載置された被検物の一部を把持するためのアーム１２とを備える。アーム１２はＺステージ等からなる操作部１３を有し、操作部１３を操作することにより、アーム１２を上下に移動させることができる。
【００１７】
光源部２０は、白色光源２１と、白色光源２１から発生される白色光を平行光にするレンズ系２２とを備えている。光源部２０は図示しない機構により、位置及び角度を調整可能であり、保持部１０に取り付けられた被検物の所望の位置に所望の入射角で平行光となった白色光を照射可能である。
【００１８】
受光部３０は、被検物からの反射光を調整するレンズ系３１及び３２と、反射光を分光するプリズム３３と、プリズム３３で分光された光を集光する集光レンズ３４と、集光された反射光を受光する受光素子３５とを備えている。レンズ系の個数や具体的構成は、適宜変更することができる。また、プリズム３３に代えて回折格子が使用されてもよい。
【００１９】
パソコン４０は受光素子３５が受け取った反射光の画像を処理する画像処理ボード４１と、反射光の情報等を表示するためのモニタ４２とを備えている。
【００２０】
図２は、被検物の一例である接合レンズ（接合体）１００を示す図である。接合レンズ１００は、一方の面に光学面を構成する曲面１０１Ａを有し、他方が平坦に加工された平面１０１Ｂとなっている一対のレンズ部材１０１を備えており、一対のレンズ部材１０１を、平面１０１Ｂを対向させつつ接着剤で一体に接合して形成されている。したがって、一対のレンズ部材１０１の間には、接着層１０２が形成されている。
【００２１】
接合レンズ１００を１個の光学素子として機能させるため、一対のレンズ部材１０１と接着層１０２を形成する接着剤は、屈折率差が小さくなるように選択されている、したがって、そのままではレンズ部材１０１と接着層１０２との界面における反射光の量が少なく、接着層１０２の厚さを測定装置１で好適に測定することはできない。
そこで、一対のレンズ部材１０１のそれぞれに反射層が形成されている。具体的には、図２において上側に位置するレンズ部材（第１レンズ部材）１０１の平面１０１Ｂ上には、ハーフミラーとして機能するハーフミラー層（第１の反射層）１０３が形成され、図２において下側に位置するレンズ部材（第２レンズ部材）１０１の平面１０１Ｂ上には、ハーフミラー層１０３と対向する位置、すなわち、完成した接合レンズ１００の光軸方向においてハーフミラー層１０３と重畳する位置に反射層１０４（第２の反射層）が形成されている。
【００２２】
ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、スパッタリング等によって単層又は多層の薄膜を成膜することにより容易に形成することができる。なお、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４の厚さはナノメートル（ｎｍ）オーダーであり、接着層１０２の厚さに対して十分薄く、実際には視認は困難であるが、本明細書では、理解をしやすくするために、実際の寸法と異ならせてこれらの反射層を示している。
【００２３】
一対のレンズ部材１０１は、それぞれ周縁にフランジ１０１Ｃを有しており、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、接合レンズ１００の光軸方向において、フランジ１０１Ｃと重畳する位置に形成されている。すなわち、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、接合レンズ１００の有効径の外側に位置している。
【００２４】
上記の測定装置１を用いて、接合レンズ１００の接着層１０２の厚さを、本実施形態の厚さ測定方法により測定する場合の手順について説明する。
図３は、本実施形態の厚さ測定方法を含む接合レンズ１００の製造の流れを示すフローチャートである。本実施形態の厚さ測定方法は、図３に示すように、被検物に反射層を形成する反射層形成工程Ｓ１０と、被検物に対して測定光を照射する測定光照射工程Ｓ２０と、被検物から反射された反射光を取得する反射光取得工程Ｓ３０と、取得された反射光を解析して接着層の厚さを算出する反射光解析工程Ｓ４０とを備えている。
【００２５】
まずユーザは、ステップＳ１０において、接合レンズ１００の製造時に、一対のレンズ部材１０１の一方にハーフミラー層１０３を、他方に反射層１０４をそれぞれスパッタリング等により各々の平面１０１Ｂ上かつレンズ部材１０１の厚さ方向においてフランジ１０１Ｃと重畳する位置に形成する。次に、ステップＳ１１において、各々の平面１０１Ｂに接着層１０２を形成する紫外線（ＵＶ）硬化性の接着剤を塗布し、ステップＳ１２において、ハーフミラー層１０３と反射層１０４とが、製造される接合レンズの光軸方向において重畳するように一対のレンズ部材１０１を接合して、接合レンズ１００を得る。
【００２６】
ステップＳ１３において、ユーザは図１に示すように、接合レンズ１００を、ハーフミラー層１０３が上側(光源部２０側)となるように測定装置１のホルダ１１に設置する。このとき、上側のレンズ部材１０１をアーム１２で把持しておく。そして、ステップＳ２０において、光源部２０の位置や角度、及び必要に応じてハーフミラー層１０３及び反射層１０４の位置を調節してから、白色光源２１から白色光（測定光）Ｌ１を射出する。発せられた白色光Ｌ１はレンズ系２２を通って平行光となり、保持部１０に取り付けられた接合レンズ１００のハーフミラー層１０３に向かって照射される。
【００２７】
ステップＳ３０において、白色光Ｌ１は、上側のレンズ部材１０１と接着層１０２との界面に位置するハーフミラー層１０３で一部が反射され、反射光Ｒ１となる。残りはハーフミラー層１０３を透過して下側のレンズ部材１０１と接着層１０２との界面に位置する反射層１０４で反射され、反射光Ｒ２となる。
【００２８】
反射光Ｒ１と、反射光Ｒ２とは互いに干渉し、受光部３０のレンズ系３１及び３２で十分に拡がった平行光線となった後、プリズム３３を通って分光される。分光された反射光Ｒ１、Ｒ２は集光レンズ３４により波長ごとに異なった位置へ集光され、受光素子３５の上に写し出されて取得される。
【００２９】
ステップＳ４０において、受光素子３５に取得された反射光は画像処理ボード４１を通してパソコン４０に取り込まれ、解析される。この解析は、上述の特許文献１に記載されたピークバレー法を用いて行われるが、以下、本実施形態に沿って詳細に説明する。
【００３０】
図４は、白色光Ｌ１が反射しているときの接合レンズ１００の拡大断面図である。反射光Ｒ１と反射光Ｒ２とは互いに干渉し、反射光Ｒ２に含まれる波長が、接着層１０２の中を通過する光路長すなわち反射光Ｒ１と反射光Ｒ２との光路差Δの整数倍と一致したとき光量は増加し、光路差の半分Δ／２の奇数倍と一致したとき光量は減少する。
【００３１】
接着層１０２の屈折率をｎ、接着層１０２の厚さをｄ、白色光Ｌ１の入射角度をθとすると、反射光Ｒ１と反射光Ｒ２との光路差Δは、下記数２で表される。
【００３２】
【数２】
2010249600.tif 000004
【００３３】
また、干渉の次数をｍ、波長をλとすると、Δが下記数３で示される条件を満たすような波長の光について反射光は極大となり、数４で示されるような条件を満たす波長については反射光が極小となる。
【００３４】
【数３】
2010249600.tif 000005
【００３５】
【数４】
2010249600.tif 000006
反射光Ｒ１、Ｒ２はプリズム３３を通って分光され、集光レンズ３４により波長ごとに異なった位置へ集光され、受光素子３５の上にスペクトルを写し出す。受光素子３５により得られる電気信号は各波長に対応した集光位置における光強度であるので、これを波長―光強度に変換すれば図５に示すようなスペクトルとなる。
【００３６】
ここで、ｍ次の極大を示す波長をλｊ、ｍ＋１次の極大を示す波長をλｊ＋１とすると、厚さｄとλｊ及びλｊ＋１との間には、下記数５及び数６に示すような関係が成り立つ。
【００３７】
【数５】
2010249600.tif 000007
【００３８】
【数６】
2010249600.tif 000008
【００３９】
数５及び数６より、接着層１０２の厚さｄは以下の数７によって求められる。したがって、パソコン４０は、取得した反射光のデータのうち、極大を示した波長を数７に従って解析して接着層１０２の厚さｄを算出する。測定結果はモニタ４２に表示されて一連の測定が終了する。
【００４０】
【数７】
2010249600.tif 000009
【００４１】
その後、ステップＳ４１において、ステップＳ４０で取得された測定結果に基づき、接着層１０２の厚さが設定範囲（たとえば、接合レンズ１００の規格幅）内にあるかどうかが判定される。判定はユーザがモニタ４２の表示を確認して行ってもよいし、パソコン４０に自動で行わせてもよい。この判定がＮｏの場合、処理は後述するステップＳ４２に進み、Ｙｅｓの場合は後述するステップＳ４３に進む。
【００４２】
ステップＳ４２において、ユーザは操作部１３を操作してアーム１２及び把持されたレンズ部材１０１を上下させて接着層１０２の厚さｄが適切な値となるように調整を行う。調整後、処理はステップＳ２０に戻り、再度接着層１０２の厚さが測定される。アーム１２を駆動する機構をパソコン４０と接続しておけば、ステップＳ４２の工程をパソコン４０に行わせて調整精度を向上させることも可能である。
【００４３】
ステップＳ４３において、図示しない紫外線照射機構から、接合レンズ１００に紫外線が照射される（ＵＶ照射）。ＵＶ照射によって接着層１０２は瞬時に硬化され、接着層１０２が設定した厚さで固化される。こうして接合レンズ１００の製造が終了する。
なお、ステップＳ４１からＳ４３の厚さ調整が行われない場合は、必ずしもステップＳ１１において接着層１０２を形成する接着剤としてＵＶ硬化性のものを用いたり、ステップＳ１３においてアーム１２でレンズ部材１０１を把持したりしなくてもよい。
【００４４】
本実施形態の厚さ測定方法によれば、ステップＳ１０の反射層形成工程において、一対のレンズ部材１０１と接着層１０２との界面にそれぞれハーフミラー層１０３及び反射層１０４が形成される。そのため、レンズ部材１０１と接着層１０２との屈折率差が小さくても、光源部２０から発せられる白色光Ｌ１がレンズ部材１０１と接着層１０２との界面で好適に反射され、十分な量の反射光が反射光取得工程Ｓ３０で受光素子３５に取得される。その結果、接合レンズ１００としての光学特性に影響を与えることなく、接着層１０２の厚さを良好に測定して、接合レンズ１００の品質を正確に評価することができる。
【００４５】
また、レンズ部材１０１にフランジ１０１Ｃが設けられ、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、接合レンズ１００の光軸方向においてフランジ１０１Ｃと重畳する位置に形成されているので、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４が接合レンズ１００の有効径の外側に位置し、接合レンズ１００の視野に影響を与えることがない。
【００４６】
また、本実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置１においては、レンズ部材１０１を把持可能なアーム１２を備えているので、接着層１０２の厚さの寸法結果に応じて、一対のレンズ部材１０１間の距離を調節して接着層１０２の厚さを適正な範囲に調節することができる。
【００４７】
次に本発明の第２実施形態について、図６及び図７を参照して説明する。本実施形態と上述の第１実施形態との異なるところは、保持部の構成及びその使用方法である。なお、以降の説明において、上述の第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４８】
図６は本実施形態で使用される測定装置５１の一例を示す図である。保持部６０は、ホルダ１１と、ホルダ１１の下方に設けられたステージ６１とを備えている。ステージ６１は、公知のＸＹＺステージであり、ホルダ１１及びホルダ１１に取り付けられた接合レンズ１１０（後述）を、光源部２０及び受光部３０に対して相対移動させることができる。
【００４９】
図７は、本実施形態における被検物である接合レンズ１１０を示す図である。一対のレンズ部材１０１がフランジ１０１Ｃを有する点は接合レンズ１００と同様であるが、接合レンズ１１０においては、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４が、フランジ１０１Ｃの全周にわたって連続して形成されている。
【００５０】
上述の測定装置５１を用いて接合レンズ１１０の接着層１０２の厚さを測定する際の流れについて説明する。
ステップＳ１０において、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４がレンズ部材１０１のフランジ１０１Ｃの平面１０１Ｂ側の面に全周にわたって形成されて接合レンズ１１０が形成される。
【００５１】
続いて、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４上の一領域（第１の領域）に白色光Ｌ１が照射され、ステップＳ２０からステップＳ４０の各工程が第１実施形態と同様に行われ、当該領域における接着層１０２の厚さが算出される。
【００５２】
次に、ユーザは、第１の領域と接合レンズ１１０の中心からの距離が同一となる他の領域（第２の領域）を設定し、光源部２０、受光部３０、及びステージ６１を調節して、当該第２の領域に白色光Ｌ１を照射し、第１の領域と同様の手順で接着層１０２の厚さを測定する。
【００５３】
さらに、ユーザは、第１の領域と接合レンズ１１０の中心からの距離が同一となる他の領域（第３の領域）を設定し、第２の領域と同様の操作によって、接着層１０２の厚さを算出する。
【００５４】
３つの領域における接着層１０２の厚さが計測できたところで、ユーザは各領域における厚さを比較し、接着層１０２全体の均一性が所望の範囲内にあるかどうかを判定して（判定工程）、一連の工程を終了する。
上述の判定工程においては、３箇所以上の厚さデータに基づいて、接着層１０２の界面の推定形状を算出させ、この平坦度を評価することによって接着層の均一性が判定されてもよい。また、この場合、必ずしも厚さを測定する領域すべてが接合レンズ１１０の中心から等距離に位置していなくてもよい。
【００５５】
本実施形態の厚さ測定方法においても、レンズ部材１０１と屈折率差の小さい接着層１０２の厚さを正確に計測することができる。また、複数箇所の接着層１０２の厚さが測定され、これらが判定工程で比較等されることによって、選択された箇所における接着層１０２の厚さに加えて、接着層１０２全体としての均一性についても評価することができる。したがって、より高精度に接着層１０２の評価を行い、接合レンズ１１０等の接合体の品質をより好適に管理することができる。
【００５６】
また、接合レンズ１１０においては、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４がフランジ１０１Ｃの全周にわたって連続して形成されているので、保持部６０に取り付ける際に、周方向の位置合わせをする必要がなく、光源部２０等との位置合わせを容易に行うことができ、第１の領域と中心から等距離にある第２及び第３の領域の設定も容易に行うことができる。また、接合レンズ１１０の製造時においても、一対のレンズ部材１０１を接合する際に、ハーフミラー層１１３と反射層１１４との周方向における位置合わせをする必要がなく、接合レンズの製造効率を向上させることができる。
【００５７】
さらに、測定装置５１においては、保持部６０にステージ６１が設けられているので、光源部２０や受光部３０のみを動かして位置合わせを行うのに比べて、白色光Ｌ２の照射位置の位置合わせがより容易となる。
【００５８】
本実施形態では、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４の３つの領域の厚さが測定される例を説明したが、測定箇所の数は判定方法、要求精度等を考慮してユーザが適宜設定してよい。
また、保持部がホルダ１１を軸線回りに回転可能な駆動部を有し、かつ当該駆動部の回転軸とホルダ１１に取り付けられた被検物の中心軸との軸合わせが可能に構成されると、軸合わせの後、ホルダ１１及び接合体を回転させるだけで、第１の領域と等距離の第２、第３の領域等に容易に位置合わせを行うことができる。
【００５９】
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述の各実施形態においては、接合体としての接合レンズの有効径の外側にフランジを有し、光軸方向においてフランジと重畳するように反射層としてのハーフミラー層及び反射層が設けられる例を説明したが。本発明の接合体はこれには限定されない。一例として、接合されるレンズ部材の有効径を必要な値よりも大きく設定し、ハーフミラー層及び反射層を必要な有効径の外側に位置するように形成することによって、接合レンズとしては所望の有効径を確保しつつ、反射層が球面の一部と光軸方向において重畳するように設けられてもよい。
【００６０】
また、接合体も、上述の接合レンズには限定されず、互いの屈折率差が小さい複数の部材及び接着層からなる接合体であれば、適宜位置を調節して反射層を設けることによって、本発明の厚さ測定方法を適用可能な接合体とすることが可能である。このような例としては、カメラに使用する、ＣＣＤとローパスフィルタとの接合体等を挙げることができる。
【００６１】
さらに、上述の各実施形態では、接合レンズの反射層の一方がハーフミラー層であり、他方が反射層である例を説明したが、測定光の光量等を調節して十分な光量の反射光が取得できるようにすれば、すべての反射層がハーフミラー層で構成されてもよい。このようにすると、一対のレンズ部材に同一の反射層を形成すればよいため、部品点数が減少して製造効率が向上されるとともに、測定装置に設置する際もいずれの面を上側にするかについて考慮する必要がないので、さらに効率よく測定を行うことができる。
【符号の説明】
【００６２】
１００、１１０  接合レンズ（接合体）
１０１  レンズ部材
１０２  接着層
１０３、１１３  ハーフミラー層（第１の反射層）
１０４、１１４  反射層（第２の反射層）
Ｌ１  白色光（測定光）
Ｒ１、Ｒ２  反射光
Ｓ１０  反射層形成工程
Ｓ２０  測定光照射工程
Ｓ３０  反射光取得工程
Ｓ４０  反射光解析工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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