(57)【要約】【課題】排ガス処理装置の圧力計への反応生成物の付着を抑制する。【解決手段】排ガス処理装置１００は、処理室（例えば、反応室１）の排気側に接続される排気配管２を有し、排気配管２の一部の区間は、複数系統に分岐された分岐区間３を構成している。分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂには、排気に含まれる反応生成物を捕集するトラップ４ａ、４ｂと、トラップ４ａ、４ｂの下流側に位置する圧力計５ａ、５ｂと、が設けられている。圧力計５ａ、５ｂの更に下流側には、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂのうちの何れか選択された系統が排気を通す現用系となる一方で、その他の系統が排気を通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うための切替部（例えば、切替バルブ６ａ、６ｂ）が設けられている。【選択図】図１
2010278182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室の排気側に接続される排気配管を有し、
前記排気配管の一部の区間は、複数系統に分岐された分岐区間を構成し、
前記分岐区間の各々の系統には、
排気ガスに含まれる反応生成物を捕集するトラップと、
前記トラップの下流側に位置する圧力計と、
が設けられ、
前記圧力計の更に下流側には、前記分岐区間の各々の系統のうちの何れか選択された系統が排気ガスを通す現用系となる一方で、その他の系統が排気ガスを通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うための切替部が設けられていることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項２】
前記切替部は、前記分岐区間の各々の系統に設けられている切替バルブであることを特徴とする請求項１に記載の排ガス処理装置。
【請求項３】
前記切替部の動作制御を行う制御部を更に備え、
前記制御部は、
前記待機系に設けられている前記圧力計による検出値が所定の閾値以上となった場合に、前記現用系を通した排気が停止される一方で、それまで前記待機系となっていた系統からの排気が開始されるように、前記切替部による排気系統の切り替えを行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の排ガス処理装置。
【請求項４】
前記排気配管における前記分岐区間の上流側に、前記処理室からのガス排気を行う排気ポンプが設けられていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の排ガス処理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の排ガス処理装置の前記待機系の前記圧力計による検出値が所定の閾値以上となった場合に、前記現用系を通した排気が停止される一方で、それまで前記待機系となっていた系統からの排気が開始されるように、前記切替部による排気系統の切り替えを行うことを特徴とする排ガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガス処理装置及び排ガス処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置、或いはドライエッチング装置といった半導体製造装置などには、処理室からガス排気を行う排ガス処理装置が設けられている。
【０００３】
処理室からの排気ガスには、反応ガスが含まれているため、排気配管或いは排気ポンプ内などに反応生成物が次第に析出し堆積することによって、排気配管が閉塞したり排気ポンプが故障したりして、好適に排気を行うことができなくなる。このような事態の発生を抑制するために、一般に、排気配管には反応生成物を捕集するトラップが設けられる。
【０００４】
しかし、このトラップが閉塞すると、やはり、排気を好適に行うことができなくなる。このため、排気配管には、トラップの閉塞を検出するための圧力計が設けられ、この圧力計による検出値に基づいてトラップの閉塞を検出できるように、排ガス処理装置は構成されている。なお、トラップが閉塞した場合には、トラップをメンテナンス或いは交換する。
【０００５】
特許文献１の真空排気装置の場合、反応生成物のトラップ（特許文献１では排ガス処理装置と記載）の上流側に圧力計が設けられている。特許文献２の排気処理装置の場合も同様に、反応生成物のトラップ（サイクロン、メンブレンフィルタ、ディプスフィルタ、及びケミカルトラップ）の上流側に圧力計が設けられている。
【０００６】
特許文献３の図１３には、一の処理室からの排気路を２系統に分岐させ、その各々にトラップを設け、切替バルブによって２系統の排気路への排気ガスの導入切り替えを行うように構成した排気ガス処理機構が記載されている。特許文献３には、この構成により、一方のトラップのメンテナンスを実施中に、他方のトラップ装置を使用して反応生成物の捕集を行うことができ、処理効率を向上させることができる旨の記載がある。特許文献４、５、６にも、特許文献３と同様の技術が記載されている。なお、特許文献３〜６には、トラップの閉塞の検出については記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−８３５２４号公報
【特許文献２】特開平１−１３９１２７号公報
【特許文献３】特開２００７−２０８０４２号公報
【特許文献４】特開２００３−０４５８６１号公報
【特許文献５】特開平８−１７６８２９号公報
【特許文献６】特開２００５−３５３７９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１、２の技術では、トラップの閉塞を検出するための圧力計に反応生成物が付着することにより、圧力計の検出ポートが閉塞したり、或いは、圧力計のゼロ点がシフトしたりすることによる圧力計の誤作動を招いたりすることがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、処理室の排気側に接続される排気配管を有し、前記排気配管の一部の区間は、複数系統に分岐された分岐区間を構成し、前記分岐区間の各々の系統には、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集するトラップと、前記トラップの下流側に位置する圧力計と、が設けられ、前記圧力計の更に下流側には、前記分岐区間の各々の系統のうちの何れか選択された系統が排気ガスを通す現用系となる一方で、その他の系統が排気ガスを通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うための切替部が設けられていることを特徴とする排ガス処理装置を提供する。
【００１０】
この排ガス処理装置によれば、切替部により、分岐区間の各々の系統のうちの何れか選択された系統が排気ガスを通す現用系となる一方で、その他の系統が排気ガスを通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うことができる。また、そのような切り替え動作を行う切替部が圧力計の更に下流側に設けられているので、現用系のトラップが閉塞した場合には、待機系の圧力計による検出値が高まるため、待機系の圧力計により、現用系のトラップの閉塞を検出することができる。そして、トラップの閉塞を検出するための圧力計がトラップの下流側に配置されているので、圧力計の検出ポートへの反応生成物の侵入及び付着を抑制することができる。よって、圧力計の検出ポートが閉塞したり、或いは、圧力計のゼロ点がシフトしたりすることによる圧力計の誤作動を抑制することができる。加えて、切替バルブもトラップの下流側に配置されていることにより、切替バルブへの反応生成物の付着を抑制することができるので、切替バルブのシール性能（密閉性能）の劣化、並びに、動作不良を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明は、本発明の排ガス処理装置の前記待機系の前記圧力計による検出値が所定の閾値以上となった場合に、前記現用系を通した排気が停止される一方で、それまで前記待機系となっていた系統からの排気が開始されるように、前記切替部による排気系統の切り替えを行うことを特徴とする排ガス処理方法を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、排ガス処理装置の圧力計への反応生成物の付着を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態に係る排ガス処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】第２の実施形態に係る排ガス処理装置の構成を示すブロック図である。
【図３】第３の実施形態に係る排ガス処理装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。
【００１５】
〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係る排ガス処理装置１００の構成を示すブロック図である。
【００１６】
本実施形態に係る排ガス処理装置１００は、処理室（例えば、反応室１）の排気側に接続される排気配管２を有し、排気配管２の一部の区間は、複数系統に分岐された分岐区間３を構成し、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂには、排気に含まれる反応生成物を捕集するトラップ４ａ、４ｂと、トラップの下流側に位置する圧力計５ａ、５ｂと、が設けられ、圧力計５ａ、５ｂの更に下流側には、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂのうちの何れか選択された系統が排気を通す現用系となる一方で、その他の系統が排気を通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うための切替部（例えば、切替バルブ６ａ、６ｂ）が設けられている。
また、本実施形態に係る排ガス処理方法では、本実施形態に係る排ガス処理装置１００の待機系の圧力計（例えば、圧力計５ｂ）による検出値が所定の閾値以上となった場合に、現用系を通した排気が停止される一方で、それまで待機系となっていた系統（例えば、系統３ｂ）からの排気が開始されるように、切替部（例えば、切替バルブ６ａ、６ｂ）による排気系統の切り替えを行う。
以下、詳細に説明する。
【００１７】
先ず、構成を説明する。
【００１８】
図１に示すように、第１の実施形態に係る排ガス処理装置１００は、例えば、ＣＶＤ装置或いはその他の半導体製造装置（全体図示略）の反応室（処理室）１からのガス排気を行う装置であり、排気配管２と、排気ポンプとしての真空ポンプ７と、トラップ４ａ、４ｂと、圧力計５ａ、５ｂと、切替バルブ６ａ、６ｂと、制御部１０と、を備えて構成されている。
【００１９】
排気配管２は、反応室１の排気側に接続されている。この排気配管２の一部の区間は、複数系統（本実施形態の場合、例えば、２つの系統３ａ、３ｂ）に分岐された分岐区間３を構成している。
【００２０】
分岐区間３の２つの系統３ａ、３ｂのうちの一方の系統３ａには、排気に含まれる反応生成物を捕集するトラップ４ａと、トラップ４ａの下流側に位置する圧力計５ａと、が設けられている。
【００２１】
同様に、分岐区間３の２つの系統３ａ、３ｂのうちの他方の系統３ｂには、反応生成物を捕集するトラップ４ｂと、トラップ４ｂの下流側に位置する圧力計５ｂと、が設けられている。
【００２２】
系統３ａにおいて、圧力計５ａの更に下流側には、切替バルブ６ａが設けられている。同様に、系統３ｂにおいて、圧力計５ｂの更に下流側には、切替バルブ６ｂが設けられている。このように、本実施形態では、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂに切替バルブ６ａ、６ｂが設けられている。これら切替バルブ６ａ、６ｂにより、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂのうちの何れか選択された系統が排気ガスを通す現用系となる一方で、その他の系統が排気ガスを通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うことができるようになっている。なお、各切替バルブ６ａ、６ｂは、例えば、電磁バルブであり、制御部１０の制御下で動作する。
【００２３】
分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂは、例えば、切替バルブ６ａ、６ｂの更に下流側の合流点８において合流している。
【００２４】
真空ポンプ７は、反応室１からのガス排気を行う。この真空ポンプ７は、排気配管２において、例えば、分岐区間３の上流側に設けられている。真空ポンプ７により反応室１から排気されるガスは、排気配管２及び図示しない排気ダクトをこの順に介して排気される。
【００２５】
制御部１０には、圧力計５ａ、５ｂによる圧力の検出値が入力される。制御部１０は、これら入力される圧力の検出値に応じて、各切替バルブ６ａ、６ｂの動作制御を行う。なお、制御部１０は、例えば、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ：Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）により構成することができる。
【００２６】
次に、動作を説明する。
【００２７】
先ず、初期状態では、制御部１０の制御により、例えば、切替バルブ６ａ、６ｂのうち一方の切替バルブ（例えば、切替バルブ６ａ）が開、他方の切替バルブ（例えば、切替バルブ６ｂ）が閉となっている。これにより、例えば、系統３ａが排気ガスを通す現用系となり、系統３ｂが排気ガスを通さない待機系となっている。
【００２８】
この初期状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ａのトラップ４ａ及び切替バルブ６ａをこの順に通って、合流点８を経て、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この初期状態では、現用系となっている系統３ａのトラップ４ａが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００２９】
現用系となっている系統３ａのトラップ４ａが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ｂの圧力計５ｂによる圧力の検出値が次第に高くなる。
【００３０】
この検出値が所定の閾値（例えば、１５Ｔｏｒｒ（２ｋＰａ））以上となると、制御部１０は、現用系（系統３ａ）を通した排気が停止される一方で、それまで待機系となっていた系統（系統３ｂ）からの排気が開始されるように、切替バルブ６ａ、６ｂを切り替える。すなわち、制御部１０は、切替バルブ６ａを開から閉に、切替バルブ６ｂを閉から開に、それぞれ切り替える。この結果、それまで待機系であった系統３ｂが現用系となり、それまで現用系であった系統３ａが待機系となる。すなわち、この状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂ及び切替バルブ６ｂをこの順に通って、合流点８を経て、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この状態では、現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００３１】
現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ａの圧力計５ａによる圧力の検出値が次第に高くなるので、制御部１０は、系統３ｂのトラップ４ｂが閉塞したことを認識することができる。
【００３２】
以上のような第１の実施形態によれば、トラップ４ａ、４ｂの閉塞を検出するための圧力計５ａ、５ｂがトラップ４ａ、４ｂの下流側に配置されているので、圧力計５ａ、５ｂの検出ポートへの反応生成物の侵入及び付着を抑制できる。よって、圧力計５ａ、５ｂの検出ポートが閉塞したり、或いは、圧力計５ａ、５ｂのゼロ点がシフトしたりすることによる圧力計５ａ、５ｂの誤作動を抑制することができる。
【００３３】
また、切替バルブ６ａ、６ｂにより、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂのうちの何れか選択された系統が排気ガスを通す現用系となる一方で、その他の系統が排気ガスを通さない待機系となるように、排気系統の切り替えを行うことができるので、現用系と待機系の切替を行うことができる。
【００３４】
また、そのような切替動作を行う切替バルブ６ａ、６ｂが、圧力計５ａ、５ｂの更に下流側に設けられているので、待機系の圧力計（圧力計５ｂ、５ａの何れか一方）により、現用系のトラップ（トラップ４ａ、４ｂの何れか一方）の閉塞を検出することができる。
【００３５】
加えて、切替バルブ６ａ、６ｂもトラップ４ａ、４ｂの下流側に配置されていることにより、切替バルブ６ａ、６ｂへの反応生成物の付着を抑制することができるので、切替バルブ６ａ、６ｂのシール性能（密閉性能）の劣化、並びに、動作不良を抑制することができる。
【００３６】
また、切替部としての切替バルブ６ａ、６ｂの動作制御を行う制御部１０を備え、制御部１０は、待機系に設けられている圧力計（例えば、圧力計５ｂ）による検出値が所定の閾値以上となった場合に、現用系を通した排気が停止される一方で、それまで待機系となっていた系統（例えば、系統３ｂ）からの排気が開始されるように、切替バルブ６ａ、６ｂによる排気系統の切り替えを行うので、この切り替え動作を自動的に行うことができる。
【００３７】
また、排気配管２における分岐区間３の上流側に、反応室１からのガス排気を行う真空ポンプ７が設けられているので、現用系のトラップ（例えば、トラップ４ａ）が閉塞した場合に、待機系の圧力計（例えば、圧力計５ｂ）の検出値が上昇する構成を好適に実現でき、圧力計によるトラップの閉塞の検出を好適に行うことができる。
【００３８】
〔第２の実施形態〕
図２は第２の実施形態に係る排ガス処理装置２００の構成を示すブロック図である。
【００３９】
上記の第１の実施形態では、分岐区間３が２系統に分岐している例を説明したが、分岐区間３は３系統以上に分岐していても良い。第２の実施形態では、分岐区間３が３系統に分岐している例を説明する。
【００４０】
図２に示すように、第２の実施形態に係る排ガス処理装置２００の分岐区間３は、系統３ｃを更に備える点で、第１の実施形態に係る排ガス処理装置１００の分岐区間３と相違する。その他の点では、第２の実施形態に係る排ガス処理装置２００は、第１の実施形態に係る排ガス処理装置１００と同様に構成されている。
【００４１】
系統３ｃは、系統３ａ、３ｂと同様に構成されている。すなわち、系統３ｃには、排気に含まれる反応生成物を捕集するトラップ４ｃと、トラップ４ｃの下流側に位置する圧力計５ｃと、が設けられている。更に、系統３ｃにおいて、圧力計５ｃの下流側には、切替バルブ６ｃが設けられている。このように、本実施形態でも、分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂ、３ｃに切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃが設けられている。本実施形態の場合、これら切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃにより切替部が構成されている。なお、切替バルブ６ｃも、例えば、電磁バルブであり、制御部１０の制御下で動作する。
【００４２】
分岐区間３の各々の系統３ａ、３ｂ、３ｃは、例えば、切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃの更に下流側の合流点８において合流している。
【００４３】
制御部１０には、圧力計５ａ、５ｂ、５ｃによる圧力の検出値が入力される。制御部１０は、これら入力される圧力の検出値に応じて、各切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃの動作制御を行う。
【００４４】
次に、動作を説明する。
【００４５】
先ず、初期状態では、制御部１０の制御により、例えば、切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃのうち、例えば何れか１つの切替バルブ（例えば、切替バルブ６ａ）が開、その他の切替バルブ（例えば、切替バルブ６ｂ、６ｃ）が閉となっている。これにより、例えば、系統３ａが排気ガスを通す現用系となり、系統３ｂ、３ｃが排気ガスを通さない待機系となっている。
【００４６】
この初期状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ａのトラップ４ａ及び切替バルブ６ａをこの順に通って、合流点８を経て、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この初期状態では、現用系となっている系統３ａのトラップ４ａが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００４７】
現用系となっている系統３ａのトラップ４ａが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ｂ、３ｃの圧力計５ｂ、５ｃによる圧力の検出値が次第に高くなる。
【００４８】
例えば、このうち少なくとも何れか一方の検出値が所定の閾値（例えば、１５Ｔｏｒｒ（２ｋＰａ））以上となると、制御部１０は、現用系（系統３ａ）を通した排気が停止される一方で、それまで待機系となっていた系統（系統３ｂ、３ｃ）のうちの何れか１つの系統（例えば、系統３ｂ）からの排気が開始されるように、切替バルブ６ａ、６ｂを切り替える。すなわち、制御部１０は、切替バルブ６ａを開から閉に、切替バルブ６ｂを閉から開に、それぞれ切り替える。この結果、それまで待機系であった系統３ｂが現用系となり、それまで現用系であった系統３ａが待機系となる。すなわち、この状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂ及び切替バルブ６ｂをこの順に通って、合流点８を経て、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この状態では、現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００４９】
現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ａ、３ｃの圧力計５ａ、５ｃによる圧力の検出値が次第に高くなる。
【００５０】
例えば、このうち少なくとも何れか一方の検出値が所定の閾値（例えば、１５Ｔｏｒｒ（２ｋＰａ））以上となると、制御部１０は、現用系（系統３ｂ）を通した排気が停止される一方で、それまで待機系となっていた（それまで現用系となっていない）系統（系統３ｃ）からの排気が開始されるように、切替バルブ６ｂ、６ｃを切り替える。すなわち、制御部１０は、切替バルブ６ｂを開から閉に、切替バルブ６ｃを閉から開に、それぞれ切り替える。この結果、それまで待機系であった系統３ｃが現用系となり、それまで現用系であった系統３ｂが待機系となる。すなわち、この状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ｃのトラップ４ｃ及び切替バルブ６ｃをこの順に通って、合流点８を経て、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この状態では、現用系となっている系統３ｃのトラップ４ｃが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００５１】
現用系となっている系統３ｃのトラップ４ｃが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ａ、３ｂの圧力計５ａ、５ｂによる圧力の検出値が次第に高くなるので、制御部１０は、系統３ｃのトラップ４ｃが閉塞したことを認識することができる。
【００５２】
以上のような第２の実施形態によれば、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５３】
なお、分岐区間３における系統の数は、４つ以上であっても良いのは勿論である。また、上記の第２の実施形態では、１つずつの系統が順次に現用系となる例を説明したが、複数の系統が一度に現用系となるようにしても良い。例えば、上記の第２の実施形態において、初期状態で複数の系統（例えば、系統３ａ、３ｂ）が現用系、残りの系統（例えば、系統３ｃ）が待機系となるようにしても良い。或いは、上記の第２の実施形態において、現用系となっている１つの系統（例えば、系統３ａ）のトラップ（例えば、トラップ４ａ）が閉塞したことによりその系統を待機系に切り替える際に、それまで待機系であった複数の系統（例えば、系統３ｂ、３ｃ）を現用系に切り替えても良い。
【００５４】
〔第３の実施形態〕
図３は第３の実施形態に係る排ガス処理装置３００の構成を示すブロック図である。
【００５５】
上記の第１及び第２の実施形態では、分岐区間３の各々の系統に切替バルブが設けられている例を説明したが、本実施形態では、分岐区間３の終点である合流点８に複数方向の流路切替を行う切替バルブ９が設けられている例を説明する。
【００５６】
図３に示すように、第３の実施形態に係る排ガス処理装置３００は、切替バルブ６ａ、６ｂ（図１）を備えていない代わりに切替バルブ９を備えている点でのみ第１の実施形態に係る排ガス処理装置１００と相違し、その他の点では、第１の実施形態に係る排ガス処理装置３００と同様に構成されている。
【００５７】
切替バルブ９は、系統３ａ又は３ｂの排気ガスが選択的に下流側に流れるように、流路切替を行う。本実施形態の場合、この切替バルブ９により切替部が構成されている。なお、切替バルブ９は、例えば、電磁バルブであり、制御部１０の制御下で動作する。
【００５８】
次に、動作を説明する。
【００５９】
先ず、初期状態では、制御部１０の制御により、切替バルブ９は、例えば、系統３ａ、３ｂのうち系統３ａの排気ガスが選択的に下流側に流れる一方で、系統３ｂの排気ガスは下流側に流れないように、流路切替を行う。これにより、例えば、系統３ａが排気ガスを通す現用系となり、系統３ｂが排気ガスを通さない待機系となっている。
【００６０】
この初期状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ａのトラップ４ａと、合流点８の切替バルブ９と、をこの順に通って、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この初期状態では、現用系となっている系統３ａのトラップ４ａが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００６１】
現用系となっている系統３ａのトラップ４ａが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ｂの圧力計５ｂによる圧力の検出値が次第に高くなる。
【００６２】
この検出値が所定の閾値（例えば、１５Ｔｏｒｒ（２ｋＰａ））以上となると、制御部１０は、現用系（系統３ａ）を通した排気が停止される一方で、それまで待機系となっていた系統（系統３ｂ）からの排気が開始されるように、切替バルブ９を切り替える。すなわち、制御部１０は、系統３ｂの排気ガスが選択的に下流側に流れる一方で、系統３ａの排気ガスは下流側に流れなくなるような流路切替を切替バルブ９に行わせる。この結果、それまで待機系であった系統３ｂが現用系となり、それまで現用系であった系統３ａが待機系となる。すなわち、この状態では、反応室１から真空ポンプ７により排気された排気ガスは、現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂと、合流点８の切替バルブ９と、をこの順に通って、図示しない排気ダクトへ排気される。従って、この状態では、現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂが、排気ガスに含まれる反応生成物を捕集する。
【００６３】
現用系となっている系統３ｂのトラップ４ｂが次第に閉塞してくると、待機系となっている系統３ａの圧力計５ａによる圧力の検出値が次第に高くなるので、制御部１０は、系統３ｂのトラップ４ｂが閉塞したことを認識することができる。
【００６４】
以上のような第３の実施形態によれば、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる他、バルブの数を低減できる分だけ省スペース化が図れる。
【００６５】
なお、第３の実施形態の場合も、分岐区間３の系統の数が３つ以上であっても良い。
【００６６】
上記の各実施形態では、排ガス処理装置１００、２００、３００がＣＶＤ装置或いはその他の半導体製造装置の反応室１からのガス排気を行う例を説明したが、排ガス処理装置１００、２００、３００は、半導体製造装置の他の一例としてのドライエッチング装置の処理室からのガス排気を行うのであっても良いし、半導体製造装置以外の装置の処理室からのガス排気を行うのであっても良い。
【００６７】
また、上記の各実施形態では、切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃの切り替え動作を制御部１０が自動的に行う例を説明したが、オペレータが圧力計５ａ、５ｂ、５ｃによる検出値を確認して切替バルブ６ａ、６ｂ、６ｃの切り替えを手動で行うようにしても良い。
【００６８】
また、上記の各実施形態では、排気配管２における分岐区間３の上流側に、反応室１からのガス排気を行う真空ポンプ７が設けられている例を説明したが、分岐区間３の下流側に真空ポンプ７を設けても良い。この場合、例えば、反応室１にはガスが継続的に導入される一方で、該反応室１からガスが継続的に排気される構成とすることにより、現用系のトラップ（例えば、トラップ４ａ）が閉塞した場合に待機系の圧力計（例えば、圧力計５ｂ）の検出値が上昇する構成を実現でき、圧力計により現用系のトラップの閉塞を検出することができる。
【符号の説明】
【００６９】
１ 反応室（処理室）
２ 排気配管
３ 分岐区間
３ａ 系統
３ｂ 系統
３ｃ 系統
４ａ トラップ
４ｂ トラップ
４ｃ トラップ
５ａ 圧力計
５ｂ 圧力計
５ｃ 圧力計
６ａ 切替バルブ（切替部を構成する）
６ｂ 切替バルブ（切替部を構成する）
６ｃ 切替バルブ（切替部を構成する）
７ 真空ポンプ（排気ポンプ）
８ 合流点
９ 切替バルブ（切替部を構成する）
１０ 制御部
１００ 排ガス処理装置
２００ 排ガス処理装置
３００ 排ガス処理装置
【図１】
2010278182.tif 000003
【図２】
2010278182.tif 000004
【図３】
2010278182.tif 000005