(57)【要約】【課題】診断時における使用者の負担を軽減することができる。【解決手段】被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールを備える試験装置を診断する診断装置であって、複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する構成記憶部と、構成情報に基づいて、複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成する生成部と、複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する診断部と、を備える診断装置を提供する。【選択図】図３
2010175459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールを備える試験装置を診断する診断装置であって、
前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する構成記憶部と、
前記構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成する生成部と、
前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する前記診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する診断部と、
を備える診断装置。
【請求項２】
前記生成部は、前記構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれについて、発生する前記診断用信号と前記被試験デバイスが接続されるコネクタピンとの対応関係が記述されたパラメータファイルを生成し、
前記診断部は、前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、前記診断用信号を前記パラメータファイルに記述された対応するコネクタピンに与えられるように発生させる
請求項１に記載の診断装置。
【請求項３】
同一種類の１または複数の試験モジュールのグループを設定するグループ設定部を更に備え、
前記診断部は、設定されたグループ毎に、当該グループに含まれる１または前記複数の試験モジュールに同一の診断用信号を発生させる
請求項１から２の何れかに記載の診断装置。
【請求項４】
前記グループ設定部は、前記試験装置が同一種類の試験モジュールを予め定められた個数より多く備える場合には、当該種類の試験モジュールを予め定められた個数以下ずつ含む複数のグループを設定する
請求項３に記載の診断装置。
【請求項５】
前記診断部は、制御用コンピュータが診断プログラムを実行することにより実現され、
前記生成部は、前記診断プログラムを書き換えた場合には、書き換え後の診断プログラムを再コンパイルする
請求項１から４の何れかに記載の診断装置。
【請求項６】
前記生成部は、前記診断プログラムにおける前記試験モジュールの設定レジスタに書き込むべき設定値の記述を書き換えた場合に、書き換え後の診断プログラムを再コンパイルする
請求項５に記載の診断装置。
【請求項７】
前記生成部は、前記複数の試験モジュールのそれぞれについて、発生する前記診断用信号の信号名および論理値を指定する前記診断用パターンを記述したパターンファイル、並びに、前記複数の試験モジュールのそれぞれについて、発生する前記診断用信号の信号名および当該診断用信号を与えるコネクタピンのピン番号との対応関係が記述されたパラメータファイルを生成し、
前記診断部は、前記複数の試験モジュールのそれぞれについて、発生する前記診断用信号を、当該診断用信号の信号名に対応するピン番号のコネクタピンに与えられるように、前記パラメータファイルに基づき前記診断用パターンを書き換え、対応する前記試験モジュールに供給する
請求項２に記載の診断装置。
【請求項８】
被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールを備える試験装置を診断する診断方法であって、
前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成し、
前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する前記診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する
診断方法。
【請求項９】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、
前記複数の試験モジュールを診断する診断装置と
を備え、
前記診断装置は、
前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する構成記憶部と、
前記構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成する生成部と、
前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する前記診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する診断部と、
を備える試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験モジュールを診断する診断装置、診断方法および試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の試験モジュールを用いて、被試験デバイスを試験する試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。これらの試験モジュールは、入出力インターフェイスに互換性を有しており、着脱が自在である。従って、試験装置は、多数の種類の試験モジュールを用いて被試験デバイスを試験することができる。また、試験装置は、これらの試験モジュールが正常に動作できるか否かを診断する診断機能を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３１７２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、このような試験装置は、被試験デバイスの種類および同時測定数に応じて、装着される試験モジュールの種類が異なったり、数が異なったりする。従って、試験装置は、診断時において、装着された試験モジュールを１個ずつ順次に選択して、各スロットにどのような試験モジュールが挿入されているかを示す構成ファイルを参照して、選択した試験モジュールの種類を特定して、対応する診断を実行していた。
【０００５】
しかし、このように複数の試験モジュールを１個ずつ順次に選択して診断を行うのでは、全ての試験モジュールの診断が終了するまでに時間がかかってしまう。特に、多数の試験モジュールを試験装置に設けたときに、当該課題は顕著となる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールを備える試験装置を診断する診断装置であって、前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する構成記憶部と、前記構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成する生成部と、前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する前記診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する診断部と、を備える診断装置を提供する。
【０００７】
本発明の第２の態様においては、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールを備える試験装置を診断する診断方法であって、前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成し、前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する前記診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する診断方法を提供する。
【０００８】
本発明の第３の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを診断する診断装置とを備え、前記診断装置は、前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する構成記憶部と、前記構成情報に基づいて、前記複数の試験モジュールのそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成する生成部と、前記複数の試験モジュールのそれぞれに対して、対応する前記診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュールを診断する診断部と、を備える試験装置を提供する。
【０００９】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。
【図２】図２は、試験モジュール２０の機能構成を示す。
【図３】図３は、診断装置５０の機能構成を示す。
【図４】図４は、複数の試験モジュール２０を診断する場合の、各試験モジュール２０が動作している期間の一例を示す。
【図５】図５は、試験装置１０の構成の一例を示す。
【図６】図６は、試験装置１０のテストヘッド８０の概略の構成の一例を示す。
【図７】図７、図６のような構成の試験装置１０における、構成情報に記述された試験モジュール情報の一例を示す。
【図８】図８は、図６のような構成の試験装置１０における、構成情報に記述された接続関係の一例を示す。
【図９】図９は、診断用パターンの一例を示す。
【図１０】図１０は、パラメータファイルに記述された信号名の一例を示す。
【図１１】図１１は、パラメータファイルに記述された、診断用信号の信号名と、コネクタ８４のコネクタピン番号との対応関係の一例を示す。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態に係るコンピュータ１９００のハードウェア構成の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。試験装置１０は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する。試験装置１０は、バス１２と、複数の試験モジュール２０と、情報格納部３０と、制御用コンピュータ４０とを備える。
【００１３】
それぞれの試験モジュール２０は、試験装置１０に設けられるスロットに挿入される。それぞれの試験モジュール２０は、被試験デバイス２００と信号を受け渡すことで、被試験デバイス２００を試験する。より具体的には、それぞれの試験モジュール２０は、信号を受け渡す１または複数のピンが設けられ、それぞれのピンが被試験デバイス２００の何れかの端子と電気的に接続される。
【００１４】
また、それぞれの試験モジュール２０は、互いに異なる種類であってよい。例えば、ある一の試験モジュール２０は、被試験デバイス２００に所定の論理パターンを有する試験信号を供給する機能を有し、他の試験モジュール２０は、被試験デバイス２００に動作クロック、電源電力等を供給する機能を有する。試験装置１０は、これらの複数の試験モジュール２０を並行して動作させて、被試験デバイス２００を試験する。なお、試験装置１０は、一つの被試験デバイス２００を試験してもよいし、複数の被試験デバイス２００を並行して試験してもよい。
【００１５】
情報格納部３０は、当該試験装置１０が備える複数の試験モジュール２０のそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する。また、情報格納部３０は、制御用コンピュータ４０が実行するプログラム、試験パターンおよび診断用パターン等を記憶する。
【００１６】
制御用コンピュータ４０は、バス１２を介してそれぞれの試験モジュール２０を制御する。制御用コンピュータ４０は、被試験デバイス２００を試験する場合、試験プログラムを実行することにより、各試験モジュール２０による試験を制御する試験制御装置として機能する。
【００１７】
より具体的には、試験時において、制御用コンピュータ４０は、それぞれの試験モジュール２０に対して、命令シーケンスおよびパターンデータを含む試験パターンを供給して、当該試験パターンを実行させる。これにより、各試験モジュール２０は、被試験デバイス２００の対応する端子に試験パターンに応じた試験信号を供給して、被試験デバイス２００を試験することができる。
【００１８】
また、試験装置１０は、各試験モジュール２０が正常に動作するか否かを診断する機能を有する。試験モジュール２０の診断時において、制御用コンピュータ４０は、診断プログラムを実行することにより、各試験モジュール２０を診断する診断装置として機能する。
【００１９】
より具体的には、診断時において、試験装置１０は、被試験デバイス２００が取り外され、被試験デバイス２００に代えて診断用回路等が取り付けられる。診断用回路は、一例として、試験モジュール２０の何れかのピンから出力された信号を、当該試験モジュール２０または他の試験モジュール２０の何れかのピンに入力する。
【００２０】
診断用回路が取り付けられた状態において、制御用コンピュータ４０は、それぞれの試験モジュール２０に対して、命令シーケンスおよびパターンデータを含む診断用パターンを供給して、当該診断用パターンを実行させる。これにより、各試験モジュール２０は、当該試験モジュール２０のそれぞれのピンに対応して診断用パターンに応じた診断用信号を発生して、当該試験モジュール２０を自己診断させることができる。
【００２１】
図２は、試験モジュール２０の機能構成を示す。それぞれの試験モジュール２０は、試験部４２と、自己診断部４４と、設定レジスタ４６とを有する。
【００２２】
試験部４２は、被試験デバイス２００の所定の端子との間で信号を受け渡すことにより、被試験デバイス２００を試験する。試験部４２は、試験時において、制御用コンピュータ４０からバス１２を介して試験パターンが与えられる。試験部４２は、与えられた試験パターンを実行して、試験パターンに応じた試験信号を生成して被試験デバイス２００の指定された端子に供給する。
【００２３】
さらに、試験部４２は、試験パターンを実行して、試験パターンに応じた期待値と被試験デバイス２００が出力する応答信号とを比較して、被試験デバイス２００の良否を判定する。そして、試験部４２は、バス１２を介して、被試験デバイス２００の良否判定結果を制御用コンピュータ４０に通知する。
【００２４】
自己診断部４４は、診断用パターンを実行することにより、試験部４２が正常に動作するか否かを診断する。自己診断部４４は、診断時において、制御用コンピュータ４０からバス１２を介して診断用パターンが与えられる。試験部４２は、与えられた診断用パターンを実行して、診断用パターンに応じた診断用信号を生成して、当該試験モジュール２０の指定されたピンから出力する。
【００２５】
さらに、自己診断部４４は、診断用パターンを実行して、診断用パターンに応じた診断用期待値と試験モジュール２０の何れかのピンから出力される信号とを比較して、試験部４２が正常に動作しているか否かを判定する。そして、自己診断部４４は、バス１２を介して、判定結果を制御用コンピュータ４０に通知する。
【００２６】
設定レジスタ４６は、試験時または診断時において、制御用コンピュータ４０からバス１２を介して当該試験モジュール２０に設定される設定値を格納する。設定レジスタ４６は、一例として、発生する信号の電圧値、電流値または発生する信号の周波数等の設定値がバス１２が与えられる。試験部４２および自己診断部４４は、設定レジスタ４６に記憶された各設定値に応じた試験信号および診断用信号を発生する。
【００２７】
なお、本実施形態において、試験部４２および自己診断部４４は、共通のハードウェアにより実現される。即ち、試験モジュール２０内のシーケンサが試験パターンを実行することにより、当該試験モジュール２０内の各ハードウェアが試験部４２として機能する。また、試験モジュール２０内のシーケンサが診断用パターンを実行することにより、当該試験モジュール２０内の各ハードウェアが自己診断部４４として機能する。
【００２８】
図３は、診断装置５０の機能構成を示す。診断時において、制御用コンピュータ４０および情報格納部３０は、図３に示されるような、当該試験装置１０を診断する診断装置５０として機能する。診断装置５０は、構成記憶部５２と、パターン記憶部５４と、グループ設定部５６と、自動生成プログラム記憶部５８と、生成部６０と、パターンファイル記憶部６２と、パラメータファイル記憶部６４と、診断プログラム記憶部６６と、診断部７０とを備える。
【００２９】
構成記憶部５２は、当該試験装置１０が備える複数の試験モジュール２０のそれぞれの種類および接続関係が記述された構成情報を記憶する。構成情報は、当該試験装置１０に装着される試験モジュールが追加、取り外しおよび交換等される毎に、使用者等により更新される。
【００３０】
構成情報には、一例として、接続関係として、複数の試験モジュール２０のそれぞれについて、当該試験モジュール２０と制御用コンピュータ４０と接続するバス１２の番号、および、当該試験モジュール２０が装着されたスロットの番号が記述される。さらに、構成情報には、一例として、複数の試験モジュール２０のそれぞれの接続関係として、当該試験モジュール２０のそれぞれのモジュールピンの番号と、それぞれのモジュールピンに電気的に接続されたコネクタのコネクタピンの番号とが記述される。なお、それぞれのコネクタピンは、被試験デバイス２００の端子に電気的に接続される。
【００３１】
パターン記憶部５４は、試験モジュール２０を診断するための診断用パターンを、試験モジュール２０の種類毎に記憶する。パターン記憶部５４に記憶された診断用パターンは、例えば、試験モジュール２０の製作者等により作成される。パターン記憶部５４は、当該試験装置１０に装着された試験モジュール２０のみならず、今後装着される予定の種類の試験モジュール２０の診断用パターンを更に記憶してもよい。
【００３２】
グループ設定部５６は、当該試験装置１０が備える複数の試験モジュール２０に対して、並行して診断するための同一種類の１または複数の試験モジュール２０のグループを設定する。なお、当該診断装置５０が並行して診断ができる試験モジュール２０の数の上限が予め定められており、当該試験装置１０が同一種類の試験モジュール２０をこの予め定められた個数より多く備える場合には、グループ設定部５６は、当該種類の試験モジュール２０を予め定められた個数以下ずつ含む複数のグループを設定する。
【００３３】
自動生成プログラム記憶部５８は、パターンファイルおよびパラメータファイルを生成するための自動生成プログラムを記憶する。制御用コンピュータ４０は、診断に先だって、自動生成プログラムを読み出して実行する。
【００３４】
生成部６０は、制御用コンピュータ４０が自動生成プログラムを実行することにより実現される。生成部６０は、構成情報およびパターン記憶部５４に記憶された診断用パターンに基づいて、複数の試験モジュール２０のそれぞれを診断するための診断用パターンを記述したパターンファイルを生成する。さらに、生成部６０は、構成情報に基づいて、複数の試験モジュール２０のそれぞれについて、発生する診断用信号と被試験デバイス２００が接続されるコネクタピンとの対応関係が記述されたパラメータファイルを生成する。
【００３５】
生成部６０は、一例として、グループ設定部５６により設定されたグループ毎に、パターンファイルおよびパラメータファイルを生成する。生成部６０は、生成したパターンファイルをパターンファイル記憶部６２に記憶させる。また、生成部６０は、生成したパラメータファイルをパラメータファイル記憶部６４に記憶させる。
【００３６】
診断プログラム記憶部６６は、当該試験装置１０に備えられた複数の試験モジュール２０を診断するための診断プログラムを記憶する。制御用コンピュータ４０は、診断時において、診断プログラムを実行する。
【００３７】
診断部７０は、制御用コンピュータ４０が診断プログラムを実行することにより実現される。診断部７０は、複数の試験モジュール２０のそれぞれに対して、対応する診断用パターンに応じた診断用信号を発生させて、それぞれの試験モジュール２０を診断する。この場合において、診断部７０は、複数の試験モジュール２０のそれぞれに対して、それぞれの診断用信号をパラメータファイルに記述された対応するコネクタピンに与えられるように発生させる。
【００３８】
また、診断部７０は、グループ設定部５６により設定されたグループ毎に診断プログラムを繰り返して実行して、設定されたグループ毎に、当該グループに含まれる１または複数の試験モジュール２０に同一の診断用信号を発生させる。例えば、診断部７０は、パターンファイル記憶部６２に記憶されたパターンファイルおよびパラメータファイル記憶部６４に記憶されたパラメータファイルを読み出す。
【００３９】
続いて、診断部７０は、グループ内のそれぞれの試験モジュール２０毎に、読み出したパターンファイルおよびパラメータファイルに基づき、当該試験モジュール２０に対応する診断用パターンを生成する。より具体的には、診断部７０は、それぞれの試験モジュール２０毎に、当該試験モジュール２０から発生されるそれぞれの診断用信号がパラメータファイルに記述された対応するコネクタピンに与えられるように、読み出したパターンファイルから必要な診断用パターンを選択および並べ替え等をする。
【００４０】
続いて、診断部７０は、複数の試験モジュール２０のそれぞれに、対応する診断用パターンを供給する。続いて、診断部７０は、複数の試験モジュール２０のそれぞれの設定レジスタ４６に、設定値を供給する。そして、診断部７０は、複数の試験モジュール２０のそれぞれに実行開始命令を与えて、自己診断を開始させる。
【００４１】
図４は、複数の試験モジュール２０を診断する場合の、各試験モジュール２０が動作している期間の一例を示す。図４では、ＡからＫの試験モジュール２０を用いて説明するが、試験モジュール２０の個数は、図４に示す個数に限定されない。
【００４２】
制御用コンピュータ４０は、同一の診断用パターンを用いる試験モジュール２０について、並行して当該診断用パターンを生成し、生成した診断用パターンを供給して実行させる。例えば、制御用コンピュータ４０は、設定されたグループ単位で、複数の試験モジュール２０の診断用パターンを生成し、生成した診断用パターンを供給して実行させる。
【００４３】
続いて、制御用コンピュータ４０は、それぞれの試験モジュール２０へ診断用パターンを供給した後に、診断用パターンの実行開始命令を与える。そして、制御用コンピュータ４０は、それぞれの試験モジュール２０において診断用パターンの実行が完了した後、診断結果をそれぞれの試験モジュール２０から取得する。
【００４４】
以上のような診断装置５０によれば、複数の試験モジュール２０を並行して診断させることができるので、診断時間を短くすることができる。さらに、診断装置５０は、構成情報を基に、パターンファイルおよびパラメータファイルを自動生成するので、試験装置１０が備える試験モジュール２０の構成が変わる毎にパターンファイルおよびパラメータファイルを使用者が作成しなくてよく、使用者の負担を軽減することができる。さらに、診断装置５０によれば、試験モジュール２０の種類および接続関係を変更する毎に、診断プログラムを再コンパイルする必要がなくなり、使用者の負担を軽減することができる。
【００４５】
なお、生成部６０は、構成情報の変更に応じて、診断プログラム記憶部６６に記憶された診断プログラムを書き換えてもよい。例えば、生成部６０は、試験モジュール２０が発生する診断用信号の電圧値、電流値および周波数等の設定値を書き換えることを目的として、診断プログラムにおける設定レジスタ４６に書き込むべき設定値の記述を書き換えてもよい。このような場合には、生成部６０は、書き換え後の診断プログラムを再コンパイルする。これにより、診断装置５０は、ユーザによる操作負担を軽減することができる。
【００４６】
また、生成部６０は、他の目的で診断プログラムが書き換えられた場合においても、診断プログラムを再コンパイルする。例えば、１種類の試験モジュール２０を診断する内容から複数種類の診断モジュール２０を診断する内容に書き換えられた場合、または、パラメータファイルを参照して診断対象の試験モジュール２０の種類を認識して診断プログラムを書き換える場合に、生成部６０は、書き換え後の診断プログラムを再コンパイルする。
【００４７】
図５は、試験装置１０の構成の一例を示す。試験装置１０は、１個の被試験デバイス２００（ＤＵＴ）に対して、複数個の試験モジュール２０が接続される構成であってよい。例えば、試験装置１０は、１個の被試験デバイス２００に対して、複数種類（図５の例においては、Ａ，Ｂ，Ｃの３種類）の試験モジュール２０が接続される構成であってよい。
【００４８】
さらに、試験装置１０は、複数の被試験デバイス２００を並行して試験する構成であってよい。すなわち、試験装置１０は、複数の被試験デバイス２００のそれぞれ毎に、複数種類の被試験デバイス２００が接続される構成であってよい。この場合、制御用コンピュータ４０は、試験時において、複数種類の試験モジュール２０を同時に並行して動作させる試験プログラムを実行する。
【００４９】
このような構成の試験装置１０の診断においては、診断装置５０は、診断用パターンを試験モジュール２０の種類毎に順次に生成して供給する。そして、診断装置５０は、診断用パターンの実行開始命令を複数種類の試験モジュール２０に同時に与えて、複数種類の試験モジュール２０を同時に並行して動作させる。これにより、診断装置５０は、試験時と同様の試験環境を用いて、複数種類の試験モジュール２０を並列して動作させた診断を容易に実現することができる。
【００５０】
また、試験装置１０は、複数の制御用コンピュータ４０を備える構成であってよい。このような場合、複数の制御用コンピュータ４０のそれぞれが診断装置５０を実現することができる。従って、このような試験装置１０によれば、制御用コンピュータ４０が１個の場合と比較して、当該試験装置１０が並行して診断可能な試験モジュール２０の数を増やすことができ、また、診断装置５０において実行される処理を高速化することができる。
【００５１】
図６は、試験装置１０のテストヘッド８０の概略の構成の一例を示す。試験装置１０は、テストヘッド８０を備える。
【００５２】
テストヘッド８０には、パフォーマンスボード８２が取り付けられる。パフォーマンスボード８２には、試験時において、被試験デバイス２００が装着される。
【００５３】
パフォーマンスボード８２には、例えば被試験デバイス２００が装着される面とは反対側の面に、少なくとも１つのコネクタ８４が設けられる。それぞれのコネクタ８４は、複数のコネクタピンを有する。各コネクタピンは、パフォーマンスボード８２内の配線を介して、被試験デバイス２００の何れかの端子と電気的に接続される。
【００５４】
また、テストヘッド８０は、試験モジュール２０が挿入される複数のスロット８６を有する。それぞれのスロット８６は、挿入された試験モジュール２０のいずれかのピンと接続される複数のモジュールピンを有する。
【００５５】
このようなテストヘッド８０において、試験モジュール２０が挿入された各スロットが有する各モジュールピンは、何れかのコネクタ８４の何れかのコネクタピンに、ケーブルを介して電気的に接続される。これにより、試験モジュール２０によれば、被試験デバイス２００との間で信号をやり取りして、被試験デバイス２００を試験することができる。
【００５６】
また、テストヘッド８０内の各試験モジュール２０は、異なるバス番号のバス１２を介して制御用コンピュータ４０と接続される。制御用コンピュータ４０は、バス番号を指定して試験モジュール２０にアクセスすることにより、指定した試験モジュール２０を制御することができる。
【００５７】
図７および図８は、図６のような構成の試験装置１０における、構成情報の一例を示す。構成情報には、試験装置１０に装着された複数の試験モジュール２０のそれぞれ毎に、試験モジュール情報が記述される。
【００５８】
構成情報には、図７に示されるように、一例として、当該試験モジュール２０を製造したベンダのＩＤ、当該試験モジュール２０の種類、および、当該試験モジュール２０が接続されたバス１２のバス番号のそれぞれ毎に分類された試験モジュール情報が記述されている。各試験モジュール情報には、当該試験モジュール２０のシリアル番号、当該試験モジュール２０の版数、ハードウェア版数、当該試験モジュール２０が接続されているコネクタ８４の番号、当該試験モジュール２０の名称、当該試験モジュール２０が挿入されているスロット８６の番号が記述されている。
【００５９】
制御用コンピュータ４０は、このような構成情報を参照することにより、それぞれのバス番号のバス１２に接続されている試験モジュール２０の種類を判別することができる。また、制御用コンピュータ４０は、このような構成情報を参照することにより、当該試験モジュール２０が接続されているスロット８６の番号、および、当該試験モジュール２０が電気的に接続されているコネクタ８４の番号を判別することができる。
【００６０】
また、構成情報には、図８に示されるように、それぞれのスロット８６のモジュールピン番号と、それぞれのコネクタ８４のコネクタ番号との接続関係が記述されている。より具体的には、構成情報には、試験モジュール２０が接続されたバス番号およびモジュールピン番号を組み合わせた値（ＭｏｄｕｌｅＰｉｎ）と、コネクタ８４のコネクタ番号およびコネクタピン番号を組み合わせた値（ＣｏｎｎｅｃｔｏｒＰｉｎ）とが対応付けて記述されている。制御用コンピュータ４０は、このような構成情報を参照することにより、試験モジュール２０のそれぞれのピンが、被試験デバイス２００の何れの端子に接続されているかを判別することができる。
【００６１】
図９は、パターンファイル記憶部６２に記憶される診断用パターンの一例を示す。診断用パターンには、順次に実行される複数の命令の列を含む命令シーケンスが記述される。命令シーケンスは、一例として、次の命令に実行を進めるＮＯＰ、所定の位置の命令に実行を戻すＪＡＭＰ、命令の実行を終了するＥＸＩＴ等の命令を含む。
【００６２】
また、診断用パターンには、命令シーケンスの各命令に対応する、パターンデータが記述される。パターンデータは、発生する診断用信号の信号名および発生する診断用信号の論理値、並びに、発生する診断用信号の周波数を含む。
【００６３】
図９の例においては、Ｖに続くカッコ｛｝内に、発生する診断用信号の信号名および論理値が指定されている。また、Ｗに続くカッコ｛｝内に、発生する診断用信号の周波数が指定されている。なお、周波数が指定されていない命令は、前の命令における周波数が引き継がれる。
【００６４】
図９の例において、"ａｂｕｓ"、"ｂｂｕｓ"、"ｄｉｒ"および"ｅｎ"のそれぞれは、診断用信号の信号名を示す。"ａｂｕｓ"および"ｂｂｕｓ"は、８ビットの診断用信号を表わしており、それぞれのビットが被試験デバイス２００の端子に対応付けられている。また、"ｄｉｒ"および"ｅｎ"は、１ビットの診断用信号を表わしており、被試験デバイス２００の端子に対応付けられている。
【００６５】
信号名に続く値は、発生する論理値を表す。論理値は、例えば、１、０、Ｈ、Ｌ、Ｘ（不定）等である。それぞれの試験モジュール２０は、このような診断用パターンを実行することにより、当該試験モジュール２０の指定されたピンから診断用信号を発生することができる。
【００６６】
図１０および図１１は、パラメータファイル記憶部６４に記憶されるパラメータファイルの一例を示す。図１０に示されるように、パラメータファイルには、試験用パターンに記述された診断用信号の１ビット単位での信号名が記述される。
【００６７】
例えば、パラメータファイルには、８ビットの"ａｂｕｓ"の各ビットの信号名が、１ビット目から順に、"ａ８"、"ａ７"、"ａ６"、"ａ５"、"ａ４"、"ａ３"、"ａ２"、"ａ１"であることが記述される。また、８ビットの"ｂｂｕｓ"の各ビットの信号名が、１ビット目から順に、"ｂ８"、"ｂ７"、"ｂ６"、"ｂ５"、"ｂ４"、"ｂ３"、"ｂ２"、"ｂ１"であることが記述される。
【００６８】
なお、１ビット単位で信号名が記述された各信号は、それぞれが被試験デバイス２００の何れかの端子に対応付けられている。例えば、診断用パターンに、ａｂｕｓ＝"１０００００００"と記載されている場合には、信号ａ１に対応付けられた端子に、"１"が出力される。
【００６９】
また、図１１に示されるように、パラメータファイルには、当該試験装置１０に備えられた試験モジュール２０が発生するそれぞれの診断用信号の信号名と、当該診断用信号を与えるコネクタ８４のコネクタピン番号との対応関係が記述される。例えば、パラメータファイルには、１ビット単位の信号名と、対応するコネクタ番号およびコネクタピン番号とを組み合わせた値（ＣｏｎｎｅｃｔｏｒＰｉｎ）とが対応付けて記述される。
【００７０】
このようなパラメータファイルを参照して、診断部７０は、それぞれの試験モジュール２０毎に、診断用パターンを書き換えて対応する試験モジュール２０に供給する。より具体的には、診断部７０は、複数の試験モジュール２０のそれぞれについて、発生する診断用信号を、当該診断用信号の信号名に対応するピン番号のコネクタピンに与えられるように、パラメータファイルに基づき診断用パターンを書き換えて、対応する試験モジュール２０に供給する。
【００７１】
すなわち、診断部７０は、パラメータファイルに記述された信号名とコネクタピン番号との対応関係に従って、各試験モジュール２０から診断用信号が発生されるように、診断用パターンを書き換える。これにより、診断部７０によれば、それぞれの試験モジュール２０から、適切な診断用信号を発生させることができる。
【００７２】
図１２は、本実施形態に係るコンピュータ１９００のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係るコンピュータ１９００は、ホスト・コントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィック・コントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ２０８４によりホスト・コントローラ２０８２に接続される通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有するレガシー入出力部とを備える。
【００７３】
ホスト・コントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィック・コントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
【００７４】
入出力コントローラ２０８４は、ホスト・コントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェイス２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、コンピュータ１９００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。
【００７５】
また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、コンピュータ１９００が起動時に実行するブート・プログラム、及び／又は、コンピュータ１９００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０を入出力コントローラ２０８４へと接続すると共に、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を入出力コントローラ２０８４へと接続する。
【００７６】
ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介してコンピュータ１９００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。
【００７７】
コンピュータ１９００にインストールされ、コンピュータ１９００を診断装置５０として機能させるプログラムは、構成記憶モジュールと、パターン記憶モジュールと、グループ設定モジュールと、自動生成プログラム記憶モジュールと、生成モジュールと、パターンファイル記憶モジュールと、パラメータファイル記憶モジュールと、診断プログラム記憶モジュールと、診断モジュールと、を備える。これらのプログラム又はモジュールは、ＣＰＵ２０００等に働きかけて、コンピュータ１９００を、構成記憶部５２、パターン記憶部５４、グループ設定部５６、自動生成プログラム記憶部５８、生成部６０、パターンファイル記憶部６２、パラメータファイル記憶部６４、診断プログラム記憶部６６および診断部７０としてそれぞれ機能させる。
【００７８】
これらのプログラムに記述された情報処理は、コンピュータ１９００に読込まれることにより、ソフトウェアと上述した各種のハードウェア資源とが協働した具体的手段である構成記憶部５２、パターン記憶部５４、グループ設定部５６、自動生成プログラム記憶部５８、生成部６０、パターンファイル記憶部６２、パラメータファイル記憶部６４、診断プログラム記憶部６６および診断部７０として機能する。そして、これらの具体的手段によって、本実施形態におけるコンピュータ１９００の使用目的に応じた情報の演算又は加工を実現することにより、使用目的に応じた特有の診断装置５０が構築される。
【００７９】
一例として、コンピュータ１９００と外部の装置等との間で通信を行う場合には、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０上にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理内容に基づいて、通信インターフェイス２０３０に対して通信処理を指示する。通信インターフェイス２０３０は、ＣＰＵ２０００の制御を受けて、ＲＡＭ２０２０、ハードディスクドライブ２０４０、フレキシブルディスク２０９０、又はＣＤ−ＲＯＭ２０９５等の記憶装置上に設けた送信バッファ領域等に記憶された送信データを読み出してネットワークへと送信し、もしくは、ネットワークから受信した受信データを記憶装置上に設けた受信バッファ領域等へと書き込む。このように、通信インターフェイス２０３０は、ＤＭＡ（ダイレクト・メモリ・アクセス）方式により記憶装置との間で送受信データを転送してもよく、これに代えて、ＣＰＵ２０００が転送元の記憶装置又は通信インターフェイス２０３０からデータを読み出し、転送先の通信インターフェイス２０３０又は記憶装置へとデータを書き込むことにより送受信データを転送してもよい。
【００８０】
また、ＣＰＵ２０００は、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０（ＣＤ−ＲＯＭ２０９５）、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０（フレキシブルディスク２０９０）等の外部記憶装置に格納されたファイルまたはデータベース等の中から、全部または必要な部分をＤＭＡ転送等によりＲＡＭ２０２０へと読み込ませ、ＲＡＭ２０２０上のデータに対して各種の処理を行う。そして、ＣＰＵ２０００は、処理を終えたデータを、ＤＭＡ転送等により外部記憶装置へと書き戻す。このような処理において、ＲＡＭ２０２０は、外部記憶装置の内容を一時的に保持するものとみなせるから、本実施形態においてはＲＡＭ２０２０および外部記憶装置等をメモリ、記憶部、または記憶装置等と総称する。本実施形態における各種のプログラム、データ、テーブル、データベース等の各種の情報は、このような記憶装置上に格納されて、情報処理の対象となる。なお、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０の一部をキャッシュメモリに保持し、キャッシュメモリ上で読み書きを行うこともできる。このような形態においても、キャッシュメモリはＲＡＭ２０２０の機能の一部を担うから、本実施形態においては、区別して示す場合を除き、キャッシュメモリもＲＡＭ２０２０、メモリ、及び／又は記憶装置に含まれるものとする。
【００８１】
また、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０から読み出したデータに対して、プログラムの命令列により指定された、本実施形態中に記載した各種の演算、情報の加工、条件判断、情報の検索・置換等を含む各種の処理を行い、ＲＡＭ２０２０へと書き戻す。例えば、ＣＰＵ２０００は、条件判断を行う場合においては、本実施形態において示した各種の変数が、他の変数または定数と比較して、大きい、小さい、以上、以下、等しい等の条件を満たすかどうかを判断し、条件が成立した場合（又は不成立であった場合）に、異なる命令列へと分岐し、またはサブルーチンを呼び出す。
【００８２】
また、ＣＰＵ２０００は、記憶装置内のファイルまたはデータベース等に格納された情報を検索することができる。例えば、第１属性の属性値に対し第２属性の属性値がそれぞれ対応付けられた複数のエントリが記憶装置に格納されている場合において、ＣＰＵ２０００は、記憶装置に格納されている複数のエントリの中から第１属性の属性値が指定された条件と一致するエントリを検索し、そのエントリに格納されている第２属性の属性値を読み出すことにより、所定の条件を満たす第１属性に対応付けられた第２属性の属性値を得ることができる。
【００８３】
以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤ又はＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワーク又はインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１９００に提供してもよい。
【００８４】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００８５】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００８６】
１０  試験装置、１２  バス、２０  試験モジュール、３０  情報格納部、４０  制御用コンピュータ、４２  試験部、４４  自己診断部、４６  設定レジスタ、５０  診断装置、５２  構成記憶部、５４  パターン記憶部、５６  グループ設定部、５８  自動生成プログラム記憶部、６０  生成部、６２  パターンファイル記憶部、６４  パラメータファイル記憶部、６６  診断プログラム記憶部、７０  診断部、８０  テストヘッド、８２  パフォーマンスボード、８４  コネクタ、８６  スロット、２００  被試験デバイス、１９００  コンピュータ、２０００  ＣＰＵ、２０１０  ＲＯＭ、２０２０  ＲＡＭ、２０３０  通信インターフェイス、２０４０  ハードディスクドライブ、２０５０  フレキシブルディスク・ドライブ、２０６０  ＣＤ−ＲＯＭドライブ、２０７０  入出力チップ、２０７５  グラフィック・コントローラ、２０８０  表示装置、２０８２  ホスト・コントローラ、２０８４  入出力コントローラ、２０９０  フレキシブルディスク、２０９５  ＣＤ−ＲＯＭ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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