(57)【要約】【課題】圧電素子を駆動源として用いて新規なメカニズムにより動作する球面モータを提供する。【解決手段】ベース１２の表面には４個の支持台１４が円周方向に均等角度間隔に固定配置されている。各支持台１４には圧電素子１１がそれぞれ収容されている。各圧電素子１１は電圧の印加により長手方向に伸長する。各支持台１４の上部には凹所１６がそれぞれ形成されている。凹所１６には円柱状のローラ１８が上下方向に移動自在にそれぞれ横倒しで収容されている。ローラ１８は圧電素子１１の上に載置支持されている。４個のローラ１８上には大球２０の下面が四点支持されている。大球２０は板ばね３０、小球４８，スライド棒３８、コイルスプリング４６等で構成された弾性押圧部材により上側から支持されている。各圧電素子１１は矩形波、のこぎり波等により選択的に駆動される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
円周方向に相互に適宜の角度間隔を隔てて配置した状態に前記ベースに支持され、それぞれ電圧を印加することにより伸長し、該電圧の印加を解除することにより元の長さに戻る３以上の複数個の圧電素子と、
前記各圧電素子にそれぞれ支持されて該各圧電素子の伸長に応じて移動し、該圧電素子が元の長さに戻るのに応じて元の位置に戻る複数個の移動体と、
球面を有し該球面が前記複数個の移動体により複数点支持される球面体とを具備してなり、
前記各移動体が前記球面体を支持する位置で、該移動体の前記移動方向が該球面体の接線方向成分を含んでいる球面モータ。
【請求項２】
前記球面体を、前記複数個の移動体による複数点支持の中心の反対側から弾性押圧して支持する弾性押圧部材をさらに具備してなる請求項１記載の球面モータ。
【請求項３】
前記移動体がローラまたは球体である請求項１または２記載の球面モータ。
【請求項４】
前記複数個の移動体が４個の移動体を円周方向に均等角度間隔に配置したものである請求項１から３のいずれか１つに記載の球面モータ。
【請求項５】
前記４個の移動体を同一平面上に配置し、または４個の移動体を対向する対ごとに別々の平面上に配置してなる請求項４記載の球面モータ。
【請求項６】
前記複数個の圧電素子が繰り返し信号により個別に駆動される請求項１から５のいずれか１つに記載の球面モータ。
【請求項７】
前記繰り返し信号が矩形波またはのこぎり波である請求項６記載の球面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は圧電素子を駆動源として用いて新規なメカニズムにより動作する球面モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
球面モータは球面を有する球面体をその球面方向に回転駆動するモータである。圧電素子を駆動源として用いた球面モータとして下記特許文献１〜３に記載のものがあった。特許文献１記載の球面モータはベースを構成する弾性体に４本の突出部材を立設し、球体を該突出部材に四点支持し、該突出部材相互間の位置で弾性体に複数の圧電素子を配置し、これら複数の圧電素子を位相が異なる高周波で駆動することにより、弾性体に縦振動と屈曲振動を生じさせ、両振動の合成により球体を回転させるようにしたものである。
【０００３】
特許文献２記載の球面モータは球体（ロータ）を圧電素子がそれぞれ貼り付けられた３または４個のステータで包囲して支持し、各圧電素子に２相の高周波電圧を印加することにより各ステータの表面に進行波を生じさせて球体を回転させるようにしたものである。
【０００４】
特許文献３記載の球面モータは１個の圧電素子の上に摩擦材を介して球体を支持し、該圧電素子を交番信号で駆動して横方向に繰り返し屈曲させて球体に周方向の回転力を与え、このとき交番信号として、立ち上がりと立ち下がりのスピードが異なる信号を用いることにより、該交番信号の立ち上がりと立ち下がりで摩擦材と球体との滑りを異ならせ、もって球体を一方向に回転させるようにしたものである。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２１９９８０号公報
【特許文献２】特開平１１−８４５２６号公報
【特許文献３】特開２００６−２３８６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明は圧電素子を駆動源として用いて前記特許文献１〜３記載のものとは異なるメカニズムにより動作する球面モータを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明はベースと、円周方向に相互に適宜の角度間隔を隔てて配置した状態に前記ベースに支持され、それぞれ電圧を印加することにより伸長し、該電圧の印加を解除することにより元の長さに戻る３以上の複数個の圧電素子と、前記各圧電素子にそれぞれ支持されて該各圧電素子の伸長に応じて移動し、該圧電素子が元の長さに戻るのに応じて元の位置に戻る複数個の移動体と、球面を有し該球面が前記複数個の移動体により複数点支持される球面体とを具備してなり、前記各移動体が前記球面体を支持する位置で、該移動体の前記移動方向が該球面体の接線方向成分を含んでいるものである。この発明によれば複数個の圧電素子を選択的に駆動することにより球面体に接線方向の回転力が与えられ、該球面体が回転する。
【０００８】
この発明は前記球面体を、前記複数個の移動体による複数点支持の中心の反対側から弾性押圧して支持する弾性押圧部材をさらに具備することができる。これによれば球面体を安定に保持した状態で回転させることができる。
【０００９】
この発明において前記移動体はローラ、球体等で構成することができる。この発明は例えば４個の移動体を円周方向に均等角度間隔に配置したものとすることができる。この場合前記４個の移動体を例えば同一平面上に配置することができる。あるいは４個の移動体を対向する対ごとに別々の平面上に配置することもできる。圧電素子は例えば矩形波またはのこぎり波等の繰り返し信号で駆動することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
この発明の実施の形態を図１、図２、図３に示す。図１は断面正面図（図２のＡ−Ａ矢視断面図）、図２は平面図、図３は板ばね３０の平面図（図１のＢ−Ｂ矢視位置で示す）である。球面モータ１０は圧電素子１１以外は全体が例えば金属で構成されている。球面モータ１０は円盤状のベース１２を具えている。図１ではベース１２を水平に配置した姿勢で示しているが、球面モータ１０の使用時の姿勢はこれに限らず傾けて使用することができる。ベース１２の表面１２ｂには、ベース１２の中心軸１２ａを中心とする同一円周上に４個の支持台１４が円周方向に均等角度間隔に配置されねじ止め等で固定されている。あるいは支持台１４をベース１２と一体に構成することもできる。各支持台１４はベース１２の中心軸１２ａに対面する向きにそれぞれ配置されている。
【００１１】
各支持台１４にはベース表面１２ｂに対し直角な方向（中心軸１２ａに対し平行な方向）に孔１４ａが開設されている。各孔１４ａには同一製品（すなわち同一形状で同一特性）の４個の圧電素子１１（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ）が抜き差し自在に収容されている。各圧電素子１１は電圧の印加により長手方向（中心軸１２ａに平行な方向）に伸長し、該電圧の印加を解除することにより元の長さに戻るものが用いられている。圧電素子１１の下端面１１ａはベース表面１２ｂに当接し係止されているので、圧電素子１１は電圧の印加により上端面１１ｂが上方向（中心軸１２ａに平行な方向）に変位する。圧電素子１１は該電圧の印加を解除すると元の長さに戻り、これに伴い上端面１１ｂは下方に変位して元の位置に戻る。
【００１２】
各支持台１４の上部には凹所１６がそれぞれ形成されている。凹所１６は中心軸１２ａに対面する方向と上方が開口している。圧電素子１１の上端面１１ｂは後述するローラ１８が常に当接した状態となるように凹所１６の底面１６ａと同一平面上かあるいは該底面１６ａよりもやや突出した位置に形成されている。凹所１６の後壁１６ｂおよび両側壁１６ｃ，１６ｃはベース表面１２ｂに対し垂直に形成されている。両側壁１６ｃ，１６ｃは後述する大球２０と衝突しないようにその上端縁が図１に示すように斜め上方に向けてカットされている。
【００１３】
各凹所１６には移動体として同一部材（すなわち同一材質で同一形状）の円柱状のローラ１８（１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ）が上下方向（圧電素子１１の伸長・戻り方向すなわち中心軸１２ａに平行な方向）に移動自在にそれぞれ横倒しで収容されている。ローラ１８の左右両端面は凹所１６の両側壁１６ｃ，１６ｃで係止されてローラ１８の軸方向の移動が規制されている。またローラ１８の外周面は凹所１６の後壁１６ｂで係止されてローラ１８の外方向（中心軸１２ａに対し放射方向）の移動が規制されている。ローラ１８は、その外周面下面を圧電素子１１の上端面１１ｂに当接させた状態で、圧電素子１１の上に載置される。４個の圧電素子１１の上端面１１ｂは同一平面１３上にあり、これにより４個のローラ１８は同一平面１３上に配置される。４個のローラ１８上には球面体として大球２０の下面が均等に四点支持されている。各ローラ１８は大球２０から受ける押圧力により凹所１６内で圧電素子１１上に安定に支持される。また各圧電素子１１は各ローラ１８から受ける押圧力により、下端面１１ａをベース表面１２ｂに当接させた状態で孔１４ａ内に安定に保持される。
【００１４】
ベース１２の表面１２ｂには中心軸１２ａに対して対称の位置に２本の支柱２２，２４がねじ２６，２８により立設固定されている。支柱２２，２４は図２に示すように支持台１４の相互の中間の位置に配置されている。支柱２２，２４の頂部には板ばね３０が載置されている。板ばね３０には図３に示すように一端部付近に支柱２２と同軸位置に小径の穴３０ａ（ねじ通し穴）が開設され、他端部付近に支柱２４と同軸位置に大径の穴３０ｂが開設されている。板ばね３０の上からは支柱２２，２４と同軸に短管３２，３４（図１）が配置される。支柱２２側の位置では板ばね３０の小径の穴３０ａの直径は支柱２２および短管３２のいずれの外径よりも小さく、板ばね３０は支柱２２と短管３２との間に挟み込まれる。支柱２４側の位置では短管３４の下部に小径部３４ａが形成されている。板ばね３０の大径の穴３０ｂの直径は支柱２４の外径よりも小さく、短管３４の小径部３４ａの外径よりも大きい。したがって短管３４の小径部３４ａは板ばね３０の穴３０ｂ内に軸方向に移動自在に通される。短管３４の下端面は支柱２４の上端面に当接する。
【００１５】
図１に示すように短管３２，３４の上には上ベース３６が載置される。上ベース３６の上からねじ３７，３９を上ベース３６、短管３２，３４および板ばね３０を貫通して差し込み、支柱２２，２４の上端部のねじ穴２２ａ，２４ａにねじ込むことにより、上ベース３６、短管３２，３４および板ばね３０は支柱２２，２４に固定される。このとき板ばね３０は支柱２２側で支柱２２と短管３２との間に挟み込まれて固定され、支柱２４側で短管３４の小径部３４ａに案内されて図１に矢印Ｃで示すように上下方向に撓むことができる。つまり板ばね３０は上下に撓めるように支柱２２側に片持ち支持されている。
【００１６】
上ベース３６の中央部には中心軸１２ａと同軸上に円筒部３６ａが形成されている。円筒部３６ａの内部空間３６ｂには円柱状のスライド棒３８が中心軸１２ａの方向に移動自在に収容されている。スライド棒３８の下部３８ｂは大径に形成され、円筒部３６ａにわずかな隙間で収容される。これによりスライド棒３８が中心軸１２ａに対して傾いてスライド棒３８の下端面が横ずれするのが防止される。スライド棒３８の頂部には抜け止め用の円板状板材４０がねじ４４により装着されている。円筒部３６ａの内部空間３６ｂにはスライド棒３８の外周面を取り囲むようにコイルスプリング４６が収容されている。コイルスプリング４６の上端部は円筒部３６ａの天井面に係止され、コイルスプリング４６の下端部はスライド棒３８の大径下部３８ｂの上面に係止される。コイルスプリング４６によりスライド棒３８には中心軸１２ａに沿って下向き（大球２０の中心に向かう方向）に移動する力が付与される。スライド棒３８の下端面中央部には凹所３８ａが形成され、そこに小球４８が収容されている。小球４８はコイルスプリング４６の付勢力により板ばね３０を押下する。これにより板ばね３０は下方に撓み、中心軸１２ａ上で大球２０の頂部に所定の押圧力で当接し、大球２０を上側（４個のローラ１８による四点支持の中心の反対側）から支持する。この大球２０の上側からの支持により、球面モータ１０が水平に対し傾いた姿勢で使用されても、４個のローラ１８による下側からの大球２０の４点支持が安定に保持される。なお弾性押圧部材（板ばね３０，スライド棒３８，コイルスプリング４６，小球４８）による大球２０に対する押圧力は、各圧電素子１１が伸長できかつ該伸長により大球２０が回転できる程度の大きさに設定する。
【００１７】
なお板ばね３０は大球２０を安定に回転させるために配置したものである。すなわち大球２０と小球４８が直接当接していると、圧電素子１１を駆動して大球２０の中心が中心軸１２ａから一旦ずれて（後述する図６の大球２０の中心が駆動前の位置ｏ０から駆動後の位置ｏ１に移動した状態）、その後圧電素子１１の駆動を解除したときに大球２０と小球４８との噛み合いにより大球２０の中心が位置ｏ１から位置ｏ０に戻らない現象が生じることがある。この現象の対策として大球２０と小球４８との間に板ばね３０を配置することにより、大球２０と小球４８との噛み合いを防止して、圧電素子１１の駆動を解除したときに大球２０の中心が位置ｏ１から位置ｏ０にスムーズに戻れる（後述する図８の大球２０の中心が位置ｏ１から位置ｏ０に戻る状態）ようにしている。なお小球４８を無くしてスライド棒３８の下端面（平坦面とする）を大球２０に直接当接させても大球２０の回転が保証される場合は、大球２０と小球４８との噛み合いは生じないので、板ばね３０を省くことができる。
【００１８】
以上のように構成した球面モータ１０は４個の圧電素子１１（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ）のいずれかに繰り返し信号を印加することにより、大球２０を対応する方向に回転駆動することができる。すなわち圧電素子１１を駆動して圧電素子１１が伸長したときにローラ１８は上方（４個のローラ１８が配置された平面１３に対し垂直上方の方向）に移動するが、この移動方向は大球２０の中心に向かう方向に対してずれているので、ローラ１８と大球２０の当接位置でローラ１８の移動方向は大球２０の接線方向成分（４個のローラ１８の上方への移動量は相互に等しいので、４個のローラ１８による接線方向成分は相互に等しい）を含んでいる。このローラ１８の移動方向の接線方向成分により大球２０に回転力（４個のローラ１８とも同じ大きさの回転力を発生する）が与えられ大球２０は回転する。この大球２０の回転の回転軸は大球２０の中心を通り４個のローラ１８が配置された平面１３に平行な位置にあり、かつ中心軸１２ａの方向から見て隣接するローラ１１ごとに９０度ずつずれている。したがって対向位置にあるローラ対１１Ａ，１１Ｂによる大球２０の回転方向は互いに逆方向であり、対向位置にある別のローラ対１１Ｃ、１１Ｄによる大球２０の回転方向は互いに逆方向であり、かつローラ対１１Ａ，１１Ｂによる大球２０の回転方向とローラ対１１Ｃ、１１Ｄによる大球２０の回転方向は互いに９０度ずれている。したがって４個の圧電素子１１を適宜に駆動することにより、大球２０を回転させて大球２０の表面上の任意の点を任意の方向に向けることができる。大球２０はこのように動作するので、大球２０に適宜の角度調整対象を連結することにより、該角度調整対象の角度を任意に調整することができる。駆動用の繰り返し信号は例えば図４（ａ）に示すような矩形波や図４（ｂ）に示すようなのこぎり波等を用いることができる。
【００１９】
図１の球面モータ１０の動作を図５〜図９を参照して説明する。図５〜図９は圧電素子１１Ａを繰り返し信号の一波で駆動して大球２０を図示上で左回り方向に所定角度回転する場合の１行程分の動作を示している。なお図５〜図９は図１の球面モータ１０を模式的に示す。大球２０の上側の支持は、コイルスプリング４６で下方に付勢されたスライド棒３８が直接大球２０に当接して押圧するように簡略化して図示している。図５は動作前の状態を示す。このとき大球２０の中心をｏ０、大球２０の外周面がローラ１８Ａ，１８Ｂ，スライド棒３８と当接する位置をそれぞれＰａ０，Ｐｂ０，Ｐｅ０とする。大球２０は４個のローラ１８で四点支持されてくさび状態に挟持されている。このとき大球２０は上側からスライド棒３８が当接しているので保持トルクが働き静止状態が保持される。したがって静止状態を保つための電力は不要である。
【００２０】
図６は圧電素子１１Ａに印加する信号の一波が立ち上がって圧電素子１１Ａが伸長したときの状態を示す。このときの圧電素子１１Ａの伸長量をΔｕとする。圧電素子１１ＡがΔｕ伸長すると、その上に載置されているローラ１８Ａも上方に同量Δｕ押し上げられる。このときローラ１８Ａは外周面が凹所１６の後壁１６ｂに当接しているので、垂直方向（中心軸１２ａに平行な方向）に移動する。ローラ１８Ｂの位置は変動しない。ローラ１８Ａが上方へ移動すると、ローラ１８Ａに当接している大球２０の当接箇所Ｐａ０は上方に突き上げられる。この突き上げ方向は大球２０の中心ｏ０（重心）に向かう方向から外れているので、この突き上げ力は当接箇所Ｐａ０において大球２０の接線方向成分を含んでいる。この接線方向の力成分により大球２０は左回り方向に回転する。このときの大球２０の表面における点Ｐａ０、Ｐａ１間の回転移動距離はほぼΔｕである。大球２０が回転するとき、大球２０とローラ１８Ｂとの当接面、大球２０とスライド棒３８との当接面には滑りが生じる。大球２０の突き上げによる上方への移動と回転により、図５の位置ｏ０，Ｐａ０，Ｐｂ０，Ｐｅ０は図６の位置ｏ１，Ｐａ１，Ｐｂ１，Ｐｅ１にそれぞれ移動する。
【００２１】
図７は圧電素子１１Ａに印加された信号の一波が立ち下がって圧電素子１１Ａが元の長さに戻った後ローラ１８Ａが元の位置に戻る前の状態を示す。
【００２２】
図８はその後ローラ１８Ａが元の位置に戻ったときの状態である。大球２０は自重およびコイルスプリング４６で付勢されているスライド棒３８の下方への押圧力により下方へ移動しようとする。このとき大球２０は左回り方向の慣性が残っているので、右回り方向に回転を戻さずに、回転角度を維持したままローラ１８Ａ，１８Ｂおよびスライド棒３８との各当接面に滑りを生じて平行移動する。この平行移動により図７の位置ｏ１，Ｐａ１，Ｐｂ１，Ｐｅ１は図８の位置ｏ０，Ｐａ２，Ｐｂ２，Ｐｅ２にそれぞれ移動する。これで繰り返し信号の一波による動作が終了する。
【００２３】
図９は以上の動作による繰り返し信号の一波による駆動前と駆動後の大球２０の回転角度位置の変化を示す。大球２０は繰り返し信号の一波で角度φ回転して、駆動前にＰａ０，Ｐｂ０，Ｐｅ０であった位置が駆動後はＰａ２，Ｐｂ２，Ｐｅ２にそれぞれ移動する。大球２０の表面における回転移動距離は圧電素子１１Ａの伸長量Δｕにほぼ等しい。繰り返し信号で連続的に駆動することにより大球２０を“φ×繰り返し信号の波数”に相当する回転角度分一方向に連続的に回転させることができる。したがって大球２０に例えば回転角度調整対象を連結して駆動することにより、該回転角度調整対象の回転角度を任意の角度に調整することができる。
【００２４】
以上は圧電素子１１Ａを駆動する場合について説明したが、他の圧電素子１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄを駆動する場合も同様であり、いずれを駆動するかによって大球２０の回転方向を変えることができる。また隣接する圧電素子を同時または交互に駆動することにより、単独駆動による回転方向の中間の方向に大球２０を回転させることができる。
【００２５】
なお前記実施の形態では大球２０を弾性押圧部材（板ばね３０，スライド棒３８，コイルスプリング４６，小球４８）で上側から支持するようにしたが、水平の姿勢でのみ使用する球面モータの場合は弾性押圧部材による上側からの支持を省略することができる。そのように構成した球面モータの他の実施の形態を図１０に示す。この球面モータ５０は図１の球面モータ１０から支柱２２，２４、板ばね３０，短管３２，３４、上ベース３６、ねじ２６，２８，３７，３９、スライド棒３８、小球４８、コイルスプリング４６、円板状板材４０，ねじ４４を取り去ったものである。大球２０は下側からローラ１８（１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ）により四点支持されている。圧電素子１１の駆動方法および該駆動方法によるローラ１８，大球２０の動作は図１の実施の形態と同じである。ただし弾性押圧部材が無いので、大球２０は圧電素子の駆動信号が立ち下がったときに自重でのみ下方へ移動する。この球面モータ５０は下側でのみ支持されているが、水平の姿勢で使用されるので、大球２０はローラ１８で安定に四点支持された状態を保って回転することができる。
【００２６】
また前記実施の形態では４個のローラ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄを同一円周上（同一平面１３（図１）上）に配置したがこれに限らない。例えば対向する一方のローラ対１８Ａ，１８Ｂを１つの同一円周上（１つの同一平面上）に配置し、対向する他方のローラ対１８Ｃ，１８Ｄを別の同一円周上（別の同一平面上）に配置することができる。そのように配置した一例を図１１に示す。図１、図２の実施の形態と共通する部分には同一の符号を用いる。また図１１はベース１２の一部、圧電素子１１、ローラ１８、大球２０のみ示し、他の構成は省略する。対向する一方のローラ対１８Ａ，１８Ｂは同一円周５２ａ上（同一平面５２ｂ上）に配置されている。対向する他方のローラ対１８Ｃ，１８Ｄは別の同一円周５４ａ上（別の同一平面５４ｂ上）に配置されている。このような配置によれば、ローラ対１８Ａ，１８Ｂとローラ対１８Ｃ，１８Ｄとではローラ１８と大球２０との当接位置でローラ１８の移動量の大球接線方向成分の大きさが異なるので、１回の駆動あたりの大球２０の回転角度が異なる。
【００２７】
なお前記各実施の形態では移動体としてローラを使用したが、ローラに代えて小球を使用することもできる。また前記各実施の形態では球面体として全球（大球２０）を使用したが、球面体の回転角度が限られている場合は全球である必要はなく、半球体等を使用することもできる。また前記各実施の形態では圧電素子を４個使用した場合について説明したが、３個または５個以上の圧電素子を円周方向に均等角度間隔に配置することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明の実施の形態を示す図で、図２のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図２】図１の球面モータの平面図である。
【図３】板ばね３０の平面図で、図１のＢ−Ｂ矢視位置で示したものである。
【図４】図１の球面モータの駆動に用いられる繰り返し信号の具体例を示す波形図である。
【図５】図１の球面モータの動作説明図で、動作前の状態を示す。
【図６】図１の球面モータの動作説明図で、圧電素子に印加する繰り返し信号の一波が立ち上がって圧電素子が伸長したときの状態を示す。
【図７】図１の球面モータの動作説明図で、圧電素子に印加する繰り返し信号の一波が立ち下がって圧電素子が元の長さに戻った後ローラが元の位置に戻る前の状態を示す。
【図８】図１の球面モータの動作説明図で、ローラが元の位置に戻ったときの状態を示す。
【図９】図１の球面モータの動作説明図で、図５〜図８の動作による駆動前と駆動後の大球の回転角度位置の変化を示す。
【図１０】この発明の他の実施の形態を示す断面図である。
【図１１】４個のローラを対向するローラ対ごとに別々の平面上に配置した実施の形態を示す正面図および平面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０，５０…球面モータ、１１（１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ）…圧電素子、１２…ベース、１３…４個のローラを配置する平面、１８（１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ）…ローラ（移動体）、２０…大球（球面体）、３０，３８，４６，４８…弾性押圧部材、５２ｂ…対向する一方のローラ対を配置する平面、５４ｂ…対向する他方のローラ対を配置する平面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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