(57)【要約】【課題】基板に光学機能膜を押圧状態で貼着するに当って、吸着孔の部位を含めて光学機能膜を吸着孔の部位を含めて全面に対して押圧力を作用させる。【解決手段】ホルダドラム１０のドラム本体１０ａに流体接続チャンバ１２が設けられており、このドラム本体１０ａの外周面に設けた弾性シート層１０ｂの表面には、偏光フィルム２を吸着保持するため、吸着孔群１１を構成する複数の吸着孔１１ａが開口しており、流体接続チャンバ１２には切換手段１３を介して負圧源１４及び加圧源１５に接続されており、この切換手段１３は、第１の切換弁２０と第２の切換弁２０とを備えており、第１の切換弁２０には、流体接続チャンバ１２に接続した流入流路２２が接続され、この流入流路２２を第２の切換弁２１を介して負圧源１４に接続する状態と、加圧源１５からの加圧流路２３に接続する状態とに切り換え可能な構成となっている。【選択図】図５
2010137424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板の基板表面に光学機能膜を貼着するための装置において、
前記光学機能膜を外周面に巻き付けるホルダドラムと、
前記ホルダドラムの外周面に開口し、前記光学機能膜の先頭位置に対して負圧吸引力を作用させるために、前記ホルダドラムの軸線方向に配列した複数の吸着孔からなる先頭吸着孔群と、
前記光学機能膜の後端側の位置に対して負圧吸引力を作用させるために、前記先頭吸着孔群から所定の間隔を置いて形成され、前記ホルダドラムの軸線方向に配列した複数の吸着孔からなる後端側吸着孔群と、
前記各吸着孔群に対して、負圧源に接続する状態と、加圧源に接続する状態と、負圧源とも加圧源とも遮断する状態とに切り換える切換手段と、
前記ホルダドラムを回転させて、前記基板をこのホルダドラムに巻き付けた前記光学機能膜に押圧させながら前進させる駆動手段と
を備える構成としたことを特徴とする光学機能膜貼着装置。
【請求項２】
前記切換手段は制御手段により動作制御されるものであり、前記ホルダドラムの回転位置を検出する角度検出部材と、前記基板の先頭位置とを検出する位置検出部材とを設けて、これら角度検出部材及び位置検出部材からの検出信号に基づいて、前記ホルダドラムに向けて供給された前記光学機能膜がこのホルダドラムに当接して、前記各吸着孔群の位置となったときに、前記切換手段によって、この吸着孔群が前記負圧源と接続する状態に切り換わり、前記光学機能膜が前記基板に押圧される前であって、この光学機能膜が前記吸着孔群を閉塞させたときに、前記切換手段を前記負圧源への接続状態から前記加圧源との接続状態に切り換わり、前記吸着孔群が前記基板と対面する位置を通過し直後に前記切換手段による前記加圧源と吸着孔群との接続を遮断する構成としたことを特徴とする請求項１記載の光学機能膜貼着装置。
【請求項３】
前記ホルダドラムには、複数のサイズの基板を保持させるために、それぞれ回転方向に位置を違えて複数の後端側吸着孔群を設ける構成としたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の光学機能膜貼着装置。
【請求項４】
前記光学機能膜は、その表面に保護膜を積層させて積層フィルム体として構成し、前記ホルダドラムの外周面に、前記積層フィルム体を、その光学機能膜が当接するようにして巻き付けるために、前記光学機能膜を前記ホルダドラムの外周面に密着させるように押圧するための押し付けローラを設け、このようにして巻き付けた積層フィルム体から前記保護膜を保護膜剥離手段で剥離する構成としたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光学機能膜貼着装置。
【請求項５】
前記ホルダドラムは前記基板を挟んだ両側に配置され、これらのホルダドラムの少なくとも一方の外周面に前記光学機能膜を巻き付けるようになし、これら両ホルダドラムは相互に近接・離間する方向に変位可能であり、これら両ホルダドラムで前記基板を挟み込んで、前記両ホルダドラムを回転駆動する構成としたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の光学機能膜貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等からなる薄板の基板に偏光板，位相差板，反射防止フィルムその他の光学機能膜を貼着するための光学機能膜貼着装置に関するものであり、特に異なるサイズの基板に、それぞれほぼ全面に光学機能膜を密着するように貼着できる光学機能膜貼着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス基板等からなるパネル基板の表裏両面またはいずれか一方の面に偏光板，位相差板，反射防止フィルムその他の光学機能を有する光学機能膜が貼り付けられる。これら光学機能膜はフィルム部材で形成され、その表面に保護膜が積層されて積層フィルム体として構成するのが一般的である。そして、保護膜はパネル基板に貼り付ける直前に光学機能膜から剥離される。従って、光学機能膜貼着装置は、光学機能膜と保護膜とを積層した積層フィルム体を位置決め保持するようになし、次いで保護膜を剥離し、その後に基板に貼り付けることになる。
【０００３】
光学機能膜の貼着装置としては、特許文献１のように構成したものが従来から用いられている。この公知の装置は、光学機能膜としてフィルム状の偏光板を液晶セルからなる基板に貼り付けるように構成したものであり、偏光板は回転ドラムに巻き付けて、この回転ドラムの外周面に負圧の作用により偏光板を吸着保持する多数の吸着孔を開口させて設ける構成としている。偏光板を保持させた回転ドラムは左右一対設けられており、これら偏光板を保持している両回転ドラムの間に基板を挟持させて、所定の押圧力を作用させることによって、基板の両面に偏光板を貼着する構成としている。
【特許文献１】韓国特許第１０−０５５６３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述した特許文献１の装置では、回転ドラムに負圧吸引力で保持されている偏光板を基板に貼着する際に、この偏光板に基板に対して所定の押圧力が作用するようにして貼着される。ところが、回転ドラムには全周にわたって吸着孔が開口しており、吸着孔の部位では偏光板と基板との間に押圧力が作用することはない。従って、基板における偏光板への押圧状態が不均一になってしまう。特に、吸着孔の数が多くなればなるほど、また吸着孔の孔径が大きくなればなるほど、基板と偏光板との間の押圧状態の不均一がより顕著になるという問題点がある。
【０００５】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、基板に光学機能膜を押圧状態で貼着するに当って、吸着孔の部位を含めて光学機能膜を吸着孔の部位を含めて全面に対して押圧力を作用させるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明は、  薄板の基板表面に光学機能膜を貼着するための装置であって、前記光学機能膜を外周面に巻き付けるホルダドラムと、前記ホルダドラムの外周面に開口し、前記光学機能膜の先頭位置に対して負圧吸引力を作用させるために、前記ホルダドラムの軸線方向に配列した複数の吸着孔からなる先頭吸着孔群と、前記光学機能膜の後端側の位置に対して負圧吸引力を作用させるために、前記先頭吸着孔群から所定の間隔を置いて形成され、前記ホルダドラムの軸線方向に配列した複数の吸着孔からなる後端側吸着孔群と、前記各吸着孔群に対して、負圧源に接続する状態と、加圧源に接続する状態と、負圧源とも加圧源とも遮断する状態とに切り換える切換手段と、
【０００７】
前記ホルダドラムを回転させて、前記基板をこのホルダドラムに巻き付けた前記光学機能膜に押圧させながら前進させる駆動手段とから構成したことをその特徴とするものである。
【０００８】
光学機能膜は、その先頭部分と後端側の部位とをホルダドラムに設けた吸着孔群により吸着保持させる。光学機能膜を基板に貼着するに当っては、この光学機能膜の表面に粘着剤または接着剤を塗布しておき、この塗布面を基板に押圧させながら、ホルダドラムを回転させ、基板を前進させることにより光学機能膜が基板に貼着される。好ましくはホルダドラムの外周面にゴム等の弾性部材からなる弾性シート層を設けておき、基板に光学機能膜を貼着する際には、このホルダドラムの弾性シート層を圧縮させるようになし、この圧縮時に作用する反力により光学機能膜を基板に押圧させる。このときに、吸着孔の部位では、光学機能膜には基板に対する押圧力が作用しないが、加圧源からの加圧空気により押圧力を作用させることができる。これによって、光学機能膜の全面にわたって基板に対するほぼ均一な押圧力が得られることになる。
【０００９】
従って、切換手段は制御手段により動作制御されるように構成するが、ホルダドラムの回転位置を検出する角度検出部材と、前記基板の先頭位置とを検出する位置検出部材とを設けて、これら角度検出部材及び位置検出部材からの検出信号を制御手段に取り込んで、切換手段の作動を制御する構成とすることができる。そして、この制御は、例えば、ホルダドラムに向けて供給された光学機能膜がこのホルダドラムに当接して、各吸着孔群の位置となったときに、切換手段によりこの吸着孔群が負圧源と接続する状態に切り換える。即ち、先頭吸着孔群が光学機能膜と対面すると、この先頭吸着孔群を負圧源と接続する。また、後端側吸着孔群が光学機能膜と対面する位置になると、この後端側吸着孔群を負圧源と接続する。
【００１０】
ホルダドラムが回転することにより、このホルダドラムに保持されている光学機能膜が基板と当接するが、このときに光学機能膜と基板との間に押圧力を作用させる。そして、光学機能膜が基板に押圧される前であり、かつこの光学機能膜が吸着孔群を閉塞させているときに、切換手段を負圧源への接続状態から加圧源との接続状態に切り換える。これによって、加圧エアによる押圧力によって、吸着孔の部位でも光学機能膜が基板に押圧される。さらに、吸着孔群が基板と対面する位置を通過した直後に切換手段による加圧源と吸着孔群との接続を遮断するように制御する。これによって、光学機能膜はホルダドラム側から基板側に移行する。
【００１１】
ホルダドラムには、複数のサイズの基板を保持可能な構成とすることができる。このためには、吸着孔群を複数列設けるが、先頭吸着孔群は全てのサイズの基板に供用させ、後端側吸着孔群をそれぞれ回転方向に位置を違えて複数列設けるように構成する。ここで、先頭吸着孔群は、基板の先頭部の近傍を吸着する必要があるが、先頭部分が吸着されている限り、後端側は多少位置が異なっていても、光学機能膜の保持に格別支障を来すことはない。従って、後端側吸着孔群は複数のサイズの基板に共用することができる。
【００１２】
光学機能膜の基板に貼着される面は粘着剤または接着剤が塗布されているので、ホルダドラムに保持させるまではその表面に保護膜を積層させて積層フィルム体として構成するのが望ましい。そして、ホルダドラムの外周面に、積層フィルム体を、その光学機能膜が当接するようにして巻き付けるが、光学機能膜をホルダドラムの外周面に密着させるように押圧するための押し付けローラと、積層フィルム体から保護膜を保護膜剥離手段とを設けるようにすることができる。
【００１３】
基板の一側の面のみに光学機能膜を貼着する場合と、基板の両面に光学機能膜を貼着する場合とがある。いずれにしろ、光学機能膜と基板との間に押圧力を作用させるために一対のドラムを用いるのが望ましい。片面に光学機能膜を貼着する場合には、一方のドラムを光学機能膜が保持されているホルダドラムとし、他方のドラムは基板を押圧するための押圧ドラムとする。また、両面に光学機能膜を貼着する場合は、両ドラムが光学機能膜を保持したホルダドラムとする。
【００１４】
光学機能膜を基板に貼着する前の段階で、ホルダドラムに積層フィルム体を保持させ、その後に保護膜を剥離する。このために、押圧ドラムまたは他のホルダドラムに対して近接・離間する方向に変位可能とする。また、ドラムの回転と基板の直進とは、それぞれに駆動手段を設けるようにしても良いが、一対のドラムに基板を差し込む場合には、ドラムを回転させるだけで、基板を直進駆動させることができる。ただし、基板がドラム間に差し込まれるまでは基板を直進方向に送るようにする。そして、ホルダドラムは等速回転させることもできるが、切換手段により切り換えを行う際は低速で、それ以外のときには高速で回転させるように制御することもできる。
【発明の効果】
【００１５】
光学機能膜をホルダドラムに設けた吸着孔により吸着させて、このホルダドラムに保持されている光学機能膜に基板を押圧するようにして貼着するに当って、吸着孔を設けた部位にも空気圧による押圧力を作用させることができ、基板と光学機能膜との間が全面にわたって押圧力を作用する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態においては、基板として、液晶ディスプレイのパネル基板の表裏両面に、光学機能膜として、偏光フィルムを貼着する装置として構成したものについて説明する。ただし、パネル基板の片面に偏光フィルムを貼着するものであっても、また光学機能膜として位相差板，反射防止フィルムその他の光学機能を有する光学機能膜であっても良い。さらに、基板としては、少なくとも一側の面に光学機能膜を貼着するものであれば、液晶ディスプレイのパネル基板以外にも、各種のフラットディスプレイやそれ以外の基板にも適用可能である。
【００１７】
まず、図１において、１はパネル基板であり、２，２は偏光フィルムである。パネル基板１は液晶が封入された上下２枚のガラス基板から構成されている。このパネル基板１の表裏両面に偏光フィルム２を貼着させるが、この貼着領域はほぼ全面に及んでいる。図２に示したように、偏光フィルム２はそのパネル基板１への貼着面が保護膜３で覆われて積層フィルム体４として構成されており、この積層フィルム体４は長手方向を円周方向に向けるようにしてホルダドラム１０の外周面に巻き付けて吸着保持される。パネル基板１に貼着する直前に保護膜３が剥離されて、保護膜３を剥離した偏光フィルム２がパネル基板１の表面に貼着されることになる。ここで、偏光フィルム２には、保護膜３の積層側の表面に粘着剤または接着剤が均一に塗布されており、保護膜３を剥離した後にパネル基板１に塗布面を当接させて、所定の押圧力を作用させることにより固着する。
【００１８】
ここで、偏光フィルム貼着装置は、単一のサイズのパネル基板１に偏光フィルム２を貼着するように構成することもできるが、以下に示す実施の形態においては、異なる複数のサイズを有するパネル基板１の表裏両面に偏光フィルム２を貼着する構成としているものとする。液晶ディスプレイは様々なサイズのものがあり、以下の説明においては、例えば２６インチ〜５７インチのサイズのものにおいて、それぞれのほぼ全面に偏光フィルムを貼着することができるように構成したものについて説明するが、対応可能なサイズについては、以上のものに限定されるものではない。
【００１９】
パネル基板を小判，中判及び大判の３段階のサイズに分けている。以下の説明では、小判サイズのパネル基板を１Ｓとし、中判サイズのパネル基板を１Ｍ、大判サイズのパネル基板を１Ｌとする。また、これら各種のパネル基板１Ｓ，１Ｍ，１Ｌに貼着される偏光フィルムはそれぞれ２Ｓ，２Ｍ，２Ｌとする。さらに、各サイズの偏光フィルム２Ｓ，２Ｍ，２Ｌを構成する積層フィルム体を４Ｓ，４Ｍ，４Ｌとする。ただし、パネル基板，偏光フィルム及び積層フィルム体を総称する場合は、それぞれ符号１，２，４を用いる。なお、この偏光フィルム貼着装置で取り扱われるのは、最大サイズのパネル基板１Ｇに対する偏光フィルム２Ｇの積層フィルム体４Ｇまでとする。
【００２０】
ホルダドラム１０には、積層フィルム体４を吸着保持するために、多数の吸着孔１１ａが設けられている。図３にホルダドラム１０を展開して示す。同図において、矢印はホルダドラム１０の回転方向である。ホルダドラム１０には、吸着孔１１ａが軸線方向に向けて所定の間隔で配列されて、吸着孔群を構成している。図示したものにあっては、吸着孔群は４群形成されており、第１群の吸着孔群は先頭吸着孔群１１Ｈである。また、この先頭吸着孔群１１Ｈより回転方向の後方側に、第２群乃至第４群の後端側吸着孔群１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌが設けられており、これらはパネル基板１の後端側を吸着するものである。第２群は小判サイズのパネル基板１Ｓに貼着される偏光フィルム２Ｓを含む積層フィルム体４Ｓの後端部を吸着する小判後端側吸着孔群１１Ｓ、第３群は中判サイズのパネル基板１Ｍに貼着される偏光フィルム２Ｍを含む積層フィルム体４Ｍの後端部を吸着する中判後端側吸着孔群１１Ｍ、第４群は大判サイズのパネル基板１Ｌに貼着される偏光フィルム２Ｌを含む積層フィルム体４Ｌの後端部を吸着する大判後端側吸着孔群１１Ｌである。以下において、吸着孔群１１Ｈ，１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを総称するときには、符号１１を用いる。
【００２１】
ここで、小判サイズのパネル基板１Ｓは１種類ではなく、小判後端側吸着孔群１１Ｓで吸着可能なサイズから、中判後端側吸着孔群１１Ｍの配設位置の手前位置までのサイズの任意のサイズの積層フィルム体を吸着させることができる。ただし、小判後端側吸着孔群１１Ｓに届かないサイズのものは取り扱わない。勿論、それ以下のサイズのパネル基板を取り扱う場合には、先頭吸着孔群１１Ｈに近い位置にさらに吸着孔群を設けるようにすることになる。中判後端側吸着孔群１１Ｍでは、中判サイズのパネル基板１Ｍ用の積層フィルム体４Ｍから大判後端側吸着孔群１１Ｌに届かないサイズのものまで吸着させるようにする。さらに、大判後端側吸着孔群１１Ｌは大判サイズのパネル基板１Ｌ用の積層フィルム体４Ｌより大きい最大サイズのパネル基板１Ｇまで取り扱われる。そして、大判後端側吸着孔群１１Ｌで吸着可能なサイズの積層フィルム体４Ｌより大きなサイズのものを取り扱うには、大判後端側吸着孔群１１Ｌよりさらにホルダドラム１０の回転方向の後方側に吸着孔群を設ければ良い。
【００２２】
各吸着孔群１１を構成する吸着孔１１ａはそれぞれ流体接続チャンバ１２Ｈ，１２Ｓ，１２Ｍ，１２Ｌ（以下、総称する場合には、流体接続チャンバ１２という）に接続されている。そして、これら各流体接続チャンバ１２Ｈ，１２Ｓ，１２Ｍ，１２Ｌは、切換手段１３Ｈ，１３Ｓ，１３Ｍ，１３Ｌ（以下、総称する場合には、切換手段１３という）を介して負圧源１４及び加圧源１５と接続されている。従って、切換手段１３を操作することによって、任意の吸着孔群１１を構成する各吸着孔１１ａが真空ポンプ等からなる負圧源１４と接続されて、積層フィルム体４を負圧吸引力により吸着される。また、加圧ポンプ等で構成される加圧源１５と接続させると、保護膜３を剥離した偏光フィルム３に対して空気圧による押圧力が作用する。
【００２３】
ホルダドラム１０において、パネル基板１のサイズに拘わらず、先頭吸着孔群１１Ｈの吸着孔１１ａが流体接続チャンバ１２Ｈからの負圧吸引力によって、先頭側の端部近傍位置が吸着保持される。一方、パネル基板１の後端側は、そのサイズに応じて後端側吸着孔群１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌのいずれかが流体接続チャンバ１２Ｓ，１２Ｍ，１２Ｌと接続されて、負圧吸引力が作用するようになる。
【００２４】
パネル基板１のサイズが異なると、長辺側だけでなく短辺側の長さも異なってくる。そこで、どのサイズのパネル基板であっても、下端側のコーナが基準位置に設定されるように設定されている。従って、先頭吸着孔群１１Ｈにおいて、上部側に位置する吸着孔１１ａは、パネル基板１のサイズに応じて閉鎖することによって、外部に流体接続チャンバ１２Ｈが外部と連通しないように保持する。このために、可動隔壁１６を設けて、この可動隔壁１６を上下方向にスライド変位させることによって、先頭吸着孔群１１Ｈを構成する上方の一部の吸着孔１１ａには負圧吸引力または加圧力を作用させないように設定することができる。
【００２５】
ホルダドラム１０は、その回転軸を水平状態に配置することができ、また垂直状態に配置しても良い。さらに、垂直方向から左右いずれかの方向に所定角度傾けた状態にすることもできる。いずれにしろ、図４に示したように、ホルダドラム１０は、回転軸１７が平行となるようにして２個設けるようになし、両ホルダドラム１０は近接・離間する方向に変位可能となっている。そして、これらの回転軸１７は、同図に矢印ＲＬ，ＲＲで示したように、相互に反対方向に回転駆動される。パネル基板１は回転軸１７が水平方向に配置されている場合には、パネル基板１も水平とし、また回転軸１７が垂直乃至垂直に近い角度としている場合には、パネル基板１もそれと平行になるように設置する。そして、パネル基板１は図示しない搬送手段によってガイドレール１８に沿って搬送する構成としている。また、ホルダドラム１０は、その回転軸１７を回転駆動する回転駆動手段と、左右のホルダドラム１０，１０を相互に近接・離間させる方向に直進動またはスイング動作させる往復動移動手段を有する駆動機構に装着されることになるが、その図示及び詳細な説明は省略する。
【００２６】
次に、図５に吸着孔群１１における流体接続チャンバ１２の切換手段１３の構成を示す。ここで、ホルダドラム１０は、ドラム本体１０ａの外周面にゴム等の弾性部材からなる弾性シート層１０ｂが装着されており、流体接続チャンバ１２はドラム本体１０ａに設けられており、吸着孔群１１を構成する各吸着孔１１ａはドラム本体１０ａから弾性シート層１０ｂを貫通して外周面に開口している。流体接続チャンバ１２は切換手段１３を介して負圧源１４及び加圧源１５に接続されており、この切換手段１３は、第１の切換弁２０と第２の切換弁２１とを備えている。第１の切換弁２０には、流体接続チャンバ１２に接続した流入流路２２が接続されており、この流入流路２２を第２の切換弁２１を介して負圧源１４に接続する状態と、加圧源１５からの加圧流路２３に接続する状態とに切り換え可能となっている。
【００２７】
第１の切換弁２０及び第２の切換弁２１は電磁切換式のものであり、これら第１，第２の切換弁２０，２１間には負圧流路２４が接続されている。第１の切換弁２０が切換位置（イ）で、第２の切換弁２１が切換位置（ニ）となっていると、流体接続チャンバ１２は負圧源１４と接続され、加圧源１５とは遮断される。この状態から、第２の切換弁２１を切換位置（ハ）に切り換えると、負圧源１４は流体接続チャンバ１２から遮断されて、負圧源１４は大気と連通することになる。これによって、負圧源１４は無負荷状態になる。そして、第２の切換弁２１が切換位置（ハ）の状態で、第１の切換弁２０を切換位置（ロ）に切り換えると、流体接続チャンバ１２は加圧源１５に接続する。なお、加圧源１５と第１の切換弁２０との間の加圧流路２３には、流量調整弁２５，流量計２６及び圧力調整弁２７が設けられており、従って流体接続チャンバ１２が加圧流路２３を介して加圧源１５に接続されたときには、所定の流量で、しかも所定の圧力の加圧エアが供給される。
【００２８】
前述した第１，第２の切換弁２０，２１の切り換え制御は、図６に示したように、制御回路３０により行われる。このために、制御回路３０には、ホルダドラム１０の回転角を検出する角度検出器３１からの角度検出信号が取り込まれ、またガイドレール１８に沿って進行するパネル基板１を所定の位置で検出するための位置検出センサ３２からの出力信号も取り込まれるようになっている。そして、この制御回路３０によって、ホルダドラム１０の回転と、第１，第２の切換弁２０，２１の作動とが制御される。
【００２９】
さらに、ホルダドラム１０の駆動機構には、積層フィルム体４をホルダドラム１０の外周面に押し付けるための押し付けローラ４０及び積層フィルム体４から保護膜３を剥離する保護膜剥離手段４１が付設されている。ここで、押し付けローラ４０はホルダドラム１０に対して近接・離間する方向に変位可能となっている。また、保護膜剥離手段４１は本体部４１ａに、粘着部材からなる剥離ローラ４１ｂ及び剥離用爪４１ｃを備えるものである。従って、剥離ローラ４１ｂを保護膜３に押し付けて粘着させ、次いで剥離ローラ４１ｂと剥離用爪４１ｃとの間で保護膜３を挟持させ、この保護膜剥離手段４１の全体をホルダドラム１０から引き離すことによって、保護膜３が偏光フィルム２から剥離される。その後に、偏光フィルム２がパネル基板１に貼着されることになる。さらに、ホルダドラム１０の外周部において、押し付けローラ４０の回転方向の前方位置にテンションロッド４２が配置されており、このテンションロッド４２はホルダドラム１０に支持されている積層フィルム体４の保護膜３に当接可能となっている。これによって、保護膜３が保護膜剥離手段４１により偏光フィルム２から引き剥がされる際に、この保護膜３に張りが与えられることになる。
【００３０】
以上のように構成される偏光フィルム貼着装置によりパネル基板１に偏光フィルム２を貼着する方法を図７乃至図１０に基づいて説明する。ここで、以下においては、パネル基板の一例として、中判サイズのパネル基板１Ｍに、このサイズに合った偏光フィルム２Ｍを表裏両面に貼着するものとする。従って、積層フィルム体としては、中判サイズの積層フィルム体４Ｍが用いられる。この場合、先頭吸着孔群１１Ｈにおいて、下端部の吸着孔１１ａから積層フィルム体４Ｍの短辺の長さ分以上の高さ位置にある吸着孔１１ａは可動隔壁１６により閉鎖状態としておく。
【００３１】
まず、全ての切換手段１３における第１の切換弁２０を切換位置（イ），第２の切換弁２１を切換位置（ハ）とする。この状態で、図４に示されているように、左右両側に配置したホルダドラム１０，１０を離間させ、それらを回転駆動すると共に、積層フィルム体４Ｍを移動させて、この積層フィルム体４Ｍの先端がホルダドラム１０の接線方向において、先頭吸着孔群１１Ｈと対面する位置に位置調整する。そして、積層フィルム体４Ｍをホルダドラム１０の外周面に当接させ、また切換手段１３Ｈにおける第２の切換弁２１を切換位置（ニ）に切り換える。これによって、先頭吸着孔群１１Ｈの各吸着孔１１ａが接続されている流体接続チャンバ１２Ｈを負圧源１４と連通し、この先頭吸着孔群１１Ｈにより積層フィルム体４Ｍの先端部分が吸着される。ここで、積層フィルム体４Ｍは必ずしもその先頭側の端部位置を吸着させる必要はなく、先端近傍位置が吸着されれば良い。
【００３２】
そして、積層フィルム体４Ｍがホルダドラム１０に吸着されている部位の外側から押し付けローラ４０を当接させて、所定の押圧力を作用させる。これによって、積層フィルム体４Ｍの先頭位置のホルダドラム１０へのセットが行われたことになる。ここで、ホルダドラム１０と積層フィルム体４Ｍと押し付けローラ４０とを当接させるために、いずれの側を作動させても良いが、ホルダドラム１０を２段階で変位させることにより積層フィルム体４Ｍの先頭位置がホルダドラム１０にセットされる。
【００３３】
ホルダドラム１０が回転されて、先頭吸着孔群１１Ｈに吸着されている積層フィルム体４Ｍがホルダドラム１０に巻き付けが開始される。この動作は、押し付けローラ４０で積層フィルム体４Ｍを押圧しながら、ホルダドラム１０を回転駆動するようにして行われる。その結果、積層フィルム体４Ｍはホルダドラム１０の外周面に密着する。また、この積層フィルム体４Ｍの後端部がホルダドラム１０の中判後端側吸着孔群１１Ｍの部位に当接すると、切換手段１３Ｍにおける第２の切換弁２１を切換位置（ニ）に切り換えて、流体接続チャンバ１２Ｍを負圧源１４と接続する。これによって、積層フィルム体４Ｍの後端部もホルダドラム１０に吸着される。積層フィルム体４Ｍは押し付けローラ４０によりホルダドラム１０の外周面に押し付けられながら巻き付けられるので、この積層フィルム体４Ｍの後端部までホルダドラム１０の外周面に密着する。従って、自由状態では積層フィルム体４がカールしていたり、湾曲していたりする等のように曲がり癖があっても、この曲がり癖を矯正することができて、ホルダドラム１０の外周面に密着させることができる。
【００３４】
そして、図７に示したように、この積層フィルム体４Ｍのホルダドラム１０への巻き付けが完了した後、若しくは巻き付けを行っている間に、積層フィルム体４Ｍから保護膜３が剥離される。このために、保護膜剥離手段４１が設けられており、この保護膜剥離手段４１の本体部４１ａを作動させて、剥離ローラ４１ｂを積層フィルム体４Ｍの先頭部位に当接させることによって、保護膜３の端部を粘着させて、保護膜３の端部を捲り上げるようにして偏光フィルム２Ｍから剥離する。この状態で、剥離用爪４１ｃを作動させて、剥離ローラ４１ｂと剥離用爪４１ｃとの間で保護膜３の端部を把持する。その後、保護膜剥離手段４１を大きく変位させて、保護膜３を剥離する。ここで、保護膜剥離手段４１による保護膜３の剥離は、ホルダドラム１０において、積層フィルム体４Ｍの先端がテンションロッド４２の配設位置を通過した後に行うようになし、保護膜剥離手段４１を図７に矢印で示した方向に変位させることによって、このテンションロッド４２により所定のテンションを作用させながら、保護膜３が偏光フィルム２Ｍから剥離されることになる。
【００３５】
両側のホルダドラム１０において、積層フィルム体４Ｍから保護膜３が剥離されて、それらの先頭吸着孔群１１Ｈの位置がガイドレール１８と対面するまで回転させて、図８に示した位置でホルダドラム１０の回転を停止させる。これによって、積層フィルム体４Ｍから保護膜３を剥離した偏光フィルム２Ｍの先端部分が相互に対面する状態となる。そこで、図９に示したように、左右両側のホルダドラム１０，１０を相互に近接させると共に、ガイドレール１８に沿ってパネル基板１Ｍの先端を両ホルダドラム１０，１０間に差し込ませる。ここで、ホルダドラム１０，１０間の近接時の間隔はパネル基板１Ｍの厚み以下とすることによって、ホルダドラム１０における弾性シート層１０ｂが圧縮される。
【００３６】
このように、ホルダドラム１０の弾性シート層１０ｂが圧縮されると、負圧吸引力を解除しても、偏光フィルム２Ｍによって先頭吸着孔群１１Ｈの各吸着孔１１ａが閉鎖された状態となる。そこで、切換手段１３Ｈにおける第２の切換弁２１を切換位置（ハ）に切り換えると共に、第１の切換弁２０を切換位置（ロ）に切り換える。これによって、先頭吸着孔群１１Ｈを構成する各吸着孔１１ａには負圧吸引力が作用する状態から、加圧源１５からの加圧エアが供給される状態に切り換わる。その結果、ホルダドラム１０において、偏光フィルム２Ｍはホルダドラム１０から脱着され、しかも吸着孔１１ａがパネル基板１Ｍと対面する位置までホルダドラム１０が回転することによって、この吸着孔１１ａに作用する加圧エアによって、偏光フィルム２Ｍはパネル基板１Ｍに押圧され、ホルダドラム１０からは離脱する。従って、この加圧力を弾性シート層１０ｂの圧縮時に作用するパネル基板１Ｍと偏光フィルム２Ｍとの間の押圧力とほぼ同じ程度としておけば、弾性シート層１０ｂが存在しない吸着孔１１ａの位置でも弾性シート層１０ｂにより押圧力が作用している部位とほぼ同様の押圧力が得られる。
【００３７】
ここで、図６に示したように、ホルダドラム１０の回転によって、吸着孔１１ａの位置に、弾性シート層１０ｂの圧縮が及ぶようになった直後の位置から、パネル基板１Ｍと対面する位置から抜け出して、弾性シート層１０ｂの圧縮が解除されるまでの角度θ分は吸着孔群１１における各吸着孔１１ａが全体若しくは部分的に閉鎖された状態となる。従って、弾性シート層１０ｂの圧縮が開始すると同時に切換手段１３を構成する第１の切換弁２０を切換位置（ロ）に切り換えて、少なくとも角度１／２・θ分はこの切換位置に保持する。一方、第２の切換弁２１を切換位置（ハ）に切り換えるが、この切り換えは、第１の切換弁２０の切り換えの後で良い。このように、パネル基板１Ｍによる押圧力に基づいて吸着孔１１ａが閉鎖状態に保持されている間に、第１の切換弁２０の切り換えると、吸着孔群１１に供給した加圧エアによる圧力が同図に曲線Ｐで示したように上昇する。そして、吸着孔群１１がパネル基板１Ｍと対面する位置で最も高い圧力状態になり、所望とする流量及び圧力を吸着孔群１１における吸着孔１１ａに供給される。そして、前述した角度１／２・θ分以上ホルダドラム１０が回転した後には、第１の切換弁２０を切換位置（イ）に切り換える。なお、このときに、第２の切換弁２０は切換位置（ハ）となっているので、負圧吸引力が吸着孔群１１に作用することはない。
【００３８】
ホルダドラム１０，１０の回転によりパネル基板１Ｍが進行し、ホルダドラム１０による押圧力によって、偏光フィルム２Ｍはパネル基板１Ｍに密着する。ここで、偏光フィルム２Ｍの表面には接着剤等が塗布されているので、偏光フィルム２Ｍはパネル基板１Ｍに固着される。しかも、偏光フィルム２Ｍはパネル基板１Ｍに一端側から他端側に向けて押圧されながら貼り付けられるので、途中で空気を巻き込んだりすることがなく、全面にわたって密着するようになる。ホルダドラム１０の回転によって、パネル基板１Ｍは小判後端側吸着孔群１１Ｓの位置を通過するが、このときには、切換手段１３Ｓにおける第１の切換弁２０を切換位置（ロ）に切り換えることによって、小判後端側吸着孔群１１Ｓにおける各吸着孔１１ａに加圧エアを供給して、パネル基板１がこの小判後端側吸着孔群１１Ｓの位置を通過する際に、この小判後端側吸着孔群１１Ｓを構成する各吸着孔１１ａに加圧エアを供給する。ここで、ホルダドラム１０には偏光フィルム２Ｍが保持されていることから、小判後端側吸着孔群１１Ｓには負圧吸引力は作用していない。つまり、第２の切換弁２１は切換位置（ハ）に保持されている。従って、第１の切換弁２０を切換位置（イ）から切換位置（ロ）に切り換える操作が行われる。
【００３９】
前述の状態から、ホルダドラム１０がさらに回転して、中判後端側吸着孔群１１Ｍと対面する位置にパネル基板１Ｍが変位すると、切換手段１３Ｍを構成する第１の切換弁２０を切換位置（ロ）に切り換え、第２の切換弁２１を切換位置（ハ）に切り換える。これによって、図１０に示したように、偏光フィルム２Ｍは中判後端吸着孔群１１Ｍの各吸着孔１１ａの部位でもパネル基板１Ｍに押圧され、かつ偏光フィルム２Ｍはパネル基板１Ｍ側に移行する。この動作は、先頭吸着孔群１１Ｈにおいて説明したと同様のものとなる。なお、中判後端側吸着孔群１１Ｍを通過した後にまで偏光フィルム２Ｍが延在されており、この偏光フィルム２Ｍが自由端となっているが、ホルダドラム１０の回転によって、偏光フィルム２Ｍの自由端まで円滑にパネル基板１Ｍに巻き込まれる。従って、偏光フィルム２Ｍの後端部はある程度まで自由状態となっていても、パネル基板１Ｍに対して円滑に、しかも空気を巻き込むことなく貼着される。
【００４０】
ホルダドラム１０がさらに回転すると、両面に偏光フィルム２Ｍを貼着したパネル基板１Ｍがホルダドラム１０，１０の間から抜け出すことになる。従って、この後はガイドレール１８によりパネル基板１Ｍの送りを継続させることによって、偏光フィルム２の貼着ステージを通過する。ここで、ホルダドラム１０には、さらに大判後端側吸着孔群１１Ｌを備えているが、パネル基板１Ｍはこの大判後端側吸着孔群１１Ｌの位置を通過することはないので、切換手段１３Ｌは非作動状態に保持される。
【００４１】
以上によって、パネル基板１をホルダドラム１０に保持させるために、負圧吸引力が作用する吸着孔群１１を設けているが、この吸着孔群１１を構成する各吸着孔１１ａの部位でも、偏光フィルム２をパネル基板１に対して所定の押圧力を作用させることができ、偏光フィルム２は、その全面にわたってほぼ均一な押圧力でパネル基板１に押圧した状態で貼着されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】光学機能膜としての偏光フィルムを両面に貼着したパネル基板を示す断面図である。
【図２】偏光フィルムに保護膜を積層させた積層フィルム体を巻き付けたホルダドラムを示す構成説明図である。
【図３】図２のホルダドラムの展開図である。
【図４】本発明の実施の一形態において、積層フィルム体がホルダドラムに供給されている状態を示す偏光フィルム貼着装置の概略構成図である。
【図５】吸着孔群が設けられている流体接続チャンバに流体の切り換えを行う切換手段の構成説明図である。
【図６】ホルダドラムの制御手段の構成を示す説明図である。
【図７】ホルダドラムに積層フィルム体を巻き付けて、積層フィルムから保護膜を剥離している状態を示す動作説明図である。
【図８】両ホルダドラムに巻き付けた偏光フィルムの端部が相互に対面する状態を示す動作説明図である。
【図９】パネル基板に対して偏光フィルムの貼り付けを開始した状態を示す動作説明図である。
【図１０】パネル基板に偏光フィルムへの貼着動作がほぼ完了した状態を示す動作説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１，１Ｓ，１Ｍ，１Ｌ  パネル基板
２，２Ｓ，２Ｍ，２Ｌ  偏光フィルム
３  保護膜
４，４Ｓ，４Ｍ，４Ｌ  積層フィルム体
１０  ホルダドラム
１１Ｈ  先頭吸着孔群
１１Ｓ  小判後端側吸着孔群
１１Ｍ  中判後端側吸着孔群
１１Ｌ  大判後端側吸着孔群
１２Ｈ，１２Ｓ，１２Ｍ，１２Ｌ  流体接続チャンバ
１３Ｈ，１３Ｓ，１３Ｍ，１３Ｌ  開閉弁
１４  負圧源                  １５  加圧源
１７  回転軸                  １８  ガイドレール
２０  第１の切換弁            ２１  第２の切換弁
３０  制御回路                ３１  角度検出器
３２  位置検出センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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