(57)【要約】【課題】  レーザー光を照射して樹脂で構成される透過性部材と吸収性部材とを溶着することにより透過性部材と吸収性部材との間にインク流路を形成する液体吐出ヘッドの製造方法において、溶着部から発生した気体によって、レーザー光照射レンズが汚染される。【解決手段】  透過性部材と吸収性部材とを溶着する際に、インク流路と連通し、透過性部材に形成された第１開口における気圧よりも、インク流路と連通し吸収性部材に形成された第２開口における気圧を低くすることで、インク流路内で第１開口から第２開口へ向かう気流を発生させる。【選択図】  図１
2010241043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口が設けられた液体吐出基板と、
レーザー光に対して透過性を有し、レーザー光が照射される側の面に第１開口が設けられた透過性部材と、
レーザー光に対して吸収性を有し、レーザー光が照射される側の面の裏面に第２開口が設けられた吸収性部材と、
前記透過性部材と前記吸収性部材との間に形成されており、前記第１開口および前記第２開口に連通し、前記液体吐出基板に液体を供給するための流路と、
を含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記透過性部材と、前記流路の壁の一部を形成する流路部を備える前記吸収性部材と、を前記流路部を内側にして当接させる工程と、
前記流路部の周辺の領域へ向けて、前記透過性部材を通してレーザー光を照射して、前記透過性部材と前記吸収性部材とを溶着する工程と、
前記第１開口における気圧が、前記第２開口における気圧よりも高い状態にすることで、前記第１開口から前記第２開口へ向かって気流を発生させる工程と、
を含み、
前記気流を発生させる工程は、前記溶着する工程中に行われることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記気流を発生させる工程は、前記当接させる工程および前記溶着する工程にわたって行われることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記気流を発生させる工程は、前記溶着する工程後に行われることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記溶着する工程前に、気体を内部に導入するための導入管を備える部材でレーザー光源と前記透過性部材とを覆う工程を行い、
前記気流を発生する工程は、前記導入管から前記部材の内部に気体を導入する工程を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液体を吐出するための吐出口が設けられた液体吐出基板と、
レーザー光に対して透過性を有し、レーザー光が照射される側の面に第１開口が設けられた透過性部材と、
レーザー光に対して吸収性を有し、レーザー光が照射される側の面の裏面に第２開口が設けられた吸収性部材と、
前記透過性部材と前記吸収性部材との間に形成されており、前記第１開口および前記第２開口に連通し、前記液体吐出基板に液体を供給するための流路と、
を含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記透過性部材と、前記流路の壁の一部を形成する流路部を備える前記吸収性部材と、を前記流路部を内側にして当接させる工程と、
前記流路部の周辺の領域へ向けて、前記透過性部材を通してレーザー光を照射して、前記透過性部材と前記吸収性部材とを溶着する工程と、
前記第１開口における気圧が、前記第２開口における気圧よりも高い状態にすることで、前記第１開口から前記第２開口へ向かって気流を発生させる工程と、
を含み、
前記気流を発生させる工程は、前記溶着する工程後に行われることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記気流を発生させる工程は、前記第２開口から排気する工程を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第１開口を介して前記流路と前記液体吐出基板とは連通しており、
前記第２開口を介して前記流路と液体を収容するタンクとは連通しており、
前記吸収性部材は、前記タンクを保持するためのタンクホルダであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
流路を備える液体吐出ヘッドに用いられ、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とレーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とを含む流路部材の製造方法であって、
レーザー光が照射される側の面に第１開口が設けられた前記透過性部材と、レーザー光が照射される側の面の裏面に第２開口が設けられており、前記流路の壁の一部を形成する流路部を備える前記吸収性部材と、を前記流路部を内側にして当接させる工程と、
前記流路部の周辺の領域へ向けて、前記透過性部材を通してレーザー光を照射して、前記透過性部材と前記吸収性部材とを溶着する工程と、
前記第１開口における気圧が、前記第２開口における気圧よりも高い状態にすることで、前記第１開口から前記第２開口へ向かって気流を発生させる工程と、
を含み、
前記気流を発生させる工程は、前記溶着する工程中および前記溶着する工程後のうちいずれか一方または両方で行われることを特徴とする流路部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出させて記録媒体に記録を行うための液体吐出ヘッドに関し、特にインクジェット記録を行う液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして、一般的にインクジェット記録ヘッドが知られている。
【０００３】
図８を参照して、インクジェット記録ヘッドの構成について簡単に説明する。
【０００４】
図８（ａ）に示すように、インクジェット記録ヘッド１０００は、タンクホルダユニット１５００と、インクを吐出するための記録素子ユニット１４００で構成されている。
【０００５】
インクはインクタンク（不図示）から、樹脂材料で構成されるタンクホルダユニット１５００に形成されたインク流路を経由して、記録素子ユニット１４００に導かれる構成となっている。
【０００６】
タンクホルダユニット１５００には、図８（ｂ）に示すインク流路の壁の一部が一体的に形成されたタンクホルダ１５２０と、図８（ｃ）に示すインク流路の壁の一部が形成された流路部材１５１０とが接合されることによりインク流路１６００が形成される。
【０００７】
タンクホルダ１５２０と流路部材１５１０とを接合してインク流路１６００を形成する方法として、特許文献１に記載のレーザー溶着による方法が知られている。
【０００８】
一般にレーザー溶着とは、レーザー光に対して透過性を有する樹脂部材と、レーザー光に対して吸収性を有する樹脂部材とを当接させた状態で、溶着すべき部分にレーザー光を照射することにより接合させる方法である。
【０００９】
特許文献１に記載のレーザー溶着を用いてタンクホルダ１５２０と流路部材１５１０とを接合する方法について図９（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。
【００１０】
レーザー光に対して吸収性を有するようにしたタンクホルダ１５２０と、レーザー光に対して透過性を有するようにした流路部材１５１０とを、当接させる（図９（ａ））。その後、タンクホルダ１５２０と流路部材１５１０とが当接した状態でレーザー光照射レンズ１１０からレーザー光を照射し（図９（ｂ））、インク流路１６００（図９（ｃ））を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−０９６４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
図９（ｃ）に、図９（ｂ）の溶着される部分を拡大した図を示す。上述したレーザー溶着によるインク流路の製法において、溶着部１６３０は樹脂を溶融させるため高温に達する。溶着の工程において図９（ｃ）に示すように、インク流路１６００の周辺（図８（ｂ）、（ｃ）の１６００Ｓ）の溶着部１６３０から気体Ｇが発生し、インク流路１６００を通って外部に気体Ｇが漏れ出ることがある。
【００１３】
このように溶着時に発生する気体がレーザー光照射装置１００のうち照射レンズ１１０に到達した場合、照射レンズ１１０が汚染されてしまい、レーザー光の照射に影響を与える。
【００１４】
上記問題点を鑑み、本発明は、レーザー光を照射して樹脂部材を溶着することによりインク流路を形成する液体吐出ヘッドの製造方法において、溶着部から発生した気体による照射レンズの汚染を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するための吐出口が設けられた液体吐出基板と、レーザー光に対して透過性を有し、レーザー光が照射される側の面に第１開口が設けられた透過性部材と、レーザー光が照射される側の面の裏面に第２開口が設けられた吸収性部材と、前記透過性部材と前記吸収性部材との間に形成されており、前記液体吐出基板に液体を供給するための流路と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記透過性部材と、前記流路の壁の一部を形成する流路部を備える前記吸収性部材と、を前記流路部を内側にして当接させる工程と、前記流路部の周辺の領域へ向けて、前記透過性部材を通してレーザー光を照射して、前記透過性部材と前記吸収性部材とを溶着する工程と、前記第１開口における気圧を、前記第２開口における気圧よりも高くすることで、前記第１開口から前記第２開口へ向かって気流を発生させる工程と、を含み、前記気流を発生させる工程は、少なくとも前記溶着する工程中に行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、照射レンズの汚染を低減することができるため、安定したレーザー光の照射によりインク流路を形成することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態についての説明図である。
【図２】本発明の第２の実施形態についての説明図である。
【図３】本発明の第２の実施形態についての説明図である。
【図４】本発明の第３の実施形態についての説明図である。
【図５】本発明の第３の実施形態についての説明図である。
【図６】本発明の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドについての説明図である。
【図７】記録素子基板についての説明図である。
【図８】従来のインクジェット記録ヘッドの構成についての説明図である。
【図９】レーザー溶着方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明の液体吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド（以下、記録ヘッド）にかかわる実施形態の基本的な構成を説明する。
【００１９】
なお、本明細書において「記録」とは、文字や図形など有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わない。さらに、広く記録媒体上に画像、模様、パターンなどを形成する場合、または媒体の加工を行う場合をも包含する。
【００２０】
また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、布、プラスチックフィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革などのインクを受容可能な物をも含むものである。
【００２１】
さらに、「インク」とは、上記「記録」の定義と同様に広く解釈されるべきであり、記録媒体に付与されることによって、画像、模様、パターンなどの形成または記録媒体の加工あるいはインクの処理に供され得る液体を含む。したがって、記録に関して用いることが可能なあらゆる液体を包含している。
【００２２】
＜＜液体吐出ヘッド＞＞
液体吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド（以下、記録ヘッド）の構成について、図６を参照して説明する。
【００２３】
図６（ａ）は、記録ヘッドの一例を示す模式的斜視図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）記録ヘッドを矢印Ａの方向から見た模式図であり、図６（ｃ）は、図６（ａ）の記録ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【００２４】
記録ヘッドＨ１０００は、図６（ｃ）に示すように、記録素子ユニットＨ１４００と、インクを収容するタンクを保持し、タンクから記録素子ユニットＨ１４００にインクを供給するタンクホルダユニットＨ１５００と、を備える。
【００２５】
＜記録素子ユニット＞
以下、記録素子ユニットを構成する記録素子基板Ｈ１１００、配線部材Ｈ１３００について、詳細に説明する。
【００２６】
液体吐出基板としての記録素子基板Ｈ１１００の構成について、図７を参照して説明する。
【００２７】
図７は、記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明するための部分破断斜視図である。記録素子基板Ｈ１１００は、厚さ０．５ｍｍ〜１ｍｍのシリコン基板Ｈ１１１０と、インク流路を形成する流路壁Ｈ１１０６や吐出口Ｈ１１０７を形成するための吐出口形成部材Ｈ１１２０で構成される。
【００２８】
シリコン基板Ｈ１１１０には、インクを供給するための貫通口であるインク供給口Ｈ１１０２が異方性エッチング等を用いて形成されており、インク供給口Ｈ１１０２を挟んでその両側に、このインク供給口に沿って記録素子Ｈ１１０３が設けられている。記録素子としては例えば、発熱抵抗素子やピエゾ素子などを設けても良いが、ここでは一例としてヒーターなどの発熱抵抗素子を用いたものについて説明する。
【００２９】
また、シリコン基板Ｈ１１１０には、アルミニウムなどで構成され、記録素子Ｈ１１０３に電力を供給する電気配線（不図示）がインク供給口Ｈ１１０２から所定の距離を離して並設されている。これら記録素子Ｈ１１０３と電気配線は、既存の成膜技術（例えば、フォトリソグラフィー技術）を利用して形成することができる。
【００３０】
さらにシリコン基板Ｈ１１１０には、電気配線に電力を供給したり、記録素子Ｈ１１０３を駆動するための電気信号を供給したりするための複数の接続端子Ｈ１１０５で構成される電極部Ｈ１１０４が、記録素子の列の両端に位置する側の辺に沿って設けられている。接続端子Ｈ１１０５は例えばＡｕなどからなるバンプで形成されている。
【００３１】
上述のシリコン基板Ｈ１１１０の面上には、吐出口形成部材Ｈ１１２０がフォトリソグラフィー技術によって形成されている。吐出口形成部材Ｈ１１２０は、記録素子Ｈ１１０３に対応してインク流路が形成されており、各インク流路を区切るインク流路壁Ｈ１１０６とその上方を覆う天井部とを有し、天井部には吐出口Ｈ１１０７が開口されている。吐出口Ｈ１１０７は、記録素子Ｈ１１０３のそれぞれに対向して設けられており、複数の吐出口Ｈ１１０７が配列することにより、吐出口列を形成している。
【００３２】
上記のように構成された記録素子基板Ｈ１１００において、各記録素子Ｈ１１０３の発熱によって発生した気泡の圧力によって、インク供給口Ｈ１１０２から供給されたインクは、各記録素子Ｈ１１０３に対向する吐出口Ｈ１１０７から吐出される。
【００３３】
図６（ｃ）に示すように配線部材Ｈ１３００は、記録ヘッドが記録装置と電気的に接続するための接続端子Ｈ１３１１が設けられたリジッド配線基板Ｈ１３１０と、記録素子基板Ｈ１１００と電気的に接続されているフレキシブル配線基板Ｈ１３２０とで構成される。フレキシブル配線基板Ｈ１３２０を記録ヘッドＨ１０００の面に沿って折り曲げて配置することで、記録ヘッドＨ１０００の異なる面にそれぞれ設けられる接続端子Ｈ１３１１と、記録素子基板Ｈ１１００とを電気的に接続している。
【００３４】
記録素子基板Ｈ１１００に設けられた記録素子Ｈ１１０３を駆動するために、配線部材Ｈ１３００を介して、記録装置から記録素子基板Ｈ１１００に電気的な信号や電力が伝達される。具体的には、記録素子基板Ｈ１１００の表面端部に形成された電極部Ｈ１１０４とフレキシブル配線基板Ｈ１３２０の開口部から延出したリード端子とが互いにワイヤ−ボンデイング等の電気接続手段により接続されている。なお、この電気接続部は、インクによる腐食及び外力による損傷を防止するため封止材により封止されている。
【００３５】
記録ヘッドＨ１０００は、記録装置から送られる電気信号に応じて記録素子を駆動させることにより、インクを収容するタンク（不図示）から供給されるインクを記録素子基板Ｈ１１００に設けられた吐出口から吐出する。
【００３６】
＜タンクホルダユニット＞
図６（ｃ）に示すようにタンクホルダユニットＨ１５００は、第１流路部材Ｈ１５１０と、第２流路部材Ｈ１５２１が一体的に形成されたタンクホルダＨ１５２０とを有している。第１流路部材Ｈ１５１０には、インク流路の壁の一部を構成する第１流路部Ｈ１６１０（図１（ａ）参照）が形成されており、第２流路部材Ｈ１５２１には、インク流路の壁の一部を構成する第２流路部Ｈ１６２０が形成されている。
【００３７】
第１流路部材Ｈ１５１０および第２流路部材Ｈ１５２１が第１流路部Ｈ１６１０および第２流路部Ｈ１６２０を内側にして接合されることにより、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１との間にインク流路が形成される。このインク流路を介してタンクから記録素子基板Ｈ１１００にインクが供給される。なお、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１とが接合されてインク流路が形成されるため、第１、第２流路部材のどちらか一方または両方に、適宜、インク流路を形成するための流路部としての溝を設ければ良い。
【００３８】
第１流路部材には、レーザー光が照射される側の面にインク流路に連通する第１開口Ｈ１５１２（図１、図６（ｃ）参照）が形成されており、第１開口Ｈ１５１２を介してインク流路は記録素子基板Ｈ１１００に設けられたインク供給口Ｈ１１０２と連通する。また、第２流路部材にはレーザー光が照射される側の面の裏面にインク流路に連通する第２開口Ｈ１５２２（図６（ｂ）参照）が形成されている。なお、図６（ｂ）では、フィルタＨ１７００を透過して記録ヘッドＨ１０００を見た際の第２開口Ｈ１５２２が点線で示されている。インク流路は、第２開口Ｈ１５２２およびフィルタＨ１７００を介してタンクと連通する。
【００３９】
また、レーザー光により第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１とを溶着するためには、どちらか一方の流路部材がレーザー光に対して透過性を有し、他方の流路部材がレーザー光に対して吸収性を有する必要がある。本発明の実施形態においては、レーザー光が容易に溶着部に照射できるという観点から、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材を第１流路部材Ｈ１５１０とし、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材を第２流路部材Ｈ１５２１とした。どちらの流路部材に透過性、吸収性を持たせるかについては、適宜変更が可能である。
【００４０】
ここで、本発明においてレーザー光に対して透過性を有する透過性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の透過率が３０％以上の部材を意味する。また、本発明においてレーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の吸収率が９０％以上の部材を意味する。上述のような透過率及び吸収率の部材を用いることで、透過性部材と吸収性部材とのレーザー溶着が可能となる。
【００４１】
なお、本発明の実施形態においては、第２流路部材Ｈ１５２１がタンクホルダＨ１５２０と一体となって成形されている。しかしながら第２流路部材Ｈ１５２１をタンクホルダＨ１５２０とは別体で成形し、第２流路部材Ｈ１５２１と第１流路部材Ｈ１５１０とを後述の実施形態で説明する方法で溶着して流路部材を形成後、タンクホルダに対して流路部材を取り付けるようにしても良い。
【００４２】
以下、本発明の具体的な実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００４３】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００４４】
図１は、第１流路部Ｈ１６１０が形成されている第１流路部材Ｈ１５１０と、第２流路部Ｈ１６２０が形成されている第２流路部材Ｈ１５２１（タンクホルダＨ１５２０）とを溶着して、インク流路Ｈ１６００を形成する工程を示す断面図である。
【００４５】
図１（ａ）は、透過性部材としての第１流路部材Ｈ１５１０と、吸収性部材としての第２流路部材Ｈ１５２１とを、第１流路部および第２流路部を内側にして当接させる工程を示す。図１（ａ）に示すように、第２流路部材Ｈ１５２１が一体的に形成されたタンクホルダＨ１５２０を受け台Ｊ２００に配置し、その後に、第１流路部材Ｈ１５１０を第２流路部材Ｈ１５２１に配置する。
【００４６】
レーザー光照射装置Ｌ１００は、レーザー光照射レンズＬ１１０と、レーザー光源Ｌ１２０と、レーザー光源Ｌ１２０から照射レンズＬ１１０にレーザー光を伝達するファイバーＬ１３０を備えている。
【００４７】
受け台Ｊ２００には、第２流路部材に設けられた第２開口からインク流路Ｈ１６００内の気体を排気できるように、排気管Ｊ２１０が設けられており、排気管Ｊ２１０は開閉弁（不図示）を介してポンプＰ１に繋がっている。
【００４８】
図１（ｂ）はレーザー光照射する溶着工程を示す。図１（ｂ）に示すように、インク流路のＨ１６００周辺の領域Ｈ１６００Ｓに対して、透過性部材である第１流路部材Ｈ１５１０を通して、レーザー光照射レンズＬ１１０からレーザー光が照射され、溶着部Ｈ１６３０が形成される。
【００４９】
図１（ｂ）に示す溶着工程の際に溶着部Ｈ１６３０から発生した気体を第１開口Ｈ１５１２から外部へ排出させないように、稼働したポンプＰ１に繋がっている開閉弁を開けて排気管Ｊ２１０とポンプＰ１とを連通させ、インク流路Ｈ１６００内の気体を排気する。また、溶着工程後に、ポンプＰ１を用いてインク流路Ｈ１６００内に存在する溶着部から発生した気体を排気しても良い。
【００５０】
このようにして、第２開口Ｈ１５２２における気圧を第１開口Ｈ１５１２における気圧よりも低い状態にすることで、第１開口から第２開口へ向けて気流を発生させ、溶着する工程の際に溶着部Ｈ１６３０から発生した気体を排気することができる。なお、第１開口から第２開口へ向けて気流が発生した状態においては、第１開口Ｈ１５１２における気圧は、照射レンズＬ１１０の周囲よりも低い気圧である。よって、溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出て、照射レンズＬ１１０へ向けて気体が向かうことを抑制することができる。
【００５１】
なお、ポンプＰ１を用いて排気管Ｊ２１０を介してインク流路Ｈ１６００内を排気する工程を溶着工程後に行うよりは、溶着部Ｈ１６３０から気体が発生する溶着工程中に行う方が、発生した気体をすみやかにインク流路Ｈ１６００内から排出できるため、望ましい。また、溶着工程の際と溶着工程後の両方で、インク流路Ｈ１６００内を排気する工程を行うことで、インク流路Ｈ１６００内に残存した溶着部Ｈ１６３０から発生した気体を、第２開口Ｈ１５２２から効率よく排出することができる。また、当接させる工程から、すなわち溶着工程前から溶着工程にわたって排気する工程を行うことで、さらに効率よく溶着部Ｈ１６３０から発生した気体を第２開口Ｈ１５２２から排出することができる。また、複数の記録ヘッドを製造するために、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１とを当接させる工程と、溶着工程とを繰り返す場合がある。このような場合には、当接させる工程、溶着工程、溶着工程後にわたって、排気する工程を行うことで溶着部Ｈ１６３０から発生した気体を第２開口Ｈ１５２２から排出し、効率良く記録ヘッドを製造することができる。
【００５２】
以上説明したように、溶着工程中、または、溶着工程後において、第２開口からインク流路内を排気して第１開口から第２開口へ向けて気流を発生させることで、溶着部から発生した気体が第１開口から照射レンズへ向かうことを抑制することができる。その結果、照射レンズの汚染を低減することができ、レーザー光の照射エネルギーの減衰を抑えることができる。すなわち本発明の製造方法によれば、レーザー光照射装置の性能の低下を抑制し、安定したレーザー光の照射により信頼性の高いインク流路を備える記録ヘッドを製造することができる。
【００５３】
さらに、記録ヘッドを量産する場合にも、本発明によれば照射レンズの汚染が低減されるため、照射レンズの洗浄の回数を減らすことができ、高い生産性を実現することができる。
【００５４】
なお、本実施形態においては、透過性部材の材料として、透明ノリル「型番ＴＰＮ９２２１」（ＳＡＢＩＣ  Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＜旧ＧＥ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社＞製）を採用した。この透明ノリルは、レーザー光を透過する性質を有しつつ、耐インク性にも優れた透明材料である。他に、透過性部材の材料として、色材を含まない透明ノリルである「型番ＴＮ３００」（同社製）を使用することも可能である。
【００５５】
ここでノリルとは、変性ポリフェニレンエーテル（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｅｔｈｅｒ）または変性ポリフェニルオキサイド（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｏｘｉｄｅ）の通称名である。ノリルは耐熱性及び強度を上げるためにポリフェニレンエーテル（ポリフェニレンオキサイド）を変性させたものであり、熱可塑性樹脂に属し、酸・アルカリに強い耐性を持つ特徴を有する。
【００５６】
吸収性部材の材料としては、レーザー光を吸収する染料または顔料を含有した黒色ノリルである「型番ＳＥ１Ｘ」（同社製）を採用した。
【００５７】
（第２の実施形態）
次に本発明の第２の実施形態について説明する。
【００５８】
第２の実施形態は、レーザー溶着による加工区域をカバーＣ３００で覆った形態について示す。なお、第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、受け台Ｊ２００に設けられた排気管Ｊ２１０がポンプＰ１と繋がっていない点である。
【００５９】
本実施形態では、図２（ａ）に示すように、レーザー光照射装置Ｌ１００は、カバーＣ３００で覆われている。しかしながら、少なくとも照射レンズＬ１１０がカバーＣ３００の内部に配される構成であれば、レーザー光源Ｌ１２０、ファイバーＬ１３０はカバーＣ３００の外部に配されていても良い。
【００６０】
レーザー溶着による加工区域を、レーザー光照射レンズＬ１１０を含めてカバーＣ３００で覆った状態で、照射レンズＬ１１０が気流の上流側となるように、カバーＣ３００にはポンプＰ２と開閉弁（不図示）で繋がった気体導入管Ｃ３１０が設けられている。この気体導入管Ｃ３１０からカバーＣ３００の内部に気体を導入できる構成としている。
【００６１】
図２（ｂ）はレーザー光を照射する溶着工程を示す。レーザー光照射装置Ｌ１００とともにカバーＣ３００が受け台Ｊ２００に向かって移動し、カバーＣ３００は受け台Ｊ２００と接触して、溶着対象である第１流路部材Ｈ１５１０および第２流路部材Ｈ１５２１を覆う。第１の実施形態で説明した場合と同様に、インク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓに対してレーザー光照射装置Ｌ１００のレーザー光照射レンズＬ１１０からレーザー光を照射する。
【００６２】
図２（ｂ）に示す溶着工程中に、気体導入管Ｃ３１０からポンプＰ２を用いてカバーＣ３００の内側に気体を導入する。このように溶着工程の際に、気体を導入する工程を行うことで、第１開口における気圧を第２開口における気圧よりも高くすることができる。よって、カバーＣ３００の外部と連通する第２開口Ｈ１５２２から、インク流路Ｈ１６００内に存在する溶着部Ｈ１６３０から発生した気体を排出することができる。
【００６３】
このような構成とすることで、照射レンズＬ１１０および第１開口Ｈ１５１２における気圧を第２開口Ｈ１５２２よりも高くし、第１開口Ｈ１５１２から第２開口Ｈ１５２２へ向けて気流を発生させることができる。なお、第２開口Ｈ１５２２は、排気管Ｊ２１０を介してカバーＣ３００の外部と繋がっているため、第１開口から第２開口を向けて気流が発生した状態においては、第２開口Ｈ１５２２における気圧は外部の気圧よりも高い気圧となる。よって、溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出て、照射レンズＬ１１０へ向けて気体が向かうことを抑制することができる。
【００６４】
また、照射レンズＬ１１０を気流の上流側となる気体導入管Ｃ３１０側に配置することで、溶着部Ｈ１６３０からした気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出たとしても、照射レンズＬ１１０へ向かうことを抑制することができる。
【００６５】
なお、気体導入管Ｃ３１０から導入する気体としては、照射レンズＬ１１０を汚染するなどの影響を与えにくい気体、例えば窒素などの不活性気体を用いれば良い。また、カバーＣ３００外部の空気が汚染されていなければ、外部の空気を気体導入管Ｃ３１０から導入する構成としても良い。
【００６６】
また、気体導入管Ｃ３１０からカバーＣ３００の内側に気体を導入する工程は、少なくとも溶着部Ｈ１６３０から気体が発生する溶着工程中に行えば良い。さらに溶着工程後も引き続いて気体導入管Ｃ３１０からカバーＣ３００内に気体を導入する工程を行うことで、照射レンズＬ１１０の周囲には、気体導入管Ｃ３１０から受け台Ｊ２００の方へ向かう気流を発生させることができる。よって、カバーＣ３００が受け台Ｊ２００から離れて、カバーＣ３００内部が開放状態となった場合にも、溶着部Ｈ１６３０から発生する気体が第１開口Ｈ１５１２から照射レンズＬ１１０へ向かうことをさらに抑制することができる。また、当接させる工程、すなわち溶着工程前から溶着工程にわたって気体を導入する工程を行うことで、溶着部Ｈ１６３０から発生する気体による照射レンズＬ１１０に対する汚染をさらに低減することができる。また、第１の実施形態で説明した場合と同様に、記録ヘッドを量産するために、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１とを当接させる工程と、溶着工程とを繰り返す場合がある。このような場合にも、当接させる工程、溶着工程、溶着工程後にわたって、気体を導入する工程を行うことで溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口から照射レンズＬ１１０へ向かうことを抑制し、効率良く記録ヘッドを製造することができる。
【００６７】
なお、カバーＣ３００に遮光機能を持たせることで、溶着時に照射レンズＬ１１０から照射されるレーザー光が外部へ漏れることを抑制できるため、さらに遮光のための遮光カバーを設けなくても良い。
【００６８】
また、図３に示すように、第１の実施形態の構成および第２の実施形態の構成を両方適用することで、さらに照射レンズＬ１１０に対する汚染を低減することができる。
【００６９】
（第３の実施形態）
次に本発明の第３の実施形態について説明する。
【００７０】
第１の実施形態および第２の実施形態においては、レーザー溶着の方法として、溶着したい領域に沿ってレーザー光を走査させて照射するいわゆるスキャン方式による方法を採用した場合を説明した。第３の実施形態においては、図４に示すように、溶着したい領域に対応させて照射レンズＬ１１０を配置し、一括で溶着したい領域に対してレーザー光を照射する方式について説明する。
【００７１】
図４は、透過性部材である第１流路部材Ｈ１５１０を、吸収性部材である第２流路部材Ｈ１５２１が一体的に形成されたタンクホルダＨ１５２０に対して取り付ける工程を示す斜視図である。
【００７２】
図４（ａ）は第１流路部材Ｈ１５１０と、タンクホルダＨ１５２０と一体成形されている第２流路部材Ｈ１５２１とを用意して、両者を当接させる工程を示す。
【００７３】
図４（ｂ）は、押さえ治具Ｊ４００で第１流路部材Ｈ１５１０を押さえて、第１流路部材および第２流路部材とを密着させ、第１流路部材を介して照射レンズＬ１１０からレーザー光を照射する溶着工程を示す。押さえ治具Ｊ４００は、インク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓに対応して照射レンズＬ１１０が配置されており、一括で溶着させたい領域にレーザー光を照できる構成となっている。
【００７４】
図４（ｃ）は、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１とが溶着されたタンクホルダユニットＨ１５００を示す。
【００７５】
図５（ａ）〜（ｃ）は、図４（ａ）〜（ｃ）のＶａ−Ｖａ、Ｖｂ−Ｖｂ、Ｖｃ−Ｖｃ断面図であり、図４の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれが図５の（ａ）〜（ｃ）に対応している。また、図５（ｄ）は、４（ｂ）のＶｄ−Ｖｄ断面図を示す。図第１流路部材及び第２流路部材の具体的な構成について、図４および図５を用いて説明する。
【００７６】
図４（ａ）および図５に示す第２流路部Ｈ１６２０やインク流路Ｈ１６００は幅が約１．０ｍｍである。また、溶着部Ｈ１６３０（図５（ｃ））となるインク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓ（図５（ｂ））は幅が約１．０ｍｍであり、インク流路Ｈ１６００は微細な構造となっている。
【００７７】
このように微細な構造のインク流路Ｈ１６００を一括照射方式で形成するには、溶着部となるインク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓのみにレーザー光を照射することは難しく、インク流路Ｈ１６００にもレーザー光が照射される。したがって、図５（ｂ）や図５（ｄ）に示すように、レーザー光の照射時には、照射レンズＬ１１０およびレーザー光が照射される第１流路部材に形成された第１開口Ｈ１５１２は、治具Ｊ４００で覆われた状態となる。よって、溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出た場合には、第１の実施形態および第２の実施形態の構成に比べて照射レンズＬ１１０が汚染されやすいと言える。
【００７８】
またレーザー光を一括で照射する一括照射方式の場合は、スキャン方式でレーザー光を照射する場合に比べて、レーザー光照射時に単位時間あたりに溶着部から発生する気体の量が多い。そのため、溶着部から発生する気体によって照射レンズＬ１１０が汚染されるという課題がより大きいと言える。
【００７９】
本実施形態では、図５（ｂ）、（ｄ）に示す溶着工程の際に、第１の実施形態と同様に、ポンプＰ１（不図示）を用いてインク流路Ｈ１６００内の気体を第２開口Ｈ１５２２から排出し、第１開口における気圧を第２開口における気圧よりも高くすることができる。よって、第１開口から第２開口に向けてインク流路Ｈ１６００内で気流が発生し、溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出ることを抑制することができる。第１開口から第２開口に向けてインク流路Ｈ１６００内で気流が発生し、溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出ることを抑制することができる。
【００８０】
また、第２の実施形態と同様にポンプＰ２（不図示）を用いて照射レンズＬ１１０側から不活性気体などを導入することで、第１開口における気圧が第２開口における気圧よりも高くすることができる。よって、溶着部Ｈ１６３０から発生した気体が第１開口Ｈ１５１２から照射レンズＬ１１０側へ向かうことを抑制することができる。さらに、照射レンズＬ１１０側から不活性気体などの気体を導入することで、照射レンズＬ１１０側が上流、レーザー光が照射される流路部材側が下流となる気流が発生する。よって、溶着時に溶着部から発生する気体が第１開口Ｈ１５１２から漏れ出て、照射レンズＬ１１０へ向かうことを抑制することができる。
【００８１】
本実施形態においても、第２開口Ｈ１５２２からインク流路Ｈ１６００内の気体を排出しつつ、照射レンズＬ１１０側から不活性気体を導入することを行えば、インク流路Ｈ１６００内における第１開口から第２開口へ向かう気流の流れが促進される。したがってさらに照射レンズＬ１１０の汚染を低減することができる。
【００８２】
このようにして、第１流路部材（透過性部材）と第２流路部材（吸収性部材）とを溶着する工程の際に、第２開口Ｈ１５２２における気圧を第１開口Ｈ１５１２における気圧よりも低くすることで、第１開口から第２開口へ向けて気流を発生させることができる。第１開口から第２開口へ向けて気流を発生させる工程は、第１および第２の実施形態で説明した場合と同様に、少なくとも溶着工程の際に行えば良く、溶着工程の前後にわたって行えば、さらに照射レンズＬ１１０に対する汚染を低減することができる。
【００８３】
なお、本実施形態においては、インク流路の周辺の領域および第１開口と連通するインク流路を含んでレーザー光が照射される例として一括照射方式の例を示した。しかしながら、例えばライン状のレーザー光を照射しながら面を走査し、レーザー光が溶着される部位であるインク流路の周辺の領域、さらに溶着される部位以外、例えば第１開口と連通するインク流路も含んで照射される場合にも適用可能である。
【００８４】
本実施形態においては、図５（ｂ）に示すように、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１とを、レーザー光が照射されるインク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓのみで当接させ、レーザー光が照射されない部分は当接させない構成としている。
【００８５】
このように当接部分と非当接部分とを設けることで、第１流路部材Ｈ１５１０と第２流路部材Ｈ１５２１と当接させた際に、当接部分（インク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓ）のみに圧力が集中し、当接部分における密着性を向上させることができる。
【００８６】
図５（ｂ）に示すように、レーザー光がインク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓに照射されると、第２流路部材Ｈ１５２１（吸収性部材）が含有している染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのとき発生した熱が第１流路部材Ｈ１５１０に伝達される。その伝達された熱により第１流路部材Ｈ１５１０も溶融する。その際、インク流路の周辺の領域Ｈ１６００Ｓは密着性が高く、効率良く溶融熱が伝達されるため、図５（ｃ）に示す溶着部Ｈ１６３０は強固なものとなる。
【００８７】
以上、第１乃至第３の実施形態で説明した通り、本発明の製法を適用すれば、照射レンズの汚染を低減することができるため、安定したレーザー光の照射によりインク流路を形成することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００８８】
Ｈ１０００  インクジェット記録ヘッド
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１５１０  透過性部材
Ｈ１５１２  第１開口
Ｈ１５２１  吸収性部材
Ｈ１５２２  第２開口
Ｈ１６００  インク流路
Ｈ１６１０  第１流路部
Ｈ１６２０  第２流路部
Ｈ１６３０  溶着部
【図１】
2010241043.tif 000003
【図２】
2010241043.tif 000004
【図３】
2010241043.tif 000005
【図４】
2010241043.tif 000006
【図５】
2010241043.tif 000007
【図６】
2010241043.tif 000008
【図７】
2010241043.tif 000009
【図８】
2010241043.tif 000010
【図９】
2010241043.tif 000011