(57)【要約】【課題】圧電アクチュエータの製造時に、配線部材が圧電層に接触してしまうのを防止する。【解決手段】圧電アクチュエータを製造するには、まず、振動板４０、圧電層４１、４２、電極４３〜４５の積層体の上面に形成された上部電極４５の接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６を形成する。そして、これとは別に、下面にランド５２及び配線５３が形成された基材５１の上面におけるランド５２と対向する部分に突出部５６を形成し、続いて基材５１の下面に熱硬化性の接着剤層５５を形成する。次に、ＣＯＦ５０を圧電層４２の上面に配置し、ヒータＨにより、突出部５６を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することでランド５２と導電性バンプ４６とを電気的に接続するとともに、基材５１と圧電層４２とを接合する。【選択図】図７
2010087151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の活性部を有する圧電層と、
前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、
前記圧電層と対向して配置されて、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、
前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、
前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれバンプを介して接続された圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、
前記複数の第１接続端子及び前記複数の第２接続端子のいずれか一方に、前記バンプを形成するバンプ形成工程と、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側となる面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側となる面から突出した複数の突出部を形成する突出部形成工程と、
前記複数の突出部を、前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプを介して前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とを電気的に接続するとともに、前記圧電層と前記フレキシブル配線部材とを接合する第１接合工程とを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項２】
前記第１接合工程の前に、少なくとも前記複数の第２の接続端子が形成された部分を含む前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面に、未硬化の熱硬化性接着剤層を形成する接着剤層形成工程をさらに備えており、
前記第１接合工程において、前記突出部を前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプに未硬化の熱硬化性接着材層を貫通させ前記第１接続端子と第２接続端子とを接続させつつ、前記圧電層と前記フレキシブル配線部材とを前記熱硬化性接着剤層により接合することを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項３】
前記突出部形成工程において、前記複数の突出部を、前記第１および第２の接続端子に設けられた前記バンプの少なくとも先端部に対応する部分を囲うように貫通孔が形成された環状に形成することを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項４】
前記第１接合工程の後、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面に、前記複数の突出部間の隙間に充填された熱収縮硬化性接着剤を硬化させて板状体を接合する第２接合工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項５】
前記第２接合工程の前に、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面のうち前記圧電層に接続される部分の外縁部に、前記複数の突出部とほぼ同じ高さの枠部を形成する枠部形成工程をさらに備えており、
前記第２の接合工程において、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面に、前記複数の突出部及び前記枠部の隙間に充填された前記熱収縮硬化性接着剤を硬化させて前記板状体を接合することを特徴とする請求項４に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項６】
前記複数の突出部と前記枠部とが同じ材料からなるものであり、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面の全域に、前記複数の突出部及び前記枠部の材料の層を形成し、当該層から前記複数の突出部及び前記枠部となる部分を除いた部分を除去することにより、前記突出部形成工程と前記枠部形成工程とを同時に行うことを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項７】
前記圧電アクチュエータユニットが、前記圧電層の前記フレキシブル配線部材と反対側の面に接合された振動板をさらに備えたものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
【請求項８】
圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、
前記圧電アクチュエータが、
前記圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の活性部を有する圧電層と、
前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、
前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、
前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、
前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続された液体移送装置の製造方法であって、
前記複数の第１接続端子及び前記複数の第２接続端子のいずれか一方に、前記バンプを形成するバンプ形成工程と、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側となる面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側となる面から突出した複数の突出部を形成する突出部形成工程と、
前記複数の突出部を、前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプを介して前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とを電気的に接続するとともに、前記圧電層と前記フレキシブル配線部材とを接合する第１接合工程とを備えていることを特徴とする液体移送装置の製造方法。
【請求項９】
複数の活性部を有する圧電層と、
前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、
前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、
前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、
前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続されており、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側の面から突出した複数の突出部が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。
【請求項１０】
圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する複数の活性部を有する圧電層と、
前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、
前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、
前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、
前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続されており、
前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側の面から突出した複数の突出部が形成されていることを特徴とする液体移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電層の表面と対向するように配線部材が配置された圧電アクチュエータユニットの製造方法、及び、このような圧電アクチュエータユニットを備えた液体移送装置の製造方法、並びに、圧電層の表面と対向するように配線部材が配置された圧電アクチュエータユニット、及び、このような圧電アクチュエータユニットを備えた液体移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、圧電アクチュエータにより圧力室内のインクに圧力を付与することによってノズルからインク滴を吐出する記録ヘッドを製造する際に、最も上方に配置された圧電シート（圧電層）の上面に配置された個別電極のランド部の表面にバンプを形成するとともに、端子部や配線が形成されたＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）（フレキシブル配線部材）の下面に未硬化の熱硬化性の合成樹脂層を形成し、ＦＰＣを圧電シートに向かって押圧しながら加熱することにより、バンプが合成樹脂層を貫通して端子部に接触した状態で、圧電シートとＦＰＣとを接合することが記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３５８４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般にＦＰＣはポリイミドなどの基材の表面に導電層が形成され、さらにその導電層を覆う絶縁性のレジスト材が形成されてなり、基材の熱膨張係数は、圧電シートよりも大きいため、特許文献１に記載されているように、ＦＰＣを圧電シートに向かって押圧しながら加熱すると、ＦＰＣと圧電シートとの線膨張係数の違いにより、ＦＰＣは圧電シート側、あるいは圧電シートと反対側に撓むこととなってしまう。バーヒータなどでＦＰＣの表面を押圧して加熱する場合、上側からの押圧力により膨張したＦＰＣは圧電シート側に撓みやすい。そして、ＦＰＣが圧電シート側に撓んで圧電シートの表面に接触してしまうと、圧電層に汚れや傷が生じてしまう虞がある。特にＦＰＣが圧電層の圧力室と対向する部分（活性部）に接触した場合には、圧電アクチュエータを駆動させたときの圧電シートの変形を阻害し、その結果、ノズルからのインクの吐出特性に影響を生じさせてしまう虞がある。特に、特許文献１に記載されているような、最も上方に配置された圧電シートに電界を発生させて、当該圧電シート水平方向に収縮させることにより、当該圧電シート及び当該圧電シートの下面に接合された、振動板として動作する圧電シートをその厚み方向に変形させる、いわゆるユニモルフ変形を用いた圧電アクチュエータにおいては、活性部が圧電シート表面に近いためＦＰＣが圧電シートに接触したときの、圧電シートの変形量の変動は大きなものとなる。
【０００５】
本発明の目的は、配線部材が圧電層に接触してしまうのを防止することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法、並びに、このような圧電アクチュエータを備えた液体移送装置及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、複数の活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続された圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記複数の第１接続端子及び前記複数の第２接続端子のいずれか一方に、前記バンプを形成するバンプ形成工程と、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側となる面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側となる面から突出した複数の突出部を形成する突出部形成工程と、前記複数の突出部を、前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプを介して前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とを電気的に接続するとともに、前記圧電層と前記フレキシブル配線部材とを接合する第１接合工程とを備えていることを特徴とするものである。
【０００７】
これによると、圧電層にフレキシブル配線部材を接合する前に、フレキシブル配線部材の圧電層と反対側の面における第２接続端子と対向する部分に複数の突出部を形成しているため、接合時にヒータなどにより突出部を圧電層と反対側から圧電層に向かって押圧しながら加熱したときに、ヒータなどが熱膨張係数の高いフレキシブル配線部材の突出部が形成されていない部分には直接接触しない。したがって、フレキシブル配線部材に面接触させる場合と比べてヒータからの伝熱が抑えられ、熱によるフレキシブル配線部材の膨張が少なくなる。このため、フレキシブル配線部材が大きく変形することがなく、フレキシブル配線部材が膨張することで圧電層側に撓んで圧電層に接触することを防止することができる。
【０００８】
また、突出部によりヒータの押圧面と当該反対側の面との間に空間が形成されるため、フレキシブル配線部材がヒータ側に変形しても、フレキシブル配線部材がヒータの押圧面に接触する危険性はなく、圧電層側へ押し出されることがない。これにより、フレキシブル配線部材が圧電層側に変形して圧電層に接触してしまうのが確実に防止される。
【０００９】
以上のことから、フレキシブル配線部材が圧電層に接触することで、活性部を有する圧電層に汚れや傷が生じてしまうこと、及び、圧電層の変形が阻害されて圧電アクチュエータユニットの駆動を阻害してしまうことを防止することができる。
【００１０】
一方、フレキシブル配線部材は、突出部が形成された部分においてのみ押圧されながら加熱されるので、突出部と対向する複数の第１、第２接続端子及びバンプに大きな応力が加わり、圧電層とフレキシブル配線部材とを確実に接合することができる。
【００１１】
第２の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第１の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記第１接合工程の前に、少なくとも前記複数の第２の接続端子が形成された部分を含む前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面に、未硬化の熱硬化性接着剤層を形成する接着剤層形成工程をさらに備えており、前記第１接合工程において、前記突出部を前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプに未硬化の熱硬化性接着材層を貫通させ前記第１接続端子と第２接続端子とを接続させつつ、前記圧電層と前記フレキシブル配線部材とを前記熱硬化性接着剤層により接合することを特徴とするものである。
【００１２】
フレキシブル配線部材の圧電層側の面に未硬化の熱硬化性の接着剤層を形成してから、フレキシブル配線部材を圧電層に向かって押圧しながら加熱することによりフレキシブル配線部材と圧電層とを接合する場合、フレキシブル配線部材が膨張して圧電層側に撓んで圧電層に接触してしまうと、フレキシブル配線部材の圧電層側の面に形成されていた接着剤層が圧電層に接触してしまう虞がある。そして、フレキシブル配線部材は、第１接続工程の後、ヒータを離すと、膨張した状態から収縮して元に戻ろうとするが、接着剤層が圧電層に接触していると、接着剤層が硬化して、フレキシブル配線部材が圧電層に接触した状態のまま元に戻らなかったり、元に戻った場合でも圧電層に接着剤層が残留したまま硬化したりしてしまう虞がある。そして、その結果、圧電層に付着した接着剤層又は圧電層に接合されたフレキシブル配線部材により、圧電層に汚れや傷が生じてしまう虞があるとともに、圧電層の変形が阻害されて圧電アクチュエータユニットの駆動を阻害してしまう虞がある。
【００１３】
しかしながら、本発明では、フレキシブル配線部材が大きく変形して、圧電層側へ撓んでしまうのが抑制されているので、未硬化の熱硬化性接着剤層によりフレキシブル配線部材が圧電層に接触し、その後、ヒータを離したときに接着剤層によりフレキシブル配線部材が圧電層に接合されて変形が元に戻らなかったり、圧電層に接着剤層が残留したりするのを防止することができる。
【００１４】
第３の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第２の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記突出部形成工程において、前記複数の突出部を、前記第１および第２の接続端子に設けられた前記バンプの少なくとも先端部に対応する部分を囲うように貫通孔が形成された環状に形成することを特徴とするものである。
【００１５】
これによると、少なくともバンプの先端部と対向する位置に貫通孔が形成された環状の突出部を圧電層に向かって押圧したときに、突出部の貫通孔周囲の部分に押圧力が集中して変形力が加わるため、フレキシブル配線部材は、貫通孔に対応するバンプ先端部を取り囲む部分が大きく圧電層側に押し出されるように変形し、この部分に付着している熱硬化性接着剤層が押し出され、この押し出された接着材によっても圧電層とフレキシブル配線部材とが接合される。そのため、圧電層とフレキシブル配線部材とが、第１、第２接続端子とバンプの先端部とが電気的に接続されている部分を取り囲む部分において接着剤が厚く接合されることとなり、圧電層とフレキシブル配線部材とが確実に接合される。
【００１６】
第４の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第１〜第３のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記第１接合工程の後、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面に、前記複数の突出部間の隙間に充填された熱収縮硬化性接着剤を硬化させて板状体を接合する第２接合工程をさらに備えていることを特徴とするものである。
【００１７】
これによると、複数の突出部間の隙間に充填された熱収縮硬化性接着剤を硬化させることにより、フレキシブル配線部材の圧電層と反対側に板状体を接合すると、接着剤が収縮して硬化したときに、熱収縮硬化性接着剤によりフレキシブル配線部材が基材と反対側に引っ張られることで、フレキシブル配線部材が圧電層側に撓んで圧電層に接触してしまうのを防止することができる。また、反対側に引っ張られた状態で接着剤が硬化しているので、後工程で作業者が作業しているときなど、予期せぬ衝撃や加圧が加わっても圧電層にフレキシブル配線部材が接触するのを防止できる。
【００１８】
さらに、フレキシブル配線部材の圧電層と反対側と板状体と間には複数の突出部が介在し、フレキシブル配線部材と板状体との間隔が大きくなるため、フレキシブル配線部材と板状体との間に充填される熱収縮硬化性接着剤の容積が大きくなり、その分熱収縮硬化性接着剤によってフレキシブル配線部材が大きく引っ張られる。
【００１９】
加えて、突出部は、基材の圧電層と反対側の面に複数形成されているため、板状体の接合工程において、熱収縮硬化性接着剤が、毛細管現象により複数の突出部の間の隙間を流れる。したがって、熱収縮硬化性接着剤により、確実に複数の突出部の隙間を埋めることができ、フレキシブル配線部材を確実に引っ張ることができる。
【００２０】
第５の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第４の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記第２の接合工程の前に、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面のうち前記圧電層に接続される部分の外縁部に、前記複数の突出部とほぼ同じ高さの枠部を形成する枠部形成工程をさらに備えており、前記第２接合工程において、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面に、前記複数の突出部及び前記枠部の隙間に充填された前記熱収縮硬化性接着剤を硬化させて前記板状体を接合することを特徴とするものである。
【００２１】
これによると、フレキシブル配線部材の圧電層に接合される部分の外縁部が、熱収縮性硬化接着剤により圧電層と反対側に引っ張られるとフレキシブル配線部材が剥がれやすくなってしまう虞がある。しかしながら、本発明では、フレキシブル配線部材の圧電層と反対側の面における、圧電層に接合される部分の外縁部に枠部が形成されているため、フレキシブル配線部材の圧電層に接合される部分の外縁部には熱硬化収縮性接着剤がなく、上述したようなフレキシブル配線部材の剥がれを防止することができる。
【００２２】
第６の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第５の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記複数の突出部と前記枠部とが同じ材料からなるものであり、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面の全域に、前記複数の突出部及び前記枠部の材料の層を形成し、当該層から前記複数の突出部及び前記枠部となる部分を除いた部分を除去することにより、前記突出部形成工程と前記枠部形成工程とを同時に行うことを特徴とするものである。
【００２３】
これによると、突出部と枠部とを同時に形成することができるので、圧電アクチュエータユニットの製造工程が簡単になる。
【００２４】
第７の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第１〜第６のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記圧電アクチュエータユニットが、前記圧電層の前記フレキシブル配線部材と反対側の面に接合された振動板をさらに備えたものであることを特徴とするものである。
【００２５】
圧電アクチュエータユニットが、活性部に電界を発生させて圧電層をその面方向に変形させることにより圧電層及び振動板を全体としてその厚み方向に変形させる（いわゆるユニモルフ変形する）圧電アクチュエータユニットである場合、フレキシブル配線部材が活性部に接触してしまうと、圧電アクチュエータユニットの駆動を特に阻害してしまいやすい。
【００２６】
しかしながら、本発明では、フレキシブル配線部材が活性部に接触しにくいため、圧電アクチュエータユニットの駆動特性を阻害するのを防止することができる。
【００２７】
第８の発明に係る液体移送装置の製造方法は、圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、前記圧電アクチュエータが、前記圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続された液体移送装置の製造方法であって、前記複数の第１接続端子及び前記複数の第２接続端子のいずれか一方に、前記バンプを形成するバンプ形成工程と、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側となる面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側となる面から突出した複数の突出部を形成する突出部形成工程と、前記複数の突出部を、前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプを介して前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とを電気的に接続するとともに、前記圧電層と前記フレキシブル配線部材とを接合する第１接合工程とを備えていることを特徴とするものである。
【００２８】
第９の発明に係る圧電アクチュエータユニットは、複数の活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続されており、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側の面から突出した複数の突出部が形成されていることを特徴とするものである。
【００２９】
第１０の発明に係る液体移送装置は、圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する複数の活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられ、前記複数の活性部に電界を発生させることにより前記活性部を駆動させるための複数の電極と、前記圧電層と対向するように配置されており、前記複数の電極に接続される複数の配線が形成された、前記圧電層よりも線膨張係数の大きいフレキシブル配線部材とを備えており、前記圧電層の前記フレキシブル配線部材との対向面には、前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の第１接続端子が形成されており、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層との対向面には、前記複数の第１接続端子と対向する部分に、前記複数の配線にそれぞれ接続された複数の第２接続端子が形成されており、前記複数の第１接続端子と前記複数の第２接続端子とが、それぞれ、バンプを介して接続されており、前記フレキシブル配線部材の前記圧電層と反対側の面における、前記複数の第２接続端子と対向する部分に、前記フレキシブル配線部材の当該反対側の面から突出した複数の突出部が形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、圧電層にフレキシブル配線部材を接合する前に、フレキシブル配線部材の圧電層と反対側の面における第２接続端子と対向する部分に複数の突出部を形成しているため、接合時にヒータなどにより突出部を圧電層と反対側から圧電層に向かって押圧しながら加熱したときに、ヒータなどが熱膨張係数の高いフレキシブル配線部材の突出部が形成されていない部分には直接接触しない。したがって、フレキシブル配線部材に面接触させる場合と比べてヒータからの伝熱が抑えられ、熱によるフレキシブル配線部材の膨張が少なくなる。このため、フレキシブル配線部材が大きく変形することがなく、フレキシブル配線部材が膨張することで圧電層側に撓んで圧電層に接触することを防止することができる。
【００３１】
また、突出部によりヒータの押圧面と当該反対側の面との間に空間が形成されるため、フレキシブル配線部材がヒータ側に変形しても、フレキシブル配線部材がヒータの押圧面に接触する危険性はなく、圧電層側へ押し出されることがない。これにより、フレキシブル配線部材が圧電層側に変形して圧電層に接触してしまうのが確実に防止される。
【００３２】
以上のことから、フレキシブル配線部材が圧電層に接触することで、圧電層に汚れや傷が生じてしまうこと、及び、圧電層の変形が阻害されて圧電アクチュエータの駆動を阻害してしまうことを防止することができる。
【００３３】
一方、フレキシブル配線部材は、突出部が形成された部分においてのみ押圧されながら加熱されるので、突出部と対向する複数の第１、第２接続端子及びバンプに大きな応力が加わり、圧電層とフレキシブル配線部材とを確実に接合することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００３５】
図１は、本実施の形態に係る圧電アクチュエータを有する液滴移送装置としてのプリンタ１の概略構成図である。このプリンタ１は、単独のプリンタ装置に適用しても、あるいは、ファクシミリ機能やコピー機能等の複数の機能を備えた多機能装置のプリンタ装置に適用してもよい。図１に示すように、プリンタ１は、装置本体内にキャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置）、用紙搬送ローラ４などを備えている。なお、以下の説明ではノズルから液体を吐出する方向を下方向とし、その反対方向を上方向としている。また、必要に応じて図中の方向を定める場合は、適宜説明を付与する。
【００３６】
キャリッジ２は、その上面が開口された略箱状の樹脂製のケースで、図１の左右方向（走査方向）に延びるガイド軸５に移動可能に載置され、図示しない駆動ユニットによって走査方向（左右方向）に往復移動するように構成されている。装置本体内には、複数種類のインク（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４種類）を供給するための交換式のインクカートリッジ（図示せず）が静置されていて、各インクカートリッジはインクチューブ（図示せず）を介してキャリッジ２内に載置されたインクジェットヘッド３に接続されている。また、キャリッジ２の下方に対向して、用紙搬送ローラ４とプラテン６が配置されていて、その両者の間に記録用紙Ｐが図１の手前方向（紙送り方向）に搬送される。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２の下面に配置されており、複数のノズルをキャリッジ２のした面に露出開口させて搭載している。
【００３７】
そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。
【００３８】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の構成を示す斜視図である。図３はインクジェットヘッド３の平面図である。図４（ａ）は図３の部分拡大図である。図４（ｂ）〜（ｄ）は、図４（ａ）における後述する振動板４０及び各圧電層４１、４２の表面をそれぞれ示す図である。図５は図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。図６は図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【００３９】
なお、図面を分かりやすくするため、図２においては、後述するランド５２と配線５３とを透過した状態で図示している。また、図３、図４においては、後述する流路ユニット３１のインク流路の一部の図示を省略し、図３においては、圧電アクチュエータ３２の下部電極４３及び中間電極４４の図示を省略している。また、図４（ａ）においては、ともに点線で図示すべき下部電極４３及び中間電極４４を、それぞれ二点鎖線及び一点鎖線で図示している。さらに、図４（ｂ）〜（ｄ）においては、圧力室１０と後述する下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５との平面視での位置関係を示していて、各電極４３，４４，４５にハッチングを付している。
【００４０】
図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド３は、複数のノズル１５や複数の圧力室１０等の複数のインク流路が形成された流路ユニット３１と流路ユニット３１の上面に配置され、圧力室１０内に充満されたインクにノズル１６からの吐出のための圧力を付与する圧電アクチュエータユニット３３とを備えている。圧電アクチュエータユニット３３は、圧電アクチュエータ３２とその上面で電気かつ機械的に接続されたＣＯＦ５０（Chip  On  Film）（配線部材）とからなる流路ユニット３１は、インク流路となる複数の貫通孔が形成された複数のプレート２１〜２４が互いに積層されることによって、インク供給口９からインクが供給されるマニホールド流路１１、及び、マニホールド流路１１の出口から流路１２を経て圧力室１０に至り、さらに、圧力室１０から流路１３、１４を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路を有するインク流路（液体移送流路）が形成されている。そして、後述するように、圧電アクチュエータ３２により、圧力室１０内のインクに圧力が付与されると、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。ノズルプレート２４を除く３枚のプレート２１〜２３はステンレス板やニッケル合金鋼板などの金属材料により構成されており、ノズルプレート２４はポリイミド等の合成樹脂材料によって構成されている。
【００４１】
流路ユニット３１の最上層のプレート２１には、複数のノズル１５に対応して複数の圧力室１０が板厚を貫通して形成され、圧力室１０は、走査方向（図３の左右方向）を長手方向とする略楕円形の平面形状（図４も参照）を有し、その一端を流路１２と、他端がノズル１５と連通するように形成されており、複数の圧力室１０は紙送り方向（図３の上下方向）に沿って配列されて１つの圧力室列８を構成しており、このような圧力室列８が、走査方向に２列に配列されることによって１つの圧力室群７を構成している。さらに、このような圧力室群７が走査方向に沿って５つ配列されている。ここで、１つの圧力室群７に含まれる２列の圧力室列８を構成する圧力室１０同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、流路ユニット３１の最下層のノズルプレート２４には、複数の圧力室１０の長手方向の一端と連通する複数のノズル１５が下方に開口して貫通形成されていて、図示しないが、複数の圧力室１０と同様に送り方向に配列しているとともに、ノズル列群をなし、走査方向に５つのノズル列群をなしている。
【００４２】
そして、５つの圧力室群７のうち、図３の右側の２つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からは使用頻度の高いブラックのインクが吐出され、図３の左側の３つの圧力室群７の圧力室１０に対応するノズル１５からは、図３の右側に配列されているものから順に、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。また、プレート２２には、平面視で圧力室１０の長手方向の両端部に重なる位置にそれぞれ流路１２、１３となる貫通孔が形成され、プレート２３には、マニホールド流路１１となる貫通孔が圧力室１０の列に対応して紙送り方向に延び、平面視で圧力室１０の長手方向と重なるとともにインク供給口９と連通する位置まで延設されている
【００４３】
次に、圧電アクチュエータ３２は、振動板４０、圧電層４１、４２、下部電極４３、中間電極４４、上部電極４５、導電性バンプ４６及びＣＯＦ５０を備えている。振動板４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット３１の上面に配置されている。また、振動板４０の厚みは２０μｍ程度となっている。なお、この振動板４０は必ずしも圧電材料からなる必要はない。圧電層４１、４２は、振動板４０と同様の圧電材料からなり、互いに積層されて振動板４０の上面に配置されている。また圧電層４１、４２の厚みは、それぞれ２０μｍ程度となっている。
【００４４】
下部電極４３は、振動板４０と圧電層４１との間に配置されており、図４（ｂ）のように各圧力室群７に対応して、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８に沿って紙送り方向に延びており、これら２列の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と平面視で重なり合うように対向している。また、図示しないが、各圧力室群７に対応して上記紙送り方向に延びた部分同士は互いに接続され、図示しない接続端子が設けられている。接続端子は、ＣＯＦ５０上の図示しない配線のランドに接続され、配線を介して下部電極４３は、常にグランド電位に保持されている。
【００４５】
中間電極４４は、圧電層４１と圧電層４２との間に配置されており、図４（ｃ）のように各圧力室群７毎に、それぞれ、複数の対向部４４ａ及び接続部４４ｂ、４４ｃを有している。複数の対向部４４ａは、紙送り方向に関する長さが圧力室１０よりも短い略矩形の平面形状を有しており、複数の圧力室１０の紙送り方向に関する略中央部と対向するように配置されている。
【００４６】
接続部４４ｂは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の右側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４右側の端同士を接続している。接続部４４ｃは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の左側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４左側の端同士を接続している。また、中間電極４４は、図示しない接続端子と、ＣＯＦ５０上の中間電極用の配線のランドに接続されており、配線を介して常に所定の正の電位（例えば、２０Ｖ程度）に保持されている。
【００４７】
複数の上部電極４５は、図３、図４（ｄ）のように圧電層４２の上面（ＣＯＦ５０との対向面）に、複数の圧力室１０に対応して、複数の圧力室１０のほぼ全域と対向するように配置されており、紙送り方向に配列しているとともに、上部電極列群をなし、走査方向１つの上部電極列群に含まれる２列の上部電極４５の列を構成する上部電極４５同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、上部電極４５は、紙送り方向に関する長さが中間電極４４の対向部４４ａよりも長い、略矩形の平面形状を有している。上部電極４５は、走査方向に関するノズル１５と反対側の端における一部分が、走査方向に圧力室１０と対向しない部分まで延びており、この部分がＣＯＦ５０の配線５３のランド５２に接続される接続端子４５ａ（第１接続端子）となっている。接続端子４５ａは、Ａｇ-Ｐｄ系の材料からなる。さらに、接続端子４５ａの表面には、金属などの導電性材料（本実施形態ではＡｇペースト）からなり、接続端子４５ａの表面から上方に突出した導電性バンプ４６が形成されている。また、上部電極４５は、後述するように、導電性バンプ４６を介してＣＯＦ５０上の配線５３と接続され、ＣＯＦ５０実装されたドライバＩＣ５４に接続されており、グランド電位と上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）との間でその電位が切り替えられる。なお、前述した中間電極４４と下部電極４３の図示しない接続端子も上部電極４３と同様に導電性バンプを介して配線と電気的に接続されている。
【００４８】
また、前述した圧電層４２は、予め上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分が上向きに分極されており、圧電層４１、４２は、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた部分が、上部電極４５から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。なお、圧電層４１のうち、中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分は、中間電極４４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。
【００４９】
次に、圧電アクチュエータ３２に電位を付与するＣＯＦ５０（フレキシブル配線部材）は、基材５１、複数のランド５２、複数の配線５３、５３ｚ及びドライバＩＣ５４を有している。ＣＯＦ５０は、圧電アクチュエータ３２の上方に配置されて接続されており、走査方向に引き出されている。
【００５０】
基材５１はポリイミドなどの樹脂材からなり絶縁性および可撓性を有した帯状で、圧電材料よりも線膨張係数の大きい。配線５３は、銅などの導電性材料で基材５１上に印刷などで形成され、基材５１は、配線５３が形成された面が圧電層４２と対向して圧電アクチュエータ３２上に配置されている。ドライバＩＣ５４は、圧電アクチュエータ３２に印加する駆動信号を供給するための駆動回路を内蔵していて、ＣＯＦ５０の引き出された部分の上面に配置されている。ドライバＩＣ５４には、本体側プリンタからの駆動信号が入力される入力用の配線５３ｚと、ドライバＩＣ５４から各電極４３に駆動信号が出力される出力用の配線５３が接続されている。
【００５１】
ランド５２（第２接続端子）は、基材５１の圧電層４２との対向面(下面)の平面視で接続端子４５ａと重なる部分に配置され、圧電アクチュエータ３２とＣＯＦ５０との接続時に導電性バンプ４６と接触して電気的接続点となる。また、ランド５２は、ドライバＩＣ５４から延在する複数の出力用の配線５３の端部に設けられていてドライバＩＣ５４と接続されている。なお、図示しないが、ＣＯＦ５０には、中間電極４４および下部電極４３に接続される配線およびランドがドライバＩＣ５４を介さずに配線されている。なお、基材５１の圧電層４２と反対側の上面に形成されたドライバＩＣ５４と、基材５１の下面に形成された配線５３とは、基材５１に形成された図示しないスルーホールなどを介して接続されている。
【００５２】
基材５１の上面には、複数の突出部５６が形成されている。複数の突出部５６は、基材５１の上面における導電性バンプ４６と対向する部分に配置されている。つまり、複数の突出部５６は、基材５１の配線面とは反対側の上面に、複数のランド５２位置と対応して同数設けられている(図２参照)。突出部５６は、平面視で略楕円形状で、略中央部に貫通孔５６ａが形成されている。貫通孔５６ａは、平面視でその内部に導電性バンプ４６の上端部（先端部）を内包しており、これにより、平面視で突出部５６は、導電性バンプ４６の上端部を囲う略楕円環状となっている。また、突出部５６は、平面視で導電性バンプ４６よりも広い面積を有し、複数の突出部５６は、ソルダーレジストなどからなる複数（図では３つ）の薄層が積層されることによって形成されている。
【００５３】
また、基材５１の上面で圧電層４１と対向する部分の外縁部には、枠部５７が外縁部に沿って複数の突出部５６を取り囲んで配置されている(図３参照)。また、枠部５７は、複数の突出部５６と同じ、ソルダーレジストなどからなる複数（図では３つ）の薄層が積層されることによって形成されている。
【００５４】
また、ＣＯＦ５０は、ランド５２および配線５３が形成された面を圧電層４２と対向させて配置するとともにランド５２および配線５３を覆うソルダーレジストなどの熱硬化性材料を含む接着剤層５５が塗布されている。圧電層４２上の導電性バンプ４６とランド５２とは、後述する接合工程において、ＣＯＦ５０を圧電アクチュエータ３２に対して、押圧、加熱することで、圧電層４２の接続端子４５ａ上の導電性バンプ４６とランド５２とが接触するとともに接着剤層５５が導電性バンプ４６の周囲を覆って接続端子４５ａ上に広がって硬化することで、導電性バンプ４６を介してランド５２と接続端子４５ａとが電気的かつ機械的に接続され、圧電アクチュエータ３２とＣＯＦ５０とが接合された圧電アクチュエータユニット３３が形成されてインクジェットヘッド３が形成される。
【００５５】
接着剤層５５は、ランド５２と導電性バンプ４６とが対向する部分以外の部分では、圧電層４２とＣＯＦ５０の下面との距離が設けられるため、接着剤層５５と圧電層４２との間には空間があり、基材５１と圧電層４２とを接合していない。接着剤層５５は、少なくとも導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分に形成されている必要があり、また、配線５３の保護のために配線５３を覆って基材５１の下面全面に形成されているが、接着剤層５５は、全面に形成されてなくても必要な箇所に部分的に設けてあってもよい。
【００５６】
インクジェットヘッド３は、圧電アクチュエータユニット３３の上面で、突出部５６及び枠部５７が形成された基材５１（ＣＯＦ５０）の上面に、剥がれ防止板５８（板状体）が配置されている。圧電アクチュエータ３２と接合されたＣＯＦ５０は、後工程において、キャリッジ内にインクジェットヘッド３を搭載する作業など、作業者により機械的な力が加わりやすいため、圧電アクチュエータ３２の外周縁のＣＯＦ５０との接続部分が剥がれやすく、導電性バンプ４６とランド５２とが剥がれて電気的断線を起す虞がある。そのため、ＣＯＦ５０の剥がれ防止板５８を基材５１上に接合することにより、ＣＯＦ５０の剥がれを抑制している。
【００５７】
剥がれ防止板５８は、突出部５６及び枠部５７と接触しているとともに、突出部５６及び枠部５７と対向しない部分においては、基材５１の上面と離隔した隙間が形成されている。そして、剥がれ防止板５８と基材５１とは、剥がれ防止板５８と基材５１との間の隙間に充填された接着剤５９によって接合されている。接着剤５９は、例えば、シアノアクリル系の接着剤など、加熱されることによって収縮して硬化する材料を含む汎用に使用される接着剤であり、後述するインクジェットヘッド３の製造工程において加熱されることで、接着剤が収縮硬化する収縮力により、接着剤と接触しているＣＯＦ５０の部分を上方に引き上げた状態で硬化する。これにより、ＣＯＦ５０が圧電層４２側に撓んで圧電層４２の上面に接触し圧電層４２を傷つけたり、後述するように、圧電アクチュエータ３２を駆動したときの圧電アクチュエータ３２の駆動を阻害したりしてしまうのが防止されている。また、インクジェットヘッド３をキャリッジ２に搭載したりするときなどの後工程において、予期しない衝撃や押圧力がインクジェットヘッド３に加わったりしても、圧電層４２と基材５１との間の空間が広くなっているため、圧電層４２へ接触してしまうことを防止できる。
【００５８】
ここで、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。まず、圧電アクチュエータ３２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、下部電極４３及び中間電極４４が、それぞれ、常にグランド電位及び上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持されているとともに、上部電極４５の電位が予めグランド電位に保持されている。この状態では、上部電極４５が中間電極４４よりも低電位になっているとともに、下部電極４３と同電位となっている。
【００５９】
これにより、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差が生じ、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分にその分極方向と同じ上向きの電界が発生し、これにより、圧電層４２のこの部分がこの電界と直交する水平方向に収縮する。これによりいわゆるユニモルフ変形が生じ、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分（活性部）が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、圧電層４１、４２及び振動板４０が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。
【００６０】
そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、一旦、上記所定の電位に切り替えた後、グランド電位に戻す。上部電極４５の電位を上記所定の電位に切り替えると、上部電極４５が中間電極４４と同電位となるとともに、下部電極４３よりも高電位となる。これにより、圧電層４２の上記収縮が元に戻る。そしてこれと同時に、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ、圧電層４１、４２のこれらの電極に挟まれた部分にはその分極方向と同じ下向きの電界が発生し、圧電層４１、４２のこの部分が水平方向に収縮する。これにより、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として、圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。その結果、圧力室１０内のインクの圧力が低下して、マニホールド流路１１から圧力室１０にインクが流れ込む。
【００６１】
この後、上部電極４５の電位をグランド電位に戻すと、前述したのと同様、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００６２】
また、上述したようにして圧電アクチュエータ３２を駆動させる場合、上部電極４５の電位をグランド電位から所定の電位に切り替えたときには、圧電層４２の上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分が収縮した状態から収縮前の状態に伸長すると同時に、圧電層４１、４２の上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた部分が収縮するため、圧電層４２の上記の伸長が、圧電層４１、４２の上記収縮に一部吸収される。
【００６３】
一方、上部電極４５の電位を所定の電位からグランド電位に戻したときには、圧電層４２の上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分が収縮するとともに、圧電層４１、４２の上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた部分が収縮前の状態まで伸長するため、圧電層４２の上記収縮が圧電層４１、４２の上記伸長によって一部吸収される。
【００６４】
以上のことから、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分の変形が、他の圧力室１０と対向する部分に伝達して当該他の圧力室１０に連通するノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう、いわゆるクロストークが抑制される。
【００６５】
なお、上述した待機状態及び圧電アクチュエータ３２が駆動されている間においては、圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３との間の部分には常に電位差が生じており、圧電層４１のこの部分には、その分極方向と同じ方向の電界が発生している。これにより、圧電層４１のこの部分は常に収縮した状態となっている。なお、アクチュエータの構成および駆動方式は、圧力室に充満されたインクをノズルから吐出させるための圧力が付与できれば、本発明に適用することが可能である。
【００６６】
次に、インクジェットヘッド３の製造方法について説明する。図７は、インクジェットヘッド３の製造工程を示す工程図である。なお、図７においては、図面を分かりやすくするために、その上下方向に関する長さに対する左右方向に関する長さを縮めて描いている。
【００６７】
インクジェットヘッド３を製造するには、まず、図７（ａ）に示すように、予め作製された、振動板４０、圧電層４１、４２及び電極４３〜４５と流路ユニット３１（図示省略）との積層体における上部電極４５の接続端子４５ａの表面に、印刷などによって導電性バンプ４６を形成する（バンプ形成工程）。
【００６８】
また、図７（ａ）に示すような導電性バンプ４６を形成する工程とは別の工程で、図７（ｂ）に示すように、予め基材５１にランド５２および配線５３が印刷形成されたＣＯＦ５０に対し、配線５３が形成された面とは反対側の上面ほぼ全域に、ソルダーレジストなどの絶縁性材料の薄層を複数（図では３層）積層することにより層６０（ソルダーレジスト層６０とする）を形成し、続いて、図７（ｃ）に示すように、ソルダーレジスト層６０をエッチングなどによりランド５２と対向する部分のうち導電性バンプ４６の上端部を取り囲む部分を内包する貫通孔５６ａが形成された突出部５６を形成する（突出部形成工程）。なお、このときに、ソルダーレジスト層６０を圧電層４２と対向することとなる部分の外縁部を除いた部分をエッチング等で除去することにより枠部５７を同時に形成することができ（枠部形成工程）。インクジェットヘッド３の製造工程が簡単になる。続いて、図７（ｄ）に示すように、基材５１の下面に、液状のソルダーレジストなどの絶縁性の熱硬化性樹脂などを塗布し、加熱を加えることで半硬化状態にして、未硬化の接着剤層５５を形成する（接着剤層形成工程）。
【００６９】
そして、次に、図７（ｅ）に示すように、ランド５２と導電性バンプ４６とが互いに対向するように、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを位置合わせしてから、ヒータＨにより、突出部５６を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱する。すると、導電性バンプ４６が未硬化の接着剤層５５を貫通してランド５２に接触するとともに、導電性バンプ４６に押し出された接着剤層５５が導電性バンプ４６の周囲の部分に流れ出て接続端子４５ａ上面に達し、接着剤層５５はこの状態で加熱されて硬化する。これにより、導電性バンプ４６とランド５２とが電気的に接続されるとともに、基材５１と圧電層４２とが接着剤層５５を介して接合される（第１接合工程）。なお、ヒータＨの加熱温度は、熱硬化性の接着剤層を硬化させるための温度である。
【００７０】
ここで、基材５１の上面に突出部５６が形成されておらず、ヒータＨが直接基材５１の上面に接触する場合、基材５１が、圧電層４１、４２を形成する圧電材料よりも線膨張係数の大きい材料により形成されているため、ヒータＨにより押圧加熱を行うと、基材５１が膨張し、ランド５２と導電性バンプ４６とは接続されているため、基材５１における導電性バンプ４６の間に位置する部分が、圧電層４２側に撓んで圧電層４２の上面に接触してしまう虞がある。さらに、基材５１の下面に塗布されている未硬化の接着剤層５５が圧電層４２の上面に接触した状態で硬化してしまうと、基材５１の撓んだ部分が圧電層４２の上面に接合されてしまい、ヒータＨによる押圧加熱をやめても膨張した基材５１が収縮変形しきれず元に戻らなくなってしまう虞がある。基材５１の変形が元に戻った場合であっても、接着剤層５５が圧電層４２の上面に残留してしまう虞がある。
【００７１】
そして、基材５１が圧電層４２に接触し、さらには圧電層４２に接合されたり、圧電層４２の上面に接着剤層５５が残留したりしてしまうと、圧電層４２に汚れや傷が生じてしまう虞がある。特に、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分（活性部）に、基材５１が接触し、さらには接合されたり、接着剤層５５が残留したりしてしまった場合には、前述したように圧電アクチュエータ３２を駆動したときの振動板４０、圧電層４１、４２の変形が阻害されて、ノズル１５からのインクの吐出駆動（圧電アクチュエータ３２の駆動）を阻害してしまう虞がある。特に、前述したように振動板４０及び圧電層４１、４２がユニモルフ変形する圧電アクチュエータ３２においては、上記ノズル１５からのインクの吐出駆動の阻害は大きなものとなる。
【００７２】
しかしながら、本実施の形態では、基材５１の上面に突出部５６が形成されており、ヒータＨにより突出部５６を圧電層４２に向かって押圧したときには、ヒータＨが突出部５６と接触し基材５１には直接接触しないため、基材５１に熱が加わりにくくなり、基材５１の変形量を低減することができる。これにより、基材５１が圧電層４２に接触することが防止される。
【００７３】
また、基材５１の上面に突出部５６が形成されていることにより、ヒータＨと基材５１との間には隙間ができるため、基材５１がヒータＨ側に撓んでも、基材５１がヒータＨに接触しにくい。したがって、ヒータＨにより基材５１の圧電層４２と接合される部分を除いた部分が下方に押圧されて圧電層４２に接触することが防止される。
【００７４】
そして、基材５１が圧電層４２に接触することが防止されるので、基材５１の下面形成された接着剤層５５が、圧電層４２の上面に接触してしまうのも防止され、これにより、ヒータＨを離したときに、接着剤層５５が硬化することで基材５１が圧電層４２に接合されてしまったり、圧電層４２の上面に接着剤層５５が残留してしまったりすることが防止される。
【００７５】
以上のことから、基材５１が圧電層４２に接触し、さらには圧電層４２に接合されたり、圧電層４２に接着剤層５５が残留したりすることが防止され、これにより、圧電層４２に汚れや傷が生じたりしない。特に、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分（活性部）において、以上のように基材５１および接着剤層５５が接触したり残留したりすることが防止できるため、圧電アクチュエータ３２を駆動したときの振動板４０、圧電層４１、４２の変形が阻害されて、ノズル１５からのインクの吐出駆動（圧電アクチュエータ３２の駆動）を阻害するのを防止することができる。
【００７６】
一方、基材５１の導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分には、突出部５６を介して十分に熱が加えられるので、この部分における接着剤層５５が確実に硬化し、導電性バンプ４６とランド５２とが確実に電気的に接続されるとともに、ＣＯＦ５０と圧電層４２とが確実に接合される。
【００７７】
また、突出部５６が環状となっているため、基材５１は、導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分のうち、導電性バンプ４６の上端部を取り囲む部分が最も強く押圧されることになる。したがって、図８に示すように、基材５１は、導電性バンプ４６の上端部を取り囲む部分が圧電層４２側に変形し、この変形により取り囲む部分の接着剤層５５が押し出される。
【００７８】
これにより、導電性バンプ４６が貫通することにより押し出された接着剤層５５に加え、基材５１により押し出された接着剤層５５も導電性バンプ４６の周囲の部分に流れ出て、接続端子４５ａに達する。その結果、圧電層４２と基材５１とは、導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分を取り囲む部分において厚みが厚くなるため、硬化したときに圧電層４２と基材５１とが確実に接合される。ここで、図８は、図７（ｅ）の導電性バンプ４６近傍部分の拡大図である。なお、導電性バンプ４６は、Ａｇペーストにより形成されていて、ランド５２との接触時にその弾性力によりわずかに上端部が押しつぶれた状態で接触しているため、上端部に力が集中して加わることにより、接触状態をよくすることができる。
【００７９】
次に、図７（ｆ）に示すように、基材５１の上面に、複数の突出部５６の間の隙間を埋めるように接着剤５９を充填する。そして、図７（ｇ）に示すように、接着剤５９が充填された基材５１の上面に剥がれ防止板５８を配置するとともに、ヒータＨにより剥がれ防止板５８を基材５１に向かって下方に押圧することにより接着剤５９を硬化させて基材５１と剥がれ防止板５８とを接合する（第２接合工程）。
【００８０】
このとき、接着剤５９は加熱されることによって収縮して硬化するため、接着剤５９の収縮によって、基材５１が圧電層４２から離れる方向である上方に持ち上げられる。これにより、接着剤５９を硬化させる際の加熱によって基材５１が下方に変形して圧電層４２に接触してしまうのが防止される。また、基材５１が圧電層４２から離れる方向に上方に持ち上げられた状態であるため、剥がれ防止板５８を備えたインクジェットヘッド３を、後工程においてキャリッジに搭載したりするときなど、予期しない衝撃や押圧力がインクジェットヘッド３に加わったりしても、圧電層４２と基材５１との間の空間が広くなっているため、圧電層４２へ接触してしまうことを防止できる。
【００８１】
さらに、基材５１の上面に突出部５６及び枠部５７が形成されていることにより、基材５１と剥がれ防止板５８との間に隙間ができているため、これらがない場合と比較して接着剤５９の厚み（容積）が大きくなる。これにより、接着剤５９が収縮したときに、基材５１が大きく上方に持ち上げられ、基材５１が圧電層４２に接触してしまうのを確実に防止することができる。
【００８２】
また、複数の突出部５６は、複数のランド５２（複数の接続端子４５ａ）に対応して設けられているため、複数のノズル１５に対応して列状に基材５１の上面に複数の突出部５６が点在していることにより、接着剤５９を充填する際、接着剤５９は毛細管力によってこれらの隙間を流れ、確実に突出部５６の隙間が埋められる。
【００８３】
さらに、基材５１の上面における圧電層４２と対向する部分の外縁部に接着剤５９が充填されてしまうと、基材５１のこの部分が持ち上げられることとなり、これにより基材５１には剥がれる方向に力が加わってしまうことなるが、基材５１の上面における圧電層４２と対向する部分の外縁部に枠部５７が形成されているため、この部分には接着剤５９が位置せず、接着剤５９の収縮によって基材５１に剥がれる方向の力が加わってしまうのを防止することができる。
【００８４】
また、このとき、枠部５７が形成されていることにより、接着剤５９を充填する際に、接着剤５９が基材５１の上面から外部に流れ出てしまうのを防止することができる。
【００８５】
以上に説明した実施の形態によると、基材５１の上面に突出部５６が形成されており、ヒータＨにより突出部５６を圧電層４２に向かって押圧したときには、ヒータＨが突出部５６と接触し基材５１には直接接触しないため、基材５１の突出部５６が設けられていない部分熱が加わりにくくなり、基材５１の変形量を低減することができる。これにより、基材５１が圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。
【００８６】
さらに、基材５１の上面に突出部５６が形成されていることにより、ヒータＨと基材５１との間には隙間ができるため、基材５１がヒータＨ側に撓んでも、基材５１がヒータＨに接触しにくい。したがって、ヒータＨにより基材５１の圧電層４２と接合される部分を除いた部分が下方に押圧されて圧電層４２に接触してしまうのが防止される。
【００８７】
そして、基材５１が圧電層４２に接触してしまうのが防止されるので、基材５１の下面の接着剤層５５が、圧電層４２の上面に接触してしまうのも防止され、これにより、ヒータＨを離したときに、接着剤層５５が硬化することで基材５１が圧電層４２に接合されてしまったり、圧電層４２の上面に接着剤層５５が残留してしまったりすることが防止される。
【００８８】
以上のことから、基材５１が圧電層４２に接触し、さらには圧電層４２に接合されたり、圧電層４２に接着剤層５５が残留したりすることが防止され、これにより、圧電層４２に汚れや傷が生じるのを防止できる。特に、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分（活性部）において、以上のように基材５１および接着剤層５５が接触したり残留したりすることが防止できるため、圧電アクチュエータ３２を駆動したときの振動板４０、圧電層４１、４２の変形が阻害されて、ノズル１５からのインクの吐出駆動（圧電アクチュエータ３２の駆動特性）を阻害するのを防止することができる
【００８９】
一方、基材５１の導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分には、突出部５６を介して十分に熱が加えられるので、この部分における接着剤層５５が確実に硬化し、導電性バンプ４６とランド５２とが確実に電気的に接続されるとともに、ＣＯＦ５０と圧電層４２とが確実に接合される。
【００９０】
また、突出部５６が環状となっているため、基材５１は、導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分のうち、導電性バンプ４６の上端部を取り囲む部分が最も強く押圧されることになる。したがって、基材５１は、導電性バンプ４６の上端部を取り囲む部分が圧電層４２側に変形し、この変形により接着剤層５５が押し出される。これにより、導電性バンプ４６により押し出された接着剤層５５に加え、基材５１により押し出された接着剤層５５も導電性バンプ４６の周囲の部分に流れ出て、接続端子４５ａの上面に達する。その結果、圧電層４２と基材５１とは、導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分を取り囲む部分において厚く接合されることとなり、圧電層４２と基材５１とが確実に接合される。
【００９１】
また、ＣＯＦ５０と剥がれ防止板５８とを接合する熱効果収縮性の接着剤５９は加熱されることによって収縮して硬化するため、接着剤５９の収縮によって、基材５１が圧電層４２から離れる方向である上方に持ち上げられる。これにより、接着剤５９を硬化させる際の加熱によって基材５１が下方に変形して圧電層４２に接触してしまうのが防止される。
【００９２】
さらに、基材５１の上面に突出部５６及び枠部５７が形成されていることにより、基材５１と剥がれ防止板５８との間に隙間ができているため、これらがない場合と比較して接着剤５９の厚み（容積）が大きくなる。これにより、接着剤５９が収縮したときに、基材５１が大きく上方に持ち上げられ、基材５１が圧電層４２に接触してしまうのを確実に防止することができる。
【００９３】
また、基材５１の上面に複数の突出部５６が点在しているため、接着剤５９を充填する際、接着剤５９は毛細管力によってこれらの隙間を流れ、確実に突出部５６の隙間が埋められる。
【００９４】
さらに、基材５１の上面における圧電層４２と対向する部分の外縁部に接着剤５９が充填されてしまうと、基材５１のこの部分が持ち上げられることとなり、これにより基材５１には剥がれる方向に力が加わってしまうことなるが、基材５１の上面における圧電層４２と対向する部分の外縁部に枠部５７が形成されているため、この部分には接着剤５９が位置せず、接着剤５９の収縮によって基材５１に剥がれる方向の力が加わってしまうのを防止することができる。
【００９５】
また、このとき、枠部５７が形成されていることにより、接着剤５９を充填する際に、接着剤５９が基材５１の上面から外部に流れ出てしまうのを防止することができる。
【００９６】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００９７】
本実施の形態では、基材５１の下面のほぼ全域に接着剤層５５を形成したが、これには限られない。一変形例では、図９（ｄ）に示すように、基材５１の下面のランド５２が形成された部分にのみ接着剤層７５を形成する（変形例１）。なお、変形例１において、図９（ａ）に示すように導電性バンプ４６を形成する工程、及び、図９（ｂ）、図９（ｃ）に示すように突出部５６及び枠部５７を形成する工程は、実施の形態と同様であるので、ここではその説明を省略する。
【００９８】
この場合にも、上述の実施の形態と同様、ヒータＨにより突出部５６を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱すると、図９（ｅ）に示すように、導電性バンプ４６が接着剤層７５を貫通してランド５２に接触するとともに、導電性バンプ４６に押し出された接着剤層７５が導電性バンプ４６の周囲の部分に流れ出て圧電層４２の上面に達し、この状態で接着剤層５５が硬化することにより、導電性バンプ４６とランド５２とが電気的に接続されるとともに、基材５１と圧電層４２とが接合される。
【００９９】
また、この場合にも、基材５１の上面における導電性バンプ４６と対向する部分に突出部５６が形成されているため、ヒータＨで加熱を行ったときに、基材５１の圧力室１０と対向する部分には熱が加わりにくく、ヒータＨと基材５１との間には隙間ができるため、基材５１がヒータＨ側に撓んでも、基材５１がヒータＨに接触しにくいため、基材５１が圧電層４２の活性部に接触してしまうのを防止することができる。
【０１００】
その結果、基材５１が圧電層４２に接触し、さらには圧電層４２に接合されたり、圧電層４２に接着剤層５５が残留したりすることが防止され、これにより、圧電層４２に汚れや傷が生じたり、振動板４０及び圧電層４１、４２の変形が阻害されてノズル１５からのインクの吐出を阻害したりしてしまうことを防止することができる。
【０１０１】
一方、基材５１の導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分には突出部５６を介して十分に熱が加わるので、導電性バンプ４６とランド５２とが確実に電気的に接続されるとともに、基材５１と圧電層４２とが確実に接合される。
【０１０２】
また、本実施の形態では、接着剤層５５により、導電性バンプ４６とランド５２とが電気的に接続された状態で、基材５１と圧電層４２とを接合したがこれには限られない。別の一変形例では、図１０（ａ）に示すように、本実施の形態と同様、予め基材５１上に配線５３が形成されたＣＯＦ５０の配線５３が形成された面とは反対側の上面にソルダーレジスト層６０を形成した後、図１０（ｂ）に示すように、エッチングにより、ソルダーレジスト層６０における、ランド５２と対向する部分（導電性バンプ４６と対向することとなる部分）及び圧電層４２と対向することとなる部分の外縁部を除く部分を除去することにより、基材５１の上面に貫通孔５６ａ（図５参照）のない平面視で略円形の突出部１５６及び枠部５７（図３参照）を形成する。なお、この変形例では、図１０（ａ）に示すように、基材５１の配線５３側の下面にも配線５３を覆うソルダーレジスト層６０ａを形成し、図１０（ｂ）に示すようにエッチングにより、配線５３の一部分を露出させる貫通孔６０ｂを形成することでランド５２を形成する。そして、図１０（ｃ）に示すように、基材５１の下面に形成された貫通孔６０ｂ内でランド５２の表面に、基材５１の下面から突出したハンダ８１（バンプ）を形成する（バンプ形成工程）。次に、ヒータＨによりハンダ８１が形成された基材５１を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱する。すると、図１０（ｄ）に示すように、ハンダ８１が融解して接続端子４５ａの上面に流れ、ヒータＨによる加熱をやめると、ハンダ８１がこの状態で硬化し、これにより、接続端子４５ａとランド５２とがハンダ８１を介して電気的に接続されるとともに、ハンダ８１により、圧電層４２と基材５１とが接合される（第１接合工程）（変形例２）。
【０１０３】
この場合にも、基材５１の上面におけるハンダ８１と対向する部分に突出部１５６が形成されているため、ヒータＨで加熱を行ったときに、基材５１の圧力室１０と対向する部分には熱が加わりにくく、ヒータＨと基材５１との間には隙間ができるため、基材５１がヒータＨ側に撓んでも、基材５１がヒータＨに接触しにくいため、基材５１が圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。
【０１０４】
その結果、基材５１が圧電層４２に接触し、さらには圧電層４２に接合されたり、圧電層４２に接着剤層５５が残留したりすることが防止され、これにより、圧電層４２に汚れや傷が生じたり、振動板４０及び圧電層４１、４２の変形が阻害されてノズル１５からのインクの吐出を阻害したりしてしまうことを防止することができる。
【０１０５】
一方、基材５１のハンダ８１及びランド５２と対向する部分には突出部１５６を介して十分に熱が加わるので、ハンダ８１とランド５２とが確実に電気的に接続されるとともに、基材５１と圧電層４２とが確実に接合される。
【０１０６】
また、基材５１の下面に形成した接着剤層５５により、基材５１と圧電層４２とを接合する場合にも、突出部５６が環状であることには限られず、図１１に示すように、基材５１の上面におけるランド５２と対向する部分（導電性バンプ４６と対向することとなる部分）に、貫通孔５６ａ（図５参照）の形成されていない平面視で略円形の突出部１５６が形成されていてもよい（変形例３）。
【０１０７】
この場合にも、基材５１の上面における導電性バンプ４６と対向する部分に突出部１５６が形成されているため、ヒータＨで加熱を行ったときに、基材５１の圧力室１０と対向する部分には熱が加わりにくく、ヒータＨと基材５１との間には隙間ができるため、基材５１がヒータＨ側に撓んでも、基材５１がヒータＨに接触しにくいため、基材５１が圧電層４２の活性部に接触してしまうのを防止することができる。
【０１０８】
その結果、基材５１が圧電層４２に接触し、さらには圧電層４２に接合されたり、圧電層４２に接着剤層５５が残留したりすることが防止され、これにより、圧電層４２に汚れや傷が生じたり、振動板４０及び圧電層４１、４２の変形が阻害されてノズル１５からのインクの吐出を阻害したりしてしまうことを防止することができる。
【０１０９】
一方、基材５１の導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分には突出部１５６を介して十分に熱が加わるので、導電性バンプ４６とランド５２とが確実に電気的に接続されるとともに、基材５１と圧電層４２とが確実に接合される。
【０１１０】
なお、この場合には、ヒータＨにより突出部１５６を圧電層４２に向けて押圧したときに、導電性バンプ４６によって押し出された接着剤層５５のみが、導電性バンプ４６を取り囲む部分に流れ出て圧電層４２の上面に達し、この接着剤層５５によって、圧電層４２と基材５１とが接合される。
【０１１１】
また、この場合には、図７（ｂ）、図７（ｃ）に示す工程で、突出部５６及び枠部５７を形成する代わりに、印刷などにより、突出部１５６及び枠部５７を形成すればよい。
【０１１２】
また、上述の実施の形態では、突出部５６と枠部５７とを同時に形成したが、これには限られず、突出部５６と枠部５７とをそれぞれ別の工程で形成してもよい。そして、この場合には、突出部５６と枠部５７とは、互いに異なる材料によって構成されていてもよい。枠部５７は、複数の突出部５６のうち、枠部５７に沿うとともに最も近い外縁側にある複数の突出部５６と連続して一体に形成された凹凸形状に形成されていてもよく、その場合、ＣＯＦ５０がより剥がれにくくなる。
【０１１３】
また、本実施の形態では、基材５１上面の複数の突出部５６と枠部５７との隙間を埋めるように、接着剤５９を充填した後、基材５１上面に剥がれ防止板５８を配置して、基材５１と剥がれ防止板５８とを接合したがこれには限られない。例えば、基材５１の上面における複数の突出部５６の隙間の一部分に、突出部５６の先端よりも上方まで盛り上がった未硬化の接着剤を配置し、その後、基材５１の上面に剥がれ防止板５８を配置して、基材５１と剥がれ防止板５８とを接合してもよい。この場合には、剥がれ防止板５８を基材５１に向かって押圧したときに、接着剤５９の突出部５６よりも上方に盛り上がった部分が押しつぶされ、接着剤５９は毛細管力により突出部５６の隙間を流れて、突出部５６の隙間の全域に充填される。
【０１１４】
また、枠部５７は設けられていなくてもよく、枠部５７がない場合には、突出部５６が形成された基材５１の上面に剥がれ防止板５８を配置した後、基材５１と剥がれ防止板５８との隙間に、接着剤５９を充填してもよい。この場合にも、接着剤５９は毛細管力により突出部５６の隙間を流れて、突出部５６の隙間の全域に充填される。なお、この場合には、図７（ｃ）に示す工程において、ソルダーレジストなどの層６０における、ランド５２と対向する部分のうち導電性バンプ４６の上端部を取り囲む部分を除く部分を除去することにより、突出部５６のみを形成すればよい。また、剥がれ防止板は、例えば金属など導電性の高い材料であれば、ＣＯＦ５０における熱の分布を均一にするための均熱板としても兼ねてもよく、圧電アクチュエータ駆動時の振動によりクロストークが起こりやすくなることを抑えるための振動抑え板の機能を兼ねていてもよい。
【０１１５】
また、本実施の形態では、突出部５６がソルダーレジストなどにより構成されていたが、これには限られず、例えば、突出部５６が金属材料などによって構成されていてもよい。突出部５６が導電性の高い金属材料などにより構成されている場合には、ヒータＨにより突出部５６を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱したときに、ヒータＨの熱が突出部５６を介してランド５２やバンプ４６近傍の接着剤層５５に熱が伝わりやすく、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを確実に接合することができる。
【０１１６】
また、突出部は、上述の実施の形態のように平面視で略円環状になっていることや、変形例２、３のように平面視で略円形となっていることには限られず、突出部の形状は、例えば平面視で略矩形となっているなど、別の形状であってもよい。
【０１１７】
また、本実施の形態では、圧電アクチュエータ３２がいわゆるユニモルフ変形により圧力室１０内のインクに圧力を付与するものであったが、これには限られない。例えば、厚み方向に分極された複数の圧電層が圧力室上に積層されており、これらの圧電層にその厚み方向の電界を発生させることにより圧電層をその厚み方向に伸長させて、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータなど、ユニモルフ変形とは異なる変形によって圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。
【０１１８】
また、以上では、圧力室内のインクに圧力を付与することにより、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド及び、インクジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータに本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インク以外の液体を吐出又は移送する液体移送装置、及びこのような液体移送装置に用いられる圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。また、圧力室内の液体に圧力を付与すること以外の目的に用いられる圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドが斜視図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】（ａ）が図３の部分拡大図であり、（ｂ）〜（ｄ）が、（ａ）の振動板及び各圧電層の表面の図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】インクジェットヘッドの製造工程を示す工程図である。
【図８】図７（ｄ）の部分拡大図である。
【図９】変形例１の図７相当の図である。
【図１０】変形例２の図７相当の図である。
【図１１】変形例３の図５相当の図である。
【符号の説明】
【０１２０】
３２  圧電アクチュエータ
４１、４２  圧電層
４５  上部電極
４５ａ  接続端子
４６  バンプ
５２  ランド
５５  接着剤
５０  ＣＯＦ
５１  基材
５６  突出部
５７  枠部
７５  接着剤
８１  ハンダ
１５６  突出部
【図１】
2010087151.tif 000003
【図２】
2010087151.tif 000004
【図３】
2010087151.tif 000005
【図４】
2010087151.tif 000006
【図５】
2010087151.tif 000007
【図６】
2010087151.tif 000008
【図７】
2010087151.tif 000009
【図８】
2010087151.tif 000010
【図９】
2010087151.tif 000011
【図１０】
2010087151.tif 000012
【図１１】
2010087151.tif 000013