(57)【要約】【課題】色素膜領域の端部における色素膜の欠落を防止する。【解決手段】部材にパターン膜が形成されたパターン形成部材の製造方法であって、前記パターン膜が形成される前記部材の第１領域および第２領域に親液処理を施す親液処理工程と、前記第１領域と前記第２領域との間の前記部材の第３領域に撥液処理を施す撥液処理工程と、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記パターン膜の材料となる液状体を塗布する塗布工程と、前記液状体を乾燥して前記パターン膜を形成する乾燥工程と、を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部材にパターン膜が形成されたパターン形成部材の製造方法であって、
前記パターン膜が形成される前記部材の第１領域および第２領域に親液処理を施す親液処理工程と、
前記第１領域と前記第２領域との間の前記部材の第３領域に撥液処理を施す撥液処理工程と、
前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記パターン膜の材料となる液状体を塗布する塗布工程と、
前記液状体を乾燥して前記パターン膜を形成する乾燥工程と、を有することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、前記第１領域における親液性の方が、前記第２領域における親液性よりも強くなるように前記親液処理を施すことを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、前記第１領域の方が、前記第２領域よりも領域が広くなるように前記親液処理を施すことを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法において、
基材の上に前記パターン膜の領域を区画する区画部を形成することにより前記部材を形成する部材形成工程と、
前記親液処理工程では、前記パターン膜領域を前記第１領域とし、前記区画部を前記第２領域とし、
前記撥液処理工程では、前記区画部であって、前記第１領域と前記第２領域との間の領域を前記第３領域とすることを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、前記区画部の頂部を前記第２領域とすることを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、前記パターン膜領域に塗布された前記液状体を前記第１領域に含み、
前記塗布工程では、前記第１領域の前記液状体と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記液状体を塗布することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、前記パターン膜領域の端部に対応する前記区画部の頂部を前記第２領域とすることを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、隣接する前記パターン膜領域を区画する前記区画部の頂部の中央部を前記第２領域とし、
前記塗布工程では、前記隣接する前記パターン膜領域における各前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記液状体を塗布することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項９】
請求項５〜７のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、隣接する前記パターン膜領域の端部のそれぞれに対応する前記区画部の頂部に前記液状体を塗布する場合において、前記液状体を塗布する位置が前記隣接する前記パターン膜領域ごと互い違いになるように前記液状体を塗布することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法において、
基材の上に前記パターン膜の領域を区画する区画部を形成することにより前記部材を形成する部材形成工程と、
前記親液処理工程では、前記パターン膜領域に対応する前記区画部の側壁面の少なくとも一部を前記第１領域とし、前記第１領域以外の前記区画部を前記第２領域とし、
前記撥液処理工程では、前記区画部であって、前記第１領域と前記第２領域との間の領域を前記第３領域とし、
前記塗布工程では、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記液状体を塗布することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程では、前記区画部の側壁面を前記第１領域とし、前記区画部の頂部の表面を前記第２領域とし、
前記撥液処理工程では、前記区画部の頂部の表面であって、前記第１領域と前記第２領域との間の領域を前記第３領域とすることを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記親液処理工程と前記撥液処理工程では、前記第２領域が前記第３領域よりも領域が小さくなるように処理することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法よって製造されたパターン形成部材。
【請求項１４】
請求項１３に記載のパターン形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成部材、パターン形成部材の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン形成部材としてのカラーフィルタの製造方法は、例えば、インクジェット法を用いて、ガラス基材等に形成された区画部によって区画された各色素膜領域内に向けて、色素膜の材料となる液状体を吐出する製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８１３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなカラーフィルタの製造方法では、一般的に、各色素膜領域内において液状体が濡れ広がりやすくするためガラス基材の表面に親液処理が施され、また、区画部には、隣接する色素膜の液状体同士の混色を防止するために撥液処理が施されている。しかしながら、色素膜領域に向けて液状体を液滴として吐出した際、液状体が、表面張力により色素膜領域の中央部側に凝縮してしまい、所望する個所に色素膜が形成されない、という課題があった。さらに、詳細には、色素膜領域の端部に液状体が残らず、色素膜領域の端部において色素膜の欠落が発生してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるパターン形成部材の製造方法は、部材にパターン膜が形成されたパターン形成部材の製造方法であって、前記パターン膜が形成される前記部材の第１領域および第２領域に親液処理を施す親液処理工程と、前記第１領域と前記第２領域との間の前記部材の第３領域に撥液処理を施す撥液処理工程と、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記パターン膜の材料となる液状体を塗布する塗布工程と、前記液状体を乾燥して前記パターン膜を形成する乾燥工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、部材には撥液領域を挟むように親液領域が形成される。そして、これらの親液領域と撥液領域とが連なるように液状体を塗布する。塗布された液状体は、撥液領域においては液状体を弾こうとするが、撥液領域を挟んだ親液領域では親液効果によって液状体が馴染むので、液状体は塗布された位置で保持される。そして、塗布された液状体を乾燥すると、撥液領域に塗布された部分の液状体が撥液領域の両側に形成された親液領域の液状体に引きずり込まれる。そうして、撥液領域において液状体が分裂し、最終的に親液領域において液状体が固化され、パターン膜が形成される。したがって、パターン膜を形成しようとする所望の個所に撥液領域を挟むように親液領域を形成し、これらの領域に連なるように液状体を塗布させることにより、塗布された液状体の塗布位置を保持させつつ、この状態において乾燥することにより所望の個所にパターン膜を形成することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、前記第１領域における親液性の方が、前記第２領域における親液性よりも強くなるように前記親液処理を施すことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、親液効果の高い第１領域側の方に液状体が引き込まれやすくなるので、第１領域に容易にパターン膜を形成することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、前記第１領域の方が、前記第２領域よりも領域が広くなるように前記親液処理を施すことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、液状体の容量が大きい第１領域側の方に液状体が引き込まれやすくなるので、第１領域において容易にパターン膜を形成することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、基材の上に前記パターン膜の領域を区画する区画部を形成することにより前記部材を形成する部材形成工程と、前記親液処理工程では、前記パターン膜領域を前記第１領域とし、前記区画部を前記第２領域とし、前記撥液処理工程では、前記区画部であって、前記第１領域と前記第２領域との間の領域を前記第３領域とすることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、基材と区画部を含む部材には撥液領域を挟むように親液領域が形成される。そして、パターン膜領域に形成された親液領域と区画部に形成された撥液領域と親液領域とが連なるように液状体を塗布する。塗布された液状体は、撥液領域においては液状体を弾こうとするが、撥液領域を挟む親液領域では液状体が馴染むので、液状体は塗布された位置で保持される。そして、塗布された液状体を乾燥すると、撥液領域に塗布された部分の液状体が撥液領域の両側に形成された親液領域の液状体に引きずり込まれる。そうして、撥液領域において液状体が分裂し、最終的に液状体はパターン膜領域における親液領域（第１領域）と区画部の親液領域（第２領域）において固化され、パターン膜が形成される。したがって、撥液領域を親液領域で挟み、これらの領域に連なるように液状体を塗布させることにより、塗布された液状体の塗布位置を保持しつつ、この状態において乾燥することにより、液状体の一部を第１領域側に引きずり込みながら、パターン膜領域にパターン膜を形成することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、前記区画部の頂部を前記第２領域とすることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、区画部の頂部において塗布された液状体を保持させやすくすることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、前記パターン膜領域に塗布された前記液状体を前記第１領域に含み、前記塗布工程では、前記第１領域の前記液状体と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、パターン膜領域における液状体を第１領域として含み、当該第１領域と第２領域と撥液領域とに連なるよう液状体が塗布されるので、液状体の濡れ性を向上させることができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、前記パターン膜領域の端部に対応する前記区画部の頂部を前記第２領域とすることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、液状体は、パターン膜領域の端部を含む領域において塗布される。従って、乾燥過程において、液状体の一部がパターン膜領域の端部を覆うようにパターン膜領域側に引きずられるように吸収されるため、パターン膜領域の端部にパターン膜を容易に形成することができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、隣接する前記パターン膜領域を区画する前記区画部の頂部の中央部を前記第２領域とし、前記塗布工程では、前記隣接する前記パターン膜領域における各前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、隣接するパターン膜領域に均一に液状体を引きずり込ませることができる。
【００２２】
［適用例９］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、隣接する前記パターン膜領域の端部のそれぞれに対応する前記区画部の頂部に前記液状体を塗布する場合において、前記液状体を塗布する位置が前記隣接するパターン膜領域ごと互い違いになるように前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、隣接するパターン膜領域の端部に対応する区画部への液状体の塗布位置を各パターン膜領域ごとに互い違いとなるように設定することで、隣接するパターン膜の混色を防止することができる。
【００２４】
［適用例１０］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、基材の上に前記パターン膜の領域を区画する区画部を形成することにより前記部材を形成する部材形成工程と、前記親液処理工程では、前記パターン膜領域に対応する前記区画部の側壁面の少なくとも一部を前記第１領域とし、前記第１領域以外の前記区画部を前記第２領域とし、前記撥液処理工程では、前記区画部であって、前記第１領域と前記第２領域との間の領域を前記第３領域とし、前記塗布工程では、前記第１領域と前記第２領域と前記第３領域とに連なるように前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、基材と区画部を含む部材には撥液領域を挟むように親液領域が形成される。親液領域は、パターン膜の領域に対応する区画部の側壁面の一部（第１領域）と他の区画部の領域（第２領域）とに形成され、第１領域と第２領域との間の領域（第３領域）に撥液領域が形成される。そして、これらの領域を跨ぐように液状体を塗布する。塗布された液状体は、撥液領域においては液状体を弾こうとするが、撥液領域を挟む親液領域では液状体が馴染むので、液状体は塗布された位置で保持される。そして、塗布された液状体を乾燥すると、撥液領域に塗布した部分の液状体が撥液領域の両側に形成された親液領域の液状体に引きずり込まれる。そうして、撥液領域において液状体が分裂し、最終的に液状体はパターン膜領域における親液領域（第１領域）と区画部の親液領域（第２領域）において固化され、パターン膜が形成される。したがって、撥液領域を親液領域で挟み、これらの領域に連なるように液状体を塗布させることにより、塗布された液状体の塗布位置を保持しつつ、この状態において乾燥することにより、液状体の一部を第１領域側、特にパターン膜領域に対応する区画部の側壁面側に引きずり込みながら、パターン膜領域にパターン膜を形成することができる。
【００２６】
［適用例１１］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程では、前記区画部の側壁面を前記第１領域とし、前記区画部の頂部の表面を前記第２領域とし、前記撥液処理工程では、前記区画部の頂部の表面であって、前記第１領域と前記第２領域との間の領域を前記第３領域とすることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、区画部の頂部において塗布された液状体を保持させやすくすることができる。
【００２８】
［適用例１２］上記適用例のパターン形成部材の製造方法において、前記親液処理工程と前記撥液処理工程では、前記第２領域が前記第３領域よりも領域が小さくなるように処理することを特徴とする。
【００２９】
この構成によれば、液状体が撥液領域に接する領域が広くなるため、液状体を乾燥したときに容易に液状体を分裂させやすくすることができる。
【００３０】
［適用例１３］本適用例にかかるパターン形成部材は、上記のパターン形成部材の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００３１】
これによれば、パターン膜に欠陥が無く、高品位のパターン形成部材を提供することができる。この場合のパターン形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬの部材、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等のほか、各種配線形成部材等がこれに該当する。
【００３２】
［適用例１４］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン形成部材を備えたことを特徴とする。
【００３３】
このような電気光学装置によれば、信頼性の高いパターン形成部材を備えることができる。この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００３４】
［適用例１５］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３５】
このような電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を搭載することができる。この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
［第１実施形態］
以下、本発明を具体化した第１実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００３７】
（パターン形成部材の構成）
まず、パターン形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン形成部材としてのカラーフィルタの構成について説明する。図１は、カラーフィルタの構成を示し、図１（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００３８】
図１（ａ），（ｂ）において、カラーフィルタ１は、基材１０と、基材１０の上に形成された区画部１１と、区画部１１によって区画されたパターン膜領域としての色素膜領域１６と、色素膜領域１６に形成された色素膜１４と、区画部１１と色素膜１４の上に形成された保護膜１８等で構成されている。
【００３９】
基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
【００４０】
（液滴吐出装置の構成）
次に、カラーフィルタ１の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。本実施形態では、カラーフィルタ１の色素膜領域１６に色素膜１４の材料となる液状体を塗布する方法として、液滴吐出法を例に説明する。図２は、液滴吐出法を可能とする液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００４１】
図２において、液滴吐出装置３０は、色素膜１４の材料となる液状体を液滴として吐出するヘッド部５０を有するヘッド機構部３２と、ヘッド部５０から吐出された液滴の吐出対象である基材１０を載置するワーク機構部３３と、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４と、ヘッド部５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３６等を備えている。
【００４２】
液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２のヘッド部５０から連通して液状体を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３６が備えられている。
【００４３】
ヘッド機構部３２は、液状体を吐出するヘッド部５０と、ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ５４等を備えている。
【００４４】
ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、基材１０を載置している載置台６１と、載置台６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ６４等を備えている。
【００４５】
これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、ヘッド部５０の移動について説明する。ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１は、Ｙ軸ガイド５３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ５１からＹ軸リニアモータ５４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ５４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ５１がＹ軸ガイド５３に沿って任意の位置に移動する。同様に、載置台６１に搭載された基材１０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００４６】
このように、ヘッド部５０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にある基材１０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動する基材１０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部５０とを相対的に制御することにより、基材１０上に液状体を吐出することができる。
【００４７】
ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４は、タンク７５と、ポンプ７４と、タンク７５からポンプ７４を経てヘッド部５０までを接続する流路チューブ７９とを備えている。
【００４８】
次に、ヘッド部５０に備えられた吐出ヘッドの構造について説明する。図３は、吐出ヘッドの構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００４９】
図３（ａ）において、吐出ヘッド１１０は、振動板１１４と、ノズルプレート１１５を備えている。振動板１１４とノズルプレート１１５との間には、液溜まり１１６が配置され、孔１１８を介して供給される液状体が常に充填されるようになっている。また、振動板１１４と、ノズルプレート１１５との間には、複数の隔壁１１２が位置している。そして、振動板１１４と、ノズルプレート１１５と、一対の隔壁１１２とによって囲まれた部分がキャビティ１１１である。キャビティ１１１は、ノズル１２０に対応して設けられているため、キャビティ１１１の数とノズル１２０の数とは同じである。キャビティ１１１には、一対の隔壁１１２間に位置する供給口１１７を介して、液溜まり１１６から液状体が供給される。
【００５０】
図３（ｂ）に示すように、振動板１１４上には、それぞれのキャビティ１１１に対応して振動子１１３が取り付けられている。振動子１１３は、ピエゾ素子１１３ｃと、ピエゾ素子１１３ｃを挟む一対の電極１１３ａ、１１３ｂを有する。この一対の電極１１３ａ、１１３ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１２０から液状体が液滴１２１となって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子１１３の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴として吐出することができる。
【００５１】
図２に戻り、次に、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモータ８３とを備えている。これにより、メンテモータ８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１がヘッド部５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿ってヘッド部５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００５２】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット８６は、液滴吐出装置３０が稼動していない時に、吐出ヘッド１１０に密着してキャッピングし、液状体が乾燥してノズル１２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット８７は、液状体の連続吐出後やキャッピング時にノズル１２０に付着した液状体などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット８８は、液滴吐出装置３０の稼動開始時や基材１０への加工前に、ノズル１２０から吐出される液状体を受け、ノズル１２０の吐出状態を常に良好な状態にする。
【００５３】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時や基材１０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド１１０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００５４】
これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。
【００５５】
次に、以上述べた構成を制御する制御部３６の構成について説明する。図４は、制御部３６の構成を示すブロック図である。制御部３６は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００５６】
駆動部１４０は、ヘッドドライバ１４１、モータドライバ１４２、ポンプドライバ１４３及びメンテドライバ１４５から構成されている。モータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材１０、ヘッド部５０の移動を制御する。さらに、メンテモータ８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ１４１は、吐出ヘッド１１０からの液状体の吐出を制御し、モータドライバ１４２の制御と同調して、基材１０上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバ１４３は、液状体の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、吐出ヘッド１１０への供給を最適に制御する。そして、メンテドライバ１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御する。
【００５７】
（パターン形成部材の製造方法）
次に、パターン形成部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、パターン形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００５８】
図５（ａ）の部材形成工程では、基材１０の上に区画部１１を形成することにより部材２を形成する。区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法によって形成することができる。区画部１１の形成によって区画された領域はパターン膜領域としての色素膜領域１６となる。
【００５９】
次に、区画部１１が形成された基材１０の第１領域及び第２領域に親液処理を施し、第１領域及び第２領域の間の第３領域に撥液処理を施す。なお、本実施形態では、色素膜１４の材料となる液状体に対して親液性を有するように親液処理を施し、また、色素膜１４の材料となる液状体に対して撥液性を有するように撥液処理を施す。以下、具体的に説明する。
【００６０】
まず、親液処理工程では、図５（ａ）に示すように、色素膜領域１６の第１領域２０ａに親液処理を施す。本実施形態では、色素膜領域１６における基材１０の表面及び色素膜領域１６を区画する区画部１１の側壁面１１ａを第１領域２０ａとして親液処理を施す。親液処理は、例えば、酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって行うことができる。さらには、図５（ｂ）に示すように、色素膜領域１６内に色素膜１４の材料となる液状体１２ａを塗布して、当該塗布された液状体１２ａも含めて第１領域２０ａとする。この場合において、液状体１２ａの塗布方法としては、液滴吐出装置３０を用いて、液状体１２を液滴１２１として色素膜領域１６に向けて吐出することにより、液状体１２ａを色素膜領域１６に塗布することができる。従って、本実施形態における第１領域２０ａは、色素膜領域１６における基材１０の表面、区画部１１の側壁面１１ａ及び色素膜領域１６に塗布された液状体１２ａを含めた領域である。
【００６１】
次に、図５（ａ）に示すように、区画部１１の表面であって、第１領域２０ａ以外の第２領域２０ｂに親液領域を形成する。本実施形態では、区画部１１の頂部１１ｂの表面のほぼ中央部であって、色素膜領域１６をライン状のパターンで囲うように親液処理を施す。この親液処理を施した領域を第２領域２０ｂとする。親液処理は、例えば、酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって行うことができる。
【００６２】
撥液処理工程では、図５（ａ）に示すように、第１領域２０ａと第２領域２０ｂとの間の領域に撥液処理を施す。本実施形態では、区画部１１の頂部１１ｂの表面であって、第２領域２０ｂ以外の領域に撥液処理を施す。当該撥液処理を施した領域を第３領域２０ｃとする。撥液処理は、例えば、ＣＦ4プラズマ処理によって行うことができる。
【００６３】
以上、部材の表面処理により、親液処理された第１領域２０ａ，第２領域２０ｂと、第１領域２０ａと第２領域２０ｂの間に撥液処理された第３領域２０ｃが形成される。
【００６４】
図５（ｃ）の塗布工程では、第１領域２０ａと第２領域２０ｂと第３領域２０ｃとに連なるように液状体１２ｂを塗布する。本実施形態では、色素膜領域１６の第１領域２０ａのうち色素膜領域１６の端部（角部）と第２領域２０ｂのうち色素膜領域１６の端部（角部）に対応する区画部１１の頂部１１ｂと第１領域２０ａと第２領域２０ｂとの間の第３領域２０ｃとに連なるように液状体１２ｂを塗布する。そうすると、同図（ｃ）に示すように、親液効果によって色素膜領域１６の端部において液状体１２ａと液状体１２ｂとが混ざり合うとともに濡れ広がる。このとき、塗布された液状体１２ｂは第２領域２０ｂに馴染むので、色素膜領域１６側に全て吸収されず、区画部１１の頂部１１ｂにおいて維持される。
【００６５】
図５（ｄ）の乾燥工程では、液状体１２（１２ａ，１２ｂ）を乾燥する。乾燥過程において、塗布された液状体１２は、撥液処理された第３領域２０ｃにおいて液状体１２を弾く力が働いているので、乾燥の過程において分裂し始め、第３領域２０ｃに塗布された液状体１２の一部は第２領域２０ｂ側に吸収される。また、他の一部は第１領域２０ａ側に吸収され、色素膜領域１６の端部に濡れ広がる。そして、さらに、乾燥が進むと、図５（ｅ）に示すように、第３領域２０ｃにおいて液状体１２が分裂する。そして、液状体１２の一部は、区画部１１の第２領域２０ｂにおいて固化された膜１３を形成し、他の一部は、液状体１２が第１領域２０ａ側（色素膜領域１６側）に吸収されて色素膜１４が形成される。その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。上記の工程を経ることより、カラーフィルタ１を製造することができる。
【００６６】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図６は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００６７】
図６において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１と、カラーフィルタ１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００６８】
カラーフィルタ１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００６９】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００７０】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図７は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図７において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００７１】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００７２】
（１）色素膜領域１６の端部の領域において親液領域となる第１領域２０ａと第２領域２０ｂとの間に撥液領域となる第３領域２０ｃを形成した。そして、これらの第１〜第３領域２０ａ，２０ｂ，２０ｃに連なるように液状体１２を塗布した。このような状態では、塗布された液状体は、第３領域２０ｃにおいて液状体を弾こうとするが、第３領域２０ｃの両側に形成された第１領域２０ａと第２領域２０ｂにおいて液状体が馴染むので、液状体１２を塗布した位置で保持することができる。そして、この状態において液状体１２を乾燥することにより、撥液処理された第３領域２０ｃにおいて液状体１２が分裂されるが、液状体１２の一部は、第２領域２０ｂに引きずられ、他の一部は第１領域２０ａ側に引きずり込まれる。なお、第１領域２０ａに塗布されている液状体１２の容量が、第２領域２０ｂに塗布されている液状体１２の容量よりも大きいので、塗布された液状体１２は第１領域２０ａ側に吸収されやすくなる。第１領域２０ａ側に吸収される液状体１２は、区画部１１の頂部１１ｂから色素膜領域１６の端部にかけて引きずり込まれつつ、固化されるので、色素膜領域１６の端部に色素膜１４を形成し、色素膜領域１６において色素膜１４の欠陥を防止することができる。
【００７３】
（２）第２領域２０ｂを区画部１１の頂部１１ｂに形成したので、塗布された液状体１２を保持させやすくすることができる。また、隣接する色素膜領域１６に対して均一に液状体１２を吸収させることができる。
【００７４】
（３）色素膜領域１６の第１領域２０ａとして、基材１０の表面、区画部１１の側壁面１１ａ及び液状体１２ａを親液領域として形成し、第１領域２０ａを広く設けたので、液状体１２を確実に引きずり込ませることができる。
【００７５】
［第２実施形態］
次に、本発明を具体化した第２実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００７６】
なお、本実施形態のパターン形成部材としてのカラーフィルタ１の構成及び液滴吐出装置３０については第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００７７】
（パターン形成部材の製造方法）
図８は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００７８】
図８（ａ），（ｂ）の部材形成工程、親液処理工程、撥液処理工程は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００７９】
図８（ｃ）の塗布工程では、隣接する色素膜領域１６の各第１領域２０ａと第２領域２０ｂと第３領域２０ｃとに連なるように液状体１２ｂを塗布する。本実施形態では、第２領域２０ｂをほぼ中心として第３領域２０ｃを挟んで一の色素膜領域１６の第１領域２０ａのうち色素膜領域１６の端部（角部）とに連なるように液状体１２ｂを塗布するとともに、第３領域２０ｃを挟んで他の色素膜領域１６の第１領域２０ａのうち色素膜領域１６の端部（角部）とに連なるように液状体１２ｂを塗布する。こうして、隣接する色素膜領域１６の端部同士が、塗布された液状体１２ｂで連なり、同図（ｃ）に示すように、親液効果によってそれぞれの色素膜領域１６の端部において液状体１２ａと液状体１２ｂとが混ざり合うとともに濡れ広がる。このとき、塗布された液状体１２ｂは第２領域２０ｂに馴染むので、色素膜領域１６側に全て吸収されず、区画部１１の頂部１１ｂにおいて維持される。
【００８０】
図８（ｄ）の乾燥工程では、液状体１２（１２ａ，１２ｂ）を乾燥する。乾燥過程において、塗布された液状体１２は、撥液処理された第３領域２０ｃにおいて液状体１２を弾く力が働いているので、乾燥の過程において分裂し始め、第３領域２０ｃに塗布された液状体１２の一部は第２領域２０ｂ側に吸収される。また、他の一部はそれぞれの第１領域２０ａ側に吸収され、色素膜領域１６の端部に濡れ広がる。そして、さらに、乾燥が進むと、図８（ｅ）に示すように、第３領域２０ｃにおいて液状体１２が分裂する。そして、液状体１２の一部は、区画部１１の第２領域２０ｂにおいて固化された膜１３を形成し、他の一部は、第１領域２０ａ側（色素膜領域１６側）に吸収されて色素膜１４が形成される。その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。上記の工程を経ることより、カラーフィルタ１を製造することができる。
【００８１】
従って、上記の第２実施形態によれば、第１実施形態における効果に加え以下に示す効果がある。
【００８２】
（１）隣接する色素膜領域１６を区画する区画部１１の頂部１１ｂのほぼ中心の位置に第２領域２０ｂを設け、当該第２領域２０ｂを中心として隣接し合う色素膜領域１６のそれぞれの第１領域２０ａに連なるように液状体１２ｂを塗布した。このように塗布することにより、乾燥の過程で、それぞれの色素膜領域１６に均一に液状体１２を吸収させることができ、作業性を向上させることができる。この場合、特に、いわゆるストライプ配列型のカラーフィルタの製造に対して効果的である。
【００８３】
［第３実施形態］
次に、本発明を具体化した第３実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００８４】
なお、本実施形態のパターン形成部材としてのカラーフィルタ１の構成及び液滴吐出装置３０については第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００８５】
（パターン形成部材の製造方法）
図９および図１０は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００８６】
図９（ａ），（ｂ）の部材形成工程、親液処理工程、撥液処理工程は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００８７】
図９（ｃ）の塗布工程では、隣接する色素膜領域１６の端部のそれぞれに対応する区画部１１の頂部１１ｂに液状体１２を塗布する場合において、液状体１２を塗布する位置が隣接する色素膜領域１６ごと互い違いになるように液状体１２を塗布する。本実施形態では、隣接する一の色素膜領域１６の第１領域２０ａのうち色素膜領域１６の端部（角部）と第２領域２０ｂのうち色素膜領域１６の端部（角部）に対応する区画部１１の頂部１１ｂと第１領域２０ａと第２領域２０ｂとの間の第３領域２０ｃとに連なるように液状体１２ｂを塗布する。また、隣接する他の色素膜領域１６の第１領域２０ａのうち色素膜領域１６の端部（角部）と第２領域２０ｂのうち色素膜領域１６の端部（角部）に対応する区画部１１の頂部１１ｂと第１領域２０ａと第２領域２０ｂとの間の第３領域２０ｃとに連なるように、かつ、隣接する色素膜領域１６に塗布された液状体１２ｂと互い違いになる位置に液状体１２ｂを塗布する。
【００８８】
図１０（ａ）の乾燥工程では、液状体１２（１２ａ，１２ｂ）を乾燥する。乾燥過程において、塗布された液状体１２は、撥液処理された第３領域２０ｃにおいて液状体１２を弾く力が働いているので、乾燥の過程において分裂し始め、第３領域２０ｃに塗布された液状体１２の一部は第２領域２０ｂ側に吸収される。また、他の一部は第１領域２０ａ側に吸収され、色素膜領域１６の端部に濡れ広がる。そして、さらに、乾燥が進むと、図１０（ｂ）に示すように、第３領域２０ｃにおいて液状体１２が分裂する。そして、液状体１２の一部は、区画部１１の第２領域２０ｂにおいて固化された膜１３を形成し、他の一部は、第１領域２０ａ側に吸収されて色素膜１４が形成される。その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。上記の工程を経ることより、カラーフィルタ１を製造することができる。
【００８９】
従って、上記の第３実施形態によれば、第１及び第２実施形態における効果に加え以下に示す効果がある。
【００９０】
（１）塗布工程において、隣接する色素膜領域１６ごとに液状体１２ｂの塗布位置を互い違いにすることにより、隣接する色素膜領域１６同士の混色を防止することができる。この場合、特に、いわゆるモザイク配列型やデルタ配列型のカラーフィルタの製造に対して効果的である。
【００９１】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００９２】
（変形例１）上記実施形態では、色素膜領域１６を囲むように区画部１１の頂部１１ｂに第２領域２０ｂを設けたが、これに限定されない。例えば、図１１に示すように、色素膜領域１６の端部、特に角部に対応する区画部１１の頂部１１ｂに設けるだけでもよい。このようにしても、色素膜領域１６の端部において色素膜１４を形成することができる。
【００９３】
（変形例２）上記実施形態では、第１領域２０ａを、第２領域２０ｂの領域よりも広くして、塗布された液状体１２の第１領域２０ａ側への吸収力を高めたが、これに限定されない。例えば、第１領域２０ａにおける親液性を、第２領域２０ｂにおける親液性よりも強くなるように親液処理を施してもよい。この場合、例えば、第１領域２０ａと第２領域２０ｂとで酸素を処理ガスとするプラズマ処理の出力や処理時間等を変えることにより親液性の強弱の差を設けることができる。このようにしても、塗布された液状体１２の第１領域２０ａ側への吸収力を高めることができる。
【００９４】
（変形例３）上記実施形態では、第２領域２０ｂを区画部１１の頂部１１ｂに設けたが、これに限定されず、区画部１１の側壁面１１ａに設けてもよい。この場合、例えば、色素膜領域１６の端部に接する側壁面１１ａの一部に第１領域２０ａを設け、側壁面１１ａであって区画部１１の頂部１１ｂ側に第２領域２０ｂを設け、第１領域２０ａと第２領域２０ｂとの間に第３領域２０ｃを設ければよい。この場合であっても、第１領域２０ａと第２領域２０ｂと第３領域２０ｃとに連なるように液状体１２を塗布することにより、色素膜領域１６の端部に色素膜１４を形成することができる。さらに、色素膜領域１６の基材１０の表面を第１領域２０ａとし、区画部１１の側壁面１１ａには、第２領域２０ｂと第３領域２０ｃを設けるようにしてもよい。この場合であっても、同様の効果が得られる。
【００９５】
（変形例４）上記実施形態では、区画部１１の頂部１１ｂに第２領域２０ｂと第３領域２０ｃとを設けたが、これに限定されない。区画部１１の頂部１１ｂの全面を第２領域２０ｂとし、側壁面１１ａに第３領域２０ｃを設けてもよい。この場合であっても、塗布された液状体１２を側壁面１１ａの第３領域２０ｃで分裂させ、液状体１２を色素膜領域１６側に引きずり込み、色素膜領域１６の端部に色素膜１４を形成することができる。
【００９６】
（変形例５）本実施形態では、区画部１１の頂部１１ｂに一本の筋状の第２領域２０ｂを設けたが、これに限定されない。例えば、複数本であってもよい。この場合において、第２領域２０ｂの間に撥液領域を設ければよい。このようにすれば、液状体１２の塗布する位置を自由に設定することができる。
【００９７】
（変形例６）上記実施形態では、パターン形成部材としてカラーフィルタについて説明したが、これに限定されない。例えば、ＥＬ（Electro-Luminescence）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等の部材が選択可能である。この場合であっても、所望の領域にパターン膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】カラーフィルタの構造を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図２】液滴吐出装置の構成示す斜視図。
【図３】吐出ヘッドの構造を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。
【図４】液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図５】第１実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図６】液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図７】テレビ受像機の斜視図。
【図８】第２実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図９】第３実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図１０】第３実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図１１】変形例におけるカラーフィルタの製造方法を示す平面図。
【符号の説明】
【００９９】
１…パターン形成部材としてのカラーフィルタ、２…部材、１０…基材、１１…区画部、１１ａ…区画部の側壁面、１１ｂ…区画部の頂部、１２，１２ａ，１２ｂ…液状体、１４…パターン膜としての色素膜、１６…パターン膜領域としての色素膜領域、２０ａ…第１領域、２０ｂ…第２領域、２０ｃ…第３領域、３０…液滴吐出装置、１１０…吐出ヘッド、１２１…液滴、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機。
【図１】
2010008741.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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