(57)【要約】【課題】電子撮像装置の撮像面に結像される観察像の倍率を、対物レンズの同焦点距離を変化させることなく所定の誤差範囲内に調整できるようにする。【解決手段】対物レンズを介して形成された試料の観察像を結像するための第１結像レンズ１２ａと第２結像レンズ１２ｂとの間隔Ａ、および第１結像レンズ１２ａと撮像面１４との間隔Ｂを、第２保持部材１８や第３保持部材２１の光軸方向の位置調整によってそれぞれ可変することによって、撮像面１４に結像される観察像の倍率を調整でき、かつ、倍率調整の前後において撮像面１４が、第１および第２結像レンズ１２ａ，１２ｂの実際の焦点位置に配置されるようにした。【選択図】        図２
2010060664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡本体の鏡筒取付部と電子撮像装置の顕微鏡取付部との間に取り付けられる中間鏡筒であって、
顕微鏡の対物レンズを介して形成された試料の観察像を結像するための第１結像レンズと、
前記第１結像レンズを通過した光を前記電子撮像装置の撮像面に結像する第２結像レンズと、
前記第１結像レンズと前記第２結像レンズとの間隔を変化させる第１可変手段と、
前記第１結像レンズと前記撮像面との間隔を変化させる第２可変手段と、
を備えることを特徴とする中間鏡筒。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡の鏡筒取付部と電子撮像装置の顕微鏡取付部との間に取り付けられる中間鏡筒に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡の対物レンズを介して形成された像を観察するために、デジタルビデオカメラ等の電子撮像装置を用いることが多くなってきている。接眼レンズによる目視観察に代えてＴＶモニタの画面で試料の観察を行う等の用途が広く実施されているが、それに加えて、電子撮像装置の撮像面に結像された観察像をデータとして用い、種々の画像解析を実施することも行われている。
【０００３】
このような、電子撮像装置の撮像面に観察像を結像するための構成例として、例えば特許文献１に示されるものがある。特許文献１では、電子撮像装置で撮像する場合には、対物レンズからの観察光を結像レンズで結像させて切換プリズムで観察光軸上に導き、その後、リレーレンズを中継して電子撮像装置内の撮像素子に導き電子データに変換させた後、外部モニタ装置に観察画像として表示させるようにしている。この際、内枠に支持されたリレーレンズを光軸上で移動させる機構を備えることで、電子撮像装置の撮像面に観察像を結像させるためのピント合わせを可能としている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２８６９８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の構成を用いることにより、電子撮像装置の撮像面に観察像を結像させて試料の観察を行なうことが可能となる。しかしながら、観察用途の多様化に伴い、特許文献１に記載のような構成では、所定の観察用途において必要とされる性能を実現できない事態が発生している。そのような観察用途の例として、半導体やフラットパネルディスプレイ等の基板検査装置における欠陥検出や欠陥レビューの場合か挙げられる。
【０００６】
基板検査装置では、微小な欠陥を検出、レビューするために顕微鏡が搭載されている。このような基板検査装置では、顕微鏡に設けた電子撮像装置の撮像面に結像された試料の拡大観察像を画像データとして用い、その画像データをもとに欠陥検出等の画像解析が行われる。そのとき、撮像面に結像される観察像の倍率に許容範囲を超える誤差があると、例えば、ある検査装置では欠陥として検出された画像が、別の検査装置で同種の画像解析を行ったときには欠陥とみなされない等の不具合を生じる。このような不具合を防ぐために、各検査装置における欠陥検出時の顕微鏡倍率を一定の誤差範囲内に収めることが求められる。この倍率の許容誤差は、検査装置の仕様にもよるが、基板回路の微細化が進む現状では、例えば±１％以内であることが要求されつつある。
【０００７】
しかし、実際に顕微鏡を構成している各光学素子は、厳密にはそれぞれ固有の誤差をもっている。これは、製造上での対物レンズおよび結像レンズの倍率誤差、結像レンズの焦点位置誤差、各光学素子が顕微鏡の光軸上に配置される際の取付け位置の誤差等である。これらの誤差を累積すると、最終的に電子撮像装置の撮像面に結像される観察像の総合倍率誤差は、±数％の大きさになることがある。このような倍率誤差を許容範囲内に収めるために、例えば対物レンズ等の各光学素子における実際の倍率をそれぞれ測定し、許容誤差範囲内のものを選別して使用することが考えられるが、そのための測定や調整に要する時間、費用、光学素子（特に、対物レンズ）を交換する可能性等を考えると実用的ではない。
【０００８】
よって、実用的な対応としては、対物レンズや結像レンズ等の各光学素子は既存のものを用いることを前提として、顕微鏡の画像出力部と電子撮像装置の顕微鏡取付部との間に設けられる中間鏡筒において倍率調整作業を行い、許容誤差範囲内に調整された観察像を、電子撮像装置の撮像面に結像させる構成が望ましい。
【０００９】
ところで、一般的に顕微鏡では、複数の異なる倍率の対物レンズを備え、観察用途に応じて、適宜対物レンズを切換えて使用している。対物レンズの焦点位置は、その顕微鏡取付部から焦点位置までの距離が、どの倍率であっても一定の距離となるように設計されており、「同焦点距離」と呼ばれる。対物レンズを切換えたとき、この同焦点距離が変化していなければ、撮像面に結像される観察画像の焦点位置ずれは最小限に留められる。よって、観察画像の倍率を調整する作業の前後において、対物レンズの同焦点距離が変化しないことが望ましい。
【００１０】
このような点を踏まえて、特許文献１に記載の構成を改めて検討すると、以下の問題点が指摘される。特許文献１に記載の技術において、リレーレンズを光軸方向に移動させる機能は、電子撮像装置の撮像面に観察像を結像させるためのピント合わせが目的であり、上述の倍率誤差については何ら考慮されていない。リレーレンズ、電子撮像装置等の間隔を本来の光学的位置からずらすことによって、ある程度の倍率調整ができる可能性はあるが、このときに発生する結像レンズの実際の焦点位置に対する撮像面（結像位置）の光軸方向のずれは、別の対物レンズに切換えた時、同焦点距離のより大きなずれを発生させるおそれがある。同焦点距離の誤差が大きいと、対物レンズを切換える度に、余分な焦点合わせの作業が必要となってしまう。
【００１１】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、電子撮像装置の撮像面に結像される観察像の倍率を、対物レンズの同焦点距離を変化させることなく所定の誤差範囲内に調整することができる中間鏡筒を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる中間鏡筒は、顕微鏡本体の鏡筒取付部と電子撮像装置の顕微鏡取付部との間に取り付けられ、顕微鏡の対物レンズを介して形成された試料の観察像を結像するための第１結像レンズと、前記第１結像レンズを通過した光を前記電子撮像装置の撮像面に結像する第２結像レンズと、前記第１結像レンズと前記第２結像レンズとの間隔を変化させる第１可変手段と、前記第１結像レンズと前記撮像面との間隔を変化させる第２可変手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にかかる中間鏡筒によれば、対物レンズを介して形成された試料の観察像を結像するための第１結像レンズと第２結像レンズとの間隔、および第１結像レンズと撮像面との間隔をそれぞれ可変することによって、撮像面に結像される観察像の倍率を調整することができ、この際、倍率調整の前後において撮像面は、第１および第２結像レンズの実際の焦点位置に配置されるため、対物レンズと試料との距離を変化させることがなく、よって、別の対物レンズに切換えた時に発生する同焦点距離の誤差を最小限に留めることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明にかかる中間鏡筒を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。本発明は、各実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１の中間鏡筒を備える顕微鏡全体の概略構成例を示す側面図である。顕微鏡本体１にはステージ２が設けられている。ステージ２は、試料３を保持した状態で光軸と直交する面内での移動により試料３の被観察箇所の位置出しを行い、さらに光軸方向に移動することによって試料３の焦点合わせを行う。ステージ２の光軸方向の移動は、ステージ昇降ダイアル４を回す操作によって行われる。なお、本実施の形態では、焦準機構としてステージ昇降による構成としているが、対物レンズとステージとの相対距離を可変させるものであれば他の焦準機構であっても構わない。
【００１６】
また、顕微鏡本体１には照明部５が設けられている。照明部５は、光源６、照明レンズ７およびハーフミラー８を備える。ハーフミラー８は、光源６から発して照明レンズ７を通過した照明光を反射して試料３を照明すると共に、試料３からの反射光を透過させる。また、レボルバ９は、照明部５に保持されており複数の対物レンズ１０を装着する。複数の対物レンズ１０は、観察用途に応じて任意の倍率等のものが選択されてレボルバ９に装着され、レボルバ９の回転によって所望の対物レンズ１０が光軸上に配置される。
【００１７】
照明部５において、ハーフミラー８を透過する試料３からの反射光の光軸上に、鏡筒取付部１１が設けられている。鏡筒取付部１１には、中間鏡筒１２が設けられている。さらに電子撮像装置としてのＴＶカメラ１３が、その顕微鏡取付部１３ａを介して中間鏡筒１２の上部に取り付けられている。鏡筒取付部１１は、顕微鏡の中間鏡筒１２を着脱可能に取付けるための機構を備えており、一般的には「丸アリ」等が用いられている。一方、ＴＶカメラ１３に形成されている顕微鏡取付部１３ａは、通常のＴＶカメラにおいて採用されている取付機構であり、一般的には「Ｃマウントネジ」等が用いられている。
【００１８】
中間鏡筒１２は、一方の端部に顕微鏡本体１の鏡筒取付部１１に着脱可能な機構を備え、他方の端部にＴＶカメラ１３の顕微鏡取付部１３ａに着脱可能な機構を備えている。また、中間鏡筒１２は、その内部に第１結像レンズ１２ａおよび第２結像レンズ１２ｂを内蔵している。第１結像レンズ１２ａは、ハーフミラー８を透過し鏡筒取付部１１を通過した対物レンズ１０による試料３からの反射光を所定の焦点位置に結像させるためのレンズである。また、第２結像レンズ１２ｂは、第１結像レンズ１２ａを通過した光を、ＴＶカメラ１３内に配置された撮像面１４に所定の倍率で結像させるためのレンズである。中間鏡筒１２のさらに詳細な構成については、図２を用いて後述する。なお、撮像面１４に受光されたＴＶカメラ１３の出力信号は、図示しないカメラコントローラにより必要な信号処理を施され、ＴＶモニタ１５に観察画像として表示される。
【００１９】
本実施の形態１における顕微鏡は、図１に示すように、試料３に照明光を照射すると共に試料３からの反射光を観察する正立型落射照明式の形態であるが、それに限定される必要はなく、対物レンズを介して形成された試料の観察像を顕微鏡外に導く鏡筒取付部を備えている構成であればどのような形態の顕微鏡であってもよい。
【００２０】
ここで、本実施の形態１の中間鏡筒１２について、図２に基づいて詳細に説明する。図２は、本実施の形態１の中間鏡筒１２の構成例を示す縦断側面図である。中間鏡筒１２は、それぞれ概ね円筒状に形成された第１保持部材１６、第２保持部材１８および第３保持部材２１を備える。第１保持部材１６は、第１結像レンズ１２ａを下部側に保持し、鏡筒取付部１１に連結固定されている。また、第１保持部材１６の光軸方向中間部の外周面にはネジ部１６ａが形成されている。ネジ部１６ａには、調節リング１７が噛み合わされている。また、第２保持部材１８は、第２結像レンズ１２ｂを上部側に保持し、第１保持部材１６の上端側外周面に嵌め合い連結している。この第２保持部材１８は、第１保持部材１６に対して光軸方向に移動可能であり、その下端が調節リング１７に突き当たることによって移動が規制される。固定ネジ１９は、第２保持部材１８にねじ込まれ、第１保持部材１６に押し付けられることによって第２保持部材１８の光軸方向の位置を維持する。また、第２保持部材１８の光軸方向中間部の外周面にはネジ部１８ａが形成されている。ネジ部１８ａには調節リング２０が噛み合わされている。
【００２１】
さらに、第３保持部材２１は、第２保持部材１８の上端側外周面に嵌め合い連結している。この第３保持部材２１は、第２保持部材１８に対して光軸方向に移動可能であり、その下端が調節リング２０に突き当たることによって移動が規制される。固定ネジ２２は、第３保持部材２１にねじ込まれ、第２保持部材１８に押し付けられることによって第３保持部材２１の光軸方向の位置を維持する。また、第３保持部材２１の上端にはカメラマウント２３が連結され、固定ネジ２４によって固定される。カメラマウント２３は、顕微鏡取付部１３ａを介してＴＶカメラ１３を保持している。
【００２２】
このようにして本実施の形態１の中間鏡筒１２は、第２結像レンズ１２ｂを保持して第１保持部材１６に対して光軸方向に移動可能かつ任意位置で固定自在な第２保持部材１８からなる第１可変手段と、カメラマウント２３等を介して撮像面１４を保持して第２保持部材１８に対して光軸方向に移動可能かつ任意位置で固定自在な第３保持部材２１からなる第２可変手段とを備えている。これにより、第２保持部材１８を光軸方向に移動させて第２結像レンズ１２ｂの位置を変位させることにより第１結像レンズ１２ａと第２結像レンズ１２ｂとの間隔（図２中に示す間隔Ａ）を可変させることが可能とされている。また、第３保持部材２１を光軸方向に移動させて撮像面１４の位置を変位させることにより第１結像レンズ１２ａと撮像面１４との間隔（図２中に示す間隔Ｂ）を可変させることが可能とされている。
【００２３】
次に、本実施の形態１の作用について説明する。本実施の形態１において、試料３は、例えば解像力測定標本のように一定形状のパターンが高い寸法精度で形成されているものを用いる。また、レボルバ９の回転操作によって、倍率調整を行う所定の倍率に対応する対物レンズ１０が顕微鏡の光軸上に配置されている。
【００２４】
光源６からの照明光は、照明レンズ７を通過した後ハーフミラー８で反射され、レボルバ９および対物レンズ１０を通過して試料３に到達する。試料３で反射した戻り光は、対物レンズ１０およびレボルバ９を通過した後、照明部５内のハーフミラー８を透過し、鏡筒取付部１１を通過して中間鏡筒１２に入射する。中間鏡筒１２に入射した光は、第１結像レンズ１２ａおよび第２結像レンズ１２ｂによってＴＶカメラ１３の撮像面１４に結像させられる。撮像面１４に受光されたＴＶカメラ１３の出力信号は、図示しないカメラコントローラで必要な信号処理を施された後、ＴＶモニタ１５上に観察画像として表示される。
【００２５】
このとき、観察視野内の所定のパターンが撮像面１４に結像されている大きさを計測することによって、顕微鏡の実際の倍率を求めることができる。具体的には、撮像面１４に結像された観察像から、所定のパターン領域を受光している画素数を図示しない計測手段で計測し、前記パターンの実際の寸法と対物レンズ１０および結像レンズ１２ａ，１２ｂの公称倍率によって求められる計算上の画素数と比較することにより実際の倍率が計算される。ここで求められた実際の倍率が許容できる倍率誤差の範囲を超えている場合、以下の手順で倍率調整を行う。
【００２６】
図３は、倍率誤差を調整するべき所定の倍率における第１結像レンズ１２ａと第２結像レンズ１２ｂとの間隔Ａ、および第１結像レンズ１２ａと撮像面１４との間隔Ｂの調整量を、光学的なシミュレーション結果または予め測定された実測データに基づき倍率調整量（倍率の変化率）毎に示した説明図である。例えば、倍率調節量が−１．５％の場合であれば、間隔Ａ，ＢについてのＡ調整量、Ｂ調整量は、それぞれ−１．５％対応のａ（−１．５），ｂ（−１．５）であることを示している。
【００２７】
前述の手順によって求められた実際の倍率に対して所定の量（倍率調節量）で倍率を変化させるときは、図３に示す間隔Ａおよび間隔Ｂの調整量に基づいて図２中に示す間隔Ａおよび間隔Ｂを変化させる。具体的な手順としては、まず、第２保持部材１８に設けられた固定ネジ１９と第３保持部材２１に設けられた固定ネジ２２を緩め、第２保持部材１８および第３保持部材２１を光軸方向に移動可能な状態にする。次に、調節リング１７を回転させて第２保持部材１８の光軸方向の位置を、また調節リング２０を回転させて第３保持部材２１の光軸方向の位置を変化させる。ここで、調節リング１７，２０のネジピッチ（リード）は一般に予め定義されているので、図３に示す間隔Ａおよび間隔Ｂの調整量と、調節リング１７，２０の１回転当りの光軸方向における移動量から、必要な調節リング１７，２０の回転数を計算することができる。間隔Ａおよび間隔Ｂを変化させた後、前述の手順により再度、実際の倍率を求めて、許容倍率誤差の範囲内に調整されているかどうかを確認し、必要に応じて、間隔Ａおよび間隔Ｂの再調整を行う。
【００２８】
なお、所定の倍率調節量が、図３中に示すデータの中間値の場合には、その両側２つのデータの中間値を用いるようにすればよい。例えば、所定の倍率調節量が＋０．７５％の場合であれば、倍率調節量＋０．５と倍率調節量＋１．０とのＡ，Ｂ調整量の中間値｛ａ（＋１．０）−ａ（＋０．５）｝／２，｛ｂ（＋１．０）−ｂ（＋０．５）｝／２を用いるようにすればよい。
【００２９】
このようにして、本実施の形態１の中間鏡筒１２によれば、ＴＶカメラ１３の撮像面１４に結像される観察像を所定の倍率において許容誤差の範囲内に調整することができる。このとき、対物レンズ１０によって形成される試料３の観察像に対して、第１結像レンズ１２ａと第２結像レンズ１２ｂとの間隔Ａおよび第１結像レンズ１２ａと撮像面１４との間隔Ｂを変化させるため、撮像面１４は、倍率調整の前後において常に結像レンズ１２ａ，１２ｂの実際の焦点位置に配置されることとなる。そのため、別の対物レンズ１０に切換えた際に発生する焦点距離の誤差を最小限に留めることができる。
【００３０】
なお、本実施の形態１において、第２保持部材１８および第３保持部材２１が図の下方（重力方向）へ移動するときは、これら保持部材１８，２１の自重によって調節リング１７，２０に接触し続けることを想定しているが、図示しないスプリングによって、第２保持部材１８および第３保持部材２１が常に一定方向に引っ張られる構成にしてもよい。例えば、第３保持部材２１と第１保持部材１６との間に引っ張りスプリングを設けると、第３保持部材２１と共に第２保持部材１８も第１保持部材１６に近づく方向に引っ張られる作用が発生する。このような構成は、中間鏡筒１２がその光軸を水平な状態で配置されているときなどに有効である。
【００３１】
（実施の形態２）
図４は、本実施の形態２の中間鏡筒２５の構成例を示す縦断側面図であり、図５は、その一部を抽出して示す正面展開図であり、図６は、その一部を抽出して示す背面展開図である。なお、図１〜図３で示した部分と同一または同等の作用を示す部分は、同一符号を用いて示し、その説明を省略する。
【００３２】
本実施の形態２の中間鏡筒２５は、その内部に第１結像レンズ２５ａと第２結像レンズ２５ｂを内蔵している。これら結像レンズ２５ａ，２５ｂは、実施の形態１で述べた結像レンズ１２ａ，１２ｂと同一のレンズであり、光軸上の位置も実施の形態１の場合と同様に配置されている。中間鏡筒２５は、それぞれ概ね円筒状に形成された第１保持部材２６と第２保持部材２７と第３保持部材２８とカム筒２９とを備えている。第１保持部材２６は、第１結像レンズ２５ａを下部側に保持し、鏡筒取付部１１に連結固定されている。第２保持部材２７は、第２結像レンズ２５ｂを上部側に保持し、第１保持部材２６の上端側外周面に嵌め合い連結している。この第２保持部材２７は、第１保持部材２６に対して光軸方向に移動可能となっている。
【００３３】
第３保持部材２８は、第２保持部材２７の上端側外周面に嵌め合い連結している。第３保持部材２８は、第２保持部材２７に対して光軸方向に移動可能である。この第３保持部材２８の上部側にはカメラマウント２３が連結され、固定ネジ２４によって固定される。カメラマウント２３は、顕微鏡取付部１３ａを介してＴＶカメラ１３を保持している。また、第１〜第３保持部材２６，２７，２８を概ね重複して覆う長さに形成されたカム筒２９が、第１保持部材２６に対して、光軸方向の移動は規制された状態で回転可能に連結されている。固定ネジ３０は、カム筒２９に設けられ、第１保持部材２６に押し付けられることによってカム筒２９を固定可能にしている。また、カム筒２９にはカム溝２９ａ、２９ｂが形成されている。ここで、図５に示すように、第２保持部材２７に設けられたピン３１はカム溝２９ａに嵌め込まれ、第３保持部材２８に設けられたピン３２は、カム溝２９ｂに嵌め込まれている。
【００３４】
一方、図４および図６に示すように、第１保持部材２６には規制ピン３３が設けられ、第２保持部材２７に光軸方向に形成されたスリット状のガイド孔２７ａに嵌め込まれていると共に、第２保持部材２７には規制ピン３４が設けられ、第３保持部材２８に光軸方向に形成されたスリット状のガイド孔２８ａに嵌め込まれている。
【００３５】
以上の構成において、カム溝２９ａに連結したピン３１は、カム筒２９の回転に伴って第２保持部材２７を光軸方向に移動させる作用を発生させ、カム溝２９ｂに連結したピン３２は、カム筒２９の回転に伴って第３保持部材２８を光軸方向に移動させる作用を発生する。また、ガイド孔２７ａに連結した規制ピン３３は、第２保持部材２７が第１保持部材２６に対して光軸方向のみ移動可能かつ回転方向の移動は規制する作用を発生させ、ガイド孔２８ａに連結した規制ピン３４は、第３保持部材２８が第２保持部材２７に対して光軸方向のみ移動可能かつ回転方向の移動は規制する作用を発生する。
【００３６】
すなわち、本実施の形態２の中間鏡筒２５は、第２結像レンズ２５ｂを保持して第１保持部材２６に対して光軸方向に移動可能かつ任意位置で固定自在な第２保持部材２７からなる第１可変手段と、カメラマウント２３等を介して撮像面１４を保持して第２保持部材２７に対して光軸方向に移動可能かつ任意位置で固定自在な第３保持部材２８からなる第２可変手段とを備え、カム筒２９を、第２保持部材２７（第１可変手段）と第３保持部材２８（第２可変手段）とを連動させる操作部材として備えている。
【００３７】
そこで、カム筒２９を回転させると、第２保持部材２７および第３保持部材２８は、カム溝２９ａ，２９ｂに連結したピン３１，３２、およびガイド孔２７ａ，２８ａに連結した規制ピン３３，３４の作用によって、回転することなく光軸方向にのみ移動する。ここで、カム溝２９ａ，２９ｂは、図３に示した倍率調整量と間隔Ａおよび間隔Ｂの調整量との関係をもとに形成されているため、カム筒２９を所定の角度で回転させると、その回転角度に対応した間隔Ａおよび間隔Ｂの変化が連動して得られることになる。
【００３８】
このように、本実施の形態２の中間鏡筒２５によれば、実施の形態１の効果に加えて、カム筒２９の回転操作で間隔Ａおよび間隔Ｂを連動させて同時に可変させるため、倍率調整の作業をより迅速に行うことができる。
【００３９】
なお、本実施の形態２では、カム筒２９に設けた固定ネジ３０を倍率調整が完了した後の固定手段としているが、特にその構成に限定される必要はない。カム筒２９以外に、第２保持部材２７または第３保持部材２８のいずれかに固定ネジを設け、倍率調整後の固定手段として利用するようにしてもよい。
【００４０】
（実施の形態３）
実施の形態３は、本発明の中間鏡筒の構成を、目視観察用の接眼鏡筒に画像出力部が設けられた３眼鏡筒に組み合わせたものである。図７は、本実施の形態３の中間鏡筒周りの構成例を示す縦断側面図である。なお、図１〜図３で示した部分と同一または同等の作用を示す部分は、同一符号を用いて示し、その説明を省略する。
【００４１】
本実施の形態３の中間鏡筒３５は、その内部に第１結像レンズ３５ａと第２結像レンズ３５ｂを内蔵している。これら結像レンズ３５ａ，３５ｂは、実施の形態１で述べた結像レンズ１２ａ，１２ｂと同一のレンズであり、光軸上の位置も実施の形態１の場合と同様に配置されている。中間鏡筒３５の構成部品である第１保持部材３６は、第１結像レンズ３５ａを保持し、鏡筒取付部１１に連結固定されている。第１保持部材３６は、ネジ部１６ａに相当するネジ部３６ａを有する。
【００４２】
第１保持部材３６の内部において、第１結像レンズ３５ａの光軸上には、試料３からの光を、カメラ光路３６ｂまたは接眼光路３６ｃのいずれか一方または両方へ選択的に導くための切換プリズム３７が設けられている。ＴＶカメラ１３を用いるとき、試料３からの光は、切換プリズム３７によってカメラ光路３６ｂに導かれ、第２結像レンズ３５ｂを通過してＴＶカメラ１３の撮像面１４に結像される。一方、切換プリズム３７によって接眼光路３６ｃに導かれた試料からの光は、接眼レンズ３８によって目視観察される。なお、カメラ光路３６ｂの光軸上に配置されている部分の中間鏡筒３５の構成および作用は、実施の形態１と同様であるため、その説明は省略する。
【００４３】
このように、本実施の形態３の中間鏡筒３５によれば、接眼レンズ３８を用いた目視観察部に加えて画像出力部を備える３眼鏡筒に倍率調整の機能を付加しているため、従来の顕微鏡システムの機能を拡張することができる。なお、本実施の形態３では、実施の形態１の中間鏡筒１２の構成・作用を３眼鏡筒に組み合わせた構成例を示したが、実施の形態２の中間鏡筒２５の構成・作用を３眼鏡筒に組み合わせた構成にしてもよい。また、本実施の形態の中間鏡筒３５は、３眼鏡筒の画像出力部に対して着脱自在とする構成としても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態１の中間鏡筒を備える顕微鏡全体の概略構成例を示す側面図である。
【図２】本実施の形態１の中間鏡筒の構成例を示す縦断側面図である。
【図３】間隔Ａおよび間隔Ｂの調整量を、倍率調整量毎に示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態２の中間鏡筒の構成例を示す縦断側面図である。
【図５】図４の一部を抽出して示す正面展開図である。
【図６】図４の一部を抽出して示す背面展開図である。
【図７】本発明の実施の形態３の中間鏡筒周りの構成例を示す縦断側面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  顕微鏡本体
３  試料
１０  対物レンズ
１１  鏡筒取付部
１２  中間鏡筒
１２ａ  第１結像レンズ
１２ｂ  第２結像レンズ
１３  ＴＶカメラ
１４  撮像面
１８  第２保持部材
２１  第３保持部材
２５  中間鏡筒
２５ａ  第１結像レンズ
２５ｂ  第２結像レンズ
２７  第２保持部材
２８  第３保持部材
３５  中間鏡筒
３５ａ  第１結像レンズ
３５ｂ  第２結像レンズ
【図１】
2010060664.tif 000003
【図２】
2010060664.tif 000004
【図３】
2010060664.tif 000005
【図４】
2010060664.tif 000006
【図５】
2010060664.tif 000007
【図６】
2010060664.tif 000008
【図７】
2010060664.tif 000009