(57)【要約】【課題】筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えた干渉計を提供する。【解決手段】光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、被検面からの反射光及び参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、光軸Ｃ１上に配置された複数の光学部品と、複数の光学部品のうち、少なくとも１つの光学部品８を内部に納める筒状の筐体部１０と、筐体部に納められた少なくとも１つの光学部品を筐体部内で移動させ、少なくとも１つの光学部品と他の光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構１９と、筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、調整移動機構の移動量を操作する操作部１８と、を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、前記被検面からの反射光及び前記参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、
光軸上に配置された複数の光学部品と、
前記複数の光学部品のうち、少なくとも１つの前記光学部品を内部に納める筒状の筐体部と、
該筐体部に納められた前記少なくとも１つの光学部品を前記筐体部内で移動させ、当該少なくとも１つの光学部品と他の前記光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構と、
前記筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、前記調整移動機構の移動量を操作する操作部と、を備えることを特徴とする干渉計。
【請求項２】
前記少なくとも１つの光学部品は、撮像素子と、該撮像素子の撮像面に前記干渉縞の像を投影する１以上の撮像レンズとからなり、
前記調整移動機構は、前記光軸方向に、前記撮像素子、または前記撮像レンズのうちの少なくとも１つを移動させて、フォーカス調整を行うものであることを特徴とする請求項１に記載の干渉計。
【請求項３】
前記筐体部は、中空円筒状に形成されて前記光軸方向に延在するように配置され、
前記操作部は、リング状に形成されて前記操作部の周方向に回転可能に設けられ、
前記調整移動機構は、前記操作部の回転運動を、前記光軸方向の直進運動に変換する機構からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の干渉計。
【請求項４】
前記調整移動機構は、
前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、前記回転軸に対して螺旋状に形成されたガイド面を有する円筒カム部と、
該円筒カム部の内側に配置され、外周面に前記ガイド面に沿って移動可能に係合される従動子が突設され、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、
前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることを特徴とする請求項３に記載の干渉計。
【請求項５】
前記調整移動機構は、
前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、中心軸が前記回転軸に一致する雌ネジ部を内周面に有する円筒部材と、
該円筒部材の内側に配置され、前記雌ネジ部と螺合する雄ネジ部を外周面に有し、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、
前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることを特徴とする請求項３に記載の干渉計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は干渉計に関し、より詳しくは、干渉縞観察のために光学部品の位置等を調整することに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検面の形状を観察する干渉計において、干渉計の内部の光学部品の位置や向きを調整するために様々な機構が検討されている。
例えば、特許文献１に示す干渉計では、偏光ビームスプリッタで反射されたレーザ光を導く先を、アライメント光学系又は干渉縞観察光学系のいずれかに切替えるために、これらが収容されている干渉計本体の外部に円柱状のツマミ（操作部）を設けている。
干渉計本体内部において、ツマミに回転軸を介して接続された光路切替板には、アライメント光学系及び干渉縞観察光学系が、反射されたレーザ光と平行になるように取り付けられている。そして、ツマミを回転させることで、反射されたレーザ光の光路上に位置する光学系が切替わるように構成されている。
【０００３】
このような、ツマミは、光学系を切替えるだけでなく、例えば、図１１に示す干渉計１０１のように、ケーシング（筐体部）１０２の内部に設けられる不図示のレンズや撮像素子等の光学部品の位置を調節して、撮像素子で検出される干渉縞のフォーカスを調整するために用いられる。この干渉計１０１では、ツマミに相当するフォーカス調整操作部１０３は、ケーシング１０２の上面であって、光束が入射する方向Ｄ１に対して先端側の面１０２ａに設けられている。
また、干渉計の製造時に、その仕様に応じて、干渉計のベースに対して下向きや横向き等の様々な向きや、様々な位置に、ケーシング１０２と、レンズや撮像素子等からなる干渉縞観察ユニット１０６を取付けることが従来から行われてきた。上記の干渉計１０１では、干渉縞観察ユニット１０６は、不図示の被検面及び参照面から反射した光束が入射する方向Ｄ１が上向きとなるように、干渉縞観察ユニット１０６における光束が入射する方向Ｄ１に対して基端側の面１０２ｂが、取付部１０４を介してベース１０５に取付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−６１９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の干渉計１０１の干渉縞観察ユニット１０６の構成では、例えば、干渉計の製造時において、干渉縞観察ユニット１０６における、不図示の被検面及び参照面から反射した光束の入射する方向が下向きとなるよう、同一仕様の干渉縞観察ユニット１０６を面１０２ｂが上方に位置するとともに、干渉縞観察ユニット１０６を干渉計の下部に取付ける場合を考えると、以下のような問題点がある。
すなわち、この場合には、干渉縞観察ユニット１０６の下方の空間が狭くなり、面１０２ａに設けられたフォーカス調整操作部１０３が操作し難くなる。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えた干渉計を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の干渉計は、光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、前記被検面からの反射光及び前記参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、光軸上に配置された複数の光学部品と、前記複数の光学部品のうち、少なくとも１つの前記光学部品を内部に納める筒状の筐体部と、該筐体部に納められた前記少なくとも１つの光学部品を前記筐体部内で移動させ、当該少なくとも１つの光学部品と他の前記光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構と、前記筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、前記調整移動機構の移動量を操作する操作部と、を備えることを特徴としている。
【０００８】
また、上記の干渉計において、前記少なくとも１つの光学部品は、撮像素子と、該撮像素子の撮像面に前記干渉縞の像を投影する１以上の撮像レンズとからなり、前記調整移動機構は、前記光軸方向に、前記撮像素子、または前記撮像レンズのうちの少なくとも１つを移動させて、フォーカス調整を行うものであることがより好ましい。
【０００９】
また、上記の干渉計において、前記筐体部は、中空円筒状に形成されて前記光軸方向に延在するように配置され、前記操作部は、リング状に形成されて前記操作部の周方向に回転可能に設けられ、前記調整移動機構は、前記操作部の回転運動を、前記光軸方向の直進運動に変換する機構からなることがより好ましい。
【００１０】
また、上記の干渉計において、前記調整移動機構は、前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、前記回転軸に対して螺旋状に形成されたガイド面を有する円筒カム部と、該円筒カム部の内側に配置され、外周面に前記ガイド面に沿って移動可能に係合される従動子が突設され、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることがより好ましい。
【００１１】
また、上記の干渉計において、前記調整移動機構は、前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、中心軸が前記回転軸に一致する雌ネジ部を内周面に有する円筒部材と、該円筒部材の内側に配置され、前記雌ネジ部と螺合する雄ネジ部を外周面に有し、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることがより好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の干渉計によれば、筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態の干渉計の説明図である。
【図２】同干渉計の干渉縞観察ユニット周辺の構造を一部を破断して模式的に示した図である。
【図３】図２における切断線Ａ１−Ａ１の断面図である。
【図４】図３おける切断線Ａ２−Ａ２の断面図である。
【図５】同干渉計のカム環の斜視図である。
【図６】図３おける切断線Ａ３−Ａ３の断面図である。
【図７】同干渉計の動作を示す要部断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態の干渉計の要部断面図である。
【図９】同干渉計の干渉縞観察ユニットの動作を示す要部断面図である。
【図１０】本発明の実施形態の変形例の干渉計の干渉縞観察ユニット周辺の構造を一部を破断して模式的に示した図である。
【図１１】従来の干渉計の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る干渉計の第１実施形態を、図１から図７を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施形態の干渉計１は、被検体Ｗの被検面Ｗ１の形状を干渉縞によって観察または計測するフィゾー干渉計である。
干渉計１の概略構成は、レーザ光源（光源）２、ビームスプリッタ３、コリメータレンズ４、基準原器５、調整機構６、結像用レンズ（撮像レンズ）７、およびＣＣＤ（撮像素子）８からなる。
このうち、調整機構６、基準原器５、コリメータレンズ４、ビームスプリッタ３、結像用レンズ７、およびＣＣＤ８は、干渉計１の光軸Ｃ１上に、この順で配置されている。
【００１５】
レーザ光源２は、被検体Ｗおよび基準原器５に照射するコヒーレントなレーザ光（光束）Ｌ１を発散光として発生する光源であり、光軸Ｃ１に対するビームスプリッタ３の側方に配置されている。
ビームスプリッタ３は、略四角柱状の部材であり、内部には偏光の向きに応じて光を反射するビームスプリッタ面３ａが形成されている。このビームスプリッタ面３ａの位置は、レーザ光源２から発生されたレーザ光Ｌ１が光軸Ｃ１上を進むように設定されている。
コリメータレンズ４は、ビームスプリッタ３を介して、ビームスプリッタ面３ａにおける反射してなる光路上で、コリメータレンズ４の焦点と、レーザ光源２の発光点の位置が、略等しくなるように配置されている。
【００１６】
基準原器５の調整機構６側には、参照面５ａが形成されていて、この参照面５ａは高精度に研磨されている。なお、基準原器５の曲率、及び基準原器５と調整機構６との距離は、被検体Ｗの被検面Ｗ１の曲率に応じて適宜調整される。
調整機構６は、被検面Ｗ１が参照面５ａに対向するとともに、被検面Ｗ１が光軸Ｃ１上に位置するように被検体Ｗを保持する。この調整機構６は、調整機構６の基準原器５側の面上において光軸Ｃ１に直交するとともに互いに直交する軸をＸ軸及びＹ軸と、光軸Ｃ１に平行な軸をＺ軸としたときに、被検レンズＷをＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って移動させることができ、かつ、被検レンズＷをＸ軸回り及びＹ軸回りに回動させることができるように構成されている。
また、後述するように参照面５ａで反射されたレーザ光Ｌ２および被検面Ｗ１で反射されたレーザ光Ｌ３が干渉し、結像用レンズ７によりＣＣＤ８の撮像面８ａに投影する。
また、ＣＣＤ８は液晶ディスプレイ等の不図示の表示手段に接続され、ＣＣＤ８で検出した光を表示手段に表示できるようになっている。
【００１７】
本実施形態では、レーザ光源２、ビームスプリッタ３、コリメータレンズ４、基準原器５、および調整機構６は、本体側ケーシング９内に納められて、それぞれが本体側ケーシング９に取付けられている。
また、結像用レンズ７、ＣＣＤ８は、後で詳述するように中空円筒状に形成され光軸Ｃ１方向に延在するように配置された外装（筐体部）１０内に納められている。なお、外装１０と、結像用レンズ７やＣＣＤ８等のこの外装１０に納められているものとで干渉縞観察ユニット１１を構成する。
図１及び図２に示すように、干渉縞観察ユニット１１は本体側ケーシング９に、互いの光軸が光軸Ｃ１に一致するように取付けられている。さらに、本体側ケーシング９と干渉縞観察ユニット１１は、ベース１２にそれぞれ取付けられ、干渉計１が全体として一体になっている。
なお、結像用レンズ７とＣＣＤ８だけでなく、レーザ光源２、ビームスプリッタ３、コリメータレンズ４、基準原器５、及び調整機構６も外装１０内に納めるように構成しても良い。
【００１８】
図４に示すように、外装１０は、下方に配置された略円板状の第１の外装１３と、上方に配置された筒状の第２の外装１４と、を有する。これら第１の外装１３と第２の外装１４の外径は、ほぼ等しく設定されている。
外装１０内には、リング状に形成され、第１の外装１３の外周面（外周部）１３ａ及び第２の外装１４の外周面（外周部）１４ａの間の全周にわたって設けられた操作部材（操作部）１８と、前述の結像用レンズ７及びＣＣＤ８と、ＣＣＤ８を外装１０内で移動させてフォーカス調整を行う調整移動機構１９が備えられている。
第２の外装１４には、光軸Ｃ１上に貫通孔１４ｂが形成されている。そして、この貫通孔１４ｂ内において、結像用レンズ７は、支持部材１５により光軸Ｃ１上に支持されている。なお、結像用レンズ７は、第２の外装１４により支持されていても良い。
操作部材１８の外周面は、第１の外装１３の外周面１３ａ及び第２の外装１４の外周面１４ａと連なるように、すなわち、操作部材１８の外径が、第１の外装１３の外径及び第２の外装１４の外径とほぼ等しいか、わずかに大きい程度に設定されている。
そして、操作部材１８は、光軸Ｃ１回りに回転可能に設けられている。
【００１９】
調整移動機構１９は、筒状に形成され操作部材１８の内周側に設けられたカム環（円筒カム部）２０と、有頂筒状に形成されカム環２０の内側に配置された鏡枠（従動部材）２１と、第１の外装１３及び第２の外装１４に固定され、鏡枠（従動部材）２１を光軸Ｃ１方向に移動可能に支持するガイド部材（直動ガイド部）２２、２３と、を備えている。
【００２０】
図５に示すように、カム環２０の周壁部には、光軸Ｃ１方向に対して螺旋状に、周壁部の内周面から外周面まで貫通するように形成された孔部２０ａが設けられている。この孔部２０ａを形成する上方の面がガイド面２０ｂ、下方の面がガイド面２０ｃとなっている。
カム環２０を光軸Ｃ１方向から見たときの、光軸Ｃ１を中心として孔部２０ａが形成される角度は、フォーカス範囲と、操作部材１８を回転させる角度とにより決定される。ただし、操作部材１８の操作性を考慮して、前記の角度を１２０°以下とすることが望ましい。
図４に示されるように、カム環２０は、操作部材１８の内周面に固定されている。そして、カム環２０と操作部材１８が一体となって、光軸Ｃ１回りに回転可能に保持されている。
なお、操作部材１８は、カム環２０に形成された孔部２０ａを外周面側から覆い孔部２０ａを外側から見え難くするために、カム環２０の外周面に固定されている。
【００２１】
鏡枠２１は、筒状部２１ａと、筒状部２１ａの結像用レンズ７側の端部に形成された板状部２１ｂと、を有している。
板状部２１ｂの中心部には貫通孔２１ｃが形成されている。ＣＣＤ８は、板状部２１ｂに保持されるとともに、撮像面８ａが貫通孔２１ｃ内であって光軸Ｃ１上に位置するように配置されている。
鏡枠２１の筒状部２１ａには、光軸Ｃ１に沿って延びるとともに光軸Ｃ１に対して対称となるように配置された一対のガイド孔２１ｄ、２１ｅが形成されている。
ガイド部材２２、２３は、それぞれが棒状に形成されている（図３参照）。これらガイド部材２２、２３の外径は、ガイド孔２１ｄ、２１ｅの内径とほぼ同一かわずかに小さい程度に設定されている。
ガイド孔２１ｄ、２１ｅには、ガイド部材２２、２３がそれぞれ挿通されている。ガイド部材２２、２３の一方の端部は、ガイド部材２２、２３が光軸Ｃ１に沿うように、第２の外装１４に形成された穴にそれぞれ固定されている。また、ガイド部材２２、２３の他方の端部は、第１の外装１３に止めネジ２６によりそれぞれ固定されている。
【００２２】
また、図６に示すように、鏡枠２１の筒状部２１ａの外周面には、カム環２０のガイド面２０ｂ、２０ｃに沿って移動可能に係合される従動子２７が突設されている。
そして、図４に示されるように、これら、第１の外装１３、第２の外装１４、操作部材１８、カム環２０、および鏡枠２１の軸線は、光軸Ｃ１に合致するように配置されている。
このように構成されたガイド部材２２、２３により、鏡枠２１及びこの鏡枠２１に突設された従動子２７は、光軸Ｃ１回りの回動を規制されるとともに、光軸Ｃ１に沿った移動のみを許可されている。
【００２３】
図２に戻って説明を続ける。干渉縞観察ユニット１１は、光束が入射する方向Ｄ２に対して先端側の部分Ｐ１、すなわち第１の外装１３を取付部３１に取付け、さらに取付部３１をベース１２に取付けることにより、ベース１２に対して固定されている。すなわち、本実施形態では、第１の外装１３が、干渉縞観察ユニット１１をベース１２に設置する基準となっている。
取付部３１は、板状に形成された取付部本体３１ａと、取付部本体３１ａに固定された一対の取付部材３１ｂと、を有する。
そして、本実施形態では、干渉縞観察ユニット１１は、光軸Ｃ１方向が鉛直方向Ｚと一致するとともに、干渉縞観察ユニット１１に光束が入射する方向Ｄ２が下方を向くように配置されている。
なお、取付部材３１ｂが防振部材となっており、ベース１２に対して固定せずに配置することで、耐震性を高めても良い。
【００２４】
次に、以上のように構成された干渉計１の動作を、干渉縞観察ユニット１１の動作に重点をおいて説明する。
まず、図１に示すように、調整機構６に被検体Ｗを、被検面Ｗ１が参照面５ａに対向するように取付ける。そして、被検レンズＷをＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って移動させるとともに、Ｘ軸回り及びＹ軸回りに回動させ、被検面Ｗ１の光軸が光軸Ｃ１に一致するように調整する。
【００２５】
続いて、レーザ光源２からレーザ光Ｌ１を出射させると、レーザ光Ｌ１は、ビームスプリッタ３のビームスプリッタ面３ａで反射され、コリメータレンズ４を通過して平行光となる。
平行光となったレーザ光Ｌ１の一部分は、基準原器５の参照面５ａで反射されてレーザ光Ｌ２となる。また、レーザ光Ｌ１の他の一部分は、参照面５ａを透過して被検面Ｗ１で反射されてレーザ光Ｌ３となる。
レーザ光Ｌ３は、光軸Ｃ１に沿ってＣＣＤ８側に進み、基準原器５を通過してレーザ光と干渉してレーザ光Ｌ４となる。レーザ光Ｌ４は光軸Ｃ１上を通って、コリメータレンズ４、ビームスプリッタ３を通過し、結像用レンズ７によりＣＣＤ８の撮像面８ａ上で結像して検出される。
【００２６】
使用者は、不図示の表示手段に表示されたレーザ光Ｌ４の干渉縞の像を観察し、干渉縞の像が鮮明でないと判断したときには、以下のような手順で干渉縞観察ユニット１１のフォーカスを調整する。
まず、図７に示すように、外装１０に対して操作部材１８を、光軸Ｃ１回りのＲ方向に回転させる。すると、カム環２０に形成された孔部２０ａも光軸Ｃ１回りに回転する。
鏡枠２１は、孔部２０ａのガイド面２０ｂ及びガイド面２０ｃに係合する従動子２７とガイド部材２２、２３に案内されて下方に移動する。鏡枠２１に保持されたＣＣＤ８は、光軸Ｃ１上を結像用レンズ７から離間するように下方に移動する。そして、結像用レンズ７とＣＣＤ８との光軸Ｃ１方向の距離が長くなることで、フォーカスが調整される。
【００２７】
なお、この場合においても、表示手段に表示される干渉縞の像が鮮明でない場合には、操作部材１８をＲ方向とは逆方向に回動操作する。このときは、上記と反対の作用により、ＣＣＤ８は光軸Ｃ１上を結像用レンズ７に接近するように移動し、フォーカスが調整される。
使用者は、このように操作部材１８を回転操作し、表示手段に鮮明に表示された干渉縞の像を見て、被検面Ｗ１の形状を認識する。
【００２８】
こうして、本発明の第１実施形態の干渉計１によれば、操作部材１８を回転操作して調整移動機構１９を動作させ、筐体部１０内においてＣＣＤ８を光軸Ｃ１上で移動させることで、ＣＣＤ８と結像用レンズ７との相対的な位置関係が調整され、フォーカスが調整される。また、操作部材１８は、円筒状の筐体部１０の外周面１３ａ、１４ａに全周にわたって設けられている。このため、光軸Ｃ１に交差する任意の方向から操作部材１８を操作することが可能となっている。
従って、取付部３１が干渉縞観察ユニット１１に取付く位置や、干渉計１における干渉縞観察ユニット１１が取付けられる位置や向きにより、操作部材１８が回転操作し難くなるのを抑えることができる。
【００２９】
また、リング状に形成された操作部材１８を、光軸Ｃ１回りに回転させて回転運動させることで、調整移動機構１９により、ＣＣＤ８と結像用レンズ７を光軸Ｃ１方向に相対的に移動することができる。
また、操作部材１８を回転させると、操作部材１８の内周側に固定されたカム環２０は外装１０の内部で光軸Ｃ１回りに回転する。カム環２０は光軸Ｃ１に対して螺旋状に形成されたガイド面２０ｂ、２０ｃを有しており、このガイド面２０ｂ、２０ｃに沿って移動可能に係合される従動子２７が突設された鏡枠２１には、光軸Ｃ１方向の力と光軸Ｃ１回りの力とが作用することとなる。
ここで、鏡枠２１はガイド部材２２、２３により光軸Ｃ１方向に移動可能に支持されているので、鏡枠２１は光軸Ｃ１方向のみに移動する。従って、調整移動機構１９で操作部材１８の回転運動を、鏡枠２１の光軸Ｃ１方向の直進運動に変換することができる。
【００３０】
また、操作部材１８の外径は、第１の外装１３の外径及び第２の外装１４の外径にほぼ等しいか、わずかに大きい程度に設定されている。このため、干渉縞観察ユニット１１を扱うときに、干渉縞観察ユニット１１の側面、すなわち外周面１３ａ及び外周面１４ａから操作部材１８が外側に突出して干渉縞観察ユニット１１が扱い難くなるのを抑えることができる。また、操作部材１８を回転操作することで鏡枠２１を駆動するための大きなトルクを従動子２７に作用させることが可能となる。
【００３１】
なお、本実施形態では、操作部材１８を備えずに、カム環２０を直接使用者が回転するように構成しても良い。
また、本実施形態では、カム環２０に光軸Ｃ１方向に対して螺旋状に形成された孔部２０ａを設け、鏡枠２１の外周面に突設させた従動子２７を孔部２０ａに係合させた。しかし、従動子２７を案内するガイド壁が形成されていれば、カム環２０に形成されるのは孔部２０ａでなく溝部でも良い。また、これら孔部２０ａ及び従動子２７に代えて、鏡枠２１の外周面に、光軸Ｃ１方向に対して螺旋状に形成された孔部又は溝部を設け、この孔部又は溝部に係合する従動子をカム環２０の内周面から内側に突設させるように構成しても良い。
また、鏡枠２１の外周部に、カム環２０の孔部２０ａに相当するものが設けられ、カム環２０にあたる部材に、鏡枠２１の孔部に突設される従動子を設けることで、操作部材１８とカム環２０にあたる部材を同一部材にしても良い。
【００３２】
また、第１の外装１３及び第２の外装１４を金属等の硬い材料で形成することで、第１の外装１３及び第２の外装１４を、光軸Ｃ１の位置決めをするための基準とすることができる。この場合、操作部材１８の剛性を高めるために、外装１０は中空円筒状に形成されていることが好ましい。なお、外装１０を中空円筒状に形成することは、光軸Ｃ１の位置決め基準を明確にするためにも好ましい。
【００３３】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る第２実施形態について説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図８に示すように、本実施形態の干渉計４１は、上記実施形態の干渉計１の調整移動機構１９に代えて、調整移動機構４４を備えている。
この調整移動機構４４は、筒状に形成され操作部材１８の内周側に設けられた円筒部材４５と、有頂筒状に形成され円筒部材４５の内側に配置された鏡枠（従動部材）４６と、上述のガイド部材２２、２３と、を備えている。
【００３４】
円筒部材４５の内周面には、光軸Ｃ１回りに形成された雌ネジ部４５ａが設けられている。円筒部材４５は、操作部材１８の内周面に固定されている。そして、円筒部材４５と操作部材１８が一体となって、光軸Ｃ１回りに回転可能に保持されている。
鏡枠４６の外周面には、雌ネジ部４５ａと螺合する雄ネジ部４６ａが形成されている。
【００３５】
次に、このように構成された干渉計４１の干渉縞観察ユニット４２の動作を説明する。
まず、図９に示すように、外装１０に対して操作部材１８を、光軸Ｃ１回りに回転させる。すると、円筒部材４５に形成された雌ネジ部４５ａも光軸Ｃ１回りに回転する。
鏡枠４６は、円筒部材４５に形成された雌ネジ部４５ａとガイド部材２２、２３に案内されて上方又は下方に移動する。このため、鏡枠４６に保持されたＣＣＤ８は、光軸Ｃ１上を結像用レンズ７から離間するように、又は結像用レンズ７に接近するように移動する。
以上のように、操作部材１８を回転させることで、ＣＣＤ８の撮像面８ａ上に結像される干渉縞の像のフォーカスが調整される。
【００３６】
こうして、本発明の第２実施形態の干渉計４１によれば、操作部材１８を回転させると、操作部材１８の内周側に固定された円筒部材４５は外装１０の内部で光軸Ｃ１回りに回転する。鏡枠４６は、円筒部材４５の雌ネジ部４５ａと螺合する雄ネジ部４６ａを外周面に有するので、鏡枠４６には、光軸Ｃ１方向の力と光軸Ｃ１回りの力とが作用することとなる。
ここで、鏡枠４６はガイド部材２２、２３により光軸Ｃ１方向に移動可能に支持されているので、鏡枠４６は光軸Ｃ１方向のみに移動する。従って、調整移動機構４４で操作部材１８の回転運動を、鏡枠４６の光軸Ｃ１方向の直進運動に変換することができる。
また、操作部材１８と円筒部材４５が同一部材となっていても良い。
【００３７】
以上、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更等も含まれる。
例えば、上記第１実施形態及び第２実施形態では、外装１０は、光軸Ｃ１方向に延在する中空円筒状に形成されていた。しかし、外装１０の形状は光軸Ｃ１方向に延在するように形成されていればこの形状に限ることなく、例えば、中空の楕円筒状でも良いし、中空の四角柱状、六角柱状等の多角柱状でも良い。
【００３８】
また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、調整移動機構に光束が入射する方向Ｄ２が下方を向くように、取付部３１で干渉縞観察ユニットをベース１２に取付けた。
しかし、干渉縞観察ユニットをベース１２に取付ける向きはこの限りで無く、例えば、図１０に示すように、第１実施形態の干渉縞観察ユニット１１に光束が入射する方向Ｄ３が鉛直方向Ｚに直交するように、干渉縞観察ユニット１１をベース１２に取付けても良い。さらに、干渉縞観察ユニット１１に光束が入射する方向は、上方を向いても、下方と水平方向の中間となる斜めの方向を向いても良い。
また、干渉縞観察ユニットを取付部に取付ける部分は、光束が入射する方向に対する先端側の部分Ｐ１に限られない。例えば、図１０に示すように、第１実施形態の干渉縞観察ユニット１１の先端側の部分Ｐ１と、光束が入射する方向Ｄ３に対する基端側の部分Ｐ２、すなわち第２の外装１４の端部をそれぞれ取付部５１、５２に取付けても良いし、干渉縞観察ユニット１１の先端側の部分Ｐ１と基端側の部分Ｐ２との中間部分を取付部に取付けても良い。
なお、第２実施形態の干渉縞観察ユニット４２についても、干渉縞観察ユニット１１と同様に構成することができる。
このように、干渉縞観察ユニットは、干渉縞観察ユニットをベース１２に取付ける向き、干渉縞観察ユニットが干渉計に取付く位置、そして干渉縞観察ユニットに取付部が取付く位置によらず、操作部材１８の操作性を維持することができる。
【００３９】
また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、結像用レンズ７とコリメータレンズ４は、それぞれ一枚のレンズにより構成されていた。しかしこれら結像用レンズ７とコリメータレンズ４は、それぞれ複数枚のレンズから構成されていても良い。
また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、調整移動機構はＣＣＤ８を移動させてフォーカス調整を行った。しかし、調整移動機構は、結像用レンズ７を移動させてフォーカス調整を行うものでも良い。この場合、結像用レンズ７は、複数枚のレンズから構成され、少なくとも１枚のレンズを移動させてフォーカス調整を行う。
【００４０】
また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、操作部材１８の回転軸と光軸Ｃ１が一致していた。しかし、操作部材１８に及ぼすトルクをプーリーとベルト等で伝達し、鏡枠を光軸Ｃ１回りに回転させること等により、操作部材１８の回転軸と光軸Ｃ１が一致しないように構成しても良い。
【符号の説明】
【００４１】
１、４１  干渉計
２    レーザ光源（光源）
５ａ  参照面
７    結像用レンズ（撮像レンズ）
８    ＣＣＤ（撮像素子）
１０  外装（筐体部）
１８  操作部材（操作部）
１９、４４  調整移動機構
２０  カム環（円筒カム部）
２０ｂ、２０ｃ  ガイド壁
２１、４６  鏡枠（従動部材）
２２、２３  ガイド部材（直動ガイド部）
２７  従動子
４５  円筒部材
４５ａ  雌ネジ部
４６ａ  雄ネジ部
Ｃ１  光軸
Ｌ１  レーザ光（光束）
Ｗ１  被検面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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