(57)【要約】      （修正有）【課題】機能液パック容器に流入した気泡を確実に且つ効率良く排出可能な機能液パック容器等を提供する。【解決手段】機能液供給源から供給された機能液を貯留すると共に機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する袋状のパック本体６１を有する機能液パック容器（サブタンク４１）であって、パック本体６１に設けられた、機能液供給源に連なる流入ポート７１と、機能液滴吐出ヘッドに連なる流出ポート７２と、流入した気泡を排出するための気泡排出ポート７３と、を備え、流入ポート７１および流出ポート７２は、パック本体６１の両側辺部に設けられ、気泡排出ポート７３は、パック本体６１の頂辺部に設けられている。【選択図】図７
2010214353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液供給源から供給された機能液を貯留すると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液パック容器であって、
袋状のパック本体と、
前記パック本体に設けられ、前記機能液供給源に連なる流入ポートと、
前記パック本体に設けられ、前記機能液滴吐出ヘッドに連なる流出ポートと、
前記パック本体に設けられ、流入した気泡を排出するための気泡排出ポートと、を備えたことを特徴とする機能液パック容器。
【請求項２】
前記パック本体は、横置き縦姿勢で設置され、
前記流入ポートは、一方の側辺部に設けられ、
前記流出ポートは、他方の側辺部に設けられ、
前記気泡排出ポートは、頂辺部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の機能液パック容器。
【請求項３】
前記パック本体は、少なくとも前記両側辺部と前記頂辺部との間に一対の傾斜辺部を有していることを特徴とする請求項２に記載の機能液パック容器。
【請求項４】
前記パック本体に流入した気泡を検出する気泡検出手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液パック容器。
【請求項５】
前記パック本体を収納するパック収納ケース、を更に備え、
前記気泡検出手段は、前記パック収納ケースに収納されると共に、前記気泡排出ポートに臨む気泡検出センサーで構成されていることを特徴とする請求項４に記載の機能液パック容器。
【請求項６】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置であって、
請求項４または５に記載の機能液パック容器と、
前記機能液パック容器に機能液を加圧供給する機能液供給源と、
前記流入ポートと前記機能液供給源とを接続する１次側供給流路と、
前記機能液パック容器の近傍において、前記１次側供給流路に介設した１次側流路開閉手段と、
前記流出ポートと前記機能液滴吐出ヘッドとを接続する２次側供給流路と、
前記機能液パック容器の近傍において、前記２次側供給流路に介設した２次側流路開閉手段と、
前記気泡排出ポートに接続された気泡排出流路と、
前記機能液パック容器の近傍において、前記気泡排出流路に介設した気泡流路開閉手段と、
前記気泡検出手段の検出結果に基づいて、前記気泡流路開閉手段を開放し、前記気泡排出流路を介して前記パック本体内の気泡を排出する制御手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項７】
前記パック本体を外側から加圧する加圧手段を、更に備えたことを特徴とする請求項６に記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記気泡排出流路に連なる真空吸引手段を、更に備えたことを特徴とする請求項６または７に記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記気泡排出時に、更に前記１次側流路開閉手段を開放することを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
請求項６ないし９のいずれかに記載の機能液供給装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液パック容器、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、メインタンクから補給チューブを介して加圧補給された機能液を貯留するサブタンク（機能液パック容器）から供給チューブを介して機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置が知られている（特許文献１参照）。このサブタンク（機能液パック容器）は、機能液を貯留する真空パック形式のパック容器（パック本体）と、パック容器を密閉状態で収容する密閉容器と、密閉容器内を減圧する負圧制御部と、を有している。
このサブタンク（機能液パック容器）では、パック容器（パック本体）に機能液が満たされており、機能液が外気に接することがないため、外気からの気泡の混入や機能液の変質を防止できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２７５７９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記の機能液パック容器では、パック本体に貯留した機能液内のマイクロバブルが凝集して気泡となる場合や、メインタンクの交換時に混入した気体が補給チューブを介してパック本体に流入する場合等、何らかの要因でパック本体に気泡が流入（混入）することがあった。パック本体内の気泡が、機能液滴吐出ヘッドに流入すると吐出不良が生じ、描画品質が低下する。このため、貯留した機能液と共に気泡を排出しなければならず（パック本体の廃棄）、高価な機能液が無駄になるという問題があった。
【０００５】
本発明は、機能液パック容器に流入した気泡を確実に且つ効率良く排出することのできる機能液パック容器、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の機能液パック容器は、機能液供給源から供給された機能液を貯留すると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液パック容器であって、袋状のパック本体と、パック本体に設けられ、機能液供給源に連なる流入ポートと、パック本体に設けられ、機能液滴吐出ヘッドに連なる流出ポートと、パック本体に設けられ、流入した気泡を排出するための気泡排出ポートと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、何らかの要因でパック本体内に流入した気泡を、気泡排出ポートから排出することができる。これにより、気泡を効率良く排出することができるため、気泡と共にパック本体内の機能液を無駄に排出する必要がなく、且つ機能液滴吐出ヘッドへの気泡の流入を防止することができる。また、機能液は袋状のパック本体に貯留されるため、パック本体内の機能液の液面変動を抑制することができ、機能液滴吐出ヘッドに対する機能液の供給圧力を安定させることができる。
【０００８】
この場合、パック本体は、横置き縦姿勢で設置され、流入ポートは、一方の側辺部に設けられ、流出ポートは、他方の側辺部に設けられ、気泡排出ポートは、頂辺部に設けられていることが好ましい。
【０００９】
また、この場合、パック本体は、少なくとも両側辺部と頂辺部との間に一対の傾斜辺部を有していることが好ましい。
【００１０】
これらの構成によれば、機能液に比して軽量な気泡は上方に設けた気泡排出ポート周辺に集まりやすくなるため、更に効率良く気泡を排出することができる。
また、一対の傾斜辺部を設けることで、パック本体を頂辺部に向かって先細り形状に形成することができるため、気泡は確実に気泡排出ポート周辺に集まる。これにより、パック本体内に貯留した機能液を排出することなく気泡のみを確実に排出することができる。
【００１１】
この場合、パック本体に流入した気泡を検出する気泡検出手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１２】
また、この場合、パック本体を収納するパック収納ケース、を更に備え、気泡検出手段は、パック収納ケースに収納されると共に、気泡排出ポートに臨む気泡検出センサーで構成されていることが好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、パック本体内の気泡の存在を明確に検出することができるため、気泡が存在する場合にのみ気泡排出ポートから気泡を排出することができる。また、気泡検出手段を構成する気泡検出センサーを、パック収納ケースに収納してパック本体の近傍に設けることにより、気泡排出ポートに機能液が可能な限り入り込まないようにすることができる。これにより、機能液が部分的に滞留することを有効に防止することができる。
【００１４】
本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置であって、上記した機能液パック容器と、機能液パック容器に機能液を加圧供給する機能液供給源と、流入ポートと機能液供給源とを接続する１次側供給流路と、機能液パック容器の近傍において、１次側供給流路に介設した１次側流路開閉手段と、流出ポートと機能液滴吐出ヘッドとを接続する２次側供給流路と、機能液パック容器の近傍において、２次側供給流路に介設した２次側流路開閉手段と、気泡排出ポートに接続された気泡排出流路と、機能液パック容器の近傍において、気泡排出流路に介設した気泡流路開閉手段と、気泡検出手段の検出結果に基づいて、気泡流路開閉手段を開放し、気泡排出流路を介してパック本体内の気泡を排出する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、パック本体に流入した機能液内の気泡を検出した上で、効率良く気泡の排出を行うことができる。これにより、パック本体に貯留した機能液は、気泡の無い適正な圧力水準を維持した状態で機能液滴吐出ヘッドに安定供給されるため、機能液滴吐出ヘッドが吐出不良を起こすことがない。
【００１６】
この場合、パック本体を外側から加圧する加圧手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１７】
また、この場合、気泡排出流路に連なる真空吸引手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１８】
さらに、この場合、制御手段は、気泡排出時に、更に１次側流路開閉手段を開放することが好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、例えば、パック本体が伸縮しない単なる袋状のもの、つまり、貯留する機能液に圧力を加えるものであった場合でも、加圧或いは吸引によりパック本体内の気泡を、強制的に且つ円滑に排出することができる。
【００２０】
本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液供給装置と、機能液滴吐出ヘッドと、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対する機能液の安定供給により、吐出不良を防止することができるため、ワークに対して適正な描画を行うことができる。これにより、液滴吐出装置で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載されたキャリッジユニット（ヘッドユニット）を模式的に表した平面図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図４】機能液供給ユニットの配管系統図である。
【図５】キャップユニットの平面図（ａ）および吸引ユニットの側面図（ｂ）である。
【図６】吸引ユニットの配管系統図である。
【図７】サブタンク廻りを模式的に表した断面図である。
【図８】第２実施形態に係るサブタンク廻りを模式的に表した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る機能液供給ユニット（機能液供給装置）を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、機能液供給ユニットは、機能液滴吐出ヘッドに安定した機能液供給を行うためのものである。
【００２４】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１２ａ上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル１２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３ａ上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５が搭載された１３個のキャリッジユニット１４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー１５と、チャンバー１５を貫通して機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液供給ユニット１６と、を備えており、チャンバー１５の側壁の一部には、機能液供給ユニット１６の主要部を為すメインタンク４０等を収納するタンクキャビネット５０が設けられている。この液滴吐出装置１は、制御装置１７により装置全体が統括制御され、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド２５を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００２５】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット２１、吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３、吐出性能検査ユニット２４から成るメンテナンス装置１８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド２５の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１２とＹ軸テーブル１３とが交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル１３とメンテナンス装置１８（吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３）が交わる部分（メンテナンスエリア）にキャリッジユニット１４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を行う。
【００２６】
図１および図２に示すように、各キャリッジユニット１４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート２６と、各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を大気圧基準で供給する１２個の圧力調整弁２７と、を有するヘッドユニット１９を備えている。各圧力調整弁２７は、ヘッドプレート２６上において機能液滴吐出ヘッド２５の分割方向と直交する方向に６個ずつ２群に分割して配設されている。各キャリッジユニット１４は、一対のＹ軸支持ベース１３ａに掛け渡されたブリッジプレート１３ｂに吊設されている。各キャリッジユニット１４は、ブリッジプレート１３ｂ上に配設されたサブタンク４１から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁２７を介して各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液が供給されるようになっている（図４参照）。なお、キャリッジユニット１４の個数および各キャリッジユニット１４に搭載される機能液滴吐出ヘッド２５の個数は任意である。
【００２７】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なる２連のポンプ部３３と、ポンプ部３３に連なるノズルプレート３５と、を備えている。機能液導入部３１の接続針３４には、後述する２分岐した下流側機能液流路４３が接続され（図４参照）、ノズルプレート３５のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３６で構成されている。ヘッド基板３２は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置１７が接続されており、制御装置１７から出力された駆動波形が各ポンプ部３３（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３６から機能液が吐出される。
【００２８】
図１に示すように、フラッシングユニット２１は、一対の描画前フラッシングユニット２１ａと、定期フラッシングユニット２１ｂと、を有し、描画処理直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド２５の捨て吐出を受ける。吸引ユニット２２は、１３台のキャップユニット４４を有し、各機能液滴吐出ヘッド２５の吐出ノズル３６から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット２３は、吸引後の機能液滴吐出ヘッド２５のノズル面ＮＦを拭取る。吐出性能検査ユニット２４は、機能液滴吐出ヘッド２５の吐出の有無および飛行曲りを検査する。
【００２９】
次に、図４を参照して機能液供給ユニット１６について説明する。機能液供給ユニット１６は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色に対応した６組の機能液供給機構１６ａと、メインタンク４０に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備３７と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備３８（加圧手段）と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備３９と、から構成されている。６組の機能液供給機構１６ａは、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色に対応した機能液滴吐出ヘッド２５に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド２５には対応する色の機能液が供給される。なお、窒素ガス供給設備３７、圧縮エアー供給設備３８およびガス排気設備３９は、液滴吐出装置１を設置する工場内に備え付けられている。
【００３０】
各機能液供給機構１６ａは、機能液の供給源を構成する２つのメインタンク４０（機能液供給源）と、各キャリッジユニット１４に対応して設けた１３個のサブタンク４１と、メインタンク４０と１３個のサブタンク４１を接続する上流側機能液流路４２（１次側供給流路）と、各サブタンク４１と各機能液滴吐出ヘッド２５とを接続する１３組の下流側機能液流路４３（２次側供給流路）と、を備えている。
【００３１】
各メインタンク４０内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備３７からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路４２を介して１３個のサブタンク４１に選択的に供給（補給）される。その際、圧縮エアー供給設備３８の圧縮エアーにより、各開閉弁が開閉制御される。そして、各サブタンク４１は、必要量の機能液を受容する。各サブタンク４１の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド２５の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路４３を介して機能液滴吐出ヘッド２５に供給される。なお、２つのメインタンク４０からの機能液の供給は、上流側機能液流路４２に介設された切替え機構４０ａにより、相互に切替えられるようになっている。
【００３２】
各上流側機能液流路４２には、各流路の圧力損失が均等になるように形成された１３分岐流路５７が介設されており、その下流側は１３本に分流され、各サブタンク４１に接続されている。また、各上流側機能液流路４２には、機能液から気泡（マイクロバブル）を透過除去する気泡除去ユニット５８が介設されている。
【００３３】
各下流側機能液流路４３には、機能液滴吐出ヘッド２５と共にキャリッジユニット１４に搭載された圧力調整弁２７が介設されており、各下流側機能液流路４３は、圧力調整弁２７の下流において２分岐して機能液滴吐出ヘッド２５の一対の接続針３４にそれぞれ接続されている。
【００３４】
各上流側機能液流路４２および各下流側機能液流路４３のサブタンク４１近傍には、流入開閉弁４２ａ（１次側流路開閉手段）および流出開閉弁４３ａ（２次側流路開閉手段）がそれぞれ介設されている。流入開閉弁４２ａおよび流出開閉弁４３ａは、容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されており、開閉弁を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド２５に脈動（水頭値変動）が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッド２５による吐出不良を抑えることができる。なお、これらの開閉弁は、ダイヤフラム式のエアーオペレートバルブで構成することが好ましい。これにより、圧縮エアー供給設備３８からの圧縮エアーにより開閉が制御できると共に、開閉弁の開閉をゆっくり行うことができるため、容易に容積変化なく開閉することができ、開閉弁を通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。
【００３５】
次に、図５および図６を参照して、吸引ユニット２２について説明する。吸引ユニット２２は、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５に対応する１２個の吸引キャップ４４ａをキャッププレート４４ｂに配置した１３台のキャップユニット４４と、支持部材４５ａを介して各キャップユニット４４を昇降させる１３台の昇降機構４５と、各キャップユニット４４に連なると共に機能液の流路を有する１３個の吸引流路系４６と、各吸引流路系４６に連なると共に２つの圧力水準の異なる（高圧・低圧）２つのエジェクター５５に対応した２つの廃液タンク５３を有する吸引機構４７と、を備えている。
【００３６】
各キャップユニット４４は、各色２個、計１２個の機能液滴吐出ヘッド２５に対応した吸引キャップ４４ａと、これらを一括して搭載したキャッププレート４４ｂと、から成り、１２個の吸引キャップ４４ａは、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５と同じ並びで且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート４４ｂに搭載されている（図５（ａ）参照）。各昇降機構４５は、支持部材４５ａを介して吸引キャップ４４ａを直接昇降させる昇降シリンダ４５ｂと、昇降シリンダ４５ｂによる昇降をガイドする一対のリニアガイド４５ｃと、これらを支持するベース部４５ｄと、を有している（図５（ｂ）参照）。昇降機構４５は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離間位置と、ヘッドユニット１９の交換やキャップユニット４４の消耗品交換（メンテナンス）用の交換位置との間でキャップユニット４４を３段階に昇降させる。
【００３７】
図６に示すように、各吸引流路系４６は、各キャップユニット４４に連なるキャップ側流路５１と、キャップ側流路５１に連なるタンク側流路５２と、から構成されている。キャップ側流路５１は、１２個の吸引キャップ４４ａに接続され、機能液の色別に合流して計６本になり、その各下流端で一次マニホールド５１ａに接続されている。タンク側流路５２は、上流端を一次マニホールド５１ａに接続し、各二次マニホールド５２ａを介して、２つの圧力水準に対応した各廃液タンク５３に、それぞれ接続されている。なお、キャップ側流路５１およびタンク側流路５２には、流路の開閉するキャップ側流路開閉バルブ５１ｂおよびタンク側流路開閉バルブ５２ｂが、それぞれ介設されている。
【００３８】
吸引機構４７の廃液タンク５３は、高圧（第１水準）で使用する第１廃液タンク５３ａと、低圧（第２水準）で使用する第２廃液タンク５３ｂとで構成されている。さらに、第２廃液タンク５３ｂには、上記したフラッシングユニット２１が、フラッシング流路５４を介して接続されている。また、エジェクター５５は、圧縮エアー供給設備３８から一次側に圧縮エアーを導入すると共に、二次側にタンク連通流路５６を介して接続した廃液タンク５３から、ガス排気設備３９にエアーを排気することでタンク連通流路５６内を減圧する。
【００３９】
本実施形態における液滴吐出装置１の稼動停止時には、Ｙ軸テーブル１３により１３個のキャリッジユニット１４が１３台の吸引ユニット２２の位置まで移動し、キャップユニット４４を密接位置に上昇させ、全ての機能液滴吐出ヘッド２５に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全ての機能液滴吐出ヘッド２５に対し、キャッピングされた状態でエジェクター５５を駆動して吸引処理が行なわれ（初期充填）、続いてキャリッジユニット１４単位でワイピング処理が行なわれる。そして、１３台のキャリッジユニット１４は順次、Ｘ軸テーブル１２にセットされたワークＷ上に移動する。
【００４０】
続いて、図７を参照して、機能液供給ユニット１６が有するサブタンク４１およびサブタンク４１廻りの構造について説明する。各サブタンク４１（機能液パック容器）は、メインタンク４０から供給・貯留した機能液を機能液滴吐出ヘッド２５に供給するパック本体６１と、パック本体６１を内部に収納するパック収納ケース６２と、パック収納ケース６２に収納され、パック本体６１内の気泡の有無を検出する気泡検出センサー６３（気泡検出手段）と、を備えている。なお、各パック収納ケース６２は、略直方体形状を為しており、各サブタンク４１の外観を構成しており、各サブタンク４１は、ブリッジプレート１３ｂ上にＹ軸方向から見て横置きに、且つ縦姿勢となるように立設されている。
【００４１】
パック本体６１は、気体非透過性のフィルム状材料からなり、Ｙ軸方向から見て六角形の袋状となるように２枚のフィルム状材料を溶着して形成されている。詳細には、両側辺が平行に位置しており、また、底辺と頂辺とは平行且つ頂辺の方が小さく（短く）なるように両側辺と頂辺との間には一対の斜辺が形成されている。すなわち、両斜辺から頂辺にかけて先細くなるような六角形に形成されている。また、このパック本体６１は、機能液の貯留量によって自身の大きさを変化させることができるようになっており、パック本体６１内の機能液は、外気に触れることがないように密封されて変質や劣化を防止されるようになっている。さらに、パック本体６１内の機能液は、その液面変動を抑制され、各機能液滴吐出ヘッド２５に対する機能液の供給圧力を安定させることができる。
【００４２】
また、パック本体６１には、メインタンク４０に連なる流入ポート７１と、機能液滴吐出ヘッド２５に連なる流出ポート７２と、パック本体６１内に流入した気泡を排出する気泡排出ポート７３と、が設けられている。なお、言うまでもないが、各ポート７１，７２，７３と各フィルム状材料とは、熱圧着（溶着）されている。
【００４３】
流入ポート７１および流出ポート７２は、パック本体６１の長辺方向両側辺に、それぞれ設けられており、流入ポート７１には、上記した機能液供給ユニット１６の上流側機能液流路４２が接続され、流出ポート７２には、下流側機能液流路４３が接続されている。また、気泡排出ポート７３は、頂辺の略中央に設けられ、気泡排出ポート７３には、末端を大気に開放した透明な気泡排出流路７４が接続されている。なお、気泡排出流路７４には、これを開閉する気泡排出開閉弁７５（気泡流路開閉手段）が、パック収納ケース６２の外側において介設されている。
【００４４】
上記したように、パック本体６１自体を透過して外気が混入することはなく、また、機能液中のマイクロバブルは気泡除去ユニット５８により除去されているが、例えば、除去しきれなかったマイクロバブルが凝集してより大きな気泡を形成する場合やメインタンク４０を交換する場合等、上流側機能液流路４２を介して気泡が流入することが考えられる。このような場合でも、パック本体６１内に流入した気泡は、窄められた頂辺に存する気泡排出ポート７３に自然と集められることとなり、詳細は後述するが、気泡排出ポート７３からの気泡の排出を効率良く行うことができる。
【００４５】
なお、パック本体６１の略中央にはセンサー（図示省略）が配設されており、このセンサーが、機能液を消費（吐出）してパック本体６１の幅（厚み）が一定以下になったことを検出すると、メインタンク４０からの機能液供給（補給）が行われるようになっている。
【００４６】
パック収納ケース６２には、その内部に収納するパック本体６１の流入ポート７１、流出ポート７２および気泡排出ポート７３のそれぞれに対応する位置（３箇所）にポート開口７６が設けられている。そして、各ポート開口７６には、上流側機能液流路４２、下流側機能液流路４３および気泡排出流路７４がそれぞれ挿通して、上記の各ポート７１，７２，７３に接続されている。また、パック収納ケース６２は、気密に構成されており、パック収納ケース６２の頂辺には、圧空流路７８を介して、上記した工場内の圧縮エアー供給設備３８に連なる圧空ポート７７が設けられている。詳細は後述するが、圧空流路７８に介設された圧空開閉弁７９を制御して、圧空ポート７７からパック収納ケース６２内に圧空を導入することで、パック本体６１に外圧を作用させ、パック本体６１内の気泡排出を行う。なお、圧空ポート７７を、圧縮エアー供給設備３８に代えて、窒素ガス供給設備３７に連通させ、パック収納ケース６２内に圧縮窒素ガスを導入するようにしてもよい。
【００４７】
気泡検出センサー６３は、いわゆる光センサーであり、パック収納ケース６２内のパック本体６１近傍において、透明な気泡排出流路７４に臨んで気泡排出流路７４内の機能液の液面水位を検出するようになっている。この気泡検出センサー６３は、パック本体６１の近傍に設けられているため、気泡排出ポート７３への機能液の流入を可能な限り防止することができる。これにより、機能液が部分的に滞留することを有効に防止することができる。
【００４８】
次に、制御装置１７による、本実施形態のサブタンク４１の気泡排出手順について説明する。なお、機能液滴吐出ヘッド２５に対する機能液の供給時には、流出開閉弁４３ａは開かれており、流入開閉弁４２ａおよび気泡排出開閉弁７５は閉じられている。また、機能液滴吐出ヘッド２５の吐出動作時におけるサブタンク４１に対する機能液の補給時には、流入開閉弁４２ａおよび流出開閉弁４３ａは開かれており、気泡排出開閉弁７５は閉じられている。
【００４９】
先ず、気泡検出センサー６３がパック本体６１内の気泡を検出すると、制御装置１７に信号が送られる。そして、流入開閉弁４２ａおよび流出開閉弁４３ａが閉じられていることを確認（開弁している場合には閉弁）した後、気泡排出開閉弁７５を開く。その後、圧縮エアー供給設備３８（加圧手段）を駆動すると共に圧空開閉弁７９を開弁し、パック収納ケース６２内のパック本体６１に外圧をかける。すると、その外圧により気泡はパック本体６１から押し出され、気泡排出ポート７３を介して外気へと排出される。この場合、上記したように、パック本体６１内の気泡は、パック本体６１上部の窄められた部分に集まっているため、その上部（頂辺）に設けられた気泡排出ポート７３から気泡のみを効率良く（短時間で）排出することができる。気泡が全て排出され、気泡検出センサー６３が液面を検出すると、気泡排出開閉弁７５が閉弁され、パック本体６１内の気泡排出が終了する。
【００５０】
以上の構成によれば、パック本体６１内に貯留した機能液を排出することなく、気泡のみを効率良く排出することができ、且つ機能液滴吐出ヘッド２５へと気泡が送り込んでしまうことがない。よって、機能液滴吐出ヘッド２５に対する安定した機能液供給が可能となり、吐出不良を防止することができるため、ワークＷに対して適正な描画を行うことができる。これにより、液滴吐出装置１で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【００５１】
次に、図８を参照して、他の形態（第２実施形態）の機能液供給ユニット１６について説明する。第２実施形態に係る機能液供給ユニット１６（主にサブタンク４１）では、上述の実施形態（第１実施形態）におけるパック収納ケース６２の圧空ポート７７およびこれに接続された圧空流路７８等を省略し、サブタンク４１（パック本体６１）の気泡排出ポート７３に接続された気泡排出流路７４が真空吸引ポンプ６４（真空吸引手段）に連なっている。すなわち、気泡検出センサー６３によりパック本体６１内に気泡が検出された場合には、この真空吸引ポンプ６４を駆動することで、気泡排出流路７４を介してパック本体６１内に負圧を作用させ、パック本体６１内の気泡を真空吸引して外部に排出する。
【００５２】
これにより、例えば、気泡排出開閉弁７５を開弁した際に、気泡排出流路７４内に付着した機能液やその変質物等の異物が脱落してパック本体６１内に入り込むことを防止することができる。つまり、真空吸引ポンプ６４により気泡排出流路７４内を真空吸引しているため、上記のような異物がパック本体６１内に入り込むことがない。なお、真空吸引ポンプ６４を省略して、吸引ユニット２２のエジェクター５５を用いるようにしてもよい。また、その他の構成は、第１実施形態と同様であるため説明は省略する。
【００５３】
更に、他の形態（第３実施形態）の機能液供給ユニット１６について説明する。第３実施形態に係る機能液供給ユニット１６（主にサブタンク４１）では、第２実施形態と同様にパック収納ケース６２の圧空ポート７７および圧空流路７８を省略し、メインタンク４０からサブタンク４１に対して送液することで気泡を押し出すようになっている。すなわち、気泡検出センサー６３によりパック本体６１内に気泡が検出された場合には、流出開閉弁４３ａを閉じると共に流入開閉弁４２ａおよび気泡排出開閉弁７５を開き、パック本体６１内に機能液を補給する。すると、パック本体６１内の気泡は補給された機能液に押し出されるようにして気泡排出ポート７３から排出されて行く。なお、その他の構成は、第１実施形態と同様であるため説明は省略する。
【００５４】
これらの構成によれば、第１実施形態に係る液滴吐出装置１と同様に、各機能液滴吐出ヘッド２５からの機能液の安定した吐出を維持することができるため、ワークＷに対して適正な描画を行え、液滴吐出装置１で製造する製品の信頼性を向上・維持を図ることができる。なお、第２および第３実施形態における各パック収納ケース６２は、気密に構成する必要がない。
【符号の説明】
【００５５】
１：液滴吐出装置、２５：機能液滴吐出ヘッド、３８：圧縮エアー供給設備、４０：メインタンク、４１：サブタンク、４２：上流側機能液流路、４２ａ：流入開閉弁、４３：下流側機能液流路、４３ａ：流出開閉弁、６１：パック本体、６２：パック収納ケース、６３：気泡検出センサー、６４：真空吸引ポンプ、７１：流入ポート、７２：流出ポート、７３：気泡排出ポート、７４：気泡排出流路、７５：気泡排出開閉弁、Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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