(57)【要約】【課題】静止安定性を有する位置決め装置。【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。【選択図】図５
2010062428.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動するスライダと、
前記スライダを前記ガイドレールに対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダを前記ガイドレールに対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリングと、
を備えることを特徴とするスライド装置。
【請求項２】
前記スライダは、前記ガイドレールを介して上下に対向する上片と下片とを備え、
前記エアベアリングが前記浮遊支持状態をとる場合、前記ガイドレールと前記上片との間隙、及び前記ガイドレールと前記下片との間隙へ圧縮空気を供給する空圧制御部を備えることを特徴とする請求項１に記載のスライド装置。
【請求項３】
前記空圧制御部は、前記エアベアリングが前記浮遊支持状態から前記圧接支持状態へ切り替わるに際して、前記ガイドレールと前記上片との間隙から吸気すると共に、前記ガイドレールと前記下片との間隙への圧縮空気の供給を停止することを特徴とする請求項２に記載のスライド装置。
【請求項４】
前記空圧制御部は、前記エアベアリングが前記浮遊支持状態から前記圧接支持状態へ切り替わるに際して、前記ガイドレールと前記上片との間隙からの吸気を開始するまでの間、前記ガイドレールと前記下片との間隙への圧縮空気の供給を継続することを特徴とする請求項３に記載のスライド装置。
【請求項５】
前記空圧制御部は、前記スライダが停止している場合に、前記ガイドレールと前記上片との間隙から吸気することを特徴とする請求項４に記載のスライド装置。
【請求項６】
前記空圧制御部は、前記エアベアリングが前記浮遊支持状態から前記圧接支持状態へ切り替わるに際して、前記スライダと前記下片との間隙への圧縮空気の供給を停止することを特徴とする請求項２に記載のスライド装置。
【請求項７】
前記空圧制御部は、
前記ガイドレールと前記上片との間隙へ圧縮空気を吹き出す上吹き出し口と、
前記上吹き出し口と上下方向に見て重なる位置に配され、前記ガイドレールと前記下片との間隙へ圧縮空気を吹き出す下吹き出し口と、
を備えることを特徴とする請求項２に記載のスライド装置。
【請求項８】
前記空圧制御部は、前記ガイドレールと前記上片との間隙、及び前記ガイドレールと前記下片との間隙へ圧縮空気を供給し、前記ガイドレールと前記上片との間隙、及び前記ガイドレールと前記下片との間隙から吸気する給排気路を備えることを特徴とする請求項２に記載のスライド装置。
【請求項９】
一対の基板を重ね合わせる基板重ね合わせ装置であって、
一対の基板を位置合わせするに際して用いられるアライメントマークを撮像する撮像部と、
ガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動し、前記アライメントマークを前記撮像部の撮像エリアに出入りさせるスライダと、
前記スライダが前記ガイドレールに沿って移動する場合に当該スライダを前記ガイドレールに対して空圧により浮かせて支持し、前記アライメントマークが前記撮像部の撮像エリアに位置する場合に当該スライダを前記ガイドレールに対して空圧により圧接させて支持するエアベアリングと、
を備えることを特徴とする基板重ね合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライド装置及び基板重ね合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
空圧によりガイドレールに沿ってスライド移動されるスライダをガイドレールに対して空圧により浮かせて支持するスライド装置が知られている。このスライド装置によれば、スライダとガイドレールとの摺擦を抑制でき、粉塵の発生、スライダとガイドレールとの磨耗劣化を抑制できる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平０６−５０３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のスライド装置では、サーボ制御によりスライダの位置決め精度を高度化している。ここで、上記のスライド装置では、サーボ制御により目標位置に位置決めされたスライダの静止安定性の確保を目的として、ピエゾアクチュエータ等の別途の固定機構を要していたことから、装置構成が複雑化していた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、上記課題を解決すべく、本発明の第１の形態として、ガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動するスライダと、前記スライダを前記ガイドレールに対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダを前記ガイドレールに対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリングと、を備えることを特徴とするスライド装置が提供される。
【０００６】
また、本発明の第２の形態として、一対の基板を重ね合わせる基板重ね合わせ装置であって、一対の基板を位置合わせするに際して用いられるアライメントマークを撮像する撮像部と、ガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動し、前記アライメントマークを前記撮像部の撮像エリアに出入りさせるスライダと、前記スライダが前記ガイドレールに沿って移動する場合に当該スライダを前記ガイドレールに対して空圧により浮かせて支持し、前記アライメントマークが前記撮像部の撮像エリアに位置する場合に当該スライダを前記ガイドレールに対して空圧により圧接させて支持するエアベアリングと、を備えることを特徴とする基板重ね合わせ装置が提供される。
【０００７】
上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これら特徴群のサブコンビネーションも発明となり得る。
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。しかしながら、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１には、スライド装置１００を備える位置決め装置１０を前方から見た斜視図にて示している。この図に示すように、位置決め装置１０は、スライド装置１００の他に、スライド装置１００を昇降させる昇降装置１０２を備えている。
【００１０】
スライド装置１００は、昇降装置１０２により昇降自在に支持されたベース部１０４と、ベース部１０４に設けられた左右一対のガイドレール１０６と、ガイドレール１０６に沿ってスライド移動するスライダ１０８とを備えている。スライダ１０８は、ガイドレール１０６に対してエアベアリング１１０により支持され、空圧駆動によりスライド移動される。
【００１１】
ベース部１０４は、スライダ１０８の移動方向を長手方向とする矩形箱状体であり、ガイドレール１０６は、スライダ１０８の移動方向を長手方向とする矩形板状体であって、左右一対のガイドレール１０６は、ベース部１０４の底面に取付けられており、ベース部１０４から左右両側へ張り出している。また、スライダ１０８は、左右一対のガイドレール１０６に対して、ガイドレール１０６の長手方向に沿ってスライド移動自在に嵌り合っている。
【００１２】
また、スライダ１０８は、ベース部１０４の底面と対向する底板１１２と、底板１１２の左右両端部（下片）とガイドレール１０６を間に置いて対向する左右一対の上片１１４と、底板１１２の左右両端部と左右一対の上片１１４とを結合する左右一対の側片１１６とを備えている。一方の上片１１４の上面には、リニアスケール１１８が配されている。また、ベース部１０４には、リニアスケール１１８のメモリを読み取る読取用ヘッド１２０がブラケット１２１を介して取付けられている。
【００１３】
昇降装置１０２は、スライド装置１００の上方に配されたベース部１２２と、スライド装置１００をベース部１２２に昇降自在に吊り下げて支持する昇降支持部１２４と、目標位置で停止するスライド装置１００をロックするロック部１２６とを備えている。また、昇降装置１０２には、スライド装置１００が目標位置まで昇降したことを検出する高さ検出部１２８が設けられている。
【００１４】
ベース部１２２は、スライダ１０８の移動方向を長手方向とする矩形板状体であり、ベース部１２２の長手方向中央部に昇降支持部１２４が挿通されている。昇降支持部１２４は、ベース部１２２の長手方向中央部に挿通された空圧駆動アクチュエータ１３０と、空圧駆動アクチュエータ１３０をベース部１２２の長手方向中央部に支持する複数の支軸１３２とを備えている。空圧駆動アクチュエータ１３０の下端部は、スライド装置１００のベース部１０４の上面に取付けられている。
【００１５】
ロック部１２６は、空圧駆動アクチュエータ１３０の左右両側に配された一対の固定吸着用プレート１３４と、一対の固定吸着用プレート１３４の各々から下方へ延び、ベース部１２２に挿通された一対の固定軸１３６と、固定吸着用プレート１３４をベース部１２２に吸着させて固定する吸着部１３８とを備えている。また、高さ検出部１２８は、ベース部１２２上に配された上下一対のフォトセンサ１４０を備えている。一対の固定吸着用プレート１３４の一方には、フォトセンサ１４０により検出される被検出部１４２が設けられている。
【００１６】
スライダ１０８の底板１１２には、矩形板状のボード１４４が取付けられている。ボード１４４は、底板１１２からスライダ１０８の移動方向と直交する方向へ延出しており、ボード１４４の先端部には、アライメントマーク１４６が設けられている。
【００１７】
アライメントマーク１４６は、スライダ１０８と共に移動するが、アライメントマーク１４６の移動領域の上方及び下方にはそれぞれ、撮像ユニット１４８、１５０が配設されている。撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアは、アライメントマーク１４６がスライド移動する範囲の中央部に設定されており、スライダ１０８が移動することにより、アライメントマーク１４６が、撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアに出入りする。
【００１８】
図２には、スライド装置１００を分解斜視図にて示している。この図に示すように、スライド装置１００は、空圧によりスライダ１０８をスライド移動させる空圧駆動部１５２を備えている。空圧駆動部１５２は、スライダ１０８の移動方向に並べて配設された一対の圧力室１５３、１５４を備えている。一対の圧力室１５３、１５４は、一対のガイドレール１０６と、一対のガイドレール１０６の間に配された一対のブロック１５５、ブロック１５７と、底板１１２と、ベース部１０４の底面とにより形成されている。
【００１９】
ブロック１５７は、一対のガイドレール１０６の長手方向中央部を連結している。また、一対のブロック１５５は、ブロック１５７を間においてスライダ１０８の移動方向に並べて配されており、底板１１２に固定されている。ここで、一対のガイドレール１０６、一対のブロック１５５、及びブロック１５７により平面視にて矩形状の圧力室１５３、１５４の周壁が形成されている。
【００２０】
また、エアベアリング１１０は、ガイドレール１０６の長手方向に沿って形成された一対の給排気路１５６、１５８と、ガイドレール１０６の上下両面にそれぞれ形成された案内溝１６０とを備えている。給排気路１５６は、ガイドレール１０６の長手方向の一端部から中央部まで延びており、給排気路１５６の一端部は、ガイドレール１０６の上面の長手方向中央部に配されている。また、給排気路１５８は、ガイドレール１０６の長手方向の他端部から中央部まで延びており、給排気路１５８の一端部は、ガイドレール１０６の下面の長手方向中央部に配されている。
【００２１】
ここで、ガイドレール１０６の長手方向中央部において、給排気路１５６の一端部（上吹き出し口）と給排気路１５８の一端部（下吹き出し口）とは、上下に重なって配されている。このため、ガイドレール１０６の上下のエアベアリング１１０における圧縮空気の吹き出し口が、上下に重なるので、上下のエアベアリング１１０の圧力バランスのバラツキを抑制できる。
【００２２】
案内溝１６０は、ガイドレール１０６の長手方向に延びる３本の主溝１６１と、主溝１６１と直交する複数本の副溝１６３とを備えている。３本の主溝１６１のうち中央に配された主溝１６１は、給排気路１５６又は給排気路１５８の一端部からガイドレール１０６の長手方向の両側へ延びている。
【００２３】
エアベアリング１１０の作動状態では、給排気路１５６、１５８により、ガイドレール１０６の上面と上片１１４との間隙、及びガイドレール１０６の下面と底板１１２との間隙へ圧縮空気が供給され、あるいは、当該間隙から吸気（排気）される。給排気路１５６、１５８から吹き出された圧縮空気は、案内溝１６０を伝わって、当該間隙の全域に広がり、スライダ１０８をガイドレール１０６に対して浮遊させる空圧（正圧）を発生する。また、給排気路１５６、１５８から吸気がなされた場合は、スライダ１０８をガイドレール１０６に対して吸着させる空圧（負圧）が発生する。
【００２４】
図３には、位置決め装置１０を後方から見た斜視図にて示している。この図に示すように、空圧駆動部１５２は、圧力室１５３に連通された給排気管１６２と、圧力室１５４に連通された給排気管１６４と、一対の圧力センサ１６５、１６６とを備えている。圧力センサ１６５は、圧力室１５３の圧力を計測する。また、圧力センサ１６６は、圧力室１５４の圧力を計測する。
【００２５】
図４には、空圧駆動部１５２の概略構成を示している。この図に示すように、給排気管１６２は、三方弁１６８及び給気管１７０を介して給気ポンプ１７２に接続されている。また、給排気管１６２には、三方弁１６８を介して排気管１７４が接続されている。
【００２６】
また、給排気管１６４は、三方弁１６９及び給気管１７１を介して給気ポンプ１７２に接続されている。また、給排気管１６２には、三方弁１６９を介して排気管１７５が接続されている。
【００２７】
三方弁１６８は、制御部としてのコントローラ１７６によって制御されており、給排気管１６２と給気管１７０とを連通させる状態と、給排気管１６２と排気管１７４とを連通させる状態とに切り換えられる。三方弁１６８により給排気管１６２と給気管１７０とが連通された状態で、給気ポンプ１７２が作動されることにより、圧力室１５３への給気がなされ、圧力室１５３の圧力が上昇する。また、三方弁１６８により給排気管１６２と排気管１７４とが連通されることにより、圧力室１５３からの排気がなされ、圧力室１５３の圧力が低下する。
【００２８】
また、三方弁１６９は、コントローラ１７６によって制御されており、給排気管１６４と給気管１７１とを連通させる状態と、給排気管１６４と排気管１７５とを連通させる状態とに切り換えられる。三方弁１６９により給排気管１６４と給気管１７１とが連通された状態で、給気ポンプ１７２が作動されることにより、圧力室１５４への給気がなされ、圧力室１５４の圧力が上昇する。また、三方弁１６９により給排気管１６４と排気管１７５とが連通されることにより、圧力室１５４からの排気がなされ、圧力室１５４の圧力が低下する。
【００２９】
また、コントローラ１７６には、読取用ヘッド１２０から出力された信号が入力される。コントローラ１７６は、当該信号からスライダ１０８の移動量を算出して、スライダ１０８を目標位置まで移動させる。例えば、スライダ１０８を図中左方向へ移動させる場合には、コントローラ１７６は、三方弁１６８を、給排気管１６２と給気管１７０とが接続された状態、三方弁１６９を、給排気管１６４と排気管１７５とが接続された状態にする。これにより、圧力室１５３の圧力が上昇して、圧力室１５４の圧力と比較して高くなるので、スライダ１０８が図中左方向へ移動する。そして、コントローラ１７６は、三方弁１６８を、給排気管１６２と排気管１７４とが接続された状態、三方弁１６９を、給排気管１６４と排気管１７５とが接続された状態にする。これにより、圧力室１５３の圧力が低下して、圧力室１５４との圧力差が減少するので、スライダ１０８が停止する。
【００３０】
図５には、位置決め装置１０の概略構成を示している。この図に示すように、昇降装置１０２とエアベアリング１１０とは、空圧制御部１８０の給排気に伴って発生する空圧により作動される。昇降装置１０２が備える空圧駆動アクチュエータ１３０は、下端をベース部１０４に固定されたベローズ１８２と、ベース部１０４をベース部１２２に支持する支持部材１８４と、ベローズ１８２の内部に連通された給排気管１８６とを備えている。
【００３１】
ベローズ１８２は、上下方向に伸縮自在な中空の筒体となっている。また、支持部材１８４は、弾性変形することにより伸縮する弾性部材としての引張コイルバネとなっている。また、給排気管１８６は、ベローズ１８２の内部に給気したりベローズ１８２の内部から排気したりする配管となっている。給排気管１８６によりベローズ１８２の内部に給気がなされ、ベローズ１８２の内圧が上昇することにより、ベローズ１８２が、支持部材１８４の弾性力に抗して伸張する。これにより、ベース部１０４が下降する。一方、給排気管１８６によりベローズ１８２の内部から排気がなされ、ベローズ１８２の内圧が低下することにより、ベローズ１８２が、内圧及び支持部材１８４の弾性力により短縮される。
【００３２】
また、ロック部１２６は、エアベアリングブッシュ１８８を備えている。エアベアリングブッシュ１８８は、ベース部１２２を間において固定吸着用プレート１３４と上下に対向して配され、ベース部１２２の下面に固定されており、エアベアリングブッシュ１８８の内部には固定軸１３６が挿通されている。ここで、エアベアリングブッシュ１８８には、給気管１９０が接続されており、エアベアリングブッシュ１８８の内周部と固定軸１３６との間隙には、給気管１９０から圧縮空気が供給される。これにより、エアベアリングブッシュ１８８の内周部と固定軸１３６との間隙に正圧のエアベアリングが形成され、このエアベアリング部により、固定軸１３６が非接触で支持される。
【００３３】
また、ロック部１２６は、ベース部１２２の上面の固定吸着用プレート１３４が被さる部位からベース部１２２の周縁部まで延びる吸気路１９１を備えている。この吸気路１９１により、固定吸着用プレート１３４とベース部１２２の上面との間から吸気がなされ、固定吸着用プレート１３４がベース部１２２の上面に吸着される。
【００３４】
空圧制御部１８０は、上述の給排気管１８６、給気管１９０と、給排気路１５６、１５８に給排気する給排気管１９２、１９３と、吸気路１９１から吸気する吸気管１９４と、給気ポンプ１９５と、排気ポンプ１９６と、を備えている。給気ポンプ１９５は、給排気管１８６等へ圧縮空気を送出する。また、排気ポンプ１９６は、給排気管１８６等から空気を吸引して排出する。
【００３５】
給排気管１８６は、三方弁１９７と給気管１９８とを介して給気ポンプ１９５に接続され、三方弁１９７と排気管１９９とを介して排気ポンプ１９６に接続されている。また、給気管１９０は、開閉弁２０１と給気管２０２とを介して給気ポンプ１９５に接続されている。
【００３６】
また、給排気管１９２は、三方弁２０３と給気管２０４とを介して給気ポンプ１９５に接続され、三方弁２０３と排気管２０５とを介して排気ポンプ１９６に接続されている。また、給排気管１９３は、三方弁２０６と給気管２０７とを介して給気ポンプ１９５に接続され、三方弁２０６と排気管２０８とを介して排気ポンプ１９６に接続されている。さらに、吸気管１９４は、開閉弁２０９と排気管２１０とを介して排気ポンプ１９６に接続されている。
【００３７】
三方弁１９７、２０３、２０６、開閉弁２０１、２０９は、コントローラ２００により制御されており、三方弁１９７、２０３、２０６により空気流路が切り換えられ、開閉弁２０１、２０９により空気流路が開閉される。三方弁１９７は、給排気管１８６を、給気管１９８及び排気管１９９の何れか一方と接続する。給排気管１８６と給気管１９８とが接続された状態では、給気ポンプ１９５から送出された圧縮空気が、給気管１９８、給排気管１８６を通ってベローズ１８２の内部へ供給される。これにより、ベローズ１８２及び支持部材１８４が伸張してベース部１０４が下降する。一方、給排気管１８６と排気管１９９とが接続された状態では、排気ポンプ１９６が、ベローズ１８２の内部から排気する。これにより、ベローズ１８２及び支持部材１８４が短縮してベース部１０４が上昇する。
【００３８】
三方弁２０３は、給排気管１９２を、給気管２０４及び排気管２０５の何れか一方と接続する。給排気管１９２と給気管２０４とが接続された状態では、給気ポンプ１９５から送出された圧縮空気が、給気管２０４、給排気管１９２を通ってガイドレール１０６の上面とスライダ１０８の上片１１４との間隙へ供給される。これにより、ガイドレール１０６の上面と上片１１４との間隙が正圧になり、上片１１４がガイドレール１０６に対して浮遊した状態となる。一方、給排気管１９２と排気管２０５とが接続された状態では、排気ポンプ１９６が、ガイドレール１０６の上面と上片１１４との間隙から吸気する。これにより、ガイドレール１０６の上面と上片１１４との間隙が負圧になり、上片１１４がガイドレール１０６に対して吸着した状態となる。
【００３９】
三方弁２０６は、給排気管１９３を、給気管２０７及び排気管２０８の何れか一方と接続する。給排気管１９３と給気管２０７とが接続された状態では、給気ポンプ１９５から送出された圧縮空気が、給気管２０７、給排気管１９３を通ってガイドレール１０６の下面とスライダ１０８の底板１１２との間隙へ供給される。これにより、ガイドレール１０６の下面と底板１１２との間隙が正圧になり、底板１１２がガイドレール１０６に対して浮遊した状態となる。一方、給排気管１９３と排気管２０８とが接続された状態では、排気ポンプ１９６が、ガイドレール１０６の下面と底板１１２との間隙から吸気する。これにより、ガイドレール１０６の下面と底板１１２との間隙が負圧になり、底板１１２がガイドレール１０６に対して吸着した状態となる。
【００４０】
開閉弁２０１は、給気管１９０と給気管２０２とを接続したり、これらの接続を解除したりする。給気管１９０と給気管２０２とが接続された状態では、給気ポンプ１９５から送出された圧縮空気が、エアベアリングブッシュ１８８と固定軸１３６との間隙に供給される。これにより、エアベアリングブッシュ１８８と固定軸１３６との間隙に、正圧のエアベアリングが形成され、固定軸１３６がエアベアリングブッシュ１８８に対して浮遊した状態となる。一方、給気管１９０と給気管２０２との接続が解除された状態では、給気ポンプ１９５からエアベアリングブッシュ１８８と固定軸１３６との間隙への圧縮空気の供給がなされず、当該間隙にはエアベアリングが形成されない。
【００４１】
開閉弁２０９は、吸気管１９４と排気管２１０とを接続したり、これらの接続を解除したりする。吸気管１９４と排気管２１０とが接続された状態では、排気ポンプ１９６が、吸気路１９１、吸気管１９４、及び排気管２１０を負圧にする。これにより、固定吸着用プレート１３４がベース部１２２に吸着される。ここで、ベース部１０４は、支持部材１８４の付勢力により固定軸１３６に圧接されているが、固定吸着用プレート１３４がベース部１２２に吸着されることにより固定軸１３６が固定されているので、ベース部１０４の静止安定性を確保できる。
【００４２】
図６には、位置決め装置１０を備える基板重ね合わせ装置としての基板接合装置３００を平面図にて示している。この図に示すように、基板接合装置３００は、複数枚のウエハＷを重ね合わせて接合する装置であって、複数枚のウエハＷを相対的に位置合わせして重ね合わせる基板重ね合わせ装置としてのアライメント装置３０２と、アライメント装置３０２において重ね合わされた複数枚のウエハＷを加圧加熱して接合する接合装置３０４とを備えている。
【００４３】
ところで、位置決め装置１０及び上述の撮像ユニット１４８、１５０は、アライメント装置３０２に備えられている。撮像ユニット１４８、１５０は、ウエハＷ又はウエハＷを吸着保持するウエハホルダＨに設けられたアライメントマークを撮像する。アライメント装置３０２は、撮像ユニット１４８、１５０により撮像されたアライメントマークの画像データを参照して、複数枚のウエハＷを相対的に位置合わせする。
【００４４】
ここで、アライメント装置３０２では、撮像ユニット１４８、１５０が、位置決め装置１０により位置決めされたアライメントマーク１４６を撮像する。そして、撮像ユニット１４８、１５０により撮像されたアライメントマーク１４６の画像データを参照して、撮像ユニット１４８、１５０の相対位置が算出され、撮像ユニット１４８、１５０の相対位置の情報を参照して、複数枚のウエハＷが相対的に位置合わせされる。
【００４５】
次に、位置決め装置１０の動作について説明する。
【００４６】
図７には、アライメントマーク１４６が撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアから退避している状態を側断面図にて示している。この図に示すように、ウエハＷ及びウエハホルダＨが、撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアを通過する間、位置決め装置１０は、アライメントマーク１４６を撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアから退避させる。
【００４７】
図示する状態においては、エアベアリングブッシュ１８８へ圧縮空気が供給される一方、吸気路１９１からの吸気は停止される。これにより、固定軸１３６はエアベアリングブッシュ１８８により非接触で支持される一方、固定吸着用プレート１３４とベース部１２２との吸着は停止される。
【００４８】
また、ベローズ１８２の内部からの排気が実行され、ベローズ１８２の内圧が低下されており、ベローズ１８２、支持部材１８４が短縮し、ベース部１０４が支持部材１８４の弾性支持力により持ち上げられた状態となる。また、スライダ１０８が、空圧駆動部１５２により移動範囲の端部まで移動されている。これにより、撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリア、及び、ウエハＷ及びウエハホルダＨの通路から退避した状態となる。
【００４９】
ここで、給排気路１５６には、排気ポンプ１９６の吸引力が作用しており、ガイドレール１０６の上面とスライダ１０８の上片１１４との間隙は負圧となっている。また、給排気路１５８には、給気ポンプ１９５から圧縮空気が送出され、給排気路１５８から、ガイドレール１０６の下面とスライダ１０８の底板１１２との間隙へ、圧縮空気が吹き出されている。これにより、スライダ１０８の上片１１４は、ガイドレール１０６の上面に対して吸着された状態となるので、停止したスライダ１０８を、ガイドレール１０６に対して固定できる。従って、スライダ１０８の振動を抑制でき、スライダ１０８の振動に起因する問題の発生を抑制できる。
【００５０】
また、スライダ１０８の底板１１２が、給排気路１５８から吹き出される圧縮空気により、下側へ押し下げられることから、スライダ１０８の上片１１４が、ガイドレール１０６の上面に対して圧接された状態となる。これにより、スライダ１０８の上片１１４とガイドレール１０６の上面との吸着力をより強くできるので、スライダ１０８の停止状態をより安定にできる。
【００５１】
図８には、スライド装置１００によりアライメントマーク１４６をスライド移動させている状態を側断面図にて示している。この図に示すように、アライメントマーク１４６をスライド移動させる段階では、ベローズ１８２の内部へ圧縮空気が供給され、ベローズ１８２の内圧が上昇されており、ベローズ１８２、支持部材１８４が伸張し、ベース部１０４が支持部材１８４の弾性力に抗して下降した状態となる。また、エアベアリングブッシュ１８８へ圧縮空気が供給されると共に、吸気路１９１からの吸気が実行される。これにより、固定軸１３６がエアベアリングブッシュ１８８により非接触で支持されると共に、固定吸着用プレート１３４とベース部１２２とが吸着される。
【００５２】
ここで、給排気路１５６、１５８には、給気ポンプ１９５から圧縮空気が送出され、給排気路１５６からガイドレール１０６の上面とスライダ１０８の上片１１４との間隙へ、給排気路１５８からガイドレール１０６の下面とスライダ１０８の底板１１２との間隙、圧縮空気が吹き出される。これにより、ガイドレール１０６の上面とスライダ１０８の上片１１４との間隙、及びガイドレール１０６の下面とスライダ１０８の底板１１２との間隙が正圧となる。よって、スライダ１０８の上片１１４が、ガイドレール１０６の上面に対して、スライダ１０８の底板１１２が、ガイドレール１０６の下面に対して浮遊した状態となり、スライダ１０８が、ガイドレール１０６に対して浮遊した状態で支持される。従って、スライド移動するスライダ１０８とガイドレール１０６との摺擦を抑制でき、摺擦することによるスライダ１０８とガイドレール１０６との磨耗劣化、及び粉塵の発生を抑制できる。
【００５３】
図９には、位置決め装置１０が、アライメントマーク１４６を、撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアに位置決めした状態を側断面図にて示している。この図に示すように、アライメントマーク１４６が、撮像ユニット１４８、１５０の撮像エリアまで移動された後、まず、給気ポンプ１９５から給排気路１５６への圧縮空気の供給が停止され、給排気路１５６には、排気ポンプ１９６の吸引力が作用される。一方、給排気路１５８への圧縮空気の供給は、給排気路１５６の吸気が開始されるまで継続され、その後、停止される。
【００５４】
これにより、給排気路１５６の給排気が切り替えられるときに、スライダ１０８の上片１１４とガイドレール１０６の上面との間隙は負圧となり、スライダ１０８の底板１１２とガイドレール１０６の下面との間隙は正圧となる。よって、スライダ１０８の上片１１４が、ガイドレール１０６の上面に吸着されると共に、ガイドレール１０６の上面に圧接されるので、給排気路１５８の圧縮空気の吹き出しを停止した後に、撮像ユニット１４８、１５０によりアライメントマーク１４６の撮像が行われるに際して、スライダ１０８が、ガイドレール１０６に対して吸着した状態で停止する。
【００５５】
従って、撮像ユニット１４８、１５０によりアライメントマーク１４６の撮像が実施されている時点での、スライダ１０８の静止安定性を確保でき、アライメントマーク１４６の位置検出精度を向上でき、以って、撮像ユニット１４８、１５０の相対位置の検出精度を向上できる。また、スライダ１０８の底板１１２とガイドレール１０６の下面との間隙への圧縮空気の供給を停止することにより、消費エネルギを低減できる。
【００５６】
また、給排気路１５６を圧縮空気の供給路から排気路に切り換えるに際して、給排気路１５８からの圧縮空気の吹き出しを継続することにより、スライダ１０８を、上片１１４がガイドレール１０６の上面に圧接した状態で停止させることができる。従って、当該切り替えに際して、スライダ１０８が振動することを抑制でき、スライダ１０８とガイドレール１０６との衝突を抑制できる。
【００５７】
また、本実施形態では、エアベアリング１１０への給気とエアベアリング１１０からの排気とを共通の管路である給排気路１５６、１５８で実施した。これにより、配管の本数を少なくでき、ガイドレール１０６の構成を単純化できるので、ガイドレール１０６の製造コストを低減できる。
【００５８】
なお、本実施形態では、スライダ１０８を停止させるに際して、給排気路１５６を圧縮空気の供給路から排気路に切り替え、スライダ１０８の上片１１４をガイドレール１０６の上面に吸着力により圧接させたが、これは必須ではない。例えば、図１０に示すように、給排気路１５６への圧縮空気の供給を停止させ、給排気路１５８への圧縮空気の供給を継続させることにより、スライダ１０８の上片１１４をガイドレール１０６の上面に圧接させてもよい。また、図１１に示すように、給排気路１５６への圧縮空気の供給を停止させ、給排気路１５８を圧縮空気の供給路から排気路に切り替えることにより、スライダ１０８の底板１１２をガイドレール１０６の下面に吸着力により圧接させてもよい。また、図１２に示すように、給排気路１５６への圧縮空気の供給を継続して、給排気路１５８を圧縮空気の供給路から排気路に切り替えることにより、スライダ１０８の底板１１２をガイドレール１０６の下面に吸着力及び吹出圧力により圧接させてもよい。さらに、図１３に示すように、給排気路１５６への圧縮空気の供給を継続して、給排気路１５８への圧縮空気の供給を停止することにより、スライダ１０８の底板１１２をガイドレール１０６の下面に圧接させてもよい。
【００５９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。また、上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることが当業者に明らかである。更に、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。例えば、本実施形態におけるスライド装置１００では、空圧駆動部１５２によりスライダ１０８をスライド移動させたが、電磁力を用いたリニア駆動部によりスライダ１０８をスライド移動させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】位置決め装置１０を前方から見た斜視図である。
【図２】スライド装置１００を示す分解斜視図である。
【図３】位置決め装置１０を後方から見た斜視図である。
【図４】スライド装置１００の概略構成を示す図である。
【図５】位置決め装置１０の概略構成を示す側断面図である。
【図６】基板接合装置３００の概略構成を示す平面図である。
【図７】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【図８】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【図９】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【図１０】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【図１１】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【図１２】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【図１３】位置決め装置１０の動作を示す側断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  位置決め装置、１００  スライド装置、１０２  昇降装置、１０４  ベース部、１０６  ガイドレール、１０８  スライダ、１１０  エアベアリング、１１２  底板、１１４  上片、１１６  側片、１１８  リニアスケール、１２０  読取用ヘッド、１２１  ブラケット、１２２  ベース部、１２４  昇降支持部、１２６  ロック部、１２８  高さ検出部、１３０  空圧駆動アクチュエータ、１３２  支軸、１３４  固定吸着用プレート、１３６  固定軸、１３８  吸着部、１４０  フォトセンサ、１４２  被検出部、１４４  ボード、１４６  アライメントマーク、１４８  撮像ユニット、１５０  撮像ユニット、１５２  空圧駆動部、１５３  圧力室、１５４  圧力室、１５５  ブロック、１５６  給排気路、１５７  ブロック、１５８  給排気路、１６０  案内溝、１６１  主溝、１６２  給排気管、１６３  副溝、１６４  給排気管、１６５  圧力センサ、１６６  圧力センサ、１６８  三方弁、１６９  三方弁、１７０  給気管、１７１  給気管、１７２  給気ポンプ、１７４  排気管、１７５  排気管、１７６  コントローラ、１８０  空圧制御部、１８２  ベローズ、１８４  支持部材、１８６  給排気管、１８８  エアベアリングブッシュ、１９０  給気管、１９１  吸気路、１９２  給排気管、１９３  給排気管、１９４  吸気管、１９５  給気ポンプ、１９６  排気ポンプ、１９７  三方弁、１９８  給気管、１９９  排気管、２００  コントローラ、２０１  開閉弁、２０２  給気管、２０３  三方弁、２０４  給気管、２０５  排気管、２０６  三方弁、２０７  給気管、２０８  排気管、２０９  開閉弁、２１０  排気管、３００  基板接合装置、３０２  アライメント装置、３０４  接合装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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