(57)【要約】【課題】スジムラの発生を抑えることができる液滴塗布装置を提供する。【解決手段】液滴塗布装置において、塗布対象物Ｋの塗布面Ｋａに形成された複数の塗布区画に向けて複数の吐出孔Ｎからそれぞれ液滴を吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを塗布面Ｋａに沿って相対移動させる移動機構４と、塗布区画に対する液滴の滴下パターンが隣接する塗布区画と異なるように塗布区画毎に設定されて生成された塗布位置情報を記憶する記憶部７ａと、記憶部７ａに記憶された塗布位置情報に基づいて、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させながら複数の吐出孔Ｎからそれぞれ液滴を順次吐出させ、複数の塗布区画に着弾させるように塗布ヘッド５及び移動機構４を制御する手段とを備える。【選択図】図１
2010115568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象物の塗布面に形成された複数の塗布区画に向けて複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出する塗布ヘッドと、
前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを前記塗布面に沿って相対移動させる移動機構と、
前記塗布区画に対する前記液滴の滴下パターンが隣接する前記塗布区画と異なるように前記塗布区画毎に設定されて生成された塗布位置情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記塗布位置情報に基づいて、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させながら前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させ、前記複数の塗布区画に着弾させるように前記塗布ヘッド及び前記移動機構を制御する手段と、
を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項２】
前記塗布位置情報は、異なる複数の前記滴下パターンが前記複数の塗布区画にランダムに割り当てられて生成された情報であることを特徴とする請求項１記載の液滴塗布装置。
【請求項３】
前記記憶部は、異なる複数の前記滴下パターンを記憶しており、
複数の前記滴下パターンから使用する数個の前記滴下パターンを選択するための入力操作を受け付ける入力部と、
前記入力部に対する前記入力操作に応じて、前記記憶部に記憶された複数の前記滴下パターンから数個の前記滴下パターンを選択し、選択した数個の前記滴下パターンを隣接する前記塗布区画で異なるように前記複数の塗布区画に割り当て、前記塗布位置情報を生成する手段と、
を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴塗布装置。
【請求項４】
塗布対象物の塗布面に形成された複数の塗布区画に向けて複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出する塗布ヘッドと、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを前記塗布面に沿って相対移動させる移動機構とを用いて、前記複数の塗布区画に前記液滴を塗布する液滴塗布方法であって、
前記塗布区画に対する前記液滴の滴下パターンが隣接する前記塗布区画と異なるように前記塗布区画毎に設定されて生成された塗布位置情報を記憶する工程と、
記憶した前記塗布位置情報に基づいて、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させながら前記複数の吐出孔からそれぞれ前記液滴を順次吐出させ、前記複数の塗布区画に着弾させる工程と、
を有することを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項５】
前記塗布位置情報は、異なる複数の前記滴下パターンが前記複数の塗布区画にランダムに割り当てられて生成された情報であることを特徴とする請求項４記載の液滴塗布方法。
【請求項６】
異なる複数の前記滴下パターンを記憶する工程と、
記憶した複数の前記滴下パターンから数個の前記滴下パターンを選択し、選択した数個の前記滴下パターンを隣接する前記塗布区画で異なるように前記複数の塗布区画に割り当て、前記塗布位置情報を生成する工程と、
を有することを特徴とする請求項４又は５記載の液滴塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物に液滴を吐出して塗布する液滴塗布装置及び液滴塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴塗布装置は、液晶表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置などの表示装置あるいは半導体装置などを製造する場合、例えば、カラーフィルタを形成する場合（例えば、特許文献１参照）、あるいは、ガラス基板や半導体ウェハなどの基板に配向膜やレジストなどの機能性薄膜を形成する場合に用いられている。
【０００３】
この液滴塗布装置は、基板などの塗布対象物に向けてインクなどの塗布液を複数の吐出孔（ノズル）からそれぞれ液滴として吐出（噴射）する塗布ヘッドを備えている。液滴塗布装置は、塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、その塗布ヘッドにより塗布対象物の塗布面に複数の液滴を順次着弾させ、所定の塗布パターンを形成する。
【０００４】
このような液滴塗布装置を用いてカラーフィルタを製造する場合には、カラーフィルタ製造用の基板に対して液滴が塗布される。すなわち、赤、緑及び青の着色インクが液滴として、カラーフィルタ製造用の基板の表面であって格子状の隔壁（ブラックマトリクス）により区分された凹部内に塗布され、その凹部内に着色層（塗布膜）が形成される。なお、凹部は平面視において長方形をしており、この凹部が液晶表示パネルにおける一つの画素（サブピクセル）に対応する。
【０００５】
通常、液滴の滴下位置は全画素において凹部の底面中心に設定されており、その設定された滴下位置に液滴が塗布される。また、凹部の容量に対して一つの吐出孔から吐出される一滴の量が少ない場合には、凹部内に着色層を形成する際、一つの凹部に対して着色インクは複数滴塗布される。このとき、着色層を均一な厚さに形成する必要があるため、滴下位置は凹部の長手方向に沿って等間隔に定められている。
【特許文献１】特開平９−２３０１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述のように滴下位置は全画素において同じ位置になるように設定されているため、各凹部内の着色層の厚さ方向の断面形状はどれもほぼ同じとなる。このとき、液滴が設定された滴下位置に正確に着弾すれば問題はないが、液滴の吐出方向の傾きなどの予期しない不具合により、一部の吐出孔から吐出された液滴が設定された滴下位置からずれて着弾することがある。
【０００７】
この場合には、不具合のある吐出孔から吐出された液滴によって形成される着色層の厚さ方向の断面形状は、他の吐出孔から吐出された液滴によって形成される着色層の厚さ方向の断面形状と異なってしまう。このため、他の着色層と厚さ方向の断面形状が異なる着色層がライン状に並ぶことになるので、スジムラが発生してしまう。
【０００８】
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、スジムラの発生を抑えることができる液滴塗布装置及び液滴塗布方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴塗布装置において、塗布対象物の塗布面に形成された複数の塗布区画に向けて複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを塗布面に沿って相対移動させる移動機構と、塗布区画に対する液滴の滴下パターンが隣接する塗布区画と異なるように塗布区画毎に設定されて生成された塗布位置情報を記憶する記憶部と、記憶部に記憶された塗布位置情報に基づいて、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させながら複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させ、複数の塗布区画に着弾させるように塗布ヘッド及び移動機構を制御する手段とを備えることである。
【００１０】
本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、塗布対象物の塗布面に形成された複数の塗布区画に向けて複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを塗布面に沿って相対移動させる移動機構とを用いて、複数の塗布区画に液滴を塗布する液滴塗布方法であって、塗布区画に対する液滴の滴下パターンが隣接する塗布区画と異なるように塗布区画毎に設定されて生成された塗布位置情報を記憶する工程と、記憶した塗布位置情報に基づいて、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させながら複数の吐出孔からそれぞれ液滴を順次吐出させ、複数の塗布区画に着弾させる工程とを有することである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、スジムラの発生を抑えることができ、もって、塗布対象物に対する液滴の塗布品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態について図１ないし図７を参照して説明する。
【００１３】
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る液滴塗布装置１は、塗布対象物としての基板Ｋが水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で載置されるテーブル２と、そのテーブル２を保持してＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構３と、そのＸ軸移動機構３を介してテーブル２をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構４と、テーブル２上の基板Ｋの塗布面Ｋａに向けてインクなどの塗布液を液滴として吐出する複数の塗布ヘッド５と、それらの塗布ヘッド５をそれぞれ水平面内で回転させる複数の回転機構６と、各部を制御する制御部７とを備えている。
【００１４】
テーブル２は、Ｘ軸移動機構３上に積層され、Ｘ軸方向に移動可能に設けられている。このテーブル２はＸ軸移動機構３によりＸ軸方向に移動する。なお、テーブル２には、基板Ｋが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Ｋを保持するため、静電チャックや吸着チャックなどの保持機構を設けるようにしてもよい。
【００１５】
Ｘ軸移動機構３は、テーブル２をＸ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＸ軸移動機構３は制御部７に電気的に接続されており、その駆動が制御部７により制御される。なお、Ｘ軸移動機構３としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構などを用いる。
【００１６】
Ｙ軸移動機構４は、Ｘ軸移動機構３をＹ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＹ軸移動機構４は制御部７に電気的に接続されており、その駆動が制御部７により制御される。なお、Ｙ軸移動機構４としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構などを用いる。
【００１７】
これらのＸ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４が、テーブル２に載置された基板Ｋと塗布ヘッド５とを基板Ｋの塗布面Ｋａに沿う方向で相対移動させる移動機構として機能する。
【００１８】
塗布ヘッド５は、インクなどの塗布液を複数の吐出孔（ノズル）Ｎからそれぞれ液滴として吐出するインクジェットヘッドである。この塗布ヘッド５は、各吐出孔Ｎにそれぞれ対応する複数の圧電素子を内蔵している。各吐出孔Ｎは、所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて塗布ヘッド５の吐出面に形成されている。例えば、吐出孔Ｎの数は数十個から数百個程度であり、吐出孔Ｎの直径は数μｍから数十μｍ程度であり、さらに、吐出孔Ｎのピッチは数十μｍから数百μｍ程度である。
【００１９】
この塗布ヘッド５は制御部７に電気的に接続されており、その駆動が制御部７により制御される。塗布ヘッド５は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各吐出孔Ｎから塗布液を液滴として吐出する。塗布液は、その塗布液を貯留するタンクから供給される。この塗布液は溶液であり、基板Ｋ上に残留物として残留する溶質とその溶質を溶解（分散）させる揮発性の溶媒とにより構成されている。例えば、塗布液として、赤色、緑色及び青色の３種類のインクを用いた場合には、色毎の３つのタンクがあり、各色の溶液がそれぞれ対応する塗布ヘッド５に供給される。
【００２０】
回転機構６は、基板Ｋの塗布面Ｋａに平行な面内でθ方向（図１中、ＸＹ平面に沿う回転方向）に回転可能に塗布ヘッド５を支持している。この回転機構６は、塗布ヘッド５を相対移動する基板Ｋの相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾ける。
【００２１】
ここで、Ｙ軸方向に相対移動する基板Ｋに対して塗布を行う場合には、塗布ヘッド５の傾斜角度を変更することによって、Ｘ軸方向の液滴の塗布ピッチを調整することができる。また、液滴の吐出周波数（吐出タイミング）を変更することによって、Ｙ軸方向の塗布ピッチを調整することができる。
【００２２】
制御部７は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータ（図示せず）や、各種プログラムや各種情報などを記憶する記憶部７ａなどを備えている。この記憶部７ａとしては、メモリやハードディスクドライブ（ＨＤＤ）などを用いる。
【００２３】
各種情報としては、塗布に関する塗布情報が挙げられる。この塗布情報は、液滴の滴下位置に関する塗布位置情報（例えば、ドットパターンなどの所定の滴下パターン）及び液滴の塗布量に関する塗布量情報（液滴の吐出量情報）などを含んでいる。例えば、塗布位置情報に応じて吐出タイミングや塗布ヘッド５の傾斜角度、基板Ｋの移動速度などが決定され、また、塗布量情報に応じて塗布ヘッド５の圧電素子に印加する駆動電圧などが決定される。
【００２４】
前述の液滴塗布装置１を用いてカラーフィルタを製造する場合には、基板Ｋとしてカラーフィルタ製造用の基板Ｋが用いられる。カラーフィルタ製造用の基板Ｋの塗布面Ｋａには、図２に示すように、複数の塗布区画Ｇがマトリクス状に設けられている。これらの塗布区画Ｇは、カラーフィルタの各画素領域にそれぞれ対応する領域である。
【００２５】
詳しくは、カラーフィルタ製造用の基板Ｋの塗布面Ｋａには、格子状の隔壁としてのブラックマトリクスが形成されている。このブラックマトリクスは、カラーフィルタの赤色、緑色及び青色の各画素を囲む格子状の黒色部分である。すなわち、各塗布区画Ｇは、ブラックマトリクスで囲まれた複数の凹部の底面である。なお、塗布区画Ｇは平面視において長方形をしており、この塗布区画Ｇが表示パネルにおける一つの画素（サブピクセル）に対応する。
【００２６】
ここで、塗布ヘッド５は、例えば、一滴の液滴により一つの塗布膜を形成する場合や複数滴の液滴により一つの塗布膜を形成する場合がある。すなわち、凹部の容量に対して一つの吐出孔Ｎから吐出される一滴の量が少ない場合には、凹部内に着色層を形成する際、一つの凹部に対して液滴は複数滴塗布される。
【００２７】
例えば、一つの塗布区画Ｇに対して六滴の液滴を塗布する場合には、図３ないし図７に示すように、塗布区画Ｇに対する液滴の滴下位置Ｔに関する五つの滴下パターンＰ１〜Ｐ５が用いられる。
【００２８】
滴下パターンＰ１は、図３に示すように、１点目の滴下位置Ｔが塗布区画Ｇの上辺から下辺に向かって５０μｍの位置にあり、その位置から五回１０μｍ毎に増加した位置に２点目以降の滴下位置Ｔがあるパターンである。なお、塗布区画Ｇにおける滴下位置Ｔの配列方向の寸法は１５０μｍである。滴下パターンＰ２は、図４に示すように、１点目の滴下位置Ｔが塗布区画Ｇの上辺から下辺に向かって４５μｍの位置にあり、その位置から五回１２μｍ毎に増加した位置に２点目以降の滴下位置Ｔがあるパターンである。
【００２９】
また、滴下パターンＰ３は、図５に示すように、１点目の滴下位置Ｔが塗布区画Ｇの上辺から下辺に向かって５０μｍの位置にあり、その位置から三回１５μｍ毎に増加し、二回５μｍ毎に増加した位置に２点目以降の滴下位置Ｔがあるパターンである。滴下パターンＰ４は、図６に示すように、１点目の滴下位置Ｔが塗布区画Ｇの上辺から下辺に向かって６０μｍの位置にあり、その位置から五回８μｍ毎に増加した位置に２点目以降の滴下位置Ｔがあるパターンである。滴下パターンＰ５は、図７に示すように、１点目の滴下位置Ｔが塗布区画Ｇの上辺から下辺に向かって６０μｍの位置にあり、その位置から五回６μｍ毎に増加した位置に２点目以降の滴下位置Ｔがあるパターンである。
【００３０】
このような滴下パターンＰ１〜Ｐ５が、図２に示すように、基板Ｋの塗布面Ｋａにおいて隣接する（隣り合う）塗布区画Ｇと異なるように塗布区画Ｇ毎に設定され、すなわち、異なる複数の滴下パターンＰ１〜Ｐ５が規則性なくランダムに各塗布区画Ｇに割り当てられ、ＸＹ座標系の塗布位置情報が生成される。その後、この塗布位置情報が記憶部７ａに格納される。この滴下パターン設定には、乱数などが用いられる。図２では、塗布区画Ｇ内の数字が、その塗布区画Ｇに対して設定されている滴下パターンＰ１〜Ｐ５を示す。例えば、塗布区画Ｇ内の数字が１である場合には、その塗布区画Ｇには滴下パターンＰ１が設定されており、塗布区画Ｇ内の数字が２である場合には、その塗布区画Ｇには滴下パターンＰ２が設定されている。
【００３１】
ここで、全ての塗布区画Ｇにおいて滴下パターンＰ１〜Ｐ５が隣接する塗布区画Ｇと異なるように設定されていることが望ましいが、これに限るものではなく、例えば、人が視認できない範囲において滴下パターンＰ１〜Ｐ５が隣接する塗布区画Ｇで同じパターンに設定されていてもよい。例えば、３つまでならば同じ滴下パターンが隣同士で並んでも、人がスジムラとして視認しない場合、隣り合う３つの塗布区画Ｇ内では同じ滴下パターンが連続して設定されていてもよい。すなわち、本実施の形態において、隣接する塗布区画Ｇと異なる、とは、必ずしも隣り合う塗布区画Ｇで滴下パターンが異なるものに限らず、人が視認できない範囲内であれば隣同士で滴下パターンが同じものも含むものとする。なお、五つの滴下パターンＰ１〜Ｐ５が用いられているが、これに限るものではなく、その数は限定されない。
【００３２】
次に、前述の液滴塗布装置１が行う液滴塗布動作（液滴塗布方法）について説明する。なお、液滴塗布装置１の制御部７が各種のプログラムに基づいて塗布処理を実行するが、ここでは、液滴塗布装置１を用いてカラーフィルタ製造用の基板Ｋに塗布膜として着色層を形成する場合について説明する。
【００３３】
液滴塗布装置１は、基板Ｋの塗布面Ｋａに設けられたブラックマトリクスにより区分された各塗布区画Ｇに対して赤、緑及び青の着色インクを選択的に吐出し、各塗布区画Ｇに所定の色の着色層を形成する。赤、緑及び青の着色層は、塗布区画Ｇの列方向（Ｙ軸方向）に同色で行方向（Ｘ軸方向）に赤、緑、青が順に繰り返されるように形成される。
【００３４】
詳述すると、液滴塗布装置１の制御部７は、前述の塗布位置情報を含む塗布情報に基づいてＸ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４を制御し、まず赤色のインクを吐出する塗布ヘッド５を基板Ｋの塗布面Ｋａに対向する塗布開始位置に位置付け、次いで、Ｙ軸移動機構４を制御し、テーブル２をＹ軸方向に移動させながら、塗布ヘッド５を制御し、その塗布ヘッド５に各吐出孔Ｎからそれぞれ液滴を順次吐出させてテーブル２上の基板Ｋの塗布面Ｋａに各液滴を複数列に着弾させる（走査塗布動作）。その後、制御部７は、塗布開始位置をＸ軸方向に所定量移動させ、走査塗布動作を繰り返す。この動作が所定回数行われ、全ての赤色用の塗布区画Ｇに着色層が形成される。他の緑色及び青色用の塗布区画Ｇにも同様にして着色層が形成される。
【００３５】
このような塗布において、隣接する塗布区画Ｇには、異なる滴下パターンＰ１〜Ｐ５に基づいて塗布ヘッド５により液滴が塗布され（図２参照）、着色層（塗布膜）が形成される。例えば、滴下パターンＰ１が設定されている塗布区画Ｇにおいては、塗布ヘッド５の一つの吐出孔Ｎから順次吐出された液滴は、図３に示す六つの滴下位置Ｔに順次着弾する。また、例えば、滴下パターンＰ２が設定されている塗布区画Ｇにおいては、塗布ヘッド５の一つの吐出孔Ｎから順次吐出された液滴は、図４に示す六つの滴下位置Ｔに順次着弾する。
【００３６】
このとき、滴下パターンＰ１に基づいて形成された着色層の厚さ方向の断面形状と、滴下パターンＰ２に基づいて形成された着色層の厚さ方向の断面形状（以下、単に着色層の断面形状という）とは異なることになる。これは、着色層において液滴の滴下位置Ｔ上で塗布区画Ｇ内の他の部分よりもその厚さが厚くなるためである。
【００３７】
詳しくは、吐出された各液滴が滴下パターンＰ１〜Ｐ５により設定された各滴下位置Ｔに着弾すると、それらの液滴は徐々に広がって１つになり、塗布区画Ｇ、すなわち凹部内で着色層となる。この着色層の断面形状は、液滴が着弾した各滴下位置Ｔ上でその厚さが塗布区画Ｇ内の他の部分よりも厚くさらに同じになるような形状となる。したがって、滴下パターンＰ１〜Ｐ５が変わると、形成される着色層の断面形状が異なることになる。
【００３８】
前述のように、各列の塗布ラインにおいて、隣接する塗布区画Ｇでは互いに異なる滴下パターンＰ１〜Ｐ５が用いられるので、着色層の断面形状が異なることになる。これにより、ある塗布ラインの各着色層の断面形状が隣接する塗布ラインの各着色層の断面形状と一様に異なっていることに起因するスジムラの発生を確実に抑えることができる。
【００３９】
詳述すると、全ての塗布区画Ｇに対する滴下パターンが同じパターンに設定されていた場合、いずれかの吐出孔Ｎの吐出方向にインクの経時変化などに起因する傾きが生じて着弾位置ズレが発生していたとすると、その吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの各着色層の断面形状は他の吐出孔Ｎによって形成された各着色層の断面形状とは異なるものとなる。各着色層の断面形状が異なると各着色層に濃淡の差が生じるため、着弾位置ズレが発生している吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの各着色層は他の吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの各着色層と比較して濃くなったり、あるいは、薄くなったりする。
【００４０】
一方、隣接する塗布区画Ｇにおいて滴下パターンＰ１〜Ｐ５が異なるように設定されていると、着弾位置ズレが発生している吐出孔Ｎがあったとしても、一列の塗布ライン内及び各塗布ライン間において、隣り合う塗布区画Ｇの着色層の断面形状は互いに異なる。これにより、着弾位置ズレが発生している吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの各着色層と他の吐出孔Ｎによって形成された塗布ラインの各着色層との濃淡の差が視認され難くなるので、スジムラの発生が抑えられる。これにより、カラーフィルタを有する表示パネルの品質を向上させることができる。また、同色の各列の塗布ライン間においても、隣接する塗布区画Ｇでは互いに異なる滴下パターンＰ１〜Ｐ５が用いられるので、同色の塗布ラインによるスジムラの発生を確実に抑えることができる。
【００４１】
以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、塗布区画Ｇに対する液滴の滴下位置Ｔに関する滴下パターンＰ１〜Ｐ５が隣接する塗布区画Ｇと異なるように塗布区画Ｇ毎に設定された情報である塗布位置情報に基づき、塗布ヘッド５に各液滴を吐出させることによって、隣り合う塗布区画Ｇにおいて滴下パターンが相違し、形成された着色層の断面形状が異なることになるので、ある塗布ラインの各着色層の断面形状が隣接する塗布ラインの各着色層の断面形状と一様に異なっていることに起因するスジムラの発生を抑えることができる。その結果、カラーフィルタを有する表示パネルの品質を向上させることができる。特に、塗布位置情報は異なる複数の滴下パターンＰ１〜Ｐ５が各塗布区画Ｇにランダムに割り当てられて生成された情報であることから、スジムラの発生を確実に抑えることができる。
【００４２】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図８を参照して説明する。
【００４３】
本発明の第２の実施の形態は第１の実施の形態の変形例である。したがって、特に、第１の実施の形態と異なる部分について説明する。なお、第２の実施の形態においては、第１の実施の形態で説明した部分と同じ部分の説明を省略する。
【００４４】
図８に示すように、制御部７は、複数の滴下パターンの中から使用する数個の滴下パターンを選択し、選択した数個の滴下パターンを各塗布区画Ｇに設定して塗布位置情報を生成する情報生成部７ｂを備えている。また、制御部７には、操作者からの入力操作を受け付けるボタンやキー、マウスなどの入力部８が接続されている。この入力部８は、複数の滴下パターンの中から使用する数個の滴下パターンを選択するための入力操作を受け付ける操作部である。なお、複数の滴下パターン（図３ないし図７に示す滴下パターンＰ１〜Ｐ５も含む）は記憶部７ａにあらかじめ格納されている。
【００４５】
操作者は、入力部８に対して、複数の滴下パターンの中から、例えば、図３ないし図７に示す五つの滴下パターンＰ１〜Ｐ５を選択するための入力操作を行う。この入力操作としては、例えば、各滴下パターンに割り当てられた複数のボタンの中から五つのボタンを押下する入力操作や表示装置に表示された複数の液滴パターンの中から五つの液滴パターンＰ１〜Ｐ５をクリックする入力操作などがある。
【００４６】
次いで、情報生成部７ｂは、入力部８に対する入力操作に応じて、複数の滴下パターンの中から使用する五つの滴下パターンＰ１〜Ｐ５を選択し、選択した五つの滴下パターンを用いて塗布位置情報を生成する。詳しくは、情報生成部７ｂは、選択した滴下パターンＰ１〜Ｐ５を、図２に示すように、基板Ｋの塗布面Ｋａにおいて隣接する塗布区画Ｇで異なるように規則性なくランダムに各塗布区画Ｇに割り当て、塗布位置情報を生成する。このとき、各塗布区画Ｇに関するＸＹ座標系の位置情報が用いられるが、この位置情報も記憶部７ａにあらかじめ格納されている。
【００４７】
以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、記憶部７ａに記憶された複数の滴下パターンの中から使用する数個の滴下パターンを選択し、選択した数個の滴下パターンを用いて塗布位置情報を生成することによって、操作者は複数の滴下パターンの中から所望の数個の滴下パターンを決定すれば、塗布位置情報が自動的に生成されて記憶部７ａに格納される。これにより、別の装置で塗布位置情報を生成するような作業を行うことなく、塗布を実行することが可能となるので、装置の利便性を向上させることができる。
【００４８】
（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００４９】
前述の実施の形態においては、塗布ヘッド５に対して基板Ｋを移動させるようにしているが、これに限るものではなく、基板Ｋに対して塗布ヘッド５を移動させるようにしてもよく、要は、塗布ヘッド５と基板Ｋとを相対移動させるようにすればよい。
【００５０】
また、前述の実施の形態においては、カラーフィルタ製造用に液滴塗布装置１を用いているが、これに限るものではなく、カラーフィルタ製造用以外に液滴塗布装置１を用いるようにしてもよい。
【００５１】
また、前述の実施の形態においては、塗布区画Ｇを矩形状としているが、これに限るものではなく、例えば、矩形以外の多角形や楕円形などにしてもよい。また、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す模式図である。
【図２】図１に示す液滴塗布装置が用いる塗布位置情報を説明するための説明図である。
【図３】第１の滴下パターンを説明するための説明図である。
【図４】第２の滴下パターンを説明するための説明図である。
【図５】第３の滴下パターンを説明するための説明図である。
【図６】第４の滴下パターンを説明するための説明図である。
【図７】第５の滴下パターンを説明するための説明図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５３】
１          液滴塗布装置
３          移動機構（Ｘ軸移動機構）
４          移動機構（Ｙ軸移動機構）
５          塗布ヘッド
７ａ        記憶部
８          入力部
Ｇ          塗布区画
Ｋ          塗布対象物（基板）
Ｋａ        塗布面
Ｎ          吐出孔
Ｐ１〜Ｐ５  滴下パターン
Ｔ          滴下位置
【図１】
2010115568.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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