(57)【要約】【課題】タンクユニットから供給される液体中の気泡を廃液タンクに回収することができると共に、廃液タンク内において気泡混じりの機能液によるミストの発生を抑制することができる液体供給装置などを提供することである。【解決手段】貯留した液体を加圧送液するタンクユニット４５と、タンクユニット４５に接続されるタンク接続流路７１と、タンク接続流路７１に連なる主供給流路７２と、主供給流路７２から分岐した気泡排出流路８２と、主供給流路７２と気泡排出流路８２とを流路切り替えする流路切替え手段（７１，７５，７７）と、気泡排出流路８２に接続された廃液タンク８５と、気泡排出流路８２に介設した流量調整バルブ８４と、タンク接続流路７１を流れる液体中の気泡を検出する気泡検出センサー７４（７６）と、加圧送液時に、気泡検出センサー７４（７６）が気泡を検出したときに、流量調整バルブ８４を制御して主供給流路７２から気泡排出流路８２に流路切り替えする制御装置８８と、を備えたものである。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留した液体を加圧送液するタンクユニットと、
前記タンクユニットに着脱自在に接続されるタンク接続流路と、
前記タンク接続流路に連なる主供給流路と、
前記主供給流路から分岐した気泡排出流路と、
前記主供給流路と前記気泡排出流路とを流路切り替えする流路切替え手段と、
前記気泡排出流路の下流端に接続された廃液タンクと、
前記気泡排出流路に介設した流路絞り手段と、
前記タンク接続流路を流れる液体中の気泡を検出する気泡検出センサーと、
加圧送液時に、前記気泡検出センサーが気泡を検出したときに、前記流路切替え手段を制御して前記主供給流路から前記気泡排出流路に流路切り替えする制御手段と、を備えたことを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記流路絞り手段が、流量調整弁で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
【請求項３】
前記タンク接続流路を流れる液体の流速を検出する流速検出手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記流速検出手段の検出結果に基づいて、前記流量調整弁の弁開度を更に制御することを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項４】
前記流路切替え手段は、前記主供給流路に介設した供給流路開閉バルブと、前記気泡排出流路に介設した排出流路開閉バルブと、で構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体供給装置。
【請求項５】
前記タンクユニットは、それぞれが、交換可能に構成されると共に貯留した液体を加圧送液可能な一対の液体タンクを有し、
前記タンク接続流路は、前記各液体タンクに接続した一対の個別タンク流路と、前記一対の個別タンク流路を交互に流路切り替えするタンク流路切替え手段と、を有し、
前記気泡検出センサーは、前記一対の個別タンク流路に対応して一対設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体供給装置。
【請求項６】
前記タンクユニットは、前記各液体タンクの重量を測定する一対の重量測定手段を、更に有し、
前記制御手段は、前記重量測定手段が所定の以下の重量を測定し且つ前記気泡検出センサーが気泡を検出したときに、所定時間経過後、前記タンク流路切替え手段を制御して流路切り替えすることを特徴とする請求項５に記載の液体供給装置。
【請求項７】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
前記液体が機能液であり、前記主供給流路の下流端が前記機能液滴吐出ヘッドに接続された請求項１ないし６のいずれかに記載の液体供給装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を加圧送液するタンクユニットにおいて混入した気泡を、その送液を利用して除去する液体供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の機能液供給装置（液体供給装置）として、機能液の供給源を構成するタンクユニットと、タンクユニットからの機能液を一時的に貯留すると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するサブタンクと、タンクユニットとサブタンクとを接続する上流側機能液流路と、を有するものが知られている（特許文献１参照）。また、タンクユニットは、機能液が貯留された一対のメインタンク（液体タンク）と、機能液を供給するメインタンクの流路切り替えを行う切替え機構と、メインタンクからの気泡をそれぞれ検出する一対の気泡検出センサーと、メインタンクの重量をそれぞれ測定する一対のロードセル（重量測定装置）と、を有している。
この場合、ロードセルによりメインタンクの重量が所定値以下となり、且つ気泡検出センサーが気泡を検出したときに、メインタンクの交換を報知すると共に、切替え機構により流路を他方のメインタンク側に流路切替えするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２５０２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような液体供給装置では、気泡検出センサーにより気泡を検出した後に、新旧メインタンクの流路切替えを行うため、新旧メインタンクからの気泡混じりの機能液がサブタンクに流れ込んでしまうという問題があった。この場合、メインタンクの近傍に上流側機能液流路から分岐して気泡排出流路を設け、気泡を検出したときに流路を切り替えて、気泡混じりの機能液を廃液タンクに回収することが考えられる。そして、廃液タンクは、開放タンクとし、液抜きを考慮して満液センサーを設けることになる。
しかし、メインタンクの近傍から気泡混じりの機能液を排出しようとすると、高い圧力（サブタンクまでの揚程）をもって機能液を排出することになり、機能液が気泡排出流路から廃液タンクに勢い良く流入することになる。これにより、廃液タンク内はバブリング状態となり、発生した機能液のミストにより満液センサーが誤作動したり、ミストがタンク外部に飛散する等の問題が想定される。
【０００５】
本発明は、タンクユニットから供給される液体中の気泡を廃液タンクに回収することができると共に、廃液タンク内において気泡混じりの液体によるミストの発生を抑制することができる液体供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体供給装置は、貯留した液体を加圧送液するタンクユニットと、タンクユニットに着脱自在に接続されるタンク接続流路と、タンク接続流路に連なる主供給流路と、主供給流路から分岐した気泡排出流路と、主供給流路と気泡排出流路とを流路切り替えする流路切替え手段と、気泡排出流路の下流端に接続された廃液タンクと、気泡排出流路に介設した流路絞り手段と、タンク接続流路を流れる液体中の気泡を検出する気泡検出センサーと、加圧送液時に、気泡検出センサーが気泡を検出したときに、流路切替え手段を制御して主供給流路から気泡排出流路に流路切り替えする制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、タンクユニットから加圧送液され、タンク接続流路を流れる液体中の気泡を気泡検出センサーが検出した場合、流路切替え手段を制御して主供給流路側から気泡排出流路側に流路切替えすることで、気泡混じりの液体は廃液タンクに廃液される。これにより、気泡混じりの液体を効率よく廃液タンクに廃液することができ、液体を余計に消費することなく、気泡を除去することができる。その際、気泡排出流路を流れる気泡混じりの液体は、流路絞り手段によりその流速が抑えられ、そのまま廃液タンクに流入する。このため、廃液タンク内でのバブリングが抑えられ、ミストの発生が抑制される。したがって、廃液タンクから液体のミストが飛散することがなく、また廃液タンクに設けた液位センサーの誤作動等を防止することができる。
【０００８】
この場合、流路絞り手段が、流量調整弁で構成されていることが、好ましい。
【０００９】
この場合、タンク接続流路を流れる液体の流速を検出する流速検出手段を、更に備え、制御手段は、流速検出手段の検出結果に基づいて、流量調整弁の弁開度を更に制御することが、好ましい。
【００１０】
タンクユニットから加圧送液される液体が粘性の高いものである場合、流路絞り手段により流路を絞りすぎると、気泡混じりの液体が流れ難くなる。
これらの構成によれば、流路絞り手段が流量調整弁で構成されているため、液体の粘性の高低に併せて流量調整弁の弁開度を変更することにより、気泡排出流路を流れる気泡混じりの液体を適正な流速に調整することができる。
【００１１】
この場合、流路切替え手段は、主供給流路に介設した供給流路開閉バルブと、気泡排出流路に介設した排出流路開閉バルブと、で構成されていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、供給流路開閉バルブと排出流路開閉バルブとの開閉を切替えることで、主供給流路と気泡排出流路との流路切替えを簡単に行うことができる。
【００１３】
この場合、タンクユニットは、それぞれが、交換可能に構成されると共に貯留した液体を加圧送液可能な一対の液体タンクを有し、タンク接続流路は、各液体タンクに接続した一対の個別タンク流路と、一対の個別タンク流路を交互に流路切り替えするタンク流路切替え手段と、を有し、気泡検出センサーは、一対の個別タンク流路に対応して一対設けられていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、一方の液体タンクの液体をほぼ使い切ってから、他方の液体タンクに流路切り替えすることができると共に、両液体タンクの使い始めと使い終わりとに必然的に流出する気泡を、効率よく除去することができる。
【００１５】
この場合、タンクユニットは、各液体タンクの重量を測定する一対の重量測定手段を、更に有し、制御手段は、重量測定手段が所定の以下の重量を測定し且つ気泡検出センサーが気泡を検出したときに、所定時間経過後、タンク流路切替え手段を制御して流路切り替えすることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、液体の残量を液体タンクの重量および気泡検出センサーによる気泡の検出により監視しているため、気泡検出センサーによる気泡の誤検知を防止することができる。また、重量測定手段と気泡検出センサーとを協働させることにより、タンク流路切替え手段を誤りなく作動させることができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、液体が機能液であり、主供給流路の下流端が機能液滴吐出ヘッドに接続された上記の液体供給装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、バルブ制御のみで機能液からの気泡抜きを行うことができるため、装置全体の制御を簡単にすることができる。また、余計な液体を消費することなく機能液滴吐出ヘッドに機能液のみが供給されるため、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】キャリッジの外観斜視図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の模式図である。
【図７】タンクユニット廻りの模式図である。
【図８】液体タンク交換に伴う気泡排出動作のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る機能液供給装置（液体供給装置）を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、機能液供給装置は、タンクユニットの機能液を複数の機能液滴吐出ヘッドに一括して供給するものである。
【００２１】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱１２を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４が搭載された１３個のキャリッジユニット４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ５と、チャンバ５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、を備えている。また、チャンバ５の側壁の一部には、機能液を貯留する液体タンク５１等を収納するタンクキャビネット７が設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して、機能液滴吐出ヘッド１４を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された機能液を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。
【００２２】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７および吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１４の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置８（吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７）が交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を行う。
【００２３】
図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー２２と、上記したフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２２およびＸ軸第２スライダー２３をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。
【００２４】
Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート２４と、各ブリッジプレート２４を両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース１３上に設置され、ブリッジプレート２４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１４を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１４を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。
【００２５】
図４に示すように、各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４を６個ずつ２群に分けて、各機能液滴吐出ヘッド１４が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート２５と、から成るヘッドユニット２６を備えている。また、各キャリッジユニット４は、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を大気圧基準で減圧供給する圧力調整弁２７と、ヘッドユニット２６をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構２８と、θ回転機構２８を介して、ヘッドユニット２６をブリッジプレート２４に支持させる吊設部材２９（共に図３参照）と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、機能液を一時的に貯留するサブタンク４６（図１参照）が配設されており（実際には、ブリッジプレート２４上に配設）、このサブタンク４６および圧力調整弁２７により、各機能液滴吐出ヘッド１４に対して一定圧力で機能液が供給されるようになっている。
【００２６】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１４は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体３３と、を備えている（図５（ａ）参照）。機能液導入部３１は、ノズル列３９の数に対応した２連の接続針３４を有しており、サブタンク４６からの機能液を、機能液供給システム（図示省略）を介して供給されるようになっている。また、ヘッド本体３３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部３５と、複数の吐出ノズル３７が形成されたノズル面３８を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズルプレート３６のノズル面３８に形成された多数の吐出ノズル３７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列３９を構成しており、各ノズル列３９は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３７で構成されている（図５（ｂ）参照）。そして、この制御装置８８から出力された駆動波形が各ポンプ部３５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３７から機能液が吐出される。
【００２７】
次に、図６および図７を参照して、機能液供給ユニット６について説明する。機能液供給ユニット６は、上記した３色に対応した３組の機能液供給装置４１と、タンクユニット４５およびサブタンク４６等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備４２と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備４３と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備４４と、を備えている。３組の機能液供給装置４１は、それぞれ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１４に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１４には、対応する色の機能液が供給される。
【００２８】
各機能液供給装置４１は、機能液の供給源を構成するタンクユニット４５と、各キャリッジユニット４に対応した１３個のサブタンク４６と、タンクユニット４５および各サブタンク４６を接続する上流側機能液流路４７と、各サブタンク４６および各機能液滴吐出ヘッド１４を接続する１３組の下流側機能液流路４９と、を備えている。タンクユニット４５内の機能液は、これに接続した窒素ガス供給設備４２からの圧縮窒素ガスにより加圧され、ガス排気設備４４を介して大気開放された１３個のサブタンク４６に上流側機能液流路４７を介して選択的に加圧送液される（詳細は、後述する。）。そして、サブタンク４６の機能液は、下流側機能液流路４９および圧力調整弁２７を介して、駆動する各機能液滴吐出ヘッド１４に一定圧力で供給される。
【００２９】
タンクユニット４５は、それぞれが交換可能に構成されると共に送液する機能液を貯留した一対の液体タンク５１と、一対の液体タンク５１の重量をそれぞれ測定する一対の重量測定装置（重量測定手段）５２と、を有している。一対の液体タンク５１は、第１液体タンク５３および第２液体タンク５４から構成され、一対の重量測定装置５２は、対応する液体タンク５１の重量をそれぞれ測定するように、第１重量測定装置５５および第２重量測定装置５６から構成されている。第１液体タンク５３および第２液体タンク５４は、一方が空になったときに他方に切り替えて使用し、空になった液体タンク５１は、満タンの液体タンク５１と交換するようになっている。
【００３０】
第１液体タンク５３には、タンク内を加圧するための窒素ガス供給設備４２およびタンク内を大気開放するためのガス排気設備４４が、それぞれ第１ガス供給バルブ６１および第１ガス排気バルブ６２を介して、選択的に接続されるようになっている。また、第１液体タンク５３には、機能液を供給するための上流側機能液流路４７を構成する第１個別タンク流路６３（詳細は、後述する。）が接続されている。同様に、第２液体タンク５４には、窒素ガス供給設備４２およびガス排気設備４４が、それぞれ第２ガス供給バルブ６４および第２ガス排気バルブ６５を介して、選択的に接続され、また第２個別タンク流路６６（詳細は、後述する。）が接続されている。
【００３１】
例えば、第１液体タンク５３内の機能液を加圧送液する場合は、第１ガス供給バルブ６１を「開」とすると共に、第１ガス排気バルブ６２を「閉」とし、第１液体タンク５３内に圧縮窒素ガスを導入することで行われる。また、タンク交換等などで加圧送液を停止する場合は、第１ガス供給バルブ６１を「閉」とすると共に、第１ガス排気バルブ６２を「開」とすることで、第１液体タンク５３内の圧力を大気開放することで行われる。なお、第２液体タンク５４においても、全く同様である。
【００３２】
第１・第２両重量測定装置５５，５６は、例えばロードセル等で構成され、対応する一方の液体タンク５１内の機能液が消費されて所定の重量まで減量すると、他方の液体タンク５１への交換（シフト）および自身の交換（新タンクへの入れ替え）を促す警報を発するようになっている。
【００３３】
上流側機能液流路４７は、第１・第２両液体タンク５３，５４に接続したタンク接続流路７１と、タンク接続流路７１に連なる主供給流路７２と、を有している。タンク接続流路７１は、上流端を第１液体タンク５３に接続した第１個別タンク流路６３と、上流端を第２液体タンク５４に接続した第２個別タンク流路６６と、第１個別タンク流路６３および第２個別タンク流路６６の下流側が接続された合流部７３と、から成り、この合流部７３に主供給流路７２が接続されている。また、第１個別タンク流路６３には、上流側から第１気泡検出センサー７４および第１流路開閉バルブ７５が介設されており、第２個別タンク流路６６には、上流側から第２気泡検出センサー７６および第２流路開閉バルブ７７が介設されている。第１流路開閉バルブ７５および第２流路開閉バルブ７７は、第１・第２両液体タンク５３，５４の流路切り替えを行うものであり、タンク接続流路７１と、この第１・第２両流路開閉バルブ７５，７７とにより、請求項にいうタンク流路切替え手段が構成されている。第１・第２各気泡検出センサー７４，７６は、例えば光センサーで構成され、検出光が短く断続される状態になったときに、気泡を検出する。
【００３４】
一方、上記の合流部７３の近傍において、主供給流路７２から分岐部８１を介して気泡排出流路８２が分岐している。気泡排出流路８２には、上流側から排出流路開閉バルブ８３および流量調整バルブ（流路絞り手段）８４が介設され、また気泡排出流路８２の下流端には、廃液タンク８５が接続されている。気泡排出流路８２は、第１・第２各液体タンク５３，５４からの気泡を機能液と共に廃液するものであり、流量調整バルブ８４は、流路を絞って気泡混じりの機能液の流速を減じ、気泡混じりの機能液が流入する廃液タンク８５は、気泡を分離して機能液をトラップする。
【００３５】
また、主供給流路７２には、上記した分岐部８１の上流側近傍に流速計（流速検出手段）８６が介設され、下流側近傍に供給流路開閉バルブ８７が介設されている。この供給流路開閉バルブ８７と、上記の排出流路開閉バルブ８３とは、第１・第２各液体タンク５３，５４からの機能液の流路を、主供給流路７２と気泡排出流路８２との間で切り替える、請求項にいう流路切替え手段を構成している。
【００３６】
例えば、供給流路開閉バルブ８７が「開」、排出流路開閉バルブ８３が「閉」で、第１液体タンク５３から機能液が供給されている状態において、第１気泡検出センサー７４が気泡を検出すると、供給流路開閉バルブ８７を「閉」とし、排出流路開閉バルブ８３を「開」として、気泡混じりの機能液を、気泡排出流路８２を介して廃液タンク８５に導くようになっている。また、このとき、第１重量測定装置５５が所定の重量まで減量されていることを検出していると、上記したバルブ切替えの後、第１流路開閉バルブ７５を「閉」とすると共に、第２流路開閉バルブ７７を「開」とし、第１液体タンク５３から第２液体タンク５４に流路切替えを行う。なお、第２液体タンク５４に流路切替えを行った直後には、タンク交換の際に第２個別タンク流路６６に咬み込んだ気泡が流れ出すことになる。そこで、第２気泡検出センサー７６が気泡を検出したところで、供給流路開閉バルブ８７および排出流路開閉バルブ８３の切り替えをタイマー制御に切り替え、所定時間経過後、供給流路開閉バルブ８７を「開」、排出流路開閉バルブ８３を「閉」に戻すようにしている。
【００３７】
一方、主供給流路７２に介設した流速計８６（実際には、流量計）は、流れる機能液の流速を測定し、測定結果を制御装置８８に送る。詳細は後述するが、流速計８６により、機能液の粘性を間接的に測定し、粘性に合わせて流量調整バルブ８４の弁開度を調整するようにしている。すなわち、制御装置８８は、主供給流路７２の流速と流量調整バルブ８４の弁開度とを関連付けた制御テーブルに基づいて、流量調整バルブ８４を制御し、粘性の異なる機能液を使用した場合でも、気泡混じりの機能液を常に同一の流速で廃液タンク８５に流入させる。
【００３８】
なお、流速計８６（流量計）は、流れる機能液の流速を測定することができればよく、流れる機能液に対し、電磁誘導の原理を応用して磁場中に発生する電圧から流量を測定する非接触式のものでもよいし、主供給流路７２内に羽根車を設けた接触式のものなどであってもよい（図示省略）。また、粘性が略同一の各種機能液を用いる場合には、流量調整バルブ８４に代えて、オリフィス等の流路絞り手段を用いることが、好ましい。
【００３９】
廃液タンク８５は、廃液タンク本体９１と、廃液タンク本体９１に添設した液柱パイプ９２と、液柱パイプ９２に臨み廃液タンク本体９１の満液を検知する満液センサー９３と、から構成されている。また、廃液タンク本体９１には、上記の気泡排出流路８２の下流端が深く挿入されるようにして接続されると共に、大気開放用にガス排気設備４４に連なる排気管が接続されている。また、廃液タンク８５は、廃液バルブ９５を有する廃液流路９７を介してメイン廃液タンク９６に接続されている。廃液タンク８５内の液面が機能液の廃液により上昇し、満液センサー９３がそれを検知すると、廃液バルブ９５を開放し、自然水頭により廃液タンク８５内の機能液はメイン廃液タンク９６へ流下する。なお、廃液タンク８５をメイン廃液タンク９６に接続せずに、満液センサー９３が満液を検知したら、空の廃液タンク８５と交換するようにしてもよい。
【００４０】
次に、図８を参照して、液体タンク５１交換に伴う気泡排出動作について説明する。なおここでは、第１液体タンク５３から第２液体タンク５４にタンク交換される場合について説明する。第１液体タンク５３に貯留されている機能液が、機能液滴吐出ヘッド１４による液滴吐出（描画）によって消費されると、第１重量測定装置５５が第１液体タンク５３の重量が設定値以下になったことを報知する（Ｓ１：Ｙｅｓ）。第１液体タンク５３がほぼ空になると、第１個別タンク流路６３を流れる機能液に気泡が混入し始める。機能液に気泡が混入すると、第１気泡検出センサー７４が、流れてゆく気泡を検出する（Ｓ２：Ｙｅｓ）。
【００４１】
第１重量測定装置５５が所定以下の重量を測定し、且つ第１気泡検出センサー７４により気泡が検出されると、制御装置８８は、第１ガス供給バルブ６１および第１ガス排気バルブ６２のバルブ切替えにより、第１液体タンク５３内を大気開放し（Ｓ３）、さらに供給流路開閉バルブ８７および排出流路開閉バルブ８３のバルブ切替えにより、主供給流路７２側から気泡排出流路８２側に流路切替えを行う（Ｓ４）。続いて、第１流路開閉バルブ７５および第２流路開閉バルブ７７のバルブ切替えにより、第１液体タンク５３から第２液体タンク５４に流路切替えを行い（Ｓ５）、第２液体タンク５４からの加圧送液を開始する。第２液体タンク５４からの送液を開始すると、タンク交換の際に第２個別タンク流路６６に咬み込んだ気泡が機能液と共に送り出される。
【００４２】
また、第２液体タンク５４の加圧送液と同時に、気泡排出流路８２に向って流れる気泡混じりの機能液の流速を、流速計８６により測定する（Ｓ６）。制御装置８８は、送られた測定結果に基づき流量調整バルブ８４の弁開度を調整する（Ｓ７）。気泡混じりの機能液は、気泡排出流路８２を流れ流量調整バルブ８４により減速されて廃液タンク８５に廃液される。一方、第２気泡検出センサー７６が気泡を検出したら（Ｓ８：Ｙｅｓ）、供給流路開閉バルブ８７および排出流路開閉バルブ８３のバルブ切替え（制御）をタイマー制御に切り替え、所定時間が経過した後に（Ｓ９およびＳ１０）、気泡排出流路８２側から主供給流路７２側に流路を戻して（Ｓ１１）、第２液体タンク５４からサブタンク４６への送液を開始する。
【００４３】
なお、流速計８６を、第１個別タンク流路６３および第２個別タンク流路６６にそれぞれ設けるようにしてもよい。また逆に、流速計８６を省略することも可能である。かかる場合には、使用する機能液の粘性を考慮し、機能液の種別と流量調整バルブ８４の弁開度との関係を規定した制御テーブルを用意するようにする（共に図示省略）。
【００４４】
以上の構成によれば、気泡検出センサー７４（７６）が機能液中の気泡を検出した場合、気泡混じりの機能液のみが、流量調整バルブ８４により流速を調整された後、廃液タンク８５に廃液される。これにより、廃液タンク８５内で機能液のバブリングによるミストの発生が抑制され、満液センサー９３の誤作動およびガス排気設備４４への機能液（ミスト）の流入を防止できる。しいては、液滴吐出装置１において、各バルブの制御のみで気泡抜きを行うことができるため、装置全体の制御を簡単にすることができると共に、気泡抜きに余分な機能液を消費することがないため、生産性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１…液滴吐出装置  ４５…タンクユニット  ５１…液体タンク  ５２…重量測定装置  ６３…第１個別タンク流路  ６６…第２個別タンク流路  ７１…タンク接続流路  ７２…主供給流路  ７４…第１気泡検出センサー  ７５…第１流路開閉バルブ  ７６…第２気泡検出センサー  ７７…第２流路開閉バルブ  ８２…気泡排出流路  ８３…排出流路開閉バルブ  ８５…廃液タンク  ８６…流速計  ８７…供給流路開閉バルブ  ８８…制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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