(57)【要約】【課題】専用のコネクターを使用せずに、ケーブルを接続できると共に、異種金属で形成された２本のケーブルで構成された温度センサー等を取付けられる電流導入端子を提供するものである。【解決手段】真空チャンバー２内に設置した機器に、外部電源や外部機器を、電気的に接続する接続導体を絶縁体５に貫通させた電流導入端子１において、前記絶縁体５に複数のケーブル挿通孔２３を開孔し、複数本の素線２５を撚りあわせたケーブル１２を接続導体として、このケーブル１２の絶縁被覆２４を剥ぎ取った素線２５間に、ハンダ２６あるいはローを部分的に溶け込ませて形成した空気遮断部２７を、前記ケーブル挿通孔２３に挿着して、この空気遮断部２７の外周をシーラント３１でシーリングしてケーブル挿通孔２３との間を密閉したものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバーの側壁に取付けられ、真空チャンバー内に設置した機器に、外部電源や外部機器を、電気的に接続する接続導体を絶縁体に貫通させた電流導入端子において、前記絶縁体に複数のケーブル挿通孔を開孔し、複数本の素線を撚りあわせたケーブルを接続導体として、このケーブルの絶縁被覆を剥ぎ取った素線間に、ハンダあるいはローを部分的に溶け込ませて形成した空気遮断部を、前記ケーブル挿通孔に挿着して、この空気遮断部の外周をシーリングしてケーブル挿通孔との間を密閉したことを特徴とする電流導入端子。
【請求項２】
ケーブルの空気遮断部の外周またはこれを被覆する熱収縮チューブと、絶縁体のケーブル挿通孔との間を、シーリング剤でシーリングしたことを特徴とする請求項１記載の電流導入端子。
【請求項３】
ケーブルが、温度センサーを構成する異種金属で形成されたケーブルであることを特徴とする請求項１記載の電流導入端子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気密性のあるケーブルを接続導体とした電流導入端子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、真空チャンバー内に設置されたＦＡ機器で部品の加工を行なう場合、先ず真空チャンバーの扉を開け加工する部品を機器にセットしてから扉を閉める。この後、真空チャンバー内を真空ポンプで真空状態に減圧し、真空状態下で部品の加工を行なっている。この真空チャンバー内に設置されたＦＡ機器を制御する制御装置は、大気側に設けられ、ケーブルで電気的に接続されている。このケーブルは真空チャンバーの側壁に取付けられた電流導入端子を通して電気的に接続されている。
【０００３】
従来の電流導入端子２０は図１１に示すように、真空チャンバー２の側壁３に取付けられている。この電流導入端子２０は円筒状のハウジング４の内側に、セラミックや樹脂などで形成された円板状の絶縁体５が設けられ、ここに複数のピン貫通孔６が開孔され、ここに接続導体となる金属製のピン７が貫通していると共に、ハウジング４の一端側を囲むようにフランジ８が一体に形成され、このフランジ８の部分をビス１１で真空チャンバー２の側壁３に取付けている。（例えば特許文献１）。
【０００４】
この真空チャンバー２の側壁３に取付けた電流導入端子１では、大気側の制御装置から引出されたケーブルは、ピン７に嵌合する円筒状のコネクターを設けたプラグが接続され、また真空チャンバー２内に設置された機器から引出されたケーブル１２の先端にも円筒状のコネクターを設けたプラグが接続される。このプラグを電流導入端子２０のピン７の両側から差し込むことにより、真空チャンバー２の真空状態を保持しながら通電するようになっている。
【０００５】
しかしながら、従来の絶縁体５に接続導体となる金属製のピン７を貫通させた構造では、内部の気密性は保持できるが、ピン７の外径に合ったプラグを接続しなければならなかった。また従来の電流導入端子２０では、ピン７を導体としているので、異種金属で形成された２本のケーブルで構成された温度センサーを取付けるのが面倒であり、また接続部分の抵抗が異なって正確な温度を測定できない問題があった。
【特許文献１】特開２００３−２１７７３５（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記問題を改善し、ピン外径に合わせた専用のコネクターを使用せずに、ケーブルを簡単に接続できると共に、異種金属のケーブルで構成された温度センサーを取付けられるので、正確な温度を測定することができる電流導入端子を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１記載の電流導入端子は、真空チャンバーの側壁に取付けられ、真空チャンバー内に設置した機器に、外部電源や外部機器を、電気的に接続する接続導体を絶縁体に貫通させた電流導入端子において、前記絶縁体に複数のケーブル挿通孔を開孔し、複数本の素線を撚りあわせたケーブルを接続導体として、このケーブルの絶縁被覆を剥ぎ取った素線間に、ハンダあるいはローを部分的に溶け込ませて形成した空気遮断部を、前記ケーブル挿通孔に挿着して、この空気遮断部の外周をシーリングしてケーブル挿通孔との間を密閉したことを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の請求項２記載の電流導入端子は、請求項１において、ケーブルの空気遮断部の外周またはこれを被覆する熱収縮チューブと、絶縁体のケーブル挿通孔との間を、シーリング剤でシーリングしたことを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の請求項３記載の電流導入端子は、請求項１において、ケーブルが、温度センサーを構成する異種金属で形成されたケーブルであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る請求項１記載の電流導入端子によれば、絶縁体に貫通させたケーブルを構成する素線にハンダあるいはローを部分的に溶け込ませて空気遮断部を形成したので大気側と真空チャンバー内とは空気の流通が遮断される。このため従来のピンを用いた構造のようにピン外径に合わせた専用のプラグを使用せずに、ケーブル同士を接続するだけで良いので、配線作業を簡略化することができる。また１つの絶縁体に任意のケーブルを組み合わせることが簡単にできるので、動力用ケーブルとセンサー等の微弱電流用ケーブルを組み合わせることが可能となり、スペースの少ない小規模な機器に好適である。
【００１１】
また請求項２記載の電流導入端子によれば、ケーブルの空気遮断部の外周またはこれを被覆する熱収縮チューブと、絶縁体のケーブル挿通孔との間を、シーリング剤でシーリングしたので更に確実に空気の流通を遮断することができる。
【００１２】
また請求項３記載の電流導入端子によれば、絶縁体を貫通するケーブルが温度センサーを構成する異種金属で形成されているので正確な温度を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明の実施の一形態を図１ないし図６を参照して詳細に説明する。図１は電流導入端子１を示すもので、樹脂で形成された円柱状の絶縁体２１の一端側にフランジ２２が一体に形成され、前記絶縁体２１の軸方向に沿って複数のケーブル挿通孔２３が等間隔で複数個開孔し、素線２５を撚りあわせたケーブル１２の途中の絶縁被覆２４を剥ぎ取った素線２５間にハンダ２６を溶け込ませて、素線２５間の空気の流通を遮断した空気遮断部２７を前記ケーブル挿通孔２３に挿着して、この空気遮断部２７の外周をシーラント３１でシーリングしてケーブル挿通孔２３との間を密閉したものである。また前記フランジ２２には図２に示すように同一円周上に複数個のビス孔９が開孔し、ここにビス１１を挿着して真空チャンバー２の側壁３に取付けられている。
【００１４】
上記構成の電流導入端子１を製造する方法について説明する。先ずケーブル１２は、図３（Ａ）に示すように数本から１０数本の素線２５を撚りあわせて１本にして、その外周を塩化ビニール、ポリエチレン等のチューブで形成された絶縁被覆２４で被覆されている。この素線２５間には、僅かな空間部２９が存在している。
【００１５】
このため先ず図４に示すように、ケーブル１２の中間部分の絶縁被覆２４を１０数ｍｍ程度の幅でカットして剥ぎ取る。次に絶縁被覆２４を剥ぎ取って露出した素線２５の空間部２９に加熱溶融したハンダ２６を溶け込ませると図３（Ｂ）および図５に示すように、素線２５間の空間部分２９に溶融したハンダ２６が充填され、空間部分２９を埋めることにより、この部分での空気の流通が遮断された空気遮断部２７が形成される。次に図６に示すように、この空気遮断部２７の外周部分とこの両側の絶縁被覆２４の外周部分にシーラント３１を塗り付けてから、図１に示すように直ちにケーブル１２を円柱状の絶縁体２１のケーブル挿通孔２３に貫通させて、シーラント３１を塗り付けた空気遮断部２７をケーブル挿通孔２３の内部に位置させて、この空気遮断部２７の外周とケーブル挿通孔２３の内側の間をシーラント３１で固定して隙間を密閉する。
【００１６】
次に図２に示すようにステンレスなどの金属で形成され、前記ケーブル挿通孔２３に対応して複数のケーブル挿通孔２３を開孔した押えカバー３２にケーブル１２を挿通してフランジ２２の大気側の側面にビス孔９で取付けてケーブル１２を固定する。また図１に示すようにフランジ２２の真空側の側面に０リング３３を嵌め込んでおく。
【００１７】
このように形成した電流導入端子１を、真空チャンバー２の側壁３に、フランジ２２のビス孔９にビス１１で固定することにより、ケーブル１２を構成する素線２５の空間部２９にハンダ２６を充填し、更にこの外側をシーラント３１で固定しているので、大気側と真空チャンバー２内とは空気の流通が遮断される。従って、従来のピンを用いた構造のようにピン外径に合わせた専用のプラグを使用せずに、ケーブル同士を接続するだけで良く、配線作業を簡略化することができる。また１つの絶縁体５に任意のケーブル１２を組み合わせることが比較的簡単にできるので、例えば動力用のケーブル１２とセンサー等の微弱電流用のケーブル１２を組み合わせることが可能となり、スペースの少ない小規模な機器に好適である。
【００１８】
図７ないし図１０は本発明の他の実施の形態を示すもので、補償導線などの絶縁被覆２４がガラスウールのケーブル１２の場合には、図７に示すように先ずガラスウールの絶縁被覆２４を全部剥ぎ取って、撚りあわせた素線２５を露出させる。この撚りあわせた素線２５の中間の部分に図８に示すようにロー付けを行なって、素線２５間の空間部分２９に溶融したロー３４が充填され、空間を埋めることにより、この部分での空気の流通が遮断された空気遮断部２７が形成される。
【００１９】
次にロー付けした空気遮断部２７の外周に図９に示すように熱収縮チューブ３５Ａを嵌めて加熱し、収縮させる。この後、図１０に示すように更にケーブル１２と同じ長さの熱収縮チューブ３５Ｂを全体に嵌めてから加熱して収縮させる。次に、熱収縮チューブ３５Ａを被覆した外径の大きい熱収縮チューブ３５Ｂの部分にシーラント３１を塗り付けてから、図１と同様に直ちにこのケーブル１２を、ケーブル挿通孔２３に挿通し、この空気遮断部２７を囲む熱収縮チューブ３５Ｂの外周とケーブル挿通孔２３の内側との間をシーラント３１で固定して隙間を密閉する。
【００２０】
従ってこの構造では、従来の電流導入端子２０のようにピン７を導体としていないので、異種金属で形成された２本のケーブルで構成された温度センサーの取付けが容易で、正確な温度を測定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
なお本発明の電流導入端子は、真空チャンバ一内に設置されたＦＡ機器の制御に限らず、真空含浸装置や真空溶解装置、真空パック装置、蒸着装置、ＣＶＤ機等の成膜装置等を構成するモータの動力供給や、ヒーター等の熱源供給、あるいは温度や湿度センサー、計器等の微弱電流や電圧の信号のやり取りを行なう場合に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の一形態による真空チャンバーに取付けた電流導入端子の断面図である。
【図２】図１の電流導入端子を示す背面図である。
【図３】（Ａ）はケーブルの断面図、（Ｂ）は空気遮断部の断面図である。
【図４】ケーブルの絶縁被覆を一部剥ぎ取った状態を示す断面図である。
【図５】絶縁被覆を一部剥ぎ取った部分の素線にハンダ付して空気遮断部を形成した状態を示す断面図である。
【図６】空気遮断部の外側にシーラントを塗った状態を示す断面図である。
【図７】本発明の異なる他の実施の形態による絶縁被覆を剥ぎ取ったケーブルを示す断面図である。
【図８】絶縁被覆を剥ぎ取った素線の一部をロー付けした状態を示す断面図である。
【図９】ロー付けした空気遮断部に熱収縮チューブを被覆した状態を示す断面図である。
【図１０】素線全体に熱収縮チューブを被覆した状態を示す断面図である。
【図１１】従来の電流導入端子を真空チャンバーに取付けた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１    電流導入端子                                          
２    真空チャンバー                                        
３    側壁                                                  
４    円筒状のハウジング                                    
５    絶縁体                                                
６    ピン貫通孔                                            
７    ピン                                                  
８    フランジ                                              
９    ビス孔                                                
１１  ビス                                                  
１２  ケーブル                                              
１３  コネクター                                            
２０  電流導入端子                                          
２１  円柱状の絶縁体                                        
２２  フランジ                                              
２３  ケーブル挿通孔                                        
２４  絶縁被覆                                              
２５  素線                                                  
２６  ハンダ                                                
２７  空気遮断部                                            
２９  空間部分                                              
３１  シーラント                                            
３２  押えカバー                                            
３３  ０リング                                              
３４  ロー                                                  
３５Ａ、３５Ｂ  熱収縮チューブ                    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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