(57)【要約】      （修正有）【課題】保護層表面の変質層を除去できる製造方法を提供する。【解決手段】(ｉ）前面板および背面板を準備する工程、(ｉｉ)前面板の基板Ａまたは背面板の基板Ｂの周縁領域にガラスフリット材料ａを供すると共に、ガラスフリット材料ａの内側において複数のガラスフリット材料ｂを局所的に供する工程、（ｉｉｉ）供されたガラスフリット材料を挟むように前面板と背面板とを対向配置する工程、（ｉｖ）前面板および背面板を加熱下においた状態で、前面板および背面板のいずれかに設けられた複数の開口部からガスを吹き込み、前面板と背面板との間にガスを流す工程、ならびに、（ｖ）ガラスフリット材料ａおよびｂを溶融させて、前面板と背面板とを封着させる工程を含んで成り、複数のガラスフリット材料ｂは、前面板と背面板とが対向配置された際に複数の開口部に対応した位置に設けられることを特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法。【選択図】図１４
2010212007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
(ｉ）基板Ａ上に電極Ａと誘電体層Ａと保護層とが形成された前面板、および、基板Ｂ上に電極Ｂと誘電体層Ｂと隔壁と蛍光体層とが形成された背面板を準備する工程、
(ｉｉ) 基板Ａまたは基板Ｂの周縁領域にガラスフリット材料ａを供すると共に、ガラスフリット材料ａの内側において複数のガラスフリット材料ｂを局所的に供する工程、
（ｉｉｉ）供されたガラスフリット材料ａおよびｂを挟むように前面板と背面板とを対向配置する工程、
（ｉｖ）前面板および背面板を加熱下においた状態で、前面板および背面板のいずれかに設けられた複数の開口部からガスを吹き込み、対向配置された前面板と背面板との間にガスを流す工程、ならびに
（ｖ）ガラスフリット材料ａおよびｂを溶融させて、前面板と背面板とを封着させる工程
を含んで成り、
局所的に供される複数のガラスフリット材料ｂは、前面板と背面板とが対向配置された際に前記複数の開口部にそれぞれ対応した位置に設けられることを特徴とする、製造方法。
【請求項２】
ガラスフリット材料ａがペースト状のガラスフリット材料から成り、
ガラスフリット材料ｂの各々が固形状ガラスフリット材料から成ることを特徴とする、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記複数の開口部が前面板または背面板のエッジの一辺に沿って配置されており、
前面板と背面板とが対向配置された際、複数のガラスフリット材料ｂが前面板または背面板のエッジの一辺に沿って配置されることを特徴とする、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
ガラスフリット材料ｂの各々の幅寸法が、前記開口部の各々の幅寸法よりも大きい部分および小さい部分の双方を有し、また
ガラスフリット材料ｂの各々の高さ寸法が、前面板と背面板との隙間寸法よりも大きいことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記工程（ｉｖ）の実施に際して、前記工程（ｖ）を併せて実施することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
前記工程（ｖ）において、ガラスフリット材料ｂの各々の溶融に起因して前記開口部の各々が塞がれ、それによって、前面板と背面板との間の空間へと供されるガスの吹き込みが停止することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
前記工程（ｉｖ）において、前記開口部から吹き込むガスが、保護層に対して不活性なガスであって、窒素ガス、希ガスおよび乾燥空気から成る群から選択される少なくとも１種以上のガスであることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の製造方法。
【請求項８】
保護層が、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムから成る群から選択される少なくとも１種類以上の酸化金属を含んで成ることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。より詳細には、プラズマディスプレイパネルの製造に際して「前面板の保護層表面に形成された変質層」を除去する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高品位テレビジョン画像を大画面で表示するためのディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネル（以下、“ＰＤＰ”とも称す）を用いたディスプレイ装置への期待は高まっている。
【０００３】
ＰＤＰ（例えば３電極面放電型ＰＤＰ）は、映像を見る人から見て表面側となる前面板とその裏側の背面板とを対向配置して、それらの周辺部を封着材で封着した構造を有している。前面板と背面板との間に形成された放電空間にはネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。前面板は、ガラス基板上に形成された走査電極と維持電極とから成る表示電極と、これらの電極を覆う誘電体層と保護層とを備えている。背面板は、ガラス基板に上記表示電極と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画する隔壁（リブ）と、隔壁の側面および下地誘電体層上に形成された赤色（Ｒ）・緑色（Ｇ）・青色（Ｂ）の蛍光体層とを備えている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
表示電極とアドレス電極とは直交していて、その交差部が放電セルを成している。これらの放電セルはマトリクス状に配列されており、赤色・緑色・青色の蛍光体層を有する３個の放電セルがフルカラー表示のための画素となっている。このようなＰＤＰでは、順次、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧が印加されてガス放電を発生させている。そして、かかるガス放電で生じる紫外線により蛍光体層を励起させ可視光を発光させることによってカラー画像表示を実現している。
【０００５】
このようなＰＤＰの保護層の成分としては、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が一般に広く用いられている。ＰＤＰの動作電圧は、この保護層の２次電子放出係数に依存している。従って、動作電圧の低電圧化を図るため、仕事関数がより小さいアルカリ土類金属の酸化物（たとえば、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムなど）を保護層成分として用いることが提案されている。しかしながら、これらのアルカリ土類金属の酸化物は吸湿性が高く、保護層の形成後に周囲雰囲気中の水分を吸着し得る。これにより、保護層の表面領域が水酸化物に変質することになり、不安定な放電特性が引き起こされるといった問題があった。
【０００６】
上記問題に対処すべく、保護層形成工程後から封着工程までを乾燥雰囲気中で連続して行う方法（例えば、特許文献２参照）や、保護層形成工程後から封着工程までを真空雰囲気中で連続して行う方法（例えば、特許文献３参照）が提案されている。このような方法は、保護層形成後において保護層に水分等の不純物を吸着させないことを意図している。しかしながら、前者の方法（「保護層形成工程後から封着工程までを乾燥雰囲気中で連続して行う方法」）では、乾燥空気中にある量の水分や二酸化炭素が含まれているので、その含有量が十分小さくない限り、数十分〜数時間の曝露によって変質層が形成されてしまう（例えば、露点−２０℃の乾燥空気中には０．１％の水分、露点−４０℃の乾燥空気中には０．０１３％の水分、露点−６０℃の乾燥空気中には０．００１１％[１１ｐｐｍ]の水分が含まれている）。ＰＤＰの製造工程では、一般に、保護層形成工程から封着工程までには数時間分以上の工程在庫があるため、仮に極めて露点の低い乾燥空気（例えば露点−６０℃以下の乾燥空気）を用いたとしても、変質層の形成は避けられないといえる。また、後者の方法（「保護層形成工程後から封着工程までを真空雰囲気中で連続して行う方法」）であっても、搬送系及び封着装置の構成が極めて複雑となり、現実的ではない。また、広大な空間を常時真空に保つ必要があり、多大のコストを要してしまう。
【０００７】
不純物が吸着された保護層を清浄化しながら封着する方法も提案されている。この方法は、不純物をガス状態で保護層から脱離させることで、結果的に不純物を含んだ変質層を除去することを意図している。例えば、前面板または背面板に第１ガラス管及び第２ガラス管を設け、第１ガラス管からパネル内部を排気しながら第２ガラス管から乾燥ガスをパネル内部に供給することによって、パネル内部の残留不純物を低減させる方法が開示されている（特許文献４参照）。しかしながら、かかる方法では、２つのガラス管が必要となるので封着装置の構成が極めて複雑となり、実現は容易ではない。仮にこれを実現したとしても、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とでは、乾燥ガスの流速や不純物ガス濃度の点で大きな違いが生じるため、パネルの動作電圧に面内ムラを生じる（即ち、パネルの動作電圧がパネル面において均一とならない）。ガラス管を１つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後に同一のガラス管から排気を行う場合であっても、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とでは、乾燥ガスの流速や不純物ガス濃度に大きな違いが生じるため、パネルの動作電圧に面内ムラを生じてしまう。
【０００８】
また、加熱炉内に「対向配置させた前面板および背面板」を仕込んで加熱炉を密閉し、その後、加熱炉内ヘと雰囲気ガスを導入しつつ加熱炉からガスを排出することによって、パネル封着を行う方法も提案されている（例えば、特許文献５参照）。しかしながら、かかる方法では、乾燥ガスの多くがパネルの外部を流れることになり、ガス使用量が多大となる。更に、加熱炉を容器として密閉構造とする必要があるだけでなく、高温で背面板を動かす必要があり、装置としての構成が極めて複雑となってしまう。高温で背面板を動かすことは、“アライメントずれ”の危険性を引き起こし得る。
【０００９】
以上のように、従来のＰＤＰ製造では、保護層表面の変質層を均一性よく、簡単かつ低コストに除去できないといった問題点があった。
【特許文献１】特開２００２−２１６６２０号公報
【特許文献２】特開２００２−２３１１２９号公報
【特許文献３】特開２０００−１５６１６０号公報
【特許文献４】特開２００２−１５０９３８号公報
【特許文献５】特開２００１−３５３７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みて為されたものである。つまり、本発明の課題は、保護層表面の変質層を均一性よく、簡単かつ低コストに除去できる製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
(ｉ）基板Ａ上に電極Ａと誘電体層Ａと保護層とが形成された前面板、および、基板Ｂ上に電極Ｂと誘電体層Ｂと隔壁と蛍光体層とが形成された背面板を準備する工程、
(ｉｉ) 基板Ａまたは基板Ｂの周縁領域にガラスフリット材料ａを供すると共に、ガラスフリット材料ａの内側において複数のガラスフリット材料ｂを局所的に供する工程、
（ｉｉｉ）供されたガラスフリット材料ａおよびｂを挟むように前面板と背面板とを対向配置する工程、
（ｉｖ）前面板および背面板を加熱下においた状態で、前面板および背面板のいずれかに設けられた複数の開口部からガスを吹き込み、対向配置された前面板と背面板との間にガスを流す工程、ならびに
（ｖ）ガラスフリット材料ａおよびｂを溶融させて、前面板と背面板とを封着させる工程
を含んで成り、
局所的に供される複数のガラスフリット材料ｂは、前面板と背面板とが対向配置された際、前記複数の開口部にそれぞれ対応した位置に設けられることを特徴とする、製造方法を提供する。特に、複数の開口部が前面板または背面板のエッジの一辺に沿って配置されており、複数のガラスフリット材料ｂが、前面板と背面板とが対向配置された際に前面板または背面板のエッジの一辺に沿って配置されることが好ましい。
【００１２】
本発明の製造方法は、前面板または背面板の複数の開口部に対応するように複数のガラスフリット材料ｂを局所的に設けた状態で、かかる複数の開口部からガスを吹き込むことを特徴としている（以後、この開口部を“吹込み開口部”とも称す）。局所的に設けられたガラスフリット材料ｂは、各々の開口部に対応してその近傍（特に吹込み開口部の直下）に配置されているものの、開口部を塞ぐようにはなっていない。従って、本発明では、吹き込まれたガスは、各々の開口部において、ガラスフリット材料ｂと開口部との隙間を通ることができ（図１参照）、その後、前面板と背面板との間を流れることになる。尚、かかるガラスフリット材料ｂは、前面板と背面板との封着工程時には溶融して各々の吹込み開口部を塞ぐことになるので、最終的には、局所的なガラスフリット材料ｂは「前面板と背面板との間へのガスの吹き込み」を停止させる作用を有している。
【００１３】
本明細書において「前面板と背面板との間にガスを流す」とは、前面板と背面板との隙間へとガスを流すことを実質的に意味しており、特に、前面板と背面板とが対向する方向に対して実質的に垂直な方向（例えば“水平方向”）に沿って前面板と背面板との隙間にガスを流すことを意味している（図２参照）。また、本明細書において「基板Ａまたは基板Ｂの周縁領域」とは、基板上に設けられた各種要素の外側に位置する周囲領域であって、一般的なＰＤＰ製造において封着材料が塗布される領域を実質的に意味している。更には、本明細書にいう「変質層の除去」とは、不純物が吸着された保護層から不純物を取り除くこと、あるいは、保護層が水酸化物になったり炭酸化物になったりした部分を本来の酸化物に回復させることを実質的に意味している。
【００１４】
ある好適な態様において、ガラスフリット材料ａはペースト状となっており、複数のガラスフリット材料ｂは、その各々が固形状となっている。ここで「ペースト状」とは、常温（２３℃程度）における粘度が５０〜２００Ｐａ・ｓであるものを指しており、「固形状」または「固形」とは、流動性を全く有さず一定の形状を保持しているものを指している。
【００１５】
ある好適な態様では、ガラスフリット材料ｂの各々の幅寸法が、吹込み開口部の各々の幅寸法に対して大きい部分および小さい部分の双方を有しており、また、ガラスフリット材料ｂの各々の高さ寸法が、前面板と背面板との隙間寸法よりも大きくなっている。
【００１６】
工程（ｉｖ）の実施に際しては、工程（ｖ）を併せて行うことができる。この場合、ガス吹込み時にガラスフリット材料ａが溶融すると共にガラスフリット材料ｂも溶融する。ガラスフリット材料ａの溶融によって基板Ａと基板Ｂとの間が全体的に周辺領域にて塞がれることになると共に、ガラスフリット材料ｂの溶融に起因して各々の吹込み開口部が塞がれることなるので、“前面板と背面板との間の空間へと供されるガスの吹き込み”が自動的に又は自然に停止することになる。
【００１７】
本発明の製造方法では、工程（ｖ）の後に、前面板と背面板との間の空間のガスを排気し、前面板と背面板との間に放電ガスを封入する工程（ｖｉ）を更に含んで成る。工程（ｖｉ）に際しては、前面板または背面板に設けられた貫通孔を介して排気および封入を行うことができる。尚、本発明において、保護層は、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムから成る群から選択される少なくとも１種類以上の酸化金属を含んで成ることが好ましく、複数の吹込み開口部から吹き込むガスは、保護層に対して不活性なガスであって、例えば窒素ガス、希ガスおよび乾燥空気から成る群から選択される少なくとも１種以上のガスであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の製造方法によれば、保護層表面の変質層を均一性よく、簡単かつ低コストに除去でき、パネル寿命に優れたプラズマディスプレイパネルを得ることができる。詳述すると以下のようになる：
【００１９】
● 本発明の製造方法では、保護層の表面近傍にてガス流れ（例えば窒素などの不活性ガス流れ）が存在する状態で加熱されるため、変質層を成す不純物が脱離してガス流れに同伴される。それゆえ、保護層表面から変質層が除去されることになり、保護層が清浄化される。特に、本発明の製造方法では、図２（ｂ）に示すように、複数の吹込み開口部からガスが並列的にパネル内部に吹き込まれるので、前面板と背面板との間隙にガスを全体的に流し込むことができる。つまり、吹き込まれたガス流れのパネル面内での均一性は良いといえる。それゆえ、保護層の清浄度の面内均一性を向上させることができ、結果的に、駆動電圧、輝度、色度等のパネル諸特性の均一性が向上したＰＤＰを実現することが可能となる。ここで、特許文献４に開示されているような従来技術では、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とにおいて、吹き込むガスの流速や不純ガス濃度に大きな違いが生じるため、パネルの駆動電圧、輝度、色度等に面内ムラが生じる。「ガラス管を１つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後にガラス管から排気を行う」といった従来技術であっても同様に、給気ガラス管に近い位置と遠い位置とでは、乾燥ガスの流速や不純ガス濃度に大きな違いが生じるため、パネルの駆動電圧、輝度、色度等に面内ムラを生じることになる。この点、本発明の製造方法では、概ね面内に均一な“ガス流れ”を形成できるので、保護層の清浄度の面内均一性が良いといえ、駆動電圧、輝度、色度等のパネル諸特性の均一性を向上させることができる。
【００２０】
● 「ガラス管を１つとし、封着前まではこのガラス管から乾燥ガスをパネル内に供給し、封着後にガラス管から排気を行う」といった従来技術の場合では、乾燥ガスの供給中に２枚の基板間の内圧が上がり過ぎないよう、ガラスフリット材料の軟化点以上の温度においては、窒素ガスの吹き込み量を少なくするか、あるいは、窒素ガスの吹き込み量を実質的にゼロにする必要がある。つまり、かかる従来技術では、ガス流量の変更をタイミング良く行わなければならないといった点で煩雑である。この点、本発明の製造方法では、局所的に設けられたガラスフリット材料ｂがガスの吹き込みを自動的に停止させる機能を有しているので、ガス流量を変更するタイミングは大雑把でよい。つまり、前面板と背面板との封着工程に際して、ガラスフリット材料ｂは溶融することになるが、その溶融によって、対応する各々の吹込み開口部が徐々に塞がれていき、パネル内（即ち、前面板と背面板との間の空間）に吹き込まれるガス流量が次第に低下していく。そして、吹込み開口部が“溶融したガラスフリット材料ｂ”で完全に塞がれると、パネル内へのガス吹き込みが完全に停止するので、厳密なガス流量の変更を必要としない。
【００２１】
● 本発明では、ガラスフリット材料ｂが特定の形状を有していると、対向配置工程（ｉｉｉ）以降の工程にとって特に好都合となる。具体的には、個々のガラスフリット材料ｂの幅寸法が、吹込み開口部の各々の幅寸法よりも大きい部分および小さい部分の双方を有し、かつ、個々のガラスフリット材料ｂの高さ寸法が前面板と背面板との隙間寸法よりも大きい場合では、対向配置された前面板と背面板との間に設けられるガラスフリット材料ｂが、図３に示すように、吹込み開口部の内側に保持され得るので、ガラスフリット材料ｂが位置ずれを起こしにくくなる。つまり、図４（ａ）に示すように前面板と背面板との位置関係を上下反転させても、あるいは、図４（ｂ）に示すように前面板と背面板とを垂直に配置したとしても、ガラスフリット材料ｂが位置ずれを起こすことがないので、「対向配置された前面板および背面板」を任意の向きに置いた状態で工程（ｉｖ）および工程（ｖ）を実施できる。特に、図４（ｂ）のように「対向配置された前面板および背面板」を垂直に立てた場合では、吹き込みガスを水平方向に流すことに限定されず鉛直方向（例えば、図示するような鉛直方向下向き）に流すことができるといった点で有利となり得る。また、ガラスフリット材料ｂが位置ずれを起こすことがないことは、前面板と背面板とを対向配置させてから封着工程までの期間の耐衝撃性が増すことを意味するので、ＰＤＰ製造に更なる利便性がもたらされることになる。
【００２２】
● 本発明の製造方法では、保護層の表面のみならず、背面板の隔壁や蛍光体層の表面にも水分や二酸化炭素等がほとんど吸着していないＰＤＰを製造することができる。つまり、製造されるＰＤＰの内部には、水分、二酸化炭素など保護層表面を変質・劣化させる要因となるガスがほとんど含まれない。その結果、ＰＤＰを長時間駆動させても、「Ｈ２ＯやＣＯ２などの不純ガスが放電空間に放出されることに起因して保護層や蛍光体層が変質する」といったことが防止され、放電電圧・輝度等の変化が少なく、パネル寿命に優れたＰＤＰを実現できる。また、「保護層の表面に変質層がなく、背面板におけるガス吸着がない」ということは、エージングが実質的に不要か、あるいは必要であっても極めて短時間で済むことになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下にて、図面を参照して、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法を詳細に説明する。尚、図面に示す各種の要素は、本発明の理解のために模式的に示したにすぎず、寸法比や外観などは実物と異なり得ることに留意されたい。
【００２４】
［プラズマディスプレイパネルの構成］
まず、本発明の製造方法を経ることによって最終的に得られるプラズマディスプレイパネルを簡単に説明する。図５（ａ）に、ＰＤＰの構成を断面斜視図で模式的に示すと共に、図５（ｂ）にＰＤＰの前面板の断面図を模式的に示す。
【００２５】
本発明のＰＤＰ（１００）の構成は、図５（ａ）に示すように、「基板Ａ（１０）に電極Ａ（１１）と誘電体層Ａ（１５）と保護層（１６）とが設けられた前面板（１）」および「基板Ｂ（２０）上に電極Ｂ（２１）と誘電体層Ｂ（２２）と隔壁（２３）と蛍光体層（２５）とが設けられた背面板（２）」からなる。
【００２６】
図示するように、前面板（１）では基板Ａ（１０）上に電極Ａ（１１）が設けられ、電極Ａ（１１）を覆うように誘電体層Ａ（１５）が基板Ａ（１０）上に設けられ、また、誘電体層Ａ（１５）上に保護層（１６）が設けられている。背面板（２）では基板Ｂ（２０）上に電極Ｂ（２１）が設けられ、電極Ｂ（２１）を覆うように誘電体層Ｂ（２２）が基板Ｂ（２０）上に設けられ、誘電体層Ｂ（２２）上に隔壁（２３）および蛍光体層（２５）が設けられている。前面板（１）と背面板（２）とは、保護層（１６）と蛍光体層（２５）とが互いに向き合うように対向配置されている。前面板（１）および背面板（２）の周縁部は、例えば低融点フリットガラス材料などから成る封着部材によって気密封着されている（図示せず）。前面板（１）と背面板（２）との間に形成された放電空間（３０）には放電ガス（ヘリウム、ネオンまたはキセノンなど）が好ましくは２０ｋＰａ〜８０ｋＰａの圧力で封入されている。
【００２７】
更に具体的に、本発明のＰＤＰ（１００）を説明していく。本発明のＰＤＰ（１００）の前面板（１）は、上述したように、基板Ａ（１０）、電極Ａ（１１）、誘電体層Ａ（１５）および保護層（１６）を有して成る。基板Ａ（１０）は、透明で絶縁性を有する基板（厚さは例えば約１．０ｍｍ以上かつ約３ｍｍ以下）である。基板Ａ（１０）としては、例えば、フロート法などで製造されたフロートガラス基板を挙げることができる他、ソーダライムガラス基板またはホウケイ酸塩ガラス基板などを挙げることができる。電極Ａ（１１）は、基板Ａ（１０）上にストライプ状に平行に複数配置されるものであり、例えば、走査電極（１２）および維持電極（１３）から成る表示電極である。この場合、走査電極（１２）および維持電極（１３）は、それぞれ「酸化インジウム（ＩＴＯ）または酸化スズ（ＳｎＯ２）などから成る透明導電膜である透明電極（１２ａ、１３ａ）」、および、かかる透明電極上に形成された「銀を主成分としたバス電極（１２ｂ、１３ｂ）」から構成される（図５（ｂ）参照）。透明電極（１２ａ、１３ａ）は、蛍光体層で発生した可視光を透過させる電極として主に機能する一方、バス電極（１２ｂ、１３ｂ）は、透明電極の長手方向に導電性を付与するための電極として主に機能する。透明電極（１２ａ、１３ａ）の厚さは、好ましくは約５０ｎｍ〜約５００ｎｍである。また、バス電極（１２ｂ、１３ｂ）の厚さは、好ましくは約１μｍ以上かつ約２０μｍ以下である。尚、図５（ａ）に示すように、基板Ａ（１０）上にはブラックストライプ（１４）（遮光層）もパターン形成され得る。
【００２８】
誘電体層Ａ（１５）は、基板Ａ（１０）の表面に形成された電極Ａ（１１）を覆うように設けられている。かかる誘電体層Ａ（１５）は、主としてガラス成分およびビヒクル成分（＝バインダ樹脂および有機溶剤を含んだ成分）から成る誘電体原料ペーストを塗布および熱処理して得られるガラス組成から成る膜である。誘電体層Ａ（１５）の上には、例えば酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る保護層（１６）が形成されている（厚さは例えば約０．５μｍ以上かつ約１．５μｍ以下）。保護層（１６）は、放電の衝撃（より具体的には「プラズマによるイオン衝撃」）から誘電体層Ａ（１５）を守る機能を有している。
【００２９】
一方、本発明のＰＤＰの背面板（２）は、上述したように、基板Ｂ（２０）、電極Ｂ（２１）、誘電体層Ｂ（２２）、隔壁（２３）および蛍光体層（２５）を有して成る。基板Ｂ（２０）は、透明で絶縁性を有する基板（厚さは例えば約１．０ｍｍ以上かつ約３ｍｍ以下）であることが好ましく、例えば、フロート法などで製造されたフロートガラス基板を挙げることができる他、ソーダライムガラス基板、ホウケイ酸塩ガラス基板または各種セラミック基板などを挙げることができる。電極Ｂ（２１）は、基板Ｂ（２０）上にストライプ状に複数形成される銀を主成分とした電極（厚さは例えば約１μｍ以上かつ約１０μｍ以下）であり、例えば、アドレス電極（またはデータ電極）である。アドレス電極は、各放電セルを選択的に放電させる機能を主に有している。
【００３０】
誘電体層Ｂ（２２）は、下地誘電体層と一般に呼ばれるものであり、基板Ｂ（２０）の表面に形成された電極Ｂ（２１）を覆うように設けられている。かかる誘電体層Ｂ（２２）は、主としてガラス成分およびビヒクル成分（＝バインダ樹脂および有機溶剤を含んだ成分）から成る誘電体原料ペーストを塗布および熱処理して得られるガラス組成から成る膜である。誘電体層Ｂ（２２）の厚さは、例えば約５μｍ以上かつ約５０μｍ以下である。誘電体層Ｂ（２２）の上には、蛍光体材料を主成分とした蛍光体層（２５）が形成されている（厚さは例えば約５μｍ以上かつ約２０μｍ以下程度）。蛍光体層（２５）は、放電によって放射された紫外線を可視光線に変換する機能を主に有している。かかる蛍光体層（２５）は、赤色、緑色および青色を発する蛍光体層を構成単位としており、それぞれが隔壁（２３）で区切られている。隔壁（２３）は、放電空間をアドレス電極（２１）毎に区画する目的で、ストライプ状または井桁状に誘電体層Ｂ（２２）上に形成されている。かかる隔壁（２３）は、ガラス成分、ビヒクル成分およびフィラー等を含んで成るペースト原料から形成される。
【００３１】
本発明のＰＤＰ（１００）では、前面板（１）の表示電極（１１）と背面板（２）のアドレス電極（２１）とが直交するように、前面板（１）と背面板（２）とが放電空間（３０）を挟んで対向して配置されている。このようなＰＤＰ（１００）では、隔壁（２３）によって仕切られ、アドレス電極（２１）と表示電極（１１）とが交差する放電空間（３０）が放電セル（３２）として機能することになる。換言すれば、マトリクス状に配列されている放電セルが画像表示領域を構成している。従って、外部駆動回路から表示電極（１１）に映像信号電圧を選択的に印加することによって放電ガスを放電させ、かかる放電によって生じる紫外線によって、各色の蛍光体層を励起させて赤色、緑色および青色の可視光を発生させると、カラー画像表示が実現される。
【００３２】
［ＰＤＰの一般的な製造方法］
次に、ＰＤＰの一般的な製造方法について簡潔に説明する。本発明に係るＰＤＰは、原則、一般的なＰＤＰ製造法に基づいて得ることができる。本発明では、特に言及しない限り、各種構成部材の原材料（原料ペースト）／構成材料などは、一般的なＰＤＰ製造法で常套的に用いられているものであってよい。
【００３３】
まず、ガラス基板である基板Ａ（１０）上に、走査電極（１２）と維持電極（１３）とから構成される表示電極（１１）を形成すると共に遮光層（１４）も形成する。走査電極（１２）および維持電極（１３）のそれぞれの透明電極（１２ａ、１３ａ）とバス電極（１２ｂ、１３ｂ）とは、露光・現像するフォトリソグラフィ法などを用いてパターニングできる。透明電極（１２ａ、１３ａ）は薄膜プロセスなどを用いて形成でき、バス電極（１２ｂ、１３ｂ）は銀（Ａｇ）材料を含むペーストを乾燥（１００〜２００℃程度）および焼成（４００〜６００℃程度）に付すことによって形成できる。また、遮光層（１４）も同様に、黒色顔料を含んだ原料ペーストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料を含んだ原料をガラス基板の全面に設けた後、露光・現像するフォトリソグラフィ法を用いてパターニングし、焼成することによって形成できる。次いで、走査電極（１２）、維持電極（１３）および遮光層（１４）を覆うように基板Ａ（１０）上に、ガラス成分（ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３などから形成される材料）とビヒクル成分とを主成分とした誘電体原料ペーストをダイコート法または印刷法などにより塗布して誘電体ペースト層を形成する。塗布した後、所定の時間放置すると塗布された誘電体ペーストの表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成すると誘電体層Ａ（１５）が形成される。誘電体層Ａ（１５）を形成した後、かかる誘電体層Ａ（１５）上に保護膜（１６）を形成する。保護膜（１６）は、真空蒸着法、ＣＶＤ法またはスパッタリング法などを用いて形成できる。
【００３４】
以上の工程により、基板Ａ（１０）上に所定の構成部材である電極Ａ（走査電極（１２）および維持電極（１３））、誘電体層Ａ（１５）および保護層（１６）が形成され、前面板（１）が完成する。
【００３５】
一方、背面板（２）は次のようにして形成する。まず、ガラス基板である基板Ｂ（２０）上に、銀（Ａｇ）材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、銀を主成分とした金属膜を全面に形成した後、露光・現像するフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによって前駆体層を形成し、それを所望の温度（例えば約４００〜約６００℃）で焼成することによりアドレス電極（２１）を形成する。この「アドレス電極」は、クロム／銅／クロムの３層薄膜上にフォトレジストを塗布したものをフォトリソグラフィ及びウェットエッチングによりパターニングして形成してもよい。次いで、アドレス電極（２１）が形成された基板Ｂ（２０）上に、下地誘電体層となる誘電体層Ｂ（２２）を形成する。まず、「ガラス成分（ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３などから形成される材料）およびビヒクル成分などを主成分とした誘電体原料ペースト」をダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層を形成する。そして、かかる誘電体ペースト層を焼成することで誘電体層Ｂ（２２）を形成できる。次いで、隔壁（２３）を形成する。具体的には、誘電体層Ｂ（２２）上に隔壁形成用原料ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成し、その後、それを焼成に付して隔壁（２３）を形成する。例えば、低融点ガラス材料、ビヒクル成分およびフィラー等を主成分とした原料ペーストをダイコート法または印刷法によって塗布して約１００℃〜２００℃の乾燥に付した後、露光・現像するフォトリソグラフィ法でパターニングし、次いで、約４００℃〜約６００℃の焼成に付すことによって隔壁（２３）を形成する。尚、隔壁（２３）は、サンドブラスト法、エッチング法または成型法などを用いることによっても形成できる。次いで、蛍光体層（２５）を形成する。隣接する隔壁（２３）間の誘電体層Ｂ（２２）上および隔壁（２３）の側面に蛍光体材料を含む蛍光体原料ペーストを塗布し、焼成することによって蛍光体層（２５）を形成する。より具体的には、蛍光体粉末およびビヒクル成分等を主成分とした原料ペーストをダイコート法、印刷法、ディスペンス法またはインクジェット法などによって塗布し、次いで、約１００℃の乾燥に付すことによって蛍光体層（２５）を形成する。
【００３６】
以上の工程により、基板Ｂ（２０）上に、所定の構成部材たる電極Ｂ（アドレス電極（２１））、誘電体層Ｂ（２２）、隔壁（２３）および蛍光体層（２５）が形成され、背面板（２）が完成する。
【００３７】
このようにして所定の構成部材を備えた前面板（１）と背面板（２）とは、表示電極（１１）とアドレス電極（２１）とが直交するように対向配置させる。次いで、前面板（１）と背面板（２）の周囲をガラスフリットで封着すると共に、形成される放電空間（３０）に放電ガス（ヘリウム、ネオンまたはキセノンなど）を封入することによってＰＤＰ（１００）が完成する。
【００３８】
［本発明の製造方法］
本発明は、上述のＰＤＰの製造工程の中でも、特に前面板および背面板の形成後からパネル封着までの製造工程に特色を有している。
【００３９】
本発明の製造方法では、まず、工程（ｉ）を実施する。即ち、基板Ａ上に電極Ａと誘電体層Ａと保護層とが形成された前面板、および、基板Ｂ上に電極Ｂと誘電体層Ｂと隔壁と蛍光体層とが形成された背面板を準備する。かかる前面板および背面板の準備は、上述の［ＰＤＰの一般的な製造方法］で説明しているので、重複を避けるために説明を省略する。尚、保護層は典型的には酸化マグネシウムであるが、これに微量の元素（シリコン、アルミニウムなど）を添加したものであってもよい。更に言えば、保護層は、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムから成る群から選択される少なくとも１種類以上を含むことが望ましい。保護層の成分として、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムまたは酸化バリウム等を用いることにより、駆動電圧のより低いＰＤＰが実現できるだけでなく、ガス吹込みによる清浄化の効果が特に大きくなることが期待される。尚、仕事関数が酸化マグネシウムよりも小さいアルカリ土類金属の酸化物（即ち、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムなど）を保護層として用いた場合であっても、本発明では“変質層除去の効果”に起因して安定な放電特性を得ることができる。
【００４０】
工程（ｉ）に引き続いて、工程（ｉｉ）を実施する。即ち、基板Ａまたは基板Ｂの周縁領域にガラスフリット材料ａを供すると共に、ガラスフリット材料ａの内側において複数のガラスフリット材料ｂを局所的に供する。供されたガラスフリット材料ａは、その後に行う「封着工程（ｖ）」で前面板と背面板との周縁をシールする機能を有する。一方、局所的に供されたガラスフリット材料ｂは、封着工程（ｖ）で吹込み開口部を塞いでガスの吹き込みを停止させる機能を有している。
【００４１】
工程（ｉｉ）で供されるガラスフリット材料ａは、一般的なＰＤＰの製造において同様の目的（封着する目的）で用いられるものであれば特に制限はなく、低融点ガラス材料（例えば酸化鉛−酸化硼素−酸化珪素系、酸化鉛−酸化硼素−酸化珪素−酸化亜鉛系など）から成るガラスフリット材料であってよい。また、塗布し易いようにビヒクル成分などを含んで成るものであってよい。例えば、ＰｂＯ系、Ｐ２Ｏ５―ＳｎＯ系またはＢｉ２Ｏ３系の低融点ガラス粉末とフィラーとを均一に混合した封着材料に対して「メチルセルロース、ニトロセルロース等の樹脂」と「α−ターピネオール、酢酸アミル等の溶媒」とを含有するビヒクルを添加して、混合攪拌によりペースト状にしたものをガラスフリット材料として用いることができる。同様に、工程（ｉｉ）で供されるガラスフリット材料ｂも、一般的なＰＤＰの製造において同様の目的（封着する目的）で用いられるものであれば特に制限はなく、低融点ガラス材料（例えば酸化鉛−酸化硼素−酸化珪素系、酸化鉛−酸化硼素−酸化珪素−酸化亜鉛系など）から成るガラスフリット材料であってよい。塗布し易いようにビヒクル成分などを含んで成るものであってよい。例えば、ＰｂＯ系、Ｐ２Ｏ５―ＳｎＯ系またはＢｉ２Ｏ３系の低融点ガラス粉末とフィラーとを均一に混合した封着材料に対して「メチルセルロース、ニトロセルロース等の樹脂」と「α−ターピネオール、酢酸アミル等の溶媒」とを含有するビヒクルを添加して、混合攪拌によりペースト状にしたものをガラスフリット材料として用いることができる。特に、ガラスフリット材料ｂについていえば、その各々が固形状となっていることがより好ましい。かかる固形ガラスフリット材料ｂは、例えば、ペースト状のガラスフリット材料（即ち、上述で説明した「ガラスフリット材料ａ」）を金型に充填し、プレス成型した上で、約２００〜３５０℃で仮焼成して樹脂成分を揮発・燃焼させた後、３３０〜４３０℃で焼結することによって作製することができる。かかる固形ガラスフリット材料ｂの作製に使用する材料はペースト状のガラスフリット材料ａと同じであるので、ガラスフリット材料ａと同一設備を利用できる点でコスト的に有利である。また、このような固形ガラスフリット材料ｂは、ガラスフリット材料ａと材質的には同一であるので溶融温度がガラスフリット材料ａと同じになり得ると共に、吹込み開口部に応じた所望の形状も有し得る点で好ましい。
【００４２】
工程（ｉｉ）では、図６に示すように、ペースト状のガラスフリット材料ａ（８６ａ）が、背面板（２）の周縁領域にて一続きの環を成すように供されると共に、固形状のガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）が、環状に形成されたガラスフリット材料ａ（８６ａ）の内側において、背面板（２）のエッジの一辺に対して平行となるように局所的に供されることが好ましい。ここで、本発明において「局所的に供される（または局所的に供する）」とは、複数のガラスフリット材料ｂをそれぞれ基板の所望個所に設けることを実質的に意味している。より具体的には、複数の固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）は、前面板または背面板のいずれかに設けられた複数の吹込み開口部にそれぞれ対応するように設けられる。図６に示す態様では、前面板と背面板との対向配置に先立って、各々の固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）の一部が背面板（２）の吹込み開口部（９２）に挿入された形態となるように設けられている。これにより、前面板と背面板とを対向配置させた際、固形ガラスフリットｂ（８６ｂ）の各々が、図７に示すように背面板（２）の吹込み開口部（９２）に対応した位置に配置されることになる。
【００４３】
複数の吹込み開口部（９２）は、前面板（１）または背面板（２）のエッジの長辺に沿って設けられていることが好ましく、従って、ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）も、前面板（１）または背面板（２）のエッジの長辺に沿って設けられることが好ましい（図８（ａ）参照）。これにより、吹き込まれたガスが“長辺側”から全体的に流れることになるので、“短辺側”に吹込み開口部およびガラスフリット材料ｂを設ける場合と比べて、前面板と背面板との間で形成されるガス流線を短くすることができ、結果的に保護層表面の変質層をより均一性良く除去できる。また、図９に示すように、隔壁は井桁状に形成されており、パネルの長辺方向に沿った隔壁（２３ａ）は短辺方向に沿った隔壁（２３ｂ）よりも低くなっている。従って、“長辺側”からガスを流し込むと、より効果的に前面板と背面板との間にガスを流すことができる。ここで、本明細書で用いる「複数の開口部（即ち、吹込み開口部）」ならびに「ガラスフリット材料ｂ」にいう「複数」とは、２〜１６程度の個数を実質的に意味している。
【００４４】
ここで、基板上に供されるガラスフリット材料ａ（８６ａ）およびガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）の形状・寸法について説明する（一例として、図６に示すように供されたガラスフリット材料ａおよびｂを例に挙げて説明する）。図６に示すように、基板上に供されたペースト状のガラスフリット材料ａ（８６ａ）は、その断面が山形となり得るものである。かかる山形のガラスフリット材料ａの平均幅寸法ｗは３〜１０ｍｍ程度であり、高さ寸法ｈは２００〜６００μｍ程度であることが好ましい（図６の点線内領域を参照）。一方、固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）は、図８（ｂ）および図１０に示すような形状を有していることが好ましい。即ち、後述でも触れるが、固形ガラスフリット材料ｂは、その幅寸法が吹込み開口部の幅寸法よりも大きい部分（即ち８６ｂ’’の部分）および小さい部分（即ち８６ｂ’の部分）の双方を有すると共に、高さ寸法（即ち図１０に示す寸法Ｈ）が「工程（ｉｉｉ）で対向配置された前面板と背面板」との隙間寸法よりも大きくなっていることが好ましい。かかる場合、固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）は、以下に示すような幅寸法および高さ寸法を有し得る（図１０参照）。
・固形ガラスフリット材料ｂの幅寸法：
Ｗ１：２〜１０ｍｍ
Ｗ２：２〜１０ｍｍ
Ｄ  ：０．５〜４．５ｍｍ
・固形ガラスフリット材料ｂの高さ寸法：
Ｈ  ：０．２〜１ｍｍ
ｈ１：０．１〜０．４ｍｍ
ｈ２：０．１〜０．６ｍｍ
例えば、吹込み開口部の穴径が２ｍｍ、隔壁高さ０．１〜０．１５ｍｍ、封着前の前面板と背面板との間隙寸法０．３〜０．５ｍｍである場合では、Ｗ１：４ｍｍ、Ｗ２：３ｍｍ、Ｄ：１ｍｍ、Ｈ：０．５ｍｍ、ｈ１：０．３ｍｍ、ｈ２：０．２ｍｍであってよい。尚、局所的に配置される複数の固形ガラスフリット材料ｂにつき、図８（ａ）に示すようなピッチＬｐは、基板サイズなどによって変わり得るものの、例えば５０〜５００ｍｍ程度であること好ましい（固形ガラスフリット材料ｂは、基板の吹込み開口部に対応するように設けられるものであるために、固形ガラスフリット材料ｂのピッチＬｐは、“吹込み開口部のピッチ”に相当し得る）。
【００４５】
工程（ｉｉ）に引き続いて、工程（ｉｉｉ）を実施する。つまり、供されたガラスフリット材料が基板Ａと基板Ｂとの間に位置するように、前面板と背面板とを相互に対向して配置する（図１１参照）。別の表現を用いれば、前面板と背面板とは、保護層と蛍光体層とが互いに向き合うように対向して配置されると共に、表示電極とアドレス電極とが直交するように、前面板と背面板とが実質的に平行に配置される。対向配置された前面板（１）および背面板（２）は、以後に動かないようにクリップ７０（図１１参照）などによって保持することが好ましい。対向配置された前面板と背面板との間の間隔（即ち、ギャップ幅）は、塗布されたガラスフリット材料の厚さなどに依存するが、例えば、好ましくは０．１ｍｍ〜０．６ｍｍであり、より好ましくは０．３〜０．６ｍｍであり、更に好ましくは０．３ｍｍ〜０．５ｍｍである。ちなみに、背面板（２）には隔壁（２３）が設けられているが、図８（ｂ）に示すように、封着処理前の状態では隔壁（２３）の高さよりもガラスフリット材料ａ（８６ａ）の高さの方が大きいため、隔壁（２３）の頂部は前面板（１）とは接触していない。
【００４６】
前面板と背面板とが対向配置されると、図８（ｂ）に示すように、ガラスフリット材料ａおよびｂ（８６ａ,８６ｂ）は、前面板（１）と背面板（２）との間に挟まれた形態で存在することになる。より具体的には、ガラスフリット材料ａ（８６ａ）は、前面板および背面板の表面に接触した状態で、それらの周縁領域に全体的に存在することになる一方、ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）は、前面板または背面板のいずれかの表面に接触した状態で、吹込み開口部（９２）に対応する位置に局所的に存在することになる。特に、局所的な複数のガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）について、その各々の幅寸法が、吹込み開口部の幅寸法よりも大きい部分および小さい部分の双方を有すると共に、各々の高さ寸法が、前面板と背面板との隙間寸法よりも大きくなっている場合（即ち、ガラスフリット材料ｂが図８（ｂ）および図１０に示すような形態を有する場合）、ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）の一部（符号「８６ｂ’」で示す部分）が開口部の内部に位置するように配置されることになる。従って、ガラスフリット材料ｂは、「対向配置された前面板および背面板との間の空間」においては位置ずれを起こしにくくなっている。このことは、図４（ａ）に示すように前面板と背面板との位置関係を上下反転させたとしても、あるいは、図４（ｂ）に示すように前面板と背面板とを垂直に配置したとしても、ガラスフリット材料ｂの位置が実質的にずれることがないことを意味している。かかる事項について別の表現を用いて説明する。固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）が、図１０に示すように、「最も短い寸法が吹込み開口部の穴径よりも小さい突起部（８６ｂ’）」と「最も長い寸法が吹込み開口部の穴径よりも大きい台座部（８６ｂ’’）」との２つの構成から成るものとし、突起部（８６ｂ’）と台座部（８６ｂ’’）とを合わせた高さ（即ち、図１０に示す“Ｈ”）が“対向配置された前面板と背面板との間の距離”よりも大きくなるようにすれば、図８（ｂ）に示すように固形ガラスフリット材料を吹込み開口部に好適に対応させて配置できるので、ガス吹込み時に固形フリット材料ｂ（８６ｂ）がずれにくくなる。従って、かかる形態を有するガラスフリット材料ｂを用いれば、前面板と背面板との対向配置の後にガラスフリット材料の位置ずれを懸念しなくてもよくなるので、利便性に富むＰＤＰ製造が可能となる。ちなみに、突起部（８６ｂ’）は、工程（ｉｉｉ）の後では吹込み開口部（９２）に収まるように配置されるので、突起部の幅方向断面積Ｓａが吹込み開口部の断面積Ｓｂ（ガス流れ方向に対して垂直方向の断面面積）よりも小さくなるほど、工程（ｉｖ）で行われるガス吹込みがより効率的となる（但し、Ｓａが小さすぎると突起部が破損し易くなる）。
【００４７】
工程（ｉｉｉ）に引き続いて、工程（ｉｖ）を実施する。即ち、前面板および背面板を加熱下においた状態で、前面板および背面板のいずれかに設けられた吹込み開口部（図示する態様では背面板（２）に設けられた開口部（９２））からガスを吹き込み、対向配置された前面板と背面板との間にガスを流す。
【００４８】
対向配置された前面板および背面板を封排炉などのチャンバーに投入することによってそれらを加熱下におくことができる。ガスの吹込みを常温にて開始しつつ、ガスを吹込みながら「対向配置された前面板および背面板」を炉内で加熱することが好ましい。加熱温度は、「保護層表面の変質層を成す不純物（例えば保護層成分に結合しているＣＯ３２−やＯＨ−など）」が脱離することになる限り特に制限はなく、例えば３５０〜４５０℃程度である。
【００４９】
特に本発明では、図４（ａ）に示すように前面板と背面板との位置関係を上下反転させても、あるいは、図４（ｂ）に示すように前面板と背面板とを垂直に配置しても、ガラスフリット材料ｂの位置が実質的にずれることがないので、必要に応じて「対向配置された前面板および背面板」を任意の角度に傾けた状態で工程（ｉｖ）を行うことができる。
【００５０】
工程（ｉｖ）において前面板または背面板の吹込み開口部から吹き込まれるガスは、保護層に対して不活性なガスであることが好ましい。例えば、窒素ガスを挙げることができる。また、ヘリウム、アルゴン、ネオンまたはキセノン等の希ガスを用いてもよい。ちなみに、吹き込まれるガスは、少なくとも、水蒸気をほとんど含まないガスであることが望まれる。例えば、吹き込まれるガスの水分濃度は１ｐｐｍ以下が好ましい。ここでいう「ガスの水分濃度（ｐｐｍ）」は、ガスの全体積（０℃１気圧の標準状態）に占める水分（水蒸気）の体積割合を百万分率で示したものであり、常套の露点計で測定することによって得られる値を指している。窒素ガスは比較的高価であるので、乾燥空気を用いるとコスト的に効率の良いＰＤＰ製造法が実現できる。吹込まれるガス流量は、パネルの大きさ、吹込み開口部の個数や開口寸法、供されたガラスフリット材料ａの厚さやその頂部凹凸の大きさ等によって最適値は変わってくるものの、概ね０．１ＳＬＭ〜１０ＳＬＭの範囲である（ＳＬＭ：気体の標準状態において１分間に供給したガスの量をリットルで示す単位）。ガス流量が少なすぎると外部の大気が混入したり、清浄化が不十分になるおそれがある一方、逆にガス流量が多すぎるとコスト的に不利になり得る。尚、図４（ａ）の右側に示すように、吹込み開口部（９２）を塞ぐにようにガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）が位置する場合では、かかるガラスフリット材料ｂを浮かす程度のガス流量は必要である。
【００５１】
吹込み開口部（９２）からのガスの吹き込みは、図８（ｂ）または図１２に示すようなガス吹込み治具（９０）を用いて行うことが好ましい。ガス吹込み治具（９０）は、図１２に示すように、ガス供給管（９３）で相互に連結された複数のガス吹込み管（９１）から構成されており、ガス供給源（図示せず）から供給された窒素ガスをガス供給管（９３）およびガス吹込み管（９１）を介してパネル内部へと供給することができる。かかるガス吹込み治具（９０）を用いると、複数の吹込み開口部（９２）から同時にガスを吹き込むことが可能となる。各々のガス吹込み管（９１）は、その中心と吹込み開口部（９２）の中心とが一致するように押し付けられることが好ましい。ガス吹込み管（９１）は、繰り返し封着温度にまで昇温されても変形・破損などがないようにステンレス鋼などの耐熱性の金属で製作され、その形状は、円筒形で先端がフレア形状になっていることが好ましい。先端がフレア形状となることで、ガス吹込み管の先端と基板表面との接触面積が大きくなり、基板とガス吹込み管との間からのガス漏洩を少なくすることができるとともに、ガス吹込み管（９１）と吹込み開口部（９２）との中心が相互にずれても、その影響を受けにくくすることができる。ガス吹込み治具（９０）から吹き込まれるガスは、並列的に配された複数の吹込み開口部（９２）を介してパネル内部に供されることになるので、結果的に、ガスを前面板と背面板との間へと全体的に流すことができる（なお、本明細書において「前面板と背面板との間へと全体的に流れる」とは、対向配置された前面板と背面板とが相互に重なり合う領域を通るようにガスが流れることを実質的に意味している）。
【００５２】
吹込み開口部（９２）は、例えば、前面板または背面板を準備した後に、ドリル加工またはレーザー加工などの適当な方法で形成することができる。吹込み開口部（９２）を背面板に設ける場合、蛍光体のペースト原料を塗布して乾燥させた後に開口部（９２）を設けることが好ましい。このような「吹込み開口部（９２）」は、ガス吹込み管（９１）からのガス吹込みに資するものであれば、どのような形状・形態・サイズであってもかまわない（例えば、円形状の吹込み開口部（９２）の場合、直径サイズは１〜５ｍｍ程度であってよい）。
【００５３】
ここで、供されたガラスフリット材料ａの頂部と基板とは接触しているとはいえ、ガラスフリット材料ａの頂部は完全な平面ではなく数十〜百μｍ程度の凹凸が存在している。例えば、図４（ａ）に示す態様を例に挙げれば、背面板に供されたガラスフリット材料ａ（８６ａ）の頂部と前面板表面との接触界面（“ポイントＵ”の個所）には、上記凹凸に起因して僅かな隙間が形成されている。従って、「前面板と背面板との間の空間」へと吹き込まれたガスは、最終的には、ガラスフリット材料ａと基板との間の隙間領域（例えば、図８（ａ）でいえば領域Ｍ）から排出され得る（ちなみに、チップ管に繋がっているガス供給装置及び排気装置は作動させず、これらの装置とはバルブによって遮断しておく）。尚、必要に応じて、供されたガラスフリット材料ａの一部に排出溝部を設けておき、そこから「前面板と背面板との間の空間」へと流れ込んだガスを積極的に排出するようにしてもよい。
【００５４】
工程（ｉｖ）に引き続いて、工程（ｖ）を実施する。即ち、ガラスフリット材料ａおよびｂを溶融させることによって、前面板と背面板とを封着させる。より具体的には、加熱によりペースト状のガラスフリット材料ａを溶融させて前面板と背面板とを周辺領域で気密接合させると共に、同じく加熱により固形ガラスフリット材料ｂを溶融させて吹込み開口部（９２）を塞ぐことを行う。工程（ｖ）の加熱温度は、ガラスフリット材料ａおよびｂが溶融できる温度であれば特に制限はない（即ち、一般的なＰＤＰ製造に際して用いられる「封着温度」であってよく、例えば４００℃〜５００℃程度である）。工程（ｖ）の封着の実施に際して、工程（ｉｖ）のガスの吹き込みを併せて行ってもよい。これについて詳述する。ガスの吹込みは、常温において開始する。また、ガスを吹込みながら「対向配置された前面板および背面板」を炉内で加熱する。ガラスフリットの軟化点を越えるとガラスフリット材料ａが軟化し、徐々にガラスフリット材料ａと前面板との間の隙間が埋まっていく。また、ガラスフリット材料ｂも、ガラスフリット材料ａと同じ材質であるために同様に軟化し、それによって、吹込み開口部（９２）が徐々に塞がれることになる。吹込み開口部（９２）が塞がれると、ガス吹込み治具から吹き込まれるガスが、前面板と背面板との間に流れることができず、パネル内部へのガス供給が自動的に停止することになる。このように封着処理時にガス吹込みが自動的に停止することは、ガスの使用量を最小限に抑制できることを意味している。軟化後では、ガラスフリット材料ａおよびｂが完全に溶融する温度域（例えばガラスフリットの溶融温度よりも１０〜７０℃程度高い温度）にて数分〜十数分パネルを保持した後で冷却する。これにより、ガラスフリットが硬化し、前面板と背面板とが確実に封着される。そして、封着後においては、「封着された前面板および背面板」を封着時よりも若干低温（即ち、ガラスフリットの固化状態が維持される温度であって、ガラスフリットの溶融温度よりも１０〜５０℃程度低い温度）に保持しながら、前面板と背面板との間を真空排気する。
【００５５】
付言しておけば、「工程（ｉｉｉ）の対向配置」を実施した後に「工程（ｉｖ）のガス吹き込み」を経てから「工程（ｖ）の封着」を行うということは、アライメント後はガラスフリットの頂部と背面板とが接触した状態で加熱を実施できることを意味している。従って、本発明の製造方法では、“封着時のアライメントずれ”が起きにくく、信頼性の高い製造方法を実現できる。
【００５６】
真空排気操作が完了すると、前面板と背面板との間に放電ガスを封入する。封入すべき放電ガスとしては、ＸｅとＮｅの混合ガスを例示できるものの、Ｘｅのみを封入してもよいし、Ｈｅを混入させたものであってもよい。このような排気および封入は、前面板または背面板に設けられた貫通孔を介して行うことが好ましい。図１３には、背面板（２）に設けられた貫通孔（２９）が示されている。かかる「貫通孔」は、対向配置された前面板と背面板との間のガスを排気し、放電ガスを供給することを可能にするものであれば、どのような形状・形態・サイズであってもかまわない（例えば、円形状の貫通孔の場合、直径サイズは１〜５ｍｍ程度である）。また、貫通孔（２９）は、ガラスフリット材料が供される領域よりも内側に位置することが必要であるものの、完成されたＰＤＰの画像表示を妨げることがないように、ＰＤＰ表示部ではない前面板または背面板の周辺部分に位置することが好ましい。貫通孔の形成は、例えば、前面板または背面板を準備した後に、ドリル加工またはレーザー加工などの適当な方法で形成することができる。貫通孔を背面板側に設ける場合、蛍光体のペースト原料を塗布して乾燥させた後に貫通孔を設けることが好ましい。
【００５７】
「貫通孔（２９）」およびそれに関連するパーツについて詳述する。貫通孔（２９）には、図１３に示すように、チップ管（５５）がフリットリング（５６）を介して設けられている。チップ管（５５）の端部には、配管（５８）の先端部を構成するチャックヘッド（５７）が接続されている。チャックヘッド（５７）には水冷配管・シール機構（図示せず）が配置されており、チップ管（５５）および配管（５８）が封着温度にまで昇温された場合においても一体的に密閉構造が維持されるように構成されている。配管（５８）にはガス供給装置及び排気装置（図示せず）が接続されているので、貫通孔（２９）を介して、前面板と背面板との間のガスを排気できたり、あるいは、かかる空間へと放電ガスを供給できるようになっている。尚、フリットリング（５６）は、固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）と同じ製法で製作することができる環状の固形物である。従って、炉内を溶融温度まで昇温した後に降温すると、フリットリング（５６）がガラスフリット材料と同様に溶融・固化するので、背面板（２）とチップ管（５５）とが相互に接着される。
【００５８】
ちなみに、ガス吹込み時においては、貫通孔（２９）は実質的に“閉”の状態にされていることに留意されたい。より具体的には、チップ管（５５）は、フリットリング（５６）を介して貫通穴（２９）に合わせて背面板（２）に押し当てられるものであるが、「チップ管（５５）とフリットリング（５６）とが接触する面」および「フリットリング（５６）と背面板（２）とが接触する面」が平滑面なので、これらの面におけるガスの漏洩はほとんど無い。そして、チップ管（５５）と連通した配管（５８）に設けられたバルブのうち、もっともチップ管（５５）に近い側のバルブを閉じた状態でガスを吹込むことになるので、チップ管（５５）を介したガスの漏洩もほとんど無いことになる。
【００５９】
次に、本発明の実施形態を経時的に説明しておく。図１４は、本発明に係るＰＤＰ製造方法の概略を示すフローチャートである。図示するように、まず、前面板と背面板とを準備する（図１４に示すフローチャートでは、背面板側に対してペースト状ガラスフリットａを塗布すると共に、固形ガラスフリットｂを配置している）。次いで、アライメント装置内にて前面板および背面板の位置合わせを行った後、前面板と背面板とをガラスフリット材料を介して対向させて保持する。次に、吹込み開口部にガス吹込み管を取り付ける。また、基板に設けた貫通穴に合わせてチップ管を取り付ける。保護層の形成からこの時点までは、保護層が大気に曝露されるため、保護層表面には変質層が形成され得る。次いで、ガス吹込み管および吹込み開口部を介して「前面板と背面板との間の空間」へとガス（例えば窒素ガス）を流し込む。そして、ガスを流し込みながら前面板及び背面板を炉内で加熱し、ガラスフリットを溶融させて前面板と背面板とを封着する。引き続いて、前面板および背面板を封着時よりも若干低温に保持しながら、前面板と背面板との間の空間が真空状態になるまでチップ管を介してガス排気する。この排気処理が完了した後、前面板および背面板をほぼ常温になるまで冷却させる。かかる冷却後、ガス吹込み管を基板から取り外す。そして、「表面板と背面板との間の空間」に放電ガスを導入し、所定の圧力に達した時点で放電ガスの導入を停止する（封入完了）。そして、最終的にはチップ管を溶かしてガス封止・切断することよりＰＤＰが完成する。
【００６０】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、あくまでも典型例を例示したに過ぎない。従って、本発明はこれに限定されず、種々の改変がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。例えば以下の変更態様を挙げることができる。
【００６１】
●  固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）は、突起部（８６ｂ’）と台座部（８６ｂ’’）とが予め一体となった場合（図１０参照）を例示したが、固形ガラスフリット材料ｂは複数のパーツの組み合わせから成るものであってもよい。例えば、突起部（８６ｂ’）と台座部（８６ｂ’’）とを別個に形成した後でそれらを相互に一体化させてもよい。このように複数のパーツから一体化することで、各パーツのサイズが小さくなり操作性に富むだけでなく、異なるサイズのパネルに対しても共通のパーツを使用することができるため、低コスト化に寄与し得る。例えば、ＰＤＰの大量生産を考えた場合、吹込み開口部が複数のＰＤＰ間で一定の大きさとなるのであれば、所定の幅寸法の突起部を予め大量に製作しておき、前面板と背面板との間隙寸法に応じて、適した高さの台座部と組み合わせて用いればよい。また、複数のＰＤＰ間で前面板と背面板との間隙寸法が一定の大きさであるものの、吹込み開口部の穴寸法が変わる場合では、所定の高さ寸法の台座部を予め大量に製作しておき、吹込み開口部の穴寸法に応じて、適した幅寸法の突起部と組み合わせて用いればよい。
【００６２】
● 固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）は、図１０に示すような形状に限定されず、必要に応じて種々の形状を有し得る。例えば、固形ガラスフリット材料ｂにつき、幅寸法が吹込み開口部の幅寸法よりも大きい部分および小さい部分の双方を有すると共に、その高さ寸法が「対向配置された前面板と背面板」との隙間寸法よりも大きくなっている形状としては、図１５（ａ）〜（ｄ）に示すような例を挙げることができる。また、より効率的なガス吹込みを実現するために、固形ガラスフリットｂの内部に空洞（通気部）を設けてもよいし、あるいは、固形ガラスフリットｂを多孔質状にしてもよい。更にいえば、固形ガラスフリット材料ｂは、図１５（ｅ）に示すような形態であってもよい（図１５（ｅ）の固形ガラスフリット材料ｂは、全体として円柱形状を有しているが、その円柱断面サイズが、吹込み開口部断面よりも小さくなっている）。この図１５（ｅ）に示す固形ガラスフリット材料ｂの態様では、前面板と背面板とを対向配置させた後でガラスフリット材料ｂを設けることができる点で有利である。つまり、工程（ｉｉｉ）の対向配置工程の後で、パネルの外側からガラスフリット材料ｂを吹込み開口部に挿入することによってガラスフリット材料ｂをパネル内に配置できる。このように、対向配置工程の後でガラスフリット材料ｂを設けることができると、ＰＤＰ製造により利便性がもたらされることになる。
【００６３】
● ガラスフリット材料ａおよびｂ（８６ａ，８６ｂ）が前面板または背面板のエッジの一辺に平行となるように延在する又は配置される態様について例示したが、必ずしもその態様に限定されない。例えば、ペースト状ガラスフリット材料ａ（８６ａ）および／または固形ガラスフリット材料ｂ（８６ｂ）を前面板または背面板のエッジの一辺に対して非平行に延在させてもよく又は配置してもよい。
【００６４】
● ガスの吹込みは、常温において開始する場合を例示したが、使用ガス量を更に減じるべく、変質層の除去に有効な温度域のみでガスの吹込みを行ってもよい。
【００６５】
● ガラスフリットを塗布した後かつアライメントの前において、フリットの仮焼成を行ってもよい。あるいは、蛍光体層形成ステップにおいて蛍光体層の焼成を経ずに、フリットの仮焼成と同時に一括で焼成することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明の製造方法を通じて最終的に得られるＰＤＰは、パネル寿命に優れているので、一般家庭向けのプラズマテレビおよび商業用プラズマテレビとして好適に用いることができる他、その他の各種表示デバイスとしても好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】吹き込まれたガスが、固形ガラスフリット材料ｂと吹込み開口部との隙間を通る態様を示した模式図
【図２】前面板と背面板との間を流れるガス流れの態様を示した模式図
【図３】ガラスフリット材料ｂが吹込み開口部の内側に保持されている態様を模式的に示す断面図
【図４】「対向配置された前面板と背面板」を上下逆さまにする態様（図４（ａ））および垂直に立てる態様（図４（ｂ））を模式的に示す断面図
【図５（ａ）】ＰＤＰの概略構成を模式的に示す斜視図
【図５（ｂ）】ＰＤＰ前面板を模式的に示す断面図
【図６】基板に供されるガラスフリット材料ａおよびｂの態様を模式的に示す斜視図
【図７】「ガラスフリット材料ｂが吹込み開口部に対応した位置に設けられる態様」を表した模式図
【図８】図８（ａ）：供されたガラスフリット材料の態様を示す平面図、図８（ｂ）：図８（ａ）に示す線Ａ−Ａ’に沿って切り取った断面図
【図９】隔壁の形態を模式的に示す斜視図
【図１０】典型的な固形ガラスフリット材料ｂの斜視図、上面図および側面図
【図１１】前面板と背面板とを対向配置させた態様を模式的に示す斜視図
【図１２】ガス吹込みに用いるガス吹込み治具の態様を模式的に示した図
【図１３】封着処理後の態様を模式的に示す断面図
【図１４】本発明の製造方法に係るＰＤＰの製造工程の概略を示すフローチャート
【図１５】固形ガラスフリット材料ｂの変更態様例を模式的に示した斜視図
【符号の説明】
【００６８】
１        前面板
２        背面板
１０      前面板側の基板Ａ
１１      前面板側の電極Ａ（表示電極）
１２      走査電極
１２ａ    透明電極
１２ｂ    バス電極
１３      維持電極
１３ａ    透明電極
１３ｂ    バス電極
１４      ブラックストライプ（遮光層）
１５      前面板側の誘電体層Ａ
１６      保護層
２０      背面板側の基板Ｂ
２１      背面板側の電極Ｂ（アドレス電極）
２２      背面板側の誘電体層Ｂ
２３      隔壁
２３ａ    長辺方向に沿って延在する隔壁
２３ｂ    短辺方向に沿って延在する隔壁
２５      蛍光体層
２９      貫通穴（封入処理用）
３０      放電空間
３２      放電セル
５５      チップ管
５６      フリットリング
５７      チャックヘッド
５８      配管
７０      クリップ
８６      基板上に供されたガラスフリット材料
８６ａ    基板上に供されたガラスフリット材料ａ
８６ｂ    基板上に供されたガラスフリット材料ｂ
８６ｂ’  ガラスフリット材料ｂの突起部
８６ｂ”  ガラスフリット材料ｂの台座部
９０      ガス吹込み治具
９１      ガス吹き込み管
９２      吹込み開口部（複数個から成る開口部）
９３      ガス供給管
１００    ＰＤＰ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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