(57)【要約】【課題】ロールユニットの引き出しを容易に行うことが可能であると共に、ロールユニットの差し込みの際の衝撃を軽減可能なクリーンローラ装置を提供すること。【解決手段】ワーク２の表面に付着した塵埃を除去するクリーンローラ装置１であり、ワーク２に付着している塵埃を吸着する粘着ロール４，５と、粘着ロール４，５に付着した塵埃を転写する粘着テープロール６，７を保持するテープ保持部と、粘着ロール４，５を回転駆動させる駆動モータ２９と、駆動モータ２９に連結される駆動側磁気部材３７と、粘着ロール４，５に連結され駆動側磁気部材３７と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材３８，３９とを有し、駆動モータ２９の回転駆動を粘着ロール４，５へ非接触状態で伝達する伝達機構３０と、駆動側磁気部材３７と従動側磁気部材３８，３９との間で作用する磁力に対して反対向きに押し込み力を与える衝撃吸収機構３３と、を備えている。【選択図】図３
2010137171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送しながら上記ワークの表面に付着した塵埃を除去するクリーンローラ装置において、
上記ワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロールと、
上記粘着ロールに付着した上記塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部と、
上記粘着ロールを回転駆動させる駆動モータと、
上記駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、上記粘着ロールに連結され上記駆動側磁気部材と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材とを有し、上記駆動モータの回転駆動を上記粘着ロールへ非接触状態で伝達する伝達機構と、
上記駆動側磁気部材と上記従動側磁気部材との間で作用する磁力に対して反対向きに押し出し力を与える衝撃吸収機構と、
を備えることを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンローラ装置において、
前記粘着ロールおよび前記従動側磁気部材は、可動フレームに対して回転自在に取り付けられ、これら前記粘着ロール、前記従動側磁気部材、および上記可動フレームによってロールユニットを構成すると共に、
前記衝撃吸収機構は、前記駆動モータおよび前記駆動側磁気部材が設けられる装置本体側に取り付けられて、上記可動フレームを受け止める、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項３】
請求項２記載のクリーンローラ装置において、
前記衝撃吸収機構は、
筒状部を有するシリンダと、
上記シリンダの上記筒状部に対して流体の圧力によって出没されると共に、上記可動フレームに当接する押出ロッドと、
を具備することを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項４】
請求項３のいずれか１項記載のクリーンローラ装置において、
前記衝撃吸収機構は、制御部によって制御駆動されると共に、
この制御部は、運転スイッチの押下によって前記衝撃吸収機構の作動のオンオフを切り替える、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項５】
請求項４記載のクリーンローラ装置において、
前記制御部は、前記駆動モータの駆動状態から前記停止スイッチを押下したときに、前記ロールユニットを引き抜くものと判断し、
前記駆動モータの停止状態において所定時間が経過したときには、前記ロールユニットを差し込む待機状態であると判断し、
前記ロールユニットを差し込む待機状態のときの前記押出ロッドを押し出す圧力は、前記ロールユニットを引き抜くときの前記押出ロッドを押し出す圧力よりも小さい、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するためのクリーンローラ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等のワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の除塵装置は、ワークの上面に当接して該上面に付着した塵埃を吸着する粘着ロールと、ワークの下面に当接して該下面に付着した塵埃を吸着する粘着ロールと、２本の粘着ロールを回転駆動するモータとを備え、ワークを搬送しながら、塵埃の除去を行っている。この除塵装置では、粘着ロールの両端部は、フレームとなる側板にスライダを取り付けることで上下方向に移動可能に支持されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０８６９３９号公報（発明の詳細な説明、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、クリーンローラ装置の中には、磁気板の間で生じる磁力により、モータにて発生した駆動力を粘着ロール側に伝達するタイプのものがある。このタイプのクリーンローラ装置では、粘着ロールのセットであるロールユニットを引き出すとき、磁気板同士は近接していて大きな磁力が発生しているため、その引き出しに多大な力が必要となる。そのため、ロールユニットの引き出し時には、作業者に大きな負荷が掛かる状態となっている。
【０００６】
また、ロールユニットをクリーンローラ装置の所定位置に差し込む場合、所定位置内部への差し込みが進行して、磁気板同士が近接するにつれて、当該磁気板同士の間には、大きな磁力が発生する。そのため、ロールユニットの差し込みの最終段階では、磁力によってロールユニットが引き込まれてしまい、クリーンローラ装置に衝撃を及ぼさせる状態となる。その場合、作業者がロールユニットを差し込むときの勢いも付加されるので、ロールユニットが引き込まれるときの衝撃は、非常に大きくなってしまう。このような大きな衝撃がクリーンローラ装置の内部で発生すると、当接部位に大きなダメージを及ぼしてしまう。
【０００７】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ロールユニットの引き出しを容易に行うことが可能であると共に、ロールユニットの差し込みの際の衝撃を軽減可能なクリーンローラ装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、ワークを搬送しながら上記ワークの表面に付着した塵埃を除去するクリーンローラ装置において、ワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロールと、粘着ロールに付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部と、粘着ロールを回転駆動させる駆動モータと、駆動モータに連結される駆動側磁気部材と、粘着ロールに連結され駆動側磁気部材と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材とを有し、駆動モータの回転駆動を粘着ロールへ非接触状態で伝達する伝達機構と、駆動側磁気部材と従動側磁気部材との間で作用する磁力に対して反対向きに押し出し力を与える衝撃吸収機構と、を備えるものである。
【０００９】
このように構成する場合、駆動側磁気部材と従動側磁気部材との間では、磁力が作用するが、衝撃吸収機構により、その磁力に抗する力を与えることができる。そのため、粘着ロールおよび従動側磁気部材の引き抜きの際に、引き抜きの力を軽減可能となる。また、粘着ロールおよび従動側磁気部材の差し込みの際に、磁力による吸着力によって生じる衝撃を吸収可能となる。
【００１０】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、粘着ロールおよび従動側磁気部材は、可動フレームに対して回転自在に取り付けられ、これら粘着ロール、従動側磁気部材、および可動フレームによってロールユニットを構成すると共に、衝撃吸収機構は、駆動モータおよび駆動側磁気部材が設けられる装置本体側に取り付けられて、可動フレームを受け止めることが好ましい。
【００１１】
このように構成する場合、衝撃吸収機構は、装置本体側に取り付けられているので、ロールユニットに対して押し出し力を与える状態となる。また、ロールユニットの差し込みに際して、その差し込みによる力を減衰させることが可能となる。
【００１２】
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、衝撃吸収機構は、筒状部を有するシリンダと、シリンダの筒状部に対して流体の圧力によって出没されると共に、可動フレームに当接する押出ロッドと、を具備することが好ましい。
【００１３】
このように構成する場合、流体の圧力により、押出ロッドを押し出す圧力を決定可能となる。それにより、ロールユニットを差し込むときに受け止める反力、およびロールユニットを引き抜くときのアシスト力を適宜に調整可能となる。
【００１４】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、衝撃吸収機構は、制御部によって制御駆動されると共に、この制御部は、運転スイッチの押下によって衝撃吸収機構の作動のオンオフを切り替えることが好ましい。
【００１５】
このように構成する場合、衝撃吸収機構は、制御部によってその作動が制御可能となる。ここで、運転スイッチの押下により、衝撃吸収機構のオンオフが切り替えられるので、クリーンローラ装置の運転に連動して、衝撃吸収機構を自動的に作動させることが可能となり、その利便性を向上させることが可能となる。
【００１６】
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、制御部は、駆動モータの駆動状態から停止スイッチを押下したときに、ロールユニットを引き抜くものと判断し、駆動モータの停止状態において所定時間が経過したときには、ロールユニットを差し込む待機状態であると判断し、ロールユニットを差し込む待機状態のときの押出ロッドを押し出す圧力は、ロールユニットを引き抜くときの押出ロッドを押し出す圧力よりも小さいことが好ましい。
【００１７】
このように構成する場合、適切なタイミングで衝撃吸収機構を作動させることができる。また、ロールユニットを差し込む待機状態のときの押出ロッドを押し出す圧力は、ロールユニットを引き抜くときの押出ロッドを押し出す圧力よりも小さいため、クリーンローラ装置に衝撃を与えない構成とすることが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、ロールユニットの引き出しを容易に行うことが可能であると共に、ロールユニットの差し込みの際の衝撃を軽減可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１について、図面を参照しながら説明する。なお、粘着ロールの案内機構についての説明はクリーンローラ装置１の説明と共に行う。
【００２０】
＜クリーンローラ装置の概略構成＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るクリーンローラ装置１の概略構成を透過的に示す側面図である。図２は、図１中の要部を正面から透過的に見た場合の概略構成を説明するための図である。なお、以下の説明では、図１の左を「後（後ろ）」、図１の右を「前」、図１の上を「上」、図１の下を「下」、図１の紙面手前を「左」、図１の紙面奥を「右」とそれぞれ規定する。
【００２１】
本実施の形態に係るクリーンローラ装置１は、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等のワーク２の表面に付着した塵埃を除去するための装置である。具体的には、クリーンローラ装置１は、ワーク２を図１の前方から後方に向かって搬送しながら、ワーク２の表面に付着した塵埃を除去するための装置である。
【００２２】
このクリーンローラ装置１は、図１、図２に示すように、ワーク２の上面に当接して塵埃を吸着する２本の第１粘着ロール４と、ワーク２の下面に当接して塵埃を吸着する２本の第２粘着ロール５と、粘着テープが巻回されるとともに２本の第１粘着ロール４に当接して第１粘着ロール４に付着した塵埃を取り除く第１粘着テープロール６と、粘着テープが巻回されるとともに２本の第２粘着ロール５に当接して第２粘着ロール５に付着した塵埃を取り除く第２粘着テープロール７と、ワーク２を搬送する２つの搬送ローラ８と、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５等を回転駆動するための回転駆動伝達機構部９（図２参照）とを備えている。本実施の形態に係るクリーンローラ装置１では、ワーク２の上下両面の塵埃の除去が行われる。なお、以下では、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５をまとめて表す場合には、粘着ロール４，５と表記する。
【００２３】
また、図２等に示すように、クリーンローラ装置１は、第１粘着ロール４が外周面に固定された回転軸１１と、回転軸１１の端部側を回転可能に支持する軸受ブロック１２と、第２粘着ロール５が外周面に固定された回転軸１３と、回転軸１３の端部側を回転可能に支持する軸受ブロック１４と、第１粘着テープロール６が外周面に固定された回転軸１５と、回転軸１５の端部を回転可能に支持するテープ保持部となる軸受ブロック１６と、第２粘着テープロール７が外周面に固定された回転軸１７と、回転軸１７の端部を回転可能に支持するテープ保持部となる軸受ブロック１８と、搬送ローラ８が外周面に固定された回転軸１９（図１参照）と、軸受ブロック１６に固定されるスライド部材２０Ａを介して第１粘着テープロール６を上下方向へ移動させるスライド機構２１と、軸受ブロック１８に固定されるスライド部材２０Ｂを介して第２粘着テープロール７を上下方向へ移動させるスライド機構２２と、左右方向（紙面手前奥方向）の両面側に配置される本体フレーム２３と、本体フレーム２３に対して出し入れ可能な可動フレーム２４（図１参照）とを備えている。
【００２４】
粘着ロール４，５は、表面に粘着力を有するシリコンゴム等のゴム部材によって形成されている。第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とは上下方向で対向するように配置されており、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間をワーク２が通過するように構成されている。図１に示すように、本実施の形態では、２本の第１粘着ロール４が所定の間隔をあけた状態で前後方向に隣接するように配置されている。同様に、２本の第２粘着ロール５が前後方向に所定の間隔をあけた状態で隣接するように配置されている。
【００２５】
第１粘着ロール４の回転軸１１を支持する軸受ブロック１２、および、第２粘着ロール５の回転軸１３を支持する軸受ブロック１４は、図２に示すように、側面側に配置されている。軸受ブロック１４は、可動フレーム２４に固定されている。軸受ブロック１２は、図２に示すように、圧縮コイルバネ２５を介して軸受ブロック１４に連結されている。また、軸受ブロック１２は、後述のリニアガイド３６（図４等参照）に案内されて上下方向に移動可能となっている。軸受ブロック１２の詳細な構成については後述する。
【００２６】
第１粘着テープロール６および第２粘着テープロール７には、粘着テープの粘着面が表側を向くように粘着テープが巻回されている。第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７はそれぞれ、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に当接して、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃を取り除くように構成されており、第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７の粘着力が低下すると、粘着テープが順次剥がされていく。
【００２７】
第１粘着テープロール６は第１粘着ロール４よりも上側に配置され、第２粘着テープロール７は第２粘着ロール５よりも下側に配置されている。また、前後方向では、２本の第１粘着ロール４の軸中心間の略中心位置と第１粘着テープロール６の軸中心とが一致するように、第１粘着テープロール６が配置され、２本の第２粘着ロール５の軸中心間の略中心位置と第２粘着テープロール７の軸中心とが一致するように、第２粘着テープロール７が配置されている。
【００２８】
軸受ブロック１６，１８は、左右方向の両面側に配置されている。また、スライド機構２１，２２も左右方向の両面側に配置されている。上述したように、軸受ブロック１６には、スライド部材２０Ａの一端が固定され、軸受ブロック１８には、スライド部材２０Ｂの一端が固定されている。
【００２９】
ワーク２の表面に付着した塵埃の除去を行う際には、スライド機構２１を作動させて、スライド部材２０Ａを下降させる。やがて、図１に波線で示すように、第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４に当接して、第１粘着ロール４は、第１粘着テープロール６とともに、第２粘着ロール５に当接するまで下降する。
【００３０】
また、この際には、スライド機構２２も作動し、スライド部材２０Ｂが上方向へ移動する。すると、図１に波線で示すように、第２粘着テープロール７は、第２粘着ロール５に当接するまで、軸受ブロック１８とともに上昇する。
【００３１】
このように、第１粘着テープロール６が第１粘着ロール４に当接するとともに第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接し、かつ、第２粘着テープロール７が第２粘着ロール５に当接した状態で、ワーク２の表面に付着した塵埃が除去される。具体的には、回転駆動伝達機構部９によって粘着ロール４，５が駆動されるとともに、図示を省略する駆動モータによって搬送ローラ８が駆動され、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間をワーク２が通過することで、ワーク２の表面に付着した塵埃が除去される。このとき、第１粘着ロール４および第１粘着テープロール６は、ワーク２の厚さに応じて上方向に移動する。
【００３２】
また、このときには、スライド機構２１，２２からの押圧力により、第１粘着テープロール６は所定の力をもって第１粘着ロール４に当接し、第２粘着テープロール７も所定の力をもって第２粘着ロール５に当接している。したがって、回転駆動伝達機構部９によって回転する第１粘着ロール４、第２粘着ロール５の回転に伴って、第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７も回転する。第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７が回転すると、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃が第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７によって取り除かれる。
【００３３】
一方、ワーク２の表面に付着した塵埃の除去が終了すると、スライド機構２１の動作が切り替わり、スライド部材２０Ａが上昇する。スライド部材２０Ａが上昇すると、軸受ブロック１６とともに第１粘着テープロール６が上昇する（図１の実線参照）。第１粘着テープロール６が上昇すると、第１粘着ロール４は、圧縮コイルバネ２５の付勢力で上昇する。また、スライド機構２２の動作が切り替わり、スライド部材２０Ｂが下降する。スライド部材２０Ｂが下降すると、軸受ブロック１８とともに第２粘着テープロール７が下降する（図１の実線参照）。
【００３４】
搬送ローラ８は、ワーク２の下面に当接するように、クリーンローラ装置１の前端側および後端側に配置されている。この搬送ローラ８は、上述したように、図示を省略する駆動モータに連結されており、この駆動モータによって回転駆動される。なお、搬送ローラ８の回転軸１９は、本体フレーム２３に固定される後述の固定フレーム３２に取り付けられた軸受２６によって回転可能に支持されている（図３参照）。
【００３５】
回転駆動伝達機構部９は、クリーンローラ装置１の右端側に配置されている。この回転駆動伝達機構部９の構成および回転駆動伝達機構部９の周辺の構成の詳細を以下に説明する。
【００３６】
＜回転駆動伝達機構部およびその周辺の構成＞
図３は、図２に示す回転駆動伝達機構部９の構成を上面から透過的に見た図である。図４は、図２のＦ−Ｆ方向から回転駆動伝達機構部９の一部の構成を透過的に見た図である。図５は、図４に示す駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９とを正面から見たときの配置関係を説明するための図である。図６は、図５のＧ−Ｇ方向から見たときの配置関係を示す図である。図７は、図４に示す軸受ブロック１２およびリニアブッシュ４２を抜き出して示す図である。なお、図４では、第２粘着ロール５等の図示が省略されている。
【００３７】
回転駆動伝達機構部９は、図３、図４に示すように、粘着ロール４，５を回転駆動させる駆動モータ２９と、駆動モータ２９の動力を粘着ロール４，５へ伝達する伝達機構３０と、本体フレーム２３に固定される固定フレーム３２と可動フレーム２４との間に配置される２個の衝撃吸収機構３３とを備えている。また、クリーンローラ装置１は、回転駆動伝達機構部９の周辺の構成として、回転軸１１の軸方向に直交する上下方向へ第１粘着ロール４を案内するためのリニアガイド３６を備えている。
【００３８】
可動フレーム２４には、図４に示すように、軸受ブロック１２，１４の一部が配置される略Ｕ形状の配置溝２４ａが形成されている。本実施の形態では、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５の前後方向の配置間隔に応じて２つの配置溝２４ａが形成されている。また、配置溝２４ａが形成された部分の両側は、上方向へ突出する突出部２４ｂとなっている。すなわち、突出部２４ｂは合計３つ形成されていることになる。
【００３９】
駆動モータ２９は、図３に示すように、出力軸２９ａが粘着ロール４側に向かって突出するように、固定フレーム３２に固定されている。
【００４０】
伝達機構３０は、駆動モータ２９に連結される駆動側磁気部材としての駆動側磁気板３７と、第１粘着ロール４に連結される第１従動側磁気部材としての第１従動側磁気板３８と、第２粘着ロール５に連結される第２従動側磁気部材としての第２従動側磁気板３９とから構成されている（図３〜図５参照）。この伝達機構３０では、第１従動側磁気板３８または第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７との間に生じる磁力（磁気的な吸引力）によって、駆動側磁気板３７側の動力が第１従動側磁気板３８側および第２従動側磁気板３９側へ伝達される。なお、以下では、第１従動側磁気板３８と第２従動側磁気板３９とをまとめて表す場合には、従動側磁気板３８，３９と表記する。
【００４１】
本実施の形態では、駆動側磁気板３７は、駆動モータ２９の出力軸２９ａの左端部に固定されている。また、第１従動側磁気板３８は、第１粘着ロール４の回転軸１１の右端のそれぞれに固定され、第２従動側磁気板３９は、第２粘着ロール５の回転軸１３の右端のそれぞれに固定されている。すなわち、伝達機構３０は、１枚の駆動側磁気板３７と２枚の第１従動側磁気板３８と２枚の第２従動側磁気板３９とから構成されている。
【００４２】
駆動側磁気板３７は、出力軸２９ａに固定するための鍔部を有する略円板状に形成されている。この駆動側磁気板３７は、磁極が形成された駆動側着磁部３７ａを備えている。
【００４３】
駆動側着磁部３７ａは、図５に示すように、駆動側磁気板３７の回転中心を中心とする円環状に形成されている。具体的には、駆動側着磁部３７ａは、駆動側磁気板３７の径方向の端部側から中心に向かって所定の範囲に配置されるように形成されている。また、駆動側着磁部３７ａは、駆動側磁気板３７の左端側（図５の紙面奥側）に配置されている。本実施の形態では、駆動側着磁部３７ａには、たとえば、インボリュート曲線状に形成されたＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。なお、駆動側着磁部３７ａは、磁性部材からなる駆動側磁気板３７の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を駆動側磁気板３７の左端側の面に固定して、駆動側着磁部３７ａとしても良い。
【００４４】
第１従動側磁気板３８は、回転軸１１に固定するための鍔部を有する略円板状に形成されている。また、第１従動側磁気板３８は、駆動側磁気板３７よりも径の小さな略円板状に形成されている。本実施の形態では、たとえば、第１従動側磁気板３８の径は、駆動側磁気板３７の径の約４割〜５割程度となっている。また、第１従動側磁気板３８は、磁極が形成された第１従動側着磁部３８ａを備えている。
【００４５】
第１従動側着磁部３８ａは、図５に示すように、第１従動側磁気板３８の回転中心を中心とするとともに駆動側着磁部３７ａよりも径が小さな円環状に形成されている。具体的には、第１従動側着磁部３８ａは、第１従動側磁気板３８の右端側の面の、回転軸１１が固定される固定孔３８ｂを除く部分のほぼ全域に配置されるように形成されている。なお、第１従動側着磁部３８ａは、磁性部材からなる第１従動側磁気板３８の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を第１従動側磁気板３８の右面に固定して、第１従動側着磁部３８ａとしても良い。
【００４６】
本実施の形態では、第１従動側着磁部３８ａには、後述のように、駆動側磁気板３７の回転に伴って駆動側磁気板３７の回転方向と逆方向へ回転する第１従動側磁気板３８が円滑に回転するように着磁されている。具体的には、第１従動側着磁部３８ａには、たとえば、流線形状に形成されたＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。
【００４７】
第２従動側磁気板３９は、第１従動側磁気板３８とほぼ同様に形成されている。すなわち、第２従動側磁気板３９は、回転軸１３に固定するための鍔部を有する略円板状に形成されるとともに、駆動側磁気板３７よりも径の小さな略円板状に形成されている。本実施の形態では、たとえば、第２従動側磁気板３９の径は、第１従動側磁気板３８の径と同じになっている。また、第２従動側磁気板３９は、磁極が形成された第２従動側着磁部３９ａを備えている。なお、以下では、第１従動側着磁部３８ａと第２従動側着磁部３９ａとをまとめて表す場合には、従動側着磁部３８ａ，３９ａと表記する。
【００４８】
第２従動側着磁部３９ａは、第１従動側着磁部３８ａと同様に、第２従動側磁気板３９の回転中心を中心とするとともに駆動側着磁部３７ａよりも径が小さな円環状に形成されている。具体的には、第２従動側着磁部３９ａは、第２従動側磁気板３９の右端側の面の、回転軸１３が固定される固定孔３９ｂを除く部分のほぼ全域に配置されるように形成されている。なお、第２従動側着磁部３９ａは、磁性部材からなる第２従動側磁気板３９の表面に直接、着磁されることで形成されても良いし、着磁された板状部材を第２従動側磁気板３９の右端側の面に固定して、第２従動側着磁部３９ａとしても良い。
【００４９】
本実施の形態では、第２従動側着磁部３９ａには、後述のように、駆動側磁気板３７の回転に伴って駆動側磁気板３７の回転方向と同方向へ回転する第２従動側磁気板３９が円滑に回転するように着磁されている。具体的には、第２従動側着磁部３９ａには、たとえば、インボリュート曲線状に形成されたＳ極とＮ極が円周方向に沿って交互に着磁されている。また、第１従動側磁気板３８と第２従動側磁気板３９とが同じ回転数で回転するように、第２従動側着磁部３９ａに磁極が形成されている。
【００５０】
第１従動側磁気板３８および第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７とは、所定の隙間を介して（すなわち、所定の間隔をあけて）互いに対向するように配置されている（図６参照）。具体的には、第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とは、第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７との対向方向（すなわち、左右方向）から見たとき、第１従動側着磁部３８ａの一部と駆動側着磁部３７ａの一部とが重なるように配置され、第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７とは、左右方向から見たとき、第２従動側着磁部３９ａの一部と駆動側着磁部３７ａの一部とが重なるように配置されている。
【００５１】
具体的には、左右方向から見たとき、第１従動側磁気板３８の回転中心は駆動側着磁部３７ａの径方向外方に配置されており、第１従動側磁気板３８は、第１従動側着磁部３８ａが駆動側着磁部３７ａの径方向外側から駆動側着磁部３７ａに重なるように配置されている。すなわち、第１従動側磁気板３８は、第１従動側着磁部３８ａの外周が駆動側着磁部３７ａの内周に近づく方向で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとが重なるように配置されている。そのため、第１従動側磁気板３８は、駆動側磁気板３７と逆方向へ回転する。また、本実施の形態では、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態（図５の実線で示す状態）で、第１従動側着磁部３８ａの外周と駆動側着磁部３７ａの内周とがほぼ重なっている。
【００５２】
また、左右方向から見たとき、第２従動側磁気板３９の回転中心は駆動側着磁部３７ａの径方向内方に配置されており、第２従動側磁気板３９は、第２従動側着磁部３９ａが駆動側着磁部３７ａの径方向内側から駆動側着磁部３７ａに重なるように配置されている。すなわち、第２従動側磁気板３９は、第２従動側着磁部３９ａの外周が駆動側着磁部３７ａの外周に近づく方向で第２従動側着磁部３９ａと駆動側着磁部３７ａとが重なるように配置されている。そのため、第２従動側磁気板３９は、駆動側磁気板３７と同方向へ回転する。本実施の形態では、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態で、第２従動側着磁部３９ａの外周と駆動側着磁部３７ａの外周とがほぼ重なっている。
【００５３】
また、本実施の形態では、図４、図５に示すように、２枚の第１従動側磁気板３８および２枚の第２従動側磁気板３９と、１枚の駆動側磁気板３７とが互いに対向するように配置されている。
【００５４】
具体的には、２枚の第１従動側磁気板３８は、左右方向から見たとき、駆動側磁気板３７の斜め上側に配置された状態で、第１従動側磁気板３８の一部分が１枚の駆動側磁気板３７に対向するように配置されている。また、２枚の第２従動側磁気板３９は、左右方向から見たとき、第２従動側磁気板３９の上下方向の中心位置と駆動側磁気板３７の上下方向の中心位置とがほぼ一致するように、かつ、第２従動側磁気板３９の全部が１枚の駆動側磁気板３７に対向するように配置されている。本実施の形態では、左右方向から見たとき、２枚の第２従動側磁気板３９が１枚の駆動側磁気板３７に内接するように配置されている。
【００５５】
さらに、本実施の形態では、上述のように、ワーク２の表面の塵埃を除去する際に、ワーク２の厚さに応じて第１粘着ロール４が上方向に移動した状態、あるいは、一時的に第１粘着ロール４を図５における上方向へ退避させた状態（図５の二点鎖線で示す状態）でも、左右方向から見たとき、第１従動側着磁部３８ａの一部と駆動側着磁部３７ａの一部とが重なっているように、第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とが対向配置されている。具体的には、ワーク２の厚さに応じて第１粘着ロール４が図５における上方向に移動した状態あるいは一時的に第１粘着ロール４を図５における上方向へ退避させた状態で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとの間に生じる磁力が、第１粘着ロール４が第２粘着ロール５に当接した状態で第１従動側着磁部３８ａと駆動側着磁部３７ａとの間に生じる磁力よりも大きく低下しないように第１従動側磁気板３８と駆動側磁気板３７とが対向配置されている。
【００５６】
図４に示すように、リニアガイド３６は、第１粘着ロール４の前後方向両側に配置されるリニアシャフト４１と、リニアシャフト４１が挿通されることで図４における上下方向へ第１粘着ロール４を案内するリニアブッシュ４２とを備えている。
【００５７】
リニアシャフト４１は、たとえば、円柱状に形成された金属製のシャフトであり、可動フレーム２４の突出部２４ｂに図４における上下方向を長手方向として固定されている。本実施の形態では、３本のリニアシャフト４１が可動フレーム２４に固定されている。
【００５８】
リニアブッシュ４２は、たとえば、円筒状に形成された金属部材であり、内周側にボールを有するいわゆるリニアボールベアリングである。このリニアブッシュ４２の内周側には、リニアシャフト４１が挿通されている。なお、リニアブッシュ４２は、潤滑性を有する金属部材によって円筒状に形成された摺動ベアリングであっても良い。
【００５９】
ここで、軸受ブロック１２には、図７に示すように、リニアブッシュ４２を固定するための固定部１２ａが形成されている。この固定部１２ａは、図７における前後方向（図７における左右方向）の両面から前後方向外側へそれぞれ突出するように形成されている。また、一方の面に形成される固定部１２ａは上端側に形成され、他方の面に形成される固定部１２ａは下端側に形成されている。具体的には、図４に示すように、２本の第１粘着ロール４の間の１本のリニアシャフト４１が２個のリニアブッシュ４２に挿通した状態で配置されるように、固定部１２ａが形成されている。そのため、２本の第１粘着ロール４の間には、１本のリニアシャフト４１が挿通された２個のリニアブッシュ４２が上下方向に配置される。また、前端側あるいは後端側には、１本のリニアシャフト４１が挿通された１個のリニアブッシュ４２が配置される。
【００６０】
上述のように、ワーク２の表面の塵埃を除去する際には、第１粘着ロール４は、ワーク２の厚さに応じて上下方向に移動する。また、第１粘着テープロール６の昇降に伴って、第１粘着ロール４は上下方向に移動する。第１粘着ロール４が上下動する際に、リニアガイド３６は、第１粘着ロール４および軸受ブロック１２を上下方向へ案内する。
【００６１】
ここで、突出部２４ｂの図４における上端部近傍および上下方向における略中央部には、右方に向かって略角柱状の形態で突出する当接部２４ｃ，２４ｃが設けられている。上端部近傍に設けられる当接部２４ｃは、上端側の固定部１２ａに配設されるリニアブッシュ４２と当接して、該リニアブッシュ４２がリニアシャフト４１の上側から抜けるのを防止している。一方、上下方向略中央部に設けられる当接部２４ｃは、下端側の固定部１２ａに配設されるリニアブッシュ４２と当接して、該リニアブッシュ４２がリニアシャフト４１の下側から抜けるのを防止している。また、軸受ブロック１２と軸受ブロック１４との間には軸受ブロック１２を上方に向かって付勢する圧縮コイルバネ２５が配設されている。第１粘着テープロール６が上昇して、第１粘着ロール４が第１粘着テープロール６との当接から解放されると、この圧縮コイルバネ２５の付勢力により、第１粘着ロール４はリニアガイド３６に案内されて上昇する。
【００６２】
一方、第１粘着テープロール６を下降させて、第１粘着ロール４と当接させると、第１粘着ロール４はリニアガイド３６によって下方向へ案内される。すると、第１粘着ロール４はワーク２の表面に当接し、その当接状態が維持される。この状態で、第１従動側磁気板３８または第２従動側磁気板３９と駆動側磁気板３７との間に磁気的な吸引力を発生させた場合であっても、第１粘着ロール４の移動抵抗を軽減して、第１粘着ロール４を円滑に上下動させることができる。このため、ワーク２の表面の塵埃を除去する際に、ワーク２の厚さに応じて第１粘着ロール４を上下方向へ円滑に移動させることができる。
【００６３】
図３および図８に示すように、２個の衝撃吸収機構３３は、シリンダ３３ａと、押出ロッド３３ｂとを具備している。このうち、シリンダ３３ａは、図示省略の筒状部を有し、エア等の流体によって、押出ロッド３３ｂに所定の押出力を及ぼす、いわゆるアクチュエータ（ショックアブソーバまたはダンパー）である。なお、図８においては、図８（ａ）に可動フレーム２４が押し込まれた状態が示されていて、図８（ｂ）に可動フレーム２４が引き抜かれて押出ロッド３３ｂが飛び出している状態が示されている。なお、シリンダ３３ａの内部では、エア以外の流体（例えばオイル等）を用いるようにしても良い。
【００６４】
本実施の形態では、図３に示すように、シリンダ３３ａが固定フレーム３２に固定され、押出ロッド３３ｂの先端が可動フレーム２４の他端部に当接可能となっている。また、図８（ａ）に示すように、シリンダ３３ａの外周縁部は、可動フレーム２４の他端部に当接可能となっていて、位置決めとしての機能を有している。以下、かかる位置決めとしての機能を有するシリンダの外周縁部を、位置決め部３３ｃと称呼する。
【００６５】
軸受ブロック１２，１４等を介して可動フレーム２４に取り付けられる粘着ロール４，５のメンテナンスを行うため、上述のように、可動フレーム２４は、本体フレーム２３に対して出し入れ可能となっている。すなわち、可動フレーム２４は、本体フレーム２３に固定された固定フレーム３２に対して出し入れ可能となっている。具体的には、クリーンローラ装置１は、可動フレーム２４を引き出すための引出レールやガイドローラ等を備えており、可動フレーム２４は、左端側に向かって引き出すことができるように構成されている。
【００６６】
なお、可動フレーム２４に対して、第１粘着ロール４、第１粘着ロール４が外周面に固定された回転軸１１、回転軸１１を支持する軸受ブロック１２、回転軸１１の端部に固定される第１従動側磁気板３８、第２粘着ロール５、第２粘着ロール５が外周面に固定された回転軸１３、回転軸１３を支持する軸受ブロック１４、回転軸１３の端部に固定される第２従動側磁気板３９、軸受ブロック１２と軸受ブロック１４との間に存在する圧縮コイルバネ２５、リニアガイド３６が一体的に設けられている。そのため、可動フレーム２４を引き出す場合、これらも一緒に引き出される。なお、以下の説明においては、必要に応じて、可動フレーム２４と共に引き出されるものを、ロールユニットＲＹと称呼する。また、クリーンローラ装置１のうち、ロールユニットＲＹ以外の部分は、装置本体に対応する。
【００６７】
また、図９に示すように、クリーンローラ装置１は、制御部５０を具備している。制御部５０は、主制御部５１と、モータ制御部５２と、アクチュエータ制御部５３と、ダンパ制御部５４と、モータドライバ５５と、アクチュエータドライバ５６と、ダンパドライバ５７とを具備している。主制御部５１は、クリーンローラ装置１の全体の制御を司る部分であり、不図示の操作パネル等からの指令、またはクリーンローラ装置１に接続される不図示のコンピュータ等からの指令が入力される。そして、入力された指令に基づいて、モータ制御部５２、アクチュエータ制御部５３、および／またはダンパ制御部５４に対して、所定の駆動指令に関する信号を出力する。
【００６８】
モータ制御部５２は、不図示の速度調整ツマミの操作に基づいて、駆動モータ２９に印加する電力を制御する指令を、モータドライバ５５側に与える。そして、モータドライバ５５では、駆動モータ２９に所定の電力を与えて、駆動モータ２９を回転駆動させる。なお、このモータ制御部５２には、不図示のロータリエンコーダが具備するロータリセンサ８２からの検出信号が供給され、駆動モータ２９の回転数が、速度調整ツマミによって与えられる回転数を保持するように、フィードバック制御を行うように構成しても良い。
【００６９】
なお、フィードバック制御としては、比例制御（Ｐ制御）、ＰＩ制御、ＰＩＤ制御を行うようにしても良い。
【００７０】
また、アクチュエータ制御部５３も、スライド機構２１，２２に与える電力を制御する指令をアクチュエータドライバ５６側に与え、当該スライド機構２１，２２を所定の加圧力で作動させる。また、アクチュエータ制御部５３には、不図示の基板検出センサ、ロータリセンサ等からの検出信号が入力され、アクチュエータ制御部５３では、これらの検出信号に基づいて、スライド機構２１，２２の作動をそれぞれ制御する。
【００７１】
また、ダンパ制御部５４も、衝撃吸収機構３３に与える電力を制御する指令をダンパドライバ５７側に与え、当該衝撃吸収機構３３を所定の加圧力で作動させる。また、ダンパ制御部５４には、不図示の差込検出センサ、および不図示の操作スイッチからの信号が入力される。その操作スイッチの押下に基づいて、当該衝撃吸収機構３３の作動をそれぞれ制御する。なお、差込検出センサを設けず、省略する構成を採用しても良い。
【００７２】
＜クリーンローラ装置の動作＞
以上のように構成されたクリーンローラ装置１では、不図示の電源スイッチをオン側に切り替え、速度調整ツマミを回転させて、ワーク２の搬送速度を所望の搬送速度に設定する。この後に、不図示の運転スイッチを押下すると、運転が開始され、制御部５０は駆動モータ２９に対して、設定された回転速度で駆動させる指令を与える。そして、駆動モータ２９が回転して、駆動側磁気板３７が回転すると、従動側磁気板３８，３９と駆動側磁気板３７との間に生じる磁力によって、従動側磁気板３８，３９が回転して、駆動モータ２９の動力が粘着ロール４，５へ伝達される。なお、駆動側磁気板３７の回転に伴って、第１従動側磁気板３８は駆動側磁気板３７の回転方向（具体的には、図５の時計方向）と逆方向へ回転し、第２従動側磁気板３９は駆動側磁気板３７の回転方向と同方向へ回転する。
【００７３】
また、ワーク２の塵埃の除去を行っている際に、粘着ロール４，５あるいは搬送ローラ８等に想定外の負荷がかかって粘着ロール４，５がロックされた状態になると、従動側磁気板３８，３９と駆動側磁気板３７との間で滑りが生じて、粘着ロール４，５への駆動モータ２９から動力の伝達が遮断される。
【００７４】
ところで、クリーンローラ装置１を使用していくと、粘着ロール４，５の耐用時間を経過する、粘着ローラ４，５に損傷が生じる、または従動側磁気板３８，３９に異物が付着する等、種々の理由により、ロールユニットＲＹを引き出す必要が生じる。このとき、作業者は、不図示の停止スイッチを押下する。すると、制御部５０によって、駆動モータ２９の駆動が停止させられると共に、衝撃吸収機構３３が作動させられる。
【００７５】
ここで、制御部５０（主制御部５１）は、不図示の差込検出センサを介して、ロールユニットＲＹが差し込まれていると判断する。そして、主制御部５１は、ダンパ制御部５４に指令を与える。そして、かかる指令に基づいて、ダンパ制御部５４は、ダンパドライバ５７を介して、衝撃吸収機構３３を作動させる。なお、このように構成せずに、停止スイッチの押下のみで、衝撃吸収機構３３を作動させるようにしても良い。
【００７６】
この衝撃吸収機構３３の作動により、衝撃吸収機構３３の押出ロッド３３ｂは、可動フレーム２４の他端部を押し出す。その押し出しにより、ロールユニットＲＹの引き出しを補助する力（アシスト力）が与えられる。すなわち、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９との間には、磁力による大きな吸着力が作用しており、ロールユニットＲＹを引き出す場合、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９とを引き離す必要があるので、大きな引き出し力が必要となる。これに対して、押出ロッド３３ｂが可動フレーム２４の他端側を押し込むと、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９とを引き離すのが補助されるので、作業者は、ロールユニットＲＹを引き出す際に、より少ない力で、当該ロールユニットＲＹを引き出すことが可能となる。
【００７７】
また、ロールユニットＲＹを差し込む場合、制御部５０（主制御部５１）は、不図示の差込検出センサを介して、ロールユニットＲＹが差し込まれていないと判断する。そして、主制御部５１は、ダンパ制御部５４に指令を与える。そして、かかる指令に基づいて、ダンパ制御部５４は、ダンパドライバ５７を介して、衝撃吸収機構３３を作動させる。なお、このように構成せずに、クリーンローラ装置１の電源オンの状態であって、駆動モータ２９の停止状態において所定時間が経過したときには、制御部５０は、ロールユニットＲＹを差し込む待機状態であると判断し、ダンパ制御部５４を介して、衝撃吸収機構３３を自動的に作動させるようにしても良い。
【００７８】
この衝撃吸収機構３３の作動により、衝撃吸収機構３３の押出ロッド３３ｂは、所定の押圧力を受けて、図８（ｂ）に示すように飛び出している状態となる。この状態で、作業者がロールユニットＲＹを差し込むと、いずれ可動フレーム２４の他端部に対して、押出ロッド３３ｂの先端が衝突する。このとき、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９とは、十分に近接した状態となるので、両者の間には、磁力による吸着力が作用し始める。
【００７９】
その状態でも、さらに作業者がロールユニットＲＹを差し込むと、可動フレーム２４の他端部は、押出ロッド３３ｂを押し込んでいく。すると、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９とは、徐々に近接していくので、両者の間の磁力による吸着力は、徐々に増大していく。一方、押出ロッド３３ｂを押し込んでいくと、シリンダ３３ａの内部でエアが圧縮されていくが、押し込みに対する反力（圧縮力）は、一定圧力で維持される。そのため、エアの圧縮力によって、磁力による吸着力が軽減される状態となる。
【００８０】
このような衝撃吸収機構３３の作用により、ロールユニットＲＹを差し込む際に、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９との間の磁力により、ロールユニットＲＹが急激に引き込まれ、クリーンローラ装置１に衝撃を及ぼさせる状態となるのを防止できる。
【００８１】
なお、衝撃吸収機構３３において押出ロッド３３ｂを押し出す圧力は、ロールユニットＲＹの差し込み時と、ロールユニットＲＹの引き抜き時とで、同じ値に設定することも可能である。同じ値の例としては、ロールユニットＲＹを完全に差し込んでいるときに、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９との間で作用する磁力の略１／２とするものがある。しかしながら、押出ロッド３３ｂを押し出す圧力は磁力の略１／２に限られず、磁力の１／４〜３／４の範囲内、または磁力と同等であって磁力を超えない範囲で種々設定可能である。また、押出ロッド３３ｂを押し出す圧力は、磁力を僅かに超えるようにしても良い。
【００８２】
また、衝撃吸収機構３３において押出ロッド３３ｂを押し出す圧力は、ロールユニットＲＹの差し込み時と、ロールユニットＲＹの引き抜き時とで、違う値に設定することも可能である。その例としては、ロールユニットＲＹの差し込み時に押出ロッド３３ｂを押し出す圧力の値を、ロールユニットＲＹの引き抜き時に押出ロッド３３ｂを押し出す圧力の値よりも小さくするものがあり、例えば、ロールユニットＲＹの引き抜き時には、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９との間で作用する磁力の略３／４、ロールユニットＲＹの差し込み時には、駆動側磁気板３７と従動側磁気板３８，３９との間で作用する磁力の略１／４とするものがある。なお、かかる範囲に限られず、押出ロッド３３ｂを押し出す圧力は、種々設定可能である。また、これとは逆に、ロールユニットＲＹの差し込み時に押出ロッド３３ｂを押し出す圧力の値を、ロールユニットＲＹの引き抜き時に押出ロッド３３ｂを押し出す圧力の値よりも大きくしても良い。
【００８３】
＜本実施の形態の主な効果＞
以上のように構成されたクリーンローラ装置１は、駆動側磁気部材３７と従動側磁気部材３８，３９との間では、磁力が作用するが、衝撃吸収機構３３により、その磁力に抗する力を与えることができる。そのため、ロールユニットＲＹの引き抜きの際に、引き抜きの力を軽減可能となる。また、ロールユニットＲＹの差し込みの際に、磁力による吸着力によって生じる衝撃を吸収可能となる。
【００８４】
また、本実施の形態では、衝撃吸収機構３３は、クリーンローラ装置１の装置本体側に取り付けられている。そのため、ロールユニットＲＹに対して押し込み力を与える状態となる。そのため、衝撃吸収機構３３に対して動力（駆動力）を容易に与えることが可能となる。
【００８５】
さらに、本実施の形態では、衝撃吸収機構３３は、シリンダ３３ａと、押出ロッド３３ｂとを有している。このため、エア等の流体の圧力により、押出ロッド３３ｂを押し出す圧力を決定可能となり、ロールユニットＲＹを差し込むときに受け止める反力、およびロールユニットＲＹを引き抜くときのアシスト力を適宜に調整可能となる。
【００８６】
また、本実施の形態では、衝撃吸収機構３３は、制御部５０によって制御駆動されると共に、この制御部５０は、運転スイッチ（図示省略）の押下によって衝撃吸収機構３３の作動のオンオフを切り替えている。このため、衝撃吸収機構３３は、制御部５０によってその作動が制御可能となる。ここで、運転スイッチの押下により、衝撃吸収機構３３のオンオフが切り替えられるので、クリーンローラ装置１の運転に連動して、衝撃吸収機構３３を自動的に作動させることが可能となり、その利便性を向上させることが可能となる。
【００８７】
さらに、ロールユニットＲＹを差し込む待機状態のときの押出ロッド３３ｂを押し出す圧力は、ロールユニットＲＹを引き抜くときの押出ロッド３３ｂを押し出す圧力よりも大きくすることも可能であり、この場合には、クリーンローラ装置１に衝撃を与えない構成とすることが可能となる。それにより、クリーンローラ装置１の耐久性が向上し、長寿命化を図ることも可能となる。
【００８８】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の形態に限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。
【００８９】
上述の実施の形態では、横方向に２つずつの粘着ロール４，５が配設されているが、粘着ロール４，５の数は当該数に限定されるものではなく、幾つ配置する構成を採用しても良い。また、粘着ロール４および粘着ロール５の両方を備える必要はなく、ワーク２の片面洗浄のみで足りる場合、粘着ロール４または粘着ロール５のいずれか一方のみを備える構成としても良い。その場合、第１粘着テープロール６または第２粘着テープロール７のいずれか一方のみを備える構成となる。
【００９０】
また、上述の実施の形態では、衝撃吸収機構３３は、エア等の流体によって、押出ロッド３３ｂを押し出す構成を採用している。しかしながら、かかるエア等の圧力を利用する構成以外に、例えばバネ等の付勢力によって、押出ロッド３３ｂを押し出す構成を採用しても良い。なお、バネを採用する場合、ロールユニットＲＹは、クリーンローラ装置１の動作時においても、飛び出し易い状態となるため、ロールユニットＲＹの飛び出しを阻止するロック機構を採用することが好ましい。
【００９１】
さらに、上述の実施の形態では、衝撃吸収機構３３は、固定フレーム３２に取り付けられている構成について開示されている。しかしながら、衝撃吸収機構３３は、固定フレーム３２ではなく、ロールユニットＲＹの可動フレーム２４に取り付けられる構成を採用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るクリーンローラ装置の概略構成を透過的に示す側面図である。
【図２】図１中の要部を正面から透過的に見た場合の概略構成を説明するための図である。
【図３】図２に示す回転駆動伝達機構部の構成を上面から透過的に見た図である。
【図４】図２のＦ−Ｆ方向から回転駆動伝達機構部の一部の構成を透過的に見た図である。
【図５】図４に示す駆動側磁気板と従動側磁気板とを正面から見たときの配置関係を説明するための図である。
【図６】図５のＧ−Ｇ方向から見たときの配置関係を示す図である。
【図７】図４に示す軸受ブロックおよびリニアブッシュを抜き出して示す図である。
【図８】衝撃吸収機構の作動状態を説明するための部分的な拡大図であり、（ａ）は押出ロッドがシリンダ内部に押し込まれている状態を示し、（ｂ）は押出ロッドがシリンダ内部から飛び出している状態を示している。
【図９】クリーンローラ装置の制御部の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００９３】
１，  
５０…クリーンローラ装置、２…ワーク、４…第１粘着ロール（粘着ロール）、５…第２粘着ロール（粘着ロール）、１１，１３…回転軸、１２，１４，１６，１８…軸受、  ２４…可動フレーム、２９…駆動モータ、３０…伝達機構、３３…衝撃吸収機構、３３ａ…シリンダ、３３ｂ…押出ロッド、３３ｃ…位置決め部、３６…リニアガイド、３７…駆動側磁気板（駆動側磁気部材）、３８…第１従動側磁気板（第１従動側磁気部材、従動側磁気部材）、３９…第２従動側磁気板（第２従動側磁気部材、従動側磁気部材）、４１…リニアシャフト、４２…リニアブッシュ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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