(57)【要約】【課題】位置決めされたウエハに無理な力が作用することを防止することができる、位置決めステージ、それを用いたバンプ形成装置およびバンプ形成方法を提供する。【解決手段】位置決めステージ２１，２２は、ウエハ２を載置するウエハ載置面２４ａと、ウエハ載置面２４ａに載置されたウエハ２に隣接し、ウエハ載置面２４ａに対して直角に延在する位置決め部材２８とを備える。位置決め部材２８を、ウエハ載置面に載置されたウエハに当接して該ウエハを所定位置に位置決めする位置決め位置に保持する弾性変形部材２７を有する。弾性変形部材２７は、位置決め部材２８に、ウエハ載置面２４ａに載置されたウエハ２とは反対方向に所定の大きさを越える付勢力が作用したとき、位置決め部材２８を位置決め位置からウエハ載置面２４ａに載置されたウエハ２とは反対方向に退避させるように弾性変形する。【選択図】図１０
2010278478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを載置するウエハ載置面と、
前記ウエハ載置面に載置されたウエハに隣接し、前記ウエハ載置面に対して直角に延在する位置決め部材とを備えた位置決めステージにおいて、
前記位置決め部材を、前記ウエハ載置面に載置されたウエハに当接して該ウエハを所定位置に位置決めする位置決め位置に保持する弾性変形部材を有し、
前記弾性変形部材は、前記位置決め部材に、前記ウエハ載置面に載置されたウエハとは反対方向に所定の大きさを越える付勢力が作用したとき、前記位置決め部材を前記位置決め位置から前記ウエハ載置面に載置されたウエハとは反対方向に退避させるように弾性変形することを特徴とする位置決めステージ。
【請求項２】
少なくとも２台の請求項１に記載の位置決めステージ（以下、単に「ステージ」という。）と、
前記各ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハを加熱する加熱手段と、
前記各ステージを、ボンディング装置に対向するバンプ形成位置と該バンプ形成位置から退避した退避位置との間を移動させるステージ移動手段とを備え、
前記ステージ移動手段により前記各ステージを前記バンプ形成位置に順次移動させ、前記バンプ形成位置にある前記ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハに対して、前記ボンディング装置によりバンプを形成する一方、前記退避位置にある他の前記ステージの前記ウエハ載置面からバンプが形成されたウエハを取り除き、次にバンプを形成するウエハを該ステージの前記ウエハ載置面に載置して前記加熱手段により加熱することを特徴とする、バンプ形成装置。
【請求項３】
少なくとも２台の請求項１に記載の位置決めステージ（以下、単に「ステージ」という。）を用い、前記各ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハに、順次、バンプを形成するバンプ形成方法であって、
少なくとも１台の一方の前記ステージを、ボンディング装置に対向するバンプ形成位置に配置する一方、少なくとも１台の他方の前記ステージを、前記バンプ形成位置から退避した退避位置に配置する第１のステップと、
前記一方の前記ステージを前記退避位置に配置する一方、前記他方の前記ステージを前記バンプ形成位置に配置する第２のステップとを、
前記各ステージを移動させながら繰り返し、
前記第１及び第２のステップにおいて、
前記ボンディング位置に配置された前記ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハに対して、前記ボンディング装置によりバンプを形成する一方、
前記退避位置に配置された前記ステージの前記ウエハ載置面からバンプが形成されたウエハを取り除き、次にバンプを形成するウエハを該ステージの前記ウエハ載置面に載置して加熱することを特徴とするバンプ形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置決めステージ、それを用いたバンプ形成装置およびバンプ形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程において、ウエハを位置決めする位置決めステージが用いられている。
【０００３】
例えば図１に示すように、支持腕６５の先端のウエハ受け部６６でウエハ１を支持し、ウエハ１の外縁の外側に位置決めローラ６７が位置する状態で、規制腕７２を支持腕６５に対して移動させ、ばねの付勢力を利用して位置決めローラ６７と位置規制ローラ７４により適正な荷重でウエハ１を挟持する（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、例えば焦電性を有する圧電基板のように温度変化に伴い電荷を発生する場合には、バンプ形成装置などの位置決めステージに載置されたウエハに除電用接触部材を当接し、電荷を除去する必要がある。例えば図２に示すように、除電用部材１４１６にすり鉢状の穴１４１６６を設け、除電用接触部材１４１２１の一端の球１４１１５にアース線１４１０９を取り付け、他端の球１４１０５をスプリング１４１６２で押圧し、除電用接触部材１４１２１をウエハ表面に接触させることによって、表面の帯電をアースする（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６３２１４号（図１１）
【特許文献２】特開２００１−２１０６６４号（図２０）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えばバンプ形成工程などにおいて、ステージに載置されて位置決めされたウエハを加熱すると、ウエハが破損することがある。これは、位置決めされ、拘束された状態にあるウエハが加熱により熱膨張することで、発生する内部応力が強度を超えることが原因と考えられる。
【０００７】
また、温度変化に伴いウエハに電荷が発生する場合、ウエハの位置決めと除電を別々に行うと、工程や設備が複雑になり、生産効率の向上が困難である。
【０００８】
本発明は、かかる実情に鑑み、位置決めされたウエハに無理な力が作用することを防止することができる、位置決めステージ、それを用いたバンプ形成装置およびバンプ形成方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した位置決めステージを提供する。
【００１０】
位置決めステージは、ウエハを載置するウエハ載置面と、前記ウエハ載置面に載置されたウエハに隣接し、前記ウエハ載置面に対して直角に延在する位置決め部材とを備えたタイプのものである。位置決めステージは、前記位置決め部材を、前記ウエハ載置面に載置されたウエハに当接して該ウエハを所定位置に位置決めする位置決め位置に保持する弾性変形部材を有する。前記弾性変形部材は、前記位置決め部材に、前記ウエハ載置面に載置されたウエハとは反対方向に所定の大きさを越える付勢力が作用したとき、前記位置決め部材を前記位置決め位置から前記ウエハ載置面に載置されたウエハとは反対方向に退避させるように弾性変形する。
【００１１】
上記構成によれば、ウエハに当接する位置決め部材は、弾性変形部材の弾性変形によって位置決め位置から退避するので、ウエハには、位置決め部材から所定の大きさを越える力が作用しないようにすることができる。これにより、位置決めされたウエハに無理な力が作用することを防止することができる。
【００１２】
なお、上記の弾性変形部材としては、板ばねやバイメタル構造などを用いることができる。バイメタル構造を用いた場合、位置決めステージの加熱による温度変化で弾性変形部材自体が自発的に変形し、応力の発生を未然に防止することができる。
【００１３】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したバンプ形成装置を提供する。
【００１４】
バンプ形成装置は、少なくとも２台の前述したいずれかの構成の位置決めステージ（以下、単に「ステージ」という。）と、前記各ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハを加熱する加熱手段と、前記各ステージを、ボンディング装置に対向するバンプ形成位置と該バンプ形成位置から退避した退避位置との間を一体的に移動させるステージ移動手段とを備える。前記ステージ移動手段により前記各ステージを前記バンプ形成位置に順次移動させ、前記バンプ形成位置にある前記ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハに対して前記ボンディング装置によりバンプを形成する一方、前記退避位置にある他の前記ステージの前記ウエハ載置面からバンプが形成されたウエハを取り除き、次にバンプを形成するウエハを該ステージの前記ウエハ載置面に載置して前記加熱手段により加熱する。
【００１５】
上記構成において、加熱手段はそれぞれのステージの内部に設けても、外部に設けてもよい。
【００１６】
上記構成によれば、位置決めされたウエハに無理な力が作用することを防止することができる上、一方のステージでバンプ形成中に、他方のステージでウエハの着脱やウエハの加熱などを行うことができるので、生産効率の向上が容易である。
【００１７】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したバンプ形成方法を提供する。
【００１８】
バンプ形成方法は、少なくとも２台の前述したいずれかの構成の位置決めステージ（以下、単に「ステージ」という。）を用い、前記各ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハに、順次、バンプを形成するタイプの方法である。バンプ形成方法は、少なくとも１台の一方の前記ステージを、ボンディング装置に対向するバンプ形成位置に配置する一方、少なくとも１台の他方の前記ステージを、前記バンプ形成位置から退避した退避位置に配置する第１のステップと、前記一方の前記ステージを前記退避位置に配置する一方、前記他方の前記ステージを前記バンプ形成位置に配置する第２のステップとを、前記各ステージを一体的に移動させながら繰り返す。前記第１及び第２のステップにおいて、前記ボンディング位置に配置された前記ステージの前記ウエハ載置面に載置されたウエハに対して、前記ボンディング装置によりバンプを形成する一方、前記退避位置に配置された前記ステージの前記ウエハ載置面からバンプが形成されたウエハを取り除き、次にバンプを形成するウエハを該ステージの前記ウエハ載置面に載置して加熱する。
【００１９】
上記方法によれば、位置決めされたウエハに無理な力が作用することを防止することができる上、一方のステージでバンプ形成中に、他方のステージでウエハの着脱やウエハの加熱などを行うことができるので、生産効率の向上が容易である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の位置決めステージ、それを用いたバンプ形成装置およびバンプ形成方法によれば、位置決めされたウエハに無理な力が作用することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】ウエハの位置決め機構の説明図である。（従来例）
【図２】除電機構の説明図である。（従来例）
【図３】バンプ形成装置の平面構成図である。（実施例）
【図４】ステージ移動装置の構成図である。（実施例）
【図５】バンプ形成装置の動作の説明図である。（実施例）
【図６】ウエハの受け渡し動作の説明図である。（実施例）
【図７】ウエハの受け渡し動作の説明図である。（実施例）
【図８】ウエハの受け渡し動作の説明図である。（実施例）
【図９】ウエハの受け渡し動作の説明図である。（実施例）
【図１０】ステージの構成を示す断面図である。（実施例）
【図１１】ステージの構成を示す（ａ）平面図、（ｂ）断面図である。（実施例）
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態として実施例について、図３〜図１１を参照しながら説明する。
【００２３】
図３の平面構成図に示すように、バンプ形成装置１０は、２台のヒートステージ２１，２２に載置されたウエハ２に対して交互に、バンプを形成する。
【００２４】
ウエハ２は、例えば表面波フィルタ（ＳＡＷフィルタ）を形成するためのＬｉＴａＯ３（タンタル酸リチウム）やＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム）等の焦電性を有する圧電体である。ウエハ２には、外縁近傍にアース電極が形成されている。
【００２５】
図３に示すような装置構成において、２台のヒートステージ２１，２２は、ステージ移動装置２０によって左右（Ｘ方向）に一体的に移動し、各ヒートステージ２１，２２が、ボンディング装置のボンディングヘッド４０の直下に位置するバンプ形成位置に交互に配置される。ボンディングヘッド４０は、バンプ形成位置のヒートステージ２１，２２上に載置されたウエハ２に、バンプを形成する。ステージ移動装置２０の両側には、供給用のウエハマガジン１２と、収納用のウエハマガジン１４とが配置されている。
【００２６】
ステージ移動装置２０は、図４に示すように、左右（Ｘ方向）に移動する１台の移動テーブル２３の上に、ヒートステージ２１，２２が固定されている。移動テーブル２３は、不図示のモータなどのアクチュエータによって駆動され、左右の２位置間を移動する。ヒートステージ２１，２２は、移動テーブル２３の移動によって、一体的に移動する。
【００２７】
移動テーブル２３が図において左側に位置するとき、ヒートステージ２１，２２は、実線で示したように、右側のヒートステージ２２がボンディングヘッド４０の直下に位置するバンプ形成位置に配置される。左側のヒートステージ２１は、バンプ形成位置以外の位置、すなわち退避位置に配置される。
【００２８】
移動テーブル２３が図において右側に位置するとき、左側のヒートステージ２１は、ボンディングヘッド４０の直下に位置するバンプ形成位置に配置される。右側のヒートステージ２２は、鎖線２２ａで示したように、バンプ形成位置以外の位置、すなわち退避位置に配置される。
【００２９】
各ヒートステージ２１，２２には、ヒーター（図示せず）が内蔵され、載置されたウエハ２を、載置されたウエハ２にバンプを形成する前に所定温度まで加熱するようになっている。
【００３０】
図３に示すように、ウエハ２は、ステージ移動装置２０及びウエハマガジン１２，１４に沿って移動する搬送装置３０によって搬送される。
【００３１】
搬送装置３０は、符号３０ａ，３０ｄで示すようにウエハマガジン１２，１４に対向する位置で、後述するアーム３２（図６〜図９参照）が前後（Ｙ方向）に進退し、ウエハマガジン１２，１４に対してウエハ２の受け渡しを行う。
【００３２】
移動テーブル２３、すなわちヒートステージ２１，２２が実線で示した左側に位置するとき、符号３０ｂで示したように、退避位置にある左側のヒートステージ２１に対向し、ヒートステージ２１に対してウエハ２の受け渡しを行う。移動テーブル２３、すなわちヒートステージ２１，２２が右側に位置するとき、符号３０ｃで示したように、退避位置にある右側のヒートステージ２２に対向し、ヒートステージ２２に対してウエハ２の受け渡しを行う。
【００３３】
搬送装置３０は、上記動作により、周期をずらして供給用のウエハマガジン１２からステージ２１，２２にウエハ２を搬送し、あるいは、ステージ２１，２２から収納用のウエハマガジン１４にウエハ２を搬送する。
【００３４】
次に、バンプ形成装置１０を用いてウエハ２にバンプを形成する工程全体について、図５を参照しながら説明する。
【００３５】
図５（ａ）に示すように、ステージ移動装置２０により、ヒートステージ２１，２２が左側に位置しているとき、搬送装置３０は、供給用のウエハマガジン１２に対向する位置３０ａにおいて、矢印Ｌ１で示すように、複数枚のウエハ２が横詰めされた供給用のウエハマガジン１２から、１枚のウエハ２のみを取り出す。次いで、矢印Ｌ２で示すように、左側のヒートステージ２１に対向する位置３０ｂまでウエハ２を搬送し、矢印Ｌ３で示すように、左側のヒートステージ２１にウエハ２を載置し、所定位置に位置決めする。そして、左側のヒートステージ２１に載置されたウエハ２を、所定温度（１１０〜１３０℃）まで昇温する。
【００３６】
次いで、図５（ｂ）に示すように、ステージ移動装置２０により、ヒートステージ２１，２２は一体的に右側に移動し、左側のヒートステージ２１に載置され所定温度（１１０〜１３０℃）に予熱されたウエハ２は、ボンディング装置のボンディングヘッド４０の直下のバンプ形成位置で、ボンディングヘッド４０によってバンプが形成される。
【００３７】
すなわち、画像認識装置とウエハ２上にある基準マークを利用して、ウエハ２上の図形の座標とボンディングヘッド４０のＸ−Ｙテーブルの座標との校正をとり、所定温度（１１０〜１３０℃）まで昇温したウエハ２に、ボンディングヘッド４０によりＡｕワイヤを用いてＡｕボールを形成する。形成されたボールをヒートステージ２１の所定温度の熱と超音波振動を併用して、ウエハ２のＡｌ電極にバンプボンド（金属結合）する。このバンプ形成作業を、、ウエハ２全体に渡って行う。
【００３８】
この間、搬送装置３０は、右側のヒートステージ２２に対向する位置３０ｃに移動し、矢印Ｒ４で示すように、右側のヒートステージ２２から、バンプが形成されたウエハ２を取り出す。そして、バンプが形成されたウエハ２を、矢印Ｒ５で示すように、収納用のウエハマガジン１４に対向する位置３０ｄまで搬送して、矢印Ｒ６で示すように、収納用のウエハマガジン１４に収納する。次いで、供給用のウエハマガジン１２に対向する位置３０ａにおいて、矢印Ｒ１で示すように、供給用のウエハマガジン１２からウエハ２を取り出す。次いで、矢印Ｒ２で示すように、右のヒートステージ２２に対向する位置３０ｃまでウエハ２を搬送し、矢印Ｒ３で示すように、右側のヒートステージ２２にウエハ２を載置する。右側のヒートステージ２２に載置されたウエハ２は、所定温度まで加熱される。
【００３９】
左側のヒートステージ２１に載置されたウエハ２全体に対するバンプ形成が終了すると、図５（ｃ）に示すように、ステージ移動装置２０により、ヒートステージ２１，２２は一体的に左側に移動する。左側のヒートステージ２１は、後述するステージ本体２４の空気孔２４ｔ（図１０参照）から空気を噴出させ、載置されたウエハ２を所定の降下温度（７０〜９０℃）に降温する。ウエハ２が所定の降下温度（例えば、８０℃）に達したら、クランプアーム２６（図６〜図１０参照）が開き、ウエハ２を収納用ウエハマガジン１４まで搬送する。すなわち、搬送装置３０は、左側のヒートステージ２１に対向する位置３０ｂに移動し、矢印Ｌ４で示すように、左側のヒートステージ２１から、バンプが形成されたウエハ２を取り出す。そして、バンプが形成されたウエハ２を、矢印Ｌ５で示すように、収納用のウエハマガジン１４に対向する位置３０ｄまで搬送して、矢印Ｌ６で示すように、収納用のウエハマガジン１４に横詰め状態に収納する。
【００４０】
この間、右側のヒートステージ２２に載置されたウエハ２は、ボンディング装置のボンディングヘッド４０によって、バンプが形成される。
【００４１】
ヒートステージ２１，２２の移動に同期して、ヒートステージ２１，２２を交互に用い、周期をずらして同様の動作を行うことによって、バンプを効率よく形成することができる。
【００４２】
以下、ヒートステージ２１，２２及び搬送装置３０について、図６〜図１１を参照しながら、さらに詳しく説明する。
【００４３】
図６〜図９に示すように、ヒートステージ２１，２２は、ウエハ２を載置するステージ本体２４の上面２４ａから、複数の持ち上げピン２５が出没するようになっている。また、ステージ本体２４の上面２４ａよりも上側には、上面２４ａから突出している２本の位置決めピン２８と、一対のクランプアーム２６とが配設されている。
【００４４】
搬送装置３０は、本体３１がウエハマガジン１２，１４（図５参照）又はヒートステージ２１，２２に対向する位置３０ａ〜３０ｄ（図５参照）にあるとき、ウエハ２が載置されるアーム３２が、ウエハマガジン１２，１４（図５参照）又はヒートステージ２１，２２側に、本体３１から前進、または後退するようになっている。
【００４５】
次に、搬送装置３０から、ヒートステージ２１，２２のステージ本体２４の上面２４ａへのウエハ２を載置するときの動作について、図６〜図９を参照しながら説明する。
【００４６】
搬送装置３０のアーム３２は、ウエハ２を載置した状態で、図６において矢印３２ａで示すように、ヒートステージ２１，２２に向けて前進する。このとき、一対のクランプアーム２６は開いた状態である。すなわち、各クランプアーム２６の先端側は、ヒートステージ２１，２２のステージ本体２４の上面２４ａのウエハ２を載置すべき位置から退避している。
【００４７】
搬送装置３０のアーム３２は、ウエハ２をステージ本体２４の上方（詳しくは、持ち上げピン２５の上方）まで搬送したら、図７において矢印３２ｂで示すように下降し、ウエハ２の支持を、持ち上げピン２５と交代する。すなわち、ウエハ２は、持ち上げピン２５の上端で支持されるようになる。
【００４８】
次いで、図８において矢印３２ｃで示すように、搬送装置３０のアーム３２は下降した状態のまま、本体３１側に後退する。
【００４９】
次いで、図９において矢印２５ａで示すように、ウエハ２を支持している持ち上げピン２５が下降し、ウエハ２はステージ本体２４の上面２４ａに載置される。次いで、クランプアーム２６が、矢印２６ａで示すように回動して閉じた状態となり、クランプアーム２６の先端側がウエハ２の片側（図において左側）に当接してウエハ２を、位置決めピン２８側に付勢する。これによって、ウエハ２の反対側（図において右側）は、位置決めピン２８に当接し、位置決めされる。このとき、ウエハ２は、クランプアーム２６と位置決めピン２８との間に挟持される。
【００５０】
ここで、クランプアーム２６とウエハ２との当接箇所は、位置決めピン２８とは略反対側、すなわちウエハ２をオリフラ部のない円形と見なした場合の中心よりも左側で、クランプアーム２６が回動して閉じた状態において右側（位置決めピン２８側）に付勢する力が発生する箇所であればよい。
【００５１】
次に、ヒートステージ２１，２２の構造について、図１０の断面図を参照しながら、さらに説明する。
【００５２】
ウエハ２は、ウエハ２の中心とステージ本体２４の中心とが略一致する位置に位置決めされ、ウエハ２及びステージ本体２４は、それぞれの中心から外に向けて熱膨張する。そのため、位置決めピン２８を固定構造にしておくと、ステージ本体２４とウエハ２との熱膨張率の違いによる変位量の差が吸収されず、結果的にウエハ２がピンと接触している部分に無理な力が作用してウエハ２が割れるなどの損傷が生じることがある。
【００５３】
そこで、位置決めピン２８を板ばね２７で支持し、ステージ本体２４とウエハ２との熱膨張率の違いによる変位量の差を板ばね２７が弾性的に変形することによって吸収し、ウエハ２に無理な力が作用することを防止している。
【００５４】
板ばね２７は、ヒートステージ２１，２２のステージ本体２４の下面２４ｂに配置されている。板ばね２７の一端２７ａ側は、ねじ２９によって、ステージ本体２４の下面２４ｂに固定されている。板ばね２７の他端２７ｂ側には、位置決めピン２８の基端側が固定されている。位置決めピン２８は、ステージ本体２４に形成された貫通穴２４ｓに遊嵌し、ステージ本体２４の上面２４ａから上方に突出するようになっている。
【００５５】
位置決めピン２８の先端側に、図において右向きに所定の大きさを越える力が作用すると、図において鎖線で示すように、板ばね２７が大略円弧状に下側に湾曲し、位置決めピン２８は図において右側に移動する。これによって、ステージ本体２４とウエハ２との熱膨張率の違いによる変位量の差を吸収し、位置決めピン２８によってウエハ２に無理な力が作用することを防止することができる。
【００５６】
一方、ウエハ２を付勢するクランプアーム２６について、詳しくは後述するように、ばねの力を利用してウエハ２を付勢する構成とすることで、クランプアーム２６によってウエハ２に無理な力が作用することを防止している。
【００５７】
クランプアーム２６の先端側のウエハ２の外縁に接する当接面２６ｓは、ステージ本体２４の上面２４ａに対して所定の角度θ（０°＜θ＜９０°）傾き、ステージ本体２４の上面２４ａに略対向するようになっている。
【００５８】
クランプアーム２６は、少なくとも当接面２６ｓが導電性を有し、当接面２６ｓはアースされている。クランプアーム２６が閉じると、クランプアーム２６の当接面２６ｓが、ウエハ２の外縁近傍に形成されたアース電極に接触し、焦電性を有する常温のウエハ２がヒートステージ２１，２２に載置されている間に温度変化により発生した電荷を除電する。当接面２６ｓは斜めに形成されているので、ウエハ２のアース電極に確実に接触し、ウエハ２から確実に除電することができる。
【００５９】
クランプアーム２６が閉じると、当接面２６ｓは、大略、位置決めピン２８に向けて平行移動し、ウエハ２の外縁近傍に当接する。このとき、ウエハ２には、ステージ本体２４の上面２４ａに平行な分力と、ステージ本体２４の上面２４ａに垂直で下向きの分力とが作用する。後者の下向きの分力によって、ウエハ２はステージ本体２４の上面２４ａに押し付けられるので、位置決めピン２８が鎖線のように傾いても、ウエハ２がステージ本体２４の上面２４ａから浮き上がらないようにすることができる。
【００６０】
ステージ本体２４は、空気孔２４ｔが形成されている。空気孔２４ｔから吸引することにより、上面２４ａに載置されたウエハ２の下面２ｂを吸着し、保持する。また、空気孔２４ｔから上面２４ａとウエハ２の下面２ｂとの間に空気を流し、位置決め時にウエハ２を上面２４ａから浮かせて移動させやすくしたり、バンプ形成後のウエハ２を冷却したりする。
【００６１】
次に、クランプアーム２６の開閉機構１２０，１４０について、図１１を参照しながら説明する。図１１（ａ）は平面図である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の線Ｂ−Ｂに沿って切断した断面図である。
【００６２】
一対のクランプアーム２６の開閉機構１２０，１４０は、各クランプアーム２６の基端側が、ヒートステージ２１，２２のステージ本体２４を貫通し回転自在に支持されている回転軸１２４，１４４の上端に、それぞれ、固定されている。各回転軸１２４，１４４の下端には、連動板１２６，１４６の一端側が、それぞれ固定されている。各連動板１２６，１４６の他端側は、図１１（ｂ）に示すように隙間を設けて重なり合い、この重なり合った部分には、それぞれ貫通穴１２７，１４７が形成されている。各貫通穴１２７，１４７には、ベース部材１３０に立設された係合ピン１３２が遊嵌するようになっている。各連動板１２６，１４６には、一端がステージ本体２４の下面に係止された不図示の引張ばねの他端が係止され、引張ばねのばね力によって、図１１（ａ）において矢印１２８，１４８で示す方向に、各連動板１２６，１４６を付勢するようになっている。係合ピン１３２が立設されたベース部材１３０は、不図示の伸縮シリンダ等のアクチュエータの駆動により、矢印１３８で示す方向に、矢印１２８，１４８で示す方向の引張ばねのばね力に抗して、各連動板１２６，１４６を、解除可能に回動させるようになっている。
【００６３】
ウエハ２をヒートステージ２１，２２のステージ本体２４の上面２４ａに着脱するときには、ベース部材１３０が矢印１３８で示す方向に移動し、各連動板１２６，１４６は破線で示したように一直線上に重なり、クランプアーム２６は、実線で示したように、クランプアーム２６の先端側がウエハ２から離れた開状態となる。
【００６４】
ウエハ２をヒートステージ２１，２２のステージ本体２４の上面２４ａに保持するときには、ベース部材１３０を移動させるアクチュエータの駆動が解除され、矢印１２８，１４８で示す方向の引張ばねのばね力によって、各連動板１２６，１４６は、鎖線で示したように回動する。この連動板１２６，１４６の回動によりクランプアーム２６が回動し、クランプアーム２６の先端側がウエハ２の外縁に接する閉状態となる。
【００６５】
（実施例１）  ヒートステージ２１，２２は、ウエハ２が載っていないときの温度を７０〜９０℃に設定し、ウエハ２が載っているときには１００〜１３０℃まで昇温する。
【００６６】
ヒートステージ２１，２２に設ける板ばね２７の材質はＳＵＳ３０４、位置決めピン２８やクランプアーム２６の材質はＳ５０Ｃなどの炭素鋼であるが、導電性を有する他の材料であってもよい。
【００６７】
ウエハ２は、ヒートステージ２１，２２のステージ本体２４の上面２４ａにおいて、クランプアーム２６が閉じることによって、オリフラ辺が２本の位置決めピン２８に当接し、位置決めされる。このとき、クランプアーム２６の付勢で、ウエハ２のオリフラ辺に当接した位置決めピン２８が、実質的に、傾いたり移動したりしないように、すなわち板ばね２７が撓まないように設計し、位置決めを正確に行えるようにする。
【００６８】
このような設計を行わずに、クランプアーム２６が閉じ、ウエハ２のオリフラ辺が位置決めピン２８に当接し、ウエハ２を位置決めするときに、位置決めピン２８が傾いたり、上下に移動したりしないように、例えば板ばね２７をシリンダ等でロックし、ステージの温度上昇時にはロックを解除するようにしてもよい。
【００６９】
クランプアーム２６は、少なくとも当接面２６ｓが導電性を有し、当接面２６ｓはアースされている。ウエハ２がヒートステージ２１，２２に載置されている間、クランプアーム２６が閉じ、クランプアーム２６の当接面２６ｓが、ウエハ２の外縁近傍に形成されたアース電極に接触する。これによって、焦電性を有する常温のウエハ２がヒートステージ２１，２２に載置されて昇温・降温することなどにより発生した電荷を除電することができる。
【００７０】
ウエハ２の構成が焦電電荷の発生し難いものである場合、バンプ形成後にウエハ２を降温する際に、導電性の持ち上げピン２５でウエハ２の下面を突き上げてステージ本体２４の上面２４ａから離し、降温時間の短縮を優先させてもよい。
【００７１】
（実施例２）  板ばね２７の代わりに、上下に熱膨張率の異なる金属材料を貼り合わせたバイメタル構造の弾性変形部材を用いる。
【００７２】
これによって、ウエハ２の昇温時に、バイメタル構造の弾性変形部材自体が自発的に湾曲変形し、位置決めピン２６がウエハ２から退避する方向に移動させ、ウエハ２に無理な力が作用しないようにすることができる。
【００７３】
（実施例３）  焦電性材料であって、材料に温度変化を生じさせる工程を有するウエハ加工装置であれば、バンプ形成装置以外でも、実施例１または２のステージ構成を採用できる。
【００７４】
例えば、（ａ）エージング中又はエージング後にウエハの特性を測定するステージを有する装置、（ｂ）ウエハレベルでチップを高温下で熱圧着するステージを有する装置、（ｃ）ウエハレベルでチップを高温下での熱圧着を併用し超音波接合するステージを有する装置などで、実施例１または２のステージ構成を採用できる。
【００７５】
（まとめ）  以上に説明したように、クランプアーム２６や位置決めピン２８にばね性を持たせることで、ステージ本体２４とウエハ２との熱膨張による変位量の差を吸収してウエハ２が割れるなどの損傷を防止することができる。また、当接面２６ｓが斜めになったクランプアーム２６を用いることで、ウエハ２が焦電性を有する場合の除電信頼性が格段に向上する。
【００７６】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えて実施することが可能である。
【符号の説明】
【００７７】
２  ウエハ
１０  バンプ形成装置
２０  ステージ移動装置（ステージ移動手段）
２１，２２  ヒートステージ（位置決めステージ）
２４  ステージ本体
２４ａ  上面（ウエハ載置面）
２６  クランプアーム（付勢部材）
２６ｓ  当接面
２７  板ばね（弾性変形部材）
２８  位置決めピン（位置決め部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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