(57)【要約】【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に形成された排気通路を有し、かつ前記排気通路が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸と、
前記回転軸を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間をはさんで、前記回転軸の外周面を取り囲む固定部と、
前記回転軸の外周面のうち前記排気通路の開口した部分を覆うように前記回転軸に取り付けられた排気リングとを備え、
前記排気リングと前記回転軸の外周面との間には前記排気通路に通じる排気回収路が形成されており、
前記排気回収路は、前記軸受隙間の開口部と向かい合う位置に開口部を有している、静圧気体軸受スピンドル。
【請求項２】
前記回転軸の一方の端部に接続され、被回転物を保持するための保持部をさらに備え、
前記排気リングは前記保持部と一体形成された、請求項１に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【請求項３】
前記排気回収路は、前記排気通路に通じるための折れ曲がり部を有し、前記折れ曲がり部を構成する前記排気リングの角部はラウンド形状を有している、請求項１または２に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【請求項４】
前記排気リングは、前記回転軸の外周面と対向する内径面に前記排気回収路の前記開口部から前記軸受用気体の前記排気通路側に向かって直径が小さくなるテーパ形状を有している、請求項１または２に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【請求項５】
前記回転軸は、前記排気回収路の前記開口部側から前記軸受用気体の前記排気通路側に向かって直径が小さくなるテーパ形状を有している、請求項１〜４のいずれかに記載の静圧気体軸受スピンドル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧気体軸受スピンドルに関し、特に、軸受隙間に供給された軸受用気体を排気回収可能な静圧気体軸受スピンドルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
静圧気体軸受スピンドルは、たとえば、光ディスク、磁気ディスクなどの記録メディアの製造および検査などの高精度な回転を必要とする分野に使われている。
【０００３】
静圧気体軸受スピンドルは、軸受部と回転軸との間に数μｍ〜十数μｍの隙間を有している。そして、上記の隙間に軸受用気体となる圧縮された気体が供給される。その軸受用気体により、静圧気体軸受スピンドルの回転軸が、軸受部に対して非接触で保持される。そして、静圧気体軸受スピンドルは、回転軸を軸受部に対して非接触で保持しながら高速回転する。したがって、静圧気体軸受スピンドルからは、軸受用気体が必ず排出される。
【０００４】
記録メディアの製造および検査などを行う環境のクリーン度は厳しく規定されている。そのため、静圧気体軸受スピンドルから排出される軸受用気体は、全て回収され、クリーンルーム内には排出されないことが望ましい。
【０００５】
たとえば、特開２０００−４６０５４号公報（特許文献１）には、エアーシール機構を備えた静圧気体軸受スピンドルが開示されている。この特許文献１に開示された静圧気体軸受スピンドルのエアーシール機構では、スピンドルハウジングの先端側の内側に設けられたリング状のエアーシール溝に圧縮気体が供給される。それにより、静圧気体軸受スピンドル内部から積極的に圧縮気体が噴出する。これにより、外部から軸受内部への異物の侵入が防止される。すなわち、特許文献１に記載された静圧気体軸受スピンドルは、スピンドルハウジングの先端側の内側に設けられたリング状の溝に圧縮気体を供給するものである。
【０００６】
一方、特許文献１とは逆に圧縮気体を吸気する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルは、排出される軸受用気体を強制的に回収し得る。すなわち、その機構は、特許文献１に記載された機構と同じように、スピンドルハウジングの先端側の内側、つまり軸受および回転軸にリング状の溝を備えている。そして、その機構が圧縮気体を吸気することにより、その機構を備えた静圧気体軸受スピンドルは、排出される軸受用気体を強制的に回収し得る。
【特許文献１】特開２０００−４６０５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように静圧気体軸受スピンドルの軸受および回転軸に吸気用のリング状の溝を設け、そのリング状の溝内を外部に設けた真空発生機で真空にすることにより、静圧気体軸受スピンドルは排出される軸受用気体を回収し得る。しかしながら、この構成では、静圧気体軸受スピンドルの吸気用のリング状の溝を真空にするために、外部に設けた真空発生機を静圧気体軸受スピンドルに接続する必要がある。したがって、コストが高くなる。また、真空発生機より生じる振動やノイズが静圧気体軸受スピンドルを備えた装置の精度に影響することも考えられる。
【０００８】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、外部の真空発生機と接続することなく、軸受隙間から排出される軸受用気体を回収することができる静圧気体軸受スピンドルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路を有し、かつ排気通路が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸と、回転軸を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間をはさんで、回転軸の外周面を取り囲む固定部と、回転軸の外周面のうち排気通路の開口した部分を覆うように回転軸に取り付けられた排気リングとを備えている。排気リングと回転軸の外周面との間には排気通路に通じる排気回収路が形成されている。排気回収路は、軸受隙間の開口部と向かい合う位置に開口部を有している。
【００１０】
本発明の静圧気体軸受スピンドルによれば、排気回収路の開口部と軸受隙間の開口部とが向かい合う構造のため、気流の壁面に沿って流れる性質を利用して軸受用気体を回収することができる。これにより真空発生機が不要となり、真空発生機を備えた従来の静圧気体軸受スピンドルに比べて、コストを安くすることができる。また、真空発生機による振動およびノイズが発生しないので、それらへの対策も不要となる。
【００１１】
上記の静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、回転軸の一方の端部に接続され、被回転物を保持するための保持部をさらに備え、排気リングは保持部と一体形成されている。
【００１２】
これにより、排気リングを別に形成する場合に比べ製造工程を簡素化することができる。また、製造コストを低減することができる。
【００１３】
上記の静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、排気回収路は、排気通路に通じるための折れ曲がり部を有し、折れ曲がり部を構成する排気リングの角部はラウンド形状を有している。
【００１４】
これにより、軸受用気体をより安定して回収することができる。
上記の静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、排気リングは、回転軸の外周面と対向する内径面に排気回収路の開口部から軸受用気体の排気通路側に向かって直径が小さくなるテーパ形状を有している。
【００１５】
これにより、軸受用気体をより安定して回収することができる。
上記の静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、回転軸は、排気回収路の開口部側から軸受用気体の排気通路側に向かって直径が小さくなるテーパ形状を有している。
【００１６】
これにより、軸受用気体をより安定して回収することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明の静圧気体軸受スピンドルによれば、外部の真空発生機と接続することなく、軸受隙間から排出される軸受用気体を回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
最初に本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。
【００１９】
図１は本発明の実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。図２は図１のＰ部を拡大して示す概略断面図である。
【００２０】
図１および図２を参照して、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、固定部２と、排気リング６とを主に有している。
【００２１】
図１を参照して、回転軸１は、円筒形状を有している。回転軸１は、仮想の軸線Ａを中心として回転可能に構成されている。回転軸１は、内部に形成された排気通路７を有している。排気通路７は、排気用円周溝８をその一部に含んでいる。排気通路７は、回転軸１の外周面で、排気用円周溝８越しに開口している。また、回転軸１は、回転軸１の軸と中心軸が一致し、円盤状の形状を有するスラスト板１２を含んでいる。
【００２２】
固定部２は、軸受スリーブ３とハウジング４とを含んでいる。軸受スリーブ３は、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲んでいる。これにより、軸受スリーブ３は、回転軸１を径方向（ラジアル方向）に支持するジャーナル軸受として機能するように構成されている。
【００２３】
また、軸受スリーブ３は、スラスト板１２の上面および下面の各々に対して軸受隙間５を隔てて対向するように形成されている。これにより、軸受スリーブ３は、回転軸１を軸Ａ方向（アキシアル方向）に支持するスラスト軸受として機能するように構成されている。
【００２４】
軸受スリーブ３には、軸受用気体を軸受隙間５に供給するノズル１５が形成されている。ノズル１５は、回転軸１を取り囲むように、アキシアル方向に複数列形成されている。そしてノズル１５は、周方向に沿ってそれぞれの列あたり複数個配置されている。
【００２５】
またノズル１５は、スラスト板１２の上面および下面の各々と軸受スリーブ３との間の軸受隙間５に軸受用気体を供給できるように、スラスト板１２の周方向に複数個形成されている。そしてノズル１５は、スラスト板１２を挟むように配置されている。
【００２６】
ハウジング４は、軸受スリーブ３の外周を取り囲んで、その軸受スリーブ３を保持している。
【００２７】
ノズル１５は、スリーブ給気路１４と、ハウジング給気路１３とを介して、図示しない軸受用気体供給部に接続されている。また、軸受スリーブ３およびハウジング４には、軸受隙間５とハウジング４の外部とを接続する軸受用気体排出路９が形成されている。
【００２８】
排気リング６は、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられている。排気リング６の材質には、たとえば、金属または樹脂が採用され得る。排気リング６の取り付け方法は、たとえば、接着、焼き嵌めおよびボルト固定などが採用され得る。
【００２９】
図示しない被回転物を保持するための保持部１１が、スラスト板１２からみて排気通路７が設けられている方向の回転軸１の端面に取り付けられている。
【００３０】
そして、回転軸１と対向し、かつ保持部１１と対向している軸受スリーブ３の角部には、排気リング６を配置するための環状溝２７が形成されている。排気リング６は、環状溝２７に配置されている。
【００３１】
また、回転軸１の、スラスト板１２からみて保持部１１とは反対側には、回転軸１の外周面を取り囲むように接続されたロータ１８が配置されている。また、ハウジング４には、ロータ１８の外周面に対向するようにステータ１７が配置されている。ステータ１７およびロータ１８は、回転軸１を軸周りに回転駆動するビルトインモータ１６を構成している。ビルトインモータ１６は、モータカバー１９で覆われている。
【００３２】
図２を参照して、排気リング６と対向する回転軸１の外周面には、排気用円周溝８が形成されている。排気用円周溝８は、排気通路７の一部に含まれている。
【００３３】
排気リング６は、排気用円周溝８と対向し、かつ軸受隙間５と対向する角部に環状溝２８を有している。これにより、環状溝２８と回転軸１の外周面との隙間に排気回収路２０およびその開口部２１が形成されている。開口部２１は、回転軸１の外周面に沿うアキシアル方向に向かって軸受隙間５側に開口している。
【００３４】
また、排気回収路２０において、開口部２１と反対側（図２中上側）において、排気リング６は回転軸１の外周面に隙間なく接合している。これにより、排気リング６と回転軸１の外周面との隙間から、開口部２１と反対側（図２中上側）には、軸受用気体は排出されない。
【００３５】
軸受隙間５は、上記の軸受スリーブ３の角部に形成されている環状溝２７に繋がっている位置において開口している。つまり、軸受隙間５は、上記位置において、その開口部２２を有している。開口部２２は、回転軸１の外周面に沿うアキシアル方向に向かって排気回収路２０側に開口している。
【００３６】
したがって、排気回収路２０の開口部２１と、軸受隙間５の開口部２２とは向かい合う位置に配置されている。排気回収路２０の開口部２１の隙間は、軸受隙間５の開口部２２の隙間と同一または広い寸法に形成されている。すなわち、排気回収路２０は、軸受隙間５と同じか広い。
【００３７】
また、外部通気隙間２３が、排気リング６と上記の軸受スリーブ３の角部に形成されている環状溝２７との隙間から構成されている。より具体的には、外部通気隙間２３は、排気リング６の下面および外周面と、環状溝２７の底面および内周面との隙間で構成されている。
【００３８】
次に、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの作用効果について比較例と対比して説明する。
【００３９】
図７は、仮に、特許文献１のエアーシール機構を本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルに適用した比較例の概略断面図である。図７を参照して、比較例は、本実施の形態の構成と比較して、排気リングを備えていない点で主に異なっている。
【００４０】
比較例では、回転軸１および軸受スリーブ３にリング状の溝が互いに対向するように形成されている。これらの溝は、排気用円周溝８を構成している。軸受用気体は、軸受隙間５から排気用円周溝８に流れ込む。しかしながら、比較例では、図２に示す本実施の形態における排気回収路２０の開口部２１が形成されていない。そのため、排気用円周溝８へ軸受用気体を排気するための開口部が、図２に示すように軸受隙間５の開口部２２に対して向かい合う位置に配置されていない。
【００４１】
気流は壁面に沿って流れるので、軸受用気体は回転軸１の外周面に沿って流れる。比較例では、排気通路７の一部に含まれる排気用円周溝８は、軸受隙間５に開口しており、排気通路７の開口位置の上下に軸受隙間５がある。したがって、気流は壁面に沿って流れる性質があるため、軸受隙間５の開口部２２から排出された軸受用気体は排気用円周溝８にほとんど流れない。
【００４２】
その結果、排気用円周溝８内部の圧力が排気口１０の外の圧力より上昇しない。よって、軸受用気体は、排気通路７を通り、排気口１０から外部にほとんど排出されない。
【００４３】
そのため、比較例では、外部に真空発生機を接続しなければ、軸受用気体をハウジング４に設けられた排気口１０から外部に排気することができないという問題がある。
【００４４】
これに対して、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルでは、排気回収路２０の開口部２１と、軸受隙間５の開口部２２とは向かい合う位置に配置されていることから、外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収し、排気口１０から外部に排気することができる。
【００４５】
続いて、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの機構にもとづく作用効果についてより詳細に説明する。
【００４６】
図１を参照して、図示しない軸受用気体供給部から供給された高圧の圧縮空気などの軸受用気体が、ハウジング給気路１３、スリーブ給気路１４およびノズル１５を通って軸受隙間５に供給される。これにより、回転軸１は、軸受スリーブ３に対して回転自在に非接触支持される。そして、ビルトインモータ１６のステータ１７に図示しない電源から電力が供給されることにより、ロータ１８を軸回りに回転させる駆動力が発生する。これにより、軸受スリーブ３に対して回転自在に非接触支持されている回転軸１は、ロータ１８とともに軸受スリーブ３に対して相対的に軸線Ａ周りに回転する。
【００４７】
このとき、図示しない軸受用気体供給部から供給された軸受用気体は、軸受隙間５から軸受隙間５の開口部２２に流れる。そして、軸受隙間５の開口部２２から排出された軸受用気体は、回転軸１の外周面に沿って排気回収路２０の開口部２１に向かって流れる。気流は壁面に沿って流れる性質があるため、軸受隙間５の開口部２２から排出された気体のほとんどは外部通気隙間２３に流れることは無い。
【００４８】
このように、排気回収路２０の開口部２１に流れた軸受用気体は、排気用円周溝８から排気通路７を通り、軸受用気体排出路９を経て、最終的には排気口１０から外部へ排出される。
【００４９】
軸受隙間５から排出された軸受用気体は、断続的ではなく連続的に排出されるので、排気回収路２０に流れ込んだ軸受用気体が逆流することはない。
【００５０】
その結果、排気用円周溝８内部の圧力が排気口１０の外の圧力より上昇する。それにより、軸受用気体は、排気通路７を通り、排気口１０から外部に排出される。
【００５１】
これにより、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルによれば、真空発生機を別途配置する必要がないため、真空発生機を備えた従来の静圧気体軸受スピンドルに比べて、コストを安くすることができる。
【００５２】
また、真空発生機を別途配置する必要がないため、真空発生機を備えた場合に必要となる振動およびノイズ対策も不要となる。
【００５３】
（実施の形態２）
最初に本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。
【００５４】
図３は、本発明の実施の形態２における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。図３は、図１のＰ部に対応する。
【００５５】
図３を参照して、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルは、実施の形態１の構成と比較して、排気リング６が保持部１１と一体形成されている点で主に異なっている。
【００５６】
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルでは、回転軸１の一方の端部に接続され被回転物を保持するための保持部１１を備えている。そして排気リング６が保持部１１と一体で形成されている。そして、保持部１１が回転軸１に取り付けられている。
【００５７】
なお、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態１の構成と同様であるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５８】
次に、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの作用効果について説明する。
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルによれば、排気リング６と保持部１１とを一体で形成することにより、排気リング６を別途製造し、また取り付ける必要がないため、排気リング６を別に形成する場合に比べ製造工程を簡素化することができる。また、製造コストを低減することができる。
【００５９】
（実施の形態３）
最初に本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。
【００６０】
図４は、本発明の実施の形態３における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。図４は、図１のＰ部に対応する。
【００６１】
図４を参照して、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルは、実施の形態１の構成と比較して、排気回収路２０の形状で主に異なっている。
【００６２】
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルでは、排気回収路２０は、排気通路７に通じるための折れ曲がり部２４を有している。その折れ曲がり部２４を構成する排気リング６の角部は、ラウンド形状を有している。
【００６３】
なお、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態１の構成と同様であるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６４】
次に、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの作用効果について説明する。
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルによれば、折れ曲がり部２４を構成する排気リング６の角部がラウンド形状を有していることにより、軸受用気体がより排気回収路２０を流れやすくなり、軸受用気体をより安定して回収することができる。
【００６５】
（実施の形態４）
最初に本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。
【００６６】
図５は、本発明の実施の形態４における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。図５は、図１のＰ部に対応する。
【００６７】
図５を参照して、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルは、実施の形態１の構成と比較して、排気回収路２０の形状で主に異なっている。
【００６８】
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルでは、排気リング６は、回転軸１の外周面と対向する内径面に排気回収路２０の開口部２１から軸受用気体の排気通路７側に向かって直径が小さくなるテーパ形状２５を有している。
【００６９】
なお、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態１の構成と同様であるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７０】
次に、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの作用効果について説明する。
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルによれば、排気リング６が回転軸１の外周面と対向する内径面に排気回収路２０の開口部２１から軸受用気体の排気通路７側に向かって直径が小さくなるテーパ形状２５を有していることにより、軸受用気体がより排気回収路２０を流れやすくなり、軸受用気体をより安定して回収することができる。
（実施の形態５）
最初に本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。
【００７１】
図６は、本発明の実施の形態５における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。図６は、図１のＰ部に対応する。
【００７２】
図６を参照して、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルは、実施の形態１の構成と比較して、排気回収路２０の形状で主に異なっている。
【００７３】
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルでは、回転軸１は、排気回収路２０の開口部２１側から軸受用気体の排気通路７側に向かって直径が小さくなるテーパ形状２６を有している。なお、排気リング６もテーパ形状２５を有している静圧気体軸受スピンドルについて説明するが、排気リング６はテーパ形状２５を有していなくてもよい。
【００７４】
なお、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態１の構成と同様であるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７５】
次に、本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルの作用効果について説明する。
本実施の形態の静圧気体軸受スピンドルによれば、回転軸１は、排気回収路２０の開口部２１側から軸受用気体の排気通路７側に向かって直径が小さくなるテーパ形状２６を有していることにより、軸受用気体がより排気回収路２０を流れやすくなり、軸受用気体をより安定して回収することができる。
【００７６】
なお、排気リング６もテーパ形状２５を有していることにより、さらに軸受用気体が排気回収路２０を流れやすくなり、軸受用気体をより安定して回収することができる。
【００７７】
なお、軸受用気体としては、空気の他、窒素、アルゴン、ヘリウム、水素、酸素などの気体を採用することができる。
【００７８】
今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は、外部の真空発生機と接続することなく排出される気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルに特に有利に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１における図１のＰ部を拡大して示す概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。
【図５】本発明の実施の形態４における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。
【図６】本発明の実施の形態５における静圧気体軸受スピンドルの排気リングの近傍を示す概略断面図である。
【図７】特許文献１のエアーシール機構を本発明の実施の形態１の静圧気体軸受スピンドルに適用した比較例の概略断面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１  回転軸、２  固定部、３  軸受スリーブ、４  ハウジング、５  軸受隙間、６  排気リング、７  排気通路、８  排気用円周溝、９  軸受用気体排出路、１０  排気口、１１  保持部、１２  スラスト板、１３  ハウジング給気路、１４  スリーブ給気路、１５  ノズル、１６  ビルトインモータ、１７  ステータ、１８  ロータ、１９  モータカバー、２０  排気回収路、２１  開口部、２２  開口部、２４  折れ曲がり部、２５  テーパ形状、２６  テーパ形状、２７  環状溝、２８  環状溝。
【図１】
2010138967.tif 000003
【図２】
2010138967.tif 000004
【図３】
2010138967.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2010138967.tif 000008
【図７】
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