(57)【要約】【課題】クリーニングブロワと真空ポンプを共用する場合にクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることのないスクリーン印刷装置を提供する。【解決手段】基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する手段をそれぞれ備えた複数のスクリーン印刷ステージと、全てのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、全てのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える手段とを備えたスクリーン印刷装置において、一方のスクリーン印刷ステージ側からブロワの非作動要求があった場合であっても他方のスクリーン印刷ステージにおいてブロワを使用している場合にはブロワを非作動に切り換えないようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する手段をそれぞれ備えた複数のスクリーン印刷ステージと、
全てのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、
全てのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、
前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える手段とを備え、
何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を終えた場合であっても他の何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には前記真空ポンプまたは前記クリーニングブロワを非作動に切り換えないことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記複数のスクリーン印刷ステージは２つであり、前記真空ポンプが配置された一方のスクリーン印刷ステージと、前記クリーニングブロワが配置された他方のスクリーン印刷ステージとを備えたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
基板吸着用の真空ポンプを一方のスクリーン印刷ステージに配置し、半田吸引用のクリーニングブロワを他方のスクリーン印刷ステージに配置し、両方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプと前記クリーニングブロワを共用するスクリーン印刷装置において、前記一方のスクリーン印刷ステージから前記他方のスクリーン印刷ステージに前記クリーニングブロワの非作動要求が行われたときに前記他方のスクリーン印刷ステージで前記クリーニングブロワを使用しているときには非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージから前記一方のスクリーン印刷ステージに前記真空ポンプの非作動要求が行われたときに前記一方のスクリーン印刷ステージで前記真空ポンプを使用しているときには非作動への切り換えを行わないことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーンマスクを用いて基板に半田を印刷するスクリーン印刷に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置にはスクリーンマスクに付着したままとなっている半田を除去するクリーニング装置を備えたものが多くある。特許文献１に示すクリーニング装置はスクリーンマスクから半田を吸引して除去するための負圧を供給するクリーニングブロワと接続されている。またスクリーン印刷装置には基板支持装置に負圧を供給する真空ポンプが備わっており、印刷時に基板を吸着して基板支持装置に固定するために用いられている。
【特許文献１】特開２００８−３７００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
スクリーン印刷装置は複数のスクリーンマスクや基板支持装置、クリーニング装置等を備えることで複数の基板に対して印刷を行うことができる。生産効率の観点からは全ての基板支持装置とクリーニング装置にそれぞれ専用の真空ポンプとクリーニングブロワを配置するのが理想的ではあるが、費用対効果や面積生産性の観点から複数の基板支持装置とクリーニング装置で１つの真空ポンプとクリーニングブロワを共用するのが望ましい。このような共用の場合、専用の場合のようにスクリーンマスクのクリーニングを終えたからといってクリーニングブロワの作動を停止すると、他のクリーニング装置に負圧が供給されなくなりクリーニング作業が中断を余儀なくされるという問題がある。このことは真空ポンプについても同じであり、他の基板支持装置に負圧が供給されなくなると印刷中に基板がずれやすくなるという問題がある。
【０００４】
そこで本発明は、クリーニングブロワと真空ポンプを共用する場合にクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることのないスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のスクリーン印刷装置は、基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する手段をそれぞれ備えた複数のスクリーン印刷ステージと、全てのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、全てのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える手段とを備え、何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を終えた場合であっても他の何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には前記真空ポンプまたは前記クリーニングブロワを非作動に切り換えないことを特徴とする。
【０００６】
本発明のスクリーン印刷方法は、基板吸着用の真空ポンプを一方のスクリーン印刷ステージに配置し、半田吸引用のクリーニングブロワを他方のスクリーン印刷ステージに配置し、両方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプと前記クリーニングブロワを共用するスクリーン印刷装置において、前記一方のスクリーン印刷ステージから前記他方のスクリーン印刷ステージに前記クリーニングブロワの非作動要求が行われたときに前記他方のスクリーン印刷ステージで前記クリーニングブロワを使用しているときには非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージから前記一方のスクリーン印刷ステージに前記真空ポンプの非作動要求が行われたときに前記一方のスクリーン印刷ス
テージで前記真空ポンプを使用しているときには非作動への切り換えを行わないことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には真空ポンプまたはクリーニングブロワを非作動に切り換えないようにしたことで、真空ポンプおよびクリーニングブロワを共用して複数の基板に印刷を施す場合のクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施の形態について添付した図を参照して説明する。図１はスクリーン印刷装置の構成を示すブロック図、図２、図３はスクリーン印刷装置の印刷動作のフローチャートである。
【０００９】
スクリーン印刷装置１は、それぞれ独立して印刷動作を行う２つのスクリーン印刷ステージ２、３を備えている。スクリーン印刷ステージ２、３にはそれぞれ基板搬送装置４、５と基板支持装置６、７とスキージ装置８、９とクリーニング装置１０、１１が配置されている。
【００１０】
基板搬送装置４、５は、印刷前の基板を前工程から各スクリーン印刷ステージ２、３の印刷位置に搬入し、印刷位置で印刷を終えた基板を後工程に搬出する基板搬送手段である。基板支持装置６、７は基板を印刷位置で水平に真空吸着して位置決めする手段である。スキージ装置８、９は位置決めされた基板にスクリーンマスクを介して半田を印刷する手段である。クリーニング装置１０、１１は印刷後のスクリーンマスクに付着している半田を吸引して除去する手段である。
【００１１】
スクリーン印刷ステージ２（ステージＡ）側には真空ポンプ１２が配置されている。真空ポンプ１２は通気管１３、１４で基板支持装置６、７と接続されている。真空ポンプ１２は２つのスクリーン印刷ステージ２、３に共用の基板吸着用の吸気手段である。
【００１２】
スクリーン印刷ステージ３（ステージＢ）側にはクリーニングブロワ１５が配置されている。クリーニングブロワ１５は通気管１６、１７でクリーニング装置１０、１１と接続されている。クリーニングブロワ１５は２つのスクリーン印刷ステージ２、３に共用の半田吸引用の吸気手段である。
【００１３】
制御装置１８はステージＡにおける印刷動作を統合的に制御する。同じく制御装置１９はステージＢにおける印刷動作を統合的に制御する。制御装置１８と制御装置１９は相互に通信が可能である。
【００１４】
次にスクリーン印刷装置１の印刷動作の制御方法について説明する。ステージＡにおける印刷動作は、制御装置１８が基板搬送装置４と基板支持装置６とスキージ装置８とクリーニング装置１０と真空ポンプ１２を制御し、ステージＢに配置された制御装置１９がクリーニングブロワ１５を制御することで行う。一方、ステージＢにおける印刷動作は、制御装置１９が基板搬送装置５と基板支持装置７とスキージ装置９とクリーニング装置１１とクリーニングブロワ１５を制御し、ステージＡに配置された制御装置１８が真空ポンプ１２を制御することで行う。
【００１５】
制御装置１８はステージＡに配置された各装置（基板搬送装置４、基板支持装置６、スキージ装置８、クリーニング装置１０、真空ポンプ１２）については直接制御を行うことができるが、ステージＢに配置されたクリーニングブロワ１５の動作制御については直接
制御することはできないので、制御装置１９に対してクリーニングブロワ１５の作動、非作動の切り換えを要求することになる。ステージＡ側からクリーニングブロワ１５の作動要求を受けた制御装置１９は、クリーニングブロワ１５が非作動の状態であればこれを作動の状態に切り換える制御を行うことになる。
【００１６】
図２に示すようにクリーニングブロワ１５の非作動要求を受けたときには、ステージＢ側でスクリーンマスクのクリーニング動作の最中であってクリーニングブロワ１５を使用中であれば、クリーニングブロワ１５を非作動に切り換えることなく作動を継続する制御を行う。クリーニングブロワ１５を使用していなければ要求どおりに非作動に切り換える制御を行う。
【００１７】
一方、制御装置１９はステージＢに配置された各装置（基板搬送装置５、基板支持装置７、スキージ装置９、クリーニング装置１１、クリーニングブロワ１５）については直接制御を行うことができるが、ステージＡに配置された真空ポンプ１２の動作制御については直接制御することはできないので、制御装置１８に対して真空ポンプ１２の作動、非作動の切り換えを要求することになる。ステージＢ側から真空ポンプ１２の作動要求を受けた制御装置１８は、真空ポンプ１２が非作動の状態であればこれを作動の状態に切り換える制御を行うことになる。
【００１８】
図３に示すように真空ポンプ１２の非作動要求を受けたときには、ステージＡ側でスクリーン印刷の最中であって基板を支持するために真空ポンプ１２を使用中であれば、真空ポンプ１２を非作動に切り換えることなく作動を継続する制御を行う。真空ポンプ１２を使用していなければ要求どおりに非作動に切り換える制御を行う。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本発明は真空ポンプおよびクリーニングブロワを共用して複数の基板に印刷を施すスクリーン印刷分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】スクリーン印刷装置の構成を示すブロック図
【図２】スクリーン印刷装置の印刷動作フローチャート
【図３】スクリーン印刷装置の印刷動作フローチャート
【符号の説明】
【００２１】
１  スクリーン印刷装置
２、３  スクリーン印刷ステージ
６、７  基板支持装置
１０、１１  クリーニング装置
１２  真空ポンプ
１５  クリーニングブロワ
１８、１９  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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