(57)【要約】【課題】円柱状、円筒状、球状の試料をホルダーの所定位置に確実かつ安定的に保持することができるサンプルホルダーを提供することを目的とする。【解決手段】円筒状のホルダー本体１と、複数の分割部に分割され上記ホルダー本体内に格納された円形ブロック状の治具３とを具備し、かつ上記治具３の上面中央部には断面Ｖ字状の保持凹部３２が形成されていると共に、該治具３の径が上記ホルダー本体１の内径よりも小さく設定されており、上記保持凹部３２に試料を載置すると共に上記治具の各分割部３１を外側に移動させて上記ホルダー本体１内周面に当接させ、この状態で上記試料ｓを治具３の上面に保持するサンプルホルダーを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光Ｘ線分析や光学系顕微鏡などによる光学系の測定・検査を行う際に試料を所定の測定・検査位置に保持するサンプルホルダーであって、
底壁を有する円筒状のホルダー本体と、
中心を通る分割面により複数の分割部に分割されており、上記ホルダー本体内に格納された円形ブロック状の治具とを具備し、
かつ、上記治具の上面中央部には試料が載置される断面Ｖ字状の保持凹部が形成されていると共に、上記各分割部を接合した状態の該治具の径が上記ホルダー本体の内径よりも小さく設定されており、上記保持凹部に試料を載置すると共に上記治具の各分割部を外側に移動させて上記ホルダー本体内周面に当接させ、この状態で上記試料を治具の上面に保持するように構成されたサンプルホルダー。
【請求項２】
中央部に測定・検査用の貫通穴を有し、上記ホルダー本体の上部に被せられる蓋体を具備し、上記ホルダー本体に被せられた該蓋体の貫通穴を通して試料の測定・検査を行う請求項１記載のサンプルホルダー。
【請求項３】
上記治具が、上記保持凹部として直径方向に沿ったＶ字溝が形成されていると共に、該Ｖ字溝の中心線に沿って２分割されたものである請求項１又は２記載のサンプルホルダー。
【請求項４】
上記治具の高さを調節するためのスペーサを具備し、該スペーサ上に直接又は滑りプレートを介して上記治具が載置される請求項１〜３のいずれか１項記載のサンプルホルダー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光Ｘ線分析や光学系顕微鏡などによる光学系の測定・検査を行う際に、試料を保持するためのサンプルホルダーに関し、更に詳述すると、円柱状や球状の試料を所定位置に確実かつ安定的に保持することができるサンプルホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、蛍光Ｘ線測定を行う際には、測定試料を所定のホルダーに保持してＸ線を照射することが行われるが、この場合のホルダーとしては、通常図４に示されたものが一般に使用される。
【０００３】
即ち、従来用いられているホルダーは、図４の通り、底壁を有する円筒状のホルダー本体１と、該ホルダー本体１内に配設された高さ調節用の円形ブロック状の保持台６と、中央部にＸ線照射用の貫通穴２１が形成された蓋体２とで構成されており、保持台６上に載せた試料ｓに蓋体２の貫通穴２１を通してＸ線を照射し、その蛍光を測定するようになっている。なお、図４中の５は、高さ調節のためのスペーサである。
【０００４】
しかしながら、このようなホルダーの場合、図４のように、試料ｓが円柱状、円筒状、球状などである場合、保持台６上に安定的に載置保持することが必ずしも容易ではなく、測定位置を上記貫通穴２１の中心に位置させた状態で確実に保持することが困難である。
【０００５】
この場合、蛍光Ｘ線測定では、測定箇所（測定面）の高さや形状がＸ線強度に影響を与え、試料を所定高さ及び位置に正確に保持して測定を行わなければ、高精度の測定を行うことはできない。特に測定面が曲面となる円柱状、円筒状、球状の試料ｓの場合、精度よく分析を行うためには、常にホルダーの同一位置に確実に試料を保持する必要があるが、従来のホルダーでは、このような円柱状、円筒状、球状の試料ｓの場合にはホルダーの中心位置に確実に保持することが困難であった。
【０００６】
また、Ｘ線分析などに用いられるサンプルホルダーが特開平８−２３３７５５号公報（特許文献１）や特開２００３−２０２２２２号公報（特許文献２）にも開示されているが、いずれも円柱状、円筒状、球状の試料を確実かつ安定的に保持し得るものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２３３７５５号公報
【特許文献２】特開２００３−２０２２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、円柱状、円筒状、球状の試料をホルダーの所定位置に確実かつ安定的に保持することができ、円柱状、円筒状、球状の試料につき蛍光Ｘ線分析や光学系顕微鏡などによる光学系の測定・検査を行う際に好適に使用されるサンプルホルダーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するため、蛍光Ｘ線分析や光学系顕微鏡などによる光学系の測定・検査を行う際に試料を所定の測定・検査位置に保持するサンプルホルダーであって、底壁を有する円筒状のホルダー本体と、中心を通る分割面により複数の分割部に分割されており、上記ホルダー本体内に格納された円形ブロック状の治具とを具備し、かつ、上記治具の上面中央部には試料が載置される断面Ｖ字状の保持凹部が形成されていると共に、上記各分割部を接合した状態の該治具の径が上記ホルダー本体の内径よりも小さく設定されており、上記保持凹部に試料を載置すると共に上記治具の各分割部を外側に移動させて上記ホルダー本体内周面に当接させ、この状態で上記試料を治具の上面に保持するように構成されたサンプルホルダーを提供する。
【００１０】
即ち、本発明のサンプルホルダーは、上記のように、試料が載置される治具が中心を通る分割面で複数の分割部に分割された円形ブロック状（短軸円柱状）であり、この治具の上面中央部に断面Ｖ字状の保持凹部が形成されているため、各分割部を外側に移動させてホルダー本体の内周面に当接させることにより、上記保持凹部の中心が必ずホルダー本体の中心に位置するようになっている。このため、この保持凹部内に試料を載置して各分割部を上記ホルダー本体内周面に当接させた状態とすることにより、試料を確実かつ安定的にサンプルホルダーの中心にセットすることができ、試料が円柱状、円筒状、球状など、測定・検査面が曲面のものであっても、サンプルホルダーの中心に正確にセットすることができ、高精度の測定・検査を行うことができるものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のサンプルホルダーによれば、蛍光Ｘ線分析や光学系顕微鏡などによる光学系の測定・検査を行う際に、試料が円柱状、円筒状、球状などの不安定な形状であっても所定位置に確実かつ安定的に保持することができ、高精度な測定・検査を確実かつ容易に行うことができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明サンプルホルダーの一例を示す一部を断面とした斜視図である。
【図２】同カップホルダーを示す断面図である。
【図３】同カップホルダーに試料をセットした状態を示す断面図である。
【図４】従来のカップホルダーに試料をセットした状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、実施例を示して本発明を具体的に説明する。
【実施例】
【００１４】
図１〜３は、本発明の一実施例にかかるサンプルホルダーを示すもので、底壁を有する円筒状のホルダー本体１と、中央部に測定用の貫通穴を有する蓋体２と、ホルダー本体１内に収容された治具３と、該治具３の高さを調節するスペーサ４と、該スペーサ４と上記治具３との間に配置された滑りプレート５とを具備している。
【００１５】
上記治具３は、上面中央に直径方向に沿ってＶ字溝状の保持凹部３２が形成された円形ブロック状（短軸円柱状）の部材であり、上記保持凹部３２の底辺と一致し治具の中心を通る分割面により２つの分割部３１，３１に分割されている。そしてこの治具３は、上記分割面を接合した状態において、その直径が上記ホルダー本体１の内径よりも小さくなるように設定されている。
【００１６】
この治具３は、上記スペーサ４上に上記滑りプレート５を介して載置されており、このスペーサ４によって試料ｓの大きさや形状に応じて高さが調節されるようになっている。また、上記滑りプレート５は、上記治具３の各分割部３１がスムーズにスペーサ４上をスライド移動させるために配設されるものであり、スペーサ４上を直接スムーズにスライド可能であれば省略することができる。
【００１７】
上記蓋体２には、その中央部に測定・検査用の貫通穴２１が形成されており、図３に示されているように、ホルダー本体１の上部に被せた状態で貫通穴２１がホルダー本体の中心位置と一致するようになっている。この場合、特に図示していないが、蓋体２の周壁内周面とホルダー本体１の周壁上部外周面には互いに螺合するネジが形成されており、蓋体２はホルダー本体１上部にネジ式に取り付けられるようになっている。そして、このネジ式の蓋体２をしっかりと廻し込むことにより、試料ｓ、治具３、滑りプレート５及びスペーサ４が押圧され、スペーサ４の作用によって常にサンプルホルダーが一定の高さになり、試料ｓを確実に保持した状態でサンプルホルダーの高さを常に一定の高さに設定することができるので、各種測定機器のオートサンプラーにも良好に適用し得るようになっている。
【００１８】
このサンプルホルダーを用い、例えば円柱状の試料ｓについて蛍光Ｘ線測定等を行う場合、図１に示されているように、上記治具３の保持凹部３２状に試料ｓを載置する。そして、治具３の両分割部３１，３１を共に外側へと移動させ、図３に示されているように、量分割部３１，３１をホルダー本体１の内周面に当接させる。この際、試料ｓにある程度の重量がある場合には、試料ｓの自重により自然に両分割部３１，３１が外側へと移動するが、試料ｓの自重により分割部３１がスムーズに移動しない場合には、手作業により両分割部３１，３１を外側へと移動させればよい。
【００１９】
この作業により、図３に示されているように、試料ｓが治具３の保持凹部３２に安定的に保持され、サンプルホルダーの中心部に確実に保持される。この状態で、蓋体２をホルダー本体１に被せ、測定装置の所定位置にサンプルホルダーをセットし、上記蓋体２の貫通穴２１を通して所望の測定・検査を行う。例えば、貫通穴２１を通して試料ｓの表面にＸ線を照射し、蛍光Ｘ線測定を行うことができるものである。
【００２０】
このように、本例のサンプルホルダーは、試料ｓが載置される治具３が中心を通る分割面で２つの分割部３１，３１に分割された円形ブロック状（短軸円柱状）であり、この治具の上面中央部にＶ字溝状の保持凹部３２が形成されているため、各分割部３１，３１を外側に移動させてホルダー本体１の内周面に当接させることにより、上記保持凹部３２の中心が必ずホルダー本体１の中心に位置するようになっている。このため、この保持凹部３２に試料ｓを載置して各分割部３１，３１を上記ホルダー本体１内周面に当接させた状態とすることにより、試料ｓを確実かつ安定的にサンプルホルダーの中心にセットすることができ、試料ｓが円柱状、円筒状など、測定・検査面が曲面のものであっても、サンプルホルダーの中心に正確にセットすることができ、高精度の測定・検査を行うことができるものである。
【００２１】
なお、本発明のサンプルホルダーは、光学系の測定や検査を行う際に好適に使用されるものであるが、光学系の測定や検査としては、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線回折、光学系顕微鏡による検査などが例示される。
【００２２】
以上、実施例を示して本発明のサンプルホルダーにつき詳述したが、本発明のサンプルホルダーは、上記実施例に限定されるものではなく、種々変更することができる。例えば、上記実施例では、保持凹部３２を断面Ｖ字状の溝とし、円柱状又は円筒状の試料ｓを保持するようにしたが、逆円錐状（漏斗状）の凹部として球状の試料を保持するようにしてもよい。この場合、治具３を３等分又はそれ以上の分割部に分割することも試料を中心に保持する上で好適である。また、測定・検査の種類によっては蓋体２を省略することもできる。更に、その他の構成についても本発明の要旨を逸脱いない範囲で適宜変更して差し支えない。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明のサンプルホルダーは、蛍光Ｘ線分析や光学系顕微鏡などによる光学系の測定・検査を行う際に、試料を保持するホルダーとして利用される。
【符号の説明】
【００２４】
１  ホルダー本体
２  蓋体
２１  貫通穴
３  治具
３１  分割部
４  スペーサ
５  滑りプレート
ｓ  試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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