(57)【要約】【課題】微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸にも追従して異物を除去することが出来るクリーニング方法の提供。【解決手段】支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有する粘着性フィルムを用いて表面に微細な凹凸を有する基材のクリーニング方法において、前記粘着剤層に膨潤性ゲルを使用し、予め前記粘着剤層に水分を付与し膨潤させた後、前記基材の表面に前記粘着性フィルムを貼合し、前記粘着剤層の含水率を５％から５００％にした後、前記粘着性フィルムを剥離することを特徴とする基材のクリーニング方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有する粘着性フィルムを用いて表面に微細な凹凸を有する基材のクリーニング方法において、
前記粘着剤層に膨潤性ゲルを使用し、予め前記粘着剤層に水分を付与し膨潤させた後、前記基材の表面に前記粘着性フィルムを貼合し、
前記粘着剤層の含水率を５％から５００％にした後、
前記粘着性フィルムを剥離することを特徴とする基材のクリーニング方法。
【請求項２】
前記粘着剤層に膨潤性ゲルを、５０質量部以上含有することを特徴とする請求項１に記載の基材のクリーニング方法。
【請求項３】
前記膨潤性ゲルがヒドロゲルであることを特徴とする請求項１又は２に記載の基材のクリーニング方法。
【請求項４】
前記粘着剤層の膨潤前の厚さが、０．０５μｍから１０μｍであることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【請求項５】
前記粘着剤層に付与する水分の量が０．１ｍｌ／ｇから３．０ｍｌ／ｇであることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【請求項６】
前記粘着剤層に水分を付与した後、該粘着剤層を４０℃から８０℃に加熱し、基材に貼り合わせることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【請求項７】
前記粘着性フィルムを基材に貼り合わせた後、該粘着性フィルムを剥離する直前に５℃から２０℃にすることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【請求項８】
前記基材がプリント基板であることを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板や導電性パターン材料等の微細な凹凸を有する基材のクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、太陽電池、電子ペーパー等に使用されるプリント基板や導電性パターン材料などの加工時に残存したオイル、異物などの付着物は、その後の工程で重要な汚染を誘発したり、最終製品の性能劣化や耐久性の低下を招いたりする。従って、表面の汚染物の除去のために、必要に応じてフロン（登録商標）洗浄、超純水を用いた超音波洗浄、活性剤溶液洗浄、酸・アルカリ洗浄等を複数組み合わせたり、複数回繰り返して十分なクリーニングが施される。
【０００３】
しかし、これらのウェットクリーニングは処理時間が長く、大量の水を使用する、装置のスペースが大きい等の問題があるだけでなく、近年の高精細化に伴って水残りや被クリーニング物の損傷が顕在化してきている。
【０００４】
これらのウェットクリーニングの問題点を解決するために、種々の粘着クリーニングローラーやクリーニングシートによるドライプロセスが検討されている。例えば、物品の表面付着物が存在する部分に、付着物と粘着剤成分が一体化して硬化可能な硬化型粘着剤が支持体上に設けられてなるクリーニングシートを貼着し、付着物と粘着剤成分を一体化して硬化させ、硬化したクリーニングシートを物品から剥離することにより、シートと表面付着物とを一体に物品から除去する方法が知られている（例えば特許文献１参照。）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のクリーニングシートを微細な凹凸が多く存在するプリント基板のクリーニングに使用した場合、微細な凹凸部への追従に劣り十分なクリーニング性が得られていない、又剥離する際プリント基板を損傷する危険があることが判った。
【０００６】
凹凸表面を持つ除塵対象物のクリーニングに、除塵対象物の凹凸表面への追従性が良好である基材上に発泡剤を含んだ粘着剤層を有する粘着除塵クリーナーを使用する方法が知られている（例えば特許文献２参照。）。薄肉状の粘着剤層と内層の軟質弾性層を厚肉層の二層構造としたクリーニングローラーで、凹凸のある電子基板など表面のゴミ、埃などの汚れを取り除く方法が知られている（例えば特許文献３参照。）。
【０００７】
しかしながら、特許文献２に記載の粘着除塵クリーナー、特許文献３に記載のクリーニングローラーは、何れも更なる高精細化に対しては十分なクリーニング性が得られていないことが判った。
【０００８】
これらの状況から、微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸に追従し異物を除去することが出来るクリーニング方法の開発が望まれている。
【特許文献１】特開平７−１５５７０４号公報
【特許文献２】特開２００６−７５５０２号公報
【特許文献３】特開２００７−１７５４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸にも追従して異物を除去することが出来るクリーニング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討する過程において、特にプリント基板のような凹凸のある表面のクリーニングにおいて、膨潤性ゲルを含有した粘着剤層が重要であることを見出した。これは、膨潤した粘着剤層自身が微細な凹凸に追従し、異物を覆い絡めとることが出来るだけでなく、表面にわずかな水分が残り皮膜状になることで、長時間貼り付けたままにしていても、プリント基板表面上に糊残りが生じないことを見出し本発明に至った。本発明の上記目的は下記の構成により達成された。
【００１１】
本発明の上記目的は下記の構成により達成された。
【００１２】
１．支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有する粘着性フィルムを用いて表面に微細な凹凸を有する基材のクリーニング方法において、前記粘着剤層に膨潤性ゲルを使用し、予め前記粘着剤層に水分を付与し膨潤させた後、前記基材の表面に前記粘着性フィルムを貼合し、前記粘着剤層の含水率を５％から５００％にした後、前記粘着性フィルムを剥離することを特徴とする基材のクリーニング方法。
【００１３】
２．前記粘着剤層に膨潤性ゲルを、５０質量部以上含有することを特徴とする前記１に記載の基材のクリーニング方法。
【００１４】
３．前記膨潤性ゲルがヒドロゲルであることを特徴とする前記１又は２に記載の基材のクリーニング方法。
【００１５】
４．前記粘着剤層の膨潤前の厚さが、０．０５μｍから１０μｍであることを特徴とする前記１から３の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【００１６】
５．前記粘着剤層に付与する水分の量が０．１ｍｌ／ｇから３．０ｍｌ／ｇであることを特徴とする前記１から４の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【００１７】
６．前記粘着剤層に水分を付与した後、該粘着剤層を４０℃から８０℃に加熱し、基材に貼り合わせることを特徴とする前記１から５の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【００１８】
７．前記粘着性フィルムを基材に貼り合わせた後、該粘着性フィルムを剥離する直前に５℃から２０℃にすることを特徴とする前記１から６の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【００１９】
８．前記基材がプリント基板であることを特徴とする前記１から７の何れか１項に記載の基材のクリーニング方法。
【発明の効果】
【００２０】
微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸にも追従して異物を除去することが出来る基材のクリーニング方法を提供することが出来た。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施の形態を図１から図４を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２２】
図１は粘着性フィルムを使用したクリーニング装置の概略図である。図１（ａ）は粘着性フィルムを使用したクリーニング装置の概略斜視図である。図１（ｂ）は図１（ａ）の概略断面図である。
【００２３】
図中、１はクリーニング装置を示す。クリーニング装置１は、第１供給部２と、第２供給部３と、水分付与部４と、加熱部５と、貼合部６と、冷却部７と、剥離部８とを有している。
【００２４】
第１供給部２からは、繰り出し装置（不図示）により帯状の粘着性フィルム２０１が繰り出される様になっている。
【００２５】
水分付与部４は、水分付与装置４０１を有しており、第１供給部２から送られてくる帯状の粘着性フィルム２０１に水分を付与する様になっている。４０２は水の給水管を示し、４０３は水分付与装置４０１の中に貯まった水の排水管を示す。
【００２６】
４０４は給水ロールを示す。給水ロール４０４は円筒状で胴部に細孔を有し、表面は水分保持部材、例えばスポンジ、フェルト等で被覆された構造となっている。給水管４０２から給水された水は細孔から表面に浸みだし水分保持部材に保持された状態となる。
【００２７】
第１供給部２から送られてくる帯状の粘着性フィルム２０１は粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）の表面と給水ロールの表面とが接触することで粘着剤層へ水分が付与される様になっている。本図は給水ロールを使用した水分付与の方法を示したが、粘着性フィルム２０１への水分付与の方法は特に限定はなく、例えば、水中に浸漬する方法、刷毛やバーコーターで塗布噴霧による方法、スプレーや蒸気等の吹付けによる方法等が挙げられ適宜選択することが可能である。
【００２８】
水分付与装置４０１により粘着性フィルム２０１の粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）に付与する水分の量は、粘着剤層の膨潤度、異物除去性等を考慮し、０．１ｍｌ／ｇから３．０ｍｌ／ｇが好ましい。
【００２９】
付与する水分としては超純水を用いることが好ましい。又、フィルム基板貼り付け時の密着性を向上させるために、ある程度の温水を用いることも好ましい。用いられる温水の温度は、粘着剤層の溶解性、膨潤性等を考慮し、２５℃から５０℃が好ましい。
【００３０】
更に、付与する水分には、ゼラチン等の硬膜剤やｐＨ調整剤、界面活性剤等を含有しても良い。
【００３１】
水分を含有させ粘着層を膨潤させ、使用時の粘着層の粘着力は、異物の除去性と糊残り防止の両立等を考慮し、０．０１Ｎ／２５ｍｍから５．０Ｎ／２５ｍｍが好ましく、更に０．０３Ｎ／２５ｍｍから２．０Ｎ／２５ｍｍが好ましいい。尚、粘着力はＪＩＳＺ１５２８に準じて測定した値を示す。
【００３２】
加熱部５は水分付与装置４０１により水分を付与された粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）の膨潤の促進及び硬度を下げる様になっている。これにより、第２供給部３から供給される表面に微細な凹凸を有する基材３０１と、粘着性フィルム２０１とを貼合させる時、粘着性フィルム２０１の粘着剤が基材３０１の凹部への密着を良くすることが可能となる。
【００３３】
５０１は加熱装置を示し、５０２は加熱風の供給管を示し、５０３は排風管を示す。加熱する方法は特に限定はなく、例えば加熱装置５０１の内部にヒーター、赤外線ランプ等を配設する方法が挙げられ適宜選択することが可能である。
【００３４】
加熱装置５０１により粘着性フィルム２０１を加熱する温度は、粘着性フィルムの粘着層の膨潤度、基材３０１の凹部への密着性等を考慮し、４０℃から８０℃が好ましい。
【００３５】
温度は、非接触温度測定器（（株）キーエンス製  ＦＴ−Ｈ２０）で測定した値を示す。
【００３６】
第２供給部３からは、表面に微細な凹凸を有する基材３０１が表面を上側にして繰り出し装置（不図示）から繰り出される様になっている。
【００３７】
貼合部６は第２供給部３から搬送されてくる基材３０１の微細な凹凸を有する表面と、加熱部５から搬送されてくる粘着性フィルム２０１の粘着層とを貼合させた後、粘着性フィルム２０１が貼合した基材３０１の水分調整を行う様になっている。これにより、剥離部８での粘着性フィルム２０１の剥離が容易になる。
【００３８】
貼合部６は、貼合ロール６０１と、水分調整装置６０２とを有している。貼合ロール６０１は、１対のロール６０１ａと、ロール６０１ｂとから構成されており、ロール６０１ａと、ロール６０１ｂとの間に第２供給部３から送られてくる基材３０１の表面と、第１供給部２から送られてくる粘着性フィルム２０１の粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）とを貼合させる様になっている。
【００３９】
水分調整装置６０２は、圧着ロール６０３と、乾燥風供給管６０４と、排気管６０５とを有している。圧着ロール６０３により、基材３０１の表面と、第１供給部２から送られてくる粘着性フィルム２０１の粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）との密着度を上げ粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）の粘着剤が基材３０１の表面の凹部に入り込み易くすることで、凹部のゴミを除去することが可能となる。尚、圧着ロール６０３は必要に応じて適宜使用することが可能となっている。圧着ロール６０３を使用しない時は、支持ロール（不図示）を使用する。
【００４０】
基材３０１の表面と、第１供給部２から送られてくる粘着性フィルム２０１の粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）との密着度を上げる方法は、貼合ロール５０１を構成している１対のロール５０１ａと、ロール５０１ｂとに圧を掛けても良いし、貼合した後に減圧する方法であっても良い。
【００４１】
本図に示される貼合ロール６０１及び水分調整装置６０２の圧着ロール６０３の圧着時の温度、減圧度は、使用する接着剤の種類、基材の種類により変わるため一義的に決めることは困難であるが、粘着性フィルムを剥離する時、粘着剤層の含水率が５％から５００％の範囲になるように先行実験で適宜決めることが好ましい。
【００４２】
冷却部７は、貼合部６の水分調整装置６０２で水分量が調整された粘着性フィルム２０１を冷却することで粘着性フィルム２０１の剥離を容易にする様になっている。７０１は冷却装置を示し、冷却装置７０１は、冷却風の供給管７０２と、排気管７０３と、支持ロール７０４とを有している。
【００４３】
冷却部７で冷却する粘着性フィルム２０１を貼合した基材３０１の温度は、粘着性フィルムの剥離性、粘着性フィルムの粘着剤層の硬さ等を考慮し、５℃から２０℃が好ましい。温度は、非接触温度測定器（（株）キーエンス製  ＦＴ−Ｈ２０）で測定した値を示す。
【００４４】
剥離部８は、冷却部７で冷却された粘着性フィルム２０１を貼合した基材３０１から粘着性フィルム２０１を基材３０１から剥離ロール８０１で剥離し、粘着性フィルム２０１を巻き芯８０２へ巻き取り、基材３０１を巻き芯８０３に巻き取り回収する様になっている。剥離部８を終了することで基材３０１のクリーニングが終了する。
【００４５】
粘着性フィルムを剥離する時、粘着剤層の含水率は５％から５００％である。含水量が５％未満の場合は、膨潤性ゲルが十分に膨潤せず、基板との接着性が悪くなるため好ましくない。含水率が５００％を超える場合は、膨潤性ゲルの剥離残りや水分による基板の劣化が生じてしまうため好ましくない。
【００４６】
粘着剤層の含水率は、次の方法により測定した値を示す。
【００４７】
含水率の測定方法
剥離した粘着性フィルムの一部を切り取り、８０℃、２０％ＲＨの恒温槽で２４時間乾燥した前後の質量を測定し、その差を含水量とした。さらに乾燥後の粘着性フィルムから支持体を剥離した残りの質量を測定し、粘着剤層の質量とした。そして、この含水量を粘着剤層の質量で除した値を含水率として求めた。
【００４８】
剥離する時の粘着性フィルム２０１と、基材３０１との張力は、使用する粘着剤の種類、基材３０１の表面の凹凸の状態から一義的に決めることは出来ないが、基材３０１の表面の凹凸部を壊すことなく、且つ、凹部へ粘着剤が残らないように適宜予備試験を行い決めることが好ましい。
【００４９】
本図に示す加熱部５と、冷却部７とは使用する粘着性フィルムの種類によって適宜使用することが可能となっている。
【００５０】
尚、本図は帯状の基材と帯状の粘着性フィルムとを使用して連続的にクリーニングする場合を示したが、勿論シート状の基材と、シート状の粘着性フィルムとを使用し本図に示す方法をバッチ式に変えることで対応は可能である。
【００５１】
図２は本発明に使用する粘着性フィルムの概略断面図である。
【００５２】
（ａ）に示される粘着性フィルムに付き説明する。
【００５３】
図中、２０１ａは粘着性フィルムを示す。粘着性フィルム２０１ａは支持体２０１ａ１と、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層２０１ａ２とを有する構成となっている。
【００５４】
（ｂ）に示される粘着性フィルムに付き説明する。
【００５５】
図中、２０１ｂは粘着性フィルムを示す。粘着性フィルム２０１ｂは支持体２０１ｂ１と、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層２０１ｂ２と、易接着層２０１ｂ３とを有する構成となっている。
【００５６】
（ｃ）に示される粘着性フィルムに付き説明する。
【００５７】
図中、２０１ｃは粘着性フィルムを示す。粘着性フィルム２０１ｃは支持体２０１ｃ１と、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層２０１ｃ２と、易接着層２０１ｃ３と、機能層２０１ｃ４とを有する構成となっている。機能層２０１ｃ４としては、帯電防止層、保湿剤層等が挙げられる。
【００５８】
次に、（ａ）から（ｃ）に示される粘着性フィルムの粘着剤層に付き説明する。
【００５９】
（ａ）から（ｃ）に示される粘着性フィルムの粘着剤層の構成例を以下に示す。
１．膨潤性ゲルが単一で構成
２．複数の膨潤性ゲルで構成
３．膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルの混合物で構成
４．多層で構成：少なくとも２層から構成され、以下に構成例を示す。
１）上下層で異なる膨潤性ゲル単一を使用して構成する。
２）上下層で異なる膨潤性ゲルを複数使用して構成する。
３）上層が単一の膨潤性ゲルで、下層が複数の膨潤性ゲルを使用して構成する。
４）上層が複数の膨潤性ゲルで、下層が膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルの混合物とで構成する。
５）上層が単一の膨潤性ゲルで、下層が膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルの混合物とで構成する。
【００６０】
粘着剤層は膨潤性ゲルが含まれて入れば良く、膨潤性ゲル以外に界面活性剤等やｐＨ調整剤、ラテックス等の添加剤を必要に応じて添加しても良い。粘着剤層の膨潤前の厚さとしては、異物除去性、微細な凹凸への追随性、基材への貼り付け易さ等を考慮し、０．０５μｍから１０μｍが好ましく、更には０．１μｍから５μｍが好ましい。
【００６１】
粘着剤層の膨潤前の厚さは、作製した粘着性フィルムをミクロトームで切断し、その切断面を透過型電子顕微鏡で観察し、求めた値を示す。
【００６２】
粘着剤層２０１ａ２（図２を参照）に含まれる膨潤性ゲルは、膨潤性、粘着性、水分保持性能等を考慮し、５０質量部から１００質量部が好ましく、更には７０質量部から１００質量部が好ましい。
【００６３】
図３は微細な凹凸を有する基材の一例としてのプリント基板の模式図である。図３（ａ）は微細な凹凸を有する基材の一例としてのプリント基板の概略平面図である。図３（ｂ）は図３（ａ）のＰで示される部分の拡大模式図である。図３（ｃ）は図３（ｂ）のＡ−Ａ′に沿った拡大概略断面図である。
【００６４】
図中、９はプリント基板を示す。９０２ａは支持体２０１の上に形成された横ラインを示し、９０２ｂは支持体９０１の上に形成された縦ラインを示す。通常、横ライン９０２ａ、縦ライン９０２ｂは複数のラインから構成されており、本図では共に１０本のラインから構成されている場合を示している。
【００６５】
Ｅ１は、横ライン９０２ａを構成しているライン間の距離を示す。距離Ｅ１は１μｍから３０μｍが好ましい。Ｅ２は、縦ライン９０２ｂを構成しているライン間の距離を示す。距離Ｅ２は１μｍから３０μｍが好ましい。
【００６６】
Ｆは縦ライン９０２ｂを構成しているラインの幅を示す。幅Ｆは１μｍから３０μｍが好ましい。横ライン９０２ａを構成しているラインの幅も同様に１μｍから３０μｍが好ましい。
【００６７】
Ｇは支持体９０１からのラインの厚みを示す。厚みＧは所望の導電性とラインの断面積、長さから求められ、１μｍから１００μｍが好ましい。尚、プリント基板においては近年の微細化要望で、ライン幅、ライン間隔としては２０μｍ以下、特に１０μｍ以下の要望が増えており、この時必要な厚みは５μｍから１５μｍとなる。
【００６８】
本発明において、微細な凹凸を有する基材とは、本図に示す様な凹凸構造を有する基材が挙げられる。
【００６９】
本発明において、膨潤性ゲルを含有するとは、粘着剤層が膨潤性ゲルから構成されている状態、膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルが混合している状態を含めて言う。
【００７０】
本発明で使用する膨潤性ゲルはヒドロゲルが好ましい。分散質としては、ゼラチン、寒天等が挙げられる。これらの中で、ゼラチンが好ましい。ゼラチンとしては、豚皮や牛骨等から抽出したものが好ましく、酸処理ゼラチンでもアルカリ処理ゼラチンでも良く、フタル酸等で変性させたゼラチンを用いても良い。これらの分散質は単独で使用しても、複数を混ぜて使用することも可能である。又、分散質にゼラチンを使用する場合には、硬膜剤を添加しておいても良い。硬膜剤としては、ビニルスルホン型やエポキシ型、アクリルアミド型等が用いられるが、ビニルスルホンタイプがより好ましい。
【００７１】
又、上記の膨潤性ゲルと吸水性樹脂とを混合して使用することも可能である。吸水性樹脂としては特に限定はなく、例えば、ポリアクリル酸ナトリウム系樹脂、上市品（例えば、住友精化（株）製  ＳＳゲル、高吸水性樹脂アクアキープ、アドバンスト・ソフトマテリアルス（株）製  スライドリングゲルＷＡ−ＧＥＬ、トピー工業（株）製  膨潤性マイカ）等が挙げられる。
【００７２】
図４は、図１で示されるクリーニング装置の各工程における粘着性フィルムと微細な凹凸を有する基材との状態を示す模式図である。
【００７３】
（ａ）は、第１供給部２から、繰り出し装置（不図示）により繰り出された帯状の粘着性フィルム２０１の状態を示す。
【００７４】
（ｂ）は、水分付与部４で粘着剤層２０１ａ２に水分が付与され膨潤した状態を示す。加熱部５では更に粘着剤層２０１ａ２の膨潤を促進させるために加熱することも可能である。
【００７５】
（ｃ）は、第２供給部３から、繰り出し装置（不図示）により繰り出された表面に微細な凹凸を有する基材３０１の状態を示す。
【００７６】
（ｄ）は、貼合部６で粘着性フィルム２０１と基材３０１とが貼合され、粘着性フィルム２０１の粘着剤が基材３０１の凹部にまで進入した状態を示す。凹部にまでの進入を促進させるために、加熱部５での加熱、貼合部６での圧着、減圧等を行うことが好ましい。
【００７７】
（ｅ）は、剥離部８で基材３０１の凹凸部に貼合された粘着性フィルム２０１を剥離する状態を示す。凹部に進入した粘着剤を引き出すために剥離する前に粘着性フィルム２０１を冷却することが好ましい。
【００７８】
図１から図４に示す様に、支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有する粘着性フィルムを用いて表面に微細な凹凸を有する基材をクリーニングする時、予め粘着剤層に水分を付与し膨潤させた後、基材の表面に粘着性フィルムを貼合させ、粘着性フィルムを剥離する時、粘着剤層の含水率が５％から５００％にすることで次の効果が挙げられる。
【００７９】
１．粘着性フィルムを基材の表面から剥離する際、粘着性フィルムの粘着剤が基材の表面の凹部に残らずに抜け、凹部のクリーニングが容易になった。
【００８０】
２．粘着性フィルムの粘着層が柔らかい間に、基材の表面から剥離されるため、基材の表面に形成された構造物を壊すことなく、クリーニングすることが容易になった。
【００８１】
３．精度良く、安定したクリーニングが可能となった。
【００８２】
次に本発明に使用する粘着性フィルムに使用する膨潤性ゲル以外の素材、粘着性フィルムの作製方法及び微細な凹凸を有する基材に付き説明する。
【００８３】
（粘着性フィルムの支持体）
支持体としては、樹脂板や樹脂フィルムなどが好適に挙げられる。樹脂には特に限定はなく、公知のものの中から適宜選択することが出来る。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、環状オレフィン系樹脂などのポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などの単層あるいは複数層からなる基板やフィルムが好適に用いられる。更にガラス基板や紙類を用いることも出来る。中でも取り扱い易さ及びコストの点から、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、トリアセチルセルロースフィルムであることが好ましい。
【００８４】
支持体の厚みは、微細な凹凸への追随性、取り扱い易さ、コスト等を考慮し、１０から５００μｍが好ましく、更には３０から１００μｍが好ましい。
【００８５】
フィルム支持体は塗布液の濡れ性や接着性を確保するために、表面処理を施す又は易接着層を設けることが好ましい。表面処理を施す方法や易接着層を設ける方法については従来公知の技術を使用出来る。易接着層は単層でも良いが、接着性を向上させるために２層以上の構成にしても良い。又、易接着層の上に帯電防止層、クッション層、保湿層等を積層することも可能である。
【００８６】
表面処理の方法としては、例えば大気圧プラズマ処理、コロナ放電処理、エッチング処理等が挙げられ。
【００８７】
易接着層としては、例えばラテックス系のアンカーコート剤を塗布し形成することが可能である。
【００８８】
帯電防止層は、帯電防止剤や導電性微粒子等を含有した層であれば良く、帯電防止剤としては、例えば４級アンモニウム塩やイミダゾリン、スルホニウム塩等のカチオン性帯電防止剤やアルキルサルフェート、アルキルホスフェート等のアニオン系帯電防止剤、ソルビタン、アミン、アミド等の非イオン系帯電防止剤、スルホベタイン、アミンオキシド、ホスフェート等のの両性系帯電防止剤を用いることが出来、導電性微粒子としては、例えば酸化錫等の金属微粒子を使用することが可能である。
【００８９】
保湿層としては、水分を保持出来れば良く、例えば上記の吸水性樹脂を含有したり、グリセリンやエチレングリコールを使用しても良い。
【００９０】
（粘着性フィルムの作製方法）
本発明の粘着性フィルムは、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層形成用塗布液（以下、塗布液と言う）を、塗布面を表面処理した支持体上に塗布、又は易接着層を設けた支持体の易接着層上に塗布、又は易接着層／機能層を設けた支持体の機能層の上に塗布した後、乾燥することで作製することが可能である。
【００９１】
塗布液を支持体上に塗布する方法としては特に限定はないが、例えば、ロールコート法、バーコート法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、キャスティング法、ダイコート法、ブレードコート法、バーコート法、グラビアコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ドクターコート法などの塗布法や、凸版（活版）印刷法、孔版（スクリーン）印刷法、平版（オフセット）印刷法、凹版（グラビア）印刷法、スプレー印刷法、インクジェット印刷法などの印刷法が挙げられる。
【００９２】
塗布性を向上させるために、塗布液中に界面活性剤を添加することが好ましい。界面活性剤としては、一般に知られているアニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤などを挙げることが可能で、これらを必要に応じて用いることが可能である。尚、本発明では基材に貼り合わせた粘着性フィルムを剥離した後、基材上に活性剤等の添加剤が転写することを防止するために、粘着性フィルム作製後、又は、基材に貼り合わせ使用する前に、予め超純水等で洗浄することが好ましい。
【００９３】
（表面に微細な凹凸を有する基材）
対象となる基材としては特に限定はなく、例えば液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、太陽電池、電子ペーパー等に使用されるプリント基板、ダイオード、トランジスタ、磁気ヘッド、セラミック応用素子等の電子部品等の表面に微細な凹凸を有する基材、フィルム、プラスチック成型品、金属板等が挙げられる。
【００９４】
本発明に使用する粘着性フィルムは、基材の表面保護用としても使用することが可能である。例えばプリント基板の表面に本発明の粘着性フィルムを貼合させた後、貼合させた状態で次工程に移送した後、粘着性フィルムを剥離することでプリント基板の清掃と、移送時の異物の付着や表面に傷が付くことを防止することが可能となる。
【００９５】
貼合させた状態で次工程に移送した後、剥離するまでの期間は、粘着剤層の基材への転写付着による故障防止を考慮し、概ね数時間から１ヶ月程度で基材の種類により適宜選択することが好ましい。粘着性フィルムを剥離するまでの保管条件も任意で良いが、粘着剤の基材への転写を防止する目的の他に、基板そのものの性能を維持するためにも、ある程度低温低湿状態で保存することが好ましい。
【００９６】
特に、貼合した後、剥離するまで一定期間保管する様な方法で使用する場合、粘着剤層の転写を防止するために、硬膜剤を添加しておくことが好ましい。硬膜剤としては、ビニルスルホン型やエポキシ型、アクリルアミド型等が用いられるが、ビニルスルホンタイプがより好ましい。
【実施例】
【００９７】
以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。尚、実施例において「％」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量％」を表す。
【００９８】
実施例１
（支持体の準備）
１０Ｗ／（ｍ２・ｍｉｎ）でコロナ放電処理した厚さ５０μｍ、幅１８０ｍｍ、長さ１０ｍのポリエステルフィルムを準備した。
【００９９】
（易接着層の形成）
準備した支持体の上に、下記の下引き塗布液を乾燥膜厚０．４μｍになるようにダイコート法で塗布し、乾燥し易接着層を形成した。
【０１００】
（下引き塗布液）
ブチルアクリレート３０質量％、ｔ−ブチルアクリレート２０質量％、スチレン２５質量％、２−ヒドロキシエチルアクリレート２５質量％の共重合体ラテックス液（固形分３０％）                                                        ５０ｇ
ヘキサメチレン−１，６−ビス（エチレン尿素）            ０．０５ｇ
水で１０００ｍｌに仕上げる
粘着剤層形成用塗布液の調製
表１に示す様に分散質を変えた粘着剤層形成用塗布液を調製しＮｏ．ａからＮｏ．ｅとした。
【０１０１】
【表１】
2010094616.tif 000003
【０１０２】
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．ａの調製
アルカリ処理牛骨ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）      ２．０質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                        １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                        ２．５質量部
超純水                                              ９４．５質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．ｂの調製
酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）            ３．０質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                        １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                        ４．０質量部
超純水                                              ９２．０質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．ｃの調製
寒天                                                  ２．５質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                        １．０質量部
超純水                                              ９６．５質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．ｄの調製
酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）            ２．０質量部
寒天                                                  １．０質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                        １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                        ２．５質量部
超純水                                              ９３．５質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．ｅの調製
酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）            ２．０質量部
高吸水性樹脂アクアキープ（住友精化（株）製）          ０．５質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                        １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                        ２．５質量部
超純水                                              ９４．０質量部
【０１０３】
【化１】
2010094616.tif 000004
【０１０４】
（粘着性フィルム１の作製）
準備した易接着層を形成した支持体の易接着層の上に、準備した粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．ａからｅをダイコート法で塗布し、乾燥した後、２５℃の超純水の流水中で１５分間洗浄した後、乾燥して、厚さ０．２μｍの粘着剤層を有する粘着性フィルムを作製しＮｏ．１−ａから１−ｅとした。厚さは、粘着性フィルムをミクロトームで切断し、その切断面を透過型電子顕微鏡で観察し求めた値を示す。
【０１０５】
（粘着性フィルム２の準備）
サンエー化研製のサニテクトＰＡＣ−３−５０ＴＨＫを比較の粘着性フィルムＮｏ．ｆとした。
【０１０６】
（クリーニング用基材の準備）
厚さ５０μｍ、幅１８０ｍｍ、長さ１０ｍのポリエチレンテレフタレート上にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）をスパッタリングにより作製し、図２に示す様な深さ、ライン幅、ライン間隔共に１０μｍの１０本の線を１つの塊りとし、３ｍｍ間隔の格子状にエッチング加工したプリント基板を、幅方向に３０ｍｍ間隔、長さ方向に５０ｍｍ間隔で作製しクリーニング用基板とした。
【０１０７】
（クリーニング）
準備した粘着性フィルムＮｏ．１−ａから１−ｆを用いて、図１に示すクリーニング装置を使用し、準備したクリーニング用基材の表面に貼合し、剥離する時の粘着剤層の含水率を表１に示す様に変化して、クリーニングを行い試料Ｎｏ．１０１から１３１とした。
【０１０８】
準備した粘着性フィルムＮｏ．１−ａから１−ｅを用いて、図１に示すクリーニング装置を使用し粘着剤層に水を付与せず準備したクリーニング用基材の表面に貼合しクリーニングを行い比較試料Ｎｏ．１３２から１３６とした。
【０１０９】
貼合は、圧力ロールの設定を、圧力３０×１０４Ｐａ、温度７０℃、３ｍｉｎで行った。剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度は１５℃であった。
【０１１０】
剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度は、非接触温度測定器（株）キーエンス製  ＦＴ−Ｈ２０で測定した値を示す。
【０１１１】
評価
クリーニングを行った各試料Ｎｏ．１０１から１３６について異物除去性、粘着剤残り性を以下に示す方法で試験し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表２に示す。
【０１１２】
異物除去性の試験方法
クリーニングを終えた基材の巻き終わりから１ｍ、５ｍ、９ｍの３箇所から１００ｍ×１００ｍを切り取り、超純水５００ｍｌを入れたガラスビーカーに浸し、超音波洗浄器で１０分間洗浄を行い、この液をリオン（株）製パーティクルカウンター（ＫＳ−４２）で０．２μｍ粒子の個数を測定することで洗浄性の評価を行った。尚、粘着性フィルム貼り付け前のクリーニング用プリント基板で同様の評価を行ったところ、粒子数は概ね１５００個だった。
【０１１３】
異物除去性の評価ランク
◎：粒子数１００個未満
○：粒子数３００個未満、１００個以下
△：粒子数５００個未満、３００個以下
×：粒子数５００個以上
粘着剤残り試験方法
粘着性フィルムを剥離した後のクリーニング用プリント基板の表面を走査型電子顕微鏡（日立製作所製  Ｓ−５０００Ｈ）を用い、倍率２０００倍で任意の５箇所の撮影を行い、粘着剤残りの状態を調べた。
【０１１４】
粘着剤残り評価ランク
◎：観察した５箇所中、粘着剤の残りがない
○：観察した５箇所中、１箇所でわずかに粘着剤が残っている
△：観察した５箇所中、２箇所から４箇所で粘着剤が残っている
×：観察した５箇所中、５箇所で粘着剤が転写している
【０１１５】
【表２】
2010094616.tif 000005
【０１１６】
粘着性フィルムを剥離する時、粘着剤層の含水量を５％から５００％として作製した試料Ｎｏ．１０２から１０５、１０８から１１１、１１４から１１７、１２０から１２３、１２６から１２９は粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。
【０１１７】
粘着性フィルムを剥離する時、粘着剤層の含水率を３％として作製した試料Ｎｏ．１０１、１０７、１１３、１１９、１２５は異物除去性が劣る結果を示した。
【０１１８】
粘着性フィルムを剥離する時、粘着剤層の含水率を６００％として作製した試料Ｎｏ．１０６、１１２、１１８、１２４、１３０は粘着剤の残りが多発する結果を示した。
【０１１９】
粘着剤層に膨潤性ゲルをしない粘着性フィルムを使用して作製した試料Ｎｏ．１３１は、粘着剤の残り、異物除去性共に劣る結果を示した。本発明の有効性が確認された。
【０１２０】
試料Ｎｏ．１３２から１３６は粘着剤層に水を付与しなかったため、粘着剤層としての機能が発現せずクリーニング用プリント基板に接着しないため異物除去は出来なかった。
【０１２１】
実施例２
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【０１２２】
（粘着剤層形成用塗布液の調製）
表３に示す様に、高吸水性樹脂アクアキープ（住友精化（株）製）と酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）との比率を変えた以外は実施例１で作製した粘着性フィルムＮｏ．１−ｅと全て同じ方法で粘着性フィルムを作製しＮｏ．２−１から２−３とした。
【０１２３】
【表３】
2010094616.tif 000006
【０１２４】
（クリーニング用基材の準備）
実施例１と同じクリーニング用基材を準備した。
【０１２５】
（クリーニング）
準備した粘着性フィルムＮｏ．２−１から２−３を用いて、図１に示すクリーニング装置を使用し、準備したクリーニング用基材の表面に圧力３０×１０４Ｐａ、温度７０℃、３ｍｉｎで貼合し、剥離する時の粘着剤層の含水率を１００％、剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度を１５℃として、クリーニングを行い試料Ｎｏ．２０１から２０３とした。尚、粘着性フィルムＮｏ．２−１から２−３の粘着剤層には純水１ｍｌ／ｇを付与した。
【０１２６】
圧力、含水量、剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度は実施例１と同じ方法で測定した値を示す。
【０１２７】
評価
クリーニングを行い作製した各試料Ｎｏ．２０１から２０３について異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表４に示す。
【０１２８】
【表４】
2010094616.tif 000007
【０１２９】
粘着性フィルムの粘着剤層のヒドロゲルの分散質の含有量が、５０質量部以上であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。本発明の有効性が確認された。
【０１３０】
実施例３
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【０１３１】
（粘着性フィルムの作製）
表５に示す様に粘着剤層の膨潤前の厚さを変えた他は全て同じ方法で実施例１で作製した粘着性フィルムＮｏ．１−ａと同じ粘着性フィルムを作製しＮｏ．３−１から３−７とした。尚、粘着剤層の膨潤前の厚さは、実施例１と同じ方法で測定した値を示す。
【０１３２】
【表５】
2010094616.tif 000008
【０１３３】
（クリーニング用基材の準備）
実施例１と同じクリーニング用基材を準備した。
【０１３４】
（クリーニング）
準備した粘着性フィルムＮｏ．３−１から３−７を用いて、実施例２と同じ方法でクリーニングを行い試料Ｎｏ．３０１から３０７とした。
【０１３５】
評価
準備した各粘着性フィルムＮｏ．３０１から３０７の異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表６に示す。
【０１３６】
【表６】
2010094616.tif 000009
【０１３７】
粘着性フィルムの粘着剤層の厚さが０．０５μｍから１０．０μｍの範囲であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。本発明の有効性が確認された。
【０１３８】
実施例４
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【０１３９】
（易接着層の形成）
準備した支持体の上に、実施例１と同じ易接着層を形成した。
【０１４０】
（粘着性フィルムの作製）
実施例１の粘着性フィルムＮｏ．１−１を実施例１と同じ方法で作製した。
【０１４１】
（クリーニング用プリント基板の準備）
実施例１と同じクリーニング用プリント基板を実施例１と同じ方法で準備した。
【０１４２】
（クリーニング）
準備した粘着性フィルムを用いて、図１に示すクリーニング装置を使用し、表７に示す様に粘着剤層に付与する純水の量を変化した以外は実施例２と同じ方法でクリーニングを行い試料Ｎｏ．４０１から４０６とした。
【０１４３】
評価
作製した各試料Ｎｏ．４０１から４０６について異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表７に示す。
【０１４４】
【表７】
2010094616.tif 000010
【０１４５】
粘着性フィルムの粘着剤層への水り付与量が０．１ｍｌ／ｇから３．０ｍｌ／ｇの範囲であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。本発明の有効性が確認された。
【０１４６】
実施例５
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【０１４７】
（易接着層の形成）
準備した支持体の上に、実施例１と同じ易接着層を形成した。
【０１４８】
（粘着性フィルムの作製）
実施例１の粘着性フィルムＮｏ．１−１を実施例１と同じ方法で作製した。
【０１４９】
（クリーニング用プリント基板の準備）
実施例１と同じクリーニング用プリント基板を実施例１と同じ方法で準備した。
【０１５０】
（クリーニング）
準備した粘着性フィルムを用いて、図１に示すクリーニング装置を使用し、粘着剤層に純水を１ｍｌ／ｇ付与した後、表８に示す様に粘着剤層の温度を変化し、準備したクリーニング用基材の表面に圧力３０×１０４Ｐａで３ｍｉｎ貼合し、剥離する時の粘着剤層の含水率を１００％、剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度は１５℃として、クリーニングを行い試料Ｎｏ．５０１から５０５とした。圧力、含水率、剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度は実施例１と同じ方法で測定した値を示す。
【０１５１】
評価
クリーニングを行い作製した各試料Ｎｏ．５０１から５０５について異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表８に示す。
【０１５２】
【表８】
2010094616.tif 000011
【０１５３】
粘着性フィルムの粘着剤層への水付与した後に加熱する温度が、４０℃から８０℃の範囲であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。本発明の有効性が確認された。
【０１５４】
実施例６
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【０１５５】
（易接着層の形成）
準備した支持体の上に、実施例１と同じ易接着層を形成した。
【０１５６】
（粘着性フィルムの作製）
実施例１の粘着性フィルムＮｏ．１−ａを実施例１と同じ方法で作製した。
【０１５７】
（クリーニング用プリント基板の準備）
実施例１と同じクリーニング用プリント基板を実施例１と同じ方法で準備した。
【０１５８】
（クリーニング）
準備した粘着性フィルムを用いて、図１に示すクリーニング装置を使用し、粘着剤層に純水を１ｍｌ／ｇ付与した後、準備したクリーニング用基材の表面に圧力３０×１０４Ｐａ、温度７０℃、３ｍｉｎで貼合し、剥離する時の粘着剤層の含水率を１００％とし、表９に示す様に剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度を変化しクリーニングを行い試料Ｎｏ．６０１から６０５とした。圧力、含水量、剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度は実施例１と同じ方法で測定した値を示す。
【０１５９】
評価
クリーニングを行い作製した各試料Ｎｏ．６０１から６０５について異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表９に示す。
【０１６０】
【表９】
2010094616.tif 000012
【０１６１】
剥離時の粘着性フィルムの粘着剤層の温度を５℃から２０℃にすることで、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。本発明の有効性が確認された。
【図面の簡単な説明】
【０１６２】
【図１】粘着性フィルムを使用したクリーニング装置の概略図である。
【図２】本発明に使用する粘着性フィルムの概略断面図である。
【図３】微細な凹凸を有する基材の一例としてのプリント基板の模式図である。
【図４】図１で示されるクリーニング装置の各工程における粘着性フィルムと微細な凹凸を有する基材との状態を示す模式図である。
【符号の説明】
【０１６３】
１  クリーニング装置
２  第１供給部
２０１、２０１ａから２０１ｃ  粘着性フィルム
２０１ａ１  支持体
２０１ａ２  粘着剤層
３  第２供給部
３０１  基材
４  水分付与部
４０１  水分付与装置
４０４  給水ロール
５  加熱部
５０１  加熱装置
６  貼合部
６０１  貼合ロール
６０２  水分調整装置
７  冷却部
８  剥離部
８０１  剥離ロール
９  プリント基板
【図１】
2010094616.tif 000013
【図２】
2010094616.tif 000014
【図３】
2010094616.tif 000015
【図４】
2010094616.tif 000016