(57)【要約】【解決手段】結合樹脂と平均粒径５０μｍ以上の粒状物を含む仮止め用接着剤組成物とすることで、被接着加工物の位置決め等動かし易くし、加工後の解体も簡単にできる様になる。【効果】半導体等の加工で素材のインゴットから、粗切り、角ブロック加工時、円柱ブロックの加工時、位置決めが人手ででき、加工後の解体も容易となる。特に太陽電池用ウエハ等大きなサイズが必要な場合、インゴットは重量物となるため、効果発現が大きい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
結合樹脂と平均粒径５０μｍ以上の粒状物を含むことを特徴とする仮止め用接着剤組成物
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削、切断、研削等のため被加工物を台座に仮止めするための接着剤組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、加工のための仮止め接着剤は熱溶融樹脂、水溶性樹脂、溶剤可溶樹脂、アルカリ水溶液可溶樹脂、酸可溶樹脂によるものなどがあった。これらの接着剤は重量の大きな被着体を固定するとき、一度接着剤の上に置いてしまうと、位置の変更が難しかった。例えば、仮止めして被加工物を切断するとき、歩留り、加工精度を求められるものは特に位置合わせの工程が必須である。
【０００３】
研削加工等の加工を施す加工台等の所定の位置に、被加工物を仮固定する仮固定用ホットメルト接着剤において、仮固定用ホットメルト接着剤が、一種又は複数種の脂肪族化合物から成り、且つ前記接着剤が、室温で固体状であって、融点が５０℃以下であることを特徴とするもので、取扱が容易で、固定する時間を短縮し得る仮固定用ホットメルト接着剤が開示されている。（特許文献１）
【０００４】
少なくとも一方が多孔質体であること、炭素数４〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル７０〜９９．９重量％と、ａ，ｂ−不飽和カルボン酸０．１〜１０重量％と、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、ａ，ｂ−不飽和カルボン酸とを除くビニル化合物０〜２９．９重量％とをポリビニルアルコール不完全ケン化物の保護コロイドの存在下に水性懸濁重合することによって得られた粘着性重合体微細球を含有してなる水性エマルジョン形樹脂１００重量部（固形分換算）に対し、有機ピグメント１００〜１０００重量部を含み、さらに、吸油量５０ｍｌ／１００ｇ以下の充填剤２０００重量部以下を含む接着剤組成物が常温で容易に再剥離できることが開示されている。（特許文献２）
【０００５】
水に可溶な複素環状２級アミン残基を有する（メタ）アクリルアミドの樹脂成分、例えばアクリロイルモルホリンと、光重合開始剤、好ましくは水溶性光重合開始剤と、必要に応じて水とを含み、前記樹脂成分と、水との二成分間の含有比率は樹脂分５０重量％以上、水５０重量％以下であって、この配合物に光重合開始剤を添加した接着剤組成物が接着硬化物の水への溶解性が大きく、機械加工後の小物品を仮固定から取り外す際に、水中に浸漬するだけで容易に取り外し得、低かぶれ性、低毒性、低臭性であることが開示されている。（特許文献３）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−８７８０号公報
【特許文献２】特開２００５−４８０７８号公報
【特許文献３】特開平６−１１６５３４号公報
【特許文献４】特開２００５−３４７７０６号公報
【特許文献５】特開２００７−５４９１３号公報
【特許文献６】特開２００４−３５６６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする課題は、接着剤を塗布後、位置決めが必要で被接着物が手作業で容易に動かせる仮止め用接着剤組成物の提供である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、結合樹脂と平均粒径５０μｍ以上の粒状物を含むことを特徴とする仮止め用接着剤組成物で、重量が大きい被接着物を人手で動かせる様にでき、被接着材の加工後容易に解体できることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の仮止め用接着剤組成物は、被接着物が加工後取り去ることができるもので、接着硬化前に人手で容易に移動でき、位置決め等を容易にできる特徴がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は実施例・比較例の評価である移動抗力測定の説明図である。
【図２】図２は本願仮止め用接着剤組成物の用途例である半導体ウエハ粗切りの概略図である。
【図３】図３は図２の後工程の仮止め用途例で左側は太陽電池に対して高効率な角ウエハ、右は通常の半導体ウエハでウエハの形状に合わせた治具を介しての仮止め概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の仮止めは一般に本固定をするため、本固定時まで位置を固定するための仮止めではなく、後で接着状態を解く工程を有するため、仮止めを目的とする。すなわち、位置決めは行うが、本固定も位置決めも同一の接着剤で行うものである。このため、接着状態を解く工程、解体が必要となるが、その手段は、熱、酸、アルカリ、強度差等がある。本発明の効果は前記位置決めと解体の手段に、適応できる。このうち最も有効となるのは人手により、位置決めを行い、常温で硬化するものが本発明で必要とされる。工程を短時間とするためには、仮止めに要する時間を短くし、位置を決定する時間も短くなる。このため、人手で動かす抵抗を極力低くし、過抵抗による位置決めの失敗をなくすことが大きな課題となる。また、解体するために道具を用いて人手でできることが、次の課題となる。加工時の必要な保持力は接着する方法、被接着物を取り付けるもう一方の被接着材、例えば治具等でも補うことができ、極度に接着力が低くない限り問題はなく、接着剤に望まれるのは接着力を低くすることである。本発明は２つの課題を解決した。
【００１２】
本発明の結合樹脂は、上記位置決めすることができ、本発明の粒状物との混和性、硬化性が相反しない限り、使うことができる。結合樹脂としてはエポキシ系樹脂、オキセタン系樹脂、反応性アクリル系樹脂、シアネートエステル系樹脂、シリコーン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、シアノアクリレート系樹脂などをあげることができる。このうち前記、両課題に効果があるものはエポキシ系樹脂、オキセタン系樹脂、反応性アクリル系樹脂、シネートエステル系樹脂、ポリエステル系樹脂が特段の配合をしなくても効果が得られる。
硬化手段はそれぞれの樹脂種と位置決めに要する時間で選択され、エポキシ系樹脂、オキセタン系樹脂、シアネートエステル系樹脂ではそれぞれに向く常温硬化剤を、オキセタン系樹脂、反応性アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂では常温で硬化すべく、ラジカル系硬化剤とその促進剤を用いればよい。最も、汎用として、使用できるものに、エポキシ系樹脂をあげることができ、アミン系硬化剤、アミド系硬化剤を用いて本発明を実現できる。
【００１３】
本発明の粒状物は、結合樹脂の硬化を阻害するものや、本発明に適宜配合する組成物に溶解せずに効果を奏でるものであれば、良い。最も効果があるものは球状物であるが、角張ったものでない限り粒状物で良い。効果が得られる粒径は平均粒子径が５０μｍ以上が必要である。さらに解体時の作業を容易にする接着力を下げるには１００μｍ以上が好ましい。粒状物が大きくなると接着剤の量が多く必要となりコストアップとなる。配合率は粒状物の粒径と粒状物以外の配合物にも依存するため、適宜選択する。最低必要量は結合樹脂に対して１．５重量％以上が好ましいが、粒状物の形状、強度等により適宜選択する。
【００１４】
粒状物としては前記の条件を満たせば、炭酸カルシウム粉、硅砂粉、ガラスビーズ、プラスチック粉等で良い。
【００１５】
本発明は前記の結合樹脂、粒状物のみでも使用できるが、これらの他、充填剤、有機溶剤、分散剤、界面活性剤、可塑剤、カップリング剤、消泡剤、沈降防止剤等樹脂の安定性、位置決め作業性、硬化性等の調整を目的で配合することができる。
【００１６】
本発明の使途は仮接着用であれば、良く、硬化前に、移動により、位置調整を必要とする使途に向く、例えば、シリコンウエハ切断時のシリコンインゴッドを台座に載せ切断装置と関係を最適な位置に固定するものがあげられ、これは、加工時の必要な保持力を得るための接着力が弱い場合は台座の面積、治具方向を工夫し、逆に接着力が強い場合は解体のし易い台座を用いる。接着剤組成物が適度な接着力であれば、前記工夫が不要であり、一般には後者、接着力が低いことが望まれている。
最も好ましい用途としては大きな塊を小分割するのに適し、例えば最終形態で大面積が必要な太陽電池等のウエハでは原材料の重量は重くなるため有用なものとなる。
【００１７】
本発明の仮接着剤組成物の配合はその他の配合物が特殊なものでない限り汎用の撹拌で行い、塗布方法も一般に知られた方法を用いる。
以下  実施例を記して詳細な説明をする。結果を表１に記す。
【実施例１】
【００１８】
ｊＥＲ８２８（ジャパンエポキシレジン（株）、商品名、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、エポキシ当量約１９０）３７．５重量部、ＹＥＤ２１６Ｍ（ジャパンエポキシレジン（株）、アルキルジグリシジルエーテル反応性希釈剤、エポキシ当量約１５０）４．２重量部、粒状物として炭酸カルシウムＧ１００（三共製粉（株）、商品名、炭酸カルシウム粉、平均粒子径６５μｍ）８．３重量部、粘度調整のため、充填剤として炭酸カルシウムＡ（三共製粉（株）、商品名、炭酸カルシウム粉、平均粒子径１２μｍ）３３．３重量部を配合し、１時間撹拌した。さらにエポキシ樹脂の硬化剤としてＴＯ１８４（ジャパンエポキシレジン（株）、商品名、変性脂肪族ポリアミン）１６．７重量部を混合し、５分間撹拌し実施例１の仮止め用接着剤組成物とした。
【実施例２】
【００１９】
実施例１の炭酸カルシウムＧ１００を炭酸カルシウムＧ５０（三共製粉（株）、商品名、平均粒子径１８０μｍ）に変えた以外同じく行い実施例２の仮止め用接着剤組成物とした。
【実施例３】
【００２０】
実施例１の炭酸カルシウムＧ１００を炭酸カルシウムＫ１（三共製粉（株）、商品名、平均粒子径２７０μｍ）に変えた以外同じく行い実施例３の仮止め用接着剤組成物とした。
【実施例４】
【００２１】
実施例１の炭酸カルシウムＧ１００を１．７重量部に、炭酸カルシウムＡを４０．０重量に変えた以外同じく行い実施例４の仮止め用接着剤組成物とした。
【実施例５】
【００２２】
実施例１の炭酸カルシウムＧ１００を２５．０重量部に、炭酸カルシウムＡを１６．７重量部に変えた以外同じく行い実施例５の仮止め用接着剤組成物とした。
【実施例６】
【００２３】
実施例１の炭酸カルシウムＧ１００を炭酸カルシウムＫ２（三共製粉（株）、商品名、平均粒子径４００μｍ）に変えた以外同じく行い実施例６の仮止め用接着剤組成物とした。
【実施例７】
【００２４】
実施例２の炭酸カルシウムＧ５０を２７．１重量部、炭酸カルシウムＡを２．１重量部に変えた以外同じく行い実施例７の仮止め用接着剤組成物とした。
【００２５】
比較例１
実施例１の炭酸カルシウムＧ１００を炭酸カルシウムＳＦＴ２０００（三共製粉（株）、商品名、平均粒子径３０μｍ）に変えた以外同じく行い比較例１の組成物とした。
【００２６】
【表１】
2010189564.tif 000002
【００２７】
接着強度： 表１の接着強度はＪＩＳ
Ｋ ６８５０に準拠して引っ張りせん断接着力を測定した。実施例・比較例の組成物を２枚のステンレス板（長さ１００ｍｍ×幅２５ｍｍ×厚さ１．５ｍｍ）の間に、接着面積が３．１２５ｃｍ2となるように挟みこみ、２３℃下２４時間静置し、万能抗張力試験試験機５５８２型（インストロンジャパン（株）製）を用いて２３℃、湿度５０％Ｒ．Ｈ．環境条件下でｎ＝５にて測定した。
【００２８】
移動抗力：ガラス板に、実施例・比較例の組成物（１）を塗布し、粒おもりを入れた荷重用容器（４）付きガラス（樹脂と接するサイズ長さ１１５ｍｍ×幅２５ｍｍ）（３）総重量３ｋｇを載せ、中央部（６）に１０ｋｇの荷重をかけで１分間放置し、ガラス板（３）から組成物が染み出たことを確認し、１０ｋｇの荷重を除きガラス（３）をデジタルフォースゲージＺＰ−５００Ｎ（(株)イマダ製）（治具は直径１５ｍｍの平型）（５）で前記ガラス長手方向（７）に２０ｍｍ押しその最大荷重値を移動抗力とした。
【００２９】
位置決め作業性：円柱シリコンインゴット（直径７０ｃｍ高さ７０ｃｍ重量１．１トン）の接面単位当たり重量を合わせた２１ｃｍ立方体鉄ブロックで実施例７の接着剤組成物で実際に人力にて操作し、位置決め可能と判断し、移動抗力７．７以下を○とした。７．７を超えるものを×とした。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明は半導体ウエハの被加工物であるインゴットを始め、セラミック、金属等のインゴットの粗切りに歩留まり向上、生産性向上に寄与し、また、角ウエハの他に、曲面曲面でも有効なものである。
【符号の説明】
【００３１】
１    仮止め接着剤組成物
２    ガラス板
３    ガラス板
４    荷重用容器
５    デジタルフォースゲージ
６    仮荷重方向
７    移動方向
８    半導体ウエハ
９    切断面（例）
１０  台座
１１  形状対応治具
【図１】
2010189564.tif 000003
【図２】
2010189564.tif 000004
【図３】
2010189564.tif 000005