(57)【要約】【課題】鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能なクリーンローラ装置を提供すること。【解決手段】フィルムが貼付されているワークＷを搬送しつつ、塵埃を除去するクリーンローラ装置１０であって、塵埃吸着ローラ体５１Ａとベースローラ体５１ＡとでワークＷを鉛直方向に沿って移動させ、塵埃吸着ローラ体５１Ｂをベースローラ体５１Ａに向けて押し付ける付勢力を与える第２の駆動源５２を備え、粘着テープロール７０を塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第３の駆動源を備え、ワークＷの検出から所定時間が経過する前には第２の駆動源５２のみを作動させ、所定時間の経過後には少なくとも第３の駆動源６３を作動させて大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体５１Ｂに対して与えるように制御する制御手段１００を具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムが貼付されているワークを搬送しつつ、当該ワークに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置であって、
第１の駆動源の作動により駆動させられると共に、上記ワークの一方の面に、上記ワークの移動に伴って転動しつつ接触し、当該ワークの一方の面に付着している塵埃を吸着保持する塵埃吸着ローラ体と、
上記ワークの他方の面に、上記ワークの移動に伴って転動しつつ接触すると共に、上記塵埃吸着ローラ体とで上記ワークを鉛直方向に沿って移動させるベースローラ体と、
粘着テープが巻回されている粘着テープロールを保持する粘着テープ保持部と、
上記塵埃吸着ローラ体を上記ベースローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第２の駆動源と、
上記粘着テープロールを上記塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第３の駆動源と、
上記ワークの有無を検出する基板検出センサと、
上記基板検出センサでの上記ワークの検出から所定時間が経過する前には上記第２の駆動源のみを作動させると共に、上記所定時間の経過後の上記ワークが上記塵埃吸着ローラ体と上記ベースローラ体とで挟み込まれている状態のときには少なくとも上記第３の駆動源を作動させて、上記所定時間の経過前よりも大きな付勢力を上記塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御する制御手段と、
を具備することを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンローラ装置において、
前記制御手段は、上記所定時間の経過後は、前記第２の駆動源の作動を停止させ、かつ前記第３の駆動源のみを作動させると共に、前記第３の駆動源は、前記制御手段によって前記第２の駆動源が作動している状態よりも大きな付勢力を前記塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御される、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のクリーンローラ装置において、
前記塵埃吸着ローラ体は、前記鉛直方向とは交差する摺動方向に沿って摺動可能に設けられていると共に、
前記ベースローラ体は、上記摺動方向に沿って摺動しない構成となっている、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項４】
請求項３記載のクリーンローラ装置において、
前記粘着テープ保持部は、前記粘着テープロールが前記摺動方向に対して上または下に位置ずれするように配置されている、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のクリーンローラ装置において、
前記第２の駆動源は、押さえアームに回転トルクを与えるロータリアクチュエータであると共に、
前記第３の駆動源は、リニアアクチュエータである、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項６】
請求項１記載のクリーンローラ装置において、
前記基板検出センサは、
前記ワークの投入を検出する第１の基板検出センサと、
前記ワークの鉛直方向における下端を検出する第２の基板検出センサと、
を備えることを特徴とするクリーンローラ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するためのクリーンローラ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント配線基板等のワークに付着した塵埃を取り除くために、クリーンローラ装置が用いられている。このクリーンローラ装置は、ワークに接触するクリーンローラ（粘着ラバーローラ体）と、クリーンローラに接触する粘着ローラとを具備している。粘着ローラには、ロール状に巻回されている粘着テープが設けられていて、クリーンローラに付着している塵埃は、粘着テープに転写される。そして、粘着テープが汚れてくると、粘着ローラから粘着テープを引き出して切断し、新たな粘着テープが、クリーンローラに接触するように設けられている。なお、このようなクリーンローラに関する先行技術としては、特許文献１に開示のものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１７００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述の特許文献１に開示されているクリーンローラ装置は、設置面に略水平にワークを搬送しながら、当該ワークから塵埃の除去を行っている。これに対して、製造ラインのスペース的な問題で、表面にフィルムが貼付されているワークに対して、鉛直方向に沿って当該ワークを搬送するタイプのクリーンローラ装置が考案されつつある。
【０００５】
このタイプのクリーンローラ装置では、ワークが鉛直方向に沿って進行するため、当該ワークが落下しないように注意する必要がある。しかしながら、塵埃の転写性を良好にすべく、粘着テープに対するクリーンローラの押圧力を強くすると、ワークに貼付されているフィルムが剥がれてしまう虞がある。
【０００６】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能なクリーンローラ装置を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、ワークを搬送しつつ、当該ワークに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置であって、第１の駆動源の作動により駆動させられると共に、ワークの一方の面に、ワークの移動に伴って転動しつつ接触し、当該ワークの一方の面に付着している塵埃を吸着保持する塵埃吸着ローラ体と、ワークの他方の面に、ワークの移動に伴って転動しつつ接触すると共に、塵埃吸着ローラ体とでワークを鉛直方向に沿って移動させるベースローラ体と、粘着テープが巻回されている粘着テープロールを保持する粘着テープ保持部と、塵埃吸着ローラ体をベースローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第２の駆動源と、粘着テープロールを塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第３の駆動源と、ワークの有無を検出する基板検出センサと、基板検出センサでのワークの検出から所定時間が経過する前には第２の駆動源のみを作動させると共に、所定時間の経過後のワークが塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれている状態のときには少なくとも第３の駆動源を作動させて、所定時間の経過前よりも大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御する制御手段と、を具備するものである。
【０００８】
このように構成する場合、基板検出センサでのワークの検出から所定時間の経過後には、ワークの搬送により、当該ワークは塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれている状態となる。このときには、制御手段は、少なくとも第３の駆動源を作動させる。それにより、基板検出センサでのワークの検出から所定時間の経過前の第２の駆動源のみが作動しているときよりも、大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に与える。このように第２の駆動源および第３の駆動源の作動を制御すれば、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過する前に、より強い押圧力を付与する場合のように、ワークからフィルムが剥がれてしまうのを防止可能となる。
【０００９】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、制御手段は、所定時間の経過後は、第２の駆動源の作動を停止させ、かつ第３の駆動源のみを作動させると共に、第３の駆動源は、制御手段によって第２の駆動源が作動している状態よりも大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御されることが好ましい。
【００１０】
このように構成する場合、所定時間の経過後には、第３の駆動源のみが作動して、第２の駆動源が作動している状態よりも大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に対して与える。それにより、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過する前に、より強い押圧力を付与する場合のように、ワークからフィルムが剥がれてしまうのを防止可能となる。
【００１１】
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、塵埃吸着ローラ体は、鉛直方向とは交差する摺動方向に沿って摺動可能に設けられていると共に、ベースローラ体は、摺動方向に沿って摺動しない構成となっていることが好ましい。
【００１２】
このように構成する場合、ベースローラ体は摺動せずに塵埃吸着ローラ体のみが摺動する。そのため、ワークの搬送経路における基準およびワークを挟み込む基準が明確となり、ワークに対して良好に押圧力を及ぼさせることが可能となる。
【００１３】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、粘着テープ保持部は、粘着テープロールが摺動方向に対して上または下に位置ずれするように配置されていることが好ましい。
【００１４】
このように構成する場合、粘着テープロールは、摺動方向に沿って並ばず、上または下に位置ずれする状態となる。そのため、クリーンローラ装置の幅方向の寸法を低減させることが可能となり、クリーンローラ装置をコンパクト化することが可能となる。
【００１５】
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、第２の駆動源は、押さえアームに回転トルクを与えるロータリアクチュエータであると共に、第３の駆動源は、リニアアクチュエータであることが好ましい。
【００１６】
このように構成する場合、ロータリアクチュエータは、押さえアームを介して塵埃吸着ローラ体を押し付ける付勢力を与える。そのため、リニアアクチュエータのように、粘着テープロールを介して塵埃吸着ローラ体を押し付けないので、粘着テープロールの使用に伴う直径の変化の影響を受けることがない。そのため、塵埃吸着ローラ体を押し付ける際のタイミングに変動を来たすことがない。
【００１７】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、基板検出センサは、ワークの投入を検出する第１の基板検出センサと、ワークの鉛直方向における下端を検出する第２の基板検出センサと、を備えることが好ましい。
【００１８】
このように構成する場合、ワークの投入を第１の基板検出センサで検出することにより、第２の駆動源等の駆動を開始させることが可能となる。加えて、第１の基板検出センサでワークの後端を検出することで、ワークが塵埃吸着ローラ体とベースローラ体との間で挟み込まれている状態から抜けてしまうのを防止するように制御可能となる。また、第２の基板検出センサでワークの鉛直方向における下端が検出されるので、ワークがクリーンローラ装置の下端にぶつかってしまうのを防止可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について、図１から図８に基づいて説明する。なお、以下の実施の形態においては、上下方向（鉛直方向）とは、図１におけるＺ方向を指すものとする。
【００２１】
なお、本実施の形態に係るクリーンローラ装置１０は、縦型と呼ばれるタイプのものであり、搬送経路が鉛直方向に沿うように構成されている。このため、ワークＷは、上方から投入され、クリーンローラ装置１０の内部を通過後に、再び上方から取り出す構成となっている。
【００２２】
＜クリーンローラ装置の概略構成＞
図１から図３に、クリーンローラ装置１０の全体構成を示す。図１は、クリーンローラ装置１０の左側面図であり、図２は、クリーンローラ装置１０の正面図である。また、図３は、クリーンローラ装置１０の右側面図である。また、図４は、クリーンローラ装置１０の平面図である。なお、図１および図３では、クリーンローラ装置１０のうち、ワークＷを搬送する部位が分かるように、当該ワークＷの搬送にかかわる部分を透視して示している。
【００２３】
なお、本実施の形態におけるワークＷは、その表面にフィルムが貼付されているものである。ここで、ワークＷは、ワークＷの一方の表面（片面）だけにフィルムが貼付されているものでも良く、ワークＷの両方の表面（両面）にフィルムが貼付されているものでも良い。
【００２４】
このクリーンローラ装置１０は、フレーム部２０（図２参照）と、搬送機構３０と、クリーンユニット４０と、制御部１００（図８参照）と、を主要な構成要素としている。
【００２５】
これらのうち、フレーム部２０は、側板２１を具備しており、この側板２１には、後述する支持スライダ６２を摺動自在とするための溝部２２（図６参照）が設けられている。また、搬送機構３０は、モータ３１と、駆動プーリ（図示省略）と、ベルト（図示省略）と、従動プーリ（図示省略）と、不図示のギヤ輪列と、搬送ローラ３２と、を具備している。
【００２６】
これらのうち、モータ３１（第１の駆動源に対応）は、例えばハウジングの内部にギヤを内蔵するギヤードモータであり、所定の減速比で減速させられた回転が、出力軸３１ａに与えられている。また、この出力軸３１ａには、駆動プーリが取り付けられていて、当該出力軸３１ａと同期して回転する。また、この駆動プーリには、無端のベルトが掛け渡されている。ベルトは、従動プーリにも掛け渡されている。この従動プーリは、粘着ラバーローラ体５１の回転軸５１１（図６参照）の一端側に取り付けられていて、当該従動プーリを介して、粘着ラバーローラ体５１が回転可能となっている。
【００２７】
なお、本実施の形態では、下方に位置する２つの粘着ラバーローラ体５１のうち、一方の粘着ラバーローラ体５１（後述する固定粘着ラバーローラ体５１Ａ）の回転軸５１１の一端側に、従動プーリが設けられている。
【００２８】
また、従動プーリが取り付けられている回転軸５１１には、伝達ギヤ３３も取り付けられている。伝達ギヤ３３は、上方に位置する回転軸５１１に取り付けられている伝達ギヤ３３と噛み合い、上方側の回転軸５１１にも駆動力を伝達可能としている。
【００２９】
＜クリーンローラ装置１０のクリーンユニット４０の構成の詳細＞
図１、図２および図３等に示すように、クリーンローラ装置１０が具備するクリーンユニット４０には、ベースロール対５０Ａと、可動ロール対５０Ｂとが設けられている。ベースロール対５０Ａは、粘着ラバーローラ体５１が摺動せずに固定的に設けられている（以下、必要に応じて、この粘着ラバーローラ体５１を固定粘着ラバーローラ体５１Ａ（塵埃吸着ローラ体に対応）と称呼する。）。一方、可動ロール対５０Ｂは、粘着ラバーローラ体５１が図６における左右方向（矢示Ａ方向；鉛直方向とは交差する摺動方向）に移動可能に設けられている。このようなベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂが、それぞれ上下方向に並ぶように配置されている。
【００３０】
これらベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂは、粘着ラバーローラ体５１と、粘着テープロール体５３とから構成されている。粘着ラバーローラ体５１は、回転軸５１１と、粘着ラバー層５１２とを有している。粘着ラバー層５１２は、回転軸５１１の外側に、所定の長さ範囲に亘って設けられている。この粘着ラバー層５１２は、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、かかる粘着ラバー層５１２は、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、この吸着層はシリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れる材質から構成されている。また、吸着層の下層側には、例えばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。
【００３１】
また、回転軸５１１の一端部および他端部には、マウント部材５１３が配置されている。マウント部材５１３には、例えば円孔５１３ａが形成されていて、その円孔５１３ａに軸受としてのベアリング５１４が挿入されている。なお、ベースロール対５０Ａの粘着ラバーローラ体５１においては、このようにマウント部材５１３の円孔５１３ａにベアリング５１４を配置せずに、側板２１に円孔を形成して、当該円孔にベアリング５１４を配置する構成を採用しても良い。
【００３２】
また、可動ロール対５０Ｂの粘着ラバーローラ体５１（以下、必要に応じて、この粘着ラバーローラ体５１を可動粘着ラバーロール体５１Ｂ（ベースローラ体に対応）と称呼する。）のマウント部材５１３は、側板２１に形成されている溝部２２に沿って摺動可能に設けられている。ここで、図６に示すように、ベースロール対５０Ａ側のマウント部材５１３（以下、マウント部材５１３Ａとする。）には、バネ受け部材５１５Ａが取り付けられていると共に、可動ロール対５０Ｂ側のマウント部材５１３（以下、マウント部材５１３Ｂとする。）にも、同様にバネ受け部材５１５Ｂが取り付けられている。そして、これらのバネ受け部材５１５Ａ，５１５Ｂの間には、支持軸５１６を介して、反発バネ５１７が取り付けられている。それにより、粘着ラバーローラ体５１（粘着ラバー層５１２）は、後述する押さえアーム５２２によって押圧されていないときには、互いに接触しない状態となっている。
【００３３】
なお、可動ロール対５０Ｂにおける回転軸５１１には、マウント部材５１３Ｂよりも回転軸５１１の端部寄りであって側板２１に近接する部位に、当接ベアリング５１８が取り付けられている。当接ベアリング５１８は、後述する押さえアーム５２２が押圧する部位である。
【００３４】
また、粘着ラバーローラ体５１に近接して、粘着テープロール７０が配置されている。これらのうち、上部に位置する粘着テープロール７０は、本実施の形態では、粘着ラバーローラ体５１の回転軸５１１を結ぶ軸線Ａよりも、上部に位置している。また、下部に位置する粘着テープロール７０は、本実施の形態では、粘着ラバーローラ体５１の回転軸５１１を結ぶ軸線Ｂよりも、下部に位置している。このような配置を採用することで、粘着テープロール７０が上方側、および下方側にそれぞれオフセットされた配置となる。かかる粘着テープロール７０の配置により、クリーンローラ装置１０の幅方向に突出する寸法を低減可能となる。また、上部に位置する粘着テープロール７０と下部に位置する粘着テープロール７０とが互いに離間し、両者の間にスペースを確保することが可能となっている。
【００３５】
なお、本実施の形態では、図１および図３に示すように、固定粘着ラバーローラ体５１Ａおよび可動粘着ラバーローラ体５１Ｂのいずれにも、粘着テープロール７０が近接して配置されている。
【００３６】
上述のような、粘着テープロール７０の配置を可能とするために、図２、図６に示すように、粘着テープロール体５３は、軸線Ａよりも上方または軸線Ｂよりも下方に位置するように粘着テープ保持部６０を有している。この粘着テープ保持部６０は、回転保持部６１と、支持スライダ６２と、リニアアクチュエータ６３と、を具備している。これらのうち、回転保持部６１は、粘着テープロール７０の両端側を保持しつつ、粘着テープロール７０を回転させる部分である。この回転保持部６１は、ネジ等での取り付け状態を解除すれば、容易に図２における矢示Ｂ方向に沿った移動が可能に設けられている。そして、この矢示Ｂ方向に沿う移動により、粘着テープロール７０の交換が可能となっている。
【００３７】
また、図２に示すように、回転保持部６１には、回転軸６１ａが設けられていて、この回転保持部６１は支持スライダ６２に回転自在に軸支される。また、回転保持部６１の端部には、略円盤形状のロール保持部６１ｂが設けられている。このロール保持部６１ｂは、粘着テープロール７０が取り付けられる部分であり、当該粘着テープロール７０の巻芯筒７１の筒孔に挿入される。なお、ロール保持部６１ｂには、フランジ６１ｃが設けられていて、このフランジ６１ｃにて筒孔への挿入が規制される。
【００３８】
また、粘着テープ保持部６１ｂに取り付けられる粘着テープロール７０は、図７に示すように、巻芯筒７１と、テープ巻回構造７２と、から構成されている。巻芯筒７１は、円筒状の巻芯部分であり、軸方向に挿通する筒孔（図示省略）を具備している。また、テープ巻回構造７２は、巻芯筒７１に粘着テープを多数巻回させたものである。また、粘着テープロール７０においては、粘着テープは、巻回の内側が粘着面となっており、この粘着面が粘着ラバー層５１２で吸着されている塵埃を保持可能となっている。そのため、粘着面の塵埃に対する粘着力は、粘着ラバー層５１２の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。なお、粘着テープは、例えば紙、プラスチック等の基材に対して、例えばゴム系、アクリル系等の粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成することによって構成されている。
【００３９】
また、図６に示すように、支持スライダ６２は、軸支部６２１と、摺動ガイド部６２２とを有している。軸支部６２１は、上述の回転保持部６１の回転軸６１ａを回転自在に軸支している。また、摺動ガイド部６２２は、側板２１に設けられている溝部２２（図６参照）に沿った幅方向の移動をガイドする部分である。そのため、この摺動ガイド部６２２は、溝部２２に嵌まり込むフランジ部６２２ａを具備している。また、摺動ガイド部６２２の一端部は、リニアアクチュエータ６３のロッド部６３ａに連結されている。そのため、リニアアクチュエータ６３の作動により、ロッド部６３ａが左右方向に摺動すると、その摺動に伴って、摺動ガイド部６２２も左右方向に移動する。その結果、粘着テープ保持部６１ｂ（図２参照）に支持されている粘着テープロール７０は、左右方向に移動する。
【００４０】
また、第３の駆動源に対応するリニアアクチュエータ６３は、例えば空気圧によってロッド部６３ａを上下方向に作動させるものであり、制御部１００によって、その作動が制御されている。なお、リニアアクチュエータ６３の本体部６３ｂは、側板２１に取り付けられている。このリニアアクチュエータ６３は、反発バネ５１７の弾性力に抗しながら可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し込み、固定粘着ラバーローラ体５１Ａに対して可動粘着ラバーローラ体５１Ａを接触させるものである。このとき、リニアアクチュエータ６３は、ロータリアクチュエータ５２よりも大きな付勢力を可動粘着ラバーローラ体５１Ｂに対して与える。その付勢力は、ワークＷを落下させない状態で挟み込むのには十分過ぎるものであって、塵埃を粘着ラバーローラ体５１から粘着テープロール７０に転写させるのに必要な程度のものとなっている。
【００４１】
また、側板２１には、第２の駆動源に対応するロータリアクチュエータ５２が取り付けられている。ロータリアクチュエータ５２は、本実施の形態では、粘着ラバーローラ体５１に対して、側板２１を挟んで反対側の位置（外側）に取り付けられている。また、ロータリアクチュエータ５２は、図５に示すように、粘着ラバーローラ体５１よりも下方に位置している。
【００４２】
このロータリアクチュエータ５２は、出力軸５２１を有していて、ロータリアクチュエータ５２の作動時には、この出力軸５２１を回転させるためのトルクを与える。この出力軸５２１には、押さえアーム５２２が取り付けられている。そのため、ロータリアクチュエータ５２が作動すると、押さえアーム５２２が図６において反時計回りに回動して、当接ベアリング５１８を押し込む。それにより、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂが、反発バネ５１７の弾性力に抗しながら固定粘着ラバーローラ体５１Ａに対して接触しようとする。このとき、ロータリアクチュエータ５２によって、可動粘着ラバーローラ体５１Ａが固定粘着ラバーローラ体５１Ａを押し込む付勢力は、ワークＷを落下させない状態で挟み込みつつ送り込むのに十分な付勢力に対応している。しかしながら、この付勢力は、塵埃を粘着ラバーローラ体５１から粘着テープロール７０に転写させるのには、やや不十分なものである場合が多く、加えてワークＷに貼付されているフィルムが、その端部から剥がれる程、大きなものとはなっていない。
【００４３】
また、図８に示すように、クリーンローラ装置１０には、基板検出センサ８０が配置されている。基板検出センサ８０は、例えば透過型の光センサであり、制御部１００に出力するように電気的に配置されている。この基板検出センサ８０は、ワークＷの有無を検出可能となっている。なお、本実施の形態では、ベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂが存在する部位よりも上部に基板検出センサ８０ａ（第１の基板検出センサに対応）が配置されている。また、ベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂが存在する部位の直下に基板検出センサ８０ｂが配置されている。さらに、搬送経路の下端部近傍には、基板検出センサ８０ｃ（第２の基板検出センサに対応）が配置されている。
【００４４】
また、図１に示すように、クリーンローラ装置１０のワークＷの搬送経路における入口近傍には、静電除電バー８１が設けられている。静電除電バー８１は、ベースロール対５０Ａ側および可動ロール対５０Ｂのそれぞれに設けられている。この静電除電バー８１により、ワークＷの静電気が除去される。
【００４５】
また、図１に示すように、基体部１１の側面には、操作パネル９０が設けられている。この操作パネル９０には、装置全体の電源のオン／オフを切り替える電源スイッチ９１、装置全体の運転を開始させるための運転スイッチ９２、装置全体の運転を停止させるための停止スイッチ９３、モータ３１の回転数の調整を行うための速度調整ツマミ９４等を具備している。なお、速度調整ツマミ９４等での操作によって与えられる信号は、制御部１００に入力される。
【００４６】
＜クリーンローラ装置の制御系統の構成＞
続いて、クリーンローラ装置１０が具備する、制御手段としての制御部１００について、図８に基づいて説明する。制御部１００には、基板検出センサからの検出信号が入力される。また、制御部１００は、不図示のＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発性メモリ等）、バス、タイマ、インターフェース等を有していて、上述のメモリの中の、所定のシーケンス制御に関するプログラムおよびデータがＣＰＵで実行され、制御部１００の各構成が協働することにより、機能的には、図８のブロック図に示すような構成が実現される。
【００４７】
図８に示すように、制御部１００は、機能的には、主制御部１０１と、モータ制御部１０２と、リニアアクチュエータ制御部１０３と、ロータリアクチュエータ制御部１０４を有していて、その他、モータドライバ１０５と、リニアアクチュエータドライバ１０６と、ロータリアクチュエータドライバ１０７とを有している。主制御部１０１は、クリーンローラ装置１０の全体の制御を司る部分であり、操作パネル９０等からの指令、またはクリーンローラ装置１０に接続される不図示のコンピュータ等からの指令が入力される。そして、入力された指令に基づいて、モータ制御部１０２、リニアアクチュエータ制御部１０３、および／またはロータリアクチュエータ制御部１０４に対して、所定の駆動指令に関する信号を出力する。
【００４８】
モータ制御部１０２は、速度調整ツマミ９４の操作に基づいて、モータ３１に印加する電力を制御する指令を、モータドライバ１０５側に与える。そして、モータドライバ１０５では、モータ３１に所定の電力を与えて、モータ３１を回転駆動させる。なお、このモータ制御部１０２には、不図示のロータリエンコーダが具備するロータリセンサ８２からの検出信号が供給され、モータ３１の回転数が、速度調整ツマミ９４によって与えられる回転数を保持するように、フィードバック制御を行うように構成しても良い。
【００４９】
なお、フィードバック制御としては、比例制御（Ｐ制御）、ＰＩ制御、ＰＩＤ制御を行うようにしても良い。
【００５０】
また、リニアアクチュエータ制御部１０３も、リニアアクチュエータ６３に与える電力を制御する指令をリニアアクチュエータドライバ１０６側に与え、当該リニアアクチュエータ６３を所定の加圧力で作動させる。また、リニアアクチュエータ制御部１０３には、基板検出センサ８０ａ〜８０ｃ、およびロータリセンサ８２からの検出信号が入力される。そして、リニアアクチュエータ制御部１０３では、これらの検出信号に基づいて、上下のリニアアクチュエータ６３の作動をそれぞれ制御する。
【００５１】
また、ロータリアクチュエータ制御部１０４も、ロータリアクチュエータ５２に与える電力を制御する指令をロータリアクチュエータドライバ１０７側に与え、当該ロータリアクチュエータ５２を所定の加圧力で作動させる。また、ロータリアクチュエータ制御部１０４には、基板検出センサ８０ａ〜８０ｃ、およびロータリセンサ８２からの検出信号が入力される。そして、ロータリアクチュエータ制御部１０４では、これらの検出信号に基づいて、上下のロータリアクチュエータ５２の作動をそれぞれ制御する。
【００５２】
＜クリーンローラ装置の動作＞
以上のような構成を具備するクリーンローラ装置１０の動作に関して、以下に説明する。最初に、クリーンローラ装置１０に粘着テープロール７０を取り付けて、クリーンローラ装置１０が作動可能な状態とする。
【００５３】
また、上述の粘着テープロール７０の取り付けに前後して、電源スイッチ９１をオン側に切り替える。そして、速度調整ツマミ９４を回転させて、ワークＷの搬送速度を所望の搬送速度に設定する。この後に、運転スイッチ９２を押下すると、運転が開始され、制御部１００はモータ３１に対して、設定された回転速度で駆動させる指令を与える。この状態で、作業者が上部の搬入口からワークＷをクリーンローラ装置１０の内部に投入する。そのとき、ワークＷは搬送ローラ３２によって搬入がガイドされる。
【００５４】
また、ワークＷがクリーンローラ装置１０の内部に搬入されると、その状態が基板検出センサ８０ａによって検出される。それにより、主制御部１０１は、モータ制御部１０２およびロータリアクチュエータ制御部１０４に指令を与える。そして、かかる指令に基づいて、ロータリアクチュエータ制御部１０４は、ロータリアクチュエータドライバ１０７を介してロータリアクチュエータ５２を作動させる。すると、押さえアーム５２２が当接ベアリング５１８を押し込み、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂが固定粘着ラバーローラ体５１Ａに接触する。それにより、ワークＷを一対の粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込むことが可能な状態となる。
【００５５】
なお、基板検出センサ８０ａのみがワークＷを検出する状態（基板検出センサ８０ｂ，８０ｃがワークＷを検出していない状態）では、リニアアクチュエータ６３は作動しないように主制御部１０１およびリニアアクチュエータ制御部１０３によって制御される。
【００５６】
また、ロータリアクチュエータ５２の作動に前後して、モータ制御部１０２は、主制御部１０１からの指令に基づいて、モータドライバ１０５を介してモータ３１を作動させる。それにより、ワークＷが粘着ラバー層５１２の回転速度によって、所定の送り速度で搬送される状態となる。なお、このとき、基板検出センサ８０ｂは、ワークＷの先端をまだ検出しておらず、ワークＷの先端が下方の粘着ラバーローラ体５１の間を通過していない状態に対応する。
【００５７】
ところで、暫くの間ワークＷが下方に向かって搬送されると、基板検出センサ８０ｂがワークＷを検出する。すると、ワークＷの先端は、上下いずれの粘着ラバーローラ体５１においても挟み込まれている状態に対応する。そのため、基板検出センサ８０ｂがワークＷを検出すると、主制御部１０１からの指令に基づいて、リニアアクチュエータ制御部１０３は、リニアアクチュエータドライバ１０６を介してリニアアクチュエータ６３を作動させる。それにより、粘着テープロール７０が粘着ラバーローラ体５１（粘着ラバー層５１２）に押し付けられる。
【００５８】
ここで、リニアアクチュエータ６３による粘着ラバー層５１２への粘着テープロール７０の押し付け力は、ロータリアクチュエータ５２による、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂの固定粘着ラバーローラ体５１Ａへの押し付け力よりも大きくなるように設定されている。それにより、ワークＷは、ロータリアクチュエータ５２による押圧力よりも強い力で、粘着ラバー層５１２の間に挟持される。また、かかる強い押圧力の作用により、粘着ラバー層５１２はワークＷに対して強力に吸着する状態となり、ワークＷから一層良好に塵埃が除去される。加えて、粘着ラバー層５１２から粘着テープロール７０に対して、塵埃を良好に転写可能となる。
【００５９】
なお、リニアアクチュエータ６３による強い押圧力がワークＷに作用すると、ロータリアクチュエータ５２は停止させられる。そのため、以後はリニアアクチュエータ６３の作動による押圧力がワークＷに作用する状態となる。
【００６０】
ところで、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂにより挟み込まれる前の段階で、リニアアクチュエータ６３が作動すると、粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂは、互いに強力に押し付けられる状態となる。その状態で、ワークＷの先端が通過すると、ワークＷに貼付されているフィルムは、貼付の端部から剥がれてしまう虞がある。
【００６１】
しかしながら、上述のようにワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を通過するまでは、ロータリアクチュエータ５２のみが作動するように制御されると、ワークＷの表面からフィルムが剥がれるのを防止することが可能となる。
【００６２】
以上のようなワークＷの押圧状態（リニアアクチュエータ６３のみが作動する状態）でワークＷが下方に向かって暫く搬送される。そして、ワークＷの先端が基板検出センサ８０ｃによって検出される場合、そのままモータ３１の駆動を継続すると、ワークＷの後端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を完全に通り過ぎてしまい、ワークＷが粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで保持されずに落下してしまう虞が生じる。そこで、モータ制御部１０２は、基板検出センサ８０ｃによってワークＷの先端が検出されると、モータ３１を逆転させて、ワークＷが上方に向かい持ち上げられる向きに移動させる。そして、ワークＷの先端が上方の粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を抜けるまで移動させる。なお、ワークＷの先端が上方の粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を抜けるとき、作業者がワークＷを把持する。
【００６３】
なお、ワークＷの長さ寸法が所定より短い場合には、ワークＷの先端が基板検出センサ８０ｃにより検出されるよりも前の段階で、ワークＷの後端が基板検出センサ８０ａを通過する。このとき、ロータリセンサ８２でのカウントに基づいてモータ３１を停止させ、ワークＷの後端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を抜けないようにしても良い。
【００６４】
また、粘着テープに徐々に塵埃が転写されていくと、粘着テープの塵埃の吸着性能が悪化する。そのため、例えば所定の時間だけ粘着テープによる塵埃の吸着を行わせた後に、粘着テープロール７０を引き出して、外周に露出している粘着テープを粘着テープロール７０から剥がして切り取る。それにより、新たな粘着テープが外周に露出する状態となり、粘着テープの塵埃の吸着性能を回復させることが可能となる。
【００６５】
＜効果＞
以上のような構成のクリーンローラ装置１０によれば、ワークＷが粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込まれている状態のときには、制御部１００は、リニアアクチュエータ６３を作動させる。それにより、ロータリアクチュエータ５２のみが作動しているときよりも、大きな付勢力を粘着ラバーローラ体５１に与える。このようにリニアアクチュエータ６３およびロータリアクチュエータ５２の作動を制御すれば、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークＷの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、より強い押圧力の付与により、粘着ラバー層５１２から粘着テープロール７０に対して、塵埃を良好に転写可能となる。
【００６６】
また、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込まれる部分を通過する前に、より強い押圧力を付与する場合には、ワークＷからフィルムが剥がれてしまう（フィルムの端部から剥がれてしまう）虞がある。しかしながら、本実施の形態では、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１で挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与している。そのため、ワークＷからフィルムが剥がれるのを良好に防止可能となっている。
【００６７】
また、本実施の形態では、制御部１００は、リニアアクチュエータ６３による強い押圧力がワークＷに作用すると、ロータリアクチュエータ５２を停止させるように制御する。そのため、以後はリニアアクチュエータ６３のみが作動して、その押圧力がワークＷに作用する状態となる。この押圧力は、ロータリアクチュエータ５２による押圧力よりも大きな付勢力であるため、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１で挟み込まれる部分を通過した後に、ワークＷからフィルムが剥がれてしまうのを防止可能しつつ、より強い押圧力を付与して、ワークＷの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。
【００６８】
さらに、本実施の形態では、固定粘着ラバーローラ体５１Ａは摺動せずに、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂのみが摺動可能に設けられている。このため、ワークＷの搬送経路における基準およびワークＷを挟み込む基準が明確となり、ワークＷに対して良好に押圧力を及ぼさせることが可能となる。
【００６９】
また、本実施の形態では、粘着テープ保持部６１ｂは、粘着テープロール７０が摺動方向に対して上または下に位置ずれするように配置されている。このため、粘着テープロール７０は、摺動方向に沿って並ばず、上または下に位置ずれする状態となる。そのため、クリーンローラ装置１０の幅方向の寸法を低減させることが可能となり、クリーンローラ装置１０をコンパクト化することが可能となる。
【００７０】
さらに、本実施の形態では、ロータリアクチュエータ５２は、押さえアーム５２２を介して可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し付ける付勢力を与える。そのため、リニアアクチュエータ６３のように、粘着テープロール７０を介して可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し付けないので、粘着テープロール７０の使用に伴う直径の変化の影響を受けることがない。そのため、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し付ける際のタイミングに変動を来たすことがない。
【００７１】
また、本実施の形態では、ワークＷの投入を基板検出センサ８０ａで検出することにより、ロータリアクチュエータ５２の駆動を開始させることが可能となる。加えて、基板検出センサ８０ａでワークＷの後端を検出することで、ワークＷが粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間で挟みこまれている状態から抜けて、ワークＷが落下してしまうのを防止するように制御可能となる。また、基板検出センサ８０ｃでワークＷの鉛直方向における下端が検出されるので、ワークＷがクリーンローラ装置１０の下端にぶつかってしまうのを防止可能となる。
【００７２】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【００７３】
上述の実施の形態においては、ベースロール対５０Ａと可動ロール対５０Ｂとが、上下に２つずつ並んだ構成となっている。しかしながら、クリーンローラ装置は、このような構成には限られず、ベースロール対５０Ａと可動ロール対５０Ｂとが１つずつしか存在しない構成を採用しても良く、ベースロール対５０Ａと可動ロール対５０Ｂとが３つ以上存在する構成を採用しても良い。
【００７４】
また、上述の実施の形態では、基板検出センサ８０ｂがワークＷを検出すると、リニアアクチュエータ制御部１０３がリニアアクチュエータ６３を作動させるように制御している。しかしながら、基板検出センサ８０ａがワークＷを検出してから、リニアセンサ８２で所定だけカウントされた後に、リニアアクチュエータ６３を作動させるように制御しても良い。
【００７５】
さらに、上述の実施の形態では、制御部１００は、リニアアクチュエータ６３による強い押圧力がワークＷに作用する場合、ロータリアクチュエータ５２の作動を停止させるように制御している。しかしながら、ロータリアクチュエータ５２の作動を停止させずに、リニアアクチュエータ６３と共にロータリアクチュエータ５２も作動させるようにしても良い。
【００７６】
また、上述の実施の形態では、ワークＷの表裏両面から塵埃を除去するタイプのクリーンローラ装置１０について述べている。しかしながら、クリーンローラ装置としては、片面のみから塵埃を除去するタイプであっても良い。片面のみから塵埃を除去するタイプのクリーンローラ装置では、固定粘着ラバーローラ体５１Ａに代えて、単にガイドローラを配置するように構成すれば足りる。
【００７７】
さらに、上述の実施の形態では、ワークＷは、鉛直方向に沿って搬送される状態となっている。しかしながら、ワークＷの搬送方向は、鉛直方向に限られるものではなく、鉛直方向に対して傾斜していても良い。
【００７８】
また、上述の実施の形態では、基板検出センサ８０ａ〜８０ｃを備える構成について述べている。しかしながら、基板検出センサ８０ｂを省略する構成を採用しても良い。
【００７９】
さらに、上述の実施の形態では、塵埃吸着ローラ体としては、粘着ラバーローラ体を用いているが、塵埃の吸着性に優れる材質が表面を覆っていれば、その材質は、シリコンゴム等には限られず、種々の材質を利用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明のクリーンローラ装置は、基板洗浄の分野において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明のクリーンローラ装置の全体構成を示す左側面図である。
【図２】図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す正面図である。
【図３】図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す右側面図である。
【図４】図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す平面図である。
【図５】図１のクリーンローラ装置の全体の中で、リニアアクチュエータおよびロータリアクチュエータの配置関係を示す図である。
【図６】図１のクリーンローラ装置のうち、粘着ラバーローラ体付近を拡大して示す側面図である。
【図７】クリーンユニットの作動イメージを示す図である。
【図８】クリーンローラ装置の制御部の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８２】
１０…クリーンローラ装置、１１…基体部、１２…上部洗浄部、２０…フレーム部、３０…搬送機構、３１…モータ（第１の駆動源に対応）、４０…クリーンユニット、５０Ａ…ベースロール対、５０Ｂ…可動ロール対、５１…粘着ラバーローラ体（塵埃吸着ローラ体に対応）、５１Ａ…固定粘着ラバーローラ体、５１Ｂ…可動粘着ラバーローラ体、
５２…ロータリアクチュエータ（第２の駆動源に対応）、６０…粘着テープ保持部、６１…回転保持部、６２…支持スライダ、６３…リニアアクチュエータ（第３の駆動源に対応）、８０，８０ａ，８０ｂ，８０ｃ…基板検出センサ、９０…操作パネル、９４…速度調整ツマミ、１００…制御部（制御手段に対応）、１０１…主制御部、１０２…モータ制御部、１０３…リニアアクチュエータ制御部、１０４…ロータリアクチュエータ制御部、５１１…回転軸、５１２…粘着ラバー層、５１３…マウント部材、５１８…当接ベアリング
【図１】
2010137168.tif 000003
【図２】
2010137168.tif 000004
【図３】
2010137168.tif 000005
【図４】
2010137168.tif 000006
【図５】
2010137168.tif 000007
【図６】
2010137168.tif 000008
【図７】
2010137168.tif 000009
【図８】
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