(57)【要約】【課題】光透過性フィルムの欠陥の検出率が向上すると共に多様な欠陥の検出が可能となり、高精度な欠陥検出が可能となる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供する。【解決手段】検査対象である光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５を具備する。光透過性フィルムＡを撮像する撮像部１を具備する。撮像部１による撮像で得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出する検出手段３を具備する。前記撮像部１として、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した正反射光を受光して撮像する撮像部１、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した非正反射光を受光して撮像する撮像部１、及び光透過性フィルムＡを透過した透過光を受光して撮像する撮像部１から選択される二種以上の複数の撮像部１が、搬送手段５による光透過性フィルムＡの経路に沿って設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である光透過性フィルムを搬送する搬送手段、
光透過性フィルムを撮像する撮像部、及び
前記撮像部による撮像で得られた画像から光透過性フィルムの欠陥を検出する検出手段を具備し、
前記撮像部として、光透過性フィルムの一面側で反射した正反射光を受光して撮像する撮像部、光透過性フィルムの一面側で反射した非正反射光を受光して撮像する撮像部、及び光透過性フィルムを透過した透過光を受光して撮像する撮像部から選択される二種以上の複数の撮像部が、前記搬送手段による光透過性フィルムの経路に沿って設けられていることを特徴とする光透過性フィルムの欠陥検出装置。
【請求項２】
特定波長域の光のみを照射する照明手段を具備し、少なくとも一つの撮像部が、前記照明手段から照射された光が光透過性フィルムで反射した反射光又は光透過性フィルムを透過した透過光を受光することを特徴とする請求項１に記載の光透過性フィルムの欠陥検出装置。
【請求項３】
少なくとも一つの撮像部が、特定波長域の光のみを通過させる波長フィルターを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の光透過性フィルムの欠陥検出装置。
【請求項４】
複数の撮像部のうちの少なくとも一つが光透過性フィルムの一面側で反射した正反射光又は非正反射光を受光して撮像する撮像部であり、
前記撮像部で撮像される前記光透過性フィルムの他面側に配される観察用補助部材を具備し、
前記観察用補助部材に、この観察用補助部材での前記撮像部で受光される波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光透過性フィルムの欠陥検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学用途、建築用途、車載用途などの用途において、反射防止、飛散防止、熱線防止（遮断）、断熱、防汚、耐久性（保護）などの目的で使用される光透過性フィルム（光透過性を有するフィルム）の欠陥を検出するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学用途、建築用途、車載用途等に用いられる上記のような光透過性フィルムとしては、例えば、ベースフィルムに、光の反射特性や吸収特性を制御するための光特性制御膜などの１又は複数のコーティング層を積層して形成したものが挙げられる。このような光透過性フィルムは、例えばプラズマディスプレイや液晶ディスプレイなどのディスプレイの表面に反射防止フィルターとして使用される。
【０００３】
コーティング層を備える光透過性フィルムの欠陥を検出するにあたっては、コーティング層の形成時に層内に異物が入り込んで生じる欠陥（核有り欠陥）については目視でも検出し得る。しかしながら、コーティング層に厚みのばらつきが生じ、これにより周囲の色目とは微妙に違う部分が生じる欠陥（核無し欠陥）については、目視による検出がきわめて困難であり、目視検査では９０％ほどの不良を見逃してしまうこともある。
【０００４】
そこで従来、特許文献１に開示されているように、ガイドロールの表面に位置する光透過性フィルムに対して照明を行い、その反射光を撮像することで欠陥を検出することが提案されている。この場合、核有り欠陥だけでなく核無し欠陥も検出されるようになる。
【０００５】
しかし、このような欠陥検出を行う場合でも、検出されにくく見逃されやすい欠陥もある。また、特にベースフィルムと複数層のコーティング層が形成される場合などには、光透過性フィルムには多様な欠陥が生じる可能性があり、このような多様な欠陥を見逃すことなく検出することは非常に困難である。
【特許文献１】特開２００６−２０８１９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、光透過性フィルムの欠陥の検出率が向上すると共に多様な欠陥の検出が可能となり、高精度な欠陥検出が可能となる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、検査対象である光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５、光透過性フィルムＡを撮像する撮像部１、及び前記撮像部１による撮像で得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出する検出手段３を具備する。前記撮像部１として、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した正反射光を受光して撮像する撮像部１、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した非正反射光を受光して撮像する撮像部１、及び光透過性フィルムＡを透過した透過光を受光して撮像する撮像部１から選択される二種以上の複数の撮像部１が、前記搬送手段５による光透過性フィルムＡの経路に沿って設けられている。
【０００８】
このため、複数の撮像部１による複数方式での検出結果を総合して欠陥検出を行うことができ、一の撮像部１による撮像画像からは見逃されてしまうような欠陥を、他の撮像部１による撮像画像から検出するようにし、また光透過性フィルムＡに多様な欠陥が生じる場合であっても欠陥の見逃しを抑制することができる。
【０００９】
本発明では、特定波長域の光のみを照射する照明手段６を具備し、少なくとも一つの撮像部１が、前記照明手段６から照射された光が光透過性フィルムＡで反射した反射光又は光透過性フィルムＡを透過した透過光を受光することが好ましい。
【００１０】
この場合、検出される欠陥の種類に応じてこの欠陥の検出に適した波長域の光のみを撮像部１で受光することで、欠陥の検出精度が更に向上する。
【００１１】
また本発明では、少なくとも一つの撮像部１が、特定波長域の光のみを通過させる波長フィルターを備えることも好ましい。
【００１２】
この場合、検出される欠陥の種類に応じてこの欠陥の検出に適した波長域の光のみを撮像部１で受光することで、欠陥の検出精度が更に向上する。
【００１３】
また本発明では、複数の撮像部１のうちの少なくとも一つが光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した正反射光又は非正反射光を受光して撮像する撮像部１であり、前記撮像部１で撮像される前記光透過性フィルムＡの他面Ａ２側に配される観察用補助部材２を具備し、前記観察用補助部材２に、この観察用補助部材２での前記撮像部１で受光される波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されていることも好ましい。
【００１４】
この場合、充填材４が撮像部１で受光される波長域の光を吸収することで、観察用補助部材２からの撮像部１で受光される波長域の光の反射光を低減することができ、更に、撮像部１による撮像時に充填材４により光透過性フィルムＡを観察用補助部材２の表面に密着させ、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２と観察用補助部材２との間の空気を排除して、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２からの反射光を抑えることができ、欠陥の検出時に不要な反射光の混在を減少して欠陥の検出精度を高くすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、二種以上の複数の撮像部による撮像画像に基づいて欠陥検出を行うことで、光透過性フィルムの欠陥の検出率が向上すると共に多様な欠陥の検出が可能となり、高精度な欠陥検出が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１７】
本発明に係る欠陥検出装置は、光学用途、建築用途、車載用途などの用途において、反射防止、飛散防止、熱線防止（遮断）、断熱、防汚、耐久性向上（保護）などの目的で使用される光透過性フィルム（光透過性を有するフィルム）Ａの欠陥を検出するために用いられる。この光透過性フィルムＡとしては、例えばポリエチレンテレフタレート製フィルム等のポリエステルフィルムなどのような無色透明なベースフィルム８に、光の反射特性や吸収特性の制御、或いはその他の用途のためのコーティング層９を積層して設けたものが挙げられる。ベースフィルム８にはコーティング層９は一層のみが設けられるほか、複数層のコーティング層９が積層して設けられる。このような光透過性フィルムＡとしては、例えば液晶ディスプレイなどのディスプレイの反射防止フィルム（ＡＲフィルム）や、自動車用暗視フィルム、その他の一般的な光学制御フィルムが挙げられるが、これらに限定されない。
【００１８】
この光透過性フィルムＡの作製時には、コーティング層９の形成時に層内に異物が入り込んで入り込んで生じる欠陥（核有り欠陥）や、コーティング層９の形成時に下層のベースフィルム８や他のコーティング層９の表面におけるコンタミネーション（コンタミ）や異物の付着によるハジキ等によってコーティング剤の塗布不均一が生じてコーティング層９に膜厚むらが生じる欠陥（核無し欠陥）等の、種々の欠陥が生じることがある。本発明に係る欠陥検出装置は、前記のような種々の欠陥を検出するために好適に用いられる。
【００１９】
本発明の一実施形態として、図１に、特にベースフィルム８にコーティング層９としてＵＶ吸収膜と光反射防止膜とが積層して形成されたＵＶ吸収性反射防止フィルムの欠陥検査に好適に用いられる欠陥検出装置を示す。この欠陥検出装置は、搬送手段５、撮像部１、観察用補助部材２、照明手段６、検出手段３などを備える。
【００２０】
搬送手段５は長尺帯状（シート状）の光透過性フィルムＡを一定の速度で連続的に搬送するために設けられる。搬送手段５は、例えば光透過性フィルムＡをロール状に巻き付けた繰り出しドラム１２と、ドラム１２を回転駆動させて光透過性フィルムＡを順次繰り出すためのモータなどの駆動手段１３と、欠陥検出後の光透過性フィルムＡを巻き取るための巻き取りドラム１４とで構成される。
【００２１】
この搬送手段５によって搬送される光透過性フィルムＡの経路に沿って、複数の撮像部１が順次設けられる。本実施形態では、光透過性フィルムＡの経路に沿って、第一撮像部１ａから第六撮像部１ｆまでの六種の撮像部１が順次設けられている。撮像部１としては、例えば、ＣＣＤカメラなどで形成され、光透過性フィルムＡの外観を全幅にわたって撮像するラインカメラなどが用いられる。
【００２２】
第一撮像部１ａは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した可視光域の正反射光を受光して撮像する。この第一撮像部１ａは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１に向けて可視光域の光を照射する第一照明手段６ａと組み合わせて設けられており、第一照明手段６ａから照射され、光透過性フィルムＡで正反射した光が、第一撮像部１ａで受光される。尚、第一撮像部１ａには、特定波長域の可視光のみを通過させる波長フィルターを設けることで、特定波長域の可視光のみを受光するようにしても良い。第一照明手段６ａから光透過性フィルムＡに照射される光の入射角と、光透過性フィルムＡで反射して第一撮像部１ａで受光される光の反射角とは同一であり、例えばこの角度をそれぞれ４５°とする。
【００２３】
この第一撮像部１ａと組み合わせて用いられる第一照明手段６ａは、光透過性フィルムＡに一面Ａ１側から可視光域の光を照射するために設けられる。第一照明手段６ａは、三波長蛍光灯などの照明具１０で構成される。またこの第一照明手段６ａは、図２に示されるように前記照明具１０と特定波長域の光のみ透過させる色調フィルター１１との組み合わせで構成されても良い。
【００２４】
第二撮像部１ｂは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した可視光域の非正反射光を受光して撮像する。この第二撮像部１ｂは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１に向けて光を照射する上記第一照明手段６ａと組み合わせて設けられており、第一照明手段６ａから照射され、光透過性フィルムＡで非正反射（乱反射）した光が、第二撮像部１ｂで受光される。この第二撮像部１ｂには、特定波長域の可視光のみを通過させる波長フィルターを設けることで、特定波長域の可視光のみを受光するようにしても良い。第一照明手段６ａから光透過性フィルムＡに照射される光の入射角と、光透過性フィルムＡで反射して第一撮像部１ａで受光される光の反射角とはそれぞれ異なり、例えば前記入射角を４５°、反射角を９０°とする。
【００２５】
第三撮像部１ｃは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射したＵＶ域の正反射光を受光して撮像する。この第三撮像部１ｃは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１に向けて光を照射する第二照明手段６ｂと組み合わせて設けられており、第二照明手段６ｂから照射され、光透過性フィルムＡで正反射した光が、第三撮像部１ｃで受光される。この第三撮像部１ｃには、例えばＵＶ域の光のみを通過させる波長フィルターを設けることによって、ＵＶ域の光のみを受光させることができる。第二照明手段６ｂから光透過性フィルムＡに照射される光の入射角と、光透過性フィルムＡで反射して第三撮像部１ｃで受光される光の反射角とは同一であり、例えばこれらの角度をそれぞれ４５°とする。
【００２６】
この第三撮像部１ｃと組み合わせて用いられる第二照明手段６ｂは、光透過性フィルムＡに一面Ａ１側からＵＶ域の光を照射するために設けられる。第二照明手段６ｂは、例えばＵＶランプなどの照明具１０で構成される。
【００２７】
第四撮像部１ｄは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射したＵＶ域の非正反射光を受光して撮像する。この第四撮像部１ｄは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１に向けてＵＶ域の光を照射する上記第二照明手段６ｂと組み合わせて設けられており、第二照明手段６ｂから照射され、光透過性フィルムＡで非正反射（乱反射）した光が、第三撮像部１ｃで受光される。この第四撮像部１ｄには、例えばＵＶ域の光のみを通過させる波長フィルターを設けることによって、ＵＶ域の光のみを受光させることができる。第二照明手段６ｂから光透過性フィルムＡに照射される光の入射角と、光透過性フィルムＡで反射して第四撮像部１ｄで受光される光の反射角とはそれぞれ異なり、例えば前記入射角を４５°、反射角を９０°とする。
【００２８】
第五撮像部１ｅは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射したレーザ光の正反射光を受光して撮像する。この第五撮像部１ｅは、光透過性フィルムＡの一面Ａ１に向けて光を照射する第三照明手段６ｃと組み合わせて設けられており、第三照明手段６ｃから照射され、光透過性フィルムＡで正反射した光が、第五撮像部１ｅで受光される。第三照明手段６ｃから光透過性フィルムＡに照射される光の入射角と、光透過性フィルムＡで反射して第五撮像部１ｅで受光される光の反射角とは同一であり、例えばこれらの角度をそれぞれ４５°とする。
【００２９】
この第五撮像部１ｅと組み合わせて用いられる第三照明手段６ｃは、光透過性フィルムＡに一面Ａ１側からレーザ光を照射するために設けられる。第三照明手段６ｃは、例えば適宜のレーザ発振器等を備える照明具１０で構成される。
【００３０】
第六撮像部１ｆは、光透過性フィルムＡを透過した可視光の透過光を受光して撮像する。この第六撮像部１ｆは、光透過性フィルムＡの他面Ａ２に向けて光を照射する第四照明手段６ｄと組み合わせて設けられており、第四照明手段６ｄから照射され、光透過性フィルムＡを他面Ａ２側から一面Ａ１側へ透過した光が、第六撮像部１ｆで受光される。この第六撮像部１ｆには、特定波長域の光のみを通過させる波長フィルターを設けることで、特定波長域の光のみを受光するようにしても良い。
【００３１】
この第六撮像部１ｆと組み合わせて用いられる第四照明手段６ｄは、光透過性フィルムＡに他面Ａ２側から光を照射するために設けられる。第四照明手段６ｄは、三波長蛍光灯等の適宜の照明具１０で構成される。また、前記照明具１０と特定波長域の光を透過させる色調フィルター１１との組み合わせで構成されても良い。
【００３２】
尚、第四照明手段６ｄの近傍に黒色板を配置すると共に、第六撮像部１ｆによる撮像方向が前記黒色板の配置位置に向かうようにしても良い。この場合、撮像部１で受光される光に外乱要因が混入することが抑制され、より正確な欠陥検知が可能となる。
【００３３】
観察用補助部材２は第一撮像部１ａ及び第二撮像部１ｂによる撮像時に光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に配置される。この観察用補助部材２が撮像時に光透過性フィルムＡを支持することで、光透過性フィルムＡにおける皺の発生が防止され、また第一撮像部１ａ及び第二撮像部１ｂと光透過性フィルムＡとの間の位置決めがなされてピントずれの発生が防止される。観察用補助部材２は光透過性フィルムＡの上記他面Ａ２に接触しながら回転するロールで構成される。
【００３４】
この上記観察用補助部材２には、第一撮像部１ａ及び第二撮像部１ｂで受光される光（ここでは可視光）と同一の波長の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されていることが好ましい。この場合、撮像部１で受光される光における、観察用補助部材２からの反射光の割合が低減し、光透過性フィルムＡの欠陥に起因する特定波長の反射光の強度変化が明りょうになる。またこの場合、照明手段６から照射される光の光量を増大させつつ観察用補助部材２からの反射光を低減することができ、撮像部１で撮像された画像における、コーティング層９の欠陥に起因して生じる反射光の強度変化が明りょうとなるようにして、欠陥の検出精度を向上することができる。
【００３５】
反射率低減化処理としては、例えば観察用補助部材２の表面を粗面化する粗面化処理が挙げられる。この場合、粗面化によって観察用補助部材２からの反射光が散乱することで、撮像部１で検出される観察用補助部材２からの反射光が低減する。このように観察用補助部材２の表面を粗面化すると、広範な波長域の光の反射光が低減する。粗面化の方法としては、研磨、サンドブラスト処理等の適宜のものが選択される。粗面化処理後の観察用補助部材２の表面粗度は、光の反射率が充分に低減されるように適宜調整されるが、特に中心線平均粗さ（Ｒａ；ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９８２）が０．４μｍ以上であれば、観察用補助部材２からの反射光が充分に低減される。但し、観察用補助部材２の表面の凹凸の高低差が大きくなりすぎると、撮像部１により前記凹凸が検知されたり、前記凹凸により光透過性フィルムＡにキズがついたりするおそれがあり、このような不具合を防止するためには、観察用補助部材２の表面の十点平均粗さ（Ｒｚ;ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９８２）が２０μｍ未満であり、且つ最大高さ（Ｒｍａｘ;ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９８２）が４０μｍ未満であることが望ましい。
【００３６】
観察用補助部材２に上記粗面化処理が施される場合には、欠陥検出装置に、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間の空気を排除して光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に充填材４を介在させる充填手段を設けることが好ましい。
【００３７】
充填手段としては、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に充填材４として液体を充填する液体充填手段７が挙げられる。図２に示される液体充填手段７は、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に液体を介在させることで、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とを密着させるために設けられる。前記液体としては、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に容易に充填され、且つ光透過性フィルムＡの最終品質に影響を与えない適宜の液体が使用される。このような液体としては、例えば水（純水）、メチルエチルケトンなどの揮発性溶剤、エッセンシャルオイルなどの油脂系液体等が挙げられる。
【００３８】
この液体充填手段７はロールで構成される観察用補助部材２と貯留容器１５とで構成される。液体は貯留容器１５に貯留され、この貯留容器１５内の液体に観察用補助部材２の一部（下部）が浸漬している。
【００３９】
このように構成される液体充填手段７では、観察用補助部材２が回転すると、それに伴って観察用補助部材２の表面に液体が供給され、更にこの観察用補助部材２が回転することで液体が光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に充填されて、この光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とが液体を介して密着する。このため、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間への空気の侵入が抑制され、両者の間に隙間が生じることが抑制される。
【００４０】
このように光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に液体等の充填材４を充填して光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２と観察用補助部材２との間の空気を排除すると、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２からの反射光を抑えることができる。つまり、図４（ａ）に示すように、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２の外面との隙間Ｓに液体等の充填材４が介在せずに空気が存在している場合は、光透過性フィルムＡの一面Ａ１で反射する光Ｌ３と、光透過性フィルムＡを通過して他面Ａ２で反射する光Ｌ４とが生じ、これらの光Ｌ３、Ｌ４が混在して互いに干渉し合いながら撮像部１に入射するために、欠陥の検出精度が低くなるおそれがある。一方、図４（ｂ）に示すように、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２の外面との隙間の空気を排除して液体等の充填材４を介在している場合は、光透過性フィルムＡを通過した光Ｌ４は液体の方に進んで観察用補助部材２に吸収されることになって光透過性フィルムＡの他面Ａ２で反射する光がほとんど生じない。従って、光透過性フィルムＡの一面Ａ１で反射する光Ｌ３が干渉されることなく撮像部１に入射し、欠陥の検出精度が高くなる。
【００４１】
特に、観察用補助部材２に粗面化処理が施されている場合には、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に空気が介在して隙間が生じやすいが、このような場合に液体充填手段が設けられていると、観察用補助部材２からの反射光を低減しつつ、光透過性フィルムＡの他面Ａ２からの反射光も低減し、高い欠陥検出精度が発揮される。
【００４２】
勿論、観察用補助部材２に粗面化処理以外の反射率低減化処理が施される場合であっても、欠陥検出装置に充填手段が設けられても良く、また、観察用補助部材２に反射率低減化処理が施されていない場合にも欠陥検出装置に充填手段が設けられても良い。
【００４３】
また、上記のような充填手段が設けられる場合には、反射率低減化処理として、この充填手段によって、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と前記観察用補助部材２との間の空気を排除して有色の充填材４を介在させる有色充填処理が施されても良い。このとき充填手段は例えば有色な充填材４として、顔料等が配合されることで黒色などの有色に着色された液体を使用する液体充填手段７であっても良い。この場合、充填材４を有色化することで、観察用補助部材２まで到達する光の量を低減し、その結果、観察用補助部材２からの反射光が低減する。特に充填材４が黒色に有色化される場合には、広範な可視領域の反射光が低減される。また、撮像部１で特定波長域の単色光を検出する場合には、充填材４を前記単色光の反対色（例えば単色光が赤色の場合には青色）に有色化するなど、検出する光の色を強調する色に有色化しても良く、この場合、撮像部１で検出される前記単色光等が強調されて、欠陥検出精度が更に向上する。
【００４４】
また、反射率低減化処理としては、観察用補助部材２の表面を有色化する有色化処理も挙げられる。このような有色化処理としては、観察用補助部材２の表面を黒色等の有色の材料で形成したり、観察用補助部材２の表面に塗料を塗装することで黒色等に有色化することが挙げられる。この場合も、観察用補助部材２からの反射光が低減する。特に観察用補助部材２の表面が黒色に有色化される場合には、広範な可視領域の反射光が低減される。また、撮像部１で特定波長域の光を検出する場合には、観察用補助部材２の表面を前記特定波長域の光の色の反対色（例えば特定波長域の光の色が赤色の場合には青色）に有色化するなど、検出する光の色を強調する色に有色化しても良く、この場合、撮像部１で検出される前記特定波長域の光の色が強調されて、欠陥検出精度が更に向上する。
【００４５】
上記のような反射率低減化処理は、一種類のみが施されても良く、また複数種の反射率低減化処理が組み合わされても良い。
【００４６】
尚、本実施形態では、第三撮像部１ｃ及び第四撮像部１ｄによる撮像時には光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に観察用補助部材２が配置されていないが、このような観察用補助部材２を設けても良く、またこの観察用補助部材２に、第三撮像部１ｃ及び第四撮像部１ｄで受光される光（ここではＵＶ域の光）と同一の波長の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されていても良い。
【００４７】
このような本実施形態に係る欠陥検査装置を用いた光透過性フィルムＡの欠陥の検出工程について説明する。
【００４８】
まず、駆動手段１３で繰り出しドラム１２を回転駆動することで、ドラム１２にロール状に巻かれた光透過性フィルムＡが順次繰り出され、一定の速度で巻き取りドラム１４にまで搬送される。この繰り出しドラム１２と巻き取りドラム１４との間で、光透過性フィルムＡが観察用補助部材２の表面（外面）に接触しながら搬送される。光透過性フィルムＡの搬送速度は撮像部１や搬送手段５の能力などに応じて適宜設定されるが、例えば、５〜３０００ｍ／分とすることができる。
【００４９】
このようにして搬送している光透過性フィルムＡに、各照明手段６から光を照射し、各撮像部１により順次光透過性フィルムＡを撮像する。このとき光透過性フィルムＡを全長にわたって搬送することにより、光透過性フィルムＡの全体の欠陥を検出することができる。
【００５０】
この欠陥検査において、第一撮像部１ａによる撮像画像からは、光透過性フィルムＡ内の異物による欠陥や、コーティング層の膜厚むらによる欠陥が検出される。膜厚むらは、干渉模様を検出することで検出される。膜厚むらによる干渉模様は、図３に示すように、コーティング層９の表面側での反射光Ｌ１とコーティング層９の裏面側での反射光Ｌ２との間で光路差が生じて干渉し、ある波長の光が強め合うと共に他の波長の光が弱め合う際、膜厚の違いが生じるとそれに応じて異なる波長の光が強め合うことにより生じる。また、第一撮像部１ａの解像度を低減するなどして、反射光の強度を検出することにより、膜厚むらを検出しても良い。この場合、光透過性フィルムＡにおける反射防止膜の膜厚むらにより反射光の強度変化が生じた場合に、この反射光の強度変化を第一撮像部１ａにより検出して、欠陥を検出することができる。尚、前記のような干渉模様を検出する撮像部１と反射光の強度を検出する撮像部１とが併設されていても良い。
【００５１】
また、第二撮像部１ｂによる撮像画像からは、光透過性フィルムＡにおける汚れ、スジ、異物混入等の欠陥を検出することができる。このような欠陥による反射光の反射角の乱れが、第二撮像部１ｂで検出される光の強度の変化として検出される。
【００５２】
第三撮像部１ｃによる撮像画像からは、主として光透過性フィルムＡにおけるＵＶ吸収膜の膜厚むらの欠陥が検出される。すなわち、光透過性フィルムＡにおけるＵＶ吸収膜の膜厚むらが生じることでＵＶ吸収性にむらが生じた結果、反射光の強度変化が生じた場合に、この反射光の強度変化を第三撮像部１ｃにより検出して、欠陥を検出することができる。
【００５３】
第四撮像部１ｄによる撮像画像からは、第二撮像部１ｂと同様に主として光透過性フィルムＡにおける汚れ、スジ、異物混入等の欠陥を検出することができる。このような欠陥による反射光の反射角の乱れが、第四撮像部１ｄで検出される光の強度の変化として検出される。
【００５４】
第五撮像部１ｅによる撮像画像からは、微小な汚れ、スジ、異物混入等の欠陥が検出される。レーザー光を用いた検出では、ある程度大きな欠陥は検出されにくいが、逆に微小な欠陥は高精度で検出される。
【００５５】
第六撮像部１ｆによる撮像画像からは、主として光透過性フィルムＡにおける異物混入、打痕、ピンホール等の欠陥が検出される。これらの欠陥が生じた結果、透過光の強度変化が生じた場合に、この透過光の強度変化を第六撮像部１ｆにより検出して、欠陥を検出することができる。これらの欠陥は、反射光の撮像画像からは検出されない場合であっても、透過光の撮像画像から検出される場合がある。
【００５６】
各撮像部１により撮像された画像は検出手段３に取り込まれ、検出手段３はその画像に基づいて欠陥を検出する。また、検出手段３は、複数の全ての撮像部１による撮像画像に基づく欠陥の検出結果を総合して、全ての欠陥の位置を特定し或いは更に各欠陥の種類を特定するマップデータを作成する。
【００５７】
このようにして光透過性フィルムＡの欠陥検出が行われると、複数の撮像部１による複数方式での検出結果を総合して欠陥検出を行うことができる。このため、一の撮像部１による撮像画像からは見逃されてしまうような欠陥を、他の撮像部１による撮像画像から検出するようにし、また光透過性フィルムＡに多様な欠陥が生じる場合であっても欠陥の見逃しを抑制して、欠陥の検出率を向上し、高精度な欠陥検出を行うことができるようになる。
【００５８】
本実施形態は、上述の通り特にＵＶ吸収性反射防止フィルムの欠陥検査に好適なものであるが、欠陥検出装置の構成は、欠陥の検出対象である光透過性フィルムＡの構成に応じて適宜変更可能である。本発明では、検出対象である欠陥の種類に応じて、欠陥検出装置に光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した正反射光を受光して撮像する撮像部１、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側で反射した非正反射光を受光して撮像する撮像部１、及び光透過性フィルムＡを透過した透過光を受光して撮像する撮像部１という、撮像方式の異なる三種類の撮像部１のうち、少なくとも二種以上が設けられていれば良い。また撮像方式が同一であっても、受光する光の波長域が異なる少なくとも二種以上の撮像部１、又は受光する光の光透過性フィルムＡからの反射角度或いは透過角度が異なる少なくとも二種以上の撮像部１が設けられていれば良い。
【００５９】
例えば、光透過性フィルムＡがコーティング層９として赤外線吸収剤を含有する赤外線吸収膜を備える場合に、上記第三及び第四撮像部１ｃ，１ｄとして、赤外線域の光を検出する撮像部１を設けることができる。これ以外にも、コーティング層９が有する光吸収特性や光反射特性、コーティング層９の積層数、その他の構成に応じて、撮像方式、撮像部１で受光する光の波長域、撮像部１が受光する光の反射光の反射角度又は透過光の透過角度、撮像部１の数等は、適宜変更され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態の他例を示す一部の概略図である。
【図３】光透過性フィルムの構成の一例、及びこの光透過性フィルムに生じる欠陥の様子を示す概略の断面図である。
【図４】（ａ）（ｂ）は充填材の作用を示す拡大した概略図である。
【符号の説明】
【００６１】
Ａ    光透過性フィルム
Ａ１  一面
Ａ２  他面
１    撮像部
２    観察用補助部材
３    検出手段
４    充填材
５    搬送手段
６    照明手段
【図１】
2010008170.tif 000003
【図２】
2010008170.tif 000004
【図３】
2010008170.tif 000005
【図４】
2010008170.tif 000006