(57)【要約】     【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。    【解決手段】本発明の搬送装置５０は、複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、その動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され、基板１０を載置するための載置部５とを備え、載置部５には、基板１０の側部と当接して係止する係止部５ａ、５ｂが設けられる。第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの先端部には、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒに設けられた凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒによって駆動される従動機構部６とを備える付勢手段９が設けられる。従動機構部６は、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと係合摺動可能な長孔６２を有する従動部６１と、従動部６１の長孔６２内における凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒの移動に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに向って案内移動される付勢部６ａとを有する。【選択図】  図１
2010115727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、
前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、
前記載置部には、当該搬送物の側部と当接して係止するための係止部が設けられるとともに、
前記リンク機構の駆動リンク部にはスライド機構による付勢手段が設けられ、
前記付勢手段は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられた駆動支持部と、当該駆動支持部によって駆動される従動機構部とを備え、
前記従動機構部は、前記駆動支持部と係合摺動可能な長溝状摺動部を有する従動部と、当該従動部に連結され当該従動部の長溝状摺動部内における前記駆動支持部の移動に応じて前記載置部の係止部に向かう方向に沿って案内移動される付勢部とを有する搬送装置。
【請求項２】
前記付勢手段は、回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材にそれぞれ凸状の前記駆動支持部が設けられ、かつ、前記従動機構部には、前記一対の隣接するリンク部材にそれぞれ設けられた当該凸状の駆動支持部と係合する長溝状摺動部を有する従動部と、凸状の前記付勢部を有する請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記付勢手段は、回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材の一方に支軸を中心として回動自在の従動部が設けられるとともに、前記一対の隣接するリンク部材の他方に凸状の前記駆動支持部が設けられ、前記一対の隣接するリンク部材の他方に設けられた当該凸状の駆動支持部と、前記従動部に設けられた長溝状摺動部とが係合摺動するように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
前記従動機構部は、前記従動部と前記付勢部とが一体的に構成されている請求項１乃至３のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項５】
前記従動機構部は、前記従動部と前記付勢部とが分離され、前記従動部側に設けられた駆動当接部と前記付勢部側に設けられた従動当接部とが、前記従動部の移動に伴って当接して動力を伝達するように構成されている請求項１乃至４のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項６】
前記従動機構部の付勢部側には、前記従動部に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有する請求項５記載の搬送装置。
【請求項７】
前記付勢手段の従動機構部の付勢部には、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する請求項１乃至６のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項８】
前記従動機構部の従動部の長溝状摺動部は、長孔である請求項１乃至７のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項９】
真空槽と、
請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の搬送装置とを有し、
前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基板等の搬送物を搬送する搬送装置に関し、特に、半導体製造装置等の複数のプロセスチャンバを備えた真空装置に好適な搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造等の分野においては、従来から図９及び図１０に示すような基板搬送装置１０１が用いられている。
この基板搬送装置１０１は、駆動部１０２と、この駆動部１０２に連結され複数のアームからなるアーム部１０３と、このアーム部１０３の先端に連結されたエンドエフェクタ１０４とを有しており、エンドエフェクタ１０４の上面で基板Ｗの裏面を支持し、複数のプロセスチャンバ（図示せず）間で基板Ｗの受け渡しを行うように構成されている。
【０００３】
エンドエフェクタ１０４は、一般には、セラミックスやステンレス鋼などで製作されている。従って、アーム部１０３を高速で伸縮動作や旋回動作させるとエンドエフェクタ１０４も高速で動作するので、基板Ｗに加わる加速度の影響で基板Ｗがエンドエフェクタ１０４上で滑ってしまい、基板Ｗを正しい位置に搬送できない問題がある。
【０００４】
加えて、従来技術では、基板Ｗがエンドエフェクタ１０４上を滑る際に発生するダストが、基板Ｗの表面を汚染してしまう問題がある。
そこで、図１０に示すように、エンドエフェクタ１０４の上面に複数の保持部１０５を設け、基板Ｗ裏面の所定箇所で接触することも提案されている。
【０００５】
この保持部１０５は一般にゴムやエラストマー等の樹脂系弾注材料で形成されているので、基板Ｗの裏面の滑りを抑制し、滑り止めパッドとして機能している。これにより、エンドエフェクタ１０４の上面において基板Ｗは滑ることなく安定した搬送姿勢で保持される（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
ここで、エラストマー等の樹脂系弾性材料で形成された保持部１０５は、基板Ｗや周囲の雰囲気温度が比較的低い（例えば２００℃以下）場合には、効率よく基板Ｗの滑りは抑制されるが、当該温度が高い（例えば３００〜５００℃）場合には、保持部１０５が熱による変質や変形で、基板Ｗの滑りを抑制できなくなる問題がある。
【０００７】
一方、当該温度が比較的低い（例えば２００℃以下）場合でも、基板Ｗが保持部１０５の粘着力で貼り付き、エンドエフェクタ１０４から基板Ｗが適正に離れなくなることがある。例えば、プロセスチャンバ内のステージに基板Ｗを受け渡す際、保持部１０５から基板Ｗが離れず割れてしまう問題や、正しい位置に基板Ｗが搬送できない問題がある。
【０００８】
さらに、原理的に保持部１０５と基板Ｗとの間の摩擦力により基板Ｗの滑りを抑制しているので、双方の物質で決まる最大静止摩擦力を超えるような加速度が基板Ｗに加わると、基板Ｗはエンドエフェクタ１０４上で滑ってしまう。従って、基板搬送装置１０１の動作速度は保持部１０５と基板Ｗとの間の最大静止摩擦力を超えて大きくすることができないという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−３５３２９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図ることにある。
また、本発明の他の目的は、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するためになされた本発明は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、前記載置部には、当該搬送物の側部と当接して係止するための係止部が設けられるとともに、前記リンク機構の駆動リンク部にはスライド機構による付勢手段が設けられ、前記付勢手段は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられた駆動支持部と、当該駆動支持部によって駆動される従動機構部とを備え、前記従動機構部は、前記駆動支持部と係合摺動可能な長溝状摺動部を有する従動部と、当該従動部に連結され当該従動部の長溝状摺動部内における前記駆動支持部の移動に応じて前記載置部の係止部に向かう方向に沿って案内移動される付勢部とを有する搬送装置である。
本発明では、前記付勢手段は、回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材にそれぞれ凸状の前記駆動支持部が設けられ、かつ、前記従動機構部には、前記一対の隣接するリンク部材にそれぞれ設けられた当該凸状の駆動支持部と係合する長溝状摺動部を有する従動部と、凸状の前記付勢部を有することも効果的である。
本発明では、前記付勢手段は、回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材の一方に支軸を中心として回動自在の従動部が設けられるとともに、前記一対の隣接するリンク部材の他方に凸状の前記駆動支持部が設けられ、前記一対の隣接するリンク部材の他方に設けられた当該凸状の駆動支持部と、前記従動部に設けられた長溝状摺動部とが係合摺動するように構成されていることも効果的である。
本発明では、前記従動機構部は、前記従動部と前記付勢部とが一体的に構成されていることも効果的である。
本発明では、前記従動機構部は、前記従動部と前記付勢部とが分離され、前記従動部側に設けられた駆動当接部と前記付勢部側に設けられた従動当接部とが、前記従動部の移動に伴って当接して動力を伝達するように構成されていることも効果的である。
本発明では、前記従動機構部の付勢部側には、前記従動部に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有することも効果的である。
本発明では、前記付勢手段の従動機構部の付勢部には、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有することも効果的である。
本発明では、前記従動機構部の従動部の長溝状摺動部は、長孔であることも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、上述した搬送装置とを有し、前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にあっては、リンク機構の動作先端部にスライド機構によって動作する付勢手段を設け、その従動機構部の付勢部と載置部の係止部によって搬送物を機械的に把持して保持するようにしたので、載置部上面での搬送物の滑りを抑制して（原理的には滑り無しで）、搬送物の高速搬送を実現することができる。
【００１２】
また、付勢手段を含めて全ての部材を金属で作製することにより、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下のみならず、搬送時の温度が高い（例えば３００〜５００℃）場合であっても熱変質や変形無しに搬送物の滑りを抑制することができる。
【００１３】
さらに、付勢手段は、駆動リンク部に設けた例えば凸状の駆動支持部とこれに係合摺動可能な長溝状摺動部を有する従動部によって動力を伝達するように構成されているので、簡素な構成で小型の搬送装置を提供することができる。
さらにまた、搬送物を把持する部分には摺動する部分が無いので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。
【００１４】
一方、本発明において、付勢手段の従動機構部が、従動部と付勢部とが分離され、従動部側に設けられた駆動当接部と付勢部側に設けられた従動当接部とが、従動部の移動に伴って当接して動力を伝達するように構成されている場合には、従動機構部の付勢部に設けられた従動当接部を適切な力で従動部の駆動当接部に押し付けて密着させることができるので、従動機構部を例えばガイド部材に沿って確実に高精度で基板搬送方向下流側に移動させることができる。
【００１５】
また、本発明において、付勢手段の従動機構部の付勢部に付勢力を減勢させるための減勢部材を有する場合には、装置構成や搬送物の大きさ等に応じて最適の力で搬送物を確実に保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る搬送装置の実施の形態の構成を示す平面図である。
図１に示すように、本実施の形態の搬送装置５０は、例えば真空処理槽内において搬送物である基板１０の搬送を行う所謂フロッグレック方式のもので、以下に説明するリンク機構２０を駆動するための鉛直方向に同心状に配設した第１及び第２の駆動軸１１、１２を有している。
【００１７】
これら各駆動軸１１、１２は、独立した第１及び第２の駆動源Ｍ１、Ｍ２からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達されるように構成されている。
第１の駆動軸１１には第１の左アーム１Ｌの一方の端部（基端部）が固定され、第２の駆動軸１２の一方の端部（基端部）には、第１の右アーム１Ｒが固定されている。
【００１８】
第１の左アーム１Ｌの他方の端部（先端部）には、第２の左アーム２Ｌの一方の端部（基端部）が、支軸２１Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
第１の右アーム１Ｒの他方の端部（先端部）には、第２の右アーム２Ｒの一方の端部（基端部）が、支軸２１Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００１９】
本実施の形態では、これら第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒは、直線状に形成され、同一の支点間距離を有するように構成されている。
第２の左アーム２Ｌは、直線状に形成され、その他方の端部（先端部）には、第３の左アーム３Ｌの一方の端部（基端部）が、固定ねじ２２Ｌで固定されている。
第２の右アーム２Ｒは、直線状に形成され、その他方の端部（先端部）には、第３の右アーム３Ｒの一方の端部（基端部）が、固定ねじ２２Ｒで固定されている。
【００２０】
ここで、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒは、駆動リンク部を構成するもので、ほぼ「く」字状に形成されており、それぞれの屈曲部分の凸部がリンク外方側に向けられて配置されている。
また、第３の左アーム３Ｌの他方の端部（先端部）は、後述する動力伝達機構４の表面に設けられた支軸２３Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２１】
一方、第３の右アーム３Ｒの他方の端部（先端部）は、後述する動力伝達機構４の例えば表面側に設けられた支軸２３Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
本実施の形態においては、第２の左アーム２Ｌの支軸２１Ｌから第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌの支点間距離と第２の右アーム２Ｒの支軸２１Ｒから第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒの支点間距離は、同一の距離を有するように構成されている。
【００２２】
また、動力伝達機構４は、例えば矩形薄型箱形状のハウジング内に互いに噛み合う一対の歯車を有している（図示せず）。
これらの歯車は同一の歯数を有し、それぞれの回転軸が、上述した支軸２３Ｌ、２３Ｒに固定され、これにより、姿勢制御機構として作用すべく逆方向に同一速度で回転するように構成されている。
これら支軸２３Ｌ、２３Ｒは、基板１０の搬送方向に対して直交する方向に近接して配置されている。
【００２３】
本発明の場合、特に限定されることはないが、バランスよく搬送物を保持する観点からは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向（矢印Ｐ方向）に対して直交する位置に支軸２３Ｌ、２３Ｒを配置するように構成することが好ましい。
【００２４】
動力伝達機構４の基板搬送方向下流側には、所謂エンドエフェクタである載置部５が設けられている。
この載置部５には、所定の間隔をおいて設けた支持部材５Ｌ、５Ｒが設けられている。
【００２５】
ここで、支持部材５Ｌ、５Ｒの基板搬送方向下流側の端部には、基板１０の側部と当接可能な凸部形状の係止部５ａ、５ｂがそれぞれ設けられている。
一方、本実施の形態においては、以下に説明するスライド機構による付勢手段９が設けられている。
【００２６】
図２（ａ）は、本実施の形態における付勢手段の全体を示す構成図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
図２（ａ）に示すように、本実施の形態においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒはその先端部がそれぞれ半円形状に形成されている。そして、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの表側面３０Ｌ、３０Ｒにそれぞれ凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒ（以下単に「駆動凸部」という。）が設けられ、これら駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒと従動機構部６とによって付勢手段９が構成されている。
【００２７】
本実施の形態では、駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒは、好ましくはステンレス等の金属材料からなり、第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌと、第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒから所定の距離だけ離れた位置に設けられている。この場合、駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒは、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒより基板搬送方向下流側に配置されている。
【００２８】
なお、本例では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように設けられている。
本実施の形態の駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒは、後述する従動部６１の長孔（長溝状摺動部）６２と係合するもので、同一の構成を有している。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒは、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの表側面３０Ｌ、３０Ｒに立設された支軸３２Ｌ、３２Ｒを中心として水平方向に回動自在に支持された円筒状の回転軸３３Ｌ、３３Ｒを有している。
【００３０】
各回転軸３３Ｌ、３３Ｒの上部には、各回転軸３３Ｌ、３３Ｒより若干径の大きな例えば円板状の支持部３４Ｌ、３４Ｒが設けられている。
一方、本実施の形態の従動機構部６は、好ましくはステンレス等の金属部材から構成されるもので、直線棒状の本体部６０を有している。
【００３１】
従動機構部６の本体部６０の一端部には、例えば本体部６０に対して直交する方向に延びる長方形平板状の従動部６１が取り付けられている。この従動部６１には、例えばその幅方向の中央領域に、従動部６１の長手方向に沿って直線状に延びる長孔６２が形成されている。
【００３２】
図２（ｂ）に示すように、従動部６１の長孔６２は、その幅が、上述の駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒの回転軸３３Ｌ、３３Ｒの直径より若干大きく、かつ、支持部３４Ｌ、３４Ｒの径より小さくなるように設定されている。
【００３３】
また、従動部６１の長孔６２の長さは、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの回転に伴って移動する駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒ間の最大距離より長くなるように設定されている。
このような構成により、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒを回転させると、各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒの駆動軸３３Ｌ、３３Ｒが、従動部６１の長孔６２内において係合摺動しつつその基板搬送方向上流又は下流側の開口縁部を押圧するようになっている。
【００３４】
従動機構部６の本体部６０の他端部には、凸状（例えばピン形状）の付勢部６ａが取り付けられている。この付勢部６ａの先端部は、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
【００３５】
本実施の形態では、図２（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒを、従動機構部６の従動部６１の長孔６２に係合させた状態で、例えば載置部５の表側面に設けたガイド部材６３によって案内されることにより、従動機構部６の本体部６０が基板搬送方向又はその反対方向に直線移動するように構成されている。
【００３６】
次に、図３（ａ）（ｂ）を用いて、本発明の動作原理及び構成を詳細に説明する。
以下、第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌと駆動凸部３１Ｌの支軸３２Ｌとの間の距離、及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒと駆動凸部３１Ｒの支軸３２Ｒとの間の距離をそれぞれｒとした場合を考える。
【００３７】
本発明の実施の形態では、リンク機構２０が伸びた状態において、図３（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの先端部のなす角度が例えば１８０度より大きくなるように設定する。
【００３８】
この状態において、従動機構部６の従動部６１の長孔６２に係合させた第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒが、当該長孔６２内において両端部に位置するように、従動部６１の長孔６２の大きさ、各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒの位置を定める。
【００３９】
そして、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の基準長さ（ここでは、付勢部６ａの先端部から駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒの支軸３２Ｌ、３２Ｒまでの距離）を設定する。
【００４０】
本例では、例えば各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒが、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒより基板搬送方向に対して直交する方向で外方側に位置するように構成する（基板搬送方向に対する角度θ1）。
【００４１】
一方、リンク機構２０が縮んだ状態においては、図３（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの先端部のなす角度が例えば１８０度より小さくなるように設定する。
この状態では、駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒが、それぞれ第３の左アーム３Ｌ又は第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒを中心として互いに接近する方向に回転移動している。
【００４２】
ここで、基板搬送方向に対する角度θ0が、リンク機構２０が伸びた状態における基板搬送方向に対する角度θ1より絶対値で小さくなるように、例えば、各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒが、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒより基板搬送方向の垂直方向の内方側に位置するように、上述した各部材の大きさ・形状・位置を設定する。
【００４３】
このような構成において、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの縮み方向への回転させると、各駆動凸部３１Ｌ、３１Ｒが基板搬送方向下流側に移動して従動部６１の長孔６２の開口縁部を押圧し、従動機構部６が基板搬送方向下流側に移動して、付勢部６ａと搬送すべき基板１０の側部との距離が小さくなる（ｒ・ｃｏｓθ0＞ｒ・ｃｏｓθ1、すなわち、ｄ＜Ｄ）。
【００４４】
その結果、従動機構部６の基板搬送方向下流側の部分（付勢部６ａ）が、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、載置部５の係止部５ａ、５ｂに向かう方向の力Ｆが作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が保持（把持）される。
【００４５】
このようなリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
【００４６】
図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態における搬送装置の動作を示す説明図である。
ここでは、搬送室７から処理室８内に基板１０を搬入する場合を例にとって説明する。なお、搬送室７及び処理室８は、図示しない真空排気系に接続されている。また、搬送室７と処理室８間には図示しないゲートバルブが接続されており、そのゲートバルブが開いた後、搬入、搬出動作を行う。
【００４７】
まず、図４（ａ）に示すように、上述した如くリンク機構２０を縮ませて基板１０を保持した状態で載置部５の係止部５ａ、５ｂを処理室８側に向ける。
この状態から第１の左アーム１Ｌを時計回り方向へ回転させるとともに、第１の右アーム１Ｒを反時計回り方向へ回転させることにより、リンク機構２０の伸び動作が開始され、図４（ｂ）に示すように、基板１０は処理室８に向って直進する。
【００４８】
さらに、リンク機構２０の伸び動作を継続することにより、図４（ｃ）に示すように、基板１０を処理室８内に搬入する。
この状態では、図３（ａ）を用いて説明したように、従動機構部６の付勢部６ａと基板１０の側部とが接触しない状態となるため、処理室８に設置されている図示しない昇降機構によって基板１０を支持して上昇させることにより、基板１０を搬送装置５０の載置部５から離脱させることができる。
【００４９】
なお、従動機構部６の付勢部６ａと基板１０の側部との接触を解除するタイミングは、リンク機構２０が伸び切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が伸び切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
【００５０】
その後、第１の左アーム１Ｌを反時計回り方向へ回転させるとともに、第１の右アーム１Ｒを時計回り方向へ回転させてリンク機構２０の縮み動作を行うことにより、載置部５を搬送室７内に戻して上述した状態にすることができる。
【００５１】
以上述べたように本実施の形態にあっては、リンク機構２０の動作先端部にスライド機構によって動作する付勢手段９を設け、基板搬送方向下流側に移動する従動機構部６の付勢部６ａと係止部５ａ、５ｂによって基板１０を機械的に把持して保持するようにしたので、載置部５上面での基板１０の滑りを抑制して（原理的には滑り無しで）、基板１０の高速搬送を実現することができる。
【００５２】
また、従動機構部６を含めて全ての部材を金属で作製することにより、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下のみならず、搬送時の温度が高い（例えば３００〜５００℃）場合であっても熱変質や変形無しに基板１０の滑りを抑制することができる。
さらに、従動機構部６の付勢部６ａは凸状の部材であり、基板１０を把持する部分には摺動部が無いので、基板１０を汚染するダストの発生を低減することができる。
【００５３】
図５〜図７は、本発明の他の実施の形態を示すもので、以下、上述した実施の形態と対応する部分には共通の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図５は、付勢手段の従動機構部に、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する例を示すものである。
【００５４】
図５に示すように、本実施の形態では、付勢部６ａの支持部６４が本体部６０の延びる方向に沿って移動するように構成され、これら本体部６０の先端部と付勢部６ａとの間の支持部６４の周囲には、圧縮コイルばね（減勢部材）６５が装着されている。そして、付勢部６ａの先端部に本体部６０方向への力が作用した場合に圧縮コイルばね６５の弾性力に抗して付勢部６ａが本体部６０方向へ移動するように構成されている。
【００５５】
このような構成を有する本実施の形態によれば、基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができるので、種々の搬送物や装置構成に応じて設計の自由度が大きくなり汎用性が高くなるというメリットがある。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
【００５６】
図６は、本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す部分断面側面図で、動力伝達機構４の下方に第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒが位置するように構成したものである。
図６に示すように、本実施の形態においては、動力伝達機構４の下方に設けられた第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの先端部に、上述した構成の従動機構部６が配設され、その本体部６０が基板搬送方向に沿って直進移動するように構成されている。
【００５７】
従動機構部６の本体部６０の先端部には、減勢部材６ｂが取り付けられている。この減勢部材６ｂは、例えばステンレス等の金属からなる板状の弾性材料から構成され、本体部６０の先端部から上方に向けて配設されている。
【００５８】
そして、減勢部材６ｂの先端部には例えば凹部形状の付勢部６ｃが設けられ、この付勢部６ｃが、載置部５に設けた孔部５ｃを介して載置部５上に突出して、従動機構部６の移動に伴い、基板１０の側部に対して付勢部６ｃの凹面部分が当接又は離間するように構成されている。
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記実施の形態同様基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができる。
【００５９】
加えて、本実施の形態によれば、例えば、米国特許６，３６４，５９９Ｂ１の図２２や図２３に示されている上側のエンドエフェクタと下側のエンドエフェクタの上下間隔を小さくしたアーム機構の下側アームのウエハ把持機構として使用することができる。なお、このアーム機構の上側アームのウエハ把持機構として前述した図２（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）（ｂ）の構成を使用できる。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
【００６０】
図７は、本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図で、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する他の例を示すものである。
図７に示すように、本実施の形態は、図５に示す実施の形態の変形例であり、従動機構部６の本体部６０の先端部に、例えば本体部６０の延びる方向と直交する方向に延びる直線棒状の取付部材６７が固定され、この取付部材６７の両端部に、例えばステンレス等の金属からなる帯状リング状の二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅが、取付部材６７から基板搬送方向下流側に突出するように取り付けられている。
【００６１】
ここで、二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅは、同一の大きさ及び形状に形成され、上記第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
【００６２】
このような構成を有する本実施の形態によれば、図５に示す実施の形態と同様基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができることに加え、基板搬送方向に対して線対称に配置された二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅによって基板１０を付勢するため、バランス良く基板１０を保持（把持）することができるというメリットがある。
【００６３】
なお、本実施の形態では、図６に示す実施の形態のように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒ並びに従動機構部６を動力伝達機構４の下方に位置するように構成することも可能である。
【００６４】
この場合は、図６に示す実施の形態と同様に載置部５に孔部（図示せず）を設け、この孔部を介して取付部材６７及び減勢付勢部６ｄ、６ｅを載置部５の上方に位置させ、基板１０の側部に対して減勢付勢部６ｄ、６ｅが当接又は離間するように構成するとよい。
【００６５】
このような本実施の形態によれば、例えば、米国特許６，３６４，５９９Ｂ１の図２２や図２３に示されている上側のエンドエフェクタと下側のエンドエフェクタの上下間隔を小さくしたアーム機構の下側アームのウエハ把持機構として使用できるというメリットがある。なお、このアーム機構の上側アームのウエハ把持機構として前述した図７の構成そのものを使用することができる。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
【００６６】
図８（ａ）（ｂ）は、本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図で、図８（ａ）は、リンク機構２０が伸びた状態を示すもの、図８（ｂ）は、リンク機構２０が縮んだ状態を示すを示すものである。
図８（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態では、従動部６１Ａには、従動部６１Ａの第３の右アーム３Ｒ側に対応する領域にのみ長孔６２Ａが設けられている。
【００６７】
この従動部６１Ａは、第３の左アーム３Ｌの表側面３０Ｌに設けた支軸３５を中心として水平方向に回動自在に支持されている。本例では、支軸３５は、上述した駆動凸部３１Ｌと同じ位置に設けられ、これにより従動部６１Ａが一方の端部（左側の端部）を中心として回動するように構成されている。
【００６８】
従動部６１Ａの長孔６２Ａは、従動部６１Ａの長手方向に沿って直線状に延びるように形成され、第３の右アーム３Ｒに設けた駆動凸部３１Ｒ（回転軸３３Ｒ）と係合するように構成されている。
【００６９】
また、本実施の形態の従動部６１Ａは、従動機構部６Ａの本体部６０と分離されている。そして、従動部６１Ａの基板搬送方向下流側の部位には、基板搬送方向に対して直交する方向に延び所定の大きさを有する駆動当接部６１ａが設けられている。
一方、従動機構部６Ａの本体部６０の付勢部６ａと反対側の端部には、上述した従動部６１Ａの駆動当接部６１ａと当接する従動当接部６０ａが設けられている。
【００７０】
また、従動機構部６Ａの本体部６０の付勢部６ａと反対側の端部には支持部６０ｂが設けられ、この支持部６０ｂと上述したガイド部材６３との間には、当該本体部６０の周囲に圧縮コイルばね６６が装着されている。
【００７１】
このような構成において、図８（ａ）に示す伸び状態から第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを縮み方向への回転させると、従動部６１Ａが支軸３５を中心として時計回り方向に回転するとともに、駆動凸部３１Ｒが反時計回り方向に回転し、これにより従動部６１Ａが基板搬送方向下流側に移動する。
【００７２】
そして、従動部６１Ａの駆動当接部６１ａが従動機構部６Ａの本体部６０の従動当接部６０ａに当接しこれを基板搬送方向下流側に付勢することにより、従動機構部６Ａが圧縮コイルばね６６の弾性力に抗して基板搬送方向下流側に移動する。
【００７３】
その結果、従動機構部６Ａの基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、載置部５の係止部５ａ、５ｂに向かう方向の力Ｆが作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が保持（把持）される。
【００７４】
このような構成を有する本実施の形態によれば、従動機構部６Ａの付勢部６ａに設けられた従動当接部６０ａを適切な力で従動部６１Ａの駆動当接部６１ａに押し付けて密着させることができるので、従動機構部６Ａを例えばガイド部材６３に沿って確実に高精度で基板搬送方向下流側に移動させることができる。
【００７５】
加えて、本実施の形態によれば、従動部６１Ａと本体部６０が分離しているので、付勢部６ａが基板１０の側部と接触する部分の近傍のみで本体部６０をスライドさせることができ、ガイド部材６３と本体部６０の摺動によるダストの発生を低減させることができるというメリットがある。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
【００７６】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上述の実施の形態においては、駆動凸部と、従動部を貫通する長孔とを組み合わせて動力伝達を行うようにしたが、本発明はこれに限られず、駆動凸部に係合し摺動して動力伝達を行う構成である限り、従動側として凹部状の溝を用いることもできる。
【００７７】
また、付勢手段のスライド機構に関し、駆動凸部の形状、長溝状摺動部の大きさ等については、本発明を適用する搬送装置に応じて適宜変更をすることができる。
さらに、本発明は種々のリンク機構を有する搬送装置及び複数の処理室を有する真空装置に適用することができるものである。
さらにまた、それぞれ相対的に平行移動する複数の隣接リンク部に駆動凸部を形成し、当該駆動凸部によって従動機構部を移動させ上述した動作によって搬送物を保持するように構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明に係る搬送装置の実施の形態の構成を示す平面図
【図２】（ａ）：同実施の形態における付勢手段の全体を示す構成図、（ｂ）：同実施の形態における付勢手段の従動機構部を示す構成図（図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図）
【図３】（ａ）（ｂ）：本発明の動作原理及び構成を詳細に示す説明図
【図４】（ａ）〜（ｃ）：本発明の実施の形態における搬送装置の動作を示す説明図
【図５】本発明の他の実施の形態の要部を示す構成図
【図６】本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す部分断面側面図
【図７】本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図
【図８】（ａ）（ｂ）：本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図
【図９】従来技術に係る搬送装置の概略構成図
【図１０】従来技術に係る搬送装置の要部概略構成図
【符号の説明】
【００７９】
１Ｌ…第１の左アーム、１Ｒ…第１の右アーム、２Ｌ…第２の左アーム、２Ｒ…第２の右アーム、３Ｌ…第３の左アーム（駆動リンク部）、３Ｒ…第３の右アーム（駆動リンク部）、４…動力伝達機構、５…載置部、５ａ、５ｂ…係止部、６…従動機構部、６ａ…付勢部、７…搬送室、８…処理室、９…付勢手段、１０…基板（搬送物）、２０…リンク機構、３１Ｌ，３１Ｒ…駆動凸部（凸状の駆動支持部）、５０…搬送装置、６１…従動部、６２…長孔（長溝状摺動部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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