(57)【要約】【課題】位置検出装置において、位置センサの測定結果に応じた値を有する測定位置信号の高調波成分に基づく検出誤差を低減することを目的とする。【解決手段】位置検出センサ１から出力された測定位置信号ＡＳおよびＡＣは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣに変換される。デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣは低域通過フィルタ処理が施されて、記憶器６および７に出力される。記憶器６および７は、オフセット設定手段８の処理に基づいて、Ｎを２以上の整数として、速度信号ＶＥＬが示す速度が、測定位置信号ＤＳおよびＤＣの周波数がデジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数のＮ分の１となる速度でない場合に、デジタル低域通過フィルタ４および５の出力値をオフセット値として記憶する。記憶器６および７に記憶されたオフセット値は、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣからのオフセット値除去に用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置センサの測定結果に応じた値を有する測定位置信号のオフセット値を記憶するオフセット記憶器と、
前記オフセット記憶器が記憶するオフセット値を前記測定位置信号から除去するオフセット除去手段と、
前記測定位置信号に基づいて速度信号を生成し出力する速度変換手段と、
前記測定位置信号に対してフィルタ処理を施す低域通過フィルタと、
前記速度信号に応じて前記低域通過フィルタの出力値を前記オフセット記憶器に記憶させるオフセット設定手段と、
を具備する位置検出装置において、
前記低域通過フィルタは、
所定のサンプル周波数でフィルタ処理を行うデジタルフィルタであり、
前記オフセット設定手段は、
Ｎを２以上の整数として、前記速度信号が示す速度が、前記測定位置信号の周波数が前記サンプル周波数のＮ分の１となる速度でない場合に、前記低域通過フィルタの出力値を前記オフセット記憶器に記憶させることを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
位置センサの測定結果に応じた値を有する測定位置信号のオフセット値を記憶するオフセット記憶器と、
前記オフセット記憶器が記憶するオフセット値を前記測定位置信号から除去するオフセット除去手段と、
前記測定位置信号に対してフィルタ処理を施す低域通過フィルタと、
前記低域通過フィルタの出力値を前記オフセット記憶器に記憶させるオフセット設定手段と、
を具備する位置検出装置において、
前記低域通過フィルタは、
所定のサンプル周波数でフィルタ処理を行うデジタルフィルタであり、
前記位置検出装置は、
前記測定位置信号に基づいて速度信号を生成し出力する速度変換手段と、
Ｎを２以上の整数として、前記速度信号が示す速度が、前記測定位置信号の周波数が前記サンプル周波数のＮ分の１となる速度である場合に、前記フィルタ処理が施される前の前記測定位置信号に含まれるＮ次高調波分を低減する高調波低減手段と、
を備えることを特徴とする位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置センサの出力信号に含まれるオフセット値を除去し、オフセット値除去後の信号を用いる位置検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
位置検出センサを用いた位置検出装置が広く用いられている。位置検出センサは、目標物の測定位置の変化に対して周期的に値が変化する互いに位相が異なる複数の信号を出力する。位置検出センサが出力する測定位置信号に含まれるオフセット値の経時変化を除去し、オフセット値除去後の信号を高精度な位置情報に変換する位置検出装置について特開２００１−３３２０６号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００３】
測定位置信号に含まれるオフセット値は、周囲温度の変化や位置検出センサを構成する部材等の特性変化により変化を生じる。この経時変化するオフセット値を除去するため、当該位置検出装置では、測定位置信号に対しデジタル低域通過フィルタによるフィルタ処理を施し、オフセット値を抽出する。そして、抽出されたオフセット値を測定位置信号から減算することで、測定位置信号からオフセット値を除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３３２０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
位置検出センサから出力される測定位置信号には、レゾルバ形状誤差に基づく高調波成分が含まれる。この高調波成分の周波数がデジタル低域通過フィルタのサンプル周波数と一致する場合、デジタル低域通過フィルタによって抽出されるオフセット値に誤差が生じる。これによって、従来の位置検出装置では、測定位置信号からオフセット値を十分に除去することが困難となり、位置検出誤差が増大することがあった。
【０００６】
本発明はこのような課題に対してなされたものである。すなわち、位置検出装置において、測定位置信号の高調波成分に基づく検出誤差を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、位置センサの測定結果に応じた値を有する測定位置信号のオフセット値を記憶するオフセット記憶器と、前記オフセット記憶器が記憶するオフセット値を前記測定位置信号から除去するオフセット除去手段と、前記測定位置信号に基づいて速度信号を生成し出力する速度変換手段と、前記測定位置信号に対してフィルタ処理を施す低域通過フィルタと、前記速度信号に応じて前記低域通過フィルタの出力値を前記オフセット記憶器に記憶させるオフセット設定手段と、を具備する位置検出装置において、前記低域通過フィルタは、所定のサンプル周波数でフィルタ処理を行うデジタルフィルタであり、前記オフセット設定手段は、Ｎを２以上の整数として、前記速度信号が示す速度が、前記測定位置信号の周波数が前記サンプル周波数のＮ分の１となる速度でない場合に、前記低域通過フィルタの出力値を前記オフセット記憶器に記憶させることを特徴とする。
【０００８】
本発明は、位置センサの測定結果に応じた値を有する測定位置信号のオフセット値を記憶するオフセット記憶器と、前記オフセット記憶器が記憶するオフセット値を前記測定位置信号から除去するオフセット除去手段と、前記測定位置信号に対してフィルタ処理を施す低域通過フィルタと、前記低域通過フィルタの出力値を前記オフセット記憶器に記憶させるオフセット設定手段と、を具備する位置検出装置において、前記低域通過フィルタは、所定のサンプル周波数でフィルタ処理を行うデジタルフィルタであり、前記位置検出装置は、前記測定位置信号に基づいて速度信号を生成し出力する速度変換手段と、Ｎを２以上の整数として、前記速度信号が示す速度が、前記測定位置信号の周波数が前記サンプル周波数のＮ分の１となる速度である場合に、前記フィルタ処理が施される前の前記測定位置信号に含まれるＮ次高調波分を低減する高調波低減手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、位置検出センサを有する位置検出装置において、測定位置信号の高調波成分に基づく検出誤差を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る位置検出装置の構成を示す図である。
【図２】オフセット設定手段の構成を示す図である。
【図３】位置検出センサの出力信号の変化周波数が、デジタル低域通過フィルタサンプル周波数１．２ｋＨｚの１／１２倍となる１００Ｈｚであるときの測定位置信号の波形を示した図である。
【図４】位置検出センサ１の出力信号の変化周波数がデジタル低域通過フィルタサンプル周波数１．２ｋＨｚの１／３倍となる４００Ｈｚであるときの測定位置信号の波形を示した図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る位置検出装置の構成を示す図である。
【図６】第２実施形態の応用例に係る位置検出装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に本発明の第１実施形態に係る位置検出装置の構成を示す。この位置検出装置は工業用ロボット、工作機械等に用いることが好適である。これらの装置には、例えば、各種センサの取り付け部、ドリルの刃先、光線発射部、受光部等の可動部を含む。本実施形態に係る位置検出装置によって可動部の位置を検出することで、可動部の移動制御を行うことができる。
【００１２】
位置検出センサ１は、可動部の位置の測定結果を示す測定位置信号ＡＳおよびＡＣを出力する。測定位置信号ＡＳおよびＡＣは、可動部の位置の変化に対して周期的に値が変化するアナログ信号である。また、測定位置信号ＡＳおよびＡＣの位相は互いに異なり、これらの位相差は、例えば９０°とする。測定位置信号ＡＳおよびＡＣは、これらが対となって可動部の位置を示す。
【００１３】
Ａ／Ｄ変換器２は、測定位置信号ＡＳをデジタル信号に変換し、デジタル測定位置信号ＤＳとして減算器１０およびデジタル低域通過フィルタ４に出力する。Ａ／Ｄ変換器３は、測定位置信号ＡＣをデジタル信号に変換し、デジタル測定位置信号ＤＣとして減算器１１およびデジタル低域通過フィルタ５に出力する。
【００１４】
デジタル低域通過フィルタ４および５には、例えば、３次の低域通過特性を有するものを用いることができる。デジタル低域通過フィルタ４は、デジタル測定位置信号ＤＳに対して低域通過フィルタ処理を施し、処理後の信号ＳＤＣを記憶器６に出力する。デジタル低域通過フィルタ５は、デジタル測定位置信号ＤＣに対して低域通過フィルタ処理を施し、処理後の信号ＣＤＣを記憶器７に出力する。
【００１５】
図３および図４は測定位置信号の波形を示す。図３は、デジタル低域通過フィルタのサンプル周波数１．２ｋＨｚに対し、測定位置信号の基本周波数がその１／１２倍、すなわち１００Ｈｚである場合を示したものである(この時の可動部の速度をＶ１２と定義する)。
【００１６】
デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣは、それぞれ、デジタル低域通過フィルタ４および５によって処理が施される。デジタル低域通過フィルタ４および５を３次の低域通過特性を有するものとし、カットオフ周波数を１０Ｈｚとした場合、可動部の速度がＶ１２である場合には、基本波成分２３は１００Ｈｚ、３次高調波成分２４は３００Ｈｚとなり、基本波成分２３は約１／１０００、３次高調波成分２４は約１／２７０００に減衰される。したがって、前記条件の場合、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの直流成分が、それぞれ、デジタル低域通過フィルタ通過後の信号ＳＤＣおよび信号ＣＤＣとしてデジタル低域通過フィルタ４および５から出力される。
【００１７】
しかし、可動部の速度がデジタル低域通過フィルタサンプル周波数の１／３倍となる速度Ｖ３である場合、図４に示すように、基本波成分２５は４００Ｈｚとなるが、３次高調波成分２６はサンプル周波数１．２ｋＨｚと一致し、周波数０Ｈｚに変換されてデジタル低域通過フィルタから出力される。そのため、３次高調波成分２６は、デジタル低域通過フィルタで減衰されることなく直流成分として各記憶器に出力される。３次高調波成分以外にも、レゾルバ形状誤差は２次、４次、５次・・・高調波成分を含むため前記同様の原理で、デジタル低域通過フィルタサンプル周波数の１／２倍となる速度Ｖ２、１／４倍となる速度Ｖ４、１／５倍となる速度Ｖ５・・・の場合でも高調波成分は直流成分に変換されてデジタル低域通過フィルタから出力される。本実施形態に係る位置検出装置は、このように、直流成分に変換されてデジタル低域通過フィルタから出力される高調波成分に基づくオフセット値の誤差を低減するものである。
【００１８】
記憶器６は、オフセット設定手段８から出力された設定信号ＳＥＴの値が１であるときは、信号ＳＤＣの値をオフセット値ＳＯＦとして記憶する。記憶器６は、設定信号ＳＥＴの値が１である間、このような記憶動作を所定の時間間隔で行い、記憶内容を更新する。一方、記憶器６は、オフセット設定手段８から出力された設定信号ＳＥＴの値が０であるときは、現在記憶している値を維持し更新は行わない。
【００１９】
記憶器７は、オフセット設定手段８から出力された設定信号ＳＥＴの値が１であるときは、信号ＣＤＣの値をオフセット値ＣＯＦとして記憶する。記憶器７は、設定信号ＳＥＴの値が１である間、このような記憶動作を所定の時間間隔で行い、記憶内容を更新する。一方、記憶器７は、オフセット設定手段８から出力された設定信号ＳＥＴの値が０であるときは、現在記憶している値を維持し更新は行わない。
【００２０】
記憶器６は、オフセット値ＳＯＦを減算器１０に出力し、記憶器７は、オフセット値ＣＯＦを減算器１１に出力する。減算器１０は、デジタル測定位置信号ＤＳからオフセット値ＳＯＦを減算し、減算結果を内挿手段１２に出力する。減算器１１は、デジタル測定位置信号ＤＣからオフセット値ＣＯＦを減算し、減算結果を内挿手段１２に出力する。内挿手段１２は、可動部の位置を示す位置信号ＰＯＳを減算器１０および１１から出力された信号に基づいて生成し出力する。この位置信号ＰＯＳは、位置検出装置の検出結果として、可動部の移動制御等に用いることができる。
【００２１】
速度変換器９は、位置信号ＰＯＳの時間微分である速度信号ＶＥＬを求め、オフセット設定手段８に出力する。
【００２２】
オフセット設定手段８は、速度信号ＶＥＬに基づいて設定信号ＳＥＴを記憶器６および７に出力する。図２にオフセット設定手段８の構成を示す。記憶器１３、１４、１５、および１６にはそれぞれデジタル低域通過フィルタサンプル周波数の１／２倍となる速度Ｖ２、１／３倍となる速度Ｖ３、１／４倍となる速度Ｖ４、および１／５倍となる速度Ｖ５が予め記憶される。
【００２３】
速度変換器９から出力された速度信号ＶＥＬは一致回路１７、１８、１９、および２０に入力される。また、記憶器１３、１４、１５、および１６にそれぞれ記憶された速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、およびＶ５は、一致回路１７、１８、１９、および２０にそれぞれ入力される。
【００２４】
一致回路１７、１８、１９、および２０は、それぞれ、速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、およびＶ５と速度信号ＶＥＬの値とを比較する。一致回路１７、１８、１９、および２０は、それぞれ、速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、およびＶ５と速度信号ＶＥＬの値とが一致したときは、それぞれが論理和回路２１に出力する一致信号Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５、およびＭ６の値を１とする。一方、一致回路１７、１８、１９、および２０は、それぞれ、速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、およびＶ５と速度信号ＶＥＬの値とが一致しないときは、一致信号Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５、およびＭ６の値を０とする。
【００２５】
論理和回路２１は、一致信号Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５、およびＭ６の論理和を求め、論理和演算結果を反転器２２に出力する。反転器２２は、論理和回路２１による論理和演算結果を反転し、設定信号ＳＥＴとしてオフセット設定手段８から出力する。
【００２６】
速度信号ＶＥＬの値が、前記速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、またはＶ５のいずれかである場合、論理和回路２１から値１が出力される。これによって、反転器２２から出力される設定信号ＳＥＴの値は０となる。一方、速度信号ＶＥＬの値が、前記速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、およびＶ５のいずれでもない場合、論理和回路２１から値０が出力される。これによって、反転器２２から出力される設定信号ＳＥＴの値は１となる。
【００２７】
したがって、速度信号ＶＥＬの値が、前記速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、またはＶ５のいずれかの場合には、記憶器６および７に出力される設定信号ＳＥＴの値が０となる。これによって、記憶器６および７においてオフセット値の更新記憶は行われず、それより前に記憶されていた値がオフセット値として維持される。そして、速度信号ＶＥＬの値が、前記速度Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、およびＶ５のいずれでもない場合には、記憶器６および７に出力される設定信号ＳＥＴの値が１となる。これによって、記憶器６および７においてオフセット値の更新記憶が行われる。
【００２８】
このような構成によれば、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの高調波成分の周波数がデジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数と一致するときは、記憶器６および７における更新記憶は行われず、それより前に記憶されていた値がオフセット値として維持される。これによって、記憶器６および７が、大きい誤差を含む値をオフセット値として記憶することを回避することができる。したがって、デジタル測定位置信号からオフセット値を十分に除去することが可能となり、位置検出信号ＰＯＳに含まれる誤差を低減することができる。
【００２９】
一般には測定位置信号に含まれる６次以上の高調波成分は極わずかなため、ここでは、２次、３次、４次、および５次高調波成分を含む場合について記載した。しかしながら、オフセット設定手段８が備える一致回路および記憶器を増設することで、同様の原理で６次以上の高調波成分を含む場合に対しても、誤検出したオフセット値が用いられることを防止することが可能である。
【００３０】
図５に本発明の第２実施形態に係る位置検出装置の構成を示す。図１に示す第１実施形態に係る位置検出装置の構成要素と同一の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３１】
本実施形態に係る位置検出装置は、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本周波数が、デジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数のＮ分の１となる場合に（Ｎは２以上の整数である。）、デジタル低域通過フィルタ４および５に基づくフィルタ処理を施す前のデジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣから、それぞれ、高調波補正値ＳＣおよびＣＣを減算するものである。この高調波補正値ＳＣおよびＣＣは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣのＮ次高調波成分に相当する。デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本周波数が、デジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数のＮ分の１であるか否かの判定は、速度信号ＶＥＬに基づいて行われる。
【００３２】
デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣから、高調波補正値ＳＣおよびＣＣをそれぞれ減算する処理について説明する。高調波補正値設定手段２７は、速度信号ＶＥＬが速度ＶＮと一致するか否かを判定する。ここで、速度ＶＮは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本周波数が、デジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数の１／Ｎ倍となるときの速度である。高調波補正値設定手段２７は、速度信号ＶＥＬが速度ＶＮと一致するときは、値がＱＮの設定信号ＳＥＴ２を高調波補正値算出手段２８に出力し、速度信号ＶＥＬが速度ＶＮと一致しないときは、例えば、値が０の設定信号ＳＥＴ２を高調波補正値算出手段２８に出力する。ここで、ＱＮは、速度信号ＶＥＬが速度ＶＮと一致したことを示す値である。例えば、Ｑ２＝２、Ｑ３＝３、Ｑ４＝４、・・・・のようにＱＮの値を設定することができる。
【００３３】
記憶器２９は、Ｎ次高調波成分に対応する高調波補正値ＳＣおよびＣＣの振幅αＮを記憶している。また、記憶器３０は、Ｎ次高調波成分に対応する高調波補正値ＳＣおよびＣＣの位相βＮを記憶している。ここで位相βＮは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本波成分の位相を基準とした位相値である。
【００３４】
高調波補正値算出手段２８は、高調波補正値設定手段２７が出力する設定信号ＳＥＴ２の値が０でない値ＱＮであるときは、記憶器２９および３０からそれぞれ振幅αＮおよび位相βＮを読み込む。そして、次の（数１）および（数２）に従い高調波補正値ＳＣおよびＣＣを生成し、それぞれ、減算器３１および３２に出力する。
【００３５】
（数１）  ＳＣ＝αＮ・ｃｏｓ（Ｎ・θ＋βＮ）
【００３６】
（数２）  ＣＣ＝αＮ・ｓｉｎ（Ｎ・θ＋βＮ）
【００３７】
一方、高調波補正値算出手段２８は、高調波補正値設定手段２７が出力する設定信号ＳＥＴ２の値が０であるときは、高調波補正値ＳＣおよびＣＣの値を０に設定し、それぞれ、減算器３１および３２に出力する。
【００３８】
減算器３１は、ＡＤ変換器２から出力されたデジタル測定位置信号ＤＳから高調波補正値ＳＣを減算し、減算によって得られた値をデジタル低域通過フィルタ４に出力する。デジタル低域通過フィルタ４は、減算器３１から出力された信号に対して低域通過フィルタ処理を施し、処理後の信号ＳＤＣをオフセット値ＳＯＦとして記憶器６に出力する。記憶器６は、オフセット値ＳＯＦを記憶すると共に、その値を減算器１０に出力する。
【００３９】
減算器３２は、ＡＤ変換器３から出力されたデジタル測定位置信号ＤＣから高調波補正値ＣＣを減算し、減算によって得られた値をデジタル低域通過フィルタ５に出力する。デジタル低域通過フィルタ５は、減算器３２から出力された信号に対して低域通過フィルタ処理を施し、処理後の信号ＣＤＣをオフセット値ＣＯＦとして記憶器７に出力する。記憶器７は、オフセット値ＣＯＦを記憶すると共に、その値を減算器１１に出力する。
【００４０】
このような構成によれば、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣのＮ次高調波成分の周波数がデジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数と一致するときは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣは、それぞれに含まれるＮ次高調波成分が低減された上でフィルタ処理が施される。そして、Ｎ次高調波成分が低減されたデジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣに対しフィルタ処理が施された値がオフセット値として、それぞれ記憶器６および７に記憶される。これによって、記憶器６および７が大きい誤差を含む値をオフセット値として記憶することを回避することができる。したがって、デジタル測定位置信号からオフセット値を十分に除去することが可能となり、位置検出信号ＰＯＳに含まれる誤差を低減することができる。
【００４１】
ここでは、複数の高調波成分（２次高調波成分、３次高調波成分、・・・・）について、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣから高調波補正値ＳＣおよびＣＣをそれぞれ減算する処理について説明した。このような処理の他、予め定めた１つのＩ次高調波成分に対応する振幅αＩおよび位相βＩをそれぞれ記憶器２９および３０に記憶しておき、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣから、その１つの高調波成分に対応する高調波補正値ＳＣおよびＣＣをそれぞれ減算する処理を行ってもよい。
【００４２】
次に応用例について説明する。第２実施形態に係る位置検出装置は、速度信号ＶＥＬが予め定められた範囲内の値である場合に、デジタル低域通過フィルタ４および５から出力された値をオフセット値として記憶する構成としてもよい。図６にそのような位置検出装置の構成を示す。図１および図５のそれぞれに示す位置検出装置の構成要素と同一の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４３】
規定範囲オフセット設定手段３３は、特許文献１（特開２００１−３３２０６号公報）に記載されている「オフセット設定手段１５」に相当するものである。規定範囲オフセット設定手段３３は、速度信号ＶＥＬが上側臨界速度ＶＨＩ以上の場合には設定信号ＳＥＴの値を０とし、デジタル低域通過フィルタ４および５から出力された値を記憶器６および７が記憶する動作を停止させる。ここで、上側臨界速度ＶＨＩは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本周波数が、デジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数の２分の１よりも高い周波数となるときの臨界速度である。
【００４４】
また、規定範囲オフセット設定手段３３は、速度信号ＶＥＬが下側臨界速度ＶＬＯ以下の場合には設定信号ＳＥＴの値を０とし、デジタル低域通過フィルタ４および５から出力された値を記憶器６および７が記憶する動作を停止させる。ここで、下側臨界速度ＶＬＯは、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本周波数が、デジタル低域通過フィルタ４および５のカットオフ周波数よりも低い周波数となるときの臨界速度である。
【００４５】
さらに、規定範囲オフセット設定手段３３は、速度信号ＶＥＬが下側臨界速度ＶＬＯを超え、上側臨界速度ＶＨＩ未満である場合には設定信号ＳＥＴの値を１とし、デジタル低域通過フィルタ４および５から出力された値をオフセット値として記憶器６および７に記憶させる。
【００４６】
このような構成によれば、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣから、高調波補正値ＳＣおよびＣＣをそれぞれ減算することによる効果に加えて、次のような効果を得ることができる。すなわち、このような構成によれば、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣの基本周波数が、デジタル低域通過フィルタ４および５のカットオフ周波数を超え、デジタル低域通過フィルタ４および５のサンプル周波数の２分の１未満であるときに、デジタル低域通過フィルタ４および５から出力された値がオフセット値として記憶器６および７に記憶される。これによって、可動部の速度が低速であることにより、基本波成分がデジタル低域通過フィルタ４および５によって十分な減衰を受けず、その値が記憶されることを回避することができる。また、可動部の速度が高速であることにより、ナイキストの定理が成立せず、デジタル低域通過フィルタ４および５から無意味な値が出力され、その値が記憶されることを回避することができる。これによって、記憶器６および７が大きい誤差を含む値をオフセット値として記憶することを回避することができる。したがって、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣからオフセット値を十分に除去することが可能となり、位置検出信号ＰＯＳに含まれる誤差を低減することができる。
【００４７】
なお、図６の構成において、規定範囲オフセット設定手段３３の代わりに、図１のオフセット設定手段８を用いてもよい。このような構成では、オフセット設定手段８の処理対象となっていない高調波成分（上記の第１実施形態では、６次以上の高調波成分）について、デジタル測定位置信号ＤＳおよびＤＣから、高調波補正値ＳＣおよびＣＣをそれぞれ減算する処理を行うことができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  位置検出センサ、２，３  ＡＤ変換器、４，５  デジタル低域通過フィルタ、６，７，１３，１４，１５，１６，２９，３０  記憶器、８  オフセット設定手段、９  速度変換器、１０,１１，３１，３２  減算器、１２  内挿手段、１７，１８，１９，２０  一致回路、２１  論理和回路、２２  反転器、２３  デジタル低域通過フィルタサンプル周波数１．２ｋＨｚの１／１２倍となる速度Ｖ１２の基本波成分、２４  デジタル低域通過フィルタサンプル周波数１．２ｋＨｚの１／１２倍となる速度Ｖ１２の３次高調波成分、２５  デジタル低域通過フィルタサンプル周波数１．２ｋＨｚの１／３倍となる速度Ｖ３の基本波成分、２６  デジタル低域通過フィルタサンプル周波数１．２ｋＨｚの１／３倍となる速度Ｖ３の３次高調波成分、２７  高調波補正値設定手段、２８  高調波補正値算出手段、３３  規定範囲オフセット設定手段。
【図１】
2010197380.tif 000003
【図２】
2010197380.tif 000004
【図３】
2010197380.tif 000005
【図４】
2010197380.tif 000006
【図５】
2010197380.tif 000007
【図６】
2010197380.tif 000008