(57)【要約】【課題】カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、気泡を選別処理するガラス基板内の気泡選別処理法を提供する。【解決手段】１）顕微鏡１４Ｃを用い、欠陥Ｄ４の上方よりガラス基板２０上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、２）ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、３）該欠陥の第２映像情報を構成する検査画素の明るさを２値化して２値検査画素２Ｋ−０とし、４）２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、５）該欠陥を欠陥から除外する選別処理を行う。【選択図】図１２
2010008125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの外観検査装置で検出された欠陥から、ガラス基板内の気泡を選別する気泡選別処理法において、
１）エリアセンサー及びオートフォーカスユニットを備えた顕微鏡を用い、前記欠陥の上方よりガラス基板上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、
２）続いて、該顕微鏡を予め設定された数値分降下させ、ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、
３）該欠陥の第２映像情報を構成する複数の検査画素の明るさを予め設定された閾値で２値化して、複数の２値検査画素とし、
４）該複数の２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、その適合率が予め設定された適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、
５）該欠陥を欠陥から除外する、或いは気泡として登録する選別処理を行うことを特徴とするガラス基板内の気泡選別処理法。
【請求項２】
前記欠陥の欠陥情報は、欠陥検出用の画像処理ユニットを介して外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存することができ、前記欠陥の第１映像情報及び第２映像情報は、映像情報の画像処理ボードユニットを介して外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存することができることを特徴とする請求項１記載のガラス基板内の気泡選別処理法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの外観検査に関するものであり、特に、液晶表示装置用カラーフィルタの外観検査によって検出された欠陥から、作業員によらず気泡の選別処理をするガラス基板内の気泡選別処理法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜、フォトスペーサー、配向制御用突起などを順次に位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
【０００３】
ブラックマトリックスは遮光性を有し、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。このブラックマトリックスの形成は、例えば、黒色感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。
【０００４】
また、着色画素は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、着色画素及びブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【０００５】
また、フォトスペーサー、及び配向制御用突起などの形成は、上記ブラックマトリックス、或いは着色画素の形成と同様にフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。
【０００６】
このカラーフィルタの製造工程で発生する外観上の欠陥は、その大きさ（範囲）によって、広域欠陥と狭域（点）欠陥とに２分される。広域欠陥は色ムラで代表され、色ムラはカラーフィルタ上の広い範囲に及ぶ色濃度の不良である。また、狭域（点）欠陥は、１）ブラックマトリックスの欠け、着色画素の白抜け（ピンホール）、着色画素のハーフ白抜け、透明導電膜の抜け（ピンホール）などのパターン欠け、２）ブラックマトリックスの残り、着色画素の残り、混色などのパターン残り、３）異物付着（黒欠陥）、４）傷などに大別される。
【０００７】
これらの欠陥項目の検査は、各製造工程毎に行われることが多い。例えば、ブラックマトリックスの形成後には、ブラックマトリックスの製造中に発生したブラックマトリックスの欠け、ブラックマトリックスの残りなどの項目の検査が行われる。また着色画素の形成後には、着色画素の製造中に発生した着色画素の白抜け（ピンホール）、着色画素のハーフ白抜け、着色画素の残り、異物付着（黒欠陥）、色ムラなどの項目の検査が行われる。
【０００８】
上記検査には、透過光によるカラーフィルタの透過検査と反射光による反射検査の２種の検査がある。透過検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠
陥には透過検査が行われる。また、反射検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠陥には反射検査が行われる。すなわち、各欠陥の性状により透過検査又は／及び反射検査が行われる。
尚、上記検査においては、検査する欠陥項目、良否を識別する水準などは、品目によって適宜に設定して行われる。
【０００９】
図１は、自動外観検査装置の一例の概略を示す側面図である。また、図２は、その平面図である。図１及び図２に示すように、この自動外観検査装置は、定盤（１１）、検査ステージ（１２）、反射用光源（１３Ａ）、反射用検査カメラ（１４Ａ）、透過用光源（１３Ｂ）、透過用検査カメラ（１４Ｂ）、欠陥検出用の画像処理ユニット（１５）、及び検査制御ＣＰＵ（１６）で構成されている。
検査ステージ（１２）に載置されたカラーフィルタ（被検査体）（１０）は、図１中、白太矢印で示すように、Ｘ軸方向に搬送されながら検査を受ける。
【００１０】
反射用光源（１３Ａ）は、射出された検査光を搬送されてきたカラーフィルタ（被検査体）（１０）の表面に斜め上方から照射する。カラーフィルタ（１０）の表面で反射した反射光を反射用検査カメラ（１４Ａ）で受光させ、その信号を画像処理ユニット（１５）へと伝送する。
また、透過用光源（１３Ｂ）は、射出された検査光を搬送されてきたカラーフィルタ（被検査体）（１０）の裏面に下方から垂直に照射する。カラーフィルタ（１０）を透過した透過光を透過用検査カメラ（１４Ｂ）で受光させ、その信号を画像処理ユニット（１５）へと伝送する。画像処理ユニット（１５）では、伝送された信号を処理し、欠陥を識別する。検査制御ＣＰＵ（１６）では、検査の制御、及び欠陥の座標データなど欠陥情報を保存する。
【００１１】
図２に示すように、この一例における反射用検査カメラ（１４Ａ）は、反射用検査カメラ（１）（１４Ａ（１））〜反射用検査カメラ（８）（１４Ａ（８））の８個の反射用検査カメラで構成されており、これらは、カラーフィルタ（１０）の搬送方向（Ｘ軸方向）と直角に、すなわち、カラーフィルタ（１０）の幅方向（Ｙ軸方向）に一列に順次に配列されている。
また、反射用光源（１３Ａ）は、反射用光源（１）（１３Ａ（１））〜反射用光源（８）（１３Ａ（８））の８個の反射用光源で構成されており、上記反射用検査カメラ（１）（１４Ａ（１））〜反射用検査カメラ（８）（１４Ａ（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。
【００１２】
また、透過用検査カメラ（１４Ｂ）は、透過用検査カメラ（１）（１４Ｂ（１））〜透過用検査カメラ（８）（１４Ｂ（８））の８個の透過用検査カメラで構成されており、上記反射用検査カメラ（１）（１４Ａ（１））〜反射用検査カメラ（８）（１４Ａ（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。また、透過用光源（１３Ｂ）は、透過用光源（１）（１３Ｂ（１））〜透過用光源（８）（１３Ｂ（８））の８個の透過用光源で構成されており、各々が定盤（１１）の下方にて透過用検査カメラ（１）（１４Ｂ（１））〜透過用検査カメラ（８）（１４Ｂ（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。
【００１３】
図３は、カラーフィルタ（被検査体）（１０）上における、反射用検査カメラと透過用検査カメラによる走査領域を説明する平面図である。図３に示すカラーフィルタ（１０）のサイズは、例えば、幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度のものである。図１及び図２に示すように、反射用検査カメラ（１４Ａ）及び透過用検査カメラ（１４Ｂ）は固定されており、カラーフィルタ（１０）が検査ステージ（１２）に載置された状態で、白太矢印で示すように、図３中、左方から右方へ移動し、カラーフィルタ（被検査体）（１０）面が走査される。
【００１４】
符号（Ｓｒ（１））は、反射用検査カメラ（１）（１４Ａ（１））及び透過用検査カメラ（１）（１４Ｂ（１））の走査領域を表している。同様に、符号（Ｓｒ（２））〜符号（Ｓｒ（８））は、各々、〔反射用検査カメラ（２）（１４Ａ（２））及び透過用検査カメラ（２）（１４Ｂ（２））〕〜〔反射用検査カメラ（８）（１４Ａ（８））及び透過用検査カメラ（８）（１４Ｂ（８））〕の走査領域を表している。
【００１５】
反射用検査カメラ（１４Ａ）及び透過用検査カメラ（１４Ｂ）の撮像素子としては、例えば、ラインセンサーが用いられることが多い。
図３に示す例は、反射用検査カメラ（１４Ａ（１）〜１４Ａ（８））及び透過用検査カメラ（１４Ｂ（１）〜１４Ｂ（８））の各々が、対応したカラーフィルタ（被検査体）（１０）上の走査領域（Ｓｒ（１）〜Ｓｒ（８））を、図３中、右方から左方への１走査で撮像を終了する例である。
例えば、撮像の解像度を高めるために、１走査領域を図３中、上下に２分割した２走査を、或いは上下に４分割した４走査を行う場合もある。
【００１６】
図４は、検査カメラにて撮像されたカラーフィルタ映像の一例を模式的に示す説明図である。図４に示すように、被検査体としてのカラーフィルタは、ブラックマトリックス（２１）が形成され外観検査の終了したガラス基板上に、赤色、緑色、青色の着色画素（２２）が形成された状態のものである。各色の着色画素（２２）は、その各々が、図４中、Ｙ軸方向に連続して配設されている。またＸ軸方向には、その各色の連続した列が赤色、緑色、青色の順に繰り返し配設されている。赤色の着色画素（Ｐ２）に欠陥（Ｄ）が発生している例である。
【００１７】
図５（ａ）は、図４に示す左端の赤色の着色画素（Ｐ１）の点線で囲む部分を拡大した説明図である。また、図５（ｂ）は、隣接する赤色の着色画素（Ｐ２）の点線で囲む部分を拡大した説明図である。
この検査装置は、欠陥がランダムに発生することを前提にして、隣接する同色の着色画素（２２）を比較して欠陥を検出する比較方式を採用したものである。図４中、左端の赤色の着色画素（Ｐ１）の特定箇所（Ｋｉ）の明るさ（検査カメラへ入射する光の強さ）と、隣接する赤色の着色画素（Ｐ２）の特定箇所（Ｋｉ）の明るさの差によって欠陥を識別する。
【００１８】
１個の着色画素は、複数の領域（Ｋ１〜Ｋｎ）に分割される。複数に分割された１領域は、検査のために比較する着色画素上の１単位であり、以降、本発明においては、この１領域を検査画素と称する。また、例えば、欠陥を複数に分割した際には、その１領域を検査画素と称する。
先ず、左端の赤色の着色画素（Ｐ１）の第１検査画素（Ｋ１）の明るさと、隣接する赤色の着色画素（Ｐ２）の第１検査画素（Ｋ１）の明るさを比較し、次に、着色画素（Ｐ１）の第２検査画素（Ｋ２）の明るさと、着色画素（Ｐ２）の第２検査画素（Ｋ２）の明るさを比較し、以降、同様に順次に比較を行い、着色画素（Ｐ１）に対する着色画素（Ｐ２）の欠陥の有無を識別する。
【００１９】
図５においては、着色画素（Ｐ１）の第ｉ検査画素（Ｋｉ）の明るさと、着色画素（Ｐ２）の第ｉ検査画素（Ｋｉ）の明るさの差が大きいために欠陥と識別されることになる。この明るさは、検査カメラが再現する輝度範囲を、例えば、８ビット（２５６）にて区分した２５６段階で表示した数値を用い、その数値の差が、予め設定した閾値以上であるとき、着色画素（Ｐ２）の第ｉ検査画素（Ｋｉ）は欠陥と識別するようにしておく。
【００２０】
自動外観検査装置で検出された欠陥は、例えば、自動外観検査装置の後工程に設置されたレビュー装置を使用して、作業員がモニターで欠陥を確認する。
図６は、作業員が欠陥を確認する際に使用するレビュー装置の一例の概略を示す側面図である。また、図７は、その平面図である。図６及び図７に示すように、このレビュー装置は、定盤（１１）、検査ステージ（１２）、顕微鏡（１４Ｃ）、モニター（１７）で構成されている。
【００２１】
検査ステージ（１２）に載置されたカラーフィルタ（被検査体）（１０）は、定盤（１１）上で静止した状態で欠陥の確認を受ける。レビュー装置は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向への移動機構（図示せず）によって、定盤（１１）上方の顕微鏡（１４Ｃ）を任意のＸＹ座標位置へ移動させることが出来るようになっている。
また、Ｚ軸方向への移動機構（図示せず）によって、顕微鏡（１４Ｃ）をＺ軸方向へ上下動することが出来るようになっている。また、顕微鏡（１４Ｃ）はオートフォーカスユニットを備えており、Ｚ軸方向にてカラーフィルタ（１０）近傍の任意の位置に焦点を合わせることが出来るようになっている。
【００２２】
レビュー装置は、通信手段によって自動外観検査装置の検査制御ＣＰＵ（１６）に接続されており、検査制御ＣＰＵ（１６）に保存された、前記欠陥の座標データを基に、顕微鏡（１４Ｃ）をカラーフィルタ（被検査体）（１０）上の欠陥上方の位置に移動させることが出来るようになっている。
【００２３】
顕微鏡（１４Ｃ）は、撮像素子としてエリアセンサーを備えており、内蔵する照明装置からの検査光をカラーフィルタ（被検査体）（１０）上に照射し、オートフォーカスで焦点を合わせ欠陥の映像を取得し、取得した映像をモニター（１７）上に表示することができる。
作業員は、レビュー装置のモニター（１７）上に表示される映像を観視して、自動外観検査装置が検出した欠陥を確認する。
【００２４】
図８は、撮像されたカラーフィルタ映像の一例を模式的に示す平面図である。また、図９は、図８のＡ−Ａ線での断面図である。図８及び図９に示すように、被検査体としてのカラーフィルタは、厚さ（ｔ）１．０ｍｍ程度のガラス基板（２０）上にブラックマトリックス（２１）が形成され外観検査が終了し、欠陥が検出された段階のものである。
【００２５】
符号（Ｄ２）は、ブラックマトリックス（２１）上に発生した異物付着（黒欠陥）であり、また、符号（Ｄ３）は、ブラックマトリックス（２１）の下方、ガラス基板（２０）内の気泡である。自動外観検査装置では、ガラス基板（２０）内の気泡を気泡として認識することができないため、異物付着（黒欠陥）、気泡の両者が欠陥として検出される。
【００２６】
一般的な着色画素の大きさは、幅（ａ）（６０〜１２０μｍ）×長さ（ｂ）（１００〜３００μｍ）□の大きさであり、修正の対象となる欠陥の大きさは２０μｍφ〜７０μｍφ程度のものである。これに対して、気泡の大きさは３０μｍφ〜５００μｍφ程度であり、また、気泡は欠陥項目とされておらず、良品扱いとなっている。
例外的に製品の種類、用途によっては、例えば、１５０μｍφ以上の大きさの気泡が欠陥として指定されることがあるが、ガラス基板内に残存している気泡は、概ね欠陥項目からは外されている。
【００２７】
従って、自動外観検査装置によって欠陥として検出された気泡を、検出された欠陥から選別し、良品扱いとするために、作業員がレビュー装置を使用して検出された欠陥が気泡であるか否かの確認、選別をすることになる。
つまり、レビュー装置では、自動外観検査装置で欠陥として検出された欠陥が、気泡であ
るか否かを確認し、選別する負担が残されている。
【特許文献１】特開平９−２５７６４２号公報
【特許文献２】特開平１０−２６７８５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、作業員によらず気泡を選別し、処理をすることのできるガラス基板内の気泡選別処理法を提供することを課題とするものである。
これにより、欠陥項目とはなっていない気泡を、後工程であるレビュー装置で改めて確認し、選別する負担が解消されるものとなる。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明は、カラーフィルタの外観検査装置で検出された欠陥から、ガラス基板内の気泡を選別する気泡選別処理法において、
１）エリアセンサー及びオートフォーカスユニットを備えた顕微鏡を用い、前記欠陥の上方よりガラス基板上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、
２）続いて、該顕微鏡を予め設定された数値分降下させ、ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、
３）該欠陥の第２映像情報を構成する複数の検査画素の明るさを予め設定された閾値で２値化して、複数の２値検査画素とし、
４）該複数の２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、その適合率が予め設定された適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、
５）該欠陥を欠陥から除外する、或いは気泡として登録する選別処理を行うことを特徴とするガラス基板内の気泡選別処理法である。
【００３０】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板内の気泡選別処理法において、前記欠陥の欠陥情報は、欠陥検出用の画像処理ユニットを介して外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存することができ、前記欠陥の第１映像情報及び第２映像情報は、映像情報の画像処理ボードユニットを介して外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存することができることを特徴とするガラス基板内の気泡選別処理法である。
【発明の効果】
【００３１】
本発明は、１）エリアセンサー及びオートフォーカスユニットを備えた顕微鏡を用い、前記欠陥の上方よりガラス基板上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、２）続いて、該顕微鏡を予め設定された数値分降下させ、ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、３）該欠陥の第２映像情報を構成する複数の検査画素の明るさを予め設定された閾値で２値化して、複数の２値検査画素とし、４）該複数の２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、その適合率が予め設定された適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、５）該欠陥を欠陥から除外する、或いは気泡として登録する選別処理を行うので、カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、作業員によらず気泡を選別し、処理をすることのできるガラス基板内の気泡選別処理法となる。
これにより、欠陥項目とはなっていない気泡を、後工程であるレビュー装置で改めて確認し、選別する負担が解消されるものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
ガラス基板内の気泡は、ガラス基板の製造時に様々な要因により生成したガラス基板内の気泡が脱泡しきれずに残存した気泡である。本発明者は、この気泡を精査した結果、気泡はラグビーボール状の微小な空洞であり、その長軸の長さと、短軸の長さの比は各々異なるものの、平面視で概ね楕円形状を呈していることに着目し、本発明を達成するに至った。
【００３３】
本発明によるガラス基板内の気泡選別処理法は、予め、
Ａ）顕微鏡を用い、欠陥の第２映像情報を取得する際に、顕微鏡を降下させる数値、
Ｂ）取得した欠陥の第２映像情報を構成する複数の検査画素を、複数の２値検査画素とする際の閾値、
Ｃ）楕円フィッティング処理を行い、欠陥が気泡か否かを判定する際の適合率、を設定しておく。
【００３４】
図１０は、撮像されたカラーフィルタ映像の一例を模式的に示す平面図である。図１０に示すように、被検査体としてのカラーフィルタは、ガラス基板（２０）上にブラックマトリックス（２１）が形成された段階のものであり、外観検査によって欠陥（Ｄ４）が検出され、顕微鏡によって欠陥（Ｄ４）の第１映像情報として撮像されたものである。
【００３５】
図１０は、欠陥（Ｄ４）の上方よりガラス基板（２０）上面に焦点を合わせて撮像したもので、欠陥（Ｄ４）及びブラックマトリックス（２１）の両者が略鮮明に表示されている。
図１１は、図１０に示す状態から、顕微鏡を降下させて撮像した欠陥（Ｄ４）の第２映像情報であり、欠陥（Ｄ４）は、より鮮明に、ブラックマトリックス（２１）は、不鮮明に表示されている。
【００３６】
顕微鏡の降下は、ガラス基板（２０）内に焦点を合わせるためであるので、例えば、ガラス基板（２０）の厚みが、０．７ｍｍの際には、上記Ａ）顕微鏡を降下させる数値は、０．３５ｍｍ程度のものとなる。
【００３７】
図１１に示す欠陥（Ｄ４）が、仮に異物付着（黒欠陥）とすると、欠陥（Ｄ４）は一様に暗く表示されることが多い。一方、欠陥（Ｄ４）が気泡の際には、図１１中、斜線で示すように、平面視で、欠陥（Ｄ４）の周縁部（ｄ）が暗く、中央部（ｃ）が明るく、この間は明るさに濃淡のある多階調に表示される性向を有している。これは、気泡が空洞であるためと推量されている。
【００３８】
本発明においては、欠陥（Ｄ４）を複数の領域に分割した検査画素を、上記欠陥（Ｄ４）が気泡の際での多階調の明るさに準じた明るさを有する状態、例えば、８ビット（２５６）にて区分した階調で表した状態で楕円フィッティング処理を行うのではなく、明るさの、ある閾値で検査画素の明るさを２値化した２値検査画素を用いて楕円フィッティング処理を行う。
例えば、図１１に示す欠陥（Ｄ４）の中央部（ｃ）の検査画素も用いる際には、上記Ｂ）複数の２値検査画素とする際の閾値は、欠陥（Ｄ４）の中央部（ｃ）の明るさまでの検査画素が欠陥（Ｄ４）を構成する２値検査画素となるように、閾値を設定する。
【００３９】
図１２は、図１１に示す欠陥（Ｄ４）を検出する際の、複数の領域に分割した検査画素を拡大して模式的に例示した説明図である。図１２に×印で表す２値検査画素（２Ｋ−０）は、欠陥（Ｄ４）を構成する検査画素であり、上記閾値以下の明るさを有する検査画素を、２値である０／１の０、すなわち、「暗い」とした２値化後の２値検査画素である。例えば、欠陥（Ｄ４）の周縁部にある上記閾値以上の明るさを有する検査画素は、２値である０／１の１、すなわち、２値化後には２値検査画素とはならない。
図１１に示す欠陥（Ｄ４）は、２値化後には複数の２値検査画素（２Ｋ−０）の集合体（Ｄ４’）となり、欠陥（Ｄ４）の２値化後の外周は、複数の２値検査画素（２Ｋ−０）の集合体（Ｄ４’）の外周となる。
【００４０】
一方、楕円フィッティング処理を行う際の楕円は、図１２中、点線で示す楕円（Ｅｌ）である。上記複数の２値検査画素（２Ｋ−０）の集合体（Ｄ４’）が、楕円か否かを判定する際の、上記Ｃ）適合率は、例えば、残存している気泡の大きさ、欠陥を分割する検査画素の大きさ、ブラックマトリックスから露出する欠陥の対象とする露出度、楕円の形状、大きさなどにより設定する。
【００４１】
本発明によるガラス基板内の気泡選別処理法においては、上記Ａ）顕微鏡を降下させる数値、Ｂ）複数の２値検査画素とする際の閾値、Ｃ）適合率、の設定後に、気泡の選別処理を開始する。
先ず、欠陥の第１映像情報及び第２映像情報を取得する顕微鏡を、外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存された欠陥の欠陥情報である、欠陥の座標データを基に、被検査体であるカラーフィルタ上の欠陥上方の位置に移動する。
【００４２】
この欠陥上方にて、顕微鏡は、備えられたオートフォーカスユニットを作動させてカラーフィルタのガラス基板上面に焦点を合わせ、備えられたエリアセンサーにより欠陥の第１映像情報を取得する。
この欠陥の第１映像情報は、モニター上に表示し、また、画像処理ボードユニットを介して外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存することができる。
【００４３】
続いて、顕微鏡を、この位置から、上記Ａ）により予め設定された数値分降下させ、ガラス基板（２０）内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得する。
この欠陥の第２映像情報は、モニター上に表示し、また、画像処理ボードユニットを介して外観検査装置の検査制御ＣＰＵに保存することができる。
この際、ガラス基板（２０）内の欠陥を、より鮮明に、また、ガラス基板面上のブラックマトリックス（２１）を、より不鮮明に取得するために、顕微鏡の光学系には被写界深度を狭くする機構が備えられていることが好ましい。
【００４４】
次に、取得した、欠陥の第２映像情報を構成する複数の検査画素を、上記Ｂ）により予め設定された閾値で２値化し複数の２値検査画素（２Ｋ−０）とする。
次に、得られた複数の２値検査画素（２Ｋ−０）の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、その適合率が、上記Ｃ）により予め設定された適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定する。
【００４５】
次に、気泡と判定された該欠陥を欠陥から除外する、或いは気泡として登録する選別処理を行う。尚、気泡と判定されなかった該欠陥は、気泡以外の欠陥と判定する。
【００４６】
上記のように、本発明によれば、顕微鏡を用い、欠陥の上方よりガラス基板上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、続いて、ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、欠陥の第２映像情報を構成する検査画素を２値検査画素とし、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い欠陥を気泡と判定するので、検出された欠陥から、作業員によらず気泡を選別し、処理をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】自動外観検査装置の一例の概略を示す側面図である。
【図２】図１に示す自動外観検査装置の平面図である。
【図３】被検査体カラーフィルタ上における、反射用検査カメラと透過用検査カメラによる走査領域を説明する平面図である。
【図４】検査カメラにて撮像されたカラーフィルタ画像の一例を模式的に示す説明図である。
【図５】（ａ）は、図４に示す左端の赤色の着色画素の点線で囲む部分を拡大した説明図である。（ｂ）は、隣接する赤色の着色画素の点線で囲む部分を拡大した説明図である。
【図６】欠陥を確認する際に使用するレビュー装置の一例の概略を示す側面図である。
【図７】図６に示すレビュー装置の平面図である。
【図８】撮像されたカラーフィルタ映像の一例を模式的に示す平面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ線での断面図である。
【図１０】撮像されたカラーフィルタ映像の一例を模式的に示す平面図である。
【図１１】顕微鏡を降下させて撮像した欠陥の第２映像情報である。
【図１２】図１１に示す欠陥を検出する際の、複数の領域に分割した検査画素を拡大して模式的に例示した説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０・・・被検査体カラーフィルタ
１１・・・定盤
１２・・・検査ステージ
１３Ａ・・・反射用光源
１３Ｂ・・・透過用光源
１４Ａ・・・反射用検査カメラ
１４Ｂ・・・透過用検査カメラ
１４Ｃ・・・顕微鏡
１５・・・欠陥検出用の画像処理ユニット
１６・・・検査制御ＣＰＵ
１７・・・モニター
２０・・・ガラス基板
２１・・・ブラックマトリックス
２２・・・着色画素
Ｂ・・・青色の着色画素
Ｇ・・・緑色の着色画素
Ｒ・・・赤色の着色画素
Ｄ、Ｄ２、Ｄ４・・・欠陥
Ｄ３・・・気泡
Ｄ４’・・・２値検査画素の集合体
Ｅｌ・・・楕円
Ｋ１〜Ｋｎ・・・第１検査画素〜第ｎ検査画素
Ｋｉ・・・着色画素の特定箇所
２Ｋ−０・・・２値化後の２値検査画素
Ｌ・・・カラーフィルタの長さ
Ｐ１・・・左端の赤色の着色画素
Ｐ２・・・隣接する赤色の着色画素
Ｓｒ・・・反射用検査カメラ及び透過用検査カメラの走査領域
Ｗ・・・カラーフィルタの幅
１３Ａ（１）〜（８）・・・反射用光源（１）〜（８）
１３Ｂ（１）〜（８）・・・透過用光源（１）〜（８）
１４Ａ（１）〜（８）・・・反射用検査カメラ（１）〜（８）
１４Ｂ（１）〜（８）・・・透過用検査カメラ（１）〜（８）
ａ・・・着色画素の幅
ｂ・・・着色画素の長さ
ｃ・・・欠陥の中央部
ｄ・・・欠陥の周縁部
ｔ・・・ガラス基板の厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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