(57)【要約】【課題】姿勢変更手段を備える測定機であっても適切に校正することができる校正装置の提供。【解決手段】形状測定機は、被測定物を載置する定盤と、対物レンズを介して被測定物を撮像する画像プローブと、画像プローブの姿勢を変更する姿勢変更手段と、画像プローブを移動させる移動手段とを備える。校正装置２は、定盤に設置される基台２１と、対物レンズの光軸と略平行な軸を回転軸として基台２１に回転自在に設けられる回転盤２２と、対物レンズの光軸と略直交する基準線として機能する線状部材２４とを備える。校正装置２は、回転盤２２と、線状部材２４とを備えるので、姿勢変更手段を備える測定機であっても十分な範囲で適切に校正することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物を載置する定盤と、対物レンズを介して前記被測定物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を移動させる移動手段とを備え、前記撮像手段にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する測定機の校正に用いられる校正装置であって、
前記定盤に設置される基台と、
前記対物レンズの光軸と略平行な軸を回転軸として前記基台に回転自在に設けられる回転盤と、
前記回転盤に設けられ、前記対物レンズの光軸と略直交する基準線とを備えることを特徴とする校正装置。
【請求項２】
請求項１に記載の校正装置において、
前記基準線は、前記回転盤に張り渡された線状部材とされていることを特徴とする校正装置。
【請求項３】
請求項２に記載の校正装置において、
前記線状部材は、前記対物レンズの焦点深度以下の幅とされていることを特徴とする校正装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の校正装置において、
前記回転盤には、所定位置に少なくとも２つの球状部が設けられていることを特徴とする校正装置。
【請求項５】
請求項１に記載の校正装置において、
前記基準線と略平行な軸を回転軸として前記回転盤に回転自在に設けられる板状部材を備え、
前記基準線は、前記板状部材における前記撮像手段側の面に設けられていることを特徴とする校正装置。
【請求項６】
請求項５に記載の校正装置において、
前記板状部材には、所定位置に少なくとも３つの球状部が設けられていることを特徴とする校正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、校正装置に関し、特に画像に基づいて被測定物を測定する測定機の校正に用いられる校正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物を載置する定盤と、被測定物に接触する接触子を有するプローブと、プローブを保持するとともに、移動させる移動手段とを備え、接触子を被測定物に接触させることで被測定物の表面形状を測定する形状測定機が知られている。
また、このような形状測定機において、対物レンズを介して被測定物を撮像する撮像手段をプローブの代わりに移動手段に保持させて撮像手段にて被測定物を撮像し、撮像した画像に基づいて、非接触で被測定物の形状を測定するものが知られている。このような形状測定機では、プローブを撮像手段に交換したときに、例えば、特許文献１に記載されるような校正装置を用いることで校正を行っている。
【０００３】
特許文献１に記載の校正装置では、測定機のテーブル（定盤）にセンサー校正装置（校正装置）を固定し、センサー校正装置に設けられた円柱の外側面を画像センサー（撮像手段）にて撮像することで測定機を校正している。具体的に、円柱の外側面は、中心軸と直交する断面の形状がＤ字状となるように形成され、この円柱の外側面を画像センサーにて撮像する。そして、円弧部分の中心位置を算出して画像センサーの位置を校正し、直線部分の傾斜を算出して画像センサーの傾きを校正している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１６５６３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年では、プローブや、撮像手段の姿勢を変更することができる姿勢変更手段を備える形状測定機が利用されている。このような姿勢変更手段としては、例えば、撮像手段における対物レンズの光軸、及び光軸と直交する直交軸の二軸を回転軸（以下、光軸回りの回転軸をＡ軸とし、直交軸回りの回転軸をＢ軸とする）としてプローブ、または撮像手段を回転させて姿勢を変更させる構成が知られている。なお、Ａ軸を回転させると、Ｂ軸の軸方向もＡ軸の回転に伴って回転するものとする。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の校正装置では、このような姿勢変更手段を備える測定機を適切に校正することができないという問題がある。
具体的に、このような測定機を校正する場合には、姿勢変更手段にてＡ軸、及びＢ軸回りに撮像手段を回転させながら校正装置を撮像し、姿勢変更手段の各軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを校正することが必要となる。しかしながら、特許文献１に記載の校正装置は、測定機の定盤に固定されているので、十分な範囲で校正をすることができないという問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、姿勢変更手段を備える測定機であっても適切に校正することができる校正装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の校正装置は、被測定物を載置する定盤と、対物レンズを介して前記被測定物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を移動させる移動手段とを備え、前記撮像手段にて撮像される画像に基づいて前記被測定物を測定する測定機の校正に用いられる校正装置であって、前記定盤に設置される基台と、前記対物レンズの光軸と略平行な軸を回転軸として前記基台に回転自在に設けられる回転盤と、前記回転盤に設けられ、前記対物レンズの光軸と略直交する基準線とを備えることを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、姿勢変更手段を、前述したように、Ａ軸、及びＢ軸の二軸を回転軸として撮像手段を回転させて姿勢を変更させる構成とすると、撮像手段を回転させていない状態では、回転盤の回転軸と、Ａ軸とは略平行となり、基準線と、Ｂ軸とは略平行となる。
そして、姿勢変更手段にてＡ軸回りにのみ撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合には、基準線は、撮像手段にて撮像される画像内において撮像手段の回転に応じて回転することとなる。したがって、基準線の傾斜を算出することで姿勢変更手段のＡ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
【００１０】
また、姿勢変更手段にてＢ軸回りにのみ撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合には、基準線は、姿勢変更手段のＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きがなければ、撮像手段にて撮像される画像内において略一定の傾斜となる。したがって、基準線の傾斜を算出することで姿勢変更手段のＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
さらに、姿勢変更手段にてＡ軸回りに撮像手段を所定角度だけ回転させた状態でＢ軸回りに撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合には、Ａ軸回りの回転角度と同じ角度だけ回転盤を回転させる。これによれば、姿勢変更手段にてＢ軸回りにのみ撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合と同様に姿勢変更手段のＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
したがって、本発明によれば、校正装置は、回転盤と、基準線とを備えるので、姿勢変更手段を備える測定機であっても十分な範囲で適切に校正することができる。
【００１１】
本発明では、前記基準線は、前記回転盤に張り渡された線状部材とされていることが好ましい。
このような構成によれば、基準線を回転盤から離間した位置に設けることができるので、姿勢変更手段にて撮像手段をＢ軸回りに略９０°回転させた場合であっても校正装置と、撮像手段とを接触させることなく撮像手段にて基準線を撮像することができる。したがって、校正装置は、更に十分な範囲で測定機を適切に校正することができる。
【００１２】
本発明では、前記線状部材は、前記対物レンズの焦点深度以下の幅とされていることが好ましい。
このような構成によれば、姿勢変更手段にてＢ軸回りに撮像手段を回転させた場合において、どのような角度から線状部材を撮像しても適切に撮像することができる。したがって、校正装置は、更に十分な範囲で測定機を適切に校正することができる。
【００１３】
本発明では、前記回転盤には、所定位置に少なくとも２つの球状部が設けられていることが好ましい。
このような構成によれば、移動手段にプローブを保持させて接触子を球状部に接触させることで回転盤の回転角度を測定することができるので、校正装置は、回転盤の回転精度が十分でない場合であっても測定機を適切に校正することができる。
【００１４】
本発明では、前記基準線と略平行な軸を回転軸として前記回転盤に回転自在に設けられる板状部材を備え、前記基準線は、前記板状部材における前記撮像手段側の面に設けられていることが好ましい。
【００１５】
すなわち、前述した基準線を線状部材とする構成に代えて、基準線を板状部材に設ける構成とする。
このような構成によれば、姿勢変更手段を、前述したように、Ａ軸、及びＢ軸の二軸を回転軸として撮像手段を回転させて姿勢を変更させる構成とすると、撮像手段を回転させていない状態では、板状部材における撮像手段側の面を対物レンズの光軸と略直交させることによって、回転盤の回転軸と、Ａ軸とは略平行となり、基準線と、Ｂ軸とは略平行となる。
そして、姿勢変更手段にてＡ軸回りにのみ撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合には、基準線は、撮像手段にて撮像される画像内において撮像手段の回転に応じて回転することとなる。したがって、基準線の傾斜を算出することで姿勢変更手段のＡ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
【００１６】
また、姿勢変更手段にてＢ軸回りにのみ撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合には、Ｂ軸回りの回転角度と同じ角度だけ板状部材を回転させることで、板状部材における撮像手段側の面を対物レンズの光軸と略直交させることができる。ここで、基準線は、姿勢変更手段のＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きがなければ、撮像手段にて撮像される画像内において略一定の傾斜となる。したがって、基準線の傾斜を算出することで姿勢変更手段のＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
さらに、姿勢変更手段にてＡ軸回りに撮像手段を所定角度だけ回転させた状態でＢ軸回りに撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合には、Ａ軸回りの回転角度と同じ角度だけ回転盤を回転させる。これによれば、姿勢変更手段にてＢ軸回りにのみ撮像手段を回転させながら撮像手段にて基準線を撮像する場合と同様に姿勢変更手段のＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
【００１７】
本発明では、前記板状部材には、所定位置に少なくとも３つの球状部が設けられていることが好ましい。
このような構成によれば、移動手段にプローブを保持させて接触子を球状部に接触させることで板状部材の姿勢を測定することができるので、校正装置は、回転盤、及び板状部材の回転精度が十分でない場合であっても測定機を適切に校正することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る形状測定機１、及び校正装置２を示す図である。図２は、校正装置２を示す拡大図である。なお、図１、及び図２では、上方向を＋Ｚ軸方向とし、このＺ軸に直交する２軸をそれぞれＸ軸、及びＹ軸として説明する。以下の図面においても同様である。
形状測定機１は、図１に示すように、被測定物（図示略）を載置する定盤１１と、対物レンズ１２１を介して被測定物を撮像する撮像手段としての画像プローブ１２と、画像プローブ１２を保持するとともに、姿勢を変更する姿勢変更手段１３と、姿勢変更手段１３を介して画像プローブ１２を保持するとともに、移動させる移動手段１４とを備え、画像プローブ１２にて撮像される画像に基づいて被測定物を測定する測定機である。
【００１９】
姿勢変更手段１３は、画像プローブ１２における対物レンズ１２１の光軸（Ｚ軸方向の軸、以下、Ａ軸とする）、及び光軸と直交する直交軸（Ｘ軸方向の軸、以下、Ｂ軸とする）の二軸を回転軸として画像プローブ１２を回転させて姿勢を変更させる。なお、Ａ軸を回転させると、Ｂ軸の軸方向もＡ軸の回転に伴って回転するものとする。
【００２０】
移動手段１４は、定盤１１におけるＸ軸方向の両端から＋Ｚ軸方向に延出し、Ｙ軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられる２つのコラム１４１と、各コラム１４１にて支持され、Ｘ軸方向に沿って延出するビーム１４２と、Ｚ軸方向に沿って延出する筒状に形成され、ビーム１４２上をＸ軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられるスライダ１４３と、スライダ１４３の内部に挿入されるとともに、スライダ１４３内をＺ軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられるラム１４４とを備える。したがって、移動手段１４は、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各軸方向に画像プローブ１２を移動させる複数の移動軸を備えている。そして、ラム１４４は、−Ｚ軸方向側の端部において姿勢変更手段１３を介して画像プローブ１２の基端側を保持している。なお、姿勢変更手段１３は、画像プローブ１２の他、接触子を有するプローブ等を保持することができる。
【００２１】
校正装置２は、図１、及び図２に示すように、形状測定機１の校正に用いられるものであり、定盤１１に設置される基台２１と、対物レンズ１２１の光軸と略平行な軸（Ｚ軸方向の軸）を回転軸として基台２１に回転自在に設けられる回転盤２２と、回転盤２２の二箇所にＸ軸方向に沿って設けられる２つの柱状部材２３と、各柱状部材２３の間に張り渡される線状部材２４と、所定位置に設けられる２つの基準球２５とを備える。
【００２２】
基台２１、及び回転盤２２は、図示は省略するが、回転盤２２の上面の傾きを調整するための調整機構を有している。なお、本実施形態では、回転盤２２の上面は、ＸＹ平面と略平行となるように調整されている。また、回転盤２２の回転精度は、形状測定機１における移動手段１４の精度と比較して十分に高いことが望ましい。
線状部材２４は、対物レンズ１２１の焦点深度以下の幅に設定され、各柱状部材２３における所定の高さ位置にＸ軸方向に沿って張り渡されている。すなわち、線状部材２４は、対物レンズ１２１の光軸と略直交する基準線として機能する。
各基準球２５は、回転盤２２における各柱状部材２３の外周側にＸ軸方向に沿って立設される円柱部２５１と、円柱部２５１の上方側に設けられる球状部２５２とを備える。
【００２３】
図３は、画像プローブ１２を回転させていない状態を示す図である。なお、図３（Ａ）は、形状測定機１、及び校正装置２を示す図であり、図３（Ｂ）は、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍを示す図である。
校正装置２を用いることで形状測定機１を校正するには、まず、図３（Ａ）に示すように、画像プローブ１２を回転させていない状態とする。なお、この時のＡ軸回りの回転角度を０°とし、Ｂ軸回りの回転角度を０°とする。また、この状態では、回転盤２２の回転軸と、Ａ軸とは略平行となり、線状部材２４と、Ｂ軸とは略平行となる。
そして、この状態において、画像プローブ１２にて線状部材２４を撮像すると、図３（Ｂ）に示すように、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍ内において、線状部材２４は、クロスヘア（図３（Ｂ）中一点鎖線）と略平行となる。
【００２４】
図４は、姿勢変更手段１３にてＡ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら線状部材２４を撮像している状態を示す図である。なお、図４（Ａ）は、形状測定機１、及び校正装置２を示す図であり、図４（Ｂ）は、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍを示す図である。
姿勢変更手段１３にてＡ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら線状部材２４を撮像すると（図４（Ａ））、線状部材２４は、図４（Ｂ）に示すように、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍ内において画像プローブ１２の回転に応じてクロスヘアに対して傾斜するように回転することとなる。したがって、線状部材２４の傾斜を算出することで姿勢変更手段１３のＡ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きを算出することができる。
【００２５】
図５は、姿勢変更手段１３にてＢ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら線状部材２４を撮像している状態を示す図である。なお、図５（Ａ）は、形状測定機１、及び校正装置２を示す図であり、図５（Ｂ）は、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍを示す図である。
姿勢変更手段１３にてＢ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら線状部材２４を撮像すると（図５（Ａ））、線状部材２４は、Ｂ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きがなければ、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍ内において略一定の傾斜となる。しかしながら、実際には、Ｂ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きがあるので、線状部材２４は、図５（Ｂ）に示すように、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍ内においてクロスヘアに対して傾斜する。したがって、線状部材２４の傾斜を算出することでＢ軸回りの回転誤差、及び撮像手段の傾きを算出することができる。
【００２６】
図６は、姿勢変更手段１３にてＡ軸回りに画像プローブ１２を所定角度だけ回転させた状態でＢ軸回りに画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて線状部材２４を撮像している状態を示す図である。なお、図６（Ａ）は、回転盤２２を回転させていない状態を示す図であり、図６（Ｂ）は、回転盤２２を画像プローブ１２のＡ軸回りの回転角度と同じ角度だけ回転させた状態を示す図である。
【００２７】
姿勢変更手段１３にてＡ軸回りに画像プローブ１２を所定角度だけ回転させた状態でＢ軸回りに画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて線状部材２４を撮像すると、図６（Ａ）に示すように、線状部材２４に対する画像プローブ１２の姿勢が変化するので、画像プローブ１２にて線状部材２４を撮像しにくくなる場合がある。このため、Ａ軸回りの回転角度と同じ角度だけ回転盤２２を回転させる。この際、姿勢変更手段１３にプローブを保持させて接触子を基準球２５の球状部２５２に接触させることで回転盤２２の回転角度を測定し、回転盤２２の回転角度を校正する。
これによれば、姿勢変更手段１３にてＢ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて線状部材２４を撮像する場合と同様にＢ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きを算出することができる。
【００２８】
このような本実施形態によれば以下の効果がある。
（１）校正装置２は、回転盤２２と、線状部材２４とを備えるので、姿勢変更手段１３を備える形状測定機１であっても十分な範囲で適切に校正することができる。
（２）基準線は、回転盤２２に張り渡された線状部材２４とされているので、基準線を回転盤２２から離間した位置に設けることができる。これによれば、姿勢変更手段１３にて画像プローブ１２をＢ軸回りに略９０°回転させた場合であっても校正装置２と、画像プローブ１２とを接触させることなく画像プローブ１２にて線状部材２４を撮像することができる。したがって、校正装置２は、更に十分な範囲で形状測定機１を適切に校正することができる。
【００２９】
（３）線状部材２４は、対物レンズ１２１の焦点深度以下の幅とされているので、姿勢変更手段１３にてＢ軸回りに画像プローブ１２を回転させた場合において、どのような角度から線状部材２４を撮像しても適切に撮像することができる。したがって、校正装置２は、更に十分な範囲で形状測定機１を適切に校正することができる。
（４）回転盤２２には、所定位置に２つの球状部２５２が設けられているので、校正装置２は、回転盤２２の回転精度が十分でない場合であっても形状測定機１を適切に校正することができる。
【００３０】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図７は、本発明の第２実施形態に係る校正装置２Ａを示す図である。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記第１実施形態では、基準線は、回転盤２２に張り渡された線状部材２４とされていた。これに対して、本実施形態では、図７に示すように、校正装置２Ａは、板状部材２７を備え、基準線は、板状部材２７における画像プローブ１２側の面２７Ａに設けられる直線部分２８２とされている点で異なる。
【００３１】
校正装置２Ａは、基台２１と、回転盤２２と、回転盤２２の二箇所にＸ軸方向に沿って設けられる２つの柱状部材２６と、Ｘ軸方向の軸を回転軸として各柱状部材２６に設けられる板状部材２７と、板状部材２７における画像プローブ１２側の面２７Ａに設けられているプレート２８と、所定位置に設けられる３つの球状部２９とを備える。
プレート２８は、面２７Ａと略平行する断面の形状がＤ字状となるように形成され、円弧部分２８１と、直線部分２８２とを有している。
直線部分２８２は、Ｘ軸方向に沿って設けられ、対物レンズ１２１の光軸と略直交する基準線として機能する。すなわち、板状部材２７は、基準線と略平行な軸を回転軸として回転盤２２に回転自在に設けられている。
各球状部２９は、板状部材２７における面２７Ａの外周に沿って略等間隔で取り付けられている。
【００３２】
図８は、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍを示す図である。
校正装置２Ａを用いることで形状測定機１を校正するには、まず、画像プローブ１２を回転させていない状態とするとともに、板状部材２７における面２７Ａを対物レンズ１２１の光軸と略直交させた状態とする。なお、この状態では、回転盤２２の回転軸と、Ａ軸とは平行となり、直線部分２８２と、Ｂ軸とは略平行となる。
そして、この状態において、画像プローブ１２にてプレート２８を撮像すると、図８に示すように、直線部分２８２は、クロスヘアと略平行となる。
【００３３】
そして、姿勢変更手段１３にてＡ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて直線部分２８２を撮像する場合には、直線部分２８２は、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍ内において画像プローブ１２の回転に応じて回転することとなる。したがって、直線部分２８２の傾斜を算出することで姿勢変更手段１３のＡ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きを算出することができる。
なお、前述した特許文献１に記載の校正装置と同様に円弧部分２８１の中心位置を算出することで画像プローブ１２の位置を校正することができる。
【００３４】
また、姿勢変更手段１３にてＢ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて直線部分２８２を撮像する場合には、Ｂ軸回りの回転角度と同じ角度だけ板状部材２７を回転させることで、板状部材２７における画像プローブ１２側の面２７Ａを対物レンズ１２１の光軸と略直交させることができる。この際、姿勢変更手段１３にプローブを保持させて接触子を球状部２９に接触させることで板状部材２７の姿勢を測定し、板状部材２７の姿勢を校正する。すなわち、プレート２８の位置を校正する。ここで、直線部分２８２は、姿勢変更手段１３のＢ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きがなければ、画像プローブ１２にて撮像される画像Ｉｍ内において略一定の傾斜となる。したがって、直線部分２８２の傾斜を算出することで姿勢変更手段１３のＢ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きを算出することができる。
【００３５】
さらに、姿勢変更手段１３にてＡ軸回りに画像プローブ１２を所定角度だけ回転させた状態でＢ軸回りに画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて直線部分２８２を撮像する場合には、Ａ軸回りの回転角度と同じ角度だけ回転盤２２を回転させる。この際、姿勢変更手段１３にプローブを保持させて接触子を球状部２９に接触させることで板状部材２７の姿勢を測定し、板状部材２７の姿勢を校正する。
これによれば、姿勢変更手段１３にてＢ軸回りにのみ画像プローブ１２を回転させながら画像プローブ１２にて直線部分２８２を撮像する場合と同様に姿勢変更手段１３のＢ軸回りの回転誤差、及び画像プローブ１２の傾きを算出することができる。
【００３６】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（５）板状部材２７には、３つの球状部２９が設けられているので、移動手段１４にプローブを保持させて接触子を球状部２９に接触させることで板状部材２７の姿勢を測定することができる。したがって、校正装置２Ａは、回転盤２２、及び板状部材２７の回転精度が十分でない場合であっても形状測定機１を適切に校正することができる。
【００３７】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記第１実施形態では、基準線は、線状部材２４とされ、前記第２実施形態では、基準線は、直線部分２８２とされていた。これに対して、例えば、基準線は、回転盤２２に直接描画される線であってもよい。要するに、基準線は、回転盤に設けられ、対物レンズの光軸と略直交する線であればよい。
【００３８】
前記第１実施形態では、線状部材２４は、対物レンズ１２１の焦点深度以下の幅とされていた。これに対して、線状部材は、対物レンズの焦点深度より大きい幅とされていてもよい。
前記第１実施形態では、回転盤２２には、２つの球状部２５２が設けられていたが、３つ以上の球状部が設けられていてもよく、球状部が設けられていなくてもよい。また、前記第２実施形態では、板状部材２７には、３つの球状部２９が設けられていたが、４つ以上の球状部が設けられていてもよく、球状部が設けられていなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、校正装置に利用でき、特に画像に基づいて被測定物を測定する測定機の校正に用いられる校正装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る形状測定機、及び校正装置を示す図。
【図２】前記実施形態における校正装置を示す拡大図。
【図３】前記実施形態における画像プローブを回転させていない状態を示す図。
【図４】前記実施形態における姿勢変更手段にてＡ軸回りにのみ画像プローブを回転させながら線状部材を撮像している状態を示す図。
【図５】前記実施形態における姿勢変更手段にてＢ軸回りにのみ画像プローブを回転させながら線状部材を撮像している状態を示す図。
【図６】前記実施形態における姿勢変更手段にてＡ軸回りに画像プローブを所定角度だけ回転させた状態でＢ軸回りに画像プローブを回転させながら画像プローブにて線状部材を撮像している状態を示す図。
【図７】本発明の第２実施形態に係る校正装置を示す図。
【図８】前記実施形態における画像プローブにて撮像される画像を示す図。
【符号の説明】
【００４１】
１…形状測定機（測定機）
２，２Ａ…校正装置
１１…定盤
１２…画像プローブ（撮像手段）
１４…移動手段
２１…基台
２２…回転盤
２４…線状部材（基準線）
２７…板状部材
２９…球状部
１２１…対物レンズ
２５２…球状部
２８２…直線部分（基準線）
【図１】
2010175495.tif 000003
【図２】
2010175495.tif 000004
【図３】
2010175495.tif 000005
【図４】
2010175495.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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