(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を収納する基板収納容器を梱包して輸送するときに、外気温が変化しても基板収納容器に収納した基板が結露したり、汚染されてしまうことを防止できる基板収納容器及びその梱包体を提供する。【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器１であって、この基板収納容器１を、梱包袋１１と、緩衝材１３と、梱包箱１４とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器１または梱包資材の少なくとも１つに保温層１２を設けて、基板収納容器１を取り囲むことを特徴とする。前記保温層１２は、空気層を有しているようにすること、また、調湿剤を有しているようにすること、また、前記基板収納容器１が、外周部に保護部材８を備えてるようにし、これを梱包する基板収納容器１の梱包体とすること、が好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、この基板収納容器を、梱包袋と、緩衝材と、梱包箱とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器または梱包資材の少なくとも１つに保温層を設けて、基板収納容器を取り囲むことを特徴とする基板収納容器の梱包体。
【請求項２】
前記保温層が、空気層を有している請求項１に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項３】
前記保温層が、調湿剤を有している請求項１に記載の基板収納容盟の梱包体。
【請求項４】
前記基板収納容器が、外周部に保護部材を備えている請求項１〜３の何れか１に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項５】
開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、この基板収納容盟を、梱包袋と、緩衝材と、梱包箱とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器または梱包資材の少なくとも１つに保温層を設けて、基板収納容盟を取り囲む基板収納容器。
【請求項６】
前記基板収納容器が、外周部にアクセサリー部品を有し、このアクセサリー部品よりも外側に突出する保護部材が設けられている請求項５に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハやガラス基板からなる基板等を収納、輸送、搬送、保管する際に使用される基板収納容器及びその梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいるが、この点に鑑み、基板収納容器は、内部に収納した基板の汚染防止のために、外部からのパーティクルや揮発性ガスの侵入を防止するに資する高い密封性と、基板収納容器を構成する材料が、内部の空間を揮発性ガスやイオン等で汚染することがない非汚染性がより強く求められてきている。こうした業界のニーズに対応するため、基板を収納する容器本体の開口正面を開閉する蓋体の内側に基板を保持する押え部材を取り付けて、蓋体を容器本体に自動的に取り付け取り外しするとともに、蓋体を取り付ける際に押え部材で精密基板を保持するようにした輸送用の基板収納容器に、フィルタを取り付けて、外部からの汚染物質の侵入を防止することが提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
この種の基板収納容器は、例えば複数枚の精密基板を上下方向に整列収納する容器本体と、この容器本体の開口正面を開閉するカバー体と、容器本体の開口正面に嵌合されたカバー体を施錠、解錠する施錠機構とを備えている。カバー体は、嵌合プレートと、表面プレートとを備え、プレート内に施錠機構を収容していて、蓋体に設けた貫通孔には、外部からの汚染物の侵入を防止するフィルタを保持したフィルタ部材が取り付けられている。
【０００４】
また、こうした基板収納容器は、内部に基板を収納して蓋体で密封した後に、樹脂製の袋や、アルミラミネート袋などの梱包袋に入れられて、開口部をヒートシール等で密封した後、所定の緩衝材を備えた梱包箱に入れられて、梱包されて、基板を使用する工場まで輸送される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２４５８５号公報
【特許文献２】特開２００２−６８２１６公報
【０００６】
従来の基板収納容器輸送する際には、図８に展開図として示したように、基板収納容器２１はアルミラミネート袋２２に密封された状態で、外周部を緩衝体２３に保護されて梱包箱２４に収納されて梱包される。こうした基板収納容器１の輸送は、近距離であればトラックなどの車両で運ばれ、遠距離になると航空機で輸送される。
こうした輸送のうち、特に遠距離を輸送されるときに、輸送途中や保管倉庫において、外気温が急激に変化するような環境に置かれる危険性がある。こうした状況では、基板収納容器の内部の空気中の水分が、温度が低下しやすい基板上で結露し易い状態となる。また、基板収納容器を取り囲む空気に含まれる水分が、梱包資材を透過して基板収納容器の内部に侵入することも考えられる。このとき、水分が容器内部から発生する揮発性有機物と反応したり結合したりして、基板表面に塩や結晶を形成してしまい、基板表面が汚染されてしまうことがあった。こうした基板表面の汚染は、基板を処理したり、加工したりするときに、薄膜形成や所定の加工が成されなくなってしまう加工不良となり、製品歩留まりを低下させたり、基板の他の部位を汚染させてしまう恐れがあった。
【０００７】
特に、従来の梱包形態では、保温層が基板収納容器の全周を覆うような考慮は、されていないので、外気温が低下したときに、梱包体の内部の空気や基板収納容器の温度も影響を受けやすく、その結果、基板収納容器及び内部の空気中に保持された水分や水蒸気が、結露し易い状態となっていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたもので、基板を収納する基板収納容器を梱包して輸送するときに、外気温が変化しても基板収納容器に収納した基板が結露したり、汚染されてしまうことを防止できる基板収納容器及びその梱包体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するため、開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、この基板収納容器を、梱包袋と、緩衝材と、梱包箱とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器または梱包資材の少なくとも１つに保温層を設けて、基板収納容器を取り囲むことを特徴とする基板収納容器の梱包体である。
【００１０】
なお、前記保温層は、空気層を有しているようにすること、また、調湿剤を有しているようにすること、が好ましい。なお、保温層は、基板収納容器の外側、アルミラミネート袋である得る梱包袋の内側、外側、梱包箱の内側、外側の少なくとも何れかひとつに形成することができるが、複数設けても良い。
【００１１】
また、前記基板収納容器が、外周部に保護部材を備えてるようにし、これを梱包する基板収納容器の梱包体とすること、も好ましい。
さらに、開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、この基板収納容器を、梱包袋と、緩衝材と、梱包箱とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器または梱包資材の少なくとも１つに保温層を設けて、基板収納容器を取り囲むことを特徴とする基板収納容器とすることができる。
【００１２】
さらにまた、基板収納容器が、外周部にアクセサリー部品を有し、このアクセサリー部品よりも外側に突出する保護部材が設けられている基板収納容器とすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれぽ、基板収納容器を使って基板を保管したり、輸送するときに、外気温が変化しても、基板上に結露が生じることを防止することで、基板を汚染する有機物の結晶の生成を効果的に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る基板収納容器１の第１の実施形態を示す略断面図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器１の第１の実施形態の梱包状態を示す略断面図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器１の第２の実施形態の梱包状態を示す略断面図である。
【図４】（ａ）空気層１５を有する第２の実施形態の保護シート１６、１９、２０を表す略断面図である。（ｂ）調湿剤１８を有する第２の実施形態の保護シート１６、１９、２０を表す略断面図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器１の第３の実施形態の梱包状態を示す略断面図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器１の第４の実施形態の梱包状態を示す略断面図である。
【図７】本発明に係わる基板収納容器１を表す斜視図である。
【図８】基板収納容器１の従来の梱包状態を表す展開斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明する。
本発明の第１の実施形態における基板収納容器１は、図１、図７に示すように、例えば１２インチの半導体ウェーハからなる複数枚（例えば２５枚、２６枚）の精密基板を収納する容器本体２と、この容器本体２の開口正面を開閉する着脱自在の蓋体３と、容器本体２の開口正面に嵌合された蓋体を蓋体開閉装置からの外部操作に基づいて施錠、解錠する左右一対の施錠手段と、蓋体の内面に設けられ、基板を保持するリテーナ４とを備え、搬送、輸送あるいは保管容器として使用される基板収納容器１である。
【００１６】
ここで、本発明の容器本体２は、各種の精密基板（３００ｍｍや４５０ｍｍの半導体ウェ一ハ、ガラスウェーハ、マスクガラス、液晶ガラス、記憶ディスク等）を収納、輸送、搬送、運搬、保管するフロントオープンボックスタイプでも良いし、通常は上下が開口し、外箱に収納された状態で使用され、各種の精密基板や物品の収納や取り出し時には倒して使用されるトップオープンボックスタイプでも良い。この容器本体２は、透明、半透明、不透明のいずれでも良く、背面壁、側壁、天井等に透視窓を適宜設けることもできる。また、蓋体３は、単数または複数のプレートを使用して透明、半透明、不透明に構成することができる。
【００１７】
基板収納容器１の外側に設けられるアクセサリー部材は、容器本体２の背面の外側下方に背面と平行に設けられるＲＦＩＤ（Radio Frequency Inentification）タグやバーコードなどの識別部材の保持プレートや、背面の側壁の中央部に設けられる工程管理用のカードケースを収納可能なホルダであっても良いし、容器本体２の側壁や天面に設けられる搬送用のハンドル部材やレール部材であっても良い。
【００１８】
容器本体２は、図１、図７に示すように、所定の樹脂を使用して透明のフロントオープンボックスタイプに成形され、両側壁の後部が内方向にそれぞれ部分的に傾斜して背面壁の面積が横長の正面の面積よりも小さく設定されている（図７）。
容器本体２の内部両側には、図７に図示を省略するが、平面略く字形あるいは略半円弧形をした左右一対の支持棚５が上下方向に所定のピッチでそれぞれ一体的に並設されており、この左右一対の支持棚５が精密基板を略水平に支持する。なお、支持棚５は、開口部、中間部、奥側部等に複数に分割されたものであっても良く、また、容器本体２と一体に形成されることもできるし、別体として形成して取り付けても良い。
【００１９】
容器本体２の背面側には、バーコード、二次元コード、ＲＦＩＤタグなどの工程管理用の識別部材を保持するホルダプレート１０が側壁から突出するように取り付けられている。そのため、基板収納容器１を梱包するにあたって、こうしたホルダプレート１０よりも突出する保護部品８を背面の各コーナー領域に取り付けている。
【００２０】
蓋体３は、その四隅部が丸く面取りされた横長の正面略矩形に形成され、一対の施錠手段が内蔵されていて、この周壁に嵌合されたエンドレスのシールガスケット６が容器本体２のリム部内に変形密嵌されることによりシール性が確保される。また、蓋体の表面には、施錠手段用の貫通操作孔（図示せず）が正面矩形に穿孔されており、この貫通操作孔に蓋体開閉装置の操作キーが貫通され、施錠機構が操作される。
なお、７は搬送用ハンドルである。
【００２１】
なお、こうした基板収納容器１は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ボリエーテルエーテルケトン、又は環状オレフィン樹脂等を用いて成形される。これらの材料には、導電性付与剤等が適宜添加される。
【００２２】
図１は、上記したような基板収納容器１を梱包するに当たり、コーナー部に空間形成用の保護部品８を取り付けたものである。容器の背面に着脱自在に取り付けられる空間形成用の保護部品８は、容器本体２の壁面に設けられる係合用の溝レールにスライドして係合可能なような係合部と固定部とを形成することで、容器本体に着脱自在に取り付けることができる。
こうした保護部品８は、基板収納容器１をアルミラミネート袋１１（図２）に入れて梱包するときに、基板収納容器１とアルミラミネート袋１１との間に空気による保温層１２を形成できるし、基板収納容器１、特には容器本体２の背面に取り付けられるカードケースや、識別部品の保持プレートを破損から保護する効果もある。
【００２３】
また、基板収納容器１の正面側の各コーナー部にも、空間形成用の第二の保護部品９を設けることが好ましい。こうした第二の保護部品９は、Ｌ字状の溝を有するように形成して基板収納容器１の正面側の各コーナーに単独で設けられたり、２つのコーナー部を連結して保護できるように長方形状の溝を有するように形成してもよい。また、ロの字状をした溝を有する枠体を１つ設けることも出来る。
【００２４】
図２は、図１の基板収納容器１の梱包状態を表す略断面図である。
輸送に当たっては、基板が縦となるように蓋体（図２では描かれていない）が上面にくるような状態に基板収納容器１を梱包する。保護部材や保護パッドにより保護された基板収納容器１は、アルミラミネート袋１１に収納されて、空間部を形成された状態で開口部が密封される。このようにアルミラミネート袋１１に収納された基板収納容器１は、基板収納容器１の外表面を受け入れ可能な収納部が形成されたシート材や発泡材料からなる緩衝材１３に支えられた状態でプラスチックコンテナやダンボール箱などの梱包箱１４に入れられて梱包される。
【００２５】
アルミラミネート袋１１の内部は、基板収納容器１の外周に取り付けられる第一、第二の保護部品９によって、基板収納容器１との間に空間が設けられているので、ここが、外部の温度が変化しても、熱が奪われることを防止する保温層１２の役割りをして、結果として基板表面の結露やそれに伴なう表面の汚染を防止できる効果が得られる。
【００２６】
保温層１２は、基板収納容器１の外周に設けられる保護部品８によってアルミラミネート袋１１と基板収納容器１の外周面との間に形成される空気層１５であっても良いし、後述する保護シート１６、１９、２０（図４）の内層に形成される空気層１７であっても良く、基板収納容器１やこれの梱包資材の外周に設けられる保護シート１６、１９、２０に断熱性能を持たせても良い。
【００２７】
図３は、基板収納容器の第２の実施形態の梱包状態を表す略断面図である。
先ほど用いた第一、第二の保護部品を用いる代わりに、基板収納容器１の外壁に、断熱や不透湿性を備えた保護シート１６（または１９、２０、図４も参照）をあてがったり、又は貼り付けた例である。こうした、保護シートをあてがったり、又は貼り付けた基板収納容器１は、先ほどと同様に、アルミラミネート袋１１に収納されて、空間部を形成された状態で開口部が密封される。このようにアルミラミネート袋１１に収納された基板収納容器１は、緩衝材１３に支えられた状態でプラスチックコンテナやダンボール箱などの梱包箱１４に入れられて梱包される。
【００２８】
前記保瞳シートは、図４（ａ）や図４（ｂ）のような形態に形成することができる。これらの保護シート１６、１９、２０は、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンなどの不透湿性のシート（１６）、前記不透湿シートから形成され表面に複数の密閉された空気層１７を有するシート（１９）、ポリエチレンやポリスチレン等各種の合成樹脂からなる発泡シート、表面に凹凸が形成された発泡シート、発泡シートとアルミ箔とをラミネートしたシート、アルミ箔とグラス繊維基材とをラミネートさせたシート、これらの断熱シートの一面に粘着層を設けて貼り付け可能とした粘着シートなどが使用できる。また、上記したこれらのシートを多層構造や収納ポケットを設けてここに、活性炭、ゼオライト、バーミキュライト、アルミノシリケート、マグネシアシリケート、カルシウムシリケート、珪藻土等の調湿剤１８を保持するようにラミネートしたり（２０）、開口部を封止した保護シート、等、各種の態様のものを使用することができる。この場合も、先ほどの実施形態と同様の断熱効果が得られるほか、外部環境から基板収納容器１内部への水分の透過も防止できる効果が得られる。また、保護シート１６、１９、２０を用いることで、基板収納容器１を輸送中に衝撃を緩和できる効果も得られる。
【００２９】
図５は、基板収納容器の第３の実施形態の梱包状態を表す略断面図である。
先ほど記載したように、基板収納容器の外壁に、保護シート１６、１９、２０を貼り付ける事の替わりに、梱包袋の内側に保護シート１６、１９、２０を張り合わせた例である。基板収納容器１は、先ほどと同様に、梱包袋１１に収納されて、断熱された状態で開口部が密封される。このように梱包袋１１に収納された基板収納容器１は、緩衝材１３に支えられた状態でプラスチックコンテナやダンボール箱などの梱包箱１４に入れられて梱包される。ここで、梱包袋は、保護シートを張り合わせるので、必ずしもアルミラミネート袋でなくても良い。
【００３０】
この場合も、前記したような材質からなる保護シート１６、１９、２０を用いることが出来る。この場合も、第一の実施形態と同様の効果が得られるほか、外部環境から基板収納容器内部への水分の透過も防止できる効果が得られる。
【００３１】
図６は、基板収納容器の第４の実施形態の梱包状態を表す略断面図である。
この場合は、梱包箱１４の外側に、断熱、不透湿シートを貼り付けた例である。基板収納容器１は、先ほどと同様に、梱包袋１１に収納されて、断熱された状態で開口部が密封される。このように梱包袋１１に収納された基板収納容器１は、緩衝材１３に支えられた状態でプラスチックコンテナやダンボール箱などの梱包箱１４に入れられて梱包される。
【００３２】
この場合も、先ほどの実施形態と同様の効果が得られる。なお、断熱シートは梱包箱１４の外側の他に、内側に貼るようにしても良い。また、調湿剤１８を梱包箱１４を形成する素材に練りこんだり、表面にコーティングさせても良い。
【符号の説明】
【００３３】
１：基板収納容器
２：容器本体
３：蓋体
４：リテーナ
５：支持棚
６：ガスケット
７：搬送用ハンドル
８：保護部品
９：第二の保護部品
１０：ホルダプレート
１１：アルミラミネート袋（梱包袋）
１２：保温層
１３：緩衝材
１４：梱包箱
１５：空気層
１６、１９、２０：保護シート
１７：（保護シート中の）空気層
１８：調湿剤
２１：基板収納容器
２２：アルミラミネート袋
２３：緩衝体
２４：梱包箱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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