(57)【要約】【課題】ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】押圧ヘッド４３によってテープＴおよび接着シートＳを介してウェハＷをテーブル２に向かって押圧した状態で、テープＴを引っ張って接着シートＳの端部をウェハＷから剥離するすることで、テープＴとともにウェハＷが起き上がることを抑制することができ、接着シートＳの端部をウェハＷから確実に剥離することができる。さらに、接着シートＳの端部を剥離してから全体剥離することで、全体剥離においてもウェハＷが起き上がって割れてしまうことを確実に防止することができる。【選択図】図４
2010087036.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記貼付手段は、前記接着シートの端部に対応した貼付位置にて前記剥離用テープを当該接着シートに貼付し、
前記押え手段が前記貼付位置よりも前記被着体の中央寄りの押圧位置にて、前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつけた状態において、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を前記被着体から剥離することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記貼付手段は、前記貼付位置において、前記剥離用テープの接着領域を押圧して当該剥離用テープを前記接着シートの端部に貼付するとともに、前記押圧位置において、前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートの押圧領域を前記被着体に向かって押さえつけることで、前記押え手段として機能する押圧ヘッドを有して構成されることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記押圧ヘッドは、前記貼付位置と前記押圧位置との間で前記接着シートに対して相対移動可能に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記押圧ヘッドは、前記貼付位置に対応した第１押圧ヘッドと、前記押圧位置に対応した第２押圧ヘッドとを有して構成されていることを特徴とする請求項２に記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、
前記押圧ヘッドは、加熱手段によって加熱されるヒータヘッドであるとともに、前記押圧位置において前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押圧する際に、加熱状態と非加熱状態とが切り替え制御可能に構成されていることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項６】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を保持する保持工程と、
前記剥離用テープを繰出す繰出工程と、
前記接着シートの端部に対応した貼付位置にて前記繰出された剥離用テープの接着領域を押圧して貼付する貼付工程と、
前記貼付位置よりも前記被着体の中央寄りの押圧位置にて前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え工程と、
前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつけた状態において、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する端部剥離工程と、
前記端部剥離工程の後に、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの全体を前記被着体から剥離する全体剥離工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
【請求項７】
前記押圧位置に対応した前記剥離用テープの押圧領域を前記接着シートに貼付する２次貼付工程を備えることを特徴とする請求項６に記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体チップを小型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという）の裏面を研削して薄くする工程がある。この研削工程においてはウェハの表面（回路が形成された面）に接着シートを接着するとともに、研削工程の後にこの接着シートはウェハから剥離される。そして、このような接着シートの剥離方法としては、剥離用テープを接着シートの端部に接着し、この剥離用テープを引っ張って接着シートをウェハから剥離する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
一方、研削工程において、ウェハの内周部を外周部のよりも深く研削することで、外周部よりも内周部が薄く形成され、つまり外周部にリング状の凸部が形成された半導体ウェハが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【特許文献２】特開２００７−１９３７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載されたような従来の剥離方法では、接着シートの端部における剥離用テープの接着領域としては、ウェハの外周に沿った周方向の長さと、ウェハの中心に向かう径方向の長さ（特許文献１では、距離ｄであり、ｄ≦３mm）とで規定され、この接着領域は、回路面が形成されることのない外周部の余剰領域を基に設定されている。
また、従来の剥離装置は、ウェハを保持するテーブルを有し、このテーブルに設けた吸引口等の吸引手段によって吸引することでウェハを保持するようになっている。
【０００５】
ここで、図７（Ａ）に示すように、感熱接着性の接着剤を有する剥離用テープＴを用いて接着シート９１を剥離する場合、接着領域９０に接着剤を溶着すると、接着剤は経時とともに硬化する傾向がある。このように硬化した剥離用テープＴを引っ張って接着シート９１の剥離を行うと、図７（Ｂ）に示すように、剥離用テープＴで引っ張られた接着領域９０が面状に同時に起き上がろうとする。その結果、接着領域９０に隣り合うウェハＷの境界部分Ｗ１に作用する応力が大きくなってしまい、境界部分Ｗ１でウェハＷが剥離用テープＴとともに起き上がってしまう。さらに、ウェハＷの起き上がりが大きくなると、場合によってはウェハＷが割れてしまう可能性もあった。
このようなウェハＷの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域９０のウェハＷの中心に向かう径方向の長さ（距離ｄ０）を短くすれば、解消されるが、ウェハＷの全面から接着シート９１を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープＴが接着シート９１から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。さらに、特許文献２に記載されたように内周部が薄く形成されたウェハでは、外周部の凸部ＷＡのみがテーブルの吸引手段で吸引され、内周部が吸引されないために、ウェハ全体の吸引力が小さくなってウェハＷの起き上がりが発生しやすくなる。
【０００６】
本発明は、以上のような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、前記接着シートの端部に対応した貼付位置にて前記剥離用テープを当該接着シートに貼付し、前記押え手段が前記貼付位置よりも前記被着体の中央寄りの押圧位置にて、前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつけた状態において、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を前記被着体から剥離する、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記貼付手段は、前記貼付位置において、前記剥離用テープの接着領域を押圧して当該剥離用テープを前記接着シートの端部に貼付するとともに、前記押圧位置において、前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートの押圧領域を前記被着体に向かって押さえつけることで、前記押え手段として機能する押圧ヘッドを有して構成されることが好ましい。
【０００９】
また、本発明のシート剥離装置では、前記押圧ヘッドは、前記貼付位置と前記押圧位置との間で前記接着シートに対して相対移動可能に設けられていてもよいし、あるいは、前記押圧ヘッドは、前記貼付位置に対応した第１押圧ヘッドと、前記押圧位置に対応した第２押圧ヘッドとを有して構成されていてもよい。
さらに、前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、前記押圧ヘッドは、加熱手段によって加熱されるヒータヘッドであるとともに、前記押圧位置において前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押圧する際に、加熱状態と非加熱状態とが切り替え制御可能に構成されていることが好ましい。
【００１０】
一方、本発明のシート剥離方法は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記被着体を保持する保持工程と、前記剥離用テープを繰出す繰出工程と、前記接着シートの端部に対応した貼付位置にて前記繰出された剥離用テープの接着領域を押圧して貼付する貼付工程と、前記貼付位置よりも前記被着体の中央寄りの押圧位置にて前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え工程と、前記剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを前記被着体に向かって押さえつけた状態において、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する端部剥離工程と、前記端部剥離工程の後に、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの全体を前記被着体から剥離する全体剥離工程とを備えることを特徴とする。
この際、本発明のシート剥離方法では、前記押圧位置に対応した前記剥離用テープの押圧領域を前記接着シートに貼付する２次貼付工程を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
以上のような本発明によれば、押え手段で剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを被着体に向かって押さえつけた状態で、剥離用テープを引っ張って接着シートの端部を被着体から剥離するため、被着体が接着シートとともに起き上がることを防止することができる。このようにして接着シートの端部を剥離してから、接着シート全体を剥離するようにすれば、被着体端部の起き上がりを抑制して被着体の起き上がりや割れを防止しつつ、接着シートを被着体から確実かつ円滑に剥離することができる。そして、前記特許文献２のウェハのように、外周部の凸部のみが保持手段に吸引されて保持される被着体であっても、押え手段で被着体を押さえつつ接着シートの端部を剥離することで、その起き上がりを確実に防止することができる。
【００１２】
さらに、貼付手段を構成する押圧ヘッドを押え手段として機能させるように構成したことで、押え手段としての別部材を設ける必要がなくなり、シート剥離装置の構造が簡単化できる。
そして、貼付位置と押圧位置との間を移動するように押圧ヘッドを構成すれば、剥離用テープを接着シートに貼付する機能と、剥離用テープおよび接着シート、または接着シートを被着体に向かって押さえつける機能との２つの機能を単一の押圧ヘッドで実現できる。一方、貼付位置に対応した第１押圧ヘッドと、押圧位置に対応した第２押圧ヘッドとを有して押圧ヘッドを構成すれば、第１および第２の押圧ヘッドを前記２つの機能に応じた形状、寸法にすることで、各機能に対して最適化を図ることができる。
【００１３】
さらに、剥離用テープが感熱接着性の接着テープであれば、感圧接着性の接着テープに比較して高い接着力が得られるため、各接着領域の接着面積を小さくすることができ、被着体の起き上がりをさらに抑制することができる。そして、感熱接着性の接着テープを用いることで、所定の接着領域のみを正確に接着することができるうえ、常温で接着力がないため、感圧接着性の接着テープを採用したときのように装置各所に非接着処理を施すといった装置の構成に注意を払う必要がなくなる。
この際、押圧ヘッドであるヒータヘッドにおける加熱状態と非加熱状態とを切り替え可能に構成したことで、このヒータヘッドを非加熱状態とすることで単純な押え手段として機能させることができる。一方、押圧位置においても剥離用テープを接着シートに貼付する必要があれば加熱状態にすることで、剥離用テープの接着領域が拡大でき、より大きな張力に対しても切れることなく円滑に接着シートを剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
【００１５】
〔第１実施形態〕
図１は、第１実施形態に係るシート剥離装置１を示す側面図である。
図１において、シート剥離装置１は、被着体としてのウェハＷの表面に貼付された接着シートＳを剥離用テープであるテープＴを用いて剥離する装置であって、ウェハＷを保持する保持手段であるテーブル２と、テープＴを繰出す繰出手段である繰出ユニット３と、繰出されたテープＴを接着シートＳに貼付する貼付手段である貼付ユニット４と、ウェハＷとテープＴとを相対移動させる移動手段５とを備えて構成されている。ここで、ウェハＷは、例えば、前記特許文献２に記載されたように内周部が薄く、かつ外周部にリング状の凸部ＷＡが形成され、薄く研削された内周部の表面（研削面の反対側）に回路が形成された半導体ウェハである。
テーブル２は、図示しない吸引口を介してウェハＷを吸着保持する平板状のテーブル本体２１を備え、ウェハＷの凸部ＷＡをその下面側から吸着保持可能に構成されている。
【００１６】
繰出ユニット３は、図示しない離脱装置に支持されて上下移動可能に設けられた繰出ユニット本体３１と、この繰出ユニット本体３１に設けられた支持ローラ３２およびガイドローラ３３，３４と、繰出ユニット本体３１下部に設けられてテープＴを下方から支持するテープ支持部３５と、テープＴを把持する一対の把持爪３６を含むチャック部材３７と、テープ支持部３５の上方に設けられて繰り出されたテープＴを切断するテープ切断部３８とを備えて構成されている。テープＴは、感熱接着性の接着テープであり、ロール状に巻取られた状態で支持ローラ３２に支持されている。
【００１７】
テープ支持部３５は、繰出ユニット本体３１に固定されるブッシュ３５１と、このブッシュ３５１に進退自在に支持されるロッド３５２と、このロッド３５２の先端に固定されるとともにカッター溝３５３を有するテープ受け板３５４と、テープ受け板３５４をブッシュ３５１から突出する方向に付勢するコイルばね３５５とを有して構成されている。テープ切断部３８は、テープＴを切断するカッター刃３８１と、テープＴを切断する際にカッター刃３８１を上下駆動させて当該カッター刃３８１をカッター溝３５３内に案内する上下用シリンダ３８２と、カッター刃３８１を図１中紙面直交方向に駆動してテープＴを切断する切断用シリンダ３８３とを有して構成されている。
【００１８】
貼付ユニット４は、図示しないユニット支持部に支持されて図１中繰出ユニット３の左側に設けられている。この貼付ユニット４は、図示しない押圧用モータの出力軸４１の下端部に設けられる押圧ヘッド４２と、この押圧ヘッド４２下端の押圧面部４３を加熱する加熱手段としてのヒータ４４とを備えて構成されている。押圧ヘッド４２は、押圧用モータの駆動により下方に向かって押し下げられるようになっている。さらに、押圧ヘッド４２は、図２(Ａ)，(Ｂ)に示すように、押圧面部４３がウェハＷの外周縁から外側にはみ出してテープＴを接着シートＳの端部に押圧して貼付する貼付位置と、図３(Ａ)，(Ｂ)に示すように、押圧面部４３全体がウェハＷの外周縁よりも内側で、かつウェハＷの凸部ＷＡの上側に位置してテープＴを接着シートＳに押圧する押圧位置との間を、ウェハＷに対して左右に相対移動できるように構成されている。
【００１９】
移動手段５は、図１中繰出ユニット３の紙面奥側に設けられた単軸ロボット５１、およびそのスライダ５２と、テーブル本体２１の下方に設けられた単軸ロボット５３、およびそのスライダ５４とから構成されている。単軸ロボット５１は、図示しない支持部に支持されて上下方向に移動可能とされている。スライダ５２には、チャック部材３７が取り付けられ、このスライダ５２は、図１中左右方向に移動可能とされるとともに、スライダ５４には、テーブル本体２１が取り付けられ、このスライダ５４は、図１中左右方向に移動可能とされる。これにより、チャック部材３７が接着シートＳに貼付されたテープＴを把持してウェハＷとの相対移動を可能とし、当該ウェハＷから接着シートＳを剥離することができるようになっている。
【００２０】
次に、本実施形態における接着シートＳの剥離方法として、シート剥離装置１の動作を図２〜図４も参照して説明する。
ウェハＷから接着シートＳを剥離する手順としては、先ず、図１に示すように、ウェハＷをテーブル２の所定位置に保持する（保持工程）とともに、シート剥離装置１の各部を初期位置設定した状態において、テープ切断部３８および貼付ユニット４が上方に移動して退避してから、単軸ロボット５１を介してチャック部材３７が繰出ユニット３に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪３６がテープ受け板３５４に当接すると、テープ受け板３５４をブッシュ３５１方向に押し込み、テープＴの先端を上下の把持爪３６間に受け入れる。そして、チャック部材３７は、把持爪３６を閉じてテープＴの先端を把持するとともに、テープＴを把持したまま繰出ユニット３から離れる方向に移動し、テープＴを所定長さ引き出して停止することで、繰出ユニット３からテープＴを繰出す（繰出工程）。
【００２１】
次に、図２(Ａ)，(Ｂ)に示すように、チャック部材３７とテープ受け板３５４との間にテープＴが掛け渡された状態において、貼付ユニット４は、押圧用モータを作動させて貼付位置に位置する押圧ヘッド４２を押し下げ、押圧ヘッド４２の押圧面部４３でテープＴの中間部を下降させて接着シートＳに押圧する。この際、押圧面部４３は、ヒータ４４により加熱され、テープＴの接着領域Ｒ１を接着シートＳに貼付する（１次貼付工程かつ貼付工程）。この１次貼付工程において接着される接着領域Ｒ１は、接着シートＳの外周端縁に沿った領域であり、剥離方向（図１中右側へ向かう方向）に沿った方向（ウェハＷの中心に向かう方向）における接着領域Ｒ１の貼付幅は、接着シートＳの外端から約１mmに設定されている。
【００２２】
次に、貼付ユニット４は、押圧用モータを作動させて押圧ヘッド４２を上昇させるとともに、押圧ヘッド４２を剥離方向に向かって押圧位置まで移動させてから、図３(Ａ)， (Ｂ)に示すように、再び押圧用モータを作動させて押圧ヘッド４２を押し下げ、押圧面部４３でテープＴの接着領域Ｒ１よりも右側（ウェハＷの中央寄り側）を下降させ、ウェハＷの凸部ＷＡの上側においてテープＴおよび接着シートＳを当該ウェハＷに向かって押圧する（押え工程）。この際、押圧面部４３は、再びヒータ４４により加熱され、テープＴの押圧領域Ｒ２を接着シートＳに貼付する（２次貼付工程）。この２次貼付工程において接着される押圧領域Ｒ２は、接着領域Ｒ１よりもウェハＷの中央寄りに位置するとともに、接着領域Ｒ１よりも広い接着面積を有して形成され、剥離方向に沿った方向における押圧領域Ｒ２の貼付幅は、約２mmに設定されている。
【００２３】
次に、図４(Ａ)に示すように、テープ切断部３８は、上下用シリンダ３８２によってカッター刃３８１をカッター溝３５３内に下降させ、切断用シリンダ３８３を駆動してカッター刃３８１によってテープＴを切断する。一方、貼付ユニット４は、ヒータ４４による加熱を停止して押圧ヘッド４２の押圧面部４３を非加熱状態にするとともに、押圧ヘッド４２の押圧面部４３でテープＴおよび接着シートＳをウェハＷに向かって押さえつけ、テープＴの押圧領域Ｒ２を押圧した状態を維持する。すなわち、押圧ヘッド４２を押え手段として機能させる。そして、単軸ロボット５１は、上方に移動するとともに、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材３７を剥離方向に移動させ、テープＴによって接着領域Ｒ１を引っ張ることで、接着シートＳの端部をウェハＷから剥離する（端部剥離工程）。この端部剥離工程において、接着シートＳの端部がウェハＷから剥離される距離は、接着領域Ｒ１の貼付幅と略同一に設定されている。そして、端部剥離工程の後、繰出ユニット３、テープ切断部３８および貼付ユニット４は、上方に移動し、単軸ロボット５１によるチャック部材３７の移動経路から退避する。
【００２４】
次に、図４(Ｂ)に示すように、単軸ロボット５１は、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材３７を右方向に移動させ、単軸ロボット５３（図１参照）は、テーブル２を左方向に移動させる。このように単軸ロボット５１および単軸ロボット５３によってテープＴとウェハＷとが互いに反対方向に移動し、テープＴによって接着シートＳを引っ張ることで、接着シートＳを順次ウェハＷから剥離していき、接着シートＳ全体を剥離する（全体剥離工程）。この後、剥離した接着シートＳが接着されたテープＴをチャック部材３７から離脱させて回収するとともに、接着シートＳを剥離したウェハＷを適宜な搬送装置でテーブル２から搬出し、シート剥離装置１の各部を初期位置に復帰させて接着シートＳの剥離手順が完了する。
【００２５】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、端部剥離工程において、押圧ヘッド４２によってテープＴおよび接着シートＳをウェハＷに向かって押圧した状態で、テープＴを引っ張って接着シートＳの端部（接着領域Ｒ１）をウェハＷから剥離するすることで、テープＴとともにウェハＷが起き上がることを抑制することができ、接着シートＳの端部をウェハＷから確実に剥離することができる。
さらに、端部剥離工程で先に接着シートＳの端部を剥離しているため、全体剥離工程においてウェハＷが起き上がって割れてしまうことを確実に防止することができる。
【００２６】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図５および図６に基づいて説明する。
図５(Ａ)，(Ｂ)には、シート剥離装置１Ａの動作のうちの１次貼付工程が示され、図６(Ａ)，(Ｂ)には、２次貼付工程が示されている。
本実施形態のシート剥離装置１Ａでは、貼付手段の構成が前記第１実施形態と相違するものの、その他の構成は、前記シート剥離装置１と略同様であり、このようなシート剥離装置１Ａによっても、前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２７】
シート剥離装置１Ａにおいて、貼付手段としての貼付ユニット４Ａは、押圧用モータの出力軸４１の下端部に設けられるヘッド支持部４５と、このヘッド支持部４５に上下移動可能に支持される第１押圧ヘッド４６および第２押圧ヘッド４８と、これら第１および第２の押圧ヘッド４６，４８下端の押圧面部４７，４９を加熱する加熱手段としてのヒータ４４とを備えて構成されている。第１および第２の押圧ヘッド４６，４８は、それぞれヘッド支持部４５の駆動により独立して上下移動可能とされるとともに、ヒータ４４によって独立して加熱状態または非加熱状態が切り替え可能に構成されている。そして、第１押圧ヘッド４６は、その押圧面部４７がテープＴの接着領域Ｒ１を接着シートＳの端部に押圧して貼付する貼付位置に設けられ、第２押圧ヘッド４８は、その押圧面部４９がウェハＷの外周縁よりも内側でテープＴの押圧領域Ｒ２を接着シートＳに押圧する押圧位置に設けられている。
【００２８】
このような構成のシート剥離装置１Ａは、以下のような手順でウェハＷから接着シートＳを剥離する。
先ず、図５(Ａ)，(Ｂ)に示すように、第１押圧ヘッド４６の押圧面部４７でテープＴの接着領域Ｒ１を接着シートＳの端部に押圧し、テープＴを加熱して貼付する（１次貼付工程かつ貼付工程）。次に、図６(Ａ)，(Ｂ)に示すように、ウェハＷの凸部ＷＡの上側において、第２押圧ヘッド４８の押圧面部４９でテープＴを接着シートＳにテープＴの押圧領域Ｒ２を接着シートＳに押圧し（押え工程）、テープＴを加熱して貼付する（２次貼付工程）。この後、貼付ユニット４Ａは、ヒータ４４による加熱を停止して第２押圧ヘッド４８の押圧面部４９を非加熱状態にするとともに、この押圧面部４９でテープＴの押圧領域Ｒ２を押圧したままの状態を維持する。すなわち、第２押圧ヘッド４８を押え手段として機能させる。この状態において、シート剥離装置１Ａは、前記第１実施形態と同様の端部剥離工程を実施して接着シートＳの端部をウェハＷから剥離するとともに、第１実施形態と同様の全体剥離工程を実施して接着シートＳ全体をウェハＷから剥離する。
【００２９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３０】
例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シート（シート、フィルム、テープ等）を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の接着テープであるテープＴを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートＳを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。
【００３１】
また、前記実施形態では、剥離用テープＴを接着シートＳに貼付する工程としては、１次および２次の貼付工程を有し、接着シートＳをウェハＷから剥離する工程としては、端部剥離工程と全体剥離工程を有した剥離方法（剥離装置）を示したが、これに限らず、押え工程の後に行われる２次貼付工程を省略してもよく、さらには貼付工程および剥離工程をそれぞれ３回以上実施するものであってもよい。この際、前記第１実施形態のように移動可能な押圧ヘッドを有して貼付手段を構成する場合には、貼付工程を行う回数に合わせた適宜な貼付位置に押圧ヘッドを移動制御すればよいし、また、前記第２実施形態のように複数の押圧ヘッドを有して貼付手段を構成する場合には、貼付工程を行う回数に合わせた押圧ヘッドを設ければよい。
さらに、前記第１実施形態では、押圧ヘッド４２を押え手段として用い、前記第２実施形態では、第２押圧ヘッド４８を押え手段として用いたが、本発明における押え手段は、押圧ヘッドで構成されるものに限らず、押圧ヘッドとは別体で設けられた押え板などによって構成されていてもよい。
【００３２】
さらに、前記実施形態では、繰出手段として、帯状のテープＴを供給するように図示、説明したが、テープＴは帯状のものに限らず、例えば、テープＴを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。
また、前記実施形態では、ウェハＷとテープＴとの両方を移動させて相対移動させる移動手段５を構成したが、これに限らず、ウェハＷとテープＴとのいずれか一方のみを移動させるように移動手段５を構成してもよい。また、ウェハＷとテープＴとを相対移動させるのは、端部剥離工程および全体剥離工程の両方であってもよいし、いずれか一方であってもよい。
さらに、前記実施形態では、押え工程において、押圧ヘッド４２がテープＴおよび接着シートＳをウェハＷに向かって押圧する構成としたが、押圧ヘッド４２が接着シートＳのみをウェハＷに向かって押圧する構成とし、この状態で端部剥離工程を行うように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１実施形態に係るシート剥離装置を示す側面図。
【図２】(Ａ)，(Ｂ)は、図１のシート剥離装置の動作説明図。
【図３】(Ａ)，(Ｂ)は、図２に続くシート剥離装置の動作説明図。
【図４】(Ａ)，(Ｂ)は、図３に続くシート剥離装置の動作説明図。
【図５】(Ａ)，(Ｂ)は、第２実施形態に係るシート剥離装置の動作説明図。
【図６】(Ａ)，(Ｂ)は、図５に続くシート剥離装置の動作説明図。
【図７】(Ａ)，(Ｂ)は、従来の不具合例を示す説明図。
【符号の説明】
【００３４】
１，１Ａ    シート剥離装置
２          テーブル（保持手段）
３          繰出ユニット（繰出手段）
４，４Ａ    貼付ユニット（貼付手段）
５          移動手段
４２        押圧ヘッド（押え手段）
４４        ヒータ（加熱手段）
４６        第１押圧ヘッド
４８        第２押圧ヘッド（押え手段）
Ｒ１        接着領域
Ｒ２        押圧領域
Ｓ          接着シート
Ｔ          テープ（剥離用テープ）
Ｗ          ウェハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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