(57)【要約】【課題】組立、保管される構成部品へパーティクルが付着するのを防止することができる作業台を提供する。【解決手段】クリーンルーム内に配置され、構成部品１１を組立又は保管するための作業台１０は、構成部品１１を載置する載置板１２と、該載置板１２に載置された構成部品１１を高温雰囲気で囲うためのヒータ１７と、載置板１２を覆い、載置板１２及び構成部品１１が直接接触するのを防止する、凹凸構造を有する載置板カバー１８とを備え、載置板カバー１８において構成部品１１に接触する部分は金属原子を含まない材料からなり、ヒータ１７は載置板１２に埋め込まれ、凹凸構造は載置板１２の端部において外側へ向けて開放する溝１９を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に配置され、部品を組立又は保管するための作業台において、
前記部品を載置する載置部と、
前記載置部に載置された前記部品を高温雰囲気で囲うための加熱装置と、
前記載置部を覆い、前記載置部及び前記部品が直接接触するのを防止する凹凸構造とを備え、
前記凹凸構造において少なくとも前記部品に接触する部分は金属原子を含まない材料からなることを特徴とする作業台。
【請求項２】
前記加熱装置は前記高温雰囲気の温度を前記クリーンルーム内の雰囲気の温度よりも少なくとも５℃以上高く維持することを特徴とする請求項１記載の作業台。
【請求項３】
前記加熱装置は前記載置部に埋め込まれているヒータであることを特徴とする請求項１又は２記載の作業台。
【請求項４】
前記加熱装置はランプヒータであることを特徴とする請求項１又は２記載の作業台。
【請求項５】
前記金属原子を含まない材料はポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の作業台。
【請求項６】
移動の際に回転する車輪と、前記車輪の回転に起因して発電する発電装置と、該発電装置が生じた電力を蓄電する蓄電装置とをさらに備え、
前記蓄電装置は前記加熱装置に電力を供給することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の作業台。
【請求項７】
前記凹凸構造は外側へ向けて開放する溝を形成することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の作業台。
【請求項８】
重ねて配された複数の前記載置部を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の作業台。
【請求項９】
前記部品の周囲において気流を生じさせる気流発生装置をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の作業台。
【請求項１０】
前記気流発生装置は前記気流を加熱する気流加熱部を有することを特徴とする請求項９記載の作業台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内において用いられる作業台に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの加工の微細化に伴い、半導体デバイス用のウエハへのパーティクルの付着を防止することが強く求められており、ウエハへのパーティクルの付着を防止する技術としてウエハを加熱する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ところでウエハへ付着するパーティクルは、ウエハに所定の処理、例えば、プラズマ処理を施す際に処理ガスから生じる反応生成物や、基板処理装置の構成部品が他の構成部品と接触した際に生じる欠片だけではなく、構成部品に付着しているパーティクルにも起因する。具体的には、構成部品を基板処理装置へ装着した後、該構成部品に付着しているパーティクルが剥離して装置内を漂い、やがてウエハへ到達、付着することがある。
【０００４】
そこで、基板処理装置をメンテナンスする場合、構成部品の組立、及びその後の保管は当該構成部品へのパーティクルの付着防止を考慮してクリーンルーム内に配置された作業台の上で行われる。通常、クリーンルーム内へはフィルタを介して空気が導入されるため、該クリーンルーム内を漂うパーティクルの数は少なく、特に、クリーンルーム内のオペレーションエリアへはウルパ（ＵＬＰＡ）フィルタを介して空気が導入されるため、その清浄度（クラス）はFed 209D規格でクラス１０である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１１５５１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、クラス１０であっても粒径１００ｎｍのパーティクルが１ｍ３中に１００００個の存在が許容されているため、近年主流となりつつある、幅が数１０ｎｍの溝の加工を考慮すると充分な清浄度とは言えない。
【０００７】
また、オペレーションエリアにおいても場所によって清浄度が異なる。例えば、ウルパフィルタ直下では清浄度が高いが、ウルパフィルタから遠い位置に存在する作業台の近傍では清浄度が低く、さらに、作業者は作業のし易さを考慮して作業台を移動させることが多いため、作業台の移動によって床面のパーティクルが巻き上げられ、作業台の近傍はより清浄度が悪化することがある。この他、作業者の手袋や工具からもパーティクルが剥離して漂うことがある。したがって、オペレーションエリアであっても、作業台の近傍の清浄度はさほど高くなく、作業台の上において組立、保管される構成部品へパーティクルが付着するのを防止するのは困難である。
【０００８】
本発明の目的は、組立、保管される構成部品へパーティクルが付着するのを防止することができる作業台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１記載の作業台は、クリーンルーム内に配置され、部品を組立又は保管するための作業台において、前記部品を載置する載置部と、前記載置部に載置された前記部品を高温雰囲気で囲うための加熱装置と、前記載置部を覆い、前記載置部及び前記部品が直接接触するのを防止する凹凸構造とを備え、前記凹凸構造において少なくとも前記部品に接触する部分は金属原子を含まない材料からなることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の作業台は、請求項１記載の作業台において、前記加熱装置は前記高温雰囲気の温度を前記クリーンルーム内の雰囲気の温度よりも少なくとも５℃以上高く維持することを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の作業台は、請求項１又は２記載の作業台において、前記加熱装置は前記載置部に埋め込まれているヒータであることを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の作業台は、請求項１又は２記載の作業台において、前記加熱装置はランプヒータであることを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載の作業台は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の作業台において、前記金属原子を含まない材料はポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする。
【００１４】
請求項６記載の作業台は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の作業台において、移動の際に回転する車輪と、前記車輪の回転に起因して発電する発電装置と、該発電装置が生じた電力を蓄電する蓄電装置とをさらに備え、前記蓄電装置は前記加熱装置に電力を供給することを特徴とする。
【００１５】
請求項７記載の作業台は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の作業台において、前記凹凸構造は外側へ向けて開放する溝を形成することを特徴とする。
【００１６】
請求項８記載の作業台は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の作業台において、重ねて配された複数の前記載置部を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項９記載の作業台は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の作業台において、前記部品の周囲において気流を生じさせる気流発生装置をさらに備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項１０記載の作業台は、請求項９記載の作業台において、前記気流発生装置は前記気流を加熱する気流加熱部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１記載の作業台によれば、クリーンルーム内において少なくとも部品が高温雰囲気で囲われるため、部品の周囲を漂うパーティクルは熱泳動力を受けて部品から遠ざけられる。これにより、作業台の上において組立、保管される部品へパーティクルが付着するのを防止することができる。また、凹凸構造が載置部及び部品が直接接触するのを防止するとともに、該凹凸構造は金属原子を含まない材料からなるため、部品が金属汚染されるのを防止することができる。
【００２０】
請求項２記載の作業台によれば、部品を囲う高温雰囲気の温度がクリーンルーム内の雰囲気の温度よりも少なくとも５℃以上高く維持されるので、部品の周囲を漂うパーティクルへ確実に熱泳動力を作用させることができる。
【００２１】
請求項３記載の作業台によれば、加熱装置は載置部に埋め込まれているヒータであるため、載置部に載置された部品を囲う雰囲気を確実に加熱することができる。また、ヒータは載置部に埋め込まれているため、該ヒータは作業者を邪魔することがなく、部品の組立、保管並びに作業台の移動を円滑に行うことができる。
【００２２】
請求項４記載の作業台によれば、加熱装置はランプヒータであるため、部品及び部品の周囲の雰囲気のみを限定的且つ効率的に加熱することができる。
【００２３】
請求項５記載の作業台によれば、凹凸構造を構成する金属原子を含まない材料はポリテトラフルオロエチレンであるため、部品が加熱されても凹凸構造が崩れることがなく、もって、部品が金属汚染されるのを確実に防止することができる。
【００２４】
請求項６記載の作業台によれば、移動の際に回転する車輪の回転に起因して発電する発電装置と、該発電装置が生じた電力を蓄電する蓄電装置とを備えるため、作業台の移動においてエネルギーを回収することができ、もって、無駄なエネルギーの消費を防止することができる。
【００２５】
請求項７記載の作業台によれば、凹凸構造は外側へ向けて開放する溝を形成するため、クリーンルーム内において作業台と衝突する気流が生じていた場合、該気流は溝内を作業台の外側に向けて流れる。その結果、部品に付着せず溝内に溜まったパーティクルを作業台から排除することができ、もって、作業台を洗浄することができる。
【００２６】
請求項８記載の作業台によれば、重ねて配された複数の載置部を有するので、複数の部品を一度に、且つ一箇所に保管することができ、もって、部品の保管効率を向上することができる。
【００２７】
請求項９記載の作業台によれば、部品の周囲において気流が生じるため、部品の周囲を漂うパーティクルを気流の粘性力によって排除することができ、もって、作業台の上において組立、保管される部品へパーティクルが付着するのを確実に防止することができる。
【００２８】
請求項１０記載の作業台によれば、部品の周囲において生じる気流が加熱されるため、気流は、部品の周囲を漂うパーティクルへ粘性力だけでなく熱泳動力も付与する。したがって、部品の周囲を漂うパーティクルを部品から確実に遠ざけることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る作業台の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の作業台におけるヒータや載置板カバーの構成を説明するための図であり、図２（Ａ）はヒータが載置板に埋め込まれた様子を示す断面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）におけるＡ部の拡大断面図であり、図２（Ｃ）は載置板カバーにおける溝の配置状況を示す平面図である。
【図３】熱泳動力を説明するための図である。
【図４】図１の作業台の洗浄方法を説明するための図である。
【図５】図１の作業台の変形例の構成を概略的に示す斜視図である。
【図６】載置板におけるヒータの埋め込み状況を示す平面図であり、図６（Ａ）は図１の作業台におけるヒータの埋め込み状況を示す平面図であり、図６（Ｂ）は図１の作業台の変形例におけるヒータの埋め込み状況を示す平面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る作業台の構成を概略的に示す側面図である。
【図８】図７の作業台の変形例の構成を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３１】
まず、本発明の第１の実施の形態に係る作業台について説明する。
【００３２】
図１は、本実施の形態に係る作業台の構成を概略的に示す斜視図である。この作業台１０は、ウルパフィルタ等によってパーティクルの数が意図的に減少させられたクリーンルーム内において、基板処理装置等の構成部品を組立又は保管するために用いられる。
【００３３】
図１において、作業台１０は、組み立てられる、若しくは保管される構成部品１１を載置する矩形平板状の載置板１２（載置部）と、該載置板１２の四隅に配置され且つ載置板１２を支持してクリーンルームの床面から離間させる４つの柱状の脚部１３と、各脚部１３の端部に設けられ且つ作業台１０を自在に移動させるためのキャスター１４（車輪）と、載置板１２の下面に配されたバッテリ１５（蓄電装置）と、各キャスター１４に附して設けられたジェネレータ１６（発電装置）とを備える。
【００３４】
各キャスター１４は作業台１０の移動に伴って回転し、各ジェネレータ１６は各キャスター１４の回転を利用して電力を生じ、バッテリ１５は各ジェネレータ１６が生じた電力を蓄電する。
【００３５】
また、作業台１０は、ヒータ１７（加熱装置）と、載置板１２を覆う凹凸状の載置板カバー１８（凹凸構造）とをさらに備える。ヒータ１７は、例えば、ニクロム線からなり、図２（Ａ）に示すように載置板１２に埋め込まれている。また、ヒータ１７はバッテリ１５と接続され、該バッテリ１５から供給される電力に起因して発熱し、載置板１２に載置された構成部品１１及び該構成部品１１の周囲の雰囲気を加熱し、結果として、構成部品１１をクリーンルーム内の雰囲気よりも温度の高い高温雰囲気で囲う。
【００３６】
載置板１２は、例えば、ＳＵＳからなるが、載置板カバー１８が載置板１２を覆うため、載置板１２のＳＵＳ及び構成部品１１が直接接触することはない（図２（Ｂ））。さらに、載置板カバー１８は金属原子を含まない材料、例えば、ポリテトラフルオロエチレンからなる。したがって、金属（原子）が構成部品１１へ接触することはない。
【００３７】
載置板カバー１８の凹凸構造は、載置板１２の平面視において碁盤目状に配された複数の溝１９を形成する（図２（Ｃ））。各溝１９は載置板１２の端部において外側に向けて開放されている。すなわち、溝１９内はクリーンルーム内と連通している。ここで、ファンフィルタユニット等によってクリーンルーム内に下降流（ダウンフロー）が形成されている場合、該下降流は載置板１２と衝突すると各溝１９内を載置板１２の外側に向けて流れる。
【００３８】
また、各溝１９は載置板カバー１８を厚み方向に関して貫通しており、構成部品１１や構成部品１１の周囲の雰囲気に対して載置板１２を溝１９内において露出させる。これにより、載置板１２から放出された熱は、載置板カバー１８に阻害されることなく、構成部品１１や構成部品１１の周囲の雰囲気へ伝達される。一方、載置板カバー１８がポリテトラフルオロエチレン等の樹脂からなる場合、樹脂は蓄熱効果を有するため、ヒータ１７への電力の供給を中止しても、その後しばらくの間、載置板カバー１８に蓄積された熱が構成部品１１や構成部品１１の周囲の雰囲気を加熱し続ける。
【００３９】
ところで、上述したように、クリーンルーム内のオペレーションエリアであっても、ウエハから製造される半導体デバイスの欠陥の要因となるパーティクルの付着が懸念されるため、本実施の形態では熱泳動力を用いて構成部品１１へのパーティクルの付着を防止する。
【００４０】
ここで、熱泳動力に関して図３を用いて説明する。パーティクルＰが存在する空間中に温度勾配があるとき、パーティクルＰに衝突する気体分子Ｍの運動量（図中細矢印）は、パーティクルＰの高温側及び低温側を比較すると、高温側の方が大きくなり、これにより、パーティクルＰは高温側から低温側へ向かう力（図中白抜き矢印）を受ける。このパーティクルＰが受ける力を熱泳動力という。
【００４１】
本実施の形態では、構成部品１１をクリーンルーム内の雰囲気よりも温度の高い高温雰囲気で囲うことにより、構成部品１１の周囲を漂うパーティクルに熱泳動力を作用させ、該パーティクルを高温側から低温側、すなわち、構成部品１１から遠ざかるように移動させる。ここで、熱泳動力は、低温側及び高温側の温度差が５℃以上あれば、確実にパーティクルに作用し、特に、雰囲気の圧力が１．３×１０Ｐａ（１００ｍＴｏｒｒ）〜１．３ｋＰａ（１０Ｔｏｒｒ）の場合であれば、パーティクルＰの大きく作用することから、本実施の形態では、ヒータ１７によって構成部品１１や構成部品１１の周囲の雰囲気の温度をクリーンルーム内の雰囲気の温度よりも５℃以上高く維持するとともに、ファンフィルタユニット等によってクリーンルーム内の圧力を１．３×１０Ｐａ〜１．３ｋＰａに維持する。
【００４２】
また、ヒータ１７によって構成部品１１を加熱すると、構成部品１１に既に付着しているパーティクルに対して熱応力が作用し、該構成部品１１から剥離する効果も得られる。
【００４３】
ところで、熱泳動力によって構成部品１１から遠ざけられ、又は熱応力によって構成部品１１から剥離したパーティクルは、クリーンルーム内の下降流や重力によって落下し、載置板カバー１８の表面、特に、各溝１９内に堆積することがある。これら堆積したパーティクルは構成部品１１へ再付着する可能性があるため、作業台１０から除去する必要がある。
【００４４】
図４は、図１の作業台の洗浄方法を説明するための図である。
【００４５】
図４において、クリーンルームから運び出された作業台１０は、洗浄装置（図示しない）内に搬入され、該洗浄装置が備える洗浄部材２０と対向するように配される。洗浄部材２０は平板状部材からなり、作業台１０の載置板１２と対向する面において多数の水蒸気噴出孔２１を有する。また、洗浄部材２０は載置板１２と平行且つ所定の間隔を空けるように配され、載置板１２との間に流路Ｓを形成する。
【００４６】
洗浄部材２０が載置板１２に向けて水蒸気（図中細矢印）を噴出すると、載置板カバー１８の表面や各溝１９内に堆積したパーティクルが浮き上がる。このとき、洗浄装置内に配された送風装置（図示しない）によって流路Ｓに気流（図中白抜き矢印）を生じさせると、浮き上がったパーティクルが気流によって流路Ｓから運び出される。その結果、作業台１０が洗浄される。
【００４７】
本実施の形態に係る作業台１０によれば、クリーンルーム内において構成部品１１が高温雰囲気で囲われ、該高温雰囲気の温度がクリーンルーム内の雰囲気の温度よりも５℃以上高く維持されるので、構成部品１１の周囲を漂うパーティクルは確実に熱泳動力を受けて構成部品１１から遠ざけられる。これにより、作業台１０の上において組立、保管される構成部品１１へパーティクルが付着するのを防止することができる。
【００４８】
また、載置板カバー１８が載置板１２のＳＵＳ及び構成部品１１が直接接触するのを防止するとともに、該載置板カバー１８は金属原子を含まない材料、例えば、ポリテトラフルオロエチレンからなるため、金属原子によって構成部品１１が金属汚染されるのを防止することができるだけでなく、構成部品１１が加熱されても載置板カバー１８が崩れることがなく、もって、載置板１２のＳＵＳが構成部品１１接触することによって該構成部品１１が金属汚染されるのを確実に防止することができる。なお、載置板カバー１８を構成する材料として、ポリテトラフルオロエチレン以外の耐熱樹脂を用いてもよく、若しくは、耐熱ゴムや硬質ゴムを用いてもよい。
【００４９】
上述した作業台１０では、ヒータ１７が載置板１２に埋め込まれているため、載置板１２に載置された構成部品１１及び該構成部品１１の周囲の雰囲気を確実に加熱することができる。また、ヒータ１７は作業者を邪魔することがないため、作業者は構成部品１１の組立、保管並びに作業台１０の移動を円滑に行うことができる。
【００５０】
また、上述した作業台１０は、該作業台１０の移動の際に回転するキャスター１４の回転に起因して発電するジェネレータ１６と、該ジェネレータ１６が生じた電力を蓄電するバッテリ１５とを備えるため、作業台１０の移動においてエネルギーを回収することができ、もって、無駄なエネルギーの消費を防止することができる。また、ケーブル等によって電力を供給する必要がないため、作業台１０を容易に移動させることができる。
【００５１】
上述した作業台１０では、載置板カバー１８は載置板１２の端部において外側へ向けて開放されている複数の溝１９を形成するため、クリーンルーム内において下降流が生じていた場合、該下降流は載置板１２と衝突した後、各溝１９内を作業台１０の外側に向けて流れる。その結果、構成部品１１に付着せず溝１９内に溜まったパーティクルを作業台１０から排除することができ、もって、作業台１０を下降流によって洗浄することができる。
【００５２】
上述した作業台１０では、載置板カバー１８が凹凸構造を有するため、載置板カバー１８の構成部品１１に対する接触面積は小さくなり、載置板カバー１８の表面に堆積したパーティクルが構成部品１１へ再付着する可能性を低くすることができる。なお、上述した作業台１０では、凹凸構造が各溝１９に囲まれた直方体状の複数の突起によって構成されたが、当該凹凸構造を半球状の複数の突起によって構成してもよい。この場合、載置板カバー１８の構成部品１１に対する接触面積をより小さくすることができ、もって、パーティクルが載置板カバー１８から構成部品１１へ再付着する可能性をさらに低くすることができる。
【００５３】
上述した作業台１０は、１つの載置板１２のみを備えたが、図５に示すように、重ねて配された複数の載置板１２を備えてもよい。これにより、複数の構成部品１１を一度に、且つ一箇所に保管することができ、もって、構成部品１１の保管効率を向上することができる。
【００５４】
また、上述した作業台１０では、ヒータ１７は載置板１２に埋め込まれたが、該ヒータ１７を載置板１２に埋め込むことなく、各溝１９内に配置してもよい。これにより、構成部品１１及び該構成部品１１の周囲の雰囲気の加熱効率を向上することができる。また、ヒータ１７の代わりに載置板１２の上方に配されたランプヒータを用いてもよい。該ランプヒータから熱線を構成部品１１に向けて照射することにより、構成部品１１及び構成部品１１の周囲の雰囲気のみを限定的且つ効率的に加熱することができる。
【００５５】
さらに、上述した作業台１０では、図６（Ａ）に示すように、載置板１２の全面に亘ってヒータ１７が埋め込まれているが、少なくとも構成部品１１の周囲を漂うパーティクルにさえ熱泳動力を作用させれば、構成部品１１へのパーティクルの付着を防止することができるため、図６（Ｂ）に示すように、構成部品１１の周囲にのみヒータ１７ａを埋め込んでもよい。これにより、ヒータ１７による消費電力を低減することができる。
【００５６】
また、作業台１０は、発電装置としてジェネレータ１６を用いたが、載置板１２に配された太陽電池を用いてもよい。
【００５７】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る作業台について説明する。
【００５８】
本実施の形態は、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、局所的に下降流を生じさせる下降流発生装置を用いる点で上述した第１の実施の形態と異なる。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００５９】
図７は、本実施の形態に係る作業台の構成を概略的に示す側面図である。
【００６０】
図７において、作業台２２は、載置板１２の上方において該載置板１２と対向するように配された局所ファンフィルタユニット２３（気流発生装置）と、該局所ファンフィルタユニット２３及び載置板１２の間の局所空間Ｔをクリーンルーム内の雰囲気から隔離するカーテン２４と、載置板１２の側方に配されて局所空間Ｔの雰囲気を吸引する吸引ユニット２５とを備える。
【００６１】
局所ファンフィルタユニット２３は載置板１２へ向けた下降流を生じさせ、吸引ユニット２５は該下降流を吸引するため、局所空間Ｔにおいて、図中細矢印で示すような、構成部品１１の周囲において該構成部品１１を取り巻いて流れる気流が生じる。該気流は、構成部品１１を囲う高温雰囲気に起因する熱泳動力を受けて構成部品１１から遠ざけられたパーティクルを粘性力によって運搬して局所空間Ｔから排除する。
【００６２】
本実施の形態に係る作業台２２によれば、構成部品１１の周囲において気流が生じるため、構成部品１１の周囲を漂うパーティクルを気流の粘性力によって排除することができ、もって、作業台２２の上において組立、保管される構成部品１１へパーティクルが付着するのを確実に防止することができる。
【００６３】
上述した作業台２２では、局所ファンフィルタユニット２３は下降流を加熱しないが、該局所ファンフィルタユニット２３がヒータ（気流加熱部）（図示しない）を備え、加熱された下降流を生じさせてもよい。これにより、構成部品１１の周囲において生じる気流は、構成部品１１の周囲を漂うパーティクルへ粘性力だけでなく熱泳動力も付与する。すなわち、構成部品１１の周囲を漂うパーティクルは、構成部品１１を囲う高温雰囲気からだけでなく気流によっても熱泳動力を受けるため、該パーティクルを構成部品１１から確実に遠ざけることができる。
【００６４】
上述した作業台２２は、１つの載置板１２のみを備えたが、図８に示すように、重ねて配された複数の載置板１２を備えてもよい。これにより、構成部品１１の保管効率を向上することができる。また、この場合、各載置板１２には該載置板１２を厚み方向に貫通する複数のパンチング穴２６を設けるのが好ましい。これにより、局所ファンフィルタユニット２３が生じる下降流を最下段の載置板１２まで到達させることができ、最下段の載置板１２において保管される構成部品１１へのパーティクルの付着も確実に防止することができる。
【００６５】
また、上述した作業台２２では、局所ファンフィルタユニット２３を作業台２２と一体的に構成したが、局所ファンフィルタユニット２３を作業台とは別に設け、例えば、構成部品１１を組立、保管する際に、作業台を局所ファンフィルタユニット２３の直下に移動させ、載置板１２に載置された構成部品１１に向けて下降流を生じさせてもよい。これにより、作業台の大きさを縮小できるため、作業台の移動を容易に行うことができる。
【符号の説明】
【００６６】
１０，２２  作業台
１１  構成部品
１２  載置板
１４  キャスター
１５  バッテリ
１６  ジェネレータ
１７，１７ａ  ヒータ
１８  載置板カバー
１９  溝
２３  局所ファンフィルタユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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