(57)【要約】【課題】基板に加熱した貼付ローラで接着テープを貼り付ける際に貼付ローラの外周面の加熱温度を均一化させる。【解決手段】貼付テーブル１８に吸着保持された基板１５上に貼付ローラ８を降下させて接着テープ３を基板１５上に押圧せしめた後、貼付ローラ８を貼付始端部３２から貼付終端部３３へと押圧転動させることによって接着テープ３を基板１５上に貼り付けるようにした基板１５への接着テープ貼付装置において、貼付ローラ８を回転自在となし、その内部には加熱ヒータ１０を内蔵して貼付ローラ８の外周部全面を加熱可能に構成するとともに、貼付テーブル１８の接着テープ貼付終端部３３付近には、その上昇位置で貼付ローラ８を強制的に回転駆動せしめる回転駆動機構９を設け、回転駆動機構９で貼付ローラ８を強制回転させることにより、貼付ローラ８の外周面全域の加熱温度を均一に保持させるようにする。【選択図】図４
2010062270.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その上面に基板を吸着保持する貼付テーブルと、該貼付テーブルの接着テープ貼付始端部と貼付終端部との間を往復動可能に、かつ貼付テーブル面に対して昇降可能に支持された貼付ローラとからなり、前記貼付テーブルに吸着保持された基板上に前記貼付ローラを降下させて接着テープを基板上に押圧せしめた後、該貼付ローラを前記貼付始端部から貼付終端部へと押圧転動させることによって接着テープを基板上に貼り付けるようにした基板への接着テープ貼付装置において、
前記貼付ローラを回転自在となし、その内部には加熱ヒータを内蔵して該貼付ローラの外周部全面を加熱可能に構成するとともに、前記貼付テーブルの接着テープ貼付終端部付近には、その上昇位置で貼付ローラを強制的に回転駆動せしめる回転駆動機構を設け、該回転駆動機構で貼付ローラを強制回転させることにより、該貼付ローラの外周面全域の加熱温度を均一に保持させるようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼付装置。
【請求項２】
前記貼付ローラの回転駆動を接着テープの貼り付け待機時に行なうようにしたことを特徴とする請求項１記載の接着テープ貼付装置。
【請求項３】
前記貼付ローラの外周長さを前記基板への接着テープの貼り付け長さ以上となるように設定し、該貼付ローラの１回転で基板に接着テープを貼り付けるようにしたことを特徴とする請求項１または２記載の基板への接着テープの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
基板への接着テープ貼付装置及び貼付方法に関する。さらに詳しくは、半導体ウエハ等の基板への接着テープの貼り付け時に貼付ローラの外周面全域の加熱温度を均一に保持した状態で接着テープを基板に押圧加熱しながら貼り付ける基板への接着テープ貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体チップの製造工程で、パターンの形成されたウエハのパターン形成面に保護テープを貼り付けておき、その裏面を研削して薄厚化させた後、その研削面にダイアタッチフィルムを貼り付け、続いてウエハのダイアタッチフィルム貼着面をダイシングテープにマウントして前記保護テープを剥離テープ等で剥離した後、ダイシングしてチップ化することが行なわれている。この半導体チップを前記ダイアタッチフィルムを介してダイパッドにマウントし、封止樹脂で封止して半導体装置が形成されている。
【０００３】
また、ウエハのパターン形成として、ドライフィルムレジストをウエハ表面に貼り付け、露光、エッチングを行なってパターンを形成することも行なわれている。
【０００４】
上記のように半導体の製造工程においては各種の接着テープがウエハに貼り付けられる工程があるが、ダイアタッチフィルムやドライフィルムレジストのウエハへの貼り付けは、加熱により粘着性を発する接着テープのため加熱しながら貼り付けを行なう必要がある。また、上記保護テープの貼り付けは、保護テープの粘着剤を加熱により軟化させて、表面パターンに食い込ませるように貼り付けて密着を良くさせる場合がある。
【０００５】
前記ダイアタッチフィルムの貼り付けは、ヒータの内蔵されたテーブル（ヒータユニット）にウエハを吸着保持して、１００〜２５０℃に加熱し、貼り付けテーブル上にウエハを移送した後、ウエハの研削面側にダイアタッチフィルム（接着シート）を耐熱性のシリコーンゴム等で形成された貼付ローラで押圧して貼り付けることが行なわれている（例えば特許文献１）。
【０００６】
また、ダイアタッチフィルムの貼り付けとして、最近ではウエハの薄厚化による加熱時のウエハの熱膨張による破損を防止するため、貼付テーブル側を加熱せずに、貼付ローラを加熱しながら、ダイアタッチフィルムをウエハに押圧して貼り付けることが行なわれている（例えば特許文献２）。
【０００７】
上記の貼付ローラは円筒状の金属体の内部にヒータを内蔵し、その金属体の表面に耐熱性のあるフッ素樹脂層を被覆したものや、ローラ本体をプラスチックやゴム等の非金属材料で形成し、外周面に沿って複数本のヒータを内蔵したものが用いられている。
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−１１２４９４号公報、図１、図３、図７、図１２
【特許文献２】特許第４０５４２５１号公報、図４、図５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上記の特許文献１のようにウエハにダイアタッチフィルムを貼り付ける前にヒータユニットで吸着加熱した後、貼付テーブルに移送して貼り付けを行なう場合、ヒータユニットの内臓ヒータが間隔をおいて配置されているため、加熱後のウエハの熱分布がばらつき、ダイアタッチフィルムを均一に貼り付けることができない問題や、貼り付け後のテープに厚みばらつきが発生し、テープ張力にばらつきが発生して貼り付け後のウエハが反ったりする問題があった。
【００１０】
また、ヒータユニットから貼付テーブルへのウエハの移送時に温度低下が発生し、貼付テーブルを温風で加熱していても、貼付テーブルの熱分布やウエハに温度のばらつきが発生し、上記同様にダイアタッチフィルムを均一に貼り付けることができない問題があった。
【００１１】
さらに、ヒータユニットでウエハを加熱した後、貼付テーブルにウエハを移送してダイアタッチフィルムの貼り付けを行なうため、ヒータユニットでの加熱工程が入り、貼り付けに時間を要す問題があった。
【００１２】
また、特許文献２のように、円筒状の金属体にヒータを埋め込む方法は、円筒状の金属体全体に熱が伝播するものの、外周表面は、熱の対流によって特に上下方向に温度分布のばらつきが発生し、貼付ローラの上側が下側よりも上昇気流によって高温となるため（例えば、１２０℃の加熱において１０℃前後のばらつきが発生する。）、ダイアタッチフィルムの貼り付けを均一に行なうことができない問題がある。
【００１３】
また、特許文献２のように複数のヒータをプラスチックやゴム等の非金属材料に内蔵する方法は、複数のヒータの設置に間隔が設けられており、ヒータ同士の隙間部分とヒータ設置部分で熱分布のばらつきが発生しダイアタッチフィルムの貼り付けを均一に行なうことができない問題がある。
【００１４】
また、各種の接着テープの貼り付けにおいて、貼付ローラの外周長さがウエハの貼り付け長さよりも小さい場合は、貼り付け途中に貼付ローラの一度使用した部分での温度低下が起こり、その部分が再度接着テープを押圧するので、接着テープへの熱の加わり方が均一にならない問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
そこで、請求項１の発明は、その上面に基板を吸着保持する貼付テーブルと、該貼付テーブルの接着テープ貼付始端部と貼付終端部との間を往復動可能に、かつ貼付テーブル面に対して昇降可能に支持された貼付ローラとからなり、前記貼付テーブルに吸着保持された基板上に前記貼付ローラを降下させて接着テープを基板上に押圧せしめた後、該貼付ローラを前記貼付始端部から貼付終端部へと押圧転動させることによって接着テープを基板上に貼り付けるようにした基板への接着テープ貼付装置において、前記貼付ローラを回転自在となし、その内部には加熱ヒータを内蔵して該貼付ローラの外周部全面を加熱可能に構成するとともに、前記貼付テーブルの接着テープ貼付終端部付近には、その上昇位置で貼付ローラを強制的に回転駆動せしめる回転駆動機構を設け、該回転駆動機構で貼付ローラを強制回転させることにより、該貼付ローラの外周面全域の加熱温度を均一に保持させるようにした基板への接着テープ貼付装置である。
【００１６】
また、請求項２の発明は、前記貼付ローラの回転駆動を接着テープの貼り付け待機時に行なうようにした請求項１記載の接着テープ貼付装置である。
【００１７】
上記のように接着テープを基板へ貼り付ける前や貼り付けた後の貼付ローラの貼り付け待機時に、貼付ローラを回転駆動させて回転させるようにしておけば、貼り付け作業に要する時間に影響せずに貼付ローラ外周の温度を均一にできる。
【００１８】
また、請求項３の発明は、前記貼付ローラの外周長さを前記基板への接着テープの貼り付け長さ以上となるように設定し、該貼付ローラの１回転で基板に接着テープを貼り付けるようにした請求項１または２記載の基板への接着テープの貼付装置である。
【００１９】
上記のように貼付ローラの外周長さを基板への接着テープの貼り付け長さ（例えば基板の直径以上）となるように設定すれば、該貼付ローラの１回転で基板の全面に均一に接着テープを貼り付けることができる。
【発明の効果】
【００２０】
回転駆動機構で貼付ローラを強制的に回転させておくようにしたので、貼付ローラの外周温度が対流等に左右されず、均一化され、接着テープの貼り付け時に一定の温度で押圧でき、接着テープの厚みを均一にして基板に貼り付けることができるので、貼り付けた接着テープの張力が均一となり残存応力も軽減できる。
【００２１】
また、上記のように接着テープの張力や厚みを均一にして基板に貼り付けるので、１００μｍ以下の厚みの基板であっても、貼り付け後の残存応力による基板の反りが発生することがなく、基板を破損することがない。
【００２２】
また、貼り付け作業以外の工程時に貼付ローラを回転させるようにしたので、貼り付け作業時間に影響せずに貼付ローラの外周面全域の加熱温度を均一に保持できる。
【００２３】
さらに、貼付ローラの外周長さを貼り付けする基板の貼り付け長さ以上となるようにしておき、１回転で貼り付けを完了するようにしておけば、接着テープ押圧の際に貼付ローラが接着テープに接触した部分の外周面温度が低下しても、その影響を受けずに均一に接着テープを基板に貼り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に本発明の接着テープ貼付装置の一実施形態について図１乃至図６に基づいて説明する。
【００２５】
図１のように図中手前には機台１２上にウエハ１５を多段状に複数枚収納したウエハ収納部２６と、ウエハ１５のノッチやオリフラを検出して位置決めするアライメント部５９と、ウエハ１５をウエハ収納部２６から１枚ずつ取り出してアライメント部５９及び貼付テーブル１８へと移送するとともに接着テープ３が貼り付けられた貼付済ウエハ１６を貼付済ウエハ収納部２７へ収納する搬送ロボット１７と、接着テープ３が貼り付けられた後の接着テープ貼付済ウエハ１６を積層して収納する貼付済ウエハ収納部２７が設けられている。
【００２６】
また、図中後方の機台１２上には接着テープ貼付ユニット６２が設けられ、前記接着テープ貼付ユニット６２には、広幅の接着テープ３を貼付テーブル１８上に供給する接着テープ供給リール５、前記接着テープ３の粘着面を保護するセパレータ４を接着テープ３から剥離して巻き取るセパレータ巻取リール６、貼付テーブル１８上に接着テープ３を引き延ばすテープチャック１４、貼付テーブル１８上に供給された接着テープ３を貼付テーブル１８上に吸着保持されたウエハ１５に加熱しながら押圧して貼り付ける貼付ローラ８、ウエハ１５に貼り付けられた接着テープ３をウエハ１５の外形に沿って切断するカッターユニット１９、前記切断された余剰部分の接着テープ３を巻き取る接着テープ巻取リール７が設けられている。
【００２７】
上記ウエハ収納部２６は、複数枚のウエハ１５を多段上に収納するカセットが設けられ、図示しない適宜な昇降機構によりウエハ１５が１枚ずつ搬送ロボット１７で取り出されるようになっている。また、搬送ロボット１７は、先端に吸着ハンドが設けられ、ウエハ１５を下方から吸着するようになっており、旋回と伸縮が自在に構成されている。前記吸着ハンドは、ウエハ収納部２６からウエハ１５を１枚ずつ吸着しての取り出しとアライメント部５９へのウエハ１５の移送、アライメント後のウエハ１５の貼付テーブル１８上への移送、貼付済ウエハ１６の貼付済ウエハ収納部２７への収納が可能になっている。
【００２８】
また、上記アライメント部５９は、搬送ロボット１７で搬送されるウエハ１５を吸着保持する吸着テーブル６０が設けられており、この吸着テーブル６０は図示しない適宜の機構で回転が可能になっている。また、吸着テーブル６０の近傍には適宜な光学手段でウエハ１５のノッチやオリフラを検出する光学センサ６１が設けられており、吸着テーブル６０により回転されるウエハ１５のノッチやオリフラを検出して位置決めするようになっている。
【００２９】
次に接着テープ貼付ユニット６２について、図１乃至図４に基づいて説明する。本実施形態では接着テープ３として３層のドライフィルムレジストを例として用いるが、これに限定されず、ウエハ１５のパターン形成面に貼り付ける保護テープやウエハ１５の裏面に貼り付けるダイアタッチフィルムなど基板に貼り付ける各種のテープが好ましく利用できる。
【００３０】
接着テープ貼付ユニット６２は、図２のように機枠２の右上に接着テープ供給リール５が設けられ、広幅の接着テープ供給リール５から接着テープ３がガイドローラ２８を経由してテンションローラ２９に掛け渡され、剥離ローラ３０で表面のセパレータ４が剥離された後、ガイドローラ３１を経てテープチャック１４で保持され、ガイドローラ２８群を経由して接着テープ巻取リール７に巻き取られるようになっている。
【００３１】
前記テンションローラ２９は、テンションアームに設けられており、繰り出される接着テープ３による張力変動をテンションアームが水平に保たれるように適宜の機構で制御することで接着テープ３の張力を適正に保つようになっている。
【００３２】
また、上記剥離ローラ３０で剥離されたセパレータ４はガイドローラ６３群を経由してテンションローラ３５で張力が調整されながらセパレータ巻取リール６に巻き取られるようになっている。
【００３３】
また、機枠２の中央部にはウエハ１５に貼り付けられた接着テープ３をウエハ１５の外周方向に沿って切断するカッターユニット１９が設けられている。前記カッターユニット１９にはカッター２０が設けられ、このカッター２０は、モータ２１による回転が可能になっている。また、カッターユニット１９は、支持板２２の背面に設けられたスライダ２５（図１参照）が機枠２の鉛直方向に設けられたレール２３と摺動可能に嵌合することで昇降シリンダ２４により上下動するようになっている。
【００３４】
次に上記貼付ローラ８について図３及び図４に基づいて説明する。貼付ローラ８は、接着テープ３の幅よりやや長いロール状の金属体と、前記金属体の外周に設けられた耐熱性のシリコーンゴム、フッ素ゴム等の弾性体１３と、前記金属体の内部に内蔵されたウエハ１５の外径以上の長さを有するカートリッジ状の加熱ヒータ１０とで構成され、金属体の両側面から突出したローラ軸６４、６４がベアリングを介して支持枠４６に回転可能に軸支されている。なお、加熱ヒータ１０を、ウエハ１５の直径以上の長さに設定しておけば、ウエハ１５に接着テープ３を貼り付ける際に貼付ローラ８の貼り付けに使用する部分の全体を均一に加熱する面で好ましい。さらには、接着テープ３全体に熱を均一に与える面で接着テープ３の幅以上の長さの加熱ヒータ１０を用いることがより好ましい。
【００３５】
また、上記ローラ軸６４の一端には耐熱性のゴムリング１１が外嵌され、貼付ローラ８と一体に回転するようになっており、ローラ軸６４の他端側は貼付ローラ８に内蔵された加熱ヒータ１０に接続されたヒータ線が貼付ローラ８の回転と分断するように適宜な部材（スリップリング等）を通じて外方に引き出され図示しない制御回路に接続されている。
【００３６】
なお、貼付ローラ８の外周長さが、貼り付けを行なうウエハ１５への接着テープ３の貼り付け長さ（例えばウエハ１５の直径）以上となるように設定することが好ましく、８インチウエハであれば例えば貼付ローラ８の外径を８０ｍｍに設定する。このようにすれば、貼り付け時に貼付ローラ８の回転１回で貼り付けが行なえ、一度貼り付けに使用された部分の温度低下の影響を受けずに接着テープ３を均一に貼り付けすることができる。
【００３７】
上記支持枠４６は上方に設けられた支持枠４４にシリンダ４７及びガイド４５を通じて上下動可能に接続されており、シリンダ４７を作用させることで貼付ローラ８が接着テープ３の背面側から貼付テーブル１８上に吸着保持されたウエハ１５に押圧するようになっている。
【００３８】
また、支持枠４４の両側部にはスライダ４３が設けられており、両機枠２、２に敷設されたレール４１、４１と嵌合し、レール４１、４１に沿って支持枠４４と一体に貼付ローラ８が水平動自在になっている。
【００３９】
また、図１、図４のように支持枠４４の一端は、ベルト４０と接続され、このベルト４０は、駆動プーリ３８と従動プーリ３９に掛け渡されており、駆動プーリ３８に接続されたモータ３７を駆動することでベルト４０を介して貼付ローラ８が支持枠４４と一体に上記レール４１、４１に沿って水平動するようになっている。
【００４０】
また、貼付ローラ８の前方にはガイドローラ３１が、貼付ローラ８の最下端よりも低位置に位置するように設けられ、このガイドローラ３１は支持枠４４の両側面から鉛直下方に延びた支持板に軸支されており、支持枠４４を介して貼付ローラ８とともに水平動自在になっている。
【００４１】
また、図１、図２、図４のように貼付ローラ８は、接着テープ貼付始端部３２と貼付終端部３３との間を往復動可能になっており、前記貼付終端部３３の近傍には、回転ローラ３４が設けられている。
【００４２】
前記回転ローラ３４は、モータ３６と接続され回転自在となっており、このモータ３６は、図３のように機台１２手前側の機枠２の下方に延設された支持枠４２に固定されて回転駆動機構９を構成している。なお、このモータ３６や回転ローラ３４は適宜、昇降動可能に設けても良い。
【００４３】
前記回転ローラ３４は、貼付ローラ８が上昇位置で回転ローラ３４上に位置する時に貼付ローラ８のローラ軸６４の一端に設けられたゴムリング１１と接して係合するようになっており、ゴムリング１１と回転ローラ３４が係合した際にモータ３６を駆動して回転ローラ３４を回転させ、この回転力をゴムリング１１に伝達して貼付ローラ８を回転させるようになっている。なお、この回転ローラ３４の回転は絶えず回転させておいても良いし、省電力化から、ゴムリング１１と係合した際にだけセンサ等で検知し、回転させるようにしても良い。
【００４４】
次に、貼付テーブル１８の詳細について図２及び図３に基づいて説明する。
【００４５】
貼付テーブル１８はウエハ１５を載置し、吸着保持する円形の内周テーブル５０とその外周に設けられ、内周テーブル５０の部分がくり貫かれた矩形状の外周テーブル５１とから構成されており、この内周テーブル５０は鉛直方向に２本のレール５４が延設され、支持板５３に固定されている。
【００４６】
また、前記外周テーブル５１の鉛直方向に２枚の支持板が対向するように延設され、その支持板の下方にスライダ５５が設けられており、このスライダ５５がレール５４に摺動可能に嵌合されている。
【００４７】
また、前記外周テーブル５１の下方には２つのシリンダ５２が接続されており、外周テーブル５１は、前記シリンダ５２を作用させることで、レール５４に沿って内周テーブル５０に対して上下動可能になっている。
【００４８】
また、機台１２上には間隔をおいて機台１２と平行にベース板４８が設けられ、このベース板４８は、貼付テーブル１８部分に開口が設けられており、その開口端に２個のスライダ４９が対向するように設けられている。
【００４９】
前記支持板５３の鉛直方向にはレール５６が延設され、前記スライダ４９と摺動可能に嵌合しており、また、前記支持板５３には機台１２上に設けられたシリンダ５７が接続されている。
【００５０】
前記支持板５３はシリンダ５７を駆動することにより、レール５６に沿って機台１２に対して上下動可能になっており、前記支持板５３を上下動させることにより、支持板５３と一体に内周テーブル５０と外周テーブル５１が上下動するようになっている。すなわち、貼付テーブル１８は、機台１２に対しての全体の上下動と外周テーブル５１の内周テーブル５０に対する独立した上下動とが可能になっている。
【００５１】
以上が、本発明の接着テープ貼付装置の構成であり、次に接着テープの貼り付け動作について、図５及び図６に基づいて説明する。なお、本実施形態においては、接着テープ３として保護フィルム６６、ドライフィルムレジスト６７、セパレータ４の３層で構成されたものを用いる。
【００５２】
図５（ａ）の二点鎖線のように、初期位置として貼付ローラ８は上昇位置で貼付終端部３３の右側方に位置し、加熱ヒータ１０により加熱された（例えば１００℃）状態にある。また、ゴムリング１１が回転ローラ３４に係合した状態にあり、モータ３６の駆動により回転ローラ３４が回転されて、貼付ローラ８が強制的に回転駆動されて外周面全域の加熱温度が均一に保持されている。
【００５３】
また、アライメント部５９で位置決めされたウエハ１５が内周テーブル５０上に搬送され吸着保持される。この時、ウエハ１５の上面と外周テーブル５１の上面とを外周テーブル５１をシリンダ５２で昇降させて一致させる。
【００５４】
続いて、剥離ローラ３０でセパレータ４が剥離された接着テープ３をテープチャック１４でチャックしながら、テープチャック１４と貼付ローラ８が実線位置の貼付始端部３２側に移動することで接着テープ３が貼付テーブル１８上に引き出される。この時、図示しないセンサにより、回転ローラ３４は貼付ローラ８のゴムリング１１が係合していないことを検知して回転を停止する。
【００５５】
図５（ｂ）のように貼付ローラ８をシリンダ４７の作用で貼付始端部３２に下降させ、接着テープ３の上面位置と一致するようにするとともに、貼付テーブル１８が貼り付け高さまでシリンダ５７の作用で上昇する。なお、この時の貼付テーブル１８の上昇端を接着テープ３の粘着面よりも適宜な量高くなるように設定すれば、一定の貼付ローラ８の押込み量を持って接着テープ３をウエハ１５に貼り付けることができる。
【００５６】
また、図示しないが、ウエハ１５の上面を外周テーブル５１の上面より突出するように内周テーブル５０の高さを調節しておき、貼付テーブル１８の上昇端を接着テープ３の粘着面よりも適宜な量高くなるように設定すれば、貼付ローラ８の押圧力が高まり、凹凸のあるウエハ１５の凹凸に接着テープ３を埋め込むように貼り付けることができる。
【００５７】
図５（ｃ）のように貼付ローラ８が接着テープ３をウエハ１５に加熱しながら貼付始端部３２から貼付終端部３３に向けて押圧転動し、接着テープ３をウエハ１５に貼り付ける。
【００５８】
図６（ｄ）のように貼付ローラ８は貼付テーブル１８からシリンダ４７の作用で上方に離間し、水平動して貼付終端部３３の右側方の回転ローラ３４上に移動する。この時、貼付ローラ８の前方に位置するガイドローラ３１が接着テープ３をガイドするようになっているので貼付ローラ８は接着テープ３から離間した状態となる。また、貼付ローラ８のローラ軸６４に取り付けられたゴムリング１１は、回転ローラ３４と接して係合した状態となる。
【００５９】
次に図６（ｅ）のようにカッターユニット１９がシリンダ２４の作用で下降し、カッター２０がモータ２１により回転してウエハ１５の外周に沿って接着テープ３を切断する。また、貼付ローラ８のゴムリング１１が回転ローラ３４に係合したことが検知され、回転駆動機構９のモータ３６を駆動して回転ローラ３４を回転させることにより、貼付ローラ８がゴムリング１１を介して回転を始める。
【００６０】
図６（ｆ）のように貼付テーブル１８が下降し、余剰部分の接着テープ３が貼付テーブル１８に密着して貼付テーブル１８とともに下降する。なお、貼付ローラ８は加熱状態で回転ローラ３４の回転により回転が続けられる。
【００６１】
図６（ｇ）のようにテープチャック１４が開放し、貼付テーブル１８上をテープチャック１４のローラが矢印方向に水平動することで、余剰部分の接着テープ３が貼付テーブル１８から剥離される。
【００６２】
上記工程が繰り返され、複数枚のウエハ１５に接着テープ３が連続的に貼り付けられる。
【００６３】
また、上記のように、貼付ローラ８は貼り付け動作を行なっていない間は加熱されながら回転駆動機構９で回転され、次の貼り付け動作に備えて外周面の加熱温度の均一化が行なわれる。
【００６４】
貼り付けが完了した貼付済ウエハ１６は、保護フィルム６６が剥離され、露光やエッチング等に供される。
【００６５】
なお、上記の貼付ローラ８の回転数は、使用する貼付ローラ８の材質や径にも依存するため特に限定はされないが、２〜５ｒｐｍで行なうことが好ましく、これより低速となると加熱ヒータ１０からの熱の拡散が不十分となり貼付ローラ８の温度分布が均一化し難く、また、高速となると、冷却効果により貼り付け温度よりも低温となり易い。
【００６６】
また、上記回転時間も使用する貼付ローラ８の材質や径にもよるため特に限定しないが、３０〜４０秒程度回転させることが好ましく、ウエハ１５の１枚の貼付け毎に要する時間を考慮して、貼付ローラ８が待機している間に回転させておけば良い。
【００６７】
また、回転駆動機構９は本実施形態においては、貼付終端部３３の右側方に設けたが、これに限定されるものではなく、接着テープ貼り付け作業時に貼付ローラ８やカッターユニット１９の動作の妨げにならない範囲で適宜の位置に設けることが可能である。
【００６８】
また、接着テープ３として上記のドライフィルムレジストだけでなく、各種サイズ、各種形状の基板に加熱しながら貼り付けるもの（例えばダイアタッチフィルム、保護テープ、ダイシングテープ）であれば、使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の接着テープ貼付装置の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ方向矢視図である。
【図４】本発明の接着テープ貼付装置の要部拡大説明図である。
【図５】（ａ）乃至（ｃ）  本発明の接着テープの貼り付け動作を表す説明図である。
【図６】（ｄ）乃至（ｇ）  本発明の接着テープの貼り付け動作を表す説明図である。
【符号の説明】
【００７０】
１    接着テープ貼付装置
２    機枠
３    接着テープ
４    セパレータ
５    接着テープ供給リール
６    セパレータ巻取リール
７    接着テープ巻取リール
８    貼付ローラ
９    回転駆動機構
１０    加熱ヒータ
１１    ゴムリング
１２    機台
１３    弾性体
１４    テープチャック
１５    ウエハ（基板）
１６    貼付済ウエハ
１７    搬送ロボット
１８    貼付テーブル
１９    カッターユニット
２０    カッター
２１    モータ
２２    支持板
２３    レール
２４    昇降シリンダ
２５    スライダ
２６    ウエハ収納部
２７    貼付済ウエハ収納部
２８    ガイドローラ
２９    テンションローラ
３０    剥離ローラ
３１    ガイドローラ
３２    貼付始端部
３３    貼付終端部
３４    回転ローラ
３５    テンションローラ
３６    モータ
３７    モータ
３８    駆動プーリ
３９    従動プーリ
４０    ベルト
４１    レール
４２    支持枠
４３    スライダ
４４    支持枠
４５    ガイド
４６    支持枠
４７    シリンダ
４８    ベース板
４９    スライダ
５０    内周テーブル
５１    外周テーブル
５２    シリンダ
５３    支持板
５４    レール
５５    スライダ
５６    レール
５７    シリンダ
５８    支持枠
５９    アライメント部
６０    吸着テーブル
６１    光学センサ
６２    接着テープ貼付ユニット
６３    ガイドローラ
６４    ローラ軸
６５    レール
６６    保護フィルム
６７    ドライフィルムレジスト
【図１】
2010062270.tif 000003
【図２】
2010062270.tif 000004
【図３】
2010062270.tif 000005
【図４】
2010062270.tif 000006
【図５】
2010062270.tif 000007
【図６】
2010062270.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月3日(2008.9.3)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
基板への接着テープ貼付装置に関する。さらに詳しくは、半導体ウエハ等の基板への接着テープの貼り付け時に貼付ローラの外周面全域の加熱温度を均一に保持した状態で接着テープを基板に押圧加熱しながら貼り付ける基板への接着テープ貼付装置に関する。