(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルの保護層表面に付着した蛍光体による放電不良を効果的に修復する。【解決手段】間に複数の放電セルを形成するように配置された前面板と背面板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、プラズマディスプレイパネルの全面を試験点灯させたときに点灯しない放電セルを検出する検査ステップＣ．３と、前記プラズマディスプレイパネルの全面を試験点灯させた状態で前記点灯しない放電セルに対して前記前面板の表面から振動を与える加振処理を行い、前記点灯しない放電セルが点灯すると前記加振処理を終了する加振ステップＣ．５とを有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
間に複数の放電セルを形成するように配置された前面板と背面板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、プラズマディスプレイパネルの全面を試験点灯させたときに点灯しない放電セルを検出する検査ステップと、前記プラズマディスプレイパネルの全面を試験点灯させた状態で前記点灯しない放電セルに対して前記前面板の表面から振動を与える加振処理を行い、前記点灯しない放電セルが点灯すると前記加振処理を終了する加振ステップとを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
検査ステップと加振ステップとの間に、前記検査ステップで検出した点灯しない放電セルにおいて前面板の内面に蛍光体が付着しているか否かを確認する確認ステップを有し、この確認ステップにおいて前記前面板の内面に前記蛍光体が付着していることが確認された場合、加振ステップを行うことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
加振ステップでは、プラズマディスプレイパネルの表示面と鉛直面との角度が０度以上１８０度以下となるようにプラズマディスプレイパネルを配置することを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
加振ステップでは、加振手段とプラズマディスプレイパネルの前面板の表面との間に樹脂シートを挟んだ状態で加振処理を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
樹脂シートの厚さは０．１ｍｍ〜０．２ｍｍであることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰは薄型、大画面の視認性に優れた表示デバイスであり、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになっている。このようなＰＤＰは、走査電極および維持電極、誘電体層、保護層などを形成した前面基板と、アドレス電極、隔壁および蛍光体層などを形成した背面基板とを対向配置して周囲を封着し、基板間に形成される放電空間に放電ガスを封入して構成されている。走査電極および維持電極とアドレス電極とは立体交差するように構成されており、その立体交差部には放電セルが形成される。赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）または青色（Ｂ）に発光する蛍光体層がそれぞれ形成された３つの隣り合う放電セルにより１つの画素が構成される。
【０００３】
ＰＤＰの製造工程では、例えば特許文献１に記載されているように、ＰＤＰに駆動回路を実装する前にＰＤＰに点灯信号を入力して点灯検査を行い、ＰＤＰが良品であるか不良品であるかを判定している。
【特許文献１】特開２００４−１７０２３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のＰＤＰの点灯検査において正常に点灯しない放電セルがあるために不良品と判定されたＰＤＰの中で、背面基板に形成した蛍光体層の蛍光体粒子の一部が前面基板の保護層表面に付着しているものがあることがわかった。特に１つの放電セルあたりの占有面積が小さくなる水平画素数１０８０、垂直画素数１９２０以上の高精細パネルにおいて、蛍光体粒子が保護層表面に付着した放電セルでは、保護層からの電子放出能力が低下して放電が不安定になり、正常に点灯できなくなっていた。このようなＰＤＰでは、保護層に付着した蛍光体粒子を保護層から除去することができれば正常に点灯するようになり、不良品とされていたＰＤＰを修復できる可能性があると考えられる。しかしながら、従来ではそのような修復のための作業を行っておらず、不良品として処理されていた。
【０００５】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、ＰＤＰの保護層表面に付着した蛍光体による放電不良を効果的に修復することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明は、間に複数の放電セルを形成するように配置された前面板と背面板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、プラズマディスプレイパネルの全面を試験点灯させたときに点灯しない放電セルを検出する検査ステップと、前記プラズマディスプレイパネルの全面を試験点灯させた状態で前記点灯しない放電セルに対して前記前面板の表面から振動を与える加振処理を行い、前記点灯しない放電セルが点灯すると前記加振処理を終了する加振ステップとを有することを特徴とする。
【０００７】
また本発明は、検査ステップと加振ステップとの間に、前記検査ステップで検出した点灯しない放電セルにおいて前面板の内面に蛍光体が付着しているか否かを確認する確認ステップを有し、この確認ステップにおいて前記前面板の内面に前記蛍光体が付着していることが確認された場合、加振ステップを行うことを特徴する。
【０００８】
さらに本発明における加振ステップでは、プラズマディスプレイパネルの表示面と鉛直面との角度が０度以上１８０度以下となるようにプラズマディスプレイパネルを配置することを特徴とする。
【０００９】
また本発明の加振ステップでは、加振手段とプラズマディスプレイパネルの前面板の表面との間に樹脂シートを挟んだ状態で加振処理を行うことを特徴とし、樹脂シートの厚さは０．１ｍｍ〜０．２ｍｍであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ＰＤＰの保護層表面に付着した蛍光体による放電不良を効果的に修復することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。まず、ＰＤＰの構造についてＡＣ（交流）型カラーＰＤＰの一例を示す断面図である図１を用いて説明する。図１（ａ）、図１（ｂ）は互いに直交する面で切ったＰＤＰの断面を示している。
【００１２】
図１に示すように、ガラス基板からなる背面基板１（第１基板）上にはストライプ状のアドレス電極２が形成され、それを覆うように誘電体層３が形成されている。誘電体層３上には、隣り合うアドレス電極２の中間に位置するようにストライプ状の隔壁４が形成され、隣り合う隔壁４の間にはＲ、ＧまたはＢに発光する蛍光体層５が形成されている。隔壁４の形状としては格子状でもよい。このように、背面基板１上にアドレス電極２、誘電体層３、隔壁４および蛍光体層５が形成されたものを背面板という。
【００１３】
またガラス基板からなる前面基板（第２基板）６上には、アドレス電極２と直交するように走査電極７および維持電極８が設けられ、走査電極７および維持電極８を覆うように誘電体層９が形成されている。さらに、誘電体層９上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主成分とする保護層１０が形成されている。走査電極７と維持電極８とは対となって表示電極を構成している。走査電極７と維持電極８はそれぞれ透明電極１１とその上に形成されたバス電極１２とから構成されている。このように、前面基板６上に走査電極７、維持電極８、誘電体層９および保護層１０が形成されたものを前面板という。
【００１４】
ＰＤＰ２０は、このような背面基板１と前面基板６とを対向配置させて周囲をフリットガラスで封着し、基板間に形成される放電空間１３にネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）などの希ガスを封入して構成されている。
【００１５】
図２はＰＤＰ２０の電極配列図である。行方向にｎ本の走査電極７およびｎ本の維持電極８が配列され、列方向にｍ本のアドレス電極２が配列されている。そして、１対の走査電極７および維持電極８と１つのアドレス電極２とが立体交差した部分に１つの放電セル１４が形成され、放電セル１４は放電空間内にｍ×ｎ個形成されている。放電セル１４は表示を行う最小単位であり、Ｒ、Ｇ、Ｂに発光する蛍光体層がそれぞれ形成された３つの隣り合う放電セルにより１つの画素が構成される。ｍ×ｎ個の放電セルが形成された領域は、画像表示が行われる表示領域である。
【００１６】
次に、ＰＤＰ２０の駆動方法について説明する。ＰＤＰ２０を駆動する方法としてはサブフィールド法が用いられている。これは、１フィールド期間を複数のサブフィールド（例えば第１ＳＦ、第２ＳＦ、・・・、第１０ＳＦ）に分割し、それぞれのサブフィールドで各放電セルの発光、非発光を制御することにより輝度表示を行う方法である。そして、サブフィールドのそれぞれは、初期化期間、書込み期間および維持期間を有する。図３はＰＤＰ２０の各電極に印加する駆動電圧の一例を示す波形図である。なお、走査電極については１行目とｎ行目の走査電極に印加する駆動電圧の波形を示している。
【００１７】
第１ＳＦの初期化期間では、まずその前半部において、アドレス電極２および維持電極８を０（Ｖ）に保持し、走査電極７に対して放電開始電圧以下となる電圧Ｖｉ１から放電開始電圧を超える電圧Ｖｉ２に向かって緩やかに上昇するランプ電圧を印加する。すると、すべての放電セルにおいて微弱な初期化放電を起こし、走査電極７、維持電極８およびアドレス電極２上に壁電圧が蓄積される。ここで、電極上の壁電圧とは電極を覆う誘電体層上や蛍光体層上等に蓄積した壁電荷により生じる電圧を指す。
【００１８】
続いて初期化期間の後半部において、維持電極８を正の電圧Ｖｅ１に保ち、走査電極７に電圧Ｖｉ３から電圧Ｖｉ４に向かって緩やかに下降するランプ電圧を印加する。すると、すべての放電セルにおいて再び微弱な初期化放電を起こし、走査電極７、維持電極８およびアドレス電極２上の壁電圧が書込み動作に適した値に調整される。
【００１９】
なお、１フィールド期間を構成するサブフィールドのうちいくつかのサブフィールドでは初期化期間の前半部を省略してもよく、その場合には、直前のサブフィールドで維持放電を行った放電セルのみに対して初期化動作が行われる。図３には、第１ＳＦの初期化期間では前半部および後半部を有する初期化動作を行い、第２ＳＦの初期化期間では後半部のみ有する初期化動作を行う駆動波形図を示している。第３ＳＦ以降のサブフィールドの初期化期間では第２ＳＦの初期化期間と同じ駆動電圧を各電極に印加する。
【００２０】
書込み期間では、まずすべての維持電極８に電圧Ｖｅ２を印加し、すべての走査電極７に電圧Ｖｃを印加する。そして、１行目に発光すべき放電セルのアドレス電極２に電圧Ｖｄの書込みパルスを印加するとともに、１行目の走査電極７に電圧Ｖａの走査パルスを印加する。すると、１行目に発光すべき放電セルで書込み放電が起こり、この放電セルの走査電極７上に正の壁電圧、維持電極８上に負の壁電圧が蓄積される。一方、書込みパルスを印加しなかったアドレス電極２と走査電極７とが立体交差した放電セルでは書込み放電は発生しない。以上の書込み動作をｎ行目の放電セルに至るまで順次行い、書込み期間が終了する。また、電圧Ｖｃは走査バイアス電圧であり、書込み放電により蓄積された壁電荷を保持する役割を担う。
【００２１】
続く維持期間では、維持電極８を０（Ｖ）に戻し、走査電極７に電圧Ｖｓの維持パルスを印加する。すると書込み放電を起こした放電セルでは走査電極７と維持電極８との間に維持放電が起こり発光する。このとき走査電極７上に負の壁電圧が蓄積され、維持電極８上に正の壁電圧が蓄積される。続いて走査電極７を０（Ｖ）に戻し、維持電極８に電圧Ｖｓの維持パルスを印加する。すると、維持放電を起こした放電セルでは再び維持電極８と走査電極７との間に維持放電が起こり、維持電極８上に負の壁電圧が蓄積され走査電極７上に正の壁電圧が蓄積される。以降同様に、走査電極７と維持電極８とに交互に必要な数の維持パルスを印加することにより、書込み放電を起こした放電セルで維持放電が継続して行われる。なお、書込み放電が起きなかった放電セルでは維持放電は発生しない。こうして維持期間における維持動作が終了する。
【００２２】
続く第２ＳＦ以降のサブフィールドの書込み期間および維持期間では、第１ＳＦの書込み期間および維持期間における動作とほぼ同様の動作を行う。このようにして、放電セルのそれぞれをサブフィールド毎に発光、非発光を制御して、各サブフィールドの維持期間の発光を組み合わせて画像表示を行う。
【００２３】
次に、ＰＤＰの製造方法について説明する。始めに、走査電極７、維持電極８、アドレス電極２のような電極を形成する方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、メッキ法、スクリーン印刷法、コーティング法、フィルムラミネート法などによってガラス基板上に電極材料の膜を形成し、この膜をフォトリソグラフィー法によってパターニングする方法と、スクリーン印刷法あるいはオフセット印刷法によりパターン形成する方法とがある。
【００２４】
また、誘電体層３、９を形成する方法として、スクリーン印刷法、ロールコーティング法、ダイコーティング法、フィルムラミネート法などが用いられる。また、隔壁４を形成する方法としては、コーティング法やスクリーン印刷法などにより、基板上に隔壁４用の材料で隔壁材料膜を形成し、隔壁材料膜上にフォトリソグラフィー法を用いてサンドブラストに耐性があるパターンをフォトレジスト膜で形成した後に、フォトレジスト膜をマスクとして不要部分を削り取り、隔壁４の部分のみを残すサンドブラスト法がある。隔壁４を形成する他の方法として、基板上に隔壁４用の材料の感光性ペーストをコーティング法により成膜後、フォトリソグラフィー法により直接隔壁４をパターニング形成する方法、隔壁パターンをマスク化したスクリーンを用い、隔壁４用の材料のペーストまたはインクを複数回印刷し、乾燥させて隔壁４を形成するスクリーン印刷法などがある。また、蛍光体層５を形成する方法としては、ディスペンサーによる塗布法や、スクリーン印刷法により隔壁４の間に各色の蛍光体ペーストを選択的に充填する方法などがあり、通常蛍光体ペースト塗布後に乾燥工程、焼成工程を経て蛍光体層５が形成される。
【００２５】
誘電体層９上に保護層１０を形成する方法としては、スクリーン印刷法、スパッタ法、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法、有機金属原料を用いた熱ＣＶＤ法（化学的気相成長法）などがある。現在では、マグネシウム（Ｍｇ）を主成分とする金属酸化物ペレットからなる蒸着源に、電子銃を用いて発生させた大電流の電子ビームを照射して蒸着源を加熱蒸発させ、酸素雰囲気中でＭｇを主成分とする金属酸化物であるＭｇＯ薄膜を形成させる電子ビーム蒸着法が最も広く用いられている。
【００２６】
次に、本発明の一実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について、図４に示すＰＤＰの製造フローを示す図を用いて説明する。
【００２７】
前面板はステップＡ．１〜Ａ．３により製造される。ステップＡ．１では、前面基板６上に透明電極１１、バス電極１２を形成する。次のステップＡ．２では、透明電極１１、バス電極１２を覆うように前面基板６上に誘電体層９を形成する。次のステップＡ．３では、誘電体層９上に保護層１０を形成する。
【００２８】
また、背面板はステップＢ．１〜Ｂ．４により製造される。ステップＢ．１では、背面基板１上にアドレス電極２を形成する。次のステップＢ．２では、アドレス電極２を覆うように背面基板１上に誘電体層３を形成する。次のステップＢ．３では、誘電体層３上に隔壁４を形成する。その後ステップＢ．４では、隣り合う隔壁４の間にＢ、Ｒ、Ｇそれぞれの色を発光する蛍光体層５を形成する。
【００２９】
次に、ステップＣ．１（パネル化ステップ）を行う。ステップＢ．１〜ステップＢ．４を行って各構成部材を形成した背面基板１の周囲にガラスフリットを塗布して乾燥させた後、その背面基板１とステップＡ．１〜ステップＡ．３を行って各構成部材を形成した前面基板６とを対向配置して加熱することにより封着する。続いて、基板間に形成された放電空間１３を排気した後、ＸｅガスとＮｅガスとからなる混合ガスを所望の圧力になるまで放電空間１３に封入する。
【００３０】
ステップＣ．２はエージングステップであり、維持パルスの高さ（電圧Ｖｓ）を２１０Ｖとしてエージング処理を行う。エージング処理は、ＰＤＰの全面（表示領域全体）を強制的に放電させてＰＤＰの画像表示特性を安定化するための処理である。エージング処理では、すべての走査電極７が電気的に共通となるように接続し、すべての維持電極８が電気的に共通となるように接続し、すべてのアドレス電極２が電気的に共通となるように接続した状態で各電極に電圧を印加する。
【００３１】
その後のステップＣ．３は検査ステップであり、ＰＤＰの表示品質検査を行う。このステップＣ．３においては、ＰＤＰが鉛直面に対して所定の角度（例えば４５度）となるように傾けた状態でＰＤＰの全面（表示領域全体）を試験点灯させ、点灯していない放電セル（不灯放電セル）の有無について検査する。ここで、ＰＤＰの全面を試験点灯させるときの各電極に印加する駆動電圧としては図３に示した駆動電圧を用いればよく、例えばすべてのサブフィールド（第１ＳＦ〜第１０ＳＦ）の書込み期間においてすべてのアドレス電極２に書込みパルスを印加する。
【００３２】
ステップＣ．３の表示品質検査で不灯放電セルを検出した場合にはステップＣ．４を行う。ステップＣ．４は確認ステップであり、不灯放電セルが発生している部分の前面板の内面（不灯放電セル内の保護層１０の表面）に蛍光体粒子が付着しているか否かを確認する。この確認を行う作業は、ＰＤＰの全面を試験点灯させた状態で行ってもよく、ＰＤＰの全面を点灯させていない状態で行ってもよい。
【００３３】
ステップＣ．４で不灯放電セル内の保護層１０の表面に蛍光体粒子が付着していることが確認できた場合には、ステップＣ．５（加振ステップ）において、不灯放電セルに対してＰＤＰ２０の前面板の表面から振動を与える処理（加振処理）を施す。一方、ステップＣ．４で保護層１０の表面に蛍光体粒子が付着していることが確認できなかった場合、そのＰＤＰは不良品として処理する。ステップＣ．４を行うことにより、保護層１０の表面に蛍光体粒子が付着している場合のみに加振処理を施すことができるので、修復可能な放電セルのみに対して修復作業を効果的に行うことができる。
【００３４】
なお、ステップＣ．３で不灯放電セルを検出した場合、ステップＣ．４を行うことなくステップＣ．５を行うようにしてもよい。すなわち、不灯放電セル内の保護層１０の表面に蛍光体粒子が付着しているか否かを確認することなく、不灯放電セルに対して加振処理を行うようにしてもよい。
【００３５】
図５はステップＣ．５において行われる加振処理を説明するための概略図であり、図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は側面図である。図５では、ＰＤＰ２０を支持するための機構やＰＤＰ２０を駆動するための手段などは図示していない。図５（ｂ）に示すように、前面板が左側になり背面板が右側になるように且つ走査電極７および維持電極８が水平面と平行になるようにＰＤＰ２０を配置している。角度θはＰＤＰ２０の表示面と鉛直面とのなす角度であり、前面板の表面がＰＤＰ２０の表示面となる。図５は、加振処理を行うための装置（加振装置）２１のホーン２１Ａ（加振手段）をＰＤＰ２０の前面板の表面に当てた状態を示しており、不灯放電セルが存在する位置にホーン２１Ａを当てている。ホーン２１Ａの先端部を振動させることにより、前面板の表面から不灯放電セルに対して振動を与えることができる。
【００３６】
ステップＣ．５では、ＰＤＰ２０の全面を試験点灯させた状態にし、ホーン２１Ａを用いて適当な時間に亘ってＰＤＰ２０の不灯放電セルに対して加振処理を行うことにより、保護層１０の表面に付着していた蛍光体粒子を保護層１０の表面から除去することができる。このとき、加振処理によって不灯放電セルが点灯するようになれば、加振処理によって除去された蛍光体粒子の量は妥当であると判断する。また、所定の時間（例えば３０秒）に亘って加振処理を行っても不灯放電セルが点灯しない場合には加振処理を終了し、そのＰＤＰは不良品として処理する。
【００３７】
加振処理を行うとき、図５（ｂ）における角度θが０度以上１８０度以下となるようにＰＤＰ２０を配置するのが好ましい。このようにＰＤＰ２０を配置した状態で加振処理を行うことにより、保護層１０の表面に付着した蛍光体粒子に重力が働くため、その蛍光体粒子をより一層除去しやすくなる。なお、角度θが０度の場合、ＰＤＰ２０の表示面が鉛直面と平行であり、前面板が左側になり背面板が右側になるようにＰＤＰ２０が配置された状態である。角度θが９０度の場合、ＰＤＰ２０の表示面が水平面と平行であり、前面板が上側になり背面板が下側になるようにＰＤＰ２０が配置された状態であり重力を最大限利用できるため最も好ましい。また、角度θが１８０度の場合、ＰＤＰ２０の表示面が鉛直面と平行であり、前面板が右側になり背面板が左側になるようにＰＤＰ２０が配置された状態である。
【００３８】
加振装置としては、例えば本多電子株式会社製のプラスチックウェルダーＳＯＮＡＣ−１５０を使用することができる。この装置は超音波振動を発生させるものであり、周波数２８ｋＨｚでホーン２１Ａの先端部（例えば直径Φ５．７ｍｍ）を振動させることができる。そして、例えば約３０秒間振動させることにより、不灯放電セルにおいて蛍光体粒子を保護層１０の表面から除去することができる。
【００３９】
また、ホーン２１Ａの先端部とＰＤＰ２０の表示面との間に樹脂シートを挟み、その樹脂シートを介してＰＤＰ２０の前面板側に振動を与えることにより、ホーン２１Ａの振動によってＰＤＰ２０の表示面に傷が付くことを防止することができる。ここで樹脂シートは例えば厚さ０．１ｍｍ〜０．２ｍｍのテフロン（登録商標）シートを使用することができる。
【００４０】
以上のように図４に示した各ステップを経ることにより、ＰＤＰが製造される。
【００４１】
さらに発明者らは次のことを確認した。すなわち、樹脂シートが薄すぎると加振手段によって破損し、ＰＤＰ表面に傷をつけ却って不良品になってしまう場合があり、樹脂シートが厚すぎると加振手段からの振動がＰＤＰ表面まで有効に伝達できず、リペア効果が減少してしまう。また樹脂シートは、加振手段が自己の振動で揺動することを抑止する機能をも有していることを実験によって明確化することにより、上記実施の形態において樹脂シートの適当な厚さは０．１ｍｍ〜０．２ｍｍであることを見出した。なお、樹脂シートの厚さは加振手段の周波数などに応じて適宜設定すればよい。
【００４２】
上記実施の形態では加振装置としてプラスチックウェルダーを用いた例を説明したが、振動モータを使用することも可能である。また、樹脂シートとしてテフロン（登録商標）シートを用いたが、同様の物性を持つ樹脂シートならば使用可能である。
【００４３】
また上記実施の形態ではＰＤＰ単体での製造方法について説明したが、ＰＤＰに駆動電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を接続し、当該ＰＤＰをシャーシに固定し、駆動回路基板を取り付けた後のセット状態における点灯検査時に本発明を実施することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明によれば、前面板内部に付着した蛍光体を効果的に除去できるので、ＰＤＰの生産歩留りを高めることができ、性能、品質の安定したＰＤＰの量産に際して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（ａ）、（ｂ）はＡＣ型カラーＰＤＰの一例を示す断面図
【図２】同ＰＤＰの電極配列図
【図３】同ＰＤＰの各電極に印加する駆動電圧の例を示す波形図
【図４】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造フローを示す図
【図５】（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態における加振処理を説明する概略図
【符号の説明】
【００４６】
１  背面基板（第１基板）
２  アドレス電極
３  誘電体層
４  隔壁
５  蛍光体層
６  前面基板（第２基板）
７  走査電極
８  維持電極
９  誘電体層
１０  保護層
１１  透明電極
１２  バス電極
２０  プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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