(57)【要約】【課題】光の走査速度を低くすることなく分解能を高めることが可能な光学式変位計を提供することである。【解決手段】高分解能計測モードでは、往路Ｆ１においてＸ方向における位置Ｐ１１〜Ｐ１５で計測が行われ、復路Ｂ１においてＸ方向における位置Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａで計測が行われ、往路Ｆ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂで計測が行われ、復路Ｂ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｃ〜Ｐ１５ｃで計測が行われる。このように、高分解能計測モードでは、光の走査方向の切り替わりに応じて、Ｘ方向における各計測点の位置がずれるように設定される。【選択図】図６
2010197113.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を発生する光発生部と、
前記光発生部により発生された光の投光方向を制御することにより対象物の表面で一方向に沿って光を走査させる光走査手段と、
対象物からの反射光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系の集光面に配設された複数の画素を有し、対象物までの距離に応じて変化する集光スポットの位置に対応した受光量分布を示す受光信号を出力する受光素子と、
第１の計測モードおよび第２の計測モードのうち予め設定された計測モードで対象物の前記一方向に沿った複数の計測位置からの反射光にそれぞれ対応する複数の受光信号が順次得られるように前記受光素子の露光タイミングを制御する制御手段とを備え、
前記往復走査における往路および復路のうち少なくとも一方が複数の計測位置を有する計測走査路として設定され、
前記制御手段は、前記第１の計測モードでは、前記一方向において各計測走査路の複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置とそれぞれ一致するように前記光走査手段および前記受光素子を制御し、前記第２の計測モードでは、前記一方向において各計測走査路の前記複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置に対してずれるように前記光走査手段および前記受光素子を制御することを特徴とする光学式変位計。
【請求項２】
前記制御手段は、前記往復走査における往路および復路のうち一方が前記計測走査路となるように前記光走査手段および前記受光素子を制御する第１の走査モードおよび前記往復走査における往路および復路のうち両方がそれぞれ前記計測走査路となるように前記光走査手段および前記受光素子を制御する第２の走査モードのいずれかに設定可能であることを特徴とする請求項１記載の光学式変位計。
【請求項３】
計測モードを前記第１の計測モードおよび前記第２の計測モードのうち一方に設定するための設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２記載の光学式変位計。
【請求項４】
前記受光素子から出力される受光信号に基づいて複数の計測位置での計測結果をそれぞれ示す複数の計測データを順次生成する計測データ生成部と、
前記計測データ生成部により生成される複数の計測データに基づいて対象物の表面の形状を示すプロファイルデータを生成するプロファイルデータ生成部とをさらに備え、
前記プロファイルデータ生成部は、前記第１の計測モードでは、各計測走査路の複数の計測位置に対応する複数の計測データに基づいてプロファイルデータを生成し、前記第２の計測モードでは、複数の計測走査路の複数の計測位置に対応する複数の計測データに基づいてプロファイルデータを生成することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光学式変位計。
【請求項５】
プロファイルデータに含まれる計測データの数を入力するために用いられる入力手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記入力手段により入力された計測データの数に基づいて計測モードを前記第１の計測モードおよび前記第２の計測モードのうち一方に設定することを特徴とする請求項４記載の光学式変位計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の断面形状を計測するための光学式変位計に関する。
【背景技術】
【０００２】
三角測距の原理を利用した光学式変位計では、対象物（以下、ワークと呼ぶ）の表面の計測点に光が照射され、その反射光が１次元または２次元に配列された画素を有する受光素子により受光される。受光素子により得られる受光量分布のピーク位置に基づいて計測点の高さを計測することができる。
【０００３】
ワークの断面形状を計測するために、光走査方式の光学式変位計が用いられる（例えば特許文献１参照）。光走査方式の光学式変位計では、投光部によりワークの一方向（以下、Ｘ方向と呼ぶ）に光が往復走査される。この場合、Ｘ方向に沿った複数の計測点からの反射光による複数の受光量分布がそれぞれ得られる。各受光量分布は、増幅器により増幅された後、デジタルの波形データに変換される。複数の受光量分布に対応する波形データのピーク位置に基づいてＸ方向に沿った複数の計測点の高さが検出される。それにより、ワークのＸ方向に沿った断面形状を計測することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３６１３７０８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の光走査方式の光学式変位計では、光の走査の各往路および各復路における計測点の間隔（以下、計測間隔と呼ぶ）を小さくすることにより、より高い分解能でワークの断面形状を計測することが可能になる。
【０００６】
しかしながら、計測間隔を小さくするためには、光の走査速度を低くする必要がある。そのため、計測に要する時間が長くなる。
【０００７】
また、ワークの表面の形状を３次元的に検出する場合、光をＸ方向に走査させつつワークを光学式変位計に対してＸ方向に略垂直なＹ方向に相対的に移動させる。この場合、ワークの相対的な移動速度が一定であれば、光の走査速度が低くなるほど、ワーク上において光が走査される領域のＹ方向における間隔が大きくなる。それにより、計測を行うことができないワーク上の領域が大きくなる。
【０００８】
また、ＭＥＭＳ（微小電子機械システム）等からなる偏向素子を用いて光を走査させる場合、光の走査の往復周期が素子固有の共振周波数で固定される。そのため、光の走査速度が低くなると、光の走査幅が小さくなる。したがって、この場合にも、計測を行うことができないワーク上の領域が大きくなる。
【０００９】
本発明の目的は、光の走査速度を低くすることなく分解能を高めることが可能な光学式変位計を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明に係る光学式変位計は、光を発生する光発生部と、光発生部により発生された光の投光方向を制御することにより対象物の表面で光を走査させる光走査手段と、対象物からの反射光を集光する集光光学系と、集光光学系の集光面に配設された複数の画素を有し、対象物までの距離に応じて変化する集光スポットの位置に対応した受光量分布を示す受光信号を出力する受光素子と、第１の計測モードおよび第２の計測モードのうち予め設定された計測モードで対象物の一方向に沿った複数の計測位置からの反射光にそれぞれ対応する複数の受光信号が順次得られるように受光素子の露光タイミングを制御する制御手段とを備え、往復走査における往路および復路のうち少なくとも一方が複数の計測位置を有する計測走査路として設定され、制御手段は、第１の計測モードでは、一方向において各計測走査路の複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置とそれぞれ一致するように光走査手段および受光素子を制御し、第２の計測モードでは、一方向において各計測走査路の複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置に対してずれるように光走査手段および受光素子を制御するものである。
【００１１】
その光学式変位計においては、光発生部により発生された光の投光方向が光走査手段によって制御され、その光が対象物の表面で一方向に沿って走査される。対象物からの反射光は、集光光学系によって集光されて受光素子に入射する。受光素子により、集光スポットの位置に対応する受光量分布を示す受光信号が出力される。出力された受光信号に基づいて、対象物の各計測位置の高さを計測することができる。
【００１２】
制御手段により、第１および第２の計測モードのうち予め設定された計測モードで受光素子の露光タイミングが制御される。この場合、対象物の一方向に沿った複数の計測位置からの反射光にそれぞれ対応する複数の受光信号が順次得られる。それにより、一方向に沿った対象物の断面形状を計測することができる。
【００１３】
往復走査における往路および復路のうち少なくとも一方が複数の計測位置を有する計測走査路として設定される。第１の計測モードでは、一方向において各計測走査路の複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置とそれぞれ一致する。第２の計測モードでは、一方向において各計測走査路の複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置に対してずらされる。
【００１４】
これにより、光の往復走査を複数回行った場合、第１の計測モードでは、一方向において同じ計測位置で複数回の計測を行うことができる。それにより、各計測位置での計測誤差を平均化することができる。一方、第２の計測モードでは、第１の計測モードよりも一方向における計測位置の数が多くなる。すなわち、第２の計測モードでは、第１の計測モードよりも一方向において高い分解能で対象物の断面形状を計測することができる。
【００１５】
また、第２の計測モードで計測を行う場合において、光の走査速度を低くする必要がない。そのため、迅速に計測を行うことができる。また、対象物を光学式変位計に対して相対的に移動させる場合、対象物の表面の全体にくまなく光を走査することができる。
【００１６】
上記の第１の計測モードと第２の計測モードとを切り替えることにより、目的に応じた最適な計測結果を得ることが可能になる。
【００１７】
（２）制御手段は、往復走査における往路および復路のうち一方が計測走査路となるように光走査手段および受光素子を制御する第１の走査モードおよび往復走査における往路および復路のうち両方がそれぞれ計測走査路となるように光走査手段および受光素子を制御する第２の走査モードのいずれかに設定可能であってもよい。
【００１８】
この場合、第１の走査モードと第２の走査モードとを切り替えることにより、計測条件を容易に変更することが可能になる。
【００１９】
（３）光学式変位計は、計測モードを第１の計測モードおよび第２の計測モードのうち一方に設定するための設定手段をさらに備えてもよい。
【００２０】
この場合、ユーザが設定手段によって計測モードを第１の計測モードおよび第２の計測モードのうち一方に任意に設定することができる。それにより、目的に応じて計測モードの切り替えを容易かつ確実に行うことができる。
【００２１】
（４）光学式変位計は、受光素子から出力される受光信号に基づいて複数の計測位置での計測結果をそれぞれ示す複数の計測データを順次生成する計測データ生成部と、計測データ生成部により生成される複数の計測データに基づいて対象物の表面の形状を示すプロファイルデータを生成するプロファイルデータ生成部とをさらに備え、プロファイルデータ生成部は、第１の計測モードでは、各計測走査路の複数の計測位置に対応する複数の計測データに基づいてプロファイルデータを生成し、第２の計測モードでは、複数の計測走査路の複数の計測位置に対応する複数の計測データに基づいてプロファイルデータを生成してもよい。
【００２２】
この場合、計測データ生成部により生成される複数の計測データに基づいて、プロファイルデータ生成部により対象物の表面の形状を示すプロファイルデータが生成される。
【００２３】
第１の計測モードでは、各計測走査路の複数の計測位置に対応する複数の計測データに基づいてプロファイルデータが生成される。第２の計測モードでは、複数の計測走査路の複数の計測位置に対応する複数の計測データに基づいてプロファイルデータが生成される。
【００２４】
ここで、第１の計測モードでは、計測走査路毎にプロファイルデータが生成される。そのため、計測時間を短縮することができる。一方、第２の計測モードでは、一方向において、各計測走査路の複数の計測位置が前の計測走査路の複数の計測位置に対してずらされる。そのため、第１の計測モードに比べて、一方向におけるより多くの計測位置での計測結果に基づいてプロファイルデータが生成される。したがって、第２の計測モードでは、第１の計測モードよりも高い分解能のプロファイルデータが得られる。
【００２５】
（５）光学式変位計は、プロファイルデータに含まれる計測データの数を入力するために用いられる入力手段をさらに備え、制御手段は、入力手段により入力された計測データの数に基づいて計測モードを第１の計測モードおよび第２の計測モードのうち一方に設定してもよい。
【００２６】
この場合、ユーザにより入力手段を介してプロファイルデータに含まれる計測データの数が入力される。入力された計測データの数に基づいて、計測モードが第１の計測モードおよび第２の計測モードのうち一方に自動的に設定される。これにより、ユーザの要求に応じた最適な計測モードで計測が行われる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、第２の計測モードで光の走査速度を低くすることなく高い分解能で対象物の断面形状を計測することができる。そのため、迅速に計測を行うことができる。また、対象物を光学式変位計に対して相対的に移動させる場合、対象物の表面の全体にくまなく光を走査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施の形態に係る光学式変位計の構成を示すブロック図である。
【図２】光学式変位計によるワークの断面形状の計測方法について説明するための模式図である。
【図３】光学式変位計によるワークの断面形状の計測方法について説明するための模式図である。
【図４】波形データの一例を示す模式図である。
【図５】標準計測モードについて説明するための模式図である。
【図６】高分解能計測モードについて説明するための模式図である。
【図７】他の計測条件の例について説明するための模式図である。
【図８】他の計測条件の例について説明するための模式図である。
【図９】他の計測条件の例について説明するための模式図である。
【図１０】他の計測条件の例について説明するための模式図である。
【図１１】他の計測条件の例について説明するための模式図である。
【図１２】他の計測条件の例について説明するための模式図である。
【図１３】計測モード設定処理のフローチャートである。
【図１４】計測モード設定処理のフローチャートである。
【図１５】設定項目の組み合わせの例を示す図である。
【図１６】標準計測モードでのフィードバック制御について説明するための模式図である。
【図１７】高分解能計測モードでのフィードバック制御について説明するための模式図である。
【図１８】高分解能計測モードでのフィードバック制御について説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の一実施の形態に係る光学式変位計について図面を参照しながら説明する。
【００３０】
（１）光学式変位計の構成
図１は、本実施の形態に係る光学式変位計の構成を示すブロック図である。図１に示すように、光学式変位計１００は、投光部１、受光部２、投光制御部３、受光制御部４、波形生成部６、計測条件制御部７、波形処理部８、プロファイル生成部９、計測処理部１０およびインターフェース部１１を備える。
【００３１】
投光部１は、投光素子２１、投光レンズ２２および走査部２３を含む。投光素子２１は、例えばレーザダイオードを含み、ビーム状の光を発生する。その光は、投光レンズ２２および走査部２３を介して対象物（以下、ワークと呼ぶ）Ｗに照射される。走査部２３は、例えばガルバノスキャナを含み、後述のように、ワークＷの表面で１次元的に光を走査する。
【００３２】
受光部２は、受光素子３１および受光レンズ３２を含む。ワークＷからの反射光は、受光レンズ３２を介して受光素子３１に入射する。受光素子２は例えばＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）センサを含み、一方向に配列された複数の画素を有する。これにより、複数の画素の配列方向における受光量分布を示すアナログの受光信号が得られる。
【００３３】
投光制御部３は、例えば投光素子２１の駆動電流を調整することにより、投光素子２１が発生する光の強さ（以下、発光レベルと呼ぶ）を制御する。受光制御部４は、受光素子３１の露光時間を制御する。
【００３４】
波形生成部６は、増幅器およびアナログ／デジタル変換器を含む。受光素子３１により得られる受光信号は、増幅器により増幅された後にアナログ／デジタル変換器によりアナログ／デジタル変換される。これにより、デジタルの波形データが得られる。
【００３５】
計測条件制御部７は、ユーザによる設定に基づいて、走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を制御する。また、計測条件制御部７は、波形生成部６により得られる波形データに基づいて、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６をフィードバック制御する。計測条件制御部７の制御動作については後述する。
【００３６】
波形処理部８は、波形生成部６により得られる波形データに基づいて、投光部１からワークＷの表面の各計測点までの距離を示す距離情報を生成する。計測点については後述する。
【００３７】
プロファイル生成部９は、波形処理部８により算出された距離情報に基づいて、ワークＷの断面形状を表すプロファイルデータを生成する。計測処理部１０は、プロファイル生成部９により作成されたプロファイルデータに対する補正処理および計測処理を行う。ここで、計測処理とは、プロファイルデータに基づいてワークＷの表面の任意の部分の寸法を算出する処理である。
【００３８】
インターフェース部１１には、設定操作部１２が接続される。設定操作部１２は、例えばパーソナルコンピュータからなり、キーボード、マウス等の入力装置およびディスプレイ等の表示装置を含む。ユーザが設定操作部１２の入力装置を操作することにより、インターフェース部１１を通して、光学式変位計１００の種々の設定が行われる。具体的には、計測条件制御部７内の記憶部７０に、光学式変位計１００の動作に関する種々の情報が記憶される。計測条件制御部７は、記憶部７０に記憶された情報に基づいて、走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を制御する。
【００３９】
なお、設定操作部１２は、光学式変位計１００の外部装置として設けられてもよく、光学式変位計１００に一体的に設けられてもよい。
【００４０】
（２）計測方法
図２および図３は、光学式変位計１００によるワークＷの断面形状の計測方法について説明するための模式図である。図４は、波形データの一例を示す模式図である。なお、図２および図３においては、矢印Ｘ，Ｙ，Ｚで示すように、互いに直交する３方向をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と定義する。また、図４の波形データにおいては、横軸が画素の配列方向における受光素子３１上の位置に相当し、縦軸が受光量に相当する。
【００４１】
本例では、ワークＷ上の各計測点のＺ方向における位置（高さ）が計測される。ここで、計測点とは、受光素子３１の１回の露光期間に、光が照射されるワークＷ上の部分をいう。
【００４２】
計測時には、受光制御部４（図１）により受光素子３１が露光される。このとき、図２に示すように、投光部１からワークＷ上の計測点Ｐ１に照射された光は、受光レンズ３２を通して受光素子３１に入射する。この場合、点線で示すように、計測点Ｐ１の高さが異なると、受光素子３１への反射光の入射位置がＹ１方向において異なる。それにより、受光素子３１の受光量分布が異なる。
【００４３】
受光素子３１の各画素は、受光レンズ３２による集光面上において、Ｙ１方向に沿って配列されている。ここで、集光面とは、複数の集光点により形成される面をいう。
【００４４】
受光素子３１の受光量分布を示す受光信号は、波形生成部６（図１）により波形データに変換される。図４に示すように、波形データは、画素の配列方向における受光素子３１の受光量分布を示す。そのピーク位置は、計測点Ｐ１の高さに対応し、計測点Ｐ１の高さが変化すると、ピーク位置が変化する。すなわち、波形データのピーク位置に基づいて、計測点Ｐ１の高さを検出することができる。
【００４５】
図３に示すように、投光部１からの光は、走査部２３（図１）によりワークＷの表面でＸ方向に沿って往復走査される。所定のタイミングで、ワークＷからの反射光により受光素子３１が露光される。
【００４６】
この場合、投光部１からの投光方向に基づいてＸ方向における各計測点の位置が認識されるとともに、受光素子３１の受光量分布に基づいてＺ方向における各計測点の位置（各計測点の高さ）が検出される。それにより、Ｘ−Ｚ平面に沿ったワークＷの断面形状を２次元的に検出することができる。
【００４７】
さらに、連続的または断続的にワークＷをＹ方向に相対的に移動させる。それにより、ワークＷの表面形状を３次元的に検出することが可能になる。
【００４８】
（３）計測条件の設定
本実施の形態の光学式変位計１００においては、ユーザが設定操作部１２により種々の設定を行い、その設定内容に基づいて、計測条件制御部７が走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を制御する。それにより、種々の条件でワークＷの断面形状の計測を行うことができる。以下、詳細に説明する。
【００４９】
（３−１）計測モード
本実施の形態では、標準計測モードおよび高分解能計測モードのいずれかの計測モードで計測が行われる。ユーザは、設定操作部１２を走査することにより、計測モードを任意に切り替えることができる。
【００５０】
図５は、標準計測モードについて説明するための模式図であり、図６は、高分解能計測モードについて説明するための模式図である。図５および図６においては、光が往路Ｆ１、復路Ｂ１、往路Ｆ２および復路Ｂ２の順に走査される場合の受光素子３１の露光タイミング（計測タイミング）が示される。横軸はＸ方向におけるワークＷ上での光の走査位置に相当する。なお、図５および図６において、Ｘ方向における光の走査位置は、投光部１からのＸＺ平面での投光方向に対応する。
【００５１】
（３−１−１）標準計測モード
図５の例では、光の走査の往路Ｆ１，Ｆ２および復路Ｂ１，Ｂ２において、Ｘ方向における位置Ｐ１１〜Ｐ１５で計測が行われる。このように、標準計測モードでは、Ｘ方向における各計測点の位置が、光の走査の全ての往路および復路で共通に設定される。
【００５２】
この場合、光の走査の往路および復路毎に、１つのプロファイルデータが生成される。すなわち、往路Ｆ１，Ｆ２および復路Ｂ１，Ｂ２の各々における計測結果に基づいて１つのプロファイルデータがそれぞれ生成される。
【００５３】
なお、各往路および各復路において、Ｘ方向における計測点の間隔（以下、計測間隔と呼ぶ）はほぼ一定である。図５および図６の例では、計測間隔がＨ１に設定される。また、図５および図６の例では、Ｘ方向における計測範囲がＸ１に設定される。計測範囲の詳細については後述する。
【００５４】
（３−１−２）高分解能計測モード
図６の例では、往路Ｆ１においてＸ方向における位置Ｐ１１〜Ｐ１５で計測が行われ、復路Ｂ１においてＸ方向における位置Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａで計測が行われ、往路Ｆ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂで計測が行われ、復路Ｂ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｃ〜Ｐ１５ｃで計測が行われる。このように、高分解能計測モードでは、光の走査方向の切り替わりに応じて、Ｘ方向における各計測点の位置がずれるように設定される。
【００５５】
位置Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａは、位置Ｐ１１〜Ｐ１５に対して計測間隔Ｈ１の４分の１の長さ分Ｘ方向にずれている。位置Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂは、位置Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａに対して計測間隔Ｈ１の４分の１の長さ分Ｘ方向にずれている。位置Ｐ１１ｃ〜Ｐ１５ｃは、位置Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂに対して計測間隔Ｈ１の４分の１の長さ分Ｘ方向にずれている。すなわち、本例では、光の走査方向が切り替わる毎に、各計測点の位置が計測間隔Ｈ１の４分の１の長さずつＸ方向にずれている。復路Ｂ２の次の往路では、計測点の位置が往路Ｆ１と同じになり、Ｘ方向における位置Ｐ１１〜Ｐ１５で計測が行われる。
【００５６】
この場合、光の走査が２往復する毎に、１つのプロファイルデータが生成される。すなわち、往路Ｆ１，Ｆ２および復路Ｂ１，Ｂ２における計測結果に基づいて、１つのプロファイルデータが生成される。
【００５７】
このように、図５の標準計測モードでは、Ｘ方向における５点の位置Ｐ１１〜Ｐ１５での計測結果に基づいて１つのプロファイルデータが生成される。一方、図６の高分解能計測モードでは、Ｘ方向における２０点の位置Ｐ１１〜Ｐ１５，Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａ，Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂ，Ｐ１１ｃ〜Ｐ１５ｃでの計測結果に基づいて１つのプロファイルデータが生成される。したがって、図６の高分解能計測モードでは、図５の標準計測モードに比べて４倍の分解能でワークＷの断面形状を検出することができる。
【００５８】
（３−３）他の計測条件
続いて、ユーザにより設定可能な他の計測条件の例について説明する。図７〜図１１は、他の計測条件の例について説明するための模式図である。図７〜図１１においては、上記の図５および図６と同様に、光が往路Ｆ１、復路Ｂ１、往路Ｆ２および復路Ｂ２の順に走査される場合の受光素子３１の露光タイミング（計測タイミング）が示される。横軸はＸ方向におけるワークＷ上での光の走査位置に相当する。なお、図７〜図１１において、Ｘ方向における光の走査位置は、投光部１からのＸＺ平面での投光方向に対応する。
【００５９】
（３−３−１）計測方向
ユーザは、例えば標準計測モードにおいて計測を行うべき光の走査方向（以下、計測方向）を任意に設定することができる。図５の例では、光の走査の往路および復路の両方で計測が行われるが、光の走査の往路および復路の一方においてのみ計測が行われるように設定することができる。図７には、光の走査の往路Ｆ１，Ｆ２においてのみ計測が行われる例が示される。
【００６０】
なお、図７の例が請求項における第１の走査モードの例であり、図５の例が請求項における第２の走査モードの例である。また、図５の例においては往路Ｆ１，Ｆ２および復路Ｂ１，Ｂ２が請求項における計測走査路に相当し、図７の例においては往路Ｆ１，Ｆ２が請求項における計測走査路に相当する。
【００６１】
また、高分解能計測モードにおいても、計測方向を任意に設定してもよい。すなわち、高分解能計測モードにおいて、光の走査の往路および復路の一方においてのみ計測が行われるように設定してもよい。
【００６２】
（３−３−２）計測間隔
ユーザは、例えば光の走査の各往路および各復路における計測点の間隔（計測間隔）を任意に設定することができる。図５および図６の例では、計測間隔がＨ１に設定されている。
【００６３】
図８には、標準計測モードにおいて、計測間隔がＨ２に設定される例が示される。図９には、高分解能計測モードにおいて、計測間隔がＨ２に設定される例が示される。図８および図９のＨ２は、図５および図６のＨ１の半分の大きさである。
【００６４】
図８および図９の例では、図５および図６の例に比べて、光の走査の各往路および各復路における計測点数がそれぞれ２倍になる。したがって、図８および図９の例では、図５および図６の例のそれぞれ２倍の分解能でワークＷの断面形状を検出することができる。
【００６５】
（３−３−３）走査周期
ユーザは、例えば光の１回の往復走査に要する時間（以下、走査周期と呼ぶ）を任意に設定することができる。光の走査周期は、例えば走査部２３の共振周波数を制御することにより調整する。
【００６６】
（３−３−４）計測範囲
ユーザは、例えばＸ方向における計測範囲を任意に設定することができる。設定された計測範囲内で計測を行うことができるように、光の走査幅および走査周期が調整される。この場合、光の走査周期が比較的短い場合には、走査幅を比較的小さく調整することが好ましく、光の走査周期が比較的長い場合には、走査幅を比較的大きく調整することが好ましい。
【００６７】
光の走査幅の調整は、例えば走査部２３の駆動電流を制御することにより行う。なお、走査部２３としてガルバノスキャナを用いる場合には、走査方向の切り替わり時に走査速度が遅くなるので、走査速度がほぼ一定になる区間が計測範囲に設定される。
【００６８】
図１０には、標準計測モードにおいて計測間隔がＨ２に設定されかつ計測範囲がＸ２に設定される例が示される。図１１には、高分解能計測モードにおいて計測間隔がＨ２に設定されかつ計測範囲がＸ２に設定される例が示される。図１０および図１１のＸ２は、図５および図６のＸ１よりも小さい。
【００６９】
（３−３−５）計測周期
ユーザは、例えば光の走査の各往路および各復路において計測を行う周期（以下、計測周期と呼ぶ）を任意に設定することができる。なお、上記の計測間隔は、光の走査速度に計測周期を乗じた値に相当する。また、光の走査速度は、光の走査周期および走査幅に応じて決定される。
【００７０】
ここで、正常に計測を行うためには、受光素子３１の受光量を一定以上確保する必要がある。そのため、ワークＷの表面の反射率が低い場合には、受光素子３１の１回の露光時間を比較的長く確保する必要がある。
【００７１】
したがって、計測周期が短すぎると、ワークＷの表面の反射率が低い場合に、受光素子３１の必要な露光時間を確保することができない。このことから、ワークＷの特性に応じて計測周期の設定を行うことが好ましい。
【００７２】
（３−３−６）倍率
ユーザは、例えば高分解能計測モードにおける分解能の倍率を任意に設定することができる。ここで、高分解能計測モードにおける分解能の倍率とは、計測間隔が同じである場合の標準計測モードに対する分解能の倍率をいう。図６の例では、分解能の倍率が４倍に設定されている。
【００７３】
図１２には、高分解能計測モードにおいて分解能の倍率が２倍に設定される例が示される。この場合、光の走査方向が切り替わる毎に、各計測点が計測間隔の２分の１の長さずつＸ方向にずれる。また、光の走査が１往復する毎に、１つのプロファイルデータが生成される。それにより、標準計測モード、すなわち各計測点の位置が光の走査の全ての往路および復路で共通である場合に比べて、２倍の分解能でワークの断面形状を検出することができる。
【００７４】
（３−３−７）データ点数
ユーザは、例えばプロファイルデータのデータ点数を任意に設定することができる。プロファイルデータのデータ点数は、１つのプロファイルデータに用いられる計測結果の数（波形データの数）に相当する。図５の例では、プロファイルデータのデータ点数が“５”であり、図６の例では、プロファイルデータのデータ点数が“２０”である。
【００７５】
（４）計測モード設定処理
計測条件制御部７は、ユーザによる設定に基づいて計測モード設定処理を行う。本実施の形態では、ユーザが、設定操作部１２を操作することにより、少なくとも計測モードの選択およびプロファイルデータのデータ点数の入力のいずれかを行う。図１３および図１４は、計測モード設定処理のフローチャートである。
【００７６】
図１３に示すように、まず、計測条件制御部７は、標準計測モードが選択されたか否かを判定する（ステップＳ１）。標準計測モードが選択された場合、計測条件制御部７は、ユーザによる種々の設定に基づいて動作条件決定処理を行う（ステップＳ２）。動作条件決定処理の詳細については後述する。この場合、動作条件決定処理により、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、およびプロファイルデータのデータ点数が決定される。計測条件制御部７は、決定された光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、およびプロファイルデータのデータ点数を記憶部７０に記憶させる（ステップＳ３〜Ｓ７）。
【００７７】
その後、計測条件制御部７は、記憶部７０に記憶された光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、およびプロファイルデータのデータ点数に基づいて、走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を標準計測モードで制御する（ステップＳ８）。
【００７８】
具体的には、記憶された光の走査幅および走査周期に基づいて、走査部２３の動作が制御される。また、記憶された計測周期および計測方向に基づいて、光の走査の全ての往路および復路で計測点の位置が共通となるように、受光素子３１の露光タイミングが制御される。また、記憶されたプロファイルデータのデータ点数に基づいて、プロファイル生成部９が制御される。
【００７９】
ステップＳ１において、標準計測モードが選択されていない場合、計測条件制御部７は、高分解能計測モードが選択されたか否かを判定する（ステップＳ９）。高分解能計測モードが選択された場合、計測条件制御部７は、ユーザによる種々の設定に基づいて動作条件決定処理を行う（ステップＳ１０）。この場合、動作条件決定処理により、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、分解能の倍率、およびプロファイルデータのデータ点数が決定される。計測条件制御部７は、決定された光の走査幅、光の走査周期、計測周期、分解能の倍率、およびプロファイルデータのデータ点数を記憶部７０に記憶させる（ステップＳ１１〜Ｓ１５）。
【００８０】
その後、計測条件制御部７は、記憶部７０に記憶された光の走査幅、光の走査周期、計測周期、分解能の倍率およびプロファイルデータのデータ点数に基づいて、走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を高分解能計測モードで制御する（ステップＳ１６）。
【００８１】
具体的には、記憶された光の走査幅および走査周期に基づいて、走査部２３の動作が制御される。また、記憶された計測周期および分解能の倍率に基づいて、光の走査方向が切り替わる毎に計測点の位置がずれるように、受光素子３１の露光タイミングが制御される。また、記憶されたプロファイルデータのデータ点数に基づいて、プロファイル生成部９が制御される。
【００８２】
ステップＳ９において、高分解能計測モードが選択されていない場合、図１４に示すように、計測条件制御部７は、プロファイルデータのデータ点数が入力されたか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【００８３】
データ点数が入力されていない場合、計測条件制御部７は、ステップＳ１の処理に戻る。データ点数が入力された場合、計測条件制御部７は、ユーザによる種々の設定に基づいて動作条件決定処理を行う（ステップＳ１８）。この場合、動作条件決定処理により、計測モード、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、および分解能の倍率が決定される。計測条件制御部７は、決定された計測モード、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、および分解能の倍率を記憶部７０に記憶させる（ステップＳ１９〜Ｓ２４）。続いて、計測条件制御部７は、決定された計測モードが標準計測モードであるか否かを判定する（ステップＳ２５）。
【００８４】
判定された計測モードが標準計測モードである場合、計測条件制御部７は、図１３のステップＳ８の処理に進み、記憶部７０に記憶された光の走査幅、光の走査周期、計測周期および計測方向、ならびに入力されたプロファイルデータのデータ点数に基づいて、走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を標準計測モードで制御する。判定された計測モードが高分解能計測モードである場合、計測条件制御部７は、図１３のステップＳ１６の処理に進み、記憶部７０に記憶された光の走査幅、光の走査周期、計測周期、および分解能の倍率、ならびに入力されたプロファイルデータのデータ点数に基づいて、走査部２３、受光制御部４およびプロファイル生成部９を高分解能計測モードで制御する。
【００８５】
（５）具体的な設定項目
次に、ユーザによる設定項目の具体例および動作条件決定処理の具体例について説明する。ユーザによる設定項目は、ユーザが任意に変更することができる。図１５には、ユーザによる設定項目の具体例が示される。
【００８６】
（５−１）
図１５（ａ）の例では、計測モード、光の走査周期、計測範囲および計測周期がユーザにより設定される。また、計測モードとして標準計測モードが設定される場合には、計測方向がユーザにより設定され、計測モードとして高分解能モードが設定される場合には、分解能の倍率がユーザにより設定される。
【００８７】
この場合、図１３のステップＳ２，Ｓ９の動作条件決定処理において、ユーザにより設定された光の走査周期および計測範囲に基づいて、光の走査幅が算出される。光の走査幅および走査周期が決定することにより、走査部２３の動作が一義的に決定する。
【００８８】
また、光の走査幅および走査周期に基づいて、光の走査速度が算出される。算出された光の走査速度およびユーザにより設定された計測周期に基づいて、計測間隔が算出される。上記のように、光の走査速度に計測周期を乗じた値が計測間隔に相当する。
【００８９】
また、ユーザにより設定された計測範囲および算出された計測間隔に基づいて、光の走査の各往路および各復路における計測点数が算出される。この場合、計測範囲を計測間隔で除した値が、光の走査の各往路および各復路における計測点数に相当する。
【００９０】
なお、計測範囲および光の走査速度に基づいて光の走査の各往路および各復路における計測範囲内での光の走査時間を算出し、算出した光の走査時間およびユーザにより設定された計測周期に基づいて、光の走査の各往路および各復路における計測点数を算出することもできる。この場合、計測範囲を光の走査速度で除した値が計測範囲内での光の走査時間に相当し、光の走査時間を計測周期で除した値が光の走査の各往路および各復路における計測点数に相当する。
【００９１】
また、計測モード、分解能の倍率および算出された計測点数に基づいて、プロファイル生成部９により生成されるプロファイルデータのデータ点数が算出される。
【００９２】
具体的には、標準計測モードでは、光の走査の各往路および各復路における計測点数とプロファイルデータのデータ点数とが等しい。高分解能計測モードでは、の走査の各往路および各復路における計測点数に分解能の倍率を乗じた値がプロファイルデータのデータ点数となる。
【００９３】
このようにして、計測条件制御部７は、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、分解能の倍率、およびプロファイルデータのデータ点数を決定する。
【００９４】
（５−２）
図１５（ｂ）の例では、計測モード、計測範囲、計測間隔および計測周期がユーザにより設定される。また、計測モードとして標準計測モードが設定される場合には、計測方向がユーザにより設定され、計測モードとして高分解能モードが設定される場合には、分解能の倍率がユーザにより設定される。
【００９５】
この場合、図１３のステップＳ２，Ｓ９の動作条件決定処理において、ユーザにより設定された計測間隔および計測周期に基づいて、光の走査速度が算出される。算出された走査速度およびユーザにより設定された計測範囲に基づいて、光の走査幅および走査周期が算出される。
【００９６】
また、計測範囲および計測間隔に基づいて、光の走査の各往路および各復路における計測点数が算出される。さらに、計測モード、分解能の倍率および算出された計測点数に基づいて、プロファイル生成部９により生成されるプロファイルデータのデータ点数が算出される。
【００９７】
このようにして、計測条件制御部７は、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、分解能の倍率、およびプロファイルデータのデータ点数を決定する。
【００９８】
（５−３）
図１５（ｃ）の例では、プロファイルデータのデータ点数、光の走査周期、計測範囲および計測周期がユーザにより設定される。
【００９９】
この場合、図１４のステップＳ１７の動作条件決定処理において、ユーザにより設定された光の走査周期および計測範囲に基づいて、光の走査幅が算出される。
【０１００】
また、光の走査幅および走査周期に基づいて、光の走査速度が算出される。算出された光の走査速度およびユーザにより設定された計測周期に基づいて、計測間隔が算出される。ユーザにより設定された計測範囲および算出された計測間隔に基づいて、光の走査の各往路および各復路における計測点数が算出される。
【０１０１】
また、ユーザにより設定されたプロファイルデータのデータ点数および算出された計測点数に基づいて、計測モードが決定される。計測モードが高分解能計測モードに決定される場合には、さらに分解能の倍率が算出される。
【０１０２】
具体的には、ユーザにより設定されたプロファイルデータのデータ点数が算出された計測点数よりも少ない場合には、計測モードが決定されずにエラーとなる。ユーザにより設定されたプロファイルデータのデータ点数と算出された計測点数とが等しい場合には、標準計測モードに決定される。なお、計測方向は、往路、復路およびその両方のいずれかに予め設定される。
【０１０３】
ユーザにより設定されたプロファイルデータのデータ点数が算出された計測点数よりも多い場合には、高分解能計測モードに決定される。そして、算出された計測点数に対するユーザにより設定されたプロファイルデータのデータ点数の倍率に近似する整数が分解能の倍率として算出される。
【０１０４】
このように、上記の図１３（ａ）および図１３（ｂ）の例では、計測モードおよび分解能の倍率がユーザにより設定され、その設定に基づいてプロファイルデータのデータ点数が決定される。一方、図１３（ｃ）の例では、プロファイルデータのデータ点数がユーザにより設定され、その設定に基づいて計測モードおよび分解能の倍率が自動的に決定される。
【０１０５】
このようにして、計測条件制御部７は、計測モード、光の走査幅、光の走査周期、計測周期、計測方向、および分解能の倍率を決定する。
【０１０６】
（６）フィードバック制御
図４に示した波形データにおいて、ピーク位置を正確に特定するためには、ピークの高さ（以下、ピークレベルと呼ぶ）が所定の範囲内にあることが望ましい。そこで、計測条件制御部７は、波形生成部６により得られる波形データに基づいて、ピークレベルが所定の範囲内になるように、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６をフィードバック制御する。
【０１０７】
この場合、投光制御部３を制御することにより、投光素子２１の発光レベルを制御することができ、受光制御部４を制御することにより、受光素子３１の露光時間を制御することができ、波形生成部６を制御することにより、波形生成部６の回路ゲイン（波形生成部６内の増幅器の増幅率）を制御することができる。
【０１０８】
ピークレベルは、受光素子３１の受光量と波形生成部６の回路ゲインとの積に比例する。受光素子３１の受光量は、投光素子２１の発光レベルと受光素子３１の露光時間との積に比例する。したがって、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６を制御することにより波形データのピークレベルを調整することができる。
【０１０９】
以下、標準計測モードでのフィードバック制御および高分解能計測モードでのフィードバック制御についてそれぞれ説明する。
【０１１０】
図１６は標準計測モードでのフィードバック制御について説明するための模式図であり、図１７および図１８は高分解能計測モードでのフィードバック制御について説明するための模式図である。なお、図１６の例は上記の図５の例に対応し、図１７および図１８の例は上記の図６の例に対応する。
【０１１１】
（６−１）標準計測モードでのフィードバック制御
標準計測モードで計測を行う場合、計測条件制御部７は、共通の投光方向における前回の計測結果に基づいて、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６のフィードバック制御を行う。
【０１１２】
図１６の例では、往路Ｆ１のＸ方向における位置Ｐ１１での計測結果に基づいて、復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１１での計測時のフィードバック制御が行われる。復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１１での計測結果に基づいて、往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１１での計測時のフィードバック制御が行われる。往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１１での計測結果に基づいて、復路Ｂ２のＸ方向における位置Ｐ１１での計測時のフィードバック制御が行われる。Ｘ方向における位置Ｐ１２〜Ｐ１５での計測時にも同様に、前回の計測結果に基づいてフィードバック制御が行われる。
【０１１３】
この場合、ワークＷ上のほぼ同じ位置での計測結果に基づいてフィードバック制御が行われる。そのため、ワークＷの表面の反射率にばらつきがあっても、正確に波形データのピークレベルの調整を行うことが可能になる。
【０１１４】
（６−２）高分解能計測モードでのフィードバック制御
高分解能計測モードで計測を行う場合、計測条件制御部７は、最も近い投光方向における計測結果に基づいて、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６のフィードバック制御を行う。
【０１１５】
図１７の例では、往路Ｆ１のＸ方向における位置Ｐ１１での計測結果に基づいて、復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１１ａでの計測時のフィードバック制御が行われる。復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１１ａでの計測結果に基づいて、往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１１ｂでの計測時のフィードバック制御が行われる。往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１１ｂでの計測結果に基づいて、復路Ｂ２のＸ方向における位置Ｐ１１ｃでの計測時のフィードバック制御が行われる。
【０１１６】
同様に、往路Ｆ１のＸ方向における位置Ｐ１２〜Ｐ１５の計測結果に基づいて、復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１２ａ〜Ｐ１５ａでの計測時のフィードバック制御がそれぞれ行われる。復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１２ａ〜Ｐ１５ａでの計測結果に基づいて、往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１２ｂ〜Ｐ１５ｂでの計測時のフィードバック制御がそれぞれ行われる。往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１２ｂ〜Ｐ１５ｂでの計測結果に基づいて、復路Ｂ２のＸ方向における位置Ｐ１２ｃ〜Ｐ１５ｃでの計測時のフィードバック制御がそれぞれ行われる。
【０１１７】
この場合、ワークＷ上の近接する位置での計測結果に基づいてフィードバック制御が行われる。そのため、ワークＷの表面の反射率にばらつきがあっても、正確に波形データのピークレベルの調整を行うことが可能になる。
【０１１８】
（６−３）高分解能計測モードでのフィードバック制御の他の例
高分解能計測モードで計測を行う場合、計測条件制御部７は、隣接する２つの投光方向における計測結果に基づいて、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６のフィードバック制御を行ってもよい。
【０１１９】
図１８の例では、往路Ｆ１のＸ方向における位置Ｐ１１，Ｐ１２での計測結果に基づいて、復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１１ａでの計測時のフィードバック制御が行われる。復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１１ａ，Ｐ１２ａでの計測結果に基づいて、往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１１ｂでの計測時のフィードバック制御が行われる。往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１１ｂ，Ｐ１２ｂでの計測結果に基づいて、復路Ｂ２のＸ方向における位置Ｐ１１ｃでの計測時のフィードバック制御が行われる。
【０１２０】
同様に、往路Ｆ１のＸ方向における位置Ｐ１２〜Ｐ１５の計測結果に基づいて、復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１２ａ〜Ｐ１４ａでの計測時のフィードバック制御がそれぞれ行われる。復路Ｂ１のＸ方向における位置Ｐ１２ａ〜Ｐ１５ａでの計測結果に基づいて、往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１２ｂ〜Ｐ１４ｂでの計測時のフィードバック制御がそれぞれ行われる。往路Ｆ２のＸ方向における位置Ｐ１２ｂ〜Ｐ１５ｂでの計測結果に基づいて、復路Ｂ２のＸ方向における位置Ｐ１２ｃ〜Ｐ１４ｃでの計測時のフィードバック制御がそれぞれ行われる。
【０１２１】
この場合、例えば隣接する２つの投光方向における計測結果の加重平均が算出される。重みは、その２つの計測結果を用いてフィードバック制御を行うべき計測点までの距離の逆数に比例するように設定される。算出された加重平均に基づいて、フィードバック制御が行われる。これにより、ワークＷの表面の反射率にばらつきがあっても、そのばらつき度合いに応じて、波形データのピークレベルの調整を適切に行うことが可能になる。
【０１２２】
（７）本実施の形態の効果
本実施の形態では、ユーザが標準計測モードおよび高分解能計測モードのいずれかを任意に選択することができる。
【０１２３】
標準計測モードでは、光の走査の各往路および各復路において、各計測点の位置が共通に設定される。この場合、各計測点での計測誤差を平均化することができる。また、標準計測モードでは、計測が行われる走査毎にプロファイルデータが生成される。そのため、プロファイルデータが迅速に得られる。
【０１２４】
一方、高分解能計測モードでは、光の走査方向の切り替わりに応じてＸ方向における各計測点の位置がずれるように設定されるとともに、複数回の走査毎に１つのプロファイルデータが生成される。それにより、光の走査速度を低下させることなく、高い分解能でワークＷの断面形状を計測することができる。
【０１２５】
したがって、標準計測モードと高分解能計測モードとを切り替えることにより、目的に応じた最適な計測結果を得ることができる。
【０１２６】
また、本実施の形態では、計測範囲、計測周期等の種々の条件をユーザが任意に設定することができる。それにより、計測条件を容易かつ多様に変更することができる
また、本実施の形態では、ユーザによる設定項目を任意に変更することができる。この場合、種々の計測条件のうち所定の計測条件の設定をユーザが行い、その他の計測条件が自動的に設定される。それにより、必要な設定項目を適宜選択することにより、迅速かつ容易に計測条件の設定を行うことができる。
【０１２７】
なお、図１の設定操作部１２において、表示装置により、図５〜図１２のようなイメージ画像を表示してもよい。この場合、例えばユーザが具体的な計測状態を確認しながら設定を行うことが可能となる。
【０１２８】
（８）他の実施の形態
投光素子２１としては、レーザダイオードに限らず、ＬＥＤ（発光ダイオード）等の他の素子を用いることもできる。受光素子３１としては、ＣＭＯＳセンサに限らず、ＣＣＤ（電荷結合素子）センサ等の他の素子を用いることもできる。走査部２３としては、ガルバノスキャナに限らず、ＭＥＭＳ（微小電子機械システム）、ポリゴンミラー、音叉または他の光学素子等を用いることもできる。
【０１２９】
（９）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１３０】
上記実施の形態では、投光素子２１が光発生部の例であり、走査部２３が光走査手段の例であり、計測条件制御部７および受光制御部４が制御部の例であり、設定操作部１２が設定手段および入力手段の例であり、波形生成部６が計測データ生成部の例であり、プロファイル生成部９がプロファイルデータ生成部の例である。
【０１３１】
また、Ｘ方向が一方向の例であり、標準計測モードが第１の計測モードの例であり、高分解能計測モードが第２の計測モードの例である。
【０１３２】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明は、対象物の断面形状の計測に有効に利用することができる。
【符号の説明】
【０１３４】
１  投光部
２  受光部
３  投光制御部
４  受光制御部
６  波形生成部
７  計測条件制御部
１２  設定操作部
２１  投光素子
２３  走査部
３１  受光素子
７０  記憶部
１００  光学式変位計
Ｗ  ワーク
【図１】
2010197113.tif 000003
【図２】
2010197113.tif 000004
【図３】
2010197113.tif 000005
【図４】
2010197113.tif 000006
【図５】
2010197113.tif 000007
【図６】
2010197113.tif 000008
【図７】
2010197113.tif 000009
【図８】
2010197113.tif 000010
【図９】
2010197113.tif 000011
【図１０】
2010197113.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2010197113.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2010197113.tif 000018
【図１７】
2010197113.tif 000019
【図１８】
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