(57)【要約】【課題】クリーンロボットにおいて、直動軸を覆う蛇腹状カバーの異常変形を防止する。【解決手段】直動軸５の停止時には、ブロアが所定量の空気を第２アーム４内から吸引し、第２アーム４内を所定の負圧圧力に保持する。直動軸５が蛇腹状カバー２１を伸長（収縮）させる方向に移動するとき、その移動に先立つ所定時間前に、ブロアの吸引空気量を減少（増加）させて第２アーム４内の圧力を上昇（低下）させ、その第２アーム４内の圧力上昇（低下）の影響が蛇腹状カバー２１内に及ぶ頃、直動軸５が下降（上昇）するようになす。すると、直動軸５の下降に伴う伸長による蛇腹状カバー５の内圧減少（増加）と、第２アーム４の内圧上昇（低下）による蛇腹状カバー５の内圧上昇（低下）とが相殺されるようになる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボット本体のアームに直動軸を設け、前記直動軸のうち前記アームからの突出部分を前記直動軸の往復移動に伴って伸縮する蛇腹状カバーにより覆い、前記アーム内の空気を吸気手段により吸引して前記アーム内を負圧にすることにより、前記蛇腹状カバー内を負圧にして前記蛇腹状カバーから外部への塵埃の放出を防止するようにしたクリーンロボットにおいて、
前記ロボット本体の前記アームおよび前記直動軸を動作させるためのロボット制御信号を出力する動作制御手段と、
前記アームと前記吸気手段との間を接続する吸入路に設けられ、流路開度を変化させることによって前記吸気手段による前記アーム内からの吸引空気量を調整する流量調整手段と、
前記動作制御手段の出力する前記ロボット制御信号を所定時間遅らせて前記アームおよび前記直動軸の駆動手段に伝達する遅延伝達手段と、
前記動作制御手段が出力する前記ロボット制御信号のうち前記直動軸に対する速度指令信号について前記遅延伝達手段を介することなく伝達され、前記流量調整手段の前記流路開度を、前記直動軸に対する前記速度指令信号による前記直流軸の移動方向と速さに応じた値に制御する開度制御手段と、
を備え、前記開度制御手段は、前記流量調整手段の前記流路開度を、前記直動軸の停止時は一定値に保持し、前記動作制御手段から前記ロボット制御信号が出力されたとき、前記直動軸の前記速度指令信号による移動方向が前記蛇腹状カバーを伸長させる方向である場合、前記一定値よりも小さく、且つ、移動速さが速い程、より小さくなるように制御し、前記直動軸の移動方向が前記蛇腹状カバーを収縮させる方向である場合、前記一定値よりも大きく、且つ、移動速さが速い程、より大きくなるように制御することを特徴とするクリーンロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直動軸を覆う蛇腹状カバー内に外気を吸入することによって塵埃が外部に放出されないようにしたクリーンロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、垂直多関節型ロボットや直交座標型ロボットでは、ハンドなどを取り付ける工具軸として、直線的に上下動する直動軸を採用している。この直動軸を備えたロボットを半導体、電子装置などの組立工場に設置するクリーンロボットとして構成する場合、直動軸を蛇腹状カバーで覆い、そして、ロボット内を負圧にすることで蛇腹状カバー内に外気を吸入して直動軸から外部に塵埃が放出されないようにしている（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開平１１−１３８４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
蛇腹状カバーは直動軸の上下動に伴って伸縮し、その伸縮に伴って蛇腹状カバー内の圧力が高低変化する。このような内圧変化にもかかわらず、蛇腹状カバーからの塵埃の放出を防止するには、蛇腹状カバーの収縮時における内圧増大時にあっても負圧が維持されるように、蛇腹状カバー内から吸引する空気量を多くしなければならない。しかしながら、蛇腹状カバーからの吸引空気量を多くすると、逆に、蛇腹状カバーの伸長時にその内圧が低下しすぎて蛇腹状カバーが潰れるなど異常変形する恐れがある。
【０００４】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、直動軸を覆う蛇腹状カバーの異常変形を防止することができるクリーンロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、直動軸の停止時には、吸気手段が所定量の空気をアーム内から吸引し、アーム内を所定の負圧圧力に保持する。そして、吸気手段の吸引空気量が変化したとき、その変化に所定時間遅れて蛇腹状カバー内の圧力が変化するという事情を考慮し、直動軸が蛇腹状カバーを伸長させる方向に移動する場合には、その移動に先立つ所定時間前に、吸気手段の吸引空気量を直動軸の速さに応じた量だけ減少させる。このため、その後に、蛇腹状カバーが伸長することによって当該蛇腹状カバーの内圧が低下しても、吸気手段の吸引空気量の減少による蛇腹状カバーの圧力上昇と相殺されるようになる。また、直動軸が蛇腹状カバーを収縮させる方向に移動する場合には、その移動に先立つ所定時間前に、吸気手段の吸引空気量を直動軸の速さに応じた量だけ増加させる。このため、その後に、蛇腹状カバーが収縮することによって当該蛇腹状カバーの内圧が上昇しても、吸気手段の吸引空気量の増加による蛇腹状カバーの圧力低下と相殺されるようになる。したがって、蛇腹状カバーが伸縮するときの当該蛇腹状カバー内の圧力変動を極力小さく抑制することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明を水平多関節（４軸）型ロボットからなるクリーンロボットに適用した一実施例につき図１〜図６を参照しながら説明する。図２は、クリーンロボットの本体１の外観構成を示している。この本体１は、設置面に固定されるベース２と、このベース２上に垂直軸Ｊ１を中心に旋回可能に連結された第１アーム３と、この第１アーム３の先端部に垂直軸Ｊ２を中心に旋回可能に連結された第２アーム４と、第２アーム４の先端部に上下動可能で且つ回転可能に設けられた直動軸５とから構成されている。そして、直動軸５の下端部に図示しないハンド等のツールが着脱可能に取付けられるようになっている。
【０００７】
図１は、第２アーム４の内部構成を示す。この図１に示されているように、第２アーム４は、フレーム６を主体とするもので、このフレーム６上には、第２アーム４を第１アーム３に対して旋回させるための第２軸用モータ７、直動軸５を図２に矢印Ａで示すように回転させるための第３軸用モータ８および直動軸５を図２に矢印Ｂで示すように上下動させるための第４軸用モータ９が固定されている。これら第２軸用モータ７、第３軸用モータ８および第４軸用モータ９には、それぞれ電磁ブレーキ１０（第３軸用モータ８のもののみ図示）が設けられている。
【０００８】
また、フレーム６の先端部には、ボールねじ機構のナット１１と、ボールスプライン機構のスリーブ１２とが、同一軸線上で且つ上下に位置するようにして回転自在に配設されている。ナット１１およびスリーブ１２には、それぞれプーリ１３および１４が取り付けられており、これらプーリ１３および１４は、それぞれベルト伝動機構１５および１６によって第３軸用モータ８および第４軸用モータ９に連結されている。
【０００９】
一方、前記直動軸５は、ボールねじスプラインシャフトからなり、その外周部にねじ溝５ａおよびスプライン溝５ｂが形成されている。この直動軸５は、ナット１１およびスリーブ１２に通され、ねじ溝５ａがナット１１に係合されていると共に、スプライン溝５ｂがスリーブ１２に係合されている。そして、第３軸用モータ８が起動すると、スリーブ１２がベルト伝動機構１５を介して回転され、このスリーブ１２の回転により直動軸５が回転する。また、第４軸用モータ９が起動すると、ナット１１がベルト伝動機構１６を介して回転され、このナット１１の回転方向に応じて直動軸５が上昇および下降するようになっている。
【００１０】
フレーム６の上側は、当該フレーム６に取り付けられた着脱可能なフード１７により覆われており、したがって、上記第２軸用モータ７、第３軸用モータ８、第４軸用モータ９、ナット１１、スリーブ１２、ベルト伝動機構１５および１６などのフレーム６上に配設された部品は、すべてフレーム６およびフード１７からなる第２アーム４の外殻内に収納された状態になっている。ただ、直動軸５の上下両側は、それぞれフード１７およびフレーム６に形成された円形の開口部１８および１９から外方に突出している。
【００１１】
この直動軸５の第２アーム４からの突出両側のうち、上側部分はフード１７の開口部１８に連結した上下に長い上端閉塞型の筒体２０内に収納され、当該筒体２０内で上下動するようになっている。一方、直動軸５の下側部分は、蛇腹状カバー２１によって覆われている。ここで、この蛇腹状カバー２１の取り付け構成について図１を参照しながら説明する。
【００１２】
即ち、フレーム６の開口部１９の周囲壁１９ａには、中継筒体２２が嵌着されている。そして、筒状部１９ａに複数の連通路２３が形成されており、この連通路２３により中継筒体２２内が第２アーム４内に連通されている。
一方、直動軸５の下端部分は若干小径にされ、この小径部５ｃの上端部にボールベアリング２４が嵌合されている。また、小径部５ｃの外周部には、ボールベアリング２４の嵌合部を除いて雄ねじが形成されており、小径部５ｃにリング２５を嵌合した上でナット２６が雄ねじに螺合されている。そして、このナット２６を締め付けることにより、ボールベアリング２４のインナーレース２４ａが小径部５ｃの上端段部とリング２５との間に締め付け固定されている。
【００１３】
蛇腹状カバー２１の上端部および下端部には、それぞれ取り付け筒部２１ａおよび２１ｂが形成されている。そして、上端の取り付け筒部２１ａは中継筒体２２の下端部外周に嵌合されて締め付けバンド２７により締め付け固定され、下端の取り付けバンド２１ｂはボールベアリング２４のアウターレース２４ｂの外周に嵌合されて締め付けバンド２８によって締め付け固定されている。
【００１４】
このように取り付けられた蛇腹状カバー２１は、直動軸５の下方部分を覆い、その内部は、中継筒体２２および連通路２３を通じて第２アーム４内に連通している。
さて、本実施例では、本体１内を負圧（雰囲気の気圧よりも低圧）にして本体１内の空気が隙間などから外に漏れ出ないようにし、これにより、本体１内で発生した粉塵などが外部に出ることのないようにしている。この本体１内を負圧にするために、本体１の構成部分のいずれか、例えば、ベース２内の空気を吸入管（吸入路）２９を介してブロア（吸気手段）３０の吸気側に接続し、ブロア３０によってベース２内の空気を吸引するようにしている。
【００１５】
この場合、第１アーム３内はベース２内に、第２アーム４内は第１アーム３内に、それぞれの連結部分に設けられている連通口３１（図１に第１アーム３と第２アーム４との間のもののみ図示）を介して連通されているので、ベース２内の空気がブロア３０によって吸引されると、第１アーム３内および第２アーム４内の空気もブロア３０へと吸引され、本体１内の全体が負圧となる。なお、連通口３１には、図示しない電源線、信号線などが通される。
【００１６】
そして、第２アーム４内が空気吸引により負圧となると、蛇腹状カバー２１内の空気も比較的狭い連通路２３を通じて第２アーム４内に吸引されて負圧となる。このため、蛇腹状カバー２１内には、ボールベアリング２４が有するボール２４ｃ相互間の隙間（吸気部３２）から外気が吸入される。これにより、蛇腹状カバー２１内の塵埃が外部に漏れ出たり、ボールベアリング２４に塗布されたグリスの粉末などが外部に漏れ出たりすることが防止される。
【００１７】
ただ、蛇腹状カバー２１は、直動軸５の上昇および下降に伴って伸長および収縮するので、その内圧が変動する。つまり、図５に示すように、蛇腹状カバー２１の内圧は、その伸長時（直動軸５の上昇時）には低下し、収縮時（直動軸５の下降時）には上昇する。
このため、蛇腹状カバー２１の内圧が上昇する収縮時においても、蛇腹状カバー２１内の空気がボールベアリング２４の吸気部３２を通って外部に流出（逆流）しないようにする必要がある。蛇腹状カバー２１の収縮時においても、当該蛇腹状カバー２１の内圧を負圧に維持できるようにするには、第２アーム４内の圧力をより低く、ひいてはブロア３０の吸引空気量を多めに設定しなければならない。しかしながら、このようにブロア３０の吸引空気量を多めに設定すると、逆に、蛇腹状カバー２１の伸長時に、当該蛇腹状カバー２１の内圧が低くなり過ぎて大気圧により潰されるなど、異常変形するおそれがある。
【００１８】
本実施例では、ブロア３０の吸引空気量を多めに設定しなくとも、空気が蛇腹状カバー２１からボールベアリング２４の吸気部３２を通じて外部へ逆流することを防止できようにしている。つまり、本実施例では、ブロア３０の吸引空気量を、直動軸５が上下動を停止しているとき、直動軸５が上昇しているとき、直動軸５が下降しているとき、の３形態に応じてブロア３０の吸引空気量を変えて第２アーム４内の圧力を各形態に応じた負圧圧力に変え、これにより蛇腹状カバー２１の内圧をほぼ一定に維持するようにしている。
【００１９】
以下に直動軸５の動作に応じてブロア３０の吸引吸気量を変化させるための構成について説明する。まず、図２に示すように、吸入管２９の途中には、流量調整弁（流量調整手段）３３が設けられている。この流量調整弁３３は、例えばスロットルバルブからなるもので、内部にスプール（図示せず）が設けられ、このスプールの移動によって流路開度が変化するように構成されている。この流量調整弁３３は、電動式で、例えば、図示しないステッピングモータを駆動源とする駆動機構によって上記スプールを往復移動させるように構成されている。
【００２０】
一方、図３はクリーンロボットの制御回路構成を示すブロック図である。同図において、制御装置３４は、本体１およびブロア３０を制御するもので、ＣＰＵ（動作制御手段）３５、ＲＯＭ３６、ＲＡＭ３７、遅延回路（遅延伝達手段）３８、位置検出手段としての位置検出回路３９、信号変換回路（開度制御手段）４０を備えている。なお、ＲＯＭ３６は、ロボット１全体のシステムプログラムなどを記憶するもの、ＲＡＭ３７は、教示された動作点などの各種データを記憶するものである。
【００２１】
各関節、つまり第１アーム３、第２アーム４、直動軸５を駆動する各モータには、各モータを駆動する駆動回路４１および各モータの回転位置を検出してフィードバック信号として制御装置３４に与えるためのロータリエンコーダ（回転センサ）４２が各モータについて一対一の関係で接続されている。そして、位置検出回路３９は、ロータリエンコーダ４２から取得した各モータの回転位置情報をＣＰＵ３５および各モータの駆動回路４１に与える。なお、図３には、モータを直動軸５の上下用の第４軸用モータ９に代表させ、遅延回路３８、駆動回路４１およびロータリエンコーダ４２を第４軸用モータ９のものとして示した。
【００２２】
ＣＰＵ３５は、第１アーム３、第２アーム４、直動軸５を動作させる際、動作プログラムに基づいて各モータの目標位置を演算する一方、位置検出回路３９から各モータの現在位置情報を取得する。そして、ＣＰＵ３５は、各モータの目標位置と現在位置との差に応じた速度指令信号を形成し、この各モータの速度指令信号を主体としたロボット制御信号を出力する。そして、各モータの速度指令信号は、遅延回路３８に与えられると共に、直動軸５を上下させる第４軸用モータ９の速度指令信号は信号変換回路４０にも与えられる。
【００２３】
遅延回路３８は、与えられた各モータの速度指令信号を所定の遅延時間ｔ０だけ遅らせて各モータの駆動回路４１に与える。各駆動回路４１は、位置検出回路３９から与えられた各モータの現在位置を微分して当該モータの現在速度を検出し、この現在速度と遅延回路３８から与えられた速度指令信号に応じた指令速度とを比較してその差に応じた大きさの駆動電流をモータに供給する。これにより、各モータが目標位置になるように回転する。
【００２４】
一方、信号変換回路４０は、ＣＰＵ３５から与えられた第４軸用モータ９の速度指令信号を、流量調整弁３３の図示しないスプールの駆動源であるステッピングモータの回転角を制御する弁制御信号に変換して流量調整弁３３の駆動回路４３に与える。駆動回路４３は、信号変換回路４０から与えられた弁制御信号に応じた流路開度となるようにステッピングモータを駆動する。
【００２５】
上記遅延回路３８に設定された遅延時間ｔ０は、予め実験によって求められた値が用いられている。遅延時間ｔ０については、図４に示すように、流量調整弁３３の流路開度を変化させると、蛇腹状カバー２１内の圧力は流路開度を変えた時点から若干の時間遅れて変化し、やがて流路開度に応じた圧力に安定するが、この流路開度が変化した時点から蛇腹状カバー２１内の圧力が安定し始めるまでの時間を実測し、この実測時間を遅延時間ｔ０とした。
【００２６】
また、流量調整弁３３の流路開度については、直動軸５が停止しているとき、蛇腹状カバー２１内が所定の負圧値となるように一定値に保持する。そして、直動軸５が上下に移動するとき、図５に示すように、直動軸５の速さによっても蛇腹状カバー２１内の圧力変化量が異なるので、直動軸５の移動速さをも考慮に入れて流量調整弁３３の流路開度を変えてブロア３０の吸引空気量を変化させるようにしている。この直動軸５の移動方向と移動速さに応じた流路開度も、予め実験し、その実験によって求められた式を用いて演算するようにしている。
【００２７】
即ち、図５に示すように、直動軸５の上下動に応じた蛇腹状カバー２１内の圧力変化は、直動軸５の速さが速い程、大きく変化する。この直動軸５の上下動の速さと蛇腹状カバー２１内の圧力の変化量との関係を実測し、実測結果を次の近似式（１）により一般式化した。この近似式（１）は、ＲＯＭ（演算式記憶手段）３２に記憶されている。
【００２８】
ｙ（ｔ）＝Ａ・ｚ（ｔ）＋ａ  ……  （１）
但し、ｙ（ｔ）：流量調整弁３３の流路開度
ｚ（ｔ）：直動軸の速度指令値
Ａ，ａ  ：定数
【００２９】
次に上記構成の作用を説明する。なお、ここでは、分かり易くするために、第１アーム３、第２アーム４を動作させて直動軸５を水平方向に所定位置へ移動させた後、直動軸５を下降させ、次いで上昇させる動作に適用して述べることとする。
【００３０】
クリーンロボットの電源が投入されると、ＣＰＵ３５は、まず、流量調整弁３３の流路開度を直動軸５が停止しているときの開度に制御すると共に、ブロア３０を起動する。すると、ブロア３０は、本体１内の空気を流量調整弁３３を通じて吸引する。そして、ブロア３０が流量調整弁３３の流路開度に応じた量の空気を吸引することにより、蛇腹状カバー２１の内圧が一定の負圧圧力（図６（ｅ）にＰで示す負圧圧力）となる。
【００３１】
その後、ＣＰＵ３５が第１アーム３および第２アーム４を動作させるべくロボット制御信号を出力すると、そのロボット制御信号は、遅延回路３８によりｔ０時間だけ遅延されて第１アーム３を駆動する第１軸用モータおよび第２アーム４を駆動する第２軸用モータ７の駆動回路４１に与えられる。これにより第１アーム３および第２アーム４が動作し、直動軸５を所定位置に移動させる。
直動軸５が所定位置に移動すると、ＣＰＵ３５は、直動軸５を下降動作させるべく、第４軸用モータ９の速度指令信号を主体としたロボット制御信号を遅延回路３８および信号変換回路４０に出力する（図６（ａ）でＴ１時点）。
【００３２】
信号変換回路４０は、ＣＰＵ３５から第４軸用モータ９の速度指令信号を受けると、直ちに、その速度指令信号から直動軸５の移動方向および速さを検出し、その移動方向（この場合、下降）および速さに応じた弁制御信号（流路開度）を演算して流量調整弁３３の駆動回路４３に出力する（図６（ｂ））。これにより、流量調整弁３３の流路開度が、直動軸５の下降に応じた方向、この場合、流路開度を小さくする方向に、直動軸５の速さが速い程小となるように調整される。すると、ブロア３０の吸引空気量が直動軸５の下降速さに応じた量だけ減少し（図６（ｄ））、これに伴って第２アーム４内の負圧圧力が増加方向に変化し始める。
【００３３】
そして、この流量調整弁３３の流路開度が絞られる方向に変化してからｔ０時間経過すると、遅延回路３８から第４軸モータ９の駆動回路４１に速度指令信号が出力される（図６（ｃ））。これにより、第４軸モータ９が起動して速度指令信号に応じた速度で回転し、直動軸５を指令された速さで下降させる。すると、蛇腹状カバー２１が直動軸５の下降速さに応じた速さで伸長する。
【００３４】
この蛇腹状カバー２１の伸長開始にほぼ同期して、上記のブロア３０の吸引空気量の減少による影響が蛇腹状カバー２１に及んで、蛇腹状カバー２１内から第２アーム４内への空気吸引量が減少するようになる。そして、伸長による蛇腹状カバー２１の内圧の低下（図６（ｅ）のｐ１）と、第２アーム４内への空気吸引量の減少による蛇腹状カバー２１の内圧の上昇（図６（ｅ）のｐ２）とが相殺され、結局、蛇腹状カバー２１の内圧Ｐに大きな変化が生じないようになる。
【００３５】
その後、ＣＰＵ３５は、直動軸５を上昇動作させるべく、ロボット制御信号を遅延回路３８および信号変換回路４０に出力する（図６（ａ）でＴ２時点）。信号変換回路４０は、ＣＰＵ３５から第４軸用モータ９の速度指令信号を伝達されると、前述したと同様に、直ちに、その速度指令信号から直動軸５の移動方向および速さを検出し、その移動方向（この場合、上昇）および速さに応じた弁制御信号（流路開度）を演算して流量調整弁３３の駆動回路４３に出力する（図６（ｂ））。これにより、流量調整弁３３の流路開度が、直動軸５の上昇に応じた方向、この場合、流路開度を大きくする方向に、直動軸５の速さが速い程大となるように調整される。これにより、ブロア３０の吸引空気量が直動軸５の上昇速さに応じた量だけ増加し（図６（ｄ））、これに伴って第２アーム４内の負圧圧力が減少方向に変化し始める。
【００３６】
そして、この流量調整弁３３の流路開度が開かれる方向に変化してからｔ０時間経過すると、遅延回路３８から第４軸モータ９の駆動回路４１に速度指令信号が出力される（図６（ｃ））。これにより、第４軸モータ９が起動して速度指令信号に応じた速度で回転し、直動軸５を指令された速さで上昇させる。すると、蛇腹状カバー２１が直動軸５の下降速さに応じた速さで収縮する。
【００３７】
この蛇腹状カバー２１の収縮開始にほぼ同期して、上記のブロア３０の吸引空気量の増加による影響が蛇腹状カバー２１に及んで、蛇腹状カバー２１内から第２アーム４内への空気吸引量が増加するようになる。そして、収縮による蛇腹状カバー２１の内圧の上昇（図６（ｅ）のｐ３）と、第２アーム４内への空気吸引量の増加による蛇腹状カバー２１の内圧の減少（図６（ｅ）のｐ４）とが相殺され、結局、蛇腹状カバー２１の内圧Ｐに大きな変化が生じないようになる。
【００３８】
このように本実施例によれば、蛇腹状カバー２１の伸縮の開始に先立つ所定時間ｔ０前にブロア３０の吸引空気量を変化させ、この吸引空気量の変化が実際に直動軸５の上下動動作の開始時と同期して蛇腹状カバー２１の内圧に影響を及ぼすようにしたので、蛇腹状カバー２１の伸縮に伴う内圧の変化とブロア３０の吸引空気量の変化に伴う蛇腹状カバー２１の内圧の変化とを相殺することができる。このため、蛇腹状カバー２１が伸縮しても、その内圧に大きな変化が生じないようにすることができるので、蛇腹状カバー２１が異常変形を起こす恐れがない。
【００３９】
図７は本発明の他の実施例を示す。この実施例が上記一実施例と異なるところは、直動軸５の上側も蛇腹状カバー４４により覆ったところにある。即ち、直動軸５の上端部には、一実施例と同様の取付構成によりボールベアリング４５が取り付けられている。そして、蛇腹状カバー４４の下端の取り付け筒部４４ａおよび上端の取り付け筒部４４ｂは、それぞれフード１７の開口部１８の筒状部１８ａの外周およびボールベアリング４５のアウターロータ４５ａに締付バンド４６，４７により固定されている。
【００４０】
この実施例では、フード１７では直動軸５を支えないため、フード１７の開口部１８の内径を直動軸５の外径よりもかなり大きく形成できる。したがって、蛇腹状カバー４４と第２アーム４内を接続する通路面積が広くなるので、蛇腹状カバー４４の伸縮に伴う当該蛇腹状カバー４４内の空気の吸排が第２アーム４内との間で自由に行われるようになり、その結果、蛇腹状カバー４４の内圧は第２アーム４の内圧とほとんど同等になる。
したがって、下側の蛇腹状カバー２１の伸縮に応じてブロア３０の吸引空気量が変化しても、蛇腹状カバー４４が異常変形を生じる恐れはない。
【００４１】
なお、本発明は上記し且つ図面に示す実施例に限定されるものではなく、次のような拡張或いは変更が可能である。
直動軸５の移動方向は上下方向に限られない。
吸気手段は、ブロア３０に限られず、真空吸引装置など他に種々考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施例を示す要部の縦断断面図
【図２】水平多関節型ロボットからなるクリーンロボットの側面図
【図３】電気的構成を示すブロック図
【図４】ブロアの起動と蛇腹状カバーの内圧変化との関係を示すグラフ
【図５】直動軸の上昇速度および下降速度と蛇腹状カバーの内圧変化との関係を示すグラフ
【図６】各部の信号出力タイミングとブロアの吸引空気量変化と蛇腹状カバーの内圧との関係を示すグラフ
【図７】本発明の他の実施例を示す図１相当図
【符号の説明】
【００４３】
図面中、４は第２アーム、５は直動軸、１８，１９は開口部、２１は蛇腹状カバー、２９は吸入管（吸入路）、３０はブロア（吸気手段）、３３は流量調整弁（流量調整手段）、３５はＣＰＵ（動作制御手段）、３８は遅延回路（遅延伝達手段）、４０は信号変換回路（開度制御手段）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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