(57)【要約】【課題】像面が平坦で球面収差も良好に補正された液浸顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、２枚の強い凹面を有し、これらの凹面が対向して配置され、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、を有し、第３レンズ群Ｇ３の最も像側に配置されたレンズは、物体側に２枚の強い凹面の一方が形成され、且つ、像側に強い凸面が形成されたメニスカス単レンズで構成される液浸顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第３レンズ群Ｇ３における２枚の強い凹面のペッツバール和が所定の条件を満たすように構成する。【選択図】図１
2010008527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、
正の屈折力を有する第１レンズ群と、
正の屈折力を有する第２レンズ群と、
２面の強い凹面を有し、前記凹面が対向して配置され、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群と、を有し、
前記第３レンズ群の最も像側に配置されたレンズは、物体側に前記２面の強い凹面の一方が形成され、且つ、像側に強い凸面が形成されたメニスカス単レンズで構成され、
前記２面の強い凹面のうち、物体側に配置された凹面の曲率半径をｒ１とし、当該凹面が形成されたレンズ媒質のｄ線に対する屈折率をＮ１とし、像側に配置された凹面の曲率半径をｒ２とし、当該凹面が形成されたレンズ媒質のｄ線に対する屈折率をＮ２とし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
−０．８＜（１−Ｎ１）・ｆ／ｒ１／Ｎ１＋（Ｎ２−１）・ｆ／ｒ２／Ｎ２＜−０．４
の条件を満足する液浸顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第１レンズ群を構成するレンズ面のうち、物体側から数えて第ｉ番目の面の曲率半径をｒiとし、当該面の像側の媒質のｄ線に対する屈折率をＮiとし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
Σ（（Ｎi−Ｎi-1）・ｆ／（ｒi・Ｎi・Ｎi-1））  ＜  ０．６
但し、Σは第１レンズ群を構成する全レンズ面の総和を示す
の条件を満足する請求項１に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第１レンズ群の最も物体側に配置されたレンズは、物体側に平面を向けた平凸単レンズである請求項１または２に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群は、少なくとも２組の接合レンズを有する請求項１〜３いずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記第１レンズ群を構成するレンズ媒質のアッベ数のうち、最小値をνｄminとしたとき、次式
νｄmin  ＞  ５０
の条件を満足する請求項１〜４いずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
全系を構成するレンズ媒質のアッベ数のうち、最大値をνｄmaxとしたとき、次式
νｄmax  ＜  ９０
の条件を満足する請求項１〜５いずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液浸顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
液浸顕微鏡に用いられる対物レンズは、物体に最も近い面を平面にすることが多い。これは、この面を凹面にすると気泡等が入り易くなり、物体の観察に影響が出るからである。このような液浸顕微鏡対物レンズは、例えば特許文献１に示されるように、最も物体側に配置されたレンズを、平凸レンズが埋め込まれたレンズとし、この平凸レンズと接合されるメニスカスレンズとの屈折率差を大きくして負の屈折力を稼ぎ、また、第３レンズ群に対向して配置された強い凹面を含むタイプのレンズを用いて像面を補正するように構成されている。
【特許文献１】特開平８−２９２３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、以上のような構成の液浸顕微鏡対物レンズでは、ペッツバール和が十分に小さくなっていないため、非点収差が補正できていないという課題があった。
【０００４】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、像面が平坦で球面収差も良好に補正された液浸顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、本発明に係る液浸顕微鏡対物レンズは、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、２面の強い凹面を有し、これらの凹面が対向して配置され、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群と、を有し、第３レンズ群の最も像側に配置されたレンズは、物体側に２面の強い凹面の一方が形成され、且つ、像側に強い凸面が形成されたメニスカス単レンズで構成される。そして、２面の強い凹面のうち、物体側に配置された凹面の曲率半径をｒ１とし、当該凹面が形成されたレンズ媒質のｄ線に対する屈折率をＮ１とし、像側に配置された凹面の曲率半径をｒ２とし、当該凹面が形成されたレンズ媒質のｄ線に対する屈折率をＮ２とし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
−０．８＜（１−Ｎ１）・ｆ／ｒ１／Ｎ１＋（Ｎ２−１）・ｆ／ｒ２／Ｎ２＜−０．４
の条件を満足するように構成される。
【０００６】
このような液浸顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群を構成するレンズ面のうち、物体側から数えて第ｉ番目の面の曲率半径をｒiとし、当該面の像側の媒質のｄ線に対する屈折率をＮiとし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
Σ（（Ｎi−Ｎi-1）・ｆ／（ｒi・Ｎi・Ｎi-1））  ＜  ０．６
但し、Σは第１レンズ群を構成する全レンズ面の総和を示す
の条件を満足することが好ましい。
【０００７】
また、このような液浸顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群の最も物体側に配置されたレンズは、物体側に平面を向けた平凸単レンズであることが好ましい。
【０００８】
また、このような液浸顕微鏡対物レンズにおいて、第２レンズ群は、少なくとも２組の接合レンズを有することが好ましい。
【０００９】
また、このような液浸顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群を構成するレンズ媒質のアッベ数のうち、最小値をνｄminとしたとき、次式
νｄmin  ＞  ５０
の条件を満足することが好ましい。
【００１０】
さらに、このような液浸顕微鏡対物レンズは、全系を構成するレンズ媒質のアッベ数のうち、最大値をνｄmaxとしたとき、次式
νｄmax  ＜  ９０
の条件を満足することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る液浸顕微鏡対物レンズを以上のように構成すると、像面が平坦で球面収差も良好に補正された液浸顕微鏡対物レンズを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、本実施形態に係る液浸顕微鏡対物レンズの構成について説明する。この液浸顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、を有して構成される。
【００１３】
このような液浸顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体からの発散光束を平行光束へと近づけるためのレンズ群である。この第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面（図１における第１面）は、この液浸顕微鏡対物レンズＯＬの先端部を浸液に浸して物体（標本）を観察するときに、最も物体側のレンズ面内に気泡等が滞留しないように、平面若しくは緩い曲率を有する凹面とすることが好ましいが、本実施形態においては、第１レンズ群Ｇ１のパワーを抑えるために平面として構成されている。また、この第１レンズ群Ｇ１において、最も物体側に配置されたレンズを、単レンズで構成することにより、このレンズを埋め込みレンズで構成した場合に比べて製造コストを抑えることができる。
【００１４】
また、第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１から出射した略平行光束を受けて、収斂光束若しくは略平行光束に変換するとともに、球面収差や色収差の補正を行うためのレンズ群である。特に、軸上の色収差を十分補正するために、この第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２組の接合レンズを有して構成される。なお、図１に示す例では、３組の接合レンズが設けられている。
【００１５】
さらに、第３レンズ群Ｇ３は、第２レンズ群Ｇ２を出射した収斂光束若しくは略平行光束を、略平行光束とするレンズ群である。この第３レンズ群Ｇ３は、ペッツバール和を補正するために、像側に強い曲率の凹面を向けた負レンズ（図１における両凹レンズＬ１０）と、物体側に曲率の強い凹面を向けた負レンズ（図１における負メニスカスレンズＬ１１）と、を有し、これらの凹面（図１における第１６面と第１７面）が対向するように配置されている。このとき、この第３レンズ群Ｇ３を構成するレンズのうち、最も像側に配置されたレンズは、物体側に凹面（上述の対向する凹面のうち、像側に配置された凹面）を有するメニスカス単レンズとして構成されている。
【００１６】
それでは、本実施の形態に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬを構成するための条件について、以下に説明する。まず、第３レンズ群Ｇ３において上述の対向する強い凹面のうち、物体側に配置された凹面（図１における第１６面）の曲率半径をｒ１とし、当該凹面が形成されたレンズ（図１の両凹レンズＬ１０）のｄ線に対する屈折率をＮ１とし、像側に配置された凹面（図１における第１７面）の曲率半径をｒ２とし、当該凹面が形成されたレンズ（図１の負メニスカスレンズＬ１１）のｄ線に対する屈折率をＮ２とし、この液浸顕微鏡対物レンズＯＬの全系の焦点距離をｆとしたとき、次の条件式（１）を満足するように構成される。
【００１７】
−０．８＜（１−Ｎ１）・ｆ／ｒ１／Ｎ１＋（Ｎ２−１）・ｆ／ｒ２／Ｎ２＜−０．４
（１）
【００１８】
条件式（１）は、第３レンズ群Ｇ３において対向する強い凹面が有するペッツバール和の範囲を規定するための条件である。この条件式（１）の上限値を上回ると、ペッツバール和が十分に補正しきれず、非点収差が増大してしまい好ましくない。反対に下限値を下回ると、対向する強い凹面の曲率が強くなりすぎてしまうため、像高が大きいところでコマ収差が大きくなり好ましくない。
【００１９】
また、この液浸顕微鏡対物レンズＯＬは、第１レンズ群Ｇ１を構成するレンズ面のうち、物体側から数えて第ｉ番目の面の曲率半径をｒiとし、当該面の像側の媒質のｄ線に対する屈折率をＮiとし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次の条件式（２）を満足することが望ましい。
【００２０】
Σ（（Ｎi−Ｎi-1）・ｆ／（ｒi・Ｎi・Ｎi-1））  ＜  ０．６            （２）
但し、Σは第１レンズ群を構成する全レンズ面の総和を示す
【００２１】
条件式（２）は、第１レンズ群Ｇ１のペッツバール和の範囲を規定するための条件である。この条件式（２）の上限値を上回ると、第１レンズ群Ｇ１で発生するペッツバール和が大きくなってしまい、第３レンズ群Ｇ３で補正しきれず好ましくない。また、倍率色収差も大きくなってしまい、補正が困難となり好ましくない。
【００２２】
また、この第１レンズ群Ｇ１を構成するレンズのアッベ数のうち、最小値をνｄminとしたとき、次の条件式（３）を満足することが望ましい。
【００２３】
νｄmin  ＞  ５０                                                    （３）
【００２４】
条件式（３）は、第１レンズ群Ｇ１を構成するレンズの硝材のアッベ数を規定するものであり、この条件式（３）の下限値を下回る硝材のレンズを用いると、倍率色収差の発生が大きくなり、補正が困難となる。
【００２５】
さらに、このような液浸顕微鏡対物レンズＯＬ全系を構成するレンズのアッベ数のうち、最大値をνｄmaxとしたとき、次の条件式（４）を満足することが好ましい。
【００２６】
νｄmax  ＜  ９０                                                    （４）
【００２７】
条件式（４）は、この液浸顕微鏡対物レンズＯＬを構成するレンズの硝材のアッベ数を規定するものであり、この条件式（４）の上限値を上回る硝材は、屈折率が低くなり曲率半径がきつくなって高次の球面収差やコマ収差が増大し補正が困難となる。
【実施例】
【００２８】
以下に、本実施の形態に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬの３つの実施例を示す。ここで、この液浸顕微鏡対物レンズＯＬは、無限遠補正型のものであり、図７に示す構成であって、表１に示す諸元を有する結像レンズＩＬとともに使用される。なお、この表１において、第１欄ｍは物体側からの各光学面の番号を、第２欄ｒは各光学面の曲率半径を、第３欄ｄは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離を、第４欄ｎｄはｄ線に対する屈折率を、そして、第５欄νｄはアッベ数をそれぞれ示している。ここで、空気の屈折率1.00000は省略してある。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００２９】
（表１）
ｍ        ｒ        ｄ      ｎｄ        νｄ
1      75.043     5.1     1.62280      57.0
2     -75.043     2.0     1.74950      35.2
3    1600.580     7.5
4      50.256     5.1     1.66755      42.0
5     -84.541     1.8     1.61266      44.4
6      36.911
【００３０】
なお、この結像レンズＩＬは、物体側から順に、両凸レンズＬ２１と両凹レンズＬ２２とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズＬ２３と両凹レンズＬ２４とを接合した接合レンズから構成される。
【００３１】
［第１実施例］
図１は、第１実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１を示している。この液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１は、カバープレート（図１には図示せず）の下に標本（物体）を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２、及び、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３を有して構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側が平面に形成された平凸レンズＬ１、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３と両凸レンズＬ４とを接合した接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ７と両凸レンズＬ８とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、両凸レンズＬ９と像側に強い凹面を有する両凹レンズＬ１０とを接合した接合レンズ、及び、物体側に強い凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１から構成される。
【００３２】
このように図１に示した第１実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１の諸元を表２に示す。なお、この表２において、ｆは液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１の全系の焦点距離を、βは倍率を、ＮＡは開口数を、ＷＤはワーキングディスタンスを示している。また、ｄ０は、カバープレートの厚さを除く、標本から最も物体側にある最初のレンズ（レンズＬ１）の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離を示している。また、第１欄ｍに示す各光学面の番号は、図１に示した面番号１〜１８に対応している。また、第２欄ｒにおいて、曲率半径0.0000は平面を示している。さらに、この表２には、上記条件式（１）〜（４）に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。ここで、本実施例において使用されるカバープレートは、厚さ０．１７ｍｍ、ｄ線に対する屈折率１．５２２、アッベ数５８．８であり、浸液は、ｄ線に対する屈折率１．５１５、アッベ数４１．４である。これらの説明は以降の実施例においても同様である。
【００３３】
なお、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径ｒ、面間隔ｄ、全系の焦点距離ｆその他長さの単位は、特記の無い場合、一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【００３４】
（表２）
ｆ＝2
β＝100x
ＮＡ＝1.25
ＷＤ＝0.2
ｄ０＝0.22
ｍ      ｒ        ｄ      ｎｄ      νｄ
1       0.000    2.55      1.518      59.0
2      -1.983    0.20
3     -12.430    3.85      1.498      82.6
4      -5.316    2.40
5      91.019    1.00      1.516      64.1
6      10.978    6.00      1.498      82.6
7     -13.364    0.99
8      51.173    1.00      1.613      44.5
9      10.399    5.70      1.498      82.6
10     -18.881    1.00
11      37.130    1.00      1.835      42.7
12       9.000    4.80      1.498      82.6
13     -50.703   10.12
14       6.818    6.00      1.498      82.6
15     -12.337    7.00      1.640      60.1
16       2.289    2.00
17      -2.692    8.00      1.804      39.6
18      -6.889
（１）（１−Ｎ１）・ｆ／ｒ１／Ｎ１＋（Ｎ２−１）・ｆ／ｒ２／Ｎ２＝-0.672
（２）Σ（（Ｎi−Ｎi-1）・ｆ／（ｒi・Ｎi・Ｎi-1））＝0.416
（３）νｄmin＝59.0
（４）νｄmax＝82.6
【００３５】
なお、表２に示した条件対応値のうち、条件式（３）におけるνｄminは平凸レンズＬ１のアッベ数であり、条件式（４）におけるνｄmaxは正メニスカスレンズＬ２等のアッベ数である。このように、第１実施例では上記条件式（１）〜（４）は全て満たされていることが分かる。図２に、この第１実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１のｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、歪曲収差の諸収差図を示す。これらの収差図のうち、球面収差図は開口数ＮＡに対する収差量を示し、非点収差図、倍率色収差図及び歪曲収差図は像高Ｙに対する収差量を示している。また、球面収差図及び倍率色収差図において、実線はｄ線を示し、点線はＣ線を示し、一点鎖線はＦ線を示し、二点鎖線はｇ線を示している。さらに、非点収差図において、実線は各波長に対するメリジオナル像面を示し、破線は各波長に対するサジタル像面を示している。これらの諸収差図の説明は以降の実施例においても同様である。この図２に示す各収差図から明らかなように、この第１実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００３６】
［第２実施例］
次に、第２実施例として、図３に示す液浸顕微鏡対物レンズＯＬ２について説明する。この図３に示す液浸顕微鏡対物レンズＯＬ２も、カバープレート（図３には図示せず）の下に標本（物体）を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２、及び、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３を有して構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側が平面に形成された平凸レンズＬ１、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３と両凸レンズＬ４とを接合した接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ７と両凸レンズＬ８とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、両凸レンズＬ８と像側に強い凹面を有する両凹レンズＬ１０とを接合した接合レンズ、及び、物体側に強い凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１から構成される。
【００３７】
この図３に示した液浸顕微鏡対物レンズＯＬ２の諸元を表３に示す。なお、表３に示す面番号は図３に示した面番号１〜１８と一致している。
【００３８】
（表３）
ｆ＝2
β＝100x
ＮＡ＝1.25
ＷＤ＝0.2
ｄ０＝0.22
ｍ      ｒ        ｄ      ｎｄ      νｄ
1       0.000    2.55      1.518      59.0
2      -1.983    0.20
3     -11.368    3.85      1.487      84.5
4      -5.421    2.40
5      85.304    1.00      1.517      64.2
6      12.767    6.90      1.487      84.5
7     -12.767    0.40
8      42.448    1.00      1.613      44.5
9      10.579    6.30      1.487      84.5
10     -19.726    1.00
11      29.923    1.00      1.835      43.0
12       9.141    4.80      1.487      84.5
13     -90.622   10.10
14       6.781    6.00      1.487      84.5
15     -12.301    7.00      1.640      60.2
16       2.380    2.00
17      -2.670    8.00      1.805      39.6
18      -6.967
（１）（１−Ｎ１）・ｆ／ｒ１／Ｎ１＋（Ｎ２−１）・ｆ／ｒ２／Ｎ２＝-0.662
（２）Σ（（Ｎi−Ｎi-1）・ｆ／（ｒi・Ｎi・Ｎi-1））＝0.407
（３）νｄmin＝59.0
（４）νｄmax＝84.5
【００３９】
なお、表３に示した条件対応値のうち、条件式（３）におけるνｄminは平凸レンズＬ１のアッベ数であり、条件式（４）におけるνｄmaxは正メニスカスレンズＬ２等のアッベ数である。このように、第２実施例では上記条件式（１）〜（４）は全て満たされていることが分かる。図４に、この第２実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬ２の球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、歪曲収差の諸収差図を示す。この図４に示す各収差図から明らかなように、この第２実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００４０】
［第３実施例］
最後に、第３実施例として、図５に示す液浸顕微鏡対物レンズＯＬ３について説明する。この図５に示す液浸顕微鏡対物レンズＯＬ３も、カバープレート（図５には図示せず）の下に標本（物体）を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２、及び、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３を有して構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側が平面に形成された平凸レンズＬ１、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３と両凸レンズＬ４とを接合した接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ７と両凸レンズＬ８とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、両凸レンズＬ８と像側に強い凹面を有する両凹レンズＬ１０とを接合した接合レンズ、及び、物体側に強い凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１１から構成される。
【００４１】
この図５に示した液浸顕微鏡対物レンズＯＬ３の諸元を表４に示す。なお、表４に示す面番号は図５に示した面番号１〜１８と一致している。
【００４２】
（表４）
ｆ＝2
β＝100x
ＮＡ＝1.25
ＷＤ＝0.2
ｄ０＝0.22
ｍ      ｒ        ｄ      ｎｄ      νｄ
1       0.000    2.55      1.518      59.0
2      -1.983    0.30
3     -20.775    5.00      1.498      82.6
4      -6.214    3.00
5      60.617    1.00      1.613      44.5
6      13.300    6.00      1.498      82.6
7     -13.300    0.50
8      35.613    1.00      1.640      60.1
9      11.408    6.00      1.498      82.6
10     -27.117    0.40
11      47.100    1.00      1.835      42.7
12       9.347    5.50      1.498      82.6
13     -49.863    4.50
14       7.625    6.00      1.498      82.6
15     -19.900    9.20      1.640      60.1
16       3.500    2.10
17      -2.399   10.20      1.805      25.4
18      -8.807
（１）（１−Ｎ１）・ｆ／ｒ１／Ｎ１＋（Ｎ２−１）・ｆ／ｒ２／Ｎ２＝-0.595
（２）Σ（（Ｎi−Ｎi-1）・ｆ／（ｒi・Ｎi・Ｎi-1））＝0.419
（３）νｄmin＝59.0
（４）νｄmax＝82.6
【００４３】
なお、表４に示した条件対応値のうち、条件式（３）におけるνｄminは平凸レンズＬ１のアッベ数であり、条件式（４）におけるνｄmaxは正メニスカスレンズＬ２等のアッベ数である。このように、第３実施例では上記条件式（１）〜（４）は全て満たされていることが分かる。図６に、この第３実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズＯＬ３の球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、歪曲収差の諸収差図を示す。この図６に示す各収差図から明らかなように、この第３実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００４４】
以上の３つの実施例に示した液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１〜ＯＬ３についてまとめると次のようになる。まず、これらの液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１〜ＯＬ３は、第３レンズ群Ｇ３における対向する強い凹面が、条件式（１）を満たしているため、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズに埋め込みレンズを使用しなくても、コマ収差の補正と像面の平坦性が確保されていることが分かる。また、第１レンズ群Ｇ１のペッツバール和が小さく、条件式（２）を満たしているため、像面の平坦性のみならず、色収差の補正も行われている。また、これらの実施例に示す液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１において、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置されたレンズが平凸レンズ（単レンズ）で構成されているため、埋め込みレンズに比べて製造コストが安くて済むという利点がある。
【００４５】
また、本実施例に示すように、第３レンズ群Ｇ３に対向して配置された強い凹面を含むタイプのレンズを設けた場合、通常は、この像側に負正２枚のレンズよりなる接合レンズを設けて倍率色収差の補正を行う必要があるが、第１レンズ群Ｇ１を構成するレンズのアッベ数が条件式（３）を満足しているため、この第１レンズ群Ｇ１で発生する倍率色収差が少なく抑えられ、さらに、第２レンズ群Ｇ２に複数の接合レンズを設けてこの軸上の色収差を補正して倍率の色収差とのバランスを取ることにより、第３レンズ群Ｇ３の最も像側のレンズは単レンズで対応できるため、コストダウンにつなげることができる。また、この液浸顕微鏡対物レンズＯＬ１〜ＯＬ３を構成する全てのレンズのアッベ数が条件式（４）を満足することにより、高次の球面収差やコマ収差が抑えられ、かつ、高価なガラスを使用せずに済み、コストダウンにつなげることができる。
【００４６】
もちろん、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズを埋め込みレンズにしてさらなる像面の平坦化を計ることも可能であるし、アッベ数が９０以上のレンズを使用して色収差の向上を図ることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】第１実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズの構成を示すレンズ構成図である。
【図２】上記第１実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図３】第２実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズの構成を示すレンズ構成図である。
【図４】上記第２実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図５】第３実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズの構成を示すレンズ構成図である。
【図６】上記第３実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図７】上記液浸顕微鏡対物レンズと共に用いられる結像レンズのレンズ構成図である。
【符号の説明】
【００４８】
ＯＬ（ＯＬ１〜ＯＬ３）  液浸顕微鏡対物レンズ
Ｇ１  第１レンズ群    Ｇ２  第２レンズ群    Ｇ３  第３レンズ群
【図１】
2010008527.tif 000003
【図２】
2010008527.tif 000004
【図３】
2010008527.tif 000005
【図４】
2010008527.tif 000006
【図５】
2010008527.tif 000007
【図６】
2010008527.tif 000008
【図７】
2010008527.tif 000009