(57)【要約】【課題】大面積のシリコンウエハ等であっても、研磨痕の無い鏡面仕上をし、広い作用面１６全体に均一な圧力をかけて研磨し、作用面１６の平坦度を高くする。【解決手段】一方の面１８から他方の面２０に通じる多数の連続気泡２２を有する多孔質板１２の、一方の面１８から他方の面２０に向かってダイヤモンド砥粒２４を混入したスラリー２６を圧入しながら、他方の面２０を被研磨材１４の作用面１６に押し付けて、他方の面２０と作用面１６とを摺り合わせて、被研磨材１４を研磨する。多孔質板１２の他方の面２０上の連続気泡２２開口２８部に多数のダイヤモンド砥粒２４がトラップされ、良好で安定な研磨機能を発揮する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、室温で多孔質板の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、砥粒を混入したものを含浸させた表面研磨板。
【請求項２】
前記液体は、研磨処理時に発生した熱により軟化して流動性が高まる液体である請求項１記載の表面研磨板。
【請求項３】
前記多孔質板の前記一方の面側に配置され、前記砥粒を混入した液体を収容する保持容器をさらに備える請求項１または２記載の表面研磨板。
【請求項４】
前記砥粒はダイヤモンド砥粒であり、前記多孔質板には前記ダイヤモンド砥粒が混入されている請求項１〜３のいずれかに記載の表面研磨板。
【請求項５】
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、室温で多孔質板の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、砥粒を混入したものを含浸させた表面研磨板の前記他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、前記他方の面と前記作用面とを摺り合わせて、前記被研磨材を研磨または研削をする表面研磨方法。
【請求項６】
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、室温で多孔質板の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、砥粒を混入したものを含浸させた表面研磨板の前記他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、前記他方の面と前記作用面とを摺り合わせて、前記被研磨材を研磨または研削する機構を備えた表面研磨装置。
【請求項７】
前記表面研磨板の前記一方の面に前記砥粒を混入した前記液体を供給する供給手段を備える請求項６記載の表面研磨装置。
【請求項８】
前記表面研磨板は、前記多孔質板の前記一方の面側に配置され、前記砥粒を混入した液体を収容する保持容器をさらに備え、
前記保持容器は、前記機構と連結する連結部を備える請求項６記載の表面研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハ等の鏡面加工用研磨処理等に使用される表面研磨方法と表面研磨装置と表面研磨板に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハの鏡面加工処理に、ダイヤモンド砥石を使用して高精度の加工をするために、装置各部の改良が進められている。（特許文献１参照）（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１６８９４７号公報
【特許文献２】特開平５−１２９２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の既存技術には、さらに次のような解決すべき課題があった。
１．シリコンウエハの作用面に幅の狭いブロック状の砥石を押し当てて研磨処理をすると、シリコンウエハの作用面に送りマークと呼ばれる研磨痕が残る。
２．作用面に幅の狭い砥石を押し当てて、薄くて硬い大面積の基板の研磨をすると、作用面各部に加わる圧力の変動により、シリコンウエハ基板が破損し易い。作用面の面積が広くなると作用面の平坦度が十分でなくなる。
３．作用面の平坦度はシリコンウエハ基板の機械特性に大きな影響を与える。しかし、平坦度を向上させるには、長時間の研磨作業が必要で、生産性を低下させる。
以上の課題を解決するために、本発明は次のような表面研磨方法等を提供することを目的とする。
１．大面積のシリコンウエハ等であっても、研磨痕の無い鏡面仕上げができる。
２．広い作用面全体に均一な圧力をかけて研磨することができる。
３．短時間で作用面の平坦度が高めることができ、生産性が向上する。
４．長時間安定な研磨性能を維持できる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の表面研磨板は、一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、室温で多孔質板の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、砥粒を混入したものを含浸させた表面研磨板である。
【０００６】
好ましくは、前記液体は、研磨処理時に発生した熱により軟化して流動性が高まる液体である。
【０００７】
また、好ましくは、表面研磨板は、前記多孔質板の前記一方の面側に配置され、前記砥粒を混入した液体を収容する保持容器をさらに備える。
【０００８】
また、好ましくは、前記砥粒はダイヤモンド砥粒であり、前記多孔質板には前記ダイヤモンド砥粒が混入されている。
【０００９】
本発明の表面研磨方法は、一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、室温で多孔質板の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、砥粒を混入したものを含浸させた表面研磨板の前記他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、前記他方の面と前記作用面とを摺り合わせて、前記被研磨材を研磨または研削をする表面研磨方法である。
【００１０】
本発明の表面研磨装置は、一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、室温で多孔質板の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、砥粒を混入したものを含浸させた表面研磨板の前記他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、前記他方の面と前記作用面とを摺り合わせて、前記被研磨材を研磨または研削する機構を備えた表面研磨装置である。
【００１１】
好ましくは、表面研磨装置は、前記表面研磨板の前記一方の面に前記砥粒を混入した前記液体を供給する供給手段を備える。
【００１２】
また、好ましくは、前記表面研磨板は、前記多孔質板の前記一方の面側に配置され、前記砥粒を混入した液体を収容する保持容器をさらに備え、前記保持容器は、前記機構と連結する連結部を備える。
【００１３】
また、以下の構成もそれぞれ上記の課題を解決するための手段である。
〈構成１〉
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板の、上記一方の面から上記他方の面に向かう砥粒を混入したスラリーの流れを形成し、上記他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、上記他方の面と上記作用面とを摺り合わせて、上記被研磨材を研磨することを特徴とする表面研磨方法。
【００１４】
多孔質板は、例えば、発泡金属板等のポーラス構造の板である。独立気泡ではなくスラリーを通過させるための連続気泡を有する。多孔質板の一方の面から前記他方の面に向かって砥粒を混入したスラリーを供給しながら研磨処理をすると、砥粒が良好で安定な研磨機能を発揮する。
【００１５】
〈構成２〉
構成１に記載の表面研磨方法において、上記他方の面で上記被研磨材の作用面と接する部分に位置する気泡の開口には、上記砥粒の粒径より大きいものが含まれることを特徴とする表面研磨方法。
【００１６】
気泡の開口が砥粒の粒径より大きくて、被研磨材の作用面に存在すると、その部分で砥粒が自由に転がりながら研磨処理が進行する。砥粒を作用面に固定している場合に比べて処理効率が上がり、作用面の仕上がりも良好になる。
【００１７】
〈構成３〉
構成１または２に記載の表面研磨方法において、上記連続気泡には、上記スラリーと共に流入する砥粒の粒径より大きい開口を有し、かつ、当該をトラップする曲折部を有するものが含まれることを特徴とする表面研磨方法。
【００１８】
連続気泡に曲折部があると、砥粒は、多孔質板のいずれかの連続気泡中にトラップされる。他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて研磨処理を続けると、連続気泡中の各部にトラップされた砥粒が、次々に他方の面上の連続気泡開口部分に現れて、良好で安定な研磨機能を発揮する。
【００１９】
〈構成４〉
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板と、上記一方の面全面を覆いこれを取り囲む側壁を有し、砥粒を混入したスラリーを所定量収容し、上記一方の面から上記他方の面に向かう砥粒を混入したスラリーの流れを形成するスラリー供給部と、上記多孔質板の他方の面をほぼ水平に保持し、上記多孔質板の他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、上記他方の面と上記作用面とを摺り合わせて、上記被研磨材を研磨する駆動機構とを備えたことを特徴とする表面研磨装置。
【００２０】
多孔質板の一方の面全面を覆いこれを取り囲む側壁を設け、ここに砥粒を混入したスラリーを収容して、スラリーを多孔質板に供給する。これにより、上記の表面研磨方法を実現できる。
【００２１】
〈構成５〉
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板と、上記一方の面全面を覆いこれを取り囲む容器を有し、砥粒を混入したスラリーを所定量収容し、上記一方の面から上記他方の面に向かう砥粒を混入したスラリーの流れを形成するスラリー供給部と、上記多孔質板の他方の面をほぼ垂直に保持し、上記多孔質板の他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、上記他方の面と上記作用面とを摺り合わせて、上記被研磨材を研磨する駆動機構とを備えたことを特徴とする表面研磨装置。
【００２２】
前記多孔質板の他方の面をほぼ垂直に保持した状態で研磨処理をする。スラリーが垂直に流下するので、常に新しいスラリーを連続的に供給して研磨することができる。
【００２３】
〈構成６〉
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、砥粒を混入した常温で非流動性の液体を含浸させたものと、上記多孔質板の一方の面側に配置され、上記砥粒を混入した常温で非流動性の液体を、上記一方の面以外の面を塞いで収容した処理剤封入部と、上記多孔質板の他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて、上記他方の面と上記作用面とを摺り合わせて、上記被研磨材を研磨する駆動機構とを備えたことを特徴とする表面研磨装置。
【００２４】
常温で非流動性の液体により、砥粒を多孔質板の連続気泡中に保持する。作用面では、気泡内で砥粒が動き廻り、効率のよい研磨ができる。多孔質板に処理剤を予め含浸させておけば、多孔質板の連続気泡中に万遍なく砥粒が分散する。
【００２５】
〈構成７〉
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、砥粒を混入した常温で非流動性の液体を含浸させたことを特徴とする表面研磨板。
【００２６】
〈構成８〉
一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、砥粒を混入した常温で非流動性の液体を含浸させたものと、多孔質板の一方の面側に配置され、砥粒を混入した常温で非流動性の液体を、一方の面以外の面を塞いで収容した処理剤封入部とを有することを特徴とする表面研磨板。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施例１の表面研磨装置を示す縦断面図である。
【図２】多孔質板１２の主要部断面図である。
【図３】実施例３の装置の側面図である。
【図４】実施例４の装置の縦断面図である。
【図５】実施例４の表面研磨板斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を実施例毎に詳細に説明する。
【実施例１】
【００２９】
図１は実施例１の表面研磨装置を示す縦断面図である。
図の装置は、被研磨材１４の例としてシリコンウエハを使用する。これを研磨するために、多孔質板１２を使用する。被研磨材１４はワークチャック４１により水平に固定されている。多孔質板１２は被研磨材１４の作用面１６に押し付けられるように支持されている。この多孔質板１２の一方の面１８から他方の面２０に向かうスラリー２６の流れを形成するために、スラリー供給部５１が設けられている。なお、以下の実施例では全て研磨と表現するが、この装置で研削も可能であることは言うまでもない。
【００３０】
スラリー供給部５１は、多孔質板１２の一方の面１８全面を覆いこれを取り囲む側壁を有するスラリータンク４５を備える。多孔質板１２は予め砥石ホルダ４３に一体に固定されており、ビス４４によりスラリータンク４５の下面に固定される。こうして、スラリー供給部５１は、スラリータンク４５に包囲された空間に、ダイヤモンド砥粒２４を混入したスラリー２６を所定量収容する。スラリータンク４５の上面には内部点検とスラリー補充用のキャップ４７が設けられており、その中心には、外気導入用の吸気孔４８が設けられている。
【００３１】
なお、実施例では、研磨あるいは研削をするためにダイヤモンド砥粒を使用する。しかし、その他に、セリア、シリカ、アルミナ等の研磨用粉体を単体あるいは混在させて使用することができる。スラリータンク４５には回転駆動軸４９が固定されており、駆動機構５３により矢印５４に示す方向に回転駆動される。これにより、多孔質板１２の他方の面２０をほぼ水平に保持し、多孔質板１２の他方の面２０を被研磨材１４の作用面１６に押し付けて、多孔質板１２の他方の面２０と被研磨材１４の作用面１６とを摺り合わせて、被研磨材１４を研磨する。
【００３２】
図２は、多孔質板１２の主要部断面図である。
多孔質板１２は、その一方の面１８（図１）から他方の面２０に通じる多数の連続気泡２２を有する。多孔質板１２の一方の面１８は上方に開放されており、ダイヤモンド砥粒２４を混入したスラリー２６の供給を受ける。スラリー２６は重力により多孔質板１２中で下方に移動する。スラリーは、水のような低粘度の液体よりも、高回転で運転したときに急激に流出しない糊状のものが好ましい。例えば、室温で、多孔質板１２の他方の面から重力で自然流下しない程度の粘性を持つことが好ましい。この粘性は、スラリー２６と多孔質板１２との相対的な物性を考慮して選択されるとよい。
【００３３】
多孔質板１２は、例えば、発泡金属板等のポーラス構造の板である。独立気泡ではなく、スラリー２６を通過させるための連続気泡２２を有する。多孔質板１２の材料にはステンレスや銅やセラミック材料が適する。また、被研磨材１４の機械特性に応じて、フェノール樹脂、ポリウレタン等のプラスチック材料が適する場合もある。木炭等の自然素材も採用できる。なお、当初からダイヤモンド砥粒２４を混入したポーラスセラミックも使用できる。
【００３４】
図２に示したように、多孔質板１２の他方の面２０で、被研磨材１４の作用面１６と接する部分に位置する気泡の開口２８には、ダイヤモンド砥粒２４がそれぞれ適当な量だけ存在する。被研磨材の作用面１６上に存在する気泡の開口２８の口径がダイヤモンド砥粒２４の粒径より大きいと、その部分でダイヤモンド砥粒２４が自由に転がりながら研磨処理を進行させる。研磨処理の進行と共に、多孔質板１２の他方の面２０は磨り減っていき、スラリー２６によりダイヤモンド砥粒２４も押し流されて排出される。しかし、新たなスラリーにより、新たにダイヤモンド砥粒２４が供給されるから、被研磨材の作用面１６上には常に適量のダイヤモンド砥粒２４が存在する。
【００３５】
上記のような多孔質板１２は、ダイヤモンド砥粒２４を混入した砥石よりも大サイズで安価なものが容易に製造できる。従って、従来よりも広い作用面を形成でき、作用面全体に均一な圧力をかけて研磨することができる。同時に、大面積のシリコンウエハ等であっても、研磨痕の無い鏡面仕上げができる。また、ダイヤモンド砥粒２４が自由に転がりながら研磨処理をするので、短時間で作用面の平坦度が高めることができ、生産性が向上する。さらに、スラリーにより、次々にダイヤモンド砥粒２４が供給されるので、長時間安定な研磨性能を維持できる。
【００３６】
例えば、従来のダイヤモンド砥粒２４を固定した砥石を使用すると、ダイヤモンド砥粒２４を作用面１６全面に接触させるために砥石の向きを変えながら長時間研磨処理を続ける必要がある。一方、この実施例のように、ダイヤモンド砥粒２４を気泡の開口部分に閉じこめて、その部分でダイヤモンド砥粒を自由に転がしながら研磨処理を進行させると、短時間でダイヤモンド砥粒が作用面１６全面に接触する。従って、研磨速度を十分に向上させることができる。しかも、固定したダイヤモンド砥粒２４を作用面に強く押しつける場合に比べて、ダイヤモンド砥粒２４が作用面１６に適度な圧力で接触しながら転がって研磨処理が進むので、均一なきめの細かい研磨ができる。
【００３７】
ダイヤモンド砥粒２４を混入したスラリーを作用面１６に流し込んで砥石で押さえながら研磨をしても、ダイヤモンド砥粒２４を転がすことができる。しかし、ダイヤモンド砥粒２４の位置が次第に偏り、作用面１６全面を均一に研磨することが難しい。また、研磨に寄与するダイヤモンド砥粒２４の割合が少なく、大部分は無駄に作用面外に押し流される。この実施例では、ダイヤモンド砥粒２４を気泡の開口２８の内部に閉じこめて、移動を制限しながら研磨処理をするので、ダイヤモンド砥粒２４を作用面１６全面に均一に分散させた状態を維持できる。研磨に寄与しないダイヤモンド砥粒２４の割合は極少である。
【００３８】
上記の方法は、シリコンウエハやガリウムヒ素等からなる基板の鏡面加工等に適する。また、例えば、セリアスラリー２６（日立化成社製、HS-8005/HS-8102GP）は、ケミカルエッチング機能により酸化物除去処理も同時に行える。スラリー２６を供給する際の圧力は、多孔質板１２の一方の面１８から他方の面２０に向かってスラリー２６がゆっくりと流れる程度の圧力であって、重力による圧力で十分であり、特別に加圧装置は不要である。
【００３９】
上記の装置によれば、ダイヤモンドスラリー２６が多孔質板１２から染み出して、微粒ダイヤモンドでシリコンウエハ表面を研磨すると同時に、スラリー２６によりケミカルエッチングがなされ、シリコンウエハ表面の酸化物の除去等もする。即ち、ケミカルエッチングとメカニカルエッチングを同時に行う。なお、研磨対象としては、シリコンウエハの他に、GaAs,InP等が適する。
【００４０】
また、以上の装置によれば、シリコンウエハに比べて大面積の多孔質板１２を採用することができる。具体的には、半径３００ｍｍ程度の多孔質板１２ならば、容易に安価に製造できる。だから、大面積のシリコンウエハ等であっても、研磨痕の無い鏡面仕上げができる。同時に、広い作用面１６全体に均一な圧力をかけて研磨することができる。さらに、作用面１６の平坦度を高くすることができる。しかも、有効面積が大きく、これによっても研磨時間を短縮できる。従って、全体として従来よりも高速研磨ができるという効果がある。
【実施例２】
【００４１】
連続気泡２２には、スラリー２６と共に流入するダイヤモンド砥粒２４の粒径より大きい開口を有し、かつ、当該ダイヤモンド砥粒２４をトラップする曲折部３０を有するものが含まれることが好ましい。連続気泡２２に曲折部３０があると、ダイヤモンド砥粒２４は、多孔質板１２のいずれかの連続気泡２２中にトラップされる。従って、一気に作用面１６に落下することがない。また、多孔質板１２の他方の面を被研磨材の作用面に押し付けて研磨処理を続けると、連続気泡中の各部にトラップされたダイヤモンド砥粒が、次々に他方の面上の連続気泡開口部に現れて、良好で安定な研磨機能を発揮する。
【００４２】
曲折部３０はどこにあってもよい。曲折部３０の形状、数量等は、多孔質板１２の製造条件により自由に選定できる。通常、曲折部３０は多孔質板１２の内部に均一に分散して存在するから、ダイヤモンド砥粒２４も多孔質板１２の内部に分散してトラップされ、全体として均一な研磨機能を発揮する。
【実施例３】
【００４３】
図３は実施例３の装置の側面図である。
この装置は、図１の装置を縦型にしたものである。被研磨材１４の作用面１６には、絶えず新しいスラリー２６が供給されることが好ましい。そこで、多孔質板１２の他方の面２０をほぼ垂直に保持した状態で研磨処理をする。スラリータンク４５には、その上部にスラリーチューブ３２を取り付けて、スラリー２６を連続供給する。スラリー２６は多孔質板１２を通過した後、作用面１６に沿って垂直に流下する。従って、新しいスラリー２６を連続的に供給して研磨することができる。なお、その他の部分については、図１の装置と同様の構成のため、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【実施例４】
【００４４】
図４実施例４の装置の縦断面図である。
図のように、この装置は、処理剤封入部６０と駆動機構６６とを備える。処理剤封入部６０は、一方の面１８から他方の面２０に通じる多数の連続気泡２２を有する多孔質板１２を備える。この多孔質板１２は、ダイヤモンド砥粒２４を混入した常温で非流動性の液体６２を含浸させたものである。さらに、多孔質板１２の一方の面１８側に配置され、前記ダイヤモンド砥粒２４を混入した常温で非流動性の液体６２を、前記一方の面１８以外の面を塞いで収容した保持容器６１を備える。
【００４５】
常温で非流動性の液体６２には、被研磨材１４に対して化学的な影響の無い各種の油脂が使用できる。これにより、図２等を用いて説明した効果を発揮することができる。なお、保持容器６１には、適宜空気抜きの孔を設けてもよい。
【００４６】
液体６２にはワセリンやグリスといった石油系材料のほか、植物油等の使用も可能である。液体６２を含浸させる方法には、真空含浸法が採用できる。加熱して流動性を高めた液体６２にダイヤモンド砥粒２４を攪拌しながら混入させ、真空雰囲気内で多孔質板１２に一気に含浸させる。また、液体６２は研磨処理時に発生した熱により軟化して、若干流動性が高まることが好ましい。これにより、保持容器６１の内部に収容されたダイヤモンド砥粒２４入りの非流動性の液体６２が熱膨張して流動し、多孔質板１２を通じて作用面１６に押し出される。また、液体中に炭酸カルシューム等を混入させておけば、ケミカル研磨機能も発揮することができる。即ち、常温で高粘度のスラリを使用することができる。
【００４７】
なお、図４の保持容器６１には駆動軸６３が固定されており、駆動軸６３はモータ回転軸とモータチャック６５を介して連結される。こうして、この駆動機構５３は、多孔質板１２の他方の面２０を被研磨材１４の作用面１６に押し付けて、他方の面２０と作用面１６とを摺り合わせて、被研磨材１４を研磨する。常温で非流動性の液体６２により、ダイヤモンド砥粒２４を多孔質板１２の連続気泡２２中に保持する。作用面１６では、気泡内でダイヤモンド砥粒２４が動き廻り、効率のよい研磨ができる。多孔質板１２に処理剤を予め含浸させておけば、多孔質板１２の連続気泡２２中に万遍なくダイヤモンド砥粒２４が分散する。
【００４８】
図５は実施例４の表面研磨板斜視図である。
上記の多孔質板１２を予め大量に生産しておいて、摩耗したら保持容器６１から取り外して新しいものと交換するようにして使用するとよい。図５の（ａ）は交換用の多孔質板１２であって、プラスチックケース等にパッケージして販売するとよい。また、図の（ｂ）に示すように、保持容器６１と多孔質板１２とを一体化したものをアセンブリとして準備しておき、多孔質板１２が摩耗したらモータチャック６５からアセンブリ全体を取り外して新しいものと交換するようにして使用するとよい。（ｃ）は、保持容器６１を薄い金属やプラスチックにより構成して保持容器６１と一体化したものである。これを販売して、従来のパッドと交換すればよい。実施例４によれば、スラリーを流動させる機構を多孔質板１２の背面に配置する必要が無いので、装置の構成を簡素化できる。
【００４９】
半導体素子の高集積化高性能化に伴い、層間絶縁膜の平坦化、金属プラグ形成、埋め込み配線形成などの多層配線工程で、CMP （Chemical Mechanical Polishing ）が必要不可欠な技術となっている。上記の各実施例によればその研磨パッドの大幅な機能改善を図ることができる。また、良質な表面研磨により、GaAsなどのウェーハの割れ易さを大幅に改善することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１０  表面研磨装置
１２  多孔質板
１４  被研磨材
１６  作用面
１８  一方の面
２０  他方の面
２２  連続気泡
２４  ダイヤモンド砥粒
２６  スラリー
２８  開口
３０  曲折部
３２  スラリーチューブ
４１  ワークチャック
４３  砥石ホルダ
４４  ビス
４５  スラリータンク
４７  キャップ
４８  吸気孔
４９  回転駆動軸
５１  スラリー供給部
５３  駆動機構
６０  処理材封入部
６１  保持容器
６２  非流動性の液体
６３  駆動軸
６５  モータチャック
６６  駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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