(57)【要約】      （修正有）【課題】照明灯をその長所を生かすとともに欠点をカバーして用いる。具体的にはフォトレジストを使用する製造システムについてその最適な照明灯のあり方を示す。【解決手段】白色または黄白色ＬＥＤ光源を照明に採用するとともに、外観を黄色系とした持ち出し禁止製品載置部と、外側を黄色系とした扉を設けたフォトレジストを使用する製造システムを提供する。照明灯管において、拡散透過性の外壁内部のＬＥＤ発光部と外壁外部の電気接続部を所定の角度関係に設定し、電気接続部によりＬＥＤ発光部の角度を決める。照明器具の電気接続部を所定の角度に設定してＬＥＤ発光部の角度を決める。外壁内部のＬＥＤ発光部と所定の角度関係の指標を外壁外部に設け、この指標によりＬＥＤ発光部の角度を決める。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たない照明光源と、感光状態にある製品を載置するとともに外観を黄色系とした製品載置部とを有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項２】
前記照明光源として白色ＬＥＤを用いることを特徴とする請求項１記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項３】
前記照明光源として黄白色ＬＥＤを用いることを特徴とする請求項１記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項４】
フォトレジスト処理前の感光性のない製品を保管するとともに外観色が前記載置部と異なる収納部を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項５】
フォトレジスト処理後の感光性のない製品を保管するとともに外観色が前記載置部と異なる収納部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項６】
４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たない照明光源と、前記照明光源によって照明される部屋と、前期部屋への入退室のために設けられ外側が黄色形であるとともに内側が前記外側と異なる外観色の扉とを有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項７】
感光状態にある製品を載置するとともに外観を黄色系とした第１の製品載置部が前記扉の内側に設けられるとともに、外観色が前記第１の製品載置部と異なる第２の製品載置部が前記扉の外側に設けられることを有することを特徴とする請求項６記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項８】
前記照明光源は、拡散透過性の外壁と、前記外壁内部に設けられるＬＥＤ発光部と、前記外壁外部に設けられ前記ＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある接続部とをもつ照明灯管を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項９】
前記照明光源は、拡散透過性の外壁と、前記外壁内部に設けられるＬＥＤ発光部と、前記外壁外部に設けられ前記ＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある指標とをもつ照明灯管を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項１０】
前記照明光源は、基部と、前記基部に対して回転可能な照明灯管の接続部と、前記接続部の固定部とをもつ照明器具を有することを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のフォトレジストを使用する製造システム。
【請求項１１】
拡散透過性の外壁と、前記外壁内部に設けられるＬＥＤ発光部と、前記外壁外部に設けられ前記ＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある接続部とを有することを特長とするＬＥＤ照明灯管。
【請求項１２】
前記接続部は、前記ＬＥＤ発光部に給電するための電気的接続部であることを特徴とする請求項１１記載のＬＥＤ照明灯管。
【請求項１３】
前記ＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある指標を有することを特徴とする請求項１１または１２記載のＬＥＤ照明灯管。
【請求項１４】
拡散透過性の外壁と、前記外壁内部に設けられるＬＥＤ発光部と、前記外壁外部に設けられ前記ＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある指標とを有することを特長とするＬＥＤ照明灯管。
【請求項１５】
前記指標は、前記ＬＥＤ発光部の発光方向側に設けられることを特徴とする請求項１４記載のＬＥＤ照明灯管。
【請求項１６】
前記指標は、前記ＬＥＤ発光部の発光方向調整のためのものであることを特徴とする請求項１４または１５記載のＬＥＤ照明灯管。
【請求項１７】
基部と、前記基部に対して回転可能な照明灯管の接続部と、前記接続部の固定部とを有することを特長とする照明器具。
【請求項１８】
前記接続部は、前記照明灯管に給電するための電気的接続部であることを特徴とする請求項１７記載の照明器具。
【請求項１９】
前記接続部と一体的に回転可能な角度調整基準部を有することを特徴とする請求項１７または１８記載の照明器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明光源に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来種々の目的のために種々の照明光源が提案されている。最も古典的なものは白熱電球であるが、その後蛍光灯が普及し、さらに目的によっては水銀灯も用いられてきた。また、近年ＬＥＤの利用が進み、白色ＬＥＤを蛍光灯と互換可能に構成して一般の天井照明に用いることも提案されている。
【特許文献１】特開２００４−３３５４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、各種の照明灯をその長所を生かすとともに欠点をカバーして用いることについては、さらに検討すべき課題が多い。
【０００４】
本発明の課題は、上記に鑑み、照明灯をその長所を生かすとともに欠点をカバーして用いることにあり、さらに詳しくは、フォトレジストを使用する製造システムについてその最適な照明灯のあり方を検討することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を達成するため、本発明は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たない照明光源と、感光状態にある製品を載置するとともに外観を黄色系とした製品載置部とを有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システムを提供する。
【０００６】
従来のフォトレジストを使用する製造システムでは、感光可能状態にあるフォトレジストが照明光源からの紫外線で感光してしまうのを防止するため、５００ｎｍよりも短い波長をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けた黄色蛍光灯が用いられている。このため、フォトレジスト処理室は「イエロールーム」と称されているが、作業者にとって黄色照明下で長時間作業することは必ずしも快適とは言えず、また実際問題として、色の識別が困難となるとともに人間の視感度では黄色の室内照明が暗く感じられる等の問題がある。これに対し、本発明は上記のように構成したので、従来カットすべきとされていた４５０ｎｍから５００ｎｍに充分な強度をもたせることで自然に近い白色または黄白色の照明を可能とするとともにフォトレジストにとって問題となる紫外線が発生せず、作業者にとって快適であるとともに、従来困難であった種類の異なるフォトレジストの判別が感光可能状態でも可能となり、さらに作業者が書類を読んだり書いたりするのにも問題のない明るさの照明環境が提供できる。
【０００７】
また、感光状態にある製品を載置する製品載置部の外観色を黄色系とすることにより、「イエロールーム」の照明が白色になってもその環境が紫外線を嫌うことが「イエロールーム」の名残の黄色系の色で直感できる。製品載置部は特に感光状態にある製品を載置する部分であって、このように「イエロールーム」外への製品持ち出しが禁止されている製品を載置する部分を「イエロールーム」の名残の黄色系とすることは作業への注意喚起効上、きわめて効果が高い。
【０００８】
なお、本発明の具体的な特徴によれば、照明光源の好適な例は白色ＬＥＤまたは黄白色ＬＥＤである。黄白色ＬＥＤを採用する場合には、フォトレジスト処理室の光源色を一般処理室の蛍光灯天井照明よりも黄色めにして両者の識別を容易にするとともに擬似的にフォトレジスト処理室に「イエロールーム」のイメージを残すことができる。また光源色を黄色めにすることにより強度のピークをやや長波長側にシフトさせ、フォトレジストの吸光スペクトルのピークからより遠ざける意義があり、フォトレジスト処理室で用いられる種々のフォトレジストについての感光の可能性をより低くできる。
【０００９】
本発明の他の具体的な特徴によれば、フォトレジスト処理前の感光性のない製品を保管するとともに外観色が前記載置部と異なる収納部またはフォトレジスト処理後の感光性のない製品を保管するとともに外観色が前記載置部と異なる収納部、またはその両者がフォトレジストを使用する製造システムに設けられる。これらの収納部はフォトレジスト処理室への製品の「入口」または「出口」としてのバッファ機能を果たしているが、これらを感光状態にある製品を載置する製品載置部の黄色系以外とすることにより、製品の取り扱い上の注意換気力がさらに高まる。
【００１０】
本発明の他の特徴によれば、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たない照明光源と、照明光源によって照明される部屋と、部屋への入退室のために設けられ外側が黄色形であるとともに内側が前記外側と異なる外観色の扉とを有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システムが提供される。これによって、フォトレジストにとって問題となる紫外線が発生せず、作業効率も高い照明環境を提供するとともに、「イエロールーム」の照明が白色になってもその環境が紫外線を嫌うことが扉を開け閉めして出入りする際に名残の黄色系の色で直感できかつ、その内側と外側の直感的な識別も可能となる。
【００１１】
上記本発明の具体的な特徴によれば、感光状態にある製品を載置するとともに外観を黄色系とした第１の製品載置部が扉の内側に設けられるとともに、外観色が第１の製品載置部と異なる第２の製品載置部が扉の外側に設けられる。これによって、室内外の区別が直感的にできるとともに、第２の製品載置部との対比によって第１の製品載置部に関する注意喚起力がより高まる。
【００１２】
本発明の他の特徴によれば、拡散透過性の外壁と、外壁内部に設けられるＬＥＤ発光部と、外壁外部に設けられＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある接続部とを有するＬＥＤ照明灯管が提供される。これによって、外壁内部にあるＬＥＤ発光部に指向性があるにもかかわらずその発光方向がわからない場合でも、外部の接続部が正しい角度でセットされれば内部のＬＥＤの発光方向を所定の方向にセットできる。上記本発明の具体的特長によれば上記のような接続部をＬＥＤ発光部に給電するための電気的接続部とするのが好適である。なお、必要に応じ機械的な接続部と電気的な接続部を別にすることができ、この場合の電気的接続部は内部のＬＥＤ発光部と所定の角度関係になくてもよい。
【００１３】
本発明の他の特徴によれば、拡散透過性の外壁と、前記外壁内部に設けられるＬＥＤ発光部と、前記外壁外部に設けられ前記ＬＥＤ発光部と所定の角度関係にある指標とを有することを特長とするＬＥＤ照明灯管が提供される。これによって、外壁内部にあるＬＥＤ発光部に指向性があるにもかかわらずその発光方向がわからない場合でも、外部の指標によってＬＥＤの発光方向を所定の方向にセットできる。上記本発明の具体的な特徴によれば、上記の指標は、ＬＥＤ発光部の発光方向側に設けられる。以上のような本発明の指標は、ＬＥＤ照明灯管が複数天井等に配置される際、これらの発光方向が不揃いになって不快感を与えるのを防止し、複数のＬＥＤ照明灯管の発光方向を相対的に同一方向に揃えるのに役立つ。
【００１４】
本発明の他の特徴によれば、基部に対して回転可能な照明灯管の接続部と、この接続部が回転しないよう固定する固定部とを有する照明器具が提供される。これによって照明器具の設置場所は構造によって照明装置基部の角度が種々変わっても、照明灯管の接続部の角度を所定の角度にセットできる。これによって接続部の角度を基準にして照明灯管を装着すれば照明灯管も所定の向きでセットされることになり、ＬＥＤ照明灯管のように指向性のある照明灯管の設置に好適である。上記本発明の具体的特長によれば上記のような接続部を照明灯管に給電するための電気的接続部とするのが好適である。なお、必要に応じ機械的な接続部と電気的な接続部を別にすることができ、この場合の電気的接続部は回転可能に構成しなくてもよい。
【００１５】
上記本発明の他の具体的特長によれば、接続部と一体的に回転可能な角度調整基準部が設けられる。これによって、照明器具の取り付け施工時、その基部を固定した後に角度調整基準部に水準器などを当てて垂直または水平を確認した後固定部によって接続部を固定することができる。もちろん、もちろん、適宜の角度設定器具を角度調整基準部に当てて調節すれば、接続部を水平または垂直以外の任意の角度にセットすることも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第１実施例を示すブロック図である。このような製造システムは、半導体、プリント基板、フラットパネルディスプレイ、フレキシブル基板、メッキ工程などのフォトレジストを使用する製品の製造に利用することができるが、図１の第１実施例は、フォトレジストを使用してウエハにパターンを形成する半導体製造システムに関するものである。
【００１７】
フォトレジスト処理室２は、ウエハに塗布されたフォトレジストに不要な紫外線が当たらないよう配慮された処理室であり、クリーンルーム４内において隔壁６により他の一般処理室８等と隔てて配置されている。ドア１０は、フォトレジスト処理室２と一般処理室８の間を作業者１２が出入りするとともに、ウエハ等を搬入搬出するために設けられているものである。
【００１８】
フォトレジスト処理室２には、ウエハに所望のパターンを転写する工程に必要な装置が設けられており、具体的には、ウエハにフォトレジストを均一に塗布するためのスピンコート部１４、フォトレジストが塗布されたウエハに紫外線によりパターンを露光する露光部１６、紫外線が当たることによって現像液に溶けやすくなったフォトレジストの部分を溶かして塗布前のウエハ表面を露出させるとともに紫外線が当たっておらず現像液に溶けない部分を残す現像部１８等が設置されている。
【００１９】
フォトレジスト処理室２では、上記のようなスピンコート部１４、露光部１６、現像部１８などが設置されているため、本来紫外線が当たってはいけないウエハ上のフォトレジストに紫外線が当たると残すべきフォトレジストの部分が現像液に溶けやすくなってしまい、ウエハへのパターンの転写が正しく行われなくなる。このような不要な紫外線の発生源として典型的なものが室内照明のための蛍光灯である。従って、フォトレジスト処理室２のドア１０に設けられたドアガラス２０および他の処理室との隔壁に設けられたガラス窓２２には、一般処理室８等の蛍光灯天井照明２３に含まれる紫外線をカットし、これがフォトレジスト処理室内に入射するのを防止するためのオレンジ色の紫外線カットフィルムが貼られている。このため、一般処理室８等の外部からは、ドアガラス２０やガラス窓２２の色によりその内部がフォトレジスト処理室２であることが一目瞭然となる。
【００２０】
さらに、フォトレジスト処理室２には、室内照明として白色発光ダイオード（以下、「白色ＬＥＤ」）天井照明２４、２６等が設けられている。図１では簡単のため２つのみ図示しているが、実際には多数の白色ＬＥＤ天井照明が設けられている。
【００２１】
従来のフォトレジスト処理室には、５００ｎｍよりも短い波長をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を蛍光灯ガラス内面に設けその上に蛍光体を塗布した構造の黄色蛍光灯が用いられていた。このため、フォトレジスト処理室は「イエロールーム」と俗称される。しかしながら、作業者１２にとって黄色照明下で長時間作業することは必ずしも快適とは言えず、また実際問題として、色の識別が困難となって自然光の下では可能な種類の異なるフォトレジストの目視での判別がフォトレジスト処理室２では不可能となっていた。さらに、５００ｎｍよりも短い波長のカットによって人間の視感度では黄色の室内照明は暗く感じられる。このためフォトレジスト処理室内の黄色蛍光灯の本数は、一般処理室における通常蛍光灯の数よりも多く設置されていたが、それでも、人間の目では、一般処理室よりもフォトレジスト処理室の方が暗く感じる照明環境となっていた。
【００２２】
これに対し、本発明に関する図１の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないものである。これによって、フォトレジストにとって問題となる紫外線を発生しないとともに、作業環境として快適であり、従来困難であった種類の異なるフォトレジストの判別がフォトレジスト処理室２の中でも可能となるとともに、作業者１２作業者が書類２８を読んだり書いたりするのにも問題のない照明環境を提供している。この点については、後に詳述する。
【００２３】
一般処理室８は、現像後のウエハにエッチングを行うエッチング部３０が設けられている。エッチング部３０では、その後不要となったフォトレジスト除去工程も含まれている。現像後のフォトレジストには照明等による紫外線が当たっても問題ないので、一般処理室８には既に述べたように通常の蛍光灯天井照明２３が設けられている。また、ドア１０の上には非常口を示す一般の蛍光灯非常口灯３２が設けられている。
【００２４】
これに対し、フォトレジスト処理室２では、ドア１０の上にはＬＥＤ非常口灯３４が設けられており、常時点灯されている非常口灯から不要な紫外線が発生するのを防止している。なお、フォトレジスト処理室２は有害な溶剤等を利用するため、排気ダクト３６の設置が不可欠となっている。図１では簡単のため1本しか図示していないが、フォトレジスト処理室2内には多数のダクトが設けられている。
【００２５】
以上のようなクリーンルームには、各室にカラーの監視カメラ３８、４０、４２が設けられている。図１では簡単のため各室一台ずつしか図示していないが、通常は各室複数の監視カメラが設けられており、特にフォトレジスト処理室２には、多数のダクト３６が這っている等の事情で室内が入り組んでいるため、他の室よりも多数の監視カメラ４０が設けられている。監視カメラモニタ室４４では、各監視カメラ３８、４０、４２から送られてきた監視画像をそれぞれモニタ４６、４８、５０で監視している。
【００２６】
従来のフォトレジスト処理室は黄色蛍光灯によって照明される「イエロールーム」であったため、そのモニタ画像も全体が黄色の色調を帯びており、通常は自然色の画像である監視カメラモニタ室の各モニタの中で目立ち、一見してそれがフォトレジスト処理室の画像であることがわかるものであった。しかしながら本発明のフォトレジスト処理室２の照明は白色ＬＥＤ天井照明２４、２６であるため、そのままではフォトレジスト処理室モニタ４８の色調が一般処理室モニタ４６、５０と同じ自然色となり、従来のような判別ができない。そこで本発明の監視カメラモニタ室４４では、フォトレジスト処理室モニタ４８の画像が一般処理室モニタ４６，５０とは異なる黄色の色調となるようを意図的に自動画像処理するよう制御し、従来見慣れた「イエロールーム」の画像であることが一見してわかるようにしている。
【００２７】
図２は、本発明の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等に用いられる照明灯管を通常の蛍光灯管と対比して図示した斜視図である。図２（Ａ）は通常の蛍光灯管であって、ガラス管部６０およびその両端の口金部６２、６４を有している。通常の蛍光灯管の口金部６２、６４の外観は銀色である。これに対し、図２（Ｂ）は本発明の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等に用いられるＬＥＤ照明灯管であって、通常の蛍光灯管のガラス管部６０と外観および寸法が同じ外管部７０を有する。そしてこの外管部７０の内部には多数の白色ＬＥＤが配置されている。図２（Ｂ）のＬＥＤ照明口金部７２、７４は、口金部６２、６４と同形のものであり、これらＬＥＤ照明口金部７２、７４から給電される家庭用電源の電力によって外管部７０内の各ＬＥＤを駆動するためのドライバ回路を内蔵している。このように、図２（Ｂ）のＬＥＤ照明灯管は、通常の蛍光灯管を取り付ける通常の照明器具にそのまま取り付けることができるので、フォトレジスト処理室の照明器具を交換しなくても、その照明環境を快適かつ有用なものに変更することができる。
【００２８】
ところで、従来のフォトレジスト処理室に取り付けられる黄色蛍光灯も寸法が図２（Ａ）に示す通常の蛍光灯管と同じであるが、ガラス管部が黄色であるため、明らかに通常の蛍光灯管と区別でき、しかも「イエロールーム」用であることが周知なので、紫外線を出す通常の蛍光灯管を誤ってフォトレジスト処理室に取り付ける恐れはほとんどない。しかしながら図２（Ｂ）における本発明の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等に用いられるＬＥＤ照明灯管は外観も寸法も通常の蛍光灯管に近似しており、なおかつ白色ＬＥＤの採用によってフォトレジスト処理室もいわゆる「イエロールーム」ではなくなっているので、通常処理室との違いの意識が薄れ、紫外線を出す通常の蛍光灯管を誤ってフォトレジスト処理室に取り付ける可能性が生じる。そこで、図２（Ｂ）に示すＬＥＤ照明口金部７２、７４は、外観が「イエロールーム」をイメージさせる黄色又は金色（以下「黄色系」と称する）の色になっており、これによって、フォトレジスト処理室２に通常の蛍光灯管を取り付けようとしたときには、その口金部６２、６４が銀色であることから誤りに気づくことができる。
【００２９】
図３は、蛍光灯および白色ＬＥＤの発光スペクトルをフォトレジストの吸光スペクトルと比較したグラフである。図３（Ａ）は蛍光灯の発光スペクトル８０のイメージを示すものであって、いくつかの強い輝線スペクトルを持ち、それが紫外線領域に及んでいる。一方図３（Ｂ）はフォトレジストの吸光スペクトルのイメージであり、フォトレジストの感光剤の吸光スペクトル８２は、３４０ｎｍ付近および４００ｎｍ付近におけるピークを含む紫外線領域で大きな吸光を示している。また、フォトレジストの樹脂の吸光スペクトル８４は、それより波長の短い２８０ｎｍ付近にピークを有する紫外線領域での吸光特性を示している。そしてフォトレジストにおける図３（Ｂ）のような紫外線領域における吸光特性が図３（Ａ）の蛍光灯の発光スペクトル８０における紫外線領域での強い輝線スペクトルと重なるため、通常の蛍光灯をフォトレジスト処理室の天井照明に用いるとフォトレジストが感光してしまい、正しいパターンの転写の障害となる。そのため、従来のフォトレジスト処理室では、図３（Ａ）にイメージで示すように５００ｎｍよりも短い波長領域８６をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けた黄色蛍光灯が用いられてきた。
【００３０】
これに対し、図３（Ｃ）は、青色発光ダイオードを黄色蛍光体を含む樹脂で封止した白色ＬＥＤにおける発光スペクトルを示し、青色発光ダイオード本来の４５０ｎｍから４７０ｎｍをピークとする青色光と、この青色光が黄色蛍光体を刺激することによって発生する黄色蛍光の合成による全体として白色となる発光特性を有している。本発明は、図（Ｃ）のように４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たない白色光源がフォトレジト処理室の照明に好適であることを見出したものであり、従来のように５００ｎｍよりも短い波長領域８６をほぼ完全にカットした黄色蛍光灯で照明すべきとされていた「イエロールーム」の概念を覆すものである。
【００３１】
図４は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第２実施例を示すブロック図である。その構成の大部分は図１の第１実施例と同様なので、共通する部分には同一の番号を付し、特に必要がない限り説明を省略する。図４の第２実施例が図１の第１実施例と異なるのは、ドア１０２にドアガラスがなく、隔壁１０４にもガラス窓がないことである。このように、第２実施例のフォトレジスト室１０６は光学的にも外部と隔絶されており、隔壁部分のガラスから紫外線が入射するのを防止するため必要がない反面、外部から中の様子をうかがい知ることもできないし、フォトレジスト処理室特有のオレンジ色の紫外線カットフィルムも存在しない。
【００３２】
また、図４の第２実施例では、図１の第１実施例と同様、白色ＬＥＤ天井照明２４、２６により、フォトレジスト室１０６を照明しており、ドア１０２を空けてフォトレジスト処理室１０６に入っても照明は白色で外部と変わりがない。このように、図の第２実施例では、白色ＬＥＤ天井照明２４、２６に取り付けられるＬＥＤ照明灯管におけるＬＥＤ照明口金部７２、７４の色が黄色系であることを除き、このままでは従来の「イエロールーム」の痕跡がない。従って、不要な紫外線に注意して作業すべき環境であることを看過した誤作業が生じる恐れがある。このため、図４の第２実施例では、フォトレジスト処理室の天井に従来の黄色蛍光灯が取り付けられていた状態が擬似的にイメージできる黄色ライン１０８が設けられている。さらに、フォトレジスト処理室を這っている排気ダクト１１０を「イエロールーム」をイメージさせる黄色とし、在来の習慣を利用して紫外線に注意して作業すべき環境であることについて注意を喚起する構成としている。
【００３３】
図５は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第３実施例を示すブロック図である。その構成の大部分は図１の第１実施例と同様なので、共通する部分には同一の番号を付し、特に必要がない限り説明を省略する。とはいえ、図５の第３実施例では、天井照明として従来の黄色蛍光灯天井照明２０２、２０４が踏襲されているという大きな違いがある。また、ドア１０の上には、従来と同じ黄色蛍光灯を光源とする黄色蛍光灯非常口灯が設けられている。従って、図５の第３実施例のフォトレジスト処理室２０８は基本的には従来と同様の「イエロールーム」となっている。
【００３４】
図５の第３実施例が従来の「イエロールーム」と異なるのは、白色ＬＥＤ手元照明２１０が設けられていることである。図５では、簡単のため、作業者１２作業者が書類２８を読んだり書いたりする場所にのみ白色ＬＥＤ手元照明２１０を図示しているが、実際には、フォトレジストの色を確認する部分やその他種々の表示部分などに適宜白色ＬＥＤ手元照明２１０が設けられる。黄色蛍光灯によって照明した場合の実際上の問題点は、文字や表示を読んだり書いたりするときに人間の視感度として感じる暗さおよび目視による色の確認である。従って、図５の第３実施例ではこのような問題が生じている要所々々に白色ＬＥＤ手元照明２０８を設けるよう構成している。
【００３５】
白色ＬＥＤ手元照明２１０に用いる照明灯は、図２（Ｂ）に示すものと同様にして通常の蛍光灯管と寸法が同じものであって、通常の蛍光灯管を取り付ける手元照明装置にそのまま取り付けることができるものである。また、その口金部は、図２（Ｂ）のＬＥＤ照明口金部７２、７４と同様にして外観が「イエロールーム」をイメージさせる黄色系の色になっており、これによって、フォトレジスト処理室２０８内の手元照明装置に通常の蛍光灯管を取り付けようとしたときには、その口金部が銀色であることから誤りに気づくことができるものである。
【００３６】
なお、図５の第３実施例におけるクリーンルーム２１２のための監視カメラモニタ室２１４は従来の「イエロールーム」を持つクリーンルーム用のものと同様のものである。つまり、フォトレスト処理室モニタ２１６は、一般処理室モニタモンタ４６、５０と同様のものであって、図１のフォトレジスト処理室モニタ４８のような一般処理室モニタ４６，５０とは異なる自動的な画像処理を施すものではない。フォトレジスト処理室２０８は基本的には通常の「イエロールーム」であり、フォトレジスト処理室モニタ２１６には、監視カメラ４０で撮影されたとおりの黄色の画像が表示されるからである。
【００３７】
なお、上記本発明の実施は上記の実施例に限らず、他の種々の実施によりその利点を教授できるものである。例えば、本発明におけるフォトレジスト処理室用の白色光源は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないものである限り、上記の実施例に限るものではない。例えば、上記の実施例では、青色発光ダイオードを黄色蛍光体を含む樹脂で封止した白色ＬＥＤを用いる例について説明したが、その他の白色発光ダイオードを採用することも可能である。その他の白色発光ダイオードとしては、青色発光ダイオードを緑色蛍光体および赤色（又はオレンジ色）蛍光体を含む樹脂で封止した白色ＬＥＤ、青色発光ダイオードと赤色発光ダイオードと緑色発光ダイオードを組み合わせてなる白色ＬＥＤなどによっても本発明の実施が可能である。さらに、発光ダイオードに代えて、白色の有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）を用いてもよい。
【００３８】
また、図２では、フォトレジスト処理室用のＬＥＤ照明灯管をこれと外観および寸法が同じ通常の蛍光灯管と識別するために口金の色を「イエロールーム」を連想させるものとしたが、本発明の実施はこれに限るものではない。本発明のフォトレジスト処理室用白色照明灯管は、通常の蛍光灯管を取り付ける通常の照明器具にそのまま取り付けることができるとともに、紫外線を出す通常の蛍光灯管を誤ってフォトレジスト処理室に取り付ける恐れを除去することがその特徴の一つであって、誤取り付けを防止するためには、実施例のような構成の他、図２（Ｂ）において、外管部７０の一部を黄色にする等の実施も可能である。
【００３９】
さらに、図４において、「イエロールーム」をイメージさせるための構成は、天井の黄色ラインや排気ダクトの黄色着色に限らず、ドア１０の黄色着色や作業者１２の着衣を黄色にするなど、種々の実施が可能である。また、図４の第２実施例の特徴は、紫外線カットフィルムが貼られたガラスのないフォトレジスト処理室１０６での実施に限るものではなく、図１の第1実施例のようなフォトレジスト処理室２において併用することも可能である。
【００４０】
図６は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第４実施例を示すブロック図である。その構成の大部分は図１の第１実施例と同様なので、共通する部分には同一の番号を付し、特に必要がない限り説明を省略する。図６の第４実施例は基本的には図１の第１実施例と同様のものであるが、若干の変更点と追加点がある。まず変更点は、図１における白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等が黄白色ＬＥＤ天井照明３０２、３０４等に置き換えられていることである。これは、フォトレジスト処理室２の光源色を一般処理室８の蛍光灯天井照明２３よりも黄色めにして両者の識別を容易にするとともに擬似的にフォトレジスト処理室２に「イエロールーム」のイメージを残すためのものである。また光源色を黄色めにすることにより強度のピークをやや長波長側にシフトさせ、図３（Ｂ）に示すフォトレジストの吸光スペクトルのピークからより遠ざける意義もある。フォトレジスト処理室で用いられる種々のフォトレジストの吸光スペクトルは若干ことなっているのでこのようにすることによりフォトレジスト感光の可能性をより低くしている。
【００４１】
なお、図６では、簡単のため、図１における作業者１２、スピンコート部１４、露光部１６、現像部１８、エッチング部３０および排気ダクト３６の図示を省略しているが、第４実施例にもこれらの構成があることについて変わりはない。なお、図６では、図１のスピンコート部１４、露光部１６および現像部１８をまとめて処理部３０６として図示している。
【００４２】
図６において追加されている未処理製品用密閉空調保管庫３０８は、いわば製品のイエロールームへの入り口であり、他の部屋から搬入された未処理製品の保管バッファとして利用される。そして、搬入された製品が処理を待って滞留する可能性があるため、ガラス扉を閉じて密閉した上で主に水分除去のため庫内が空調されている。処理の順番が来て未処理製品用密閉空調保管庫３０８から取り出された製品は、処理の種々のステップで一時的にイエロー開放棚３１０に置かれる。イエロールーム開放棚３１０は作業性のために扉のない開放式の棚となっているが、後述する理由のため、イエロールームのイメージを残して外観が黄色になっている。処理が終わった製品は、フォトレジスト処理室２からバッチ処理で搬出するために、処理隋製品用密閉空調保管庫３１２で保管する。つまり製品のイエロールームからの出口のバッファとして利用される。ここでも製品が搬出を待って滞留する可能性があるため、ガラス扉を閉じて密閉した上で主に水分除去のため庫内が空調されている。
【００４３】
フォトレジスト処理室２内の製品の流れは上記のようになっており、イエロールーム開放棚３１０におかれた製品は感光可能なフォトレジストが塗られた状態である可能性があるため、従来から、フォトレジスト処理室２外へ直接持ち出してはいけないルールになっている。つまり、フォトレジストア処理室２への製品の搬入および搬出は、それぞれ製品の入り口および出口である未処理製品用密閉空調保管庫３０８および処理隋製品用密閉空調保管庫３１２を必ず経由すべきことがルールとなっている。従来は、イエロールーム開放棚３１０が黄色光源の照明下にあったため、通常の一般開放棚３１４と区別でき、製品持ち出し禁止のルールについて常に注意が喚起される状態であった。しかしながら、本発明の特徴によってフォトレジスト処理室２の照明が白色または黄白色になるとイエロールーム開放棚３１０と一般開放棚の区別がしにくくなり、製品持ち出し禁止のルールへの日々の注意喚起力が低下する。このため、本発明では、イエロールーム開放棚３１０の外観を黄色とし、イエロールームのイメージを残して製品持ち出し禁止のルールへの注意喚起力を高めている。なお、一般開放棚３１４の外観は、黄色のイエロールーム開放棚３１０との区別がつく色、例えば白色とされる。
【００４４】
図６では、さらにドア１０の内側のドアガラス２０以外の部分に白色塗装３１６が、またドア１０の外側のドアガラス２０以外の部分に黄色塗装３１８が施されている。これは、外側からドア１０を開けて入る場合、中がフォトレジスト処理室２であることを塗装３１８の黄色で注意喚起するためのものである。これは、擬似的にフォトレジスト処理室２に「イエロールーム」のイメージを残すためのものである。一方、ドア１０を開けて出る場合は、外がフォトレジストの感光を気にしなくてよい一般処理室８であることを塗装３１６の白色で認識できる。この内側の塗装３１６は、ドア１０の内外が区別できるようにすることが目的なので、「イエロールーム」のイメージを残すためには必須の塗装３１８の黄色とは違う色であればよく、必ずしも白色でなくてもよい。
【００４５】
図７は、本発明に用いられる照明灯管の他の例の詳細を示す斜視図であり、白色ＬＥＤ天井照明２４、２６または白色ＬＥＤ手元照明２１０または黄白色ＬＥＤ天井照明等に用いることができるものである。その構成は基本的には図２の構成と共通であり、すでに説明したことは図７にも適用される。従って重複する説明は省略する。図７が図２と異なるのは口金部４０２、４０４の外観であって、図２の口金部７２、７４では、全体が「イエロールーム」をイメージさせる黄色系の色になっているのに対し、図７の口金部４０２、４０４では、その一部である指標部４０６、４０８のみが黄色系となっていて、他の部分と明瞭に識別できるようになっている。その意義は後述する。なお、図７では、外管部４１０の内部等、構成の詳細が図示されているがこれらの詳細構成は図２にも適用可能である。
【００４６】
なお、図７においては、説明の必要上、外管部４１０が透明で内部の構成が見えるような図示をしているが、実際の外管部４１０は、拡散透過性のガラス管であってその内部の様子は見えない。白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等は基盤部４１８に固定されており、その発光方向は二本の接続ピン４２０、４２２の方向と所定の角度関係に固定されている。これによって、例えば二本の接続ピン４２０、４２２が水平方向になるよう照明器具に取り付けられると白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の発光方向は下を向くようになる。なお、白色ＬＥＤは図６の第４実施例においては黄白色ＬＥＤであり、同様の構成となるが、以下、白色ＬＥＤで代表させて説明する。
【００４７】
通常の蛍光灯管はその管の軸方向周りに指向性なく発光するので軸周りの回転方向を気にしなくてもよいが、本発明の照明灯管では白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の発光方向に指向性があり、所望の方向に向けて発光するようにする必要がある。このため、白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等と二本の接続ピン４２０、４２２の方向とを所定の角度関係に固定し、接続ピン４２０、４２２の方向が所定方向になるよう照明器具にセットされれば中の様子がわからない白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等も正しく所望の方向を向くようにしている。なお、本発明の照明灯管の外観は二本の接続ピン４２０、４２２を含む平面について上下対称となっているので、二本の接続ピン４２０、４２２で方向を決めるだけでは、例えば照明灯管が天井側を向いて発光するような形で上下逆に照明装置に取り付けられる可能性がある。これについてはＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の背面側を反射面とし、これが外観上もわかるように構成することで解決できる。
【００４８】
次に指標部４０６、４０８の意義について説明する。指標部４０６、４０８は口金部４０２、４０４において白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６の発光方向側に設けられており、例えば天井照明の場合、下から見上げて見える位置に設けられる。そしてその位置は二本の接続ピン４２０、４２２と所定の角度関係になるよう設定されている。これは、指標部４０６、４０８が白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等は基盤部４１８と所定の角度関係に設定されていることを意味する。従って、指標部４０６、４０８の位置を見れば白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の方向が外部からわかることになる。
【００４９】
さらに、照明灯管が縦に一列に天井に配置された場合など、これを列方向に下から見上げて指標４０６および指標４０８が仮想線４２４上に揃って見えるよう照明灯管間の軸方向周りの角度を調整すれば、全ての照明灯管の白色ＬＥＤが揃って同一方向に発光するようよう互いの相対関係を調節することが可能となる。このとき当然ながら二本の接続ピン４２０、４２２と別の照明灯管の二本の接続ピン４２６、４２８も平行となる。以上のように、本発明では、外からは見えない白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の発光方向を外部から正確に知ることができる指標部４０６、４０８を設けているので、指向性のある照明灯管を多数天井に配置した場合などにおいて、その発光方向が微妙にずれて全体的に不揃いに見える不快感の解消に有益である。
【００５０】
なお、指標部４０６、４０８は本来、照明灯管の軸周りの角度調整のために設けられるものであるが、白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６の発光方向側、つまり照明される側から見える側に設けられるので、照明灯管が上下逆にセットされるのを防止する機能もある。従って、指標４０６および指標４０８を採用する際には、ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の背面側の反射面については、これを必ずしも外観上見える構成としなくてよい。また、上下逆セット防止効果から見ても、指標部４０６、４０８が照明される側から見えるので、確認が確実となる。つまり、易取り付け後は見えなくなる上下逆セット防止手段の場合は、正しくセットされているのか上下逆セット防止手段そのものがないのかの区別が、取り付け後では直接確認することができなくなる。
【００５１】
図８は本発明の照明灯管を装着するための照明器具における接続ピン挿入ソケット部分が見える方向からの部分側面図である。照明器具は、その設計および取り付け場所によって種々の角度になる可能性がある。図８（Ａ）は照明器具５０２が水平面である天井５０４に取り付けられた場合であってその照明方向は矢印５０６で示すように下である。これに対し、図８（Ｂ）は照明器具５０２が傾いている照明器具の反射傘部分５０８に取り付けられた場合であって、その照明方向は矢印５１０で示すようにやはり下である。また、図８（Ｃ）は照明器具５０２が垂直面である側壁５１２に取り付けられた場合であって、その照明方向は矢印５１４で示すように横である。
【００５２】
ソケット部５１６は水準器当接面５１８と一体に照明装置５０２に対して回転可能であり、回転方向を調節後、固定部５２０で締め付けることによって回転方向を固定することができる。また、水準器当接面５１８は、接続ピン差込穴５２２、５２４を結ぶ線と並行である。従って、照明器具５０２の取り付け施工時、照明器具５０２を固定した後に固定部５２０を緩め、水準器当接面５１８に水準器を当てて垂直または水平を確認した後固定部５２０を再び締め付ければ接続ピン差込穴５２２、５２４を結ぶ線が正しく水平又は垂直にセットできる。もちろん、適宜の角度設定器具を水準器当接面５１８にあてて調節すれば、接続ピン差込穴５２２、５２４を結ぶ線を水平または垂直以外の任意の角度にセットすることも可能である。
【００５３】
以上のように接続ピン差込穴５２２、５２４を結ぶ線が所望の角度にセットされた照明器具５０２に図７の照明灯管を装着することにより、白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６を所望の向きにそろえて装着できる。これは、既に説明したように、照明灯管の二本の接続ピン４２０、４２２白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の発光方向と所定の関係にあり、二本の接続ピン４２０、４２２が挿入される接続ピン差込穴５２２、５２４が所定の角度にセットされているからである。このように、接続ピン差込穴５２２、５２４の角度を予めセットすることで白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６等の発光方向を正しくセットできる場合は、指標部４０６、４０８は必ずしも必要ではない。しかしながら、照明灯管を装着した状態で図８の照明器具５０２の固定部５２０を操作できるよう構成する場合は、照明灯管装着状態でソケット部５１６の角度調整を行い、その際に指標４０６、４０８を複数の照明灯管の軸方向周りの角度調節に利用することができる。この場合は、水準器当接面５１８は用いられない。
【００５４】
本発明の実施は上記に限られるものではない。例えば、図７の照明灯管の構成および図８の照明器具の構成は、図１から図６のようなフォトレジストを使用する製造システムにおける照明に好適なものとして説明したが、これに限るものではなく、一般のＬＥＤ照明灯管においても広く実施できる。この場合、例えば図７の指標４０６、４０８は必ずしも黄色系でなくてもよく、口金部４０２、４０４の他の部分と明瞭に識別可能な色なら広く活用できる。さらに、このような指標４０６、４０８は、色による識別に限らず、外形による識別でもよい。例えば、指標４０６、４０８の色自体は他の部分と同一とし、その代わりに指標４０６、４０８の部分を例えば他の部分よりも窪んだ溝部または他の部分よりも隆起した土手部としてもよい。さらに、内部の白色ＬＥＤ４１２、４１４および４１６と所定の位置関係にある外部の接点部分は、角度決定機能のある限り、二本の接続ピン４２０、４２２に限らず、適宜任意の形状の接続部であってよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第１実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明の白色ＬＥＤ天井照明に用いられる照明灯の一例を通常の蛍光灯管と対比して図示した斜視図である。
【図３】蛍光灯および白色ＬＥＤの発光スペクトルをフォトレジストの吸光スペクトルと比較したグラフである。
【図４】本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第２実施例を示すブロック図である
【図５】本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第３実施例を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第４実施例を示すブロック図である。
【図７】本発明に用いられる照明灯管の他の例の詳細を示す斜視図である。
【図８】本発明の照明灯管を装着するための照明器具における部分側面図である。
【符号の説明】
【００５６】
２４、２６、２１０、３０２、３０４  フォトレジストを使用する製造システム用照明光源
３１０  製品載置部
２４、２６、２１０  白色ＬＥＤ
３０２、３０４  黄白色ＬＥＤ
３０８、３１２  収納部
２  部屋
１０  扉
３１０  第２製品載置部
３１４  第２製品載置部
４１０  外壁
４１２、４１４、４１６  ＬＥＤ発光部
４２０、４２２、４２６、４２８  接続部
４０６、４０８  指標
５０２  基部
５１６  接続部
５２０  固定部
５１８  角度調整基準部
【図１】
2010092941.tif 000003
【図２】
2010092941.tif 000004
【図３】
2010092941.tif 000005
【図４】
2010092941.tif 000006
【図５】
2010092941.tif 000007
【図６】
2010092941.tif 000008
【図７】
2010092941.tif 000009
【図８】
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