(57)【要約】【課題】各吐出口を均一な長さに形成できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッドの製造方法は、インク供給口形成領域８ａに沿って吐出エネルギー発生素子２ｂ，２ｃが千鳥状に配列された基板１１の表面上の、インク流路を形成する部分に型材１３ａを形成する第１の工程を有する。また、互いに隣り合う各第１の吐出エネルギー発生素子２ｂの上に配置される第１のノズル部型材１３ｅの間にそれぞれ高さ調整部材１２ａを形成する第２の工程を有する。また、第１の工程及び第２の工程の後に、基板１１の表面上に型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａを覆うように被覆樹脂層を形成する第３の工程を有する。また、第３の工程の後に、被覆樹脂層に吐出口を形成し、基板１１にインク供給口を形成し、型材１３ａを除去する第４の工程を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク供給口が形成され、表面に、前記インク供給口の長手方向に沿って、第１の吐出エネルギー発生素子と、該第１の吐出エネルギー発生素子より前記インク供給口に近接する第２の吐出エネルギー発生素子と、が交互に配列された基板と、
前記各第１の吐出エネルギー発生素子を覆う第１のノズル部及び前記各第２の吐出エネルギー発生素子を覆う第２のノズル部を含み、前記各第１のノズル部及び前記各第２のノズル部と前記インク供給口との間に延びたインク流路を前記基板の表面に形成し、前記各第１のノズル部及び前記各第２のノズル部に吐出口が形成された被覆樹脂層と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記基板の表面上の前記インク流路が形成される部分に型材を形成する第１の工程と、
前記基板の表面上の互いに隣り合う前記第１のノズル部になる部分の間にそれぞれ高さ調整部材を形成する第２の工程と、
前記第１の工程及び前記第２の工程の後に、前記基板の表面上に前記型材及び前記高さ調整部材を覆うように被覆樹脂層を形成する第３の工程と、
前記第３の工程の後に、前記被覆樹脂層に前記吐出口を形成し、前記基板に前記インク供給口を形成し、前記吐出口と前記インク供給口との少なくとも一方から前記型材を除去する第４の工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記高さ調整部材と前記被覆樹脂層とを同一の材料で形成する、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記高さ調整部材と前記型材とを同一の材料で同時に形成する、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記高さ調整部材を、前記型材の厚さ以上の厚さに形成する、請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１の工程の後で前記第３の工程の前に、前記型材の、前記各ノズル部になる部分に形成された部分の表面上の一部にそれぞれ追加型材を形成する工程を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記高さ調整部材を、前記型材と前記追加型材との合計の厚さ以上の厚さに形成する、請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出口から吐出して被記録媒体に画像を形成するインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インク等の液体を吐出して記録を行うインクジェット記録方式（液体吐出記録方式）に適用されるインクジェット記録ヘッドは、一般に、インク流路内に吐出エネルギー発生素子を備えている。
【０００３】
このようなインクジェット記録ヘッドでは、記録素子基板のインク供給口からインク流路内に供給された液体を、吐出エネルギー発生素子が発生させる熱エネルギーによって微細な吐出口から吐出する。
【０００４】
このようなインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例が、特許文献１に記載されている。
【０００５】
特許文献１に記載されたインクジェット記録ヘッドの製造方法では、吐出エネルギー発生素子を形成した基板上に、感光性材料を塗布し、パターニングすることにより、インク流路の型になる型材を形成する。
【０００６】
次いで基板上に型材を被覆するように被覆樹脂層を塗布形成し、被覆樹脂層にインク流路と外部空間とを連通する吐出口を形成する。
【０００７】
その後、感光性材料で形成した型材を除去する。
【０００８】
以下、図１１を参照して、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を説明する。
【０００９】
まず、図１１（ａ）に示すように、吐出エネルギー発生素子１０２を形成した基板１１１上に、溶解可能な樹脂１１３として、ＯＤＵＲ（東京応化製）などのポジ型レジストをスピンコートにて塗布する。
【００１０】
その後、図１１（ｂ）に示すように、樹脂１１３をインク流路のパターンが形成された遮光板１２１で覆って露光を行う。
【００１１】
そして、図１１（ｃ）に示すように、樹脂１１３を現像することにより、インク流路の型である型材１１３ａを形成する。
【００１２】
次に、図１１（ｄ）に示すように、基板１１１上に型材１１３ａを覆うように、ノズル壁及びオリフィスプレートになる被覆樹脂層１０４をスピンコートやダイレクトコートなどのソルベントコートにて形成する。
【００１３】
次いで、図１１（ｅ）に示すように、吐出口のパターンが描かれたマスクを介して、被覆樹脂層１０４に露光、現像を行うことで、吐出口１０５を形成する。
【００１４】
さらに、図１１（ｆ）に示すように、型材１１３ａを除去し、インク流路１０６を形成する。
【００１５】
このインクジェット記録ヘッドの製造方法によると、半導体の製造に用いられるフォトリソグラフィーによってインク流路や吐出口等を高精度に微細加工することが可能である。これにより、各吐出口の長さＬを均一に加工することができる。
【００１６】
また、これによって吐出エネルギー発生素子からオリフィス（吐出口の外部空間側の端）までの距離ＯＨ（以下、「距離ＯＨ」という。）を短く設定した場合にも、高い精度で再現良く加工できる。これにより、各吐出口でのインク吐出特性が安定し、インクジェット記録ヘッドは、小液滴での高精度な記録が可能になる。
【特許文献１】特開平６−２８６１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、近年、インクジェット記録ヘッドには記録する画像の高画質化が求められており、それに伴って吐出口の高密度化が進んでいる。
【００１８】
インクジェット記録ヘッドでは、吐出口を高密度化すると、基板のインク供給口に沿って吐出口を直線状に並べて配置する場合、吐出口の間隔を狭くする必要があるため、インク流路や吐出口をさらに微細に加工することが必要になる。このことが技術的な制約になる場合がある。
【００１９】
このような技術的な制約を抑制するために、基板のインク供給口に沿って吐出口をいわゆる千鳥状に並べて配置することが考えられる。すなわち、インク供給口から遠い位置に配置された第１の吐出口とインク供給口から近い位置に配置された第２の吐出口とを交互に配列することが考えられる。
【００２０】
図１２はノズルが千鳥状に配置されるインクジェット記録ヘッドの製造過程における型材のパターンを示した図である。
【００２１】
インク供給口が形成されるインク供給口形成領域１０８ａの上に形成された共通流路型材１１３ｂから同一方向に延ばされた長い第１の流路型材１１３ｃと短い第２の流路型材１１３ｄとが共通流路型材１１３ｂの長手方向に交互に並べられている。
【００２２】
各第１の流路型材１１３ｃ及び各第２の流路型材１１３ｄの共通流路型材１１３ｄから離れている方の端部には、吐出エネルギー発生素子を収容するノズル部の型である第１のノズル部型材１１３ｅ及び第２のノズル部型材１１３ｆがそれぞれ配置されている。
【００２３】
互いに隣り合う第２のノズル部型材１１３ｆの間には、第１の流路型材１１３ｃが存在するが、互いに隣り合う第１のノズル部型材１１３ｅの間には型材１１３ａが存在しない。したがって、第２のノズル部型材１１３ｆが配列されたＥ−Ｅ´線上での型材１１３ａの密度をＰとすると、第１のノズル部型材１１３ｅが配列されたＦ−Ｆ´線上での型材１１３ａの密度はおよそＰ／２であり低密度である。
【００２４】
この型材１１３ａを覆うように基板１１１上に被覆樹脂層をスピンコートによって形成した。図１３は、図１２のＧ−Ｇ´線に沿った位置に形成された被覆樹脂層を示した図である。
【００２５】
型材１１３ａの密度が低い位置に配置された第１のノズル部型材１１３ｅ上には被覆樹脂層１０４が薄く形成され、反対に型材１１３ａの密度が高い位置に配置された第２のノズル部型材１１３ｆ上には被覆樹脂層１０４が厚く形成されていた。
【００２６】
またこの傾向は、第１のノズル部型材１１３ｅの表面の面積が小さいときにより顕著であった。
【００２７】
ノズル部型材１１３ｅ，１１３ｆの上に形成された被覆樹脂層１０４の厚さが不均一になると、後の工程で被覆樹脂層１０４に形成される吐出口の長さＬが不均一になってしまう。そうすると、距離ＯＨが不均一になることにより、各吐出口でのインク吐出量や吐出速度などのインク吐出特性が不安定になる。これが、インクジェット記録ヘッドが記録する画像の画質悪化の原因となることがある。
【００２８】
そこで、本発明は、各吐出口を均一な長さに形成できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
上記目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インク供給口が形成され、表面に、前記インク供給口の長手方向に沿って、第１の吐出エネルギー発生素子と、該第１の吐出エネルギー発生素子より前記インク供給口に近接する第２の吐出エネルギー発生素子と、が交互に配列された基板と、前記各第１の吐出エネルギー発生素子を覆う第１のノズル部及び前記各第２の吐出エネルギー発生素子を覆う第２のノズル部を含み、前記各第１のノズル部及び前記各第２のノズル部と前記インク供給口との間に延びたインク流路を前記基板の表面に形成し、前記各第１のノズル部及び前記各第２のノズル部に吐出口が形成された被覆樹脂層と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記基板の表面上の前記インク流路が形成される部分に型材を形成する第１の工程と、前記基板の表面上の互いに隣り合う前記第１のノズル部になる部分の間にそれぞれ高さ調整部材を形成する第２の工程と、前記第１の工程及び前記第２の工程の後に、前記基板の表面上に前記型材及び前記高さ調整部材を覆うように被覆樹脂層を形成する第３の工程と、前記第３の工程の後に、前記被覆樹脂層に前記吐出口を形成し、前記基板に前記インク供給口を形成し、前記吐出口と前記インク供給口との少なくとも一方から前記型材を除去する第４の工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、各吐出口を均一な長さに形成できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
次に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００３２】
インクジェット記録ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。
【００３３】
そして、このインクジェット記録ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の被記録媒体に記録を行うことができる。
【００３４】
なお、本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。
【００３５】
さらに、「インク」または「液体」とは、広く解釈されるべきものであり、被記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、被記録媒体の加工、或いはインクまたは被記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。
【００３６】
ここで、インクまたは被記録媒体の処理としては、例えば、被記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る製造方法で製造したインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の構成を説明するために一部を破断して示した斜視図である。
【００３７】
記録素子基板１は、液体を吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子２が所定のピッチで並べられて形成されたＳｉ基板１１を有している。
【００３８】
基板１１上には、異方性エッチングすることによって形成されたインク供給口８が、吐出エネルギー発生素子２の列の間に配置されている。
【００３９】
基板１１上には、被覆樹脂層４が形成され、被覆樹脂層４には、各吐出エネルギー発生素子２に対向する位置に吐出口５が形成され、インク供給口８と各吐出口５とを連通するインク流路が形成されている。
【００４０】
なお、各吐出口５の位置は、各吐出エネルギー発生素子２に近接していればよく、上記の吐出エネルギー発生素子２に対向する位置に限定されるものではない。
【００４１】
図２（ａ）は図１に示した記録素子基板の吐出口のパターンを示した図である。
【００４２】
この記録素子基板は、高解像度かつ高精細な画像を記録するために、インク吐出特性の異なる３種類の吐出口５ａ，５ｂ，５ｃがそれぞれインク供給口８に沿って配列されたノズル列３０１，３０２，３０３を有する。ノズル列３０１は吐出口５ａが直線状に配列されている。ノズル列３０２及びノズル列３０３は、ノズル列３０１とはインク供給口８を介して反対側にそれぞれ直線状に配列されている。ノズル列３０２及びノズル列３０３は、配列方向に吐出口５ｂ，５ｃが互いに半ピッチずれるように配置されており、これにより、吐出口５ｂ，５ｃが千鳥状に配置されている。
【００４３】
図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した吐出口のパターンの変形例を示した図である。この構成では、さらに高解像度かつ高精細な画像を記録することができる。
【００４４】
図２（ｂ）に示した構成では、図２（ａ）に示したノズル列３０２及びノズル列３０３がインク供給口の両側に配置されている。これにより、インク供給口の両側の吐出口が千鳥状に配置されている。
【００４５】
図３は図１に示した記録素子基板の図２（ａ）のＡ−Ａ´線に沿った断面図である。吐出口５ａ，５ｂ，５ｃに対向する位置には、吐出エネルギー発生素子２ａ，２ｂ，２ｃが配置されている。したがって、吐出エネルギー発生素子２ｂ，２ｃは、吐出口５ｂ，５ｃと同様に、基板１１の表面上に千鳥状に配置されている。
【００４６】
この記録素子基板では、まず、インク供給口８に供給されたインクがインク流路６に送り込まれる。
【００４７】
インク流路６には、吐出エネルギー発生素子２ａ，２ｂ，２ｃをそれぞれ収容しているノズル部６ａ，６ｂ，６ｃが配置されている。この記録素子基板は、インク流路６に送り込まれたインクが、各ノズル部６ａ，６ｂ，６ｃで吐出エネルギー発生素子２ａ，２ｂ，２ｃが発生する熱エネルギーによって、各吐出口５ａ，５ｂ，５ｃから吐出されるように構成されている。
【００４８】
次に、図４を参照して、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法における型材及び高さ調整部材を形成する工程について説明する。
【００４９】
図４は、図１に示した記録素子基板の製造過程における図２（ａ）のＢ−Ｂ´線に沿った断面図である。
【００５０】
本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法では、基板に型材を形成する第１の工程及び基板に高さ調整部材を形成する第２の工程を行い、型材及び高さ調整部材を形成する。
【００５１】
まず、図４（ａ）に示すように、表面に電気熱変換素子あるいは圧電素子等の吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置された基板１１を用意する。
【００５２】
次いで、第１の工程及び第２の工程を行って基板１の表面上に型材及び高さ調整部材を形成する。
【００５３】
第１の工程と第２の工程とを独立の工程として別々に行うことも可能であるが、その分工程数の増えるため、第１の工程と第２の工程とを同時に行っている。
【００５４】
すなわち、図４（ｂ）に示すように、基板上に溶解可能な樹脂を塗布し、型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａをパターニングする。
【００５５】
本実施形態では、溶解可能な樹脂として感光性材料を用いてフォトリソグラフィーによって型材及び高さ調整部材を形成しているが、スクリーン印刷法等の方法によって型材及び高さ調整部材を形成してもよい。感光性材料としては、ポリメチルイソプロペニルケトン（ＰＭＩＰＫ）やポリビニルケトン等のポジ型レジストを使用することが可能である。
【００５６】
図５は、第１の工程及び第２の工程の後の型材及び高さ調整部材のパターンを示した図である。
【００５７】
基板１１のインク供給口が形成されるインク供給口形成領域８ａの上には共通流路型材１３ｂが配置されている。
【００５８】
千鳥状に配置された第１の吐出エネルギー発生素子２ｂ及び第２の吐出エネルギー発生素子２ｃとの上には、第１のノズル部型材１３ｅ及び第２のノズル部型材１３ｆがそれぞれ配置されている。
【００５９】
第１の流路型材１３ｃ及び第２の流路型材１３ｄは、共通流路型材１３ｂから各第１のノズル部型材１３ｅ及び各第２のノズル部型材１３ｆまで延ばされている。
【００６０】
高さ調整部材１２ａは、互いに隣り合う第１のノズル部型材１３ｅの間の部分に配置されている。これにより、第２のノズル部型材１３ｆが配列されたＤ−Ｄ´線上での型材１３ａの密度と、第１のノズル部型材１３ｅが配列されたＣ−Ｃ´線上での型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａの密度とを同等にしている。
【００６１】
これによって、後の工程において被覆樹脂層を平坦に形成することができ、第１のノズル部型材１３ｅ及び第２のノズル部型材１３ｆの上の被覆樹脂層の厚さを均一にすることができる。したがって、各吐出口の長さＬ（図３参照）が均一になり、第１のノズル部と第２のノズル部とで、距離ＯＨ（図３参照）が同等になるため、各吐出口でのインク吐出特性を安定化することができる。
【００６２】
なお、以上述べたように、第１の工程と第２の工程とを同時に行うことができるのは、高さ調整部材を型材と同一の材料で形成する場合である。
【００６３】
一方、高さ調整部材を型材と異なる材料で形成する必要がある場合には、第１の工程と第２の工程とを同時に行うことができない。この場合には、第１の工程と第２の工程とを別々に行う必要がある。
【００６４】
高さ調整部材を型材と異なる材料で形成する必要がある場合としては、たとえば、高さ調整部材を、後の工程において形成する被覆樹脂層と同一の材料で形成する必要がある場合が考えられる。
【００６５】
型材は製造工程中に除去されるが、高さ調整部材は、完成したインクジェット記録ヘッドにおいて、被覆樹脂層に覆われた状態で残される。したがって、高さ調整部材を被覆樹脂層と同一の材料で形成すると、高さ調整部材と被覆樹脂層との化学的性質及び機械的性質が同一になるため、インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【００６６】
第１の工程及び第２の工程は、被覆樹脂層を形成する工程の前であればどちらを先に行ってもよい。
【００６７】
図６を参照して、第１の工程の前に第２の工程を行う場合について説明する。
【００６８】
まず、図６（ａ）に示すように、表面に吐出エネルギー発生素子が配置された基板１１を用意する。
【００６９】
次に、図６（ｂ）に示すように、基板１１の表面上に被覆樹脂層と同一の材料である被覆樹脂材料を塗布し、高さ調整部材１２ｂをパターニングする。
【００７０】
次いで、図６（ｃ）に示すように、高さ調整部材１２ｂを形成した基板１１上に、溶解可能な樹脂１３を塗布する。
【００７１】
その後、図６（ｄ）に示すように、樹脂１３をパターニングして型材１３ｂを形成する。
【００７２】
次に、図７を参照して、第１の工程の後に第２の工程を行う場合について説明する。
【００７３】
まず、図７（ａ）に示すように、表面に吐出エネルギー発生素子が配置された基板１１を用意する。
【００７４】
次に、図７（ｂ）に示すように、基板１１上に溶解可能な樹脂を塗布し、型材１３ｃをパターニングする。
【００７５】
次いで、図７（ｃ）に示すように、型材１３ｃを形成した基板１１上に、被覆樹脂材料１２を塗布する。
【００７６】
その後、図７（ｄ）に示すように、被覆樹脂材料１２をパターニングして高さ調整部材１２ｃを形成する。
【００７７】
次に、図８を参照して、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法における第１の工程及び第２の工程の後の第３の工程及び第４の工程について説明する。
【００７８】
まず、図８（ａ）に示すように、基板１１の表面上に型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａを覆うように、被覆樹脂材料をソルベントコートして被覆樹脂層４を形成する第３の工程を行う。
【００７９】
被覆樹脂材料としては、常温にて固体状のエポキシ樹脂と光照射によりカチオンを発生するオニウム塩を主成分とする材料などのネガ型の特性を有する材料を使用できる。
【００８０】
第３の工程の後に、第４の工程を行う。
【００８１】
第４の工程では、まず、図８（ｂ）に示すように、被覆樹脂層４の吐出エネルギー発生素子２に対向する位置に吐出口５を形成する。
【００８２】
次に、図８（ｃ）に示すように、基板１１にインク供給口８を形成する。
【００８３】
そして、図８（ｄ）に示すように、型材１３ａを溶解して吐出口５とインク供給口８との少なくとも一方から除去する。
【００８４】
なお、高さ調整部材１２ａは、互いに隣り合う第１のノズル部型材の間の、第２の流路型材が配置されていない領域である図９に斜線で示した領域Ａ内に配置されていればよい。また、高さ調整部材は、領域Ａ内に収まれば、四角、丸、楕円といった様々な形状に形成されることができる。
【００８５】
また、高さ調整部材の大きさ及び高さ調整部材と型材とのクリアランスについては、型材の高さ、目標とする距離ＯＨ（図３参照）によって、適宜選択することができる。通常は、図８に示したＣ−Ｃ´線上における型材の密度とＤ−Ｄ´線上の型材及び高さ調整部材の密度とが同等になるように高さ調整部材を配置する。
【００８６】
また、基板の表面上に形成する高さ調整部材の厚さを型材の厚さと同等またはそれ以上の厚さにすることによって、被覆樹脂層の厚さを均一にする効果をより有効に得ることができる。
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、追加型材を設ける工程を有すること以外は、第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法と同様である。
【００８７】
図１０は、本実施形態に係る製造方法で製造するインクジェット記録ヘッドの製造過程における記録素子基板の断面図である。
【００８８】
図１０（ａ）は、第１の工程及び第２の工程の後で第３の工程の前に、型材の上に追加型材を形成する工程を行った後の状態を示している。
【００８９】
追加型材１４ａは、ノズル部型材の表面上の一部の、吐出口が配置される位置に、溶解可能なポジ型レジストによって形成される。これにより、本実施形態に係る製造方法で製造したインクジェット記録ヘッドでは、ノズル部が吐出口に向けて段階的に狭くなる。
【００９０】
ノズル部が吐出口に向けて段階的に狭くなっていると、吐出口からインクを吐出する際のインクの直進性などのインク吐出特性が向上するため、インクジェット記録ヘッドの記録する画像が高画質化する。
【００９１】
さらに、図１０（ｂ）に示すように、追加高さ調整部材１４ｂを高さ調整部材１２ａの上に配置することによって、高さ調整部材１２ｄを形成することができる。これにより、高さ調整部材の厚さを型材１３ａと追加型材１４ａとの合計の厚さと同等またはそれ以上の厚さにすることができる。これにより、後の工程で被覆樹脂層を平坦に形成することができる。
【００９２】
なお、図１０では、追加型材を一段のみ形成しているが、追加型材は多段に形成してもよい。その場合、追加高さ調整部材も同様に多段に形成することができる。
【００９３】
以下に、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の型材、高さ調整部材、追加型材及び追加高さ調整部材を形成する工程について説明する。
【００９４】
まず、吐出エネルギー発生素子２が形成された基板１１の表面上に型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａになる樹脂を塗布し、この樹脂の上に、追加型材１４ａ及び追加高さ調整部材１４ｂになるポジ型レジストを塗布する。ポジ型レジストには、型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａになる樹脂とは感光波長の異なるものを用いる。
【００９５】
次に、ポジ型レジストが分解反応する波長域の電離放射線にてポジ型レジストを露光、現像して追加型材１４ａ及び追加高さ調整部材１４ｂを形成する。
【００９６】
その後、型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａになる樹脂が分解反応する波長域の電離放射線にて樹脂を露光、現像して型材１３ａ及び高さ調整部材１２ａを形成する。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製造方法で製造したインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の斜視図である。
【図２】図１に示した記録素子基板の吐出口のパターンを示した図である。
【図３】図１に示した記録素子基板の断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１の工程及び第２の工程を示した図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１の工程及び第２の工程の後の型材及び高さ調整部材のパターンを示した図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１の工程及び第２の工程を示した図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１の工程及び第２の工程を示した図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の第３の工程及び第４の工程を示した図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１の工程及び第２の工程の後の型材及び高さ調整部材のパターンを示した図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の追加型材を配置する工程を示した図である。
【図１１】一般的なインクジェット記録ヘッドの製造方法を示した図である。
【図１２】一般的なインクジェット記録ヘッドの製造過程における型材のパターンを示した図である。
【図１３】一般的なインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の断面図である。
【符号の説明】
【００９８】
１      記録素子基板
２      吐出エネルギー発生素子
４      被覆樹脂層
５      吐出口
６      インク流路
８      インク供給口
８ａ    インク供給口形成領域
１１    基板
１２ａ  高さ調整部材
１３ａ  型材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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