(57)【要約】【課題】簡単な構造で位置決め精度が高いセンタリング装置およびロードポートを提供する。【解決手段】センタリングユニット３１は、載置された物品をセンタリングするためのセンタリングユニットであって、静止部材４１と、テーブル６１と、エアシリンダ４９と、テーパ係合構造６８とを備えている。テーブル６１は、静止部材４１に対して水平動自在に設置されている。エアシリンダ４９は、テーブル６１の下方に配置され、ロッド５７を有している。テーパ係合構造６８は、ロッド５７を用いてテーブル６１をセンタリングする。テーパ係合構造６８は、孔６２ａと、テーパ部材５８とを有している。孔６２ａは、テーブル６１の上下方向に貫通している。テーパ部材５８は、ロッド５７の先端に固定され孔６２ａに対して係合可能である。テーパ係合構造６８では、少なくとも一つのテーパ面によるテーパ係合が可能である。【選択図】図５
2010168179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置された物品をセンタリングするためのセンタリングユニットであって、
ベース部材と、
前記ベース部材に対して水平動自在に設置された物品載置用テーブルと、
前記テーブルの下方に配置され、ロッドを有する昇降装置と、
前記昇降装置を用いて前記物品載置用テーブルをセンタリングするためのセンタリング機構とを備え、
前記センタリング機構は、前記テーブルの上下方向に貫通する孔と、前記ロッドの先端に固定され前記孔に対して係合可能な係合部材とを有しており、少なくとも一つのテーパ面によるテーパ係合が可能である、
センタリングユニット。
【請求項２】
前記孔は下方にいくにしたがって径が小さくなるテーパ内周面を有しており、
前記係合部材は、前記テーパ内周面に対向して配置されたテーパ外周面を有している、請求項１に記載のセンタリングユニット。
【請求項３】
前記昇降装置を用いて前記テーブルを任意の位置に位置決めするための位置決め機構をさらに備え、
前記位置決め機構は、前記テーブルに設けられた下面と、前記ロッドの先端に設けられ前記下面に摩擦接触可能な摩擦接触部とを有しており、
前記ロッドは、前記テーパ外周面が前記テーパ内周面に係合する第１位置と、前記摩擦接触部が前記下面に係合する第２位置と、前記第１位置と前記第２位置の中間の第３位置とに移動可能である、請求項１または２に記載のセンタリングユニット。
【請求項４】
複数の請求項１〜３のいずれかに記載のセンタリングユニットを有する載置台と、
前記テーブル上の物品を少なくとも三方から押して位置決めするプッシャー装置と、
を備えたロードポート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センタリングユニットおよび複数のセンタリングユニットが設けられたロードポートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の自動倉庫は、例えば、一対のラックと、スタッカークレーンと、入庫ステーションと、出庫ステーションとを有している。一対のラックは、前後方向に所定間隔を空けて設けられている。スタッカークレーンは、前後のラック間において左右方向に移動自在に設けられている。入庫ステーションは、一方のラックの側方に配置されている。出庫ステーションは、他方のラックの側方に配置されている。ラックは、上下・左右に並んだ多数の物品保管棚を有する。スタッカークレーンは、走行台車と、それに設けられたマストに昇降自在となされた昇降台と、それに設けられた荷物移載装置（例えば、前後方向に摺動自在に設けられたスライドフォーク）とを有している。スライドフォークには、移載位置に応じて水平動自在なものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−７０００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶カセットの搬送には、ロードポートが用いられている。ロードポートは、カセットがクレーン等の搬送車から載置される載置台を有している。搬送車がカセットを載置台に載置すると、次に処理装置のロボットがカセットから基板を処理装置内に運び込む。処理後は、ロボットが基板をカセット内に運び込み、次に搬送車がカセットを載置台から積み込む。
【０００５】
ロードポートの載置台は、フローティング支持されている。フローティング支持構造とは、位置決め機構によって載置台の位置決めが解除されると、載置台が所定範囲内で水平動可能になる支持構造である。搬送車がカセットを移載する時には、位置決め機構によって、カセットは搬送車と載置台との間で正確に位置決めされる。
【０００６】
位置決め機構は、複数のセンタリングユニットを有している。センタリングユニットは、スプリングによる釣り合いによってセンタリング保持を行う。または、受けボール座面のテーパ構造によるセンタリング保持を行っている。
【０００７】
また、ロボットが基板をカセットから出し入れする時には、クランプ装置が、フローティング状態のカセットを挟みつける。これにより、ロボットに対して基板を正確に位置決めできる。
【０００８】
上述の位置決め機構では、積載荷重の変動や取り付け水平度の影響を受けて、センタリング精度や繰り返し精度が低下する。
【０００９】
本発明の課題は、簡単な構造で位置決め精度が高いセンタリング装置およびロードポートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るセンタリングユニットは、載置された物品をセンタリングするためのセンタリングユニットであって、ベース部材と、物品載置用テーブルと、昇降装置と、センタリング機構とを備えている。テーブルは、ベース部材に対して水平動自在に設置されている。昇降装置は、テーブルの下方に配置され、ロッドを有している。センタリング機構は、昇降装置を用いてテーブルをセンタリングする。センタリング機構は、テーブルの上下方向に貫通する孔と、ロッドの先端に固定され孔に対して係合可能な係合部材とを有しており、少なくとも一つのテーパ面によるテーパ係合が可能である。
このユニットでは、昇降装置がロッドおよびテーパ部材を下げることによって、センタリング機構において係合部材がテーブルの孔に係合する。これにより、テーブルが位置決めされる。このように昇降装置と係合部材とによってテーブルの位置決めを行っているので、簡単な構造で位置決め精度の高いセンタリングユニットが実現される。
孔は、下方にいくにしたがって径が小さくなるテーパ内周面を有しており、係合部材は、テーパ内周面に対向して配置されたテーパ外周面を有していても良い。
このユニットでは、昇降装置がロッドおよびテーパ部材を下げることによって、センタリング機構において係合部材のテーパ外周面がテーブルのテーパ内周面に係合する。これにより、テーブルが位置決めされる。このように昇降装置と係合部材とによってテーブルの位置決めを行っているので、簡単な構造で位置決め精度の高いセンタリングユニットが実現される。
【００１１】
センタリングユニットは、昇降装置を用いてテーブルを任意の位置に位置決めするための位置決め機構をさらに備えていても良い。位置決め機構は、テーブルに設けられた下面と、ロッドの先端に設けられ下面に摩擦接触可能な摩擦接触部とを有している。ロッドは、テーパ外周面がテーパ内周面に係合する第１位置と、摩擦接触部が下面に係合する第２位置と、第１位置と第２位置の中間の第３位置とに移動可能である。
このユニットでは、ロッドが第２位置に移動すると、位置決め機構において摩擦接触部がテーブルの下面に摩擦接触してテーブルを位置決めできる。このようにして、テーブルは定位置のみならず任意の位置にも位置決めされることができる。
【００１２】
本発明に係るロードポートは、載置台とプッシャー装置とを備えている。載置台は、複数のセンタリングユニットを有する。プッシャー装置は、テーブル上の物品を少なくとも三方から押して位置決めする。
このロードポートでは、例えば、搬送車がロードポートとの間でガラス基板が入ったカセットを移載する場合には、複数のセンタリングユニットを有する載置台によってカセットの位置決めが行われる。また、例えば、ロボットがガラス基板を取り出す際には、プッシャー装置によってカセットの位置決めが行われる。以上のようにして、カセット移載時位置と基板移載時位置の二箇所でカセットの位置決めが可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によって、簡単な構造で位置決め精度が高いセンタリング装置およびロードポートが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態が採用された自動倉庫の部分正面図。
【図２】スタッカークレーン、ロードポートおよび枚葉搬送機の模式的平面図。
【図３】ロードポートの制御ブロック図。
【図４】センタリングユニットの平面図。
【図５】センタリングユニットの一部断面図（フローティング状態）。
【図６】センタリングユニットの一部断面図（位置決め状態）。
【図７】ロードポートにおけるカセットおよび基板の搬送制御動作を示すフローチャート。
【図８】第２実施形態におけるセンタリングユニットの部分平面図（フローティング状態）。
【図９】第２実施形態におけるセンタリングユニットの部分平面図（位置決め状態）。
【図１０】第２実施形態におけるセンタリングユニットの部分平面図（ブレーキ状態）。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（１）自動倉庫
以下、本発明に係る自動倉庫１を説明する。図１は、自動倉庫１の部分正面図である。なお、この実施形態において、図１の紙面直交方向が自動倉庫１の搬送方向であり、図１の左右方向が自動倉庫１の移載方向である。
【００１６】
自動倉庫１は、クリーンルーム内において、主に、一対のラック２と、スタッカークレーン３とから構成されている。
【００１７】
一対のラック２は、図１の紙面直交方向（搬送方向）に延びるスタッカークレーン通行路５を挟むように配置されている。ラック２は、支柱や荷物支承部材によって構成された多数の物品保管棚２ａを有している。
物品保管棚２ａの背面には、液晶基板の各種処理を行うための処理装置７が設けられている。処理装置７は同種のものを複数個組み合わせたものでも、異種のものを複数個組み合わせたものでも良い。
【００１８】
スタッカークレーン３は、入出庫ステーション（図示せず）と、処理装置７のロードポート２０との間で、カセットＣを搬送することができる。
スタッカークレーン通行路５に沿って、上側ガイドレール８および下側ガイドレール９が設けられており、これらによってスタッカークレーン３が搬送方向に移動可能に案内されている。スタッカークレーン３は、走行台車１１と、走行台車１１に設けられたマスト１３に昇降自在に装着された移載装置１７とを有している。移載装置１７は、旋回テーブル７２と、その上部に設けられたスカラーアーム７３と、ハンド７４とを有している。移載装置１７は、カセットＣを移載可能であり、さらにカセットＣの向きを例えば１８０度反転できる。
【００１９】
カセットＣは、クレーン通行路５の両側のラック２の物品保管棚２ａに一時保管される。この状態で、物品保管棚２ａ内が、ロードポート２０として機能している。
【００２０】
クリーンルームには、グレーティング床２１が設けられている。グレーティング床２１には、スタッカークレーン３を走行させるための開口２３が形成されている。
【００２１】
処理装置７には、枚葉搬送機２５が設けられている。枚葉搬送機２５は、ロードポート２０に載置したカセットＣと処理装置７との間でガラス基板Ｇを搬送する。
【００２２】
クリーンルームの天井には、フィルターファンユニット２７が設けられている。クリーンエアは、フィルターファンユニット２７からラック２内やクレーン通行路５内に入る。気流は、開口２３から床下へと流れ、このためスタッカークレーン３から生じた塵は、気流によって床下へ運ばれる。
【００２３】
（２）ロードポート
図２は、スタッカークレーン３、ロードポート２０および枚葉搬送機２５の模式的平面図である。以下、ロードポート２０について詳細に説明する。
【００２４】
ロードポート２０は、載置台３０と、その対角に配置された一対のプッシャー装置３５とを有している。載置台３０は、四隅に置かれた４つのセンタリングユニット３１と、センタリングユニット３１上に設けられた一対のフローティングテーブル３３とを有している。フローティングテーブル３３は、図からも明らかなように、一対のセンタリングユニット３１間を延びており、カセットＣの両側下部が載置されるようになっている。
【００２５】
図３は、ロードポート２０の制御ブロック図である。制御部３８は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭ等のコンピュータを有している。制御部３８は、センサ４８、エアシリンダ４９およびプッシャー装置３５に接続されている。センサ４８は、ロードポート２０のフローティングテーブル３３上におけるカセットＣの有無を検出するための装置である。エアシリンダ４９は、センタリングユニット３１内において各種動作を行うための動力源である。エアシリンダ４９については後述する。
【００２６】
（３）センタリングユニット
図４〜図６を用いて、センタリングユニット３１について説明する。図４は、センタリングユニット３１の平面図である。図５は、センタリングユニット３１の一部断面図であり、フローティング状態を示す図である。図６は、センタリングユニット３１の一部断面図であり、位置決め状態を示す図である。
【００２７】
センタリングユニット３１は、主に、静止部材４１と、可動テーブル４７と、エアシリンダ４９とを有している。
【００２８】
静止部材４１は、ベース部材５０と、第１固定部材５１と、第２固定部材５２と、摺動プレート５４とを有している。ベース部材５０は、水平に配置された板状の部材である。第１固定部材５１は、ベース部材５０の上面に固定されている。第１固定部材５１は、円板部５１ａと筒状部５１ｂとを有する。筒状部５１ｂは、円板部５１ａの外周縁から上方に延びている。円板部５１ａの上面には、環状の摺動プレート５４が固定されている。第２固定部材５２は、環状の部材であり、筒状部５１ｂの上端に固定されている。静止部材４１は、さらに、第３固定部材５３を有している。第３固定部材５３は、ベース部材５０の孔５０ａに嵌められ、上部がベース部材５０に固定され、下部にエアシリンダ４９が固定されている。
【００２９】
可動テーブル４７は、テーブル６１と、摺動支持部材６２とを有している。テーブル６１は、円形の平坦な上面６１ａを有している。摺動支持部材６２は、テーブル６１の下部に固定された筒状の部材であり、中心位置において上下方向に貫通する孔６２ａを有している。摺動支持部材６２は、筒状部５１ｂおよび第２固定部材５２の内周側に配置されている。摺動支持部材６２は、本体６３と、複数のローラ６４と、テーパ内周部６５とを有している。複数のローラ６４は、本体６３の外周側下面に設けられ、回転自在な状態で摺動プレート５４に当接している。テーパ内周面６５ａは、テーブル６１の孔６２ａにおいて下方にいくにしたがって径が小さくなる。摺動支持部材６２の上側筒状部６７は、静止部材４１の第２固定部材５２の内周側に配置されている。上側筒状部６７の外周面と第２固定部材５２の内周面との間には所定の隙間が確保されている。したがって、可動テーブル４７は、静止部材４１に対して所定範囲内で摺動可能である。
【００３０】
エアシリンダ４９は、本体５６と、ロッド５７とを有している。ロッド５７は、第３固定部材５３の孔５３ａと第１固定部材５１の孔５１ｃ内を延びて、先端は摺動支持部材６２の内周側に位置している。
エアシリンダ４９は、さらに、テーパ部材５８を有している。テーパ部材５８は、ロッド５７の先端に固定されている。テーパ部材５８のテーパ外周面５８ａは、摺動支持部材６２のテーパ内周部６５のテーパ内周面６５ａに対して相補的に形成・配置されている。テーパ部材５８と摺動支持部材６２によって、テーパ係合構造６８が構成されている。
【００３１】
以下、テーパ係合構造６８における二つの状態を説明する。
図５に示す状態では、ロッド５７は上方に伸長しており、テーパ部材５８は摺動支持部材６２のテーパ内周部６５から離れている。したがって、可動テーブル４７はフローティング状態である。
図６に示す状態では、ロッド５７は下方に縮退しており、テーパ部材５８は摺動支持部材６２のテーパ内周部６５に当接している。したがって、可動テーブル４７は定位置に位置決めされた状態である。
【００３２】
（４）プッシャー装置
プッシャー装置３５は、ロードポート２０の二隅において対向するように配置されている。プッシャー装置３５は、エアシリンダ３６と、当接部材３７とを有している。エアシリンダ３６は、本体３６ａと、ロッド３６ｂとを有している。当接部材３７は、ロッド３６ｂの先端に固定されている。当接部材３７は、一対の当接部３７ａを有している。当接部３７ａは、カセットＣの角の両側に当接可能な構成になっている。ロッド３６ｂが突出した状態では、当接部材３７がカセットＣに当接して、カセットＣを両方のプッシャー装置３５でクランプする。ロッド３６ｂが縮退した状態では、当接部材３７がカセットＣから離れる。
【００３３】
（５）動作手順
図７は、ロードポートにおけるカセットＣおよびガラス基板Ｇの搬送制御動作を示すフローチャートである。より詳細には、図７は、スタッカークレーン３がカセットＣをロードポート２０に荷おろしして、次にスタッカークレーン３がカセットＣをロードポート２０から荷つかみするまでの一連の動作を説明するためのフローチャートである。
【００３４】
ステップＳ１では、制御部３８がエアシリンダ４９を駆動して、ロッド５７を引き込む。これにより、センタリングユニット３１が図５の状態から図６の状態に移行する。つまり、テーパ部材５８のテーパ外周面５８ａが摺動支持部材６２のテーパ内周面６５ａに当接する。この結果、摺動支持部材６２およびテーブル６１はエアシリンダ４９のロッド５７に対して同心となる位置に位置決めされる。これにより、フローティングテーブル３３も所定位置に固定された状態になる。
【００３５】
ステップＳ２では、スタッカークレーン３がカセットＣをロードポート２０に移載する。制御部３８は、センサ４８からの検出信号によって、カセットＣがロードポート２０に移載されたことを知る。カセットＣは、具体的には、両端がフローティングテーブル３３に載置される。
【００３６】
ステップＳ３では、制御部３８がエアシリンダ４９を駆動して、ロッド５７を突出させる。これにより、センタリングユニット３１が図６の状態から図５の状態に移行する。つまり、テーパ部材５８のテーパ外周面５８ａが摺動支持部材６２のテーパ内周面６５ａから離れる。この結果、摺動支持部材６２およびテーブル６１は、静止部材４１に対して所定範囲内でフローティング可能となる。
【００３７】
ステップＳ４では、制御部３８がプッシャー装置３５を駆動して、エアシリンダ３６の本体３６ａからロッド３６ｂを突出させる。すると、当接部材３７がカセットＣの二隅の両側を対向するように押し合う。このようにクランプされることで、カセットＣは、フローティングテーブル３３とともに水平移動して、所定の位置に位置決めされる。このとき、カセットＣはフローティングテーブル３３に対しては摺動しないようになっている。
【００３８】
ステップＳ５では、枚葉搬送機２５が、ロードポート２０にあるカセットＣの内部からガラス基板Ｇを一枚ずつ処理装置７に運び込む。この間、制御部３８は、プッシャー装置３５にカセットＣをクランプさせ続けている。なお、ステップＳ５では、枚葉搬送機２５が、処理後のガラス基板Ｇを処理装置７からロードポート２０にあるカセットＣ内に移載しても良い。
【００３９】
以上のガラス基板積み込みは、カセットＣ内の全てのガラス基板Ｇに対して行っても良いし、一部のガラス基板Ｇに対して行っても良い。
【００４０】
ステップＳ６では、制御部３８がプッシャー装置３５を駆動して、エアシリンダ３６の本体３６ａ内にロッド３６ｂを引き込む。すると、当接部３７ａがカセットＣの二隅から離れる。このようにアンクランプされることで、カセットＣはフローティングテーブル３３とともに水平移動可能な状態になる。
【００４１】
ステップＳ７では、制御部３８がエアシリンダ４９を駆動して、ロッド５７を引き込む。これにより、センタリングユニット３１が図５の状態から図６の状態に移行する。つまり、テーパ部材５８のテーパ外周面５８ａが摺動支持部材６２のテーパ内周面６５ａに当接する。この結果、摺動支持部材６２およびテーブル６１は、エアシリンダ４９のロッド５７に対して同心となる位置に位置決めされる。これにより、フローティングテーブル３３も所定位置に固定された状態になる。
【００４２】
ステップＳ８では、スタッカークレーン３が、カセットＣをロードポート２０から移載する。制御部３８は、センサ４８からの検出信号によって、カセットＣがロードポート２０から取り出されたことを知る。
【００４３】
このように、スタッカークレーン３がカセットＣをロードポート２０に積み込む時とそこから積み出す時のいずれの場合も、センタリングユニット３１の動作によって、フローティングテーブル３３は所定位置に正確に位置決めされている。したがって、その上に載置されたカセットＣの位置も変化していない。この結果、スタッカークレーン３においてもカセットＣの載置位置は正確に維持される。
【００４４】
また、枚葉搬送機２５がガラス基板Ｇをロードポート２０から積み出す時とそこに積み込む時のいずれの場合も、プッシャー装置３５のクランプによって、カセットＣの位置は変化していない。したがって、枚葉搬送機２５の動作が確実に実行される。
【００４５】
さらに、以上の動作において、テーブルの位置決めおよび解除は、エアシリンダのスイッチ信号から判断できる。したがって、安定した荷受けおよび荷渡しが可能になる。
【００４６】
（６）第２実施形態
図８〜図１０を用いて、センタリングユニット８１について説明する。図８は、第２実施形態におけるセンタリングユニット８１の部分平面図（フローティング状態）である。図９は、第２実施形態におけるセンタリングユニットの部分平面図（位置決め状態）である。図１０は、第２実施形態におけるセンタリングユニットの部分平面図（ブレーキ状態）。である。
【００４７】
センタリングユニット８１の基本的構造は前記実施形態と同様である。したがって、同じ構造については説明を省略又は簡略する。
【００４８】
テーパ部材５８の上部には、摩擦係合部８２が設けられている。摩擦係合部８２は、例えば、樹脂製であり、上面が摩擦面８２ａになっている。摩擦面８２ａは、テーブル６１の下面６１ｂに対向している。摩擦面８２ａおよび下面６１ｂは水平方向に延びる平坦面である。摩擦係合部８２とテーブル６１の下面６１ｂとによって、ブレーキ構造６９が構成されている。
【００４９】
ロッド５７には、プレート８３が固定されている。プレート８３は、第３固定部材５３内に配置されている。第３固定部材５３内には、プレート８３を上下から支持するためのスプリング８４が配置されている。
【００５０】
図８は、ロッド５７が中間位置にある状態を示している。この状態では、エアシリンダ４９には駆動力は提供されておらず、ロッド５７はスプリング８４によって位置決めされている。この状態では、テーパ部材５８は摺動支持部材６２のテーパ内周部６５から離れている。また、摩擦係合部８２の摩擦面８２ａはテーブル６１の下面６１ｂから離れている。したがって、可動テーブル４７はフローティング状態である。
【００５１】
図９に示す状態では、ロッド５７は下方に縮退しており、テーパ部材５８は摺動支持部材６２のテーパ内周部６５に当接している。したがって、可動テーブル４７は定位置に位置決めされている。
【００５２】
ブレーキ構造６９では、図１０に示す状態では、ロッド５７は上方に伸長しており、テーパ部材５８は摺動支持部材６２のテーパ内周部６５から離れている。しかし、摩擦係合部８２の摩擦面８２ａはテーブル６１の下面６１ｂに当接している。したがって、可動テーブル４７は任意の位置に位置決めされている。
【００５３】
この実施形態では、前述のように、ロッド５７は三箇所に移動可能であり、それにより可動テーブル４７の状態を変更可能である。
【００５４】
図１０では、摩擦係合部８２は、フローティング状態で任意の位置にあったテーブル６１を位置決めしている。これは、例えば、プッシャー装置３５でカセットＣをクランプした位置で、カセットＣをスタッカークレーン３によってロードポート２０から積み出したい時に用いられる。また、センタリングユニット３１によるカセットＣの位置決めとプッシャー装置３５によるカセットＣの位置決めとの間で、摩擦係合部８２で摩擦係合を行うことでカセットＣの位置の不安定さを防止できる。
【００５５】
（７）特徴
センタリングユニット３１は、載置された物品をセンタリングするためのセンタリングユニットであって、静止部材４１と、テーブル６１と、エアシリンダ４９と、テーパ係合構造６８とを備えている。テーブル６１は、静止部材４１に対して水平動自在に設置されている。エアシリンダ４９は、テーブル６１の下方に配置され、ロッド５７を有している。テーパ係合構造６８は、ロッド５７を用いてテーブル６１をセンタリングする。テーパ係合構造６８は、孔６２ａと、テーパ部材５８とを有している。孔６２ａは、テーブル６１の上下方向に貫通している。テーパ部材５８は、ロッド５７の先端に固定され孔６２ａに対して係合可能である。テーパ係合構造６８では、少なくとも一つのテーパ面によるテーパ係合が可能である。なお、孔６２ａは、下方にいくにしたがって径が小さくなるテーパ内周面６５ａを有しており、テーパ部材５８は、テーパ内周面６５ａに対向して配置されたテーパ外周面５８ａを有している。
このユニットでは、エアシリンダ４９がロッド５７およびテーパ部材５８を引き込むことによって、テーパ係合構造６８においてテーパ部材５８のテーパ外周面５８ａがテーブル６１のテーパ内周面６５ａに係合する。これにより、テーブル６１が位置決めされる。このようにエアシリンダ４９とテーパ部材５８とによってテーブル６１の位置決めを行っているので、簡単な構造で位置決め精度の高いセンタリングユニット３１が実現される。
【００５６】
センタリングユニット３１は、エアシリンダ４９を用いてフローティングテーブル３３を任意の位置に位置決めするためのブレーキ構造６９をさらに備えている。ブレーキ構造６９は、テーブル６１に設けられた下面６１ｂと、ロッド５７の先端に設けられ下面６１ｂに係合可能な摩擦係合部８２とを有している。ロッド５７は、テーパ外周面５８ａがテーパ内周面６５ａに係合する第１位置と、摩擦係合部８２が下面６１ｂに係合する第２位置と、第１位置と第２位置の中間の第３位置とに移動可能である。
このユニットでは、ロッド５７が第２位置に移動すると、ブレーキ構造６９においてロッド５７の摩擦係合部８２がテーブル６１の下面６１ｂに係合してテーブル６１を位置決めできる。このようにして、テーブル６１は定位置のみならず任意の位置にも位置決めされることができる。
【００５７】
ロードポート２０は、載置台３０とプッシャー装置３５とを備えている。載置台３０は、センタリングユニット３１を有する。プッシャー装置３５は、テーブル６１上のカセットＣを少なくとも三方から押して位置決めする。
このロードポート２０では、スタッカークレーン３がロードポート２０との間で移載を行う際には、複数のセンタリングユニット３１を有する載置台３０によってカセットＣの位置決めが行われる。また、枚葉搬送機２５がガラス基板Ｇを取り出す際には、プッシャー装置３５によってカセットＣの位置決めが行われる。以上のようにして、カセット移載時位置と基板移載時位置の二箇所でカセットＣの位置決めが可能である。
【００５８】
（８）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
前記実施形態では、テーパ係合構造は２つのテーパ面を当接させてテーパ係合を行っているが、一方の部材にのみテーパ面を設けていても良い。
【００５９】
この実施形態では、搬送装置としてスタッカークレーンを用いたが、他の搬送車でも良い。
【００６０】
上記実施形態では、自動倉庫を半導体工場や液晶ディスプレイ工場等のクリーンルームに設けるが、クリーンルームに設ける場合でも、食品加工や医薬品製造等に用いても良い。あるいはまた、機械加工や組立等のクリーンルーム以外の場所に設けても良い。
【００６１】
上記実施形態では、開放型のラックを用いたが、密閉型のラックを用いて、スタッカークレーンとの間の物品の受け渡し時に、扉を開けても良い。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、センタリング装置およびロードポートに広く適用可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１      自動倉庫
２      ラック
２ａ    物品保管棚
３      スタッカークレーン
５      クレーン通行路
７      処理装置
８      上側ガイドレール
９      下側ガイドレール
１１    走行台車
１３    マスト
１７    移載装置
２０    ロードポート
２１    グレーティング床
２３    開口
２５    枚葉搬送機
２７    フィルターファンユニット
３０    載置台
３１    センタリングユニット
３３    フローティングテーブル
３５    プッシャー装置
３６    エアシリンダ
３６ａ  本体
３６ｂ  ロッド
３７    当接部材
３７ａ  当接部
３８    制御部
４１    静止部材
４７    可動テーブル
４８    センサ
４９    エアシリンダ（昇降装置）
５０    ベース部材
５０ａ  孔
５１    第１固定部材
５１ａ  円板部
５１ｂ  筒状部
５１ｃ  孔
５２    第２固定部材
５３    第３固定部材
５３ａ  孔
５４    摺動プレート
５６    本体
５７    ロッド
５８    テーパ部材（係合部材）
５８ａ  テーパ外周面
６１    テーブル（物品載置用テーブル）
６１ａ  上面
６１ｂ  下面
６２    摺動支持部材
６２ａ  孔
６３    本体
６４    ローラ
６５    テーパ内周部
６５ａ  テーパ内周面
６７    上側筒状部
６８    テーパ係合構造（センタリング機構）
６９    ブレーキ構造（位置決め機構）
７２    旋回テーブル
７３    スカラーアーム
７４    ハンド
８１    センタリングユニット
８２    摩擦係合部
８２ａ  摩擦面
８３    プレート
８４    スプリング
Ｃ      カセット
Ｇ      ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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