(57)【要約】【課題】変形駆動の制御系を複雑化させずに光学素子のチルト又は変形が可能な保持装置及び露光装置を提供する。【解決手段】周方向Ｃに延びて周方向Ｃに垂直な断面の形状が一周内で少なくとも２箇所において異なる内部空間Ｓを有し、レンズ部材１１０を保持する保持部材１２０と、保持部材１２０の外側に配置されて保持部材１２０の外側を固定する固定部材１３０と、内部空間Ｓに作動流体を供給することによって内部空間Ｓを加圧して保持部材１２０を変形させる配管部材１５０と、を有する保持装置１００Ａを提供する。【選択図】図１
2010062394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周方向に延びて前記周方向に垂直な断面の形状が一周内の少なくとも２箇所で異なる内部空間を有し、光学素子を保持する保持部材と、
当該保持部材の外側に配置されて前記保持部材の外側を固定する固定部材と、
前記内部空間に作動流体を供給することによって前記内部空間を加圧して前記保持部材を変形させる加圧部と、
を有することを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記内部空間は、上側に前記保持部材を変形させる部分と下側に前記保持部材を変形させる部分のペアが周期的に前記周方向に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記内部空間は前記周方向において全周で接続されており、
前記保持装置には一つの加圧部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項４】
前記保持部材は、前記内部空間を前記周方向において分割する仕切りを有し、
前記保持装置には仕切りによって分割された各内部空間に対して一つの加圧部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項５】
前記内部空間の前記周方向に垂直な断面の形状は平行四辺形であることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項６】
前記内部空間の前記周方向に垂直な断面において前記内部空間の複数の端部を結んだ形状は平行四辺形であることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項７】
光学素子を保持する請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の保持装置と、
前記光学素子の性能を測定する測定装置と、
前記測定装置の結果に基づいて前記保持装置の内部空間の加圧量を演算する演算部と、
を有することを特徴とするフィードバック制御システム。
【請求項８】
光学素子を保持する請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の保持装置と、
前記光学素子の性能を測定する測定装置と、
前記測定装置の結果に基づいて前記保持装置の内部空間の加圧量を演算する演算部と、
を有するフィードバック制御システムを有することを特徴とする露光装置。
【請求項９】
露光装置を使用して基板を露光するステップと、
露光された基板を現像するステップと、
を有し、
前記露光装置は、
光学素子を保持する請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の保持装置と、
前記光学素子の性能を測定する測定装置と、
前記測定装置の結果に基づいて前記保持装置の内部空間の加圧量を演算する演算部と、
を有するフィードバック制御システムを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持装置及び露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レチクルやマスクなどの原版のパターンをウエハや液晶ディスプレイなどの基板に投影光学系を介して露光する投影露光装置において、特許文献１は、投影光学系を保持する保持装置を開示している。具体的には、特許文献１は、エアを用いた駆動要素をレンズの外周の３箇所に設けて光学素子をチルトさせる第１の構成と、円環状ダイヤフラムによって光学素子をＺ駆動する第２の構成を開示している。これにより、投影光学系に自重や温度変化による投影光学系のレンズ面形状の歪みを保持装置による保持を通じて調整することができる。
【０００３】
その他の従来技術としては特許文献２及び３がある。
【特許文献１】特許第３８９４５０９号明細書
【特許文献２】特開平１１−１４９０２９号公報
【特許文献３】米国特許第７０３１０８２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の第１の構成は、３箇所に供給するエアを独立に制御しなければチルトできず、制御系が複雑化になり、第２の構成はチルト制御できない。
【０００５】
そこで、本発明は、変形駆動の制御系を複雑化させずに光学素子のチルト又は変形が可能な保持装置及び露光装置を提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面としての保持装置は、周方向に延びて前記周方向に垂直な断面の形状が一周内の少なくとも２箇所で異なる内部空間を有し、光学素子を保持する保持部材と、当該保持部材の外側に配置されて前記保持部材の外側を固定する固定部材と、前記内部空間に作動流体を供給することによって前記内部空間を加圧して前記保持部材を変形させる加圧部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、変形駆動の制御系を複雑化させずに光学素子のチルト又は変形が可能な保持装置及び露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例について説明する。
【０００９】
以下、図１及び図２を参照して、レンズ部材（光学素子）１を保持すると共に変形（又はチルトさせる）保持部材２の原理について説明する。図１（ａ）は保持部材２の概略平面図である。図１（ｂ）は図１（ａ）の軸Ｈに沿った断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）の軸Ｉに沿った断面図、図１（ｄ）は図１（ａ）の軸Ｖに沿った断面図である。Ｏはレンズ部材１の中心（原点）である。軸Ｈは図１（ａ）の中心Ｏを通り、水平方向に延びる水平軸である。軸Ｉは図１（ａ）において軸Ｈを中心Ｏ回りに時計回りに４５°回転した軸である。軸Ｖは図１（ａ）において軸Ｈを中心Ｏ回りに時計回りに９０°回転した垂直軸である。
【００１０】
図１（ｂ）〜図１（ｄ）に示すように、保持部材２は、周方向（又は円周方向）Ｃに延びて周方向Ｃに垂直な断面（径方向に平行な断面）の形状が一周内の少なくとも２箇所で異なる内部空間を有する。本実施例の内部空間Ｓは全周に亘って接続されており、１箇所の配管から内部空間Ｓに作動流体を供給することによって内部空間Ｓを加圧して保持部材２を変形させることができるように構成されている。保持部材２は、断面Ｌ字形状を有する円環部材であり、図１（ｂ）〜図１（ｄ）においては左下部に内側に（即ち、レンズ部材１に向かって）突出する凸部３を有している。一方、レンズ部材１は、円盤部材であるが、端部は断面逆Ｌ字形状を有しており、図１（ｂ）〜図１（ｄ）においては右上部に外側に（即ち、保持部材２に向かって）突出する凸部１ａを有している。凸部１ａと凸部３は、内部空間Ｓの加圧前では逆Ｌ字形状とＬ字形状が重なった形状を有する。内部空間Ｓの加圧前の状態では、凸部３はレンズ部材１を支持している。レンズ部材１は、凸部１ａの外周面で保持部材２に接着されて固定されている。凸部１ａの底面と凸部３の上面は接触しているだけで接着はされていないが、凸部１ａの欠けの虞がなければ接着されてもよい。
【００１１】
図１（ｂ）に実線で示す軸Ｈに沿った断面（図２（ａ）に示す断面）は、内部空間Ｓの加圧前の状態を示している。この時、内部空間Ｓは内部空間Ｓ１となっている。内部空間Ｓ１の断面形状は長方形を右側に傾けた平行四辺形の形状をしており、平行四辺形の４つの角度のうち最も外側の鋭角の角度を形成する２辺の交点Ｐ１は右上に配置される。図２（ａ）に示すように、内部空間Ｓ１の断面積はｎ×ｍで表現される。
【００１２】
内部空間Ｓ１は、図１（ｂ）の破線又は図２（ｂ）で示すように、加圧されたときに長方形に近づく方向に（上側に）変形し、断面積はｌ×ｍとなる。紙面に垂直な方向の奥行きは同じであり、ｌはｍより大きいため、内部空間Ｓ１の体積が大きくなる方向は断面形状が平行四辺形から長方形に近づく方向である。保持部材２の外側は不図示の他の部材により固定されているため、加圧時は内部空間Ｓ１より内側の部分が上側に変形する。それに伴い、レンズ部材１も凸部３によって凸部１ａが持ち上げられて上側に変形する。
【００１３】
図１（ｃ）に実線で示す軸Ｉに沿った断面においては、内部空間Ｓは加圧前の状態であり、内部空間Ｓ２となっている。保持部材２の内部空間Ｓ２の断面形状は長方形の形状をしている。内部空間Ｓ２は、加圧されても変形がほとんどおきない。
【００１４】
図１（ｄ）に実線で示す軸Ｖに沿った断面は、内部空間Ｓは加圧前の状態を示している。この時、内部空間Ｓは内部空間Ｓ３となっている。内部空間Ｓ３の断面形状は長方形を左側に傾けた平行四辺形の形状をしており、平行四辺形の４つの角度のうち最も外側の鋭角の角度を形成する２辺の交点Ｐ３は右下に配置される。内部空間Ｓ３は、図１（ｃ）の破線で示すように、加圧されたときに長方形に近づく方向に（下側に）変形する。
【００１５】
内部空間Ｓ３の体積が大きくなる方向は断面形状が平行四辺形から長方形に近づく方向であり、保持部材２の外側は他の部材により固定されているため、加圧時は内部空間Ｓ３より内側の部分が下側に変形する。上述したように、レンズ部材１の外周面は保持部材２に接着及び固定されているために、保持部材２が下側に変形するとそれに伴ってレンズ部材１も下側に変形する。
【００１６】
図１（ｂ）、図１（ｃ）、図１（ｄ）に示す断面形状の変化を保持部材２の円周上で２回繰り返すことによって２周期で上下の変化がおこるレンズ形状に変形させることができる。即ち、内部空間Ｓは、上側に保持部材２を変形させる部分（内部空間Ｓ１）と下側に保持部材２を変形させる部分（内部空間Ｓ３）のペアが周期的に周方向Ｃに複数（本実施例では２つ）配置されている。
【００１７】
また、内部空間Ｓ１やＳ３の平行四辺形の断面形状は、各辺や内部に凹凸があっても、上辺と下辺の両端部を図３に示すような破線で結んだ結果が平行四辺形になっていればよい。図３は、内部空間Ｓの周方向Ｃに垂直な断面において内部空間Ｃの複数の端部を結んだ形状が平行四辺形である例を示している。更に、厳密な平行四辺形でなくても、台形に近い形状でも加圧時は長方形に近づこうとするため、構成可能である。その他、内部空間Ｓの断面形状は四角形以上の多角形であってもよい。
【実施例１】
【００１８】
図４は、実施例１の保持装置１００Ａの斜視図であり、図１に示すレンズ部材１に対応するレンズ部材（光学素子）１１０を保持する。図５は、図４の部分断面斜視図である。
【００１９】
保持装置１００Ａは、保持部材１２０と、固定部材１３０と、弾性固定部材１４０Ａと、配管部材１５０と、配管１５５と、密閉容器１６０と、空気圧制御装置１７０と、を有する。なお、密閉容器１６０及び空気圧制御装置１７０は、図４において省略されている。
【００２０】
保持部材１２０は、内側部１２２、外側部１２４、上側部１２６、図４には省略されている下側部１２８、を有する。
【００２１】
内側部１２２は、レンズ部材１１０を直接保持し、内部空間（加圧空間）の内側を規定する。内側部１２２は、図５においては断面逆Ｌ字形状を有し、内周部１２２ａと、接続部１２２ｂと、レンズ部材１１０が接着される内側側面１２２ｃと、接続部１２２ｄと、内側に突出する凸部１２３と、を有する。
【００２２】
内周部１２２ａは、接続部１２２ｂの内周部に結合して接続部１２２ｂよりも上方向に突出し、その上面は後述する固定部材１３０の外周部１３１の上面と同じ高さに形成された円環部材である。内周部１２２ａはレンズ部材１１０に対向して配置される。
【００２３】
接続部１２２ｂは、内周部１２２ａよりも低い位置に設けられた円環状の段差であり、接続部１２２ｂの上面には上側部１２６が接着される。
【００２４】
内側側面１２２ｃは内周部１２２ａの内面であり、レンズ部材１１０の外壁面１１４は、弾性接着剤Ｅで内側側面１２２ｃに接着及び固定される。これにより、レンズ部材１１０の横方向（径方向）の変位を抑えることができる。弾性接着剤Ｅは、レンズ部材１１０の重量や弾性接着剤Ｅの弾性の度合いにより、弾性接着剤Ｅはレンズ部材１１０の外壁面１１４の全周ではなく部分的に塗布されてもよい。
【００２５】
接続部１２２ｄは、内側部１２２の円環状の底面部であり、その底面には下側部１２８が接着される。接続部１２２ｄの内側には、必要があれば、内周部１２２ａと接続部１２２ｂのような段差（凸部）が形成されてもよい。
【００２６】
レンズ部材１１０は、レンズ部材１１０を直接支持する内側部１２２の凸部１２３の上面に接触している。凸部１２３は、レンズ部材１１０の下面１１２の縁部１１３に１ｍｍ×１ｍｍ〜２ｍｍ×２ｍｍほどの面積で接触している。縁部１１３は、応力集中によってレンズ部材１１０に割れや欠けを発生させず、かつ、凸部１２３の面粗さをレンズ部材１１０の変形歪として伝えない面積に設定されている。凸部１２３はレンズ部材１１０を持ち上げる箇所と下げる箇所の計４箇所に設けられている。変形時にレンズ部材１１０全体が上下に変化することを抑制するために持ち上がる箇所と下がる箇所の間に凸部１２３を追加してもよい。その場合、弾性固定部材１４０も同じ個数だけ追加される。
【００２７】
外側部１２４は加圧空間の外側を規定する円環部材であり、図５においては、断面Ｌ字形状を有している。外側部１２４は、円周上に等間隔で配置された複数の締結部材１２５を介して固定部材１３０に固定されている。
【００２８】
外側部１２４は、外周部１２４ａと、接続部１２４ｂと、貫通孔１２４ｃと、接続部１２４ｄと、を有する。外周部１２４ａは、その上面が後述する固定部材１３０の外周部１３１の上面とほぼ同じ高さに形成された円環部材である。接続部１２４ｂは、外周部１２４ａよりも低い位置に設けられた円環状の段差であり、接続部１２４ｂの上面には上側部１２６が接着される。内部空間Ｓが加圧される前の状態では接続部１２４ｂの上面は接続部１２２ｂの上面と同じ高さである。貫通孔１２４ｃは円筒形状を有して径方向に延び、配管部材１５０を収納する。接続部１２４ｄは、その底面に下側部１２８が接着される。
【００２９】
上側部１２６は、内側部１２２と外側部１２４の間に固定され、内部空間（加圧空間）の上側（図５においては上側の長方形の上辺）を規定する円環状の薄板部材又は弾性部材である。上側部１２６の上面は後述する固定部材１３０の外周部１３１の上面とほぼ同じ高さに形成されている。即ち、内周部１２２ａの上面と接続部１２２ｂの上面の高さの差は上側部１２６の厚さに対応している。上側部１２６は、内側部１２２の接続部１２２ｂの上面と外側部１２４の接続部１２４ｂの上面に接着されて内側部１２２と外側部１２４に支持及び固定されている。上側部１２６は内側部１２２と共に弾性変形が可能であり、板ばね部材であってもよい。
【００３０】
下側部１２８は、内側部１２２と外側部１２４の間に固定され、内部空間の下側（図５においては下側の長方形の下辺）を規定する円環状の薄板部材又は弾性部材である。下側部１２８は、内側部１２２の接続部１２２ｄの底面と外側部１２４の接続部の底面に接着されて内側部１２２と外側部１２４に支持及び固定されている。なお、図４では、下側部１２８は不図示となっている。下側部１２８は内側部１２２と共に弾性変形が可能であり、板ばね部材であってもよい。
【００３１】
内部空間（加圧空間）Ｓは、２つの長方形を径方向にずらして又は一致した状態で上下方向に重ねた形状を有し、図５に示す断面は、図１（ｂ）と同様に、加圧時に上方向に変形する形状を有する。内部空間Ｓを密閉空間とするために、保持部材１２０の各部（内側部１２２、外側部１２４、上側部１２６、下側部１２８）は全周に亘ってロウ付け接合を行っている。接合方法は他にヒップ接合、ボルト接合など、密閉できる方法であればよい。内部空間Ｓの断面形状は、図４に示す中心Ｏに関して０度で図１（ｂ）に示すような平行四辺形、４５度で図１（ｃ）に示すような長方形、９０度で図１（ｄ）に示すような平行四辺形、１８０度で０度と同じ平行四辺形、のように連続的に変化している。そして、内部空間Ｓの断面形状は、全周にわたって２周期の断面形状変化になっており、加圧時は上側に変形する部分と下側に変形する部分が全周に亘って２つずつ発生する。図５の断面形状は、上述したように、０度や１８０度における断面形状に対応する。なお、内部空間の変形の周期を３や４に増やしていくと、レンズ部材１１０の変形形状もそれに伴って変形する。
【００３２】
固定部材１３０は、保持部材１２０の外側部１２４と接触し、レンズ部材１１０と保持部材１２０を保持する。固定部材１３０の位置は内部空間Ｓの外側で固定されており、内部空間Ｓが加圧されても変形しない剛性材料で構成されている。固定部材１３０は、中空円盤形状を有し、断面Ｌ字形状を有する。
【００３３】
固定部材１３０は、外周部１３１と、底部１３３と、を有する。外周部１３１は、円環形状を有し、底面において底部１３３に結合している。また、外周部１３１は、径方向に延びる溝１３２を有する。溝１３２は、径方向から見るとＵ字形状に繰り抜かれている。溝１３２は、外側部１２４の貫通孔１２４ｃに接続して配管部材１５０を収納する。底部１３３は、外側部１３４において外周部１３１と結合し、内側部１３５には締結部材１２５を介して外側部１２４が固定されている。
【００３４】
弾性固定部材１４０Ａは、レンズ部材１１０と保持部材１２０に接触し、レンズ部材１１０を固定する。図６は、レンズ部材１１０と内側部１２２に接し、レンズ部材１１０を弾性力によって固定する弾性固定部材１４０Ａの拡大斜視図である。弾性固定部材１４０Ａは、板ばね部材１４２と、圧力伝達部材１４４と、一対の締結部材１４６と、調整部材１４７と、を有する。
【００３５】
板ばね部材１４２は、内側部１２２に締結部材１４６により固定され、レンズ部材１１０を固定するために下向き弾性力を発生させる。圧力伝達部材１４４は、レンズ部材１１０と板ばね部材１４２の間に位置し、レンズ部材１１０の上側の縁部に接触し、板ばね部材１４２の弾性力をレンズ部材１１０に均等に伝達する。圧力伝達部材１４４は、レンズ部材１１０の割れや欠けをもたらさないように硬度の低いアルミや真鍮から構成されている。締結部材１４６は、板ばね部材１４２を内側部１２２に固定する。調整部材１４７は、板ばね部材１４２と内側部１２２の間に位置し、高さ方向の厚みを管理することで板ばね部材１４２が発生する弾性力を調整することができる。
【００３６】
配管部材１５０は、内部空間Ｓに加圧用の空気（作動流体）を供給及び回収し、一端が内部空間Ｓに接続され、他端が配管１５５に接続されている。本実施例では、保持部材１２０の内部空間Ｓは全周に亘って接続されているので、内部空間Ｓを加圧するための作動流体（空気）を供給する配管部材１５０の数は一つである。
【００３７】
図７は、配管部材１５０と金属製の配管１５５を介して接続された密閉容器１６０を示す斜視図である。密閉容器１６０内にはスチールウールが敷き詰められており、加圧する空気が内部を通過するようになっている。空気の熱伝導率が鉄に比べて小さいことを利用して、加圧時に発生する空気の圧縮熱がスチールウールに伝わるようにしている。これにより、加圧時の空気の温度変化を抑え、保持装置１００Ａの温度変化による結像性能劣化を抑えている。密閉容器１６０は、サーボバルブなどの空気圧制御装置１７０に配管１５５を介して接続されている。なお、本実施例の作動流体は空気であるが、本発明は、水、窒素、不活性ガスなど作動流体の種類を限定しない。配管部材１５０、密閉容器１６０、及び、空気圧制御装置１７０は、内部空間Ｓに作動流体を供給して内部空間Ｓを加圧して保持部材１２０とレンズ部材１１０を変形させる加圧部として機能する。
【００３８】
動作原理は、図１と同様である。空気圧制御装置１７０による制御の下で、密閉容器１６０を介して加圧用の空気（作動流体）を内部空間Ｓに供給する。加圧時に内部空間（閉空間）Ｓの断面形状は体積が大きくなる方向に変形する。本実施例では、内部空間Ｓの断面形状は平行四辺形又はそれに類似の形状を有しているので、加圧時には長方形に近づく方向に変化する。本実施例の構成は、従来のようなアクチュエータやバネなどの変位を発生させる手段を用いる必要がなく、制御系が単純となり、小型化と動作時の発熱を防止することができる。また、本実施例の内部空間Ｓは、全周で接続されて断面形状は円周方向で変化しており、一箇所の加圧部でレンズ部材１１０のチルトその他の変形を制御することができる。保持部材の外側を固定点として、加圧するとその内側部分が上下方向に変位する。断面形状が長方形の場合は上下方向の変位がほとんどおきないため、円周方向に断面形状を変化させるとその変化に伴って、レンズ部材１１０の変形形状が決定される。また、隣り合う内部空間の断面形状が上下対称であるので、レンズ部材１１０の上下位置変化を抑えて所望の形状変化を得ることができる。
【実施例２】
【００３９】
図８は、実施例２の保持装置１００Ｂの斜視図である。図８において、図４と同一部材には同一の参照符号を付している。保持装置１００Ｂは、円周方向に３０度ピッチの等間隔で配列された１２個の弾性固定部材１４０Ｂと、円周方向に６０度ピッチの等間隔で配列された６個の配管部材１５０と、を有する。なお、各配管部材１５０には、図７に示す密閉容器１６０と空気圧制御装置１７０が接続されている。
【００４０】
図９は、上側部１２６を除去して内部空間Ｓを露出した部分斜視図である。内部空間Ｓには、仕切り１２６を設けた内部空間（加圧空間）Ｓが６箇所形成されている。本実施例では、内部空間Ｓは仕切り１２６によって分割されており、分割された６つの内部空間Ｓの各々に配管部材１５０が接続されている。内部空間Ｓの断面形状は実施例１のように平行四辺形の形状をしており、上下の変形方向が円周上互い違いになるようにしている。このため、レンズ部材１１０は、円周方向に沿って３周期の上下に互い違いの変形となり、３周期と２種類の変形の積である６種類の内部空間の各々に配管部材１５０が接続される。
【００４１】
図１０は、弾性固定部材１４０Ｂとその周辺部の拡大断面図である。弾性固定部材１４０Ｂは、レンズ部材１１０と保持部材１２０に接触し、レンズ部材１１０を固定する。弾性固定部材１４０Ｂは、一対の締結部材１４６と、弾性部材１４８と、ボール部材１４９と、を有する。弾性部材１４８は、保持部材１２０の内側部１２２に締結部材１４６によって固定されている。弾性部材１４８は、付勢部１４８ａと円周方向又は接線方向に延びるＶ字溝１４８ｂを有する。また、レンズ部材１１０もこれに対応する方向に延びるＶ字溝１１５を有する。ボール部材１４９は弾性部材１４８とレンズ部材１１０の間に位置している。
【００４２】
弾性部材１４８の付勢部１４８ａは、レンズ部材１１０の径方向と鉛直方向（高さ方向）に弾性力をレンズ部材１１０に加えてこれを固定する。２つのＶ字溝１４８ｂと１１５の間にボール部材１４９が挟まれ、これにより、弾性部材１４８、ボール部材１４９、レンズ部材１１０は位置決めされている。レンズ部材１１０が横方向（径方向）に変位するための剛性を調整するには付勢部１４８ａのバネ剛性を調整すればよい。レンズ部材１１０を固定する弾性固定部材１４０Ａの構成として図１０の構成は単なる一例であり、レンズ部材１１０を固定する手段は限定されない。
【００４３】
動作については、実施例１と同様であるが、本実施例では、密閉空間である内部空間を複数円周方向に設けているので、その位置に応じて所望の変形形状を得ることができる。各内部空間Ｓをそれぞれ異なる圧力で加圧することで、レンズ部材１１０の変形形状を細かく調整することができる。
【実施例３】
【００４４】
図１１は、レンズ部材１１０の変形をモニターしながらフィードバック制御によりレンズ部材１１０の変形をアクティブに高精度で制御するフィードバック制御システムのブロック図である。図１１は、レンズ部材１１０である投影光学系３０を有する露光装置５にフィードバック制御システムを適用した例を示している。
【００４５】
露光装置５は、投影光学系３０を介して原版２０のパターンを基板４０に投影露光する投影露光装置であり、照明装置１０と、投影光学系３０と、を有する。照明装置１０は、原版２０を照明する装置であり、光源、及び、光源からの光で原版２０を照明する照明光学系を含む。原版２０は、図示しない原版ステージによって支持及び駆動される。投影光学系３０は、原版２０のパターンを基板４０に投影する光学系である。投影光学系３０に含まれるレンズ部材を実施例１又は２に記載の保持装置で保持する。基板４０は、図示しない基板ステージによって支持及び駆動される。
【００４６】
５０は、レンズ部材の面形状を測定する測定装置である。測定装置５０は、レンズ部材１１０及び保持部材１２０の変位を測定する変位センサ、レンズ部材１１０及び保持部材１２０の歪を測定する歪ゲージ、レンズ部材１１０により結像される像の収差誤差を検出するＣＣＤセンサを利用することができる。６０は、投影光学系３０の波面収差を測定するＣＣＤセンサなどの測定装置である。７０は、現像された基板４０の解像性能を測定するＳＥＭなどの測定装置である。８０は、レンズ部材（光学素子）の性能を測定する測定装置５０〜７０の測定結果に基づいて投影光学系３０の保持装置の内部空間Ｓへの加圧量を演算する演算部である。光学素子の性能は、面形状、波面収差、解像性能などを含む。演算部８０による演算結果に基づいて空気圧制御装置１７０は内部空間Ｓに加圧用の空気を供給してレンズ部材１１０を変形させる。変形後のレンズ部材１１０の面形状を再度測定装置５０などにより測定して内部空間Ｓへの加圧量を調整する。これにより、最終的に所望の面形状を投影光学系３０に含まれるレンズ部材１１０に得ることができる。
【００４７】
図１１に示す露光装置５によれば、投影光学系３０の収差や自重変形などが除去されるので原版２０のパターンを高精度に基板４０に露光することができる。
【００４８】
また、デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）を製造する方法は、露光装置５を使用して感光剤を塗布した基板を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例１の保持装置の原理を示す平面図及び断面図である。
【図２】図１（ｂ）の拡大断面図である。
【図３】図１（ｂ）の変形例の拡大断面図である。
【図４】実施例１の保持装置の斜視図である。
【図５】図４の拡大部分断面斜視図である。
【図６】図４に示す弾性部材周辺の拡大斜視図である。
【図７】図４に示す配管部材周辺の斜視図である。
【図８】実施例２の保持装置の斜視図である。
【図９】図８に示す保持装置の部分拡大斜視図である。
【図１０】図９の拡大部分断面斜視図である。
【図１１】実施例１及び実施例２の保持装置が適用可能な露光装置の概略ブロック図である。
【符号の説明】
【００５０】
５                      露光装置
２０                    原版
３０                    投影光学系
４０                    基板
１００Ａ、１００Ｂ      保持装置
１１０                  レンズ部材
１２０                  保持部材
１３０                  固定部材
１４０Ａ、１４０Ｂ      弾性固定部材
１５０                  配管部材
１６０                  密閉容器
１７０                  空気圧制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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