(57)【要約】【課題】応答性の高い温度測定が可能であるとともに、温度センサと軸受とを容易に分離できる、メンテナンス性、取扱い性に優れた工作機械の主軸装置用軸受、及び工作機械の主軸装置、並びに、工作機械を提供する。【解決手段】工具を取り付け可能な回転軸２２を外筒２９に対して回転自在に支持する工作機械の主軸装置２０において、前側軸受６０には、外輪６１と玉６３との接触点ｐ近傍に温度センサ５２が非接着で軸受６０と着脱自在に配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に内輪軌道面を有する内輪と、
内周面に外輪軌道面を有する外輪と、
前記内輪軌道面と前記外輪軌道面との間に配置される複数の転動体と、
を有し、回転軸をハウジングに対して回転自在に支持する工作機械の主軸装置用軸受であって、
前記外輪と前記転動体との接触点近傍には、温度センサが前記軸受と着脱自在に配置されていることを特徴とする工作機械の主軸装置用軸受。
【請求項２】
前記温度センサは、固定用部材の収納部に取り付けられており、
前記温度センサは、前記固定用部材を締結部材によって前記外輪に締結することで、前記外輪と前記転動体との接触点近傍に配置されることを特徴とする請求項１に記載の工作機械の主軸装置用軸受。
【請求項３】
前記固定用部材は、温度センサとともに、前記外輪の内周面に形成された溝部に取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の工作機械の主軸装置用軸受。
【請求項４】
前記温度センサは、固定用部材に取り付けられており、
前記温度センサは、前記固定用部材を締結部材によって前記ハウジングに締結することで、前記外輪と前記転動体との接触点近傍に配置されることを特徴とする請求項１に記載の工作機械の主軸装置用軸受。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の前記軸受と、
前記内輪が外嵌される前記回転軸と、
前記外輪が内嵌される前記ハウジングと、
を備えることを特徴とする工作機械の主軸装置。
【請求項６】
請求項５に記載の前記主軸装置を備えることを特徴とする工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械の主軸装置用軸受、及び工作機械の主軸装置、並びに工作機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、工作機械の主軸装置としては、ｄｍ・Ｎが１００万〜３００万の高速回転と、低振動が求められており、ビルトインモータ方式を採用するものが多く使用されている。例えば、図１２に記載の主軸装置１００では、工具Ｔが取り付けられる回転軸１０１が前側軸受１０２及び後側軸受１０３を介して外筒１０４に回転自在に取り付けられている。前側及び後側軸受１０２，１０３間には、回転軸１０１の周囲に設けられたロータ１０５と、外筒１０４の内側に冷却ジャケット１０６を介して設けられたステータ１０７と、を備えたビルトインモータ１０８が配置されている。
【０００３】
また、主軸装置１００では、熱変位を防止するため、外筒１０４や冷却ジャケット１０６に形成された冷却経路１０９，１１０によって冷却が行なわれている。さらに、主軸装置１００では、前側軸受１０２及び後側軸受１０３を潤滑するため、外筒１０４に形成された給油経路１１１を介して、動粘度が１０〜３２ｃＳｔと低い潤滑油を用いての微量給脂が行なわれており、軸受内の異常発熱を防止している。
【０００４】
さらに、前側軸受１０２の径方向外方の外筒１０４には、温度センサとしての熱電対１１２が配置されており、軸受１０２の外輪外径面やその近傍の温度を測定して、軸受１０２の焼付き防止を図っている。
【０００５】
一方、軸受の温度を測定する構造として、外輪に形成された孔に配線を配索し、外輪の内周面に温度センサを配置したものが考案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１７５３８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、工作機械用主軸装置は、高速、高荷重で運転され、また、過冷却やモータ発熱の影響で軸受の内外輪で温度差が大きくなると、予圧増加などにより軸受の焼付きが起こる可能性がある。また、図１２に示す主軸装置１００では、外輪の外径面を測定する熱電対１１２の応答速度が遅く、軸受１０２の温度を感度良く測定することができないため、軸受の焼付き防止対策にはさらなる改善が求められる。
【０００８】
また、特許文献１では、温度センサは、軸受内に嵌めこみや耐熱性接着剤によって固定されており、容易に分離できる構造ではなく、軸受不具合時や、センサ不具合時に別々に交換することができない。特に、接着剤によって温度センサを固定している場合には、接着剤が剥がれる虞があるため、スピンドルの組立直前に軸受洗浄を行うことができないという課題もある。
【０００９】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、応答性の高い温度測定が可能であるとともに、温度センサと軸受とを容易に分離できる、メンテナンス性、取扱い性に優れた工作機械の主軸装置用軸受、及び工作機械の主軸装置、並びに、工作機械を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  外周面に内輪軌道面を有する内輪と、
内周面に外輪軌道面を有する外輪と、
前記内輪軌道面と前記外輪軌道面との間に配置される複数の転動体と、
を有し、回転軸をハウジングに対して回転自在に支持する工作機械の主軸装置用軸受であって、
前記外輪と前記転動体との接触点近傍には、温度センサが前記軸受と着脱自在に配置されていることを特徴とする工作機械の主軸装置用軸受。
（２）  前記温度センサは、固定用部材の収納部に取り付けられており、
前記温度センサは、前記固定用部材を締結部材によって前記外輪に締結することで、前記外輪と前記転動体との接触点近傍に配置されることを特徴とする（１）に記載の工作機械の主軸装置用軸受。
（３）  前記固定用部材は、温度センサとともに、前記外輪の内周面に形成された溝部に取り付けられていることを特徴とする（２）に記載の工作機械の主軸装置用軸受。
（４）  前記温度センサは、固定用部材に取り付けられており、
前記温度センサは、前記固定用部材を締結部材によって前記ハウジングに締結することで、前記外輪と前記転動体との接触点近傍に配置されることを特徴とする（１）に記載の工作機械の主軸装置用軸受。
（５）  （１）から（４）のいずれかに記載の前記軸受と、
前記内輪が外嵌される前記回転軸と、
前記外輪が内嵌される前記ハウジングと、
を備えることを特徴とする工作機械の主軸装置。
（６）  （５）に記載の前記主軸装置を備えることを特徴とする工作機械。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、外輪と転動体との接触点近傍には、温度センサが軸受と着脱自在に配置されているので、応答性の高い温度測定が可能であるとともに、温度センサと軸受とを容易に分離できる、メンテナンス性、取扱い性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の軸受を備える工作機械の主軸装置の概略図である。
【図２】図１の前側軸受近傍を示す要部拡大断面図である。
【図３】（ａ）は、図１の前側軸受を示す断面図であり、（ｂ）は、温度センサが取り付けられた固定用板材を示す断面図である。
【図４】図１の前側軸受に温度センサを取り付ける状態を示す図である。
【図５】（ａ）は、温度センサのフィルム基板の上に形成した温度センサ部を示す平面図であり、（ｂ）は、フィルム基板の上にフィルムカバーを示す平面図であり、（ｃ）は、（ｂ）のＶ−Ｖ線に沿って切断した、温度センサの断面図である。
【図６】（ａ）は、他の温度センサのフィルム基板の上に形成した温度センサ部を示す平面図であり、（ｂ）は、フィルム基板の上にフィルムカバーを示す平面図であり、（ｃ）は、（ｂ）のVI−VI線に沿って切断した、温度センサの断面図である。
【図７】第２実施形態の工作機械の主軸装置用軸受に係る前側軸受近傍の要部拡大断面図である。
【図８】（ａ）は、図７の前側軸受を示す断面図であり、（ｂ）は、工具側から見た前側軸受の側面図である。
【図９】（ａ）は、図７の前側軸受に温度センサを取り付ける状態を示す図であり、（ｂ）は、温度センサが取り付けられる前の前側軸受を工具側から見た側面図である。
【図１０】第３実施形態の工作機械の主軸装置用軸受に係る前側軸受近傍の要部拡大断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の前側ハウジングの一部をＸ方向から見た図である。
【図１１】（ａ）は、第３実施形態の変形例の工作機械の主軸装置用軸受に係る前側軸受近傍の要部拡大断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の前蓋の一部をＸＩ方向から見た図である。
【図１２】従来の主軸装置における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る工作機械の主軸装置用軸受、及び工作機械の主軸装置、並びに、工作機械について図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１に示すように、主軸装置２０は、ビルトインモータ方式であり、その軸方向中心部には、中空状の回転軸２２が設けられ、回転軸２２の軸芯には、ドローバ２３が摺動自在に挿嵌されている。ドローバ２３は、工具ホルダ２４に取付けられたプルスタッド２５を、クランプボール２６を介して、ばね部材２７の力によって反工具側方向（図の右方向）に付勢しており、工具ホルダ２４は、回転軸２２のテーパ面２８と嵌合する。工具ホルダ２４には工具Ｔが取り付けられており、この結果、回転軸２２は、一端（図の左側）に工具Ｔをクランプして、工具Ｔを取り付け可能としている。
【００１５】
また、回転軸２２は、その工具側を支承する２列の前側軸受６０，７０と、反工具側を支承する１列の後側軸受８０とによって、ハウジングを構成する外筒２９に回転自在に支持されている。なお、前側軸受６０，７０及び後側軸受８０は、本実施形態の主軸装置用軸受を構成する。
【００１６】
前側軸受６０，７０と後側軸受８０間における回転軸２２の外周面には、ロータ３０が外嵌されている。また、ロータ３０の周囲に配置されるステータ３２は、ステータ３２に焼き嵌めされた冷却ジャケット３３を外筒２９に内嵌することで、外筒２９に固定される。従って、ロータ３０とステータ３２はモータを構成し、モータ制御部３１によってステータ３２に電力を供給することでロータ３０に回転力を発生させ、回転軸２２を回転させる。
【００１７】
また、外筒２９と反工具側で固定されたハウジングを構成する後蓋３４には、工具アンクランプピストン３５を摺動自在に内嵌したハウジングを構成する工具アンクランプシリンダ３６が固定されている。よって、工具を交換する際には、図示しない油路から油圧室３８に作動油を導き、工具アンクランプピストン３５を工具側（図の左側）へ前進させることにより、ドローバ２３を工具側（図の左側）へ前進させて、工具Ｔをアンクランプする。
【００１８】
図２に示すように、前側軸受６０，７０は、外輪６１，７１と、内輪６２，７２と、接触角を持って配置される転動体としての玉６３，７３と、玉６３，７３を略等間隔で保持する外輪案内の保持器６４，７４と、をそれぞれ有するアンギュラ玉軸受である。後側軸受８０は、図１に示すように、外輪８１と、内輪８２と、転動体としての円筒ころ８３と、円筒ころ８３を略等間隔で保持する外輪案内の保持器（図示せず）と、を有する円筒ころ軸受である。
【００１９】
前側軸受６０，７０の外輪６１，７１は外筒２９に締結固定された前側ハウジング５０に内嵌されており、且つ前側ハウジング５０にボルト締結された前蓋５１によって外輪間座４０を介して前側ハウジング５０に対し軸方向に固定されている。また、前側軸受６０，７０の内輪６２，７２は、回転軸２２に外嵌されており、且つ回転軸２２に締結されたナット４１によって内輪間座４２を介して回転軸２２に対し軸方向に固定されている。なお、前側ハウジング５０及び前蓋５１もハウジングを構成する。
【００２０】
後側軸受８０の外輪８１は後蓋３４に内嵌されており、且つ後蓋３４にボルト締結された後側軸受外輪押え４３によって後蓋３４に固定されている。後側軸受８０の内輪８２は、回転軸２２とテーパ嵌合されており、回転軸２２に締結された他のナット４５によって、内輪間座４６を介して位置決めされている。
【００２１】
ここで、冷却ジャケット３３や前側ハウジング５０には冷却溝３３ａ，５０ａが形成されており、供給される冷却油によって主軸装置２０の各構成部品を冷却し、これら構成部品の熱変位を防止している。なお、図２では、前側ハウジング５０の冷却溝５０ａは、省略されている。
【００２２】
また、図１に示すように、外筒２９、後蓋３４、前側ハウジング５０には、前側軸受６０，７０及び後側軸受８０をそれぞれ潤滑するための複数の給油通路９０が形成されており、これら通路９０の一端側には、潤滑油を送り込む潤滑装置９１が図示しない配管を介してそれぞれ取り付けられている。各給油通路９０の他端側には、図示しない潤滑ノズルが取り付けられており、潤滑装置９１によって送られた潤滑油を各軸受６０，７０，８０の軸受空間内に供給する。
【００２３】
なお、潤滑油が反カウンタボア側から軸受空間内に供給されるように潤滑ノズルを配置することで、カウンタボア側に配置される後述の温度センサ５２に潤滑油が直接吐出されることがなく、温度測定への影響を抑えることができる。また、潤滑装置９１によって供給される潤滑方式は、オイル潤滑であればよく、オイルエア潤滑、オイルミスト潤滑、直噴潤滑等のいずれであってもよい。
【００２４】
図３に示すように、前側軸受６０の外輪６１には、カウンタボア側の内周面６１ａの一部にセンサ収容溝６１ｃが形成されており、また、この収容溝６１ｃの平坦面に開口するように径方向に貫通する雌ねじ孔６１ｄが形成されている。そして、この収容溝６１ｃには、温度センサ５２が取り付けられた略直方体形状の固定用板材（固定用部材）９２が収容固定される。
【００２５】
具体的に、図３（ｂ）に示すように、固定用板材９２は、温度センサ５２の厚さと略等しい深さを有する溝部（収納部）９２ａを有する。また、溝部９２の側方には、高さ方向に貫通する雌ねじ部９２ｂが形成されている。従って、固定用板材９２の溝部９２ａに温度センサ５２を接着固定し、図４に示すように、溝部９２ａに固定された温度センサ５２を外輪６１の収容溝６１ｃの平坦面に向けて収容溝６１ｃ内に収容し、固定用板材９２の雌ねじ部９２ｂと外輪６１の雌ねじ孔６１ｄとを合わせた状態で締結部材である小ねじ９３を締め付ける。これにより、温度センサ５２は、固定用板材９２とともに、外輪６１の収容溝６１ｃにカウンタボア側側面６１ａから突出せずに収容固定される。
【００２６】
温度センサ５２は、電気配線５３を介して温度検出部５４に接続されている。電気配線５３は、前側ハウジング５０に形成された径方向孔５０ｂを通過して軸受６０のカウンタボア側へ配索されている。
なお、電気配線５３は、温度センサ５２と温度検出部５４との間を直接接続する方法以外に、軸受端部近傍から温度検出部５４の測定アンプまでの間で、必要に応じて、オスメス継手（ソケット・コネクタ等）等により、分離線を接続する形態でもかまわない。
【００２７】
図５（ａ）〜（ｃ）のように、温度センサ５２は、耐熱性及び可撓性を有する高分子材料（ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の合成樹脂）からなるフィルム基板５５と、フィルム基板５５上に形成された白金等からなる膜状の温度センサ部５６と、温度センサ部５６が形成されたフィルム基板５５を覆うように配置された同種の高分子材料（合成樹脂）からなるフィルムカバー５７と、を備えるＭＥＭＳセンサであり、全体として平面が矩形状で厚さが薄くかつ可撓性のある構成となっている。
【００２８】
膜状の温度センサ部５６は、図５（ａ）のように、全体の幅ａでかつ幅ｂの帯状部から構成され、幅ｂの帯状部は全体の帯状長さを長く確保するために複数箇所で折り返されている。膜状の温度センサ部５６の図の左右端下側に位置する幅ｂの帯状部の両端に、一対の配線取付部５８，５８が幅ｂよりも広幅に設けられている。
【００２９】
フィルム基板５５を覆うフィルムカバー５７には、図５（ａ）の一対の配線取付部５８，５８に対応する位置に、図５（ｃ）のように孔５９が形成されることで、図５（ｂ）のように一対の配線取付部５８，５８がフィルムカバー５７の表面に露出している。なお、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、一対の配線取付部５８が表面にて露出するように、フィルムカバー５７を配置してもよい。一対の配線取付部５８，５８に、一対の電気配線５３が電気接続される。温度検出部５４では、温度変化により変化する温度センサ部５６の抵抗値に基づいて温度測定が行われる。
【００３０】
このように温度センサ５２は、フィルム基板５５に形成した膜状の温度センサ部５６とフィルムカバー５７の表面に露出する配線取付部５８とから構成されるため、従来のチップ型積層サーミスタよりも薄く可撓性があり、かつ、小型であるので、温度センサ５２の取付位置に制約がなくなる。従って、温度センサ５２を外輪６１と玉６３との接触点ｐ近傍に配置することができ、冷却油の影響を抑えた温度測定が可能で、温度検知のレスポンスが良好となる。また、膜状の温度センサ部５６をフィルムカバー５７で覆うので、温度センサ５２の劣化のおそれが少なく、また、温度センサ５２全体が可撓性のある構造なので、割れのおそれもなく、耐久性を向上できる。
【００３１】
特に、温度センサ５２は、外輪６１のカウンタボア側の内周面６１ａに取り付けられるので、保持器案内面を構成する反カウンタボア側の内周面６１ｂで外輪案内される保持器６４との干渉を確実に防止することができる。
なお、温度センサ５２は、前側軸受６０の代わりに、他の前側軸受７０や後側軸受８０に取り付けられてもよく、或いは、各軸受にそれぞれ取り付けられてもよい。また、温度センサ５２としては、上述したもの以外に、熱電対、サーミスタ等の他の部材を用いた膜状のセンサを使用してもよい。
【００３２】
また、温度検出部５４において、測定された温度データに基づいて軸受６０の異常昇温が検出された時には、軸受６０の焼付きを防止するように軸受６０の運転状態を制御する。具体的には、図１に示すように、モータ制御部３１によって主軸の回転を減速、或いは停止させたり、潤滑装置９１によって潤滑油の吐出タイミングや潤滑油量をコントロールする。
【００３３】
従って、本実施形態の工作機械の主軸装置用軸受６０によれば、外輪６１と玉６３との接触点ｐ近傍には、温度センサ５２が非接着で軸受６０と着脱自在に配置されているので、応答性の高い温度測定が可能であるとともに、主軸装置２０の組立現場などにおいて、温度センサ５２と軸受６０とを容易に分離でき、メンテナンス性、取扱い性に優れたものとなる。
【００３４】
また、温度センサ５２は、固定用板材９２の溝部９２ａに取り付けられており、温度センサ５２は、固定用部材９２を小ねじ９３によって外輪６１に締結することで、外輪６１と玉６３との接触点ｐ近傍に配置される。即ち、温度センサ５２を固定用部材９２に接着固定し、固定用部材９２を外輪６１に締結固定することで、温度センサ５２は圧力が掛かることなく外輪６１に固定されるので、圧力が変わると出力が変化するＭＥＭＳセンサの測定に影響を与えることなく温度センサ５２を固定することができる。
【００３５】
また、固定用部材９２は、温度センサ５２とともに、前記外輪の内周面に形成された溝部に取り付けられているので、温度センサ５２をカウンタボア側内周面６１ａから径方向内方に突出せずに配置することができ、潤滑油の滞留を防ぎ、異常昇温のリスクを低減できる。
【００３６】
（第２実施形態）
図７〜図９は、本発明の第２実施形態に係る工作機械の主軸装置用軸受を示す。なお、第２〜第４実施形態では、温度センサの取り付け構造が第１実施形態のものと異なるのみである。そのため、各実施形態は、温度センサが取り付けられる前側軸受近傍のみを図示すると共に、第１実施形態と同等部分については、同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。
【００３７】
この実施形態の前側軸受６０ａでは、外輪６１のカウンタボア側の軸方向側面の一部に所定の幅の切欠き溝６１ｅが形成されている。また、この切欠き溝６１ｅの周方向略中央には、玉６３の接触角を為す線と交差する位置近傍まで軸方向に延びるセンサ収容孔６１ｆが形成されており、また、このセンサ収容孔６１ｆの両側には、一対の雌ねじ孔６１ｇが軸方向に延びて形成されている（図９（ｂ）参照。）。
【００３８】
また、温度センサ５２は、センサ収容孔６１ｆ内に挿入される柱状の固定用治具（固定用部材）９４の先端に取り付けられている。そして、この固定用治具９４をセンサ収容孔６１ｆに挿入し、固定用治具９４の基部側鍔９４ａを切欠き溝６１ｅ内に配置した状態で、小ねじ９３を雌ねじ孔６１ｇに挿入・締結することで、温度センサ５２は、固定用治具９４とともに外輪６１に固定される。
【００３９】
従って、本実施形態においても、温度センサ５２が、外輪６１と玉６３との接触点ｐ近傍に配置され、応答性の高い温度測定が可能である。また、温度センサ５２は、固定用治具９４によって、非接着で軸受６０ａと着脱自在に配置されているので、主軸装置２０の組立現場などにおいて温度センサ５２と軸受６０とを容易に分離でき、さらに、小ねじ９３が外輪６１の軸方向から締結可能で、軸受６０を前側ハウジング５０に組み付けた後でも温度センサ５２を固定することができる。
その他の構成及び作用については、第１実施形態のものと同様である。
【００４０】
（第３実施形態）
図１０は、本発明の第３実施形態に係る工作機械の主軸装置用軸受を示す。この実施形態の前側軸受６０ｂ，７０ｂでは、外輪６１，７１の外周面から接触点ｐ近傍まで径方向に延びるセンサ収容孔６１ｈ，７１ｈが形成されている。また、前側ハウジング５０には、これらセンサ収容孔６１ｈ，７１ｈとそれぞれ連通するように、径方向に貫通する貫通孔５０ｃ，５０ｃが形成されている。貫通孔５０ｃ，５０ｃの外周側開口には、周方向に両側延びる凹部５０ｄ，５０ｄが形成されている。
【００４１】
これにより、先端に温度センサ５２が取り付けられた各固定用治具９４を前側ハウジング５０の貫通孔５０ｃ，５０ｃ及び外輪６１，７１のセンサ収容孔６１ｈ，７１ｈに挿入した後、凹部５０ｄ、５０ｄ内に配置された固定用治具９４の基部側鍔９４ａを小ねじ９３で締結することで、固定用治具９４が外輪６１、７１に固定される。なお、図１０では、前側ハウジング５０には、冷却溝５０ａが省略されているが、貫通孔５０ｃ，５０ｃは冷却溝５０ａと干渉しない位置に形成されればよく、場合によっては、貫通孔５０ｃ，５０ｃ及びセンサ収容孔６１ｈ，７１ｈを径方向に対して傾斜して形成してもよい。
【００４２】
従って、本実施形態においても、温度センサ５２が、外輪６１，７１と玉６３，７３との各接触点ｐ近傍に配置され、応答性の高い温度測定が可能である。また、温度センサ５２は、固定用治具９４を前側ハウジング５０に締結することによって、非接着で軸受６０ｂ，７０ｂと着脱自在に配置されているので、主軸装置２０の組立現場などにおいて温度センサ５２と軸受６０，７０とを容易に分離でき、さらに、軸受６０，７０を前側ハウジング５０に組み付けた後でも温度センサ５２を固定することができる。
その他の構成及び作用については、第１実施形態のものと同様である。
【００４３】
なお、本実施形態の変形例として、図１１に示すように、前側軸受６０ｂ´には、外輪６１の軸方向端面から接触点ｐ近傍まで軸方向に延びるセンサ収容孔６１ｉを設け、前蓋５１にセンサ収容孔６１ｉと連通するように、軸方向に貫通する貫通孔５１ａを設け、固定用治具９４を軸方向から挿入するようにしてもよい。従って、温度センサ５２が取り付けられた固定用治具９４を前蓋５１の貫通孔５１ａ及び外輪６１のセンサ収容孔６１ｉに挿入し、前蓋５１に形成された凹部５１ｂに固定用治具９４の基部側鍔９４ａを小ねじ９３で締結することで、固定用治具９４が外輪６１に固定される。
【００４４】
尚、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
本実施形態では、前側軸受６０，７０を２列のアンギュラ玉軸受，後側軸受８０を円筒ころ軸受としたが、各軸受の種類や列数は任意に設定可能である。
また、本発明の回転軸は、工具が取り付けられるもののほか、加工物が取り付けられるものであってもよい。
【００４５】
さらに、本実施形態では、ＭＥＭＳセンサに圧力変化が生じないように、固定用部材を外輪またはハウジングに締結して温度センサ５２を接触点ｐ近傍に配置しているが、温度センサ５２に雌ねじ孔のような締結部位を設けて締結してもセンサの測定に影響を生じないような場合には、直接温度センサ５２を締結部材によって外輪またはハウジングに締結してもよい。
また、締結部材としては、本実施形態のねじ部材の他、スナップ動作式拘束具であってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
２０  主軸装置
２２  回転軸
３０  ロータ
３２  ステータ
４０  外輪間座
４２  内輪間座
５２  温度センサ
５３  電気配線
６０，６０ａ，６０ｂ，６０ｂ´，７０  前側軸受（アンギュラ玉軸受）
６１，７１  外輪
６１ａ  カウンタボア側内周面
６１ｂ  反カウンタボア側内周面
６１ｃ  センサ収容溝
６１ｄ，６１ｇ  雌ねじ孔
６１ｅ  切欠き溝
６１ｆ，６１ｈ，６１ｉ  センサ収容孔
８０  後側軸受（円筒ころ軸受）
９２  固定用部材
９２ａ  収納部
９３  小ねじ（締結部材）
【図１】
2010194684.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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