(57)【要約】【課題】複数の機能液滴吐出ヘッドを集約的に配置することができると共に、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法が極力短くなるように機能液滴吐出ヘッドを配列した液滴吐出装置におけるヘッドユニット等を提供することを課題とする。【解決手段】９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉ相互の副走査方向における必要離間寸法Ｉｓを、描画ラインＤＬのうち各ノズル列７４が対応する部分描画ラインＤＬＰの長さの略４．７倍としたときに、副走査方向の先頭から５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅを、主走査方向に互いに位置ずれした所定の配列パターンに従って配列し、副走査方向の先頭から６番目以降の機能液滴吐出ヘッド１６ｆ〜１６ｉを、機能液滴吐出ヘッド１６の５個単位で、当該配列パターンに従って、５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅに対し副走査方向に列替えして配列する。【選択図】図８
2010214370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｎ個（ｎは４以上の整数）の機能液滴吐出ヘッドを、前記ｎ個の機能液滴吐出ヘッドの複数のノズル列が１の描画ラインとなるノズル列群を構成するように、相互の必要離間寸法を存して主走査方向および副走査方向に配列して、ヘッドプレートに装着した液滴吐出装置におけるヘッドユニットであって、
前記副走査方向における前記必要離間寸法を、前記描画ラインのうち前記各機能液滴吐出ヘッドの前記ノズル列が対応する部分描画ラインの長さのｐ倍（ｎ＞ｐ＞２）としたときに、
前記副走査方向の先頭からｍ番目（ｍはｐ＋１＞ｍ≧ｐを満たす整数）までの前記機能液滴吐出ヘッドは、前記主走査方向に互いに位置ずれした所定の配列パターンに従って配列され、
前記副走査方向の先頭から（ｍ＋１）番目以降の前記機能液滴吐出ヘッドは、前記機能液滴吐出ヘッドのｍ個単位で、前記配列パターンに従って、前記ｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドに対し前記副走査方向に列替えして配列されていることを特徴とする液滴吐出装置におけるヘッドユニット。
【請求項２】
前記各機能液滴吐出ヘッドを、前記ノズル列が前記副走査方向と平行になるように、前記ヘッドプレートに装着したことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置におけるヘッドユニット。
【請求項３】
前記配列パターンは、前記描画ラインにおける前記部分描画ラインの並び順に従って、前記ｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドを前記主走査方向に配列したものであることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置におけるヘッドユニット。
【請求項４】
前記配列パターンは、前記主走査方向に隣接する前記機能液滴吐出ヘッド同士の前記各ノズル列によって構成される前記描画ラインにおける前記部分描画ライン同士が隣接しないように、前記ｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドを配列したものであることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置におけるヘッドユニット。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置におけるヘッドユニットを搭載した描画手段と、ワークに対し、前記ヘッドユニットを前記主走査方向および前記副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項７に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを所定の配列パターンでヘッドプレートに装着した液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のインクジェットカートリッジ（機能液滴吐出ヘッド）を、複数のカートリッジの複数の吐出口列（ノズル列）が１のライン（描画ライン）を構成するように、厚み方向に密に重ね合わせると共に長手方向にこれと平行な吐出口列の長さ分ずつずらすことで階段状に主走査方向および副走査方向に配列して、支持体（ヘッドプレート）に装着したインクジェット記録装置（液滴吐出装置）におけるヘッドユニットが知られている。そして、このようなインクジェット記録装置におけるヘッドユニットでは、集約的に複数のカートリッジを配置すべく、各カートリッジの縦横の並び寸法と共に、ヘッドユニット全体の重量バランスを考慮して、例えば、副走査方向の先頭からｎ番目までのカートリッジを階段状に配列し、（ｎ＋１）番目以降の各カートリッジを、カートリッジのｎ個単位で、階段状に、ｎ番目までのカートリッジに対し副走査方向に列替えして配列することが考えられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２９９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このようなインクジェット記録装置におけるヘッドユニットでは、階段状に配列するカートリッジの単位個数ｎが、カートリッジ相互の副走査方向における必要離間寸法を考慮したものとはなっていなかった。すなわち、例えば副走査方向における必要離間寸法が吐出口列の長さの（ｎ−１）倍であるとき、副走査方向の先頭からｎ番目のカートリッジは、副走査方向の先頭（１番目）のカートリッジに対し、必要離間寸法を存して副走査方向に列替えして配列可能であるにもかかわらず、（ｎ−１）番目のカートリッジと主走査方向に重ね合わせて配列されていた。したがって、この場合、主走査方向におけるカートリッジ配列の長さ寸法は、カートリッジの厚み方向の長さの（ｎ−１）倍の長さとすることができるにもかかわらず、カートリッジの厚み方向の長さのｎ倍の長さとなっていた。
【０００５】
本発明は、複数の機能液滴吐出ヘッドを集約的に配置することができると共に、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法が極力短くなるように機能液滴吐出ヘッドを配列した液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置におけるヘッドユニットは、ｎ個（ｎは４以上の整数）の機能液滴吐出ヘッドを、ｎ個の機能液滴吐出ヘッドの複数のノズル列が１の描画ラインとなるノズル列群を構成するように、相互の必要離間寸法を存して主走査方向および副走査方向に配列して、ヘッドプレートに装着した液滴吐出装置におけるヘッドユニットであって、副走査方向における必要離間寸法を、描画ラインのうち各機能液滴吐出ヘッドのノズル列が対応する部分描画ラインの長さのｐ倍（ｎ＞ｐ＞２）としたときに、副走査方向の先頭からｍ番目（ｍはｐ＋１＞ｍ≧ｐを満たす整数）までの機能液滴吐出ヘッドは、主走査方向に互いに位置ずれした所定の配列パターンに従って配列され、副走査方向の先頭から（ｍ＋１）番目以降の機能液滴吐出ヘッドは、機能液滴吐出ヘッドのｍ個単位で、当該配列パターンに従って、ｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドに対し副走査方向に列替えして配列されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、副走査方向における必要離間寸法が部分描画ラインの長さのｐ倍であるときに、副走査方向の先頭からｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に所定の配列パターンで配列し、副走査方向の先頭から（ｍ＋１）番目以降の各機能液滴吐出ヘッドをその配列パターンに従ってｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドに対し副走査方向に列替えして配列する。このため、機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向にはｍ個配列するだけで、１の描画ラインとなるノズル列群を構成することができる。
なお、副走査方向における必要離間寸法が部分描画ラインの長さのｐ倍であるときに、副走査方向において隣接する機能液滴吐出ヘッド同士の離間距離は、部分描画ラインの長さのｐ倍（必要離間寸法）に限定されず、部分描画ラインの長さのｐ倍以上であってｍ倍以下であればよい。
また、ｎをｍで割り切れない場合は、副走査方向の最後部において、その端数個分の機能液滴吐出ヘッドを配列する。
【０００８】
この場合、各機能液滴吐出ヘッドを、ノズル列が副走査方向と平行になるように、ヘッドプレートに装着したことが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、主走査方向におけるノズル列の長さが最小（すなわちノズルの直径分だけ）となるため、主走査方向における必要離間寸法を短くすることができる。したがって、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法が短くなるように機能液滴吐出ヘッドを配列することができる。
【００１０】
これらの場合、配列パターンは、描画ラインにおける部分描画ラインの並び順に従って、ｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に配列したものであることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、単純な配列パターンとなるため、機能液滴吐出ヘッドを容易に配列することができる。
【００１２】
また、これらの場合、配列パターンは、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド同士の各ノズル列によって構成される描画ラインにおける部分描画ライン同士が隣接しないように、ｍ番目までの機能液滴吐出ヘッドを配列したものであることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド同士の副走査方向における離間距離が大きくなる。したがって、各機能液滴吐出ヘッドに対して配管・配線作業を行う際に、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッドが邪魔にならず、容易に作業を行うことができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、上記した液滴吐出装置におけるヘッドユニットを搭載した描画手段と、ワークに対し、ヘッドユニットを主走査方向および副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法が極力短いものとなっている。そのため、ワークに対してヘッドユニットを主走査方向に相対的に往復動させたときの移動範囲を短くしても、移動範囲の両端位置と吐出位置（ヘッドユニットがワークに臨む位置）との間の区間（加減速区間）の距離が十分に設けられることから、移動速度が安定せぬまま吐出動作に移行したり、急な加減速によって振動が生じたりすることがない。したがって、液滴吐出装置全体の省スペース化を図ることができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１８】
これらの構成によれば、ワークに対するヘッドユニットの相対的な移動が安定した状態で機能液滴を吐出して製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００１９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の液滴吐出装置におけるヘッドユニットによれば、複数の機能液滴吐出ヘッドを集約的に配置することができると共に、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法が極力短くなるように機能液滴吐出ヘッドを配列することができる。
【００２２】
また、本発明の液滴吐出装置によれば、ワークに対してヘッドユニットを主走査方向に相対的に往復動させたときの移動範囲を短くすることができ、液滴吐出装置全体の省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。
【図２】実施形態に係るＸ軸テーブルの往復動作を模式的に表した平面図である。
【図３】実施形態に係るヘッドユニットの平面図である。
【図４】実施形態に係るヘッドユニットの底面図である。
【図５】実施形態に係るヘッド保持部材の挿通開口に機能液滴吐出ヘッドのヘッド本体を挿通した状態を表した図である。
【図６】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図７】隣接する部分描画ラインを構成する機能液滴吐出ヘッド同士が、両端部のノズルが副走査方向において重複するように配列された状態を表した模式図である。
【図８】実施形態に係るヘッドユニットに装着された９個の機能液滴吐出ヘッドの配列パターンを表した模式図である。
【図９】図３のヘッドユニットとは異なる配列パターンによるヘッドユニットの平面図である。
【図１０】図４のヘッドユニットとは異なる配列パターンによるヘッドユニットの底面図である。
【図１１】図８の配列パターンとは異なる配列パターンを表した模式図である。
【図１２】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１８】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１９】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２６】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２７】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２８】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２９】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置１を模式的に表した平面図である。この液滴吐出装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド１６に導入して、基板等のワークＷ上に機能液滴による成膜部を形成するものである。
【００２５】
液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に設置されたヘッド機能回復装置４と、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、を備え、ヘッド機能回復装置４により機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行うと共に、描画装置３によりワークＷ上に機能液滴を吐出する描画動作を行うようにしている。さらに、図示省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構や、上記の描画装置３やヘッド機能回復装置４等の各構成装置を統括制御する制御装置等が組み込まれている。
【００２６】
まず、液滴吐出装置１の描画装置３とこれによる描画動作について説明する。描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを有している。そして、ヘッドユニット１５には、複数（９個）の機能液滴吐出ヘッド１６が搭載されている。そして、基板であるワークＷは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対のワーク認識カメラ１７，１７により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。
【００２７】
Ｘ軸テーブル１２は、ワークＷを吸着搭載する吸着テーブル２３およびワークθ軸テーブル２４等から成るワークテーブル２２と、ワークテーブル２２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ２１と、Ｘ軸方向に延在し、ワークテーブル２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、一対のＸ軸リニアモータの間に並設され、Ｘ軸スライダの移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール（図示省略）と、を備えている。一対のＸ軸リニアモータを駆動すると、一対のＸ軸ガイドレールをガイドにしながら、Ｘ軸スライダ２１がＸ軸方向に移動し、ワークテーブル２２にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。なお、一対のＸ軸ガイドレールの間には、Ｘ軸リニアスケール（図示省略）が併設されており、これに基づいて、Ｘ軸テーブル１２を移動するワークテーブル２２の刻々の位置を正確に把握し、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出タイミング用基準パルスを得ている。
【００２８】
同様に、Ｙ軸テーブル１３は、メインキャリッジ１４を吊設支持するＹ軸スライダ３１と、Ｙ軸方向に延在し、Ｙ軸スライダ３１を介してメインキャリッジ１４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータに並設され、メインキャリッジ１４の移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、メインキャリッジ１４の移動位置を検出するためのＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｙ軸リニアモータを駆動すると、Ｙ軸スライダがＹ軸ガイドレールを案内にしてＹ軸方向に平行移動し、メインキャリッジ１４を介してヘッドユニット１５をＹ軸方向に移動させる。
【００２９】
Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３３，３３に支持されている。また、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されている。一方、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５をＸ軸テーブル１２に対しＸ軸方向の略中間部に位置させると共に、Ｘ軸テーブル１２およびメンテナンス系移動テーブル５を跨ぐように延在している。
そして、Ｘ軸テーブル１２とＹ軸テーブル１３とが交わる位置は、ワークＷに対し９個の機能液滴吐出ヘッド１６により機能液滴の吐出（描画）が行われる描画エリア４１となっている。
【００３０】
図２（ａ）は、Ｘ軸テーブル１２が、Ｘ軸テーブル１２に導入したワークＷに描画を行う場合に、このワークＷを、両端部間で往復動させて、９個の機能液滴吐出ヘッド１６の直下を通過させる状態を模式的に示す平面図である。Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸リニアモータを駆動して一方の端部（図示の下端部）からワークＷを往動させていくと、所定距離の加減速区間Ｌａにおいて加速し、Ｘ軸リニアモータが定速駆動となった状態で９個の機能液滴吐出ヘッド１６の直下を定速で通過（走査）し、その後、所定距離の加減速区間Ｌｂにおいて減速して他方の端部に達する。このとき、定速で移動するワークＷに対し、９個の機能液滴吐出ヘッド１６により図示上側から下側に向かって機能液滴の吐出が行われる。続いて、他方の端部からワークＷを復動させていくと、加減速区間Ｌｂにおいて加速し、９個の機能液滴吐出ヘッド１６の直下を定速で通過（走査）した後、加減速区間Ｌａにおいて減速して一方の端部に戻る。このとき、同様に、定速で移動するワークＷに対し、９個の機能液滴吐出ヘッド１６により図示下側から上側に向かって機能液滴の吐出が行われる。本実施形態では、往動時および復動時のいずれにも機能液滴の吐出（往復描画動作）が行われるが、復動時には機能液滴の吐出が行われない構成としてもよい。
【００３１】
両加減速区間Ｌａ，Ｌｂは、Ｘ軸テーブル１２（Ｘ軸リニアモータ）が停止状態から定速駆動状態に達するのに（定速駆動状態から停止する）のに必要な所定の距離（例えば略１４０ｍｍ）に構成されており、また、ワークテーブル２２は、ワークＷの寸法に従って所定の寸法Ｍｗ（後述する一対のフラッシングボックス１１６，１１６を含めて、例えば、Ｘ軸方向に略１４９５ｍｍ）に構成されている。したがって、Ｘ軸テーブル１２による往復動の範囲Ｓは、略１９００ｍｍとなっている（詳細は後述する）。
なお、図２において、加減速区間Ｌａ，Ｌｂを、図示上側のフラッシングボックス１１６の図示上端部を基準として示す。また、同図では、９個の機能液滴吐出ヘッド１６を１つの長方形で表す。
【００３２】
また、図１に示すように、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部（図示の下端部）は、ワークＷをＸ軸テーブル１２にセットするためのワーク導入エリア４２となっており、このワーク導入エリア４２には、上記一対のワーク認識カメラ１７，１７が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ１７，１７により、吸着テーブル２３上に供給されたワークＷの２箇所の基準マーク（図示省略）が同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントがなされる。
【００３３】
一方、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、上記の描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置する機能回復エリア４３との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア４１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行う場合には、ヘッドユニット１５を機能回復エリア４３に臨ませる。
【００３４】
図３および図４に示すように、ヘッドユニット１５は、サブキャリッジ５１と、サブキャリッジ５１に搭載した９個の機能液滴吐出ヘッド１６と、各機能液滴吐出ヘッド１６をサブキャリッジ５１に個々に取り付けるための９個のヘッド保持部材５２とを備えている。なお、機能液滴吐出ヘッド１６の個数は、４個以上であればいくつであってもよく、実施形態のヘッドユニット１５には、１３個までの任意の個数の機能液滴吐出ヘッド１６を装着可能である。
ここで、９個の機能液滴吐出ヘッドを、Ｙ軸方向（副走査方向）の先頭（図示の左）から順に１６ａ，１６ｂ，・・・，１６ｉとする。
【００３５】
サブキャリッジ５１は、一部が切り欠かれた略方形のヘッドプレート５３と、ヘッドプレート５３の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン５４，５４と、ヘッドプレート５３の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材５５，５５と、各支持部材５５の端部に設けた左右一対のハンドル５６，５６とを有している。
【００３６】
ヘッドプレート５３は、ステンレス等の厚板で構成され、最大１３個の機能液滴吐出ヘッド１６を取り付けるための装着開口５７が複数箇所に分けて形成されている。一対の基準ピン５４，５４は、画像認識により、サブキャリッジ５１をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決めするための基準となるものである。左右の支持部材５５，５５は、サブキャリッジ５１を液滴吐出装置１のセット部に固定するときの部位となる。さらに、左右のハンドル５６，５６は、例えば組み立てたヘッドユニット１５を液滴吐出装置１に載せ込む場合に、ヘッドユニット１５を手持ちするための部位となる。
【００３７】
また、サブキャリッジ５１には、ハンドル５６側の端部に位置して、９個の機能液滴吐出ヘッド１６に配管アダプタ７７（図６（ｂ）参照）を介してそれぞれ接続されるヘッド側配管部材５８（図３にその一部のみを示す）と、機能液供給機構の給液タンクに連なる装置側配管部材（図示省略）とをそれぞれ着脱自在に接続する配管ジョイント５９が設けられている。詳細は後述するが、機能液滴吐出ヘッド１６はいわゆる２連のものであり、各機能液滴吐出ヘッド１６の２連の接続針６２，６２にそれぞれ設けられた２個の配管アダプタ７７，７７と、ヘッド側配管部材５８とが、Ｙ字継手（図示省略）を介して接続されている。すなわち、配管ジョイント５９によりヘッド側配管部材５８と装置側配管部材とを接続することで、装置側配管部材、配管ジョイント５９、ヘッド側配管部材５８およびＹ字継手を介して、給液タンクと機能液滴吐出ヘッド１６とが接続される。
【００３８】
さらに、サブキャリッジ５１には、図示しないが、９個の機能液滴吐出ヘッド１６の上方に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド１６に接続される配線接続アッセンブリが設けられている。そして、配線接続アッセンブリは、フレキシブルフラットケーブを介して液滴吐出装置１の制御装置（ヘッドドライバ）に接続されるようになっている。
【００３９】
図４および図５に示すように、ヘッド保持部材５２は、機能液滴吐出ヘッド１６をヘッドプレート５３に安定に取り付けるための媒介金具であり、ステンレス等で構成され略長方形の平板状に形成されている。ヘッド保持部材５２には、その中央に機能液滴吐出ヘッド１６のヘッド本体６４（後述する）が挿通する方形の挿通開口５２ａが形成されている。そして、ヘッド保持部材５２は、その長辺方向の両端部でヘッドプレート５３の装着開口５７を跨ぐようにしてヘッドプレート５３の裏面側にセットされ、これに対し機能液滴吐出ヘッド１６は、そのヘッド本体６４を挿通開口５２ａに挿通するようにしてヘッドプレート５３の表側にセットされる。
【００４０】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６は、２連の接続針６２，６２を有する機能液導入部６１と、機能液導入部６１の側方に連なる２連のヘッド基板６３と、機能液導入部６１の下方（同図（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体６４と、を備えている。各接続針６２は、配管アダプタ７７を介してヘッド側配管部材５８に接続されており、機能液導入部６１は、各接続針６２から機能液の供給を受けるようになっている。
【００４１】
ヘッド本体６４は、圧電振動子等で構成される２連のポンプ部７１と、２本のノズル列７４，７４を相互に平行に形成したノズル面７３を有するノズルプレート７２と、を有している。図７に示すように、ノズル列７４の長さＭｎは、例えば１インチ（略２５．４ｍｍ）であって、各ノズル列７４は、１８０個のノズル７５が等ピッチで並べられて構成されている。すなわち、描画ラインＤＬとしてのこのノズル列７４のドット密度（解像度）は１８０ｄｐｉであり、ノズルピッチは略１４０μｍである。
なお、一方のノズル列７４を構成する１８０個のノズル７５は、機能液滴を吐出しない不吐出ノズルとなっている。もちろん、両ノズル列７４，７４のノズル７５を機能液滴を吐出する吐出ノズルとしてもよく、例えば、一方のノズル列７４を、他方のノズル列７４に対して、ノズル列７４方向に半ピッチ（略７０μｍ）分ずらし、描画ラインＤＬにおけるドット密度を３６０ｄｐｉとすることも可能である。
【００４２】
図４、図７および図８に示すように、９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉは、吐出ノズルにより構成される９本のノズル列７４ａ〜７４ｉが１の描画ラインＤＬとなるノズル列群を構成すると共に、各ノズル列７４が副走査方向と平行になるように、ヘッドプレート５３に装着されている。
ここで、ノズル列群を構成する９本のノズル列を、Ｙ軸方向（副走査方向）の先頭から順に７４ａ，７４ｂ，・・・，７４ｉとし、描画ラインＤＬのうち、９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉのノズル列７４ａ〜７４ｉにそれぞれ対応する９個の部分描画ラインを、Ｙ軸方向（副走査方向）の先頭から順にＤＬＰａ，ＤＬＰｂ，・・・，ＤＬＰｉとする。
【００４３】
各機能液滴吐出ヘッド１６は、構造上両端部に位置するノズル７５が中央部に位置するノズル７５に比べて吐出量が多いことから、図７に示すように、各１１番目から各１７０番目までの１６０個のノズル６５のみから機能液滴を吐出し、各１番目から各１０番目および各１７１番目から各１８０番目までの２０個のノズルからは機能液滴を吐出しないようにしている（同図では、機能液滴を吐出するノズル７５が網掛けされている。）。そのため、各ノズル列７４のうち１１番目から１７０番目までのノズル７５のみが描画ラインＤＬとなる。したがって、描画ラインＤＬのうち各機能液滴吐出ヘッド１６のノズル列７４が対応する部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐは略２２．６ｍｍであり、描画ラインＤＬの長さＭｄは略２０３ｍｍである（図８参照）。
【００４４】
したがって、隣接する部分描画ラインＤＬＰを構成する機能液滴吐出ヘッド１６同士は、１６０ノズルピッチで、すなわち部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐ（略２２．６ｍｍ）ピッチで、副走査方向に位置ずれしている。もちろん、ノズル列７４の全ノズル７５から均一に機能液滴を吐出できる場合には、両端部のノズル７５を副走査方向において重複させることなく配列してもよい。この場合、部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐは、ノズル列７４の長さＭｎ（略２５．４ｍｍ）と等しくなる。
なお、例えば後述するカラーフィルタを製造する場合には、ワークＷ（基板）に対しＲ・Ｇ・Ｂの３色の機能液を吐出するため、９個の機能液滴吐出ヘッド１６を３個ずつ３組に分け、３組の機能液滴吐出ヘッド１６にＲ・Ｇ・Ｂの３色の機能液が１色ずつ対応するようにしてもよい。この場合、描画ラインの長さＭｄは略６８ｍｍとなる。
【００４５】
一方、図６に示すように、ヘッド基板６３には、２連のコネクタ７６，７６が設けられており、各コネクタ７６には配線接続アッセンブリから導出されるフレキシブルフラットケーブルが接続されている。そして、制御装置によりヘッドドライバを介して各ポンプ部７１に駆動波形が印加されると、ポンプ部７１を構成する圧電振動子が収縮伸張し、機能液滴を吐出する。このようにして、制御装置により機能液滴吐出ヘッド１６の駆動が制御されている。
【００４６】
ここで、図１を参照して、描画装置３によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル２３にセットされたワークＷの位置補正が、Ｘ軸テーブル１２によるＸ軸方向の位置補正およびワークθ軸テーブル２４によるθ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１５の位置補正が、Ｙ軸テーブル１３によるＹ軸方向の位置補正およびメインキャリッジ１４のヘッドθ軸テーブル３２によるθ軸方向の位置補正によりなされる。
【００４７】
次に、ワークＷをＸ軸テーブル１２により主走査方向に往動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１６を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液滴の吐出（１描画ラインＤＬ分の描画）が行われる。続いて、ヘッドユニット１５を１描画ラインＤＬ分、副走査方向に移動させた後、同様に、ワークＷを主走査方向に復動させると共に機能液滴吐出ヘッド１６を駆動させ、機能液滴の吐出が行われる。このように、ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド１６の駆動とを複数回繰り返すことで、ワークＷの端から端まで描画が行われる。
なお、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向へのワークＷの移動を主走査とし、Ｙ軸方向へのヘッドユニット１５の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット１５を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１５をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。
【００４８】
続いて、液滴吐出装置１におけるメンテナンス系移動テーブル５およびヘッド機能回復装置４と、これらによる機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理について説明する。図１に示すように、メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、機能回復処理を行うヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース１２１と、共通ベース１２１をＸ軸方向にスライド自在に支持する一対のメンテナンス系ガイドレール１２２，１２２と、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）とを備えている。共通ベース１２１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットは、Ｘ軸方向に移動して機能回復エリア４３に位置するヘッドユニット１５の直下に臨む。
【００４９】
ヘッド機能回復装置４は、機能液滴吐出ヘッド１６の機能維持および回復を目的としたものであり、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置した重量測定ユニット８１と、吸引ユニット８２と、ワイピングユニット８３とを備えている。また、上記のワークテーブル２２には、ヘッド機能回復装置４の１ユニットとしてフラッシングユニット８４が配設されている。
【００５０】
重量測定ユニット８１は、機能液滴吐出ヘッド１６から吐出された機能液滴の重量を測定することにより、機能液滴吐出ヘッド１６の吐出不良を検出するためのものであり、９個の機能液滴吐出ヘッド１６の並びに合わせて配列され、検出のための機能液を受ける９個の受け容器（図示省略）と、９個の受け容器を載置する受け皿９１と、吐出された機能液を収容した各受け容器の重量を測定する電子天秤（図示省略）と、を有している。
【００５１】
吸引ユニット８２は、機能液滴吐出ヘッド１６をノズル７５側から吸引するものであり、機能液滴吐出ヘッド１６内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に用いられる。すなわち、吸引ユニット８２には、９個の機能液滴吐出ヘッド１６に対応して位置し、底部位に液体吸収材が敷設された９個の吸引キャップ（図示省略）と、９個の吸引キャップを支持する支持板１０１と、吸引キャップを介して機能液滴吐出ヘッド１６の吸引を行うエゼクタ（図示省略）と、支持板１０１を介して吸引キャップを昇降させる昇降機構（図示省略）とが設けられており、吸引キャップを上昇させ機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面７３に密着させて、吸引を行う。
【００５２】
ワイピングユニット８３は、シート供給ユニット１１１と、拭取りユニット１１２とを備えており、ワイピングシート１１３が繰出し且つ巻取り自在に設けられている。また、図示しないが、洗浄液タンクに貯留する洗浄液（機能液の溶媒等）を洗浄液散布ノズルを介してワイピングシート１１３に供給する洗浄液供給装置を備えている。シート供給ユニット１１１と拭取りユニット１１２とは、メンテナンス系移動テーブル５上に、拭取りユニット１１２を上記の吸引ユニット８２側に位置させてＸ軸方向に並べて配置されており、機能回復エリア４３に存するヘッドユニット１５に向けてメンテナンス系移動テーブル５の動きにより拭取りユニット１１２がシート供給ユニット１１１と一体に払拭方向たるＸ軸方向の一方（図１では上方）に移動し、洗浄液を染み込ませたワイピングシート１１３を介して、ヘッドユニット１５の機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面７３を払拭する。
【００５３】
一方、フラッシングユニット８４は、上記の往復描画動作の吐出休止時に機能液の増粘によりノズル詰まり等の吐出不良が生ずるおそれがあるため、ワークＷに吐出する直前に、機能液滴のフラッシング（捨て吐出）を行うためのものである。フラッシングユニット８４は、その内部に液体吸収材が敷設された一対のフラッシングボックス１１６，１１６を有しており、この一対のフラッシングボックス１１６，１１６は、上記のワークテーブル２２の吸着テーブル２３をＸ軸方向に挟むように配設されている。すなわち、一対のフラッシングボックス１１６，１１６は、Ｘ軸テーブル１２によりワークテーブル２２と共に移動するようになっている。
【００５４】
上述したワークＷへの描画動作において、ワークＷがセットされたワークテーブル２２と共にフラッシングユニット８４が往動していくと、最初に図示の上側のフラッシングボックス１１６がヘッドユニット１５の直下を通過する。このとき、機能液滴吐出ヘッド１６が多数発の機能液滴のフラッシングを行い、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのまま通常の液滴吐出動作に移行する。同様に、フラッシングユニット８４が復動していくと、最初に図示下側のフラッシングボックス１１６がヘッドユニット１５の直下を通過する。このとき、機能液滴吐出ヘッド１６がフラッシングを行い、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのまま通常の液滴吐出動作に移行する。このようにして、主走査のための往復動中に適宜フラッシングを行うことで、ノズル７５のノズル詰まり等を防止することができる。
【００５５】
また、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止されるときには、上記の吸引キャップをフラッシングボックスとして、機能液滴吐出ヘッド１６から僅かに離間させておいてフラッシングを行う。これにより、ノズル詰まりが防止されあるいはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復が図られる。このように、フラッシングには、ワークＷに機能液を吐出させる直前にフラッシングボックス１１６に対して行われる吐出前フラッシングと、機能液の吐出を休止するときに吸引キャップに対して定期的に行われる定期フラッシングとがある。なお、吸引キャップをフラッシングボックスとして機能させたが、定期フラッシング専用のユニットを設けてもよい。
【００５６】
次に、ヘッドユニット１５における機能液滴吐出ヘッド１６の配列パターンについて詳細に説明する。図８は、ヘッドユニット１５に装着された９個の機能液滴吐出ヘッド１６の配列パターンを表した模式図である。９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉは、吐出ノズルによって構成される９本のノズル列７４ａ〜７４ｉが１の描画ラインＤＬとなるノズル列群を構成すると共に、各ノズル列７４が副走査方向と平行になるように、主走査方向および副走査方向に配列して、ヘッドプレート５３（図３および図４参照）に装着されている。
【００５７】
上述したように、機能液滴吐出ヘッド１６は、そのヘッド本体６４をヘッド保持部材５２の挿通開口５２ａに挿通した状態で、ヘッドプレート５３に装着される。このように組み立てた状態では、図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６およびヘッド保持部材５２の長手方向の寸法Ｍｌは、例えば略１０６ｍｍ、厚さ方向の寸法Ｍｔは、例えば略２５ｍｍである。したがって、機能液滴吐出ヘッド１６相互の主走査方向における必要離間寸法Ｉｍは略２５ｍｍ、副走査方向における必要離間寸法Ｉｓは略１０６ｍｍとなる。この場合、副走査方向における必要離間寸法Ｉｓは、描画ラインＤＬのうち各ノズル列６４が構成する部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐ（略２２．６ｍｍ）の略４．７倍となる。
【００５８】
したがって、９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉは、副走査方向において少なくとも部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐの略４．７倍の寸法（副走査方向における必要離間寸法Ｉｓ）を存して配列されると共に、上述したように、隣接する部分描画ラインＤＬＰを構成する機能液滴吐出ヘッド１６同士の両端部のノズル７５を副走査方向において重複させて配列される。このため、副走査方向の先頭から５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅを、描画ラインＤＬにおける部分描画ラインＤＬＰａ〜ＤＬＰｅの並び順に従って主走査方向に配列し、副走査方向の先頭から６番目以降の機能液滴吐出ヘッド１６ｆ〜１６ｉを、その配列パターンに従って、５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅに対し副走査方向に列替えして配列している。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１６ｆ〜１６ｉは、描画ラインＤＬにおける部分描画ラインＤＬＰｆ〜ＤＬＰｉの並び順に従って主走査方向に配列され、機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｄに対し、部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐの略５倍の寸法を存して、それぞれ副走査方向に列替えして配列されている。
【００５９】
これによれば、９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉを、９個すべてを階段状に配列したときのように主走査方向に９個並べることなく、主走査方向には５個配列するだけで、１の描画ラインＤＬとなるノズル列群を構成することができる。すなわち、９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉを集約的に配置することができると共に、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法Ｍｈが極力短くなるように（主走査方向における必要離間寸法Ｉｍの５倍、すなわち略１２５ｍｍ）、機能液滴吐出ヘッド１６を配列することができる。
また、配列パターンが、副走査方向の先頭から５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅを、描画ラインＤＬにおける部分描画ラインＤＬＰａ〜ＤＬＰｅの並び順に従って配列するものであるため、単純な配列パターンとなり、９個の機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｉを容易に配列することができる。
【００６０】
さらに、各機能液滴吐出ヘッド１６は、ノズル列７４が副走査方向と平行になるように、ヘッドプレート５３に装着されているため、主走査方向におけるノズル列７４の長さが最小（すなわちノズル７５の直径分だけ）となり、主走査方向における必要離間寸法Ｉｍを短くすることができる。したがって、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法Ｍｈが短くなるように機能液滴吐出ヘッド１６を配列することができる。
【００６１】
なお、副走査方向において隣接する機能液滴吐出ヘッド１６同士の離間距離は、部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐの５倍に限定されず、部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐの略４．７倍（副走査方向における必要離間寸法Ｉｓ）以上であって、部分描画ラインＤＬＰの長さＭｐの５倍以下であればよい。
【００６２】
また、機能液滴吐出ヘッド１６の個数が多数である場合も、副走査方向の先頭から６番目以降の機能液滴吐出ヘッド１６は、機能液滴吐出ヘッド１６の５個単位で、その配列パターンに従って、５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅに対し副走査方向に列替えして配列することにより、主走査方向には５個配列するだけで、１の描画ラインＤＬとなるノズル列群を構成することができる。
【００６３】
そして、液滴吐出装置１は、このように主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法Ｍｈが極力短くなるように、９個の機能液滴吐出ヘッド１６を主走査方向に５個だけ配列したヘッドユニット１５を備えているため、Ｘ軸テーブル１２による往復動の範囲Ｓを短くすることができる。
【００６４】
すなわち、上述したように、Ｘ軸テーブル１２のＸ軸リニアモータの定速駆動状態を得るためには、両加減速区間Ｌａ，Ｌｂを、所定距離（例えば略１４０ｍｍ）設ける必要があり、ワークテーブル２２は、ワークＷの寸法に従って所定の寸法Ｍｗ（例えば、一対のフラッシングボックス１１６，１１６を含めてＸ軸方向に略１４９５ｍｍ）に構成されている。ここで、９個の機能液滴吐出ヘッド１６を階段状に配列し、機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法Ｍｈが長く（例えば、略２２５ｍｍ）なったとすると、所定距離の加減速区間Ｌａ，Ｌｂを設けるためには、Ｘ軸テーブル１２による往復動の範囲Ｓを長く（略２０００ｍｍ）しなければならない（図２（ｂ）参照）。ところが、実施形態のように、機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法Ｍｈを極力短く（略１２５ｍｍ）することにより、Ｘ軸テーブル１２による往復動の範囲Ｓを短く（略１９００ｍｍ）することができる（図２（ａ）参照）。したがって、Ｘ軸テーブル１２を９個の機能液滴吐出ヘッド１６の直下において安定して移動させることができると共に、液滴吐出装置１全体の省スペース化を図ることができる。
なお、本実施形態では、各フラッシングボックス１６が定速でヘッドユニット１５の直下を通過するが、加速または減速状態で通過してもよく、この場合は、Ｘ軸テーブル１２による往復動の範囲Ｓをさらに短くすることができる。
【００６５】
ところで、副走査方向の先頭から５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅを、主走査方向に互いに位置ずれさせて配列する配列パターンは、上述した配列パターン（図３、図４および図８参照）に限定されず、５種の順列通り、すなわち１２０通りの配列パターンが考えられる。例えば、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１６同士の各ノズル列７４によって構成される描画ラインＤＬにおける部分描画ラインＤＬＰ同士が隣接しないように配列する配列パターンを、図９ないし図１１に示す。すなわち、この配列パターンでは、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１６同士「１６ａと１６ｄ、１６ｄと１６ｂ、１６ｂと１６ｅ、および１６ｅと１６ｃ」の部分描画ラインＤＬＰ同士「１６ａと１６ｄ、１６ｄと１６ｂ、１６ｂと１６ｅ、および１６ｅと１６ｃ」が、隣接しないようになっている。そして、副走査方向の先頭から６番目以降の機能液滴吐出ヘッド１６ｆ〜１６ｉは、この配列パターンに従って、５番目までの機能液滴吐出ヘッド１６ａ〜１６ｅに対し副走査方向に列替えして配列されている。これによれば、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１６同士における副走査方向の離間距離が大きくなる（この場合、少なくとも部分描画ラインＤＬＰの寸法の２倍の距離を存している。）。したがって、各機能液滴吐出ヘッド１６に対して、上記のヘッド側配管部材やフレキシブルフラットケーブル等の配管・配線作業を行う際に、主走査方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１６が邪魔にならず、容易に作業を行うことができる。
【００６６】
なお、この配列パターンの場合には、上記のヘッドプレート５３においても、この配列パターンに従って装着開口５７が形成されており、また、図示はしないが、上記の重量測定ユニット８１および吸引ユニット８２においても、この配列パターンに従って受け容器および吸引キャップがそれぞれ配設されていることはいうまでもない。
【００６７】
以上に述べたように、実施形態の液滴吐出装置１におけるヘッドユニット１５によれば、複数の機能液滴吐出ヘッド１６を集約的に配置することができると共に、主走査方向における機能液滴吐出ヘッド配列の長さ寸法Ｍｈが極力短くなるように機能液滴吐出ヘッド１６を配列することができる。さらに、実施形態の液滴吐出装置１によれば、ワークＷに対してヘッドユニット１５を主走査方向に相対的に往復動させたときの移動範囲を短くすることができ、液滴吐出装置１全体の省スペース化を図ることができる。
【００６８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１２は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１３（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１３（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１３（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１３（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１３（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７４】
図１４は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１３に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。
【００８０】
図１５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８３】
図１６は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８８】
次に、図１７は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１００】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１８〜図２６を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１９に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２０に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０４】
図２１に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１６から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２２に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０６】
そして次に、図２３に示すように、各色のうちのいずれか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２４に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１６を用い、図２５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２６に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１２】
次に、図２７は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１６により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１６から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１９】
次に、図２８は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２９（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２９（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１…液滴吐出装置  ３…描画装置  １１…ＸＹ移動機構  １５…ヘッドユニット  １６…機能液滴吐出ヘッド  ５３…ヘッドプレート  ７４…ノズル列５００…カラーフィルタ  ５０８…着色層  ＤＬ…描画ライン  ＤＬＰ…部分描画ライン  Ｍｐ…部分描画ラインの長さ  Ｗ…ワーク。
【図１】
2010214370.tif 000003
【図２】
2010214370.tif 000004
【図３】
2010214370.tif 000005
【図４】
2010214370.tif 000006
【図５】
2010214370.tif 000007
【図６】
2010214370.tif 000008
【図７】
2010214370.tif 000009
【図８】
2010214370.tif 000010
【図９】
2010214370.tif 000011
【図１０】
2010214370.tif 000012
【図１１】
2010214370.tif 000013
【図１２】
2010214370.tif 000014
【図１３】
2010214370.tif 000015
【図１４】
2010214370.tif 000016
【図１５】
2010214370.tif 000017
【図１６】
2010214370.tif 000018
【図１７】
2010214370.tif 000019
【図１８】
2010214370.tif 000020
【図１９】
2010214370.tif 000021
【図２０】
2010214370.tif 000022
【図２１】
2010214370.tif 000023
【図２２】
2010214370.tif 000024
【図２３】
2010214370.tif 000025
【図２４】
2010214370.tif 000026
【図２５】
2010214370.tif 000027
【図２６】
2010214370.tif 000028
【図２７】
2010214370.tif 000029
【図２８】
2010214370.tif 000030
【図２９】
2010214370.tif 000031
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月30日(2010.4.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の機能液滴吐出ヘッドと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを配列パターンに従って配列したヘッドプレートと
を有し、
前記ヘッドプレートは、前記配列パターンに従って装着開口が形成され、前記装着開口に前記複数の機能液滴吐出ヘッドが取り付けられており、前記装着開口は、機能液滴吐出ヘッドの取り付け可能個数が異なる複数の開口からなることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッドユニットを搭載した描画手段と、ワークに対し、前記ヘッドユニットを主走査方向および副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。