(57)【要約】【課題】ノイズや異物の影響を受けることなく、全ての検査対象における濃度むらを確実に判定することができる濃度むら検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂは、搬送される貼り付け基板２４ｂの濃度データを計測し、計測データ処理装置１３６は、計測した濃度データのブロック平均データを算出し、ブロック平均データの差分データを算出し、差分データの絶対値を算出し、絶対値を所定の閾値データと比較することにより、貼り付け基板２４ｂの濃度むらを判定する。【選択図】図６
2010060370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象を１次元方向に走査することで１次元濃度データを得る第１ステップと、
前記１次元濃度データを複数のブロックデータに分割し、前記各ブロックデータの平均値をブロック平均データとして求める第２ステップと、
前記検査対象上の前記１次元方向に隣り合う前記ブロック平均データ間の差分データを求める第３ステップと、
前記各差分データの絶対値を所定の第１閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する第４ステップと、
を有することを特徴とする濃度むら検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記１次元濃度データのパワースペクトルデータを求める第５ステップと、
所望の周波数における前記パワースペクトルデータを所定の第２閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する第６ステップと、
を有することを特徴とする濃度むら検査方法。
【請求項３】
請求項２記載の方法において、
前記第４ステップ及び前記第６ステップの双方で濃度むらが懸念されると判定された際、前記絶対値を前記第１閾値データよりも小さい第３閾値データと比較し、前記第３閾値データよりも大きい前記絶対値のデータ数に基づき、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する第７ステップを有することを特徴とする濃度むら検査方法。
【請求項４】
請求項１記載の方法において、
前記絶対値の最大値を異なる複数の第４閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを複数のランクに分けて評価する第８ステップを有することを特徴とする濃度むら検査方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法において、
前記検査対象は、シート体が貼り付けられた貼り付け基板であることを特徴とする濃度むら検査方法。
【請求項６】
検査対象の１次元方向に対する１次元濃度データを計測する濃度計測部と、
前記１次元濃度データを処理するデータ処理部と、
処理された前記１次元濃度データに基づき、前記検査対象の濃度むらを判定する濃度むら判定部と、
を備え、
前記データ処理部は、前記１次元濃度データを複数のブロックデータに分割し、前記各ブロックデータの平均値をブロック平均データとして求め、前記検査対象上の前記１次元方向に隣り合う前記ブロック平均データ間の差分データを求め、
前記濃度むら判定部は、前記各差分データの絶対値を所定の第１閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する、
ことを特徴とする濃度むら検査装置。
【請求項７】
請求項６記載の装置において、
前記濃度計測部は、対向して配置される発光部及び受光部を有し、前記発光部から出力され、前記検査対象を透過した光を前記受光部により受光することで、前記１次元濃度データを計測することを特徴とする濃度むら検査装置。
【請求項８】
請求項６記載の装置において、
前記データ処理部は、前記１次元濃度データのパワースペクトルデータを求め、
前記濃度むら判定部は、所望の周波数における前記パワースペクトルデータを所定の第２閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する、
ことを特徴とする濃度むら検査装置。
【請求項９】
請求項８記載の装置において、
前記濃度むら判定部は、前記絶対値を前記第１閾値データよりも小さい第３閾値データと比較し、前記第３閾値データよりも大きい前記絶対値のデータ数に基づき、前記１次元方向に対する濃度むらを判定することを特徴とする濃度むら検査装置。
【請求項１０】
請求項６記載の装置において、
前記濃度むら判定部は、前記絶対値の最大値を異なる複数の第４閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを複数のランクに分けて評価することを特徴とする濃度むら検査装置。
【請求項１１】
請求項６〜１０のいずれか１項に記載の装置において、
前記検査対象は、シート体が貼り付けられた貼り付け基板であることを特徴とする濃度むら検査装置。
【請求項１２】
請求項６〜１０のいずれか１項に記載の装置において、
前記濃度むら判定部による判定結果を表示する表示部を有することを特徴とする濃度むら検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の検査対象を１次元方向に走査して濃度を計測し、その濃度むらを検査する濃度むら検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板やＰＤＰ用基板は、感光性樹脂層を有する感光性シート体を基板表面に貼り付けてなる貼り付け基板により構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の貼り付け基板の製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。ラミネーションローラによって基板に感光性シートが貼り付けられた後、支持体が感光性樹脂層から剥離されることで所望の貼り付け基板が製造される。
【０００４】
ところで、このようにして製造される貼り付け基板には、主に、ラミネーションローラによる基板に対する感光性シート体の貼り付け状態に起因して濃度むらが発生する場合があり、濃度むらの程度によっては、貼り付け基板の品質が問題となる。
【０００５】
このような濃度むらの検査方法として、例えば、製造された貼り付け基板を抜き取り、ナトリウムランプの光を貼り付け基板に照射し、その透過光を作業員が目視にて確認することで、濃度むらを検査する方法がある。
【０００６】
しかしながら、この方法では、濃度むらの検査の際に貼り付け基板を抜き取るため、貼り付け基板に塵埃が付着することがあり、濃度むらのない良品であったとしても、検査後に当該貼り付け基板を廃棄せざるを得ない状態となる。また、抜き取りのための時間やスペースも必要である。さらに、全ての貼り付け基板の濃度むらを検査することができないため、品質故障のある貼り付け基板を見逃してしまうおそれがある。さらにまた、濃度むらの判定は、作業者の官能による判断であり、判定結果に個人差が生じてしまう。
【０００７】
一方、ラミネート後の貼り付け基板の搬送路中において、ナトリウムランプからの光を貼り付け基板に照射し、その反射光を確認するようにすれば、全ての貼り付け基板の濃度むらを検査することが可能となるが、その検査のための作業員が必要となるだけでなく、作業員が製造装置のラインに入ることによる塵埃の対策も必要である。なお、貼り付け基板が組み上がった最終工程で検査を行うようにすれば、塵埃等の問題をある程度回避することはできるが、その段階で品質故障が発見された場合、製造中の全ての貼り付け基板に影響が及んでしまうおそれがある。
【０００８】
そこで、作業員の目視に頼ることなく、検査対象の状態を自動的に検査する方法として、特許文献１には、検査対象の撮影画像内の各領域についてパワースペクトル分布を求め、特定周波数領域におけるパワースペクトルの積分値の最大値を所定の閾値と比較することで、むらの良否を判定するようにした技術が開示されている。
【０００９】
また、特許文献２には、検査対象の撮影画像からノイズ領域を除外し、残りの撮影画像から周期性パターンのむらを検出するようにした技術が開示されている。
【００１０】
また、特許文献３又は４には、検査対象の撮影画像における輝度データの縦方向及び横方向の積算値と輝度データの移動平均値との差分データを求め、差分データを所定の閾値と比較することにより、検査対象における周期性パターンにおけるすじ状むらの有無を判定するようにした技術が開示されている。
【００１１】
【特許文献１】特開平９−６８４９７号公報
【特許文献２】特開２０００−２９２３１１号公報
【特許文献３】特開２００５―７７１８１号公報
【特許文献４】特開２００５―２４９６３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１の場合、検出したい既知の特定周波数領域におけるむらの良否を判定することは可能であるが、不特定周波数領域のむらについては、良否判定を行うことができない。また、特許文献２の場合には、撮影画像からノイズ領域を除外することを開示しているだけであり、周期性パターンの良否判定の具体的な方法についての記載がない。さらに、特許文献３及び４では、輝度データの移動平均値を用いてすじ状むらの有無を判定しているため、輝度データが平均化されてしまい、故障個所を見逃してしまうおそれがある。
【００１３】
本発明は、このような不具合に鑑みてなされたものであり、ノイズや異物の影響を受けることなく、全ての検査対象における濃度むらを確実に判定することができる濃度むら検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明は、検査対象に生じる濃度むらの経時的な出現を把握可能とする濃度むら検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の濃度むら検査方法は、検査対象を１次元方向に走査することで１次元濃度データを得る第１ステップと、
前記１次元濃度データを複数のブロックデータに分割し、前記各ブロックデータの平均値をブロック平均データとして求める第２ステップと、
前記検査対象上の前記１次元方向に隣り合う前記ブロック平均データ間の差分データを求める第３ステップと、
前記各差分データの絶対値を所定の第１閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する第４ステップと、
を有することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の濃度むら検査装置は、検査対象の１次元方向に対する１次元濃度データを計測する濃度計測部と、
前記１次元濃度データを処理するデータ処理部と、
処理された前記１次元濃度データに基づき、前記検査対象の濃度むらを判定する濃度むら判定部と、
を備え、
前記データ処理部は、前記１次元濃度データを複数のブロックデータに分割し、前記各ブロックデータの平均値をブロック平均データとして求め、前記検査対象上の前記１次元方向に隣り合う前記ブロック平均データ間の差分データを求め、
前記濃度むら判定部は、前記各差分データの絶対値を所定の第１閾値データと比較することで、前記１次元方向に対する濃度むらを判定する、
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、ノイズや異物の影響を受けることなく、全ての検査対象における濃度むらを確実且つ効率的に判定することができる。また、検査対象に生じる濃度むらをランク分けして評価することにより、濃度むらの経時的な出現を把握することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の濃度むら検査方法及び検査装置が適用される貼り付け基板の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０では、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する処理が行われる。
【００１９】
図２は、製造装置２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２０】
図１に示すように、製造装置２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位（加工部位）３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００２１】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２２】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像を撮影する撮影部４７が配設される。製造装置２０は、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６に対するハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正を行う。
【００２３】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。
【００２４】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍ（図２）だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する。なお、残存部分３０ｂの前後の保護フイルム３０は、保護フイルム３０が剥離される剥離部分３０ａである。
【００２５】
図２に示すように、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２６】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分３０ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２７】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分３０ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分３０ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００２８】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００２９】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３０】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００３１】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３２】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３３】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３４】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００３５】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ９０ａ〜９０ｄによって搬送される。基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間には、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を切断することで、ガラス基板２４に感光材料層が貼り付けられた貼り付け基板２４ａを分離するカッタ機構４８が配設される。
【００３６】
基板搬送ローラ９０ｄの下流側には、複数の貼り付け基板２４ａを積層した状態でストックするストッカ９４が配置されており、このストッカ９４には、カッタ機構４８により分離された貼り付け基板２４ａがロボット９６によって移載される。ストッカ９４に隣接して、貼り付け基板２４ａに残存する可撓性ベースフイルム２６を保護フイルム３０の残存部分３０ｂとともに剥離する剥離部９８が配置される。剥離部９８は、ガラス基板２４を吸着保持する吸着盤１０２と、吸着盤１０２によって保持されたガラス基板２４に貼り付けられている感光性樹脂層２８から可撓性ベースフイルム２６を剥離するクランパ１００とを有する。
【００３７】
剥離部９８に続いて、可撓性ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ｂの濃度むらを検査する本実施形態の濃度むら検査部１０４が配置される。
【００３８】
なお、以上のように構成される製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構６６並びに撮影部４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記撮影部４７までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００３９】
製造装置２０内は、仕切り壁１０５を介して第１クリーンルーム１０７ａと第２クリーンルーム１０７ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１０７ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までが収容され、第２クリーンルーム１０７ｂには、撮影部４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１０７ａと第２クリーンルーム１０７ｂとは、貫通部１０９を介して連通する。
【００４０】
図４は、濃度むら検査部１０４の構成図である。この場合、濃度むら検査部１０４では、ガラス基板２４に対して２枚の感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂが貼り付けられた貼り付け基板２４ｂの濃度むらの検査が行われるものとする。なお、このような貼り付け基板２４ｂは、２本の感光性ウエブロール２３から送り出される長尺状感光性ウエブ２２を１枚のガラス基板２４に貼り付けることで製造することができる。
【００４１】
濃度むら検査部１０４は、貼り付け基板２４ｂを矢印Ｙ方向に搬送する貼り付け基板搬送ローラ１０６ａ〜１０６ｄと、貼り付け基板搬送ローラ１０６ａ〜１０６ｄ間に配設される濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂ（濃度計測部）と、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂよりも貼り付け基板２４ｂの搬送方向上流側に配設され、貼り付け基板２４ｂの先端部を検出する計測トリガセンサ１１０とを備える。計測トリガセンサ１１０には、貼り付け基板２４ｂを介して赤色光を計測トリガセンサ１１０に導く赤色ＬＥＤ１１２が対向配置される。なお、赤色光は、感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂを感光させることのない波長、例えば、６４０ｎｍをピークとする波長の光であるとする。濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂは、貼り付け基板２４ｂの両側部に配設され、ガラス基板２４に貼り付けられている感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂの側部部分の濃度を計測する。
【００４２】
図５は、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂの内部構成図である。濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂの筐体１１４の内部には、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂを制御するヘッドアンプ部１１６と、ヘッドアンプ部１１６によって制御される赤色ＬＥＤ１１８（発光部）と、赤色ＬＥＤ１１８に対向配置され、ヘッドアンプ部１１６によって制御されるフォトマル受光素子（光電子増倍管、受光部）１２０とが収納される。フォトマル受光素子１２０は、赤色ＬＥＤ１１８から出射され、貼り付け基板２４ｂを透過した赤色光（感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂを感光させることのない波長、例えば、６４０ｎｍをピークとする波長の光）を受光し、電気信号に変換する。ヘッドアンプ部１１６は、この電気信号をアナログデータである濃度データとして後述する計測データ処理装置に送信する。
【００４３】
赤色ＬＥＤ１１８側には、赤色ＬＥＤ１１８から出力された赤色光を集光して平行光束とする集光レンズ１２２と、集光レンズ１２２によって平行光束とされた赤外光の範囲を制限し、所定の解像度を維持する光束スリット１２４と、外光の入射を阻止する遮光筒１２６とが順に配設される。また、フォトマル受光素子１２０側には、遮光筒１２８と、光束スリット１３０と、赤外光をフォトマル受光素子１２０に集光させる集光レンズ１３２と、集光レンズ１３２によって集光された赤外光を絞るアパーチャ１３４とが順に配設される。
【００４４】
図６は、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂによって計測した貼り付け基板２４ｂの濃度データを処理し、濃度むらの判定を行う計測データ処理装置１３６の回路ブロック図である。
【００４５】
計測データ処理装置１３６のインタフェース１３８には、計測データ処理装置１３６との間で必要な情報の授受を行う上位制御装置１４０と、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂとが接続される。上位制御装置１４０には、貼り付け基板２４ｂの先端部を検出する計測トリガセンサ１１０が接続される。上位制御装置１４０は、計測データ処理装置１３６に対して、濃度むらを検査する貼り付け基板２４ｂを特定する基板ＩＤの読込要求信号、計測トリガセンサ１１０による貼り付け基板２４ｂの検出信号に基づく濃度計測データの記録開始要求信号等を送信する。一方、計測データ処理装置１３６は、上位制御装置１４０に対して、基板ＩＤの読込信号、濃度計測完了時におけるＯＫ／ＮＧ信号、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂに異常が発生したときの異常信号等を送信する。
【００４６】
計測データ処理装置１３６は、制御部１４２によって制御されるインタフェース１３８と、アナログデータをデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器１４３と、フォトマル受光素子１２０により検出される受光量の経時変化であるドリフト量を補正するドリフト量補正部１４４と、フォトマル受光素子１２０により検出された受光量に基づく濃度データを計測データとして記憶する計測データ記憶部１４６と、計測データ記憶部１４６に記憶された計測データを処理するデータ処理部１４８と、処理された計測データに基づき、貼り付け基板２４ｂの濃度むらを判定する濃度むら判定部１５０と、判定結果を記憶する判定結果記憶部１５２と、計測データ、判定結果等を表示する表示部１５４とを備える。
【００４７】
次に、以上のように構成される製造装置２０の動作について説明する。
【００４８】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。なお、図４に示すように、ガラス基板２４に対して２枚の感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂを貼り付ける場合には、２本の感光性ウエブロール２３からそれぞれ長尺状感光性ウエブ２２を送り出すことになる。
【００４９】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込み、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。これにより、長尺状感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａと後方の剥離部分３０ａとが設けられる。
【００５０】
なお、残存部分３０ｂの幅Ｍは、長尺状感光性ウエブ２２が延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定される。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ２２に形成される。
【００５１】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａと後方の剥離部分３０ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５２】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５３】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部４７において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像が撮影される。
【００５４】
撮影部４７を通過した長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）の転写処理（ラミネート）が行われる。この場合、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６におけるハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置が調整される。
【００５５】
貼り付け機構４６では、当初、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されており、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。
【００５６】
次いで、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００５７】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００５８】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４の先端部が基板搬送ローラ９０ａによりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００５９】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９０ａの回転が低速で再び開始され、長尺状感光性ウエブ２２がガラス基板２４にラミネートされた感光性積層体が矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ２２をハーフカット部位３４ａ、３４ｂ間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。
【００６０】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体が連続的に製造される。
【００６１】
その際、感光性積層体は、それぞれの端部が図２に示す保護フイルム３０の残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）により汚れることがない。
【００６２】
貼り付け機構４６によって感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）が貼り付けられたガラス基板２４は、貼り付け機構４６で長尺状感光性ウエブ２２が基板間送りされた後、一旦停止状態にあるとき、基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間に配設されているカッタ機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断され、貼り付け基板２４ａとされる。なお、この貼り付け基板２４ａの前後には、残存部分３０ｂの保護フイルム３０が残存している。
【００６３】
分離された貼り付け基板２４ａは、ロボット９６によって一旦ストッカ９４に積層される。次いで、ストッカ９４に積層された貼り付け基板２４ａは、剥離部９８に移載された後、ガラス基板２４が吸着盤１０２によって吸着保持され、端部の可撓性ベースフイルム２６がクランパ１００によって把持されて貼り付け基板２４ａから剥離されることで、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）のみが貼り付けられた貼り付け基板２４ｂが製造される。
【００６４】
ここで、感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）は、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂによってガラス基板２４にラミネートされる際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂからの圧力のむら、加熱温度のむら等に起因して、貼り付け状態にむらが出現するおそれがある。このような貼り付け状態のむらは、感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）の濃度むらとなって現れ、当該貼り付け基板２４ｂを用いた液晶パネル用基板やＰＤＰ用基板の品質故障になってしまう。
【００６５】
そこで、製造された貼り付け基板２４ｂは、濃度むら検査部１０４に搬送され、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８（２８Ａ、２８Ｂ）の濃度むらの検査が行われる。この検査処理につき、図７に示すフローチャートに従って説明する。なお、以下において、１枚のガラス基板２４に対して２枚の感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂが貼り付けられているものとして説明する。
【００６６】
上位制御装置１４０は、濃度むら検査部１０４を構成する貼り付け基板搬送ローラ１０６ａ〜１０６ｄを制御し、貼り付け基板２４ｂを矢印Ｙ方向に搬送する（ステップＳ１）。
【００６７】
次いで、上位制御装置１４０は、貼り付け基板２４ｂの先端部が計測トリガセンサ１１０に到達する前に（図８）、計測データ処理装置１３６に対して、濃度むらを検査する貼り付け基板２４ｂを特定する基板ＩＤの読込要求信号を送信する。この読込要求信号に従い、計測データ処理装置１３６は、上位制御装置１４０から貼り付け基板２４ｂの基板ＩＤを取得する（ステップＳ２）。
【００６８】
貼り付け基板２４ｂの先端部が計測トリガセンサ１１０によって検知されると（ステップＳ３、図９）、上位制御装置１４０は、計測データ処理装置１３６に対して濃度計測データの記録開始要求信号を送信し、計測データ処理装置１３６は、この記録開始要求信号に従い、貼り付け基板２４ｂの濃度計測データの記録を開始する（ステップＳ４）。
【００６９】
計測データ処理装置１３６の制御部１４２は、計測データ記憶部１４６に計測データ記録開始信号を送信する。そこで、赤色ＬＥＤ１１８から出射された赤色光は、集光レンズ１２２によって平行光束とされた後、光束スリット１２４、遮光筒１２６、１２８、光束スリット１３０、集光レンズ１３２及びアパーチャ１３４を介してフォトマル受光素子１２０に集光される。フォトマル受光素子１２０は、入射した赤色光をアナログ信号である電気信号に変換し、ヘッドアンプ部１１６を介して計測データ処理装置１３６のＡ／Ｄ変換器１４３に送信する。送信されたアナログ信号は、Ａ／Ｄ変換器１４３によって所定のサンプリング周波数Ｆ１でデジタル信号に変換され、濃度計測データとして計測データ記憶部１４６に記憶される（ステップＳ５）。
【００７０】
濃度計測データの記録処理は、指定測定点数であるデータ数Ｎ２の計測データｄａｔａ０を取り込むまで行われる（ステップＳ６）。
【００７１】
なお、貼り付け基板２４ｂの先端部が計測トリガセンサ１１０によって検知されてから、濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂに搬送されるまでの間に計測される計測データｄａｔａ０は、貼り付け基板２４ｂのない状態での１次元濃度データであり、貼り付け基板２４ｂの先端部が濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂに搬送されてから、貼り付け基板２４ｂの後端部が計測トリガセンサ１１０によって検知されるまでの間に計測される計測データｄａｔａ０は、貼り付け基板２４ｂの所定範囲を透過した赤色光に基づく１次元濃度データである。
【００７２】
また、図１０に示すように、貼り付け基板２４ｂを透過した赤色光に基づく計測データｄａｔａ０のうち、貼り付け基板２４ｂの前後の範囲ｙ１、ｙ２を除き、ガラス基板２４の両側部からｘ１、ｘ２の距離に設定した有効区間ｙ３から得られた計測データが感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂの濃度むらＭを検査するための計測データとして選択される。貼り付け基板２４ｂの前後の範囲ｙ１、ｙ２を除く理由は、感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂの有無によって濃度変化が大きく異なるため、それによる計測時のノイズ混入を回避するためである。また、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂの両側部を計測する理由は、この部分において濃度むらが発生し易いからである。図１１は、各計測位置での全ての計測データｄａｔａ０をプロットしたものである。
【００７３】
指定測定点数Ｎ２の計測データｄａｔａ０の計測が完了すると、ドリフト量補正部１４４は、フォトマル受光素子１２０により検出される受光量の経時変化であるドリフト量の補正処理を行う（ステップＳ７）。
【００７４】
ドリフト量補正部１４４は、計測データ記憶部１４６に記憶されている指定測定点数Ｎ２の計測データｄａｔａ０のうち、計測を開始してから貼り付け基板２４ｂの先端部が濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂに到達する前までの間に計測された所定のデータ数Ｎ１の計測データの平均値をドリフト量Ａ１として算出する。図１２は、図１１に示す計測データｄａｔａ０のうち、データ数Ｎ１となる計測位置の近傍を拡大表示したものである。計測データｄａｔａ０は、算出されたドリフト量Ａ１を次の（１）式に代入することで補正され、計測データｄａｔａ１が求められる。
【００７５】
ｄａｔａ１＝ＫＴ・ｄａｔａ０＋ＧＮ−Ａ１                      （１）
なお、ＫＴ、ＧＮは、フォトマル受光素子１２０の個体差に応じた係数であり、個体差を考慮する必要のない場合には、ＫＴ＝１、ＧＮ＝０と設定してもよい。このようにして計測データｄａｔａ０を補正することにより、フォトマル受光素子１２０の感度の経時変化の影響を受けることがない計測データｄａｔａ１を得ることができる。算出された計測データｄａｔａ１は計測データ記憶部１４６に記憶される。
【００７６】
次に、計測トリガセンサ１１０が貼り付け基板２４ｂを検知してから、貼り付け基板２４ｂの前端部側の範囲ｙ１に至る間に計測されたデータ数Ｎ３の計測データｄａｔａ１を除外し、有効区間データｄａｔａ２を選択する。次いで、この有効区間データｄａｔａ２を、計測位置の順に、データ数Ｎ４毎にブロック化して平均値を求めることにより、ブロック平均データｄａｔａ３を算出する（ステップＳ８、図１３）。なお、有効区間データｄａｔａ２を移動平均するのではなく、ブロック化して平均することにより、濃度むらが相殺されてしまうことがなく、確実に濃度むらを検出することができる。
【００７７】
計測位置に隣接する２つのブロック平均データｄａｔａ３を用いて差分データｄａｔａ４をそれぞれ算出し（ステップＳ９）、この差分データｄａｔａ４（図１４）の絶対値である差分絶対値データｄａｔａ６を算出する（ステップＳ１０、図１５）。なお、差分データｄａｔａ４は、感光性樹脂層２８Ａ、２８Ｂを透過した赤色光の濃度の変化量を表す。
【００７８】
次に、濃度むら判定部１５０は、図１５に示す差分絶対値データｄａｔａ６の最大値を第１評価値Ａ４として選択し（ステップＳ１１）、値の異なる複数の閾値と第１評価値Ａ４との大小を比較することにより、当該貼り付け基板２４ｂの濃度むらのランク付けを行う（ステップＳ１２）。例えば、異なる３つの閾値ＴＨ１、ＴＨ２、ＴＨ３（ＴＨ１＞ＴＨ２＞ＴＨ３）を設定し、Ａ４≧ＴＨ１であればランクＤ、ＴＨ１＞Ａ４≧ＴＨ２であればランクＣ、ＴＨ２＞Ａ４≧ＴＨ３であればランクＢ、ＴＨ３＞Ａ４であればランクＡとする。
【００７９】
ランク付けの結果、Ａ４≧ＴＨ１となるランクＤと判定された場合（ステップＳ１３）、当該貼り付け基板２４ｂを濃度むらのある故障懸念基板と判定する（ステップＳ１４）。
【００８０】
一方、濃度むら判定部１５０は、図１０の有効区間ｙ３から得られた有効区間データｄａｔａ２について、周波数解析を行うことにより、パワースペクトルデータｄａｔａ５を算出する（ステップＳ１５、図１６）。次いで、所望の判定周波数Ｆ３におけるパワースペクトルデータｄａｔａ５の値を第２評価値Ａ７として選択し（ステップＳ１６）、所定の閾値ＴＨ４と第２評価値Ａ７との大小を比較し、Ａ７≧ＴＨ４と判定された場合（ステップＳ１７）、当該貼り付け基板２４ｂは、濃度むらのある故障懸念基板と判定する（ステップＳ１８）。なお、濃度むらの発生原因が、ゴムローラ８０ａ、８０ｂによるラミネート周期に起因するものである場合、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの周長を基準として濃度むらが発生する。従って、所望の判定周波数は、この周長に基づいて設定することができる。なお、閾値ＴＨ４を０に設定すれば、パワースペクトルデータｄａｔａ５を用いた判定において、常に故障懸念基板と判定されることから、この判定結果を事実上無効にすることができる。
【００８１】
次に、ステップＳ１４で故障懸念基板と判定され、且つ、ステップＳ１８でも故障懸念基板と判定された場合（ステップＳ１９）、ステップＳ１０で算出した差分絶対値データｄａｔａ６から、最大値の順にデータ数Ｎ６のデータを選択し（図１７の○を付したデータ参照）、そのうちの最小値を第３評価値Ａ５として選択し（ステップＳ２０）、所定の閾値ＴＨ５と第３評価値Ａ５との大小を比較する（ステップＳ２１）。Ａ５≧ＴＨ５と判定され、且つ、ステップＳ８でブロック化する前の有効区間データｄａｔａ２の中に、ブロック化のデータ数Ｎ４以上連続して所定の閾値ＴＨ６以上となるデータがあるものと判定された場合（ステップＳ２２）、当該貼り付け基板２４ｂを濃度むらのある基板と判定する（ステップＳ２３）。このようにして濃度むらの有無を判定することにより、電気ノイズや異物等による誤検出を回避し、濃度むらを確実に検知することができる。なお、閾値ＴＨ５、ＴＨ６を検査対象に応じて０に設定すれば、ステップＳ２０〜ステップＳ２３の処理を事実上無効にすることができる。
【００８２】
貼り付け基板２４ｂの濃度むらの判定結果は、表示部１５４に表示される（ステップＳ２４）。図１８は、表示部１５４の表示例を示す。表示部１５４には、例えば、各感光性樹脂層２８Ａ（Ｓｉｄｅ−Ａ）、２８Ｂ（Ｓｉｄｅ−Ｂ）から取得した有効区間データｄａｔａ２が表示されるとともに、パワースペクトルデータｄａｔａ５が表示される。また、判定結果として、ランク付けの結果（Ａ〜Ｄ）及び濃度むらの有無（ＯＫ／ＮＧ）が表示される。
【００８３】
作業者は、表示部１５４に表示された判定結果に基づき、例えば、ＮＧと判定された貼り付け基板２４ｂについては、濃度むら検査部１０４の後工程で排除する処理を行う。また、ＮＧと判定されていない貼り付け基板２４ｂであっても、表示されているランクから経時的な変化状況を把握し、ＮＧとなる可能性があると判断される場合、製造装置２０のメンテナンスを遂行し、不良品の発生を事前に回避することも可能である。このように、作業者の官能に基づいて濃度むらの有無を判断することがなく、製造される全ての貼り付け基板２４ｂの濃度むらを、貼り付け基板２４ｂを抜き取ることなく自動的に検査し、故障基板のみを確実に排除することができる。
【００８４】
図１９は、他の実施形態である製造装置２００の概略構成図である。なお、図１に示す製造装置２０と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００８５】
製造装置２００では、貼り付け機構４６によって長尺状感光性ウエブ２２が貼り付けられたガラス基板２４が、分断されることなく冷却部２０２に搬送されて冷却された後、剥離部２０４に供給される。剥離部２０４では、プッシャ２０６によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が上方向に押し上げられることで、保護フイルム３０の剥離が容易な状態とされた後、保護フイルム３０が感光性樹脂層２８から剥離され、巻き取りローラ２０８により巻き取られる。これにより、ガラス基板２４間が分離され、貼り付け基板２４ｂが製造される。製造された貼り付け基板２４ｂは、製造装置２０の場合と同様に、濃度むら検査部１０４によって貼り付け基板２４ｂの濃度むらの検査が行われる。
【００８６】
なお、上述した実施形態では、貼り付け基板２４ｂの濃度をフォトマル受光素子１２０を用いて計測しているが、フォトマル受光素子１２０に代えて，ＣＣＤ素子を用いてもよい。また、濃度むらの検査対象としては、貼り付け基板２４ｂに限定されるものではなく、濃度むらが問題となる種々のパネルやフイルム等を対象とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】濃度むら検査部の構成図である。
【図５】濃度むら検査部を構成する濃度計測ヘッドの構成図である。
【図６】濃度計測ヘッドを用いて計測した計測データを処理する計測データ処理装置の回路ブロック図である。
【図７】計測データ処理装置における処理フローチャートである。
【図８】貼り付け基板が濃度むら検査部に搬入される直前の説明図である。
【図９】濃度むら検査部に搬入された貼り付け基板の先端部が計測トリガセンサによって検知された状態の説明図である。
【図１０】貼り付け基板における濃度むらを計測する有効区間の説明図である。
【図１１】濃度計測ヘッドによって計測された計測データの説明図である。
【図１２】図１１に示す計測データの部分拡大説明図である。
【図１３】計測データ処理装置で処理されたブロック平均データの説明図である。
【図１４】計測データ処理装置で処理された差分データの説明図である。
【図１５】計測データ処理装置で処理された差分絶対値データの説明図である。
【図１６】計測データ処理装置で処理されたパワースペクトルデータの説明図である。
【図１７】計測データ処理装置で処理された差分絶対値データの説明図である。
【図１８】計測データ処理装置の表示部に表示された判定結果の表示例の説明図である。
【図１９】他の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００８８】
２０、２００…製造装置
２４…ガラス基板
２４ｂ…貼り付け基板
２８、２８Ａ、２８Ｂ…感光性樹脂層
４６…貼り付け機構
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
１０４…濃度むら検査部
１０８ａ、１０８ｂ…濃度計測ヘッド
１１０…計測トリガセンサ
１１２、１１８…赤色ＬＥＤ
１２０…フォトマル受光素子
１３６…計測データ処理装置
１４０…上位制御装置
１４４…ドリフト量補正部
１４６…計測データ記憶部
１４８…データ処理部
１５０…濃度むら判定部
１５２…判定結果記憶部
１５４…表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2010060370.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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