(57)【要約】【課題】  プランジャが磁気受渡コアの内周面に局部的に擦られる不具合を回避して、プランジャの円滑な摺動を可能にする。【解決手段】  プランジャ４の外周面に分布調整凹部αを設けて、プランジャ４と磁気受渡コア５との軸方向の磁束分布を均一にする。分布調整凹部αは、磁気結合穴２７に近い部分の磁束集中を緩和する目的で、プランジャ４の後端部の外周面に形成されたものであり、プランジャ４の外径寸法（磁気受渡コア５に対する摺動径）より小径に設けられている。このように分布調整凹部αを設けることにより、プランジャ４の後端部に生じる磁束集中を回避することができ、プランジャ４の後端が磁気受渡コア５の内周面に局部的に強く擦られる不具合を回避することができる。これにより、プランジャ４の摺動抵抗を小さくすることができるとともに、ヒステリシスの発生を抑えることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
通電により磁力を発生するコイル（２）と、このコイル（２）の発生する磁力により軸方向の吸引磁力を発生する磁気吸引コア（３）と、この磁気吸引コア（３）に磁気吸引されるプランジャ（４）と、このプランジャ（４）と外径方向の磁気の受け渡しを行なう磁気受渡コア（５）とを備え、
前記プランジャ（４）の外周面が前記磁気受渡コア（５）の内周面に摺接する、あるいは前記プランジャ（４）の外周面が前記磁気受渡コア（５）の内周に挿入配置された非磁性材よりなるカップの内周面に摺接するリニアアクチュエータ（１）において、
前記プランジャ（４）における磁性材の外周面には、前記磁気受渡コア（５）に対する軸方向の磁束分布を調整するための分布調整凹部（α）が設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
通電により磁力を発生するコイル（２）と、このコイル（２）の発生する磁力により軸方向の吸引磁力を発生する磁気吸引コア（３）と、この磁気吸引コア（３）に磁気吸引されるプランジャ（４）と、このプランジャ（４）と外径方向の磁気の受け渡しを行なう磁気受渡コア（５）とを備え、
前記プランジャ（４）の外周面が前記磁気受渡コア（５）の内周面に摺接する、あるいは前記プランジャ（４）の外周面が前記磁気受渡コア（５）の内周に挿入配置された非磁性材よりなるカップの内周面に摺接するリニアアクチュエータ（１）において、
前記磁気受渡コア（５）における磁性材の内周面には、前記プランジャ（４）に対する軸方向の磁束分布を調整するための分布調整凹部（α）が設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のリニアアクチュエータ（１）において、
このリニアアクチュエータ（１）は、前記コイル（２）の外周を覆うヨーク（２３）を備え、
このヨーク（２３）は、前記磁気受渡コア（５）が挿入配置されて、当該磁気受渡コア（５）と磁束の受け渡しを行なう磁気結合穴（２７）を備え、
前記分布調整凹部（α）は、前記磁気結合穴（２７）に近い部位に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載のリニアアクチュエータ（１）において、
前記分布調整凹部（α）は、一定径の円筒面によって設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載のリニアアクチュエータ（１）において、
前記分布調整凹部（α）は、円錐状のテーパー面によって設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイルの発生する磁力によりプランジャを軸方向へ駆動するリニアアクチュエータに関し、プランジャの外周面が磁気受渡コアの内周面（あるいは磁気受渡コアの内周に挿入配置された非磁性材よりなるカップの内周面）に直接摺動するリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
図５、図６を参照して、従来技術を説明する。なお、符号は、後述する実施例等と同一機能物に共通符号を付したものである。
図５に示すように、プランジャ４の外周面が磁気受渡コア５の内周面に直接摺動するリニアアクチュエータ１が知られている（例えば、特許文献１参照）。プランジャ４と磁気受渡コア５との間には、摺動ギャップ（摺動クリアランス）が存在する。この摺動ギャップは、磁気受渡コア５の内周面によってプランジャ４を軸方向へ摺動自在に支持させるための隙間である。なお、この摺動ギャップには、プランジャ４の外径寸法、および磁気受渡コア５の内径寸法の製造ばらつきを吸収するための組付隙間も加算されている。
【０００３】
プランジャ４と磁気受渡コア５との間には、上述した摺動ギャップが存在するため、図６に示すように、プランジャ４が重力や振動等により、磁気受渡コア５の軸芯より径方向へ偏心する。この状態でコイル２が通電されると、プランジャ４と磁気受渡コア５との径方向の磁束の受け渡しにおいて、磁束の偏りが生じる。このような磁束の偏りが生じると、プランジャ４には径方向へ向かう吸引力（以下、径方向吸引力Ｆ）が発生する。
この径方向吸引力Ｆは、プランジャ４と磁気受渡コア５とを擦らせる力として作用するため、プランジャ４と磁気受渡コア５とが局部的に擦られることで、プランジャ４の円滑な摺動が阻害されることになり、プランジャ４の摺動抵抗の増加、およびヒステリシスの増加が発生してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２９９７９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、「プランジャの偏心によってプランジャの円滑な摺動が阻害される不具合」が、「プランジャと磁気受渡コアとの磁気受け渡しの磁束分布が軸方向において不均一になっており、その磁束分布の不均一に起因する磁束集中によってプランジャが局部的に強く擦られることで生じている」ことに着目してなされたものである。
本発明の目的は、プランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布の均一化を図り、プランジャが局部的に擦られる不具合を回避して、プランジャの円滑な摺動を可能にするリニアアクチュエータの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用する。
〔請求項１の手段〕
リニアアクチュエータは、プランジャにおける磁性材の外周面に、磁気受渡コアに対する軸方向の磁束分布を調整するための分布調整凹部を設けている。
プランジャの外周面に設けた分布調整凹部によって、プランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布を均一化することができる。そして、分布調整凹部によってプランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布が均一化されることにより、プランジャが局部的に擦られる不具合を回避でき、プランジャの円滑な摺動が可能になる。
【０００７】
〔請求項２の手段〕
リニアアクチュエータは、磁気受渡コアにおける磁性材の内周面に、プランジャに対する軸方向の磁束分布を調整するための分布調整凹部を設けている。
磁気受渡コアの内周面に設けた分布調整凹部によって、プランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布を均一化することができる。そして、分布調整凹部によってプランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布が均一化されることにより、プランジャが局部的に擦られる不具合を回避でき、プランジャの円滑な摺動が可能になる。
【０００８】
〔請求項３の手段〕
リニアアクチュエータにおいてコイルの外周を覆うヨークは、磁気受渡コアが挿入配置されて、磁気受渡コアと磁束の受け渡しを行なう磁気結合穴を備えるものであり、分布調整凹部は、磁気結合穴に近い部位に設けられる。
このように、磁気結合穴に近い部位に分布調整凹部を設けることにより、磁気結合穴に近い部位に生じる磁束集中を回避することができ、プランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布を均一化することができる。
【０００９】
〔請求項４の手段〕
リニアアクチュエータにおける分布調整凹部は、一定径の円筒面によって設けられるものである。
即ち、分布調整凹部がプランジャに設けられる場合は、プランジャの外周摺接径より小径の円筒面、またはプランジャの外周面に環状に形成された外周溝によって設けられるものである。
また、分布調整凹部が磁気受渡コアに設けられる場合は、磁気受渡コアの最小径より大径の円筒面、または磁気受渡コアの内周面に環状に形成された環状溝によって設けられるものである。
【００１０】
〔請求項５の手段〕
リニアアクチュエータにおける分布調整凹部は、円錐状のテーパー面によって設けられるものである。
このように、分布調整凹部を成すテーパー面により、プランジャと磁気受渡コアとの径方向距離を可変することで、プランジャと磁気受渡コアとの軸方向の磁束分布を、より均一化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】リニアアクチュエータの断面図、および軸方向の磁束分布を示す説明図である（実施例１）。
【図２】リニアアクチュエータの断面図、および軸方向の磁束分布を示す説明図である（実施例２）。
【図３】軸方向の磁束分布を示す説明図である（変形例１）。
【図４】軸方向の磁束分布を示す説明図である（変形例２）。
【図５】リニアアクチュエータの断面図、および軸方向の磁束分布を示す説明図である（従来例）。
【図６】軸方向から見たプランジャと磁気受渡コアの断面図である（従来例）。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１〜図４を参照して［発明を実施するための形態］を説明する。
リニアアクチュエータ１は、通電により磁力を発生するコイル２と、このコイル２の発生する磁力により軸方向の吸引磁力を発生する磁気吸引コア３と、この磁気吸引コア３に磁気吸引されるプランジャ４と、このプランジャ４と外径方向の磁気の受け渡しを行なう磁気受渡コア５とを備えるものであり、プランジャ４の外周面が磁気受渡コア５の内周面に摺接する（あるいはプランジャ４の外周面が磁気受渡コア５の内周に挿入配置された非磁性材よりなるカップの内周面に摺接する）ものである。
【００１３】
そして、「プランジャ４における磁性材」の外周面には、磁気受渡コア５に対する軸方向の磁束分布を調整するための分布調整凹部αが設けられており、この分布調整凹部αによってプランジャ４と磁気受渡コア５との軸方向の磁束分布が均一化されている。
あるいは、「磁気受渡コア５における磁性材」の内周面には、プランジャ４に対する軸方向の磁束分布を調整するための分布調整凹部αが設けられており、この分布調整凹部αによってプランジャ４と磁気受渡コア５との軸方向の磁束分布が均一化されている。
【実施例１】
【００１４】
本発明を自動変速機における油圧制御弁のリニアアクチュエータ１に適用した実施例１を、図面を参照して説明する。なお、以下の実施例において、上記［発明を実施するための形態］と同一符号は、同一機能物を示すものである。なお、以下の実施例で示す電磁油圧制御弁の構造は、具体的な一例を示すものであり、限定されるものではない。また、以下では説明の便宜上、図１（ａ）の左側を前、右側を後として説明するが、実際の搭載方向にかかるものではない。
【００１５】
〔電磁油圧制御弁の構造〕
図１（ａ）を参照して電磁油圧制御弁の構造を説明する。
車両用の自動変速機は、変速制御用の油圧コントローラを搭載しており、この油圧コントローラには、ＡＴ−ＥＣＵ（自動変速機用電子制御装置）の指示により油圧の制御を行なうための電磁油圧制御弁が搭載されている。
具体的に、実施例１に示す電磁油圧制御弁は、自動変速機内の下部に配置される油圧コントローラを成すハウジング（内部に油路が形成されたケース）に組み付けられるものであり、スプール弁１０と、このスプール弁１０を駆動するリニアアクチュエータ１とで構成される。
【００１６】
（スプール弁１０の説明）
スプール弁１０は、スリーブ１１、スプール１２およびバネ（リターンスプリング）１３を備える。
スリーブ１１は、略円筒形状を呈するものであり、中心にはスプール１２を軸方向へ摺動自在に支持する挿通穴１４が形成され、径方向にはオイルポート１５が形成されている。なお、オイルポート１５は、図示しないオイルポンプのオイル吐出口に連通して入力圧が供給される入力ポート、電磁油圧制御弁で調圧した出力圧が出力される出力ポート、低圧側に連通する排出ポート、呼吸用のドレンポート等である。
【００１７】
スプール１２は、スリーブ１１内に摺動可能に配置され、オイルポート１５の開口面積を可変するとともに、オイルポート１５の連通状態を切り替えるものであり、オイルポート１５を閉塞可能な複数のランド１６と、ランド１６間に設けられた小径部１７とを備える。
このスプール１２のリニアアクチュエータ１側の端部には、リニアアクチュエータ１の内部にまで延びるシャフト１８が当接しており、そのシャフト１８の先端は、後述するプランジャ４の端面に当接して、プランジャ４がスプール１２を軸方向へ駆動するように設けられている。
【００１８】
バネ１３は、スプール１２をリニアアクチュエータ１側に付勢する圧縮コイルスプリングであり、スリーブ１１の前側のバネ室内に圧縮された状態で配置される。このバネ１３は、一端がスプール１２の前面に当接し、他端がスリーブ１１の挿通穴１４の前端を閉塞する調整ネジ１９の底面に当接するものであり、調整ネジ１９の螺合量（ねじ込み量）により、バネ１３の付勢力が調整できるようになっている。
【００１９】
（リニアアクチュエータ１の説明）
リニアアクチュエータ１は、コイル２、プランジャ４、磁気固定子２１、コネクタ２２を備える。
コイル２は、通電されると磁力を発生して、プランジャ４と磁気固定子２１を通る磁束ループを形成させるものであり、樹脂性のボビン２ａの周囲に、絶縁被覆が施された導線（エナメル線等）を多数巻回したものである。
【００２０】
プランジャ４は、略円柱形状を呈した磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）よりなる。
このプランジャ４は、磁気固定子２１の内周面（具体的には、後述する磁気受渡コア５の内周面）と直接摺動するものである。
また、プランジャ４は、上述したようにスプール１２側の端面がスプール１２のシャフト１８の先端と当接しており、スプール１２に伝わるバネ１３の付勢力によってスプール１２とともにプランジャ４も後側に付勢されている。
なお、プランジャ４の内部には、軸方向に貫通する呼吸孔４ａ（あるいは呼吸溝）が形成されている。
【００２１】
磁気固定子２１は、コイル２の外周を覆う略カップ形状を呈した磁性体製のヨーク２３と、磁気吸引コア３、磁気受渡コア５および磁気遮断部（薄肉部）２４が一体に設けられた磁性体製のステータコア２５とを備える。
ヨーク２３は、コイル２の周囲を覆って磁束を流す磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）であり、内部にリニアアクチュエータ１の構成部品を組み込んだ後、端部に形成された爪部をカシメることでスリーブ１１と強固に結合される。
【００２２】
磁気吸引コア３は、ヨーク２３の開口端に組付けられる磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）よりなるフランジ部２６を介してヨーク２３の前端部と磁気的に結合される。磁気吸引コア３は、プランジャ４と軸方向に対向する磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）であり、プランジャ４との間にプランジャ４を軸方向へ吸引するための磁気吸引部（メイン磁気ギャップ）が形成される。磁気吸引コア３の内部には、図示されないが軸方向に貫通する呼吸孔（あるいは呼吸溝）が形成されている。なお、この実施例では、フランジ部２６の内周面に磁気吸引コア３が圧入等の固定技術で結合される例を示すが、フランジ部２６と磁気吸引コア３が一体のものであっても良い。
【００２３】
磁気吸引コア３の後端には、プランジャ４の前端部が侵入可能な筒形凹部が形成され、この筒形凹部の内部にプランジャ４の一部が軸方向に交差可能に設けられている。この筒形凹部の外周面には後方に向かって縮径するテーパーが形成されており、プランジャ４のストローク量に対して磁気吸引力が変化しない特性に設けられている。
【００２４】
磁気受渡コア５は、プランジャ４の略全周を覆う円筒形状を呈する磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）であり、後端部がヨーク２３のカップ底部（後側）に形成された磁気結合穴２７の内側に挿入配置されて、ヨーク２３と磁気的に結合されている。
この磁気受渡コア５は、その内周面においてプランジャ４が直接摺動するものであり、プランジャ４と径方向の磁束の受け渡しを行うものである。そして、磁気受渡コア５とプランジャ４との間に磁気受渡部（サイド磁気ギャップ）が形成される。
【００２５】
磁気遮断部２４は、磁気吸引コア３と磁気受渡コア５との間で直接磁束が流れるのを阻害する磁気飽和部であり、磁気抵抗の大きい薄肉部により形成されている。なお、この薄肉部には、径方向に貫通する孔が全周に亘って多数形成されて、薄肉部を通過する磁束を減らすように設けられている。
【００２６】
コネクタ２２は、電磁油圧制御弁を制御するＡＴ−ＥＣＵと接続線を介して電気的な接続を行う接続手段であり、その内部にはコイル２の両端にそれぞれ接続される端子２２ａが配置されている。
【００２７】
〔実施例１の背景〕
この実施例に示すように、プランジャ４が磁気受渡コア５の内周面に直接摺動するリニアアクチュエータ１には、プランジャ４と磁気受渡コア５との径方向に摺動ギャップが存在する。このため、プランジャ４が磁性体金属だけで構成される場合には、図６に示すように、プランジャ４が重力や振動等により磁気受渡コア５の軸芯より径方向へ偏心する。このようにプランジャ４が偏心した状態でコイル２が通電され、磁気吸引コア３にプランジャ４が磁気吸引されると、プランジャ４と磁気受渡コア５との径方向の磁束の受け渡しにおいて、磁束の偏りが生じる。このような磁束の偏りが生じると、プランジャ４に径方向吸引力Ｆが発生し、プランジャ４の円滑な摺動が阻害されてしまう。
【００２８】
具体的に、従来のリニアアクチュエータ１では、磁気受渡コア５の軸方向寸法を長く設定し、プランジャ４と磁気受渡コア５の接触長を長くして、プランジャ４と磁気受渡コア５の磁気の受渡範囲を広げることで、磁束の局部的な偏りを抑えている。一例を示すと、図５に示すように、磁気受渡コア５の軸方向寸法を、ヨーク２３の底部から磁気遮断部２４まで延ばして長く設定することで、プランジャ４と磁気受渡コア５の磁気の受渡範囲を広げている。
しかるに、磁気受渡コア５の軸方向寸法を延ばしても、図５（ｂ）に示すように、プランジャ４の後端部（ヨーク２３の磁気結合穴２７に近い部分）に磁束集中が生じており、プランジャ４の円滑な摺動が阻害されている。
【００２９】
〔実施例１の特徴〕
そこで、この実施例１は、上記の不具合を回避するために、「プランジャ４における磁性材」の外周面に分布調整凹部αを設けて、プランジャ４と磁気受渡コア５との軸方向の磁束分布の均一化を図っている。
具体的な一例を示すと、この実施例１のプランジャ４は、略円柱形状を呈する磁性金属の表面に非磁性材層を形成したものである。そして、この実施例の分布調整凹部αは、プランジャ４の後端部（ヨーク２３の磁気結合穴２７に近い部分）の磁束集中を緩和する目的で、プランジャ４の後端部（ヨーク２３の磁気結合穴２７に近い部分）の外周面に形成されたものである。
【００３０】
分布調整凹部αは、プランジャ４の後端部における磁性金属の外周面に切削加工によって形成されたものである。
分布調整凹部αは、プランジャ４の外径寸法（磁気受渡コア５に対する摺動径）より小径に設けられるものであり、この実施例１では一定径の円筒面（小径の円筒面）によって設けられている。
分布調整凹部αの軸方向寸法は、ヨーク２３の磁気結合穴２７の軸方向寸法より長く設けられている。
分布調整凹部αの深さ（径方向寸法）は、分布調整凹部αが設けられていないプランジャ４の前側（中間部を含む）における径方向の磁束密度と、分布調整凹部αが設けられているプランジャ４の後側における径方向の磁束密度とが、ほぼ同じになる深さに設定されている。
【００３１】
このようにプランジャ４の外周面に分布調整凹部αを設けることにより、プランジャ４の後端部（ヨーク２３の磁気結合穴２７に近い部分）に生じる磁束集中を回避することができ、図１（ｂ）の矢印に示すように、プランジャ４と磁気受渡コア５との軸方向の磁束分布の均一化を図ることができる。
これによって、プランジャ４の後端が磁気受渡コア５の内周面に局部的に強く擦られる不具合を回避することができ、プランジャ４の円滑な摺動が可能になる。この結果、プランジャ４の摺動抵抗を小さくすることができるとともに、ヒステリシスの発生を抑えることができる。即ち、プランジャ４の外周面に分布調整凹部αを設けることにより、自動変速機に搭載される電磁油圧制御弁の性能を高めることができる。
【実施例２】
【００３２】
図２を参照して実施例２を説明する。なお、以下において上記実施例１と同一符号は、同一機能物を示すものである。
上記実施例１では、分布調整凹部αを一定径の円筒面によって設ける例を示した。
これに対し、この実施例２は、分布調整凹部αを円錐状のテーパー面によって設けるものである。
【００３３】
具体的に、分布調整凹部αを設けない場合は、図５（ｂ）に示すように、プランジャ４の後端に近づくほど径方向の磁束集中が高まっていた。
そこで、この実施例２では、プランジャ４の後端に近づくほど、プランジャ４と磁気受渡コア５との径方向の隙間が大きくなるように、即ち、後端に近づくにつれてプランジャ４の外周面が縮径するように、分布調整凹部αを円錐状のテーパー面に設けたものである。
このように、分布調整凹部αを設けることにより、図２（ｂ）の矢印に示すように、プランジャ４と磁気受渡コア５との軸方向の磁束分布を「より均一化」することができ、磁束ムラによるプランジャ４の摺動性の劣化を抑えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
上記の実施例では、分布調整凹部αがプランジャ４の外周面に露出して形成される例を示した。これに対し、プランジャ４における磁性金属に分布調整凹部αを形成した後、この分布調整凹部αを非磁性体（非磁性金属であっても、樹脂であっても良い）で埋めても良い。このように設けることで、プランジャ４と磁気受渡コア５の接触面圧を下げることができ、プランジャ４の摺動性をさらに高めることができる。
【００３５】
上記の実施例では、プランジャ４の外周面に分布調整凹部αを設ける例を示した。これに対し、図３、図４に示すように、磁気受渡コア５の内周面に分布調整凹部αを設けても良い。このように、磁気受渡コア５の内周面に分布調整凹部αを設けても、実施例１、２と同様の効果を得ることができる。
さらに、上記変形例と同様、磁気受渡コア５の内周面に設けた分布調整凹部αを非磁性体（非磁性金属であっても、樹脂であっても良い）で埋めても良い。
【００３６】
上記の実施例では、磁気受渡コア５が磁気遮断部２４を介して磁気吸引コア３と一体に設けられる例を示した。これに対し、磁気受渡コア５が磁気吸引コア３とは別の部材によって設けられるものであっても良い。
上記の実施例では、ヨーク２３の開口側（前側）に向けてプランジャ４が駆動される例を示した。これに対し、ヨーク２３の底側（後側）に向けてプランジャ４が駆動されるリニアアクチュエータ１に本発明を適用しても良い。即ち、磁気吸引コア３がヨーク２３の底側（後側）に設けられ、磁気受渡コア５がヨーク２３の開口側（前側）に設けられるリニアアクチュエータ１に本発明を適用しても良い。
【００３７】
上記の実施例では、プランジャ４が磁気受渡コア５の内周面に直接摺動する例を示した。これに対し、磁気受渡コア５の内周に非磁性の薄いカップが挿入配置され、そのカップの内周面においてプランジャ４が摺動自在に支持されるものであっても良い。
上記の実施例では、自動変速機の油圧制御装置に用いられる電磁油圧制御弁に本発明を適用する例を示したが、自動変速機以外の他の電磁油圧制御弁に本発明を適用しても良い。また、電磁油圧制御弁以外の電磁弁に本発明を適用しても良い。
上記の実施例では、バルブ（実施例ではスプール弁１０）を駆動するリニアアクチュエータ１に本発明を適用する例を示したが、バルブ以外の被駆動体を直接あるいは間接的に駆動するリニアアクチュエータ１に本発明を適用しても良い。
【符号の説明】
【００３８】
１  リニアアクチュエータ
２  コイル
３  磁気吸引コア
４  プランジャ
５  磁気受渡コア
２３  ヨーク
２７  磁気結合穴
α  分布調整凹部
【図１】
2010278403.tif 000003
【図２】
2010278403.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010278403.tif 000006
【図５】
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【図６】
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