(57)【要約】      （修正有）【課題】所望する傾斜状態で電子デバイスの電気的特性の検査を行なうことができる電子デバイス検査装置を提供する。【解決手段】加速度センサー等の電子デバイスを検査する電子デバイス検査装置に、電子デバイスを温度調整する温度調整手段３０、鉛直方向と直交する第１の水平方向を軸心として第１のモータ３５により回転される第１の軸部３６、第１の水平方向を軸心として回転される挟持手段２８、挟持手段２８の固定された第１の軸部３６を第２のモータ３８により任意の角度に回転させる第２の軸部３９を備える。これにより、挟持手段２８に挟持された電子デバイスを保持した治具７を、第１の軸部３６と第２の軸部３９からなる２軸により任意の方向に自由に傾斜させることができるので、温度調整手段３０で所定の温度になされた電子デバイスを所望する任意の方向に傾斜させた状態で電気的特性の検査を行なうことができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向と直交する第１の水平方向を軸心として、第１のモータにより回転される第１の軸部と、
該第１の軸部に固定されることにより前記第１の水平方向を軸心として回転される挟持手段と、
該挟持手段を回転自在に保持する保持部材と、
前記挟持手段の固定された前記第１の軸部を、前記第１の水平方向と直交する第２の水平方向を軸心として、第２のモータにより水平方向から任意の角度に回転させる第２の軸部とを備え、
前記挟持手段に挟持された電子デバイスを保持した治具を、前記第１の軸部と前記第２の軸部とを軸心方向として回転できるようにすることで、前記挟持手段に前記治具を介して保持された電子デバイスを任意の角度に傾斜させた状態でその電気的特性を検査する検査ユニットを、備えたことを特徴とする電子デバイス検査装置。
【請求項２】
前記電子デバイスの保持された治具を挟持した状態で、前記電子デバイスを加熱又は冷却する温度調整手段を、前記挟持手段に設けたことを特徴とする請求項１記載の電子デバイス検査装置。
【請求項３】
前記温度調整手段により前記電子デバイスを常温、低音、高温にした状態で、前記治具に保持された電子デバイスを所定方向に傾斜させた状態で電気的特性の検査を行なうことができるように、
前記検査ユニットとして、
前記電子デバイスを常温で検査する常温検査ユニットと、
前記電子デバイスを前記常温より低い低温で検査する低温検査ユニットと、
前記電子デバイスを前記常温より高い高温で検査する高温検査ユニットと、を備えたことを特徴とする請求項２記載の電子デバイス検査装置。
【請求項４】
前記常温検査ユニットで常温化される前記電子デバイスの常温温度を、１５℃以上３５℃以下とすることを特徴とする請求項３記載の電子デバイス検査装置。
【請求項５】
前記電子デバイスを収容する載置凹部と、一方を支点として作動される板バネを収容した板バネ挿入凹部とを前記治具に連設して形成し、
前記挟持手段により前記治具を挟持するのに伴い、前記載置凹部に収容された電子デバイスに対して前記板バネを弾接させる作動手段を前記挟持手段に設けたことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の電子デバイス検査装置。
【請求項６】
前記電子デバイスを収容した載置凹部と、
該載置凹部と連設されると共に一方を支点として作動される板バネを収容した板バネ挿入凹部と、
該板バネ挿入凹部に収容された板バネを押圧するための、前記作動手段たる板バネ動作ピンが挿脱されるピン挿通孔とを前記治具に形成し、
前記挟持手段により前記治具を挟持するのに伴い前記板バネ動作ピンがピン挿通孔に挿通されたとき、
前記板バネ動作ピンにより前記板バネが押圧されることで前記載置凹部に収容された電子デバイスに対し前記板バネが弾接される位置になるように、前記板バネ挿入凹部に連設して前記ピン挿通孔を形成したことを特徴とする請求項５に記載の電子デバイスを保持する治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の傾斜状態で電子デバイスの電気的特性を検査する電子デバイス検査装置及び電子デバイスを保持する治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話などの電子機器には、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を用いた加速度センサーが搭載されてきている。こうした加速度センサーには、傾斜角度の検出を行なうための電子デバイスが搭載されているが、その個体差、常温、低温、高温等の環境下において出力される電圧に変化が生じるため、常温、低温、高温時の環境下で、製造された電子デバイスの電気的特性の検査が一般的に行われている。
【０００３】
特許文献１には、常温、低温、高温の環境下で電子デバイスの姿勢を変化させ、所定の傾斜角度における電子デバイスの電気的特性を検査する検査方法及び装置が開示されている。また、特許文献２には、電子デバイスを所定角度に傾斜させた状態でその電子デバイスの電気的特性を検査する検査方法及び装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２９２７７４号公報
【特許文献２】特開２００５−３２６３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来における一般的な電子デバイスの電気的特性の検査においては、低温、常温、高温に電子デバイスを温度変化させた状態で行なうため、例えば、−３０℃等に極めて低温化された電子デバイスを単に２５℃などの常温にしたりすると、その温度変化の過程で電子デバイスの表面に結露が発生する懸念があり、結露が発生したりすると、電子デバイスを搬送する装置の作動に伴い、電子デバイスに付着した結露が飛散したり滴下してしまい、装置や電子デバイスの故障を招いてしまう虞がある。
【０００６】
また、特許文献１及び２においては、低温、常温、及び高温の三者で検査対象たる電子デバイスを検査するに際し、直線的に配列された低温調整検査部、常温調整検査部、高温調整検査部へ直線的に配設されたコンベアを用いて電子デバイスが搬送されることから、電子デバイスをロードするコンベアの入口とアンロードする出口の距離が必然的に離れざるを得ないため、オペレータが、電子デバイスの供給及び回収作業が正常に行なわれているか否か保守・点検するに際しては、いちいちコンベアの入口と出口との間を移動しなければならず作業性に劣ることになる。
【０００７】
特許文献１及び２における検査装置おいては、電子デバイスを傾斜することを目的とした単独の回転測定ユニットを備え、保持した電子デバイスを回転測定ユニットにより一定方向に回転させることで、０度、９０度、１８０度、２７０度の角度で傾斜させた状態で電子デバイスの電気的特性を検査することが可能ではあるものの、電子デバイスを傾斜させる方向いかんによっては、傾斜角度が同じであったとしても電子デバイスの電気的特性に変化が生じるため、回転方向を各種方向に変えて検査するには、所望する回転方向になるように、回転測定ユニットに保持される電子デバイスの向きをいちいち手作業で変えるなどして対応しなければならないことから、上下・左右・前後方向の３方向に電子デバイスを傾斜させた状態で検査を行なうには、手作業で電子デバイスの取り付け方向を着脱して向きを代える作業が生じてしまうことから、検査工程に時間を費やしてしまい、製品のコストの上昇を招いてしまう。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、所望する傾斜状態で電子デバイスの電気的特性の検査を行なうことができる電子デバイス検査装置及び電子デバイスを保持する治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に係る電子デバイス検査装置は、
鉛直方向と直交する第１の水平方向を軸心として、第１のモータにより回転される第１の軸部と、
該第１の軸部に固定されることにより前記第１の水平方向を軸心として回転される挟持手段と、
該挟持手段を回転自在に保持する保持部材と、
前記挟持手段の固定された前記第１の軸部を、前記第１の水平方向と直交する第２の水平方向を軸心として、第２のモータにより水平方向から任意の角度に回転させる第２の軸部とを備え、
前記挟持手段に挟持された電子デバイスを保持した治具を、前記第１の軸部と前記第２の軸部とを軸心方向として回転できるようにすることで、前記挟持手段に前記治具を介して保持された電子デバイスを任意の角度に傾斜させた状態でその電気的特性を検査する検査ユニットを、備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項１の電子デバイス検査装置の発明によれば、第１の軸部と第２の軸部を軸心として、挟持手段に挟持された電子デバイスを回転（Ｘ´、Ｙ´、Ｚ´回転）させ傾斜させることができ、しかも、第２の軸部を軸心として第１の軸部を所望する位置に回転させ傾斜させることで、第１，第２の軸部からなる２軸を用いて挟持手段に保持した電子デバイスを向けられない方向はないよう全方向に自由に傾斜させることができる。よって、所望する任意の方向に電子デバイスを自由に傾斜させた状態で検査を行なうことができる。
【００１１】
請求項２に係る電子デバイス検査装置は、請求項１において、
前記電子デバイスの保持された治具を挟持した状態で、前記電子デバイスを加熱又は冷却する温度調整手段を、前記挟持手段に設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２の電子デバイス検査装置の発明によれば、任意の方向に傾斜された電子デバイスの検査を、温度調整手段の加熱や冷却により、常温、低温、冷却した状態で行うことができる。
【００１３】
請求項３に係る電子デバイス検査装置は、請求項２において、
前記温度調整手段により前記電子デバイスを常温、低音、高温にした状態で、前記治具に保持された電子デバイスを所定方向に傾斜させた状態で電気的特性の検査を行なうことができるように、
前記検査ユニットとして、
前記電子デバイスを常温で検査する常温検査ユニットと、
前記電子デバイスを前記常温より低い低温で検査する低温検査ユニットと、
前記電子デバイスを前記常温より高い高温で検査する高温検査ユニットと、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項３の電子デバイス検査装置によれば、電子デバイス検査装置に構成される検査ユニットとして、常温検査ユニット、低温検査ユニット、及び高温検査ユニットを備えたので、電子デバイスを、常温、低温、及び高温にした状態で電気的特性の検査を行うことができる。
【００１５】
請求項４に係る電子デバイス検査装置は、請求項３において、
前記常温検査ユニットで常温化される前記電子デバイスの常温温度を、１５℃以上３５℃以下とすることを特徴とする。
【００１６】
請求項４の電子デバイス検査装置によれば、１５℃以上３５℃以下の常温状態の電子デバイスの検査、それより高い高温状態における電子デバイスの検査、常温より低い低温状態における電子デバイスの検査を行なうことができる。
【００１７】
請求項５に係る電子デバイス検査装置は、請求項１〜４の何れか１項において、
前記電子デバイスを収容する載置凹部と、一方を支点として作動される板バネを収容した板バネ挿入凹部とを前記治具に連設して形成し、
前記挟持手段により前記治具を挟持するのに伴い、前記載置凹部に収容された電子デバイスに対して前記板バネを弾接させる作動手段を前記挟持手段に設けたことを特徴とする。
【００１８】
請求項５の電子デバイス検査装置によれば、挟持手段が治具を挟持するのに伴い、作動手段が板バネを介して電子デバイスを弾接し位置決めするので、治具に対して電子デバイスが位置ずれしないよう確実に保持させることができる。
【００１９】
請求項６に係る電子デバイスを保持する治具は、請求項５において、
前記電子デバイスを収容した載置凹部と、
該載置凹部と連設されると共に一方を支点として作動される板バネを収容した板バネ挿入凹部と、
該板バネ挿入凹部に収容された板バネを押圧するための、前記作動手段たる板バネ動作ピンが挿脱されるピン挿通孔とを前記治具に形成し、
前記挟持手段により前記治具を挟持するのに伴い前記板バネ動作ピンがピン挿通孔に挿通されたとき、
前記板バネ動作ピンにより前記板バネが押圧されることで前記載置凹部に収容された電子デバイスに対し前記板バネが弾接される位置になるように、前記板バネ挿入凹部に連設して前記ピン挿通孔を形成したことを特徴とする。
【００２０】
請求項６の電子デバイスを保持する治具によれば、挟持手段が治具を挟持するのに伴い、挟持手段の板バネ動作ピンが治具に形成されたピン挿通孔されたときに、板バネが載置凹部に収容された電子デバイスを弾接する位置になるように、板バネ動作ピンが挿通されるピン挿通孔を板バネ挿入凹部に連設して形成しているので、治具に対して載置凹部に収容された電子デバイスが位置ずれしないよう保持させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、第１，第２の軸部からなる２軸により挟持手段に保持した電子デバイスを向けられない方向はないよう全方向に自由に傾斜させ、所望する任意の方向に電子デバイスを自由に傾斜させた状態で検査を行なうことができる。よって、電子デバイスを傾斜させる方向を所望する傾斜状態で検査するに際し、従来のように、手作業で電子デバイスの傾斜方向を変えるためにその取り付け方向を着脱して向きを代えるような煩雑な作業を解消することができ、電子デバイスの電気的特性の検査を短時間で効率良く行なうことが可能になるから、ひいては、製品のコストを安価に抑えることができる。
【００２２】
さらに、温度調整手段により所望する方向に傾斜された電子デバイスの検査を、常温検査ユニット、低温検査ユニット、高温検査ユニット等により、１５℃以上３５℃以下等の常温、これより低い低温、或いは、常温より高い高温にさせた状態で行うことができるから、これらの各々の環境下における、電子デバイスの電気的特性を判別することができる。
【００２３】
さらに、挟持手段が治具を挟持するのに伴い、板バネを電子デバイスに弾接させ、治具に対して電子デバイスが位置ずれしないよう確実に保持させることができるから、電子デバイスの電気的特性の検査を高精度で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一例の電子デバイスの電気的特性の検査を行なう電子デバイス検査装置を示す平面図である。
【図２】同上、電子デバイス検査装置に構成された常温検査ユニットを側方から視た状態を示す側面図である。
【図３】同上、常温検査ユニットの要部を示す拡大側面図である。
【図４】同上、常温検査ユニットを上方から視た状態を示す平面図である。
【図５】同上、Ｙ軸方向に挟持手段を配置した状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図６】同上、挟持手段をＺ軸方向に配置すると共に下方側に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図７】同上、挟持手段をＹ軸方向に配置すると共に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図８】同上、挟持手段をＺ軸方向に配置すると共に上方側に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図９】同上、Ｙ軸方向に挟持手段を配置した状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図１０】同上、挟持手段をＹ軸方向に配置すると共に９０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図１１】同上、挟持手段をＹ軸方向に配置すると共に１８０度回転させた状態の常温検査ユニットを示す斜視図である。
【図１２】同上、複数の電子デバイスを保持する治具を示す平面図である。
【図１３】同上、治具の要部を示す拡大平面図である。
【図１４】同上、電子デバイスを治具に保持した状態を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明を実施するための最良の形態としての実施例を以下に説明する。もちろん、本発明は、その発明の趣旨に反しない範囲で、実施例において説明した以外の構成のものに対しても容易に適用可能なことは説明を要するまでもない。
【００２６】
図１はＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を用いた加速度センサーや傾斜角度センサー等の電子デバイスの電気的特性の検査を行なう電子デバイス検査装置を示す平面図である。同図に示すように、電子デバイス検査装置１には、駆動源たるサーボモータ２により、機台３に回転自在に保持された、鉛直方向の回転軸部４を軸心として回転される略円盤状のターンテーブル５、このターンテーブル５に保持された治具７に検査対象たる電子デバイス６をロード位置ａにて供給したりアンロード位置ｂから回収を行なうロボット８、後述する、３つの検査ユニット（常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２）、これら３つの検査ユニット１０，１１，１２で０度〜１８０度等の角度で傾斜させた状態であって所定の温度になされた電子デバイス６の検査結果情報の補正（補正計算）を行なうと共にそれと同時に電子デバイス６の検査結果情報を対応する電子デバイス６に書き込みを行なうデータ記録手段としてのキャリブレーション装置１３、電子デバイス６に品名・Ｌｏｔナンバーなどを印字するレーザーマーク装置等の印字装置１４、常温検査ユニット１０による電子デバイス６の常温検査後に、ターンテーブル５により搬送されてきた電子デバイスの結露を抑えるドライエアー供給室１５、第１，第２の予備加熱手段１６，１７等を備えている。なお、前記治具７はアルマイト処理がなされていることで絶縁性を有していると共に外観は平板状の矩形に形成されており、また、ターンテーブル５の外周側には、前記回転軸部４を中心として１８度間隔で前記治具７が着脱自在に保持されている。
【００２７】
本実施例におけるターンテーブル５は一定方向（図１に示す反時計回り）に回転されるように構成されており、ロボット８により、治具７の所定位置（後述する載置凹部４６）に複数の電子デバイス６の供給が行なわれるようになっており、電子デバイスが供給されるロード位置ａから電子デバイス６の回収されるアンロード位置ｂ間の略円形の搬送経路の途中には、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、高温検査ユニット１２がターンテーブル５の外周に沿うようにして配設されている。
【００２８】
また、２０は検査対象たる複数の電子デバイス６が予めストックされるトレイ装置であり、このトレイ装置２０のロードトレイ１８に載置された電子デバイス６は、前述したロボット８によりロードトレイ１８上に載置された電子デバイス６を、ロード位置ａに配置された治具７に供給する一方で、キャリブレーション装置１３に出力された電子デバイス６の検査結果情報が、所定の条件を満たした良品の場合には、ロボット８がターンテーブル５の回転によりアンロード位置ｂに配置された治具７から良品の電子デバイス６を選別して良品用トレイ２１へと移載する一方で、所定の検査条件を満たさない不良の電子デバイス６の場合には、ロボット８がアンロード位置ｂに配置された治具７から不良品専用トレイ２２へ移載して回収される。
【００２９】
図２は常温検査ユニットを側方から視た状態を示す側面図、図３は常温検査ユニットの要部を示す拡大側面図、図４は常温検査ユニットを上方から視た状態を示す平面図である。図２〜図４に示すように、常温検査ユニット１０は、機台３に固定されたガイドレール２３に沿って進退されるようになっていると共に、ターンテーブル５の回転により搬送されてきた治具７を挟持する挟持手段２８を備え、この挟持手段２８には、プローブ装置２４が上部に設けられると共に上下にスライド自在な支持部２５と、保持部２６等からなる挟持手段２８を備えている。挟持手段２８により水平に挟持される治具７は、支持部２５が上方にスライドすることで保持部２６の下面に構成された温度調整手段３０の下面とプローブ装置２４の上面とにより電子デバイス６の保持された治具７を挟持した状態で、電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれるようになっており、ターンテーブル５から常温検査ユニット１０へ電子デバイス６の保持された治具７が引き渡される際には、常温検査ユニット１０に最も近接したターンテーブル５の係止爪３１に係止されている治具７が挟持手段２８により挟持された後、治具７が係止爪３１から外されてターンテーブル５上から常温検査ユニット１０へと取り出され、常温検査ユニット１０がガイドレール２３により後退（図２に示す左方向）されてから、温度調整手段３０が加熱（若しくは冷却）されることにより治具７に保持された複数の電子デバイス６が常温化（本実施例では２５℃）される。
【００３０】
ここで、常温検査ユニット１０等について、図５〜図１１及び図２に基づきさらに詳述する。これらの図に示すように、常温検査ユニット１０は、機台３に固定されたガイドレール２３にフレーム４３を介して進退自在に取り付けられており、第１の軸部３６の軸心はＹ軸方向からＺ軸方向等に回転移動できる一方で第２の軸部３９の軸心はＸ軸方向に保持されている。常温検査ユニット１０には、第１のモータ３５の第１の軸部３６の先端に、前述した挟持手段２８が固定されており、図５においては、挟持手段２８が鉛直方向と直交する水平なＹ軸方向を軸心として回転自在に保持されている。また、第１のモータ３５の第１の軸部３６はコ字型の保持部材３７により回動自在に保持されており、この保持部材３７は、第２のモータ３８を駆動することにより、この第２のモータ３８の第２の軸部３９に固定されたプーリ４０、及び、駆動伝達ベルト４１、被動プーリ４２を介して、第１の軸部３６と直交関係を有する第２の軸部３９のＸ軸方向を軸心として保持部材３７を回転することができる。
【００３１】
また、保持部材３７は、図５に示されているように、挟持手段２８で治具７を水平に保持した状態から、図６や図８に示すように、第１の軸部３６を９０度回転することにより、第１のモータ３５の第１の軸部３６の軸心を、Ｙ軸方向から鉛直方向のＺ軸方向等に切り替えることができるようになっており、第１の軸部３６と第２の軸部３９の２軸により、相互に直交関係を有するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向を軸心として３次元的に、挟持手段２８に挟持した治具７を傾斜することが可能になっている。なお、常温検査ユニット１０について説明したが、低温検査ユニット１１及び高温検査ユニット１２についても、常温検査ユニット１０と実質的に同様の構成を備えており、前者の低温検査ユニット１１においては、常温検査ユニット１０で常温化された治具７に保持されている複数の電子デバイス６が、低温検査ユニット１１の温度調整手段３０により低温化（本実施例では−２０℃）され、後者の高温検査ユニット１２においては、低温検査ユニット１１で低温化された治具７に保持されている複数の電子デバイス６が、高温検査ユニット１２の温度調整手段３０により高温化（本実施例では８０℃）される点で前述した常温検査ユニット１０とはその機能が異なるに過ぎないことから、低温検査ユニット１１及び高温検査ユニット１２の説明は省略する。
【００３２】
次に、複数の電子デバイス６を保持する治具７について、図１２〜図１４により以下にさらに説明する。図１２は複数の電子デバイスが保持される治具を示す平面図、図１３は治具の要部を示す拡大平面図、図１４は電子デバイスを治具に保持させた状態を示す拡大平面図である。図１２に示すようにこの治具７には、治具７が位置決めされるための位置決め孔４５が一対形成されていると共に、治具７に保持される電子デバイス６の数（本実施例では２４箇所）に対応して、電子デバイス６が載置される凹状の載置凹部４６と、板バネ挿入凹部４７と、ピン挿通孔４８とからなる形成部が２４箇所形成されている。
【００３３】
図１３に示すように、板バネ挿入凹部４７の基端部側には、板バネ支点部５０が設けられており、板バネ挿入凹部４７に挿通されている板バネ５１は、板バネ支点部５０により一方が固定されている。そして、図１４に示すように、載置凹部４６の上に載置された電子デバイス６は、ピン挿通孔４８に板バネ動作ピン５２が挿入されることで板バネ５１の先端部が電子デバイス６の側部側の角部を板バネ５１の弾性力により押圧され、治具７から電子デバイス６が脱落等しないよう位置決めされ且つ強固に保持される。そして、電子デバイス６の電気的特性を検査する際には、載置凹部４６に形成された挿通孔５３から、プローブ装置２４に備えたコンタクトプローブ（導電接触子）５４が挿通され、コンタクトプローブ（導電接触子）５４が電子デバイス一方面の端子に接続されることで、治具７に保持されている電子デバイス６を、所定の温度（本実施例では、２５℃（常温）、−２０℃（低温）、８０℃（高温））であって、且つ前述したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を軸心方向として所定角度に回転（Ｘ´回転、Ｙ´回転、Ｚ´回転）させ傾斜（０度、９０度、１８０度等）させた状態で電気的特性の検査が行なわれる。なお、Ｘ´回転とはＸ軸を軸心とする回転方向を指し、Ｙ´回転はＹ軸を軸心とする回転方向を指し、Ｚ´回転はＺ軸を軸心とする回転方向を指すものとして定義する。
【００３４】
次に、電子デバイス検査装置１における電子デバイス６の検査工程について説明する。
【００３５】
先ず、トレイ装置２０にストックされている複数の電子デバイス６を保持したロードトレイ１８から、ターンテーブル５の係止爪３１に係止されていると共にロード位置ａに有する治具７のすべての載置凹部４６に対して、ロボット８により電子デバイス６が載置され満たされると、ターンテーブル５は回転軸部４を中心として反時計回りに１８度毎に回転され、その回転の度に、ロード位置ａへ搬送された治具７の載置凹部４６には、前述した工程と同様に、順次電子デバイス６が載置され満たされてゆく。
【００３６】
ターンテーブル５の回転に伴い、電子デバイス６の載置された治具７が常温検査ユニット１０まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０の挟持手段２８により治具７が水平状態で挟持され、これに伴い、治具７の位置決め孔４５及びピン挿通孔４８に、図３に示す温度調整手段３０に一体に設けられた板バネ動作ピン５２が挿通され、さらに板バネ動作ピン５２がピン挿通孔４８に挿入され、板バネ５１の先端部は電子デバイス６の側部側の角部を弾性的に押圧し、載置凹部４６内の電子デバイス６は位置決めされ且つ強固に保持されると共に、プローブ装置２４に設けたコンタクトプローブ５４が挿通孔５３を介して各電子デバイス６の端子に接触され、治具７及び治具７に保持された電子デバイス６は水平に保持される（図５に示した状態）。
【００３７】
そして、係止爪３１から治具７が取り外され、常温検査ユニット１０はガイドレール２３により後退され、ターンテーブル５と接触しない位置まで後退されると、常温検査ユニット１０に対して、治具７を介して保持された電子デバイス６は、温度調整手段３０により加熱（或いは冷却）されることで、２５℃の常温が維持され、その状態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３方向の各々を軸心方向として、０度、９０度、１８０度の所定の各角度で傾斜された各電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれ、その各検査結果情報がプローブ装置２４を介してキャリブレーション装置１３に出力され、次に、常温検査ユニット１０はガイドレール２３に沿って前進され、ターンテーブル５上のもとの位置に治具７が戻され、再び係止爪３１に係止されターンテーブル５に保持される。
【００３８】
続いて、ターンテーブル５の回転に伴い、複数の電子デバイス６が保持された治具７が乾燥空気の満たされたドライエアー供給室１５内に搬送され、その内部で電子デバイス６の乾燥がなされ、乾燥中にある電子デバイス６の保持された治具７が低温検査ユニット１１まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０のときと同様に、低温検査ユニット１１の挟持手段２８によって治具７が挟持され、これに伴い、治具７の位置決め孔４５及びピン挿通孔４８に温度調整手段３０に一体に設けられた板バネ動作ピン５２が挿通され、さらに板バネ動作ピン５２がピン挿通孔４８に挿入され、板バネ５１の先端部は電子デバイス６の側部側の角部を弾性的に押圧し、載置凹部４６内の電子デバイス６は位置決めされ且つ強固に保持され、プローブ装置２４に設けたコンタクトプローブ５４が挿通孔５３を介して各電子デバイス６の端子に接触され、治具７及び治具７に保持された電子デバイス６が水平に保持され、係止爪３１から治具７が取り外され、低温検査ユニット１１はガイドレール２３により後退され、ターンテーブル５と接触しない位置まで後退される。そして、低温検査ユニット１１に治具７を介して保持された電子デバイス６は、温度調整手段３０により冷却されることで、−２０℃の低温が維持され、その状態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３方向の各々を軸心方向として、０度、９０度、１８０度の所定の各角度で傾斜された各電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれ、その各検査結果情報がキャリブレーション装置１３に出力され、低温検査ユニット１１はガイドレール２３に沿って前進され、ターンテーブル５上のもとの位置に治具７が戻され、再び係止爪３１に係止されターンテーブル５に保持される。
【００３９】
続いて、ターンテーブル５の回転に伴い、冷却された電子デバイス６の保持された治具７が高温検査ユニット１２まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０や低温検査ユニット１１のときと同様に、高温検査ユニット１２の挟持手段２８によって治具７が挟持され、これに伴い、治具７の位置決め孔４５及びピン挿通孔４８に、温度調整手段３０に一体に設けられた板バネ動作ピン５２が挿通され、さらに板バネ動作ピン５２がピン挿通孔４８に挿入され、板バネ５１の先端部は電子デバイス６の側部側の角部を弾性的に押圧し、載置凹部４６内の電子デバイス６は位置決めされ且つ強固に保持され、プローブ装置２４に設けたコンタクトプローブ５４が挿通孔５３を介して各電子デバイス６の端子に接触され、治具７及び治具７に保持された電子デバイス６が水平に保持され、係止爪３１から治具７が取り外され、高温検査ユニット１２はガイドレール２３により後退され、ターンテーブル５と接触しない位置まで後退される。
そして、高温検査ユニット１２に治具７を介して保持された電子デバイス６は、温度調整手段３０により加熱されることで、８０℃の高温に維持され、その状態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３方向の各々を軸心方向として、０度、９０度、１８０度の所定の各角度で傾斜された各電子デバイス６の電気的特性の検査が行なわれ、その各検査結果情報がキャリブレーション装置１３に出力され、高温検査ユニット１２はガイドレール２３に沿って前進され、ターンテーブル５上のもとの位置に治具７が戻され、再び係止爪３１に係止されターンテーブル５に保持される。
【００４０】
次に、常温、低温、高温の順序で検査された複数の電子デバイス６を保持した治具７は、ターンテーブル５の回転に伴いキャリブレーション装置１３まで搬送されてゆくと、常温検査ユニット１０、低温検査ユニット１１、及び高温検査ユニット１２から出力された各電子デバイス６の各々に対応する検査結果情報に基づき、電子デバイスのそれぞれに電気的特性の書き込み及び補正計算が行なわれる。
【００４１】
続いて、常温、低温、高温の順序で検査された複数の電子デバイス６を保持した治具７は、ターンテーブル５の回転に伴い印字装置１４まで搬送されてゆき、所定の条件を満たした良品の場合には、印字装置１４により品名・Ｌｏｔナンバーなど（図示せず）が電子デバイス６の表面に付与され、この品目・Ｌｏｔナンバーなどの付与された電子デバイス６は、ロボット８によりロード位置ａ近傍に配置されているアンロード位置ｂから良品用トレイ２１へと回収される。その一方で、所定の条件を満たさない不良品の場合には、ロボット８によりアンロード位置ｂから不良品専用トレイ２２へ不良品の電子デバイス６が回収される。そして、こうした動作工程が順次繰り返し行なわれることで、電子デバイス６の検査が多数連続して行われる。
【００４２】
以上のように、本発明の一例によれば、鉛直方向（Ｚ軸方向）と直交する第１の水平方向（Ｙ軸方向）を軸心として、第１のモータ３５により回転される第１の軸部３６と、第１の軸部３６に固定されることにより第１の水平方向（Ｙ軸方向）を軸心として回転される挟持手段２８と、挟持手段２８の固定された第１の軸部３６を回転自在に保持する保持部材３７と、挟持手段２８の固定された第１の軸部３６を、鉛直方向（Ｚ軸方向）及び第１の水平方向（Ｙ軸方向）の各々と直交する第２の水平方向（Ｘ軸方向）を軸心として、第２のモータ３８により保持部材３７等を介して、鉛直方向（Ｚ軸方向）等へ回転する第２の軸部３９とを備え、挟持手段２８に挟持された電子デバイス６を保持した治具７を、相互に直交関係を有する第１の水平方向（Ｙ軸方向）、鉛直方向（Ｚ軸方向）、第２の水平方向（Ｘ軸方向）を軸心方向として３方向に回転（Ｙ´回転、Ｚ´回転、Ｘ´回転）できるようにすることで、挟持手段２８に治具７を介して保持された電子デバイス６を所定方向に傾斜させた状態でその電気的特性の検査を行なうことができる。しかも、第１の水平方向（Ｙ軸方向）に配置された第１の軸部３６を、第２の水平方向（Ｘ軸方向）を軸心として、Ｙ軸方向以外の任意の角度にも回転させることができる第２の軸部３９を備えているので、第１の軸部３６の軸心方向をＺ軸方向に配置できるのはもちろんのこと、それ以外の所望する任意の位置にも回転して配置させることができる。よって、第１，第２の軸部３６，３９からなる２軸を用いて、挟持手段２８に保持した電子デバイス６を向けられない方向はないよう全方向に自由に傾斜させることが可能になり、所望する任意の方向に電子デバイス６を自由に傾斜させた状態で検査を行なうこともできる。従って、電子デバイス６の傾斜方向を変えて電子デバイスの検査をするに際し、従来のように、手作業で電子デバイスの取り付け方向を着脱して向きを代える煩雑な作業を解消でき、電子デバイス６の電気的特性の検査を短時間で効率良く行ない製品のコストを抑えることができる。
【００４３】
さらに、温度調整手段３０により電子デバイス６を常温、低音、高温にした状態で、第１の水平方向（Ｙ軸方向）、鉛直方向（Ｚ軸方向）、第２の水平方向（Ｘ軸方向）を軸心方向として回転させ、治具７に保持された電子デバイス６を所定方向に傾斜させた状態で電気的特性の検査を行なうことができるように、電子デバイス６を常温で検査する常温検査ユニット１０と、電子デバイス６を常温より低い低温で検査する低温検査ユニット１１と、電子デバイス６を常温より高い高温で検査する高温検査ユニット１２とを備え、これらの検査ユニット１０，１１，１２の各挟持手段２８に電子デバイス６の加熱又は冷却をする温度調整手段３０を設けたので、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を軸心方向として、０度、９０度、及び１８０度に傾斜させた電子デバイス６や、任意の方向に回転させ傾斜させた電子デバイス６の検査を、各温度調整手段３０の加熱や冷却により、常温、低温、冷却した状態で行うことができる。よって、環境下の異なる電子デバイス６の電気的特性を判別することが可能になる。
【００４４】
さらに、電子デバイス６を収容する載置凹部４６と、一方を支点として作動される板バネ５１を収容した板バネ挿入凹部４７とを治具７に連設して形成し、挟持手段２８により治具７を挟持するのに伴い、載置凹部４６に収容された電子デバイス６に対して板バネ５１を弾接させる作動手段たる板バネ動作ピン５２を挟持手段２８に設けると共に、板バネ動作ピン５２により板バネ５１が押圧されることで載置凹部４６に収容された電子デバイス６に対し板バネ５１が弾接される位置になるように、板バネ挿入凹部４７に連設してピン挿通孔４８を形成したので、治具７に対し載置凹部４６に収容された電子デバイス６が位置ずれしないよう確実に保持させることができるから、電子デバイス６の電気的特性の検査を高精度で行なうことができる。
【００４５】
以上、本発明の一例を詳述したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば本実施例では、図１に示すように、第１，第２の予備加熱手段１６，１７を備えていることから、常温検査ユニット１０や高温検査ユニット１２へ電子デバイス６が治具７と共に回転搬送されてゆく途中の前段階で、電子デバイス６を予め加熱するようにしてもよい。また、本実施例では、高温を８０℃、常温を２５℃、低温を−２０℃としたが、高温を７０℃以上９０℃以下、常温を１５℃以上３５℃以下、低温を−３０以上−１０℃以下にするなど適宜選定実施してもよく、また、高温、常温、低温の温度が規格化された際には、その規格に対応した常温、低温、高温に温度設定できるようにしてもよい。また、本実施例における温度調整手段３０により加熱や冷却を行う際には、ペルチェ素子を冷却源・加熱源としてもよいし、また、加熱源のみあれば足りる場合には、セラミックヒータを具備した加熱プレート等を高温検査ユニット１２の温度調整手段として適宜選定してもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１  電子デバイス検査装置
６  電子デバイス
７  治具
１０  常温検査ユニット（検査ユニット）
１１  低温検査ユニット（検査ユニット）
１２  高温検査ユニット（検査ユニット）
２８  挟持手段
３０  温度調整手段
３５  第１のモータ
３６  第１の軸部
３７  保持部材
３８  第２のモータ
３９  第２の軸部
４６  載置凹部
４７  板バネ挿入凹部
４８  ピン挿通孔
５１  板バネ
５２  板バネ動作ピン（作動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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