(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の浮上ユニット側から基板カセットに基板を直接的に保管したり又は基板カセットから複数の浮上ユニット側に基板を直接的に送り出したりすることを可能にして、基板の浮上搬送を含む基板の一連の処理の能率向上を図る。【解決手段】搬送路Ｐの所定領域Ｐｄにおける搬送幅方向の両側に支持フレーム３９がそれぞれ立設され、各支持フレーム３９に基板カセットを支持するカセットサポータ４３が昇降可能に設けられ、搬送路Ｐに沿って隣接関係にある浮上ユニット１９間に基板支持部材５１が進入できるようになっている。【選択図】図１
2010189160.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送路に沿って浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームに前記搬送路に沿って設けられ、上面に浮上ガスを噴出可能なノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置フレームに設けられ、基板を前記搬送路に沿って搬送する搬送機構と、
前記搬送路の一領域における搬送幅方向の両側にそれぞれ立設された支持フレームと、
各支持フレームに昇降可能に設けられ、基板を保管可能な複数段の保管部を有しかつ前記搬送路の一領域に位置した基板カセットの側縁部を支持するカセットサポータと、
各カセットサポータを昇降させる昇降アクチュエータと、を具備し、
前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に、前記保管部を仕切りかつ基板を支持する基板支持部材が進入できるようになっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
基板を搬送路に沿って浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームに前記搬送路に沿って設けられ、上面に浮上ガスを噴出可能なノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置フレームに設けられ、基板を前記搬送路に沿って搬送する搬送機構と、
前記搬送路の一領域における搬送幅方向の両側にそれぞれ立設された支持フレームと、
各支持フレームに昇降可能に設けられたカセットサポータと、
各カセットサポータを昇降させる昇降アクチュエータと、
複数の前記カセットサポータに交換可能に支持され、前記搬送路の一領域に位置してあって、箱型のカセット本体と、前記カセット本体の内側面に奥行き方向及び高さ方向に間隔を置いて設けられかつ基板を支持する基板支持部材を備え、複数の前記基板支持部材によって基板を保管可能な複数段の保管部が仕切られた基板カセットと、を具備し、
前記基板支持部材が前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に進入できるようになっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項３】
各基板支持部材がパイプ状を呈してあって、各基板支持部材の上部に浮上ガスを噴出可能な複数の噴出孔が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術としては特許文献１に示すもの（本願の出願人が既に出願したもの）がある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、先行技術に係る浮上搬送装置は、装置フレームを具備しており、この装置フレームは、搬送路に沿って延びている。また、装置フレームには、ガラス基板等の基板を浮上ガスとしての圧縮空気（エア）の圧力を利用して浮上させる複数の浮上ユニットが搬送路に沿って設けられており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出可能なノズルが形成されている。更に、装置フレームには、基板を搬送路に沿って搬送する搬送機構が設けられている。
【０００４】
従って、各浮上ユニットのノズルから空気を噴出させつつ、搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板と複数の浮上ユニットとの間に圧力溜まり層（空気溜まり層）を生成しつつ、基板を搬送路に沿って浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、 複数の浮上ユニット側から基板カセット等の基板保管装置に基板を保管したり又は基板保管装置から複数の浮上ユニット側に基板を送り出したりする際には、通常、基板受けフォークを備えた基板移送機構（基板移送ロボットを含む）が用いられている。一方、浮上搬送の対象となる基板の枚数が増えると、複数の浮上ユニット側と基板保管装置側との間の基板受けフォークの移動回数（往復回数）も増えて、基板の浮上搬送を含む基板の一連の処理が煩雑化するという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（本発明の第１の特徴）
本発明の第１の特徴は、基板を搬送路に沿って浮上搬送する浮上搬送装置において、装置フレームに前記搬送路に沿って設けられ、上面に浮上ガスを噴出可能なノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記装置フレームに設けられ、基板を前記搬送路に沿って搬送する搬送機構と、前記搬送路の一領域（所定領域）における搬送幅方向の両側にそれぞれ立設された支持フレームと、各支持フレームに昇降可能に設けられ、基板を保管可能な複数段の保管部を有しかつ前記搬送路の一領域に位置した基板カセットの側縁部を支持するカセットサポータと、各カセットサポータを昇降させる昇降アクチュエータと、を具備し、前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に、前記保管部を仕切り（区画し）かつ基板を支持する基板支持部材が進入できるようになっていることを要旨とする。
【０００９】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意であって、「搬送幅方向」とは、搬送路に沿う方向（長搬送路の長手方向）に直交する方向のことをいう。
【００１０】
（第１の特徴による作用I）
基板を浮上搬送して前記基板カセットに保管する場合には、次のように前記浮上搬送装置を動作させる。
【００１１】
即ち、まず、前記基板カセットを前記搬送路の一領域に移送させて、複数の前記カセットサポータに前記基板カセットの側縁部を支持させる。続いて、各昇降アクチュエータの駆動によって各カセットサポータを下降させることにより、上段側の前記保管部（上段側の前記保管部の下側）を仕切る複数の前記基板支持部材（適宜の複数の前記基板支持部材）を前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に進入させて、基板の搬送高さ位置（パスライン）よりも低い高さ位置に位置させる。
【００１２】
適宜の複数の前記基板支持部材を搬送高さ位置よりも低い高さ位置に位置させた後に、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板と複数の前記浮上ユニットとの間に圧力溜まり層（空気溜まり層）を生成しつつ、基板を前記搬送路に沿って浮上搬送して、前記搬送路の一領域に位置させることができる。
【００１３】
基板を前記搬送路の一領域に位置させた後に、各昇降アクチュエータの駆動によって各カセットサポータを上昇させることにより、上段側の複数の前記基板支持部材を前記搬送高さ位置よりも高い位置に位置させて、適宜の複数の前記基板支持部材に基板を支持させる。これにより、複数の前記浮上ユニット側から上段側の前記保管部に基板を保管することができる。
【００１４】
前述の各カセットサポータの下降動作以降の動作を複数回繰り返すことにより、複数の基板を前記搬送路に沿って浮上搬送して、上段側の前記保管部から前記基板カセットに順次保管することができる。
【００１５】
（第１の特徴による作用II）
前記基板カセットに保管した基板を複数の前記浮上ユニット側に送り出して、前記搬送路の一領域側から浮上搬送する場合には、次のように前記浮上搬送装置を動作させる。
【００１６】
即ち、前記基板カセットを前記搬送路の一領域に移送させて、複数の前記カセットサポータに前記基板カセットの側縁部を支持させる。続いて、少なくとも前記搬送路の一領域に位置する複数の前記浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、各昇降アクチュエータの駆動によって各カセットサポータを下降させることにより、下段側の前記保管部（下段側の前記保管部の下側）を仕切る複数の前記基板支持部材（適宜の複数の前記基板支持部材）を前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に進入させて、前記搬送高さ位置よりも低い高さ位置に位置させる。これにより、適宜の複数の前記基板支持部材から複数の前記浮上ユニット側へ基板を送り出すことができる。
【００１７】
複数の前記浮上ユニット側へ基板を送り出した後に、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板と複数の前記浮上ユニットとの間に圧力溜まり層を生成しつつ、基板を前記搬送路に沿って浮上搬送することができる。
【００１８】
前述の各カセットサポータの下降動作以降の動作を繰り返すことにより、下段側の前記保管部から複数の前記浮上ユニット側へ基板を順次送り出して、複数の基板を前記搬送路に沿って浮上搬送することができる。
【００１９】
（第１の特徴による作用のまとめ）
要するに、前記搬送路の一領域における搬送幅方向の両側に前記支持フレームがそれぞれ立設され、各支持フレームに前記基板カセットを支持する前記カセットサポータが昇降可能に設けられ、前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に前記基板カセットの前記基板支持部材が進入できるようになっているため、基板受けフォークを備えた基板移送装置を用いることなく、複数の前記浮上ユニット側から前記基板カセットに基板を直接的に保管したり又は前記基板カセットから複数の前記浮上ユニット側に基板を直接的に送り出したりすることができる。
【００２０】
（本発明の第２の特徴）
本発明の第２の特徴は、基板を搬送路に沿って浮上搬送する浮上搬送装置において、装置フレームに前記搬送路に沿って設けられ、上面に浮上ガスを噴出可能なノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記装置フレームに設けられ、基板を前記搬送路に沿って搬送する搬送機構と、前記搬送路の一領域における搬送幅方向の両側にそれぞれ立設された支持フレームと、各支持フレームに昇降可能に設けられたカセットサポータと、各カセットサポータを昇降させる昇降アクチュエータと、複数の前記カセットサポータに交換可能に支持され、前記搬送路の一領域に位置してあって、箱型のカセット本体と、前記カセット本体の内側面に奥行き方向（長さ方向）及び高さ方向（上下方向）に間隔を置いて設けられかつ基板を支持する基板支持部材を備え、複数の前記基板支持部材によって基板を保管可能な複数段の保管部が仕切られた基板カセットと、を具備し、前記基板支持部材が前記搬送路に沿って隣接関係にある前記浮上ユニット間に進入できるようになっていることを要旨とする。
【００２１】
第２の特徴によると、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、複数の前記浮上ユニット側から前記基板カセットに基板を直接的に保管したり又は前記基板カセットから複数の前記浮上ユニット側に基板を直接的に送り出したりすることができるため、浮上搬送の対象となる基板の枚数が増えても、基板の浮上搬送を含む基板の一連の処理の煩雑化を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図２】図１におけるII-II線に沿った図である。
【図３】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の側面図であって、一部を省略してある。
【図４】本発明の実施形態に係る基板カセットを示す図である。
【図５】図１におけるV-V線に沿った図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００２５】
（本発明の実施形態の具体的構成）
図１、図２、図３、及び図５に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送路Ｐに沿って前後方向（後方向又は前方向）へ浮上搬送する装置であって、前後方向へ並んだ複数の装置フレーム３を具備している。また、各装置フレーム３は、支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。
【００２６】
各支持台５には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容するチャンバー１１が設けられており、各チャンバー１１は、搬送幅方向（左右方向）へ延びている。また、各チャンバー１１の下面には、圧縮空気を導入可能な複数の導入穴１３が形成されており、各チャンバー１１の上面には、複数の連絡穴１５が左右方向に間隔を置いて形成されている。更に、各チャンバー１１における導入穴１３の周縁部には、圧縮空気をチャンバー１１の内部へ供給する供給ファン（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）１７が設けられている。
【００２７】
各チャンバー１１における各連絡穴１５の周縁部には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の浮上ユニット１９が設けられており、換言すれば、複数の装置フレーム３には、複数の浮上ユニット１９が複数のチャンバー１１等を介して前後方向及び左右方向に沿って設けられている。また、各浮上ユニット１９の正面視形状（図２参照）及び側面視形状（図３参照）は、それぞれＴ字形状を呈してあって、各浮上ユニット１９の内部は、チャンバー１１を介して供給ファン１７に接続されている。そして、各浮上ユニット１９の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル２１が形成されており、各ノズル２１は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１９の上面に垂直な方向）に対してユニット中心側（浮上ユニット１９の中心側）へ傾斜するようになっている。なお、各浮上ユニット１９の上面に枠状のノズル２１が形成されるの代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが形成されるようにしても構わない。
【００２８】
複数の装置フレーム３には、基板Ｗを搬送路Ｐに沿って前後方向へ搬送する搬送機構（搬送ユニット）２３が設けられている。そして、この搬送機構２３の具体的な構成は、次のようになる。
【００２９】
即ち、各支持台５の左端部付近には、第１支持アーム２５が設けられており、複数の第１支持アーム２５のうち搬送路Ｐの一領域（所定領域）Ｐｄに位置する第１支持アーム２５（２５Ａ）は、支持台５に対して左右方向へ移動可能であって、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置する支持台の左端部付近の適宜位置には、第１支持アーム２５を左右方向へ移動させる第１移動エアシリンダ（第１移動アクチュエータの一例）２７が設けられている。また、各第１支持アーム２５の先端部（右端部）には、基板Ｗの一端面（左端面）を支持する第１搬送ローラ２９が設けられており、各第１搬送ローラ２９は、鉛直（垂直）な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。
【００３０】
各支持台５の右端部付近には、第２支持アーム３１が左右方向へ移動可能に設けられており、各支持台５の右端部付近の適宜位置には、第２支持アーム３１を左右方向へ移動させる第２移動エアシリンダ（第２移動アクチュエータの一例）３３が設けられている。また、各第２支持アーム３１の先端部（左端部）には、基板Ｗの他端面（右端面）を支持する第２搬送ローラ３５が鉛直な軸心周りに回転可能に設けられている。そして、各第２支持アーム３１の適宜位置には、第２搬送ローラ３５を回転させる回転モータ（回転アクチュエータの一例）３７が設けられており、各回転モータ３７の出力軸（図示省略）は、第２搬送ローラ３５のローラ軸に連動連結してある。
【００３１】
なお、第１搬送ローラ２９をフリーローラとし、第２搬送ローラ３５を回転モータ３７の駆動によって回転する駆動ローラとする代わりに、第１搬送ローラ２９を駆動ローラとし、第２搬送ローラ３５をフリーローラとしたり、第１搬送ローラ２９及び第２搬送ローラ３５を駆動ローラとしたりするようにしても構わない。また、複数の第１搬送ローラ２９及び複数の第２搬送ローラ３５等を備えた搬送機構２３の代わりに、基板Ｗの端部を把持しかつ前後方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送機構等を用いても構わない。
【００３２】
搬送路Ｐの所定領域Ｐｄにおける搬送幅方向の両側（左側及び右側）には、支持フレーム３９がそれぞれ立設されており、各支持フレーム３９には、基板カセット４１の側縁部を下側から支持するカセットサポータ４３が複数のガイド部材４５を介して昇降可能に設けられている。また、各支持フレーム３９の上部の適宜位置には、カセットサポータ４３を昇降させる昇降モータ（昇降アクチュエータの一例）４７が設けられており、各昇降モータ４７の出力軸は、カセットサポータ４３にボールねじ（図示省略）及びナット部材（図示省略）を介して連動連結してある。
【００３３】
前述のように、一対のカセットサポータ４３は基板カセット４１の側縁部を下側から支持しており、換言すれば、一対のカセットサポータ４３には、基板カセット４１が交換可能に支持されている。そして、基板カセット４１の具体的な構成は、次のようになる。
【００３４】
即ち、図１、図３、及び図４に示すように、基板カセット４１は、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置しており、箱型のカセット本体４９を備えている。また、カセット本体４９の内側面には、基板Ｗを支持するパイプ状の基板支持部材５１が奥行き方向（前後方向、図４において紙面に向かって表裏方向）及び高さ方向（上下方向）に間隔を置いて設けられており、複数の基板支持部材５１によって基板Ｗを保管可能な複数段の保管部５３が仕切られ（区画され）ている。ここで、各基板支持部材５１は、幅方向（左右方向）へ延びてあって、搬送路Ｐに沿って隣接関係にある浮上ユニット１９間に進入できるようになっている。
【００３５】
各基板支持部材５１の上部には、浮上ガスとしての圧縮空気を噴出可能な複数の噴出孔５５が左右方向に間隔を置いて形成されている。また、各保管部５３（各保管部５３の下側）を仕切る複数の基板支持部材５１は、適宜の連絡回路（図示省略）介して連通してあって、供給回路５７を介してエアポンプ等の共通のエア供給源５９に接続されている。更に、各供給回路５７の途中には、切替バルブ６１が配設されており、各切替バルブ６１は、対応関係にある複数の基板支持部材５１の内部に圧縮空気を供給可能な状態と供給不能な状態とに切り替えるものである。
【００３６】
続いて、本発明の実施形態による作用及び効果について説明する。
【００３７】
（本発明の実施形態による作用I）
基板Ｗを後方向へ浮上搬送して基板カセット４１に保管する場合には、次のように浮上搬送装置１を動作させる。
【００３８】
即ち、まず、基板カセット４１を搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに移送させて、一対のカセットサポータ４３に基板カセット４１の側縁部を支持させる。続いて、各昇降モータ４７の駆動によって各カセットサポータ４３を下降させることにより、上段側の保管部５３（上段側の保管部５３の下側）を仕切る複数の基板支持部材５１（適宜の複数の基板支持部材５１）を搬送路Ｐに沿って隣接関係にある浮上ユニット１９間に進入させて、基板Ｗの搬送高さ位置（パスライン）よりも低い高さ位置に位置させる。このとき、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置する各第１支持アーム２５Ａ及び各第２支持アーム３１は、図１及び図２に仮想線で示す位置に位置してあって、第１搬送ローラ２９及び第２搬送ローラ３５は、基板Ｗの端面に接触（干渉）しないようになっている。
【００３９】
適宜の複数の基板支持部材５１を搬送高さ位置よりも低い高さ位置に位置させた後に、各供給ファン１７を適宜に作動させて、各浮上ユニット１９の内部へ圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット１９のノズル２１から圧縮空気を噴出させる。また、各第１移動エアシリンダ２７の駆動により各第１支持アーム２５Ａを右方向へ移動させかつ各第２移動エアシリンダ３３の駆動により各第２搬送ローラ３５を左方向へ移動させると共に、各回転モータ３７の駆動より各第２搬送ローラ３５を回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット１９との間に略均一な圧力溜まり層（空気溜まり層）Ｓ（図５参照）を生成しつつ、複数の第１搬送ローラ２９及び複数の第２搬送ローラ３５の協働により基板Ｗを両側から支持した状態の下で、基板Ｗを後方向へ浮上搬送して、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置させることができる。このとき、適宜の切替バルブ６１の作動により適宜の複数の基板支持部材５１の内部に圧縮空気を供給して、適宜の複数の基板支持部材５１の噴出孔５５から圧縮空気を噴出させておく。
【００４０】
基板Ｗを搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置させた後に、各昇降モータ４７の駆動によって各カセットサポータ４３を上昇させることにより、適宜の複数の基板支持部材５１を搬送高さ位置よりも高い位置に位置させて、適宜の複数の基板支持部材５１に基板Ｗを支持させる。これにより、複数の浮上ユニット１９側から下段側の保管部５３に基板Ｗを保管することができる。
【００４１】
前述の各カセットサポータ４３の下降動作以降の動作を複数回繰り返すことにより、複数の基板Ｗを後方向へ浮上搬送して、上段側の保管部５３から基板カセット４１に順次保管することができる。
【００４２】
（本発明の実施形態による作用II）
基板カセット４１に保管した基板Ｗを複数の浮上ユニット１９側に送り出して、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄ側から前方向へ浮上搬送する場合には、次のように浮上搬送装置１を動作させる。
【００４３】
即ち、基板カセット４１を搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに移送させて、一対のカセットサポータ４３に基板カセット４１の側縁部を支持させる。続いて、各供給ファン１７を適宜に作動させて、各浮上ユニット１９の内部へ圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット１９のノズル２１から圧縮空気を噴出させる。そして、各昇降モータ４７の駆動によって各カセットサポータ４３を下降させることにより、下段側の保管部５３（下段側の保管部５３の下側）を仕切る複数の基板支持部材５１（適宜の複数の基板支持部材５１）を搬送路Ｐに沿って隣接関係にある浮上ユニット１９間に進入させて、搬送高さ位置よりも低い高さ位置に位置させる。これにより、適宜の複数の基板支持部材５１から複数の浮上ユニット１９側へ基板Ｗを送り出すことができる。このとき、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置する各第１支持アーム２５Ａ及び各第２支持アーム３１は、図１及び図２に仮想線で示す位置に位置してあって、第１搬送ローラ２９及び第２搬送ローラ３５は、基板Ｗの端面に接触しないようになっている。
【００４４】
複数の浮上ユニット１９側へ基板Ｗを送り出した後に、各供給ファン１７を適宜に作動させて、各浮上ユニット１９の内部へ圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット１９のノズル２１から圧縮空気を噴出させる。また、各第１移動エアシリンダ２７の駆動により各第１支持アーム２５Ａを右方向へ移動させかつ各第２移動エアシリンダ３３の駆動により各第２搬送ローラ３５を左方向へ移動させると共に、各回転モータ３７の駆動より各第２搬送ローラ３５を回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット１９との間に略均一な圧力溜まり層Ｓを生成しつつ、複数の第１搬送ローラ２９及び複数の第２搬送ローラ３５の協働により基板Ｗを両側から支持した状態の下で、基板Ｗを搬送路Ｐ側から前方向へ浮上搬送することができる。このとき、適宜の切替バルブ６１の作動により適宜の複数の基板支持部材５１の内部に圧縮空気を供給して、適宜の複数の基板支持部材５１の噴出孔５５から圧縮空気を噴出させておく。
【００４５】
前述の各カセットサポータ４３の下降動作以降の動作を繰り返すことにより、下段側の保管部５３から複数の浮上ユニット１９側へ基板Ｗを順次送り出して、複数の基板Ｗを搬送路Ｐに沿って前方向へ浮上搬送することができる。
【００４６】
（本発明の実施形態による作用のまとめ）
要するに、搬送路Ｐの所定領域Ｐｄにおける搬送幅方向の両側に支持フレーム３９がそれぞれ立設され、各支持フレーム３９に基板カセット４１を支持するカセットサポータ４３が昇降可能に設けられ、搬送路Ｐに沿って隣接関係にある浮上ユニット１９間に基板支持部材５１が進入できるようになっているため、基板受けフォークを備えた基板移送装置を用いることなく、複数の浮上ユニット１９側から基板カセット４１に基板Ｗを直接的に保管したり又は基板カセット４１から複数の浮上ユニット１９側に基板Ｗを直接的に送り出したりすることができる。
【００４７】
また、基板Ｗを後方向へ浮上搬送して搬送路Ｐの所定領域Ｐｄに位置させたり、基板Ｗを搬送路Ｐの所定領域Ｐｄ側から前方向へ浮上搬送したりする際に、適宜の複数の基板支持部材５１の噴出孔５５から圧縮空気を噴出させているため、基板Ｗの端部（先端部又は後端部）が搬送路Ｐの所定領域Ｐｄにおいて浮上ユニット１９間を乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部の撓みを抑えることができる。
【００４８】
（本発明の実施形態による効果）
本発明の実施形態によれば、複数の浮上ユニット１９側から基板カセット４１に基板Ｗを直接的に保管したり又は基板カセット４１から複数の浮上ユニット１９側に基板Ｗを直接的に送り出したりすることができるため、浮上搬送の対象となる基板Ｗの枚数が増えても、基板Ｗの浮上搬送を含む基板Ｗの一連の処理の煩雑化を抑えることができる。
【００４９】
また、基板Ｗの端部が搬送路Ｐの所定領域Ｐｄにおいて浮上ユニット１９間を乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部の撓みを抑えることができるため、基板Ｗの端部と浮上ユニット１９との接触を回避して、基板Ｗの浮上搬送を適切に行うことができる。
【００５０】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００５１】
Ｐ        搬送路
Ｐｄ      一領域（所定領域）
Ｗ        基板
１        浮上搬送装置
３        装置フレーム
１１        チャンバー
１７        供給ファン
１９        浮上ユニット
２１        ノズル
２３        搬送機構
２５        第１支持アーム
２９        第１搬送ローラ
３１        第２支持アーム
３５        第２搬送ローラ
３７        回転モータ
３９        支持フレーム
４１        基板カセット
４３        カセットサポータ
４７        昇降モータ
４９        カセット本体
５１        基板支持部材
５３        保管部
５５        噴出孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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