(57)【要約】【課題】光ディスクの欠陥検査において、精度の高い検査を行うことのできる光ディスク検査装置を提供する。【解決手段】本発明の光ディスク検査装置は、ラジアル軸受け１３及びスラスト軸受け１２ａ，１２ｂが、エア軸受けで構成されたスピンドルモータ４と、スピンドルモータ４の上部に圧入され、光ディスク載置面３３に、光ディスクとの密着性を有するシート部材３４が形成されたターンテーブル３とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラジアル軸受け及びスラスト軸受けが、エア軸受けで構成されたスピンドルモータと、
前記スピンドルモータの上部に圧入され、光ディスク載置面に、前記光ディスクとの密着性を有するシート部材が形成されたターンテーブルと、
を有する光ディスク検査装置。
【請求項２】
前記ターンテーブルの光ディスク載置面には、光ディスクを吸着把持するための吸引孔を有し、前記シート部材は、前記ターンテーブルの光ディスク載置面のうち、吸引孔以外の部分に形成される
請求項１記載の光ディスク検査装置。
【請求項３】
前記シート部材は、光ディスク載置面の円周方向に複数本リング状に形成される
請求項２記載の光ディスク検査装置。
【請求項４】
前記シート部材は、ポリエチレンテレフタレートより構成される
請求項３記載の光ディスクの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクのような光記録媒体の欠陥検査等に用いられる光ディスク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ディスクが作製された後、その光ディスクにおいて、正常に記録再生がなされるかについて、品質の検査が行われている。このような光ディスクの検査には、スピンドルモータと光ピックアップとから構成される光ディスク検査装置が用いられる。スピンドルモータは、光ディスクを支持して回転させるためのものである。光ピックアップは、回転する光ディスクの信号読み取り面に、レーザ光を入射させて、再生信号を検出するためのものである。
【０００３】
下記特許文献１には、無駄な損失を出すことなく、短時間に検査を行うことが可能な光記録媒体の検査方法が記載されている。
【０００４】
特許文献１に記載の光ディスクの検査方法では、回転されている光ディスクに対して、レーザ光を入射して、フォーカス制御やトラッキング制御を行いながら、光ディスクから再生信号を検出することにより、光ディスクの品質の検査が行われる。
【０００５】
光ディスクの品質の検査はいくつか行われるが、その検査項目の中に、ＲＤＥ（Residual radial tracking error）と呼ばれる検査項目がある。ＲＤＥとは、この検査によって再生信号と共に得られる、トラッキングエラー信号が、正常なトラッキングができないようなしきい値を超えた回数を検査する項目である。すなわち、トラッキングエラー信号により割り出された、トラッキングができなかった取り残しの数、いわゆるサーボ残渣を示すものである。  
【０００６】
トラッキングエラー信号は、スピンドルモータで回転される光ディスクに、トラッキング制御により光ディスクの信号記録面のトラックを追従するようにサーボ調整された光ピックアップのレーザ光を照射したときに得られるエラー信号である。ＲＤＥの許容範囲は、規格により決められており、規格から外れる数のトラッキングエラー信号が検出された光ディスクは、不良とみなされる。
【特許文献１】特開平９−１４７４２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、近年、高密度記録が可能な光ディスクとして、Ｂｌｕ-ｒａｙ  ｄｉｓｃ（登録商標、以下ＢＤ）が用いられるようになった。ＢＤでは、形成されるトラックピッチが０．３２μｍと微細である。このため、ＢＤの検査を行う場合は、光ディスク検査装置の光ピックアップから照射されるレーザ光で、微細なトラックを追従させる必要がある。ところで、光ディスクを回転させるスピンドルモータに振動があると、このスピンドルモータの振動が光ディスクに伝わり、光ディスクがその振動を受けながら回転する。光ディスクにＢＤを用いた場合には、回転するＢＤに振動が加えられると、トラックピッチが微細なため、トラックが正常な位置からずれる割合が大きくなる。このため、ＢＤに照射されるレーザ光が、ＢＤの微細なトラックを正確に追従できなくなり、本来トラッキングエラーでは無いところでトラッキングエラー信号が検出される場合がある。また逆に、本来トラッキングエラーがあるところで、トラッキングエラー信号が検出されない場合もある。すなわち、ＢＤを検査する場合には、光ディスク検査装置において、スピンドルモータからの振動が検査精度に大きな影響を及ぼすこととなる。
【０００８】
従来の低密度光記録媒体であるＣＤやＤＶＤの検査では、トラックピッチがＢＤよりも大きいため、光ディスクへの振動によって、トラックが正常な位置からずれる割合が少なく、検出されるトラッキングエラー信号に対する影響はそれほど大きくはない。このため、従来の検査装置では、検査の精度に対する要求はそれほど高くは無かった。しかしながら、近年のＢＤの検査においては、ピットが微細であるために、光ディスクの振動によって、正確なトラッキングエラー信号を検出するためには、スピンドルモータ等の外部からの振動を極力避ける必要がある。
【０００９】
また、従来のスピンドルモータの多くは、ボール軸受けが用いられている。このボール軸受けを用いたスピンドルモータでは、ボールの転がりによる振動が発生し、この振動が光ディスクにそのまま伝わる。このため、ＢＤの検査においては、このボール軸受けによるスピンドルモータの振動が無視できず、このスピンドルモータを用いた光ディスク検査装置を、ＢＤの検査に用いることができないという問題がある。また、ＢＤの検査において、特に２倍速測定を行うと、ＢＤ内周部での回転数は４０００ｒｐｍとなり、スピンドルモータの振動が大きく、欠陥検査の結果への影響はより大きくなる。
【００１０】
上述の点に鑑み、本発明は、光ディスクの欠陥検査において、精度の高い検査を行うことのできる光ディスク検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の光ディスク検査装置は、以下の構成要素を有して構成される。ラジアル軸受け及びスラスト軸受けが、エア軸受けで構成されたスピンドルモータを有する。そして、スピンドルモータのシャフトの上部に圧入され、光ディスク載置面に、光ディスクとの密着性を有するシート部材が形成されたターンテーブルとを有する。
【００１２】
本発明の光ディスク検査装置では、スラスト軸受け、及びラジアル軸受けは、エア軸受けとされ、エア軸受けによりシャフトが回転可能に支持されるので、シャフトの回転時の振動が低減される。また、ターンテーブルの光ディスク載置面に、シート部材が形成されているので、光ディスクに伝わる振動を低減することができる。これにより、被検査対象である光ディスクを回転させた場合に、光ディスクの振動を抑えることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の光ディスク検査装置によれば、光ディスクの欠陥検査において、精度の高い検査を行うことができ、また、微細なトラックピッチを有する光ディスクを検査する場合でも、正確に欠陥検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図１〜図５を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
［光ディスク検査装置の構成］
図１に本発明の一実施の形態に係る光ディスク検査装置の概略構成を示す。図１に示すように、本実施形態例の光ディスク検査装置１は、スピンドルモータ４と、ターンテーブル３とからなる光ディスク回転駆動装置２と、光ピックアップ３５とから構成される。以下の説明では、図１に示す光ディスク検査装置１において、ターンテーブル３が形成される側を「上」とし、ターンテーブル３が形成される側とは反対側を「下」として、各構成要素を詳述する。
【００１６】
スピンドルモータ４は、シャフト６と、スリーブ５と、シャフト（いわゆるモータ回転軸）６に一体に取り付けられたロータ３０と、スリーブ５に一体に取り付けられたステータ４０とを有して構成される。
【００１７】
スリーブ５は、上側スリーブ５ａと下側スリーブ５ｂとから構成されている。上側スリーブ５ａは上下に貫通する軸受穴２８を有して筒状に形成されており、上側スリーブ５ａの下部には、上側スリーブ５ａの外周側に張り出た鍔部２９が形成されている。上側スリーブ５ａの軸受穴２８は、シャフト６が挿入されるものであり、軸受穴２８に面する上側スリーブ５ａの内周は、シャフト６の外周よりも大きな径とされている。また、上側スリーブ５ａの側面には、図示しない外部の空気吸引ポンプが接続される吸引口１１が形成されている。
【００１８】
下側スリーブ５ｂは、内部に、シャフト６、ロータ３０、ステータ４０を配置可能な空間を有する筐体であり、上面に開口部２７ａが形成されている。
そして、上側スリーブ５ａの下部に形成された鍔部２９が、下側スリーブ５ｂの上面の開口部２７ａを覆うように配置され、鍔部２９の周辺部と、下側スリーブ５ｂの上面とが図示しないネジ等で接続されることにより、スリーブ５が構成されている。
【００１９】
シャフト６は、上側スリーブ５ａの軸受穴２８及び、下側スリーブ５ｂの開口部２７ａに渡り挿入されており、シャフト６の上端は、上側スリーブ５ａの上面から突出している。軸受穴２８の位置に相当するシャフト６の内部には、上側スリーブ５ａに形成された吸引口１１に接続される連通孔２５が形成されている。このシャフト６に形成された連通孔２５の、上側スリーブ５ａに形成された吸引口１１に接続される側とは反対側である上側の端部は、後述するターンテーブル３に形成される吸引孔１５に接続されるものである。
【００２０】
ロータ３０は、下側スリーブ５ｂの空間内に位置するシャフト６の外周に、シャフト６と一体に形成された図示しない永久磁石により構成されている。
【００２１】
ステータ４０は、下側スリーブ５ｂの内周面の、ロータ３０と対向する位置に形成された磁性体と、磁性体に巻かれたコイルにより構成されている。
【００２２】
ラジアル軸受け１３は、上側スリーブ５ａの軸受穴２８に面する側面に、上下に離間して２つ形成されている。このラジアル軸受け１３は上側スリーブ５ａの軸受穴２８に面する側面、すなわち、上側スリーブ５ａの内周面を、１周するように形成されており、この内周面と面一となるように形成されている。ラジアル軸受け１３は多孔質体により形成されている。
【００２３】
スラスト軸受け１２ａ，１２ｂは、上側スリーブ５ｂの軸受穴２８の軸方向とは垂直な方向の側面である、上側スリーブ５ａの上面と、上側スリーブ５ｂの下面にそれぞれリング状に形成されている。
【００２４】
一方のスラスト軸受け１２ａは、上側スリーブ５ａの上面の、ターンテーブル３の下側に対向する位置に形成されており、上側スリーブ５ａの上面と面一となるように形成されている。スラスト軸受け１２ａは、多孔質体により形成されている。
【００２５】
また、他方のスラスト軸受け１２ｂは、上側スリーブ５ａの下面であり、シャフト６に一体に取り付けられたフランジ５０の上面に対向する位置に形成されており、上側スリーブ５ａの下面と面一となるように形成されている。スラスト軸受け１２ｂは、多孔質体により形成されている。
【００２６】
そして、これらのエア供給口１４は、図示しない、エア供給ポンプに接続されており、エア供給ポンプから供給された圧縮空気がラジアル軸受け１３、スラスト軸受け１２ａ，１２ｂから排出される構成とされている。
【００２７】
ターンテーブル３は、シャフト６の、連通孔２５が形成されている側の上端部に圧入接着されており、ターンテーブル３の上面には、光ディスク２３を載せる光ディスク載置面３３が形成されている。光ディスク載置面３３の中心部には、光ディスク２３の中心孔を嵌め込む為の凸部２４が形成されている。また、光ディスク載置面３３において、凸部２４を中心とした円周方向には、シート部材３４と吸引孔１５が形成されている。
【００２８】
図２に、本実施形態例のターンテーブル３を上面から見た図を示す。シート部材３４は、光ディスク載置面３３の円周方向に、リング状に２箇所形成されている。このシート部材３４の表面は、光ディスク２３との接触面とされる。シート部材３４は、ターンテーブル３と光ディスク２３との密着性を高め、スピンドルモータ４の振動をターンテーブル３上に載置される光ディスク２３に伝わりにくくするために設けられるものである。シート部材３４の材料としては、密着性及び耐摩耗性を有することが好ましい。シート部材３４の材料に、例えば、ポリエチレンテレフタレート（以下ＰＥＴ）を用いることができる。本実施形態例では、光ディスク載置面３３に、感圧性接着部剤１６を３０μｍの厚みで塗布した後、その上に、５０μｍの厚みのＰＥＴ（東レ株式会社製、商品名：ルミラーＳ１０）１７を形成することにより、シート部材３４が構成されている。
【００２９】
吸引孔１５は、光ディスク載置面３３の、２カ所のシート部材３４の間に、リング状に形成されている。この吸引孔１５は、ターンテーブル３の光ディスク載置面３３から、ターンテーブル３の内部を貫通して、シャフト６の連通孔２５に接続されている。そして、この吸引孔１５は、連通孔２５を介して、上側スリーブ５ａに形成された吸引口１１に接続されている。ターンテーブル３の光ディスク載置面３３に光ディスク２３が載置されたときに、上側スリーブ５ａの吸引口１１に接続された吸引ポンプにより空気を吸引することで、光ディスク２３が、ターンテーブル３の光ディスク載置面３３のシート部材３４に圧着される。
【００３０】
光ピックアップ３５は、フォーカス制御及びトラッキング制御されたレーザ光Ｌを、光ディスク回転駆動装置によって回転されている光ディスク２３の信号読み取り面に照射し、その反射光を検出することにより、所望の信号を読み出すものである。本実施形態例においては、光ピックアップ３５において読み出された信号より、光ディスク２３の欠陥が検出される。
【００３１】
［光ディスク検査装置の動作］
まず、検査対象となる光ディスク２３をターンテーブル３の光ディスク載置面３３に載置する。そして、上側スリーブ５ａに形成された吸引口１１に接続された空気吸引ポンプにより、空気を吸引する。そうすると、吸引口１１に接続された連通孔２５及び吸引孔１５内の空気が、図１の矢印ｘに示す方向に吸引される。これにより、光ディスク２３が光ディスク載置面３３のシート部材３４上に、吸着把持される。
【００３２】
図３は、本実施形態例の光ディスク検査装置１の構成を示すブロック図である。図３に示すように、本実施形態例の光ディスク検査装置１は、駆動部１００、制御部１０１、計測部１０２、インターフェース部１０３、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０４により駆動制御される。
【００３３】
駆動部１００は、スピンドルモータ４、光ピックアップ３５及び、図示しない、光ディスクの送り機構等を機械的に駆動するブロックである。
制御部１０１は、スピンドルモータ４、光ピックアップ３５及び、図示しない、光ディスクの送り機構等を制御するブロックである。
計測部１０２は、光ピックアップ３５から得られた各信号を演算処理するブロックである。
ＣＰＵ１０４は、光ディスク検査装置１全体のシステムを動作させ、計測結果を処理するブロックである。
インターフェース部１０３は、ＣＰＵ１０４、駆動部１００、制御部１０１、計測部１０２間を接続するブロックである。
【００３４】
本実施形態例の光ディスク検査装置１では、ＣＰＵ１０４からの指令に基づき、制御部１０１で制御しながら駆動部１００が駆動され、この駆動部１００により、スピンドルモータ４や光ピックアップ３５の動作が開始される。光ピックアップ３５によって得られた信号は、計測部１０２に送られて、演算処理される。これらの制御部１０１、駆動部１００、計測部１０２の動作は、ＣＰＵ１０４によって制御されており、また、ＣＰＵ１０４、駆動部１００、制御部１０１、計測部１０２間は、主にインターフェース部１０３を通して接続されている。
【００３５】
以下に、スピンドルモータ４の動作について説明する。スピンドルモータ４においては、ステータ４０を構成するコイルに通電すると共に、エア供給口１４に圧縮空気を供給する。
コイルに通電されることにより、ロータ３０とステータ４０との間に回転磁界が発生する。このため、ロータ３０は、シャフト６の中心軸を回転軸として回転する。
また、このとき、エア供給口１４に圧縮空気が供給されることにより、ラジアル軸受け１３からは、上側スリーブ５ａの内周面とシャフト６の外周面との間隙に、圧縮空気が供給される。また、スラスト軸受け１２ａからは、ターンテーブル３の下面と上側スリーブ５ａの上面との間隙に圧縮空気が供給される。同じくスラスト軸受け１２ｂからは、上側スリーブ５ａの下面とシャフト６に一体に取り付けられたフランジ５０の上面との間隙に、圧縮空気が供給される。そして、このエア供給口１４から供給される圧縮空気によって発生するスラスト方向、ラジアル方向の静圧により、ロータ３０（シャフト６）は上側スリーブ５ａに非接触状態で回転する。
そして、シャフト６と一体に回転するターンテーブル３も、上側スリーブ５ａに対して非接触状態で回転する。
【００３６】
本実施形態例のラジアル軸受け１３は、上側スリーブ５ａの軸受穴２８に面する側面、すなわち、上側スリーブ５ａの内周面を、１周するように形成されているので、軸受穴２８の全周に均一な圧縮空気が供給される。スラスト軸受け１２ａ，１２ｂでも同様に、上側スリーブ５ａの上面及び下面にリング状に形成されているので、上側スリーブ５ａ上面及び下面の全周から均一な圧縮空気が供給される。このため、シャフト６はラジアル軸受け１３、及びスラスト軸受け１２ａ，１２ｂによって非接触状態で上側スリーブ５ａにバランスよく支持されて回転する。
【００３７】
このような光ディスク回転駆動装置によって回転される被検査対象の光ディスク２３に対して、光ピックアップ３５により、フォーカス制御やトラッキング制御を行いながらレーザ光Ｌを照射する。そして、光ピックアップ３５において光ディスク２３の信号読み取り面で反射された反射光を検出し、この反射光により、フォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号を検出する。
【００３８】
図４Ａ，Ｂに、本実施形態例のエア軸受けを用いたスピンドルモータ４と、従来のボール軸受けを用いたスピンドルモータの、ラジアル方向（図４Ａ）とスラスト方向（図４Ｂ）の振動レベルの比較を示す。図４Ａ，Ｂにおいて、横軸は、スピンドルモータのロータの回転数であり、縦軸は、振動の加速度のレベル（相対値）を示すものであり、本実施形態例のスピンドルモータを用いた結果をＡ１で示し、従来のスピンドルモータを用いた結果をＡ２で示す。また、図４Ａ，Ｂでは、エア軸受けのスピンドルモータと、ボール軸受けのスピンドルモータをそれぞれ３機ずつ検査した結果を示している。
【００３９】
図４Ａ，Ｂからわかるように、ラジアル方向においてもスラスト方向においても、ボール軸受けを用いた従来例のスピンドルモータよりも、エア軸受けを用いた本実施形態例のスピンドルモータ４の振動レベルが低いことがわかる。また、回転数を大きくしても、本実施形態例のスピンドルモータ４の振動レベルは、あまり悪化せず、ボール軸受けを用いた従来例のスピンドルモータに比較して遙かに良い振動レベルとなっている。実際に使用できる振動の加速度のレベルの範囲は、ラジアル方向で約７５以下、スラスト方向で約４０程度である。例えば、本実施形態例のスピンドルモータ４では、回転数を４０００ｒｐｍとした場合にも、十分低い振動レベルに抑えられている。このように、本実施形態例のスピンドルモータ４では、回転数を増加させたときでも、十分に低い振動レベルが維持される。
【００４０】
また、従来例のスピンドルモータでは、３機の間の機差が大きく、バラツキがあるが、本実施形態例のスピンドルモータ４では、３機の間の機差が少ない。
【００４１】
これにより、本実施形態例の光ディスク検査装置１では、スピンドルモータ４の振動が低減されていることがわかる。このため、光ディスク２３の信号読み取り面が振動してしまうのを防ぐことができるので、フォーカス制御及びトラッキング制御したレーザ光Ｌにより、正確なエラー信号を検出することができる。
【００４２】
特に、被検査対象の光ディスク２３として、微細なトラックピッチを有するＢＤを検査した場合、ＢＤに加わる振動を低減することにより、トラックが正常な位置からずれる割合を低減することができる。これにより、光ディスク２３としてＢＤを用いた場合でも、トラッキング制御されたレーザ光を、正常な位置にあるトラックに照射することができる。従来の光ディスク検査装置では、スピンドルモータの振動により、微細なトラックピッチを有するＢＤのトラッキングエラー信号を正確に検出することができなかったが、本実施形態例では、トラッキングエラー信号を正確に検出することができる。すなわち、本実施形態例の光ディスク検査装置は、微細なトラックピッチを有する光ディスクのトラッキングエラー信号の検出する場合において、好適に用いることができる。
【００４３】
さらに、従来のボール軸受けを用いたスピンドルモータに比較して、本実施形態例のスピンドルモータ４は機差、すなわち、３機のスピンドルモータの振動レベルの差や、振動レベルのバラツキが少ない。このため、基準機となるスピンドルモータを決め、それに対する校正係数を設定することで、容易に機差を低減することができる。これにより、複数台の光ディスク検査装置を用いる場合も、機差の少ない装置とすることができ、検査結果の精度を向上させることができる。
【００４４】
図５Ａは、シート部材３４を用いた本実施形態例の光ディスク検査装置１において検出されたＲＤＥの値であり、図５Ｂは、シート部材３４を用いない従来例の光ディスク検査装置において検出されたＲＤＥの値である。前述したが、ＲＤＥとは、トラッキングエラー信号から割り出した、光ディスクのトラックの取り残しの数を示すものである。横軸に、光ディスクの中心からの位置を示し、縦軸に、トラッキングエラー信号から割り出されたＲＤＥの数を示す。また、図５Ａは、光ディスク２３としてＢＤを用いた場合の結果を示したものである。
【００４５】
図５Ｂに示すように、シート部材３４が無い場合では、ＢＤのそれぞれの位置でＲＤＥのバラツキが多く、正確なＲＤＥが検出されていないことがわかる。シート部材３４が無い場合には、スピンドルモータの振動がＢＤに影響し、正確なトラッキングエラー信号が得られていないことがわかる。
【００４６】
一方、図５Ａに示す本実施形態例のようにシート部材３４を用いた場合には、ＢＤのそれぞれの位置でＲＤＥにバラツキが見られず、正確なＲＤＥが検出されていることがわかる。シート部材３４を用いることにより、スピンドルモータ４の振動が被検査対象であるＢＤに伝わりにくくなり、回転するＢＤの振動を低減することができる。
【００４７】
また、ターンテーブル３の光ディスク載置面３３は平坦化処理が為されているものの、微細な凹凸が残る。微細な凹凸により、シート部材３４を用いずに光ディスク２３を光ディスク載置面３３に空気吸引によって圧着保持したとき、光ディスク２３と光ディスク載置面３３との間の空気の流れが不均一になり振動の原因となっていた。本実施形態例のように光ディスク載置面３３にシート部材３４を形成することにより、シート部材３４によって光ディスク載置面３３の微細な凹凸が吸収され、光ディスク２３と光ディスク載置面３３との間の空気の流れを均一にすることができる。これにより、光ディスク２３の振動が、より低減される。
【００４８】
このように、本実施形態例の光ディスク検査装置１では、エア軸受けを用いたスピンドルモータ４と、ターンテーブル３の光ディスク載置面３３に形成されたシート部材３４との相乗効果により、被検査対象となる光ディスク２３の振動を低減することができる。これにより、被検査対象となる光ディスク２３として、トラックピッチの微細なＢＤを用いた場合でも、より正確なトラッキングエラー信号を検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る光ディスク検査装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る光ディスク検査装置を構成するターンテーブルを上面から見た図である。
【図３】本発明の光ディスク検査装置の構成を示すブロック図である。
【図４】Ａ，Ｂ  本発明の一実施形態に係る光ディスク検査装置におけるラジアル方向及びスラスト方向の振動レベルを示した図である。
【図５】Ａ，Ｂ  本発明の一実施形態に係る光ディスク検査装置で測定したＲＤＥと、シート部材を用いない従来例の光ディスク検査装置で測定したＲＤＥである。
【符号の説明】
【００５０】
１・・光ディスク検査装置、２・・光ディスク回転駆動装置、３・・ターンテーブル、４・・スピンドルモータ、５・・スリーブ、６・・シャフト、１１・・吸引口、１２ａ，１２ｂ・・スラスト軸受け、１３・・ラジアル軸受け、１４・・エア供給口、１５・・吸引孔、２３・・光ディスク、３０・・ロータ、３４・・シート部材、４０・・ステータ
【図１】
2010092526.tif 000003
【図２】
2010092526.tif 000004
【図３】
2010092526.tif 000005
【図４】
2010092526.tif 000006
【図５】
2010092526.tif 000007