(57)【要約】【課題】フレームレスモジュールの製造に際して、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を自動的に切断する。【解決手段】繰り出しローラー７に巻き取られたワイヤー１０を一対の通電部材９，９を経て巻き取りローラー８に巻き取る際に、一対の通電部材９，９間に通電し、通電部材９，９間のワイヤー１０を加熱する。そして、加熱されたワイヤー１０を巻き取りながらガラス基板１１１の端面に沿って移動させ、ガラス基板１１１に積層されたフィルム１１４のガラス基板１１１の端縁からはみ出した部分を切断する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
繰り出しローラーに巻き取られたワイヤーを巻き取りローラーに巻き取る際にワイヤーの一定区間を通電して加熱し、加熱されたワイヤーを巻き取りつつガラス基板の端面に沿って移動させ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を切断することを特徴とするフィルムの切断方法。
【請求項２】
各繰り出しローラーにそれぞれ巻き取られたワイヤーを対応する巻き取りローラーに巻き取る際に各ワイヤーの一定区間を通電して加熱し、一対の加熱されたワイヤーをそれぞれ巻き取りつつガラス基板の対向する２辺の各端面に沿って移動させ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の対向する２辺の各端縁からそれぞれはみ出した部分を同時に切断することを特徴とするフィルムの切断方法。
【請求項３】
請求項１または２記載のフィルムの切断方法において、通電された一定区間のワイヤーをガラス基板の端面よりも設定長さ内方側に位置させてガラス基板の端面に沿って移動させることを特徴とするフィルムの切断方法。
【請求項４】
基台に対して平面上の直交する２方向に移動可能な作業台に、ワイヤーを巻き取った繰り出しローラーおよび繰り出しローラーから引き出されたワイヤーを巻き取る巻き取りローラーをそれぞれモーターを介して回転自在に設けるとともに、繰り出しローラーから巻き取りローラーに至るワイヤーの経路においてワイヤーに通電する一対の通電部材を設けてなり、繰り出しローラーから引き出されたワイヤーを一対の通電部材を経て巻き取りローラーに巻き取るとともに、一対の通電部材に通電して一対の通電部材間のワイヤーを加熱し、加熱されたワイヤーを巻き取りながらガラス基板の端面に沿って移動させ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を切断することを特徴とするフィルムの切断装置。
【請求項５】
請求項４記載のフィルムの切断装置において、前記切断装置がガラス基板の対向する２辺に臨んでそれぞれ設置されることを特徴とするフィルムの切断装置。
【請求項６】
請求項４または５記載のフィルムの切断装置において、前記通電部材が導電性材料からなるプーリーと、該プーリーに接触する通電カーボンであることを特徴とするフィルムの切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池モジュールの製造に際して、ガラス基板の一面側に貼着された耐侯性フィルムのはみ出し部分を切断するフィルムの切断方法およびその切断装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池モジュール１００は、図５に示すように、フレームレスモジュール１１０の周縁部を、アルミ押出成形品からなる左右の縦枠１０１，１０２および上下の横枠１０３，１０４に嵌め込み、縦枠１０１，１０２および横枠１０３，１０４を相互にネジ止めして構成されている。
【０００３】
ここに、フレームレスモジュール１１０は、図６および図７に示すように、受光面側から順に白板強化ガラス板（以下、ガラス基板という。）１１１、透明樹脂からなる充填材１１２、多数個の太陽電池セル１１３ａをインターコネクタ１１３ｂを介して直列または並列に接続してなる太陽電池セル列１１３、透明樹脂からなる充填材１１２、耐候性フィルム（以下、フィルムという。）１１４を積層して形成され、フレームレスモジュール１１０の裏面側（フィルム１１４側）には、出力端子ボックス１１５が付設され、この端子ボックス１１５に防水コネクタ１１６を有する出力ケーブル１１７が接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなフレームレスモジュール１１０の製造に際しては、ガラス基板１１１の上面に充填材１１２を介して太陽電池セル列１１３を積層するとともに、充填材１１２を介してガラス基板１１１よりも縦横寸法の大きなフィルム１１４を積層し、加熱加圧して一体化する。次いで、ガラス基板１１１の上面に一体に積層された充填材１１２やフィルム１１４のガラス基板１１１の端縁からのはみ出し部分を切断し、除去するものである（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−６４８３５号公報
【特許文献２】特開平５−１２１７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、フィルムなどの切断に際しては、加熱した特殊なカッター刃を利用して作業者が行うようにしている。すなわち、フィルムは不透明であり、ガラス基板の端縁を正確に検出することができないため、作業者の手作業による切断に頼らざるを得ないものとなっていた。このため、フレームレスモジュールの製造ラインを自動化することができず、生産効率が低いという問題があった。また、カッター刃がフィルムなどを切断することによって刃先が磨耗して切れ味が低下すれば、カッター刃を研ぐ必要が有り、熟練を要するとともに、多くの時間が必要になり、作業が煩雑になるという欠点もあった。
【０００７】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、フレームレスモジュールの製造に際して、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を自動的に切断することのできるフィルムの切断方法およびその切断装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフィルムの切断方法は、繰り出しローラーに巻き取られたワイヤーを巻き取りローラーに巻き取る際にワイヤーの一定区間を通電して加熱し、加熱されたワイヤーを巻き取りつつガラス基板の端面に沿って移動させ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を切断することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明によれば、繰り出しローラーに巻き取られたワイヤーを巻き取りローラーに巻き取る際にワイヤーの一定区間を通電して加熱する。そして、加熱されたワイヤーを巻き取りつつガラス基板の端面に沿って移動させる。ここで、加熱されたワイヤーは、フィルムに接触するとともに、ガラス基板の端面に接触し、熱を奪われて温度が低下するが、ワイヤーは巻き取りローラーに巻き取られることにより、温度が低下したワイヤーがフィルムおよびガラス基板の端面から離脱すると同時に、設定温度に加熱されたワイヤーがフィルムに向けて連続的に供給されている。したがって、常に設定温度に加熱されたワイヤーによってフィルムを確実に切断することができる。
【００１０】
この結果、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を連続的に切断することができる。
【００１１】
本発明のフィルムの切断方法は、各繰り出しローラーにそれぞれ巻き取られたワイヤーを対応する巻き取りローラーに巻き取る際に各ワイヤーの一定区間を通電して加熱し、一対の加熱されたワイヤーをそれぞれ巻き取りつつガラス基板の対向する２辺の各端面に沿って移動させ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の対向する２辺の各端縁からそれぞれはみ出した部分を同時に切断することを特徴とするものである。
【００１２】
本発明によれば、各繰り出しローラーにそれぞれ巻き取られたワイヤーを対応する巻き取りローラーに巻き取る際に各ワイヤーの一定区間を通電して加熱する。そして、一対の加熱されたワイヤーをそれぞれ巻き取りつつガラス基板の対向する２辺の各端面に沿って移動させる。ここで、加熱された各ワイヤーは、フィルムに接触するとともに、ガラス基板の端面に接触し、熱を奪われて温度が低下するが、各ワイヤーは巻き取りローラーに巻き取られることにより、温度が低下した各ワイヤーがフィルムおよびガラス基板の端面から離脱すると同時に、設定温度に加熱された各ワイヤーがフィルムに向けて連続的に供給されている。したがって、常に設定温度に加熱された各ワイヤーによってフィルムを確実に切断することができる。
【００１３】
この結果、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の対向する２辺の各端縁からはみ出した部分を同時に、かつ、連続的に切断することができる。
【００１４】
本発明において、通電された一定区間のワイヤーをガラス基板の端面よりも設定長さ内方側に位置させてガラス基板の端面に沿って移動させることが好ましい。これにより、位置決めされたガラス基板の位置決め精度に誤差が生じたとしても、加熱されたワイヤーをガラス基板の端面に確実に接触させることができる。したがって、加熱されたワイヤーをガラス基板の端面に接触させた状態でガラス基板の端面に沿って移動させることができ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分をガラス基板の端縁に沿って確実に切断することができる。
【００１５】
本発明のフィルムの切断装置は、基台に対して平面上の直交する２方向に移動可能な作業台に、ワイヤーを巻き取った繰り出しローラーおよび繰り出しローラーから引き出されたワイヤーを巻き取る巻き取りローラーをそれぞれモーターを介して回転自在に設けるとともに、繰り出しローラーから巻き取りローラーに至るワイヤーの経路においてワイヤーに通電する一対の通電部材を設けてなり、繰り出しローラーから引き出されたワイヤーを一対の通電部材を経て巻き取りローラーに巻き取るとともに、一対の通電部材に通電して一対の通電部材間のワイヤーを加熱し、加熱されたワイヤーを巻き取りながらガラス基板の端面に沿って移動させ、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を切断することを特徴とするものである。
【００１６】
本発明によれば、繰り出しローラーから引き出されたワイヤーを一対の通電部材を経て巻き取りローラーに巻き取る際に、一対の通電部材に通電することで一対の通電部材間のワイヤーを加熱しつつ連続的に供給することができる。したがって、加熱されたワイヤーを巻き取りながらガラス基板の端面に沿って移動させることにより、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を切断することができる。
【００１７】
この結果、基台に対して平面上の直交する２方向に移動可能な作業台に、ワイヤーの繰り出しローラーおよび巻き取りローラーを設けるとともに、ワイヤーに通電するための一対の通電部材を設けた簡単な構成により、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を連続的に切断することができる。
【００１８】
本発明において、前記切断装置がガラス基板の対向する２辺に臨んでそれぞれ設置されることが好ましい。これにより、対向する切断装置によって、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の対向する２辺の各端縁からそれぞれはみ出した部分を同時に、かつ、連続的に切断することができ、切断作業の効率化を図ることができる。
【００１９】
本発明において、前記通電部材が導電性材料からなるプーリーと、該プーリーに接触する通電カーボンであることが好ましい。すなわち、プーリーを採用することにより、ワイヤーを周方向の任意の角度にわたって巻回して方向を変換することができる。また、通電カーボンを採用することにより、プーリーの回転に際してもほとんど磨耗が発生せず、調整作業などが不要となる利点がある。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、フレームレスモジュールの製造に際して、ガラス基板に積層されたフィルムのガラス基板の端縁からはみ出した部分を自動的に切断することができる。これにより、フレームレスモジュールの製造ラインを自動化することができ、生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のフィルムの切断装置の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１のフィルム切断装置の平面図である。
【図３】図１のフィルム切断装置の切断要領を説明する概略図である。
【図４】本発明のフィルムの切断方法を説明する工程図である。
【図５】太陽電池モジュールの平面図、正面図および側面図である。
【図６】フレームレスモジュールを一部省略して示す分解斜視図である。
【図７】フレームレスモジュールの平面図および正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
図１および図２には、本発明のフィルムの切断装置１の一実施形態が示されている。
【００２４】
この切断装置１は、基台２に対して前後方向（図１の紙面に直交する方向）にリニアベアリング３を介して移動自在な第１移動台４と、第１移動台４に対して左右方向（図１の左右方向）にリニアベアリング３を介して移動自在な第２移動台５と、第２移動台５に固定された絶縁性材料からなる作業台６と、作業台６の上部および下部にそれぞれ回転自在に支持された繰り出しローラー７および巻き取りローラー８と、作業台６の上部および下部にそれぞれ設けられた一対の通電部材９とから構成されており、繰り出しローラー７に巻き取られたワイヤー１０は、一対の通電部材９，９を経て巻き取りローラー８に巻き取られるようになっている。
【００２５】
ここで、通電部材９は、導電性材料、例えば、鋼製のプーリー９１と、作業台６に設けられた取付アーム９２を介してプーリー９１の側面に接触された通電カーボン９３とからなり、通電カーボン９３，９３間に設定された電圧が付与されている。これにより、ワイヤー１０は、プーリー９１を経る際に通電カーボン９３およびプーリー９１を介して通電されることから、繰り出しローラー７から引き出され、一対の通電部材９，９を経て巻き取りローラー８に巻き取られる際、一対の通電部材９，９間のワイヤー１０に電圧による電流が流れ、その抵抗によって設定温度に加熱される。すなわち、ワイヤー１０は、巻き取りローラー８に巻き取られる際、一対の通電部材９，９間において設定温度に連続的に加熱される。
【００２６】
この際、作業台６が絶縁性材料によって形成されていることにより、通電部材９，９間に通電することによる感電を防止することができる。
【００２７】
また、基台２に対する第１移動台４の前後方向の移動は、図示しないタイミングベルトおよびサーボモーターを利用し、また、第１移動台４に対する第２移動台５の左右方向の移動は、図示しない一軸ロボットを利用している。
【００２８】
一方、繰り出しローラー７は、トルクモーター（図示せず）によって回転駆動され、また、巻き取りローラー８は、サーボモーター（図示せず）によって回転駆動される。そして、巻き取りローラー８をサーボモーターを介して巻き取り方向に回転させてワイヤー１０を設定速度で巻き取る際、サーボモーターの回転トルクよりも小さな回転トルクでトルクモーターを巻き取り方向とは逆方向に回転させて、繰り出しローラー７の繰り出し方向への回転にブレーキを作用させている。これにより、ワイヤー１０の巻き取りに際して、ワイヤー１０を常に緊張状態に維持して巻き取ることができる。
【００２９】
なお、ワイヤー１０の加熱温度としては、切断対象であるフィルム１１４の厚みや材質にもよるが、略２００℃程度に設定されている。また、ワイヤー１０の直径は、０．３ｍｍより大きく、１．０ｍｍより小さいことが好ましい。ワイヤー１０の直径が０．３ｍｍ以下であると、熱容量が不足し、フィルム１１４を連続的に切断することが困難になるとともに、加熱された状態で張力が作用するため、ワイヤーの意図しない切断が発生し易いものとなる。一方、ワイヤー１０の直径が１．０ｍｍ以上であると、切断されたフィルム１１４が溶融して再度融着されるため、フィルムを円滑に切り離すことが困難となる。これにより、実施例においては、直径０．５ｍｍのワイヤー１０を使用している。
【００３０】
次に、このように構成された切断装置１を用いてフィルム１１４を切断する作業要領について図３および図４に基づいて説明する。
【００３１】
なお、切断装置１は、図示しない搬送コンベアを挟んで左右に対向して設置されている。
【００３２】
まず、詳細には図示しないが、ガラス基板１１１に充填材１１２を介して太陽電池セル列１１３が積層されるとともに、充填材１１２を介してガラス基板１１１よりも縦横寸法の大きなのフィルム１１４が積層され、これらが一体化したフレームレスモジュール１１０の半製品（以下、ワークという。）Ｗが搬送コンベアを介して前後方向の上流側から切断装置１を臨む位置まで搬送される。ワークＷが設定位置に到達すれば、搬送コンベアの駆動を停止し、搬送方向に位置決めする。その後、左方向および右方向から図示しない位置決め部材をワークＷに向けて進出させ、ワークＷを左右方向から挟み込んでワークＷの幅方向の中心を搬送コンベアの左右方向の中心上に位置するように位置決めする。ワークＷを位置決めしたならば、図示しない吸着パッドを上昇させ、ワークＷを前後方向および左右方向に位置決めした状態で移動しないように吸着して固定する（図４（ａ）参照）。
【００３３】
ワークＷを固定したならば、位置決め部材を退出させた後、巻き取りローラー８をサーボモーターを介して回転させるとともに、繰り出しローラー７をトルクモータを介してブレーキを作用させて回転させる一方、一対の通電部材９，９間に通電する。これにより、繰り出しローラー７に巻き取られるワイヤー１０は、一定の張力が作用した状態で引き出され、一対の通電部材９，９を経て巻き取りローラー８に巻き取られる。そして、ワイヤー１０は、一対の通電部材９，９間を移動する際、通電部材９，９間に作用する電圧を受けて設定温度に加熱される。
【００３４】
この状態で、左右の各作業台６をワークＷに向けて進出させると、加熱された各ワイヤー１０は、ワークＷにおけるガラス基板１１１の左右各端面からはみ出したフィルム１１４に切込を入れて切断し、ワークＷにおけるガラス基板１１１の左端面および右端面にそれぞれ接触する（図４（ｂ）参照）。
【００３５】
ここで、前述した位置決め部材によってワークＷの左右各端面が位置決めされることにより、ワークＷにおけるガラス基板１１１の左右各端面位置が把握されており、このガラス基板１１１の左右各端面を基準位置として、ワイヤー１０が基準位置を設定長さだけワークＷの内方側に位置するように作業台６を進出させる（図１および図３参照）。これにより、位置決め部材によって検出されたワークＷにおけるガラス基板１１１の左右各端面位置（基準位置）に若干誤差が発生したとしても、ワイヤー１０をガラス基板１１１の左右各端面に確実に接触させることができる。
【００３６】
この後、各作業台６をワークＷの搬送方向下流側に移動させると、各ワイヤー１０は、ワークＷにおけるガラス基板１１１の左右各端面に接触しながら左右各端面に沿って移動し、フィルム１１４のガラス基板１１１の対向する２辺の各端縁からそれぞれはみ出した部分のうち、切込の終点位置から搬送方向下流側部分を切断して切り離す（図４（ｃ）参照）。
【００３７】
この際、ワイヤー１０は、フィルム１１４に接触し、また、ガラス基板１１１の端面に接触することにより、熱が奪われて温度が低下するが、巻き取りローラー８に巻き取られて、上方の通電部材９から下方の通電部材９に向けて連続的に移動しており、ワークＷのガラス基板１１１の端面およびフィルム１１４に接触した後瞬時に離脱する。すなわち、ワイヤー１０は設定温度に加熱されて連続的に供給されるため、常にフィルム１１４を設定温度に加熱されたワイヤー１によって切断することができる。したがって、ワークＷにおけるフィルム１１４のガラス基板１１１の左右各端縁からはみ出した部分を常に設定温度に加熱されて連続的に供給されるワイヤー１０によって切断することができ、ワイヤー１０の温度が低下して切断できなくなる事態を発生させることはない。
【００３８】
一方、ワイヤー１０は、ワークＷのフィルム１１４およびガラス基板１１１の端面に接触した際、熱を奪われて温度が低下することから、温度が低下したワイヤー１０が巻き取りローラー８に巻き取られる。
【００３９】
次いで、各作業台６を退出させるとともに、ワークＷの搬送方向上流側に移動させて切断開始位置まで戻した後（図４（ｄ）参照）、再び各作業台６をワークＷに向けて進出させ、各ワイヤー１０をワークＷのガラス基板１１１の左端面および右端面に接触させた後（図４（ｅ）参照）、作業台６をワークＷの搬送方向上流側に移動させる。これにより、各ワイヤー１０は、ワークＷにおけるガラス基板１１１の左右各端面に接触しながら左右各端面に沿って移動し、フィルム１１４のガラス基板１１１の対向する２辺の各端縁からそれぞれはみ出した部分のうち、切込の終点位置から搬送方向上流側部分を切断して切り離す。すなわち、ワークＷにおけるフィルム１１４のガラス基板１１１の左右各端縁からそれぞれはみ出した部分を全長にわたって切断して切り離すことができる（図４（ｆ）参照）。
【００４０】
ワークＷにおけるフィルム１１４のガラス基板１１１の左右各端縁からはみ出した部分を切断すれば、吸着パッドによるワークＷの吸着を解除した後、搬送コンベアを駆動してワークＷを下流側に搬送し、回転テーブルを利用してワークＷを９０°回転させ、さらに、搬送コンベアを駆動してワークＷを次の作業ステージまで搬送する。そして、次の作業ステージにおいて、同様に、作業台６をワークに向けて進出させ、加熱されたワイヤー１０によってワークＷのガラス基板１１１の新たな左右各端縁からはみ出したフィルム１１４を切断して切り離すことにより、ワークＷをフレームレスモジュール１１０に加工することができる。
【００４１】
なお、各作業ステージにおいて、フィルム１１４の切断作業が終了すれば、次のワークＷが搬入されるまでの時間を利用して、繰り出しローラー７をトルクモーターを介して逆回転させ、巻き取りローラー８に巻き取ったワイヤー１０を繰り出しローラー７に巻き戻し、再び次のワークＷのフィルム切断作業に備えるものである。
【００４２】
この際、加熱されて緊張状態に維持されたワイヤー１０の強度が低下することから、ワイヤー１０を繰り返し使用すると、フィルム１１４の切断作業時にワイヤー１０の意図しない切断を招くおそれがある。このため、ワイヤー１０の繰り出しローラー７への巻き戻しに際して、その巻き戻し量を巻き取りローラー８へのワイヤー１０の巻き取り量の一定割合以下に制限し、ワイヤー１０の特定部分を設定回数以上使用しないようにして意図しないワイヤー１０の切断を防止することが好ましい。
【００４３】
以上のように、加熱されたワイヤー１０を連続的に巻き取りながらガラス基板１１１の端面に沿って移動させることにより、フィルム１１４のガラス基板１１１の端縁からはみ出した部分を設定温度に加熱されて連続的に供給されるワイヤー１０によって連続的に切断することができる。これにより、フィルム１１４の切断作業を自動化することができ、フレームレスモジュール１１０の製造ラインを自動化して生産効率を向上させることができる。
【００４４】
また、ワイヤー１０をガラス基板１１１の端面に接触した状態からさらにガラス基板１１１の内方側に設定長さだけ入り込むように作業台６を移動させることにより、位置決め精度に若干誤差が発生したとしても、ワイヤー１０をガラス基板１１１の端面に確実に接触させることができるとともに、ガラス基板１１１の端面に接触させた状態で該端面に沿って移動させてフィルム１１４を切断することができる。したがって、フィルム１１４をガラス基板１１１の端縁に沿って確実に切断することができ、フィルム１１４のはみ出し部分が残ることがなく、手直し作業の発生を防止することができる。
【００４５】
さらに、フィルム１１４のガラス基板１１１の左右各端縁からそれぞれはみ出した部分を同時に切断することにより、二つの作業ステージによってガラス基板１１１の４辺からはみ出したフィルム１１４を切断して除去することができ、作業時間を短縮して効率よく切断作業を行うことができる。
【００４６】
なお、前述した実施形態においては、通電部材９として鋼製プーリー９１および通電カーボン９３を利用したが、必ずしもプーリー９１を使用する必要はなく、ワイヤー１０を方向転換できれば扇状のガイドであってもよく、また、鋼製プーリー９１および通電カーボン９３以外に導電性材料であれば特に限定されない。
【００４７】
また、ワークＷにおけるフィルム１１４のガラス基板１１１の対向する２辺の各端縁からはみ出した部分を同時に切断する場合を説明したが、回転テーブルや搬送コンベアなどを利用して、各作業ステージにおいてフィルム１１４のガラス基板１１１の各端縁からはみ出した部分を一辺ずつ順に切断したり、一作業ステージにおいてワークＷを９０°ずつ回転させ、フィルム１１４のガラス基板１１１の各端縁からはみ出した部分を一辺ずつ順に切断するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１  切断装置
６  作業台
７  繰り出しローラー
８  巻き取りローラー
９  通電部材
９１  プーリー
９３  通電カーボン
１０  ワイヤー
Ｗ  ワーク
１１１  ガラス基板
１１４  フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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