(57)【要約】【課題】部品を基板から容易に分離する電気機器の分解装置を提供する。【解決手段】被接合部材よりも低い融点を有する接合材料によって基板上に固定された部品を基板から分離する電気機器の分解装置を、基板及び基板上に固定された部品を接合材料の融点以上の温度を有する過熱水蒸気に曝して接合材料を溶融させ、部品を基板から分離するようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
融点以上に加熱することによって溶融する接合材料によって基板上に固定された部品を前記基板から分離する電気機器の分解装置であって、
前記基板及び該基板上に固定された前記部品を収容する加熱容器部と、
前記加熱容器部内に前記接合材料の融点以上の温度を有する過熱水蒸気を導入する過熱水蒸気発生装置と、
を備えることを特徴とする電気機器の分解装置。
【請求項２】
前記部品は前記基板上に樹脂系材料によって固定され、
前記過熱水蒸気は、少なくとも前記部品の加熱箇所において実質的に大気圧であるとともに、前記樹脂系材料の軟化点又は融点のうちの高い温度以上の温度であること
を特徴とする請求項１に記載の電気機器の分解装置。
【請求項３】
前記加熱容器部内は前記過熱水蒸気の導入により低酸素雰囲気にされていること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電気機器の分解装置。
【請求項４】
前記加熱容器部の近傍に、前記基板を加振する加振手段が備えられていること
を特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の電気機器の分解装置。
【請求項５】
前記加熱容器部内に、前記基板を徐熱する予熱室又は前記基板を徐冷する予冷室の少なくとも一方が設けられていること
を特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の電気機器の分解装置。
【請求項６】
前記予熱室内に、前記過熱水蒸気発生装置が配置されていること
を特徴とする請求項５に記載の電気機器の分解装置。
【請求項７】
前記加熱容器部内に、予熱ヒータが設置されていること
を特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の電気機器の分解装置。
【請求項８】
前記加熱容器部の、前記基板が導入される入口、及び、該基板が搬出される出口に、前記加熱容器部への外気の漏入を防止するエアカーテンが設けられていること
を特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の電気機器の分解装置。
【請求項９】
前記加熱容器部内に、前記基板に機械的な衝撃を加える衝撃付与機構が備えられていること
を特徴とする請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の電気機器の分解装置。
【請求項１０】
前記加熱容器部内に、過熱水蒸気回収手段が設けられていること
を特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の電気機器の分解装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基板等の基材上にハンダ付け、ロウ付け、ワニス等によって固定された部品を有する電気機器の分解装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば使用済の携帯電話機やコンピュータ等の情報通信機器に搭載される回路基板等の電気機器（本明細書、請求の範囲等では電子機器を含むものとする）には、貴金属や希少金属（レアメタル）等の有用な材料や、再利用可能なチップ、コイル等の部品が含まれるため、樹脂部分や他の金属部分から分離してこれらを回収し、再利用することが要望されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、接続部に用いられる金（Ａｕ）等の有価金属を回収するためのプリント基板のリサイクル方法において、プリント基板の通電時間、製造方法、分解方法等の情報を示す記号を参照しながら回路パターン等の引き剥がしを行うことが記載されている。また、プリント板等の基材に固定された一部の部品を交換するために、この部品のハンダやロウなどの接合材料を溶融して、部品を基板上から取り除く方法も多数公知例として知られている。
【０００４】
例えば、特許文献２には、接合材料の溶融手段の一つとして、有機溶剤の蒸気（飽和蒸気と考えられる）を用いる方法が記載されている。
また、特許文献３には、高沸点の熱媒体として、沸化炭化水素（沸点２１５℃）やシリコーンオイル（沸点２５０℃）の蒸気や、加熱液体を使用する方法が記載されている。
【０００５】
また、特許文献４には、接合材料を溶融させる手段として、赤外線ヒータ、熱風、不活性有機溶剤の凝縮熱、高周波加熱等の方法を使用し、接合材料を溶融した後に、衝撃や振動、せん断を加えること等により、部品を基板から分離する方法を使用する例が記載されている。
【０００６】
さらに、特許文献５には、基板に高温の窒素ガス（３００〜５００℃）を噴出して、接合材料を溶融し、その後超音波振動を加えることにより部品を基板から分離する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−３１４２１０号公報
【特許文献２】特開平９−１８６４５０号公報
【特許文献３】特開昭６０−２４４０９６（４）号公報
【特許文献４】特開平８−１３９４４６号公報
【特許文献５】特開昭６１−２９５６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述したような電気機器の解体は、金属部分や樹脂部分を切り離すために、おもに手動または機械的に分離する方法や、機器一式を炉で溶融し、溶融状態で分離を行う方法が採用されている。
また、高沸点の熱媒体を加熱し、その媒体（液体）中に基板を浸したり、それらの飽和蒸気の凝縮潜熱を加熱に利用しているため、加熱利用濃度の領域に限界がある。
さらに、手動または機械的に分離する場合、種々の形状の部品等に切断力、引き剥がし力などの機械的な力を与えて基材から取り外すため、自動化が難しく非常に作業性が低い。
一方、溶融回収を行う場合、回収しようとする金属が混合されるため、溶融した後の分離作業に多くの手間がかかり、分離回収効率が低い。また、回収対象材料以外の材料も溶融する必要があるため、不要物の溶解に多くのエネルギを使ってしまう。
また、熱を使う方法では、樹脂等が燃焼したりコンデンサからの絶縁油等の酸化により有毒ガスが発生する場合があり、さらに分離回収した金属等の酸化変質の問題があり好ましくない。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を解決すべく創案されたものであって、部品を基板から容易に分離する電気機器の分解装置を提供することを課題とする。特には、部品を基板から分離するための、電気機器を加熱する装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、以下のような解決手段により、上述した課題を解決する。
本発明の電気機器の分解装置によって行われる電気機器の分解方法は、融点以上に加熱することによって溶融する接合材料によって基板上に固定された部品を前記基板から分離する電気機器の分解方法であって、前記部品は前記基板上に樹脂系材料によって固定され、１００℃以下の前記基板を過熱水蒸気が導入される容器中に収容し、前記接合材料を、少なくとも前記部品の加熱箇所において実質的に大気圧であるとともに、前記接合材料の融点以上でありかつ前記樹脂系材料の軟化点以上の温度である過熱水蒸気を用いて加熱することを特徴とする。
【００１１】
ここで、飽和蒸気でなく過熱蒸気を使用する理由は、電気基板で多用されている共昌ハンダ（スズ−銅系の場合）の融点が最大で約２４０℃であるため、飽和蒸気の凝縮潜熱だけでは溶融しにくく、飽和蒸気をさらに加熱した乾き蒸気点以上の過熱蒸気が必要であるためである。
過熱蒸気の顕熱のみ、又は、顕熱と凝縮潜熱を利用するため、凝縮潜熱のみを利用する場合よりも、より高温領域に加熱できる。なお、過熱水蒸気を得る手段は、本発明の過熱水蒸気発生手段に限らない。
【００１２】
電気機器の分解方法は、前記過熱水蒸気によって前記基板及び前記部品の周囲を低酸素雰囲気に保った状態で処理することを特徴とする。
【００１３】
特には、電気機器が処理される雰囲気を過熱水蒸気で満たす際、酸素濃度が空気の約１／２０程度の低酸素雰囲気とすることが好ましい。
【００１４】
この電気機器の分解方法は、前記基板及び該基板上に固定された部品を過熱水蒸気に曝す際に、前記基板を加振することを特徴とする。
【００１５】
本発明の電気機器の分解装置は、融点以上に加熱することによって溶融する接合材料によって基板上に固定された部品を前記基板から分離する電気機器の分解装置であって、前記基板及び該基板上に固定された前記部品を収容する加熱容器部と、前記加熱容器部内に前記接合材料の融点以上の温度を有する過熱水蒸気を導入する過熱水蒸気発生装置と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
上記した電気機器の分解装置は、前記部品は前記基板上に樹脂系材料によって固定され、前記過熱蒸気は、少なくとも前記部品の加熱箇所において大気圧であるとともに、前記樹脂系材料の軟化点又は融点のうちの高い温度以上の温度であることを特徴とする。
【００１７】
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部内は前記過熱蒸気の導入により低酸素雰囲気にされていることを特徴とする。
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部の近傍に、前記基板を加振する加振手段が備えられていることを特徴とする。
【００１８】
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部内に、前記基板を徐熱する予熱室又は前記基板を徐冷する予冷室の少なくとも一方が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
上記した電気機器の分解装置は、前記予熱室内に、前記過熱蒸気発生装置が配置されていることを特徴とする。
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部内に、予熱ヒータが設置されていることを特徴とする。
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部の、前記基板が導入される入口、及び、該基板が搬出される出口に、前記加熱容器部への外気の漏入を防止するエアカーテンが設けられていることを特徴とする。
【００２０】
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部内に、前記基板に機械的な衝撃を加える衝撃付与機構が備えられていることを特徴とする。
上記した電気機器の分解装置は、前記加熱容器部内に、過熱水蒸気回収手段が設けられていることを特徴とする。
【００２１】
本発明の電気機器の分解装置において行われる電気機器の分解方法は、被接合部材よりも低い融点を有する接合材料によって基板上に固定された部品を前記基板から分離する電気機器の分解方法であって、前記基板及び該基板上に固定された前記部品を前記接合材料の融点以上の温度を有する過熱水蒸気に曝して前記接合材料を溶融させ、前記部品を前記基板から分離することを特徴とする。
【００２２】
本発明の他の態様における電気機器の分解装置は、被接合部材よりも低い融点を有する接合材料によって基板上に固定された部品を前記基板から分離する電気機器の分解装置であって、前記基板及び該基板上に固定された前記部品を収容する容器部と、前記容器部内に前記接合材料の融点以上の温度を有する過熱蒸気を導入する過熱蒸気発生装置と、を備えることを特徴とする。
【００２３】
上記した電気機器の分解装置は、前記過熱蒸気発生装置は、第１の筒状体と、前記第１の筒状体の一方の端部から蒸気を該第１の筒状体内に導入する導入管路と、前記第１の筒状体の内部に挿入され、前記導入管路側と反対側の端部で前記第１の筒状体と連通する第２の筒状体と、前記第２の筒状体の内部に挿入され、前記第１の筒状体と前記第２の筒状体とが連通する側と反対側の端部で前記第２の筒状体と連通する第３の筒状体と、前記第３の筒状体から過熱蒸気を排出する排出管路と、前記導入管路から前記排出管路までの気体流路内に設けられ、前記蒸気を加熱する加熱手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）例えばハンダ、ロウ等の接合材料の融点以上の温度を有する過熱蒸気でこの接合材料を溶融させることによって、電子部品、電気品、配線等の部品は、基板から容易に剥離可能な状態となり、電気機器を容易に分解することができる。
（２）部品が例えばワニス等の樹脂系材料によって固められている場合であっても、過熱蒸気で樹脂系材料を加熱し軟化させることによって、部品を容易に剥離することができる。
（３）過熱蒸気によって空気を追い出し、高温かつ低酸素の還元雰囲気とすることによって、樹脂の燃焼（酸化）や炭化による有害ガスの発生を抑制できる。
（４）過熱蒸気として過熱水蒸気を用いることによって、ワークが１００℃以下の状態では５３９ｋｃａｌ／ｋｇの潜熱を加熱に用いることができるため、例えば加熱空気の熱風を用いる場合よりも短時間でワークを昇温することができ、高速処理が可能である。さらに、装置から漏れた場合も有毒ではなく、また、不燃性であるため、高い安全性が得られる。
（５）ワークを過熱蒸気に曝しつつ基板を加振することによって、容易に剥離可能となった部品を重力で落下させて回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明を適用した電気機器の分解装置の第１の実施形態における構成を示す図である。
【図２】図１の電気機器の分解装置における過熱蒸気発生装置を示す図である。
【図３】図２のIII−III断面を示す断面図である。
【図４】図２のIV部拡大図である。
【図５】本発明を適用した電気機器の分解装置の第２の実施形態における構成を示す図である。
【図６】図５の電気機器の分解装置におけるシャワーヘッドの構造を説明する図であって、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は側面図である。
【図７】図５の電気機器の分解装置の過熱蒸気供給システムを説明するブロック図である。
【図８】図５の電気機器の分解装置のホルダの底板の構造を示す図であって、図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は正面図である。
【図９】図５の電気機器の分解装置のローダ機構を説明する図である。
【図１０】図９のローダ機構のリンクアームの回動動作を説明する図である。
【図１１】図５の電気機器の分解装置における、処理温度と分離収率との関係を示すグラフである。
【図１２】図５の電気機器の分解装置における、加熱時間と分離収率との関係を示すグラフである。
【図１３】図５の電気機器の分解装置における、蒸気流量と分離収率との関係を示すグラフである。
【図１４】図５の電気機器の分解装置内の酸素濃度の分布を示すグラフである。
【図１５】図５の電気機器の分解装置の分離収率の測定結果を示す表である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明を適用した電気機器の分解装置（以下、単に「分解装置」と称する。）の実施形態を、図面に基づいて説明する。この分解装置は、例えば携帯電話機、コンピュータ等の回路基板（ワーク）を分解するものであり、本発明の電気機器の分解方法を実行するものである。回路基板は、例えば、プリント基板等の基板上にＩＣチップ（素子）、コイル、コンデンサ等の各種部品や配線が固定されたものもある。各種部品の接続端子は、プリント基板にハンダ付けによって固定されている。また、ＩＣチップは、ワニスによってもプリント基板に固定されているものもある。
【００２７】
図１は、本発明の第１の実施形態の分解装置の構成を示す図である。
分解装置は、ボイラ１、過熱蒸気発生装置２、シャワーヘッド３、コンベア４、バイブレータ５、加熱容器６等を備えて構成されている。
分解装置によって分解されるワーク（電気機器）は、例えばプリント基板である基板７、及び、この基板７にハンダ付けされ、さらにワニスで固められた素子８を有して構成される。
【００２８】
ボイラ１は、図示しない給水手段から供給される水を加熱して飽和水蒸気を発生するものである。
【００２９】
過熱蒸気発生装置２は、ボイラ１から供給される飽和水蒸気を再加熱して過熱蒸気を発生するものである。この過熱蒸気発生装置２については、後に詳しく説明する。
【００３０】
シャワーヘッド３は、加熱容器６内に設けられ、その内部を通過するワークに対して、過熱蒸気発生装置２が発生した過熱蒸気を噴出し照射するものである。シャワーヘッド３は、過熱蒸気が噴出する複数の噴出孔を有する。
【００３１】
コンベア４は、加熱容器６を貫いて配置されたベルトコンベアであって、回収容器９に載せられたワークを加熱容器６内に搬入し、加熱容器６内を所定時間かけて搬送した後に搬出する搬送装置である。
【００３２】
バイブレータ５は、加熱容器６内におけるコンベア４の内部に設けられ、コンベア４における回収容器９が載せられる上面部を加振するものである。バイブレータ５は、コンベア４の走行方向（ワーク搬送方向）に沿って、例えば３個がほぼ等間隔に分布して配置されている。
【００３３】
加熱容器６は、例えばほぼ矩形の側面視形状、正面視形状、平面形状を有するボックス状に形成されている。加熱容器６は、コンベア４と協働して、連続式のコンベア炉を構成する。分解装置の運転時には、加熱容器６の内部は、シャワーヘッド３から噴出する過熱蒸気によって空気を追い出し、高温かつ低酸素状態の雰囲気とする。
【００３４】
本実施形態の電気機器の分解装置において、過熱蒸気の温度は過熱蒸気発生装置２のシーズヒータ６０の出力によりコントロールされる。また、過熱蒸気の流量は、ボイラ１の出力によってコントロールされる。加熱容器６内の過熱蒸気の分布は、シャワーヘッド３の穴位置、穴径によって決定される。
【００３５】
ワークが回収すべき素子８を下向きとして回収容器９に載せられた状態で、加熱容器６内をコンベア４によって搬送されるときに、ワークが過熱蒸気に曝されると、ハンダやロウ材等の、基板７に素子８を固定している導電性の物質（合金）は、過熱蒸気によって温度を上げられ（例えば約１００〜１３００℃）、溶融状態となって剥離が容易な状態となる。また、ワニスも加熱されて軟化する。
そして、バイブレータ５によってコンベア４及び回収容器９を介してワークを加振すると、素子８が基板７から分離して素子８は重力落下し、回収容器９に収容される。
【００３６】
以下、過熱蒸気発生装置２の構成について、より詳細に説明する。
図２は、過熱蒸気発生装置２の一部断面を含む側面図である。図３は、図２のIII―III部断面図である。
過熱蒸気発生装置２の外観は、飽和水蒸気供給管１０が接続された供給側端板３０と器体本体２０と過熱水蒸気排出管７０が接続された排出側端板４０から構成される。過熱蒸気発生装置２の内部には、隔管５０が配置され、過熱水蒸気排出管７０を隔管５０の閉端部近傍まで伸ばして流体流路を形成した上で、流体を効率よく加熱するために隔管５０の内側で過熱水蒸気排出管７０の外側にシーズヒータ６０が配設される。過熱蒸気発生装置２の内部の蒸気の流れ方向を、図中に矢印で示す。
【００３７】
過熱蒸気発生装置２の内部には高温の水蒸気が流れることになるので、特に温度条件の厳しくなる隔管５０等の各部材は、高温酸化処理または電解研磨後に表面を不動態化処理したステンレス鋼等を用い高温腐食対策をとる。
【００３８】
器体本体２０は、円筒状に形成されている。器体本体２０の両端部２１，２２は、それぞれ供給側端板３０及び排出側端板４０によって閉塞されている。器体本体２０は、本発明にいう第１の筒状体として機能する。器体本体２０は、例えばその中心軸がほぼ水平となるように配置されるが、本発明はこれに限定されない。
供給側端板３０及び排出側端板４０は、それぞれ平板状の円盤であって、その外周縁部が器体本体２０の内周面と接する状態で嵌め込まれ、溶接等によって固定されている。
供給側端板３０及び排出側端板４０の中央部には、それぞれ飽和水蒸気供給管１０及び過熱水蒸気排出管７０が挿入され固定される開口３１，４１が形成されている。
【００３９】
隔管５０は、器体本体２０よりも径が小さい円筒状に形成されている。隔管５０は、器体本体２０と同心となるように器体本体２０内に挿入されている。隔管５０は、その外周面から外径側に突き出したステー５１を有し、ステー５１の突端部を器体本体２０の内周面に固定することによって支持されている。隔管５０の両端部５２，５３は、供給側端板３０及び排出側端板４０とそれぞれ間隔を隔てて対向して配置されている。
隔管５０は、本発明にいう第２の筒状体として機能する。
【００４０】
隔管５０の供給側端板３０側の端部５２は、端板５４によって閉塞されている。端板５４は、平坦な円盤状の部材であって、その周囲を隔管５０に溶接されることによって固定及びシールされている。
また、隔管５０の端部５２には、遮熱板１１０が設けられている。遮熱板１１０は、端板５４の外表面（飽和水蒸気供給管１０側の面）との間に空隙を有して配置された平板状の部材である。遮熱板１１０は、例えばステンレス鋼によって隔管５０よりもわずかに径が大きい円盤状に形成されている。遮熱板１１０は、端板５４と平行に配置されるとともに、後述する複数の支柱１１３で端板５４から浮かせた状態で隔管５０に固定されている。
【００４１】
図４は、遮熱板１１０付近の拡大図であり、図４（ａ）は図１のIV部拡大図、図４（ｂ）は図４（ａ）のｂ−ｂ部矢視図である。
遮熱板１１０は、１対のプレート１１１、１１２を層状に重ねた二重構造となっており、支柱１１３により隔管５０に支持されている。
プレート１１１は、円盤状に形成され、隔管５０の端板５４と間隔を隔てて対向し、この端板５４と平行に配置されている。プレート１１１の外周縁部には、隔管５０と反対側（供給端板３０側）に立ち上げられた立上部１１１ａが形成されている。また、プレート１１１には、支柱１１３が挿入される開口１１１ｂが形成されている。
プレート１１２は、円盤状に形成され、プレート１１１の隔管５０とは反対側の面部と間隔を隔てて対向し、プレート１１１と平行に配置されている。プレート１１２の外周縁部は、プレート１１１の立上部１１１ａの突端部と溶接等によって接合されている。これによって、プレート１１１，１１２は、中空の円盤状の構造を形成する。
支柱１１３は、隔管５０の端板５４とプレート１１１とにわたして設けられた軸状の部材である。支柱１１３は、遮熱板１１０の周方向にほぼ等間隔に分散して、例えば３本が設けられる。支柱１１３の遮熱板１１０側の端部には円盤状のフランジ１１３ａが固定される。このフランジ１１３ａは、遮熱板１１０の内部（プレート１１１と１１２の間）に収容され、プレート１１１のプレート１１２側の面に固定されている。支柱１１３の隔管５０側の端部は、端板５４と例えば溶接等によって固定されている。
【００４２】
飽和水蒸気供給管１０は、ボイラ１から飽和水蒸気を供給される円筒状の管路である。飽和水蒸気供給管１０は、供給側端板３０の開口３１から器体本体２０内に挿入されている。開口３１の内周縁部と飽和水蒸気供給管１０の外周面との間は全周にわたって溶接され、これによって開口３１はシールされている。飽和水蒸気供給管１０は、器体本体２０とほぼ同心に配置されている。飽和水蒸気供給管１０の端部１１は、供給側端板３０から突出するとともに、遮熱板１１０と間隔を隔てて対向して配置されている。飽和水蒸気供給管１０は、本発明にいう導入管路として機能する。
【００４３】
過熱水蒸気排出管７０は、過熱蒸気発生装置２内で発生した加熱済気体である過熱蒸気を外部へ排出する円筒状の管路である。過熱水蒸気排出管７０は、排出側端板４０の開口４１から器体本体２０内へ挿入され、さらに、器体本体２０内で隔管５０内に挿入されている。開口４１の内周縁部と過熱水蒸気排出管７０の外周面との間は全周にわたって溶接され、これによって開口４１はシールされている。過熱水蒸気排出管７０は、器体本体２０及び隔管５０とそれぞれほぼ同心に配置されている。過熱水蒸気排出管７０の先端部７１は、隔管５０の内部において、端板５４と間隔を隔てて対向して配置されている。この先端部７１は、隔管５０の内周面と過熱水蒸気排出管７０の外周面との間を流れてきた水蒸気が過熱水蒸気排出管７０内に導入される連通部となっている。
この過熱水蒸気排出管７０は、本発明にいう第３の筒状体、及び、排出管路として機能する。
【００４４】
シーズヒータ６０は、飽和水蒸気供給管１０から供給された飽和水蒸気を再加熱して過熱蒸気とする加熱手段である。シーズヒータ６０は、供給側端板３０から器体本体２０内に導入され、ここから器体本体２０の内周面と隔管５０の外周面との間を通して隔管５０の端板５４と反対側の端部（開口端部）５３まで直線状に配置されている。シーズヒータ６０の発熱部６１は、隔管５０の開口端部から隔管５０の内径側に引き込まれ、過熱水蒸気排出管７０の外周面に螺旋状に巻き付けられている。
シーズヒータ６０の発熱部６１は、過熱水蒸気排出管７０の外周面から突き出して設けられたサポート１００によって支持されている。
過熱水蒸気排出管７０の外表面上軸方向に付設されたサポート１００によってシーズヒータ６０の耐振性を確保し、シーズヒータ６０と過熱水蒸気排出管７０及び隔管５０の損傷事故を防ぎ、さらに連通する過熱水蒸気排出管７０内を流れる過熱水蒸気への伝熱効率を付与された耐振及び加熱構造である。
【００４５】
上記した構成によって、飽和水蒸気供給管１０から器体本体２０に導入された飽和水蒸気は、隔管５０内を流れる過熱水蒸気の冷却回避の目的で配設された遮熱板１１０と隣接する端板５４に当たり外空間Ｓ１で予熱され、連通する内空間Ｓ２で加熱され、さらに連通する過熱水蒸気排出管７０で最終加熱され、１．５パスによる安定した質の過熱水蒸気を生成することができる。
【００４６】
すなわち、飽和水蒸気供給管１０から器体本体２０内に吹込まれた飽和水蒸気は、遮熱板１１０に衝突して外径側に流れ、さらに器体本体２０の内周面と衝突し、器体本体２０の内周面と隔管５０の外周面との間の外空間Ｓ１内を排出側端板４０側へ流れる。排出側端板４０付近に達した水蒸気は、隔管５０の開口している端部５３から隔管５０の内径側へ流入し、隔管５０の内周面と過熱水蒸気排出管７０との間の内空間Ｓ２内を端部５２及び端板５４側へ流れる。端部５２付近に達した水蒸気は、端板５４と衝突して過熱水蒸気排出管７０の端部７１内へ導入され、過熱水蒸気排出管７０内を通って外部へ排出される。
【００４７】
また、飽和水蒸気は、上記のように流れる途中で、シーズヒータ６０の発熱部６１によって加熱され、飽和水蒸気から過熱蒸気へと変化する。また、飽和水蒸気が器体本体２０を介した外気との熱交換や、運転開始直後における低温の各部材によって冷却されて発生する凝縮水は、器体本体２０の内周面等を伝って滴下し、器体本体２０の下部に貯留される。凝縮水は、装置の運転中に加熱されて過熱水蒸気となり排出される。
【００４８】
本実施形態においては、生成した過熱水蒸気温度を減温させることなく最大熱効率を確保するため、飽和水蒸気供給管１０の入口と過熱水蒸気排出管７０の出口を両間隔が最大となるように、器体本体２０の両端部２１，２２近傍に配設し、飽和水蒸気供給管１０の入口近傍に飽和水蒸気の流れ方向に直面する位置に遮熱板１１０を配設し、過熱水蒸気が内流する隔管５０が冷却減温されることを回避し、全体の熱効率を向上させている。
【００４９】
ここで、本実施形態において、飽和水蒸気供給管１０から供給する飽和水蒸気の流速が大きいと、装置内に滞留する凝縮水の水面に沿った気流に凝縮水が液滴として巻き込まれ、排出される過熱水蒸気内に液相の状態で混入する場合がある。これを防止するため、飽和水蒸気の供給量は、凝縮水の液面の蒸気流速を考慮して、水蒸気気流が液滴を巻込まないように設定する。
【００５０】
以上説明した実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）ハンダの融点以上の温度を有する過熱蒸気でこのハンダを溶融させることによって、素子８は基板７から容易に剥離可能な状態となり、ワークを容易に分解することができる。
（２）素子８がハンダ付け等に加えて、さらにワニスによって固められている場合であっても、過熱蒸気でワニスを加熱し軟化、溶融させることによって、素子８を容易に剥離することができる。
（３）過熱蒸気によって加熱容器６内の空気を追い出し、高温かつ低酸素の雰囲気とすることによって、ワニス等の炭化による有害ガスの発生を抑制できる。
（４）過熱蒸気として過熱水蒸気を用いることによって、ワークが１００℃以下の状態では５３９ｋｃａｌ／ｋｇの潜熱を加熱に用いることができるため、例えば加熱空気の熱風を用いる場合よりも短時間でワークを昇温することができ、高速処理が可能である。
（５）ワークを過熱蒸気に曝しつつワークを載せたコンベア４をバイブレータ５で加振することによって、素子８を回収容器９内に落下させて回収することができる。
【００５１】
次に、図５を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る電気機器の分解装置を説明する。
この例の分解装置２００は、ワークが収容されて加熱される加熱容器部（ローダ部）２１０と、過熱蒸気を発生する過熱蒸気発生装置２５０と、同装置で発生した過熱蒸気を加熱容器部２１０の内部に導入するシャワーヘッド２６０と、加熱容器部２１０内でワークを搬送する搬送手段（コンベア）２７０と、を主に備える。
【００５２】
加熱容器部２１０は、横に長い中空の箱状のものである。加熱容器部２１０の、一方の側面（図５の右側）には、ワークの入口２１１が開けられており、反対側の側面（図５の左側）には処理されたワークの出口２１２が開けられている。この入口２１１と出口２１２との間には、ワークを搬送するコンベア２７０が配置されている。コンベア２７０は、上流側（入口側）に配置されたスプロケット２７５と、下流側（出口側）に配置された駆動ローラ２７６との間に巻き回されて、図５の反時計方向に循環走行する。コンベア２７０は、この例では一対のチェーンコンベアである。ワークは、この例では、複数枚の基板であり、ボックス状のホルダ３００に収容されて搬送される。ホルダ３００については後述する。
【００５３】
加熱容器部２１０の入口２１１の上流側には、ワークが収容されたホルダ３００を、分解装置２００に搬送するローラコンベア２０３が配置されている。ホルダ３００は、ローラコンベア２０３からチェーンコンベア２７０に、ローダ機構５００によって移管される。ローダ機構５００については後述する。一方、加熱容器部２１０の出口２１２の下流には、ホルダ３００を、分解装置２００から搬出するローラコンベア２０５が配置されている。ホルダ３００は、チェーンコンベア２７０からローラコンベア２０５に、アンローダ機構によって移管される。アンローダ機構については公知のため説明を省略する。
【００５４】
加熱容器部２１０は、隔壁２１０ａ、２１０ｂによって、搬送方向における上流側から順に、予熱室２１５、処理室２１６、予冷室２１７に区分けされている。
【００５５】
予熱室２１５の上方には、過熱蒸気発生装置２５０と、同装置２５０に接続するエジェクタ２５１が配置されている。過熱蒸気発生装置２５０は、例えば、図２〜図３を参照して説明した過熱蒸気発生装置を使用できる。エジェクタ２５１には、加熱容器部外に配置されたボイラ２５３が接続している。ボイラ２５３は、図示しない給水手段から供給される水を加熱して飽和水蒸気（１００℃、約０．１ＭＰＡ）を発生する。この飽和水蒸気は、エジェクタ２５１により過熱蒸気発生装置２５０に送り込まれて再加熱され、過熱蒸気（約２８０℃、約０．１ＭＰＡ）を発生する。
【００５６】
処理室２１６の上方には、過熱蒸気発生装置２５０で発生した過熱蒸気を導入するシャワーヘッド２６０が設けられている。シャワーヘッド２６０は、図６に示すように、中空の平たい直方体状の本体部２６１と、本体部２６１の上面中央から突き出して設けられた過熱蒸気導入管２６２とを有する。本体部２６１の下面には、複数の蒸気排出口２６３が分散して形成されている。排出口２６３の径や位置によって、過熱蒸気の分布を調整できる。例えば、ワークの寸法や数に応じて、排出口２６３の径や位置を調整して、適切な流量分布となるように蒸気の流路を形成する。本体部２６１は、コンベア２７０の上段経路に面して配置されている。
【００５７】
図７に示すように、シャワーヘッド２６０の過熱蒸気導入管２６２には、過熱蒸気発生装置２５０から延びる過熱蒸気供給管２５５が接続している。過熱蒸気発生装置２５０で発生した過熱蒸気は、過熱蒸気供給管２５５からシャワーヘッド２６０を介して、チェーンコンベア２７０で搬送されるワークに向けて噴射される。処理室２１６内には温度センサ２５７が取り付けられており、同部内の温度を検知する。制御器２５８は、温度センサ２５７が検知した温度に応じて過熱蒸気発生器２５０の温度が所定の設定温度となるようにフィードバック制御し、過熱蒸気発生装置２５０の加熱電力や過熱蒸気の流量を調整する。
【００５８】
また、処理室２１６内の、コンベア２７０の上段経路の下方には、吸引ヘッダ２２１が、シャワーヘッド２６０と対向するように配置されている。この吸引ヘッダ２１１は、エジェクタ２５１に接続している。吸引ヘッダ２２１は、ワークの加熱に使用されなかった廃過熱蒸気を吸引し、エジェクタ２５１に送る。この廃過熱蒸気は、ボイラ２５３から供給される飽和水蒸気と混合されて、過熱蒸気発生装置２５０に送られて再利用される。
【００５９】
さらに、処理室２１６の下方には、過熱蒸気発生装置２５０の起動前に処理室２１６を徐熱する予熱ヒータ２２３が配置されている。
【００６０】
なお、予熱室２１５及び予冷室２１７の上方にも、それぞれ吸引ヘッダ２２５、２２６が配置されている。これらの吸引ヘッダ２２５、２２６もエジェクタ２５１に接続している。これらの室内に存在する廃過熱蒸気も、吸引ヘッダ２２５、２２６から吸引されて、ボイラ２５３から供給される飽和水蒸気と混合され、過熱蒸気発生装置２５０に送られて再利用される。
【００６１】
加熱容器部２１０の入口２１１及び出口２１２には、それぞれ対向する排気ヘッダ２３１、２４１と吸気ヘッダ２３２、２４２が配置されている。排気ヘッダ２３１、２４１と吸気ヘッダ２３２、２４２とは、直列に接続された加熱器２３３、２４３と送風器２３４、２４４を備えたラインで接続されている。入口２１１及び出口２１２において、加熱器２３３、２４３で加熱された空気は、送風器２３４、２４４によりラインを通って排気ヘッダ２３１、２４１から排出され、同時に吸気ヘッド２３２、２４２で吸引される。これにより、両ヘッダ間に加熱された空気によるエアカーテンが構成される。これらのエアカーテンにより、加熱容器部２１０内への外気の漏入が防止されるとともに、加熱容器部２１０内からの過熱蒸気の漏出を防止する。
【００６２】
処理室２１６内の、チェーンコンベア２７０の上段経路には、搬送されるホルダに機械的な衝撃を加える衝撃付与手段が設けられている。衝撃付与手段は、この例では、断面形状が三角形のブロック２９０であり、上流から下流に向かって上方に傾斜した傾斜面２９０ａを有する。傾斜面２９０ａの前端は、チェーンコンベア２７０の搬送経路より上方に突き出ている。ブロック２９０は搬送経路に沿って複数個（図では３個）配置されている。
【００６３】
加熱容器部２１０の底壁２１０ｃは、予熱室２１５から予冷室２１７に向かって下方に傾斜している。予冷室２１７の底壁には、凝縮水が回収される排水口２２７が形成されている。この排水口２２７は、ボイラ２５３に接続しており、回収された凝縮水が再利用される。
【００６４】
次に、図８を参照して、ワークが収容されるホルダについて説明する。
ホルダ３００は、底板３１０と、カバー（図示されず）とを有する。底板３１０は、平面形状が長方形の内板３２０と外板３３０との二重の構造である。外板３３０の幅は、内板３２０よりもやや広い。外板３３０の左右の縁には、側板３３１が立ち上がっており、両側板３３１の上端部３３２は、内板３２０の上方に張り出すように内側に折り曲げられている。内板３２０は、外板３３０の側板３３１の上端部３３２からバネ３３５によって吊り下げられて弾性支持されている。バネ３３５は、図８（ａ）に示すように、底板３１０の四隅近傍において、外板３３０の側板３３１の上端部３３２と、内板３２０とを貫通して延びるピン３３６に外嵌されている。このような構成により、内板３２０は外板３３０に対して、バネ３３５により弾性支持されている。
【００６５】
内板３２０の上面には、複数（この例では１０枚）の基板を片持ち式に保持するグリップ３２１が形成されている。この例では、基板は搬送方向と平行に立てられる。また、内板３２０の一面には、多数のスリット３２３が開けられている。
【００６６】
外板３３０の下面の左右縁には、搬送方向に延びるガイド３３９が固定されている。ガイド３３９は、ホルダ３００がチェーンコンベア２７０で搬送される間、各チェーンに係合して、左右にずれないようにガイドするためのものである。ガイド３３９は、搬送方向に長いプレートであり、進行方向前端３４１が下方に折れ曲がっている。このガイド３３９の前端３４１が、後述するように、チェーンに係合する。
【００６７】
また、外板３３０の下面の、左右縁から内寄りの位置には、搬送方向に回転するローラ３４３が取り付けられている。これらのローラ３４３は、ガイド３３９よりも下方に突き出している。
さらに、外板３３０の一面には、多数のスリット３４５が開けられている。スリット３４５の位置は、内板３２０のスリット３２３に対して、横方向にずれて配置されている。
【００６８】
カバー（図示されず）は、底板３１０の四方を覆うものであり、上面が開口している。
【００６９】
次に、図９、図１０を参照して、ホルダ３００をコンベア２７０に受け渡すローダ機構５００について説明する。
ローダ機構５００は、ローラコンベア２０３で搬送されたホルダ３００を、チェーンコンベア２７０に受け渡すものである。図９に示すように、ローラコンベア２０３は、チェーンコンベア２７０の上流端に向かって下方に傾斜するように配置されている。ローダ機構５００は、ローラコンベア２０３の両側の下流端に配置されており、リンクアーム５１０と、このリンクアーム５１０に連結するガイドアーム５２０とで構成される。
【００７０】
リンクアーム５１０は、図１０に示すように、長アーム５１１と短アーム５１５とを有する。両アーム５１０の中央は、ローラコンベア２０３の基台に回動可能に取り付けられている。長アーム５１１の先端にはカウンタウェイト５１２が取り付けられており、リンクアーム５１０を時計方向に回動するように付勢している。
短アーム５１５ほぼ中央付近には、同アーム５１５から直立するストッパ片５１６が延びている。リンクアーム５１０は、ストッパ片５１６がローラコンベア２０３の搬送面から上方に突き出す上位置（図１０の実線で示す）と、同面の下方に退避する下位置（図１０の想像線で示す）との間を回動する。
【００７１】
ガイドアーム５２０は、ほぼ中央でローラコンベア２０３の基台にピンにより回動可能に支持されている。ガイドアーム５２０の一端は、リンクアーム５１０の短アーム５１５の先端に、ピン５２１により回動可能に取り付けられている。リンクアーム５１０が上位置から下位置へ回動すると、ガイドアーム５２０は、チェーンコンベア２７０側に下方に傾斜した位置（図１０の実線で示す）と、ほぼ水平な位置（図１０の想像線で示す）との間を回動する。
【００７２】
短アーム５１５とガイドアーム５２０とを連結するピン５２１は、張力可変のワイヤ５２５により下方に付勢されている。
【００７３】
なお、チェーンコンベア２７０には、図９、１０に示すように、所定の間隔で、搬送面から直立するアタッチメント２７１が取り付けられている。アタッチメント２７１には、搬送方向と直交する方向に延びるピン２７２が立設されている。このピン２７２に、ホルダ３００のガイド３３９の前端３４１が係合する。
【００７４】
図１０の実線で示すアンロード状態においては、リンクアーム５１０は、カウンタウェイト５１２によって時計方向に回動するように付勢されて、短アーム５１５のストッパ片５１６がローラコンベア２０３の搬送面から上方に突き出す上位置に待機している。
ホルダ３００がローラコンベア２０３で自重によって搬送されてくると、ホルダ３００の前面がストッパ片５１６に当たり、ストッパ片５１６を前方に押す。すると、リンクアーム５１０は、ウェイト５１２に付勢力に抗して反時計方向に回動し始める。ここで、短アーム５１５とガイドアーム５２０とを連結するピン５２１にはワイヤ５２５により適宜な大きさの下方への付勢力がかけられているので、リンクアーム５１０はなめらかに回動する。これにより、ストッパ片５１６は搬送面から下方に退避し、ガイドアーム５２０は水平位置に回動する。すると、ホルダ３００は、ストッパ片５１６から外れて前進し、図１０の想像線で示すように、ガイド３９９の先端５４１がガイドアーム５２０に支持される。
【００７５】
そして、ホルダ３００のガイド３９９の前端３４１がガイドアーム５２０の先端に達するタイミングで、循環走行するチェーンコンベア２７０のアタッチメント２７１のピン２７２が、ガイド３９９の前端３４１に係合する。これにより、図９に示すように、ホルダ３００が、ローラコンベア２０３からチェーンコンベア２７０に移管される。
【００７６】
次に、図５を参照して、この分解装置を用いたワークの分解動作を説明する。
まず、過熱蒸気発生装置２５０で過熱蒸気を発生させる。一例として、過熱蒸気の温度は約２８０℃であり、圧力は大気圧（約０．１ＭＰＡ）である。発生した過熱蒸気は、シャワーヘッド２６０から処理室２１６内に噴射される。その結果、処理室２１６内は、空気が追い出されて過熱蒸気が充満し、高温かつ低酸素状態の雰囲気とされている。ここで、過熱蒸気の温度は、放熱ロスの影響により約２７０℃程度に低下する。また、大気解放されるため圧力は実質的に大気圧（約０．１ＭＰＡ）と等しい。処理室２１６内の酸素濃度は、空気の約１／２０程度と極めて低い。
なお、処理室２１６は、過熱蒸気発生装置２５０の起動前に予熱ヒータ２２３により加温されている。これにより、過熱蒸気発生装置２５０の起動温度条件を整えるとともに、運転時の装置表面からの放熱ロスを補っている。
【００７７】
さらに、加熱容器部２１０の入口２１１と出口２１２においては、各々エアカーテンにより外気の漏入が防止されている。
【００７８】
また、予熱室２１５には過熱蒸気発生装置２５０が配置されているため、同室２１５は同装置２５０から発生する熱等により加温されている。一例として、予熱室２１５は約１００℃に加温されている。一方、予冷室２１７は１００℃以下に維持されている。
【００７９】
コンベア２７０は循環走行している。そして、ワークが収容されたホルダ３００が、ローラコンベア２０３からローダ機構５００によりチェーンコンベア２７０に移管される。チェーンコンベア２７０に移管されたホルダ３００は、加熱容器部２１０の入口２１１からエアカーテンを通って予熱室２１５に入って予熱される。その後、処理室２１６に搬送され、ホルダ３００に収容されているワークが、シャワーヘッド２６０から噴出される過熱蒸気に曝される。これにより、ハンダやロウ材等の、基板に部品を固定している接合部材（導電性の物質（合金））が溶融状態となり、部品と基板との接合力が弱まり、基板から分離しやすくなる。
【００８０】
そして、ホルダ３００がブロック２９０に達すると、ホルダ３００の下面に設けたローラ３４３（図８（ｂ）参照）がブロック２９０の斜面２９０ａに乗り上げ、ガイド３３９はチェーンコンベア２７０のピン２７２（図１０参照）から離れる。そして、やがて、ローラ３４３が斜面２９０ａの前縁から離れて、ホルダ３００はチェーンコンベア２７０上に落下して、ガイド３３９がチェーンコンベア２７０に係合する。この落下により、ホルダ３００に衝撃が加えられ、ホルダ３００に収容されているワークが振動を受ける。この振動により、さらに、部品と基板との接合力が弱められる。また、落下後は、ホルダ３００内においては、ワークが片持ち式に支持されている内板３２０が、バネ３３５の減衰に応じてさらに振動している。さらに、ワークは片持ち式に支持されているので、グリップ３２１を支点として図８（ｂ）の左右方向にも振動する。これらの振動によって、さらに、部品と基板との接合力が弱められる。
【００８１】
ホルダ３００は、複数個のブロック２９０を通過する毎に振動を受け、最終的には部品が基板から分離する。分離した部品は基板から落下してホルダ３００の内板３２０上に堆積する。一方、溶融した接合部材は、内板３２０のスリット３２３から下方に落下し、外板３３０上に堆積する。
【００８２】
その後、ホルダ３００は予冷室２１７に搬送されて、約１００℃以下の温度に冷却される。そして、出口２１２のエアカーテンを通って加熱容器部２１０から搬出され、チェーンコンベア２７０からアンローダ機構（図示されず）によりローラコンベア２０５に移管される。
【００８３】
また、運転中は常に、加熱容器部２１０内に設置された廃過熱蒸気吸引ヘッダ２２１、２２５、２２６から、過剰に存在する過熱蒸気がエジェクタ２５１によって過熱蒸気発生装置２５０に回収されている。この過熱蒸気は、ボイラ２５３から供給される飽和水蒸気と混合されて再利用される。
さらに、運転終了後は、加熱容器部２１０内で発生した凝縮ドレンが排水口２２７から回収される。このドレンはボイラ２５３に送られて、再利用される。
【００８４】
次に、装置の最適運転条件（温度、時間、酸素濃度）を求めた実験結果を、図１１〜１５を参照して説明する。
まず、図１１のグラフを参照して、処理室内の温度と、ワークの分離収率との関係を説明する。グラフの縦軸は分離収率（％）を示し、横軸は処理室内の温度（℃）を示す。分離収率とは、全部品数に対する分離された部品数の割合である。
接合材料であるハンダの溶融点は最高で約２４０℃であるため、温度が２５０℃以上の場合の分離収率を求めた。グラフに示すように、温度が２５０℃付近では、分離収率は７０〜７５％であるが、温度が２７０℃以上では、９０％以上の高い分離収率を得られた。
この結果、最適温度条件は２７０℃と設定できる。
【００８５】
次に、図１２のグラフを参照して、加熱時間と、ワークの分離収率との関係を説明する。グラフの縦軸は分離収率（％）を示し、横軸は加熱時間（分）を示す。処理室内の温度は２７０℃とした。
グラフに示すように、加熱時間が３分の場合は、分離収率は８８％程度であるが、４分以上の場合は、９０％程度にやや上昇している。
この結果、最適加熱時間は５分とした。
【００８６】
次に、図１３のグラフを参照して、処理室内の蒸気流量と、ワークの分離収率との関係を説明する。グラフの縦軸は分離収率（％）を示し、横軸は蒸気流量（ｋｇ／ｈ）を示す。
グラフに示すように、蒸気流量が６ｋｇ／ｈでは分離収率は８０％程度であるが、８ｋｇ／ｈ以上では、９０％程度となる。
この結果、蒸気流量は８ｋｇ／ｈとした。
【００８７】
次に、図１４のグラフを参照して、処理室内の酸素濃度の分布を説明する。グラフの縦軸は酸素濃度（％）、横軸は測定点である。測定点は、処理室の空間内の２０ヵ所とした。
グラフに示すように、酸素濃度は０．５〜１．４％であり、非常に低い。このため加熱対象物（ワーク）に対する酸化作用や対象物の燃焼性を大幅に低減できると考えられる。
【００８８】
最後に、以上の結果に基づく最適運転条件における分離収率を示す。
図１５は、最適運転条件下での実験結果を示す表である。
最適運転条件（温度：２７０℃、加熱時間：５分、蒸気流量：８ｋｇ／ｈ）で４回実験を行った結果、分離収率は８９〜９２％という高い結果が得られた。
【００８９】
以上説明した第２の実施形態によれば、第１の実施形態で得られた効果に加え、以下の効果を得ることができる。
（１）過熱蒸気発生装置の最適運転条件を求めた結果、９０％程度の高い分離収率を得ることができる。
（２）大気圧下において接合部材の溶融に必要な約２８０℃程度の高温での処理が可能であるため、耐高圧対策が不要であり、安全性が高い。また、過熱蒸気の温度範囲を広い範囲で自由に設定できるため、溶融温度範囲を広くとれるので、一般に使用されている接合材料のほとんどを溶融できる。
（３）加熱手段として、高沸点熱媒体や有機溶剤を使用せず、大気圧の過熱水蒸気を使用するため、安全性が高いとともに環境問題が生じず、ランニングコストも安い。
（４）過熱蒸気によって空気を排除し、酸素濃度が空気の約１／２０程度の低酸素濃度雰囲気下で処理するので、部品や樹脂系接合部材の熱分解に伴う有機ガスの発生を抑制できる。
【００９０】
（５）加熱容器部に予熱室を設け、予熱室内に過熱蒸気発生装置を配置したので、この過熱蒸気発生装置から発生する熱で予熱室内を加熱でき、他の加熱源が不要である。
（６）加熱容器部内に予冷室を設けて、ワークをある程度冷却してから搬出するので、匂いの発生や、加熱されたワークに触れてやけどする等の事故を防ぐことができる。
（７）廃過熱蒸気を吸引するヘッダを設けたので、廃過熱蒸気を再利用できる。
（８）凝縮ドレンを回収して再利用しているので、環境面において安全である。
【００９１】
（変形例）
本発明は、以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。
（１）実施形態では、分解対象となる電気機器は例えばハンダ付け及びワニスによって各種部品が実装されたプリント基板であるが、本発明の分解対象となる電気機器はこれに限定されない。
（２）実施形態の分解装置は、ワークをコンベアで搬送しながら過熱蒸気を吹き付けているが、本発明はこれに限らず、バッジ式処理を行うものにも適用することができる。
（３）実施形態の過熱蒸気発生装置は、例えば、器体本体、隔管、過熱水蒸気排出管からなる３重管構造を有しているが、本発明はこれに限らず、４重以上の多重管構造を有する過熱蒸気発生装置も適用することができる。この場合、第１の筒状体を他の筒状体の内部に挿入したり、また、第３の筒状体の内部に他の筒状体を挿入した構成とすることができる。この場合、気体流路は２パス以上の構成となる。また、本発明において、このような多重管を有するもの以外の過熱蒸気発生装置を用いてもよい。
（４）実施形態の過熱蒸気発生装置は、加熱手段として例えばシーズヒータを適用しているが、加熱手段はこれに限定されず、例えばＩＨ等のシーズヒータ以外の加熱手段を用いるようにしてもよい。
（５）実施形態において、ハンダ等を溶融させる蒸気は例えば水蒸気であったが、本発明はこれに特に限定されず、他の物質からなる過熱蒸気を用いて電気機器の分解を行うようにしてもよい。
【符号の説明】
【００９２】
１    ボイラ                          ２    過熱蒸気発生装置
３    シャワーヘッド                  ４    コンベア
５    バイブレータ                    ６    加熱容器
７    基板                            ８    素子
９    回収容器
１０    飽和水蒸気供給管              １１    端部
２０    器体本体                      ２１，２２    端部
２３    扁平部                        ２４，２５    突出部
３０    供給側端板                    ３１    開口
４０    排出側端板                    ４１    開口
５０    隔管                          ５１    ステー
５２，５３    端部                    ５４    端板
６０    シーズヒータ                  ６１    発熱部
７０    過熱水蒸気排出管              ７１    先端部
１００    サポート                    １１０    遮熱板
Ｓ１    外空間                        Ｓ２    内空間
２００  電気機器の分解装置
２１０  加熱容器部                    ２０３  ローラコンベア
２０５  ローラコンベア                ２１１  入口
２１２  出口                          ２１５  予熱室
２１６  処理室                        ２１７  予冷室
２２１、２２５、２２６  吸引ヘッダ    ２２３  予熱ヒータ
２２７  排水口                        ２３１、２４１  排気ヘッダ
２３２、２４２  吸気ヘッダ            ２３３、２４３  加熱器
２３４、２４４  送風器
２５０  過熱蒸気発生装置              ２５１  エジェクタ
２５３  ボイラ                        ２５５  過熱蒸気供給管
２５７  温度センサ                    ２５８  制御器
２６０  シャワーヘッド                ２６１  本体部
２６２  過熱蒸気導入管                ２６３  蒸気排出口
２７０  チェーンコンベア              ２７１  アタッチメント
２７２  ピン                          ２７５  スプロケット
２７６  駆動ローラ
２９０  衝撃付与手段（ブロック）
３００  ホルダ                        ３１０  底板
３２０  内板                          ３２１  グリップ
３２３  スリット                      ３３０  外板
３３１  側板                          ３３２  上端部
３３５  バネ                          ３３６  ピン
３３９  ガイド                        ３４１  前端
３４３  ローラ                        ３４５  スリット
５００  ローダ機構                    ５１０  リンクアーム
５１１  長アーム                      ５１５  短アーム
５１２  カウンタウェイト              ５１６  ストッパ片
５２０  ガイドアーム                  ５２１  ピン
５２５  ワイヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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