(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルの製造工程における排気工程において、加熱ムラを低減してプラズマディスプレイパネルを均一に加熱し、プラズマディスプレイパネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減する。【解決手段】プラズマディスプレイパネル１０用の排気管５０は、一方の端部を背面板３０に設けられた排気孔を覆うように背面板３０に接着し、他方の端部を排気ヘッド５３に装着するとともに、プラズマディスプレイパネル１０内に放電ガスを導入した後、封止部を封着する排気管５０であって、排気管５０を、一方の端部を背面板３０に接着したときに、他方の端部に装着する排気ヘッド５３が、プラズマディスプレイパネル１０を加熱するヒーター７３と背面板３０とが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも１箇所の屈曲部を有する形状にする。【選択図】図６
2010062002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不純ガスの排気および放電ガスの導入のための排気孔を設けた背面板を有するプラズマディスプレイパネルに用い、一方の端部を前記排気孔を覆うように前記プラズマディスプレイパネルに接着し、他方の端部を前記不純ガスの排気および前記放電ガスの導入に用いる排気ヘッドに装着するとともに、前記プラズマディスプレイパネル内に前記放電ガスを導入した後、封止部を封着するプラズマディスプレイパネル用排気管であって、
前記排気管は、前記一方の端部を前記プラズマディスプレイパネルに接着したときに、前記他方の端部に装着する前記排気ヘッドが、前記不純ガスの排気時に前記プラズマディスプレイパネルを加熱するヒーターと前記プラズマディスプレイパネルとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも１箇所の屈曲部を有する形状であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用排気管。
【請求項２】
前記排気管は、鉛を含まないガラス成分を材料に形成されたことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用排気管。
【請求項３】
排気管の一方の端部をプラズマディスプレイパネルに形成された排気孔を覆うように前記プラズマディスプレイパネルに接着するとともに、前記排気管の他方の端部に排気ヘッドを装着し、前記プラズマディスプレイパネルをヒーターで加熱しながら、前記排気孔、前記排気管、前記排気ヘッドを介して前記プラズマディスプレイパネル内部の不純ガスを排気するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記排気管の前記他方の端部に装着される前記排気ヘッドが、前記プラズマディスプレイパネルと前記ヒーターとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも１箇所の屈曲部を有する前記排気管を用いて前記不純ガスの排気を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、壁掛けテレビや大型モニターに用いられるプラズマディスプレイ装置の製造工程において用いられるプラズマディスプレイパネル用排気管およびプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「パネル」と略記する）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対が前面ガラス基板上に互いに平行に複数対形成され、それら表示電極対を覆うように誘電体層および保護層が形成されている。背面板は、背面ガラス基板上に複数の平行なデータ電極が形成され、それらデータ電極を覆うように誘電体層が形成され、さらに誘電体層の上にデータ電極と平行に配置された複数の隔壁が形成され、誘電体層の表面と隔壁の側面とに蛍光体層が形成されている。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には、例えば分圧比で５％のキセノンを含む放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このような構成のパネルにおいて、各放電セル内でガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）の各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００３】
パネルを駆動する方法としては、サブフィールド法、すなわち、１フィールドを複数のサブフィールドに分割した上で、発光させるサブフィールドの組み合わせによって階調表示を行う方法が一般に用いられている。
【０００４】
各サブフィールドは、初期化期間、書込み期間および維持期間を有する。初期化期間では初期化放電を発生し、続く書込み動作に必要な壁電荷を各電極上に形成するとともに、書込み放電を安定して発生させるためのプライミング粒子（書込み放電を発生させるための励起粒子）を発生させる。
【０００５】
書込み期間では、走査電極に走査パルス電圧を印加するとともにデータ電極に選択的に書込みパルス電圧を印加して表示を行うべき放電セルに選択的に書込み放電を発生させ壁電荷を形成する（以下、この動作を「書込み」とも記す）。そして維持期間では、走査電極と維持電極とからなる表示電極対に交互に維持パルス電圧を印加し、書込み放電を起こした放電セルで維持放電を発生させ、対応する放電セルの蛍光体層を発光させることにより画像表示を行う。
【０００６】
このようなパネルを製造する工程には、前面ガラス基板および背面ガラス基板の表面に、印刷、乾燥、焼成の各工程を繰り返す厚膜形成工程を経て、各電極、誘電体層、蛍光体層、隔壁等のパネルの構成に必要な各構造物（以下、「パネル構造物」と呼称する）を逐次形成する基板形成工程、パネル構造物が形成された前面板と背面板とを対向配置して重ね合わせ、パネルの周囲を封着する封着工程、パネル内部の不純ガスを排気する排気工程、パネル内部に放電ガスを導入する放電ガス導入工程、等がある。
【０００７】
封着工程では、基板形成工程を経て完成した前面板および背面板の周囲に、例えば低融点ガラスからなる封止部材を形成し、前面板および背面板を位置合わせして対向配置した後、パネルの周囲を金属製のクリップ等の把持部材によって把持しながら加熱する。これにより封止部材を軟化させ、放電空間を間に挟んで前面板と背面板とを封着し、パネルを形成する。
【０００８】
なお、この封着工程では、続く排気工程においてパネル内部の不純ガスを排気し、また放電ガス導入工程においてパネル内部に放電ガスを導入するために背面板に形成された排気孔に、上述と同様の封止部材によってガラス製の排気管を接着する。
【０００９】
排気工程では、パネル内部の不純ガスを排気する。図１０は、従来技術によるパネル１０１の製造工程における排気工程を行うときの概略図である。排気工程では、まず、一方の端部をパネル１０１の排気孔を覆うようにパネル１０１に接着した排気管１０４の他方の端部に排気ヘッド１０５を接続する。この排気ヘッド１０５は、パネル１０１内部から不純ガスを排気する真空排気装置（図示せず）およびパネル１０１内部へ放電ガスを導入する放電ガス導入装置（図示せず）と排気管１０４とを接続するための働きを有する。
【００１０】
パネル１０１の前面板側にはヒーター１０２が、パネル１０１の背面板側にはヒーター１０３が、それぞれパネル１０１に対向するように配置されており、パネル１０１全体をヒーター１０２、１０３によって加熱しながら真空排気装置を動作させる。このように、排気工程では、パネル１０１をヒーター１０２、１０３等の加熱手段で加熱しながら、排気孔、排気管１０４および排気ヘッド１０５を通してパネル１０１を真空排気し、パネル１０１内部から不純ガスを除去する。
【００１１】
不純ガスの排気が終了したら、続く放電ガス導入工程では、放電ガス導入装置を動作させ、排気ヘッド１０５、排気管１０４、排気孔を通して、パネル１０１内部に放電ガスを導入する。パネル１０１内部の放電ガスが所定の圧力に達したら、排気管１０４を溶断、封止して、排気孔を封着し、放電空間を密封する（例えば、特許文献１参照）。
【００１２】
そして、パネル１０１内部に残留した不純ガスの濃度を低減するために、放電セル内の隔壁の表面に不純ガスを吸着する吸着膜を形成する技術等が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１３】
また、排気工程および放電ガス導入工程において、排気管およびその封止部分に不必要な応力が生じず、パネル１０１内部から放電ガスが漏出するのを防止することができる技術等も開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００３−３３１７２５号公報
【特許文献２】特開２００３−３０３５５５号公報
【特許文献３】特開２００８−１７１７９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
排気工程においてパネル１０１を加熱しながら排気を行うのは、次のような理由による。基板形成工程では、ガラス粉末に有機溶剤、有機バインダ等を混合してペースト状にし、これを塗布、乾燥、焼成して誘電体層を生成する。焼成時には、ガラス粉末が溶融し、また、有機バインダ等は熱分解されて、誘電体層が形成されるが、有機バインダ等が熱分解される際に、放電を阻害する性質を有する不純ガス（例えば、Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、あるいは炭化水素ガス等の有機系のガス等）が大量に発生する。
【００１５】
この不純ガスが放電空間内に残留し、放電ガスに混入すると、放電開始電圧が上昇して放電が発生しにくくなるといった放電特性の劣化が起こり、発光輝度のばらつきや表示のちらつき等が生じてパネル１０１の画像表示品質が劣化する。このように、放電空間内に残留する不純ガスは、画像表示品質を劣化させる主な原因の１つとなるため、排気工程では、真空排気装置によってパネル１０１を排気し、焼成時に発生した不純ガスを除去する。
【００１６】
このとき、前面板、背面板に形成されたパネル構造物や放電空間内には、ガス化しないまま残留した不純物が存在する。そして、その不純物は、常温下での真空排気だけでは除去することが困難であり、除去できずに放電空間内に残留した不純物は、放電空間内で放電が繰り返されるうちに徐々にガス化し、不純ガスとなって放電ガスに混入していく。
【００１７】
そこで、排気工程では、パネル１０１を加熱しながら真空排気することで、不純物をガス化して除去している。
【００１８】
しかしながら、従来技術による排気工程においては、図１０に示すように、ヒーター１０３とパネル１０１との間に排気ヘッド１０５が配置されてしまうため、ヒーター１０３の発する熱が排気ヘッド１０５に遮られてしまい、直に伝わらない領域がパネル１０１に発生していた。すなわち、パネル１０１に加熱ムラが生じ、不純物が十分にガス化されず残留する領域がパネル１０１に生じるおそれがあった。
【００１９】
本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能なパネル用排気管およびパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明のパネル用排気管は、不純ガスの排気および放電ガスの導入のための排気孔を設けた背面板を有するパネルに用い、一方の端部を排気孔を覆うようにパネルに接着し、他方の端部を不純ガスの排気および放電ガスの導入に用いる排気ヘッドに装着するとともに、パネル内に放電ガスを導入した後、封止部を封着するパネル用排気管であって、この排気管は、一方の端部をパネルに接着したときに、他方の端部に装着する排気ヘッドが、不純ガスの排気時にパネルを加熱するヒーターとパネルとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも１箇所の屈曲部を有する形状であることを特徴とする。
【００２１】
これにより、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、排気ヘッドによって加熱が遮られる領域を発生させることがなくなるので、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能となる。
【００２２】
また、このパネル用排気管は、鉛を含まないガラス成分を材料に形成されてもよい。
【００２３】
また、本発明のパネルの製造方法は、排気管の一方の端部をパネルに形成された排気孔を覆うようにパネルに接着するとともに、排気管の他方の端部に排気ヘッドを装着し、パネルをヒーターで加熱しながら、排気孔、排気管、排気ヘッドを介してパネル内部の不純ガスを排気するパネルの製造方法であって、排気管の他方の端部に装着される排気ヘッドが、パネルとヒーターとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも１箇所の屈曲部を有する排気管を用いて不純ガスの排気を行うことを特徴とする。
【００２４】
これにより、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、排気ヘッドによって加熱が遮られる領域を発生させることがなくなるので、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能なパネル用排気管およびパネルの製造方法を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態におけるパネル用排気管を用いて製造されるプラズマディスプレイ装置について、図面を用いて説明する。
【００２７】
（実施の形態）
図１は、本発明の一実施の形態におけるパネル１０の構造を示す分解斜視図である。前面板２０は、前面ガラス基板２１上に形成された走査電極２２と維持電極２３とからなる複数の表示電極対２４、遮光層（図示せず）、表示電極対２４および遮光層を覆うように形成された誘電体層２５、誘電体層２５上に形成された保護層２６を有する。
【００２８】
なお、保護層２６は、放電セルにおける放電開始電圧を下げるために、パネルの材料として使用実績があり、ネオン（Ｎｅ）およびキセノン（Ｘｅ）ガスを封入した場合に２次電子放出係数が大きく耐久性に優れた酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主成分とする材料から形成されている。
【００２９】
背面板３０は、背面ガラス基板３１上に形成された複数のデータ電極３２、データ電極３２を覆うように形成された誘電体層３３、さらにその上に形成された井桁状の隔壁３４を有する。そして、隔壁３４の側面および誘電体層３３上には赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）の各色に発光する蛍光体層３５が設けられている。
【００３０】
これら前面板２０と背面板３０とは、微小な放電空間を挟んで表示電極対２４とデータ電極３２とが交差するように対向配置され、その外周部をガラスフリット等の封着材によって封着されている。そして、内部の放電空間には、ネオンとキセノンの混合ガスが放電ガスとして封入されている。なお、本実施の形態では、発光効率を向上させるためにキセノン分圧を約１０％とした放電ガスを用いている。放電空間は隔壁３４によって複数の区画に仕切られており、表示電極対２４とデータ電極３２とが交差する部分に放電セルが形成されている。そしてこれらの放電セルが放電、発光することにより画像が表示される。
【００３１】
なお、パネル１０の構造は上述したものに限られるわけではなく、例えばストライプ状の隔壁を備えたものであってもよい。また、放電ガスの混合比率も上述した数値に限られるわけではなく、その他の混合比率であってもよい。
【００３２】
図２は、本発明の一実施の形態におけるパネル１０の電極配列図である。パネル１０には、行方向に長いｎ本の走査電極ＳＣ１〜走査電極ＳＣｎ（図１の走査電極２２）およびｎ本の維持電極ＳＵ１〜維持電極ＳＵｎ（図１の維持電極２３）が配列され、列方向に長いｍ本のデータ電極Ｄ１〜データ電極Ｄｍ（図１のデータ電極３２）が配列されている。そして、１対の走査電極ＳＣｉ（ｉ＝１〜ｎ）および維持電極ＳＵｉと１つのデータ電極Ｄｋ（ｋ＝１〜ｍ）とが交差した部分に放電セルが形成され、放電セルは放電空間内にｍ×ｎ個形成されている。そして、ｍ×ｎ個の放電セルが形成された領域がパネル１０の表示領域となる。
【００３３】
なお、本実施の形態におけるパネル１０は、サブフィールド法、すなわち１フィールドを時間軸上で複数のサブフィールドに分割し、各サブフィールドに輝度重みをそれぞれ設定し、サブフィールド毎に各放電セルの発光・非発光を制御することによって階調表示を行うものとする。
【００３４】
このサブフィールド法では、例えば、１フィールドを８つのサブフィールド（第１ＳＦ、第２ＳＦ、・・・、第８ＳＦ）で構成し、各サブフィールドはそれぞれ１、２、４、８、１６、３２、６４、１２８の輝度重みを有する構成とすることができる。また、複数のサブフィールドのうち、１つのサブフィールドの初期化期間においては全ての放電セルに初期化放電を発生させる全セル初期化動作を行い（以下、全セル初期化動作を行うサブフィールドを「全セル初期化サブフィールド」と呼称する）、他のサブフィールドの初期化期間においては維持放電を行った放電セルに対して選択的に初期化放電を発生させる選択初期化動作を行う（以下、選択初期化動作を行うサブフィールドを「選択初期化サブフィールド」と呼称する）ことで、階調表示に関係しない発光を極力減らしコントラスト比を向上させることが可能である。
【００３５】
しかし、本実施の形態は、サブフィールド数や各サブフィールドの輝度重みが上記の値に限定されるものではなく、また、画像信号等にもとづいてサブフィールド構成を切換える構成であってもよい。
【００３６】
次に、このように構成されたパネル１０の製造方法について説明する。
【００３７】
まず、前面ガラス基板２１上に、走査電極２２および維持電極２３と遮光層とを形成する。これらの走査電極２２および維持電極２３は透明電極と金属バス電極とで構成し、透明電極と金属バス電極は、フォトリソグラフィ法等を用いて所定のパターンを形成することで形成する（以下、所定のパターンを形成することを「パターニング」とも記す）。透明電極は薄膜プロセス等を用いて形成し、金属バス電極は銀材料を含むペーストを所定の温度で焼成して固化する。また、遮光層も同様に、黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、黒色顔料を前面ガラス基板２１の全面に形成した後にフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法等により所定のパターンを形成し、焼成することにより形成する。
【００３８】
この後、走査電極２２、維持電極２３および遮光層を覆うように前面ガラス基板２１上に誘電体ペーストをダイコート法等により塗布して誘電体ペースト層（誘電体材料層）を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することによって、塗布された誘電体ペースト表面を平坦化する。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極２２、維持電極２３および遮光層を覆う誘電体層２５を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末等の誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層２５上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層２６を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板２１上に所定のパネル構造物（走査電極２２および維持電極２３からなる表示電極対２４、遮光層、誘電体層２５、保護層２６）を形成し、前面板２０が完成する。
【００３９】
背面板３０は次のようにして形成する。まず、背面ガラス基板３１上に、銀材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いて所定のパターンを形成する方法等によりデータ電極３２用の構成物となる材料層を形成し、それを所定の温度で焼成することによりデータ電極３２を形成する。
【００４０】
次に、データ電極３２を形成した背面ガラス基板３１上にダイコート法等によりデータ電極３２を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより誘電体層３３を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末等の誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
【００４１】
この後、誘電体層３３上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより隔壁材料層を形成し、それを焼成することにより隔壁３４を形成する。ここで、誘電体層３３上に塗布した隔壁形成用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。
【００４２】
そして、隔壁３４を形成した背面ガラス基板３１には、隣接する隔壁３４間の誘電体層３３上および隔壁３４の側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成することにより蛍光体層３５を形成する。以上の工程により、背面ガラス基板３１上に所定のパネル構造物（データ電極３２、誘電体層３３、隔壁３４、蛍光体層３５）を形成し、背面板３０が完成する。
【００４３】
そして、厚膜印刷やインクジェットまたはディスペンサーを備えた塗布装置を用いて前面板２０または背面板３０の周囲の所定の位置に封着材を塗布し、封着材に含まれる樹脂成分を燃焼できる温度で前面板２０または背面板３０を加熱して、前面板２０または背面板３０の仮焼成を行う。その後、前面板２０と背面板３０とを電極形成面側が向かい合うように対向配置させてパネル１０を組み立てる。続いて、前面板２０および背面板３０の周囲を気密封着する工程、および、排気および放電ガス導入用の排気管（いわゆるチップ管）を封着材によって気密封着する工程に移る。そして、排気管を通してパネル１０内部の真空排気とパネル１０内部への放電ガスの導入を行った後、排気管を加熱、溶融して排気管を閉塞し、封じ切る。この排気管は鉛成分を含まないガラス成分を材料にして形成してもよく、軟化点温度以上の温度で加熱することで溶融させることが可能である。このとき、溶融に際しては軟化点温度よりも２００℃以上高い温度で加熱することが望ましい。
【００４４】
図３は、本発明の一実施の形態におけるパネル１０の平面図および断面図である。図３（ａ）は本発明の一実施の形態におけるパネル１０の平面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）に示したパネル１０のＡ−Ａ線における断面図である。
【００４５】
図３に示すように、前面板２０と背面板３０とは表示電極対２４とデータ電極３２とが直交するように対向配置され、その周囲が封着材４１で気密封着されている。また、背面板３０には排気孔４０が設けられており、排気孔４０を覆うように配置された排気管５０と背面板３０とは封着材であるタブレット４２によって気密封着されている。そして、パネル１０内部の放電空間には排気管５０を通して導入された放電ガスが所定の圧力で封入されており、排気および放電ガスの導入に用いられた排気管５０は、封止部を加熱して封じ切る（以下、「チップオフ」とも記す）ことにより閉塞される。
【００４６】
ここで、本実施の形態における排気管５０について説明する。図４は、本発明の一実施の形態における排気管５０の形状を示す概略図である。本実施の形態における排気管５０は、図４に示すように、２箇所の屈曲部を有する形状に形成されており、一方の端部、すなわち排気孔接着部５１を排気孔４０を覆うように背面板３０に接着し、他方の端部、すなわち排気ヘッド装着部５２を排気ヘッドに装着する。
【００４７】
そして、排気管５０が、図４に示す形状を有するのは、排気孔接着部５１を背面板３０に接着したときに、排気ヘッド装着部５２に装着する排気ヘッドが、排気工程において、パネル１０を加熱するヒーターとパネル１０とが対向する領域の外に配置されるようにするためである。なお、放電ガス導入後のチップオフに際しては、排気孔接着部５１に近い場所に設定された封止部を封じ切るため、排気管５０のチップオフ後の形状は、従来の排気管のチップオフ後の形状と同様である。
【００４８】
図５は、本発明の一実施の形態における前面板２０と背面板３０との封着および排気管５０と背面板３０との封着の様子を示した概略図である。まず、図５（ａ）に示すように、ディスペンサーを備えた塗布装置（図示せず）を用いて、封着材４１を塗布する。このとき、前面板２０の周囲の所定の位置に封着材４１ｂを、背面板３０の周囲の所定の位置に封着材４１ａをそれぞれ塗布する。この封着材４１としては、例えば、ペースト状にした低融点フリットガラスを用いることができる。
【００４９】
なお、封着材４１ａ、４１ｂの塗布に際しては、ディスペンサーを備えた塗布装置以外に、厚膜印刷やインクジェット塗布装置を用いることもできる。あるいは、厚膜印刷や塗布装置を用いずに、シート状のベース材に所定の厚さ、形状で粘着性を持たせて形成した封着材４１ａ、４１ｂを所定の位置に接着させる方法を用いることもできる。また、前面板２０または背面板３０のいずれか一方にのみ封着材４１ａ、４１ｂを塗布あるいは接着する構成としてもよい。
【００５０】
そして、封着材４１を一定時間乾燥させた後、封着温度よりも低い所定の仮焼成温度（例えば、約３５０℃）で仮焼成を行い、その後、前面板２０の表示電極対２４と背面板３０のデータ電極３２とが交差するように前面板２０と背面板３０とを対向配置させ、固定手段である固定治具（図示せず）を用いて固定する。
【００５１】
次に、排気管５０を背面板３０に封着する封着工程に移る。この封着工程では、封着材をあらかじめ所定の形状に形成しておき（例えば、図面に示すタブレット４２）、排気管５０用の封着材として用いる。タブレット４２の材料としては、例えば、低融点フリットガラスを用いることができる。
【００５２】
そして、背面板３０の隅に近い所定の位置に設けた排気孔４０の中心とタブレット４２の中央部の空孔４３の中心を合わせて載置する。このとき、排気管５０の排気孔接着部５１の開口部の中心と排気孔４０の中心とが略一致するように位置決めする。また、排気管５０の排気ヘッド装着部５２に排気ヘッド５３を装着したときに、排気ヘッド５３が、排気工程においてパネル１０を加熱するヒーターとパネル１０とが対向する領域の外に配置されるように、排気管５０の装着方向を決める。このようにして各部品を組み立て、それぞれの中心がずれないように別の固定治具（図示せず）で押さえて固定する。
【００５３】
次に、固定治具で固定した前面板２０、背面板３０、排気管５０を焼成炉内（図示せず）に設置し、仮焼成温度よりも高い封着温度（例えば、約４５０℃）で加熱して封着材４１およびタブレット４２を溶融させる。その後、冷却して固化させることで、前面板２０と背面板３０との気密封着、および排気管５０と背面板３０との気密封着を行う。この様子を図５（ｂ）に示す。図５（ｂ）は、前面板２０と背面板３０とがその周囲を気密封着され、排気管５０と背面板３０とが気密封着された状態を概略的に示した図である。なお、排気管５０の軟化点温度は、例えば約６３０℃であり、ここでの封着温度（例えば、約４５０℃）よりも高いので、この焼成により排気管５０が軟化することはない。
【００５４】
次に、排気管５０の排気ヘッド装着部５２を、排気および放電ガスの導入を行うための排気ヘッド５３に接続する。排気ヘッド５３は、パネル１０内部から不純ガスを排気する真空排気装置（図示せず）およびパネル１０内部へ放電ガスを導入する放電ガス導入装置（図示せず）と排気管５０とを接続するためのものであり、パネル１０内部の不純ガスは、排気管５０および排気ヘッド５３を通して真空排気される。
【００５５】
図６は、本発明の一実施の形態におけるパネル１０の排気工程を行うときの概略図である。排気工程では、前面板２０に対向するようにヒーター７２を配置し、背面板３０に対向するようにヒーター７３を配置して、パネル１０全体をヒーター７２、７３で加熱できるようにする。そして、パネル１０全体をヒーター７２、７３によって加熱しながら排気ヘッド５３の先に設けられた真空排気装置（図示せず）を動作させ、真空排気を行う。このように、排気工程では、パネル１０を加熱手段であるヒーター７２、７３で加熱しながら、排気孔４０、排気管５０および排気ヘッド５３を通してパネル１０を真空排気し、パネル１０内部から不純ガスを除去する。
【００５６】
このとき、従来技術による排気工程では、上述したようにヒーター１０３とパネル１０１との間に排気ヘッド１０５が配置されてしまうため、ヒーター１０３の発する熱が直に伝わる領域と、排気ヘッド１０５に遮られてしまいヒーター１０３の発する熱が直には伝わらない領域とがパネル１０１に生じていた。これにより加熱ムラが生じ、不純物が十分にガス化されずに残留する領域がパネル１０１に発生するおそれがあった。
【００５７】
しかし、本実施の形態における排気管５０を用いて行う排気工程では、図６に示すように、排気管５０を屈曲部を有する形状にしているため、ヒーター７３とパネル１０とが対向する領域の外に排気ヘッド５３を配置することができる。したがって、ヒーター７３の発する熱を、排気ヘッド５３が遮ることなく、背面板３０に均一に伝えることができる。すなわち、本実施の形態における排気工程では、加熱ムラを低減してパネル１０を均一に加熱することができるので、不純ガスおよび不純物をより精度良く除去することができ、パネル１０内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することができる。
【００５８】
そして、排気が終了した後は、同じく排気ヘッド５３の先に設けられた放電ガス導入装置（図示せず）を動作させ、排気ヘッド５３および排気管５０を介してネオンやキセノン等を含む放電ガスを所定の圧力（例えば、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガスの場合、約５３０ｈＰａ〜８００ｈＰａの圧力）でパネル１０内部に導入する。
【００５９】
最後に、排気管５０の所定の部分（封止部）をガスバーナー等の加熱手段を用いて局部的に加熱して溶融し、閉塞した部分を切断する。こうすることで排気管５０を封じ切り、気密封止（チップオフ）する。
【００６０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、排気管５０を２箇所の屈曲部を有する形状にしているので、排気工程において、排気ヘッド装着部５２に排気ヘッド５３を装着したときに、ヒーター７３とパネル１０とが対向する領域の外に排気ヘッド５３を配置することができる。これにより、ヒーター７３の発する熱が排気ヘッド５３に遮られることがなくなり、背面板３０を均一に加熱することが可能となる。したがって、排気工程において、加熱ムラを低減してパネル１０を均一に加熱することが可能となり、不純ガスおよび不純物をより精度良く除去し、パネル１０内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能となる。
【００６１】
なお、本実施の形態では、２箇所の屈曲部を有する形状の排気管５０を例に挙げて説明したが、排気管が少なくとも１箇所の屈曲部を有する形状であれば、排気ヘッドを領域外に配置することが可能である。図７は、本発明の一実施の形態における排気管の他の一形状例を示す概略図であり、その排気管５４を用いて排気工程を行うときの概略図である。図７に示す排気管５４は、１箇所の屈曲部を有する形状であるが、例えば排気管５４のような形状であっても、排気管５４に接続する排気ヘッド５３をヒーター７３とパネル１０とが対向する領域の外に配置することが可能である。また、屈曲部が１箇所しかない形状の排気管は、屈曲部が２箇所以上ある形状の排気管と比較して、製造しやすいといった利点がある。
【００６２】
また、本実施の形態では、屈曲部を約９０度の角度で屈曲させた形状の排気管５０を例に挙げて示したが、本発明は屈曲部が何らこの角度に限定されるものではない。例えば、本発明における排気管は、９０度よりも鋭角に屈曲した屈曲部を有する形状であってもよい。図８は、本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図であり、その排気管５５を用いて排気工程を行うときの概略図である。図８に示す排気管５５は、アルファベットの「Ｚ」の文字に似た形状となるように、２箇所の屈曲部を有するとともに、各屈曲部をそれぞれ９０度よりも鋭角に屈曲させている。例えば、このような形状の排気管であっても、上述と同様の効果を得ることができる。また、屈曲部が９０度よりも鋭角に屈曲した形状の排気管は、屈曲部が９０度もしくはそれよりも広角に屈曲した形状の排気管と比較して、チップオフの際に封止部を封着しやすい、といった効果が得られることが確認された。
【００６３】
図９は、本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図であり、その排気管５６を用いて排気工程を行うときの概略図である。図９に示す排気管５６は、１箇所の屈曲部を有する形状であるが、その屈曲部は、９０度よりも鋭角に屈曲している。例えば、このような形状の排気管であっても、上述と同様の効果を得ることができる。また、このような形状の排気管は、屈曲部が２箇所以上ある形状の排気管と比較して製造しやすいといった利点に加え、チップオフの際に封止部を封着しやすいといった効果も得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができるので、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能なパネル用排気管およびパネルの製造方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施の形態におけるパネルの構造を示す分解斜視図
【図２】同パネルの電極配列図
【図３】同パネルの平面図および断面図
【図４】本発明の一実施の形態における排気管の形状を示す概略図
【図５】本発明の一実施の形態における前面板と背面板との封着および排気管と背面板との封着の様子を示した概略図
【図６】本発明の一実施の形態におけるパネルの排気工程を行うときの概略図
【図７】本発明の一実施の形態における排気管の他の一形状例を示す概略図
【図８】本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図
【図９】本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図
【図１０】従来技術によるパネルの製造工程における排気工程を行うときの概略図
【符号の説明】
【００６６】
１０，１０１    パネル
２０    前面板
２１    前面ガラス基板
２２    走査電極
２３    維持電極
２４    表示電極対
２５，３３    誘電体層
２６    保護層
３０    背面板
３１    背面ガラス基板
３２    データ電極
３４    隔壁
３５    蛍光体層
４０    排気孔
４１，４１ａ，４１ｂ    封着材
４２    タブレット
４３    空孔
５０，５４，５５，５６，１０４    排気管
５１    排気孔接着部
５２    排気ヘッド装着部
５３，１０５    排気ヘッド
７２，７３，１０２，１０３    ヒーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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