(57)【要約】      （修正有）【課題】成形プレス用耐熱クッション材として優れた機能、特に昇温速度の調整とクッション性の良いクッション材を提供する。【解決手段】基体１０Ｂとフェルト材１Ａ、１Ｂを積層させてなる成形プレス用耐熱クッション材であって、セラミック繊維を含むフェルト材を１層以上有することを特徴とする、成形プレス用耐熱クッション材である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体とフェルト材を積層させてなる成形プレス用耐熱クッション材であって、セラミック繊維を含むフェルト材を１層以上有することを特徴とする、成形プレス用耐熱クッション材。
【請求項２】
前記フェルト材が、更に接合繊維を含むことを特徴とする、請求項１に記載の成形プレス用耐熱クッション材。
【請求項３】
前記クッション材の表面に表層材が配置されていることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の成形プレス用耐熱クッション材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は成形プレス用耐熱クッション材（以下、単にクッション材と記す場合がある。）に係り、優れた昇温速度と高いクッション性を有する耐熱性クッション材に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の熱盤間にて挟持し、この熱盤による熱プレスにより製造される積層製品がある。
この積層製品の一例は次の通りである。なお、積層製品は以下の例に限らず、更に多様な製品を含むものである。
（１）プリント配線板の基板となる積層板
クラフト紙とフェノール樹脂からなる紙フェノール積層板、ガラス繊維の織布とエポキシ樹脂からなるガラスエポキシ積層板などがある。
（２）プリント配線板
基板の片面に導体パターンを形成した片面プリント配線板、基板の両面に導体パターンを形成した両面プリント配線板、基板の外面だけでなく内部にも導体パターンを形成した多層プリント配線板などがある。
（３）フラットパネルディスプレイ
液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセンスなどがある。
（４）半導体パッケージ
チップとほぼ同サイズのチップサイズパッケージ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ，ＣＳＰ）などがある。
【０００３】
これらの各種製品の製造工程にそれぞれ共通することは、上記熱盤と製品との間に、熱盤からの熱を製品全面に均一に伝えるとともに、クッション性を有するクッション材を介することにある。
【０００４】
このクッション材の具体的使用例を、図１に示す両面プリント配線板の製造装置に基づき説明する。
図１において、４０は熱盤、Ｃはクッション材、５０は鏡面板、６０は銅箔、７０はプリプレグである。なお、最終的には、プリプレグ７０と銅箔６０とにより両面プリント配線板が構成される。
図１において、プリプレグ７０は、ガラスクロスにエポキシ樹脂が含浸され半キュアー状態とされている板材を、複数枚重ねることにより構成される。
【０００５】
そして、熱盤４０，４０により熱と圧力を加え、成形するのであるが、この時の成形条件は、エポキシ樹脂原料の配合などにより異なる。このため、成形工程で使用されるクッション材の熱移動量（昇温速度：℃／ｍｉｎ）が製造条件に合致していないと、熱盤４０側の製品と、熱盤４０，４０間の中央に位置する製品とで物性差が生ずる虞があった。さらに、一つの製品中においても、中央部と周辺部とで物性差が発生する虞があった。
【０００６】
これは、熱プレスによりプリプレグ７０中の樹脂の粘度が一旦下がり液状に戻った後、徐々に硬化が進むという製造工程において、当該工程中にプレス圧を昇圧するタイミングがずれるためである。
【０００７】
すなわち、樹脂を移動させプリプレグ同士の接着、プリプレグと銅箔の接着および樹脂中に含まれている空気の除去・細分吸収をさせるための、温度と圧力による成形プレスのタイミングが許容範囲を越えるからである。
例えば、樹脂粘度が低くなり過ぎた時にプリプレグに圧力が掛かると、樹脂が必要以上に流れて、積層板の中央部板厚が厚く、周辺部厚が薄くなるという問題が発生する。よって、最終的に製造された製品の厚みがそれぞれ異なるといった事態が発生する。
一方、樹脂粘度が高くなり過ぎた時にプリプレグに圧力が掛かると、樹脂が十分に流れず、樹脂中に含まれている空気が消えないため、製品の絶縁性等に問題を生ずる。
従って、クッション材には、優れた昇温速度を有することが要求されていた。
【０００８】
従来より、成形プレス用クッション材としてはクラフト紙等が多く使用されていた。しかし、近年においては、製造すべき製品の大型化や精密化が進んでいるため、さらに優れた特性を有するクッション材が要望されている。
このようなクッション材として、無機繊維と耐熱性芳香族系重合体のパルプ状物を含むもの（特許文献１）、および芳香族系ポリアミド繊維を含むもの（特許文献２）がある。しかし、いずれもクッション量とクッションの持続性を図ることが困難であり、寿命が短いものであった。
【０００９】
例えば、このようなクッション材として、図２に示すものがある。図２において、クッション材Ｃ４は、基体１１Ｂと、基体１１Ｂの表裏にメタ系芳香族ポリアミド繊維がニードルパンチされたフェルト材１１Ａが２層、積層されているものからなる。
また、基体１１Ｂは、耐熱性繊維からなる経糸１１Ｂ１と緯糸１１Ｂ２とによる織布が使用されている。
【００１０】
このクッション材Ｃ４は、メタ系芳香族ポリアミド繊維のフェルト材が積層されて構成されているため、昇温速度の調整を行うことが容易であった。
しかしその反面、メタ系芳香族ポリアミド繊維はクッション性の維持を図ることが困難であり、寿命が短いものであった。
この際、クッション性の維持を図るために、繊維の目付を大きくすることが考えられる。しかし、目付を大きくした場合には、熱伝導速度が遅くなるため昇温速度の調整が困難になるとともに、重量が重くなり使用中の使い勝手が悪化するところがあった。
【００１１】
一方、上記クッション材Ｃ４の欠点を解消すべく、図３に係るクッション材Ｃ５が開発された。
すなわち、図３のクッション材Ｃ５は、基体２１Ｂと、基体２１Ｂの表裏にポリパラフェニレンテレフタラミドなどを主体とするパラ系芳香族ポリアミド繊維がニードルパンチされたステープルファイバーのフェルト材２１Ａが１層ずつ積層されたものからなる。
また、基体２１Ｂは、耐熱性繊維からなる経糸２１Ｂ１と緯糸２１Ｂ２とによる織布が使用されている。
【００１２】
このクッション材Ｃ５は、パラ系芳香族ポリアミド繊維のフェルト材が積層されて構成されているため、クッション性の維持は良好であった。
しかし、熱伝導率が速すぎるため、クッション材の昇温速度を調整することが困難であった。昇温速度を調整するためには、目付を増加させる必要があり、従って重量が増し重くなるので、クッション材の使い勝手が悪くなるところがあった。
【００１３】
【特許文献１】特開昭５９−１９２７９５号公報
【特許文献２】特開昭６２−１５６１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上述した欠点に鑑み、成形プレス用耐熱クッション材として優れた機能、特に昇温速度の調整とクッション性の良い成形プレス用耐熱クッション材を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明者は、前記課題を解決し、クッション性を有し、かつ熱盤と製品との間に熱を全面にかつ均一に伝える、成形プレス用クッション材として、基体とフェルト材を積層させてなる成形プレス用耐熱クッション材であって、セラミック繊維を含むフェルト材を１層以上有することを特徴とする、成形プレス用耐熱クッション材である。
【００１６】
ここで、セラミック繊維を含むフェルト材とは、高耐熱性繊維のセラミック繊維と、他の耐熱性繊維とを混綿したものについて、セラミック繊維を少なくとも５０重量％以上含む概念である。耐熱性繊維としては、メタ系芳香族ポリアミド、パラ系芳香族ポリアミド、または他の有機耐熱・耐炎火繊維の何れか１種又は複数種を含むものが使用できる。
【００１７】
また、本発明は前記セラミック繊維を含むフェルト材には、更に接合繊維を含むことによって、セラミック繊維を固定し安定化してセラミック繊維の細化（粉化）を防ぐことができる。
【００１８】
更にまた、前記クッション材の表面に表層材が配置されていることを特徴とする成形プレス用耐熱クッション材が好ましい。前記表層材は接合手段、例えば樹脂やプリプレグ、または接合繊維によるものなど、いずれかの接合手段によって、前記クッション材に接合させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明により、優れたクッション性と昇温速度の調整の良い成形プレス用耐熱クッション材を提供することができるとともに、セラミック繊維の欠点である細化（粉化）を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の基本構成は、成形プレス用クッション材として、基体とフェルト材を積層させてなる成形プレス用耐熱クッション材であって、高耐熱性繊維のセラミック繊維を含むフェルト材を１層以上有することを特徴とする成形プレス用耐熱クッション材であり、好ましくは前記セラミック繊維を含むフェルト材は、更に接合繊維を含むものである。
【００２１】
高耐熱性繊維のセラミック繊維としては、アルミナ・シリカ系のものが好適に使用できる。また、他の耐熱性繊維としてはパラ系芳香族ポリアミド繊維又はメタ系芳香族ポリアミド繊維が好適に使用できる。または、これらの繊維を混綿したものを使用しても良い。本発明では、耐熱繊維の含有量は、好ましくはセラミック繊維重量に対して０％〜４９％、更に好ましくは５％〜３０％の範囲で使用すると良い。
【００２２】
本発明では前記セラミック繊維を含むフェルト材は、クッション材として、昇温速度の調整が容易であるとともに、クッション性の持続性に優れた製品を提供することが可能となる。本発明では、熱伝導性を調整してセラミック繊維を含むフェルト材の昇温速度を高めるために、前記フェルト材の坪量が好ましくは５０ｇ／ｍ２〜１０００ｇ／ｍ２、更に好ましくは１００ｇ／ｍ２〜５００ｇ／ｍ２の範囲で構成すると、昇温速度をより調整することができる。
【００２３】
ここで、セラミック繊維は耐熱性が非常に優れるが熱伝導性が小さいので、セラミック繊維を多く含むフェルト材は昇温速度が悪くなるため、他の耐熱性繊維を含ませ、クッション材の厚み方向の熱伝導性を調整して昇温速度を高めることができる。または、昇温速度の調整の容易な耐熱繊維のフェルト材と、セラミック繊維を含むフェルト材とを、多層に構成することで、いっそう昇温速度の調整がし易くなる。
【００２４】
また、前記セラミック繊維を含むフェルト材には、更に接合繊維を含むことによって、セラミック繊維を固定し安定化してセラミック繊維の細化（粉化）を防ぐことができるが、接合繊維としては、未延伸コーネックス繊維や全芳香族ポリエステル繊維（ベクトラン；商品名）が使用できる。接合繊維として例えば未延伸コーネックス繊維を選択し、前記セラミック繊維を含むフェルト材に接合繊維を混合した後に熱処理すれば、接合繊維は溶融し流動してセラミック繊維を被覆し、またセラミック繊維間を接合するから、クッション材の使用中にセラミック繊維が細化することがない。本発明では、接合繊維の含有量は、好ましくはセラミック繊維重量に対して１％〜３０％、更に好ましくは５％〜２０％の範囲で使用すると良い。
【００２５】
そして、前記クッション材の表面に表層材が配置されているクッション材では、積層製品（被成形体）を加熱プレス成形する際に、該積層製品の凹凸面への当接性が良くなる。つまり積層製品に対し均等に押圧力を伝えることができる。
【００２６】
表層材としてはカバーレイフィルムや金属箔、または熱盤に対して離形性を有する耐熱性樹脂が好ましい。カバーレイフィルムとしては、プレス成形用フィルムであるポリアミド樹脂やポリスチレン樹脂、ポリオレフィン樹脂が使用できる。
また、ポリメタフェニレンイソフタルアミドを主体とした繊維からなるノーメックス（商品名／デュポン製）ペーパー等を採用することができる。
また、金属箔としては、アルミ合金箔やステンレス箔などが使用できる。
更に、耐熱性樹脂としては、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等を適宜利用することができる。
【００２７】
そして、前記表層材をクッション材に接合（配置）するための接合手段には、樹脂またはプリプレグ、或いは接合繊維を使用することが出来る。樹脂としてはエポキシ樹脂やポリイミド樹脂、フッ素フィルム等の熱溶着性樹脂などが使用できる。
また、プリプレグとしては、ガラスエポキシのプリプレグシート等が使用できる。
更に、接合繊維としては、未延伸コーネックス繊維や全芳香族ポリエステル繊維（ベクトラン；商品名）が使用できる。
【００２８】
ここで、本発明に係る実施の態様を、図４から図６に基づき説明する。
図４において、１０は第１のクッション材であり、基体１０Ｂと、基体１０Ｂの熱盤側に第１のフェルト材１Ａと、その反対側に第２のフェルト材１Ｂとが、基体１０Ｂの表側と裏側とにニードルパンチングにより接続されて構成されている。
第１のフェルト材１Ａと、第２のフェルト材１Ｂとは、セラミック繊維を含むフェルト材である。このように第１のフェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂとを構成すれば、熱盤における熱劣化や熱ムラを緩和し、クッション材の昇温速度を調整することができる。
【００２９】
図５において、２０は第２のクッション材であり、基体１０Ｂと、基体１０Ｂの熱盤側に第１のフェルト材１Ａと、その反対側に第２のフェルト材１Ｂとが、基体１０Ｂの表側と裏側とにニードルパンチングにより接続されて構成されている。更に、第１のフェルト材１Ａの表面に第３のフェルト材１Ｃと、第２のフェルト材１Ｂの表面に第４のフェルト材１Ｄとがニードルパンチングにより接続されて構成されている。
なお、第３のフェルト材１Ｃと、第４のフェルト材１Ｄとは、セラミック繊維を含むフェルト材であり、第１のフェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂはセラミック繊維を含まない、昇温速度の調整の容易な耐熱繊維のフェルト材である。
このような第２のクッション材を構成すると、熱伝導性が良くクッション性の高い耐熱繊維、例えばパラ系芳香族ポリアミド繊維のフェルト材の外面に、高耐熱性で熱伝導性の小さいセラミック繊維を含むフェルト材を配置すれば、熱盤における熱劣化や熱ムラを緩和することができ、クッション材全体として耐熱性が向上し、かつ昇温速度の調整とクッション性をバランスよく設定することができる。
【００３０】
図４において、セラミック繊維を含むフェルト材1Ａとフェルト材1Ｂには、更に接合繊維を含むことができる。また、図５において、セラミック繊維を含むフェルト材1Ｃとフェルト材1Ｄには、更に接合繊維を含むことができる。
そして、このように接合繊維を含むフェルト材を形成した後に、クッション材全体を熱処理して、接合繊維を溶融し流動化して、セラミック繊維を被覆し、またセラミック繊維間を接合することができる。
【００３１】
一方、図６において、３０は第３のクッション材であり、第２のクッション材２０の表側と裏側に表層材１Ｅが接続された構成になっている。そして、第３のフェルト材１Ｃ並びに第４のフェルト材１Ｄと表層材１Ｅとは、接合手段Ｐにより接続されている。そして、第３のクッション材３０においても、第１のフェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂには、熱伝導性が良くクッション性の高い耐熱性繊維を配置して、昇温速度の調整の容易なフェルト材を構成し、第３のフェルト材１Ｃと第４のフェルト材１Ｄには、高耐熱性で熱伝導性の小さいセラミック繊維を含むフェルト材を配置すれば、熱盤における熱劣化や熱ムラを緩和することができる。そして、第３のフェルト材１Ｃ並びに第４のフェルト材１Ｄを形成した後に、その外面に接合手段Ｐ、例えばガラスエポキシのプリプレグシートを介して表層材１Ｅを配置してから、全体を熱処理すると、プリプレグシートは溶融し流動しつつ硬化するから、第３のフェルト材１Ｃ並びに第４のフェルト材１Ｄと表層材１Ｅとを強固に接合することができる。
【００３２】
また、基体１０Ｂは、耐熱繊維からなる経糸１０Ｂ１と緯糸１０Ｂ２とを織製してなる織布にて構成されている。具体的には、メタ系芳香族ポリアミド繊維、パラ系芳香族ポリアミド繊維のほか、全芳香族ポリエステル繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール（ＰＢＯ）繊維、ステンレス繊維などを適宜採用することが可能である。
また、基体１０Ｂは上記のように経糸と緯糸を織製した織布が強度上望ましいが、この織布のみならず、経糸と緯糸を単に重ね合わせた構成など、適宜採用することができる。
【００３３】
また、基体１０Ｂの素材につき、本発明の例では耐熱性繊維と説明したが、この耐熱性繊維としては、メタ系芳香族ポリアミド繊維、パラ系芳香族ポリアミド繊維は勿論、全芳香族ポリエステル繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール（ＰＢＯ）繊維、ステンレス繊維などを適宜採用することも可能である。また、基体１０Ｂの構成としては、経糸と緯糸を織製した織布が強度上望ましいが、この織布のみならず、経糸と緯糸を単に重ね合わせた構成など、適宜採用することができる。この際、場合によっては、基体１０Ｂを有さない構成も構成することも可能である。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の成形プレス用耐熱クッション材について、実施例を用いてさらに詳しく説明するが、これらは本発明を何ら限定するものではない。
まず、実施例および比較例において、次の構成は全て共通のものを使用した。
（１）クッション材に配置される基体：
・メタ系芳香族ポリアミドのスパン糸を織製した織布を使用した。なお具体的な繊維としては、コーネックス（商品名／帝人製）を使用した。
（２）フェルト材を構成する繊維：
・セラミック繊維には、アルミナ・シリカ系繊維（株式会社ＩＴＭ社製商品名バルクファイバーＦＸＬ）の５０ｍｍ長の繊維を使用した。
・耐熱性繊維には、メタ系芳香族ポリアミド繊維（コーネックス：商品名／帝人製）の５０ｍｍカット長の繊維と、パラ系芳香族ポリアミド繊維（ケブラー：商品名／デュポン製）の５０ｍｍカット長の繊維とを、等量混合したものを使用した。
・接合繊維には、未延伸コーネックス（自然延伸によるメタ系芳香族ポリアミド繊維：帝人社の提供）の５０ｍｍカット長の繊維と、全芳香族ポリエステル繊維（ベクトラン；商品名）の５０ｍｍカット長の繊維とを、等量混合したものを使用した。
・接合手段には、ガラスエポキシのプリプレグシートを使用した。
・表層材には、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）シートを使用した。
【００３５】
（実施例１）
織布の表裏にセラミック繊維を含む繊維をカーディングウエッブとして積層し、ニードルパンチングして第１のフェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂを形成して、実施例１に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂとは同じ繊維の配合内容であり、これらの繊維の内容は表１に記載した。
【００３６】
（実施例２）
織布の表裏に耐熱性繊維をカーディングウエッブとして積層し、ニードルパンチングして第１のフェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂを形成した。そして更にその表裏に、セラミック繊維を含む繊維をカーディングウエッブとして積層し、ニードルパンチングして第３のフェルト材１Ｃと第４のフェルト材１Ｄを形成して、実施例２に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材１Ａと第２のフェルト材１Ｂとは同じ繊維の配合内容であり、第３のフェルト材１Ｃと第４のフェルト材１Ｄとは同じ繊維の配合内容であり、これらの繊維の内容は表２に記載した。
【００３７】
（実施例３）
実施例１で作製したクッション材の表面に、さらにガラスエポキシのプリプレグシートを介してＥＴＦＥフィルムを接合して、実施例３に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材の構成は表３に記載した。
【００３８】
（実施例４）
実施例２で製作したクッション材の表面に、さらにガラスエポキシのプリプレグシートを介してＥＴＦＥフィルムを接合して、実施例４に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材の構成は表４に記載した。
【００３９】
（比較例１）
織布の表裏に耐熱性繊維をカーディングウエッブとして積層し、ニードルパンチングして第１のフェルト材の層１Ａと第２のフェルト材の層１Ｂを形成して、比較例１に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材の構成は表５に記載した。
【００４０】
（比較例２）
比較例１で作製したクッション材の表面に、更にその表裏に耐熱性繊維をカーディングウエッブとして積層し、ニードルパンチングして第３のフェルト材の層１Ｃと第４のフェルト材の層１Ｄを形成して、比較例２に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材の構成は表５に記載した。
【００４１】
（比較例３）
比較例２で製作したクッション材の表面に、さらにガラスエポキシのプリプレグシートを介してＥＴＦＥフィルムを接合して、比較例３に係るクッション材を作製した。なお、フェルト材の構成は表５に記載した
【００４２】
実施例および比較例で作製したクッション材のサンプルの諸物性を各表に示す。
【００４３】
これらの実施例と比較例で作製したサンプルを、図１に示すものと同様の構造を有する試験機を用いて、クッション材の性能を測定した。なお、クッション材は、温度１９０℃、加圧４０ｋｇ／ｃｍ２を６０分保持し、その後水冷１５分、加圧開放１５分を１サイクルとし、これを３００サイクル繰り返しプレス後に次の測定を実施した。
・昇温速度（℃／ｍｉｎ）の測定：９０℃から１４０℃になるまでの時間を測定し、昇温速度（℃／ｍｉｎ）を得た。評価としては、昇温速度が１．８℃／ｍｉｎを超えて、２．２℃／ｍｉｎ以下を「◎」、１．５℃／ｍｉｎを超えて、１．８℃／ｍｉｎ以下、ならびに２．２℃／ｍｉｎを超えて、２．５℃／ｍｉｎ以下を「○」、それ以外を「×」とした。
・クッション変位量（μｍ）の測定：１８０℃の加熱下において、０．２ｋｇにてプレスした場合と、５０ｋｇにてプレスした場合のクッション材の厚みを測定した。そして、５０ｋｇ時から０．２ｋｇ時の差を求め、クッション変位量（μｍ）とした。評価としては、クッション量が５００μｍ以上を「◎」、４００μｍ以上、５００μｍ未満を「○」、４００μｍ未満を「×」とした。
【００４４】
上記の試験機を用いたクッション材の性能の結果を、表に示す。このことから、本発明に係る実施例においては、クッション材として非常に優れたバランスを有することが確認された。
【００４５】
【表１】
2010137384.tif 000003
【００４６】
【表２】
2010137384.tif 000004
【００４７】
【表３】
2010137384.tif 000005
【００４８】
【表４】
2010137384.tif 000006
【００４９】
【表５】
2010137384.tif 000007
【００５０】
本発明によれば、昇温速度の調整が容易であるとともに、クッション性の維持に優れたクッション材を、客先に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】積層板の成形プレスの例を示す
【図２】従来の成形プレス用クッション材を示す
【図３】従来の成形プレス用クッション材を示す
【図４】本発明の成形プレス用クッション材の態様の例を示す
【図５】本発明の成形プレス用クッション材の別の態様の例を示す
【図６】本発明の成形プレス用クッション材の別の態様の例を示す
【符号の説明】
【００５２】
１０    第１のクッション材
１Ａ    第１のフェルト材
１Ｂ    第２のフェルト材
１Ｃ    第３のフェルト材
１Ｄ    第４のフェルト材
１Ｅ    表層材
１０Ｂ  基体
１０Ｂ１  経糸
１０Ｂ２  緯糸
２０    第２のクッション材
３０    第３のクッション材
Ｐ      接合手段
【図１】
2010137384.tif 000008
【図２】
2010137384.tif 000009
【図３】
2010137384.tif 000010
【図４】
2010137384.tif 000011
【図５】
2010137384.tif 000012
【図６】
2010137384.tif 000013