(57)【要約】【課題】限られた大きさの配線領域であっても、当該配線領域の形状とパッド位置との関係を考慮することで、当該配線領域に対する配線パターンの自動生成を良好に行えるようにする。【解決手段】配線パターンを自動生成に必要な情報を取得する情報取得手段４ａと、前記情報取得手段４ａが取得した各情報を基に、接続対応関係にあるパッド同士の位置関係によって、前記各パッドを複数のパッド群にグループ分けするグループ分け手段４ｂと、前記グループ分け手段４ｂがグループ分けした複数のパッド群についての処理優先順を決定する優先順決定手段４ｃと、前記優先順決定手段４ｃが決定した処理優先順に従いつつ、前記パッド群毎に個別に、当該パッド群で接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段４ｄと、を備えて配線パターン生成装置を構成する。【選択図】図１
2010092253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段が取得した各情報を基に、接続対応関係にあるパッド同士の位置関係によって、前記各パッドを複数のパッド群にグループ分けするグループ分け手段と、
前記グループ分け手段がグループ分けした複数のパッド群についての処理優先順を決定する優先順決定手段と、
前記優先順決定手段が決定した処理優先順に従いつつ、前記パッド群毎に個別に、当該パッド群で接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段と
を備える配線パターン生成装置。
【請求項２】
前記グループ分け手段は、接続対応関係にあるパッド同士が前記配線領域の対向辺のそれぞれに配されているパッド群をメイングループとし、当該パッド同士が前記配線領域の隣接辺のそれぞれに配されているパッド群をサブグループとするように、前記各パッドについてのグループ分けを行う
請求項１記載の配線パターン生成装置。
【請求項３】
前記優先順決定手段は、前記メイングループの両側に前記サブグループが位置するように前記グループ分け手段がグループ分けを行った場合に、当該メイングループより当該サブグループの処理優先順を高くする
請求項２記載の配線パターン生成装置。
【請求項４】
前記優先順決定手段は、前記メイングループの片側のみに前記サブグループが位置するように前記グループ分け手段がグループ分けを行った場合に、当該メイングループと当該サブグループとでパッド数の多いほうの処理優先順を高くする
請求項２記載の配線パターン生成装置。
【請求項５】
前記配線処理手段は、前記メイングループに属するパッド群について、前記対向辺上での位置が同一であるパッド同士を抽出し、当該パッド同士の間を直線状の配線レイアウトパターンとすることを決定した後に、他のパッド同士の間における配線のレイアウトパターンを決定する
請求項２、３または４記載の配線パターン生成装置。
【請求項６】
コンピュータを、
矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段が取得した各情報を基に、接続対応関係にあるパッド同士の位置関係によって、前記各パッドを複数のパッド群にグループ分けするグループ分け手段と、
前記グループ分け手段がグループ分けした複数のパッド群についての処理優先順を決定する優先順決定手段と、
前記優先順決定手段が決定した処理優先順に従いつつ、前記パッド群毎に個別に、当該パッド群で接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段
として機能させる配線パターン生成プログラム。
【請求項７】
半導体装置を構成する配線の生成にあたり、矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得工程と、
前記情報取得工程で取得した各情報を基に、接続対応関係にあるパッド同士の位置関係によって、前記各パッドを複数のパッド群にグループ分けするグループ分け工程と、
前記グループ分け工程でグループ分けした複数のパッド群についての処理優先順を決定する優先順決定工程と、
前記優先順決定工程で決定した処理優先順に従いつつ、前記パッド群毎に個別に、当該パッド群で接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理工程と
を含む半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の配線パターンを自動生成する配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、および、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体装置の配線パターンについては、コンピュータ装置を用いて自動生成し得ることが知られている（例えば、特許文献１参照。）。配線パターンの自動生成とは、導通させるべきパッド（接続端子）の位置を与えると、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターンを、コンピュータ装置が自動的に決定することをいう。
【０００３】
【特許文献１】特開平０１−１１４０５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来における配線パターンの自動生成では、配線領域内で一律の基準を適用して、当該自動生成を行うものが一般的である。例えば、配線領域内で基準として設定された位置から順に、各配線の平面的なレイアウトパターンを決定する、といった具合である。したがって、配線領域の形状とパッド位置との関係によっては、必ずしも配線パターンの自動生成を良好に行えるとは限らず、未結線や配線ショート等の不都合が発生してしまうおそれがある。このことは、例えば有機ＥＬ（Electro Luminescence）パネル上の配線レイアウトに適用した場合のように、限られた大きさの配線領域内に対して配線パターンの自動生成を行う場合に、特に発生し得る。
【０００５】
そこで、本発明は、例えば限られた大きさの配線領域であっても、当該配線領域の形状とパッド位置との関係を考慮することで、当該配線領域に対する配線パターンの自動生成を良好に行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために案出された配線パターン生成装置で、矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された各パッドについての位置情報および当該各パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、前記情報取得手段が取得した各情報を基に、接続対応関係にあるパッド同士の位置関係によって、前記各パッドを複数のパッド群にグループ分けするグループ分け手段と、前記グループ分け手段がグループ分けした複数のパッド群についての処理優先順を決定する優先順決定手段と、前記優先順決定手段が決定した処理優先順に従いつつ、前記パッド群毎に個別に、当該パッド群で接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段とを備える。
【０００７】
上記構成の配線パターン生成装置では、配線領域における各パッドを複数のパッド群にグループ分けして、これら複数のパッド群についての処理優先順を決定し、その決定した処理優先順に従いつつ各パッド群毎に個別に配線のレイアウトパターンを決定する。したがって、同一の配線領域内であっても、グループ分けした各パッド群毎に、異なる基準を適用して、配線のレイアウトパターンを決定し得るようになる。しかも、各パッド群についての処理優先順を決定するので、各パッド群毎に異なる基準を適用しても、当該処理優先順によって主従の関係が構築され、配線パターンの自動生成に破綻を来すことがない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、配線領域の形状とパッド位置との関係を考慮しつつ、各パッドを複数のパッド群にグループ分けし、グループ分けした各パッド群毎に異なる基準を適用して配線のレイアウトパターンを決定する、といったことが実現可能になる。したがって、例えば限られた大きさの配線領域であっても、未結線や配線ショート等の不都合が発生することなく、当該配線領域に対する配線パターンの自動生成を良好に行えるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面に基づき本発明に係る配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、および、半導体装置の製造方法について説明する。
【００１０】
〔配線パターン生成装置の概略構成〕
先ず、配線パターン生成装置の概略構成を説明する。
図１は、本発明に係る配線パターン生成装置の概略構成例を示すブロック図である。
図例の配線パターン生成装置は、ディスプレイパネルまたはＣＲＴ（Cathode Ray Tube）からなる表示部１と、キーボードやマウス等からなる入力部２と、ＨＤＤ（Hard disk drive）等の記憶装置からなるデータ格納部３と、コンピュータ装置としての機能を有する自動配線処理部４と、を備えている。そして、入力部２からの入力情報またはデータ格納部３での記憶情報を基に、自動配線処理部４が配線パターンの自動生成を行うように構成されている。
【００１１】
配線パターンの自動生成を行うために、自動配線処理部４は、情報取得手段４ａ、グループ分け手段４ｂ、優先順決定手段４ｃおよび配線処理手段４ｄとしての機能を有している。
情報取得手段４ａは、入力部２またはデータ格納部３から、配線パターンの自動生成に必要となる情報を取得するものである。
グループ分け手段４ｂは、情報取得手段４ａが取得した各情報に基づき、詳細を後述するように、接続対応関係にあるパッド同士の位置関係によって、各パッドを複数のパッド群にグループ分けするものである。
優先順決定手段４ｃは、グループ分け手段４ｂがグループ分けした複数のパッド群について、その処理優先順を決定するものである。
配線処理手段４ｄは、優先順決定手段４ｃが決定した処理優先順に従いつつ、グループ分け手段４ｂがグループ分けした複数のパッド群毎に個別に、当該パッド群で接続対応関係にあるパッド同士の間を導通させる配線の平面的なレイアウトパターンを、自動的に決定するものである。
【００１２】
これらの各手段４ａ〜４ｄは、自動配線処理部４におけるコンピュータ装置としての機能が、所定プログラムを実行することによって実現されるものとする。つまり、上述した各手段４ａ〜４ｄとしての機能は、コンピュータ装置にインストールされた所定プログラム（配線パターン生成装置）によって実現される。なお、当該所定プログラムは、コンピュータ装置へのインストールに先立ち、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に格納されて提供されるものであっても、または通信回線を介して外部から配信されるものであってもよい。
【００１３】
〔配線パターンの自動生成に必要な情報〕
続いて、情報取得手段４ａでの取得情報、すなわち配線パターンの自動生成に必要となる情報について説明する。
配線パターンの自動生成に必要となる情報としては、配線を這わす領域（以下、単に「配線領域」という。）に関する情報と、配線によって導通させるべきパッドに関する情報と、配線のレイアウトパターンを決定する際の条件に関する情報と、が挙げられる。
【００１４】
配線領域に関する情報は、当該配線領域の位置、大きさ、範囲等を特定する情報である。なお、配線領域は、その設定の容易さ等を考慮して、矩形状に設定されるものとする。
図２は、配線領域の一具体例を示す説明図である。
図例は、液晶表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等といった、いわゆるフラットパネルディスプレイのパネル面上において、設定される配線領域１１を示している。すなわち、図中に破線で示す配線領域１１は、画像表示領域１２における電源供給線や信号線等に繋がるパッド（ただし不図示）と、電源供給ＴＣＰ（Tape Carrier Package）１３や信号供給ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）１４等を接続すべく画像表示領域１２の周囲に配された周辺領域１５に設けられたパッド（ただし不図示）との間について、これらを導通させるための配線を這わす領域として設定されるものである。
【００１５】
パッドに関する情報としては、当該パッドについての位置情報と、パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報と、が挙げられる。
図３は、パッド配置の一具体例を示す説明図である。
図例のように、配線によって導通させるべきパッド１６ａ，１６ｂは、配線領域１１の構成辺に沿うように配されている。各パッド１６ａ，１６ｂについての位置情報としては、座標値情報を用いることが考えられるが、ある１点を特定するものであっても、あるいは領域範囲を特定するものであってもよい。
また、識別子情報としては、図例のような「1Pin」「2Pin」…といったものが挙げられるが、接続対応関係を特定可能であれば、その形式が特に限定されるものではない。
なお、ここでいう「パッド」は、配線が接続される端子部分を総称するものであり、配線が接続されるものであればピンやターミナル等も含まれるものとする。
【００１６】
図４は、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一具体例を示す説明図である。
図例のように、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一つとしては、配線領域１１内での配線の最低突き出し量（図中Ａ，Ｂ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、生成後の配線が外部（例えば、他のパッド。）との間で電気的短絡を発生させてしまうのを防止するために、予め設定されるものである。
また、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の他の一つとしては、配線の最小線幅（図中Ｃ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、解像限界を超える細さで適切な形成が行えなくなったりするのを防止するために、予め設定されるものである。
さらに、レイアウトパターンの決定条件に関する情報のさらに他の一つとしては、配線の最小線間距離（図中Ｄ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、隣り合う配線間で電気的短絡が発生するのを防止するために、予め設定されるものである。
【００１７】
〔配線パターンの自動生成の基本的な手順〕
次に、自動配線処理部４が配線パターンの自動生成を行う場合の処理手順の概要を説明する。
図５は、本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作例を示すフローチャートである。
【００１８】
自動配線処理部４では、配線パターンの自動生成にあたり、先ず、情報取得手段４ａが情報取得工程を実行して、入力部２またはデータ格納部３からの情報取得を行う（ステップ１０１、以下ステップを「Ｓ」と略す。）。取得する情報は、既に説明した通りである。ただし、情報取得手段４ａは、上述した取得情報に加えて、他の情報を取得するものであってもよい。
【００１９】
情報取得手段４ａが各種情報を取得した後は、グループ分け手段４ｂがグループ分け工程を実行して、接続対応関係にあるパッド同士について、互いの位置関係によって複数のパッド群にグループ分けする（Ｓ１０２）。具体的には、情報取得手段４ａが取得した各情報を基に、接続対応関係にあるパッド１６ａ，１６ｂ同士が、配線領域１１の対向辺のそれぞれに分かれて配されているか、または当該配線領域１１の隣接辺のそれぞれに分かれて配されているかを判断する。そして、対向辺のそれぞれに配されているパッド群をメイングループとし、隣接辺のそれぞれに配されているパッド群をサブグループとするように、各パッドについてのグループ分けを行う。
【００２０】
グループ分け手段４ｂが各パッドについてのグループ分けを行った後は、優先順決定手段４ｃが優先順決定工程を実行して、グループ分けした各パッド群についての処理優先順を決定する（Ｓ１０３）。具体的には、グループ分け手段４ｂでのグループ分けの結果、メイングループの両側にサブグループが位置する場合に、当該メイングループより当該サブグループの処理優先順を高くするように、各グループ間の優先順を決定する。また、メイングループの片側のみにサブグループが位置する場合には、当該メイングループと当該サブグループとでパッド数の多いほうの処理優先順を高くするように、各グループ間の優先順を決定する。
【００２１】
その後は、配線処理手段４ｄが配線処理工程を実行して、接続対応関係にあるパッド１６ａ，１６ｂ同士の間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する。ただし、このとき、配線処理手段４ｄは、配線レイアウトパターンの決定を、優先順決定手段４ｃが決定した処理優先順に従いつつ、グループ分けされたパッド群毎に個別に行う。このことから、配線処理手段４ｄは、配線レイアウトパターンの決定にあたり、先ず、処理対象となるパッド群のグループ種類、すなわちグループ分けの結果が、メイングループであるか、あるいはサブグループであるかを判断する（Ｓ１０４）。その結果、サブグループであれば、配線処理手段４ｄは、処理対象となるパッド群に対して、詳細を後述するように、サブグループに適した配線処理を行って、配線のレイアウトパターンを決定する（Ｓ１０５）。一方、メイングループであれば、配線処理手段４ｄは、処理対象となるパッド群に対して、詳細を後述するように、メイングループに適した配線処理を行って、配線のレイアウトパターンを決定する（Ｓ１０６）。
【００２２】
そして、配線処理手段４ｄは、以上のような一連の処理を、グループ分け手段４ｂがグループ分けした全てのグループについて終了するまで（Ｓ１０７）、繰り返して行う（Ｓ１０４〜Ｓ１０７）。このようにして、配線処理手段４ｄは、各パッド１６ａ，１６ｂ間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するのである。
【００２３】
〔配線パターンの自動生成の具体例〕
ここで、上述した一連の配線パターンの自動生成手順について、具体例を挙げてさらに詳しく説明する。
【００２４】
図６は、配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図であり、パッドのグループ分けの一態様を模式的に示す図である。
ここでは、図例のように、矩形状の配線領域１１における四つの構成辺のそれぞれに沿うように、各パッド１６ａ，１６ｂが配されている場合を考える。
【００２５】
このように各パッド１６ａ，１６ｂが配されている場合に、グループ分け手段４ｂは、これらの各パッド１６ａ，１６ｂがメイングループ２０とサブグループ３０のいずれかに属するようにグループ分けを行う。具体的には、接続対応関係にあるパッド１６ａ，１６ｂ同士が、配線領域１１の対向辺、すなわち互いに平行に離間して配された二つの構成辺のそれぞれに分かれて配されている場合には、これらのパッド１６ａ，１６ｂをメイングループ２０とする。また、接続対応関係にあるパッド１６ａ，１６ｂ同士が、配線領域１１の隣接辺、すなわち互いに９０°の関係で隣り合うように配された二つの構成辺のそれぞれに分かれて配されている場合には、これらのパッド１６ａ，１６ｂをサブグループする。
【００２６】
グループ分け手段４ｂが配線領域１１に存在する全てのパッド１６ａ，１６ｂについてのグループ分けを行った後、優先順決定手段４ｃは、グループ分けした各パッド群についての処理優先順を決定する。
ここで、図例のように、配線領域１１の央部付近にメイングループ２０が存在し、当該配線領域１１の両端部付近にサブグループ３０が存在する場合を考える。すなわち、グループ分け手段４ｂでのグループ分けの結果、メイングループ２０の両側にサブグループ３０が位置することになった場合である。このようなグループ分けが行われた場合、優先順決定手段４ｃは、予めの設定に従いつつ、メイングループ２０よりサブグループ３０の処理優先順を高くするように、各グループ２０，３０間の優先順を決定する。これは、配線領域１１の端縁に沿うように配線のレイアウトパターンを決定し得るサブグループ３０について、メイングループ２０に優先して配線パターンの自動生成を行うことで、限られた配線領域１１の有効活用を図るという思想に基づくものである。
一方、配線領域１１における各パッド１６ａ，１６ｂの配置によっては、メイングループ２０の片側のみにサブグループ３０が位置するように、グループ分け手段４ｂによるグループ分けがされることもあり得る。すなわち、グループ分け手段４ｂでのグループ分けの結果、配線領域１１の央部付近にメイングループ２０が存在し、当該配線領域１１のいずれか一方の端部付近のみにサブグループ３０が存在する場合である（ただし不図示）。このようなグループ分けが行われた場合、優先順決定手段４ｃは、予めの設定に従いつつ、メイングループ２０とサブグループ３０とでパッド数の多いほうの処理優先順を高くするように、各グループ２０，３０間の優先順を決定する。これは、メイングループ２０とサブグループ３０とのいずれについても、配線領域１１の端縁に沿うように配線のレイアウトパターンを決定し得ることによるものである。つまり、例えば、サブグループ３０が片側のみに存在するので、メイングループ２０についても、当該サブグループ３０が存在しない端縁側に詰めて配線することが可能であることによる。したがって、パッド数の多く配線領域１１に占める割合が大きいほうのいずれかのグループについて、他のグループに優先して配線パターンの自動生成を行うことで、限られた配線領域１１の有効活用を図るという思想に基づくものである。
【００２７】
その後は、優先順決定手段４ｃが決定した処理優先順に従いつつ、配線処理手段４ｄが、各グループ毎（すなわち、グループ分けされたパッド群毎。）に個別に、配線レイアウトパターンの決定を行う。
【００２８】
ここで、サブグループ３０を優先して処理する場合の当該サブグループ３０に適した配線処理について、具体例を挙げて説明する。
図７は、配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図であり、サブグループに適した配線処理の一態様を模式的に示す図である。
サブグループ３０については、その配線処理にあたり、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、配線領域１１の端縁に沿うように配線のレイアウトパターンを決定する。端縁に沿うようにとは、配線の最低突き出し量、最小線幅、最小線間距離等を遵守しつつ、当該端縁の側から順に詰めて各配線を配することをいう。具体的には、図７（ａ）〜（ｄ）のいずれかに示すように、配線領域１１における各パッド１６ａ，１６ｂの配置位置に応じて、基準となる端縁（すなわち、当該配線領域１１の一構成辺または互いに直交する二つの構成辺。）を特定する（図中矢印Ｅ参照。）。そして、その特定した端縁に沿うように、処理対象となるサブグループ３０に属する全てのパッド１６ａ，１６ｂについて、順次（図中矢印Ｆ参照。）配線のレイアウトパターンを決定する。なお、このときの具体的なレイアウトパターンの決定手法は、公知技術を利用して行えばよい。
【００２９】
このようにしてサブグループ３０の配線処理を行えば、当該サブグループ３０については、メイングループ２０から遠い側から順に詰めて配線が配されることになる。したがって、その後に配線処理を行うメイングループ２０についての配線領域を確保する上では、非常に有効である。
【００３０】
サブグループ３０についての配線処理を行った後は、続いて、メイングループ２０についての配線処理を行う。ただし、メイングループ２０についての配線処理に際しては、既にサブグループ３０についての配線処理を行っているので、その配線処理の結果を参照しつつ行うものとする。具体的には、図７（ｅ）〜（ｆ）に示すように、サブグループ３０についての配線処理の結果を参照しつつ、当該配線処理で使用した領域部分と干渉しないように、メイングループ２０についての配線処理を行う。なお、このときの干渉回避の具体的な手法は、公知技術を利用して行えばよい。
【００３１】
次いで、メイングループ２０に適した配線処理について、具体例を挙げて説明する。
図８および図９は、配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図であり、メイングループに適した配線処理の一態様を模式的に示す図である。
【００３２】
メイングループ２０については、その配線処理にあたり、図８（ａ）および（ｂ）に示すように、先ず、各パッド１６ａ，１６ｂの配置位置に応じて、当該各パッド１６ａ，１６ｂを第一パッド群２１ａと第二パッド群２１ｂとに分類する。詳しくは、各パッド１６ａ，１６ｂが配線領域１１の対向辺のうちのどちらに接しているかに応じて、第一パッド群２１ａと第二パッド群２１ｂとに分類する。
分類後は、さらに、図８（ｃ）に示すように、第一パッド群２１ａにおける各パッドと第二パッド群２１ｂにおける各パッドとの間で、配線領域１１の対向辺上における位置（座標値）が同一のものがあるか否かを判断する。そして、同一位置のものがあれば、当該同一位置のパッド同士を、二点接続パターン２２を構成するものとして、抽出する。さらには、他のパッド同士についても、二点接続パターン２２よりも左側に位置する第一パッド群２３ａに属するもの、同じく左側に位置する第二パッド群２３ｂに属するもの、当該二点接続パターン２２よりも右側に位置する第一パッド群２４ａに属するもの、同じく右側に位置する第二パッド群２４ｂに属するものに、それぞれ分類する。つまり、二点接続パターン２２を挟んで左右にグループ分けをする。
【００３３】
その後は、図８（ｄ）に示すように、二点接続パターン２２を構成する各パッドについて、これらを直線的に結ぶように、配線のレイアウトパターンを決定する。これにより、二点接続パターン２２については、各パッド同士の間を直線状に延びる配線２５のみが存在するように、当該パッド間を導通させる配線パターンが決定されることになる。
このように、メイングループ２０の配線処理にあたり、先ず、二点接続パターン２２から配線パターンを決定すれば、当該メイングループ２０における配線のジョグ（折れ曲がり部分）の数を削減する上で、非常に有効である。
【００３４】
また、二点接続パターン２２を除く他のパッド間については、第一パッド群２３ａおよび第二パッド群２３ｂと、第一パッド群２４ａおよび第二パッド群２４ｂとのそれぞれについて、別個に配線のレイアウトパターンを決定する。具体的には、図９（ａ）〜（ｄ）のいずれかに示すように、先ず、配線処理の開始点となる基準位置を特定する（図中矢印Ｇ参照。）。基準位置とは、所定の基準に従って特定される位置のことをいい、例えばメイングループ２０の中で最も端縁側に位置するパッド位置をいう。この基準位置は、予め設定されていれば、二点接続パターン２２を挟んだ両側で、例えばいずれも右詰めといったように、それぞれが共通のものであってもよいし、それぞれで互いに異なるものであってもよい。そして、このような基準位置から、処理対象となるメイングループ２０に属する二点接続パターン２２以外の全てのパッド群２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂについて、順次（図中矢印Ｈ参照。）配線のレイアウトパターンを決定する。なお、このときの具体的なレイアウトパターンの決定手法は、公知技術を利用して行えばよい。
【００３５】
以上の説明では、サブグループ３０を優先して処理する場合を例に挙げたが、メイングループ２０を優先して処理する場合についても、各グループ２０，３０の配線処理については全く同様に行えばよい。
ただし、メイングループ２０を優先して処理する場合には、当該メイングループ２０についての配線処理にあたり、サブグループ３０との位置関係に基づいて、当該配線処理の開始点となる基準位置の特定を行うものとする。具体的には、サブグループ３０から遠い端縁側に位置するパッド位置を基準位置として特定することが考えられる。さらに具体的には、二点接続パターン２２の抽出を行う場合であれば、少なくとも当該二点接続パターン２２よりサブグループ３０に近い領域部分については、当該サブグループ３０から遠い側（すなわち、二点接続パターン２２に近い側。）を、基準位置とする。
このように基準位置を特定すれば、メイングループ２０を優先して処理する場合であっても、当該メイングループ２０について、サブグループ３０から遠い側から順に詰めて配線が配されることになる。したがって、その後に配線処理を行うサブグループ３０についての配線領域を確保する上では、非常に有効である。
【００３６】
なお、ここでは、メイングループ２０とサブグループ３０のどちらを優先する場合においても、当該メイングループ２０の配線処理の際には、二点接続パターン２２の抽出を行うことを例に挙げたが、当該二点接続パターン２２の抽出は必須な処理ではない。すなわち、二点接続パターン２２の抽出を省略し、メイングループ２０に属する各パッド１６ａ，１６ｂについて、一律の基準で順次配線処理を行うようにしても構わない。
【００３７】
また、上述した一連の配線パターンの自動生成手順においては、メイングループ２０とサブグループ３０のどちらを優先する場合においても、与えられた条件では配線処理が行えないといったことも起こり得る。その場合には、配線処理に破綻を来すことが判明した時点で、その旨のアラーム出力を表示部１等で行い、その後の対応処理（例えば、設定条件の変更。）を配線パターン生成装置の操作者に委ねるようにすることが考えられる。
【００３８】
また、上述した一連の説明では、配線領域１１が図中左右方向に長い場合を例に挙げたが、上下方向に長い場合であっても、全く同様に配線処理を行うことが可能である。
【００３９】
〔生成される配線パターンの説明〕
以上のような一連の自動生成手順を経て得られる配線パターンは、メイングループ２０とサブグループ３０とについて、個別にレイアウトパターンの決定がされたものとなる。すなわち、各グループ２０，３０別に異なる基準を適用して、レイアウトパターンが決定されることになる。具体的には、例えばメイングループ２０の一方の側のみにサブグループ３０が存在する場合に、当該メイングループ２０は右詰め基準、当該サブグループ３０は左詰め基準といった具合である。
そのため、グループ分けをせずに配線領域内で一律の基準を適用して配線の自動生成を行う場合に比べて、限られた大きさの配線領域１１の有効活用が可能となり、未結線や配線ショート等の不都合が発生する可能性が低くなる。しかも、各グループ２０，３０についての処理優先順が決定されるので、各グループ２０，３０別に異なる基準を適用しても、当該処理優先順によって主従の関係が構築され、配線パターンの自動生成に破綻を来すことがない。
【００４０】
以上のように、本実施形態で説明した自動生成手順によれば、配線領域１１の形状と各パッド１６ａ，１６ｂの位置との関係を考慮しつつ、各パッド１６ａ，１６ｂをメイングループ２０とサブグループ３０とにグループ分けする。そして、これら各グループ２０，３０についての処理優先順を決定し、その決定した処理優先順に従いつつ各グループ２０，３０毎に個別に配線のレイアウトパターンを決定する。したがって、同一の配線領域１１内であっても、グループ分けした各グループ２０，３０毎に、異なる基準を適用して、配線のレイアウトパターンを決定し得るようになるのである。しかも、各グループ２０，３０毎に異なる基準を適用しても、処理優先順の決定により、配線パターンの自動生成に破綻を来すことがない。
【００４１】
つまり、本実施形態で得られる配線パターンによれば、各グループ２０，３０毎に異なる基準を適用してレイアウトパターンが決定されるので、一律の基準を適用した場合に比べて、限られた大きさの配線領域１１の有効活用が可能となる。具体的には、例えば限られた大きさの配線領域１１であっても、未結線や配線ショート等の不都合が発生することなく、当該配線領域１１に対する配線パターンの自動生成を良好に行えるようになる。
【００４２】
このことは、フラットパネルディスプレイのパネル面上における配線パターンの自動生成に適用して非常に好適であることを意味する。例えば、一律の基準による場合には、配線領域の形状とパッド位置との関係によっては、必ずしも柔軟な対応による配線処理が行えるとは限らず、未結線や配線ショート等が発生してしまうおそれがある。ところが、本実施形態で説明したように、各グループ２０，３０毎に異なる基準を適用すれば、限られた大きさの配線領域１１であっても、未結線や配線ショート等を回避し得るようになる。したがって、特にフラットパネルディスプレイのパネル面上における配線パターンの自動生成に適用して非常に好適なものとなるのである。
【００４３】
また、このことは、本実施形態で説明したように、各パッド１６ａ，１６ｂをメイングループ２０とサブグループ３０とにグループ分けすることによって実現される。すなわち、本実施形態では、接続対応関係にあるパッド１６ａ，１６ｂ同士が配線領域１１の対向辺のそれぞれに配されているパッド群をメイングループ２０とし、当該パッド同士が配線領域１１の隣接辺のそれぞれに配されているパッド群をサブグループ３０とする。これにより、各パッド１６ａ，１６ｂが配線領域１１の対向辺に配されている場合と、当該配線領域１１の隣接辺に配されている場合とで、異なる基準による配線処理が行えるようになる。具体的には、メイングループ２０に対しては当該メイングループ２０に適した基準による配線処理を、サブグループ３０に対しては当該サブグループ３０に適した基準による配線処理を、それぞれ行うことになる。したがって、配線領域１１内におけるパッド位置に応じた基準を適用した配線処理が可能となり、当該配線領域１１内のスペースの有効活用を通じて、未結線や配線ショート等の不都合の発生を未然に回避できるのである。
【００４４】
さらに、このことは、本実施形態で説明したように、メイングループ２０とサブグループ３０とについて、それぞれの処理優先順を決定することによって実現される。
例えば、グループ分けの結果、メイングループ２０の両側にサブグループ３０が位置する場合には、当該メイングループ２０より当該サブグループ３０の処理優先順を高くする。したがって、配線領域１１の端縁に沿うように配線のレイアウトパターンを決定し得るサブグループ３０について、メイングループ２０に優先して配線パターンの自動生成を行うことで、限られた配線領域１１の有効活用が図れるようになる。つまり、配線領域１１内のスペースの有効活用を通じて、未結線や配線ショート等の不都合の発生を未然に回避できるのである。
一方、例えば、グループ分けの結果、メイングループ２０の片側のみにサブグループ３０が位置する場合には、当該メイングループ２０と当該サブグループ３０とでパッド数の多いほうの処理優先順を高くする。したがって、パッド数の多く配線領域１１に占める割合が大きいほうのいずれかのグループについて、他のグループに優先して配線パターンの自動生成を行うことで、限られた配線領域１１の有効活用が図れるようになる。つまり、この場合も、配線領域１１内のスペースの有効活用を通じて、未結線や配線ショート等の不都合の発生を未然に回避できるのである。
【００４５】
また、本実施形態で説明したように、メイングループ２０の配線処理にあたり、先ず、二点接続パターン２２から配線パターンを決定すれば、当該メイングループ２０における配線のジョグ数を削減する上で、非常に有効である。
【００４６】
〔半導体装置の製造方法への適用〕
以上のような一連の配線パターンの自動生成手順は、半導体装置の製造方法に適用することが考えられる。すなわち、半導体装置の製造過程において、上述した一連の自動生成手順を経て配線パターンを決定した後、その決定した配線パターンによる配線をパターニング形成するためのマスクパターンを備えた露光用マスクを作成する。そして、その作成した露光用マスクを用いてリソグラフィ工程を実行し、これにより基板上への配線の形成を行うのである。
なお、マスクパターン以外については、公知技術を利用して実現すればよいため、ここではその説明を省略する。また、このような露光用マスクを用いて行うリソグラフィ工程についても、公知技術を利用して行えばよいため、ここではその説明を省略する。
【００４７】
半導体装置は、半導体製造プロセスを経て形成され、かつ、基板上への配線の形成を必要とするものであれば、特に限定されることはなく、様々なものへの適用が考えられる。
その一具体例としては、例えば、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等といった、フラットパネルディスプレイと呼ばれる画像表示装置が挙げられる。
画像表示装置は、通常、画像表示領域と、当該画像表示領域に周囲に配された周辺領域と、を備えて構成されている。そして、周辺領域には、矩形状の配線領域の構成辺に沿って配された複数のパッドと、接続対応関係にあるパッド間を導通させる配線と、が設けられるようになっている。この配線の平面的なレイアウトパターンを決定するにあたり、上述した一連の配線パターンの自動生成手順を適用することで、その画像表示装置における配線は、配線領域内が有効に活用されたものとなる。
【００４８】
なお、上述した実施形態では、本発明の好適な実施具体例を説明したが、本発明はその内容に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る配線パターン生成装置の概略構成例を示すブロック図である。
【図２】配線領域の一具体例を示す説明図である。
【図３】パッド配置の一具体例を示す説明図である。
【図４】レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一具体例を示す説明図である。
【図５】本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作例を示すフローチャートである。
【図６】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図（その１）であり、パッドのグループ分けの一態様を模式的に示す図である。
【図７】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図（その２）であり、サブグループに適した配線処理の一態様を模式的に示す図である。
【図８】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図（その３）であり、メイングループに適した配線処理の一態様を模式的に示す図である。
【図９】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例についての説明図（その４）であり、メイングループに適した配線処理の一態様を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
４…自動配線処理部、４ａ…情報取得手段、４ｂ…グループ分け手段、４ｃ…優先順決定手段、４ｄ…配線処理手段、１１…配線領域、１２…画像表示領域、１５…周辺領域、１６ａ，１６ｂ…パッド、２０…メイングループ、３０…サブグループ、２１ａ，２３ａ，２４ａ…第一パッド群、２１ｂ，２３ｂ，２４ｂ…第二パッド群、２２…二点接続パターン、２５…配線
【図１】
2010092253.tif 000003
【図２】
2010092253.tif 000004
【図３】
2010092253.tif 000005
【図４】
2010092253.tif 000006
【図５】
2010092253.tif 000007
【図６】
2010092253.tif 000008
【図７】
2010092253.tif 000009
【図８】
2010092253.tif 000010
【図９】
2010092253.tif 000011