(57)【要約】【課題】クロストークの発生が抑制された良好な画質の映像が表示可能なプラズマディスプレイパネルを簡便に製造することを目的とする。【解決手段】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、一対の基板を内部に放電空間が形成されるように対向配置することにより構成したＰＤＰの製造方法であって、少なくとも一方の基板に放電空間を仕切るための、複数の主隔壁９ａと、主隔壁９ａと交差する複数の補助隔壁９ｂと、補助隔壁９ｂに溝部９ｃを形成する工程と、少なくとも溝部９ｃに蛍光体層１０を配する工程とを有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板を内部に放電空間が形成されるように対向配置することにより構成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、少なくとも一方の基板に前記放電空間を仕切るための、複数の主隔壁と、前記主隔壁と交差する複数の補助隔壁と、前記補助隔壁に溝部を形成する工程と、少なくとも前記溝部に蛍光体層を配する工程とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記複数の主隔壁と、前記主隔壁と交差する複数の補助隔壁と、前記補助隔壁に溝部を形成する工程において、少なくとも２以上の積層膜を形成するステップと、前記積層膜の任意の１以上の層に前記主隔壁と前記補助隔壁との井桁状のパターニングをする露光ステップと、前記積層膜の任意の１以上の層に前記主隔壁と前記補助隔壁とが交差する部分のみのパターニングをする露光ステップとを有することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表示デバイスに用いられるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとする）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
このＰＤＰは、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＰＤＰの主流は、３電極構造の面放電型のものである。
【０００３】
この面放電型の構造は、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極群を配置するとともに放電により発光する赤色、緑色、青色に発光する蛍光体を設けて複数の放電セルを構成したもので、放電により発生する波長の短い真空紫外光によって蛍光体を励起し、赤色、緑色、青色の放電セルからそれぞれ赤色、緑色、青色の可視光を発することによりカラー表示を行っている。
【０００４】
このようなＰＤＰは、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、視野角が広いこと、大型化が容易であること、自発光型であるため表示品質が高いことなどの理由から、フラットパネルディスプレイの中で最近特に注目を集めており、多くの人が集まる場所での表示装置や家庭で大画面の映像を楽しむための表示装置として各種の用途に使用されている。
【０００５】
このようなＰＤＰにおいては、ガラスが主材料のパネルをアルミニウムなどの金属製のシャーシ部材の前面側に保持させ、そのシャーシ部材の背面側にパネルを発光させるための駆動回路を構成する回路基板を配置することによりモジュールを構成している（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１３１５８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記ＰＤＰにおいては、隣接する放電セル間での誤放電である、いわゆるクロストークを防ぐ目的で、井桁状（格子状、ボックスタイプ、とも言われる）の隔壁を用いることで放電空間をより確実に仕切る、という構成が採られる場合がある。しかしながらＰＤＰの高精細化に伴い、井桁状の隔壁内側への蛍光体塗布は困難になってきており、隣接セルへの蛍光体ペーストのはみ出し、欠落などが生じ易くなっている。これは画像表示時の混色や不灯セルを有する不良品となり、歩留まりを低下させている。
【０００７】
本発明はこのような課題を解決するもので、クロストークの発生が抑制された良好な画像の表示が可能なＰＤＰを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するために本発明のＰＤＰの製造方法は、一対の基板を内部に放電空間が形成されるように対向配置することにより構成したＰＤＰの製造方法であって、少なくとも一方の基板に放電空間を仕切るための、複数の主隔壁と、主隔壁と交差する複数の補助隔壁と、補助隔壁に溝部を形成する工程と、少なくとも溝部に蛍光体層を配する工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
また、複数の主隔壁と、主隔壁と交差する複数の補助隔壁と、補助隔壁に溝部を形成する工程において、少なくとも２以上の積層膜を形成するステップと、積層膜の任意の１以上の層に主隔壁と補助隔壁との井桁状のパターニングをする露光ステップと、積層膜の任意の１以上の層に主隔壁と補助隔壁とが交差する部分のみのパターニングをする露光ステップとを有していてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、クロストークの発生が抑制された良好な画質の映像が表示可能なＰＤＰを簡便に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰについて、図１〜図１０を用いて説明する。まず、ＰＤＰの構造について図１を用いて説明する。図１に示すようにＰＤＰは、ガラス製の前面基板１と背面基板２とを、その間に放電空間を形成するように対向配置することにより構成されている。前面基板１上には表示電極を構成する走査電極３と維持電極４とが互いに平行に対をなして複数形成されている。そして、走査電極３および維持電極４を覆うように誘電体層５が形成され、誘電体層５上には保護層６が形成されている。
【００１２】
また、背面基板２上には絶縁体層７で覆われた複数のデータ電極８が設けられ、その絶縁体層７上には井桁状の隔壁９が設けられている。隔壁９はデータ電極と並行に設置された主隔壁９ａと補助隔壁９ｂからなり、補助隔壁には溝部９ｃが形成されている。また、絶縁体層７の表面および隔壁９の側面に蛍光体層１０が設けられている。そして、走査電極３および維持電極４とデータ電極８とが交差するように前面基板１と背面基板２とが対向配置されており、その間に形成される放電空間には、放電ガスとして、例えばネオンとキセノンの混合ガスが封入されている。
【００１３】
次に本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について説明する。まず、前面基板１上に、走査電極３および維持電極４とを形成する。これらは、フォトリソグラフィー法などを用いてパターニングして形成される。走査電極３および維持電極４は銀（Ａｇ）材料を含むペーストを所望の温度で焼成して固化している。
【００１４】
次に、走査電極３および維持電極４を覆うように前面基板１上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層（誘電体材料層）を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することによって塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極３および維持電極４を覆う誘電体層５が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層５上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層６を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面基板１上に所定の構成物（走査電極３、維持電極４、誘電体層５、保護層６）が形成され、前面板が完成する。
【００１５】
一方、背面板は次のようにして形成される。まず、背面基板２上に、銀（Ａｇ）材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィー法を用いてパターニングする方法などによりデータ電極８用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成することによりデータ電極８を形成する。次に、データ電極８が形成された背面基板２上にダイコート法などによりデータ電極８を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより絶縁体層７を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
【００１６】
次に、絶縁体層７上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成することにより隔壁９を形成する。ここで、絶縁体層７上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィー法やサンドブラスト法を用いることができる。隔壁９の形成方法については後に詳述する。
【００１７】
次に、隣接する隔壁９間の絶縁体層７上および隔壁９の側面に、ディスペンサー法等によって蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成することにより蛍光体層１０（それぞれ赤色蛍光体層、緑色蛍光体層、青色蛍光体層）が形成される。本発明の実施の形態では蛍光体層１０はディスペンサー法を用いて塗布している。これについては後述する。以上の工程により、背面基板２上に所定の構成部材を有する背面板が完成する。
【００１８】
このようにして所定の構成部材を備えた前面板と背面板とを走査電極３とデータ電極８とが直交するように対向配置して、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間にＮｅ、Ｘｅなどを含む放電ガスを封入することによりＰＤＰが完成する。
【００１９】
次に、本実施の形態によるＰＤＰの特徴部分について説明する。図２は、本発明の実施の形態による主隔壁９ａおよび補助隔壁９ｂの概略構成を示す断面図であり、図１におけるＡ−Ａ断面図に相当する。また一方で図３は従来技術における主隔壁９０ａおよび補助隔壁９０ｂの概略構成を示す断面図である。
【００２０】
ＰＤＰにおいて、補助隔壁を介して隣接する放電セルは、三原色である赤、緑、青の同一色に発光する放電セルとなる。ところで、この補助隔壁を介して隣接する放電セル間でのクロストークの発生を抑制することが、高画質化、高効率化に対しては非常に重要になってくる。
【００２１】
例えば、補助隔壁を介して隣接する放電セル間でのクロストークは、隣接放電セル間の電荷の移動に起因していると考えられている。つまり、ある期間、ある任意の放電セルが点灯せず、その放電セルに対して補助隔壁を介して隣接する放電セルが点灯している場合は、その点灯している放電セルから、点灯していない放電セルへ、電荷又は電子又は不純物などの移動が生じる。
【００２２】
この結果、点灯していない放電セルに蓄えられていた電荷が変化してしまい、点灯するべきときにその点灯状態が所望の状態とは異なったものとなってしまう。これがクロストークとなっていると考えられている。
【００２３】
そしてＰＤＰの高効率化を狙い放電ガスのＸｅ成分を高濃度とした場合や、高精細化に伴い隣接放電セル間ギャップ（以下、ＩＰＧとする）を狭くした場合には、このクロストークの発生がさらに顕著となる。
【００２４】
これに対して従来技術においては、補助隔壁の高さを主隔壁と同等にすることによって、補助隔壁を介した隣接する放電セル間の電荷の移動を抑制し、クロストーク発生を防止しようとしていた。しかしこの場合、上記のディスペンサー法によって蛍光体層を塗布する際に、蛍光体ペーストが隔壁に乗り上げて残存したり、あるいは蛍光体ペーストが隣接放電セルに流入したりしてしまい、混色表示となる放電セルが発生し、歩留まりを低下する原因となっていた。
【００２５】
そこで従来技術では図３に示したように主隔壁９０ａに対して高さの低い補助隔壁９０ｂを有することにより、クロストーク発生を抑制しつつも、蛍光体ペースト塗布特性の安定化を狙っていた。しかし、この隔壁形状では、隣接放電セル間の電子の移動を完全に抑制することはできず、依然としてクロストークの発生がみられた。
【００２６】
これに対し、本発明の実施の形態では、補助隔壁９ｂに溝部９ｃを有している。これによって蛍光体ペースト塗布の安定性を確保しつつ、補助隔壁９ｂを介した隣接放電セル間の電子の移動を抑制して、クロストーク発生を防止することができる。
【００２７】
このとき溝部９ｃの溝の大きさは、ディスペンサー法による蛍光体塗布で使用するノズル孔の直径よりも大きければさらに効果が大きい。
【００２８】
また、溝部９ｃが存在しない場合には、蛍光体を塗布した際に補助隔壁９ｂの上部に蛍光体ペーストが残存してしまい、結果として前面板と背面板との隙間が大きくなり、クロストークが発生してしまうことが懸念された。しかし本発明の実施の形態では、補助隔壁に溝を有することにより、蛍光体が溝部９ｃに留まり、この溝部９ｃの蛍光体ペーストによって補助隔壁の隙間が塗布前と比べてさらに小さくなるために、補助隔壁を介した電荷の移動を抑制しクロストーク発生を防止することが可能である。
【００２９】
次に本発明の実施の形態における背面板の隔壁９の製造方法について説明する。一般に隔壁は、絶縁性無機成分と有機成分からなるペーストを、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法（フォトリソグラフィー法）、金型転写法、リフトオフ法等公知の技術により、所望のパターンにして焼成することで形成される。
【００３０】
本発明の実施の形態において主隔壁９ａおよび補助隔壁９ｂの形成方法として、溝の形状制御、均一性等の理由から、感光性ペーストを基板上に塗布した後、乾燥し、フォトマスクを介して露光・現像するいわゆる感光性ペースト法（フォトリソグラフィー法）を適用した。
【００３１】
まず隔壁下層として、ダイコーター法等によって感光性ペーストを、絶縁体層７およびデータ電極８を形成後の背面基板２上に塗布し、乾燥させる。ここで感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック（アルミナ、コーディライトなど）などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。
【００３２】
また、上記以外の感光性ペーストを塗布する手法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。感光性ペーストの塗布、乾燥、露光、現像後に焼成を行うことで隔壁を製造することが可能である。
【００３３】
そして、図４で示した露光マスクを介して紫外光によって隔壁下層を露光する。図４は露光マスクの一部を示した平面図である。斜線部が感光される部分であり、本発明の実施の形態では現像後に隔壁として残存する部分となる。また一点破線で示した部分が主隔壁を形成する部分９１ａを示し、破線で示した部分が補助隔壁を形成する部分９１ｂである。
【００３４】
次に隔壁上層を塗布・乾燥させ、図５で示した露光マスクによって露光する。ここで用いる塗布方法および感光性ペーストは隔壁下層に用いたものと同様である。その後、隔壁下層および隔壁上層を現像して形状を形成し、焼成して隔壁９を固化させる。
【００３５】
このとき露光時の絶縁体層７からの光の反射によって、隔壁９の上部に対して下部が太くなることにより、図６に示すように補助隔壁９ｂに溝部９ｃを有した隔壁を形成することができる。その後、ディスペンサー法によって蛍光体ペーストを塗布し、溝部９ｃに蛍光体層を配するようにする。
【００３６】
このように、本発明の実施の形態においては、一対の基板を内部に放電空間が形成されるように対向配置することにより構成したＰＤＰの製造方法であって、少なくとも一方の基板に放電空間を仕切るための、複数の主隔壁と、主隔壁と交差する複数の補助隔壁と、補助隔壁に溝部を形成する工程と、少なくとも溝部に蛍光体層を配する工程とを有することを特徴とする。また、複数の主隔壁と、主隔壁と交差する複数の補助隔壁と、補助隔壁に溝部を形成する工程において、少なくとも２以上の積層膜を形成するステップと、積層膜の任意の１以上の層に主隔壁と補助隔壁との井桁状のパターニングをする露光ステップと、積層膜の任意の１以上の層に主隔壁と補助隔壁とが交差する部分のみのパターニングをする露光ステップとを有している。
【００３７】
発明者等は隔壁９が図６の形状となる原理について以下のように考察している。一般的に、井桁状の隔壁を形成する場合、焼成工程において隔壁材料に含まれるフリットガラスが溶融し、骨材であるフィラー間の隙間を埋めていくことによって見かけの体積が収縮する現象である焼成収縮が発生する。
【００３８】
この結果、主隔壁と補助隔壁が交差する部分では、主隔壁の長手方向と補助隔壁の長手方向との２方向から焼成収縮を受ける。このため隔壁交差部では凹みが発生してしまう。そしてこの凹みによって隣接放電セル間の電子の移動が生じ、結果的にクロストークを誘発することになる。
【００３９】
これは、焼成収縮による体積収縮率はどの部分においても一定となるが、隔壁交差部では平面方向の収縮が少なくとも２方向の隔壁によって阻害されているため、高さ方向への体積収縮が支配的となるということが理由として考えられる。
【００４０】
これに対して、本発明の実施の形態では、隔壁交差部に相当する部分を別途露光によってパターニングする工程を有しており、当該隔壁交差部において凹みが生じることを防止することができる。同時に図５で示したように補助隔壁９１ｂを形成する位置に遮光部１１を有しているため、現像後に図６のような溝を有する補助隔壁を作成することが可能である。また溝部９ｃを有しており、さらにその溝部９ｃに蛍光体層を配するようにしている。
【００４１】
隔壁９をこの様な構成とすることによって、蛍光体ペースト塗布の安定性を確保しつつ、隣接放電セル間の電子の移動を抑制して、クロストーク発生を防止することができる。
【００４２】
また、本発明の他の実施の形態においては隔壁９を３層に分けて形成する。隔壁下層を図７に示す露光マスクにてパターニングし、隔壁中層を図８に示す露光マスクにてパターニングし、さらに隔壁上層を図９に示す露光マスクによってパターニングする。ここで、感光性ペーストおよびその塗布方法については先述の実施の形態と同様である。
【００４３】
図８および図９に示すように、それぞれの露光マスクは、遮光部１１および遮光部１２を有している。この結果、図１０に示すような補助隔壁９ｂと溝部９ｃおよび溝部９ｄを形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上のように本発明は、クロストークの発生が抑制された良好な画質の映像が表示可能なＰＤＰを簡便に製造することができる点で産業上有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの部分斜視図
【図２】同パネルの背面基板の概略構成を示す断面図
【図３】従来のプラズマディスプレイパネルの背面基板の概略構成を示す断面図
【図４】本発明の実施の形態による隔壁を形成するための露光マスクの部分平面図
【図５】本発明の実施の形態による隔壁を形成するための露光マスクの部分平面図
【図６】本発明の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの背面基板の概略構成を示す断面図
【図７】本発明の実施の形態による隔壁を形成するための露光マスクの部分平面図
【図８】本発明の実施の形態による隔壁を形成するための露光マスクの部分平面図
【図９】本発明の実施の形態による隔壁を形成するための露光マスクの部分平面図
【図１０】本発明の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの背面基板の概略構成を示す断面図
【符号の説明】
【００４６】
１  前面基板
２  背面基板
３  走査電極
４  維持電極
５  誘電体層
６  保護層
７  絶縁体層
８  データ電極
９  隔壁
９ａ  主隔壁
９ｂ  補助隔壁
９ｃ  溝部
９ｄ  溝部
１０  蛍光体層
１１  遮光部
１２  遮光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2010027319.tif 000011
【図１０】
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