(57)【要約】【課題】テープ状部材の両側の面に付着した異物を除去する効果の高い異物除去装置を実現する。【解決手段】本発明の異物除去装置２０は、２つのクリーナ部２を備え、上記２つのクリーナ部２は、各クリーナ部２の清掃機能面３が上記テープ状部材１のそれぞれ異なる面に対面するように対置され、各クリーナ部２は上記清掃機能面３に、対面する上記テープ状部材１の面にエアを吹き付けるエア吐出口４と、エアと共に異物３０を吸い込むエア吸引口５とを備え、上記クリーナ部２は超音波発振部６を備え、上記２つのクリーナ部２の互いの上記エア吐出口４は、上記テープ状部材１を挟んで対向する位置に配置され、上記２つのクリーナ部２の互いの上記エア吸引口５は、上記テープ状部材１を挟んで対向する位置に配置されている。それゆえ、柔軟なテープ状部材１の両側の面に付着した異物３０を除去でき、かつ効果の高い異物除去装置２０を実現できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状部材の両面から異物を除去するための異物除去装置において、
２つのクリーナ部を備え、
上記２つのクリーナ部は、各クリーナ部の清掃機能面が上記テープ状部材のそれぞれ異なる面に対面するように対置され、
各クリーナ部の上記清掃機能面には、対面する上記テープ状部材の面にエアを吹き付けるエア吐出口と、上記エアと共に上記異物を吸い込む１つ以上のエア吸引口とが上記テープ状部材の長尺方向に並ぶように形成され、
少なくとも一方の上記クリーナ部は、振動によって上記テープ状部材と上記異物とを分離させる超音波を生成する超音波発振部を備え、
上記２つのクリーナ部の互いの上記エア吐出口は、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置され、
上記２つのクリーナ部の互いの上記エア吸引口は、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置されていることを特徴とする異物除去装置。
【請求項２】
各クリーナ部は、上記清掃機能面に上記エア吐出口を挟んで並ぶ２つの上記エア吸引口を備え、
上記２つのクリーナ部の互いの２つ上記エア吸引口が、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の異物除去装置。
【請求項３】
少なくとも一方の上記クリーナ部は、上記テープ状部材の静電気を打ち消す除電部を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の異物除去装置。
【請求項４】
少なくとも一方の上記クリーナ部は、上記テープ状部材に付着した磁性異物を吸着するための磁石を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の異物除去装置。
【請求項５】
上記清掃機能面において、テープ状部材の短尺方向における上記エア吐出口の両側にまで、上記エア吸引口が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の異物除去装置。
【請求項６】
上記清掃機能面において、上記エア吸引口は、上記エア吐出口の周囲を囲むことを特徴とする請求項１に記載の異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物を除去する異物除去装置に関するものであり、特にテープ状部材に付着した異物を除去するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品の製造過程において、エア吹き付けによる異物除去装置が広く使われている。
【０００３】
特許文献１には、電子部品をステージ上に搭載し、空気の供給および吸引によって電子部品に付着した異物を除去する異物除去装置が記載されている。この異物除去装置は、電子部品の上方に設置されたバキュームブロックの流通口から電子部品上に圧縮エアを送り、同時にバキュームブロックの他の流通口から電子部品上部の空気を吸引する。これにより、電子部品上の異物を除去する。
【０００４】
特許文献２には、吹き付けるエアおよび超音波と、エアの吸引とによってパネル体に付着した塵を除去する除塵装置が記載されている。この除塵装置は、パネル体の片面に設置され、エア吹き出し口から吹き付けられるエアと超音波とによってパネル体上から塵を剥離させ、剥離した塵をエアと共に吸引する。これにより、パネル体上の塵を除去する。
【０００５】
また、例えば半導体素子のパッケージ等の電子部品は、フレキシブルなテープ状部材上に複数の半導体素子を搭載することにより製造されることがある。テープ状部材上に連なった複数の半導体素子パッケージとしては、ＣＯＦ（Chip on Film）またはＴＣＰ（Tape Carrier Package）等がある。このような半導体素子パッケージの製造過程では、テープ状部材上に配線を形成する工程、半導体素子をテープ状部材上に搭載する工程、および配線を絶縁または封止する工程等の各工程前後において、テープ状部材に付着した異物を除去する必要がある。
【０００６】
図６は、テープ状部材に半導体素子を搭載する際に、テープ状部材に異物が付着している場合の製品不良を示す断面図である。テープ状部材１０１上に配線１０２が形成されており、配線１０２上の一部は絶縁膜１０３で覆われている。このテープ状部材１０１に半導体素子１１０を搭載することで、ＣＯＦを製作する。半導体素子１１０の下部に設けられた接続端子１１１と配線１０２とを熱および圧力で接合することにより、半導体素子１１０がテープ状部材１０１に搭載される。
【０００７】
今、塵等の異物１３０がテープ状部材１０１の背面（半導体素子搭載面の反対側面）、配線１０２、および絶縁膜１０３の上に付着しているとする。半導体素子１１０をテープ状部材１０１に搭載する際に互いの位置がずれないように、テープ状部材１０１はテープクランプ治具１４２・１４３によってクランプされる。このとき、テープ状部材１０１を異物１３０ごとクランプすると、絶縁膜１０３が破れ、配線１０２を絶縁できなくなる、または配線１０２を断線させるということが起こりうる。また、テープ状部材１０１に打痕１５０ができ、配線１０２を断線させるということが起こりうる。次に、半導体素子１１０をテープ状部材１０１上に設置する。半導体素子１１０を加熱ツール１４０で押さえ、テープ状部材１０１を加熱ステージ１４１で押さえることにより接続端子１１１と配線１０２との接合部に熱および圧力を加え、接続端子１１１および配線１０２を接合させる。加熱ステージ１４１はテープ状部材１０１を密着させるため、テープ状部材１０１を真空吸着している。このとき、接続端子１１１と配線１０２との間に異物１３０が挟まれると、接続端子１１１と配線１０２とが接合されず、オープン不良１５１が起こりうる。また、同じくテープ状部材１０１に打痕１５０ができることがある。
【０００８】
図７は、テープ状部材に異物が付着している場合の製品不良を示す平面図である。テープ状部材１０１上に配線１０２が形成されており、配線１０２上の一部は絶縁膜１０３で覆われている。
【０００９】
今、塵等の異物１３０が２つの配線１０２の間に付着しているとする。この異物１３０が２つの配線１０２の間を短絡するため、ショート不良１５２が起こりうる。
【００１０】
そのため、製造過程においてテープ状部材を連ねたまま、テープ状部材に付着した異物を除去する異物除去装置が必要となる。
【００１１】
特許文献３には、テープ状部材のクリーニング装置が記載されている。このクリーニング装置は、テープ状部材をカバー内に送り入れる。そして、クリーニング装置は、カバーの内部の上部においてテープ状部材に超音波を照射し、エア供給機構がテープ状部材の斜め上（側方上側）からテープ状部材にエアを吹き付ける。そして、カバーの内部の下部に設けられたエア吸引機構がエアと共に異物を吸引することにより、異物を除去する。
【特許文献１】特開平７−３８２８４号（平成７年２月７日公開）
【特許文献２】実開平５−８０５７３号（平成５年１１月２日公開）
【特許文献３】特開２００１−２３７２８３号（２００１年８月３１日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記従来の構成では、下記の問題を生じる。
【００１３】
特許文献１に記載の異物除去装置では、クリーニング対象である電子部品を台に載せることを前提としており、テープ状部材の背面（台への設置面）の異物を除去することができない。仮に、テープ状部材の一方の面をクリーニングした後に、同じ装置を用いてテープ状部材を裏返して他方の面をクリーニングしたとしても、クリーニング済の面が台に接することにより、台に付着していた異物が再度クリーニング済の面に付着するおそれがある。
【００１４】
特許文献２に記載の除塵装置では、エア吹き出し口をパネル体に対面させ、かつパネル体に近接させてエアを吹き付けている。この除塵装置は、平坦で強固な面に付着した異物を除去する用途に適している。しかしながら、この除塵装置をテープ状部材に適用した場合、次の問題を生じる。テープ状部材に付着した異物、特にテープ状部材の配線間に付着した異物を除去するためには、吹き付けるエアの圧力を高くする必要がある。しかしながら、テープ状部材に吹き付けるエアの圧力を高める、または除塵装置をテープ状部材に近接させすぎると、可撓性があるフレキシブルなテープ状部材がたわみ、反動でテープ状部材が近接させた除塵装置等と接触し、テープ状部材に傷をつけるおそれがある。テープ状部材がたわまないようにテープ状部材の背面を台等で支えると、上述の特許文献１の場合と同様に、背面に付着した異物を除去できなくなる。また、ＴＣＰ等のデバイスホールを有するテープ状部材は、デバイスホール内に伸びて形成された配線のリードを有する。テープ状部材に吹き付けるエアの圧力を高めると、支えのない配線のリードが変形するおそれがある。
【００１５】
特許文献３に記載のクリーニング装置は、テープ状部材のクリーニングを想定したものである。このクリーニング装置は、テープ状部材の斜め上（側方上側）からのみエアを吹き付けているため、テープ状部材の上面（半導体素子搭載面）の異物を除去する用途に適している。対して、テープ状部材の背面（半導体素子搭載面の反対側面）の異物を除去する効果は低い。また、テープ状部材のクリーニング対象の面とエア供給機構とが離れているため、異物を除去する効果を高めるためには吹き付けるエアの圧力を高くする必要がある。それゆえ、エアによる騒音が大きくなる、また、エア流量が多く必要になるという問題が生じる。また、クリーニングする領域をカバーで覆っているために、異物がカバーに付着して堆積し、はがれ落ちた際に再度テープ状部材に付着するおそれがある。
【００１６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、テープ状部材の両側の面に付着した異物を除去できる効果の高い異物除去装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る異物除去装置は、テープ状部材の両面から異物を除去するための異物除去装置であって、上記課題を解決するために、２つのクリーナ部を備え、上記２つのクリーナ部は、各クリーナ部の清掃機能面が上記テープ状部材のそれぞれ異なる面に対面するように対置され、各クリーナ部の上記清掃機能面には、対面する上記テープ状部材の面にエアを吹き付けるエア吐出口と、上記エアと共に上記異物を吸い込む１つ以上のエア吸引口とが上記テープ状部材の長尺方向に並ぶように形成され、少なくとも一方の上記クリーナ部は、振動によって上記テープ状部材と上記異物とを分離させる超音波を生成する超音波発振部を備え、上記２つのクリーナ部の互いの上記エア吐出口は、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置され、上記２つのクリーナ部の互いの上記エア吸引口は、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置されていることを特徴とする。
【００１８】
上記の構成によれば、互いにテープ状部材を挟んで対向する位置にエア吐出口またはエア吸引口が配置されているので、吹き付けるエアまたは吸い込むエアの圧力によってテープ状部材の両側の面に加わる力が打ち消しあう。
【００１９】
よって、吹き付けるエアを強くしたり、エア吐出口をテープ状部材に近接させたりした場合に、テープ状部材がたわむことを防止できる。
【００２０】
したがって、テープ状部材の両側の面に付着した異物を除去できる効果の高い異物除去装置が実現できる。
【００２１】
本発明に係る異物除去装置は、各クリーナ部が上記清掃機能面に上記エア吐出口を挟んで並ぶ２つの上記エア吸引口を備え、上記２つのクリーナ部の互いの２つ上記エア吸引口が、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置されていてもよい。
【００２２】
上記の構成によれば、エア吐出口の両側にエア吸引口が配置されているので、テープ状部材に吹き付けたエアと共に拡散する異物を、異物除去装置の外部に逃がすことなく吸い込むことができる。
【００２３】
よって、異物除去装置の外部に飛散した異物がテープ状部材のクリーニング済の面に再度付着することを防ぐことができる。
【００２４】
本発明に係る異物除去装置は、少なくとも一方の上記クリーナ部が、上記テープ状部材の静電気を打ち消す除電部を備えていてもよい。
【００２５】
上記の構成によれば、除電部がテープ状部材または異物の静電気を除去することができる。
【００２６】
よって、テープ状部材または異物が静電気を帯びている場合でも、異物除去装置は異物をテープ状部材から分離しやすくなる。
【００２７】
したがって、さらに異物を除去する効果の高い異物除去装置が実現できる。
【００２８】
本発明に係る異物除去装置は、少なくとも一方の上記クリーナ部が、上記テープ状部材に付着した磁性異物を吸着するための磁石を備えていてもよい。
【００２９】
上記の構成によれば、磁石がテープ状部材に付着した磁性異物を吸着することができる。
【００３０】
よって、磁性異物を除去する効果の高い異物除去装置が実現できる。
【００３１】
本発明に係る異物除去装置は、上記清掃機能面において、さらにテープ状部材の短尺方向における上記エア吐出口の両側にまで、上記エア吸引口が設けられていてもよい。
【００３２】
本発明に係る異物除去装置は、上記清掃機能面において、上記エア吸引口が、上記エア吐出口の周囲を囲んでいてもよい。
【００３３】
上記の構成によれば、エア吐出口がエア吸気口に囲まれているので、エア吐出口からテープ状部材に吹き付けられたエアと共に、異物がテープ状部材の側方に流れていったとしても、エア吸引口に吸い込むことができる。
【００３４】
よって、分離した異物が、異物除去装置の外部に飛散し、テープ状部材のクリーニング済の面に再度付着することを防止することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明に係る異物除去装置は、テープ状部材の両面から異物を除去するための異物除去装置であって、上記課題を解決するために、２つのクリーナ部を備え、上記２つのクリーナ部は、各クリーナ部の清掃機能面が上記テープ状部材のそれぞれ異なる面に対面するように対置され、各クリーナ部の上記清掃機能面には、対面する上記テープ状部材の面にエアを吹き付けるエア吐出口と、上記エアと共に上記異物を吸い込む１つ以上のエア吸引口とが上記テープ状部材の長尺方向に並ぶように形成され、少なくとも一方の上記クリーナ部は、振動によって上記テープ状部材と上記異物とを分離させる超音波を生成する超音波発振部を備え、上記２つのクリーナ部の互いの上記エア吐出口は、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置され、上記２つのクリーナ部の互いの上記エア吸引口は、上記テープ状部材を挟んで対向する位置に配置されている。
【００３６】
よって、吹き付けるエアを強くしたり、エア吐出口をテープ状部材に近接させたりした場合に、テープ状部材がたわむことを防止できる。
【００３７】
したがって、吹き付けるエアのテープ状部材の面上での圧力を高めることができるので、テープ状部材の両側の面に付着した異物を除去できる効果の高い異物除去装置が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
［実施の形態１］
本発明の実施の一形態について図１ないし図２に基づいて説明すると以下の通りである。
【００３９】
図１は、本実施の形態の異物除去装置２０の構成を示す側面図である。可撓性があるフレキシブルなテープ状部材１は、テープ状部材１の両面に付着した異物３０を除去するため、異物除去装置２０の中に通される。異物除去装置２０は、２つのクリーナ部２を備える。２つのクリーナ部２は、各クリーナ部２が有する清掃機能面３がテープ状部材１のそれぞれ異なる面に近接して対面するように配置されている。各クリーナ部２の清掃機能面３には、対面するテープ状部材１の面に加圧されたエアを吹き付ける１つのエア吐出口４と、エアと共に異物３０を吸い込む２つのエア吸引口５とを備える。エア吐出口４とエア吸引口５とは、本図に矢印Ｂで示すテープ状部材１の進行方向（テープ状部材１の長尺方向）に沿って、２つのエア吸引口５がエア吐出口４を挟んで並んでいる。一方のクリーナ部２のエア吐出口４の、テープ状部材１を挟んで対向する位置には、他方のクリーナ部２のエア吐出口４が配置されている。また、一方のクリーナ部２の各エア吸引口５の、テープ状部材１を挟んで対向する位置には、他方のクリーナ部２の各エア吸引口５が配置されている。すなわち、各エア吐出口４または各エア吸引口５は、互いにテープ状部材１に対称に配置されている。また、各クリーナ部２は、エア吐出口４の奥に超音波発振器（超音波発振部）６を備える。超音波発振器６によって発生した超音波は、エア吐出口４からエアと共にテープ状部材１および異物３０に照射される。さらに、各クリーナ部２は、エア吐出口４の奥にイオン発生器（除電部）７を備える。イオン発生器７によって発生したイオンは、エア吐出口４からエアと共にテープ状部材１および異物３０に供給される。
【００４０】
図２は、図１に示す矢印Ａから見た本実施の形態の異物除去装置２０の構成を示す部分透視図である。テープ状部材１を透過してクリーナ部２の清掃機能面３を点線で示してある。クリーナ部２の清掃機能面３にエア吐出口４および２つのエア吸引口５が設けられている。エア吐出口４およびエア吸引口５はテープ状部材１の短尺方向（矢印Ｂで示すテープ状部材１の進行方向に垂直な方向）の幅より広い口幅を有している。これにより、テープ状部材１の全面をクリーニングすることができる。
【００４１】
尚、エア吐出口４から吹き付けるエアの流量を１０〜１００Ｌ／ｍｉｎとし、その時のエア吐出口４の開口面積は７０〜５００ｍｍ２、エア吐出口４とテープ状部材１との距離は３〜１５ｍｍとすることにより、適切に異物を除去することができる。
【００４２】
上記構成において、異物除去装置２０がテープ状部材１上から異物３０を除去する際の動作を図１を参照しながら以下に説明する。尚、図中に矢印でエアの流れを示す。
【００４３】
テープ状部材１は、搬送機構（図示せず）によって異物除去装置２０の中を通って送られる。そして、エア吐出口４から加圧されたエアがテープ状部材１に対して吹き付けられる。このとき、イオン発生器７によって発生したイオンがエアと共にテープ状部材１に供給され、テープ状部材１または異物３０が帯びる静電気を消去する。これにより、テープ状部材１または異物３０が静電気を帯びていた場合でも、異物３０がテープ状部材１から分離しやすくなる。また、超音波発振器６によって発生した超音波がエアと共にテープ状部材１および異物３０に照射される。この超音波の振動数は、テープ状部材１または異物３０が振動しやすい振動数（固有振動数）に設定されている。このような超音波の振動数は１０〜４００ｋＨｚが望ましい。これにより、テープ状部材１または異物３０が振動し、異物３０がテープ状部材１から分離しやすくなる。そして、エアの吹きつけによって分離した異物３０は、エアと共にエア吸引口５に吸い込まれる。本実施の形態では、テープ状部材１に吹き付けられて拡散したエアが、エア吐出口４の両側に設けられたエア吸引口５によって吸い込まれるので、分離した異物３０が異物除去装置２０の外に飛散し、テープ状部材１のクリーニング済の面に再度付着することを防止することができる。エアの吹き付けのみでは目に見える程度（約５０μｍ以上）の異物３０しか除去できないが、静電気の消去および超音波の照射により、数μｍの異物３０まで除去することが可能になる。
【００４４】
本実施の形態では、テープ状部材１の両側にクリーナ部２が設置されているので、テープ状部材１の両面に付着した異物３０を除去することができる。また、付着した異物３０を分離させるためにエアの流量を多くする、またはエアの圧力を大きくしても、両側のクリーナ部２のエア吐出口４は、互いにテープ状部材１を挟んで対向する位置に配置されているため、テープ状部材１に加わる力は打ち消しあう。エア吸引口５についても同様である。そのため、フレキシブルなテープ状部材１がたわんで異物除去装置２０等と接触することを防止することができる。よって、吹き付けるエアの流量を多くする、またはエアの圧力を大きくすることができる。もしくは、テープ状部材１とエア吐出口４との距離を短くすることができるので、異物除去装置２０はエアの流量を節約しながら異物３０を効果的に除去することができる。したがって、異物除去装置２０がエアを吹き付けることによって発生する騒音を低減することができる。エアの流量を節約できるということは、消費電力の低減およびエア供給装置の小型化に繋がる。また、テープ状部材１がデバイスホール内に伸びて形成された配線のリードを有するＴＣＰの場合でも、配線のリードの両側から加わる力は打ち消しあっているので、支えのない配線のリードが変形することを防止することができる。
【００４５】
本実施の形態では、テープ状部材１に対称に両側のエア吐出口４ならびにエア吸引口５が配置されているが、対称でなくても良い。すなわち、一方のクリーナ部２の清掃機能面３とテープ状部材１との距離と、他方のクリーナ部２の清掃機能面３とテープ状部材１との距離とは異なっていても良い。この場合、距離が短い側のエア吐出口４からのエアの流量を他方より少なく、またはエアの圧力を他方より低く設定することで、テープ状部材１の両側に加わる力を打ち消すことができる。また、超音波発振器６はどちらか一方のクリーナ部２にのみ設置する構成でも良い。同様にイオン発生器７はどちらか一方のクリーナ部２にのみ設置する構成でも良い。テープ状部材１または異物３０から静電気を消去するためのイオン発生器７は、テープ状部材１がクリーナ部２に挟まれる前の位置に設置してもよい。また、テープ状部材１は、一方または両方の面に配線が形成されていてもよいし、一方または両方の面に半導体素子を搭載したＣＯＰまたはＴＣＰのようなテープ状半導体装置であってもよい。
【００４６】
［実施の形態２］
本発明の他の実施の形態について図３に基づいて説明すると以下の通りである。
【００４７】
図３は、本実施の形態の異物除去装置２１の構成を示す側面図である。尚、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付記してその説明を省略する。本実施の形態が実施の形態１と異なる点は、各クリーナ部２が備えるエア吸引口５が１つずつであるという点であり、実施の形態１よりも簡単な構成である。ここでは、テープ状部材１の進行方向に沿って順に、エア吸引口５、エア吐出口４と並ぶように配置している。
【００４８】
この場合、エア吐出口４から吹き付けられたエアが、テープ状部材１の面に沿って、進行方向とは逆向きに流れる。こうすることにより、エアによって分離された異物３０が、テープ状部材１のクリーニング済の面（図面上方）に流れることがなく、テープ状部材１のクリーニング済の面に異物３０が再度付着することを防ぐことができる。
。
【００４９】
［実施の形態３］
本発明のさらに他の実施の形態について図４に基づいて説明すると以下の通りである。
【００５０】
図４は、本実施の形態の異物除去装置２２の構成を示す側面図である。尚、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付記してその説明を省略する。本実施の形態が実施の形態１と異なる点は、各クリーナ部２がさらに磁力吸着部８を備える点である。本実施の形態では、磁力吸着部８はエア吐出口４およびエア吸引口５の進行方向に沿って下流側に配置されているが、配置順はこれに限らない。磁力吸着部８は、テープ状部材１に付着した磁性異物３１を吸着するために、テープ状部材１に面した部分に磁石９を備える。この磁石９としては、電磁石または永久磁石を用いることができる。
【００５１】
これにより、テープ状部材１に付着した磁性異物３１を効率よく除去することができる。
【００５２】
磁性異物３１を効率よく除去するために、表面の磁束密度が０．３〜１．５Ｔである磁石を、テープ状部材１との距離が１５ｍｍ以下の位置に配置することが好ましい。
【００５３】
［実施の形態４］
本発明のさらに他の実施の形態について図５に基づいて説明すると以下の通りである。
【００５４】
図５は、本実施の形態の異物除去装置２３の構成を示す部分透視図である。テープ状部材１を透過してクリーナ部２の清掃機能面３を点線で示してある。尚、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付記してその説明を省略する。本実施の形態が実施の形態１と異なる点は、エア吸引口５ａ・５ｂがエア吐出口４の周囲を囲んでいる点である。エア吸引口５ａはコの字型に曲がり、エア吐出口４の側方（矢印Ｂで示すテープ状部材１の進行方向に垂直な方向、すなわちテープ状部材１の短尺方向）の両側に広がっている。
【００５５】
このため、エア吐出口４からテープ状部材１に吹き付けられたエアと共に、異物３０がテープ状部材１の側方に流れていったとしても、エア吸引口５ａに吸い込むことができる。それゆえ、分離した異物３０が、異物除去装置２０の外部に飛散し、テープ状部材１のクリーニング済の面に再度付着することを防止することができる。
【００５６】
尚、コの字のエア吸引口５ａの代わりに、別のエア吸引口をエア吐出口４の側方に配置しても良い。また、エア吸引口５ａとエア吸引口５ｂとが繋がっているようなエア吸引口が、エア吐出口４の周囲を囲む構成としてもよい。
【００５７】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、柔軟なテープ状部材の両面に付着した異物の除去装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】実施の形態１の異物除去装置の構成を示す側面図である。
【図２】図１に示す矢印Ａから見た異物除去装置の構成を示す部分透視図である。
【図３】実施の形態２の異物除去装置の構成を示す側面図である。
【図４】実施の形態３の異物除去装置の構成を示す側面図である。
【図５】実施の形態４の異物除去装置の構成を示す部分透視図である。
【図６】従来のテープ状部材に異物が付着している場合の製品不良を示す断面図である。
【図７】従来のテープ状部材に異物が付着している場合の製品不良を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１    テープ状部材
２    クリーナ部
３    清掃機能面
４    エア吐出口
５、５ａ、５ｂ    エア吸引口
６    超音波発振器（超音波発振部）
７    イオン発生器（除電部）
８    磁力吸着部
９    磁石
２０、２１、２２、２３    異物除去装置
３０    異物
３１    磁性異物
【図１】
2010062455.tif 000003
【図２】
2010062455.tif 000004
【図３】
2010062455.tif 000005
【図４】
2010062455.tif 000006
【図５】
2010062455.tif 000007
【図６】
2010062455.tif 000008
【図７】
2010062455.tif 000009