(57)【要約】【課題】装置を大型化・複雑化することなく、大きい振幅でテーブルを加振することができる加振装置を提供する。【解決手段】振動試験装置は、テーブルを第１及び第２の方向に加振可能な第１及び第２のアクチュエータと、テーブルを第１及び第２のアクチュエータに対して夫々第２及び第１の方向にスライド可能に連結する第１及び第２の連結手段とを有し、連結手段は夫々レールとこのレールに沿ってスライド可能なランナーブロックを備えたリニアガイド機構によってテーブルとアクチュエータとをスライド可能に連結し、その円筒面がレールとランナーブロックの凹部の間に挟み込まれるように配置される複数のローラと、ランナーブロックの内部に形成されローラをランナーブロックのスライド方向に転動させる転動溝と閉回路を形成するように転動溝のスライド方向両端と繋がっている退避路とを有し、複数のローラが閉回路を循環する。【選択図】  図１
2010175532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体が取り付けられたテーブルを振動させる振動試験装置であって
前記テーブルを第１の方向に加振可能な第１のアクチュエータと、
前記テーブルを、前記第１の方向と直交する第２の方向に加振可能な第２のアクチュエータと、
前記テーブルを前記第１のアクチュエータに対して第２の方向にスライド可能に連結する第１の連結手段と、
前記テーブルを前記第２のアクチュエータに対して第１の方向にスライド可能に連結する第２の連結手段と、
を有し、
前記第１及び第２の連結手段は夫々、レールと該レールに係合し且つ該レールに沿ってスライド可能なランナーブロックを備えたリニアガイド機構によって前記テーブルと前記第１及び第２のアクチュエータとをスライド可能に連結し、
前記ランナーブロックは、
前記レールを囲む凹部と、
その円筒面が前記レールと前記凹部の間に挟み込まれるように配置される複数のローラと、
前記凹部に取り付けられ、前記ローラの軸方向両端をガイドして該ローラが前記ランナーブロックのスライド方向に転動するための転動溝を形成するローラ保持部材と、
前記ランナーブロックの内部に形成され、前記転動溝と閉回路を形成するように前記転動溝の前記スライド方向両端と繋がっている退避路と、
を有し、
前記複数のローラは前記閉回路を循環するよう構成されている
ことを特徴とする振動試験装置。
【請求項２】
前記ランナーブロックには前記閉回路が４つ形成されており、
前記４つの閉回路の夫々に配置された４列のローラは、その軸が、前記レールの軸に直交する面上において９０°おきとなるよう配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の振動試験装置。
【請求項３】
前記ローラの径は、前記転動溝における前記ランナーブロックと前記レールとの間隔より小さく、その差は１マイクロメートル以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動試験装置。
【請求項４】
隣接する２つのローラの間には、該ローラ同士の接触を防止するためのリテーナが設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の振動試験装置。
【請求項５】
前記リテーナが、前記ローラの円筒面と当接する円筒凹面を有することを特徴とする請求項４に記載の振動試験装置。
【請求項６】
該第１及び第２の方向の双方に垂直な第３の方向に前記テーブルを加振可能な第３のアクチュエータと、
前記テーブルを前記第３のアクチュエータに対して第１及び第２の方向にスライド可能に連結する第３の連結手段と、
をさらに有し、
前記第１及び第２の連結手段は、それぞれ前記テーブルを第１及び第２のアクチュエータに対して第３の方向にスライド可能に連結し、
前記第３の連結手段は、前記リニアガイド機構によって前記テーブルと前記第１及び第２のアクチュエータとをスライド可能に連結する
ことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の振動試験装置。
【請求項７】
前記第１、第２及び第３の連結手段の夫々は、前記第１、第２及び第３のアクチュエータと前記テーブルの間に配置された中間ステージを有し、
前記第１の連結手段の中間ステージは、該第２又は第３の方向のいずれか一方のみに前記テーブルに対してスライド可能であり、且つ、該第２又は第３の方向のいずれか他方のみに前記第１のアクチュエータに対してスライド可能であり、
前記第２の連結手段の中間ステージは、該第３又は第１の方向のいずれか一方のみに前記テーブルに対してスライド可能であり、且つ、該第３又は第１の方向のいずれか他方のみに前記第２のアクチュエータに対してスライド可能であり、
前記第３の連結手段の中間ステージは、該第１又は第２の方向のいずれか一方のみに前記テーブルに対してスライド可能であり、且つ、該第１又は第２の方向のいずれか他方のみに前記第３のアクチュエータに対してスライド可能である
ことを特徴とする請求項６に記載の振動試験装置。
【請求項８】
前記テーブル及び前記アクチュエータに前記レールが固定されており、
前記中間ステージは、前記テーブル及び前記アクチュエータの前記レールに係合する前記ランナーブロックを有する
ことを特徴とする請求項７に記載の振動試験装置。
【請求項９】
前記レールは、その軸方向に沿って配列される複数の貫通孔を有し、
前記貫通孔の夫々にボルトを通して前記テーブル又は前記アクチュエータに固定され、
前記ボルトの取り付け間隔は、前記レールの幅の５０〜８０％である
ことを特徴とする請求項１または請求項８に記載の振動試験装置。
【請求項１０】
前記ボルトの取り付け間隔は、前記レールの幅の６０〜７０％であることを特徴とする請求項９に記載の振動試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動試験装置に関連する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、機械製品や機械部品は、輸送時や使用時に繰り返し荷重を受ける。繰り返し荷重を受けた物体は、疲労によって破損する、或いは形状や特性が変化することがある。そのため、機械製品や機械部品を開発する際には、被検体に繰り返し荷重を加えて挙動を観察することが望ましい。
【０００３】
このような目的のために、振動試験装置が使用される。振動試験装置は、例えば特許文献１に記載されている装置のように、テーブルの上に被検体を固定し、このテーブルを外部のアクチュエータによって１軸、３軸、或いは６軸方向に加振するものである。
【０００４】
上記公報には、テーブルを三段に重ね、上段のテーブルに被検体を固定する構成（第１の構成）が開示されている。第１の構成においては、下段のテーブルは上下方向に加振されるようになっており、中段のテーブルは下段のテーブルに対して左右方向に加振されるようになっており、上段のテーブルは中段のテーブルに対して前後方向に加振されるようになっている。本構成では、下段のテーブルを加振すると中段と上段のテーブルを加振するためのアクチュエータも変位し、中段のテーブルを加振すると上段のテーブルを加振するためのアクチュエータも変位するようになっている。このため、アクチュエータ同士が干渉することなく、上段のテーブル及びその上に固定された試験片を３軸方向に加振することができる。
【０００５】
また、上記公報には、振動試験装置の別の構成として、一つのテーブルに複数のアクチュエータを取り付けて６軸方向に加振可能なものが開示されている（第２の構成）。第２の構成においては、アクチュエータの各々をある程度の自由度をもって変位可能（アクチュエータがある軸の回りに回動可能）とすることによって、アクチュエータがテーブルの変位にある程度追従できるようになっている。これによって、アクチュエータ同士が干渉することなく、テーブルおよびその上に取り付けられた試験片を６軸方向に加振することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３３８０１０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記の第１の構成においては、下段のテーブルを加振するためのアクチュエータは、３枚のテーブルと他の２つのアクチュエータをも加振できるだけのパワーを必要とするため、加振装置が大がかりなものとなってしまうという問題があった。また、上段及び中段のテーブルを加振するためのアクチュエータは、夫々中段及び下段のテーブルに固定されてテーブルと共に振動するよう構成されている。このため、アクチュエータ自身がテーブルに対するアンバランス荷重となってしまい、このアンバランス荷重に起因する誤差成分が被検体に印加される振動に含まれてしまう可能性がある。
【０００８】
また、第２の構成においては、各アクチュエータの揺動角度範囲が数度程度を超えて大きくなると、アクチュエータ同士が干渉するようになる。そのため、テーブルの加振の振幅を大きくするためには、アクチュエータの駆動軸の長さを充分に大きくとる必要があり、装置が大型化するという問題があった。また、アクチュエータ自身が回動するため、大重量のサーボモータを使用するボールねじ機構をアクチュエータとして使うことは容易ではなく、使用可能なアクチュエータは事実上油圧アクチュエータ及び圧電アクチュエータに限定されている。加えて、あるアクチュエータを駆動してテーブルを変位させると、他のアクチュエータの駆動軸の向きが変わる（すなわち、座標系の変化が発生する）。従って、所望の加振状態を得るためには、座標系の変化を考慮して各アクチュエータに与えるパラメータを演算しなければならない。このため、第２の構成のような加振装置には、各アクチュエータに与えるパラメータを高速で演算するためのプロセッサを用いるなど、装置の制御系が複雑なものとなっていた。
【０００９】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものである。すなわち、本発明は、装置を大型化・複雑化することなく、大きい振幅でテーブルを加振することができる加振装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明の振動試験装置は、テーブルを第１及び第２の方向に加振可能な第１及び第２のアクチュエータと、テーブルを第１及び第２のアクチュエータに対して夫々第２及び第１の方向にスライド可能に連結する第１及び第２の連結手段とを有し、第１及び第２の連結手段は夫々レールとこのレールに沿ってスライド可能なランナーブロックを備えたリニアガイド機構によってテーブルとアクチュエータとをスライド可能に連結し、ランナーブロックは、レールを囲む凹部と、その円筒面がレールと前記凹部の間に挟み込まれるように配置される複数のローラと、前記凹部に取り付けられ、前記ローラの軸方向両端をガイドして該ローラが前記ランナーブロックのスライド方向に転動するための転動溝を形成するローラ保持部材と、ランナーブロックの内部に形成され、ローラをランナーブロックのスライド方向に転動させる転動溝と閉回路を形成するように転動溝のスライド方向両端と繋がっている退避路とを有し、複数のローラが閉回路を循環する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の振動試験装置においては、各アクチュエータは、テーブルに対してそのアクチュエータの加振方向に直交する方向にスライド可能となっている。そのため、あるアクチュエータでテーブルを加振しても、テーブルが他のアクチュエータに対してスライドするので、他のアクチュエータが変位することも、他のアクチュエータの加振方向が変化することもない。従って、本発明においては、各アクチュエータはテーブル及び被検体を加振できるだけのパワーがあればよい。また、本発明によれば、アクチュエータを回動させずにテーブルを加振することが可能となるため、アクチュエータの駆動軸が短くてもテーブルを大ストロークで加振することができる。加えて、あるアクチュエータが他のアクチュエータの挙動に影響を与えることがないため、アクチュエータの制御系を複雑化することなく、所望の振幅、周波数でテーブルを加振することが可能となる。従って、本発明によれば、装置を大型化・複雑化することなく、大きい振幅でテーブルを加振することが可能となる。
【００１２】
また、本発明の試験装置においては、レールとランナーブロックとの間にローラを設けて形成したリニアガイド機構を介してアクチュエータとテーブルとが連結されている。このような構成のリニアガイド機構は、ランナーブロックに大荷重が加わったとしても、ランナーブロックをレールに沿ってスムーズに移動させることかできる。また、各ローラとレール及びランナーブロックは、比較的大きい接触面積で当接しており、アクチュエータからの振動を応答遅れなくテーブルに伝達させることができる。このため、数１００Ｈｚ以上の比較的高い振動数でテーブルを加振させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の実施形態による振動試験装置の上面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態の第１アクチュエータをＹ軸方向から見た側面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態の第１アクチュエータの上面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態のテーブル及び第３アクチュエータをＸ軸方向から見た側面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態のテーブル及び第３アクチュエータをＹ軸方向から見た側面図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態による振動試験装置における制御システムのブロック図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態のセミリジッドカップリングの断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施形態によるリニアガイド機構を、レールの長軸方向に垂直な一面で切断した断面図である。
【図９】図９は、図８のＩ−Ｉ断面図である。
【図１０】図１０は、図８のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施形態によるリニアガイド機構のランナーブロックのローラの斜視図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態によるリニアガイド機構のレールの取り付け構造を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の実施形態による振動試験装置の上面図である。本実施形態の振動試験装置１は、振動試験の対象である被検体をテーブル１００の上に固定し、第１、第２、第３アクチュエータ２００、３００、４００を用いてテーブル１００及びその上の被検体を直交３軸方向に加振するようになっている。なお、以下の説明においては、第１アクチュエータ２００がテーブル１００を加振する方向（図１における上下方向）をＸ軸方向、第２アクチュエータ３００がテーブル１００を加振する方向（図１における左右方向）をＹ軸方向、第３アクチュエータ４００がテーブルを加振する方向、すなわち鉛直方向（図１において、紙面に垂直な方向）をＺ軸方向と定義する。
【００１５】
図６は、本発明の実施形態による振動試験装置の制御システムのブロック図である。第１、第２、第３アクチュエータ２００、３００、４００には、夫々振動センサ２２０、３２０、４２０が設けられている。これらの振動センサの出力に基づいて制御手段１０が第１、第２、第３アクチュエータ２００、３００、４００（具体的には、サーボモータ２１２、３１２、４１２）をフィードバック制御することによって、所望の振幅及び周波数（これらのパラメータは、通常は時間の関数として設定される）でテーブル１００及びその上に取り付けられた被検体を加振することができる。
【００１６】
第１、第２、第３アクチュエータ２００、３００、４００は、夫々ベースプレート２０２、３０２、４０２上にモータや動力伝達部材等が取り付けられた構成となっている。このベースプレート２０２、３０２、４０２は、図示しないボルトによって、装置ベース２上に固定されている。
【００１７】
また、装置ベース２上には、ベースプレート２０２、３０２、４０２に近接する複数の位置にアジャスタＡが配置されている。アジャスタＡは、装置ベース２にボルトＡＢで固定されるめねじ部Ａ１と、このめねじ部Ａ１にねじ込まれているおねじ部Ａ２とを有している。おねじ部Ａ２は、円筒面にネジ山が形成された円柱状の部材であり、おねじ部Ａ２をめねじ部Ａ１に形成されたネジ穴に係合させて回動させることによって、おねじ部Ａ２を対応するベースプレートに対して進退させることができる。おねじ部Ａ２の一端（対応するベースプレートに対して近位となる側）は、略球面状に形成されており、この突出部と対応するベースプレートの側面とを当接させることによって、ベースプレートの位置の微調整を行うことができる。また、おねじ部Ａ２の他端（対応するベースプレートに対して遠位となる側）には、図示しない六角レンチ用の六角穴が形成されている。。また、一旦ベースプレート２０２、３０２、４０２を固定した後は、振動試験によってベースプレートからアジャスタＡに伝達されうる振動等によっておねじ部Ａ２が緩まないように、ナットＡ３がおねじ部Ａ２に取り付けられている。ナットＡ３は、その一端面がめねじ部Ａ１に当接するように取り付けられており、この状態からナットＡ３をねじ込んでめねじ部Ａ１を押し込み、おねじ部Ａ２とめねじ部Ａ１に軸力を作用させ、この軸力によっておねじ部Ａ２とめねじ部Ａ１のねじ山に生じる摩擦力によって、おねじ部Ａ２からめねじ部Ａ１が緩まないようになっている。
【００１８】
次に、第１アクチュエータ２００の構成について説明する。図２は、本発明の実施形態による第１アクチュエータ２００をＹ軸方向から（図１の右側から左側へ向かって）見た側面図である。この側面図は、内部構造を示すために一部が切り欠かれている。また、図３は、第１アクチュエータ２００の上面図の一部切り欠いて内部構造を示したものである。なお、以下の説明においては、第１アクチュエータ２００からテーブル１００に向うＸ軸に沿った方向を「Ｘ軸正の方向」、テーブル１００から第１アクチュエータに向うＸ軸に沿った方向を「Ｘ軸負の方向」と定義する。
【００１９】
図２に示されるように、ベースプレート２０２の上には、互いに溶接された複数のはり２２２ａと、天板２２２ｂからなるフレーム２２２が溶接によって固定されている。また、テーブル１００（図１）を加振するための駆動機構２１０や駆動機構２１０による加振運動をテーブルに伝達させるための連結機構２３０を支持するための支持機構２４０の底板２４２が、フレーム２２２の天板２２２ｂの上に図示しないボルトを介して固定されている。
【００２０】
駆動機構２１０は、サーボモータ２１２、カップリング２６０、軸受部２１６、ボールねじ２１８及びボールナット２１９を有している。カップリング２６０は、サーボモータ２１２の駆動軸２１２ａとボールねじ２１８とを連結するものである。また、軸受部２１６は、支持機構２４０の底板２４２に対して垂直に溶接で固定された軸受支持プレート２４４によって支持されており、ボールねじ２１８を回転可能に支持している。ボールナット２１９は、その軸回りに移動しないよう軸受支持プレート２４４によって支持されつつ、ボールねじ２１８と係合する。そのため、サーボモータ２１２を駆動すると、ボールねじが回転して、ボールナット２１９がその軸方向（すなわちＸ軸方向）に進退する。このボールナット２１９の運動が、連結機構２３０を介してテーブル１００に伝達されることによって、テーブル１００はＸ軸方向に駆動される。そして、短い周期でサーボモータ２１２の回転方向を切り換えるようサーボモータ２１２を制御することによって、テーブル１００を所望の振幅及び周期でＸ軸方向に加振することができる。
【００２１】
支持機構２４０の底板２４２の上面には、モータ支持プレート２４６が底板２４２と垂直に溶接されている。モータ支持プレート２４６の一面（Ｘ軸負の方向側の面）には、駆動軸２１２ａがモータ支持プレート２４６と垂直になるよう、サーボモータ２１２が片持ち支持されている。モータ支持プレート２４６には、開口部２４６ａが設けられており、サーボモータ２１２の駆動軸２１２ａはこの開口部２４６ａを貫通し、モータ支持プレート２４６の他面側でボールねじ２１８と連結される。
【００２２】
なお、サーボモータ２１２がモータ支持プレート２４６に片持ち支持されているため、モータ支持プレート２４６には、特に底板２４２との溶接部において、大きな曲げ応力が加わる。この曲げ応力を緩和するために、底板２４２とモータ支持プレート２４６との間には、リブ２４８が設けられている。
【００２３】
軸受部２１６は、正面組合せで組み合わされた一対のアンギュラ球軸受２１６ａ、２１６ｂ（Ｘ軸負の方向側にあるものが２１６ａであり、Ｘ軸正の方向側にあるものが２１６ｂである）を有している。アンギュラ球軸受２１６ａ、２１６ｂは、軸受支持プレート２４４の中空部の中に収納されている。アンギュラ球軸受２１６ｂの一面（Ｘ軸正の方向側の面）には、軸受押圧プレート２１６ｃが設けられており、この軸受押圧プレート２１６ｃをボルト２１６ｄを用いて軸受支持プレート２４４に固定することによって、アンギュラ球軸受２１６ｂはＸ軸負の方向に押し込まれる。また、ボールねじ２１８において、軸受部２１６に対してＸ軸負の方向側に隣接する円筒面には、ねじ部２１８ａが形成されている。このねじ部２１８には、内周にめねじが形成されたカラー２１７が取り付けられるようになっている。カラー２１７をボールねじ２１８に対して回動させてＸ軸正の方向に移動させることによって、アンギュラ球軸受２１６ａはＸ軸正の方向に押し込まれる。このように、アンギュラ球軸受２１６ａと２１６ｂが、互いに近づく方向に押し込まれるようになっているので、両者が互いに密着して好適なプリロードが軸受２１６ａ、２１６ｂに付与される。
【００２４】
次に、連結部２３０の構成について説明する。連結部２３０は、ナットガイド２３２、一対のＹ軸レール２３４、一対のＺ軸レール２３５、中間ステージ２３１、一対のＸ軸レール２３７、一対のＸ軸ランナーブロック２３３、及びランナーブロック取付部材２３８を有している。
【００２５】
ナットガイド２３２は、ボールナット２１９に固定されている。また、一対のＹ軸レール２３４は、共にＹ軸方向に伸びるレールであり、ナットガイド２３２のＸ軸正の方向側の端部に、上下方向に並べて固定されている。また、一対のＺ軸レール２３５は、共にＺ軸方向に伸びるレールであり、テーブル１００のＸ軸負の方向側の端部に、Ｙ軸方向に並べて固定されている。中間ステージ２３１は、このＹ軸レール２３４の各々と係合するＹ軸ランナーブロック２３１ａがＸ軸負の方向側の面に、Ｚ軸レール２３５の各々と係合するＺ軸ランナーブロック２３１ｂがＸ軸正の方向側の面に設けられているブロックであり、Ｙ軸レール２３４及びＺ軸レール２３５の双方に対してスライド可能に構成されている。
【００２６】
すなわち、中間ステージ２３１は、テーブル１００に対してＺ軸方向にスライド可能であり、且つ、ナットガイド２３２に対してＹ軸方向にスライド可能である。従って、テーブル１００に対してナットガイド２３１はＹ軸方向及びＺ軸方向にスライド可能となっている。このため、他のアクチュエータ３００及び／または４００によってテーブル１００がＹ軸方向及び／またはＺ軸方向に加振されたとしても、それによってナットガイド２３２が変位することはない。すなわち、テーブル１００のＹ軸方向及び／またはＺ軸方向の変位に起因する曲げ応力が、ボールねじ２１８や軸受２１６、カップリング２６０などに加わることはない。
【００２７】
一対のＸ軸レール２３７は、共にＸ軸方向に伸びるレールであり、支持機構２４０の底板２４２の上に、Ｙ軸方向に並べて固定されている。Ｘ軸ランナーブロック２３３は、このＸ軸レール２３７の各々と係合し、Ｘ軸レール２３７に沿ってスライド可能となっている。ランナーブロック取付部材２３８は、Ｙ軸方向両側に向って張り出すようにナットガイド２３２の底面に固定された部材であり、Ｘ軸ランナーブロック２３３はランナーブロック取付部材２３８の底部に固定されている。このように、ナットガイド２３２は、ランナーブロック取付部材２３８及びＸ軸ランナーブロック２３３を介してＸ軸レール２３７にガイドされており、これによって、Ｘ軸方向のみに移動可能となっている。
【００２８】
このように、ナットガイド２３２の移動方向がＸ軸方向のみに制限されているため、サーボモータ２１２を駆動してボールねじ２１８を回動させると、ナットガイド２３２及びこのナットガイド２３２と係合するテーブル１００は、Ｘ軸方向に進退する。
【００２９】
ランナーブロック取付部材２３８の、Ｙ軸方向側の一方の側面（図２においては手前側、図３においては右側）２３８ａには、位置検出手段２５０が配置されている。位置検出手段２５０は、Ｘ軸方向に一定間隔で並べられた３つの近接センサ２５１、ランナーブロック取付部材２３８の側面２３８ａに設けられた検出用プレート２５２、及び近接センサ２５１を支持するセンサ支持プレート２５３を有している。近接センサ２５１は、各々の近接センサの前に何らかの物体が近接して（例えば１ミリメートル以内に）いるかどうかを検出可能な素子である。ランナーブロック取付部材２３８の側面２３８ａと近接センサ２５１とは充分に離れているため、近接センサ２５１は、各々の近接センサ２５１の前に検出用プレート２５２があるかどうかを検知することができる。振動試験装置１の制御手段１０は、例えば近接センサ２５１の検出結果を用いてサーボモータ２１２をフィードバック制御することができる（図６）。
【００３０】
また、支持機構２４０の底板２４２の上には、Ｘ軸ランナーブロック２３３をＸ軸方向両側から挟むように配置された規制ブロック２３６が設けられている。この規制ブロック２３６は、ナットガイド２３２の移動範囲を制限するためのものである。すなわち、サーボモータ２１２を駆動させてナットガイド２３２をＸ軸正の方向に向って移動させ続けると、最終的には、Ｘ軸正の方向側に配置された規制ブロック２３６とランナーブロック取付部材２３８とが接触し、それ以上ナットガイド２３２はＸ軸正の方向に移動できなくなる。ナットガイド２３２をＸ軸負の方向に向って移動させ続ける場合も同様であり、Ｘ軸負の方向側に配置された規制ブロック２３６とランナーブロック取付部材２３８とが接触して、それ以上ナットガイド２３２はＸ軸負の方向に移動できなくなる。
【００３１】
以上説明した第１アクチュエータ２００と第２アクチュエータ３００とは、設置される方向が異なる（Ｘ軸とＹ軸が入れ代わる）点を除いては同一の構造である。従って、第２アクチュエータ３００については詳細な説明は省略する。
【００３２】
次に、本発明の実施形態による第３アクチュエータ４００の構成について説明する。図４は、テーブル１００及び第３アクチュエータ４００をＸ軸方向から（図１の下方から上方へ向かって）見た側面図である。この側面図も、内部構造を示すために一部が切り欠かれている。また、図５は、本発明の実施形態によるテーブル１００及び第３アクチュエータ４００をＹ軸方向から（図１の左側から右側へ向かって）見た側面図である。図５も、内部構造を示すために一部が切り欠かれている。なお、以下の説明においては、第２アクチュエータ３００からテーブル１００に向うＹ軸に沿った方向をＹ軸正の方向、テーブル１００から第２アクチュエータ３００に向うＹ軸に沿った方向をＹ軸負の方向と定義する。
【００３３】
図４及び５に示されるように、ベースプレート４０２上には、鉛直方向に伸びる複数のはり４２２ａと、この複数のはり４２２ａを上から覆うように配置された天板４２２ｂからなるフレーム４２２が設けられている。各はり４２２ａは、下端がベースプレート４０２の上面に、上端が天板４２２ｂの下面に、それぞれ溶接されている。また、支持機構４４０の軸受支持プレート４４２が、フレーム４２２の天板４２２ｂの上に図示しないボルトを介して固定されている。この軸受支持プレート４４２は、テーブル１００（図１）を上下方向に加振するための駆動機構４１０や、駆動機構４１０による加振運動をテーブルに伝達させるための連結機構４３０を支持するための部材である。
【００３４】
駆動機構４１０は、サーボモータ４１２、カップリング４６０、軸受部４１６、ボールねじ４１８、及びボールナット４１９を有している。カップリング４６０は、サーボモータ４１２の駆動軸４１２ａとボールねじ４１８とを連結するものである。また、軸受部４１６は、前述の軸受支持プレート４４２に固定されており、ボールねじ４１８を回転可能に支持するようになっている。ボールナット４１９は、その軸回りに移動しないよう軸受支持プレート４４２によって支持されつつ、ボールねじ４１８と係合する。そのため、サーボモータ４１２を駆動すると、ボールねじが回転して、ボールナット４１９がその軸方向（すなわちＺ軸方向）に進退する。このボールナット４１９の運動が、連結機構４３０を介してテーブル１００に伝達されることによって、テーブル１００はＺ軸方向に駆動される。そして、短い周期でサーボモータ４１２の回転方向を切り換えるようサーボモータ４１２を制御することによって、テーブル１００を所望の振幅及び周期でＺ軸方向（上下方向）に加振することができる。
【００３５】
支持機構４４０の軸受支持プレート４４２の下面から、２枚の連結プレート４４３を介して、水平方向（ＸＹ平面）に広がるモータ支持プレート４４６が固定されている。モータ支持プレート４４６の下面には、サーボモータ４１２が吊り下げられ、固定されている。モータ支持プレート４４６には、開口部４４６ａが設けられており、サーボモータ２１２の駆動軸４１２ａはこの開口部４４６ａを貫通し、モータ支持プレート４４６の上面側でボールねじ４１８と連結される。
【００３６】
なお、本実施形態においては、フレーム４２２の高さよりもサーボモータ４１２の軸方向（上下方向、Ｚ軸方向）の寸法が大きいため、サーボモータ４１２の大部分は、ベースプレート４０２よりも低い位置に配置される。このため、装置ベース２には、サーボモータ４１２を収納するための空洞部２ａが設けられている。また、ベースプレート４０２には、サーボモータ４１２を通すための開口４０２ａが設けられている。
【００３７】
軸受部４１６は、軸受支持プレート４４２を貫通するように設けられている。なお、軸受部４１６の構造は、第１アクチュエータ２００における軸受部２１６（図２、図３）と同様であるので、詳細な説明は省略する。
【００３８】
次に、連結部４３０の構成について説明する。連結部４３０は、可動フレーム４３２、一対のＸ軸レール４３４、一対のＹ軸レール４３５、複数の中間ステージ４３１、二対のＺ軸レール４３７、及び二対のＺ軸ランナーブロック４３３を有している。
【００３９】
可動フレーム４３２は、ボールナット４１９に固定された枠部４３２ａと、枠部４３２ａの上端に固定された天板４３２ｂと、天板４３２ｂのＸ軸方向両縁から下方に伸びるよう固定された側壁４３２ｃを有している。一対のＹ軸レール４３５は、共にＹ軸方向に伸びるレールであり、可動フレーム４３２の天板４３２ｂの上面に、Ｘ軸方向に並べて固定されている。また、一対のＸ軸レール４３４は、共にＸ軸方向に伸びるレールであり、テーブル１００の下面に、Ｙ軸方向に並べて固定されている。中間ステージ４３１は、Ｘ軸レール４３４と係合するＸ軸ランナーブロック４３１ａが上部に、Ｙ軸レール４３５の各々と係合するＹ軸ランナーブロック４３１ｂが下部に設けられているブロックであり、Ｘ軸レール４３４及びＹ軸レール４３５の双方に対してスライド可能に構成されている。なお、中間ステージ４３１は、Ｘ軸レール４３４とＹ軸レール４３５とが交差する位置毎に一つずつ設けられている。Ｘ軸レール４３４とＹ軸レール４３５は、夫々２つずつ設けられているので、Ｘ軸レール４３４とＹ軸レール４３５とは４箇所で交差する。従って、本実施形態においては、４つの中間ステージ４３１が使用される。
【００４０】
このように、中間ステージ４３１の各々は、テーブル１００に対してＸ軸方向にスライド可能であり、且つ、可動フレーム４３２に対してＹ軸方向にスライド可能である。すなわち、テーブル１００に対して可動フレーム４３２はＸ軸方向及びＹ軸方向にスライド可能となっている。このため、他のアクチュエータ２００及び／または３００によってテーブル１００がＸ軸方向及び／またはＹ軸方向に加振されたとしても、それによって可動フレーム４３２が変位することはない。すなわち、テーブル１００のＸ軸方向及び／またはＹ軸方向の変位に起因する曲げ応力がボールねじ４１８や軸受４１６、カップリング４６０などに加わることはない。
【００４１】
また、本実施形態においては、可動フレーム４３２には比較的大重量のテーブル１００及び被検体を支えるため、Ｘ軸レール４３４及びＹ軸レール４３５の間隔を、第１アクチュエータ２００のＹ軸レール２３４及びＺ軸レール２３５と比べて広くとっている。このため、第１アクチュエータ２００と同様に一つの中間ステージのみによってテーブル１００と可動フレーム４３２とを連結させる構成とすると、中間ステージが大型化し、可動フレーム４３２に加わる荷重が増大してしまう。このため、本実施形態においては、Ｘ軸レール４３４とＹ軸レール４３５とが交差する部分ごとに小型の中間ステージ４３１を配置する構成として、可動フレーム４３２に加わる荷重の大きさを必要最低限に抑えている。
【００４２】
二対のＺ軸レール４３７は、Ｚ軸方向に伸びるレールであり、可動フレーム４３２の側壁４３２ｃの夫々に、Ｙ軸方向に並べて一対ずつ固定されている。Ｚ軸ランナーブロック４３３は、このＺ軸レール４３７の各々と係合し、Ｚ軸レール４３７に沿ってスライド可能となっている。Ｚ軸ランナーブロック４３３は、ランナーブロック取付部材４３８を介してフレーム４２２の天板４２２ｂの上面に固定されるようになっている。ランナーブロック取付部材４３８は、可動フレーム４３２の側壁４３２ｃと略平行に配置された側板４３８ａと、この側板４３８ａの下端に固定された底板４３８ｂとを有しており、全体としてはＬ字断面形状となっている。また、本実施形態においては、特に重心の高く且つ大重量の被検体をテーブル１００の上に固定すると、Ｘ軸回り及び／またはＹ軸回りの大きなモーメントが可動フレーム４３２に加わりやすくなっている。そのため、ランナーブロック取付部材４３８は、この回転モーメントに耐えられるよう、リブによって補強されている。具体的には、ランナーブロック取付部材４３８のＹ軸方向両端における側板４３８ａと底板４３８ｂとが成すコーナーに、一対の第１リブ４３８ｃが設けられ、さらに、この一対の第１リブ４３８ｃの間に渡された第２リブ４３８ｄが設けられている。
【００４３】
このように、Ｚ軸ランナーブロック４３３がフレーム４２２に固定されており、且つＺ軸レール４３７に対してスライド可能となっている。従って、可動フレーム４３２は、上下方向にスライド可能であるとともに、可動フレーム４３２の上下方向以外の移動は規制される。このように、可動フレーム４３２の移動方向が上下方向のみに制限されているため、サーボモータ４１２を駆動してボールねじ４１８を回動させると、可動フレーム４３２及びこの可動フレーム４３２と係合するテーブル１００は、上下方向に進退する。
【００４４】
また、第１アクチュエータ２００の位置検出手段２５０（図２、３）と同様の位置検出手段（不図示）が第３アクチュエータ４００にも設けられている。振動試験装置１制御手段１０は、この位置検出手段の検出結果に基づいて、可動フレーム４３２の高さが所定の範囲内となるように制御することができる（図６）。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態においては、駆動軸が互いに直交する各アクチュエータとテーブル１００との間に、二対のレールとこのレールに対してスライド可能に構成された中間ステージが設けられている。これによって、各アクチュエータに対して、テーブル１００はそのアクチュエータの駆動方向に垂直な面上の任意の方向にスライド可能となっている。このため、あるアクチュエータによってテーブル１００が変位したとしても、この変位に起因する荷重やモーメントが他のアクチュエータに加わることは無く、且つ他のアクチュエータとテーブル１００とが中間ステージを介して係合する状態が維持される。すなわち、テーブルが任意の位置に変位したとしても、各アクチュエータがテーブルを変位させることが可能な状態が維持される。このため、本実施形態においては、３つのアクチュエータ２００、３００、４００を同時に駆動させてテーブル１００及びその上に固定される被検体を３軸方向に加振可能である。
【００４６】
次に、カップリング２６０、３６０及び４６０の構造について説明する。カップリング２６０及び３６０はカップリング４６０と同一の構造であるため、以下の説明においては、カップリング４６０についての説明のみを行い、カップリング２６０及び３６０についての説明は省略する。図７は、カップリング４６０及び、このカップリング４６０を介して互いに連結されるＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａとボールねじ４１８の軸部を示す拡大断面図である。
【００４７】
図７に示されているように、カップリング４６０は、ナイロン製の内輪４６１と、一対のジュラルミン製の外輪４６２と４６３、及びこれらを締結する複数（本実施形態では６つ）のボルト４６４から構成されるセミリジッドカップリングである。内輪４６１の中央には、内部で相互に連絡する丸穴４６１ａ、４６１ｂが同軸上に設けられている。丸穴４６１ａの内径はＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａが隙間なく挿入できる大きさであり、丸穴４６１ｂの内径はボールねじ４１８の軸部が隙間なく挿入できる大きさとなっている。なお、本実施形態においては、ボールねじ４１８の軸部はＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａよりも小径であるため、丸穴４６１ｂの外径は丸穴４６１ａの外径よりも小径となっている。
【００４８】
内輪４６１の軸方向中央部の外周にはフランジ部４６１ｃが形成されている。フランジ部４６１ｃの両面内側からは、軸方向に伸びるテーパ部がそれぞれ形成されている。各テーパ部の外側面４６１ｄ、４６１ｅは、軸方向先端に近づくほど外径が小さくなる円錐状のテーパ面となっている。また、内輪４６１を挟む一対の外輪４６２、４６３の内側には、テーパ形状の内側面４６２ａ、４６３ａをもつ貫通穴がそれぞれ形成されている。外輪４６２と４６３は、それぞれ内側面４６２ａ、４６３ａのテーパ面が開く方向を内輪側に向けて配置されている。外輪４６２、４６３のテーパ形状の内側面４６２ａ、４６３ａは、それぞれ内輪４６１の外側面４６１ｄ、４６１ｅと同じテーパ角を有している。そして、外輪４６２の内側面４６２ａと内輪４６１の外側面４６１ｄ、外輪４６３の内側面４６３ａと内輪４６１の外側面４６１ｅとが重なるように、外輪４６２、４６３の貫通穴に内輪４６１の両端に形成されたテーパ部が差し込まれている。
【００４９】
また、外輪４６３の貫通穴の周囲には、ボルト４６４の先端部に形成されたおねじと係合するめねじ４６３ｂが、貫通穴の軸を中心とする円周上に等間隔に形成されている。また、外輪４６２と内輪４６１のフランジ部４６１ｃには、外輪４６３のめねじ４６３ｂに対応する位置に、ボルト穴（丸穴）４６２ｂ、４６１ｆがそれぞれ形成されている。６本のボルト４６４（図７には２本のみ図示）が外輪４６２のボルト穴４６２ｂ及び内輪４６１のボルト穴４６１ｆを通して外輪３４０のめねじ４６４ｂと係合している。
【００５０】
内輪４６１の丸穴４６１ａに下方からＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａの先端ａを、丸穴４６１ｂに上方からボールねじ４１８の軸部の先端を差し込んだ後、ボルト４６４をボルト穴４６２ｂ、４６１ｆに差し込み、さらにめねじ４６４ｂにねじ込むと、内輪４６１は両側から外輪４６２と外輪４６３によって強く挟まれ、外輪４６２、４６２３の貫通穴に内輪４６１の２つのテーパ部がそれぞれ深く嵌入される。このため、くさびの原理によって、内輪４６１の丸穴４６１ａ、４６１ｂからＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａ及びボールねじ４１８の軸部にそれぞれ強い側圧が加えられる。従って、丸穴４６１ａ、４６１ｂと駆動軸４１２ａ、ボールねじ４１８との間にそれぞれ強力な摩擦力が発生し、駆動軸４１２ａとボールねじ４１８とが内輪４６１を介して一体に連結される。
【００５１】
図７に示されているように、外輪４５２と４６３との間は、粘弾性体であるナイロン樹脂で形成された内輪４６１のみで支持されている。また、図７に示されるように、カップリング４６０において、ＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａの先端と、ボールねじ４１８の軸部の先端とは、わずかな（例えば、約１ミリメートル）の間隔を離して連結されている。従って、モータから軸を圧縮する方向の力が加わった場合には、内輪が弾性変形して、この駆動軸４１２ａとボールねじ４１８との間隔が狭まることにより、カップリング４６０内で軸方向の力を吸収して、ボールねじ側に伝わる軸方向の力を大幅に減衰させることができる。本実施形態においては、内輪４６１の振動減衰率は、振動試験における計測周波数領域内で比較した場合、駆動軸４１２ａの固有振動数において略最大となっている。これにより、駆動軸４１２ａの軸方向、又は、軸の半径方向の振動を効果的に減衰させることができる。なお、駆動軸４１２ａの固有振動数における内輪４６１の振動減衰率は、必ずしも計測周波数領域において略最大である必要はないが、少なくとも計測周波数領域における周波数平均よりも大きいことが望ましい。
【００５２】
一方、上述のように、ＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａの先端と、ボールねじ４１８の軸部の先端との間隔は１ミリメートル程度と短く、また、各軸の先端は全周が内輪と一体化されている。このため、捩り方向には十分にリジッドに連結されており、バックラッシが無く、ＡＣサーボモータ４１２の駆動軸４１２ａの回転駆動を正確にボールねじ４１８に伝達することができる。
【００５３】
本実施形態においては、前述のように、アクチュエータ２００、３００、４００とテーブル１００の間には、レールとランナーブロックを組み合わせたリニアガイド機構を備えた連結部が設けられている。また、同様のリニアガイド機構が、アクチュエータ２００、３００、４００に設けられており、このリニアガイド機構は各アクチュエータのボールねじ機構のナットをガイドするために使用される。これらのリニアガイド機構の構成について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明は、第３アクチュエータ４００の中間ステージ４３１のＹ軸ランナーブロック４３１ｂ及びＹ軸レール４３５から構成されるリニアガイド機構（図５）についてのものであるが、他のガイド機構も同一の構成である。
【００５４】
図８は、ランナーブロック４３１ｂ及びレール４３５を、レール４３５の長軸方向に垂直な一面で切断した断面図であり、図９及び１０は、夫々図８のＩ−Ｉ断面図及びＩＩ−ＩＩ断面図である。図８に示されるように、ランナーブロック４３１ｂにはレール４３５を囲むように凹部４３１ｆが形成されている。この凹部４３１ｆとレール４３５の外周面との間には、ローラ保持部材４３１ｇが挟み込まれている。このローラ保持部材４３１ｇによって、凹部４３１ｆとレール４３５の外周面との隙間に、軸方向に延びる４本の転動溝４３１ｃ、４３１ｃ’が形成される。この転動溝４３１ｃ、４３１ｃ’には、多数のステンレス鋼製のローラ４３１ｄが収納されている。ローラ４３１ｄは、その軸方向両端がローラ保持部材４３１ｇによって保持され、円筒面がランナーブロック４３１ｂの凹部４３１ｆとレール４３５の外周面の双方に当接するようになっている。ランナーブロック４３１ｂの凹部４３１ｆとレール４３５の外周面との間隔は、ローラ４３１ｄの径に略等しく、ローラ４３１ｄは、あそびのほとんど無い状態でランナーブロック４３１ｂの凹部４３１ｆ及びレール４３５の外周面に密着する。
【００５５】
ランナーブロック４３１ｂの内部には、転動溝４３１ｃの夫々と略平行な退避路４３１ｅが２本設けられている。図９に示されるように、レール退避路４３１ｅは、ローラ４３１ｄを収容するチューブをＣ字形状に屈曲して形成したものである。転動溝４３１ｃと退避路４３１ｅとは、夫々の両端で接続されており、ローラ４３１ｄを循環させるための循環路を形成する。また、図１０に示されるように、ランナーブロック４３１ｂの内部には、転動溝４３１ｃ’の夫々と略平行な退避路４３１ｅ’が２本設けられており、退避路４３１ｅ’及び転動溝４３１ｃ’もまた、同様の循環路を形成する。
【００５６】
このため、ランナーブロック４３１ｂがレール４３５に対して移動すると、多数のローラ４３１ｄが転動溝４３１ｃ、４３１ｃ’を転がりながら循環路を循環する。このため、レール軸方向以外の方向に大荷重が加わっていたとしても、多数のローラ４３１ｄでランナーブロック４３１ｂを支持可能であると共にローラ４３１ｄが転がることによりレール軸方向の抵抗が小さく保たれるので、ランナーブロック４３１ｂをレール４３５に対してスムーズに移動させることができる。
【００５７】
本実施形態においては、ランナーブロック４３１ｂの凹部４３１ｆとレール４３５の外周面との間隔ｄ（図１０、図１１）は、ローラ４３１ｄの径よりわずかに（１マイクロメートル以下）大きい程度の長さとなっている。このような状態においては、ランナーブロック４３１ｂ及びレール４３５にローラ４３１ｄからのプリロードが加わって、ローラ４３１ｄの外周面がランナーブロック４３１ｂの凹部４３１ｆ及びレール４３５の外周面に密着した状態となる。そして、レール４３５の軸方向以外の方向の荷重がランナーブロック４３１ｂ及びレール４３５の一方に加わった場合、その荷重はローラ４３１ｄを介して、応答遅れを殆ど起こすことなく他方に伝達される。このため、アクチュエータ２００〜４００を数１００Ｈｚ程度の高い周波数で往復駆動させたとしても、その振動は中間ステージを介して確実にテーブル１００に伝達される。すなわち、本実施形態の振動試験装置１によれば、高周波でテーブル１００を振動させることができる。
【００５８】
図８に示されているように、４本の転動溝４３１ｃ、４３１ｃ’に配置された４列のローラ４３１ｄは、その軸が、レール４３５の軸に直交する面上において９０°おきとなるよう配置されている。
【００５９】
各ローラ４３１ｄがこのように配置されているため、ランナーブロック４３１ｂからレール４３５の上面に向かう方向（図８において上から下に向かう方向）の荷重が加わる場合、この荷重は、主として２本の溝４３１ｃ’に配置された２列のローラ４３１ｄが受ける。また、ランナーブロック４３１ｂに、レール４３５の上面から離れるような方向（図８において下から上に向かう方向）の荷重が加わる場合は、この荷重は、主として２本の溝４３１ｃに配置された２列のローラ４３１ｄが受ける。
【００６０】
また、ランナーブロック４３１ｂに、その一方の側面（図中左側）から他方の側面（図中右側）に向かう方向の荷重が加わる場合は、その荷重は、主として転動溝４３１ｃ及び４３１ｃ’の一方（図中左側）に配置されている２列のローラ４３１ｄが受ける。一方、ランナーブロック４３１ｂに、その他方の側面から一方の側面に向かう方向の荷重が加わる場合は、その荷重は、主として転動溝４３１ｃ及び４３１ｃ’の他方（図中右側）に配置されている２列のローラ４３１ｄが受ける。
【００６１】
さらに、ランナーブロック４３１ｂに、レール４３５の軸方向周りのねじり荷重が加わる場合、そのねじり荷重の方向が図８中時計回りであれば、その荷重は、主として転動溝４３１ｃの一方（図中左側）に配置されるローラ４３１ｄと、転動溝４３１ｃ’の他方（図中右側）に配置されるローラ４３１ｄが受ける。ねじり荷重の方向が図８中反時計回りであれば、その荷重は、主として転動溝４３１ｃの他方に配置されるローラ４３１ｄと、転動溝４３１ｃ’の一方に配置されるローラ４３１ｄが受ける。
【００６２】
このように、本実施形態においては、ランナーブロック４３１ｂに図８中上下方向、左右方向、ねじり方向の荷重の何れが加わった場合であっても、それらの荷重は常に２列のローラ４３１ｄが受けるようになっている。このため、本実施形態のリニアガイド機構は、これらの方向に大荷重が加わったとしても、特定の列のローラ４３１ｄのみに荷重が加わってローラ４３１ｄが破損に至ることはなく且つスムーズに転動可能であり、ローラ４３１ｄによってランナーブロック４３１ｂはレール４３５に沿ってスムーズに移動可能である。
【００６３】
ランナーブロック４３１ｂのローラ４３１ｄの斜視図を図１１に示す。図１１に示されるように、本実施形態の振動試験装置１に使用されるランナーブロックのローラ同士の間には、リテーナ４３１ｈが設けられている。リテーナ４３１ｈは、隣接する二本のローラ４３１ｄの外周面と当接する二つの円筒面を有し、この円筒面を介してリテーナ４３１ｈはローラ４３１ｄに接触する。リテーナ４３１ｈの２円筒面の軸は、互いに平行となっている。そして、リテーナ４３１ｈがその前後でローラ４３１ｄに接触しているため、循環路中のローラ４３１ｄはその軸方向が平行となるように整列される。このため、ローラ４３３ｂは循環路内をガタつくことなくスムーズに循環する。
【００６４】
また、リテーナ４３１ｈを有さないようなリニアガイド機構においては、ローラ４３１ｄ同士が比較的小さい接触面積にて接触するため、接触部には大きな応力が加わる。これに対し、本実施形態のリニアガイド機構は、ローラ４３１ｄとリテーナ４３１ｈの円筒面同士が比較的広い接触面積にて接触し、この接触によってローラ４３１ｄに加わる応力は比較的小さく保たれる。そのため、本実施形態のリニアガイド機構は、リテーナを有さないものと比べ、ローラ４３１ｄの破損や磨耗を抑えることができる。
【００６５】
さらに、本実施形態のリニアガイド機構は、ローラ４３１ｄ同士が直接接触しないようになっている。ローラ４３１ｄ同士が直接接触すると騒音が発生するが、本実施形態においては、ローラ４３１ｄの間にリテーナ４３１ｈが配置されているため、このような騒音を抑えることができる。
【００６６】
次いで、本実施形態のリニアガイド機構のレールの取り付け構造について説明する。図１２は、第３アクチュエータ４００の稼働フレーム４３２の天坂４３２ｂに取り付けられたＹ軸レール４３５を示す斜視図である。なお、このレールの取り付け構造は、本実施形態の振動試験装置で使用されている他のレールについても同様である。
【００６７】
図１２に示されるように、天坂４３２ｂには、レール４３５と略同じ幅の溝４３２ｃが形成されており、レール４３５は、この溝４３２ｃに嵌め込まれている。レール４３５には、その軸方向に並んで配置された複数の貫通孔４３５ａが形成されている。また、図中には示されていないが、溝４３２の底の貫通孔４３５ａに対応する位置には、複数のボルト穴が形成されている。レール４３５は、貫通孔４３５ａにボルト４３５ｂを通して、天坂４３２ｂのボルト穴にねじ込むことによって、天坂４３２ｂに固定される。
【００６８】
本実施形態においては、レール４３５の貫通孔４３５ａの間隔（及び天坂のボルト穴の間隔）ｓは、レール４３５の幅ｗの５０〜８０％、好ましくは６０〜７０％と比較的短くなっている。このように、ボルト４３５ｂの取り付け間隔を比較的短くすることによって、レール４３５は撓むことなく天坂４３２ｂに強固に固定される。
【符号の説明】
【００６９】
１                振動試験装置
２                装置ベース
１００                テーブル
２００                第１アクチュエータ
３００                第２アクチュエータ
４００                第３アクチュエータ
４３１ｂ              Ｙ軸ランナーブロック
４３１ｃ、４３１ｃ’  転動溝
４３１ｅ、４３１ｅ’  退避路
４３１ｈ              リテーナ
４３１ｄ              ローラ
４３５                Ｙ軸レール
４３５ａ              貫通孔
４３５ｂ              ボルト
【図１】
2010175532.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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