(57)【要約】【課題】充分に長い共振器長を確保できるとともに、作成が容易なこと。【解決手段】基板１２の第１主面１２ａに形成されていて、光を第１主面に対して垂直に入出射する光共振器であって、第１〜第３光ユニットからなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットＵ１を備える第１光回路ＬＣ１を備えていて、第１光回路に含まれる光ユニットの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットに属するグレーティングＧと、他方の光ユニットに属するグレーティングとを平行に配置することを特徴とする光共振器。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の第１主面に形成されていて、光を該第１主面に対して垂直に入出射する光共振器であって、
第１〜第３光ユニットからなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットを備える第１光回路を備えていて、
前記第１光ユニットは、互いに平行に配置された第１〜第２ｎグレーティング（ｎは１以上の整数）と、
第２ｉ−１グレーティングと第２ｉグレーティング（ｉは１〜ｎの整数）の互いに隣接する一方の端部同士を接続する第２ｉ−１湾曲光導波路と、
ｎ≧２の場合にあって、第２ｋグレーティングと第２ｋ＋１グレーティング（ｋは１〜ｎ−１の整数）の互いに隣接する他方の端部同士を接続する第２ｋ湾曲光導波路と、
第１グレーティングと第２ｎグレーティングの他方の端部同士を接続する第２ｎ湾曲光導波路とを備えていて、
前記第２光ユニットは、前記第１光ユニットの複数の前記第１〜第２ｎ湾曲光導波路の中から任意に選ばれた１個の湾曲導波路を非接続状態としたものであり、
前記第３光ユニットは、互いに平行に配置された第１〜第２ｍ＋１グレーティング（ｍは１以上の整数）と、
第２ｊ−１グレーティングと第２ｊグレーティング（ｊは１〜ｍの整数）の互いに隣接する一方の端部同士を接続する第２ｊ−１湾曲光導波路と、
第２ｊグレーティングと第２ｊ＋１グレーティングの互いに隣接する他方の端部同士を接続する第２ｊ湾曲光導波路とを備えていて、
前記第１光回路に含まれる前記光ユニットの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットに属するグレーティングと、他方の光ユニットに属するグレーティングとを平行に配置することを特徴とする光共振器。
【請求項２】
前記第１〜第３光ユニットからなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットからなり、第２光回路に含まれる前記光ユニットの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットに属するグレーティングと、他方の光ユニットに属するグレーティングとを平行に配置する当該第２光回路を、前記基板の前記第１主面にさらに備えていて、
前記第１光回路に含まれる前記光ユニットのグレーティングと、前記第２光回路に含まれる前記光ユニットのグレーティングとが交差して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光共振器。
【請求項３】
第１光回路に含まれる前記光ユニットのグレーティングと、前記第２光ユニットに含まれる前記光ユニットのグレーティングとが直交していることを特徴とする請求項２に記載の光共振器。
【請求項４】
光伝播方向に垂直かつ前記第１主面に平行な幅方向における前記グレーティングの長さが、前記幅方向における前記湾曲光導波路の長さよりも大きく、かつ、前記グレーティングと前記湾曲光導波路とを、前記グレーティング側から前記湾曲光導波路側に向かうにつれて横断面の幅方向の寸法が徐々に縮小するテーパ状光導波路で接合していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光共振器。
【請求項５】
前記第２及び第３光ユニットの前記湾曲光導波路が非接続状態とされた端部に光を反射する反射膜が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光共振器。
【請求項６】
前記グレーティング及び前記湾曲光導波路がＳｉを材料として形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光共振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光学分野で好適に用いられる光共振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
リング型の光共振器は、非常に波長選択性が鋭いフィルタを実現するための手段として盛んに研究されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
リング共振器に光を入力するためには、光ファイバ又は光導波路をリング共振器に近接配置することにより光を結合する構成が一般的に採用されている。また、フォトニック結晶を用いた光共振器も盛んに研究されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
しかし、リング型の光共振器もフォトニック結晶を用いた光共振器も、光導波路への光の結合が必要であるために、リング共振器と光導波路との厳密な位置合わせが必要とされ、使い勝手に劣っていた。
【０００５】
これに対して、ファブリペロ共振器は、空間光を光共振器に直接に入射することができる点で使い勝手に優れている。近年、ファブリペロ共振器の応用として、ウエハに細孔を形成して、ウエハの表面に対して垂直に光を入出射させる構造の光共振器が開示されている（例えば、特許文献３〜５参照）。
【０００６】
特許文献３〜５に開示された技術では、Ｓｉ製又はＡｌ製の基板に、陽極酸化法を用いて細孔を形成している。これらの技術では、（１）細孔を介して光共振器中に物質を導入できること、及び（２）細孔の体積比率を調整することにより細孔の等価屈折率を調整可能であること、の２点を利用して、センサ及び可変波長フィルタへの応用が図られている。
【０００７】
また、光共振器が形成された面に対して垂直に光を入出射させる同心円状のグレーティングを有する光共振器が開示されている（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−１８３６４４号公報
【特許文献２】米国特許第７３９１９４５号明細書
【特許文献３】米国特許第７３３５５１４号明細書
【特許文献４】米国特許第７２６７８５９号明細書
【特許文献５】米国特許第７０７４４８０号明細書
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】Ｘｉａｎｋａｉ  Ｓｕｎ  ｅｔ．ａｌ．，”Ｓｕｒｆａｃｅ−ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｃｉｒｃｕｌａｒ  ＤＢＦ，ｄｉｓｋ−，ａｎｄ  ｒｉｎｇ−Ｂｒａｇｇ  ｒｅｓｏｎａｔｏｒ  ｌａｓｅｒｓ  ｗｉｔｈ  ｃｈｉｒｐｅｄ  ｇｒａｔｉｎｇｓ：ａ  ｕｎｉｆｉｅｄ  ｔｈｅｏｒｙ  ａｎｄ  ｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅ  ｓｔｕｄｙ”，Ｏｐｔｉｃｓ  Ｅｘｐｒｅｓｓ  Ｖｏｌ．１６，Ｎｏ．１２，ｐｐ９１５５−９１６４，２００８，Ｊｕｎｅ  ５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献３〜５に開示された技術では、光共振器を微細な素子とした場合、回折現象による光の損失が発生するために長い共振器長を確保することが難しい。その結果、共振により出射される出射光の波長ピークがブロードになってしまう。
【００１１】
また、非特許文献１に開示された光共振器は、グレーティングの周期を出射光の波長の半分以下とする必要があるため、高精度の微細加工が必要であり作成に困難を伴った。
【００１２】
この発明は、このような問題点に鑑みなされたものである。従って、この発明の目的は、光共振器が形成された面に対して垂直に光を入出射させる光共振器であって、充分に長い共振器長を確保できるとともに、作成が容易な光共振器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した目的の達成を図るために、この発明の発明者は、互いに平行に配置された直線状の２本以上のグレーティングと、グレーティングの互いに隣接する少なくとも一方の端部同士を光接続する湾曲光導波路を備える光ユニットを用いることに想到した。
【００１４】
従って、この発明の光共振器は、基板の第１主面に形成されていて、光を第１主面に対して垂直に入出射し、第１〜第３光ユニットからなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットを備える第１光回路を備えている。
【００１５】
第１光ユニットは、互いに平行に配置された第１〜第２ｎグレーティング（ｎは１以上の整数）と、第２ｉ−１グレーティングと第２ｉグレーティング（ｉは１〜ｎの整数）の互いに隣接する一方の端部同士を接続する第２ｉ−１湾曲光導波路と、ｎ≧２の場合にあって、第２ｋグレーティングと第２ｋ＋１グレーティング（ｋは１〜ｎ−１の整数）の互いに隣接する他方の端部同士を接続する第２ｋ湾曲光導波路と、第１グレーティングと第２ｎグレーティングの他方の端部同士を接続する第２ｎ湾曲光導波路とを備えている。
【００１６】
第２光ユニットは、第１光ユニットの複数の第１〜第２ｎ湾曲光導波路の中から任意に選ばれた１個の湾曲導波路を非接続状態としたものである。
【００１７】
第３光ユニットは、互いに平行に配置された第１〜第２ｍ＋１グレーティング（ｍは１以上の整数）と、第２ｊ−１グレーティングと第２ｊグレーティング（ｊは１〜ｍの整数）の互いに隣接する一方の端部同士を接続する第２ｊ−１湾曲光導波路と、第２ｊグレーティングと第２ｊ＋１グレーティングの互いに隣接する他方の端部同士を接続する第２ｊ湾曲光導波路とを備えている。
【００１８】
そして、第１光回路に含まれる光ユニットの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットに属するグレーティングと、他方の光ユニットに属するグレーティングとを平行に配置する。
【００１９】
上述した光共振器の一実施態様として、第１〜第３光ユニットからなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットからなり、第２光回路に含まれる光ユニットの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットに属するグレーティングと、他方の光ユニットに属するグレーティングとを平行に配置する第２光回路を、基板の第１主面にさらに備え、第１光回路に含まれる光ユニットのグレーティングと、第２光回路に含まれる光ユニットのグレーティングとが交差して配置されていることが好ましい。
【００２０】
上述した光共振器の一実施態様として、第１光回路に含まれる光ユニットのグレーティングと、第２光ユニットに含まれる光ユニットのグレーティングとが直交していることが好ましい。
【００２１】
上述した光共振器の一実施態様として、光伝播方向に垂直かつ第１主面に平行な幅方向におけるグレーティングの長さが、幅方向における湾曲光導波路の長さよりも大きく、かつ、グレーティングと湾曲光導波路とを、グレーティング側から湾曲光導波路側に向かうにつれて横断面の幅方向の寸法が徐々に縮小するテーパ状光導波路で接合していることが好ましい。
【００２２】
上述した光共振器の一実施態様として、第２及び第３光ユニットの湾曲光導波路が非接続状態とされた端部に光を反射する反射膜が設けられていることが好ましい。
【００２３】
上述した光共振器の一実施態様として、グレーティング及び湾曲光導波路がＳｉを材料として形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
この発明は、上述のような技術的特徴点を備えている。その結果、光共振器が形成された面に対して垂直に光を入出射させる光共振器であって、充分に長い共振器長を確保できるとともに、作成が容易な光共振器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１光ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。
【図２】第２光ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。
【図３】第３光ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。
【図４】グレーティングの構造を概略的に示す斜視図である。
【図５】図４をＡ−Ａ線に沿って切断した切断端面図である。
【図６】図４をＢ−Ｂ線に沿って切断した切断端面図である。
【図７】図１をＣ−Ｃ線に沿って切断した切断端面図である。
【図８】テーパ状光導波路付近の構造を模式的に示す平面図である。
【図９】第１光ユニットの構造を概略的に示す平面図である。
【図１０】第２光ユニットの構造を概略的に示す平面図である。
【図１１】第３光ユニットの構造を概略的に示す平面図である。
【図１２】（Ａ）及び（Ｂ）は、第１及び第２態様の光共振器の概略的な構造を示す平面図である。
【図１３】（Ａ）及び（Ｂ）は、第３及び第４態様の光共振器の概略的な構造を示す平面図である。
【図１４】（Ａ）及び（Ｂ）は、第５及び第６態様の光共振器の概略的な構造を示す平面図である。
【図１５】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施の形態２の第１及び第２態様の光共振器の概略的な構造を示す平面図である。
【図１６】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施の形態２の第３及び第４態様の光共振器の概略的な構造を示す平面図である。
【図１７】実施の形態２の光共振器の共振特性の説明に供する特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について説明する。なお、各図は、各構成要素の形状、大きさ及び配置関係について、この発明が理解できる程度に概略的に示してある。また、以下、この発明の好適な構成例について説明するが、各構成要素の材質及び数値的条件などは、単なる好適例にすぎない。従って、この発明は、以下の実施の形態に何ら限定されない。また、各図において、共通する構成要素には同符号を付し、その説明を省略することもある。
【００２７】
（実施の形態１）
以下、図１〜図１４を参照して、実施の形態１の光共振器について説明する。
【００２８】
図１は、第１光ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。図２は、第２光ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。図３は、第３光ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。図４は、グレーティングの構造を概略的に示す斜視図である。図５は、図４をＡ−Ａ線に沿って切断した切断端面図である。図６は、図４をＢ−Ｂ線に沿って切断した切断端面図である。図７は、図１をＣ−Ｃ線に沿って切断した切断端面図である。図８は、テーパ状光導波路付近の構造を模式的に示す平面図である。
【００２９】
なお、図１〜図３において、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３は、上部クラッド１２３で被覆されているため、直接目視することはできないが、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を強調して示すために実線で示してある。
【００３０】
図１〜図３を参照すると、この実施の形態の光共振器は、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３からなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットを備える第１光回路ＬＣ１で構成されている。
【００３１】
そこで、まず、始めに光共振器を構成する第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３の説明を行い、その後に、これらの光ユニットＵ１〜Ｕ３を種々の態様で組合せた第１光回路ＬＣ１を備えた光共振器１について説明する。
【００３２】
（Ａ）第１〜第３光ユニットの共通事項
図１〜図３を参照すると、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３は、基板１２、グレーティングＧ，Ｇ，・・・、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・，Ｗａ及びテーパ状光導波路Ｔ，Ｔ，・・・から構成されている。また、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３は、基板１２の第１主面１２ａに形成されており、光Ｌが第１主面１２ａに対して垂直に入出射する。
【００３３】
なお、（Ａ−１）〜（Ａ−５）の説明においては、個々のグレーティングＧ，Ｇ，・・・、及び湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・，Ｗａを区別していない。これは、個々のグレーティングＧ，Ｇ，・・・、及び湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・，Ｗａが、それぞれ同様の構造を有しているためである。後述する（Ｂ−１）〜（Ｂ−３）の説明においては、個々のグレーティング及び湾曲光導波路を区別して、より詳細に説明する。
【００３４】
（Ａ−１）基板等
基板１２は、下地１２１と、下地１２１の表面１２１ａ上に積層された下部クラッド１２２とから構成されている。
【００３５】
下地１２１は、矩形状あるいは円形状の平行平板であり、この実施の形態に示す例では、好ましくは、例えばＳｉを材料とする。下地１２１の第１主面１２ａに対して垂直に測った長さ（厚み）には、特に限定はないが、この実施の形態に示す例では、好ましくは、例えば約５００μｍとする。
【００３６】
下部クラッド１２２は、矩形状あるいは円形状の平行平板であり、光を伝播する第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３に対して、上部クラッド１２３と相俟ってクラッドとして機能する。下部クラッド１２２は、この実施の形態に示す例では、好ましくは、例えばＳｉＯ２を材料とする。下部クラッド１２２の第１主面１２ａに垂直に測った長さ（厚み）は、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を伝播する光が下地１２１に放射されないだけの厚みとすることが好ましく、この実施の形態に示す例では、好ましくは、例えば約１μｍとする。
【００３７】
下部クラッド１２２の厚みを１μｍ以上とすることにより、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３から下地１２１への光の漏れ出しを低減することができる。その結果、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を伝播する光の下地１２１への漏れ出しによる損失を実用上充分なレベルで抑えることが可能となる。
【００３８】
基板１２の第１主面１２ａ、すなわち下部クラッド１２２の表面には、光導波路から構成される第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３が形成されている。そして、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を被覆して、第１主面１２ａの全面には上部クラッド１２３が形成されている。
【００３９】
上部クラッド１２３は、平面形状が矩形状の略平行平板であり、下部クラッド１２２と相俟って、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３に対するクラッドとして機能する。上部クラッド１２３は、下部クラッド１２２と同じ材料、すなわちＳｉＯ２を材料として形成されている。上部クラッド１２３の第１主面１２ａから測った厚みには、特に限定はないが、この実施の形態に示す例では、好ましくは約２μｍとする。
【００４０】
この実施の形態に示す例では、下部及び上部クラッド１２２及び１２３を構成する材料としてＳｉＯ２を用いた場合について説明した。しかし、下部及び上部クラッド１２２及び１２３を構成する材料は、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を構成する材料よりも屈折率が２以上小さいことを条件として、種々の材料を用いることができる。下部及び上部クラッド１２２及び１２３を構成する材料としては、例えば、各種の樹脂、ガラス、石英等が好適である。これらは下地１２１にも使用可能である。
【００４１】
（Ａ−２）グレーティング
図１〜図３を参照すると、グレーティングＧ，Ｇ，・・は、回折格子Ｋが形成された光導波路であり、互いに平行に配置されている。グレーティングＧ，Ｇ，・・は、（１）第１主面１２ａに垂直な方向から第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３へと入射する入射光を第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３内部に結合する機能、（２）第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３内部に結合された光を伝播する光導波路としての機能、及び（３）第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３内を伝播する共振光を第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３の外部へ出射光として、第１主面に垂直な方向に出射する機能を有している。
【００４２】
図４を参照すると、グレーティングＧ，Ｇ，・・は、長尺な直方体状に形成されていて、長手方向に沿って光を伝播する。グレーティングＧ，Ｇ，・・は、回折格子Ｋの形状を含めて、互いに等しい形状に形成されている。また、グレーティングＧ，Ｇ，・・は、それぞれの光伝播方向、すなわち長手方向が互いに平行となるように、並列して配置されている。
【００４３】
グレーティングＧ，Ｇ，・・は、下部クラッド１２２及び上部クラッド１２３よりも屈折率が高い材料から構成されている。この実施の形態に示す例では、グレーティングＧ，Ｇ，・・を構成する材料は、好ましくは、例えばＳｉとする。
【００４４】
図５を参照すると、グレーティングＧ，Ｇ，・・の光伝播方向に直交する横断面形状は、第１主面１２ａに平行な辺の長さ（以降、「幅」と称する。）が第１主面１２ａに垂直な辺の長さ（以降、「厚み」と称する。）よりも長い矩形状である。つまり、グレーティングＧ，Ｇ，・・は、幅Ｄ１が厚みＨ１よりも長い。
【００４５】
この実施の形態に示す例では、グレーティングＧ，Ｇ，・・の幅Ｄ１は、好ましくは、例えば約１μｍとする。また、グレーティングＧ，Ｇ，・・において、回折格子Ｋの最厚部で測った厚みＨ１は、好ましくは、例えば、約０．３μｍとする。
【００４６】
グレーティングＧ，Ｇ，・・の幅Ｄ１を１μｍ以上とすることにより、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３に対する入射光の受光面積を広くすることができる。その結果、より多くの入射光を第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３に対して結合させることができる。
【００４７】
また、グレーティングＧ，Ｇ，・・の厚みＨ１を０．３μｍとすることにより、グレーティングＧ，Ｇ，・・内を伝播する光をシングルモードとすることができる。その結果、高次モード光発生による光の損失を低減することができる。
【００４８】
また、グレーティングＧ，Ｇ，・・の光伝播方向に沿った全長Ｌ（図４参照）には、特に限定はないが、この実施の形態に示す例では、好ましくは、例えば約１０μｍとする。
【００４９】
グレーティングＧ，Ｇ，・・の全長Ｌを１０μｍ以上とすることにより、実用上充分な強度の出射光を第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３から出射させることができる。
【００５０】
また、グレーティングＧ，Ｇ，・・の間隔、すなわち、互いに隣り合ったグレーティングＧ及びＧの中心線間の距離Ｅ（図１参照）は、後述する湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の曲率半径により主に決定される。湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の曲率半径については後述する。隣接するグレーティングＧ及びＧ間の距離Ｅは、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の許容できる最少の曲率半径（約１μｍ）の２倍である２μｍ以上とすることが好ましい。
【００５１】
この実施の形態に示す例では、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の材料としてＳｉを用いた場合について説明したが、グレーティングＧ，Ｇ，・・・を構成する材料は、ＴｉＯ、ＺｎＯ、Ｔａ２Ｏ５等の屈折率が３以上の材料を用いてもよい。後述する湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・Ｗａ及びテーパ状光導波路Ｔ，Ｔ，・・・を構成する材料についても同様であり、グレーティングＧ，Ｇ，・・・と同じ材料であることを条件として、ＴｉＯ、ＺｎＯ、Ｔａ２Ｏ５等を用いてもよい。
【００５２】
この実施の形態に示す例では、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の幅Ｄ１が１μｍの場合について説明したが、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の幅Ｄ１はこの値には限定されない。幅Ｄ１は、０．３〜３μｍの範囲の値で、設計に応じて好適な値を選択することができる。幅Ｄ１が０．３μｍよりも小さいと、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の受光面積が狭くなるために好ましくない。また、幅Ｄ１が３μｍよりも大きいと、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・やテーパ状光導波路Ｔ，Ｔ，・・・のサイズを大きくする必要が生じ、光共振器が大型化するために好ましくない。
【００５３】
（Ａ−３）回折格子
図６を参照すると、回折格子Ｋは、レリーフ型回折格子であり、グレーティングＧ，Ｇ，・・の上面Ｇａに形成された凹凸として構成されている。
【００５４】
この凹凸は、上面Ｇａにおいて、光の伝播方向（図中矢印Ａ１）に直交する方向に延在する凹溝Ｋａ及び凸条Ｋｂとして形成されており、及び、光の伝播方向に沿った方向に関しては、この凹溝Ｋａ及び凸条Ｋｂが周期Λで規則的に反復して配置されている。
【００５５】
この凹溝Ｋａ及び凸条Ｋｂの周期Λは、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・を伝播する光が感じる等価屈折率をＮｅｆｆとし、及びこの光の真空中における波長をλとしたときに、Λ＝λ／Ｎｅｆｆとすることが好ましい。周期Λをこの値とすることにより、第１主面１２ａに垂直な方向から第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３に入射する波長λの入射光を、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３に結合し、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３内を伝播する光へと変換することができる。
【００５６】
なお、この周期Λは、非特許文献１に開示されているグレーティングの周期の約２倍の大きさである。このように回折格子Ｋの周期Λが、非特許文献１のグレーティングよりも大きくなる結果、この実施の形態の第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３は、非特許文献１のグレーティングよりも容易に作成できる。
【００５７】
また、グレーティングＧの凹凸の厚み方向における高さｈは、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３内部での光の共振強度に関係している。より詳細には、高さｈが小さいほど、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３への入射光の結合効率が小さくなる。これは、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３内部での光の共振強度が大きくなること、つまり、出射光の強度が増加することを意味する。
【００５８】
波長λが約１μｍの光を第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３により共振させて、実用上充分な強度の出射光を得るためには、厚み方向における高さｈを、好ましくは、例えば約３０ｎｍとし、及び、周期Λを、好ましくは、例えば約３８０ｎｍとする。
【００５９】
なお、この実施の形態に示す例では、回折格子Ｋがレリーフ型回折格子の場合について説明したが、回折格子Ｋは、屈折率変調型の回折格子であってもよい。
【００６０】
（Ａ−４）湾曲光導波路
湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａは、テーパ状光導波路Ｔ，Ｔ・・・を介して、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の端部同士を一定の規則で光接続する湾曲した光導波路である。なお、この「一定の規則」については、後述する（Ｂ−１）〜（Ｂ−３）の項でより詳細に説明する。
【００６１】
湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａは、基板１２の第１主面１２ａ内に設けられた湾曲した光導波路である。湾曲光導波路Ｗ，Ｗ・・・，Ｗａは、グレーティングＧ，Ｇ，・・・及びテーパ状光導波路Ｔ，Ｔ，・・・と同材料で一体的に形成されている。
【００６２】
湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａは、下部クラッド１２２及び上部クラッド１２３よりも屈折率が高い材料から構成されている。この実施の形態に示す例では、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａを構成する材料は、グレーティングＧ，Ｇ，・・・及びテーパ状光導波路Ｔ，Ｔ，・・・と同様に、Ｓｉとする。
【００６３】
図７を参照すると、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａの光伝播方向に直交する横断面形状は、互いに等しく形成されている。すなわち、全ての湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａは、幅がＤ２及び厚みがＨ２の矩形状の断面を有している。
【００６４】
この実施の形態に示す例では、幅Ｄ２及び厚みＨ２は、好ましくは、例えば、それぞれ約０．３μｍとする。幅Ｄ２及び厚みＨ２をこの値とすることにより、Ｓｉ製の湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａをシングルモード光導波路とすることができる。その結果、高次モード発生に伴い生じる光の強度損失を、実用上充分なレベルで低減することができる。
【００６５】
湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａの内、Ｗａ（図１）を除く湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・は、平面形状が等しく形成されている。すなわち、これらの湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の曲率半径Ｒ（図１参照）は互いに等しい。
【００６６】
この実施の形態に示す例では、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の曲率半径Ｒは、好ましくは、例えば約１μｍとする。曲率半径Ｒを１μｍ以上とすることにより、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・を伝播する光の放射による強度ロスを、実用上充分なレベルで低減することができる。
【００６７】
湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・，Ｗａの内、図１に示した湾曲光導波路Ｗａは、最も離間して配置されているグレーティングＧ及びＧとの間を接続しているので、曲率半径が上述したＲよりも大きくなっている。
【００６８】
（Ａ−５）テーパ状光導波路
図８を参照すると、テーパ状光導波路Ｔ，は、湾曲光導波路Ｗと、グレーティングＧとの間に設けられた、平面形状が略２等辺三角形状の光導波路である。そして、この２等辺三角形の底辺側がグレーティングＧの端部ＧＲに一体的に接続されている。また、２等辺三角形の頂点側が湾曲光導波路Ｗに一体的に接続されている。
【００６９】
テーパ状光導波路Ｔは、湾曲光導波路ＷとグレーティングＧとの間の接続部をテーパ状に滑らかに接続している。その結果、光導波路の幅が階段状に変化するように接続部を形成した場合に比較して、接続部における光の回折による損失を低減することができる。
【００７０】
テーパ状光導波路Ｔは、グレーティングＧ側から湾曲光導波路Ｗ側に向かうにつれて、横断面の幅方向の寸法が徐々に縮小するように形成されている。テーパ状光導波路Ｔは、湾曲光導波路Ｗ及びグレーティングＧと同じ厚みを有しており、及び、幅が線形的に湾曲光導波路Ｗの幅Ｄ２からグレーティングＧの幅Ｄ１まで徐々に変化する。
【００７１】
テーパ状光導波路Ｔの光伝播方向に沿った長さは、回折による光の損失を防ぐためには、好ましくは例えば、約１μｍ以上の長さとする。
【００７２】
（Ｂ）第１〜第３光ユニット
続いて、図９〜図１１を参照して、第１〜第３光ユニットについて、詳細に説明する。図９は、第１光ユニットの構造を概略的に示す平面図である。図１０は、第２光ユニットの構造を概略的に示す平面図である。図１１は、第３光ユニットの構造を概略的に示す平面図である。
【００７３】
（Ｂ−１）第１光ユニット
図９を参照すると、第１光ユニットＵ１は、両端部にテーパ状光導波路Ｔ１Ｒ〜Ｔ２ｎＲ，Ｔ１Ｌ〜Ｔ２ｎＬ（ｎは１以上の整数）が接続された第１〜第２ｎグレーティングＧ１〜Ｇ２ｎが第１〜第２ｎ湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｎにより光接続されることで形成された、１個の無終端のリング状光共振器である。
【００７４】
第１〜第２ｎ湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｎは、第１〜第２ｎグレーティングＧ１〜Ｇ２ｎ間を、以下に示す３種類の規則に従って光接続している。
【００７５】
（第１規則）
第１光ユニットＵ１において、第２ｉ−１グレーティングＧ２ｉ−１と第２ｉグレーティングＧ２ｉ（ｉは１〜ｎの整数）の互いに隣接する一方の端部Ｇ２ｉ−１Ｒ及びＧ２ｉＲ同士は第２ｉ−１湾曲光導波路Ｗ２ｉ−１により光接続されている。
【００７６】
以下、ｉ＝１，２及びｎの場合を例示して、より具体的に説明する。
【００７７】
図９を参照すると、ｉ＝１の場合には、第１グレーティングＧ１（２ｉ−１＝２×１−１）の一方の端部Ｇ１Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ１Ｒと、この一方の端部Ｇ１Ｒに隣接する第２グレーティングＧ２（２ｉ＝２×１）の一方の端部Ｇ２Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２Ｒとは、第１湾曲光導波路Ｗ１（２ｉ−１＝２×１−１）により光接続されている。
【００７８】
ｉ＝２の場合には、第３グレーティングＧ３（２ｉ−１＝２×２−１）の一方の端部Ｇ３Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ３Ｒと、この一方の端部Ｇ３Ｒに隣接する第４グレーティングＧ４（２ｉ＝２×２）の一方の端部Ｇ４Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ４Ｒとは、第３湾曲光導波路Ｗ３（２ｉ−１＝２×２−１）により光接続されている。
【００７９】
同様に、ｉ＝ｎの場合には、第２ｎ−１グレーティングＧ２ｎ−１の一方の端部Ｇ２ｎ−１Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｎ−１Ｒと、この一方の端部Ｇ２ｎ−１Ｒに隣接する第２ｎグレーティングＧ２ｎの一方の端部Ｇ２ｎＲに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｎＲとは、第２ｎ−１湾曲光導波路Ｗ２ｎ−１により光接続されている。
【００８０】
（第２規則）
第１光ユニットＵ１において、ｎ≧２の場合、すなわちグレーティングの総本数が４本以上の場合には、第２ｋグレーティングＧ２ｋと、第２ｋ＋１グレーティングＧ２ｋ＋１（ｋは１〜ｎ−１の整数）の互いに隣接する他方の端部Ｇ２ｋＬ及びＧ２ｋ＋１Ｌ同士は第２ｋ湾曲光導波路Ｗ２ｋにより光接続されている。
【００８１】
以下、ｋ＝１，２及びｎ−１の場合を例示して、より具体的に説明する。
【００８２】
図９を参照すると、ｋ＝１の場合には、第２グレーティングＧ２（２ｋ＝２×１）の他方の端部Ｇ２Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２Ｌと、この他方の端部Ｇ２Ｌに隣接する第３グレーティングＧ３（２ｋ＋１＝２×１＋１）の他方の端部Ｇ３Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ３Ｌとは、第２湾曲光導波路Ｗ２（２ｋ＝２×１）により光接続されている。
【００８３】
ｋ＝２の場合には、第４グレーティングＧ４（２ｋ＝２×２）の他方の端部Ｇ４Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ４Ｌと、この他方の端部Ｇ４Ｌに隣接する第５グレーティングＧ５（２ｋ＋１＝２×２＋１）の他方の端部Ｇ５Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ５Ｌとは、第４湾曲光導波路Ｗ４（＝２×２）により光接続されている。
【００８４】
同様に、ｋ＝ｎ−１の場合には、第２ｎ−２グレーティングＧ２ｎ−２の他方の端部Ｇ２ｎ−２Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｎ−２Ｌと、この他方の端部Ｇ２ｎ−２Ｌに隣接する第２ｎ−１グレーティングＧ２ｎ−１の他方の端部Ｇ２ｎ−１Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｎ−１Ｌとは、第２ｎ−２湾曲光導波路Ｗ２ｎ−２により光接続されている。
【００８５】
（第３規則）
第１光ユニットＵ１において、第１グレーティングＧ１と第２ｎグレーティングＧ２ｎの他方の端部Ｇ１Ｌ及びＧ２ｎＬ同士は、第２ｎ湾曲光導波路Ｗ２ｎにより光接続されている。
【００８６】
図９を参照すると明らかなように、第１グレーティングＧ１の他方の端部Ｇ１Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ１Ｌと、第２ｎグレーティングＧ２ｎの他方の端部Ｇ２ｎＬに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｎＬとは、第２ｎ湾曲光導波路Ｗ２ｎにより光接続されている。
【００８７】
なお、第２ｎ湾曲光導波路Ｗ２ｎは、最も離間して配置されている第１及び第２ｎグレーティングＧ１及びＧ２ｎ間を接続しているので、他の第１〜第２ｎ−１湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｎ−１よりも曲率半径Ｒが大きく形成されている。第２ｎ湾曲光導波路Ｗ２ｎは、（Ａ）項で既に説明した湾曲光導波路Ｗａに対応する。
【００８８】
（Ｂ−２）第２光ユニット
図１０を参照すると、第２光ユニットＵ２は、両端部にテーパ状光導波路Ｔ１Ｒ〜Ｔ２ｎＲ，Ｔ１Ｌ〜Ｔ２ｎＬが接続された第１〜第２ｎグレーティングＧ１〜Ｇ２ｎが第１〜第２ｎ−１湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｎ−１により光接続されることで形成された、終端を有する光共振器である。
【００８９】
すなわち、第２光ユニットＵ２は、第１光ユニットＵ１の２ｎ個の第１〜第２ｎ湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｎの中から任意に選ばれた１個の湾曲導波路を非接続状態としたものである。
【００９０】
より詳細には、第２ｉ−１湾曲光導波路Ｗ２ｉ−１、第２ｋ湾曲光導波路Ｗ２ｋ及び第２ｎ湾曲光導波路Ｗ２ｎで構成される２ｎ個の湾曲光導波路の中から任意に選択された１個の湾曲光導波路を取り除いたものである。
【００９１】
ここで、「非接続状態」とは、第ｔ湾曲光導波路Ｗｔ（ｔは１〜２ｎの整数）が取り除かれて、第ｔ湾曲光導波路Ｗｔが接続されていた２本のグレーティングの端部が開放された状態を示す。
【００９２】
この実施の形態に示す例では、第１グレーティングＧ１と第２ｎグレーティングＧ２ｎとを接続していた第２ｎ湾曲光導波路Ｗ２ｎが非接続状態とされている。
【００９３】
より詳細には、第１グレーティングＧ１の他方の端部Ｇ１Ｌに接続されているテーパ状光導波路Ｔ１Ｌの端部Ｔ１Ｌａと、第２ｎグレーティングＧ２ｎの他方の端部Ｇ２ｎＬに接続されているテーパ状光導波路Ｔ２ｎＬの端部Ｔ２ｎＬａが開放されている。
【００９４】
そして、これらの開放された端部Ｔ１Ｌａ及びＴ２ｎＬａには、第２光ユニットＵ２内を伝播する光を反射する反射膜Ｒｅ１及びＲｅ２が設けられている。
【００９５】
（Ｂ−３）第３光ユニット
図１１を参照すると、第３光ユニットＵ３は、両端部にテーパ状光導波路Ｔ１Ｒ〜Ｔ２ｍ＋１Ｒ，Ｔ１Ｌ〜Ｔ２ｍ＋１Ｌ（ｍは１以上の整数）が接続された第１〜第２ｍ＋１グレーティングＧ１〜Ｇ２ｍ＋１が第１〜第２ｍ湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｍにより光接続されることで形成された、終端を有する光共振器である。
【００９６】
第１〜第２ｍ湾曲光導波路Ｗ１〜Ｗ２ｍは、第１〜第２ｍ＋１グレーティングＧ１〜Ｇ２ｍ＋１間を、以下に示す２種類の規則に従って光接続している。
【００９７】
（第１規則）
第３光ユニットＵ３において、第２ｊ−１グレーティングＧ２ｊ−１と第２ｊグレーティングＧ２ｊ（ｊは１〜ｍの整数）の互いに隣接する一方の端部Ｇ２ｊ−１Ｒ及びＧ２ｊＲ同士は第２ｊ−１湾曲光導波路Ｗ２ｊ−１により光接続されている。
【００９８】
以下、ｊ＝１，２及びｍの場合を例示して、より具体的に説明する。
【００９９】
図１１を参照すると、ｊ＝１の場合には、第１グレーティングＧ１（２ｊ−１＝２×１−１）の一方の端部Ｇ１Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ１Ｒと、この一方の端部Ｇ１Ｒに隣接する第２グレーティングＧ２（２ｊ＝２×１）の一方の端部Ｇ２Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２Ｒとは、第１湾曲光導波路Ｗ１（２ｊ−１＝２×１−１）により光接続されている。
【０１００】
ｊ＝２の場合には、第３グレーティングＧ３（２ｊ−１＝２×２−１）の一方の端部Ｇ３Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ３Ｒと、この一方の端部Ｇ３Ｒに隣接する第４グレーティングＧ４（２ｊ＝２×２）の一方の端部Ｇ４Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ４Ｒとは、第３湾曲光導波路Ｗ３（２ｊ−１＝２×２−１）により光接続されている。
【０１０１】
同様に、ｊ＝ｍの場合には、第２ｍ−１グレーティングＧ２ｍ−１の一方の端部Ｇ２ｍ−１Ｒに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｍ−１Ｒと、この一方の端部Ｇ２ｍ−１Ｒに隣接する第２ｍグレーティングＧ２ｍの一方の端部Ｇ２ｍＲに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｍＲとは、第２ｍ−１湾曲光導波路Ｗ２ｍ−１により光接続されている。
【０１０２】
（第２規則）
第３光ユニットＵ３において、第２ｊグレーティングＧ２ｊと、第２ｊ＋１グレーティングＧ２ｊ＋１の互いに隣接する他方の端部Ｇ２ｊＬ及びＧ２ｊ＋１Ｌ同士は第２ｊ湾曲光導波路Ｗ２ｊにより光接続されている。
【０１０３】
以下、ｊ＝１，２及びｍの場合を例示して、より具体的に説明する。
【０１０４】
図１１を参照すると、ｊ＝１の場合には、第２グレーティングＧ２（２ｊ＝２×１）の他方の端部Ｇ２Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２Ｌと、この他方の端部Ｇ２Ｌに隣接する第３グレーティングＧ３（２ｊ＋１＝２×１＋１）の他方の端部Ｇ３Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ３Ｌとは、第２湾曲光導波路Ｗ２（２ｊ＝２×１）により光接続されている。
【０１０５】
ｊ＝２の場合には、第４グレーティングＧ４（２ｊ＝２×２）の他方の端部Ｇ４Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ４Ｌと、この他方の端部Ｇ４Ｌに隣接する第５グレーティングＧ５（２ｊ＋１＝２×２＋１）の他方の端部Ｇ５Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ５Ｌとは、第４湾曲光導波路Ｗ４（２ｊ＝２×２）により光接続されている。
【０１０６】
同様に、ｊ＝ｍの場合には、第２ｍグレーティングＧ２ｍの他方の端部Ｇ２ｍＬに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｍＬと、この他方の端部Ｇ２ｍＬに隣接する第２ｍ＋１グレーティングＧ２ｍ＋１の他方の端部Ｇ２ｍ＋１Ｌに接続されたテーパ状光導波路Ｔ２ｍ＋１Ｌとは、第２ｍ湾曲光導波路Ｗ２ｍにより光接続されている。
【０１０７】
すなわち、第３光ユニットＵ３では、第１グレーティングＧ１の他方の端部Ｇ１Ｌに接続されているテーパ状光導波路Ｔ１Ｌの端部Ｔ１Ｌａと、第２ｍ＋１グレーティングＧ２ｍ＋１の一方の端部Ｇ２ｍ＋１Ｒに接続されているテーパ状光導波路Ｔ２ｍ＋１Ｒの端部Ｔ２ｍ＋１Ｒａが開放されている。
【０１０８】
そして、これらの開放された端部Ｔ１Ｌａ及びＴ２ｍ＋１Ｒａには、第３光ユニットＵ２内を伝播する光を反射する反射膜Ｒｅ１及びＲｅ２が設けられている。
【０１０９】
（Ｃ）光共振器の種々の態様
続いて、図１２〜図１４を参照して、（Ｂ）項で既に説明した第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を種々に組み合わせることで構成される第１光回路ＬＣ１を備えた光共振器１について説明する。なお、以下の説明において、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３を総称する場合には、単に「光ユニットＵ」と称することもある。
【０１１０】
図１２（Ａ）〜図１４（Ｂ）は、第１〜第６の態様の光共振器１の概略的な構造を示す平面図である。なお、図１２（Ａ）〜図１４（Ｂ）において、図１〜図３と同一の構成要素には同符号を付してその説明を省略することがある。
【０１１１】
また、図１２（Ａ）〜図１４（Ｂ）においては、光共振器１を構成する第１光回路ＬＣ１のみを抜き出して示してある。つまり、基板等の図示を省略している。
【０１１２】
第１光回路ＬＣ１は、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３からなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットＵを備えていて、第１光回路ＬＣ１に含まれる光ユニットＵの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットＵに属するグレーティングと、他方の光ユニットＵに属するグレーティングとが平行に配置されている。
【０１１３】
（Ｃ−１）第１態様
図１２（Ａ）を参照して、光共振器１の第１態様について説明する。
【０１１４】
この光共振器１は、２ｎ＝２である４個の第１光ユニットＵ１Ａ，Ｕ１Ｂ，Ｕ１Ｃ，Ｕ１Ｄが平行に配置された第１光回路ＬＣ１を備えている。
【０１１５】
すなわち、２ｎ＝２であることから、第１光回路ＬＣ１を構成する第１光ユニットＵ１Ａ，Ｕ１Ｂ，Ｕ１Ｃ，Ｕ１Ｄは、それぞれ第１及び第２グレーティングＧ１及びＧ２を備えている。
【０１１６】
第１光回路ＬＣ１を構成する光ユニットＵの個数が４個であることから、第１光ユニットＵ１Ａ，Ｕ１Ｂ，Ｕ１Ｃ，Ｕ１Ｄに含まれる全てのグレーティングは互いに平行に配置されている。
【０１１７】
（Ｃ−２）第２態様
図１２（Ｂ）を参照して、光共振器１の第２態様について説明する。
【０１１８】
この光共振器１は、２ｎ＝２である２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂを有する第１光回路ＬＣ１を備えている。
【０１１９】
すなわち、２ｎ＝２であることから、第１光回路ＬＣ１を構成する第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂは、それぞれ第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１，Ｇ１Ｂ１及びＧ１Ａ２，Ｇ１Ｂ２を備えている。
【０１２０】
第１光ユニットＵ１Ａと第２光ユニットＵ１Ｂとは、言わば同心円状に配置されている。つまり、第１光ユニットＵ１Ａが内側に配置され、第１光ユニットＵ１Ｂが、第１光ユニットＵ１Ａを内部に包含するように外側に配置されている。
【０１２１】
この態様の光共振器１は、第１光ユニットＵ１ＡとＵ１Ｂとの共振器長が異なっているために、異なる２種類の波長の光を共振する。
【０１２２】
この態様では、第１光回路ＬＣ１を構成する光ユニットＵの個数が２個であることから、第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂに含まれる全てのグレーティングは互いに平行に配置されている。
【０１２３】
この態様に示したように、第１光回路ＬＣ１の中心線Ｃ１に対して対称な位置に存在するグレーティングＧ１Ａ１とＧ１Ａ２及びＧ１Ｂ１とＧ１Ｂ２とを光接続すると、グレーティングＧ１Ａ１とＧ１Ａ２がそれぞれ受光する光量、及びグレーティングＧ１Ｂ１とＧ１Ｂ２がそれぞれ受光する光量を等しくすることができる。
【０１２４】
このようにグレーティングを配置することにより、光共振器１の入出力光のカップリング効率が高くなることが、入出力光ビームのオーバーラップ積分の計算結果から明かとなった。
【０１２５】
（Ｃ−３）第３態様
図１３（Ａ）を参照して、光共振器１の第３態様について説明する。
【０１２６】
この光共振器１は、２ｎ＝４である１個の第１光ユニットＵ１Ａを有する第１光回路ＬＣ１を備えている。
【０１２７】
すなわち、２ｎ＝４であることから、第１光回路ＬＣ１を構成する第１光ユニットＵ１Ａは、互いに平行に配置された第１〜第４グレーティングＧ１Ａ１〜Ｇ１Ａ４を備えている。
【０１２８】
（Ｃ−４）第４態様
図１３（Ｂ）を参照して、光共振器１の第４態様について説明する。
【０１２９】
この光共振器１は、２ｎ＝４である１個の第１光ユニットＵ１Ａと、２ｎ＝２である第２光ユニットＵ２Ａとを有する第１光回路ＬＣ１を備えている。
【０１３０】
ここで、第１光ユニットＵ１Ａは、（Ｃ−３）で説明した第１光ユニット（図１３（Ａ））と同様である。
【０１３１】
第２光ユニットＵ２Ａは、２ｎ＝２であることから、第１及び第２グレーティングＧ２Ａ１及びＧ２Ａ２を備えている。第１及び第２グレーティングＧ２Ａ１及びＧ２Ａ２の一方の端部Ｇ２Ａ１Ｒ及びＧ２Ａ２Ｒ同士を接続する第１湾曲光導波路Ｗ２Ａ１を備えている。そして、他方の端部Ｇ２Ａ１Ｌ及びＧ２Ａ２Ｌ同士は非接続状態とされ、それぞれに反射膜Ｒｅ１及びＲｅ２が設けられている。
【０１３２】
この態様では、第１光回路ＬＣ１を構成する光ユニットＵの個数が２個であることから、第１及び第２光ユニットＵ１Ａ及びＵ２Ａに含まれる全てのグレーティングは互いに平行に配置されている。
【０１３３】
（Ｃ−５）第５態様
図１４（Ａ）を参照して、光共振器１の第５態様について説明する。
【０１３４】
この光共振器１は、２ｎ＝２である１個の第１光ユニットＵ１Ａと、２ｍ＋１＝３である第３光ユニットＵ３Ａとを有する第１光回路ＬＣ１を備えている。
【０１３５】
ここで、第１光ユニットＵ１Ａは、（Ｃ−１）で説明した第１光ユニット（図１２（Ａ））と同様である。
【０１３６】
第３光ユニットＵ３Ａは、２ｍ＋１＝３であることから、互いに平行に配置された第１〜第３グレーティングＧ３Ａ１〜Ｇ３Ａ３を備えている。
【０１３７】
第３光ユニットＵ３Ａにおいては（Ｂ−３）項で既に説明した第１及び第２規則に従って、第１及び第２グレーティングＧ３Ａ１及びＧ３Ａ２の一方の端部Ｇ３Ａ１ＲとＧ３Ａ２Ｒ同士が、第１湾曲光導波路Ｗ３Ａ１で光接続されている。さらに、第２及び第３グレーティングＧ３Ａ２及びＧ３Ａ３の他方の端部Ｇ３Ａ２ＬとＧ３Ａ３Ｌ同士が、第２湾曲光導波路Ｗ３Ａ２で光接続されている。
【０１３８】
そして、第１グレーティングＧ３Ａ１の他方の端部Ｇ３Ａ１Ｌと、第３グレーティングの一方の端部Ｇ３Ａ３Ｒとが、非接続状態とされ、それぞれに反射膜Ｒｅ１及びＲｅ２が設けられている。
【０１３９】
この態様では、第１光回路ＬＣ１を構成する光ユニットＵの個数が２個であることから、第１及び第３光ユニットＵ１Ａ及びＵ３Ａに含まれる全てのグレーティングは互いに平行に配置されている。
【０１４０】
（Ｃ−６）第６態様
図１４（Ｂ）を参照して、光共振器１の第６態様について説明する。
【０１４１】
この光共振器１は、２ｎ＝２である１個の第１光ユニットＵ１Ａと、２ｎ＝２である第２光ユニットＵ２Ａと、２ｍ＋１＝３である第３光ユニットＵ３Ａとを有する第１光回路ＬＣ１を備えている。
【０１４２】
ここで、第１光ユニットＵ１Ａは、（Ｃ−１）で説明した第１光ユニット（図１２（Ａ））と同様である。第２光ユニットＵ２Ａは、（Ｃ−４）で説明した第２光ユニット（図１３（Ｂ））と同様である。また、第３光ユニットＵ３Ａは、（Ｃ−５）で説明した第３光ユニット（図１４（Ａ））と同様である。
【０１４３】
この態様では、第１光回路ＬＣ１を構成する光ユニットＵの個数が３個であることから、第１〜第３光ユニットＵ１Ａ〜Ｕ３Ａに含まれる全てのグレーティングは互いに平行に配置されている。
【０１４４】
（Ｃ−７）その他の変形例
（Ｃ−１）から（Ｃ−６）で説明した種々の態様は、あくまで、光共振器１の一実施例に過ぎない。
【０１４５】
例えば、第２光ユニットＵ２と第３光ユニットＵ３とを組み合わせた光共振器１、１個以上の第２光ユニットＵ２のみで構成されている光共振器１、及び１個以上の第３光ユニットＵ３のみで構成されている光共振器１も、この実施の形態の光共振器１の技術的な範囲に含まれる。
【０１４６】
（Ｄ）動作
次に、図１〜図３を参照して、光共振器１の動作について説明する。なお、動作の説明においては、個々のグレーティングＧ，Ｇ，・・・、及び個々の湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・，Ｗａを区別していない。
【０１４７】
図１〜３に示すように、基板１２の第１主面１２ａに対して垂直に光ユニットＵに入射する入射光Ｂｉｎは、グレーティングＧ，Ｇ，・・・に設けられた回折格子Ｋの作用により、グレーティングＧ，Ｇ，・・・内部を第１主面１２ａに平行に伝播する光Ｂへと変換される。そして、光Ｂは、グレーティングＧ，Ｇ，・・・、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・、及びテーパ状光導波路Ｔ，Ｔ・・・とからなる光ユニットＵ内部を伝播する。
【０１４８】
つまり、入射光Ｂｉｎは、図１に示した無終端の第１光ユニットＵ１においては、第１光ユニットＵ１内を周回する光Ｂへと変換される。
【０１４９】
また、入射光Ｂｉｎは、図２及び３に示した第２及び第３光ユニットＵ２及びＵ３においては、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の非接続状態とされた両端部に設けられた反射膜Ｒｅ１及びＲｅ２の間を往復して伝播する光Ｂへと変換される。
【０１５０】
光Ｂには、外部からグレーティングＧ，Ｇ，・・・に入射して光ユニットＵへと結合された光が、次々と足し合わされていく。その結果、光Ｂは徐々に強度を増していく。光ユニットＵ内部を伝播する光Ｂの強度は、入射光Ｂｉｎの中で光ユニットＵに結合された光の強度と、光ユニットＵから出射される出射光Ｂｏｕｔの強度とが等しくなるまで増加していく。
【０１５１】
これと同時に、光Ｂは、光ユニットＵを伝播する過程で、共振により波長選択を受ける。すなわち、光ユニットＵを１周周回（第１光ユニットＵ１）するか、又は１往復伝播（第２及び第３光ユニットＵ２及びＵ３）した後に位相が揃う条件（共振条件）を満たす波長の光Ｂのみが選択される。
【０１５２】
このようにして波長選択された光Ｂは、徐々に強度を強めながらユニットＵを伝播し、やがて、光ＢがグレーティングＧ，Ｇ，・・・に設けられた回折格子Ｋの作用より出射光Ｂｏｕｔとなり、光ユニットＵの外部へと第１主面１２ａに対して垂直に出射される。
【０１５３】
（Ｅ）効果
（Ｅ−１）
この実施の形態の光共振器１は、グレーティングＧ，Ｇ，・・・及び湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の個数を多くすることにより長い共振器長を確保することができる。その結果、出射光Ｂｏｕｔの波長分散を鋭くすることができる。
【０１５４】
（Ｅ−２）
この実施の形態の光共振器１の回折格子Ｋの周期Λは、既に説明したように非特許文献１で用いられるグレーティングの２倍の大きさである。よって、非特許文献１のグレーティングに比較して、回折格子Ｋの寸法誤差に対する許容度を大きくすることができる。その結果、光共振器１を従来よりも容易に作成することができる。
【０１５５】
（Ｅ−３）
この実施の形態の光共振器１は、湾曲光導波路Ｗ，Ｗ，・・・の光伝播方向に直交する横断面形状を調整することにより、ＴＥ波とＴＭ波の両偏波を結合することができる。その結果、光の利用効率が高まる。
【０１５６】
（Ｅ−４）
この実施の形態の光共振器１において、第１光回路ＬＣ１に含まれるグレーティングＧ，Ｇ，・・・を周期的に不等間隔で配置して超格子グレーティングを形成することができる。
【０１５７】
このように超格子グレーティングを形成することにより、等価屈折率の異なるＴＥ波とＴＭ波との両者を光共振器１に対して結合することができ、光の利用効率を高めることができる。
【０１５８】
両偏波を結合することができる超格子グレーティングを形成する場合には、波長がそれぞれλであるＴＥ波とＴＭ波の等価屈折率差をΔＮとし、ＴＥ波とＴＭ波の等価屈折率の単純平均をＮとしたときに、超格子グレーティングの周期をλΔＮ／（２Ｎ）２とすればよい。
【０１５９】
（実施の形態２）
図１５〜図１７を参照して、実施の形態２の光共振器について説明する。
【０１６０】
図１５（Ａ）〜図１６（Ｂ）は、第１〜第４の態様の光共振器２の概略的な構造を示す平面図である。図１７は、光共振器の共振特性の説明に供する特性図である。
【０１６１】
なお、図１５（Ａ）〜図１６（Ｂ）において、図１〜図３と同一の構成要素には同符号を付してその説明を省略することがある。
【０１６２】
また、図１５（Ａ）〜図１６（Ｂ）においては、光共振器２を構成する第１及び第２光回路ＬＣ１及びＬＣ２のみを抜き出して示してある。つまり、基板等の図示を省略している。
【０１６３】
（ａ）光共振器の概略的な説明
この実施の形態の光共振器２は、実施の形態１で説明した第１光回路ＬＣ１に加えて、第１〜第３光ユニットＵ１〜Ｕ３からなる群より選択された１種又は複数種の光ユニットＵからなる第２光回路ＬＣ２を、基板１２の第１主面１２ａにさらに備える。そして、第１光回路ＬＣ１に含まれる光ユニットＵのグレーティングＧと、第２光回路ＬＣ２に含まれる光ユニットＵのグレーティングＧとが交差して配置されている。
【０１６４】
なお、第２光回路ＬＣ２に含まれる光ユニットＵの合計数が２個以上の場合には、一方の光ユニットに属するグレーティングＧと、他方の光ユニットに属するグレーティングＧとは平行に配置されている。
【０１６５】
換言すれば、第２光回路ＬＣ２は、グレーティングＧ，Ｇ，・・・の延在方向（光伝播方向）が異なっている点を除いて、実質的に第１光回路ＬＣ１と同様に構成されている。
【０１６６】
（ｂ）光共振器の種々の態様
以下、光共振器２の幾つかの実施態様を例示する。
【０１６７】
（ｂ−１）第１態様
図１５（Ａ）及び図１７を参照して、光共振器２の第１態様について説明する。
【０１６８】
この光共振器２は、２ｎ＝２である１個の第１光ユニットＵ１Ａからなる第１光回路ＬＣ１と、同じく２ｎ＝２である１個の第１光ユニットＵ１Ｂからなる第２光回路ＬＣ２とを備えている。
【０１６９】
２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂは、（Ｃ−１）項で既に説明した第１光ユニットと同様の寸法と構造とを有しているので、その詳細な構造の説明は省略する。
【０１７０】
第１光回路ＬＣ１の第１光ユニットＵ１Ａは、第１グレーティングＧ１Ａ１及び第２グレーティングＧ１Ａ２を備えている。第２光回路ＬＣ２の第１光ユニットＵ１Ｂは、第１グレーティングＧ１Ｂ１及び第２グレーティングＧ１Ｂ２を備えている。
【０１７１】
光共振器２においては、基板１２の第１主面１２ａにおいて、第１光回路ＬＣ１に含まれる第１光ユニットＵ１Ａの第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１及びＧ１Ａ２と、第２光回路ＬＣ２に含まれる第１光ユニットＵ１Ｂの第１及び第２グレーティングＧ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２とが直交して配置されている。
【０１７２】
その結果、第１光回路ＬＣ１に属する第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１及びＧ１Ａ２と、第２光回路ＬＣ２に属する第１及び第２グレーティングＧ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２の交差領域においては、それぞれのグレーティングＧ１Ａ１，Ｇ１Ａ２，Ｇ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２の回折格子の格子溝が直角に交差することにより、格子状の格子溝が形成されている。
【０１７３】
次に、図１７を参照して、第１の態様の光共振器２の共振特性について説明する。図１７は、３次元ＦＤＴＤ（Ｆｉｎｉｔｅ  Ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ  Ｔｉｍｅ  Ｄｏｍａｉｎ）法でシミュレーションした第１の態様の光共振器２の共振特性図である。図１７において、縦軸は出力光の光強度（任意単位）を示し、横軸は波長（μｍ）を示す。
【０１７４】
シミュレーションは、以下に列記する条件の下で実施した。
【０１７５】
（条件１）第１の態様の光共振器２が大気中に存在していると仮定した。つまり、基板１２や上部クラッド１２３が存在しないと仮定した。
【０１７６】
（条件２）光共振器２の寸法及び材質は、実施の形態１で説明した寸法とした。すなわち、（１）第１及び第２光回路ＬＣ１及びＬＣ２は全てＳｉ製である。（２）グレーティングの全長を４μｍとし、グレーティングの幅を１μｍとし、及びグレーティングの高さを０．３μｍとした。（３）回折格子Ｋの周期を３８０ｎｍとし、及び回折格子の格子溝の高さを３０ｎｍとした。（４）湾曲光導波路Ｗの横断面寸法は、高さ０．３μｍ及び幅０．３μｍとした、及び湾曲光導波路Ｗの曲率半径は１μｍとした。（５）テーパ状光導波路の光伝播方向に沿った長さは１μｍとした。
【０１７７】
（条件３）波長が約０．９５〜１．０５μｍの白色光を入射光として、第１主面１２ａに垂直に光共振器２に入射させ、光共振器２から第１主面１２ａに対して垂直に出射された出射光の強度を測定するものとした。
【０１７８】
以上の条件でシミュレーションを行い図１７に示す結果を得た。図１７を参照すると、波長が約０．９９μｍにおいて、鋭い光強度ピークＰが存在する。この結果から、光共振器２が光共振器としての機能を果たしていることが確かめられた。
【０１７９】
（ｂ−２）第２態様
図１５（Ｂ）を参照して、光共振器２の第２態様について説明する。
【０１８０】
この光共振器２は、２ｎ＝２である２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂからなる第１光回路ＬＣ１と、同じく２ｎ＝２である２個の第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄからなる第２光回路ＬＣ２とを備えている。
【０１８１】
４個の第１光ユニットＵ１Ａ〜Ｕ１Ｄは、（Ｃ−１）項で既に説明した第１光ユニットと同様の寸法と構造とを有しているので、その詳細な構造の説明は省略する。
【０１８２】
第１光回路ＬＣ１の第１光ユニットＵ１Ａは、第１グレーティングＧ１Ａ１及び第２グレーティングＧ１Ａ２を備えている。第１光回路ＬＣ１の第１光ユニットＵ１Ｂは、第１グレーティングＧ１Ｂ１及び第２グレーティングＧ１Ｂ２を備えている。
【０１８３】
第１光回路ＬＣ１は、２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂを備えていることから、これらの第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂに含まれる第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１，Ｇ１Ａ２，Ｇ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２は、互いに平行に配置されている。
【０１８４】
第２光回路ＬＣ２の第１光ユニットＵ１Ｃは、第１グレーティングＧ１Ｃ１及び第２グレーティングＧ１Ｃ２を備えている。第２光回路ＬＣ２の第１光ユニットＵ１Ｄは、第１グレーティングＧ１Ｄ１及び第２グレーティングＧ１Ｄ２を備えている。
【０１８５】
第２光回路ＬＣ２は、２個の第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄを備えていることから、これらの第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄに含まれる第１及び第２グレーティングＧ１Ｃ１，Ｇ１Ｃ２，Ｇ１Ｄ１及びＧ１Ｄ２は、互いに平行に配置されている。
【０１８６】
光共振器２においては、基板１２の第１主面１２ａにおいて、第１光回路ＬＣ１に含まれる第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂの第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１，Ｇ１Ａ２，Ｇ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２と、第２光回路ＬＣ２に含まれる第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄの第１及び第２グレーティングＧ１Ｃ１，Ｇ１Ｃ２，Ｇ１Ｄ１及びＧ１Ｄ２とが直交して配置されている。
【０１８７】
（ｂ−３）第３態様
図１６（Ａ）を参照して、光共振器２の第２態様について説明する。
【０１８８】
この光共振器２は、２ｎ＝４である１個の第１光ユニットＵ１Ａからなる第１光回路ＬＣ１と、同じく２ｎ＝４である１個の第１光ユニットＵ１Ｂからなる第２光回路ＬＣ２とを備えている。
【０１８９】
２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂは、（Ｃ−３）項で既に説明した第１光ユニットと同様の寸法と構造とを有しているので、その詳細な構造の説明は省略する。
【０１９０】
第１光回路ＬＣ１の第１光ユニットＵ１Ａは、第１〜第４グレーティングＧ１Ａ１〜Ｇ１Ａ４を備えている。第２光回路ＬＣ２の第１光ユニットＵ１Ｂは、第１〜第４グレーティングＧ１Ｂ１〜Ｇ１Ｂ４を備えている。
【０１９１】
光共振器２においては、基板１２の第１主面１２ａにおいて、第１光回路ＬＣ１に含まれる第１光ユニットＵ１Ａの第１〜第４グレーティングＧ１Ａ１〜Ｇ１Ａ４と、第２光回路ＬＣ２に含まれる第１光ユニットＵ１Ｂの第１〜第４グレーティングＧ１Ｂ１〜Ｇ１Ｂ４とが直交して配置されている。
【０１９２】
（ｂ−４）第４態様
図１６（Ｂ）を参照して、光共振器２の第４態様について説明する。
【０１９３】
この光共振器２は、２ｎ＝２である、言わば同心円状に配置された２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂからなる第１光回路ＬＣ１と、同じく２ｎ＝２である、言わば同心円状に配置された２個の第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄからなる第２光回路ＬＣ２とを備えている。
【０１９４】
第１及び第２光回路ＬＣ１及びＬＣ２は、（Ｃ−２）項で既に説明した第１光回路と同様の寸法と構造とを有しているので、その詳細な構造の説明は省略する。
【０１９５】
第１光回路ＬＣ１の第１光ユニットＵ１Ａは、第１グレーティングＧ１Ａ１及び第２グレーティングＧ１Ａ２を備えている。第１光回路ＬＣ１の第１光ユニットＵ１Ｂは、第１グレーティングＧ１Ｂ１及び第２グレーティングＧ１Ｂ２を備えている。
【０１９６】
第１光回路ＬＣ１は、２個の第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂを備えていることから、これらの第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂに含まれる第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１，Ｇ１Ａ２，Ｇ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２は、互いに平行に配置されている。
【０１９７】
第２光回路ＬＣ２の第１光ユニットＵ１Ｃは、第１グレーティングＧ１Ｃ１及び第２グレーティングＧ１Ｃ２を備えている。第２光回路ＬＣ２の第１光ユニットＵ１Ｄは、第１グレーティングＧ１Ｄ１及び第２グレーティングＧ１Ｄ２を備えている。
【０１９８】
第２光回路ＬＣ２は、２個の第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄを備えていることから、これらの第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄに含まれる第１及び第２グレーティングＧ１Ｃ１，Ｇ１Ｃ２，Ｇ１Ｄ１及びＧ１Ｄ２は、互いに平行に配置されている。
【０１９９】
光共振器２においては、基板１２の第１主面１２ａにおいて、第１光回路ＬＣ１に含まれる第１光ユニットＵ１Ａ及びＵ１Ｂの第１及び第２グレーティングＧ１Ａ１，Ｇ１Ａ２，Ｇ１Ｂ１及びＧ１Ｂ２と、第２光回路ＬＣ２に含まれる第１光ユニットＵ１Ｃ及びＵ１Ｄの第１及び第２グレーティングＧ１Ｃ１，Ｇ１Ｃ２，Ｇ１Ｄ１及びＧ１Ｄ２とが直交して配置されている。
【０２００】
（ｂ−５）その他の変形例
（ｂ−１）から（ｂ−４）で説明した種々の態様は、あくまで、光共振器２の一実施例に過ぎない。
【０２０１】
例えば、第１光回路ＬＣ１に含まれる光ユニットＵのグレーティングＧと、第２光ユニットＬＣ２に含まれる光ユニットのグレーティングＧとが斜めに交差していてもよい。
【０２０２】
（ｃ）効果
以下、光共振器２の効果について説明する。
【０２０３】
（ｃ−１）
光共振器２は、実施の形態１の光共振器１に、第２光回路ＬＣ２を追加したものであるので、実施の形態１と同様の効果を奏する。
【０２０４】
（ｃ−２）
さらに光共振器２は、第１光回路ＬＣ１と第２光回路ＬＣ２とを直角に交差して配置しているので、偏波依存性を解消することができる。すなわち、入射光に含まれるＴＥ波及びＴＭ波の両偏波を光共振器２に結合することができる。結果として、光の利用効率が高まり、出射光の光強度を増加させることができる。
【符号の説明】
【０２０５】
１，２  光共振器
Ｕ１  第１光ユニット
Ｕ２  第２光ユニット
Ｕ３  第３光ユニット
ＬＣ１  第１光回路
ＬＣ２  第２光回路
Ｗ，Ｗａ  湾曲光導波路
Ｗ１〜Ｗ２ｎ  第１〜第２ｎ湾曲光導波路
Ｔ，Ｔ１Ｒ〜Ｔ２ｎＲ，Ｔ１Ｌ〜Ｔ２ｎＬ  テーパ状光導波路
１２  基板
１２ａ  第１主面
１２１  下地
１２１ａ  表面
１２２  下部クラッド
１２３  上部クラッド
Ｋ  回折格子
Ｋａ  凹溝
Ｋｂ  凸条
Ｇ  グレーティング
Ｇ１〜Ｇ２ｎ  第１〜第２ｎグレーティング
Ｇａ  上面
Ｇ１Ｒ〜Ｇ２ｎＲ  一方の端部
Ｇ１Ｌ〜Ｇ２ｎＬ  他方の端部
【図１】
2010175935.tif 000003
【図２】
2010175935.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2010175935.tif 000007
【図６】
2010175935.tif 000008
【図７】
2010175935.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2010175935.tif 000016
【図１５】
2010175935.tif 000017
【図１６】
2010175935.tif 000018
【図１７】
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