(57)【要約】【課題】送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を実現し、且つ高品質なレーザビームを得る。【解決手段】チャンバー２ａ，２ｂの形状として、放電手段（電極６ａ、７ａ、６ｂ，７ｂ、電源８）により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となる形状とし、前記レーザガスの流れの方向に沿って複数のチャンバー２ａ，２ｂの間に熱交換器３，４をそれぞれ配置し、レーザガスの流れの方向に沿って熱交換器３，４からチャンバー２ａ，２ｂへの間にレーザガス流路を開閉する弁１４ａ、１４ｂをそれぞれ設け、放電手段は交互に放電を行い、放電を行うチャンバーのレーザガス流路の上流側の弁を閉鎖し、且つ放電を行うチャンバーのレーザガス流路の下流側の弁を開放する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスを循環するレーザガス流路と、前記レーザガス流路に配置した複数のチャンバーと、前記複数のチャンバー内にそれぞれ配置した放電手段と、前記レーザガス流路に配置した複数の熱交換器を備え、前記チャンバーの形状として、前記放電手段により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となる形状とし、前記レーザガスの流れの方向に沿って前記複数のチャンバーの間に熱交換器をそれぞれ配置し、前記レーザガスの流れの方向に沿って前記熱交換器からチャンバーへの間にレーザガス流路を開閉する弁をそれぞれ設け、前記放電手段は交互に放電を行い、前記放電を行うチャンバーの前記レーザガス流路の上流側の弁を閉鎖し、且つ前記放電を行うチャンバーの前記レーザガス流路の下流側の弁を開放するガスレーザ発振装置。
【請求項２】
前記弁は、円周上に同心にレーザガス貫通孔を備えた円盤と、円盤をガス通過方向と垂直方向に回転させる軸から成ることを特徴とする請求項１記載のガスレーザ発振装置。
【請求項３】
前記弁は、ガス通過方向と垂直方向に回転する軸と、前記軸に備えられた蓋とから成る事を特徴とする請求項１記載のガスレーザ発振装置。
【請求項４】
前記レーザガスとして少なくともＣＯ２、窒素、ヘリウムを含む混合ガスを用い、前記放電の１周期を２０ｍｓｅｃ以下とする事を特徴とする請求項１から３の何れかに記載のガスレーザ発振装置。
【請求項５】
前記複数の放電空間を光学的に結合した光共振器を備えた事を特徴とする請求項１から４の何れかに記載のガスレーザ発振装置。
【請求項６】
前記複数の放電空間において、それぞれ単独で光共振器を形成させる事を特徴とする請求項１から４の何れかに記載のガスレーザ発振装置。
【請求項７】
レーザガスを循環するレーザガス流路と、前記レーザガス流路に配置した複数のチャンバーと、前記複数のチャンバー内にそれぞれ配置した放電手段と、前記レーザガス流路に配置した複数の熱交換器とを設け、前記チャンバーの形状として、前記放電手段により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となる形状とし、前記レーザガスの流れの方向に沿って前記複数のチャンバーの間に熱交換器をそれぞれ配置し、前記レーザガスの流れの方向に沿って前記熱交換器からチャンバーへの間にレーザガス流路を開閉する弁をそれぞれ設け、前記放電手段は交互に放電を行い、前記放電を行うチャンバーの前記レーザガス流路の上流側の弁を閉鎖し、且つ前記放電を行うチャンバーの前記レーザガス流路の下流側の弁を開放するガスレーザ発振装置を用い、ワークを載置するテーブルと、前記ガスレーザ発振装置から出力したレーザビームを前記ワークの方向に進行方向を変更する光学手段と、前記レーザビームを高密度のエネルギビームに集光する集光手段を内部に配置したトーチと、前記ワークとトーチを相対移動させる駆動手段を備えたガスレーザ加工機。
【請求項８】
前記弁は、円周上に同心にレーザガス貫通孔を備えた円盤と、円盤をガス通過方向と垂直方向に回転させる軸から成ることを特徴とする請求項７記載のガスレーザ加工機。
【請求項９】
前記弁は、ガス通過方向と垂直方向に回転する軸と、前記軸に備えられた蓋とから成る事を特徴とする請求項７記載のガスレーザ加工機。
【請求項１０】
前記レーザガスとして少なくともＣＯ２、窒素、ヘリウムを含む混合ガスを用い、前記放電の１周期を２０ｍｓｅｃ以下とする事を特徴とする請求項７から９の何れかに記載のガスレーザ加工機。
【請求項１１】
前記複数の放電空間を光学的に結合した光共振器を備えた事を特徴とする請求項７から１０の何れかに記載のガスレーザ加工機。
【請求項１２】
前記複数の放電空間において、それぞれ単独で光共振器を形成させる事を特徴とする請求項７から１０の何れかに記載のガスレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は主として板金等の加工用途に用いられるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図６に従来の軸流型ガスレーザ発振装置の概略構成の一例を示す。以下、図６を参照しながら従来の軸流型ガスレーザ発振装置を説明する。
【０００３】
この図に示す軸流型ガスレーザ発振装置は、ガラスなどの誘電体よりなる放電管１０１、前記放電管１０１の周辺に設けたリング状の電極１０２と１０３、前記電極１０２、１０３に接続した電源１０４、前記放電管１０１内の電極１０２、１０３間に挟まれた部分であり前記電源１０４から電極１０２、１０３に通電を行うことにより放電を行う放電空間１０５、全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７、前記部分反射鏡１０７より出力されるレーザビーム１０８、レーザガスの流れる方向の矢印１０９、レーザガス流路１１０、熱交換機１１１と１１２、送風手段１１３、レーザガス導入部１１４を備えている。
【０００４】
全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７は前記放電空間１０５の両端に位置するように前記放電管１０１を支持する構成部材に固定配置され、光共振器を形成している。
【０００５】
また、レーザガスは矢印１０９の方向にレーザガス流路１１０を流れ、レーザガス導入部１１４、放電管１０１内の放電空間１０５、熱交換機１１１、送風手段１１３、熱交換機１１２、レーザガス流路１１０の順に軸流型ガスレーザ発振装置の中を循環している。
【０００６】
前記熱交換機１１１および１１２は放電空間１０５における放電と送風手段１１３の内部に配置した送風機の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げる。送風手段１１３は放電空間１０５にて約１００ｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得るように送風している。レーザガス流路１１０と放電管１０１は、レーザガス導入部１１４で接続されている。
【０００７】
図７にレーザ加工機の概略構成の一例を示す。以下、図７を参照しながらレーザ加工機を説明する。
【０００８】
この図に於いて、上述した従来の軸流型ガスレーザ発振装置から出力したレーザビーム１０８をワーク１１６方向へ進行方向を反射鏡１１５で反射することにより変更し、トーチ１１７内部に備えられた集光レンズ１１８によって前記レーザビーム１０８を高密度のエネルギビームに集光して、ワーク１１６に照射する。
【０００９】
なお、ワーク１１６は加工テーブル１１９上に固定されており、トーチ１１７をＸ軸モータ１２０あるいはＹ軸モータ１２１によって、ワーク１１６に対して相対的に移動する事で、所定の形状の加工を行うように構成している。
【００１０】
このような従来の軸流型ガスレーザ発振装置では、送風手段１１３より送り出したレーザガスは、レーザガス流路１１０を通り、レーザガス導入部１１４より放電管１０１内へ導入される。この状態で電源１０４に接続された電極１０２、１０３から放電空間１０５に放電を発生させる。放電空間１０５内のレーザガスは、この放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡１０６および部分反射鏡１０７により形成された光共振器で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム１０８が出力される。このレーザビーム１０８がレーザ加工等の用途に用いられる。
【００１１】
さて、一般にレーザ発振を行うためには放電管１０１内のレーザガス温度が一定温度以下である必要がある。例えばＣＯ２ガスレーザの場合は、この温度が２００℃であり、ガス温度が２００℃を越えると、発振効率が急激に低下し、所定のレーザ出力が得られなくなる。
【００１２】
従来の軸流型レーザ発振装置では、送風手段１１０および熱交換器１１１、１１２がレーザガス温度を常時３０℃程度に保つために必要な構成要素である。レーザガスが放電管１０１内に送り込まれる時、レーザガス温度は約３０℃である。
【００１３】
そして放電が開始されると放電エネルギーによりレーザガス温度は上昇し、放電管を通過後、ガス温度は２００℃近くにまで上昇している。このレーザガスは熱交換器１１１を通過する事で約３０℃まで温度が下がる。送風手段１１３通過後、圧縮熱により再度１５０℃近くまでガス温度が上昇するが、再度、熱交換器１１２を通過し、約３０℃まで温度が下がる。
【００１４】
このレーザガスが再度、放電管１０１内へ導入される。レーザビームの出力が数ｋｗクラスのＣＯ２レーザ発振装置の場合、放電管１０１を通過するガス流速は数１００ｍ／ｓｅｃであり、レーザガスが放電管１０１内に留まっている時間は、わずか数ｍｓｅｃである。レーザガスがこれ以上の時間、放電管１０１内に留まると、温度上昇により２００℃を超え、急激な発振効率の低下が発生する事になる。
【００１５】
このように従来の軸流型ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機、特にレーザビームの出力が数ｋｗ以上の出力が得られるＣＯ２レーザ発振装置においては、送風手段１３を備える事は必須である。送風手段１３としては、一般的にルーツブロアやターボブロアが用いられる。例えばターボブロア関して説明すると、レーザ用ターボブロアには、レーザガスに直接作用する翼車回転部は清浄に保つために、駆動用の機器、例えば電動機などを潤滑するオイルから発生するオイルミストが存在する翼車駆動部とを空気力学的に分離するシール構造を用いている。
【００１６】
なお、上述した軸流型レーザ発振装置とは構成が異なるレーザ発振装置としては、送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を行う構成として、対向させた平行平板状の２枚の電極間に放電空間を設け、放電によるガス温度上昇を平行平板との接触による拡散冷却によって抑制するいわゆるスラブレーザと呼ばれるものもあった（例えば特許文献１，２参考）。
【００１７】
図８に従来のスラブレーザの概略構成の一例を示す。以下、図８を参照しながら従来のスラブレーザ発振装置を説明する。
【００１８】
図８に示す従来のスラブレーザは、平行平板からなる電極１０２と１０３を有し、図示しないが内部に絶縁処理を施したパイプ状の冷却水流路を設けていて、図示しない冷却水循環装置と接続している。
【００１９】
また電極１０２、１０３には電源１０４を接続しており、電極１０２、１０３に通電することにより、電極１０２、１０３の向かい合った空間を放電空間としている。
【００２０】
この放電空間に位置するレーザガスが放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡１０６および部分反射鏡１０７により形成された光共振器で共振状態となり、部分反射鏡１０７からレーザビーム１０８が出力される構成になっている。
【００２１】
なお、このスラブレーザでは拡散冷却の方法をとるため、冷却効率を上げるために平行平板からなる電極１０２、１０３間の距離を数ｍｍオーダーに設定する必要がある。
【００２２】
この場合、光共振器の空間も数ｍｍオーダーの平行平板間により制限されるので、光共振器は平行平板表面での反射を用いた導波路型になり、導波路での散乱による不純光発生により、おのずと光の質は低下する。レーザビーム１０８は質の悪い矩形でしか取り出せない。
【特許文献１】特開昭６３−１９２２８５号公報
【特許文献２】特開平８−９７４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
さて、上述した軸流型レーザ発振装置に用いるシール構造は、翼車の高速高精度回転による送風能力との両立が求められ、そのためレーザ用ターボブロアはおのずと高価な部品となり、装置の全材料費の数１０％を占める事から、イニシャルコスト低減の大きな阻害要因となっていた。
【００２４】
またブロアは翼車の回転のためモータを用いており、その消費電力はガスレーザ発振装置の全消費電力の数１０％を占めているため、消費電力を低減させランニングコストを抑制する上での大きな阻害要因となっていた。
【００２５】
一方、シール構造を用いない、すなわち、送風手段によるガス冷却方式を用いずにレーザガスを冷却する手段としては、いわゆるスラブレーザが存在するが、このスラブレーザはレーザの光の質が悪いという致命的な欠点がある。
【００２６】
レーザ光共振器の理想形は、折返し鏡での反射を一部介するものの、基本的に向かい合った１対のミラー表面での反射で光の定在波を形成する方式であり、いわゆる安定型共振器と呼ばれるものであり、最も良質な光を取り出す事が出来る。
【００２７】
図９は従来の軸流型ガスレーザ発振装置の光共振器部分を示した図であり、図９にしめしたように円錐対象形の質の良いレーザビーム１０８を取り出す事が可能である。
【００２８】
すなわち送風手段を用いずにレーザガスを冷却する事、および良質なレーザビームを取り出せる安定型共振器とを両立させる事が大きな課題となっていた。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明は、上記問題点を解決するために、レーザガスを循環するレーザガス流路と、前記レーザガス流路に配置した複数のチャンバーと、前記複数のチャンバー内にそれぞれ配置した放電手段と、前記レーザガス流路に配置した複数の熱交換器とを備え、前記チャンバーの形状として、前記放電手段により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となる形状とし、前記レーザガスの流れの方向に沿って前記複数のチャンバーの間に熱交換器をそれぞれ配置し、前記レーザガスの流れの方向に沿って前記熱交換器からチャンバーへの間にレーザガス流路を開閉する弁をそれぞれ設け、前記放電手段は交互に放電を行い、前記放電を行うチャンバーの前記レーザガス流路の上流側の弁を閉鎖し、且つ前記放電を行うチャンバーの前記レーザガス流路の下流側の弁を開放する。
【００３０】
この構成により、放電を行ったチャンバーの放電空間のレーザガスが加熱膨張し、レーザガス流路の上流側の弁が閉鎖されているので、レーザガスをレーザガス流路の下流側に押し出す。押し出されたレーザガスは熱交換器を経由して放電していないチャンバーに流れる。次に弁の開閉と放電が切り替えられ、レーザガスがレーザガス流路を循環していく。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に示す複数の放電空間での相互放電と同期した弁の開閉により、送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を容易に実現しながら、良質なレーザビームを取り出す事の出来る安定型共振器を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３３】
（実施の形態）
図１は本発明の実施の形態例におけるレーザ発振装置の構成図である。図１（ａ）はレーザビームの進行方向に対して直角方向の装置断面を示した図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ方向の装置断面を示した図である。
【００３４】
図に示すレーザ発振装置は、レーザガスを循環するレーザガス流路１を有し、このレーザガス流路１には、複数のチャンバー２ａ、２ｂと複数の熱交換器３、４とを、レーザガス流路１のレーザガス流れ５の順に交互に配置している。
【００３５】
チャンバー２ａ、２ｂ内には、電極６ａ、７ａ、電極６ｂ、７ｂをそれぞれ配置しており、これら電極６ａ、７ａ、６ｂ，７ｂは電源８に接続している。そして、電極６ａ、７ａ、６ｂ，７ｂ、電源８とで放電手段を構成している。
【００３６】
また、チャンバー２ａ、２ｂ内には、前記放電手段によってレーザガスに放電をおこなう空間である放電空間９ａ、９ｂをそれぞれ設けており、この放電空間９ａ、９ｂを光学的に挟むように全反射鏡１０と部分反射鏡１１を配置して光共振器を構成している。
【００３７】
なお、光共振器のチャンバー２ａと２ｂの物理的に離れた部分にはレーザビームのみを通すビーム経路１２を設けて、レーザビームがこのビーム経路１２を通るように折返し鏡１３をそれぞれのチャンバー２ａ、２ｂに配置している。
【００３８】
また、レーザガスの流れ５方向に沿って、熱交換器４からチャンバー２ａの間にレーザガス流路１を開閉する弁１４ａを配置し、同じくレーザガスの流れ５方向に沿って、熱交換器３からチャンバー２ｂの間にレーザガス流路１を開閉する弁１４ｂを配置している。
【００３９】
なお、チャンバー２ａ、２ｂの形状は、放電手段により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円形状となる寸法にしていて、例えば、略正方柱形状を横倒しした形状とし、放電手段からレーザガスに均一な放電が行われたときに放電手段により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となるようにしている。
【００４０】
なお、このチャンバー２ａ、２ｂの形状は、放電手段の電極６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂの形状がリング状のときには、円柱や長方柱を横倒しした形状としてもよく、更に、放電手段の電極６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂの形状が平板形状であっても、電極６ａ、６ｂと電極７ａ、７ｂの距離が電極の幅と略等しい場合には、円柱や長方柱を横倒しした形状としてもよい。
【００４１】
そして、放電手段（主として制御された電源４）はチャンバー２ａ、２ｂを交互に放電し、放電を行うチャンバー２ａ、２ｂのレーザガス流れ５の上流側の弁、チャンバー２ａが放電されるときは弁１４ａを閉鎖し、チャンバー２ｂが放電されるときには弁１４ｂを閉鎖する。
【００４２】
また、放電されていない方のチャンバーが、チャンバー２ｂの時には弁１４ｂを開放し、チャンバー２ａの時には弁１４ａを開放する。
【００４３】
本実施の形態のガスレーザ発振装置では、ＣＯ２、窒素、ヘリウムからなるレーザガスを用いる。
【００４４】
次に本装置の動作について説明する。
【００４５】
初期状態として、チャンバー２ａ、２ｂ内には圧力約２００Ｔｏｒｒ程度、３０℃程度の温度のレーザガスが封入されている。
【００４６】
まず弁１４ａは閉、弁１４ｂは開の状態で、放電手段（主として制御された電源４）により放電空間９ａに放電を行う。放電により放電空間９ａのレーザガスは温度上昇して膨張するので、チャンバー２ａ内の圧力が上昇する。
【００４７】
例えばレーザガス温度が３０℃から２００℃まで上昇すると、チャンバー内の圧力は約１．７倍に上昇し、２００Ｔｏｒｒから３４０Ｔｏｒｒまで上昇する。
【００４８】
弁１４ａが閉じているので、レーザガスの膨張に応じて、チャンバー２ａ内のレーザガスはレーザガス流路１を通って熱交換器３へ流れて行き、冷却された後、弁１４ｂが開いているので、もう一方のチャンバー２ｂへと導入される。
【００４９】
次に弁１４ａを開、弁１４ｂを閉とするタイミングに同期させて、放電手段（主として制御された電源４）により放電空間９ａの放電を消灯し、もう一方の放電空間９ｂを放電する。この事によりチャンバー２ｂ内のレーザガスは温度上昇して膨張し、チャンバー２ｂ内の圧力が上昇する。
【００５０】
弁１４ｂが閉じているので、レーザガスの膨張に応じて、チャンバー２ｂ内のレーザガスはレーザガス流路１を通って熱交換器４へと流れて行き、冷却された後、弁１４ａが開いているので、もう一方のチャンバー２ａへと導入される。
【００５１】
上記サイクル、すなわち放電空間９ａ、９ｂでの放電と、弁１４ａ、１４ｂの開閉を同期させる事で、２つのチャンバー２ａ、２ｂ内のレーザガスを相互に熱交換器３、４を通して冷却させながら循環させる事が出来る。
【００５２】
なお、放電空間９ａ、９ｂでの放電はそれぞれを見れば間欠的であるが、全反射鏡１０および部分反射鏡１１とで構成される光共振器の経路上においては、常に片方は放電がなされているため、光としては連続的に取り出すことが可能である。
【００５３】
またビーム経路１２自体はレーザガス流路１に比べると極めて小さいものであるため、この部分でのガスの行き来は無視出来る。
【００５４】
数ｋｗクラスのＣＯ２レーザの場合、放電による温度上昇とそれに伴う発振効率の低下を考慮すると、同一放電空間内にレーザガスが留まっていられる時間は、約２０ｍｓｅｃ以下である。よって放電の点弧および弁の開閉周期は、約２０ｍｓｅｃ以下である必要がある。
【００５５】
このような高速での開閉を可能とする弁１４ａ、１４ｂの形態を以下に説明する。
【００５６】
図２は本発明に用いる弁の一実施の形態例の構成を示すもので、図２（ａ）は上面部、図２（ｂ）は側面から見た図である。
【００５７】
図２において、円盤１５の円周上にガス貫通孔１６が等間隔に複数設けられている。円盤１５が軸１７により回転し、ガス貫通孔１６の位置がレーザガス流路１の位置と一致した時にのみ、レーザガスが流れるようになっている。
【００５８】
本構造により、数ｍｓｅｃオーダーでの高速開閉を可能とする弁を実現出来る。
【００５９】
図３は本発明に用いる弁の他の実施の形態例を示す図である。
【００６０】
図３において、レーザガス流路１中に軸１８および軸１８に接続された蓋１９設けており、軸１８を中心に、蓋１９自体が回転するようになっている。
【００６１】
蓋１９がレーザガス流と平行方向になった時にはレーザガスが流れ、レーザガス流と垂直方向になった時にはレーザガスを堰き止める事になる。軸１８が高速回転を行う事で、数ｍｓｅｃオーダーで高速開閉を可能とする弁を実現出来る。
【００６２】
なお、本発明は上述した実施の形態例に限定されるものではなく、例えば、図４に示すように各チャンバー事に個別に全反射鏡１０と部分反射鏡１１を設けて、それぞれのチャンバー毎に光共振器を形成させて複数のレーザビームを取り出す事も可能である。
【００６３】
また、複数のチャンバーを光学的に結合させる場合、図１に示した実施の形態例におけるビーム経路１２を介してのレーザガスの行き来を無くす手段として、図５のようにウインドウ２０を設けて、ビーム経路１２を通じたレーザガスの移動を完全に防ぐ事も可能である。
【００６４】
前述の通り、レーザ光共振器の理想形は、折返し鏡での反射を一部介するものの、基本的に向かい合った１対のミラー表面での反射で光の定在波を形成する方式であり、いわゆる安定型共振器と呼ばれるものであり、最も良質な光を取り出す事が出来る。図４、図５とも、安定型共振器を構成できるため、円錐対象形の質の良いレーザビーム８を取り出す事が可能である。
【００６５】
以上の構成の本発明の実施の形態にかかるガスレーザ発振装置は、図７に示すガスレーザ加工機に使用可能であり、その概略構成を図７を参照しながら説明する。
【００６６】
この図に於いて、上述した本発明の実施の形態にかかるガスレーザ発振装置から出力したレーザビーム１０８をワーク１１６方向へ進行方向を反射鏡１１５で反射することにより変更し、トーチ１１７内部に備えられた集光レンズ１１８によって前記レーザビーム１０８を高密度のエネルギビームに集光して、ワーク１１６に照射する。
【００６７】
なお、ワーク１１６は加工テーブル１１９上に固定されており、トーチ１１７をＸ軸モータ１２０あるいはＹ軸モータ１２１によって、ワーク１１６に対して相対的に移動する事で、所定の形状の加工を行うように構成している。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明によるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機は、送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を容易に実現しながら、良質なレーザビームを取り出す事ができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施の形態例のガスレーザ発振装置の構成図
【図２】本発明の実施の形態例に用いる弁の構成を説明した構成図
【図３】本発明の実施の形態例に用いる弁の他の実施の形態を示す構成図
【図４】本発明の他の実施の形態例のガスレーザ発振装置の要部構成図
【図５】本発明の他の実施の形態例のガスレーザ発振装置の要部構成図
【図６】従来のガスレーザ発振装置の構成図
【図７】ガスレーザ加工機の構成図
【図８】従来のスラブ型ガスレーザ発振装置の共振器部の構成図
【図９】従来のガスレーザ発振装置の共振器部の構成図
【符号の説明】
【００７０】
１    レーザガス流路
２ａ、２ｂ    チャンバー
３、４    熱交換器
５    レーザガス流れ
６ａ，６ｂ    電極
７ａ，７ｂ    電極
８    電源
９ａ，９ｂ    放電空間
１０    全反射鏡
１１    部分反射鏡
１４ａ、１４ｂ    弁
１１５    反射鏡
１１６    ワーク
１１７    トーチ
１１８    集光レンズ
１１９    加工テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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