(57)【要約】【課題】高い乾燥温度や炉長の延長に頼ることなく、効率のよい乾燥を行うことができる、シート乾燥炉等を提供する。【解決手段】シート乾燥炉１は、通気孔を有し、且つ、乾燥対象乾燥対象シートを載置し、移動させる搬送体７を備える。さらに、シート乾燥炉には、搬送体の上方に設けられてシートに向けて乾燥用気体を上方から下方に向けて噴射する噴出ノズル９と、搬送体の下方に設けられて、上方から噴出された乾燥用気体を吸引する吸引ノズル１１とを備える。【選択図】図１
2010115860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通気孔を有し、且つ、乾燥対象シートを載置し、移動させる搬送体を備え、
前記搬送体の上方に設けられて前記シートに向けて乾燥用気体を上方から下方に向けて噴射する噴出ノズルと、
前記搬送体の下方に設けられて、上方から噴出された乾燥用気体を吸引する吸引ノズルと
を備えたシート乾燥炉。
【請求項２】
前記吸引ノズルは、少なくとも前記噴出ノズルよりもシート搬送方向における上流部分に、吸引部分を有する、請求項１のシート乾燥炉。
【請求項３】
前記噴出ノズルと前記吸引ノズルとが一対の乾燥用気体の給排気部を構成し、  前記給排気部は、複数対配置され、
前記吸引ノズルの吸引口は、前記噴出ノズルの噴出口よりも大面積となり、互いに重なる
請求項１又は２のシート乾燥炉。
【請求項４】
セラミックグリーンシートを形成し乾燥する工程と、
乾燥されたセラミックグリーンシートを、所定の大きさに裁断して、カード状のセラミックグリーンシートを獲得し、当該カード状のセラミックグリーンシート上に導体パターンを印刷する工程と、
裁断後に前記導体パターンを乾燥させる、導体パターン乾燥工程とを備え、
前記導体パターン乾燥工程は、前記カード状のセラミックグリーンシートをメッシュ状のベルトに載せて乾燥炉内を移動させ、前記カード状のセラミックグリーンシートを前記ベルト下部に設置した吸引ノズルにより吸引している状態で、前記カード状のセラミックグリーンシートの上部に設置した噴出ノズルから噴出された乾燥用気体により前記導体パターンを乾燥させる
カード状のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
セラミックグリーンシートを形成し乾燥する工程と、
乾燥されたセラミックグリーンシート上に導体パターンを印刷し、所定の大きさのセラミックグリーンシートに裁断して、カード状のセラミックグリーンシートを得る工程と、
裁断後に前記導体パターンを乾燥させる、導体パターン乾燥工程とを備え、
前記導体パターン乾燥工程は、前記カード状のセラミックグリーンシートをメッシュ状のベルトに載せて乾燥炉内を移動させ、前記カード状のセラミックグリーンシートを前記ベルト下部に設置した吸引ノズルにより吸引している状態で、前記カード状のセラミックグリーンシートの上部に設置した噴出ノズルから噴出された乾燥用気体により前記導体パターンを乾燥させる
カード状のセラミックグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート乾燥炉、並びに、カード状のセラミックグリーンシートの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程においては、例えば銀ペーストなどの導電体ペーストを、ＬＴＣＣ誘電体シート上に配置し、ペーストの乾燥を行った後、積層・裁断などを行っている。ペーストの乾燥には、通常、シート乾燥炉が用いられている（特許文献１参照）。
【０００３】
本発明者らは、このようなペーストの乾燥には、通常、熱風を直接、ペースト塗布表面に吹き付ける態様が最も効率が良いものと考える。しかしながら、シートが、炉内進行方向に相当な長さを持った連続的な形態ではなく、炉長に対して短い、言うなればカード状の形態である場合には、各シートが熱風にあおられて浮き上がり、ハンドリング上のトラブルが生じる可能性がある。なお、これに対しては、風をシートに向けないように噴射して乾燥させる態様も考えられるが、その場合、乾燥温度を高く設定する、及び／又は、炉長を長く設定することとなり、熱によるシート変形や、乾燥炉の大型化など、新たな問題が生じる。
【特許文献１】特開平７−８６７４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、高い乾燥温度や炉長の延長に頼ることなく、効率のよい乾燥を行うことができる、シート乾燥炉等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するための本発明のシート乾燥炉は、通気孔を有し、且つ、乾燥対象シートを載置し、移動させる搬送体を備え、前記搬送体の上方に設けられて前記シートに向けて乾燥用気体を上方から下方に向けて噴射する噴出ノズルと、前記搬送体の下方に設けられて、上方から噴出された乾燥用気体を吸引する吸引ノズルとを備える。
【０００６】
好適には、前記吸引ノズルは、少なくとも前記噴出ノズルよりもシート搬送方向における上流部分に、吸引部分を有する。
【０００７】
さらに、前記噴出ノズルと前記吸引ノズルとが一対の乾燥用気体の給排気部を構成し、前記給排気部は、複数対配置され、前記吸引ノズルの吸引口は、前記噴出ノズルの噴出口よりも大面積となり、互いに重なるようにしてもよい。
【０００８】
同課題を解決するための本発明のカード状のセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックグリーンシートを形成し乾燥する工程と、乾燥されたセラミックグリーンシートを、所定の大きさに裁断して、カード状のセラミックグリーンシートを獲得し、当該カード状のセラミックグリーンシート上に導体パターンを印刷する工程と、裁断後に前記導体パターンを乾燥させる、導体パターン乾燥工程とを備え、前記導体パターン乾燥工程は、前記カード状のセラミックグリーンシートをメッシュ状のベルトに載せて乾燥炉内を移動させ、前記カード状のセラミックグリーンシートを前記ベルト下部に設置した吸引ノズルにより吸引している状態で、前記カード状のセラミックグリーンシートの上部に設置した噴出ノズルから噴出された乾燥用気体により前記導体パターンを乾燥させる。
【０００９】
さらに、同課題を解決するための本発明に係る別の製造方法は、セラミックグリーンシートを形成し乾燥する工程と、乾燥されたセラミックグリーンシート上に導体パターンを印刷し、所定の大きさのセラミックグリーンシートに裁断して、カード状のセラミックグリーンシートを得る工程と、裁断後に前記導体パターンを乾燥させる、導体パターン乾燥工程とを備え、前記導体パターン乾燥工程は、前記カード状のセラミックグリーンシートをメッシュ状のベルトに載せて乾燥炉内を移動させ、前記カード状のセラミックグリーンシートを前記ベルト下部に設置した吸引ノズルにより吸引している状態で、前記カード状のセラミックグリーンシートの上部に設置した噴出ノズルから噴出された乾燥用気体により前記導体パターンを乾燥させる。
【発明の効果】
【００１０】
上述した本発明によれば、高い乾燥温度や炉長の延長に頼ることなく、効率のよい乾燥を行うことができる。
【００１１】
なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る実施の形態を添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。
【００１３】
図１は、本実施の形態に係るシート乾燥炉を示す正面図である。シート乾燥炉１は、シート搬送方向Ｔに関しスクリーン印刷部３とシート回収部５との間に配置されており、搬送体７と、噴出ノズル９と、吸引ノズル１１とを備えている。
【００１４】
搬送体７は、通気孔を有する部材で構成されており、一例として、メッシュ状のエンドレスベルトで構成されている。エンドレスベルトの内側には、シート搬送方向Ｔの下流端にヘッドプーリ１３が設けられており、上流端にテールプーリ１５が設けられている。
【００１５】
シート乾燥炉１の内部は、遠赤ゾーン１７と、熱風ゾーン１９とを備えている。搬送体７は、これら遠赤ゾーン１７及び熱風ゾーン１９に亙って連続的に延びている。遠赤ゾーン１７においては、搬送体７の上方に、遠赤ヒータ２１が配置されている。
【００１６】
熱風ゾーン１９には、噴出ノズル９及び吸引ノズル１１が設けられている。噴出ノズル９の態様は様々採り得るが、本実施の形態では、シート搬送方向Ｔに並んだ複数の噴出口を備えている。また、吸引ノズル１１の態様も、様々採り得るが、本実施の形態では、噴出口の態様に応じて、シート搬送方向Ｔに並んだ複数の吸引口を備えており、一つの噴出口につき一つの吸引口が割り当てられるように配置されている。すなわち、噴出ノズル９と吸引ノズル１１とが一対の乾燥用気体の給排気部を構成しており、そのような給排気部が複数対配置されている。
【００１７】
図２に基づいて、各噴出口と各吸引口との関係について説明する。図２は、図１において模式的に示されていたノズルに関し、一つの噴出口及び吸引口のみを取り上げて示す図である。各噴出口２３は、搬送体７の上方において噴射方向が下向きとなるよう態様で配置されている。各噴出口２３の上流側は、ブロア２５に接続されており、さらにその上流には、例えばＨＥＰＡフィルタ２７などを介して、吸気口２９が設けられている。各吸引口３１は、環状の搬送体７の内側にあって対応する各噴出口２３と搬送体７を挟んで向き合うように配置されている。また、各吸引口３１は、上向きに開口する態様で配置されている。各吸引口３１の下流側には、排気ダクト３３が設けられている。各吸引口３１は、各噴出口２３よりも大面積となり、且つ、吸引口３１及び噴出口２３は、互いに重なるように設けられている。
【００１８】
さらに、本実施の形態では、吸引口（吸引ノズル）は、少なくとも噴出口（噴出ノズル）よりもシート搬送方向Ｔに関する上流部分に、吸引部分を有している。すなわち、図２に示されるように、各吸引口３１の吸引上流端３１ａの位置は、対応する各噴出口２３の噴出上流端２３ａの位置よりも、シート搬送方向Ｔに関する上流に、距離Ｌだけオフセットしている。
【００１９】
次に、このように構成されたシート乾燥炉を用いた本実施の形態に係るセラミックグリーンシートの製造方法について説明する。カード状のセラミックグリーンシートの製造方法は、第１に、セラミックグリーンシートを形成し乾燥する工程と、第２に、乾燥されたセラミックグリーンシートを、所定の大きさに裁断して、カード状のセラミックグリーンシートを獲得し、当該カード状のセラミックグリーンシート上に導体パターンを印刷する工程、又は、乾燥されたセラミックグリーンシート上に導体パターンを印刷し、所定の大きさのセラミックグリーンシートに裁断して、カード状のセラミックグリーンシートを得る工程と、第３に、裁断後に導体パターンを乾燥させる導体パターン乾燥工程とを備える。
【００２０】
具体的に説明すると、まず、ＰＥＴフィルム上にセラミック誘電体ペーストを塗布し、それを乾燥させることで、乾燥された帯状のセラミックグリーンシートを得る。一例を示すと、ＰＥＴフィルムの厚みは、７５［μｍ］、グリーンシートの厚みは、０．０２〜０．２４［ｍｍ］程度である。
【００２１】
次に、乾燥されたセラミックグリーンシートに関し、所定サイズへの裁断、及び、導体パターンの印刷を行う。裁断後のセラミックグリーンシートのサイズは、一例を示すと、０．１５２［ｍ］×０．１３０［ｍ］程度である。また、導体パターンの形成は、一例を示すと、スクリーン印刷部３においてブチルカルビトールを溶剤とした銀ペーストを塗布することによって行われる。所定サイズへの裁断と導体パターンの印刷との先後は何れでもよい。
【００２２】
次に、導体パターン乾燥工程が行われる。導電パターンが設けられたカード状形態のシート３５は、テールプーリ１５近傍において搬送体７の上面に載置され、搬送体７の走行に伴ってまず遠赤ゾーン１７内を進行し、さらに熱風ゾーン１９内を進行する。熱風ゾーン１９においては、噴出ノズル９から、シート３５に向けて乾燥用気体である熱風が噴射されている（例えば、風速１〜５［ｍ／ｓ］）と共に、吸引ノズル１１からは、シート搬送方向Ｔに移動する搬送体７の下側の雰囲気が吸引されている。熱風ゾーン１９において直接、乾燥風が吹き付けられ、導電体ペーストが乾燥したシート３５は、搬送体７の走行に伴って熱風ゾーン１９から出て、シート回収部５において回収される。
【００２３】
ここで、熱風ゾーン１９内での乾燥・進行についてより詳細に説明する。噴出ノズル９から提供される熱風は、真下のシート３５に向けられて流される。よって、シート３５に直接、熱風が当たると共に、シート３５は熱風というダウンフロー自体によって下向きに押さえつけられる。それと同時に、吸引ノズル１１からは搬送体７の下側の雰囲気が吸引される。よって、かかる吸引作用・減圧作用によって、まず、搬送体７の通気孔を介してシート３５が下向きに引っ張られる。さらに、吸引作用・減圧作用により、シート３５に当接したのち拡散しシート３５と搬送体７との間に進入しうる熱風が、それらの間に進入することなく搬送体７におけるシート３５が載置されていない部分の通気孔を介して、搬送体７を抜け、吸引ノズル１１に回収される。このようにして、シート３５の効率的な乾燥が行われると共に、シート３５の浮き上がりを防止することができる。さらに加えて、本実施の形態においては、各吸引口３１の吸引上流端３１ａの位置が、対応する各噴出口２３の噴出上流端２３ａの位置よりも、シート搬送方向Ｔに関する上流にオフセットしているので、搬送体７に載せられて進行するシート３５は、まず、吸引ノズル１１による作用を受け始めた後に、噴出ノズル９による作用を受ける。よって、上述したシート３５の浮き上がり防止効果をより確実に得ることができる。
【００２４】
このように本実施の形態に係るシート乾燥炉、並びにそれを用いたセラミックグリーンシートの製造方法によれば、熱風を直接、シートに噴射しながらもカード状態様のシートの浮き上がりを防げるため、高い乾燥温度や炉長の延長に頼ることなく、効率のよい乾燥を行うことができる。本出願人の試験によれば、熱風を水平に噴射しシートに当てない態様では、乾燥温度８０〜１２０［℃］、炉長６［ｍ］であったのに対し、本実施の形態では、乾燥温度６０［℃］以下、炉長２．４［ｍ］で乾燥を完了できる結果を得た。
【００２５】
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。
【００２６】
上述した形態では、噴出口と吸引口とがそれぞれ複数設けられており、それらは一対の対応関係で設けられ、且つ、各対においてオフセット関係が設定されていたが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、噴出口と吸引口とがそれぞれ、シート搬送方向に延長する単一の開口から構成されており、開口の上流端がオフセット関係で位置するような態様であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態に係るシート乾燥炉を示す正面図である。
【図２】噴出口及び吸引口の位置関係を示す図である。
【符号の説明】
【００２８】
１                      シート乾燥炉
７                      搬送体
９                      噴出ノズル
１１                    吸引ノズル
【図１】
2010115860.tif 000003
【図２】
2010115860.tif 000004