(57)【要約】【課題】微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸にも追従して異物を除去することが出来るクリーニングフィルム及びクリーニング方法の提供。【解決手段】支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有するクリーニングフィルムであって、前記粘着剤層が少なくとも１種類の膨潤性ゲルを含むことを特徴とするクリーニングフィルム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有するクリーニングフィルムであって、前記粘着剤層が少なくとも１種類の膨潤性ゲルを含むことを特徴とするクリーニングフィルム。
【請求項２】
前記粘着剤層に膨潤性ゲルを、５０質量部〜１００質量部含有することを特徴とする請求項１に記載のクリーニングフィルム。
【請求項３】
前記膨潤性ゲルがヒドロゲルであることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーニングフィルム。
【請求項４】
前記粘着剤層の膨潤前の厚さが、０．０５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のクリーニングフィルム。
【請求項５】
微細な凹凸を有する基材の表面をクリーニングフィルムにより清掃するクリーニング方法であって、前記クリーニングフィルムが請求項１〜４の何れか１項に記載のクリーニングフィルムを使用することを特徴とするクリーニング方法。
【請求項６】
前記クリーニングフィルムを使用する際に、該クリーニングフィルムに予め水分を含有させておくことを特徴とする請求項５に記載のクリーニング方法。
【請求項７】
前記水分の量が、０．１ｍｌ／ｇ〜１０．０ｍｌ／ｇであることを特徴とする請求項６に記載のクリーニング方法。
【請求項８】
前記基材がプリント基板であることを特徴とする請求項５〜７の何れか１項に記載のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板や導電性パターン材料等の微細な凹凸を有する基材の異物除去に使用するクリーニングフィルム及びこれを用いたクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、太陽電池、電子ペーパー等に使用されるプリント基板や導電性パターン材料などの加工時に残存したオイル、異物などの付着物は、その後の工程で重要な汚染を誘発したり、最終製品の性能劣化や耐久性の低下を招いたりする。従って、表面の汚染物の除去のために、必要に応じてフロン（登録商標）洗浄、超純水を用いた超音波洗浄、活性剤溶液洗浄、酸・アルカリ洗浄等を複数組み合わせたり、複数回繰り返して十分な洗浄が施される。
【０００３】
しかし、これらのウェット洗浄は処理時間が長く、大量の水を使用する、装置のスペースが大きい等の問題があるだけでなく、近年の高精細化に伴って水残りや被洗浄物の損傷が顕在化してきている。
【０００４】
これらのウェット洗浄の問題点を解決するために、種々の粘着クリーニングローラーやクリーニングシートによるドライプロセスが検討されている。例えば、物品の表面付着物が存在する部分に、付着物と粘着剤成分が一体化して硬化可能な硬化型粘着剤が支持体上に設けられてなるクリーニングシートを貼着し、付着物と粘着剤成分を一体化して硬化させ、硬化したクリーニングシートを物品から剥離することにより、シートと表面付着物とを一体に物品から除去する方法が知られている（例えば特許文献１参照。）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のクリーニングシートを微細な凹凸が多く存在するプリント基板のクリーニングに使用した場合、微細な凹凸部への追従に劣り十分な洗浄性が得られていない、又剥離する際プリント基板を損傷する危険があることが判った。
【０００６】
凹凸表面を持つ除塵対象物のクリーニングに、除塵対象物の凹凸表面への追従性が良好である基材上に発泡剤を含んだ粘着剤層を有する粘着除塵クリーナーを使用する方法が知られている（例えば特許文献２参照。）。薄肉状の粘着剤層と内層の軟質弾性層を厚肉層の二層構造としたクリーニングローラーで、凹凸のある電子基板など表面のゴミ、埃などの汚れを取り除く方法が知られている（例えば特許文献３参照。）。
【０００７】
しかしながら、特許文献２に記載の粘着除塵クリーナー、特許文献３に記載のクリーニングローラーは、何れも更なる高精細化に対しては十分な洗浄性が得られていないことが判った。
【０００８】
これらの状況から、微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸に追従し異物を除去することが出来るクリーニングフィルム及びクリーニング方法の開発が望まれている。
【特許文献１】特開平７−１５５７０４号公報
【特許文献２】特開２００６−７５５０２号公報
【特許文献３】特開２００７−１７５４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸にも追従して異物を除去することが出来るクリーニングフィルム及びクリーニング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討する過程において、特にプリント基板のような凹凸のある表面のクリーニングにおいて、膨潤性ゲルを含有した粘着剤層が重要であることを見出した。これは、膨潤した粘着剤層自身が微細な凹凸に追従し、異物を覆い絡めとることが出来るだけでなく、表面にわずかな水分が残り皮膜状になることで、長時間貼り付けたままにしていても、プリント基板表面上に糊残りが生じないことを見出し本発明に至った。本発明の上記目的は下記の構成により達成された。
【００１１】
本発明の上記目的は下記の構成により達成された。
【００１２】
１．支持体上に少なくとも１層の粘着剤層を有するクリーニングフィルムであって、前記粘着剤層が少なくとも１種類の膨潤性ゲルを含むことを特徴とするクリーニングフィルム。
【００１３】
２．前記粘着剤層に膨潤性ゲルを、５０質量部〜１００質量部含有することを特徴とする前記１に記載のクリーニングフィルム。
【００１４】
３．前記膨潤性ゲルがヒドロゲルであることを特徴とする前記１又は２に記載のクリーニングフィルム。
【００１５】
４．前記粘着剤層の膨潤前の厚さが、０．０５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする前記１〜３の何れか１項に記載のクリーニングフィルム。
【００１６】
５．微細な凹凸を有する基材の表面をクリーニングフィルムにより清掃するクリーニング方法であって、前記クリーニングフィルムが前記１〜４の何れか１項に記載のクリーニングフィルムを使用することを特徴とするクリーニング方法。
【００１７】
６．前記クリーニングフィルムを使用する際に、該クリーニングフィルムに予め水分を含有させておくことを特徴とする前記５に記載のクリーニング方法。
【００１８】
７．前記水分の量が、０．１ｍｌ／ｇ〜１０．０ｍｌ／ｇであることを特徴とする前記６に記載のクリーニング方法。
【００１９】
８．前記基材がプリント基板であることを特徴とする前記５〜７の何れか１項に記載のクリーニング方法。
【発明の効果】
【００２０】
微細な凹凸を有する基材の表面の異物を除去する際、微細な凹凸にも追従して異物を除去することが出来るクリーニングフィルム及びクリーニング方法を提供することが出来た。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施の形態を図１、図２を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２２】
図１は本発明のクリーニングフィルムの概略断面図である。
【００２３】
（ａ）に示されるクリーニングフィルムに付き説明する。
【００２４】
図中、１ａはクリーニングフィルムを示す。クリーニングフィルム１ａは支持体１０１と、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層１０２とを有する構成となっている。
【００２５】
（ｂ）に示されるクリーニングフィルムに付き説明する。
【００２６】
図中、１ｂはクリーニングフィルムを示す。クリーニングフィルム１ｂは支持体１０１と、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層１０２と、易接着層１０３とを有する構成となっている。
【００２７】
（ｃ）に示されるクリーニングフィルムに付き説明する。
【００２８】
図中、１ｃはクリーニングフィルムを示す。クリーニングフィルム１ｃは支持体１０１と、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層１０２と、易接着層１０３と、機能層１０４とを有する構成となっている。機能層１０４としては、帯電防止層、保湿剤層等が挙げられる。
【００２９】
次に、（ａ）〜（ｃ）に示されるクリーニングフィルムの粘着剤層に付き説明する。
【００３０】
（ａ）〜（ｃ）に示されるクリーニングフィルムの粘着剤層の構成例を以下に示す。
１．膨潤性ゲルが単一で構成
２．複数の膨潤性ゲルで構成
３．膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルの混合物で構成
４．多層で構成：少なくとも２層から構成され、以下に構成例を示す。
１）上下層で異なる膨潤性ゲル単一を使用して構成する。
２）上下層で異なる膨潤性ゲルを複数使用して構成する。
３）上層が単一の膨潤性ゲルで、下層が複数の膨潤性ゲルを使用して構成する。
４）上層が複数の膨潤性ゲルで、下層が膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルの混合物とで構成する。
５）上層が単一の膨潤性ゲルで、下層が膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルの混合物とで構成する。
【００３１】
粘着剤層は膨潤性ゲルが含まれて入れば良く、膨潤性ゲル以外に界面活性剤等やｐＨ調整剤、ラテックス等の添加剤を必要に応じて添加しても良い。粘着剤層の膨潤前の厚さとしては、異物除去性、微細な凹凸への追随性、基材への貼り付け易さ等を考慮し、０．０５μｍ〜１０μｍが好ましく、更には０．１μｍ〜５μｍが好ましい。
【００３２】
厚さは、作製したクリーニングフィルムをミクロトームで切断し、その切断面を透過型電子顕微鏡で観察し、求めた値を示す。
【００３３】
粘着剤層に含まれる膨潤性ゲルは、膨潤性、粘着性、水分保持性能等を考慮し、５０質量部〜１００質量部が好ましく、更には７０質量部〜１００質量部が好ましい。
【００３４】
図２は微細な凹凸を有する基材の一例としてのプリント基板の模式図である。図２（ａ）は微細な凹凸を有する基材の一例としてのプリント基板の概略平面図である。図２（ｂ）は図２（ａ）のＰで示される部分の拡大模式図である。図２（ｃ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ′に沿った拡大概略断面図である。
【００３５】
図中、２はプリント基板を示す。２０２ａは支持体２０１の上に形成された横ラインを示し、２０２ｂは支持体２０１の上に形成された縦ラインを示す。通常、横ライン２０２ａ、縦ライン２０２ｂは複数のラインから構成されており、本図では共に１０本のラインから構成されている場合を示している。
【００３６】
Ｅ１は、横ライン２０２ａを構成しているライン間の距離を示す。距離Ｅ１は１μｍ〜３０μｍが好ましい。Ｅ２は、縦ライン２０２ｂを構成しているライン間の距離を示す。距離Ｅ２は１μｍ〜３０μｍが好ましい。
【００３７】
Ｆは縦ライン２０２ｂを構成しているラインの幅を示す。幅Ｆは１μｍ〜３０μｍが好ましい。横ライン２０２ａを構成しているラインの幅も同様に１μｍ〜３０μｍが好ましい。
【００３８】
Ｇは支持体２０１からのラインの厚みを示す。厚みＧは所望の導電性とラインの断面積、長さから求められ、１μｍ〜１００μｍが好ましい。尚、プリント基板においては近年の微細化要望で、ライン幅、ライン間隔としては２０μｍ以下、特に１０μｍ以下の要望が増えており、この時必要な厚みは５μｍ〜１５μｍとなる。
【００３９】
本発明において、微細な凹凸を有する基材とは、本図に示す様な凹凸構造を有する基材が挙げられる。
【００４０】
本発明において、膨潤性ゲルを含有するとは、粘着剤層が膨潤性ゲルから構成されている状態、膨潤性ゲルと非膨潤性ゲルが混合している状態を含めて言う。
【００４１】
本発明で使用する膨潤性ゲルはヒドロゲルが好ましい。分散質としては、ゼラチン、寒天等が挙げられる。これらの中で、ゼラチンが好ましい。ゼラチンとしては、豚皮や牛骨等から抽出したものが好ましく、酸処理ゼラチンでもアルカリ処理ゼラチンでも良く、フタル酸等で変性させたゼラチンを用いても良い。これらの分散質は単独で使用しても、複数を混ぜて使用することも可能である。又、分散質にゼラチンを使用する場合には、硬膜剤を添加しておいても良い。硬膜剤としては、ビニルスルホン型やエポキシ型、アクリルアミド型等が用いられるが、ビニルスルホンタイプがより好ましい。
【００４２】
又、上記の膨潤性ゲルと吸水性樹脂とを混合して使用することも可能である。吸水性樹脂としては特に限定はなく、例えば、ポリアクリル酸ナトリウム系樹脂、上市品（例えば、住友精化（株）製  ＳＳゲル、高吸水性樹脂アクアキープ、アドバンスト・ソフトマテリアルス（株）製  スライドリングゲルＷＡ−ＧＥＬ、トピー工業（株）製  膨潤性マイカ）等が挙げられる。
【００４３】
（支持体）
支持体としては、樹脂板や樹脂フィルムなどが好適に挙げられる。樹脂には特に限定はなく、公知のものの中から適宜選択することが出来る。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、環状オレフィン系樹脂などのポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などの単層あるいは複数層からなる基板やフィルムが好適に用いられる。更にガラス基板や紙類を用いることも出来る。中でも取り扱いやすさ及びコストの点から、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、トリアセチルセルロースフィルムであることが好ましい。
【００４４】
支持体の厚みは、微細な凹凸への追随性、取り扱い易さ、コスト等を考慮し、１０〜５００μｍが好ましく、更には３０〜１００μｍが好ましい。
【００４５】
フィルム支持体は塗布液の濡れ性や接着性を確保するために、表面処理や易接着層を設けることが好ましい。表面処理や易接着層については従来公知の技術を使用出来る。易接着層は単層でも良いが、接着性を向上させるために２層以上の構成にしても良い。
【００４６】
又、易接着層の上に帯電防止層、クッション層、保湿層等を積層することも可能である。
【００４７】
表面処理の方法としては、例えば大気圧プラズマ処理、コロナ放電処理、エッチング処理等が挙げられる。
【００４８】
易接着層としては、例えばラテックス系のアンカーコート剤を塗布し形成することが可能である。
【００４９】
帯電防止層は、帯電防止剤や導電性微粒子等を含有した層であれば良く、帯電防止剤としては、例えば４級アンモニウム塩やイミダゾリン、スルホニウム塩等のカチオン性帯電防止剤やアルキルサルフェート、アルキルホスフェート等のアニオン系帯電防止剤、ソルビタン、アミン、アミド等の非イオン系帯電防止剤、スルホベタイン、アミンオキシド、ホスフェート等のの両性系帯電防止剤を用いることが出来、導電性微粒子としては、例えば酸化錫等の金属微粒子を使用することが可能である。
【００５０】
保湿層としては、水分を保持出来れば良く、例えば上記の吸水性樹脂を含有したり、グリセリンやエチレングリコールを使用しても良い。
【００５１】
（クリーニングフィルムの作製方法）
本発明のクリーニングフィルムは、膨潤性ゲルを含有する粘着剤層形成用塗布液（以下、塗布液と言う）を、塗布面を表面処理した支持体上に塗布、又は易接着層を設けた支持体の易接着層上に塗布、又は易接着層／機能層を設けた支持体の機能層の上に塗布した後、乾燥することで作製することが可能である。
【００５２】
塗布液を支持体上に塗布する方法としては特に限定はないが、例えば、ロールコート法、バーコート法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、キャスティング法、ダイコート法、ブレードコート法、バーコート法、グラビアコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ドクターコート法などの塗布法や、凸版（活版）印刷法、孔版（スクリーン）印刷法、平版（オフセット）印刷法、凹版（グラビア）印刷法、スプレー印刷法、インクジェット印刷法などの印刷法が挙げられる。
【００５３】
塗布性を向上させるために、塗布液中に界面活性剤を添加することが好ましい。界面活性剤としては、一般に知られているアニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤などを挙げることが可能で、これらを必要に応じて用いることが可能である。尚、本発明では基材に貼り合わせたクリーニングフィルムを剥離した後、基材上に活性剤等の添加剤が転写することを防止するために、クリーニングフィルム作製後、又は、基材に貼り合わせ使用する前に、予め超純水等で洗浄することが好ましい。
【００５４】
〔クリーニング方法〕
本発明のクリーニング方法としては、基材に本発明のクリーニングフィルムを貼り付ける前に予め膨潤性ゲルを含有する粘着剤層に水分を含有させることが好ましい。
【００５５】
水分の量としては、凹凸部への追従性、基材からの剥離性、基材の汚染防止等を考慮し、膨潤性ゲル１ｇあたり、０．１ｍｌ／ｇ〜１０ｍｌ／ｇが好ましく、更には０．３ｍｌ／ｇ〜３ｍｌ／ｇが好ましい。
【００５６】
予め水分を含有させる方法としては、粘着剤層を有するクリーニングフィルムを水の中に漬けたり、刷毛やバーコーターで塗布したり、スプレーや蒸気等を吹付けたりすれば良いが、湿らす程度に水分を与える方法としては、スプレーや蒸気を吹付ける方法がより好ましい。
【００５７】
含有させる水分としては超純水を用いることが好ましい。又、フィルム基板貼り付け時の密着性を向上させるために、ある程度の温水を用いることも好ましい。用いられる温水の温度は、粘着剤層の溶解性、膨潤性等を考慮し、２５℃〜５０℃が好ましい。
【００５８】
更に、予め添加する水分には、ゼラチン等の硬膜剤やｐＨ調整剤、界面活性剤等を含有しても良い。
【００５９】
水分を含有させ粘着層を膨潤させ、使用時の粘着層の粘着力は、異物の除去性と糊残り防止の両立等を考慮し、０．０１Ｎ／２５ｍｍ〜５．０Ｎ／２５ｍｍが好ましく、更に０．０３Ｎ／２５ｍｍ〜２．０Ｎ／２５ｍｍが好ましいい。尚、粘着力はＪＩＳＺ１５２８に準じて測定した値を示す。
【００６０】
クリーニングフィルムを基材の表面に貼合する時は、密着性を向上させるために、圧着ロールや熱ラミネート装置等を用いることが好ましい。
【００６１】
（基材）
対象となる基材としては特に限定はなく、例えば液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、太陽電池、電子ペーパー等に使用されるプリント基板、ダイオード、トランジスタ、磁気ヘッド、セラミック応用素子等の電子部品等の表面に微細な凹凸を有する基材、フィルム、プラスチック成型品、金属板等が挙げられる。
【００６２】
本発明のクリーニングフィルムは、基材の表面保護用としても使用することが可能である。例えばプリント基板の表面に本発明のクリーニングフィルムを貼合させた後、貼合させた状態で次工程に移送した後、クリーニングフィルムを剥離することでプリント基板の清掃と、移送時の異物の付着や表面に傷が付くことを防止することが可能となる。
【００６３】
貼合させた状態で次工程に移送した後、剥離するまでの期間は、粘着剤層の基材への転写付着による故障防止を考慮し、概ね数時間から１ヶ月程度で基材の種類により適宜選択することが好ましい。クリーニングフィルムを剥離するまでの保管条件も任意で良いが、粘着剤の基材への転写を防止する目的の他に、基板そのものの性能を維持するためにも、ある程度低温低湿状態で保存することが好ましい。
【００６４】
特に、貼合した後、剥離するまで一定期間保管する様な方法で使用する場合、粘着剤層の転写を防止するために、硬膜剤を添加しておくことが好ましい。硬膜剤としては、ビニルスルホン型やエポキシ型、アクリルアミド型等が用いられるが、ビニルスルホンタイプがより好ましい。
【実施例】
【００６５】
以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。尚、実施例において「％」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量％」を表す。
【００６６】
実施例１
（支持体の準備）
１０Ｗ／（ｍ２・ｍｉｎ）でコロナ放電処理した厚さ５０μｍ、幅１８０ｍｍのポリエステルフィルムを準備した。
【００６７】
（易接着層の形成）
準備した支持体の上に、下記の下引き塗布液を乾燥膜厚０．４μｍになるようにダイコート法で塗布し、乾燥し易接着層を形成した。
【００６８】
（下引き塗布液）
ブチルアクリレート３０質量％、ｔ−ブチルアクリレート２０質量％、スチレン２５質量％、２−ヒドロキシエチルアクリレート２５質量％の共重合体ラテックス液
（固形分３０％）                                                        ５０ｇ
ヘキサメチレン−１，６−ビス（エチレン尿素）                      ０．０５ｇ
水で１０００ｍｌに仕上げる。
【００６９】
粘着剤層形成用塗布液の調製
表１に示す様に分散質を変えた粘着剤層形成用塗布液を調製しＮｏ．１−１〜Ｎｏ．１−５とした。
【００７０】
【表１】
2010058040.tif 000003
【００７１】
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．１−１の調製
アルカリ処理牛骨ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）                    ２質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                                  １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                                  ２．５質量部
超純水                                                        ９４．５質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．１−２の調製
酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）                      ３．０質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                                  １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                                  ４．０質量部
超純水                                                        ９２．０質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．１−３の調製
寒天                                                            ２．５質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                                  １．０質量部
超純水                                                        ９６．５質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．１−４の調製
酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）                      ２．０質量部
寒天                                                            １．０質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                                  １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                                  ２．５質量部
超純水                                                        ９３．５質量部
粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．１−５の調製
酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）                      ２．０質量部
高吸水性樹脂アクアキープ（住友精化（株）製）                    ０．５質量部
界面活性剤（Ｓ−１）４％水溶液                                  １．０質量部
硬膜剤（Ｈ−１）０．５％水溶液                                  ２．５質量部
超純水                                                        ９４．０質量部
【００７２】
【化１】
2010058040.tif 000004
【００７３】
（クリーニングフィルムの作製）
準備した易接着層を形成した支持体の易接着層の上に、準備した粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．１−１〜１−５をダイコート法で塗布し、乾燥した後、２５℃の超純水の流水中で１５分間洗浄した後、乾燥して、厚さ０．２μｍの粘着剤層を有するクリーニングフィルムを作製しＮｏ．１０１〜１０５とした。厚さは、クリーニングフィルムをミクロトームで切断し、その切断面を透過型電子顕微鏡で観察し求めた値を示す。
【００７４】
（比較のクリーニングフィルムの準備）
日東電工製高機能除塵用粘着ロールクリーナーＳＤＲ１０の粘着シートを切り出し、比較のクリーニングフィルムＮｏ．１０６とした。
【００７５】
サンエー化研製のサニテクトＰＡＣ−３−５０ＴＨＫを比較のクリーニングフィルムＮｏ．１０７とした。
【００７６】
（クリーニング用基材の準備）
厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレート上にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）をスパッタリングにより作製し、図２に示す様な深さ、ライン幅、ライン間隔共に１０μｍの１０本の線を１つの塊りとし、３ｍｍ間隔の格子状にエッチング加工したプリント基板を作製しクリーニング用基板とした。
【００７７】
評価
準備した各クリーニングフィルムＮｏ．１０１〜１０７の異物除去性、粘着剤残り性を以下に示す方法で試験し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表２に示す。
【００７８】
異物除去性の試験方法
クリーニングフィルムの粘着剤層に超純水を膨潤性ゲル１ｇあたり０．５ｍｌ付与し、膨潤させた後、準備したクリーニング用基板に貼合し、フジプラ（株）製ラミネーターＬＰＤ３２１６を１００℃設定で２回通して貼合し、室温で４時間放置、１週間放置した後にクリーニングフィルムを剥離した。この後、クリーニング用基材を超純水５００ｍｌを入れたガラスビーカーに浸し、超音波洗浄器で１０分間洗浄を行い、この液をリオン（株）製パーティクルカウンター（ＫＳ−４２）で０．２μｍ粒子の個数を測定することで洗浄性の評価を行った。尚、クリーニングフィルム貼り付け前のクリーニング用プリント基板で同様の評価を行ったところ、粒子数は概ね１５００個だった。
【００７９】
異物除去性の評価ランク
◎：粒子数１００個未満
○：粒子数３００個未満、１００個以下
△：粒子数５００個未満、３００個以下
×：粒子数５００個以上
粘着剤残り試験方法
クリーニングフィルムを剥離した後のクリーニング用プリント基板の表面を走査型電子顕微鏡（日立製作所製  Ｓ−５０００Ｈ）を用い、倍率２０００倍で任意の５箇所の撮影を行い、粘着剤残りの状態を調べた。
【００８０】
粘着剤残り評価ランク
◎：観察した５箇所中、粘着剤の残りがない
○：観察した５箇所中、１箇所でわずかに粘着剤が残っている
△：観察した５箇所中、２箇所〜４箇所で粘着剤が残っている
×：観察した５箇所中、５箇所で粘着剤が転写している
【００８１】
【表２】
2010058040.tif 000005
【００８２】
本発明のクリーニングフィルムＮｏ．１０１〜１０５を用いることで、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。又、１週間放置した後でも基材への粘着剤の残りもないことから、基材への保護フィルムとしても使用できることを確認した。比較としたクリーニングフィルムＮｏ．１０６は異物除去性は優れているが、粘着剤の残りが多い結果となった。比較としたクリーニングフィルムＮｏ．１０７は粘着剤の残りはないが、異物除去性が劣る結果となった。本発明の有効性が確認された。
【００８３】
実施例２
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【００８４】
（易接着層の形成）
準備した支持体の上に、実施例１と同じ易接着層を形成した。
【００８５】
（クリーニングフィルムの作製）
実施例１のクリーニングフィルムＮｏ．１−１を実施例１と同じ方法で作製した。
【００８６】
（クリーニング用プリント基板の準備）
実施例１と同じクリーニング用プリント基板を実施例１と同じ方法で準備した。
【００８７】
評価
表３に示す用に準備したクリーニングフィルムの粘着剤層への水の付与量を変化した試験を試験Ｎｏ．２０１〜２０９として、準備したクリーニング用基材の異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表３に示す。
【００８８】
【表３】
2010058040.tif 000006
【００８９】
本発明のクリーニングフィルムを用い、粘着剤層への水の付与量を０．１ｍｌ／ｇ〜１０ｍｌ／ｇの範囲であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。又、１週間放置した後でも基材への粘着剤の残りも少ないことから、基材への保護フィルムとしても使用出来ることを確認した。本発明の有効性が確認された。
【００９０】
実施例３
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【００９１】
（クリーニングフィルムの作製）
表４に示す様に粘着剤層の厚さを変えた他は全て同じ方法で実施例１で作製したクリーニングフィルムＮｏ．１−１と同じクリーニングフィルムを作製しＮｏ．３０１〜３０９とした。
【００９２】
（クリーニング用基材の準備）
実施例１と同じクリーニング用基材を準備した。
【００９３】
評価
準備した各クリーニングフィルムＮｏ．３０１〜３０９の異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表４に示す。
【００９４】
【表４】
2010058040.tif 000007
【００９５】
本発明のクリーニングフィルムを用い、粘着剤層の厚さが０．０５μｍ〜１０．０μｍの範囲であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。又、１週間放置した後でも基材への粘着剤の残りもないことから、基材への保護フィルムとしても使用出来ることを確認した。本発明の有効性が確認された。
【００９６】
実施例４
（支持体の準備）
実施例１と同じ支持体を準備した。
【００９７】
（粘着剤層形成用塗布液の調製）
表５に示す様に、高吸水性樹脂アクアキープ（住友精化（株）製）と酸処理豚皮ゼラチン（新田ゼラチン（株）製）との比率を変えた、粘着剤層形成用塗布液Ｎｏ．４−１〜４−３を使用した以外は実施例１で作製したクリーニングフィルムＮｏ．１−５と全て同じ方法でクリーニングフィルムを作製しＮｏ．４０１〜４０３とした。
【００９８】
【表５】
2010058040.tif 000008
【００９９】
評価
準備した各クリーニングフィルムＮｏ．４０１〜４０３の異物除去性、粘着剤残り性を実施例１と同じ方法で試験し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表６に示す。
【０１００】
【表６】
2010058040.tif 000009
【０１０１】
実施例１の試料Ｎｏ．１０１（ゼラチン含有比率１００％）、１０５（ゼラチン含有比率８０％）及び表６に示す結果より、本発明のクリーニングフィルムを用い、粘着剤層のヒドロゲルの分散質の含有量が、５０質量部〜１００質量部の範囲であれば、微細な凹凸を有する基材に対して粘着剤の残りもなく、優れた異物除去性を示した。又、１週間放置した後でも基材への粘着剤の残りもないことから、基材への保護フィルムとしても使用出来ることを確認した。本発明の有効性が確認された。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明のクリーニングフィルムの概略断面図である。
【図２】微細な凹凸を有する基材の一例としてのプリント基板の模式図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１ａ〜１ｃ  クリーニングフィルム
１０１  支持体
１０２  粘着剤層
１０３  易接着層
１０４  機能層
２  プリント基板
２０１  支持体
２０２ａ  横ライン
２０２ｂ  縦ライン
【図１】
2010058040.tif 000010
【図２】
2010058040.tif 000011