(57)【要約】【課題】ノズル形成基板の変形が抑えられ、液滴の到達位置精度の低下が抑えられた液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】ノズル列１５に沿って複数回ギャップ剤８０を配置するので、ギャップ剤８０がノズル列１５方向（Ｙ軸方向）に間隔Ｄを狭くして多く配置できる。したがって、加圧、加熱によるノズル開口への接着剤シート７０の流れ込みを防ぎつつ、ノズル列１５に沿ったノズル形成基板１７の変形を抑えることができ、液滴の到達位置精度が良好で描画品質の低下の少ない液体噴射ヘッドの製造方法を得ることができる。【選択図】図６
2010214753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が圧力を加えられる圧力室と、
前記圧力室に連通する流路形成基板と、
前記液体を噴射するノズル開口が並んだノズル列を備えたノズル形成基板と、
前記流路形成基板と前記ノズル形成基板とを接着する接着剤シートと、
前記流路形成基板と前記ノズル形成基板との間に配置されたギャップ剤とを備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ノズル列に沿って、前記流路形成基板または前記ノズル形成基板の少なくとも一方に複数回にわたって前記ギャップ剤を配置する工程と、
前記流路形成基板と前記ノズル形成基板とを前記接着剤シートを介して加圧、加熱して接着する工程とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ギャップ剤の配置を前記ギャップ剤同士が接触するまで行う
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ギャップ剤は、流動性のある分散媒に微粒子が分散している
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口から液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドは、例えば、プリンター等の画像記録装置および液晶表示装置のカラーフィルターの製造等に用いられる液体噴射装置等に適用される。
このような液体噴射ヘッドとして、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、ノズル開口から液滴を噴射させ、記録媒体等の被対象物に液滴を到達させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、圧力室と、ノズル開口や共通液室を備えた流路ユニットとから構成されている。流路ユニットは、流路形成基板とノズル開口が形成されたノズル形成基板とを備えている。
基板としての流路形成基板とノズル形成基板であるノズルプレートとは、ノズル開口であるノズル孔の位置に合わせて逃げ孔が形成されたシート状接着材を流路形成基板とノズル形成基板との間に介在させ加圧しつつ加熱して、接合される。ここで、ギャップ剤としての変形規制用スペーサーまたは変形規制用のペースト剤によって、シート状接着材の厚み方向の加圧による変形を規制し、逃げ孔の変形を抑えてシート状接着材がノズル開口に入り込まないようにした製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２０９１５４号公報（３頁、図６および図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１０に、流路形成基板としてのインク室形成基板３４とギャップ剤８０とノズル形成基板１７とシート状接着材である接着剤シート７０とノズル開口１６と液滴１と記録媒体Ｐとを表した概略断面図を示した。
図１０において、ギャップ剤８０を介して加圧しつつ加熱を行って接着を行うと、ギャップ剤８０の存在でノズル形成基板１７が変形してノズル開口１６の開口方向にずれが生じ、液滴１が到達すべき位置に到達せず、到達位置精度が低下する。したがって、描画品質が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
液体が圧力を加えられる圧力室と、前記圧力室に連通する流路形成基板と、前記液体を噴射するノズル開口が並んだノズル列を備えたノズル形成基板と、前記流路形成基板と前記ノズル形成基板とを接着する接着剤シートと、前記流路形成基板と前記ノズル形成基板との間に配置されたギャップ剤とを備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズル列に沿って、前記流路形成基板または前記ノズル形成基板の少なくとも一方に複数回にわたって前記ギャップ剤を配置する工程と、前記流路形成基板と前記ノズル形成基板とを前記接着剤シートを介して加圧、加熱して接着する工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【０００７】
この適用例によれば、ノズル列に沿って複数回ギャップ剤を配置するので、ギャップ剤がノズル列に沿って間隔を狭くして多く配置される。したがって、加圧、加熱によるノズル開口への接着剤シートの流れ込みを防ぎつつ、ノズル列に沿ったノズル形成基板の変形が抑えられ、液滴の到達位置精度が良好で描画品質の低下の少ない液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００８】
［適用例２］
上記液滴噴射ヘッドの製造方法であって、前記ギャップ剤の配置を前記ギャップ剤同士が接触するまで行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、ギャップ剤が、ノズル列に沿って途切れることなく線状に配置されるので、よりノズル形成基板の変形を抑えられ、液滴の到達位置精度がより良好で描画品質の低下のより少ない液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００９】
［適用例３］
上記液滴噴射ヘッドの製造方法であって、前記ギャップ剤は、流動性のある分散媒に微粒子が分散していることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、微粒子を含んだギャップ剤が流動性を有しているので、ギャップ剤の塗布位置や塗布量を制御しやすく、ギャップ剤の配置が行いやすい液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態におけるプリンターの概略構成を示す図。
【図２】液体噴射ヘッドを斜め上方から見た概略分解斜視図。
【図３】ヘッドユニットの構成を示す概略部分断面図。
【図４】接着前の接着剤シートをインク室形成基板側から見た部分平面図。
【図５】ギャップ剤塗布装置の概略斜視図。
【図６】ギャップ剤の塗布方法を表す断面図。
【図７】ギャップ剤の塗布位置を表す平面図。
【図８】ギャップ剤塗布装置の移動をせず塗布を行った場合の液体噴射ヘッド製造後におけるノズル形成基板の平坦度を表す図。
【図９】ギャップ剤塗布装置を移動して再び塗布を行った場合の液体噴射ヘッド製造後におけるノズル形成基板の平坦度を表す図。
【図１０】従来の液体噴射ヘッドの概略部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
なお、図面では、説明を分かりやすくするために、一部を省略したり、各構成等を誇張して図示している。
【００１２】
以下の説明は、実施形態の製造方法によって製造された液体噴射ヘッドが画像記録装置としてのプリンター１００に搭載される場合を例に挙げて行う。
図１はプリンター１００の概略構成を示す図である。図１中、Ｘ方向は、キャリッジ１０４が移動する主走査方向を示し、Ｙ方向は、記録媒体Ｐが移送される副走査方向を示している。Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向と直交する方向である。
【００１３】
図１に示すように、プリンター１００は、液体噴射ヘッド１０と、キャリッジ１０４と、キャリッジ移動機構１０５と、プラテンローラー１０６と、インクカートリッジ１０７とを備えている。
【００１４】
液体噴射ヘッド１０は、キャリッジ１０４の記録媒体Ｐ側（図１中Ｚ方向下面）に取付けられ、記録媒体Ｐの表面にインクを液滴として噴射する。キャリッジ移動機構１０５は、タイミングベルト１０８と、駆動プーリー１１１と、従動プーリー１１２と、モーター１０９とを備えている。タイミングベルト１０８は、キャリッジ１０４が係止されており、駆動プーリー１１１と従動プーリー１１２とに張設されている。駆動プーリー１１１は、モーター１０９の出力軸に接続されている。
そのため、モーター１０９が作動すると、キャリッジ１０４は、プリンター１００に架設されたガイドロッド１１０に案内されて、主走査方向であるＸ方向に往復移動する。
【００１５】
プラテンローラー１０６は、モーター１０３から駆動力を受け、記録媒体Ｐを副走査方向であるＹ方向に移送する。インクカートリッジ１０７は、インクを貯留し、キャリッジ１０４に着脱可能に装着される。インクカートリッジ１０７は、液体噴射ヘッド１０にインクを供給する。
【００１６】
このように構成されたプリンター１００は、キャリッジ１０４をキャリッジ移動機構１０５によりＸ方向に往復移動させるとともに、記録媒体Ｐをプラテンローラー１０６によりＹ方向に移送させながら、キャリッジ１０４に取付けられた液体噴射ヘッド１０からインクを液滴として噴射することによって、記録用紙等の記録媒体Ｐ上に画像等の記録を行うことができる。
【００１７】
液体噴射ヘッド１０について、図２に基づいて説明する。
図２は、液体噴射ヘッド１０を斜め上方から見た概略分解斜視図である。図２の示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同じである。
【００１８】
図２に示すように、液体噴射ヘッド１０は、供給針ユニット１２と、ヘッドケース１８と、ヘッドユニット２６と、ヘッドカバー１９とを備えている。
【００１９】
供給針ユニット１２は、図１に示したインクカートリッジ１０７内のインクを液体噴射ヘッド１０内に導入するインク供給針１１が複数配設されている。
ヘッドケース１８は、供給針ユニット１２と配線基板２０とが取付けられるベース部２７と、ベース部２７の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット２６が取付けられる中空箱体状のケース部２８とにより構成される。
ヘッドケース１８と供給針ユニット１２の材料としては、例えば、エポキシ系の合成樹脂等が好適に用いられる。
【００２０】
ヘッドケース１８のベース部２７には、配線基板２０が配設される基板配設部２３が区画されている。配線基板２０は、各種駆動信号用の電子部品が実装されるとともに、アクチュエーターユニット１３と接続されたフレキシブルケーブル２４の一端側の端子が接続される、図示しない接続端子が形成されている。配線基板２０は、制御装置等からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の制御ケーブルが電気的に接続されるコネクター２５を備えている。
【００２１】
ヘッドユニット２６は、アクチュエーターユニット１３と流路ユニット１４とから構成されている。ヘッドユニット２６の詳細については、後述する。
ヘッドカバー１９は、液体噴射ヘッド１０のノズル形成基板１７の表面の外周縁を被覆してノズル開口１６を露出した状態でヘッドケース１８の先端側の取付部に取付けられる。
【００２２】
ヘッドユニット２６について、図２および図３を参照して説明する。
図３はヘッドユニット２６の構成を示す概略部分断面図である。図３の示すＸ方向およびＺ方向は、図１および図２に示すＸ方向およびＺ方向と同じである。
図３に示すように、ヘッドユニット２６は、アクチュエーターユニット１３と流路ユニット１４とが積層され構成されている。
【００２３】
アクチュエーターユニット１３は、少なくとも、圧力室形成基板５０と、振動板５２と、蓋部材５４と、圧力素子としての圧電振動子５６とから構成されている。
なお、上記各基板は複数の基板から構成されていてもよい。圧力室形成基板５０は、例えば、厚さ約１５０μｍ程度のアルミナやジルコニア（ＺｒＯ2）等のセラミックス板が好適に用いられ、圧力室６０となる通孔が開設されている。圧力室６０は、液滴を噴射するノズル開口１６と一対一に対応している。
【００２４】
振動板５２は、例えば、厚さ約１０μｍ程度のアルミナやジルコニアの薄板が好適に用いられ、一方の面に図示しない駆動電極が形成され、さらにその上にＰＺＴ等からなる圧電振動子５６が固定されている。
蓋部材５４は、例えば、アルミナやジルコニア等のセラミックス板に、後述する供給側連通口３８となる供給通孔３８ａおよびノズル連通口３６の一部となるノズル通孔３６ａが設けられている。
【００２５】
圧力室形成基板５０は、振動板５２と蓋部材５４とにより両面が封止されて圧力室６０を形成している。このとき、振動板５２に固定されている圧電振動子５６は、振動板５２を介して圧力室６０に対向している。また、蓋部材５４に設けられた供給側連通口３８となる供給通孔３８ａおよびノズル連通口３６の一部となるノズル通孔３６ａは、一方の開口が圧力室６０のＸ方向両端部に連通し、他方の開口は流路ユニット１４側に連通している。
【００２６】
圧力室形成基板５０と振動板５２と蓋部材５４とは、前述のように、アルミナやジルコニア等のセラミックス板で作製されているため、焼成によって一体に形成されることができる。例えば、グリーンシート（未焼成のシート材）に対して切削や打ち抜き等の加工を施して必要な通孔等を形成し、圧力室形成基板５０、振動板５２、および蓋部材５４の各シート状前駆体を形成する。
【００２７】
そして、各シート状前駆体を積層し焼成することにより、各シート状前駆体は一体化されて１枚のセラミックスシートとなる。この場合、各シート状前駆体は一体焼成されるので、特別な接着処理が不要である。また、各シート状前駆体の接合面において高いシール性を得ることもできる。
【００２８】
なお、１枚のセラミックスシート、すなわちアクチュエーターユニット１３には、圧電振動子５６を備えた圧力室６０が複数形成される。また、図２に示すＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフレキシブルケーブル２４の一端の端子が、圧電振動子５６の端子部に電気的に接続されている。
【００２９】
アクチュエーターユニット１３における圧電振動子５６は、いわゆる撓み振動モードの圧電素子である。そのため、圧電振動子５６を駆動し撓み変形させると、圧力室６０は、圧電振動子５６の撓み振動を受けて収縮、膨張する。ただし、圧電振動子５６として、この撓み振動モードに限定されない。
【００３０】
以下に、流路ユニット１４について説明する。
流路ユニット１４は、図２および図３に示すように、ノズル形成基板１７と流路形成基板としてのインク室形成基板３４と供給口形成基板３２とを有する。
【００３１】
ノズル形成基板１７は、図２に示すように、複数のノズル開口１６を有しており、複数のノズル開口１６は、Ｙ方向に沿って列状に配設され複数のノズル列１５を形成している。本実施例においては、４本のノズル列１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが形成されている。ノズル列１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄは、２分され、ノズル列１５ａ，１５ｂがプレートノズル列群２１ａを、ノズル列１５ｃ，１５ｄがプレートノズル列群２１ｂを構成している。
なお、ノズル形成基板１７の構成材料としては、例えば、ステンレス製の薄板材が好適に用いられ、プレス加工等により作成される。
【００３２】
インク室形成基板３４には、インクカートリッジ１０７側から導入されたインクが供給される複数の液室としてのインク室３３とノズル連通口３６の一部となる複数の第３の連通孔としてのノズル通孔３６ｃとが形成されている。インク室形成基板３４の構成材料としては、例えば、ステンレス製の薄板材が好適に用いられ、プレス加工等により作成される。
【００３３】
供給口形成基板３２は、ノズル連通口３６の一部となり圧力室６０からのインクをノズル開口１６へ導く複数の第２の連通孔としてのノズル通孔３６ｂと、オリフィスとして機能する供給側連通口３８の一部となりインク室３３からのインクを圧力室６０へ導く複数の第１の連通孔としての供給通孔３８ｂとインク室３３の圧力変動を緩和するコンプライアンス部３１とが形成されている。
また、このコンプライアンス部３１は、供給口形成基板３２に設けるのではなく、後に説明するインク室形成基板３４とノズル形成基板１７との間に別の基板を介挿して当該基板に設けても良い。
【００３４】
供給口形成基板３２の構成材料としては、例えば、ステンレス製の薄板材が好適に用いられる。例えば、２枚のステンレス等の不錆鋼等の金属薄板６２，６３を図示しない接着フィルムを介して積層、接合して形成する。
【００３５】
金属薄板６２および金属薄板６３は、共にステンレス鋼の薄板材を用いた。なお、ノズル通孔３６ｂと供給通孔３８ｂとは、エッチング加工やプレス加工で形成してもよい。この供給口形成基板３２は、アクチュエーターユニット１３との接合面となる。
【００３６】
流路ユニット１４は、インク室形成基板３４の一方の表面（図３中Ｚ方向下側）にノズル形成基板１７を、他方の表面（同上側）に供給口形成基板３２を、接着剤シートを介して配置し、加圧、加熱することによって、供給口形成基板３２、インク室形成基板３４、ノズル形成基板１７が接合され、一体に作製される。
図３では、インク室形成基板３４とノズル形成基板１７との間の接着剤シート７０のみを示した。
【００３７】
図３において、接着剤シート７０には、ノズル開口１６、インク室３３等に合わせて開口部１６ａ，３３ａが形成されている。また、Ｘ軸方向のノズル開口１６間にも開口部７１が形成され、開口部７１のノズル開口１６付近には、ギャップ剤８０が配置されている。
ギャップ剤８０は、微粒子を分散させたペースト状のものを用いることができる。微粒子は、接着剤に分散していてもよい。また、微粒子の直径は限定されないが、実施形態においては、数μｍ〜数十μｍのものを用いる。微粒子としては、エポキシ系、ウレタン系、ポリイミド系等の合成樹脂を用いることができる。
【００３８】
以下に、図３および図４を参照して、インク室形成基板３４とノズル形成基板１７とを接合する接着剤シート７０およびギャップ剤８０について詳しく説明する。
図４は、接着前の接着剤シート７０をインク室形成基板３４側から見た部分平面図である。図には、ノズル形成基板１７を合わせて示し、図２におけるプレートノズル列群２１ａまたはプレートノズル列群２１ｂの一方に対応する部分だけを示している。
図４に示すＸ方向、Ｙ方向は、図２、３に示すＸ方向、Ｙ方向と同じである。
【００３９】
図３および図４において、接着剤シート７０は、複数の開口部１６ａが列状に形成された２つの接着部７２と、開口部３３ａが形成された２つの接着部７３と、連結部としてのタイバー７４と縁部７５とを備えている。
図４は接着剤シート７０の略半分の部分しか示していないので、実際には、接着剤シート７０は、４つの接着部７２と４つの接着部７３とを備えている。
【００４０】
開口部１６ａは、ノズル開口１６の直径よりわずかに大きな径で形成されている。インク室形成基板３４とノズル形成基板１７とを加圧接着した際に、潰された接着剤がノズル開口１６側に流れてもノズル開口１６を塞がないようにするためである。
開口部３３ａもインク室３３よりも若干大きめに形成されている。
【００４１】
接着部７２，７３はタイバー７４によって縁部７５に接続されている。また、タイバー７４は一方の接着部７２と他方の接着部７２とを連結し、タイバー７４と接着部７２とで囲まれた開口部７１を形成している。
タイバー７４および縁部７５が設けられていることによって、接着剤シート７０の一体化が図られるとともに、接着剤シート７０のノズル形成基板１７への貼り付け作業の作業効率の向上が図られている。
【００４２】
接着剤シート７０は、接着剤シート７０の複数の開口部１６ａの各中心がノズル開口１６の各中心と合うように位置決めされて、貼り付けられる。
なお、接着剤シート７０の構成材料としては、例えば、厚み約２５μｍ程度フィルム状接着剤が好適に用いられる。
【００４３】
開口部７１に相当するノズル形成基板１７上には、ギャップ剤８０が、ノズル列１５ａ，１５ｂ（１５ｃ，１５ｄ）に沿って、ノズル開口１６付近に並んで配置されている。
図４において、列間のギャップ剤８０の距離をＢ、ノズル開口１６の中心とギャップ剤８０の中心との距離をＣ、ギャップ剤８０間の距離をＤとする。
例えば、Ｂは１．４５ｍｍ程度、また、Ｃは０．８２ｍｍ程度で短いほど好ましい、例えば、０．５２程度が好ましい、さらに、Ｄは間隔が狭いほど好ましく、連続していてもよい。
【００４４】
液体噴射ヘッド１０の製造方法は、ギャップ剤８０を配置する工程と流路形成基板としてのインク室形成基板３４および供給口形成基板３２とノズル形成基板１７とを接着剤シート７０を介して加圧、加熱して接着する工程とを含む。
以下に、ギャップ剤８０の配置方法を中心に液体噴射ヘッド１０の製造方法について述べる。その他の製造方法については、上記の構成要素の説明のところで述べている。
図５には、ギャップ剤８０の配置に用いるギャップ剤塗布装置２００の概略斜視図を示した。図５の示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１および図２に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同じ方向である。
【００４５】
ギャップ剤８０の配置は、ギャップ剤塗布装置２００を用いて、流路形成基板としてのインク室形成基板３４および供給口形成基板３２またはノズル形成基板１７の少なくとも一方に、図４に示したノズル列１５に沿ってギャップ剤８０を配置する。
図５において、ギャップ剤塗布装置２００は、突起部２１０を備えている。突起部２１０の先端２１１から図示しないギャップ剤８０が必要に応じて押し出されてくる。
ギャップ剤塗布装置２００の突起部２１０は、ギャップ剤８０が塗布される基板に向けて配置される。
【００４６】
図６（ａ）〜（ｆ）に、ギャップ剤８０を配置する工程を表す断面図を示した。図６では、図４に示したノズル開口１６付近に並んで配置されるギャップ剤８０の一部を示している。図６に示したＹ軸、Ｚ軸は、図１〜図５に示すＹ方向およびＺ方向と同じ方向である。
図６（ａ）において、接着剤シート７０が配置されたノズル形成基板１７に向けてギャップ剤塗布装置２００の突起部２１０を配置する。突起部２１０は、接着剤シート７０のタイバー７４間で、図４に示したノズル列１５に沿って配置する。ここで、隣り合う突起部２１０間の距離をＤ１とする。
次に、ギャップ剤塗布装置２００をノズル形成基板１７に向けてＺ軸方向に移動する。
【００４７】
図６（ｂ）において、突起部２１０をノズル形成基板１７に接触させるか、接触するぎりぎりの位置までノズル形成基板１７に近づける。具体的には、突起部２１０から押し出されたギャップ剤８０がノズル形成基板１７に接触する程度まで近づける。
【００４８】
図６（ｃ）において、突起部２１０からギャップ剤８０を、図示しないギャップ剤８０のタンクから、孔２１２を通じて押し出してギャップ剤８０がノズル形成基板１７に接触したところで、ギャップ剤塗布装置２００をノズル形成基板１７から離れるＺ軸方向に移動させる。
図７に、図６（ｃ）の状態でのギャップ剤８０の塗布位置を表す平面図を示した。ギャップ剤８０は、ノズル列１５に沿ってＤ１の間隔で並んで配置されている。
【００４９】
図６（ｄ）において、ギャップ剤塗布装置２００をＹ軸方向へずらす。ずらす方向は、Ｙ軸であれば、正負どちらの方向であってもよい。ずらす距離も、一度塗布したギャップ剤８０に突起部２１０が重ならなければよい。実施形態では、Ｄ１／２の距離だけ移動させる。
【００５０】
図６（ｅ）において、再度、突起部２１０をノズル形成基板１７に接触させるか、接触するぎりぎりの位置までノズル形成基板１７に近づける。
【００５１】
図６（ｆ）において、再度、突起部２１０からギャップ剤８０を、孔２１２を通じて押し出してギャップ剤８０がノズル形成基板１７に接触したところで、ギャップ剤塗布装置２００をノズル形成基板１７から離れるＺ軸方向に移動させる。
ここで、塗布する必要のない突起部２１０からはギャップ剤８０を押し出さない。例えば、ノズル列１５に沿っていない位置のギャップ剤８０を塗布する突起部２１０からはギャップ剤８０を押し出さない。
以上の配置操作を繰り返して、ノズル列１５に沿ったギャップ剤８０の間隔Ｄを狭くする。実施形態では、間隔ＤがＤ１／２になる２回繰り返した（図４に示した平面図参照）。
ここで、３回以上配置操作を繰り返して、隣り合うギャップ剤８０が接触するまでギャップ剤８０の間隔Ｄを狭くしてもよい。
【００５２】
加圧、加熱して接着する工程では、ギャップ剤８０を配置する工程後、流路形成基板としてのインク室形成基板３４および供給口形成基板３２とノズル形成基板１７とを接着剤シート７０を介して加圧、加熱して接着する。
加圧圧力、加熱温度は、接着剤シート７０によって異なるが、例えば、加圧圧力が３ｋｇ／ｃｍ2、加熱温度１２０℃で行う。加圧圧力、加熱温度は、一度に加えるのでなく段階的に加えてもよい。
上述べた製造方法によって、液体噴射ヘッド１０が得られる。
【００５３】
図８に、ギャップ剤塗布装置２００のＹ軸方向への移動をせず、一回のみ配置操作を行った場合の液体噴射ヘッド１０製造後におけるノズル形成基板１７の平坦度を表す図を示した。横軸がギャップ剤８０の位置を示し、縦軸が中心値からのずれを示す。
図８において、ノズル形成基板１７は、ギャップ剤８０の位置に合わせて細かくうねっていることがわかる。さらに、中心値からのずれも大きい。
【００５４】
図９に、ギャップ剤塗布装置２００をＹ軸方向へ移動して、２回繰り返し配置操作を行った場合の液体噴射ヘッド１０製造後におけるノズル形成基板１７の平坦度を表す図を示した。
図９において、ノズル形成基板１７のうねりは大きくなり、ギャップ剤８０による平坦度への影響が少なくなることがわかる。また、中心値からのずれも小さくなる。
【００５５】
上述の構成を有する液体噴射ヘッド１０の噴射動作について、図３を参照して説明する。
インク室形成基板３４のインク室３３には、インクカートリッジ１０７から図示しないインク供給口を介してインクが供給される。インクカートリッジ１０７から供給されたインクは、供給側連通口３８を経由してアクチュエーターユニット１３の圧力室６０およびノズル連通口３６にも供給される。その結果、インク室３３、供給側連通口３８、圧力室６０、ノズル連通口３６、ノズル開口１６の開口部までインクが満たされている。
【００５６】
アクチュエーターユニット１３の圧電振動子５６が駆動され撓み変形すると、圧力室６０は圧電振動子５６の撓み振動を受けて収縮する。圧力室６０が収縮すると、圧力室６０に収容されているインクが加圧される。このとき、供給側連通口３８はオリフィスとして機能するため、インクは、ノズル連通口３６の一部となるノズル開口１６から液滴として噴射される。また、圧電振動子５６の撓み変形が解除されると、圧力室６０は膨張する。圧力室６０が膨張すると、供給側連通口３８を介してインク室３３からインクが吸引され、圧力室６０にインクが充填される。インク室３３には、図示しないインク供給口を介して、インクカートリッジ１０７からインクが供給される。
【００５７】
このように、アクチュエーターユニット１３の圧電振動子５６が駆動され撓み変形すると、圧力室６０は圧電振動子５６の撓み振動を受けて収縮、膨張を繰り返し、ノズル開口１６からインクを液滴として噴射することができる。
【００５８】
上記実施形態の効果は、以下のとおりである。
（１）ノズル列１５に沿って複数回ギャップ剤８０を配置するので、ギャップ剤８０がノズル列１５方向に間隔Ｄを狭くして多く配置できる。したがって、加圧、加熱によるノズル開口１６への接着剤シート７０の流れ込みを防ぎつつ、ノズル列１５に沿ったノズル形成基板１７の変形を抑えることができ、液滴の到達位置精度が良好で描画品質の低下の少ない液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００５９】
（２）ギャップ剤８０が、ノズル列１５に沿って途切れることなく線状に配置できるので、よりノズル形成基板１７の変形を抑えることができ、液滴の到達位置精度がより良好で描画品質の低下のより少ない液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００６０】
（３）微粒子を含んだギャップ剤８０が流動性を有しているので、ギャップ剤８０の塗布位置や塗布量を制御しやすくでき、ギャップ剤８０の配置が行いやすい液体噴射ヘッド１０の製造方法が得られる。
【００６１】
上述した実施形態以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
圧力室６０への圧力の加え方はどのようなものであってもよい。例えば、熱によるものであってもよい。具体的には、圧力室６０内に発熱素子を配置してもよい。
また、圧力発生素子としては、これらの実施形態の圧電振動子５６に限定されない。例えば、撓み振動でなく伸縮振動、すべり振動をするものであってもよい。
【００６２】
ギャップ剤８０を打つ間隔Ｄ，Ｄ１は実施形態に限らない。例えば、Ｄは等間隔でなくてもよい。
さらに、ギャップ剤８０は、孔２１２を通じて一ヶ所に何度押し出して塗布してもよい。例えば、数回に分けて押し出してもよい。
【００６３】
ギャップ剤塗布装置２００の突起部２１０の数は実施形態に示したものに限らない。例えば、突起部２１０が１つであてもよい。また、突起部２１０の配置も実施形態に示したものに限らない。
【符号の説明】
【００６４】
１０…液体噴射ヘッド、１４…流路ユニット、１５…ノズル列、１６…ノズル開口、１７…ノズル形成基板、３２…流路形成基板としての供給口形成基板、３４…流路形成基板としてのインク室形成基板、６０…圧力室、７０…接着剤シート、８０…ギャップ剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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