(57)【要約】  【課題】ホスト指定されたイベントの有効/無効を視覚的に把握しにくいという問題点を解決し、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤ、収集レポートＩＤとＶＩＤのリンク関係を把握しやすいように改良した基板処理装置を提供する。  【解決手段】各種ファイルを記憶する記憶部５３と、前記プログラムを実行して基板を処理する制御部と、前記プログラムが実行中の稼動状態を表示する表示部とを備えた基板処理装置であって、前記記憶部は、前記プログラムのうち、前記ファイルを参照して所定のイベントのリンク関係を前記表示部に表示するホスト制御プログラムを有する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各種ファイルを記憶する記憶部と、前記プログラムを実行して基板を処理する制御部と、前記プログラムが実行中の稼動状態を表示する表示部とを備えた基板処理装置であって、
前記記憶部は、前記プログラムのうち、前記各種ファイルを参照して所定のイベントのリンク関係を前記表示部に表示するホスト制御プログラムを有することを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続されるホストコンピュータで構成される基板処理システムに関し、特に、ホストコンピュータで指定された収集レポートＩＤとＶＩＤとのリンク関係、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤのリンク関係を表示可能な機能を有する基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の基板処理装置の一種である半導体製造装置では、ホストコンピュータ（以後、ホストと略す。）が収集レポートＩＤ（ＲＰＴＩＤ）とＶＩＤ（変数ＩＤ）とのリンク関係をＳ２Ｆ３３トランザクション、収集イベントＩＤ（ＣＥＩＤ）と収集レポートとのリンク関係をＳ２Ｆ３５トランザクション、収集イベントＩＤの有効/無効設定をＳ２Ｆ３７トランザクションで通信を行っている。ホストからどのような内容のＳ２Ｆ３３、Ｓ２Ｆ３５、Ｓ２Ｆ３７トランザクションが送信されたかを確認するためにはホストからの指示内容を装置内部で保存したデータファイルをオープンして参照することは可能である。ここで、ＶＩＤは、変数データにつけた固有の識別子のことである。収集レポートＩＤは、レポートに固有な識別子のことである。レポートとは前もって装置で定義しておいた変数の集まりのことである。ここでは、ＶＩＤをグループ定義したものである。収集イベントＩＤは、収集イベントの識別子である。収集イベントとは、装置にとって重要であると思われる事象のことである。因みに事象とは、ボートロード、ボートアンロードなどをいう。
【０００３】
しかし、データファイルは、ＶＩＤを記録した数字のみのファイルのため、そのＶＩＤが持つ意味を調べる為に、ＶＩＤと意味をリンク付けしたＶＩＤ定義ファイル（変数ＩＤの定義をファイルにしたもの）をオープンして検索する必要がある。そのため、リンク関係を解析する際、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤ、収集レポートＩＤとＶＩＤを順に辿り、また、ＶＩＤ定義ファイルをオープンして調べる必要があり、解析工数がかかる問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は従来技術の問題点である、ホスト指定されたイベントの有効/無効を視覚的に把握しにくいという問題点を解決し、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤ、収集レポートＩＤとＶＩＤのリンク関係を把握しやすいように改良した基板処理装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の特徴とするところは、各種ファイルを記憶する記憶部と、前記プログラムを実行して基板を処理する制御部と、前記プログラムが実行中の稼動状態を表示する表示部とを備えた基板処理装置であって、前記記憶部は、前記プログラムのうち、前記ファイルを参照して所定のイベントのリンク関係を前記表示部に表示するホスト制御プログラムを有することにある。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ホストコンピュータから指定されたイベントのリンク関係をリアルタイムに表示でき、ホストコンピュータが基板処理装置内で定義しているどのイベントの情報を収集しているのか、またはどのＶＩＤを収集しているのかを一覧表示できる。また、その結果を障害解析にも適用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施するための最良の形態を説明する。まず、本発明が実施される基板処理装置について説明する。尚、基板処理装置は、半導体装置（ＩＣ）の製造工程の１つである基板処理工程を実施する。又、以下の説明では、基板処理装置の一例として縦型炉を具備して基板に酸化処理、ＣＶＤ成膜処理、拡散処理、アニール処理等を行う縦型の基板処理装置について説明する。
【０００８】
図１及び図２に示されているように、基板処理装置１は筐体２を備えている。該筐体２の正面壁３の正面前方部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、該正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉される。
【０００９】
前記筐体２の前記正面壁３にはポッド搬入搬出口６が前記筐体２の内外を連通する様に開設されており、前記ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）７によって開閉され、前記ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、該ロードポート８は載置されたポッド９を位置合せするように構成されている。
【００１０】
該ポッド９は、密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によって前記ロードポート８上に搬入され、又、該ロードポート８上から搬出されるようになっている。
【００１１】
前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、該回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納するように構成されている。
【００１２】
前記回転式ポッド棚１１は垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、該支柱１２に上中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えており、該棚板１３はポッド９を複数個それぞれ載置した状態で格納する様に構成されている。
【００１３】
前記回転式ポッド棚１１の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１４が設けられ、該ポッドオープナ１４は前記ポッド９を載置し、又該ポッド９の蓋を開閉可能な構成を有している。
【００１４】
前記ロードポート８と前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間には、ポッド搬送装置（容器搬送装置）１５が設置されており、該ポッド搬送装置１５は、前記ポッド９を保持して昇降可能、水平方向に進退可能となっており、前記ロードポート８、前記回転式ポッド１１、前記ポッドオープナ１４との間で前記ポッド９を搬送するように構成されている。
【００１５】
前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１６が後端に亘って設けられている。該サブ筐体１６の正面壁１７にはウェーハ（基板）１８を前記サブ筐体１６内に対して搬入搬出するためのウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１９が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口１９，１９に対して前記ポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。
【００１６】
該ポッドオープナ１４は前記ポッド９を載置する載置台２１と、前記ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２２とを備えている。前記ポッドオープナ１４は前記載置台２１に載置された前記ポッド９の蓋を前記開閉機構２２によって開閉することにより、前記ポッド９のウェーハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１７】
前記サブ筐体１６は前記ポッド搬送装置１５や前記回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室２３を構成している。該移載室２３の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２４が設置されており、該ウェーハ移載機構２４は、ウェーハ１８を載置する所要枚数（図示では５枚）のウェーハ移載プレート２５を具備し、該ウェーハ移載プレート２５は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又昇降可能となっている。前記ウェーハ移載機構２４はボート（基板保持具）２６に対してウェーハ１８を装填及び払出しする様に構成されている。
【００１８】
前記移載室２３の後側領域には、前記ボート２６を収容して待機させる待機部２７が構成され、該待機部２７の上方には縦型の処理炉２８が設けられている。該処理炉２８は前記ボート２６を収納する処理室を有し、該処理室の下端部は、路口部となっており、該炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）２９により開閉されるようになっている。
【００１９】
前記筐体２の右側端部と前記サブ筐体１６の前記待機部２７の右側端部との間には前記ボート２６を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）３１が設置されている。該ボートエレベータ３１の昇降台に連結されたアーム３２には蓋体としてのシールキャップ３３が水平に取り付けられており、該シールキャップ３３は前記ボート２６を垂直に支持し、前記処理炉２８の炉口部を気密に閉塞可能となっている。
【００２０】
前記ボート２６は複数本の支柱を備えており、該支柱は複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウェーハ１８を、その中心を揃えて水平姿勢で多段に保持するように構成されている。尚、前記基板処理装置１内部にはダミーウェーハ（図示しない）が保管されており、必要に応じ、前記ボート２６上部、下部には所要枚数のダミーウェーハが装填され、又処理の内容に応じて所要間隔でモニタウェーハが前記ボート２６に装填されるようになっている。
【００２１】
前記ボートエレベータ３１側と対向した位置にはクリーンユニット３５が配設され、該クリーンユニット３５は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア３４を供給する様供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。前記ウェーハ移載機構２４と前記クリーンユニット３５との間には、ウェーハ１８の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。
【００２２】
前記クリーンユニット３５から吹出されたクリーンエア３４は、ノッチ合せ装置（図示せず）及び前記ウェーハ移載機構２４、前記ボート２６に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、前記筐体２の外部に排気がなされるか、若しくは前記クリーンユニット３５の吸込み側である一次側（供給側）に迄循環され、再び該クリーンユニット３５によって、前記移載室２３内に吹出される様に構成されている。
【００２３】
次に、本発明の処理装置の作動について説明する。
【００２４】
前記ポッド９が前記ロードポート８に供給されると、前記ポッド搬入搬出口６が前記フロントシャッタ７によって開放される。前記ロードポート８の上の前記ポッド９は前記ポッド搬送装置１５によって前記筐体２の内部へ前記ポッド搬入搬出口６を通して搬入され、前記回転式ポッド棚１１の指定された前記棚板１３へ載置される。前記ポッド９は前記回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、前記ポッド搬送装置１５により前記棚板１３からいずれか一方のポッドオープナ１４に搬送されて前記載置台２１に移載されるか、若しくは前記ロードポート８から直接前記載置台２１に移載される。
【００２５】
この際、前記ウェーハ搬入搬出口１９は前記開閉機構２２によって閉じられており、前記移載室２３には前記クリーンエア３４が流通され、充満されている。例えば、前記移載室２３にはクリーンエア３４として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、前記筐体２の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００２６】
前記載置台２１に載置された前記ポッド９はその開口側端面が前記サブ筐体１６の前記正面壁１７に於ける前記ウェーハ搬入搬出口１９の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が前記開閉機構２２によって取外され、ウェーハ出し入れ口が開放される。
【００２７】
前記ポッド９が前記ポッドオープナ１４によって開放されると、ウェーハ１８は前記ポッド９から前記ウェーハ移載機構２４によって取出され、ノッチ合せ装置（図示せず）に移送され、該ノッチ合せ装置にてウェーハ１８を整合した後、前記ウェーハ移載機構２４はウェーハ１８を前記移載室２３の後方にある前記待機部２７へ搬入し、前記ボート２６に装填（チャージング）する。
【００２８】
該ボート２６にウェーハ１８を受渡した前記ウェーハ移載機構２４はポッド９に戻り、次のウェーハ１８を前記ボート２６に装填する。
【００２９】
一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４に於ける前記ウェーハ移載機構２４によるウェーハ１８の前記ボート２６への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１４には前記回転式ポッド棚１１から別のポッド９が前記ポッド搬送装置１５によって搬送されて移載され、前記他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。
【００３０】
予め指定された枚数のウェーハ１８が前記ボート２６に装填されると、前記炉口シャッタ２９によって閉じられていた前記処理炉２８の炉口部が、前記炉口シャッタ２９によって開放される。続いて、前記ボート２６は前記ボートエレベータ３１によって上昇され、前記処理炉２８内（処理室）へ装入（ローディング）される。尚、装填されるウェーハには、モニタウェーハも含まれる。
【００３１】
ローディング後は、前記シールキャップ３３によって炉口部が気密に閉塞され、前記ボート２６はウェーハ１８を保持した状態で、処理室に気密に収納される。前記ウェーハ１８が加熱され、又処理室に処理ガスが導入されつつ、所定圧力に維持されるように排気され、前記処理炉２８にてウェーハ１８に所要の処理が実行される。
【００３２】
処理後は、ノッチ合せ装置（図示せず）でのウェーハ１８の整合工程を除き、上記と逆の手順で、ウェーハ１８及びポッド９は前記筐体２の外部へ払出される。
【００３３】
処理済のウェーハについて品質を管理する為、バッチ処理毎にモニタウェーハについて処理結果を測定、良否判定が行われる。
【００３４】
図３は、上記基板処理装置を具備する基板処理システムの概略構成を示している。
【００３５】
図３中、４１は管理装置であるＨＯＳＴコンピュータを示し、該ＨＯＳＴコンピュータ４１が通信網、例えばＬＡＮ４２に接続され、該ＬＡＮ４２に中継分配器、例えばＨＵＢ４３を介して複数台の基板処理装置１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・、１ｎの制御部４９ａ、４９ｂ、・・・、４９ｎが接続されている。
【００３６】
前記ＨＯＳＴコンピュータ４１は管理プログラムによって、前記基板処理装置１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・、１ｎの運用をオンラインで制御する。オンラインの運用では、前記ポッド９の搬入、搬出、プロセス条件指定、プロセス開始指定、プロセスデータ収集等一連の処理が、前記ＨＯＳＴコンピュータ４１によって実行、管理される。
【００３７】
前記ＨＯＳＴコンピュータ４１は主通信制御部４５、主演算制御部４６、主記憶部４７、操作部４８を具備し、前記主記憶部４７には前記基板処理装置１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・、１ｎを自動的に運用する為の管理プログラム、前記制御部部４９ａ、４９ｂ、・・・、４９ｎとの間の通信を行う為の通信プログラムが格納され、又基板処理を実行するためのレシピが登録される。
【００３８】
該レシピには基板の移載パターンを決定するパラメータを含み、該パラメータは書換え可能であり、パラメータは前記ＨＯＳＴコンピュータ４１からの指令によって、又は前記基板処理装置１が具備する操作部（図示せず）から設定可能となっている。尚、前記パラメータは基板移載を実行するシーケンスプログラム中に含ませ、同様に書換え可能としてもよい。
【００３９】
前記管理プログラムは、前記基板処理装置１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・、１ｎに基板の複数の移載パターンの１つを指示するようになっており、又移載パターン設定パラメータによって選択されるようになっている。
【００４０】
移載パターン設定パラメータは基板処理の内容に応じて設定され、或いは前記操作部４８より入力可能となっている。
【００４１】
尚、登録されるレシピは通常１つであり、レシピ作成の作業、登録等に伴う作業は少なくて済む。尚、複数のレシピを登録し、レシピの選択を可能とすると共に１つのレシピ内に於いて、更に移載パターンが選択可能としてもよい。
【００４２】
前記制御部４９ａ、４９ｂ、・・・、４９ｎは、それぞれ、例えば前記基板処理装置１ａ（以下基板処理装置１）は、通信制御部５１、演算制御部５２、記憶部５３、図示しない表示部を具備し、該記憶部５３には前記ＨＯＳＴコンピュータ４１との通信を行う為の通信プログラム、レシピを実行するための基板処理プログラム、前記基板処理装置１内でポッド９の移載、基板の移載、ボート２６の装入、着脱等の実行するためのシーケンスプログラム等の基板処理に必要なプログラムが格納され、又前記記憶部５３には、基板の移載を実行する場合の複数の移載パターン、及び基板処理のためのレシピが登録される。更に、イベントＩＤ、レポートＩＤ、ＶＩＤ間のリンク関係を表示部に表示させるためのホスト制御プログラムが記憶される。該ホスト制御プログラムを実行する際に使用される各種ファイル（収集イベントＩＤと収集レポートＩＤとのＩＤの対応付けファイル、収集レポートＩＤとＶＩＤとのＩＤの対応付けファイル、ＨＯＳＴコンピュータ４１からＥｎａｂｌｅ指定されたイベントの名称格納ファイル等）が格納される。尚、ホスト制御プログラム及びこれらの各種ファイルは、ＨＯＳＴコンピュータ４１の主記憶部４７に登録されても構わないのは言うまでもない。
【００４３】
前記演算制御部５２は、シーケンスプログラムにより前記回転式ポッド棚１１、前記ポッド搬送装置１５、前記開閉機構２２、前記ウェーハ移載機構２４、前記ボートエレベータ３１、前記処理炉２８を駆動制御すると共に、通信プログラムによって前記ＨＯＳＴコンピュータ４１の通信を制御し、又基板処理プログラムによりレシピを実行して基板の処理を制御する。
【００４４】
図３において、基板処理装置１とＨＯＳＴコンピュータ４１は、ＨＳＭＳを用いて通信を確立し、ＳＥＣＳメッセージでデータの送受信を行っている。
【００４５】
ＨＯＳＴコンピュータ４１からＳＥＣＳメッセージはホスト制御プログラムで管理され、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤ、収集レポートＩＤとＶＩＤの関係を構築するＳ２Ｆ３３、Ｓ２Ｆ３５、Ｓ２Ｆ３７のメッセージはホスト制御プログラムのメモリの内部でリンク関係を構築後、データはテキストファイル（ＣＳＶ形式）として基板処理装置１内部の不揮発性領域に保存している。
【００４６】
本実施の形態においては、ホスト制御プログラムで収集したＩＤのリンク関係をＧＵＩで表示する。ホスト制御プログラムのメモリ内部には、イベントＩＤやＶＩＤに対応した名称テーブルを格納しており、ＨＯＳＴコンピュータ４１から送信されるイベントＩＤやＶＩＤをキーとして名称テーブルを検索し、名称を取得することで表示が可能となる。
【００４７】
図４に本発明の実施の形態を示す画面表示の一例を示す。図４では、ホスト制御プログラムで収集したＩＤのリンク関係を表示する例として、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤ、収集レポートＩＤとＶＩＤの関係を表形式で一覧表示している。ここで、ＣＥＩＤｔｏＲＰＴＩＤ．ｃｆｇは、収集イベントＩＤと収集レポートＩＤとのＩＤの対応付けファイルで、ＲＰＴＩＤｔｏＶＩＤ．ｃｆｇは、収集レポートＩＤとＶＩＤとのＩＤの対応付けファイルを表す。これらのファイルには、ＩＤのみしか格納されていないため、名称を取得するためには別途ファイルを参照する必要がある。ＤＶｄｅｆｉｎｅ．ｐｒｍはＤＶの名称格納ファイル、ＳＶｄｅｆｉｎｅ．ｐｒｍはＳＶの名称格納ファイル、ＣＥＩＤｅｎａｂｌｅ．ｃｆｇはＨＯＳＴコンピュータ４１からＥｎａｂｌｅ指定されたイベントの名称格納ファイルで、イベントのＥｎａｂｌｅ/Ｄｉｓａｂｌｅ表示となり、また、これらのファイルから名称を取得することでＩＤと名称が表示可能となり、オペレータ（作業者等）がファイルをオープンすることなく視覚的にリンク状態を確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板処理装置を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板処理装置を示す概略側面図である
【図３】本発明の実施の形態を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態を示す画面表示の一例を示す
【符号の説明】
【００４９】
１  基板処理装置
９  ポッド
１８  ウェーハ
２６  ボート
４１  ＨＯＳＴコンピュータ
４９  制御部
５１  通信制御部
５３  記憶部
【図１】
2010027983.tif 000003
【図２】
2010027983.tif 000004
【図３】
2010027983.tif 000005
【図４】
2010027983.tif 000006