(57)【要約】【課題】コロナ放電の放電動作を停止した際に、ワークに帯電を残留させない除電装置を提供する。【解決手段】除電装置１４を含む除電システム１０の放電動作停止時に、コロナ放電の放電動作の許可又は非許可を入力する指令装置１２と、前記放電動作の許可又は非許可を検出する検出部１４ａと、前記コロナ放電中に、前記検出部１４ａにより放電動作非許可を検出したとき、前記コロナ放電を停止させる放電動作停止時処理部１４ｃとを有し、前記放電動作停止時処理部１４ｃが、前記コロナ放電を停止させるときに、前記ワークが帯電状態とならないタイミングで前記コロナ放電の放電動作を停止させるように停止時間を調整することができる。【選択図】図２
2010212076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定周期の正負の高電圧パルスを電極針に印加し、コロナ放電により前記電極針から正負のイオンを発生させ、ワークの除電を行う除電装置において、
コロナ放電中に、放電動作の非許可を検出する検出部と、
前記検出部により前記放電動作の非許可を検出したとき、前記コロナ放電の放電動作を停止させる放電動作停止時処理部と、
を有し、
前記放電動作停止時処理部は、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記ワークが帯電状態とならないタイミングで前記コロナ放電の放電動作を停止させる
ことを特徴とする除電装置。
【請求項２】
請求項１に記載の除電装置において、
前記ワークの帯電量を検出する電位センサをさらに備え、
前記放電動作停止時処理部は、前記ワークが帯電状態とならないタイミングを、前記電位センサによる前記ワークの帯電量が最小となるタイミングとする
ことを特徴とする除電装置。
【請求項３】
請求項１に記載の除電装置において、
前記放電動作停止時処理部は、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記コロナ放電をさせる前記高電圧パルスの電圧を保持したまま、前記高電圧パルスのパルス幅を徐々に減少させた後に前記コロナ放電の放電動作を停止させる
ことを特徴とする除電装置。
【請求項４】
請求項１に記載の除電装置において、
前記放電動作停止時処理部は、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記コロナ放電をさせる前記高電圧パルスの電圧を保持したまま、前記高電圧パルスの繰返し周波数を前記一定周期の周波数よりも高周波とした後に前記コロナ放電の放電動作を停止させる
ことを特徴とする除電装置。
【請求項５】
請求項１に記載の除電装置において、
前記放電動作停止時処理部は、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記コロナ放電をさせる前記高電圧パルスの電圧を保持したまま、前記高電圧パルスの繰返し周波数を前記一定周期の周波数から徐々に高周波とした後に前記コロナ放電の放電動作を停止させる
ことを特徴とする除電装置。
【請求項６】
一定周期の正負の高電圧パルスを電極針に印加し、コロナ放電により前記電極針から正負のイオンを発生させ、ワークの除電を行う除電装置における放電停止タイミングの設定方法において、
前記コロナ放電中に、前記放電動作の非許可を検出するステップと、
前記放電動作の非許可を検出したとき、前記コロナ放電の放電動作を停止させる放電動作停止時処理ステップと、
を有し、
前記放電動作停止時処理ステップでは、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記ワークが帯電状態とならないタイミングで前記コロナ放電の放電動作を停止させる
ことを特徴とする除電装置における放電停止タイミングの設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、正負の高電圧パルスを電極針に印加し、コロナ放電により前記電極針から正負のイオンを発生させ、帯電したワークを除電する除電装置及び放電停止タイミングの設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
除電装置は、ワークに正負のイオンを射出することにより、該ワークに帯電している正負の電荷を中和して前記ワークを除電するものである。特許文献１には、除電装置が前記ワークの除電を行う除電空間内での、前記正負のイオンのイオンバランス調整方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４９４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の除電装置では、正負の高電圧パルスを電極針に印加し、前記電極針の先端に発生するコロナ放電により、正負のイオンが発生する。この場合、前記コロナ放電を行うために、前記正負の高電圧パルスを交互に切り替えて印加するが、除電空間には、前記正負の高電圧パルスのパルス幅に応じた電位の振幅変化がある。このため、前記コロナ放電の放電動作を停止するときは、停止した際に発生していた前記電位の振幅に応じた極性が残留する。そして、前記残留した極性は、前記コロナ放電の放電動作を停止した後の除電空間のイオンバランスに影響を及ぼし、前記ワークへの帯電をも残留させてしまう。従って、従来の除電装置では、静電気障害に対して敏感な半導体集積回路などの電子部品の除電において、放電動作を停止した際のワーク表面に残留した帯電を除電ブラシ等により取り除く作業が必要であり、この点において煩わしさを伴っている。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、前記コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間内のワークに帯電を残留させない除電装置及び放電停止タイミングの設定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の課題を達成するために、本発明に係る除電装置は、一定周期の正負の高電圧パルスを電極針に印加し、コロナ放電により前記電極針から正負のイオンを発生させ、ワークの除電を行う除電装置において、
コロナ放電中に、放電動作の非許可を検出する検出部と、
前記検出部により前記放電動作の非許可を検出したとき、前記コロナ放電の放電動作を停止させる放電動作停止時処理部と、
を有し、
前記放電動作停止時処理部は、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記ワークが帯電状態とならないタイミングで前記コロナ放電の放電動作を停止させる
ことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る除電装置における放電停止タイミングの設定方法は、一定周期の正負の高電圧パルスを電極針に印加し、コロナ放電により前記電極針から正負のイオンを発生させ、ワークの除電を行う除電装置における放電停止タイミングの設定方法において、前記コロナ放電中に、前記放電動作の非許可を検出するステップと、前記放電動作の非許可を検出したとき、前記コロナ放電の放電動作を停止させる放電動作停止時処理ステップと、を有し、前記放電動作停止時処理ステップでは、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記ワークが帯電状態とならないタイミングで前記コロナ放電の放電動作を停止させることを特徴とする。
【０００８】
上記の各発明によれば、コロナ放電の放電動作の非許可を検出したとき、直ちに高電圧パルスの電極針への印加を停止することなく継続させて、前記コロナ放電の放電動作による帯電を残留させないタイミングで停止させるようにしている。
【０００９】
これにより、除電空間内のイオンバランスが均衡し、除電空間内のワークに帯電を残留させないで除電装置の放電動作を停止させることができる。
【００１０】
さらに、本発明に係る除電装置は、前記ワークの帯電量を検出する電位センサをさらに備え、前記放電動作停止時処理部は、前記ワークが帯電状態とならないタイミングを、前記電位センサによる前記ワークの帯電量が最小となるタイミングとすることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る除電装置は、前記放電動作停止時処理部が、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記コロナ放電をさせる前記高電圧パルスの電圧を保持したまま、前記高電圧パルスのパルス幅を徐々に減少させた後に前記コロナ放電の放電動作を停止させることを特徴とする。
【００１２】
さらに、本発明に係る除電装置は、前記放電動作停止時処理部が、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記コロナ放電をさせる前記高電圧パルスの電圧を保持したまま、前記高電圧パルスの繰返し周波数を前記一定周期の周波数よりも高周波とした後に前記コロナ放電の放電動作を停止させることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る除電装置は、前記放電動作停止時処理部が、前記コロナ放電の放電動作を停止させるときに、前記コロナ放電をさせる前記高電圧パルスの電圧を保持したまま、前記高電圧パルスの繰返し周波数を前記一定周期の周波数から徐々に高周波とした後に前記コロナ放電の放電動作を停止させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、コロナ放電の放電動作を停止した際に、除電空間内の正負のイオンのバランスを均衡させることができ、除電空間内のワークに帯電を残留させることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は実施例１に係る除電装置を含む除電システムの模式図である。
【図２】図２は図１の除電装置における放電停止時処理のフローチャートである。
【図３】図３は除電装置のタイムチャートである。
【図４】図４は実施例２に係る除電装置を含む除電システムの模式図である。
【図５】図５は図４の除電装置に係る帯電量マップである。
【図６】図６は図４の除電装置における放電停止時処理のフローチャートである。
【図７】図７は実施例３に係る除電装置を含む除電システムの模式図である。
【図８】図８は実施例３に係る帯電量マップの例である。
【図９】図９は実施例４に係る除電装置を含む除電システムの模式図である。
【図１０】図１０は実施例４に係る除電装置における放電停止時処理の模式図である。
【図１１】図１１は実施例４に係る帯電量マップの例である。
【図１２】図１２は実施例４に係る除電装置における放電停止時処理のフローチャートである。
【図１３】図１３は実施例５に係る帯電量マップの例である。
【図１４】図１４は実施例６に係る帯電量マップの例である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る除電装置における放電停止タイミングの設定方法について、これを実施する除電装置との関係において好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例１の除電装置１４を含む除電システム１０の模式図を示す。
【００１８】
この除電システム１０は、指令装置１２と、コロナ放電を発生させる除電装置１４と、正の高電圧発生部１６ａと、負の高電圧発生部１６ｂと、正側の電極針１８ａと、負側の電極針１８ｂと、ワークＷの表面の帯電量Ｃを検出する電位センサ２０とを有する。
【００１９】
指令装置１２は、外部入力機器であり、この場合はシーケンサで構成されている。前記指令装置１２は、電圧＋Ｖｃｃのハイレベル側に接続されたときに放電動作許可信号ＳＯＮを出力し、グラウンドのローレベル側に接続されたときに放電動作非許可信号ＳＯＦＦを出力する。
【００２０】
除電装置１４は、検出部１４ａと、放電指令生成部１４ｂと、放電動作停止時処理部１４ｃとから構成されている。
【００２１】
ここで、検出部１４ａは指令装置１２からの信号（放電動作許可信号ＳＯＮ又は放電動作非許可信号ＳＯＦＦ）を検出し、放電動作許可信号ＳＯＮを検出した場合には放電指令生成部１４ｂへ駆動信号Ｓｄ１を送出し、放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出した場合には放電動作停止時処理部１４ｃへ駆動信号Ｓｄ２を送出する。
【００２２】
放電指令生成部１４ｂは、駆動信号Ｓｄ１を受領したとき、正の高電圧発生部１６ａ及び負の高電圧発生部１６ｂに放電時の放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃを送出する。
【００２３】
正の高電圧発生部１６ａ及び負の高電圧発生部１６ｂは、受領した放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃに従う高電圧パルスＶｐ、Ｖｍを、それぞれ電極針１８ａ、電極針１８ｂに印加する。
【００２４】
放電動作停止時処理部１４ｃは、上記の駆動信号Ｓｄ２を受領したとき、放電指令生成部１４ｂを制御して、後述するコロナ放電の停止時処理を行う。
【００２５】
ワークＷの表面付近に設置されている電位センサ２０は、ワークＷ表面の検出した帯電量Ｃを放電動作停止時処理部１４ｃへ送出する。
【００２６】
なお、図１では、理解の容易化のために、丸印中に「＋」の文字を付けることで正イオン２２を表記し、丸印中に「−」の文字を付けることで負イオン２４を表記している。
【００２７】
実施例１に係る除電システム１０は、基本的には、以上のように構成され且つ動作するものであり、次に、図２に示す除電システム１０による除電手順のフローチャート及び図３に示す除電装置１４による除電手順のタイムチャートを参照して詳細な動作を説明する。
【００２８】
ステップＳ１において、検出部１４ａはユーザ等の指令装置１２の操作に基づき該指令装置１２から放電動作許可信号ＳＯＮが送出されたか否かを判断する。そのステップＳ１において、検出部１４ａが放電動作許可信号ＳＯＮを受領したとき（時点ｔ１）、放電指令生成部１４ｂを駆動する駆動信号Ｓｄ１を該放電指令生成部１４ｂに送出する。
【００２９】
ステップＳ２において、駆動信号Ｓｄ１の受領に基づき、放電指令生成部１４ｂは、図３に波形を示す一定周期Ｔｐの正及び負の放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃを生成し、それぞれ正の高電圧発生部１６ａ及び負の高電圧発生部１６ｂへ送出する。
【００３０】
この場合、正の高電圧発生部１６ａ及び負の高電圧発生部１６ｂは、受領した正及び負の放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃに従う一定周期の正負の高電圧パルスＶｐ、Ｖｍ（図３参照）をそれぞれ電極針１８ａ、１８ｂに印加する。
【００３１】
放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃの生成中、次のステップＳ３において、検出部１４ａは、指令装置１２から放電動作非許可信号ＳＯＦＦが送出されたか否かを判断し、放電動作非許可信号ＳＯＦＦを受領したとき（時点ｔ２）、放電指令生成部１４ｂへの駆動信号Ｓｄ１の送出を停止する一方、放電動作停止時処理部１４ｃに駆動信号Ｓｄ２を送出する。
【００３２】
駆動信号Ｓｄ２を受領した放電動作停止時処理部１４ｃは、放電指令生成部１４ｂの停止タイミングを制御するステップＳ４〜Ｓ６の放電動作停止時処理Ｓａを行う。
【００３３】
ステップＳ４において、放電動作停止時処理部１４ｃは、電位センサ２０により検出している帯電量Ｃを取り込む。
【００３４】
ステップＳ５において、取り込んだ帯電量Ｃが予め設定した閾値Ｃｔｈを下回っているか否か、すなわち、｜Ｃ｜＜Ｃｔｈを満たすか否かを判断する。
【００３５】
帯電量Ｃが閾値Ｃｔｈを下回ったと判断したとき（時点ｔ３）、ステップＳ６において、放電動作停止時処理部１４ｃは、放電指令生成部１４ｂによる放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃの生成を停止させる（同時点ｔ３）。これにより、電極針１８ａ、１８ｂを介してのコロナ放電が停止する。なお、図３のタイムチャートにおいて、帯電量Ｃの波形上の遅延時間ｔｄは、電極針１８ａ、１８ｂからワークＷ（電位センサ２０）へのイオンの伝達遅延時間に相当する時間である。
【００３６】
上述したように実施例１に係る除電装置１４を含む除電システム１０は、一定周期Ｔｐの正負の高電圧パルスＶｐ、Ｖｍを電極針１８ａ、１８ｂに印加し、コロナ放電により電極針１８ａ、１８ｂから正負のイオンを発生させ、ワークＷの除電を行う。この場合、除電システム１０は、コロナ放電の放電動作の許可を表す放電動作許可信号ＳＯＮ又はコロナ放電の放電動作の非許可を表す放電動作非許可信号ＳＯＦＦを入力する指令装置１２と、放電動作許可信号ＳＯＮ又は放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出する検出部１４ａと、コロナ放電中に、検出部１４ａにより放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出したとき、コロナ放電を停止させる放電動作停止時処理部１４ｃと、ワークＷの帯電量Ｃを検出する電位センサ２０と、を有し、該放電動作停止時処理部１４ｃは、コロナ放電の放電動作を停止させるとき、ワークＷが帯電状態とならない程度の小さな値の帯電量Ｃ（｜Ｃ｜＜Ｃｔｈ）となるタイミングでコロナ放電の放電動作を停止させるようにしている。
【００３７】
このように、指令装置１２から検出部１４ａに放電動作非許可信号ＳＯＦＦの入力がなされたタイミング（時点ｔ２）で従来技術のように直ちに放電を停止させるのではなく、その後（時点ｔ２後）も正、負の高電圧パルスＶｐ、Ｖｍの電極針１８ａ、１８ｂへの印加を継続させているので、コロナ放電の放電動作を、帯電を残留させない（｜Ｃ｜＜Ｃｔｈ）タイミングで停止させることができる。
【００３８】
すなわち、この実施例１の除電装置１４を含む除電システム１０では、コロナ放電の放電動作を停止した際に上記の除電空間Ｓｐ内のイオンバランスが均衡し、除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないようにすることができる。
【実施例２】
【００３９】
図４は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例２の除電装置１４Ａを含む除電システム１０ａの模式図を示す。
【００４０】
この実施例２の除電システム１０ａは、上述した実施例１の除電システム１０に対し、電位センサ２０を省略するとともに、放電動作停止時処理部１４ｃを放電動作停止時処理部１４ｃａに変更した点で異なり、その他の構成要素については、除電システム１０の構成要素と同様である。
【００４１】
放電動作停止時処理部１４ｃａは、計時部としてのタイマ２６と図５に示す帯電量マップ３０（帯電量特性）を格納する帯電量マップ格納部２８を有する。
【００４２】
タイマ２６は、放電動作停止時処理部１４ｃａが駆動信号Ｓｄ２を受領したときから、放電動作を停止させるまでの時間を計時するプリセットダウンタイマ（プリセットダウンカウンタ）である。このタイマ２６には、駆動信号Ｓｄ２を受領した放電動作停止時処理部１４ｃａにより帯電量マップ３０から読み出されたプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔが設定される。
【００４３】
図５に示すように、帯電量マップ３０は、放電指令Ｖ１ｃ及びＶ２ｃのタイミングと帯電量Ｃとの関係を表すものであり、予め測定され、帯電量マップ格納部２８に格納される。
【００４４】
次に、実施例２の除電装置１４Ａの動作について、図６のフローチャートに基づき説明する。
【００４５】
ステップＳ１〜Ｓ３の処理は、実施例１と同一であるので省略する。
【００４６】
実施例１のステップＳ４〜Ｓ６の放電動作停止時処理Ｓａが、実施例２のステップＳ７〜Ｓ１１の放電動作停止時処理Ｓｂに代替される。
【００４７】
ステップＳ３において、検出部１４ａが送出した駆動信号Ｓｄ２を放電動作停止時処理部１４ｃａが受領したタイミングにおいて（図５の時点ｔ２）、放電動作停止時処理部１４ｃａは、放電指令生成部１４ｂの停止タイミングを制御するステップＳ７〜Ｓ１１の放電動作停止時処理Ｓｂを行う。
【００４８】
ステップＳ７において、放電動作停止時処理部１４ｃａは、帯電量マップ３０上の時点ｔ２に対応する帯電量Ｃ０を読み出し、該帯電量Ｃ０が時点ｔ２以後に予め設定した閾値Ｃｔｈを最初に下回る時点ｔ３までの時間をプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔとして読み出す。
【００４９】
ステップＳ８において、放電動作停止時処理部１４ｃａは、読み出したプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔをタイマ２６にカウント値Ｔの初期値としてセットする。
【００５０】
ステップＳ９において、タイマ２６はカウント値Ｔが値０になったか否かを判断する。
【００５１】
カウント値Ｔが値０でないとき、ステップＳ１０において、カウント値Ｔを単位時間「１」だけ減らし（Ｔ←Ｔ−１）、ステップＳ９において、カウント値Ｔが値０であると判断したとき（図５の時点ｔ３）、ステップ１１において、放電動作停止時処理部１４ｃａは、放電指令生成部１４ｂでの放電指令Ｖ１ｃ、Ｖ２ｃの生成を停止させる（図５の同時点ｔ３）。これにより、コロナ放電が停止する。
【００５２】
上述したように実施例２に係る除電装置１４Ａを含む除電システム１０ａは、コロナ放電の放電動作の許可を表す放電動作許可信号ＳＯＮ又はコロナ放電の放電動作の非許可を表す放電動作非許可信号ＳＯＦＦを入力する指令装置１２と、放電動作許可信号ＳＯＮ又は放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出する検出部１４ａと、コロナ放電中に、検出部１４ａにより放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出したとき、コロナ放電を停止させる放電動作停止時処理部１４ｃａと、を有し、該放電動作停止時処理部１４ｃａは、コロナ放電の放電動作を停止させるときに、ワークＷが帯電状態とならないタイミングでコロナ放電の放電動作を停止させるようにしている。
【００５３】
このように、指令装置１２から検出部１４ａに放電動作非許可信号ＳＯＦＦの入力がなされたタイミング（時点ｔ２）で従来技術のように直ちに放電を停止させるのではなく、その後（時点ｔ２後）も正、負の高電圧パルスＶｐ、Ｖｍの電極針１８ａ、１８ｂへの印加を継続させているので、コロナ放電の放電動作を、帯電を残留させないタイミング（｜Ｃ｜＜Ｃｔｈ）で停止させることができる。
【００５４】
すなわち、この実施例２の除電装置１４Ａを含む除電システム１０ａにおいても、コロナ放電の放電動作を停止した際に上記の除電空間Ｓｐ内のイオンバランスが均衡し、除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないようにすることができる。
【実施例３】
【００５５】
図７は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例３の除電装置１４Ａ２を含む除電システム１０ｂの模式図を示す。
【００５６】
この実施例３の除電システム１０ｂでは、高電圧発生部１６と電極針１８と、グラウンド電極３２とを備え、電極針１８に正又は負の高電圧パルスを印加し、グラウンド電極３２との間に電位差が生じる事を利用して、電極針１８の先端にコロナ放電を発生させる。
【００５７】
この実施例３の除電システム１０ｂは電極針１８が１本である点において実施例１、２の除電システム１０、１０ａと異なる。
【００５８】
除電装置１４Ａ２は、検出部１４ａと、放電指令生成部１４ｂａと、放電動作停止時処理部１４ｃｂとから構成されている。
【００５９】
ここで、検出部１４ａから放電指令生成部１４ｂａへ駆動信号Ｓｄ１が送出されたとき、放電指令生成部１４ｂａは、高電圧発生部１６に放電時の放電指令Ｖ３ｃを送出する。
【００６０】
高電圧発生部１６は、受領した放電指令Ｖ３ｃに従う正負の高電圧パルスＶｐｎを電極針１８に印加する。
【００６１】
放電動作停止時処理部１４ｃｂは、タイマ２６と帯電量マップ３４を格納する帯電量マップ格納部２８とから構成される。
【００６２】
図８は、実施例３の除電装置１４Ａ２の帯電量マップ３４の内容を示している。帯電量マップ３４に示すように、放電指令生成部１４ｂａから出力される放電指令Ｖ３ｃは、正負の方形波が、一定周期Ｔｐ繰り返すパルス波形になっている。
【００６３】
実施例３の除電装置１４Ａ２の動作を説明するフローチャートは、図６のフローチャートを共用することができる。
【００６４】
この実施例３に係る除電システム１０ｂは、コロナ放電の放電動作の許可を表す放電動作許可信号ＳＯＮ又はコロナ放電の放電動作の非許可を表す放電動作非許可信号ＳＯＦＦを入力する指令装置１２と、放電動作許可信号ＳＯＮ又は放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出する検出部１４ａと、コロナ放電中に、検出部１４ａにより放電動作非許可信号ＳＯＦＦを検出したとき、コロナ放電を停止させる放電動作停止時処理部１４ｃｂと、を有し、該放電動作停止時処理部１４ｃｂは、コロナ放電の放電動作を停止させるときに、ワークＷが帯電状態とならないタイミングでコロナ放電の放電動作を停止させるようにしている。
【００６５】
このように、指令装置１２から検出部１４ａに放電動作非許可信号ＳＯＦＦの入力がなされたタイミング（時点ｔ２）で従来技術のように直ちに放電を停止させるのではなく、その後（時点ｔ２後）も正負の高電圧パルスＶｐｎの電極針１８への印加を継続させているので、コロナ放電の放電動作を、帯電を残留させないタイミング（｜Ｃ｜＜Ｃｔｈ）で停止させることができる。
【００６６】
すなわち、この実施例３の除電装置１４Ａ２を含む除電システム１０ｂにおいても、コロナ放電の放電動作を停止した際に上記の除電空間Ｓｐ内のイオンバランスが均衡し、除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないようにすることができる。
【実施例４】
【００６７】
図９及び図１０は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例４の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｃの模式図を示す。
【００６８】
この実施例４の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｃは、上述した実施例３の除電装置１４Ａ２を含む除電システム１０ｂに対し、除電装置１４Ａ２の、放電動作停止時処理部１４ｃｂを停止前処理信号Ｓｐｒと停止信号Ｓｓｔｏｐを送出可能な放電動作停止時処理部１４ｃｃに、放電指令生成部１４ｂａを放電指令のパルス幅を任意に生成可能な放電指令生成部１４ｂｂに、それぞれ変更した点で異なり、その他の構成要素については、除電装置１４Ａ２及び除電装置１４Ａ２を含む除電システム１０ｂの構成要素と同様である。
【００６９】
この場合、検出部１４ａから放電指令生成部１４ｂｂへ駆動信号Ｓｄ１が送出されたとき、放電指令生成部１４ｂｂは、図９に示すように実施例３にて説明した放電指令Ｖ３ｃを送出する。
【００７０】
検出部１４ａから放電動作停止時処理部１４ｃｃへ駆動信号Ｓｄ２が送出されたとき（図１１のｔ２）、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、図１１の時点ｔ４において、放電指令生成部１４ｂｂへ停止前処理信号Ｓｐｒを送出する。
【００７１】
このとき、放電指令生成部１４ｂｂは放電動作停止時処理部１４ｃｃから停止前処理信号Ｓｐｒを受領する（図１１の時点ｔ４）と同時に放電指令Ｖ４ｃ（詳細は後述）を生成する。
【００７２】
ここで、後述する実施例５、６の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｄ、１０ｅにおいては、放電指令Ｖ４ｃがそれぞれ放電指令Ｖ５ｃ、Ｖ６ｃに変更される。
【００７３】
放電動作停止時処理部１４ｃｃは、タイマ２６と帯電量マップ３６を格納する帯電量マップ格納部２８とから構成される。
【００７４】
図１１は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例４の除電装置１４Ａ３が格納する帯電量マップ３６を示す。
【００７５】
ここで、放電指令Ｖ４ｃとは、一定周期Ｔｐ／２の繰返し時間において、電極針１８への正負の高電圧パルスＶｐｎの印加を開始し、一定周期Ｔｐ／２の繰返し時間の途中（図１１のｔｒ１、ｔｒ２、ｔ５）で印加を止め、印加休止時間を設けるような放電指令であり、且つ図１１の休止時間幅Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は徐々に時間幅が長くなっていく（Ｒ１＜Ｒ２＜Ｒ３）ものである。
【００７６】
すなわち、帯電量マップ３６とは、時点ｔ４より一定周期Ｔｐだけ前の時点ｔ０からｔ４までの放電指令Ｖ３ｃ及び上述した放電指令Ｖ４ｃと、帯電量Ｃとの関係を表すものであり、格納される時間範囲を、繰返し時間Ｔｐ／２ごとの帯電量（Ｃｒ１、Ｃｒ２、Ｃｒ３、…）が最初に閾値Ｃｔｈを下回る（｜Ｃｒｘ｜＜Ｃｔｈ、ｘ＝１、２、３、…）時間（図１１においてはＣｒ３、時点ｔ５）までの範囲とし、予め測定され、帯電量マップ格納部２８に格納される。
【００７７】
なお、図１１における帯電量マップ３６は、停止前処理信号Ｓｐｒが送出される図１１の時点ｔ４における帯電量Ｃが負のピーク値である場合の例を用いて図示しているが、時点ｔ４における帯電量Ｃは正のピーク値であってもよく、この場合、帯電量Ｃは図１１とはＣ＝０に対して線対称となる。
【００７８】
次に、実施例４の除電装置１４Ａ３の動作について、図１２のフローチャートに基づき説明する。
【００７９】
ステップＳ１〜Ｓ３の処理は、実施例１と同一であるので省略する。
【００８０】
実施例１のステップＳ４〜Ｓ６の放電動作停止時処理Ｓａが、実施例４のステップＳ１２〜Ｓ２１の放電動作停止時処理Ｓｃに代替される。
【００８１】
ステップＳ３において、検出部１４ａが送出した駆動信号Ｓｄ２を放電動作停止時処理部１４ｃｃが受領したタイミングにおいて（図１１の時点ｔ２）、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、放電指令生成部１４ｂｂの停止タイミングを制御するステップＳ１２〜Ｓ２１の放電動作停止時処理Ｓｃを行う。
【００８２】
ステップＳ１２において、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、帯電量マップ３６上の時点ｔ２と、ｔ２以降最初に電極針１８が高電圧パルスを１パルス印加完了する図１１の時点ｔ４までの時間をプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔ１として読み出す。
【００８３】
ステップＳ１３において、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、読み出したプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔ１をタイマ２６にカウント値Ｔの初期値としてセットする。
【００８４】
ステップＳ１４において、タイマ２６はカウント値Ｔが値０になったか否かを判断する。
【００８５】
カウント値Ｔが値０でないとき、ステップＳ１５において、カウント値Ｔを単位時間「１」だけ減らし（Ｔ←Ｔ−１）、ステップＳ１４において、カウント値Ｔが値０であると判断したとき（図１１の時点ｔ４）、ステップＳ１６において、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、停止前処理信号Ｓｐｒを送出する。
【００８６】
ステップＳ１７−１において、放電指令生成部１４ｂｂは放電動作停止時処理部１４ｃｃから停止前処理信号Ｓｐｒを受領し、放電指令をＶ３ｃからＶ４ｃへ切り替える。
【００８７】
ステップＳ１７−２において、ステップＳ１７−１と同時に、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、帯電量マップ３６上の時点ｔ４からｔ５までの時間をプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔ２として読み出す。
【００８８】
ステップＳ１８において、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、読み出したプリセット時間Ｔｐｒｅｓｅｔ２をタイマ２６にカウント値Ｔの初期値としてセットする。
【００８９】
ステップＳ１９において、タイマ２６はカウント値Ｔが値０になったか否かを判断する。
【００９０】
カウント値Ｔが値０でないとき、ステップＳ２０において、カウント値Ｔを単位時間「１」だけ減らし（Ｔ←Ｔ−１）、ステップＳ１９において、カウント値Ｔが値０であると判断したとき（図１１の時点ｔ５）、ステップＳ２１において、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、放電指令生成部１４ｂｂでの放電指令Ｖ４ｃの生成を停止させる（図１１の同時点ｔ５）。これにより、コロナ放電が停止する。
【００９１】
実施例４の除電装置１４Ａ３に係る帯電量マップ３６は、帯電量マップ３６の格納される放電動作停止時処理部１４ｃｃがコロナ放電の放電動作を停止させるとき、コロナ放電をさせる高電圧パルスＶｐｎの電圧を保持したまま、高電圧パルスＶｐｎのパルス幅を徐々に減少させた後にコロナ放電の放電動作を停止させることができる。
【００９２】
これにより、この実施例４の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｃにおいても、コロナ放電の放電動作を停止した際に上記の除電空間Ｓｐ内のイオンバランスが均衡し、除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないようにすることができる。
【実施例５】
【００９３】
図１３は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例５の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｄに係る帯電量マップ３８を示す。
【００９４】
この実施例５の除電システム１０ｄは、上述した実施例４の除電システム１０ｃの図９及び図１０の構成と、図１２のフローチャートを利用できる。
【００９５】
ここで、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、タイマ２６と帯電量マップ３８を格納する帯電量マップ格納部２８とから構成される。
【００９６】
この場合、検出部１４ａから放電指令生成部１４ｂｂへ駆動信号Ｓｄ１が送出されたとき、放電指令生成部１４ｂｂは、前記放電指令Ｖ３ｃを送出する。
【００９７】
検出部１４ａから放電動作停止時処理部１４ｃｃへ駆動信号Ｓｄ２が送出されたとき（図１３のｔ２）、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、図１３の時点ｔ４において、放電指令生成部１４ｂｂへ停止前処理信号Ｓｐｒを送出する。
【００９８】
このとき、放電指令生成部１４ｂｂは放電動作停止時処理部１４ｃｃから停止前処理信号Ｓｐｒを受領する（図１３の時点ｔ４）と同時に後述する放電指令Ｖ５ｃを生成する。
【００９９】
ここで、放電指令Ｖ５ｃは、Ｖ３ｃにおける一定周期Ｔｐよりも短い一定周期Ｔｐ２、すなわち高周波で、正負の方形波が繰返すパルス波形を生成する指令である。
【０１００】
帯電量マップ３８は、時点ｔ４より一定周期Ｔｐだけ前の時点ｔ０からｔ４までの放電指令Ｖ３ｃ及び時点ｔ４からｔ５までの放電指令Ｖ５ｃと、帯電量Ｃとの関係を表すものであり、Ｖ５ｃが格納される時間範囲は、時点ｔ４から始まり、負のピーク値の放電指令を生成し終わる繰返し時間周期Ｔｐ２ごとの帯電量（Ｃｒ１、Ｃｒ２、…）が最初に閾値Ｃｔｈを下回る（｜Ｃｒｘ｜＜Ｃｔｈ、ｘ＝１、２、…）時間（図１３においてはＣｒ８、時点ｔ５）までの範囲とし、予め測定され、帯電量マップ格納部２８に格納される。
【０１０１】
なお、図１３における帯電量マップ３８は、停止前処理信号Ｓｐｒが送出される図１３の時点ｔ４における帯電量Ｃが正のピーク値である場合の例を用いて図示しているが、時点ｔ４における帯電量Ｃは負のピーク値であってもよく、この場合、帯電量Ｃは図１３とはＣ＝０に対して線対称となる。
【０１０２】
実施例５の除電システム１０ｄに係る帯電量マップ３８は、帯電量マップ３８の格納される放電動作停止時処理部１４ｃｃがコロナ放電の放電動作を停止させるとき、コロナ放電をさせる高電圧パルスＶｐｎの電圧を保持したまま、高電圧パルスＶｐｎのパルス幅の繰返し周波数を、一定周期Ｔｐよりも短い周期Ｔｐ２の、高い繰返し周波数とした後に前記コロナ放電の放電動作を停止させることが可能となる。
【０１０３】
これにより、この実施例５の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｄにおいても、コロナ放電の放電動作を停止した際に上記の除電空間Ｓｐ内のイオンバランスが均衡し、除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないようにすることができる。
【実施例６】
【０１０４】
図１４は、コロナ放電の放電動作を停止した際に除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないように構成した実施例６の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｅに係る帯電量マップ４０を示す。
【０１０５】
この実施例６の除電システム１０ｅは、上述した実施例４の除電システム１０ｃの、図９及び図１０の構成と、図１２のフローチャートを利用できる。
【０１０６】
ここで、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、タイマ２６と帯電量マップ４０を格納する帯電量マップ格納部２８とから構成される。
【０１０７】
この場合、検出部１４ａから放電指令生成部１４ｂｂへ駆動信号Ｓｄ１が送出されたとき、放電指令生成部１４ｂｂは、前記放電指令Ｖ３ｃを送出する。
【０１０８】
検出部１４ａから放電動作停止時処理部１４ｃｃへ駆動信号Ｓｄ２が送出されたとき（図１４のｔ２）、放電動作停止時処理部１４ｃｃは、図１４の時点ｔ４において、放電指令生成部１４ｂｂへ停止前処理信号Ｓｐｒを送出する。
【０１０９】
このとき、放電指令生成部１４ｂｂは放電動作停止時処理部１４ｃｃから停止前処理信号Ｓｐｒを受領する（図１４の時点ｔ４）と同時に後述する放電指令Ｖ６ｃを生成する。
【０１１０】
ここで、放電指令Ｖ６ｃは、Ｖ３ｃの一定周期Ｔｐから徐々に周期を短くしながら、すなわち徐々に周波数が高くなるようにしながら正負の方形波を繰返すパルス波形を生成する指令である。
【０１１１】
なお、図１４における帯電量マップ４０は、停止前処理信号Ｓｐｒが送出される図１４の時点ｔ４における帯電量Ｃが負のピーク値である場合の例を用いて図示しているが、時点ｔ４における帯電量Ｃは正のピーク値であってもよく、この場合、帯電量Ｃは図１４とはＣ＝０に対して線対称となる。
【０１１２】
実施例６の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｅに係る帯電量マップ４０は、帯電量マップ４０の格納される放電動作停止時処理部１４ｃｃがコロナ放電の放電動作を停止させるとき、コロナ放電をさせる高電圧パルスＶｐｎの電圧を保持したまま、高電圧パルスＶｐｎの繰返し周波数を一定周期Ｔｐの周波数から徐々に高周波とした後にコロナ放電の放電動作を停止させることが可能となる。
【０１１３】
これにより、この実施例６の除電装置１４Ａ３を含む除電システム１０ｅにおいても、コロナ放電の放電動作を停止した際に上記の除電空間Ｓｐ内のイオンバランスが均衡し、除電空間Ｓｐ内のワークＷに帯電を残留させないようにすることが可能となる。
【符号の説明】
【０１１４】
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ…除電システム
１２…指令装置
１４、１４Ａ、１４Ａ２、１４Ａ３…除電装置
１４ａ…検出部
１４ｂ、１４ｂａ、１４ｂｂ…放電指令生成部
１４ｃ、１４ｃａ、１４ｃｂ、１４ｃｃ…放電動作停止時処理部
１６、１６ａ、１６ｂ…高電圧発生部    １８、１８ａ、１８ｂ…電極針
２０…電位センサ                      ２６…タイマ
２８…帯電量マップ格納部
３０、３４、３６、３８、４０…帯電量マップ
３２…グラウンド電極
【図１】
2010212076.tif 000003
【図２】
2010212076.tif 000004
【図３】
2010212076.tif 000005
【図４】
2010212076.tif 000006
【図５】
2010212076.tif 000007
【図６】
2010212076.tif 000008
【図７】
2010212076.tif 000009
【図８】
2010212076.tif 000010
【図９】
2010212076.tif 000011
【図１０】
2010212076.tif 000012
【図１１】
2010212076.tif 000013
【図１２】
2010212076.tif 000014
【図１３】
2010212076.tif 000015
【図１４】
2010212076.tif 000016