(57)【要約】【課題】コンパクト化が容易であり、耐久性および実装位置精度の高い電子部品実装ヘッドおよび実装装置を提供する。【解決手段】  昇降軸３は、吸着ノズル２が先端に設けられ、その作動流体を流通させる流体通路３ａが内部に設けられている。昇降軸３は、回動可能且つ上下動可能に支持部８により支持されている。また、昇降軸３には、回転継手１３が装着されている。支持部８の中継路８ｃと流体通路３ａとを連通させるチューブ１８は、回転継手から下方に突設された第１嵌合部１５ｂと、支持部８から第１嵌合部１５ｂの突出方向と約４５度の方向に突設された第２嵌合部８ｆとに両端が嵌合されている。【選択図】図２
2010027855.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着する吸着ノズル、前記吸着ノズルが先端に設けられた軸部、並びに前記軸部に設けられ前記吸着ノズルの作動流体を流通させる流体通路を有する電子部品保持部材と、
前記保持部材を、前記吸着ノズルを進退させるよう軸方向に駆動する軸方向駆動機構と、
前記保持部材を、軸回りに回動させるように駆動する回転駆動機構と、
前記保持部材を軸方向に移動可能且つ軸回りに回動可能に支持するとともに、前記吸着ノズルの作動流体を中継する中継部を有する支持部と、
前記中継部と前記流体通路とを連通するチューブと、
前記チューブと前記流体通路とを連絡する連絡路が設けられ、前記保持部材に回動自在に装着され、前記保持部材とともに前記軸方向駆動機構により移動される回転継手と、
前記回転継手に前記吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に突設され、前記チューブの一端部が嵌合する第１嵌合部と、
前記支持部に前記第１嵌合部の突出方向との角度が６０度以下となる方向に突設され、前記チューブの他端部が嵌合する第２嵌合部と、を備えた電子部品実装ヘッドであって、
前記チューブは、前記吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部が形成されるように、前記第１嵌合部および前記第２嵌合部に両端が嵌合される電子部品実装ヘッド。
【請求項２】
電子部品を吸着する吸着ノズル、前記吸着ノズルが先端に設けられた軸部、並びに前記軸部に設けられ前記吸着ノズルの作動流体を流通させる流体通路を有する電子部品保持部材と、
前記保持部材を、前記吸着ノズルを進退させるよう重力方向と略平行に設定された軸方向に駆動する軸方向駆動機構と、
前記保持部材を、軸回りに回動させるように駆動する回転駆動機構と、
前記保持部材を軸方向に移動可能且つ軸回りに回動可能に支持するとともに、前記吸着ノズルの作動流体を中継する中継部を有する支持部と、
前記中継部と前記流体通路とを連通するチューブと、
前記チューブと前記流体通路とを連絡する連絡路が設けられ、前記保持部材に回動自在に装着され、前記保持部材とともに前記軸方向駆動機構により移動される回転継手と、
前記回転継手に重力方向もしくは重力斜め方向に突設され、前記チューブの一端部が嵌合する第１嵌合部と、
前記支持部に重力方向もしくは重力斜め方向に突設され、前記チューブの他端部が嵌合する第２嵌合部と、を備えた電子部品実装ヘッドであって、
前記チューブは、前記保持部材とともに移動する回転継手が上下方向に移動したときにも略相似形状を保つ、前記吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部が形成されるように、前記第１嵌合部および前記第２嵌合部に両端が嵌合される電子部品実装ヘッド。
【請求項３】
前記中継部を分断するように前記支持部に設けられ、エアフィルタが挿入されるフィルタ挿入孔と、
前記フィルタ挿入孔に着脱可能に構成され、前記フィルタ挿入孔に密閉状態で装着される軸状のフィルタ本体を有したエアフィルタと、を具備した請求項１または２記載の電子部品実装ヘッド。
【請求項４】
前記保持部材が、互いに平行に、列をなすように並べられて実装ヘッドを構成している、請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品実装ヘッド。
【請求項５】
前記保持部材のなす列が２列であり、
前記チューブは、対応する前記保持部材の前記２列の外方に配設されている請求項１〜４のいずれかに記載の電子部品実装ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の電子部品実装ヘッドを備えた電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装ヘッドおよび実装装置に関し、さらに詳しくは、吸着ノズルにより電子部品を吸着して基板に実装する電子部品実装ヘッドおよびそれを備えた実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に実装する電子部品実装装置は、パーツフィーダーに置かれた電子部品を実装ヘッドによりピックアップし、それを基板上へ移送し、基板上の定められた位置に電子部品を実装するように構成されている。電子部品をピックアップする方法は、吸着ノズルにより真空吸着する方法が広く用いられている。
【０００３】
図７Ａおよび図７Ｂに従来の電子部品実装装置の実装ヘッドの一例を示す（特許文献１参照）。この実装ヘッドは、吸着ノズル７１が先端に装着された昇降軸７２が、支持部７３に設けられた図示しない直動機構により軸方向に昇降される。昇降軸７２の内部には吸着ノズル７１の作動流体の流体通路７２ａが形成されている。また、支持部７３には、図示しないポンプと接続される上記作動流体の中継部が設けられている。そして、支持部７３の中継部と昇降軸７２の流体通路７２ａとは、チューブ７４を介して連通されている。
【０００４】
また、チューブ７４の内部には、作動流体を濾過するように、球状のエアフィルタ７５が詰められている。このように、エアフィルタ７５をチューブ７４の内部に設けるものとすることによって、エアフィルタを設けるためのスペースが省略されている。
ここで、図７Ａは、昇降軸７２が直動機構により最上位まで上昇された状態を示し、図７Ｂは、昇降軸７２が直動機構により最下位まで下降された状態を示している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２１８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、電子部品がますます小型化されるのにともない、電子部品実装装置においても実装ヘッドのさらなるコンパクト化が要請されており、昇降軸７２の径もますます小さくされている。ところが、上記従来の電子部品実装装置においては、チューブ７４により支持部７３の中継部と昇降軸７２の流体通路７２ａとを連通する構成となっている。このため、昇降軸７２を昇降させる余裕を与えるために、チューブ７４は冗長な構造とする必要がある。これにより、図７Ａに示すように、昇降軸７２が最上位まで上昇された状態では、チューブ７４が横方向に張り出すことになり、そのスペースに他の部材・機器を配置することはできなくなる。その結果、実装ヘッドのコンパクト化が損なわれるという問題がある。
【０００７】
一方、チューブ７４の冗長さが小さすぎると、図７Ｂに示すように昇降軸７２が最下位まで下降されたときに、チューブ７４が伸びきった状態となる。このとき、昇降軸７２に矢印Ｆにより示す方向の力が働く。このように、チューブ７４からの力が働くと、昇降軸７２の径がますます小さくされている現状においては、昇降軸７２が撓んで吸着ノズルの先端位置がずれるおそれがある。その結果、電子部品の実装精度は低下する。また、そのような力を繰り返し受けるチューブ７４自体の寿命も短くなる。
【０００８】
更には、一般的な実装装置においては、実装される電子部品の姿勢を調節するために、昇降軸７２は回転自在に設けられていることから、チューブ７４は、昇降軸７２に回動可能に装着される回転継手７６を介して昇降軸７２と接続される。ここで、昇降軸７２が昇降する毎にチューブ７４から回転継手７６に力が加わると、可動部品である回転継手７６の動作寿命が短くなってしまうという、別の問題も生じる。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、コンパクト化が容易であり、耐久性および実装位置精度の高い電子部品実装ヘッドおよび実装装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の電子部品実装ヘッドは、電子部品を吸着する吸着ノズル、前記吸着ノズルが先端に設けられた軸部、並びに前記軸部に設けられ前記吸着ノズルの作動流体を流通させる流体通路を有する電子部品保持部材と、
前記保持部材を、前記吸着ノズルを進退させるよう軸方向に駆動する軸方向駆動機構と、
前記保持部材を、軸回りに回動させるように駆動する回転駆動機構と、
前記保持部材を軸方向に移動可能且つ軸回りに回動可能に支持するとともに、前記吸着ノズルの作動流体を中継する中継部を有する支持部と、
前記中継部と前記流体通路とを連通するチューブと、
前記チューブと前記流体通路とを連絡する連絡路が設けられ、前記保持部材に回動自在に装着され、前記保持部材とともに前記軸方向駆動機構により移動される回転継手と、
前記回転継手に前記吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に突設され、前記チューブの一端部が嵌合する第１嵌合部と、
前記支持部に前記第１嵌合部の突出方向との角度が６０度以下となる方向に突設され、前記チューブの他端部が嵌合する第２嵌合部と、を備えた電子部品実装ヘッドであって、
前記チューブは、前記吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部が形成されるように、前記第１嵌合部および前記第２嵌合部に両端が嵌合される。
【００１１】
また、上記目的を達成するために、本発明の電子部品実装ヘッドは、電子部品を吸着する吸着ノズル、前記吸着ノズルが先端に設けられた軸部、並びに前記軸部に設けられ前記吸着ノズルの作動流体を流通させる流体通路を有する電子部品保持部材と、
前記保持部材を、前記吸着ノズルを進退させるよう重力方向と略平行に設定された軸方向に駆動する軸方向駆動機構と、
前記保持部材を、軸回りに回動させるように駆動する回転駆動機構と、
前記保持部材を軸方向に移動可能且つ軸回りに回動可能に支持するとともに、前記吸着ノズルの作動流体を中継する中継部を有する支持部と、
前記中継部と前記流体通路とを連通するチューブと、
前記チューブと前記流体通路とを連絡する連絡路が設けられ、前記保持部材に回動自在に装着され、前記保持部材とともに前記軸方向駆動機構により移動される回転継手と、
前記回転継手に重力方向もしくは重力斜め方向に突設され、前記チューブの一端部が嵌合する第１嵌合部と、
前記支持部に重力方向もしくは重力斜め方向に突設され、前記チューブの他端部が嵌合する第２嵌合部と、を備えた電子部品実装ヘッドであって、
前記チューブは、前記保持部材とともに移動する回転継手が上下方向に移動したときにも略相似形状を保つ、前記吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部が形成されるように、前記第１嵌合部および前記第２嵌合部に両端が嵌合される。
【００１２】
ここで、電子部品実装ヘッドは、前記中継部を分断するように前記支持部に設けられ、エアフィルタが挿入されるフィルタ挿入孔と、
前記フィルタ挿入孔に脱着可能で、前記フィルタ挿入孔に密閉状態で装着される軸状のフィルタ本体を有したエアフィルタと、を具備するのが好ましい。
【００１３】
また、前記保持部材が、互いに平行に、列をなすように並べられて実装ヘッドを構成しているのも好ましい。
また、前記保持部材のなす列が２列であり、
前記チューブは、対応する前記保持部材の前記２列の外方に配設されているのも好ましい。
【００１４】
また、上記目的を達成するために、本発明の電子部品実装装置は、上記した電子部品実装ヘッドを備えている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、吸着ノズルを進退させるよう直動機構により電子部品保持部材を直動させたときに、チューブの冗長部は主に吸着ノズルの進退方向にサイズが変動するだけであり、吸着ノズルが最大に退避されたときにもチューブの冗長部は上記進退方向に直交する方向には余り張り出さない。吸着ノズルの進退方向は、元々、そのためのスペースを確保する必要がある方向であるのに対して、それと直交する方向にチューブが張り出すと、そのためのスペースを特別に確保する必要がある。したがって、本発明によれば、実装ヘッドをコンパクト化することが可能となる。
【００１６】
また、吸着ノズルを最大まで進出させたときに、チューブからの力が保持部材に掛からないように冗長部を大きくしても、そのサイズは主に吸着ノズルの進退方向に大きくなるだけである。したがって、実装ヘッドのコンパクト化を妨げることなく、電子部品の実装精度を向上させることができる。また、保持部材とともに移動する回転継手が上下方向に移動したときにも略相似形状を保つ、吸着ノズルの進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部が形成されるため、吸着ノズルを進退させたときにチューブと、保持部材およびそれに装着された回転継手との間に力が働かないので、チューブの寿命を長くすることができるとともに、可動部品である回転継手の動作寿命も長くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
〈実施の形態１〉
図１は、本発明の実施の形態１に係る電子部品実装装置の一部を断面にした斜視図である。図２は、図１の一部を模式化して拡大した側面図である。
電子部品実装装置は、電子部品を吸着する吸着ノズル２が先端に設けられた複数本の昇降軸３を有する実装ヘッド４を備えている。昇降軸３は、互いに平行に、２列に並ぶように設けられている。
【００１８】
実装ヘッド４は、図示しないパーツフィーダーに置かれた電子部品を吸着ノズル２により吸着し、それを基板まで搬送して基板上の所定位置に実装するように、図示しない２軸直交ロボットにより水平方向に移動される。
【００１９】
また、昇降軸３は、電子部品を吸着・実装するために吸着ノズル２を進退させるように、それぞれに対応して設けられたエアシリンダ５により軸方向（図２の上下方向）に移動される。ここで、エアシリンダ５は、吸着ノズル２により電子部品を吸着・実装する当該昇降軸３のみを昇降させるために、図示しない制御部により選択されたエアシリンダ５のみが昇降軸３を昇降させるように動作する。
【００２０】
更には、全ての昇降軸３は、エアシリンダ５を支持するシリンダ支持部材６が上下駆動機構７により上下方向に移動されることにより、一括して昇降される。上下駆動機構７は、実装ヘッド４全体を支持する架台１０に設けられたリニアガイド７ａと、シリンダ支持部材６が取り付けられるスライダ７ｂと、スライダ７ｂをリニアガイド７ａに沿って上下方向に駆動する上下駆動モータ３１とから構成される。
【００２１】
また、昇降軸３においては、軸本体３ａとシリンダ接続部３ｂとが、継手３ｃにより接続されている。継手３ｃは、エアシリンダ５の図示しない可動部に接続されたシリンダ接続部３ｂに、軸本体３ａを同軸に回転自在に接続するものである。
【００２２】
ここで、昇降軸３は、架台１０に梁材１０ａにより取り付けられた支持部８により、ボールスプライン９を介して軸方向に移動自在に支持されている。
ボールスプライン９は、図４に示すように、昇降軸３の軸本体３ａが挿通されるスリーブ９ａを有している。スリーブ９ａは、支持部８に設けられた軸挿通孔８ａに挿通された状態で、ラジアル軸受１１Ａ、１１Ｂにより回転自在に支持されるとともに、回転駆動モータ３２（図１参照）を駆動源とする回転駆動機構により昇降軸３の軸回りに回転される。また、スリーブ９ａの内側には、昇降軸３の軸本体３ａの周面に形成された図示しないスプライン溝と係合する複数の球体が保持されており、スリーブ９ａが回転されるのに伴って昇降軸３の軸本体３ａも回転する。これにより、吸着ノズル２に吸着された電子部品の姿勢を調節することができる。
【００２３】
上掲の回転駆動機構は、両側に水平横向きに歯が並ぶように配設されたラック１２ａと、スリーブ９ａに外装されるピニオンギア１２ｂと、ラック１２ａを水平方向に駆動する回転駆動モータ３２とから構成される。
【００２４】
そして、図３に示すように、昇降軸３の吸着ノズル２近傍における内部には吸着ノズル２の作動流体を流通させる流体通路３ｄが形成されている。流体通路３ｄは、一端が吸着ノズル２の先端部において開口するとともに、他端が昇降軸３の周面に開口している。以下、その開口を周面開口部３ｅと称する。
【００２５】
昇降軸３の周面開口部３ｅと対応する部位には、流体通路３ｄと連通する連絡路１３ａを有する回転継手１３が外装されている。回転継手１３は、上下方向に貫通するように設けられた挿通孔１３ｂに昇降軸３が挿通された状態で、ラジアル軸受１１Ｃおよび１１Ｄを介して昇降軸３に取り付けられている。また、回転継手１３は、支持部８に設けられたレール３３と係合して、昇降軸３と連れ回りしないようその回転が阻止され且つ上下の移動がガイドされている。
【００２６】
また、回転継手１３の挿通孔１３ｂの内部には、流体通路３ｄの周面開口部３ｅと対応する位置に円筒状の凹部１３ｃが設けられており、連絡路１３ａの一端は、凹部１３ｃに開口している。つまり、流体通路３ｄと連絡路１３ａとは凹部１３ｃを介して連通している。
また、凹部１３ｃの軸方向の両端部には、凹部１３ｃと外部との気密性を保つように、リング状のパッキン１４Ａ、１４Ｂが嵌装されている。なお、そのようなパッキンとして、横断面がＹ字形、Ｕ字形等の様々なパッキンを使用することができる。
【００２７】
また、連絡路１３ａの他端は、回転継手１３の側面に設けられたチューブ継手１５の中空部１５ａを介して、チューブ継手１５の円筒状の第１嵌合部１５ｂの先端部において開口している。
【００２８】
ここで、第１嵌合部１５ｂは、回転継手１３の側方に突出するように設けられたチューブ継手１５の基部１５ｃから下方、つまり吸着ノズル２を進出させるときの昇降軸３の移動方向と同じ方向に突出するよう形成されている。また、チューブ継手１５の基部１５ｃは、２列に並ぶ各昇降軸３に、列の外側に向かって突出するように回転継手１３の側面に設けられている。なお、第１嵌合部１５ｂは、実施の形態１では、回転継手１３の側方に設けられているが、これに限定するものではなく、吸着ノズル２を進出させるときの昇降軸３の移動方向、すなわち、重力方向もしくは、重力斜め方向に突出するように形成されていれば、第１嵌合部１５ｂは、回転継手１３の下面や上部に設けられていてもよい。  
【００２９】
また、支持部８の外側部８ｂには、吸着ノズル２のそれぞれと対応してバルブ８ｉが配置されており、バルブ８ｉと接続された配管１６を介して吸着ノズル２の駆動源である図示しない真空ポンプと接続された中継路８ｃが設けられている。中継路８ｃの途中にはエアフィルタ１７が挿入されるエアフィルタ挿入孔８ｄが設けられている。いずれかの吸着ノズル２により電子部品を吸着する場合には、対応するバルブ８ｉをオンすることで、当該吸着ノズル２により電子部品を吸着把持することができる。
【００３０】
さらに、外側部８ｂの下面には円筒状の第２嵌合部８ｆが鉛直下方、すなわち吸着ノズル２の進出方向との角度が約４５度（度数法）となる方向に突設されている。第２嵌合部８ｆは、第１嵌合部１５ｂよりも上方、つまり吸着ノズル２の退避方向に位置している。また、第２嵌合部８ｆの中心軸と第１嵌合部１５ｂの中心軸は同一平面に位置し、第２嵌合部８ｆは、第１嵌合部１５ｂのほぼ真上の第１嵌合部１５ｂよりも若干、昇降軸３が並ぶ２列の外側に位置するように設けられている。そして、中継路８ｃは、第２嵌合部８ｆの中空部８ｇを介して第２嵌合部８ｆの先端部において開口している。
【００３１】
そして、支持部８の中継路８ｃと回転継手１３の連絡路１３ａとは、チューブ１８を介して連通している。チューブ１８は、吸着ノズル２の進出方向、つまり鉛直下方もしくは略鉛直下方に向かって凸に湾曲する冗長部１８ａを形成するように、第１嵌合部１５ｂに一端部が嵌合され、第２嵌合部８ｆに他端部が嵌合される。冗長部１８ａの大きさ、つまりチューブ１８の長さは、昇降軸３を最下位まで下降させたときにもチューブ１８から回転継手１３に掛かる力が大きくならず、且つ昇降軸３を最上位まで上昇させたときにチューブ１８が横方向に大きく張り出さない範囲で調節される。ここで、第２嵌合部８ｆは、例えば吸着ノズル２の進出方向との角度が６０度以内となる方向に突設されるのが好ましい。なお、実施の形態１では、第２嵌合部８ｆは、外側部８ｂの下面に位置しているがこれに限定するものではなく、外側部８ｂの側方であってもよい。また、第２嵌合部８ｆは鉛直下方、すなわち吸着ノズル２の進出方向との角度が約４５度（度数法）となる方向に突設されているが、これに限定するものではなく、重力方向もしくは、重力斜め方向に突設されていればよい。
【００３２】
このように、本実施の形態１の電子部品実装装置においては、吸着ノズル２の進出方向と略同一の方向に凸に湾曲する必要十分な大きさの冗長部１８ａを形成するように、吸着ノズル２の進出方向と略同一の方向に突設された第１嵌合部と、この第１嵌合部との角度が約４５度の方向に突設された第２嵌合部とに、チューブ１８の両端部が嵌合されている。これにより、吸着ノズル２を進退させるように昇降軸３を昇降させても、チューブ１８から第１嵌合部１５ｂに働く力の大きさ、および方向は殆ど変化しない。したがって、昇降軸３を昇降させたときに昇降軸３がチューブ１８から力を受けて撓むなどして、電子部品の実装精度が低下するのを防止することができる。なお、チューブ１８の形状は、上記実施の形態１に限定するものではなく、吸着ノズル２が先端に設けられた昇降軸３とともに移動する回転継手１３が上下方向、すなわち吸着ノズル２の進退方向に移動したときにも略相似形状を保つ、吸着ノズル２の進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部が形成されるものであれば、どのようなものであってもよい。
【００３３】
また、昇降軸３が最上位まで移動して、冗長部１８ａのサイズが最大となるときにも、そのサイズの変動はほとんどが吸着ノズル２の進出方向（昇降軸３の軸方向）に起こり、横方向（昇降軸３の径方向）には冗長部１８ａが広がらないために、実装ヘッド４のコンパクト化が容易となる。吸着ノズル２の進出方向のスペースは、昇降軸３を昇降させるために元々確保する必要があるスペースであり、その方向に冗長部１８ａのサイズが変動しても新たにスペースを確保する必要は生じない。これに対して、横方向に冗長部１８ａのサイズが変動すると、そのためのスペースを特に確保する必要が生じる。したがって、冗長部１８ａの横方向のサイズの変動が小さい本発明の構成によれば、実装ヘッド４をコンパクト化することが容易となる。
【００３４】
また、チューブ１８から回転継手１３に働く力も、冗長部１８ａのサイズの変動によりほとんど吸収されるために、可動部である回転継手１３に余分な力が掛からなくなる。その結果、回転継手１３の寿命が短くなるのを防止することも可能となる。また、チューブ１８自体の耐久性も向上する。
【００３５】
次に、エアフィルタを説明する。図４に示すように、エアフィルタ１７は、丸棒状のフィルタ本体１７ａと、その長手方向に延設された把持部１７ｂとから構成されている。フィルタ本体１７ａは、内部に多数の微細な空隙を有する燒結金属などの多孔質材料から構成されており、把持部１７ｂを把持し、フィルタ本体１７ａを先にして、長い丸孔からなるエアフィルタ挿入孔８ｄにエアフィルタ１７を挿入することにより中継路８ｃの途中にエアフィルタ１７が介在される。
【００３６】
また、把持部１７ｂには、環状の凹部１７ｃが設けられており、これと対応する部位のエアフィルタ挿入孔８ｄの隔壁に、止め部材装着孔８ｈが設けられている。止め部材装着孔８ｈには、凹部１７ｃと先端が係合するように図示しない付勢部材に付勢された短釘状の止め部材１９が装着される。前記エアフィルタ１７が前記エアフィルタ挿入孔８ｄに装着された場合には、密閉状態を保つことができる。これにより、バルブ８ｉをオンすることで、連通した中継路８ｃ、フィルタ本体１７ａ、中空部８ｇ、チューブ１８、中空部１５ａ、連絡路１３ａ、および流体通路３ｄ等を通して吸着ノズル２の先端に設けられた孔より真空吸引して、電子部品を吸着すべき吸着ノズル２により、電子部品を吸着把持できるようになっている。この構成によれば、止め部材１９のつまみ部１９ａを把持して、止め部材１９を止め部材装着孔８ｈから引き出す方向に引っ張った状態で、エアフィルタ１７をエアフィルタ挿入孔８ｄに対して抜き差しする簡単な操作で、エアフィルタ１７を着脱することができる。したがって、エアフィルタ１７のメンテナンスが非常に容易となる。
【００３７】
ここで、フィルタ本体１７ａの直径は例えば５ｍｍ、長さは例えば３０ｍｍとすることができる。エアフィルタ挿入孔８ｄは、そのフィルタ本体１７ａに対応する丸孔であり、そのような丸孔を支持部８に穿設するだけで、エアフィルタ１７の取り付けスペースを確保することができる。したがって、実装ヘッド４のコンパクト化をさらに容易にすることができる。
【００３８】
〈実施の形態２〉
次に、本発明の実施の形態２を説明する。図５に本発明の実施の形態２に係る電子部品実装装置の一部を断面にした側面図である。
本実施の形態２は、実施の形態１を改変したものであるので、実施の形態１とは異なる部分のみを説明する。
【００３９】
本実施の形態２においては、昇降軸３は、複数列ではなく１列に、互いに平行に並ぶように配設されている。
また、第２嵌合部８ｆは、第１嵌合部１５ｂの真上から、昇降軸３が並ぶ列の片側の方向において所定距離ずれた位置に、第１嵌合部１５ｂの突出方向、つまり吸着ノズル２の進出方向とほぼ同一の方向に突出するように設けられている。
【００４０】
そして、チューブ１８は、吸着ノズル２の進出方向、つまり鉛直下方に向かって凸に湾曲する冗長部１８ａを形成するように、第１嵌合部１５ｂに一端部が嵌合され、第２嵌合部８ｆに他端部が嵌合される。この構成においても、吸着ノズル２の進出方向と略同一の方向に凸に湾曲する必要十分な大きさの冗長部１８ａを形成することで、吸着ノズル２を進退させるように昇降軸３を昇降させても、チューブ１８から第１嵌合部１５ｂに働く力の大きさ、および方向は殆ど変化しない。したがって、昇降軸３を昇降させたときに昇降軸３がチューブ１８から力を受けて撓むなどして、電子部品の実装精度が低下するのを防止することができる。
【００４１】
また、昇降軸３が最上位まで移動して、冗長部１８ａのサイズが最大となるときにも、そのサイズの変動はほとんどが吸着ノズル２の進出方向（昇降軸３の軸方向）に起こり、横方向（昇降軸３の径方向）には冗長部１８ａが広がらないために、実装ヘッド４のコンパクト化が容易となる。
【００４２】
また、チューブ１８から回転継手１３に働く力も、冗長部１８ａのサイズの変動によりほとんど吸収されるために、可動部である回転継手１３に余分な力が掛からなくなる。すなわち、チューブ１８の形状は、吸着ノズル２が先端に設けられた昇降軸３とともに移動する回転継手１３が上下方向に移動しても、吸着ノズル２の進出方向と略同じ方向に凸に湾曲した冗長部１８ａの形状が、略相似形状に保たれるからである。その結果、回転継手１３の寿命が短くなるのを防止することも可能となる。また、チューブ１８自体の耐久性も向上する。
【００４３】
以上、本発明を実施の形態により説明したが、本発明は、種々改変が可能である。例えば、上記各実施の形態においては、エアシリンダ５の支持部６を、リニアガイド７ａに沿って上下にスライドするスライダ７ｂに取り付けるものとしたが、図６に示すように、エアシリンダ（図示しない）の支持部６Ｇを、カム機構により上下動させるものとしてもよい。このカム機構は、上下駆動モータ３１Ｇの回転軸２３ａに取り付けられた、偏芯した楕円形のカム板２３、カム板２３の周面と摺接する摺接部材２４、並びに摺接部材２４を支持部６Ｇに固定する固定部材２５から構成されている。支持部６Ｇは図示しない付勢部材により上方に付勢されており、カム板２３の回転に追従して支持部６Ｇが上下動し、これにより、昇降軸３Ｇが一括して上下動するように構成されている。
【００４４】
また、上記各実施の形態においては、昇降軸は、２列または１列に並ぶものとしたが、昇降軸の並び方はこれに限らず、昇降軸が例えば円形に並ぶように配設することもできる。この場合には、チューブの取り付け位置を円の内側および外側のいずれに設定することも可能である。
また、昇降軸３は、吸着ノズル２が先端に一体的に設けられている構成のものに限られない。多種の電子部品の吸着に対応し得るように、昇降軸３を様々な形状の吸着ノズルが脱着可能とされた構成とすることも可能である。
【００４５】
また、本願発明は、上記実施の形態に限定するものではなく、昇降軸３とともに上下方向に移動する回転継手にチューブの一端が連結される構成であれば、適用が可能である。特に、エアシリンダ５および上下駆動機構７により昇降軸３を昇降させる構成に代えて、各昇降軸３をリニアモータ等の上下駆動機構により独立的に昇降させる構成としても同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の電子部品実装ヘッドおよび実装装置によれば、実装ヘッドのコンパクト化が図れるとともに、実装ヘッドの耐久性および実装精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る電子部品実装装置の一部を断面にした斜視図である。
【図２】図１の装置の一部を模式化して拡大した断面図である。
【図３】図２の回転継手の周辺の拡大図である。
【図４】図２のボールスプラインの周辺の拡大図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る電子部品実装装置の一部を断面にした斜視図である。
【図６】本発明の変形例の電子部品実装装置の斜視図である。
【図７Ａ】従来の電子部品実装装置の一部を断面にした側面図であり、吸着ノズルが最上位にある状態を示す。
【図７Ｂ】従来の電子部品実装装置の一部を断面にした側面図であり、吸着ノズルが最下した位にある状態を示す。
【符号の説明】
【００４８】
２    吸着ノズル
３    昇降軸
３ａ  流体通路
４    実装ヘッド
５    エアシリンダ
７    上下駆動機構
８    支持部
８ｃ  中継路
８ｆ  第２嵌合部
１３    回転継手
１３ａ  連絡路
１５ｂ  第１嵌合部
１７    エアフィルタ
１８    チューブ
【図１】
2010027855.tif 000003
【図２】
2010027855.tif 000004
【図３】
2010027855.tif 000005
【図４】
2010027855.tif 000006
【図５】
2010027855.tif 000007
【図６】
2010027855.tif 000008
【図７Ａ】
2010027855.tif 000009
【図７Ｂ】
2010027855.tif 000010