(57)【要約】      （修正有）【課題】レンズの光軸とイメージセンサの中心との相対的な位置合わせを、精度よく実行できるカメラの光軸調整組立装置を提供する。【解決手段】光軸調整組立装置は、第１および第２の保持部材４２、測定器３７ねじ締め機構３６を具備する。第１の保持部材４２は光軸が垂直となるようにカメラ１のフレーム２を保持しつつ光軸に沿うＺ軸方向に昇降動する。第２の保持部材６３は、イメージセンサが光軸上で水平となるようにカメラ１のホルダ３を保持し、かつ光軸と直交するＸ軸、Ｘ軸と直交するＹ軸方向に位置調節が可能である。測定器３７は、光軸に対するイメージセンサのＸ軸方向のずれ量、Ｙ軸方向のずれ量およびイメージセンサからレンズマウント６に至るＺ軸方向の距離を測定する。ねじ締め機構３６は、測定器３７の測定結果に基づくずれ量の補正が完了した状態で、複数のねじ２４を介してフレーム２とホルダ３とを互いに固定する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のレンズが取り外し可能にねじ込まれるとともに、このレンズのねじ込み端を受ける基準面が形成されたレンズマウントを有するフレームと、上記レンズと向かい合うイメージセンサを支持するホルダと、を含み、
上記レンズの中心を通る光軸と上記イメージセンサの中心とを位置合わせするとともに、上記イメージセンサから上記レンズマウントの基準面までの距離を予め決められた値に設定した状態で、上記フレームと上記ホルダとを複数のねじを介して固定するカメラに用いる光軸調整組立装置であって、
上記レンズマウントの基準面が水平となり、かつ上記光軸が垂直となるように上記フレームを移動不能に保持するとともに、上記光軸に沿う垂直なＺ軸方向に昇降動が可能な第１の保持部材と、
上記第１の保持部材の下方に配置され、上記イメージセンサが上記光軸上で水平となるように上記ホルダを移動不能に保持して、上記レンズマウントと上記ホルダとを上下方向に互いに対向させるとともに、上記光軸と直交する水平なＸ軸およびＸ軸と直交する水平なＹ軸方向に独立して位置調節が可能な第２の保持部材と、
上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｘ軸方向のずれ量、上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｙ軸方向のずれ量および上記イメージセンサから上記レンズマウントの基準面に至る上記Ｚ軸方向の距離を測定器により測定するとともに、この測定結果に基づく上記Ｘ軸方向のずれ量、上記Ｙ軸方向のずれ量および上記Ｚ軸方向の距離の補正が完了した状態で、上記複数のねじを介して上記フレームと上記ホルダとを互いに固定するねじ締め機構と、を具備したことを特徴とするカメラの光軸調整組立装置。
【請求項２】
上記第２の保持部材は、上記光軸の軸回り方向に回動可能であり、上記測定器は、上記フレームに対する上記光軸の軸回り方向への上記イメージセンサの傾斜角を測定可能であることを特徴とする請求項１に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項３】
上記ねじ締め機構は、上記第２の保持部材の下方に配置されるとともに、上記ねじを回転させながら上記ホルダおよび上記フレームに向けて押上げる複数のスクリュードライバを有することを特徴とする請求項１に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項４】
上記Ｘ軸方向に直線的に往復動可能なＸ軸ステージと、上記Ｙ軸方向に直線的に往復動可能なＹ軸ステージと、上記Ｚ軸方向に昇降動可能なＺ軸ステージと、をさらに備えており、上記Ｘ軸ステージと上記Ｙ軸ステージとは互いに重ね合わされて、これらステージの上に上記第２の保持部材が設置されているとともに、上記第１の保持部材は、上記Ｚ軸ステージに設置されていることを特徴とする請求項１に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項５】
上記第１の保持部材は、上記フレームが引っ掛かる複数の位置決めピンを有する垂直な吸着面と、この吸着面に開口された吸引孔とを有し、上記フレームを上記位置決めピンに引っ掛けた状態で上記吸引孔から上記フレームに負圧を作用させることで、上記フレームが上記吸着面に吸着保持されることを特徴とする請求項１又は請求項４に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項６】
上記フレームは、上記吸着面と向かい合う底面を有し、この底面の上に上記吸引孔と合致する凹所が形成されていることを特徴とする請求項５に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項７】
上記第１の保持部材は、上記フレームの底面を上記吸引孔に向けて弾性的に押圧する押圧手段を有することを特徴とする請求項６に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項８】
上記ホルダは、互いに平行をなす第１の周面および第２の周面と、上記第１の周面の一端と上記第２の周面の一端との間を結ぶとともに上記第１および第２の周面と直交する第３の周面とを有し、
上記第２の保持部材は、
上記ホルダが入り込む切り欠きを有する基盤と、
上記切り欠きの縁に設けられ、上記ホルダが水平に載置される複数の舌片と、
上記切り欠きの縁から上記切り欠きの内側に向かって突出し、上記ホルダの互いに隣り合う第１の周面および第３の周面に突き当たる複数の突起と、
上記基盤に支持され、上記ホルダの第２の周面を押圧することで上記ホルダの第１の周面を上記突起に押し付ける押圧子と、を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項４に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項９】
上記第１の保持部材を上記第２の保持部材に向けて下降させて上記フレームを上記ホルダに接触させることで、上記イメージセンサから上記レンズマウントの基準面までの距離が定まるとともに、
上記第２の保持部材は、スプリングを介して上記第１の保持部材に向けて弾性的に付勢されていることを特徴とする請求項１に記載のカメラの光軸調整組立装置。
【請求項１０】
請求項１に記載のカメラの光軸調整組立装置の光軸調整方法であって、
三次元測定器によって、上記光軸調整組立装置の上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｘ軸方向のずれ量、上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｙ軸方向のずれ量および上記イメージセンサから上記レンズマウントの基準面に至る上記Ｚ軸方向の距離を測定し、
制御コンピュータによって、測定結果に基づく上記Ｘ軸方向のずれ量、上記Ｙ軸方向のずれ量および上記Ｚ軸方向の距離の補正値を演算し、
上記制御コンピュータの演算結果により、上記光軸調整組立装置の上記Ｘ軸方向に直線的に往復動可能なＸ軸ステージと、上記Ｙ軸方向に直線的に往復動可能なＹ軸ステージと、上記Ｚ軸方向に昇降動可能なＺ軸ステージとを駆動して、上記イメージセンサの中心と上記レンズ光軸とを合致させることを特徴とするカメラの光軸調整組立装置の光軸調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズがねじ込まれるフレームと、イメージセンサを支持するホルダとを複数のねじで固定するカメラの光軸調整組立装置に係り、特にレンズの光軸上にイメージセンサの中心が位置するようにフレームとホルダとの相対的な位置精度を高めるための構造に関する。さらに、本発明は、レンズの光軸上にイメージセンサの中心を精度良く位置合わせするための光軸調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
小型のＣＣＤカメラは、レンズマウントを有するフレームと、ＣＣＤイメージセンサを搭載したホルダとを備えている。
【０００３】
レンズマウントは、筒状のレンズが取り外し可能にねじ込まれるものであり、このレンズマウントにレンズのねじ込み端を受ける基準面が形成されている。ホルダは、複数のねじを介してフレームに固定されている。この固定により、ＣＣＤイメージセンサがレンズの光軸上に位置されるとともに、レンズマウントの基準面からＣＣＤイメージセンサまでの距離が予め決められた値に設定されるようになっている。
【０００４】
ところで、小型のＣＣＤカメラでは、レンズの中心を通る光軸とＣＣＤイメージセンサの中心との相対的な位置精度が非常に重要となる。すなわち、ＣＣＤイメージセンサの中心が光軸から外れていると、例えばレンズを交換した時に、モニタに表示される被撮像物の位置が変化してしまい、光軸の微妙な位置調整作業を余儀なくされる。
【０００５】
従来のＣＣＤカメラでは、光軸がＣＣＤイメージセンサの中心を通るように、フレームおよびホルダの相互の接触面を精度良く仕上げている。しかしながら、作業者がフレームとホルダとをねじで結合した時に、ねじの締め付け時に生じるトルクにより、フレームとホルダとの相互接触部がミクロン単位で動いてしまうのを否めない。
【０００６】
そのため、光軸とＣＣＤイメージセンサの中心との位置合わせ精度は、フレームおよびホルダの加工精度や作業者の経験と感覚に依存することが多くなっている。したがって、光軸とＣＣＤイメージセンサの中心との位置精度を高めるには自ずと限界があるとともに、フレームとホルダとの固定作業に熟練を要するといった問題が生じてくる。
【０００７】
この問題を解消するため、例えば特許文献１は、レンズの調整と固体撮像素子の調整を自動的に行うようにしたカメラモジュールの組立調整方法を開示している。この組立調整方法では、最初に光源部から調整光を照射することで、カメラモジュールを構成する各種の光学系部品を配置する上での基準となる基準光軸を設定している。光学系部品は、夫々の光軸が基準光軸と一致するように、位置や角度を調整して配置されている。
【０００８】
さらに、検査用のチャートをカメラモジュールで撮像し、撮像された画像に基づいて再び光学系部品の調整を行い、光学系部品を基準光軸に対し最適な状態となるように配置している。
【特許文献１】特開２００７−４７５８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に開示されたカメラモジュールの組立調整方法では、予め設定された基準光軸を基に光学系部品の調整を行っており、隣り合う光学系部品の相互のずれ量を測定していない。
【００１０】
そのため、カメラモジュールの組立時に、光学系部品間の位置精度を維持するといった技術思想を欠いており、光学系部品の調整に時間を要するといった不具合がある。
【００１１】
本発明の目的は、レンズの光軸とイメージセンサの中心との相対的な位置合わせを精度よく実行できるとともに、フレームとホルダとの固定作業を効率よく行うことができるカメラの光軸調整組立装置および光軸調整方法を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係る光軸調整組立装置は、  
筒状のレンズが取り外し可能にねじ込まれるとともに、このレンズのねじ込み端を受ける基準面が形成されたレンズマウントを有するフレームと、上記レンズと向かい合うイメージセンサを支持するホルダと、を含み、上記レンズの中心を通る光軸と上記イメージセンサの中心とを位置合わせするとともに、上記イメージセンサから上記レンズマウントの基準面までの距離を予め決められた値に設定した状態で、上記フレームと上記ホルダとを複数のねじを介して固定するカメラに用いる光軸調整組立装置であって、  
上記レンズマウントの基準面が水平となり、かつ上記光軸が垂直となるように上記フレームを移動不能に保持するとともに、上記光軸に沿う垂直なＺ軸方向に昇降動が可能な第１の保持部材と、  
上記第１の保持部材の下方に配置され、上記イメージセンサが上記光軸上で水平となるように上記ホルダを移動不能に保持して、上記レンズマウントと上記ホルダとを上下方向に互いに対向させるとともに、上記光軸と直交する水平なＸ軸およびＸ軸と直交する水平なＹ軸方向に独立して位置調節が可能な第２の保持部材と、  
上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｘ軸方向のずれ量、上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｙ軸方向のずれ量および上記イメージセンサから上記レンズマウントの吸着面に至る上記Ｚ軸方向の距離を測定器により測定するとともに、この測定結果に基づく上記Ｘ軸方向のずれ量、上記Ｙ軸方向のずれ量および上記Ｚ軸方向の距離の補正が完了した状態で、上記複数のねじを介して上記フレームと上記ホルダとを互いに固定するねじ締め機構と、を具備したことを特徴としている。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係る光軸調整方法は、  
三次元測定器によって、上記光軸調整組立装置の上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｘ軸方向のずれ量、上記光軸に対する上記イメージセンサの上記Ｙ軸方向のずれ量および上記イメージセンサから上記レンズマウントの基準面に至る上記Ｚ軸方向の距離を測定し、  
制御コンピュータによって、測定結果に基づく上記Ｘ軸方向のずれ量、上記Ｙ軸方向のずれ量および上記Ｚ軸方向の距離の補正値を演算し、  
上記制御コンピュータの演算結果により、上記光軸調整組立装置の上記Ｘ軸方向に直線的に往復動可能なＸ軸ステージと、上記Ｙ軸方向に直線的に往復動可能なＹ軸ステージと、上記Ｚ軸方向に昇降動可能なＺ軸ステージとを駆動して、上記イメージセンサの中心と上記レンズ光軸とを合致させることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、測定器での測定結果に基づいてレンズの光軸とイメージセンサの中心との相対的な位置合わせを精度よく実行できる。しかも、フレームとホルダとの位置精度を確保しつつ、ねじを用いた自動的な締め付け作業によりフレームとホルダとを互いに固定することができ、カメラの組立作業を効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明の実施の形態を、図１乃至図１６に基づいて説明する。
【００１６】
まず、図１乃至図８を用いて本実施形態に係るＣＣＤカメラの構成について説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るＣＣＤカメラの組み立て後の斜視図。図２（Ａ）は、フレームの正面図、（Ｂ）はフレームの側面図、（Ｃ）はフレームの側面図。図３（Ａ）は、ホルダの正面図、（Ｂ）はホルダの側面図。図４は、本発明の実施の形態において、ＣＣＤカメラとレンズとの位置関係を示す側面図を示している。図５は、本発明の実施の形態において、フレームとホルダとを分離させた状態を示すＣＣＤカメラの側面図。図６は、本発明の実施の形態において、レンズの光軸からＣＣＤイメージセンサの中心がずれた状態を示すＣＣＤカメラの正面図。図７は、本発明の実施の形態において、レンズの光軸とＣＣＤイメージセンサの中心とが位置合わせされた状態を示すＣＣＤカメラの正面図を示している。
【００１７】
図１乃至図４を参照して本発明に係る光軸調整組立装置によって組み立てられる小型のＣＣＤカメラ１を説明する。ＣＣＤカメラ１は、フレーム２、ホルダ３およびカバー４を備えている。
【００１８】
フレーム２は、例えばアルミニウム合金のような金属材料で形成されて、充分な剛性を有している。図２（Ｂ）に示すように、フレーム２は、第１の支持壁５ａと、第２の支持壁５ｂと、レンズマウント６とで構成されている。第１および第２の支持壁５ａ，５ｂは、夫々四角い板状をなしている。第１の支持壁５ａは、レンズマウント６に対し垂直な方向に延びており、第２の支持壁５ｂは、レンズマウント６に対し平行な方向に延びている。
【００１９】
第１の支持壁５ａは、フラットな底面７を有している。底面７は、例えばＣＣＤカメラ１を図６に示す水平なカメラ据え付け面８の上に置いた時に、このカメラ据え付け面８に接するようになっている。
【００２０】
図２（Ｃ）に示すように、第１の支持壁５ａの底面７に、四角い凹所９と一対のピン挿入孔１０ａ，１０ｂが形成されている。凹所９は、底面７の中央部全体に位置している。ピン挿入孔１０ａ，１０ｂは、底面７のレンズマウント６側の前端部に位置するとともに、第１の支持壁５ａの幅方向に互いに離れている。第２の支持壁５ｂは、第１の支持壁５ａの前端から第１の支持壁５ａと直交する方向に延びている。
【００２１】
レンズマウント６は、光軸Ｏ１を有する円筒状のレンズ１２を取り付けるための機構であって、第２の支持壁５ｂの前面から突出する中空の円筒状をなしている。図１、図４および図５に示すように、レンズマウント６は、レンズ１２がねじ込まれるレンズ取り付け孔１３を備えている。レンズ取り付け孔１３は、雌ねじ部１４と、この雌ねじ部１４と同軸状をなす小径部１５とを有している。雌ねじ部１４は、レンズマウント６の先端に開口されている。小径部１５は、雌ねじ部１４よりも径が小さいとともに、第２の支持壁５ｂに開口されている。
【００２２】
レンズ１２は、一端に雄ねじ部１２ａを有している。雄ねじ部１２ａは、レンズマウント６の雌ねじ部１４にねじ込まれており、このねじ込みにより、レンズ１２とレンズマウント６とが合体する。そのため、雌ねじ部１４および小径部１５は、レンズ１２の光軸Ｏ１と同軸状に形成することが必要となる。
【００２３】
レンズマウント６の雌ねじ部１４と小径部１５との境界部分に基準面１６が形成されている。この基準面１６は、レンズマウント６の軸方向に沿う中間に位置するとともに、レンズ１２の光軸Ｏ１と直交するリング状の平面となっている。レンズ１２の雄ねじ部１２ａをレンズ取り付け孔１３の雌ねじ部１４にねじ込んでいくと、雄ねじ部１２ａの端面が基準面１６に突き当たる。これにより、レンズマウント６に対するレンズ１２の取り付け位置が固定的に定まるようになっている。
【００２４】
一方、上記第２の支持壁５ｂに取り付けられる上記ホルダ３は、例えばアルミニウム合金のような金属材料で形成されて、充分な剛性を有している。図３又は図５に示すように、ホルダ３は、第２の支持壁５ｂ側の第１の面１８ａ、その反対側の第２の面１８ｂおよび第１乃至第４の周面１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄを有する四角い板状をなしている。
【００２５】
ホルダ３の第１の面１８ａは、後述するＣＣＤイメージセンサ２０が取り付けられるフラットな面であり、フレーム２の第２の支持壁５ｂと向かい合っている。ホルダ３の第２の面１８ｂは、第１の面１８ａに対しホルダ３の厚み方向に沿う反対側に位置している。
【００２６】
ホルダ３の第１乃至第４の周面１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄは、第１および第２の面１８ａ，１８ｂの周囲に位置している。図３（Ａ）に示すように、第１および第２の周面１９ａ，１９ｂは、互いに間隔を存して平行に配置されている。第３の周面１９ｃは、第１の周面１９ａの一端と第２の周面１９ｂの一端との間を結んでいる。第４の周面１９ｄは、第１の周面１９ａの他端と第２の周面１９ｂの他端との間を結んでいる。そのため、第３および第４の周面１９ｃ，１９ｄは、第１および第２の周面１９ａ，１９ｂと直交する方向に沿うとともに、互いに間隔を存して平行に配置されている。
【００２７】
ホルダ３は、ＣＣＤイメージセンサ２０を支持している。ＣＣＤイメージセンサ２０は、例えばＣＣＤ画素を正方格子状に配列したものであり、その配列領域の対角線の交点で規定される中心Ｃ１を有している。ＣＣＤイメージセンサ２０は、ホルダ３の中央部に位置するとともに、第１の面１８ａから僅かに突出している。
【００２８】
図３（Ａ）に示すように、ホルダ３は、一対のねじ孔２１ａ，２１ｂとピン挿入穴２２とを有している。ねじ孔２１ａ，２１ｂは、ＣＣＤイメージセンサ２０を間に挟んでホルダ３の幅方向に互いに離れているとともに、ホルダ３を厚み方向に貫通している。ピン挿入穴２２は、ホルダ３の幅方向に延びる長孔であって、ホルダ３の第２の面１８ｂに開口している。
【００２９】
図４又は図５に示すように、ホルダ３は、一対のねじ２４（一方のみを図示）を介してフレーム２の第２の支持壁５ｂに固定されている。ねじ２４は、ホルダ３のねじ孔２１ａ，２１ｂおよびフレーム２の第２の支持壁５ｂに連続してねじ込まれている。
【００３０】
このねじ込みにより、ホルダ３の第１の面１８ａがフレーム２の第２の支持壁５ｂに密着する。それとともに、ＣＣＤイメージセンサ２０がレンズ取り付け孔１３と向かい合ってレンズ１２の光軸Ｏ１の上に位置するようになっている。さらに、レンズ取り付け孔１３の基準面１６からＣＣＤイメージセンサ２０までの距離Ｌ（図４を参照）が規格で定められた値に設定されるようになっている。例えば、Ｃマウントと称するレンズマウント６の規格では、距離Ｌが１７．５２６mmに規定されている。
【００３１】
図１および図４に示すように、上記カバー４は、フレーム２にねじ止めされてホルダ３を覆い隠している。カバー４は、フレーム２の第１および第２の支持壁５ａ，５ｂに連続しており、このカバー４の存在により、ＣＣＤカメラ１が全体的に見て四角い箱状に形成されている。
【００３２】
ところで、このような構成のＣＣＤカメラ１では、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１（図３（Ａ）を参照）がレンズ１２の光軸Ｏ１（図２（Ａ）を参照）からずれていると、例えばレンズ１２を交換する度にモニタに映し出される被撮像物の位置が変化するといった不都合が生じてくる。そのため、ＣＣＤカメラ１においては、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１とレンズ１２の光軸Ｏ１とが合致する相対的な位置精度が非常に重要な要素となってくる。
【００３３】
図６は、ＣＣＤカメラ１をカメラ据え付け面８に置いた時に、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１がレンズ１２の光軸Ｏ１からずれた状態を示している。図６の例では、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１が光軸Ｏ１に対しカメラ据え付け面８に沿う水平なＸ軸の方向に距離Ｘ１ずれているとともに、Ｘ軸と直交するＹ軸の方向に距離Ｙ１ずれている。さらに、ＣＣＤイメージセンサ２０そのものが光軸Ｏ１の軸回り方向に角度θ傾いている。
【００３４】
図７は、ＣＣＤカメラ１をカメラ据え付け面８に置いた時に、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１がレンズ１２の光軸Ｏ１に対し精度よく位置合わせされるとともに、光軸Ｏ１の軸回り方向に沿うＣＣＤイメージセンサ２０の傾きが皆無の状態を示している。
【００３５】
したがって、ＣＣＤカメラ１を組み立てるに当たっては、図７に示すように、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１と光軸Ｏ１とが合致している状態に保つことが不可欠となる。
【００３６】
次に、図８乃至図１６を参照して、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１と光軸Ｏ１とを合致させてＣＣＤカメラ１を組み立てる軸調整組立装置３０について説明する。
【００３７】
図８は、ＣＣＤカメラを組み立てる光軸調整組立装置の側面図。図９（Ａ）は、図８の反対側から見たＺ軸ステージの側面図、（Ｂ）は軸ステージの背面図。図１０は、Ｚ軸ステージに取り付けた第１の保持部材にＣＣＤカメラのフレームを固定した状態を示す側面図を示す。さらに、図１１は、第１の保持部材の吸引孔とフレームの第１の支持壁との位置関係を一部断面で示す側面図。図１２は、光軸調整組立装置に用いる第２の保持部材の平面図。図１３は、第２の保持部材にＣＣＤカメラのホルダを固定した状態を示す平面図。図１４は、第１の保持部材に保持されたフレームおよび第２の保持部材に保持されたホルダを上下方向に位置合わせした状態を示す光軸調整組立装置の側面図。図１５は、第１の保持部材を下降させて、フレームとホルダとを位置合わせ基準位置に移動させた状態を示す光軸調整組立装置の側面図。図１６は、フレームとホルダとをねじで固定した状態を示す光軸調整組立装置の側面図を示す。
【００３８】
図８は、ＣＣＤイメージセンサ２０が光軸Ｏ１に対し最適な状態となるように、フレーム２とホルダ３とを固定する本発明に係る光軸調整組立装置３０を開示している。光軸調整組立装置３０は、ベースとなる架台３１、Ｚ軸ステージ３２、Ｘ軸ステージ３３、Ｙ軸ステージ３４、θ軸ステージ３５、ねじ締めユニット３６および非接触式の三次元測定器３７を備えている。
【００３９】
架台３１は、水平なガイド面３９を有している。ガイド面３９の上にＺ軸ステージ３２が支持されている。Ｚ軸ステージ３２は、ガイド面３９に対して垂直なＺ軸の方向に図示しないステッピングモータを介して昇降動可能となっている。
【００４０】
図９乃至図１１に示すように、Ｚ軸ステージ３２の上端に支持台４１が取り付けられている。支持台４１の一端に第１の保持部材４２が固定されている。第１の保持部材４２は、ＣＣＤカメラ１のフレーム２を移動不能にしっかりと保持するためのものであり、真空吸着用の吸着板４３とスライダ４４とを備えている。
【００４１】
第１の保持部材４２の吸着板４３は、フラットな吸着面４６を有している。吸着面４６は、フレーム２の第１の支持壁５ａの底面７を吸引して保持するためのものであり、垂直に起立している。吸着面４６に一対の位置決めピン４７ａ，４７ｂと吸引孔４８とが形成されている。
【００４２】
位置決めピン４７ａ，４７ｂは、吸着面４６から突出されて、フレーム２の第１の支持壁５ａに開けたピン挿入孔１０ａ，１０ｂ（図２（Ｃ）を参照）に嵌合可能となっている。この嵌合により、フレーム２の第１の支持壁５ａが吸着面４６に密着するとともに、第１の支持壁５ａの底面７と吸着面４６との位置合わせが実行される。
【００４３】
吸引孔４８は、図示しない配管を介して真空ポンプ５０に通じている。吸引孔４８は、第１の支持壁５ａを吸着面４６に密着させた時に、底面７の凹所９と合致するようになっている。そのため、真空ポンプ５０を動作させると、吸引孔４８を介して第１の支持壁５ａの凹所９に負圧が作用し、第１の支持壁５ａが吸着面４６に向けて吸引される。これにより、第１の支持壁５ａの底面７が吸着面４６に吸着される。
【００４４】
図１１に示すように、フレーム２の第１の支持壁５ａが吸着面４６に吸着された状態では、レンズマウント６を有する第２の支持壁５ｂが吸着面４６から水平に張り出している。この結果、レンズマウント６を通るレンズ１２の光軸Ｏ１は、上記Ｚ軸に沿うように鉛直方向に起立している。
【００４５】
上記第１の保持部材４２のスライダ４４は、吸着板４３の上端から吸着面４６の前方に向けて水平に張り出している。スライダ４４は、レンズマウント６の先端を取り囲むような四角い枠状をなしている。スライダ４４の張り出し端の下面にクランパ５１が取り付けられている。クランパ５１は、第２の支持壁５ｂの縁に接する押圧面５２を有している。押圧面５２は、吸着板４３の吸着面４６と向かい合うとともに、クランパ５１の下方に進むに従い吸着面４６から遠ざかる方向に傾斜している。
【００４６】
さらに、スライダ４４は、吸着板４３の背後に向けて延びるガイド部５３を有している。ガイド部５３は、支持台４１に形成したガイド面５４の上に摺動可能に支持されている。ガイド面５４は、吸着板４３の後方に進むに従い下向きに傾斜している。
【００４７】
このため、スライダ４４は、ガイド面５３に沿って移動可能であるとともに、一対の引っ張りコイルスプリング５５ａ，５５ｂを介して常にクランパ５１が吸着面４６に近づく方向に弾性的に付勢されている。
【００４８】
言い換えると、クランパ５１の押圧面５２と吸着板４３の吸着面４６との間でフレーム２を弾性的に挟み込んで強固に保持している。押圧面５２は、上から下に向けて内側に傾斜しているので、押圧面５２と第２の支持壁５ｂとの接触部分に、図１１の矢印で示すように上記吸引孔４８に向かう押圧力が作用する。
【００４９】
この結果、フレーム２の第１の支持壁５ａが負圧の作用点となる吸引孔４８に向けて押圧され、第１の支持壁５ａの底面７と吸着板４３の吸着面４６との密着性が高まる。したがって、本実施の形態では、クランパ５１および引っ張りコイルスプリング５５ａ，５５ｂがフレーム２を吸引孔４８に向けて押圧する押圧手段を構成している。この押圧手段の存在により、フレーム２の第１の支持壁５ａが吸着板４３からずれることなく、吸着板４３の吸着面４６の上に強固に保持される。
【００５０】
図８に示すように、架台３１のガイド面３９の上に可動テーブル５６が支持されている。可動テーブル５６は、Ｚ軸ステージ３２と向かい合うとともに、このＺ軸ステージ３２に近づく方向およびＺ軸ステージ３２から遠ざかる方向に水平に往復動可能となっている。可動テーブル５６の移動方向は、上記Ｙ軸の方向と一致している。
【００５１】
可動テーブル５６の上にＸ軸ステージ３３、Ｙ軸ステージ３４およびθ軸ステージ３５が積み重ねられている。本実施の形態では、Ｙ軸ステージ３４が可動テーブル５６の上に支持されている。Ｙ軸ステージ３４は、可動テーブル５６に対し上記Ｙ軸の方向に直線的に往復動が可能であり、このＹ軸ステージ３４の往復動は、ステッピングモータ５７によって行われる。
【００５２】
Ｘ軸ステージ３３は、Ｙ軸ステージ３４の上に支持されている。Ｘ軸ステージ３３は、Ｙ軸ステージ３４に対し上記Ｘ軸の方向に直線的に往復動が可能であり、このＸ軸ステージ３３の往復動は、図示しないステッピングモータによって行われる。
【００５３】
したがって、Ｘ軸ステージ３３とＹ軸ステージ３４とは、可動テーブル５６の上で互いに直交する方向に水平移動が可能であるとともに、上記Ｚ軸ステージ３２と向かい合っている。
【００５４】
θ軸ステージ３５は、Ｘ軸ステージ３３の上に支持されている。θ軸ステージ３５は、上記Ｚ軸（光軸Ｏ１）と平行な垂直軸回りに回動可能であり、このθ軸ステージ３５の回動は、図示しないステッピングモータによって行われる。
【００５５】
図８および図１４に示すように、θ軸ステージ３５は、上記第１の保持部材４２の吸着板４３と向かい合う対向面６０を有している。θ軸ステージ３５の対向面６０に昇降ブロック６１が昇降動可能に支持されている。昇降ブロック６１は、引っ張りコイルスプリング６２を介して常時上向きに弾性的に付勢されている。
【００５６】
昇降ブロック６１の上端に第２の保持部材６３が固定されている。第２の保持部材６３は、上記ＣＣＤカメラ１のホルダ３を移動不能にしっかりと保持するためのものであり、水平な基盤６４を有している。基盤６４は、昇降ブロック６１の上端から第１の保持部材４２の吸着板４３に向けて張り出すとともに、第１の保持部材４２のスライダ４４の下方に位置している。
【００５７】
次に、第２の保持部材６３の構成について説明する。
【００５８】
図１２に示すように、第２の保持部材６３の基盤６４は、ホルダ３が入り込む四角い切り欠き６６を有している。切り欠き６６は、第１乃至第３の縁６７ａ，６７ｂ，６７ｃにより規定されている。第１および第２の縁６７ａ，６７ｂは、ホルダ３の幅方向に間隔を存して平行に配置されている。第３の縁６７ｃは、第１の縁６７ａの一端と第２の縁６７ｂの一端との間を結んでいる。
【００５９】
第２の保持部材６３の基盤６４は、ホルダ３を切り欠き６６の領域に保持する第１乃至第３の舌片６８ａ，６８ｂ，６８ｃを有している。第１および第２の舌片６８ａ，６８ｂは、切り欠き６６の第１の縁６７ａから切り欠き６６の内側に向けて突出するとともに、第１の縁６７ａの長手方向に互いに離れている。第３の舌片６８ｃは、切り欠き６６の第２の縁６７ｂから切り欠き６６の内側に向けて突出している。
【００６０】
そのため、ホルダ３を切り欠き６６に挿入すると、ホルダ３の第２の面１９ｂの外周部の３箇所が第１乃至第３の舌片６８ａ，６８ｂ，６８ｃの上に載置されるようになっている。
【００６１】
第３の舌片６８ｃの上面に位置決めピン６９が配置されている。図１３に示すように、位置決めピン６９は、ホルダ３を第３の舌片６８ｃの上に載せた時に、ホルダ３の第２の面１９ｂに開口するピン挿入穴２２に嵌まり込む。これにより、ホルダ３と切り欠き６６との相対的な位置決めが実行され、切り欠き６６の領域にホルダ３がきっちりと入り込むようになっている。
【００６２】
さらに、第２の保持部材６３の基盤６４は、切り欠き６６の内側に張り出す第１乃至第３の突起７１ａ，７１ｂ，７１ｃを有している。第１および第２の突起７１ａ，７１ｂは、切り欠き６６の第１の縁６７ａの側に位置するとともに、第１の縁６７ａの長手方向に互いに離れている。第３の突起７１ｃは、切り欠き６６の第３の縁６７ｃの側の長手方向に沿う中央に位置している。
【００６３】
図１２および図１３に示すように、基盤６４の端部にエアシリンダ７２が支持されている。エアシリンダ７２のピストンロッド７３に押圧子７４が連結されている。押圧子７４は、エアシリンダ７２の作動により、基盤６４の第２の縁６７ｂから切り欠き６６内に突出する押圧位置と、第２の縁６７ｂから基盤６４の上に退く押圧解除位置との間で移動可能となっている。
【００６４】
図１３に示すように、ホルダ３が基盤６４の切り欠き６６に挿入されると、ホルダ３の第１の周面１９ａが第１および第２の舌片６８ａ，６８ｂに載置され、ホルダ３の第２の周面１９ｂが第３の舌片６８ｃに載置される。そして、ホルダ３の第１の周面１９ａが第１および第２の突起７１ａ，７１ｂの先端に接触するとともに、ホルダ３の第３の周面１９ｃが第３の突起７１ｃの先端に接触する。これにより、ホルダ３が基盤６４に位置決めされる。
【００６５】
このようにホルダ３が位置決めされた状態で、押圧子７４がエアシリンダ７２によって押圧解除位置から押圧位置に移動される。この結果、押圧子７４がホルダ３の第２の周面１９ｂに突き当たり、ホルダ３の第１の周面１９ａを第１および第２の突起７１ａ，７１ｂの先端に押し付ける。
【００６６】
よって、ホルダ３は、第１および第２の突起７１ａ，７１ｂと押圧子７４との間で強固に挟み込まれるので、第２の保持部材６３に移動不能に保持される。第２の保持部材６３に保持されたホルダ３は、第１の保持部材４２に保持されたフレーム２の下方に位置されている。
【００６７】
図８に示すように、ねじ締めユニット３６は、架台３１のガイド面３９の上に据え付けられて、Ｚ軸ステージ３２と可動テーブル５６との間に位置している。ねじ締めユニット３６は、一対のスクリュードライバ７６（一方のみを図示）と、駆動部７７とを備えている。
【００６８】
スクリュードライバ７６は、ＣＣＤカメラ１のねじ２４を締め付けるための工具であり、ねじ２４の頭部に係合する先端を上向きにした姿勢で垂直に起立している。スクリュードライバ７６は、ねじ２４の配置間隔に対応するように第１および第２の保持部材４２，６３の下方に配置されている。さらに、スクリュードライバ７６は、第１の保持部材４２に保持されたフレーム２に対しては、Ｘ軸およびＹ軸方向の位置が固定的に定められている。
【００６９】
駆動部７７は、スクリュードライバ７６を回転させるモータおよびスクリュードライバ７６を昇降動させるエアシリンダを備えている。
【００７０】
三次元測定器３７は、フレーム２とホルダ３とを組み合わせた時の光軸Ｏ１とＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１との位置関係およびレンズ取り付け孔１３の基準面１６からＣＣＤイメージセンサ２０までの距離Ｌを測定するためのものであり、第１の保持部材４２の真上に位置する測定ヘッド８０を有している。このような三次元測定器３７としては、例えば米国ＯＧＰ社ＳＭＡＲＴＳＣＯＰＥ  ＺＩＰ２５０（商品名）を用いることができる。
【００７１】
次に、光軸調整組立装置３０を用いてＣＣＤカメラ１のフレーム２とホルダ３とを互いに固定する手順について説明する。
【００７２】
まず、可動テーブル５６をＺ軸ステージ３２から遠ざかる方向に後退させ、第２の保持部材６３と第１の保持部材４２とを水平なＹ軸方向に互いに離間させる。
【００７３】
この状態で、フレーム２の第１の支持壁５ａを第１の保持部材４２の吸着板４３に突き当て、この吸着板４３から突出する位置決めピン４７ａ，４７ｂを第１の支持壁５ａのピン挿入孔１０ａ，１０ｂに嵌め込む。それとともに、クランパ５１の押圧面５２でフレーム２の第２の支持壁５ｂの縁を吸着板４３の吸引孔４８に向けて押圧し、クランパ５１と吸着板４３との間でフレーム２を仮止めする。
【００７４】
次に、真空ポンプ５０を作動させて、第１の支持壁５ａの底面７を吸着板４３の吸着面４６に吸着させる。これにより、フレーム２が第１の保持部材４２に移動不能に強固に固定される。
【００７５】
次に、第２の保持部材６３の切り欠き６６にホルダ３を挿入し、ホルダ３の第２の面１８ｂを第１乃至第３の舌片６８ａ，６８ｂ，６８ｃの上に載置する。それとともに、第３の舌片６８ｃから突出する位置決めピン６９をホルダ３のピン挿入穴２２に嵌め込むことで、ホルダ３と切り欠き６６との相対的な位置決めを行う。
【００７６】
この状態で、エアシリンダ７２を動作させて、ピストンロッド７３の先端に位置する押圧子７４を押圧解除位置から押圧位置に移動させる。この移動により、押圧子７４がホルダ３の第２の周面１９ｂに突き当たり、ホルダ３の第１の周面１９ａを基盤６４の第１および第２の突起７１ａ，７１ｂに押し付ける。よって、ホルダ３が第２の保持部材６３に移動不能に保持される。
【００７７】
次に、可動テーブル５６をＺ軸ステージ３２に近づく方向に移動させ、第２の保持部材６３を第１の保持部材４２の下方に位置させる。引き続いて、Ｚ軸ステージ３２をＺ軸に沿って下降させる。これにより、第１の保持部材４２に保持されたフレーム２の第２の支持壁５ｂが第２の保持部材４２に保持されたホルダ３の第１の面１８ａに接触し、レンズ取り付け孔１３の基準面１６からＣＣＤイメージセンサ２０までの距離Ｌが定まる。
【００７８】
この際、第２の保持部材６３が固定された昇降ブロック６１は、引っ張りコイルスプリング６２により上向きに付勢されている。このため、フレーム２がホルダ３に接触すると、昇降ブロック６１と共に第２の保持部材６３が引っ張りコイルスプリング６２の付勢力に抗して僅かに押し下げられる。
【００７９】
よって、フレーム２の第２の支持壁５ｂとホルダ３の第１の面１８ａとの接触部分に引っ張りコイルスプリング６２の反力が作用し、第２の支持壁５ｂとホルダ３との密着性が高まる。
【００８０】
さらに、本実施の形態では、フレーム２の第２の支持壁５ｂの縁にクランパ５１の押圧面５２が接触し、フレーム２の第１の支持壁５ａを吸引孔４８が開口する吸着面４６に押し付けている。このため、第１の保持部材４２は、フレーム２がホルダ３との接触に伴う反力を受けた場合でも、この反力に打ち勝てるようにフレーム２をしっかりと保持することができる。よって、フレーム２の第１の支持壁５ａが吸着板４３の吸着面４６から脱落したり、ずれ動くのを防止でき、フレーム２の姿勢が安定する。
【００８１】
フレーム２がホルダ３に密着することで、これらフレーム２およびホルダ３が位置合わせ基準位置に到達する。この位置合わせ基準位置では、フレーム２のレンズマウント６とホルダ３のＣＣＤイメージセンサ２０が上下方向に向かい合い、ＣＣＤイメージセンサ２０が光軸Ｏ１の上に位置する。
【００８２】
次に、光軸調整組立装置３０と三次元測定器３７と制御コンピュータ１００を用いた光軸調整とＣＣＤカメラ１の組立制御について説明する。図１７は、光軸調整組立装置３０と三次元測定器３７と制御コンピュータ１００の構成を示す図であり、図１８はその制御動作を示すフローチャートである。
【００８３】
まず、制御コンピュータ１００から三次元測定器３７を起動する（ステップＳ１００）。  
次に、三次元測定器３７はＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１と光軸Ｏ１との間のＸ軸方向のずれ量、同じくＹ軸方向のずれ量、光軸Ｏ１の軸回り方向へのＣＣＤイメージセンサ２０の傾斜角θ等の誤差データ、およびレンズ取り付け孔１３の基準面１６からＣＣＤイメージセンサ２０までの距離Ｌを測定する（ステップＳ１１０）。
【００８４】
三次元測定器３７で測定されたＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１と光軸Ｏ１との位置関係を示す誤差データおよび距離Ｌに関するデータは、制御コンピュータ１００に送られる。制御コンピュータ１００は、三次元測定器３７での測定結果に基づいて位置決め演算を実行し（ステップＳ１３０）、その結果に基づく駆動信号を光軸調整組立装置３０のＸ軸ステージ３３をＸ軸方向に動かすステッピングモータ、Ｙ軸ステージ３４をＹ軸方向に動かすステッピングモータ５７およびθ軸ステージ３５を垂直軸回りに回動させるステッピングモータに送出する（ステップＳ１４０）。
【００８５】
例えば図６に示すように、ＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１が光軸Ｏ１からＸ軸の方向に距離Ｘ１ずれるとともに、Ｙ軸の方向に距離Ｙ１ずれており、さらに、ＣＣＤイメージセンサ２０そのものが光軸Ｏ１の軸回り方向に角度θ傾いている場合、各ステージ３３，３４，３５が距離Ｘ１、Ｙ１および角度θのずれ分を吸収する方向に動作する。
【００８６】
Ｚ軸に沿う距離Ｌのずれに関しては、例えばフレーム２の第２の支持壁５ｂとホルダ３の第１の面１８ａとの間に作業者がシムを手作業で抜き差しすることにより調整する。
【００８７】
このようにして光軸Ｏ１に対するＣＣＤイメージセンサ２０の位置調整および距離Ｌの調整が完了した後（ステップＳ１５０）、ねじ締めユニット３６のスクリュードライバ７６の先端にねじ２４を手作業で取り付ける。次に、ねじ締めユニット３６の駆動部７７を介してスクリュードライバ７６を回転させつつ上昇させ、ねじ２４をホルダ３のねじ孔２１ａ，２１ｂおよびフレーム２の第２の支持壁５ｂにねじ込む（ステップＳ１６０）。
【００８８】
このねじ込みにより、相対的な位置調整作業が完了したフレーム２およびホルダ３が互いに締め付け固定される。
【００８９】
ねじ２４をねじ孔２１ａ，２１ｂにねじ込んでいくと、ホルダ３にねじ２４の回転に伴う締め付けトルクが加わる。これにより、ホルダ３の第１および第３の周面１９ａ，１９ｃが基盤６４の第１および第３の突起７１ａ，７１ｃに押し付けられるような力を受けるので、これら第１および第３の突起７１ａ，７１ｃが締め付けトルクを受け止める。
【００９０】
したがって、第２の保持部材６３は、ホルダ３がねじ２４の締め付けに伴うトルクを受けた場合でも、このトルクに打ち勝てるようにホルダ３をしっかりと保持することができる。よって、位置調整が終了したホルダ３がねじ２４のねじ込みに追従して動くのを防止でき、ホルダ３の位置精度を確実に維持することができる。
【００９１】
最後に、再び三次元測定器３７を用いてＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１と光軸Ｏ１との間のＸ軸方向のずれ量、同じくＹ軸方向のずれ量、ＣＣＤイメージセンサ２０の傾斜角θおよび距離Ｌを測定し（ステップＳ１７０）、フレーム２およびホルダ３が光軸Ｏ１に対し最適な状態にあることを確認することで、フレーム２とホルダ３との固定作業が完了する。もしも、測定結果が不良品となる値であるならば、ねじ２４を取り外して再度ステップＳ１３０〜ステップＳ１７０の処理を実行する。
【００９２】
このような実施の形態の光軸調整組立装置３０によれば、三次元測定器３７の測定結果に基づいてレンズ１２の光軸Ｏ１とＣＣＤイメージセンサ２０の中心Ｃ１との相対的な位置合わせを精度よく実行できる。このため、光軸Ｏ１を基準とするフレーム２とホルダ３との固定精度を、従来の±１００μｍ〜１５０μｍの範囲から±数μｍ〜数十μｍの範囲に絞り込むことができ、フレーム２とホルダ３との相対的な位置精度を飛躍的に高めることができる。
【００９３】
加えて、フレーム２とホルダ３との相対的な位置精度を第１および第２の保持部材４２，６３で維持しつつ、ねじ締めユニット３６を用いた自動的なねじ２４の締め付け作業により、フレーム２とホルダ３とを互いに固定することができる。このため、光軸Ｏ１を基準とするフレーム２とホルダ３との相対的な位置調整作業から固定作業に至る多くの作業工程を自動化することができ、ＣＣＤカメラ１の組立作業を効率よく行うことができる。
【００９４】
なお、上記実施の形態では、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、Ｚ軸ステージおよびθ軸ステージを夫々ステッピングモータによって動かすようにしたが、本発明はこれに制約されない。例えば、各ステージをサーボモータを用いて駆動するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の実施の形態に係るＣＣＤカメラの斜視図。
【図２】（Ａ）はフレームの正面図、（Ｂ）はフレームの側面図、（Ｃ）はフレームの側面図。
【図３】（Ａ）はホルダの正面図、（Ｂ）はホルダの側面図。
【図４】本発明の実施の形態において、ＣＣＤカメラとレンズとの位置関係を示す側面図。
【図５】本発明の実施の形態において、フレームとホルダとを分離させた状態を示すＣＣＤカメラの側面図。
【図６】本発明の実施の形態において、レンズの光軸からＣＣＤイメージセンサの中心がずれた状態を示すＣＣＤカメラの正面図。
【図７】本発明の実施の形態において、レンズの光軸とＣＣＤイメージセンサの中心とが位置合わせされた状態を示すＣＣＤカメラの正面図。
【図８】ＣＣＤカメラを組み立てる本発明の実施の形態に係る光軸調整組立装置の側面図。
【図９】（Ａ）は、本発明の実施の形態に係るＺ軸ステージの側面図、（Ｂ）は、本発明の実施の形態に係るＺ軸ステージの背面図。
【図１０】本発明の実施の形態において、Ｚ軸ステージに取り付けた第１の保持部材にＣＣＤカメラのフレームを固定した状態を示す側面図。
【図１１】本発明の実施の形態において、第１の保持部材の吸引孔とフレームの第１の支持壁との位置関係を一部断面で示す側面図。
【図１２】本発明の実施の形態の光軸調整組立装置に用いる第２の保持部材の平面図。
【図１３】本発明の実施の形態において、第２の保持部材にＣＣＤカメラのホルダを固定した状態を示す平面図。
【図１４】本発明の実施の形態において、第１の保持部材に保持されたフレームおよび第２の保持部材に保持されたホルダを上下方向に位置合わせした状態を示す光軸調整組立装置の側面図。
【図１５】本発明の実施の形態において、第１の保持部材を下降させて、フレームとホルダとを位置合わせ基準位置に移動させた状態を示す光軸調整組立装置の側面図。
【図１６】本発明の実施の形態において、フレームとホルダとをねじで固定した状態を示す光軸調整組立装置の側面図。
【図１７】光軸調整組立装置３０と三次元測定器３７と制御コンピュータ１００の構成を示す図。
【図１８】図１７の制御動作を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００９６】
１…カメラ（ＣＣＤカメラ）、２…フレーム、３…ホルダ、６…レンズユニット、１２…レンズ、１６…基準面、２０…イメージセンサ（ＣＣＤイメージセンサ）、２４…ねじ、３０…光軸調整組立装置、３６…ねじ締めユニット、３７…測定器（三次元測定器）、４２…第１の保持部材、６３…第２の保持部材、１００…制御コンピュータ。
【図１】
2010008864.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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