(57)【要約】【課題】ノズルを駆動するための機械的な複雑な機構の駆動源を必要とせず、また、粉塵の発生が少ないノズルユニット及びこれを搭載した部品実装装置を提供すること。【解決手段】ノズルユニット１００は、負圧を利用して部品を保持する４本のノズル４１〜４４が搭載された回転体３と、模式的に球体で示した駆動源ａ〜ｆとを備えている。また、ノズルユニット１００は、負圧及び正圧を発生させるためのエアの通路を有する、ノズルユニット１００の上下動のためのスピンドルの一部を構成するスピンドル部品１と、このスピンドル部品１の下部に取り付けられ、第１のシェル部材１１０に覆われるように設けられた第３のシェル部材１３０とを備えている。回転体３は、第１のシェル部材１１０と、第１のシェル部材１１０を覆うように第１のシェル部材１１０の外側に設けられた第２のシェル部材１２０とを有する。【選択図】図１
2010027800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧を利用して部品を保持する複数のノズルを有し、前記複数のノズルを回転させる回転体と、
前記回転体を非接触で駆動する駆動源と
を具備するノズルユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルユニットであって、
前記回転体は、前記複数のノズルを３次元内で回転させるノズルユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のノズルユニットであって、
前記回転体は、
第１の軸と、
前記第１の軸を中心に回転可能な第１のシェル部材と、
前記第１の軸とは異なる向きの第２の軸と、
前記複数のノズルを有し、前記第１のシェル部材を覆うように設けられ、前記第２の軸を中心に回転可能な第２のシェル部材と
を有するノズルユニット。
【請求項４】
請求項３に記載のノズルユニットであって、
前記負圧の供給路と、
前記負圧を前記第１のシェル部材に伝達する第１の開口を有し、前記供給路に接続され、前記第１のシェル部材に覆われるように設けられた第３のシェル部材とをさらに具備し、
前記第１のシェル部材は、
複数の第２の開口であって、前記複数の第２の開口のうち１つの開口が前記第１の開口に対面するように前記駆動源により前記複数の第２の開口が選択的に切り替えられることで、前記第２のシェル部材の前記複数のノズルのうち１つのノズルに前記負圧を伝達する複数の第２の開口を有するノズルユニット。
【請求項５】
請求項４に記載のノズルユニットであって、
前記複数の第２の開口のうち１つの開口が前記第１の開口に対面するとき、前記第１の開口と前記第２の開口との間の気密性を高めるためのシール部材をさらに具備するノズルユニット。
【請求項６】
請求項４に記載のノズルユニットであって、
前記複数の第２の開口のうち１つの開口と、前記複数のノズルのうち１つのノズルが対面するとき、前記１つの開口と前記１つのノズルとの間の気密性を高めるためのシール部材をさらに具備するノズルユニット。
【請求項７】
請求項３に記載のノズルユニットであって、
前記第２のシェル部材は、
前記駆動源により前記第２のシェル部材が前記第１の軸を中心に回転するように駆動される第１の従動部と、
前記駆動源により前記第２のシェル部材が前記第２の軸を中心に回転するように駆動される第２の従動部と
を有するノズルユニット。
【請求項８】
請求項３に記載のノズルユニットであって、
前記第１のシェル部材及び第２のシェル部材のうち少なくとも一方は、前記駆動源により前記複数のノズルが位置決めされるときに、前記第１のシェル部材と前記第２のシェル部材との相対的な移動を規制するストッパを有するノズルユニット。
【請求項９】
請求項８に記載のノズルユニットであって、
前記ストッパは、前記第１のシェル部材と前記第２のシェル部材とを互いに係合させる係合部であるノズルユニット。
【請求項１０】
請求項８に記載のノズルユニットであって、
前記ストッパは、前記第１のシェル部材及び前記第２のシェル部材に吸引力を作用させる磁性体を有するノズルユニット。
【請求項１１】
請求項１に記載のノズルユニットであって、
前記負圧の供給路と、
前記供給路に接続され、前記第１のシェル部材に覆われるように設けられた第３のシェル部材とをさらに具備し、
前記第３のシェル部材及び前記第１のシェル部材のうち少なくとも一方は、前記駆動源により前記複数のノズルが位置決めされるときに、前記第３のシェル部材に対する前記第１のシェル部材の移動を規制するストッパを有するノズルユニット。
【請求項１２】
請求項１１に記載のノズルユニットであって、
前記ストッパは、前記第３のシェル部材と前記第１のシェル部材とが互いに係合する係合部であるノズルユニット。
【請求項１３】
請求項１１に記載のノズルユニットであって、
前記ストッパは、前記第３のシェル部材及び前記第１のシェル部材に吸引力を作用させる磁性体を有するノズルユニット。
【請求項１４】
請求項９に記載のノズルユニットであって、
前記係合部は、
前記第１のシェル部材に設けられ、前記第１の軸の方向に延びるように設けられた第１の係合突起と、
前記第２のシェル部材に設けられ、前記第１の係合突起に係合する係合溝と
を有するノズルユニット。
【請求項１５】
請求項１に記載のノズルユニットであって、
前記駆動源は、磁気を利用して前記回転体を非接触で駆動するノズルユニット。
【請求項１６】
請求項１５に記載のノズルユニットであって、
前記回転体は、磁性体を有し、
前記駆動源は、前記磁性体に作用する磁場を発生させて前記回転体を駆動するノズルユニット。
【請求項１７】
請求項１に記載のノズルユニットであって、
前記回転体は、前記複数のノズルを２次元内で回転させるノズルユニット。
【請求項１８】
負圧を利用して部品を保持する複数のノズルを有し、前記複数のノズルを回転させる回転体と、前記回転体を非接触で駆動する駆動源とをそれぞれ含む複数のノズルユニットと、
前記複数のノズルユニットが接続されるヘッドと、
前記ヘッドを移動させる移動機構と
を具備する部品実装装置。
【請求項１９】
負圧を利用して部品を保持する複数のノズルを有し、前記複数のノズルを回転させる回転体と、
前記回転体を３次元内で回転させる駆動源と
を具備するノズルユニット。
【請求項２０】
負圧を利用して部品を保持する複数のノズルと、
前記複数のノズルのうち１つのノズルを非接触式で駆動する駆動源と、
前記複数のノズルが前記駆動源により駆動され得るように、前記複数のノズルを支持する支持部と
を具備するノズルユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、あるいはその他の部品を保持するノズルユニット、及び、このノズルユニットを搭載し、保持された部品を基板等に実装する部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品等の微小部品を負圧を利用して吸着して保持するノズルを備え、その電子部品を基板に実装する部品実装装置がある。
【０００３】
部品実装装置の一例として、例えば水平面内で直交する２軸の方向に移動するヘッドを備え、部品を吸着保持する複数のノズルがそのヘッドに設けられた実装装置が開示されている。これら複数のノズルは、少なくとも２種類の異なるサイズの部品を保持するために、少なくとも２種類のノズルを含む（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
他の実装装置は、無端ベルトに接続された複数の実装ヘッドを備え、その無端ベルトの駆動により水平面内で複数の実装ヘッドが移動する。１つの実装ヘッドには、地面に垂直な鉛直面内で放射状に広がるように複数の実装ノズルが設けられ、また、それら複数の実装ノズルは、水平方向を軸として回転可能に設けられている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
特許文献２に記載の部品実装装置では、その図１３に示されるように、ノズル切り替えシャフト（２５）の凹部（２６）が、支点ピン（３２）の端部に設けられた凸状部（３３）と嵌合する。ノズル切り替えシャフト（２５）が支点ピン（３２）を回転させる。これにより、複数の実装ノズル（３１）は、支点ピン（３２）を回転軸として回転する。
【０００６】
【特許文献１】特許第３９８１８３４号公報（段落[００４９]、図４、５）
【特許文献２】特開２００５−５４１５号公報（段落[００２９]、[００４２]、図１、３、１３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２の記載の部品実装装置では、ノズル切り替えシャフト（２５）により、複数の実装ノズル（３１）が回転するので、ノズル切り替えシャフト（２５）が凸状部（３３）に接近して当接するための機構及びノズル切り替えシャフト（２５）を回転させる機構等、複雑な機構の駆動源が必要とされる。
【０００８】
また、ノズル切り替えシャフト（２５）と凸状部（３３）とが接触したときに粉塵が発生する可能性もある。
【０００９】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、ノズルを駆動するための機械的な複雑な機構の駆動源を必要とせず、また、粉塵の発生が少ないノズルユニット及びこれを搭載した部品実装装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るノズルユニットは、回転体と、駆動源とを有する。  
前記回転体は、負圧を利用して部品を保持する複数のノズルを有し、前記複数のノズルを回転させる。  
前記駆動源は、前記回転体を非接触で駆動する。  
駆動源は、回転体に接触せずに回転体を駆動するので、機械的な複雑な機構を必要とすることがなく、かつ、粉塵の発生を抑えることができる。
【００１１】
前記回転体は、前記複数のノズルを３次元内で回転させてもよい。これにより、例えば２次元内で回転させる場合より、複数のノズルを有効に利用することができる。
【００１２】
前記回転体は、第１の軸と、前記第１の軸を中心に回転可能な第１のシェル部材と、前記第１の軸とは異なる向きの第２の軸と、前記複数のノズルを有し、前記第１のシェル部材を覆うように設けられ、前記第２の軸を中心に回転可能な第２のシェル部材とを有してもよい。これにより、複数のノズルを有する部材が、例えば球面軸受により回転する場合に比べ、駆動源により回転体が回転させられてノズルが位置決めされるときの、その位置決め精度が向上する。
【００１３】
ノズルユニットは、前記負圧の供給路と、前記負圧を前記第１のシェル部材に伝達する第１の開口を有し、前記供給路に接続され、前記第１のシェル部材に覆われるように設けられた第３のシェル部材とをさらに具備してもよい。その場合、前記第１のシェル部材は、複数の第２の開口であって、前記複数の第２の開口のうち１つの開口が前記第１の開口に対面するように前記駆動源により前記複数の第２の開口が選択的に切り替えられることで、前記第２のシェル部材の前記複数のノズルのうち１つのノズルに前記負圧を伝達する複数の第２の開口を有してもよい。
【００１４】
上記した第１の軸を構成する部材は、第３のシェル部材または第１のシェル部材に設けられていればよい。同様に、第２の軸を構成する部材は、第１のシェル部材または第２のシェル部材に設けられていればよい。
【００１５】
ノズルユニットは、前記複数の第２の開口のうち１つの開口が前記第１の開口に対面するとき、前記第１の開口と前記第２の開口との間の気密性を高めるためのシール部材をさらに具備してもよい。これにより、第３のシェル部材と第１のシェル部材とが相対的に動くように両者の間に隙間があっても、負圧を発生するためのエネルギーを小さくしながらも、気密性を高めることができる。
【００１６】
同様に、ノズルユニットは、前記複数の第２の開口のうち１つの開口と、前記複数のノズルのうち１つのノズルが対面するとき、前記１つの開口と前記１つのノズルとの間の気密性を高めるためのシール部材をさらに具備してもよい。
【００１７】
前記第２のシェル部材は、前記駆動源により前記第２のシェル部材が前記第１の軸を中心に回転するように駆動される第１の従動部と、前記駆動源により前記第２のシェル部材が前記第２の軸を中心に回転するように駆動される第２の従動部とを有してもよい。これにより、駆動源は第２のシェル部材を駆動することにより、第１のシェル部材を駆動することなく、回転体を回転させることができる。
【００１８】
前記第１のシェル部材及び第２のシェル部材のうち少なくとも一方は、前記駆動源により前記複数のノズルが位置決めされるときに、前記第１のシェル部材と前記第２のシェル部材との相対的な移動を規制するストッパを有してもよい。これにより、それらノズルの位置決め精度がさらに高められる。第２のシェル部材がそのようなストッパを有していてもよい。
【００１９】
前記ストッパは、前記第１のシェル部材と前記第２のシェル部材とを互いに係合させる係合部であってもよい。あるいは、前記ストッパは、前記第３のシェル部材と前記第１のシェル部材とが互いに係合する係合部であってもよい。
【００２０】
前記ストッパは、前記第１のシェル部材及び前記第２のシェル部材に吸引力を作用させる磁性体を有してもよい。あるいは、前記ストッパは、前記第３のシェル部材及び前記第１のシェル部材に吸引力を作用させる磁性体を有してもよい。磁性体は、永久磁石でもよいし、磁化されていない磁性体でもよい。磁性体は、上記の係合部に設けられていてもよい。
【００２１】
ノズルユニットは、前記負圧の供給路と、前記供給路に接続され、前記第１のシェル部材に覆われるように設けられた第３のシェル部材とをさらに具備してもよい。その場合、前記第３のシェル部材及び前記第１のシェル部材のうち少なくとも一方は、前記駆動源により前記複数のノズルが位置決めされるときに、前記第３のシェル部材に対する前記第１のシェル部材の移動を規制するストッパを有してもよい。
【００２２】
前記係合部は、前記第１のシェル部材に設けられ、前記第１の軸の方向に延びるように設けられた第１の係合突起と、前記第２のシェル部材に設けられ、前記第１の係合突起に係合する係合溝とを有してもよい。すなわち、第１のシェル部材の回転軸である第１の軸を構成する部材、あるいは、その第１の軸を構成する部材に接続される、第１のシェル部材の部位が、第２のシェル部材の係合溝と係合する突起（第１の係合突起）として利用される。これにより、ノズルユニットの小型化を実現することができる。
【００２３】
前記駆動源は、磁気を利用して前記回転体を非接触で駆動してもよいし、その他の駆動方法で駆動してもよい。
【００２４】
前記回転体は、磁性体を有してもよい。その場合、前記駆動源は、前記磁性体に作用する磁場を発生させて前記回転体を駆動してもよい。これにより、駆動源は、簡単な機構で、レスポンスよく回転体を回転させることができる。
【００２５】
前記回転体は、前記複数のノズルを２次元内で回転させてもよい。この場合、回転体の回転軸の向きは、垂直、水平、斜め等、様々なものが考えられる。
【００２６】
本発明の一形態に係る部品実装装置は、複数のノズルユニットと、ヘッドと、移動機構とを具備する。  
前記複数のノズルユニットは、負圧を利用して部品を保持する複数のノズルを有し、前記複数のノズルを回転させる回転体と、前記回転体を非接触で駆動する駆動源とをそれぞれ含む。  
前記ヘッドには、前記複数のノズルユニットが接続される。  
前記移動機構は、前記ヘッドを移動させる。  
この部品実装装置の場合、ヘッドに複数のノズルユニットが接続されており、ノズルユニットが比較的小さいサイズであることが要請される。これにより、駆動源が非接触型であることのメリットが大きくなる。
【００２７】
本発明の一形態に係るノズルユニットは、回転体と、駆動源とを具備する。  
前記回転体は、負圧を利用して部品を保持する複数のノズルを有し、前記複数のノズルを回転させる。  
前記駆動源は、前記回転体を３次元内で回転させる。
【００２８】
本発明の一形態に係るノズルユニットは、複数のノズルと、駆動源と、支持部とを具備する。  
前記複数のノズルは、負圧を利用して部品を保持する。  
前記駆動源は、前記複数のノズルのうち１つのノズルを非接触式で駆動する。  
前記支持部は、前記複数のノズルが前記駆動源により駆動され得るように、前記複数のノズルを支持する。
【発明の効果】
【００２９】
以上のように、本発明によれば、ノズルを駆動するための機械的な複雑な機構の駆動源を必要とせず、また、粉塵の発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１〜図４は、本発明の一実施の形態に係るノズルユニットを示す斜視図である。図１は、第１のノズル４１が鉛直方向の姿勢にある状態を示す図である。図２〜図４は、第２のノズル４２、第３のノズル４３及び第４のノズル４４がそれぞれ鉛直下向きの姿勢にある状態を示す図である。図１〜図４は、すべて同じ方向から見たものである。
【００３１】
図１に示すように、ノズルユニット１００は、負圧を利用して部品を保持する４本のノズル（上記第１〜第４のノズル）４１〜４４が搭載された回転体３と、模式的に球体で示した駆動源ａ〜ｆとを備えている。部品は、ＩＣパッケージ、コンデンサ、抵抗、コイル等、様々な電子部品であるが、これに限られない。
【００３２】
第１〜第４のノズル４１〜４４は、典型的にはそれぞれ異なる大きさ、あるいは異なる種類の部品を保持するために、それぞれ異なる径の、負圧保持用の穴を有している。しかし第１〜第４のノズル４１〜４４のうち、少なくとも２つのノズルが、同じ穴径、すなわち同じ大きさまたは種類等の部品を保持するものであってもよい。
【００３３】
駆動源ａ〜ｆは、典型的には電磁誘導により磁場を発生して、回転体３に接触しないで回転体３を駆動する機構であり、例えばそれぞれ図示しないコア及びコイル等により構成される。
【００３４】
回転体３は、第１のシェル部材１１０と、第１のシェル部材１１０を覆うように第１のシェル部材１１０の外側に設けられた第２のシェル部材１２０とを有する。ノズルユニット１００は、負圧及びゼロ圧（または、負圧及び正圧）を発生させるためのエアの通路（供給路）を有する、ノズルユニット１００の上下動のためのスピンドルの一部を構成するスピンドル部品１と、このスピンドル部品１の下部に取り付けられ、第１のシェル部材１１０に覆われるように設けられた第３のシェル部材１３０とを備えている。ゼロ圧とは、第１〜第４のノズル４１〜４４の内部と外部との差圧がゼロという意味である。
【００３５】
図５は、第３のシェル部材１３０を示す斜視図である。図６（Ａ）〜（Ｃ）は、第３のシェル部材１３０の平面、底面及び側面をそれぞれ示す図である。図７は、第１のシェル部材１１０を示す斜視図であり、図８（Ａ）〜（Ｄ）は、第１のシェル部材１１０の平面、底面、回転軸部側から見た側面、及び、係合突起側から見た側面をそれぞれ示す図である。図９は、第２のシェル部材１２０を示す斜視図であり、図１０（Ａ）〜（Ｄ）は、第２のシェル部材１２０の平面、底面、回転軸部側から見た側面、及び、係合溝側から見た側面をそれぞれ示す図である。
【００３６】
第１のシェル部材１１０、第２のシェル部材１２０及び第３のシェル部材１３０は、球形の一部をなす本体１１１、１２１及び１３１をそれぞれ有しているが、各本体１１１、１２１及び１３１はそれぞれ異なる形状でなっている。
【００３７】
図５に示すように、第３のシェル部材１３０は、例えばその本体１３１の側面に回転軸部１３２を有する。この回転軸部１３２は、第１のシェル部材１１０の本体１１１に設けられた軸受部１１８（図７等参照）に、嵌め込まれている。これにより、第１のシェル部材１１０は、回転軸部１３２を中心に所定の角度だけ回転するようになっている。
【００３８】
この所定角度の回転を実現するために、例えば第３のシェル部材１３０及び第１のシェル部材１１０のうち少なくとも一方は、その相対移動を規制するストッパを備えている。典型的には、図６（Ｂ）に示すように、第３のシェル部材１３０は、その本体１３１の側面であって、回転軸部１３２から例えば実質的にα＝４５°離れた位置に、本体１３１から突設された係合突起１３４ａ及び１３４ｂを有する。これらの係合突起１３４ａ及び１３４ｂは、図７で示した第１のシェル部材１１０の本体１１１の上部側から切り欠かれるように形成された２つの係合溝１１５ａ及び１１５ｂにそれぞれ当接して係合する。これにより、第３のシェル部材１３０に対して、第１のシェル部材１１０が回転軸部１３２を中心に回転するときに、所定の位置で第１のシェル部材１１０の移動が規制され、第１のシェル部材１１０が所定角度だけ回転する。
【００３９】
図７に示すように、第１のシェル部材１１０は、例えばその本体１１１の側面に回転軸部１１２を有する。この回転軸部１１２は、第２のシェル部材１２０の本体に設けられた軸受部１２８に嵌め込まれ、これにより、第２のシェル部材１２０は、この回転軸部１１２を中心に所定の角度だけ回転するようになっている。例えば、図８（Ｂ）に示すように、第１のシェル部材１１０の本体１１１の側面であって、回転軸部１１２から例えば実質的にα＝９０°離れた位置には、２つの係合突起１１４ａ及び１１４ｂが突設されている。これらの係合突起１１４ａ及び１１４ｂは、図１０（Ａ）で示した第２のシェル部材１２０の本体１２１に形成された２つの係合溝１２５ａ及び１２５ｂにそれぞれ当接するようになっている。これにより、第１のシェル部材１１０に対して、第２のシェル部材１２０が回転軸部１１２を中心に回転するときに、所定の位置で第２のシェル部材１２０の移動が規制され、第２のシェル部材１２０が所定角度だけ回転する。
【００４０】
また、第１のシェル部材１１０の係合突起１１４ａ及び１１４ｂは、図８（Ａ）等の平面で見て、軸受部１１８と同じ角度位置（水平面内の角度位置）に配置されている。すなわち、第１のシェル部材１１０に設けられた軸受部１１８の周囲を構成する部位（係合突起１１４ａ及び１１４ｂ）が、第２のシェル部材１２０の係合溝１２５ａ及び１２５ｂと係合する突起として利用される。これにより、回転体３及びノズルユニット１００の小型化を実現することができる。
【００４１】
上記回転軸部１３２の軸方向と、回転軸部１１２の軸方向との角度は実質的に９０°となっている。これにより、第１のシェル部材１１０の回転方向と、第２のシェル部材１２０の回転方向が９０°異なる。
【００４２】
第３のシェル部材１３０に設けられた回転軸部１３２と、第１のシェル部材１１０に設けられた軸受部１１８とが、互いに逆の構造になっていてもよい。つまり、第３のシェル部材１３０に軸受部が設けられ、第１のシェル部材１１０に設けられた回転軸部が、その第３のシェル部材１３０の軸受部に接続されていてもよい。
【００４３】
第１のシェル部材１１０に設けられた回転軸部１３２と、第２のシェル部材１２０に設けられた軸受部１２８とが、互いに逆の構造になっていてもよい。つまり、第１のシェル部材１１０に軸受部が設けられ、第２のシェル部材１２０に設けられた回転軸部が、その第１のシェル部材１１０の軸受部に接続されていてもよい。
【００４４】
図６（Ｂ）に示すように、第３のシェル部材１３０の本体１３１の底面１３１ａは平面状に形成され、その底面１３１ａのほぼ中央には開口１３３が形成されている。また、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように第１のシェル部材１１０の本体１１１の底部には、第１のシェル部材１１０の回転方向に一致するように２つの開口１１３が並んで設けられている。また、図１０（Ａ）に示すように、第２のシェル部材１２０の本体１２１の底部には、第３のシェル部材１３０に対する、第２のシェル部材１２０の回転方向、すなわち直交する２つの回転方向に一致するように１組２つの開口１２３が２組並んで設けられている。第２のシェル部材１２０のそれら４つの開口１２３には上記第１〜第４のノズル４１〜４４がそれぞれ接続されている。これにより、例えば、上述の第１〜第４のノズル４１〜４４が放射状に延びるように設けられる。
【００４５】
上記スピンドル部品１の内部に設けられた、エアが流通する通路１ａは、第３のシェル部材１３０の本体１３１の上部に設けられた開口１３５を介して、その本体１３１の内部と連通している。したがって、スピンドル部品１の通路１ａは、第３のシェル部材１３０の本体１３１の内部、開口１３３、第１のシェル部材１１０の本体１１１の内部、開口１１３、第２のシェル部材１２０の本体１２１の内部及び開口１２３を介して、各ノズル４１〜４４の内部と連通している。これにより、スピンドル部品１からの負圧及びゼロ圧（または、負圧及び正圧）が各ノズル４１〜４４に伝達されるようになっている。
【００４６】
第３のシェル部材１３０の開口１３３には、その底面１３１ａ側にリップシール１３９が取り付けられている。また、第１のシェル部材１１０の開口１１３にも、その底部側にリップシール１１９がそれぞれ取り付けられている。４つのうち１つのノズル４１（４２、４３、４４）が選択されてノズルユニット１００に負圧が発生したときに、リップシール１３９は第１のシェル部材１１０の開口１１３のいずれか１つを覆うようにして第１のシェル部材１１０の本体１１１の内面に吸着する。同様に、４つのうち１つの４１（４２、４３、４４）が選択されてノズルユニット１００に負圧が発生したときに、第１のシェル部材１１０の１つのリップシール１１９が、第２のシェル部材１２０の４つの開口１２３のうち選択されたノズルに対応する開口１２３を覆うようにして第２のシェル部材１２０の本体１２１の内面に吸着する。
【００４７】
リップシール１３９及び１１９は、例えばゴム、樹脂等の材料でなり、その吸着作用により回転体３内の気密性を高めることができる。
【００４８】
負圧が発生する前は、リップシール１３９と第１のシェル部材１１０の本体１１１の内面との間には隙間が形成されている。同様に、負圧が発生する前は、リップシール１３９と第２のシェル部材１２０の本体１２１の内面との間にも隙間が形成されている。負圧が発生することで、リップシール１３９及び１１９が伸張して各本体１１１及び１２１の内面にそれぞれ吸着する。これにより、第３のシェル部材１３０と第１のシェル部材１１０との間、また、第１のシェル部材１１０と第２のシェル部材１２０との間に隙間があっても、負圧を発生するためのエネルギーを小さくしながらも、気密性を高めることができる。また、そのような隙間があることで、回転体３の回転時の摩擦抵抗は、軸受部分だけとなるので、駆動のエネルギーを極力小さくすることができる。
【００４９】
なお、負圧が発生する前であっても、リップシール１３９及び１１９と各本体１１１及び１２１の内面にそれぞれ接触していてもよい。その場合、駆動源ａ〜ｆによる駆動力が、そのリップシール１３９及び１１９と各本体１１１及び１２１内の内面との摩擦力を上回ればよい。
【００５０】
第１のシェル部材１１０の本体１１１の内面側にリップシールが取り付けられ、そのリップシールが第３のシェル部材１３０の本体１３１の外側からその開口１３３に吸着するようになっていてもよい。これと同様に、第２のシェル部材１２０の本体１２１の内面側にリップシールが取り付けられ、そのリップシールが第１のシェル部材１１０の本体１１１の外側からその開口１１３に吸着するようになっていてもよい。
【００５１】
図６（Ｂ）及び図８（Ａ）に示すように、第３のシェル部材１３０の係合突起１３４ａ（及び１３４ｂ）、及び、第１のシェル部材１１０の係合溝１１５ａ（及び１１５ｂ）のうち少なくとも一方には、その係合突起１３４ａ及び係合溝１１５ａ間に吸引力を作用させる吸引部材１３６及び１１７がそれぞれ設けられている。
【００５２】
両吸引部材１３６及び１１７は、ともに永久磁石であってもよいし、いずれか一方が永久磁石であって、他方が磁化されていない磁性体であってもよい。あるいは、このような形態に限られず、係合突起（または係合溝）に例えば永久磁石が設けられ、第１のシェル部材１１０（または第３のシェル部材１３０）が、磁化されていない磁性体でなっていてもよい。このような吸引部材１３６、１１７が設けられることにより、ばらつきなく適度な力で第１のシェル部材１１０を位置決めすることができる。その力は、永久磁石の磁力の強さ、磁性体の大きさ、位置決め位置での吸引部材１３６及び１１７間の距離等により高精度に調整可能である。
【００５３】
図９及び図１０（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、第２のシェル部材１２０は、互いに直交する方向に延びるレバー１２４ａ及び１２４ｂを備えている。レバー１２４ａ及び１２４ｂの端部には磁性体１２６が装着されている。磁性体１２６は、磁化されていないものでもよいし、永久磁石であってもよい。磁性体１２６が永久磁石の場合、例えば図１０（Ａ）に示すように、後述する駆動源ａ〜ｆによる回転体３の駆動のため、その磁極の分割方向は回転体３の中心側と外側とに向けられていればよい。
【００５４】
このように第２のシェル部材１２０に駆動源ａ〜ｆにより駆動される従動部としてのレバー１２４ａ及び１２４ｂが設けられている。したがって、駆動源ａ〜ｆは第２のシェル部材１２０を駆動することにより、第１のシェル部材１１０を駆動することなく、回転体３を回転させることができる。
【００５５】
図１１〜図１４は、図１〜図４に対応する図であり、第１〜第３のシェル部材１１０、１２０、１３０の動きを分かりやすくするためにそれぞれスピンドル部品１を省略した状態を示す斜視図である。図１１は第１のノズル４１、図１２は第２のノズル４２、図１３は第３のノズル４３、図１４は第４のノズル４４がそれぞれ鉛直方向に向けられるように（選択されるように）、回転体３の位置が制御されている様子を示している。これら図１１〜図１４はすべて同じ方向で見たものである。
【００５６】
上述したように、駆動源ａ〜ｆは、典型的には電磁誘導により磁場をそれぞれ発生する。
【００５７】
図１１に示すように、駆動源ｂ及びｄが回転体３に磁場を作用させることで、これらの駆動源ｂ及びｄに各レバーが接近して第１のノズル４１が選択されるように、回転体３が動く。この場合、第３のシェル部材１３０の係合突起１３４ａと第１のシェル部材１１０の係合溝１１５ａとが係合し、かつ、第１のシェル部材１１０の係合突起１１４ｂと第２のシェル部材１２０の係合溝１２５ｂとが係合することで、回転体３の移動が規制される。
【００５８】
図１２に示すように、駆動源ｄ及びｆが回転体３に磁場を作用させることで、これらの駆動源ｄ及びｆに各レバーが接近して第２のノズル４２が選択されるように、回転体３が動く。この場合、第３のシェル部材１３０の係合突起１３４ａと第１のシェル部材１１０の係合溝１１５ａとが係合し、かつ、第１のシェル部材１１０の係合突起１１４ａと第２のシェル部材１２０の係合溝１２５ａとが係合することで、回転体３の移動が規制される。
【００５９】
図１３に示すように、駆動源ａ及びｃが回転体３に磁場を作用させることで、これらの駆動源ａ及びｃに各レバーが接近して第３のノズル４３が選択されるように、回転体３が動く。この場合、第３のシェル部材１３０の係合突起１３４ｂと第１のシェル部材１１０の係合溝１１５ｂとが係合し、かつ、第１のシェル部材１１０の係合突起１１４ｂと第２のシェル部材１２０の係合溝１２５ｂとが係合することで、回転体３の移動が規制される。
【００６０】
図１４に示すように、駆動源ａ及びｅが回転体３に磁場を作用させることで、これらの駆動源ａ及びｅに各レバーが接近して第４のノズル４４が選択されるように、回転体３が動く。この場合、第３のシェル部材１３０の係合突起１３４ｂと第１のシェル部材１１０の係合溝１１５ｂとが係合し、かつ、第１のシェル部材１１０の係合突起１１４ａと第２のシェル部材１２０の係合溝１２５ａ（図１８参照）とが係合することで、回転体３の移動が規制される。
【００６１】
図１５〜図１８は、図１１〜図１４に示したノズルユニット１００について、それぞれ見る方向を水平面内の回転で１３５°変え、さらに図１１〜図１４よりもやや上方から見たものである。
【００６２】
このように、駆動源ａ〜ｆの駆動により、第１のシェル部材１１０の本体１１１の２つの開口１１３のうち１つの開口１１３と、第２のシェル部材１２０の本体１２１の４つの開口１２３のうち１つの開口１２３とが選択的に対面し、用いられる第１〜第４のノズル４１〜４４が選択的に切り替えられる。
【００６３】
以上のように、本実施の形態では、駆動源ａ〜ｆが、回転体３に接触せずに回転体３を駆動するので、機械的な複雑な機構を必要とすることがなく、かつ、粉塵の発生を抑えることができる。また、非接触の駆動方式であることにより、回転体３に動力源が不要になり、回転体３への電気配線等が不要になる。また、回転体３に動力源が不要になるため、ノズルユニット１００が軽く、小型化を実現することができる。
【００６４】
本実施の形態では、回転体３は３次元内で回転するので、例えば３次元で放射状に延びるように設けられた複数のノズル４１〜４４を有効に利用することができる。特に、回転体３は、実質的に直交する２軸で第１のシェル部材１１０及び第２のシェル部材１２０がそれぞれ回転する。したがって、複数のノズル４１〜４４を有する部材が、例えば球面軸受により回転する場合に比べ、駆動源ａ〜ｆにより回転体３が回転させられて各ノズルが位置決めされるときの、その位置決め精度が向上する。また、球面軸受が用いられる場合に比べ、第１のシェル部材１１０及び第２のシェル部材１２０に働く摩擦力が小さくなるので、駆動源による駆動エネルギーも少なくなる。
【００６５】
次に、本実施の形態に係るノズルユニット１００が搭載される部品実装装置について説明する。
【００６６】
図１９は、本発明の一実施の形態に係る部品実装装置を示す正面図である。図２０は、部品実装装置１０の一部を破断した平面図である。図２１は、その部品実装装置１０を示す側面図である。
【００６７】
部品実装装置１０は、ほぼ中央に設けられ回路基板１９が配置される基板配置部４０と、基板配置部４０の例えば両側に設けられ、部品供給装置としてテープフィーダ２００が配置されるテープフィーダ配置部６０とを備える。また、部品実装装置１０は、基板配置部４０に配置された回路基板１９上にテープフィーダ２００から供給された電子部品４を実装する実装機構５０を備える。部品供給装置はテープフィーダに限られず、他の今日キュ装置であってもよい。
【００６８】
例えば、部品実装装置１０には、ベース部１２、ベース部１２を支持した機台１３、機台１３上に立設された複数の支柱１４、例えば２本の支柱１４の間に架け渡された梁１５が備えられている。支柱１４は例えば４本設けられ、梁１５は例えば２本設けられている。以降の説明では、梁１５が延びる方向をＸ軸方向、水平面内でＸ軸に直交する方向をＹ軸方向、鉛直方向をＺ軸方向という場合もある。
【００６９】
実装機構５０は、テープフィーダ２００から電子部品４をピックアップする複数の上記ノズルユニット１００、これらのノズルユニット１００を支持するヘッド１７と、ヘッド１７を移動させるキャリッジ３０を備えている。梁１５には、Ｙ軸方向に延設され、Ｘ軸方向に移動可能な移動体１６が架け渡されている。上記キャリッジ３０は、移動体１６に沿ってＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。したがって、キャリッジ３０及び移動体１６を含む移動機構により、ヘッド１７に装着された各ノズルユニット１００が、水平面内（Ｘ−Ｙ平面内）で移動可能に構成されている。
【００７０】
典型的には、上記梁１５の下面には案内レール２１がＸ軸方向に延設されている。移動体１６の両端部の上面には固定された被ガイド体２２が上記案内レール２１に摺動自在に係合されている。これによって移動体１６は上記梁１５に沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。なお、移動体１６を移動させるための駆動方式としては、例えばボールネジ駆動機構が用いられるが、これに限られず、ベルト駆動機構、リニアモータ駆動機構、あるいはその他の駆動機構が用いられればよい。
【００７１】
また、上記したようにキャリッジ３０は、移動体１６の内部に設けられたボールネジの駆動によりＹ軸方向に移動可能となっている。この場合も、ボールネジに限られず、ベルト駆動機構、リニアモータ機構、あるいはその他の駆動機構が用いられればよい。
【００７２】
基板配置部４０には、回路基板１９を下から支持して固定する固定機構２０が配設されている。固定機構２０により、回路基板１９の位置決めがなされる。本実施の形態では、基板配置部４０には、２枚の回路基板１９が所定の間隔離れて配置されているが、配置される回路基板１９の枚数は限られない。
【００７３】
図２２は、キャリッジ３０の一部、ヘッド１７及びノズルユニット１００を示す図である。このように、ヘッド１７は、ヘッド１７を支持する支軸１８を回転主軸として、キャリッジ３０の上部に設けられた図示しないモータにより回転するようになっている。ヘッド１７の支軸１８の軸方向ａ１（図１参照）は、Ｚ軸方向に対して傾斜した状態で設けられている。
【００７４】
ヘッド１７の外周寄りの部分には、例えば１２個の上記ノズルユニット１００が周方向に等間隔に配置されている。したがって、例えばノズルは合計４８本設けられている。ノズルユニット１００のそれぞれの軸線（スピンドル部品の長手方向の線）はヘッド１７の回転主軸ａ１に対してそれぞれ傾斜するように、ノズルユニット１００がヘッド１７に装着されている。その傾斜は、ノズルユニット１００の各ノズルの上端がヘッド１７の回転主軸ａ１に近づいていく向きになっている。つまり、全体として１２本のノズルユニット１００はヘッド１７に対して末広がり状になるように配設される。
【００７５】
ノズルユニット１００は、上記したスピンドル部品を含む図示しないスピンドルユニットにより、ヘッド１７に対してそれぞれ軸線方向に移動自在に支持されている。ノズルユニット１００が後述する操作位置に位置されたときに、スピンドルユニットが図示しない押圧機構によって上方から押圧されることでノズルユニット１００が下降する。この押圧機構は、例えば、ラックアンドピニオン機構、カム機構、ボールネジ機構、ソレノイド、エア圧発生機構等、何でもよい。
【００７６】
ヘッド１７の後端側であって図２２において右端に位置したノズルユニット１００のスピンドル部品の長手方向は、Ｚ軸方向を向くようになっており、その後端側の位置が上記操作位置に相当する。そして操作位置に位置されかつ鉛直方向を向いたノズルユニット１００によって電子部品４が吸着され、あるいは離脱されるようになっている。
【００７７】
ノズルユニット１００の駆動源ａ〜ｆは、図１９〜図２２では図示していないが、例えばキャリッジ３０側に接続されていればよい。
【００７８】
上記したノズルユニット１００のスピンドル部品は図示しないエアコンプレッサに接続されており、操作位置に位置されたノズルユニット１００の、駆動源ａ〜ｆにより選択された１つのノズルが所定のタイミングで負圧または正圧に切換えられる。これにより、その選択されたノズルの先端部において電子部品４が吸着され、または離脱される。
【００７９】
複数のノズルユニット１００のうち、１つのノズルユニット１００（第１のノズルユニットという。）には上記したように４つのノズルが設けられており、その４つのノズルは異なる大きさのノズルである。他のノズルユニット１００（第２のノズルユニット）の４つのノズルは、典型的には第１のノズルユニットの４つのノズルとそれぞれ同じものである。しかし、第１のノズルユニットの４つのノズルと、第２のノズルユニットの４つのノズルのうち少なくも１つは、異なる大きさまたは種類のノズルであってもよい。４８本すべてのノズルが異なる大きさまたは種類であってもよい。
【００８０】
固定機構２０によって位置決めと保持が行なわれた回路基板１９が占める領域が、部品実装領域Ｍを構成する。
【００８１】
図２に示すように、部品実装領域Ｍの左右両側のテープフィーダ配置部６０には、複数のテープフィーダ２００が着脱可能に設けられている。複数のテープフィーダ２００は、例えばＸ軸方向に配列されている。例えば、一方のテープフィーダ配置部６０において４０個のテープフィーダ２００が装着可能となっているが、テープフィーダ２００の数は限られない。１つのテープフィーダ２００の図示しないキャリアテープには、同種の多数の電子部品４が収納られている。テープフィーダ２００は、これらの電子部品４を必要に応じて、１つのノズルユニット１００の選択された１つのノズルに供給する。
【００８２】
テープフィーダ２００には、テープフィーダ２００ごとに種類の異なる電子部品４が収納される。そして、回路基板１９上のどの位置に実装される電子部品４かによって、ノズルユニット１００、ノズルユニット１００の４つのノズルのうち１つのノズル及びテープフィーダ２００がそれぞれ選択され、その電子部品４がその１つのノズルに吸着される。
【００８３】
なお、本実施の形態では、テープフィーダ配置部６０が部品実装領域Ｍの左右両側に設けられているが、部品実装領域Ｍの左右の一方のみにテープフィーダ配置部６０が設けられる形態であってもよい。
【００８４】
後述するように、テープフィーダ２００の一端部には部品供給口１２９が設けられている。各テープフィーダ２００は、その部品供給口１２９が設けられた一端部が部品実装領域Ｍ側に向くように、テープフィーダ配置部６０に装着される。ノズルユニット１００の各ノズルは、部品供給口１２９を介して電子部品４をピックアップする。このように、電子部品４がピックアップされるときのノズルユニット１００、あるいはそのときのヘッド１７の領域（上記操作位置を含む領域）を部品供給領域Ｓとする。ヘッド１７は、操作位置に来たノズルユニット１００が部品供給領域Ｓと部品実装領域Ｍとこれらの領域Ｓ、Ｍを結ぶ領域の範囲内を移動する。
【００８５】
ヘッド１７は、まず部品供給領域Ｓの上に移動し、ヘッド１７に設けられている１２個のノズルユニット１００によって順次所定の電子部品４を吸着する。ここで、４８本のノズルのうち、いくつのノズルに電子部品４を吸着するかは任意である。
【００８６】
電子部品４がノズルに吸着されると、ヘッド１７が部品実装領域Ｍに移動し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動調整しながら回路基板１９上の所定の位置に、吸着された部品を順次実装していく。ヘッド１７のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動は、上記した移動体１６及びキャリッジ３０により行われる。この動作を繰返すことによって、回路基板１９上に電子部品４が実装される。
【００８７】
以上のように、１つのヘッドに複数のノズルユニット１００が設けられることにより、従来から部品実装装置に備えられているノズルチェンジャーが不要になり、そのノズルチェンジャーによるノズルの着脱による時間のロスがなくなる。また、１つのヘッドに複数のノズルユニット１００が設けられることにより、ノズルユニット１００の小型化が要請されるようになり、駆動源ａ〜ｆが非接触型であることのメリットが大きくなる。
【００８８】
上述したように、ノズルユニット１００はリップシールを備えることにより、比較的大きな負圧力がノズルに発生したとしても、ノズルが電子部品４を所望の姿勢で保持することができる。すなわち、比較的大きな負圧力がノズルに発生している場合、１つのノズルが選択されて始めてリップシールが、それに対面する開口に吸着する。したがって、ノズルユニット１００が上記押圧機構により下降する前あるいは下降途中で、ノズルが電子部品４を吸い上げて姿勢が乱れた状態で電子部品４を保持する、といったことを防止できる。
【００８９】
以上のようなノズルユニット１００が用いられることにより、例えばノズルが４種類程度必要な工程では、３０〜４０％の処理能力の向上が見込める。
【００９０】
以上のようなノズルユニットが用いられることにより、例えばノズルが４種類程度必要な工程では、３０〜４０％の処理能力の向上が見込める。
【００９１】
次に、本発明の他の実施の形態に係るノズルユニットであって、２次元内で回転する回転体を備えるノズルユニットに係る実施形態について説明する。これ以降の説明では、上記図１〜図１８で示した実施の形態に係るノズルユニット１００が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
【００９２】
図２３及び図２４は、そのノズルユニットの一実施の形態を示す斜視図である。
【００９３】
このノズルユニット１５０は、スピンドル部品１と、スピンドル部品１に接続された回転軸部材５と、この回転軸部材５に回転可能に接続された回転体７と、回転体７に接続された例えば２本のノズル５１及び５２とを備える。回転軸部材５は、スピンドル部品１の内部のエアの通路に連通する図示しない内部空間を有し、回転軸部５ａにおいて回転体７と接続されている。回転体７はレバー７ａを有し、レバー７ａの端部には磁性体８が装着され、磁場発生式の駆動源ａ及びｂにより、図２３及び図２４に示す状態にそれぞれ回転体７が駆動される。これにより、２つのノズル５１及び５２が選択的に切り替えられる。
【００９４】
駆動源ａ及びｂのうちいずれか一方により１つのノズル５１（または５２）が選択されるときに、回転軸部材５の内部空間は、回転体７の、各ノズル５１及び５２に対応する位置にそれぞれ形成された開口（図示を省略）のうち、１つの開口に連通するようになっている。
【００９５】
あるいは、回転軸部材５の内部空間は、図２３及び図２４の両方の状態において、各ノズル５１及び５２に対応する各開口の両方に連通していてもよい。この場合、鉛直方向に向くノズル５１または５２、つまり選択されたノズル５１（または５２）が最も電子部品４に接近してその電子部品４を保持する。したがって、他方のノズル５２（または５１）に負圧が発生していてもその他方のノズル５２（または５１）に電子部品４が吸着されることはない。
【００９６】
回転軸部材５は、レバー７ａの回転面内で、レバー部材を所定の角度の範囲で回転させてその動きを規制する２つの係合突起（ストッパ）５ｂ及び５ｃを有している。これにより、各ノズル５１及び５２の位置決め精度を高めることができる。
【００９７】
このようなノズルユニット１５０によっても、駆動源ａ及びｂは非接触で回転体７を回転させるので、機械的な複雑な機構を必要とすることがなく、かつ、粉塵の発生を抑えることができる。また、非接触の駆動方式であることにより、回転体７に動力源が不要になり、回転体７への電気配線等が不要になる。また、回転体７に動力源が不要になるため、ノズルユニット１５０が軽く、小型化を実現することができる。
【００９８】
図２５は、２次元内で回転体が回転する、さらに別の実施の形態に係るノズルユニットを示す正面側から見た斜視図である。図２６は、その背面側の斜視図である。
【００９９】
ノズルユニット２５０では、回転軸部材２５に円形の回転体２７が回転可能に接続されている。回転体２７には、図２５に示すように磁性体１８が実質的に等間隔で円周方向（回転方向）に設けられている。駆動源ａ〜ｃは、その磁性体１８に磁場を作用させて回転体２７をＹ−Ｚ平面内で回転させることで、回転体２７に接続されたノズル５１〜５４を選択的に切り替える。
【０１００】
駆動源ａ〜ｃの数は３つに限られず、また、駆動源ａ〜ｃの配置も図２５及び図２６に示した形態に限られない。ノズルの数も４つに限られない。
【０１０１】
図２７は、２次元内で回転体が回転する、さらに別の実施の形態に係るノズルユニットを示す斜視図である。図２８は、その背面側の斜視図である。
【０１０２】
ノズルユニット３００は、円錐形状の回転体３７と、斜めの回転軸部３５ａを有する回転軸部材３５とを備えている。回転体３７には、例えば４つのノズル５１〜５４が放射状に接続されており、回転軸部３５ａを中心した円周上に磁性体３８が実質的に等間隔に設けられている。駆動源ａ〜ｃにより、回転体３は斜めの回転軸を中心に回転し、ノズルが選択的に切り替えられる。
【０１０３】
駆動源ａ〜ｃの数は３つに限られず、また、駆動源ａ〜ｃの配置も図２７及び図２８に示した形態に限られない。ノズルの数も４つに限られない。
【０１０４】
図２９は、複数のノズルを上下動させる実施の形態に係るノズルユニットの下方側から見た斜視図である。
【０１０５】
ノズルユニット３５０は、例えば複数のノズル６１〜６４を支持する回転体（支持部）４７を備えている。回転体４７は、スピンドル部品１の長手方向に実質的に垂直な面内、つまりＸ−Ｙ平面内で、図示しないモータにより回転する。その回転角度が制御されることで、回転体４７の側面付近に配置された駆動源ａ及びｂに、４つのノズル６１〜６４のうち１つのノズルを最も接近し、その１つのノズルが選択される。各ノズル６１〜６４の頭部側（Ｚ方向で上側）には図示しない磁性体が装着され、磁場発生式の駆動源ａ及びｂにより、選択されたノズルが上下に駆動する。
【０１０６】
図２９に示したノズルユニット３５０の場合、回転体４７は必ずしも回転しなくてもよく、少なくともノズル６１〜６４が上下に駆動され得るようにそれぞれ支持する機能を有していればよい。回転体４７は円筒状でなく、四角柱状、その他の形状であってもよい。ノズルの数や駆動源の数も限られない。
【０１０７】
回転体４７の内部には、実質的に中央に設けられた、スピンドル部品１の内部にエアの通路（図示を省略）に連通し、かつ、各ノズル６１〜６４の内部に連通する通路４７ｂにそれぞれ連通するバッファ空間４７ａが設けられている。これにより、各ノズル６１〜６４に負圧及びゼロ圧（または、負圧及び正圧）が伝達される。
【０１０８】
本発明に係る実施の形態は、以上説明した実施の形態に限定されず、他の種々の実施形態が考えられる。
【０１０９】
上記図１〜図１８に示した実施の形態に係るノズルユニット１００は、２つのシェル部材１１０及び１２０がそれぞれ直交する軸を中心に回転する構造を備えていた。しかし、他のノズルユニットとして、例えば複数のノズルを備えたシェル部材が球面軸受により回転する構造であってもよい。
【０１１０】
上記各実施の形態に係る駆動源ａ〜ｆまたはａ〜ｃ等の駆動原理は、磁気式として説明したが、静電式により非接触で駆動されてもよい。
【０１１１】
上記図１〜図１８に示した実施の形態において、回転体３内の気密性を高めるリップシール１３９及び１１９、回転体３の移動規制の機能を高める係合突起１３４ａ、１３４ｂ、１１４ａ、１１４ｂや磁性体１３６、１１６、１２７等は、必ずしも必要ではない。
【０１１２】
上記各実施の形態では、電子部品４はエアによる負圧を利用して保持される例を説明したが、エアに限られず、例えば窒素やアルゴン等の不活性ガス、あるいはその他のガスであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本発明の一実施の形態に係るノズルユニットを示す斜視図であり、第１のノズルが鉛直方向の姿勢にある状態を示す図である。
【図２】図１のノズルユニットを示す斜視図であり、第２のノズルが鉛直方向の姿勢にある状態を示す図である。
【図３】図１のノズルユニットを示す斜視図であり、第３のノズルが鉛直方向の姿勢にある状態を示す図である。
【図４】図１のノズルユニットを示す斜視図であり、第４のノズルが鉛直方向の姿勢にある状態を示す図である。
【図５】第３のシェル部材を示す斜視図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）は、第３のシェル部材の平面、側面及び底面をそれぞれ示す図である。
【図７】第１のシェル部材を示す斜視図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｄ）は、第１のシェル部材の平面、底面、回転軸部側から見た側面、及び、係合突起側から見た側面をそれぞれ示す図である。
【図９】第２のシェル部材を示す斜視図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｄ）は、第２のシェル部材の平面、底面、回転軸部側から見た側面、及び、係合溝側から見た側面をそれぞれ示す図である。
【図１１】図１に対応する図であり、第１〜第３のシェル部材の動きを分かりやすくするためにそれぞれスピンドル部品を省略した状態を示す斜視図である。
【図１２】図２に対応する図であり、第１〜第３のシェル部材の動きを分かりやすくするためにそれぞれスピンドル部品を省略した状態を示す斜視図である。
【図１３】図３に対応する図であり、第１〜第３のシェル部材の動きを分かりやすくするためにそれぞれスピンドル部品を省略した状態を示す斜視図である。
【図１４】図４に対応する図であり、第１〜第３のシェル部材の動きを分かりやすくするためにそれぞれスピンドル部品を省略した状態を示す斜視図である。
【図１５】図１１に対応する図であり、ノズルユニットを見る方向を水平面内の回転で１３５°変え、さらに図１１よりもやや上方から見たものである。
【図１６】図１２に対応する図であり、ノズルユニットを見る方向を水平面内の回転で１３５°変え、さらに図１２よりもやや上方から見たものである。
【図１７】図１３に対応する図であり、ノズルユニットを見る方向を水平面内の回転で１３５°変え、さらに図１３よりもやや上方から見たものである。
【図１８】図１４に対応する図であり、ノズルユニットを見る方向を水平面内の回転で１３５°変え、さらに図１４よりもやや上方から見たものである。
【図１９】本発明の一実施の形態に係る部品実装装置を示す正面図である。
【図２０】その部品実装装置の一部を破断した平面図である。
【図２１】その部品実装装置を示す側面図である。
【図２２】キャリッジの一部、ヘッド及びノズルユニットを示す図である。
【図２３】２次元内で回転体が回転する実施の形態に係るノズルユニットを示す斜視図である。
【図２４】図２３のノズルユニットの違う角度から見た斜視図である。
【図２５】２次元内で回転体が回転する、さらに別の実施の形態に係るノズルユニットを示す正面側から見た斜視図である。
【図２６】図２５に示すノズルユニットの背面側の斜視図である。
【図２７】２次元内で回転体が回転する、さらに別の実施の形態に係るノズルユニットを示す斜視図である。
【図２８】図２７に示すノズルユニットの背面側の斜視図である。
【図２９】複数のノズルを上下動させる実施の形態に係るノズルユニットの下方側から見た斜視図である。
【符号の説明】
【０１１４】
ａ〜ｆ…駆動源
１…スピンドル部品
１ａ…通路
３、７、２７、３７、４７
４…電子部品
８、１８、２８、３８、１２６
１０…部品実装装置
１６…移動体
１７…ヘッド
３０…キャリッジ
４１〜４４、５１〜５４、６１〜６４…ノズル
１００、１５０、２５０、３００、３５０…ノズルユニット
１１０…第１のシェル部材
１１２、１３２…回転軸部
１１３、１２３、１３３、１３４、１３５…開口
１１４ａ、１１４ｂ、１３４ａ、１３４ｂ…係合突起
１１５ａ、１１５ｂ…溝部
１１８、１２８…軸受部
１１９…リップシール
１２０…第２のシェル部材
１２５ａ、１２５ｂ、…係合溝
１３０…第３のシェル部材
１３５…開口
１３６…吸引部材
１３６、１１６…磁性体
１３９、１１９…リップシール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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