(57)【要約】【課題】  本発明は、微細形状転写シートの製造装置に関し、成形過程において金型の損傷が発生しても、金型を全面修正する必要がなく、基板上に粘着剤により固定された表面に微細形状が形成された複数の金型片のうち、損傷した金型片のみを交換することにより、低生産コスト化ならびに高生産効率化が可能となる。【解決手段】    本発明の微細形状転写シートの製造装置は、  微細凹凸形状が片面に形成された複数の金型片からなる金型と、  緩衝材と、  該緩衝材を該金型側へ押圧するためのプレート板とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、  前記金型が、前記複数の金型片が粘着剤を介して基板上に固定されたものであり、該粘着剤が該金型片の微細凹凸形状が形成された面とは反対側の面の端部にのみ接着されていることを特徴とするものである。【選択図】図１
2010094934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細凹凸形状が片面に形成された複数の金型片からなる金型と、
緩衝材と、
該緩衝材を該金型側へ押圧するためのプレート板とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、
前記金型が、前記複数の金型片が粘着剤を介して基板上に固定されたものであり、該粘着剤が該金型片の微細凹凸形状が形成された面とは反対側の面の端部にのみ接着されている微細形状転写シートの製造装置。
【請求項２】
前記金型片、粘着剤及び基板により囲まれた空洞部に弾性体を有する請求項１に記載の微細形状転写シートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細形状転写シートの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、導光板、光拡散板、レンズ等の光学フィルムを製造する手段として、樹脂板状体の表面に、金型の表面に設けた微細凹凸形状を転写するプレス成形方法が知られている（特許文献１、２）。
【特許文献１】特開２００５―７４７００号公報
【特許文献２】特開２００７−９０８５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１，２のようなプレス成形法の金型は、光学フィルムの大判化が進む中で、その金型のサイズも大きくなっている。その結果、金型の損傷による作り替えによる時間と費用が、利益をさらに圧迫するという問題がある。また、このような金型は、微少な金型欠陥が発生した際にも、その欠陥部分のみを修正することは難しく、金型を全面作り替える必要がある。さらに、大型の金型の洗浄は非常に難しく、保管場所等においてもその確保が課題となることが多い。
【０００４】
本発明の目的は、このような問題点に鑑み、成形過程において金型の損傷が発生しても、金型を全面修正する必要がなく、金属基板上に粘着剤により固定された表面に微細形状が形成された複数の金型片のうち、損傷した金型片のみを交換することにより、低生産コスト化ならびに高生産効率化を可能とする微細形状転写シートの製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の微細形状転写シートの製造装置は以下の構成からなる。すなわち、
微細凹凸形状が片面に形成された複数の金型片からなる金型と、
緩衝材と、
該緩衝材を該金型側へ押圧するためのプレート板とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、
前記金型が、前記複数の金型片が粘着剤を介して基板上に固定されたものであり、該粘着剤が該金型片の微細凹凸形状が形成された面とは反対側の面の端部にのみ接着されている微細形状転写シートの製造装置である。
【０００６】
また、本発明の好ましい態様の微細形状転写シートの製造装置は、さらに前記金型片、粘着剤及び基板で囲まれた空洞部に弾性体を有する微細形状転写シートの製造装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、成形過程において金型の損傷が発生しても、金型を全面修正する必要がなく、金属基板上に粘着剤により固定された表面に微細形状が形成された複数の金型片のうち、損傷した金型片のみを交換することにより、低生産コスト化ならびに高生産効率化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、更に詳しく本発明の微細形状転写シートの製造装置について説明する。
まず、本発明の微細形状転写シートの製造装置は、微細凹凸形状が片面に形成された複数の金型片からなる金型と、緩衝材と、該緩衝材を該金型側へ押圧するためのプレート板とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、前記金型が、前記複数の金型片が粘着剤を介して基板上に固体されたものであり、該粘着剤が該金型片の微細凹凸形状が形成された面とは反対側の面の端部にのみ接着されていることを特徴とするものである。
【０００９】
図１に片面に微細凹凸形状が形成された複数の金型片それぞれが粘着剤により基板上に固定さている金型の模式断面斜視図を示す。本発明にかかる金型３は、表面に微細凹凸形状が形成された複数の金型片４それぞれを粘着剤５により基板１５ｂ上に固定したものであり、基板としては、アルミ合金の温調プレートでプレート内に鋳込んだ電熱ヒーターにより制御するものが良い。また、温調プレート内に鋳込んだ銅あるいはステンレス配管、もしくは、機械加工により加工した穴の内部に温調された熱媒体を流すことにより加熱制御するものでもよい。さらには両者を組み合わせた装置構成でもよい。
【００１０】
熱媒体としてはバーレルサーム（松村石油（株））、ＮｅｏＳＫ−ＯＩＬ（綜研テクニックス（株））等が良く、また、１００℃以上に加熱された水を循環させてもよい。そして、効率良く伝熱ができるように、配管内部のレイノズル数が１．０×１０４〜１２×１０４の範囲になることが好ましい。
【００１１】
また、鋳込みヒーター、カートリッジヒーター等にする場合は、温調プレートを分割制御できることが好ましい。
【００１２】
温調プレートは昇温中、降温中、一定温調中のすべてにおいて、レンジで１０℃以内、さらに好ましくは５℃以内の温度分布におさまることが好ましい。
【００１３】
本発明にかかるプレート板は、シート状の樹脂基材を金型にプレスしてシート状の樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、シート状の樹脂基材を金型方向へ押し付ける役割をするものである。プレート板のフィルム押圧面側の平面度は１０μｍ以下が好ましく、さらに好ましくは５μｍ以下である。また、シート状の樹脂基材をプレスする際に、シート状の樹脂基材を加熱・冷却できるように、プレート板には加熱・冷却制御ができる機能が付与されることもある。  
【００１４】
本発明にかかる複数の金型片は、その片面に微細な凹凸形状を有するものであり、例えば、電鋳加工法により、一つのマスターピースから複製を容易に作製することができる。金型片の厚みは、特に限定されるものでないが、電鋳加工適性、並びに取り扱い性を考慮すると厚みが０．３ｍｍから５ｍｍのものが好ましい。また、図１で示す複数の金型片は、長方形であるが、とくに形状がこれに限定されるものでないことは言うまでもない。金型片の材質としては、所望のプレス時の強度、パターン加工精度が得られるものであればよく、例えば、ステンレス、ニッケル、銅等を含んだ金属材料が好ましく用いられる。金型片の微細な凹凸形状は、フィルム表面に付与したい微細な凹凸形状に対応して形成されているものである。
【００１５】
基板と複数の金型片を固定する粘着剤としては、プレート板によりシート状の樹脂基材を金型にプレスしてシート状の樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、プレートまたは金型を加熱する場合があるので、プレス開放時に剥がれたり、その粘着性が経時で変化したりしない耐熱性に優れたものであればよい。粘着剤として、例えば、日東電工（株）製の型番Ｎｏ．５９１９（粘着剤厚み５０μｍ）等が例示できる。
【００１６】
図１に示すよう粘着剤が金型片の短辺側のエッジ部分にのみ接着されて、その他部分が空洞となり段差ができる。そのため、プレス時にその段差分を吸収し、且つ、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元する必要がある。また、プレート板によりシート状の樹脂基材を金型にプレスしてシート状の樹脂基材の表面に微細凹凸形状を転写するに際し、プレートまたは金型を加熱する場合があるので、耐熱性が必要となる場合がある。さらに、シート状の樹脂基材をプレート板により押圧し、プレスを開放する際、シート状の樹脂基材が金型から離脱し、プレート板に追従してしまうという問題やシート状の樹脂基材の非成形面にプレート板を直接押圧したり、表面粗さの大きな緩衝材で押圧することでシート状の樹脂基材の非成形面に傷がついたり、プレート板や緩衝材の表面粗さが転写してしまうという問題を回避する必要がある。  
【００１７】
このような緩衝材として、例えば（株）金陽社製の型番Ｆ２００と東レフィルム加工（株）製の型番トヨフロンＦ１００（材質：ＦＥＰ）の積層体が例示できる。Ｆ２００が、プレス時に粘着剤と空洞の段差分を吸収し、且つ、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元する役割を果たし、トヨフロンＦ１００が、シート状の樹脂基材をプレート板により押圧し、プレスを開放する際、シート状の樹脂基材が金型から離脱し、プレート板に追従してしまうという問題やシート状の樹脂基材の非成形面にプレート板を直接押圧したり、表面粗さの大きな緩衝材で押圧することでシート状の樹脂基材の非成形面に傷がついたり、プレート板や緩衝材の表面粗さが転写してしまうという問題を回避する。従って、本発明の緩衝材は、トヨフロンＦ１００をシート状の樹脂基材の非成形面と接する側へ設置されるように２種の緩衝材を積層することが好ましい。
【００１８】
ここで、「シート状の樹脂基材の非成形面」とは、プレート板による押圧時に金型と接触する面（成形面）とは反対側の面のことである。トヨフロンＦ１００は材質が４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）であるが、その他、耐熱性及び離型性を有するものとして、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）などが挙げられるが、これらは特に有意差なく使用ができる。別の使用法として、成形前のシート状の樹脂基材の非成形面に擦れ傷等がある場合、これを外観上ならびに性能上問題のないものとするために、トヨフロンＦ１００の代わりに表面が粒子により粗面化された微細凹凸フィルムを使用することもできる。上記微細凹凸フィルムを使用することでシート状の樹脂基材の非成形面側に微細凹凸形状を転写し、擦れ傷等を外観上目立たなくし、かつ性能も維持することができる。このような微細凹凸フィルムは、光学用ポリエステルフィルム（東レ製  ルミラー （登録商標）  Ｕ４６、厚み１００μｍ）を用い、易接着面に市販のハードコート剤（ＪＳＲ製  デソライト （登録商標）  Ｚ７５２８）にアクリル樹脂粒子（粒子径２．０μｍ  屈折率１．５３  濃度：塗剤固形分中の３重量％）を添加したものをイソプロピルアルコールで固形分濃度３０％に希釈した塗料を、マイクログラビアコーターで塗工し、８０℃で１分間乾燥後、紫外線１．０Ｊ／ｃｍ２を照射して硬化させ、厚み３μｍの微細凹凸層を設けることで得られる。尚、粘着剤は、金型片の短辺側のエッジ部分ではなく、長辺側のエッジ部分に接着されていてもよく、短辺側と長辺側のエッジ部分の両方に接着されていてもよい。要するに成形過程において金型片の損傷が発生した場合、損傷した金型片のみを粘着剤を剥がし交換することができればどのような貼り方でも良い。
【００１９】
粘着剤５が金型片４のエッジ部分にのみ使用された場合、金型片４、粘着剤５及び基板１５ｂで囲まれた空洞部ができる。このような空洞部があると、プレート板によりシート状の樹脂基材を金型にプレスした際、金型片の中央部が湾曲して転写不良が起こる場合がある。そこで、この転写不良を防止するために、この空洞部に弾性体を設置することが好ましい。図２に、空洞部に弾性体を設置した場合の模式断面図を示す。弾性体は、プレート板によりシート状の樹脂基材を金型にプレスしてシート状の樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、押圧時プレートまたは金型を加熱する場合があるので、耐熱性に優れたものであれば、各種ゴム、各種フィルム等いずれでも良く、厚みも粘着剤の厚み以下であれば特に制限されるものでない。
【００２０】
本発明にかかるシート状の樹脂基材は、熱可塑性樹脂を主体とした薄板状物であればよく、後述する成形用の熱可塑性樹脂（以下、成形用熱可塑性樹脂）からなる単層体、支持体の片面に成形用熱可塑性樹脂を積層した２層積層体、支持体の一方の面に成形用熱可塑性樹脂を他方の面に成形用熱可塑性樹脂とは異なる樹脂を積層した３層積層体、支持体の両面に成形用熱可塑性樹脂を積層した３層積層体等がある。単層体は製膜上のハンドリング等に優れている。２層積層体は成形用熱可塑性樹脂を配した面とは反対側の面に易滑性、耐摩擦性などの表面特性や、機械的強度、耐熱性を付与することができる。また、高価な成形用熱可塑性樹脂の使用を減らせるので単層体と比較してコストも抑えられる。３層積層体は支持体の両面に樹脂が積層されるので成形後のカールが防止できる点から好ましい。特に支持体の両面に成形用熱可塑性樹脂を積層した３層積層体の場合、両面の樹脂の特性が同じであるからカールの防止が容易となり好ましい。また、成形熱可塑性樹脂からなる単層体や、２層積層体又は３層積層体における成形面の成形用熱可塑性樹脂からなる層には、本発明の効果を阻害しない範囲において成形用熱可塑性樹脂以外の成分が含まれていてもよい。
【００２１】
また、シート状の樹脂基材の厚さは、好ましくは０．０１〜３ｍｍの範囲、より好ましくは０．０１〜１ｍｍの範囲である。０．０１ｍｍ未満では成形するのに厚みが十分でない場合があり、３ｍｍを超えると基材の剛性により搬送が難しくなる場合がある。
【００２２】
本発明にかかる成形用熱可塑性樹脂は、ガラス転移温度Ｔｇが好ましくは４０〜１８０℃、より好ましくは５０〜１６０℃、最も好ましくは５０〜１２０℃の熱可塑性樹脂である。ガラス転移温度Ｔｇが４０℃未満であると成形品の耐熱性が低くなり形状が経時変化する場合がある。また、１８０℃を上回ると成形温度を高くせざるを得ないものとなりエネルギー的に非効率であり、またフィルムの加熱／冷却時の体積変動が大きくなりフィルムが金型に噛み込んで離型できなくなったり、また離型できたとしてもパターンの転写精度が低下したり、部分的にパターンが欠けて欠点となる場合がある。成型用熱可塑性樹脂は、好ましくはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などの熱可塑性樹脂からなるものである。これらの中で共重合するモノマー種が多様であり、かつ、そのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から、特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０重量％以上からなることがさらに好ましい。
【００２３】
シート状の樹脂基材の形成方法としては、例えば、単層体の場合、シート形成用材料を押出機内で加熱溶融し、口金から冷却したキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法（溶融キャスト法）が挙げられる。その他の方法として、シート形成用材料を溶媒に溶解させ、その溶液を口金からキャストドラム、エンドレスベルト等の支持体上に押し出して膜状とし、次いで、かかる膜層から溶媒を乾燥除去させてシート状に加工する方法（溶液キャスト法）等も挙げられる。
【００２４】
また、積層体の製造方法としては、支持体の樹脂と成形用熱可塑性樹脂をそれぞれ二台の押出機に投入し、溶融して口金から冷却したキャストドラム上に共押出してシート状に加工する方法（共押出法）、単膜で作製した支持体に成形用熱可塑性樹脂を押出機に投入して溶融押出して口金から押出しながらラミネートする方法（溶融ラミネート法）、支持体と成形用熱可塑性樹脂で構成されたシートをそれぞれ別々に単膜作製し、加熱されたロール群などにより熱圧着する方法（熱ラミネート法）、その他、シート形成用材料を溶媒に溶解させ、その溶液をシート上に塗布する方法（コーティング法）等が挙げられる。
【００２５】
本発明の微細形状転写シートの製造方法を実現するための製造装置について、以下図面に基づいて具体的に説明する。図３に、かかる本発明の微細形状転写シートの製造装置の一例を、シート状の樹脂基材としてフィルムを用いた場合で、該フィルム幅方向から見た概略断面図を示す。
【００２６】
図３に示すように、本発明の微細形状転写シートの製造装置１は、プレスユニット１０と、離型ユニット２０と、ヒーターユニット３０と、冷却ユニット４０と、巻出ユニット５０、巻取ユニット６０から構成される。巻出ユニット５０でロール状に巻き取られたフィルム２が、巻き出されて、プレスユニット１０で本発明の金型３の微細形状が転写形成され、巻取ユニット６０によりロール状に巻き取られる。巻出ユニット５０と巻取ユニット６０は、上記のフィルムの搬送装置である。プレスユニット１０は、加圧プレート（上）１４ａが支柱１１をガイドにして昇降移動できるように、プレスシリンダー１２に連結されている。支柱１１はフレーム（上）１６ａとフレーム（下）１６ｂに挟まれるように配設されている。加圧プレート（上）１４ａの下面には温調プレート（上）１５ａが取り付けられている。一方、加圧プレート（下）１４ｂの上面には本発明における金属基板の役割を果たす温調プレート（下）１５ｂが取り付けられている。各温調プレートには、それぞれ、加熱ユニット３０、冷却ユニット４０が配管、配線等を介して接続されている。そして、複数の金型片４は温調プレート（下）１５ｂの上側表面に粘着剤５で取り付けられて、下側温調プレートを介して、加熱、冷却制御される。そして温調プレート（上）１５ａが本発明にかかるプレート板として機能する。
【００２７】
次に、微細形状転写シートの製造装置１による一連のフィルム成形動作について説明する。図４と図５は、本発明の装置を用いて、ロール状の連続フィルムを間欠成形する動作をフィルム幅方向から見た概略断面図であり、以下に説明するプロセス（Ａ）〜（Ｋ）の流れで成形するものである。
【００２８】
（Ａ）あらかじめ、金型３をプレスユニット１０にセットした後、フィルム２を巻出ユニット５０にセットし、フィルム２の巻出部を引き出し、ガイドロールを経由し、プレスユニット内の金型の表面に沿わせ、さらに、離型ユニット２０を経由して、巻取ユニット６０で巻き取る（図４（ａ）参照）。
【００２９】
（Ｂ）次に、加熱ユニットを作動させて、温調プレート（上）１５ａ、温調プレート（下）１５ｂをともに成型温度まで上昇させる。
【００３０】
（Ｃ）プレスユニット１０を作動させて、温調プレート（上）１５ａを下降させて、金型３の表面と緩衝材１７との間にフィルムを挟むようにプレスする。このとき、フィルム固定部５４および６５を作動させてフィルムを固定しておく。温度、プレス圧力昇圧速度、加圧時間等の条件は、フィルムの材質、転写形状、特に凹凸のアスペクト比等に依存する。概ね、成形温度は１００〜１８０℃、プレス圧力は１〜１０ＭＰａ、成形時間が１秒〜６０秒、昇圧速度は０．０５ＭＰａ／ｓ〜１ＭＰａ／ｓの範囲で設定される（図４（ｂ）参照）。
【００３１】
（Ｄ）加熱しながらのプレスを完了した後、冷却ユニットを作動させて、温調プレート（上）１５ａ、温調プレート（下）１５ｂを降温させる。なお、冷却中もプレス加圧を継続していることが好ましい。冷却温度は金型表面の温度がフィルムを離型するのに十分に冷却されるように設定される。例えば、金型３の表面温度がフィルムのガラス転移点以下まで冷却を行うのが良い。
【００３２】
（Ｅ）冷却完了後、プレス圧力を開放して、温調プレート（上）１５ａを離型ユニット２０がプレス装置内を水平移動させるのに十分なスペースを確保できる位置まで上昇させる（図４（ｃ）参照）。
【００３３】
（Ｆ）温調プレート（上）１５ａが上昇を完了した後、フィルム固定部６５を開放して、補助ロール旋回手段を駆動して、補助ロール２２を剥離ロール２１の上部まで旋回移動させて、フィルム２を剥離ロール２１、補助ロール２２に抱きつかせる（図４（ｄ）参照）。
【００３４】
（Ｇ）その後、剥離ロール２１をフィルム表面で２３ａの方向に回転させる。剥離ロール２１は、フィルム表面との摩擦力により回転と同時に２３ｂの方向に移動する。移動はプレス装置の加圧プレートに設けた剥離ロール直動ガイドに案内されながら移動する。この時に、金型表面に密着したフィルムが良好に離型される（図５（ｅ）参照）。
【００３５】
（Ｈ）金型３の巻出側端部まで剥離が完了すると、剥離ロールの回転を停止する（図５（ｆ）参照）。
【００３６】
（Ｉ）その後、剥離ロールが回転しないようにブレーキをかけて、フィルム固定部５４を開放して、搬送駆動ロール６４を回転させることにより、剥離ロール２１と補助ロール２２が相対位置を維持したまま、巻取側へ移動する。このとき、巻出側から新しいフィルムを引き出すとともに、成形したフィルムは巻取側に送り出される（図５（ｇ）参照）。
【００３７】
（Ｊ）フィルムの引き出しが終わると、フィルム固定部５４でフィルムを固定した後、補助ロールがもとの位置まで旋回して戻り、フィルム固定部６５でフィルムを固定する。新しいフィルムが供給されることにより、あらかじめ引出バッファ部５３で弛ましてあったフィルムが巻き取り側に引き出されるが、センサー５７ｂによりフィルムが検知する位置まで、巻出ロール回転手段を作動させて、巻出ロールから新たなフィルムが引出バッファ部に供給される。一方、成型が完了したフィルムが送り出されると、送り出された長さ相当のフィルムは、一時的に巻取バッファ部６３で保留され、センサー６８ａでフィルムを検知しなくなるまで、すなわち、新たに溜まった分の長さ相当のフィルムを、巻取ロール回転手段を作動させて巻き取る（図５（ｈ）参照）。
【００３８】
（Ｋ）フィルムの離型が完了すると同時に、またはその直前から温調プレート（上）（下）の加熱を開始する。そして、プレスユニット１０を作動させて、温調プレート（上）をフィルムの上面付近まで下降させておく。
【００３９】
昇温が完了した後にプレス成形を行い、上述した（Ｃ）からの動作を繰り返す。
【００４０】
上記の（Ｆ）〜（Ｈ）の動作により、スムーズな離型動作を間欠式フィルムの成形サイクルに組み込むことが可能となり、離型跡の少ない高品質な成形フィルムを生産できる。      
【００４１】
また、上記の（Ｉ）の動作により、次サイクルで成形するフィルムを素早くプレスユニット内に供給することができるので、高い生産性で間欠的フィルム成形を実現できる。そして、両者のフィルムの離型動作、供給動作を組み合わせることにより、高品質な成形フィルムを高い生産性で生産できる。
【実施例】
【００４２】
（１）成形性の測定方法
レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製ＶＫ９７００）を用いて、成形後の微細形状転写フィルムの成形断面を１０００倍もしくは３０００倍で観察し、成形高さを測定した。図６に示すように、各サンプルについてＡ〜Ｔの２０箇所を測定し、３サンプルについて測定した測定値の平均値を成形性の値とした。尚、図６（１）は本発明における、片面に微細凹凸形状が形成された複数の金型片それぞれを粘着剤により温調プレートの役割も果たす金属基板上に固定したものであり、図６（２）は、同金属基板の上に微細凹凸形状が全面に形成された大サイズの銅材を設置したものである。
【００４３】
〔実施例１〕
（１）金型片１枚あたりのサイズ：８０ｍｍ（フィルム幅方向）×５０ｍｍ（フィルム走行方向）×０．３ｍｍ（厚み）。
（２）金型片材質：ニッケル（電鋳金型）
（３）微細凹凸形状：ピッチ２５μｍ、深さ１２．５μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面がプリズム形状のものを使用した。
（４）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってされる。プレス装置内にはアルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレート（金属基板）が上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型片は下側の温調プレート上面に金型片の短辺側エッジ部分に粘着剤Ｎｏ．５９１９（日東電工（株）製、粘着剤厚み５０μｍ）を施して図６（１）のように取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油（株）製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。
（５）緩衝材：厚み２．０ｍｍの耐熱性基布の中間基材と、中間基材の両側に積層したフッ素ゴムとで構成された複合シート（（株）金陽社製  型番：Ｆ２００）を準備した。この複合シートの片面に厚み１００μｍのフッ素樹脂フィルム（東レフィルム加工（株）製  型番：トヨフロンＦ１００）を積層して緩衝材とした。この緩衝材を、フッ素樹脂フィルム面とは反対側の面を向けて上側の温調プレートに貼り付けた。
（６）離型装置：図３に示したものと同じ構成で剥離ロールと補助ロールを組み合わせたものを使用した。
（７）シート状の樹脂基材：厚みが１２０μｍ、層構成は２層構成〔成形層：低融点のポリエチレンテレフタレート（ガラス転移点：７５℃）４０μｍ、支持層：ポリエチレンテレフタレート８０μｍ）である。
（８）動作方法：上記の装置を用い、以下のように間欠的に成型を行った。あらかじめ、フィルムを巻出装置から巻取装置までプレス装置を経由して通しておく。次に、温調プレートが上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、フィルムのプレスを開始する。プレスは金型表面で７ＭＰａで、３０秒実施した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了すれば、プレスを開放する。上側プレートを上限まで上昇させ、離型装置を駆動して、フィルムを離型する。
（９）上記の動作を繰り返し、微細形状転写フィルムを作成した。作成した微細形状を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であった。微細形状転写フィルムの成形性を確認した結果、成形高さは、１２．２μｍであった。
【００４４】
〔実施例２〕
金型が、下側の温調プレート（金属基板）上面に金型片の短辺側エッジ部分に粘着剤Ｎｏ．５９１９（日東電工（株）製、粘着剤厚み５０μｍ）を施し設置、更に下側の温調プレートと金型片と粘着剤でできた空洞部分に弾性体（東レ・デュポン（株）製  型番：カプトン１００Ｖ、厚み２５μｍ）を設置したこと以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）作成した微細形状転写フィルムの微細形状を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であった。微細形状転写フィルムの成形性を確認した結果、成形高さは、１２．３μｍであった。
【００４５】
〔比較例１〕
緩衝材を使用しないこと以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）作成した微細形状転写フィルムの微細形状を目視で評価した結果、全面に転写ムラがある状態であった。微細形状転写フィルムの成形性を確認した結果、成形高さは、成形良好部は、１１．９μｍ、成形不良部は、７．５μｍであった。
【００４６】
〔参考例〕
図６（２）のように、金型が、金属基板の上に微細形状が全面に形成された銅材を設置したものであること以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）金型１枚あたりのサイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。
（２）金型材質：銅
（３）微細形状：ピッチ２５μｍ、深さ１２．５μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面がプリズム形状のものを使用した。
（４）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってされる。プレス装置内にはアルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレート（金属基板）が上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレート上面に取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油（株）製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。
（５）上記の動作を繰り返し、微細形状転写フィルムを作成した。作成した微細形状を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であった。微細形状転写フィルムの成形性を確認した結果、成形高さは、１２．３μｍであった。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】片面に微細凹凸形状が形成された複数の金型片それぞれが粘着剤により基板上に固定さている金型の模式断面斜視図である。
【図２】金型片、粘着剤及び基板により囲まれた空洞部に弾性体を設置した場合の模式断面図である。
【図３】本発明の微細形状転写シートの製造装置を、シート状の樹脂基材としてフィルムを用いた場合で、該フィルム幅方向から見た概略断面図である。
【図４】図３に示した本発明の装置を用いて、ロール状の連続フィルムを間欠成形する動作をフィルム幅方向から見た概略断面図である。
【図５】図３に示した本発明の装置を用いて、ロール状の連続フィルムを間欠成形する動作をフィルム幅方向から見た概略断面図であり、図４に示した動作に続く下流での動作を示したものである。
【図６】微細形状転写シートの成形性測定個所。図６（１）は、片面に微細凹凸形状が形成された複数の金型片それぞれを粘着剤により温調プレートの役割も果たす金属基板上に固定した場合。図６（２）は、同金属基板の上に微細形状が全面に形成された大サイズの銅材を設置した場合。
【符号の説明】
【００４８】
１：微細形状転写シートの製造装置
２：シート状の樹脂基材
３：金型
４：片面に微細凹凸形状が形成された金型片
５：粘着剤
６：弾性体
１０：プレスユニット
１１：支柱
１２：プレスシリンダー
１３：昇降ガイド
１４ａ、ｂ：加圧プレート（上）、（下）
１５ａ、ｂ：基板〔プレート板（温調プレート）（上）、（下）〕
１６：フレーム
１７：緩衝材
２０：離型ユニット
２１：剥離ロール
２２：補助ロール
３０：ヒーターユニット
４０：冷却ユニット
５０：巻出ユニット
５１：巻出ロール回転手段
５２ａ〜ｄ：ガイドロール
５３：引出バッファ部
５４：フィルム固定部
５５：ボックス
５６：吸引排気手段
５７ａ、ｂ：センサー
６０：巻取ユニット
６１：巻取ロール回転手段
６２ａ〜ｄ：ガイドロール
６３：巻取バッファ部
６４：搬送駆動ロール
６５：フィルム固定部
６６：ボックス
６７：吸引排気手段
６８ａ、ｂ：センサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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