(57)【要約】【課題】液滴の塗布ピッチの精度向上可能なインクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法を提供すること。【解決手段】インクジェット塗布装置１は、Ｘ方向ガイドレール２５に沿ってＸ方向に移動可能に形成されたＸ方向移動体２７と、インクを塗布するノズル３２を複数備えたインクジェットヘッド３１とを有するヘッド駆動装置２６と、Ｘ方向ガイドレール２５の移動によるヘッド駆動装置２６のθ方向の回転角度の補正値に基いて、インクジェットヘッド３１を回動させてノズル３２の塗布ピッチを補正する制御部５０を有する制御装置１２と、を備える構成とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布体に対向配置され、前記塗布体に液滴を噴射する複数のノズルが所定のピッチで一列に配置された液滴噴射ヘッドと、
前記液滴噴射ヘッドを、前記塗布体の主面内の一方向に平行に設けられた軌条に沿って移動可能、且つ、前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動させることで、前記ノズルの塗布ピッチを所定のピッチに変更可能に形成された駆動装置と、
前記液滴噴射ヘッドの前記軌条に沿った移動前後の前記ノズルの位置により算出した補正値に基いて前記液滴噴射ヘッドを回動させることで、前記一方向に対する前記ノズルのピッチを、所定のピッチに補正可能に形成された制御部と、を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記制御部は、
前記軌条に沿った前記液滴噴射ヘッドの移動の前後で前記ノズルの少なくとも２箇所の位置を認識手段で認識し、この認識した前記液滴噴射ヘッドの移動の前後の前記一方向と直交方向の前記ノズルの位置に基いて前記補正値を算出することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記補正値の算出後、この補正値に基いて前記ノズルのピッチを補正した状態で、さらに前記補正値の算出を複数回行うことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
複数のノズルが所定のピッチで一列に配置された液滴噴射ヘッドから塗布体に液滴を噴射して塗布体を製造する塗布体の製造方法において、
前記液滴噴射ヘッドを前記塗布体の主面内の一方向に平行に設けられた軌条に沿って移動し、この移動の前後の前記ノズルの少なくとも２箇所の位置を認識する工程と、
この認識した前記液滴噴射ヘッドの移動の前後の前記一方向と直交方向の前記ノズルの位置に基いて前記補正値を算出する工程と、
前記液滴噴射ヘッドを、前記補正値に基いて、前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動させ、前記ノズルの塗布ピッチを所定のピッチに変更する工程と、
前記液滴噴射ヘッドから液滴を前記塗布体に対して噴射する工程と、を備えることを特徴とする塗布体の製造方法。
【請求項５】
前記補正値を算出する工程は、前記補正値の算出後、この補正値に基いて前記ノズルのピッチを補正した状態で、前記補正値の算出を複数回行うことを特徴とする請求項４に記載の塗布体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液滴を噴射して塗布体に液滴を塗布するインクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法に関し、特に、液滴の塗布ピッチの精度向上が可能なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、液晶ディスプレイパネル、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイパネル及び電界効果型ディスプレイパネル等の薄型ディスプレイパネルが、パーソナルコンピュータや大型ＴＶの液晶ディスプレイ等、様々な表示装置において用いられている。このような表示装置等を製造する際には、水溶液や、無機又は有機溶媒を含むインク等の塗布液の液滴を、塗布体である基板上で乾燥させることにより、機能層等の膜を形成させることが行われている。
【０００３】
このような塗布液の塗布を行なうインクジェット塗布装置として、液滴を噴射するノズルが一定間隔で一列に複数配置された液滴噴射ヘッドを有し、このノズルから基板上に液滴を噴射塗布するものが知られている。このようなインクジェット塗布装置は、一定間隔で設けられたノズルの列を傾けるようにヘッドを回動させることで、塗布液の塗布ピッチを決定している。
【０００４】
また、基板上の複数のパターンの計測結果に基づいて、ヘッドと基板とを相対的に一方向に走査させて基板への液滴の吐出位置を制御後、ヘッドから基板上の所望の位置に液滴を吐出し、液滴を吐出すべきエリアの基板上の位置を計測するものも知られている（例えば特許文献１参照）。このようなインクジェット塗布装置は、基板上の吐出すべき全エリアのパターン位置を、予め吐出する前に計測する必要がなく、その計測時間を激減させることができる。
【特許文献１】特開２００４−１５８４４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したインクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法では以下の問題があった。即ち、液滴の塗布ピッチは、液滴噴射ヘッドの回動位置により決定している。また、液滴噴射ヘッドの回動位置は、塗布液を塗布する条件等に基いてノズルが所定の塗布ピッチとなるように液滴噴射ヘッドを回動させる量（ヘッド姿勢）を変化させている。しかし、液滴噴射ヘッドは回動だけでなく、少なくとも一方向、例えば塗布体の移動方向とは直交する方向に移動させるため、ヘッドを移動させるための案内部（軌条）の精度により、液滴噴射ヘッドがピッチングやローリング等のヘッド姿勢の変化を行ないながら移動する虞がある。
【０００６】
このようなヘッド姿勢の変化が発生した場合、インクジェットノズルの塗布ピッチも変化するため、塗布ピッチのズレが発生する虞もある。特に、このような塗布ピッチのズレは、塗布液の噴射位置の精度低下につながる。また、ヘッドの多ノズル化や大型化に伴って、噴射位置の精度も低下が増大する、という問題もある。
【０００７】
そこで本発明は、塗布液の液滴の噴射位置精度の向上が可能なインクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明のインクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法は、次のように構成されている。
【０００９】
本発明の一態様として、塗布体に対向配置され、前記塗布体に液滴を噴射する複数のノズルが所定のピッチで一列に配置された液滴噴射ヘッドと、前記液滴噴射ヘッドを、前記塗布体の主面内の一方向に平行に設けられた軌条に沿って移動可能、且つ、前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動させることで、前記ノズルの塗布ピッチを所定のピッチに変更可能に形成された駆動装置と、前記液滴噴射ヘッドの前記軌条に沿った移動前後の前記ノズルの位置により算出した補正値に基いて前記液滴噴射ヘッドを回動させることで、前記一方向に対する前記ノズルのピッチを、所定のピッチに補正可能に形成された制御部と、を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置が提供される。
【００１０】
本発明の一態様として、複数のノズルが所定のピッチで一列に配置された液滴噴射ヘッドから塗布体に液滴を噴射して塗布体を製造する塗布体の製造方法において、前記液滴噴射ヘッドを前記塗布体の主面内の一方向に平行に設けられた軌条に沿って移動し、この移動の前後の前記ノズルの少なくとも２箇所の位置を認識する工程と、この認識した前記液滴噴射ヘッドの移動の前後の前記一方向と直交方向の前記ノズルの位置に基いて前記補正値を算出する工程と、前記液滴噴射ヘッドを、前記補正値に基いて、前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動させ、前記ノズルの塗布ピッチを所定のピッチに変更する工程と、前記液滴噴射ヘッドから液滴を前記塗布体に対して噴射する工程と、を備えることを特徴とする塗布体の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、塗布液の液滴の噴射位置精度の向上が可能なインクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態に係るインクジェット塗布装置１を図１〜４を用いて説明する。  
図１は本発明の一実施の形態に係るインクジェット塗布装置１の構成を示す斜視図、図２は同インクジェット塗布装置１のＸ方向への移動によるインクジェットヘッド３１の位置を示す説明図、図３は同インクジェット塗布装置１による補正値の算出方法を示す説明図、図４は同インクジェット塗布装置１による補正値の算出方法を示す説明図である。図１〜４中、矢印Ｘ、Ｙ、及びＺはそれぞれ直交する３方向を、矢印θはＺ方向を中心に回転する回転方向をそれぞれ示している。
【００１３】
図１に示すように、インクジェット塗布装置１は、例えば複数の脚部をその下面に有するベース１０と、このベース１０上に設けられ、ベース１０上方を跨いで設けられた支持体１１と、を備えている。また、インクジェット塗布装置１は、インクの塗布位置及びインク塗布量等の制御が可能な制御装置１２を備えている。
【００１４】
ベース１０は、その上面にインクを塗布する塗布体である基板Ｗ等を略水平に保持可能なステージ２０と、ベース１０の内部に設けられ、各構成品と電気的に接続され、且つ、制御装置１２と電気的に接続されるインターフェイス（以下「Ｉ／Ｆ」）装置２１と、を備えている。また、ベース１０は、ステージ２０を図１中のＹ方向への移動をガイド可能に形成された複数のＹ方向ガイドレール２２と、ステージ２０をＹ方向ガイドレール２２に沿ってＹ方向に往復動可能に形成されたモータを有するＹ方向移動機構２２ａと、を備えている。
【００１５】
即ち、ステージ２０は、Ｙ方向移動機構２２ａによりＹ方向に移動することで、その上部に積載された基板Ｗ等を移動させることとなる。なお、Ｙ方向移動機構２２ａは、例えばモータの回転をステージ２０の直線移動に変換する送りねじ等で形成され、制御装置１２に電気的に接続されている。
【００１６】
支持体１１は、ベース１０の上面から略鉛直に立設されている。支持体１１は、ステージ２０の上方に位置する側面に図１に示すＸ方向に延設されたＸ方向ガイドレール２５と、Ｘ方向ガイドレール２５に移動可能に設けられた複数のヘッド駆動装置（駆動装置）２６と、を備えている。Ｘ方向ガイドレール２５は、複数本、図１中では３本の軌条である軸体又は棒体等により形成されている。
【００１７】
ヘッド駆動装置２６は、Ｘ方向ガイドレール２５に沿ってＸ方向に移動可能に形成されたＸ方向移動体２７と、Ｘ方向移動体２７をＸ方向ガイドレール２５に沿ってＸ方向に移動させるＸ方向移動機構２５ａと、を備えている。なお、Ｘ方向移動機構２５ａは、制御装置１２に電気的に接続されている。
【００１８】
また、ヘッド駆動装置２６は、このＸ方向移動体２７に設けられたＺ方向ガイドレール２８と、このＺ方向ガイドレール２８に沿ってＺ方向に移動可能（昇降可能）に形成されたＺ方向移動体２９と、を備えている。ヘッド駆動装置２６は、Ｚ方向移動体２９をＺ方向ガイドレール２８に沿ってＺ方向に移動させるＺ方向移動機構２８ａを備えている。Ｚ方向ガイドレール２８は、例えばＸ方向移動体２７のＺ方向に溝部を設けることで形成されている。なお、Ｚ方向移動機構２８ａは、制御装置１２に電気的に接続されている。
【００１９】
ヘッド駆動装置２６は、ヘッド駆動装置２６の下端側であって、Ｚ方向移動体２９の下部に設けられ、θ方向に回動可能な回転軸を有するθ方向駆動機構３０と、θ方向駆動機構の回転軸に固定接続されるとともに、着脱可能に形成されたインクジェットヘッド（液滴噴射ヘッド）３１と、を備えている。なお、θ方向駆動機構３０は、制御装置１２に電気的に接続されている。
【００２０】
インクジェットヘッド３１は、図２に示すように、その下端面、且つ、ステージ２０に対向して設けられ、所定（一定）の間隔で一列に配置されたインクの液滴を噴射する複数のノズル３２を備えている。なお、このノズル３２の液滴を噴射する方向と、回転軸の方向は平行に形成されている。
【００２１】
また、インクジェットヘッド３１は、基板Ｗに設けられたアライメントマークを認識可能なアライメントカメラ３１ａを備えている。
【００２２】
インクジェットヘッド３１は、その内部に設けられ各ノズル３２に連通するインク室（インクタンク）と、インク室の上面に設けられ、各ノズル３２にそれぞれ設けられたダイアフラム及び圧電素子と、を備えている。なお、この圧電素子は、制御装置１２からの信号に基いてダイアフラムを駆動可能に形成されている。インクジェットヘッド３１は、このダイアフラムの駆動により、インク室内の圧力を変化させ、インク室内のインクをノズル３２から噴射可能に形成されている。なお、インク室は、ベース１０に設けられたインク補給ボックス等に接続され、このインク補給ボックスからインク室にインクが補給可能に形成されている。
【００２３】
ヘッド駆動装置２６は、インクジェットヘッド３１を脱去させた後、インクジェットヘッド３１の変わりに、図３に示すヘッド代替用の認識カメラ装置４０を取り付け可能に形成されている。この認識カメラ装置４０は、例えば、インクジェットヘッド３１の複数のノズル３２の両端の位置とそれぞれのレンズの中心が略同一に配置された２台の認識カメラ４１を備えている。即ち、ノズル３２の両端を２台の認識カメラとして仮定し、後述するマスター基板Ｍのマーク群６０等の認識体を認識することで、ノズル３２の位置を認識する認識手段である。
【００２４】
また、認識カメラ装置４０は、認識カメラ４１で認識した情報を、制御装置１２へ送信可能に形成されている。また、認識カメラ装置４０は、インクジェットヘッド３１の重量、及び、重量分布と近似させて形成されている。
【００２５】
制御装置１２は、例えばパーソナルコンピュータが用いられ、インクジェット塗布装置１の各構成部を制御可能な制御機能を有している。制御装置１２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）等の制御部５０を備えている。
【００２６】
また、制御装置１２は、記憶媒体である記憶部５１と、記憶部５１に記憶された情報、及び、インクジェットヘッド３１の位置やアライメントカメラ３１ａからの画像等の情報を適宜表示可能なディスプレイ等の表示部（出力手段）５２と、外部情報を入力するキーボードやマウス等の入力装置５３とを備えている。また、制御装置１２は、Ｉ／Ｆ装置２１を介して各構成品と信号線Ｓで接続するためのインターフェイス（以下「Ｉ／Ｆ」）５４を備えており、インクジェット塗布装置１の各構成品と信号線Ｓを介して信号の通信が可能に形成されている。
【００２７】
これら制御装置１２の各構成品は、制御部５０にアドレスバス、データバス等のバスラインＢにより接続されている。なお、制御装置１２は、パーソナルコンピュータでなくともよく、インクジェット塗布装置１の構成品を制御可能であれば他の構成でもよい。
【００２８】
記憶部５１は、基本プログラム等の固定的データが予め格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、及び、各構成品の制御機能のプログラムデータ等の格納エリアが形成されたＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）を備えている。
【００２９】
即ち、記憶部５１には、下記（１）〜（４）の制御機能のプログラムが少なくとも記憶されている。
【００３０】
（１）インクジェットヘッド３１からのインクの噴射制御機能  
（２）Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動装置及びθ方向駆動装置等によるステージ２０、ヘッド駆動装置２６及びインクジェットヘッド３１の移動制御機能  
（３）Ｘ方向ガイドレール２５のヘッド駆動装置２６の移動に対するインクジェットヘッド３１のノズル３２の塗布ピッチの補正制御機能  
（４）アライメントカメラ３１ａにより確認したアライメントマークを基に基板Ｗの基準点を設定する基準位置制御機能
なお、制御機能は、（１）〜（４）だけではなく、インクジェット塗布装置１の構成により適宜設ければよく、また上記制御機能（１）〜（４）は、インクジェット塗布装置１の構成により適宜変更可能である。
【００３１】
制御部５０は、上記制御機能（１）〜（４）の制御信号を各構成品へ送信可能に形成されている。また、制御部５０は、この移動制御信号により移動したステージ２０及びヘッド駆動装置２６の位置信号を受信可能に形成されている。
【００３２】
また、制御部５０は、θ方向駆動機構を駆動させる回動制御信号をθ方向駆動機構に送信可能に形成されるとともに、この回転制御信号により回転駆動されたインクジェットヘッド３１又は認識カメラ装置４０からの位置情報及び認識情報等の信号を受信可能に形成されている。
【００３３】
制御部５０は、アライメントカメラ３１ａにより認識したアライメントマークに基いてＸ方向移動機構２５ａ及びＹ方向移動機構２２ａに移動制御信号を送信し、ステージ２０及びヘッド駆動装置２６を移動可能に形成されている。
【００３４】
なお、制御装置１２は、パーソナルコンピュータではなく、ベース１０内部に設けられた表示部５２を有さない制御ボックスであってもよい。即ち、インクジェット塗布装置１の各構成部が制御可能であればよい。
【００３５】
次に、上述した制御装置１２の記憶部５１に記憶された制御機能（１）〜（４）について説明する。なお、これら制御機能（１）〜（４）は、制御部５０により制御される。
【００３６】
制御装置１２が有する制御機能（１）は、インクジェットヘッド３１からのインクの噴射の制御を行なう噴射制御機能である。この噴射制御機能は、記憶部５１内に予め記憶された基板Ｗ上面に塗布されるインクの種類、量及び噴射位置の情報に基いて、噴射制御の信号を圧電素子に信号線Ｓを介して送信する。この噴射信号を受けた圧電素子は、ダイアフラムを押し引きすることで、インク室内のインクをノズル３２から噴射する制御機能である。
【００３７】
なお、制御機能（１）の主機能としては、インクの噴射制御であり、インクの種類、量及び噴射位置については、基板Ｗ及びインクジェットヘッド３１の位置等によって、適宜設定される。
【００３８】
制御装置１２が有する制御機能（２）は、Ｘ方向移動装置、Ｙ方向移動装置、Ｚ方向移動装置及びθ方向駆動装置等によるステージ２０及びヘッド駆動装置２６の移動制御機能である。
【００３９】
この移動制御機能は、基板Ｗ上面に塗布するインクの情報に基いて、インクが定められた基板Ｗ上面に塗布されるように、Ｘ方向移動装置、Ｙ方向移動装置、Ｚ方向移動装置及びθ方向駆動装置を駆動させる。これらＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向移動装置及びθ方向駆動装置により、ステージ２０及びヘッド駆動装置２６が移動することで、インクジェットヘッド３１のノズル３２を基板Ｗ上面の所定位置に配置させる制御機能である。
【００４０】
なお、制御部５０は、Ｙ方向移動装置を駆動させることで、Ｙ方向の任意の位置までステージ２０（基板Ｗ）を移動させる。また、制御部５０は、Ｘ方向移動装置を駆動させることで、インクジェットヘッド３１をＸ方向の任意の位置まで移動させる。さらに、制御部５０は、Ｚ方向移動装置を駆動させることで、インクジェットヘッド３１を所定の高さ、即ち、インクが基板Ｗ上に最良の範囲で塗布できる高さ調整が行なわれる。
【００４１】
また、制御部５０は、θ方向駆動装置を駆動させることで、インクジェットヘッド３１のノズル３２のピッチ（間隔）を所定のインクの塗布ピッチに変更させる。即ち、インクジェットヘッド３１の塗布ピッチは、一定の間隔を有して並列に配置されている複数のノズル３２を回動させることで変更されることとなる。例えば、インクジェットヘッド３１のノズル３２は、θ方向駆動装置により、ノズル３２の配置方向がＹ方向に対して直交すると、インクの塗布ピッチが一番広くなる。これに対し、ノズル３２は、θ方向駆動装置によりインクジェットヘッド３１を回動させ、ノズル３２の配置方向をＹ方向に近づけるにつれて、インクの塗布ピッチは狭くなる。
【００４２】
このように、移動制御機能は、基板Ｗ上面に塗布するインクの情報に基いて、ステージ２０及びヘッド駆動装置２６を所定の位置まで移動及び配置させる制御機能である。
【００４３】
次に、制御装置１２が有する制御機能（３）について説明する。  
制御機能（３）は、Ｘ方向ガイドレール２５の精度に対するインクジェットヘッド３１のθ方向の移動量を補正する補正制御機能である。
【００４４】
詳しく説明すると、Ｘ方向ガイドレール２５は、製造時に、所定の寸法に形成される。しかし、各構成部品は所定の寸法に各部品が製造されていても、所定の寸法には寸法公差が定められており、これら寸法公差により、Ｘ方向ガイドレール２５は、理想寸法と製造時の寸法誤差によりズレや曲がり等が発生することがある。このため、Ｘ方向ガイドレール２５に沿ってヘッド駆動装置２６及びステージ２０を移動させた場合、ヘッド駆動装置２６全体がピッチング又はローリングを行いながら移動する虞がある。ヘッド駆動装置２６は、このピッチング又はローリング等により、ヘッド駆動装置２６全体が回動するため、インクジェットヘッド３１も合わせて回動することとなり、所定のノズル３２の位置からθ方向にズレが発生することとなる。
【００４５】
このように、インクジェットヘッド３１を所定の位置に移動させた場合に、インクジェットヘッド３１のθ方向の位置ズレが発生し、ノズル３２のピッチが所定のインクの塗布ピッチとは異なる虞がある。このような、塗布ピッチのズレにより、基板Ｗ上の所定ピッチとは異なるノズル３２の間隔でインクを塗布するため、インク塗布精度の低下等が発生することとなる。
【００４６】
図２に示すように、例えば、基板Ｗへのインクの塗布に際し、インクジェットヘッド３１を所定の塗布ピッチにするべく、θ方向駆動装置により、インクジェットヘッド３１を回転駆動させる。図２中、この所定のピッチに調整されたインクジェットヘッド３１を左側に示す。この状態のインクジェットヘッド３１を、インク塗布位置へ移動させるためにヘッド駆動装置２６をＸ方向ガイドレール２５に沿ってＸ方向に移動させる。
【００４７】
図２の中側及び右側に示すインクジェットヘッド３１は、Ｘ方向へ所定距離移動させたときのインクジェットヘッド３１の位置を示す。図２に示すように、インクジェットヘッド３１は、Ｘ方向ガイドレール２５のズレ等により、ヘッド駆動装置２６がローリング又はピッチングすることで、インクジェットヘッド３１が回動し、塗布ピッチのズレが発生する虞がある。
【００４８】
このように、ヘッド駆動装置２６がローリング又はピッチングすると、移動前（図２中左側）の位置でθ方向の回転角度を決定した場合であっても、Ｘ方向に移動させるにつれて、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度がずれることとなる。
【００４９】
補正制御機能は、このようなＸ方向ガイドレール２５のズレによるインクジェットヘッド３１のθ方向の角度のズレを各インクジェット塗布装置１毎に設定された補正値に基いて補正する制御機能である。
【００５０】
次に、図３，４を用いて補正制御機能における、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度のズレを補正するための補正値の算出方法を説明する。なお、このような補正値の算出は、インクジェット塗布装置１の製造後の一つの工程として行なわれる。
【００５１】
まず、ヘッド駆動装置２６からインクジェットヘッド３１を脱去し、認識カメラ装置４０を取り付ける。次に、ステージ２０上にマスター基板Ｍを載置する。
【００５２】
ここで、図３に示すように、マスター基板Ｍは、その表面上に、所定の寸法精度で互いに間隔を有して設けられたマーク群６０が設けられている。マーク群６０には、例えば、インクジェットヘッド３１に設けられたノズル３２両端間と略同一位置、即ち、認識カメラ４１間と略同一距離（ピッチ）でＸ方向に一対設けられたマーク６１Ｌ、６１Ｒが設けられている。ここで、マーク６１Ｌは、図３，４中左側を、マーク６１Ｒは右側と定義して以下説明する。また、マーク群６０は、マスター基板Ｍ上のＸ方向及びＹ方向に所定間隔を有して複数設けられている。
【００５３】
ステージ２０上にマスター基板Ｍを載置後、入力装置５３により、補正値の算出指示を入力する。制御装置１２の制御部５０は、この補正値の算出指示により、基準となる位置、例えば、マスター基板Ｍの隅部（図３中左上）に設けられたマーク群６０を認識カメラ装置４０により認識させる。認識カメラ装置４０により認識されたマーク群６０の認識情報は、信号線Ｓを介して制御装置１２へ送信される。
【００５４】
制御部５０は、マスター基板Ｍ上に設けられたマーク６１Ｌ，６１Ｒを認識カメラ装置４０で認識した認識情報をＩ／Ｆ５４を介して受信後、記憶部５１に記憶させる。また、制御部５０は、この認識情報を制御装置１２の表示部５２等に表示させる。制御部５０は、この基準位置でのマーク群６０の認識情報に基いて各マーク６１Ｌ，６１Ｒの画像処理等を行なうことでマーク群６０の位置又は座標等を算出し、基準位置でのマーク６１Ｌ，６１Ｒの位置情報を算出する。
【００５５】
次に、制御部５０は、Ｘ方向移動装置にＸ方向に移動させる指示信号をＸ方向に与え、基準位置のマーク群６０から、マスター基板ＭのＸ方向に任意の距離に設けられたマーク群６０上まで認識カメラ装置４０を移動させる。
【００５６】
認識カメラ装置４０は、移動後のマーク群６０を認識する。認識カメラ装置４０により認識された移動後のマーク群６０の認識情報は、制御装置１２へ送信される。
【００５７】
制御部５０は、移動後のマーク６１Ｌ，６１Ｒの認識情報を受信後、記憶部５１に記憶させるととともに、制御装置１２の表示部５２に表示させる。制御部５０は、移動位置でのマーク群６０の認識情報に基いて、各マーク６１Ｌ，６１Ｒの画像処理等を行うことで位置又は座標等を算出し、移動位置でのマーク６１Ｌ，６１Ｒの位置情報を算出する。
【００５８】
図４に、認識カメラ装置４０により認識したマーク群６０の情報の一例を示す。図４中、左側の認識カメラ装置４０及び認識したマーク群６０は、移動前の基準位置を示しており、右側の認識カメラ装置４０及びマーク群６０は、Ｘ方向に任意の距離移動後を示している。
【００５９】
図４に示すように、例えば、認識カメラ４１間のピッチ（マーク６１Ｌ，６１Ｒ間）をα、認識カメラ装置４０のＸ方向の移動距離をβ、基準位置でのマーク６１Ｌ，６１Ｒ間のＹ方向の距離をζと定義する。また、移動後のマーク６１Ｌ，６１Ｒ間のＹ方向の距離をζ´、基準位置でのマーク６１Ｌ及び移動後のマーク６１ＬのＹ方向の距離をδと定義し、基準位置のマーク６１Ｌを通り、Ｘ方向に対して平行な線を基準線ＢＬとして以下説明する。
【００６０】
次に、制御部５０は、認識カメラ装置４０により基準位置及び移動後のマーク群６０の位置情報から、マスター基板Ｍの基準線ＢＬに対する傾き角度θＡを算出する。なお、このマスター基板Ｍ自体の基準線ＢＬ（Ｘ方向）に対する傾きθＡは、θＡ＝ｔａｎ−１（δ／β）から求められる。
【００６１】
制御部５０は、次に、基準位置での認識カメラ装置４０の２つの認識カメラ４１間の基準線ＢＬに対する傾き角度θＢを算出する。認識カメラ装置４０の傾き角度θＢは、認識カメラ装置４０により認識した基準位置でのマーク６１Ｌ，６１Ｒの二点間直線と基準線との角度であり、θＢ＝ｔａｎ−１（ζ／α）で求められる。
【００６２】
同様に、制御部５０は、移動後の認識カメラ装置４０の２つの認識カメラ４１間の基準線に対する傾き角度θＢ´を算出する。移動後の認識カメラ装置４０の傾き角度θＢ´は、認識カメラ装置４０により認識した移動位置でのマーク６１Ｌ，６１Ｒの二点間直線と基準線ＢＬとの角度であり、θＢ´＝ｔａｎ−１（ζ´／α）で求められる。
【００６３】
次に、制御部５０は、求めた基準位置での傾き角度θＢと移動後の傾き角度θＢ´から、Ｘ方向ガイドレール２５の要因によるヘッド駆動装置２６の移動距離β移動したときのインクジェットヘッド３１の傾き角度θＣを求める。
【００６４】
即ち、このインクジェットヘッド３１の傾き角度θＣは、基準位置での認識カメラ装置４０の傾き角度θＢと、移動後の認識カメラ装置４０の傾き角度θＢ´から求められる。このため、傾き角度θＣはθＣ＝（θＢ´−θＡ）−（θＢ−θＡ）＝θＢ´−θＢから求められる。
【００６５】
このとき、基準位置での認識カメラ装置４０の傾き角度θＢ、及び、移動後の認識カメラ装置４０の傾き角度θＢ´からマスター基板Ｍの傾き角度θＡをそれぞれ考慮することで、マスター基板Ｍの傾きによって発生するマーク群６０の認識位置のズレを補正できる。
【００６６】
このように制御部５０により求められたインクジェットヘッド３１の傾き角度θＣは、ヘッド駆動装置２６のＸ方向の移動時に、インクジェットヘッド３１が傾く角度に対する補正値として記憶部５１に記憶される。
【００６７】
即ち、インクジェットヘッド３１は、Ｘ方向への移動距離βへ移動する際に、ヘッド駆動装置２６全体がθ方向へ傾き角度θＣだけ回転することとなる。このため、制御部５０は、以降のヘッド駆動装置２６のＸ方向へ移動距離βだけの移動させる際に、補正値（オフセット値）として、傾き角度θＣとは逆方向へ、傾き角度θＣと同じ角度でインクジェットヘッド３１を回転させる補正制御を行なう。
【００６８】
次に、制御部５０は、補正値により補正制御を行なった状態で、再度、認識カメラ装置４０により、マーク６１Ｌ，６１Ｒの基準位置及びＸ方向へ移動距離βだけ移動した後の位置情報を求め、インクジェットヘッド３１の傾き角度θＣを算出する。この補正制御を行なった状態での傾き角度θＣから再度補正値を求める。このように、制御部５０は、移動距離を同一として、複数回補正制御を行なった状態で補正値を算出することで、高精度の補正値が求められることとなる。
【００６９】
このように、移動距離βにおける補正値の算出を複数行なうことで、補正値の最適な値を算出したら、制御部５０は、移動距離を変更し、変更した移動距離における補正値を算出し、変更した移動距離における補正値を最適な値に近似させる。この繰返しにより、Ｘ方向へヘッド駆動装置２６が移動した際の補正値を各位置で算出する。なお、補正値を求めるための位置は、実際にインクを塗布する距離全てにおいて算出してもよいし、基準位置から、所定の間隔で複数個所もとめてもよい。例えば、所定の間隔で複数個所もうけることで、補正値の予測が可能となり、補正値を求めていない位置では、予測した補正値を用いることで対応できる。
【００７０】
補正制御機能は、このように算出した補正値に基いて制御部５０がＸ方向移動機構２５ａ及びθ方向駆動機構を駆動させて、ヘッド駆動機構を駆動させることで、インクの塗布ピッチを制御するものである。
【００７１】
制御装置１２が有する制御機能（４）は、アライメントカメラ３１ａにより基板Ｗに設けられたアライメントマークを基準に、制御部５０が基板Ｗの基準点を設定する基準位置制御機能である。
【００７２】
制御部５０は、記憶部５１に記憶された、基板Ｗ上に塗布するインクの情報に基いて、インクジェットヘッド３１が基板Ｗ上の所定の位置に移動した際に、インクを塗布する指示を圧電素子に行う。このとき、制御部５０は、基板Ｗの基準位置を基準として、インクジェットヘッド３１の位置に基いて、インクの塗布を制御するため、基板Ｗの基準の位置を決定し、認識する必要がある。
【００７３】
基準位置制御機能は、このような基板Ｗの基準位置を、基板Ｗに設けられたアライメントマークをアライメントカメラ３１ａにて認識し、基板Ｗのアライメントマークを基準位置として、基板Ｗ上の所定の塗布位置にインクを塗布する制御機能である。
【００７４】
このように構成されたインクジェット塗布装置１において、塗布体の製造方法として、塗布体である基板Ｗにインクを塗布する方法を説明する。  
先ず、制御部５０は、入力装置５３からの外部情報、例えば基板Ｗへのインクの塗布指示の入力を制御部５０が確認すると、制御部５０は、所定のＸ方向の塗布ピッチ及びインクジェットヘッド３１を所定の高さとすべく、ヘッド駆動装置２６の移動制御を行なう。制御部５０は、インクの塗布指示に従って、θ方向駆動装置を駆動させ、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度を決定するとともに、Ｚ方向移動装置を駆動し、インクジェットヘッド３１を所定の高さに昇降させる。
【００７５】
次に、制御部５０は、インクジェットヘッド３１の位置を把握する。このインクジェットヘッド３１の位置の把握は、例えば、インクジェット塗布装置１のステージ２０上に、素ガラス等のダミー基板を配置させる。次に制御部５０は、噴射制御を行なうことで、ダミー基板にインクジェットヘッド３１からインクを塗布させる。このとき、制御部５０は、このインクの塗布位置を、アライメントカメラ３１ａ等により認識させることで、インクジェットヘッド３１の位置を把握する。
【００７６】
インクジェットヘッド３１の位置把握後、ダミー基板を脱去し、対象ワークである基板Ｗをステージ２０上に配置させる。制御部５０は、基準位置制御機能により、基板Ｗに設けられたアライメントマークをアライメントカメラ３１ａにより認識し、基板Ｗの基準位置を把握する。制御部５０は、基板Ｗの基準位置、及び、インクの塗布情報に基いて、インクジェットヘッド３１のＸ方向及びＹ方向の位置決めを行なう。
【００７７】
制御部５０は、移動制御機能により、インクの塗布情報に基いて、Ｘ方向移動装置を駆動させ、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度を補正値に基いて補正制御を行なうとともに、ヘッド駆動装置２６を所定のインクの塗布位置へ移動させる。同様に、制御部５０は、Ｙ方向移動装置を駆動し、ステージ２０を移動させる。制御部５０は、ステージ２０の移動量から、ステージ２０の位置及び基板Ｗの位置を算出し、所定の位置に基板Ｗが移動した際に、噴射制御機能を用いて、インクジェットヘッド３１のノズル３２から、所定のインクを吐出させる。
【００７８】
このように、制御部５０は、ヘッド駆動装置２６をＸ方向に移動させるとともに、ステージ２０をＹ方向に移動させることで、基板Ｗのインク塗布領域全体にインクを塗布し、基板Ｗへのインクの塗布が終了する。次に、制御部５０は、Ｙ方向移動装置によりステージ２０（基板Ｗ）をインクジェットヘッド３１の下方領域から移動させることで、基板Ｗを取り外す。制御部５０により、このように基板Ｗにインクを塗布することで、塗布体である基板Ｗは、製造工程の一である、インクの塗布工程が終了し、次の工程へと送られる。
【００７９】
このように構成されたインクジェット塗布装置１では、インクジェット塗布装置１毎に、Ｘ方向ガイドレール２５のズレに基いたインクジェットヘッド３１のθ方向の角度の補正制御を可能とする構成とした。このように、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度を補正することで、Ｘ方向ガイドレール２５の精度のズレによる、ローリング又はピッチングにより発生するノズル３２間の角度を補正することが可能となり、インクの塗布ピッチの精度を向上させることが可能となる。
【００８０】
また、Ｘ方向ガイドレール２５の所定のＸ方向毎に、インクジェットヘッド３１の補正値を求めることで、ヘッド駆動装置２６が各Ｘ方向位置に移動した際に、各移動位置での補正値に基いてインクジェットヘッド３１が補正されることとなる。これにより、Ｘ方向ガイドレール２５の寸法精度に係らず、インクの塗布ピッチを高精度に維持することが可能となる。
【００８１】
また、補正値は、ヘッド駆動装置２６のＸ方向への移動距離が同一の位置で複数回求めることで、最適な補正値に近似させることが可能となり、Ｘ方向での所定距離での補正値の精度を向上させることが可能となる。
【００８２】
上述したようにインクジェット塗布装置１によれば、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度の補正を、インクジェット塗布装置１毎に算出した補正値に基いて補正可能とすることで、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度のズレを防止することが可能となる。
【００８３】
また、同一位置で算出した補正値を考慮してさらに複数回補正値を算出することで、補正値を最適な値に近似させることも可能となる。これらのことにより、インクジェットヘッド３１のθ方向の角度位置精度を向上させることが可能となり、塗布ピッチを所定のピッチとすることが可能となる。
【００８４】
なお、上述した発明の形態以外の変形例について説明する。例えば、上述した例では、認識カメラ装置４０は、インクジェットヘッド３１を脱去後、ヘッド駆動装置２６に設ける構成としたが、インクジェットヘッド３１の両端に認識カメラ装置４０を設ける構成としてもよい。このように、インクジェットヘッド３１の両端に認識カメラ装置４０を設けることで、基板Ｗの位置把握時に、さらに、基板Ｗ上の画素等の所定の形状を検出することが可能となり、検出した形状に基いて、インクジェットヘッド３１のθ方向のズレを補正することが可能となる。
【００８５】
また、認識カメラ装置４０を設けることで、アライメントカメラ３１ａの機能を認識カメラ装置４０に持たせることで、アライメントカメラ３１ａを設ける必要が無くなる。また、認識カメラ装置４０とインクジェットヘッド３１との交換作業もなくなり、製造コストの増大を防ぐことも可能となる。
【００８６】
さらに、上述したステージ２０は、Ｙ方向駆動装置によりＹ方向ガイドレール２２によりＹ方向に移動されるとしたが、Ｙ方向駆動装置及びＹ方向ガイドレールをヘッド駆動装置に設ける構成としてもよい。即ち、ステージ２０は固定とし、ヘッド駆動装置により、インクジェットヘッド３１のＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向の全てを移動させる構成でもよい。また、Ｚ方向移動装置は、ステージ２０の下方に設ける構成でもよく、適宜変更可能である。
【００８７】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の一実施の形態に係るインクジェット塗布装置の構成を示す斜視図。
【図２】同インクジェット塗布装置のＸ方向への移動時におけるインクジェットヘッドの位置を示す説明図。
【図３】同インクジェット塗布装置１による補正値の算出方法を示す説明図。
【図４】同インクジェット塗布装置１による補正値の算出方法を示す説明図。
【符号の説明】
【００８９】
１…インクジェット塗布装置、１０…ベース、１１…支持、１２…制御装置、２０…ステージ、２１…インターフェイス装置、２２…Ｙ方向ガイドレール、２５…Ｘ方向ガイドレール、２６…ヘッド駆動装置、２７…Ｘ方向移動体、２８…Ｚ方向ガイドレール、２９…Ｚ方向移動体、３０…θ方向駆動機構、３１…インクジェットヘッド（液滴噴射ヘッド）、３１ａ…アライメントカメラ、３２…ノズル、４０…認識カメラ装置（認識手段）、４１…認識カメラ、４1…認識カメラ装置、５０…制御部、５１…記憶部、５２…表示部、５３…入力装置、５４…インターフェイス、６０…マーク群、６１Ｌ．６１Ｒ…マーク、Ｂ…バスライン、ＢＬ…基準線、Ｍ…マスター基板、Ｓ…信号線、Ｗ…基板（塗布体）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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