(57)【要約】【課題】軸芯を保持して高品質なシリカガラスを成形することができるシリカガラスの加熱成形装置および加熱成形方法を提供する。【解決手段】シリカガラスの加熱成形装置１０は、柱形状のシリカガラス１を収納するカーボン容器１１と、カーボン容器１１を加熱してシリカガラス１を加工する真空加熱炉１２とを備えている。また、加熱成形装置１０は、加熱加工時にシリカガラス１の軸芯Ａｘが当初の位置からずれないようにしながら、かつシリカガラス１が倒れるのを防ぐ倒れ防止部材１３を備えている。そして、シリカガラス１がカーボン容器１１の底板１６の中央に載置され、このシリカガラス１の上端面３に倒れ防止部材１３が組み付けられる。その後、カーボン容器１１が真空加熱炉１２内に収納される。【選択図】  図１
2010189231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
柱形状のシリカガラスが収納されるカーボン容器と、該カーボン容器が設置される加熱炉と、を備え、該カーボン容器内で前記シリカガラスを拡径加工するシリカガラスの加熱成形装置であって、
底面で前記シリカガラス上部に当接し、側面は前記カーボン容器内面と摺動し、前記拡径加工時に前記シリカガラスの軸芯が当初の位置からずれないようにしながら、かつ前記シリカガラスが倒れるのを防ぐ倒れ防止部材を備えていることを特徴とするシリカガラスの加熱成形装置。
【請求項２】
前記倒れ防止部材がある高さ以下には下がらないようにするためのストッパ部材を備えていることを特徴とする請求項１記載のシリカガラスの加熱成形装置。
【請求項３】
前記倒れ防止部材は、前記カーボン容器に内接する側板と、前記シリカガラスの上端面に当接し、前記シリカガラスの上端面より大きい天板と、該天板の周縁部と前記側板の下端縁部とを接続する傾斜板と、を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のシリカガラスの加熱成形装置。
【請求項４】
前記倒れ防止部材は、前記シリカガラスの上端面に中央部が当接する天板と、該天板の周縁から下方に延設され、前記カーボン容器に内接する側板と、前記天板の中央部下面に前記シリカガラスの上端部側面に当接する３本以上のガイドピンと、を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のシリカガラスの加熱成形装置。
【請求項５】
前記倒れ防止部材は、前記シリカガラスに荷重をかける錘部材を備え、かつ前記倒れ防止部材が前記ストッパ部材に当接して下降を停止した時点で、前記ガイドピンが前記シリカガラスから外れ始めるとともに、前記錘部材は荷重を掛け続けることを特徴とする請求項４記載のシリカガラスの加熱成形装置。
【請求項６】
カーボン容器内に収納した柱形状のシリカガラス上部に倒れ防止部材の底面を当接させ、前記倒れ防止部材の側面は前記カーボン容器内面と摺動するようにし、該カーボン容器を加熱炉内に設置し、該倒れ防止部材により前記シリカガラスの軸芯が当初の位置からずれないようにしながら、かつ前記シリカガラスが倒れないようにして、該シリカガラスの拡径加工を行うことを特徴とするシリカガラスの加熱成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボン容器内に収納されたシリカガラスを真空加熱炉内で拡径加工するシリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のシリカガラスの加熱成形装置およびその加熱成形方法の一例として、図４に示すように、カーボン容器１０１内にシリカガラス１０２を収納し、フェルト材１０３を介して重石１０４によりシリカガラス１０２に荷重をかけるようにしたシリカガラスの加熱成形装置１００がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−５３３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
シリカガラスの加熱成形においては、ＶＡＤ法等によりできたシリカガラス母材が、軸芯から径方向に対称な特性（例えば、屈折率分布等）を有しているため、加熱成形時には、この対称性を保持したまま成形されることが望ましい。
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に開示された従来のシリカガラスの加熱成形装置１００では、柱形状（円筒、直方体等）のシリカガラス１０２を潰していく過程で、長さ／外径の比が大きいと不安定となり、シリカガラス１０２が倒れたり、座屈したりして、潰しの中心位置に位置ずれが生じることがある。このような理由により、加熱成形している際に、シリカガラス１０２の軸芯が斜めに傾いたり、折れ曲がったりした状態で潰れてしまうことがあった。
その結果、上述した対称性が崩れてしまい、均質化のために熱処理を行う必要等が出てくるため、余計な工程や時間がかかり生産性の低下を招いていた。また、シリカガラスの表面部分が内部に取り込まれてしまうため、表面の汚れや付着物等が除去できなくなり、品質の低下を招く虞があった。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、軸芯を保持して高品質なシリカガラスを成形することができるシリカガラスの加熱成形装置および加熱成形方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決することができる本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置は、柱形状のシリカガラスが収納されるカーボン容器と、該カーボン容器が設置される加熱炉と、を備え、該カーボン容器内で前記シリカガラスを拡径加工するシリカガラスの加熱成形装置であって、底面で前記シリカガラス上部に当接し、側面は前記カーボン容器内面と摺動し、前記拡径加工時に前記シリカガラスの軸芯が当初の位置からずれないようにしながら、かつ前記シリカガラスが倒れるのを防ぐ倒れ防止部材を備えていることを特徴としている。
【０００８】
このように構成されたシリカガラスの加熱成形装置によれば、シリカガラスは、真空加熱炉内で高温に加熱されて溶融しながら拡径加工される際に、倒れ防止部材によって軸芯がずれないように位置決めされる。
これにより、シリカガラスの加工中は軸芯が保持され、倒れを生じたり、座屈したりすることがなくなり、対称性を保持した高品質なシリカガラスを得ることができる。また、これによって、均質化のために熱処理を行う時間を最小限にでき、生産性の向上を図ることができる。
【０００９】
また、本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置は、前記倒れ防止部材がある高さ以下には下がらないようにするためのストッパ部材を備えていることが好ましい。
【００１０】
このように構成されたシリカガラスの加熱成形装置によれば、シリカガラスに当接している倒れ防止部材は、設定位置まで下降してきた際に、ストッパ部材に当たって下降が停止される。この停止位置は、シリカガラスの軸芯が倒れを生じない状態まで潰れたときに、倒れ防止部材がシリカガラスから離れる位置である。したがって、シリカガラスに対する倒れ防止部材の過度の干渉を抑えて、例えば、倒れ防止部材がシリカガラスにめり込んだ状態のまま固まるようなことを確実に防止することができる。
【００１１】
また、本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置は、前記倒れ防止部材が、前記カーボン容器に内接する側板と、前記シリカガラスの上端面に当接し、前記シリカガラスの上端面より大きい天板と、該天板の周縁部と前記側板の下端縁部とを接続する傾斜板と、を備えていることが好ましい。
【００１２】
このように構成されたシリカガラスの加熱成形装置によれば、シリカガラスが倒れを生じた場合でも、傾斜板の傾斜によりシリカガラスがさらに倒れるのを防止することができる。
【００１３】
また、本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置は、前記倒れ防止部材が、前記シリカガラスの上端面に中央部が当接する天板と、該天板の周縁から下方に延設され、前記カーボン容器に内接する側板と、前記天板の中央部下面に前記シリカガラスの上端部側面に当接する３本以上のガイドピンと、を備えていることが好ましい。
【００１４】
このように構成されたシリカガラスの加熱成形装置によれば、シリカガラスが倒れを生じていた場合でも、３本以上のガイドピンによりシリカガラスの軸芯を保持しているので、正規の位置に修正することができる。
【００１５】
また、本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置は、前記倒れ防止部材が前記シリカガラスに荷重をかける錘部材を備え、かつ前記倒れ防止部材が前記ストッパ部材に当接して下降を停止した時点で、前記ガイドピンが前記シリカガラスから外れ始めるとともに、前記錘部材は荷重を掛け続けることが好ましい。
【００１６】
このように構成されたシリカガラスの加熱成形装置によれば、シリカガラスを加工するための荷重を錘部材により設定することにより、より短時間でシリカガラスを潰すことができる。また、倒れ防止部材がストッパ部材に当接して下降が停止することで、ガイドピンがシリカガラスから外れ始めるとともに、錘部材は荷重を掛け続ける。これにより、シリカガラスに対する倒れ防止部材の過度の干渉を抑えて、一層高品質なシリカガラスを得ることができる。
【００１７】
また、上記課題を解決することができる本発明に係るシリカガラスの加熱成形方法は、カーボン容器内に収納した柱形状のシリカガラス上部に倒れ防止部材の底面を当接させ、前記倒れ防止部材の側面は前記カーボン容器内面と摺動するようにし、該カーボン容器を加熱炉内に設置し、該倒れ防止部材により前記シリカガラスの軸芯が当初の位置からずれないようにしながら、かつ前記シリカガラスが倒れないようにして、該シリカガラスの拡径加工を行うことを特徴としている。
【００１８】
このように構成されたシリカガラスの加熱成形方法によれば、真空加熱炉内で高温に加熱して溶融しながらシリカガラスを拡径加工させる際に、シリカガラスは倒れ防止部材によって軸芯を位置決めされながら加工が行われる。
これにより、シリカガラスの加工中は軸芯を保持するため、倒れたり座屈したりする可能性が低くなり、対称性を保持した高品質なシリカガラスを成形することができる。また、これによって、均質化のために熱処理を行う時間を最小限にでき、生産性の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法によれば、シリカガラスの加工中は倒れ防止部材によって軸芯を保持するため、倒れたり座屈したりする可能性が低くなり、対称性を保持した高品質なシリカガラスを成形することができる。また、これによって、均質化のために熱処理を行う時間を最小限にでき、生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシリカガラスの加熱成形方法を適用する加熱成形装置を示し、（ａ）は加熱成形前の断面図、（ｂ）は加熱成形中の断面図、（ｃ）は加熱成形後の断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係るシリカガラスの加熱成形方法を適用する加熱成形装置を示し、（ａ）は加熱成形前の断面図、（ｂ）は加熱成形中の断面図、（ｃ）は加熱成形後の断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係るシリカガラスの加熱成形方法を適用する加熱成形装置を示し、（ａ）は加熱成形前の断面図、（ｂ）は加熱成形中の断面図、（ｃ）は加熱成形後の断面図である。
【図４】従来のシリカガラスの加熱成形装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図を参照して本発明の複数の好適な実施形態を説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係るシリカガラスの加熱成形装置を示し、（ａ）は加熱成形前の断面図、（ｂ）は加熱成形中の断面図、（ｃ）は加熱成形後の断面図である。
【００２３】
本発明の第１実施形態であるシリカガラスの加熱成形装置１０は、シリカガラス母材１を収納するカーボン容器１１と、シリカガラス母材１をカーボン容器１１内で溶融させて加工させる真空加熱炉１２と、を備えている。さらに、加熱成形装置１０は、シリカガラス母材１の上部に載置されるとともに、カーボン容器１１内に収納される倒れ防止部材１３と、カーボン容器１１の底部に載置されるストッパ部材１４と、を備えている。
【００２４】
図１（ａ）に示すように、シリカガラス母材１は、例えば、高さ寸法Ｌ１が３５０ｍｍ、外径寸法Ｄ１が１６０ｍｍの円柱形状である。  
【００２５】
本実施形態に使用して好適なシリカガラス母材１の望ましい寸法は、シリカガラス母材１の高さ寸法Ｌ１と外径寸法Ｄ１との関係が、２≦Ｌ1／Ｄ1≦１０であることである。これに当てはまるシリカガラス母材１を加工することで、より顕著な効果が現れる。
なお、Ｌ1／Ｄ1が２以下である場合は、倒れ防止部材１３がなくてもシリカガラス母材１の倒れる可能性は低く、Ｌ1／Ｄ1が１０以上である場合は、倒れ防止部材１３があってもシリカガラス母材１が座屈等により倒れてしまう可能性が高くなる。
【００２６】
カーボン容器１１は、カーボン材料を用いて有底の円筒形状に形成されており、周板１５と底板１６とを有している。なお、このカーボン容器１１は、灰分が１０ｗｔｐｐｍ以下の高純度品が望ましい。灰分の量が多いと、シリカガラス母材１に対して、カーボン容器１１や倒れ防止部材１３のカーボン部品に含まれる不純物が浸透してしまう。したがって、後工程で、シリカガラス成形体２の表面を削る等して不純物を除去する必要が発生してしまう。
また、真空加熱炉１２は、その中にカーボン容器１１を設置してカーボン容器１１を加熱させるための不図示のヒータを備えている。
【００２７】
倒れ防止部材１３は、カーボン容器１１と同様にカーボン材料を用いて略蓋状に形成されている。この倒れ防止部材１３は、カーボン容器１１に内接する円筒状の側板１７と、側板１７の内側の中心位置に配置され、シリカガラス母材１の上端面に当接し、該シリカガラス母材１の上端面より大きい天板１８と、側板１７の下端縁部と天板１８の周縁部とを接続する傾斜板１９と、を有している。
側板１７の形成する外径は、カーボン容器１１の周板１５の内径よりも僅かに小さい。また、天板１８の外径は、シリカガラス母材１の上端面の外径寸法Ｄ１より０．１ｍｍから４ｍｍ程度大きく設定されている。
【００２８】
ストッパ部材１４は、円筒状に形成されており、カーボン容器１１の底板１６上で周板１５に内接するように組み付けられている。このストッパ部材１４は、倒れ防止部材１３の下降を規制するために、設定された高さ寸法Ｌ３を有している。
【００２９】
次に、図１（ａ）〜（ｃ）を参照して、第１実施形態のシリカガラスの加熱成形装置１０を適用した加熱成形方法について説明する。
先ず、シリカガラス母材１がカーボン容器１１の底板１６の中央に載置され、このシリカガラス母材１の上端面３に倒れ防止部材１３が組み付けられる。その後、カーボン容器１１が真空加熱炉１２内に収納される。これにより、倒れ防止部材１３の天板１８がシリカガラス母材１の上端面３に当接されることで、シリカガラス母材１の軸芯Ａｘは保持される（図１（ａ）参照）。
【００３０】
次に、真空加熱炉１２のヒータを駆動して１８００℃で１時間保持した後に、ヒータを停止して１２００℃まで急冷し、１時間保持してから、再度プログラム運転により０．５℃／分の速度で１０００℃まで降温する。これにより、シリカガラス母材１は、その上端面３を倒れ防止部材１３の天板１８に当接したままの状態で、自らの自重で拡径しながら潰れていく（図１（ｂ）参照）。
【００３１】
このとき、天板１８をシリカガラス母材１の上端面３に当接している倒れ防止部材１３は、シリカガラス母材１の潰れ量に応じて下降する。そして、ストッパ部材１４の高さ寸法Ｌ３の位置（下降停止位置）で、倒れ防止部材１３の下端がストッパ部材１４の上端に当接することで、倒れ防止部材１３の下降がストップする。この間、倒れ防止部材１３は、シリカガラス母材１が傾斜面１９側に倒れる力が生じる場合でも、シリカガラス母材１が倒れるのを防止する。
なお、ストッパ部材１４の必要とする高さは、処理するガラスサイズや粘度などにより変わるため、個々の処理するシリカガラス母材に対応させて、最適に設定する必要がある。
【００３２】
次に、シリカガラス母材１は、高温下で潰れ続けながら拡径した後に冷却され、例えば、高さ寸法Ｌ２が９６ｍｍ、外径寸法Ｄ２が３０５ｍｍのシリカガラス成形体２に成形される（図１（ｃ）参照）。  
【００３３】
以上説明したように、本発明の第１実施形態のシリカガラスの加熱成形装置１０によれば、シリカガラス母材１は、真空加熱炉１２内で高温に加熱されて溶融しながら加工される際に、倒れ防止部材１３により軸芯Ａｘが位置決めされる。これにより、シリカガラス母材１の加工中は軸芯Ａｘを保持するため、倒れたり座屈したりする可能性が低くなり、対称性を保持した高品質なシリカガラス成形体２を得ることができる。また、これによって、均質化のために熱処理を行う時間を最小限にでき、生産性の向上を図ることができる。
【００３４】
また、シリカガラス母材１に当接している倒れ防止部材１３は、停止位置Ｈまで下降した際に、ストッパ部材１４に当接して下降がストップする。
この停止位置は、シリカガラス母材１の軸芯が倒れを生じない状態まで潰れたときに、倒れ防止部材１３がシリカガラス母材１から離れる位置である。したがって、シリカガラス母材１に対する倒れ防止部材１３の過度の干渉を抑えることができる。これにより、例えば、倒れ防止部材１３がシリカガラス母材１にめり込んだ状態のまま固まるようなことを確実に防止できる。
【００３５】
また、本発明の第１実施形態のシリカガラスの加熱成形方法によれば、真空加熱炉１２内で高温に加熱して溶融しながらシリカガラス母材１を加工させる際に、カーボン容器１１内に収納したシリカガラス母材１上部に倒れ防止部材１３を当接させ、該カーボン容器１１を加熱炉１２内に設置する。そして、倒れ防止部材１３によりシリカガラス母材１の軸芯Ａｘが当初の位置からずれないようにしながら、かつシリカガラス母材１が倒れないようにして、シリカガラス母材１の加熱加工が行われる。
これにより、シリカガラス母材１の加工中は軸芯Ａｘを保持するため、倒れたり座屈したりする可能性が低くなり、対称性を保持した高品質なシリカガラス成形体２を成形することができる。また、これによって、均質化のために熱処理を行う時間を最小限にでき、生産性の向上を図ることができる。
【００３６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態のシリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法について説明する。図２は本発明の第２実施形態に係るシリカガラスの加熱成形方法を適用する加熱成形装置を示し、（ａ）は加熱成形前の断面図、（ｂ）は加熱成形中の断面図、（ｃ）は加熱成形後の断面図である。なお、以下の各実施形態において、上述した第１実施形態と重複する構成要素や機能的に同様な構成要素については、図中同一符号を付することによって説明を簡略化あるいは省略する。
【００３７】
図２（ａ）に示すように、本発明の第２実施形態のシリカガラスの加熱成形装置２０は、３本のガイドピン２２を有する倒れ防止部材２１を使用している。
【００３８】
倒れ防止部材２１は、中央部がシリカガラス母材１の上端面３に当接する天板２４と、該天板２４周縁から下方に延設された側板２３とを有している。ガイドピン２２は、天板２４の下面の中央部に、シリカガラス母材１の外径寸法よりも僅かに大きい内径寸法を形成するように円周方向に略等間隔に一体成形され、シリカガラス母材１の上端側面に当接する。なお、ガイドピン２２は、別部品として倒れ防止部材２１に組み付けられても良い。
【００３９】
次に、図２（ａ）〜（ｃ）を参照して、第２実施形態の加熱成形装置２０を適用したシリカガラスの加熱成形方法について説明する。
【００４０】
先ず、カーボン容器１１の底板１６の中央にシリカガラス母材１を載置し、このシリカガラス母材１の上端面３に倒れ防止部材２１のガイドピン２２を組み付ける。そして、カーボン容器１１を真空加熱炉１２内に収納する（図２（ａ）参照）。これにより、倒れ防止部材２１は、そのガイドピン２２によりシリカガラス母材１の軸芯Ａｘを位置決めする。
【００４１】
次に、真空加熱炉１２のヒータを駆動して加熱した後に降温させる。これにより、シリカガラス母材１は、その上端面３をガイドピン２２に保持された状態で、自らの自重で拡径しながら潰れていく（図２（ｂ）参照）。
【００４２】
このとき、倒れ防止部材２１は、シリカガラス母材１の潰れ量に応じて下降する。そして、ストッパ部材１４の高さ寸法Ｌ３の位置（下降停止位置Ｈ）で、ストッパ部材１４の上端に当接することで、倒れ防止部材２１の下降がストップする（図２（ｃ）参照）。この間、倒れ防止部材２１は、シリカガラス母材１に倒れる力が生じていた場合でも、ガイドピン２２によってシリカガラス母材１の軸芯Ａｘを保持しているので、シリカガラス母材１が倒れるのを防止することができる。
【００４３】
次に、シリカガラス母材１は、高温下で潰れ続けながら拡径した後に冷却されることで、設定寸法のシリカガラス成形体２に成形される。
【００４４】
以上説明したように、本発明の第２実施形態のシリカガラスの加熱成形装置２０及び加熱成形方法によれば、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。特に、本実施形態によれば、倒れ防止部材２１を簡易な構成で作成できるため、工数およびコストの削減を図ることができる。
【００４５】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態のシリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法について説明する。図３は本発明の第３実施形態に係るシリカガラスの加熱成形方法を適用する加熱成形装置を示し、（ａ）は加熱成形前の断面図、（ｂ）は加熱成形中の断面図、（ｃ）は加熱成形後の断面図である。
【００４６】
図３（ａ）に示すように、本発明の第３実施形態のシリカガラスの加熱成形装置３０は、３本のガイドピン３２を有する倒れ防止部材３１と、錘部材３３とを備えている。
【００４７】
倒れ防止部材３１は、側板３４と底板３５とを有している。そして、ガイドピン３２は、底板３５の下面の中央部に、シリカガラス母材１の外径寸法よりも僅かに大きい内径寸法を形成するように円周方向に略等間隔に一体成形されている。
また、錘部材３３は、予め設定された重量を有し、ガイドピン３２に対応した貫通孔３６を有する円板形状に形成されている。この錘部材３３は、ガイドピン３２が貫通孔３６を貫通することで、倒れ防止部材３１の底板３５下部に配置され、ガイドピン３２に沿って上下方向に移動可能なように組み付けられている。
【００４８】
次に、図３（ａ）〜（ｃ）を参照して、第３実施形態のシリカガラスの加熱成形装置３０を適用したシリカガラスの加熱成形方法について説明する。
【００４９】
先ず、カーボン容器１１の底板１６の中央にシリカガラス母材１が載置される。そして、このシリカガラス母材１の上端面３に、倒れ防止部材３１のガイドピン３２を組み付ける。このとき、錘部材３３はガイドピン３２が貫通孔３６を貫通した状態で倒れ防止部材３１の底板３５下部に当接し、錘部材３３下面の中心部は、シリカガラス母材１の上端面３に当接している。
次に、カーボン容器１１を真空加熱炉１２内に収納する（図３（ａ）参照）。倒れ防止部材３１は、ガイドピン３２によりシリカガラス母材１の軸芯Ａｘを位置決めし、錘部材３３は、シリカガラス母材１に設定された荷重を付加している。
【００５０】
次に、真空加熱炉１２のヒータを駆動して加熱した後に降温させる。これにより、シリカガラス母材１は、その上端面３がガイドピン３２に保持された状態で、錘部材３３の荷重で加圧され、拡径しながら潰れていく（図３（ｂ）参照）。
【００５１】
このとき、倒れ防止部材３１は、シリカガラス母材１の潰れ量に応じて下降する。そして、ストッパ部材１４の高さ寸法Ｌ３の位置（下降停止位置Ｈ）で、ストッパ部材１４の上端に当接して下降を停止する（図３（ｃ）参照）。この間、倒れ防止部材３１は、シリカガラス母材１に倒れる力が生じていた場合でも、ガイドピン３２によってシリカガラス母材１の軸芯Ａｘを保持しているので、シリカガラス母材１が倒れるのを防止することができる。また、錘部材３３は、シリカガラス母材１の上部に当接したまま、倒れ防止部材３１のガイドピン３２に沿って下降し続け、シリカガラス母材１を加圧し続ける。
【００５２】
倒れ防止部材３１がストッパ部材１４により停止した後は、ガイドピン３２がシリカガラス母材１から外れ始めるとともに、錘部材３３はシリカガラス母材１の上部に当接したまま加圧を続ける。このようにしてシリカガラス母材１は潰れ続け、設定寸法まで拡径した後に冷却されることで、シリカガラス成形体２が成形される。
【００５３】
以上説明したように、本発明の第３実施形態のシリカガラスの加熱成形装置３０及び加熱成形方法によれば、シリカガラス母材１を拡径するための荷重を錘部材３３により設定する。これにより、短時間でシリカガラス母材１を潰すことができ、効率良くシリカガラス成形体２を成形することができる。
【００５４】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が自在である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置場所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【符号の説明】
【００５５】
１０，２０，３０  加熱成形装置
１１    カーボン容器
１２    真空加熱炉
１３，２１，３１  倒れ防止部材
１４    ストッパ部材
３３    錘部材
【図１】
2010189231.tif 000003
【図２】
2010189231.tif 000004
【図３】
2010189231.tif 000005
【図４】
2010189231.tif 000006