(57)【要約】【課題】高温での応力緩和性および気密性が共に優れたフッ素樹脂シートを提供すること。【解決手段】フッ素樹脂と充填材とを質量比で３０〜５０：７０〜５０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂層またはその積層体からなる内層と、該内層の両面に形成された、フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂からなる外層とからなることを特徴とするフッ素樹脂シート。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素樹脂と充填材とを質量比で３０〜５０：７０〜５０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂層またはその積層体からなる内層と、
該内層の両面に形成された、フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂からなる外層と
からなることを特徴とするフッ素樹脂シート。
【請求項２】
フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含む外層用押出成形体と、
一つまたは複数の、フッ素樹脂と充填材とを質量比で３０〜５０：７０〜５０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含む内層用押出成形体と、
フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含む外層用押出成形体と
をこの順序で積層して圧延用積層体を形成し、
前記圧延用積層体を圧延する
ことを特徴とするフッ素樹脂シートの製造方法。
【請求項３】
前記の各押出成形体を、隣接し合う前記押出成形体間で、押出成形の際の押出方向同士がなす角が８０〜９０°となるように積層して前記圧延用積層体を形成する
ことを特徴とする請求項２に記載のフッ素樹脂シートの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の製造方法によって製造されたフッ素樹脂シート。
【請求項５】
請求項１または４に記載のフッ素樹脂シートからなるガスケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素樹脂シート、その製造方法およびガスケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
充填材入りフッ素樹脂シートは、フッ素樹脂に充填材を充填してシート状に加工したものであり、フッ素樹脂の持つ耐薬品性、耐熱性に加えて、充填材の持つ固有の機能・特性を付加し、あるいはフッ素樹脂の欠点である耐クリープ性を改善することにより、シール材等に多く用いられている。
【０００３】
シール材としては、フッ素樹脂に金属、黒鉛、無機充填材等を充填させてクリープ特性等を向上させたものがあり、シート状ガスケット等に使用されている。
充填材入りフッ素樹脂シートに関して、たとえば米国特許第３３１５０２０号明細書（特許文献１）には、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）と充填材と加工助剤との混合物を押出成形した後に１対の圧延ロールを一度、あるいは複数度通過させ圧延して長尺シートを得る技術が開示されている。
【０００４】
一方、特開平１１−８０７０５号公報（特許文献２）には、ノードと該ノードを連結するフィブリルとからなる特定の二軸延伸多孔質ＰＴＦＥフィルムを積層した積層シートからなるガスケット材料が開示されており、これらのＰＴＦＥフィルム間に、より剛性が高く、ＰＴＦＥと同程度以上の耐熱性を有する材料（焼結ＰＴＦＥ、多孔質でないＰＴＦＥなど）からなる補強層を有していても良いことが記載されている（［００２６］など）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第３３１５０２０号明細書
【特許文献２】特開平１１−８０７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示の技術により得られた長尺シートを打ち抜いてガスケットを製造しようとしても、応力緩和性および気密性が共に優れたガスケットが得られないという問題があった。
【０００７】
また、特許文献２に記載された、特定の二軸延伸多孔質ＰＴＦＥフィルムと剛性の高い補強層（焼結ＰＴＦＥ、多孔質でないＰＴＦＥなど）とからなるガスケット材料には、ＰＴＦＥフィルムが延伸方式で製造される故に、充填材を配合することができず、そのため高温で使用する場合の応力緩和率を低減できないという問題があった。
【０００８】
上記のような問題点に鑑みてなされた本発明は、高温での応力緩和性および気密性が共に優れたフッ素樹脂シートおよびその製造方法、ならびに高温での応力緩和性および気密性が共に優れたガスケットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のフッ素樹脂シートは、
フッ素樹脂と充填材とを質量比で３０〜５０：７０〜５０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂層またはその積層体からなる内層と、
該内層の両面に形成された、フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂からなる外層と
からなることを特徴としている。
【００１０】
本発明のフッ素樹脂シートの製造方法は、
フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含む外層用押出成形体と、
一つまたは複数の、フッ素樹脂と充填材とを質量比で３０〜５０：７０〜５０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含む内層用押出成形体と、
フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含む外層用押出成形体と
をこの順序で積層して圧延用積層体を形成し、
前記圧延用積層体を圧延する
ことを特徴としている。
【００１１】
前記圧延用積層体は、前記の各押出成形体を、隣接し合う前記押出成形体間で、押出成形の際の押出方向同士がなす角が８０〜９０°となるように積層して形成することが好ましい。
【００１２】
本発明のフッ素樹脂シートは、好ましくは、本発明のフッ素樹脂シートの製造方法によって製造される。
本発明のガスケットは、本発明のフッ素樹脂シートからなる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のフッ素樹脂シートは、高温での応力緩和性および気密性に優れる。
本発明のフッ素樹脂シートの製造方法によれば、高温での応力緩和性および気密性に優れたフッ素樹脂シートを製造することができる。
本発明のガスケットは、高温での応力緩和性および気密性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明のフッ素樹脂シートの一態様の概略断面図である。
【図２】図２は、本発明のフッ素樹脂シートの一態様の概略断面図である。
【図３】図３は、本発明のフッ素樹脂シートの一態様の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［フッ素樹脂シートおよびその製造方法］
以下、図面を参酌しながら本発明を説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明のフッ素樹脂シートの概略断面図である。
【００１６】
本発明のフッ素樹脂シート１０は、内層１と、該内層１の両面に形成された、外層３とからなる。
内層１は、図１に示すように１つの圧延フッ素樹脂層２であってもよく、図２に示すように複数の圧延フッ素樹脂層２からなる積層体であってもよい。外層３は圧延フッ素樹脂層４からなる。なお、本発明においては、内層に用いられる圧延フッ素樹脂層２と外層に用いられる圧延フッ素樹脂層４とを、区別せずに「圧延フッ素樹脂層」ともいう。
【００１７】
＜内層＞
前記内層１を構成する前記圧延フッ素樹脂層２は、フッ素樹脂および充填材を含んでいる。
前記フッ素樹脂としては、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、変性ＰＴＦＥ、フッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）、四フッ化エチレン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ）、三フッ化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレンエチレン共重合樹脂（ＦＥＰ）および四フッ化エチレン−パーフロロアルキル共重合樹脂（ＰＦＡ）などが挙げられる。これらの中でも、押出成形、圧延などを行う際の加工性の面で、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）が好ましく、乳化重合によって得られたＰＴＦＥが特に好ましい。
【００１８】
前記フッ素樹脂としてＰＴＦＥが用いられる場合には、前記フッ素樹脂に上述したＰＴＦＥ以外のフッ素樹脂が、少量、たとえば１０質量％（フッ素樹脂の合計量を１００質量％とする。）以下の量で含まれていても良い。
【００１９】
前記フッ素樹脂としては、粉末状のものをそのまま用いても良く、水にフッ樹脂微粒子を分散させたディスパージョンを用い、これを充填材と混合した後に水を除去しても良い。
【００２０】
前記充填材としては、目的に応じて、黒鉛、カーボンブラック、膨張黒鉛、活性炭、カーボンナノチューブ等の炭素系充填材；タルク、マイカ、クレー、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム、等の無機充填材；またはＰＰＳ等の樹脂の粉体；
等が用いられる。また、炭素繊維、アラミド繊維、ロックウール等からなる繊維材長１０ｍｍ以下の繊維材を充填材として用いても良い。
前記フッ素樹脂と前記充填材との質量比（フッ素樹脂：充填材）は、３０〜５０：７０〜５０、好ましくは３５〜５０：６５〜５０である（ただし、両者の合計は１００である。）。質量比がこの範囲にある圧延フッ素樹脂層２またはその積層体からなる内層１を備えたフッ素樹脂シート１０は、高温での応力緩和性に優れる。
【００２１】
前記圧延フッ素樹脂層２は、本質的には、上記したフッ素樹脂および充填材のみからなる。
圧延フッ素樹脂層２の数の上限値は、通常１０程度である。
【００２２】
＜外層＞
前記外層３を構成する圧延フッ素樹脂層４は、フッ素樹脂を含んでいる。このフッ素樹脂の具体例としては、上述した、内層用の圧延フッ素樹脂層２に用いられるフッ素樹脂が挙げられる。
【００２３】
また、圧延フッ素樹脂層４は、上述した充填材をさらに含んでいてもよいが、この場合、前記充填材の配合量は、前記外層３が前記内層１よりも軟質になるように調整され、前記フッ素樹脂と前記充填材との質量比（フッ素樹脂：充填材）は、６０〜１００：４０〜０、好ましくは６５〜９０：３５〜１０である（ただし、両者の合計は１００である。）。質量比がこの範囲にある外層３を備えたフッ素樹脂シート１０は、気密性に優れる。
【００２４】
［フッ素樹脂シートの製造方法］
一般的な充填材入りフッ素樹脂シートの圧延方式による製造方法は、撹拌工程、予備成形工程、圧延工程、乾燥工程、焼成工程をこの順序で含んでいる。
【００２５】
本発明のフッ素樹脂シート１０の製造方法は、予備成形工程において外層用押出成形体１４と、一つまたは複数の内層用押出成形体１２と、外層用押出成形体１４とをこの順序で積層して圧延用積層体１５を形成し、圧延工程において前記圧延用積層体１５を圧延することにより、フッ素樹脂シート１０を得ることを特徴としている。
【００２６】
＜撹拌工程＞
撹拌工程では、フッ素樹脂、充填材、加工助剤を任意の順序で一度に、あるいは少量ずつ複数回に分けて容器内に添加し、撹拌、混合などを行うことにより、押出成形体用樹脂組成物を調製できる。撹拌効率が悪い場合には、加工助剤を多く添加し、撹拌終了後に余分な加工助剤を濾過により除去しても良い。
【００２７】
前記フッ素樹脂および前記充填材の種類および配合割合は、製造しようとするフッ素樹脂シート１０の内層用圧延フッ素樹脂層２の構成および外層用圧延フッ素樹脂層４の構成にそれぞれ対応するように、適宜決定すれば良い。
【００２８】
前記加工助剤としては、従来公知の加工助剤、たとえば、石油系炭化水素溶剤、アルコール類、水などが挙げられる。石油系炭化水素溶剤としては、市販品であれば、アイソパーＣ、アイソパーＧ、アイソパーＭ（エクソンモービル（有））などが挙げられる。
【００２９】
＜予備成形工程＞
本発明のフッ素樹脂シート１０の製造方法では、予備成形工程において、前記押出成形体用樹脂組成物を押出成形することにより、前記内層用押出成形体１２および前記外層用押出成形体１４をそれぞれ形成し、次いで、これらを所望のフッ素樹脂シートに対応するように、すなわち、前記外層用押出成形体１４と、一つまたは複数の前記内層用押出成形体１２と、前記外層用押出成形体１４とをこの順序で積層し、延伸用積層体１５を形成する。
【００３０】
押出成形には、従来公知の押出成形機を用いることができる。
押出成形の際には、必要により、含まれる加工助剤などがあまり揮散しないような温度で加熱（例：３０〜８０℃）してもよい。
【００３１】
押出成形体（プレフォーム）の形状は、特に限定されないが、その後のシート形成の効率、シート性状の均質性などを考慮すると、ロッド状またはリボン状が望ましい。
前記圧延用積層体１５を形成する際には、前記の各押出成形体を、押出成形の際の押出方向が交互に異なる向きになるように積層することが好ましい。具体的には、隣接し合う前記押出成形体間で、押出成形の際の押出方向同士がなす角（大きくない方の角）が約８０°〜９０°となるように積層することが好ましい。
【００３２】
このような、前記の各押出成形体を、押出成形の際の押出方向が交互に異なる向きになるように積層してなる圧延用積層体１５を延伸して製造されるフッ素樹脂シートは、応力緩和性および気密性に特に優れている。
【００３３】
前記押出方向同士がなす角は、より好ましくは８５〜９０°であり、さらに好ましくは直角（９０°）である。前記押出方向同士がなす角が、図３に示すように直角であることは、フッ素樹脂シートの製造容易性の観点からも好ましい。なお、図３中の矢印は、各押出成形体の押出方向（およびその反対方向）を示す。
【００３４】
圧延用積層体１５を形成に用いられる内層用押出成形体１２が１つであれば、圧延用積層体１５の形成をより簡素化できる。一方、内層用押出成形体１２を複数用いれば、各内層用押出成形体１２を、その押出成形の際の押出方向が交互に異なる向きになるように積層することが可能となり、こうすることで製造されるフッ素樹脂シートの応力緩和性および気密性をより向上させることが可能となる。
【００３５】
＜圧延工程＞
予備成形工程に続く圧延工程では、前記圧延用積層体１５を二軸ロールに代表される圧延ロール間を通過させてシート状に圧延、成形する。
【００３６】
圧延用押出成形体として前記圧延用積層体１５を用いることによって、少数回（３〜５回程度）の圧延により、応力緩和性および気密性に優れたフッ素樹脂シート１０を製造することができる。
【００３７】
二軸ロールにより圧延用積層体１５を圧延してシート形成する際には、たとえばロール間距離を１．５〜３０ｍｍにセットし、ロール表面移動速度（シート押出速度）を５〜５０ｍｍ／秒として圧延用積層体１５を圧延すればよい。このような圧延工程は、通常、常温で行われるが、３０〜２００℃程度の加熱下に行うこともできる。
【００３８】
＜乾燥工程＞
乾燥工程では、前記の圧延されたシートを常温で放置するか、フッ素樹脂の融点以下の温度で加熱することにより、加工助剤を除去する。
【００３９】
＜焼成工程＞
焼成工程では、乾燥後シートをフッ素樹脂の融点以上の温度で加熱、焼結させる。加熱温度としては、シート全体を均一に焼成する必要があることと、過度の高温ではフッ素系有害ガスが発生することとを考慮すると、フッ素樹脂の種類によっても多少異なるが、たとえば３４０〜３７０℃が適当である。
【００４０】
このような本発明の製造方法によれば、上記のように構成された本発明のフッ素樹脂シート１０は、応力緩和性と気密性とが共に高い、上記のフッ素樹脂シートを製造することができる。
【００４１】
［フッ素樹脂シート］
本発明のフッ素樹脂シート１０は、前記内層１と、該内層１の両面に形成された、前記外層３とからなり、上述の製造方法によって製造することができる。
【００４２】
このように構成された本発明のフッ素樹脂シート１０は、応力緩和性と気密性とが共に優れており、具体的には、２００℃応力緩和率（JIS R3453に準拠、加熱温度のみ１００℃から２００℃に変更）、および該シートから作成したφ48mm×φ67mm×厚さ1.5mmガスケット試験片に対して、面圧19.6MPa（200kgf/cm2G）、窒素ガス内圧0.98MPa（1.0kgf/cm2G）として気密試験を行った場合の漏洩量が、それぞれ、通常は５５％以下かつ5×10-4Pa・m3/s以下、好ましくは５０％以下かつ1.7×10-4Pa・m3/s以下であり、応力緩和率の下限値は３０％程度、漏洩量の下限値は1.7×10-5Pa・m3/程度である。
【００４３】
前記内層１および前記外層３の厚さの比（内層：外層）は、好ましくは３〜１０：１、より好ましくは４〜８：１である。
前記フッ素樹脂シート１０の厚さは、その用途に応じて適宜設定すれば良い。
【００４４】
本発明のフッ素樹脂シートは、応力緩和性と気密性とが共に優れているので、ガスケットに用いることができ、特に高温下（たとえば２００℃以上）で使用されるガスケット材として好ましい。
【００４５】
［ガスケット］
本発明のガスケットは、上述した本発明のフッ素樹脂シートからなる。
このため、本発明のガスケットは、応力緩和性と気密性とが共に優れている。また、本発明のガスケットは、本発明のフッ素樹脂シートを所望の形状に切り抜くことにより容易に製造できる。
【実施例】
【００４６】
以下、本発明の製造方法を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
＜試験方法＞
厚さ1.5mmのシートから試験片を作成し、以下のように気密性および引張強度を測定した。
【００４７】
漏洩量（気密性）；
φ48mm×φ67mmの寸法に打ち抜いたガスケット試験片を、φ100ｍｍ×高さ50ｍｍ、表面粗さＲmax=12μｍの鋼フランジ間に装着し、圧縮試験機により面圧19.6MPa（200kgf/cm2G）となるよう荷重を負荷した。フランジに設けられた圧力導入用の貫通孔からガスケット内径側に窒素ガス内圧0.98MPa（1.0kgf/cm2G）を負荷した後圧力導入配管を封じ、１時間保持した。保持前後の圧力変化を圧力センサで読み取り、圧力降下から漏洩量を求めた。
【００４８】
応力緩和性；
厚さ1.5mmのシートから試験片を作成し、この試験片について、加熱温度を１００℃から２００℃に変更した点を除いてJIS R3453に準拠して、応力緩和性を測定した。
【００４９】
［実施例１］
＜充填材入りフッ素樹脂層１の作成＞
テフロン（登録商標）６−Ｊ（ＰＴＦＥファインパウダー、三井デュポンフロロケミカル（株）製）３．３ｋｇ、
ＮＮカオリンクレー（クレー、竹原化学工業（株）製）５．０ｋｇ、および
アイソパーＭ（溶剤、エクソンモービル（有））１．７ｋｇ
をニーダーで５分間混合した後、室温（２５℃）で１６時間放置することにより熟成させ、フッ素樹脂と充填材とを４０：６０（質量比）の割合で含む、充填材入りフッ素樹脂層形成用組成物１を調製した。
【００５０】
この組成物を、室温（２５℃）で、口金３００ｍｍ×１５ｍｍの押出機で押出し、２つの充填材入りフッ素樹脂層１（３００ｍｍ×３００ｍｍ×１５ｍｍ、以下「プリフォーム１」ともいう。）を作成した。
【００５１】
＜充填材入りフッ素樹脂層１’の作成＞
前記充填材入りフッ素樹脂層形成用組成物１を、室温（２５℃）で、口金３００ｍｍ×３０ｍｍの押出機で押出し、２つの充填材入りフッ素樹脂層１’（３００ｍｍ×３００ｍｍ×３０ｍｍ、以下「プリフォーム１’」ともいう。）を作成した。
【００５２】
＜充填材入りフッ素樹脂層２の作成＞
テフロン（登録商標）６−Ｊ（ＰＴＦＥファインパウダー、三井デュポンフロロケミカル（株）製）５．８ｋｇ、
ＮＮカオリンクレー（クレー、竹原化学工業（株）製）２．５ｋｇ、および
アイソパーＭ（溶剤、エクソンモービル（有））１．７ｋｇ
をニーダーで５分間混合した後、室温（２５℃）で１６時間放置することにより熟成させ、フッ素樹脂と充填材とを７０：３０（質量比）の割合で含む、充填材入りフッ素樹脂層形成用組成物２を調製した。
【００５３】
この組成物を、室温（２５℃）で、口金３００ｍｍ×５ｍｍの押出機で押出し、２つの充填材入りフッ素樹脂層２（３００ｍｍ×３００ｍｍ×５ｍｍ、以下「プリフォーム２」ともいう。）を作成した。
【００５４】
＜フッ素樹脂シートの製造＞
上記のプリフォーム１および２を、
プリフォーム２／プリフォーム１／プリフォーム１／プリフォーム２
の順序で、かつ隣接するプリフォーム間での、押出成形の際の押出方向が直交するように積層し、積層体１を作成した。
【００５５】
この積層体１を、ロール径７００ｍｍ、ロール間隔３０ｍｍ、ロール速度６ｍ／分、ロール温度４０℃の条件下で二軸ロールにより圧延した。この圧延の直後に、得られたシートを、圧延方向を９０°変えて、ロール間隔を２０ｍｍとして再度圧延した。この圧延の直後に、得られたシートを、圧延方向を９０°変えて、ロール間隔を１０ｍｍとして再度圧延した。さらに、この圧延の直後に、得られたシートを、圧延方向を９０°変えて、ロール間隔を３ｍｍとして再度圧延した。最後に、この圧延の直後に、得られたシートを、圧延方向を９０°変えて、ロール間隔を１．５ｍｍとして再度圧延し、厚さ１．５ｍｍのシートが得られた。
【００５６】
このシートを室温（２５℃）で２４時間放置し溶剤を除去した後、電気炉内で３５０℃で３時間焼成し、フッ素樹脂シートからなるガスケット（シートガスケット）を得た。
このシートガスケットの応力緩和率（２００℃、ＪＩＳ  Ｒ３４５３準拠）は４４％、漏洩量（気密性）は１．３×１０-4Pa・m3/s（０．８ｃｃ／１０分）であった。
【００５７】
［実施例２］
積層体１に替えて、
プリフォーム２／プリフォーム１／プリフォーム１／プリフォーム２
の順序で、かつ隣接するプリフォーム間での押出方向が同一になるように積層してなる積層体を用いた以外は実施例１と同様の方法で、ガスケットを製造した。
このガスケットの応力緩和率（２００℃、ＪＩＳ  Ｒ３４５３準拠）は４７％、漏洩量（気密性）は２．０×１０-4Pa・m3/s（１．２ｃｃ／１０分）であった。
【００５８】
［実施例３］
積層体１に替えて、
プリフォーム２／プリフォーム１’／プリフォーム２
の順序で、かつ隣接するプリフォーム間での押出方向が同一になるように積層してなる積層体を用いた以外は実施例１と同様の方法で、ガスケットを製造した。
このガスケットの応力緩和率（２００℃、ＪＩＳ  Ｒ３４５３準拠）は４７％、漏洩量（気密性）は２．０×１０-4Pa・m3/s（１．２ｃｃ／１０分）であった。
【００５９】
［比較例１］
積層体１に替えて、
プリフォーム１／プリフォーム１／プリフォーム１／プリフォーム１
の順序で、かつ隣接するプリフォーム間での押出方向が直交するように積層してなる積層体２を用いた以外は実施例１と同様の方法で、ガスケットを製造した。
このガスケットの応力緩和率（２００℃、ＪＩＳ  Ｒ３４５３準拠）は４２％、漏洩量（気密性）は５．０×１０-3Pa・m3/s（３０ｃｃ／１０分）であった。
【００６０】
［比較例２］
積層体１に替えて、
プリフォーム２／プリフォーム２／プリフォーム２／プリフォーム２
の順序で、かつ隣接するプリフォーム間での押出方向が直交するように積層してなる積層体３を用いた以外は実施例１と同様の方法で、ガスケットを製造した。
このガスケットの応力緩和率（２００℃、ＪＩＳ  Ｒ３４５３準拠）は７８％、漏洩量（気密性）は１．２×１０-4Pa・m3/s（０．７ｃｃ／１０分）であった。
【００６１】
【表１】
2010241890.tif 000003
【符号の説明】
【００６２】
１・・・内層
２・・・圧延フッ素樹脂層
３・・・外層
４・・・圧延フッ素樹脂層
１０・・・フッ素樹脂シート
【図１】
2010241890.tif 000004
【図２】
2010241890.tif 000005
【図３】
2010241890.tif 000006