(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の搬入出過程を含めて、カセットが占める占有領域の低減が図られたカセットを提案する。【解決手段】基板収容ケースは、一方向に向けて複数のガラス基板を配列させた状態で収容可能とされ、ガラス基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、ケース本体に対して、ガラス基板の配列方向に移動可能に設けられると共に、開口部の領域Ｒ１を開閉可能なスライド蓋１３１と、領域Ｒ１に対して、隣り合う領域Ｒ２を開閉可能なスライド蓋１３２とを備え、スライド蓋１３２は、領域Ｒ２を閉塞する状態から、領域Ｒ１を閉塞するスライド蓋１３１に重なるように移動可能に設けられる。【選択図】図２
2010058802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に向けて複数の基板を配列させた状態で収容可能とされ、前記基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、
前記ケース本体に対して、前記基板の配列方向に移動可能に設けられると共に、前記開口部の第１領域を開閉可能な第１蓋部と、
前記ケース本体に対して、前記一方向に移動可能に設けられると共に、前記開口部の前記第１領域に対して、前記一方向に隣り合う第２領域を開閉可能な第２蓋部と、
を備え、
前記第２蓋部は、前記第２領域を閉塞する状態から、前記第１領域を閉塞する前記第１蓋部に重なるように移動可能に設けられた、基板収容ケース。
【請求項２】
前記第１蓋部は、前記第１領域を閉塞する状態から、前記第２領域を閉塞する前記第２蓋部と重なるように移動可能に設けられた、請求項１に記載の基板収容ケース。
【請求項３】
前記開口部は、前記ケース本体の周面に複数形成され、前記第１および第２蓋部は、各前記開口部ごとに設けられた、請求項１または請求項２に記載の基板収容ケース。
【請求項４】
一方向に向けて複数の基板を配列させた状態で収容可能な収容室が規定されると共に、前記基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、
前記開口部を閉塞するように前記ケース本体に設けられ、前記基板を搬入出可能な第１搬入出口が前記一方向に間隔をあけて複数形成された第１蓋部と、
前記第１蓋部に対して、前記収容室と反対側に位置するように前記ケース本体に設けられ、前記基板を搬入出可能な第２搬入出口が前記一方向に間隔をあけて複数形成された第２蓋部と、
を備え、
前記第１蓋部と前記第２蓋部とは、少なくとも一方が他方に対して相対的に、前記一方向に移動可能に設けられ、前記第１搬入出口と前記第２搬入出口とが配列することで、前記基板を搬入出可能な搬入出通路を規定する、基板収容ケース。
【請求項５】
前記第１蓋部は、前記ケース本体に固定され、
前記第２蓋部は、前記第１蓋部に対して、相対的に前記一方向に向けて移動可能に設けられた、請求項４に記載の基板収容ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収容ケースに関し、特に、複数の基板を搬入出可能な基板収容ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数のガラス基板を収容可能な基板収容ケースや基板搬送装置等が各種提案されている。
【０００３】
たとえば、特開２０００−７１４８号公報に記載されたガラス基板カセットは、収納されたガラス基板の端部を支持するよう構成されたガラス基板端部支持部と、ガラス基板の中央部を支持するよう構成された複数のガラス基板支持棒と、ガラス基板の出入を行なうと共に保存中のガラス基板をガラス基板カセット内に密閉するシャッタとを備えている。
【０００４】
このガラス基板カセットにおいては、ガラス基板支持棒およびガラス基板端部支持部によってガラス基板を端部および中央部にて支持することで、ガラス基板を保持する際に、ガラス基板に生じる撓みの低減が図られている。
【０００５】
特開平１１−２５１３９２号公報には、１つの側面が開放されたカセットと、当該カセットが載置され、カセット内に収容された基板を搬送する基板搬送装置とが記載されている。この基板搬送装置は、カセットが載置されるカセット載置部と、このカセット載置部にカセットが載置されたか否かを検知する検出センサと、カセットの開口部と対向し、上下方向に移動可能に設けられたシャッタと、シャッタを駆動するエアシリンダと、カセットから基板を取り出して搬送する基板搬送部とを備えている。
【０００６】
この基板搬送装置においては、カセットをカセット載置部に載置する際に、シャッタが閉状態となることで、人手が基板搬送部に誤って侵入し、人手と基板搬送部とが接触することを抑制している。
【０００７】
特開平１１−１４５２６９号公報に記載された密閉式基板用カセットは、開口部が形成された直方体状のカセット本体と、基板を支持する保持溝が形成されると共に、カセット内に対向配置された１対の支持部材と、カセット本体の開口部をスライド開閉自在且つ閉止時に密閉する蓋体とを備えている。そして、カセット本体には、蓋体を開放状態から閉止状態へ案内する上下方向のスライドレールが設けられている。
【０００８】
特開平１１−２０４６３０号公報に記載されたカセットは、開閉機構部を有するカバーを備えている。そして、開閉機構部は、カセットの上部板の開口面側の上部両端に取り付けられた回転支持軸を含み、カバーは回転支持軸に固着されている。これにより、カバーは、回転支持軸を中心に回転可能とされている。
【特許文献１】特開２０００−７１４８号公報
【特許文献２】特開平１１−２５１３９２号公報
【特許文献３】特開平１１−１４５２６９号公報
【特許文献４】特開平１１−２０４６３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特開２０００−７１４８号公報に記載されたガラス基板カセットにおいては、シャッタは、上下方向に移動可能に設けられており、基板カセットの上段に収容された基板を取り出す際に、シャッタはガラス基板カセットの上端面から大きく上方に突出した状態となる。
【００１０】
そして、ガラス基板カセットの上端面から大きく突出するシャッタと他の部材とが接触することを抑制するために、当該ガラス基板カセットを載置するカセット搬送装置等において、ガラス基板カセットの上方に位置する領域に部材を配置することができず、結果として、ガラス基板カセットの占有領域が大きくなる。これに伴い、当該ガラス基板カセットが登載される基板搬送装置が大型化する等の弊害が生じる。
【００１１】
さらに、シャッタの変位ストロークが大きいことから、当該シャッタを駆動する駆動装置も大型化するという問題が生じる。
【００１２】
特開平１１−２５１３９２号公報に記載されたカセットには、カセットの開口部を閉塞するための蓋部が設けられておらず、カセット内に異物が入り込み易くなっている。
【００１３】
さらに、特開平１１−２５１３９２号公報に記載された基板搬送装置は、基板搬送部が基板を搬入出する際には、シャッタをカセットから退避させ、基板の搬送が完了したときには、カセットの開口部を閉塞するようにシャッタを変位させている。
【００１４】
このため、この基板搬送装置においてもシャッタの変位領域は広く、結果として、シャッタを変位させる駆動装置が大型化し易く、基板搬送装置のコンパクト化が困難なものとなっている。
【００１５】
特開平１１−１４５２６９号公報に記載された密閉式基板用カセットにおいても、カセット本体の開口部を開放する際には、蓋体はスライドレールに案内され、蓋体の大部分がカセットの上面から上方に突出する。
【００１６】
これにより、密閉式基板用カセットの占有領域が大きくなると共に、蓋体を駆動する駆動部も大きくなる。
【００１７】
特開平１１−２０４６３０号公報に記載されたカセットにおいて、カセットの上段に載置された基板を取り出す際には、カバーを回転支持軸を中心として大きく回動させる必要がある。
【００１８】
このため、特開平１１−２０４６３０号公報に記載されたカセットにおいても、カバーの変位領域が広く、さらに、カバーを駆動する駆動部も大きくなる。
【００１９】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、基板の搬入出過程を含めて、カセットが占める占有領域の低減が図られたカセットを提案することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明に係るカセットは、１つの局面では、一方向に向けて複数の基板を配列させた状態で収容可能とされ、基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、ケース本体に対して、基板の配列方向に移動可能に設けられると共に、開口部の第１領域を開閉可能な第１蓋部と、ケース本体に対して、一方向に移動可能に設けられると共に、開口部の第１領域に対して、一方向に隣り合う第２領域を開閉可能な第２蓋部とを備える。そして、上記第２蓋部は、第２領域を閉塞する状態から、第１領域を閉塞する第１蓋部に重なるように移動可能に設けられる。
【００２１】
好ましくは、上記第１蓋部は、第１領域を閉塞する状態から、第２領域を閉塞する第２蓋部と重なるように移動可能に設けられる。好ましくは、上記開口部は、ケース本体の周面に複数形成され、第１および第２蓋部は、各開口部ごとに設けられる。
【００２２】
本発明に係るカセットは、他の局面では、一方向に向けて複数の基板を配列させた状態で収容可能な収容室が規定されると共に、基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、開口部を閉塞するようにケース本体に設けられ、基板を搬入出可能な第１搬入出口が一方向に間隔をあけて複数形成された第１蓋部と、第１蓋部に対して、収容室と反対側に位置するようにケース本体に設けられ、基板を搬入出可能な第２搬入出口が一方向に間隔をあけて複数形成された第２蓋部とを備える。そして、上記第１蓋部と第２蓋部とは、少なくとも一方が他方に対して相対的に、一方向に移動可能に設けられ、第１搬入出口と第２搬入出口とが配列することで、基板を搬入出可能な搬入出通路を規定する。好ましくは、上記第１蓋部は、ケース本体に固定され、第２蓋部は、第１蓋部に対して、相対的に一方向に向けて移動可能に設けられる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るカセットによれば、基板の搬入出の過程を含めて、カセットが占める占有領域を小さく抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１から図２４を用いて、本発明に係るカセットについて説明する。なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組合わせることは、当初から予定されている。
【００２５】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１に係るガラス基板カセット１００の斜視図であり、図２は、ガラス基板カセット１００の断面図である。
【００２６】
この図１および図２に示すように、ガラス基板カセット１００は、内部に複数のガラス基板１５０を収容可能なケース本体１３０と、ケース本体１３０の側面に形成された開口部を閉塞するスライド蓋１３１およびスライド蓋１３２とを備えている。
【００２７】
図２に示すように、ケース本体１３０内には、ケース本体１３０の高さ方向および奥行き方向に、所定の間隔を隔てて複数のワイヤ１１１がケース本体１３０内に張られており、ガラス基板１５０を支持可能な基板載置部１１７が形成されている。
【００２８】
そして、この基板載置部１１７は、ケース本体１３０の高さ方向に複数設けられており、ケース本体１３０内には、ケース本体１３０の高さ方向に複数のガラス基板１５０が収容されている。
【００２９】
図３は、ケース本体１３０の斜視図である。この図３に示すように、ケース本体１３０は、一の側面（正面）に開口部１０５が形成されており、底部には、開口部１０４が形成されている。
【００３０】
そして、図１および図２に示すスライド蓋１３１およびスライド蓋１３２は、ケース本体１３０の高さ方向（基板の配列方向）に移動可能に設けられており、スライド蓋１３１は、開口部１０５の一部の領域Ｒ１を開閉可能とされ、スライド蓋１３２は、開口部１０５の他の領域Ｒ２を開閉可能とされている。なお、ガラス基板カセット１００は、スライド蓋１３１，１３２をそれぞれ、ケース本体１３０の高さ方向にスライド移動可能なように、案内するガイド機構を備えている。図３に示すように、領域Ｒ１は、開口部１０５の上側半分を占めており、領域Ｒ２は、領域Ｒ１に対して、下方に隣り合うように位置し、開口部１０５の下側半分を占めている。
【００３１】
図１では、スライド蓋１３１が開口部１０５の領域Ｒ１を閉塞する状態（第１状態）が示され、さらに、スライド蓋１３２が開口部１０５の領域Ｒ２を閉塞する状態（第３状態）が示されている。これにより、開口部１０５は、スライド蓋１３１およびスライド蓋１３２によって全閉状態とされている。
【００３２】
そして、図２に示されたガラス基板カセット１００においては、図１に示す状態からスライド蓋１３２が上方にスライドしており、領域Ｒ２の一部が開放された状態（第４状態）となっている。ここで、スライド蓋１３２と、スライド蓋１３１とは、ガラス基板カセット１００の奥行き方向に僅かにずれて配置されており、スライド蓋１３２は、上方にスライドすることで、スライド蓋１３１の前面側に移動可能となっている。そして、スライド蓋１３１とスライド蓋１３２との高さ方向の寸法は、略一致しており、領域Ｒ２を完全に開放すると、スライド蓋１３２がスライド蓋１３１に重なる。この際、スライド蓋１３２の上端部がケース本体１３０の上面から突出することが抑制されている。
【００３３】
図４は、上記図２に示すガラス基板カセット１００と異なる状態のガラス基板カセット１００を示す断面図であり、この図４では、スライド蓋１３１が、図１に示す状態からスライド蓋１３１が上方にスライドし、領域Ｒ１の一部を開放する状態（第２状態）となっている。
【００３４】
ここで、ガラス基板カセット１００において、最上段の基板載置部１１７に登載されたガラス基板１５０を搬出する際には、開口部１０５の領域Ｒ１を略完全に開放する必要があり、スライド蓋１３１がケース本体１３０の上面から突出する。スライド蓋１３１の高さ方向の長さは、ケース本体１３０の高さ方向の寸法の半分程度となっているため、ケース本体１３０の上面から突出するスライド蓋１３１の突出量は、ケース本体１３０の高さ寸法の半分程度となる。その一方で、たとえば、開口部１０５を一枚の蓋部で開閉するガラス基板カセットにおいて、最も上段に登載されたガラス基板１５０を搬出する際には、開口部１０５を略完全に開放する必要がある。この際、上記１枚の蓋体が、ケース本体１３０の上面から突出する突出量は、略ケース本体１３０の高さ分となる。このため、本実施の形態１に係るガラス基板カセット１００においては、上記のような１枚の蓋体のガラス基板カセットよりも、ケース本体１３０の上面からスライド蓋１３１が突出する突出量を低減することができる。
【００３５】
これにより、たとえば、ガラス基板カセット１００が載置される基板搬送装置等において、ガラス基板カセット１００の上方に位置する領域に部材を配置し易く、基板搬送装置のコンパクト化に寄与することができる。なお、図１において、スライド蓋１３１の正面部の下辺部側には、間隔を隔てて係合穴１３４が形成されており、同様に、スライド蓋１３２の正面部の下辺部には、間隔を隔てて係合穴１３５が形成されている。
【００３６】
図５は、ガラス基板カセット１００が載置された基板搬送装置５００の断面図であり、図６は、ガラス基板カセット１００が載置された基板搬送装置５００の側断面図である。この図５および図６に示すように、基板搬送装置５００は、ガラス基板カセット１００を載置する受座１０１と、この受座１０１を上下方向に変位させる昇降機構１１２と、ガラス基板カセット１００内に収容されたガラス基板１５０を搬出する複数のローラ１２１とを備えている。さらに、基板搬送装置５００は、スライド蓋１３１およびスライド蓋１３２を開閉させる蓋開閉装置１４０を備えており、蓋開閉装置１４０は、進退可能に設けられ、図１に示すスライド蓋１３２の係合穴１３５やスライド蓋１３１の係合穴１３４に係合可能な係合ピン１４２を含む。
【００３７】
受座１０１には、ガラス基板カセット１００に形成された開口部１０４に対応する開口部１０９が形成されている。なお、受座１０１には、雌ネジが形成された支持部１１４が設けられている。
【００３８】
昇降機構１１２は、支持部１１４の雌ネジと螺合する複数の雄ネジ１１３と、雄ネジ１１３を回転させる動力を発生するモータ１１５と、モータ１１５からの動力を雄ネジ１１３に伝達し、雄ネジ１１３を回転駆動させる動力伝達機構１１６とを備えている。
【００３９】
そして、受座１０１上にガラス基板カセット１００を登載した状態で、昇降機構１１２が駆動することで、ガラス基板カセット１００は上下方向に変位する。
【００４０】
ここで、ローラ１２１は、支持部材１２４によって底壁部１０２から所定の高さにおいて、回転可能に配置されており、受座１０１が下方に変位することで、ガラス基板カセット１００に近接する。
【００４１】
そして、ローラ１２１は、受座１０１の開口部１０９の下方に位置しており、ガラス基板カセット１００が下方に変位することで、ローラ１２１は、受座１０１の開口部１０９およびガラス基板カセット１００の開口部１０４を介して、ガラス基板カセット１００内に侵入可能となっている。
【００４２】
図７は、ガラス基板カセット１００内のガラス基板１５０を搬出しているときにおける基板搬送装置５００の一部を断面視した断面図である。
【００４３】
この図７において、ガラス基板カセット１００内のガラス基板１５０を搬出する際には、蓋開閉装置１４０の係合ピン１４２がガラス基板カセット１００に向けて突出し、スライド蓋１３２の係合穴１３５またはスライド蓋１３１の係合穴１３４と係合した後、受座１０１が下方に変位する。なお、この図７においては、係合ピン１４２は、スライド蓋１３２の係合穴１３５と係合しており、スライド蓋１３１は、閉塞状態となっている。
【００４４】
ここで、蓋開閉装置１４０は、底壁部１０２に固定された台１４１の上面に設けられており、所定の高さ位置に固定されている。このため、係合ピン１４２は、受座１０１が下方に変位することで、ガラス基板カセット１００に対して相対的に上方に変位し、スライド蓋１３２を上方にスライドさせ、開口部１０５の一部が開放される。
【００４５】
さらに、受座１０１が下方に変位することで、ローラ１２１が開口部１０９および開口部１０４を通って、ガラス基板カセット１００内に入り込む。
【００４６】
そして、ローラ１２１は、ワイヤ１１１間に入り込み、基板載置部１１７に載置されたガラス基板１５０の底部を支持可能となっている。この後、ローラ１２１が回転することで、ガラス基板カセット１００内からガラス基板１５０が搬出される。なお、搬出されたガラス基板１５０は、搬送ローラ１２５上に乗り、所定の処理装置に搬送される。
【００４７】
なお、スライド蓋１３１を開閉する際には、スライド蓋１３２を閉状態として、スライド蓋１３１の係合穴１３４に係合ピン１４２を挿入して、受座１０１を上下方向に移動させる。
【００４８】
このように、本実施の形態１に係るガラス基板カセット１００によれば、領域Ｒ１および領域Ｒ２の一方を閉状態としつつ、他方の領域を開状態とすることができ、ガラス基板１５０を搬出する際に、ガラス基板カセット１００内に異物が入り込むことを抑制することができる。
【００４９】
なお、スライド蓋１３１およびスライド蓋１３２の開閉方式としては、上記の方式に限られない。たとえば、係合穴１３５をスライド蓋１３２の外表面から内表面に向けて貫通するように形成する。そして、スライド蓋１３２，１３１を開放する際には、まず、図７の破線に示すように、係合ピン１４２を係合穴１３５内に挿入し、係合ピン１４２をスライド蓋１３２の内表面から突出させる。
【００５０】
そして、受座１０１が下方に変位することで、スライド蓋１３２がケース本体１３０に対して相対的に上方に変位すると共に、スライド蓋１３１の下端部が係合ピン１４２に近接する。
【００５１】
その後、受座１０１が所定距離だけ下方に変位することで、スライド蓋１３１の下端部と係合ピン１４２とが当接する。さらに、受座１０１が下方に変位することで、スライド蓋１３１もケース本体１３０に対して上方に相対的に移動し、開口部１０５のうち、領域Ｒ１が位置する部分も開放される。
【００５２】
この開閉方式によれば、受座１０１を単純に下方に変位させることで、スライド蓋１３２およびスライド蓋１３１を開放状態とすることができ、短時間で開口部１０５を開放させることができる。
【００５３】
（実施の形態２）
図８から図１３を用いて、本実施の形態２に係るガラス基板カセット２００について説明する。なお、図８から図１３に示す構成のうち、上記図１から図７に示された構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【００５４】
図８は、本実施の形態２に係るガラス基板カセット２００の斜視図である。この図８に示すように、ガラス基板カセット２００は、前面に開口部２０５が形成され、複数のガラス基板１５０を収容可能なケース本体２３０と、ケース本体２３０に設けられ、開口部２０５を開閉可能なスライド蓋２３１およびスライド蓋２３２とを備えている。
【００５５】
スライド蓋２３１の側面には、係合穴２３４が形成されており、スライド蓋２３２の側面には、係合穴２３５が形成されている。ケース本体２３０の側面のうち、開口部２０５側の辺部には、スリット２３６が形成されている。
【００５６】
なお、図８では、開口部２０５は、全閉状態となっている。そして、スライド蓋２３１は、開口部２０５のうち、領域Ｒ１を閉塞した状態（第１状態）となっており、スライド蓋２３２は、開口部２０５のうち、領域Ｒ２を閉塞した状態（第３状態）となっている。
【００５７】
図９は、図８に示す状態からスライド蓋２３２が上方にスライドした状態を示すガラス基板カセット２００の斜視図である。この図９に示すように、スライド蓋２３２は、上方（ガラス基板カセット２００の高さ方向）にスライドすることで、開口部２０５の領域Ｒ２を開放する。この際、スライド蓋２３２は、スライド蓋２３１の前方に変位し、領域Ｒ２を全開した状態においても、ケース本体２３０の上面から突出しない。
【００５８】
図１０は、図８に示す状態からスライド蓋２３１が下方にスライドしたときのガラス基板カセット２００の斜視図である。この図１０に示すように、スライド蓋２３１が下方にスライドすることで、領域Ｒ１の少なくとも一部が開放される。
【００５９】
スライド蓋２３１は、スライド蓋２３２の背面側に移動可能に設けられている。そして、領域Ｒ１を完全に開放した状態においては、スライド蓋２３２は、スライド蓋２３１の背面側に位置し、ケース本体２３０の底面から突出しない。
【００６０】
これら、上記図８から図９に示すように、本実施の形態２に係るガラス基板カセット２００によれば、ガラス基板カセット２００の開口部２０５を全閉した状態から、開口部２０５の領域Ｒ１，Ｒ２を開放する状態までの間に、スライド蓋２３１，２３２が、ケース本体２３０の上面および下面から突出することがなく、ガラス基板カセット２００の占有領域の低減が図られている。
【００６１】
このため、ガラス基板カセット２００が登載される基板搬送装置において、ガラス基板カセット２００の近傍に各種部材を配置することができ、基板搬送装置のコンパクト化を図ることができる。
【００６２】
図１１は、ガラス基板カセット２００の断面図である。この図１１において、ケース本体２３０内には、複数のガラス基板１５０を収容する基板収容室２３７が規定されている。
【００６３】
そして、ケース本体２３０内には、複数の支持板２１５が高さ方向に間隔を隔てて設けられており、各支持板２１５の上面には、ケース本体２３０の奥行き方向に延びると共に、ケース本体２３０の幅方向に間隔を隔てて設けられた複数の支持突起２１６が設けられている。そして、支持突起２１６は、ガラス基板１５０を支持している。
【００６４】
図１２は、スライド蓋２３１に設けられ、上死点でスライド蓋２３１をケース本体２３０に係止させるストッパ機構２４７の一例を示す斜視図である。
【００６５】
この図１２および上記図８に示すように、ケース本体２３０の側壁部のうち、開口部２０５を規定する開口縁部には、張出側壁部２３３が形成されている。この張出側壁部２３３は、ケース本体２３０の底面側から高さ方向の中央部にまで延びており、この張出側壁部２３３には、高さ方向に延びるスリット２３６が形成されている。
【００６６】
なお、この図１２に示すように、スリット２３６は、張出側壁部２３３の上端部より下方に位置する位置から下方に向けて延びている。さらに、上記図８等にも示されるように、スリット２３６の下端部は、張出側壁部２３３の下端部よりも上方に位置している。連設部２３９のうち、スリット２３６に対して上方に位置する部分には、連設部２３９が形成されており、スリット２３６に対して下方に位置する部分にも、同様に連設部が形成されている。これにより、張出側壁部２３３の剛性が確保されている。
【００６７】
ここで、スライド蓋２３１は、張出側壁部２３３の内側に配置されており、開口部２０５の領域Ｒ１を閉塞した状態から下方に向けて変位可能となっている。
【００６８】
そして、スライド蓋２３１には、ストッパ機構２４７が設けられており、ストッパ機構２４７は、開口部２０５の領域Ｒ１を閉塞するように位置するスライド蓋２３１をケース本体２３０に係止する。ストッパ機構２４７は、スライド蓋２３１に設けられ、基板収容室２３７内側に配置されたストッパ片２４５と、ストッパ片２４５に接続された弾性部材２４６とを備えている。
【００６９】
ストッパ片２４５は、係合穴２３４に対して隣り合う位置に設けられており、係合穴２３４から挿入される係止ピンによって押圧される押圧部２４８と、この押圧部２４８に連設され、張出側壁部２３３に形成された係合穴２４０と係合可能な係止部２４９とを備えている。
【００７０】
そして、弾性部材２４６は、ストッパ片２４５の押圧部２４８が係合穴２３４に近接するように付勢している。
【００７１】
このため、スライド蓋２３１が開口部２０５の領域Ｒ１を閉塞した状態であって、ストッパ片２４５に外力が加えられていない状態においては、ストッパ片２４５の係止部２４９の端部が張出側壁部２３３の内表面側に形成された係合穴２４０内に入り込み、スライド蓋２３１の位置が固定される。
【００７２】
そして、スライド蓋２３１をスライドさせる際には、係合穴２３４内にピン等を挿入することで、ストッパ機構２４７によるスライド蓋２３１の係止状態を解除し、そして、挿入されたピンでスライド蓋２３１を支持しながら、スライド蓋２３１を下方に移動させる。
【００７３】
なお、図１２に示すストッパ機構２４７は、一例であって、上記のような構成に限られない。
【００７４】
上記のように構成されたガラス基板カセット２００内に収容されたガラス基板１５０を取り出したり、処理が完了したガラス基板１５０をガラス基板カセット２００内に収容する際には、基板搬送装置２５０にガラス基板カセット２００を登載する。
【００７５】
図１３は、ガラス基板カセット２００を基板搬送装置２５０に登載した状態を模式的に示す斜視図である。
【００７６】
基板搬送装置２５０は、ガラス基板カセット２００が載置される載置台２０１と、載置されたガラス基板カセット２００のスライド蓋２３１，２３２を開閉操作する開閉機構２１７と、ガラス基板カセット２００内からガラス基板１５０を引き出したり、ガラス基板１５０をガラス基板カセット２００内に収容したりするフォーク２１０とを備えている。
【００７７】
開閉機構２１７は、スライド蓋２３１の両側方に位置し、ケース本体２３０の高さ方向に昇降可能に設けられた昇降器２１３と、この昇降器２１３に設けられた係合ピン２４１と、スライド蓋２３２の側方に位置し、ケース本体２３０の高さ方向に昇降可能に設けられた昇降器２１４と、昇降器２１４に設けられた係合ピン２４２とを備えている。
【００７８】
係合ピン２４１および係合ピン２４２は、ガラス基板カセット２００に向けて進退可能に設けられており、係合ピン２４１は、係合穴２３４と係合可能とされており係合ピン２４２は、係合穴２３５と係合可能となっている。
【００７９】
そして、係合ピン２４１がスライド蓋２３１の係合穴２３４に挿入されることで、上記図１２に示すストッパ機構２４７によるスライド蓋２３１の係合状態が解除され、スライド蓋２３１が移動可能となる。
【００８０】
なお、図１３に示す状態においては、係合ピン２４２がスライド蓋２３２の係合穴２３５内に挿入された状態で、昇降器２１４が上昇することで、開口部２０５の一部が開放されている。
【００８１】
ここで、昇降器２１４は、開口部２０５の領域Ｒ１を閉塞するスライド蓋２３２を、ケース本体２３０の高さ寸法の略半分程度上昇させることで、開口部２０５の領域Ｒ１を完全に開放することができる。
【００８２】
そして、スライド蓋２３２の係合穴２３５は、スライド蓋２３２の下端部側に設けられているため、昇降器２１４は、ケース本体２３０の高さ寸法の略半分程度にまで上昇可能であればよい。
【００８３】
このため、昇降器２１４の高さを低くすることができ、基板搬送装置２５０のコンパクト化を図ることができる。さらに、昇降器２１４のストロークは、ケース本体２３０の高さ寸法の半分程度となっており、昇降器２１４のストローク量の低減が図られている。
【００８４】
同様に、昇降器２１３の高さ寸法の低減および昇降器２１３のストローク量の低減が図られている。
【００８５】
このように、各昇降器２１３，２１４のコンパクト化を図ることで、基板搬送装置２５０自体のコンパクト化をも図ることができる。
【００８６】
なお、本実施の形態２に係るガラス基板カセット２００においても、開口部２０５の領域Ｒ１および領域Ｒ２の一方を閉塞した状態で、他方を開放することができ、ケース本体２３０内に異物が入り込むことが抑制することができる。
【００８７】
本実施の形態２においては、２つのスライド蓋２３１およびスライド蓋２３２を備えた例について説明したが、これに限られず、たとえば、図１４に示すように、さらに複数のスライド蓋２３１，２３２，２３８によって、ケース本体２３０の開口部を閉塞および開放するようにしてもよい。
【００８８】
（実施の形態３）
図１５から図２１を用いて、本実施の形態３に係るガラス基板カセット３００について説明する。なお、図１５から図２１に示す構成において、上記図１から図１４に示された構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付して、その説明を省略する場合がある。
【００８９】
図１５は、本実施の形態３に係るガラス基板カセット３００の斜視図であり、図１６は、図１５に示されたガラス基板カセット３００の構成を模式的に示す側断面図である。
【００９０】
この図１５および図１６に示すように、ガラス基板カセット３００は、一周面に開口部３０５が形成され、内部に複数のガラス基板１５０を収容可能なケース本体３３０と、ケース本体３３０の開口縁部に固定された固定蓋部３３１と、ケース本体３３０に設けられると共に、固定蓋部３３１の前面側（固定蓋部３３１に対してケース本体３３０内に規定された収容室と反対側）に配置された可動蓋部３３２とを備えている。
【００９１】
固定蓋部３３１には、ケース本体３３０の高さ方向に間隔を隔てて、複数の搬送開口部３３６が形成されている。これに伴い、固定蓋部３３１のうち、搬送開口部３３６と高さ方向に隣り合う部分には、閉塞部３３５が形成されている。なお、閉塞部３３５は、ケース本体３３０の幅方向に延在している。固定蓋部３３１の閉塞部３３５に対してケース本体３３０の奥行き方向に隣り合う部分には、ガラス基板１５０を支持する支持板２１５が設けられており、搬送開口部３３６と隣り合う部分には、ガラス基板１５０が位置している。なお、この図１５および図１６に示す例においては、ガラス基板１５０を支持する支持部材としては、板状の支持板２１５を用いた例を示しているが、ガラス基板１５０を支持する構成としては、当該構成に限られない。たとえば、上記ワイヤや支持突起等であってもよい。
【００９２】
可動蓋部３３２にも、固定蓋部３３１と同様の搬送開口部３３４が形成されており、搬送開口部３３４間に位置する部分には、閉塞部３３３が形成されている。そして、図１５に示すように、可動蓋部３３２の側面には、係合穴３３７が形成されている。固定蓋部３３１は、ケース本体３３０に固定されている一方で、可動蓋部３３２は、ケース本体３３０の高さ方向に移動可能に設けられている。
【００９３】
なお、可動蓋部３３２には、図示されない固定機構が設けられており、この固定機構は、可動蓋部３３２をケース本体３３０に固定した状態と、ケース本体３３０の高さ方向に移動可能な状態とに切替可能となっている。
【００９４】
そして、上記固定機構のロックを解除した状態で、係合穴３３７内に基板搬送装置の係合ピンを挿入し、係合ピンが上下方向に移動することで、可動蓋部３３２も上下方向に移動可能となっている。
【００９５】
この図１６に示す状態においては、可動蓋部３３２は、固定機構によってケース本体３３０に固定されている。
【００９６】
この際、可動蓋部３３２の搬送開口部３３４と、固定蓋部３３１の搬送開口部３３６とがケース本体３３０の高さ方向にずれるように位置している。具体的には、可動蓋部３３２の搬送開口部３３４に対して、ケース本体３３０の奥行き方向に隣り合う部分には、固定蓋部３３１の閉塞部３３５が位置しており、搬送開口部３３４は閉塞部３３５によって閉塞されている。
【００９７】
また、固定蓋部３３１の搬送開口部３３６に対して隣り合う部分には、可動蓋部３３２の閉塞部３３３が位置しており、搬送開口部３３６は、閉塞部３３３によって閉塞されている。したがって、固定蓋部３３１および可動蓋部３３２によって、ケース本体３３０の開口部３０５は閉塞されている。
【００９８】
なお、可動蓋部３３２および固定蓋部３３１が開口部３０５を閉塞した状態において、可動蓋部３３２の上端部は、ケース本体３３０の上面より、僅かに下方に位置している。
【００９９】
図１７は、図１６に示す状態から可動蓋部３３２を上方にスライドさせたときのガラス基板カセット３００の断面図である。
【０１００】
この図１７に示すように、可動蓋部３３２を上方に僅かに変位させることで、搬送開口部３３４および搬送開口部３３６が連通した状態となる。これにより、基板搬送装置のフォークを、ケース本体３３０内に挿入することができ、ガラス基板１５０を搬入出することができる搬入出通路が規定される。
【０１０１】
このように、本実施の形態３に係るガラス基板カセット３００によれば、可動蓋部３３２を僅かにスライドさせることで、ガラス基板１５０を搬出可能な搬出通路を形成することができ、可動蓋部３３２を移動させる基板搬送装置の昇降機構のストロークを低減することができる。
【０１０２】
さらに、係合穴３３７が可動蓋部３３２の下端部側に設けられているので、基板搬送装置の昇降機構の高さを低く抑えることができ、基板搬送装置のコンパクト化を図ることができる。
【０１０３】
その上、開口部３０５を閉塞した状態から開口部３０５を開放した状態にわたって、可動蓋部３３２がケース本体３３０の上面および下面から突出することが抑制されており、ケース本体３３０の周囲に基板搬送装置の各種部材を配置したとしても、可動蓋部３３２との干渉を回避することができる。これに伴い、登載されるガラス基板カセット３００が位置する領域の周囲に基板搬送装置の部材を配置することができ、基板搬送装置のコンパクト化を図ることができる。
【０１０４】
また、このガラス基板カセット３００においては、ガラス基板１５０をガラス基板カセット３００から搬出する際、または、ガラス基板１５０を搬入する際において、ケース本体３３０の開口部３０５が完全に開放されることがなく、ガラス基板カセット３００内に異物が入り込むことを抑制することができる。
【０１０５】
図１８は、本実施の形態３に係るガラス基板カセット３００の第１変形例を示す斜視図であり、図１９は、図１８に示されたガラス基板カセット３００の側断面図である。
【０１０６】
この図１８および図１９に示す例においては、ガラス基板カセット３００は、ケース本体３３０の開口部３０５を閉塞するように配置された可動蓋部３３９と、この可動蓋部３３９の前方側に設けられた可動蓋部３３２とを備えている。
【０１０７】
可動蓋部３３２および可動蓋部３３９は、いずれも、上下方向に移動可能に設けられており、可動蓋部３３２の側面には、係合穴３３７が形成されており、可動蓋部３３９の側面には、係合穴３３８が形成されている。
【０１０８】
可動蓋部３３９には、ケース本体３３０の高さ方向に間隔をあけて複数の搬送開口部３３６が形成されており、搬送開口部３３６間に位置する部分には、閉塞部３３５が形成されている。可動蓋部３３２にも、高さ方向に間隔をあけて複数の搬送開口部３３４が形成されており、搬送開口部３３４間に位置する部分には、閉塞部３３３が形成されている。
【０１０９】
ここで、図１９に示す状態においては、搬送開口部３３４に対してケース本体３３０の奥行き方向に隣り合う部分には、可動蓋部３３９の閉塞部３３５が位置しており、さらに、可動蓋部３３９の搬送開口部３３６の前方側には、可動蓋部３３２の閉塞部３３３が位置している。
【０１１０】
このため、この図１９においては、ケース本体３３０の開口部３０５は、可動蓋部３３９および可動蓋部３３２によって閉塞されている。
【０１１１】
この際、可動蓋部３３９の搬送開口部３３６および閉塞部３３５に対して、ケース本体３３０の奥行き方向に隣り合う部分には、ガラス基板１５０が配置されている。
【０１１２】
そして、たとえば、上記図１９に示す状態から、可動蓋部３３２を変位させることで、可動蓋部３３２の搬送開口部３３４と、可動蓋部３３９の搬送開口部３３６とをケース本体３３０の奥行き方向に一致させることで、ガラス基板１５０を搬入出可能な基板搬入出通路を形成することができる。
【０１１３】
さらに、上記図１９に示す状態から、可動蓋部３３９をスライドさせて、可動蓋部３３２の搬送開口部３３４と、可動蓋部３３９の搬送開口部３３６とをケース本体３３０の奥行き方向に一致させることで、ガラス基板１５０を搬入出可能な基板搬入出通路を形成することができる。
【０１１４】
このように、複数の可動蓋部３３２，３３９を配列させて、互いにケース本体３３０の高さ方向にスライド可能とすることで、ガラス基板１５０を搬入出する際に形成される基板搬入出通路の開口面積を低減することができ、さらに、異物の侵入を抑制することができる。
【０１１５】
なお、上記図１５から図１９に示す例においては、各閉塞部３３３，搬送開口部３３４，閉塞部３３５および搬送開口部３３６の高寸法は、略一致するように形成された例を示したが、これに限られない。たとえば、図２０，図２１に示す例のように、閉塞部３３３と搬送開口部３３４との高さ寸法を異ならせてもよい。
【０１１６】
図２０は、本実施の形態３に係るガラス基板カセット３００の第２変形例を示す斜視図であり、図２１は、図２０に示されたガラス基板カセット３００の側断面図である。
【０１１７】
これら、図２０および図２１において、固定蓋部３３１は、ケース本体３３０に固定されており、固定蓋部３３１に形成された搬送開口部３３６は、図１６に示された搬送開口部３３６よりも高さ方向に長尺に形成されている。搬送開口部３３６に対して、ケース本体３３０の奥行き方向には、複数のガラス基板１５０が位置している。そして、固定蓋部３３１のうち、搬送開口部３３６と隣り合う部分には、閉塞部３３５が形成されている。
【０１１８】
可動蓋部３３２には、間隔をあけて、搬送開口部３３４が形成されており、搬送開口部３３４と隣り合う部分には、閉塞部３３３が形成されている。
【０１１９】
ここで、閉塞部３３３の高さ寸法は、搬送開口部３３４の高さ寸法よりも大きくなっており、搬送開口部３３４は、ガラス基板１５０を搬入出可能な程度の大きさとされている。そして、閉塞部３３３は、搬送開口部３３６を閉塞可能な寸法とされており、閉塞部３３５の高さ寸法は、搬送開口部３３４を閉塞可能な程度とされている。
【０１２０】
ここで、この図２１に示す状態においては、搬送開口部３３６の前方に、閉塞部３３３が位置しており、ケース本体３３０の開口部３０５は閉塞されており、さらに、搬送開口部３３４は、閉塞部３３５によって閉塞されている。
【０１２１】
そして、この図２１に示す状態から可動蓋部３３２が上下方向に移動することで搬送開口部３３４と、搬送開口部３３６とがケース本体３３０の奥行き方向に配列し、ガラス基板カセット３００内のガラス基板１５０を搬出可能となっている。
【０１２２】
この図２０および図２１に示す例においては、固定蓋部３３１を枠体とすることができ、固定蓋部３３１の製造コストの低減を図ることができる。
【０１２３】
なお、上記図１から図２１においては、ケース本体３３０に、ガラス基板１５０が搬入出される開口部を１つのみ形成された例を示したが、ガラス基板１５０が搬入出される開口部としては、複数形成されてもよい。たとえば、図２２に示すように、ケース本体２３０の周面のうち、互いに対向する側面に開口部２０５Ａ，２０５Ｂを形成し、開口部２０５Ａにスライド蓋２３１Ａ，２３２Ａを配置し、開口部２０５Ｂにスライド蓋２３１Ｂ，２３２Ｂを配置して、それぞれ、開閉させてもよい。
【０１２４】
図２３は、工場内における基板搬送装置５００などの配置状態を模式的に示す平面図である。この図２３に示す例においては、工場内には、間隔を隔てて配置された２つの基板搬送装置２５０Ａ，２５０Ｂと、ガラス基板カセット２００を各基板搬送装置２５０Ａ，２５０Ｂに向けて搬送し、各載置台２０１Ａ，２０１Ｂにガラス基板カセット２００を載置可能なカセット搬送車２５１とが設置されている。カセット搬送車２５１は、工場の床面に配置されたレール２５２に案内されて、工場内を移動可能に設けられている。
【０１２５】
さらに、この図２３に示す工場においては、載置台２０１Ａに対して、カセット搬送車２５１と反対側に位置する領域に、フォーク２１０Ａが配置されており、載置台２０１Ｂに対してカセット搬送車２５１と反対側に位置する領域には、フォーク２１０Ｂが配置されている。
【０１２６】
フォーク２１０Ａは、載置台２０１Ａ上に登載されたガラス基板カセット２００からガラス基板１５０を取り出したり、ガラス基板カセット２００内にガラス基板１５０を挿入可能となっている。同様に、フォーク２１０Ｂは、載置台２０１Ｂ上に登載されたガラス基板カセット２００からガラス基板１５０を取り出したり、ガラス基板カセット２００内にガラス基板１５０を挿入可能となっている。
【０１２７】
このように、基板搬送装置２５０Ａ，２５０Ｂやフォーク２１０Ａ，２１０Ｂ等が設置された設備において、カセット搬送車２５１は、図２２に示すガラス基板カセット２００を搬送する。ガラス基板カセット２００は、各開口部２０５Ａ，２０５Ｂが、各載置台２０１Ａ，２０１Ｂの配列方向に並ぶように、カセット搬送車２５１上に搭載される。
【０１２８】
そして、カセット搬送車２５１は、基板搬送装置２５０Ａ，２５０Ｂ間に位置した際に、ガラス基板カセット２００を基板搬送装置２５０Ａ，２５０Ｂの配列方向に変位させるのみで、各フォーク２１０Ａ，２１０Ｂがガラス基板カセット２００からガラス基板１５０を取り出し可能なようにガラス基板カセット２００を載置台２０１Ａ，２０１Ｂ上に載置することができる。
【０１２９】
すなわち、上記のようなレイアウトとされた設備において、図２２に示すガラス基板カセット２００を採用することで、ガラス基板カセット２００を載置台２０１Ａ，２０１Ｂ上に登載する際に、ガラス基板カセット２００を回転等させる必要がなく、カセット搬送車２５１の構成を簡易なものとすることができる。これにより、設備のコストの低廉化を図ることができると共に、カセット搬送車２５１の構成の簡素化を図ることができる。
【０１３０】
図２４は、複数の開口部がケース本体３３０に形成されたガラス基板カセットの他の例を示す斜視図である。この図２４に示すガラス基板カセット１００においては、ケース本体１３０の周面のうち、互いに隣り合う側面に、開口部１０５Ａ，１０５Ｂが形成されている。なお、この図２４に示す例においては、開口部１０５Ａは、ケース本体１３０の側面の上半分側に形成されており、開口部１０５Ｂは、ケース本体１３０の側面の下半分側に形成されている。
【０１３１】
そして、ケース本体１３０には、開口部１０５Ａを閉塞すると共に、開口部１０５Ａから下方に向けてスライド移動可能に設けられたスライド蓋１３１と、開口部１０５Ｂを閉塞すると共に、開口部１０５Ｂに対して上方に向けてスライド移動可能に設けられたスライド蓋１３２とを備えている。このようなガラス基板カセット１００によれば、複数の方向からガラス基板１５０を搬入出することができる。
【０１３２】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。さらに、上記数値などは、例示であり、上記数値および範囲にかぎられない。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明は、ガラス基板カセットに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本実施の形態１に係るガラス基板カセットの斜視図である。
【図２】ガラス基板カセットの断面図である。
【図３】ケース本体１３０の斜視図である。
【図４】図２に示すガラス基板カセットと異なる状態のガラス基板カセットを示す断面図である。
【図５】ガラス基板カセットが載置された基板搬送装置の断面図である。
【図６】ガラス基板カセットが載置された基板搬送装置の側断面図である。
【図７】ガラス基板カセット内のガラス基板を搬出しているときにおける基板搬送装置の一部を断面視した断面図である。
【図８】本実施の形態２に係るガラス基板カセットの斜視図である。
【図９】図８に示す状態からスライド蓋が上方にスライドした状態を示すガラス基板カセットの斜視図である。
【図１０】図８に示す状態からスライド蓋が下方にスライドしたときのガラス基板カセットの斜視図である。
【図１１】ガラス基板カセットの断面図である。
【図１２】スライド蓋をケース本体に係止させるストッパ機構の一例を示す斜視図である。
【図１３】ガラス基板カセットを基板搬送装置に登載した状態を模式的に示す斜視図である。
【図１４】本実施の形態２に係るガラス基板カセットの変形例を示す斜視図である。
【図１５】本実施の形態３に係るガラス基板カセットの斜視図である。
【図１６】図１５に示されたガラス基板カセットの構成を模式的に示す側断面図である。
【図１７】図１６に示す状態から可動蓋部を上方にスライドさせたときのガラス基板カセットの断面図である。
【図１８】本実施の形態３に係るガラス基板カセットの第１変形例を示す斜視図である。
【図１９】図１８に示されたガラス基板カセットの側断面図である。
【図２０】本実施の形態３に係るガラス基板カセットの第２変形例を示す斜視図である。
【図２１】図２０に示されたガラス基板カセットの側断面図である。
【図２２】本実施の形態３に係るガラス基板カセットの第３変形例を示す斜視図である。
【図２３】工場内における基板搬送装置５００などの配置状態を模式的に示す平面図である。
【図２４】本実施の形態３に係るガラス基板カセットの第４変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１００  ガラス基板カセット、１０１  受座、１０２  底壁部、１０４  開口部、１０５  開口部、１０９  開口部、１１１  ワイヤ、１１２  昇降機構、１１３  雄ネジ、１１４  支持部、１１５  モータ、１１６  動力伝達機構、１１７  基板載置部、１２１  ローラ、１２４  支持部材、１２５  搬送ローラ、１３０  ケース本体、１３０  略ケース本体、１３１，１３２  スライド蓋、１３４，１３５  係合穴、１４０  蓋開閉装置、１４１  台、１４２  係合ピン、１５０  ガラス基板、３３４  搬送開口部、３３５  閉塞部、３３６  搬送開口部、３３７  係合穴、３３８  係合穴、３３９  可動蓋部、５００  基板搬送装置、Ｒ１，Ｒ２  領域。
【図１】
2010058802.tif 000003
【図２】
2010058802.tif 000004
【図３】
2010058802.tif 000005
【図４】
2010058802.tif 000006
【図５】
2010058802.tif 000007
【図６】
2010058802.tif 000008
【図７】
2010058802.tif 000009
【図８】
2010058802.tif 000010
【図９】
2010058802.tif 000011
【図１０】
2010058802.tif 000012
【図１１】
2010058802.tif 000013
【図１２】
2010058802.tif 000014
【図１３】
2010058802.tif 000015
【図１４】
2010058802.tif 000016
【図１５】
2010058802.tif 000017
【図１６】
2010058802.tif 000018
【図１７】
2010058802.tif 000019
【図１８】
2010058802.tif 000020
【図１９】
2010058802.tif 000021
【図２０】
2010058802.tif 000022
【図２１】
2010058802.tif 000023
【図２２】
2010058802.tif 000024
【図２３】
2010058802.tif 000025
【図２４】
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