(57)【要約】【課題】基板に広幅の接着テープを貼り付ける際に接着テープ幅方向に働く張力を制御し、所定の張力で接着テープを基板に貼り付ける接着テープ貼付装置を提供する。【解決手段】接着テープ貼付装置１において、テープチャック機構１６を、上側チャック１７と下側チャック２５とからなり接着テープ６の幅方向に沿って互いに接近離反動可能な左右一対のテープ把持部材６９と、テープ把持部材６９を接着テープ６の幅方向内側に付勢する弾性部材１８と、左右のテープ把持部材６９を互いに接近離反可能に駆動するとともに接着テープ６を把持した際に幅方向に働く張力をトルク値として検出するモータ２０とから構成し、接着テープ６を幅方向内側端に付勢したテープ把持部材１６で把持するとともにモータ２０で所定のトルク値となるようにテープ把持部材６９を離反動させ接着テープ６の幅方向への張力が所定張力となるように制御して基板３に接着テープ６を貼り付ける。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
その上面に基板を吸着保持する貼付テーブルと、前記基板より広幅でロール状に巻き回された接着テープの幅方向両側付近を把持して接着テープを所定量基板上に引き出すテープチャック機構と、この引き出した接着テープを押圧して該基板に貼り付ける貼付ローラと、前記基板に貼り付けられた接着テープを基板の外周に沿って切断する切断手段とからなる基板への接着テープ貼付装置において、
前記テープチャック機構は、
接着テープの上面側に位置する開閉自在な上側チャックと接着テープの下面側に位置するロール形状の下側チャックとからなり前記接着テープの幅方向に沿って互いに接近離反動が可能な左右一対のテープ把持部材と、
前記左右のテープ把持部材を接着テープの幅方向内側に向けて付勢する弾性部材と、
左右のテープ把持部材を互いに接近離反可能に駆動させるとともに接着テープを把持した際に該接着テープの幅方向に働く張力をトルク値として検出するモータとから構成され、
前記接着テープをテープ把持部材で把持する際に上側チャックと下側チャックとが接着テープの幅方向に沿って前記弾性部材で内側端に付勢された状態で上側チャックを閉じることにより上側チャックと下側チャックとで接着テープを把持するとともに前記モータで所定のトルク値となるように左右のテープ把持部材を互いに離反動させることにより該接着テープの幅方向への張力が所定の張力となるように制御しながら基板に接着テープを貼り付けるようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼付装置。
【請求項２】
前記両テープ把持部材の接着テープの幅方向への接近離反動は摺動抵抗が限りなくゼロに近づけられ、前記弾性部材の接着テープ幅方向内側に向けての付勢力は両テープ把持部材が内側端に復帰する程度に小さく設定されていることを特徴とする請求項１記載の基板への接着テープ貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
基板への接着テープ貼付装置に関する。さらに詳しくは、半導体ウエハ等の基板への接着テープの貼り付け時に接着テープの幅方向の張力を所定の張力に調整可能な基板への接着テープ貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体チップの製造工程で、パターンの形成されたウエハのパターン形成面に保護テープを貼り付けておき、その裏面を研削して薄厚化させた後、その研削面にダイアタッチフィルムを貼り付け、続いてウエハのダイアタッチフィルム貼着面をダイシングテープにマウントして前記保護テープを剥離テープ等で剥離した後、ダイシングしてチップ化することが行なわれている。この半導体チップを前記ダイアタッチフィルムを介してダイパッドにマウントし、封止樹脂で封止して半導体装置が形成されている。
【０００３】
上記のように半導体の製造工程においては各種の接着テープをウエハに貼り付けることが行なわれているが、接着テープの貼り付け時に適正な張力を持ってウエハ等の基板に接着を行なわないと接着テープの残存応力によりウエハが反り、特に最近の薄厚化したウエハ（例えば１００μｍ以下）では、反ったウエハが破損する場合がある。
【０００４】
また、例えばウエハのパターン形成面上に貼り付けられる保護テープの貼り付けは、保護テープをウエハ上に引き出し、貼付ローラで保護テープを押圧してウエハに貼り付けられ、その後、ウエハ外周に沿って保護テープを切断し、余剰部分の保護テープを剥離させて巻き取っている。
【０００５】
しかし、上記の保護テープの貼り付けは、ウエハに保護テープを貼り付けた後、外周部分に沿って保護テープがくり貫かれるため、保護テープを巻き取る際に、未使用の保護テープ部分とくり貫かれて円形状の穴が開いた部分とで張力の差が生じ、穴が開いた部分の保護テープが幅方向に収縮して、未使用部分の保護テープがしわになってしまう問題があった。
【０００６】
この状態でウエハに保護テープを貼り付けると、保護テープにしわや気泡が入り、裏面研削時にパターン面が汚染されたり、均一に研磨できない問題があった。
【０００７】
そこで、接着テープ供給ロールから引き出したテープを掛け渡すガイドローラに中央部が凸となるようなテーパーローラーを使用し、接着テープの幅方向外側に向けて張力が働くようにした貼付装置が開示されている（例えば特許文献１）。
【０００８】
また、接着テープを幅方向外側に向けて接着テープが弛まないようシリンダの駆動でテープチャックを接着テープの幅方向外側に向けて駆動し、接着テープを幅方向に引っ張ることが知られている（例えば特許文献２）。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−１２４５００号公報
【特許文献２】特開平１０−３３００２２号公報、図３、図７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記特許文献１の装置は、一定形状のテーパーローラーを使用しているため、絶えず一定の張力でしかも外側方向に向かってしか張力を調整できない問題があり、接着テープの種類を交換する毎にテーパーローラーの形状や材質等を見直し、テーパーローラーを交換しなければならない問題がある。
【００１１】
また、接着テープの幅方向の張力調整ができないため、引っ張り張力が過剰な場合、接着テープの幅方向に残存応力が発生し、貼り付け後のウエハが反ったり、破損する場合があり、また、引っ張り張力が過小な場合、接着テープにしわが入ったり、気泡が入る問題がある。
【００１２】
また、特許文献２のようにシリンダで強制的にテープチャックを接着テープの幅方向に引っ張って弛みを無くす方法は、シリンダでの一定の張力でしか張力を付与できず、接着テープの種類を変更するごとにシリンダ圧力の調整が必要となる問題や、細かい微調整ができないために引っ張り張力が過剰となったり、過小となったりする問題がある。
【００１３】
上記のように引っ張り張力が過小となった場合はテープ弛みが発生し、貼り付け時にしわが入ったり、気泡が入ったりする問題があり、保護テープの場合は裏面研削時に均一に研磨できない問題や、ダイアタッチフィルムではダイボンド時に接着不良が発生する場合がある。
【００１４】
また、ドライフィルムレジストの場合、厚みが３０μｍ程度のものもあり、微小な幅方向への張力制御を行わなければ、容易にしわが入ってしまい、適用できない問題がある。
【００１５】
また、シリンダに代えてボールネジを使用し、テープチャックを所定量幅方向へ駆動して制御することも考えられるが、ボールネジのピッチでしか駆動できず、微細な駆動が困難であり、微細な幅方向への張力制御が困難となる問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１の発明は、その上面に基板を吸着保持する貼付テーブルと、前記基板より広幅でロール状に巻き回された接着テープの幅方向両側付近を把持して接着テープを所定量基板上に引き出すテープチャック機構と、この引き出した接着テープを押圧して該基板に貼り付ける貼付ローラと、前記基板に貼り付けられた接着テープを基板の外周に沿って切断する切断手段とからなる基板への接着テープ貼付装置において、前記テープチャック機構は、接着テープの上面側に位置する開閉自在な上側チャックと接着テープの下面側に位置するロール形状の下側チャックとからなり前記接着テープの幅方向に沿って互いに接近離反動が可能な左右一対のテープ把持部材と、前記左右のテープ把持部材を接着テープの幅方向内側に向けて付勢する弾性部材と、左右のテープ把持部材を互いに接近離反可能に駆動させるとともに接着テープを把持した際に該接着テープの幅方向に働く張力をトルク値として検出するモータとから構成され、前記接着テープをテープ把持部材で把持する際に上側チャックと下側チャックとが接着テープの幅方向に沿って前記弾性部材で内側端に付勢された状態で上側チャックを閉じることにより上側チャックと下側チャックとで接着テープを把持するとともに前記モータで所定のトルク値となるように左右のテープ把持部材を互いに離反動させることにより該接着テープの幅方向への張力が所定の張力となるように制御しながら基板に接着テープを貼り付ける基板への接着テープ貼付装置である。
【００１７】
上記のような構成を採用することで接着テープを把持する際に幅方向への張力をモータでトルク値として検出しながら絶えず適正な張力に保つことができる。
【００１８】
使用するモータにはトルク値の検出が可能なステッピングモータやサーボモータ等が好ましく使用できる。
【００１９】
また、請求項２の発明は、前記左右のテープ把持部材の接着テープの幅方向への接近離反動は摺動抵抗が限りなくゼロに近づけられ、前記弾性部材の接着テープ幅方向内側に向けての付勢力は左右のテープ把持部材が付勢された内側端に復帰する程度に小さく設定されている請求項１記載の基板への接着テープ貼付装置である。
【００２０】
上記のようにテープチャック機構に設けられた左右のテープ把持部材の接着テープ幅方向への接近離反動の摺動抵抗を限りなくゼロに近づけるように小さくしておけば、微小な接着テープの幅方向への張力を接着テープ把持部材の摺動抵抗に左右されずにモータでのトルク値の検出が可能となる。
【００２１】
さらに、弾性部材の接着テープ幅方向内側に向けての付勢力を左右のテープ把持部材が内側端に復帰する程度に小さく設定しておけば、微小な接着テープの幅方向への張力をモータでのトルク値として検出可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
前記テープチャック機構を、接着テープの上面側に位置する開閉自在な上側チャックと接着テープの下面側に位置するロール形状の下側チャックとからなり前記接着テープの幅方向に沿って互いに接近離反動が可能な左右一対のテープ把持部材と、前記左右のテープ把持部材を接着テープの幅方向内側に向けて付勢する弾性部材と、左右のテープ把持部材を互いに接近離反可能に駆動させるとともに接着テープを把持した際に該接着テープの幅方向に働く張力をトルク値として検出するモータとから構成し、前記接着テープをテープ把持部材で把持する際に上側チャックと下側チャックとが接着テープの幅方向に沿って前記弾性部材で内側端に付勢された状態で上側チャックを閉じることにより上側チャックと下側チャックとで接着テープを把持するとともに前記モータで所定のトルク値となるように左右のテープ把持部材を互いに離反動させることにより該接着テープの幅方向への張力が所定の張力となるように制御しながら基板に接着テープを貼り付けるようにしたので、接着テープをテープ把持部材でチャックした際に絶えず設定した張力で接着テープを保持でき、接着テープが貼り付けられた基板が接着テープの残存応力によって反ったり、破損したりすることがない。
【００２３】
また、テープチャック機構の左右のテープ把持部材の接着テープ幅方向への接近離反動の摺動抵抗を限りなくゼロに近づけ、弾性部材の接着テープ幅方向内側に向けての付勢力を左右のテープ把持部材が内側端に復帰する程度に小さく設定することで、接着テープを把持した際に接着テープの幅方向に働く微小な張力をトルク値としてモータで検出でき、微小な範囲での接着テープ幅方向の張力を制御することが可能となる。
【００２４】
上記により、ローテンションで接着テープを基板に貼り付けることが可能となり、薄厚化されたウエハであっても、貼り付け時の接着テープに残存応力が発生せず、貼り付け後のウエハが反ったり、破損したりすることがない。
【００２５】
また、予め設定した適正な張力となるようにテープ把持部材の接着テープ幅方向への張力を付与するように制御しながら接着テープを基板上に引き出すことができ、さらに適正な張力を保持した状態で基板に接着テープを貼り付けるようにしたので、極薄のドライフィルムレジスト（例えば５０μｍ以下）のような接着テープであっても基板に貼り付けた際に気泡が入ったり、しわが入ったりすることがない。
【００２６】
また、接着テープの貼り付け時においても幅方向への張力を保持するようにしているので、貼付ローラが作用する際に働く幅方向への張力も適正に制御され、しわが入ったり、収縮力が働いたりすることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に本発明の接着テープ貼付装置の一実施形態について図１乃至図９に基づいて説明する。
【００２８】
図１のように接着テープ貼付装置１は、機台５上に接着テープ６を貼り付ける前のウエハ３を収納するウエハ収納部４と、ウエハ３の位置決めを行なうアライメント部２２と、ウエハに接着テープ６を貼り付ける接着テープ貼付ユニット２と、接着テープ６が貼り付けられた貼付済ウエハ４７を収納する貼付済ウエハ収納部４８と、ウエハ収納部４からウエハ３を１枚ずつ取り出して搬送する搬送ロボット７から構成されている。
【００２９】
前記ウエハ収納部４は、ウエハ３を多段状に収納するカセットで構成され、適宜な昇降手段により前記カセットが昇降動するようになっており、搬送ロボット７の吸着ハンドが進入して、ウエハ３を１枚ずつ吸着して取り出すようになっている。
【００３０】
搬送ロボット７は、先端部に吸着ハンドが設けられており、この吸着ハンドは伸縮と回転が自在に構成され、ウエハ収納部４から取り出したウエハ３をアライメント部２２、接着テープ貼付ユニット２の貼付テーブル４０上へと搬送するとともに接着テープ６の貼り付けが完了した貼付済ウエハ４７を貼付済ウエハ収納部４８へと搬送して収納するようになっている。
【００３１】
アライメント部２２は、ウエハ６をその上面で吸着し、図示しない適宜な駆動源で回転される回転テーブル８と、前記回転テーブル８で回転されるウエハ６の外周部分に設けられたノッチやオリフラを適宜な光学手段等で検出するアライメントセンサ９が設けられている。
【００３２】
図１及び図２のように接着テープ貼付ユニット２は、位置決めされたウエハ３をその上面で吸着保持する貼付テーブル４０と、広幅でロール状の接着テープ６を供給する接着テープ供給リール１１と、接着テープ６から剥離ローラ４９で剥離されるセパレータ１０を巻取るセパレータ巻取リール１２と、接着テープ６を把持して引き出すテープチャック機構１６と、引き出された接着テープ６をウエハ３に押圧して接着する貼付ローラ１４と、ウエハ３に貼り付けられた接着テープ６をウエハ３の円周方向に沿って切断するカッタユニット４１と、切断された余剰部分の接着テープ６を巻取って回収する接着テープ回収リール１３とから構成されている。
【００３３】
図２及び図３のように貼付テーブル４０は、その上面でウエハ３を吸着保持するようになっており、機台５上に立設されたレール５２と貼付テーブル４０の垂直下方に設けられた支持枠５１に設けられたスライダ５３とが摺動可能に嵌合しており、機台５上に設けられたシリンダ５０が作用して貼付テーブル４０は昇降動するようになっている。
【００３４】
なお、ウエハ３の接着テープ６の貼り付け面と貼付テーブル４０の外周上面の高さは、貼り付け条件に応じて適宜調整すればよく、外周、内周のテーブル面の高さは適宜な公知手段により調整可能にしておけば良い。
【００３５】
また、接着テープ供給リール１１から引き出された接着テープ６はガイドローラ７４を経由してテンションローラ５４に導かれ、このテンションローラ５４の位置が平行に保たれるよう制御して引き出し方向のテープ張力が適正に保たれ残存応力が発生しないようになっている。
【００３６】
なお、上記の接着テープ６の引き出し時の張力は、自然な力で幅方向への収縮が発生しない程度の力で行なわれる。
【００３７】
前記接着テープ６は剥離ローラ４９により、粘着面を保護しているセパレータ１０が剥離されセパレータ巻取リール１２に巻き取られる。この時、セパレータ１０の巻取張力はテンションローラ５５により制御され、接着テープ６からセパレータ１０を剥離する際に接着テープ６に及ぶ張力を最小限に保つようになっている。なお、セパレータ１０が使用されない接着テープ６も使用できる。
【００３８】
また、前記テープチャック機構１６は、図１乃至図６のように支持枠５６と支持枠５７の内側に設けられており、前記支持枠５６、５７の間に支持枠３２と支持枠３３を設け、前記両支持枠３２、３３と垂直に支持枠２６を懸架して形成されている。
【００３９】
また、前記両支持枠３２、３３の外側にはスライダ５５、５５が設けられており、支持枠５６と支持枠５７の内側に設けられたレール５４、５４とスライダ５５、５５が摺動可能に嵌合するとともに、前記テープチャック機構１６の支持枠３３の外側上方には支持板が延設され、支持枠５７の開口部を介してベルト３４に締結されており、このベルト３４が支持枠５７に設けられたモータ６０の駆動プーリ５９及び従動プーリ６１を通じて回転駆動されることにより、前記テープチャック機構１６がレール５４、５４に沿って図５の実線位置から二点鎖線位置までを水平動するようになっている。
【００４０】
また、前記両支持枠３２、３３の下端には、軸３０が両支持枠３２、３３に対して回転可能に軸支され、この軸３０の両支持枠３２、３３間の左右にはロール形状の一対の下側チャック２５、２５が軸３０に対して摺動可能に設けられるとともに前記左右の下側チャック２５、２５は軸３０に対して反時計回りにのみ回転するように図示しない係合ピン等が設けられている。
【００４１】
また、これらの左右の下側チャック２５、２５の間には剥離ローラ２４が軸３０に固定されており、この剥離ローラ２４は左右の下側チャック２５、２５とともに軸３０の回転に伴って共に回転するようになっている。なお、下側チャック２５、剥離ローラ２４は、接着テープ６の粘着面に接するので離型作用のあるシリコーンゴム等で形成することが好ましい。
【００４２】
また、軸３０は、支持枠３３の外側に向かって延設され、側端部にギア３５が固定されており、このギア３５の上方にはギア３５と係合するギア３６が支持枠３３の外側に軸支された軸の側端部に設けられている。
【００４３】
また、このギア３５と軸３０には図示しない適宜なクラッチ機構が設けられており、テープチャック機構１６で接着テープ６を把持して引き出す際は、クラッチが切れて軸３０は回転しないようになっており、後述する余剰部分の接着テープ６を貼付テーブル４０から剥離する際にはクラッチが繋がって軸３０が回転駆動されるようになっている。
【００４４】
また、前記ギア３６の上方には支持枠５７の外側に並設されたラック３８及びギア３６と係合するピニオン３７が設けられ、このピニオン３７は支持枠３３の外側に軸支された軸の側端部に設けられている。
【００４５】
従って、テープチャック機構１６の接着テープ６の引き出し方向への往動時は軸３０は回転せず、復動時は軸３０が反時計回りに回転するようになっている。
【００４６】
また、上記左右の下側チャック２５、２５の外側には、ばね等の弾性部材１８、１８が設けられて左右の下側チャック２５、２５をストッパ７０、７０のある内側方向に向けて付勢しており、左右の下側チャック２５、２５は内側端６６、６６に位置するようになっている。
【００４７】
この弾性部材１８の付勢力は、上記内側端６６、６６に復帰する程度の付勢力（例えばバネ定数０．０１ｋｇ／ｍｍ以下。但し下側チャック２５の重量や軸３０の摺動抵抗により適宜選定すれば良い。）で、軸３０の摺動抵抗も限りなくゼロに近づくようにしておくことが、テープチャック機構１６で極僅かな幅方向への張力を制御する上で好ましい。
【００４８】
上記軸３０の摺動抵抗や弾性部材１８の付勢力が大きい場合、それを打ち消すだけのモータ２０でのトルク付与が必要であり、接着テープ６の幅方向に与える張力が微小な場合、モータ２０でその幅方向への張力を検出することができないからである。
【００４９】
また、上記左右の下側チャック２５、２５の各々上方にはＬ字形状の上側チャック１７、１７が設けられ、左右の上側チャック１７、１７は後方にスライダ２８が設けられてガイド２７前方の支持板３１に敷設されたレール２９と摺動可能に嵌合している。
【００５０】
また、上側チャック１７は、上方が支持枠６８に設けられたシリンダ１９の軸と接続され、前記シリンダ１９の駆動により上下動可能に構成なっており、前記上側チャック１７が下降した際に上側チャック１７と下側チャック２５との間で接着テープ６を把持するとともに前記上側チャック１７と下側チャック２５とでテープ把持部材６９が形成されている。
【００５１】
なお、上側チャック１７のテープ把持面はシリコーンゴム等滑りを防止する部材を設けておけば良い。
【００５２】
また、前記スライドガイド２７は支持枠３２と支持枠３３の間に懸架された上下２本のレール軸２３、２３に摺動可能に設けられており、前記スライドガイド２７が支持枠６８に取り付けられることにより上側チャック１７が両レール軸２３、２３に沿って左右方向に水平動可能になっている。
【００５３】
また、前記左右両側の支持枠６８、６８は図５、図６のように後方がベルト２１に互いに上下対称となるように接続され、このベルト２１を駆動することで、両支持枠６８、６８を介して左右の上側チャック１７、１７が接近離反動するようになっている。なお、前記ベルト２１は、滑りが発生しないようにタイミングベルトが好ましく使用される。
【００５４】
また、ベルト２１は、トルク値を検出可能なモータ２０に接続されており、このモータ２０を予め設定したトルク値となるように駆動することで、左右の上側チャック１７、１７と下側チャック２５、２５が接着テープ６を把持した状態で幅方向に駆動され、接着テープ６に所定の張力が掛かるように制御される。
【００５５】
上記モータ２０は例えばステッピングモータ、サーボモータ等、トルク値を検出可能なモータが適宜利用できる。
【００５６】
また、レール軸２３に対するガイド２７の摺動抵抗及び軸３０に対する下側チャックの摺動抵抗は限りなく小さくゼロに近づくようにすることがモータ２０で微小なトルク値を検出する面で好ましい。
【００５７】
また、弾性部材１８の下側チャック２５の付勢力は、下側チャック２５が内側端６７に復帰する程度に小さくすることが、モータ２０で微小なトルク値を検出する面で好ましい。
【００５８】
また、前記貼付ローラ１４は、適宜な支持枠に軸支され、シリンダ７１によって上下動可能に設けられるとともに、前記支持枠の一端は、支持枠５７の開口部を介してベルト６６と接続されている。
【００５９】
前記ベルト６６は、支持枠５７の後方に設けられたモータ６４の駆動プーリ６３と従動プーリ６５に掛け渡されており、モータ６４を駆動することで貼付テーブル４０上を往復どうするようになっている。
【００６０】
また、前記貼付ローラ１４は下降時に接着テープ６を押圧転動しながらウエハ３に圧着して貼り付けるようになっている。なお、接着テープ６の種類に応じて適宜貼付ローラ１４にヒータを内蔵すれば良い。
【００６１】
また、貼付ローラ１４の前方には接着テープ６の引き出し時に接着テープ６が加熱された貼付ローラ１４と接しないようにガイドするガイドローラ１５が設けられている。なお、貼付ローラ１４を加熱しない場合は、ガイドローラ１５を設けなくても良い。
【００６２】
また、上記カッタユニット４１は、支持板４４の下方に延設された支持枠上にモータ４５が設けられ、モータ４５の軸と接続された支持板にカッタ４６が設けられて構成されており、モータ４５を駆動することでウエハ３の外周に沿って円周方向に接着テープ６を切断するようになっている。なお、適宜オリフラ用のカッタやノッチ用のカッタを設けても良い。
【００６３】
また、前記支持板４４は後方にスライダ７３が設けられ、支持枠５７に敷設されたレール７２と摺動可能に嵌合して設けられている。また、前記支持板４４は、支持枠５７に固定された支持板４２上に設けられたシリンダ４３と接続されており、このシリンダ４３の駆動で、カッタユニット４１は貼付テーブル４０に対して昇降動可能になっている。
【００６４】
また、前記接着テープ回収リール１３は、テープチャック機構１６に設けられた剥離ローラ２４及び下側チャック２５、２５で剥離された不用部分の接着テープ６を巻き取って回収するようになっており、接着テープ供給リール１１及びテンションローラ５４と連動して引き出し方向に必要以上の張力が掛からないように制御されるようになっている。
【００６５】
以上が本発明の接着テープ貼付装置１の構成であり、次に本発明のテープチャック機構１６部の動作機構について図７に基づいて説明する。
【００６６】
図７の実線位置のように接着テープ６がウエハ３に貼り付けられた後、接着テープ６がカッタユニット４１の作用でウエハ３の外形に沿って切断されてくり貫かれるので、くり貫き部分と未使用部分の間で張力分布に差が生じ、接着テープ６が幅方向に収縮する。
【００６７】
なお、接着テープ６を有効に利用するため、テープ把持部材６９で接着テープ６を把持する位置は次の貼り付け時に影響しない程度に接近させることが好ましいので、接着テープ６のくり貫き部分の一部を把持することになる。
【００６８】
上記のように接着テープ６が幅方向に収縮した状態で、下側チャック２５、２５及び上側チャック１７、１７が内側端６７、６７に寄った状態（すなわち、接着テープ６の幅方向内側に向けてはテープチャック機構１６の幅方向への引張力が発生しない状態）で上側チャック１７、１７をシリンダ１９の作用で閉じ、接着テープ６をテープ把持部材６９、６９でチャックして保持する。
【００６９】
次に、モータ２０を作用させ、予め設定された所定のトルク値（上記接着テープ６のくり貫き部の幅が未使用部分の幅となる程度）となるように制御することで、接着テープ６が図中二点鎖線位置のように幅方向が所定の幅となるように幅方向の張力が制御される。
【００７０】
上記の状態で、接着テープ６を貼付テーブル４０上に保持されたウエハ３上に引き出し、幅方向の張力を保持した状態で後述する接着テープ６の貼り付けが行なわれるので、接着テープ６の引き出し時及びウエハ３への貼り付け時に絶えず接着テープ６の幅方向への張力が適正に保たれ、残存応力によるウエハ３の反りや破損が発生せず、さらに接着テープ６にしわや気泡が入らないように貼り付けを行うことができる。
【００７１】
次に接着テープ貼付装置１での接着テープ６の基板への接着について以下に説明する。
【００７２】
図１のように貼付前ウエハ収納部４を適宜な機構で昇降動作させ、搬送ロボット７の吸着ハンドの上面でウエハ３を１枚ずつ吸着させて取り出し、アライメント部２２の吸着テーブル８上に移載する。
【００７３】
吸着テーブル８上に移載されたウエハ３は吸着テーブル８上に吸着保持され、図示しない適宜な回転機構で回転駆動されて、ウエハ３の外周に設けられたノッチやオリフラをアライメントセンサ９で検出して、次の接着テープ６の貼付工程に備えて位置決めが行なわれる。
【００７４】
上記位置決めが行なわれたウエハ３は接着テープ貼付ユニット２の貼付テーブル４０上に位置決めされた状態で移載され、前記貼付テーブル４０に吸着保持される。
【００７５】
次に、図８及び図９に基づいて、接着テープ貼付ユニット２でのウエハ３への接着テープ６の貼り付け動作について説明する。
【００７６】
図８（ａ）のように、テープ把持部材６９の上側チャック１７がシリンダ１９の作用で下降して接着テープ６を下側チャック２５とで把持し、接着テープ６を保持する。この時、左右の下側チャック２５、２５は、接着テープ６を把持する直前まで弾性部材１８で極僅かな付勢力で内側方向に付勢されているので、下側チャック２５が内側端６７にある状態で接着テープ６が把持され、接着テープ６の幅方向外側に向けては張力が発生しない。
【００７７】
次にモータ２０を予め設定された張力値と対応するトルク値となるようにモータ２０を駆動させることにより、接着テープ６の幅方向外側に向けて左右のテープ把持部材６９、６９を互いに離反する方向に水平動させ、その適正なトルク値を保持した状態に保つ。
【００７８】
なお、接着テープ６への幅方向への張力については、各種の材質、厚み等に応じて予め貼り付けテスト等を行い、最適な条件を求めておけば、その張力値を予め入力しておくことでその張力値となるようモータ２０のトルク値が制御される。
【００７９】
上記により、接着テープ６の幅方向外側に向けて適正な張力が付与され、この状態で図８（ａ）の実線位置までテープチャック機構１６を駆動させることで、適正な幅方向への張力を保持した状態で接着テープ６がウエハ３の保持された貼付テーブル４０上に引き出される。
【００８０】
なお、この時、接着テープ６を引き出す方向への張力も制御するようにしておけば、引き出し方向への張力も適正化することが可能となる。
【００８１】
次に図８（ｂ）のように貼付テーブル４０が接着テープ６と間隔を保った位置まで上昇するとともに、貼付ローラ１４がシリンダ３９の作用で下降し、貼付テーブル４０の貼付開始端に接着テープ６を押圧して圧着する。
【００８２】
前記貼付ローラ１４は、図８（ｃ）のようにウエハ３上を押圧転動しながら水平動し、貼付テーブル４０の貼付終端部で上昇して図８（ａ）の初期位置に戻る。
【００８３】
続いて、図９（ａ）のようにカッタユニット４１がシリンダ４３の作用で下降し、モータ４３を駆動させて、接着テープ６をウエハ３の外形に沿って円周方向に切断する。
【００８４】
図９（ｅ）のように貼付テーブル４０をシリンダ５０の作用で下降させる。
【００８５】
続いて、図３及び図４のようにギア３５のクラッチが係合することでラック３８とピニオン３７の駆動力がギア３６を通じてギア３５に伝達され、剥離ローラ２４が回転駆動されながら、図９（ｆ）のように上側チャック１７が上昇して接着テープ６の把持を解放した後、テープチャック機構１６が貼付テーブル４０の貼付終端部方向に向けて水平動し、接着テープ６の余剰部分が剥離ローラ２４により剥離され、続いて次のテープチャック機構位置（図８（ａ）参照）までテープチャック機構１６が移動する。
【００８６】
接着テープ６が貼り付けられた貼付済ウエハ４７は、貼付テーブル４０の吸着を解いた後、貼付テーブル４０に設けられた図示しない浮上ピンにより貼付テーブル４０から浮上させられ、搬送ロボット７の吸着ハンドで貼付済ウエハ収納部４８に収納される。
【００８７】
以上が本発明の接着テープ貼付装置１での接着テープ６のウエハ３への貼り付け工程であり、次に本発明の接着テープ貼付装置１を適用して実際に貼り付けを行なった結果を以下に示す。
【００８８】
なお、実施例の共通条件としてモータ２０とプーリ径との関係で最大（１００％）張力が１１．８Ｎとなるステッピングモータとプーリを使用し、弾性部材１８にはバネ定数０．００３ｋｇ／ｍのものを使用して実験を行なった。この時の軸３０の内側端６７から下側チャック２５を幅方向外側に向けて移動させた際の負荷値は０．２５Ｎであった。
【００８９】
実施例１：８インチウエハ（厚み７２０μｍ）を使用し、厚み３１μｍのドライフィルムレジストをモータ２０のトルク出力を５％設定で貼り付けた場合、しわや気泡無くウエハに貼り付けることができた。なお、この時の幅方向への張力は０．５９Ｎであり、上記下側チャック２５の移動抵抗力０．２５Ｎを差し引くと、接着テープの幅方向に働く張力は０．３４Ｎとなる。
【００９０】
実施例２：８インチウエハ（厚み７２０μｍ）を使用し、厚み１３５μｍの保護テープをモータ２０のトルク出力を１５％設定で貼り付けた場合、しわや気泡無くウエハに貼り付けることができた。なお、この時の幅方向への張力は１．７７Ｎであり、上記下側チャック２５の移動抵抗力０．２５Ｎを差し引くと、接着テープの幅方向に働く張力は１．５２Ｎとなる。
【００９１】
比較例１：上記実施例２の条件で弾性部材１８のみをバネ定数０．０２２ｋｇ／ｍｍのものに変更すると、下側チャック２５の移動抵抗力は５．４Ｎとなり、移動抵抗力よりも小さい値の幅方向への張力をモータ２０で検出することができず、幅方向への張力が過大となって貼り付け時にウエハ３に残存応力が働き、裏面研削後のウエハが幅方向に反った。
【００９２】
以上が、本発明の実施例の一例であるが、モータ２０、プーリ径、バネ定数、移動抵抗力は使用する接着テープ６に応じて許容可能なように適宜選択できる。
【００９３】
なお、上記実施形態ではテープチャック機構１６の下側把持部分にローラを用い、剥離動作を兼用して行なえる構成としたが、これには限定されず、ローラではなく板状のもの等も使用でき、剥離動作は別の機構を用いて行うこともできる。
【００９４】
また、上記実施形態では広幅のロール状テープを途中で幅方向に切断することなく（エンドレス状態）使用したが、先端部分が幅方向に切断された一端を有するロール状テープであっても使用できる。
【００９５】
また、上記の実施例は一例であり、モータ２０、弾性部材１８等、接着テープの種類に応じて適宜変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の接着テープ貼付装置の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視正面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ方向矢視側面図である。
【図４】本発明の接着テープ貼付装置の要部拡大平面図である。
【図５】本発明の接着テープ貼付装置の説明図である。
【図６】本発明のテープチャック機構部の要部拡大背面図である。
【図７】本発明のテープチャック機構部の説明図である。
【図８】（ａ）乃至（ｃ）  本発明の接着テープ貼付装置の接着テープ貼り付け動作を表す説明図である。
【図９】（ｄ）乃至（ｆ）  本発明の接着テープ貼付装置の接着テープ貼り付け動作を表す説明図である。
【符号の説明】
【００９７】
１    接着テープ貼付装置
２    接着テープ貼付ユニット
３    ウエハ（基板）
４    貼付前ウエハ収納部
５    機台
６    接着テープ
７    搬送ロボット
８    吸着テーブル
９    アライメントセンサ
１０    セパレータ
１１    接着テープ供給リール
１２    セパレータ回収リール
１３    接着テープ回収リール
１４    貼付ローラ
１５    ガイドローラ
１６    テープチャック機構
１７    上側チャック
１８    弾性部材
１９    シリンダ
２０    モータ
２１    ベルト
２２    アライメント部
２３    レール軸
２４    剥離ローラ
２５    下側チャック
２６    支持枠
２７    スライドガイド
２８    スライダ
２９    レール
３０    軸
３１    支持板
３２    支持枠
３３    支持枠
３４    ベルト
３５    ギア
３６    ギア
３７    ピニオン
３８    ラック
３９    シリンダ
４０    貼付テーブル
４１    カッタユニット
４２    支持板
４３    シリンダ
４４    支持板
４５    モータ
４６    カッター
４７    貼付済ウエハ
４８    貼付済ウエハ収納部
４９    剥離ローラ
５０    シリンダ
５１    支持枠
５２    レール
５３    スライダ
５４    レール
５５    ガイド
５６    支持枠
５７    支持枠
５８    ガイドローラ
５９    駆動プーリ
６０    モータ
６１    従動プーリ
６２    ベルト
６３    駆動プーリ
６４    モータ
６５    プーリ
６６    ベルト
６７    内側端
６８    支持枠
６９    テープ把持部材
７０    ストッパ
７１    シリンダ
７２    レール
７３    スライダ
７４    ガイドローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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