(57)【要約】      （修正有）【課題】照明ユニットの交換費用を抑えることができとともに、生産効率の向上を図ることができ、さらに、誤った光量のまま使用してしまう危険もなくすことができる光学式測定装置を提供する。【解決手段】測定装置本体１と、この測定装置本体に着脱可能に装着されＬＥＤ４４、４９を光源とする照明ユニット４，５と、光量指令値に応じて照明ユニットを制御する照明用コントローラ６とを備えた光学式測定装置であって、照明ユニットには、光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部４８が設けられており、照明用コントローラは、光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応するキャリブレーション値を照明ユニットの記憶部から読み出し、このキャリブレーション値に基づいてＬＥＤ４４，４９を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定装置本体と、この測定装置本体に着脱可能に装着され発光ダイオードを光源とする照明ユニットと、光量指令値に応じて前記照明ユニットを制御する照明用コントローラとを備えた光学式測定装置において、
前記照明ユニットには、前記発光ダイオードが前記光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部が設けられ、
前記照明用コントローラは、前記光量指令値が与えられた際、前記記憶部に記憶されたキャリブレーション値の中から前記光量指令値に対応するキャリブレーション値を読み出し、このキャリブレーション値に基づいて前記発光ダイオードを制御し、前記光量指令値に対応する光量を前記発光ダイオードで発生させる、ことを特徴とする光学式測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学式測定装置において、
前記記憶部には、前記キャリブレーション値として、前記光量指令値に対応して、前記発光ダイオードに印加する電流指令値および前記発光ダイオードに印加する電流をパルス制御する際のデューティ比の変換テーブルが記憶され、
前記照明用コントローラは、前記光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応する電流指令値およびデューティ比を前記変換テーブルから読み出し、この読み出したデューティ比の制御パルスオン時に前記電流指令値に対応する電流を前記照明ユニットの発光ダイオードに印加する、ことを特徴とする光学式測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光学式測定装置において、
前記記憶部には、前記光量指令値のうち、低光量指令値ではその低光量指令値に対して異なるデューティ比がキャリブレーション値として記憶され、高光量指令値では異なる電流指令値がキャリブレーション値として記憶されている、ことを特徴とする光学式測定装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の光学式測定装置において、
前記照明ユニットは、ケーブルと、このケーブルの一端に設けられ前記発光ダイオードを有する発光部と、前記ケーブルの他端に設けられ前記照明用コントローラに接続される接続部とを備え、前記接続部には前記記憶部が設けられている、ことを特徴とする光学式測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光学式測定装置において、
前記発光部には放熱ファンが設けられ、
前記接続部が前記照明用コントローラに接続されると、前記照明用コントローラによって前記放熱ファンが作動制御される、ことを特徴とする光学式測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学式測定装置に関する。詳しくは、発光ダイオードを光源とする照明ユニットを備えた光学式測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定装置本体に対して各種の照明ユニット（例えば、落射照明ユニットや透過照明ユニットなど）を取り付け、いずれかの照明ユニットからの光を被測定物に照射しながら、被測定物の形状などを測定する光学式測定装置が知られている。
例えば、特許文献１に記載の画像処理型測定機では、ＬＥＤ（Light Emitting Diode：発光ダイオード）と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ（撮像手段）と、これらＬＥＤおよびＣＣＤカメラを制御する制御装置とを備えている。制御装置は、入力される光量指令値に応じてＬＥＤの印加電流を制御して被測定物を照明するとともに、ＣＣＤカメラを制御して被測定物からの反射光を受光することで画像情報を取得する。そして、取得した画像情報を処理することで被測定物の形状を測定している。
【０００３】
ところで、光学式測定装置では、明るさの違いが測定結果に影響を及ぼすため、与えられる光量指令値に対して正確な光量を照明ユニットから発生させる必要がある。しかし、ＬＥＤを光源とする照明ユニットを備えた光学式測定装置では、同じ型番のＬＥＤでも、固体により光量が大きく異なる。そのため、光量指令値に対して所定の光量を発生させるための対策が採られている。
【０００４】
例えば、図７に示すように、測定装置本体やＰＣ（Personal Computer）３から与えられる光量指令値（０〜１００％）に対応する光量を照明ユニット４のＬＥＤ４４に発生させるために必要な、電流指令値およびＰＷＭ（パルス幅変調）デューティ比の変換テーブル（キャリブレーション値）が照明用コントローラ６の記憶部４８に保存されている。
照明用コントローラ６には、記憶部４８のほかに、ＤＡ変換器６１と、ＰＷＭ発生器６２と、光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応する電流指令値およびＰＷＭデューティ比を記憶部４８から読み出し、この電流指令値およびＰＷＭデューティ比をＤＡ変換器６１およびＰＷＭ発生器６２に設定する制御部６３と、定電流発生器６４とが備えられている。
【０００５】
制御部６３は、光量指令値を受け取ると、この光量指令値に対応するキャリブレーション値（電流指令値およびＰＷＭデューティ比）を記憶部４８から読み出し、この電流指令値およびＰＷＭデューティ比をＤＡ変換器６１およびＰＷＭ発生器６２に設定する。ＰＷＭ発生器６２からは、設定されたＰＷＭデューティ比の制御パルスが発生される。すると、定電流発生器６４は、ＰＷＭ発生器６２から発生された制御パルスのオン時に、電流指令値に対応しＤＡ変換器６１によって変換された電流を照明ユニット４のＬＥＤ４４に印加する。これにより、ＬＥＤ４４は、光量指令値に対応する光量で発光される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２２０８３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の光学式測定装置では、キャリブレーション値が、照明ユニットとは別の照明用コントローラに保存されていたため、次のような課題があった。
（ａ）通常、ＬＥＤの寿命は蛍光灯などに比べ長いが、明るさは低下するため、明るさの精度が必要な用途では一定期間で交換することが好ましい。そのため、照明ユニットの交換時には、照明用コントローラへキャリブレーション値を書き込む操作が必要になる。
これは、測定精度に影響を与える重要な設定で、かつ、確実に行う必要があるため、メーカのサービスマンがユーザへ出向いて設定操作を行う必要がある。
【０００８】
（ｂ）組立時におけるキャリブレーション値の登録は、照明用コントローラと照明ユニットとの組み合わせが決まった後でないと行えない。
このため、組立の後半、完成まじかの測定装置が、時間のかかる照明キャリブレーションのために鎮座することとなり、しかかり品の増大やスペース効率の低下といった影響がある。
なお、時間のかかる照明キャリブレーションだけは先に行って、ＦＤ（フレキシブルディスク）にキャリブレーションデータを保存しておくといった改善策も考えられるが、ＦＤと照明ユニットをセットで管理しておくのは大変である。
【０００９】
（ｃ）誤った測定ユニットを接続した場合、つまり、照明用コントローラに対して予め決められた照明ユニット以外の照明ユニットが接続された場合、誤った明るさのまま使用してしまう危険がある。
【００１０】
本発明の目的は、これらの課題を解決し、照明ユニットの交換費用を抑えることができるとともに、生産効率の向上を図ることができ、さらに、誤った光量のまま使用してしまう危険もなくすことができる光学式測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の光学式測定装置は、測定装置本体と、この測定装置本体に着脱可能に装着され発光ダイオードを光源とする照明ユニットと、光量指令値に応じて前記照明ユニットを制御する照明用コントローラとを備えた光学式測定装置において、前記照明ユニットには、前記発光ダイオードが前記光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部が設けられ、前記照明用コントローラは、前記光量指令値が与えられた際、前記記憶部に記憶されたキャリブレーション値の中から前記光量指令値に対応するキャリブレーション値を読み出し、このキャリブレーション値に基づいて前記発光ダイオードを制御し、前記光量指令値に対応する光量を前記発光ダイオードで発生させる、ことを特徴とする。
【００１２】
このような構成によれば、測定装置本体に着脱可能に装着された照明ユニットに、発光ダイオードが光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部が設けられているから、照明ユニットの交換時にキャリブレーション値を書き込む操作を不要にできる。そのため、サービスマンがユーザへ出向いて設定操作を行う必要もないから、照明ユニットの交換費用を抑えることができる。
また、照明ユニットを組み立てた後なら、いつでも照明キャリブレーションが行えるため、生産効率の向上を図ることができる。つまり、しかかり品の増大やスペース効率の低下といった影響をなくすことができる。
また、誤った測定ユニットを接続し、誤った光量のまま使用してしまう危険もなくすことができる。
【００１３】
本発明の光学式測定装置において、前記記憶部には、前記キャリブレーション値として、前記光量指令値に対応して、前記発光ダイオードに印加する電流指令値および前記発光ダイオードに印加する電流をパルス制御する際のデューティ比の変換テーブルが記憶され、前記照明用コントローラは、前記光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応する電流指令値およびデューティ比を前記変換テーブルから読み出し、この読み出したデューティ比の制御パルスオン時に前記電流指令値に対応する電流を前記照明ユニットの発光ダイオードに印加する、ことが好ましい。
このような構成によれば、キャリブレーション値として、光量指令値に対応して、発光ダイオードに印加する電流指令値および発光ダイオードに印加する電流をパルス制御する際のデューティ比が記憶されているから、この電流指令値およびデューティ比の２つのキャリブレーション値を用いて、発光ダイオードの光量を正確に制御することができる。
【００１４】
本発明の光学式測定装置において、前記記憶部には、前記光量指令値のうち、低光量指令値ではその低光量指令値に対して異なるデューティ比がキャリブレーション値として記憶され、高光量指令値では異なる電流指令値がキャリブレーション値として記憶されている、ことが好ましい。
【００１５】
一般に、発光ダイオードは、印加電流の小さい範囲では、印加電流を変化させても光量を滑らかに制御することができず、正確な光量を得ることができない。しかし、ある基準値以上の印加電流の範囲では、印加電流を変化させることで光量を滑らかに制御することができ、正確な光量を得ることができる。
【００１６】
本発明によれば、光量指令値にのうち、低光量指令値（予め設定した基準光量指令値未満の領域）ではその低光量指令値に対して異なるデューティ比がキャリブレーション値として記憶され、高光量指令値（予め設定した基準光量指令値以上の領域）では異なる電流指令値がキャリブレーション値として記憶されているから、低光量指令値では、パルス幅の制御により発光ダイオードの光量を正確に制御することができ、また、高光量指令値では、発光ダイオードに印加する電流を制御することによって発光ダイオードの光量を正確に制御することができる。従って、光量指令値の全域において、発光ダイオードの光量を正確に制御することができる。
【００１７】
本発明の光学式測定装置において、前記照明ユニットは、ケーブルと、このケーブルの一端に設けられ前記発光ダイオードを有する発光部と、前記ケーブルの他端に設けられ前記照明用コントローラに接続される接続部とを備え、前記接続部には前記記憶部が設けられている、ことが好ましい。
このような構成によれば、照明ユニットは、ケーブルと、発光部と、接続部とを備え、接続部に記憶部が設けられているから、つまり、光源である発光部から離れた接続部に記憶部が設けられているから、発光部からの熱によって記憶部が悪影響を受けるのを極力回避できる。
【００１８】
本発明の光学式測定装置において、前記発光部には放熱ファンが設けられ、前記接続部が前記照明用コントローラに接続されると、前記照明用コントローラによって前記放熱ファンが作動制御される、ことが好ましい。
このような構成によれば、発光部には放熱ファンが設けられ、接続部が照明用コントローラに接続された際、照明用コントローラによって放熱ファンが作動制御される構造であるから、特に、大光量の照明ユニットに好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
＜顕微鏡の概略構成（図１参照）＞
本実施形態に係る光学測定装置は、顕微鏡に適用した例である。同顕微鏡は、測定装置本体１と、この測定装置本体１に着脱可能に装着された撮像手段としてのＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ２と、このＣＣＤカメラ２にて取得される画像情報を処理して被測定物Ｗの形状等を測定するＰＣ（Personal Computer）３と、測定装置本体１に着脱可能に装着された落射照明ユニット４および透過照明ユニット５と、これら落射照明ユニット４および透過照明ユニット５を制御する照明用コントローラ６とを備える。
【００２０】
測定装置本体１は、被測定物Ｗを載置するガラス板などからなるテーブル１１と、このテーブル１１の上に昇降可能に配置された対物レンズ１２と、この対物レンズ１２の光軸上に配置されたハーフミラー１３，１４と、ハーフミラー１３へ落射照明を入射させる反射ミラー１５と、ハーフミラー１４からの反射光を観察する接眼レンズなどを有する観察光学系１６とを備える。
【００２１】
ＣＣＤカメラ２は、ハーフミラー１３，１４を透過した光を所定位置に結像させる撮像レンズ２１と、撮像レンズ２１にて結像される光を受光する撮像素子２２とを備える。
【００２２】
ＰＣ３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、及びメモリ等を備えて構成され、顕微鏡全体を制御するものであり、ＣＣＤカメラ２にて撮像される被測定物Ｗの画像情報をサンプリングして画像データとしてメモリ内に記憶させたり（図１中矢印Ａ）、ＣＣＤカメラ２のゲインや、露光時間等を設定するための制御信号を出力したりすることができる（図１中矢印Ｂ）。
【００２３】
＜落射照明ユニット（図２参照）＞
落射照明ユニット４は、被測定物Ｗを図１中上方から照明するもので、図２に示すように、ケーブル４１と、このケーブル４１の一端に設けられた発光部４２と、ケーブル４１の他端に設けられ照明用コントローラ６に接続される接続部４７とを備えている。
【００２４】
発光部４２には、測定装置本体１に着脱可能に取り付けられるケース４３と、このケース４３内に組み込まれた発光ダイオードとしての落射照明用ＬＥＤ４４と、落射照明用ＬＥＤ４４から射出される光を平行化して反射ミラー１５へ入射させるコリメータレンズ４５とを備えている。落射照明用ＬＥＤ４４が組み込まれたケース４３の外周部には、放熱手段としての多数の放熱フィン４６が設けられている。これにより、落射照明用ＬＥＤ４４からの熱が放熱フィン４６を介して外部へ放出される。
【００２５】
接続部４７には、記憶部４８が設けられている。記憶部４８には、キャリブレーション値として、光量指令値に対応して、落射照明用ＬＥＤ４４に印加する電流指令値および落射照明用ＬＥＤ４４に印加する電流をパルス制御する際のデューティ比の変換テーブルが記憶されている。より詳細には、記憶部４８には、光量指令値のうち、低光量指令値（予め設定された基準光量指令値Ｌ未満の領域）ではその低光量指令値に対して異なるデューティ比がキャリブレーション値として記憶され、高光量指令値（予め設定された基準光量指令値Ｌ以上）では異なる電流指令値がキャリブレーション値として記憶されている。
【００２６】
＜透過照明ユニット＞
透過照明ユニット５は、被測定物Ｗを図１中下方から照明するもので、基本的な構成としては落射照明ユニットと略同じである。そのため、詳細な構造については、図２をもって説明を省略する。ただし、透過照明ユニット５の記憶部４８には、キャリブレーション値として、光量指令値に対応して、透過照明用ＬＥＤ４９に印加する電流指令値および透過照明用ＬＥＤ４９に印加する電流をパルス制御する際のデューティ比の変換テーブルが記憶されている。
【００２７】
＜照明用コントローラ（図３参照）＞
照明用コントローラ６には、図３に示すように、ＤＡ変換器６１と、ＰＷＭ発生器６２と、ＰＣ３から光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応する出力電流指令値およびデューティ比を落射照明ユニット４および透過照明ユニット５の記憶部４８から読み出し、この読み出した電流指令値およびデューティ比をＤＡ変換器６１およびＰＷＭ発生器６２に設定する制御部６３と、ＰＷＭ発生器６２からの制御パルスのオン時にＤＡ変換器６１によって変換された電流指令値に対応する電流を照明ユニットのＬＥＤ４４，４９に印加する定電流発生器６４とを備える。
【００２８】
＜被測定物の測定＞
被測定物Ｗの測定において、落射照明ユニット４が使用されると、落射照明用ＬＥＤ４４から射出される光は、コリメータレンズ４５を介して反射ミラー１５にて反射され、対物レンズ１２を介して被測定物Ｗの上から照射される。被測定物Ｗからの反射光は、対物レンズ１２，ハーフミラー１３，１４を透過してＣＣＤカメラ２に入射されるとともに、ハーフミラー１４で反射された一部が観察光学系１６に入射され、観察光学系１６にて観察される。
【００２９】
また、透過照明ユニット５が使用されると、透過照明用ＬＥＤ４９から射出される光は、被測定物Ｗの下方から照射される。被測定物Ｗを透過した光は、対物レンズ１２、ハーフミラー１３，１４を透過してＣＣＤカメラ２に入射されるとともに、ハーフミラー１４で反射された一部が観察光学系１６に入射され、観察光学系１６にて観察される。
すると、ＰＣ３は、ＣＣＤカメラ２にて撮像される被測定物Ｗの画像情報をサンプリングして画像データとしてメモリ内に取り込み、取り込んだ画像データを処理して被測定物Ｗの形状を測定する。
【００３０】
＜光量制御（図４および図５参照）＞
図４は、落射照明ユニット４および透過照明ユニット５の記憶部４８に記憶された電流指令値およびデューティ比による制御状態を示すグラフである。なお、図４（Ａ）では、横軸を光量指令値とし、縦軸を印加電流としている。また、図４（Ｂ）では、横軸を光量指令値とし、縦軸をパルスのデューティ比としている。
図５は、光量指令値と、ＣＣＤカメラ２にて撮像される画像データの明るさとの関係を示すグラフである。なお、図５では、横軸を光量指令値とし、縦軸を画像データの明るさとしている。
【００３１】
制御部６３は、記憶部４８から読み出したキャリブレーション値を基に落射照明用ＬＥＤ４４および透過照明用ＬＥＤ４９の光量を制御する。
まず、記憶部４８から読み出した光量指令値が低光量指令値では、落射照明用ＬＥＤ４４および透過照明用ＬＥＤ４９に印加する電流をパルス制御する。具体的に、低光量指令値（光量指令値が基準光量指令値Ｌ未満）の場合に、無電流状態をＬｏｗとし、図４（Ａ）に示すように、基準光量指令値Ｌを得ることができる基準値Ｉの電流をＨｉｇｈとして、図４（Ｂ）に示すように、パルスのデューティ比を制御することで低光量指令値領域における光量を制御する。
【００３２】
また、記憶部４８から読み出した光量指令値が高光量指令値では、落射照明用ＬＥＤ４４および透過照明用ＬＥＤ４９に印加する電流を制御する。具体的には、高光量指令値（光量指令値が基準光量指令値Ｌ以上）の場合に、図４（Ｂ）に示すように、パルス制御を停止（デューティ比１００％）して、図４（Ａ）に示すように、印加する電流を制御することで高光量指令値領域における光量を制御する。
したがって、ＣＣＤカメラ２にて撮像される画像データの明るさは、図５に示すように、略線形の関係が得られる。
なお、ＣＣＤカメラ２にて撮像される画像データの明るさは図５に示す線形に限らず、キャリブレーション値を変えることにより、いろいろな曲線にすることができる。通常、人間の目は暗い領域では変化に敏感であることから、暗いときには変化が少なくなる２次関数のような曲線にもできる。
【００３３】
＜実施形態の効果＞
（１）測定装置本体１に着脱可能に装着され落射照明ユニット４および透過照明ユニット５に、落射照明用ＬＥＤ４４および透過照明用ＬＥＤ４９が光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部４８が設けられているから、これら落射照明ユニット４および透過照明ユニット５の交換時にキャリブレーション値を書き込む操作を不要にできる。そのため、サービスマンがユーザへ出向いて設定操作を行う必要もないから、落射照明ユニット４および透過照明ユニット５の交換費用を抑えることができる。
【００３４】
（２）また、落射照明ユニット４および透過照明ユニット５を組み立てた後なら、いつでも照明キャリブレーションが行えるため、生産効率の向上を図ることができる。つまり、しかかり品の増大やスペース効率の低下といった影響をなくすことができる。
また、誤った測定ユニットを接続し、誤った光量のまま使用してしまう危険もなくすことができる。
【００３５】
（３）キャリブレーション値として、光量指令値に対応して、ＬＥＤ４４，４９に印加する電流指令値およびＬＥＤ４４，４９に印加する電流をパルス制御する際のデューティ比が記憶されているから、この電流指令値およびデューティ比の２つのキャリブレーション値を用いて、ＬＥＤ４４，４９の光量を正確に制御することができる。
とくに、光量指令値のうち、低光量指令値ではその低光量指令値に対して異なるデューティ比がキャリブレーション値として記憶され、高光量指令値では異なる電流指令値がキャリブレーション値として記憶されているから、低光量指令値では、パルス幅の制御によりＬＥＤ４４，４９の光量を正確に制御することができ、また、高光量指令値では、ＬＥＤ４４，４９に印加する電流を制御することによって、従来と同様に高光量域における光量を正確に制御することができる。従って、光量指令値の全域において、ＬＥＤ４４，４９の光量を正確に制御することができる。
【００３６】
（４）落射照明ユニット４および透過照明ユニット５は、ケーブル４１と、発光部４２と、接続部４７とを備え、接続部４７に記憶部４８が設けられているから、つまり、光源である発光部４２から離れた接続部４７に記憶部が設けられているから、発光部４２からの熱によって記憶部４８が悪影響を受けるのを極力回避できる。
【００３７】
＜変形例（図６参照）＞
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
落射照明ユニット４および透過照明ユニット５については、実施形態で述べた構造に限られない。例えば、図６に示すような構造でもよい。図６に示す照明ユニット７は、発光部４２に放熱手段としての放熱ファン５０が内蔵されている。この放熱ファン５０は、接続部４７が照明用コントローラ６に接続されると、照明用コントローラ６によって動作されるように構成されている。
【００３８】
従って、このような構成によれば、発光部４２には放熱ファン５０が設けられ、接続部４７が照明用コントローラ６に接続されると、照明用コントローラ６によって放熱ファン５０が作動される構造であるから、発光部４２からの熱による悪影響を極力回避できる。
とくに、このような構造では、発光部４２からの熱を効率的に外部へ放熱できるから、光量が大きい照明ユニットが要求される測定装置に好適である。
【００３９】
また、前記実施形態では、低光量指令値に対して、パルスのデューティ比を制御することで低光量域における光量を制御していたが、これに限られない。例えば、パルスのＨｉｇｈの電流値を制御することで低光量指令値領域における光量を制御してもよい。
また、低光量指令値に対して、ＣＣＤカメラ２の露光時間を制御することで低光量域における光量を制御してもよい。あるいは、撮像手段のゲインを制御することで低光量域における光量を制御してもよく、撮像手段のゲイン、及び露光時間を制御することで低光量域における光量を制御してもよい。
【００４０】
また、前記実施形態では、単色のＬＥＤ４４，４９を用いた照明ユニット４，５について説明したが、例えば、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のＬＥＤを組み合わせて所望の色の光を作り、これを被測定物Ｗに照射して測定する光学式測定装置にも、本発明は適用できる。
【００４１】
また、前記実施形態では、光量指令値がＰＣ３から与えられる構成としたが、例えば、測定装置本体１において光量指令値を設定するとともに、この設定された光量指令値が測定装置本体１から照明用コントローラ６に与えられる構成であってもよい。
【００４２】
また、前記実施形態では、制御部６３は、ＰＣ３から光量指令値が与えられると、この光量指令値に対応するキャリブレーション値を記憶部４８から読み出し、このキャリブレーション値に基づいてＬＥＤ４４，４９を制御するようにしたが、これに限られない。例えば、記憶部４８にＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable and Programmable Read Only Memory）を用いると、安価であるが、アクセススピードが遅いため、調光のレスポンスが遅くなる。そこで、制御部６３を、ＣＰＵやＲＡＭ（Random Access Memory）を備えた構成とし、ＣＰＵ起動時に、記憶部４８からキャリブレーション値を読み出してＲＡＭに記憶し、以降、光量指令値に対してＲＡＭからキャリブレーション値を読み出してＬＥＤ４４，４９を制御するようにすれば、調光のレスポンスを向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、発光ダイオードを光源とする照明ユニットを備えた顕微鏡、画像測定装置などに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る光学式測定装置の一実施形態を示す概略図。
【図２】同上実施形態の照明ユニットを示す図。
【図３】同上実施形態の照明用コントローラを示すブロック図。
【図４】同上実施形態における高光量指令値および低光量指令値に対する制御状態を示すグラフ。
【図５】同上実施形態において光量指令値とＣＣＤカメラにて撮像される画像データの明るさとの関係を示すグラフ。
【図６】照明ユニットの他の例を示す図。
【図７】従来の照明用コントローラおよび照明ユニットの関係を示す図。
【符号の説明】
【００４５】
１…測定装置本体、
２…ＣＣＤカメラ（撮像手段）、
３…ＰＣ、
４…落射照明ユニット、
５…透過照明ユニット、
６…照明用コントローラ、
７…照明ユニット、
４１…ケーブル、
４２…発光部、
４４…落射照明用ＬＥＤ、
４７…接続部、
４８…記憶部、
４９…透過照明用ＬＥＤ、
５０…放熱ファン（放熱手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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