(57)【要約】【課題】安価で単純な機構で脆性物にストレスを与えず短いサイクルタイムで位置決めする脆性物位置決め装置を提供すること。【解決手段】脆性物位置決め装置は、脆性物３０を支持する第１の球状駆動伝達手段１及び第２の球状駆動伝達手段２と、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び各々第１，第２の球状駆動伝達手段１，２に加圧接触して回転力を付与する第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６と、脆性物３０の縁部の接触または接近を検出して出力する複数の検出手段１１〜１６と、Ｘ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６の回転量を制御して、脆性物３０のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段２０とを備えている。【選択図】図１
2010278082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置上に載置された脆性物を所定の位置に位置決めする脆性物位置決め装置であって、  球状を成し全方位に回転自在に保持され前記脆性物の裏面に直接接触して前記脆性物を支持する第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段と、
前記第１の球状駆動伝達手段及び前記第２の球状駆動伝達手段にそれぞれ１組ずつ設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び各々前記球状駆動伝達手段に加圧接触して回転力を付与する第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーと、
前記第１組、第２組の前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーの回転量を制御して、前記脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする脆性物位置決め装置。
【請求項２】
前記脆性物の周囲に配置され前記脆性物の縁部の接触または接近を検出して出力する複数の検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段の出力に基づいて、前記第１組、第２組の前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーの回転量を制御して、前記脆性物の位置変位がなくなる方向に、前記脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の脆性物位置決め装置。
【請求項３】
装置上に載置された脆性物を所定の位置に位置決めする脆性物位置決め装置であって、  球状を成し全方位に回転自在に保持され前記脆性物の裏面に直接接触して前記脆性物を支持する第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段と、
前記第１の球状駆動伝達手段及び前記第２の球状駆動伝達手段にそれぞれ１組ずつ設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び各々前記球状駆動伝達手段に加圧接触して回転力を付与する第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーと、
前記脆性物の周囲に配置され前記脆性物の縁部の接触または接近を検出して出力する複数の検出手段と、
前記検出手段の出力に基づいて、前記第１組、第２組の前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーの回転量を制御して、前記脆性物の位置変位がなくなる方向に、前記脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段と、
を備えたことを特徴とする脆性物位置決め装置。
【請求項４】
前記検出手段は、各軸毎に前記脆性物を挟んで組を成して配置され、
前記制御手段は、各組の前記検出手段の出力が異なるものであるとき、前記脆性物に位置変位があると判断し、前記脆性物をオンしている前記検出手段から離す方向へ移動させるように、前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーを駆動する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の脆性物位置決め装置。
【請求項５】
前記検出手段は、各軸毎に前記脆性物の一側に並んで組を成して配置され、
前記制御手段は、各組の前記検出手段の出力が同じものであるとき、前記脆性物に位置変位があると判断し、脆性物側の前記検出手段がオン、脆性物と反対側の前記検出手段がオフとなる方向に、前記脆性物を移動させるように、前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーの回転量を制御する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の脆性物位置決め装置。
【請求項６】
装置上に載置された脆性物を所定の位置に位置決めする脆性物位置決め方法であって、  球状を成し全方位に回転自在に保持され前記脆性物の裏面に直接接触して前記脆性物を支持する第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段と、
前記第１の球状駆動伝達手段及び前記第２の球状駆動伝達手段にそれぞれ１組ずつ設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び各々前記球状駆動伝達手段に加圧接触して回転力を付与する第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーと、
前記脆性物の周囲に配置され前記脆性物の縁部の接触または接近を検出して出力する複数の検出手段と、
前記第１組、第２組の前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーの回転量を制御して、前記脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段と、を備えた脆性物位置決め装置を用いて、
前記検出手段の出力に基づいて、前記第１組、第２組の前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーの回転量を制御して、前記脆性物の位置変位がなくなる方向に、前記脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う
ことを特徴とする脆性物位置決め方法。
【請求項７】
前記検出手段を、各軸毎に前記脆性物を挟んで組を成すように配置しておき、
各組の前記検出手段の出力が異なるものであるとき、前記脆性物に位置変位があると判断し、前記脆性物をオンしている前記検出手段から離す方向へ移動させるように、前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーを駆動する
ことを特徴とする請求項６に記載の脆性物位置決め方法。
【請求項８】
前記検出手段を、各軸毎に前記脆性物の一側に並んで組を成すように配置しておき、
各組の前記検出手段の出力が同じものであるとき、前記脆性物に位置変位があると判断し、脆性物側の前記検出手段がオン、脆性物と反対側の前記検出手段がオフとなる方向に、前記脆性物を移動させるように、前記Ｘ軸駆動ローラー及び前記Ｙ軸駆動ローラーを駆動する
ことを特徴とする請求項６に記載の脆性物位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば太陽光発電セルや半導体ウエハに代表される薄く且つ脆い概平板形状の基板（脆性物）の位置決めを行う脆性物位置決め装置及び脆性物位置決め方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の位置決めにはその機構の単純さ、安価さから挟み込み式や押し当て式のような接触式の位置決め装置が広く利用されているが、このような位置決め装置では、基板が脆性を有するものである場合、接触部位での基板の傷や割れの発生、接触部品の磨耗によるごみの発生等が問題となっている。さらに近年、太陽光発電セルは脆性を有し材料価格高騰や製品のコストダウンのために年々薄肉化が進んでいるので、接触による傷、割れの発生頻度は増加している。そして、これまでにこの問題の対策としては画像処理等を用いた非接触式の位置決め装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３７９５８２０号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の技術のように脆性を有する基板を搭載しＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸回り（Ｘ，Ｙ、θ方向）に移動する移動手段と基板位置を認識する為の照明手段、撮像手段、エッジ位置検出手段を具備し、さらに検出されたエッジ位置から位置ズレ量を求める演算機能を備えた位置決め方式は、基板の外辺部に非接触で位置決めを行うことが出来るので基板の傷や割れ、ゴミの問題は解決できる。
【０００５】
しかしながら、上記のように多くの機構・組合せにより成り立つシステムの為、高価な装置となるので、経済効果の観点からその利用は高精度な位置決めを要求される工程に限られる。そのため、製造ラインの随所に見られるキャリアへの収納前や移載装置での把持前に用いる位置決め装置は、従来どおり安価な挟み込み式や押し当て式が利用されており、製造工程全体で見た場合、基板の傷や割れ、ゴミの問題は解決されていないという問題点があった。
【０００６】
また、上記従来の技術では基板を搭載したテーブルがＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸回りに移動して位置ずれを補正するものであり、その移動範囲は有限であるので位置決め毎に一旦テーブルを元の位置に戻す必要があった。そのため、サイクルタイムが長くなるという問題点もあった。
【０００７】
この発明は上記のような問題点を解決するためになされたものであり、安価で単純な機構を用いながら、基板外辺部に非接触かつ基板（脆性物）にストレスを与えず位置決めを行うことができる脆性物位置決め装置及び脆性物位置決め方法を提供することを目的としている。また、短いサイクルタイムで位置決めする脆性物位置決め装置及び脆性物位置決め方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の脆性物位置決め装置は、装置上に載置された脆性物を所定の位置に位置決めする脆性物位置決め装置であって、球状を成し全方位に回転自在に保持され脆性物の裏面に直接接触して脆性物を支持する第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段と、第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段にそれぞれ１組ずつ設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び各々球状駆動伝達手段に加圧接触して回転力を付与する第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーと、脆性物の周囲に配置され脆性物の縁部の接触または接近を検出して出力する複数の検出手段と、検出手段の出力に基づいて、第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーの回転量を制御して、脆性物の位置変位がなくなる方向に、脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の脆性物位置決め方法は、装置上に載置された脆性物を所定の位置に位置決めする脆性物位置決め方法であって、球状を成し全方位に回転自在に保持され脆性物の裏面に直接接触して脆性物を支持する第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段と、第１の球状駆動伝達手段及び第２の球状駆動伝達手段にそれぞれ１組ずつ設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び各々球状駆動伝達手段に加圧接触して回転力を付与する第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーと、脆性物の周囲に配置され脆性物の縁部の接触または接近を検出して出力する複数の検出手段と、第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーの回転量を制御して、脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段と、を備えた脆性物位置決め装置を用いて、検出手段の出力に基づいて、第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー及びＹ軸駆動ローラーの回転量を制御して、脆性物の位置変位がなくなる方向に、脆性物のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
この発明は、少なくとも２個の球状駆動伝達手段により、半導体ウエハや太陽光発電セル等の脆性物を直接駆動して位置決めを行うものであり、２個の球状駆動伝達手段が、２組のＸ，Ｙ方向の２本の駆動ローラーの回転をそれぞれ合成し脆性物にＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸回りの変位を直接与える。そして、２個の球状駆動伝達手段上に脆性物を載置して脆性物に直接駆動を伝えることにより、脆性物外辺部に接触することなく、脆性物と摺動することなくＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸回り成分の合成された変位を脆性物に与えることが出来るので、脆性物外辺部や底面に傷やカケが発生せず、位置決め部品が磨耗してゴミを発生しない、といった従来にない顕著な効果を奏するものである。また、テーブルが移動するのではなく脆性物を直接駆動して位置決めを行うので位置決め後に装置を元の位置に戻す必要がなく、短いサイクルタイムで位置決めが行える、といった従来にない顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１による位置決め装置の全体の概要を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１による位置決め装置の要部の上面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１による基板検出手段と駆動ローラーの対応を示した対応表である。
【図４−１】図４−１は、位置決め動作前の脆性物が位置ずれした様子を示す上面図である。
【図４−２】図４−２は、脆性物の位置決め動作の途中の動きを示す上面図である。
【図４−３】図４−３は、脆性物の位置決め動作が完了した様子を示す上面図である。
【図５−１】図５−１は、脆性物が他の状態に位置ずれした様子を示す上面図である。
【図５−２】図５−２は、脆性物の位置決め動作が完了した様子を示す上面図である。
【図６−１】図６−１は、脆性物がさらに他の状態に位置ずれした様子を示す上面図である。
【図６−２】図６−２は、脆性物の位置決め動作の途中の動きを示す上面図である。
【図６−３】図６−３は、脆性物の位置決め動作の途中の動きを示す上面図である。
【図６−４】図６−４は、脆性物の位置決め動作が完了した様子を示す上面図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態２による位置決め装置の要部の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明にかかる脆性物位置決め装置及び脆性物位置決め方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１３】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による位置決め装置の全体の概要を示す斜視図である。図２は、本発明の実施の形態１による位置決め装置の要部の上面図である。本実施の形態の脆性物位置決め装置は、太陽光発電セルや半導体ウエハに代表される薄く且つ脆い概平板形状の脆性物３０を装置上に載置して、この脆性物３０を移動させ位置決めを行う。
【００１４】
図１及び図２において、本実施の形態の脆性物位置決め装置は、球状を成し全方位に回転自在に保持されて、脆性物３０の裏面に直接接触して脆性物３０の裏面を下方から支持するとともに駆動力を脆性物３０に伝達して脆性物３０を移動させる第１の球状駆動伝達手段１及び第２の球状駆動伝達手段２と、球状を成し全方位に回転自在に保持されて、脆性物３０の裏面に直接接触して脆性物３０の裏面を下方から支持する第１の球状支持手段７及び第２の球状支持手段８と、第１の球状駆動伝達手段１に設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び第１の球状駆動伝達手段１に加圧接触して回転力を付与する第１組のＸ軸駆動ローラー３及びＹ軸駆動ローラー４と、第２の球状駆動伝達手段２に設けられ、Ｘ軸Ｙ軸に対応して互いに９０°離れて並び第２の球状駆動伝達手段２に加圧接触して回転力を付与する第２組のＸ軸駆動ローラー５及びＹ軸駆動ローラー６と、第１組、第２組のＸ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６の回転量を制御して、脆性物３０のＸ軸、Ｙ軸方向の移動及びＺ軸回りの回転の複合動作を行う制御手段２０とを備えている（以降、第１、第２及び第１組、第２組の記載は省略する）。
【００１５】
各Ｘ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６は、それぞれローラーとこれを回転させるモーターとを含んで構成されている。また、本実施の形態では、球状支持手段は２個設けられているが、球状支持手段は１個でもかまわない。なお、球状支持手段を、２個以上設ける場合には、球状駆動伝達手段１，２よりも少し低い位置に設置して調整し球状駆動伝達手段１，２の駆動を確実に脆性物３０に伝えるようにする。
【００１６】
脆性物位置決め装置は、さらに脆性物３０の周囲に配置されて脆性物３０の縁部の有無（接触或いは近接）を検出して出力する６個の検出手段１１〜１６を備えている。検出手段１１〜１６の出力線（図示せず）は、制御手段２０に接続されている。一方、各駆動ローラー３〜６のモーターと制御手段２０とは、制御信号線にて接続されており、各モーターは制御手段２０からの制御信号に基づいて駆動する。制御手段２０は、検出手段１１〜１６の出力に基づいて、Ｘ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６を駆動する。
【００１７】
各組のＸ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６の駆動力は、球状駆動伝達手段１，２により合成されて脆性物３０に伝わる。これにより、各駆動ローラー３〜６の回転方向、回転量を制御することにより、脆性物３０に所望の方位、量の変位を与えることが可能となっている。そして、２つの球状駆動伝達手段１，２が与える変位の方位及び量の組合せにより脆性物３０をＸＹ平面内で平行移動させるだけでなく、Ｚ軸回りに回転させることが可能となる。尚、位置決め精度を向上させるには、２個の球状駆動伝達手段１，２は、脆性物３０の対角線上に、脆性物３０の中心に対して点対称位置に配置するのが好ましい。
【００１８】
検出手段１１〜１６には、具体的には、脆性物３０を検出すると接点が接続するオン／オフセンサ等が用いられる。これらの検出手段１１〜１６にはフォトマイクロセンサや小径の透過型や反射型ファイバセンサのような微小範囲の物体の有無を検知するセンサが好ましい。検出手段１１,１２は、Ｘ＋方向への位置ずれを検出するものであり、図２において、脆性物３０の右辺外側に配置する。検出手段１３，１４は、Ｘ−方向への位置ずれを検出するものであり、脆性物３０の左辺外側に配置する。Ｘ＋方向に脆性物３０がずれている場合は、検出手段１１，１２がオンする。Ｘ−方向に脆性物３０がずれている場合は、検出手段１３，１４がオンする。検出手段１５は、Ｙ＋方向への位置ずれを検出するものであり、脆性物３０の上辺外側に配置する。検出手段１６は、Ｙ−方向への位置ずれを検出するものであり、脆性物３０の下辺外側に配置する。Ｙ＋方向に脆性物３０がずれている場合は、検出手段１５がオンする。Ｙ−方向に脆性物３０がずれている場合は、検出手段１６がオンする。
【００１９】
そして、所望の位置決め精度内に脆性物３０が位置決めされた場合には、脆性物３０は全ての検出手段１１〜１６の内側に接触せずに収まり、全ての検出手段１１〜１６がオフとなるように調整されている。
【００２０】
そして、制御手段２０は、所定の検出手段のオン信号に基づいて、脆性物３０を位置決め範囲内に移動させるように対応する駆動ローラーを駆動させる。このとき、検出手段と駆動ローラーの対応関係は図３のとおりである。検出手段１１が脆性物３０を検出した場合はＸ軸駆動ローラー３が脆性物３０をＸ−方向に移動させる方向に検出手段１１が脆性物３０を検出しなくなるまで回転する。また検出手段１３が脆性物３０を検出した場合はＸ軸駆動ローラー３が脆性物３０をＸ＋方向に移動させる方向に検出手段１３が脆性物３０を検出しなくなるまで回転する。同様にＸ軸駆動ローラー５は、検出手段１２がオンすれば脆性物３０をＸ−方向に移動するように回転する。また、検出手段１４がオンすれば脆性物３０をＸ＋方向に移動するように回転する。Ｙ方向の変位を与えるＹ軸駆動ローラー４，６は、検出手段１５がオンすれば脆性物３０をＹ−方向に移動するように回転する。検出手段１６がオンすれば脆性物３０をＹ＋方向に移動するように回転する。すなわち、制御手段２０は、各組の検出手段の出力がオンとオン、或いはオフとオフというように同じものであるときには、Ｘ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６を駆動させず、オンとオフというように異なるものであるとき、脆性物３０に位置変位があると判断し、脆性物３０をオンしている検出手段から離す方向へ移動させるように、Ｘ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６を駆動する。
【００２１】
次に図４，５，６を用いて位置決め動作について説明する。まず、脆性物３０が、図示しない移載装置などによって位置決め装置の２個の球状駆動伝達手段１，２と球状支持手段７，８とで構成される載置部に載置される。そのとき、図４−１のように脆性物３０がＸ＋方向、Ｙ＋方向にずれている場合、検出手段１１，１２，１５がオンする。この状態から、位置決め動作が開始すると、Ｘ軸駆動ローラー３，５は、脆性物３０をＸ−方向、Ｙ軸駆動ローラー４，６は脆性物３０をＹ−方向へ移動させるように回転する。この２軸同時に行われる移動は、球状駆動伝達手段１，２により合成されるので脆性物３０は斜め４５°方向に移動をする。この例ではＹ方向のズレ量がＸ方向のズレ量より小さいので、検出手段１５は、検出手段１１，１２よりも先にオフする。検出手段１５がオフするとＹ軸駆動ローラー４，６は停止し、脆性物３０の移動方向はＸ−方向のみに変わる（図４−２）。その後、検出手段１１，１２がオフすると位置決めが完了する（図４−３）。
【００２２】
次に、図５−１のように脆性物３０が反時計回りに回転した位置にあるようにずれた場合、検出手段１２，１３がオンするので、位置決め動作が開始するとＸ軸駆動ローラー３は脆性物３０をＸ＋方向に、Ｘ軸駆動ローラー５は脆性物３０をＸ−方向に移動させるように回転する。これにより脆性物３０は時計回りに回転し、検出手段１２，１３がオフすると位置決めが完了する（図５−２）。
【００２３】
さらに、図６−１のようにＸ＋方向、Ｙ＋方向および反時計回りにずれている場合、検出手段１１，１２，１５がオンするので、位置決め動作が開始すると、まず図４−１の場合と同様に脆性物３０は斜め４５°方向に平行移動する。次に検出手段１１がオフするとＸ軸駆動ローラー３が停止するので、球状駆動伝達手段１はＹ−方向、球状駆動伝達手段２は斜め４５°方向への移動を脆性物３０に与えるので脆性物３０は時計回りに回転しながら、Ｙ−方向へ移動する（図６−２）。検出手段１５がオフするとＹ軸駆動ローラー４，６が停止するので、Ｘ軸駆動ローラー５のＸ−方向への駆動のみが球状駆動伝達手段２を介して脆性物３０に伝わり、脆性物３０を時計回り回転させる（図６−３）。最後に検出手段１２がオフすると位置決め完了となる（図６−４）。
【００２４】
例えば、図６の例では、脆性物３０の平行移動と回転移動が合成されて実行されるので、一度オフした検出手段が再度オンすることが起こりえる。その場合には、その都度対応する駆動ローラーが回転し再度オフするまで脆性物３０を移動させる。そして、この動作を繰り返すことにより最終的には位置決めが完了する。位置決め完了後脆性物３０は図示しない移載装置等により後工程へと搬送される。
【００２５】
このような構成によれば、少なくとも２個の球状駆動伝達手段１，２により脆性物３０に直接駆動を伝えることにより、脆性物３０外辺部に接触することなく、また脆性物３０と摺動することなくＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸回り成分の合成された変位を脆性物３０に与えることが出来るので、脆性物３０外辺部や底面に傷やカケが発生せず、位置決め部品が磨耗してゴミを発生しない。さらにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸回り方向の駆動を合成して同時に与えられるので位置決め時間が短縮できるだけでなく、脆性物３０を直接駆動して位置決めを行うので位置決め後に装置を元の位置に戻す必要がなく、短いサイクルタイムで位置決めが行うことが出来る。
【００２６】
なお、駆動ローラー３〜６は、一定速で正逆回転および停止するモーター等で駆動すればよく、検出手段１１〜１６は脆性物３０の有無によりオンオフするセンサを用いればよいので位置決め装置を安価に製造することが出来る。さらに制御方法においては、検出手段１１〜１６が脆性物３０を検知すれば対応する駆動ローラー３〜６を対応する方向に回転させるという単純なものとすることができるので、制御手段２０は、リレー回路でも実現できるほどシンプルに構成できる。これにより、従来の挟み込みや押し当て方式に替えて、種々の分野の搬送装置に適用することが出来る。
【００２７】
実施の形態２．
図７は、本発明の実施の形態２による位置決め装置の要部の上面図である。本実施の形態においては、検出手段２１〜２６は、Ｘ，Ｙ方向の片方の辺に集中して配置されている。このような検出手段２１〜２６の配置によれば、位置決め完了時に外側の検出手段２１，２２，２５は脆性物３０を検出せず、検出手段２３，２４，２６は脆性物３０を検出するように調整する。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００２８】
このように、検出手段２１〜２６が、各軸毎に脆性物３０の一側に並んで組を成して配置され、制御手段２０は、各組の検出手段の出力がオンとオン、或いはオフとオフというように同じものであるとき、脆性物３０に位置変位があると判断し、脆性物３０側の検出手段２３，２４，２６がオン、脆性物３０と反対側の検出手段２１，２２，２５がオフとなるように、脆性物３０を移動させるべく、Ｘ軸駆動ローラー３，５及びＹ軸駆動ローラー４，６の回転量を制御する。
【００２９】
この構成によれば、検出手段２１〜２６を脆性物３０の片側に集中して配置できるので、各組の検出手段の支持部位を１個で製作できるほか、スペースを削減してコンパクト化を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上のように、本発明にかかる脆性物位置決め装置及び脆性物位置決め方法は、太陽光発電セルや半導体ウエハに代表される薄く且つ脆い概平板形状の脆性物の位置決めを行う装置及び方法に適用されて好適なものである。
【符号の説明】
【００３１】
１  第１の球状駆動伝達手段
２  第２の球状駆動伝達手段
３  第１組のＸ軸駆動ローラー
４  第１組のＹ軸駆動ローラー
５  第２組のＸ軸駆動ローラー
６  第２組のＹ軸駆動ローラー
７  第１の球状支持手段
８  第２の球状支持手段
１１，１２  検出手段（Ｘ＋方向検出手段）
１３，１４  検出手段（Ｘ−方向検出手段）
１５  検出手段（Ｙ＋方向検出手段）
１６  検出手段（Ｙ−方向検出手段）
２０  制御手段
３０  脆性物
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010278082.tif 000005
【図４−１】
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【図４−２】
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【図４−３】
2010278082.tif 000008
【図５−１】
2010278082.tif 000009
【図５−２】
2010278082.tif 000010
【図６−１】
2010278082.tif 000011
【図６−２】
2010278082.tif 000012
【図６−３】
2010278082.tif 000013
【図６−４】
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【図７】
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