(57)【要約】【課題】静電気対策が必要とされる卓上用、床用、棚用などに最適な帯電防止性に優れた置敷マットを提供する。【解決手段】漏洩抵抗値が１×１０10〜１×１０12Ωであるベースシートの片面に、塗布乾燥後の表面抵抗値が１×１０4〜９×１０5Ωである導電性インクを全面もしくは任意の連続模様状に塗布した帯電防止性置敷マット。このとき、ベースシートの導電性インク塗布面に、深さが３０〜１５０μｍのエンボス加工がなされることが好ましく、連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有していてもよい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏洩抵抗値が１×１０10〜１×１０12Ωであるベースシートの片面に、塗布乾燥後の表面抵抗値が１×１０4〜９×１０5Ωである導電性インクを全面もしくは任意の連続模様状に塗布した帯電防止性置敷マット。
【請求項２】
厚みが０．５〜２ｍｍで、漏洩抵抗値が１×１０7〜１×１０9Ωであり、摩擦帯電圧が１０Ｖ以下であることを特徴とする請求項１に記載の帯電防止性置敷マット。
【請求項３】
導電性インク塗布面に、深さが３０〜１５０μｍのエンボス加工がなされることを特徴とする請求項１または２に記載の帯電防止性置敷マット。
【請求項４】
連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有することを特徴とする請求項３に記載の帯電防止性置敷マット。
【請求項５】
導電性インクが、カーボン７〜９重量％と塩化ビニル系樹脂９〜１１重量％とを有機溶剤に溶解したものであり、
ベースシートが、塩化ビニル系樹脂１００重量部に対して、導電性可塑剤を３０〜６０重量部含むものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の帯電防止性置敷マット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気対策が必要とされる卓上用、床用、棚用などに最適な帯電防止性に優れた置敷マットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体などを製造するクリーンルームの間仕切り用シートとして、塩化ビニル系樹脂シートの片面または両面に、導電性塗料を任意の連続模様状に印刷したものが提案されている（特許文献１，２など）。
これら先提案のシートは、その用途上、軽量性や柔軟性が重視されるため０．３ｍｍ程度の薄さのものが好適に使用され、帯電によるゴミの付着や体へのまつわり付き等を防ぐために、導電性塗料の印刷部分においてシート表面の横方向（すなわち、同一平面方向）に１０3〜１０7Ω程度の導電性を有している。
【０００３】
ところが、上記先提案のシートを静電気対策が必要とされる置敷マットとしてそのまま使用すると、置敷したシートに厚みやクッション性がないため、滑り易い、（横方向に）ずれやすく載置性（安定性）が悪い、シート上で重いものを引きずると裂けやすかったり、重いものを長時間載置すると凹みやすかったり耐荷重性が低い等の問題が生じるので、０．５ｍｍ以上の厚さが必須となる。
【０００４】
また、静電気の発生は、２種の物質が接触剥離することに起因すると言われ、その際に摩擦が加わると、より静電気の発生量が多くなる。
卓上用や床用では、実際にその上で作業が行われたり、作業者が移動したり台車を運搬することも多く、間仕切り用（カーテン）と比べるとマット表面にかかる摩擦力が遥かに大きいので、発生する帯電量が多い傾向にあった。
【０００５】
一方で、現在、ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission：国際電気標準会議）規格では、静電気対策テーブルマットやフロアマットについては、その漏洩抵抗値が１×１０9Ω以下（ＩＥＣ６１３４０−５−１／５−２参照）のものが要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５４−２９３７８号公報
【特許文献２】特許第３３１２１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような現状を考慮し、０．５ｍｍ以上の厚みを有する置敷マットであって、特に、該マット表面上に摩擦が加わっても、発生する静電気を確実に逃すことができる帯電防止性置敷マットの提供を課題とする。
具体的には、漏洩抵抗値が１×１０7〜１×１０9(Ω)であり、摩擦帯電圧が１０(Ｖ)以下である帯電防止性置敷マットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明者は、マット表面の横方向のみならず、マットの表面（上面）から裏面（下面）への厚み方向の導通をも確保することで、ＩＥＣで要求される漏洩抵抗値の規格を満たし、摩擦帯電圧が１０Ｖ以下に抑えられ、しかもアースの取り方が平易な置敷マットが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
本発明は、このような知見の下でなし得たものであり、以下を要旨とする。
（１）漏洩抵抗値が１×１０10〜１×１０12Ωであるベースシートの片面に、塗布乾燥後の表面抵抗値が１×１０4〜９×１０5Ωである導電性インクを全面もしくは任意の連続模様状に塗布した帯電防止性置敷マット。
（２）厚みが０．５〜２ｍｍで、漏洩抵抗値が１×１０7〜１×１０9Ωであり、摩擦帯電圧が１０Ｖ以下であることを特徴とする前記（１）に記載の帯電防止性置敷マット。
（３）導電性インク塗布面に、深さが３０〜１５０μｍのエンボス加工がなされることを特徴とする前記（１）または（２）に記載の帯電防止性置敷マット。
（４）連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有することを特徴とする前記（３）に記載の帯電防止性置敷マット。
（５）導電性インクが、カーボン７〜９重量％と塩化ビニル系樹脂９〜１１重量％とを有機溶剤に溶解したものであり、ベースシートが、塩化ビニル系樹脂１００重量部に対して、導電性可塑剤を３０〜６０重量部含むものであることを特徴とする前記（１）〜（４）のいずれかに記載の帯電防止性置敷マット。
なお、本明細書における漏洩抵抗値とは、前記ＩＥＣ６１３４０−５−１／５−２における付属書Ａ記載の「Ａ．１  床、作業表面又は保管棚のための抵抗測定法」に定められた性能測定法により、印加電圧１００Ｖ、アース間距離３０ｃｍ、温度２３℃、湿度６０％の条件下で測定したものである。
また、塗布乾燥後の２点間抵抗値についても、漏洩抵抗値と同様に定められた性能測定法により、測定したものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の帯電防止性置敷マットは、アースの取り方が平易で、該マット表面上に摩擦が加わっても、発生する静電気を確実に逃すことができるものである。
本発明の帯電防止性置敷マットは、１×１０7〜１×１０9Ω程度の漏洩抵抗値を維持でき、その上、摩擦帯電圧が１０Ｖ以下である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の帯電防止性置敷マットは、漏洩抵抗値が１×１０10〜１×１０12Ωであるベースシートの片面に、塗布乾燥後の表面抵抗値が１×１０4〜９×１０5Ωである導電性インクを全面もしくは任意の連続模様状に塗布したものである。
ベースシートの漏洩抵抗値や導電性インクの塗布乾燥後の表面抵抗値が低すぎると、得られる置敷マットの漏洩抵抗値が１×１０7Ω未満となり、導通が良過ぎてしまい、放電し易いので作業する人や製品の保護面から問題である。一方、ベースシートの漏洩抵抗値や導電性インクの塗布乾燥後の表面抵抗値が高すぎると、得られる置敷マットがＩＥＣ規格（１×１０9Ω以下）を満たせない虞がある。特に、ベースシートの漏洩抵抗値が１×１０12Ωを超える場合、厚み方向での導通が不十分となり、アースの取り方によってはマット表面の静電気を逃せない。その上、摩擦帯電圧が１０Ｖを超え易く、摩擦により発生した静電気を逃がし難いものである。
【００１２】
ベースシート自身については、漏洩抵抗値が１×１０10〜１×１０12Ωであれば、どのようなものでも使用できるが、静電気対策が必要とされる置敷マットとして好適であるためには、塩化ビニル系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂から選ばれる少なくとも１つの樹脂を主体とすることが好ましい。これら主体とする樹脂の中では、耐久性、導電性インクとの馴染み性などから、塩化ビニル系樹脂が特に好ましい。
なお、塩化ビニル系樹脂とは、ポリ塩化ビニル樹脂の他、塩化ビニルと他のモノマー、例えばエチレン、プロピレン、酢酸ビニル、塩化ビニリデン、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、マレイン酸、フマル酸、アクリロニトリル、アルキルビニルエーテルなどとの共重合樹脂、あるいはこれらの樹脂のブレンド物などを含むものである。
【００１３】
ベースシート自身の漏洩抵抗値を１×１０10〜１×１０12Ωとするために、上記主体とする樹脂中に、アニオン系帯電防止剤（リン酸エステル誘導体など）、カチオン系帯電防止剤（アミン系第４級アンモニウム塩誘導体など）、非イオン系帯電防止剤（多価アルコールエステル、脂肪酸酸化エチレン付加体など）、両性帯電防止剤（ベンタイン型、イミダゾリン型など）、カーボンブラックなどの導電性物質を添加することが好ましい。また、上記主体とする樹脂が塩化ビニル系樹脂の場合には、フタル酸ジオクチルなどのフタル酸エステル系や、アジピン酸ジオクチルなどのアジピン酸エステル系などの導電性可塑剤を添加してもよい。
【００１４】
前述の主体とする樹脂が塩化ビニル系樹脂の場合は、上記導電性物質の中でもフタル酸ジオクチル（ＤＯＰ）、アジピン酸ジオクチル（ＤＯＡ）の単独又は混合体が特に好適に使用され、その際には、塩化ビニル系樹脂１００重量部に対して、３０〜６０重量部程度添加すればよい。なお、ＤＯＰとＤＯＡとの混合体とする際には、ＤＯＰ：ＤＯＡ＝１：１〜１：０．３程度の比率が好ましい。
このとき、例えば、リン酸エステル系可塑剤、セバチン酸エステル系の可塑剤、トリメット酸エステル系可塑剤、エポキシ系可塑剤など、前述の導電性可塑剤以外の可塑剤を添加してもよい。
【００１５】
前述の主体とする樹脂には、上記の他に、難燃剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、安定剤、充填剤、滑剤など、帯電防止性置敷マットの製造に使用される各種添加剤を配合してもよい。
【００１６】
以上のような主体とする樹脂、導電性物質、必要に応じ配合される添加剤を、混合・混練し、例えば、カレンダー法、押出法、インフレーション法などの公知手段によって、所望の厚さのベースシートを成形する。
このとき、比較的薄いシート（例えば、０．２〜０．４ｍｍ程度）を成形し、それらを複数枚重ねて加熱融着させ、１枚のベースシートとしてもよい。
【００１７】
本発明では、このようにして得られたベースシートの片面に、塗布乾燥後の表面抵抗値が１×１０4〜９×１０5Ωである導電性インクを全面もしくは任意の連続模様状に塗布することが重要である。
全面もしくは任意の連続模様状に塗布する方法としては、グラビア法、スクリーン法などの一般的な塗装法を採用すればよい。また、任意の連続模様状とは、例えば、連続の線状（波線なども含む）、格子状、網目状、幾何学的模様などの連続した模様が挙げられ、形状はもとより、インクの線の太さ、インクの線間隔などは特に限定されない。ただし、得られる置敷マットの漏洩抵抗値を低いものに設定したい場合などには、全面に塗布するほうが（任意の連続模様状に塗布するよりも）効果的である。
【００１８】
導電性インクについては、上記ベースシートへの塗布・乾燥後の表面抵抗値が１×１０4〜９×１０5Ωであれば、どのようなものでも使用できるが、例えば、樹脂バインダーを含む有機溶剤中に、カーボンブラック、グラファイト、銀、酸化錫などの導電性材料を分散・混合させたものを用いればよい。
樹脂バインダーとしては、塩化ビニル系樹脂やアクリル系樹脂などが挙げられる。
有機溶剤としては、酢酸エチレン、キシレン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、アノン、トルエン、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、シクロヘキサノンなどが挙げられ、単独または２種以上を混合して使用することもできる。中でも、入手や廃棄の容易性、コスト面などから、酢酸エチレン：キシレン：ＭＥＫ：アノン＝１〜３：２〜４：２〜４：０．５〜１．５程度の４種混合物を好適に用いることができる。
本発明では、ベースシートの主体樹脂を塩化ビニル系樹脂とした場合、塗布乾燥後の表面抵抗値に加えて、塗布の容易性や、実際に置敷マットとして使用した時の剥がれにくさ等を考慮すると、導電性材料としてカーボンを７〜９重量％、バインダー樹脂として塩化ビニル系樹脂を９〜１１重量％、を上記有機溶剤に溶解したものが好ましい。
【００１９】
本発明では、成形後のマットのブロッキングや、マット使用時における導電性インクの剥がれなどを防止することを目的として、導電性インク塗布面に、深さが３０〜１５０μｍのエンボス加工をしてもよい。
エンボス加工の深さが３０μｍ未満であると、得られたマットをロール状に巻いたり、複数枚重ねた際にブロッキングしやすくなるうえ、導電性インクの剥がれ防止効果も得られにくい。一方、１５０μｍを超えると、マット表面の触感が悪い、厚み方向にインクが浸透しすぎ、マットの漏洩抵抗値が１×１０7Ω未満になる虞がある。
エンボス加工は、例えば、金属製のエンボス型で機械的に付与する方法など、通常の置敷マットになされる従来公知のエンボス加工と同様に行えばよく、ベースシートの片面に導電性インクを全面もしくは任意の連続模様状に塗布する前に行ってもよいし、塗布した後に行うこともできる。
【００２０】
上記深さのエンボス加工が導電性インク塗布面になされる際には、連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有することが好ましい。
導電性インクによる任意の連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有していれば、導電性インクの剥がれ防止効果が高まるばかりか、得られる置敷マットの漏洩抵抗値を所望の値に容易にすることができる（エンボスの凹部では、ベースシート中の導電性物質が高密度となり、それらの接触部が密になる）。
【００２１】
本発明の帯電防止性置敷マットの厚みについては、０．５〜２ｍｍ程度が好ましい。
０．５ｍｍ未満では、置敷マットとして使用した際に、滑り易かったり、クッション性や載置性、耐荷重性などが不十分である。また２ｍｍを超えると、運搬性は低下し、コスト高となる。
【００２２】
本発明の帯電防止性置敷マットでは、漏洩抵抗値が１×１０7〜１×１０9Ωであることが好ましく、より好ましくは１×１０8〜１×１０9Ωである。
この漏洩抵抗値が１×１０9Ωを超えるものでは、ＩＥＣ６１３４０−５−１／５−２にて要求されている規格を満たせず、置敷マット表面の静電気を確実に逃せずに、マット上の製品に静電気障害が起こる可能性がある。また、１×１０7Ω未満のものでは、導通が良過ぎてしまい、放電し易いので作業する人や製品の安全面から問題である。
【実施例】
【００２３】
実施例１
表１に示す配合からなる塩化ビニル系樹脂組成物を、ロール温度１７５℃のカレンダー装置を用いて成形し、厚さが１ｍｍで漏洩抵抗値が３．０×１０10Ωのベースシートを得た。
【００２４】
【表１】
2010275504.tif 000002
【００２５】
表１中の数値は、重量部を示す。
≪使用原料≫
・ポリ塩化ビニル：平均重合度１０５０の塩化ビニル単独重合体
・導電性可塑剤Ａ：新日本理化社製 商品名“サンソサイザーＣ−１１００”
・導電性可塑剤Ｂ：積水化学工業社製 商品名“ＡＭ−９１２”
・安定剤：Ｂａ−Ｚｎ系複合安定剤
・難燃剤：三酸化アンチモン
【００２６】
次に、懸濁重合ポリ塩化ビニル（重合度１１００）１０ｇを、比率が酢酸エチレン：キシレン：ＭＥＫ：アノン＝２：３：３：１である４種混合有機溶剤に溶解し、カーボンブラック５ｇを加えて攪拌後、ボールミルにて８時間分散し、組成が、カーボン８重量％、ポリ塩化ビニル１０重量％である導電性インクを得た。
この導電性インクの塗布乾燥後の表面抵抗値（塗膜の２点間抵抗値）は、２．１×１０5Ωであった。
【００２７】
実施例１のベースシートの片面に、シルクスクリーンを使用して亀甲模様状の連続模様となるように、上記導電性インクを塗布した。
導電性インクの塗布乾燥後、該インク塗布面に、連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有するように、深さが７０μｍのエンボス加工を施し、厚さが約１ｍｍの帯電防止性置敷マットを得た。
【００２８】
実施例２
導電性可塑剤Ａの代わりに導電性可塑剤Ｂを用いた以外は、実施例１と同様にして厚さが１ｍｍで漏洩抵抗値が２．２×１０10Ωのベースシートを得た。
得られたベース−シートの片面に、シルクスクリーンを使用して亀甲模様状の連続模様となるように、上記導電性インクを塗布した。
導電性インクの塗布乾燥後、該インク塗布面に、連続模様が、エンボスの表面から底面に至る部分を有するように、深さが７０μｍのエンボス加工を施し、厚さが約１ｍｍの帯電防止性置敷マットを得た。
【００２９】
比較例１〜４
表２に示す漏洩抵抗値を有するように導電性可塑剤Ａ、安定剤、難燃剤を適宜配合した塩化ビニル製ベースシート（いずれも厚さが１ｍｍ）の片面に、シルクスクリーンを使用して亀甲模様状の連続模様となるように、表２に示す塗布乾燥後の表面抵抗値を有する導電性インクを塗布する以外は、実施例１と同様にした。
【００３０】
【表２】
2010275504.tif 000003
【００３１】
参考例１
塩化ビニル樹脂シートの片面に導電性塗料を亀甲模様状に印刷したものとして、市販されているクリーンルームの間仕切り用シート（アキレス株式会社製 商品名“セイデンＦ”／厚み０．３ｍｍ）を参考例１とした。
このセイデンＦのベースシート自身の漏洩抵抗値と導電性塗料（インク）の表面抵抗値は、表２に示す通りである。
【００３２】
実施例１〜２、比較例１〜４、及び、参考例１のマットを１．０ｍｍ厚×１０００×１０００ｍｍにカットしたものをサンプルとした。
各サンプルついて、１）漏洩抵抗値（Ω）、２）２点間抵抗値（Ω）：インクを塗布しない面（以下、「インク無面」とする）の表面抵抗値（Ω）、３）摩擦耐電圧（Ｖ）を下記の方法で測定し、それぞれの結果を表３に示す。
【００３３】
≪漏洩抵抗値（Ω）≫
絶縁体である木製テーブルの上に各サンプルを載置し、各サンプルの下面に貼った導通板からアースをとった。
「インク塗布面を下」面にした場合と「インク無面を下」面にした場合について、それぞれ前述のＩＥＣ６１３４０−５−１／５−２付属書Ａに記載の「Ａ．１  床、作業表面又は保管棚のための抵抗測定法」に定められた性能測定法に準拠して、Prostat社製 商品名“PRS-801 Resistance System”を用いて測定した。
【００３４】
≪インク無面の表面抵抗値（２点間抵抗値）（Ω）≫
得られた帯電防止性置敷マットのインク無面について、前述のＩＥＣ６１３４０−５−１／５−２付属書Ａに記載の「Ａ．１  床、作業表面又は保管棚のための抵抗測定法」に定められた性能測定法に準拠して、上記“PRS-801 Resistance System”を用いて測定した。
【００３５】
≪摩擦耐電圧（Ｖ）≫
１．サンプルをピンセットで持ち、イオンブロアーで除電した。
２．除電したサンプルをアースのとれた作業台の上に置き、ニトリルグローブをはめた手で一方向に軽く５回こすった。
３．サンプル（こすった箇所の反対の端部）をステンレス製ピンセットで持ち上げ、非接触の表面電位計（Ｔｒｅｋ社製 商品名“ＭＯＤＥＬ ５２０ ＥＬＥＣＴＲＯＳＴＡＴＩＣ ＶＯＬＴＭＥＴＥＲ”／測定電位範囲：０．００〜±１９．９９Ｋｖ、測定精度：１０Ｖ分解能）にて、「アース無」と「アース有」それぞれの状態において摩擦耐電圧を測定した。
なお、「アース無」とは、導電性インク塗布部分と接触しないようにマットとアースを繋いだ状態であり、「アース有」とは、導電性インク塗布部分と接触するようにマットとアースを繋いだ状態とした。
【００３６】
【表３】
2010275504.tif 000004
【００３７】
表３から、実施例１および２の置敷マットは、「インク塗布面を下」面にした場合と「インク無面を下」面にした場合のいずれも、ＩＥＣで要求される漏洩抵抗値の規格を満たし、アースの有無にかかわらず、摩擦帯電圧を低く抑えられるということがわかった。
また、ベースシート自身の漏洩抵抗値は、実施例１が３．０×１０10(Ω)であり、実施例２が２．２×１０10(Ω)であったにも拘わらず、そのベースシートの片面に表面抵抗値が２．１×１０5(Ω)の導電性インクを塗布することにより、ベースシートの導電性インク無面の２点間抵抗値が実施例１では２．０×１０8(Ω)となり、実施例２では１．３×１０8(Ω)の値であった。この結果から、本発明の置敷マットは、ベースシートの片面に所望の表面抵抗値を有する導電性インクを塗布することにより、ベースシートの導電性インク無面の２点間抵抗値を下げることが出来たので、効率的に帯電防止性能を発揮出来ることがわかった。
【００３８】
これに対し、比較例１のマットは、ベースシート自身の漏洩抵抗値が３．５×１０9(Ω)であったため、実施例１，２と同じ表面抵抗値を有する導電性インクを塗布したにも拘わらず、「インク無面を下」にした場合の漏洩抵抗値が、８．９×１０6(Ω)であった。
即ち、比較例１のマットでは、厚さ方向の導通が良すぎてしまい、放電し易いものになることがわかった。
【００３９】
比較例２のマットは、ベースシート自身の漏洩抵抗値がほぼ絶縁性である２．１×１０13(Ω)であったため、「インク塗布面を下」にした場合の漏洩抵抗値が、３．０×１０12(Ω)、「インク無面を下」にした場合の漏洩抵抗値が、６．０×１０12(Ω)であった。即ち、厚さ方向の導通が不十分であり、ベースシートの片面に導電性インクを塗布してもインク無面の２点間抵抗値に寄与することができないという結果であった。
また、摩擦耐電圧においても、「インク塗布面を摩擦」した場合の「アース無し」で１０００(Ｖ)以上であり、「インク無面を摩擦」した場合では、アースの有無に拘わらず１０００(Ｖ)以上であった。即ち、マット表面上に摩擦が加わった場合、発生する静電気を逃がし難い結果であった。
【００４０】
比較例３のマットは、インク塗料の表面抵抗値が２．８×１０3(Ω)であったため、実施例１と同じ漏洩抵抗値を有するベースシートを用いたにも拘わらず、「インク無面を下」にした場合の漏洩抵抗値が、６．９×１０4(Ω)であった。
即ち、比較例３のマットでは、厚さ方向の導通が良すぎてしまい、放電し易いものになることがわかった。
【００４１】
比較例４のマットは、その漏洩抵抗値はＩＥＣの規格を満たすものであったが、表面抵抗値が３．５×１０6(Ω)であるインク塗料を用いたため、「インク無面を摩擦」した場合の摩擦耐電圧が、アースの有無に拘わらず１１〜２０(Ｖ)であった。
即ち、比較例４のマットでは、インク無面をマット表面とし、そこに摩擦が加わった場合、発生する静電気を逃がし難い結果であった。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明の帯電防止性置敷マットは、ＩＥＣで要求される漏洩抵抗値の規格を満たし、摩擦帯電圧が１０Ｖ以下に抑えられ、しかもアースの取り方が平易なものである。
したがって、半導体部品やコンピュータなどを扱う作業所等の卓上用、床用、棚用などの置敷マットとして、好適に使用され得る。