(57)【要約】【課題】複数の供給管から温度の異なる冷却液を供給する冷却装置を提案すること。【解決手段】冷却装置１は第１貯留槽４および第２貯留槽５と、第１貯留槽４から冷却器６を経由して第１被冷却物２に冷却液を供給する第１供給管７と、熱交換後の冷却液を第２貯留槽５に回収する第１回収管８と、第２貯留槽５から第２被冷却物３に冷却液を供給する第２供給管９と、熱交換後の冷却液を第２貯留槽５に回収する第２回収管１０と、第１供給管７の冷却器６の下流側の部位から第２供給管９に接続される分岐管２１を備える。第２供給管９の分岐管２１が接続されている合流部位Ａには電動三方弁２２が配置され、第２温度コントローラ２４がこの電動三方弁２２の開閉動作の駆動を制御することにより分岐管２１から合流部位Ａに供給される冷却液と第２供給管９から合流部位Ａに供給される冷却液との混合比を調整し、第２供給管９から供給する冷却液の温度を調整する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却液を貯留する第１貯留槽および第２貯留槽と、
前記第１貯留槽から供給される冷却液を冷却する冷却器と、
前記冷却器を経由して第１設定温度に調整された第１冷却液を送り出す第１供給管と、
前記第２貯留槽から供給される冷却液に、前記第１供給管から分岐している分岐管を介して供給される前記第１冷却液を混合して、第２設定温度の第２冷却液を調整し、この第２冷却液を送り出す第２供給管と、
熱交換後の前記第１冷却液および前記第２冷却液を前記第２貯留槽に回収する回収管とを有していることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の冷却装置において、
前記第１貯留槽および前記第２貯留槽を仕切っている仕切り部材と、
これら第１および第２貯留槽を相互に連通させるために前記仕切り部材に形成した連通部とを有していることを特徴とする冷却装置。
【請求項３】
請求項２に記載の冷却装置において、
前記仕切り部材は、断熱材から形成されていることを特徴とする冷却装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の冷却装置において、
前記第２冷却液の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサの検出結果に基づいて、前記第２貯留槽から供給される前記冷却液と前記第１冷却液の混合比を制御する温度制御手段を有していることを特徴とする冷却装置。
【請求項５】
請求項４に記載の冷却装置において、
前記第２貯留槽から供給される前記冷却液を加熱するヒータを有しており、
前記温度制御手段は、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記ヒータによる前記冷却液の加熱量を制御することを特徴とすること冷却装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のうちのいずれかの項に記載の冷却装置において、
前記回収管として、前記第１冷却液を回収する第１回収管および前記第２冷却液を回収する第２回収管が配置されていることを特徴とする冷却装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のうちのいずれかの項に記載の冷却装置において、
前記第２供給管として、少なくとも２系統の供給配管系を配置し、
一方の前記供給配管系を前記第２設定温度の前記第２冷却液を送り出すものとし、
他方の前記供給配管系を前記第１および第２設定温度とは異なる第３設定温度の第３冷却液を送り出すものとしたことを特徴とする冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数系統の供給配管系から温度の異なる冷却液を供給することができる冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工装置などの被冷却物に冷却液を供給する冷却装置は、例えば、特許文献１に記載されている。図４に示すように、同文献の冷却装置１００は、冷却液を貯留しておくための液槽１０１と、この液槽から被冷却物に冷却液を供給する供給管１０２と、被冷却物との間で熱交換が行われた冷却液を回収する回収管１０３とを備えている。供給管１０２には、冷却液を被冷却物に送り出すための圧送ポンプ１０４と、非冷却物に供給される冷却液を冷却する冷却器１０５が配置されている。冷却器１０５は冷媒と冷却液との間で熱交換を行うことにより冷却液を冷却するものであり、冷媒を圧縮して循環させる圧縮機１０６と、この圧縮機から吐出された高温・高圧の冷媒の温度を下げる排熱部としての機能を果たす凝縮器１０７とともに冷凍サイクル１０８を構成している。
【０００３】
冷却装置の供給管１０２からレーザ加工装置に供給された冷却液は、例えば、レーザ発振器などの搭載部品との間で熱交換を行い、これらを冷却する。熱交換により温度が上昇した冷却液は回収管１０３から液槽１０１に回収された後に、再び冷却器１０５によって冷却されて、レーザ加工装置に供給される。
【特許文献１】特開２００３−３２９３５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体の製造工程などにレーザ加工装置が用いられている場合には、加工対象となる半導体部品の熱的損傷を回避するために、半導体部品が配置される作業空間を冷却したいという要求がある。このような要求に対して、作業空間の冷却用に、レーザ発振器を冷却するのに適した温度に調整された冷却液を供給すると、空気の熱伝導率が低いので、作業空間を十分に冷却することはできないという問題がある。一方、レーザ発振器の冷却用に、作業空間を冷却するのに適した低い温度に調整された冷却液を供給すると、レーザ発振器に結露が発生してしまうという問題がある。このため、レーザ加工装置の搭載部品と作業空間の双方を冷却するためには、複数台の冷却装置を用意して、各冷却装置からそれぞれ異なる温度に調整された冷却液を供給しなければならない。
【０００５】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、複数系統の供給配管系から温度の異なる冷却液を供給して、熱交換を行わせることができる冷却装置を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の冷却装置は、
冷却液を貯留する第１貯留槽および第２貯留槽と、
前記第１貯留槽から供給される冷却液を冷却する冷却器と、
前記冷却器を経由して第１設定温度に調整された第１冷却液を送り出す第１供給管と、
前記第２貯留槽から供給される冷却液に、前記第１供給管から分岐している分岐管を介して供給される前記第１冷却液を混合して、第２設定温度の第２冷却液を調整し、この第２冷却液を送り出す第２供給管と、
熱交換後の前記第１冷却液および前記第２冷却液を前記第２貯留槽に回収する回収管とを有していることを特徴とする。
【０００７】
本発明は、第１設定温度に調整された第１冷却液を送り出す第１供給管と、第２設定温度に調整された第２冷却液を送り出す第２供給管を備えている。従って、２系統の供給配管系のそれぞれから温度の異なる冷却液を被冷却物に供給し、冷却液と被冷却物との間で熱交換を行わせることができる。ここで、回収管によって第２貯留槽に回収される第１冷却液は、被冷却物との熱交換によって第１供給管から被冷却物に供給される第１冷却液の第１設定温度よりも高い温度状態になっている。同様に、回収管から第２貯留槽に回収される第２冷却液は、被冷却物との熱交換によって、第２供給管から被冷却物に供給される第２冷却液の第２設定温度よりも高い温度状態になっている。この結果、第２貯留槽から供給される冷却液の温度は、ヒータなどを用いなくても、第１冷却液の第１設定温度よりも高い。従って、第２供給管からは、第１設定温度よりも高い第２設定温度の第２冷却液を供給することができる。また、第２供給管では、第２貯留槽から供給される冷却液に分岐管を介して供給される第１冷却液を混合できるので、冷却液の温度を所望の第２設定温度に調整することができる。さらに、第１貯留槽には熱交換後の第１冷却液および第２冷却液が回収されていないので、第１貯留槽から冷却器に供給される冷却液の温度の上昇を抑制できる。この結果、冷却器に負荷を強いることなく、第１貯留槽から供給される冷却液を冷却して、第１設定温度に調整できる。
【０００８】
本発明において、一つの液槽内に第１貯留槽および第２貯留槽を簡易に構成するためには、前記第１貯留槽および前記第２貯留槽を仕切っている仕切り部材と、これら第１および第２貯留槽を相互に連通させるために前記仕切り部材に形成した連通部とを有していることが望ましい。
【０００９】
本発明において、前記仕切り部材は、断熱材から形成されていることが望ましい。このようにすれば、第１貯留槽に貯留されている冷却液と第２貯留槽に貯留されている冷却液との間で仕切り部材を介した熱交換が行なわれることがない。この結果、第１貯留槽に貯留されている冷却液の温度と第２貯留槽に貯留されている冷却液の温度との間に格差を発生させることができるので、第１供給管から供給される冷却液の温度と第２供給管から供給される冷却液の温度とを異なるものに設定し易い。
【００１０】
本発明において、第２供給管から供給される冷却液の温度を第２設定温度に調整するためには、前記第２冷却液の温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記第２貯留槽から供給される前記冷却液と前記第１冷却液の混合比を制御する温度制御手段を有していることが望ましい。
【００１１】
また、本発明において、第２供給管から供給される冷却液の温度を第２設定温度に調整するためには、前記第２貯留槽から供給される前記冷却液を加熱するヒータを有しており、前記温度制御手段は、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記ヒータによる前記冷却液の加熱量を制御することが望ましい。
【００１２】
本発明において、前記回収管として、前記第１冷却液を回収する第１回収管および前記第２冷却液を回収する第２回収管が配置されていてもよい。すなわち、冷却装置と被冷却液との間に２系統の循環配管系を構成可能にしてもよい。
【００１３】
また、本発明において、前記第２供給管として、少なくとも２系統の供給配管系を配置し、一方の前記供給配管系を前記第２設定温度の前記第２冷却液を送り出すものとし、他方の前記供給配管系を前記第１および第２設定温度とは異なる第３設定温度の第３冷却液を送り出すものとすることが望ましい。このようにすれば、３系統以上の供給配管系のそれぞれから設定温度の異なる冷却液を供給して、冷却液と被冷却物との間で熱交換を行わせることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、第１設定温度に調整された第１冷却液を送り出す第１供給管と、第２設定温度に調整された第２冷却液を送り出す第２供給管を備えている。従って、２系統の供給配管系のそれぞれから温度の異なる冷却液を被冷却物に供給し、冷却液と被冷却物との間で熱交換を行わせることができる。ここで、回収管によって第２貯留槽に回収される第１冷却液は、被冷却物との熱交換によって第１供給管から被冷却物に供給される第１冷却液の第１設定温度よりも高い温度状態になっている。同様に、回収管から第２貯留槽に回収される第２冷却液は、被冷却物との熱交換によって、第２供給管から被冷却物に供給される第２冷却液の第２設定温度よりも高い温度状態になっている。この結果、第２貯留槽から供給される冷却液の温度は、ヒータなどを用いなくても、第１冷却液の第１設定温度よりも高い。従って、第２供給管からは、第１設定温度よりも高い第２設定温度の第２冷却液を供給することができる。また、第２供給管では、第２貯留槽から供給される冷却液に分岐管を介して供給される第１冷却液を混合できるので、冷却液の温度を所望の第２設定温度に調整することができる。さらに、第１貯留槽には熱交換後の第１冷却液および第２冷却液が回収されていないので、第１貯留槽から冷却器に供給される冷却液の温度の上昇を抑制できる。この結果、冷却器に負荷を強いることなく、第１貯留槽から供給される冷却液を冷却して、第１設定温度に調整できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、図面を参照して本発明を適用した冷却装置の実施の形態を説明する。
【００１６】
（回路構成）
図１は本例の冷却装置の回路構成図である。冷却装置１は第１被冷却物２および第２被冷却物３のそれぞれに異なる設定温度に調整された冷却液を供給するものである。
【００１７】
冷却装置１は、第１貯留槽４および第２貯留槽５と、第１貯留槽４から供給される冷却液を冷却する冷却器６と、冷却器６を経由して第１被冷却物２に冷却液を供給する第１供給管７と、第１被冷却物２との間で熱交換が行われた冷却液を第２貯留槽５に回収する第１回収管８を備えている。また、第２貯留槽５から第２被冷却物３に冷却液を供給する第２供給管９と、第２被冷却物３との間で熱交換が行われた冷却液を第２貯留槽５に回収する第２回収管１０を備えている。冷却器６は第１貯留槽４から供給される冷却液と冷媒との間で熱交換を行うことにより冷却液を冷却するものであり、冷媒を圧縮して循環させる圧縮機１１と、この圧縮機１１から吐出された高温・高圧の冷媒の温度を下げる排熱部としての機能を果たす凝縮器１２とともに冷凍サイクル１３を構成している。
【００１８】
第１供給管７の冷却器６よりも上流には、冷却液を第１被冷却物２に向けて圧送する第１圧送ポンプ１４が配置されている。第１供給管７の冷却器６よりも下流には第１温度センサ１５が配置されている。また、第１供給管７の冷却器６よりも下流の部位と第１回収管８とは第１バイパスバルブ１６で接続されている。
【００１９】
第１温度センサ１５の出力は第１温度コントローラ１７に入力されるようになっている。第１温度コントローラ１７は第１温度センサ１５の検出結果に基づいて冷凍サイクル１３および冷却器６の動作を制御することにより、第１供給管７から第１被冷却物２に供給される冷却液（第１冷却液）の温度を第１設定温度に調整する。
【００２０】
第２供給管９には、第２貯留槽５から供給される冷却液を第２被冷却物３に向けて圧送する第２圧送ポンプ１８と、補助ヒータ１９が配置されている。第２供給管９の補助ヒータ１９よりも下流の部位と第２回収管１０とは第２バイパスバルブ２０で接続されている。
【００２１】
ここで、第１供給管７における冷却器６よりも下流の部位からは、第２供給管９の補助ヒータ１９よりも下流の部位に接続されている分岐管２１が延びている。第２供給管９における分岐管２１が接続されている合流部位Ａには電動三方弁２２が配置されている。また、合流部位Ａの下流側には第２温度センサ２３が配置されている。
【００２２】
第２温度センサ２３の出力は第２温度コントローラ（温度制御手段）２４に入力されるようになっている。第２温度コントローラ２４は、第２温度センサ２３の検出結果に基づいて電動三方弁２２の開閉動作の駆動を制御することにより、第１貯留槽４から第１供給管７部分、分岐管２１を介して合流部位Ａまで供給される冷却液と第２貯留槽５から第２供給管９を介して合流部位Ａまで供給される冷却液との混合比を調整し、第２供給管９から第２被冷却物３に供給する冷却液（第２冷却液）の温度を第２設定温度にする。また、第２温度コントローラ２４は、第２温度センサ２３の検出結果に基づいて、補助ヒータ１９を動作させることにより、第２供給管９から第２被冷却物３に供給する冷却液の温度を第２設定温度に調整する。
【００２３】
第１貯留槽４および第２貯留槽５は、一つの液槽２５の内部を仕切板（仕切り部材）２６で左右に仕切ることにより構成されている。仕切板２６は断熱材から形成されている。仕切板２６の下端部分には第１貯留槽４および第２貯留槽５を連通させる連通口（連通部）２７が形成されている。第１貯留槽４の側壁４ａ部分には、外部から冷却液を供給するための給水管２８が接続されている。第１貯留槽４の底面４ｂ部分には、第１供給管７の上流端７ａが接続されており、接続部分にはストレーナ２９が配置されている。
【００２４】
第２貯留槽５の側壁５ａ部分には、第１回収管８の下流端８ａと、第２回収管１０の下流端１０ａと、第２供給管９の上流端９ａと、オーバーフロー管３０が下から上に向かってこの順番で接続されている。第２貯留槽５の底面５ｂ部分にはドレン管３１が接続されている。ドレン管３１にはドレンバルブ３２が接続されており、ドレンバルブ３２の下流端３２ａはオーバーフロー管３０に接続されている。オーバーフロー管３０の下流端は不図示のタンクに接続されている。第２貯留槽５内には貯留されている冷却液の液量を検出するためのフロートスイッチ３３が配置されている。
【００２５】
（冷却動作）
冷却装置１を動作させる際には、第１供給管７の下流端７ｂと第１被冷却物２の冷却液導入口２ａとを接続し、第１回収管８の上流端８ｂと第１被冷却物２の冷却液排出口２ｂとを接続することにより、第１貯留槽４から第１供給管７、第１被冷却物２、第１回収管８を経由して第２貯留槽５に至る第１の循環配管系を構成する。
【００２６】
また、第２供給管９の下流端９ｂと第２被冷却物３の冷却液導入口３ａとを接続し、第２回収管１０の上流端１０ｂと第２被冷却物３の冷却液排出口３ｂとを接続することにより、第２貯留槽５から合流部位Ａに至る経路および第１貯留槽４から分岐管２１を介して合流部位Ａに至る経路から、第２被冷却物３および第２回収管１０を経由して第２貯留槽５に至る第２の循環配管系を構成する。
【００２７】
しかる後に、第１圧送ポンプ１４、第２圧送ポンプ１８および冷凍サイクル１３を動作させると、冷却液は各循環配管系に沿って圧送され、第１被冷却物２および第２被冷却物３との間で熱交換を行い、冷却装置１の液槽２５に戻る。また、この循環を繰り返す。
【００２８】
ここで、第１の循環配管系の第１供給管７に配置されている冷却器６には、第１被冷却物２および第２被冷却物３との間の熱交換によって各循環配管系の往路よりも温度が上昇した状態で回収されている冷却液が直接に入り込まない第１貯留槽４から冷却液が供給される。従って、第１温度コントローラ１７は冷却器６および冷凍サイクル１３に負荷を強いることなく、第１温度センサ１５の検出結果に基づいて冷却液を冷却し、冷却液を第１設定温度に調整できる。
【００２９】
また、第２の循環配管系の第２供給管９には、第１被冷却物２および第２被冷却物３との間の熱交換によって各循環配管系の往路よりも温度が上昇した状態で回収されている冷却液が直接に貯留される第２貯留槽５から冷却液が供給される。すなわち、第２供給管９には、補助ヒータ１９を動作させなくても、第１供給管７から供給されている冷却液の第１設定温度よりも高い温度の冷却液が供給される。
【００３０】
そして、第２供給管９から第２被冷却物３に供給される冷却液の温度が第２設定温度よりも高い場合には、第２温度コントローラ２４は、第２温度センサ２３の検出結果に基づいて、電動三方弁２２の開閉動作の駆動を制御し、第１貯留槽４から第１供給管７および分岐管２１を介して合流部位Ａまで供給される冷却液と第２貯留槽５から第２供給管９を介して合流部位Ａまで供給される冷却液との混合比を調整して、第２供給管９から第２被冷却物３に供給する冷却液の温度を第２設定温度に下げる。
【００３１】
一方、第２供給管９から第２被冷却物３に供給される冷却液の温度が第２設定温度よりも低い場合には、第２温度コントローラ２４は、第２温度センサ２３の検出結果に基づいて、補助ヒータ１９を動作させることにより、第２貯留槽５から第２供給管９部分を介して合流部位Ａまで供給される冷却液の温度を上昇させ、第２供給管９から第２被冷却物３に供給する冷却液の温度を第２設定温度に上げる。
【００３２】
（本例による効果）
以上、本例によれば、冷却装置１と第１被冷却物２および第２被冷却物３との間で冷却液を循環させるための２つの循環配管系が構成されている。また、２つの循環配管系の往路を介して第１被冷却物２や第２被冷却物３に設定温度の異なる冷却液を供給することができる。従って、１台の冷却装置１によって、第１被冷却物２や第２被冷却物３をそれぞれ適切な温度に調整された冷却液で個別に冷却できる。
【００３３】
また、本例によれば、仕切板２６は断熱材から形成されているので、第１貯留槽４に貯留されている冷却液と第２貯留槽５に貯留されている冷却液との間で仕切板２６を介した熱交換が行われることがない。この結果、第１貯留槽４に貯留されている冷却液の温度と第２貯留槽５に貯留されている冷却液の温度との間に格差を発生させることができるので、第１供給管７を介して第１被冷却物２に供給する冷却液の温度と第２供給管９を介して第２被冷却物３に供給する冷却液の温度とを異なるものに設定し易い。
【００３４】
また、本例によれば、第２貯留槽５の側壁５ａ部分において、第１回収管８の下流端８ａと、第２回収管１０の下流端１０ａと、第２供給管９の上流端９ａが、下から上に向かってこの順番で接続されている。従って、第２供給管９から第２被冷却物３に冷却液を供給する際には、第１被冷却物２および第２被冷却物３と間の熱交換により各循環配管系の往路よりも温度が上昇した状態で回収された冷却液を、有効に利用できる。
【００３５】
（その他の実施の形態）
上記の例では、第２貯留槽５の側壁５ａ部分には、第１回収管８の下流端８ａと、第２回収管１０の下流端１０ａと、第２供給管９の上流端９ａが下から上に向かってこの順番で接続されているが、各管の接続順はこの順番に限られるものではない。第１回収管８および第２回収管１０を介して回収されてくる冷却液の温度によっては、第２供給管９の上流端９ａが第１回収管８の下流端８ａと第２回収管１０の下流端１０ａとの間に位置するように接続されていても、第２供給管９から温度の高い冷却液を供給できる。また、第１回収管８の下流端８ａと第２回収管１０の下流端１０ａとを第２貯留槽５の側壁５ａ部分の同じ高さ位置に接続しておき、これらの上側に第２供給管９の上流端９ａを接続するようにしてもよい。
【００３６】
また、上記の例では、第１貯留槽４および第２貯留槽５は、液槽２５の内部を仕切板２６で仕切ることにより左右に構成されているが、仕切り部材によって液槽２５の内部を上下に仕切ることにより、第１、第２貯留槽を上下に構成することもできる。或いは、筒状の仕切り部材を液槽２５の内部に配置することにより、第１、第２貯留槽を仕切り部材の内外に構成することもできる。図２（ａ）は第１、第２貯留槽を上下に構成した例を模式的に示す説明図であり、図２（ｂ）は第１、第２貯留槽を仕切り部材の内外に構成した例を示す説明図である。いずれも図１の回路構成図における液槽の周辺部分を取り出して示したものである。なお、液槽２５以外の構成は図１に示す冷却装置１と同じなので、共通する部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００３７】
第１、第２貯留槽を上下に構成する例では、  図２（ａ）に示すように、液槽２５Ａの内部に仕切板（仕切り部材）２６Ａを水平に配置し、下側部分を第１貯留槽４Ａとし、上側部分を第２貯留槽５Ａとしてある。第１貯留槽４Ａには給水管２８と第１供給管７とドレン管３１が接続されており、第２貯留槽５Ａには第１回収管８と第２回収管１０と第２供給管９とオーバーフロー管３０が接続されている。連通口２７は、仕切板２６Ａにおける、第１回収管８および第２回収管１０の接続部位と対向している液槽２５Ａの側壁部分に近い位置に形成されている。
【００３８】
本例によれば、温度が上昇した状態で回収された冷却液は液槽２５Ａの上側に構成されている第２貯留槽５Ａに貯留される。その後、放熱により冷却液の温度が低下すると、冷却液は下側にある第１貯留槽４Ａへと移行する。この結果、第１貯留槽４Ａ内に貯留されている冷却液の温度と第２貯留槽５Ａ内に貯留されている冷却液の温度との間に格差が発生するので、第１供給管７を介して第１被冷却物２に供給する冷却液の温度と第２供給管９を介して第２被冷却物３に供給する冷却液の温度とを異なる温度にすることが容易になる。
【００３９】
第１、第２貯留槽を仕切り部材の内外に構成する例では、図２（ｂ）に示すように、筒状の仕切り部材２６Ｂを液槽２５Ｂの中央に配置して、その内側部分を第１貯留槽４Ｂとし、外側部分を第２貯留槽５Ｂとしてある。給水管２８は液槽２５Ｂの側壁部分から内側に突出するようにして第１貯留槽４Ｂまで延びている。第１供給管７は液槽２５Ｂの底壁部分から上方に突出するようにして第１貯留槽４Ｂの内側まで延びている。第１回収管８と第２回収管１０と第２供給管９とオーバーフロー管３０は液槽２５Ｂの側壁部分に接続されることにより、第２貯留槽５Ｂに接続されている。仕切り部材２６Ｂの下端縁部分には連通口２７として、開口または切欠きが形成されている。
【００４０】
本例によれば、第２貯留槽５Ｂが仕切り部材２６Ｂの外側に構成されているので、温度が上昇した状態で第２貯留槽５に回収された冷却液は、液槽２５の側壁全体を利用して外気と熱交換を行い、冷却される。この結果、温度が低下した冷却水を第１貯留槽４Ｂに移行させて貯留することができるので、第１供給管７から供給される冷却液を冷却する際に、冷却器６および冷凍サイクル１３に負荷を強いることがない。なお、液槽２５Ｂの形状を有底の円筒形とするとともに、仕切り部材２６Ｂを断熱材から形成しておけば、回収された冷却液を冷却する効果が向上する。
【００４１】
次に、上記の例では、２つの循環配管系を構成したが、第１回収管８と第２回収管１０は単一の回収管とすることもできる。すなわち、供給配管系を２系統に構成して、回収配管系を１系統に構成することもできる。
【００４２】
また、第２供給管として２系統の供給配管系を配置することもできる。図３は第２供給管として系統の供給配管系を配置した場合の回路構成例を示す回路構成図である。なお、本例の回路構成は基本的な構成が図１に示す冷却装置１と同じなので、共通する部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００４３】
本例の冷却装置１Ａは、第２供給管として、第２貯留槽５から第２被冷却物３に冷却液を供給する第２供給管９と、第２貯留槽５から第３被冷却物４０に冷却液を供給する第３供給管４１を備えている。第３供給管４１には、第２貯留槽５から供給される冷却液を第３被冷却物４０に向けて圧送する第３圧送ポンプ４２と、補助ヒータ４３が配置されている。第３供給管４１の補助ヒータ４３よりも下流の部位と第２回収管１０とは第２バイパスバルブ４４で接続されている。
【００４４】
また、第１供給管７における冷却器６よりも下流の部位からは、第３供給管４１の補助ヒータ４３よりも下流の部位に接続されている分岐管４５が延びている。第３供給管４１における分岐管４５が接続されている合流部位Ｂには電動三方弁４６が配置されており、合流部位Ｂの下流側には第３温度センサ４７が配置されている。
【００４５】
第３温度センサ４７の出力は第３温度コントローラ４８に入力されるようになっている。第３温度コントローラ４８は、第３温度センサ４７の検出結果に基づいて電動三方弁４６の開閉動作の駆動を制御することにより、第１貯留槽４から第１供給管７部分、分岐管４５を介して合流部位Ｂまで供給される冷却液と第２貯留槽５から第３供給管４１部分を介して合流部位Ｂまで供給される冷却液との混合比を調整し、第３供給管４１から第３被冷却物４０に供給する冷却液の温度を第３設定温度にする。また、第３温度コントローラ４８は、第３温度センサ４７の検出結果に基づいて、補助ヒータ４３を動作させることにより、第３供給管４１から第３被冷却物４０に供給する冷却液の温度を第３設定温度に調整する。
【００４６】
このようにすれば、３つの供給配管系を介して、各被冷却物に異なる設定温度に調整した冷却液を供給できる。なお、第３供給管４１に対応する第３の回収管を配置することにより３つの循環配管系を構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明を適用した冷却装置の回路構成図である。
【図２】（ａ）は第１貯留槽および第２貯留槽を上下に構成した例を模式的に示す説明図であり、（ｂ）は第１貯留槽および第２貯留槽を仕切り部材の内外に構成した例を示す説明図である。
【図３】本発明を適用した冷却装置の別の例を示す回路構成図である。
【図４】従来の冷却装置の回路構成図である。
【符号の説明】
【００４８】
１、１Ａ、１００  冷却装置
２、３、４０  被冷却物
４  第１貯留槽
５  第２貯留槽
６、１０５  冷却器
７  第１供給管
８  第１回収管
９  第２供給管
１０  第２回収管
１１、１０６  圧縮機
１２、１０７  凝縮器
１３、１０８  冷凍サイクル
１４、１８、４２、１０４  圧送ポンプ
１５、２３、４７  温度センサ
１６、２０、４４  バイパスバルブ
１７、２４、４８  温度コントローラ（温度制御手段）
２１、４５  分岐管
２２、４６  電動三方弁
２５、１０１  液槽
２６、２６Ａ  仕切板（仕切り部材）
２６Ｂ  仕切り部材
２７  連通口（連通部）
２８  給水管
２９  ストレーナ
３０  オーバーフロー管
３１  ドレン管
３３  フロートスイッチ
１０２  供給管
１０３  回収管
Ａ、Ｂ  合流部位
【図１】
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【図２】
2010071581.tif 000004
【図３】
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【図４】
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