(57)【要約】【課題】圧損を大きくせずに流路を細分化できるようにする。また、流路を細分化しても、流れセンサと流れセンサ近傍の整流部材との間の短絡のおそれを回避可能とする。【解決手段】流路を分割する流路分割部材８２と、分割流路８１のいずれかにおける流体の流れを検出可能に設けられた流れセンサ１２と、を備え、流路分割部材８２は、電気的な絶縁部分８３と、金属部分とから成り、絶縁部分８３は、流れセンサ１２の位置する分割流路８１の表面を成し、かつ、前記金属部分は、絶縁部分８３を除く流路分割部材８２を成す。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流路を複数の分割流路に分割する流路分割部材と、
前記分割流路のいずれかにおける前記流体の流れを検出可能に設けられた流れセンサと、
を備え、
前記流路分割部材は、電気的な絶縁部分と、金属部分とから成り、
前記絶縁部分は、前記流れセンサの位置する分割流路の表面を成し、かつ、前記金属部分は、前記絶縁部分を除く前記流路分割部材を成す、流体計測器。
【請求項２】
前記金属部分は、前記流路分割部材の全体を成す金属部材であり、かつ、
前記絶縁部分は、前記流れセンサの位置する分割流路を成す前記金属部材の表面の一部又は全部に形成された絶縁膜である、請求項１記載の流体計測器。
【請求項３】
前記絶縁部分は、前記流路分割部材の一部を成す絶縁部材であり、
前記金属部分は、前記流路分割部材の残りを成す金属部材であり、
前記絶縁部材は、前記流れセンサの位置する分割流路の一部又は全部を成す、請求項１記載の流体計測器。
【請求項４】
前記絶縁部分は、前記流れセンサに設けられた導電性部材と接触する可能性のある部分に限定されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の流体計測器。
【請求項５】
前記導電性部材は、前記流れセンサに接続されたボンディングワイヤである、請求項４記載の流体計測器。
【請求項６】
前記流れセンサは、前記流路分割部材の外郭を成すとともに前記分割流路の内壁の一部を成す配管の内壁に設けられている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の流体計測器。
【請求項７】
前記流れセンサは、前記流体の流れ方向に沿う方向の、前記分割流路の長さの中心又は中心よりも前記流体の下流方向にずれた位置に設けられている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の流体計測器。
【請求項８】
流体の流れを整流する流体整流器であって、
前記流体の流路を複数の分割流路に分割する流路分割部材を備え、
前記流路分割部材は、電気的な絶縁部分と、金属部分とから成り、
前記絶縁部分は、前記流体の流れを検出する流れセンサが位置すべき分割流路の表面を成し、かつ、前記金属部分は、前記絶縁部分を除く前記流路分割部材を成す、流体整流器。
【請求項９】
前記金属部分は、前記流路分割部材の全体を成す金属部材であり、かつ、
前記絶縁部分は、前記流れセンサが位置すべき分割流路を成す前記金属部材の表面の一部又は全部に形成された絶縁膜である、請求項８記載の流体整流器。
【請求項１０】
前記絶縁部分は、前記流路分割部材の一部を成す絶縁部材であり、
前記金属部分は、前記流路分割部材の残りを成す金属部材であり、
前記絶縁部材は、前記流れセンサが位置すべき分割流路の一部又は全部を成す、請求項８記載の流体整流器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体や液体等の流体の流量等を計測する技術に関し、詳しくは、流体計測器および当該流体計測器に用いることのできる流体整流器に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業炉、ボイラ、及び空調熱源機器等において、配管を流通する気体（ガス等）や液体等の流体の流速や流量を検出、測定する流量計（例えば、ガスメーター等）が種々開発されている。一例として、下記の特許文献１及び２に記載された技術がある。
【０００３】
流量計には、熱線式のフローセンサが用いられる場合がある。熱線式のフローセンサは、センシングの感度の向上を目的の一つとして、配管内において電熱線（抵抗）が流体に直に触れるように設置される。また、フローセンサによるセンシング精度の向上を図るには、管路において出来るだけ流量分布が均一に近い状態にある流体をセンシングすることが好ましい。
【０００４】
そのため、整流格子の格子による流路分割によって、管路内に流体を整流して管路内の流量分布を均一にする整流部材を配置することで、この部分、例えば、整流部材の内部や整流部材の下流側に、フローセンサを配置することも試みられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１８３２１２号公報
【特許文献２】特開２０００−３５３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記のような格子状の整流部材（以下、「整流格子」と称する。）は、整流格子の格子による流路分割を細分化するほど整流効果の向上が見込める。
【０００７】
しかし、単純な細分化で格子数を増やすと、例えば図９及び図１０の管路整流格子設定部分の断面図に模式的に示すように、壁の厚み（格子幅）で流路が遮られる面積（斜線部参照）が増加し流路開口面積が小さくなる。これは、管路を流れる流体の圧力損失（以下、「圧損」と略称する。）の上昇につながる。流体がもともと低圧で供給されるような場合には、できるだけ圧損の少ないことが望まれる。圧損が大きくなると、所望の圧力を確保するのに管路を流通する流体を適宜に昇圧する装置が別途必要になる場合もある。
【０００８】
そこで、整流格子には、格子を形成する壁の薄肉化（格子幅の狭小化）が容易な金属製の部材を用いて、圧損を極力小さくしたい。その一方で、この場合は、格子が導電性を有するため、フローセンサを整流格子内の細分化された分割流路のいずれかに設けようとすると、フローセンサの金属部分と金属製の格子との短絡のおそれが生じる場合がある。また、空間距離及び／又は沿面距離の確保が困難になる場合がある。つまり、フローセンサの配置に制約が生じる可能性がある。
【０００９】
本発明の目的の一つは、圧損を大きくせずに流路を細分化できるようにすることにある。また、流路を細分化しても、フローセンサと分割流路との間の短絡のおそれを回避できるようにすることも本発明の目的の一つである。
【００１０】
なお、以上の目的に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の目的の一つとして位置付けることができる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の流体計測器の一態様は、流体の流路を複数の分割流路に分割する流路分割部材と、前記分割流路のいずれかにおける前記流体の流れを検出可能に設けられた流れセンサと、を備え、前記流路分割部材は、電気的な絶縁部分と、金属部分とから成り、前記絶縁部分は、前記流れセンサの位置する分割流路の表面を成し、かつ、前記金属部分は、前記絶縁部分を除く前記流路分割部材を成す。
【００１２】
また、本発明の流体整流器の一態様は、前記流体の流路を分割する流路分割部材を備え、前記流路分割部材は、電気的な絶縁部分と、金属部分とから成り、前記絶縁部分は、前記流体の流れを検出する流れセンサが位置すべき分割流路の表面を成し、かつ、前記金属部分は、前記絶縁部分を除く前記流路分割部材を成す。
【００１３】
ここで、前記金属部分は、前記流路分割部材の全体を成す金属部材であり、かつ、前記絶縁部分は、前記流れセンサの位置する分割流路を成す前記金属部材の表面の一部又は全部に形成された絶縁膜である、こととしてもよい。
【００１４】
また、前記絶縁部分は、前記流路分割部材の一部を成す絶縁部材であり、前記金属部分は、前記流路分割部材の残りを成す金属部材であり、前記絶縁部材は、前記流れセンサの位置する分割流路の一部又は全部を成す、こととしてもよい。
【００１５】
さらに、前記絶縁部分は、前記流れセンサに設けられた導電性部材と接触する可能性のある部分に限定してもよい。
【００１６】
前記導電性部材は、前記流れセンサに接続されたボンディングワイヤであってもよい。
【００１７】
さらに、前記流れセンサは、前記流路分割部材の外郭を成すとともに前記分割流路の内壁の一部を成す配管の内壁に設けられていてもよい。
【００１８】
また、前記流れセンサは、前記流体の流れ方向に沿う方向の、前記分割流路の長さの中心又は中心よりも前記流体の下流方向にずれた位置に設けられていてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
上述した本発明によれば、薄肉化しても強度を確保しやすい金属を流路分割部材に用いるから、分割流路数（格子数）を増やす（分割流路の断面積を狭小化する）ことが可能であり、また、流れセンサの設けられる分割流路の表面に電気的な絶縁性をもたせることができる。
【００２０】
したがって、流れセンサと分割流路との短絡のおそれを解消することができる。また、両者の空間距離及び／又は沿面距離の確保の困難性を解消することもできる。なお、「空間距離」は、導電性部分間の、空間を通る最短距離を意味し、「沿面距離」は、導電性部分間の、絶縁部分の表面に沿った最短距離を意味する。さらには、圧損の上昇を抑え、整流能力及び／又は流体の流れの検出能力にも優れた流体整流器及び流量計測器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】一実施形態による流体計測器の一例としての流量計の模式的断面図である。
【図２】図１に例示する流量計に用いられるフローセンサの一例を示す模式的斜視図である。
【図３】図２に例示するフローセンサのＶＩ−ＶＩ矢視断面図である。
【図４】図１に例示するフローセンサと計測ユニットの電子回路９１との電気的な接続形態の一例を示す模式的断面図である。
【図５】図１に例示する整流ユニットの断面形状の一例を示す模式図である。
【図６】図１に例示する整流ユニットの断面形状の一例を示す模式図である。
【図７】図１に例示する整流ユニットの断面形状の一例を示す模式図である。
【図８】図１に例示する整流ユニットの断面形状の一例を示す模式図である。
【図９】整流格子の断面形状の一例を示す模式図である。
【図１０】整流格子の断面形状の他の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。
【００２３】
図１は、一実施形態による流体計測器の一例としての流量計の模式的断面図である。本実施形態の流量計１は、ガス等の気体や液体等の流体が流通する配管等の流路の一部に取り付けられて、計測対象の流体の一例であるガスの瞬時流量を検出することができる。また、流量計１は、検出した瞬時流量を積算してガスの使用量（積算流量）を算出することもできる。
【００２４】
例えば、流量計１は、ガスが流通する配管（図示省略）の一部に取り付けられて流路を形成する流路ユニット２と、流路ユニット２に取り付けられる計測ユニット３と、を備えている。
【００２５】
計測ユニット３は、略直方体形状を呈する筐体を有しており、この筐体の上側（流路ユニット２と反対側）には、図示を省略した表示部や操作部等を有する表示操作パネル４が設けられている。表示部は、例えば、複数桁の数字又は英字で各種情報を表示することができる。各種情報の一例としては、後述するフローセンサ１２による計測結果（瞬時流量及び／又は積算流量）、瞬時流量に対応する経過時間や時刻に係る情報、流量計１の機種に関する情報等が挙げられる。操作部には、例えば、各種情報の表示態様（表示内容や表示形式）の設定や、流量計１の設定を変更するのに用いられる各種操作（入力）キーを設けることができる。
【００２６】
計測ユニット３の筐体の側面には、給電用及び／又は各種信号伝送用のケーブル（図示省略）を接続可能なケーブル接続部５を設けることができる。また、計測ユニット３の筐体の流路ユニット２が取り付けられる側には、基板等の板状部３ａを設けることができる。板状部３ａと、流路ユニット２に形成されネジ孔と、にネジ６を螺入することで、計測ユニット３を流路ユニット２に固定することができる。
【００２７】
また、計測ユニット３は、内部に回路基板９を備えており、回路基板９には、計測ユニット３としての各種機能を実現する電子回路９１を設けることができる。電子回路９１には、例示的に、計測ユニット３でサポートする各種機能を統括的に制御する制御部を装備できる。制御部は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）等を含むことができる。
【００２８】
電子回路９１は、管路７内に設けられたフローセンサ１２と電気的に接続することができる。例えば図１中に示すように、電子回路９１は、管路７へ延在する電極（あるいはスルーホールでもよい）９２を介して管路７の内壁に設けられたフローセンサ１２と電気的に接続することができる。これにより、フローセンサ１２で得られる電気信号を、電子回路９１での流量計測に用いられる情報として電子回路９１に伝達することができる。詳細な接続形態については図４を用いて後述する。
【００２９】
流路ユニット２は、例示的に、略直方体形状を呈する筐体であり、ガスが流通する管路７、管路７内に設けられた整流ユニット８等を有している。管路７の上流側及び下流側には、配管を接続することができる。また、管路７の軸方向に垂直な断面形状は、円や楕円である場合もあるし矩形や多角形である場合もある。後述する図５〜図８には、便宜上、それぞれ管路７の軸方向に垂直な断面形状が矩形である場合について例示している。
【００３０】
整流ユニット８は、管路７を流通する流体を整流する流体整流器の一例であり、流路をガスの流れに沿う方向に空間的に分割してより小さな開口断面積の複数の分割流路８１を内部に形成する。分割流路８１にそれぞれガスが流通することで、管路７を流通するガスを整流できる。ここで、各分割流路８１の開口断面積は、均等であるのが好ましい。例えば、整流ユニット８は、ガスの流れ方向から見たときの断面形状が矩形や六角形等の多角形、あるいは円形等である同じ断面積の透孔を多数有する部材とすることができ、前記透孔がそれぞれ管路７内の流路を空間的に分割した分割流路８１を形成する。
【００３１】
図５に、管路７及び分割流路８１の流路方向に垂直な断面における開口形状がそれぞれ矩形である場合の整流ユニット（整流格子）８の断面形状を例示する。図５には、流路分割部材の一例としての格子部材８２によって管路７内の流路が９つの（分割）流路８１に分割された様子を例示している。なお、管路７の内壁は、整流格子８の外郭を成す。格子部材８２は、それぞれ分割流路８１の内壁の一部又は全部を成す。一部である場合があるのは、管路７の内壁が分割流路８１の内壁の一部を成す場合があるからである。
【００３２】
分割流路８１を成す部材の一例である格子部材８２の材料には、鉄やアルミニウム等の金属部材を用いることができる。金属部材を用いる理由の一つは、整流ユニット８として十分な強度を確保しやすく、また、分割流路８１を成す格子部材８２（格子幅）の薄肉化も容易であるためである。したがって、流路を細分化する整流ユニット８を配置することによる、管路７の流路面積の狭小化を最小限に抑えることができる。結果、圧損の上昇を抑制することができる。
【００３３】
整流ユニット８内の分割流路８１のいずれか（複数でもよい）には、ガスの流速又は流量（瞬時流量）を検出するフローセンサ（流れセンサ）１２を設けることができる。フローセンサ１２を設ける分割流路８１はいずれでもよい。図１には、例示的に、計測ユニット３が設けられる側の管路７の内壁にフローセンサ１２が設けられた様子を示している。この場合、フローセンサ１２の設けられた分割流路８１は、その内壁の一部に管路７の内壁を含んでいることになる。
【００３４】
なお、図１において、フローセンサ１２は、整流ユニット８のガスが流れる方向の長さの中心付近に位置しているが、これに限られない。ガスの流れ方向に対して中心から上流側あるいは下流側にずれた位置にフローセンサ１２を設けることもできる。例えば、中心付近にフローセンサ１２を設けておけば、管路７にガスが双方向に流れることがあっても、両方向について同等の流路条件で適切なセンシングを実施することが可能である。一方、ガスの流れが一方向である場合には、下流側にずれた位置にフローセンサ１２を設けておけば、より層流状態に近く安定したガス流についてセンシングが可能となる。
【００３５】
フローセンサ１２には、例示的に、ダイアフラムを有する熱式流量センサを採用することができる。例えば図２及び図３に示すように、フローセンサ１２は、キャビティ２６が設けられた基板２０、基板２０上にキャビティ２６を覆うように配置された薄膜２５、薄膜２５に設けられたヒータ（抵抗素子）２１、薄膜２５においてヒータ２１を挟んでヒータ２１の両サイドに設けられた一対の抵抗素子２２及び２３、薄膜２５のキャビティ２６を覆う領域を避けて基板２０の一辺側に設けられた周囲温度センサ（抵抗素子）２４等を有している。
【００３６】
このような構成を有するフローセンサ１２は、例えば図２及び図３中にブロック矢印で示すように、測定対象のガスの流れる方向に沿って、抵抗素子２１，２２及び２３が順に並ぶように配置することができる。この場合、抵抗素子２２は、ヒータ２１よりも上流側に設けられた上流側測温抵抗素子として機能し、抵抗素子２３は、ヒータ２１よりも下流側に設けられた下流側測温抵抗素子として機能する。
【００３７】
薄膜２５のキャビティ２６を覆う部分は、熱容量が小さく、基板２０に対して断熱性を有するダイアフラムを成す。周囲温度センサ２４は、管路７を流通するガスの温度を測定する。ヒータ２１は、例示的に、キャビティ２６を覆う薄膜２５の中心に配置されており、周囲温度センサ２４が計測した流体の温度よりも一定温度（例えば１０℃）高くなるように、加熱される。上流側測温抵抗素子２２は、ヒータ２１よりも上流側の温度を検出するのに用いられ、下流側測温抵抗素子２３は、ヒータ２１よりも下流側の温度を検出するのに用いられる。
【００３８】
ここで、管路７内のガスが静止している場合、ヒータ２１で加えられた熱は、上流方向及び下流方向へ対称的に拡散する。従って、上流側測温抵抗素子２２及び下流側測温抵抗素子２３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子２２及び下流側測温抵抗素子２３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、管路７内の流体が上流から下流に流れている場合、ヒータ２１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。従って、上流側測温抵抗素子２２の温度よりも、下流側測温抵抗素子２３の温度が高くなる。
【００３９】
このような温度差は、上流側測温抵抗素子２２の電気抵抗と下流側測温抵抗素子２３の電気抵抗との間に差が生じさせる。下流側測温抵抗素子２３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子２２の電気抵抗との差は、管路７内のガスの速度や流量と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子２３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子２２の電気抵抗との差を基に、管路７を流れる流体の速度や流量を算出できる。抵抗素子２１、２２及び２３の電気抵抗の情報は、図２中に例示するように基板２０（薄膜２５）の対角関係にある角部近傍に設けられた電極パッド２７を通じて電気信号として取り出すことができる。
【００４０】
なお、図２及び図３に示す基板２０の厚みは、例えば０．５ｍｍであり、基板２０の縦横の寸法は、例えばそれぞれ１．５ｍｍ程度である。ただし、基板２０の寸法、形状は、これらに限られない。基板２０の材料としては、例示的に、シリコン（Ｓｉ）等が使用可能である。薄膜２５の材料としては、例示的に、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）等が使用可能である。
【００４１】
キャビティ２６は、基板２０の一方の面の略中央部に異方性エッチングやＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術等を用いて形成することができる。図２及び図３には、一例として舟形凹状のキャビティ２６が形成された様子を例示している。各抵抗素子２１，２２，２３，２４のそれぞれの材料には、白金（Ｐｔ）等が使用可能である。また、各抵抗素子２１，２２，２３，２４の形成には、リソグラフィ法等が適用可能である。
【００４２】
次に、図４に、上述した構成を有するフローセンサ１２と、計測ユニット３の回路基板９上に設けられた電子回路９１との電気的な接続形態の一例を示す。図４は、フローセンサ１２及び電極９２を含む部分を図１中に例示するガスの流れ方向から見たときの部分拡大図に相当する。
【００４３】
フローセンサ１２は、図２に例示した電極パッド２７と、管路７の内壁に露出し金属材料電子回路９１につながる電極９２とをボンディングワイヤ９３等の電気配線で接続することにより、電子回路９１と電気的に接続することができる。なお、フローセンサ１２と電子回路９１とを接続する電極９２は、管路７及び板状部３ａに設けた貫通孔を通すことができる。貫通孔は、ハーメチックシール等のシール部材１０によって気密封止することができる。これにより、管路７の気密性を確保することができる。
【００４４】
ここで、既述のように整流ユニット８に金属平板を用いる。具体的には、等間隔に切り込みを入れた金属板を縦横に複数枚組み合わせて格子を形成する。整流ユニット８として十分な強度を確保し、また、圧損の上昇を抑制しながら、管路７内の流路を細分化しやすくなる。換言すれば、或る圧損条件を満たすことのできる分割流路８１の最大数を、整流ユニット８に成型材を用いた場合よりも大きくすることができる。この場合、１つあたりの分割流路８１の最小の開口断面積は、整流ユニット８に成型材を用いた場合よりも小さくなる。したがって、整流ユニット８による整流効果を向上できる。
【００４５】
その一方で、管路７内の分割流路８１の数が増えると、１分割流路８１あたりの開口断面積は小さくなる。そのため、フローセンサ１２を設ける分割流路８１については、フローセンサ１２と、金属部材である分割流路８１（格子部材８２）との短絡のおそれが生じる。
【００４６】
例えば、上述のごとくフローセンサ１２と電極９２とをボンディングワイヤ９３によって接続する場合、図６に模式的に示すように、管路７の流路を細分化して１つ当たりの分割流路８１の断面積が小さくなると、ボンディングワイヤ９３と、周囲の格子部材（金属部材）８２とが空間的に近接するから、両者間の短絡のおそれが生じる。また、空間距離及び／又は沿面距離も確保しにくくなる。
【００４７】
そこで、本実施形態においては、フローセンサ１２近傍の分割流路８１の内壁（格子部材８２）表面の一部又は全部に、電気的な絶縁性（絶縁部分）をもたせる。一つの例としては、図７に模式的に例示するように、フローセンサ１２を囲む金属製の格子部材８３の表面に、絶縁性を有する材料による表面処理、例えば絶縁コーティングを施して、絶縁膜８３を形成する。
【００４８】
換言すれば、この場合、整流ユニット８の全体が金属部材であり、かつ、絶縁部分が、フローセンサ１２の設けられた分割流路８２を成す金属部材の表面の一部又は全部に形成された絶縁膜８３に相当する。絶縁膜８３は、フローセンサ１２を囲む格子部材８２の金属表面全面に施してもよいし、少なくとも導電性部材であるボンディングワイヤ９３と接触する可能性のある部分に限定して施してもよい。絶縁性を有する材料の一例としては、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素系樹脂、ポリエステル、ポリエチレン、ナイロン、セラミック等が挙げられる。コーティング方法には、スプレーコーティング等を用いることができる。したがって、整流ユニット８の所望の部分に容易に絶縁処理を施すことができる。
【００４９】
あるいは、他の例として、図８に模式的に例示するように、整流ユニット８を成す各格子部材８２のうち、フローセンサ１２の属する分割流路８１を成す格子部材８３に絶縁性のある材料（絶縁部材）８４を用い、その他の格子部材８３に金属部材を用いてもよい。また、整流ユニット８において、絶縁部材８４に置き換える対象は、フローセンサ１２を囲む格子部材８２の内壁の全部でもよいし、少なくとも導電性部材であるボンディングワイヤ９３と接触する可能性のある内壁部分に限定してもよい。
【００５０】
換言すれば、この場合、絶縁部分が、フローセンサ１２の設けられた分割流路８１を成す整流ユニット８の一部又は全部に用いられた絶縁部材８４であり、且つ、絶縁部材８４以外の部分の整流ユニット８が金属部材である。この例によれば、整流ユニット８に用いる金属部材の量を削減することができ、整流ユニット８のコスト低減を図ることができる。
【００５１】
さらに、上記の実施例においては、複数の金属板（平板）を組み合わせることで整流ユニット８を形成したが、他の金属加工方法を用いて整流ユニット８を形成することもできる。例えば、断面が「コ」の字形状となるように（すなわち角樋形状となるように）折り曲げ加工した金属板を複数組み合わせて断面が格子形状の整流ユニット８を形成してもよい。断面が「ロ」の字状の金属筒を複数組み合わせて断面が格子形状の整流ユニット８を形成してもよい。また、整流ユニット８の断面形状は、格子形状でなくても良い。例えば、断面が半円（円弧）形状、円形状、三角形状等の、同種または異種の組み合わせであっても構わない。また、製造条件が許せば、押し出し加工やダイカスト加工を用いて断面が上記形状の整流ユニット８を形成してもよい。
【００５２】
以上のように、本実施形態によれば、フローセンサ１２が位置する分割流路８１の内壁（格子部材８２）の少なくとも表面の一部又は全部に絶縁材料を用いているので、フローセンサ１２の電気配線の一例であるボンディングワイヤ９３との短絡のおそれを回避することができる。また、フローセンサ１２と格子部材８２との空間及び／又は沿面距離の確保も容易になる。
【００５３】
したがって、薄肉化しても強度を確保しやすい金属部材を主に用いた整流ユニット８の分割流路数（格子数）を自由に増やす（つまり、分割流路８１の断面積を狭小化する）ことも容易となる。結果、圧損の上昇を抑え、また、整流能力にも優れた整流ユニット８を提供することができる。さらには、フローセンサ１２によるセンシング能力の向上にも大きく寄与する。
【００５４】
また、ボンディングワイヤ９３に限らず、フローセンサ１２の表面に露出する金属部分（抵抗素子２１、２２、２３及び２４や電極パッド２７等）と、格子部材８３との間に高圧電気放電（いわゆるスパーク）が発生することを抑制することも可能である。なお、スパークは、流量計１の高圧負荷試験時等において発生する場合がある。
【００５５】
換言すれば、フローセンサ１２と電子回路９１（電極９２）との接続がボンディングワイヤ９３を用いない形態であっても、上述した絶縁処理は有益である。ボンディングワイヤ９３を用いない接続形態の一例としては、フローセンサ１２に電極パッド２７から内部を通じて反対面に露出するスルーホールを設け、前記反対面にて電極９２との接続を行なう形態が挙げられる。
【符号の説明】
【００５６】
１  流量計（流体計測器）
２  流路ユニット
３  計測ユニット
３ａ  基板（板状部）
４  表示操作パネル
５  ケーブル接続部
６  ネジ
７  管路
８  整流ユニット（流体整流器）
９  回路基板
１０  シール部材
１２  フローセンサ（流れセンサ）
２１、２２、２３  抵抗素子
２４  周囲温度センサ（抵抗素子）
２５  薄膜
２６  キャビティ
２７  電極パッド
８１  分割流路
８２  格子部材（流路分割部材）
８３  絶縁膜（絶縁部分）
８４  絶縁部材（絶縁部分）
９１  電子回路
９２  電極
９３  ボンディングワイヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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