(57)【要約】【課題】  受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成されているものである。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、前記２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、機能液供給手段から前記１次室に供給された機能液を、圧力調整し前記２次室を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁であって、
前記受圧膜体が、円形の金属フィルムで構成されていることを特徴とする圧力調整弁。
【請求項２】
前記弁体は、前記１次室に配設され直接開閉動作する弁体本体と、前記弁体本体を保持する保持部と、前記保持部から前記連通流路を挿通して延び前記受圧膜体に当接する作動軸部と、を有し、
前記作動軸部は、前記受圧膜体の中心位置に当接することを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧力調整弁と、
前記機能液供給手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液供給手段から機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給する圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、サブタンクの機能液を、所定の圧力に減圧して機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁が知られている（特許文献１参照）。この圧力調整弁は、バルブハウジング内に形成されたサブタンクに連通する１次室および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室と、１次室と２次室との間の隔壁に貫通形成した連通流路と、１次室側の連通流路開口縁部を弁座として連通流路を１次室側から開閉する弁体と、２次室の１の面を構成すると共に、弁体を大気圧基準で開閉する樹脂フィルム製のダイヤフラム（受圧膜体）と、弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備えている。
この場合、機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出により２次室の圧力が下がってゆくと、大気圧により受圧膜体が凹変形してゆき、受圧板が弁体を１次室側に押圧することで開弁して、機能液が連通流路を介して２次室に流れ込む。機能液の流入がすすむと、やがて２次室の圧力が高まってゆき、受圧膜体が外部に向かって凸変形すると共に、受圧板が弁体から離れるように前進し、同時に弁体ばねにより弁体が前進して閉弁する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１６３７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このような圧力調整弁では、受圧膜体が、剛性の低い樹脂製の薄膜フィルムで構成されているため、重力や気流により不均一に変形したり、バルブハウジングへの組付け時にしわやたるみが生じやすいという問題があった。このため、弁体が適切且つ円滑に開閉せず、減圧特性が不安定になる問題があった。
【０００５】
本発明は、受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧力調整弁は、バルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、機能液供給手段から１次室に供給された機能液を、圧力調整し２次室を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁であって、受圧膜体が、円形の金属フィルムで構成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、受圧膜体が、樹脂フィルムと比較して、剛性の高い金属フィルムで構成されているため、重力や気流の影響を受け難く均一に変形する。また、受圧膜体をバルブハウジングに取り付ける場合に、しわなどが生じることがない。このため、受圧膜体による押圧力が、弁体に対し適切に伝達され、受圧膜体の凹凸変化に対応して、安定して精度良く弁体を開閉動作させることができる。なお、使用する金属フィルムは、ステンレスやアルミニウムなどの素材で構成された機能液に対し耐薬品性のものであることが好ましい。
【０００８】
この場合、弁体は、１次室に配設され直接開閉動作する弁体本体と、弁体本体を保持する保持部と、保持部から連通流路を挿通して延び受圧膜体に当接する作動軸部と、を有し、作動軸部は、受圧膜体の中心位置に当接することが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、作動軸部が受圧膜体の中心位置に当接し、受圧膜体から直接押圧を受けるため、受圧膜体の動きに対応してさらに精度良く適切に開閉動作させることができる。また、上記の従来技術のように別途、受圧板を設ける必要がないため、圧力調整弁の部品点数を減らすことができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置は、上記の圧力調整弁と、機能液供給手段と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、機能液供給手段から機能液滴吐出ヘッドに機能液を適正圧力で安定して供給することができ、機能液滴吐出ヘッドのワークへの描画品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】キャリッジの外観斜視図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の模式図である。
【図７】圧力調整弁の平面図である。
【図８】第１実施形態に係る圧力調整弁のＡ−Ａ断面図である。
【図９】第２実施形態に係る圧力調整弁のＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る圧力調整弁を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、圧力調整弁は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を一定圧力で減圧供給するものである。
【００１４】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱１２を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４が搭載された１３個のキャリッジユニット４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ５と、チャンバ５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、を備えている。また、チャンバ５の側壁の一部には、機能液を貯留するメインタンク５１等を収納するタンクキャビネット７が設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して、機能液滴吐出ヘッド１４を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された機能液を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。
【００１５】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７および吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１４の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置８（吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７）が交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を行う。
【００１６】
図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー２２と、上記したフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２２およびＸ軸第２スライダー２３をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。
【００１７】
Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート２４と、各ブリッジプレート２４を両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース１３上に設置され、ブリッジプレート２４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１４を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１４を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。
【００１８】
図４に示すように、各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４を６個ずつ２群に分けて、各機能液滴吐出ヘッド１４が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート２５と、から成るヘッドユニット２６を備えている。また、各キャリッジユニット４は、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を大気圧基準で減圧供給する圧力調整弁２７（詳細は後述する。）と、ヘッドユニット２６をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構２８と、θ回転機構２８を介して、ヘッドユニット２６をブリッジプレート２４に支持させる吊設部材２９（共に図３参照）と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、機能液を一時的に貯留するサブタンク４６（図１参照）が配設されており（実際には、ブリッジプレート２４上に配設）、このサブタンク４６および圧力調整弁２７により、各機能液滴吐出ヘッド１４に対して一定圧力で機能液が供給されるようになっている。
【００１９】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１４は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体３３と、を備えている（図５（ａ）参照）。機能液導入部３１は、ノズル列３９の数に対応した２連の接続針３４を有しており、サブタンク４６からの機能液を、機能液供給システム４８（図６参照）を介して供給されるようになっている。また、ヘッド本体３３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部３５と、複数の吐出ノズル３７が形成されたノズル面３８を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズルプレート３６のノズル面３８に形成された多数の吐出ノズル３７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列３９を構成しており、各ノズル列３９は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３７で構成されている（図５（ｂ）参照）。そして、この制御装置から出力された駆動波形が各ポンプ部３５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３７から機能液が吐出される。
【００２０】
次に、図６を参照して、機能液供給ユニット６について説明する。機能液供給ユニット６は、上記した３色に対応した３組の機能液供給装置（機能液供給手段）４１と、メインタンク５１およびサブタンク４６等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備４２と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備４３と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備４４と、を備えている。３組の機能液供給装置４１は、それぞれ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１４に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１４には、対応する色の機能液が供給される。
【００２１】
各機能液供給装置４１は、機能液の供給源を構成する２つのメインタンク５１,５１を有するメインタンクユニット４５と、各キャリッジユニット４に対応した１３個のサブタンク４６と、メインタンクユニット４５および各サブタンク４６を接続する上流側機能液流路４７と、サブタンク４６からの機能液を機能液滴吐出ヘッド１４に減圧供給する圧力調整弁２７と、各サブタンク４６および各圧力調整弁２７を接続する１３組の下流側機能液流路４９と、を備えている。各メインタンク５１内の機能液は、これに接続した窒素ガス供給設備４２からの圧縮窒素ガスにより加圧され、ガス排気設備４４を介して大気開放された１３個のサブタンク４６に上流側機能液流路４７を介して選択的に供給される。そして、サブタンク４６の機能液は、下流側機能液流路４９および圧力調整弁２７を介して、各機能液滴吐出ヘッド１４に一定圧力で供給される。
【００２２】
上流側機能液流路４７は、上流端がメインタンクユニット４５に接続されており、１３分岐流路５２を介して、下流端がサブタンク４６にそれぞれ接続されている。また、上流側機能液流路４７には、上流側から、機能液中の気泡を除去する気泡除去ユニット５３と、上流側の上流側機能液流路４７内に混入した気泡を除去するエアー抜きユニット５４と、が介設されている。メインタンクユニット４５から供給された機能液は、１３分岐流路５２により１３個に分流して各サブタンク４６に供給される。
【００２３】
次に、図７および図８を参照して、圧力調整弁２７について説明する。圧力調整弁２７は、主要部を成す調整弁本体６１と、調整弁本体６１の流入側に差込み接合した流入コネクター６２と、調整弁本体６１の流出側に差込み接合した流出コネクター６３と、を備えている。そして、流入コネクター６２には、流入側押えナット６４を介して、サブタンク４６に接続した下流側機能液流路４９が接続され、流出コネクター６３には、流出側押えナット６５を介して、機能液滴吐出ヘッド１４に連なるヘッド接続チューブ１００が接続されている。
【００２４】
調整弁本体６１（圧力調整弁２７）は、前面および後面の中央部が凹型形成されたバルブハウジング７１と、バルブハウジング７１と共に１次室７５を画成する蓋体７２と、バルブハウジング７１に受圧膜体７３（詳細は後述する。）を固定することでバルブハウジング７１と共に２次室７６を画成する膜体押え部材７４と、で構成されている。すなわち、圧力調整弁２７は、受圧膜体７３が垂直方向に配設されて使用する縦型のものである。また、１次室７５および２次室７６は、バルブハウジング７１の一部を構成する隔壁７７を隔てて同軸上に配設されており、隔壁７７の中心部（軸心）には、１次室７５および２次室７６を連通する連通流路７８がストレート形状に貫通形成されている。蓋体７２および膜体押え部材７４は、バルブハウジング７１に対し、前後方向から挟み込むようにねじ止めして組み込まれており（図示省略）、いずれも円形の受圧膜体７３の中心を通る軸線と同心円となる円形の外形を有している。
【００２５】
バルブハウジング７１は、その後面周縁部である後リング状端面１０１は、平坦に形成されており、後シールリング１０３を装着した蓋体７２で覆うようになっている。一方、バルブハウジング７１の前面周縁部である前リング状端面１０４には、断面矩形の前環状溝１０５が形成されており、その前環状溝１０５には、前リング状端面１０４と受圧膜体７３との間をシールする前シールリング１０６が装着されている。
【００２６】
蓋体７２は、後リング状端面１０１を覆うように円形の板状に形成され、その内面中央部には、弁体ばね８５が係合する蓋垂直段部が形成されており、さらにその周縁部には、蓋垂直段部を囲うように断面矩形の後環状溝１０２が形成されている。そして、後環状溝１０２には、後リング状端面１０１と蓋体７２との間をシールする後シールリング１０３が装着されている。すなわち、蓋体７２は、後シールリング１０３を介してバルブハウジング７１に対し相互に液密に突合せ接合さており、１次室７５を液密に保持している。一方、膜体押え部材７４は、前リング状端面１０４を押さえるように円形の環状に形成されており、バルブハウジング７１に前シールリング１０６をセットし、受圧膜体７３を位置合わせした状態でねじ止めされている。すなわち、膜体押え部材７４は、前シールリング１０６および受圧膜体７３を介してバルブハウジング７１に対し相互に液密に突合せ接合されており、２次室７６を液密に保持している。なお、詳細は後述するが、受圧膜体７３は、剛性の高い金属フィルムで構成されているため、張りを与えた状態でバルブハウジング７１に固定することが、好ましい。
【００２７】
１次室７５は、隔壁７７を主体とするバルブハウジング７１の後面および蓋体７２により形成されている。また、１次室７５の上部には、１次室７５から径方向斜めに延びる流入ポート８１が形成され、中心部には、連通流路７８に連なる１次室側開口部８２が開口している。そして、この１次室側開口部８２には、１次室７５側から連通流路７８を開閉する弁体８４が臨む一方、これに対応して、１次室側開口部８２の周縁部により、弁体８４が離接する弁座８３が構成されている。なお、弁体８４は、係合した弁体ばね８５によって、閉弁方向（２次室７６側）に弱い力で付勢されている。
【００２８】
２次室７６は、バルブハウジング７１の前面および受圧膜体７３により形成されている。また、２次室７６の下部には、真下に延びる流出ポート８６が形成され、中心部には、上記の連通流路７８に連なる２次室側開口部８７が開口している。そして、２次室側開口部８７の周縁部にはバルブハウジング７１の前面をえぐるように凹となる垂直段部１１７が形成されており、垂直段部１１７には受圧膜体７３を前方向に付勢する膜体ばね８８が、約半分嵌まり込むように配設されている。
【００２９】
弁体８４は、弁機能を奏する弁体本体９４と、弁体本体９４を保持する弁ホルダー９５と、を備えている。弁体８４は、受圧膜体７３による大気圧基準で、弁座８３となる１次室側開口部８２の周縁部に離接することで開閉し、この開閉を繰り返すことにより、機能液が１次室７５から２次室７６に間欠的に流入する。
【００３０】
弁体本体９４は、耐薬品性のパーフルオロゴムの素材で構成された、いわゆるОリングであり、通常に用いられるシリコンゴム製の弁体本体９４に比して硬質なものとなっている。そして、弁ホルダー９５に装着した弁体本体９４の前端部分が、弁座８３に離接して弁の機能を奏するようになっている。
【００３１】
弁ホルダー９５は、断面略「Ｔ」字状に形成されており、同軸上において軸線方向の後方から、弁体ばね８５が係合する厚肉円板状のホルダーベース９６と、ホルダーベース９６に連なり、弁体本体９４を直接保持する保持部９７と、保持部９７に連なり、弁体本体９４を抜止め状態に保持する抜止め部９８と、抜止め部９８の先端から延在した作動軸部９９と、から構成されている。そして、弁体本体９４は、作動軸部９９側から抜止め部９８を乗り越えて装着されている。また、作動軸部９９（弁ホルダー９５）は、上記の連通流路７８に挿通して、その先端が受圧膜体７３に当接している。
【００３２】
上記のように構成された圧力調整弁２７では、例えば機能液滴吐出ヘッド１４の液滴吐出により２次室７６の圧力が下がってゆくと、大気圧により受圧膜体７３が凹変形してゆき、受圧膜体７３が直接弁体８４を押す（開弁動作）。これにより、弁体８４が開弁し、連通流路７８を介して１次室７５から２次室７６に機能液が流入する。機能液の流入がすすむと、やがて２次室７６の圧力が高まってゆき、受圧膜体７３が外部に向かって凸変形してゆく。これにより、受圧膜体７３が弁体８４から離れるように前進し、同時に弁体８４が前進して閉弁する（閉弁動作）。
【００３３】
このように、圧力調整弁２７は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド１４に連なる２次室７６との内部圧力のバランスにより受圧膜体７３が変形することで連通流路７８を開閉する。その際、弁体ばね８５および膜体ばね８８に力が分散して作用し、且つ弁体本体９４の弾性力により、弁体８４は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体８４の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド１４の吐出駆動に影響を与えないようになっている。
【００３４】
ここで、受圧膜体７３について詳細に説明する。受圧膜体７３は、ステンレスやアルミニウムなどの機能液に対して耐薬品性の金属製素材で、円形の薄膜フィルム形状に形成されている。受圧膜体７３は、樹脂フィルムに対し十分に剛性の高い金属フィルムで構成されているため、大気圧による律動（挙動）動作において、周囲の気流（大気）の影響等を受け難く、中央部から均一に凹凸変形する。これにより、受圧膜体７３の中央部に上記の作動軸部９９が離接することで、弁体８４の開閉動作を適切に行うようになっている。なお、受圧膜体７３の中央部に作動軸部９９が当接する当接部を、モールド樹脂等で形成しても良い。また、受圧膜体７３の金属素材は、機能液の溶媒によって決定されるものであり、とくに限定されるものではなく、その製法も任意のものである。
【００３５】
次に図９を参照して、本発明の第２実施形態に係る圧力調整弁２７について説明する。なお、重複した記載を避けるべく、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。上述のように、受圧膜体７３は、張りを与えた状態でバルブハウジング７１に取り付けることが好ましい。そこで、この実施形態では、バルブハウジング７１の前リング状端面１０４と膜体押え部材７４との接合部分の形状を工夫し、膜体押え部材７４を前リング状端面１０４に接合したときに、受圧膜体７３に自動的に張りが生ずるようにしている。
【００３６】
すなわち、バルブハウジング７１の前リング状端面１０４において、上記の前環状溝１０５の外側に、環状の傾斜段部１１１を介して凹となる環状受け面１１２が形成され、これに対応して、膜体押え部材７４の裏面（接合面）には、環状の傾斜段部１１１を介して凸となる環状当接面１１３が形成されている。受圧膜体７３を前リング状端面１０４に載せ、膜体押え部材７４を押し込んで行くと、相互の傾斜段部１１１により、受圧膜体７３が径方向の外側に引っぱられ、受圧膜体７３に張りを与えた状態で取り付けることができる。なお、環状受け面１１２側を凸とし、環状当接面１１３側を凹としてもよい。
【００３７】
以上の構成によれば、受圧膜体７３が、剛性の高い金属フィルムで構成されているため、重力や気流の影響を受け難く均一に凹凸変形する。また、受圧膜体７３をバルブハウジング７１に取り付ける場合に、しわなどが生じることがないため、受圧膜体７３による押圧力が、弁体８４に適切に伝達され、受圧膜体７３の凹凸変化に対応して、安定して精度良く弁体８４を開閉動作させることができる。しかも、受圧膜体７３は、１枚の金属フィルムのみで構成されているため、予め中心が決まっているわけではないので、バルブハウジング７１への取り付けの際に、位置決めが容易で簡単に組み付けることができる。
【符号の説明】
【００３８】
１…液滴吐出装置  １４…機能液滴吐出ヘッド  ２７…圧力調整弁  ４１…機能液供給装置  ７１…バルブハウジング  ７３…受圧膜体  ７５…１次室  ７６…２次室  ７８…連通流路  ８４…弁体  ９４…弁体本体  ９９…作動軸部  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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