(57)【要約】【課題】リザーバー内に伝播する液体の圧力変動を十分に吸収することができ、吐出安定性を確保することが可能な液体噴射ヘッド及びこれを備えた液体噴射装置を提供する。【解決手段】記録ヘッド２はノズル開口１８に連通する圧力発生室１９となる溝部と溝部の底部の少なくとも一部であって圧力発生源２６の駆動によって発生する振動を圧力発生室に伝える振動板２３と圧力発生室にインク供給口２１を介して連通する共通インク室２０となる溝部と溝部の底部２０ａに開口して共通インク室内にインクを導入するインク導入口２２とが形成された流路形成基板１５と流路形成基板に積層されインク導入口と連通してインクを共通インク室側へ供給するインク導入口２７と圧力発生源の個別電極２５とが形成された電極基板１７とを備え流路形成基板であって共通インク室に対向する領域に第１薄肉部３０を設けることにより流路形成基板と電極基盤との間に空間３１を形成した。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室となる凹部と、該凹部の底部の少なくとも一部であって圧力発生手段の駆動によって発生する振動を前記圧力発生室に伝える振動板と、前記圧力発生室に液体供給口を介して連通するリザーバーとなる凹部と、該凹部の底部に開口してリザーバー内に液体を導入する液体導入口と、が形成された第１の基板と、
前記第１の基板に積層され、前記液体導入口と連通して液体貯留部材から導いた液体をリザーバー側へ供給する連通口と、前記圧力発生手段の電極と、が形成された第２の基板と、を備え、
前記第１の基板であって前記リザーバーに対向する領域に、第１薄肉部を設けることにより、前記第１の基板と前記第２の基板との間に空間を形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１薄肉部を、少なくとも前記液体導入口から前記液体供給口までの間に延設したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル開口を開設した第３の基板を、前記第１の基板の前記第２の基板とは反対側に積層して、前記圧力発生室となる凹部の開口部とリザーバーとなる凹部の開口部とを塞ぎ、
前記第３の基板であって前記リザーバーに対向する領域に、第２薄肉部を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１薄肉部により形成した前記空間を、大気と連通させたことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を吐出する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドから液体状のインクをインク滴として吐出させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンター）等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、液晶パネル向けのカラーフィルター、有機ＥＬ素子、薄膜トランジスターの形成等にも液体噴射ヘッドが応用されている。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッドとしては、ノズル開口に連通する圧力室と、この圧力室に供給する液体を導入する共通インク室と、この共通インク室と圧力室を連通して共通インク室内のインクを圧力室側に供給するインク供給路とを備え、圧力発生源を作動させて圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることによって、圧力室内のインクをノズル開口からインク滴として吐出可能に構成されたものがある。この記録ヘッドとしては、種々の駆動方式のものがある。例えば、圧電振動子や発熱素子等の圧力発生素子を備え、この圧力発生素子を作動させることでインク滴を吐出するように構成されているものや、対向電極間に発生する静電気力により、圧力室を区画する弾性面を弾性変形させてインク滴を吐出するように構成されているもの等がある。
【０００４】
このような記録ヘッドは、複数のプレート状のヘッド構成部材を積層して構成されているものが一般的である。例えば、複数のノズル開口が列状に開設されたノズル基板や、共通インク室（リザーバー）及び圧力発生室を通ってノズル開口に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成する流路基板等を積層して接合している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３４８２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような構成の記録ヘッドでは、圧力発生室への圧力発素子の駆動によってノズル開口からインクを吐出させた後に、この吐出によって生じる残留振動が圧力変動として圧力発生室からリザーバーまで伝播し、この圧力変動をリザーバーで十分に吸収することができないために圧力発生室側に反射することがある。このため残留振動が消え難かった。さらに、複数の圧力発生室を列設させて、リザーバーから各圧力発生室にインクを導入するように構成された記録ヘッドにおいては、この残留振動による圧力変動が、リザーバーから駆動させていない他の圧力発生室内のインクに伝播することがある。このため、インクの吐出が不安定になる虞があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、リザーバー内に伝播する液体の圧力変動を十分に吸収することができ、吐出安定性を確保することが可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口に連通する圧力発生室となる凹部と、該凹部の底部の少なくとも一部であって圧力発生手段の駆動によって発生する振動を前記圧力発生室に伝える振動板と、前記圧力発生室に液体供給口を介して連通するリザーバーとなる凹部と、該凹部の底部に開口してリザーバー内に液体を導入する液体導入口と、が形成された第１の基板と、
前記第１の基板に積層され、前記液体導入口と連通して液体貯留部材から導いた液体をリザーバー側へ供給する連通口と、前記圧力発生手段の電極と、が形成された第２の基板と、を備え、
前記第１の基板であって前記リザーバーに対向する領域に、第１薄肉部を設けることにより、前記第１の基板と前記第２の基板との間に空間を形成したことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、第１の基板であって前記リザーバーに対向する領域に、第１薄肉部を設けることにより、前記第１の基板と前記第２の基板との間に空間を形成したので、この第１薄肉部を撓み易いコンプライアンス部として機能させることができ、十分な圧力吸収能力を得ることができる。したがって、液体導入口からリザーバーに液体が入る際に発生する圧力変動が液体導入口付近に及ぼす影響と、液体供給口からリザーバーに液体が逆流する際に発生する圧力変動の影響と、を空部側に第１薄肉部を弾性変形させることで十分に緩和することができる。これにより、圧力発生室及びリザーバー内の液体の残留振動を抑制でき、液体の吐出安定性を確保できる。また、圧力発生室、リザーバー、及び、液体供給口を形成している同一部材（第１の基板）に、第１薄肉部を形成しているために、高精度で所望の位置に第１薄肉部を設けることができる。さらに、第１薄肉部を、第２の基板と積層する側に形成したので、薄くても不用意な外力を受け難く、破壊され難い。
【００１０】
上記構成において、前記第１薄肉部を、少なくとも前記液体導入口から前記液体供給口までの間に延設する構成を採用することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、第１薄肉部を、少なくとも液体導入口から液体供給口までの間に延設したので、第１薄肉部の面積を広く取ることができ、これにより、リザーバー内の圧力変動をより効果的に吸収することが可能となる。
【００１２】
上記構成において、前記ノズル開口を開設した第３の基板を、前記第１の基板の前記第２の基板とは反対側に積層して、前記圧力発生室となる凹部の開口部とリザーバーとなる凹部の開口部とを塞ぎ、
前記第３の基板であって前記リザーバーに対向する領域に、第２薄肉部を設ける構成を採用することが望ましい。
【００１３】
上記構成によれば、ノズル開口を開設した第３の基板を、第１の基板の第２の基板とは反対側に積層して、圧力発生室となる凹部の開口部とリザーバーとなる凹部の開口部とを塞ぎ、第３の基板であってリザーバーに対向する領域に、第２薄肉部を設けたので、第１薄肉部及び第２薄肉部によって、リザーバーのコンプライアンスを大きくすることができ、これにより、リザーバー内の圧力変動をより効果的に吸収することが可能となる。
【００１４】
また、上記構成において、前記第１薄肉部により形成した前記空間を、大気と連通させる構成を採用することが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、第１薄肉部により形成した空間を、大気と連通させたので、外気圧が変動したとしても、第１薄肉部の弾性変形量を維持しつつ、リザーバー内の圧力変動をより効果的に吸収することが可能となる。
【００１６】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】プリンターの構成を示す平面図である。
【図２】記録ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの圧力発生室長手方向の断面図であって、（ａ）は図２中のａ−ａ線に沿った断面図であり、図２中のｂ−ｂ線に沿った断面図である。
【図４】他の実施形態における記録ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図５】図４に示された記録ヘッドの圧力発生室長手方向の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体吐出装置（液体噴射装置）として、図１に示すインクジェット式プリンター（以下、プリンターと略記する）を例示する。
【００１９】
図１は、本発明に係るプリンター１の構成を示す平面図である。このプリンター１は、外郭の一部を構成するフレーム１′と、このフレーム１′内に配設されたプラテン３とを備えており、紙送り機構における紙送りモーターの駆動により回転する紙送りローラー（何れも図示せず）によってプラテン３上に記録紙（記録媒体又は吐出対象物の一種：図示せず）が搬送されるようになっている。また、フレーム１′内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、インクジェット式記録ヘッド２（液体噴射ヘッドの一種。以下、記録ヘッド）を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、キャリッジ移動モーター９の駆動によって回転する駆動プーリー１０ａと、この駆動プーリー１０ａとはフレーム１′における反対側に設けられた遊転プーリー１０ｂとの間に架設されたタイミングベルト１１に接続されている。そして、キャリッジ５は、キャリッジ移動モーター９を駆動することで、ガイドロッド４に沿って紙送り方向と直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。即ち、これらのキャリッジ移動モーター９、駆動プーリー１０ａ、遊転プーリー１０ｂ、及び、タイミングベルト１１によりキャリッジ移動機構が構成されている。
【００２０】
キャリッジ移動モーター９は、キャリッジ移動機構における駆動源として機能し、例えば、パルスモーターやＤＣモーターが用いられる。このキャリッジ移動モーター９は、制御手段として機能する制御部（図示せず）により、その回転速度や回転方向等が制御される。そして、キャリッジ移動モーター９が回転すると、駆動プーリー１０ａ及びタイミングベルト１１が回転し、キャリッジ５がガイドロッド４に沿って移動する。つまり、キャリッジ４に搭載された記録ヘッド２は、制御部による制御の下で主走査方向に往復移動される。なお、キャリッジ５の走査位置については、走査位置に応じたエンコーダーパルスを主走査方向における位置情報として出力するリニアエンコーダー（図示せず）によって把握することができる。
【００２１】
フレーム１′の一側には、インクカートリッジ６（液体貯留部材の一種）が着脱可能に搭載されており、本実施形態では合計４個のインクカートリッジ６が設けられる。このインクカートリッジ６は、エアチューブ１２を介してエアポンプ１３と接続されており、このエアポンプ１３からの空気が各インクカートリッジ６内に供給される。そして、この空気によるインクカートリッジ６内の加圧により、インク供給チューブ１４を通じて記録ヘッド２側にインクが供給（圧送）されるように構成されている。インク供給チューブ１４は、例えば、シリコン等の合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１４の内部には、各インクカートリッジ６に対応するインク流路が形成されている。
【００２２】
図２は、本実施形態の記録ヘッド２の構成を示す分解斜視図であり、図３（ａ）は、記録ヘッド２のインク導入口２２を通る圧力発生室長手方向の断面図である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）に対して圧力発生室１９の列設方向に異ならせてインク導入口２２を通らない位置で切断した断面図である。この記録ヘッド２は、シリコン製の流路形成基板１５（第１の基板の一種）の一方の面に、同じくシリコン製のノズル形成基板１６（第３の基板の一種）を、流路形成基板１５の他方の面に、ガラス製の電極基板１７（第２の基板の一種）を各々配置して積層し、各部材間を接着剤によって接合することで３層構造となっている。
【００２３】
上記ノズル形成基板１６は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口１８を列状に開設した板材である。上記流路形成基板１５には、その表面から異方性エッチングを施すことにより、インク流路となる溝部（圧力発生室となる凹部，リザーバーとなる凹部の一種）が形成されており、この溝部（凹部）の開口部分がノズル形成基板１６によって塞がれることにより、各ノズル開口１８に対応して複数の圧力発生室１９、各圧力発生室１９に対して共通のインクが導入される共通インク室２０（リザーバーの一種）、及び、共通インク室２０と各圧力発生室１９とを連通するインク供給路２１（液体供給口の一種）から成る一連のインク流路が区画される。
【００２４】
流路形成基板１５において、共通インク室２０となる溝部の一部を区画する底部２０ａ（リザーバー区画面の一種）には、基板厚さ方向（図２，３中に符号Ｙで示す）に貫通した複数のインク導入口２２（液体導入口の一種）が開設されている。また、底部２０ａから圧力発生室１９となる溝部側へ向う途中には、共通インク室２０となる溝部と圧力発生室１９となる溝部とを隔てる隔壁２１´が形成されている。隔壁２１´は、底部２０ａのうち圧力発生室１９側となる溝部側の端部から当該圧力発生室１９となる溝部に向って底部２０ａから離れる方向に、その板厚を厚くするように傾斜する傾斜面２０ｂ（リザーバー区画面の一種）と、インク供給路２１の一部を区画するとともに傾斜面２０ｂの頂部に連なって基板厚さ方向Ｙに交差した圧力発生室１９の長手方向（図２，３中に符号Ｘで示す）に沿った頂面２１ａと、頂面２１ａから板厚を薄くするように傾斜して圧力発生室１９となる溝部の一部を区画する傾斜面１９ａと、によって構成されている。なお、本実施形態におけるインク導入口２２は、図２に示すように、ノズル列方向に隣り合う４列の圧力発生室１９毎に１つのインク導入口２２が開設されている。
【００２５】
さらに、流路形成基板１５において、各圧力発生室１９となる溝部の底部（一方の面）には、ヘッド積層方向（図３において上下方向）に弾性変位可能な弾性面として機能する振動板２３が形成されている。そして、流路形成基板１５には共通電極端子（図示せず）が形成されており、この流路形成基板１５は導電性を有するので、上記振動板２３は、共通電極（本発明における圧力発生手段の電極に相当）としても機能するようになっている。
【００２６】
また、ノズル形成基板１６の隔壁２１´に対向する領域には、ノズル形成基板１６をエッチングなどによって窪ませた凹部１６ａが圧力発生室１９に対応する隔壁２１´毎に設けられている。この凹部１６ａの内面は、隔壁２１´の頂面２１ａの圧力発生室１９の長手方向Ｘよりも長く形成されている。そのため、ノズル形成基板１６が流路形成基板１５を塞ぐように積層されると、凹部１６ａの内面が隔壁２１´の頂面２１ａと傾斜面１９ａ，２０ａの頂面２１ａ側の一部との間に間隔を開けて配され、この間隔がインク供給路２１として構成される。即ち、インク供給路２１は、凹部１６ａの内面と、隔壁２１´の頂面２１ａと、傾斜面１９ａ，２０ａの頂面２１ａ側の一部とによって構成されている。
【００２７】
上記電極基板１７は、例えば、ホウ珪酸ガラスによって作製されている。このホウ珪酸ガラスは、熱膨張率がシリコンと同程度である。このため、温度変化によるヘッド構成部材間の剥離が生じ難くなっている。この電極基板１７の流路形成基板１５に接合される面において、圧力発生室１９の振動板２３に対向する位置には、トレイ状に浅くエッチングされた凹部２４が、各圧力発生室１９に対応して形成されている。この凹部２４の底面には、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）などの薄膜を積層して形成された個別電極２５（圧力発生手段の電極に相当）がそれぞれ敷設されている。各個別電極２５は、各圧力発生室１９に対応して延在するセグメント電極２５ａと、外部に露出している電極端子部２５ｂとから構成されている。そして、電極基板１７を流路形成基板１５に接合すると、各圧力発生室１９の振動板２３と各個別電極２５のセグメント電極２５ａとが、狭小な隙間を形成した状態でそれぞれ対向する。
【００２８】
また、この電極基板１７には、基板厚さ方向を貫通した複数のインク導入路２７（連通口の一種）が形成されており、このインク導入路２７は、流路形成基板１５との接合状態で各インク導入口２２と連通するようになっている。このインク導入路２７とインク導入口２２を通じて、例えばプリンター本体側に設けられたインクカートリッジ６からのインクが共通インク室２０内に導入されるようになっている。そして、共通インク室２０のインクは、この共通インク室２０から分岐したインク供給路２１を通って各圧力発生室１９に分配供給される。
【００２９】
流路形成基板１５の共通電極端子と、電極基板１７の個別電極２５との間には、プリンターコントローラー（図示せず）側からの駆動電圧（駆動信号）が印加される。駆動電圧が基準電位（又は接地電位）よりも＋側に変化することにより、可撓性電極として機能する振動板２３と個別電極２５との間に静電気力が発生し、この静電気力によって、振動板２３が弾性変形して個別電極２５側に撓み、セグメント電極２５ａの表面に吸着する。この結果、圧力発生室１９の容積が増加して、インク供給路２１を通じて共通インク室２０側からインクが圧力発生室１９内に流入する。そして、駆動電圧が−側（接地電位側）に急激に変化して静電気力が急激に減少すると、振動板２３はその弾性力によってセグメント電極２５ａの表面から離れて圧力発生室１９側に変位する。その結果、圧力発生室１９の容積が急激に減少する。これにより、圧力発生室１９内のインクに圧力変動が生じ、この圧力変動によってノズル開口１８からインクが吐出（噴射）される。即ち、共通電極端子、個別電極２５、及び振動板２３は、圧力発生源２６（本発明における圧力発生手段）として機能する。
【００３０】
さらに、前述した流路形成基板１５は、当該流路形成基板１５であって共通インク室２０に対向する領域に、第１薄肉部３０を設けることにより、流路形成基板１５と電極基板１７との間に空間３１を形成している。この空間３１は、インク導入口２２の近傍を環状に残した状態で、流路形成基板１５の電極基板１７側の面を、エッチングなどによって共通インク室２０側に窪ませるように除去することで形成されており、この凹状に窪んだ部分の底部が第１薄肉部３０となっている。即ち、第１薄肉部３０は、流路形成基板１５の板厚が他の領域（例えば、共通インク室２０の周縁部）よりも基板積層方向（基板厚さ方向）Ｙに薄くなるように形成されることで、基板積層方向Ｙに弾性変位し易く構成され、コンプライアンス部として機能する。より詳しくは、図３に示すように、インク供給路２１のうち、インク導入口２７が圧力発生室１９の長手方向Ｘに沿って形成されたインク供給路２１では、第１薄肉部３０が、インク導入口２２から圧力発生室１９側の端部までの間に設けられた第１薄肉部（図３（ａ）中に符号３０ａで示す）と、インク導入口２２から圧力発生室１９側とは反対側の端部までの間に設けられた第１薄肉部（図３（ａ）中に符号３０ｂで示す）とを有している。一方、図３（ｂ）に示すように、インク供給路２１のうち、長手方向Ｘに沿って隣り合うインク導入口２７の間に配置されたインク供給路２１では、第１薄肉部３０が、底部２０ａのうちインク供給路２１側の端部から、この端部とは反対側の端部に亘って一連に設けられている。
【００３１】
そして、この第１薄肉部３０は、圧力発生源２６を駆動させて振動板２３を変形して圧力発生室１９の容積を増加して減圧すると、基板積層方向Ｙに変形して共通インク室２０内のインクをインク供給路２１から圧力発生室１９内に供給する一方、振動板２３が戻り変形して圧力発生室１９内のインクをノズル開口１８から吐出させた際に、インク供給路２１から共通インク室２０内に戻るインクの圧力変動に対して、マイナスＹ方向に弾性変形してこの圧力変動を吸収し緩和させることができる。この際に、第１薄肉部３０は、空部３１の容積に応じて空部３１側への弾性変形量が許容されている。なお、第１薄肉部３０を設けることによって形成された空部３１は、連通路（図示せず）によって記録ヘッド２の外側の大気（外側空間）と連通させることで、外気圧が変動したとしても、第１薄肉部３０の弾性変形量を維持しつつ、その内部空間の容積を一定に保つことが可能となっている。
【００３２】
一方、ノズル形成基板１６は、流路形成基板１５の電極基板１７とは反対側に積層されて、共通インク室２０の第１薄肉部３０とは反対側を区画しており、当該ノズル形成基板１６であって共通インク室２０に対向する領域に、第２薄肉部３２が設けられている。この第２薄肉部３２は、ノズル形成基板１６の共通インク室２０とは反対側の面を、エッチングなどによって共通インク室２０側に窪ませるように除去することで、この凹状に窪んだ部分の底部が第２薄肉部３２として設けられている。即ち、第２薄肉部３２は、ノズル形成基板１６の板厚が他の領域（例えば、圧力発生室１９を区画している部分）よりも基板積層方向Ｙに薄くなるように形成されることで、基板積層方向Ｙに弾性変位容易に構成され、コンプライアンス部として機能する。より詳しくは、第２薄肉部３２は、ノズル形成基板１６に設けられた第１薄肉部３０ａと第１薄肉部３０ｂのうちインク導入口２２側とに亘って対向する領域に形成されている。なお、第２肉部３２の共通インク室２０とは反対側は、記録ヘッド２の外側の空間（外側空間）に面している。したがって、第１薄肉部３０よりも第２薄肉部３２の厚さを少し増やして剛性を高めておくことが望ましい。格言すると、第１薄肉部３０は、不用意な外力を受けないので、第２薄肉部３２より薄くでき、コンプライアンスを高め易い。
【００３３】
そして、前記した第２薄肉部３２は、圧力発生源を駆動することにより、振動板２３を変形して圧力発生室１９の容積を増加して減圧すると、マイナスＹ方向に変形して共通インク室２０内のインクをインク供給路２１から圧力発生室１９内に供給する一方、振動板２３が戻り変形してインクが吐出すると、インク供給路２１から共通インク室２０に向かうインクの圧力変動に対して、基板積層方向Ｙに弾性変形してこの圧力変動を吸収し緩和させることができる。この様に、第２薄肉部３２は、第１薄肉部３０と同様に、圧力発生室１９から伝播する共通インク室２０内のインクの圧力変動に対して、基板積層方向Ｙに弾性変形してこの圧力変動を緩和させ、これにより残留振動を速やかに消失させることができる。
【００３４】
以上説明したように、本発明の記録ヘッド２は、流路形成基板１５であって共通インク室２０に対向する領域に、第１薄肉部３０と第２薄肉部３２とを対向させて設けたので、インク供給路２１から共通インク室２０内に伝わる圧力変動を、第１薄肉部３０及び第２薄肉部３２を変形させることで同時に吸収して緩和することができる。この残留振動の抑制により、インクを吐出させた後に次の吐出を行う際に、ノズル開口１８のメニスカスが安定しており、これにより、インクの吐出安定性を確保できると共に、クロストークの発生を抑制できる。また、圧力発生室１９、共通インク室２０、及び、液体供給路２１を流路形成基板１５に形成し、さらに、この同一部材の流路形成基板１５に第１薄肉部３０を形成しているために、高精度で所望の位置に第１薄肉部３０を設けることができる。
【００３５】
また、第１薄肉部３０ａを、インク導入口２２からインク供給路２１までの間に延設したので、第１薄肉部３０ａの面積を広く取ることができ、これにより、共通インク室２０内の圧力変動をより効果的に吸収することが可能となる。また、インク導入口２２とインク供給路２１との間に第１薄肉部３０ａが設けられるので、インク導入口２２からインク供給路２１に向う共通インク室２０内のインクの圧力変動と、インク供給路２１からインク導入口２２に向う共通インク室２０内のインクの残留振動による圧力変動と、を第１薄肉部３０ａが弾性変形することで、これらの共通インク室２０内の圧力変動を緩和することができる。
【００３６】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
上記実施形態では、流路形成基板１５に設けられた隔壁部２１´とノズル形成基板１６に設けられた凹部１６ａとの間に形成されたインク供給路２１を例示したが、これには限られない。例えば、図４，図５に示すように、エッチングなどにより圧力発生室１９の長手方向Ｘに沿って隔壁部２１´の頂面２１ａを電極基板１７側に窪ませるように除去し、この凹状に窪んだ部分とノズル形成基板１６との間の間隔を、インク供給路２１として区画して良い。また、隔壁部２１´の傾斜面２０ｂを二段に屈曲する階段状に形成しも良い。
【００３７】
また、インク導入口２２は、隣り合う４列の圧力発生室１９毎に１つのインク導入口２２を開設していたが、本発明のインク導入口２２同士の間隔はこれに限定されない。即ち、例えば、隣り合う６列の圧力発生室１９毎に１つのインク導入口２２を開設しても良い。このように、インク導入口２２同士の間隔を離すことで、第１薄肉部３０の弾性変形可能な面積を広げることができ、共通インク室２０内の圧力変動をより吸収することができる。
【００３８】
上記実施形態においては、圧力発生手段として、圧力発生室１９の一方の面に設けられた可撓性電極（振動板２３）と、当該可撓性電極に対して間隔を空けて対向配置された固定電極（個別電極２５）とを有し、これらの間に発生する静電気力によって可撓性電極を撓ませることにより圧力発生室１９内に圧力変動を生じさせるように構成された圧力発生源２６を例示したが、これには限れず、同様な駆動信号（微振動パルス）を採用して駆動するものであれば、圧電素子等の各種圧力発生手段を用いる場合にも本発明を適用することができる。
【００３９】
また、本発明は、上記プリンター以外の液体噴射装置にも適用できる。例えば、ディスプレー製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１…プリンター，２…記録ヘッド，６…インクカートリッジ，１５…流路形成基板，１６…ノズル形成基板，１７…電極基板，１８…ノズル開口，１９…圧力発生室，２０…共通インク室，２０ａ…底部，２０ｂ…傾斜面，２１…インク供給路，２３…振動板，２６…圧力発生源，３０…第１薄肉部，３１…空間，３２…第２薄肉部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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