(57)【要約】【課題】小型化によるＡ，Ｂ相の正弦波信号の急激な変動に追従でき、安価で位置精度のよい光学式エンコーダを提供する。【解決手段】９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号４ａ，４ｂをディジタルデータに変換するＡＤ変換器６と、正弦波信号の誤差を補正する補正回路７と、Ｈ／Ｌのディジタル信号９ａ，９ｂのＨ／Ｌ信号で補償値３３ａ，３３ｂを生成する補償値生成回路３２を備え、補償値生成回路３２で生成した補償値３３ａ，３３ｂを用いてディジタル化した正弦波信号８ａ，８ｂの振幅を補正する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号と、複数のＨ／Ｌのディジタル信号から位置データを生成する位置検出器において、
前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号をディジタルデータに変換するＡＤ変換器と、
前記正弦波信号の誤差を補正する補正回路と、
前記Ｈ／Ｌのディジタル信号のＨ／Ｌ信号で補償値を生成する補償値生成回路を備え、
前記補正回路は、ディジタルデータに変換された前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号からそれぞれのピーク値を検出する最大値／最小値検出器と、
前記最大値／最小値検出器で検出したピーク値を用いて前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅補正値を演算する振幅補正値演算器と、
前記振幅補正値演算器で求めた振幅補正値を用いて、ディジタルデータに変換された前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅を補正する振幅補正回路を有し、
前記振幅補正値演算器は、前記補償値生成回路で生成した補償値を用いて、前記振幅補正値を加減算することを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】
前記振幅補正値演算器は、前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号がそれぞれ０レベルのときに前記補償値生成回路で生成した補償値の更新を有効とすることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】
前記記憶装置は、前記Ｈ／Ｌのディジタル信号の出力がＨのときとＬのときの前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅値との差を記憶する記憶器を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学式エンコーダ。
【請求項４】
前記記憶装置は、前記Ｈ／Ｌのディジタル信号の出力がＨのときとＬのときの前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅値を記憶する記憶器を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号を内挿処理して高分解能を得る光学式エンコーダの補償回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転型（またはリニア型）の光学式エンコーダの位置検出は、発光素子と受光素子と、その間に格子状の明暗スリットを形成した回転体（または移動体）と固定板で構成され、発光素子から発光された光は、回転体（または移動体）と固定板に形成された明暗スリットによって透過／遮断され、受光素子は、Ｈ／Ｌの信号を出力する。
【０００３】
回転体（または移動体）が移動することによって受光素子はＨ／Ｌのパルス信号を出力するので、基準位置からのパルス数をカウントすることによって、現在の位置を検出することができる。また、絶対位置が検出できるエンコーダでは、スリットと受光素子を複数用いてグレーコード出力となるように組み合わせることによって、常に独立した位置情報を得ることができる。
【０００４】
光学式エンコーダの分解能を上げるには、スリット間隔を短くすることが有効であるが、加工精度や光の回折現象に課題があり、分解能を上げるには限界があった。近年では、スリット間を細分化するために、Ｈ／Ｌのパルス信号と同じ周期で９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号を生成して内挿処理することで分解能を上げる手法が一般的に行われている。
【０００５】
図１１に発光素子１５と回転体（または移動体）１３と受光素子１４の位置関係を示しており、９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号を生成する固定板のスリット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄに、Ｈ／Ｌのディジタル信号を生成する固定板のスリット１９，２０が隣接して配置され、隣接トラックから漏れた光がスリット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄに入力される。
【０００６】
図１２は回転体（または移動体）と受光素子の固定板の形状と、出力される信号波形の概略を示したものである。図１２において、回転体（または移動体）１３には発光素子からの光を透過させるスリット１６，１７，１８があり、受光素子１４には固定板のスリット１９，２０，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが配置されている。
【０００７】
回転体（または移動体）１３のスリット１６，１８と固定板のスリット１９，２０は、Ｈ／Ｌのディジタル信号を生成し、回転体（または移動体）１３のスリット１７と固定板のスリット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄで、９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号を生成する。Ｈ／Ｌのディジタル信号は、光が透過する場合を出力信号がＨとなる例である。
【０００８】
エンコーダの小型化に伴って図１１に示した隣接トラックからの漏れ光が増加し、正弦波信号への影響が無視できなくなる。図１２の信号波形に示すように、Ａ，Ｂ相の正弦波信号８ａ，８ｂは、隣接トラックの出力信号９ａ，９ｂに合わせて振幅が急激に変動する。
【０００９】
ところで、Ａ，Ｂ相の正弦波信号は経年変化や温度変化によって振幅やオフセットのずれによって位置検出に誤差が生じるため、図９、図１０に示すような補正回路を設けて、正弦波の振幅やオフセットの変化を検出し、Ａ，Ｂ相の正弦波信号を補正する方法が提案
されている。
【００１０】
例えば、正弦波信号の１周期間で検出した正弦波信号の前回値と今回値を比較して、今回値が大きかった場合に最大値を更新し、また今回値が小さかった場合に最小値を更新することで、１周期間の最大値および最小値を求め、これから振幅やオフセットのずれを補正している（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
また、Ａ，Ｂ相の正弦波信号から求めた正弦波の一周期信号に着目して、Ａ，Ｂ相がそれぞれ最大値および最小値となる点（９０度、２７０度、０度、１８０度）で正弦波の検出トリガを発生させて、Ａ，Ｂ相の正弦波信号の値を検出して、振幅やオフセットのずれを補正している（例えば、特許文献２参照）。
【００１２】
一方、製造時にマスターエンコーダと連結して回転させ、マスターエンコーダを基準とした精度誤差をメモリに記憶させ、使用時には逐次メモリに保存されたデータを読み込み、補正を行う手法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平７−２０９０２号公報
【特許文献２】特開２００２−３７２４３７号公報
【特許文献３】特開平７−１３９９６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
解決しようとする問題点は、光学式エンコーダの小型化に伴い、９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号の急激な変動に追従できず、その結果、位置精度が悪化する点である。
【００１４】
特許文献１および２の手法は、正弦波信号の最大値および最小値を検出し、次の周期の正弦波信号の振幅およびオフセットのずれを補正するため、部品の劣化や温度特性といった比較的長時間で生じる変動に対し有効である。しかし、正弦波信号の急激な変動には追従できず、位置精度が悪化するため課題があった。
【００１５】
一方、特許文献３の手法では、個々のエンコーダに対して正弦波信号の誤差をメモリに記憶する必要があり、分解能が高くなるに従いメモリ容量が増大するため、コスト面で課題があった。
【００１６】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、小型化によるＡ，Ｂ相の正弦波信号の急激な変動に追従でき、安価で位置精度のよい光学式エンコーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため請求項１に記載の光学式エンコーダは、９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号と、複数のＨ／Ｌのディジタル信号から位置データを生成する位置検出器において、前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号をディジタルデータに変換するＡＤ変換器と、前記正弦波信号の誤差を補正する補正回路と、前記Ｈ／Ｌのディジタル信号のＨ／Ｌ信号で補償値を生成する補償値生成回路を備え、前記補正回路は、ディジタルデータに変換された前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号からそれぞれのピーク値を検出する最大値／最小値検出器と、前記最大値／最小値検出器で検出したピーク値を用いて前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅補正値を演算する振幅補正値演算器と、前記振幅補正値演算器で求めた振幅補正値を用いて、ディジタルデータに変換された前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅を補正する振幅補正回路を有し、前記振幅補正値演算器は、前記補償値生成回路で生成した補償値を用いて、前記振幅補正値を加減算する。
【００１８】
また、請求項２に記載の光学式エンコーダは、前記振幅補正値演算器は、前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号がそれぞれ０レベルのときに前記補償値生成回路で生成した補償値の更新を有効とする。
【００１９】
また、請求項３に記載の光学式エンコーダは、前記記憶装置は、前記Ｈ／Ｌのディジタル信号の出力がＨのときとＬのときの前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅値との差を記憶する記憶器を設ける。
【００２０】
さらに、請求項４に記載の光学式エンコーダは、前記記憶装置は、前記Ｈ／Ｌのディジタル信号の出力がＨのときとＬのときの前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅値を記憶する記憶器を設ける。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１に記載の光学式エンコーダによれば、安価な小容量のメモリを用いるだけで、Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅の急激な変動に追従できる小型で高分解能のエンコーダを得ることができる。
【００２２】
また、請求項２に記載の光学式エンコーダによれば、振幅補償値の変化点が正弦波信号のゼロクロス点となり、振幅補正は滑らかに行うことができるので、生成する位置データの歪を小さく抑えることができる。
【００２３】
また、請求項３と請求項４に記載の光学式エンコーダによれば、製造時にＡ，Ｂ相の正弦波信号の振幅値を測定し、メモリに記憶させるという簡単な構成で補償値を生成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号と、複数のＨ／Ｌのディジタル信号から位置データを生成する位置検出器において、前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号をディジタルデータに変換するＡＤ変換器と、前記正弦波信号の誤差を補正する補正回路と、前記Ｈ／Ｌのディジタル信号のＨ／Ｌ信号で補償値を生成する補償値生成回路を備え、前記補正回路は、ディジタルデータに変換された前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号からそれぞれのピーク値を検出する最大値／最小値検出器と、前記最大値／最小値検出器で検出したピーク値を用いて前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅補正値を演算する振幅補正値演算器と、前記振幅補正値演算器で求めた振幅補正値を用いて、ディジタルデータに変換された前記Ａ，Ｂ相の正弦波信号の振幅を補正する振幅補正回路を有し、前記振幅補正値演算器は、前記補償値生成回路で生成した補償値を用いて、前記振幅補正値を加減算する。以下、具体的な実施の形態について説明する。
（実施の形態１）
本発明によるエンコーダ信号の補償回路について、図１から図４を用いて説明する。図１は補正回路、補償値生成回路を含むエンコーダ信号処理回路のブロック図、図２は補正回路の詳細なブロック図、図３は補償値生成回路の詳細なブロック図、図４は各ブロックにおける信号波形の説明図である。
【００２５】
図１において１ａ、１ｂはエンコーダから出力される９０度位相差のあるＡ，Ｂ相の正弦波信号である。一般的に発光素子と受光素子とスリット板から構成される。発光素子はＬＥＤやレーザー光、受光素子はフォトダイオードやフォトトランジスタが用いられる。
【００２６】
スリット板は光を透過するガラスや樹脂材でできており、スリット板上に光を遮断する格子状のマスクを設けている。発光素子からの光はスリット板を介して受光素子が透過し
た光を受けるように配置し、スリット板はエンコーダの回転体に設置されているため、回転すると正弦波の波形が受光素子から出力するようにスリット板の格子状の形が形成されている。
【００２７】
増幅器２ａ、２ｂは、エンコーダからの出力信号１ａ、１ｂの微小な信号を増幅する。エンコーダからの出力信号の振幅は数１００ｍＶであり、基準電圧５ａ、５ｂでオフセット電圧を加算して増幅器２ａ、２ｂで約１〜２Ｖの振幅に変換し正弦波信号４ａ、４ｂを生成する。
【００２８】
ＡＤ変換器６は、正弦波信号４ａ、４ｂのアナログ信号を正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂに変換する。
【００２９】
補正回路７は、オフセット補正回路４０、振幅補正回路４１、位相補正回路４２、最大値／最小値検出器４３、オフセット補正値演算器４４、振幅補正値演算器４５で構成され、正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂのオフセットや振幅、位相のずれを補正した信号１０ａ、１０ｂを生成する。
【００３０】
最大値／最小値検出器４３は正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂの最大値と最小値３７ａ、３７ｂを検出する。
【００３１】
オフセット補正値演算器４４は、検出した最大値と最小値３７ａ、３７ｂを用いて（オフセット基準値−（最大値＋最小値）／２）からオフセット補正値３４ａ、３４ｂを求める。オフセット補正回路４０はオフセット補正値３４ａ、３４ｂを正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂに加算することでオフセット補正された正弦波信号２５ａ、２５ｂを生成することができる。
【００３２】
振幅補正値演算器４５は、検出した最大値と最小値３７ａ、３７ｂを用いて（振幅基準値／（最大値−最小値））から振幅補正値３５ａ、３５ｂを求める。振幅補正回路４１は正弦波ディジタル信号２５ａ、２５ｂに振幅補正値３５ａ、３５ｂを乗算することで振幅補正された正弦波信号２６ａ、２６ｂを生成することができる。
【００３３】
また、振幅補正値演算器４５は、図１に示すように補償値生成回路３２から振幅補償値３３ａ、３３ｂを入力する構成となっており、この役割について次に説明する。
【００３４】
図３は補償値生成回路のブロック構成図である。図３において、補償値生成器２４ａ、２４ｂと記憶器３０で構成されている。記憶器３０は、トラックＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂが入力される。トラックＴＲ１、ＴＲ２が正弦波信号１ａ、１ｂを生成する回転体（または移動体）１３と受光素子１４、固定板等の光学系部品に隣接して配置されており、図１１および図１２が一般的な配置である。
【００３５】
トラックＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌに従い、前述したように図１２に示すように正弦波信号８ａ、８ｂが変動する。記憶器３０にはトラックＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの組み合わせによって得られるデータが格納されており、出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの信号が入力されると、メモリに格納しているメモリ値３１ａ、３１ｂを補償値生成器２４ａ、２４ｂへ出力する。
【００３６】
補償値生成器２４ａ、２４ｂは、記憶器３０からのメモリ値３１ａ、３１ｂをラッチして補償値３３ａ、３３ｂとして補正回路７へ出力する。
【００３７】
記憶器３０がメモリに格納するメモリ値は、ＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂ
のＨ／Ｌの組み合わせで正弦波信号８ａ、８ｂが変動する大きさを測定した値となる。Ｌ／Ｌの組み合わせ時には、漏れ光からの影響を受けないので基準振幅値として、その他の組み合わせ時には、この基準振幅値からの差分（基準振幅値−検出振幅値）を記憶器３０のメモリに格納する。
【００３８】
記憶器３０は、補償値生成器２４ａ、２４ｂに対し、ＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの組み合わせはそれぞれ４組なので、合計８個のデータを格納するだけでよい。
【００３９】
補償値生成回路３２で求めた補償値３３ａ、３３ｂは、ＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂによる振幅の変動分である。振幅補正値演算器４５は、オフセット補正値演算器４４で検出した最大値と最小値３７ａ、３７ｂから求められる基準振幅値からのずれに補償値３３ａ、３３ｂを加算することで振幅補正値３５ａ、３５ｂを求めることができる。
【００４０】
この振幅補正値３５ａ、３５ｂを用いて振幅補正回路４１により補正を行うことで、図４に示すような急激に振幅が変動する正弦波信号８ａ、８ｂを検出した場合に正弦波信号２６ａ、２６ｂのように補正される。
【００４１】
以上のような構成とすることで、安価な小容量のメモリを用いて、経年変化や温度変化などによる長期的な信号の変化に対応し、振幅の急激な変動にも追従できる小型で高分解能のエンコーダを得ることができる。
（実施の形態２）
図５、図６を用いて本発明の実施の形態２について説明する。実施の形態１と異なるのは補正回路７に更新タイミング生成器４６が追加された点であり、この点について説明する。
【００４２】
図５は実施の形態２の補正回路７の詳細なブロック図、図６は各ブロックの信号波形の説明図を示している。
【００４３】
振幅補正値３５ａ、３５ｂを生成する方法については実施の形態１と同様である。実施の形態１と異なるのは生成した振幅補正値３５ａ、３５ｂは更新タイミング生成器４６を経由して振幅補正回路４１へ入力される。更新タイミング生成器４６の動作について詳細に説明する。
【００４４】
更新タイミング生成器４６は、振幅補正値３５ａ、３５ｂを常時入力し、内部メモリに格納する。ＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌのタイミングは正弦波信号の周期とは非同期のため、振幅補正値３５ａ、３５ｂも正弦波信号とは非同期の関係になる。
【００４５】
更新タイミング生成器４６は、オフセット補正回路から出力された正弦波信号２５ａ、２５ｂを検出し、この正弦波信号がゼロとなるポイント（ａ）、（ｂ）を求め、ゼロクロストリガを生成する。このゼロクロストリガを振幅補正値更新信号として、振幅補正値３５ａはポイント（ａ）で生成されたゼロクロストリガで振幅補正値３６ａとして振幅補正回路４１へ出力する。
【００４６】
また、振幅補正値３５ｂはポイント（ｂ）で生成されたゼロクロストリガで振幅補正値３６ｂとして振幅補正回路４１へ出力する。図６は実施の形態２における各部信号波形を示しており、振幅補正値３５ａ、３５ｂは正弦波信号２５ａ、２５ｂがゼロとなる点でそれぞれ３６ａ、３６ｂに更新されている。ここで、正弦波信号のゼロは前述したオフセッ
ト基準値を意味している。
【００４７】
以上のような構成とすることで、振幅補償値の変化点が正弦波信号のゼロクロス点となり、振幅補正は滑らかに行うことができるので、生成する位置データの歪を小さく抑えることができる。また、安価な小容量のメモリを用いて、経年変化や温度変化などによる長期的な信号の変化に対応し、振幅の急激な変動にも追従できる小型で高分解能のエンコーダを得ることができる。
（実施の形態３）
図７と図８を用いて本発明の実施の形態３について説明する。実施の形態１及び実施の形態２と異なるのは補償値生成回路の構成であり、これについて詳細に説明する。
【００４８】
図７は補償値生成回路３２ａを含むエンコーダ信号処理回路のブロック図であり、補償値生成回路３２ａはＡＤ変換器６で生成された正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂと、ＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂが入力される。
【００４９】
図８は補償値生成回路３２ａの詳細なブロック図であり、最大値／最小値検出器４３ａ、補償値演算回路３９、記憶器３０、補償値生成器２４ａ、２４ｂで構成されている。
【００５０】
最大値／最小値検出器４３ａは正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂの最大値／最小値を検出するように動作するものであり、前述した最大値／最小値検出器４３と同じように動作する。
【００５１】
補償値演算回路３９は、最大値／最小値検出器４３ａで検出した最大値と最小値を用いて、（最大値−最小値）から振幅値を求める。正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂは生成する位置データの中で下位ｂｉｔを生成するため、ＴＲ１、ＴＲ２からの出力信号９ａ、９ｂより短い周期となり、出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの同一の組み合わせで複数の振幅値を得ることができる。
【００５２】
補償値演算回路３９は、出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの組み合わせが同じ間、求めた振幅値の平均処理を行う。回転体（または移動体）１３が移動し、出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの組み合わせが変更した場合に、補償値演算回路３９は基準振幅値と平均処理によって求めた振幅値との差を演算し、振幅誤差値３３ａ、３３ｂを記憶器３０へ格納する。
【００５３】
出力信号９ａ、９ｂのＨ／Ｌの組み合わせは４通りあるため、正弦波ディジタル信号８ａ、８ｂの振幅補償値をそれぞれ求めると、記憶器３０へ格納する補償値は合計で８個のデータとなる。
【００５４】
補償値生成器２４ａ、２４ｂの動作は、実施の形態１および実施の形態２と同じであり、記憶器３０からのメモリ値３１ａ、３１ｂをラッチして補償値３３ａ、３３ｂとして補正回路７へ出力する。
【００５５】
補償値は、製造時に前述した過程を行うことで容易に設定することができる。また、製造時に前述した過程で初期設定を行い、実際に使用する際に記憶器３０に格納した補償値を更新してもよい。
【００５６】
また、記憶器３０へは基準振幅値と演算により求めた振幅値との差分を記憶させているが、演算により求めた振幅値を記憶器３０へ記憶し、補償値生成器２４ａ、２４ｂで補償値を演算してもよい。
【００５７】
以上のような構成とすることで、補償値を容易に生成することができるため、安価な小
容量のメモリを用いて、経年変化や温度変化などによる長期的な信号の変化に対応し、振幅の急激な変動にも追従できる小型で高分解能のエンコーダを得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明の光学式エンコーダは、サーボモータ制御装置に限らず、高分解能の位置データを得る装置などに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態１におけるエンコーダ回路のブロック図
【図２】実施の形態１における補正回路の詳細ブロック図
【図３】実施の形態１における補償値生成回路の詳細ブロック図
【図４】実施の形態１における各ブロックの信号波形の説明図
【図５】本発明の実施の形態２における補正回路の詳細ブロック図
【図６】本発明の実施の形態２における各ブロックの信号波形の説明図
【図７】本発明の実施の形態３におけるエンコーダ回路のブロック図
【図８】本発明の実施の形態３補償値生成回路の詳細ブロック図
【図９】従来例におけるエンコーダ回路のブロック図
【図１０】従来例における補正回路の詳細ブロック図
【図１１】従来例におけるエンコーダの構成図
【図１２】従来例における各ブロックの信号波形の説明図
【符号の説明】
【００６０】
１ａ，１ｂ  正弦波信号（Ａ相，Ｂ相）
２ａ、２ｂ  増幅器
３  増幅回路
４ａ，４ｂ  増幅した正弦波信号（Ａ相，Ｂ相）
５ａ、５ｂ  基準電圧
６  ＡＤ変換器
７  補正回路
８ａ，８ｂ  正弦波ディジタル信号（Ａ相，Ｂ相）
９ａ，９ｂ  トラックからの出力信号（ＴＲ１，ＴＲ２）
１０ａ，１０ｂ  正規化されたディジタル信号（Ａ相，Ｂ相）
１１  位置データ
１２  基板
１３  回転体（または移動体）
１４  受光素子
１５  発光素子
１６  回転体（または移動体）のスリット（ＴＲ１信号生成用）
１７  回転体（または移動体）のスリット（正弦波信号生成用）
１８  回転体（または移動体）のスリット（ＴＲ２信号生成用）
１９，２０  固定板のスリット（ＴＲ１，ＴＲ２信号生成用）
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ  固定板のスリット（正弦波信号生成用）
２２  位置データ変換回路
２４ａ，２４ｂ  正弦波ディジタル信号の補償値生成器（Ａ相，Ｂ相）
２５ａ，２５ｂ  オフセット補正された正弦波信号（Ａ相，Ｂ相）
２６ａ，２６ｂ  振幅補正された正弦波信号（Ａ相，Ｂ相）
３０  記憶器
３１ａ、３１ｂ  メモリ値
３２  補償値生成回路
３３ａ，３３ｂ  正弦波ディジタル信号の補償値（Ａ相，Ｂ相）
３４ａ，３４ｂ  正弦波ディジタル信号のオフセット補正値（Ａ相，Ｂ相）
３５ａ，３５ｂ  正弦波ディジタル信号の振幅補正値（Ａ相，Ｂ相）
３６ａ，３６ｂ  正弦波ディジタル信号の振幅補正値（Ａ相，Ｂ相）
３７ａ，３７ｂ  正弦波ディジタル信号の最大値と最小値（Ａ相，Ｂ相）
３８ａ，３８ｂ  正弦波ディジタル信号の最大値と最小値（Ａ相，Ｂ相）
３９  補償値演算回路
４０  オフセット補正回路
４１  振幅補正回路
４２  位相補正回路
４３  最大値／最小値検出器
４４  オフセット補正演算器
４５  振幅補正値演算器
４６  更新タイミング生成器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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