(57)【要約】【課題】構造や制御の簡略化を図ることができるようにすること。【解決手段】複数箇所に被着面ＷＳを有する被着体Ｗを支持するテーブル１１と、被着面ＷＳに臨む位置に第２の剥離シートＲＬ２が仮着された両面接着シートＡを供給する供給ユニット１２と、両面接着シートＡを各被着面ＷＳに貼付する貼付ユニット１３と、各被着面ＷＳに貼付された両面接着シートＡを第２の剥離シートＲＬ２上から各被着面ＷＳの大きさに合わせて切断する単一の切断手段１５と、切断によって各被着面ＷＳの外側に生ずる不要部分Ｓ１と、各被着面ＷＳに貼付された両面接着シートＡに仮着されている残留剥離シートＲＬＤとを連結用テープＴを介して連結する連結手段１６と、不要部分Ｓ１と、これに連結用テープＴを介して連結された残留剥離シートＲＬＤとを一緒に回収する回収手段１７とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数箇所に被着面を有する単数又は複数の被着体に、接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記単数又は複数の被着体を支持する支持手段と、一方の面にカバーシートが仮着された状態の接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給手段と、前記接着シートを各被着面に貼付する貼付手段と、前記各被着面に貼付された接着シートをカバーシート上から各被着面の大きさに合わせて切断する単一の切断手段と、前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要部分と各被着面に貼付された接着シートに仮着されている残留カバーシートとを連結材を介して連結する連結手段と、前記不要部分と、これに連結材を介して連結された残留カバーシートとを一緒に回収する回収手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記切断手段は、カッター刃と、当該カッター刃を着脱可能に設けられた多関節ロボットとを備えている一方、
前記連結手段は、前記連結材を保持可能に設けられるとともに、前記多関節ロボットに装着可能な保持ユニットを備えていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
複数箇所に被着面を有する単数又は複数の被着体に、接着シートを貼付するシート貼付方法において、
前記単数又は複数の被着体を支持する支持工程と、
一方の面にカバーシートが仮着された状態の接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給工程と、
前記接着シートを各被着面に貼付する貼付工程と、
前記各被着面に貼付された接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断工程と、
前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要部分と各被着面に貼付された接着シートに仮着されている残留カバーシートとを連結材を介して連結する連結工程と、
前記不要部分と、これに連結材を介して連結された残留カバーシートとを一緒に回収する回収工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、複数箇所に被着面を有する被着体に接着シートを貼付するとともに、各被着面の大きさに合わせて接着シートを切断することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス等の板状部材を積層する場合には、その合わせ面に両面接着シート等からなる接着シートを貼付することが行われており、また、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）は、保護シートやダイボンディングシート等の接着シートを貼付することが行われている。ダイボンディング用のシートをウエハに貼付する場合には、接着シートに剥離シートが仮着された帯状の原反を用い、接着シートをウエハに貼付した後に、切断手段により接着シートと剥離シートとをウエハの大きさに合うように切断してウエハ外周側部分を不要シートとして回収する構成が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１にあっては、例えば、両面接着シートのような接着シート上にカバーシートが仮着されている原反を採用した場合、切断後に両面接着シートの上面に残されたカバーシートを剥離するシート剥離手段が必要となる。また、両面接着シートの被着箇所が複数となって分散される場合、これに応じて切断手段も複数設置することも必要となる。この結果、装置が大掛かりになるばかりでなく、各手段の制御が複雑になる、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、構造や制御の簡略化を図ることができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、複数箇所に被着面を有する単数又は複数の被着体に、接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記単数又は複数の被着体を支持する支持手段と、一方の面にカバーシートが仮着された状態の接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給手段と、前記接着シートを各被着面に貼付する貼付手段と、前記各被着面に貼付された接着シートをカバーシート上から各被着面の大きさに合わせて切断する単一の切断手段と、前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要部分と各被着面に貼付された接着シートに仮着されている残留カバーシートとを連結材を介して連結する連結手段と、前記不要部分と、これに連結材を介して連結された残留カバーシートとを一緒に回収する回収手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記切断手段は、カッター刃と、当該カッター刃を着脱可能に設けられた多関節ロボットとを備えている一方、
前記連結手段は、前記連結材を保持可能に設けられるとともに、前記多関節ロボットに装着可能な保持ユニットを備える、という構成を採用してもよい。
【０００８】
また、本発明のシート貼付方法は、複数箇所に被着面を有する単数又は複数の被着体に、接着シートを貼付するシート貼付方法において、
前記単数又は複数の被着体を支持する支持工程と、
一方の面にカバーシートが仮着された状態の接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給工程と、
前記接着シートを各被着面に貼付する貼付工程と、
前記各被着面に貼付された接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断工程と、
前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要部分と各被着面に貼付された接着シートに仮着されている残留カバーシートとを連結材を介して連結する連結工程と、
前記不要部分と、これに連結材を介して連結された残留カバーシートとを一緒に回収する回収工程とを含む、という方法を採っている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、単数又は複数の被着体における接着シートの被着面が複数箇所に存在しても、これら被着面に貼付された接着シートを単一の切断手段で各被着面の大きさに切断を行うことができる。また、連結手段を介して不要部分と残留カバーシートとを連結するので、連続する不要部分の回収時に不連続な残留カバーシートも同時に回収することができる。これにより、切断手段を被着面の形成数に応じて増加させたり、不要部分と残留カバーシートとの回収を別の装置や別の工程で行ったりすることを回避でき、貼付装置全体の構造や、当該装置における制御の簡略化を図ることが可能となる。
【００１０】
また、多関節ロボットがカッター刃と保持ユニットとを持ち替え可能とした場合、それぞれを駆動させる駆動手段を別々に設ける必要がなくなり、この点からも貼付装置全体の構造や、制御の簡略化を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１には、実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、略同一平面内で複数箇所に分散した被着面ＷＳを有する板状の被着体Ｗを支持するテーブル１１（支持手段）と、各被着面ＷＳに臨む位置にカバーシートとしての第２の剥離シートＲＬ２が仮着された状態の接着シートとしての両面接着シートＡを供給する供給ユニット１２（供給手段）と、押圧力を付与して前記両面接着シートＡを各被着面ＷＳに貼付する貼付ユニット１３（貼付手段）と、各被着面ＷＳに両面接着シートＡを貼付した後に、各被着面ＷＳの大きさに合わせて両面接着シートＡを第２の剥離シートＲＬ２上から切断する単一の切断手段１５と、切断によって各被着面ＷＳの外側に生ずる不要部分Ｓ１と各被着面ＷＳに貼付された両面接着シートＡに仮着されている残留カバーシートとしての残留剥離シートＲＬＤとを連結する連結手段１６と、不要部分Ｓ１と残留剥離シートＲＬＤとを一緒に回収する回収手段１７とを備えて構成されている。
【００１３】
前記被着体Ｗは、図３に示されるように、平面視略方形のベースＷ１の面内４箇所に平面視略円形の凸部Ｗ２を有する。本実施形態における被着面ＷＳは、凸部Ｗ２の上面であって、ベースＷ１の上面位置よりも上位に位置し、被着体Ｗは、両面接着シートＡを介して図示しない板状体等が貼合されるものであり、例えば、複層ガラス等の構成部品として利用される。
【００１４】
前記テーブル１１は、図１及び図３に示されるように、平面視略方形の外側テーブル２１と、この外側テーブル２１の内側に配置された平面視略方形の内側テーブル２２とにより構成されている。外側テーブル２１は、昇降機構２２Ａを介して昇降可能に設けられた内側テーブル２２を受容可能とされ、昇降機構２１Ａを介してベースプレートＢＰに対して昇降可能に設けられている。これにより、内側テーブル２２は、外側テーブル２１の上面を基準位置として被着面ＷＳの高さ位置を所定位置に合せるように昇降可能とされる一方、外側テーブル２１は、後述する押圧ローラの押圧面を基準として両面接着シートＡ及び後述する第２の剥離シートＲＬ２の厚みに応じて昇降可能とされ、押圧ローラの単位面積当たりの押圧力を略一定に保つように設けられている。なお、内側テーブル２２は、両面接着シートＡが感熱接着性である場合に備えて図示しない加熱手段を内蔵することができる。
【００１５】
前記供給ユニット１２は、第１の剥離シートＲＬ１及び第２の剥離シートＲＬ２間に、感圧接着性の両面接着シートＡが仮着された原反Ｒを支持する支持ローラ２５と、原反Ｒを繰り出す途中で当該原反Ｒから第１の剥離シートＲＬ１を剥離するピールプレート２６と、第１の剥離シートＲＬ１を巻き取る巻取ローラ２７と、支持ローラ２５と巻取ローラ２７との間に配置された複数のガイドローラ２９〜３５と、ガイドローラ３１、３２間に配置され、ロードセル３９に支持された張力測定ローラ４０とを備えて構成されている。ピールプレート２６とガイドローラ３１〜３３と張力測定ローラ４０とは、貼付角度維持手段４１として一体的に支持され、前記貼付ユニット１３との同期移動によって第２の剥離シートＲＬ２が仮着された両面接着シートＡを被着体Ｗに貼付可能とされている。
【００１６】
前記貼付ユニット１３は、門型フレーム４３に支持されるとともに、シリンダ４４により昇降可能に設けられた押圧ローラ４５から構成されている。
【００１７】
なお、前記供給ユニット１２及び貼付ユニット１３は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。
【００１８】
前記切断手段１５は、図２に示されるように、多関節ロボット４７と、当該多関節ロボット４７の自由端側に支持されるカッター刃４８とを備えて構成されている。多関節ロボット４７は、ベース部５０と、当該ベース部５０の上面側に配置された第１アーム５１〜第６アーム５６と、第６アーム５６の自由端側に取り付けられた保持チャック５７とを含む。第２、第３及び第５アーム５２、５３、５５は、図２に示された状態で、Ｙ−Ｚ面内でそれぞれＢ、Ｃ、Ｅ方向に回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム５１、５４、５６は、それぞれその軸周り、つまり、Ａ、Ｄ、Ｆ方向に回転可能に設けられている。本実施形態における多関節ロボット４７は数値制御（ＮＣコントロール）されるものである。すなわち、対象物（本実施形態では被着体Ｗ等）に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるものである。これにより、第２の剥離シートＲＬ２が仮着された両面接着シートＡを各被着面ＷＳの大きさに合せて切り込みＣ（図４参照）を形成して切断可能となっている。なお、この切断で被着面ＷＳ（切り込みＣ）の外側に生じた第２の剥離シートＲＬ２及び両面接着シートＡを不要部分Ｓ１といい、被着面ＷＳ（切り込みＣ）の内側に生じた第２の剥離シートＲＬ２を残留剥離シートＲＬＤという。保持チャック５７は、相互に離間接近可能な一対のチャック爪５７Ａ（図１参照）を備えており、カッター刃４８を支持するカッター刃ホルダ５９や、搬送アーム６０を持ち替え可能に構成されている。ここで、搬送アーム６０には図示しない複数の吸引口が設けられており、保持チャック５７との接続によって図示しない減圧手段に接続されて被着体Ｗを吸着保持可能になっている。
【００１９】
前記連結手段１６は、連結材としての連結用テープＴの供給手段６２と、連結用テープＴを保持する保持ユニット６３とを備えている。供給手段６２は、帯状の剥離シートｒｌの一方の面に連結用テープＴが仮着されたテープ原反ｒを繰出可能に支持するテープ支持ローラ６５と、剥離シートｒｌを折り返して連結用テープＴを剥離するピールプレート６６と、連結用テープＴが剥離された剥離シートｒｌを挟み込む駆動ローラ６８及びピンチローラ６９と、剥離シートｒｌのシート巻取ローラ７０とを備えている。
【００２０】
前記保持ユニット６３は、下面側に図示しない吸着孔が形成されて供給手段６２から繰り出される連結用テープＴを吸着保持可能な吸着グリッド７２と、この吸着グリッド７２を保持するとともに、前記保持チャック５７に装着可能なホルダ７４とを備えている。保持ユニット６３は、ホルダ７４によって保持チャック５７に装着されることで多関節ロボット４７を介して移動可能となり、吸着グリッド７２に保持された連結用テープＴを切り込みＣを跨ぐように、不要部分Ｓ１と残留剥離シートＲＬＤとに貼付するようになっている。
【００２１】
前記回収手段１７は、移動フレームＦに支持されたローラ７６、７７からなる剥離ローラ部７８と、モータＭの駆動により回転する駆動ローラ８０と、回転アーム８１の自由端側に支持され、ばね８２を介して駆動ローラ８０の外周面に圧接する回収ローラ８３とにより構成されている。移動フレームＦは、前部フレームＦ１と、連結材８５を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、単軸ロボット８６とガイドレール８７に支持されてＸ軸方向に移動可能となっている。これにより、単軸ロボット８６とモータＭとが同期駆動することにより、移動フレームＦが図１中左方向へ移動され、剥離ローラ部７８で不要部分Ｓ１を外側テーブル２１の上面から剥離して、不要部分Ｓ１と残留剥離シートＲＬＤとを回収ローラ８３で巻き取って回収するようになっている。
【００２２】
次に、本実施形態の動作について説明する。なお、両面接着シートＡの貼付動作は、実質的に、特願２００５−１９８８０６号と同一であるため、説明を簡略化する。
【００２３】
（支持工程）
多関節ロボット４７が保持チャック５７で搬送アーム６０を支持し、被着体Ｗを内側テーブル２２上に移載する。その後、多関節ロボット４７は、保持チャック５７で搬送アーム６０からカッター刃４８に持ち替えて支持し、切断に備える。
【００２４】
（供給工程）
図１に示されるように、支持ローラ２５に支持された原反Ｒから第２の剥離シートＲＬ２が仮着された両面接着シートＡが被着体Ｗの各被着面ＷＳに臨む位置に供給される。なお、この供給は、先に行われた一連のシート貼付動作における回収工程により既に行われている（後述の回収工程参照）。
【００２５】
（貼付工程）
貼付角度維持手段４１が図１中左下方に移動する一方、その移動に同期して貼付ユニット１３が同図中左側に移動することで、押圧ローラ４５が第２の剥離シートＲＬ２に仮着された状態の両面接着シートＡを押圧して被着面ＷＳに貼付することとなる。
【００２６】
（切断工程）
被着体Ｗの各被着面ＷＳに貼付された両面接着シートＡは、多関節ロボット４７によって、第２の剥離シートＲＬ２と共に被着面Ｗの大きさに合わせて切り込みＣが形成されて切断される（図４参照）。この切り込みの内側に存在する剥離シートＲＬ２が残留剥離シートＲＬＤとなる。その後、多関節ロボット４７は、保持チャック５７でカッター刃４８から保持ユニット６３に持ち替えて支持し、連結工程に備える
【００２７】
（連結工程）
多関節ロボット４７は、図１に示されるように、保持ユニット６３をピールプレート６６の先端に位置させ、繰り出された連結用テープＴを吸着グリッド７２で吸着保持する。次いで、多関節ロボット４７を介して連結用テープＴが不要部分Ｓ１と残留剥離シートＲＬＤの回収方向ＣＤに対する上流側において、切り込みＣを跨ぐように、不要部分Ｓ１と残留剥離シートＲＬＤとに貼付される（図５参照）。なお、本実施形態の場合、凸部Ｗ２の数に応じて同じ動作が４回行われる。
【００２８】
（回収工程）
回収手段１７が図１中左側に移動するとともに、剥離ローラ部７８とモータＭの駆動により、被着面ＷＳの外側に生じた不要部分Ｓ１を回収ローラ８３で巻き取って回収する。このとき、被着面ＷＳ上に残された残留剥離シートＲＬＤは、不要部分Ｓ１に連結用テープＴを介して連結されるので、不要部分Ｓ１と一緒に回収ローラ８３に回収される（図６参照）。その後、貼付角度維持手段４１が上方へ移動する一方、その移動に同期して貼付ユニット１３と回収手段１７とが図１に示される位置に復帰する。この復帰動作中、モータＭがロック状態とされることで供給ユニット１２から新たな両面接着シートＡが所定長さ引き出されることとなる。
【００２９】
このようにして、被着面ＷＳ上に両面接着シートＡのみが貼付された被着体Ｗは、搬送アーム６０を支持した多関節ロボット４７によって後工程に搬送され、所定の処理が行われることとなる。そして、以降同様の動作を繰り返す。
【００３０】
従って、このような実施形態によれば、単一の切断手段１５によって各被着面ＷＳの対応位置に切り込みＣを形成することができる。また、連結用テープＴの連結により、連続する不要部分Ｓ１と共に不連続な残留剥離シートＲＬＤも同時に回収することができる。これにより、被着面ＷＳが複数であって貼付後に第２の剥離シートＲＬ２及び両面接着シートＡに切り込みＣを形成する場合であっても、構造が大掛かりとなったり、各手段の制御が複雑化することを回避することが可能となる。
【００３１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３２】
例えば、前記実施形態では、単一の被着体Ｗに複数の被着面ＷＳを有するものを貼付対象物としたが、複数の被着体Ｗの複数の被着面ＷＳにシートを貼付するように構成してもよい。
【００３３】
また、接着シートとしては、両面接着シートＡに限定されることなく、一方の面に接着剤層を有する接着シートであってもよい。この場合、カバーシートとしては接着シートの表面を保護する保護シート等が考えられ、残留カバーシートは切り込みの内側に残された保護シートとなる。
【００３４】
更に、第１の剥離シートＲＬ１を有しない原反を用いることもでき、この場合には、ガイドローラ３４、３５及び巻取ローラ２７等は不要となる。
【００３５】
また、被着面ＷＳの平面形状は、図示構成例に限定されるものではなく、円形、楕円形、多角形等であってもよく、それらの組み合わせでもよい。
【００３６】
更に、本発明のシート貼付装置１０は、半導体ウエハの回路面に保護シートを貼付するシート貼付装置や、接着シートを介して半導体ウエハとリングフレームとを一体化するマウント装置として採用することができる。
【００３７】
また、連結用テープＴは、回収方向上流側のみならず、複数個所に貼付するように構成してもよいし、本実施形態に示した枚葉タイプに替え、連続した帯状の連結用テープＴを第２の剥離シートＲＬ２の繰り出し方向に沿って連続して貼付するような構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】テーブル及び被着体の概略斜視図。
【図４】両面接着シート及び剥離シートの切断後の概略斜視図。
【図５】連結用テープ貼付後の概略斜視図。
【図６】各被着面から不要部分と残留剥離シートとを剥離する状態を示す概略斜視図。
【符号の説明】
【００３９】
１０  シート貼付装置
１１  テーブル（支持手段）
１２  供給ユニット（供給手段）
１３  貼付ユニット（貼付手段）
１５  切断手段
１６  連結手段
１７  回収手段
４７  多関節ロボット
４８  カッター刃
６３  保持ユニット
Ａ  両面接着シート（接着シート）
ＲＬ２  第２の剥離シート（カバーシート）
ＲＬＤ  残留剥離シート（残留カバーシート）
Ｓ１  不要部分
Ｔ  連結用テープ（連結材）
Ｗ  被着体
ＷＳ  被着面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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