(57)【要約】【課題】長期間の継続運転が可能であるとともに、省エネルギー化を図ることが可能な温湿度処理装置を提供する。【解決手段】この温湿度処理装置２は、処理空間Ｓ１の温度を検出する空間温度センサ１２ａと、処理空間Ｓ１が外部空間よりも高温の場合に、ヒートパイプ現象を生じる湿度検出本体部１２ｂと、その湿度検出本体部１２ｂのうち作動流体が蒸発する部分の外面温度を検出する外面温度センサ１２ｃと、空間温度センサ１２ａの検出温度と外面温度センサ１２ｃの検出温度とに基づいて、処理空間Ｓ１の相対湿度を算出する演算部１２ｄと、空間温度センサ１２ａによって検出される処理空間Ｓ１の温度に基づいて処理槽４内の空気を加熱可能な加熱部８と、演算部１２ｄによって算出される処理空間Ｓ１の湿度に基づいて処理槽４内の空気を加湿可能な加湿部６とを備え、処理槽４には、その内外で換気を行うための換気口４ｗが設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象物を一定の温湿度条件の雰囲気に曝す処理工程に用いられる温湿度処理装置であって、
前記処理対象物を搬入可能な処理空間が内部に設けられた処理槽と、
前記処理空間の温度を検出する空間温度検出部と、
前記処理空間と前記処理槽の外部空間とに跨って設けられ、前記処理空間が前記外部空間よりも高温の場合に、内部に封入された作動流体が前記処理空間に配置された側の内部で蒸発するとともにその蒸発した作動流体が前記外部空間に配置された側の内部で凝縮するヒートパイプ現象を生じ得るように構成された湿度検出本体部と、
前記湿度検出本体部のうち前記作動流体が蒸発する部分の温度を導出する本体部温度導出部と、
前記空間温度検出部によって検出される前記処理空間の温度と前記本体部温度導出部によって導出される前記湿度検出本体部の温度とに基づいて、前記処理空間の湿度を算出する演算部と、
前記処理槽内に設けられ、前記空間温度検出部によって検出される前記処理空間の温度に基づいて空気を加熱可能な加熱部と、
前記処理槽内に設けられ、前記演算部によって算出される前記処理空間の湿度に基づいて空気を加湿可能な加湿部とを備え、
前記処理槽には、その処理槽の内外で換気を行うための換気口が設けられている、温湿度処理装置。
【請求項２】
前記加熱部による空気の加熱量と前記加湿部による空気の加湿量とに応じて前記換気口の開度を調整可能な開度調整装置を備える、請求項１に記載の温湿度処理装置。
【請求項３】
前記処理槽内には、前記処理空間との間に仕切壁を隔てて配置され、前記加熱部及び前記加湿部が設置される空調空間が設けられているとともに、その空調空間と前記処理空間との間で空気を循環させる送風部が設けられ、
前記換気口は、前記処理槽内において前記処理対象物が設置される位置よりも空気の流通方向において下流側で、かつ、前記送風部が設置される位置よりも空気の流通方向において上流側の位置に配設されている、請求項１又は２に記載の温湿度処理装置。
【請求項４】
前記処理空間を形成する前記処理槽の壁部のうち互いに対向する位置には、前記処理対象物を一方向へ送る搬送装置によって前記処理空間への前記処理対象物の搬入及び前記処理空間からの前記処理対象物の搬出が可能なように搬入口と搬出口とが設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の温湿度処理装置。
【請求項５】
前記搬入口を開閉可能に前記処理槽に設けられた搬入口シャッタ装置と、
前記搬出口を開閉可能に前記処理槽に設けられた搬出口シャッタ装置とを備え、
前記搬入口シャッタ装置と前記搬出口シャッタ装置のうち少なくとも一方のシャッタ装置は、そのシャッタ装置が開閉する前記搬入口又は前記搬出口の開度を、前記加熱部による空気の加熱量と前記加湿部による空気の加湿量とに応じて調整可能に構成されている、請求項４に記載の温湿度処理装置。
【請求項６】
前記湿度検出本体部のうち前記処理空間に配置された部分は、前記搬送装置による前記処理対象物の搬送経路の上方に配置されており、
前記処理空間において、前記湿度検出本体部のうち当該処理空間に配置された部分の下方で、かつ、前記搬送装置による前記処理対象物の搬送経路の上方の位置には、前記湿度検出本体部から滴下する結露水を受けるための受け部が設けられている、請求項４又は５に記載の温湿度処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温湿度処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、処理空間が内部に設けられた処理槽を有するとともに、この処理槽内の処理空間を所定の温湿度条件に調節する調温調湿装置が知られており、このような調温調湿装置の一例が下記特許文献１に開示されている。
【０００３】
この特許文献１に開示された調温調湿装置では、試験槽内に処理対象物を収容する試験空間と、空気の温湿度を目標の温湿度に調整するための空調空間とが設けられており、その空調空間に加熱器と冷却器と加湿器とが設けられている。冷却器は、冷凍機の蒸発器からなり、除湿機を兼ねている。また、この調温調湿装置には、試験空間の乾球温度を検出する乾球温度センサと、試験空間の湿球温度を検出する湿球温度センサとが設けられており、これら両センサによって検出された試験空間の乾球温度と湿球温度とから試験空間の湿度が導出される。前記湿球温度センサの感部は、ウィックに包まれており、このウィックの下部が湿球温度センサの下方に配置された容器内の水に浸されている。これにより、容器内の水がウィックによって湿球温度センサの感部の周りまで吸い上げられて湿球温度センサが湿球温度を検出できるようになっている。そして、前記検出された試験空間の乾球温度に基づいて加熱器の加熱能力及び冷却器の冷却能力が制御されることにより空調空間の空気の温度が調整されるとともに、前記導出された試験空間の湿度に基づいて加湿器の加湿能力及び冷却器の除湿能力が制御されることにより空調空間の空気の湿度が調整される。そして、この温湿度が調整された空調空間の空気が送風機により試験空間へ送られることによって試験空間の温湿度が調整されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１０６９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、製品の生産ラインに付設して、製造工程の一環として製品の耐湿性評価やエージングなどのために製品をある一定の温湿度条件の雰囲気に曝す処理を行うことが可能な処理装置が求められている。このような処理装置では、処理装置が停止すると製品の生産効率が低下するため、長期間の運転を継続可能であることが必要となる。そして、このような処理装置として、上記特許文献１の調温調湿装置と同様の構成の処理装置を用いることも考えられる。しかしながら、上記特許文献１の調温調湿装置では、ウィックが古くなって汚れてくると水を吸い上げる力が弱まるため、その度に装置の運転を停止してウィックの交換を行う必要がある。また、この調温調湿装置では、除湿及び冷却を行うための冷凍機が故障したり動作不良を生じた場合にも、装置の運転を停止せざるを得ない。また、上記調温調湿装置では、冷凍機を稼働させて除湿及び冷却を行うため、その冷凍機の稼働にエネルギーを要し、その結果、装置が使用するエネルギーが増大する。従って、上記特許文献１の調温調湿装置と同様の構成の処理装置を生産ラインに付設した温湿度処理用の処理装置として用いた場合には、長期間の継続運転ができないことに起因して製品の生産効率が低下するとともに、使用エネルギーが増大するという問題点が生じる。
【０００６】
この発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、長期間の継続運転が可能であるとともに、省エネルギー化を図ることが可能な温湿度処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の温湿度処理装置は、処理対象物を一定の温湿度条件の雰囲気に曝す処理工程に用いられる温湿度処理装置であって、前記処理対象物を搬入可能な処理空間が内部に設けられた処理槽と、前記処理空間の温度を検出する空間温度検出部と、前記処理空間と前記処理槽の外部空間とに跨って設けられ、前記処理空間が前記外部空間よりも高温の場合に、内部に封入された作動流体が前記処理空間に配置された側の内部で蒸発するとともにその蒸発した作動流体が前記外部空間に配置された側の内部で凝縮するヒートパイプ現象を生じ得るように構成された湿度検出本体部と、前記湿度検出本体部のうち前記作動流体が蒸発する部分の温度を導出する本体部温度導出部と、前記空間温度検出部によって検出される前記処理空間の温度と前記本体部温度導出部によって導出される前記湿度検出本体部の温度とに基づいて、前記処理空間の湿度を算出する演算部と、前記処理槽内に設けられ、前記空間温度検出部によって検出される前記処理空間の温度に基づいて空気を加熱可能な加熱部と、前記処理槽内に設けられ、前記演算部によって算出される前記処理空間の湿度に基づいて空気を加湿可能な加湿部とを備え、前記処理槽には、その処理槽の内外で換気を行うための換気口が設けられている。
【０００８】
この温湿度処理装置では、処理槽の内外で換気を行うための換気口が処理槽に設けられているため、処理槽内の処理空間が外部空間よりも高温高湿となっている場合に処理空間の除湿と冷却をこの換気口を通じて行うことができる。また、この温湿度処理装置では、ヒートパイプ現象を生じる湿度検出本体部のうち作動流体が蒸発する部分の温度が処理空間の露点に略等しくなる。このため、その作動流体が蒸発する部分の温度を導出する本体部温度導出部による導出温度と、空間温度検出部によって検出された処理空間の温度とに基づいて、演算部が処理空間の湿度を算出することができる。従って、この温湿度処理装置では、従来の乾球温度センサと湿球温度センサを用いて処理空間の湿度を導出する場合と異なり、湿球温度センサのウィックを必要としないので、ウィックの交換のために処理装置の運転を停止しなくてもよい。また、湿度検出本体部のうち処理空間に配置された側で作動流体が蒸発する部分の温度が処理空間の露点に略等しくなることから、その作動流体が蒸発する部分の外面では結露が生じる。このため、湿度検出本体部のうち作動流体が蒸発する部分の外面における結露を利用して処理空間の補助的な除湿を行うことができる。また、ヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部では、処理空間に配置されて作動流体が蒸発する部分から処理槽の外部空間に配置されて作動流体が凝縮する部分へ熱が搬送されるため、この湿度検出本体部による熱搬送を利用して処理空間の補助的な冷却を行うことができる。すなわち、この温湿度処理装置では、従来のような冷凍機の蒸発器からなる冷却器（除湿機）を用いることなく、換気口を通じての換気と湿度検出本体部における結露及び熱搬送とにより処理空間の除湿と冷却を行うことができるため、冷凍機の故障や動作不良に起因する処理装置の運転停止を防ぐことができるとともに、冷凍機の稼働に要するエネルギーを削減することができる。従って、この温湿度処理装置では、長期間の継続運転が可能となるとともに、省エネルギー化を図ることができる。
【０００９】
上記温湿度処理装置において、前記加熱部による空気の加熱量と前記加湿部による空気の加湿量とに応じて前記換気口の開度を調整可能な開度調整装置を備えていることが好ましい。
【００１０】
このように構成すれば、処理槽の外部の温湿度が処理空間の温湿度よりも低いときに加熱部による空気の加熱量及び加湿部による空気の加湿量を増加させる場合には、開度調整装置が換気口の開度を小さくして換気量を低減させることができ、その結果、加熱部による空気の加熱効果及び加湿部による空気の加湿効果を高めることができる。これにより、加熱部による空気の加熱及び加湿部による空気の加湿に要するエネルギーを削減することができるため、より省エネルギー化を図ることができる。また、処理槽の外部の温湿度が比較的高いときに加熱部による空気の加熱量及び加湿部による空気の加湿量を減少させる場合には、開度調整装置が換気口の開度を大きくして換気量を増大させることができる。その結果、処理槽の外部の温湿度が比較的高くて、処理槽内の温湿度が下がりにくい場合でも、換気量の増大により処理空間の除湿と冷却を促進することができる。さらに、処理槽内の温湿度が安定した状態で温湿度処理装置を運転している時に、加熱部による空気の加熱量及び加湿部による空気の加湿量が共に所定の値よりも大きい場合には、開度調整装置により徐々に換気口の開度を小さくしていき、加熱部による加熱量及び／又は加湿部による加湿量が所定の値に近くなるようにすれば、より一層の省エネルギー化を図ることができる。
【００１１】
上記温湿度処理装置において、前記処理槽内には、前記処理空間との間に仕切壁を隔てて配置され、前記加熱部及び前記加湿部が設置される空調空間が設けられているとともに、その空調空間と前記処理空間との間で空気を循環させる送風部が設けられ、前記換気口は、前記処理槽内において前記処理対象物が設置される位置よりも空気の流通方向において下流側で、かつ、前記送風部が設置される位置よりも空気の流通方向において上流側の位置に配設されていることが好ましい。
【００１２】
処理槽内において処理対象物が設置される領域に換気口が設けられている場合や、空気の流通方向において処理対象物が設置される位置よりも上流側で、かつ、送風部が設置される位置よりも下流側の位置に換気口が設けられる場合には、換気口を通じて外部から処理槽内に取り込まれた空気の温湿度が周りの空気の温湿度に対して局所的に異なる状態でその空気が処理対象物に当たる虞があり、この場合には処理対象物の温湿度の処理条件に不均一が生じる虞がある。これに対して、本構成では、換気口を通じて外部から処理槽内に取り込まれた空気が送風部によって撹拌されてその温湿度が比較的均一化された後、処理対象物に当たるように送風されるため、上記のような温湿度の処理条件の不均一が生じるのを防ぐことができる。
【００１３】
上記温湿度処理装置において、前記処理空間を形成する前記処理槽の壁部のうち互いに対向する位置には、前記処理対象物を一方向へ送る搬送装置によって前記処理空間への前記処理対象物の搬入及び前記処理空間からの前記処理対象物の搬出が可能なように搬入口と搬出口とが設けられていてもよい。
【００１４】
このように一対の搬出口と搬入口が対向位置に設けられていれば、処理対象物を一方向へ送る搬送装置により、処理後の処理対象物を処理空間から搬出口を通じて搬出すると同時に、次に処理する処理対象物を搬入口を通じて前記搬出方向と同方向に処理空間に搬入することができる。すなわち、処理後の処理対象物を処理空間から取り出した後、次に処理する処理対象物を処理空間に搬入するバッチ式の処理工程に比べて、処理空間への処理対象物の入れ替えに要する時間を短縮することができ、処理効率の向上を図ることができる。また、この構成では、搬入口と搬出口のうち少なくとも一方を換気口として利用して処理槽の内外で換気を行うことができる。このため、処理空間が処理槽の外部空間よりも高温高湿となっている場合に搬入口又は搬出口を通じて処理空間の除湿と冷却を行うことができる。
【００１５】
この場合において、前記搬入口を開閉可能に前記処理槽に設けられた搬入口シャッタ装置と、前記搬出口を開閉可能に前記処理槽に設けられた搬出口シャッタ装置とを備え、前記搬入口シャッタ装置と前記搬出口シャッタ装置のうち少なくとも一方のシャッタ装置は、そのシャッタ装置が開閉する前記搬入口又は前記搬出口の開度を、前記加熱部による空気の加熱量と前記加湿部による空気の加湿量とに応じて調整可能に構成されていてもよい。
【００１６】
このように構成すれば、処理槽の外部の温湿度が処理空間の温湿度よりも低いときに加熱部による空気の加熱量及び加湿部による空気の加湿量を増加させる場合に、シャッタ装置が対応する搬出口又は搬入口の開度を小さくして換気量を低減することができ、その結果、加熱部による空気の加熱効果及び加湿部による空気の加湿効果を高めることができる。これにより、加熱部による空気の加熱及び加湿部による空気の加湿に要するエネルギーを削減することができるため、より省エネルギー化を図ることができる。また、処理槽の外部の温湿度が比較的高いときに加熱部による空気の加熱量及び加湿部による空気の加湿量を減少させる場合には、シャッタ装置が対応する搬出口又は搬入口の開度を大きくして換気量を増大させることができる。その結果、処理槽の外部の温湿度が比較的高くて、処理槽内の温湿度が下がりにくい場合でも、換気量の増大により処理空間の除湿と冷却を促進することができる。さらに、処理槽内の温湿度が安定した状態で温湿度処理装置を運転している時に、加熱部による空気の加熱量及び加湿部による空気の加湿量が共に所定の値よりも大きい場合には、シャッタ装置により対応する搬出口又は搬入口の開度を徐々に小さくしていき、加熱部による加熱量及び／又は加湿部による加湿量が所定の値に近くなるようにすれば、より一層の省エネルギー化を図ることができる。
【００１７】
上記処理槽の壁部のうち互いに対向する位置に搬入口と搬出口とが設けられている構成において、前記湿度検出本体部のうち前記処理空間に配置された部分は、前記搬送装置による前記処理対象物の搬送経路の上方に配置されており、前記処理空間において、前記湿度検出本体部のうち当該処理空間に配置された部分の下方で、かつ、前記搬送装置による前記処理対象物の搬送経路の上方の位置には、前記湿度検出本体部から滴下する結露水を受けるための受け部が設けられていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、湿度検出本体部に上記のようなヒートパイプ現象が生じて当該湿度検出本体部のうち処理空間に配置された部分の外面に生じた結露が滴下した場合でも、その結露水を受け部によって受けて処理対象物にかかるのを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、長期間の継続運転が可能であるとともに、省エネルギー化を図ることが可能な温湿度処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態による温湿度処理装置の構成を示す図である。
【図２】処理空間の温湿度が設定される高温高湿領域を示す図である。
【図３】ヒートパイプ現象が生じているヒートパイプにおいて作動流体が蒸発している箇所の外面温度がどのような温度となるかを実験した結果を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態の変形例による温湿度処理装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００２２】
まず、図１を参照して、本発明の一実施形態による温湿度処理装置２の構成について説明する。
【００２３】
本実施形態による温湿度処理装置２は、製品の製造工程の一環として製品の耐湿性評価やエージングなどを行うために、製品（処理対象物Ｗ）を高温高湿（例えば、温度８０℃以上、湿度８０％以上）で一定の温湿度条件の雰囲気に曝す処理工程に用いられるものであり、製品の生産ラインに付設される。従って、この温湿度処理装置２では、試験用の調温調湿装置と異なり、処理対象物Ｗを処理する温湿度条件を種々の温湿度条件に繰り返し変化させることはなく、狭い温湿度範囲内で、ある一定の温湿度条件に設定して処理対象物Ｗの処理を行う。この温湿度処理装置２によって処理される処理対象物Ｗとしては、プリント基板、半導体、二次電池、各種電子部品、その他金属材料や高分子材料等が挙げられる。
【００２４】
この処理対象物Ｗの処理工程では、処理対象物Ｗを一方向へ送るチェーンコンベア等の搬送装置１００が用いられる。この搬送装置１００は、コンベアチェーン等の無端の搬送体１０２と、その搬送体１０２が掛け渡される４つの回転体１０４と、それら４つの回転体１０４のうちの少なくとも１つを回転させる図略の駆動モータとを備えている。４つの回転体１０４は、水平方向と鉛直方向とに分かれて配置されている。すなわち、２つの回転体１０４が水平方向に互いに離間して配置されているとともに、その２つの回転体１０４のそれぞれの下方に対応する回転体１０４が離間して配置されており、その下側の２つの回転体１０４は、互いに水平方向に離間した位置に配置されている。搬送体１０２は、これら４つの回転体１０４の外側に掛け渡されている。そして、４つの回転体１０４のうちの少なくとも１つが駆動モータによって回転させられることにより、搬送体１０２が周回移動するようになっている。
【００２５】
搬送体１０２のうち上側の２つの回転体１０４間に水平に張り渡された部分は、温湿度処理装置２内を通って延びており、この部分に処理対象物Ｗが載置される。搬送体１０２が周回移動させられることにより、搬送体１０２のうち上側の２つの回転体１０４間に水平に張り渡された部分が図１中の右から左へ一方向に移動し、それに伴って処理対象物Ｗが同方向に送られるようになっている。
【００２６】
本実施形態の温湿度処理装置２は、上記のような搬送装置１００に付設可能に構成されるものであり、処理槽４と、加湿部６と、加熱部８と、送風部１０と、温湿度導出部１２と、搬入口シャッタ装置１４と、搬出口シャッタ装置１６と、開度調整装置１８と、制御装置２０とを備える。
【００２７】
処理槽４は、搬送装置１００による処理対象物Ｗの搬送方向に延びる中空の箱状に形成されており、その内部に処理空間Ｓ１と空調空間Ｓ２とが設けられている。この処理空間Ｓ１と空調空間Ｓ２とは、処理槽４内に設けられた水平方向に延びる仕切壁４ｃによって仕切られており、この仕切壁４ｃの上側に処理空間Ｓ１が配置されているとともに仕切壁４ｃの下側に空調空間Ｓ２が配置されている。そして、仕切壁４ｃに対して前記処理対象物Ｗの搬送方向の下流側に流入側連通部４ｄが設けられているとともに、仕切壁４ｃに対して前記処理対象物Ｗの搬送方向の上流側に流出側連通部４ｅが設けられており、これら両連通部４ｄ，４ｅにより処理空間Ｓ１と空調空間Ｓ２とが連通されている。流出側連通部４ｅは、空調空間Ｓ２から処理空間Ｓ１へ空気が送風される流出口となる部分であり、流入側連通部４ｄは、処理空間Ｓ１から空調空間Ｓ２へ空気が流れ込む流入口となる部分である。
【００２８】
処理空間Ｓ１は、処理対象物Ｗを搬入可能な空間であり、この処理空間Ｓ１の雰囲気（空気）が所定の温湿度条件に調整されて処理対象物Ｗがその温湿度条件の雰囲気に曝される。空調空間Ｓ２は、処理空間Ｓ１の空気の温湿度を目標の温湿度に調整するために設けられており、この空調空間Ｓ２に加湿部６、加熱部８及び送風部１０が設置されている。
【００２９】
そして、処理槽４は、内部に処理空間Ｓ１及び空調空間Ｓ２が配置され、上部が開口している処理槽本体４ｇと、その処理槽本体４ｇの上部の開口を覆う上蓋４ｈとを有する。
【００３０】
上蓋４ｈは、処理槽本体４ｇの上端部に着脱可能に取り付けられており、当該上蓋４ｈを処理槽本体４ｇに対して着脱することによりその処理槽本体４ｇの上部の開口を開閉できるようになっている。処理槽本体４ｇの上端部には、封止部材４ｉが設けられており、処理槽本体４ｇの上端部とその上端部に取り付けられた上蓋４ｈとの間がこの封止部材４ｉによって封止されている。処理槽４内に配置された各構成部材をメンテナンスする際には、上蓋４ｈを取り外すことにより処理槽本体４ｇの開口を通じてそれらのメンテナンスが容易に実施可能となる。上蓋４ｈと処理槽本体４ｇを構成する各壁部とは、それぞれ断熱材を備えており、処理槽４内の空間が外部空間に対して断熱されている。
【００３１】
処理空間Ｓ１を形成する処理槽本体４ｇの壁部のうち前記処理対象物Ｗの搬送方向において互いに対向する位置には、搬送装置１００による処理空間Ｓ１への処理対象物Ｗの搬入及び処理空間Ｓ１からの処理対象物Ｗの搬出が可能なように搬入口４ｊと搬出口４ｋとが設けられている。
【００３２】
具体的には、搬入口４ｊは、処理空間Ｓ１を形成する処理槽本体４ｇの四方の壁部のうち前記搬送方向において上流側に位置する壁部４ｍに形成されており、搬出口４ｋは、前記搬送方向において下流側に位置する壁部４ｎに形成されている。搬送体１０２のうち上側の２つの回転体１０４間に水平に張り渡された部分は、この搬入口４ｊ及び搬出口４ｋを通って処理空間Ｓ１の内外に延びており、当該部分に載置された処理対象物Ｗが搬入口４ｊを通じて外部から処理空間Ｓ１に搬入されるとともに搬出口４ｋを通じて処理空間Ｓ１から外部へ搬出されるようになっている。
【００３３】
また、処理槽４には、搬入口４ｊを開閉可能な搬入口シャッタ装置１４が設けられているとともに、搬出口４ｋを開閉可能な搬出口シャッタ装置１６が設けられている。
【００３４】
搬入口シャッタ装置１４は、搬入口４ｊを開閉するためのシャッタ１４ａと、そのシャッタ１４ａを動かす駆動部１４ｂとを備えている。駆動部１４ｂは、処理槽４の前記壁部４ｍの外面に取り付けられており、シャッタ１４ａを上下にスライドさせる。この駆動部１４ｂには、制御装置２０から制御信号が入力されるようになっており、駆動部１４ｂは、その入力される制御信号に従ってシャッタ１４ａを上下にスライドさせて搬入口４ｊを開閉する。また、搬出口シャッタ装置１６は、搬出口４ｋを開閉するためのシャッタ１６ａと、そのシャッタ１６ａを動かす駆動部１６ｂとを備えている。駆動部１６ｂは、処理槽４の前記壁部４ｎの外面に取り付けられており、シャッタ１６ａを上下にスライドさせる。この駆動部１６ｂは、前記搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂと同様に、制御装置２０から入力される制御信号に従ってシャッタ１６ａを上下にスライドさせ、それによって搬出口４ｋを開閉する。
【００３５】
具体的には、制御装置２０は、搬送体１０２の移動を停止させて処理空間Ｓ１で処理対象物Ｗの処理を行う際には、搬入口４ｊを閉じさせる制御信号を搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂに送るとともに、搬出口４ｋを閉じさせる制御信号を搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂに送る。これにより、搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂは、入力された制御信号に従ってシャッタ１４ａを下方に移動させて搬入口４ｊを閉じるとともに、搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂは、入力された制御信号に従ってシャッタ１６ａを下方に移動させて搬出口４ｋを閉じる。また、制御装置２０は、搬送体１０２を移動させて処理空間Ｓ１への処理対象物Ｗの搬入及び処理空間Ｓ１からの処理対象物Ｗの搬出を行う際には、搬入口４ｊを開放させる制御信号を搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂに送るとともに、搬出口４ｋを開放させる制御信号を搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂに送る。これにより、搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂは、入力された制御信号に従ってシャッタ１４ａを上方に移動させて搬入口４ｊを開放するとともに、搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂは、入力された制御信号に従ってシャッタ１６ａを上方に移動させて搬出口４ｋを開放する。
【００３６】
空調空間Ｓ２は、仕切壁４ｃから下方へ延びる仕切部４ｔによって、前記処理対象物Ｗの搬送方向の上流側に位置する第１空調空間Ｓ３と、前記搬送方向の下流側に位置する第２空調空間Ｓ４とに仕切られている。第１空調空間Ｓ３は、流出側連通部４ｅを通じて処理空間Ｓ１と連通しており、当該第１空調空間Ｓ３に送風部１０が配置されている。第２空調空間Ｓ４は、細長い空間と、この空間よりも上下幅の広い空間とからなり、流入側連通部４ｄを通じて処理空間Ｓ１と連通している。処理槽本体４ｇの下部のうち前記流出側連通部４ｅ近傍の部分は、他の部分に比べて下方に突出する突出部４ｓとなっており、第２空調空間Ｓ４のうちの前記上下幅の広い空間は、この突出部４ｓに対応する位置に配置されている。この上下幅の広い空間に加湿部６及び加熱部８が配置されている。そして、仕切部４ｔには、第１空調空間Ｓ３と第２空調空間Ｓ４とを連通させる開口部４ｕが設けられている。
【００３７】
加湿部６は、温湿度導出部１２の後述する演算部１２ｄによって算出される処理空間Ｓ１の相対湿度に基づいて空調空間Ｓ２（第２空調空間Ｓ４）の空気を加湿可能に構成されている。この加湿部６は、加湿水収容部６ａと、ヒータ６ｂと、加湿水の供給配管６ｃとを有する。
【００３８】
加湿水収容部６ａは、加湿水を溜める部分であり、前記突出部４ｓの底壁部４ｖの内面に形成された凹部からなる。
【００３９】
ヒータ６ｂは、その発熱部が加湿水収容部６ａ内に設けられており、加湿水収容部６ａ内に溜められた加湿水を加熱して蒸発させ、第２空調空間Ｓ４の空気を加湿する。制御装置２０は、後述する演算部１２ｄによって算出される処理空間Ｓ１の相対湿度に基づいて空気の加湿量（空気を加湿する度合い）を決定するとともに、その加湿量を得るために必要な加熱能力を指示する制御信号をヒータ６ｂに送る。ヒータ６ｂは、制御装置２０から送られた制御信号に従った加熱能力で加湿水を加熱し、それによって加湿部６による空気の加湿量が制御装置２０によって決定された加湿量となる。
【００４０】
供給配管６ｃは、その一端部が図略の加湿水供給源に繋がっているとともに、他端部が加湿水収容部６ａに繋がっており、加湿水供給源から供給される加湿水が当該供給配管６ｃを通じて加湿水収容部６ａへ補給されるようになっている。この供給配管６ｃは、処理槽本体４ｇの外部からその内部へ処理槽本体４ｇの壁部を貫通して延びているとともに、その大部分が第２空調空間Ｓ４において処理槽本体４ｇ内の床面に沿って配設されている。これにより、処理槽４内の空間を外部空間よりも高温高湿に設定する場合に、供給配管６ｃのうち第２空調空間Ｓ４に配設された部分において加湿水収容部６ａへ供給される加湿水がある程度温められる。このため、加湿水収容部６ａにおいて加湿水の温度の変動が小さくなるとともに、加湿水を蒸発させやすくなり、その結果、空気の加湿量の乱れが小さくなる。
【００４１】
加熱部８は、温湿度導出部１２の後述する空間温度センサ１２ａによって検出される処理空間Ｓ１の温度に基づいて空調空間Ｓ２（第２空調空間Ｓ４）の空気を加熱可能に構成されている。制御装置２０は、空間温度センサ１２ａによって検出される処理空間Ｓ１の温度に基づいて空気の加熱量（空気を加熱する度合い）を決定するとともに、その加熱量を得るために必要な加熱能力を指示する制御信号を加熱部８に送る。加熱部８は、制御装置２０から送られた制御信号に従った加熱能力で空気を加熱する。それによって、加熱部８による空気の加熱量が制御装置２０によって決定された加熱量となる。
【００４２】
送風部１０は、空気を送風するファンからなり、空調空間Ｓ２（第１空調空間Ｓ３）と処理空間Ｓ１との間で空気を循環させる。この送風部１０は、第１空調空間Ｓ３においてその仕切部４ｔの開口部４ｕに面して配置されており、この送風部１０を駆動させるモータ１０ａが処理槽４の外部に設けられている。モータ１０ａによって送風部１０が駆動されることにより、加湿部６及び加熱部８により温湿度が調整された第２空調空間Ｓ４の空気がファンで撹拌された後、仕切部４ｔの開口部４ｕを通じて第１空調空間Ｓ３に流れ込むとともに、その空気が流出側連通部４ｅを通じて処理空間Ｓ１へ送風され、さらに、その処理空間Ｓ１から流入側連通部４ｄを通じて第２空調空間Ｓ４へ空気が流れる。このように、空調空間Ｓ２と処理空間Ｓ１との間で空気が循環されながら処理空間Ｓ１の温湿度が調整されるようになっている。そして、処理空間Ｓ１では、前記搬送装置１００による処理対象物Ｗの搬送方向と同じ方向に空気が流れるようになっている。
【００４３】
なお、処理空間Ｓ１において処理対象物Ｗの搬送方向とは逆方向に空気が流れるようになっていてもよい。すなわち、処理対象物Ｗの搬送方向の上流側に流入側連通部４ｄを配置するとともにその搬送方向の下流側に流出側連通部４ｅを配置し、送風部１０もその搬送方向下流側の流出側連通部４ｅ近傍の位置に配置してその送風部１０によって送風される空調空間Ｓ２の空気が搬送方向下流側の流出側連通部４ｅから処理空間Ｓ１を経て搬送方向上流側の流入側連通部４ｄを通り、空調空間Ｓ２に戻るように循環させる構成としてもよい。
【００４４】
処理槽本体４ｇには、処理槽４の内外で換気を行うための換気口４ｗが設けられている。この換気口４ｗは、処理槽本体４ｇのうち空調空間Ｓ２（第２空調空間Ｓ４）を形成する壁部に設けられ、流入側連通部４ｄ近傍の位置に配置されている。すなわち、換気口４ｗは、処理槽４内において処理対象物Ｗが設置される位置よりも空気の流通方向において下流側で、かつ、送風部１０が設置された位置よりも空気の流通方向において上流側の位置に配設されている。そして、この換気口４ｗを通じて空調空間Ｓ２と処理槽４の外部空間とが連通している。空調空間Ｓ２が外部空間よりも高温高湿である場合に、この換気口４ｗを通じて換気されることにより、空調空間Ｓ２の除湿及び冷却が行われる。
【００４５】
そして、処理槽４には、加熱部８による空気の加熱量と加湿部６による空気の加湿量とに応じて換気口４ｗの開度を調整可能な開度調整装置１８が設けられている。
【００４６】
開度調整装置１８は、換気口４ｗの開度を調整するための調整板１８ａと、その調整板１８ａを動かす調整板駆動部１８ｂとを備えている。調整板駆動部１８ｂは、処理槽４の壁部に取り付けられており、その処理槽４の壁部に沿って調整板１８ａをスライドさせる。この調整板駆動部１８ｂには、制御装置２０から加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量に応じた換気口４ｗの開度を指示する制御信号が入力されるようになっており、調整板駆動部１８ｂは、その入力される制御信号に従って調整板１８ａをスライドさせて換気口４ｗの開度を変更する。
【００４７】
温湿度導出部１２は、処理空間Ｓ１の温度及び湿度を導出するものである。この温湿度導出部１２は、空間温度センサ１２ａと、湿度検出本体部１２ｂと、外面温度センサ１２ｃと、演算部１２ｄとを有する。
【００４８】
空間温度センサ１２ａは、処理空間Ｓ１の温度を検出するものであり、処理空間Ｓ１のうち流出側連通部４ｅに面した位置に配設されている。この空間温度センサ１２ａは、本発明の空間温度検出部の概念に含まれるものである。
【００４９】
湿度検出本体部１２ｂは、直棒状のヒートパイプからなり、処理空間Ｓ１と処理槽４の外部空間とに跨るように処理槽４の上蓋４ｈに設けられている。
【００５０】
具体的には、上蓋４ｈのうち流出側連通部４ｅ近傍の位置に上下に貫通する貫通孔４ｘが設けられており、この貫通孔４ｘに湿度検出本体部１２ｂのヒートパイプが挿嵌されている。湿度検出本体部１２ｂは、処理空間Ｓ１に配置された側が処理槽４の外部空間に配置された側に対して下側に位置する姿勢で設けられている。そして、この湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された部分は、搬送体１０２による処理対象物Ｗの搬送経路の上方に配置されている。なお、この湿度検出本体部１２ｂは、鉛直方向に延びる姿勢で配設されるのみならず、ヒートパイプ現象が発生可能な範囲であれば、鉛直方向からある程度傾斜した姿勢で配設されていてもよい。また、湿度検出本体部１２ｂのヒートパイプは、必要に応じて複数設けられていてもよい。
【００５１】
湿度検出本体部１２ｂのヒートパイプの内部には、純水からなる作動流体が封入されている。温湿度処理装置２の通常運転中は処理空間Ｓ１が処理槽４の外部空間よりも高温であり、そのことに起因して、この湿度検出本体部１２ｂのヒートパイプは、処理空間Ｓ１に配置された側の内部で作動流体が蒸発するとともにその蒸発した作動流体が前記外部空間に配置された側の内部で凝縮するヒートパイプ現象を生じる。また、処理空間Ｓ１において湿度検出本体部１２ｂの下方で、かつ、搬送体１０２による処理対象物Ｗの搬送経路の上方の位置には、受け部４ｙが設けられている。この受け部４ｙは、後述するように湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された部分の外面に結露が生じてその結露が滴下した場合に、それを受けるものである。この受け部４ｙによって受けられた水は、当該受け部４ｙに接続された図略の排出管を通じて処理槽４の外部へ排出される。なお、湿度検出本体部１２ｂが搬送体１０２による処理対象物Ｗの搬送経路上から側方にずらして配置されている場合には、受け部４ｙは省略可能である。
【００５２】
外面温度センサ１２ｃは、湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置されて作動流体が蒸発する部分の外面温度を導出するためのものであり、この外面温度センサ１２ｃは、本発明の本体部温度導出部の概念に含まれる。
【００５３】
具体的には、外面温度センサ１２ｃは、湿度検出本体部１２ｂにおいて完全にヒートパイプ現象が生じているときに、当該湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された側において液体状の作動流体が溜まる部分の外面に取り付けられている。すなわち、湿度検出本体部１２ｂでヒートパイプ現象が生じ始めた時点では、処理空間Ｓ１に配置された側の内部に溜まった液体状の作動流体が徐々に蒸発していき、それに伴って作動流体の液面が低下していく。そして、湿度検出本体部１２ｂでヒートパイプ現象が完全に生じた状態になると、作動流体の液面が最も低下する。外面温度センサ１２ｃは、湿度検出本体部１２ｂのうちこの最も低下した場合の液面よりも下側で液体状の作動流体が溜まっている範囲に取り付けられており、その取り付けられた箇所の外面温度を検出する。そして、外面温度センサ１２ｃが取り付けられた箇所の外面温度は、作動流体が蒸発する部分の外面温度と等しい温度であり、この箇所の外面温度は、後述するように処理空間Ｓ１の露点に略等しくなる。このため、外面温度センサ１２ｃからは処理空間Ｓ１の露点に略等しい検出温度のデータが出力される。換言すると、本実施形態の湿度検出本体部１２ｂ及び外面温度センサ１２ｃは、従来のウィックを用いた湿球温度センサの代替として機能し得る。
【００５４】
演算部１２ｄは、制御装置２０に含まれており、この演算部１２ｄには、空間温度センサ１２ａによって検出された処理空間Ｓ１の温度のデータと、外面温度センサ１２ｃによって検出された湿度検出本体部１２ｂの外面温度のデータとが入力される。この演算部１２ｄは、入力された処理空間Ｓ１の温度のデータと湿度検出本体部１２ｂの外面温度のデータとに基づいて、処理空間Ｓ１の相対湿度を算出する。
【００５５】
制御装置２０は、上記したように温湿度処理装置２の各部の動作制御を行うものである。
【００５６】
次に、本実施形態の温湿度処理装置２を用いた処理対象物Ｗの処理工程について説明する。
【００５７】
この処理工程では、温湿度処理装置２において図２の太線内の領域で示す高温高湿領域内の温湿度条件に処理空間Ｓ１の温湿度を設定し、その設定した温湿度条件の雰囲気に処理対象物Ｗを曝す処理を行う。
【００５８】
まず、温湿度処理装置２の加湿部６においてヒータ６ｂにより加湿水が加熱されて蒸発し、空調空間Ｓ２の空気が加湿されるとともに、加熱部８により空調空間Ｓ２の空気が加熱される。この加湿及び加熱された空気は、送風部１０が駆動することにより流出側連通部４ｅを通じて処理空間Ｓ１へ送風されるとともに、その処理空間Ｓ１の空気は、流入側連通部４ｄを通じて空調空間Ｓ２に流れ込む。このようにして、空調空間Ｓ２と処理空間Ｓ１との間で空気が循環し、処理空間Ｓ１の温湿度が上昇する。
【００５９】
そして、処理空間Ｓ１の温度が処理槽４の外部空間の温度よりも高くなると、湿度検出本体部１２ｂではヒートパイプ現象が生じる。具体的には、湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された側の内部で液体状の作動流体が蒸発するとともに、その蒸発した作動流体は、湿度検出本体部１２ｂのうち処理槽４の外部空間に配置された部分へ流れ、その部分で冷却されて凝縮する。この凝縮して液体状となった作動流体は、湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された側へ流れ、再び蒸発する。このように湿度検出本体部１２ｂ内において、作動流体の蒸発と凝縮の循環が生じる。
【００６０】
そして、ヒートパイプ現象が完全に生じている湿度検出本体部１２ｂにおいて、外面温度センサ１２ｃによって検出される外面温度、すなわち作動流体が蒸発している箇所の外面温度に等しい温度は、処理空間Ｓ１の空気の露点に略等しくなる。
【００６１】
この現象は、本願発明者が行った実験の結果から判明したものである。この実験では、恒温恒湿槽において、ヒートパイプを断熱壁で仕切られた槽内の空間と槽外の空間とに跨るようにその断熱壁を貫通させて設置し、槽内の空間を槽外の空間よりも高温にしてヒートパイプに完全にヒートパイプ現象を生じさせるとともに、その状態でヒートパイプのうち前記外面温度センサ１２ｃと同じ箇所に取り付けた温度センサによってその箇所の外面温度を実測した。また、恒温恒湿槽の装置側で槽内の温度及び相対湿度を測定し、さらに、この測定した槽内の温度及び相対湿度から槽内の空気の露点を算出した。これらの測定結果及び算出結果の経時変化が図３に示されている。この図３の結果では、温度センサによる検出温度が、槽内の空気の露点（高温側の空間の露点）に略等しくなることが判る。すなわち、ヒートパイプ現象が完全に生じているヒートパイプにおいて、作動流体が蒸発する箇所の外面温度と同等と見なせる液体状の作動流体が溜まる部分の外面温度は、高温側の空間の露点に略等しくなることが判明した。そして、この結果から、本実施形態において、ヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部１２ｂのうち外面温度センサ１２ｃによって検出される部分の外面温度は、処理空間Ｓ１の露点に略等しくなることが見出された。
【００６２】
そして、演算部１２ｄでは、外面温度センサ１２ｃによる検出温度、すなわち処理空間Ｓ１の露点に略等しい温度のデータと、空間温度センサ１２ａによる検出温度のデータとが入力され、それらのデータに基づいて処理空間Ｓ１の相対湿度が算出される。制御装置２０は、空間温度センサ１２ａの検出温度に基づいて加熱部８による空気の加熱量を制御するとともに、演算部１２ｄが算出した処理空間Ｓ１の相対湿度に基づいて加湿部６による空気の加湿量を制御する。
【００６３】
具体的には、制御装置２０は、空間温度センサ１２ａによって検出された処理空間Ｓ１の温度が目標の温度よりも低い場合には、加熱部８の加熱能力を強くして空気の加熱を促進させる一方、空間温度センサ１２ａによって検出された処理空間Ｓ１の温度が目標の温度以上になっている場合には、加熱部８の加熱能力を弱くして空気の加熱を抑制させる。また、制御装置２０は、演算部１２ｄが算出した処理空間Ｓ１の相対湿度が目標の相対湿度よりも低い場合には、加湿部６のヒータ６ｂの加熱能力を強くして加湿水の蒸発量を増やし、空気の加湿を促進させる一方、演算部１２ｄが算出した処理空間Ｓ１の相対湿度が目標の相対湿度以上になっている場合には、加湿部６のヒータ６ｂの加熱能力を弱くして加湿水の蒸発量を低減し、空気の加湿を抑制させる。
【００６４】
そして、制御装置２０は、加熱部８による空気の加熱量と加湿部６による空気の加湿量とに応じて換気口４ｗの開度を決定し、その開度を指示する制御信号を開度調整装置１８の調整板駆動部１８ｂに送る。調整板駆動部１８ｂは、制御装置２０から送られた制御信号に従って調整板１８ａを移動させて換気口４ｗの開度を制御装置２０によって決定された開度に調整する。この際、制御装置２０が加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を増加させるように加熱部８及び加湿部６を制御している場合には、制御装置２０は、換気口４ｗの開度を下げるように開度調整装置１８を制御する一方、制御装置２０が加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を減少させるように加熱部８及び加湿部６を制御している場合には、制御装置２０は、換気口４ｗの開度を上げるように開度調整装置１８を制御する。そして、換気口４ｗを通じて、その開度に応じた換気量で空調空間Ｓ２（第２空調空間Ｓ４）の換気が行われる。この換気によって空調空間Ｓ２の除湿と冷却が行われる。この除湿及び冷却された空調空間Ｓ２の空気は、加湿部６で加湿されるとともに加熱部８で加熱された後、送風部１０によって撹拌されながら処理空間Ｓ１へ送られる。
【００６５】
また、上記のようなヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部１２ｂでは、処理空間Ｓ１に配置された側で作動流体が蒸発する部分の外面温度が処理空間Ｓ１の露点に略等しくなることから、その作動流体が蒸発する部分の外面に結露が生じる。この結露は、湿度検出本体部１２ｂの下端部から滴下し、その滴下した水は受け部４ｙにより受けられて排出管を通じて外部に排出される。すなわち、この湿度検出本体部１２ｂのうち作動流体が蒸発する部分の外面における結露を利用して、処理空間Ｓ１の補助的な除湿が行われる。さらに、上記のようなヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部１２ｂでは、処理空間Ｓ１に配置されて作動流体が蒸発する部分から処理槽４の外部空間に配置されて作動流体が凝縮する部分へ熱が搬送され、この熱搬送により処理空間Ｓ１の補助的な冷却が行われる。
【００６６】
本実施形態では、加湿部６による空気の加湿と、換気口４ｗを通じての換気に伴う空調空間Ｓ２の除湿と、ヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部１２ｂによる処理空間Ｓ１の補助的な除湿とのバランスにより、処理槽４内の処理空間Ｓ１の湿度が目標の湿度に設定されるとともにその湿度に維持される。また、加熱部８による空気の加熱と、換気口４ｗを通じての換気に伴う空調空間Ｓ２の冷却と、ヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部１２ｂによる処理空間Ｓ１の補助的な冷却とのバランスにより、処理槽４内の処理空間Ｓ１の温度が目標の温度に設定されるとともにその温度に維持される。このようにして、処理空間Ｓ１の温湿度が目標の温湿度（高温高湿条件）に調整されて維持される。
【００６７】
さらに、本実施形態では、処理槽４内の温湿度が安定した状態で温湿度処理装置２を運転している時に、加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量が共に所定の値よりも大きい場合には、制御装置２０は、換気口４ｗの開度を徐々に小さくするように駆動部１６ｂを制御する。そして、それに伴って、制御装置２０は、加熱部８による加熱量及び加湿部６による加湿量を徐々に低減させていき、加熱部８による加熱量及び加湿部６による加湿量を前記所定の値に近くなるようにしてその加熱量及び／又は加湿量の最小化を図る。なお、加熱量及び加湿量の前記所定の値は、制御可能な範囲でゼロに近いことが望ましい。
【００６８】
そして、処理空間Ｓ１が目標の温湿度に調整された後、搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂによりシャッタ１４ａが上方へスライドされるとともに、搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂによりシャッタ１６ａが上方へスライドされる。これにより、搬入口４ｊ及び搬出口４ｋが開けられ、その後、搬送装置１００の駆動モータが駆動して搬送体１０２を周回移動させることにより搬送体１０２上に載置された処理対象物Ｗが搬入口４ｊを通って処理空間Ｓ１に搬入される。搬送装置１００の駆動モータは、搬送体１０２のうち処理すべき処理対象物Ｗが載置された部分が処理空間Ｓ１に収まるまで搬送体１０２を周回移動させ、その後、駆動を停止して搬送体１０２の移動を停止させる。この後、搬入口シャッタ装置１４の駆動部１４ｂによりシャッタ１４ａが下方へスライドされるとともに、搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂによりシャッタ１６ａが下方へスライドされる。これにより、搬入口４ｊ及び搬出口４ｋが閉じられる。
【００６９】
この状態で処理対象物Ｗが処理空間Ｓ１の一定の温湿度条件（高温高湿条件）の雰囲気に一定時間曝される。その後、再び搬入口シャッタ装置１４により搬入口４ｊが開けられるとともに搬出口シャッタ装置１６により搬出口４ｋが開けられた後、搬送装置１００の駆動モータが駆動して搬送体１０２を周回移動させ、処理後の処理対象物Ｗが処理空間Ｓ１から搬出口４ｋを通って搬出される。そして、この処理後の処理対象物Ｗの搬出と同時に、次に処理すべき処理対象物Ｗが搬入口４ｊを通って処理空間Ｓ１に搬入され、その後、同様にして処理空間Ｓ１における処理対象物Ｗの処理が行われる。
【００７０】
本実施形態による処理工程では、以上のような処理対象物Ｗの処理空間Ｓ１への搬入と、処理空間Ｓ１における処理対象物Ｗの処理と、処理後の処理対象物Ｗの処理空間Ｓ１からの搬出とが順次流れ作業で行われる。
【００７１】
以上説明したように、本実施形態では、処理槽４の内外で換気を行うための換気口４ｗが処理槽４に設けられているため、処理槽４内の処理空間Ｓ１及び空調空間Ｓ２が外部空間よりも高温高湿となっている場合に処理空間Ｓ１の除湿と冷却をこの換気口４ｗを通じて行うことができる。
【００７２】
また、本実施形態では、処理対象物Ｗを処理槽４の外部空間よりも高い温湿度条件の雰囲気に曝すために処理空間Ｓ１の温度を処理槽４の外部空間よりも高い温度まで上昇させるので、その際、湿度検出本体部１２ｂにヒートパイプ現象が発生して当該湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された側の内部で作動流体が蒸発し、この作動流体が蒸発する部分の外面温度が処理空間Ｓ１の露点に略等しくなる。そして、この作動流体が蒸発する部分の外面温度が外面温度センサ１２ｃによって検出されるので、その検出された外面温度と、空間温度センサ１２ａによって検出された処理空間Ｓ１の温度とに基づいて、演算部１２ｄにより処理空間Ｓ１の相対湿度を算出することができる。従って、本実施形態では、従来の乾球温度センサと湿球温度センサを用いて処理空間の相対湿度を導出する場合と異なり、湿球温度センサのウィックを必要としないので、ウィックが古くなって水の吸い上げが悪くなる毎に、ウィックの交換のために温湿度処理装置２の運転を停止しなくてもよい。
【００７３】
また、本実施形態では、湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された側で作動流体が蒸発する部分の外面温度が処理空間Ｓ１の露点に略等しくなることから、その作動流体が蒸発する部分の外面では結露が生じる。このため、湿度検出本体部１２ｂのうち作動流体が蒸発する部分の外面における結露を利用して処理空間Ｓ１の補助的な除湿を行うことができる。また、ヒートパイプ現象が生じている湿度検出本体部１２ｂでは、処理空間Ｓ１に配置されて作動流体が蒸発する部分から処理槽４の外部空間に配置されて作動流体が凝縮する部分へ熱が搬送されるため、この湿度検出本体部１２ｂによる熱搬送を利用して処理空間Ｓ１の補助的な冷却を行うことができる。すなわち、本実施形態では、従来のような冷凍機の蒸発器からなる冷却器（除湿機）を用いることなく、換気口４ｗを通じての換気と湿度検出本体部１２ｂにおける結露及び熱搬送とにより処理空間Ｓ１の除湿と冷却を行うことができるため、冷凍機の故障や動作不良に起因する温湿度処理装置２の運転停止を防ぐことができるとともに、冷凍機の稼働に要するエネルギーを削減することができる。従って、本実施形態では、長期間の継続運転が可能となるとともに、省エネルギー化を図ることができる。
【００７４】
また、本実施形態では、加熱部８による空気の加熱量と加湿部６による空気の加湿量とに応じて換気口４ｗの開度を調整可能な開度調整装置１８が処理槽４に設けられているため、処理槽４の外部の温湿度が処理空間Ｓ１の温湿度よりも低いときに加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を増加させる場合には、開度調整装置１８が換気口４ｗの開度を小さくして換気量を低減させることができ、その結果、加熱部８による空気の加熱効果及び加湿部６による空気の加湿効果を高めることができる。これにより、加熱部８による空気の加熱及び加湿部６による空気の加湿に要するエネルギーを削減することができるため、より省エネルギー化を図ることができる。また、処理槽４の外部の温湿度が比較的高いときに加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を減少させる場合には、開度調整装置１８が換気口４ｗの開度を大きくして換気量を増大させることができる。その結果、処理槽４の外部の温湿度が比較的高くて、処理槽４内の温湿度が下がりにくい場合でも、換気量の増大により処理空間Ｓ１の除湿と冷却を促進することができる。
【００７５】
さらに、本実施形態では、処理槽４内の温湿度が安定した状態で温湿度処理装置２を運転している時に、加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量が共に所定の値よりも大きい場合には、開度調整装置１８が徐々に換気口４ｗの開度を小さくさせていき、それに伴って加熱部８による加熱量及び加湿部６による加湿量が徐々に低減されて所定の値に近くなるので、より一層の省エネルギー化を図ることができる。
【００７６】
また、本実施形態では、換気口４ｗが、処理槽４内において処理対象物Ｗが設置される位置よりも空気の流通方向において下流側で、かつ、送風部１０が設置された位置よりも空気の流通方向において上流側の位置に配設されている。このため、換気口４ｗを通じて外部から処理槽４内の空調空間Ｓ２に取り込まれた空気は、送風部１０によって撹拌されてその温湿度が比較的均一化された後、処理対象物Ｗに当たるように処理空間Ｓ１へ送風されるため、処理対象物Ｗに対する温湿度の処理条件の不均一が生じるのを防ぐことができる。
【００７７】
また、本実施形態では、処理空間Ｓ１を形成する処理槽本体４ｇの壁部４ｍ，４ｎのうち互いに対向する位置に搬入口４ｊと搬出口４ｋとが設けられているため、処理対象物Ｗを一方向へ送る搬送装置１００により、処理後の処理対象物Ｗを処理空間Ｓ１から搬出口４ｋを通じて搬出すると同時に、次に処理する処理対象物Ｗを搬入口４ｊを通じて前記搬出方向と同方向に処理空間Ｓ１に搬入することができる。すなわち、処理後の処理対象物Ｗを処理空間から取り出した後、次に処理する処理対象物Ｗを処理空間に搬入するバッチ式の処理工程に比べて、処理空間Ｓ１への処理対象物Ｗの入れ替えに要する時間を短縮することができ、処理効率の向上を図ることができる。
【００７８】
また、本実施形態では、処理空間Ｓ１において、湿度検出本体部１２ｂのうち当該処理空間Ｓ１に配置された部分の下方で、かつ、搬送体１０２による処理対象物Ｗの搬送経路の上方の位置には、湿度検出本体部１２ｂから滴下する結露水を受けるための受け部４ｙが設けられているので、湿度検出本体部１２ｂにヒートパイプ現象が生じて当該湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された部分の外面に生じた結露が滴下した場合でも、その結露水を受け部４ｙによって受けて処理対象物Ｗにかかるのを防ぐことができる。
【００７９】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００８０】
例えば、上記実施形態では、処理対象物Ｗが処理空間Ｓ１に収まるまで搬送体１０２を周回移動させた後、一定時間停止させ、その後、再び搬送体１０２を周回移動させる例を示したが、本発明はこのような構成に限定されない。すなわち、搬送装置１００の駆動モータが搬送体１０２を連続的に周回移動させることにより、処理対象物Ｗを所定時間かけて処理空間Ｓ１を通過させながらその処理空間Ｓ１の所定の温湿度条件の雰囲気に曝してもよい。
【００８１】
そして、この場合には、前記搬入口シャッタ装置１４及び前記搬出口シャッタ装置１６を設けなくてもよく、搬入口４ｊ及び搬出口４ｋは常に開放された状態であってもよい。この構成では、搬入口４ｊ及び搬出口４ｋを換気口として利用して処理空間Ｓ１の空気を換気することができるため、処理空間Ｓ１が処理槽４の外部空間よりも高温高湿となっている場合にこれらの搬入口４ｊ及び搬出口４ｋを通じて処理空間Ｓ１の除湿と冷却を行うことができる。
【００８２】
また、上記実施形態において、換気口４ｗの代わりに、処理槽４内の処理空間Ｓ１において処理対象物Ｗが設置される位置よりも空気の流通方向において下流側に位置する搬出口４ｋを換気口として用いて処理槽４の内外での換気を行ってもよい。この場合には、搬出口シャッタ装置１６が、加熱部８による空気の加熱量と加湿部６による空気の加湿量とに応じて搬出口４ｋの開度を調整可能とすることが好ましい。
【００８３】
具体的には、搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂは、シャッタ１６ａを搬出口４ｋが全開状態となる位置と搬出口４ｋが全閉状態となる位置との間で任意の位置に動かせるように構成されている。そして、搬送装置１００により処理槽４内の処理空間Ｓ１に処理対象物Ｗが搬入された状態で、搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂには、制御装置２０から加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量に応じた搬出口４ｋの開度を指示する制御信号が入力されるようになっている。すなわち、制御装置２０は、加熱部８による空気の加熱量と加湿部６による空気の加湿量とに応じて搬出口４ｋの開度を決定し、その開度を指示する制御信号を搬出口シャッタ装置１６の駆動部１６ｂに送る。その駆動部１６ｂは、制御装置２０から送られた制御信号に従ってシャッタ１６ａを移動させて搬出口４ｋの開度を制御装置２０によって決定された開度に調整する。
【００８４】
この際、制御装置２０が加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を増加させるように加熱部８及び加湿部６を制御している場合には、制御装置２０は、搬出口４ｋの開度を下げるように駆動部１６ｂを制御する一方、制御装置２０が加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を減少させるように加熱部８及び加湿部６を制御している場合には、制御装置２０は、搬出口４ｋの開度を上げるように駆動部１６ｂを制御する。
【００８５】
また、処理槽４内の温湿度が安定した状態で温湿度処理装置２を運転している時に、加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量が共に所定の値よりも大きい場合には、制御装置２０は、搬出口４ｋの開度を徐々に小さくするように駆動部１６ｂを制御する。そして、それに伴って、制御装置２０は、加熱部８による加熱量及び加湿部６による加湿量を徐々に低減させていき、加熱部８による加熱量及び加湿部６による加湿量を前記所定の値に近くなるようにしてその加熱量及び／又は加湿量の最小化を図る。なお、加熱量及び加湿量の前記所定の値は、制御可能な範囲でゼロに近いことが望ましい。
【００８６】
そして、搬出口４ｋを通じて、その開度に応じた換気量で処理空間Ｓ１のうち処理対象物Ｗが設置された領域よりも下流側の領域の空気が換気され、その領域の空気の除湿と冷却が行われる。この除湿及び冷却された処理対象物Ｗの下流側の領域の空気は、空調空間Ｓ２に流入し、加湿部６で加湿されるとともに加熱部８で加熱され、その後、送風部１０によって撹拌されながら処理空間Ｓ１へ送られる。
【００８７】
なお、このように搬出口４ｋを換気口として用いた処理槽４内の換気は、処理対象物Ｗが処理空間Ｓ１に収められた状態でのみ行われる。すなわち、処理槽４内からの処理対象物Ｗの搬出時には、制御装置２０は、搬送装置１００による搬送体１０２の移動・停止に応じた搬出口シャッタ装置１６による搬出口４ｋの開閉を優先して行わせる。
【００８８】
このように搬出口シャッタ装置１６により搬出口４ｋの開度調整をしながらその搬出口４ｋを換気口として利用して処理槽４内の空気の換気を行えば、処理槽４の外部の温湿度が処理空間Ｓ１の温湿度よりも低いときに加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を増加させる場合に、搬出口シャッタ装置１６が搬出口４ｋの開度を小さくして換気量を低減することができる。その結果、加熱部８による空気の加熱効果及び加湿部６による空気の加湿効果を高めることができる。これにより、加熱部８による空気の加熱及び加湿部６による空気の加湿に要するエネルギーを削減することができるため、より省エネルギー化を図ることができる。
【００８９】
また、処理槽４の外部の温湿度が比較的高いときに加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量を減少させる場合には、搬出口シャッタ装置１６が搬出口４ｋの開度を大きくして換気量を増大させることができる。その結果、処理槽４の外部の温湿度が比較的高くて、処理槽４内の温湿度が下がりにくい場合でも、換気量の増大により処理空間Ｓ１の除湿と冷却を促進することができる。
【００９０】
さらに、処理槽４内の温湿度が安定した状態で温湿度処理装置２を運転している時に、加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量が共に所定の値よりも大きい場合には、搬出口シャッタ装置１６が徐々に搬出口４ｋの開度を小さくさせていき、それに伴って加熱部８による加熱量及び加湿部６による加湿量が徐々に低減されて所定の値に近くなるので、より一層の省エネルギー化を図ることができる。
【００９１】
なお、上記のように処理槽４内で処理対象物Ｗが設置される位置よりも空気の流通方向において下流側に位置する搬出口４ｋを換気口として利用することが好ましいが、搬入口４ｊを換気口として利用するとともに、搬入口シャッタ装置１４を上記した搬出口シャッタ装置１６と同様に、加熱部８による空気の加熱量及び加湿部６による空気の加湿量に応じて搬入口４ｊの開度を調整できるように構成してもよい。
【００９２】
なお、処理対象物Ｗの搬送方向が上記実施形態と逆方向となっている場合には、前記搬出口４ｋの位置に設けられる搬入口を換気口として利用して処理槽４内の換気を行うことが好ましい。すなわち、常に、処理空間Ｓ１において処理対象物Ｗが設置される位置よりも空気の流通方向において下流側に位置する搬入口又は搬出口を換気口として利用してその開度調整をすることが好ましく、その際、処理対象物Ｗよりも空気の流通方向において上流側に位置する搬入口又は搬出口は対応するシャッタ装置によって閉じておくことが好ましい。
【００９３】
空気の流通方向において処理対象物Ｗが設置される位置よりも上流側に位置する搬入口又は搬出口を通じて処理槽４内の換気を行う場合には、その搬入口又は搬出口を通じて外部から処理槽４内に取り込まれた空気の温湿度が局所的に異なる状態でその空気が処理対象物Ｗに当たる虞があり、この場合には、処理対象物Ｗの温湿度の処理条件に不均一が生じる虞がある。これに対して、上記のように搬入口と搬出口のうち処理槽４内に処理対象物Ｗが設置される位置よりも空気の流通方向において下流側に位置する方を換気口として利用して処理槽４内の換気を行えば、その搬入口又は搬出口を通じて外部から処理槽４内に取り込まれた空気が送風部１０によって撹拌されてその温度が比較的均一化された後、処理対象物Ｗに当たるように送風されるため、上記のような処理対象物Ｗの温湿度の処理条件の不均一が生じるのを防ぐことができる。
【００９４】
そして、以上のように搬入口と搬出口のうち少なくとも一方を換気口として利用して処理槽４内の換気を行う場合には、前記換気口４ｗ及び前記開度調整装置１８を省略することが可能であり、その場合には、温湿度処理装置２の構成を簡素化することができる。
【００９５】
また、処理工程に用いる搬送装置は、上記したような処理対象物Ｗを一方向へ送るコンベアのようなものでなくてもよい。
【００９６】
例えば、図４に示す上記実施形態の一変形例のように、搬送装置は、処理対象物Ｗを載せて運搬するための台車１１２等であってもよい。この変形例の構成では、処理槽２４は、中空の箱形に構成されており、その処理槽２４の正面側（図４中の左側）の壁部２４ａには、搬入口と搬出口とを兼ねる開口部２４ｂが形成されているとともに、その開口部２４ｂを開閉するための扉２４ｄが取り付けられている。この扉２４ｄは、手前に開くことが可能となっており、この扉２４ｄを開けて、台車１１２上に載せられた処理対象物Ｗ入りのラック２６を開口部２４ｂを通じて処理槽４内の処理空間Ｓ１に搬入できる一方、処理空間Ｓ１に収められて温湿度処理が行われた後の処理対象物Ｗがセットされたラック２６を開口部２４ｂを通じて処理空間Ｓ１から搬出できるようになっている。
【００９７】
また、上記実施形態では、処理槽４内のメンテナンスを容易にするために上蓋４ｈ全体を処理槽本体４ｇに対して着脱可能としたが、処理槽を構成するいずれかの壁部にメンテナンス用の開口が設けられているとともに、その開口を開閉するための扉部が設けられていてもよい。
【００９８】
また、換気口４ｗの位置は、上記実施形態で示した位置以外の種々の位置に設定してもよい。例えば、換気口を処理槽４のうち処理空間Ｓ１を形成する壁部に設けてもよい。
【００９９】
また、処理槽４内において処理空間Ｓ１と空調空間Ｓ２とが上下逆に配置されていてもよい。それに伴って、温湿度処理装置２の各構成部の処理槽４に対する設置位置を適宜変更してもよい。
【０１００】
また、外面温度センサ１２ｃを上記実施形態で示した湿度検出本体部１２ｂのうち処理空間Ｓ１に配置された側の端部以外の部分の外面に取り付けて、その部分の外面温度を検出するようにしてもよい。この場合には、外面温度センサ１２ｃの検出温度と、湿度検出本体部１２ｂのうち作動流体が蒸発する部分の外面温度、すなわち処理空間Ｓ１の露点との間に温度差が生じる。このため、外面温度センサ１２ｃに加えて補正手段を設けるとともに、前記温度差を予め測定しておき、補正手段により外面温度センサ１２ｃの検出温度を前記測定した温度差の分補正することによって処理空間Ｓ１の露点を求めることができる。この態様では、外面温度センサ１２ｃと補正手段とによって本発明による本体部温度導出部が構成される。
【０１０１】
また、外面温度センサ１２ｃとして、湿度検出本体部１２ｂの外面温度を非接触で検出するような温度センサを用いてもよい。
【０１０２】
また、外面温度センサ１２ｃによって湿度検出本体部１２ｂの外面温度を検出する代わりに、湿度検出本体部１２ｂの内面の所定位置に温度センサを取り付けてその湿度検出本体部１２ｂの内面温度を検出してもよい。この場合も、湿度検出本体部１２ｂの内面に取り付ける温度センサと、その温度センサの検出温度を補正して処理空間Ｓ１の露点を求める補正手段とによって本発明の本体部温度導出部を構成することが好ましい。
【０１０３】
また、空間温度センサ１２ａ、湿度検出本体部１２ｂ及び外面温度センサ１２ｃを配設する位置は、空調空間Ｓ２から処理空間Ｓ１への空気の吹き出し口（流出側連通部４ｅ）の近傍の位置に限定されない。
【０１０４】
また、上記実施形態では、湿度検出本体部１２ｂを直棒状のヒートパイプによって構成したが、これ以外の種々の形状のヒートパイプを湿度検出本体部１２ｂとして用いてもよい。また、湿度検出本体部１２ｂをヒートレーン（登録商標）として知られている蛇行細管型ヒートパイプ又は自励振動式ヒートパイプによって構成してもよい。
【０１０５】
また、湿度検出本体部１２ｂ内に封入された作動流体は、純水以外の液体であってもよい。
【０１０６】
また、上記実施形態では、供給配管６ｃが処理槽４の内部を通るように構成したが、この構成に限定されない。すなわち、処理槽４の外部を通るように供給配管６ｃを配置するとともに、別途その供給配管６ｃを加熱する加熱装置を設けて、その加熱装置により供給配管６ｃ内を流れる加湿水を温めるようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１０７】
２  温湿度処理装置
４、２４  処理槽
４ａ  処理空間
４ｂ  空調空間
４ｃ  仕切壁
４ｊ  搬入口
４ｋ  搬出口
４ｗ  換気口
４ｙ  受け部
６  加湿部
８  加熱部
１０  送風部
１２ａ  空間温度センサ（空間温度検出部）
１２ｂ  湿度検出本体部
１２ｃ  外面温度センサ（本体部温度導出部）
１２ｄ  演算部
１４  搬入口シャッタ装置
１６  搬出口シャッタ装置
１８  開度調整装置
Ｗ  処理対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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