(57)【要約】【課題】製造効率の向上及び製造コストの低下を図った上で、光源から発生する熱の影響を抑えることができること。【解決手段】近接場光によりディスクを加熱するとともに、ディスクに対して記録磁界を与えることで磁化反転を生じさせ、ディスクに情報を記録させる情報記録再生装置であって、レーザ光源から出射された光束をスライダに導入する光導波路３２と、スライダと制御部とを電気的に接続する複数の電気配線３１とが、一体的に形成された光電気複合配線３３を備えていることを特徴とする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に回転する磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を加熱するため光束を出射する光源と、前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、前記ピボット軸のまわりを回動可能に形成されたキャリッジと、前記キャリッジの先端側において前記磁気記録媒体の表面と対向するように支持されたスライダと、前記スライダの動作を制御する制御部と、を備え、
前記スライダは、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え、
前記スポット光により前記磁気記録媒体を加熱するとともに、前記磁気記録媒体に対して記録磁界を与えることで磁化反転を生じさせ、前記磁気記録媒体に情報を記録させる情報記録再生装置であって、
前記光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、前記スライダと前記制御部とを電気的に接続する複数の電気配線とが、一体的に形成された光電気複合配線を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項２】
前記光導波路は、前記光源から出射された前記光束を全反射条件で導くコアと、前記コアの屈折率より低い屈折率の材料からなり、前記コアに密着して前記コアを封止するクラッドとを有し、
前記電気配線は、前記コアとともに前記クラッドに封止されることを特徴とする請求項１記載の情報記録再生装置。
【請求項３】
前記コアは、前記クラッドの延出方向に直交する断面における略中心に配置され、前記コアを中心として前記複数の電気配線が対称に配置されていることを特徴とする請求項２記載の情報記録再生装置。
【請求項４】
前記コアは、前記コアの延出方向に直交する断面形状の横幅と縦幅との長さが、それぞれ異なるように設定されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の情報記録再生装置。
【請求項５】
前記クラッドには、前記コアの延出方向に沿ってトンネル部が形成されていることを特徴とする請求項２ないし請求項４の何れか１項に記載の情報記録再生装置。
【請求項６】
前記光導波路は、前記コアの延出方向に直交する方向に圧縮応力を付与するための応力付与部を備えていることを特徴とする請求項２ないし請求項５の何れか１項に記載の情報記録再生装置。
【請求項７】
前記応力付与部は、前記コアの両側を挟むように配置されていることを特徴とする請求項６記載の情報記録再生装置。
【請求項８】
前記応力付与部は、前記クラッドの表面に配置されていることを特徴とする請求項６記載の情報記録再生装置。
【請求項９】
前記キャリッジは、前記ピボット軸のまわりを回動可能に形成された基部と、前記基部から前記磁気記録媒体の表面に沿って延設されたアーム部と、を備え、
前記光源が前記基部に配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８の何れか１項に記載の情報記録再生装置。
【請求項１０】
前記基部には、前記制御部と前記スライダとを電気的に接続するターミナル基板が設けられ、前記ターミナル基板上に前記光源が配置されていることを特徴とする請求項９記載の情報記録再生装置。
【請求項１１】
前記アーム部の先端には、厚さ方向に撓み変形可能に構成されたサスペンションが支持され、
前記サスペンションには、前記スライダを、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で支持するジンバル手段と、前記ジンバル手段から前記サスペンションの基端部に向かって前記サスペンション上に沿って延在する撓み変形可能な支持体とが設けられ、
この支持体上に前記光電気複合配線が配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１０の何れか１項に記載の情報記録再生装置。
【請求項１２】
前記光電気複合配線は、前記支持体上に絶縁性を有する下地膜を介して配置されていることを特徴とする請求項１１記載の情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を集光したスポット光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録再生する情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の容量増加に伴い、単一記録面内における情報の記録密度が増加している。例えば、磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を多くするためには、面記録密度を高くする必要がある。ところが、記録密度が高くなるにつれて、記録媒体上で１ビット当たりの占める記録面積が小さくなっている。このビットサイズが小さくなると、１ビットの情報が持つエネルギーが、室温の熱エネルギーに近くなり、記録した情報が熱揺らぎ等のために反転したり、消えてしまったりする等の熱減磁の問題が生じてしまう。
【０００３】
一般的に用いられてきた面内記録方式では、磁化の方向が記録媒体の面内方向に向くように磁気を記録する方式であるが、この方式では上述した熱減磁による記録情報の消失等が起こり易い。そこで、このような不具合を解消するために、記録媒体に対して垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式に移行しつつある。この方式は、記録媒体に対して、単磁極を近づける原理で磁気情報を記録する方式である。この方式によれば、記録磁界が記録膜に対してほぼ垂直な方向を向く。垂直な磁界で記録された情報は、記録膜面内においてＮ極とＳ極とがループを作り難いため、エネルギー的に安定を保ち易い。そのため、この垂直記録方式は、面内記録方式に対して熱減磁に強くなっている。
【０００４】
しかしながら、近年の記録媒体は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され始めている。そのため、上述した垂直記録方式であっても、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。
【０００５】
そこで、この不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式が提供されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
【０００６】
上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提供されているが、その１つとして、近接場光の生成を行うための光を近接場光ヘッドに供給することで、微小開口から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。
この情報記録再生装置としては、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）等によってピボットベアリング軸を中心にして角揺動可能な駆動アーム（キャリッジ）を備え、駆動アームの先端部に、近接場光ヘッドを備えたスライダが取り付けられている構成が知られている。このスライダは、例えば特許文献１に示すように、スライダのＡＢＳ側の面（浮上面）とは反対側の面、つまりスライダの上面に接着されたユニット基板と、このユニット基板に設けられた光源と、ユニット基板の素子形成面上に設けられ、光源から放射された光の光路を含む伝播層と、この伝播層に設けられ、光源から放射された光の伝播を調整するためのレンズ部とを備えている。
【０００７】
上述した情報記録再生装置は、ピボットベアリング軸を中心に駆動アームを移動させることで、スライダにディスク上をスキャンさせ、スライダをディスク上の所望する位置に配置する。その後、光源から放射された近接場光とスライダから発生する記録磁界とを協働させることで、ディスクに情報を記録することができる。また、スライダのＡＢＳは、ディスクのうねり等により、スライダに風圧が加わったときに、この風圧に追従するように浮上するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−３３５０２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した従来の情報記録再生装置にあっては、光源がスライダの上面に接着されたユニット基板に搭載されているため、光源から発生する熱がスライダに直接伝わり、スライダが加熱される。スライダが加熱されると、スライダが反ったり、熱膨張が生じたりする虞がある。上述したスライダのＡＢＳは、ディスクのうねり等によりスライダに風圧が加わった際に、この風圧に追従してスライダが浮上するように構成されている。このＡＢＳが、スライダの反りや熱膨張により変形すると、スライダの浮上特性が変化するという問題がある。またスライダが加熱されると、スライダの再生素子の特性等に影響が及び、情報の記録再生を高精度、かつ正確に制御することができない虞がある。
【００１０】
これに対して、スライダから離れた位置に光源を配置することも考えられるが、この場合、光源から出射された光束をスライダに向けて導入するための光導波路のレイアウト性が問題になる。
【００１１】
具体的には、光導波路及び電気配線をスライダに引き回す際に、光導波路及び電気配線を別々に取り付ける必要があり、製造効率が著しく低下するとともに、製造コストの増加に繋がるという問題がある。
また、光源から出射された光束をスライダに導く際に、光源からスライダまでの間で、光導波路を何度も屈曲させながら引き回すと、光導波路内を通過する光束の導光損失が大きくなり、光伝播効率が低下するという問題がある。
【００１２】
そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、製造効率の向上及び製造コストの低下を図った上で、光源から発生する熱の影響を抑えることができる情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る情報記録再生装置は、一定方向に回転する磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を加熱するため光束を出射する光源と、前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、前記ピボット軸のまわりを回動可能に形成されたキャリッジと、前記キャリッジの先端側において前記磁気記録媒体の表面と対向するように支持されたスライダと、前記スライダの動作を制御する制御部と、を備え、前記スライダは、前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子を備え、前記スポット光により前記磁気記録媒体を加熱するとともに、前記磁気記録媒体に対して記録磁界を与えることで磁化反転を生じさせ、前記磁気記録媒体に情報を記録させる情報記録再生装置であって、前記光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、前記スライダと前記制御部とを電気的に接続する複数の電気配線とが、一体的に形成された光電気複合配線を備えていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明に係る情報記録再生装置においては、スポット光と記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により、回転する光ディスク等の磁気記録媒体に対して情報の記録を行うことができる。まず、磁気記録媒体に対して、サスペンションの先端に支持されたスライダを、磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動させてスキャンさせる。これにより、磁気記録媒体上の所望する位置にスライダを位置することができる。次いで、光源から出射される光束をスライダに導く。そして、スライダに導かれた光束は、光学系によって集光される。これにより、スポット光発生素子が、集光された光束からスポット光を発生させることができる。なお、このスポット光発生素子は、光学的な微小開口やナノメートルサイズに形成された突起部等から構成されているものである。
そして磁気記録媒体は、このスポット光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。その結果、スライダを用いて記録媒体に各種の情報を記録再生することができる。
【００１５】
特に、本発明の情報記録再生装置によれば、光導波路と電気配線とが光電気複合配線として一体的に形成されているため、光導波路及び電気配線を同時に取り付けることができ、製造効率の低下を防止することができる。これにより、スライダから離れた位置に光源を配置した場合でも、光電気複合配線をスライダへ容易に引き回すことができ、光源から発生する熱の影響を抑えることができる。
また、光導波路と電気配線とを別体で形成する場合に比べて、光導波路と各電器配線との間や各電器配線同士の間の間隔を縮小することができるとともに、各電器配線毎に絶縁材等を被覆する必要もないため、光電気複合配線の小型軽量化を図ることができる。そのため、光電気複合配線がスライダの姿勢制御の妨げになることを防ぎ、スライダの浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。
また、光電気複合配線のレイアウト性を向上することができるため、光電気複合配線の屈曲が小さい。これにより、光電気複合配線内を通過する光束の導光損失を低減することができ、光伝搬効率を維持することができる。
【００１６】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記光導波路は、前記光源から出射された前記光束を全反射条件で導くコアと、前記コアの屈折率より低い屈折率の材料からなり、前記コアに密着して前記コアを封止するクラッドとを有し、前記電気配線は、前記コアとともに前記クラッドに封止されることを特徴とするものである。
【００１７】
本発明に係る情報記録再生装置においては、光源から出射された光束は、コアの一端側からコア内に導入され、コアとクラッドとの界面で全反射を繰り返しながらスライダに向かって伝播される。
そして、上述したクラッド内に電気配線をコアとともに封止することにより、光導波路と電気配線とが一体的に形成された光電気複合配線として形成することができる。この場合、コアと電気配線とを一括してクラッド内に封止することができるため、製造効率の向上及び低コスト化を図ることが可能になる。また、コアと電気配線とを同一のクラッドにより封止することで、光電気複合配線の小型化を図ることも可能である。
【００１８】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記コアが、前記クラッドの延出方向に直交する断面における略中心に配置され、前記コアを中心として前記複数の電気配線が対称に配置されていることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明に係る情報記録再生装置においては、クラッドの断面における略中心にコアを配置するとともに、コアを中心として電気配線を対称に配置することで、複数の電気配線がコアの両側方に分散することになる。これにより、コアの片側のみに電気配線をまとめた場合に比べて、電気配線の引き回しスペースを確保することができるため、各電器配線間のレイアウト性を向上させることができる。したがって、コアと電気配線とのスライダへの接続が容易になる。また、光電気複合配線からスライダに作用する力が均等になるため、光電気複合配線がスライダの姿勢制御の妨げになることを防ぎ、スライダの浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。
【００２０】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記コアは、前記コアの延出方向に直交する断面形状の横幅と縦幅との長さが、それぞれ異なるように設定されていることを特徴とするものである。
【００２１】
本発明に係る情報記録再生装置においては、コアの横幅と縦幅を異ならせることで、光源から出射された光束の振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束をスライダへ導くことができる。
【００２２】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記クラッドには、前記コアの延出方向に沿ってトンネル部が形成されていることを特徴とするものである。
【００２３】
本発明に係る情報記録再生装置においては、クラッドにトンネル部を配置することで、光源から出射された光束の振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束をスライダへ導くことができる。
【００２４】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記光導波路は、前記コアの延出方向に直交する方向に圧縮応力を付与するための応力付与部を備えていることを特徴とするものである。
【００２５】
本発明に係る情報記録再生装置においては、応力付与部を配置することで、コアには圧縮応力が作用することになる。この圧縮応力がコアに複屈折性を生じさせ、光束の振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束をスライダへ導くことができる。
【００２６】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記応力付与部は、前記コアの両側を挟むように配置されていることを特徴とするものである。
【００２７】
本発明に係る情報記録再生装置においては、コアを挟むように応力付与部を配置することで、コアに均等な圧縮応力が作用することになるので、直線偏光をより維持し易くなる。
【００２８】
本発明に係る情報記録再生装置は、前記応力付与部は、前記クラッドの表面に配置されていることを特徴とするものである。
【００２９】
本発明に係る情報記録再生装置においては、コアを挟むように応力付与部を配置することで、コアに均等な圧縮応力が作用することになるので、直線偏光をより維持し易くなる。
また、クラッドの表面に応力付与部を配置するのみの簡素な構成であるため、製造効率の増加を防止することもできる。
【００３０】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記キャリッジが、前記ピボット軸のまわりを回動可能に形成された基部と、前記基部から前記磁気記録媒体の表面に沿って延設されたアーム部と、を備え、前記光源が前記基部に配置されていることを特徴とするものである。
【００３１】
本発明に係る情報記録再生装置においては、キャリッジの基部に設けられた光源から光導波路を介してスライダに光束を供給するため、光束の供給時に光源から発生する熱がスライダまで伝達する虞が極めて少なく、光源から発生する熱の影響を抑えることができる。これにより、スライダの熱膨張、反り等の影響によりスライダが変形するのを防止することができる。また、スライダの再生素子の特性を維持することができる。
また、キャリッジの基部が、ピボット軸まわりを回動可能に構成されているため、アーム部は、ピボット軸を回転中心として磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能に構成される。この時、基部に光源を設けることで、スライダに光源を搭載した場合に比べて、スライダの移動時においてキャリッジに作用するモーメントが小さい。したがって、トラッキングの精度を維持することができる。
【００３２】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記基部には、前記制御部と前記スライダとを電気的に接続するターミナル基板が設けられ、前記ターミナル基板上に前記光源が配置されていることを特徴とするものである。
【００３３】
本発明に係る情報記録再生装置においては、ターミナル基板は、制御部とスライダとを電気的に接続する際の中継点となるものであり、電気配線はターミナル基板を基点としてスライダに引き回される。つまり、ターミナル基板上に光源を配置することで、光導波路と電気配線との基端部同士が近接することになり、光電気複合配線を容易に形成することができる。
【００３４】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記アーム部の先端には、厚さ方向に撓み変形可能に構成されたサスペンションが支持され、前記サスペンションには、前記スライダを、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で支持するジンバル手段と、前記ジンバル手段から前記サスペンションの基端部に向かって前記サスペンション上に沿って延在する撓み変形可能な支持体とが設けられ、この支持体上に前記光電気複合配線が配置されていることを特徴とするものである。
【００３５】
本発明に係る情報記録再生装置においては、光電気複合配線が撓み変形可能な支持体上に配置されているため、スライダの姿勢変化時には支持体の姿勢変化に追従するように光電気複合配線も変形する。これにより、光電気配線の断線等を防ぐことができる。
【００３６】
また、本発明に係る情報記録再生装置は、前記光電気複合配線は、前記支持体上に絶縁性を有する下地膜を介して配置されていることを特徴とするものである。
【００３７】
本発明に係る情報記録再生装置においては、光電気複合配線が下地膜を介して支持体上に配置されているため、支持体と光電気複合配線の絶縁性を確保することができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明に係る情報記録再生装置によれば、製造効率の向上及び製造コストの低下を図った上で、光源をスライダから離間配置することが可能になり、光源から発生する熱の影響を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図３】図２に示すジンバルの平面図である。
【図４】図３のＥ−Ｅ’線に沿う断面図である。
【図５】図１に示すターミナル基板の平面図である。
【図６】図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図７】図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
【図８】本発明に係る情報記録再生装置の他の実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図９】本発明に係る情報記録再生装置の他の実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図１０】本発明に係る情報記録再生装置の他の実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図１１】本発明に係る情報記録再生装置の第２実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図１２】本発明に係る情報記録再生装置の第３実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図１３】本発明に係る情報記録再生装置の他の実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図１４】本発明に係る情報記録再生装置の第４実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【図１５】本発明に係る情報記録再生装置の他の実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
（情報記録再生装置）
以下、本発明に係る一実施形態を、図１から図７を参照して説明する。図１は、本発明に係る情報記録再生装置１の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。
【００４１】
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光電気複合配線３３を介して光束を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２のスライダ２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９とを備えている。
【００４２】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略する。
また、このハウジング９には、ハウジング９の開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。
【００４３】
ディスクＤの外側、つまり底部９ａの隅角部には、上記アクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心にＸＹ方向に対して回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。
このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けてディスク面Ｄ１に沿って延設されたアーム部１４と、アーム部１４を基端部を介して片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。
基部１５は、直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００４４】
アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスクＤの表面に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能とされている。なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００４５】
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、図示しない近接場光発生素子（スポット光発生素子）を有する近接場光ヘッドであるスライダ２に、レーザ光源２０からの光束を導いて近接場光（スポット光）を発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。なお、近接場光発生素子は、例えば、光学的微小開口や、ナノメートルサイズに形成された突起部等により構成されている。
【００４６】
図２は、スライダ２を上向きにした状態でサスペンション３をスライダ２側から見た斜視図である。図３は、スライダ２を上向きにした状態でジンバル１７を見た平面図である。図４は、図３のＥ−Ｅ’線に沿う断面図であり、スライダ２を上向きにした状態におけるサスペンション３先端の断面図である。
図２から図４に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上記スライダ２をディスクＤから浮上させるサスペンションとして機能するものであり、スライダ２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、スライダ２を、ディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち、２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６とを備えている。
【００４７】
まず上記スライダ２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。スライダ２は、先端側に固定された再生素子（不図示）と、該再生素子に隣接して固定された記録素子（不図示）とを備えている。また、スライダ２は、記録素子を間に挟んで再生素子の反対側に、レーザ光源２０から出射された光束を集光させる図示しない集光レンズ（光学系）と、該集光レンズによって集光された光束から近接場光を発生させる上記近接場光発生素子とを有している。つまり、スライダ２には、先端部に再生素子、記録素子、近接場光発生素子が並んだ状態で配置されている。
【００４８】
また、スライダ２の下面は、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。具体的には、スライダ２をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ２をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ２を最適な状態で浮上させるように設計されている。
スライダ２は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けているとともに、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ２は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上するようになっている。
【００４９】
上記サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された上面視略三角状のロードビーム２４とで構成されている。
【００５０】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されるようになっている。ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の全面に亘って形成された平板状のものであり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａとして形成されている。延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分には幅方向内側、つまり互いの延出部２３ａに向かう方向に幅が拡大する拡大部２３ｂが形成されている。この拡大部２３ｂの上面には、ロードビーム２４が連結されている。
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。これにより、サスペンション３はベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００５１】
サスペンション３上には、フレクシャ２５が設けられている。フレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。フレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３上に沿って延在する支持体１８とで構成されている。
【００５２】
図３，４に示すように、ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。
また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠き部２６が形成されており、この切欠き部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部（舌片部）１７ｂが形成されている。つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠き部２６を備えている。これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂ上に上記スライダ２が載置固定されている。つまり、スライダ２は、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。
【００５３】
また、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及びスライダ２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、スライダ２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。この浮上する力は、突起部１９からロードビーム２４に伝わって、ヒンジ板２３を撓ませるように作用する。また、ディスクＤのうねり等により、スライダ２にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、スライダ２及びパッド部１７ｂは、突起部１９を中心としてＸ軸及びＹ軸の２軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりによるＺ方向の変位（ディスク面Ｄ１に略直交する方向への変位）を吸収することができ、スライダ２の姿勢が安定するようになっている。なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。
【００５４】
図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３上をアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、アーム部１４の基部１５に至るまで引き回されている。
【００５５】
図５は、キャリッジ１１の基部１５に取り付けられたターミナル基板３０の平面図である。
図１，５に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５とスライダ２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。制御部５とターミナル基板３０とは可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０とスライダ２とは、電気配線３１により接続されている。電気配線３１は、各キャリッジ１１毎に設けられたスライダ２の数に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介してスライダ２に出力されるようになっている。
【００５６】
また、ターミナル基板３０上には、スライダ２の集光レンズに向けて光束を供給する上記レーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束を出射するものであり、各アーム部１４に設けられたスライダ２の数に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、各レーザ光源２０から出射された光束をスライダ２の集光レンズまで導く光導波路３２が接続されている。
【００５７】
図６は、図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図であり、図７は図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
図３及び図５から図７に示すように、各スライダ２に対応する１個の光導波路３２と１組の電気配線３１とは、レーザ光源２０とスライダ２との間において、その基端側から先端に至るまで一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。この光電気複合配線３３は、ターミナル基板３０の表面からアーム部１４の側面を通って、アーム部１４上に引き回されている。具体的には、光電気複合配線３３は、アーム部１４及びサスペンション３上において、フレクシャ２５の上述した支持体１８（図２参照）上に配置されており、支持体１８を間に挟んだ状態でサスペンション３の先端まで引き回されている。このように、光電気複合配線３３が撓み変形可能な支持体１８上に形成されているため、スライダ２の移動時やサスペンション３の変形時等には、光電気複合配線３３が支持体１８とともに追従するように変形する。これにより、光電気複合配線３３の断線等を防ぐことができる。
【００５８】
光電気複合配線３３を構成する上記光導波路３２は、厚さが例えば３〜１０μｍで形成され、レーザ光源２０から出射された光束を全反射条件で導くコア３５と、厚さが例えば数十μｍで形成され、コア３５の屈折率より低い屈折率の材料からなり、コア３５に密着してコア３５を封止するクラッド３４とを有している。そして、レーザ光源２０から出射された光束はコア３５とクラッド３４との間の屈折率の違いにより全反射条件でスライダ２の集光レンズまで導かれるようになっている。
【００５９】
なお、クラッド３４及びコア３５として使用される材料の組み合わせの一例を記載すると、例えばＰＭＭＡ（メタクリル酸メチル樹脂）により、厚さが３〜１０μｍでコア３５を形成し、フッ素含有重合体により、厚さが数十μｍでクラッド３４を形成する組み合わせが考えられる。また、コア３５及びクラッド３４をともにエポキシ樹脂（例えば、コア屈折率１．５２２〜１．５２３、クラッド屈折率１．５１８〜１．５１９）で構成したり、フッ素化ポリイミドで構成したりすることも可能である。また、コア３５とクラッド３４との屈折率差が大きいほど、コア３５内に光束を閉じ込める力が大きくなるので、コア３５とクラッド３４とを構成する樹脂材料の配合等を調整して、両者の屈折率差を大きくすることが好ましい。例えば、フッ素化ポリイミドの場合、フッ素含有量を調整したり、放射光等のエネルギー照射によって、屈折率を制御することができる。
【００６０】
また、電気配線３１は、アルミニウムや銅等からなり、クラッド３４内にコア３５とともに閉じ込められている。
【００６１】
光電気複合配線３３のうち、光導波路３２の構成材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合配線３３を半導体プロセスにより製造することが可能である。
半導体プロセスを利用した本実施形態の光電気複合配線３３の製造方法について、より具体的に説明する。まず支持体１８上にクラッド３４の構成材料を塗布した後、フォトリソグラフィ技術等によりパターニングする。続いて、クラッド３４上にスパッタ法、ＣＶＤ法等により電気配線３１の構成材料を成膜し、複数の電気配線３１としてパターニングする。そして、電気配線３１の間、つまりクラッド３４のＹＺ平面における中心にコア３５の構成材料を塗布した後、パターニングし、再びクラッド３４の構成材料を塗布する。その後、パターニングすることで、本実施形態の光電気複合配線３３を形成することが可能である。
このように、光導波路３２と電気配線３１とを樹脂材料からなるクラッド３４により一体的に形成することで、これらを半導体プロセスにて一括して形成することができる。そして、半導体プロセスを利用して光電気複合配線３３を製造することで、光導波路３２と電気配線３１とを別体で形成する場合に比べて、量産の容易さから製造効率を向上させた上で、加工精度を向上させることができる。また、製造コストの低下を図ることができる。
【００６２】
図６及び図７に示すように、光電気複合配線３３は、クラッド３４の幅方向（ＹＺ平面）における断面視中心に光導波路３２のコア３５が配置され、光導波路３２の両側方から光導波路３２を挟むように電気配線３１が２本ずつ配されている。つまり、光電気複合配線３３は、コア３５を中心にして対称に構成されている。このように、コア３５と電気配線３１とが、ともにクラッド３４により封止されることで、光導波路３２と電気配線３１と一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。
【００６３】
また図３に示すように、光電気複合配線３３は、サスペンション３の先端、具体的にはジンバル１７の中間位置において電気配線３１と光導波路３２とに分岐しており、この分岐地点Ｃからスライダ２に至るまでの光導波路３２の曲率半径が電気配線３１の曲率半径よりも大きくなっている。
【００６４】
具体的には、光導波路３２は、光電気複合配線３３の先端側における分岐地点Ｃからジンバル１７の長手方向に沿って延在しており、ジンバル１７の切欠き部２６を跨いでスライダ２の基端側に直接接続されている。光導波路３２は、光電気複合配線３３の分岐地点Ｃにおいてジンバル１７の下面から離間されており、分岐地点Ｃからスライダ２の基端側に向かうにつれ、パッド部１７ｂとジンバル１７との間を架け渡すように僅かながら浮いた状態で延在している。つまり、ジンバル１７の下面において、光導波路３２は略直線的（曲率半径が略無限大）に延在した状態でスライダ２の基端面側に引き回されている。スライダ２の基端面側に引き回された光導波路３２は、スライダ２内で集光レンズを介してスライダ２の先端面側に設けられた近接場光発生素子に接続されている。
【００６５】
一方、分岐地点Ｃにおいて、電気配線３１はジンバル１７の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル１７の外周部分、つまり切欠き部２６の外側から引き回されている。そして、切欠き部２６の外側から引き回された電気配線３１は、連結部１７ａ上を通ってスライダ２の先端面側に接続されている。すなわち、電気配線３１は、スライダ２の先端面側に設けられた上記再生素子や記録素子に対して、スライダ２の外部から直接接続されている。
【００６６】
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置にスライダ２を位置させることができる。
【００６７】
ここで、キャリッジ１１の基部１５が、ピボット軸１０まわりを回動可能に構成されているため、アーム部１４は、ピボット軸１０を回転中心としてディスク面Ｄ１に平行な方向に移動する。この時、基部１５のターミナル基板３０上にレーザ光源２０を設けることで、スライダ２にレーザ光源２０搭載した場合に比べて、スライダ２の移動時においてキャリッジ１１に作用するモーメントが小さい。したがって、トラッキングの精度を維持することができる。また、ターミナル基板３０は、制御部５とスライダ２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、電気配線３１はターミナル基板３０を基点としてスライダ２に引き回される。つまり、ターミナル基板３０上にレーザ光源２０を配置することで、光導波路３２と電気配線３１との基端部同士が近接することになり、光電気複合配線３３を容易に形成することができる。
【００６８】
次いで、レーザ光源２０から光束を光導波路３２（光電気複合配線３３）に入射させて、光束をスライダ２に導く。本実施形態の情報記録再生装置１にあっては、スライダ２の集光レンズに光束を供給するレーザ光源２０が、スライダ２の基部１５におけるターミナル基板３０上に設けられている。この場合、レーザ光源２０から出射された光束は、光電気複合配線３３におけるコア３５の一端側からコア３５内に導入され、コア３５とクラッド３４との界面で全反射を繰り返しながらスライダ２に向かって伝播される。この時、コア３５の内部を伝播される光束は、スライダ２内で集光レンズによって集光され、スポットサイズが徐々に絞り込まれる。これにより、近接場光発生素子の周囲には、近接場光が滲み出るように発生する。また、コア３５はクラッド３４が密着した状態で封止されているので、伝播している光束が途中でコア３５の外部に漏れることがない。よって、導入された光束を無駄にすることなく効率良く近接場光にすることができる。
【００６９】
そして、近接場光が入射されたディスクＤは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。一方、制御部５によってスライダ２の記録素子に電流が供給されると、電磁石の原理によりディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と記録素子で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。
これに対して、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、記録素子に隣接して固定されている再生素子が、ディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
このように、スライダ２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。
【００７０】
ここで、スライダ２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ２は、浮上面２ａがディスクＤに対向しているので、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ２はディスクＤ上から離間した位置に浮遊している状態となっている。
この際スライダ２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるので、スライダ２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上述したようにスライダ２は浮上する。なお、サスペンション３には、ベースプレート２２とロードビーム２４とがヒンジ板２３を介して連結されているため、ベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に撓み易くなっている。
【００７１】
またスライダ２は、ディスクＤのうねりに起因して発生する風圧（ＸＹ方向に向かう風圧）を受けたとしても、ジンバル手段１６、即ち、突起部１９の先端に点接触したパッド部１７ｂを介してＸＹ軸回りに捩じれるようになっている。そのため、うねりによるＺ方向への変位を吸収することができ、浮上している際のスライダ２の姿勢を安定にすることができる。
【００７２】
このように、本実施形態の情報記録再生装置１では、光導波路３２と、電気配線３１とを備え、レーザ光源２０とスライダ２との間において、クラッド３４内に電気配線３１をコア３５とともに封止することにより、光導波路３２と電気配線３１とが光電気複合配線３３として一体的に形成されている構成とした。
この構成によれば、光導波路３２と電気配線３１とが光電気複合配線３３として一体的に形成されているため、光導波路３２及び電気配線３１を同時に取り付けることができ、製造効率の低下を防止することができる。つまり、スライダ２から離れた位置にレーザ光源２０を配置した場合でも、光電気複合配線３３をスライダ２へ容易に引き回すことができる。
また、光導波路３２と電気配線３１とを一体的に形成しているため、従来のように各配線毎の引き回しのレイアウトを考慮する必要がなく、光電気複合配線３３の取り付けの自由度を向上させることができる。よって、光電気複合配線３３のレイアウト性を向上させることができるため、スライダ２から離れた位置、上述したようにターミナル基板３０上にレーザ光源２０を配置した場合でも、光電気複合配線３３をスライダ２へ容易に引き回すことができる。
これにより、レーザ光源２０をスライダ２から離間配置することが可能になり、光束の供給時にレーザ光源２０から発生する熱がスライダ２まで伝達する虞が極めて少なく、レーザ光源２０から発生する熱の影響を抑えることができる。したがって、スライダ２の熱膨張、反り等の影響によりスライダ２が変形するのを防止することができる。また、スライダ２の再生素子の特性を維持することができる。
【００７３】
ところで、レーザ光源２０を制御部５に配置した場合には、フラットケーブル４に光導波路を設けることになる。このフラットケーブル４が屈曲変形すると、導光損失が大きくなるという問題がある。本実施形態では、キャリッジ１１の基部１５にレーザ光源２０を設けるため、フラットケーブル４に光導波路を設ける必要がないので、導光損失を抑制することができる。
さらに、本実施形態においては、上述したように光電気複合配線３３のレイアウト性を向上することができるため、光電気複合配線３３の屈曲が小さい。これにより、光電気複合配線３３の光導波路３２内を通過する光束の導光損失を低減することができ、光伝搬効率を維持することができる。
【００７４】
ここで、コア３５と電気配線３１とを同一のクラッド３４により封止することで、光導波路３２と電気配線３１とを別体で形成する場合に比べて、コア３５と各電器配線３１との間や各電器配線３１同士の間の間隔を縮小することができる。また、各電器配線３１毎に絶縁材等を被覆する必要もないため、光電気複合配線３３の小型軽量化を図ることができる。そして、クラッド３４により電気配線３１間の絶縁性を確保することができるため、各電気配線３１の引き回しが容易になる。
さらに、クラッド３４の断面における略中心にコア３５を配置するとともに、コア３５を中心として電気配線３１を対称に配置することで、複数の電気配線３１がコア３５の両側方に分散することになる。これにより、コア３５の片側のみに電気配線３１をまとめた場合に比べて、電気配線３１の引き回しスペースを確保することができるため、各電器配線３１間のレイアウト性を向上させることができる。したがって、コア３５と電気配線３１とのスライダ２への接続が容易になる。また、光電気複合配線３３からスライダ２に作用する力が均等になる。
したがって、光電気複合配線３３がスライダ２の姿勢制御の妨げになることを防ぎ、スライダ２の浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。
【００７５】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００７６】
例えば、図８に示すように、光電気複合配線３３とフレクシャ２５との間に下地膜５０を設けるような構成も可能である。この下地膜５０は、ポリイミド等の絶縁性を有する材料からなり、これにより電気配線３１とフレクシャ２５との間の絶縁性をより確実に確保することができる。
また、上述の実施形態では、図６に示すように、光導波路３２を中心として電気配線３１を対称に配置する場合について説明したが、電気配線３１と光導波路３２とのレイアウトは適宜設計変更が可能である。例えば、図９に示すように、クラッド３４の幅方向（ＹＺ平面）における一端側から光導波路３２と電気配線３１とが順に並ぶように配置することも可能である。
【００７７】
さらに、上述した実施形態では、図６に示すように、光導波路３２と電気配線３１とを同一材料のクラッド３４により封止する構成について説明したが、光導波路３２と電気配線３１とが一体的に形成されていれば、コア３５と電気配線３１とをそれぞれ異なる構成材料により封止しても構わない。
具体的には、図１０に示すように、まずフレクシャ２５上に下地膜５０を介して電気配線３１を形成する。続いて、電気配線３１を覆うようにポリイミド等からなる被膜５１を形成した後、被膜５１上に上述した光導波路３２を形成する。この構成によれば、コア３５と電気配線３１とをそれぞれ異なる構成材料により封止することができるため、被膜５１とクラッド３４とのそれぞれの条件に最適な構成材料を自由に選択することができる。
【００７８】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図１１は、本発明の第２実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図１１に示すように、本実施形態の光導波路１３２は、クラッド３４におけるコア３５のＹ方向両側に一対のトンネル部１０１が形成されている。これらトンネル部１０１は、コア３５を両側から挟むように配置された空間であり、コア３５の延出方向と平行に延出している。すなわち、トンネル部１０１は、クラッド３４内に形成された延出方向に直交する断面（ＹＺ平面）が平面視矩形状の空間であり、その内部には空気または適当な気体が充填されている。なお、トンネル部１０１内を真空に保持してもよい。すなわち、トンネル部１０１の屈折率は約１となる。
【００７９】
したがって、本実施形態によれば、上述した第１実施形態と同様の効果を奏するとともに、コア３５の両側にトンネル部１０１を配置することで、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つことができる（単一偏波面保持）。そのため、コア３５内に特定方向の直線偏光のみを流通させることができるので、スライダ２への入射光のスポット形状を最適化することが可能になり、スポットサイズ変換器４０においてスポット光を効率よく発生させることができる。
なお、トンネル部１０１の断面形状は矩形状に限らず、円形等の種々の形状を採用することが可能である。また、トンネル部１０１の数は２つ以上の複数設けてもよい。さらに、トンネル部１０１のレイアウトは、コア３５のＸ方向両側に一対配置したり、コア３５の周囲を囲むように配置したりする等、適宜設計変更が可能である。
【００８０】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図１２は、本発明の第３実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図１２に示すように、本実施形態の光導波路２３２は、クラッド３４におけるコア３５のＹ方向両側に一対の応力付与部２０１が形成されている。これら応力付与部２０１は、コア３５を両側から挟むように配置された断面矩形状のものであり、コア３５の延出方向と平行に延出している。
【００８１】
応力付与部２０１の形成材料としては、光導波路２３２を構成する材料と線膨張係数が異なる材料、例えば、アルミニウム、ニッケル等の金属や液晶ポリマー等の合成樹脂等を採用することが可能である。この場合、応力付与部２０１とクラッド３４との相対的な熱膨張・熱収縮によって、コア３５の延出方向に直交する方向に圧縮応力が作用することになる。
したがって、本実施形態によれば、上述した第２実施形態と同様に、コア３５のＹ方向両側に応力付与部２０１を配置することで、コア３５には両側から均等に圧縮応力が作用することになる。この圧縮応力がコア３５に複屈折性を生じさせ、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束Ｌをスライダ２へ導くことができる。
【００８２】
なお、応力付与部２０１の製造方法としては、上述した方法以外に以下の方法によっても形成することができる。すなわち、クラッド３４の形成材料にシリカガラス等を用い、このクラッド３４の応力付与部２０１の形成領域に対してイオンビームを照射することで、照射領域のみが局所的に高密度になる。これにより、イオンビームの照射領域が応力付与部２０１となり、この応力付与部２０１からコア３５に向けて圧縮応力が作用することになる。この場合、温度変化によって圧縮応力が変化しないため、温度依存性がなく信頼性の高い応力付与部２０１を形成することができる。
【００８３】
また、上述した第２実施形態のトンネル部１０１と同様に、応力付与部２０１の断面形状は矩形状に限らず、円形等の種々の形状を採用することが可能である。また、応力付与部２０１の数は２つ以上の複数設けてもよい。さらに、応力付与部２０１のレイアウトは、コア３５のＸ方向両側に一対配置したり、コア３５の周囲を囲むように配置したりする等、適宜設計変更が可能である。
【００８４】
さらに、応力付与部の構成としては、上述した構成の他に以下に示すような構成が可能である。例えば、図１３に示すように、光導波路３３２は、クラッド３４の表面（ディスク面Ｄ１との対向面）上に配置された応力付与部３０１を備えている。この応力付与部３０１は上述した応力付与部２０１と同様の形成材料により構成され、コア３５の直上に配置されている。この場合、応力付与部３０１からはコア３５の上方からコア３５を圧縮する方向に応力が作用する。これにより、上述した第３実施形態と同様の効果を奏することができる。また、この構成によれば、クラッド３４上に応力付与部３０１を配置するのみの簡素な構成であるため、製造効率の増加を防止することもできる。
【００８５】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図１４は、本発明の第４実施形態を示す図３のＡ−Ａ’線に相当する断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図１４に示すように、本実施形態の光導波路４３２は、コア４３５の延出方向に直交する断面（ＹＺ平面）が長方形状に形成されている点で、上述した第１実施形態と相違している。より詳しく説明すると、コア４３５は、ＹＺ平面において長辺と短辺の長さが異なるように設定されており、その長辺方向をＹ方向に一致させるとともに、短辺方向をＺ方向に一致させた状態で形成されている。この場合、コア４３５の長辺の長さは、短辺の長さの１倍を超えていれば本発明の効果を奏するのは勿論であり、１．１倍以上（すなわち、アスペクト比が１．１：１以上）であることがより好ましい。
【００８６】
このように、コア４３５のＹＺ平面において長辺と短辺の長さを異ならせることで、上述した第２，３実施形態と同様に、光束Ｌの振動面を一定の方向に保つことができるため、直線偏光を維持した状態で光束Ｌをスライダ２へ導くことができる。この場合、本実施形態のコア４３５は、上述した第１〜３実施形態のような断面正方形状のコア３５の製造方法と、同一の製造方法により製造することができる。すなわち、光導波路４３２と電気配線３１とを半導体プロセスにて一括して製造する際に、コア４３５の膜厚のみを適宜変更するだけであるので、製造コストの増加及び製造効率の低下を防止することができる。
なお、図１５に示すように、ＹＺ平面において、コア５３５の長辺をＺ方向に一致させるとともに、短辺をＹ方向に一致させるような光導波路５３２を採用してもよい。この構成によっても、上述した効果と同様の効果を奏することができる。また、図示しないが、コアの断面形状は長方形状に限らず、楕円形状等の扁平形状であれば、適宜設計変更が可能である。この場合も、コアの長軸が短軸の１倍以上、より好ましくは長軸と短軸との比が１：１．１以上に設定されていればよい。すなわち、コアは、延出方向（Ｘ方向）に直交する２方向（Ｙ方向、Ｚ方向）の長さがそれぞれ異なるように形成されていればよい。
【００８７】
なお、上述の各実施形態では、スライダを浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面に対向配置されていればディスクとスライダとが接触していても構わない。つまり、本発明のスライダは、コンタクトスライダタイプのスライダであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【００８８】
また、各実施形態では、アーム部の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリが設けられている構成について説明したが、各ディスク間に差し入れられるアーム部の両面に、各ディスクに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリを設けるような構成も可能である。この場合、アーム部の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリの各スライダにより、各スライダに対向するディスク面の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部により２枚のディスクの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
さらに、上述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００８９】
Ｄディスク（磁気記録媒体）  Ｄ１ディスク面（磁気記録媒体の表面）  １情報記録再生装置  ２スライダ  ５制御部  １０ピボット軸  １１キャリッジ  １４アーム部  １５キャリッジの基部  １６ジンバル手段  ２０レーザ光源（光源）  ３１電気配線  ３２，１３２，２３２，３３２，４３２，５３２光導波路  ３３光電気複合配線  ３４クラッド  ３５，４３５，５３５コア  ５０下地膜  １０１トンネル部  ２０１，３０１応力付与部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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