(57)【要約】【課題】駆動部の温度変化による影響を低減することができる駆動装置及び光学機器を提供する。【解決手段】本発明の振動アクチュエータの駆動装置（１０，１０Ａ）は、駆動により温度が変化する駆動部（７，１４）と、前記駆動部（７，１４）の温度を検出する検出部（１７，１７ａ，１７ｂ）と、前記駆動部（７，１４）に近接して備えられペルチェ効果を用いて前記駆動部（７，１４）の温度を調整する温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）と、前記検出部（１７，１７ａ，１７ｂ）による検出結果に応じて前記温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）を制御する制御部（１１）とを含むことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動により温度が変化する駆動部と、
前記駆動部の温度を検出する検出部と、
前記駆動部に近接して備えられペルチェ効果を用いて前記駆動部の温度を調整する温度調節部と、
前記検出部による検出結果に応じて前記温度調節部を制御する制御部とを含むことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載された駆動装置であって、
前記駆動部は、振動を発生させる振動部と、前記振動部に対して相対的に回転可能な相対回転部とを有する振動アクチュエータであり、
前記温度調節部は、前記振動アクチュエータの回転軸に交差する面に備えられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１に記載された駆動装置であって、
前記駆動部は、振動を発生させる振動部と、前記振動部に対して相対的に移動可能な相対移動部とを有する振動アクチュエータであり、
前記温度調節部は、前記振動部の前記相対移動部が備えられた側とは反対側に備えられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載された駆動装置であって、
前記振動アクチュエータと前記温度調節部との間に備えられた絶縁部材を有することを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１に記載された駆動装置であって、
前記駆動部は、振動を発生させる振動部に対して相対的に移動可能な相対移動部を有する振動アクチュエータを駆動させるための駆動回路であることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記駆動部は、振動を発生させる振動部に対して相対的に移動可能な相対移動部を有する振動アクチュエータと、
前記振動アクチュエータの速度に応じた周波数の信号を出力する発振器と、前記発振器から出力された信号の位相を調整する位相器と、前記発振器から出力された信号及び前記位相器から出力された信号を用いて前記振動アクチュエータを駆動させるための信号を出力する増幅器とを有する駆動回路とを含むことを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までの何れか１項に記載された駆動装置であって、
前記温度調節部の前記駆動部が備えられた側とは異なる側に備えられ、前記温度調節部の熱を放熱する放熱部材を有することを特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置を含むことを特徴とする光学機器。
【請求項９】
請求項８に記載された光学機器であって、
前記駆動部により駆動される光学系と、
前記光学系による像を撮像する撮像部とを含み、
前記制御部は、前記駆動部により前記光学系が駆動していないとき、又は、前記撮像部が前記光学系による像を撮像していないときに、前記温度調節部を制御することを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置及びそれを備えた光学機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動アクチュエータの駆動特性は、振動アクチュエータの温度によって変化する。このため、従来、振動アクチュエータの環境温度を測定し、環境温度の変化に応じて振動アクチュエータの制御を変更する駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この駆動装置によると、環境温度の影響を受けずに振動アクチュエータを駆動することができる。
【特許文献１】特開平１０−１６４８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、近年、振動アクチュエータの小型化が進み、所定の駆動量を得るために、振動アクチュエータの回転速度をより高速にする必要が生じている。振動アクチュエータの回転速度を高速にすると、振動アクチュエータ自体の発熱が大きくなる。振動アクチュエータ自体の発熱が大きくなって環境温度との差が大きくなると、環境温度に応じて振動アクチュエータの駆動を制御しても、所望の駆動が得られない場合がある。
【０００４】
本発明の課題は、駆動部の温度変化による影響を低減することができる駆動装置及び光学機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００６】
請求項１に記載の発明は、駆動により温度が変化する駆動部（７，１４）と、前記駆動部（７，１４）の温度を検出する検出部（１７，１７ａ，１７ｂ）と、前記駆動部（７，１４）に近接して備えられペルチェ効果を用いて前記駆動部（７，１４）の温度を調整する温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）と、前記検出部（１７，１７ａ，１７ｂ）による検出結果に応じて前記温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）を制御する制御部（１１）とを含むことを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）であって、前記駆動部（７）は、振動を発生させる振動部（２１）と、前記振動部（２１）に対して相対的に回転可能な相対回転部（２２）とを有する振動アクチュエータ（７）であり、前記温度調節部（１５，１８）は、前記振動アクチュエータ（７）の回転軸に交差する面に備えられていることを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）であって、前記駆動部（７）は、振動を発生させる振動部（２１）と、前記振動部（２１）に対して相対的に移動可能な相対移動部（２２）とを有する振動アクチュエータ（７）であり、前記温度調節部（１５，１８）は、前記振動部（２１）の前記相対移動部（２２）が備えられた側とは反対側に備えられていることを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項４に記載の発明は、請求項２又は請求項３に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）であって、前記振動アクチュエータ（７）と前記温度調節部（１８）との間に備えられた絶縁部材（２４）を有することを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）であって、前記駆動装置（１４）は、振動を発生させる振動部（２１）に対して相対的に移動可能な相対移動部（２２）を有する振動アクチュエータ（７）を駆動させるための駆動回路（７）であることを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）であって、前記駆動部（７，１４）は、振動を発生させる振動部（２１）に対して相対的に移動可能な相対移動部を有する振動アクチュエータ（７）と、前記振動アクチュエータ（７）の速度に応じた周波数の信号を出力する発振器（１２）と、前記発振器から出力された信号の位相を調整する位相器（１３）と、前記発振器から出力された信号及び前記位相器から出力された信号を用いて前記振動アクチュエータ（７）を駆動させるための信号を出力する増幅器（１４）とを有する駆動回路とを含むことを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項６までの何れか１項に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）であって、前記温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）の前記駆動部（７，１４）が備えられた側とは異なる側に備えられ、前記温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）の熱を放熱する放熱部材を有することを特徴とする駆動装置（１０，１０Ａ）である。
請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７までの何れか１項に記載された駆動装置（１０，１０Ａ）を含むことを特徴とする光学機器（１）である。
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載された光学機器（１）であって、前記駆動部（７）により駆動される光学系（４）と、前記光学系（４）による像を撮像する撮像部（６）とを含み、前記制御部（１１）は、前記駆動部（７）により前記光学系が駆動していないとき、又は、前記撮像部（６）が前記光学系による像を撮像していないときに、前記温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）を制御することを特徴とする光学機器（１）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、振動アクチュエータの駆動特性に対する振動アクチュエータ自体の発熱の影響を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態の駆動装置１０を備えるカメラ１の概略図である。カメラ１は、撮像部６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備えている。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１では、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒を備えたカメラ１であってもよい。
【０００９】
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ７、及びその超音波モータ７の駆動装置１０を備えている。本実施形態で超音波モータ７は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ７から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４は、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ７の駆動力によってカム筒５が回転すると、レンズ４は、カム筒５とのカム係合によって光軸方向へ移動して、焦点調節が行われる。
【００１０】
図２は、駆動装置１０のシステムを示す図である。駆動装置１０は、駆動装置１０全体を制御するＭＣＵ１１と、ＭＣＵ１１に接続され、所定の周波数の駆動信号を出力する発振器１２と、発振器１２から出力された駆動信号の一部を移相して出力する移相器１３と、発振器１２及び移相器１３から出力された、互いに位相の異なる２つの駆動信号をそれぞれ増幅して出力する増幅器１４と、を備え、増幅器１４から出力される２つの出力は、熱電変換器である超音波モータ７の電極７１に入力される。
【００１１】
また、駆動装置１０は、超音波モータ７の駆動速度（回転速度）を検出する速度検出器１６と、超音波モータ７の温度Ｔを測定する温度検出器１７とを備える。速度検出器１６及び温度検出器１７の出力はＭＣＵ１１に接続されている。さらに、駆動装置１０は、温度制御器１５を備える。温度制御器１５は、超音波モータ７に取り付けられたペルチェ素子１８に接続されている。
【００１２】
発振器１２は、周波数ｆを有する駆動信号Ａ１を出力する。この発振器１２が発振する周波数ｆは可変であり、周波数ｆを変更することで、超音波モータ７の駆動速度を変更することができる。
【００１３】
移相器１３は、発振器１２から出力される駆動信号Ａ１を基準（位相０°）とし、回転の方向に応じて−９０度又は＋９０度で移相した駆動信号Ｂ１を出力する。増幅器１４は、図示しないスイッチング素子を備え、スイッチング素子の通電時間を制御することにより、電圧振幅を調整する。
【００１４】
速度検出器１６は、超音波モータ７の駆動速度を検出するための、例えばエンコーダ等の装置である。超音波モータ７により達成される駆動速度の検出結果はＭＣＵ１１に伝達され、発振器１２にフィードバックされる。
【００１５】
温度検出器１７は、超音波モータ７の温度Ｔを検出するための、例えば非接触式の温度センサである。ただし、これに限定されず、接触式の温度センサであってもよい。温度検出器１７は、超音波モータ７における摺動部分の温度を測定する。摺動部分とは、後述の振動子２１と移動子２２の摺動材２３との接触部の周辺部であり、実際に温度検出器１７が測定する温度は、振動子１１側の温度であってもよく、移動子２２側の温度であってもよい。
【００１６】
図３は振動波アクチュエータとして本実施形態を適用する円環型超音波モータの概略断面図である。超音波モータ７は、振動子２１と移動子２２とを備える。以下、振動子２１における移動子２２が設けられている側を、Ｚプラス方向として説明する。超音波モータ７は、図示するように、さらに、移動子２２のＺマイナス側に取り付けられた摺動材２３と、振動子２１のＺマイナス側に向かって順に取り付けられている絶縁体２４と、ペルチェ素子１８と放熱部材９０を備える。
【００１７】
振動子２１は、弾性体２６と圧電体２７とを備える。弾性体２６は、ステンレス材料やインバー材料等の鉄合金や真鍮等の弾性変形が可能な金属材料を用いて形成された略円環形状の部材であり、Ｚマイナス側の端面には、圧電体２７が設けられ、Ｚオプラス側の面には、櫛歯部（図示せず）が形成されている。この櫛歯部の先端は、圧電体２７の励振により、進行波が発生し、移動子２２に取り付けられた摺動材２３を駆動する駆動部分となる。
【００１８】
圧電体２７は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有し、本実施形態では、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いて形成されている。この圧電体２７は、駆動信号が入力される電極（図示せず）の領域毎に複数形成され、弾性体２６に焼結されている。電極は、フレキシブルプリント基板（図示せず）と電気的に接続しており、このフレキシブルプリント基板から供給される駆動信号によって、圧電体２７が励振される。移動子２２は、略円環形状の部材であり、弾性体２６の駆動面に摺動材２３を介して加圧接触され、弾性体２６の進行波によって摩擦駆動される。
【００１９】
ペルチェ素子１８は、２種類の金属を備え、その接合部に電流を流すと、片方の金属からもう片方へ熱が移動するというペルチェ効果（Ｐｅｌｔｉｅｒ  ｅｆｆｅｃｔ）を利用した板状の半導体素子である。直流電流を流すと、一方の面が吸熱し、反対面に発熱が起こる。電流の極性を逆転させると、その関係が反転し高精度の温度制御を行うことができる。絶縁体２４は圧電体２７とペルチェ素子１８との間の導通を防止するために設けられている部材である。放熱部材９０は、例えば、略円環形状の金属である。放熱部材９０がペルチェ素子１８のＺマイナス側の端面に接触しているので、ペルチェ素子１８の熱は、放熱部材９０を介して効率良く逃がされる。
【００２０】
次に、本実施形態の駆動装置１０の動作について説明する。カメラボディ２内のＣＰＵ（図示せず）からの信号により、所望のレンズの駆動速度の情報がＭＣＵ１１に伝達される。ＭＣＵ１１は、超音波モータ７が駆動速度を達成するための周波数ｆの駆動信号Ａ１を発振するように発振器１２に指示する。発振器１２は周波数ｆの駆動信号Ａ１を出力する。
【００２１】
ＭＣＵ１１は、移相器１３に対して駆動信号Ａ１を速度の方向に応じて９０度プラス又はマイナスに移相するように指示する。移相器１３はＭＣＵ１１の指示により駆動信号Ａ１を移相した駆動信号Ｂ１を出力する。増幅器１４は、駆動信号Ａ１と駆動信号Ｂ１とを増幅する。増幅された駆動信号Ａ２及びＢ２は超音波モータ７の電極７１に入力され、超音波モータ７が駆動される。超音波モータ７の駆動速度は、速度検出器１６により検出される。そして、この駆動速度の検出結果は、ＭＣＵ１１に入力され、実際の駆動速度と希望する駆動速度とが異なる場合、発振器１２から発信される駆動信号Ａ１の周波数Δｆが修正される。
【００２２】
超音波モータ７が駆動されると、弾性体２６と摺動材２３との間の摩擦により超音波モータ７の温度は上昇してくる。図４は、超音波モータ７の温度Ｔが高温Ｔ（ｈ）、基準温度Ｔ（０）、低温Ｔ（ｃ）の場合における駆動信号の周波数ｆと超音波モータ７の駆動速度との関係を示した図である。図示するように、周波数が同じｆ（０）であっても、基準温度Ｔ（０）における駆動速度（０）を基準として、高温Ｔ（ｈ）では駆動速度（ｈ）は遅く、低温Ｔ（ｃ）では駆動速度（ｃ）は速くなる。
【００２３】
これは、温度が上昇すると超音波モータ７の静電容量Ｃが大きくなるからである。静電容量Ｃが大きくなると、超音波モータ７に供給される電力の波形が変化し、超音波モータ７の駆動力が小さくなる。この場合、所望の駆動力を得るためには、発振器から発振される周波数の更なる調整が必要となり、制御が複雑になる。また、増幅器１４の増幅率の変更や駆動装置１０に加える電力の増加が必要となる可能性もある。
【００２４】
本実施形態では、温度検出器１６が設けられ、超音波モータ７の駆動部分の温度を検出される。検出された温度はＭＣＵ１１に入力される。ＭＣＵ１１は超音波モータ７の温度が上昇すると、超音波モータ７が冷却されるような電流がペルチェ素子１８に供給されるように、温度制御器１５を制御する。ペルチェ素子１８によって超音波モータ７は絶縁体２４側より吸熱されるため、超音波モータ７の温度を下げることができる。したがって、所望の駆動力を得るために、発振器１２から発振される周波数の更なる調整は必要なく、増幅器１４の増幅率の変更や駆動装置１０に加える電力の増加も不要である。
【００２５】
以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）本実施形態では、超音波モータ７の温度を測定し、超音波モータ７の温度が変化したらそれを打ち消すようペルチェ素子を作動させる。したがって、超音波モータ７の温度を一定に保つことができる。このようにして超音波モータ７の駆動特性を一定に保つことができる。
（２）本実施形態では、圧電体２７とペルチェ素子１８との間に絶縁体２４が設けられているため、圧電体２７とペルチェ素子１８との間の導通を防止することができる。
（３）また、本実施形態では、圧電体２７と放熱部材９０との間の小さなスペースにペルチェ素子１８を配置しているので装置の小型化を図ることができる。
（４）また、本実施形態では、交流信号で制御するファン（モータ）を用いることなく直流信号で制御可能なペルチェ素子１８を用いているので回路設計の複雑化を回避し得る。
（５）さらに、本実施形態では、空気の対流で温度を制御するファンを用いていないので、空気を対流させるスペースが不要であり、圧電体２７にペルチェ素子１８を密着させることができ、装置の小型化を図ることができる。
【００２６】
（第２実施形態）
図５は本発明の第２実施形態の駆動装置１０Ａのシステムを示す図である。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、増幅器１４の温度を検出する温度検出器１７ｂと増幅器１４の温度を制御する熱電変換器であるペルチェ素子１８ｂが設けられている点である。なお、第１実施形態と同一の部分は、同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００２７】
図６は、増幅器１４とペルチェ素子１８ｂの配置を示す図である。図示するように、増幅器１４は、駆動装置１０の各部を保持するベースとなる基板３０に取り付けられており、ペルチェ素子１８は、増幅器１４の基板３０と反対側の面に取り付けられている。
【００２８】
次に、本実施形態の駆動装置１０の動作について説明する。第１実施形態と同様に、所望のレンズの駆動速度の情報に基づいて、ＭＣＵ１１は、周波数ｆの駆動信号Ａ１を発振するように発振器１２に指示し、発振器１２は駆動信号Ａ１を発振する。移相器１３はＭＣＵ１１の指示により駆動信号Ａ１を移相した駆動信号Ｂ１を出力する。増幅器１４は、駆動信号Ａ１と駆動信号Ｂ１とを増幅する。増幅された駆動信号Ａ２及びＢ２は超音波モータ７の電極７１に入力され、超音波モータ７が駆動される。
【００２９】
ここで、第１実施形態と同様に超音波モータ７が駆動されると、弾性体２６と摺動材２３との間の摩擦により超音波モータ７の温度は上昇してくる。このとき、駆動装置１０Ａにおいて発熱する部分は超音波モータ７だけではない。増幅器１４は、一般にコアにコイルが巻きつけられた構造を有しており、このコイルに電流が流れることにより、増幅器１４の温度も上昇する。増幅器１４の温度が高くなると、コイルのインダクタンスＬも大きくなる。インダクタンスＬが大きくなると、超音波モータ７に供給される電力の波形が変化し、超音波モータ７の駆動力が小さくなる。この場合、第１実施形態における超音波モータ７の温度が上昇した場合と同様に、所望の駆動力を得るためには、発振器１２から発振される周波数の更なる調整が必要となり、制御が複雑になる。また、増幅器１４の増幅率の変更や駆動装置１０に加える電力の増加が必要となる可能性もある。
【００３０】
本実施形態では、増幅器１４にも温度検出器１７ｂが設けられ、増幅器１４の温度が検出される。検出された温度はＭＣＵ１１に入力される。ＭＣＵ１１は増幅器１４の温度が上昇すると、増幅器１４が冷却されるような電流がペルチェ素子７ｂに供給されるように、温度制御器１５を制御する。これにより、ペルチェ素子７ｂによって増幅器１４は吸熱され、増幅器１４の温度を下げることができる。
【００３１】
以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）増幅器１４の温度を測定し、その温度が上昇したら、それを打ち消すようペルチェ素子を作動させ、増幅器１４の温度を下げることができ、増幅器１４の過度の加熱を防止することができる。
【００３２】
（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）本実施形態では、ペルチェ素子により超音波モータ又は増幅器を冷却する形態について説明した。しかし、本発明はこれに限らず、駆動により温度が変化する部分であれば、それ以外の部分、例えばカメラであれば撮像部や表示部等をペルチェ素子によって冷却するようにしてもよい。
（２）また、駆動により温度が変化する複数の部分にペルチェ素子を取り付けておき、ペルチェ素子を制御する温度制御器を共通とし、必要に応じて駆動するペルチェ素子を切り替えることもできる。このようにすることにより温度制御器の数を少なくすることができる。
（３）上述の実施形態では、超音波モータや増幅部の温度が上昇したときにペルチェ素子により吸熱する形態について説明したが、これに限定されない。例えば超音波モータや増幅部の温度が低温の場合に、良好な駆動を行うことができる温度まで上昇させるように、ペルチェ素子に逆の電圧を加え、超音波モータや増幅部を適正な温度まで上昇させるようにすることもできる。また、温度検出器により測定された温度に応じて、超音波モータや増幅部の温度を常に一定に保つようにペルチェ素子を吸熱又は発熱の両方に用いてもよい。
（４）本実施形態では、光学機器としてカメラについて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、レンズ鏡筒、スチルカメラ、ビデオカメラ、カメラが内蔵された携帯電話などであってもよい。
（５）ペルチェ素子の発熱側に、フィン等を設け、放熱を促進するようにしてもよい。
（６）第２実施形態では、ペルチェ素子を増幅器における基板と反対側の面に取り付けたがこれに限定されず、例えば基板の裏側にペルチェ素子を取り付けてもよい。
（７）ＭＣＵは、例えば、超音波モータにより光学系が駆動されていないとき、又は、撮像部が光学系による像を撮像していないときに、温度制御器を介して超音波モータ又は増幅器の温度を制御するようにしてもよい。このようにすることにより、電力分散が図られ、電力供給部に一度に過度の負担がかかることがない。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本実施形態の駆動装置を備えるカメラの概略図である。
【図２】駆動装置のシステムを示す図である。
【図３】本実施形態を適用する円環型超音波モータの概略断面図である。
【図４】超音波モータの温度Ｔと、駆動信号の周波数ｆと、超音波モータ７の駆動速度との関係を示した図である。
【図５】本発明の第２実施形態の駆動装置のシステムを示す図である。
【図６】増幅器とペルチェ素子の配置を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１：カメラ、３：レンズ鏡筒、７：超音波モータ、１０，１０Ａ：駆動装置、１１：ＭＣＵ、１４：増幅器、１５：温度制御器、１７：温度検出器、１８，１８ａ，１８ｂ：ペルチェ素子、２１：振動子、２２：移動体
【図１】
2010136528.tif 000003
【図２】
2010136528.tif 000004
【図３】
2010136528.tif 000005
【図４】
2010136528.tif 000006
【図５】
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【図６】
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