(57)【要約】【課題】太陽電池の不良箇所を特定するためのデータを取得可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、メイン光源１１をＹ軸方向に移動させる第１ステージ１３と、メイン光源１１とサブ光源１２とをＸ軸方向に移動させる第２ステージ１４とを備える。検査装置１は、メイン光源１１の位置を変更する制御を行うと、第１バイアス光をサブ光源１２から照射させた状態で、単一波長の光をメイン光源１１から第１強度で照射させる制御と、当該単一波長光の照射を停止させる制御とを行う。検査装置１は、第１バイアス光が照射された状態で、メイン光源１１の各位置において単一波長の光が第１強度で照射されたときに太陽電池９０から出力される第１電流の電流値と、当該各位置において当該単一波長光の照射が停止されたときに太陽電池９０から出力される第２電流の電流値とを測定する測定器１９をさらに備える。測定器１９は、測定した各電流値を出力する。【選択図】図１
2010266242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池の出力を検査する検査装置であって、
前記太陽電池の受光面の第１領域に対して、少なくとも１種類の単一波長の光を照射する第１光源と、
前記受光面における、前記第１領域に隣接する第２領域に対して、予め定められた波長帯域を有する第１バイアス光を照射する第２光源と、
前記受光面に沿って前記第１光源を第１方向に移動させる第１移動手段と、
前記受光面に沿って前記第１光源と前記第２光源とを第２方向に移動させる第２移動手段と、
少なくとも、前記単一波長の光の強度と、前記第１バイアス光の照射と、前記第１移動手段による前記第１光源の移動と、前記第２移動手段による前記第１光源および前記第２光源の移動とを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記第１移動手段または前記第２移動手段に対する前記第１光源の位置を変更する制御を行うと、少なくとも前記第１バイアス光を前記第２光源から照射させた状態で、
前記単一波長の光を前記第１光源から第１強度で照射させる制御と、
当該単一波長の光を前記第１光源から前記第１強度よりも弱い第２強度で照射させる、あるいは当該単一波長光の照射を停止させる制御とを行い、
前記検査装置は、
少なくとも前記第１バイアス光を前記第２光源から照射させた状態で、前記第１光源の前記各位置において前記単一波長の光が前記第１強度で照射されたときに、前記太陽電池から出力される第１電流の電流値と、
少なくとも前記第１バイアス光を前記第２光源から照射させた状態で、前記各位置において当該単一波長光が前記第２強度で照射されたときあるいは前記各位置において当該単一波長光の照射が停止されたときに、前記太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定する測定部をさらに備え、
前記測定部は、前記測定した各電流値を出力する、検査装置。
【請求項２】
前記太陽電池は、積層型の太陽電池であり、
前記第１光源は、予め定められた波長帯域を有する第２バイアス光をさらに照射可能であって、
前記制御部は、
前記第１光源の前記位置を変更する制御を行うと、前記第２光源から前記第１バイアス光を照射させた状態において、
前記少なくとも１種類の単一波長の光と前記第２バイアス光とを同時に前記第１光源から照射させる制御と、
前記少なくとも１種類の単一波長の光の照射を停止させて前記第２バイアス光を前記第１光源から照射させる制御とを行ない、
前記測定部は、前記第１バイアス光と前記第２バイアス光とが照射された状態において、前記第１電流の電流値と前記第２電流の電流値とを測定する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記検査装置は、
前記第１電流の電流値と前記第２電流の電流値とを、当該各電流値が測定された前記第１光源の前記位置を示した位置情報に対応付けて格納する記憶部と、
前記記憶部に格納された前記第１電流の電流値と前記第２電流の電流値と前記位置情報とに基づいて、前記太陽電池における不良箇所を特定する特定部と、
前記特定された箇所を示す情報を出力する出力部とをさらに備える、請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
ｍを２以上の自然数とすると、前記太陽電池は、ｍ個の発電層を含み、各発電層は互いに電気的に直列に接続されており、
ｍ以上の自然数をｎとすると、前記第１光源は、前記少なくとも１種類の単一波長の光として、波長が互いに異なるｎ種類の単一波長の光を個別に照射可能であり、
前記制御部は、各第１領域に対して、各単一波長の光の強度を照射する制御を行う、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記太陽電池は、前記受光面に沿って複数の発電部を備え、
前記検査装置は、前記複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断するものであり、
前記第１光源は、前記複数のブロックのうちのいずれかのブロックに対して光を照射し、
前記第２光源は、少なくとも、前記第１光源が光を照射したブロックと電気的に接続された他のブロックに対して光を照射する、請求項３または４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１光源と前記第２光源とは、前記第１光源の発光面と前記第２光源の発光面とが前記受光面に対向する位置に配されており、
前記第１光源の発光面は、前記第２光源の発光面よりも前記受光面側に位置し、
前記第１光源と前記第２光源とは、前記第１光源の発光面と前記第２光源の発光面の一部とが前記第２光源の発光面から前記受光面への向きにおいて重なる位置に配されている、請求項１から５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
受光面に沿って複数の発電部を含む太陽電池の出力を検査する検査装置であって、
前記受光面の一部に対して、光を照射する光源と、
前記受光面に沿って前記光源を移動させる移動手段と、
前記光の照射によって前記太陽電池から出力される電流の電流値を測定する測定部と、
前記光の強度と前記移動手段による前記光源の移動とを制御する制御部とを備え、
前記光源は、前記受光面の一部に対して、少なくとも１種類の単一波長の光と予め定められた波長帯域を有する第１バイアス光とを照射可能であり、
前記制御部は、
発光パターンが互いに異なる、第１発光面と第２発光面とを前記光源に設定する制御と、
前記第１発光面によって、前記受光面の第１領域に対して前記少なくとも１種類の単一波長の光を照射させるとともに、前記第２発光面によって、前記第１領域に隣接する第２領域に対して前記第１バイアス光を照射させる制御と、
前記第１光源における前記第１発光面の設定位置と前記第２発光面の設定位置とを変更する制御とを行い、
前記測定部は、
前記バイアス光が照射された状態で、前記第１発光面の前記各設定位置において前記単一波長の光を第１強度で照射したときに、前記太陽電池から出力される第１電流の電流値と、
前記バイアス光が照射された状態で、前記各設定位置において当該単一波長光を前記第１強度よりも弱い第２強度で照射したときあるいは前記各設定位置において当該単一波長光の照射を停止したときに、前記太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定し、
前記測定した各電流値を出力する、検査装置。
【請求項８】
前記太陽電池は、積層型の太陽電池であり、
前記光源は、前記第１バイアス光とは波長帯域が異なる波長帯域の第２のバイアス光をさらに照射可能であり、
前記制御部は、前記第１発光面によって、前記受光面の第１領域に対して前記少なくとも１種類の単一波長の光と、前記第２のバイアス光とを照射させる、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
太陽電池の出力を検査する検査方法であって、
前記太陽電池の受光面の第１領域に対して、少なくとも１種類の単一波長の光を第１光源から照射するステップと、
前記受光面における、前記第１領域に隣接する第２領域に対して、予め定められた波長帯域を有する第１バイアス光を第２光源から照射するステップと、
第１移動手段によって、前記受光面に沿って前記第１光源を第１方向に移動させるステップと、
第２移動手段によって、前記受光面に沿って前記第１光源と前記第２光源とを第２方向に移動させるステップと、
少なくとも、前記単一波長の光の強度と、前記第１バイアス光の照射と、前記第１移動手段による前記第１光源の移動と、前記第２移動手段による前記第１光源および前記第２光源の移動とを制御するステップとを備え、
前記制御するステップは、
前記第１移動手段または前記第２移動手段に対する前記第１光源の位置を変更する制御を行うと、少なくとも前記第１バイアス光を前記第２光源から照射させた状態で、
前記単一波長の光を前記第１光源から第１強度で照射させる制御と、
当該単一波長の光を前記第１光源から前記第１強度よりも弱い第２強度で照射させる、あるいは当該単一波長光の照射を停止させる制御とを行うステップとを含み、
前記検査方法は、
少なくとも前記第１バイアス光を前記第２光源から照射させた状態で、前記第１光源の前記各位置において前記単一波長の光が前記第１強度で照射されたときに、前記太陽電池から出力される第１電流の電流値と、少なくとも前記第１バイアス光を前記第２光源から照射させた状態で、前記各位置において当該単一波長光が前記第２強度で照射されたときあるいは前記各位置において当該単一波長光の照射が停止されたときに、前記太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定するステップと、
前記測定した各電流値を出力するステップとをさらに備える、検査方法。
【請求項１０】
受光面に沿って複数の発電部を含む太陽電池の出力を検査する検査方法であって、
前記受光面の一部に対して、光源から光を照射するステップと、
移動手段によって、前記受光面に沿って前記光源を移動させるステップと、
前記光の照射によって前記太陽電池から出力される電流の電流値を測定するステップと、
前記光の強度と前記移動手段による前記光源の移動とを制御するステップとを備え、
前記光源は、前記受光面の一部に対して、少なくとも１種類の単一波長の光と予め定められた波長帯域を有するバイアス光とを照射可能であり、
前記制御するステップは、
発光パターンが互いに異なる、第１発光面と第２発光面とを前記光源に設定する制御と、
前記第１発光面によって、前記受光面の第１領域に対して前記少なくとも１種類の単一波長の光を照射させるとともに、前記第２発光面によって、前記第１領域に隣接する第２領域に対して前記バイアス光を照射させる制御と、
前記第１光源における前記第１発光面の設定位置と前記第２発光面の設定位置とを変更する制御とを行うステップを含み、
前記測定するステップは、前記バイアス光が照射された状態で、前記第１発光面の前記各設定位置において前記単一波長の光を第１強度で照射したときに、前記太陽電池から出力される第１電流の電流値と、前記バイアス光が照射された状態で、前記各設定位置において当該単一波長光を前記第１強度よりも弱い第２強度で照射したときあるいは前記各設定位置において当該単一波長光の照射を停止したときに、前記太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定するステップを含み、
前記検査方法は、前記測定された前記第１電流の電流値と、前記測定された前記第２電流の電流値を出力するステップをさらに備える、検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池の出力を検査する検査装置、および検査方法に関する。特に、本発明は、集積型太陽電池の出力を評価する際に用いる検査装置、および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池が知られている。当該太陽電池の製造後の検査や太陽電池の研究開発において、検査者や研究開発者は、太陽電池の出力特性を評価する。当該評価は、重要な検査項目または測定項目の１つである。
【０００３】
太陽電池の出力特性についてのデータを得る場合に、自然太陽光を太陽電池の受光面に照射することが考えられる。しかしながら、自然太陽光の照射は、季節や天候により、当該光の強度が変動する。したがって、自然太陽光を用いて上記データを得るのは現実的でない。
【０００４】
そこで、キセノンランプなどを用いた擬似太陽光が、自然太陽光の代わりに用いられている。擬似太陽光を用いることにより、一定の強度の光を生成できる。その結果、一定の照度で上記受光面に対して光を照射可能になる。
【０００５】
また、近年、太陽電池の受光面のサイズは大型化している。特に、１枚の基板上に多数のセルを直列接続した構造の集積型太陽電池の受光面のサイズは大型化している。上記大型化に伴い、基板上に形成する薄膜について、均一な成膜が困難となってきている。それゆえ、各太陽電池間において、太陽電池の出力特性にバラつきが生じている。
【０００６】
このため、出力特性のバラつきの要因となっている箇所はどこであるかを特定する必要がある。また、集積型太陽電池におけるセルが積層構造である場合、出力特性のバラつきの要因となっている層（以下、「発電層」と称する）はどの発電層であるかについても特定する必要がある。つまり、集積型太陽電池におけるセルが積層構造である場合、どの発電層のどの箇所が不良箇所であるかを特定する必要がある。
【０００７】
しかしながら、従来は、上述したように、集積型太陽電池の受光面の全面に擬似太陽光を照射することにより出力特性のデータを得ていたため、出力特性のデータに異常があったとき、ユーザは、太陽電池の不良箇所を特定することはできない。
【０００８】
そこで、太陽電池の不良箇所を特定する技術として、特許文献１には、太陽電池の等価回路パラメータである光生成電流と直列抵抗に関する受光面の分散分布を求めることにより太陽電池の評価を行なう評価方法が開示されている。当該方法における分散分布の求め方は、以下のとおりである。
【０００９】
当該評価方法では、まず、直流バイアス光、並びに当該光と同じ光軸、当該光と同じビーム径、および当該光と同じスペクトル分布を有する交流微弱白色光を、特定部位に照射する。次に、当該照射に基づく、直流電流−直流電圧特性（Ｉ−Ｖ特性）と交流微弱白色光電流−直流電圧特性（ΔＩ−Ｖ特性）とを測定する。さらに、解析式を用いて、上記特定部位に対する微弱白色光生成電流Δｉｐと直列的光Ｒｓの値を求める操作を、太陽電池の受光面の全面に行なう。そして、当該操作により得られた値を統計処理することにより、太陽電池の受光面内の微弱白色光生成電流Δｉｐと直列的光Ｒｓの分散分布を求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平６−１９４４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１の評価方法を、大型化した太陽電池に対して適用する場合、以下の問題が生じる。当該大型化に伴い、太陽電池の受光面において光が照射されない領域の面積が大きくなる。それゆえ、光が照射されない領域が抵抗として機能することになり、電気的な負荷が大きくなる。その結果、直流バイアス電流と交流微弱白色光とを特定部位に照射した際に得られる直流電圧の値が小さくなる。したがって、交流微弱白色光電流−直流電圧特性（ΔＩ−Ｖ特性）を示したデータの信頼性が低下してしまう。このため、特許文献１の評価方法では、出力特性のバラつきの要因となっている箇所はどこであるかを正確に特定することが困難となる。
【００１２】
また、特許文献１の評価方法では、積層構造を有する太陽電池において、出力特性のバラつきの要因となっている発電層はどこであるかについても特定することはできない。
【００１３】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、太陽電池の不良箇所を特定するためのデータを取得可能な検査装置、および検査方法を提供することにある。他の目的は、太陽電池の不良箇所を特定可能な検査装置を提供することにある。さらに他の目的は、不良な発電層を特定可能であるとともに、特定した不良な発電層における不良箇所を特定可能な検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のある局面に従うと、検査装置は、太陽電池の出力を検査する検査装置であって、太陽電池の受光面の第１領域に対して、少なくとも１種類の単一波長の光を照射する第１光源と、受光面における、第１領域に隣接する第２領域に対して、予め定められた波長帯域を有する第１バイアス光を照射する第２光源と、受光面に沿って第１光源を第１方向に移動させる第１移動手段と、受光面に沿って第１光源と第２光源とを第２方向に移動させる第２移動手段と、少なくとも、単一波長の光の強度と、第１バイアス光の照射と、第１移動手段による第１光源の移動と、第２移動手段による第１光源および第２光源の移動とを制御する制御部とを備える。制御部は、第１移動手段または第２移動手段に対する第１光源の位置を変更する制御を行うと、少なくとも第１バイアス光を第２光源から照射させた状態で、単一波長の光を第１光源から第１強度で照射させる制御と、当該単一波長の光を第１光源から第１強度よりも弱い第２強度で照射させる、あるいは当該単一波長光の照射を停止させる制御とを行う。検査装置は、少なくとも第１バイアス光を第２光源から照射させた状態で、第１光源の各位置において単一波長の光が第１強度で照射されたときに、太陽電池から出力される第１電流の電流値と、少なくとも第１バイアス光を第２光源から照射させた状態で、第１光源の各位置において当該単一波長光が第２強度で照射されたときあるいは第１光源の各位置において当該単一波長光の照射が停止されたときに、太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定する測定部をさらに備える。測定部は、測定した各電流値を出力する。
【００１５】
好ましくは、太陽電池は、積層型の太陽電池であり、第１光源は、予め定められた波長帯域を有する第２バイアス光をさらに照射可能である。制御部は、第１光源の位置を変更する制御を行うと、第２光源から第１バイアス光を照射させた状態において、少なくとも１種類の単一波長の光と第２バイアス光とを同時に第１光源から照射させる制御と、少なくとも１種類の単一波長の光の照射を停止させて第２バイアス光を第１光源から照射させる制御とを行なう。測定部は、第１バイアス光と第２バイアス光とが照射された状態において、第１電流の電流値と第２電流の電流値とを測定する。
【００１６】
好ましくは、検査装置は、第１電流の電流値と第２電流の電流値とを、当該各電流値が測定された第１光源の位置を示した位置情報に対応付けて格納する記憶部と、記憶部に格納された第１電流の電流値と第２電流の電流値と位置情報とに基づいて、太陽電池における不良箇所を特定する特定部と、特定された箇所を示す情報を出力する出力部とをさらに備える。
【００１７】
好ましくは、ｍを２以上の自然数とすると、太陽電池は、ｍ個の発電層を含み、各発電層は互いに電気的に直列に接続されている。ｍ以上の自然数をｎとすると、第１光源は、少なくとも１種類の単一波長の光として、波長が互いに異なるｎ種類の単一波長の光を個別に照射可能である。制御部は、各第１領域に対して、各単一波長の光の強度を照射する制御を行う。
【００１８】
好ましくは、太陽電池は、受光面に沿って複数の発電部を備える。検査装置は、複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断するものである。第１光源は、複数のブロックのうちのいずれかのブロックに対して光を照射する。第２光源は、少なくとも、第１光源が光を照射したブロックと電気的に接続された他のブロックに対して光を照射する。
【００１９】
好ましくは、第１光源と第２光源とは、第１光源の発光面と第２光源の発光面とが受光面に対向する位置に配されている。第１光源の発光面は、第２光源の発光面よりも受光面側に位置する。第１光源と第２光源とは、第１光源の発光面と第２光源の発光面の一部とが第２光源の発光面から受光面への向きにおいて重なる位置に配されている。
【００２０】
本発明の他の局面に従うと、検査装置は、受光面に沿って複数の発電部を含む太陽電池の出力を検査する検査装置であって、受光面の一部に対して、光を照射する光源と、受光面に沿って光源を移動させる移動手段と、光の照射によって太陽電池から出力される電流の電流値を測定する測定部と、光の強度と移動手段による光源の移動とを制御する制御部とを備える。光源は、受光面の一部に対して、少なくとも１種類の単一波長の光と予め定められた波長帯域を有する第１バイアス光とを照射可能である。制御部は、発光パターンが互いに異なる、第１発光面と第２発光面とを光源に設定する制御と、第１発光面によって、受光面の第１領域に対して少なくとも１種類の単一波長の光を照射させるとともに、第２発光面によって、第１領域に隣接する第２領域に対して第１バイアス光を照射させる制御と、第１光源における第１発光面の設定位置と第２発光面の設定位置とを変更する制御とを行う。測定部は、バイアス光が照射された状態で、第１発光面の各設定位置において単一波長の光を第１強度で照射したときに、太陽電池から出力される第１電流の電流値と、バイアス光が照射された状態で、各設定位置において当該単一波長光を第１強度よりも弱い第２強度で照射したときあるいは各設定位置において当該単一波長光の照射を停止したときに、太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定し、測定した各電流値を出力する。
【００２１】
好ましくは、太陽電池は、積層型の太陽電池である。光源は、第１バイアス光とは波長帯域が異なる波長帯域の第２のバイアス光をさらに照射可能である。制御部は、第１発光面によって、受光面の第１領域に対して少なくとも１種類の単一波長の光と第２のバイアス光とを照射させる。
【００２２】
本発明のさらに他の局面に従うと、検査方法は、太陽電池の出力を検査する検査方法であって、太陽電池の受光面の第１領域に対して、少なくとも１種類の単一波長の光を第１光源から照射するステップと、受光面における、第１領域に隣接する第２領域に対して、予め定められた波長帯域を有する第１バイアス光を第２光源から照射するステップと、第１移動手段によって、受光面に沿って第１光源を第１方向に移動させるステップと、第２移動手段によって、受光面に沿って第１光源と第２光源とを第２方向に移動させるステップと、少なくとも、単一波長の光の強度と、第１バイアス光の照射と、第１移動手段による第１光源の移動と、第２移動手段による第１光源および第２光源の移動とを制御するステップとを備える。制御するステップは、第１移動手段または第２移動手段に対する第１光源の位置を変更する制御を行うと、少なくとも第１バイアス光を第２光源から照射させた状態で、単一波長の光を第１光源から第１強度で照射させる制御と、当該単一波長の光を第１光源から第１強度よりも弱い第２強度で照射させる、あるいは当該単一波長光の照射を停止させる制御とを行うステップとを含む。検査方法は、少なくとも第１バイアス光を第２光源から照射させた状態で、第１光源の各位置において単一波長の光が第１強度で照射されたときに、太陽電池から出力される第１電流の電流値と、少なくとも第１バイアス光を第２光源から照射させた状態で、第１光源の各位置において当該単一波長光が第２強度で照射されたときあるいは第１光源の各位置において当該単一波長光の照射が停止されたときに、太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定するステップと、測定した各電流値を出力するステップとをさらに備える。
【００２３】
本発明のさらに他の局面に従うと、検査方法は、受光面に沿って複数の発電部を含む太陽電池の出力を検査する検査方法であって、受光面の一部に対して、光源から光を照射するステップと、移動手段によって、受光面に沿って光源を移動させるステップと、光の照射によって太陽電池から出力される電流の電流値を測定するステップと、光の強度と移動手段による光源の移動とを制御するステップとを備える。光源は、受光面の一部に対して、少なくとも１種類の単一波長の光と予め定められた波長帯域を有するバイアス光とを照射可能である。制御するステップは、発光パターンが互いに異なる、第１発光面と第２発光面とを光源に設定する制御と、第１発光面によって、受光面の第１領域に対して少なくとも１種類の単一波長の光を照射させるとともに、第２発光面によって、第１領域に隣接する第２領域に対してバイアス光を照射させる制御と、第１光源における第１発光面の設定位置と第２発光面の設定位置とを変更する制御とを行うステップを含む。測定するステップは、バイアス光が照射された状態で、第１発光面の各設定位置において単一波長の光を第１強度で照射したときに、太陽電池から出力される第１電流の電流値と、バイアス光が照射された状態で、各設定位置において当該単一波長光を第１強度よりも弱い第２強度で照射したときあるいは各設定位置において当該単一波長光の照射を停止したときに、太陽電池から出力される第２電流の電流値とを測定するステップを含む。検査方法は、測定された第１電流の電流値と、測定された第２電流の電流値を出力するステップをさらに備える。
【発明の効果】
【００２４】
太陽電池の不良箇所を特定するためのデータを取得可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】検査装置の概略構成を示した図である。
【図２】メイン光源の発光面とサブ光源の発光面とを説明するための図である。
【図３】メイン光源とサブ光源とが光を照射した際における、太陽電池の受光面の照射領域を説明するための図である。
【図４】太陽電池の概略構成を示した図である。
【図５】太陽電池における検査対象領域を示した図である。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ線矢視断面図である。
【図７】メイン光源の発光面を示した図である。
【図８】検査装置のブロックを示した図である。
【図９】検査装置における処理のフローを示したフローチャートの前半である。
【図１０】検査装置における処理のフローを示したフローチャートの後半である。
【図１１】他の検査装置の概略構成を示した図である。
【図１２】他の検査装置のブロック図である。
【図１３】他の検査装置における光源の発光面を示した図である。
【図１４】発光面において設定される第１発光面と第２発光面とを示した図である。
【図１５】他の検査装置における処理のフローを示したフローチャートの前半である。
【図１６】他の検査装置における処理のフローを示したフローチャートの後半である。
【図１７】情報処理装置として機能するコンピュータシステムのハードウェア構成を表わすブロック図である。
【図１８】検査装置の運用方法を示したフローチャートである。
【図１９】自走式の光源を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。
【００２７】
〔実施の形態１〕
本発明に係る検査装置の一実施態様について、図１から図１０を参照して説明すると以下のとおりである。
【００２８】
図１は、検査装置１の概略構成を示した図である。図１を参照して、検査装置１は、メイン光源１１と、サブ光源１２と、第１ステージ１３と、第２ステージ１４と、フレーム１５と、情報処理装置１７と、測定器１９と、図示しない太陽電池用ステージ（図８参照）とを含む。検査装置１においては、メイン光源１１、サブ光源１２、第１ステージ１３、および第２ステージ１４は暗室に配置される。フレーム１５は、暗室内と暗室外とを行き来する。なお、測定器１９に関しては、暗室内に設置してもよいし、あるいは暗室外に設置してもよい。
【００２９】
検査装置１は、フレーム１５上に載置された太陽電池９０の不良箇所を特定する。太陽電池９０は、受光面がＺ軸の負方向を向いてフレーム１５に載置される。特定方法の詳細については、後述する。また、太陽電池９０は、受光面に沿って、マトリクス状に複数の発電部を備えている。
【００３０】
メイン光源１１は、Ｚ軸正方向に発光面を備える。メイン光源１１は、発光面を介して、少なくとも１種類の単一波長光と、予め定められた波長帯域を有するバイアス光とを、太陽電池の受光面の一部（以下、「第１領域」とも称する）に対して照射する。また、メイン光源１１は、サブ光源１２の発光面の上に載置される。
【００３１】
本実施の形態では、メイン光源１１は、波長が互いに異なる複数種類の単一波長光を照射するものとする。また、太陽電池９０は、２層構造の積層型薄膜太陽電池とし、赤色の光の波長に対して感度が高い第１発電層９２と、青色の光の波長に対して感度が高い第２発電層９３とを備えるとする。以下では、メイン光源１１は、複数種類の単一波長光として、赤色の光と青色の光とを照射するものとする。また、メイン光源１１は、上記バイアス光として、２種類のバイアス光を照射するものとする。さらに、メイン光源１１は、上記単一波長光およびバイアス光の照射により、太陽電池９０の受光面に矩形状の照射領域を形成する。上記単一波長光の照射のタイミングと、上記バイアス光の照射のタイミングについては、後述する（図９等）。なお、以下では、メイン光源１１が照射するバイアス光を、「バイアス光Ｍ」と称する。
【００３２】
サブ光源１２は、メイン光源１１と同様に、Ｚ軸正方向に発光面を備える。サブ光源１２は、予め定められた波長帯域を有するバイアス光を、太陽電池の受光面の一部に対して照射する。詳しくは、サブ光源１２は、太陽電池９０の受光面における、上記第１領域の周囲の領域に対して、上記バイアス光を照射する。より詳しくは、サブ光源１２は、太陽電池９０の受光面における、上記第１領域に隣接する領域（以下、「第２領域」とも称する）に対して、上記バイアス光を照射する。当該バイアス光の照射のタイミングについては、後述する（図９等）。
【００３３】
以下では、サブ光源１２は、上記バイアス光として、白色バイアス光を照射するものとする。検査装置１は、サブ光源１２として、たとえば、線状のハロゲン光源を用いることができる。なお、以下では、サブ光源１２が照射する白色バイアス光を、「白色バイアス光Ｓ」と称する。
【００３４】
第１ステージ１３は、１軸ステージである。メイン光源１１は、第１ステージ１３によって、Ｙ軸正方向およびＹ軸負方向に移動可能である。また、第１ステージ１３は、第２ステージ１４上にＸ軸正方向およびＸ軸負方向に移動可能に設置されている。
【００３５】
第２ステージ１４は、第１ステージ１３と同様に１軸ステージである。サブ光源１２は、第２ステージ１４によって、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向に移動可能である。第２ステージ１４による第１ステージ１３のＸ軸方向の移動に伴い、メイン光源１１もサブ光源１２と同様に、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向に移動する。
【００３６】
このように、メイン光源１１は、第１ステージ１３および第２ステージ１４によって、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能となっている。また、サブ光源１２は、第２ステージ１４によって、Ｘ軸方向に移動可能となっている。
【００３７】
なお、以下では、上記第１領域と上記第２領域とを合わせた領域を、「第３領域」と称する。また、上記受光面における第１領域および第２領域の位置は、メイン光源１１およびサブ光源１２の移動により変化する。また、第３領域の位置は、サブ光源１２の移動により変化する。なお、第１領域、第２領域、第３領域の具体例については、後述する（図３）。
【００３８】
フレーム１５は、太陽電池９０を支持するための部材である。フレーム１５は、上記太陽電池用ステージによって移動可能となっている。
【００３９】
情報処理装置１７は、メイン光源１１と、サブ光源１２と、第１ステージ１３と、第２ステージ１４と、測定器１９と、太陽電池用ステージとに電気的に接続されている。情報処理装置１７は、メイン光源１１の動作と、サブ光源１２の動作と、第１ステージ１３の動作と、第２ステージ１４の動作と、太陽電池用ステージの動作と、測定器１９の動作とを制御する。情報処理装置１７の詳細については、後述する（図８）。
【００４０】
測定器１９は、情報処理装置１７からの指令に基づき、太陽電池９０から出力される電流（以下、「出力電流」と称する）の電流値を測定する。より詳しくは、測定器１９は、サブ光源１２が上記白色バイアス光Ｓを照射している状態において、メイン光源１１が光を照射した際における上記出力電流の電流値を測定する。そして、測定器１９は、測定した結果を、情報処理装置１７に対して出力する。メイン光源１１が照射する光の詳細については後述する。
【００４１】
なお、測定器１９は、測定した結果を数値化し、測定器１９が備える表示部に当該数値を表示（出力）してもよい。あるいは、測定器１９は、測定器１９が備える表示メータを当該測定した結果に応じて動作させることにより、メータ表示（出力）を行なってもよい。
【００４２】
図２は、メイン光源１１の発光面とサブ光源１２の発光面とを説明するための図である。図２を参照して、メイン光源１１は、発光面１１Ａを備える。サブ光源１２は、発光面１２Ａを備える。メイン光源１１は、上述したとおり、サブ光源１２の発光面１２Ａ上に、移動可能に載置される。したがって、メイン光源１１の真下（Ｚ軸負方向）領域からサブ光源１２が照射した光については、メイン光源１１によって少なくともＺ軸正方向への進行は妨げられる。
【００４３】
図３は、メイン光源１１とサブ光源１２とが光を照射した際における、太陽電池９０の受光面の照射領域を説明するための図である。つまり、上述した、第１領域と、第２領域と、第３領域とを説明するための図である。
【００４４】
図３を参照して、太陽電池９０の受光面９１には、メイン光源１１からの光の照射によって、実線で囲まれた第１領域Ｒ１が形成される。また、サブ光源１２からの光の照射によって、破線に囲まれた領域であって、かつ第１領域Ｒ１の周囲の領域である第２領域Ｒ２が形成される。なお、第３領域Ｒ３は、実線で囲まれた領域を含む、破線で囲まれた領域となる。
【００４５】
また、検査装置１は、複数のプルーブ３０１Ａ〜３１２Ａ，３０１Ｂ〜３１２Ｂを備えている。たとえば、図３に示したような照射領域が形成される場合、検査装置１は、プルーブ３０２Ａとプルーブ３０２Ｂとを用いて、出力電流の電流値を測定する。検査装置１は、サブ光源１２の移動に伴い、利用するプルーブを順次変更する。
【００４６】
図４は、太陽電池９０の概略構成を示した図である。図４を参照して、太陽電池９０は、受光面９１として、受光面９１Ａと受光面９１Ｂとを含む。太陽電池９０は、受光面９１Ａに沿ってマトリクス状に配された複数の発電部を備える。また、太陽電池９０は、受光面９１Ｂに沿ってマトリクス状に配された複数の発電部を備える。太陽電池９０においては、Ｘ軸方向に１２個の発電部が並んでいる。なお、Ｘ軸方向に並ぶ発電部の個数は一例であって、１２個に限定されるものではない。
【００４７】
各発電部は、Ｘ軸方向に並んだ複数のグループ９０１〜９１２のうちのいずれかのグループに属する。また、各発電部は、Ｙ軸方向に隣接する発電部とは電気的に直列接続される一方、Ｘ軸方向に隣接する発電部とは電気的に並列に接続される。つまり、同一グループ内においては、当該グループに含まれる発電部は互いに直列接続されている一方、当該グループに含まれる発電部は他のグループの発電部とは並列接続されている。
【００４８】
太陽電池９０は、端子４０１Ａ〜４１２Ａ，４０１Ｂ〜４１２Ｂを備える。当該各端子には、上記プルーブが接続される。たとえば端子４０２Ａにはプルーブ３０２Ａが接続され、端子４０２Ｂにはプルーブ３０２Ｂが接続される。検査装置１は、グループ９０２からの出力電流を端子４０２Ａ，４０２Ｂを用いて測定する。このように、検査装置１は、各グループに対応して、それぞれ一組の端子を備えている。
【００４９】
なお、以下では、メイン光源１１により光が照射される各照射領域（つまり各第１領域Ｒ１）が、検査装置１による検査対象の領域であるため、当該第１領域を「検査対象領域」とも称する。また、１つの検査対象領域へのメイン光源１１からの光の照射によって、良否が判断される発電部の集まりを、「ブロック」と称する。つまり、各グループは、複数のブロックを含む。各ブロックは、複数の発電部を含む。
【００５０】
上記のように「ブロック」という用語を定義すると、検査装置１は、複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断する構成といえる。さらには、検査装置１は、複数の発電部を、各検査対象領域に対応した複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断する構成といえる。
【００５１】
図５は、太陽電池９０における検査対象領域を示した図である。図５を参照して、検査対象領域は、太陽電池９０の受光面９１Ａ，９１Ｂに対してマトリクス状に設定されている。
【００５２】
検査装置１は、受光面９１Ａを４８個（縦８×横６）の検査対象領域Ａ１〜Ａ８，…，Ｆ１〜Ｆ８に分けて上記出力電流を測定する。また、検査装置１は、受光面９１Ｂを４８個（縦８×横６）の検査対象領域Ｇ１〜Ｇ８，…，Ｌ１〜Ｌ８に分けて上記出力電流を測定する。つまり、検査装置１は、太陽電池９０に含まれる複数の発電部を、各検査対象領域Ａ１〜Ａ８，…，Ｌ１〜Ｌ８に対応する９６個のブロックに分割し、各ブロックの良否を判断する。なお、図４におけるグループ９０１，グループ９０２，…グループ９１２は、それぞれ順に、図５における検査対象領域Ａ１〜Ａ８，検査対象領域Ｂ１〜Ｂ８，…，検査対象領域Ｌ１〜Ｌ８に対応している。
【００５３】
なお、検査対象領域の数は、一例であり、９６個に限定されるものではない。検査対象領域の数は、メイン光源１１の発光面１１Ａの大きさや、サブ光源１２の発光面１２Ａの大きさや、太陽電池９０の受光面９１の大きさなどにより異なる。
【００５４】
また、検査装置１は、受光面９１における各検査対象領域Ａ１〜Ａ８，…，Ｌ１〜Ｌ８の位置を示した位置情報を予め情報処理装置１７に格納している。各検査対象領域の位置は、たとえばＸＹ平面における座標で特定される。
【００５５】
図６は、図５におけるＶＩ−ＶＩ線矢視断面図である。図６を参照して、太陽電池９０は、電極９４と、第１発電層９２と、第２発電層９３と、電極９５とを、この順に備える。第１発電層９２と第２発電層９３とは、互いに分光感度特性が異なる。なお、分光感度特性とは、太陽電池出力の入射光波長依存性を表した特性である。具体的には、分光感度特性は、短絡電流の入射単色光入力に対する比である。
【００５６】
以下では、第１発電層９２は赤色の光の波長に対して感度が高く、第２発電層９３は青色の光の波長に対して感度が高いとして説明する。なお、太陽電池９０の発電層は２層に限定されるものではない。また、第１発電層９２と第２発電層９３の分光感度特性も、上記に限定されるものではない。
【００５７】
図７は、メイン光源１１の発光面１１Ａを示した図である。メイン光源１１は、４種類の光源１１１，１１２，１１３，１１４を、それぞれ複数備える。なお、以下では、光源１１１、光源１１２、光源１１３、光源１１４を、それぞれ、「小光源１１１」、「小光源１１２」、「小光源１１３」、「小光源１１４」と称する。
【００５８】
小光源１１１は、赤色の光（単一波長光）を照射する。小光源１１２は、青色の光（単一波長光）を照射する。小光源１１３は、第２発電層９３の発電量が、小光源１１１の照射による第１発電層９２の発電量よりも大きくなるバイアス光Ｍを照射する。たとえば、複数の青色の光（ハイパワーの単一波長光）を使用したり、青色に近い複数の単色光を使用したりすることにより実現できる。一方、小光源１１４は、第１発電層９２の発電量が、小光源１１２の照射による第２発電層９３の発電量よりも大きくなるバイアス光Ｍを照射する。例えば、複数の赤色の光（ハイパワーの単一波長光）を使用したり、赤色に近い複数の単色光を使用したりすることにより実現できる。なお、以下では、小光源１１３が照射するバイアス光Ｍを、「バイアス光Ｍ１」と称し、小光源１１４が照射するバイアス光Ｍを、「バイアス光Ｍ２」と称する。
【００５９】
また、メイン光源１１においては、小光源１１１と、小光源１１２と、小光源１１３と、小光源１１４とが、偏りのないように順序立てて配列されている。各小光源１１１〜１１４としては、たとえば、ＬＥＤを用いることができる。特に、小光源１１３、１１４については、複数種類のＬＥＤから構成されていても構わない。
【００６０】
ここで、サブ光源１２が照射する白色バイアス光Ｓの照射強度について説明する。たとえば１つの検査対象領域に対して、白色バイアス光Ｓと、バイアス光Ｍ１またはバイアス光Ｍ２とを個別に照射した場合、白色バイアス光Ｓを照射した場合の方が、バイアス光Ｍ１またはバイアス光Ｍ２を照射した場合に比べて発電量が高くなるように、白色バイアス光Ｓの強度を予め設定しておく。
【００６１】
図８は、検査装置１のブロックを示した図である。図８を参照して、検査装置１は、メイン光源１１と、サブ光源１２と、第１ステージ１３と、第２ステージ１４と、フレーム１５と、情報処理装置１７と、太陽電池用ステージ１８と、測定器１９とを備えている。
【００６２】
情報処理装置１７は、制御部１７１と、表示装置１７２と、記憶装置１７３とを備えている。制御部１７１は、ステージ制御部１７１１と、光源制御部１７１２と、特定部１７１３とを備える。情報処理装置１７は、上述したように、メイン光源１１の動作と、サブ光源１２の動作と、第１ステージ１３の動作と、第２ステージ１４の動作と、太陽電池用ステージの動作と、測定器１９の動作とを制御する。
【００６３】
記憶装置１７３は、メイン光源１１の動作と、サブ光源１２の動作と、第１ステージ１３の動作と、第２ステージ１４の動作と、太陽電池用ステージの動作と、測定器１９の動作とを制御するためのプログラムを格納している。
【００６４】
制御部１７１は、記憶装置１７３に格納された上記プログラムをロードすることにより、メイン光源１１と、サブ光源１２と、第１ステージ１３と、第２ステージ１４と、太陽電池用ステージと、測定器１９とに、当該プログラムに従った動作を実行させる。たとえば、制御部１７１は、測定器１９に対して測定のタイミングを指示する。
【００６５】
ステージ制御部１７１１は、第２ステージ１４に対する第１ステージ１３の位置と、第１ステージ１３に対するメイン光源１１の位置とを制御する。つまり、ステージ制御部１７１１は、サブ光源１２のＸ軸方向の移動量と、メイン光源１１のＹ軸方向の移動量を制御する。このような制御により、第１ステージ１３および第２ステージ１４は、情報処理装置１７からの指令に応じた位置まで、メイン光源１１とサブ光源１２とを太陽電池９０の受光面に沿って移動させることができる。
【００６６】
光源制御部１７１２は、メイン光源１１から照射される光の強度および当該光の照射タイミングを制御する。また、光源制御部１７１２は、サブ光源１２から照射される光の強度および当該光の照射タイミングを制御する。なお、光の強度の制御には、光の強度を「０」にする制御（つまり光の照射の停止）も含む。光源制御部１７１２における詳細な制御内容については、後述する（図９，図１０）。
【００６７】
特定部１７１３が実行する処理についても後述する。また、表示装置１７２が表示する内容についても後述する。
【００６８】
図９は、検査装置１における処理のフローを示したフローチャートの前半である。図１０は、検査装置１における処理のフローを示したフローチャートの後半である。
【００６９】
図９を参照して、ステップＳ２において、検査装置１は、記憶装置１７３に予め格納されたデータに基づき、検査対象領域を設定する。具体的には、検査装置１は、９６個の検査対象領域Ａ１〜Ａ８，…，Ｌ１〜Ｌ８（図５）を設定する。ステップＳ４において、検査装置１は、メイン光源１１が照射する単一波長光を１つ選択する。たとえば、検査装置１は、赤色の光を選択する。なお、単一波長光の選択に伴い、検査装置１は、バイアス光Ｍを選択する。検査装置１は、単一波長光として赤色の光を選択した場合には、バイアス光Ｍ１（たとえば、上述した複数の青色の光）を選択する。また、検査装置１は、単一波長光として青色の光を選択した場合には、バイアス光Ｍ２（たとえば、上述した複数の赤色の光）を選択する。
【００７０】
ここで、選択された単一波長光と選択されたバイアス光Ｍとを上記領域Ｒ１に照射し、白色バイアス光Ｓを上記Ｒ２に照射した場合における、各発電層９２，９３の発電量について説明する。この場合、領域Ｒ１における第１発電層９２の発電量は、同領域Ｒ１における第２発電層９３の発電量よりも小さくなる。また、領域Ｒ１における第２発電層９３の発電量は、領域Ｒ２における各発電層９２，９３の発電量よりも小さくなる。
【００７１】
ステップＳ６において、検査装置１は、メイン光源１１を１つ目の検査対象領域上に移動する。なお、メイン光源１１を１つ目の検査対象領域上へ移動させる場合に、サブ光源１２の移動が必要なときには、検査装置１は、サブ光源１２も移動させる。
【００７２】
ステップＳ８において、検査装置１は、１つ目の検査対象領域に対応するプルーブを太陽電池９０の電極に接続する。ステップＳ１０において、検査装置１は、サブ光源１２から白色バイアス光Ｓを照射する。ステップＳ１２において、検査装置１は、メイン光源１１から上記選択されたバイアス光Ｍ（たとえば、バイアス光Ｍ１）と上記選択された単一波長光（たとえば、赤色の光）とを照射する。
【００７３】
ここで、サブ光源１２が白色バイアス光Ｓを照射する理由と、メイン光源１１がバイアス光Ｍを照射する理由とについて説明する。まず、サブ光源１２が白色バイアス光Ｓを照射する理由について説明する。
【００７４】
再び図４を参照して、各発電部は、Ｙ軸方向に電気的に直列に接続されている。したがって、図３に示す第１領域Ｒ１（検査対象領域）にのみ光を照射し、第２領域Ｒ２に対して光を照射しないと、第２領域Ｒ２に対応する発電部は発電を行わない。このため、第２領域Ｒ２に対応する発電部は、抵抗として機能することになる。第２領域Ｒ２に対応する発電部が抵抗として機能すると、太陽電池９０から出力される電流の値は、第２領域Ｒ２に対応する発電部が抵抗として機能しない場合に比べて小さくなる。このため、測定器１９における測定精度が低下してしまう。特に、受光面９１が大きいほど、測定精度が低下する傾向にある。
【００７５】
また、太陽電池９０は、赤色の光の波長に対して感度が高い第１発電層９２と、青色の光の波長に対して感度が高い第２発電層９３とを備える。したがって、バイアス光として白色光を照射しておけば、第１発電層９２と第２発電層９３とにおける第２領域Ｒ２に対応する発電部を発電させることができる。このように第１発電層９２と第２発電層９３とにおける第２領域Ｒ２に対応する発電部を発電させることにより、当該発電部が抵抗として機能することを防止できる。
【００７６】
以上の理由により、検査装置１は、サブ光源１２から白色バイアス光Ｓを照射させる。
次に、メイン光源１１がバイアス光Ｍを照射する理由について説明する。
【００７７】
上述したように、太陽電池９０は、赤色の光の波長に対して感度が高い第１発電層９２と、青色の光の波長に対して感度が高い第２発電層９３とを備える。したがって、第１発電層９２に対応する赤色の光を照射する場合は、メイン光源１１は、第２発電層９３を十分に発電するバイアス光Ｍ１を照射する。同様に、第２発電層９３に対応する青色の光を照射する場合は、メイン光源１１は、第１発電層９２を十分に発電するバイアス光Ｍ２を照射する。このように第１発電層９２と第２発電層９３とにおける第１領域Ｒ１に対応する発電部を発電させることにより、当該発電部が抵抗として機能することを防止できる。
【００７８】
以上の理由により、検査装置１は、メイン光源１１からも２種類のバイアス光Ｍ１，Ｍ２を照射させる。上記では、太陽電池９０は２層構造のため２種類のバイアス光Ｍ１，Ｍ２が必要としたが、ｎ層構造であれば、少なくともｎ種類のバイアス光が必要となる。
【００７９】
ステップＳ１４において、検査装置１の測定器１９は、太陽電池９０が出力する電流の電流値を測定する。ステップＳ１６において、測定器１９は、測定した電流値を情報処理装置１７に出力する。
【００８０】
なお、情報処理装置１７は、測定器１９からの電流値の出力に基づき、当該電流値が測定されたメイン光源１１の位置を示した位置情報に対応付けて当該電流値を記憶装置１７３に格納する。あるいは、情報処理装置１７は、測定器１９からの電流値の出力に基づき、検査対象領域（第１領域Ｒ１）の位置を示した上記位置情報に対応付けて当該電流値を記憶装置１７３に格納してもよい。
【００８１】
ステップＳ１８において、検査装置１は、メイン光源１１が照射している単一波長光の照射を停止する。ステップＳ２０において、測定器１９は、太陽電池９０が出力する電流の電流値を測定する。なお、当該測定時においても、サブ光源１２は白色バイアス光Ｓを照射している。ステップＳ２２において、測定器１９は、測定した電流値を情報処理装置１７に出力する。測定器１９からの電流値の出力に基づき、情報処理装置１７は、再度、当該電流値が測定された前記第１光源の前記位置を示した位置情報に対応付けて当該電流値を記憶装置１７３に格納する。
【００８２】
ステップＳ２４において、検査装置１の特定部１７１３は、上記２回の測定により得られた電流値を用いて上記選択された単一波長光のみを照射した場合の電流値を算出する。より詳しくは、特定部１７１３は、記憶装置１７３に格納された電流値の差分を算出する。これにより、特定部１７１３は、上記選択された単一波長光のみを照射した場合の電流値（以下、「差分値」と称する）を得る。なお、特定部１７１３は、当該差分値を、上記位置情報と上記選択された単一波長光を示す情報（以下、「波長情報」と称する）とに関連付けて記憶装置１７３に格納する。
【００８３】
図１０を参照して、ステップＳ２６において、検査装置１は、全ての検査対象領域を検査したか否かを判断する。検査装置１は、全ての検査対象領域を検査したと判断した場合（ステップＳ２６においてＹＥＳ）、ステップＳ２８において、全ての単一波長光を選択したか否かを判断する。検査していない検査対象領域が存在する場合（ステップＳ２６においてＮＯ）、ステップＳ３４において、検査装置１は、メイン光源１１を次の検査対象領域上へ移動する。
【００８４】
ステップＳ３６において、検査装置１は、プルーブの接続状態を変更する必要があるか否かを判断する。検査装置１は、プルーブの接続状態を変更する必要があると判断した場合（ステップＳ３６においてＹＥＳ）、ステップＳ３８において、次のプルーブを太陽電池９０に接続する。ステップＳ３８の後は、検査装置１は、処理をステップＳ１２に進める。検査装置１は、プルーブの接続状態を変更する必要がないと判断した場合（ステップＳ３６においてＮＯ）、処理をステップＳ１２に進める。なお、ステップＳ１２に戻った時点においても、サブ光源１２は白色バイアス光Ｓを照射している。
【００８５】
検査装置１は、選択していない単一波長光が存在する場合（ステップＳ２８においてＮＯ）、ステップＳ４０において、未だ選択されていない単一波長光を１つ選択する。たとえば、検査装置１は、青色の光を選択する。ステップＳ４２において、検査装置１は、検査装置１は、メイン光源１１を１つ目の検査対象領域上に移動する。ステップＳ４４において、検査装置１は、１つ目の検査対象領域に対応するプルーブを太陽電池９０の電極に接続する。ステップＳ４４の後は、検査装置１は、処理をステップＳ１２に進める。
【００８６】
検査装置１が全ての単一波長光を選択したと判断した場合（ステップＳ２８においてＹＥＳ）、ステップＳ３０において、特定部１７１３は、記憶装置１７３に格納した単一波長光のみを照射した場合の電流値に基づき、不良発電層を特定するとともに、特定した不良発電層における不良箇所をと特定する。ステップＳ３２において、検査装置１は、特定部１７１３が特定した結果を、表示装置１７２において表示する。
【００８７】
次に、特定部１７１３の処理の詳細について説明する。上記差分値が所定の値よりも低い場合、特定部１７１３は、当該差分値に関連付けられた上記波長情報に基づいて、不良発電層を特定する。たとえば、波長情報が赤色の光を示す情報である場合、特定部１７１３は、赤色の光の波長に対して感度が高い第１発電層９２を不良発電層と特定する。さらに、上記差分値が所定の値よりも低い場合、特定部１７１３は、当該差分値に関連付けられた上記位置情報により特定される箇所を、上記不良箇所と特定する。たとえば、当該差分値に関連付けられた位置情報が、検査対象領域Ｂ１に対応する位置を示した情報である場合、特定部１７１３は、検査対象領域Ｂ１を不良箇所と特定する。
【００８８】
なお、不良箇所の特定方法は、上記に限定されるものではない。たとえば、不良箇所の特定方法は、以下のような方法としてもよい。すなわち、上記差分値が全ての差分値の平均値よりも所定の値以上低い場合、特定部１７１３は、当該差分値に関連付けられた上記波長情報に基づいて、不良発電層を特定する。また、上記差分値が全ての差分値の平均値よりも所定の値以上低い場合、特定部１７１３は、当該差分値に関連付けられた位置情報により特定される箇所を、上記不良箇所と特定する。
【００８９】
以上のように、検査装置１は、太陽電池の不良箇所を特定するための電流値のデータを取得できる。また、検査装置１を用いることにより、太陽電池９０の不良発電層を特定することができるとともに、特定した当該不良発電層における不良箇所を特定することができる。
【００９０】
＜変形例＞
（１）上記においては、メイン光源１１が、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とを照射可能な構成を示したが、メイン光源１１が照射する単一波長光は、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とに限定されるものではない。メイン光源１１が照射する単一波長光は、検査対象である太陽電池の発電層の感度特性に応じて適宜決定すればよい。たとえば、太陽電池が、赤色の光に対する感度が高い発電層と、緑色の光に対する感度が高い発電層とを備える場合、検査装置１は、メイン光源１１として、赤色の単一波長光と緑色の単一波長光とを照射可能な構成の光源を用いればよい。
【００９１】
（２）上記においては、図９および図１０のフローチャートに示したように、メイン光源１１が、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とを、異なるタイミングで照射する構成を例に挙げて説明した。しかしながら、このようなタイミングでの照射に限定されず、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とを同時に照射するように検査装置１を構成としてもよい。
【００９２】
（３）上記においては、メイン光源１１は、２種類の単一波長光を照射する構成を例に挙げて説明したが、単一波長光の種類は２種類に限定されるものではない。メイン光源１１を、３種類以上の単一波長光を照射する構成としてもよい。
【００９３】
たとえば、メイン光源１１を、赤色の単一波長光と、青色の単一波長光と、赤外の単一波長光とを照射する構成としてもよい。あるいは、１種類だけの単一波長光を照射するようにメイン光源１１を構成してもよい。１種類だけの単一波長光を照射するようにメイン光源１１を構成した場合、当該単一波長光に対して感度の高い発電層について不良箇所の判断ができる。
【００９４】
（４）検査装置１は、３つ以上の発電層を備える太陽電池の検査に用いることも可能である。この場合、不良な発電層を完全に特定するためには、検査対象である太陽電池の発電層の層数ｍ（ｍは自然数）よりも多いｎ種類（ｎは自然数）の単一波長光を照射可能なようにメイン光源１１を構成することが好ましい。また、検査装置１は、発電層が単層の太陽電池の検査に用いることもできる。
【００９５】
（５）上記においては、メイン光源１１は、ＬＥＤを用いてバイアス光Ｍを照射するとして説明したが、ＬＥＤ以外の光源を用いてバイアス光を照射してもよい。また、メイン光源１１は、ＬＥＤを用いて単一波長光を照射したが、ＬＥＤ以外の光源を用いて当該単一波長光を照射してもよい。
【００９６】
また、上記においては、サブ光源１２として、線状のハロゲン照明を用いたが、当該ハロゲン照明以外の照明を用いてもよい。太陽光のように広い帯域を有し、かつ均一な強度で受光面９１に光を照射できる照明であれば、サブ光源１２として利用可能である。
【００９７】
（６）メイン光源１１においては、複数の小光源をマトリクス状に配置したが、各小光源の配置は、マトリクス上の配置に限定されるものではない。たとえば、発光面１１Ａが四角形以外の多角形の形状あるいはその他の形状となるように、小光源を配置してもよい。ただし、検査対象領域に、均一な単一波長光および均一なバイアス光が照射できる配置が好ましい。
【００９８】
（７）メイン光源１１の発光面１１Ａと、サブ光源１２の発光面１２Ａと、太陽電池９０の受光面９１とが、図１に示した位置関係を保っているのであれば、発光面１１Ａと発光面１２Ａと受光面９１とは、図１に示すＸＹ平面に平行でなくてもよい。
【００９９】
（８）たとえば、図９のステップＳ１８の処理を以下のような処理としてもよい。なお、以下では、図９のステップＳ１２においてメイン光源１１から照射される単一波長光の強度を第１強度とする。
【０１００】
ステップＳ１８において、光源制御部１７１２は、メイン光源１１が照射している単一波長光の強度を上記第１強度よりも弱い第２強度に変更する。つまり、メイン光源１１は、当該単一波長光を第１強度よりも弱い第２強度で照射する。なお、このように単一波長光の強度を弱めた場合、ステップＳ２４では、２回の測定により得られた電流値を用いて上記選択された単一波長光のみを照射した場合の電流値を算出するのではなく、単に、２回の測定により得られた電流値の差分を算出することになる。
【０１０１】
このような構成によっても、太陽電池９０の不良発電層を特定することができるとともに、特定した当該不良発電層における不良箇所を特定することができる。ただし、不良発電層および不良箇所の特定の精度を向上させるためには、図９のステップＳ１２において、メイン光源１１が照射している単一波長光の照射を停止することが好ましい。
【０１０２】
（９）図９および図１０に示したフローチャートでは、１つの単一波長光について全ての検査対象領域を検査し、その後、次の単一波長光について全ての検査対象領域を検査した。しかしながら、このような手法に限定されず、たとえば、以下のような手法を採ってもよい。
【０１０３】
まず、検査装置１は、サブ光源１２から白色バイアス光Ｓを照射した状態で、メイン光源１１を移動させることなく、メイン光源１１が照射する単一波長光とバイアス光Ｍとを、それぞれ順次変更する。具体的には、検査装置１は、単一波長光とバイアス光Ｍとの組み合わせが、上述した組み合わせとなるように変更する。検査装置１は、たとえば、赤色の単一波長光とバイアス光Ｍ１とを照射した後に、青色の単一波長光とバイアス光Ｍ２とを照射するように、変更する。測定器１９は、各単一波長光を照射した際の電流の電流値を測定する。さらに、測定器１９は、当該測定した電流値を情報処理装置１７に出力する。
【０１０４】
次に、検査装置１は、メイン光源１１を移動させることなく、単一波長光を照射せずに、サブ光源１２から白色バイアス光Ｓを照射した状態で、メイン光源１１からバイアス光Ｍ１とバイアス光Ｍ２と別々に順次照射し、太陽電池９０が出力する電流の電流値を測定する。さらに、測定器１９は、当該測定した電流値を情報処理装置１７に出力する。
【０１０５】
その後、検査装置１は、メイン光源１１を次の検査対象領域に移動する。そして、検査装置１は、上記測定を繰り返す。このような手法によっても、測定器１９は、図９に示したフローチャートにおいて情報処理装置１７に出力された電流値と同じ値の電流値を、情報処理装置１７に出力できる。
【０１０６】
（１０）上記においては、不良箇所を検査装置１が特定する構成であったが、たとえば、制御部１７１が、測定器１９が出力した電流の電流値に基づいて、太陽電池９０の受光面９１に沿った電流の出力分布を表示装置１７２させる構成としてよい。なお、この場合、ユーザは、表示装置１７２に表示された出力分布を確認して、不良箇所を特定することになる。
【０１０７】
〔実施の形態２〕
本発明に係る検査装置の他の実施態様について、図１１から図１６を参照して説明すると以下のとおりである。
【０１０８】
図１１は、検査装置１００１の概略構成を示した図である。図１１を参照して、検査装置１００１は、光源５１２と、ステージ１４Ａと、フレーム１５と、情報処理装置１７Ａと、測定器１９と、図示しない太陽電池用ステージ（図１２参照）とを含む。
【０１０９】
つまり、検査装置１００１は、メイン光源１１およびサブ光源１２の代わりに光源５１２を備える点において検査装置１と異なる。また、検査装置１００１は、第１ステージ１３と第２ステージ１４との代わりにステージ１４Ａを備える点において検査装置１と異なる。また、検査装置１００１は、情報処理装置１７の代わりに情報処理装置１７Ａを備える点において検査装置１と異なる。
【０１１０】
光源５１２は、Ｚ軸正方向に発光面を備える。光源５１２の発光面は、実施の形態１におけるサブ光源１２の発光面と同じ面積である。光源５１２は、発光面を介して、少なくとも１種類の単一波長光と、予め定められた波長帯域を有するバイアス光とを、太陽電池９０の受光面９１に対して照射する。また、光源５１２は、ステージ１４Ａ上に載置される。
【０１１１】
本実施の形態では、光源５１２は、波長が互いに異なる複数種類の単一波長光を照射するものとする。以下では、光源５１２は、実施の形態１のメイン光源１１と同様、複数種類の単一波長光として、赤色の光と青色の光とを照射するものとする。また、光源５１２は、上記バイアス光として、２種類のバイアス光を照射するものとする。さらに、光源５１２は、上記単一波長光およびバイアス光の照射により、太陽電池９０の受光面に矩形状の照射領域を形成する。
【０１１２】
ステージ１４Ａは、実施の形態１の第２ステージ１４と同じ構成を有する。光源５１２は、ステージ１４Ａによって、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向に移動可能である。
【０１１３】
情報処理装置１７Ａは、光源５１２と、ステージ１４Ａと、測定器１９と、太陽電池用ステージとに電気的に接続されている。情報処理装置１７Ａは、光源５１２の動作と、ステージ１４Ａの動作と、太陽電池用ステージの動作と、測定器１９の動作とを制御する。本実施の形態における情報処理装置１７Ａの制御内容については、後述する（図１５等）。
【０１１４】
図１２は、検査装置１００１のブロック図である。図１２を参照して、検査装置１００１は、光源５１２と、ステージ１４Ａと、フレーム１５と、情報処理装置１７Ａと、太陽電池用ステージ１８と、測定器１９とを備える。
【０１１５】
情報処理装置１７Ａは、制御部１７１Ａと、表示装置１７２と、記憶装置１７３Ａとを備えている。制御部１７１Ａは、ステージ制御部１７１１Ａと、光源制御部１７１２Ａと、特定部１７１３とを備える。
【０１１６】
記憶装置１７３Ａは、光源５１２の動作と、ステージ１４Ａの動作と、太陽電池用ステージ１８の動作と、測定器１９の動作とを制御するためのプログラムを格納している。
【０１１７】
制御部１７１Ａは、記憶装置１７３Ａに格納された上記プログラムをロードすることにより、光源５１２と、ステージ１４Ａと、太陽電池用ステージ１８と、測定器１９とに、当該プログラムに従った動作を実行させる。たとえば、制御部１７１Ａは、測定器１９に対して測定のタイミングを指示する。
【０１１８】
ステージ制御部１７１１Ａは、ステージ１４Ａに対する光源５１２の位置を制御する。つまり、ステージ制御部１７１１Ａは、光源５１２のＹ軸方向の移動量を制御する。このような制御により、ステージ１４Ａは、情報処理装置１７Ａからの指令に応じた位置まで、光源５１２を太陽電池９０の受光面に沿って移動させることができる。
【０１１９】
光源制御部１７１２Ａは、光源５１２から照射される光の強度および当該光の照射タイミングを制御する。なお、光の強度の制御には、光の強度を「０」にする制御（つまり光の照射の停止）も含む。光源制御部１７１２Ａにおける詳細な制御内容については、後述する（図１５，図１６）。
【０１２０】
図１３は、光源５１２の発光面５１２Ｗを示した図である。図１３を参照して、光源５１２は、小光源１１１と小光源１１２と小光源１１３と小光源１１４と小光源１１５とを、それぞれ複数備える。小光源１１５は、白色バイアス光Ｓａを照射する。
【０１２１】
図１４は、発光面５１２Ｗにおいて設定される第１発光面と第２発光面とを示した図である。光源制御部１７１２Ａは、発光パターンが互いに異なる、第１発光面５１２Ａと第２発光面５１２Ｂとを光源５１２の発光面５１２Ｗ内に設定する。また、光源制御部１７１２Ａは、第１発光面５１２Ａの設定位置と、第２発光面５１２Ｂの設定位置とを変更する制御を行う。つまり、光源制御部１７１２Ａの制御に伴い、光源５１２の発光面５１２Ｗ内において、第１発光面５１２Ａの位置と第２発光面５１２Ｂの位置とが変化する。
【０１２２】
図１４（ａ）は、第１発光面５１２Ａが発光面５１２ＷのＹ軸負方向側の端部に設定されている状態を示した図である。この場合、第２発光面５１２Ｂは、第１発光面５１２Ａに隣接したＹ軸正方向側の領域に設定される。図１４（ｂ）は、第１発光面５１２Ａが発光面５１２Ｗの中央付近に設定されている状態を示した図である。この場合、第２発光面５１２Ｂは、第１発光面５１２Ａの両側の領域に設定される。図１４（ｃ）は、第１発光面５１２Ａが発光面５１２ＷのＹ軸正方向側の端部に設定されている状態を示した図である。この場合、第２発光面５１２Ｂは、第１発光面５１２Ａに隣接したＹ軸負方向側の領域に設定される。なお、本実施の形態では、図１４に示したように、第１発光面５１２Ａの位置が設定されると、第２発光面５１２Ｂの位置は一意に定まる。
【０１２３】
光源制御部１７１２Ａは、第１発光面５１２Ａから上記単一波長光とバイアス光Ｍ１，Ｍ２とを照射する制御を行う。光源制御部１７１２Ａは、第２発光面５１２Ｂから白色バイアス光Ｓ１を照射する制御を行う。なお、第１発光面５１２Ａによる単一波長光とバイアス光Ｍ１，Ｍ２との照射タイミングと、第２発光面５１２Ｂからの白色バイアス光Ｓ１の照射タイミングとについては、後述する（図１５，１６）。
【０１２４】
図１５は、検査装置１００１における処理のフローを示したフローチャートの前半である。図１６は、検査装置１００１における処理のフローを示したフローチャートの後半である。
【０１２５】
図１５を参照して、ステップＳ１０２において、検査装置１００１は、記憶装置１７３Ａに予め格納されたデータに基づき、検査対象領域を設定する。具体的には、検査装置１００１は、実施の形態１と同様、９６個の検査対象領域Ａ１〜Ａ８，…，Ｌ１〜Ｌ８（図５参照）を設定する。ステップＳ１０４において、検査装置１００１は、光源５１２が照射する単一波長光を１つ選択する。たとえば、検査装置１００１は、赤色の光を選択する。なお、単一波長光の選択に伴い、検査装置１００１は、実施の形態１と同様に、バイアス光Ｍを選択する。検査装置１００１は、単一波長光として赤色の光を選択した場合には、バイアス光Ｍ１（たとえば、上述した複数の青色の光）を選択する。また、検査装置１は、単一波長光として青色の光を選択した場合には、バイアス光Ｍ２（たとえば、上述した複数の赤色の光）を選択する。ステップＳ１０６において、検査装置１は、光源５１２を１つ目の検査対象領域上に移動する。
【０１２６】
ステップＳ１０８において、検査装置１００１は、１つ目の検査対象領域に対応するプルーブを太陽電池９０の電極に接続する。ステップＳ１１０において、検査装置１００１は、第１発光面５１２Ａの位置を、１つ目の検査対象領域上に設定する。なお、上述したとおり、第１発光面５１２Ａの設定により第２発光面５１２Ｂも設定される（図１４参照）。ステップＳ１１２において、検査装置１００１は、第２発光面５１２Ｂから白色バイアス光Ｓａを照射する。ステップＳ１１４において、検査装置１００１は、第１発光面５１２Ａから上記選択されたバイアス光（たとえば、バイアス光Ｍ１）と上記選択された単一波長光とを照射する。
【０１２７】
ステップＳ１１６において、検査装置１００１の測定器１９は、太陽電池９０が出力する電流の電流値を測定する。ステップＳ１１８において、測定器１９は、測定した電流値を情報処理装置１７Ａに出力する。なお、情報処理装置１７Ａは、測定器１９からの電流値の出力に基づき、当該電流値が測定された第１発光面５１２Ａの設定位置を示した位置情報に対応付けて当該電流値を記憶装置１７３Ａに格納する。あるいは、情報処理装置１７Ａは、測定器１９からの電流値の出力に基づき、検査対象領域の位置を示した上記位置情報に対応付けて当該電流値を記憶装置１７３に格納してもよい。
【０１２８】
ステップＳ１２０において、光源制御部１７１２Ａは、第１発光面５１２Ａから照射している単一波長光の照射を停止する。ステップＳ１２２において、測定器１９は、太陽電池９０が出力する電流の電流値を測定する。なお、当該測定時点においても、第２発光面５１２Ｂは、白色バイアス光Ｓａを照射している。ステップＳ１２４において、測定器１９は、測定した電流値を情報処理装置１７Ａに出力する。測定器１９からの電流値の出力に基づき、情報処理装置１７Ａは、再度、当該電流値が測定された第１発光面５１２Ａの設定位置を示した位置情報に対応付けて当該電流値を記憶装置１７３Ａに格納する。
【０１２９】
ステップＳ１２６において、検査装置１００１の特定部１７１３は、上記２回の測定により得られた電流値を用いて上記選択された単一波長光のみを照射した場合の電流値を算出する。なお、当該電流値の算出については、実施の形態１の図９におけるステップＳ２４において説明したので、ここでは説明を繰り返さない。
【０１３０】
図１６を参照して、ステップＳ１２８において、光源制御部１７１２Ａは、第１発光面５１２Ａと第２発光面５１２Ｂとからの白色バイアス光Ｓａの照射を停止する。ステップＳ１３０において、検査装置１００１は、全ての検査対象領域を検査したか否かを判断する。検査装置１００１は、全ての検査対象領域を検査したと判断した場合（ステップＳ１３０においてＹＥＳ）、ステップＳ１３２において、全ての単一波長光を選択したか否かを判断する。検査していない検査対象領域が存在する場合（ステップＳ１３０においてＮＯ）、ステップＳ１３８において、検査装置１００１は、第１発光面５１２Ａを次の検査対象領域上に設定する。
【０１３１】
ステップＳ１４０において、検査装置１００１は、プルーブの接続状態を変更する必要があるか否かを判断する。検査装置１００１は、プルーブの接続状態を変更する必要があると判断した場合（ステップＳ１４０においてＹＥＳ）、ステップＳ１４２において、次のプルーブを太陽電池９０に接続する。ステップＳ１４２の後は、検査装置１００１は、処理をステップＳ１１２に進める。検査装置１００１は、プルーブの接続状態を変更する必要がないと判断した場合（ステップＳ１４０においてＮＯ）、処理をステップＳ１１２に進める。
【０１３２】
検査装置１００１は、選択していない単一波長光が存在する場合（ステップＳ１３２においてＮＯ）、ステップＳ１４４において、未だ選択されていない単一波長光を１つ選択する。たとえば、検査装置１は、青色の光を選択する。ステップＳ１４４の後は、検査装置１は、処理をステップＳ１０６に進める。
【０１３３】
検査装置１００１が全ての単一波長光を選択したと判断した場合（ステップＳ１３２においてＹＥＳ）、ステップＳ１３４において、特定部１７１３は、記憶装置１７３Ａに格納した単一波長光のみを照射した場合の電流値に基づき、不良発電層を特定するとともに、特定した不良発電層における不良箇所をと特定する。ステップＳ１３６において、検査装置１００１は、特定部１７１３が特定した結果を、表示装置１７２において表示する。
【０１３４】
以上のように、検査装置１００１は、太陽電池の不良箇所を特定するための電流値のデータを取得できる。また、検査装置１００１を用いることにより、太陽電池９０の不良発電層を特定することができるとともに、特定した当該不良発電層における不良箇所を特定することができる。
【０１３５】
＜変形例＞
（１）上記においては、光源５１２が、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とを照射可能な構成を示したが、光源５１２が照射する単一波長光は、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とに限定されるものではない。光源５１２が照射する単一波長光は、検査対象である太陽電池の発電層の感度特性に応じて適宜決定すればよい。
【０１３６】
（２）上記においては、図１５および図１６のフローチャートに示したように、光源５１２が、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とを、異なるタイミングで照射する構成を例に挙げて説明した。しかしながら、このようなタイミングでの照射に限定されず、検査装置１００１を、赤色の単一波長光と青色の単一波長光とを同時に照射する構成としてもよい。
【０１３７】
（３）上記においては、光源５１２は、２種類の単一波長光を照射する構成を例に挙げて説明したが、単一波長光の種類は２種類に限定されるものではない。光源５１２を、３種類以上の単一波長光を照射する構成としてもよい。
【０１３８】
たとえば、光源５１２を、赤色の単一波長光と、青色の単一波長光と、赤外の単一波長光とを照射する構成としてもよい。あるいは、１種類だけの単一波長光を照射するように光源５１２を構成してもよい。１種類だけの単一波長光を照射するようにメイン光源１１を構成した場合、当該単一波長光に対して感度の高い発電層について不良箇所の判断ができる。
【０１３９】
（４）検査装置１００１は、３つ以上の発電層を備える太陽電池の検査に用いることも可能である。この場合、不良な発電層を完全に特定するためには、検査対象である太陽電池の発電層の層数ｍ（ｍは自然数）よりも多いｎ種類（ｎは自然数）の単一波長光を照射可能なように光源５１２を構成することが好ましい。また、検査装置１００１は、発電層が単層の太陽電池の検査に用いることも可能である。
【０１４０】
（５）上記においては、光源５１２は、ＬＥＤを用いて白色バイアス光Ｓａおよびバイアス光Ｍ１，Ｍ２を照射するとして説明したが、ＬＥＤ以外の光源を用いて白色バイアス光Ｓａおよびバイアス光Ｍ１，Ｍ２を照射してもよい。また、光源５１２は、ＬＥＤを用いて単一波長光を照射したが、ＬＥＤ以外の光源を用いて当該単一波長光を照射してもよい。
【０１４１】
（６）光源５１２においては、複数の小光源をマトリクス状に配置したが、各小光源の配置は、マトリクス上の配置に限定されるものではない。たとえば、発光面５１２Ｗが四角形以外の多角形の形状あるいはその他の形状となるように、小光源を配置してもよい。ただし、検査対象領域に、均一な単一波長光および均一な白色バイアス光Ｓａおよびバイアス光Ｍ１，Ｍ２が照射できる配置が好ましい。
【０１４２】
（７）光源５１２の発光面５１２Ｗと、太陽電池９０の受光面９１とが、図１に示した位置関係を保っているのであれば、発光面５１２Ｗと受光面９１とは、図１１に示すＸＹ平面に平行でなくてもよい。
【０１４３】
（８）たとえば、図１５のステップＳ１２０の処理を以下のような処理としてもよい。なお、以下では、図１５のステップＳ１２０において光源５１２から照射される単一波長光の強度を第１強度とする。
【０１４４】
ステップＳ１２０において、光源制御部１７１２Ａは、第１発光面５１２Ａから照射している単一波長光の強度を上記第１強度よりも弱い第２強度に変更する。つまり、光源５１２は、当該単一波長光を第１強度よりも弱い第２強度で照射する。なお、このように単一波長光の強度を弱めた場合、ステップＳ１２６では、２回の測定により得られた電流値を用いて上記選択された単一波長光のみを照射した場合の電流値を算出するのではなく、単に、２回の測定により得られた電流値の差分を算出することになる。
【０１４５】
このような構成によっても、太陽電池９０の不良発電層を特定することができるとともに、特定した当該不良発電層における不良箇所を特定することができる。ただし、不良発電層および不良箇所の特定の精度を向上させるためには、図９のステップＳ１２において、光源５１２が照射している単一波長光の照射を停止することが好ましい。
【０１４６】
（９）図１５および図１６に示したフローチャートでは、１つの単一波長光について全ての検査対象領域を検査し、その後、次の単一波長光について全ての検査対象領域を検査した。しかしながら、このような手法に限定されず、たとえば、以下のような手法を採ってもよい。
【０１４７】
まず、検査装置１００１は、第１発光面５１２Ａおよび第２発光面５１２Ｂから白色バイアス光Ｓａを照射した状態で、第１発光面５１２Ａの設定位置を変更することなく、第１発光面５１２Ａから照射される単一波長光とバイアス光Ｍとを、それぞれ順次変更する。具体的には、検査装置１００１は、単一波長光とバイアス光Ｍとの組み合わせが、上述した組み合わせとなるように変更する。検査装置１は、たとえば、赤色の単一波長光とバイアス光Ｍ１とを照射した後に、青色の単一波長光とバイアス光Ｍ２とを照射するように、変更する。測定器１９は、各単一波長光を照射した際の電流の電流値を測定する。さらに、測定器１９は、当該測定した電流値を情報処理装置１７Ａに出力する。
【０１４８】
次に、検査装置１００１は、第１発光面５１２Ａの設定位置を変更することなく、第１発光面５１２Ａから単一波長光を照射せずに、第２発光面５１２Ｂから白色バイアス光Ｓａを照射した状態で、第１発光面５１２Ａからバイアス光Ｍ１とバイアス光Ｍ２と別々に順次照射し、太陽電池９０が出力する電流の電流値を測定する。さらに、測定器１９は、当該測定した電流値を情報処理装置１７Ａに出力する。
【０１４９】
その後、検査装置１００１は、第１発光面５１２Ａの位置を次の検査対象領域上に移動する。そして、検査装置１００１は、上記測定を繰り返す。このような手法によっても、測定器１９は、図１５に示したフローチャートにおいて情報処理装置１７Ａに出力された電流値と同じ値の電流値を、情報処理装置１７Ａに出力できる。
【０１５０】
（１０）実施の形態１と同様、制御部１７１Ａが、測定器１９が出力した電流の電流値に基づいて、太陽電池９０の受光面９１に沿った電流の出力分布を表示装置１７２させる構成としてよい。
【０１５１】
（１１）上記においては、光源５１２が小光源１１５を複数備える構成を例に挙げて説明した。しかしながら、小光源１１５は必ずしも必要ではない。発光面５１２Ｂから、白色バイアス光の代わりに、小光源１１３と小光源１１４とからバイアス光Ｍ１，Ｍ２を照射する構成とすればよい。
【０１５２】
＜その他＞
（１）図１７は、情報処理装置１７，１７Ａとして機能するコンピュータシステム１８００のハードウェア構成を表わすブロック図である。
【０１５３】
コンピュータシステム１８００は、主たる構成要素として、プログラムを実行するＣＰＵ１８１０と、コンピュータシステム１８００の使用者による指示の入力を受けるマウス１８２０およびキーボード１８３０と、ＣＰＵ１８１０によるプログラムの実行により生成されたデータ、又はマウス１８２０若しくはキーボード１８３０を介して入力されたデータを揮発的に格納するＲＡＭ１８４０と、データを不揮発的に格納するハードディスク１８５０と、ＤＶＤ−ＲＯＭ駆動装置１８６０と、モニタ１８７０と、通信ＩＦ１８８０とを含む。各構成要素は、相互にデータバスによって接続されている。ＤＶＤ−ＲＯＭ駆動装置１８６０には、ＤＶＤ−ＲＯＭ１８６１が装着される。
【０１５４】
コンピュータシステム１８００における処理は、各ハードウェアおよびＣＰＵ１８１０により実行されるソフトウェアによって実現される。このようなソフトウェアは、ハードディスク１８５０に予め記憶されている場合がある。また、ソフトウェアは、ＤＶＤ−ＲＯＭ１８６１その他の記憶媒体に格納されて、プログラムプロダクトとして流通している場合もある。あるいは、ソフトウェアは、いわゆるインターネットに接続されている情報提供事業者によってダウンロード可能なプログラムプロダクトとして提供される場合もある。このようなソフトウェアは、ＤＶＤ−ＲＯＭ駆動装置１８６０その他の読取装置によりその記憶媒体から読み取られて、あるいは、通信ＩＦ１８８０を介してダウンロードされた後、ハードディスク１８５０に一旦格納される。そのソフトウェアは、ＣＰＵ１８１０によってハードディスク１８５０から読み出され、ＲＡＭ１８４０に実行可能なプログラムの形式で格納される。ＣＰＵ１８１０は、そのプログラムを実行する。
【０１５５】
同図に示されるコンピュータシステム１８００を構成する各構成要素は、一般的なものである。したがって、本発明の本質的な部分は、ＲＡＭ１８４０、ハードディスク１８５０、ＤＶＤ−ＲＯＭ１８６１その他の記憶媒体に格納されたソフトウェア、あるいはネットワークを介してダウンロード可能なソフトウェアであるともいえる。なお、コンピュータシステム１８００の各ハードウェアの動作は周知であるので、詳細な説明は繰り返さない。
【０１５６】
なお、記録媒体としては、ＤＶＤ-ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＦＤ（Flexible Disk）、ハードディスクに限られず、磁気テープ、カセットテープ、光ディスク（ＭＯ（Magnetic Optical Disc）／ＭＤ（Mini Disc）／ＤＶＤ（Digital Versatile Disc））、ＩＣ（Integrated Circuit）カード（メモリカードを含む）、光カード、マスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ（Electronically Programmable Read-Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable Programmable Read-Only Memory）、フラッシュＲＯＭなどの半導体メモリ等の固定的にプログラムを担持する媒体でもよい。
【０１５７】
ここでいうプログラムとは、ＣＰＵにより直接実行可能なプログラムだけでなく、ソースプログラム形式のプログラム、圧縮処理されたプログラム、暗号化されたプログラム等を含む。
【０１５８】
（２）次に、検査装置１，１００１の運用例について説明する。オフライン用や評価機として検査装置１，１００１を使用する場合は特に問題はないが、インライン用として検査装置１，１００１を運用することを考えた場合、太陽電池９０を全数検査する運用はスループットを低下させる。このため、全数検査は現実的ではない。また、ソーラーシミュレータで良品と判定された太陽電池９０について、検査装置１，１００１で層別に面内分布を計測する必要性はない。
【０１５９】
上記理由により、ソーラーシミュレータで出力が低い（不良扱い）と判定された太陽電池９０について、検査装置１，１００１を用いて上述した検査を実施することが好ましい。しかし、工場の工程において検査するのに十分な時間がある場合は、良品判定されたものについて、検査装置１，１００１を用いて上述した検査を行っても構わない。検査装置１，１００１で不良になった原因の箇所（発電層、検査対象領域）を調査し、前工程にフィードバックすることにより、太陽電池９０の不良品率を低減することができる。
【０１６０】
図１８は、検査装置１，１００１の運用方法を示したフローチャートである。図１８を参照して、ステップＳ２０２において、ソーラシミュレータを用いて太陽電池９０の出力を測定する。ステップＳ２０４において、ソーラシミュレータは、上記計測結果は予め定められた基準をクリアしているか否かを判断する。
【０１６１】
基準をクリアしていると判断された場合（ステップＳ２０４においてＹＥＳ）、ステップＳ２０６において、太陽電池９０の製造工程を管理する管理装置（図示せず）は、ソーラシミュレータにて測定した太陽電池９０の全面を検査するだけの時間があるか否かを、製造工程を示した作業テーブルに基づき判断する。全面を検査する時間がないと判断された場合（ステップＳ２０６でＹＥＳ）、管理装置は、太陽電池９０を良品として払い出しする。
【０１６２】
基準をクリアしていないと判断された場合（ステップＳ２０４においてＮＯ）、および、全面を検査する時間があると判断された場合（ステップＳ２０６においてＮＯ）、管理装置は、ステップＳ２１０において、太陽電池９０を検査装置１，１００１に投入する。ステップＳ２１２において、検査装置１，１００１は、上述した手法で、不良発電層および不良箇所を特定する。ステップＳ２１４において、検査装置１，１００１は、前工程に特定した結果をフィードバックする。
【０１６３】
（３）光源を移動させる装置は、ステージに限定されるものではない。以下、ステージ以外の光源を移動させる装置について説明する。
【０１６４】
図１９は、自走式の光源８１１，８１２を示した図である。メイン光源８１１は、複数の車輪８５１と車輪８５１を駆動するモータ（図示せず）とを備える。メイン光源８１１は、複数の車輪８５１が回転することにより、Ｙ軸正方向およびＹ軸負方向に移動可能となっている。サブ光源８１２は、複数の車輪８５２と車輪８５２を駆動するモータ（図示せず）とを備える。サブ光源８１２は、複数の車輪８５２が回転することにより、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向に移動可能となっている。さらに、サブ光源８１２のＸ軸方向の移動に伴い、メイン光源８１１もサブ光源８１２と同様に、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向に移動する。このような構成によっても、ステージ１３，１４を備える場合と同様の効果を奏することができる。
【０１６５】
また、ステージの代わりに、伸縮ロッド、および当該伸縮ロッドの長さを変化させるための機構（たとえばシリンダ）を用いてもよい。あるいは、ステージの代わりに、多軸関節を備えたロボットハンド（産業用ロボット）を用いてもよい。光源を移動させる装置は、各光源を一軸方向に搬送する機能を有する装置であれば、特に限定されるものではない。
【０１６６】
（４）今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１６７】
１  検査装置、１１  メイン光源、１１Ａ  発光面、１２  サブ光源、１２Ａ  発光面、１３  第１ステージ、１４  第２ステージ、１４Ａ  ステージ、１５  フレーム、１７  情報処理装置、１７Ａ  情報処理装置、１８  太陽電池用ステージ、１９  測定器、９０  太陽電池、９１  受光面、９１Ａ  受光面、９１Ｂ  受光面、９２  発電層、９３  発電層、９４  電極、９５  電極、１１１  小光源、１１２  小光源、１１３  小光源、１７１  制御部、１７１Ａ  制御部、１７２  表示装置、１７３  記憶装置、１７３Ａ  記憶装置、５１２  光源、５１２Ａ  発光面、５１２Ｂ  発光面、５１２Ｗ  発光面、１００１  検査装置、１７１１  ステージ制御部、１７１１Ａ  ステージ制御部、１７１２  光源制御部、１７１２Ａ  光源制御部、１７１３  特定部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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