(57)【要約】【課題】プローブピンの全長が比較的短く高周波特性を高めることに有効な外ばねプローブピンにおいて、隣接する２つのプローブピンのクロストークを抑制する手段を提供する。【解決手段】プランジャー接触部とバレル接触部とは電気的に接続されつつ、プランジャーおよび／またはバレルはコイルスプリングと絶縁されている構成を備える。具体的には、バレル突片部および／またはプランジャー突片部は、その少なくとも一部が絶縁性部材によって構成されている。コイルスプリングにおけるプランジャーとの接触部および／またはコイルスプリングにおけるバレルとの接触部が絶縁コーティングで覆われていたり絶縁性のチューブにより被覆されていたりしていてもよい。バレルとコイルスプリングとが絶縁され、さらに筒体部の外側面が絶縁コーティングで覆われていたり絶縁性のチューブにより被覆されていたりしていてもよい。【選択図】図３
2010151732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象に付設された電極である測定対象電極と測定用基板との間に配置されてこれらを電気的に接続するためのプローブピンであって、
柱状の軸体部と、当該軸体部の一方の端部に延設され当該軸体部より大径であって前記軸体部の中心軸に平行な外側面を摺動面として有する摺動部と、前記軸体部における当該摺動部が設けられた端部と反対側の端部に設けられ前記軸体部の中心軸と直交する方向に突出する片状のプランジャー突片部と、当該プランジャー突片部の前記軸体部に接続する側と反対側の端面に設けられ前記測定対象電極と接触するためのプランジャー接触部とを備え、前記摺動部と前記プランジャー接触部とが電気的に接続されているプランジャー、
少なくとも一つの開口を有する中空部を備え当該中空部に前記摺動部が摺動可能に挿入された筒体部と、前記摺動部が脱離しないように前記摺動部が挿入された開口を部分的に閉塞する部分閉塞部と、前記筒体部における前記部分閉塞部が設けられた端部と反対側の端部に設けられ前記測定用基板に対して接触するためのバレル接触部と、前記筒体部の当該バレル接触部側の端部近傍で前記軸体部の中心軸と直交する方向に前記筒体部の外側面から突出するバレル突片部とを備え、前記筒体部の内側面と前記バレル接触部とが電気的に接続されている導電性のバレル、および
導電性材料を母材とし、前記プランジャー突片部と前記バレル突片部とに接触するように配置され、前記バレルおよびプランジャーを前記摺動部の摺動方向に離間するように付勢するコイルスプリングを備え、
前記プランジャー接触部と前記バレル接触部とは電気的に接続され、前記プランジャーおよび／またはバレルは前記コイルスプリングと絶縁されていること
を特徴とするプローブピン。
【請求項２】
前記バレル突片部および／または前記プランジャー突片部は、その少なくとも一部が絶縁性部材によって構成されている請求項１記載のプローブピン。
【請求項３】
前記コイルスプリングにおける前記プランジャーとの接触部であるプランジャー側の座巻部分および前記コイルスプリングにおける前記バレルとの接触部であるバレル側の座巻部分の少なくとも一方が絶縁コーティングで覆われている請求項１記載のプローブピン。
【請求項４】
前記コイルスプリングにおける前記プランジャーとの接触部であるプランジャー側接触部および前記コイルスプリングにおける前記バレルとの接触部であるバレル側接触部の少なくとも一方が絶縁性のチューブにより被覆されている請求項１記載のプローブピン。
【請求項５】
前記バレルと前記コイルスプリングとが絶縁され、さらに前記筒体部の外側面が絶縁コーティングで覆われている請求項１から４記載のプローブピン。
【請求項６】
前記バレルと前記コイルスプリングとが絶縁され、前記筒体部の外側面が絶縁性のチューブにより被覆されていることにより前記コイルスプリングと前記筒体部とが絶縁されている請求項１から４記載のプローブピン。
【請求項７】
前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部は、前記軸体部の中心軸方向で前記コイルスプリングに対向する側に突出する突起部分を有し、前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部に接触する前記コイルスプリングの座巻部分における前記軸体部の中心軸と直交する方向への可動領域が当該突起部分によって制限されている請求項１から６のいずれかに記載のプローブピン。
【請求項８】
前記突起部分が、前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部の内周側に設けられている請求項７記載のプローブピン。
【請求項９】
前記プランジャー突片部および前記バレル突片部の双方に前記突起部分が設けられ、これらの突起部分は、前記プランジャー突片部および前記バレル突片部の一方についてはその外周側に、他方についてはその内周側に設けられている請求項７記載のプローブピン。
【請求項１０】
前記プランジャー突片部および前記バレル突片部の双方に前記突起部分が設けられ、これらの突起部分は、前記プランジャー突片部および前記バレル突片部の双方についてそれらの内周側に設けられている請求項７記載のプローブピン。
【請求項１１】
前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部が二重リング構造を有し、内径側のリングの一部が前記突起部分をなす請求項８から１０のいずれかに記載のプローブピン。
【請求項１２】
前記内径側のリングが熱収縮性チューブで構成される請求項１１記載のプローブピン。
【請求項１３】
前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部の内周側に設けられている突起部分が、前記コイルスプリングのコイル径を収縮させる側の弾性回復力によって前記プランジャーおよび／または前記バレルに対して固定されている請求項８から１１のいずれかに記載のプローブピン。
【請求項１４】
前記突起部分が、前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部の外周側に設けられている請求項７記載のプローブピン。
【請求項１５】
前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部の外周側に設けられている突起部分に対して前記コイルスプリングのコイル径を拡張させる側の弾性回復力が付加されることによって、前記コイルスプリングは前記プランジャーおよび／または前記バレルに対して固定されている請求項９または１４に記載のプローブピン。
【請求項１６】
前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部は、前記突起部分と当該突起部分以外の部分とが別部材で構成されている請求項７から１５のいずれかに記載のプローブピン。
【請求項１７】
前記突起部分が、前記プランジャー突片部および／または前記バレル突片部における前記突起部分以外の部分をなす片状の部材の上に固定されたレジスト層からなる請求項１６記載のプローブピン。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
近年、半導体の動作速度は益々早くなり、半導体を検査するための半導体検査用プローブピンにもより高周波特性が良いものが求められている。プローブピンの高周波特性を良くするためには全長を短くし、自己インダクタンスを小さくすることが重要であるが、全長を短くするとコイルスプリングの巻数が少なくなって、このため接触時の荷重やストロークが小さくなり、結果的に測定時の接触が不安定になる問題があった。
【０００２】
そこで、図１、図２に例示的に示された外ばねタイプのプローブピンが考案されている。外ばねタイプのプローブピンとは、測定対象に付設された電極である測定対象電極（具体的には、半導体チップに接合されたはんだボールが例示される。）に電気的に接触するプランジャーと、測定用基板に電気的に接触するバレルと、これらのプランジャーおよびバレルとが離間するように付勢された状態でこれらの間に配置されるコイルスプリングとを必須の構成要素とするプローブピンである。図１は外ばねタイプのプローブピンがラバーの弾性により測定用基板に押し付けられた状態を示しており、測定が可能な状態にある。また、図２は外ばねタイプのプローブピンを使ったソケット全体の構成を示している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、図２に示されるように、外ばねタイプのプローブピンは隣接するプローブピン同士のコイルスプリングの間隔が狭いので、コイルスプリングがコイルの役割をすると、隣接する２つのコイルの距離に反比例する相互インダクタンスが大きくなり、２つのコイル間でクロストークが発生し、プローブピンの高周波性能に大きな影響を及ぼすことが懸念される。
【０００４】
そこで、本発明は、プローブピンの全長が比較的短く高周波特性を高めることに有効な外ばねプローブピンにおいて、隣接する２つのプローブピンのクロストークを抑制する手段を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために提供される本発明は次のとおりである。
（１）測定対象に付設された電極である測定対象電極と測定用基板との間に配置されてこれらを電気的に接続するためのプローブピンであって、柱状の軸体部と、この軸体部の一方の端部に延設されこの軸体部より大径であって軸体部の中心軸に平行な外側面を摺動面として有する摺動部と、軸体部におけるこの摺動部が設けられた端部と反対側の端部に設けられ軸体部の中心軸と直交する方向に突出する片状のプランジャー突片部と、このプランジャー突片部の軸体部に接続する側と反対側の端面に設けられ測定対象電極と接触するためのプランジャー接触部とを備え、摺動部とプランジャー接触部とが電気的に接続されているプランジャー、少なくとも一つの開口を有する中空部を備えこの中空部に摺動部が摺動可能に挿入された筒体部と、摺動部が脱離しないように摺動部が挿入された開口を部分的に閉塞する部分閉塞部と、筒体部における部分閉塞部が設けられた端部と反対側の端部に設けられ測定用基板に対して接触するためのバレル接触部と、筒体部のこのバレル接触部側の端部近傍で軸体部の中心軸と直交する方向に筒体部の外側面から突出するバレル突片部とを備え、筒体部の内側面とバレル接触部とが電気的に接続されている導電性のバレル、および導電性材料を母材とし、プランジャー突片部とバレル突片部とに接触するように配置され、バレルおよびプランジャーを摺動部の摺動方向に離間するように付勢するコイルスプリングを備え、プランジャー接触部とバレル接触部とは電気的に接続され、プランジャーおよび／またはバレルはコイルスプリングと絶縁されていること
を特徴とするプローブピン。
【０００６】
（２）バレル突片部および／またはプランジャー突片部は、その少なくとも一部が絶縁性部材によって構成されている上記（１）記載のプローブピン。
ここで、「絶縁性部材」とは絶縁する機能を有する部材を意味し、絶縁性樹脂、絶縁性セラミックスなどの絶縁性の材料により部材全体が構成されていてもよいし、金属などの導電性の材料から母材は構成されているが、少なくともコイルスプリングと接触する部分は絶縁性の材料で構成されている部材であってもよい。
【０００７】
（３）コイルスプリングにおけるプランジャーとの接触部であるプランジャー側の座巻部分およびコイルスプリングにおけるバレルとの接触部であるバレル側の座巻部分の少なくとも一方が絶縁コーティングで覆われている上記（１）記載のプローブピン。
【０００８】
（４）コイルスプリングにおけるプランジャーとの接触部であるプランジャー側接触部およびコイルスプリングにおけるバレルとの接触部であるバレル側接触部の少なくとも一方が絶縁性のチューブにより被覆されている上記（１）記載のプローブピン。
【０００９】
（５）バレルとコイルスプリングとが絶縁され、さらに筒体部の外側面が絶縁コーティングで覆われている上記（１）から（４）記載のプローブピン。
【００１０】
（６）バレルとコイルスプリングとが絶縁され、筒体部の外側面が絶縁性のチューブにより被覆されていることによりコイルスプリングと筒体部とが絶縁されている上記（１）から（４）記載のプローブピン。
【００１１】
（７）プランジャー突片部および／またはバレル突片部は、軸体部の中心軸方向でコイルスプリングに対向する側に突出する突起部分を有し、プランジャー突片部および／またはバレル突片部に接触するコイルスプリングの座巻部分における軸体部の中心軸と直交する方向への可動領域がこの突起部分によって制限されている上記（１）から（６）のいずれかに記載のプローブピン。
【００１２】
（８）突起部分が、プランジャー突片部および／またはバレル突片部の内周側に設けられている上記（７）記載のプローブピン。
【００１３】
（９）プランジャー突片部およびバレル突片部の双方に突起部分が設けられ、これらの突起部分は、プランジャー突片部およびバレル突片部の一方についてはその外周側に、他方についてはその内周側に設けられている上記（７）記載のプローブピン。
【００１４】
（１０）プランジャー突片部およびバレル突片部の双方に突起部分が設けられ、これらの突起部分は、プランジャー突片部およびバレル突片部の双方についてそれらの内周側に設けられている上記（７）記載のプローブピン。
【００１５】
（１１）プランジャー突片部および／またはバレル突片部が二重リング構造を有し、内径側のリングの一部が突起部分をなす上記（８）から（１０）のいずれかに記載のプローブピン。
【００１６】
（１２）内径側のリングが熱収縮性チューブで構成される上記（１１）記載のプローブピン。
【００１７】
（１３）プランジャー突片部および／またはバレル突片部の内周側に設けられている突起部分が、コイルスプリングのコイル径を収縮させる側の弾性回復力によってプランジャーおよび／またはバレルに対して固定されている上記（８から１１のいずれかに）記載のプローブピン。
【００１８】
（１４）突起部分が、プランジャー突片部および／またはバレル突片部の外周側に設けられている上記（７）記載のプローブピン。
【００１９】
（１５）プランジャー突片部および／またはバレル突片部の外周側に設けられている突起部分に対してコイルスプリングのコイル径を拡張させる側の弾性回復力が付加されることによって、コイルスプリングはプランジャーおよび／またはバレルに対して固定されている上記（９）または（１４）に記載のプローブピン。
【００２０】
（１６）プランジャー突片部および／またはバレル突片部は、突起部分とこの突起部分以外の部分とが別部材で構成されている上記（７）から（１５）のいずれかに記載のプローブピン。
【００２１】
（１７）突起部分が、プランジャー突片部および／またはバレル突片部における突起部分以外の部分をなす片状の部材の上に固定されたレジスト層からなる上記（１６）記載のプローブピン。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るプローブピンは、コイルスプリングがプランジャーおよび／またはバレルと絶縁されているため、コイルスプリングには測定時に電流が流れない。このため、隣接する２つのプローブピンのクロストークが抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るプローブピンを説明する。
図３は本発明に係るプローブピンの一態様を概念的に示す断面図である。
本発明に係るプローブピン１００は、大きく、プランジャー１０１、バレル１０２、およびコイルスプリング１０３によって構成される。プローブピン１００は測定対象に付設された電極である測定対象電極（典型的には半導体チップに接合されたはんだボール）と測定用基板との間に配置されてこれらを電気的に接続するためのものであって、プランジャー１０１は測定対象電極と接触し、バレル１０２は測定用基板と接触する。
【００２４】
プランジャー１０１は、柱状の軸体部１１０と、この軸体部１１０の一方の端部に延設されこの軸体部１１０より大径であって軸体部１１０の中心軸に平行な外側面を摺動面として有する摺動部１１１と、軸体部１１０におけるこの摺動部１１１が設けられた端部と反対側の端部に設けられ軸体部１１０の中心軸と直交する方向に突出する片状のプランジャー突片部１１２と、このプランジャー突片部１１２の軸体部１１０に接続する側と反対側の端面に設けられ測定対象電極と接触するためのプランジャー接触部１１３とを備える。
【００２５】
プランジャー１０１は、プランジャー接触部１１３と摺動部１１１とが電気的に接続されるような材料で構成され、通常は、プランジャー接触部１１３は硬質なベリリウム銅からなる。他の部分は特に限定されないが、後述するように、本実施形態では、プランジャー突片部１１２の一部が絶縁性部材によって構成されている。
【００２６】
バレル１０２は、少なくとも一つの開口を有する中空部１２０を備えこの中空部１２０に摺動部１１１が摺動可能に挿入された筒体部１２１と、摺動部１１１が脱離しないように摺動部１１１が挿入された開口を部分的に閉塞する部分閉塞部１２２と、筒体部１２１における部分閉塞部１２２が設けられた端部と反対側の端部に設けられた測定用基板に対して接触するためのバレル接触部１２３と、筒体部１２１のこのバレル接触部側の端部近傍で軸体部１１０の中心軸と直交する方向に筒体部１２１の外側面から突出するバレル突片部１２４とを備える。
【００２７】
バレル１０２は、バレル接触部１２３と筒体部１２１の内側面とが電気的に接続されるような材料で構成され、通常は、バレル接触部１２３は硬質なベリリウム銅からなる。他の部分は特に限定されないが、後述するように、本実施形態では、バレル突片部１２４の一部が絶縁性部材によって構成されている。
【００２８】
コイルスプリング１０３は、プランジャー突片部１１２とバレル突片部１２４とに接触しつつ、バレル１０２およびプランジャー１０１を摺動部１１１の摺動方向に離間するように付勢された状態で配置される。コイルスプリング１０３の母材は導電性の材料、具体的には金属からなり、本実施形態では、コイルスプリング１０３が隣接するプローブピンのコイルスプリングとクロストークすることが防止されている。
【００２９】
本実施形態にかかるプローブピン１００は、プランジャー１０１あるいはバレル１０２とコイルスプリング１０３が接している部分に絶縁性の部材が挟み込まれるような構造を備えることで、コイルスプリング１０３とプランジャー１０１あるいはバレル１０２とが絶縁されている。
【００３０】
その一態様として、図３に示されるプローブピン１００では、プランジャー突片部１１２およびバレル突片部１２４の一部が絶縁性部材によって構成されている。
具体的には、プランジャー突片部１１２は、軸体部１１０とプランジャー接触部１１３との間でプランジャー１０１の他の要素と一体に設けられプランジャー接触部１１３の外径よりも小さな外径の円盤状の部位１３０と、この円盤状の部位１３０を内包する開口を有しプランジャー接触部１１３の外径よりも大きな外径を有するリング状の部材（以下、「プランジャーリング状部材」という。）１３１とから構成される。
【００３１】
このプランジャーリング状部材１３１は絶縁性の材料からなり、上記の絶縁性部材によって構成されているプランジャー突片部１１２の一部に該当する。本実施形態では、このプランジャーリング状部材１３１はバレル１０２に対向しコイルスプリング１０３と接触する側の底面の内周部側に、プランジャーリング状部材１３１の開口方向に突出する突起部分１３２を有し、この突起部分１３２はプランジャーリング状部材１３１の他の部分と一体に形成されている。
【００３２】
プランジャーリング状部材１３１は、図３に示されるように、コイルスプリング１０３の座巻部分と接触し、コイルスプリング１０３とプランジャー１０１の他の部分、特に測定対象電極に接触するプランジャー接触部１１３とを電気的に絶縁する。
【００３３】
ここで、本実施形態に係るプランジャーリング状部材１３１は内周側が突出しているので、コイルスプリング１０３の座巻部分は、軸体部１１０の中心軸と直交する方向への可動領域がこの突起部分によって制限されている。このため、コイルスプリング１０３は、プランジャー１０１がバレル１０２に対して面倒れを起こし、プランジャーの軸体部１１０の中心軸とバレルの中空部１２０の中心軸とがずれることになっても、コイルスプリング１０３の座巻部分がプランジャー１０１の導電性を有する部分と接触する可能性が抑制されている。
【００３４】
なお、本実施形態では、プランジャーリング状部材１３１はプランジャー１０１の他の部分に対して特に一体化されるように接着されておらず、実質的に、コイルスプリング１０３とプランジャー１０１の他の部分とによって挟み込まれた構造をなしている。このような構造であっても、プランジャーリング状部材１３１の内周側に設けられた突起部分１３２によってコイルスプリング１０３の座巻部分のプランジャーリング状部材１３１に対する接触位置は限定されているため、プランジャーリング状部材１３１がプランジャー１０１の他の部分と分離することは防止されている。
【００３５】
本実施形態では、プランジャー１０１と同様に、バレル１０２についても、バレル突片部１２４は、筒体部１２１から直接突出する導電性の突片部１４０と、この導電性の突片部１４０とこれよりもプランジャー寄りの筒体部１２１の外側面とに接触するように配置され、導電性の突片部１４０よりも大きな外径を有するリング状の部材（以下、「バレルリング状部材」という。）１４１とから構成される。
【００３６】
このバレルリング状部材１４１は絶縁性の材料からなり、上記の絶縁性部材によって構成されているバレル突片部１２４の一部に該当する。本実施形態では、このバレルリング状部材１４１はプランジャー１０１に対向しコイルスプリング１０３と接触する側の底面の内周部側に、バレルリング状部材１４１の開口方向に突出する突起部分１４２を有し、この突起部分はバレルリング状部材１４１の他の部分と一体に形成されている。
【００３７】
バレルリング状部材１４１は、図３に示されるように、コイルスプリング１０３の座巻部分と接触し、コイルスプリング１０３とバレル１０２の他の部分、特に測定用基板に接触するバレル接触部１２３とを電気的に絶縁する。
【００３８】
ここで、本実施形態に係るバレルリング状部材１４１は内周側が突出しているので、コイルスプリング１０３の座巻部分は、筒体部１２１の中心軸と直交する方向への可動領域がこの突起部分１４２によって制限されている。このため、コイルスプリング１０３は、バレル１０２がプランジャー１０１に対して面倒れを起こし、プランジャーの軸体部１１０の中心軸とバレルの筒体部１２１の中心軸とがずれることになっても、コイルスプリング１０３の座巻部分がバレル１０２の導電性を有する部分、特に筒体部１２１の外側面と接触すること可能性が抑制されている。
【００３９】
なお、本実施形態では、バレルリング状部材１４１はバレル１０２の他の部分に対して特に一体化されるように接着されておらず、実質的に、コイルスプリング１０３とバレル１０２の他の部分とによって挟み込まれた構造をなしている。このような構造であっても、バレルリング状部材１４１の内周側に設けられた突起部分１４２によってコイルスプリング１０３の座巻部分のバレルリング状部材１４１に対する接触位置は限定されているため、バレルリング状部材１４１がバレル１０２の他の部分と分離することは防止されている。
【００４０】
図４に代表例としてプランジャーリング状部材の断面図および裏面図（バレル寄りの底面を見た図）を示す。
プランジャーリング状部材およびバレルリング状部材は、本実施形態においては分離可能とされているが、もちろんプランジャーやバレルの他の部分と接着されて一体構造となっていてもよい。接着方法は特に限定されず、接着剤を用いてもよいし、リング状部材自体がプランジャーやバレルに対する接着性を有していてもよい。
【００４１】
ここで、外ばねタイプのプローブピンにおいては、筒体部はコイルスプリングに内包されるために、筒体部の外径はコイルスプリングの内径よりも小さい必要があるが、さらに筒体部にはプランジャーの摺動部および軸体部が内包されるので、プランジャー強度の観点から、筒体部の直径は出来る限り大きい方が望ましい。そのため、コイルスプリングの内径と筒体部の外径のクリアランスは、コイルスプリングが摺動する範囲で出来る限り小さくするのが一般的である。
【００４２】
従って、図３におけるバレルリング状部材の内周側に設けられた突起部分の肉厚（バレルリング状部材の内側面と突起部分の外側面との間の距離）はかなり薄くする必要があり、製造上、加工が困難な場合がある。そのような場合には、図５に示されるように、バレルリング状部材の外周側に突起部分が設けられ、この突起部分の内側面がコイルスプリングの座巻部分の外側面と接触することでコイルスプリングの位置を規制し、コイルスプリングの内径とバレル筒体部の外径とが接触しないようにすればよい。
【００４３】
プランジャーリング状部材も、図５に示したバレルリング状部材と同じように外周側に突起部分を有し、この突起部分の内側面とコイルスプリングの外側面とが接触することでコイルスプリングの位置を規制し、コイルスプリングの内径とプランジャーの軸体部の外径とが接触しないようにしてもよい。
【００４４】
また、図３、図５ではプランジャーリング状部材とバレルリング状部材の双方が用いられているが、コイルスプリングに電流を通さないためには、コイルスプリングとプランジャー、コイルスプリングのバレルの何れか一方が絶縁されていればよいので、実用上はプランジャーリング状部材とバレルリング状部材も何れか一方が用いられていればよい。
【００４５】
ただし、コイルスプリングとバレル外周とのクリアランスが小さく、プランジャーがバレルに対して面倒れした際に、コイルスプリングの中間点がバレルの筒体部の外側面と接触する恐れがある場合には、プランジャーリング状部材とバレルリング状部材の双方を用いておくことが望ましい。コイルスプリングの両端がそれぞれプランジャーとバレルと絶縁されていれば、コイルスプリングの中間点がバレルと接触してもコイルスプリングに電流は流れないので、プローブピンとしての高周波性能は維持される。
【００４６】
次に、リング状部材（以下、プランジャーリング状部材およびバレルリング状部材の総称としてこの用語を用いる。）の材質について説明する。リング状部材は、これに接触するコイルスプリングとプローブピンの他の部分とを絶縁するという機能を果たせる限り、特に材質上の制限はない。プラスチックなどの樹脂の他、セラミックなどの絶縁体を用いても良い。また、製造上、プラスチックやセラミックなどの絶縁体でリング状部材を製造することが難しい場合には、リング状部材は金属などの導体に絶縁コーティングを施したものでもよい。
【００４７】
リング状部材の材質として樹脂を用いる場合には、プラスチックを射出成形してもよいし、アクリルなどの熱可塑性樹脂を熱プレスにより成形してもよいし、ポリイミドなどをレーザー加工してもよい。また、ポリイミドなどの薄い基板に別部材としてレジストを塗布し、エッチングなどの手法によりレジストを基板上にリング状に形成し、この基板をさらにリング状に打ち抜くことで突起部分を有しつつ薄肉のリング状部材を得ることができる。このようにして得られた絶縁部材の断面を図６に示す。
【００４８】
リング状部材の材質として金属などの導体を用い、これを絶縁コーティングして使用する場合には、プレス加工により成形してもよいし、エッチングを用いて加工してもよい。エッチングを用いる場合には、ハーフエッチングを施すことにより、図４に示したような段差のあるリングを得ることが容易に実現される。
【００４９】
リング状部材における突起部分と他の部分とが別部材で構成されていてもよい。この場合には、他の部分は少なくとも絶縁材料で構成されていることで、これに直接接続する導電性のプランジャーやバレルの他の部分との絶縁が達成される。
【００５０】
リング状部材の形状は、上記の実施態様のようにＯリング形状をしていてもよいし、図７に示したようなＣリング形状でもよい。
【００５１】
また、プランジャーの軸体部とコイルスプリングとの距離はある程度大きいので、プランジャーリング状部材は、図８に示されるように、突起部分を有さない平らなリング形状でもよい。但し、コイルスプリングに対してプランジャーが水平方向に動くことが可能なため、測定時などにプランジャーの中心軸がずれてプランジャーの軸体部がコイルスプリングの内径に接触する恐れがあるので、図３のように絶縁部材でコイルスプリングを水平方向にも位置決めしておくことが望ましい。
【００５２】
バレルリング状部材についても、図３あるいは図５に示したような段差のある形状を一体で作ることが難しい場合にはバレルリング状部材を二重リング構造とすればよい。具体的には、図９に示されるように、バレル筒体部の外壁面とコイルスプリングとの間には薄肉の絶縁性のパイプを挟み込み、バレル突片部（フランジ部）とコイルスプリング底面との間には平らなリング状の絶縁部材を挟み込めばよい。このような構造は、バレルリング状部材のみならず、プランジャーリング状部材も有していてもよい。
【００５３】
但し、絶縁性のパイプはバレルの外壁面および／またはプランジャーの外壁面に固定されていることが好ましいため、絶縁性のパイプをこれらの外壁面に接着するか、薄肉の熱収縮チューブを用いるなどの必要がある。あるいは、絶縁性のパイプの肉厚を適度に調整し、コイルスプリングの座巻部分の弾性を利用して、コイルスプリングの座巻部分とバレルおよび／またはプランジャーの外壁面とパイプを挟み込んでもよい。
【００５４】
このコイルスプリングの座巻部分の弾性を利用する方法として、リング状部材に設けられた突起部分がリング状部材の外周側に設けられている場合には、突起部分の内径をコイルスプリングの座巻部分の外径よりも若干小さめにして、座巻部分の外径を縮めるように弾性変形させた状態でコイルスプリングとリング状部材とを接触させると、座巻部分の弾性回復力によってコイルスプリングはリング状部材の突起部分の内径に密着する。このため、コイルスプリングの座巻部分がリング状部材に対して固定され、コイルスプリングがプランジャーやバレルの導電性部分に接触する可能性をさらに低減することが実現される。
【００５５】
リング状部材の内周側に突起部分が設けられている場合には、突起部分の外径をコイルスプリングの内径よりもやや大きく設定することで、同様にコイルスプリングの座巻部分をリング状部材に対して固定して、コイルスプリングがプランジャーやバレルの導電性部分に接触する可能性をさらに低減することが実現される。
【００５６】
上記のようにプランジャーおよび／またはバレルの少なくとも一部が絶縁材料で構成されている構成に代えて、またはこの構成に加えて、コイルスプリングにおけるプランジャーとの接触部であるプランジャー側の座巻部分、およびコイルスプリングにおけるバレルとの接触部であるバレル側の座巻部分の少なくとも一方が絶縁コーティングで覆われていてもよい。
【００５７】
マスキングなどの手法を用いて座巻部分のみをコーティングする場合には、コーティング材料は絶縁性を維持できる限り特に限定されない。一方、生産効率を高める観点でコイルスプリング全体にコーティングを施す場合には、コイルスプリングは使用時に２０％以上もの圧縮を繰り返し受けることから、コーティング材料が弾性を有していることが好ましい。
【００５８】
コイルスプリングに絶縁コーティングを施す他に、コイルスプリングの表面を絶縁する方法としては、コイルスプリングに絶縁材からなる薄肉チューブを被せる方法がある。チューブの材質としてはポリイミドの他、テフロンやシリコンゴムなどが考えられる。何れの材料も薄肉であれば柔軟性があるので、図１０のように、コイルスプリング全体にチューブを被せてもよいし、プランジャー、バレルと接触する巻き始めと巻終わりの１巻だけ、すなわち座巻部分にチューブを被せてもよい。ばね特性を変化させないという観点からは、後者の座巻部分のみを被せることが好ましい。
【００５９】
さらに、バレルとコイルスプリングとが絶縁されている場合には、バレルの筒体部の外側面が絶縁コーティングで覆われていたり、絶縁性のチューブにより被覆されていたりすることが好ましい。この場合には、コイルスプリング全体が絶縁コーティングされたり薄肉チューブが被せられたりしているときと同様に、コイルスプリングの座巻部分以外の部分とバレルの筒体部とが接触してバレルとコイルスプリングとの絶縁状態が維持されなくなることが防止される。この構成の場合には、バレルのみが絶縁のための構成を有すればよく、しかも、バレルリング状部材の内周側の突起部分を絶縁性のパイプやチューブにして、その長さを伸ばして筒体部の外側面をも覆うようにすれば、工程としてはバレルリング状部材を設ける場合と同一工程でより確実にコイルスプリングをバレルから絶縁することが可能となる。
【００６０】
コイルスプリングとバレル外周とのクリアランスが小さいなどの理由によりこのようにバレルの筒体部の外側面を絶縁できない場合には、前述の通り、プランジャーリング状部材とバレルリング状部材の双方を用いるか、あるいはコイルスプリングがプランジャー、バレルと接触する巻き始めと巻き終わりの双方、すなわちコイルスプリングの双方の座巻部分を絶縁することにより、コイルスプリングの中間点がバレルの筒体部と接触してもコイルスプリングに電流が流れないようにしておくことが望ましい。
【００６１】
なお、外ばねタイプのプローブピンではプランジャーの摺動部とバレルの筒体部の内壁面が接触するので、この内壁面をめっきしておくことが望ましい。そのため、めっき液が流れやすいように筒体部の側面に貫通孔を設けることがあるが、貫通孔は図１１に示されるようにバレル接触部にあってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】従来技術に係るプローブピンの一例を概念的に示す断面図である。
【図２】図１のプローブピンを備える異方性導電部材が測定用基板に取り付けられた状態を概念的に示す断面図である。
【図３】本発明に係るプローブピンの一実施形態を概念的に示す断面図である。
【図４】本発明に係るプランジャーリング状部材の一例における断面図および裏面図（バレル寄りの底面を見た図）を示す。
【図５】本発明に係るプローブピンの一実施形態の変形例を概念的に示す断面図である。
【図６】レジストにより突起部分が形成されたリング状部材を概念的に示す断面図である。
【図７】本発明に係るリング状部材の一例であってＣリング形状を有するものを概念的に示す断面図である。
【図８】本発明に係るプローブピンの一実施形態の他の変形例を概念的に示す断面図である。
【図９】本発明に係るプローブピンの一実施形態のさらに別の変形例を概念的に示す断面図である。
【図１０】本発明に係るプローブピンが取り得るコイルスプリングの例のいくつかを概念的に示す側面図である。
【図１１】本発明に係るプローブピンが取り得るバレルの一例を概念的に示すである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010151732.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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