(57)【要約】      （修正有）【課題】２つの部材の材質に関係なく、２つの部材を高い接着力で接着する接着方法を提供する。【解決手段】第１の部材１１の一面１１Ａに、薄膜１３を被膜する。一面１１Ａに第２の部材１２を密着させる。第１の部材１１は、レーザー光を透過する透過性を有する。第２の部材１２は、レーザー光を吸収する非透過性を有する。第１の部材１１を介して第２の部材１２にレーザー光Ｌを照射して、第１の部材１１の一面１１Ａに第２の部材１２を接着させる。【選択図】図１
2010064427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部材の一面に第２の部材を接着させる接着方法において、
前記第１の部材の一面には、金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が被膜されており、
前記第１及び第２の部材のうち、一方の部材が、レーザー光を透過する透過性を有すると共に、他方の部材が、前記レーザー光を吸収する非透過性を有し、
前記一面に第２の部材を密着させた後、前記一方の部材を介して前記他方の部材にレーザー光を照射させることにより前記一面に前記第２の部材を接着させることを特徴とする接着方法。
【請求項２】
前記薄膜は、誘電体材料又は金から形成されることを特徴とする請求項１に記載の接着方法。
【請求項３】
前記誘電体材料は、酸化シリコン、酸化チタン、及びフッ化マグネシウムから成る群より選ばれる少なくとも一種の誘電体材料であることを特徴とする請求項２に記載の接着方法。
【請求項４】
前記第１の部材は、レーザー光を透過する透過性を有すると共に、前記第２の部材が、前記レーザー光を吸収する非透過性を有することを特徴とする請求項１に記載の接着方法。
【請求項５】
前記第１の部材の一面には、誘電体材料から形成される膜が複数積層されて反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜の少なくとも一部が前記薄膜を構成することを特徴とする請求項１に記載の接着方法。
【請求項６】
金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が、一面に被膜された第１の部材と、
前記一面に密着される第２の部材とを備え、
前記第１及び第２の部材のうち、一方の部材が、レーザー光を透過する透過性を有すると共に、他方の部材が、前記レーザー光を吸収する非透過性を有し、
前記一方の部材を介して前記他方の部材にレーザー光が照射されることにより、前記一面に前記第２の部材が接着させられることを特徴とする接着体。
【請求項７】
第１の部材の一面に第２の部材を接着させる接着方法において、
前記第１の部材は、レーザー光を透過する透過性を有し、
前記第１の部材の一面には、前記レーザー光を吸収する非透過性膜、並びに金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が順に被膜されており、
前記一面に前記第２の部材を密着させた後、前記第１の部材を介して前記非透過性膜にレーザー光を照射させることにより前記一面に前記第２の部材を接着させることを特徴とする接着方法。
【請求項８】
レーザー光を透過する透過性を有すると共に、前記レーザー光を吸収する非透過性膜、並びに金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が、一面に順に被膜された第１の部材と、
前記一面に密着される第２の部材とを有し、
前記第１の部材を介して前記非透過性膜にレーザー光を照射させることにより前記一面に前記第２の部材を接着させることを特徴とする接着体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスや樹脂等の部材を、レーザー光を用いて他の部材に接着させるための接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、２つの部材を接着する方法としては、特許文献１、２に記載されるように、レーザー融着を用いる方法が知られている。特許文献１の方法では、透過性を有する熱可塑性樹脂部材と、非透過性の熱可塑性樹脂部材とを重ね合わせた上で、透過性を有する一方の部材側からレーザー光を照射し、非透過性の他方の部材にレーザー光を吸収させる。そして、吸収されたレーザー光のエネルギーにより、これら２つの部材の密着面付近の樹脂材料を溶融させて、２つの部材を融着させている。
【０００３】
また、特許文献２の方法では、加熱・溶融されることで接着作用を発現する接着材を介在させて、２つの部材を重ね合わせた上で、透過性を有する一方の部材を介してレーザー光を接着材に照射する。そして、そのレーザー光により加熱・溶融された接着材によって、２つの部材を融着させている。
【０００４】
しかし、これらの方法では、同種の樹脂材料の接合には適しているが、例えば極性が異なる異種の樹脂材料を接合する場合には、樹脂同士の相溶性の問題等により、２つの部材を高い接着力で接合するのは困難であった。さらに、特許文献１の方法では、樹脂材料が熱可塑性樹脂である必要があり、限られた材質同士の部材しか接合することができなかった。
【０００５】
また、接着剤を用いて２つの部材を接着する方法が、従来広く知られている。接着剤を用いる方法は、極性の高い部材同士を接着させるには適しているが、ポリオレフィン系材料等の極性の低い材料を他の部材に接着しにくいという問題がある。特許文献３には、このような問題を解決するために、ポリオレフィン系部材の表面に、誘電体膜を被膜し、その誘電体膜を介して、ポリオレフィン系樹脂部材を他の部材に接着させる方法が開示されている。
【０００６】
しかし、接着剤を用いる方法では、接着面を微小領域にすることが困難で、また接着剤が固化させるために時間を要するため、レーザー融着に比べて接合部の設計に制約が多く、また作業性も劣るという問題がある。
【特許文献１】特公昭６２−４９８５０号公報
【特許文献２】特公平５−４２３３６号公報
【特許文献３】特許３４３９２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、レーザー光を用いて２つの部材を接着させる場合に、接着させる２つの部材の材質に関係なく、高い接着力で２つの部材を接着させることが可能な接着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、第１の部材の一面に第２の部材を接着させる接着方法に関する。第１の部材の一面には、金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が被膜されており、かつ、第１及び第２の部材のうち、一方の部材がレーザー光を透過する透過性を有すると共に、他方の部材がレーザー光を吸収する非透過性を有する。そして、第１の部材の薄膜が被膜された一面に第２の部材を密着させた後、一方の部材を介して他方の部材にレーザー光を照射させることにより、上記一面に第２の部材を接着させることを特徴とする。
【０００９】
上記薄膜は、誘電体材料又は金から形成され、誘電体材料は、酸化シリコン、酸化チタン、及びフッ化マグネシウムから成る群より選ばれる少なくとも一種の誘電体材料であることが好ましい。また、第１の部材の一面には、好ましくは、誘電体材料から形成される膜が複数積層されて反射防止膜が設けられ、反射防止膜の少なくとも一部が上記薄膜を構成する。
【００１０】
第１の部材は、レーザー光を透過する透過性を有すると共に、第２の部材はレーザー光を吸収する非透過性を有することが好ましい。
【００１１】
本発明に係る接着体は、金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が、一面に被膜された第１の部材と、誘電体膜が被膜された第１の部材の一面に密着される第２の部材とを備え、第１及び第２の部材のうち、一方の部材が、レーザー光を透過する透過性を有すると共に、他方の部材が、レーザー光を吸収する非透過性を有し、一方の部材を介して他方の部材にレーザー光が照射されることにより、上記一面に第２の部材が接着させられることを特徴とする。
【００１２】
本発明の別の態様においては、第１の部材は、レーザー光を透過する透過性を有し、第１の部材の一面には、上記レーザー光を吸収する非透過性膜、並びに金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が順に被膜されている。そして、一面に第２の部材を密着させた後、第１の部材を介して非透過性膜にレーザー光を照射させることにより上記一面に第２の部材を接着させることを特徴とする。
【００１３】
本発明の別の態様における接着体は、レーザー光を透過する透過性を有すると共に、上記レーザー光を吸収する非透過性膜、並びに金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種より形成される薄膜が、一面に順に被膜された第１の部材と、上記一面に密着される第２の部材とを有し、第１の部材を介して非透過性膜にレーザー光を照射させることにより上記一面に第２の部材を接着させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、第１及び第２の部材の材質にかかわりなく、第２の部材を第１の部材に高い接着力で接着することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る接着方法を説明するための図であって、第１の部材１１に、第２の部材１２を接着する方法を示す図である。
【００１６】
まず、図１を用いて第１及び第２の部材１１、１２の構成について説明する。
第１の部材１１は、所定の波長を有するレーザー光Ｌを透過可能な透過性を有するガラス、樹脂等である。第１の部材１１に使用される樹脂としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等が使用される。熱可塑性樹脂としては、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、スチレンの単重合体やスチロール・アクリル（ＳＡＮ）、ＡＢＳ樹脂等のスチレン共重合体等のポリスチレン、ポリメチルメタクリレート等のアクリル樹脂、フッ素エチレンプロピレン等のフッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ナイロン、ポリアセタール、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンスルファイド、シクロオレフィンポリマー等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン等が挙げられる。光硬化性製樹脂としては、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート等の変性アクリレート等が挙げられる。
【００１７】
第１の部材１１に使用されるガラスは、Ｓｉ含有ガラス、Ｓｉを含有しないガラスのいずれでも良い。但し、Ｓｉを含有するガラス（第１の部材）と熱可塑性樹脂材料（第２の部材）とは、後述する薄膜１３を介さなくても、レーザー融着により接着可能である一方、Ｓｉを含有しないガラス（第１の部材）と、熱可塑性樹脂材料（第２の部材）とは、後述する薄膜１３がなければレーザーによって接着することが困難である。したがって、第１の部材１１に使用されるガラスは、Ｓｉを含有しないガラスであることが好ましい。
【００１８】
本実施形態では、例えば、レンズ等の光学部材である第１の部材１１を、レンズ鏡枠等の被接着体である第２の部材１２に接着するために使用される。そのような場合、第１の部材１１としては、ポリエステル、ポリメチルメタクリレート等のアクリル樹脂、ポリオレフィン、又はポリカーボネートが好適に使用される。
【００１９】
第２の部材１２は、上記した熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等の樹脂材料で構成され、さらに、所定の波長を有するレーザー光Ｌを吸収可能な非透過性の部材とされている。第２の部材１２は、照射されたレーザー光Ｌを吸収して、その吸収したエネルギーによって第１の部材１１と第２の部材１２の密着面及びその近傍を加熱できるものであれば、その構造は限定されないが、例えば、上記樹脂に適当な吸収剤が混入されたものが使用されることが好ましい。ここで、吸収剤としては、レーザー光に対して充分な吸収性を示すものであれば、特に限定されないが、例えばカーボンブラックやグラファイト等の炭素系材料、無機系着色料、有機顔料等が挙げられる。
【００２０】
また、第２の部材１２は、上記樹脂材料から形成される樹脂材料部材の一面が、黒色塗料等でいわゆる墨塗りされることにより、レーザー光を吸収可能な非透過性膜が樹脂材料部材に被膜されて構成されても良い。この場合、第２の部材１２が第１の部材１１に接着するとき、第２の部材１２の非透過性膜が設けられた面（一面１２Ａ）が、後述する第１の部材１１の薄膜１３が被膜された一面１１Ａに密着する。また、第２の部材１２は、樹脂材料部材の内部に、レーザー光を吸収可能な非透過性膜が設けられて構成されても良い。このように第２の部材１２に非透過性膜が設けられる場合、樹脂材料部材自体は、レーザー光Ｌを吸収しても良いし、透過しても良い。
【００２１】
第２の部材１２としては、特に限定されるわけではないが、後述する薄膜１３との接着性等を考慮すると、樹脂材料に吸収剤を混入したものが使用されることが好ましい。また、ポリカーボネートは、耐熱性、耐老化性を備え、かつ剛性が高いので、例えば、第２の部材１２をレンズ鏡枠に使用する場合に、好適に使用される。
【００２２】
次に、第１の部材１１に第２の部材１２を接着させるための手順を説明する。本実施形態では、まず、第１の部材１１の一面１１Ａに、薄膜１３が被膜される。薄膜１３を形成する材料としては、金属、半金属、及びそれらの化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種が使用される。具体的には、金、アルミニウム、白金、銅等の金属若しくは半金属、これらの合金、又は酸化チタン（TiO2）、フッ化マグネシウム（MgF2）、酸化シリコン(SiO2)等の金属酸化物、半金属酸化物、金属フッ化物、若しくは半金属フッ化物等の金属若しくは半金属化合物である誘電体材料が使用されるが、好ましくは誘電体材料又は金が使用される。薄膜１３は、例えば１００ｎｍ〜１０μｍの厚さを有する。薄膜１３は、例えば、ＰＶＤ等の真空蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ等によって、一面１１Ａに被膜成形される。
【００２３】
例えば、第１の部材１１がレンズ等の光学部材として使用される場合には、薄膜１３は、誘電体材料から形成され、反射防止膜等の光学膜の一部として使用されていても良い。例えば、第１の部材１１の一面１１Ａには、屈折率が異なる誘電体膜が複数層被膜され、それらのうち最外膜が上記誘電体材料で形成された薄膜１３となっていても良い。また、薄膜１３が金等の金属で構成される場合、その金属と第１の部材１１との接着性を改善するために、薄膜１３と第１の部材１１との間には、クロム等の金属若しくは半金属から形成される接着膜が設けられていても良い。
【００２４】
薄膜１３が被膜された第１の部材１１の一面１１Ａには、第２の部材１２の一面１２Ａが密着させられて、第２の部材１２が第１の部材１１に重ねられる。その後、第１の部材１１の一面１１Ａの反対側の面（図１における上面）１１Ｂの上に、レーザー光源（不図示）が配置され、そのレーザー光源（不図示）からレーザー光Ｌが出射される。レーザー光Ｌは、例えば、波長４００ｎｍ〜１．５５μｍ等の所定の波長を有する半導体レーザー光、１０６４ｎｍ等の所定の波長を有するＹＡＧレーザー光、１０．６μｍ等の所定の波長を有する炭酸ガスレーザー光である。
【００２５】
出射されたレーザー光Ｌは、第１の部材１１、及び薄膜１３を透過して、第２の部材１２（特に、第１の部材１１との密着面近傍）で吸収される。レーザー光Ｌが第２の部材１２に吸収されることにより、第１の部材１１（すなわち、薄膜１３）と第２の部材１２の密着面及びその近傍が加熱されることとなる。このようなレーザー光Ｌの照射により、第２の部材１２は、薄膜１３に接着され、これにより、第１及び第２の部材１１、１２が接着一体化された接着体２０が得られることとなる。
【００２６】
第２の部材１２が薄膜１３に接着される原理は明らかではないが、後述する実施例で示すように、第２の部材１２が熱可塑性樹脂である場合のみならず、例えば熱硬化性樹脂である場合でも、接着される点を鑑みると、熱溶着のみにより第２の部材１２が、薄膜１３に接着されているわけではないと考えられる。例えば、薄膜１３は、上記加熱により、或いはレーザー光Ｌが照射されること及び上記加熱により、第２の部材１２の樹脂材料との間に何らかの相互作用を発現させていると考えられる。そして、その相互作用によって、第２の部材１２は、薄膜１３に接着されていると考えられる。
【００２７】
第２の部材１２は、熱可塑性樹脂で形成されている場合、上記レーザー光の加熱によって、溶融されても良い。第２の部材１２が加熱溶融される場合、溶融された第２の部材１２が薄膜１３に熱溶着することによって、第２の部材１２が第１の部材１１に接着するのを補助していても良い。
【００２８】
以上のように、本実施形態においては、第１の部材１１の第２の部材１２との接着面に、誘電体材料等から形成される薄膜１３が被膜されることにより、第１及び第２の部材１１、１２の材質にかかわらず、第２の部材１２を第１の部材１１に高い接着力で接合することが可能となる。また、レーザー光を用いた接合によれば、接着剤を固化するための時間を必要としないので、接着剤を用いる場合に比べ、作業性を良好にすることも可能であり、さらには接着面を微小領域にすることも可能である。加えて、レーザー接合で行うことにより、非接触での接合が可能になり、接合に伴う誤差を減少させることができる。
【００２９】
さらに、本実施形態では、第１の部材１１が光学部材である場合には、反射防止膜の一部を薄膜１３として使用すれば良いので、第１及び第２の部材１１、１２の接着のために特別な部材を追加する必要がなくなる。
【００３０】
図２は、本発明の第２の実施形態に係る接着方法を説明するための図である。以下、第２の実施形態について、第１の実施形態との相違点を説明する。
【００３１】
本実施形態では、第１の部材２１は、第１の実施形態と同様に、ガラス、樹脂材料等で形成されるが、所定の波長を有するレーザー光Ｌを吸収可能な非透過性の部材とされる。第１の部材２１は、第１の実施形態の第２の部材１２と同様の構成により非透過性の部材とされている。なお、第１の部材２１は、例えば、レーザー光を吸収可能な非透過性膜が樹脂材料部材やガラス等の一面に被膜されて構成される場合があるが、このような場合、薄膜１３は、非透過性膜が設けられた面（一面２１Ａ）の上に被膜される。第２の部材２２は、第１の実施形態と同様に、樹脂材料で形成されるが、所定の波長を有するレーザー光Ｌを透過可能な透過性を有する部材で構成されている。
【００３２】
本実施形態でも、まず、第１の部材２１の一面２１Ａに、第１の実施形態と同様に薄膜１３が被膜される。次いで、薄膜１３が被膜された第１の部材２１の一面２１Ａが第２の部材２２の一面２２Ａに密着するように、第１及び第２の部材２１、２２が重ねられると共に、第２の部材２２の一面２２Ａの反対側の面（下面）２２Ｂに対向するように、レーザー光源（不図示）が配置される。そして、そのレーザー光源からレーザー光Ｌが出射される。レーザー光Ｌは、第２の部材２２、薄膜１３を透過して、第１の部材２１に照射される。第１の部材２１は、照射されたレーザー光を吸収し、薄膜１３と第２の部材２２の密着面及びその近傍を加熱し、これにより、本実施形態でも、第２の部材２２が、薄膜１３を介して第１の部材２１に接着されることとなる。
【００３３】
なお、第２の実施形態においても、第１の部材２１がレンズ等の光学部材として使用される場合には、薄膜１３は、第１の実施形態と同様に、反射防止膜等の光学膜の一部として使用されていても良い。
【００３４】
図３は、本発明の第３の実施形態に係る接着方法を説明するための図である。以下、第３の実施形態について、第１の実施形態との相違点を説明する。
【００３５】
本実施形態では、第１の部材３１は、第１の実施形態と同様に、所定の波長を有するレーザー光Ｌを透過可能な透過性を有するガラス、樹脂等である。第１の部材３１の一面３１Ａには、墨塗り等されることにより、レーザー光を吸収可能な非透過性膜３５が被膜されている。第２の部材３２は、第１及び第２の実施形態と同様に、樹脂材料で形成されるが、所定の波長を有するレーザー光Ｌを透過可能な透過性を有していても良いし、レーザー光を吸収可能であって、非透過性を有していても良い。
【００３６】
本実施形態では、非透過性膜３５の上に、第１及び第２の実施形態と同様の構成を有する薄膜１３が被膜される。次いで、薄膜１３が被膜された第１の部材３１の一面３１Ａが第２の部材３２の一面３２Ａに密着するように、第１及び第２の部材３１、３２が重ねられると共に、第１の部材３１の一面３１Ａの反対側の面（上面）３１Ｂの上に、レーザー光源（不図示）が配置される。そして、そのレーザー光源からレーザー光Ｌが出射される。レーザー光Ｌは、第１の部材３１を透過して、非透過性膜３５に照射される。非透過性膜３５は、照射されたレーザー光を吸収し、非透過性膜３５と第２の部材３２の密着面及びその近傍を加熱し、これにより、本実施形態でも、第２の部材３２が、薄膜１３、３５を介して第１の部材３１に接着されることとなる。
【００３７】
なお、第１〜第３の実施形態においては、第２の部材１２、２２、３２の一面１２Ａ，２２Ａ、３２Ａ（すなわち、薄膜１３との密着面）には、シランカップリング剤が塗布されていても良い。同様に、薄膜１３の表面（すなわち、第２の部材との密着面）にも、シランカップリング剤が塗布されていても良い。
【実施例】
【００３８】
次に、本発明の実施例を説明するが、本発明は以下に説明する実施例に限定されるわけではない。
【００３９】
［実施例１］
実施例１は、第１の実施形態に対応する実施例であって、第１の部材に非晶質ポリオレフィン（商品名：ZEONEX 330R、日本ゼオン社製）、第２の部材に、熱可塑性樹脂である光吸収ポリカーボネート（商品名：ユーピロン S-3000、三菱エンジニアリングプラスチックス社製）から成る部材を用いた。また、第１の部材の一面には、酸化シリコン(SiO2)から成る厚さ１００ｎｍの薄膜を被膜した。そして、その薄膜が被膜された一面が、第２の部材の一面に密着するように、第１及び第２の部材を重ねた。次いで、レーザー光源を第１の部材の上面に対向するように配置し、レーザー光を、第１の部材及び薄膜を介して第２の部材に照射した。第２の部材はレーザー光を吸収し、これにより、薄膜と第２の部材との密着面が加熱され、第２の部材が第１の部材に薄膜を介して接着され、実施例１の接着体を得た。なお、レーザー光は半導体レーザー光で、その波長が８０８ｎｍ、出力が１Ｗであった。
【００４０】
［実施例２］
実施例２は、第２の部材として、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂（商品名：アラルダイド R-600、昭和高分子社製）に、第２の部材全体１００重量％に対して、黒色有機顔料（商品名：レンズ用ラッカーエナメル黒、早川塗料社製）５重量％を混ぜて硬化したものを用いた以外は、実施例１と同様に実施した。
【００４１】
［実施例３］
実施例３は、薄膜が、酸化チタン（TiO2）から成る厚さ１００ｎｍの被膜で構成されていた以外は、実施例１と同様に実施した。
【００４２】
［実施例４］
実施例４は、薄膜が、フッ化マグネシウム（MgF2）から成る厚さ１００ｎｍの被膜で構成されていた以外は、実施例１と同様に実施した。
【００４３】
［実施例５］
実施例５は、第１の部材として、無機ガラスであるクラウンガラス（商品名：レギュラースライドガラス、松浪硝子工業社製）を用いた以外は、実施例１と同様に実施した。
【００４４】
［実施例６］
実施例６は、第１の部材として、光硬化性樹脂である変性アクリレート（商品名：MP201、三菱レイヨン社製）からなるものを用いた以外は、実施例１と同様に実施した。
【００４５】
［実施例７］
実施例７は、第１の部材の一面の上に、酸化シリコンの薄膜の代わりに、第１の部材側から順に、厚さ１０ｎｍのクロム（Ｃｒ）からなる接着膜、厚さ５０ｎｍの金（Ａｕ）からなる薄膜を被膜し、さらに、レーザー光として波長１０６４ｎｍ、出力が１０ＷのＹＡＧレーザー光を用いた以外は、実施例５と同様に実施した。
【００４６】
［実施例８］
実施例８は、第２の実施形態に対応する実施例であって、第１の部材に、熱可塑性樹脂である光吸収ポリカーボネート（商品名：ユーピロン S-3000、三菱エンジニアリングプラスチックス社製、第２の部材に非晶質ポリオレフィン（商品名：ZEONEX 330R、日本ゼオン社製）からなるものを用いた。また、第１の部材の一面には、酸化シリコン(SiO2)から成る厚さ１００ｎｍの薄膜を被膜した。そして、薄膜が被膜された一面が、第２の部材の一面に密着するように、第１及び第２の部材を重ねた。次いで、レーザー光源を第２の部材側に配置し、レーザー光を、第２の部材及び薄膜を介して第１の部材に照射した。第１の部材はレーザー光を吸収し、これにより、薄膜と第２の部材との密着面が加熱され、第２の部材が第１の部材に薄膜を介して接着され、実施例８の接着体を得た。なお、レーザー光は半導体レーザー光で、その波長が８０８ｎｍ、出力が１Ｗであった。
【００４７】
［実施例９］
実施例９は、第３の実施形態に対応する実施例であって、第１の部材として、無機ガラスであるクラウンガラス（商品名：レギュラースライドガラス、松浪硝子工業社製）を用いた。第１の部材の一面を黒色有機顔料（商品名：レンズ用ラッカーエナメル黒、早川塗料社製）で黒塗りし、非透過性膜を被膜し、その第１の部材の非透過性膜の上に、さらに酸化シリコン(SiO2)から成る厚さ１００ｎｍの薄膜を被膜した。その他は実施例１と同様にして実施した。
【００４８】
［比較例１］
比較例１は、第１の部材の一面に薄膜が被膜されておらず、第２の部材が第１の部材に直接密着されていた点以外は、実施例２と同様に実施した。
【００４９】
［評価方法］
上記各実施例、比較例の接着体について、第２の部材を第１の部材から引っ張ったときの、第１の部材に対する第２の部材の接着性を確認した。その結果を表１に示す。第２の部材が第１の部材から剥がれなかったものについては表１においては○で示した。一方、第２の部材が第１の部材から簡単に剥がれ、或いは第２の部材が第１の部材に接着してなかったものについては表１においては×で示す。
【００５０】
【表１】
2010064427.tif 000003
【００５１】
以上の評価結果から明らかなように、薄膜を介して接着された実施例１〜９においては、第２の部材を第１の部材に高い接着力で接着することができた。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】第１の実施形態に係る接着方法を説明するための模式的な断面図である。
【図２】第２の実施形態に係る接着方法を説明するための模式的な断面図である。
【図３】第３の実施形態に係る接着方法を説明するための模式的な断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１、２１、３１  第１の部材
１２、２２、３２  第２の部材
１３  薄膜
３５  非透過性膜
【図１】
2010064427.tif 000004
【図２】
2010064427.tif 000005
【図３】
2010064427.tif 000006