(57)【要約】【課題】支持フィルムの撓みを防止し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能なセラミックグリーンシートの剥離装置を提供する。【解決手段】剥離装置１０は、保持面１８ａを有する保持台１８と、保持面１８ａにおいて支持フィルムＦを吸着する吸引部２０と、支持フィルムＦを供給する供給ローラ１２と、保持台１８よりも下流側における支持フィルムＦが架け渡されるテンションローラ２８と、テンションローラ２８を経た支持フィルムＦを巻き取る巻取ローラ１４と、テンションローラ２８を動作させる差圧シリンダ３２と、保持面１８ａ上における切断片Ｓ１を吸着可能な吸着搬送部２４と、吸着搬送部２４を移動させるモータ２６と、巻取ローラ１４に接続されたモータ１６、吸引部２０、吸着搬送部２４、差圧シリンダ３２及びモータ２６の動作を制御する制御部３６とを備える。【選択図】図１
2010064255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で前記支持フィルムを保持する保持面を有し、前記支持フィルムからの前記セラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、
前記支持フィルムが前記保持台の先端部において加圧されるように、前記支持フィルムを前記保持台の前記保持面とは反対側に搬送する搬送手段と、
前記保持台の前記保持面側に配置され、前記保持面に対して近接又は離間可能とされており、前記保持面に近接しているときに、前記保持台上に保持されている前記支持フィルム上の前記セラミックグリーンシートを吸着可能な吸着手段と、
前記保持面上における前記支持フィルムの移動方向に沿う方向に前記吸着手段を移動させる駆動手段と、
前記搬送手段、前記吸着手段及び前記駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記吸着手段によって前記セラミックグリーンシートを吸着させ、
前記搬送手段によって前記支持フィルムの搬送を行うことで、前記セラミックグリーンシートに吸着している前記吸着手段が前記支持フィルムと共に動き出した後に、前記駆動手段によって前記吸着手段を動作させることを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離装置。
【請求項２】
一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で前記支持フィルムを保持する保持面を有し、前記支持フィルムからの前記セラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、
前記保持台上の前記支持フィルムを前記保持面に吸着して前記支持フィルムの移動を制限する第１吸着手段と、
前記セラミックグリーンシートが形成された前記支持フィルムが繰り出される供給手段と、
前記保持台において前記セラミックグリーンシートの剥離が行われ、前記保持台の前記保持面とは反対側に案内された後の前記支持フィルムが架け渡されるローラと、
前記ローラの表面を経て送り出された前記支持フィルムを巻き取る巻取手段と、
前記支持フィルムに張力を付与するように前記ローラを動作させる第１駆動手段と、
前記保持台の前記保持面側に配置され、前記保持面に対して近接又は離間可能とされており、前記保持面に近接しているときに、前記保持台上に保持されている前記支持フィルム上の前記セラミックグリーンシートを吸着可能な第２吸着手段と、
前記保持面上における前記支持フィルムの移動方向に沿う方向に前記第２吸着手段を移動させる第２駆動手段と、
前記巻取手段、前記第１吸着手段、前記第２吸着手段、前記第１駆動手段及び前記第２駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記第１吸着手段によって前記支持フィルムを前記保持面に吸着させ、
前記第１吸着手段によって吸着されている前記支持フィルムが移動しない程度の力が前記支持フィルムに付与されるように、前記第１駆動手段によって前記ローラを動作させ、
前記第２吸着手段によって前記セラミックグリーンシートを吸着させ、
前記第１吸着手段による前記支持フィルムの吸着を解除させることで、前記セラミックグリーンシートに吸着している前記第２吸着手段が前記支持フィルムと共に動き出した後に、前記第２駆動手段によって前記第２吸着手段を動作させることを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記支持フィルムに付与される張力が一定となるように、前記第１駆動手段を制御することを特徴とする、請求項２に記載されたセラミックグリーンシートの剥離装置。
【請求項４】
一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が保持台の保持面に向かう状態で前記支持フィルムを前記保持面上に保持する第１工程と、
第１吸着手段によって前記保持台上の前記支持フィルムを前記保持面に吸着して、前記支持フィルムの移動を制限する第２工程と、
前記保持面に吸着されている前記支持フィルムが移動しない程度の張力を、前記支持フィルムの延在方向に、前記支持フィルムに付与する第３工程と、
第２吸着手段によって前記セラミックグリーンシートを吸着する第４工程と、
前記第１吸着手段による前記支持フィルムの吸着を解除することで、前記支持フィルムを前記保持台の前記保持面とは反対側に案内すると共に、前記セラミックグリーンシートに吸着している前記第２吸着手段が前記支持フィルムと共に動き出した後に、前記保持面上における前記支持フィルムの移動方向に沿う方向に前記第２吸着手段を移動させる第５工程とを備えることを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離方法。
【請求項５】
前記第３工程では、一定の張力を前記支持フィルムに付与することを特徴とする、請求項４に記載されたセラミックグリーンシートの剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＥＴフィルム等の支持フィルム上に形成された誘電体グリーンシート等のセラミックグリーンシートを支持フィルムから剥離するためのセラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムを送り出す供給機構と、供給機構による支持フィルムの送り出し方向における先端部が鋭角とされ、当該先端部において支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を行う剥離台と、吸着板及び切断刃を有し、剥離台の上方に配置された吸着・切断機と、セラミックグリーンシートの剥離が行われた支持フィルムを巻き取る巻取機構とを備えるセラミックグリーンシートの剥離装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。巻取機構は、巻取機構による支持フィルムの巻き取り方向が水平面に対して剥離台の鋭角先端部における角度とほぼ等しい角度となるように配置されている。そのため、支持フィルムの巻き取り時には、支持フィルムに生じる張力によって支持フィルムが剥離台の鋭角先端部において押圧され、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離が促されることとなる。
【０００３】
このセラミックグリーンシートの剥離装置においてセラミックグリーンシートを剥離するためには、まず、供給機構及び巻取機構の静止時（支持フィルムの静止時）に吸着・切断機を剥離台に向けて降下させ、支持フィルム上のセラミックグリーンシートを切断刃によって切断すると共に切断されたセラミックグリーンシート（切断片）を吸着板によって吸着する。続いて、巻取機構によって支持フィルムを巻き取るのと同時に、吸着板による切断片の吸着状態を維持したまま吸着・切断機を支持フィルムの巻き取り方向と同じ方向に水平移動させる。これにより、切断片は、吸着板によって吸着されたまま剥離台の鋭角先端部において押圧されるので、支持フィルムからの剥離が行われ、吸着板に保持される。
【特許文献１】特開平７−００１４２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来のセラミックグリーンシートの剥離装置では、切断片の支持フィルムからの剥離の際に、巻取機構による支持フィルムの巻き取りと吸着・切断機による切断片の移動とを同時に行っている。そのため、両者の速度を精度よく制御しなければ、剥離台の鋭角先端部において支持フィルムが撓んでしまうことがあった。このように支持フィルムが撓んでしまうと、剥離台の鋭角先端部において支持フィルムに付与される押圧力が小さくなってしまうので、切断片を支持フィルムから剥離し難くなるなどの剥離不良が生じる虞が高くなる。
【０００５】
そこで、本発明は、支持フィルムの撓みを防止し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能なセラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置は、一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で支持フィルムを保持する保持面を有し、支持フィルムからの前記セラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、支持フィルムが保持台の先端部において加圧されるように、支持フィルムを保持台の保持面とは反対側に搬送する搬送手段と、保持台の保持面側に配置され、保持面に対して近接又は離間可能とされており、保持面に近接しているときに、保持台上に保持されている支持フィルム上のセラミックグリーンシートを吸着可能な吸着手段と、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に吸着手段を移動させる駆動手段と、搬送手段、吸着手段及び駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、制御手段は、吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着させ、搬送手段によって支持フィルムの搬送を行うことで、セラミックグリーンシートに吸着している吸着手段が支持フィルムと共に動き出した後に、駆動手段によって吸着手段を動作させることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、制御手段が吸着手段を制御して、支持フィルム上のセラミックグリーンシートを吸着手段によって吸着し、この状態で制御手段が搬送手段を制御して、支持フィルムが保持台の先端部において加圧されるように、支持フィルムを保持台の保持面とは反対側に搬送している。その後、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、制御手段が駆動手段を制御して、駆動手段によって吸着手段を駆動することで、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に吸着手段を移動させている。つまり、少なくとも支持フィルムが送り出される直後においては、吸着手段はセラミックグリーンシート（支持フィルム）に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能となる。
【０００８】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置は、一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で支持フィルムを保持する保持面を有し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、保持台上の支持フィルムを保持面に吸着して支持フィルムの移動を制限する第１吸着手段と、セラミックグリーンシートが形成された支持フィルムが繰り出される供給手段と、保持台においてセラミックグリーンシートの剥離が行われ、保持台の保持面とは反対側に案内された後の支持フィルムが架け渡されるローラと、ローラの表面を経て送り出された支持フィルムを巻き取る巻取手段と、支持フィルムに張力を付与するようにローラを動作させる第１駆動手段と、保持台の保持面側に配置され、保持面に対して近接又は離間可能とされており、保持面に近接しているときに、保持台上に保持されている支持フィルム上のセラミックグリーンシートを吸着可能な第２吸着手段と、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第２吸着手段を移動させる第２駆動手段と、巻取手段、第１吸着手段、第２吸着手段、第１駆動手段及び第２駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、制御手段は、第１吸着手段によって支持フィルムを保持面に吸着させ、第１吸着手段によって吸着されている支持フィルムが移動しない程度の力が支持フィルムに付与されるように、第１駆動手段によってローラを動作させ、第２吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着させ、第１吸着手段による支持フィルムの吸着を解除させることで、セラミックグリーンシートに吸着している第２吸着手段が支持フィルムと共に動き出した後に、第２駆動手段によって第２吸着手段を動作させることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、第１吸着手段によって支持フィルムを吸着している状態で制御手段が第１駆動手段を制御して、第１駆動手段によってローラを駆動することで、第１吸着手段によって吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を支持フィルムに付与しており、この状態で制御手段が第１吸着手段を制御して、第１吸着手段による支持フィルムの吸着を停止することで、セラミックグリーンシートに吸着している第２吸着手段を支持フィルムと共に送り出している。その後、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、制御手段が第２駆動手段を制御して、第２駆動手段によって第２吸着手段を駆動することで、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第２吸着手段を移動させている。つまり、少なくとも支持フィルムが送り出される直後においては、第２吸着手段はセラミックグリーンシート（支持フィルム）に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、第１吸着手段によって支持フィルムを吸着している状態で制御手段が第１駆動手段を制御して、第１駆動手段によってローラを駆動することで、第１吸着手段によって吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を支持フィルムに付与しており、この状態で制御手段が第２吸着手段を制御して、第２吸着手段にセラミックグリーンシートを吸着させている。そのため、支持フィルムにある程度張力が加えられた状態で、セラミックグリーンシートが第２吸着手段によって吸着されることとなる。その結果、第２吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着する際に、セラミックグリーンシート及び支持フィルムが第２吸着手段に引っ張られることによるセラミックグリーンシート及び支持フィルムの撓みについても、効果的に防止することが可能となる。
【００１１】
好ましくは、制御手段は、支持フィルムに付与される張力が一定となるように、第１駆動手段を制御する。このようにすると、支持フィルムの巻き取り量とは独立して支持フィルムに付与される張力を調整することが可能となる。
【００１２】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法は、一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が保持台の保持面に向かう状態で支持フィルムを保持面上に保持する第１工程と、第１吸着手段によって保持台上の支持フィルムを保持面に吸着して、支持フィルムの移動を制限する第２工程と、保持面に吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を、支持フィルムの延在方向に、支持フィルムに付与する第３工程と、第２吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着する第４工程と、第１吸着手段による支持フィルムの吸着を解除することで、支持フィルムを保持台の保持面とは反対側に案内すると共に、セラミックグリーンシートに吸着している第２吸着手段が支持フィルムと共に動き出した後に、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第２吸着手段を移動させる第５工程とを備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法では、第３工程において、保持面に吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を、支持フィルムの延在方向に、支持フィルムに付与しており、この状態で、第５工程において、第１吸着手段による支持フィルムの吸着を停止することで、セラミックグリーンシートに吸着している第２吸着手段を支持フィルムと共に送り出している。その後、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法では、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第２吸着手段を移動させている。つまり、少なくとも支持フィルムが送り出される直後においては、第２吸着手段はセラミックグリーンシート（支持フィルム）に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能となる。
【００１４】
また、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法では、第３工程において、保持面に吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を、支持フィルムの延在方向に、支持フィルムに付与しており、この状態で、第４工程において、第２吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着している。そのため、支持フィルムにある程度張力が加えられた状態で、セラミックグリーンシートが第２吸着手段によって吸着されることとなる。その結果、第２吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着する際に、セラミックグリーンシート及び支持フィルムが第２吸着手段に引っ張られることによるセラミックグリーンシート及び支持フィルムの撓みについても、効果的に防止することが可能となる。
【００１５】
好ましくは、第３工程では、一定の張力を支持フィルムに付与する。このようにすると、支持フィルムの巻き取り量とは独立して支持フィルムに付与される張力を調整することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、支持フィルムの撓みを防止し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能なセラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置１０の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、説明中、「上」及び「下」なる語を使用することがあるが、これは図面の上方向及び下方向に対応したものである。
【００１８】
（セラミックグリーンシートの剥離装置の構成）
まず、図１を参照して、本実施形態に係るセラミックグリーンシートの剥離装置１０の構成について説明する。
【００１９】
セラミックグリーンシートの剥離装置１０は、ＰＥＴフィルム等の支持フィルムＦ上に形成された誘電体グリーンシート等のセラミックグリーンシートＳを支持フィルムＦから剥離するための装置である。セラミックグリーンシートの剥離装置１０は、供給ローラ１２（供給手段）と、巻取ローラ１４（巻取手段）と、モータ１６（巻取手段）と、保持台１８と、吸引部２０（第１吸着手段）と、切断刃２２と、吸着搬送部２４（第２吸着手段）と、モータ２６（第２駆動手段）と、テンションローラ２８と、複数の従動ローラ３０Ａ〜３０Ｄと、差圧シリンダ３２（第１駆動手段）と、シートストック部３４と、制御部３６を備える。支持フィルムＦは、供給ローラ１２から巻取ローラ１４にかけて、保持台１８の保持面１８ａ（詳しくは後述する）、テンションローラ２８及び従動ローラ３０Ａ〜３０Ｄに架け渡されている。
【００２０】
供給ローラ１２は、保持台１８に供給するための表面（一方の主面）にセラミックグリーンシートＳが形成された支持フィルムＦを蓄積している。具体的には、セラミックグリーンシートＳが形成された支持フィルムＦが供給ローラ１２の軸心に多数回巻かれた状態となっている。支持フィルムＦは、供給ローラ１２から従動ローラ３０Ａを介して保持台１８へと繰り出される。
【００２１】
巻取ローラ１４は、保持台１８においてセラミックグリーンシートＳが剥離され、従動ローラ３０Ｂ、従動ローラ３０Ｃ、テンションローラ２８及び従動ローラ３０Ｄを経た支持フィルムＦを巻き取る。巻取ローラ１４の軸心は、モータ１６の回転軸と連結されている。そのため、巻取ローラ１４は、モータ１６により一定の方向に回転駆動される。
【００２２】
保持台１８は、平面状の保持面１８ａを有している。保持台１８には、支持フィルムＦの裏面（他方の主面）が保持面１８ａに向かう状態で、供給ローラ１２から送り出された支持フィルムＦが保持される。
【００２３】
保持台１８のうち支持フィルムＦの送り出し方向（図１における左方向）における先端部１８ｂは、保持面１８ａに対して鋭角となるように構成されている。保持台１８の保持面１８ａには、多数の小孔（図示せず）が形成されており、これらの小孔は、吸引部２０に接続されている。
【００２４】
吸引部２０は、例えばポンプであり、保持面１８ａに形成されている多数の小孔から空気を吸引する。そのため、吸引部２０が動作すると、支持フィルムＦが保持台１８に吸着され、支持フィルムＦの移動が制限される。
【００２５】
切断刃２２は、支持フィルムＦ上のセラミックグリーンシートＳを、支持フィルムＦの幅方向にわたって切断して、所定の大きさのシート切断片Ｓ１とするものである。切断刃２２は、保持面１８ａの上方に位置するように配置されており、図示しない昇降手段により鉛直方向（保持台１８の保持面１８ａに近接又は離間する方向）に沿って昇降可能とされている。
【００２６】
吸着搬送部２４は、シート切断片Ｓ１を吸着してシートストック部３４へと搬送するためのものである。そのため、吸着搬送部２４の下面には、多数の小孔（図示せず）が形成されており、これらの小孔は、図示しないポンプ等の吸引手段に接続されている。これにより、吸引手段が動作すると、吸着搬送部２４の下面に形成されている多数の小孔から空気が吸引され、シート切断片Ｓ１が吸着搬送部２４に吸着される。
【００２７】
吸着搬送部２４には、保持面１８ａ上における支持フィルムＦの移動方向（後述する図３の矢印ｂ１方向）に吸着搬送部２４を移動させるモータ２６が取り付けられている。モータ２６は、例えばサーボモータであり、吸着搬送部２４の位置制御を行い、保持台１８の先端部１８ｂとシートストック部３４との間において吸着搬送部２４を移動させる。また、吸着搬送部２４は、図示しない昇降手段により鉛直方向（保持台１８の保持面１８ａに近接又は離間する方向）に沿って昇降可能とされている。
【００２８】
テンションローラ２８には、保持台１８よりも下流側における支持フィルムＦが架け渡されており、差厚シリンダ３２が接続されている。差厚シリンダ３２は、ピストン３２ａで区画された本体３２ｂ内の空間Ａの気圧と空間Ｂの気圧との差を一定に保つように駆動される。そのため、支持フィルムＦには、常に所望の一定の張力が支持フィルムＦの延在方向に付与される。
【００２９】
従動ローラ３０Ａ〜３０Ｄは、支持フィルムＦの搬送方向（送り出す方向）を変えるためのローラであり、支持フィルムＦが送り出されるのに伴って回転する。ここで、特に、保持台１８の保持面１８ａに続いて支持フィルムＦが通過することとなる従動ローラ３０Ｂは、保持台１８の下方（保持台１８の保持面１８ａとは反対側）であって、保持台１８の先端部１８ｂよりも内側（図１の右側）に配置されている。
【００３０】
そのため、保持台１８の保持面１８ａから送り出された支持フィルムＦは、保持台１８の先端部１８ｂにおける角度とほぼ等しい角度となるようにその進路が変更される。これにより、差厚シリンダ３２によって支持フィルムＦに一定の張力が支持フィルムＦの延在方向に付与されることとも相俟って、支持フィルムＦが保持台１８の先端部１８ｂにおいて押圧され、先端部１８ｂにおいて支持フィルムＦからの切断片Ｓ１の剥離が促されることとなる。
【００３１】
シートストック部３４は、支持フィルムＦから剥離された切断片Ｓ１を集積しておくためのものである。制御部３６は、モータ１６、吸引部２０、切断刃２２の図示しない昇降機構、吸着搬送部２４の図示しない吸引部、吸着搬送部２４の図示しない昇降機構、モータ２６及び差厚シリンダ３２に接続されており、切断刃２２の図示しない昇降機構、吸着搬送部２４の図示しない昇降機構、モータ２６及び差厚シリンダ３２からの信号が入力されると共に、各部の動作を制御するための信号をそれぞれに出力する。
【００３２】
（セラミックグリーンシートの剥離装置の動作）
次に、図１〜図８を参照して、上述した構成を備えたセラミックグリーンシートの剥離装置１０の動作について説明する。
【００３３】
まず、表面にセラミックグリーンシートＳが形成された支持フィルムＦを供給ローラ１２に蓄積したものを用意する。そして、供給ローラ１２から支持フィルムＦを引き出して、従動ローラ３０Ａ、保持台１８の保持面１８ａ、保持台１８の先端部１８ｂ、従動ローラ３０Ｂ、従動ローラ３０Ｃ、テンションローラ２８、従動ローラ３０Ｄの順に支持フィルムＦを架け渡し、支持フィルムＦの先端部を巻取ローラ１４に固定する（図１参照）。これにより、セラミックグリーンシートの剥離装置１０への支持フィルムＦの搭載が完了する。
【００３４】
続いて、制御部３６が吸引部２０に信号を出力して、吸引部２０を動作させる。これにより、保持台１８の保持面１８ａ上における支持フィルムＦが保持面１８ａに吸着される。この状態で、制御部３６が差厚シリンダ３２に信号を出力して、テンションローラ２８を介して、支持フィルムＦに対して一定の張力を付与する。このときの張力の大きさは、保持面１８ａに吸着されている支持フィルムＦの吸着状態が維持される程度、すなわち、支持フィルムＦが動き出さない程度の大きさとする。
【００３５】
なお、このとき制御部３６は、モータ１６に信号を出力して、巻取ローラ１４が回転しないようにモータ１６を制御している。また、このとき制御部３６は、モータ２６に信号を出力して、支持フィルムＦの移動に付随して吸着搬送部２４が移動するのを妨げないように（モータ２６によって吸着搬送部２４に付与される力が支持フィルムＦに付与される張力よりも小さくなるように）モータ２６を制御している。
【００３６】
続いて、制御部３６が吸着搬送部２４の昇降機構に信号を出力して、吸着搬送部２４の下面が切断片Ｓ１の表面に接するまで吸着搬送部２４を保持面１８ａに近接させる（図２参照）。そして、制御部３６が吸着搬送部２４の吸引部に信号を出力して、吸着搬送部２４の吸引部を動作させる。これにより、シート切断片Ｓ１が吸着搬送部２４の下面に吸着される。
【００３７】
続いて、制御部３６が吸引部２０に信号を出力して、吸引部２０による吸引動作を停止させる。このとき、支持フィルムＦには差厚シリンダ３２によって一定の張力（図３の矢印ａ参照）が付与されていることから、吸引部２０による吸引動作を停止させることが契機となって、支持フィルムＦはテンションローラ２８によって供給ローラ１２から巻取ローラ１４へと向かう方向に繰り出される（図３の矢印ｂ１，ｂ２参照）。また、このとき同時に、支持フィルムＦ上に形成されているセラミックグリーンシートＳ及び切断片Ｓ１、並びに、切断片Ｓ１に吸着している吸着搬送部２４についても、支持フィルムＦの移動に付随して動く。こうして、支持フィルムＦが保持台１８の先端部１８ｂにおいて押圧され、切断片Ｓ１のうち進行方向側の端部から漸次、切断片Ｓ１が支持フィルムＦから剥離されていく。
【００３８】
続いて、モータ２６からの信号により吸着搬送部２４が所定の位置まで移動したことを制御部３６が検知すると、制御部３６がモータ２６に信号を出力して、吸着搬送部２４が保持面１８ａ上における支持フィルムＦの進行方向に沿う方向に移動するようにモータ２６を動作させる（図３の矢印ｃ参照）。そして、切断片Ｓ１が完全に支持フィルムＦから剥離する位置まで吸着搬送部２４が到達したことをモータ２６からの信号により制御部３６が検知すると、制御部３６がモータ２６に信号を出力して、吸着搬送部２４の移動を停止させる（図４参照）。
【００３９】
このとき同時に、制御部３６が吸引部２０に信号を出力して、吸引部２０を動作させる。これにより、保持台１８の保持面１８ａ上における支持フィルムＦが再び保持面１８ａに吸着される。なお、モータ２６によって駆動される吸着搬送部２４の移動速度は、保持台１８の保持面１８ａ上における支持フィルムＦの移動速度以上であることが好ましい。
【００４０】
続いて、制御部３６が吸着搬送部２４の昇降機構に信号を出力して、吸着搬送部２４が停止した位置において吸着搬送部２４を上昇させる（図５の矢印ｄ参照）。
【００４１】
続いて、制御部３６が切断刃２２の昇降機構に信号を出力して、セラミックグリーンシートＳは切断するが支持フィルムＦは切断しない位置まで切断刃２２を保持面１８ａに向けて下降させ、その後切断刃２２を元の位置まで上昇させる。これにより、保持面１８ａ上において新たな切断片Ｓ１が形成される（図６参照）。
【００４２】
続いて、制御部３６がモータ１６に信号を出力して、支持フィルムＦを巻き取る方向に巻取ローラ１４を回転させる（図７の矢印ｅ参照）。これにより、支持フィルムＦは、供給ローラ１２から巻取ローラ１４へと向かう方向に繰り出される（図７の矢印ｆ参照）。また、このとき同時に、支持フィルムＦによってテンションローラ２８及び差圧シリンダ３２のピストン３２ａが当初の位置に戻される（図７の矢印ｇ参照）。
【００４３】
続いて、制御部３６が吸着搬送部２４の昇降機構及びモータ２６に信号を出力して、吸着搬送部２４を、吸着している切断片Ｓ１と共にシートストック部３４へと移動させる（図８参照）。そして、制御部３６が吸着搬送部２４の吸引部に信号出力して、吸着搬送部２４の吸引部による吸引動作を停止させる。これにより、切断片Ｓ１がシートストック部３４に集積されることとなる。
【００４４】
以上のような本実施形態においては、吸引部２０によって支持フィルムＦを吸着している状態で制御部３６が差圧シリンダ３２を制御して、差圧シリンダ３２によってテンションローラ２８を駆動することで、吸引部２０によって吸着されている支持フィルムＦが移動しない程度の張力を支持フィルムに付与しており、この状態で制御部３６が吸引部２０を制御して、吸引部２０による支持フィルムＦの吸着を停止することで、セラミックグリーンシートＳに吸着している吸着搬送部２４を支持フィルムＦと共に送り出している。その後、本実施形態においては、制御部３６がモータ２６を制御して、モータ２６によって吸着搬送部２４を駆動することで、保持面１８上における支持フィルムＦの移動方向に沿う方向に吸着搬送部２４を移動させている。つまり、支持フィルムＦが送り出される直後においては、吸着搬送部２４は切断片Ｓ１（支持フィルムＦ）に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの切断片の剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムＦに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムＦの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムＦからの切断片Ｓ１の剥離を良好に行うことが可能となる。
【００４５】
また、本実施形態においては、吸引部２０によって支持フィルムＦを吸着している状態で制御部３６が差圧シリンダ３２を制御して、差圧シリンダ３２によってテンションローラ２８を駆動することで、吸引部２０によって吸着されている支持フィルムＦが移動しない程度の張力を支持フィルムＦに付与しており、この状態で制御部３６がモータ２６を制御して、吸着搬送部２４に切断片Ｓ１を吸着させている。そのため、支持フィルムＦにある程度張力が加えられた状態で、切断片Ｓ１が吸着搬送部２４によって吸着されることとなる。その結果、吸着搬送部２４によって切断片Ｓ１を吸着する際に、切断片Ｓ１及び支持フィルムＦが吸着搬送部２４に引っ張られることによる切断片Ｓ１及び支持フィルムＦの撓みについても、効果的に防止することが可能となる。
【００４６】
また、本実施形態においては、支持フィルムＦに付与される張力が一定となるように、制御部３６が差圧シリンダ３２を制御している。そのため、巻取ローラ１４による支持フィルムＦの巻き取り量とは独立して支持フィルムＦに付与される張力を調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は、本実施形態に係るセラミックグリーンシートの剥離装置を概略的に示すと共に、セラミックグリーンシートの剥離方法の一工程を示す図である。
【図２】図２は、図１の後続の工程を示す図である。
【図３】図３は、図２の後続の工程を示す図である。
【図４】図４は、図３の後続の工程を示す図である。
【図５】図５は、図４の後続の工程を示す図である。
【図６】図６は、図５の後続の工程を示す図である。
【図７】図７は、図６の後続の工程を示す図である。
【図８】図８は、図７の後続の工程を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０…セラミックグリーンシートの剥離装置、１２…供給ローラ（供給手段）、１４…巻取ローラ（巻取手段）、１６…モータ（巻取手段）、１８…保持台、１８ａ…保持面、１８ｂ…先端部、２０…吸引部（第１吸着手段）、２２…切断刃、２４…吸着搬送部（第２吸着手段）、２６…モータ（第２駆動手段）、２８…テンションローラ、３０Ａ〜３０Ｄ…従動ローラ、３２…差圧シリンダ（第１駆動手段）、３４…シートストック部、３６…制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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