(57)【要約】【課題】半導体基板を移送する基板移送装置及びその基板移送方法を提供する。【解決手段】基板移送装置は、メーン積載部と、バッファ積載部と、分配ユニットとを含む。メーン積載部は、工程モジュールの前方に設置され、各々複数の基板を収容可能な収容容器を複数個積載でき、積載された収容容器と工程モジュール間での基板の移送が行われるように構成され、バッファ積載部は、収容容器を複数個積載でき、分配ユニットは、メーン積載部の上方に位置し、メーン積載部とバッファ積載部間で収容容器を移送する。このように、本願の基板移送装置は、メーン積載部に加えて、収容容器を積載できるバッファ積載部を具備し、メーン積載部とバッファ積載部間での収容容器の移送は分配ユニットを通じて行われるので、基板の移送に必要な時間を短縮し、生産性を向上できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行なう工程モジュールと、
前記工程モジュールの前方（一側の周囲、以下、「前方」という）に設置され、各々複数の前記基板を収容可能な収容容器を複数個積載でき、前記積載された収容容器と前記工程モジュール間での前記基板の移送が行われるように構成されたメーン積載部と、
前記収容容器を複数個積載できるバッファ積載部と、
前記メーン積載部の上方に位置し、前記メーン積載部と前記バッファ積載部間で前記収容容器を移送する分配ユニットと、を含むことを特徴とする基板移送装置。
【請求項２】
前記メーン積載部は、各々前記収容容器を積載できる複数のロードポートを含み、前記ロードポートは、前記工程モジュールの前方に列を成して互いに平行に配置され、
前記バッファ積載部は、各々前記収容容器を積載できる少なくとも複数のバッファポートを含み、前記バッファポートは、各々何れか一つの前記ロードポートと面するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項３】
前記バッファポートは、前記メーン積載部の上方に設置され、水平移動して前記工程モジュールの一側の内部（以下、「前端部」という）に設置されたパーティションベイの内部に引込み及び引出しが可能であることを特徴とする請求項２に記載の基板移送装置。
【請求項４】
前記バッファ積載部は、前記バッファポートの各々ごとに独立して水平移動することを特徴とする請求項３に記載の基板移送装置。
【請求項５】
前記バッファポートは、
前記パーティションベイの内部に具備されたガイドレールと、
前記収容容器が載置され、前記ガイドレールに結合されて前記ガイドレールに沿って水平移動するステージと、を含むことを特徴とする請求項４に記載の基板移送装置。
【請求項６】
前記分配ユニットは、前記バッファポートの上方に位置し、前記ロードポートが配列されている方向に水平移動して前記収容容器を移送することを特徴とする請求項４に記載の基板移送装置。
【請求項７】
前記分配ユニットは、
前記ロードポートが配列されている方向に延伸された移送レールと、
前記ロードポート及び前記バッファポートのうち、何れか一つに積載された収容容器をピックアップし、前記移送レールに沿って移動するピックアップ部と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の基板移送装置。
【請求項８】
前記バッファポートは、前記ロードポートを間に挟んで、前記工程モジュールと面するように配置されることを特徴とする請求項２に記載の基板移送装置。
【請求項９】
前記分配ユニットは、前記メーン積載部の上方に設置され、前記複数のロードポートが配列された第１方向に水平移動し、前記メーン積載部と前記バッファ積載部の上方において、前記第１方向と直交する第２方向に水平移動することを特徴とする請求項８に記載の基板移送装置。
【請求項１０】
前記分配ユニットは、
前記第２方向に水平移動する第１移動部と、
前記第１移動部の下方に設置されて前記第１移動部と結合し、前記第１方向に水平移動する第２移動部と、
前記第２移動部の下方に設置されて前記第２移動部と結合し、移送する収容容器をピックアップし、垂直方向に移動可能であるピックアップ部と、を含むことを特徴とする請求項９に記載の基板移送装置。
【請求項１１】
外部から前記収容容器を搬送して前記バッファ積載部に積載し、前記バッファ積載部に積載された収容容器を外部に搬送する物流搬送ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の基板移送装置。
【請求項１２】
基板の処理を行なう工程モジュールと、
前記工程モジュールの前方に列を成して互いに平行に位置し、各々複数の前記基板を収容可能な収容容器を積載でき、前記積載された収容容器と前記工程モジュール間での前記基板の移送が行われるように構成された複数のロードポートと、
前記ロードポートの直上に設置され、各々何れか一つの前記ロードポートと面するように配置され、各々前記収容容器を積載でき、水平移動して前記工程モジュールの前端部に設けられたパーティションベイの内部に引込み及び引出しが可能である複数のバッファポートと、
前記バッファポートの上部に位置し、前記ロードポートが配列されている方向に水平移動し、前記バッファポートと前記ロードポートの間で収容容器を移送する分配ユニットと、
外部から前記収容容器を搬送して前記バッファポートに積載し、前記バッファポートに積載された前記収容容器を外部に搬送する物流搬送ユニットと、を含むことを特徴とする基板移送装置。
【請求項１３】
基板の処理を行なう工程モジュールと、
前記工程モジュールの前方に列を成して互いに平行に位置し、各々複数の前記基板を収容可能な収容容器を積載でき、前記積載された収容容器と前記工程モジュール間での前記基板の移送が行われるように構成された複数のロードポートと、
前記ロードポートを間に挟んで前記工程モジュールと面するように設置され、各々何れか一つの前記ロードポートと面するように配置され、各々前記収容容器を積載できる複数のバッファポートと、
前記ロードポートの上方に位置し、前記ロードポートが配列されている第１方向に水平移動し、前記ロードポートと前記バッファポートの上方において、前記第１方向と直交する第２方向に水平移動し、前記バッファポートと前記ロードポートの間で収容容器を移送する分配ユニットと、
外部から前記収容容器を搬送して前記バッファポートに積載し、前記バッファポートに積載された前記収容容器を外部に搬送する物流搬送ユニットと、を含むことを特徴とする基板移送装置。
【請求項１４】
外部から処理待機中の基板が収容された収容容器を搬入して、複数のバッファポートのうちスタンバイ状態にあるバッファポートに積載する段階と、
基板の処理を行なう工程モジュールに前記基板を投入するために、前記処理待機中の基板が収容された収容容器を前記バッファポートからピックアップして複数のロードポートのうち、スタンバイ状態にあるロードポートに積載する段階と、
処理済みの基板が収容された収容容器をロードポートからピックアップして、前記バッファポートのうち、スタンバイ状態にあるバッファポートに移送する段階と、を含み、
前記バッファポートと前記ロードポート間での収容容器の移送は、前記ロードポートの上方に設置された分配ユニットを通じて行われ、
外部から処理待機中の収容容器をスタンバイ状態にあるバッファポートに搬送して、処理完了後の収容容器を外部に搬送する過程は、物流搬送ユニットによって行われることを特徴とする基板移送方法。
【請求項１５】
前記バッファポートは、前記ロードポートの真上に設置され、前記分配ユニットによる前記バッファポートと前記ロードポート間での収容容器の移送の際には水平移動して前記工程モジュールを内蔵するパーティションベイの内部に引込み及び引出され、
前記バッファポートと前記ロードポートの間での前記収容容器の移送は、前記分配ユニットが前記バッファポートの上方において、前記ロードポートが配列されている方向に沿って、該当バッファポート、又は該当ロードポートに向かい移動する過程を通じて行われることを特徴とする請求項１４に記載の基板移送方法。
【請求項１６】
前記バッファポートは、前記ロードポートを間に挟んで、前記工程モジュールと面するように配置され、
前記バッファポートと前記ロードポートの間での収容容器の移送は、前記分配ユニットが、前記ロードポートが配列されている第１方向、及び前記第１方向と直交する第２方向に移動する過程を通じて行われることを特徴とする請求項１４に記載の基板移送方法。
【請求項１７】
外部から処理待機中の基板が収容された収容容器を搬入して、バッファ積載部に積載する段階と、
前記処理待機中の基板を、基板の処理を行なう工程モジュールに投入するために、前記バッファ積載部に積載された収容容器をメーン積載部に移送する段階と、
処理済みの基板が収容された収容容器を前記メーン積載部から前記バッファ積載部に移送する段階と、
前記処理済みの基板が収容された収容容器を前記バッファ積載部からピックアップして外部に移送する段階と、を含むことを特徴とする基板移送方法。
【請求項１８】
前記バッファ積載部と前記メーン積載部間での収容容器の移送は、前記メーン積載部の上方に設置された分配ユニットを通じて行われ、
外部から処理待機中の収容容器を前記バッファ積載部に搬送して、処理完了後の収容容器を外部に搬送する過程は、物流搬送ユニットによって行われることを特徴とする請求項１７に記載の基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板移送装置に関し、より詳細には、特に半導体基板を移送する基板移送装置及びその基板移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に基板製造工程は、絶縁膜及び金属物質の蒸着（Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、エッチング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）、感光剤（Ｐｈｏｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔ）の塗布（Ｃｏａｔｉｎｇ）、現像（Ｄｅｖｅｌｏｐ）、アッシング（Ａｓｈｉｎｇ）などの工程を所定の回数だけ繰り返して、微細パターン（Ｐａｔｔｅｒｎ）の配列を形成する。
このような処理工程の進行過程で、特にエッチング、或いはアッシング工程では、完全には除去されない異物が基板上に残る。洗浄工程（Ｗｅｔ  Ｃｌｅａｎｉｎｇ）は、純水（Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ  Ｗａｔｅｒ）又は薬液（Ｃｈｅｍｉｃａｌ）を利用して、このような異物を除去する。
【０００３】
洗浄工程を実行する基板洗浄装置は、バッチ式洗浄装置（Ｂａｔｃｈ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃｌｅａｎｉｎｇ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ）と枚葉式洗浄装置（Ｓｉｎｇｌｅ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃｌｅａｎｉｎｇ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ）に区分できる。バッチ式洗浄装置は、一度に２５枚乃至５０枚を処理できる大きさの薬液槽（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｂａｔｈ）、リンス槽（Ｒｉｎｓｅ  Ｂａｔｈ）、乾燥槽（Ｄｒｙ  Ｂａｔｈ）などを具備する。バッチ式洗浄装置は、基板を各々の槽（Ｂａｔｈ）に一定時間の間、浸して異物を除去する。
このようなバッチ式洗浄装置は、多数の基板の前面及び背面を同時に洗浄処理できるという利点がある。しかし、基板の大口径化の進行と共に、バッチ式洗浄装置の槽のサイズは比例するので、装置のサイズ及び薬液の使用量が増加するだけではなく、薬液槽内で洗浄が同時進行中の基板に隣接する基板から離脱した異物が再付着するという問題がある。
【０００４】
そこで、最近の基板の大口径化に伴い、枚葉式洗浄装置が多く使われる。枚葉式洗浄装置は、一時に一枚の基板だけを処理できる比較的小さいサイズのチャンバ（Ｃｈａｍｂｅｒ）内で基板の洗浄が行われる。具体的には枚葉式洗浄装置は、基板をチャンバ内に設けたチャック（Ｃｈｕｃｋ）に固定した後、モータを用いて基板を回転しながらノズルを通じて薬液、又は純水を基板の上面に供給する。基板の回転によって薬液、又は純水が基板上に拡がり、これによって、基板に付着した異物が除去される。このような枚葉式洗浄装置は、バッチ式洗浄装置に比べて、装置のサイズが小さく、より均質な洗浄効果を有する。
【０００５】
一般に、枚葉式洗浄装置は、その一側に配置された、複数のロードポートと、インデックスロボットと、バッファ部と、複数の工程チャンバと、メーン移送ロボットと、を含む。複数のロードポートには、基板を収容している「フープ」（ＦＯＵＰ、Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ、以下、ＦＯＵＰという）が各々積載される。インデックスロボットは、ＦＯＵＰに収容された基板をバッファ部に移送し、メーン移送ロボットは、バッファ部に収容された基板を各工程チャンバに移送する。
各工程チャンバ内で基板が洗浄されると、メーン移送ロボットは、基板を工程チャンバからバッファ部に運び、インデックスロボットは、基板をバッファ部から引出してＦＯＵＰに収容する。このように、ＦＯＵＰに洗浄された基板が収容されると、該当ＦＯＵＰは、外部に搬送される。
【０００６】
一般に、ＦＯＵＰは、物流搬送装置（ＯＨＴ：Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）によって移送される。物流搬送装置は、洗浄処理前の基板が収容されたＦＯＵＰを空いているロードポートに移送し、洗浄された基板が収容されたＦＯＵＰをロードポートからピックアップして外部に搬送する。
【０００７】
このような物流搬送装置は、低速運行されるので、ＦＯＵＰから基板を引出して洗浄した後に洗浄された基板をまたＦＯＵＰに収容する時間よりも、物流搬送装置によってＦＯＵＰを搬送する時間が長い。特に、関連する技術開発のお蔭で洗浄装置の効率が向上し、基板の洗浄処理時間は短縮されるが、物流搬送装置は、相変らず低速運行されている。それ故、物流搬送装置はＦＯＵＰを洗浄装置に見合って効率良く搬送できなくなり、結果として洗浄装置の遊休時間が増加し、製造工程全体の生産性を低下してしまう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、基板の移送効率を向上できる基板移送装置を提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、前記の基板移送装置に対して基板の移送効率を向上できる方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するため、一実施例による基板移送装置は、工程モジュール、メーン積載部、バッファ積載部及び分配ユニットからなる。
【００１１】
工程モジュールは、基板の処理を行なう。メーン積載部は、前記工程モジュールの前方に設置され、各々複数の前記基板を収容可能な収容容器を複数個積載でき、前記積載された収容容器と前記工程モジュール間での前記基板の移送が行われるように構成される。バッファ積載部は、前記収容容器を複数個積載できる。分配ユニットは、前記メーン積載部の上方に位置し、前記メーン積載部と前記バッファ積載部間で前記収容容器を移送する分配ユニットを含む。
【００１２】
又、上述の目的を達成するため、他の実施例による基板移送装置は、工程モジュール、複数のロードポート、複数のバッファポート、分配ユニット、及び物流搬送ユニットからなる。
【００１３】
工程モジュールは、基板の処理を行なう。複数のロードポートは、前記工程モジュールの前方に列を成して互いに平行に位置し、各々複数の前記基板を収容可能な収容容器を積載でき、前記積載された収容容器と前記工程モジュール間での基板の移送が行われるように構成される。複数のバッファポートは、前記ロードポートの真上に設置され、各々何れか一つの前記ロードポートと面するように配置され、各々前記収容容器を積載でき、水平移動して前記工程モジュールの前端部に設けられたパーティションベイの内部に引込み及び引出しが可能である。分配ユニットは、前記バッファポートの上方に位置し、前記ロードポートが配列されている方向に水平移動し、前記バッファポートと前記ロードポートの間で収容容器を移送する。物流搬送ユニットは、外部から前記収容容器を搬送して前記バッファポートに積載し、前記バッファポートに積載された前記収容容器を外部に搬送する。
【００１４】
又、上述の目的を達成するため、さらに他の実施例による基板移送装置は、工程モジュール、複数のロードポート、複数のバッファポート、分配ユニット、及び物流搬送ユニットからなる。
【００１５】
工程モジュールは、基板の処理を行なう。複数のロードポートは、前記工程モジュールの前方に列を成して互いに平行に位置し、各々複数の前記基板を収容可能な収容容器を積載でき、前記積載された収容容器と前記工程モジュール間に基板の移送が行われるように構成される。複数のバッファポートは、前記ロードポートを間に挟んで前記工程モジュールと面するように設置され、各々何れか一つの前記ロードポートと面するように配置され、各々前記収容容器を積載する。分配ユニットは、前記ロードポートの上方に位置し、前記ロードポートが配列されている第１方向に水平移動し、前記ロードポートと前記バッファポートの上方において、前記第１方向と直交する第２方向に水平移動し、前記バッファポートと前記ロードポートの間で収容容器を移送する。物流搬送ユニットは、外部から前記収容容器を搬送して前記バッファポートに積載し、前記バッファポートに積載された前記収容容器を外部に搬送する。
【００１６】
又、上述の目的を達成するため、さらに他の実施例による基板移送方法は、次の通りである。
先ず、外部から処理待機中の基板が収容された収容容器を搬入して、複数のバッファポートのうちスタンバイ状態にあるバッファポートに積載する。基板の処理を行なう工程モジュールに前記基板を投入するために、前記処理待機中の基板が収容された収容容器を前記バッファポートからピックアップして、複数のロードポートのうち、スタンバイ状態にあるロードポートに積載する。処理済みの基板が収容された収容容器をロードポートからピックアップして、前記バッファポートのうち、スタンバイ状態にあるバッファポートに移送する。ここで、前記バッファポートと前記ロードポート間での収容容器の移送は、前記ロードポートの上方に設置された分配ユニットを通じて行われ、外部から処理待機中の収容容器をスタンバイ状態にあるバッファポートに搬送して、処理完了後の収容容器を外部に搬送する過程は、物流搬送ユニットによって行われる。
【００１７】
又、上述の目的を達成するため、さらに他の実施例による基板移送方法は、次の通りである。
先ず、外部から処理待機中の基板が収容された収容容器を搬入してバッファ積載部に積載する。前記処理待機中の基板を、基板の処理を行なう工程モジュールに投入するために、前記バッファ積載部に積載された収容容器をメーン積載部に移送する。処理済みの基板が収容された収容容器を前記メーン積載部から前記バッファ積載部に移送する。前記処理済みの基板が収容された収容容器を前記バッファ積載部からピックアップして外部に移送する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、基板移送装置は、ロードポートに加えて、収容容器を積載できる別途のバッファポートを具備して、工程待機中の収容容器をロードポートに移送する時間を短縮する。これによって、基板移送装置は、基板の移送に必要な時間を短縮して、生産性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一の実施形態による基板移送装置を示した部分斜視図である。
【図２】図１に示した基板移送装置を示した部分断面図である。
【図３】図２に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した部分断面図である。
【図４】図２に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した部分断面図である。
【図５】図２に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した部分断面図である。
【図６】図２に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した部分断面図である。
【図７】本発明の第二の実施形態による基板移送装置を示した部分斜視図である。
【図８】図７に示した基板処理装置を示した断面図である。
【図９】図８に示したメーン積載部を示した部分斜視図である。
【図１０】図７に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した工程図である。
【図１１】図７に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した工程図である。
【図１２】図７に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付した図面を参照して、本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。以下では、ウエハを（半導体）基板の一例として説明するが、本発明の技術的思想と範囲は、これに限定されない。
【００２１】
図１は、本発明の第一の実施形態による基板移送装置７０１を示した部分斜視図であり、図２は、図１に示した基板移送装置７０１の部分断面図である。
【００２２】
図１及び図２を参照すると、本発明の基板移送装置７０１は、ウエハの洗浄などの処理工程が行われる工程モジュール１００と、工程モジュール１００で処理するウエハ、即ち未処理のウエハを工程モジュール１００に供給し、処理済みのウエハを外部に搬出する基板供給モジュール５０１と、を含む。
【００２３】
具体的には、未処理のウエハは、ＦＯＵＰ１０に収容された状態で基板移送装置７０１に提供され、又、処理済みのウエハもＦＯＵＰ１０に収容されて外部に引出される。
【００２４】
この実施形態において、基板移送装置７０１は、ウエハ搬送用の収容容器１０として「ＦＯＵＰ」１０を使用するが、ＦＯＵＰ以外の多様な収容容器を使用できる。
【００２５】
工程モジュール１００の一側の内部（以下、「前端部」という）にはパーティションベイ１２０が設けられ、パーティションベイ１２０は、基板供給モジュール５０１に供給されたＦＯＵＰ１０から未処理のウエハを引出すインデックスロボット１１０を内蔵する。インデックスロボット１１０によって引出されたウエハは、処理工程が行われる複数の工程チャンバ（図示せず）に提供される。工程チャンバでは、ウエハ洗浄などの処理工程が行われる。又、インデックスロボット１１０は、処理済みのウエハを基板供給モジュール５０１に積載された、該当する（空の）ＦＯＵＰ１０に再び搭載する。即ち、処理済みのウエハは、工程チャンバから引出され、インデックスロボット１１０は、処理されたウエハを移送してＦＯＵＰ１０に積載する。
【００２６】
一方、工程モジュール１００の前記一側の周囲（以下、「前方」という）には、ウエハをＦＯＵＰ１０に収容した状態で供給する基板供給モジュール５０１が設置される。
【００２７】
具体的には、基板供給モジュール５０１は、メーン積載部２００と、バッファ積載部３００と、分配ユニット４０１と、を含む。
【００２８】
メーン積載部２００は、工程モジュール１００の前方に設置され、工程モジュール１００の前端部、即ち、パーティションベイ１２０の前端部の側壁と接する。メーン積載部２００は、複数のロードポート２１０〜２４０を具備し、各ロードポート２１０〜２４０には、一つのＦＯＵＰ１０を積載できる。
【００２９】
この実施形態において、メーン積載部２００は、４個のロードポート２１０〜２４０からなるが、ロードポート２１０〜２４０の個数は、基板移送装置７０１の工程効率によって加減できる。
【００３０】
ロードポート２１０〜２４０は、工程モジュール１００の前方に設置され、工程モジュール１００の前端部、即ちパーティションベイ１２０の前端部の側壁に接して列をなして配置され、パーティションベイ１２０の前端部の側壁には、ロードポート２１０〜２４０に対応して複数のドアオープナ１３０が設置される。各ドアオープナ１３０は、対応するロードポートに積載されたＦＯＵＰ１０のドアを開閉する。
【００３１】
ロードポート２１０〜２４０は、床面に沿って、水平方向に並列配置される。各ロードポート２１０〜２４０は、ＦＯＵＰ１０を支持する上面に設置されたスライディングプレート２１１を含む。スライディングプレート２１１は、水平方向に移動して、上面に積載されたＦＯＵＰ１０の水平位置を調節する。
【００３２】
即ち、ＦＯＵＰ１０がロードポート２１０〜２４０に積載されると、スライディングプレート２１１は、前方に水平移動して、ＦＯＵＰ１０をドアオープナ１３０側に移動させ、ドアオープナ１３０は、ＦＯＵＰ１０のドアをオープンする。ＦＯＵＰ１０のドアがオープンされると、インデックスロボット１１０は、ドアがオープンされたＦＯＵＰ１０からウエハを引出す。
【００３３】
一方、ドアがオープンされたＦＯＵＰ１０に処理済みのウエハの収容が完了されると、ドアオープナ１３０は、ＦＯＵＰ１０のドアを閉じてＦＯＵＰ１０を密閉し、スライディングプレート２１１は、後方に水平移動してＦＯＵＰ１０を水平移動させる。
【００３４】
スライディングプレート２１１の上面には、スライディングプレート２１１に積載されたＦＯＵＰ１０を固定する固定用突起２１１ａが形成されている。固定用突起２１１ａは、スライディングプレート２１１に積載されたＦＯＵＰ１０と結合してＦＯＵＰ１０をスライディングプレート２１１に固定させる。
【００３５】
一方、メーン積載部２００の上部には、バッファ積載部３００が設置され、バッファ積載部３００は、複数のＦＯＵＰを積載することができる。
【００３６】
具体的には、バッファ積載部３００は、複数のバッファポート３１０〜３４０を含む。本発明の一例として、複数のバッファポート３１０〜３４０は、複数のロードポート２１０〜２４０と同一の個数からなり、ロードポート２１０〜２４０と一対一対応して位置する。しかし、バッファポート３１０〜３４０の個数は、基板移送装置７０１の工程効率によって増加する、或いは減少することができる。
【００３７】
バッファポート３１０〜３４０は、ロードポート２１０〜２４０の配列方向と同一の方向に配列して配置され、各バッファポート３１０〜３４０は、対応するロードポートと面する。
【００３８】
各バッファポート３１０〜３４０は、水平移動して工程モジュール１００内部に引込み及び引出しが可能である。具体的には、各バッファポート３１０〜３４０は、工程モジュール１００内部に具備されたガイドレール３１１と、ＦＯＵＰ１０が積載されるステージ３１２と、を含む。ガイドレール３１１は、パーティションベイ１２０の前端部の側壁の内壁に設置され、パーティションベイ１２０の底面に向かい合うようにパーティションベイ１２０の前端部の側壁の内壁から垂直に延伸されて、インデックスロボット１１０の上方に位置する。
【００３９】
ガイドレール３１１には、ステージ３１２が結合される。ステージ３１２は、ＦＯＵＰ１０を固定する複数の結合用突起３２１ａを具備する。結合用突起３２１ａは、ステージ３１２の上面から突出し、ステージ３１２上面に積載されたＦＯＵＰ１０と結合してＦＯＵＰ１０をステージ３１２に固定する。図示しないが、ＦＯＵＰ１０の底面には、結合用突起３２１ａを挿入できる挿入溝が形成される。
【００４０】
ステージ３１２は、ガイドレール３１１を沿って水平移動して、パーティションベイ１２０の内部に引込み及び引出される。ここで、パーティションベイ１２０には、各バッファポート３１０〜３４０に対応して複数の出入口１２１が形成される。各出入口１２１は、一つのバッファポートに対応する位置に形成され、ＦＯＵＰ１０と共にステージ３１２が出入できる程度の大きさに形成される。ステージ３１２は、水平移動により、出入口１２１を通じて工程モジュール１００内部に引込み及び引出される。
【００４１】
この実施形態において、バッファ積載部３００は、各バッファポート３１０〜３４０ごとに水平移動が可能である。
【００４２】
バッファ積載部３００の上方には、分配ユニット４０１が具備される。分配ユニット４０１は、ロードポート２１０〜２４０が配列される方向に沿って水平移動が可能であり、バッファ積載部３００とメーン積載部２００間での、ＦＯＵＰ１０の移送に用いられる。
【００４３】
具体的には、分配ユニット４０１は、移送レール４１０と、ピックアップ部４２０とを含む。移送レール４１０は、ロードポート２１０〜２４０が配列された方向に沿って延伸される。この実施形態において、移送レール４１０は、パーティションベイ１２０の前端部の側壁の上端部に設置されるが、パーティションベイ１２０と分離して別途に設置してもよい。
【００４４】
図示しないが、パーティションベイ１２０は、物流搬送装置６１０との干渉を最小化するために、分配ユニット４０１が移送レール４１０の水平方向の厚さに対応する長さだけ挿入できるような凹部（リセス）を備えるとよい。
（物流搬送装置６１０に吊り下げられているＦＯＵＰ１０が上下動の際、ガイドレール４１０に衝突しないようにするためである。）
【００４５】
ピックアップ部４２０は、移送レール４１０に結合されて移送レール４１０を沿って水平移動し、ロードポート２１０〜２４０及びバッファポート３１０〜３４０のうち、何れか一つに積載されたＦＯＵＰ１０をピックアップする。
【００４６】
具体的には、ピックアップ部４２０は、移送レール４１０に結合されて移送レール４１０を沿って移動するレール移動部４２１と、ＦＯＵＰ１０の移送の際に移送すべきＦＯＵＰ１０の上端部に脱着可能に結合される固定部４２２と、固定部４２２の垂直位置を調節するワイヤ部４２３と、を含むことができる。
【００４７】
レール移動部４２１は、一側面が移送レール４１０と結合され、移送レール４１０に沿って移動して固定部４２２の水平位置を調節する。即ち、レール移動部４２１は、移送すべきＦＯＵＰ１０が積載された、ロードポート２１０〜２４０及びバッファポート３１０〜３４０のいずれか一つに向かって、移送レール４１０に沿って移動する。これによって、ピックアップ部４２０は、該当ロードポート、又はバッファポートの上方に位置する。レール移動部４２１の移動の際、固定部４２２は、メーン積載部２００に積載されたＦＯＵＰ１０と干渉が発生しない程度の高さに位置する。
【００４８】
ワイヤ部４２３は、一端が固定部４２２と結合し、他端がレール移動部４２１に結合する。ワイヤ部４２３は、その長さを調節して、固定部４２２を昇降する。
【００４９】
即ち、ピックアップ部４２０が、移送すべきＦＯＵＰ１０が積載されたロードポート、又はバッファポートの直、上方に位置すると、ワイヤ部４２３は、固定部４２２を下降して固定部４２２を該当ＦＯＵＰ１０の上面に位置させる。固定部４２２は、ＦＯＵＰ１０の上面に結合されてＦＯＵＰ１０をピックアップ部４２０に固定させる。固定部４２２にＦＯＵＰ１０が固定されると、ワイヤ部４２３は、固定部４２２を昇降させて固定部４２２に結合されたＦＯＵＰをメーン積載部２００に積載されたＦＯＵＰと干渉が発生しない程度の高さに位置させる。ピックアップ部４２０がＦＯＵＰ１０をピックアップした状態で移動する場合、バッファポート３１０〜３４０の各ステージ３１２は、工程モジュール１００内部にスライディングされてピックアップ部４２０との干渉を防止する。
【００５０】
続いて、レール移動部４２１は、移送レール４１０に沿ってピックアップしたＦＯＵＰ１０を積載すべきロードポート、又はバッファポートの上方に移動する。続いて、ワイヤ部４２３は、固定部４２２を下降させてピックアップしたＦＯＵＰ１０を該当ロードポート、又はバッファポートに積載する。
【００５１】
この実施形態において、固定部４２２はＦＯＵＰ１０の上面に結合されるように構成されているが、固定部４２２はＦＯＵＰ１０の側面に着脱可能に結合されるように構成することもできる。又、ピックアップ部４２０は、ワイヤを利用して固定部４２２の垂直位置を調節しているが、垂直方向に移動可能である別途のアームを具備する、或いは別途のレールを利用して固定部４２２の垂直位置を変更することもできる。
【００５２】
一方、バッファ積載部３００の上部には、物流搬送装置６１０（ＯＨＴ：Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ）が移動する設備レール６２０が設置される。一般に、設備レール６２０は、基板移送装置７０１が設置される半導体製造ラインの天井に設置される。物流搬送装置６１０は、設備レール６２０に沿って移動しながら外部からＦＯＵＰ１０を搬入して、バッファポート３１０〜３４０のうち、何れか一つに積載する。又、物流搬送装置６１０は、バッファポート３１０〜３４０に積載されたＦＯＵＰのうち、何れか一つのＦＯＵＰをピックアップして外部に搬出する。
【００５３】
物流搬送装置６１０は、移送するＦＯＵＰに着脱可能に結合されるグリップ部６１１を含み、グリップ部６１１は、ワイヤによってその垂直方向の位置が調節される。
【００５４】
上述のように、基板移送装置７０１は、ロードポート２１０〜２４０に加えて、工程投入すべきＦＯＵＰ１０が待機できる別途のバッファポート３１０〜３４０を具備する。又、ロードポート２１０〜２４０とバッファポート３１０〜３４０間での、ＦＯＵＰの移送は、分配ユニット４０１によって行われるので、物流搬送装置６１０の移送速度に依存することなく、ＦＯＵＰ１０を搬入・搬出できる。
【００５５】
これによって、基板移送装置７０１は、工程待機中のＦＯＵＰを工程モジュール１００に供給するための所要時間が短縮されるので、設備スタンバイ時間を削減でき、生産性を向上できる。
【００５６】
以下、図面を参照して、基板移送装置７０１において工程待機中のＦＯＵＰが移送される過程と、工程完了後のＦＯＵＰを外部に移送する過程を具体的に説明する。又、説明の便宜のために、ロードポート２１０〜２４０を各々第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０と名付け、バッファポート３１０〜３４０を各々第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０名付ける。第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０及び第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０は、互いに同一の方向に順次に配列される。
【００５７】
図３乃至図６は、図２に示した基板移送装置における基板の移送過程を示した部分断面図である。
【００５８】
図３を参照すると、物流搬送装置６１０は、外部から工程待機中であるＦＯＵＰ２０を搬入して、第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０のうち、スタンバイ状態にあるバッファポート３１０〜３４０に積載する。
【００５９】
図３に示したように、第１バッファポート３１０がスタンバイ状態にある場合、物流搬送装置６０１は、工程待機中であるＦＯＵＰ２０を移送して第１バッファポート３１０に積載する。
【００６０】
基板移送装置７０１は、第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０と第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０のうち、少なくとも何れか一つのポートを物流の円滑な流れのために空けておく。即ち、第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０と第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０の全てにＦＯＵＰ１０が積載された状態では、第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０のうち、少なくとも何れか一つのロードポートに積載したＦＯＵＰに収容されたウェハを工程処理することは可能であるが、処理済みのウエハを収容してバッファ積載部３００に積載されているＦＯＵＰをどれか一つ外部に移送するまでは、ロードポート上の工程完了済みのＦＯＵＰをバッファ積載部３００に移送できないことになる。従って、これを防止するために、少なくとも何れか一つのポートを空けてスタンバイ状態におかねばならない。
【００６１】
図４を参照すると、第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０のうち、何れか一つのロードポートに積載されたＦＯＵＰ１０に処理済みのウエハが収容されると、分配ユニット４０１は、該当ロードポートから工程完了後のＦＯＵＰ１０をピックアップして、第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０のうち、スタンバイ状態にあるバッファポートに載置する。
【００６２】
例えば、第１ロードポート２１０に載置されたＦＯＵＰ１０に工程処理済のウエハが収容されると、分配ユニット４０１のピックアップ部４２０は、移送レール４１０に沿って移動して第１ロードポート２１０の上方に位置する。その際、第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０の各ステージ３１２は、ピックアップ部４２０の円滑な移動のために工程モジュール１００のパーティションベイ１２０の内部にスライディングされる。
【００６３】
続いて、ピックアップ部４２０は、工程完了後のＦＯＵＰ１０をピックアップする。
【００６４】
図５を参照すると、ピックアップ部４２０は、ピックアップしたＦＯＵＰ１０と共に現在スタンバイ状態にあるバッファポートが位置する所に移送レール４１０に沿って移動する。例えば、第１バッファポート３１０がスタンバイ状態にある場合、ピックアップ部４２０は、工程完了後のＦＯＵＰ１０と共に第１バッファポート３１０に移動する。
【００６５】
続いて、第１バッファポート３１０のステージ３１２がパーティションベイ１２０から引出されて、第１ロードポート２１０と面するように配置され、ピックアップ部４２０は、第１バッファポート３１０に工程完了後のＦＯＵＰ１０を積載する。
【００６６】
その後、設備レール６２０に沿って移動する物流搬送装置６１０が、第１バッファポート３１０から工程完了後のＦＯＵＰ１０をピックアップして外部に搬送する。
【００６７】
一方、処理済みのウエハを収容したＦＯＵＰ１０が、第１ロードポート２１０からバッファ積載部３００に移送されると、第１ロードポート２１０はスタンバイ状態になる。
【００６８】
図６を参照すると、分配ユニット４０１は、スタンバイ状態にある第１ロードポート２１０に工程待機中の（別の）ＦＯＵＰ２０を載置する。即ち、分配ユニット４０１は、第１乃至第４バッファポート３１０〜３４０のうち、工程待機中のＦＯＵＰ２０が積載されたバッファポートからＦＯＵＰ２０をピックアップした後、第１ロードポート２１０に積載する。
【００６９】
このように、工程完了後のＦＯＵＰ１０は、メーン積載部２００で待機することなく、分配ユニット４０１によってメーン積載部２００からバッファ積載部３００に移送され、物流搬送装置６１０によって外部に搬出される時までバッファ積載部３００で待機する。これによって、基板移送装置７０１は、工程完了後の（即ち、処理済みウエハを収容している）ＦＯＵＰ１０の外部搬出が、物流搬送装置７１０の低速運行によって遅延されても、未処理ウエハを工程モジュール１００に円滑に供給できて、工程待機時間を削減できる。
【００７０】
図７は、本発明の第二の実施形態による基板移送装置を示した部分斜視図であり、図８は図７に示した基板移送装置を示した断面図であり、図９は、図８に示したメーン積載部を示した部分斜視図である。
【００７１】
図７乃至図９を参照すると、本発明の基板移送装置７０２は、ウエハの処理工程が行われる工程モジュール１００と、未処理のウエハを工程モジュール１００に供給して処理済みのウエハを外部に搬出する基板供給モジュール５０２と、を含む。
【００７２】
具体的には、未処理のウエハは、ＦＯＵＰ１０に収容された状態で基板移送装置７０２に供給され、又、処理済みのウエハもＦＯＵＰ１０に収容されて外部に引出される。
【００７３】
工程モジュール１００の一側の内部（以下、「前端部」という）には第１パーティションベイ１２０が設けられ、第１パーティションベイ１２０は、基板供給モジュール５０２に供給されたＦＯＵＰ１０から未処理のウエハを引出すインデックスロボット１１０を内蔵する。インデックスロボット１１０によって引出されたウエハは、処理工程が行われる複数の工程チャンバ（図示せず）に提供される。工程チャンバでは、例えばウエハ洗浄処理工程がなされる。又、インデックスロボット１１０は、処理済みのウエハを基板供給モジュール５０２に積載された、該当ＦＯＵＰ１０に再び搭載する。即ち、処理済みのウエハは、工程チャンバから引出され、インデックスロボット１１０は、処理済みのウエハを移送してＦＯＵＰ１０に搭載する。
【００７４】
一方、工程モジュール１００の前方には、ウエハをＦＯＵＰ１０単位で供給する基板供給モジュール５０２が設置される。
【００７５】
具体的には、基板供給モジュール５０２は、メーン積載部２００と、バッファ積載部３０２と、分配ユニット４０２と、を含む。
【００７６】
メーン積載部２００は、工程モジュール１００の前方に設置され、工程モジュール１００の前端部、即ち第１パーティションベイ１２０の前端部の側壁と接する。メーン積載部２００は、複数のロードポート２１０〜２４０を具備し、各ロードポート２１０〜２４０には、一つのＦＯＵＰ１０を積載できる。ロードポート２１０〜２４０は、図１に示したロードポート２１０〜２４０と同一の構成を有するので、これに対する具体的な説明は省略する。
【００７７】
ロードポート２１０〜２４０は、第１パーティションベイ１２０の前端部側壁に接して列をなして配置され、第１パーティションベイ１２０の前端部の側壁には、ロードポート２１０〜２４０に対応して複数のドアオープナが設置される。各ドアオープナ１３０は、対応するロードポートに載置されたＦＯＵＰ１０のドアを開閉する。
【００７８】
この実施形態において、メーン積載部２００は、別途の第２パーティションベイ６３０内に設置される。第２パーティションベイ６３０は、第１パーティションベイ１２０の前端部の側壁に接して設置され、メーン積載部２００が設置された空間を外部から分離する。
【００７９】
一方、メーン積載部２００を挟んで、第１パーティションベイ１２０（図示しない工程モジュール１００を含む）と面するように、バッファ積載部３０２が設置される。バッファ積載部３０２は、第２パーティションベイ６３０の外側に設置され、複数のＦＯＵＰを積載することができる。
【００８０】
具体的には、バッファ積載部３０２は、複数のバッファポート３５０〜３８０を含む。本発明の一例として、複数のバッファポート３５０〜３８０は、複数のロードポート２１０〜２４０と同一の個数からなり、ロードポート２１０〜２４０と一対一対応して同一方向に配列されるように位置する。しかし、バッファポート３５０〜３８０の個数は、基板移送装置７０２の工程効率によって加減できる。
【００８１】
バッファポート３５０〜３８０は、ロードポート２１０〜２４０の配列方向と同一の方向に配列され、各バッファポート３５０〜３８０は、対応するロードポートと面する。各バッファポート３６０〜３８０は、上面に積載されたＦＯＵＰ１０を固定する複数の結合用突起３５１を具備することができる。結合用突起３５１は、バッファポート３５０〜３８０の上面から突出し、ＦＯＵＰ１０と結合してＦＯＵＰ１０をバッファポート３５０〜３８０に固定する。
【００８２】
一方、メーン積載部２００の上部には、分配ユニット４０２が具備される。分配ユニット４０２は、第２パーティションベイ６３０内に設置され、バッファ積載部３０２とメーン積載部２００間でＦＯＵＰ１０を移送する。
【００８３】
分配ユニット４０２は、メーン積載部２００の上方に設置され、ロードポート２１０〜２４０が配列される第１方向Ｄ１と、第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２に水平移動できる。
【００８４】
具体的には、分配ユニット４０２は、第１移送レール４３０と、移動プレート４４０と、第２移送レール４５０と、ピックアップ部４６０と、を含む。第１移送レール４３０は、第２パーティションベイ６３０の上面内側に第２方向Ｄ２に延伸して設置される。
【００８５】
移動プレート４４０は、第１移送レール４３０に結合されており、第１移送レール４３０に沿って第２方向Ｄ２に移動することにより、第２パーティションベイ６３０に対して引込み及び引出しがなされる。移動プレート４４０の下には、第１方向Ｄ１に延伸する第２移送レール４５０が設置され、ピックアップ部４６０は、第２移送レール４５０に結合されて第２移送レール４５０に沿って移動し、移送するＦＯＵＰ１０をピックアップする。
【００８６】
ピックアップ部４６０は、第２移送レール４５０に結合されて第２移送レール４５０に沿って移動するレール移動部４６１と、ＦＯＵＰ１０を移送する際に、移送するＦＯＵＰ１０の上端部に脱着可能に結合される固定部４６２と、固定部４６２の垂直位置を調節するワイヤ部４６３と、を含む。
【００８７】
レール移動部４６１は、一側面が第２移送レール４５０と結合され、水平方向に移動して固定部４６２の水平位置を調節する。即ち、レール移動部４６１は、第２移送レール４５０に沿って、移送すべきＦＯＵＰ１０が積載されたポート２１０〜２４０、３５０〜３８０に向かって移動する。これによって、ピックアップ部４６０は、該当ロードポート又はバッファポートの上方に位置する。レール移動部４６１の移動の際、固定部４６２は、メーン積載部２００に積載されたＦＯＵＰ１０と干渉が発生しない程度の高さに位置する。
【００８８】
ワイヤ部４６３は、一端が固定部４６２と結合し、他端がレール移動部４６１と結合する。ワイヤ部４６３は、その長さを調節して固定部４６２を昇降する。
【００８９】
即ち、ピックアップ部４６０が移送すべきＦＯＵＰ１０が積載されたロードポート２１０〜２４０又はバッファポート３５０〜３８０の上方に位置すると、ワイヤ部４６３は、固定部４６２を下降して固定部４６２を該当ＦＯＵＰ１０の上面に位置させる。固定部４６２は、ＦＯＵＰ１０の上面に結合され、ＦＯＵＰ１０をピックアップ部４６０に固定する。固定部４６２にＦＯＵＰ１０が固定されると、ワイヤ部４６３は、固定部４６２を上昇して固定部４６２に結合されたＦＯＵＰ１０を、メーン積載部２００又はバッファ積載部３０２に積載された、別のＦＯＵＰ１０と干渉が発生しない程度の高さに位置させる。
【００９０】
移送するＦＯＵＰ１０がピックアップ部４６０に固定されると、移動プレート４４０は、第１移動レール４３０に沿って水平移動してメーン積載部２００の上方からバッファ積載部３０２の上方に移動する、或いはバッファ積載部３０２の上方からメーン積載部２００の上方に移動する。その際、ピックアップ部４６０とピックアップ部４６０に固定されたＦＯＵＰ１０は、移動プレート４４０の移動によって第２パーティションベイ６３０内に引込む、或いは引出される。第２パーティションベイ６３０の一側壁には、移動プレート４４０とピックアップ部４６０及びピックアップ部４６０に固定されたＦＯＵＰが出入できる出入口６３１が形成される。
【００９１】
続いて、レール移動部４６１は、第２移送レール４５０に沿ってピックアップしたＦＯＵＰ１０を積載すべきロードポート又はバッファポートの上方に移動する。続いて、ワイヤ部４６３は、固定部４６２を下降してピックアップしたＦＯＵＰ１０を該当ロードポート又はバッファポートに積載する。
【００９２】
この実施形態においては、固定部４６２はＦＯＵＰ１０の上面に結合されているが、ＦＯＵＰ１０の側面に着脱可能に結合してもよい。又、ピックアップ部４６０は、ワイヤを利用して固定部４６２の垂直位置を調節するが、垂直方向に移動可能である別途のアームを具備する、或いは別途のレールを利用して固定部４６２の垂直位置を変更してもよい。
【００９３】
一方、バッファ積載部３０２の上方には、物流搬送装置６１０が移動する設備レール６２０が設置される。一般に、設備レール６２０は基板移送装置７０２が設置される半導体ラインの天井に設置される。物流搬送装置６１０は、設備レール６２０に沿って移動しながら外部からＦＯＵＰ１０を搬入してバッファポート３１０〜３４０のうち、何れか一つに積載する。又、物流搬送装置６１０は、バッファポート３１０〜３４０に積載されたＦＯＵＰ１０のうち、何れか一つのＦＯＵＰ１０をピックアップして外部に搬出する。
【００９４】
上述のように、基板移送装置７０２は、ロードポート２１０〜２４０に加えて、工程投入するＦＯＵＰ１０が待機できる別途のバッファポート３５０〜３８０を具備する。又、ロードポート２１０〜２４０とバッファポート３５０〜３８０間でのＦＯＵＰ移送は、分配ユニット４０２によって行われるので、物流搬送装置６１０の移送速度に依存することなく、ＦＯＵＰ１０を搬入、搬出できる。
【００９５】
これによって、基板移送装置７０２は、工程待機中のＦＯＵＰ１０を工程モジュール１００に供給するための所要時間が短縮されるので、設備遊休時間を削減し、生産性を向上できる。
【００９６】
以下、図面を参照して基板移送装置７０２で工程待機中であるＦＯＵＰが移送される過程と工程完了後のＦＯＵＰを外部に移送する過程を具体的に説明する。又、説明の便宜のために、ロードポート２１０〜２４０を第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０と名付け、バッファポート３５０〜３８０を第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０と名付ける。第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０及び第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０は、互いに同一の方向に順次に配列される。
【００９７】
図１０乃至図１２は、図７に示した基板移送装置で基板の移送過程を示した工程図である。
【００９８】
図１０を参照すると、物流搬送装置６１０は、外部から、工程待機中のＦＯＵＰ１０を搬入して、第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０のうち、スタンバイ状態にあるバッファポート３５０〜３８０に積載する。
【００９９】
図１０に示したように、第４バッファポート３８０がスタンバイ状態にある場合、物流搬送装置６０１は、工程待機中のＦＯＵＰ１０を第４バッファポート３８０に載置する。
【０１００】
ここで、基板移送装置７０２は、第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０と第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０のうち、少なくとも何れか一つのポートを常に、物流の円滑な流れのために空けておく。
【０１０１】
図１１を参照すると、第１乃至第４ロードポート２１０〜２４０のうち、何れか一つのロードポートに積載されたＦＯＵＰ２０において、処理済みのウエハの搭載が完了すると、分配ユニット４０２は、該当ロードポートから工程完了後のＦＯＵＰ１０をピックアップして、第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０のうち、スタンバイ状態にあるバッファポートに工程完了後のＦＯＵＰ２０を載置する。
【０１０２】
例えば、第４ロードポート２４０に載置されたＦＯＵＰ２０における処理済みウエハの搭載が完了すると、分配ユニット４０２のピックアップ部４６０は、第２移送レール４５０に沿って移動して第４ロードポート２４０の上方に位置し、上記の、即ち工程完了後のＦＯＵＰ２０をピックアップする。
【０１０３】
図１２を参照すると、分配ユニット４０２は、第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０のうち、現在スタンバイ状態にあるバッファポートに工程完了後のＦＯＵＰ２０を移送する。具体的には、先ず、移動プレート４４０は、第１移送レール４３０に沿って移動して出入口６３１を通じて第２パーティションベイ６３０の外部に引出しされる。これによって、ピックアップ部４６０がバッファ積載部３０２の上方に移動する。
【０１０４】
続いて、ピックアップ部４６０は、第２移送レール４５０に沿って、スタンバイ状態にあるバッファポートが位置する所に移動した後、ピックアップした（工程完了後の）ＦＯＵＰ２０を該当バッファポートに積載する。例えば、第１乃至第４バッファポート３５０〜３８０のうち、第４バッファポート３８０がスタンバイ状態にある場合、ピックアップ部４６０は、メーン積載部２００からピックアップしたＦＯＵＰ２０を第４バッファポート３８０に積載する。
【０１０５】
このようにして工程完了後のＦＯＵＰ２０は、バッファ積載部３０２に移動した後、物流搬送装置６１０によって外部に搬送される。
【０１０６】
第４ロードポート２４０のＦＯＵＰ２０が工程完了されて（処理済みのウエハを収容して）バッファ積載部３０２に移送されると、第４ロードポート２４０は、スタンバイ状態になる。分配ユニット４０２のピックアップ部４６０は、バッファ積載部３０２で工程待機中の別のＦＯＵＰ２０をピックアップし、移動プレート４４０は、第１移送レール４３０に沿って移動して第２パーティションベイ６３０内に引込まれる。これによって、ピックアップ部４６０は、メーン積載部２００の上方に移動する。続いて、ピックアップ部４６０は、第２移送レール４５０に沿って第４ロードポート２４０の上方に移動し、第４ロードポート２４０に工程待機中のＦＯＵＰを載置する。
【０１０７】
以上本発明を、第一及び第二の実施形態を参照して説明したが、該当技術分野の熟練した当業者は、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域を逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更できることを理解できるであろう。
【符号の説明】
【０１０８】
１０、２０      ＦＯＵＰ（フープ、Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）、（ウエハ搬送用の）収容容器
１００      工程モジュール
１２０      （第１）パーティションベイ
１２１      出入口
１３０      ドアオープナ
２００      メーン積載部
２１０、２２０、２３０、２４０      ロードポート
２１１      スライディングプレート
２１１ａ    固定用突起
３００、３０２      バッファ積載部
３１０、３２０、３３０、３４０      バッファポート
３１１      ガイドレール
３１２      ステージ
３２１ａ、３５１      結合用突起
３５０、３６０、３７０、３８０      バッファポート
４０１、４０２      分配ユニット
４１０      移送レール
４２０、４６０      ピックアップ部
４２１、４６１      レール移動部
４２２、４６２      固定部
４２３、４６３      ワイヤ部
４３０、４５０      第１、第２移送レール
４４０      移動プレート
５０１、５０２      基板供給モジュール
６１０      物流搬送装置（ＯＨＴ、Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）
６１１      グリップ部
６２０      設備レール
６３０      第２パーティションベイ
６３１      出入口
７０１、７０２      基板移送装置
【図１】
2010016387.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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