(57)【要約】【課題】ワークを安定に保持することができるチャック装置および吸引保持ハンドを提供すること。【解決手段】吸着されたワークＷに非接触で対面する非接触保持面４１と、非接触保持面４１に窪入形成され、吸着のための気体の旋回流を発生させる旋回流発生室４２と、旋回流発生室４２に気体を流入させると共に、流入させた気体に旋回流を発生させその中心部に吸着のための負圧を生じさせる旋回流発生手段４３と、非接触保持面４１に設けられ、旋回流発生室４２から非接触保持面４１に沿って外方に流出する気体を、旋回流と同一旋回方向の渦流となるように導く溝状の渦流ガイド流路４４と、を備えたものである。【選択図】図４
2010016208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着されたワークに非接触で対面する非接触保持面と、
前記非接触保持面に窪入形成され、吸着のための気体の旋回流を発生させる旋回流発生室と、
前記旋回流発生室に気体を流入させると共に、流入させた気体に旋回流を発生させその中心部に吸着のための負圧を生じさせる旋回流発生手段と、
前記非接触保持面に設けられ、前記旋回流発生室から前記非接触保持面に沿って外方に流出する気体を、前記旋回流と同一旋回方向の渦流となるように導く溝状の渦流ガイド流路と、を備えたことを特徴とするチャック装置。
【請求項２】
前記渦流ガイド流路は、奥壁面と、前記渦流の旋回方向内側に位置する内側壁面と、前記渦流の旋回方向外側に位置する外側壁面と、とから成り、
断面方向において前記外側壁面は、前記旋回流の旋回軸に平行な垂直壁面および前記垂直壁面より深い角度のオーバーハング壁面のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項１に記載のチャック装置。
【請求項３】
断面方向において前記内側壁面は、前記垂直壁面より浅い角度の傾斜壁面で構成されていることを特徴とする請求項２に記載のチャック装置。
【請求項４】
前記渦流ガイド流路は、単一の流路で構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のチャック装置。
【請求項５】
前記渦流ガイド流路は、点対称に配設した複数の流路で構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のチャック装置。
【請求項６】
前記渦流ガイド流路は、前記旋回流の旋回軸に直交する面内に配設されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のチャック装置。
【請求項７】
前記旋回流発生室は、円柱状に窪入形成され、
前記旋回流発生手段は、気体供給源に連なると共に、前記旋回流発生室に対し略接線方向から内周面に沿うように気体を噴出させる気体流入流路を有していることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のチャック装置。
【請求項８】
一方の端面に前記渦流ガイド流路を形成すると共に軸心部に貫通孔を形成した環状のチャックと、前記チャックの他方の端面全域に気密に接触する閉塞部材と、から成り、
前記旋回流発生室は、前記閉塞部材側の開放端を前記閉塞部材により閉塞された前記チャックの前記貫通孔により構成され、
前記気体流入流路は、前記チャックの他方の端面と前記閉塞部材との接触部分において、少なくとも一方に形成した溝状により構成されていることを特徴とする請求項７に記載のチャック装置。
【請求項９】
前記気体流入流路は、前記旋回流発生室の内周面に対し、周方向に均等間隔に設けられた複数の流路で構成されていることを特徴とする請求項７または８に記載のチャック装置。
【請求項１０】
前記旋回流発生手段は、前記旋回流発生室に流入する気体をイオン化するイオン化手段を、更に有していることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のチャック装置。
【請求項１１】
導電性の樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載のチャック装置。
【請求項１２】
前記旋回流の旋回方向が正逆異なる請求項７ないし１１のいずれかに記載のチャック装置の少なくとも１組から成る偶数個と、
前記渦流ガイド流路が同一平面内に位置するように、偶数個の前記チャック装置を保持するホルダ部と、
前記ホルダ部に連なるアーム部と、を備えたことを特徴とする吸引保持ハンド。
【請求項１３】
前記アーム部には、前記気体供給源に連なるチューブ接続口が形成され、
前記ホルダ部の内部および前記アーム部の内部には、前記チューブ接続口および前記各気体流入流路に接続された一体の気体室が形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の吸引保持ハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、旋回流の中心部に生ずる負圧を利用してワークを吸着・保持するチャック装置および吸引保持ハンドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の非接触搬送装置（チャック装置）として、空気流によって生じるベルヌーイ効果を利用したものが知られている（特許文献１参照）。この非接触搬送装置は、一端が開口した円筒状の凹部と、凹部の開口側に形成され、搬送物（ワーク）に対向位置する平坦状端面と、エアーを凹部の内周方向に沿って噴出させる流体通路と、を有している。
流体通路から凹部の内周方向に沿ってエアーを噴出させると、その凹部には内周面に沿って回転する強い旋回流が生じる。この旋回流は、開口側に向って凹部の内周面を進み、開口部に達すると平坦状端面に沿って外方に流出する。
この際、旋回流の中心部およびこれに連なる平坦状端面の開口付近は負圧状態となり、平坦状端面に対峙するように搬送物が存在すると、その搬送物はそれらの負圧により、平坦状端面側に吸引される。一方、搬送物は、平坦状端面に沿って外方に流出するエアー（正圧）により、平坦状端面から離れる。すなわち、搬送物に対し、旋回流よる負圧と外方に流出するエアーとが拮抗するように作用することにより、搬送物が非接触状態で吸着保持される。
【特許文献１】特開２００２−６４１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような非接触搬送装置において、平坦状端面に沿って流出するエアーは、遠心力と慣性により湾曲流となって外方へ流出してゆくが、周囲エアーとの摩擦により乱流化し急激に減速する。このため、ワークとの間に生ずる負圧が弱められると共に負圧領域が微妙に変動し、ワークを安定に保持できないという問題があった。また、負圧領域の変動により負圧に強弱が生じ、吸着したワークが脈動して、受け渡し等において、ワークを損傷するおそれがあった。
【０００４】
そこで、本発明は、ワークを安定に保持することができるチャック装置および吸引保持ハンドを提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のチャック装置は、吸着されたワークに非接触で対面する非接触保持面と、非接触保持面に窪入形成され、吸着のための気体の旋回流を発生させる旋回流発生室と、旋回流発生室に気体を流入させると共に、流入させた気体に旋回流を発生させその中心部に吸着のための負圧を生じさせる旋回流発生手段と、非接触保持面に設けられ、旋回流発生室から非接触保持面に沿って外方に流出する気体を、旋回流と同一旋回方向の渦流となるように導く溝状の渦流ガイド流路と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、旋回流発生室に流入した気体は、旋回流発生手段により旋回流発生室で旋回流となり、やがて非接触保持面から流出する。この流出する気体は、非接触保持面に設けた渦流ガイド流路にガイドされ、渦流となって外方に流出する。すなわち、非接触保持面に沿って流出する気体は、渦流ガイド流路に案内され渦流（層流のまま）となって円滑に流出する。このため、非接触保持面に沿って流出する気体は、流速が急激に衰えることがなく、旋回流により生じた負圧が弱められることがなく、かつ負圧領域が安定する。一方、渦流ガイド流路は溝状に形成されているため、開放部分から流出する気体の一部が、渦流ガイド流路と吸着されたワークとの間隙を維持する。したがって、非接触状態で、ワークを強い吸引力で且つ安定に保持することができる。また、負圧領域が安定するため、吸着したワークの脈動が抑制される。
【０００７】
この場合、渦流ガイド流路は、奥壁面と、渦流の旋回方向内側に位置する内側壁面と、渦流の旋回方向外側に位置する外側壁面と、とから成り、断面方向において外側壁面は、旋回流の旋回軸に平行な垂直壁面および垂直壁面より深い角度のオーバーハング壁面のいずれかで構成されていることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、渦流となって流出する気体は、外側壁面を乗り越え難く、渦流ガイド流路に沿って流れる。よって、渦流となった気体の旋回状態を下流端まで維持することができる。
【０００９】
また、上記した構成に加え、断面方向において内側壁面は、垂直壁面より浅い角度の傾斜壁面で構成されていることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、渦流ガイド流路の物理的な強度アップを図ることができ、渦流ガイド流路を損傷し難い構造とすることができる。
【００１１】
これらの場合、渦流ガイド流路は、単一の流路で構成されていること、或いは、渦流ガイド流路は、点対称に配設した複数の流路で構成されていることが、好ましい。
【００１２】
これらの構成によれば、渦流ガイド流路の流路抵抗を考慮すると、旋回流の流速が比較的速い場合には単一の流路が有効であり、流速が比較的遅い場合には複数の流路が有効である。
【００１３】
この場合、渦流ガイド流路は、前記旋回流の旋回軸に直交する面内に配設されていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、非接触保持面に達した旋回流の遠心力を弱めることがなく、これを非接触保持面上に沿って、すなわち渦流ガイド流路に沿わせて円滑に流出させることができる。
【００１５】
この場合、旋回流発生室は、円柱状に窪入形成され、旋回流発生手段は、気体供給源に連なると共に、旋回流発生室に対し略接線方向から内周面に沿うように気体を噴出させる気体流入流路を有していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、気体供給源に連なる気体流入流路により、気体の旋回流発生室への流入と、旋回流発生室内での旋回流の生成とを同時に行うことができる。また、旋回流発生室が円柱状に窪入形成されているため、安定な旋回流の生成を簡単に行うことができる。
【００１７】
この場合、一方の端面に渦流ガイド流路を形成すると共に軸心部に貫通孔を形成した環状のチャックと、チャックの他方の端面全域に気密に接触する閉塞部材と、から成り、旋回流発生室は、閉塞部材側の開放端を閉塞部材により閉塞されたチャックの貫通孔により構成され、気体流入流路は、チャックの他方の端面と閉塞部材との接触部分において、少なくとも一方に形成した溝状により構成されていることが、このましい。
【００１８】
この構成によれば、チャックと閉塞部材との２部材で構成されているため、各構成部材の形状および構造が単純に成り、各構成部材を簡単に形成することができると共に装置全体を簡単に作製することができる。
【００１９】
また、気体流入流路は、旋回流発生室の内周面に対し、周方向に均等間隔で開口する複数の流路で構成されていることが、好ましい。
【００２０】
これらの構成によれば、形状的に歪みのない旋回流を効率よく発生させることができ、安定した旋回流を、すなわち安定した（圧力変動の少ない）負圧を発生させることができる。
【００２１】
この場合、旋回流発生手段は、旋回流発生室に流入する気体をイオン化するイオン化手段を、更に有していることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、ワークが帯電している場合、イオンによりその帯電が中和されるため、ワークに対する静電気によるパーティクル等の付着を防止することができる。
【００２３】
これらの場合、導電性の樹脂で形成されていることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、チャック装置自身を射出成型等により簡単に作製することができると共に、これにアースを接続することで、チャック装置に発生する静電気を簡単にアース（除電）することができる。
【００２５】
本発明の吸引保持ハンドは、旋回流の旋回方向が正逆異なる上記のチャック装置の少なくとも１組から成る偶数個と、渦流ガイド流路が同一平面内に位置するように、偶数個のチャック装置を保持するホルダ部と、ホルダ部に連なるアーム部と、を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、正方向に旋回する渦流によりワークが受ける回転力と、逆方向に旋回する渦流によりワークが受ける回転力と、が互いに打ち消し合うため、ワークを安定に吸着・保持することができる。但し、チャック装置に対しワークは非接触であるため、吸着状態のワークを面内方向に動かすことは容易である。なお、アーム部は、吸引保持ハンドを手持ちとする場合にはグリップ部として機能し、装置に取り付ける場合には取付け部として機能する。
【００２７】
この場合、アーム部には、気体供給源に連なるチューブ接続口が形成され、ホルダ部の内部およびアーム部の内部には、チューブ接続口および各気体流入流路に接続された一体の気体室が形成されていることが、好ましい。
【００２８】
この構成によれば、気体室に供給された気体は、均等に各チャック装置の旋回流発生室に流入するため、偶数個のチャック装置の吸着力を同一にすることができる。これにより、ワークを安定して吸着・保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係るチャック装置を適用した吸引保持ハンドについて説明する。この吸引保持ハンドは、空気（エアー）の流れにより生じるベルヌーイ効果を利用した複数のベルヌーイチャックを用い、電子部品に用いる各種の薄板やフィルム等のワークを非接触で吸着・保持するものであり、搬送ロボットをはじめとする各種搬送装置に搭載され、或いは手持ちして用いられる。
【００３０】
図１および図２に示すように、吸引保持ハンド１は、搬送対象物であるワークＷを吸着保持する複数（図示のものは、４個）のベルヌーイチャック２と、複数のベルヌーイチャック２を固定するホルダ部１１およびホルダ部１１に連なるアーム部１２からなる横長の板状のハンド本体３と、から構成されている（図１参照）。この場合、アーム部１２は、吸引保持ハンド１を手持ちとする場合にはグリップ部として機能し、装置に取り付ける場合には取付け部として機能する。
【００３１】
ハンド本体３は、本体ケース１３およびこれに気密に接合した蓋ケース１４から成るケーシング４内に、複数のベルヌーイチャック２に連なる後述のエアー室（気体室）５を構成したものであり、蓋ケース１４は、本体ケース１３の周縁部に設けた突設枠部２９に嵌合するようにして接着されている。蓋ケース１４は凹凸の無い平板状に形成され、その基部側にはエアー室５に連通するチューブ接続口６が形成されている。そして、このチューブ接続口６には、圧縮エアー供給設備（気体供給装置）９に連なるエアーチューブ（気体供給チューブ）７が接続されている。更に、エアーチューブ７には、エアーをイオン化するイオン発生装置（イオン発生手段）８が介設されている（図１参照）。なお、ワークＷによっては、エアーに代えて窒素等の高圧の不活性ガスを供給するようにしてもよい。
【００３２】
図２に示すように、ホルダ部１１は、略正方形の板状に形成されており、各ベルヌーイチャック２の上端側を塞ぐと共に、下方に突出するように取り付けた４個のベルヌーイチャック２を、その下面が同一平面内に位置するように保持している（図２（ｂ）参照）。具体的には、ホルダ部１１にマトリクス状に形成された４個の固定貫通穴１５に、それぞれベヌーイチャック２が挿入固定されている。すなわち、各ベヌーイチャック２は、その上面（端面）を蓋ケース１４に気密に接着固定され、周面を固定貫通穴１５の内周面に気密に接着固定されている。そして、４個のベルヌーイチャック２のうちの対角に位置する２つのベルヌーイチャック２が正回転方向の旋回流を発生し、他方の対角に位置する２つのベルヌーイチャック２が逆回転方向の旋回流を発生するようになっている。
【００３３】
ホルダ部１１を構成する本体ケース１３の内側には、固定された４個のベルヌーイチャック２を囲うように広く矩形の浅溝２１が設けられ、この浅溝２１と上記の蓋ケース１４（の浅溝２１に面する部分）とにより、ホルダ部エアー室２６が構成されている。また、図２（ａ）中の符号２５，２５は、それぞれホルダ部エアー室２６の中央部に突設したスペーサ部である。
【００３４】
アーム部１２は、一端がホルダ部１１に連なり、ホルダ部１１より幅狭に、且つ横長に形成されている。アーム部１２を構成する本体ケース１３の内側には、ホルダ部１１の浅溝２１に連なる長溝３１が形成され、この長溝３１と上記の蓋ケース１４（の長溝３１に面する部分）とにより、ホルダ部エアー室２６に連なるアーム部エアー室２７が構成されている。すなわち、ホルダ部１１に形成したホルダ部エアー室２６と、アーム部１２に形成したアーム部エアー室２７とにより、上記のエアー室５が一体に構成されている（図２（ａ）参照）。そして、アーム部エアー室２７の端部は、蓋ケース１４の基部側に形成したチューブ接続口６に連通している。すなわち、チューブ接続口６から流入した圧縮エアーは、エアー室５内をゆっくり流れ、流速を速めてベルヌーイチャック２に吹き込まれる。なお、蓋ケース１４に、本体ケース１３の浅溝２１および長溝３１に対面する浅い溝を形成し、エアー室５の容積を大きくするようにしてもよい。言うまでもないが、この場合には、蓋ケース１４にも、本体ケース１３のスペーサ部２５に対応するスペーサ部２５を形成するが、固定貫通穴１５は形成しない。
【００３５】
イオン発生装置８は、高電圧を印加することで、各ベルヌーイチャック２に吹き込むエアーをイオン化するものであり、エアー室５に流入する前にエアーをイオン化する。すなわち、イオン発生装置８は、エアーチューブ７に介設されており、イオン化したエアーは、エアー室５を介して、ベルヌーイチャック２に送り込まれる。これにより、イオン化したエアーがワークＷに吹き付けられ、帯電したワークＷを吸着・保持すると同時に除電するようになっている。なお、詳細は後述するが、ベルヌーイチャック２は導電性の樹脂で構成されており、ケーシング４が導電性材料で構成されていない場合には、ケーシング４に、ベルヌーイチャック２に導通するアース配線を組み込むようにする。なお、本実施形態の吸引保持ハンド１は、縦向きの姿勢で用いることも可能である。係る場合には、ワークＷが自重で落下しないように落下防止ピン等を設けることが、好ましい。
【００３６】
次に、図３および図４を参照して、ベルヌーイチャック２について説明する。ベルヌーイチャック２は、吸着されたワークＷに非接触で対面する非接触保持面４１と、非接触保持面４１に窪入形成され、吸着のための旋回流を発生させる旋回流発生室４２と、旋回流発生室４２にエアーを流入させ、流入させたエアーに旋回流を発生させる旋回流発生手段４３と、非接触保持面４１に設けられ、発生した旋回流を同一旋回方向の渦流となるように導く渦流ガイド流路４４と、を備えている。また、ベルヌーイチャック２は、導電性の樹脂材等の部材で構成されており、全体として薄手の円環状に形成されている。旋回流発生室４２に流入したエアーは、旋回流発生室４２で旋回流となり、非接触保持面４１に達した旋回流は、渦流ガイド流路４４にガイドされることで、渦流となって、非接触保持面４１上をその外方に向って流出する。
【００３７】
旋回流発生室４２は、上記の蓋ケース１４を天面として下端が開放された円柱状に形成（貫通孔）されている。旋回流発生室４２の上端部には、一対の流入流路溝５１が形成されており、この一対の流入流路溝５１と蓋ケース１４（の流入流路溝５１に面する部分）とにより、一対のエアー流入流路（気体流入流路）５２が構成されている。すなわち、請求項に言うチャック装置は、このベルヌーイチャック２と、蓋ケース１４（旋回流発生室４２の天面を構成する部分および流入流路溝５１に面する部分：閉塞部材）と、により構成されている。一対のエアー流入流路５２は、上記の旋回流発生手段４３を構成しており、旋回流発生室４２の内周面４２aに対し、接線方向に延在し、その流路端は周方向に均等間隔に開口している。すなわち、一対のエアー流入流路５２は、旋回流発生室４２の上端部に対し接線方向から連通し、且つ対称に配置されている。エアー流入流路５２から旋回流発生室４２に流入したエアーは、旋回流発生室４２の内周面４２aに沿うように流れ、強い旋回流となってやがて開放端から外方に流出する。そして、旋回流の中心部には、ベルヌーイの定理に従って負圧が生じ、この負圧によりワークＷを吸着するようになっている。
【００３８】
非接触保持面４１は、旋回流発生室４２の開放端に連なり、旋回流の旋回軸に対して直交するように形成されている。そして、非接触保持面４１の表面（下面）には、渦流ガイド流路４４が形成されている。旋回流発生室４２で発生した旋回流は、旋回流発生室４２の開放端に達した次の瞬間、その遠心力により非接触保持面４１に沿って内周側から外周側に向って流れ出す。なお、この際に非接触保持面４１に流れ出すエアーにより、ワークＷと非接触保持面４１との間隙が維持される。すなわち、上記の負圧による吸着力と、非接触保持面４１に沿って流れ出すエアー（正圧）と、が拮抗することで、ワークＷが非接触保持面４１に非接触状態で吸引保持される。
【００３９】
図４に示すように、渦流ガイド流路４４は、旋回流の旋回軸に直交する非接触保持面４１に、単一の流路として下側が開放した溝状に形成されており、内周面４２ａに沿って生じた旋回流と同一方向に旋回するように、渦流の中心から外周に向って渦巻状に形成されている（図４（ａ）参照）。また、渦流ガイド流路４４は、渦流の旋回方向内側に位置する内側壁面６１と、渦流の旋回方向外側に位置する外側壁面６２と、内側壁面６１および外側壁面６２を繋ぐ奥壁面６３と、とから構成されている（図４（ｂ）参照）。なお、渦流ガイド流路４４が渦巻状に形成されているため、外側壁面６２および内側壁面６１は、最初と最後の１巻き以外は、非接触保持面４１から下垂した渦巻状の障壁の両面として形成されている。
【００４０】
外側壁面６２は、その断面方向において旋回流の旋回軸に平行な垂直壁面で形成され、また内側壁面６１は、渦流の中心に向って傾くように垂直壁面より浅い角の傾斜壁面で形成されている。すなわち、上記の障壁の断面が、略直角三角形となるように（但し、頂部は面取りすることが好ましい。）形成されている（図４（ｂ）参照）。
【００４１】
これにより、旋回流発生室４２の開放端に達したエアーの旋回流は、渦流ガイド流路４４にガイドされ渦流となって内方から外方に流れ出す。したがって、外方に流れ出すエアーの層流状態が比較的長く維持され、開口近傍の負圧領域が安定し、これに伴い吸着力を増すことができる。一方、渦流ガイド流路４４は下向きの溝状に形成されているため、一部のエアーは、渦流ガイド流路４４の開放端から流出し、渦流ガイド流路４４とワークＷとの非接触状態を維持する。さらに、負圧領域が安定するため、ワークＷに作用する負圧が安定し、吸着したワークＷの脈動を抑制することができる。なお、外側壁面６２は、外周側に向って流れようとする渦流が乗り越えにくい高さに形成されていることが、好ましい。
【００４２】
次に、図５を参照して、ベルヌーイチャック２の第１変形例について説明する。なお、重複する記載を避けるべく第１実施形態と異なる部分のみ記載する。この場合の渦流ガイド流路４４は、その断面方向において旋回流の旋回軸に平行な垂直壁面で構成された外側壁面６２と、外側壁面６２と平行な内側壁面６１と、旋回流の旋回軸に垂直な平行壁面で構成された奥壁面６３と、により構成されている。すなわち、上記の障壁の断面が、方形となるように形成されている（図５（ｂ）参照）。これにより、渦流ガイド流路４４を簡単に形成することができると共に、その物理的強度をアップすることができる。
【００４３】
次に、図６を参照して、ベルヌーイチャック２の第２変形例について説明する。この場合の渦流ガイド流路４４は、その断面方向において旋回流の旋回軸に平行な垂直壁面より深い角度のオーバーハング壁面（外側壁面６２）と、渦流の中心に向って傾くように垂直壁面より浅い角の傾斜壁面で形成された内側壁面６１と、オーバーハング壁面および内側壁面６１を繋ぐ奥壁面６３と、により構成されている。すなわち、上記の障壁の断面が、渦流の中心に向って傾斜した三角形となるように（但し、頂部は面取りする）形成されている（図６（ｂ）参照）。これにより、渦流ガイド流路４４を流れるエアーの層流状態が長く維持される。なお、図６（ｂ）の仮想線に示すように、オーバーハング壁面は、凹状の湾曲面で形成されていてもよい。
【００４４】
次に、図７ないし図９を参照して、第２実施形態に係る吸引保持バンド１について説明する。なお、重複する記載を避けるべく第１実施形態と異なる部分のみ記載する。この吸引保持バンド１は、第１実施形態と同様に、４個のベルヌーイチャック２と、ホルダ部１１およびアーム部１２から成るハンド本体３と、から構成されており（図７参照）、４個のベルヌーイチャック２は、ホルダ部１１の表面に接着固定されている。この場合も、ハンド本体３は、本体ケース１３および蓋ケース１４から成るケーシング４内に、エアー室（気体室）５を構成したものであり、蓋ケース１４の基部側にはエアー室５に連通するチューブ接続口６（図示省略）が形成されている。
【００４５】
図８に示すように、ホルダ部１１を構成する本体ケース１３には、４個のベルヌーイチャック２に対応する４つの貫通孔１６が形成されており、且つ貫通孔１６はベルヌーイチャック２の内径、すなわち旋回流発生室４２の径と同形に形成されている。各ベルヌーイチャック２は、貫通孔１６と同軸上に位置させた状態で、本体ケース１３の表面（貫通孔１６の形成縁部）に接着されており、貫通孔１６が旋回流発生室４２の一部を構成するようになっている。
【００４６】
また、本体ケース１３の内側には、第１実施形態と同様にホルダ部エアー室２６を構成する矩形の浅溝２１が設けられる一方、この浅溝２１内において、各ベルヌーイチャック２を囲むように各一対４組の「Ｌ」字状ガイド部２２が島状に配設されている。各一対の「Ｌ」字状ガイド部２２の２つの境界部分には、相互の間隙により一対のガイド溝２３が形成されている。一対のガイド溝２３は、それぞれ貫通孔１６に対し接線方向に延在し、その流路端は周方向に均等間隔に開口している（１８０°点対称）。そして、この一対のガイド溝２３と蓋ケース１４（のガイド溝２３に面する部分）とにより、一対のエアー流入流路（気体流入流路）５２が構成されている。この場合も、各一対の「Ｌ」字状ガイド部２２の内周面が、旋回流発生室４２の一部を構成するようになっている。また、第１実施形態と同様に、アーム部１２を構成する本体ケース１３の内側には、アーム部エアー室２７を構成する長溝３１が形成されている。
【００４７】
図９に示すように、ホルダ部１１を構成する蓋ケース１４の内側には、上記の４つの貫通孔１６に対応する有底の丸穴４５を有する４つの方形閉塞部４６が形成されている。各丸穴４５は、貫通孔１６と同径に形成され且つ同軸上に配設されており、貫通孔１６や一対の「Ｌ」字状ガイド部２２と共に旋回流発生室４２の一部、主に天面を構成している。また、方形閉塞部４６は、各一対４組の「Ｌ」字状ガイド部２２に対応しており、一対４組の「Ｌ」字状ガイド部２２に気密に接着されている。これにより、上記の一対のガイド溝２３と方形閉塞部４６との間に、ホルダ部エアー室２６に連なる上記の一対のエアー流入流路５２が構成されている。
【００４８】
さらに、蓋ケース１４の内側には、本体ケース１３の浅溝２１と共にホルダ部エアー室２６を構成する蓋側浅溝４７、および本体ケース１３の長溝３１と共にアーム部エアー室２７を構成する蓋側長溝４８が形成され、さらに本体ケース１３のスペーサ部２５に対応する一対の蓋側スペーサ部２８が形成されている。
【００４９】
図１０に示すように、第２実施形態のベルヌーイチャック２は、軸心部に旋回流発生室４２となる貫通孔を有して円環状に形成されており、一方の端面には渦流ガイド流路４４が設けられている。また、ベルヌーイチャック２の他方の端面は平坦に形成されており、本体ケース１３の表面（貫通孔１６の形成縁部）気密に接着されている。すなわち、第２実施形態のベルヌーイチャック２は、第２実施形態のベルヌーイチャック２と異なり、一対の流入流路溝５１は設けられていない。すなわち、第２実施形態において、請求項に言うチャック装置は、ベルヌーイチャック２（チャック）と、貫通孔１６、一対の「Ｌ」字状ガイド部２２および丸穴４５を有する方形閉塞部４６から成る閉塞部材と、で構成されている。
【００５０】
この場合、旋回流発生室４２を構成する貫通孔は、下部が幾分拡開したテーパ状に形成されているが、ストレートであってもよい。そして、渦流ガイド流路４４は、「一巻き強」の巻き数を有し、また渦流ガイド流路４４を構成する障壁の断面は、第１実施形態と同様に略直角三角形となるように形成されている。もっとも、障壁の断面形状は、上記の変形例１や変形例２と同様であってもよい。この渦流ガイド流路４４にあっても、渦流ガイド流路４４を流れるエアーの層流状態が長く維持することができる。
【００５１】
なお、本発明の吸引保持ハンド１に固定されているベルヌーイチャック２は、本実施形態に限定されるわけではなく、その数が偶数個であればよい。これにより、より大型のワークＷを保持することができる。また、ベルヌーイチャック２を金属材料で構成するようにしてもよい。さらに、渦流ガイド流路４４は、非接触保持面４１に対して、２重・３重等、多重のもので形成されていてもよい。この場合、複数の渦流ガイド流路４４は、点対称に形成されているのがよく、旋回流の流速が遅いときに有効である。同様に、エアー流入流路５２は、単一のもので形成されていてもよい。
【００５２】
一方、渦流ガイド流路４４を別体とし、非接触保持面４１に固着するようにしてもよい。また、非接触保持面４１をいわゆるベルマウス形状とし、これに渦流ガイド流路４４を形成するようにしてもよい。さらに、旋回流発生手段４３を、旋回流発生室４２の上側に配設したファン等（但し、効率良く旋回流を発生させることができるもの）で構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施形態に係る吸引保持ハンドの外観斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る吸引保持ハンドの（ａ）本体ケースの平面図および（ｂ）側面図である。
【図３】ベルヌーイチャックの表裏外観斜視図である。
【図４】第１実施形態に係るベルヌーイチャックの（ａ）平面図および（ｂ）断面図である。
【図５】第１変形例に係るベルヌーイチャックの（ａ）平面図および（ｂ）断面図である。
【図６】第２変形例に係るベルヌーイチャックの（ａ）部分断面図および（ｂ）拡大図である。
【図７】第２実施形態に係る吸引保持ハンドの分解斜視図である。
【図８】第２実施形態に係る吸引保持ハンドの本体ケースの平面図である。
【図９】第２実施形態に係る吸引保持ハンドの蓋ケースの平面図である。
【図１０】第２実施形態に係るベルヌーイチャックの（ａ）平面図および（ｂ）断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…吸引保持ハンド  ２…ベルヌーイチャック  ５…エアー室  ６…チューブ接続口  ７…エアーチューブ  ８…イオン発生装置  １１…ホルダ部  １２…アーム部  １３…本体ケース  １４…蓋ケース  ２２…「Ｌ」字状ガイド部  ２６…ホルダ部エアー室  ２７…アーム部エアー室  ４１…非接触保持面  ４２…旋回流発生室  ４３…旋回流発生手段  ４４…渦流ガイド流路  ４５…丸穴  ４６…方形閉塞部  ５２…エアー流入流路  ６１…内側壁面  ６２…外側壁面  ６３…奥壁面  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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