(57)【要約】【課題】ポンプ室内に堆積する異物による再始動時の摩擦抵抗を緩和できる回転式真空ポンプを提供する。【解決手段】運転中、外気に接するロータハウジング３に比してロータ４０を含む回転軸３０の熱膨張量が大きく、リヤハウジング４のフロント側壁面とロータ４０のリヤ側壁面との間に隙間６６が発生する。この隙間６６には異物６７が堆積し易い。多段式ルーツポンプが停止すると、ロータ４０を含む回転軸３０が初期設定位置に向けて熱収縮するため、異物６７に対して大きな押圧力がかかる。しかし、前記押圧力に対してコイルばね５６が伸張するため、回転軸３０はフロント側へ僅かに変位し、異物６７にかかる押圧力が緩和される。従って、多段式ルーツポンプは再運転時にロータ４０と異物６７との間の摩擦力が減少され、円滑に再始動することができる。【選択図】図４
2010159740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内にポンプ室を設け、前記ポンプ室内に配置されるロータを複数の回転軸に
備え、前記複数の回転軸の回転により前記ポンプ室内のガスを移送して吸引作用を行う回
転式真空ポンプにおいて、
前記回転軸は、前記回転式真空ポンプの運転時に生じる前記ロータ及び前記回転軸のス
ラスト方向の熱膨張による変位を一方向にのみ許容するスラスト方向移動規制手段と、前記回転軸に対して前記熱膨張を許容する方向とは相反する方向に付勢力を付与する第１の弾性部材を備えることを特徴とする回転式真空ポンプ。
【請求項２】
前記回転軸に対して前記熱膨張を許容する方向の付勢力を付与する第２の弾性部材を設
けたことを特徴とする請求項１に記載の回転式真空ポンプ。
【請求項３】
前記スラスト方向移動規制手段は、前記回転軸に形成された段差部と前記回転軸を支持する軸受からなり、前記段差部と前記軸受との直接的または間接的な当接によりスラスト方向の移動が規制されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回転式真空ポンプ。
【請求項４】
前記第１の弾性部材は、前記段差部と前記軸受との間に配置されることを特徴とする請求項３に記載の回転式真空ポンプ。
【請求項５】
前記回転式真空ポンプは多段式ルーツポンプであることを特徴とする請求項１〜請求項
４のいずれか１項に記載の回転式真空ポンプ。
【請求項６】
前記回転軸に対して前記第１の弾性部材が付勢力を付与する方向は、前記多段式ルーツポンプにおけるガスの移送方向と同じであり、前記スラスト方向移動規制手段は、前記多段式ルーツポンプの最終段側に配置されることを特徴とする請求項５に記載の回転式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、回転軸によりロータを回転してポンプ室内のガスを移送し、吸引作用を行
う回転式真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、回転式真空ポンプの１つである多段式ルーツポンプが開示されている
。前記多段式ルーツポンプはハウジング内において２本の回転軸が平行に配設され、それ
ぞれ両端を軸受により回転可能に支承されている。各回転軸に備えられた複数のロータは
それぞれハウジング内に前記回転軸と直角な方向に並設された複数のポンプ室内に収容さ
れた構成を有する。
【０００３】
具体的には、一方の回転軸に備えられた複数のロータが他方の回転軸に備えられた複数
のロータとそれぞれ一対を成し、歯合状態で前記各ポンプ室に収容されている。各ポンプ
室は吸入領域と吐出領域を有し、１つのポンプ室の吐出領域が連通路を介して隣接するポ
ンプ室の吸入領域と接続されている。また、一端側に位置するポンプ室の吸入領域は外部
と連通する吸入孔と接続し、他端側に位置するポンプ室の吐出領域は外部に連通する吐出
口と接続している。
【０００４】
前記一方の回転軸はその一端が駆動源に連結され、同回転軸に設けたギヤが前記他方の
回転軸に設けたギヤと歯合し、各回転軸は同期して相反する方向へ回転する。特許文献１
には明確に記載されていないが、実施されている多段式ルーツポンプでは、前記一方及び
他方の回転軸は、前記ポンプ室内におけるロータの位置を規定するため、ロックナット、
又は、前記回転軸一端側のラジアルベアリングと回転軸との圧入等の手段により回転軸線方向の移動を禁止するように構成されている。
【０００５】
前記のように構成された多段式ルーツ型ポンプは前記一方の回転軸を駆動することによ
り前記他方の回転軸も回転され、前記各ポンプ室に収容されている一対のロータが回転さ
れる。前記吸入口を介して前記一端側のポンプ室に吸引されたガスは、前記一対のロータ
の回転により圧縮されながら順次隣接するポンプ室に吸引されることにより移送される。
他端側のポンプ室からは、圧縮されたガスが吐出口を介して外部へ排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−５１１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記のように構成された多段式ルーツポンプは運転中、特に前記吐出口側において高熱
が発生するため、前記ハウジングやロータ及び回転軸は熱膨張する。また、多段式ルーツ
ポンプの停止時には、前記ハウジングやロータ及び回転軸が大気により冷却されるため、
熱収縮する。しかしながら、運転中において、前記ハウジングは大気に直接接して冷却効
果を受け易い状態にあるが、前記ロータ及び回転軸は前記ハウジング内に存在して大気の
冷却効果を受けることが無い。このため、前記ハウジングと前記ロータ及び回転軸との間
には熱膨張量の差が生じ、前記ロータ及び回転軸が前記ハウジングよりも大きく変位する
。従って、前記ハウジングの一部であるポンプ室壁面と前記ロータ壁面との間にスラスト
方向の大きな隙間が生じる。
【０００８】
一方、ポンプ室内に吸引するガス中には粉体等が混在しているため、前記したスラスト
方向の大きな隙間には粉体等の堆積による異物が生じ易くなる。異物が堆積した状態で多
段式ルーツポンプが停止し、熱収縮した場合、前記ロータ及び回転軸は異物の存在により
初期の設定位置まで復帰できず、前記異物に対して強く圧着された状態となる。このため
、多段式ルーツポンプは再始動された場合、前記ロータと異物との間に大きな摩擦抵抗が
生じ、再始動が不能となる恐れがあった。
【０００９】
本願発明は、ポンプ室内に堆積した異物による再始動時の摩擦抵抗を緩和できる回転式
真空ポンプを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の本願発明は、ハウジング内にポンプ室を設け、前記ポンプ室内に配置
されるロータを複数の回転軸に備え、前記複数の回転軸の回転により前記ポンプ室内のガ
スを移送して吸引作用を行う回転式真空ポンプにおいて、前記回転軸は、前記回転式真空
ポンプの運転時に生じる前記ロータ及び前記回転軸のスラスト方向の熱膨張による変位を一方向にのみ許容するスラスト方向移動規制手段と、前記回転軸に対して前記熱膨張を許容する方向とは相反する方向に付勢力を付与する第１の弾性部材を備えたことを特徴とする。請求項１記載の本願発明によれば、前記回転式真空ポンプの運転中、前記ハウジングと前記ロータ及び前記回転軸との間の熱膨張量の差により前記ポンプ室内に発生したスラスト方向の隙間に異物が堆積しても、前記回転式真空ポンプの停止時の熱収縮に伴う前記ハウジングと前記ロータ間の摩擦力を前記第１の弾性部材の変形により吸収することができ、前記回転式真空ポンプの再始動を支障なく行うことができる。
【００１１】
請求項２に記載の本願発明は、前記回転軸に対して前記熱膨張を許容する方向の付勢力
を付与する第２の弾性部材を設けたことを特徴とするため、前記回転軸を相反する方向の
付勢力を有する２つの弾性部材により位置決めすることができるとともに熱膨張により前
記ポンプ室内に堆積した異物による摩擦抵抗を緩和することができる。
【００１２】
請求項３に記載の本願発明は、前記スラスト方向移動規制手段は、前記回転軸に形成された段差部と前記回転軸を支持する軸受からなり、前記段差部と前記軸受との直接的又は間接的な当接によりスラスト方向の移動が規制されることを特徴とするため、簡単な手段により本願発明の目的を達成することができる。
【００１３】
請求項４に記載の本願発明は、前記第１の弾性部材は、前記段差部と前記軸受との間に配置されることを特徴とするため、好適に回転軸に付勢力を付与することができる。
【００１４】
請求項５に記載の本願発明は、前記回転式真空ポンプは多段式ルーツポンプであること
を特徴とするため、本願発明を好適に実施することができる。
【００１５】
請求項６に記載の本願発明は、前記回転軸に対して前記第１の弾性部材が付勢力を付与する方向は、前記多段式ルーツポンプにおけるガスの移送方向と同じであり、前記スラスト方向移動規制手段は、前期多段式ルーツポンプの最終段側に配置されることを特徴とするため、前記多段式ルーツポンプの最終段側でスラスト方向の移動を規制することができ、最終段のポンプ室からの漏れを効果的に防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明は、ポンプ室内における異物の堆積に関わらず回転式真空ポンプを円滑に再始
動することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】多段式ルーツポンプの正面断面図である。
【図２】多段式ルーツポンプの平面断面図である。
【図３】熱膨張時を示す一部の平面断面図である。
【図４】熱収縮時を示す一部の平面断面図である。
【図５】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】第２の実施形態を示す部分断面図である。
【図８】第３の実施形態を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１の実施形態）
以下、本願発明を多段式ルーツポンプに実施した第１の実施形態を図１〜図６に基づい
て説明する。なお、本願明細書においては多段式ルーツポンプの方向について、図１〜図
４の左方をフロント、右方をリヤ、上方を上方、下方を下方とし、図５及び図６の右方を
正面、左方を背面として説明する。
【００１９】
多段式ルーツポンプの外形を形成するハウジング１は、フロント側から順にフロントハ
ウジング２、ロータハウジング３、リヤハウジング４及びギヤハウジング５が接合され、
内部を密封された状態で例えばボルト（図示せず）等により一体化されている。各ハウジ
ング２〜５は図５及び図６に概観されるように、略楕円形状の内部空間を有する筒状体を
上下２分割した構成からなる。この２分割構成は、多段式ルーツポンプの組み付けに効果
的であり、例えば下方の分割筒状体に後述する各機構の部材を装着した後、上方の分割筒
状体を被せて密封状態にし、一体化するように組み付けが行われる。なお、各ハウジング
２〜５の２分割構成は本願発明と密接に関係するものでないため、詳細な説明は省略する
。また、多段式ルーツポンプの各構成は各図のように、組み付けられた状態を基にして説
明する。
【００２０】
ロータハウジング３の内部には、楕円形状となるように上下２分割された区画壁６〜９
がフロント側から順に間隔を狭めて装着され、区画壁６とフロントハウジング２との間、
各区画壁６〜９の間及び区画壁９とリヤハウジング４との間にそれぞれポンプ室１０〜１
４が形成されている。従って、各区画壁６〜９はポンプ室１０〜１４を形成するためのロ
ータハウジング３の一部として構成されている。また、各ポンプ室１０〜１４はフロント
側から順次縮小された容積を有する。
【００２１】
各区画壁６〜９は内部に連通空間１５〜１８を有する。各連通空間１５〜１８は図１に
示すように、下方にフロント側に開口する吐出通路１９〜２２を有し、上方にリヤ側に開
口する吸入通路２３〜２６を有する。
【００２２】
各ポンプ室１０〜１４は図１において、上方側の空間にガスの吸入領域を形成し、下方
側にガスの吐出領域を形成する。ポンプ室１０は吸入領域をロータハウジング３の上方に
設けられた外部に接続する吸入口２７に連通し、吐出領域を区画壁６の吐出通路１９に連
通する。区画壁６〜９の間に形成された各ポンプ室１１〜１３は吸入領域をそれぞれ各区
画壁６〜８の吸入通路２３〜２５に連通し、吐出領域をそれぞれ各区画壁６〜９の吐出通
路１９〜２２に連通する。ポンプ室１４は吸入領域を区画壁９の吸入通路２６に連通し、
吐出通路をロータハウジング３の下方に設けられた外部に接続する吐出口２８に連通する
。
【００２３】
以上の構成において、吸入口２７及び吸入通路２３〜２６はそれぞれ各ポンプ室１０〜
１４に対するガスの吸引部を構成し、吐出通路１９〜２２及び吐出口２８は各ポンプ室１
０〜１４に対するガスの吐出部を構成する。
【００２４】
ハウジング１内のほぼ中央部には、２本の回転軸２９、３０がフロント側からリヤ側に
貫通するように平行に配設されている。回転軸２９、３０はそれぞれ周面上に一体化され
た十字形状（図５参照）のロータ３１〜４０を複数備えている。ロータ３１、３６は一対
となるように歯合されてポンプ室１０に回転可能に収容され、以下同様に、ロータ３２、
３９がポンプ室１１に、ロータ３３、３８がポンプ室１２に、ロータ３４、３９がポンプ
室１３に、ロータ３５、４０がポンプ室１４にそれぞれ回転可能に収容されている。
【００２５】
回転軸２９、３０のフロント側端部はフロントハウジング２にそれぞれ軸受４１、４２
によって回転可能に支承されている。軸受４１、４２は、フロントハウジング２に対してスラスト方向に移動可能である。回転軸２９、３０の周面にはリング部材４３、４４が固定され、リング部材４３、４４とフロントハウジング２との間に第２の弾性部材としての皿ばね４５、４６が介在されている。従って、回転軸２９、３０は皿ばね４５、４６によって、軸受４１、４２、リング部材４３、４４を介して、フロント側への付勢力を受けるように構成されている。なお、リング部材４３、４４の外周面とフロントハウジング２の内周面との間にはシール部材４７、４８が装着され、ポンプ室１０内のガスが外部へ漏れないように構成されている。また、６５は回転軸２９、３０のフロント側端部を覆うカバーである。
【００２６】
回転軸２９、３０のリヤ側は軸受５１、５２によって回転可能に支承され、軸受５１、
５２はリヤハウジング４の内周面に装着されたホルダ４９、５０によって支持されている
。軸受５１、５２よりもさらにリヤ側位置において、回転軸２９、３０の周面にはねじ込
みにより固定されたばね受けリング５３、５４が配設されている。ばね受けリング５３、
５４は取り付け位置を調整された後、適宜手段により回転軸２９、３０に固定されるが、
ダブルナット等を利用すれば構成が簡単である。
【００２７】
軸受５１、５２の内輪とばね受けリング５３、５４との間には、圧縮ばねとして構成された本願発明の第１の弾性部材であるコイルばね５５、５６が装着され、回転軸２９、３０にリヤ側への付勢力を与えている。回転軸２９、３０は軸受５１、５２に対して、スラスト方向への移動を許容された構成である。好ましくは、皿ばね４５、４６に対し、コイルばね５５、５６のばね力が強く設定されていることで、回転軸２９、３０が最もリヤ側に位置した状態をとることができる。
【００２８】
軸受５１、５２のフロント側に位置するリヤハウジング４内の空間において、回転軸２９、３０上にはラビリンス機構５７、５８が配設され、ポンプ室１４内と軸受５１、５２側の空間との間をシールしている。ギヤハウジング５の内部空間に突出した回転軸２９、３０のリヤ側端部は、それぞれギヤ５９、６０を備え、両ギヤ５９、６０の歯合により回転伝達が行われる。回転軸２９はギヤハウジング５のリヤ側外端面に固定されたモータＭのモータ軸６１と継手６２により連結され、モータＭの駆動力を受ける。
【００２９】
最終段としてのポンプ室１４の吐出領域に連通した吐出口２８は、マフラ６３及び排出
機構６４に連結され、ポンプ室１４から吐出されたガスは排出機構６４を介して図示しな
い排ガス処理装置へ排出される。
【００３０】
以上の構成を有する多段式ルーツポンプは次のように動作する。モータＭの駆動力によ
り回転軸２９が回転され、ギヤ５９、６０を介して回転軸３０が回転される。回転軸２９
のロータ３１〜３５及び回転軸３０のロータ３６〜４０はそれぞれ対となって歯合した状
態でポンプ室１０〜１４内で回転する。回転軸２９及び３０の回転に伴い吸入口２７から
はガスが吸引される。
【００３１】
吸入口２７から第１段となるポンプ室１０の吸入領域に吸引されたガスはロータ３１、
３６によって吐出領域に移送され、区画壁６の吐出通路１９、連通空間１５及び吸入通路
２３を介して隣接する第２段のポンプ室１１の吸入領域に吸引される。ポンプ室１１に吸
引されたガスはロータ３２、３７によって吐出領域へ移送され、区画壁７の吐出通路２０
、連通空間１６及び吸入通路２４を介して第３段となるポンプ室１２に吸引される。以下
同様にして、ポンプ室１２内のガスは第４段となるポンプ室１３及び最終段となるポンプ
室１４に順次移送される。
【００３２】
吸入口２７から吸引されたガスはポンプ室１０からポンプ室１４へ移送される間に順次
圧縮され、高温、高圧のガスとなって吐出口２８へ排出される。このため、区画壁６〜９
を含むロータハウジング３及びロータ３１〜４０を含む回転軸２９、３０は熱膨張し、ス
ラスト方向及びラジアル方向に変位する。ロータハウジング３、リヤハウジング４に対する回転軸２９、３０の取り付けは、前記熱膨張によるスラスト方向の変位を許容するよう
に構成されている。リヤハウジング４内に位置する回転軸２９、３０に段差部をなすように形成したフランジ部２９ａ、３０ａのリヤ側側面はラビリンス機構５７、５８のフロント側端面に当接している。従って、回転軸２９、３０は一端側の支持部である軸受５１、５２によってリヤ側への移動を規制され、回転軸２９、３０のフランジ部２９ａ、３０ａ、ラビリンス機構５７、５８、軸受５１、５２は、スラスト方向移動規制手段を構成する。回転軸２９、３０のフランジ部２９ａ、３０ａは、サークリップにより形成されてもよい。
なお、多段式ルーツポンプは、ハウジング１を図示されていない取り付け台座に防振ゴム（図示せず）を介在して固定し、モータＭをハウジング１のリヤ側端面にぶら下げた状態で取り付けた構成であるため、ハウジング１の熱膨張は防振ゴムによって吸収される。
【００３３】
以上のように構成された第１の実施形態は以下のように作用する。
多段式ルーツポンプの運転中における各部の状態について、回転軸３０のロータ３６〜
４０を代表として示した図３及び図４に基づき説明する。多段式ルーツポンプの運転によ
り第１段のポンプ室１０に吸引されたガスは最終段のポンプ室１４へ順次圧縮されながら
移送される。ポンプ室１４では高圧縮により高温となったガスが吐出されている。このた
め、区画壁６〜９を含むロータハウジング３及びロータ３６〜４０を含む回転軸３０は熱
膨張によりラジアル方向及びスラスト方向に熱膨張する。
【００３４】
このうち、スラスト方向の熱膨張は一方向への変位のみが許容されているため、フロン
ト側となるガスの吸引部側に変位する（図３の矢印方向参照）。熱膨張による変位量はポ
ンプ室１４の周囲が最も大きい。しかし、ロータハウジング３は外周囲が外気に晒されて
いるため、区画壁６〜９を含め常時冷却効果を受ける状態である。これに対し、ロータハ
ウジング３と分離され、内部に収容されているロータ３６〜４０を含む回転軸３０は外気
による冷却効果を受けることが無い。従って、図３の矢印の長短で示したように、熱膨張
量はハウジング側熱膨張α＜回転軸側熱膨張βの関係が生じる。
【００３５】
特に、ポンプ室１４を構成するリヤハウジング４のフロント側壁面とロータ４０のリヤ
側壁面との間には、大きな隙間６６が発生する。ポンプ室１０〜１４を移送されるガス中
に混在する粉体等は特に大きな隙間６６に堆積し易く、ここに異物６７（図４参照）の塊
が生じる。多段式ルーツポンプの運転中は隙間６６が大きいため、特に問題が無い。しか
し、多段式ルーツポンプが停止すると、高温ガスによる加熱源が消滅するため、全体が急
速に冷却される。
【００３６】
図４は多段式ルーツポンプの停止時を示したものである。区画壁６〜９を含むロータハ
ウジング３及びロータ３６〜４０を含む回転軸３０は熱収縮によって初期設定位置に戻る
ようにリヤ側に変位する。熱膨張量が大きかったロータ３６〜４０を含む回転軸３０は熱
収縮量も大きく、図４の矢印の長短で示すように、ハウジング側熱収縮γ＜回転軸側熱収
縮δの関係が生じる。しかし、ポンプ室１４の隙間６６には運転中に堆積した異物６７が
存在する。
【００３７】
ロータ４０が初期設定位置に戻ろうとすると、コイルばね５６のばね力によって異物６７はポンプ室１４内においてロータ４０とリヤハウジング４のフロント側壁面との間に挟まれる。異物６７はロータ４０に対する大きな回転抵抗となるが、本実施形態ではコイルばね５６の伸張により回転軸３０がフロント側に僅かに変位した状態に維持される。このため、ロータ４０の熱収縮によって異物６７がロータ４０とリヤハウジング４のフロント側壁面との間に強く押し付けられることによる噛み込みが防止される。なお、異物６７がポンプ室１０〜１４のいずれの隙間に堆積しても、ロータ３６〜４０と、リヤハウジング４のフロント側壁面、区画壁６〜９、フロントハウジング２のリヤ側壁面との間に異物６７を噛み込むことが防止される。
【００３８】
多段式ルーツポンプはその後再運転を指令された場合、異物６７に対するロータ４０の
押圧力が小さく、摩擦抵抗が小さいため、円滑に始動される。なお、異物６７は多段式ル
ーツポンプの再運転中に、ガスの圧力やロータ４０の回転により徐々に除去されることが
期待される。仮に、異物６７が堆積したままであっても、ロータ４０はコイルばね５６の
伸張により異物６７に対して強く圧着されないため、多段式ルーツポンプは運転に支障を
来たすことが無い。
【００３９】
前記した第１の実施形態は以下の作用効果を有する。
（１）コイルばね５５、５６を介在して付勢し、回転軸２９、３０を回転軸線方向に変位
可能とした簡単な構成により異物６７の堆積による大きな摩擦抵抗の発生を抑制すること
ができる。
（２）ハウジング１のフロント側とリヤ側にそれぞれ皿ばね４５、４６及びコイルばね５
５、５６を介在させることにより、ポンプ室１０〜１４におけるロータ３６〜４０の初期
設定位置の位置決めを容易に行うことができる。
（３）回転軸２９，３０に対してコイルばね５５，５６が付勢力を付与する方向は、多段式ルーツポンプにおけるガスの移送方向と同じであり、回転軸２９，３０のフランジ部２９ａ、３０ａ、ラビリンス機構５７，５８、軸受５１、５２は、多段式ルーツポンプの最終段側でスラスト方向の移動を規制し、最終段のポンプ室１４からの漏れを効果的に防止することができる。
【００４０】
本願発明は、前記した実施形態の構成に限定されるものではなく本願発明の趣旨の範囲
内で種々の変更が可能であり、次のように実施することができる。
【００４１】
（１）本願発明の第１の弾性部材は、コイルばね５５、５６に限らず、皿ばねあるいは樹
脂、ゴム等の弾性部材を使用することができる。
（２）コイルばね５５、５６等の第１の弾性部材はリヤ側に限らずフロント側あるいはリ
ヤ側とフロント側の中間位置に配設することも可能である。
【００４２】
（３）コイルばね５５、５６にて示した第１の弾性部材は第１の実施形態のように、回転
軸２９、３０上に配設する構成に限定されず、回転軸２９、３０を回転軸線方向に付勢で
きる構成ならば他の位置に配設することも可能である。なお、以下の各実施形態の説明中
、括弧書きで示した数字は図２に示した回転軸３０側の構成部材を示す。例えば、図７に
示した第２の実施形態は、軸受５１（５２）を回転軸２９（３０）と一体に摺動可能に構
成するとともに軸受５１（５２）の外輪をホルダ４９（５０）に取り付けた規制板６８（
６９）に当接する。従って、回転軸２９（３０）及び軸受５１（５２）はリヤ側（図７の
右側）への移動を規制されるが、熱膨張によるフロント側（図７の左側）への移動を許容
される。本願発明の第１の弾性部材であるコイルばね７０（７１）はホルダ４９（５０）
のフロント側に形成した突起部７２（７３）と軸受５１（５２）の外輪との間に配設され
ている。コイルばね７０（７１）は回転軸２９（３０）及び軸受５１（５２）を熱膨張に
より移動される方向とは反対の方向（図７の右側）に付勢する。第２の実施形態は第１の
実施形態と同様の作用効果を期待することができる。
【００４３】
（４）図８に示した第３の実施形態は、軸受５１（５２）及びホルダ４９（５０）を回転
軸２９（３０）と一体に摺動可能に構成したものである。軸受５１（５２）、ホルダ４９
（５０）及び回転軸２９（３０）は、図１及び図２に示される回転軸２９（３０）のフラ
ンジ部２９ａ、３０ａがラビリンス機構５７、５８と当接することにより、リヤ側（図８
の右側）への移動を規制され、熱膨張によるフロント側（図８の左側）への移動を許容さ
れている。本願発明の第１の弾性部材であるコイルばね７４（７５）はホルダ４９（５０
）のリヤ側突起部７６（７７）とリヤハウジング４のリヤ側切り欠き部７８（７９）との
間に配設されている。コイルばね７４（７５）は回転軸２９（３０）、軸受５１（５２）
及びホルダ４９（５０）を熱膨張により移動される方向とは反対の方向（図８の右側）に
付勢する。第３の実施形態は第１の実施形態と同様の作用効果を期待することができる。
【００４４】
（５）第２の弾性部材である皿ばね４５、４６に代えて、コイルばね５５、５６による回
転軸２９、３０のリヤ側への移動を規制可能な剛性のある規制部材を配設しても本願発明
の作用効果を得ることができる。
（６）熱膨張による区画壁６〜９を含むロータハウジング３及びロータ３１〜４０を含む
回転軸２９、３０の変位方向は、第１の実施形態のような吸入部側に限らず、吐出部側に
のみ変位するように構成しても良い。
（７）ハウジング１は必ずしも２分割構成にする必要は無く、一体型や３分割以上の分割
構成とすることもできる。
（８）本願発明は多段式ルーツポンプに限らず、１つのポンプ室を有するルーツポンプに
実施することも可能である。
（９）本願発明はルーツポンプに限らず、例えばスクリュー式ポンプあるいはギヤポンプ
等を使用した回転式真空ポンプにおいて実施することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１    ハウジング
２    フロントハウジング
３    ロータハウジング
４    リヤハウジング
５    ギヤハウジング
６〜９  区画壁
１０〜１４  ポンプ室
１５〜１８  連通空間
１９〜２２  吐出通路
２３〜２６  吸入通路
２７  吸入口
２８  吐出口
２９、３０  回転軸
３１〜４０  ロータ
４１、４２、５１、５２  軸受
４５、４６  皿ばね
５３、５４  ばね受けリング
５５、５６、７０、７１、７４、７５  コイルばね
６４  排出機構
６６  隙間
６７  異物
７２、７３、７６、７７  突起部
７８、７９  切り欠き部
Ｍ    モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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