(57)【要約】【課題】導体配線同士の接続を、面ファスナー構造により構造が簡単でかつ安定した接続特性が得られるようにする。【解決手段】リジット基板１のランド２とフレキシブルフラットケーブル３のランド４の接続構造である。その両ランドの接続部２ａ、４ａの対向面にシート１３で支持された導電性微細突起１１を半田層１５を介してそれぞれ設ける。その突起１１は、棒状脚部１１ａの両端に円球状頭部１１ｂ、１１ｃを有する形状であって、一方の接続部の突起１１が他方の接続部の突起１１の間に入り込んで噛み合う。このとき、その噛み合いは、各突起がその周囲少なくとも３つ以上の突起の間に入り込んでその周り３点以上で支持されるため、周囲方向への移動は阻止され、さらに、各突起の頭部によってお互いの引抜きは阻止される。このため、電気的接続と機械的接続は安定して行われ、この両接続が安定して行われることは、接続特性も安定することとなる。頭部１１ｃはアンカー効果を発揮する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の導体配線（２）と他方の導体配線（４）をそれぞれの接続部（２ａ、４ａ）を対向圧着させて接続する配線接続構造体であって、前記一方の導体配線（２）の接続部（２ａ）の対向面に一方の導電性突起（１１）が少なくとも１つ以上立っていると共に、前記他方の導体配線（４）の接続部（４ａ）の対向面に他方の導電性突起（１１）が少なくとも３つ以上立っており、その両導電性突起（１１、１１）は、棒状脚部（１１ａ）の先端に膨出頭部（１１ｂ）を形成した形状であって、一方の導電性突起（１１）が他方の各導電性突起（１１）の間に入り込んでその頭部（１１ｂ、１１ｂ）同士の噛み合いでもって抜け止めされているとともに、一方の導電性突起（１１）がその周り３つ以上の導電性突起（１１）による支持により周囲方向への移動が阻止されて、前記両接続部（２ａ、４ａ）が電気的かつ機械的に接続されたことを特徴とする配線接続構造体。
【請求項２】
導体配線（２）の一部を接続部（２ａ）とする第一配線板（１）の前記接続部（２ａ）と、同じく、導体配線（４）の一部を接続部（４ａ）とする第二の配線板（３）の前記接続部（４ａ）とを、それぞれの対向面を対向させて接続した配線接続構造体であって、
上記第一配線板（１）の接続部（２ａ）の上記対向面に一方の導電性微細突起（１１）が少なくとも１つ以上立っていると共に、上記第二配線板（３）の接続部（４ａ）の上記対向面に他方の導電性微細突起（１１）が少なくとも３つ以上立っており、その両導電性微細突起（１１、１１）は、棒状脚部（１１ａ）の先端に膨出頭部（１１ｂ）を形成した形状であって、一方の導電性微細突起（１１）が他方の各導電性微細突起（１１）の間に入り込んでその頭部（１１ｂ、１１ｂ）同士の噛み合いでもって抜け止めされているとともに、一方の導電性微細突起（１１）がその周り３つ以上の導電性微細突起（１１）による支持により周囲方向への移動が阻止されて、前記両接続部（２ａ、４ａ）が電気的かつ機械的に接続されたことを特徴とする配線接続構造体。
【請求項３】
上記突起（１１）の頭部（１１ｂ）が円球状又は楕円球状であることを特徴とする請求項1又は２に記載の配線接続構造体。
【請求項４】
上記突起（１１）は、その棒状脚部（１１ａ）の基端を導体配線（２、４）に半田付け（１５）により固着することによってその導体配線（２、４）上に立てられていることを特徴とする請求項1乃至３の何れか一つに記載の配線接続構造体。
【請求項５】
上記棒状脚部（１１ａ）の基端（１１ｃ）も膨出してその膨出基端（１１ｃ）でもって半田付けにおけるアンカー効果を発揮するようにしたことを特徴とする請求項４に記載の配線接続構造体。
【請求項６】
一方の突起（１１）と他方の突起（１１）が複数行、複数列設けられて、それらの突起（１１）はシート（１３）に抜け止め状態で貫通して位置決めされていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一つに記載の配線接続構造体。
【請求項７】
上記一方の突起（１１）と他方の突起（１１）を同一形状としたことを特徴とする請求項６に記載の配線接続構造体。
【請求項８】
上記突起（１１）を等間隔に有する請求項６又は７に記載の配線接続構造体を構成するための導電性微細突起付きシート体。
【請求項９】
上記突起（１１）を金型（１２）に位置決めして並べ、その金型（１２）内に液体ポリマー（１３）を流し込んで、プラズマエッチングで表面の樹脂だけを除いて請求項８のシート体を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント配線板（ＰＷＢ）、プリント回路板（ＰＣＢ）、フレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）、電子部品等における電気配線の接続構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話、電子辞書、ＰＮＤ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｎａｖｉｇａｔｉｏｎ  Ｄｅｖｉｃｅ）等の小型情報機器などの電気機器内部で大量のデータ処理を行い、液晶などの画面に情報を表示する機器は薄さと軽さが求められる。それらの機器内部に複数の回路基板や電子部品を有する場合、回路基板には、設置スペースの自由度がある点からフレキシブル基板（ＦＰＣ）等が採用され、当然のことながら、それらの基板間、電子部品間及び基板と電子部品間などの電気的な接続が必要であり、その接続には、多くの場合、同様に、設置スペースの自由度がある点からＦＦＣが使用されており、従来、その接続形態は、コネクタを利用したものとなっている。
【０００３】
そのコネクタには、通常、ＺＩＦコネクタ（挿入時の力がゼロのコネクタ）が使用されており、ケーブル（ＦＦＣ）端末をコネクタに挿入した後、押えアームを回動させてコネクタ本体に係止することにより、ケーブルの各導体をコネクタの各接続端子に圧接して電気的に接続する（特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、導体配線が０．５ｍｍピッチのＦＰＣとＦＦＣの接続の場合、そのコネクタの高さは最小０．７〜０．９ｍｍ程度であり、それ以上低く（薄く）することは、コネクタの構造上、非常に困難である。このため、薄型化が進む電子機器においては、コネクタ以外の手段による電気的接続部のより薄型化が望まれている。
【０００５】
その接続部の薄型化を図る技術として、その電気接続部を面ファスナー構造としたものがある。この技術は、図１４に示すように、例えば、ＰＣＢの一つであるリジット基板１等の各導体配線２と同フレキシブル基板やフレキシブルフラットケーブル３の各導体配線４の接続部に関し、図１５に示すように、一方の接続部２ａに鈎状（図１５（ａ）の左側参照）やバンプ状（図１５（ａ）の右側参照）等の導電性微細突起５を設けると共に、他方の接続部４ａにその鈎状等の導電性微細突起５が引っかかるループ状（同図（ａ））や網目状（同図（ｂ））等の微細構造６を設けたものである（特許文献２参照）。
この接続構造体（接続部）は、フレキシブルフラットケーブル３等の接続部４ａをリジット基板１等の接続部２ａに押付けることによって、図１５に示すように、鈎状の導電性微細突起５を微細構造６に引っかけて両接続部２ａ、４ａを電気的に接続するとともに機械的に固定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−８３６４８号公報
【特許文献２】特開２００８−９８２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記の面ファスナー構造の接続構造体は、それなりに有効であって、その接続部２ａ、４ａの薄型化に貢献し得るものと考えるが、微細構造６の形成が煩雑であると共に、その接続特性が安定しない恐れがある。
【０００８】
この発明は、上記面ファスナー構造において、構造が簡単であるとともに、安定した接続特性が得られるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を達成するために、この発明は、上記の両接続部をバンプ状の突起とし、その接続部の一方は少なくとも一つ以上の突起を有し、他方は少なくとも３つ以上の突起を有して、その他方の３つの突起の間に一方の突起が入り込んで噛み合うことによって電気的接続と機械的接続を行う構成としたのである。
少なくとも３つ以上の突起は一方の突起が入り込んで噛み合った時、その一方の突起が周り３つ以上の突起によってその周り３点以上で支持されるように配置、例えば、周囲３等分位や４等分位等とすれば、一方の突起がその周り３つ以上の突起による支持によって、周囲方向への移動は阻止される。また、各突起のバンプ（膨出部）は突起を乗り越えると、自然に噛み合う状態に移行してお互いの引抜きは阻止される。このため、電気的接続と機械的接続は安定して行われる。
さらに、その電気的接続と機械的接続が安定して行われることは、接続特性も安定することとなる。
【００１０】
この発明の構成としては、一方の導体配線と他方の導体配線をそれぞれの接続部を対向圧着させて接続する配線接続構造体であって、前記一方の導体配線の接続部の対向面に一方の導電性突起が少なくとも１つ以上立っていると共に、前記他方の導体配線の接続部の対向面に他方の導電性突起が少なくとも３つ以上立っており、その両導電性突起は、棒状脚部の先端に膨出頭部を形成した形状であって、一方の導電性突起が他方の各導電性突起の間に入り込んでその頭部同士の噛み合いでもって抜け止めされているとともに、一方の導電性突起がその周り３つ以上の導電性突起による支持により周囲方向への移動が阻止されて、両接続部が電気的かつ機械的に接続された構成を採用することができる。
この構成は、上記の基板間、基板とケーブル間の接続のみならず、電子部品のチップとリードフレームの接続、基板上におけるそのリードフレームと基板配線との接続やケーブル同士等の種々の電気的接続を行うとともに機械的接続を行う構造体に採用できる。このため、その接続部の大きさ等に応じて導電性突起の大きさも適宜に設定して、十分かつ必要な電気的及び機械的な接続強度を得ることができるようにする。
【００１１】
一方、回路基板間、回路基板とケーブル間及びケーブル同士間においては、それらを第一、第二配線板とした場合、導体配線の一部を接続部とする第一配線板の前記接続部と、同じく、導体配線の一部を接続部とする第二の配線板の接続部とを、それぞれの対向面を対向させて接続した配線接続構造体において、第一配線板の接続部の前記対向面に一方の導電性微細突起が少なくとも１つ以上立っていると共に、第二配線板の接続部の対向面に他方の導電性微細突起が少なくとも３つ以上立っており、その両導電性微細突起は、棒状脚部の先端に膨出頭部を形成した形状であって、一方の導電性微細突起が他方の各導電性微細突起の間に入り込んでその頭部同士の噛み合いでもって抜け止めされているとともに、一方の導電性微細突起がその周り３つ以上の導電性微細突起による支持により周囲方向への移動が阻止されて、前記両接続部が電気的かつ機械的に接続された構成を採用することができる。
【００１２】
これらの構成において、上記導電性微細突起（以下、微細である必要がない限り、微細でない「導電性突起」も含む）の頭部の形状は、噛み合うものであれば任意であるが（図１３参照）、円球状又は楕円球状とすると、噛み合い時、円弧面を介して、一方の頭部を他方の頭部の間に嵌め込むこととなるため、その作用が円滑であり（嵌め込み易く）、一方、何らかの事情によって、接続解除をする場合、同様に、円弧面を介した嵌め込み解除となるため、その作用が円滑となる。この嵌め込み解除が円滑であることは、コネクタ（接続構造体）としては非常に重要である。
【００１３】
上記導電性微細突起の導体配線への取付けは、溶接や接着等が考えられ、前者にはレーザ溶接等、後者には導電性接着剤による接着等が考えられるが、一般的な手段としては、その導電性微細突起の棒状脚部の基端を導体配線に半田付によって固着する。この手段は、導体配線の接続面にクリーム半田などの半田層を形成し、その半田を溶融するとともに、突起を立てて冷却する半田フローなどが考えられる。
このとき、棒状脚部の基端も膨出したものとすれば、その膨出基端でもって半田層へのアンカー効果を発揮するため、その突起の取付けが安定する。
【００１４】
上記導電性微細突起の配列は、上記のように、一方の導電性微細突起が少なくとも１つ以上、他方の導電性微細突起が少なくとも３つ以上あれば良いが、噛み合い個所は多い方が電気接続及び機械接続の各強度も高くなるため、その数及び配列態様はその強度を考慮して適宜に設定すれば良い。例えば、一方の導電性微細突起と他方の導電性微細突起を任意数の複数行、複数列に設けることができる。マトリックス状であると、その噛み合い強度が安定するからである。このとき、各導電性微細突起は行方向及び列方向ともに等間隔に配設すると良い。噛み合い力が均一化するからである。
【００１５】
このマトリックス状に配列した場合、導電性微細突起はシートに抜け止め状態で貫通して位置決めされているものとすれば、そのシートの位置決めによって導体配線への各突起の位置決めを行うことができるため、導電性微細突起の配置が周囲等間隔に容易にし得て、嵌合接続強度が均一になるとともに、半田付け等によるその突起の接続部への固定（取付け）作業が容易となる。このとき、一方の導電性微細突起と他方の導電性微細突起を同一形状とすれば、両突起を同一形状の突起付きシートによって構成できるため、コストダウンを図ることができる。また、脚部両端の膨出部（頭部）を同一形状（脚部の中心軸中央において対称形状）にすれば、シートの表裏に関係なく導電性微細突起の突出形状が同じとなって、導体配線に固定する頭部と嵌合接続する頭部の区別をする必要がなくなり、その突起を導体配線に固定する作業性等が良くなる。
この突起付きシートは、単体として販売でき、各種の導体配線の接続部において、このシートでもってこの発明に係る接続構造体を得ることができる。
【００１６】
シートに突起を設ける手段としては、種々の手段が考えられるが、例えば、導電性微細突起を金型に位置決めして並べ、その金型内に液体ポリマーを流し込んで、プラズマエッチング等で表面の樹脂だけを除いたり、突起の脚部が貫通する大きさの孔を有する熱可塑性シートを温めて、その孔に頭部を貫通させた後、シートの固化によって脚部を締付け固定して取付けたり、同孔を有する熱収縮性シートにその孔を介して突起を貫通させた後、熱加熱して脚部を締付け固定して取付けたりする手段を採用する。
【発明の効果】
【００１７】
この発明は、以上のように、バンプ状突起の噛み合い結合によって、電気的接続と機械的接続を行う構成としたので、その接続が安定して行われるとともに、接続特性も安定する。また、その接続構造は面ファスナー構造であるため、その構造も簡単である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】一実施形態の分解斜視図
【図２】同実施形態の接続状態の正面図
【図３】図２のＸ−Ｘ線一部断面図
【図４】同接続状態説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその拡大図
【図５】同実施形態における接続用シートの一部斜視図
【図６】同シートの製作説明図であり、（ａ）は金型と導電性微細突起の関係斜視図、（ｂ）〜（ｄ）は製造順序図
【図７】（ａ）〜（ｃ）は他の接続用シートの製作説明用製造順序図
【図８】他の接続用シートの製作説明図
【図９】同実施形態における他の接続用シートの一部斜視図
【図１０】他の実施形態の接続状態一部断面図
【図１１】他の実施形態の接続状態一部断面図
【図１２】他の実施形態の接続状態一部断面図
【図１３】（ａ）〜（ｈ）は導電性微細突起の各例の部分正面図
【図１４】従来例の正面図
【図１５】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ従来例の要部拡大図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１〜図４にこの発明に係る配線接続構造体の一実施形態を示し、この実施形態は、上記と同様に、第一の配線板としてのフレキシブル基板（ＦＰＣ）１の導体配線（ランド）２に第二の配線板としてのフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）３の導体配線（ランド）４を接続するために、その両接続部２ａ、４ａにこの発明の配線接続構造体を採用したものである。
【００２０】
その構造体は、まず、両基板１、３の導体配線接続部２ａ、４ａの接続対向面に同一行、同一列、同一間隔で複数の導電性微細突起１１を設けている。その行数、列数及び間隔は、接続強度、機械強度、接続特性等を考慮して、実験などに基づき適宜に設定すればよいが、複数の導電性微細突起１１の群の間隔（図３の左右方向の幅の中心線の間隔）は、導体配線２、４の間隔（同図３の左右方向の幅の中心線の間隔）と同じとする。例えば、その間隔は０．５ｍｍとする。
つぎに、その導電性微細突起１１は、棒状脚部１１ａの両端に円球状膨出頭部１１ｂ、１１ｃを形成した形状（ダンベル形状）であって、両接続部２ａ、４ａの導電性微細突起１１、１１が相互に相手の各導電性微細突起１１、１１の間に入り込んでその頭部１１ｂ同士の噛み合いでもって抜け止めされて前記両接続部２ａ、４ａが電気的かつ機械的に接続される。
【００２１】
その噛み合い状態は、図４に示すように、一の突起１１の頭部１１ｂは３つ以上（同図では４つ）の突起１１の頭部１１ｂを乗り越えて間に入り込んで噛み合った態様であり、一の突起１１はその周りの少なくとも３つ以上の突起１１によってその周り３点以上で支持されて、周囲方向への移動は阻止され、さらに、各突起１１の頭部１１ｂによってお互いの引抜きは阻止される（図３参照）。このため、電気的接続と機械的接続は安定して行われる。また、その電気的接続と機械的接続が安定して行われることは、接続特性も安定することとなる。
【００２２】
導電性微細突起１１は、例えば、長さＬ：０．１ｍｍ、脚部１１ａの径：０．０１ｍｍ、同長さ：０．０６ｍｍ、頭部１１ｂ、１１ｃの径：０．０２ｍｍであって、導電性金属、例えば、ニッケル合金でもってプレス加工や鍛造などによって製作する。
その製作した導電性微細突起１１を、図６に示すように、二本の中金型１２ａ、１２ａと二本の外金型１２ｂ、１２ｂとからなる割り金型１２でもってシート１３に貫通配列して取付ける。すなわち、同図（ｂ）に示すように、中金型１２ａでもって三列の中の中央列の導電性微細突起１１・・をその脚部１１ａでもって挟んで支持し、続いて、同図（ｃ）に示すように、外金型１２ｂと中金型１２ａでもって前後列の導電性微細突起１１・・を挟んで支持する。
【００２３】
このように、金型１２によって三列の導電性微細突起１１・・を支持すれば、同図（ｄ）に示すように、その金型１２の上下を反対にした状態において、その金型１２内に液状ポリマー１４、例えば、液状ポリイミドをその層厚が突起１１を支持するに十分となるように充填させて固化する。例えば、シート１３の厚さ（前記層厚）を０．０３ｍｍとする。この固化によって液状ポリマー１４はシート状（シート１３）となる。その後、金型１２を脱型することによって、図５に示すシート１３に３列で並列された導電性微細突起１１・・の群が導体配線２、４の間隔（ピッチ＝０．５ｍｍ）で配置されたものとなる。両外金型１２ｂを上向き（同図（ｄ）の状態）として突起１１を挟持すれば、金型１２を上下反対にする動作は不要となる。
因みに、この構成の配線接続構造体の厚さＴは０．１７０５ｍｍであり（図３参照）、上記高さ：０．７〜０．９ｍｍ程度のコネクタに比べてかなり嵩の小さいものとなる。
【００２４】
この導電性微細突起１１・・付シート１３の製作手段において、図７に示すように、側壁のない外金型１２ｂを使用することができ、この場合、液状ポリマー１４が流れ出れば、その流れ出た側縁は適宜に切断すれば良い。また、同図（ｂ）に示すように、金型１２の下方の突起１１（頭部１１ｂ又は１１ｃ及び脚部１１ａの一部）を液状ポリマー１４の槽に漬けて固化させた後、同図（ｃ）に示すように、不要な部分（例えば、鎖線部分）をレーザ切削等によって除去することによって導電性微細突起１１付シート１３を製作することもできる。
【００２５】
この導電性微細突起１１付シート１３でもって導体配線２、４に導電性微細突起１１・・を設けるには、各導体配線２、４の接続部２ａ、４ａにクリーム半田を塗布し、その半田層１５を熱して溶融させた状態で、シート１３でもって各導電性微細突起１１の下方頭部１１ｃをその溶融半田層１５に押し入れて固化させる。所謂、図３に示すように、半田フローでもって接続部２ａ、４ａに導電性微細突起１１を立った状態で取付ける。
【００２６】
導電性微細突起１１付シート１３の製作手段としては、図８に示すように、突起１１の脚部１１ａが貫通して固定される大きさの孔１３ａを有する熱可塑性シート１３を温め、その孔１３ａに頭部１１ｂ又は１１ｃを貫通させて所要配置の突起１１を取付けた後、シート１３の固化によって脚部１１を孔１３ａ内に締付け固定して導電性微細突起１１を取付けて、導電性微細突起１１付シート１３を得ることもできる。
また、そのシート１３を熱収縮性とし、その孔１３ａに導電性微細突起１１を貫通させた後、シート１３の加熱固化によって脚部１１ａを締付け固定して、導電性微細突起１１付シート１３を得ることもできる。
【００２７】
この導電性微細突起１１付シート１３は、図９に示すようにその全面に間隔無しに設けたものとすることができる。このシート１３の場合、その長さ方向、導体配線２、４の接続部２ａ、４ａの幅（例えば、０．３ｍｍ）に切断して、その切断シート（片）１３の突起１１を各接続部２ａ、４ａに個別に半田付け等によって取付けたり、切断することなく各導体配線２、４の接続部２ａ、４ａに亘ってシート１３をあてがって突起１１を半田付け等によって取付けた後、各接続部２ａ、４ａの間を切断したりする。
【００２８】
以上の導電性微細突起１１付シート１３において、脚部１１ａの支持だけでシート１３から突起１１が抜け出ないのであれば、図１０に示すように、アンカー用頭部１１ｃは省略できる。
また、導電性微細突起１１を各種の把持具でもって所要配列で支持できれば、図１１に示すように、シート１３を省略し、上記の半田フローなどによって半田層１５にその突起１１を立てることができる。このとき、頭部１１ｃは省略できる。
さらに、図１２に示すように、脚部１１ａと頭部１１ｂのみからなる突起１１においても、その脚部１１ａの端をレーザ溶接等によって導体配線２、４の接続部２ａ、４ａに固定することができる。このとき、図示のようにシート１３を省略しても、シート１３に導電性微細突起１１を配置取付けしたものとしてもよい。また、頭部１１ｃがあっても良い。
【００２９】
頭部１１ｂ、１１ｃの形状としては、円球状に限らず、図１３に示すように、楕円球状（同図（ａ）、（ｂ））、多角体状（同図（ｃ））、半円球状（同図（ｄ））、半楕円球状（同図（ｅ）、（ｆ））、半多角体状（同図（ｇ））、三角円錐状（同図（ｈ））などとこの発明の作用効果を発揮する限りにおいて適宜に選択し得る。
【００３０】
この接続構造体は、プリント配線板（ＰＷＢ）同士、プリント回路板（ＰＣＢ）同士、その配線板と回路板間、各種のケーブル（ＦＦＣ）間、そのケーブルと前記配線板、回路板の間等における導体配線の接続のみならず、電子部品等の導体配線間や電子部品のチップとリードフレーム間、そのリードフレームと回路基板の導体配線との間などにも採用できる可能性がある。
また、その基板にＬＳＩなどの半導体等の電子部品を装着する場合にもこの接続構造体を採用することができ、この場合、その装着に使用される異方性導電フィルム（ＡＣＦ）に比べて、加熱作用が不要であると共に、常温下において、脱着（取り外し）が可能であるなどの優れた利点を有する。
これらの接続構造体においては、その構造体（接続部）の大きさに応じて突起１１の大きさ・形状を適宜に変更することは勿論である。
【００３１】
以上の記載から理解できるように、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００３２】
１  リジット基板（一方の配線板）
２  一方の配線板の導体配線（ランド）
２ａ  一方の配線板の接続部
３  フレキシブル基板（他方の配線板）
４  他方の配線板の導体配線（ランド）
４ａ  他方の配線板の接続部
１１  導電性微細突起
１１ａ  導電性微細突起の脚部
１１ｂ  導電性微細突起の一方の頭部
１１ｃ  導電性微細突起の他方の頭部
１２、１２ａ、１２ｂ  金型
１３  シート
１４  液状ポリマー
１５  半田（半田層）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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