(57)【要約】【課題】  機械部品、電気部品などの被処理物を良好にバリ取り洗浄し、リンス洗浄と乾燥を効率よく良好に行なうことができるバリ取り洗浄乾燥装置を提供する。【解決手段】バリ取り洗浄槽１の下部に洗浄液を収容し超音波振動子２９を配置してなる浸漬洗浄室２を設けられ、上部に被洗浄物を出し入れする出入室３が設けられる。被洗浄物を浸漬洗浄室２と出入室３との間で昇降させる昇降装置７がバリ取り洗浄槽１内に配設される。バリ取り洗浄槽１の出入室３の反対側にリンス洗浄乾燥室２１が連通して配置される。バリ取り洗浄槽１上部の出入室３とリンス洗浄乾燥室２１との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構２２が設けられる。洗浄液の溶存酸素量は脱気装置３０により所定値以下に脱気され、洗浄液の温度は冷却装置３９により所定温度以下に下げられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加してバリ取りを行うと共に洗浄し、バリ取り洗浄後の被処理物を乾燥させるバリ取り洗浄乾燥装置であって、
下部に洗浄液を収容し超音波振動子を配置してなるバリ取り洗浄室を設けると共に、上部に被処理物を出し入れする出入室を設けたバリ取り洗浄槽と、
該バリ取り洗浄槽内に配設され該被処理物を該バリ取り洗浄室と該出入室との間で昇降させる昇降装置と、
該バリ取り洗浄槽の該出入室の側部に連通して配置され、連通口をシャッターにより開閉可能とすると共に、リンス洗浄を行なうリンスノズルと熱風を吹き付ける熱風ノズルとを配置してなるリンス洗浄乾燥室と、
該バリ取り洗浄槽上部の出入室と該リンス洗浄乾燥室との間で被処理物を水平移動させる水平移動機構と、
該洗浄液中の溶存酸素量を脱気により低下させる脱気装置と、
該洗浄液の温度を冷却する冷却装置と、
を備えたことを特徴とするバリ取り洗浄乾燥装置。
【請求項２】
前記脱気装置は洗浄液中の溶存酸素量を約０．０１〜２ｐｐｍに脱気し、前記冷却装置は該洗浄液の温度を約１０℃〜０℃に冷却することを特徴とする請求項１記載のバリ取り洗浄乾燥装置。
【請求項３】
前記被処理物は搬送トレイに入れられ、該搬送トレイが前記昇降装置の昇降枠に保持されて昇降し、該被処理物を入れた搬送トレイは、前記水平移動機構により前記出入室とリンス洗浄乾燥室の間で移送されることを特徴とする請求項１記載のバリ取り洗浄乾燥装置。
【請求項４】
前記バリ取り洗浄槽の側部に洗浄液貯留槽が設けられ、該バリ取り洗浄槽下部のバリ取り洗浄室上の側壁に設けた連通口を通して該バリ取り洗浄室からオーバーフローした洗浄液を該洗浄液貯留槽に送る構成とし、該洗浄液貯留槽の洗浄液をろ過して該バリ取り洗浄槽内に戻すための管路、ポンプ、フィルタ、脱気装置、及び冷却装置を含む洗浄液循環路が、該バリ取り洗浄槽と該洗浄液貯留槽との間に接続され、洗浄液貯留槽内の洗浄液の溶存酸素量を該脱気装置により低下させ、該洗浄液の温度を該冷却装置により低下させることを特徴とする請求項２のバリ取り洗浄乾燥装置。
【請求項５】
前記リンスノズルは、液切りノズルと兼用のリンス兼液切りノズルとして構成され、リンス洗浄を終了した後、該リンス兼液切りノズルにエアーを供給し、リンス洗浄後の被処理物にエアーを噴き付けて液切りを行うことを特徴とする請求項４のバリ取り洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属、合成樹脂等の機械部品或いは電子部品などの被処理物を、バリ取り洗浄して、バリや油脂類等の異物を除去するバリ取り洗浄乾燥装置に関し、特に、被処理物に対し液中で超音波を印加して超音波バリ取り洗浄を行なうと共に、バリ取り洗浄後の被処理物をリンス洗浄し、液切りを行った後、被処理物に熱風を吹き付けて乾燥処理を行なうバリ取り洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品、機械部品などの洗浄を行なう洗浄乾燥装置として、下記特許文献１などにおいて、減圧式の洗浄乾燥装置が提案されている。この洗浄乾燥装置は、洗浄槽の下部に洗浄液を入れ超音波振動子により超音波を印加する浸漬洗浄部を設けると共に、被洗浄物をその浸漬洗浄部に浸漬するための昇降装置を洗浄槽内に配設し、密閉可能な洗浄槽内に、真空ポンプに接続された接続管を接続して、洗浄槽内を減圧可能とし、洗浄後に浸漬洗浄部から引き上げた被洗浄物を洗浄槽内の上部で減圧乾燥させる構造である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２６１３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この従来の洗浄乾燥装置は、被洗浄物を減圧乾燥させる際、洗浄液の付着した載置台及び被覆体を真空ポンプで真空吸引して減圧し、多量に付着した洗浄液を吸引乾燥するため、必然的に大容量、高真空度の高い能力を備えた大型の真空ポンプを必要とし、設備費が高くなる不具合があった。
【０００５】
さらに、真空ポンプが多量の洗浄液を真空吸引するため、真空ポンプ内への洗浄液の流入量が増大し、このために、真空ポンプの吐出側に高性能のフィルタや回収装置を装着し、排気からの洗浄液の回収を確実に行なう必要がある。
【０００６】
さらに、上記洗浄乾燥装置は、洗浄槽内に昇降チェーンによる昇降装置が配設されるため、洗浄槽内の構造が複雑化し、これにより、洗浄槽内の保守点検作業が難しく、洗浄槽内の清掃作業も非常に難しい。
【０００７】
一方、金属、合成樹脂等の機械部品、電気部品などにおいては、成形や加工の際にバリが発生するが、被洗浄物の洗浄と共にこれらのバリ取りを効率良く行うことが要望されていた。
【０００８】
本発明は、上記の点の鑑みなされたもので、比較的簡単な構成の設備を用いて、機械部品、電気部品などの被処理物を効率よく良好にバリ取り洗浄し、乾燥させることができるバリ取り洗浄乾燥装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成する本発明の請求項１のバリ取り洗浄乾燥装置は、被処理物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加してバリ取りを行うと共に洗浄し、バリ取り洗浄後の被処理物を乾燥させるバリ取り洗浄乾燥装置であって、
下部に洗浄液を収容し超音波振動子を配置してなるバリ取り洗浄室を設けると共に、上部に被処理物を出し入れする出入室を設けたバリ取り洗浄槽と、
該バリ取り洗浄槽内に配設され該被処理物を該バリ取り洗浄室と該出入室との間で昇降させる昇降装置と、
該バリ取り洗浄槽の該出入室の側部に連通して配置され、連通口をシャッターにより開閉可能とすると共に、リンス洗浄を行なうリンスノズルと熱風を噴き付ける熱風ノズルとを配置してなるリンス洗浄乾燥室と、
該バリ取り洗浄槽上部の出入室と該リンス洗浄乾燥室との間で被処理物を水平移動させる水平移動機構と、
該洗浄液中の溶存酸素量を脱気により低下させる脱気装置と、
該洗浄液の温度を冷却する冷却装置と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、バリ取り洗浄槽内の洗浄液中の溶存酸素量を所定濃度以下に脱気し、洗浄液の温度を所定温度以下に冷却した状態で、被処理物を浸漬させながら超音波振動子を動作させて洗浄液中にキャビテーションを発生させるので、被処理物のバリ取りと洗浄を良好に効率よく行うことができる。
【００１１】
また、バリ取り洗浄後には、リンス洗浄乾燥室に被処理物を移動させ、リンスノズルから被処理物にリンス液を噴き付けてリンス洗浄を行なう一方、その後、熱風ノズルから熱風を被処理物に噴き付けて、被処理物を乾燥させるので、被処理物のリンス洗浄と乾燥を、良好に効率よく行うことができる。
【００１２】
請求項２の発明は、上記請求項１のバリ取り洗浄乾燥装置において、上記脱気装置は洗浄液中の溶存酸素量を約０．０１〜２ｐｐｍに脱気し、冷却装置は洗浄液の温度を約１０℃〜０℃に冷却することを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、洗浄液中に多くのキャビテーションを発生させ、その崩壊速度を高速度とし、多量の衝撃波の発生によって、被処理物のバリを良好に除去することができる。
【００１４】
請求項３の発明は、上記請求項１のバリ取り洗浄乾燥装置において、上記被処理物は搬送トレイに入れられ、該搬送トレイが上記昇降装置の昇降枠に保持されて昇降し、該被処理物を入れた搬送トレイは、上記水平移動機構により出入室とリンス洗浄乾燥室の間で移送されることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、被処理物を安定して安全に昇降させ又は移動させることができ、昇降装置と水平移動機構間で被処理物を搬送トレイと共に円滑に移載し、バリ取り洗浄した後の被処理物をリンス洗浄乾燥室に自動的に効率よく移送することができる。
【００１６】
請求項４の発明は、上記請求項２のバリ取り洗浄乾燥装置において、上記バリ取り洗浄槽の側部に洗浄液貯留槽が設けられ、該バリ取り洗浄槽下部のバリ取り洗浄室上の側壁に設けた連通口を通して該バリ取り洗浄室からオーバーフローした洗浄液を該洗浄液貯留槽に送る構成とし、該洗浄液貯留槽の洗浄液をろ過して該バリ取り洗浄槽内に戻すための管路、ポンプ、フィルタ、脱気装置、及び冷却装置を含む洗浄液循環路が、該バリ取り洗浄槽と該洗浄液貯留槽との間に接続され、洗浄液貯留槽内の洗浄液の溶存酸素量を該脱気装置により所定値以下に低下させ、該洗浄液の温度を該冷却装置により所定値以下に低下させることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、バリ取り洗浄室の洗浄液の液面レベル、洗浄液の溶存酸素量及び温度を、超音波バリ取り洗浄における最適な値に保持することができ、被処理物のバリ取り洗浄を一層効率よく良好に行なうことができる。
【００１８】
請求項５の発明は、上記請求項４のバリ取り洗浄乾燥装置において、上記リンスノズルは、液切りノズルと兼用のリンス兼液切りノズルとして構成され、リンス洗浄を終了した後、該リンス兼液切りノズルにエアーを供給し、リンス洗浄後の被処理物にエアーを噴き付けて液切りを行うことを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、リンス洗浄液を噴射してリンス洗浄した後、リンス兼液切りノズルから被処理物にエアーを噴き付けて、液切りを行ない、リンス洗浄と液切りを効率よく行なうことができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のバリ取り洗浄乾燥装置によれば、比較的簡単な構成の設備を用いて、機械部品、電気部品などの被処理物のバリ取りと洗浄を良好に効率よく行うことができ、バリ取り洗浄後、被処理物のリンス洗浄と乾燥を良好に効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態を示すバリ取り洗浄乾燥装置の構成を示す断面図である。
【図２】（ａ）はリンス洗浄乾燥室部分の拡大断面図、（ｂ）は同リンス洗浄乾燥室部分の平面断面図である。
【図３】図１のIII-III断面図である。
【図４】搬送トレイと被処理物をリンス洗浄乾燥室に搬入した状態の断面図である。
【図５】リンス洗浄時のリンス洗浄乾燥室の断面図（図２のV-V線断面図）である。
【図６】乾燥時のリンス洗浄乾燥室の断面図（図２のVI-VI線断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１はバリ取り洗浄乾燥装置の断面図を示し、図２はリンス洗浄乾燥室部分の拡大断面図を、図３は図１のIII-III線断面図を示している。このバリ取り洗浄乾燥装置は、概略的には、バスケットなどに収容した被処理物Wを洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波振動子２９から超音波を印加して超音波バリ取り洗浄を実施し、バリ取り洗浄後の被処理物をリンス洗浄乾燥室２１に搬入し、リンス洗浄、液切り及び乾燥処理を行なうように構成される。
【００２３】
このバリ取り洗浄乾燥装置は、下部に洗浄液を収容し超音波振動子２９を配置してなるバリ取り洗浄室２を設けると共に、上部に被処理物Ｗを出し入れする出入室３を設けたバリ取り洗浄槽１と、バリ取り洗浄槽１内に配設され被処理物をバリ取り洗浄室２と出入室３との間で昇降させる昇降装置７と、バリ取り洗浄槽１の出入室３の側部に連通して配置され、連通口１７をシャッター１８により開閉可能として、リンス洗浄、液切り及び乾燥を行なうリンス洗浄乾燥室２１と、バリ取り洗浄槽１上部の出入室３とリンス洗浄乾燥室２１との間で被処理物Ｗを水平移動させる水平移動機構２２と、を備えている。
【００２４】
バリ取り洗浄槽１は、図１に示すように、その下部にバリ取り洗浄室２を設け、側部に被処理物Ｗを出し入れする出入室３を設けている。つまり、洗浄槽１内には、上部に出入口４を有した出入室３が形成され、その下部にバリ取り洗浄室２が形成され、出入口４の反対側に連通口１７を介してリンス洗浄乾燥室２１が設けられている。
【００２５】
バリ取り洗浄槽１の上部の出入室３の側壁に、出入口４が形成され、その出入口４を開閉する出入口シャッター５が配設されている。この出入口シャッター５は上方から下降して出入口４を閉鎖するように構成され、扉用シリンダ（流体圧シリンダ）６がバリ取り洗浄槽１の側部に下向きに取り付けられ、そのピストンロッド６ａの先端に出入口シャッター５の上部が連結される。この扉用シリンダ６の作動により出入口シャッター５は開閉される。
【００２６】
バスケットなどに入れられた被処理物Ｗは、バリ取り洗浄槽１内で搬送トレイ１０に載置されるが、搬送トレイ１０は、バリ取り洗浄槽１に配設した昇降装置７の昇降枠９に保持されて昇降する。昇降装置７は、昇降用シリンダ（流体圧シリンダ）８をバリ取り洗浄槽１の上板上に下向きに取り付け、そのピストンロッド８ａを洗浄槽１内に縦に挿入し、ピストンロッド８ａの下端に昇降枠９を取り付けて構成される。昇降枠９は、図２に示すように、直方体の枠状に形成され、内側底部に搬送トレイ１０を水平摺動可能に載置するための載置部が形成され、載置部の両側には側面ガイドが設けられ、後述の水平移動機構２２により搬送トレイ１０を出入室３内の昇降枠９とリンス洗浄乾燥室２１との間で、水平摺動させながら、移送するように構成される。
【００２７】
搬送トレイ１０は、図２に示すように、例えば金属棒を縦横に組み合わせてネットトレイ状に形成され、その上にバスケットなどに入れた被処理物Ｗを収容可能とし、上記のように、昇降枠９の内側とリンス洗浄乾燥室２１内と間でスライド移動する。また、搬送トレイ１０の端部（図２の右側端部）に、係合保持部１０ａが設けられる。この係合保持部１０ａは、図２に示すように、平面視で略コ字状に形成され、バリ取り洗浄槽１内の所定位置に縦に立設された昇降ガイド２５の外側に外嵌されて上下動可能に形成され、且つ水平移動機構２２の水平移動用シリンダ（流体圧シリンダ）２３のピストンロッド２３ａの先端に取着した係合先端部２６に係合可能に形成されている。
【００２８】
すなわち、水平移動用シリンダ２３のピストンロッド２３ａの先端には係合先端部２６が固定され、この係合先端部２６が、図２（ｂ）のように、ピストンロッド２３ａが押し出し作動して、昇降ガイド２５の真上に達した状態で、搬送トレイ１０がリンス洗浄乾燥室２１の連通口１７（出入室３）に対応した位置に上昇又は下降して停止したとき、係合先端部２６が搬送トレイ１０の端部に固定された係合保持部１０ａ内に入って係合可能に形成される。
【００２９】
また、この後、ピストンロッド２３ａが引戻し作動したとき、搬送トレイ１０をリンス洗浄乾燥室２１まで牽引して移動可能とし、さらにその後、ピストンロッド２３ａが押し出し作動したとき、係合先端部２６がそこに係合した係合保持部１０ａを押して、搬送トレイ１０を昇降枠９内まで移動可能に形成されている。
【００３０】
出入室３内の下寄りでリンス洗浄乾燥室２１側に、中間支持ガイド２４ｂが固定され、その中間支持ガイド２４ｂ上を搬送トレイ１０が水平方向（図１の左右方向）にスライド移動可能に支持されるようになっている。さらに、この中間支持ガイド２４ｂと水平位置のバリ取り洗浄槽１の側壁に、連通口１７が形成され、連通口１７を挟んだ出入室３と反対側にリンス洗浄乾燥室２１が形成されている。
【００３１】
連通口１７にはシャッター１８が上下方向に移動して開閉するように取り付けられ、このシャッター１８を開閉する扉用シリンダ（流体圧シリンダ）１９がバリ取り洗浄槽１の上板上に取り付けられる。扉用シリンダ１９のピストンロッド１９ａは出入室３内に挿入され、その先端がシャッター１８に連結され、扉用シリンダ１９のピストンロッド１９ａの押し出し作動により、シャッター１８が下降して連通口１７を閉鎖する構造である。
【００３２】
リンス洗浄乾燥室２１内には水平移動ガイド２４ａが取り付けられ、水平移動ガイド２４ａの上に搬送トレイ１０が水平移動機構２２により載置されるようになっている。リンス洗浄乾燥室２１では、搬送トレイ１０上の被処理物Ｗに対し、リンス兼液切りノズル４１からリンス洗浄液を噴き付けてリンス洗浄し、その後、エアーを噴き付けて、液切りを行い、さらに熱風ノズル４２から熱風を噴き付けて被処理物Ｗを乾燥処理する構造である。
【００３３】
リンス洗浄乾燥室２１の背面側に、水平移動機構２２の水平移動用シリンダ２３が、そのピストンロッド２３ａをリンス洗浄乾燥室２１内のリンス洗浄乾燥室２１に挿入した形態で取り付けられる。水平移動用シリンダ２３は、このピストンロッド２３ａの先端の係合先端部２６を搬送トレイ１０の係合保持部１０ａに係合させて、ピストンロッド２３ａを引戻し作動したとき、搬送トレイ１０をリンス洗浄乾燥室２１内に引き込み、水平移動ガイド２４ａ上に載置する構造とされる。
【００３４】
リンス洗浄乾燥室２１内には、リンス兼液切りノズル４１が水平移動ガイド２４ａの上方と下方に配置され、水平移動ガイド２４ａ上の搬送トレイ１０の被処理物Ｗに向けて、リンス洗浄液を噴き付けてリンス洗浄を行ない、その後、エアーを噴き付けて、液切りを行なうようになっている。このようなリンス洗浄と液切りを行なうために、図５に示すように、リンス兼液切りノズル４１には、リンス洗浄液とエアーを切り替えて供給するための管路が接続されている。
【００３５】
リンス洗浄乾燥室２１の下部には、漏斗状の液受け部２０ａを介してリンス洗浄液槽２０が形成され、リンス洗浄液がリンス洗浄液槽２０に貯留される。リンス洗浄液槽２０内には加熱器１６が挿入され、リンス洗浄液をリンス洗浄に適した温度に加熱するようになっている。図５のように、リンス洗浄液槽２０には管路５６を介してポンプ４６が接続され、ポンプ４６の吐出側にフィルタ４７を介して切替弁４８が接続される。切替弁４８の一方のポートが管路５５を介してリンス洗浄液槽２０に接続され、通常時、リンス洗浄液槽２０内のリンス洗浄液は、ポンプ４６の運転によって、フィルタ４７、切替弁４８、管路５５を通して循環し、切替弁４８の切替動作により、そのリンス洗浄液をリンス兼液切りノズル４１に供給するようになっている。
【００３６】
このために、図５に示すように、切替弁４８の他方のポートには逆止弁４９を介して管路５４が接続され、管路５４の端部が、リンス洗浄乾燥室２１内の上部と下部に配置されたリンス兼液切りノズル４１、４１に接続される。一方、切替弁４８を管路５５側に切り替えて、管路５４とリンス兼液切りノズル４１を液切りに使用する際は、管路５７を通してエアーをリンス兼液切りノズル４１に供給するようになっている。
【００３７】
このために、図５に示す如く、管路５４には、逆止弁５０と開閉弁５１を介してエアー用の管路５７が接続される。そして、管路５７にはレギュレータ５２とフィルタ５３を介して、図示しない圧力空気源が接続される。これにより、圧力空気源から供給されるエアーを、レギュレータ５２とフィルタ５３を通し、さらに開閉弁５１、逆止弁５０、管路５４を通して、リンス洗浄乾燥室２１内のリンス兼液切りノズル４１に供給する構造となっている。
【００３８】
なお、リンス兼液切りノズル４１は、液切りを行なわずに、リンス洗浄液のみを被処理物Ｗに噴き付ける構造とすることもでき、この場合は、リンスノズルとしてリンス洗浄乾燥室２１内に設置することとなる。また、液切り用ノズルを別個に設けることもできる。
【００３９】
さらに、図６に示すように、リンス洗浄乾燥室２１内には、熱風ノズル４２が水平移動ガイド２４ａの上方と下方に配置され、リンス洗浄後に、水平移動ガイド２４ａ上の搬送トレイ１０の被処理物Ｗに向けて、熱風を噴き付けて乾燥処理を行なう。このために、上下の熱風ノズル４２には熱風供給用のダクト４６が接続され、ダクト４６の端部に加熱器４４とブロワ４３が接続され、ブロワ４３により送風した空気を加熱器４４で加熱し、ダクト４６を通して熱風ノズル４２に熱風を供給する構造となっている。
【００４０】
一方、バリ取り洗浄槽１の背面側の側部には、図３に示すように、背面側の側部に突き出すように、洗浄液貯留槽１５が設けられる。バリ取り洗浄槽１下部のバリ取り洗浄室２上の側壁に溢流口となる連通口１５ａが設けられ、この連通口１５ａを通してバリ取り洗浄室２からオーバーフローした洗浄液が洗浄液貯留槽１５に送られる。また、洗浄液貯留槽１５には、洗浄液をろ過してバリ取り洗浄槽１内に戻すための管路３５、ポンプ３１、及びフィルタ３２を含む洗浄液循環路３６が、バリ取り洗浄槽１と洗浄液貯留槽１５との間に接続される。
【００４１】
図３に示すように、洗浄液循環路３６の管路３５には脱気装置３０の脱気筒３７が接続され、洗浄液を脱気処理し、洗浄液中の溶存酸素量を、バリ取り洗浄に適した約０．０１〜２ｐｐｍに下げるようになっている。バリ取り洗浄を行なった後の洗浄液には被処理物Ｗから除去されたバリや異物が含まれているため、これらのバリや異物を除去するために、フィルタ３２が洗浄液循環路３６に接続されている。
【００４２】
洗浄液循環路３６に接続された脱気装置３０の脱気筒３７は、中空糸モジュール、ＰＴＦＥチューブなどポーラス膜を有した脱気モジュールを、ケース内に収容して構成され、脱気モジュール内に洗浄液循環路３６の洗浄液を流通させつつ、ケース内を真空ポンプ３８により吸引し、洗浄液中の溶存酸素量を所定値（約０．０１〜２ｐｐｍ）以下に下げる構造である。
【００４３】
さらに、洗浄液循環路３６には、洗浄液を冷却するための冷却装置３９が接続される。この冷却装置３９は、内部に冷媒を通す熱交換器を内蔵し、冷媒と洗浄液との熱交換により、洗浄液の温度をバリ取りに適した約１０℃〜０℃に下げるように構成される。このような洗浄液循環路３６、フィルタ３２、脱気装置３０、冷却装置３９等の構成により、洗浄液貯留槽１５の洗浄液は、ポンプ３１の動作により槽内から取り出されて洗浄液循環路３６を循環する間、フィルタ３２によりバリや異物をろ過し、脱気装置３０によって洗浄液中の溶存酸素量を約０．０１〜２ｐｐｍの脱気状態とし、さらに、冷却装置３９にて洗浄液の温度がバリ取りに適した約１０℃〜０℃となるように冷却される。
【００４４】
次に、上記構成のバリ取り洗浄乾燥装置の動作を説明する。バリ取り洗浄槽１のバリ取り洗浄室２及び洗浄液貯留槽１５内には、炭化水素系洗浄液或いは洗浄水などの洗浄液が貯留される。
【００４５】
洗浄の開始時には、昇降装置７は、図１に示すように、その昇降枠９をバリ取り洗浄槽１上部の出入室３内の所定位置に停止させた状態となっている。この状態で、出入口シャッター５が扉用シリンダ６の動作によって開放され、開放された出入口４から、被処理物Wがそのまま或いはバスケットなどに入れられた状態で、出入室３内に搬入され、出入室３に位置する昇降枠９内の搬送トレイ１０上に載置される。出入口シャッター５は閉じられる。
【００４６】
バリ取り洗浄室２内の洗浄液は、ポンプ３１の動作により連通口１５ａから溢流して洗浄液貯留槽１５に入り、洗浄液貯留槽１５に貯留されるが、洗浄液貯留槽１５内の洗浄液は、ポンプ３１の運転により洗浄液循環路３６を通してバリ取り洗浄室２内に戻るように循環している。
【００４７】
このとき、図３のように、循環する洗浄液は、洗浄液循環路３６に接続された脱気装置３０を通過し、この脱気装置３０を通過する際、真空ポンプ３８によって脱気装置３０の脱気筒３７のケース内が吸引されて、洗浄液の脱気処理が行なわれ、洗浄液中の溶存酸素量が、バリ取り洗浄に適した約０．０１〜２ｐｐｍの濃度に下げられる。さらに、洗浄液循環路３６を循環する洗浄液は、冷却装置３９を通過する際、冷却装置３９に供給される冷媒との間で熱交換が行なわれて冷却され、バリ取りに適した約１０℃〜約０℃の温度に冷却される。なお、下限温度の約０℃は洗浄液が氷結する手前の温度であり、洗浄液の性状かから氷結しない温度であれば、０℃未満の温度まで冷却するようにしてもよい。
【００４８】
このように、バリ取り洗浄室２と洗浄液貯留槽１５内の洗浄液は、洗浄液循環路３６を循環し、フィルタ３２、脱気装置３０、冷却装置３９を通過することにより、その溶存酸素量がバリ取りに適した約０．０１〜２ｐｐｍに下げられ、その温度が約１０℃〜約０℃に下げられ、清浄な状態に保持される。
【００４９】
バリ取り洗浄動作に入ると、先ず、昇降用シリンダ８が動作して、昇降枠９を下降させ、図１のように、昇降枠９がバリ取り洗浄室２まで下される。このとき、昇降枠９内の搬送トレイ１０は、その端部の係合保持部１０ａが昇降ガイド２５にガイドされて安定して下降する。そして、昇降枠９に保持された搬送トレイ１０上の被処理物Wがバリ取り洗浄室２の洗浄液中に浸漬され、超音波振動子２９の動作によって超音波を印加された洗浄液内で超音波バリ取り洗浄が実施される。
【００５０】
バリ取り洗浄室２内の洗浄液中では、超音波の印加によりキャビテーションが発生し、洗浄液の溶存酸素量が約０．０１〜２ｐｐｍとなるように脱気され、温度が約１０℃〜約０℃に冷却されているので、このキャビテーションの崩壊速度は加速された状態となって、崩壊が高速度で行なわれ、それに伴い高い衝撃波が洗浄液中で発生する。このため、搬送トレイ１０上に載置されてバリ取り洗浄室２内に挿入された被処理物Ｗのバリや汚れが、高速度で頻繁に発生するキャビテーション崩壊時の衝撃波により、被処理物Ｗから良好に除去されていく。
【００５１】
所定時間の超音波バリ取り洗浄が終了すると、次に、昇降装置７が動作し、昇降枠９を図１のようにバリ取り洗浄室２の上部位置（出入室３）の所定位置まで上昇させ、停止させる。このとき、昇降枠９内の搬送トレイ１０は、図１のように、その端部の係合保持部１０ａが、昇降ガイド２５から水平移動用シリンダ２３のピストンロッド２３ａ先端の係合先端部２６に移り、そこに係合保持される。
【００５２】
次に、図１、２に示すように、水平移動機構２２の水平移動用シリンダ２３がピストンロッド２３ａを引き戻し動作する。これにより、昇降枠９内の被処理物Ｗの搬送トレイ１０が昇降枠９内から引き出され、中間支持ガイド２４ｂ上を通過し、開口している連通口１７からリンス洗浄乾燥室２１内に入る。
【００５３】
この状態で、リンス洗浄乾燥室２１内の水平移動ガイド２４ａに搬送トレイ１０が載置され、搬送トレイ１０上の被処理物Ｗは、図４のように、リンス洗浄乾燥室２１内に収容される。このとき、扉用シリンダ１９の動作によりシャッター１８が下ろされて、連通口１７が閉鎖され、リンス洗浄乾燥室２１が閉状態となる。
【００５４】
次に、図５に示すように、リンス洗浄用の切替弁４８がリンス洗浄側に切り替わり、これにより、リンス洗浄液槽２０内のリンス洗浄液は、管路５６から切替弁４８と逆止弁４９を通り、管路５４を通してリンス洗浄乾燥室２１内のリンス兼液切りノズル４１，４１に供給される。これにより、上部と下部のリンス兼液切りノズル４１，４１から被処理物Ｗに向けてリンス洗浄液が噴射され、所定時間、リンス洗浄が行われ、被処理物Ｗが清浄なリンス洗浄液によりすすぎ洗浄される。なおこのとき、水平移動用シリンダ２３のピストンロッドを短く往復動作させることにより、被処理物Ｗを水平移動ガイド２４ａ上で水平方向に往復移動させながらリンス洗浄を行なうこともできる。
【００５５】
次に、リンス洗浄の後、被処理物Ｗの液切りを行なう。リンス洗浄が終了すると、切替弁４８が切り替わり、図５のように、フィルタ４７を通過したリンス洗浄液は、切替弁４８から管路５５を通り、リンス洗浄液槽２０に戻され、循環する状態となる。一方、開閉弁５１が開動作し、圧力空気源から供給された圧力空気が、フィルタ５３、レギュレータ５２、管路５７、開閉弁５１、逆止弁５０、及び管路５４を通して、リンス兼液切りノズル４１，４１に供給され、上部と下部のリンス兼液切りノズル４１，４１から被処理物Ｗに向けて空気が噴き付けられる。この空気の噴き付けにより、被処理物Ｗに付着したリンス洗浄液が落とされ、液切りが行なわれる。
【００５６】
液切りが終了し、開閉弁５１が閉動作すると、次に、図６に示すように、加熱器４４とブロワ４３が起動して、被処理物Ｗの乾燥が行なわれる。乾燥処理は、加熱器４４とブロワ４３の作動により行なわれ、ブロワ４３からの送風は、加熱器４４を通過して熱風または温風となり、図６のように、水平移動ガイド２４ａ上に保持された搬送トレイ１０上の被処理物Ｗに、上部と下部の熱風ノズル４２，４２から熱風または温風が噴き付けられ、これにより、被処理物Ｗは乾燥処理される。
【００５７】
被処理物Ｗの乾燥処理が終了すると、次に、水平移動機構２２の水平移動用シリンダ２３がピストンロッド２３ａを押し出し動作する。これにより、リンス洗浄乾燥室２１内の水平移動ガイド２４ａ上に載置されていた被処理物Ｗの搬送トレイ１０が、水平移動ガイド２４ａから中間支持ガイド２４ｂ上を通過し、バリ取り洗浄槽１内の出入室３の停止している昇降枠９の側面ガイド９ａ内に進入し停止する。
【００５８】
そして、扉用シリンダ６がピストンロッド６ａを引戻し作動して出入口シャッター５が上昇して出入口４が開放され、バリ取り洗浄と乾燥を終了した被処理物Ｗが搬送トレイ１０上から取り出される。
【００５９】
このように、バリ取り洗浄槽１内の洗浄液中の溶存酸素量を約０．０１〜２ｐｐｍに脱気し、洗浄液の温度を約１０℃〜０℃に冷却した状態で、被処理物Ｗを浸漬させながら超音波振動子２９を動作させて洗浄液中に多くのキャビテーションを発生させ、崩壊速度を高速度として多量の衝撃波を発生させ、被処理物Ｗのバリ取りと洗浄を良好に効率よく行うことができる。
【００６０】
また、バリ取り洗浄後には、リンス洗浄乾燥室２１に被処理物を移動させ、リンス兼液切りノズル４１から被処理物Ｗにリンス液を噴き付けてリンス洗浄を行なう一方、その後、熱風ノズル４２から熱風を被処理物Ｗに噴き付けて、被処理物を乾燥させるので、被処理物のリンス洗浄と乾燥を、良好に効率よく行うことができる。
【符号の説明】
【００６１】
１      バリ取り洗浄槽
２      バリ取り洗浄室
３      出入室
７      昇降装置
８      昇降用シリンダ
９      昇降枠
１０    搬送トレイ
１５    洗浄液貯留槽
１５ａ  連通口
１６    加熱器
１７    連通口
１８    シャッター
２０    リンス洗浄液槽
２１    リンス洗浄乾燥室
２２    水平移動機構
２９    超音波振動子
３０    脱気装置
３１    ポンプ
３２    フィルタ
３６    洗浄液循環路
３９    冷却装置
４１    リンス兼液切りノズル
４２    熱風ノズル
Ｗ      被処理物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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