(57)【要約】【課題】平衡−不平衡変換機能を有し、平衡度を改善することが可能とされている弾性波フィルタを得る。【解決手段】不平衡信号端子２１１と、第１，第２の平衡信号端子２１２，２１３とを有し、弾性波伝搬方向に沿って順に第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５が配置されており、第１のＩＤＴ２０１と、第３のＩＤＴ２０３の第１の分割くし歯状電極２０３ｂとが第１の平衡信号端子２１２に接続されており、第２の分割くし歯状電極２０３ｃと、第５のＩＤＴ２０５とが第２の平衡信号端子２１３に接続されており、第１のＩＤＴ２０１の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ２０５の電極指ピッチとが異ならされている、弾性波フィルタ２００。【選択図】図１
2010251964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチを有し、前記第１のＩＤＴの電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、
前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である、弾性波フィルタ。
【請求項２】
圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
平衡−不平衡変換機能を有するように、前記第２のＩＤＴに対して前記第４のＩＤＴが反転されており、
前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチを有し、前記第１のＩＤＴの電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、
前記第１及び第２のＩＤＴとが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
【請求項３】
圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、
前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である、弾性波フィルタ。
【請求項４】
圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
平衡−不平衡変換機能を有するように、前記第２のＩＤＴに対して前記第４のＩＤＴが反転されており、
前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、
前記第１及び第２のＩＤＴとが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
【請求項５】
圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
前記第１のＩＤＴのデューティ比が前記第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、
前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である、弾性波フィルタ。
【請求項６】
圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、
前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、
平衡−不平衡変換機能を有するように、前記第２のＩＤＴに対して前記第４のＩＤＴが反転されており、
前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、
前記第１のＩＤＴのデューティ比が前記第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、
前記第１及び第２のＩＤＴとが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外電極指の極性が同じである、弾性波フィルタ。
【請求項７】
弾性波が弾性表面波であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
【請求項８】
弾性波が弾性境界波であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波フィルタを備えることを特徴とする、通信機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型の弾性波フィルタ及びそれを備えた通信機に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の携帯電話機のような通信機の小型化や軽量化を図るために、各構成部品の削減や小型化、さらには、複数の機能を複合した部品の開発も進んできている。このような状況を背景に、通信機のＲＦ段に使用する弾性表面波フィルタに対し、平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を持たせたものが使用されている。
【０００３】
しかしながら、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタでは、第１の平衡信号端子と第２の平衡信号端子とから取り出される信号間の平衡度が悪いという問題があった。ここで、平衡度とは、振幅平衡度及び位相平衡度をいう。
【０００４】
振幅平衡度及び位相平衡度とは、前記平衡−不平衡変換機能を有するフィルタ装置を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート１、平衡出力端子のそれぞれをポート２、ポート３としたときの、振幅平衡度＝｜Ａ｜、Ａ＝｜２０log（Ｓ２１）｜−｜２０log（Ｓ３１）｜、位相平衡度＝｜Ｂ−１８０｜、Ｂ＝｜∠Ｓ２１−∠Ｓ３１｜で定義する。理想的にはフィルタの通過帯域内で振幅平衡度は０ｄＢ、位相平衡度は０度である。
【０００５】
下記の特許文献１には、このような平衡度が改善された弾性表面波フィルタが提案されている。
【０００６】
特許文献１の図１では、圧電基板上に、弾性表面波伝搬方向に沿って第１〜第３のくし型電極部（ＩＤＴ）が配置された３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが開示されている。第１〜第３のＩＤＴが設けられている領域の弾性表面波伝搬方向両側に第１，第２の反射器が配置されている。ここでは、中央の第２のＩＤＴが弾性表面波伝搬方向において、二分割されることにより形成された第１，第２の分割くし歯状電極を有する。第１，第２の分割くし歯状電極が、それぞれ、第１，第２の平衡信号端子に接続されており、第１，第３のＩＤＴが共通接続され不平衡信号端子に接続されている。特許文献１では、弾性表面波伝搬方向に直交する方向に延びる仮想中心軸Ａを間に挟んで、一方側と他方側において、第１〜第３のＩＤＴ及び第１，第２の反射器のうち少なくとも一つの設計パラメータが異ならされている。それによって、平衡度が改善されると述べられている。
【０００７】
また、特許文献１の図１３では、弾性表面波伝搬方向に沿って５個のＩＤＴが順に配置された５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが開示されている。特許文献１では、このような５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいても、３ＩＤＴ型の実施例と同様に、仮想中心軸の一方側と他方側とを異ならせた構造を採用すればよい旨が示唆されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】ＷＯ２００５／０３１９７１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１には、具体的には、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、中心軸の一方側と他方側とをどのように異ならせるかについては具体的には何ら記載されていない。
【００１０】
他方、特許文献１の図１３に示されているような５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタでは、中心軸の一方側と他方側とを異ならせるための構成が３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタに比べて多くなっている。従って、単に中心軸の一方側と他方側とを非対称とするだけでは、平衡度を十分に改善することができず、平衡度がかえって悪化することもあった。
【００１１】
本発明の目的は、弾性波伝搬方向に沿って５つのＩＤＴが配置されている縦結合共振子型弾性波フィルタにおいて、第１，第２の平衡信号端子間の信号の平衡度をより一層確実に改善することを可能とする弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願の第１の発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチを有し、前記第１のＩＤＴの電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である、弾性波フィルタが提供される。
【００１３】
本願の第２の発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、平衡−不平衡変換機能を有するように、前記第２のＩＤＴに対して前記第４のＩＤＴが反転されており、前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記第１及び第５のＩＤＴがそれぞれ一定の電極指ピッチを有し、前記第１のＩＤＴの電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの電極指ピッチよりも小さくされており、前記第１及び第２のＩＤＴとが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。
【００１４】
本願の第３の発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である、弾性波フィルタが提供される。
【００１５】
本願の第４の発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、平衡−不平衡変換機能を有するように、前記第２のＩＤＴに対して前記第４のＩＤＴが反転されており、前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記第１及び第５のＩＤＴが、メインピッチ電極指部と、メインピッチ電極指部よりも電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部とを有し、前記第１のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴのメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、あるいは前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが前記第５のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされており、前記第１及び第２のＩＤＴとが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。
【００１６】
本願の第３または第４の発明のある特定の局面では、第１のＩＤＴにおける狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが第５のＩＤＴにおける狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。この場合にも、第１，第２の平衡信号端子間の信号の平衡度を改善することができる。
【００１７】
本願の第５の発明は、圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記第１のＩＤＴのデューティ比が前記第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、前記第１及び第２のＩＤＴが隣り合う部分において、前記第１のＩＤＴを流れる信号と前記第２のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である、弾性波フィルタである。
【００１８】
本願の第６の発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板に形成された縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを少なくとも備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が互いの電極指が間挿し合うように対向されており、かつ弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴと、前記第１，第２，第３，第４及び第５のＩＤＴが配置された領域を挟み込むように弾性波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２の反射器とを備え、前記第３のＩＤＴの対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性波の伝搬方向に沿って分割された第１及び第２の分割くし歯状電極を有し、かつ前記第１の分割くし歯状電極は前記第２のＩＤＴに近い側に、前記第２の分割くし歯状電極は前記第４のＩＤＴに近い側にそれぞれ配置されており、平衡−不平衡変換機能を有するように、前記第２のＩＤＴに対して前記第４のＩＤＴが反転されており、前記第２及び第４のＩＤＴは不平衡信号端子に、前記第１のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第１の分割くし歯状電極とは第１の平衡信号端子に、前記第５のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの第２の分割くし歯状電極とは第２の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記第１のＩＤＴのデューティ比が前記第５のＩＤＴのデューティ比よりも小さくされており、前記第１及び第２のＩＤＴとが隣り合う部分において、互いに隣り合う最外電極指の極性が同じである、弾性波フィルタが提供される。
【００１９】
本発明に係る弾性波フィルタは、弾性波として弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタであってもよく、あるいは弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタであってもよい。
【００２０】
本発明に係る通信機は、本発明の弾性波フィルタを備えることを特徴とする。従って、第１，第２の平衡信号端子間の平衡度を高めることができるので、弾性波フィルタに接続される平衡入出力を有する他の電子回路に平衡度に優れた入出力信号を与えることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本願の第１〜第６の発明によれば、弾性波伝搬方向に沿って第１〜第５のＩＤＴが配置されており、中央の第３のＩＤＴが第１，第２の分割くし歯状電極を有する、平衡−不平衡変換機能を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタにおいて、最外側に位置する第１のＩＤＴの電極指ピッチまたはデューティ比が第５のＩＤＴの電極指ピッチまたはデューティ比と異ならされているため、第１，第２の平衡信号端子間の信号の平衡度を効果的に改善することが可能となる。
【００２２】
特許文献１に記載の３ＩＤＴ型の弾性表面波フィルタでは、単に仮想中心軸を介して一方側と他方側の構成を異ならせるだけで、平衡度の改善が図られていた。５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタでは、中心軸の一方側と他方側の構成数が多いため、単に両側を異ならせるだけでは、必ずしも平衡度を改善することはできなかったが、本発明に従って、最外側に位置する第１のＩＤＴの電極指ピッチやデューティ比を第５のＩＤＴと異ならせることにより、平衡度を効果的に改善することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタがパッケージに収納された構造におけるパッケージの底面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタがパッケージに収納されている構造を示す模式的正面断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の弾性表面波フィルタ及び第１の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の弾性表面波フィルタ及び第１の比較例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図６】第２の比較例の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態、並びに第１及び第２の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図８】本発明の第１の実施形態、並びに第１及び第２の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図９】本発明の第１の実施形態、並びに第１及び第３の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態、並びに第１及び第３の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態、並びに第１及び第４の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態、並びに第１及び第４の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態、並びに第５及び第６の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態、並びに第５及び第６の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図１６】本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【図１７】本発明の第３の実施形態、並びに第７及び第８の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図１８】本発明の第３の実施形態、並びに第７及び第８の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図１９】本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【図２０】本発明の第４の実施形態、並びに第９及び第１０の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図２１】本発明の第４の実施形態、並びに第９及び第１０の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図２２】本発明の第５の実施形態、並びに第１１及び第１２の比較例の各弾性表面波フィルタの振幅平衡度を示す図である。
【図２３】本発明の第５の実施形態、並びに第１１及び第１２の比較例の各弾性表面波フィルタの位相平衡度を示す図である。
【図２４】弾性境界波装置の一例を示す模式的正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２５】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタの模式的平面図である。
【００２６】
なお、本実施形態及び以下の各実施形態では、ＰＣＳ（Personal Communication Services）受信用フィルタとして用いられる弾性波フィルタを説明する。なお、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域は１９３０〜１９９０ＭＨｚである。
【００２７】
本実施形態の弾性表面波フィルタ２００では、圧電基板Ｐ上に図示の電極構造が形成されている。圧電基板Ｐとしては、４０°±５°ＹカットＸ伝搬のＬｉＴａＯ３基板が用いられている。この電極構造は、特に限定されるわけではないが、本実施形態では、アルミニウムを主体とする金属材料により形成されている。
【００２８】
圧電基板Ｐ上に上記電極構造を形成することにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子２１４とが形成されている。
【００２９】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａは、弾性表面波伝搬方向に沿って設けられた第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５を有する。ＩＤＴ２０１〜２０５が配置されている領域の両側に、反射器２０６，２０７が配置されている。反射器２０６，２０７は、複数本の電極指を両端で短絡してなるグレーティング型反射器である。
【００３０】
第１のＩＤＴ２０１を例にとり、ＩＤＴの構造を説明する。ＩＤＴ２０１は、一対のくし歯状電極２０１ａ，２０１ｂを有する。くし歯状電極２０１ａは、バスバーと、バスバーに一端が連ねられた複数本の電極指とを有する。同様に、くし歯状電極２０１ｂもまた、バスバーと、複数本の電極指とを有する。そして、くし歯状電極２０１ａの複数本の電極指と、くし歯状電極２０１ｂの複数本の電極指とが互いに間挿し合うように、くし歯状電極２０１ａ，２０１ｂが対向されている。複数本の電極指は、弾性表面波伝搬方向と直交する方向に延ばされている。
【００３１】
ＩＤＴ２０２〜２０５も同様に、複数のくし歯状電極を有する。もっとも、中央に位置している第３のＩＤＴ２０３は、くし歯状電極２０３ａと、くし歯状電極２０３ａに対向されている他方側のくし歯状電極を弾性表面波伝搬方向に２分割することにより形成された第１，第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃとを有する。
【００３２】
不平衡信号端子２１１に、弾性表面波共振子２１４を介して、第２，第４のＩＤＴ２０２，２０４の一端が接続されている。ＩＤＴ２０２，２０４の他端はグラウンド電位に接続されている。第１，第５のＩＤＴ２０１，２０５の一端がグラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ２０１の他端と、第１の分割くし歯状電極２０３ｂとが共通接続され、第１の平衡信号端子２１２に電気的に接続されている。同様に、第２の分割くし歯状電極２０３ｃと第５のＩＤＴ２０５の他端とが共通接続され、第２の平衡信号端子２１３に接続されている。
【００３３】
また、中央の第３のＩＤＴ２０３のくし歯状電極２０３ａがグラウンド電位に接続されている。
【００３４】
不平衡信号端子２１１から入力された信号が第１，第２の平衡信号端子２１２，２１３で取り出される際の第１，第２の平衡信号端子２１２，２１３の信号間の位相が１８０°異なるように、また第１，第２の平衡信号端子２１２，２１３から位相が１８０°異なる入力信号が入力された際に、不平衡信号端子２１１から信号が取り出されるように、第４のＩＤＴ２０４は、第２のＩＤＴ２０２に対して反転されている。従って、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２００Ａは、平衡−不平衡変換機能を有する。
【００３５】
図１では、圧電基板Ｐ上に図示の電極構造を形成することにより構成された弾性表面波フィルタ２００が示されている。この弾性表面波フィルタ２００は、より具体的には、図３に模式的正面断面図で示すように、ＣＳＰ型のパッケージ２２１に収納されている。パッケージ２２１は、ベース基板２２２とベース基板２２２上にフリップチップボンディング工法で実装された弾性表面波フィルタ２００を覆うように形成された樹脂層２２３とを有する。実際には、マザーのベース基板上に複数の弾性表面波フィルタ２００をフリップチップボンディング工法により実装し、しかる後一度に樹脂により封止し、次に切断することにより、弾性表面波フィルタ２００が内蔵された複数のパッケージ２２１を得る。
【００３６】
図２に示すように、ベース基板２２２の下面には、外部と電気的に接続するための端子電極３０１〜３０５が形成されている。端子電極３０１〜３０５は、それぞれ、Ｗなどの適宜の電極材料からなる。
【００３７】
ここで、パッケージ２２１の下面に設けられている端子電極３０１が、弾性表面波フィルタ２００の不平衡信号端子２１１に電気的に接続されている。また、端子電極３０２，３０３が、それぞれ、弾性表面波フィルタ２００の第１，第２の平衡信号端子２１２，２１３に電気的に接続されている。端子電極３０４，３０５は、グラウンド電位に接続される端子電極である。
【００３８】
パッケージ２２１の下面は矩形の形状を有し、上記端子電極３０１は、一方の短辺に沿うように、かつ該短辺の中央に配置されている。そして、この短辺の中心を通り、長辺に平行な中心軸に対し、端子電極３０２，３０４と、端子電極３０３，３０５とが対称に配置されている。このように、複数の端子電極３０２，３０４と、複数の端子電極３０３，３０５とが中心軸を介して対称に配置されていることが好ましく、それによって、第１，第２の平衡信号端子間の信号の平衡度をより一層高めることができる。平衡度をより一層高めるためには、この中心軸は、後述の仮想中心軸Ａと重なる位置にあることが好ましい。
【００３９】
図１に戻り、図１に示すように、ＩＤＴ２０１〜２０５においては２つのＩＤＴ同士が隣り合う部分では、ＩＤＴ端部に位置する電極指を含む複数本の電極指の電極指ピッチが、当該ＩＤＴの他の部分の電極指ピッチよりも狭くされている。この相対的に電極指ピッチが狭くされている部分は、いわゆる狭ピッチ電極指部と称されているものである。図１において、狭ピッチ電極指部を模式的にＮで示す。Ｎで示されている部分（狭ピッチ電極指部）以外の部分は、狭ピッチ電極指部とは異なるピッチの電極指部すなわちメインピッチ電極指部と称することとする。
【００４０】
周知のように、狭ピッチ電極指部を設けることにより、ＩＤＴ同士が隣接している部分における弾性表面波の伝搬特性の連続性を高めることができる。
【００４１】
本実施形態の特徴は、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされていることにある。より具体的には、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチは、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第５のＩＤＴ２０５の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくされている。それによって、後述の実施例で示すように、平衡度が改善される。
【００４２】
なお、各ＩＤＴ２０１〜２０５の電極指ピッチを含む仕様は下記の表１に示す通りである。
【００４３】
【表１】
2010251964.tif 000003
【００４４】
第１のＩＤＴ２０１と第２のＩＤＴ２０２とが隣り合っている部分において、第１のＩＤＴ２０１の最外側電極指及び第２のＩＤＴ２０２の最外側電極指は、いずれもアース側電極指である。すなわち、両電極指は同一極性を有している。
【００４５】
これに対して、第４のＩＤＴ２０４と第５のＩＤＴ２０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ２０４の最外側電極指はホット側電極指であり、第５のＩＤＴ２０５の最外側電極指はアース側電極指であり、両電極指の極性は異なっている。
【００４６】
第２のＩＤＴ２０２と第３のＩＤＴ２０３とが隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ２０２の最外側電極指及び第３のＩＤＴ２０３の最外側電極指はいずれもアース側電極指であり、両電極指は同一極性を有している。
【００４７】
これに対して、第３のＩＤＴ２０３と第４のＩＤＴ２０４とが隣り合っている部分においては、第３のＩＤＴ２０３の最外側電極指はアース側電極指であり、第４のＩＤＴ２０４の最外側電極指はホット側電極指であり、両電極指の極性は異なっている。
【００４８】
従って、第１のＩＤＴ２０１と第２のＩＤＴ２０２とが隣り合っている部分においては、第２のＩＤＴ２０２を流れる信号の位相と、第１のＩＤＴ２０１を流れる信号の位相は同相となっており、第４のＩＤＴ２０４と第５のＩＤＴ２０５とが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ２０４を流れる信号の位相と第５のＩＤＴ２０５を流れる信号の位相は逆相となっている。
【００４９】
すなわち、本実施形態では、第１または第２の平衡信号端子２１２，２１３に接続されている最外側のＩＤＴである、第１のＩＤＴ２０１または第５のＩＤＴ２０５と、不平衡信号端子２１１に接続されている第２のＩＤＴ２０２または第４のＩＤＴ２０４とが隣り合っている部分において、両側のＩＤＴを流れる信号の位相が同相である第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、両側のＩＤＴを流れる信号の位相が逆相である第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。
【００５０】
なお、本実施形態では、第１のＩＤＴ２０１と第５のＩＤＴ２０５とのメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせたことを除いては、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に延びる上記仮想中心軸Ａに対し、圧電基板Ｐ上の構造は対称とされている。それによって、平衡度が高められる。これは、中央の第３のＩＤＴに対して隣り合っている電極指の極性が、第２のＩＤＴ２０２の電極指と第４のＩＤＴ２０４の電極指とで異なっていることを除いては、不平衡成分がほぼ発生しないことによる。
【００５１】
図４及び図５は、本実施形態の弾性表面波フィルタ２００の振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。比較のために、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを等しくしたことを除いては、本実施形態と同様とした第１の比較例の振幅平衡度及び位相平衡度を図４及び図５に破線で示す。
【００５２】
平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタでは、通過帯域内における振幅平衡−不平衡変換機能度が０ｄＢ、位相平衡−不平衡変換機能度が１８０°であることが理想である。一般には、通過帯域内において、振幅平衡度が−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲内であること、位相平衡度が１６８°〜１９２°の範囲内であることが求められている。
【００５３】
また、振幅平衡度及び位相平衡度を評価する場合には、通過帯域内における振幅平衡度及び位相平衡度の最も悪い値の大きさが重要である。すなわち、通過帯域内における振幅平衡度の最も悪い値の絶対値が小さいこと、また位相平衡度では、最も悪い値が１８０°に近いことが求められる。
【００５４】
図４から明らかなように、本実施形態及び第１の比較例のいずれにおいても、ＰＣＳ受信用フィルタの通過帯域上限である１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が最も悪い値となっている。第１の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は約−１．０ｄＢである。これに対して、本実施形態では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度は−０．８ｄＢである。従って、本実施形態によれば、振幅平衡度が約０．２ｄＢ改善されている。これは、第１の平衡信号端子２１２と、第２の平衡信号端子２１３との間の位相のずれが、第１のＩＤＴ２０１と第５のＩＤＴ２０５との電極指ピッチを異ならせることにより補正されていることによる。
【００５５】
他方、位相平衡度については、本実施形態では、第１の比較例よりも若干悪化している。しかしながら、本実施形態においても、位相平衡度の最も悪い値は、１６８°〜１９２°の範囲内におさまっている。従って、本実施形態によれば、位相平衡度をさほど悪化させることなく、振幅平衡度を飛躍的に改善し得ることがわかる。
【００５６】
図６は、第１の実施形態に対して比較のために用意した第２の比較例の電極構造を示す平面図である。第２の比較例の弾性表面波フィルタでは、第１の実施形態とは逆に、第５のＩＤＴ２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを、第１のＩＤＴ２０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ２０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくし、その他の点については、第１の実施形態と同様とされている。
【００５７】
図７及び図８は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ、上述した第１の比較例の弾性表面波フィルタ及び第２の比較例の弾性表面波フィルタの各振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。実線が第１の実施形態の結果を、破線が第１の比較例の結果を、一点鎖線が第２の比較例の結果を示す。
【００５８】
図７及び図８から明らかなように、第２の比較例では、１９９０ＭＨｚ付近の振幅平衡度が−１．４ｄＢであり、第１の比較例よりも悪化しており、求められる範囲である−１．２ｄＢ〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。
【００５９】
次に、第３の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。第３の比較例の弾性表面波フィルタでは、下記の表２に示すように、第２のＩＤＴ２０２のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第４のＩＤＴ２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチとを異ならせた。第２，第４のＩＤＴ２０２，２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチがλ３と等しい第１の比較例に対し、第２のＩＤＴ２０２のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ３×１．００１とし、第４のＩＤＴ２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチをλ３×０．９９９とした。その他の電極指ピッチについては、第１の比較例と同様とした。比較のために、表２においては、第１の実施形態における第１〜第５のＩＤＴの電極指ピッチも併せて示す。
【００６０】
【表２】
2010251964.tif 000004
【００６１】
図９及び図１０は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ及び第３の比較例の弾性表面波フィルタの各振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。ここでも実線が第１の実施形態の結果を示し、破線が第１の比較例の結果を示し、一点鎖線は第３の比較例の結果を示す。
【００６２】
なお、第３の比較例では、第３のＩＤＴ２０３の最外側電極指は、中正点、すなわちアース電位とされており、第２のＩＤＴ２０２の第３のＩＤＴ２０３側の最外側電極指はアース側電極指、第４のＩＤＴ２０４の第３のＩＤＴ２０３側の最外側電極指はホット側電極指であるため、上記のように第２のＩＤＴ２０２のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを、第４のＩＤＴ２０４のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも大きく設定した。
【００６３】
図９から明らかなように、第３の比較例では、１９９０ＭＨｚ付近の振幅平衡度が−１．７ｄＢと第１の比較例より悪化し、求められる範囲である−１．２〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。これは、第２のＩＤＴ２０２と第４のＩＤＴ２０４とが電気的に接続されているので、一方のＩＤＴにおけるパラメータの変化が他方のＩＤＴに悪影響を及ぼしていることによると考えられる。
【００６４】
次に、下記の表３に示すように、第１〜第５のＩＤＴの電極指ピッチが設定された第４の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。なお、表３のλ２〜λ４は、表２中のλ２〜λ４と同じ値である。
【００６５】
【表３】
2010251964.tif 000005
【００６６】
表３から明らかなように、第４の比較例の弾性表面波フィルタでは、第１，第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃのメインピッチ電極指部の電極指ピッチをそれぞれ、λ４×１．００１並びにλ４×０．９９９とした。その他の点については、第４の比較例の弾性表面波フィルタは、上記第１の比較例の弾性表面波フィルタと同様とした。比較のために、表３において、第１の実施形態の弾性表面波フィルタの第１〜第５のＩＤＴ２０１〜２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチも併せて示す。
【００６７】
図１１及び図１２は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ、第１の比較例の弾性表面波フィルタ及び第４の比較例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図１１及び図１２において、実線が第１の実施形態の結果を、破線が第１の比較例の結果を示し、一点鎖線が第４の比較例の結果を示す。
【００６８】
図１１及び図１２から明らかなように、第４の比較例では、１９９０ＭＨｚ付近の振幅平衡度が−１．４ｄＢと第１の比較例より平衡度が悪化しており、求められる範囲である−１．２〜＋１．２ｄＢの範囲を満たしていない。これは、第１，第２の分割くし歯状電極２０３ｂ，２０３ｃの電極指同士が隣り合っており、音響的結合が強くなっているため、一方の分割くし歯状電極におけるパラメータの変化が、他方の分割くし歯状電極に悪影響を及ぼしているためと考えられる。
【００６９】
上記第１の実施形態及び第１〜第４の比較例の結果から明らかなように、平衡信号端子２１２，２１３に接続される最外側のＩＤＴである第１のＩＤＴ２０１及び第５のＩＤＴ２０５と、不平衡信号端子２１１に接続されるＩＤＴである第２のＩＤＴ２０２及び第４のＩＤＴ２０４とが隣接する部分において、流れる信号の位相が同相である第１のＩＤＴ２０１の電極指ピッチが、流れる信号の位相が逆相である第５のＩＤＴ２０５の電極指ピッチよりも小さくなるように設定することが必要であり、それによって、平衡度を飛躍的に改善し得ることがわかる。
【００７０】
なお、第１の実施形態では、第１，第５のＩＤＴ２０１，２０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを全て異ならせたが、ＩＤＴのメインピッチ電極指部において、一部の電極指部の電極指ピッチのみを異ならせてもよい。また、第１のＩＤＴ２０２の狭ピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ２０５の狭ピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせてもよい。その場合においても、上記第１の実施形態と同様に、平衡度を改善することができる。
【００７１】
また、第１の実施形態では、ＩＤＴ２０１〜２０５において狭ピッチ電極指部が設けられていたが、狭ピッチ電極指部を設けず、一定の電極指ピッチとしてもよい。このような場合でも、一定の電極指ピッチを有する第１，第５のＩＤＴ２０１，２０５の電極指ピッチを異ならせることで、平衡度を改善することができる。
【００７２】
なお、上述してきた実施形態では、４０°±５°ＹカットＸ伝搬のＬｉＴａＯ３基板を用いたが、本発明の効果が得られる原理からも明らかなように、本発明は、これに限らず、他の圧電単結晶基板が用いられてもよい。例えば、６４°〜７２°ＹカットＸ伝搬のＬｉＮｂＯ３基板や４１°ＹカットＸ伝搬のＬｉＮｂＯ３基板などを用いても、同様の効果を得ることができる。
【００７３】
また、本実施形態において、第１，第２の平衡信号端子２１２，２１３にそれぞれ接続されている第１，第２の分割くし歯状電極ＩＤＴ２０３ｂ、２０３ｃと対向するくし歯状電極２０３ａの電極指は、浮き電極指であってもよく、その場合においても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７４】
〔第２の実施形態〕
図１３は、本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【００７５】
第２の実施形態の弾性表面波フィルタ４００は、第１の実施形態と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子４１４とを有する。第２の弾性表面波フィルタ４００は、基本的な構造において、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様であるため、同一部分については、２００番台の参照番号に代えて、４００番台の参照番号を付することにより、その詳細な説明は省略する。なお、第２の実施形態の弾性表面波フィルタ４００では、第２，第４のＩＤＴ４０２，４０４が、それぞれ、第１の実施形態の第２，第４のＩＤＴ２０２，２０４に対して反転されている。
【００７６】
第２の実施形態においても、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４００Ａは、弾性表面波伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴ４０１〜４０５を有する。第２，第４のＩＤＴ４０２，４０４が弾性表面波共振子４１４を介して不平衡信号端子４１１に接続されている。他方、第１のＩＤＴ４０１及び第３のＩＤＴ４０３の第１の分割くし歯状電極４０３ｂが共通接続され、第１の平衡信号端子４１２に接続されている。同様に、第２の分割くし歯状電極４０３ｃ及び第５のＩＤＴ４０５が共通接続され、第２の平衡信号端子４１３に接続されている。
【００７７】
ここでは、平衡−不平衡変換機能を実現するために、第１の実施形態の場合と同様に、ＩＤＴ４０２に対し、第４のＩＤＴ４０４が反転されている。
【００７８】
より具体的には、第２のＩＤＴ４０２の最外側電極指は、不平衡信号端子４１１に接続されるホット側電極指である。他方、第１のＩＤＴ４０１の第２のＩＤＴ４０２側の最外側電極指は、アース側電極指である。従って、第１のＩＤＴ４０１と第２のＩＤＴ４０２とが隣り合っている部分では、異なる極性の電極指同士が隣り合っている。また、第３のＩＤＴ４０３の最外側電極指はアース側電極指である。従って、第２，第３のＩＤＴ４０２，４０３が隣り合っている部分においても、異なる極性の電極指同士が隣り合っている。
【００７９】
これに対して、第４のＩＤＴ４０４の最外側電極指はアース側電極指である。従って、第３，第４のＩＤＴ４０３，４０４が隣り合っている部分においては、同じ極性の電極指同士が隣り合っている。ＩＤＴ４０４，４０５が隣り合っている部分においても、同じ極性の電極指同士が隣り合っている。
【００８０】
従って、第１のＩＤＴ４０１と第２のＩＤＴ４０２とが隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ４０２を流れる信号の位相は第１のＩＤＴ４０１を流れる信号の位相と逆相となっており、第４のＩＤＴと第５のＩＤＴとが隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ４０４を流れる信号の位相は第５のＩＤＴ４０５を流れる信号の位相と同相となっている。
【００８１】
本実施形態では、第１の実施形態と同様に、第１，第２の平衡信号端子４１２，４１３にそれぞれ電気的に接続されている最外側のＩＤＴである第１のＩＤＴ４０１及び第５のＩＤＴ４０５と、不平衡信号端子４１１に電気的に接続されている第２，第４のＩＤＴ４０２，４０４とが隣り合っている部分において、同じ極性の電極指同士が隣り合う関係を有する第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ４０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくされている。
【００８２】
図１４及び図１５は、第２の実施形態の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図１４及び図１５では、実線で第２の実施形態を示す。比較のために、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを等しくしたことを除いては、本実施形態と同様とした第５の比較例の弾性表面波フィルタと、第１のＩＤＴ４０１及び第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチの関係が本実施形態と反対とされている第６の比較例の弾性表面波フィルタとを用意した。すなわち、第６の比較例の弾性表面波フィルタでは、第１のＩＤＴ４０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを、第５のＩＤＴ４０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ４０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくしたことを除いては、第２の実施形態と同様とした。破線で第５の比較例の結果を、一点鎖線で第６の比較例の結果を示す。
【００８３】
図１４及び図１５から明らかなように、第２の実施形態及び第５の比較例のいずれにおいても、１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が最も悪い値となっている。第５の比較例では１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が−１．１ｄＢであるのに対し、第２の実施形態では−０．８ｄＢである。従って、本実施形態によれば、第５の比較例に比べて、振幅平衡度が０．３ｄＢ改善されている。
【００８４】
他方、位相平衡度については、第２の実施形態は第５の比較例よりも若干悪化するものの、１６８°〜１９２°の範囲を満たしている。
【００８５】
また、第６の比較例においても、１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が最も悪い値である約−１．４ｄＢであり、第５の比較例よりも振幅平衡度が悪化していることがわかる。従って、図１４及び図１５から明らかなように、第２の実施形態においても、第５，第６の比較例に比べ、平衡度を改善し得ることがわかる。
【００８６】
〔第３の実施形態〕
図１６は、本発明の第３の実施形態の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。第３の実施形態もまた、第１の実施形態とほぼ同様に構成されているので、相当する部分については、２００番台の参照番号に代え、５００番台の参照番号を付することにより、その詳細な説明を省略する。なお、第３の実施形態の弾性表面波フィルタ５００は、第１，第５のＩＤＴ５０１，５０５が、それぞれ第１の実施形態の第１，第５のＩＤＴ２０１，２０５に対して反転されていると共に、第３のＩＤＴ５０３の最外側電極指がホット側電極指とされている。
【００８７】
本実施形態においても、弾性表面波フィルタ５００は、不平衡信号端子５１１に弾性表面波共振子５１４を介して縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５００Ａが接続されている。
【００８８】
第２，第４のＩＤＴ５０２，５０４が、弾性表面波共振子５１４を介して不平衡信号端子５１１に接続されている。
【００８９】
第２のＩＤＴ５０２に対し、第４のＩＤＴ５０４が反転され、それによって、平衡−不平衡変換機能が実現されている。
【００９０】
本実施形態では、第２のＩＤＴ５０２の最外側電極指はアース側電極指とされている。第４のＩＤＴ５０４の最外側電極指は、いずれも、不平衡信号端子５１１に接続されるホット側電極指とされている。
【００９１】
第３のＩＤＴ５０３においては、第２のＩＤＴ５０２側の最外側電極指が、平衡信号端子５１２に接続されている、ホット側電極指とされている。また、第３のＩＤＴ５０３の第４のＩＤＴ５０４側の最外側電極指は、第２の平衡信号端子５１３に接続されている、ホット側電極指とされている。
【００９２】
第１のＩＤＴ５０１の第２のＩＤＴ５０２側の最外側電極指は、第１の平衡信号端子５１２に接続されている、ホット側電極指である。
【００９３】
第５のＩＤＴ５０５の第４のＩＤＴ５０４側の最外側電極指は、第２の平衡信号端子５１３に接続されており、ホット側電極指である。
【００９４】
従って、本実施形態では、第１，第２のＩＤＴ５０１，５０２が隣り合っている部分においては、ホット側電極指と、アース側電極指とが隣り合っており、隣り合っている最外側電極指は逆極性となっている。第２，第３のＩＤＴ５０２，５０３が、隣り合っている部分においても、アース側電極指と、ホット側電極指とが隣り合っており、隣り合っている最外側電極指は逆極性となっている。
【００９５】
これに対して、第３，第４のＩＤＴ５０３，５０４が隣り合っている部分においては、隣り合っている最外側電極指はいずれもホット側電極指であり、同極性である。また、第４，第５のＩＤＴ５０４，５０５が隣り合っている部分では、隣り合っている最外側電極指はいずれもホット側の電極指であり、同極性である。
【００９６】
言い換えれば、第１，第２のＩＤＴ５０１，５０２が隣り合っている部分において、第２のＩＤＴ５０２から第１のＩＤＴ５０１に流れる信号位相は逆相となっており、第４，第５のＩＤＴ５０４，５０５が隣り合っている部分においては、第４のＩＤＴ５０４から第５のＩＤＴ５０５に流れる信号の位相は同相となっている。
【００９７】
本実施形態では、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ５０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくされている。すなわち、第１の実施形態と同様に、平衡信号端子に接続される最外側のＩＤＴである、第１，第５のＩＤＴ５０１，５０５と、不平衡信号端子に接続されるＩＤＴである第２，第４のＩＤＴ５０２，５０４とがそれぞれ隣り合っている部分において、流れる信号の位相が同相である第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、流れる信号の位相が逆相である第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ５０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくされている。
【００９８】
本実施形態においても、第１〜第５のＩＤＴ５０１〜５０５が上記のように構成されているため、平衡度を改善することができる。これを、図１７及び図１８を参照して説明する。
【００９９】
図１７及び図１８は、第３の実施形態の弾性表面波フィルタ５００の振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。比較のために、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを等しくしたことを除いては、本実施形態と同様とした第７の比較例の弾性表面波フィルタと、第１のＩＤＴ５０１及び第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチの関係が本実施形態と反対とされている第８の比較例の弾性表面波フィルタとを用意した。すなわち、第８の比較例の弾性表面波フィルタでは、第１のＩＤＴ５０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ５０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ５０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくされていることを除いては、第３の実施形態と同様とした。実線が第３の実施形態の結果を示し、破線が第７の比較例の結果を、一点鎖線が第８の比較例の結果を示す。
【０１００】
図１７及び図１８から明らかなように、第３の実施形態及び第７の比較例及び第８の比較例のいずれにおいても、１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が最も悪い値となっている。第７の比較例では、１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が約−１．２ｄＢであり、これに対して、第３の実施形態では、１９９０ＭＨｚの振幅平衡度は約−１．１ｄＢである。従って、第７の比較例に比べ、本実施形態によれば、振幅平衡度を約０．１ｄＢ改善し得ることがわかる。
【０１０１】
なお、第８の比較例では１９９０ＭＨｚ付近の振幅平衡度は、約−１．４ｄＢとなり、平衡度が悪化していることがわかる。
【０１０２】
なお、位相平衡度については、第３の実施形態については、第７の比較例よりも若干悪化するものの、１６８°〜１９２°の範囲を満たしている。
【０１０３】
従って、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、従来の弾性表面波フィルタに比べて、平衡度を改善し得ることがわかる。
【０１０４】
〔第４の実施形態〕
図１９は、本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【０１０５】
第４の実施形態の弾性表面波フィルタ６００は、第１の実施形態と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６００Ａと、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６００Ａに直列に接続された弾性表面波共振子６１４とを有する。弾性表面波フィルタ６００は、基本的な構造において、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ２００と同様であるため、同一部分については、２００番台の参照番号に代えて、６００番台の参照番号を付することにより、その詳細な説明は省略する。
【０１０６】
第４の実施形態においても、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部６００Ａは、弾性表面波伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴ６０１〜６０５を有する。第２，第４のＩＤＴ６０２，６０４が、弾性表面波共振子６１４を介して不平衡信号端子６１１に接続されている。他方、第１のＩＤＴ６０１及び第３のＩＤＴ６０３の第１の分割くし歯状電極６０３ｂが共通接続され、第１の平衡信号端子６１２に接続されている。同様に、第２の分割くし歯状電極６０３ｃ及び第５のＩＤＴ６０５が共通接続され、第２の平衡信号端子６１３に接続されている。
【０１０７】
ここでは、平衡−不平衡変換機能を実現するために、第１の実施形態の場合と同様に、ＩＤＴ６０２に対し、第４のＩＤＴ６０４が反転されている。
【０１０８】
第４の実施形態は、第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極２０１、第２のＩＤＴ２０２、第４のＩＤＴ２０４及び第５のＩＤＴ２０５を反転させて、第１のＩＤＴ６０１、第２のＩＤＴ６０２、第４のＩＤＴ６０４及び第５のＩＤＴ６０５を形成したこと、並びに第３のＩＤＴ６０３では、最外側電極指がホット側電極指とされていることを除いては、第１の実施形態の弾性表面波フィルタと同様とされている。第２のＩＤＴ６０２の最外側電極指は、不平衡信号端子６１１に接続されるホット側電極指である。他方、第１のＩＤＴ６０１の第２のＩＤＴ６０２側の最外側電極指は、ホット側電極指である。従って、第１，第２のＩＤＴ６０１，６０２が隣り合っている部分では、同じ極性の電極指同士が隣り合っている。また、第４のＩＤＴ６０４の最外側電極指はアース側電極指である。他方、第５のＩＤＴ６０５の第４のＩＤＴ６０４側の最外側電極指はホット側電極指である。従って、第４，第５のＩＤＴ６０４，６０５が隣り合っている部分において、隣り合っている最外側電極指が異なる極性となっている。
【０１０９】
従って、第１のＩＤＴ６０１と、第２のＩＤＴ６０２が隣接し合っている部分において、第２のＩＤＴ６０２を流れる信号の位相は第１のＩＤＴ６０１を流れる信号の位相と同相となっている。第４のＩＤＴ６０４と第５のＩＤＴ６０５とが隣り合っている部分では、第４のＩＤＴ６０４を流れる信号の位相は第５のＩＤＴ６０５を流れる信号の位相と逆相となっている。
【０１１０】
本実施形態では、第１の実施形態と同様に、平衡信号端子６１２及び６１３にそれぞれ電気的に接続されている最外側のＩＤＴである第１，第５のＩＤＴ６０１，６０５と、不平衡信号端子６１１に電気的に接続されている第２，第４のＩＤＴ６０２，６０４とが隣り合っている部分において、同じ極性の電極指が隣り合う関係を有する第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチが、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第５のＩＤＴ６０５の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくされている。
【０１１１】
図２０及び図２１は、第４の実施形態の弾性表面波フィルタ６００の振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。図２０及び図２１では、実線で第４の実施形態の結果を示す。比較のために、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチと、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを等しくしたことを除いては、本実施形態と同様とした第９の比較例の弾性表面波フィルタと、第１０の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。第１０の比較例の弾性表面波フィルタでは、第４の実施形態と逆に、第５のＩＤＴ６０５のメインピッチ電極指部の電極指ピッチを、第１のＩＤＴ６０１のメインピッチ電極指部の電極指ピッチよりも第１のＩＤＴ６０１の電極指ピッチに対して約０．２％分小さくしたことを除いては、第４の実施形態と同様とした。破線で第９の比較例の結果を、一点鎖線で第１０の比較例の結果を示す。
【０１１２】
図２０及び図２１から明らかなように、第４の実施形態及び第９の比較例のいずれにおいても、１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が最も悪い値となっている。第９の比較例では、１９９０ＭＨｚにおける振幅平衡度が約−１．２ｄＢであるのに対し、第４の実施形態では約−１．１ｄＢであり、従って、本実施形態によれば、第９の比較例に比べて、振幅平衡度が約０．１ｄＢ改善されている。
【０１１３】
他方、位相平衡度については、第４の実施形態は第９の比較例よりも若干悪化するものの、１６８°〜１９２°の範囲を満たしている。
【０１１４】
また、第１０の比較例においても、１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が最も悪い値である約−１．４ｄＢであり、第９の比較例よりも振幅平衡度が悪化していることがわかる。従って、図２０及び図２１から明らかなように、第４の実施形態においても、第９，第１０の比較例に比べ、平衡度を改善し得ることがわかる。
【０１１５】
〔第５の実施形態〕
第５の実施形態は、第１のＩＤＴと第５のＩＤＴとにおいて、第１の実施形態のようにメインピッチ電極指部の電極指ピッチを異ならせるのではなく、下記の表４に示すように両者のメインピッチ電極指部のデューティ比を異ならせた点においてのみ相違する。従って、第５の実施形態の弾性表面波フィルタの電極構造は、第１の実施形態と同様であるため、以下の第５の実施形態の説明においては、図１に示した第１の実施形態を援用することとする。
【０１１６】
【表４】
2010251964.tif 000006
【０１１７】
上記の通り、本実施形態では、第１のＩＤＴ２０１のデューティ比が、第５のＩＤＴ２０５のデューティ比よりも第５のＩＤＴ２０５のデューティ比に対して約６％分小さくされている。
【０１１８】
図２２及び図２３は、このようにして構成された第５の実施形態の弾性表面波フィルタの振幅平衡度及び位相平衡度を示す図である。
【０１１９】
比較のために、第１のＩＤＴ２０１と第５のＩＤＴ２０５のデューティ比を等しくしたことを除いては、上記第５の実施形態と同様とした第１１の比較例と、第１２の比較例の弾性表面波フィルタを用意した。なお、第１２の比較例の弾性表面波フィルタは、デューティ比が第５の実施形態の場合とは反対とされている構成、すなわち第５のＩＤＴ２０５のデューティ比が第１のＩＤＴ２０１のデューティ比よりも小さくなるように形成されていることを除いては、上記第５の実施形態と同様とされている。
【０１２０】
図２２及び図２３において、実線が第５の実施形態の結果を、破線が第１１の比較例の結果を、一点鎖線が第１２の比較例の結果を示す。
【０１２１】
図２２及び図２３から明らかなように、第５の実施形態及び第１１の比較例及び第１２の比較例のいずれにおいても、１９９０ＭＨｚ付近において振幅平衡度が最も悪い値となっている。第１１の比較例では、１９９０ＭＨｚ付近における振幅平衡度が約−１．１ｄＢであり、これに対して、第５の実施形態では、１９９０ＭＨｚの振幅平衡度約−０．９ｄＢである。従って、第１１の比較例に比べ、本実施形態によれば、振幅平衡度約０．２ｄＢ改善し得ることがわかる。従って、第１の実施形態と同様に、本実施形態においても、振幅平衡度を改善し得ることがわかる。
【０１２２】
なお、位相平衡度については、第５の実施形態については、第１１の比較例よりも若干悪化するものの、１６８°〜１９２°の範囲を満たしている。
【０１２３】
また、第１２の比較例においても、１９９０ＭＨｚ付近の振幅平衡度は約−１．２ｄＢと悪化した。
【０１２４】
従って、第５の実施形態から明らかなように、電極指ピッチに代えて、デューティ比を異ならせることによっても、平衡度を改善し得ることがわかる。
【０１２５】
従って、本実施形態においても、従来の弾性表面波フィルタに比べて、平衡度を改善し得ることがわかる。
【０１２６】
〔その他〕
なお、上述してきた第１〜第３の実施形態では、弾性表面波フィルタにつき説明したが、本発明は、上記のように、第１〜第５のＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造により上述した平衡度改善効果を得るものであるため、弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタだけでなく、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタにも適用することができる。すなわち、図２４に略図的正面断面図で示す弾性境界波装置７０１では、圧電体からなる圧電基板７０２上に、誘電体７０３が積層されている。圧電基板７０２と誘電体７０３との界面に、ＩＤＴを含む電極構造７０４が設けられている。この電極構造７０４として、前述した各実施形態の電極構造を形成することにより、本発明に従って、弾性境界波フィルタを提供することができる。
【符号の説明】
【０１２７】
２００…弾性表面波フィルタ
２００Ａ…弾性表面波フィルタ部
２０１〜２０５…ＩＤＴ
２０１ａ〜２０１ｃ…くし歯状電極
２１１…不平衡信号端子
２１２…第１の平衡信号端子
２１３…第２の平衡信号端子
２１４…弾性表面波共振子
２２１…パッケージ
２２２…ベース基板
２２３…樹脂層
３０１〜３０５…端子電極
４００…弾性表面波フィルタ
４００Ａ…弾性表面波フィルタ部
４０１〜４０５…ＩＤＴ
４０３ａ〜４０３ｃ…くし歯状電極
４１１…不平衡信号端子
４１２…第１の平衡信号端子
４１３…第２の平衡信号端子
４１４…弾性表面波共振子
５００…弾性表面波フィルタ
５００Ａ…弾性表面波フィルタ部
５０１〜５０５…ＩＤＴ
５１１…不平衡信号端子
５１２…第１の平衡信号端子
５１３…第２の平衡信号端子
５１４…弾性表面波共振子
６００…弾性表面波フィルタ
６００Ａ…弾性表面波フィルタ部
６０１〜６０５…ＩＤＴ
６０３ａ〜６０３ｃ…くし歯状電極
６１１…不平衡信号端子
６１２…第１の平衡信号端子
６１３…第２の平衡信号端子
６１４…弾性表面波共振子
【図１】
2010251964.tif 000007
【図２】
2010251964.tif 000008
【図３】
2010251964.tif 000009
【図４】
2010251964.tif 000010
【図５】
2010251964.tif 000011
【図６】
2010251964.tif 000012
【図７】
2010251964.tif 000013
【図８】
2010251964.tif 000014
【図９】
2010251964.tif 000015
【図１０】
2010251964.tif 000016
【図１１】
2010251964.tif 000017
【図１２】
2010251964.tif 000018
【図１３】
2010251964.tif 000019
【図１４】
2010251964.tif 000020
【図１５】
2010251964.tif 000021
【図１６】
2010251964.tif 000022
【図１７】
2010251964.tif 000023
【図１８】
2010251964.tif 000024
【図１９】
2010251964.tif 000025
【図２０】
2010251964.tif 000026
【図２１】
2010251964.tif 000027
【図２２】
2010251964.tif 000028
【図２３】
2010251964.tif 000029
【図２４】
2010251964.tif 000030