(57)【要約】【課題】半導体試験装置の短期間の経時における変化が発生する場合に対応し、デバイスを正確に測定し、出荷品質を向上させる。【解決手段】基準デバイスｅと複数個の第１測定デバイスｆとを順番に測定して前記基準デバイスｅの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスｅと複数個の第２測定デバイスとｆを順番に測定して前記基準デバイスｅの第２テストログを生成する試験装置ｃと、前記基準デバイスｅの第１テストログと第２テストログとを比較する解析部ａ４と、前記基準デバイスｅ、前記複数個の第１測定デバイスｆ、および前記複数個の第２測定デバイスｆのそれぞれに測定環境を提供する測定環境装置ｂと、前記解析部ａ４による比較結果の差異に応じて、前記測定環境装置ｂによって提供される測定環境を調整する測定環境制御部ａ２とを備えた。【選択図】図１
2010071879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準デバイスと複数個の第１測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスと複数個の第２測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第２テストログを生成する測定手段と、
前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、
前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する測定環境手段と、
前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えたことを特徴とするソケット分離型半導体試験装置。
【請求項２】
前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスを、前記測定手段に設けられたテストソケットに順番に搬送して挿入する搬送手段をさらに備える請求項１に記載のソケット分離型半導体試験装置。
【請求項３】
前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスは、カメラモジュールによって構成され、
前記測定環境手段は、前記カメラモジュールに光を照射する光源を有している請求項１に記載のソケット分離型半導体試験装置。
【請求項４】
基準デバイス、複数個の第１測定デバイス、および複数個の第２測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供し、
前記基準デバイスと前記複数個の第１測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスと前記複数個の第２測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第２テストログを生成し、
前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較し、
比較結果の差異に応じて、前記測定環境を調整することを特徴とするソケット分離型半導体試験方法。
【請求項５】
回転可能に設けられた円柱状試験台の表面の周縁に沿って所定の間隔を空けて配置された４個のテストソケットと、
前記４個のテストソケットのうちの３個のテストソケットにそれぞれ対向可能に配置されて基準デバイス、複数個の測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する第１乃至第３測定環境手段と、
前記４個のテストソケットのうちの１個に挿入された基準デバイスと前記４個のテストソケットのうちの残りの３個に挿入された測定デバイスとを、前記第１乃至第３測定環境手段にそれぞれ対向する位置に前記試験台を順次回転させながら測定して、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第１テストログを生成し、前記試験台がさらに一回転した後、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第２テストログを生成する測定手段と、
前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記第１乃至第３測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えたことを特徴とする循環型半導体試験装置。
【請求項６】
前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスを、前記測定手段に設けられたテストソケットに順番に搬送して挿入する搬送手段をさらに備える請求項５に記載の循環型半導体試験装置。
【請求項７】
前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスは、カメラモジュールによって構成され、
前記測定環境手段は、前記カメラモジュールに光を照射する光源を有している請求項５に記載の循環型半導体試験装置。
【請求項８】
回転可能に設けられた円柱状試験台の表面の周縁に沿って所定の間隔を空けて４個のテストソケットを配置し、
前記４個のテストソケットのうちの３個のテストソケットにそれぞれ対向可能に第１乃至第３測定環境手段を配置して基準デバイス、複数個の測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供し、
前記第１乃至第３測定環境手段に前記テストソケットが対向する位置に前記試験台を順次回転させて、前記４個のテストソケットのうちの１個に挿入された基準デバイスと前記４個のテストソケットのうちの残りの３個に挿入された測定デバイスとを測定し、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第１テストログを生成し、前記試験台がさらに一回転した後、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第２テストログを生成し、
前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較し、
比較結果の差異に応じて、前記測定環境を調整することを特徴とする循環型半導体試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、数回の試験毎に基準デバイスを測定したテストログと、基準である基準デバイスのテストログとを比較することで、短期間の経時変化でも変動が検出可能な、かつ、正確にデバイスを測定できるソケット分離型半導体試験装置、ソケット分離型半導体試験方法、循環型半導体試験装置、および循環型半導体試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術である多数個同時測定試験装置の補正方法について、図６を用いて説明する。
【０００３】
従来の技術は、まず、第一段階では、各サイト間において高精度キャリブレーションを実施し、リファレンスデータを取得する（図６のｂ１００）。第二段階では、基準デバイスを使用してユーザの使用条件における各サイトにおける補正用データを取得する（図６のｂ１０１）。第三段階では、基準デバイスで取得したデータを解析することでユーザの使用条件における補正データを算出する（図６のｂ１０２）。第四段階では、第三段階で算出されたユーザの使用条件における補正データファイルを作成する（図６のｂ１０３）。最後に、第五段階では、第四段階で作成された補正データファイルを元に各サイト間のリファレンスデータの基準をずらし、再度各サイト間において高精度キャリブレーションを実施することで、サイト間ばらつきを補正する（図６のｂ１０４）。
【特許文献１】特開２００２−３２３５３９号公報（２００２年１１月０８日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記従来技術の補正方法では、測定対象のデバイスを多数個サイト（ソケット）に継続的に搬送する手段などがないため、長期（例えば、数ヶ月に１回）による基準デバイスの試験、およびサイト間の測定データのバラツキの補正しかできない構成になっている。短期間（例えば１日）に経時変化が発生する場合には対応できないため正確な測定ができないという問題が生ずる。
【０００５】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、短期間の経時変化でも変動が検出可能な、かつ、正確にデバイスを測定することができる半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るソケット分離型半導体試験装置は、上記の課題を解決するために、基準デバイスと複数個の第１測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスと複数個の第２測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第２テストログを生成する測定手段と、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する測定環境手段と、前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えたことを特徴としている。
【０００７】
上記の構成によれば、基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較することが可能となるため、短時間毎に基準デバイスを測定することが可能となる。それゆえ、短時間に経時変化が発生しても、半導体試験装置の変動が早期に検出できるため、正確にデバイスを測定することが可能となり、出荷品質が向上することができる。
【０００８】
また、本発明に係るソケット分離型半導体試験方法は、基準デバイス、複数個の第１測定デバイス、および複数個の第２測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供し、前記基準デバイスと前記複数個の第１測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスと前記複数個の第２測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第２テストログを生成し、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較し、比較結果の差異に応じて、前記測定環境を調整することを特徴としている。
【０００９】
また、本発明に係る循環型半導体試験装置は、上記の課題を解決するために、回転可能に設けられた円柱状試験台の表面の周縁に沿って所定の間隔を空けて配置された４個のテストソケットと、前記４個のテストソケットのうちの３個のテストソケットにそれぞれ対向可能に配置されて基準デバイス、複数個の測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する第１乃至第３測定環境手段と、前記４個のテストソケットのうちの１個に挿入された基準デバイスと前記４個のテストソケットのうちの残りの３個に挿入された測定デバイスとを、前記第１乃至第３測定環境手段にそれぞれ対向する位置に前記試験台を順次回転させながら測定して、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第１テストログを生成し、前記試験台がさらに一回転した後、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第２テストログを生成する測定手段と、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記第１乃至第３測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えたことを特徴としている。
【００１０】
上記の構成によれば、基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較することが可能となるため、短時間毎に基準デバイスを測定することが可能となる。それゆえ、短時間に経時変化が発生しても、半導体試験装置の変動が早期に検出できるため、正確にデバイスを測定することが可能となり、出荷品質が向上することができる。
【００１１】
また、本発明に係る循環型半導体試験方法は、回転可能に設けられた円柱状試験台の表面の周縁に沿って所定の間隔を空けて４個のテストソケットを配置し、前記４個のテストソケットのうちの３個のテストソケットにそれぞれ対向可能に第１乃至第３測定環境手段を配置して基準デバイス、複数個の測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供し、前記第１乃至第３測定環境手段に前記テストソケットが対向する位置に前記試験台を順次回転させて、前記４個のテストソケットのうちの１個に挿入された基準デバイスと前記４個のテストソケットのうちの残りの３個に挿入された測定デバイスとを測定し、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第１テストログを生成し、前記試験台がさらに一回転した後、前記基準デバイスの前記第１乃至第３測定環境手段に対応する第２テストログを生成し、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較し、比較結果の差異に応じて、前記測定環境を調整することを特徴としている。
【００１２】
また、本発明に係るソケット分離型半導体測定装置は、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスを、前記測定手段に設けられたテストソケットに順番に搬送して挿入する搬送手段をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
本発明に係るソケット分離型半導体測定装置は、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスがカメラモジュールによって構成され、前記測定環境手段が、前記カメラモジュールに光を照射する光源を有していることが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係る循環型半導体測定装置は、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスを、前記測定手段に設けられたテストソケットに順番に搬送して挿入する搬送手段をさらに備えることが好ましい。
【００１５】
本発明に係る循環型半導体測定装置は、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスがカメラモジュールによって構成され、前記測定環境手段が、前記カメラモジュールに光を照射する光源を有していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るソケット分離型半導体試験装置は、以上のように、基準デバイスと複数個の第１測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスと複数個の第２測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第２テストログを生成する測定手段と、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する測定環境手段と、前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えた構成である。
【００１７】
それゆえ、基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較することが可能となるため、短時間毎に基準デバイスを測定することが可能となる。これにより、短時間に経時変化が発生しても、半導体試験装置の変動が早期に検出できるため、正確にデバイスを測定することが可能となり、出荷品質が向上することができるという効果を奏する。
【００１８】
また、本発明に係る循環型半導体試験装置は、以上のように、回転可能に設けられた円柱状試験台の表面の周縁に沿って所定の間隔を空けて配置された４個のテストソケットと、前記４個のテストソケットのうちの３個のテストソケットにそれぞれ対向可能に配置されて基準デバイス、複数個の測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する第１乃至第３測定環境手段と、前記４個のテストソケットのうちの１個に挿入された基準デバイスと前記４個のテストソケットのうちの残りの３個に挿入された測定デバイスとを、前記第１乃至第３測定環境手段にそれぞれ対向する位置に前記試験台を順次回転させながら測定して、前記基準デバイスの前記第１測定環境手段に対応する第１テストログを生成し、前記試験台がさらに一回転した後、前記基準デバイスの前記第１測定環境手段に対応する第２テストログを生成する測定手段と、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記第１測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えた構成である。
【００１９】
それゆえ、基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較することが可能となるため、短時間毎に基準デバイスを測定することが可能となる。これにより、短時間に経時変化が発生しても、半導体試験装置の変動がより早期に検出できるため、正確にデバイスを測定することが可能となり、出荷品質が向上することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１と図２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００２１】
図１は本発明の実施の形態１に係る試験装置概念図である。図２は測定精度を向上させるためのフローチャートである。
【００２２】
本実施形態の半導体試験装置は、制御装置制ａ、測定環境装置ｂ、試験装置ｃ、搬送装置ｄを備えている。
【００２３】
制御装置ａは、ＣＰＵａ１と測定環境制御部ａ２と基準デバイス測定データ保持部ａ３と解析部ａ４とキャリブレーションデータ保持部ａ５とプログラム保持部ａ６とで構成される。また、制御装置ａは、測定環境装置ｂと試験装置ｃと搬送装置ｄとを制御及び管理する。また、測定環境制御部ａ２は、測定環境装置ｂを調整したりする。
【００２４】
測定環境装置ｂは、カメラモジュール等を試験する場合に必要となる光源（ＬＥＤ、ビューワ等）で構成され、テストソケットｃ１に挿入されたデバイスを試験するときに、測定環境装置ｂに設けられた光源は、カメラモジュール等によって構成されているデバイスに光を照射する。
【００２５】
試験装置ｃは、テストソケットｃ１と、テストソケットｃ１に挿入されたデバイスに電気的信号を供給し、デバイスから出力されてくる電気的信号を受信し、測定結果を制御装置ａへ送信する図示しない装置で構成される。また、試験装置ｃは、テストソケットｃ１に挿入されたデバイスの電気的試験を行う。
【００２６】
搬送装置ｄは、測定トレイｄ４と、次測定トレイｄ３と、良品格納トレイｄ１と、不良品格納トレイｄ２とで構成される。良品格納トレイｄ１は、試験された結果により良品とされたデバイスを挿入するためのトレイである。不良品格納トレイｄ２は、試験された結果により不良品とされたデバイスを挿入するためのトレイである。また、測定トレイｄ４には、複数の測定デバイスｆと少なくとも１つの基準デバイスｅとを予めセットすることが可能である。また、次測定トレイｄ３には、複数の測定デバイスｆを予めセットすることが可能である。
【００２７】
また、搬送装置ｄは、制御装置ａからの命令を受け、測定トレイｄ４内の場所ｄ４−１にある基準デバイスｅや、測定デバイスｆをテストソケットｃ１に搬送する。基準デバイスｅの試験が完了すると、基準デバイスｅを次測定トレイｄ３内の場所ｄ３−１に搬送する。測定デバイスｆの試験が完了すると、試験結果により良品格納トレイｄ１あるいは不良品格納トレイｄ２に搬送したりする。
【００２８】
そして、測定トレイｄ４にある全てのデバイスｆの試験が完了すると、搬送装置ｄは、制御装置ａからの命令を受け、場所ｄ３−１にある基準デバイスｅや、次測定トレイｄ３内にある測定デバイスｆをテストソケットｃ１に搬送する。基準デバイスｅや測定デバイスｆの試験が完了すると、搬送装置ｄが、試験結果により良品格納トレイｄ１あるいは不良品格納トレイｄ２に搬送したりする。
【００２９】
次に、図２を基に上記試験装置におけて測定精度を向上させるフローチャートについて説明する。
【００３０】
試験装置ｃは、定期的に校正され、制御装置ａのキャリブレーションデータ保持部ａ５にあるキャリブレーションデータを用いてキャリブレーションを行う。また、測定環境装置ｂも定期的に校正される（図２のステップａ１００）。
【００３１】
制御装置ａから制御装置ａのプログラム保持部ａ６にあるテストプログラムを試験装置ｃにロード（図２のステップａ１０１）し、搬送装置ｄ内の、測定トレイｄ４の決められた場所ｄ４−１に基準デバイスｅをマニュアルで挿入し（図２のステップａ１０２）、制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、測定トレイｄ４の場所ｄ４−１にある基準デバイスｅをテストソケットｃ１に搬送する（図２のステップａ１０３）。
【００３２】
制御装置ａから試験装置ｃを制御し、テストソケットｃ１にある基準デバイスｅの試験を行い（図２のステップａ１０４）、試験が完了すると、基準デバイスｅのテストログを基準デバイス測定データ保持部ａ３へ格納する（図２のステップａ１０５）。
【００３３】
制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、基準デバイスｅを次測定トレイｄ３の決められた位置ｄ３−１に搬送する（図２のステップａ１０６）。
【００３４】
測定トレイｄ４の測定デバイスｆをテストソケットｃ１に搬送し（図２のステップａ１０７）、制御装置ａから試験装置ｃを制御し、テストソケットｃ１にある測定デバイスｆの試験を行い（図２のステップａ１０８）、試験が完了すると、測定デバイスｆのテスト結果（ＰＡＳＳ及びＦＡＩＬ）を試験装置ｃから制御装置ａに送信すると、制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、テスト結果がＰＡＳＳの場合は測定デバイスｆを良品格納トレイｄ１に搬送し、テスト結果がＦＡＩＬの場合は不良品格納トレイｄ２に搬送し（図２のステップａ１０９）、測定トレイｄ４の測定デバイスｆがなくなるまで、図２のａステップ１０７、ステップａ１０８、ステップａ１０９を繰り返す。
【００３５】
測定トレイｄ４の全測定デバイスｆの測定が完了（図２のステップａ１１０）すると、制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、次測定トレイｄ３の場所ｄ３−１にある基準デバイスｅをテストソケットｃ１に搬送する（図２のステップａ１１１）。
【００３６】
制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、テストソケットｃ１にある基準デバイスｅの試験を行い（図２のステップａ１１２）、試験が完了すると、基準デバイスｅのテストログが基準デバイス測定データ保持部ａ３へ格納される（図２のステップａ１１３）。その実験された基準デバイスｅのテストログと前回測定した基準デバイスｅのテストログ（図２のステップａ１０５で格納されたテストログ）とを解析部ａ４にて比較する（図２のステップａ１１４）。
【００３７】
比較した結果に差異があれば、制御装置ａから測定環境装置ｂを調整（例えば、ＬＥＤやビューワの照度を可変する）する（図２ステップのａ１１５）。
【００３８】
ここで、図２のステップａ１１２の段階に戻り、再度基準デバイスｅの試験を行う。そのテストログを基準デバイス測定データ保持部ａ３へ格納し（図２のステップａ１１３）、基準デバイスｅのテストログと前記前回測定した基準デバイスｅのテストログ（図２のステップａ１０５で格納されたテストログ）とを解析部ａ４で比較する（図２のステップａ１１４）。このように、前記比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【００３９】
前記差異がなくなると、制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、次測定トレイｄ３の測定デバイスｆをテストソケットｃ１に搬送する（図２のステップａ１１６）。
【００４０】
制御装置ａから試験装置ｃを制御し、テストソケットｃ１にある測定デバイスｆの試験を行い（図２のステップａ１１７）、試験が完了すると、測定デバイスｆのテスト結果（ＰＡＳＳ及びＦＡＩＬ）を試験装置ｃから制御装置ａに送信すると、制御装置ａから搬送装置ｄを制御し、テスト結果がＰＡＳＳの場合は測定デバイスｆを良品格納トレイｄ１に搬送し、テスト結果がＦＡＩＬの場合は不良品格納トレイｄ２に搬送し（図２のステップａ１１８）、次測定トレイｄ３の測定デバイスｆがなくなるまで、図２のステップａ１１６、ステップａ１１７、ステップａ１１８を繰り返す。次測定トレイｄ３の全測定デバイスｆがなくなると全ての試験が終了する（図２のステップａ１１９）。
【００４１】
上記の方法に示すように、基準デバイスｅは、挿入されるトレイが変わるたびに、新たに試験される。従って、図２のステップａ１０５で取得した基準デバイスｅのテストログと、図２のステップａ１０５以後のステップのうち、挿入されるトレイが変わるたびに試験された基準デバイスｅのテストログとは比較することが可能となる。そのため、測定環境装置ｂと試験装置ｃの変化及び故障を、基準デバイスの挿入されるトレイが変わるたびに検出することが可能である。
【００４２】
それゆえ、測定環境装置ｂと試験装置ｃの変化及び故障を早期に発見することが可能となり、測定精度が上がり出荷品質も向上することができる。
【００４３】
また、上記の実施例では、あらかじめトレイ毎に１箇所として、基準デバイスｅの挿入場所を決めているが、トレイ毎に複数個所として、基準デバイスｅの挿入場所を決めておくこともできる。
【００４４】
これにより測定環境装置ｂと試験装置ｃの変化及び故障を早期に発見することが可能となり、測定精度が上がり出荷品質も向上することができる。
【００４５】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施形態について図３、図４及び図５に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態１と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４６】
図３は本発明を示す循環型試験装置の概念図である。まず、この循環型試験装置について、図３を基にその形態を説明する。
【００４７】
本実施形態の試験装置は、制御装置ａａと、測定環境装置ｂｂ１、ｂｂ２、ｂｂ３と、循環型試験装置ｃｃと、搬送装置ｄｄとを備えている。
【００４８】
制御装置ａａは、ＣＰＵａａ１と、測定環境制御部ａａ２と、基準デバイス測定データ保持部ａａ３と、解析部ａａ４と、キャリブレーションデータ保持部ａａ５と、プログラム保持部ａａ６とで、構成される。また、制御装置ａａは、測定環境装置ｂｂ１と測定環境装置ｂｂ２と測定環境装置ｂｂ３と循環型試験装置ｃｃと搬送装置ｄｄとの制御及び管理を行う。
【００４９】
測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２、測定環境ｂｂ３は、カメラモジュール等を試験する場合に必要となる光源（ＬＥＤ、ビューワ等）で構成され、テストソケットに挿入されたデバイスを試験するときに、カメラモジュール等によって構成されているデバイスに光を照射する環境装置である。
【００５０】
循環型試験装置ｃｃは、テストソケットｓ０、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２、テストソケットｓ３と、テストソケットｓ０、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２、テストソケットｓ３を搭載して回転する円柱状試験台と、テストソケットｓ０とテストソケットｓ１とテストソケットｓ２とテストソケットｓ３とのそれぞれが測定環境装置ｂｂ１と測定環境装置ｂｂ２と測定環境装置ｂｂ３とのそれぞれの場所にくると、各テストソケットに挿入されているデバイスに電気的信号を供給し、そしてデバイスから出力されてくる電気的信号を受信し、測定結果を制御装置ａａへ送信する図示しない装置とで構成される。すなわち、循環型試験装置ｃｃは、各テストソケットが測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２、測定環境装置ｂｂ３の場所に回ってくると、各テストソケットに挿入されているデバイスの電気的試験を行う。
【００５１】
搬送装置ｄｄは、測定デバイスｅｅと少なくとも１つの基準デバイスとを予めセットすることが可能な測定トレイｄｄ１と、試験された結果により良品とされたデバイスを挿入するための良品トレイｄｄ２と、試験された結果により不良品とされたデバイスを挿入するための不良品トレイｄｄ３と、で構成される。
【００５２】
制御装置ａａからの命令を受け、テストソケットｓ３が決められた場所（図３ではテストソケットｓ０の場所）に回ってくると、搬送装置ｄｄは、測定トレイｄｄ１にある測定デバイスｅｅをテストソケットｓ３に搬送する。その後、テストソケットｓ２が決められた場所（図３ではテストソケットｓ０の場所）に回ってくると、搬送装置ｄｄは、測定トレイｄｄ１にある測定デバイスｅｅをテストソケットｓ２に搬送する。その後、テストソケットｓ１が決められた場所（図３ではテストソケットｓ０の場所）に回ってくると、搬送装置ｄｄは、測定トレイｄｄ１にある測定デバイスｅｅをテストソケットｓ１に搬送する。
【００５３】
そして、この測定デバイスｅｅの、測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２、測定環境装置ｂｂ３の下における一連の試験が完了し、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２、テストソケットｓ３が決められた場所に（図３ではテストソケットｓ０の場所）一回転して戻ってくると、制御装置ａａが、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２、テストソケットｓ３に挿入されているデバイスを試験結果により良品トレイｄｄ２あるいは不良品トレイｄｄ３に搬送したりする。
【００５４】
次に、図４および図５を基に、前記循環型試験装置において、測定精度を向上させるフローチャートについて説明する。
【００５５】
循環型試験装置ｃｃは、定期的に校正され、制御装置ａａのキャリブレーションデータ保持部ａａ５にあるキャリブレーションデータを用いてキャリブレーションを行う。また、測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２、測定環境装置ｂｂ３も定期的に校正される（図４のステップａ１０００）。
【００５６】
まず、制御装置ａａは、制御装置ａａのプログラム保持部ａａ６にあるテストプログラムを循環型試験装置ｃｃにロード（図４のステップａ１００１）し、テストソケットｓ０に基準デバイスをマニュアルで挿入（図４のステップａ１００２）する。
【００５７】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させる（図４のステップａ１００３）。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、測定デバイスｅｅをテストソケットｓ３に挿入する（図４のステップａ１００４）。
【００５８】
制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し（図４のステップａ１００５）、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図４のステップａ１００６）。
【００５９】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させる（図４のステップａ１００７）。制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、測定デバイスｅｅをテストソケットｓ２に挿入する（図４のステップａ１００８）。
【００６０】
制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ３に挿入されている測定デバイスを試験し（図４のステップａ１００９）、同時に、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し（図４のステップａ１０１０）、この試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図４のステップａ１０１１）。
【００６１】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させる（図４のステップａ１０１２）。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、測定デバイスｅｅをテストソケットｓ１に挿入する（図４のステップａ１０１３）。
【００６２】
制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験し（図４のステップａ１０１４）、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ３に挿入されている測定デバイスを試験する（図４のステップａ１０１５）。同時に、測定環境装置ｂｂ３にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し（図４のステップａ１０１６）、この試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図４のステップａ１０１７）。
【００６３】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させ、測定環境装置ｂｂ１にきたソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験し、測定環境装置ｂｂ２にきたソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験し、測定環境装置ｂｂ３にきたソケットｓ３に挿入されている測定デバイスを試験する（図５のステップａ１０１８）。
【００６４】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させる（図５のステップａ１０１９）。
【００６５】
制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ３に挿入されている測定デバイスをテストソケットｓ３から抜き、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ３の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳの場合は良品トレイｄｄ２に搬送し、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ３の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳでない場合は不良品トレイｄｄ３に搬送する（図５のステップａ１０２０）。
【００６６】
制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ３に測定デバイスを挿入する（図５のステップａ１０２１）。また、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し（図５のステップａ１０２２）、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図５のステップａ１０２３）。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと図４のステップａ１００６で保持された基準デバイスのテストログとを比較する（図５のステップａ１０２４）。
【００６７】
比較した結果に差異があれば、測定環境装置ｂｂ１を調整（ＬＥＤの照度等を可変する）する（図５のステップａ１０２５）。
【００６８】
図５のステップａ１０２２に戻り、再度基準デバイスの試験を行う。その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持し（図５のステップａ１０２３）、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと図４のステップａ１００６段階で保持された基準デバイスのテストログとを比較する（図５のステップａ１０２４）。このように、比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【００６９】
比較した結果に差異がなければ、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験する（図５のステップａ１０２６）。同時に、測定環境装置ｂｂ３にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験する（図５のステップａ１０２７）。
【００７０】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させる（図５のステップａ１０２８）。そして制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスをテストソケットｓ２から抜き、測定環境ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境ｂｂ２の下でのテスト結果、測定環境ｂｂ３の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳの場合は良品トレイｄｄ２に搬送し、測定環境ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境ｂｂ２の下でのテスト結果、測定環境ｂｂ３の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳでない場合は不良品トレイｄｄ３に搬送する（図５のステップａ１０２９）。
【００７１】
制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ２に測定デバイスを挿入する（図５のステップａ１０３０）。また、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ３に挿入されている測定デバイスを試験する（図５のステップａ１０３１）。
【００７２】
同時に、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し（図５のａ１０３２）、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図５のステップａ１０３３）。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと図４のステップａ１０１１段階で保持された基準デバイスのテストログとを比較する（図５のステップａ１０３４）。
【００７３】
比較した結果に差異があれば、測定環境装置ｂｂ２を調整（ＬＥＤの照度等を可変する）する（図５のステップａ１０３５）。
【００７４】
図５のステップａ１０３２に戻り、再度基準デバイスの試験を行う。その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図５のステップａ１０３３）。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと図４のステップａ１０１１段階で保持された基準デバイスのテストログとを比較する（図５のステップａ１０３４）。このように、比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【００７５】
比較した結果に差異がなければ、測定環境装置ｂｂ３にきたテストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験する（図５のステップａ１０３６）。
【００７６】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に９０°回転）させる（図５のステップａ１０３７）。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ１に挿入されていた測定デバイスをテストソケットｓ１から抜き、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ３の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳの場合は良品トレイｄｄ２に搬送し、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ３の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳでない場合は不良品トレイｄｄ３に搬送する（図５のステップａ１０３８）。
【００７７】
制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、ソケットｓ１に測定デバイスを挿入する（図５のステップａ１０３９）。同時に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験し（図５のステップａ１０４０）、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ３に挿入されている測定デバイスを試験する（図５のステップａ１０４１）。
【００７８】
また、測定環境装置ｂｂ３にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し（図５のステップａ１０４２）、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図５のステップａ１０４３）。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと図４のステップａ１０１７段階で保持された基準デバイスのテストログとを比較する（図５のステップａ１０４４）。
【００７９】
比較した結果に差異があれば、測定環境装置ｂｂ３を調整（ＬＥＤの照度等を可変する）する（図５のステップａ１０４５）。
【００８０】
図５のステップａ１０４２に戻り、再度基準デバイスの試験を行う。その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する（図５のステップａ１０４３）。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと図４のステップａ１０１７段階で保持された基準デバイスのテストログとを比較する（図５のステップａ１０４４）。このように、前記比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【００８１】
比較した結果に差異がなければ、図５のステップａ１０１８の段階に戻り、測定トレイｄｄ１の測定デバイスｅｅが全てなくなるまで繰り返す。測定トレイｄｄ１の測定デバイスｅｅ全てなくなると終了する（図５のステップａ１０４６）。
【００８２】
上記の方法で示すように、循環型試験装置は、常に決められたテストソケットに基準デバイスを挿入することにより、最初に取得した測定環境装置ｂｂ１下での基準デバイスのテストログ、測定環境装置ｂｂ２下での基準デバイスのテストログ、測定環境装置ｂｂ３下での基準デバイスのテストログと、測定環境装置ｂｂ１下での２回目以降の基準デバイスのテストログ、測定環境装置ｂｂ２下での２回目以降の基準デバイスのテストログ、測定環境装置ｂｂ３下での２回目以降の基準デバイスのテストログと、を比較することが可能となる。
【００８３】
そのため、測定環境装置ｂｂ１、ｂｂ２、ｂｂ３と循環型試験装置との変化及び故障を早期に発見することが可能となり、測定精度が上がり出荷品質も向上することができる。
【００８４】
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施形態について図６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態２と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００８５】
図６は本発明を示す循環型試験装置の概念図である。この循環型試験装置について、図６を基にその形態を説明する。
【００８６】
本実施形態の試験装置は、制御装置ａａと、測定環境装置ｂｂ１、ｂｂ２と、循環型試験装置ｃｃと、搬送装置ｄｄとを備えている。
【００８７】
制御装置ａａは、ＣＰＵａａ１と、測定環境制御部ａａ２と、基準デバイス測定データ保持部ａａ３と、解析部ａａ４と、キャリブレーションデータ保持部ａａ５と、プログラム保持部ａａ６とで、構成される。また、制御装置ａａは、測定環境装置ｂｂ１と測定環境装置ｂｂ２と循環型試験装置ｃｃと搬送装置ｄｄとの制御及び管理を行う。
【００８８】
測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２は、カメラモジュール等を試験する場合に必要となる光源（ＬＥＤ、ビューワ等）で構成され、テストソケットに挿入されたデバイスを試験するときに、カメラモジュール等によって構成されているデバイスに光を照射する環境装置である。
【００８９】
循環型試験装置ｃｃは、テストソケットｓ０、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２と、テストソケットｓ０、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２を搭載して回転する円柱状試験台と、テストソケットｓ０とテストソケットｓ１とテストソケットｓ２とのそれぞれが測定環境装置ｂｂ１と測定環境装置ｂｂ２とのそれぞれの場所にくると、各テストソケットに挿入されているデバイスに電気的信号を供給し、そしてデバイスから出力されてくる電気的信号を受信し、測定結果を制御装置ａａへ送信する図示しない装置とで構成される。すなわち、循環型試験装置ｃｃは、各テストソケットが測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２の場所に回ってくると、各テストソケットに挿入されているデバイスの電気的試験を行う。
【００９０】
搬送装置ｄｄは、測定デバイスｅｅと少なくとも１つの基準デバイスとを予めセットすることが可能な測定トレイｄｄ１と、試験された結果により良品とされたデバイスを挿入するための良品トレイｄｄ２と、試験された結果により不良品とされたデバイスを挿入するための不良品トレイｄｄ３と、で構成される。
【００９１】
制御装置ａａからの命令を受け、テストソケットｓ２が決められた場所（図６ではテストソケットｓ０の場所）に回ってくると、搬送装置ｄｄは、測定トレイｄｄ１にある測定デバイスｅｅをテストソケットｓ２に搬送する。その後、テストソケットｓ１が決められた場所（図６ではテストソケットｓ０の場所）に回ってくると、搬送装置ｄｄは、測定トレイｄｄ１にある測定デバイスｅｅをテストソケットｓ１に搬送する。
【００９２】
そして、この測定デバイスｅｅの、測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２の下における一連の試験が完了し、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２が決められた場所に（図６ではテストソケットｓ０の場所）一回転して戻ってくると、制御装置ａａが、テストソケットｓ１、テストソケットｓ２に挿入されているデバイスを試験結果により良品トレイｄｄ２あるいは不良品トレイｄｄ３に搬送したりする。
【００９３】
循環型試験装置ｃｃは、定期的に校正され、制御装置ａａのキャリブレーションデータ保持部ａａ５にあるキャリブレーションデータを用いてキャリブレーションを行う。また、測定環境装置ｂｂ１、測定環境装置ｂｂ２も定期的に校正される。
【００９４】
次に、図６を基に、前記循環型試験装置において、測定精度向上の流れについて説明する。
【００９５】
まず制御装置ａａは、制御装置ａａのプログラム保持部ａａ６にあるテストプログラムを循環型試験装置ｃｃにロードし、テストソケットｓ０に基準デバイスをマニュアルで挿入しておく。
【００９６】
そして、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１２０°回転）させる。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、測定デバイスｅｅをテストソケットｓ２に挿入する。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する。
【００９７】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１２０°回転）させる。制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、測定デバイスｅｅをテストソケットｓ１に挿入する。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験し、同時に、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し、この試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する。
【００９８】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１２０°回転）させる。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験し、同時に、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験する。
【００９９】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１２０°回転）させる。
【０１００】
制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスをテストソケットｓ２から抜き、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳの場合は良品トレイｄｄ２に搬送し、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳでない場合は不良品トレイｄｄ３に搬送する。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ２に測定デバイスを挿入する。
【０１０１】
また、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと、測定環境装置ｂｂ１の下で初回保持された基準デバイスのテストログとを比較する。
【０１０２】
比較した結果に差異があれば、測定環境装置ｂｂ１を調整（ＬＥＤの照度等を可変する）し、再度基準デバイスの試験を行う。その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持し、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと測定環境装置ｂｂ１の下で初回保持された基準デバイスのテストログとを比較する。このように、比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【０１０３】
比較した結果に差異がなければ、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験する。
【０１０４】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１２０°回転）させる。そして制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスをテストソケットｓ１から抜き、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳの場合は良品トレイｄｄ２に搬送し、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果、測定環境装置ｂｂ２の下でのテスト結果が全てＰＡＳＳでない場合は不良品トレイｄｄ３に搬送する。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ１に測定デバイスを挿入する。同時に、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと、測定環境装置ｂｂ２の下で初回保持された基準デバイスのテストログとを比較する。
【０１０５】
比較した結果に差異があれば、測定環境装置ｂｂ２を調整（ＬＥＤの照度等を可変する）し、再度基準デバイスの試験を行う。その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持し、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと測定環境装置ｂｂ２の下で初回保持された基準デバイスのテストログとを比較する。このように、比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【０１０６】
比較した結果に差異がなければ、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験する。
【０１０７】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１２０°回転）させる。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験し、同時に、測定環境装置ｂｂ２にきたテストソケットｓ２に挿入されている測定デバイスを試験する。このように、測定トレイｄｄ１の測定デバイスｅｅが全てなくなるまで繰り返す。そして測定トレイｄｄ１の測定デバイスが全てなくなると終了する。
【０１０８】
上記の方法で示すように、循環型試験装置は、常に決められたテストソケットに基準デバイスを挿入することにより、最初に取得した測定環境装置ｂｂ１下での基準デバイスのテストログ、測定環境装置ｂｂ２下での基準デバイスのテストログと、測定環境装置ｂｂ１下での２回目以降の基準デバイスのテストログ、測定環境装置ｂｂ２下での２回目以降の基準デバイスのテストログと、を比較することが可能となる。
【０１０９】
そのため、測定環境装置ｂｂ１、ｂｂ２と循環型試験装置との変化及び故障を早期に発見することが可能となり、測定精度が上がり出荷品質も向上することができる。
【０１１０】
〔実施の形態４〕
本発明の他の実施形態について図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態２と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１１１】
図７は本発明を示す循環型試験装置の概念図である。この循環型試験装置について、図７を基にその形態を説明する。
【０１１２】
本実施形態の試験装置は、制御装置ａａと、測定環境装置ｂｂ１と、循環型試験装置ｃｃと、搬送装置ｄｄとを備えている。
【０１１３】
制御装置ａａは、ＣＰＵａａ１と、測定環境制御部ａａ２と、基準デバイス測定データ保持部ａａ３と、解析部ａａ４と、キャリブレーションデータ保持部ａａ５と、プログラム保持部ａａ６とで、構成される。また、制御装置ａａは、測定環境装置ｂｂ１と循環型試験装置ｃｃと搬送装置ｄｄとの制御及び管理を行う。
【０１１４】
測定環境装置ｂｂ１は、カメラモジュール等を試験する場合に必要となる光源（ＬＥＤ、ビューワ等）で構成され、テストソケットに挿入されたデバイスを試験するときに、カメラモジュール等によって構成されているデバイスに光を照射する環境装置である。
【０１１５】
循環型試験装置ｃｃは、テストソケットｓ０、テストソケットｓ１と、テストソケットｓ０、テストソケットｓ１を搭載して回転する円柱状試験台と、テストソケットｓ０とテストソケットｓ１とのそれぞれが測定環境装置ｂｂ１の場所にくると、各テストソケットに挿入されているデバイスに電気的信号を供給し、そしてデバイスから出力されてくる電気的信号を受信し、測定結果を制御装置ａａへ送信する図示しない装置とで構成される。すなわち、循環型試験装置ｃｃは、各テストソケットが測定環境装置ｂｂ１の場所に回ってくると、各テストソケットに挿入されているデバイスの電気的試験を行う。
【０１１６】
搬送装置ｄｄは、測定デバイスｅｅと少なくとも１つの基準デバイスとを予めセットすることが可能な測定トレイｄｄ１と、試験された結果により良品とされたデバイスを挿入するための良品トレイｄｄ２と、試験された結果により不良品とされたデバイスを挿入するための不良品トレイｄｄ３と、で構成される。
【０１１７】
制御装置ａａからの命令を受け、テストソケットｓ１が決められた場所（図７ではテストソケットｓ０の場所）に回ってくると、搬送装置ｄｄは、測定トレイｄｄ１にある測定デバイスｅｅをテストソケットｓ１に搬送する。
【０１１８】
そして、この測定デバイスｅｅの、測定環境装置ｂｂ１の下における試験が完了し、テストソケットｓ１が決められた場所に（図７ではテストソケットｓ０の場所）一回転して戻ってくると、制御装置ａａが、テストソケットｓ１に挿入されているデバイスを試験結果により良品トレイｄｄ２あるいは不良品トレイｄｄ３に搬送したりする。
【０１１９】
循環型試験装置ｃｃは、定期的に校正され、制御装置ａａのキャリブレーションデータ保持部ａａ５にあるキャリブレーションデータを用いてキャリブレーションを行う。また、測定環境装置ｂｂ１も定期的に校正される。
【０１２０】
次に、図７を基に、前記循環型試験装置において、測定精度向上の流れについて説明する。
【０１２１】
まず、制御装置ａａは、制御装置ａａのプログラム保持部ａａ６にあるテストプログラムを循環型試験装置ｃｃにロードし、テストソケットｓ０に基準デバイスをマニュアルで挿入しておく。
【０１２２】
そして、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１８０°回転）させる。そして、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、測定デバイスｅｅをテストソケットｓ１に挿入する。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ０に挿入されている基準デバイスを試験し、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する。
【０１２３】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１８０°回転）させる。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスを試験する。
【０１２４】
次に、制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、循環型試験装置ｃｃを１ステップ回転（時計回り方向に１８０°回転）させる。制御装置ａａが循環型試験装置ｃｃを制御し、測定環境装置ｂｂ１にきたテストソケットｓ０に挿入されている測定デバイスを試験し、その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持する。そして、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと、測定環境装置ｂｂ１の下で初回保持された基準デバイスのテストログとを比較する。
【０１２５】
比較した結果に差異があれば、測定環境装置ｂｂ１を調整（ＬＥＤの照度等を可変する）し、再度基準デバイスの試験を行う。その試験されたテストログを制御装置ａａ内にある基準デバイス測定データ保持部ａａ３に保持し、解析部ａａ４にて、今回保持されたテストログと測定環境装置ｂｂ１の下で初回保持された基準デバイスのテストログとを比較する。このように、比較した結果に差異がなくなるまで繰り返す。
【０１２６】
比較した結果に差異がなければ、制御装置ａａが搬送装置ｄｄを制御し、テストソケットｓ１に挿入されている測定デバイスをテストソケットｓ１から抜き、測定環境装置ｂｂ１の下テスト結果がＰＡＳＳの場合は良品トレイｄｄ２に搬送し、測定環境装置ｂｂ１の下でのテスト結果がＰＡＳＳでない場合は不良品トレイｄｄ３に搬送する。このように、測定トレイｄｄ１の測定デバイスｅｅが全てなくなるまで繰り返す。そして測定トレイｄｄ１の測定デバイスが全てなくなると終了する。
【０１２７】
上記の方法で示すように、循環型試験装置は、常に決められたテストソケットに基準デバイスを挿入することにより、最初に取得した測定環境装置ｂｂ１下での基準デバイスのテストログと、測定環境装置ｂｂ１下での２回目以降の基準デバイスのテストログとを比較することが可能となる。
【０１２８】
そのため、測定環境装置ｂｂ１と循環型試験装置との変化及び故障を早期に発見することが可能となり、測定精度が上がり出荷品質も向上することができる。
【０１２９】
本発明の循環型試験装置は、上記実施形態に限るものではなく、測定環境装置の台数、およびテストソケットの個数を変更することが可能であり、各テストソケットが各測定環境装置の下に来るように、循環型試験装置の試験台の回転角度を変更することも可能である。
【０１３０】
すなわち、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施形態に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施の形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１３１】
なお、本発明は、以下のようにも表現できる。
【０１３２】
すなわち、本発明の半導体試験装置は、基準デバイスと複数個の第１測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第１テストログを生成した後、前記基準デバイスと複数個の第２測定デバイスとを順番に測定して前記基準デバイスの第２テストログを生成する測定手段と、前記基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較する比較手段と、前記基準デバイス、前記複数個の第１測定デバイス、および前記複数個の第２測定デバイスのそれぞれに測定環境を提供する測定環境手段と、前記比較手段による比較結果の差異に応じて、前記測定環境手段によって提供される測定環境を調整する調整手段とを備えたことを特徴としている。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
基準デバイスの第１テストログと第２テストログとを比較することができるため、半導体試験装置の短期間の経時における変化および故障を早期に発見することが可能となり、半導体試験装置の測定精度が上がり、出荷品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の実施の形態１に係る半導体試験装置の概念図である。
【図２】図１の半導体試験装置を用いて測定制度を向上させるための制御フローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態２に係る半導体試験装置の概念図である。
【図４】図３の半導体試験装置を用いて測定精度を向上させるための制御フローチャートである。
【図５】図３の半導体試験装置を用いて測定精度を向上させるための制御フローチャートである。
【図６】本発明の実施の形態３に係る半導体試験装置の概念図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係る半導体試験装置の概念図である。
【図８】従来技術を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３５】
ａ２、ａａ２            測定環境制御部（調整手段）
ａ４、ａａ４            解析部（比較手段）
ｂ                      測定環境装置（測定環境手段）
ｂｂ１                  測定環境装置（測定環境手段）
ｂｂ２                  測定環境装置（測定環境手段）
ｂｂ３                  測定環境装置（測定環境手段）
ｃ                      試験装置（測定手段）
ｃｃ                    循環型試験装置（測定手段）
ｃ１                    テストソケット
ｓ０、ｓ１、ｓ２、ｓ３  テストソケット
ｄ、ｄｄ                搬送装置（搬送手段）
ｅ                      基準デバイス
ｆ、ｅｅ                測定デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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