(57)【要約】      （修正有）【課題】被着体の損傷及び汚染等を招くことなく、迅速な巻回を可能とする自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートを提供する。【解決手段】少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層２と、接着剤層３と、剛性フィルム層４とがこの順に積層されてなる自発巻回性積層シート１であって、前記接着剤層は、０．０１〜１５μｍの厚みを有し、２種のフィルムを引き剥がすに必要な剥離力（１８０°ピール剥離、引張り速度３００ｍｍ／分）が５０℃において４．０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、熱刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる自発巻回性積層シート。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と、接着剤層と、剛性フィルム層とがこの順に積層されてなる自発巻回性積層シートであって、
前記接着剤層は０．０１〜１５μｍの厚みを有し、前記収縮性フィルム層と前記剛性フィルム層の２種のフィルムを引き剥がすに必要な剥離力（１８０°ピール剥離、引張り速度３００ｍｍ／分）が５０℃において４．０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、
熱刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる自発巻回性積層シート。
【請求項２】
前記収縮性フィルム層は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度における主収縮方向の収縮率が３０〜９０％である請求項１に記載の自発巻回性積層シート。
【請求項３】
前記剛性フィルム層は、８０℃におけるヤング率と厚みとの積が３．０×１０５Ｎ／ｍ以下である請求項１又は２に記載の自発巻回性積層シート。
【請求項４】
前記接着層が、ウレタン系接着剤である請求項１から３のいずれか１つに記載の自発巻回性積層シート。
【請求項５】
自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと自発巻回性積層シートの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）が、０．００１〜０．３３３の範囲である請求項１から４のいずれか１つに記載の自発巻回性積層シート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の自発巻回性積層シートと、
該自発巻回性積層シートを構成する剛性フィルム層の収縮性フィルム層とは反対側の面に設けられた粘着剤層とで構成された再剥離性の自発巻回性粘着シートであって、
前記粘着剤層又は低粘着化処理後の粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）が２５℃において１０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、
刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる自発巻回性粘着シート。
【請求項７】
前記粘着剤層が、エネルギー線硬化型粘着剤で構成されている請求項６に記載の自発巻回性粘着シート。
【請求項８】
自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒｎと自発巻回性粘着シートの巻回方向の長さＬｎとの比（ｒｎ／Ｌｎ）が、０．００１〜０．３３３の範囲である請求項６又は７のいずれか１つに記載の自発巻回性粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートに関し、より詳細には、熱等により主収縮軸方向へ端部から自発的に巻回して筒状巻回体を形成しうる自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体用材料に対する薄型化、軽量化の要望が一層高まっている。半導体用シリコンウェハについては、厚みを１００μｍ以下に薄くする必要が生じているが、このような薄膜ウェハは非常に脆く割れやすい。
そこで、薄膜状のウェハを保護するために、エネルギー線硬化型粘着剤層を備えて構成された仮固定用粘着シートをウェハに貼着し、仮固定したウェハに研磨やダイシング等の加工を施した後、エネルギー線照射により粘着剤層を硬化させ、粘着力が低下した仮固定用粘着シートをウェハから剥離するという方法が採用されている。
【０００３】
例えば、特許文献１（特開２００３−１９７５６７号公報）において、回路形成面に保護テープを貼着する方法が提案されている。この保護テープを用いることにより、ダイシング時等における回路形成面の保護又は汚染を防止することができる。
しかし、特に、ダイシング工程後には、ウェハは、例えば、２０ｍｍ×２０ｍｍ又はそれ以下の微細な面積の小片となるため、仮固定用粘着テープの剥離のきっかけが作りにくい等、大量の小片化された被着体から、効率的に一度に仮固定用粘着テープを剥離することは困難である。実際、小片化された全てのチップから、完全に保護フィルムを除去するには大変な時間がかかるとともに、剥離時の応力でチップを破損する恐れがある。
【０００４】
また、保護テープの基材にポリオレフィンフィルムを用い、剥離時に加熱することによって、基材を熱収縮させ、保護テープを反らせることで、剥離を容易にする方法が提案されている（例えば、特許文献２：特開２００６−１９６８２３号公報）。
【０００５】
しかし、熱収縮によって生じる保護テープの変形は、反り返ったり、皺がよる等、意図しない形状変形を引き起こすことがある。例えば、保護テープに意図しない変形がおこると、保護テープの粘着剤と被着体（チップ）との界面でせん断応力が働くこととなり、保護テープを剥離する際に、粘着剤が残存して、被着体の表面を汚染したり、バックグラインド等により薄膜化された半導体ウェハ等のように、剛性が低下した被着体であれば、これを破損したりする等の不具合を招く。
【０００６】
これに対して、反りを抑制した粘着シートが提案されている（例えば、特許文献３：特開２００８−１５５６１９号公報）。
この粘着シートでは、被着体の損傷及び汚染等を招くことなく剥離することができるとされている。
【０００７】
しかし、被着体が多様化されている近年においては、様々な粘着力を有する粘着剤を用いる可能性があること等から、さらに効率的に自発巻回剥離を引き起こして迅速に剥離することができるもの、すなわちトルクを増大させてより強い粘着力をもつような粘着剤でも自発巻回による迅速な剥離を可能とし得る粘着シートに対する要請がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、迅速な巻回を可能とする自発巻回性積層シート及びこのシートを基材として用いた自発巻回性粘着シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
発明者らは、自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートについて鋭意検討を行った結果、加熱時に発生する収縮応力に対して接合が破壊されないために必要な接着力を備え、その厚みを調整することにより、迅速な巻回を実現することができることを見出し、本願発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明の自発巻回性積層シートは、
少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と、接着剤層と、剛性フィルム層とがこの順に積層されてなる自発巻回性積層シートであって、
前記接着剤層は、０．０１〜１５μｍの厚みを有し、前記収縮性フィルム層と前記剛性フィルム層との２種のフィルムを引き剥がすに必要な剥離力（１８０°ピール剥離、引張り速度３００ｍｍ／分）が５０℃において４．０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、
熱刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうることを特徴とする。
【００１１】
このような自発巻回性積層シートでは、
前記収縮性フィルム層は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度における主収縮方向の熱収縮率が３０〜９０％であることが好ましい。
また、前記剛性フィルム層は、８０℃におけるヤング率と厚みとの積が３．０×１０５Ｎ／ｍ以下であることが好ましい。
さらに、前記接着層が、ウレタン系接着剤であることが好ましい。
自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと自発巻回性積層シートの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）が、０．００１〜０．３３３の範囲であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の自発巻回性粘着シートは、
上述した自発巻回性積層シートと、
該自発巻回性積層シートを構成する剛性フィルム層の収縮性フィルム層とは反対側の面に設けられた粘着剤層とで構成された再剥離性の自発巻回性粘着シートであって、
前記粘着剤層又は低粘着化処理後の粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）が２５℃において１０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、
刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうることを特徴とする。
【００１３】
このような自発巻回性粘着シートは、
前記粘着剤層が、エネルギー線硬化型粘着剤で構成されていることが好ましい。
また、自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒｎと自発巻回性粘着シートの巻回方向の長さＬｎとの比（ｒｎ／Ｌｎ）が、０．００１〜０．３３３の範囲であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートによれば、迅速な巻回を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の自発巻回性積層シートの一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の自発巻回性粘着シートの一例を示す概略断面図である。
【図３】本発明の自発巻回性積層シート又は粘着シートが自発巻回する状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の自発巻回性積層シート（以下、単に「積層シート」と記載することがある）及び自発巻回性粘着シート（以下、単に「粘着シート」と記載することがある）を、図１及び図２にそれぞれ示す。
本発明の自発巻回性積層シート１は、主として、収縮性フィルム層２と、接着剤層３と、剛性フィルム層４とがこの順に積層されて構成される。
また、本発明の自発巻回性粘着シート１０は、主として、収縮性フィルム層２と、接着剤層３と、剛性フィルム層４とからなる上述した自発巻回性積層シート１における剛性フィルム層４の表面であって、収縮性フィルム層２とは反対側の面に、粘着剤層５が積層されて構成される。ここで、自発巻回性積層シート１は自発巻回性粘着シート１０の支持基材として機能する。
【００１７】
本発明の積層シート及び粘着シートにおける収縮性フィルム層は、刺激によって収縮して収縮応力を生成し、かつ、後述する剛性フィルムに反作用力を生み出させることで、シート中に反並行の力を生成してトルクとするための役割を果たす層である。
収縮性フィルム層は、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層であればよく、熱収縮性フィルム、光により収縮性を示すフィルム、電気的刺激により収縮するフィルム等の何れで構成されていてもよい。なかでも、作業効率等の観点から、熱収縮性フィルムで構成されているのが好ましい。
【００１８】
収縮性フィルム層は、所定の１軸方向に主収縮性を有していれば、その方向とは異なる方向（例えば、その方向に対して直交する方向）に副次的に収縮性を有していてもよい。
収縮性フィルム層は単層であってもよく、２以上の層からなる複層であってもよい。
収縮性フィルム層を構成する収縮性フィルムの主収縮方向の収縮率は、好ましくは３０〜９０％である。
【００１９】
例えば、収縮性フィルム層が、熱収縮性フィルムで構成されている場合、熱収縮性フィルムの主収縮方向の熱収縮率は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば９５℃、１４０℃等）において、好ましくは３０〜９０％である。ここで、収縮率とは、［（収縮前の寸法−収縮後の寸法）／収縮前の寸法］×１００の式から算出される値を意味している。
【００２０】
収縮性フィルム層は、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリノルボルネン、ポリイミド、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなる１軸延伸フィルムによって形成することができる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリノルボルネン等のポリオレフィン系樹脂（環状ポリオレフィン系樹脂を含む）、ポリウレタン系樹脂からなる１軸延伸フィルムを用いることが好ましい。
【００２１】
このような収縮性フィルムとしては、東洋紡社製の「スペースクリーン（登録商標）」、グンゼ社製の「ファンシーラップ」、東レ社製の「トレファン（登録商標）」、東レ社製の「ルミラー（登録商標）」、ＪＳＲ社製の「アートン（登録商標）」、日本ゼオン社製の「ゼオノア（登録商標）」、旭化成社製の「サンテック（登録商標）」、三菱樹脂社製の「ヒシペット（登録商標）」等の市販品が利用可能である。
なお、自発巻回性積層シートを、自発巻回性粘着シートの支持基材として用いる場合であって、自発巻回性粘着シートの粘着剤層として、エネルギー線硬化型粘着剤を用いる場合には、エネルギー線硬化型粘着剤を硬化する際、エネルギー線照射を収縮性フィルム層を通して行うためには、収縮性フィルム層は所定量以上のエネルギー線を透過しうる材料（例えば、透明性を有する樹脂等）で構成することが好ましい。
【００２２】
収縮性フィルム層は、一般に、５〜３００μｍ、好ましくは１０〜１５０μｍの厚みを有する。このような範囲の厚みとすることにより、剛性が高くりすぎることを防止して、自発巻回を促進し、後述する接着剤層と相まって、収縮性フィルム層と後述する剛性フィルム層との間での分離を抑制して、積層シートの破壊を有効に防止することができる。また、積層シート貼着時の応力が残存して起こる弾性変形力を抑制して、極薄いウェハに対する反りを防止することができる。
【００２３】
収縮性フィルム層は、隣接する層との密着性、保持性等を高めるため、その表面に、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗り剤（例えば、粘着物質等）によるコーティング処理等が施されていてもよい。
【００２４】
本発明の積層シート及び粘着シートにおける接着剤層は、収縮性フィルム層と、後述する剛性フィルム層とを接合する役割を果たすものであり、両者を接合する十分な接着力を有するものが適している。特に、収縮性フィルム層を収縮させるために加温等しても、接着力の低下を招くことがないものが適している。また、収縮応力から、剛性フィルム層へ反作用力を生むために、薄くかつ硬い接着剤層であることが好ましい。接着剤層が厚すぎたり、柔らすぎる場合には、収縮応力により接着剤層自体が収縮し、剛性フィルム層の反作用力を低下させ、つまり、巻回に必要なトルクを低下させることがある。このように、接着剤層は、薄く硬くかつ高接着力であるという、互いに相反する物性を両立していることが必要である。
【００２５】
このために、接着剤層は、０．０１〜１５μｍの厚みを有していることが適しており、好ましくは０．１μｍ〜１０μｍの厚みを有する。この範囲の厚みとすることにより、通常、必要とされる接着力を確保することができる。また、必要以上の剛性の増加を防止して、生成するトルクのうち、巻回のために使われる力を低減し、接着力を被着体より剥離するための力として消費させることができる。さらに、貼り付け応力によって被着体が反るのを抑制するための応力緩和機能をもたらすことができる。加えて、積層シート及び粘着シートにおける切断性が良好となり、接着層のはみだし等を防止することができる。なお、応力緩和機能は、厚みの他、接着剤層の材料、種々の特性によって制御することができる。
【００２６】
接着剤層を形成する粘着剤は、高い接着力を有するものが好ましく、特に加熱状態でも接着力を高く維持できるものが好ましい。具体的には、５０℃における収縮性フィルム層と剛性フィルム層との２種のフィルムを引き剥がすに必要な剥離力は、５０℃における１８０°ピール剥離試験(引張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）において、４．０Ｎ／１０ｍｍ以上であるものが適している。この範囲の剥離力とすることにより、実際の剥離での使用においても、収縮性フィルム層の収縮応力によって接合が破壊されず、接着剤層上で収縮性フィルムを収縮させる不具合を防止することができる。
【００２７】
接着剤は、上述した特性を有する材料であれば、特に限定されないが、ウレタン系接着剤が好ましい。
ウレタン系接着剤は、官能基としてイソシアナート基を有する化合物と水酸基を有する化合物とを混合し、化学反応によってウレタン結合を生成させる接着剤である。ウレタン結合は強い水素結合性を有するため、弱い分子間力であるファンデアワールス力のみに依る接着剤よりも強力に被着体を接着させることができる。また、接着剤分子同士の分子間力も強いため、接着剤を加熱しても軟化が起こりにくく、温度依存性が小さい。さらに、イソシアナート基は接着剤中の水酸基だけでなく、基材中に含まれる水酸基とも反応性して、ウレタン結合を生じるため、共有結合による強い接着力も期待できることから好ましい。
【００２８】
なお、接着剤中のウレタン結合の密度が大きくなりすぎると、高弾性体となり、被着体界面への濡れ性が低下するため、イソシアナート基及び水酸基間には、エーテル結合、エステル結合等の分子鎖を屈曲させる作用の強い分子が介在し、適切な柔軟性及び／又は濡れ性を有するものが好ましい。このようなウレタン系接着剤としては、ポリエーテルウレタン、ポリエステルウレタン等が挙げられ、特に、ポリエステルウレタンが好ましい。
ウレタン系接着剤は上述のように水酸基を含む成分とイソシアナートを含む成分の２種を混合して使用(２液型接着剤)するもののほか、イソシアナート基を保護基で修飾して、保存時には非反応性にした１液型接着剤(使用時に、加熱などして保護基を脱離させて使用する)などが知られ、目的の物性であれば、いずれであってもよい。また、接着剤分子を溶剤に混合した溶媒混合系ウレタン接着剤のほか、接着剤分子を低分子量化(低粘性化)した無溶媒型ウレタン接着剤、エマルションによる水溶性ウレタン接着剤などを用いてよく、塗工方法に応じて適宜選択すればよい。
また、ウレタン化(架橋)反応促進のために、公知のウレタン化触媒(有機すず化合物や三級アミン類など)を適宜混合してもよい。
具体的には、三井武田ケミカル社製のタケラック（登録商標）又はタケネート（登録商標）類、大日精化社製のセイカボンド類、ロックタイト社製Ｈｙｓｏｌ類、日本ポリウレタン社製ニッポラン類、同社製コロネート類、株式会社イーテック社製マイティシリーズ類等を用いることができる。
【００２９】
接着剤層を積層する場合は、通常、収縮性フィルム層又は後述する剛性フィルム層に塗布する。この場合の塗布方法としては、マイヤーバー、アプリケータ等を用いた方法、あるいは、ファンテンダイ、グラビアコーター等を用いた工業的に量産する方法等、所望の厚みに応じて、公知の方法を適宜選択することができる。また、適当な剥離ライナー（セパレータ）上に接着剤を塗布して接着剤層を形成し、これを収縮性フィルム層又は剛性フィルム層上に転写（移着）してもよい。
【００３０】
本発明の積層シート及び粘着シートにおける剛性フィルム層は、収縮性フィルム層の収縮力に対して反作用の力を生み出し、ひいては巻回に必要な偶力を発生させる役割を果たす。
剛性フィルム層を積層することにより、収縮性フィルム層に、熱等の収縮原因となる刺激が付与された際、積層シート又は粘着シートが、途中で停止したり、方向がずれたりすることなく、円滑に自発巻回し、形の整った筒状巻回体を、瞬時に形成することができる。
【００３１】
剛性フィルム層を構成する剛性フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリイミド；ポリアミド；ポリウレタン；ポリスチレン等のスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン；ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなるフィルムが挙げられる。なかでも、接着剤及び／又は後述する粘着剤の塗工作業性等に優れる観点から、ポリエステル系樹脂フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム等が好ましい。
剛性フィルム層は単層であっても２以上の層が積層された複層であってもよい。
【００３２】
剛性フィルム層を構成する剛性フィルムは非収縮性であるものが適しており、収縮率は、例えば、５％以下、好ましくは３％以下、さらに好ましくは１％以下である。
【００３３】
剛性フィルム層のヤング率と厚みとの積（ヤング率×厚み）は、剥離時温度（例えば、８０℃）において、好ましくは３．０×１０５Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０２〜３．０×１０５Ｎ／ｍ）、さらに好ましくは２．８×１０５Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０３〜２．８×１０５Ｎ／ｍ）である。剛性フィルム層のヤング率と厚みとの積をこの範囲とすることにより、収縮性フィルム層の収縮応力を巻回応力へと変換する作用及び方向性収斂作用を確保することができる。また、過度の剛性を防止して、上述した接着剤層の厚み等と相まって、迅速な巻回を促進することができる。
【００３４】
剛性フィルム層のヤング率は、剥離時温度（例えば、８０℃）において、好ましくは３×１０６〜２×１０１０Ｎ／ｍ２、さらに好ましくは１×１０８〜１×１０１０Ｎ／ｍ２である。ヤング率をこの範囲とすることにより、自発巻回を促進し、整った形で巻回した筒状巻回体を得ることができる。
【００３５】
剛性フィルム層の厚みは、例えば、２０〜１５０μｍ、好ましくは２５〜９５μｍ、さらに好ましくは３０〜９０μｍ、特に好ましくは３０〜８０μｍ程度である。この範囲の厚みとすることにより、自己巻回性を確保して、整った形で巻回した筒状巻回体を得ることができるとともに、取扱性及び経済性を向上させることができる。
【００３６】
なお、自発巻回性積層シートを、自発巻回性粘着シートの支持基材として用いる場合であって、自発巻回性粘着シートの粘着剤層として、エネルギー線硬化型粘着剤を用いる場合には、エネルギー線硬化型粘着剤を硬化する際、エネルギー線照射を剛性フィルム層を通して行うためには、剛性フィルム層は所定量以上のエネルギー線を透過しうる材料（例えば、透明性を有する樹脂等）で構成することが好ましい。
また、剛性フィルム層は、製造上及び／又は作業性等の観点から、厚みを容易に調整することができ、フィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものが好ましい。
【００３７】
本発明の粘着シートにおける粘着剤層は、被着体に貼着可能な粘着性を有しており、所定の役割が終了した後に、何らかの方法（例えば、低粘着化処理）で粘着性を低下又は消失させることができる再剥離性の粘着剤層であることが適している。
【００３８】
このような再剥離性の粘着剤層は、公知の再剥離性粘着シートの粘着剤層と同様の構成を利用することができる。例えば、いわゆる感圧型粘着剤層を利用することができる。
自己巻回性の観点から、粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）は、例えば、常温（２５℃）で、１０Ｎ／１０ｍｍ以下（特に、６．０Ｎ／１０ｍｍ以下）であるのが適している。また、粘着剤層の粘着力は、当初このような値以上を示しても、粘着剤層を低粘着化処理した後に、このような値以下となるものであればよい。
【００３９】
このような観点から、粘着剤層を構成する粘着剤としては、特に、エネルギー線硬化型粘着剤であることが好ましい。
エネルギー線硬化型粘着剤は、初期には粘接着性を有し、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等のエネルギー線の照射により硬化して、３次元網目構造を形成して高弾性化する材料を用いることが好ましい。
【００４０】
エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線による硬化性を付与するためのエネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、エネルギー線硬化性化合物又はエネルギー線硬化性樹脂等を含有する。
従って、エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤（粘着剤）を用いるか、エネルギー線硬化性化合物又はエネルギー線硬化性樹脂を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましい。
【００４１】
前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧性接着剤又は粘着剤等の粘着物質を使用することができる。
例えば、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲ等のゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましい。
【００４２】
アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１〜Ｃ２０アルキルエステル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリル等のアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド等のアミド基含有モノマー等］との共重合体等のアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４３】
化学修飾に用いられるエネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素−炭素多重結合を有する官能基等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの官能基は、エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。
なかでも、（メタ）アクリロイル基は、エネルギー線に対して比較的高反応性を示し、ま富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できる等、反応性、作業性の観点で好ましい。
【００４４】
エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例としては、ヒドロキシル基及び／又はカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する基（イソシアネート基、エポキシ基等）及びエネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネート等］を反応させて得られる重合体が挙げられる。
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば５〜４０重量％、好ましくは１０〜３０重量％である。
【００４５】
分子内に前記反応性官能基と反応する基及びエネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、前記反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば、５０〜１００モル％、好ましくは６０〜９５モル％である。
【００４６】
エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等のポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物等の炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物が好ましく、例えば、特開２００３−２９２９１６号公報に例示されているものを用いることができる。以下、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物を、「アクリート系架橋剤」と記載することがある。
【００４７】
また、エネルギー線硬化性化合物として、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。
前記混合物は、エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。
前記有機塩類としては、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が挙げられる。
【００４８】
前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環としては、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が挙げられる。
具体的には、技術情報協会編、光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用することができる。
【００４９】
エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有するエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂、光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂、アクリルアミド型ポリマー等、感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマー等が挙げられる。特に、高エネルギー線によって硬化する樹脂として、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサン等を用いてもよい。
なお、エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前記母剤は必ずしも必要でない。
【００５０】
エネルギー線硬化型粘着剤としては、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体（側鎖にエネルギー線反応性官能基が導入されたアクリル系重合体）と前記エネルギー線硬化性化合物（炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物等）との組み合わせからなるものが特に好ましい。
このような組み合わせは、エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すアクリレート基を含み、多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。
【００５１】
このような組み合わせの具体例として、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体と、炭素−炭素二重結合を有する官能基（特に、アクリレート基）を２つ以上有する化合物との組み合わせ等が挙げられる。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。
【００５２】
側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体は、例えば、側鎖に水酸基を含むアクリル系重合体に、アクリロイルオキシエチルイソシアナート、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート等のイソシナナート化合物を、ウレタン結合を介して結合する方法等を用いて製造することができる。
【００５３】
エネルギー線硬化性化合物の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、０．５〜２００重量部程度、好ましくは５〜１８０重量部、さらに好ましくは２０〜１３０重量部程度である。
【００５４】
エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的として、エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるためのエネルギー線重合開始剤が配合されていてもよい。
エネルギー線重合開始剤は、用いるエネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知の重合開始剤を用いることができる。作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。
【００５５】
代表的なエネルギー線重合開始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
市販品として、例えば、チバガイギー社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」等がある。
エネルギー線重合開始剤の配合量は、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部程度、好ましくは１〜８重量部程度である。
【００５６】
また、必要に応じて前記エネルギー線重合開始剤とともにエネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。これらの添加剤は、当該分野で公知のいずれを用いてもよい。
【００５７】
特に、エネルギー線硬化型粘着剤の好ましい態様としては、ＵＶ硬化性化合物をアクリル系粘着剤中に配合したＵＶ硬化型粘着剤、具体的には、側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤、アクリレート系架橋剤及び紫外線光開始剤を含むＵＶ硬化型粘着剤等が挙げられる。
側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤とは、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体であり、上記と同様のものを同様の方法で製造して利用することができる。
アクリレート系架橋剤とは、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物又は多官能アクリレートとして、上記に例示の低分子化合物である。
紫外線光開始剤としては、代表的なエネルギー線重合開始剤として、上記に例示のものを利用できる。
【００５８】
また、粘着剤層を構成する粘着剤として、上記アクリル系粘着剤を母材とした非エネルギー線硬化型粘着剤を用いることも可能である。
この場合には、筒状巻回体を生成する際の剥離応力よりも小さな粘着力を有するものが適している。例えば、シリコンミラーウェハを被着体に用いた１８０°ピール剥離試験（室温（２５℃））において、１０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．５Ｎ／１０ｍｍ、好ましくは０．２〜６．５Ｎ／１０ｍｍ）、特に、６．０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．０Ｎ／１０ｍｍ、好ましくは０．２〜６．０Ｎ／１０ｍｍ）のものを用いることができる。
このような粘着剤層を用いることにより、被着体からシートを剥離するために、被着体破損等の不具合を最小限に抑えることができる。
【００５９】
このような粘着力の小さいアクリル系粘着剤を母材とした非エネルギー線硬化型粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１〜Ｃ２０アルキルエステル］と、反応性官能基を有するモノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリル等のアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド等のアミド基含有モノマー等］と、必要に応じて用いられる他の共重合性モノマー［例えば、（メタ）アクリル酸イソボルニル等の脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル、アクリロニトリル等］との共重合体に、前記反応性官能基と反応しうる架橋剤［例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤等］を添加して架橋させたアクリル系粘着剤等が好ましい。
【００６０】
粘着剤層は、例えば、粘着剤、エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、剛性フィルム層の表面に塗布する方法、適当な剥離ライナー（セパレータ）上に前記コーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを剛性フィルム層上に転写（移着）する方法等、当該分野で公知の方法により形成することができる。
【００６１】
転写によって形成する場合は、剛性フィルム層への転写後に、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施すことにより、剛性フィルム層と粘着剤層との界面に発生したボイド（空隙）を拡散させて消滅させることが適している。
粘着剤層は、単層及び積層層の何れであってもよい。
【００６２】
粘着剤層には、さらに、ガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。粘着剤層にビーズを添加することにより、ずり弾性率を高めることができ、粘着力を低下させやすくなる。
ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μｍ、好ましくは１〜２０μｍ程度である。
【００６３】
ビーズの添加量は、粘着剤層の全体１００重量部に対して、例えば２５〜２００重量部、好ましくは５０〜１００重量部である。
この範囲にすることにより、上述した効果を最大限に発揮させながら、ビーズを均一に分散することができ、粘着剤の塗布が容易となる。
【００６４】
粘着剤層の厚みは、一般には１０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ、さらに好ましくは３０〜６０μｍである。
この範囲とすることにより、粘着力を十分確保して、被着体を保持又は仮固定することができる。また、取扱いも容易となる。
【００６５】
本発明の自発巻回性積層シートは、収縮性フィルム層、接着剤層、剛性フィルム層を重ね、ハンドローラー、ラミネーター等の積層手段、オートクレーブ等の大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。
【００６６】
また、本発明の自発巻回性粘着シートは、前記自発巻回性積層シートの剛性フィルム層表面に粘着剤層を設けることにより製造することができる。
【００６７】
これら自発巻回性積層シート及び粘着シートは、特にその形状について限定されるものではなく、目的に応じて、円形状、楕円形状、多角形状等の何れの形状にも製造／成形することができるが、通常、四角形である。大きさは、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、自発巻回等を考慮すると、シートの巻回方向の長さＬは、例えば、１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍである。また、これらシートにおける長さＬに直交する方向の長さは、例えば、１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍ程度である。
【００６８】
本発明の自発巻回性粘着シート１０は、図３Ａに示すように、収縮性フィルムの収縮原因となる刺激を与える前は、平坦に広がって存在する。
熱等の収縮性フィルムの収縮原因となる刺激を与えると、図３Ｂに示すように、粘着シート１０の外縁部から一方向（通常、収縮性フィルムの主収縮軸方向）に、自発巻回を始める。ここでの粘着シート１０では、粘着剤層の粘着力が低下又は消失している。
その後、粘着シート１０は、巻回が終了し、図３Ｃに示すように、直径ｒ１の１個の筒状の巻回体１０ａが形成される。
あるいは、刺激を与えた場合に、粘着シート１０の外縁部から二方向に、自発巻回を始めた場合には、図３Ｄに示すように、直径ｒ２の２個の筒状の巻回体１０ｂが形成される。
【００６９】
本発明の自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートは、自発的に巻回して形成される筒状巻回体が１個又は２個のいずれの場合においても、巻回体の直径ｒ（積層シート）又はｒｎ（粘着シート）と、これらシートの巻回方向の長さＬ（積層シート）又はＬｎ（粘着シート）との比（ｒ／Ｌ又はｒｎ／Ｌｎ）が、好ましくは０．００１〜０．３３３、さらに好ましくは０．０１〜０．２の範囲である。なお、直径ｒ又はｒｎ及び長さＬ又はＬｎのいずれにおいても、それらの値が一定でない場合は、最大値を意味する。また、本用途での一般的なＬ又はＬｎの値としては、１〜２０ｍｍ程度の範囲である。ｒ／Ｌの値は、収縮性フィルム層、接着剤層及び／又は剛性フィルム層の材料及び／又は厚み等を調整することにより、上記の範囲に設定することができる。ｒｎ／Ｌｎの値は、収縮性フィルム層、接着剤層、剛性フィルム層及び／又は粘着剤層の材料及び／又は厚み等を調整することにより、上記の範囲に設定することができる。ただし、粘着剤層は、非常に薄いことから、ｒｎ／Ｌｎに対する影響はほとんど無視することができる。よって、実質的にｒ／Ｌ＝ｒｎ／Ｌｎとみなすことができる。
ｒ／Ｌ又はｒｎ／Ｌｎの値をこの範囲とすることにより、シートの長さ及び厚みに対して、適切な自発巻回性を得ることができ、迅速な巻回性を実現することができる。
なお、本発明の自発巻回性積層シートと、自発巻回性粘着シートとでは、粘着剤層の有無によりそれらの構成が異なるが、シートの自発巻回の挙動に関して、粘着剤層の有無は実質的に影響しないことを確認している。
【００７０】
本発明の自発巻回性粘着シートは、例えば、半導体等の保護用粘着シート、半導体ウェハ等の固定用粘着シートして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラインド用粘着シート、化合物半導体バックグラインド用粘着シート、シリコン半導体ダイシング用粘着シート、化合物半導体ダイシング用粘着シート、半導体パッケージダイシング用粘着シート、ガラスダイシング用粘着シート、セラミックスダイシング用粘着シート等として使用できる。特に、ダイシング時の切削水による腐食(さび)、切削屑等から被着体を保護するための保護テープとしても有用である。
なかでも、半導体保護用粘着シート、半導体ウェハ固定用粘着シート等の半導体用粘着シートとして有利に使用することができる。
このように、本発明の自発巻回性粘着シートは、低剛性、高剛性又は高靭性の被着体、非常に微小な被着体においても、シートの剥離を確実、かつ迅速に実現することができる。
【００７１】
例えば、本発明の自発巻回性粘着シートを被着体に貼着して仮固定し、被着体に所要の加工を施す。
その後、自発巻回性粘着シートの粘着剤層の粘着力を低下させるとともに、収縮性フィルム層の収縮原因となる熱等の刺激を自発巻回性粘着シートに与える。自発巻回性粘着シートが、エネルギー線硬化型粘着剤層を備え、収縮性フィルム層が熱収縮性フィルム層の場合には、粘着剤層にエネルギー線照射を行うとともに、所要の加熱手段により熱収縮性フィルム層を加熱する。
【００７２】
これによって、自発巻回性粘着シートは、その１端部から１方向（通常、主収縮軸方向）へ又は対向する２端部から中心に向かって（通常、主収縮軸方向へ）自発的に巻回し、１又は２個の筒状巻回体を形成するとともに、被着体から剥離する。つまり、粘着剤層が硬化して粘着力を失い、収縮性フィルム層が収縮変形しようとするため、粘着シート外縁部が浮き上がって、その外縁部（又は対向する二つの外縁部）より粘着シートが巻回しつつ、一方向（又は方向が互いに逆の二方向（中心方向））へ自走して１個（又は２個）の筒状巻回体を形成する。この際、収縮性フィルム層によって粘着シートの収縮方向が調整されるため、一軸方向へ巻回しつつ速やかに筒状巻回体が形成され、粘着シートを被着体から極めて容易に、かつ綺麗に剥離することができる。
【００７３】
自発巻回性粘着シートの１端部から１方向へ自発巻回する場合は、１個の筒状巻回体が形成され（一方向巻回剥離）、自発巻回性粘着シートの対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回する場合は、平行に並んだ２個の筒状巻回体が形成される（二方向巻回剥離）。
このように、本発明の粘着シートは、常に筒状に丸まるために、剥離後のテープ回収作業の簡便化にもつながる。
【００７４】
被着体の代表的な例としては、半導体ウェハ、ガラスウェハ、セラミック等が挙げられる。
加工は、粘着シートを用いて施しうる加工であれば特に限定されず、例えば、研削、切断、研磨、エッチング、旋盤加工、加熱（但し、収縮性フィルム層が熱収縮性フィルム層の場合には、熱収縮開始温度以下の温度に限られる）等が挙げられる。
エネルギー線照射、加熱処理は同時に行ってもよく、段階的に行ってもよい。
【００７５】
加熱は、熱収縮性フィルム層の収縮性に応じてその温度を適宜選択でき、例えば、７０〜２００℃、好ましくは７０〜１６０℃である。また、加熱は、被着体全面均一に加温するだけでなく、全面を段階的に加温する、さらには剥離きっかけを作るためだけに部分的に加熱してもよく、易剥離性を活用する目的において適宜選択することができる。
【００７６】
本発明の自発巻回性積層シートによれば、上述した収縮性フィルム層、接着剤層及び剛性フィルム層が相まって、特に、熱収縮時における加熱による変形の不具合を抑制することができる。これによって、自発巻回性積層シートを用いた自発巻回性粘着シートを迅速に剥離することが可能となる。
【００７７】
以下に、本発明の自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートを実施例に基づいて詳細に説明する。
【００７８】
エネルギー線硬化型粘着剤層の製造
アクリル系重合体［組成：２−エチルヘキシルアクリレート：アクリロイルモルホリン：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝７５：２５：２２（モル比）を共重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の５０％をメタクリロイルオキシエチルイソシアナート（２−イソシアナトエチルメタクリレート）と結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。
【００７９】
この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体１００重量部に対して、炭素−炭素２重結合を有する官能基を２つ以上含む化合物として東亞合成社製、商品名「アロニクスＭ３２０」１５重量部、光開始剤（チバガイギー社製、商品名「イルガキュア６５１」）１重量部、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）１重量部を混合してエネルギー線硬化型粘着剤を調製した。
【００８０】
得られたエネルギー線硬化型粘着剤を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層が剥離シート上に設けられた積層体を得た。
【００８１】
実施例１
三井武田ケミカル社製タケラックＡ３の１重量部に対して三井武田ケミカル社製タケネートＡ５１５を１０重量部加え、さらに固形分濃度が３０％となるよう酢酸エチルを加えて、ウレタン接着剤を調製した。
この接着剤を、マイヤーバーを用いて、剛性フィルム（東レ社製ルミラーＳ１０５、厚み３８μｍ）に塗布し、５０℃にて１分間加熱して、溶剤を揮発させた。
【００８２】
得られた積層体の接着剤塗布面に、熱収縮フィルム（東洋紡社製、スペースクリーンＳ７２００、厚み３０μｍ、熱収縮率４０％）をハンドローラーを用いて貼り合わせて、自発巻回性積層シートを得た。接着剤層の厚みは１〜３μｍであった。
この自発巻回性積層シートの剛性フィルム層の表面に、上記で製造したエネルギー線硬化型粘着剤層をハンドローラーで貼り合わせた。
これを４０℃にて、４８時間熟成熱処理して自発巻回粘着シート（１）を得た。
【００８３】
実施例２
セイカボンドＥ−３７２とＣ−７６−２との混合物（混合比１７：２（重量部））を接着剤として、厚み１μｍとなるようにグラビアコーターで塗布した以外は、実施例１と同様の方法で、自発巻回性粘着シート（２）を作製した。
【００８４】
実施例３
熱収縮フィルムとして、東洋紡社製のスペースクリーンＳ７０５３（厚み６０μｍ、熱収縮率７０％）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で、自発巻回性粘着シート（３）を作製した。
【００８５】
比較例
接着剤層として、日東電工社製ＣＡＭＰポリマーを厚み３０μｍとなるよう、ファンテンダイで塗工した以外は、実施例１と同様の方法で、自発巻回性粘着シート（４）を作製した。
【００８６】
上記実施例及び比較例で得られた自発巻回性粘着シートにおいて、以下の評価を行った。
［接着剤層の収縮性フィルムに対する粘着力の測定］
接着剤層の収縮性フィルムに対する粘着力を、１８０°ピール剥離試験（５０℃）により測定した。
収縮性フィルム層／接着剤層／剛性フィルム層の３層積層シートを幅１０ｍｍの大きさに切断し、剛性フィルム層側の面を、剛直支持基材（シリコンウェハ）と両面粘着テープを用いて貼り合わせた。収縮性フィルム層側表面にピール剥離試験機の引張り治具を粘着テープを用いて貼り合わせた。これを５０℃の加温ステージ（ヒーター）上に、剛直支持基材が、加温ステージに接触するように裁置した。
引張り治具を１８０°方向に、引張り速度３００ｍｍ／分で引張り、収縮性フィルム層と接着剤層との間で剥離が生じたときの力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
【００８７】
［粘着剤層のシリコンミラーウェハに対する粘着力の測定］
剥離シート上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層を、ポリエチレンテレフタレート基材（厚み３８μｍ）にハンドローラーを用いて貼り合わせた。
これを幅１０ｍｍに切断し、剥離シートを除去した後に４インチミラーシリコンウェハ（信越半導体社製、商品名「ＣＺ−Ｎ」）にハンドローラーで貼り合わせ、紫外線露光を１５０ｍＪ／ｃｍ２で行った。
これを、ピール剥離試験機の引張り治具に、粘着テープを用いて貼り合わせた。
引張り治具を１８０°方向に、引張り速度３００ｍｍ／分で引張り、シリコンミラーウェハと粘着剤層との間で剥離が生じたときの力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
その結果、０．２Ｎ／１０ｍｍ以下で剥離するに十分に粘着力が低下していた。
【００８８】
［剛性フィルム層のヤング率（８０℃）の測定］
剛性フィルム層のヤング率を、ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて以下の方法で測定した。
引張り試験機として島津社製オートグラフＡＧ−１ｋＮＧ（加温フード付き）を用いた。
長さ２００ｍｍ×幅１０ｍｍに切り取った剛性フィルムを、チャック間距離１００ｍｍで取り付けた。
加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。
歪が０．２％と０．４５％との２点について荷重を求め、ヤング率とした。
この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。
【００８９】
［自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒｎと粘着シートの巻回方向の長さＬｎとの比（ｒｎ／Ｌｎ）の測定］
粘着シートを１００ｍｍ×１００ｍｍに切断した後、エネルギー線硬化型粘着剤を用いたものについては、紫外線を約５００ｍＪ／ｃｍ２照射した。
シートの１端部を収縮性フィルム層の収縮軸方向に沿って８０℃の温水に浸漬し、変形を促した。
筒状巻回体となったものについては、直径を定規を用いて求め、この値を１００ｍｍで除してｒｎ／Ｌｎとした。
なお、粘着剤層を有さない自発巻回性積層シートの自発巻回性については、粘着剤層を有する自発巻回性粘着シートと同様の挙動を示すことが確認された。
【００９０】
［剥離速度の測定］
予め２００μｍに研削した８インチシリコンミラーウェハに、自発巻回性積層粘着シートを貼合した。さらに、自発巻回性積層粘着シートを貼合した反対面にダイシングテープを貼り合わせて、ダイシングリングを設置した。この試料を、ダイサー（ＤＩＳＣＯ社製、ＤＦＤ６５１）を用いて、７．５ｍｍ×７．５ｍｍとなるよう、シリコンウェハをダイシング（小片化）した。
小片化したシリコンミラーウェハの任意の５個を、両面テープを介して下板（シリコンウェハ）に貼り合わせた。この試料を、任意温度に設定したホットステージに設置して自発巻回剥離を誘発した。５個すべての試料から、自発巻回性積層粘着シートの剥離が起きるまでの時間（秒）を剥離時間として測定した。
【００９１】
これらの結果を表１に示す。
【表１】
2010194819.tif 000003
【００９２】
このように、本発明の自発巻回性粘着シートは、シートの剥離が困難な小さな被着体においても、速やかに剥離することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
本発明の自発巻回性積層シート及び自発巻回性粘着シートは、例えば半導体シリコンウェハ等の加工工程で用いられるウェハ仮固定用粘着シート、ウェハ保護用粘着シート等の再剥離用粘着シート等として有用である。自発巻回性積層シートは、例えば前記自発巻回性粘着シートの粘着剤層の支持基材等として有用である。
【符号の説明】
【００９４】
１  自発巻回性積層シート
２  収縮性フィルム層
３  接着剤層
４  剛性フィルム層
５  粘着剤層
１０  自発巻回性粘着シート
１０ａ、ｂ  巻回体
【先行技術文献】
【特許文献】
【００９５】
【特許文献１】特開２００３−１９７５６７号公報
【特許文献２】特開２００６−１９６８２３号公報
【特許文献３】特開２００８−１５５６１９号公報
【図１】
2010194819.tif 000004
【図２】
2010194819.tif 000005
【図３】
2010194819.tif 000006