(57)【要約】【課題】吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を正確に測定する。【解決手段】液状体を液滴として吐出する複数の吐出ヘッドと、吐出された前記液滴の重量を測定する吐出重量測定装置を備え、基材上に描画パターンを吐出描画する液滴吐出装置の吐出量測定方法であって、前記描画パターンを吐出描画する状態で、前記吐出ヘッドから前記吐出重量測定装置に向けて液状体を液滴として吐出する計測用吐出工程と、吐出された前記液滴の吐出量を前記吐出重量測定装置によって計測する吐出量計測工程と、を含む。【選択図】図５
2010110677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する複数の吐出ヘッドと、吐出された前記液滴の重量を測定する吐出重量測定装置を備え、基材上に描画パターンを吐出描画する液滴吐出装置の吐出量測定方法であって、
前記描画パターンを吐出描画する状態で、前記吐出ヘッドから前記吐出重量測定装置に向けて液状体を液滴として吐出する計測用吐出工程と、
吐出された前記液滴の吐出量を前記吐出重量測定装置によって計測する吐出量計測工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出装置の吐出量測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置の吐出量測定方法において、
前記計測用吐出工程では、
前記描画パターンを吐出描画するための吐出データに基づいて、前記複数の吐出ヘッドから同時期に前記吐出重量測定装置に向けて液状体を液滴として吐出することを特徴とする液滴吐出装置の吐出量測定方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置の吐出量測定方法において、
前記計測用吐出工程では、
前記描画パターンを吐出描画する吐出タイミングで前記液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置の吐出量測定方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の吐出量測定方法において、
前記計測用吐出工程では、
前記吐出ヘッドの温度が、前記描画パターンを吐出描画する温度となった場合に、前記液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置の吐出量測定方法。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置の吐出量測定方法において、
前記計測用吐出工程の前に、
前記吐出ヘッドの温度が、前記描画パターンを吐出描画する温度となるように、前記吐出ヘッドから前記液滴が吐出されない程度に、前記吐出ヘッドを予備駆動させる予備駆動工程を有することを特徴とする液滴吐出装置の吐出量測定方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の吐出量測定方法において、
前記計測用吐出工程では、
基材の種類に応じた前記吐出データに基づいて前記液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置の吐出量測定方法。
【請求項７】
基材上にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の吐出量測定方法を用いて、液滴の吐出量を測定する吐出量測定工程と、
測定された前記吐出量の結果に基づいて、前記吐出量を調整するか否かを判断する判断工程と、
調整が必要な場合に、前記吐出量を調整する調整工程と、
前記基材に向けて液滴を吐出し、前記基材上に吐出描画する描画工程と、
吐出描画された液状体を固化する固化工程と、を有することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記吐出量測定工程では、
前記基材の種類に応じて前記吐出量を測定することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項９】
請求項７または８に記載のパターン膜形成部材の製造方法によって製造されたパターン膜形成部材。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターン膜形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置の吐出量測定方法、パターン膜形成部材、パターン膜形成部材の製造方法、電気光学装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法は、例えば、インクジェット法を用いて、ガラス基材等に形成された区画部によって区画された各色素膜領域内に向けて、色素膜の材料となる液状体を液滴として吐出ヘッドから吐出する製造方法が知られている。このような液滴吐出装置では、吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を正確に測定する必要がある。吐出される液滴の量が不適切な場合には、カラーフィルタの色合いのバラツキの原因となるからである。
【０００３】
このため、液滴吐出装置には、吐出ヘッドから吐出される液滴量を測定する吐出量測定用の装置が設けられている。そして、液滴量を測定する場合には、複数の吐出ヘッドで構成されたヘッドユニット毎に吐出量測定用ユニットの設置位置に移動し、吐出量測定用ユニットに向けて液滴を吐出することにより液滴量が測定される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、近年、大判のカラーフィルタを製造するにあたり、複数の吐出ヘッドを直線上に配列した液滴吐出装置が開発されている。このような複数の吐出ヘッドユニットを備えた液滴吐出装置において、各吐出ヘッドから吐出される液滴量を測定する場合に、吐出ヘッド毎に吐出量を測定すると、例えば、吐出量の測定時と実際の描画時とでは吐出ヘッドの吐出条件が異なるため、実際の描画時における液滴量を正確に測定することができない、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置の吐出量測定方法は、液状体を液滴として吐出する複数の吐出ヘッドと、吐出された前記液滴の重量を測定する吐出重量測定装置を備え、基材上に描画パターンを吐出描画する液滴吐出装置の吐出量測定方法であって、前記描画パターンを吐出描画する状態で、前記吐出ヘッドから前記吐出重量測定装置に向けて液状体を液滴として吐出する計測用吐出工程と、吐出された前記液滴の吐出量を前記吐出重量測定装置によって計測する吐出量計測工程と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、実際の描画吐出状態において液滴を吐出するので、正確な吐出量を測定することができる。
【０００９】
［適用例２］上記の適用例にかかる液滴吐出装置の吐出量測定方法の計測用吐出工程は、前記描画パターンを吐出描画するための吐出データに基づいて、前記複数の吐出ヘッドから同時期に前記吐出重量測定装置に向けて液状体を液滴として吐出することを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、実際に描画パターンを吐出描画する吐出データに基づいて液滴を吐出する。さらに、複数の吐出ヘッドを同時期に駆動させ、同時期に液滴吐出する。従って、描画吐出時に即した条件の基で液滴の吐出量を測定するので、正確な吐出量を測定することができる。
【００１１】
［適用例３］上記の適用例にかかる液滴吐出装置の吐出量測定方法の前記計測用吐出工程では、前記描画パターンを吐出描画する吐出タイミングで前記液滴を吐出することを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、吐出描画する吐出タイミングにおける液滴の吐出量を測定するので、さらに、正確な吐出量を測定することができる。
【００１３】
［適用例４］上記の適用例にかかる液滴吐出装置の吐出量測定方法の前記計測用吐出工程では、前記吐出ヘッドの温度が、前記描画パターンを吐出描画する温度となった場合に、前記液滴を吐出することを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、描画パターンを吐出描画する温度条件の基で液滴吐出するので、さらに、吐出描画時の条件に近づき、正確な吐出量を測定することができる。
【００１５】
［適用例５］上記の適用例にかかる液滴吐出装置の吐出量測定方法の前記計測用吐出工程の前に、前記吐出ヘッドの温度が、前記描画パターンを吐出描画する温度となるように、前記吐出ヘッドから前記液滴が吐出されない程度に、前記吐出ヘッドを予備駆動させる予備駆動工程を有することを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、吐出ヘッドを容易に描画パターンを吐出描画する温度に調整することができる。
【００１７】
［適用例６］上記の適用例にかかる液滴吐出装置の吐出量測定方法の前記計測用吐出工程では、基材の種類に応じた前記吐出データに基づいて前記液滴を吐出することを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、基材毎に適切な吐出量を測定することができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材上にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、上記の液滴吐出装置の吐出量測定方法を用いて、液滴の吐出量を測定する吐出量測定工程と、測定された前記吐出量の結果に基づいて、前記吐出量を調整するか否かを判断する判断工程と、調整が必要な場合に、前記吐出量を調整する調整工程と、前記基材に向けて液滴を吐出し、前記基材上に吐出描画する描画工程と、吐出描画された液状体を固化する固化工程と、を有することを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、実際の描画パターンに即した正確な吐出量で液滴を吐出するので、所望する膜厚を有するパターン膜を形成することができる。
【００２１】
［適用例８］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記吐出量測定工程では、前記基材の種類に応じて前記吐出量を測定することを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、基材毎に適切な吐出量で液滴を吐出することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例にかかるパターン膜形成部材は、上記のパターン膜形成部材の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００２４】
これによれば、液状体の液量バラツキの少ない高品位のパターン膜形成部材を提供することができる。この場合、パターン膜形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬの部材、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の部材等がこれに該当する。
【００２５】
［適用例１０］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン膜形成部材を備えたことを特徴とする。
【００２６】
このような電気光学装置によれば、信頼性の高いパターン膜形成部材を備えることができる。この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００２７】
［適用例１１］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２８】
このような電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を搭載することができる。この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００３０】
（液滴吐出装置の構成）
図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。この液滴吐出装置１は、所定の機能液を含む液状体をノズルが設けられた吐出ヘッドから、例えば、基材１０１に吐出して、所定の文字、図柄、画像等を描画する装置である。液滴吐出装置１は、直線状に設けられた一対のガイドレール２と、ガイドレール２に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により一つの直線軸方向（本実施形態ではＹ軸方向とする）に移動する移動台４を備えている。移動台４上には、基材１０１を載置するための載置テーブル５が設けられている。基材１０１は、載置テーブル５に吸着固定されるように構成されている。
【００３１】
載置テーブル５に対して移動台４と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール３が設けられている。ガイドレール３はガイドレール２と直交する直線軸方向（本実施形態ではＸ軸方向とする）に延在するように設けられている。そして、液滴吐出装置１には、この一対のガイドレール３に沿って移動するキャリッジ１０が備えられている。このキャリッジ１０は、その両側にキャリッジ１０と一体若しくは別体でキャリッジ移動台８が設けられ、ガイドレール３に設けられたエアスライダとリニアモータ（いずれも図示せず）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００３２】
キャリッジ１０には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように設けられた複数のノズルと、ノズル毎に液状体を吐出する吐出機構とが形成された複数の吐出ヘッドＨで構成されるヘッドユニット２０が備えられている。そして、図示しない液状体供給機構からキャリッジ１０に供給された液状体は、キャリッジ１０内に形成された流路を経由して各吐出ヘッドＨに供給され、吐出機構によって各ノズルから液滴Ｄとして吐出する。
【００３３】
液滴吐出装置１には、ガイドレール３の端部付近に吐出ヘッドＨから吐出される液滴Ｄの吐出重量を測定する吐出重量測定装置３０を備えている。なお、吐出重量測定装置３０の構成については後述する。
【００３４】
また、ヘッドユニット２０の側面部には、温度取得装置としての温度センサ４０が設けられている。この温度センサ４０は、吐出ヘッドＨの温度を測定するためのセンサである。
【００３５】
次に、吐出ヘッドの構造について説明する。図２は、吐出ヘッドの構造を示し、図２（ａ）は平面図（移動台４側から見た平面図）であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００３６】
図２（ａ）に示すように、ヘッドユニット２０には、複数の吐出ヘッドＨがＹ軸方向に沿って長尺状に配列されている。このように、複数の吐出ヘッドＨを備えることによって、基材１０１に対する描画スピードを向上させることができる。
【００３７】
また、本実施形態では、吐出ヘッドＨＲ１〜ＨＲｎには、赤（Ｒ）の色素材料を含む液状体が供給され、吐出ヘッドＨＧ１〜ＨＧｎには、緑（Ｇ）の色素材料を含む液状体が供給され、吐出ヘッドＨＢ１〜ＨＢｎには、青（Ｂ）の色素材料を含む液状体が供給されるように構成されている。すなわち、３色の異なる液状体を同時期に吐出することが可能な構成となっている。
【００３８】
さらには、Ｙ軸方向に配列した吐出ヘッドＨＲ１〜ＨＲｎ，ＨＧ１〜ＨＧｎ，ＨＢ１〜ＨＢｎのそれぞれに対応する各ノズルＮが、Ｘ軸方向から見て等間隔で連続するように配列されている。したがって、キャリッジ１０と基材１０１とをＸ軸方向に相対移動しつつ各吐出ヘッドＨから液滴Ｄを吐出したとき、吐出された液滴ＤはＹ軸方向に略等間隔に塗布される。
【００３９】
図２（ｂ）は、吐出ヘッドの構造を示す断面図である。吐出ヘッドＨは、振動板２４と、ノズルプレート２５を備えている。また、振動板２４と、ノズルプレート２５との間には、複数の隔壁２２が設置されている。そして、振動板２４と、ノズルプレート２５と、一対の隔壁２２とによって囲まれた部分がキャビティ２１である。キャビティ２１は、ノズルＮに対応して設けられているため、キャビティ２１の数とノズルＮの数とは同じである。キャビティ２１には、一対の隔壁２２間に位置する供給口を介して、液状体が供給される。
【００４０】
また、振動板２４上には、それぞれのキャビティ２１に対応して振動子２３が取り付けられている。振動子２３は、ピエゾ素子２３ｃと、ピエゾ素子２３ｃを挟む一対の電極２３ａ，２３ｂを有する。この一対の電極２３ａ，２３ｂを与えることで、対応するノズルＮから液状体が液滴Ｄとなって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子２３の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴として吐出することができる。
【００４１】
次に、吐出重量測定装置としての電子天秤３０について説明する。図３は、吐出重量測定装置の構成を示す平面図である。電子天秤３０は、重量検出機構と検出された重量を電気信号に変換する変換部を有する本体３１と、被計量物を受ける計量台３２とを備えている（図１参照）。計量台３２の上面には、被計量物としての液状体を各吐出ヘッドＨごとに受けるため、吐出ヘッドＨと同数分の測定用受け皿Ｍが設けられている。詳細には、吐出ヘッドＨＲ１〜ＨＲｎに対応して測定用受け皿ＭＲ１〜ＭＲｎが設けられ、吐出ヘッドＨＧ１〜ＨＧｎに対応して測定用受け皿ＭＧ１〜ＭＧｎが設けられ、吐出ヘッドＨＢ１〜ＨＢｎに対応して測定用受け皿ＭＢ１〜ＭＢｎが設けられている。このように、各吐出ヘッドＨに対応した測定用受け皿Ｍを設けることにより、吐出量測定を素早く行うことができる。
【００４２】
測定用受け皿Ｍには、スポンジ状の吸収体が敷設されており、各ノズルＮから吐出された液滴Ｄを確実に受け止めて、測定用受け皿Ｍから外に飛散することを防止している。
【００４３】
本実施形態における電子天秤３０の最小計量単位は０．１ｍｇである。一方、吐出される液滴Ｄはｎｇレベルであるため、測定可能な機能液の量となるように吐出数を６００００発程度（１ノズルＮあたり）に設定して各吐出ヘッドＨを駆動し、各ノズルＮから液状体を液滴Ｄとして吐出する。
【００４４】
次に、以上述べた構成を制御する制御部５０の構成について説明する。図４は、制御部５０の構成を示すブロック図である。制御部５０は、指令部６０と駆動部７０とを備え、指令部６０は、ＣＰＵ６２、記憶手段としてのＲＯＭ６３、ＲＡＭ６４および入出力インターフェース６１からなり、ＣＰＵ６２が入出力インターフェース６１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ６３，ＲＡＭ６４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース６１を介して駆動部７０へ制御信号を出力する。さらに、電子天秤３０及び温度センサ４０も入出力インターフェース６１を介してＣＰＵ６２に接続されている。
【００４５】
駆動部７０は、ヘッドドライバ７１、モータドライバ７２から構成されている。モータドライバ７２は、指令部６０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ、Ｙ軸リニアモータを制御し、移動台４やキャリッジ１０の移動を制御する。ヘッドドライバ７１は、吐出ヘッドＨからの液状体の吐出を制御し、モータドライバ７２の制御と同調して、基材１０１上の所定位置に吐出を行えるようにする。
【００４６】
（吐出量測定方法）
次に、液滴吐出装置における吐出量測定方法について説明する。図５は、本実施形態にかかる吐出量測定方法を示すフローチャートである。
【００４７】
ステップＳ１は、予備駆動工程である。予備駆動工程では、吐出ヘッドＨの温度が、基材１０１に描画パターンを吐出描画する温度（実際に吐出描画する際の温度）となるように、吐出ヘッドＨを予備駆動させる。この際、吐出ヘッドＨのノズルＮから液滴Ｄが吐出されない程度の駆動を行う。
【００４８】
ここで、予備駆動工程（ステップＳ１）について詳細に説明する。図６は、予備駆動工程を示すフローチャートである。
【００４９】
ステップＳ１ａでは、吐出ヘッドＨの温度を取得する。本実施形態では、ヘッドユニット２０に配置された温度センサ４０によって吐出ヘッドＨの温度を取得する。
【００５０】
ステップＳ１ｂでは、取得した温度と予めＲＡＭ６４等のメモリ内に格納された所定温度との差を演算する。所定の温度とは、実際の吐出描画する際の吐出ヘッドＨの温度であり、基材１０１の種類や描画パターンの種類毎に設定されている。
【００５１】
ステップＳ１ｃでは、吐出ヘッドＨが所定の温度或いは所定の温度範囲であるか否かを判断する。所定の温度に達している場合（ＹＥＳ）には、図５のステップＳ２に移行する。所定の温度に達していない場合（ＮＯ）には、ステップＳ１ｄに移行し、吐出ヘッドＨを駆動させる。この場合、吐出ヘッドＨに液滴Ｄを吐出する駆動電圧よりも低く、ノズルＮから液滴Ｄが吐出されない程度の駆動電圧を振動子２３に印加させ、吐出ヘッドＨを駆動させる。この駆動に伴い、吐出ヘッドＨの温度が徐々に高まる。そして、一定期間吐出ヘッドＨを駆動させた後、再度ステップＳ１ａに移行して、吐出ヘッドＨの温度を取得する。そうして、ステップＳ１ｃにおいて吐出ヘッドＨが所定の温度或いは所定の温度範囲となるまで繰り返され、所定の温度に達した場合（ＹＥＳ）に、図５のステップＳ２に移行する。
【００５２】
再び図５に戻り、ステップＳ２の計測用吐出工程では、制御部５０はＸ軸リニアモータにキャリッジ移動データを送信し、キャリッジ１０を電子天秤３０の上方となる位置に移動させる。そして、制御部５０は、吐出ヘッドＨに吐出データを送信し、液滴Ｄを吐出すべき吐出ヘッドＨの全ノズルＮから各吐出ヘッドＨに対応する電子天秤３０のそれぞれの測定用受け皿Ｍに向けて同時期に液滴Ｄを吐出させる。なお、電子天秤３０は、液滴Ｄを吐出する前の測定用受け皿Ｍの重量を予め「ゼロ」にリセットされている。そして、吐出データに基づく所定の吐出数液滴を吐出した時点で吐出を終了する。ところで、当該吐出データは、基材１０１に描画パターンを吐出描画するための吐出データである。従って、本計測用吐出工程では、実際に描画吐出時に即した条件の基で液滴吐出が行われることになる。ここで、吐出データには、吐出タイミングやドットの大きさ等のデータが含まれる。液滴吐出が終了すると、ステップＳ３に移行する。
【００５３】
ステップＳ３は、吐出量計測工程である。ステップＳ３では、電子天秤３０の測定用受け皿Ｍに吐出された液滴Ｄの重量を測定する。ステップＳ２において測定した吐出前の測定用受け皿Ｍの重量測定値（重量：ゼロ）と、吐出後の測定用受け皿Ｍの重量測定値との差から吐出量を計測する。
【００５４】
以上のステップＳ１〜Ｓ３を経ることにより、液滴吐出装置１の吐出量測定が終了する。
【００５５】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、前述の液滴吐出装置を用いたパターン膜形成部材の製造方法について説明する。図７は、本実施形態にかかるパターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法を示すフローチャートである。
【００５６】
ステップＳ１０は、吐出量測定工程である。ステップＳ１０では、図５のステップＳ１〜Ｓ３を行うことにより、吐出ヘッドＨから吐出された液滴Ｄの吐出重量を測定する。なお、吐出量測定工程は、描画対象物となる基材１０１の種類に応じて行われる。基材１０１の種類によって吐出データが異なる場合があるので、実際の描画パターンを吐出描画する吐出データに基づいて、吐出量の測定が行われる。さらに、図５のステップＳ１の予備駆動工程（ステップＳ１ａ〜ステップＳ１ｄ）においても、基材１０１の種類毎に行われる。例えば、基材１０１の大きさや描画パターン等の違いによって吐出ヘッドＨの温度状態が異なる場合があるからである。
【００５７】
ステップＳ１１は、判断工程である。ステップＳ１１では、ステップＳ１０で測定された各吐出ヘッドＨの吐出重量値が所定の重量値と比較し、吐出量の調整が必要か否かの判定を行う。例えば、測定された吐出重量値と所定の重量値との差が、所定の重量値の±１％の許容範囲を外れた場合に、調整が必要と判断される。さらに、各吐出ヘッドＨ間において、それぞれ測定された吐出重量値の差が所定の範囲内であるか判断される。例えば、各吐出ヘッドＨ間の吐出重量値の差が、所定の範囲とする３％以内であるか判断し、所定の範囲を外れた場合に、調整が必要と判断される。そして、調整が必要と判断された場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ１４へ移行し、調整が不要と判断された場合（ＮＯ）には、ステップＳ１２に移行する。
【００５８】
ステップＳ１４は、吐出量調整工程である。ステップＳ１４では、吐出ヘッドＨ毎の吐出量を調整する。具体的には、吐出ヘッドＨの振動子２３の駆動電圧波形の電圧振幅を調整する。電圧振幅と吐出量の関係は、電圧振幅を大きくすると吐出量が多くなり、電圧振幅を小さくすると吐出量が少なくなる。この関係を用いて、吐出ヘッドＨごとの吐出量を調整する。吐出量の調整は、所望の吐出量に対して近づける様に調整すると共に、同一色の色材料液を吐出する液滴吐出ヘッド間の吐出量の差が少なくなるように調整する。この場合、前述した許容範囲内となるように調整する。調整が終了すると、再び、ステップＳ１０に移行する。
【００５９】
ステップＳ１２は、描画工程である。ステップＳ１２では、液滴吐出装置１の載置テーブル５に載置された基材１０１に向けて液滴Ｄを吐出し、基材１０１上に吐出描画する。さらに具体的には、図８（ａ）に示すように、キャリッジ１０をＸ軸方向に移動させるとともに、描画パターンを吐出描画するための吐出データに基づいて、各吐出ヘッドＨのノズルＮから液滴Ｄを吐出する。基材１０１上には、区画部１０２が形成されており、当該区画部１０２によって区画された領域に、パターン膜としての色素膜の材料となる液状体を液滴Ｄとして吐出し、基材１０１に液状体１０３ａを塗布する。
【００６０】
ここで、基材１０１は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。また、区画部１０２は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用い、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成することができる。そして、ステップＳ１２が終了すると、ステップＳ１３に移行する。
【００６１】
ステップＳ１３は、固化工程である。ステップＳ１３では、図８（ｂ）に示すように、塗布された液状体１０３ａを一括乾燥処理して固化し、色素膜１０３を形成する。乾燥方法としては、液状体１０３ａに含まれる溶媒を均一に蒸発させることが可能な減圧乾燥が好ましい。これによれば、より均一な膜厚を有する色素膜１０３を形成することができる。その後、必要に応じて、区画部１０２と色素膜１０３の上に保護膜を形成する。保護膜の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００６２】
上記の工程を経ることより、基材１０１と、基材１０１に設けられた区画部１０２によって区画された領域に形成された色素膜１０３と、有するカラーフィルタ１００を製造することができる。
【００６３】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図９は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００６４】
図９において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１００と、カラーフィルタ１００に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１００と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００６５】
カラーフィルタ１００の保護膜１０８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０１の色素膜１０３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００６６】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００６７】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図１０は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図１０において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００６８】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６９】
（１）上記実施形態の液滴吐出装置１は、複数の吐出ヘッドＨと、吐出ヘッドＨから吐出される液滴Ｄの吐出重量を測定する電子天秤３０を備えている。そして、電子天秤３０は、各吐出ヘッドＨに対応する複数の測定用受け皿Ｍを備えている。従って、複数の吐出ヘッドＨから同時期に液滴Ｄを吐出して吐出重量を測定することができる。その結果、吐出重量測定の測定処理速度を高めることができる。
【００７０】
（２）上記実施形態の計測用吐出工程Ｓ２では、基材１０１に描画パターンを吐出描画するための吐出データに基づいて、各吐出ヘッドＨから液滴Ｄを吐出した。従って、実際の吐出描画時の条件の基で吐出するので、正確な吐出重量を測定することができる。
【００７１】
（３）上記実施形態の予備駆動工程Ｓ１では、吐出ヘッドＨが、基材１０１に描画パターンを吐出描画するときの温度になるように、吐出ヘッドＨを予備駆動させた。従って、実際の吐出描画時の吐出ヘッドＨの温度状態となるので、さらに、正確な吐出重量を測定することができる。
【００７２】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００７３】
（変形例１）上記の実施形態の計測用吐出工程Ｓ２では、複数の吐出ヘッドＨから同時期に吐出重量測定装置３０に向けて液状体を液滴Ｄとして吐出したが、これに限定されず、吐出タイミングが同時期でなくてもよい。描画パターンを吐出描画する状態に近似していれば、特に限定されない。このようにしても、正確な吐出量を測定することができる。
【００７４】
（変形例２）上記実施形態では、予備駆動工程Ｓ１において、液滴Ｄが吐出されない程度の駆動電圧を振動子２３に印加させ、吐出ヘッドＨを駆動させることにより吐出ヘッドＨの温度を調整したが、この方法に限定されない。例えば、吐出ヘッドＨを加熱装置等によって、外部から加熱させてもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【００７５】
（変形例３）上記実施形態では、予備駆動工程Ｓ１において、吐出ヘッドＨの温度を取得をしたが、これに限定されない。例えば、予備的な吐出ヘッドＨの駆動のみを行ってもよい。この場合において、所定の温度となる吐出ヘッドＨの予備的駆動条件を予め設定しておく。このようにすれば、温度取得することなく、所定の温度に到達させることができる。
【００７６】
（変形例４）上記実施形態では、吐出量調整工程Ｓ１２の次に描画工程Ｓ１３に移行したが、これに限定されない。例えば、吐出量調整工程Ｓ１２の次に再度吐出量測定工程Ｓ１０に移行してもよい。そして、判断工程Ｓ１１において、調整が不要と判断された場合（ＮＯ）には、描画工程Ｓ１３に移行するようにしてもよい。このようにすれば、さらに、正確に吐出量を管理することができる。
【００７７】
（変形例５）上記実施形態では、予備駆動工程Ｓ１を設けたが、これに限定されない。予備駆動工程を省略してもよい。このようにしても、ほぼ吐出描画時の条件で吐出することができる。
【００７８】
（変形例６）上記実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルタ１００を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】吐出ヘッドの構造を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図３】電子天秤の構成を示す平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図５】吐出重量測定方法を示すフローチャート。
【図６】予備駆動工程を示すフローチャート。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図８】カラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図９】液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図１０】テレビ受像機の斜視図。
【符号の説明】
【００８０】
１…液滴吐出装置、１０…キャリッジ、２０…ヘッドユニット、３０…吐出重量測定装置としての電子天秤、４０…温度センサ、５０…制御部、１００…パターン膜形成部材としてのカラーフィルタ、１０１…基材、１０２…区画部、１０３…パターン膜としての色素膜、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機、Ｎ…ノズル、Ｄ…液滴、Ｈ（ＨＲ１〜ＨＲｎ，ＨＧ１〜ＨＧｎ，ＨＢ１〜ＨＢｎ）…吐出ヘッド、Ｍ（ＭＲ１〜ＭＲｎ，ＭＧ１〜ＭＧｎ，ＭＢ１〜ＭＢｎ）…測定用受け皿。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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