(57)【要約】      （修正有）【課題】高価な設備、装置を必要とせず、製造効率に優れた高品質の磁気検出素子、およびその製造方法を提供する。【解決手段】アモルファス磁性材料２２からなり、外部磁界Ｈによりインピーダンスが変化する感磁部２０と、該感磁部２０が取り付けられる基板１０とを備える磁気検出素子であって、前記感磁部２０の長手方向が、前記アモルファス磁性材料２２の圧延方向および前記外部磁界Ｈの方向と平行となるように磁気検出素子を構成した。【選択図】図７
2010016040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アモルファス磁性材料からなり、外部磁界によりインピーダンスが変化する感磁部と、該感磁部が取り付けられる基板とを備える磁気検出素子であって、
前記感磁部の長手方向は、前記アモルファス磁性材料の圧延方向と平行であることを特徴とする磁気検出素子。
【請求項２】
前記感磁部の長手方向は、前記外部磁界の方向と平行であることを特徴とする請求項１に記載の磁気検出素子。
【請求項３】
前記感磁部に接続される端子部は、非磁性材料で形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気検出素子。
【請求項４】
前記基板には、前記感磁部が引っ掛けられる引掛部が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の磁気検出素子。
【請求項５】
前記基板の一方の面に前記感磁部が設けられ、他方の面に前記端子部および前記感磁部と前記端子部の接続個所が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の磁気検出素子。
【請求項６】
アモルファス磁性材料からなり、外部磁界によりインピーダンスが変化する感磁部と、該感磁部が取り付けられる基板とを備える磁気検出素子の製造方法であって、
前記感磁部の長手方向を前記アモルファス磁性材料の圧延方向と平行にして前記基板に取り付ける感磁部取付工程を有することを特徴とする磁気検出素子の製造方法。
【請求項７】
前記感磁部取付工程において、前記感磁部の長手方向を前記外部磁界の方向と平行にすることを特徴とする請求項６に記載の磁気検出素子の製造方法。
【請求項８】
前記感磁部取付工程において、前記感磁部を前記基板に形成された引掛部に引っ掛けて前記感磁部に張力をかけた状態で前記基板に取り付けることを特徴とする請求項６または７に記載の磁気検出素子の製造方法。
【請求項９】
アモルファス磁性材料からなり、磁性体から発生する外部磁界によりインピーダンスが変化する感磁部を備えた磁気検出素子による磁性体検出方法であって、
前記感磁部の長手方向を前記アモルファス磁性材料の圧延方向と平行にすることを特徴とする磁性体検出方法。
【請求項１０】
前記感磁部の長手方向を前記外部磁界の方向と平行にすることを特徴とする請求項９に記載の磁性体検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気検出素子、磁気検出素子の製造方法、および磁性体検出方法に関し、更に詳しくは、磁気インピーダンス効果を利用した感磁部を備える磁気検出素子、およびその製造方法、ならびにこのような磁気検出素子を用いた磁性体検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転する物体や、移動する物体等の検出対象物に磁性体を取り付け、外部磁界の変化を検出することにより、検出対象物の位置や移動量を検出する磁気検出素子（磁気センサ）が知られている。
【０００３】
磁気検出素子は、例えば特許文献１に記載されるように、セラミック等により形成される非磁性体からなる基板上に、磁気インピーダンス効果を有する感磁部が形成されてなる。この感磁部には、種々の磁性材料を適用することができるが、その一例として、アモルファス磁性材料がロールによって圧延されたアモルファス箔が用いられた磁気検出素子が知られている。この種の磁気検出素子は、このアモルファス箔が所定の形状（感磁部の形状）に切断され、上記非磁性体からなる基板上に取り付けられる（貼付される）ことで構成される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３５８３７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このようなアモルファス箔を用いた感磁部を有する磁気検出素子には、次のような問題があった。
【０００６】
第一に、例えば、アモルファスワイヤや蒸着等により感磁部が形成された磁気検出素子と比較し、製品毎にセンサ感度、すなわち、感磁部の磁気インピーダンス特性がばらついてしまうという問題があった。また、第二に、磁気検出素子が取り付けられる方向によって、センサ感度がばらついてしまうという問題があった。そのため、製品によっては、必要なセンサ感度が得られないという問題があった。
【０００７】
上記問題に鑑みて、本発明が解決しようとする課題は、簡易な構成で、感磁部のインピーダンス特性を安定させることが可能な磁気検出素子、磁気検出素子の製造方法、およびこのような磁気検出素子を用いた磁性体検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、感磁部を構成するアモルファス磁性材料の圧延方向が、感磁部のインピーダンス特性に影響を与えており、これが原因となって製品毎のインピーダンス特性にばらつきが生じていることを知見した。具体的には、感磁部の長手方向と、感磁部を構成するアモルファス磁性材料の圧延方向とを平行にした場合に、感磁部のインピーダンス特性が最も向上することを見出した。さらに、この感磁部の長手方向を、外部磁界の方向と平行に位置させることによっても、感磁部のインピーダンス特性が向上することを見出した。
【０００９】
この知見に基づいて完成された本発明に係る磁気検出素子は、アモルファス磁性材料からなり、外部磁界によりインピーダンスが変化する感磁部と、該感磁部が取り付けられる基板とを備える磁気検出素子であって、前記感磁部の長手方向は、前記アモルファス磁性材料の圧延方向と平行であることを要旨とするものである。
【００１０】
そして、本発明に係る磁気検出素子は、前記感磁部の長手方向が前記外部磁界の方向と平行であることを要旨とするものである。
【００１１】
このように、本発明に係る磁気検出素子が有する感磁部は、その長手方向が、アモルファス磁性材料の圧延方向と平行になるように基板上に設けられているため、感磁部のインピーダンス特性（センサ感度）を向上させ、かつ安定させることができる。また、この感磁部の長手方向を外部磁界の方向と平行に位置させているため、感磁部のインピーダンス特性をさらに向上させることができる。
【００１２】
この場合、前記感磁部に接続される端子部は、非磁性材料で形成されていればよい。
【００１３】
これにより、磁気検出素子は、感磁部のみが磁性材料で構成されたものとなるため、磁気検出素子自体によって測定対象である外部磁界が変化してしまうことが抑制される。これにより、磁気検出素子のセンサ感度向上、誤検知防止につながる。
【００１４】
また、前記基板には、前記感磁部が引っ掛けられる引掛部が形成されていればよい。
【００１５】
これにより、基板に形成された引掛部に感磁部を引っ掛けることによって、感磁部に張力をかけた状態で感磁部を基板に取り付けることができる。そのため、感磁部に歪みやしわが生じてしまうことが防止され、感磁部の磁気インピーダンス特性が安定する。
【００１６】
また、前記基板の一方の面に前記感磁部が設けられ、他方の面に前記端子部および前記感磁部と前記端子部の接続個所が設けられていれば好適である。
【００１７】
これにより、感磁部が設けられた面には、端子部に感磁部や電線等を電気的に接続することによって生じる半田や、溶接痕等による盛り上がりが生じることがない。つまり、感磁部および端子部が同一平面上に形成された場合と比較し、感磁部を検出対象物（磁性体）に限りなく近づけて磁気検出素子を配置することができるため、検出対象物の検出精度が向上する。
【００１８】
また、上記課題を解決するため本発明に係る磁気検出素子の製造方法は、アモルファス磁性材料からなり、外部磁界によりインピーダンスが変化する感磁部と、該感磁部が取り付けられる基板とを備える磁気検出素子の製造方法であって、前記感磁部の長手方向を前記アモルファス磁性材料の圧延方向と平行にして前記基板に取り付ける感磁部取付工程を有することを要旨とするものである。
【００１９】
そして、本発明に係る磁気検出素子の製造方法は、前記感磁部取付工程において、前記感磁部の長手方向を前記外部磁界の方向と平行にすることを要旨とするものである。
【００２０】
この本発明に係る磁気検出素子の製造方法によれば、感磁部を基板に取り付ける感磁部取付工程において、感磁部の長手方向をアモルファス磁性材料の圧延方向および外部磁界の方向と平行に位置するように取り付けるため、感磁部のインピーダンス特性が高く、かつ安定した磁気検出素子が得られる。
【００２１】
この場合、前記感磁部取付工程において、前記感磁部を前記基板に形成された引掛部に引っ掛けて前記感磁部に張力をかけた状態で前記基板に取り付けるようにすればよい。
【００２２】
このように、感磁部形成工程において、感磁部に張力をかけた状態で感磁部を基板に取り付けるようにすれば、感磁部に歪みやしわが生じてしまうことが防止され、感磁部の磁気インピーダンス特性が安定した磁気検出素子が得られる。また、基板に形成された引掛部により、感磁部に張力をかけた状態で感磁部を基板に取り付ける作業性が向上する。
【００２３】
また、本発明に係る磁性体検出方法は、アモルファス磁性材料からなり、磁性体から発生する外部磁界によりインピーダンスが変化する感磁部を備えた磁気検出素子による磁性体検出方法であって、前記感磁部の長手方向を前記アモルファス磁性材料の圧延方向と平行にすることを要旨とするものである。
【００２４】
そして、本発明に係る磁気検出方法は、前記感磁部の長手方向を前記外部磁界の方向と平行にすることを要旨とするものである。
【００２５】
この本発明に係る磁性体検出方法によれば、感磁部の長手方向をアモルファス磁性材料の圧延方向および外部磁界の方向と平行に位置するように磁気検出素子を設けるため、検出精度が向上し、検出対象物である磁性体を確実に検知することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る磁気検出素子によれば、磁気検出素子が有する感磁部は、その長手方向が、アモルファス磁性材料の圧延方向と平行になるように基板上に設けられているため、感磁部のインピーダンス特性（センサ感度）を向上させ、かつ安定させることができる。また、この感磁部の長手方向を外部磁界の方向と平行に位置させているため、感磁部のインピーダンス特性をさらに向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明に係る磁気検出素子の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
（第一の実施形態）
図１は、第一の実施形態に係る磁気検出素子１の外観斜視図である。本実施形態に係る磁気検出素子１は、基板１０、およびこの基板１０上に取り付けられた感磁部２０および端子部３０を備える。
【００２９】
基板１０は、非磁性体からなる矩形状の基板である。この基板１０を構成する非磁性体材料としては、セラミックやガラス等が例示でき、十分な剛性を得られるのであれば、エポキシ樹脂等で形成されていてもよい。
【００３０】
感磁部２０は、アモルファス磁性材料で形成されており、その磁気インピーダンス特性によって外部磁界の変化が検出される。このアモルファス磁性材料としては、コバルト系、もしくは鉄系アモルファス合金が例示できる。具体的には、コバルト系としては、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｂ−Ｓｉ、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ−Ｂ−Ｓｉ等のアモルファス合金、鉄系としては、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ−Ｃ、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｂ等のアモルファス合金が例示できる。
【００３１】
本実施形態では、感磁部２０は、後述する第一の感磁部２０１および第二の感磁部２０２とからなるが、感磁部２０全体としては、一本の細長い直線状のアモルファス箔で構成される。このアモルファス箔は、上記アモルファス磁性材料が圧延されてなるものである。そして、感磁部２０は、その長手方向（図１におけるＸ方向）がアモルファス磁性材料の圧延方向と平行になるように基板１０に取り付けられている。
【００３２】
感磁部２０は、端子部３０と電気的に接続されている。端子部３０は、第一の端子部３０１、第二の端子部３０２、および第三の端子部３０３とから構成される。それぞれの端子部３０１〜３０３は、それぞれの両端に、端部３０１ａ〜３０３ａおよびランド部３０１ｂ〜３０３ｂを備える。そして、第一の端子部３０１の端部３０１ａには、感磁部２０の一端２０ａが接続される。第二の端子部３０２の端部３０２ａには、感磁部２０の他端２０ｂが接続される。第三の端子部３０３の端部３０３ａには、感磁部２０の長手方向における中央部２０ｃが接続される。なお、この接続方法としては、例えば半田付けや、溶接等が挙げられる。特に溶接による接続方法では、熱伝導を抑えて相転移（感度の劣化を起こすおそれ）する部分を少なくすることができるためより好適である。
【００３３】
また、端子部３０は、電気伝導性を有する非磁性材料から形成されている。これにより、磁気検出素子１は、感磁部２０のみが磁性材料で構成されたものとなるため、磁気検出素子１自体（例えば、端子部３０を磁性材料で形成した場合における端子部３０から発生する磁気等）によって測定対象である外部磁界が変化してしまうことが抑制される。したがって、上記構成によって、磁気検出素子１のセンサ感度向上、誤検知防止につながる。
【００３４】
本実施形態に係る磁気検出素子１は、いわゆる差動型の磁気検出素子である。具体的には、感磁部２０は、第一の端子部３０１と第三の端子部３０３に接続された第一の感磁部２０１と、第二の端子部３０２と第三の端子部３０３に接続された第二の感磁部２０２から構成され、第一の感磁部２０１と第二の感磁部２０２との出力の差動を取ることにより、約二倍の出力が得られるように構成されている。つまり、第一の端子部３０１および第三の端子部３０３は、インピーダンスメーター（またはインピーダンス測定回路）が接続される出力端子であり、第三の端子部３０３は、第一の感磁部２０１と第二の感磁部２０２との差動を取るために使用されるコモン端子である。
【００３５】
このように構成される磁気検出素子１の製造方法は、次の通りである。まず、図２（ａ）に示すように、基板１０の一方の面に端子部３０を形成する。この端子部３０の形成方法としては、電気伝導性を有する金属箔を基板１０上に貼付し、フォトリソグラフィにより、図示されるような所定のパターンに形成する方法が一例として挙げられる（端子部形成工程）。
【００３６】
そして、図２（ａ）から図２（ｂ）にかけて示すように、感磁部２０となる細長い直線状のアモルファス磁性材料２２を、溶接等により、第一の端子部３０１〜第三の端子部３０３の端部３０１ａ〜３０３ａに接続する。このとき、アモルファス磁性材料２２の圧延方向が、感磁部２０の長手方向と平行になるように接続する。アモルファス磁性材料２２の接続後、その余分な部分（一端２０ａおよび他端２０ｂより外側の部分）を切断する（感磁部取付工程）。これにより、磁気検出素子１が得られる。
【００３７】
このように構成される磁気検出素子１によれば、感磁部２０は、その長手方向がアモルファス磁性材料２２の圧延方向と平行に位置するように取り付けられているため、感磁部２０のインピーダンス特性（磁気検出素子１のセンサ感度）が高く、かつ安定したものとなる。
【００３８】
（第二の実施形態）
図３は、第二の実施形態に係る磁気検出素子２の外観斜視図である。第二の実施形態に係る磁気検出素子２は、第一の実施形態と同様に、基板４０、およびこの基板４０上に取り付けられた感磁部２０および端子部３０を備え、基板４０の構成のみ第一の実施形態と異なる。以下、第一の実施形態と同一の構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００３９】
磁気検出素子２が備える基板４０は、非磁性体からなる矩形状の基板であり、一方の両側面（端子部３０の長手方向に平行な両側面）から所定の幅の切り欠き４２１，４２２（本発明における引掛部に相当する。）が形成されている点で第一の実施形態と異なる。この切り欠き４２１，４２２は、その長手方向が、感磁部２０の長手方向と同一直線上に位置するように形成されている。
【００４０】
この切り欠き４２１，４２２を利用して、磁気検出素子２は、次のように製造される。まず、第一の実施形態と同様の端子部形成工程により、基板４０上に端子部３０を形成する。そして、感磁部取付工程において、アモルファス磁性材料２２を切り欠き４２１，４２２に引っ掛け、張力をかけた状態で、溶接等により、第一〜第三の端子部３０１〜３０３の端部３０１ａ〜３０３ａに接続する。このとき、アモルファス磁性材料２２の圧延方向は、感磁部２０の長手方向と平行になるように接続する。
【００４１】
このように、アモルファス磁性材料２２を基板４０に取り付ける際、切り欠き４２１，４２２に引っ掛けることによって、容易にアモルファス磁性材料２２に張力をかけた状態で基板４０に取り付けることができる。そのため、感磁部２０に歪みやしわが生じてしまうことが防止され、感磁部２０の磁気インピーダンス特性を安定させることができる。また、第一の実施形態と同様に、感磁部２０は、その長手方向がアモルファス磁性材料２２の圧延方向と平行に位置するように取り付けられているため、感磁部２０のインピーダンス特性が高く、かつ安定したものとなる。
【００４２】
（第三の実施形態）
図４は、第三の実施形態に係る磁気検出素子３の外観斜視図である。第三の実施形態に係る磁気検出素子３は、第一、第二の実施形態と同様に、基板５０、およびこの基板５０上に取り付けられた感磁部２０および端子部３０を備え、基板５０の構成のみ第一、第二の実施形態と異なる。以下、第一、第二の実施形態と同一の構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４３】
磁気検出素子３が備える基板５０は、非磁性体からなる矩形状の基板であり、図示されるように、第一の端子部３０１、第二の端子部３０２のそれぞれの端部３０１ａ，３０２ａの外側に、挿通孔５２１，５２２（本発明における引掛部に相当する。）が形成されている点で第一の実施形態と異なる（第二の実施形態とは、切り欠き４２１，４２２ではなく、挿通孔５２１，５２２が形成されている点で異なる。）。
【００４４】
この挿通孔５２１，５２２を利用して、磁気検出素子３は、次のように製造される。まず、第一、第二の実施形態と同様の端子部形成工程により、基板５０上に端子部３０を形成する。そして、感磁部取付工程において、アモルファス磁性材料２２を挿通孔５２１，５２２に挿通して引っ掛け、張力をかけた状態で、溶接等により、第一〜第三の端子部３０１〜３０３の端部３０１ａ〜３０３ａに接続する。このとき、アモルファス磁性材料２２の圧延方向は、感磁部２０の長手方向と平行になるように接続する。
【００４５】
このように、アモルファス磁性材料２２を基板５０に取り付ける際、挿通孔５２１，５２２に引っ掛けることによって、アモルファス磁性材料２２に張力をかけた状態で基板５０に取り付けることができる。そのため、第二の実施形態と同様に、感磁部２０に歪みやしわが生じてしまうことが防止され、感磁部２０の磁気インピーダンス特性を安定させることができる。また、第一、第二の実施形態と同様に、感磁部２０は、その長手方向がアモルファス磁性材料２２の圧延方向と平行に位置するように取り付けられているため、感磁部２０のインピーダンス特性が高く、かつ安定したものとなる。
【００４６】
（第四の実施形態）
図５は、第四の実施形態に係る磁気検出素子４の外観斜視図である。ここで、図５（ａ）は、端子部３０が形成された面、図５（ｂ）は、感磁部６０が形成された面を示した外観図である。第四の実施形態に係る磁気検出素子４は、第一〜第三の実施形態と同様に、基板７０、およびこの基板７０の一方の面（以下、端子面７４１という。）に取り付けられた端子部３０、および他方の面（以下、センサ面７４２という。）に取り付けられた感磁部６０（第一の感磁部６０１および第二の感磁部６０２）を備える。ここで、端子部３０については、第一〜第三の実施形態と同一の構成であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４７】
磁気検出素子４が備える基板７０は、第一の端子部３０１、第二の端子部３０２のそれぞれの端部３０１ａ，３０２ａの外側に、挿通孔７２１，７２２が形成されている。また、第三の端子部３０３の端部３０３ａの両側に挿通孔７２３，７２４が形成されている（これら挿通孔７２１〜７２４が本発明における引掛部に相当する。）。
【００４８】
この挿通孔７２１〜７２４を利用して、磁気検出素子４は、次のように製造される。まず、第一〜第三の実施形態と同様の端子部形成工程により、基板５０上に端子部３０を形成する。そして、図６（ａ）に示すように、感磁部取付工程において、アモルファス磁性材料２２を挿通孔７２１、７２３、７２４、７２２の順（逆でもよい）に縫うように挿通する。このとき、挿通孔７２１と７２３の間および７２４と７２２の間におけるアモルファス磁性材料２２は、センサ面７４２上に位置するように挿通する。本実施形態では、図５（ｂ）から分かるように、挿通孔７２１と７２３の間に位置する部分が第一の感磁部６０１となり、挿通孔７２４と７２２の間に位置する部分が第二の感磁部６０２となる。
【００４９】
続いて、図６（ｂ）および図６（ｃ）に示すように、アモルファス磁性材料２２を内側に折り曲げて引っ張り、張力をかけた状態で第一の端子部３０１、第二の端子部３０２の端部３０１ａ、３０２ａに溶接等により接続し、余分な部分を切断する。そして、挿通孔７２３と７２２の間に位置し、第三の端子部３０３の端部３０３ａに重なった部分を溶接等により接続する。これにより、第一の感磁部６０１は、第一の端子部３０１および第三の端子部３０３と電気的に接続され、第二の感磁部６０２は、第二の端子部３０２および第三の端子部３０３と電気的に接続される。また、この感磁部取付工程において、第一〜第三の実施形態と同様に、アモルファス磁性材料２２の圧延方向が、感磁部６０の長手方向と平行になるように接続する。
【００５０】
このようにして得られる磁気検出素子４によれば、感磁部６０が設けられたセンサ面７４２には、各端子部３０１〜３０３の端部３０１ａ〜３０３ａやランド部３０１ｂ〜３０３ｂに、感磁部６０や電線等を電気的に接続することによって生じる半田や溶接痕等の盛り上がりが生じることがない（半田や溶接痕等の盛り上がりは、端子面７４１に生じる。）。つまり、感磁部６０および端子部３０が同一平面上に形成された場合と比較し、感磁部６０を検出対象物（磁性体）に限りなく近づけて磁気検出素子４を配置することができるため、検出精度を大きく向上させることができる。
【００５１】
また、アモルファス磁性材料２２を基板７０に取り付ける際、挿通孔７２１〜７２４に引っ掛けることによって、アモルファス磁性材料２２に張力をかけた状態で基板７０に取り付けることができる。そのため、第二、第三の実施形態と同様に、感磁部６０に歪みやしわが生じてしまうことが防止され、感磁部６０の磁気インピーダンス特性を安定させることができる。また、第一〜第三の実施形態と同様に、感磁部６０は、その長手方向がアモルファス磁性材料２２の圧延方向と平行に位置するように取り付けられているため、感磁部６０のインピーダンス特性が高く、かつ安定したものとなる。
【００５２】
上記実施形態に係る磁気検出素子１〜４は、第一〜第三の実施形態については図７（ａ）に、第四の実施形態については図７（ｂ）に示すように、検出対象物である磁性体が発する外部磁界Ｈの方向に対して、感磁部２０（６０）の長手方向（アモルファス磁性材料２２の圧延方向）が平行になるように各種機器に搭載される。このようにすれば、以下の実施例で説明するように、感磁部２０（６０）のインピーダンス特性が向上し、検出対象物の検出精度を向上させることができるからである。
【実施例】
【００５３】
以下、実施例を用いて本発明について詳細に説明する。
【００５４】
上記実施形態で説明したように、感磁部の長手方向を、アモルファス磁性材料の圧延方向と平行（傾き０度）に位置させた磁気検出素子（実施例）を作成した。また、比較例として、磁気検出素子の感磁部の長手方向を、アモルファス磁性材料の圧延方向に対して４５度傾けたもの（比較例１）、および９０度傾けたもの（比較例２）を作成した。
【００５５】
これらの実施例及び比較例について、外部磁界の大きさを変化させた場合のインピーダンス変化を測定した。その結果を図８および図９に示す。ここで、図８は、感磁部の長手方向が外部磁界の方向に対して直角である場合の測定結果であり、図９は、感磁部の長手方向が外部磁界の方向に対して平行である場合の測定結果である。
【００５６】
（感磁部の長手方向とアモルファス磁性材料の圧延方向との関係）
図８および図９から分かるように、アモルファス磁性材料の圧延方向に対する感磁部の長手方向の傾きが小さいほど、インピーダンス変化が大きくなるという傾向が見られた。ゆえに、センサ感度を向上させるためには、磁気検出素子の感磁部の長手方向を、アモルファス磁性材料の圧延方向と平行に位置させることが好適であるといえる。  
【００５７】
（感磁部の長手方向と外部磁界の方向との関係）
図８と図９を比較すれば分かるように、感磁部の長手方向に対して磁界が直角に印加された場合より、磁界が平行に印加された場合の方が、大きなインピーダンス変化が得られることが分かった。
【００５８】
以上より、感磁部の長手方向を、アモルファス磁性材料の圧延方向および外部磁界の方向と平行に位置させた場合に、最もインピーダンス変化が大きくなる、すなわち、最も良好なセンサ感度を有する磁気検出素子が得られることが分かった。
【００５９】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
【００６０】
本実施形態では、感磁部は、細長い直線状に形成されていることを説明したが、その他の形状、例えばつづら折り形状に形成されたものでもよい。また、唯一の感磁部を備えた、いわゆる差動型ではない磁気検出素子にも本発明の技術的思想は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る磁気検出素子の外観斜視図である。
【図２】図１に示した第一の実施形態に係る磁気検出素子の製造方法を説明するための概略図である。
【図３】本発明の第二の実施形態に係る磁気検出素子の外観斜視図である。
【図４】本発明の第三の実施形態に係る磁気検出素子の外観斜視図である。
【図５】本発明の第四の実施形態に係る磁気検出素子の外観斜視図であり、図５（ａ）は端子部が形成された面（端子面）、図５（ｂ）は感磁部が形成された面（センサ面）を示す。
【図６】図５に示した第四の実施形態に係る磁気検出素子の製造方法を説明するための概略図である。
【図７】磁気検出素子が備える感磁部の長手方向と、外部磁界の方向との関係を説明するための概略図であり、図７（ａ）は第一〜第三の実施形態について、図７（ｂ）は第四の実施形態について説明するための図である。
【図８】磁気検出素子が備える感磁部の長手方向が、外部磁界の方向と直角である場合における磁気インピーダンス変化の測定結果である。
【図９】磁気検出素子が備える感磁部の長手方向が、外部磁界の方向と平行である場合における磁気インピーダンス変化の測定結果である。
【符号の説明】
【００６２】
１                  磁気検出素子（第一の実施形態）
１０                基板
２０                感磁部
２                  磁気検出素子（第二の実施形態）
４０                基板
４２１，４２２      切り欠き（引掛部）
３                  磁気検出素子（第三の実施形態）
５０                基板
５２１，５２２      挿通孔（引掛部）
４                  磁気検出素子（第四の実施形態）
６０                感磁部
７０                基板
７２１〜７２４      挿通孔（引掛部）
【図１】
2010016040.tif 000003
【図２】
2010016040.tif 000004
【図３】
2010016040.tif 000005
【図４】
2010016040.tif 000006
【図５】
2010016040.tif 000007
【図６】
2010016040.tif 000008
【図７】
2010016040.tif 000009
【図８】
2010016040.tif 000010
【図９】
2010016040.tif 000011