(57)【要約】【課題】公知の欠点を解消することである。【解決手段】圧力センサ、特に自動車のタンク圧力センサにおいて使用するための圧力補償ユニット（１１０）において、少なくとも１つの貫通した通路（１４６）を備えたケーシング（１４０）を有し、通路（１４６）の壁に少なくとも１つの開口（１４８）が設けられており、開口はケーシングにおいて少なくとも１つの空気通流部（１７０）を介して圧力センサの基準圧室に接続可能であり、少なくとも１つのガス透過性、有利には液密性のフィルタダイアフラム（１５４）により閉鎖されているようにした。また、測定室、特に自動車のタンクにおいて圧力を検出するための圧力センサにおいて、測定室と接続している少なくとも１つのセンサ素子を有し、センサ素子と接続した測定室から分離された少なくとも１つの基準圧室を有し、圧力センサが圧力補償ユニット（１１０）を有しているようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力センサ（１１２）、特に自動車のタンク圧力センサ（１１４）において使用するための圧力補償ユニット（１１０）において、少なくとも１つの貫通した通路（１４６）を備えたケーシング（１４０）を有しており、通路（１４６）の壁に少なくとも１つの開口（１４８）が設けられており、該開口（１４８）は少なくとも１つの空気通流部（１７０）を介してケーシング（１４０）において圧力センサ（１１２）の基準圧室（１３０）と接続可能であり、開口（１４８）は少なくとも１つのガス透過性、有利には液密性のフィルタダイアフラム（１５４）により閉鎖されていることを特徴とする、圧力センサ、特に自動車のタンク圧力センサにおいて使用するための圧力補償ユニット。
【請求項２】
フィルタダイアフラム（１５４）は少なくとも１つのカバーエレメント（１５６）によりカバーされていることを特徴とする、請求項１記載の圧力補償ユニット。
【請求項３】
空気通流部（１７０）は少なくとも部分的に少なくとも１つのギャップ及び／又は少なくとも１つの空気通路（１６８）により、フィルタダイアフラム（１５４）とカバーエレメント（１５６）との間に形成されることを特徴とする、請求項１又は２記載の圧力補償ユニット。
【請求項４】
空気通流部（１７０）はさらに少なくとも１つの空気開口（１７２）をケーシング（１４０）に有しており、空気開口（１７２）は前記ギャップ及び／又は空気通路（１６８）を基準圧室（１３０）に接続することを特徴とする、請求項１から３までのいずれか一項記載の圧力補償ユニット。
【請求項５】
基準圧室（１３０）は少なくとも部分的にケーシング（１４０）内に配置されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一項記載の圧力補償ユニット。
【請求項６】
フィルタダイアフラム（１５４）は通路（１４６）の長手延在方向に対してほぼ平行に配置されていることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一項記載の圧力補償ユニット。
【請求項７】
開口（１４８）は通路（１４６）の基準圧室（１３０）に相対する側に配置されており、空気通流部（１７０）はケーシング（１４０）の内側において通路（１４６）を少なくとも部分的に囲むことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項記載の圧力補償ユニット。
【請求項８】
ケーシング（１４０）はカバー（１３４）として構成されており、かつ、カバー（１３４）と圧力センサ（１１２）のセンサケーシング（１１６）との、摩擦力結合式及び／又は形状結合式の結合のために少なくとも１つの結合エレメント（１３６）を有している、特に少なくとも１つのクランピングノーズ（１３８）及び／又は少なくとも係止開口を有していることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか一項記載の圧力補償ユニット。
【請求項９】
通路（１４６）は少なくとも１０ｍｍ２、有利には少なくとも２０ｍｍ２、特に有利には少なくとも５０ｍｍ２の横断面を有していることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか一項記載の圧力補償ユニット。
【請求項１０】
測定室（１２６）、特に自動車のタンクにおいて圧力を検出するための圧力センサ（１１２）において、測定室（１２６）と接続している少なくとも１つのセンサ素子（１２８）を有しており、さらに該センサ素子（１２８）と接続している、測定室（１２６）から分離された少なくとも１つの基準圧室（１３０）を有しており、さらに圧力センサ（１１２）は、請求項１から９までのいずれか一項記載の圧力補償ユニット（１１０）を有していることを特徴とする、測定室、特に自動車のタンクにおいて圧力を検出するための圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサ、特に自動車のタンク圧力センサにおいて使用するための圧力補償ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、例えば液状及び／又はガス状の媒体の圧力を検出するために使用することができる公知の圧力センサから出発する。このような圧力センサは種々異なる使用分野において公知である。以下に、特に自動車工学の使用形態、例えばインテークマニホールド圧若しくはチャージ圧、ブレーキ圧、エアサスペンション圧、タイヤ圧、ハイドロリック貯蔵圧、ショックアブソーバ圧、冷却媒体圧、自動変速機における変調圧、ブレーキ圧、タンク圧又は燃焼室圧のための圧力セルに関して記載する。特に自動車のためのタンク圧力センサにおける使用形態に関して記載する。しかし原則として、自動車工学の範囲内又は範囲外での他の使用形態も考慮可能である。自動車工学において考慮可能な圧力センサに関して、例えばロベルト・ボッシュ社（Ｒｏｂｅｒｔ  Ｂｏｓｃｈ  ＧｍｂＨ）の『自動車のセンサ（Ｓｅｎｓｏｒ  ｉｍ  Ｋｒａｆｔｆａｈｒｚｅｕｇ）』（第７４〜７６頁、第１２８〜１３０頁、２００７年）を参照することができる。ここに記載されている圧力センサは本発明に合わせて変更することもでき、本発明による圧力補償ユニットを備えることができる。
【０００３】
多くの圧力センサ、特に差圧センサにおいて、圧力センサのセンサ素子と直接又は測定圧供給部を介して接続している測定室と基準圧室との差圧を測定する。このような圧力センサにおいては多くの場合、いわゆる圧力補償ユニットが必要である。圧力補償ユニットは基準圧室と周辺との差圧の補償のために働くことが望まれる。例えば、多くのタンク圧センサにおいて、タンク圧は下方からシリコンダイアフラムの背面に案内され、周辺を占めている圧力は基準圧として上方から、例えばセンサケーシングの開口を通じてシリコンダイアフラムの前面に作用する。しかしシリコンダイアフラムの前面を、周囲の影響、例えば水及び／又は汚染物質に対して防護するために、圧力補償ユニットはガス透過性のフィルタダイアフラムを有している。ガス透過性のフィルタダイアフラムは基準圧開口内に組み込まれている。ガス透過式に構成されたフィルタダイアフラムは圧力補償エレメントとして働き、通常、疎水性及び液体不透過性に構成されていて、例えば液体に対する、タンク組込みユニットのタンク圧センサの基準圧開口のシールのために働く。この解決手段により、圧力補償エレメントの組込み状態に依存せず、例えば飛沫水及び他の液状の媒体又は固形の媒体の、基準圧室内への侵入を阻止したい。このような圧力補償ユニットの一例が、後に公開された特許出願であるＤＥ１０２００８００４３５８に記載されていて、本願の範囲内において参照することもできる。この特許出願はケーシングカバーとガス透過性のフィルタダイアフラムとを備えた、空気開口をカバーする圧力補償ユニットを開示している。圧力補償ユニットは、フィルタダイアフラムをカバーするキャップ形のカバーエレメントを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＤＥ１０２００８００４３５８
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】『自動車のセンサ（Ｓｅｎｓｏｒ  ｉｍ  Ｋｒａｆｔｆａｈｒｚｅｕｇ）』（ロベルト・ボッシュ社）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
公知の圧力補償ユニットの技術的な難点は、圧力補償ユニットが大きな構成スペースを必要としている点にある。しかし多くの構成において縮小化は可能ではない。その理由は、縮小化は毛管作用が圧力補償ユニットの開口に発生する、ということに繋がることがあるからである。毛管作用によりまた圧力補償ユニットにおける液体及び／又は汚染物質の堆積及び付着が起こることがあり、これにより機能性が損なわれることがある。
【０００７】
したがって本発明の目的は、上記欠点を解消することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る圧力補償ユニットは、圧力センサ、特に自動車のタンク圧力センサにおいて使用するための圧力補償ユニットにおいて、少なくとも１つの貫通した通路を備えたケーシングを有しており、通路の壁に少なくとも１つの開口が設けられており、開口はケーシングにおいて少なくとも１つの空気通流部を介して圧力センサの基準圧室に接続可能であり、開口はガス透過性、有利には液密性の少なくとも１つのフィルタダイアフラムにより閉鎖されているようになっている。
【０００９】
好ましくは、フィルタダイアフラムは少なくとも１つのカバーエレメントによりカバーされている。
【００１０】
好ましくは、空気通流部は少なくとも部分的に少なくとも１つのギャップ及び／又は少なくとも１つの空気通路により、フィルタダイアフラムとカバーエレメントとの間に形成される。
【００１１】
好ましくは、空気通流部はさらに少なくとも１つの空気開口をケーシングに有しており、空気開口は前記ギャップ及び／又は空気通路を基準圧室に接続する。
【００１２】
好ましくは、基準圧室は少なくとも部分的にケーシング内に配置されている。
【００１３】
好ましくは、フィルタダイアフラムは通路の長手延在方向に対してほぼ平行に配置されている。
【００１４】
好ましくは、開口は通路の基準圧室に相対する側に配置されており、空気通流部はケーシングの内側において通路を少なくとも部分的に囲む。
【００１５】
好ましくは、ケーシングはカバーとして構成されており、かつ、カバーと圧力センサのセンサケーシングとの、摩擦力結合式及び／又は形状結合式の結合のために少なくとも１つの結合エレメントを有している、特に少なくとも１つのクランピングノーズ及び／又は少なくとも係止開口を有している。
【００１６】
好ましくは、通路は少なくとも１０ｍｍ２、有利には少なくとも２０ｍｍ２、特に有利には少なくとも５０ｍｍ２の横断面を有している。
【００１７】
さらに上記目的を達成するために本発明に係る圧力センサは、測定室、特に自動車のタンクにおいて圧力を検出するための圧力センサにおいて、測定室と接続している少なくとも１つのセンサ素子を有しており、さらにセンサ素子と接続している、測定室から分離された少なくとも１つの基準圧室を有しており、さらに圧力センサは、前記圧力補償ユニットを有しているようになっている。
【発明の効果】
【００１８】
圧力センサにおいて使用するための圧力補償ユニットと、測定室における圧力を検知するための圧力センサとが提案される。これらの圧力補償ユニット及び圧力センサは、公知の圧力補償ユニット若しくは圧力センサの欠点を少なくとも充分に回避する。特に、圧力補償ユニットは差圧センサにおいて及び／又は自動車のタンク圧センサにおいて使用することができる。しかし、既述したように、別の使用形態も考慮可能である。
【００１９】
圧力補償ユニットは、少なくとも１つの貫通した通路を備えたケーシングを有している。例えばこの通路は真っ直ぐな通路又は曲がった通路として構成されていてよい。通路は、例えば２つ以上の開口を有することができるので、通路は少なくとも一方向において周辺媒体、例えば周辺空気によって自由に通流可能である。通路の壁に、少なくとも１つの開口、例えば円形又は多角形の開口が設けられている。開口はケーシングにおける少なくとも１つの空気通流部を介して、圧力センサの基準圧室に接続可能でありかつ／又は接続されている。圧力センサの基準圧室は、完全に又は部分的に圧力補償ユニットのケーシングに形成されていてもよいが、完全に又は部分的に圧力センサの他の構成要素に収容されていてもよい。空気通流部は、基準圧室と開口及び／又は通路との間の圧力補償を可能にする、例えば１つ又は複数のギャップ、通路、開口又は前記エレメント及び／又は他のエレメントの組合せを有することができる。
【００２０】
開口は少なくとも１つのガス透過性の、有利には液密のフィルタダイアフラムにより閉鎖されている。例えばこのダイアフラムはフレキシブルなプラスチックダイアフラムであってよいか、又は天然のダイアフラム（ｎａｔｕｅｒｌｉｃｈｅ  Ｍｅｍｂｒａｎ）であってよく、例えばＤＥ１０２０００８００４３５８を参照することができる。フィルタダイアフラムは、例えば多孔質に構成されていてよいかつ／又は開口を備えて構成されていてよい。開口は、確かに、ガス、特に通常は空気及び／又はガス状の有機媒体の貫通を可能にする一方で、しかし液体、特に水の貫通を少なくとも十分に防ぐ。有利には、複数のフィルタダイアフラムが設けられていてもよいのだが、フィルタダイアフラムは、例えば少なくとも１つの開口の領域においてケーシングに結合、例えば接着されていてよいかつ／又は摩擦力結合式（ｋｒａｆｔｓｃｈｌｕｅｓｓｉｇ：摩擦による束縛）及び／又は形状結合式（ｆｏｒｍｓｃｈｌｕｅｓｓｉｇ：形状による束縛）にケーシングに結合されていてよい。例えば、ダイアフラムはケーシング縁部に、少なくとも１つの開口が閉鎖されるように貼り付けられていてよい。
【００２１】
フィルタダイアフラムは、例えば少なくとも１つのカバーエレメントによりカバーされていてよく、例えばＤＥ１０２０００８００４３５８に記載されているように、キャップ状のカバーエレメントによりカバーされていてよい。このカバーエレメントは残りのケーシングと一体に構成されていてよいものの、単にケーシングに結合可能であるだけでもよく、例えば摩擦力結合式及び／又は形状結合式の結合により結合可能である。原則的に、他の結合形式が、択一的又は付加的に可能でもある。例えば、カバーエレメントは平坦又は湾曲して形成されたカバーを有していてよい。
【００２２】
空気通流部は種々異なる構成で形成することができ、例えば上記エレメント又は上記エレメント及び／又は他のエレメントの組合せを有していてよい。空気通流部は、複数の区分から組み合わされていてよい。したがって、空気通流部は、特に少なくとも部分的に少なくとも１つのギャップ及び／又は少なくとも１つの空気通路により、フィルタダイアフラムとカバーエレメントとの間に構成することができる。しかし有利には、フィルタダイアフラムは少なくとも部分的にカバーエレメントに載置されており、有利には面状に載置されており、その結果、フィルタダイアフラムは少なくとも部分的にカバーエレメントにおいて支持され得る。さらに空気通流部は、択一的又は付加的に、少なくとも１つの空気開口をケーシングに有していてよい。例えば空気開口は、フィルタダイアフラムとカバーエレメントとの間における少なくとも１つのギャップ及び／又は少なくとも１つの空気通路を、直接又は間接的に基準圧室に接続するように構成されていてよい。
【００２３】
上述したように、フィルタダイアフラムは特に開口の領域においてケーシングに結合されていてよい。例えばフィルタダイアフラムは隆起部、特にドーム状の隆起部の平坦面に取り付けられていてよい。隆起部には少なくとも１つのカバーエレメント、特に上述の構成によるキャップ状のカバーエレメントが固定可能であり、特に係止可能である。ドーム状の隆起部とは、一般的に圧力補償ユニットのケーシングにおける隆起部と理解することができる。
【００２４】
基準圧室は、上述のように、少なくとも部分的にケーシングに配置されていてよい、かつ／又は少なくとも部分的に圧力センサの他の構成部材内に配置されていてよい。特に、基準圧室は少なくとも部分的に通路の長手延在方向に対して横方向で通路の下側に配置されていてよい。この構成は、特に構成スペースを節約するように実現することができる。開口は、例えば通路の、基準圧室に相対する側に配置されていてよい。空気通流部はケーシングの内部の通路の周囲を少なくとも部分的に囲む。既述したように、空気案内部はこの囲みにおいて、例えば前記ギャップ及び／又は空気通路をフィルタダイアフラムとカバーエレメントとの間に有していてよく、場合によっては少なくとも１つの空気開口を有していてよい。
【００２５】
圧力補償ユニットのケーシングは、特に少なくとも部分的にカバーとして形成されていてよく、つまり追加的に圧力センサのセンサケーシングに提供することができ、センサケーシングを少なくとも部分的に覆う。したがってカバーは、全体的に又は部分的にセンサケーシング内に収容されている例えば基準圧室を完全に又は部分的にカバーする、かつ／又は基準圧室の一部分を提供する。ケーシングがカバーと圧力センサのセンサケーシングとの摩擦力結合及び／又は形状結合的な結合のために少なくとも１つの結合エレメントを有する。特に、この結合エレメントは少なくとも１つのクランピングノーズ及び／又は少なくとも１つの係止ノーズ及び／又は少なくとも１つのクランピング開口及び／又は少なくとも１つの係止開口を有していてよく、その結果、クランプ結合及び／又は係止結合がセンサケーシングとカバーとの間に、組付け過程において簡単かつ迅速に形成することができる。
【００２６】
通路は、有利には毛管作用（Ｋａｐｉｌｌａｒｅｆｆｅｋｔ）を防ぐ横断面を備えている。したがって、通路が少なくとも２ｍｍ２、特に少なくとも１０ｍｍ２、有利には少なくとも２０ｍｍ２、特に有利には５０ｍｍ２以上の横断面を有していると、特に有利である。さらに、有利には、通路が少なくとも１０ｍｍ、有利には少なくとも１０ｍｍ、特に有利には少なくとも１５ｍｍ又はそれどころか少なくとも２０ｍｍの長さを有していてよい。しかし他の寸法設定も可能である。こうして通路は、汚染物質及び／又は液体の直接的な進入、例えば水の進入に対する開口及びフィルタダイアフラムの効果的な遮蔽を提供することができる。その一方で、通路は、毛管作用を回避しつつ、圧力補償という枠内において、ガスの開口への若しくは開口からの自由な通流若しくは流出のための十分な横断面を提供する。
【００２７】
既述したように、圧力補償ユニットは、特に測定室内の圧力の検出のための圧力センサにおいて使用することができる。測定室は、特に自動車のタンクであってよく、しかし上述したように他の使用分野も考慮可能である。圧力センサは測定室と接続している少なくとも１つのセンサ素子、特に少なくとも１つの差圧センサ素子を有する。センサ素子に関しては、基本的にあらゆる公知のセンサ原理又は種々異なるセンサ原理の組合せを参照することができる。圧力センサは圧力を検出するためのセンサ素子の他に、例えば温度等の他の種類のパラメータを検出するための別のセンサ素子も含んでいてよい。センサ素子は、特にマイクロメカニクスのセンサ素子として構成されていてよく、例えばセンサダイアフラム、特にシリコンダイアフラムを備えている。センサ原理は、特にセンサダイアフラムの曲げ、例えば伸び抵抗による測定及び／又はセンサダイアフラムの変形を測定することができる他のセンサによる測定に基づく。センサ素子の構成に関しては、例えば既述の先行技術、特にロベルト・ボッシュ社の『自動車のセンサ』（第１２８〜１３０頁、２００７年）を参照することができる。センサ素子、特にセンサ素子のセンサダイアフラムは、例えば直接的又は間接的に、例えば１つ又は複数の孔の形式の測定圧供給部を介して、測定室に接続することができるので、ダイアフラムの一面は室の測定圧によって負荷される。さらにセンサ素子は、センサ素子と接続していて、測定室から分離されている少なくとも１つの基準圧室を有する。例えば基準圧室は、センサダイアフラムの、測定室に相対する側に接続していてよい。さらに圧力センサは、直接的又は間接的に測定室と接続することができる、上記１つ又は複数の構成に基づく少なくとも１つの圧力補償ユニットを有している。
【００２８】
提案する圧力補償ユニット及び圧力センサは、公知の圧力補償ユニット及び圧力センサに対して多くの利点を有している。したがって、比較的迅速かつ確実な圧力補償を実現することができるので、フィルタダイアフラムは圧力補償ダイアフラムとして作用することができ、過圧保護を提供することができる。フィルタダイアフラム自体は過圧に対して保護されていて、これと同時に周辺と基準圧室との間の迅速な圧力補償を提供することができる。さらに、比較的小さな構成スペースを備えた前記圧力補償ユニットを実現することができる。例えばＤＥ１０２００８００４３５８に記載の構成とは異なり、提案する構成では通常構成スペースは単に高さ方向にだけ必要であり、これに対して長さ方向には必要ではない。これと同時に通路及び／又はトンネルのために十分に大きな開口を提供することができる。通路及び／又はトンネルにおいて水が溜まることはなく、及び／又は毛管作用により付着したままになることはない。汚れ及び塵も同様に通路の十分に大きな開口を詰まらせることはない。したがって、圧力センサの通気性は常に保証することができる。圧力補償ダイアフラムとして構成されていてよいフィルタダイアフラムの機械的な損壊からの保護が、フィルタダイアフラムが座している開口が、トンネルとして構成されていてよい通路の内側に配置されることにより与えられている。フィルタダイアフラムは、例えば通路の長手延在方向に対して平行に配置されていてよい。しかし別の配向も基本的に考慮可能である。
【００２９】
ケーシング、例えばカバーの内部に形成された通路の、フィルタダイアフラムにより閉鎖される開口が設けられている圧力補償ユニットの構成により、フィルタダイアフラムは、公知の構成においてよりも機械的な損壊に対して良好に保護されている。例えば従来のカバーにおいて、フィルタダイアフラムの「積み重ねられた」配置が可能であることにより、構成スペースは単に高さにおいて大きくなり、これに対してセンサ素子の長さは大きくならない。例えば真っ直ぐな又は曲がったトンネルとして通路を構成することにより、通路は両側において開放しているので、水及び／又は液状の媒体はこの通路を通って流出することができ、ひいては開口は解放されたままであるということを保証することができる。例えば開口は通路の上面に配置することができる、つまり圧力センサの組付け状態において通路の上側に配置されている面に配置することができる。これにより、通路を通って流れる若しくは流出する汚染物質は、開口若しくはフィルタダイアフラムに付着することはない、ということを保証することができる。
【００３０】
組み込まれている少なくとも１つの通路及び開口を備えた、ケーシング、例えばカバーは、比較的簡単に製造することができる。したがって、例えばプラスチック射出成形といった公知の廉価なプラスチック成形法を使用することができる。ケーシングは唯一の作業過程において製造可能であってよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】圧力補償ユニットの斜視図である。
【図２】図１に示した圧力補償ユニットのカバーエレメントの斜視図である。
【図３】圧力補償ユニットの通路の長手延在方向に対して平行の断面方向での圧力補償ユニットの断面図である。
【図４】通路の長手延在方向に対して垂直な断面図である。
【図５】圧力補償ユニットを備えた圧力センサの斜視的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
図１〜４には、本発明に係る圧力補償ユニット１１０の実施の形態を種々異なる記載において例示的に示した。圧力補償ユニットは、例えば図５では斜視的な断面図において示された圧力センサ１１２において使用することができる。圧力センサ１１２は特にタンク圧力センサ１１４として構成することができる。以下に、全ての図面について記載する。まず図５の記載に基づいて圧力センサ１１２の機能形式について記載する。
【００３３】
圧力センサ１１２は、例えば射出成形部材として構成することができるセンサケーシング１１６を有する。センサケーシング１１６は圧力センサ１１２の電気的な接触接続のための電気的なコネクタ１１８を有している。さらに、圧力センサ１１２は、圧力通路の形式の測定圧供給部１２２を備えた接続管片１２０を有している。接続管片１２０は、例えば形状シール及び／又はシール円錐部１２４を介して測定室１２６、例えば自動車のタンクの壁内に挿入可能であり、その結果、測定圧供給部１２２を介して、例えばタンク圧を検出することができる。圧力補償ユニット１１０は、特にセンサケーシング１１６と密に、特に接着により接続されていてよい。
【００３４】
センサケーシング１１６内にセンサ素子１２８が収容されている。例えばマイクロメカニクスのセンサ素子、例えばシリコン圧力測定チップが収容されている。これらのセンサ素子１２８は、測定側から測定室１２６の圧力によって負荷される。相対している側において、センサ素子１２８は基準圧室１３０に接続している。センサ素子１２８は、電気的な圧力信号を差圧に応じて測定室１２６と基準圧室１３０との間に形成し、コネクタ１１８を介して送信するために、例えば設けられていてよい。択一的に又は付加的にセンサ信号は完全に又は部分的に既に圧力センサ１１２内において処理することもできる。
【００３５】
先行技術から公知であるように、基準圧室１３０と圧力センサ１１２の周辺１３２との間の圧力補償を行うことが望まれる。この目的のために、圧力センサ１１２は図１〜４において種々異なる詳細図で示した圧力補償ユニット１１０を有している。圧力補償ユニット１１０はカバー１３４として構成されていて、センサケーシング１１６に載着可能であり、センサケーシング１１６と結合可能である。結合するために、カバー１３４は１つ又は複数の結合エレメント１３６を有していてよい。結合エレメント１３６は記載の実施の形態では、例えばクランピングノーズ１３８として構成されていてよい。センサケーシング１１６は適切な対応エレメントを有していてよく、対応エレメントは結合エレメント１３６と協働し、例えば摩擦力結合式及び／又は形状結合式の結合をもたらす。他の結合形式も基本的に考慮可能である。
【００３６】
圧力補償ユニット１１０は、例えば射出成形ケーシングとしても製造されていてよいケーシング１４０を有している。ケーシング１４０は一部材又は複数部材から構成されていてよい。例えば図５から判るように、カバー１３４として構成されているケーシング１４０は、ケーシング１４０の下側の、センサケーシング１１６寄りの端部に中空室１４４を有することができる。中空室１４４はセンサケーシング１１６に向かって開放されており、図５に示した、圧力センサ１１２の組合せ状態においてセンサケーシング１１６と一緒に基準圧室１３０を形成する。
【００３７】
図１，４，５において判るように、ケーシング１４０において選択的に孔１４２が形成されていてよい。孔１４２は、例えば換気のために、特に、高温下の接着剤の硬化中に働く。この製造ステップに続いて、孔１４２又は孔１４２の開口を、例えば鋼球により閉鎖することができかつ／又はシールすることができる。しかし孔１４２を省略することもできる。
【００３８】
さらに、ケーシング１４０には通路１４６が形成されている。通路１４６は記載の実施の形態では、例えば図３の記載から判るように、両側において開放された貫通したトンネルとして構成されている。図３には、通路１４６の長手延在方向に対して平行な断面方向における、圧力補償ユニット１１０の断面図が示されている。これに対して図４には長手延在方向に対して垂直な断面図が示されている。
【００３９】
さらに、ケーシング１４０はセンサケーシング１１６とは反対側の通路１４６の上面において、通路の壁に開口１４８が設けられている。開口１４８は入口開口として作用する。例えば図３，４から判るように、開口はその幅から、例えば通路１４６の幅の２分の１以上、４分の３まで延びることができる。特に図３から判るように、開口１４８は有利には通路１４６の全長にわたって延在していない。特に図３から判るように、開口１４８は通路１４６の２つの側から自由に接近可能である。空気流入は図３では象徴的に符号１５０を用いて示してある。圧力補償は基本的に２つの方向において行うことができるので、図３の空気流入部の方向は恣意的に選択されている。
【００４０】
特に図３，４及び図１の斜視図から判るように、ケーシング１４０の、センサケーシング１１６とは反対側の上面は、記載の実施の形態では、高められて形成された平坦面１５２を有している。平坦面１５２には開口１４８が配置されている。開口１４８はフィルタダイアフラム１５４により閉鎖されている。フィルタダイアフラム１５４は圧力補償ダイアフラムとして作用し、例えば開口１４８の領域における平坦面１５２に接着されていてよく、その結果、開口１４８は完全に閉鎖される。平坦面１５２は記載の実施の形態ではケーシング１４０の外面の領域に配置されている。しかし平坦面１５２は外方に周辺１３２に対してキャップ１５８の形式のカバーエレメント１５６により完全にカバーされている。カバーエレメント１５６は、例えばケーシング１４０における凹部１６０内に挿入されていて、クランプ部１６２を介してケーシング１４０及び／又は接着部１６４に結合されているので、有利には平坦面１５２はカバーエレメント１５６により完全に周辺１３２から隔絶されている。カバーエレメント１５６はケーシング１４０と密に、例えば接着により結合することができる。
【００４１】
カバーエレメント１５６は、記載の実施の形態では、フィルタダイアフラム１５４に直接載着されているので、過圧に対する保護を保証することができる。図２には、カバーエレメント１５６の、ケーシング１４０から見た斜視的な図が示されている。ここから、カバーエレメント１５６は、例えばケーシング１４０寄りのカバーエレメント１５６の内面に空気通路１６８を長手方向及び／又は横方向に有することができる、ということが判る。空気通路１６８によって、フィルタダイアフラム１５４から若しくはフィルタダイアフラム１５４への空気の流出及び／又は流入を促進することができる。こうして、通路１４６若しくは開口１４８と基準圧室１４４との間の空気交換を行うことができる。この場合、圧力補償は二方向において行うことができるので、空気通流部１７０の図示の流れ方向もまた恣意的なものである。
【００４２】
空気通流部１７０は、空気通路１６８の他に、記載の実施の形態では、さらに少なくとも１つの空気開口１７２を有している。空気開口１７２は空気通路１６８を、記載の形態では、空気開口１７２の下方に位置する、ケーシング１４０の基準圧室１３０若しくは中空室１４４に直接又は間接的に結合する。全体として、中空室１４４若しくは圧力センサ１１２が組み付けられた状態における基準圧室１３０は、通路１４６の下側に配置されており、例えば開口１４８に相対する通路１４６の側に配置されている。空気通流部１７０は通路１４６を囲むひいては部分的に囲む。基準圧室１３０若しくは中空室１４４と通路１４６とが重なって配置されている積層された配置は、特に構成スペースを節約するように実現することができる。こうして、コンパクトな圧力補償ユニット１１０を提供することができる一方で、圧力補償ユニット１１０は汚染物質及び／又は湿分に対する圧力補償のための空気通流部１７０の効果的な遮蔽を提供し、かつ、直接的な機械的損壊から保護する。
【符号の説明】
【００４３】
１１０  圧力補償ユニット、  １１２  圧力センサ、  １１４  タンク圧力センサ、  １１６  センサケーシング、  １１８  コネクタ、  １２０  接続管片、  １２２  測定圧供給部、  １２４  シール円錐部、  １２６  測定室、  １２８  センサ素子、  １３０  基準圧室、  １３２  周辺、  １３４  カバー、  １３６  結合エレメント、  １３８  クランピングノーズ、  １４０  ケーシング、  １４２  孔、  １４４  中空室、  １４６  通路、  １４８  開口、  １５０  空気流入、  １５２  平坦面、  １５４  フィルタダイアフラム、  １５６  カバーエレメント、  １５８  キャップ、  １６０  凹部、  １６２  クランプ部、  １６４  接着部、  １６８  空気通路、  １７０  空気通流部、  １７２  空気開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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