(57)【要約】【課題】チャンバ内の真空状態を保ったまま連続的にワークの表裏に蒸着を施すことができる真空蒸着装置を提案するものである。【解決手段】真空蒸着装置のチャンバ内に配置されたドームの傾斜面に形成された複数のワーク装着部１８にワーク装着ユニット２０が装着される。ワーク装着ユニット２０は、ガラス板２１が固定されたワークホルダ２２を一対の回転軸によって回転自在に支持したホルダ支持枠２５と、ホルダ支持枠２５の回転を係止する係止部材６０を備えたボールガイド枠５０とから構成される。ボールガイド枠５０には鋼球５８が載置され、リブ５６によって載置された位置に保持される。ドームの回転速度を速くすると、遠心力によって鋼球５８がリブ５６を乗り越え、係止部材６０のボール衝突部６２に衝突すると、係止爪６３がワークホルダ２２の係止位置から移動してワークホルダ２２が反転する。【選択図】図２
2010275584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空蒸着装置のチャンバ内で垂直軸の軸回りに２つ以上の異なる速度に切り替えて回転されるドームに装着され、蒸着膜が形成される２つの蒸着面を有するワークが前記ドームの傾斜面に沿って配置されるワーク装着ユニットであって、
前記ワークが着脱自在に保持されるとともに、前記蒸着面の１つを蒸着源に向けた初期位置と、別の蒸着面を前記蒸着源に向けた反転位置とに変位自在とされたワークホルダと、
前記ドームが第１の速度で回転するときは前記ワークホルダを前記初記位置に保持し、前記ドームが前記第１の速度より速い第２の速度で回転するときには遠心力によって前記ワークホルダを前記反転位置に移動させるウエイトと、
前記ワークホルダを回転自在に軸支するとともに、前記ウエイトを前記遠心力の作用する方向に移動自在にガイドするガイド部材を有するホルダ支持枠と、
を備えたことを特徴とするワーク装着ユニット。
【請求項２】
前記ホルダ支持枠は、前記ワークホルダに形成された位置決め突起が当接し、前記ワークホルダを前記反転位置に保持するストッパを備えたことを特徴とする請求項１記載のワーク装着ユニット。
【請求項３】
前記ワークホルダを前記反転位置の方向に付勢する反転バネと、
前記反転バネによる付勢力に抗して前記ワークホルダを前記初期位置に係止するとともに、前記遠心力によって移動する前記ウエイトに押圧されて前記ワークホルダの係止を解除する係止部材と、
を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のワーク装着ユニット。
【請求項４】
前記ウエイトは所定の質量を有するボールであり、
前記ガイド部材は、前記遠心力の作用する方向に沿って立設された一対の壁部と、前記壁部を前記傾斜面側で連設する底板部とからなる樋状部材であって、
前記底板部の前記垂直軸側には前記ボールを載置するボール載置部が設けられ、
前記係止部材は、前記樋状部材の底板部に載置され、前記ボール載置部から落下した前記ボールが転動するとともに前記遠心力の作用する方向に摺動自在なボール転動部と、前記ボール転動部の前記ボール載置部から遠い側に立設され転動する前記ボールが衝突するボール衝突部と、前記ワークホルダに当接して前記ワークホルダの回転を阻止する係止爪とからなることを特徴とする請求項３記載のワーク装着ユニット。
【請求項５】
前記ホルダ支持枠に設けられ、前記位置決め突起が係合して前記ワークホルダを前記初期位置で保持する第１ストッパと、前記ワークホルダを前記反転位置で保持する第２ストッパとを備え、
前記ウエイトは、自身の重力によって前記位置決め突起が前記第１ストッパと係合する方向に前記ワークホルダを回転させる第１位置と、前記位置決め突起が前記第２ストッパと係合する方向に前記ワークホルダを回転させる第２位置との間で移動自在にガイドされたことを特徴とする請求項２記載のワーク装着ユニット。
【請求項６】
前記ワークホルダを回転自在に軸支する一対の回転軸の一方に固定されて、前記ワークホルダと一体に回転する第１歯車と、
前記ホルダ支持枠に回転自在に軸支されるとともに前記第１歯車と噛合して前記第１歯車に回転力を伝達する第２歯車と、
一端側に前記第２歯車が固定され、他端側に前記ウエイトが固定されたアーム部材と、
を備え、
前記ウエイトが前記第１位置にあって前記ドームが前記第１の速度で回転するときは前記第１位置にある前記ウエイトの重力によって前記ワークホルダが前記初期位置に保持され、前記第２の速度で回転するときには遠心力によって前記ウエイトが前記第２位置に移動して前記第２歯車が回動し、前記位置決め突起が前記第２ストッパと係合して前記ワークホルダが前記反転位置とされることを特徴とする請求項５記載のワーク装着ユニット。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれか記載のワーク装着ユニットを備え、
前記ドームを第１の速度で回転させながら前記ワークの蒸着面の１つに蒸着が施され、その後、前記ドームを前記第２の速度で回転させワークを反転させた後、他の蒸着面に蒸着が施されることを特徴とする真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円形、角形等の板状に形成された被蒸着物（ワーク）の表裏に、蒸着物質を成膜する真空蒸着装置及びワーク装着ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の薄板基板や、半導体ウエハ等のワークの表面に蒸着物質を積層するために真空蒸着装置が用いられる。一般的な真空蒸着装置は、チャンバ内に設けられた蒸着源から放出された蒸着物質をガラス板などのワークの表面に均一に付着させる。蒸着源は複数設けられ、シャッタにより異なる蒸着物質を蒸着させることができる。１度に多数のワークに蒸着させるために、真空チャンバ内には略傘型の形状をした回転式のドームが設けられ、回転軸を中心に回転する。このドームの傘の部分に所定数のワークが装着される。チャンバの下部には真空ポンプに接続されたダクトが設けられ、真空ポンプによってチャンバ内が真空状態にされる。
【０００３】
ここで、ワークが前記ドームに単に保持・固定された状態の場合は、ワークの片面にだけ蒸着膜が形成される。蒸着膜を両面に蒸着させる場合は、前記チャンバを開いて前記ワークを裏返した後に、再びチャンバ内を真空にしてから蒸着しなければならず、大変、手間が掛かる。また、前記ワークが非常に薄いガラス板の場合は、ガラス板に反りが生じることがある。この問題を解決するために、本出願人は、チャンバ内の真空状態を保ったままでワークの表裏両面に蒸着膜を形成することができる真空蒸着装置として、下記特許文献１に示す構成を提案した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４１４０２７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記特許文献１記載の装置は、チャンバ内でワークを反転させるためにモータなどの駆動手段を備えなければならず、今までの装置を改造するにしても大掛かりな変更が必要であり、スペース的にも、コスト的にも大きな負担を強いられることになる。
【０００６】
上記問題点に鑑み、本発明は、ワークの反転にモータなどの駆動手段を必要とせずに、チャンバ内の真空状態を保ったまま連続的にワークの表裏に蒸着を施すことができる真空蒸着装置を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によるワーク装着ユニットは、真空蒸着装置のチャンバ内で垂直軸の軸回りに２つ以上の異なる速度に切り替えて回転されるドームに装着されるとともに、蒸着膜が形成される２つの蒸着面を有するワークが前記ドームの傾斜面に沿って配置される。ワーク装着ユニットは、前記ワークが着脱自在に保持されるとともに前記蒸着面の１つを蒸着源に向けた初期位置と別の蒸着面を前記蒸着源に向けた反転位置とに変位自在とされたワークホルダと、前記ドームが第１の速度で回転するときは前記ワークホルダを前記初期位置に保持し、前記ドームが前記第１の速度より速い第２の速度で回転するときには遠心力によって前記ワークホルダを前記反転位置に移動させるウエイトと、前記ワークホルダを回転自在に軸支するとともに、前記ウエイトを前記遠心力の作用する方向に移動自在にガイドするガイド部材を有するホルダ支持枠と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記ホルダ支持枠は、前記ワークホルダに形成された位置決め突起が当接し、前記ワークホルダを前記反転位置に保持するストッパを備えるようにすると良い。前記ワーク装着ユニットは、前記ワークホルダを前記反転位置の方向に付勢する反転バネと、前記反転バネによる付勢力に抗して前記ワークホルダを前記初期位置に係止するとともに、前記遠心力によって移動する前記ウエイトに押圧されて前記ワークホルダの係止を解除する係止部材と、を備えるようにすると良い。
【０００９】
前記ウエイトは所定の質量を有するボールであり、前記ガイド部材は、前記遠心力の作用する方向に沿って立設された一対の壁部と、前記壁部を前記傾斜面側で連設する底板部とからなる樋状部材であって、前記底板部の前記垂直軸側には前記ボールを載置するボール載置部が設けられ、前記係止部材は、前記樋状部材の底板部に載置され、前記ボール載置部から落下した前記ボールが転動するとともに前記遠心力の作用する方向に摺動自在なボール転動部と、前記ボール転動部の前記ボール載置部から遠い側に立設され転動する前記ボールが衝突するボール衝突部と、前記ワークホルダに当接して前記ワークホルダの回転を阻止する係止爪とから構成されるようにすると良い。
【００１０】
あるいは、前記ホルダ支持枠に設けられ、前記位置決め突起が係合して前記ワークホルダを前記初期位置で保持する第１ストッパと、前記ワークホルダを前記反転位置で保持する第２ストッパとを備え、前記ウエイトが、自身の重力によって前記位置決め突起と前記第１ストッパとが係合する方向に前記ワークホルダを回転させる第１位置と、前記位置決め突起と前記第２ストッパとが係合する方向に前記ワークホルダを回転させる第２位置との間で移動自在にガイドされるようにすると良い。
【００１１】
前記ワークホルダを一対の回転軸によって回転自在に軸支し、前記一対の回転軸の一方に固定されて前記ワークホルダと一体に回転する第１歯車と、前記第１歯車と噛合し前記ホルダ支持枠に回転自在に軸支された第２歯車とを備え、前記第２歯車は一端側に前記ウエイトが固定されたアーム部材の他端側に固定されるようにすると良い。前記ウエイトが前記第１位置にあって前記ドームが前記第１の速度で回転するときは前記第１位置にある前記ウエイトの重力によって前記ワークホルダが前記初期位置に保持され、前記第２の速度で回転するときには遠心力によって前記ウエイトが前記第２位置に移動して前記第２歯車が回動し、前記位置決め突起が前記第２ストッパと係合して前記ワークホルダが前記反転位置となるようにすると良い。
【００１２】
本発明による真空蒸着装置は、前記いずれかのワーク装着ユニットを備え、前記ドームを第１の速度で回転させながら１つの蒸着面への蒸着が行われ、その後、前記ドームを前記第２の速度で回転させワークを反転させた後、他の蒸着面への蒸着が行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明による真空蒸着装置は、前記ワーク装着ユニットを備えることによって、ドームの回転速度を変えるだけで、チャンバ内の真空状態を保ったまま、連続的にワークの表裏に蒸着を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明による真空蒸着装置の構成を示す模式図である。
【図２】ワーク装着ユニットの斜視外観図である。
【図３】ワーク装着ユニットの構成を示す模式図である。
【図４】ワークホルダの構成を示す分解斜視図である。
【図５】ワークホルダとホルダ支持枠の構成を示す分解斜視図である。
【図６】ワーク装着ユニットの分解斜視図である。
【図７】ワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図８】ワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図９】ワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図１０】ワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図１１】ワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図１２】ワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図１３】ボール載置部の別の実施形態を示す斜視外観図である。
【図１４】ボール載置部の別の実施形態を示す模式図である。
【図１５】ワークホルダの取り付け方向を変えた例を示す図である。
【図１６】ワーク装着ユニットの別の実施形態を示す斜視外観図である。
【図１７】別のワーク装着ユニットの分解斜視図である。
【図１８】第２歯車ユニットの分解斜視図である。
【図１９】別のワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【図２０】別のワーク装着ユニットの作用を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１に示すように、本発明による真空蒸着装置１０は、内部を真空にされたチャンバ１１内に垂直軸１２の軸回りに回転する傘状の傾斜面１３を有するドーム１５が設けられ、前記ドーム１５の下部位置に蒸着源１６が配置される。前記ドーム１５は回転する速度が遅い第１の速度とそれより速い第２の速度で回転できるように回転速度の切替えが可能になっている。前記傾斜面１３には複数のワーク装着部１８が傾斜面の傾斜（例えば、３０°）に沿って形成されている。前記ワーク装着部１８にはワーク装着ユニット２０が装着される。
【００１６】
図２及び図３に示すように、ワーク装着ユニット２０は、表裏に蒸着面を有するガラス板（ワーク）２１が固定されたワークホルダ２２を一対の回転軸２３，２４によって回転自在に支持したホルダ支持枠２５が前記ワーク装着部１８に挿入され、ホルダ支持枠２５の取付アーム２６に形成された取付孔２７に挿通されるネジ２８によって、前記傾斜面１３の傾斜に沿って取り付けられる。前記回転軸２３，２４の中心線３０は、前記垂直軸１２から外周方向に向かう放射状の線（即ち、前記ドーム１５が回転したときに遠心力の作用する方向）３１と垂直となるように配置される。
【００１７】
図４及び図５に示すように、前記ガラス板２１はワークホルダベース３３とワークホルダカバー３４の間に着脱自在に保持され、ワークホルダカバー３４に形成された孔３５に挿通されたネジ３６がワークホルダベース３３に形成されたネジ穴３７と螺合して前記ガラス板２１とワークホルダベース３３とワークホルダカバー３４とが一体となる。前記ワークホルダベース３３とワークホルダカバー３４の中央にはそれぞれ開口３８，３９が形成され、前記蒸着源１６から放出される蒸着物質１７を通して、前記ガラス板２１の表裏に形成されたそれぞれの蒸着面に前記蒸着物質１７を蒸着させる。
【００１８】
前記ワークホルダベース３３には、前記ホルダ支持枠２５に形成された回転孔４１，４２に挿通された前記回転軸２３，２４が装着されるネジ穴４３，４４と、前記回転軸２３，２４を中心にして回転したときに前記ホルダ支持枠２５に形成されたストッパ４５と係合する位置決め突起４６と、前記回転軸２４が挿通されて支持される反転バネ４７の一端が係止される溝４８とが形成される。前記ワークホルダ２２は、前記開口３８を前記蒸着源１６に向けた初期位置と前記開口３９を前記蒸着源１６に向けた反転位置とに変位自在に保持される。
【００１９】
図６及び図３に示すように、前記ワーク装着ユニット２０は、前記ワークホルダ２２が取り付けられたホルダ支持枠２５が取り付けられた後に、ボールガイド枠（ガイド部材、樋状部材）５０が、前記ホルダ支持枠２５の取付アーム５１に形成されたネジ穴５２と螺合するネジ５３によって前記ホルダ支持枠２５に固定される。前記ボールガイド枠５０は前記放射状の線３１と平行な方向に長い長方形をした一対の壁部５４と前記壁部５４を前記傾斜面１３側で連設する底板部５５を有する樋状に形成され、前記底板部５５の前記垂直軸１２側には所定の質量を有する鋼球（ボール、ウエイト）５８が転動しないように載置されるリブ（ボール載置部）５６が設けられる。
【００２０】
前記底板部５５の前記リブ５６より前記ドーム１５の外周方向には係止部材６０が載置される。前記係止部材６０には、前記リブ５６を乗り越えて落下する前記鋼球５８が転動するボール転動部６１と、前記ボール転動部６１の前記リブ５６から遠い側に立設されたボール衝突部６２と、前記ワークホルダ２２の縁に当接して前記ワークホルダ２２の回転を係止する係止爪６３とが形成される。前記係止部材６０は、前記ボール転動部６１と前記係止爪６３を連設する連設部６４が前記壁部５４と底板部５５の間に形成されたガイド溝６５に係合して前記外周方向に摺動する。
【００２１】
次に本発明による作用・効果について説明する。図７に示すように、前記ドーム１５の傾斜面１３の傾斜に沿って取り付けられたワーク装着ユニット２０の前記ボールガイド枠５０は、前記傾斜面１３と同じ傾斜、例えば、３０°に傾いているが、前記鋼球５８は、前記リブ５６によって前記ボールガイド枠５０の前記垂直軸１２側に載置されている。係止部材６０は、前記係止爪６３が反転バネ４７によって時計回りの方向に付勢された前記ワークホルダ２２の縁と当接するように前記垂直軸１２側に寄せて配置される。前記係止爪６３が前記ワークホルダ２２によって押し上げられ、前記連設部６４が前記ガイド溝６５の前記壁部５４に押圧されて摩擦が生じる。この摩擦によって、前記係止部材６０は前記ドーム１５が回転して遠心力が作用しても前記外周方向に移動することはない。
【００２２】
図８に示すように、前記ワーク装着ユニット２０が前記傾斜面１３に取り付けられ前記ドーム１５が第１の速度で回転する。前記ドーム１５の下部位置に配置された蒸着源１６から蒸着物質１７が放射され、前記初期位置に保持された前記ワークホルダ２２の前記開口３８から露呈している前記ガラス板２１の蒸着面の１つに蒸着が施される。前記ガラス板２１の蒸着面の１つへの蒸着が済むと、一旦、蒸着源１６からの蒸着物質の放出が停止され、前記ドーム１５の回転速度が前記第１の速度より速い第２の速度に切り替えられる。図９に示すように、前記回転するドーム１５の遠心力によって鋼球５８が前記リブ５６を乗り越え、前記係止部材６０のボール転動部６１の右端に落下する。落下した鋼球５８は前記遠心力と傾斜によって前記ボール転動部６１上を左へ転動して前記ボール衝突部６２に衝突し、前記係止部材６０を左に移動させる。
【００２３】
図１０に示すように、前記係止部材６０が左へ移動して前記係止爪６３が前記ワークホルダ２２との係合位置から外れると、前記ワークホルダ２２は前記反転バネ４７の付勢力によって時計回りの方向に回転する。図１１に示すように、前記ワークホルダ２２は、前記ワークホルダベース３３に形成された前記位置決め突起４６が前記ホルダ支持枠２５に形成されたストッパ４５に当接し、１８０°回転した前記反転位置に保持される。図１２に示すように、前記ワークホルダ２２の反転後、再度、前記蒸着源１６から蒸着物質１７が放射され、前記開口３９を通して、前記ガラス板２１の別の蒸着面への蒸着が行われる。このように本発明による真空蒸着装置１０は、前記ドーム１５の回転速度を変えるだけで、前記チャンバ１１内の真空状態を保ったまま、連続的に前記ガラス板２１の表裏に蒸着を施すことができる。
【００２４】
なお、前記実施形態において、前記係止部材６０は、前記係止爪６３が前記ワークホルダ２２によって押し上げられ、前記連設部６４が前記ガイド溝６５の前記壁部５４に押圧されて摩擦が生じ、この摩擦によって、前記係止部材６０は前記ドーム１５が回転して遠心力が作用しても動かないように構成したが、前記係止部材６０を前記リブ５６側に押圧するバネを設けるようにしても良い。また、第２の速度による遠心力によって移動するウエイトとして鋼球５８を用いたが、鋼球５８の代わりに、他の材質のボール（球体）を用いても良く、球体ではなく、円筒体や多面体や立方体であっても良い。
【００２５】
前記実施形態は、ボールガイド枠５０に設けるボール載置部としてリブ５６を用いたが、図１３及び図１４に示すように、三角形の２本のレール６８であっても良く、前記鋼球５８が前記第１の速度による遠心力では前記初期位置に維持され、前記第２の速度による遠心力によって移動するものであれば、他の形状であっても良く、例えば、前記ウエイトとして立方体を用い、前記ボール載置部として摩擦板を用いても良い。
【００２６】
前記実施形態は、前記回転軸２３，２４の中心線３０が前記放射状の線３１と垂直になるように前記ホルダ支持枠２５に取り付けたが、前記ワークホルダ２２の回転の向きはこれに限ることはなく、図１５に示すように、前記中心線３０が前記放射状の線３１と平行になるように、前記ワークホルダ２２をホルダ支持枠６９に取り付ける構成にしても良い。
【００２７】
次に、別の実施形態について説明する。前記実施形態と同じ部材は同じ符号を付すとともに説明を省略する。図１６に示すように、ワーク装着ユニット７０を構成するホルダ支持枠７１には前記ワークホルダ２２を反転させる反転機構７２を保持する保持部７３が設けられる。前記ホルダ支持枠７１には一対の回転軸２３，７４（図１７参照）によって前記ワークホルダ２２が回転自在に支持され、前記ワークホルダ２２は前記回転軸２３，７４の中心線３０が前記放射状の線３１と垂直となるように前記ホルダ支持枠７１に取り付けられる。
【００２８】
図１７及び図１８に示すように、前記ホルダ支持枠７１には、前記ワークホルダ２２に形成された前記位置決め突起４６と係合して前記ワークホルダ２２を初期位置で保持する第１ストッパ７５と、前記ワークホルダ２２が前記初期位置から１８０°回転した反転位置で前記位置決め突起４６と係合する第２ストッパ７６とが形成される。前記回転軸７４には第１歯車７７が圧入され、前記第１歯車７７が１８０°回転すると前記ワークホルダ２２が１８０°回転する。前記第１歯車７７は噛合する第２歯車７８とともに前記保持部７３と前記保持部７３にネジ７９によって固定される保持板８０によって回転自在に挟持される。
【００２９】
前記第１歯車７７は第２歯車ユニット８１とともに前記反転機構７２を構成する。第２歯車ユニット８１は、前記第２歯車７８と、両端に嵌合孔８３，８４が形成されたアーム部材８５と、前記第２歯車７８と同じ厚さのスペーサ８６と、ウエイト８７によって構成される。前記第２歯車７８に固定された軸８８の両側の根元部には前記嵌合孔８３が嵌合される嵌合部８９がそれぞれ形成され、前記第２歯車７８には前記アーム部材８５を固定するカシメ孔９０が形成される。２つの前記嵌合部８９に２つの前記アーム部材８５のそれぞれ一方の前記嵌合孔８３を嵌合させ、２つの前記アーム部材８５によって前記第２歯車７８を両側から挟むように配置して、前記アーム部材８５に形成されたカシメ孔９１と前記カシメ孔９０とにカシメ軸９２を連通させ、２つの前記アーム部材８５の一端側に前記第２歯車７８を固定する。
【００３０】
ネジ９３は、前記ウエイト８７に形成された孔９４と、前記アーム部材８５の他端側の嵌合孔８４と、前記スペーサ８６に形成された孔９５と、２つ目の前記アーム部材８５の嵌合孔８４と、２つ目の前記ウエイト８７に形成された孔９４とに順次に挿通され、ナット９６と螺合して、これらを固定する。このように構成された前記ウエイト８７は、自身の重力によって前記第２歯車７８を回転させるとともに、前記位置決め突起４６が前記第１ストッパ７５を押圧する第１の方向に前記第２歯車７８を回転させて前記ワークホルダ２２を前記初期位置とする第１位置と、前記位置決め突起４６が前記第２ストッパ７６を押圧する第２の方向に前記第２歯車７８を回転させて前記ワークホルダ２２を前記反転位置とする第２位置との間で移動自在とされる。
【００３１】
図１９に示すように、前記ウエイト８７は、自身の重力がＡの方向に作用して前記第２歯車７８を時計回りの方向Ｂに回転させる。前記第２歯車７８の回転は前記第１歯車７７に伝達され、前記第１歯車７７は反時計回りの方向Ｃに回転して、前記ワークホルダ２２を反時計回りの方向に回転させる。前記ワークホルダ２２は前記位置決め突起４６を前記第１ストッパ７５に押圧させて、前記ワークホルダ２２を前記初期位置に保持する。この状態で前記ドーム１５が第１の速度で回転し、前記蒸着源１６から蒸着物質が放出されて、前記ガラス板２１の蒸着面の１つに蒸着が施された後に、前記ドーム１５の回転速度が前記第１の速度より速い第２の速度に切り替えられる。
【００３２】
図２０に示すように、回転する前記ドーム１５の遠心力によって前記ウエイト８７が前記第１位置からＤの方向に移動する。前記第２歯車７８は反時計回りの方向Ｅに回転し、前記第１歯車７７を時計回りの方向Ｆに回転させる。前記ワークホルダ２２は時計回りの方向に回転させられ、前記ワークホルダ２２に形成された前記位置決め突起４６が前記第２ストッパ７６に当接する。前記ワークホルダ２２は前記初期位置から１８０°回転した反転位置に保持される。前記ワークホルダ２２が前記反転位置に保持されると、再び、前記蒸着源１６から蒸着物質が放出されて、前記ワークホルダ２２に装着された前記ガラス板２１の別の蒸着面に蒸着が施される。
【００３３】
前記実施形態は、ワークホルダ２２をワークホルダベース３３とワークホルダカバー３４とで構成し、前記ガラス板２１をその間に収容するようにしたが、ワークホルダ２２の構成はこれに限るものではなく、蒸着させるワークの形状に最適な取り付け方法を、適宜、採用しても良い。
【符号の説明】
【００３４】
１０  真空蒸着装置
１１  チャンバ
１２  垂直軸
１３  傾斜面
１５  ドーム
１６  蒸着源
１７  蒸着物質
１８  ワーク装着部
２０，７０  ワーク装着ユニット
２１  ガラス板（ワーク）
２２  ワークホルダ
２３，２４，７４  回転軸
２５，６９，７１  ホルダ支持枠
２６，５１  取付アーム
３０  中心線
３１  放射状の線（遠心力の作用する方向）
３３  ワークホルダベース
３４  ワークホルダカバー
３８，３９  開口
４１，４２  回転孔
４３，４４  ネジ穴
４５  ストッパ
４６  位置決め突起
４７  反転バネ
４８  溝
５０  ボールガイド枠（ガイド部材、樋状部材）
５４  壁部
５５  底板部
５６  リブ（ボール載置部）
５８  鋼球（ボール、ウエイト）
６０  係止部材
６１  ボール転動部
６２  ボール衝突部
６３  係止爪
６４  連設部
６５  ガイド溝
６８  三角形の２本のレール（ボール載置部）
７２  反転機構
７３  保持部
７５  第１ストッパ
７６  第２ストッパ
７７  第１歯車
７８  第２歯車
８０  保持板
８１  第２歯車ユニット
８５  アーム部材
８６  スペーサ
８７  ウエイト
８８  軸
８９  嵌合部
９０，９１  カシメ孔
９２  カシメ軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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