(57)【要約】【課題】ヘッドを小型化することができると共に、液体の漏出を確実に防止してコストを低減することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体供給路３６を介して供給されたインクを噴射するノズルを有するヘッド本体と、液体供給路３６が設けられた供給部材本体３１及び針側液体供給路４０が設けられた供給針３２と、供給部材本体３１と供給針３２との間に設けられたフィルター３３と、供給部材本体３１と供給針３２とを一体成型接合する一体成型部材３４とを備え、フィルター３３の外縁部３３ａは、液体供給路３６よりも外側に設けられ、一体成型部材３４は、フィルター３３の外縁部３３ａを覆っている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体供給路を介して供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、
前記液体供給路が設けられた第１供給部材及び第２供給部材と、
前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に設けられたフィルターと、
前記第１供給部材と前記第２供給部材とを一体成型接合する一体成型部材とを備え、
前記フィルターの外縁部は、前記液体供給路よりも外側に突出し、
前記一体成型部材は、前記フィルターの前記外縁部を覆っている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フィルターの前記外縁部は、前記第１供給部材及び前記第２供給部材との前記フィルターを挟持する挟持領域よりも外側に突出している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フィルターの前記外縁部は、前記第１供給部材と前記第２供給部材とで挟持されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給体となるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク流路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧電素子等の圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡や異物がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡等によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と供給部材との間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルターを設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、このようなフィルターと供給部材とは、熱溶着等により固定され、インク供給針と供給部材とは超音波溶着等により固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のような構成では、供給部材のインク供給針が固定される領域にフィルターが設けられているため、フィルターの面積に応じた領域が必要であると共に、供給部材にインク供給針及びフィルターをそれぞれ個別に溶着するための領域が必要であるため、隣り合うインク供給針の間隔を短くすることができず、ヘッドが大型化してしまうという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１のような構成で、ヘッドの小型化を図るためにフィルターの面積を小さくすると、動圧が上がるため、圧電素子や発熱素子等の圧力発生手段を駆動する駆動電圧を上げなくてはならないという問題がある。
【０００８】
また、インク供給針と供給部材とを熱溶着により固定すると、隙間が発生する虞があり、隙間からインクが漏出してしまうという問題がある。さらに、供給部材にフィルターとインク供給針とをそれぞれ個別に固定すると、製造コストが高コストになってしまうという問題がある。
【０００９】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑み、ヘッドを小型化することができると共に、液体の漏出を確実に防止してコストを低減することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体供給路を介して供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、前記液体供給路が設けられた第１供給部材及び第２供給部材と、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に設けられたフィルターと、前記第１供給部材と前記第２供給部材とを一体成型接合する一体成型部材とを備え、前記フィルターの外縁部は、前記液体供給路よりも外側に突出し、前記一体成型部材は、前記フィルターの前記外縁部を覆っていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フィルターの外縁部は、液体供給路から離隔した位置で一体成型部に覆われている。このため、フィルターの外縁部から生じた異物が液体供給路に進入することが防止され、液体の吐出不良が防止される。
【００１２】
ここで、前記フィルターの前記外縁部は、前記第１供給部材及び前記第２供給部材との前記フィルターを挟持する挟持領域よりも外側に突出していることが好ましい。これによれば、フィルターの外縁部はより確実に液体供給路から離隔されるため、より一層、フィルターの外縁部から生じた異物が液体供給路に進入することが防止される。
【００１３】
また、前記フィルターの前記外縁部は、前記第１供給部材と前記第２供給部材とで挟持されていることが好ましい。これによれば、第１供給部材及び第２供給部材のフィルターを挟持する挟持領域でフィルターの外縁部が挟持される。これにより、フィルターの外縁部は、挟持領域よりも外側に突出しないので、この突出しない分だけ、液体供給路同士の間隔を狭くすることができ、液体噴射ヘッドの小型化を図ることができる。
【００１４】
また、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、フィルターの外縁部からの異物が液体供給路に進入することが防止され、液体の吐出不良を防止して信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る供給部材の上面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る供給部材の断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るヘッド本体を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態２に係る供給部材の要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明のインクジェット式記録装置１０は、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された液体貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。
【００１７】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００１８】
また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のノズル形成面を封止するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。このキャップ部材１９によってノズル開口が形成されたノズル形成面を封止することにより、インクの乾燥を防止している。また、このキャップ部材１９は、クリーニング動作時のインク受けとしても機能する。
【００１９】
ここで、本実施形態に係る記録ヘッド１１について説明する。なお、図２は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【００２０】
図２に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３が固定されるカートリッジケース等の供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面側に設けられたカバーヘッド２４０とを具備する。
【００２１】
まず、供給部材３０について詳細に説明する。なお、図３は、供給部材の上面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′断面図である。
【００２２】
図３及び図４に示すように、供給部材３０は、第１供給部材の一例である供給部材本体３１と、供給部材本体３１の一方面側に配置された第２供給部材の一例である供給針３２と、供給部材本体３１と供給針３２とに挟持されたフィルター３３と、これらの供給部材本体３１、供給針３２及びフィルター３３を一体化する一体成型部３４とを備えている。
【００２３】
供給部材３０は、その一方面に上述したインクカートリッジ１３がそれぞれ装着される供給体装着部３５を有する。勿論、この供給体装着部３５に直接インクカートリッジ１３が装着される態様に限定されず、インクを貯留する液体貯留手段からチューブ等を介して供給体装着部３５にインクが導かれる態様であってもよい。
【００２４】
供給部材本体３１には、後述するフィルター３３よりも下流側にあって、一端が供給部材本体３１の供給針３２が設けられる面（供給部材本体３１の一方面）に開口し、他端がヘッド本体２２０側に開口して、インクカートリッジ１３からのインクをヘッド本体２２０に供給するための液体供給路３６が設けられている。なお、詳しくは後述するが、供給部材３０には複数のヘッド本体２２０、本実施形態では５つのヘッド本体２２０が設けられており、液体供給路３６は、一つのヘッド本体２２０につき２つ設けられ、この２つの液体供給路３６には、一つのインクカートリッジ１３からのインクがそれぞれ独立して導入されるようになっている。
【００２５】
また、供給部材本体３１の供給針３２が固定される一方面には、突出する壁部４３が形成されている。壁部４３の内側には、後述する製造工程で形成される一体成型部３４が設けられている。
【００２６】
供給針３２は、供給部材本体３１の一方面に固定されるものであり、先端部４６から底面側に向けて拡幅する裾部４７を有している。供給針３２は、先端部４６に設けられたインク導入口５１に連通する針側液体供給路４０を有しており、針側液体供給路４０は、フィルター３３を介して供給部材本体３１の液体供給路３６に連通している。針側液体供給路４０は、液体供給路３６側に向けて内径が拡幅した空間、すなわち、幅広部であるフィルター室４１が設けられている。フィルター室４１のフィルター３３側の開口を介してインクカートリッジ１３から供給されたインクが液体供給路３６に供給されるようになっている。
【００２７】
また、供給部材本体３１及び供給針３２は、フィルター３３を挟持する領域である挟持領域３９を有している。本実施形態では、挟持領域３９は、供給部材本体３１の一方面における液体供給路３６の開口縁部であるフィルター挟持部３７と、供給針３２の供給部材本体３１側の開口縁部である針側フィルター挟持部４２とが互いに相対向する領域である。
【００２８】
フィルター３３は、金属を細かく編み込むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものであり、液体供給路３６を横断して供給部材本体３１と供給針３２との間に設けられている。具体的には、フィルター３３は、その外縁部３３ａが挟持領域３９よりも外側に突出し、フィルター３３の液体供給路３６及び針側液体供給路４０に対向する領域（フィルター部３３ｂ）と外縁部３３ａとの間の被挟持領域３３ｃが挟持領域３９に挟持されている。なお、フィルター３３の外縁部３３ａとは、フィルター３３の外端面を含む外縁近傍の領域をいう。
【００２９】
このようにフィルター３３が供給部材本体３１と供給針３２との間に設けられることで、針側液体供給路４０から液体供給路３６に流入しようとする気泡や異物等がフィルター部３３ｂで捕捉される。
【００３０】
一体成型部３４は、フィルター３３を挟持した供給部材本体３１と供給針３２とを一体成型接合している。この一体成型接合とは、供給部材本体３１と供給針３２との両方に接触するように一体成型部３４を成型することにより供給部材本体３１と供給針３２とを接合することをいう。
【００３１】
また、一体成型部３４は、フィルター３３の外縁部３３ａ全体を覆っている。すなわち、一体成型部３４は、挟持領域３９よりも外側に突出した外縁部３３ａの両面及び外端面を覆っている。なお、一体成型部３４がフィルター３３の外縁部３３ａを覆うとは、一体成型部３４がフィルター３３の微細孔内にまで延設されている状態を含む。
【００３２】
このように一体成型部３４が供給部材本体３１と供給針３２とを一体成型接合すると共に、フィルター３３の外縁部３３ａを覆うことで、供給部材本体３１と供給針３２とフィルター３３とが一体化され、挟持領域３９からインクが外部に流出することが防止されている。
【００３３】
また、フィルター３３は、その外縁部３３ａが挟持領域３９よりも外側、すなわち、液体供給路３６よりも外側に設けられ、一体成型部３４により覆われている。すなわち、外縁部３３ａは、液体供給路３６から離隔した位置で一体成型部３４に覆われている。このため、フィルター３３の外縁部３３ａから解れた金属の細線が液体供給路３６ないし針側液体供給路４０に進入することが防止されている。
【００３４】
ここで、インクジェット式記録装置１０では、クリーニング動作時には、通常の印刷動作時と比較して、インクは、より強い負圧で針側液体供給路４０から液体供給路３６側に吸引される。このため、外縁部３３ａが仮に液体供給路３６内に配設されているとすると、当該外縁部３３ａから解れた金属の細線は、フィルター部３３ｂに一度捕捉されても、フィルター部３３ｂをすり抜けて液体供給路３６に進入してしまうことがある。
【００３５】
しかしながら、上述したように、フィルター３３の外縁部３３ａから解れた金属の細線は、液体供給路３６に進入することはないので、本実施形態の記録ヘッド１１では、クリーニング動作時においても液体供給路３６への異物の混入が確実に防止される。
【００３６】
さらに、フィルター３３の外縁部３３ａは、一体成型部３４により覆われているので、外縁部３３ａから解れた金属の細線が、一体成型部３４よりも外側に離散してしまうことが防止されている。これにより、当該細線が外側に離散して記録ヘッド１１の各部材に付着して電気的な短絡を引き起こしたりすることが防止される。
【００３７】
以上のように、インクジェット式記録ヘッド１１では、フィルター３３の外縁部３３ａからの異物が液体供給路３６に混入することが防止されるため、この異物によるインクの吐出不良が防止され、信頼性が向上したインクジェット式記録装置１０が提供される。
【００３８】
また、供給部材本体にフィルターを熱溶着等で溶着し、さらに供給針を超音波溶着等で溶着する場合、供給部材本体に、フィルターを溶着するための領域を設け、さらに、該領域の外側に供給針を溶着するための領域が必要となるが、本発明に係る記録ヘッド１１では一体成型部３４により供給部材本体３１と供給針３２とを固定しているため、このような溶着のための領域は不要となる。これにより、隣り合う供給針３２の間隔を短くすることができ、記録ヘッド１１を小型化することができる。また、このような小型化が可能であることから、フィルターの面積を小さくしてヘッドの小型化を図ることが不要となる。フィルターの面積を過度に小さくすると、動圧が上がるため、圧電素子や発熱素子等の圧力発生手段を駆動する駆動電圧を上げなくてはならないが、本発明では、フィルターを縮小して記録ヘッドを小型化する必要がないので、動圧は上昇せず、駆動電圧を上げる必要がない。
【００３９】
また、供給針と供給部材本体とを溶着により固定すると、隙間が発生する虞があり、隙間からインクが漏出してしまうが、本発明では、供給部材本体３１と供給針３２とが一体成型部３４により固定されているため、これらの間に隙間が生じることが防止され、隙間からインクが漏出することが防止される。また、仮に隙間ができたとしてもその隙間は一体成型部３４で覆われるので、インクの漏出が防止される。
【００４０】
このような供給部材３０の液体供給路３６の他方側、すなわち、供給針３２とは反対側にはヘッド本体２２０が設けられている。ここで、ヘッド本体２２０について説明する。なお、図５は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図６は、ヘッド本体の断面図である。
【００４１】
図示するように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述するリザーバー形成基板８０に設けられるリザーバー部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、インク供給路６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６３及びインク供給路６４が設けられている。
【００４２】
また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられており、当該ノズルプレート７０は後で詳述するカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。なお、ノズルプレート７０のノズル開口７１は、各圧力発生室６２のインク供給路６４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口７１の並設されたノズル列７１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート７０のノズル開口７１が開口する面が液体噴射面となっている。このようなノズルプレート７０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００４３】
一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。
【００４４】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、リザーバー１００の少なくとも一部を構成するリザーバー部８１を有するリザーバー形成基板８０が接合されている。このリザーバー部８１は、本実施形態では、リザーバー形成基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成している。
【００４５】
また、リザーバー形成基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。
【００４６】
さらに、リザーバー形成基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。この駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤー等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００４７】
また、このようなリザーバー形成基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のリザーバー１００に対向する領域には、リザーバー１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のリザーバー１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、リザーバー１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、リザーバー１００内にコンプライアンスを与えている。
【００４８】
また、コンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共に供給部材３０の液体供給路３６に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバー形成基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。
【００４９】
ヘッド本体２２０を構成する各部材には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、ヘッド本体２２０が一体的に組み合わせられる。
【００５０】
また、ヘッドケース２３０を介して供給部材３０に保持されたヘッド本体２２０は、図２に示すように、５つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている。カバーヘッド２４０は、ノズル開口７１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面の少なくともノズル列７１Ａの並設されたノズル開口７１の両端部側に接合される接合部２４２とを具備する。
【００５１】
接合部２４２は、本実施形態では、複数のヘッド本体２２０に亘って液体噴射面の外周に沿って設けられた枠部２４３と、隣接するヘッド本体２２０の間に延設されて露出開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されており、枠部２４３及び梁部２４４がヘッド本体２２０の液体噴射面、すなわちノズルプレート７０の表面に接合されている。
【００５２】
また、カバーヘッド２４０には、ヘッド本体２２０の液体噴射面の側面側に、液体噴射面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００５３】
このようにカバーヘッド２４０は、接合部２４２をヘッド本体２２０の液体噴射面に接着するようにしたため、液体噴射面とカバーヘッド２４０との段差を減少させることができ、液体噴射面のワイピングや吸引動作などを行っても、液体噴射面にインクが残留するのを防止することができる。また、梁部２４４によって隣接するヘッド本体２２０の間が塞がれているため、隣接するヘッド本体２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０などのインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、ヘッド本体２２０の液体噴射面とカバーヘッド２４０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体Ｓが入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。さらに、側壁部２４５が、複数のヘッド本体２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッド２４０に、ヘッド本体２２０の液体噴射面と接合される接合部２４２を設けるようにしたため、複数のヘッド本体２２０の各ノズル列７１Ａをカバーヘッド２４０に対して高精度に位置決めして接合することができる。
【００５４】
このようなカバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる。なお、カバーヘッド２４０とノズルプレート７０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤による接着などが挙げられる。
【００５５】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１１は、インクカートリッジ１３からのインクを液体供給路３６から取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、リザーバー１００からノズル開口７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口７１からインク滴が吐出する。
【００５６】
なお、上述したインクジェット式記録ヘッド１１、特に供給部材３０は、例えば次のように製造する。
【００５７】
まず、液体供給路３６を横断するように、フィルター３３を供給部材本体３１のフィルター挟持部３７に配置する。このとき、外縁部３３ａがフィルター挟持部３７の外側になるようにフィルター３３を配置する。
【００５８】
次に、フィルター３３が固定された供給部材本体３１と供給針３２とでフィルター３３を挟持する。具体的には、供給針３２をフィルター３３上に配置し、フィルター挟持部３７と針側フィルター挟持部４２とでフィルター３３を挟持する。
【００５９】
次に、フィルター３３を挟持した供給部材本体３１及び供給針３２を金型で保持すると共に、該金型と供給部材本体３１の表面と壁部４３の内面とで空間を形成し、該空間に樹脂を注入して一体成型部３４を形成する（図４参照）。
【００６０】
以降、この供給部材３０に、ヘッドケース２３０を介してヘッド本体２２０を設け、このヘッド本体２２０を覆うようにカバーヘッド２４０を取り付けることで記録ヘッド１１が形成される（図２参照）。
【００６１】
〈実施形態２〉
実施形態１では、フィルター３３の外縁部３３ａは、挟持領域３９より外側に突出していたが、これに限定されない。
【００６２】
図７は、実施形態２に係る供給部材３０の要部断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００６３】
図７（ａ）に示すように、本実施形態に係るフィルター３３Ａは、外縁部３３ａが挟持領域３９に挟持されている。すなわち、外縁部３３ａは挟持領域３９よりも外側には突出しておらず、フィルター挟持部３７の外縁まで延設されている。また、一体成型部３４は、供給部材本体３１と供給針３２とを一体成型接合し、外縁部３３ａの外端面を覆っている。なお、一体成型部３４は、フィルター３３の外縁部３３ａの微細孔内に延設されていてもよい。
【００６４】
このように、フィルター３３Ａは、その外縁部３３ａが挟持領域３９に挟持されている。すなわち、外縁部３３ａは、液体供給路３６よりも外側に設けられ、外縁部３３ａの外端面が一体成型部３４により覆われている。これによりフィルター３３Ａの外縁部３３ａから解れた金属の細線が液体供給路３６ないし針側液体供給路４０に進入することが防止され、さらに一体成型部３４の外側に離散してしまうことが防止される。
【００６５】
また、フィルター３３Ａは、挟持領域３９の外側に突出していないため、このフィルター３３Ａの外縁部３３ａが突出しない分だけ、隣り合う液体供給路３６同士や供給針３２同士の間隔を狭くすることができる。これにより、各液体供給路３６や供給針３２の間隔を狭めて記録ヘッド１１の小型化を図ることができる。
【００６６】
また、図７（ｂ）に示すように、フィルター３３Ｂの外縁部３３ａは、液体供給路３６よりも外側であって、かつフィルター挟持部３７の外縁より内側に配設され、一体成型部３４は、供給部材本体３１と供給針３２との間に介在し、かつ外縁部３３ａの外端面まで延設されてもよい。この場合においても、フィルター３３Ｂは、その外縁部３３ａで挟持領域３９に挟持され、一体成型部３４に覆われているので、外縁部３３ａから解れた金属の細線が液体供給路３６ないし針側液体供給路４０に進入することが防止され、さらに一体成型部３４の外側に離散してしまうことが防止される。
【００６７】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６８】
実施形態１及び実施形態２では、フィルター３３は、金属を編み込んだシート状のものであったが、これに限らない。例えば、金属板を打ち抜いて形成したものをフィルターとしてもよい。この打ち抜きにより形成したフィルターでは、外縁部にバリが生じうる。しかしながら、上述したように、フィルターの外縁部は、液体供給路３６より外側に設けられて一体成型部３４に覆われるので、このようなバリが液体供給路３６に進入することが防止される。
【００６９】
また、フィルター３３は、微細孔を有する樹脂からなるシート状のものであってもよいし、不織布であってもよい。この場合であっても、外縁部から解れた樹脂の一部や不織布の一部が液体供給路３６に進入することが防止される。
【００７０】
実施形態１及び実施形態２では、第１供給部材を供給部材本体３１とし、第２供給部材を供給針３２としたが逆としてもよい。さらに、ヘッド本体２２０に接続する供給部材本体３１全体を第１供給部材としたが、供給部材本体３１をフィルター３３側とヘッド本体２２０側とで分割し、フィルター３３側の部材を第１供給部材として供給針３２と一体化してもよい。なお、この場合には、一体化した部材にヘッド本体２２０側の供給部材本体を組み付けて供給部材３０を構成することになる。また、供給部材本体３１は、供給針３２以外に弁機構を持つものであってもよい。
【００７１】
また、実施形態１及び実施形態２では、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３を供給部材３０に着脱自在となるように設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、液体貯留手段として、インクタンク等を記録ヘッド１１とは異なる位置に設け、液体貯留手段と記録ヘッド１１とをチューブなどの供給管を介して接続するようにしてもよい。すなわち、上述した実施形態１及び実施形態２では、第２供給部材として針状の供給針３２を例示したが、第２供給部材は、針状のものに限定されるものではない。
【００７２】
また、実施形態１及び実施形態２では、２つの液体供給路３６に対して１つのヘッド本体２２０が設けられた構成を例示したが、インクの色毎に複数のヘッド本体２２０を設けるようにしてもよい。このような場合には、各液体供給路３６が、各ヘッド本体２２０に連通する。すなわち、各液体供給路３６が、各ヘッド本体２２０に設けられたノズル開口が並設されたノズル列毎に連通するように設けられていてもよい。もちろん、液体供給路３６は、ノズル列毎に連通しなくてもよく、１つの液体供給路３６が複数のノズル列に連通していてもよく、また、１列のノズル列を２つに分け、それぞれに液体供給路３６が連通していてもよい。すなわち、液体供給路３６は、複数のノズル開口からなるノズル開口群に連通していればよい。
【００７３】
さらに、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【符号の説明】
【００７４】
１０  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ３０  供給部材、  ３１  供給部材本体、  ３２  供給針、  ３３、３３Ａ、３３Ｂ  フィルター、  ３３ａ  外縁部、  ３４  一体成型部、  ３６  液体供給路、  ３９  挟持領域、  ４０  針側液体供給路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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