(57)【要約】【課題】バンプとＵＢＭとの界面全体において接合強度を向上させた基板構造を実現できるようにする。【解決手段】基板構造は、半導体基板１５と、半導体基板１５の上に形成された電極１４と、電極１４の上に形成されたアンダーバリアメタル層１２とを備えている。アンダーバリアメタル層１２は、複数の微小凹部１２ａを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成された電極と、
前記電極の上に形成され、複数の微小凹部を有するアンダーバリアメタル層とを備えていることを特徴とする基板構造。
【請求項２】
前記半導体基板の上に形成され、前記電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、
前記アンダーバリアメタル層は、前記電極の上及び前記開口部の側面に沿って形成され、
前記開口部の径は、上端部において下端部よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の基板構造。
【請求項３】
前記半導体基板の上に形成され、前記電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、
前記アンダーバリアメタル層は、前記電極の上及び前記開口部の側面に沿って形成され、
前記開口部は、側面に凹部を有することを特徴とする請求項１に記載の基板構造。
【請求項４】
前記微小凹部は、径が０．１μｍ以上且つ５μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板構造。
【請求項５】
前記微小凹部は、アスペクト比が１未満であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板構造。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板構造を備えていることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板構造及び半導体装置に関し、特にバンプを形成するアンダーバリアメタルを備えた基板構造及び半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の実装技術分野では、ＣＳＰ（Chip Size Package又はChip Scale Package）及びフリップチップ等のように基板にバンプ電極を形成することが行われている。バンプ電極は一般的にパッシベーション膜、バンプが接合されるアンダーバリアメタル（ＵＢＭ）層及び基板の最表面を保護する保護膜等を備えている。バンプをＵＢＭ層上に形成する代表的な手法として、印刷方式、めっき方式及びバンプ材料搭載法等があるが、バンプとＵＢＭ層との接合強度を向上させることは、半導体装置の信頼性向上のために重要である。バンプとＵＢＭ層との接合強度を向上させる手段として、次のような方法がある。まず、ボンディングパッドの上に第１の金属膜及び第２の金属膜を順次積層したＵＢＭ層を形成する。続いて、第２の金属膜の上面及び側面に選択的に金（Ａｕ）シード層を形成する。次に、Ａｕシード層に接続するはんだパターンを形成した後、熱処理を施してはんだパターンとＡｕシード層とを反応させる。これにより、はんだバンプとＵＢＭ層との接続部分がアンカ形状となったバンプ電極が形成できる（例えば、特許文献１を参照。）。また、ＵＢＭ層の上面に溝を形成することにより、はんだバンプの接合強度を向上させる方法が開示されている（例えば、特許文献２を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１６５１４号公報
【特許文献２】特開２００２−２８０４８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術には以下のような問題がある。まず、バンプとＵＢＭ層との接続部分をアンカー形状とする方法は、はんだバンプとＵＢＭ層との界面における接合強度を直接向上させていない。このため、はんだバンプとＵＢＭ層との界面において剥離が生じるおそれがある。また、複雑な形成ステップを経なければ形成することができないという問題もある。
【０００５】
一方、ＵＢＭ層の上面に溝部を形成する場合には、溝部が形成された部分において接合強度を向上させることができるが、その効果は極めて限定的な範囲となる。
【０００６】
本発明は、前記の問題を解決し、バンプとＵＢＭ層との界面全体において接合強度を向上させた基板構造を実現できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
具体的に、本発明に係る基板構造は、半導体基板と、半導体基板の上に形成された電極と、電極の上に形成され、複数の微小凹部を有するアンダーバリアメタル層とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の基板構造によれば、アンダーバリアメタル（ＵＢＭ）層が複数の微小凹部を有している。このため、ＵＢＭ層の表面積が大きくなり、ＵＢＭ層とバンプとの接触面積を大きくすることができる。従って、ＵＢＭ層とバンプとの接合強度を飛躍的に向上させることができる。
【０００９】
本発明の基板構造は、半導体基板の上に形成され、電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、アンダーバリアメタル層は、電極の上及び開口部の側面に沿って形成され、開口部は、上端部において下端部よりも径が小さい構成としてもよい。
【００１０】
また、半導体基板の上に形成され、電極を露出する開口部を有する保護膜層をさらに備え、アンダーバリアメタル層は、電極の上及び開口部の側面に沿って形成され、開口部は、側面に凹部を有する構成としてもよい。
【００１１】
本発明の基板構造において、微小凹部は、直径が０．１μｍ以上且つ５μｍ以下とすればよい。
【００１２】
本発明の基板構造において、微小凹部は、アスペクト比が１未満とすればよい。
【００１３】
本発明に係る半導体装置は、本発明の基板構造を備えている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る基板構造は、バンプとＵＢＭとの界面全体において接合強度を向上させた基板構造及び半導体装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施形態に係る基板構造を示し、（ａ）はバンプが形成された部分の断面図であり、（ｂ）はアンダーバリアメタル層とバンプとの接合界面を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板構造の変形例を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板構造の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。図１（ａ）及び（ｂ）は、一実施形態に係る基板構造であり、（ａ）はバンプが形成された部分を示し、（ｂ）はアンダーバリアメタル（ＵＢＭ）層とバンプとの接合界面を拡大して示している。本実施形態の基板構造は、半導体基板１５のバンプ形成面側に形成された電極１４と、バンプ形成面の上に順次形成され、電極１４を露出する開口部を有するパッシベーション膜１３及び保護膜層１１と、電極１４の上及び開口部の側面を覆うＵＢＭ層１２とを有している。本実施形態のＵＢＭ層１２は、表面に複数の微小凹部１２ａを有している。ＵＢＭ層１２の上にはバンプ１６が形成されており、バンプ１６はＵＢＭ層１２の微小凹部１２ａ内に侵入している。このため、ＵＢＭ層１２とバンプ１６との接触面積が大きくなり、ＵＢＭ層１２とバンプ１６との接合強度を向上させることができる。通常は、半導体基板１５には半導体素子が形成され、電極１４は半導体素子と電気的に接続されている。
【００１７】
本実施形態の基板構造は以下のようにして形成すればよい。バンプ形成面側にアルミニウム等からなる電極１４が形成された半導体基板１５のバンプ形成面の上にＳｉ3Ｎ4等からなるパッシベーション膜１３を形成する。続いて、パッシベーション膜１３を選択的に除去して電極１４を露出する開口部を形成する。次に、ポリイミドをバンプ形成面の上にスピンナーを用いて均一に塗布する。続いて、プリベーク（７０℃×５０秒、９０℃×５０秒、１０５℃×１１０秒）を行った後、電極１４と同程度の開口部ができるようなパターンに露光する。次に、現像前ベーク（８０℃×５０秒）を行った後、現像とキュア（１４０℃×１７０秒、３５０℃×３６００秒）とを順次行い、開口部を有する保護膜層１１を形成する。なお、保護膜層１１はポリイミドに代えてベンゾオキサゾール又はシリコーン系の樹脂材料等を用いてもよい。
【００１８】
次に、開口部に厚さが１×１０-3ｍｍ〜７×１０-3ｍｍ程度のＵＢＭ層１２を例えば次のようにして形成する。まず、電極１４を露出するマスクを形成した後、ニッケル−アルミニウム合金層をスパッタ法を用いて形成する。合金層の厚さは５μｍ程度とすればよい。次に、水酸化ナトリウム溶液を用いて、合金層に含まれるアルミニウムのみを溶解除去する。これにより微小凹部１２ａを有し、表面積が大きいいわゆるラネーニッケルからなるＵＢＭ層１２が形成される。なお、ＵＢＭ層１２の形成と保護膜層１１の形成とは順序を入れ替えてもよい。
【００１９】
次に、ＵＢＭ層１２の上にバンプ１６を形成する。バンプ１６の形成方法は、ボールマウント、めっき、ディスペンス等の方法により形成すればよい。例えばボールマウント法の場合には、まずＵＢＭ層１２と対応する位置に開口部を有する厚さが０．０２ｍｍ〜０．０４ｍｍ程度の金属板からなる印刷マスクを準備する。半導体基板１５のバンプ形成面全体を印刷マスクにより覆った後、ゴム製又は金属製のスキージを用いて、ＵＢＭ層１２の表面にフラックスを印刷する。次に、ＵＢＭ層１２と対応する位置に開口部を有する搭載マスクを用いて、フラックスが印刷されたＵＢＭ層１２の上にバンプ材料を配置する。次に、バンプ材料が配置された半導体基板１５を熱処理して、バンプ材料を溶融することによりバンプ材料をＵＢＭ層１２と接合する。
【００２０】
ＵＢＭ層１２の上に印刷したフラックスは、バンプ材料の保持と再溶解（リフロー）時の酸化膜除去という２つの機能を主に有する。このため、ロジン系又は水溶性フラックス等を用いればよく、特にハロゲンフリータイプのロジン系フラックスが好ましい。バンプ材料は、スズ−銀−銅組成のはんだ材料等からなるはんだボール等が好ましいが他の組成の材料を用いてもよい。バンプ材料の大きさは径が０．０７ｍｍ〜０．１２５ｍｍ程度が好ましい。バンプ材料が球形でない場合には、長手方向の幅と短手方向の幅との平均値が０．０７ｍｍ〜０．１２５ｍｍ程度となるようにすればよい。
【００２１】
ＵＢＭ層１２の上にバンプ１６を接合する際には、ＵＢＭ層１２を構成する金属材料とバンプ材料との間に合金化反応が生じる。本実施形態のＵＢＭ層１２は、表面に複数の微小凹部１２ａを有するポーラスな材料であり、表面積が非常に大きい。図１（ｂ）に示すように、バンプ材料をリフローする際に溶解したバンプ材料がＵＢＭ層１２の微小凹部１２ａ内に侵入するため、バンプ材料とＵＢＭ層１２との接触面積が大きくなり、ＵＢＭ層１２とバンプ材料との接合強度を飛躍的に向上させることができる。
【００２２】
微小凹部を形成しポーラス構造としたＵＢＭ層と、通常の微小凹部を有していないＵＢＭ層とについて破壊モードの差を評価した。評価は、高速シェア試験により行った。高速シェ差試験は、５００ｍｍ／秒のシェア速度及び３０μｍのシェア高さの下でそれぞれ５０個のサンプルについて行った。バンプは径が０．１ｍｍのスズ−銀−銅組成のはんだボールとした。通常のＵＢＭ層の場合には、すべてサンプルにおいてＵＢＭ層とバンプとの界面において界面破壊が生じた。一方、微小凹部を有するＵＢＭ層の場合には、界面破壊が生じたサンプルは３０％であり、残りの７０％のサンプルではバンプ自体の破断が生じた。このことから、ＵＢＭ層１２に微小凹部１２ａを形成することにより、ＵＢＭ層１２とバンプ１６との界面の接合強度が向上することが明らかである。
【００２３】
ＵＢＭ層１２に形成する微小凹部１２ａは、径が０．１μｍ〜５μｍ程度とすればバンプ材料が侵入しやすく好ましい。また、微小凹部１２ａの深さが過度に深いと、ＵＢＭ層１２とバンプ１６との界面にボイドが形成されるおそれがあるため、アスペクト比を１未満、つまり微小凹部１２ａの深さを径よりも小さくすることが好ましい。また、微小凹部１２ａはＵＢＭ層１２の表面全体に形成されている方が、ＵＢＭ層１２とバンプ１６との接合がより強化されるため好ましい。
【００２４】
微小凹部１２ａを有するＵＢＭ層１２を形成する方法として、化学的なエッチングに代えて電気的なエッチングを用いてもよい。例えば、電極１４の上に電界めっき法を用いてニッケル層を形成する。次に、ニッケル層に逆電界をかけることにより、ニッケル層の表面を微細に削り出して微小凹部１２ａを形成してもよい。また、他の方法によりＵＢＭ層１２の表面に微小凹部１２ａを形成してもよい。
【００２５】
ＵＢＭ層とバンプとの接合強度をさらに向上させる方法として、図２に示すように、断面構造が逆テーパ型となったＵＢＭ層１２Ｂを形成してもよい。具体的には、保護膜層１１に形成する開口部を、上端部の径が下端部の径よりも小さくなるようにし、電極１４の上及び開口部の側面に沿って微小凹部を有するＵＢＭ層を形成すればよい。また、図３に示すように、保護膜層１１に側面に凹部を有する開口部を形成し、開口部の側面に沿って微小凹部を有するＵＢＭ層を形成すれば、側面が凹構造となったＵＢＭ層１２Ｃを形成することができる。凹構造については、あらゆる形状が可能で、コの字型、Ｕ字型、Ｖ字型等の各種の形状とすればよい。また、凹構造は、１つではなく複数形成してもよい。ＵＢＭ層の構造をこのような構造とすることにより、ＵＢＭ層とバンプとの接合強度をさらに高くすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明に係る基板構造は、バンプとアンダーバリアメタル層との界面全体において接合強度を向上させることができ、バンプを形成するアンダーバリアメタル層を備えた基板構造及び半導体装置等として有用である。
【符号の説明】
【００２７】
１１      保護膜層
１２      ＵＢＭ層
１２ａ    微小凹部
１２Ｂ    ＵＢＭ層
１２Ｃ    ＵＢＭ層
１３      パッシベーション膜
１４      電極
１５      半導体基板
１６      バンプ
【図１】
2010251631.tif 000003
【図２】
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【図３】
2010251631.tif 000005