(57)【要約】【課題】  検査ソケットを素早く高温にしたり常温にしたりすることのできるホットエアブロー機構を提供すること。【解決手段】  電子部品Ａを部品搬送ユニット１５で搬送して検査ソケット１２に接触させることにより検査するＩＣハンドラ１０の基台１１の一部を構成する基台プレート１１ａに開口１１ａを形成してその下方に検査ソケット１２を配置した。ホットエアブロー機構２０は、検査ソケット１２に空気を送る送風装置３３と、この送風装置を構成し空気を加圧するプロペラ２５ａ，２６ｂから検査ソケット１２に掛けて空気通路を形成し、検査ソケット１２の上面を上方に露出させたブロー空気ガイド２２と、このブロー空気ガイド２２内の空気に熱を付加するヒータ２６ａ，２６ｂとを備えるようにした。【選択図】  図５
2010223588.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台の上方に設置された部品搬送装置と、前記基台に形成された開口またはその開口の上下方向の近傍に設置された検査ソケットとを備え、被検査部品を基台の上方に設置された部品搬送装置で搬送して前記検査ソケットに接触させることにより検査する部品検査装置の前記基台に設けられ、前記検査ソケットを加熱するためのホットエアブロー機構であって、
前記検査ソケットに空気を送る送風装置と、
前記送風装置を構成し空気を加圧する送風部から前記検査ソケットに掛けて空気通路を形成し、前記検査ソケットの上面を上方に露出させたブロー空気ガイドと、
前記ブロー空気ガイド内のブロー空気に熱を付加させる熱付加装置と、
を備えたことを特徴とするホットエアブロー機構。
【請求項２】
前記ブロー空気ガイドに、前記ブロー空気ガイド内を往路と復路とに仕切る区画部材を設け、前記送風装置の作動によって移動する熱風を前記ブロー空気ガイド内で循環させるようにした請求項１に記載のホットエアブロー機構。
【請求項３】
前記ブロー空気ガイドを前記検査ソケットが取り付けられる底面部と前記底面部の周縁部から上方に延びる側面部とで構成して、前記基台の下面に設置した請求項１または２に記載のホットエアブロー機構。
【請求項４】
前記ブロー空気ガイドを、前記検査ソケットの上面を上方に露出させるための開口を備えた天井部と前記天井の周縁部から下方に延びる側面部とで構成して、前記基台の上面に設置した請求項１または２に記載のホットエアブロー機構。
【請求項５】
前記ブロー空気ガイドの幅よりも前記幅に直交する長さの方を長くして、前記ブロー空気ガイドの略中央に前記検査ソケットを位置させるとともに、前記ブロー空気ガイドの長手方向の両側にそれぞれ前記熱付加装置と前記送風装置とを設置した請求項１ないし４のうちのいずれか一つに記載のホットエアブロー機構。
【請求項６】
前記ブロー空気ガイドを、前記検査ソケットの両側に配置された一対のもので構成した請求項５に記載のホットエアブロー機構。
【請求項７】
前記送風装置を薄型の回転羽を用いた装置で構成するとともに、前記ブロー空気ガイドの高さを前記回転羽の厚みに応じた薄型にした請求項１ないし６のうちのいずれか一つに記載のホットエアブロー機構。
【請求項８】
前記ブロー空気ガイド内に、静電気除去装置を設置した請求項１ないし７のうちのいずれか一つに記載のホットエアブロー機構。
【請求項９】
基台の上方に設置された部品搬送装置と、未検査の被検査部品と検査済みの被検査部品をそれぞれ収納する未検査部品収納部と検査完了部品収納部とを備え、未検査部品収納部から前記基台に形成された開口またはその開口の上下方向の近傍に設置される検査ソケットに被検査部品を前記部品搬送装置で搬送して前記検査ソケットに接触させ、検査済みの被検査部品を前記検査ソケットから検査完了部品収納部に前記部品搬送装置で搬送する部品移載装置であって、
前記検査ソケットを介して試験電流を被検査部品に流すことで部品検査を行う検査装置本体とで部品検査装置を構成し、請求項１ないし８のうちのいずれか一つに記載のホットエアブロー機構が脱着可能に設けられたことを特徴とする部品移載装置。
【請求項１０】
基台の上方に設置された部品搬送装置と、前記基台に形成された開口またはその開口の上下方向の近傍に設置された検査ソケットと備え、被検査部品を前記部品搬送装置で搬送して前記検査ソケットに接触させることにより検査する部品検査装置の前記基台に設けられ、前記検査ソケットの上面を上方に露出させた状態で前記検査ソケットを覆いう箱型のガイド部材内に加熱空気を送り、前記検査ソケットを加熱するためのホットエアブロー機構の一部を構成し、
前記検査ソケットに空気を送る送風装置と、
前記送風装置を構成し空気を加圧する送風部から、前記検査ソケットに掛けて空気通路を形成するとともに、前記ガイド部材の加圧空気入口に連結されるエアガイドと、前記エアガイド内のブロー空気に熱を付加する熱付加装置とを備え、前記基台に脱着可能に取り付けられことを特徴とするホットエアブローユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等の被検査部品を検査ソケットに搬送する部品移載装置および部品移載装置が備えるホットエアブロー機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品等の被検査部品を検査ソケットに接触させることにより、所定の試験や測定を行うことが行われている。この場合、検査ソケットを備えた検査装置本体と、電子部品を検査ソケットに搬送する例えばハンドラ（ＩＣハンドラー）と呼ばれる部品移載装置とを組み合わせた部品検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。検査装置本体は、ハンドラの基台プレートに取り付けられるテストヘッドに装着される検査ソケットへ試験用電流を出力し、この試験電流が検査ソケットに接触する被検査部品の入力端子から被検査部品に入力され、被検査部品の出力端子からの出力電流を検査ソケットを介して取り込み、被検査部品の入出力応答により被検査部品を検査するための電子回路装置を収納する。
【０００３】
一方、ハンドラは長方形の基盤上にＸ−Ｙ方向に移動可能であるとともに吸着機構を有するＸ−Ｙ搬送装置を備えており、このＸ−Ｙ搬送装置によって、基盤上の供給トレイに設置された電子部品を検査ソケットに搬送して載置する。電子部品が検査ソケットに載置されると、載置完了信号がハンドラから検査装置本体に伝達され、検査が開始される。検査中、ハンドラはＸ−Ｙ搬送装置により被検査部品を検査ソケット上に載置保持する。検査完了後ハンドラは、検査装置本体より検査完了信号および検査結果情報を受け、Ｘ−Ｙ搬送装置によって検査ソケットから検査済みの電子部品を搬出させるとともに、検査結果情報に基き電子部品を良品トレイ、不良品トレイに選別して収納する。部品検査装置は以上を順次実施して所定数の被検査部品の検査を実施する。
【０００４】
なお、基盤の所定部分には貫通孔が形成され、この貫通孔の下方にテストヘッドが設置され、テストヘッドの上部に検査ソケットが設置されている。このため、Ｘ−Ｙ搬送装置は、吸着した電子部品を供給トレイから貫通孔を介して検査ソケットに搬送し検査ソケットに接触させることができる。さらに、基盤上には電子部品を加熱するためのヒートプレートが設置され、検査ソケットの周縁上部に設けられたソケットガイドには、ヒータが設けられている。そして、検査ソケットおよびソケットガイドを断熱材で構成された箱状体で囲んでいる。これによって、検査ソケットに搬送される電子部品を高温（１２５℃）以上に加熱するとともに、電子部品の温度をその温度に維持して試験や測定を行うことができる。
【発明の概要】
【０００５】
このような部品検査装置を用いて電子部品の試験や測定を行う場合には、検査ソケットを常温にしたり、高温にしたりすることがある他、電子部品の種類等に応じて部品検査装置の各部材を取り替える段取り替えを行うことがある。しかしながら、前述した従来の部品検査装置では、ソケットガイドを加熱し、ソケットガイドの熱を検査ソケットに伝達させることで検査ソケットを加熱するため、常温検査から高温検査に変更する場合や、段取り替えを行う場合等に、検査ソケットの昇温を素早く行うことができない。
【０００６】
本発明は、このような問題に対処するためになされたもので、その目的は、検査ソケットを素早く高温にしたり常温にしたりすることのできるホットエアブロー機構を提供することである。
【０００７】
前述した目的を達成するため、本発明に係るホットエアブロー機構の構成上の特徴は、基台の上方に設置された部品搬送装置と、基台に形成された開口またはその開口の上下方向の近傍に設置された検査ソケットとを備え、被検査部品を基台の上方に設置された部品搬送装置で搬送して前記検査ソケットに接触させることにより検査する部品検査装置の基台に設けられ、検査ソケットを加熱するためのホットエアブロー機構であって、検査ソケットに空気を送る送風装置と、送風装置を構成し空気を加圧する送風部から検査ソケットに掛けて空気通路を形成し、検査ソケットの上面を上方に露出させたブロー空気ガイドとブロー空気ガイド内のブロー空気に熱を付加する熱付加装置とを備えたことにある。
【０００８】
本発明に係るホットエアブロー機構は、検査ソケットに空気を送る送風装置と、送風装置を構成し空気を加圧する送風部から前記検査ソケットに掛けて空気通路を形成し、検査ソケットの上面を上方に露出させたブロー空気ガイドと、ブロー空気ガイド内のブロー空気に熱を付加する熱付加装置とを備えている。したがって、熱風を直接検査ソケットに当てて検査ソケットを加熱できるようになり、検査ソケットを素早く昇温できる。また、熱付加装置の作動を停止させた状態で送風装置を作動させることにより、検査ソケットに加熱されてない空気を送ることができる。
【０００９】
このため、被検査部品を高温検査したのちに、同じ検査ソケットを用いてそのまま常温検査する場合に、検査ソケットを素早く常温にすることができる。すなわち、本発明によると、検査ソケットを早期に加熱したり冷却したりすることができる。また、ブロー空気ガイドは、基台に対して着脱可能にすることが好ましい。
【００１０】
また、本発明に係るホットエアブロー機構の他の構成上の特徴は、ブロー空気ガイドに、ブロー空気ガイド内を往路と復路とに仕切る区画部材を設け、送風装置の作動によって移動する熱風を前記ブロー空気ガイド内で循環させるようにしたことにある。これによると、加熱された空気をブロー空気ガイド内で循環させながら、さらに加熱できるため、ブロー空気ガイド内の空気の温度上昇を効率よく行える。また、被検査部品の検査中もブロー空気ガイド内で熱風を循環させることにより、検査ソケットおよび被検査部品を高温に維持できるため、検査の高精度化が図れる。同様に、常温の空気をブロー空気ガイド内で循環させることにより、ブロー空気ガイド内の雰囲気や検査ソケットを効率よく冷却することもできる。
【００１１】
また、本発明に係るホットエアブロー機構のさらに他の構成上の特徴は、ブロー空気ガイドを検査ソケットが取り付けられる底面部と底面部の周縁部から上方に延びる側面部とで構成して、基台の下面に設置したことにある。これによると、基台の上面側よりも下面側に広い空きスペースがある場合のホットエアブロー機構の設置がし易くなる。
【００１２】
また、本発明に係るホットエアブロー機構のさらに他の構成上の特徴は、ブロー空気ガイドを、検査ソケットの上面を上方に露出させるための開口を備えた天井部と、天井の周縁部から下方に延びる側面部とで構成して、基台の上面に設置したことにある。これによると、基台の下面側よりも上面側に広い空きスペースがある場合のホットエアブロー機構の設置がし易くなる。
【００１３】
また、本発明に係るホットエアブロー機構のさらに他の構成上の特徴は、ブロー空気ガイドの幅よりも幅に直交する長さの方を長くして、ブロー空気ガイドの略中央に検査ソケットを位置させるとともに、ブロー空気ガイドの長手方向の両側にそれぞれ熱付加装置と送風装置とを設置したことにある。これによると、熱付加装置と送風装置とが一対設けられているため、設定温度の切換えや温度の維持をより効果的に行える。
【００１４】
また、本発明に係るホットエアブロー機構のさらに他の構成上の特徴は、ブロー空気ガイドを、検査ソケットの両側に配置された一対のもので構成したことにある。これによると、ブロー空気ガイド等の取付や交換等の作業が容易になる。
【００１５】
また、本発明に係るホットエアブロー機構のさらに他の構成上の特徴は、送風装置を薄型の回転羽を用いた装置で構成するとともに、ブロー空気ガイドの高さを回転羽の厚みに応じた薄型にしたことにある。これによると、検査ソケットの周囲に空きスペースがあまりなくても、送風装置やブロー空気を配置できる。
【００１６】
また、本発明に係るホットエアブロー機構のさらに他の構成上の特徴は、ブロー空気ガイド内に、静電気除去装置を設置したことにある。これによると、検査ソケットに被検査部品が接触したり、脱離したりする際に、静電気が発生してもその静電気を静電気除去装置で打ち消すことができる。この場合、静電気除去装置は、熱付加装置と検査ソケットとの間に設置することが好ましい。
【００１７】
また、本発明に係る部品移載装置の構成上の特徴は、基台の上方に設置された部品搬送装置と、未検査の被検査部品と検査済みの被検査部品をそれぞれ収納する未検査部品収納部と検査完了部品収納部とを備え、未検査部品収納部から基台に形成された開口またはその開口の上下方向の近傍に設置される検査ソケットに被検査部品を部品搬送装置で搬送して検査ソケットに接触させ、検査済みの被検査部品を検査ソケットから検査完了部品収納部に部品搬送装置で搬送するとともに、検査ソケットを介して試験電流を被検査部品に流すことで部品検査を行う検査装置本体とで部品検査装置を構成し、ホットエアブロー機構が脱着可能に設けられたことにある。これによると、ホットエアブロー機構により熱風を直接検査ソケットに当てて検査ソケットを加熱できるようになり、検査ソケットを素早く昇温して被検査部品の検査に貢献できる。
【００１８】
また、本発明に係るホットエアブローユニットの構成上の特徴は、基台の上方に設置された部品搬送装置と、基台に形成された開口またはその開口の上下方向の近傍に設置された検査ソケットと備え、被検査部品を前記部品搬送装置で搬送して検査ソケットに接触させることにより検査する部品検査装置の基台に設けられ、検査ソケットの上面を上方に露出させた状態で検査ソケットを覆う箱型のガイド部材内に加熱空気を送り、検査ソケットを加熱するためのホットエアブロー機構の一部を構成し、検査ソケットに空気を送る送風装置と、送風装置を構成し空気を加圧する送風部から検査ソケットに掛けて空気通路を形成するとともに、ガイド部材の加圧空気入口に連結されるエアガイドと、エアガイド内のブロー空気に熱を付加する熱付加装置とを備え、基台に脱着可能に取り付けられることにある。これによると、ホットエアブローユニットによりガイド部材内に加熱空気を送り、熱風を検査ソケットに当てて検査ソケットを加熱できるようになり、検査ソケットを素早く昇温して被検査部品の検査に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係るホットエアブロー機構を備えたＩＣハンドラを示した平面図である。
【図２】ホットエアブロー機構を示した断面図である。
【図３】ホットエアブロー機構を示した底面図である。
【図４】図２の４−４断面図である。
【図５】ヒータをエアガイドに取り付けた状態を示した一部断面図である。
【図６】図４の６−６断面図である。
【図７】図２の７−７断面図である。
【図８】変形例に係るホットエアブロー機構の要部を示した断面図である。
【図９】他の変形例に係るホットエアブロー機構の要部を示した断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るホットエアブロー機構の内部を示した断面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係るホットエアブロー機構の内部を示した断面図である。
【図１２】図１１の１２−１２断面図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係るホットエアブロー機構の内部を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態を図面を用いて説明する。図１は、同実施形態に係るホットエアブロー機構２０を備えた本発明の部品移載装置としてのＩＣハンドラ１０を示している。このＩＣハンドラ１０は、水平に配置された四角板状の基台１１を備えており、この基台１１の後部（図１の上方）には基台１１の一部を構成する基台プレート１１ａが設けられ、この基台プレート１１ａおける左右方向（Ｘ方向）の中央に、検査領域を構成する開口１１ｂが形成されている。そして、開口１１ｂの下方に４個の検査ソケット１２が左右前後に２個ずつ設置された検査ソケット用プレート１２ａが着脱可能に取り付けられ、基台プレート１１ａの下面における検査ソケット用プレート１２ａの周囲にホットエアブロー機構２０が基台プレート１１ａの下面に対し着脱可能に設置されている。
【００２１】
また、基台１１の上面における前部には、複数のトレイストッカー１３が左右に配置固定され、トレイストッカー１３と検査ソケット１２との間に３個のトレイ支持装置１４が左右に配置されている。そして、基台１１の上面におけるトレイ支持装置１４と検査ソケット１２との左右両側に、前後方向（Ｙ方向）に延びる一対の部品搬送ユニット１５がそれぞれ配置されている。すなわち、このＩＣハンドラ１０は、被検査部品としての未検査の電子部品Ａを収容した状態で所定のトレイストッカー１３に積層されたトレイＴｒ（図１中右より３及び４番目のトレイストッカー１３において図示、その他のトレイストッカー１３では図示省略）を未検査部品用のトレイＴｒのための所定のトレイ支持装置１４に搬送するとともに、そのトレイ支持装置１４に搬送されたトレイＴｒの中の複数の電子部品Ａを各部品搬送ユニット１５によって検査ソケット１２に搬送し検査する。
【００２２】
検査した後には、ＩＣハンドラ１０は、検査完了部品を他の２つのトレイ支持装置１４における一方の検査結果良の電子部品Ａを収容するためのトレイＴｒ、あるいは他方の検査結果不良の電子部品Ａを収容するためのトレイＴｒに、検査済みの電子部品Ａを搬送する。さらに、ＩＣハンドラ１０は、検査済みの電子部品Ａで一杯となったトレイＴｒを、検査結果良の電子部品Ａ用のトレイＴｒを順次積層するための所定のトレイストッカー１３、あるいは検査結果不良の電子部品Ａ用のトレイＴｒを順次積層するための所定のトレイストッカー１３に搬送し、替わりに空トレイを収納するトレイストッカーから空のトレイＴｒを搬入する。
【００２３】
各トレイストッカー１３は、それぞれ複数のトレイＴｒを上下に重ねた状態で収容し、且つ収容する複数のトレイＴｒを上下させる不図示の昇降機構を有するもので、各トレイＴｒの上面には、複数の凹部が形成されその凹部にそれぞれ電子部品Ａが収容されている。複数のトレイストッカー１３の一部は、本発明の未検査部品収納部を構成し、他の複数のトレイストッカー１３の一部は、本発明の検査完了部品収納部を構成する。なお、複数のトレイストッカー１３の一部には、電子部品Ａが収納されていない空のトレイをＴｒを収納するものも配置する。また、各トレイストッカー１３の下方には、左右に延びる固定レール１３ａと、左右に移動自在な状態で固定レール１３ａに支持されたスライダ（図示せず）と、スライダを固定レール１３ａに沿って移動させるボールねじ式の駆動装置１３ｂが設置されている。そして、スライダの上には、支持板（図示せず）を介してベルトコンベアを備えた２組のトレイ搬入出装置１３ｃが設置され、固定レール１３ａとトレイ支持装置１４との間に中継コンベア１３ｄが設置されている。
【００２４】
２組のトレイ搬入出装置１３ｃは、トレイストッカー１３の下方を左右に移動し、所望のトレイストッカー１３において昇降機構により下降する最下層の未検査部品を収納するトレイＴｒや空のトレイＴｒを受け取り、中継コンベア１３ｄを介して所望のトレイ支持装置１４に搬出し、あるいは別の所望のトレイストッカー１３においてトレイＴｒが存在しない空となっている最下層スペースに、検査結果良の電子部品Ａで一杯のトレイＴｒを搬入し、あるいはさらに別の所望のトレイストッカー１３においてトレイＴｒが存在しない空となっている最下層スペースに、検査結果不良の電子部品Ａで一杯のトレイＴｒを搬入する。これらの搬入後トレイストッカー１３は、最下層まで積層されている複数のトレイＴｒを、昇降装置により全体として上昇させ最下層にトレイＴｒ１枚分の空きスペースを発生させる。同様、搬出後トレイストッカー１３は、積層されている複数のトレイＴｒを全体として、トレイＴｒの搬出により空きスペースができた最下層まで昇降装置により下降させる。
【００２５】
３個のトレイ支持装置１４は、基台１１の上面中央で左右に延びる一対の固定レール１４ｄに沿って移動可能になったスライダ（図示せず）上に取付け固定された板状支持台（図示せず）の上に設けられたトレイ保持用のトレイ昇降用シリンダやトレイ移動用のベルトコンベア等によって構成されている。右端のトレイ支持装置１４ａは、未検査の電子部品Ａが収容されたトレイＴｒを保持し、中央のトレイ支持装置１４ｂは、複数のトレイストッカー１３の内検査結果良の電子部品Ａを収容するトレイＴｒを保持し、左端のトレイ支持装置１４ｃは、検査結果不良の電子部品Ａを収容するトレイＴｒを保持する。スライダは、ボールねじ軸１４ｅを備えた駆動装置の作動により固定レール１４ｄに沿って移動し、トレイＴｒの搬入あるいは搬出に合わせて、右端のトレイ支持装置１４ａ、中央のトレイ支持装置１４ｂ、あるいは左端のトレイ支持装置１１ｃのいずれかを、中継コンベア１３ｄの位置に一致させるようにする。
【００２６】
一対の部品搬送ユニット１５（同じ構成であるため同一部分に同一符号を記す。）は左右対称に配置されており、基台１１上の左右両側でそれぞれ前後に延びる一対の固定レール１５ａと、固定レール１５ａにそれぞれ前後方向に移動自在に支持された移動部材１５ｂと、移動部材１５ｂを移動させるボールねじ式の駆動装置１５ｃとを備えている。また、両移動部材１５ｂの互いに対向する部分（内側部分）には、左右方向に移動自在になった支持部材１５ｄがそれぞれ取り付けられており、両移動部材１５ｂの外側部分（基台１１の左右の端部側部分）には、支持部材１５ｄを左右に移動させるボールねじ式の駆動装置１５ｅが設置されている。
【００２７】
さらに、それぞれの支持部材１５ｄには、それぞれヘッドユニット１６が備わっている。このヘッドユニット１６は、４個の検査ソケット１２と同様に配置された４個の単位ユニット１６ａで構成されており、ヘッドユニット１６の前後両側にはそれぞれ検査ソケット１２を上方から撮像するためのヘッド側撮像装置１６ｂが設置されている。また、各単位ユニット１６ａには、図２、図７に示す吸着ヘッド１７と、この吸着ヘッド１７を上下させる昇降装置（図示せず）が設けられ、吸着ヘッド１７の下端部には、吸着ノズル１７ａが設けられている。吸着ヘッド１７には吸着ノズル１７ａを吸着ヘッド１７に対して軸線回りに回動させる回転駆動装置（図示せず）も備わっており、吸着ノズル１７ａには空気吸引装置（図示せず）が接続されている。また、吸着ノズル１７ａの下端には吸着面が形成されている。
【００２８】
さらに、各単位ユニット１６ａには、吸着ヘッド１７を支持部材１５ｄに対して前後方向および左右方向に微小移動させるための移動装置（図示せず）がそれぞれ搭載されている。各吸着ノズル１７ａは、駆動装置１５ｃの作動に基づく移動部材１５ｂ、支持部材１５ｄおよびヘッドユニット１６の移動にともない前後方向に、駆動装置１５ｅの作動に基づく支持部材１５ｄおよびヘッドユニット１６の移動にともない左右方向に移動する。さらに各吸着ノズル１７ａは、不図示の移動装置により、それぞれ前後方向および左右方向に微小移動し、不図示の回転駆動装置により吸着ノズル１７ａの軸線回り方向に回動し、不図示の昇降装置により上下する。
【００２９】
そして、吸着ノズル１７ａは、空気吸引装置の作動や作動の停止により、トレイ支持装置１４によって搬送されるトレイの中の電子部品Ａを吸着したりその吸着を解除してトレイに戻したりする。また、基台プレート１１ａの上面における開口１１ｂとトレイ支持装置１４との間には、吸着ノズル１７ａによって吸着されて搬送される電子部品Ａを下方から撮像するための複数の基台側撮像装置１８が設置されている。これらの基台側撮像装置１８は、基台１１の左右方向の中央に対して左右に振り分けられるようにして２個ずつ左右に並んで配置されている。２組のトレイ搬入出装置１３ｃ、中継コンベア１３ｄ、３個のトレイ支持装置１４、および一対の部品搬送ユニット１５により本発明の部品搬送装置が構成される。
【００３０】
また、検査ソケット用プレート１２ａの下方には、検査装置本体（図示せず）が配置されており、検査ソケット１２は、検査用電流ケーブル（図示せず）を介してこの検査装置本体に接続されている。電子部品Ａの検査は、検査ソケット１２に電子部品Ａを接触させた状態で、電子部品Ａと検査装置本体との間に検査用電流を流すことにより実施される。そして、このように構成されたＩＣハンドラ１０の基台プレート１１ａの下面における検査ソケット１２の周囲にホットエアブロー機構２０が前後方向に延びるようにして基台プレート１１ａ下面に設置されている。
【００３１】
ホットエアブロー機構２０は、図２ないし図４に示したように、基台プレート１１ａと、検査ソケット１２が取り付けられた検査ソケット用プレート１２ａとの間に配置されており、板状のホットブローユニットスティ２１を介して基台プレート１１ａに取り付けられている。このホットエアブロー機構２０は、検査ソケット用プレート１２ａの前後方向の両側に一対のホットエアブローユニット２０ａ，２０ｂを設けて構成されている。すなわち、一対のホットエアブローユニット２０ａ，２０ｂは、それぞれホットブローユニットスティ２１に固定されており、ホットブローユニットスティ２１は複数のボルト２１ａによって、基台プレート１１ａに取り付けられている（図３参照）。
【００３２】
ホットエアブローユニット２０ａ，２０ｂの外殻部はそれぞれ断熱材からなる箱状のエアガイド２２ａ，２２ｂを構成部品として有している。エアガイド２２ａ，２２ｂは、左右方向の幅よりも前後方向の長さが長く、上下方向（高さ方向）の長さが短くなり、互いに対向する面が開口した矩形の箱部材からなっている。そして、エアガイド２２ａ，２２ｂは、それぞれの開口を検査ソケット用プレート１２ａ側に向けて配置されている。また、エアガイド２２ａ内の前端側には滑らかに湾曲したガイド板２３ａが設けられ、このガイド板２３ａによってエアガイド２２ａの前端両側の角側部分がエアガイド２２ａの内部中央側から隔離されている。
【００３３】
また、エアガイド２２ｂ内の後端側には滑らかに湾曲したガイド板２３ｂが設けられ、このガイド板２３ｂによってエアガイド２２ｂの後端両側の角側部分がエアガイド２２ｂの内部中央側から隔離されている。ガイド板２３ａの湾曲の半径は、右側（図５の下側）よりも左側（図５の上側）の方が大きくなっており、ガイド板２３ｂの湾曲の半径は、左側よりも右側の方が大きくなっている。
【００３４】
また、エアガイド２２ａ内の幅方向の中央には、開口部分からガイド板２３ａの中央に向かって延びるガイド壁２４ａが形成され、エアガイド２２ｂ内の幅方向の中央には、開口部分からガイド板２３ｂの中央に向かって延びるガイド壁２４ｂが形成されている。ガイド壁２４ａは、図４に示したように、上方から見た状態で、エアガイド２２ａの開口側から中央側にかけての部分が薄く、前端側に行くほど徐々に厚肉になっている。そして、ガイド壁２４ａの前端面は、ガイド板２３ａの右側部分と対向する円弧を描くような凹曲面に形成されている。エアガイド２２ａ，２２ｂは、側板、天井板および底板から形成され、ガイド壁２４ａは天井板および底板のそれぞれに接合されるので、エアガイド２２ａ，２２ｂは、それぞれ開口から開口まで矩形断面を有する管路を形成している。
【００３５】
このガイド壁２４ａの前端面とガイド板２３ａの右側部分との間には、本発明の送風部としての回転羽からなるプロペラ２５ａが軸を中心に回転自在に設置されている。このプロペラ２５ａは、薄型に形成されたエアガイド２２ａ内に収容できるように上下方向の長さが短くなった薄型のプロペラで構成されている。また、ガイド壁２４ｂは、図４に示したように上方から見た状態で、エアガイド２２ｂの開口側から中央側にかけての部分が薄く、後端側に行くほど徐々に厚肉になっている。そして、ガイド壁２４ｂの後端面は、ガイド板２３ｂの左側部分と対向する円弧を描くような凹曲面に形成されている。
【００３６】
このガイド壁２４ｂの後端面とガイド板２３ｂの左側部分との間には回転羽としてのプロペラ２５ｂが軸を中心に回転自在に設置されている。このプロペラ２５ｂも、プロペラ２５ａと同様、薄型のプロペラで構成されている。プロペラ２５ａ，２５ｂの回転により、エアガイド２２ａ，２２ｂのそれぞれの矩形断面管路にブロー空気が流れる。また、エアガイド２２ａの右側壁における前後方向の中央側から開口側に向かって３個のヒータ２６ａと、温度センサ２７ａと、イオナイザ２８ａとが一定間隔で設置され、エアガイド２２ｂの左側壁における前後方向の中央側から開口側に向かって３個のヒータ２６ｂと、温度センサ２７ｂと、イオナイザ２８ｂとが一定間隔で設置されている。
【００３７】
ヒータ２６ａ，２６ｂは発熱することで、その表面でエアガイド２２ａ内を流れるブロー空気を加熱する加熱装置、ブロー空気に熱を付加する熱付加装置である。すなわちヒータ２６ａ，２６ｂは、本発明に係る熱付加装置を構成し、イオナイザ２８ａ，２８ｂは本発明に係る静電気除去装置を構成し、エアガイド２２ａ，３個のヒータ２６ａと、温度センサ２７ａと、イオナイザ２８ａおよび後記する送風装置３３とによりホットエアブローユニット２０ａが構成され、エアガイド２２ｂ，３個のヒータ２６ｂと、温度センサ２７ｂと、イオナイザ２８ｂおよび送風装置３３によりホットエアブローユニット２０ｂが構成されている。
【００３８】
３個のヒータ２６ａおよび３個のヒータ２６ｂは、それぞれ抵抗発熱型のヒータからなっており、抵抗発熱線を金属パイプで被覆して本体が構成されている。また、本体の一方には本体よりも直径の大きな把持部２６ｃが設けられ、本体外周の把持部２６ｃ側部分にはねじが形成されている。そして、このねじにナット２６ｄが螺合している。これらのヒータ２６ａおよびヒータ２６ｂは、それぞれ図７に示したヒータ取付板２９に取り付けられている。ヒータ取付板２９には、ヒータ２６ａやヒータ２６ｂの本体を通すことのできる挿通孔が一定間隔で３個設けられている。
【００３９】
各ヒータ２６ａおよびヒータ２６ｂは、各挿通孔にそれぞれ本体を通しねじとナット２６ｄを螺合させることにより、把持部２６ｃとナット２６ｄとでヒータ取付板２９を表裏から挟んでヒータ取付板２９に固定されている。そして、ヒータ２６ａは、エアガイド２２ａの右側壁に形成された開口にボルト３１ａとナット３１ｂの複数セットによってヒータ取付板２９を介して固定され、ヒータ２６ｂは、エアガイド２２ｂの左側壁に形成された開口にボルト３１ａとナット３１ｂの複数セットによってヒータ取付板２９を介して固定される。ヒータ２６ａは作動によりエアガイド２２ａ内を加熱し、ヒータ２６ｂは作動によりエアガイド２２ｂ内を加熱する。
【００４０】
温度センサ２７ａおよび温度センサ２７ｂとしては、白金側温抵抗体、サーミスタ、熱電対等の温度検出部を被覆管で保護したものを用いることができ、この温度センサ２７ａおよび温度センサ２７ｂにも前述した把持部２６ｃ、ナット２６ｄおよびねじと同様の構成からなる取付構造が備わっている。また、エアガイド２２ａにおける温度センサ２７ａが取り付けられる部分およびエアガイド２２ｂにおける温度センサ２７ｂが取り付けられる部分には、それぞれ取付用孔が形成されており、この取付用孔を介して温度センサ２７ａはエアガイド２２ａの右側壁に取り付けられ、温度センサ２７ｂはエアガイド２２ｂの左側壁に取り付けられている。温度センサ２７ａはエアガイド２２ａ内のブロー空気の温度を検出し、温度センサ２７ｂはエアガイド２２ｂ内のブロー空気の温度を検出する。
【００４１】
イオナイザ２８ａおよびイオナイザ２８ｂとしては、例えば、放電針に高電圧をかけてプラスイオンとマイナスイオンとを人工的に作り出すタイプのものを用いることができ、このイオナイザ２８ａおよびイオナイザ２８ｂにも所定の取付構造が備わっている。また、エアガイド２２ａとガイド壁２４ａとにおけるイオナイザ２８ａが取り付けられる部分およびエアガイド２２ｂとガイド壁２４ｂとにおけるイオナイザ２８ｂが取り付けられる部分には、それぞれ取付用孔が形成されている。そして、これらの取付用孔を介して、イオナイザ２８ａは、エアガイド２２ａの右側壁とガイド壁２４ａとに掛け渡された状態で取り付けられ、イオナイザ２８ｂは、エアガイド２２ｂの左側壁とガイド壁２４ｂとに掛け渡された状態で取り付けられている。
【００４２】
イオナイザ２８ａはエアガイド２２ａ内のブロー空気を一部イオン化し、イオン化したブロー空気が検査ソケット１２や試験中の電子部品Ａに接触し、これら検査ソケット１２や試験中の電子部品Ａに蓄えられた静電気を中和除去する。この場合、対象の検査ソケット１２や試験中の電子部品Ａがプラス静電気を帯びている場合には、ブロー空気がマイナスイオンを帯びるようにし、対象の検査ソケット１２や試験中の電子部品Ａがマイナス静電気を帯びている場合には、ブロー空気がプラスイオンを帯びるようにする。また、イオナイザ２８ａおよびイオナイザ２８ｂはケーブル３２ａによってイオナイザ電源３２に接続されており、イオナイザ電源３２からブロー空気のイオン化のための電力が供給される。
【００４３】
また、プロペラ２５ａは、図６に示した送風装置３３の一部を構成しており、この送風装置３３には、モータ３３ａ、モータ３３ａの出力軸に回転軸を介して連結されたプーリ３３ｂ、プロペラ２５ａに回転軸を介して連結されたプーリ３３ｃ、両プーリ３３ｂ，３３ｃに掛け渡されたタイミングベルト３３ｄが備わっている。プロペラ２５ａの回転軸は、エアガイド２２ａ側に取り付けられたベアリング３３ｅによって支持されている。このプロペラ２５ａは、モータ３３ａの作動により図５に示した平面視で反時計周り方向に回転する。また、モータ３３ａの出力軸の近傍には、モータ３３ａの回転数を検出する回転検出センサ３４が設けられている。同様に、プロペラ２５ｂもこのような送風装置３３の一部を構成しており、プロペラ２５ａと同方向に回転する。
【００４４】
すなわち、ホットエアブローユニット２０ｂは、ホットエアブローユニット２０ａと同一の構成をしており、ホットエアブローユニット２０ａを、検査ソケット用プレート１２ａを中心として水平方向に１８０度回転させた位置に配置されている。また、図７に示したように、検査ソケット用プレート１２ａの上面における左右方向の中央には、エアガイド２２ａ，２２ｂに連通する連結ガイド３５が取付け固定されており、この連結ガイド３５は下方に開放された断面コの字状の断面を有し、左右方向の中央には連結ガイド３５内を左右に二分する区画壁３５ａが形成されている。この区画壁３５ａは、本発明に係る区画部材の一部を構成する。
【００４５】
この区画壁３５ａの左右に、連結ガイド３５の壁面と検査ソケット用プレート１２ａ上面とでそれぞれ矩形断面の連通路が形成される。連結ガイド３５の天井部における検査ソケット１２に対応する部分にはそれぞれ開口部３５ｂが設けられている。なお、エアガイド２２ａ，２２ｂと連結ガイド３５で本発明のブロー空気ガイドを構成し、ガイド壁２４ａ，２４ｂと区画壁３５ａで本発明の区画部材を構成し、ホットエアブローユニット２０ａとホットエアブローユニット２０ｂと連結ガイド３５により、本発明のホットエアブロー機構を構成している。
【００４６】
このため、各検査ソケット１２の上面をそれぞれ上方から見ることができるとともに、電子部品Ａを吸着した吸着ノズル１７ａを開口１１ｂから下降させ、連結ガイド３５の開口部３５ｂを貫通させて電子部品Ａを検査ソケット１２に接触させることができる。そして、連結ガイド３５の左右両側の上部側には、位置決めピン３６によって側壁３６ａ，３６ｂが基台プレート１１ａに固定され、側壁３６ａ，３６ｂの下面と検査ソケット用プレート１２ａの上面との間に高さ調整部品３７ａ，３７ｂが設置されている。また、連結ガイド３５は、ねじ３５ｃ等によって、ホットブローユニットスティ２１、検査ソケット用プレート１２ａおよび高さ調整部品３７ａ，３７ｂに固定され、各検査ソケット１２はねじ１２ｂによって検査ソケット用プレート１２ａに固定されている。
【００４７】
ホットエアブローユニット２０ａ、２０ｂはホットブローユニットスティ２１を介して基板プレート１１ａに固定されている。連結ガイド３５は検査ソケット用プレート１２ａに固定され、検査ソケット用プレート１２ａは調整部品３７ａ，３７ｂおよび側壁３６ａ，３６ｂを介して基台プレート１１ａに組み付けられている。すなわち、ホットエアブローユニット２０ａ、２０ｂをそれぞれ単独で基台プレート１１ａに固定あるいは非固定のホットブローユニットスティ２１に対して着脱可能であり、且つホットエアブローユニット２０ａ、２０ｂをホットブローユニットスティ２１に組み付けたまま、ホットブローユニットスティ２１と一体的に基台プレート１１ａに対して着脱可能である。一方、検査ソケット用プレート１２ａは独立に基台プレート１１ａに着脱可能であり、連結ガイド３５を検査ソケット用プレート１２ａに着脱するには、検査ソケット用プレート１２ａを基台プレート１１ａから遊離した状態で実施することになる。
【００４８】
このため、ホットエアブロー機構２０の内部における右側部分には、プロペラ２５ａから３個のヒータ２６ａ、温度センサ２７ａ、イオナイザ２８ａおよび検査ソケット用プレート１２ａの右側に配置された２個の検査ソケット１２を通過して後部に向かう通風路が形成される。また、ホットエアブロー機構２０の内部における左側部分には、プロペラ２５ｂから３個のヒータ２６ｂ、温度センサ２７ｂ、イオナイザ２８ｂおよび検査ソケット用プレート１２ａの左側に配置された２個の検査ソケット１２を通過して前部に向かう通風路が形成される。
【００４９】
そして、ヒータ２６ａ，２６ｂ、イオナイザ電源３２およびモータ３３ａをそれぞれ作動させることにより、プロペラ２５ａ，２５ｂからのそれぞれのブロー空気を熱風にするとともに一部イオン化した状態で検査ソケット１２に送り、検査ソケット１２を加熱することができる。また、ＩＣハンドラ１０には、検査装置本体が実施する電子部品Ａの検査に連携して、ＩＣハンドラ１０が備える各装置の作動を制御するための制御装置や、この制御装置が実行するプログラムや各種のデータを記憶する記憶装置が備わっている。
【００５０】
そして、制御装置は、温度センサ２７ａ，２７ｂや回転検出センサ３４の検出値に応じて、ヒータ２６ａ，２６ｂおよびモータ３３ａの作動を制御することにより加熱温度を調節する。この場合、ヒータ２６ａ，２６ｂのうちの所定のものだけを作動させてホットエアブロー機構２０の内部を異なる温度に加熱したり、すべてのヒータ２６ａ，２６ｂの作動を停止させてホットエアブロー機構２０の内部を冷却したりすることができる。また、モータ３３ａの回転数を変更することにより風速を変えることができる。
【００５１】
このように構成されたＩＣハンドラ１０を用いて、電子部品Ａの検査を実施する場合には、まず、所定のトレイストッカー１３の最下層の未検査の電子部品Ａが収容されたトレイＴｒを、トレイ搬入出装置１３ｃおよび中継コンベア１３ｄを介して所定のトレイ支持装置１４に搬送する。ついで、トレイ支持装置１４を左右方向に移動しヘッドユニット１６の移動範囲内に位置させ、ヘッドユニット１６の吸着ノズル１７ａにそれぞれトレイに収容された電子部品Ａを吸着させる。つぎに、ヘッドユニット１６を、基台側撮像装置１８の上方に移動させて、基台側撮像装置１８で電子部品Ａを下方から撮像し電子部品Ａの吸着状態や位置を確認したのちに、ヘッドユニット１６を検査ソケット１２の上方に移動させる。
【００５２】
そして、ヘッド側撮像装置１６ｂで、検査ソケット１２を上方から撮像し検査ソケット１２の位置を確認する。これらの画像はデータとして記憶装置に記憶される。つぎに、記憶装置に記憶された電子部品Ａの位置データと検査ソケット１２の位置データとを比較して、電子部品Ａを検査ソケット１２に合わせるように不図示の移動装置によりそれぞれの吸着ノズル１７ａを調整移動し、下降させる。これによって、電子部品Ａは、基台プレート１１ａの開口１１ｂを通過し、連結ガイド３５の開口部３５ｂからホットエアブロー機構２０の内部に入り、検査ソケット１２の上面に接触する。これによって、電子部品Ａと検査装置本体１９との間に検査用電流が流れ電子部品Ａの検査が行われる。
【００５３】
このとき、ホットエアブロー機構２０の内部には、熱風が循環しており、この熱風によって、検査ソケット１２は、１５０℃程度に加熱されている。電子部品Ａには検査ソケット１２の電極から端子を通じで熱が伝わるとともに、電子部品Ａの表面からホットエアーの熱が伝わる。このため、この検査では、１５０℃程度の温度の雰囲気中で電子部品Ａが適正な状態を維持できるか否かの判定もできる。検査が終了した電子部品Ａは、吸着ノズル１７ａで吸着したまま搬送して、検査結果に応じて、所定のトレイ支持装置１４に支持されたトレイＴｒの凹部内に収容する。このような検査が複数の電子部品Ａに対して順次行われる。
【００５４】
この検査の後に、電子部品Ａを常温で検査する場合には、ヒータ２６ａ，２６ｂの作動を停止させて送風することによりホットエアブロー機構２０の内部を素早く常温に冷却することができる。また、再度、ホットエアブロー機構２０の内部を加熱する場合には、ヒータ２６ａ，２６ｂを作動させて素早く検査ソケット１２を加熱することができる。また、ホットエアブロー機構２０は、ホットブローユニットスティ２１を介して基台プレート１１ａに対して着脱可能になっているため、ホットエアブロー機構２０に代えて他のホットエアブロー機構を取り付けることもできる。
【００５５】
そして、再度、基台プレート１１ａにホットエアブロー機構２０を取り付けて電子部品Ａの検査を行う際にも、素早く検査ソケット１２を加熱することができる。また、ホットエアブロー機構２０はそのままに、検査ソケット１２を変更することも可能で、検査ソケット用プレート１２ａを基台プレート１１ａから取り外した後、一旦連結ガイド３５を検査ソケット用プレート１２ａから取り外し、検査ソケット１２を検査ソケット用プレート１２ａごと交換、あるいは検査ソケット１２のみを交換し、その後検査ソケット用プレート１２ａに連結ガイド３５を取り付け、そして検査ソケット用プレート１２ａを基台プレート１１ａに取り付ける。
【００５６】
このように、本実施形態に係るホットエアブロー機構２０は、検査ソケット１２を覆うエアガイド２２ａ，２２ｂおよび連結ガイド３５と、エアガイド２２ａ，２２ｂおよび連結ガイド３５の内部のブロー空気を加熱するヒータ２６ａ，２６ｂと、ヒータ２６ａ，２６ｂにより加熱された空気をエアガイド２２ａ，２２ｂおよび連結ガイド３５の内部で移動させる送風装置３３と、送風装置３３の作動によって送られる熱風を検査ソケット１２側に向かわせるガイド壁２４ａ，２４ｂ、区画壁３５ａとを備えている。したがって、熱風で直接検査ソケット１２を加熱できるようになり、検査ソケット１２を早期に昇温できる。また、ヒータ２６ａ，２６ｂの作動を停止させた状態で送風装置３３を作動させることにより、検査ソケット１２に常温の空気を送ることができる。
【００５７】
このため、電子部品Ａを高温検査したのちに、同じ検査ソケット１２を用いてそのまま常温検査する場合に、検査ソケット１２を早期に常温にすることができる。すなわち、ホットエアブロー機構２０によると、検査ソケット１２を早期に加熱したり冷却したりすることができる。また、本実施形態に係るホットエアブロー機構２０では、熱風がホットエアブロー機構２０の内部で循環するため、ホットエアブロー機構２０内の空気の温度上昇を効率よく行えるとともに、検査ソケット１２および電子部品Ａを高温に維持できる。このため、検査の高精度化が図れる。
【００５８】
また、本実施形態に係るホットエアブロー機構２０は、一対のエアガイド２２ａ，２２ｂの間に検査ソケット１２を位置させるとともに、エアガイド２２ａ，２２ｂの長手方向の両側にそれぞれヒータ２６ａ，２６ｂと送風装置３３とを設置したため、ブロー空気の時間当たりの流量を増し、且つ大きな熱量をブロー空気に付加でき、設定温度の切換えや温度の維持をより効果的に行える。さらに、送風装置３３のプロペラ２５ａ，２５ｂを薄型の回転羽で構成したため、エアガイド２２ａ，２２ｂの高さを低くすることができる。このため、検査ソケット１２の周囲に空きスペースがあまりなくても、エアガイド２２ａ，２２ｂやプロペラ２５ａ，２５ｂを配置できる。また、エアガイド２２ａ，２２ｂ内に、イオナイザ２８ａ，２８ｂを設置したため、検査ソケット１２に電子部品Ａが接触したり、脱離したりする際に、静電気が発生し検査ソケット１２や電子部品Ａが帯電しても、その静電気をイオナイザ２８ａ，２８ｂで除去することができる。
【００５９】
（変形例）
前述した第１実施形態の他の変形例として、図８に示したように、区画壁３５aを連結ガイド３５から分離し、ねじ３５ｃによって、検査ソケット用プレート１２ａに直接固定するようにしても良い。連結ガイド３５の製造を簡単化できる。
【００６０】
前述した第１実施形態のさらに他の変形例として、図９に示したように、連結ガイドを開口部３５ｂが形成された天井部３５ｄと、天井部３５ｄの下面に固定された断面形状がＬ形の区画壁３５ａで構成することができる。この場合、天井部３５ｄは、中央側よりも左右両側部分の高さが高くなった段違い状の板部材で構成し、両側部分を側壁３６ａ，３６ｂの上面および内側面に沿わせ中央部分が側壁３６ａ，３６ｂの上下方向の中央に位置するようにする。また、区画壁３５ａの下端部と、検査ソケット用プレート１２ａとの間には僅かな隙間を設けておく。それ以外の部分は、前述したホットエアブロー機構２０と同じ構成にしておく。これによると、連結ガイドの構造を単純にできるとともに、その取り付けが容易になる。
【００６１】
（第２実施形態）
図１０は、本発明の第２実施形態に係るホットエアブロー機構４０の内部を示している。このホットエアブロー機構４０では、一対のエアガイド４２ａ，４２ｂのうちの一方のエアガイド４２ａは、平面視が半円状に形成された壁部と、底部と、天井部とで構成された箱状になっている。そして、エアガイド４２ａの内部は、空間部になっている。また、エアガイド４２ｂは、前述した実施形態のエアガイド２２ｂと同一構造になっており、その内部に、前述したガイド板２３ｂ、ガイド壁２４ｂ、プロペラ２５ｂ、ヒータ２６ｂ、温度センサ２７ｂ、イオナイザ２８ｂと同じ構成からなるガイド板４３ｂ、ガイド壁４４ｂ、プロペラ４５ｂ、ヒータ４６ｂ、温度センサ４７ｂ、イオナイザ４８ｂが設置されている。
【００６２】
そして、エアガイド４２ｂの外周におけるプロペラ４５ｂの近傍には、プロペラ４５ｂを回転駆動させる送風装置４５の本体部分が設けられている。すなわち、エアガイド４２ｂ等からなるユニットは、前述したホットエアブローユニット２０ｂと同一構造になっている。また、一対のエアガイド４２ａ，４２ｂの連結部となる連結ガイド４１も前述したホットエアブロー機構２０の連結ガイド３５と同一構造になっている。このホットエアブロー機構４０のそれ以外の部分およびホットエアブロー機構４０が取り付けられるＩＣハンドラの構成については、前述した第１実施形態と同一である。
【００６３】
本実施形態に係るホットエアブロー機構４０では、エアガイド４２ａが内部が空間になった小型の箱状部材で構成されているためホットエアブロー機構４０全体を小型化することができるとともに、狭いスペースに設置することができ、基台プレート１１ａへの取り付けが容易になる。このホットエアブロー機構４０のそれ以外の作用効果は、前述した実施形態のホットエアブロー機構２０の作用効果と同様である。なお、ヒータ４６ｂ等がエアガイド４２ｂにしか設けられてなくても、連結ガイド４１の区画壁４１ａの下端部と、検査ソケット用プレート４９ａとの間に隙間を形成するならば、この隙間にも熱風が通過するため、検査ソケット用プレート４９ａの右側に配置された検査ソケット１２と、左側に配置された検査ソケット１２とに温度差が生じることは殆どない。
【００６４】
（変形例）
また、前述した第２実施形態の変形例として、イオナイザ４８ｂの設置位置を、図１０に二点鎖線で示した２か所のいずれかあるいは両方の位置に変更することもできる。これによっても、前述した作用効果を得ることができる。なお、この変形例は、第１実施形態にも用いることもできる。さらに、図８および図９に示す第１実施形態の各変形例を、前述した第２実施形態の変形例として採用することも可能である。
【００６５】
（第３実施形態）
図１１および図１２は、本発明の第３実施形態に係るホットエアブロー機構５０の内部の概略図を示している。このホットエアブロー機構５０では、第１実施形態におけるエアガイド２２ａ、連結ガイド３５、およびエアガイド２２ｂを連結一体化したようなブロー空気ガイド５２が、平面視が長円形の天井壁のない上方開放の箱型のもので構成されており、このブロー空気ガイド５２にヒータ、温度センサ、イオナイザおよび送風装置等が組みつけられてホットエアブロー機構５０とされている。このホットエアブロー機構５０には、ブロー空気ガイド５２の底面部５２ａの中央に形成された開口部５２ｂに、４個の検査ソケット５３が固定された検査ソケット用プレート５３ａがボルト５５で組み付けられる。
【００６６】
すなわち、ブロー空気ガイド５２は、上面を上方に露出させた状態で検査ソケット用プレート５３ａを取り付けるための開口部５２ｂが中央に形成された長円状の底面部５２ａと、底面部５２ａの周縁部から上方に延びる周壁部５２ｃとを備えている。そして、ブロー空気ガイド５２の底面部５２ａの上面における幅方向の中央に、区画部材５４が一体に設けられている。区画部材５４は、底面部５２ａにおける両側の半円状部分以外の部分に設けられており、長手方向の中央部分は開口部５２ｂの中央上部に位置している。また、検査ソケット用プレート５３ａは、上面における周縁部が中央部分よりも低くなった段違い状の板部材で構成されている。
【００６７】
そして、検査ソケット用プレート５３ａは、中央部分を開口部５２ｂ内に入れ周縁部の上面をブロー空気ガイド５２の底面に合わせた状態で、ねじ５５によってブロー空気ガイド５２に固定されている。検査ソケット用プレート５３ａの中央部分上面は、区画部材５４の下端面と接触するか僅かに隙間を持つようにされている。また、各検査ソケット５３は、検査ソケット用プレート５３ａを貫通して下方に延びる検査用電流ケーブル５３ｃを介して検査装置本体１９に接続される。ブロー空気ガイド５２にヒータ、温度センサ、イオナイザおよび送風装置等が組みつけられたホットエアブロー機構５０は、開口部５２ｂに検査ソケット用プレート５３ａが取り付けられた状態で、基台プレート１１ａの下面における開口１１ｂの部分に取り付けられる。
【００６８】
なお、ブロー空気ガイド５２の周壁部５２ｃの上端縁部には、ねじ挿通穴を備えたフランジ５２ｄが設けられておりホットエアブロー機構５０は、下方から挿通穴に通したボルト５６を基台プレート１１ａに螺合させることにより取り付けられる。このように構成したことにより、基台プレート１１ａすなわち基台１１に対してホットエアブロー機構５０を取り付けたり取り外したりする際の操作が容易になる。このホットエアブロー機構５０のそれ以外の作用効果については、前述した第１実施形態に係るホットエアブロー機構２０の作用効果と同様である。
【００６９】
（第４実施形態）
図１３は、本発明の第４実施形態に係るホットエアブロー機構６０の内部における要部の概略図を示している。このホットエアブロー機構６０は、第３実施形態におけるホットエアブロー機構５０と同様、第１実施形態におけるエアガイド２２ａ、連結ガイド３５、およびエアガイド２２ｂを連結一体化したようなブロー空気ガイド５２が、平面視が長円形の天井壁のない下方開放の箱型のもので構成されており、このブロー空気ガイド６２にヒータ、温度センサ、イオナイザおよび送風装置等が組みつけられてホットエアブロー機構６０とされている。このホットエアブロー機構６０は、検査ソケット用プレート６３ａが取り付けられる基台プレート１１ａの開口１１ｂを中央として覆うように、基台プレート１１ａの上面にボルト６６で脱着可能に連結固定される。
【００７０】
すなわち、ブロー空気ガイド６２は、被検査部品挿通用の挿通穴６２ｂが中央に形成された長円状の天井面部６２ａと、天井面部６２ａの周縁部から下方に延びる周壁部６２ｃとで構成され、周壁部６２ｃの下端縁部には、ねじ挿通穴を備えたフランジ６２ｄが設けられており、ブロー空気ガイド６２は、上方から挿通穴に通したボルト６６を基台プレート１１ａのねじ穴に螺合させることにより取り付けられる。そして、ブロー空気ガイド６２の天井面部６２ａ下面における幅方向の中央に、区画部材６４が設けられている。区画部材６４は、天井面部６２ａにおける両側の半円状部分（プロペラ配置部）以外の部分に設けられており、長手方向の中央部分は挿通穴６２ｂの中央下部に位置している。
【００７１】
また、検査ソケット用プレート６３ａは、上面における周縁部が中央部分よりも低くなった段違い状の板部材で構成されており、周縁部の四隅に貫通穴６３ｂが形成されている。そして、検査ソケット用プレート６３ａは、ホットエアブロー機構６０の基台プレート１１ａの上面への組み付けとは独立に、基台プレート１１ａの下面に組み付けられる。すなわち、中央部分を開口１１ｂ内に入れ周縁部の上面を基台プレート１１ａの下面に合わせた状態で、貫通穴６３ｂにボルト６５を貫通させ、ボルト６５を基台プレート１１ａのねじ穴に嵌合締め付けが実施される。また、各検査ソケット６３は、検査ソケット用プレート６３ａを貫通して下方に延びる検査用電流ケーブル６３ｃを介して検査装置本体１９に接続される。
【００７２】
以上のように構成したことにより、基台プレート１１ａに対してホットエアブロー機構６０を取り付けたり取り外したりする際の操作がさらに容易になる。さらに、基台プレート１１ａに対して各検査ソケット６３を設けた検査ソケット用プレート６３ａを取り付けたり取り外したりする際の操作がさらに容易になる。このホットエアブロー機構６０のそれ以外の作用効果については、前述した第１実施形態に係るホットエアブロー機構２０の作用効果と同様である。
【００７３】
また、本発明に係るホットエアブロー機構は、前述した各実施形態に限定するものでなく、適宜変更して実施することができる。例えば、前述した各抵抗発熱型のヒータ実施形態では、ホットエアブロー機構２０等における検査ソケット１２等の上方部分以外の部分を塞いでいるが、側壁を構成するエアガイド２２ａ，２２ｂ等や上下面の一部を開口させておくこともできる。これによると、検査ソケット１２等の温度を高温から常温に冷却する際の時間を短縮することができる。また、ヒータとしては、前述したヒータ２６ａ等に代えて、一定間隔で不図示のフィン形の抵抗発熱体を取り付けて本体を構成した抵抗発熱型のヒータでも良い。さらに、ホットエアブロー機構２０等のそれ以外の部分や、ＩＣハンドラ１０を構成する各部分の構成についても、適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１０…ＩＣハンドラ、１１…基台、１１ａ…基台プレート、１１ｂ…開口、１２，５３，６３…検査ソケット、１５…部品搬送ユニット、２０，４０，５０，６０…ホットエアブロー機構、２０ａ，２０ｂ…ホットエアブローユニット、２２ａ，２２ｂ，４２ａ，４２ｂ…エアガイド、２４ａ，２４ｂ，４４ｂ…ガイド壁、２５ａ，２５ｂ，４５ｂ…プロペラ、２６ａ，２６ｂ，４６ｂ…ヒータ、２８ａ，２８ｂ，４８ｂ…イオナイザ、３３，４５…送風装置、３５…連結ガイド、３５ａ…区画壁、５２，６２…ブロー空気ガイド、５４，６４…区画部材、Ａ…電子部品。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７５】
【特許文献１】特開平１１−３０６４５号公報
【図１】
2010223588.tif 000003
【図２】
2010223588.tif 000004
【図３】
2010223588.tif 000005
【図４】
2010223588.tif 000006
【図５】
2010223588.tif 000007
【図６】
2010223588.tif 000008
【図７】
2010223588.tif 000009
【図８】
2010223588.tif 000010
【図９】
2010223588.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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