(57)【要約】【課題】製品マスクの欠陥検出率を適正に把握することが可能な感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成装置、マスク検査システム及び感度表データ作成方法を提供する。【解決手段】製品マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成する第１の感度表データ作成部３４Ａと、感度マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成する第２の感度表データ作成部３４とを選択可能に設けた。第１の感度表データ作成部３４Ａは、製品マスクの各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストを欠陥リスト取得手段３４３により取得し、複数の欠陥リストを欠陥リスト合成手段３４４により合成し、アルゴリズムをアルゴリズム選択手段３４６により選択し、合成された欠陥リストとアルゴリズムとに基づいて感度表データを感度表データ作成手段３４７により作成するように構成した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一のマスクについての複数回の欠陥検査の結果に基づいて、該欠陥検査で用いられた検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成装置であって、
不規則に欠陥が存在する製品マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成する第１の感度表データ作成部を備えたことを特徴とする感度表データ作成装置。
【請求項２】
所定の形状及びサイズを有する欠陥が規則的に作り込まれた感度マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成する第２の感度表データ作成部を更に備え、前記第１及び第２の感度表データ作成部を選択可能に設けたことを特徴とする感度表データ作成装置。
【請求項３】
前記第１の感度表データ作成部は、同一の製品マスクについての各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストを取得する欠陥リスト取得手段と、取得した複数回分の検査結果の欠陥リストを合成する欠陥リスト合成手段とを備え、合成した欠陥リストに基づいて感度表データを作成するように構成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の感度表データ作成装置。
【請求項４】
請求項３記載の感度表データ作成装置と、この感度表データ作成装置に接続され、マスクの欠陥検査を行うマスク検査装置とを備えたマスク検査システムであって、
前記マスク検査装置は、製品マスクの検査結果を前記感度表データ作成装置に出力する検査結果出力手段を有し、
前記欠陥リスト取得手段は、前記検査結果出力手段から入力された製品マスクの検査結果から欠陥リストを作成するように構成されたことを特徴とするマスク検査システム。
【請求項５】
少なくとも１つの検査アルゴリズムを用いて行われた同一のマスクについての複数回の欠陥検査の結果に基づいて、検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成方法であって、
欠陥が不規則に存在する製品マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第１のモードと、所定の形状及びサイズでプログラム欠陥が規則的に作り込まれた感度マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第２のモードとのうちいずれか一方を選択するステップと、
前記欠陥検査で用いられた検査アルゴリズムの中から、感度表データを作成する検査アルゴリズムを選択するステップと、
前記第１のモードが選択された場合、同一の製品マスクについての各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストをそれぞれ取得するステップと、
取得した複数回分の検査結果の欠陥リストを合成するステップと、
前記合成された欠陥リストと、前記選択された検査アルゴリズムとに基づいて、感度表データを作成するステップとを含むことを特徴とする感度表データ作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクの欠陥検査で用いられた検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成装置、マスク検査システム及び感度表データ作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造過程において、基板上にパターンを形成するためにレチクルもしくはフォトマスク（以下「マスク」という）が用いられている。このマスクに欠陥が存在すると、その欠陥がパターンに転写されるため、マスクに存在する欠陥を検出するマスク欠陥検査（以下「欠陥検査」と略す）が行われている。
【０００３】
この種の欠陥検査を行うマスク検査装置では、一般に、欠陥の性状に応じて複数の欠陥検査アルゴリズム（以下「アルゴリズム」という）が選択される。各アルゴリズムには閾値（「感度パラメータ」ともいう）がそれぞれ設定されており、その閾値を超える反応値を有するものが欠陥として検出される。
【０００４】
ここで、同一の閾値に設定して同一のマスクの欠陥検査を繰り返し行ったとしても、様々な要因により、同一の検査結果が得られない可能性がある。このため、同一のマスクについて複数回の欠陥検査を行ったときの欠陥検出率を確認する必要がある。この欠陥検出率を確認するために、アルゴリズム毎に欠陥検出率が可視化された感度表が用いられている。この感度表を作成するためには、複数回分の検査結果に基づいて、欠陥の座標、反応値、欠陥検出率、アルゴリズムやその閾値などが記述された感度表データを作成する必要がある。
【０００５】
図４を参照して、マスク検査装置において実行される従来の感度表データの作成方法について概略的に説明する。尚、図４において、閾値の決定に関するステップＳ３０〜Ｓ３６の処理は、下記特許文献１に開示されている。
【０００６】
図４に示す方法によれば、先ず、アルゴリズムに対して暫定的な閾値を設定し（ステップＳ３０）、設定された閾値に基づいて欠陥検査を行い（ステップＳ３２）、検査結果である欠陥をレビューする（ステップＳ３４）。これらステップＳ３０〜Ｓ３４の処理を、十分な欠陥検出感度が得られるまで繰り返す。十分な欠陥検出感度が得られたと判別されると（ステップＳ３６で“ＹＥＳ”）、上記暫定的な閾値が、アルゴリズムの閾値として決定される（ステップＳ３８）。
【０００７】
次いで、上記ステップＳ３８で決定された閾値に基づいて、同一のマスクについての欠陥検査を連続して複数回（例えば、５回又は１０回）実行する（ステップＳ３８）。その後、複数回分の連続検査結果に基づいて、感度表データを作成する（ステップＳ４０）。
【０００８】
ところで、通常は、感度マスクの検査結果に基づいて上記閾値が決定されると共に、同一の感度マスクについての連続検査結果に基づいて上記感度表データが作成される。ここで、感度マスクは、所定の形状及びサイズを有するプログラム欠陥が規則的に作り込まれたマスクである。
【０００９】
然し、ユーザが使用する製品マスクには、感度マスクに作り込まれたプログラム欠陥以外に、多種の欠陥が存在する。このため、感度マスクを用いて行われた連続検査結果に基づいて感度表データを作成し、この感度表データを用いて感度表を作成するだけでは、ユーザが製品マスクの欠陥検出率を適正に把握することができないという問題があった。
【特許文献１】特開２００４−１３８５６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、上記課題に鑑み、製品マスクの欠陥検出率を適正に把握することが可能な感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成装置、マスク検査システム及び感度表データ作成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、同一のマスクについての複数回の欠陥検査の結果に基づいて、該欠陥検査で用いられた検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成装置であって、不規則に欠陥が存在する製品マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成する第１の感度表データ作成部を備えたことを特徴とする。
【００１２】
この第１の態様において、所定の形状及びサイズを有する欠陥が規則的に作り込まれた感度マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成する第２の感度表データ作成部を更に備え、これら第１及び第２の感度表データ作成部を選択可能に設けることが好ましい。
【００１３】
この第１の態様において、第１の感度表データ作成部は、同一の製品マスクについての各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストを取得する欠陥リスト取得手段と、取得した複数回分の検査結果の欠陥リストを合成する欠陥リスト合成手段とを備え、合成した欠陥リストに基づいて感度表データを作成するように構成されることが好ましい。
【００１４】
この第１の態様において、第１の感度表データ作成部は、製品マスクの欠陥検査で用いられた検査アルゴリズムの中から、感度表データを作成する検査アルゴリズムを選択するアルゴリズム選択手段を更に備え、選択した検査アルゴリズムと上記合成した欠陥リストとに基づいて感度表データを作成するように構成されることが好ましい。
【００１５】
本発明の第２の態様は、感度表データ作成装置と、この感度表データ作成装置に接続され、マスクの欠陥検査を行うマスク検査装置とを備えたマスク検査システムであって、マスク検査装置は、製品マスクの検査結果を感度表データ作成装置に出力する検査結果出力手段を有し、上記欠陥リスト取得手段は、検査結果出力手段から入力された製品マスクの検査結果から上記欠陥リストを作成するように構成されたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の第３の態様は、少なくとも１つの検査アルゴリズムを用いて行われた同一のマスクについての複数回の欠陥検査の結果に基づいて、検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成方法であって、欠陥が不規則に存在する製品マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第１のモードと、所定の形状及びサイズでプログラム欠陥が規則的に作り込まれた感度マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第２のモードとのうちいずれか一方を選択するステップと、欠陥検査で用いられた検査アルゴリズムの中から、感度表データを作成する検査アルゴリズムを選択するステップと、第１のモードが選択された場合、同一の製品マスクについての各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストをそれぞれ取得するステップと、取得した複数回分の検査結果の欠陥リストを合成するステップと、合成された欠陥リストと、選択された検査アルゴリズムとに基づいて、感度表データを作成するステップとを含むことを特徴とする。
【００１７】
この第３の態様において、第２のモードが選択された場合には、同一の感度マスクについての複数回分の検査結果を選択し、選択された検査結果と、上記選択された検査アルゴリズムとに基づいて感度表データを作成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の感度表データ作成装置によれば、不規則に欠陥が存在する製品マスクの検査結果に基づいて感度表データを作成することができるため、製品マスクの欠陥検出率を適正に把握することが可能な感度表を作成することができる。
【００１９】
本発明のマスク検査システムによれば、マスク検査装置の検査結果出力手段から出力された製品マスクの検査結果に基づいて、感度表データ作成装置の欠陥リスト取得手段によって欠陥リストを作成するため、マスク検査装置で欠陥リストを作成する必要がなくなり、マスク検査装置のスループットを向上させることができる。
【００２０】
本発明の感度表データ作成方法によれば、不規則に欠陥が存在する製品マスクの複数回分の検査結果から感度表データを作成することができるため、製品マスクの欠陥検出率を適正に把握することが可能な感度表を作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態によるマスク検査システム１の概略構成を示すブロック図である。
【００２２】
尚、図１は、本発明の説明に必要な構成を抽出して説明したものであり、この構成に限定する趣旨ではない。また、本実施の形態では、ダイ・トゥ・データベース方式を例に説明するが、欠陥検査の方法は、これに限定する趣旨ではなく、ダイ・トゥ・ダイ方式であってもよい。
【００２３】
マスク検査システム１は、マスクの欠陥検査を行う実機たるマスク検査装置２と、このマスク検査装置２の検査結果を用いて各種シミュレーションを行うシミュレーション装置３とを備えている。マスク検査装置２とシミュレーション装置３とは、オンライン接続されている。
【００２４】
マスク検査装置２は、公知構造を有するスキャナ２１を備えている。スキャナ２１は、検査対象物たるマスクが載置されるステージ（図示省略）を駆動することによってマスク上でレーザ光を走査させ、そのマスクの透過光及び／又は反射光を画像センサ（例えば、ラインセンサやＴＤＩセンサ）により撮像することで、マスクの光学画像（透過画像及び／又は反射画像）を取得するものである。スキャナ２１で取得されたマスクの光学画像は、スキャナ制御部２２を介して分配処理部２３に転送される。
【００２５】
尚、スキャナ２１は、図示省略するレーザ光源からのレーザ光をビームスプリッタ等により分岐させることで透過照明光と反射照明光とを同時に得るように構成されてもよい。これにより、マスク検査装置２において、透過照明光を用いた透過検査と、反射照明光を用いた反射検査とを同時に行うことができる。
【００２６】
スキャナ２１を構成する上記ステージのＸ、Ｙ及びＺ方向の駆動、並びに、上記ステージの傾きθの調整は、上記スキャナ制御部２２により制御される。スキャナ制御部２２は、このようなステージの制御のほかに、スキャナ２１の各種動作を制御するものである。
【００２７】
図１において、１点鎖線の矢印はステージ制御信号の流れを、２点鎖線の矢印は光学画像の流れを、実線の矢印はマスク作成時の設計データ（ＣＡＤデータ）の流れを、破線の矢印は検査結果の流れを、それぞれ表している。
【００２８】
データ準備部２４は、マスクの設計データであるパターンデータ（ＣＡＤデータ）を図示省略するパターンデータサーバから読み出し、読み出したパターンデータをシステム制御部２５に送信するものである。
【００２９】
システム制御部２５は、データ準備部２４から受信したパターンデータを参照画像生成部２６に転送し、該参照画像生成部２６により参照画像を生成させるものである。参照画像生成部２６は、パターンデータに展開処理などを施すことで参照画像を生成し、生成した参照画像を分配処理部２３に送信するものである。
【００３０】
また、システム制御部２５は、検査条件（透過検査、反射検査）と、マスクの性状に応じて適用する検査アルゴリズムとをオペレータにより選択させると共に、選択された検査アルゴリズムの閾値を所定値に設定する。この閾値として、後述する閾値変更部３２により最適化されたものを用いることができる。
【００３１】
ここで、シミュレーション装置３により閾値を最適な値に変更することができるため、システム制御部２５では閾値が高感度側に設定されることが一般的である。
【００３２】
分配処理部２３は、スキャナ制御部２２から受信した光学画像データと、参照画像生成部２６から受信した参照画像データとを比較可能にすべく、各画像データを分配処理し、分配処理された各画像データを欠陥検出部２７に送信するものである。
【００３３】
欠陥検出部２７は、分配処理された光学画像データと参照画像データとを比較し、その比較した結果相違している部分の反応値が上記設定された閾値以上であるときに当該部分を欠陥として検出するものである。欠陥検出部２７は、例えば、比較すべき光学画像データと参照画像データとを各々正負逆の電気信号にし、比較論理回路で両者を加算して正負いずれかの信号となる部分の反応値が閾値以上であるときに当該部分を欠陥として検出するように構成することができる。
【００３４】
欠陥検出部２７は、検査結果として、検出した欠陥の光学画像及び座標データ、上記検査条件（透過検査、反射検査）、各欠陥を検出したアルゴリズム情報、欠陥と判定する根拠となった各欠陥の反応値（比較検査方法において相違量として検出された値）をシステム制御部２５に送信する。
【００３５】
システム制御部２５は、欠陥検出部２７から受信した検査結果を記憶装置２９に格納する。検査結果管理部２８は、記憶装置２９から検査結果を読み出し、図示しない出力手段たるモニタやプリンタにより出力する。また、検査結果管理部２８は、この読み出した検査結果を検査結果出力手段２８１によりシミュレーション装置３に出力する。また、検査結果管理部２８は、読み出した検査結果に含まれる欠陥の情報を記述した欠陥リストを作成し、作成した欠陥リストを欠陥リスト出力手段２８２により出力してもよい。
【００３６】
本発明の感度表データ作成装置たるシミュレーション装置３は、アルゴリズム毎に設定される閾値を最適化する機能と、感度表データを作成する機能とを有する。シミュレーション装置３は、当該シミュレーション装置３の全体的な制御を行う制御部３１と、レビュー用データ生成部３２と、閾値変更部３３と、感度表データ作成部３４と、記憶装置３５とを備えている。
【００３７】
レビュー用データ生成部３２は、検査結果管理部２８から受信した検査結果からレビュー用データを生成するものである。制御部３１は、このレビュー用データを用いて、図示しないモニタに欠陥を表示し、オペレータにレビューさせる。オペレータは、モニタに表示された欠陥に基づいて、所望の欠陥検出率が得られるように閾値が適正に設定されているか否かを判断し、適正に閾値が設定されていない場合には、閾値変更部３２により閾値を変更する。制御部３１は、変更後の閾値に基づいて、レビュー用データ生成部３２によりレビュー用データを生成させ、オペレータにレビューさせて閾値が適正か否かを再度判断させる。このようにレビューと閾値変更とを繰り返し行うことで、閾値が最適化される。
【００３８】
感度表データ作成部３４は、図２に示すように、第１の感度表データ作成部３４Ａにより製品マスクの検査結果に基づき感度表データを作成するモードと、第２の感度表データ作成部３４Ｂにより感度マスクの検査結果に基づき感度表データを作成するモードから１つのモードをオペレータに選択させるモード選択手段３４１を備えている。つまり、本実施の形態では、第１及び第２の感度表データ作成部３４Ａ、３４Ｂが選択可能に設けられている。
【００３９】
先ず、第１の感度表データ作成部３４Ａについて説明する。
【００４０】
第１の感度表データ作成部３４Ａは、検査結果選択手段３４２と、欠陥リスト取得手段３４３と、欠陥リスト合成手段３４４と、合成欠陥リスト選択手段３４５と、アルゴリズム選択手段３４６と、感度表データ作成手段３４７とを有する。
【００４１】
検査結果選択手段３４２は、感度表データを作成するための元データとして、マスク検査装置２の記憶装置２９もしくはシミュレーション装置３の記憶装置３５に記憶されている複数の検査結果の中から、１回分の製品マスクの検査結果をユーザにより選択させるものである。
【００４２】
欠陥リスト取得手段３４３は、検査結果選択手段３４２により選択された検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストを取得し、取得した欠陥リストを記憶装置３５に記憶するものである。ここで、欠陥リストとは、例えば、欠陥の座標や種類、アルゴリズム、反応値などの欠陥情報が、欠陥毎に列挙されたデータファイルである。
【００４３】
ここで、製品マスクに存在する欠陥の座標は、感度マスクに作り込まれたプログラム欠陥の座標のように規則性がない。このため、製品マスクの検査結果を選択するだけでは、感度表データを作成することができない。そこで、本実施の形態では、検査結果から欠陥リストを作成することで、製品マスクに存在する欠陥の座標を取得するようにした。
【００４４】
また、上記検査結果選択手段３４２により記憶装置２９に記憶されている製品マスクの検査結果が選択された場合、検査結果管理部２８によりその選択された検査結果が記憶装置２９から読み出され、その検査結果から欠陥リストが作成される。そして、この作成された欠陥リストが欠陥リスト出力手段２８２により出力される。欠陥リスト取得手段３４３は、欠陥リスト出力手段２８２から出力された欠陥リストを取得することで、検査結果選択手段３４２により選択された製品マスクの検査結果に含まれる欠陥リストを取得することができる。
【００４５】
これに対して、上記検査結果選択手段３４２により記憶装置３５に記憶されている製品マスクの検査結果が選択された場合、欠陥リスト取得手段３４３は、その選択された検査結果を記憶装置３５から読み出し、読み出した検査結果から欠陥の情報を抽出し、欠陥リストを作成する。このようにシミュレーション装置３内で欠陥リストを作成することで、マスク検査装置２で欠陥リストを作成する必要がなくなるため、マスク検査装置２のスループットを向上させることができる。
【００４６】
欠陥リスト合成手段３４４は、欠陥リスト取得手段３４３により取得された複数回分の欠陥リストを合成し、合成された欠陥リスト（以下「合成欠陥リスト」という）を記憶装置３５に記憶するものである。ここで、感度表データを作成するためには、複数回分の検査結果の欠陥の座標情報を１つのファイルに纏める必要がある。本実施の形態では、欠陥リスト合成手段３４４により複数回分の欠陥リストを合成することで、１ファイルの合成欠陥リストが得られる。
【００４７】
合成欠陥リスト選択手段３４５は、記憶装置３５に記憶された複数の合成欠陥リストの中から、感度表データを作成する１つの合成欠陥リストをユーザより選択させるものである。
【００４８】
アルゴリズム選択手段３４６は、欠陥検査に用いられたアルゴリズムの中から感度表データを作成するアルゴリズムをユーザにより選択させるものである。
【００４９】
感度表データ作成手段３４７は、合成欠陥リスト選択手段３４５により選択された合成欠陥リストと、アルゴリズム選択手段３４６により選択されたアルゴリズムとに基づいて、製品マスクの感度表データを作成するものである。
【００５０】
次に、第２の感度表データ作成部３４Ｂについて説明する。
【００５１】
第２の感度表データ作成部３４Ｂは、検査結果選択手段３４８と、アルゴリズム選択手段３４６と、感度表データ作成手段３４９とを有する。
【００５２】
検査結果選択手段３４８は、感度表データを作成するための元データとして、マスク検査装置２の記憶装置２９もしくはシミュレーション装置３の記憶装置３５に記憶されている検査結果の中から、複数回分（例えば、５回又は１０回）の感度マスクの検査結果をユーザにより選択させるものである。
【００５３】
ここで、上述したように、感度マスクは、複数のプログラム欠陥が規則的（格子状）に配置されたものであるから、感度マスクの任意の範囲内にあるプログラム欠陥の配置状態も既知である。従って、プログラム欠陥が作り込まれた範囲を左下隅位置及び右上隅位置で特定すると共に、その範囲内のプログラム欠陥の配置状態（例えば、Ｘ方向にｎ個、Ｙ方向にｍ個の格子）を特定することによって、各検査結果で検出された複数の欠陥の座標を一括して取得できるため、上記のような欠陥リストを作成する必要はない。
【００５４】
第２の感度表データ作成部３４Ｂのアルゴリズム選択手段３４６は、上記第１の感度表データ作成部３４Ａのものと同一である。
【００５５】
感度表データ作成手段３４９は、検査結果選択手段３４８により選択された検査結果と、アルゴリズム選択手段３４６により選択されたアルゴリズムとに基づいて、感度マスクについての感度表データを作成するものである。
【００５６】
次に、図３を参照して、本実施の形態における感度表データの作成方法について説明する。
【００５７】
先ず、上記第１の感度表データ作成部３４Ａにより製品マスクの検査結果から感度表データを作成するモード（以下「製品マスクモード」という）と、上記第２の感度表データ作成部３４Ｂにより感度マスクの検査結果から感度表データを作成するモード（以下「感度マスクモード」という）とのうち何れかのモードを選択させる（ステップＳ２）。そして、上記ステップＳ２で選択されたモードが製品マスクモードであるか否かを判別する（ステップＳ４）。
【００５８】
上記ステップＳ２で選択されたモードが感度マスクモードである場合、記憶装置２９又は記憶装置３５に記憶された複数の検査結果の中から、複数回分の感度マスクの検査結果をユーザに選択させる（ステップＳ６）。ここで、感度マスクに作り込まれたプログラム欠陥の座標には規則性がある。そこで、このステップＳ６では、同時に、感度マスクのプログラム欠陥が作り込まれた範囲と、その範囲内のプログラム欠陥の配置状態（格子）とがユーザにより特定される。従って、このステップＳ６では、選択された複数回分の感度マスクの検査結果に含まれる欠陥の座標を纏めて取得することができる。尚、プログラム欠陥が作り込まれた範囲とその範囲内のプログラム欠陥の配置状態の特定は、選択された検査結果に応じて自動で行うようにしてもよい。
【００５９】
次いで、感度マスクの欠陥検査で用いられたアルゴリズムの中から、感度表データを作成するアルゴリズムを選択する（ステップＳ８）。そして、上記ステップＳ６で選択された検査結果と、上記ステップＳ８で選択されたアルゴリズムとに基づいて、感度表データを作成する（ステップＳ１０）。このステップＳ１０で作成された感度表データは、記憶装置３５に記憶されると共に、必要に応じてこの記憶装置３５から読み出されて外部に出力される。
【００６０】
一方、上記ステップＳ２で選択されたモードが製品マスクモードである場合、記憶装置２９又は記憶装置３５に記憶された複数の検査結果の中から、１回分の製品マスクの検査結果をユーザに選択させる（ステップＳ１２）。
【００６１】
ここで、上記感度マスクとは異なり、製品マスクの欠陥の座標は格子状ではなく不規則である。このため、上記感度マスクモードのように、複数回分の製品マスクの検査結果を選択することで、その選択された複数回分の検査結果に含まれる欠陥の座標を纏めて取得することができない。そこで、本実施の形態では、上記ステップＳ１２で選択された１回分の製品マスクの検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストを取得する（ステップＳ１４）。
【００６２】
上記ステップＳ１２で記憶装置２９に記憶された製品マスクの検査結果が選択された場合、このステップＳ１４では、マスク検査装置２の欠陥リスト出力手段２８２から出力された欠陥リストが、欠陥リスト取得手段３４３により受信される。これに対し、上記ステップＳ１２で記憶装置３５に記憶された製品マスクの検査結果が選択された場合、欠陥リスト取得手段３４３により、製品マスクの検査結果に含まれる欠陥の情報が抽出され、欠陥リストが作成される。
【００６３】
上記のステップＳ１２、Ｓ１４の処理を複数回実施することで、複数回分の製品マスクの検査結果の欠陥リストがそれぞれ取得される。
【００６４】
次いで、上記のように取得された複数回分の欠陥リストを合成する（ステップＳ１６）。このステップＳ１６で得られた合成欠陥リストは、記憶装置３５に記憶される。そして、記憶装置３５に記憶されている複数の合成欠陥リストの中から、感度表データを作成する１つの合成欠陥リストを選択させる（ステップＳ１８）。
【００６５】
次いで、製品マスクの欠陥検査で用いられたアルゴリズムの中から、感度表データを作成するアルゴリズムを選択させる（ステップＳ２０）。そして、上記ステップＳ１８で選択された合成欠陥リストと、上記ステップＳ２０で選択されたアルゴリズムとに基づいて、感度表データを作成する（ステップＳ２２）。このステップＳ２２で作成された感度表データは、記憶装置３５に記憶されると共に、必要に応じてこの記憶装置３５から読み出されて外部に出力される。
【００６６】
以上説明したように、本実施の形態では、製品マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第１の感度表データ作成部３４Ａと、感度マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第２の感度表データ作成部３４Ｂとを選択可能に設けた。この第１の感度表データ作成部３４Ａを選択することで、製品マスクの欠陥検出率を適正に把握することが可能な感度表を作成するために必要な感度表データを作成することができる。
【００６７】
また、製品マスクの各検査結果に含まれる欠陥の情報を記述した欠陥リストをそれぞれ取得し、取得した複数の欠陥リストを合成することで、複数回分の製品マスクの検査結果に含まれる欠陥の情報を１ファイルに纏めることができるため、製品マスクの感度表データを作成することができる。
【００６８】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができる。上記実施の形態では、シミュレーション装置３の各部３１乃至３４をハードウェアにより構成しているが、この各部３１乃至３４の機能を備えたコンピュータソフトウェアプログラムを汎用のパーソナルコンピュータにインストールし、これを上記マスク検査装置２と通信可能に接続するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施の形態におけるマスク検査システムの構成図である。
【図２】図１に示した感度表データ作成部３４の構成図である。
【図３】本発明の実施の形態における感度表データの作成方法を説明するフローチャートである。
【図４】従来の感度表データの作成方法について概略的に説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１  マスク検査システム
２  マスク検査装置
３  シミュレーション装置
３４  感度表データ作成部
３４Ａ  第１の感度表データ作成部
３４Ｂ  第２の感度表データ作成部
３４１  モード選択手段
３４２  検査結果選択手段
３４３  欠陥リスト取得手段
３４４  欠陥リスト合成手段
３４６  アルゴリズム選択手段
３４７  感度表データ作成手段
【図１】
2010152052.tif 000003
【図２】
2010152052.tif 000004
【図３】
2010152052.tif 000005
【図４】
2010152052.tif 000006