(57)【要約】【課題】直線状の光硬化性樹脂に照射されずに、ステージまで到達した直線状ビーム光の反射を防止し、光硬化性樹脂が形成された以外の領域を変質させない光照射装置を提供する。【解決手段】アルミニウム製のステージＳＴに黒アルマイト処理することで、ステージＳＴの上面に紫外線吸収膜１８を形成した。そして、シール材Ｓから外れた直線状ビーム光がステージＳＴに照射されても、紫外線吸収膜１８にて吸収して、液晶ディスプレイパネルＰに向かって反射せないようにした。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状の光硬化性樹脂を形成した基板を載置するステージと、
一方向に配列された複数の光学素子を一方向に配列し各光学素子から出射される光ビームから直線状ビーム光を生成し、前記一方向に伸びる直線状ビーム光を、前記ステージに載置した基板に形成した直線状の光硬化性樹脂に対して、その直線状の光硬化樹脂の形成方向に一致させて照射する光照射ユニットと
を備えた光照射装置であって、
前記ステージの表面に、光吸収部材を形成したことを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光照射装置において、
前記光照射ユニットに設けた複数の光学素子は、紫外線発光ダイオードであって、その複数の紫外線発光ダイオードから出射される紫外線ビームから生成される直線状ビーム光を、前記ステージに載置された液晶ディスプレイパネルの貼合わせ基板間に介在された紫外線硬化性樹脂からなる直線状のシール材に照射するとともに、
前記ステージの表面に形成した前記光吸収部材は、前記紫外線を吸収する紫外線吸収膜であることを特徴とする光照射装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光照射装置において、
前記ステージの表面に形成した前記紫外線吸収膜は、黒色の紫外線吸収膜であることを特徴とする光照射装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光照射装置において、
前記ステージは、アルミニウム製であって、前記黒色の紫外線吸収膜は、前記アルミニウム製のステージの表面を、黒アルマイト処理して形成した黒アルマイトであることを特徴とする光照射装置。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１つに記載の光照射装置において、
前記光照射ユニットは、前記複数の紫外線発光ダイオードの出射側にそれぞれ半球レンズを配置し、その各半球レンズの前記紫外線発光ダイオードとは反対側の位置に棒状のシリンドリカルレンズを配置して、前記各紫外線発光ダイオードから出射される紫外線ビームから直線状ビーム光を生成するとともに、
前記紫外線発光ダイオードと前記半球レンズの間、又は、前記半球レンズと前記シリンドリカルレンズの間に、前記直線状ビーム光の線幅の方向に拡散を遮蔽制御するマスクを配置したことを特徴とする光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネルは、薄膜トランジスタがマトリクス状に配置形成された素子基板と、遮光膜及びカラーフィルタ等が形成された対向基板とが極めて狭い間隔にて対向配置される。そして、両基板が重ね合わせられる際に、これら両基板間であって光硬化性樹脂を含むシール材に囲まれた領域に液晶が封入される。続いて、紫外線をシール材に照射して、同シール材が硬化されて両基板が貼合わされることによって液晶ディスプレイパネルが製造される。
【０００３】
このとき、シール材を紫外線硬化させ両基板同士を接着する装置として光照射装置がある。この種の光照射装置として、例えば光源としてアーク放電式メタルハイランドランプ等を用い、貼合わせる基板の全面に紫外線を照射するものであった（例えば、特許文献１）。
【０００４】
また、近年、直線状のシール材のみに直線状の紫外線ビーム光を照射して、消費電力の低減を図るとともに、貼り合わせ基板の規格の変更等にも容易かつ速やかに対応できる紫外線発光ダイオードを用いた光照射装置が注目されている。この紫外線発光ダイオードを用いた光照射装置は、複数の紫外線発光ダイオードが一方向に予め定めたピッチで配列されている。そして、各紫外線発光ダイオードの光出射側には、半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系が配置されている。これによって、各紫外線発光ダイオードから出射された光は、これら半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系を介して横断面が直線状となるビーム光（直線状ビーム光）となって直線状のシール材に照射させるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−６６５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、紫外線照射エネルギーを最大でしかも効率よく供給するために、直線状ビーム光は、その線幅が直線状のシール材の横幅と同じであることが望ましい。つまり、シール材の横幅と同じ線幅の直線状ビーム光を、直線状のシール材に位置ズレすることなく位置合わせする。これによって、もれなく直線状ビーム光の照射エネルギーがシール材の全表面に一様に供給されてことから、シール材を硬化させるのに必要な積算照度が、シール材の各位置において同じ時間で照射でき、照射時間を短縮でき生産効率の向上を図ることができる。
【０００７】
しかしながら、シール材の横幅に合わせて、直線状ビーム光の線幅を半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系にて調整することは難しかった。その結果、直線状ビーム光の線幅がシール材の横幅より短い場合や、反対に、シール材の横幅が直線状ビーム光の横幅より短い場合が生じる。
【０００８】
特に、直線状ビーム光の線幅がシール材の横幅より長い場合は、シール材に照射されない紫外線ビーム光が生じる。このシール材から外れた紫外線ビーム光は、液晶ディスプレイパネルを貫通しステージに到達する。ステージに到達した紫外線ビーム光は、ステージにて反射され、再び液晶ディスプレイパネルに入射される。この時、反射して液晶ディスプレイパネルに入射する紫外線ビーム光は、シール材に囲まれた領域に入射される。シール材に囲まれた領域には、液晶が封入され、その液晶は、入射した紫外線ビーム光にて変質する虞があった。また、シール材に囲まれた領域の基板上に形成された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）に悪影響を与える虞がある。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、直線状の光硬化性樹脂に照射されずに、ステージまで到達した直線状ビーム光の反射を防止し、光硬化性樹脂が形成された以外の領域を変質させない光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、直線状の光硬化性樹脂を形成した基板を載置するステージと、一方向に配列された複数の光学素子を一方向に配列し各光学素子から出射される光ビームから直線状ビーム光を生成し、前記一方向に伸びる直線状ビーム光を、前記ステージに載置した基板に形成した直線状の光硬化性樹脂に対して、その直線状の光硬化樹脂の形成方向に一致させて照射する光照射ユニットとを備えた光照射装置であって、前記ステージの表面に、光吸収部材を形成した。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、直線状の光硬化性樹脂に照射されずに、ステージまで到達した直線状ビーム光の一部は、光吸収部材にて吸収される。ステージまで到達した直線状ビーム光の一部が、ステージによって反射されて、光硬化性樹脂が形成された以外の基板の位置に照射されることがない。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光照射装置において、前記光照射ユニットに設けた複数の光学素子は、紫外線発光ダイオードであって、その複数の紫外線発光ダイオードから出射される紫外線ビームから生成される直線状ビーム光を、前記ステージに載置された液晶ディスプレイパネルの貼合わせ基板間に介在された紫外線硬化性樹脂からなる直線状のシール材に照射するとともに、前記ステージの表面に形成した前記光吸収部材は、前記紫外線を吸収する紫外線吸収膜である。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、シール材に照射されるべき直線状ビーム光の一部が、シール材に囲まれた領域に封入された液晶に照射されるのが防止され、紫外線による液晶の変質を防止することができる。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光照射装置において、前記ステージの表面に形成した前記紫外線吸収膜は、黒色の紫外線吸収膜である。
請求項３に記載の発明によれば、黒色は他の色に比べて紫外線を良く吸収することから、シール材に照射されずにステージに照射された直線状ビーム光の一部は、反射することなく吸収される。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の光照射装置において、前記ステージは、アルミニウム製であって、前記黒色の紫外線吸収膜は、前記アルミニウム製のステージの表面を、黒アルマイト処理して形成した黒アルマイトである。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、ステージをアルミニウム製にし、それに黒アルマイト処理することで、ステージに紫外線を吸収する紫外線吸収膜を容易に作成できる。
請求項５に記載の発明は、請求項２〜４のいずれか１つに記載の光照射装置において、前記光照射ユニットは、前記複数の紫外線発光ダイオードの出射側にそれぞれ半球レンズを配置し、その各半球レンズの前記紫外線発光ダイオードとは反対側の位置に棒状のシリンドリカルレンズを配置して、前記各紫外線発光ダイオードから出射される紫外線ビームから直線状ビーム光を生成するとともに、前記紫外線発光ダイオードと前記半球レンズの間、又は、前記半球レンズと前記シリンドリカルレンズの間に、前記直線状ビーム光の線幅の方向に拡散を遮蔽制御するマスクを配置した。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、直線状ビーム光の線幅をシール材の線幅に近づけることができ、シール材から外れにくい直線状ビーム光を生成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、直線状の光硬化性樹脂に照射されずに、ステージまで到達した直線状ビーム光の反射を防止し、光硬化性樹脂が形成された以外の領域の変質を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態の紫外線照射装置の斜視図。
【図２】同じく紫外線照射装置の正面図。
【図３】紫外線照射装置のステージを説明するための全体斜視図。
【図４】紫外線照射装置の紫外線照射ユニットを説明するための要部断面図。
【図５】照射モジュールの配置状態を示す図。
【図６】（ａ）（ｂ）紫外線照射装置から出射される直線状ビーム光を説明するための模式図。
【図７】紫外線吸収膜による直線状ビーム光の吸収を説明するための説明図。
【図８】別例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の光照射装置を基板貼合わせのための紫外線照射装置に具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１において、紫外線照射装置１は、２種類の基板の間に液晶を封入したアクティブマトリクス型の液晶ディスプレイパネルＰを製造する図示しない製造ラインに備えられている。紫外線照射装置１は、液晶ディスプレイの製造工程のうち、液晶ディスプレイパネルＰの下基板Ｗ１と上基板Ｗ２の間に介在された紫外線硬化樹脂よりなるシール材Ｓにガントリ２に設けた紫外線照射ユニット３から直線状の紫外線を照射し、該シール材Ｓを硬化させる工程に用いられる。
【００２１】
図１に示すように、紫外線照射装置１は、床面に設置された機枠５を有している。機枠５は、四方に配置された支柱５ａを有し、その４本の支柱５ａは床面に対して立設されている。機枠５は、隣り合う支柱５ａの下側位置間に、下部フレーム５ｂをそれぞれ連結している。また、機枠５は、前側（反Ｙ方向側）の左右一対の支柱５ａの中間位置間、及び、後側（Ｙ方向側）の左右一対の支柱５ａの中間位置間に、それぞれ中間フレーム５ｃを連結している。さらに、機枠５は、左側（反Ｘ方向側）の前後一対の支柱５ａの上端部間に、左側上部フレーム５ｄを連結するとともに、右側（Ｘ方向側）の前後一対の支柱５ａの上端部間に、右側上部フレーム５ｅを連結している。
【００２２】
機枠５内には、液晶ディスプレイパネルＰを載置する八角形のステージＳＴが設けられている。ステージＳＴは、図２及び図３に示すように、その下面ＳＴａが同ステージＳＴの下側に配置され下部フレーム５ｂに設けた４本のボールネジにより上下する四角枠体６に設けた支承アーム７にて支持固定されている。
【００２３】
ステージＳＴの中央位置には、図３に示すように、貫通穴８が形成されている。そして、その貫通穴８には、四角枠体６に固設した基板移動装置９に設けられたアライメントテーブルＴＢが配置される。アライメントテーブルＴＢは、基板移動装置９によって、ステージＳＴに対して、左右方向（Ｘ方向）、及び、Ｘ方向と直交する前後方向（Ｙ方向）に移動可能になっている。また、アライメントテーブルＴＢは、基板移動装置９によって、該テーブルＴＢの中心軸線Ｌを回転中心軸として回転するようになっている。また、該テーブルＴＢ面は、ステージＳＴ面と同一面に位置するようになっている。
【００２４】
つまり、基板移動装置９のアライメントテーブルＴＢは、図示しない搬送装置から搬送された液晶ディスプレイパネルＰが載置され、その液晶ディスプレイパネルＰをアライメントしてステージＳＴに載置する。また、基板移動装置９は、ステージＳＴに載置された液晶ディスプレイパネルＰを９０度回転させて、再びステージＳＴに載置する。
【００２５】
また、ステージＳＴには、複数のガイド穴１０が所定の間隔をおいて形成されている。各ガイド穴１０は、四角枠体６の下側に設けた基板受け渡し装置（図示しない）のリフトピン（図示しない）が出没するようになっている。つまり、各リフトピンを各ガイド穴１０から突出した状態で、各リフトピンの先端部に、図示しない搬送装置から搬送された液晶ディスプレイパネルＰが受け渡される。この状態から各リフトピンを各ガイド穴１０に没入させることにより、アライメントテーブルＴＢに受け渡し、アライメントテーブルＴＢにてアライメントされる。そして、アライメントが終了すると、アライメントテーブルＴＢを貫通穴８に没入させることによって、液晶ディスプレイパネルＰはアライメントされてステージＳＴに載置される。
【００２６】
また、ステージＳＴであって貫通穴８の前後両側には、左右方向（Ｘ方向）に沿って延びる一対の検出窓１１がそれぞれ貫通形成されている。ステージＳＴの下側であって前記検出窓１１と対向する位置には、図２に示すように、照度検出装置１２がそれぞれ設けられている。
【００２７】
照度検出装置１２は、四角枠体６に支持固定された、ガイドレール１３を有している。ガイドレール１３は、四角枠体６に支持固定され、検出窓１１に沿って左右方向（Ｘ方向）に配置されている。ガイドレール１３の検出窓１１側に形成した上面には、キャリッジ１４が左右方向（Ｘ方向）を往復動可能に配設されている。
【００２８】
キャリッジ１４は、タイミングベルト（図示しない）を介してキャリッジモータ（図示しない）に接続されている。キャリッジ１４は、キャリッジモータが駆動されることにより、タイミングベルトを介して駆動され、ガイドレール１３に沿って、すなわち、Ｘ方向に往復移動される。
【００２９】
キャリッジ１４の上面には、照度センサ１５が固設され、その照度センサ１５は検出窓１１を介して、出射されてくる紫外線を受光してその紫外線の照度を検出するようになっている。詳述すると、キャリッジ１４をＸ方向に往復移動させることによって、Ｘ方向に沿って形成された検出窓１１を介して入射される直線状ビーム光ＬＢ（図６参照）のＸ方向の各位置における照度を検出することができるようになっている。
【００３０】
ステージＳＴは、本実施形態では、アルミニウム板で成形されている。そして、ステージＳＴの上面全体には、光吸収部材としての紫外線吸収膜１８が形成されている。紫外線吸収膜１８は、黒アルマイトであって、アルミニウム製のステージＳＴの上面を黒アルマイト処理することによって形成される。従って、ステージＳＴの上面全体は、黒アルマイトからなる紫外線吸収膜１８によって黒色になっている。その結果、ステージＳＴに紫外線が照射されたとき、該紫外線は、反射させることなく、黒アルマイトからなる紫外線吸収膜１８に吸収されるようになっている。
【００３１】
同様に、アライメントテーブルＴＢも、本実施形態では、アルミニウム板で成形されている。そして、アライメントテーブルＴＢの上面も、同様に、黒アルマイト処理されて黒アルマイトよりなる紫外線吸収膜１９が形成されている。そして、アライメントテーブルＴＢに紫外線が照射されたとき、紫外線吸収膜１９は該紫外線を反射させることなく吸収するようになっている。
【００３２】
機枠５に設けた左側上部フレーム５ｄと右側上部フレーム５ｅの間に、前後一対のガントリ２がそれぞれ架けわたされている。ガントリ本体２ａの左右両端部下面が、それぞれ左側上部フレーム５ｄと右側上部フレーム５ｅの上面に設けたガイドレール２１に配置されている。左側上部フレーム５ｄと右側上部フレーム５ｅに設けたガイドレール２１は、互いに平行であってＹ方向に沿って延びている、従って、Ｘ方向に延びる前後一対のガントリ２は、Ｙ方向にそれぞれ移動となる。
【００３３】
前後一対のガントリ本体２ａの左右両端部は、それぞれフレーム５ｄ，５ｅに対して回転可能の支持されたボールネジ（図示せず）と螺合し、ボールネジによって、ガントリ本体２ａはＹ方向（前後方向）に往復動可能に取着されている。そして、ボールネジを図示しないモータで回転制御することによって、前後一対のガントリ本体２ａは、それぞれガイドレール２１に沿って、すなわち、Ｙ方向（前後方向）に往復移動するようになっている。
【００３４】
ガントリ本体２ａの下面は、ステージＳＴの面に対して、Ｘ方向に沿って平行に対向配置される。そして、ガントリ本体２ａの下面には、取り付け部材２３を介して、紫外線照射ユニット３がガントリ本体２ａに沿って、すなわち、Ｘ方向に沿って設けられている。取り付け部材２３に設けられた紫外線照射ユニット３は、ガントリ本体２ａとともにＹ方向に往復移動する。紫外線照射ユニット３は、ステージＳＴに載置固定され液晶ディスプレイパネルＰに対して、Ｘ軸方向に一直線にのびる紫外線よりなる直線状ビーム光ＬＢを照射するようになっている。
【００３５】
取り付け部材２３（紫外線照射ユニット３）は、ガントリ本体２ａに対して、ボールネジ（図示しない）によってＸ方向（左右方向）に往復動可能に取着されている。そして、ボールネジを図示しないモータで回転制御することによって、紫外線照射ユニット３は、ガントリ本体２ａに対して、Ｘ方向（左右方向）に往復移動するようになっている。
【００３６】
従って、紫外線照射ユニット３は、ステージＳＴに載置固定された液晶ディスプレイパネルＰの上方位置をＹ方向に往復移動させることによって、紫外線照射ユニット３の幅方向の中心位置Ｐｕｏ（図４参照）を、所定の上方位置（基板Ｗ１，Ｗ２間に形成したＸ方向にのびる直線状のシール材Ｓと対峙する位置）に停止させることができるようになっている。
【００３７】
次に、紫外線照射ユニット３について図４〜図７に従って説明する。
図４及び図５に示すように、紫外線照射ユニット３は連結板３１を有し、その連結板３１は、取り付け部材２３のＸ方向に延びた筺体３０の下面に、Ｘ方向に沿って連結固定されている。連結板３１の下面には、複数個（本実施形態では８個）の紫外線発光ダイオードＬＥＤが列設されてなる複数個（本実施形態では４０個）の照射モジュール３２が、Ｘ方向に沿って一列に配列固定されている。
【００３８】
照射モジュール３２は、回路基板３３を有し、図５に示すように、その回路基板３３上に８個の光学素子としての紫外線発光ダイオードＬＥＤがＸ方向に沿って一列に実装されている。そして、回路基板３３が連結板３１の下面にボルト３４にて固着されるとき、実装された紫外線発光ダイオードＬＥＤが下側に位置すると共に、８個の紫外線発光ダイオードＬＥＤがＸ方向に沿って配列されるように固着する。しかも、隣同士の照射モジュール３２は、それぞれ回路基板３３に実装された８個の紫外線発光ダイオードＬＥＤが、等間隔にＸ方向に沿って一直線状に配列されるように位置決め固着されている。
【００３９】
従って、本実施形態では、３２０個の紫外線発光ダイオードＬＥＤが、等間隔にＸ方向に沿って一直線状に配置されることになる。
回路基板３３に一直線上に実装された各紫外線発光ダイオードＬＥＤの下側には、半球レンズ３５がそれぞれ配置され、各半球レンズ３５はそれぞれ対応する紫外線発光ダイオードＬＥＤが出射する紫外線ＵＶを入射する。そして、各半球レンズ３５は、その入射した紫外線ＵＶの拡散を抑制して下方にそれぞれ出射する。
【００４０】
各紫外線発光ダイオードＬＥＤに対応して配置した８個の半球レンズ３５の下側には、各半球レンズ３５全体を覆う棒状のシリンドリカルレンズ３６がＸ方向に沿って配置されている。シリンドリカルレンズ３６は、各半球レンズ３５から出射された拡散が抑制された紫外線ＵＶを入射する。シリンドリカルレンズ３６は、各半球レンズ３５から入射した紫外線ＵＶを、Ｙ方向に対しては収束させて楕円形状に集光させて出射するようになっている。
【００４１】
詳述すると、図６（ａ），（ｂ）に示すように、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶは、直下に配置された半球レンズ３５にて拡散が抑制されて出射される。そして、各半球レンズ３５から出射された紫外線ＵＶを、シリンドリカルレンズ３６にて、Ｙ方向のみ収束させて楕円形状に集光させる。これによって、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶの上基板Ｗ２上での照射領域ＴはＹ方向に長軸を有する長楕円形状になる。そして、各照射領域Ｔの長軸方向端部（重合領域）同士が重なり、光照射面ＳＦが直線状となる。つまり、各紫外線発光ダイオードＬＥＤから出射された紫外線ＵＶは、Ｙ方向（左右方向）に直線状に延びる線幅Ｄの紫外線（すなわち、直線状ビーム光ＬＢ）となって、上基板Ｗ２上に照射されることになる。
【００４２】
また、線幅Ｄで上基板Ｗ２に照射される直線状ビーム光ＬＢは、図７に示すように、上基板Ｗ２を透過してシール材Ｓに照射される際、上基板Ｗ２内で屈折するため、全てがシール材Ｓに照射されず、一部がシール材Ｓから外れる。シール材Ｓから外れた直線状ビーム光ＬＢは、下基板Ｗ１を透過してステージＳＴに照射される。ステージＳＴに照射されるシール材Ｓから外れた直線状ビーム光ＬＢは、ステージＳＴに上面に形成した紫外線吸収膜１８にて吸収される。
【００４３】
つまり、ステージＳＴに照射されたシール材Ｓから外れた直線状ビーム光ＬＢは、液晶ディスプレイパネルＰに向かって反射することない。その結果、シール材Ｓ以外の領域、例えば、シール材Ｓに囲まれた領域に封入された液晶や、シール材に囲まれた領域の下基板Ｗ１（又は上基板Ｗ２）に形成された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）に、直線状ビーム光ＬＢが照射される虞がない。
【００４４】
尚、テーブルＴＢも同様に紫外線吸収膜を形成しているため、シール材Ｓから外れてテーブルＴＢに入射される直線状ビーム光ＬＢも同様に反射されることなく吸収される。
図４に示すように、前記各半球レンズ３５及びシリンドリカルレンズ３６は、回路基板３３に下面にＸ方向に延出形成された保持部材４０にて保持されるようになっている。保持部材４０は、回路基板３３が連結板３１の下面にボルト３４にて固着される際に、あわせて同ボルト３４にて回路基板３３に対して固着されるようになっている。
【００４５】
保持部材４０の下面中央位置には、Ｘ方向に沿って形成され収容溝４１が凹設され、該収容溝４１にシリンドリカルレンズ３６が収容されるようになっている。
また、保持部材４０に凹設した収容溝４１の底面であって、各半球レンズ３５と対応する位置には、貫通穴４２が等間隔に貫通形成されている。貫通穴４２の直径は、半球レンズ３５の直径より若干短くなっていて、回路基板３３に実装された各紫外線発光ダイオードＬＥＤに配置された半球レンズ３５の一部が貫通穴４２に嵌入される。そして、保持部材４０が回路基板３３に固着されたとき、半球レンズ３５は、保持部材４０と回路基板３３に実装された紫外線発光ダイオードＬＥＤとの間で挟持固定されるようになっている。
【００４６】
保持部材４０の下面Ｙ方向両側に一対の脱落防止板４３が配置されている。一対の脱落防止板４３は、保持部材４０が回路基板３３の下面にボルト３４にて固着される際に、あわせて同ボルト３４にて保持部材４０に対して固着されるようになっている。
【００４７】
一対の脱落防止板４３は、所定の間隔をおいて相対向する位置に弾性係止爪４３ａが延出されていて、該弾性係止爪４３ａにて、収容溝４１に収容されたシリンドリカルレンズ３６を下側から弾圧係止して、シリンドリカルレンズ３６が収容溝４１から脱落しないようにしている。
【００４８】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、ステージＳＴの上面に紫外線吸収膜１８を形成した。そして、シール材Ｓから外れた直線状ビーム光ＬＢがステージＳＴに照射されても、直線状ビーム光ＬＢは紫外線吸収膜１８にて吸収されて、液晶ディスプレイパネルＰに向かって反射されないようにした。従って、シール材Ｓに囲まれた領域に封入された液晶や、シール材に囲まれた領域の下基板Ｗ１（又は上基板Ｗ２）に形成された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）に、直線状ビーム光ＬＢが照射される虞がない。その結果、液晶が変質したり、シール材に囲まれた領域の下基板Ｗ１（又は上基板Ｗ２）上に形成された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）のトランジスタ特性が変動されることはない。
【００４９】
（２）上記実施形態によれば、アルミニウム製のステージＳＴに黒アルマイト処理することで、紫外線吸収膜１８を形成した。従って、非常に簡単に、ステージＳＴ全面に、紫外線を吸収する紫外線吸収膜１８を作成することができる。
【００５０】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、黒アルマイトで紫外線吸収膜１８を形成したが、これに限定されるものではなく、紫外線を吸収する、例えば、黒色の塗料等を塗布して形成して実施してもよい。
【００５１】
・上記実施形態では、各紫外線発光ダイオードＬＥＤに対応して半球レンズ３５を配置し、その半球レンズ３５の下側に棒状のシリンドリカルレンズ３６を配置して、半球レンズ３５から出射された紫外線ＵＶを、シリンドリカルレンズ３６にて、Ｙ方向のみ収束させて直線状に延びる線幅Ｄの直線状ビーム光ＬＢを生成した。
【００５２】
これを、図８に示すように、各紫外線発光ダイオードＬＥＤと半球レンズ３５との間に第１マスクＭＳ１を配置して、該第１マスクＭＳ１によって紫外線発光ダイオードＬＥＤから半球レンズ３５に出射される紫外線ＵＶであってＹ方向に拡散する紫外線ＵＶが遮蔽されるようにして、直線状ビーム光ＬＢの線幅Ｄをシール材Ｓの線幅と一致させて、シール材Ｓから外れにくい直線状ビーム光ＬＢを生成する紫外線照射ユニット３に応用してもよい。
【００５３】
また、同様に、図８に示すように、各半球レンズ３５とシリンドリカルレンズ３６の間に第２マスクＭＳ２を配置して、該第２マスクＭＳ２によって半球レンズ３５からシリンドリカルレンズ３６に出射される紫外線ＵＶであってＹ方向に拡散する紫外線ＵＶを遮蔽するようにして、直線状ビーム光ＬＢの線幅Ｄをシール材Ｓの線幅と一致させて、シール材Ｓから外れにくくした直線状ビーム光ＬＢを生成する紫外線照射ユニット３に応用してもよい。
【００５４】
なお、図８に示す紫外線照射ユニット３は、第１マスクＭＳ１及び第２マスクＭＳ２を併設したものであるが、いずれか一方のみを設けた紫外線照射ユニット３に応用してもよいことは勿論である。
【００５５】
・上記実施形態では、光照射装置として紫外線照射装置１に具体化したが、紫外線を照射する紫外線発光ダイオードＬＥＤに替えて、可視光を出射する発光ダイオードを用いた光照射装置に応用してもよい。
【００５６】
・上記実施形態では、下基板Ｗ１と上基板Ｗ２を貼り合わせるための紫外線硬化樹脂よりなるシール材Ｓを硬化する紫外線照射装置１に具体化したが、それ以外の基板を処理するための光照射装置に応用してもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１…紫外線照射装置、２…ガントリ、２ａ…ガントリ本体、３…紫外線照射ユニット、１１…検出窓、１２…照度検出装置、１３…ガードレール、１４…キャリッジ、１５…照度センサ、１８，１９…紫外線吸収膜、２１…ガイドレール、２３…取り付け部材、３０…筐体、３１…連結板、３２…照射モジュール、３３…回路基板、３４…ボルト、３５…半球レンズ、３６…シリンドリカルレンズ、４０…保持部材、４１…収容溝、４２…貫通穴、４３…脱落防止板、４３ａ…弾性係止爪、Ｄ…線幅、Ｄｘ…横幅、ＬＢ…直線状ビーム光、ＬＥＤ…紫外線発光ダイオード、Ｌｏｘ…中心線、Ｐ…液晶ディスプレイパネル、Ｐｄ…配置間隔、Ｐｏ…中心位置（直線状ビーム光）、Ｐｕｏ…中心位置（紫外線照射ユニット）、Ｐｕｏｘ…基準中心位置、Ｐｗｏ…中心位置（検出窓）、Ｓ…シール材、ＳＦ…光照射面、ＳＴ…ステージ、ＴＢ…アライメントテーブル、ＵＶ…紫外線、Ｗ１…下基板、Ｗ２…上基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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