(57)【要約】【課題】インゴットを薄く研削する際に、研削代を非常に小さくできようにするとともに、研削途中にインゴットに欠けを生じさせることなく、一度に多数枚の切り出しを行えるようにしたインゴット研削装置を提供することを目的とする。【解決手段】シリコンインゴット８１から薄板状のシリコンウエハ８２を研削するインゴット研削装置１において、研削方向に沿って単一の硬度を有するように形成されたバンドソー２と、このバンドソー２を複数枚平行な状態で保持する保持体３と、この保持体３を用いて前記バンドソー２をシリコンインゴット８１に対して往復運動させる駆動機構４と、当該駆動機構４によってバンドソー２を移動させている際に、砥粒７１を含有させたスラリー７２をシリコンインゴット８１の研削部分に供給する供給機構６とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットから板状体を切り出すインゴット研削装置において、
長手方向に沿って単一の硬度を有するように形成されたバンドソーと、
前記インゴットの両側でバンドソーを保持する保持体と、
当該保持体を用いて前記バンドソーをインゴットに対して移動させる駆動機構と、
当該駆動機構によってバンドソーを移動させている際に、砥粒を含有させたスラリーをインゴットの研削部分に供給する供給機構とを備えたことを特徴とするインゴット研削装置。
【請求項２】
前記保持体が、複数枚のバンドソーを保持するものであり、前記駆動機構が、バンドソーを往復動させるものである請求項１に記載のインゴット研削装置。
【請求項３】
前記供給機構が、複数枚のバンドソーの上方から砥粒を含有させたスラリーを供給するものである請求項１に記載のインゴット研削装置。
【請求項４】
前記駆動機構が、ボビンに巻き付けられたバンドソーを繰り出す機構で構成されるものであり、前記保持体がバンドソーを周回させるように保持するローラーで構成されるものである請求項１に記載のインゴット研削装置。
【請求項５】
前記駆動機構が、ボビンに巻き付けられたバンドソーを繰り出す機構で構成されるものであり、前記保持体がバンドソーを周回させ、かつ、隣接するそれぞれのバンドソーを逆方向に移動させるローラーで構成されるものである請求項１に記載のインゴット研削装置。
【請求項６】
前記バンドソーが、アラミド繊維を前記長手方向に沿って複数本束ねて構成されたものである請求項１に記載のインゴット研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単結晶シリコンや多結晶シリコン、半導体化合物、セラミックスなどのインゴットから薄い板状体を切り出すことのできる研削装置に関するものであり、より詳しくは、研削代を少なくして効率的に薄い板状体を得ることのできる研削装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、単結晶のシリコンのインゴットを研削する場合、図９に示すようなワイヤーソーを用いた研削装置が用いられる。この図９について説明すると、図９において、９１はワイヤーソーであり、９２は、ワイヤーローラーである。このワイヤーソー９１は、図示しないボビンによって巻き付けられており、ワイヤーローラー９２上を複数回周回して他方のボビンに巻き取られる。このワイヤーソー９１は、直径０．１２ｍｍ〜０．１６ｍｍのピアノ線などによって構成されており、一般的には、特開平７−９６４５４号公報に示すように、ダイヤモンド砥粒などを表面に付着させてシリコンインゴット８１を薄く研削できるようにしている。また、このようなワイヤーソー９１を用いる方法において、ワイヤーソー９１にダイヤモンド砥粒を付着させることなく、砥粒を含有させたスラリーを研削部分に供給し、これによってシリコンインゴット８１を研削するような装置も提案されている（特開２００８−１０３６９０号公報）。
【０００３】
また、他の研削装置として図１０に示すような装置も用いられる。図１０において、９３はバンドソーであり、９４は、バンドローラーである。このバンドソー９３はバンドローラー９４に周回するように巻き付けられており、バンドローラー９４を高速回転させることによってシリコンインゴット８１を薄く研削できるようにしている。このようなバンドソー９３は、比較的扁平な帯状体によって構成されており、特開２００３−２０５４７１号に示すように、その縁部にダイヤモンド砥粒などを付着させてシリコンインゴット８１を薄く研削できるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−９６４５４号公報
【特許文献２】特開２００８−１０３６９０号公報
【特許文献３】特開２００３−２０５４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のような従来の研削装置では、次のような問題を生ずる。
【０００６】
すなわち、シリコンインゴットから多数枚のシリコンウエハを得るためには、ワイヤーソーや薄いバンドソーを用いて研削代を小さくしなければならない。しかるに、上述のように、ワイヤーソーやバンドソーの表面にダイヤモンド砥粒などを付着させた構造であると、ワイヤーソーやバンドソーの砥粒によって厚み幅が大きくなってしまい、研削代が大きくなってシリコンインゴットから多数枚のシリコンウエハを得ることができなくなる。具体的には、０．２０ｍｍのシリコンウエハを得るのに、研削代が０．２０ｍｍとなってしまい、シリコンインゴットに対して体積比で５０％の製品しか得ることができない場合がある。
【０００７】
また、ワイヤーソーやバンドソーにダイヤモンド砥粒を付着させる構造では、砥粒の大きさや形状にばらつきがあるため、大きな砥粒によってシリコンインゴットに急激な負荷がかかり、しかも、その砥粒がワイヤーソーに固着されているため、その砥粒で強引に引っ掻いてシリコンインゴットに欠けを生じさせてしまう問題があった。しかも、このとき、ワイヤーソーのように細い部材を用いていると急激な負荷や大きな張力に耐えることができず、ワイヤーソーが破断してしまう可能性がある。このため、従来では、作業者が定期的に砥粒の状態を確認し、砥粒が剥がれ落ちたり摩耗したりしている場合は、新しいワイヤーソーなどと交換しなければならないという問題があった。
【０００８】
さらに、マルチワイヤーソーは、特開２００６−１４８０６８号や特開２００８−２１３１１０号、特開２００８−１０３６９０号などに示すように、一対の円柱ローラーに一本のワイヤーを何回も周回させて一度に多数枚のシリコンウエハを切り出すようにしているが、バンドソー９３でシリコンインゴット８１を研削する場合においては、図１０に示すように、バンドローラー９４に一本のバンドソー９３しか巻き付けることができなかったため、一度に一枚のシリコンウエハしか切り出すことができなかった。
【０００９】
また、このようにワイヤーソーやバンドソーをシリコンインゴットに押圧して切断する場合、その摩擦によって一方向の力（すなわち、ソーの走行方向の力）がインゴットに掛かり、これに耐えられるように力強くシリコンインゴットを保持しておかなければならず、保持部分に欠けなどを生じさせてしまうという問題もあった。
【００１０】
加えて、マルチワイヤーソーのように複数本のソーを隣接させて設ける場合、それぞれのソーの間隔を一定の隙間に保つのが難しく、力強い張力で引っ張らなければならないという問題もあった。
【００１１】
そこで、本発明は、上記課題に着目してなされたもので、インゴットを薄く研削する際に、研削代を非常に小さくできようにすることを第一の目的とするとともに、研削途中にインゴットに欠けを生じさせることなく、一度に多数枚の切り出しを正確に行えるようにしたインゴット研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
すなわち、本発明は、インゴットから板状体を切り出すインゴット研削装置において、長手方向に沿って単一の硬度を有するように形成されたバンドソーと、前記インゴットの両側でバンドソーを保持する保持体と、当該保持体を用いて前記バンドソーをインゴットに対して移動させる駆動機構と、当該駆動機構によってバンドソーを移動させている際に、砥粒を含有させたスラリーをインゴットの研削部分に供給する供給機構とを備えるようにしたものである。
【００１３】
このように構成すれば、バンドソーの表面にダイヤモンド砥粒などを付着させていないため、バンドソーを薄くすることによって研削代を小さくすることができるようになる。しかも、帯状のバンドを用いているため、大きな張力や研削による摩耗に耐えることができ、すぐにバンドが破断してしまうようなことがなくなる。さらには、研削方向（長手方向）に沿って単一の硬度を有するようになっているため、従来のように、ワイヤーソーなどに付着した砥粒が引っ掛かってインゴットが欠けたり、大きな負荷がかかってワイヤーソーが破断したりするようなこともなくなる。なお、ここで「バンドソー」とは、断面の横幅よりも縦幅の方が長い帯状のもので、長手方向に移動させることによって縁部で研削対象物を研削できるようにしたものを意味する。
【００１４】
また、このような発明において、複数枚のバンドソーを保持体で保持し、当該保持体を移動させることによってインゴットを研削できるようにする。
【００１５】
このようにすれば、バンドソーを用いた場合であっても、ワイヤーソーを用いた場合のように一度に多数枚のインゴットウエハなどを切り出すことができるようになる。
【００１６】
さらに、このように複数枚のバンドソーを保持する場合、これらのバンドソーを往復動させることによってインゴットを研削する。
【００１７】
また、このとき、バンドソーの上方から砥粒を含有させたスラリーを供給させる。
【００１８】
このようにすれば、バンドソーの研削部分に砥粒に均一に流し込むことができ、各バンドソーで挟まれた中央部分のバンドソーに砥粒が供給されずに研削できなくなるといった不具合を防止することができるようになる。
【００１９】
また、別の発明として、バンドソーをボビンに巻き付け、このボビンからバンドソーを繰り出ことによってインゴットを研削するようにすることもできる。
【００２０】
さらに、保持体として、バンドソーを周回させるものを用い、かつ、隣接するそれぞれのバンドソーを逆方向に移動させるローラーを用いる。
【００２１】
このように構成すれば、それぞれのバンドソーが互いに逆方向に移動するため、インゴットを切断する際の摩擦力を分散させてインゴットの保持力を小さくすることができる。しかも、互いに隣接するバンドソーをオーバーラップさせた状態で隙間を短くすれば、バンドソーの表面に境界層となる空気層を形成することができ、この空気圧によってバンドソー間の隙間を一定に保つことができる。
【００２２】
また、バンドソーとして、アラミド繊維を前記長手方向に沿って複数本束ねたものを用いる。
【００２３】
このようなアラミド繊維を用いた場合も高い張力と摩擦にも耐えることができ、しかも、マルチフィラメントの間に砥粒を挟み込ませてその砥粒でインゴットを研削することができるようになる。また、アラミド繊維を複数本積層させるように束ねて構成するため、一本のアラミド繊維が切れてもその上層のアラミド繊維によってインゴットを切断することができるようになる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、インゴットから板状体を切り出すインゴット研削装置において、長手方向に沿って単一の硬度を有するように形成されたバンドソーと、前記インゴットの両側でバンドソーを保持する保持体と、当該保持体を用いて前記バンドソーをインゴットに対して移動させる駆動機構と、当該駆動機構によってバンドソーを移動させている際に、砥粒を含有させたスラリーをインゴットの研削部分に供給する供給機構とを備えるようにしたので、バンドソーを薄くすることができ、これによって、研削代を小さくすることができるようになる。しかも、帯状のバンドを用いているため、大きな張力や研削による摩耗に耐えることができ、すぐにバンドが破断してしまうようなことがなくなる。さらには、研削方向に沿って単一の硬度を有するようになっているため、従来のように、ワイヤーソーなどに付着した砥粒が引っ掛かってインゴットが欠けたり、大きな負荷がかかってワイヤーソーが破断したりするようなこともなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施の形態を示すインゴット研削装置の概略図
【図２】同形態における保持体およびバンドソーの概略図
【図３】他の実施の形態における保持体の概略図
【図４】同形態におけるバンドソーを傾斜させた状態を示す図
【図５】第二の実施の形態におけるボビンを用いたインゴット研削装置
【図６】第三の実施の形態におけるボビンを用いたインゴット研削装置
【図７】第三の実施の形態におけるインゴット研削装置のローラー
【図８】第四の実施の形態におけるボビンを用いたインゴット研削装置
【図９】従来技術におけるワイヤーソーを用いた切断装置
【図１０】従来技術におけるバンドソーを用いた研削装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の第一の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明の第一の実施の形態であるインゴット研削装置１の外観斜視図を示したものであり、図２は、シリコンインゴット８１を切断している状態を示した断面図である。
【００２７】
この実施の形態のインゴット研削装置１は、図１に示すように、一対の保持体３の間に薄板状の複数枚のバンドソー２を平行に並べ、これを駆動機構４を用いて往復運動させてシリコンインゴット８１を薄く研削できるようにしたものであって、バンドソー２の上方から供給機構６を介して砥粒７１を含有させたスラリー７２を供給し、この砥粒７１によってシリコンインゴット８１を研削できるようにしたものである。
【００２８】
このバンドソー２は、比較的強い張力に耐えることができる素材であって、しかも、高い摩擦熱によっても破断しにくい素材のものが用いられる。このバンドソー２は、低コストで製造できるように、単一の素材、もしくは、研削される短手方向に沿って単一の素材を多層に重ねた素材で構成され、しかも、研削部分であるバンドソー２の縁部２１を連続する直線状にして、長手方向に沿った硬度に連続性を持たせている。すなわち、従来のように、砥粒をワイヤーソーやバンドソーに付着させる構造では、その付着した砥粒によってシリコンインゴットを強く引っ掻いてしまい、シリコンインゴットに欠けを生じさせてしまう可能性がある。さらに、バンドソーに砥粒を付着させた構造では、バンドソーの幅が厚くなってしまい、研削代が大きくなって研削に無駄を生じてしまう。これに対して、今回のように表面に砥粒７１を付着させない構造では、バンドソー２のテンションを強くしたり、あるいは、シリコンインゴット８１への押圧力を強くした場合であっても、砥粒７１がバンドソー２とシリコンインゴット８１の隙間に逃がすことができるため、シリコンインゴット８１を強く引っ掻いてしまうことがなくなる。なお、ここでは、バンドソー２の縁部２１については、研削方向に沿って滑らかに連続状にしておけばよく、例えば、縁部２１を研削しやすい第一の素材で構成し、第一素材の上部（すなわち、バンドソー２の短手方向の上部）については、耐張力性を有する第二の素材を設けるようにしてもよい。この第一の素材としては、例えば、高硬度の素材を用い、第二の素材としては、第一の素材よりも低硬度を有する素材を用いることができる。この場合においても、第一の素材と第二の素材をバンドソー２の長手方向の全領域にわたって設けておく。このようなバンドソー２の例としては、ステンレス鋼などのように比較的硬い素材のものを用いるようにしてもよく、あるいは、マルチフィラメントで構成された細いアラミド繊維を平行に配置し、もしくは、この平行なアラミド繊維を樹脂で固めた素材などを用いる。特にアラミド繊維のようにマルチフィラメントで構成した場合は、繊維の隙間に砥粒７１を軽く挟み込ませることができ、これによってシリコンインゴット８１を研削することができるというメリットがある。また、上下方向に並べたアラミド繊維を樹脂で固化させた場合は、アラミド繊維が切断されてしまった場合であっても、樹脂でその繊維を固化させているので、樹脂が毛糸状に膨らむようなことがなくなり、切断代を小さくすることができる。さらには、樹脂で固化させた場合は、バンドソー２の厚み幅を樹脂で均一にさせることができるとともに、アラミド繊維の強度やフィラメントの間に挟み込まれる砥粒によって素早く研削することができるようになる。
【００２９】
このバンドソー２は、一対の保持体３によって両端部分が保持される。この保持体３は、複数枚のバンドソー２を同時に保持できるようにした溝部３１を有しており、この溝部３１にバンドソー２を挟み込んで、各バンドソー２を平行な状態に保持できるようにしている。ところで、この保持体３にバンドソー２を挟み込む場合、各バンドソー２の張力を均一にしておかなければならない。このため、保持体３でバンドソー２を保持する場合は、まず、保持体３を対向させ、この保持体３の溝部３１にテンションレスの状態でバンドソー２を挟み込む。そして、全てのバンドソー２を挟み込んだ後に、溝部３１のバンドソー２を溶着するなどして固定し、保持体３を左右に引っ張って全てに同じテンションを与えるようにする。
【００３０】
また、この保持体３については、図３に示す構造のものを用いることもできる。図３において、図１や図２と同じ符号を示したものは同じ構造を有しているものとする。図２に示すように、独立したバンドソー２を保持体３の溝部３１に挟み込むようにすると、各バンドソー２のテンションを均一に調節しなければならない。そこで、図３に示すように、一本の長いバンドソー２を用意し、このバンドソー２を各溝部３１に周回させるように巻き付けていき、これによってほぼすべての研削部分でテンションを一定に保てるようにすることもできる。ただし、この場合、溝部３１の周回部分が角張っているとそこでバンドソー２が固定されてしまい、テンションが不均一なものになってしまう可能性がある。このため、円弧状もしくは楕円状の周回部３２を設け、この周回部を周回させるようにバンドソー２を設ける。このようにすれば、周回部３２によってテンションのロスを防ぐことができ、ほぼ全ての研削部分のテンションを均一にさせることができる。この場合、バンドソー２として、固化されていないアラミド繊維などのような比較的柔らかい素材を用いた場合に有効となる。
【００３１】
そして、このようにバンドソー２を保持した保持体３をブラケット４２に取り付け、ブラケット４２とともに図示しないモーターなどの駆動機構４によって往復動する。この駆動機構４は、シリコンインゴット８１に対して非常に長いストロークで往復動させるようなものが用いられ、スライドレール４１上で保持体３を往復させる。このとき、各保持体３の間における研削空間には、シリコンインゴット８１や研削されたシリコンウエハ８２などが位置することとなるから、スライドレール４１やブラケット４２などを設けないようにし、スライドレール４１やブラケット４２などを保持体３の側方に設けるようにしておく。
【００３２】
シリコンインゴット８１の押圧機構５は、シリコンインゴット８１を保持した状態で研削空間のバンドソー２と平行にシリコンインゴット８１を押圧できるようにしたものであって、駆動機構４の往復動作に連動してシリコンインゴット８１をバンドソー２に押圧させる。すなわち、バンドソー２が往復動作の折り返し地点にきた場合に、シリコンインゴット８１の押圧動作を停止させ、バンドソー２が再び移動し始めたときに、一定の速度でシリコンインゴット８１をバンドソー２に押圧させる。この押圧と停止は、駆動機構４のモーターに連動して行うようにしてもよく、もしくは、保持体３などの移動位置をセンサーで検知して行うようにしてもよい。なお、この実施の形態では、シリコンインゴット８１を下から押し付けるようにしているが、バンドソー２を起立させて横からシリコンインゴット８１を押し付けてもよい。また、このとき、シリコンインゴット８１を押し付けるのではなく、バンドソー２側をシリコンインゴット８１に押し付けるようにしてもよい。
【００３３】
供給機構６は、シリコンインゴット８１の研削部分に対して砥粒７１を含有させたスラリー７２を供給するもので、各バンドソー２の平面に沿った上方からスラリー７２を供給する。この砥粒７１としては、シリコンインゴット８１を研削できる硬度を有するものであればどのようなものでも良く、好ましくは、バンドソー２の厚み幅よりも小さい粒子からなるダイヤモンド、炭化ケイ素、酸化セリウム、窒化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、二酸化ケイ素などを用いる。一方、この砥粒７１を含有するスラリー７２は、バンドソー２による研削時にシリコンインゴット８１との摩擦熱を吸収できるようにするとともに、砥粒７１をバンドソー２とシリコンインゴット８１の研削部分に滞留させられるようにしたものであり、例えば、親油基を多く含む溶媒、塩基性物質を含む溶媒などを用いる。この塩基性物質を含有させると、塩基性物質による化学的作用によって研削されたシリコン微粉を除去することができるようになる。この砥粒７１供給機構６で砥粒７１を供給する場合、回収機構を用いて砥粒７１を含有したスラリー７２を回収し、再利用することもできる。
【００３４】
次に、このように構成されたインゴット研削装置１によるシリコンインゴット８１の研削方法について説明する。
【００３５】
保持体３にバンドソー２を張り合わせた状態で往復運動させ、砥粒７１含有スラリー７２を供給しながらシリコンインゴット８１を押圧させると、バンドソー２とシリコンインゴット８１の間に砥粒７１が挟まり、この砥粒７１とバンドソー２の往復動作によってシリコンインゴット８１が研削されていく。このとき、薄くシリコンウエハ８２を形成するためにはバンドソー２の張力を高くしなければならないが、バンドソー２が帯状をなしているため比較的高い張力に耐えることができ、しかも、研削によって縁部２１が摩耗した場合であっても容易に破断するようなことがなくなる。そして、このように高い張力でシリコンインゴット８１を研削するとともに、シリコンインゴット８１をバンドソー２に押圧すると、バンドソー２とシリコンインゴット８１との間に砥粒７１が挟まり、この砥粒７１によってシリコンインゴット８１を研削していくことができる。このとき、シリコンインゴット８１の押圧力が強すぎると、従来であればバンドソーに付着した砥粒でインゴットを強く引っ掻いてしまうが、今回のように砥粒７１を付着させない構造であれば、一定以上の押圧力がかかると砥粒７１が待避するので、従来のように強引にシリコンインゴット８１を引っ掻いてしまうようなことがなくなる。
【００３６】
そして、このように砥粒７１含有スラリー７２を供給しながらバンドソー２を往復運動させ、一度に複数枚のシリコンウエハ８２（図２）を生成できるようにする。
【００３７】
このように、第一の実施の形態によれば、長手方向に沿って単一の硬度を有するように形成されたバンドソー２と、このバンドソー２を保持する保持体３と、保持体３を用いてバンドソー２をシリコンインゴット８１に対して移動させる駆動機構４と、この駆動機構４によってバンドソー２を移動させている際に、砥粒７１を含有させたスラリー７２をシリコンインゴット８１の研削部分に供給する供給機構６とを備えるようにしたので、バンドソー２を薄くして研削代を小さくすることができるようになる。しかも、扁平状のバンド構造を用いているため、大きな張力や研削による摩耗に耐えることができ、すぐにバンドソー２が破断するようなことがなくなる。さらには、研削方向に沿って単一の硬度を有するようになっているため、従来のように、ワイヤーソーなどに付着した砥粒が引っ掛かってシリコンインゴット８１が欠けたり、大きな負荷がかかってワイヤーソーが破断したりするようなことがなくなる。
【００３８】
また、複数枚のバンドソー２を一対の保持体３で保持し、その保持体３を移動させることによってシリコンインゴット８１を研削できるようにしたので、大きな張力に耐えることができ、また、複数枚のバンドソー２によってシリコンインゴット８１からシリコンウエハ８２をまとめて切り出すことができるようになる。
【００３９】
さらに、バンドソー２の平面に沿った上方から砥粒７１を含有させたスラリー７２を供給するようにしたので、砥粒７１を各バンドソー２の隙間に均一に流し込むことができ、中央部分のバンドソー２に砥粒７１が供給されずに研削できなくなるといった不具合を防止することができるようになる。
【００４０】
なお、第一の実施の形態では、シリコンインゴット８１とバンドソー２との角度を平行にしてシリコンインゴット８１を押圧するようにしたが、この方法では、往復運動作中に砥粒７１がバンドソー２とシリコンインゴット８１との間に挟まらなくなる可能性がある。このため、図４に示すように、シリコンインゴット８１とバンドソー２とを若干傾斜させて押圧し、シリコンインゴット８１とバンドソー２との隙間空間側から砥粒７１、もしくはその砥粒７１を含有させたスラリー７２を供給するようにしてもよい。
【００４１】
また、上記実施の形態では、保持体３に複数枚のバンドソー２を挟み込むようにして一度に数枚のシリコンウエハ８２を得られるようにしたが、一枚のバンドソー２でシリコンウエハ８２を一枚ずつ切り出すようにしてもよい。
【００４２】
次に、第二の実施の形態におけるインゴット研削装置について説明する。
【００４３】
第二の実施の形態におけるインゴット研削装置は、図５に示すように、バンドソー２をボビン４３に巻き付けるとともに、これをローラー３３を介して高速で繰り出し、インゴット８１を研削できるようにしたものである。この実施の形態では、バンドソー２をボビン４３に巻き付ける必要があるため、比較的可撓性を有するアラミド繊維などを用いるようにしている。そして、このバンドソー２を巻き付けたボビン４３からバンドソー２を繰り出し、ローラー３３を周回させて反対側のボビン４３側で巻き取っていく。なお、このとき、同時に複数枚のシリコンウエハ８２を切り出すために、段違いにバンドソー２やボビン４３、ローラー３３などを配置し、同様に、上から供給機構６を介して砥流７１を含有したスラリー７２を供給してインゴット８１を研削していく。
【００４４】
また、図５に示す構成では、上下方向にバンドソー２を並べる必要があるため、上下方向の高さが高くなってしまう。このため、第三の実施の形態である図６に示すように構成を採用することもできる。図６におけるインゴット研削装置は、ボビン４３からバンドソー２を繰り出し、インゴット８１の左右に設けられた複数対のローラー３３を交互に周回させて、回収用のボビン４３で巻き取るようにしたものであり、図７は、その左右方向に設けられるローラー３３の縦方向の側面図を示したものである。なお、図６や図７において前述の実施の形態と同じ符号を付したものは同じ構成を有しているものとし、押圧機構５や供給機構６の図示は省略しているものとする。供給機構６を設ける場合は、図６のブレードガイド３４とブレードガイド３４との間の上方に設けられる。
【００４５】
このローラー３３にバンドソー２を何回も周回させる場合、図７に示すように、そのローラー３３からバンドソー２を放射状に広げ、そのバンドソー２の隙間間隔を一定に広げる必要がある。このため、ローラー３３とインゴット８１との間にブレードガイド３４を設け、そのブレードガイド３４のスリット３５にバンドソー２を通して隙間幅を一定にする。そして、ローラー３３やブレードガイド３４を用いて交互にバンドソー２を周回させ、インゴット８１を薄く切り出していく。
【００４６】
また、ローラー３３を介してバンドソー２を周回させる場合、第四の実施の形態である図８に示すように、左右のローラー３３に一本のバンドソー２を周回させ、これを蛇行させるようにして隣接するバンドソー２の移動方向が逆方向になるようにするともできる。このとき、バンドソー２とバンドソー２との隙間を小さくすると（例えば、０．１ｍｍ程度）、バンドソー２間の隙間が変化して接触してしまう可能性があるが、それぞれ隣接する状態で交互に高速移動するバンドソー２の間に空気の流れや、もしくは、砥流を含有したスラリーの流れを形成することができるため、この流れによる圧力よってバンドソー２の隙間を一定に保つことができる。すなわち、大きな板状体の上に他の板状体を載置し、空気を送り込んで浮かせるときのように、バンドソー２とバンドソー２との間に流体の流れを作って隙間を形成することができるようになる。また、図８に示すようにバンドソー２を交互に周回させてインゴット８１を研削すると、インゴット８１を研削する際の摩擦力を左右に分散することができ、インゴット８１を強く保持していなくてもインゴット８１を切り出すことができるという効果を得ることもできる。
【００４７】
なお、上記実施の形態では、シリコンインゴット８１からシリコンウエハ８２を切り出す場合について説明したが、シリコンインゴット８１に限らず他の研削対象物に適用して、薄い板状体を切り出す場合に適用することもできる。
【符号の説明】
【００４８】
１・・・インゴット研削装置
２・・・バンドソー
２１・・・縁部
３・・・保持体
３１・・・溝部
３２・・・周回部
３３・・・ローラ
３４・・・ブレードガイド
４・・・駆動機構
４１・・・スライドレール
４２・・・ベース
５・・・押圧機構
６・・・供給機構
７１・・・砥粒
７２・・・スラリー
８１・・・インゴット
８２・・・ウエハ
９１・・・ワイヤーソー
９２・・・ワイヤーローラー
９３・・・バンドソー
９４・・・バンドローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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