(57)【要約】【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムに付着した機能液やその他の異物を効率的に除去することのできるシールゴムの洗浄方法等を提供する。【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を、付着した機能液が乾燥する前に機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程Ｓ１と、浸漬工程Ｓ１の後、シールゴム４を洗浄液で超音波洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２の後、シールゴム４をアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程Ｓ３と、アルコール洗浄工程Ｓ３の後、シールゴム４を自然乾燥させる乾燥工程Ｓ４と、乾燥工程Ｓ４の後、シールゴム４の外観を顕微鏡で検査する検査工程Ｓ５と、から成り、洗浄工程Ｓ２では、洗浄液を循環させ且つフィルタリングしながら超音波洗浄を行う。【選択図】図４
2010110713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムの洗浄方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドを分解して取り出した前記シールゴムを、付着した機能液が乾燥する前に前記機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程と、
前記浸漬工程の後、前記シールゴムを洗浄液で洗浄する洗浄工程と、を備えたことを特徴とするシールゴムの洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄液が、前記溶媒に界面活性剤を添加したものであることを特徴とする請求項１に記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項３】
前記洗浄工程は、前記洗浄液を貯留した第１洗浄液容器に、前記シールゴムを浸漬してすすぐ洗浄液すすぎ工程と、
前記洗浄液を貯留した第２洗浄液容器に前記シールゴムを浸漬して超音波洗浄する超音波洗浄工程と、から成ることを特徴とする請求項１または２に記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項４】
前記超音波洗浄工程は、前記第２洗浄液容器内の前記洗浄液を循環させ且つフィルタリングしながら行われることを特徴とする請求項３に記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項５】
前記フィルタリングは、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル径以上の大きさの異物を濾過することを特徴とする請求項４に記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項６】
前記洗浄工程の後、前記シールゴムをアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項７】
前記アルコール洗浄工程は、前記アルコールを貯留した第１アルコール容器に、前記シールゴムを浸漬してすすぐアルコールすすぎ工程と、
前記アルコールを貯留した第２アルコール容器に前記シールゴムを浸漬して超音波洗浄するアルコール超音波洗浄工程と、から成ることを特徴とする請求項６に記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項８】
前記アルコール洗浄工程の後、前記シールゴムを自然乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程の後、前記シールゴムの外観を顕微鏡で検査する検査工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項６および７に記載のシールゴムの洗浄方法。
【請求項９】
請求項４に記載のシールゴムの洗浄方法における超音波洗浄工程を実施する超音波洗浄装置であって、
前記洗浄液を貯留した洗浄液容器と、
前記洗浄液容器に接続され、超音波を作用させる超音波発信器と、
前記洗浄液容器に両端を連通し、前記洗浄液容器内の洗浄液を循環させる循環流路と、
前記循環流路に介設され、前記洗浄液容器内の前記洗浄液を循環させる循環手段と、
前記循環流路に介設され、循環する前記洗浄液を濾過する濾過手段と、から成ることを特徴とする超音波洗浄装置。
【請求項１０】
前記濾過手段は、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル径以上の大きさの異物を濾過可能なフィルタで構成されていることを特徴とする請求項９に記載の超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムの洗浄方法および超音波洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波洗浄機に洗浄液（１−ブロモプロパン）を入れ、これにシリコーンゴム製品を浸漬させ、１０分間超音波による処理を施すシリコーンゴム製品の洗浄方法が知られている。
この洗浄方法では、洗浄液がシリコーンゴム製品の内部に浸透することで、シリコーンゴム製品内部に残留する異物（低分子ジメチルポリシロキサン）が、洗浄液に溶出するようになっている。
【特許文献１】特開２００６−１２４４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、シリコーンゴム製品の使用により、その表面に塵埃等が付着した場合、これを除去するには、洗浄液に浸漬した後、ブラシ等を用いて付着物をかき取らなければならず、シリコーンゴム製品表面に傷が付き、そのシール性能を大きく低下させてしまうという問題があった。
【０００４】
本発明は、シールゴムを傷めることなく、付着した機能液やその他の異物を効率的に除去することのできるシールゴムの洗浄方法および超音波洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のシールゴムの洗浄方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムの洗浄方法であって、機能液滴吐出ヘッドを分解して取り出したシールゴムを、付着した機能液が乾燥する前に機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程と、浸漬工程の後、シールゴムを洗浄液で洗浄する洗浄工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、シールゴムを洗浄液で洗浄する前に、機能液の溶媒に浸漬させることで、機能液の成分が乾燥によりシールゴムにこびり付くことを防止することができる。つまり、その後の本格的な洗浄を行う洗浄工程の前の下処理（予備洗浄）を行うことができる。これにより、洗浄工程において汚れを効率良く洗い落とすことができる。
【０００７】
この場合、洗浄液が、溶媒に界面活性剤を添加したものであることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、洗浄液に含まれる界面活性剤により、シールゴムに付着した機能液を効率良く洗浄することができる。
【０００９】
また、この場合、洗浄工程は、洗浄液を貯留した第１洗浄液容器に、シールゴムを浸漬してすすぐ洗浄液すすぎ工程と、洗浄液を貯留した第２洗浄液容器にシールゴムを浸漬して超音波洗浄する超音波洗浄工程と、から成ることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、機能液の溶媒に浸漬した後に、洗浄液に浸漬することでシールゴムの表面に付着している機能液の固形成分等の異物をすすぐことができる。これにより、あらかた洗浄されたシールゴムに対して超音波洗浄を施すことができるため、より有効な洗浄を行うことができると共に、異物による第２洗浄液容器内の洗浄液の汚染を抑制することができる。
【００１１】
この場合、超音波洗浄工程は、第２洗浄液容器内の洗浄液を循環させ且つフィルタリングしながら行われることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、第２洗浄液容器内のシールゴムは、常に異物が取り除かれた汚染のない洗浄液に曝されるため、洗浄液の洗浄力の低下を抑制することができると共に、異物の再付着を防止することができる。
【００１３】
また、この場合、フィルタリングは、機能液滴吐出ヘッドのノズル径以上の大きさの異物を濾過することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、万が一、洗浄後のシールゴムに、洗浄し剥離したはずの異物が再付着した場合であっても、このシールゴムの再使用時にノズル詰りを生じさせることがない。
【００１５】
この場合、洗浄工程の後、シールゴムをアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程を、更に備えたことが好ましい。
【００１６】
また、この場合、アルコール洗浄工程は、アルコールを貯留した第１アルコール容器に、シールゴムを浸漬してすすぐアルコールすすぎ工程と、アルコールを貯留した第２アルコール容器にシールゴムを浸漬して超音波洗浄するアルコール超音波洗浄工程と、から成ることが好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、洗浄後のシールゴムの表面に付着した洗浄液をすすぐことができる。また、アルコールですすいだシールゴムに対して、アルコールによる超音波洗浄を行うことができるため、洗浄液による第２アルコール容器内のアルコールの汚染を抑制することができる。
【００１８】
さらに、この場合、アルコール洗浄工程の後、シールゴムを自然乾燥させる乾燥工程と、乾燥工程の後、シールゴムの外観を顕微鏡で検査する検査工程と、を更に備えることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、シールゴムが完璧に洗浄されたことを確認でき、洗浄後のシールゴムの再利用による機能液滴吐出ヘッドのノズル詰り等の不良を確実に防止することができる。
【００２０】
本発明の超音波洗浄装置は、上記したシールゴムの洗浄方法における超音波洗浄工程を実施する超音波洗浄装置であって、洗浄液を貯留した洗浄液容器と、洗浄液容器に接続され、超音波を作用させる超音波発信器と、洗浄液容器に両端を連通し、洗浄液容器内の洗浄液を循環させる循環流路と、循環流路に介設され、洗浄液容器内の洗浄液を循環させる循環手段と、循環流路に介設され、循環する洗浄液を濾過する濾過手段と、から成ることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、機能液の付着したシールゴムを機能液の溶媒に浸漬させる下処理（予備洗浄）および洗浄液によるすすぎを行った後、超音波洗浄装置を用いた洗浄液による洗浄を行うことで、機能液の成分が乾燥によりシールゴムにこびり付くことを防止することができると共に、効率良く汚れを洗い落とすことができる。また、超音波洗浄装置の洗浄液容器内の洗浄液を濾過手段により濾過しつつ循環させることにより、洗浄液容器内のシールゴムは、常に異物が取り除かれた汚染のない洗浄液に曝されるため、洗浄液の洗浄力の低下を抑制することができると共に、異物の再付着を防止することができる。なお、超音波洗浄装置は、洗浄液容器と超音波発信器とが分離しているセパレート型を用いてもよいし、洗浄液容器と超音波発信器とが一体となった一体型を用いてもよい。
【００２２】
この場合、濾過手段は、機能液滴吐出ヘッドのノズル径以上の大きさの異物を濾過可能なフィルタで構成されていることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、万が一、洗浄後のシールゴムに、洗浄し剥離したはずの異物が再付着した場合であっても、このシールゴムの再使用時にノズル詰りを生じさせることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係るシールゴムの洗浄方法について説明する。この洗浄方法は、機能液滴吐出ヘッドを分解して取り出したシールゴムを洗浄する。そこで、洗浄方法の説明に先立ち、機能液滴吐出ヘッドについて説明する。
【００２５】
図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１は、２本の接続針２１を有する機能液導入部２と、機能液導入部２の下側に連なり機能液滴を吐出させる吐出機能部３と、で構成されている。また、吐出機能部３は、機能液導入部２の下側に連なるヘッド基板３１と、ヘッド基板３１の下側に連なり２本のノズル列５１を有する吐出部本体３２と、で構成されている。
【００２６】
機能液導入部２は、機能液の導入口となる２本の接続針２１と、接続針２１の下側に連なる導入部本体２２と、で構成されている。導入部本体２２の接続針２１側の面には、一対の窪み部が形成されており、この部分に２つのフィルタ２３が組み込まれている。各接続針２１は、各フィルタ２３を内包して導入部本体２２に熱圧着されている。また、導入部本体２２の吐出機能部３側の面には、吐出機能部３に連通する２つの接続口２４が形成されている（図３参照）。一方、導入部本体２２の長辺方向の両端部には、一対の貫通孔２５が形成されており、機能液導入部２は、この貫通孔２５およびヘッド基板３１を貫通させて吐出部本体３２に螺合した２本のネジにより、吐出機能部３に固定されている。
【００２７】
各接続針２１の先端には、機能液を供給するための複数の導入孔２６が形成されており、配管接続部材（図示省略）を介して機能液を供給する機能液タンク（図示省略）に接続されている。各接続針２１から流入した機能液は、フィルタ２３で濾過され、接続口２４につながる流路を流れて、吐出機能部３に流下する。
【００２８】
ヘッド基板３１には、制御用回路配線が形成されており、ヘッド基板３１の機能液導入部２側の面には、制御ケーブルが接続される２つのコネクタ３３が設けられている。この制御ケーブルを介して、後述する圧電素子４１に電力を印加することにより、吐出部本体３２から機能液滴が吐出される。また、ヘッド基板３１には、導入部本体２２の各貫通孔２５と連通する位置に、一対の遊嵌孔３４が形成されている。
【００２９】
吐出部本体３２は、ヘッド基板３１の下側に連なる略方形のフランジ部３５と、フランジ部３５の下側に連なり各ノズル列５１に対応する２つのポンプ部３６と、ポンプ部３６の下側に接着され、複数の吐出ノズル５２を形成したノズルプレート３７と、で構成されている。
【００３０】
フランジ部３５には、ヘッド基板３１の各遊嵌孔３４に嵌合されるように突出した一対のネジ孔部３５ａが設けられている（図３参照）。各ネジ孔部３５ａには、導入部本体２２の貫通孔２５を通るネジと螺合するように、一対のネジ孔３５ｂが形成されている（図３参照）。
【００３１】
図２（ａ）に模式的に示すように、各ポンプ部３６は、吐出ノズル５２の数に対応する圧電素子４１と、圧電素子４１を収容した機構部４２と、接着フィルム４３を介してノズルプレート３７と共に機構部４２に接合されるシリコンキャビティ４４と、で構成されている。つまり、ノズルプレート３７は、シリコンキャビティ４４に接着されている。シリコンキャビティ４４は、接着フィルム４３を介して、機構部４２に接着され、圧力室４５を構成している。
【００３２】
また、図２（ｂ）に示すように、ポンプ部３６内には、吐出する機能液を溜める圧力室４５と、各圧力室４５に供給するための機能液を溜めると共に上記の接続口２４に連通する共通室４６と、各圧力室４５と共通室４６とをつなぐ供給路４７と、が形成されている。そして、各圧力室４５は、吐出ノズル５２（圧電素子４１）の数に対応しており、各吐出ノズル５２に連通している。
【００３３】
ポンプ部３６の機能液導入部２側の面には、フランジ部３５を貫通して、２つの流入口４８が形成されている（図３参照）。流入口４８と導入部本体２２の接続口２４とは、シールゴム４（図３参照）を介して連通しており、各流入口４８から流入した機能液は、各ポンプ部３６内の流路を満たす。これにより、各接続針２１から流入した機能液は、機能液滴吐出ヘッド１全体のヘッド内流路を満たす。
【００３４】
ノズルプレート３７は、ステンレス板等で形成されおり、そのノズル面には、２本のノズル列５１が相互に平行に列設されている。各ノズル列５１は、等ピッチで並べた１８０個（図１（ｂ）では模式的に表している）の吐出ノズル５２で構成されており、２本のノズル列５１は半ピッチずれた状態で配設されている。そして、各吐出ノズル５２のノズル口５３は、撥水層５４を形成した円形窪み部５５の奥に開口している。
【００３５】
ところで、機能液滴吐出ヘッド１は、液滴吐出装置等の装置に組み込む前に、吐出試験を個別に行い、吐出不良となった機能液滴吐出ヘッド１は、廃棄処分されてしまう。しかし、ポンプ部３６の流入口４８と導入部本体２２の接続口２４との接続をシールするシールゴム４は、特殊な機能液の使用にも耐えるように、耐溶剤性・耐熱性等に優れた特殊なフッ素ゴム（パーフロロゴム）から造られている。このフッ素ゴムは、非常に高価であるため、コストの面から機能液滴吐出ヘッド１からシールゴム４を取り出して再利用する必要性がある。また、フッ素ゴムからなるシールゴム４の表面は、粘り気があり、一度汚れが付着すると汚れを除去することが非常に困難であり、ブラシ等を用いて付着物をかき取ろうとすると、その表面に傷が付き、そのシール性能を大きく低下させてしまうという問題もあった。
そこで、機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を再利用すべく、本実施形態では、以下のような、洗浄方法を用いてシールゴム４の洗浄を実施している。
【００３６】
洗浄対象物であるシールゴム４は、上記したように、フッ素ゴム製であり、ポンプ部３６の２つの流入口４８に対応するように平面視「８の字」形状に形成されている。機能液の流入する２つのリングの部分に対し、連結部分は薄手に形成されており、この２つのリング部分が２つの流入口４８に嵌合し、上から導入部本体２２の接続口２４が押し付けられてシールされるようになっている。
【００３７】
以下、図４ないし図６を参照して、本実施形態に係るシールゴム４の洗浄方法および洗浄方法に用いる各種容器について詳細に説明する。この洗浄方法は、機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を、付着した機能液が乾燥する前に機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程Ｓ１と、浸漬工程Ｓ１の後、シールゴム４を洗浄液で洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２の後、シールゴム４をエタノールで洗浄するアルコール洗浄工程Ｓ３と、アルコール洗浄工程Ｓ３の後、シールゴム４を自然乾燥させる乾燥工程Ｓ４と、乾燥工程Ｓ４の後、シールゴム４の外観を顕微鏡で検査する検査工程Ｓ５と、に大別される。
【００３８】
浸漬工程Ｓ１では、溶媒容器６１が使用され、溶媒容器６１は、機能液の溶媒を貯留する。
洗浄工程Ｓ２では、第１洗浄液容器７１および第２洗浄液容器７３を有し、超音波洗浄を行う超音波洗浄装置７２が使用される。第１洗浄液容器７１および第２洗浄液容器７３には、溶媒に界面活性剤を添加した洗浄液が貯留されている。
アルコール洗浄工程Ｓ３では、第１アルコール容器８１および第２アルコール容器８３を有し、超音波洗浄を行うアルコール超音波洗浄装置８２が使用される。第１アルコール容器８１および第２アルコール容器８３には、すすぎ用アルコールであるエタノールが貯留されている。
【００３９】
浸漬工程Ｓ１に用いる溶媒容器６１は、ステンレス製の箱状に形成されており、機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を、付着した機能液が乾燥する前に浸漬するための機能液の溶媒を貯留している。シールゴム４を機能液の溶媒に浸漬させることで、機能液の成分が乾燥によりシールゴム４にこびり付くことを防止することができる。つまり、その後の本格的な洗浄を行う洗浄工程Ｓ２の前の下処理（予備洗浄）を行うことができる。これにより、洗浄工程Ｓ２において汚れを効率良く洗い落とすことができる。また、予備洗浄を行うことで、後の洗浄工程Ｓ２において用いる洗浄液の機能液による汚染を最小限に抑えることができ、洗浄液を頻繁に交換する必要がなく、シールゴム４の洗浄にかかるコストを削減することもできる。
【００４０】
浸漬工程Ｓ１では、先ず、機能液滴吐出ヘッド１を分解して、シールゴム４を取り出しておき、シールゴム４に付着した機能液が乾燥する前に溶媒容器６１に貯留した機能液の溶媒に浸漬する。浸漬する時間は、シールゴム４に付着した機能液の種類等により異なるが、本実施形態では、２４時間浸漬させている。
【００４１】
洗浄工程Ｓ２に用いる第１洗浄液容器７１は、ステンレス製の箱状に形成されており、溶媒容器６１において機能液の溶媒に浸漬した後に、シールゴム４を洗浄液に浸漬してすすぐための洗浄液を貯留している。洗浄液に浸漬することでシールゴム４の表面に付着している機能液の固形成分等の異物をすすぐことができる。これにより、あらかた洗浄されたシールゴム４に対して超音波洗浄を施すことができるため、より有効な洗浄を行うことができる。なお、本実施形態では、シールゴム４に付着した機能液を効率良く洗浄するために、機能液の溶媒に、重量比５％の界面活性剤を添加したものを洗浄液として用いているが、洗浄液はこれに限ったものではない。
【００４２】
図５に示すように、洗浄工程Ｓ２に用いる超音波洗浄装置７２は、洗浄液を貯留した第２洗浄液容器７３と、第２洗浄液容器７３に接続され、第２洗浄液容器７３内の洗浄液に浸漬したシールゴム４に超音波を作用させる超音波発信器７４と、第２洗浄液容器７３に両端を連通し、第２洗浄液容器７３内の洗浄液を循環させるための流路となる循環チューブ７５（循環流路）と、循環チューブ７５に介設され、第２洗浄液容器７３内の洗浄液を循環させる循環ポンプ７６（循環手段）と、循環ポンプ７６により循環する洗浄液を濾過する循環フィルタ７７（濾過手段）と、から構成されている。
【００４３】
第２洗浄液容器７３は、ステンレス製の箱状に形成されており、第１洗浄液容器７１の洗浄液に浸漬した後に、シールゴム４を洗浄液に浸漬して超音波洗浄を行うために洗浄液を貯留し、超音波洗浄を行う上での洗浄槽となっている。
【００４４】
超音波発信器７４は、汎用製品であり、専用ケーブルで第２洗浄液容器７３に接続され、第２洗浄液容器７３内の振動板（図示省略）を超音波振動させる。機能液の付着したシールゴム４は、機能液の溶媒に浸漬させる予備洗浄および洗浄液によるすすぎが行われているため、異物による第２洗浄液容器７３内の洗浄液の汚染を抑制することができる。なお、本実施形態では、洗浄槽である第２洗浄液容器７３と超音波を発生させる超音波発信器７４とが、分離しているセパレート型の超音波洗浄装置７２を用いているが、洗浄槽と超音波発信器７４とが、一体となった超音波洗浄装置７２を用いてもよい。
【００４５】
循環ポンプ７６は、第２洗浄液容器７３内の洗浄液が、循環チューブ７５を一方向に流れるようにする（図５においては時計回り）。また、循環チューブ７５の上流側に介設された循環フィルタ７７は、機能液滴吐出ヘッド１の吐出ノズル５２径以上の異物を濾過可能なメッシュ状のもので構成されている。これにより、第２洗浄液容器７３内のシールゴム４は、常に異物が取り除かれた汚染のない洗浄液に曝されるため、洗浄液の洗浄力の低下を抑制することができると共に、異物の再付着を防止することができる。また、万が一、洗浄後のシールゴム４に、洗浄し剥離したはずの異物が再付着した場合であっても、その異物は機能液滴吐出ヘッド１の吐出ノズル５２径以下の大きさである。このため、シールゴム４を機能液滴吐出ヘッド１に組み込み、使用し、その異物が脱落したとしても、その異物がノズル詰りを生じさせることがない。
また、第２洗浄液容器７３内の洗浄液は、第２洗浄液容器７３の一方の側面下部に、一端を接続した循環チューブ７５内を通って流出し、循環フィルタ７７を経由して、第２洗浄液容器７３の他方の側面上部に、他端を接続した循環チューブ７５内を通って、再び第２洗浄液容器７３内に貯留される。このため、第２洗浄液容器７３内底部に溜まった異物を、効果的に循環チューブ７５内に導いて循環フィルタ７７により濾すことができる。
なお、循環フィルタ７７の異物除去性能（濾過可能径）は任意であるし、循環フィルタ７７を循環ポンプ７６の下流側に介設してもかまわない。
【００４６】
洗浄工程Ｓ２は、洗浄液を貯留した第１洗浄液容器７１に、シールゴム４を浸漬してすすぐ洗浄液すすぎ工程Ｓ２１と、洗浄液すすぎ工程Ｓ２１を経た後に、洗浄液を貯留した第２洗浄液容器７３にシールゴム４を浸漬して超音波洗浄装置７２により超音波洗浄する超音波洗浄工程Ｓ２２と、から成る。
【００４７】
溶媒容器６１から取り出されたシールゴム４は、第１洗浄液容器７１に貯留した洗浄液に浸漬され、シールゴム４の表面に残留している機能液およびその溶媒がすすがれる（洗浄液すすぎ工程Ｓ２１）。数分のすすぎ時間が経過した後、超音波洗浄装置７２の第２洗浄液容器７３に貯留した洗浄液にシールゴム４を浸漬させ、超音波発信器７４および循環ポンプ７６を駆動して超音波洗浄を１０分間実施する（超音波洗浄工程Ｓ２２）。
【００４８】
図４に示すように、アルコール洗浄工程Ｓ３に用いる第１アルコール容器８１は、ステンレス製の箱状に形成されており、超音波洗浄装置７２において超音波洗浄を行った後のシールゴム４を、浸漬してすすぐためのエタノール（すすぎ用アルコール）を貯留している。エタノールに浸漬することで、洗浄液による洗浄後のシールゴム４の表面に付着している洗浄液、或いは再付着した異物をすすぐことができる。なお、本実施形態では、すすぎ用のアルコールとして、エタノールを使用しているが、その機能に相違がなければエタノール以外のアルコールを用いてもよい。
【００４９】
アルコール洗浄工程Ｓ３に用いるアルコール超音波洗浄装置８２は、ステンレス製の箱状に形成され、エタノールを貯留した洗浄槽となる第２アルコール容器８３と、第２アルコール容器８３に組み込まれ、第２アルコール容器８３内のシールゴム４に超音波を作用させる内蔵超音波発信器８４と、で構成されている。これにより、エタノールですすいだシールゴム４に対して、エタノールによる超音波洗浄を行うことができるため、洗浄液による第２アルコール容器８３内のエタノールの汚染を抑制することができる。また、万が一、洗浄後のシールゴム４に異物が再付着した場合でも、その異物を確実に除去することができる。なお、本実施形態では、洗浄槽と内蔵超音波発信器８４とが一体となったアルコール超音波洗浄装置８２を用いているが、超音波洗浄装置７２と同様のセパレート型を用いてもよい。また、アルコール超音波洗浄装置８２を別途設けず、超音波洗浄装置７２の第２洗浄液容器７３内の洗浄液とエタノールとを交換して用いてもかまわない。
【００５０】
アルコール洗浄工程Ｓ３は、エタノールを貯留した第１アルコール容器８１に、シールゴム４を浸漬してすすぐアルコールすすぎ工程Ｓ３１と、アルコールすすぎ工程Ｓ３１を経た後に、エタノールを貯留した第２アルコール容器８３にシールゴム４を浸漬して超音波洗浄するアルコール超音波洗浄工程Ｓ３２と、から成る。
【００５１】
第２洗浄液容器７３から取り出されたシールゴム４は、第１アルコール容器８１に貯留したエタノールに浸漬され、シールゴム４の表面に残留している洗浄液がすすがれる（アルコールすすぎ工程Ｓ３１）。数分のすすぎ時間が経過した後、アルコール超音波洗浄装置８２の第２アルコール容器８３に貯留したエタノールにシールゴム４を浸漬させ、内蔵超音波発信器８４を駆動して超音波洗浄を１０分間実施する（アルコール超音波洗浄工程Ｓ３２）。
【００５２】
そして、アルコール洗浄工程Ｓ３の後、シールゴム４の表面のエタノールが気化し完全に乾燥するように常温で一定時間（1２時間）放置する（乾燥工程Ｓ４）。自然乾燥させた後、シールゴム４の外観を顕微鏡で観察し、機能液の付着の有無や一連の洗浄作業において傷が付いていないかどうか等を検査する（検査工程Ｓ５）。これにより、シールゴム４が完璧に洗浄されたことを確認でき、洗浄後のシールゴム４の再利用による機能液滴吐出ヘッド１のノズル詰り等の不良を確実に防止することができる。
【００５３】
なお、シールゴム４の洗浄は、空気中の塵埃による影響を避けるため、クリーンブース等で行われることが好ましい。また、一度に洗浄できるシールゴム４の数は、各容器６１，７１，７３，８１，８３の大きさ、貯留する洗浄液等の量および超音波洗浄装置７２等（超音波発信器７４等）の性能に依存しており、単数でもよいし複数でもよい。また、各工程Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５は、単数または複数のシールゴム４を専用の治具にセットした状態で実施してもよいし、治具等を用いずシールゴム４のみを各容器６１，７１，７３，８１，８３に浸漬させて実施してもよい。
【００５４】
以上の構成によれば、シールゴム４を洗浄液で洗浄する前に、機能液の溶媒に浸漬させることで、機能液の成分が乾燥によりシールゴム４にこびり付くことを防止することができる。つまり、その後の本格的な洗浄を行う洗浄工程Ｓ２の前の下処理（予備洗浄）を行うことができる。これにより、洗浄工程Ｓ２において汚れを効率良く洗い落とすことができる。
また、超音波洗浄装置７２の第２洗浄液容器７３内の洗浄液を循環フィルタ７７により濾過しつつ循環させることにより、第２洗浄液容器７３内のシールゴム４は、常に異物が取り除かれた汚染のない（少ない）洗浄液に曝されるため、洗浄液の洗浄力の低下を抑制することができると共に、異物の再付着を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図２】機能液滴吐出ヘッドのポンプ部を模式的に表した拡大断面図（ａ）および拡大斜視図（ｂ）である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図４】本実施形態の洗浄方法の概略を示す模式図である。
【図５】本実施形態のシールゴムの洗浄方法で用いる超音波洗浄装置の模式図である。
【図６】シールゴムの洗浄方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
１：機能液滴吐出ヘッド、４：シールゴム、７１：第１洗浄液容器、７２：超音波洗浄装置、７３：第２洗浄液容器、７４：超音波発信器、７５：循環チューブ、７６：循環ポンプ、７７：循環フィルタ、８１：第１アルコール容器、８３：第２アルコール容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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