(57)【要約】【課題】単純な構成で凍結を判定することができる圧力検出センサを提供する。【解決手段】被測定ガスが導入される導入空間１１ａが穿設されたハウジング１１は、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部においてこの受圧面１２ａとの間に隙間を形成するようにハウジング内壁面を対向させた対向部１１ｂを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力検出センサにおいて、
被測定ガスが導入される導入空間が穿設されたハウジングと、
前記ハウジング内部に収容されており、前記導入空間に導入される被測定ガスを受圧面を介して受圧するダイヤフラムとを有し、
前記ハウジングは、前記ダイヤフラムの受圧面の外周縁部において当該受圧面との間に隙間を形成するようにハウジング内壁面を対向させた対向部を有することを特徴とする圧力検出センサ。
【請求項２】
前記対向部は、前記ダイヤフラムの外周縁部の全域に対応して設けられていることを特徴とする請求項１に記載された圧力検出センサ。
【請求項３】
前記対向部は、互いに対向する位置関係となるように、前記ダイヤフラムの外周縁部に対応して分散的に配置されていることを特徴とする請求項１に記載された圧力検出センサ。
【請求項４】
前記対向部は、前記平坦形状に形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載された圧力検出センサ。
【請求項５】
前記対向部は、凹状に窪んだ溝部を備えることを特徴とする請求項２または３に記載された圧力検出センサ。
【請求項６】
前記対向部は、Ｖ字状に窪んだ溝部を備えることを特徴とする請求項２または３に記載された圧力検出センサ。
【請求項７】
前記溝部は、互いに対向する位置関係となるように、前記ダイヤフラムの外周縁部に対応して分散的に形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載された圧力検出センサ。
【請求項８】
前記ダイヤフラムは、少なくとも前記受圧面の外周縁部よりも内側の中央領域に撥水処理が施されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載された圧力検出センサ。
【請求項９】
前記ダイヤフラムは、前記受圧面に撥水処理が施されているとともに、
前記対向部は、親水処理が施されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載された圧力検出センサ。
【請求項１０】
前記ダイヤフラムの受圧面と反対側の背面に取り付けられており、前記ダイヤフラムの変形に応じた電気信号を出力する検出手段と、
前記検出手段からの電気信号に応じて、前記被測定ガスの圧力を出力する処理手段とをさらに有し、
前記処理手段は、前記検出手段からの電気信号に基づいて、凍結の有無を判定することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載された圧力検出センサ。
【請求項１１】
前記処理手段は、前記ダイヤフラムの受圧面に凍結が生じていない場合の圧力値である基準圧力値よりも小さい圧力値が出力された場合に、凍結が生じていることを判定することを特徴とする請求項１０に記載された圧力検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定ガスの圧力を検出するための圧力検出センサが知られている。例えば、燃料電池システムの運転圧力を検出するための圧力検出センサは、高湿度な反応ガスを被測定ガスとする。そのために、低温環境下では、ガス中の水分が結露、凍結して、圧力検出センサの検出異常ひいては故障に繋がるという不都合がある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、圧力検出センサの加振手段を作動させ、圧力検出センサに圧力変動を強制的に発生させることで、凍結を判定する手法が開示されている。
【特許文献１】特開２００７−２９２５４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された手法によれば、凍結判定において加振手段を動作させる必要があるため、複雑な構成が必要となるという不都合がある。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、単純な構成で凍結を判定することができる圧力検出センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するために、本発明において、被測定ガスが導入される導入空間が穿設されたハウジングは、その内部に収容されたダイヤフラムの受圧面の外周縁部においてこの受圧面との間に隙間を形成するようにハウジング内壁面を対向させた対向部を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、対向部を設けたことにより、結露水の凍結時、ダイヤフラムの受圧面の外周縁部に外力が作用するので、ダイヤフラムを変形させる。この変形から凍結を判定することが可能となるので、単純な構成で凍結を判定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる圧力検出センサを模式的に示す構成図である。本実施形態にかかる圧力検出センサは、被測定ガスの圧力を検出するセンサである。圧力検出センサは、センサ本体１０と、処理部（処理手段）３０とを主体に構成されている。
【０００９】
センサ本体１０は、被検出ガスが流れるガス流路１の管壁に、取付用ハウジング２を介して取り付けられている。取付用ハウジング２には、本体の軸方向、ガス流路１への取付状態において鉛直方向に貫通する貫通部２ａが形成されており、圧力検出センサは、その一部を貫通部２ａに部分的に挿入させた状態で、取付用ハウジング２に取り付けられている。取付用ハウジング２の外壁面２ｂと、この外壁面２ｂと接合する圧力検出センサの台座部との間には、両者の隙間をシールするためのＯリング３が設けられている。
【００１０】
図２は、センサ本体１０の構成を模式的に示す説明図である。ここで、図２（ａ）は、センサ本体１０の内部構造を部分的に示す説明図であり、図２（ｂ）は、（ａ）に示すＡＡ断面を示す説明図である。センサ本体１０は、ハウジング１１と、ダイヤフラム１２と、検出素子（検出手段）１３とを主体に構成されており、概ね略円柱形状を有している。
【００１１】
ハウジング１１は、ダイヤフラム１２や検出素子１３等を内部に収容している。このハウジング１１において、取付用ハウジング２に挿入された挿入側、すなわち、センサ本体１０の下方側は略円筒形状を有しており、内部が中空形状に穿設されている。中空形状を有するハウジング内壁面によって導入空間１１ａが構成されている。この導入空間１１ａには、ガス流路１からの被測定ガスが導入される。
【００１２】
ダイヤフラム１２は、円盤状に成形された部材であり、一方の面がハウジング１１の導入空間１１ａに導入される被測定用ガスを受圧するための受圧面１２ａとして機能する。ダイヤフラム１２は、受圧面１２ａが導入空間１１ａに臨むようにハウジング１１内に収容されている。
【００１３】
ダイヤフラム１２の受圧面１２ａと反対側の背面１２ｂ側には、検出素子１３が取り付けられている。この検出素子１３は、受圧面１２ａと背面１２ｂとの圧力差によるダイヤフラム１２の変形に応じた電気信号を出力する。検出素子１３としては、ひずみゲージなどを用いることができる。また、ダイヤフラム１２と検出素子１３との取付方法としては、接着、蒸着、溶着などの手法を用いることができる。
【００１４】
処理部３０は、センサ本体１０、具体的には、検出素子１３から出力される電気信号を処理して、ゲージ圧力または絶対圧力をベースとする圧力値を生成する。また、処理部３０は、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａに凍結が生じているか否かを判定する凍結判定処理を行うことができる。この凍結判定処理の詳細については後述する。
【００１５】
ここで、本実施形態の特徴の一つであるセンサ本体１０に施された凍結判定のための構造について説明する。ダイヤフラム１２を内部に収容するハウジング１１は、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部において、この受圧面１２ａとの間に隙間を形成するように、ハウジング壁面（内壁面）を対向させた対向部１１ｂを有している。本実施形態では、ダイヤフラム１２の最外周に対応する縁部は、ハウジング１１によってダイヤフラム１２を保持するための領域となっているため、その内側に位置する縁部、すなわち、受圧面１２ａとして実質的に機能する領域の外周縁部に対応して、対向部１１ｂが設けられている。この対向部１１ｂにより、ダイヤフラム１２の外周縁部には、受圧面１２ａとの間に所定の空間を形成する隙間部１４が構成される。この隙間部１４は、後述するように、被測定ガスに含まれる水蒸気が受圧面１２ａにおいて結露した場合には、結露水によって満たされる程度の大きさになるように設定されている。
【００１６】
対向部１１ｂは、受圧面１２ａの外周縁部の全域に対応して連続的に設けられている。このため、隙間部１４も受圧面１２ａの外周縁部の全域に対応して連続的に存在しており、本実施形態では、リング形状を有している。また、対向部１１ｂは、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａと対向する面が平坦形状に形成されている。
【００１７】
なお、センサ本体１０において、ハウジング１１に形成される導入空間１１ａは、結露水によってそれ自体が閉塞されることがないように、その外径（すなわち、ハウジング内壁面の内径）が設定されている。例えば、導入空間１１ａの外径は、１０ｍｍよりも大きな値に設定されることが好ましい。
【００１８】
図３は、本実施形態にかかる圧力検出センサの凍結判定処理の手順を示すフローチャートである。このフローチャートに示す処理は、上位システム、例えば、燃料電池システムの制御用コントローラからの実行指示に応じて、圧力検出センサの処理部３０によって実行される。まず、ステップ１（Ｓ１）において、処理部３０は、検出素子１３から入力される信号を読み込み、圧力を取得する。
【００１９】
ステップ２（Ｓ２）において、処理部３０は、ステップ１において読み込まれた圧力と、大気圧とを比較する。具合的には、ステップ１において読み込まれた圧力から大気圧を減算することにより、判定圧力Ｐａを算出する。ここで、大気圧は、実験やシミュレーションを通じて代表的な値を用意しておくことで、この代表値を用いることもできるが、大気圧センサを別途設けることにより、大気圧センサから読み込んだ値を用いてもよい。なお、ステップ２における処理は、絶対圧力をベースとして圧力を検出する場合に必要な処理であり、ゲージ圧力をベースとして圧力を検出する場合、ステップ２では、検出されたゲージ圧力をそのまま判定圧力Ｐａとして用いることができる。
【００２０】
ステップ３（Ｓ３）において、処理部３０は、判定圧力Ｐａが圧力閾値Ｐth以下であるか否かを判断する。後述するように、圧力センサのダイヤフラム１２の受圧面１２ａに凍結が生じている場合には、ゲージ圧力としてマイナス側の圧力（負圧）を示す。圧力閾値Ｐthは、このような凍結時の特徴を考慮して、少なくともダイヤフラム１２が凍結していると判定することができる判定圧力Ｐａの最大値が、実験やシミュレーションを通じて予め設定されている。
【００２１】
ステップ３において肯定判定された場合、すなわち、判定圧力Ｐａが圧力閾値Ｐth以下である場合には、ステップ４（Ｓ４）に進む。一方、ステップ３において否定判定された場合、すなわち、判定圧力Ｐａが圧力閾値Ｐthよりも大きい場合には、ステップ５（Ｓ５）に進む。
【００２２】
ステップ４において、処理部３０は、ダイヤフラム１２の凍結状態を示す診断フラグＦdiagを「１」にセットして、本ルーチンを抜ける。一方、ステップ５において、処理部３０は、ダイヤフラム１２の凍結状態を示す診断フラグＦdiagを「０」にセットして本ルーチンを抜ける。
【００２３】
このような構成の圧力検出センサは、被測定ガスの圧力をモニタリングする種々のシステムに適用することができる。このようなシステムとしては、例えば、燃料電池システムが挙げられる。燃料電池システムは、燃料ガス（例えば、水素）と、酸化剤ガス（例えば、空気）とを電気化学的に反応させて発電を行う燃料電池スタックを主体に構成されている。燃料電池スタックに供給される反応ガス（燃料ガスまたは酸化剤ガス）は、燃料電池スタックの反応極における圧力が所望の値となるように、圧力状態がモニタリングされている。
【００２４】
そのため、燃料電池システムでは、反応ガスを供給する流路に圧力検出センサが設けられており、この圧力検出センサ（具体的には、処理部３０）は、燃料電池システムの制御用コントローラ（図示せず）と電気的に接続されている。制御用コントローラは、処理部３０から圧力値を読み込むと、この圧力値に基づいて、反応ガスの供給圧力などを制御する。また、制御用コントローラは、燃料電池システムの起動時に、圧力検出センサに対して、上述した凍結判定処理を実行させることにより、診断フラグＦdiagから圧力検出センサが凍結しているか否かを判断することができる。
【００２５】
以下、本実施形態の圧力検出センサおよび凍結判定処理に関する概念について説明する。例えば、燃料電池システムにおいて、システム停止に対応してガス供給を停止した場合、センサ本体１０の導入空間１１ａおよびダイヤフラム１２周辺には水蒸気が存在する。低温環境（例えば、０℃付近）で放置された場合には、導入空間１１ａの内部や、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａ周辺で結露水が発生する。この際、ダイヤフラム１２の周辺では均一に温度が低下することから、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａには、ほぼ均一な状態で結露水が発生する。ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部には、対向部１１ｂによって隙間部１４が形成されており、この隙間部１４は結露水によって満たされる。この状態が低温環境下で継続した場合には、発生した結露水は凍結する。
【００２６】
結露水は凍結する際に体積膨張するため、隙間部１４に存在する結露水により、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａには、その面と垂直な方向であって上向きベクトル（すなわち、受圧面１２ａ（鉛直上方）側へと向かうベクトル）の外力が作用する。ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部に外力が作用することにより、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの中央部には、面と垂直な方向であって下向きベクトル（すなわち、ガス流路１（鉛直下方）側へと向かうベクトル）の力が加わり、ダイヤフラム１２の中央部が下方に引っ張られる。なぜならば、ダイヤフラム１２の外周縁部以外の部位で凍結によりダイヤフラム１２が受ける力よりも、外周縁部に加わる外力の影響の方が大きくなることによって、ダイヤフラム１２の中央部は、被測定ガスの圧力を受圧する方向と逆方向への力を受けるからである。この変位を検出素子１３が検出することにより、処理部３０において負圧の信号が出力される。これにより、圧力検出センサ、特に、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａに凍結が生じているか否かを判定することができる。
【００２７】
このように本実施形態において、圧力検出センサは、被測定ガスが導入される導入空間１１ａが穿設されたハウジング１１と、ハウジング１１内部に収容されており、導入空間１１ａに導入される被測定ガスを受圧面１２ａを介して受圧するダイヤフラム１２とを有する。ここで、ハウジング１１は、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部においてこの受圧面１２ａとの間に隙間を形成するようにハウジング内壁面を対向させた対向部１１ｂを有する。
【００２８】
かかる構成によれば、対向部１１ｂによって、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部に接する液水が保持される。凍結時に水から氷に変化することによる体積膨張で、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部に外力が作用することにより、ダイヤフラム１２は被測定ガスの圧力状態とは無関係に変形する。これにより、ダイヤフラム１２の変形から凍結しているか否かを判定することが可能となる。そのため、加振手段などを用いることなく、単純な構成で凍結を判定することができる。
【００２９】
また、本実施形態において、圧力検出センサは、ダイヤフラム１２の背面１２ｂに取り付けられてダイヤフラム１２の変形に応じた電気信号を出力する検出素子１３と、検出素子１３からの電気信号に応じて被測定ガスの圧力を出力する処理部３０とをさらに有している。この処理部３０は、検出素子１３からの電気信号に基づいて、凍結の有無を判定する。
【００３０】
かかる構成によれば、処理部３０が検出素子１３の電気信号から、凍結に伴う上記のダイヤフラム１２の変形を判断することにより、凍結の有無を判定することができる。このように、センサ固有の機能のみで凍結を判定することができるので、単純な構成で凍結を判定することができる。
【００３１】
また、本実施形態において、処理部３０は、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａに凍結が生じていない場合の圧力値である基準圧力値（本実施形態では、大気圧）よりも小さい圧力値が出力された場合に、凍結が生じていることを判定する。
【００３２】
かかる構成によれば、凍結に伴う上記のダイヤフラム１２の変形を有効に検出することができる。
【００３３】
また、本実施形態では、ハウジング１１の導入空間１１ａの外径は、結露水が発生しても液膜が張らない程度の径が設定されている。そのため、結露水が凍結することで生じる氷によって導入空間１１ａを閉塞してしまうといった事態を抑制することができる。これにより、圧力検出センサが圧力を出力できないといった事態の発生を抑制することができる。
【００３４】
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の構成を模式的に示す説明図である。ここで、図４（ａ）は、第２の実施形態にかかるセンサ本体１０の内部構造を部分的に示す説明図であり、図４（ｂ）は、（ａ）に示すＢＢ断面を示す説明図である。第２の実施形態にかかる圧力検出センサが、第１の実施形態のそれと相違する点は、対向部１１ｂの形状である。なお、第１の実施形態と対応する構成については、符号を引用するとともに重複する説明は省略することとし、以下相違点を中心に説明を行う。
【００３５】
同図に示すように、本実施形態の対向部１１ｂは、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａと対向する面の形状が、凹状に窪んだ格好となっている。すなわち、第１の実施形態では、対向部１１ｂは、平坦形状に形成されているが、本実施形態では、受圧面１２ａから離間する方向に窪んだ溝部１１ｃを備えていることとなる。そして、対向部１１ｂが備える溝部１１ｃと、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａとの間に、結露水を満たすための隙間部１４が構成されることとなる。
【００３６】
ここで、対向部１１ｂが有する溝部１１ｃは、凹状の溝形状に限定されず、例えば、図５に示すように、Ｖ字状に窪んだ形状であってもよい。ここで、図５は、第２の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の変形例を示す図である。
【００３７】
このように本実施形態によれば、対向部１１ｂは、凹状またはＶ字状に窪んだ溝部１１ｃを備えている。
【００３８】
かかる構成によれば、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周で発生した結露水は、隙間部１４、すなわち、対向部１１ｂと受圧面１２ａとの間の空間および溝部１１ｃに保持される。この状態において圧力検出センサが低温環境下に長時間放置されると、溝部１１ｃ内に保持された結露水が凍結する。このとき、結露水は体積膨張を伴いながら氷へと変化するが、溝部１１ｃの存在により、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａと平行な方向への膨張が抑制され、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａと垂直な方向へと膨張する。これにより、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部に、凍結に伴う外力が作用し易くなる。これにより、ダイヤフラム１２の変形が大きくなるので、凍結の判定精度の向上を図ることができる。
【００３９】
（第３の実施形態）
図６は、第３の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の構成を模式的に示す説明図である。ここで、図６（ａ）は、第３の実施形態にかかるセンサ本体１０の内部構造を部分的に示す説明図であり、図６（ｂ）は、（ａ）に示すＣＣ断面を示す説明図である。第３の実施形態にかかる圧力検出センサが、第１の実施形態のそれと相違する点は、対向部１１ｂの形状である。なお、第１の実施形態と対応する構成については、符号を引用するとともに重複する説明は省略することとし、以下相違点を中心に説明を行う。
【００４０】
同図（ａ）に示すように、本実施形態の対向部１１ｂは、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａと対向する面の形状が、Ｖ字状に窪んだ溝部１１ｃを備えている。また、同図（ｂ）に示すように、本実施形態では、対向部１１ｂは、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの外周縁部の全域に対応して設けられているものの、溝部１１ｃは、互いに対向する位置関係となるように、ダイヤフラム１２の外周縁部に対応して分散的に形成されている。換言すれば、本実施形態にかかる溝部１１ｃは、複数個に区画されていることとなる。具体的には、本実施形態では、互いに対向する一対の溝部１１ｃが２セット、すなわち、合計４個の溝部１１ｃが径方向に等ピッチで形成されている。対向部１１ｂの溝部１１ｃおよび対向部１１ｂ自身と、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａとの間に、結露水を満たすための隙間部１４が構成されることとなる。
【００４１】
このように本実施形態において、対向部１１ｂは、Ｖ字状に窪んだ溝部１１ｃを備えており、この溝部１１ｃは、互いに対向する位置関係となるように、１２ダイヤフラムの外周縁部に対応して分散的に形成されている。
【００４２】
かかる構成によれば、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの法線方向が、重力方向から傾いた状態で設置された状態で感圧不良に陥る量の結露水が発生した場合であっても、ダイヤフラムの外周部に保持された結露水が重力によって移動することが規制される。すなわち、ダイヤフラム１２の外周縁部に対応する溝部１１ｃの各箇所に結露水が保持され、隙間部１４における液水保持量の位置的な偏りが抑制される。このため、結露水が凍結するようなケースでもダイヤフラム１２の外周縁部に均一に外力が作用することとなるので、ダイヤフラム１２が凍結にともない有効に変形する。よって、凍結の判定精度の向上を図ることができる。
【００４３】
なお、本実施形態において、対向部１１ｂが有する溝部１１ｃは、Ｖ状の溝形状に限定されず、例えば、第２の実施形態に示すように、凹状に窪んだ形状であってもよい。また、ダイヤフラム１２の中央部に下方に作用させるためには、溝部１１ｃは、少なくとも対向する位置に一対存在すれば足りる。
【００４４】
図７は、第３の実施形態の変形例を示す説明図である。上述した実施形態では、ダイヤフラム１２の外周縁部の全周に対応して設けられた対向部１１ｂに、溝部１１ｃを分散的に設けているが、本発明はこれに限定されない。例えば、溝部１１ｃを備える対向部１１ｂ自身を分散的に形成してもよい。この場合、複数の対向部１１ｂは互いに位置的に対向するような関係に設定されている。
【００４５】
かかる構成によれば、上述した実施形態と同様の作用・効果を奏することができる。
【００４６】
なお、本実施形態にかかる対向部１１ｂおよび溝部１１ｃは、ダイヤフラム１２の外周縁部に沿って円弧状に構成されているが、直線状に構成してもよい。
【００４７】
（第４の実施形態）
図８は、第４の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の構成を模式的に示す説明図である。第４の実施形態にかかる圧力検出センサが、第１の実施形態のそれと相違する点は、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの形態についてであるなお、第１の実施形態と対向する構成については、符号を引用するとともに重複する説明は省略することとし、以下相違点について説明する。
【００４８】
本実施形態において、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａには、少なくとも対向部１１ｂと対向する外周縁部よりも内側の領域を含む中央領域に撥水処理が施されている。
【００４９】
かかる形態によれば、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの中央領域における結露水の付着量を低減することができる。よって、受圧面１２ａの中央領域での凍結水量が抑制することができる。よって、ダイヤフラム１２の受圧面１２ａの中央領域で発生する凍結による外力は減少し、受圧面１２ａの外周縁部からの外力が作用するので、ダイヤフラム１２が凍結にともない有効に変形する。よって、凍結の判定精度の向上を図ることができる。
【００５０】
図９は、第４の実施形態にかかる圧力検出センサの変形例を示す説明図である。ダイヤフラム１２の受圧面１２ａには、撥水処理が施されている。また、対向部１１ｂは、親水処理が施されている。
【００５１】
かかる構成によれば、上述した実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施形態にかかる圧力検出センサについて説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、その発明の範囲内において種々の変形が可能である。本発明の圧力検出センサは、燃料電池システムに適用可能であるばかりでなく、凍結可能性がある用途に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１の実施形態にかかる圧力検出センサを模式的に示す構成図
【図２】センサ本体１０の構成を模式的に示す説明図
【図３】圧力検出センサの凍結判定処理の手順を示すフローチャート
【図４】第２の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の構成を模式的に示す説明図
【図５】第２の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の変形例を示す図
【図６】第３の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の構成を模式的に示す説明図
【図７】第３の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の変形例を示す図
【図８】第４の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の構成を模式的に示す説明図
【図９】第４の実施形態にかかる圧力検出センサのセンサ本体１０の変形例を示す図
【符号の説明】
【００５４】
１…ガス流路
２…取付用ハウジング
３…Ｏリング
１０…センサ本体
１１…ハウジング
１１ａ…導入空間
１１ｂ…対向部
１１ｃ…溝部
１２…ダイヤフラム
１２ａ…受圧面
１２ｂ…背面
１３…検出素子
１４…隙間部
３０…処理部
【図１】
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【図２】
2010071680.tif 000004
【図３】
2010071680.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010071680.tif 000007
【図６】
2010071680.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
2010071680.tif 000011