(57)【要約】【課題】ノズル面と平行度調整板との間の距離を非接触で測定し、ノズル面と平行度調整板との角度の調整が容易に行えるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】符号１は、基板ステージ１２上に配置された基板１６の所望位置に吐出液を着弾させるインクジェット塗布装置である。インクジェットヘッド３０は、第一〜第三の距離センサー３３1〜３３3と平行度調整装置２５とを有しており、第一〜第三の距離センサー３３1〜３３3により、ノズル面と基板ステージ１２上に配置されたノズル面調整板２０との距離を測定する。測定結果に基づき、平行度調整装置２５が有するノズル面調整機構４０によってノズル面調整板２０に対するノズル面の角度を調整し、角度を維持したまま、インクジェットヘッド３０を基板１６上の所望位置に移動し、基板１６上に塗布液を塗布することが可能となる。【選択図】図１
2010110700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が配置される基板ステージと、
前記基板ステージと相対移動可能に構成されたインクジェットヘッドとを有し、
前記インクジェットヘッドのノズル面に設けられたノズル孔から前記基板に対して吐出液が吐出されるように構成された吐出装置であって、
前記基板ステージには、ノズル面調整板が配置され、
前記インクジェットヘッドには、前記ノズル面に対して位置が固定され、検出信号を射出可能な第一〜第三のセンサと、
前記第一〜第三のセンサに測定された測定装置と、
前記ノズル面の前記ノズル面調整板に対する角度を変化させるノズル面調整機構とを有し、
前記第一〜第三のセンサから前記ノズル面調整板に前記検出信号が射出された結果、生成された測定信号を測定し、前記測定装置が前記ノズル面上の三点と前記ノズル面調整板との間の距離を求め、
測定結果から、前記ノズル面調整機構によって前記ノズル面と前記ノズル面調整板とを平行にできるインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記インクジェットヘッドは、前記インクジェットヘッドを上下移動させる上下移動装置を有し、
前記測定装置は前記ノズル面と前記ノズル面調整板との間の距離を測定し、測定結果から、前記上下移動装置によって、前記ノズル面と前記ノズル面調整板との間を所定の距離にする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記第一〜第三のセンサ内には、それぞれコイルが設けられ、
前記ノズル面調整板には金属板が用いられ、
前記第一〜第三のコイルに交流電圧を印加し、形成された磁力線を前記検出信号とし、前記第一〜第三のコイルに流れる交流電流を前記測定信号とする請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記第一〜第三のセンサ内には、それぞれ第一〜第三の超音波射出装置と第一〜第三の超音波検出装置が設けられ、
前記ノズル面調整板には超音波反射板が用いられ、
前記超音波射出装置から射出された射出超音波を前記検出信号とし、前記ノズル面調整板で反射され、前記第一〜第三の超音波検出装置で検出する反射超音波を前記測定信号とする請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のインクジェット塗布装置。
【請求項５】
前記第一〜第三のセンサ内には、それぞれ第一〜第三の発光装置と第一〜第三の受光装置が設けられ、
前記ノズル面調整板には鏡板が用いられ、
前記発光装置から射出された射出光を前記検出信号とし、前記ノズル面調整板で反射され、前記第一〜第三の受光装置で検出する反射光を前記測定信号とする請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のインクジェット塗布装置。
【請求項６】
基板が配置される基板ステージと、
前記基板ステージと相対移動可能に構成されたインクジェットヘッドとを有し、
前記インクジェットヘッドのノズル面に設けられたノズル孔から前記基板に対して吐出液が吐出されるように構成された吐出装置であって、
前記インクジェットヘッドのノズルは、金属から成るノズル面調整板に形成され、
前記基板ステージには、前記基板ステージ表面に対して位置が固定され、検出信号を射出可能な第一〜第三のコイルと、
前記第一〜第三のコイルに測定された測定装置と、
前記金属板表面の前記基板ステージ表面に対する角度を変化させるノズル面調整機構とを有し、
前記第一〜第三のコイルから前記ノズル面調整板に磁力線が検出信号として射出され、前記第一〜第三のコイルに流れる交流電流が測定信号として測定され、前記測定装置が前記ノズル面調整板上の三点と前記基板ステージとの間の距離を算出し、
算出された距離から、前記ノズル面調整機構によって前記ノズル面調整板表面と前記基板ステージ表面とを平行にされるインクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドが有するノズル面と調整板を非接触で測定し、その情報から予め決められた間隔を調整し、維持する、ノズル面調整手段に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５の符号１００は、従来のインクジェット塗布装置である。従来のノズルプレート１３６と基板１１６との距離測定手段には、例えば、下記文献に、その方法が示されている。
【０００３】
印刷ヘッド１２６は、ヘッド本体１３５とノズルプレート１３６を有している。印刷ヘッド１２６は、支持部１０５に装着システムアクチュエータ１０７を介して接続している。基板１１６からノズルプレート１３６までの高さを測定する距離センサ１３３1、１３３2も支持部１０５に接続されている。この支持部１０５は主アクチュエータ１０６を介して、印刷ブリッジ１１８に接続されている。
距離センサ１３３1、１３３2によって測定されたノズルプレート１３６と基板１１６との距離の調節は、装着システムアクチュエータ１０７により行われる。
【０００４】
下記文献の発明によると、ノズルプレート１３６は、ノズルプレート１３６の高さ方向のみしか調整できない為、ノズルプレート１３６が奥行方向へ傾いていた場合は修正することが出来ない。
【特許文献１】特開２００７−１４４３９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ノズルプレート１３６には、吐出孔１３９が複数設けられており、ノズルプレート１３６から吐出される液滴は、ノズルプレート１３６と基板１１６との傾きの度合いによりその着弾位置精度に大きく関わっている。ここでは、ノズルプレート１３６の厚みは、一定である。
【０００６】
図６（ａ）のように、ノズルプレート１３６と基板１１６が平行であり、印刷ヘッド１２６が持つ吐出角度のばらつきをθ1、ノズルプレート１３６と基板１１６までの距離をＬ1とし、図６（ｂ）のように、ノズルプレート１３６が基板１１６とθ2の角度で傾いた場合、ノズルプレート１３６の中心と基板１１６までの距離をＬ1、着弾位置のずれをＬ3とすると、Ｌ3は下記の数式（１）に従う。
【０００７】
Ｌ3＝Ｌ1×tan(θ1＋θ2)……数式（１）
このとき、印刷ヘッド１２６の中心軸１０８ｂからの距離がＬ4の位置にある吐出孔１３９からの着弾位置のずれＬ5は下記の数式（２）に従う。
【０００８】
Ｌ5＝｛Ｌ1＋（Ｌ4×sinθ2）｝×tan(θ1＋θ2)……数式（２）
例えば、θ1＝１[°]、Ｌ1＝０．５[ｍｍ]、θ2＝０．５[°]、とした場合、上記数式（１）より、Ｌ3＝０．０１３[ｍｍ]の着弾位置のずれが発生する。
また、中心軸１０８ｂからＬ4＝２０[ｍｍ]離れた位置から吐出される液滴の着弾位置のずれは、上記数式（２）式より、Ｌ5＝０．０１７６[ｍｍ]となる。
【０００９】
以上の例では、横方向のみの傾きを考慮したが、奥行方向に傾く場合もあり、基板１１６とノズルプレート１３６との平行度が不十分だと、塗布位置精度は悪くなる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、基板が配置される基板ステージと、前記基板ステージと相対移動可能に構成されたインクジェットヘッドとを有し、前記インクジェットヘッドのノズル面に設けられたノズル孔から前記基板に対して吐出液が吐出されるように構成された吐出装置であって、前記基板ステージには、ノズル面調整板が配置され、前記インクジェットヘッドには、前記ノズル面に対して位置が固定され、検出信号を射出可能な第一〜第三のセンサと、前記第一〜第三のセンサに測定された測定装置と、前記ノズル面の前記ノズル面調整板に対する角度を変化させるノズル面調整機構とを有し、前記第一〜第三のセンサから前記ノズル面調整板に前記検出信号が射出された結果、生成された測定信号を測定し、前記測定装置が前記ノズル面上の三点と前記ノズル面調整板との間の距離を求め、測定結果から、前記ノズル面調整機構によって前記ノズル面と前記ノズル面調整板とを平行にできるインクジェット塗布装置である。
本発明は、前記インクジェットヘッドは、前記インクジェットヘッドを上下移動させる上下移動装置を有し、前記測定装置は前記ノズル面と前記ノズル面調整板との間の距離を測定し、測定結果から、前記上下移動装置によって、前記ノズル面と前記ノズル面調整板との間を所定の距離にするインクジェット塗布装置である。
本発明は、前記第一〜第三のセンサ内には、それぞれコイルが設けられ、前記ノズル面調整板には金属板が用いられ、前記第一〜第三のコイルに交流電圧を印加し、形成された磁力線を前記検出信号とし、前記第一〜第三のコイルに流れる交流電流を前記測定信号とするインクジェット塗布装置である。
本発明は、前記第一〜第三のセンサ内には、それぞれ第一〜第三の超音波射出装置と第一〜第三の超音波検出装置が設けられ、前記ノズル面調整板には超音波反射板が用いられ、前記超音波射出装置から射出された射出超音波を前記検出信号とし、前記ノズル面調整板で反射され、前記第一〜第三の超音波検出装置で検出する反射超音波を前記測定信号とするインクジェット塗布装置である。
本発明は、前記第一〜第三のセンサ内には、それぞれ第一〜第三の発光装置と第一〜第三の受光装置が設けられ、前記ノズル面調整板には鏡板が用いられ、前記発光装置から射出された射出光を前記検出信号とし、前記ノズル面調整板で反射され、前記第一〜第三の受光装置で検出する反射光を前記測定信号とするインクジェット塗布装置である。
本発明は、基板が配置される基板ステージと、前記基板ステージと相対移動可能に構成されたインクジェットヘッドとを有し、前記インクジェットヘッドのノズル面に設けられたノズル孔から前記基板に対して吐出液が吐出されるように構成された吐出装置であって、前記インクジェットヘッドのノズルは、金属から成るノズル面調整板に形成され、前記基板ステージには、前記基板ステージ表面に対して位置が固定され、検出信号を射出可能な第一〜第三のコイルと、前記第一〜第三のコイルに測定された測定装置と、前記金属板表面の前記基板ステージ表面に対する角度を変化させるノズル面調整機構とを有し、前記第一〜第三のコイルから前記ノズル面調整板に磁力線が検出信号として射出され、前記第一〜第三のコイルに流れる交流電流が測定信号として測定され、前記測定装置が前記ノズル面調整板上の三点と前記基板ステージとの間の距離を算出し、算出された距離から、前記ノズル面調整機構によって前記ノズル面調整板表面と前記基板ステージ表面とを平行にされるインクジェット塗布装置である。
【発明の効果】
【００１１】
インクジェットヘッドが有する三つ以上の距離センサにより、調整板とノズル面との距離を測定し、ノズル面調整機構により、調整板とノズル面の角度を調整することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１の符号１は、本発明のインクジェット塗布装置の一例である。
このインクジェット塗布装置１は、台座１０と、基板ステージ１２と、ガントリ１３と、インクジェットヘッド３０とを有している。台座１０は板状であり、水平に配置され、台座１０の表面上に、二本の細長いレール１１ａ、１１ｂが平行に配置されている。
【００１３】
二本のレール１１ａ、１１ｂには、それぞれに主基板ステージ移動機構（不図示）が設けられ、板状の基板ステージ１２の裏面には、副移動機構（不図示）が設けられている。
【００１４】
主基板ステージ移動機構と副基板ステージ移動機構は契合され、副基板ステージ移動機構は、主基板ステージ移動機構に沿って移動できるように構成されている。
基板ステージ１２は、レール１１ａ、１１ｂの上に配置され、主基板ステージ移動機構により、レール１１ａ、１１ｂ上の一つの平面内を移動できるように構成されている。
【００１５】
ガントリ１３は、支柱１８ａ、１８ｂと、印刷ブリッジ１８ｃを有している。支柱１８ａ、１８ｂは、レール１１ａ、１１ｂの外側の台座１０の表面上に立設されている。
印刷ブリッジ１８ｃは、基板ステージ１２が移動する範囲の高さより上の位置に配置され、立設された支柱１８ａ、１８ｂによって固定されている。
【００１６】
基板ステージ１２は、台座１０と印刷ブリッジ１８ｃの間の位置を通過するように構成されている。
印刷ブリッジ１８ｃには、その長手方向に沿って細長いヘッド移動装置１５が配置されており、インクジェットヘッド３０は、ヘッド移動装置１５に取り付けられている。
【００１７】
インクジェットヘッド３０はヘッド移動装置１５により、印刷ブリッジ１８ｃの長手方向に沿って往復移動できるように構成されている。
インクジェット塗布装置１の外部には塗布液貯蔵タンク１９が配置されており、この塗布液貯蔵タンク１９とインクジェットヘッド３０は接続され、塗布液貯蔵タンク１９からインクジェットヘッド３０に塗布液が供給される。
【００１８】
インクジェットヘッド３０の底面には、ノズルプレート３６が設けられている。後述するように、ノズルプレート３６には複数の吐出孔３９が形成されており、塗布液貯蔵タンク１９からインクジェットヘッド３０に供給された塗布液は、制御装置（不図示）によって選択された吐出孔から吐出可能に構成されている。
【００１９】
後述するノズル面調整方法により、ノズルプレート３６と基板ステージ１２を平行に、且つ、設定された距離だけ離間するように調整し、基板ステージ１２上に基板を配置し、主基板ステージ移動機構とヘッド移動装置１５を動作させると、図２のように、インクジェットヘッド３０を基板上の所望位置に移動させ、吐出孔３９から基板１６の所望位置に塗布液を着弾させることができる。
【００２０】
また、ノズルプレート３６と基板ステージ１２表面が平行にされた状態では、インクジェットヘッド３０は、ヘッド移動装置１５により、平行な状態を維持したまま移動され、基板１６表面に塗布液を吐出することが出来る。
【００２１】
＜インクジェットヘッドの構成＞ 
図３（ａ）は、インクジェットヘッド３０の平面図、図３（ｂ）は、インクジェットヘッド３０の側面図、図３（ｃ）は、インクジェットヘッド３０の斜視図である。
インクジェットヘッド３０は、平行度調整装置２５とヘッド本体２６とを有している。
【００２２】
平行度調整装置２５は、ヘッド固定板３２と軸受保持部材３４とノズル面調整機構４０を有しており、ヘッド固定板３２は、ヘッド移動装置１５に支持されている。ヘッド本体２６と軸受保持部材３４は、ノズル面調整機構４０を介して連結している。
【００２３】
ヘッド本体２６は、タンク部３５とタンク部３５の底面に固定されたノズルプレート３６から構成されている。上述の複数のノズル孔はノズルプレート３６に形成されている。符号３９は、ノズル孔を示している。
【００２４】
軸受保持部材３４には、ノズル面調整機構４０が内蔵されており、ここでは、例えば、球面軸受３７（ヒーハイスト社：ＳＲＪシリーズ）とヘッド本体固定部３８から構成されている。球面軸受３７の形状は球体である。
基板ステージ１２と平行な平面をｘｙ平面とし、ｘｙ平面と垂直な方向をｚ方向とする。
【００２５】
ノズル面調整機構４０は不図示の駆動系と制御装置を有している。駆動系とヘッド本体固定部３８には制御装置が接続されており、制御装置の信号により、球面軸受３７は、ヘッド本体固定部３８を、ｘｚ平面内及びｙｚ平面内で、球面軸受３７の中心点を中心に回転移動させることができる。
【００２６】
球面軸受３７とヘッド本体２６は、ヘッド本体固定部３８を介して連結されており、球面軸受３７を動かすと、ノズルプレート３６をｘｚ平面内及びｙｚ平面内で回転移動できるように構成されている。
また、ヘッド本体固定部３８に制御装置から信号を送ると、ノズルプレート３６が傾いた状態を維持し固定することができるように構成されている。
【００２７】
ヘッド固定板３２には、上下移動装置２９が設けられており、ヘッド本体２６と連結した軸受保持部材３４は、上下移動装置２９に支持され、ノズルプレート３６の傾きを維持したまま、上下移動ができるように構成されている。
【００２８】
ヘッド固定板３２は、ヘッド移動装置１５によって支持され、印刷ブリッジ１８ｃの長手方向に沿って往復移動できる。ヘッド本体２６と連結した軸受保持部材３４は、上下移動装置２９に支持されており、ノズルプレート３６の傾きを維持したまま、印刷ブリッジ１８ｃの長手方向に沿って移動可能である。
【００２９】
＜ノズル面調整方法＞ 
インクジェットヘッド３０は、第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3を有している。
【００３０】
第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3は、ノズルプレート３６に対して固定されている。  
ノズルプレート３６は、厚みが一定であり、タンク部３５の底面より広く形成されている。
【００３１】
ここでは、第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3は、タンク部３５からはみ出たノズルプレート３６の外周付近に配置されている。第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3は、直線上には並べられておらず、三角形を形成し、ノズルプレート３６と平行にされている。ノズルプレート３６の裏面をノズル面と呼ぶ。
【００３２】
図４（ａ）は、ノズルプレート３６上に配置された第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の内部構造を示す図である。
図４（ｂ）は、ノズルプレート３６の真下位置からノズル面を見た図である。
【００３３】
第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3は、本発明の第一例では、第一〜第三のコイル２８1〜２８3から構成され、第一〜第三のコイル２８1〜２８3の中心軸線がノズルプレート３６と垂直に配置されている。第一〜第三のコイル２８1〜２８3には、第一〜第三の交流電圧電源４１1〜４１3と第一〜第三の測定装置４２1〜４２3が接続されている。
【００３４】
基板ステージ１２上で基板１６が配置される領域以外の基板ステージ１２の外周には、基板ステージ１２と平行にノズル面調整板２０が配置されている。
ノズル面調整板２０は金属からなり、厚さは一定である。ノズル面調整板２０の表面積は、ノズルプレート３６の表面積と同じか、それ以上である。
【００３５】
基板１６に印刷する前に、主基板ステージ移動機構とヘッド移動装置１５を動作させて、インクジェットヘッド３０を、ノズル面調整板２０の真上位置にノズルプレート３６を移動させ、静止させる。
上下移動装置２９を動作させてノズル面調整板２０とノズルプレート３６を近づける。
【００３６】
交流電圧電源４１1〜４１3に通電して第一〜第三のコイル２８1〜２８3に所定の周波数の電圧を印加して交流電流を流すと、検出信号として磁力線が形成され、第一〜第三のコイル２８1〜２８3の真下に位置するノズル面調整板２０に達すると、その三箇所で渦電流が生じる。
【００３７】
測定信号として各コイルに流れる交流電流が測定されており、ノズル面調整板２０とノズルプレート３６の上に配置された第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端との各距離が違うと、測定装置４２1〜４２3により、第一〜第三のコイル２８1〜２８3に流れる交流電流の振幅幅は、それぞれ異なる値が得られ、交流電流と電圧の位相差は、それぞれ異なる値が得られる。ノズル面調整板２０とノズルプレート３６の上に配置された第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端との各距離が等しい場合には、第一〜第三のコイル２８1〜２８3に流れる交流電流の振幅幅は等しく、交流電流と電圧の位相差は等しい値が得られるように構成されている。
【００３８】
第一〜第三のコイル２８1〜２８3に流れる交流電流の振幅幅と、交流電流と電圧の位相差から、ノズルプレート３６上の第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端とノズル面調整板２０との遠近の順番を測定することができる。
【００３９】
第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端から遠近の差が小さくなる方向に、ｘｚ平面内及びｙｚ平面内でノズルプレート３６の傾きを調整すると、ノズルプレート３６を調整板に対して平行にすることができる。
【００４０】
ノズル面調整板２０とノズルプレート３６の距離を変えながら、第一〜第三のコイル２８1〜２８3に流れる交流電流の振幅幅と電圧との位相差を測定する場合に、第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3内の所定の測定点では、ノズル面調整板２０と測定点との間の距離は、測定された振幅幅に略比例し、交流電流と電圧の位相差に略反比例する。
【００４１】
予め、ノズル面調整板２０からの所定の基準位置と、各測定点を一致させて、交流電流の振幅幅と、交流電流と電圧の位相差を測定しておく。さらに、ノズル面調整板２０と基準位置の間の距離と、第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端と測定点の間の距離を測定しておく。
【００４２】
ノズル面調整板２０から各測定点の間の距離が基準位置でない場合は、第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の各測定点に流れる交流電流の振幅幅と交流電流と電圧の位相差を測定し、予め測定したノズル面調整板２０と基準位置の間の距離と、基準位置での交流電流の振幅幅と交流電流と電圧の位相差を基に、ノズル面調整板２０と各測定点との間の距離を求めることができる。
【００４３】
また、ノズル面調整板２０と各測定点との間の距離から第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端と各測定点の間の距離を差し引くと、ノズル面調整板２０と第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の下端との間の各距離が求められる。
【００４４】
ノズルプレート３６とｘｚ平面との角度をθxz、ノズルプレート３６とｙｚ平面との角度をθyzとすると、ノズル面調整板２０と第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3下端との間の距離と、予め測定しておいた第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3の間の各距離からθxz及びθyzを求めることができ、球面軸受３７を動かして、ノズルプレート３６をθxz及びθyzを所定の角度に傾けることができる。ノズル面調整板２０とノズルプレート３６を平行にする場合は、球面軸受３７を動かして、θxz及びθyzを共にゼロにするとノズルプレート３６は、ノズル面調整板２０に対して平行にすることができる。
【００４５】
ノズル面調整板２０に対してノズルプレート３６を平行に調整した後、上下移動装置２９を動作させ、ノズル面調整板２０に対してノズルプレート３６を平行にした状態で設定された距離だけ離間する。
【００４６】
基板ステージ１２上に基板ステージ１２に対して平行に基板１６を配置し、主基板ステージ移動機構とヘッド移動装置１５を動作させ、ノズル面調整板２０に対してノズルプレート３６を平行にした状態でインクジェットヘッド３０を基板上の所望位置に移動させると、基板１６に対してノズルプレート３６が平行な状態で基板１６表面に塗布液を吐出することができる。
【００４７】
ここでは、印刷用の基板１６を基板ステージ１２上に乗せた状態でノズル面調整板２０に対してノズルプレート３６を調整するために、ノズル面調整板２０を基板ステージ１２上の基板１６が配置されていない領域に配置したが、印刷用の基板１６を基板ステージ１２の上に配置する前に、基板ステージ１２上に金属からなる測定用の基板１６を配置して、測定用の基板１６に対するノズルプレート３６の傾きを調整し、調整後に測定用の基板１６を取出し、基板ステージ１２上に印刷用の基板１６を配置し、印刷してもよい。
【００４８】
距離センサは三つ以上あればよく、また、コイルから成る第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3を基板ステージ１２上に配置し、金属で構成されたノズルプレート３６又は、ノズルプレート３６上に金属板を配置して、第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3とノズルプレート３６との間の距離を測定し、ノズルプレート３６の傾きを調整しても良い。
【００４９】
以上では、第一例として第一〜第三のコイル２８1〜２８3から成る第一〜第三の距離センサ３３1〜３３3と金属から成るノズル面調整板２０の組合せで距離を測定したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第二例として、第一例で第一〜第三のコイル２８1〜２８3が配置されていた位置に超音波を射出するセンサを配置し、第一例でノズル面調整板２０が配置されていた位置に反射板を配置する。センサから射出超音波を反射板に射出し、反射板により反射された反射超音波をセンサ側で受信し、センサと反射板の間の距離を求める。
【００５０】
第三例として、第一例で第一〜第三のコイル２８1〜２８3が配置されていた位置に光を送信するセンサを配置し、第一例でノズル面調整板２０が配置されていた位置に反射板を配置する。光を反射板に照射し、センサ側で反射板により反射された光を受信し、センサと反射板の間の距離を求める。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明のインクジェット塗布装置の斜視図
【図２】本発明のインクジェットヘッドを基板上で移動させ場合のインクジェット塗布装置の斜視図
【図３】（ａ）：本発明のインクジェットヘッドの正面図、（ｂ）：本発明のインクジェットヘッドの側面図、（ｃ）：本発明のインクジェットヘッドの斜視図
【図４】（ａ）：コイルで構成された距離センサが配置されたノズルプレートの斜視図、（ｂ）：吐出孔が複数配置されたノズル面の一例
【図５】従来のインクジェット塗布装置の構成図
【図６】（ａ）：基板とノズル面が平行な場合のインクジェットの吐出位置のずれを説明する図、（ｂ）：基板に対してノズル面が傾いている場合のインクジェットの吐出位置のずれを説明する図
【符号の説明】
【００５２】
１……インクジェット塗布装置
２０……ノズル面調整板
２５……平行度調整装置
２６……ヘッド本体
２８1〜２８3……第一〜第三のコイル
２９……上下移動装置
３０……インクジェットヘッド
３２……ヘッド固定板
３３1〜３３3……第一〜第三の距離センサ
３４……軸受保持部材
３５……タンク部
３６……ノズルプレート
３７……球面軸受
３８……ヘッド本体固定部
３９……吐出孔
４１1〜４１3……第一〜第三の交流電圧電源
【図１】
2010110700.tif 000003
【図２】
2010110700.tif 000004
【図３】
2010110700.tif 000005
【図４】
2010110700.tif 000006
【図５】
2010110700.tif 000007
【図６】
2010110700.tif 000008