(57)【要約】【課題】パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができるスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】パターン孔４ｂが形成されたマスクプレート４を基板ＰＢに接触させてペースト５０を供給し、マスクプレート４に接触させたスキージ５ａをマスクプレート４に対して相対移動させてパターン孔４ｂ内にペースト５０を充填させた後、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させることによりパターン孔４ｂ内のペースト５０を基板ＰＢに転写させるスクリーン印刷方法において、基板ＰＢに転写されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状を検出し、その検出したペースト５０の形状に応じて、スキージ５ａのマスクプレート４に対する相対移動速度を変更する。【選択図】図９
2010064425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が形成されたマスクプレートを印刷対象物に接触させてペーストを供給する工程と、
マスクプレートに接触させたスキージをマスクプレートに対して相対移動させてパターン孔内にペーストを充填する工程と、
印刷対象物とマスクプレートを分離させることによりパターン孔内のペーストを印刷対象物に転写する工程と、
印刷対象物に転写されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状を検出する工程と、
検出されたペーストの形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更する工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２】
検出されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状に基づいて、印刷対象物に転写されたペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成されていることを検知した場合、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン孔が形成されたマスクプレートを用いてペーストを印刷対象物に転写するスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板等の印刷対象物にペーストを転写するスクリーン印刷では、パターン孔が形成されたマスクプレートを印刷対象物に接触させてペーストを供給し、マスクプレートに接触させたスキージをマスクプレートに対して相対移動させてパターン孔内にペーストを充填した後、印刷対象物とマスクプレートを分離（いわゆる版離れ）させる。これにより印刷対象物には、パターン孔に応じた形状のペーストが転写（印刷）される。
【０００３】
このようなスクリーン印刷では、印刷後の印刷対象物の上方から観察し、ペーストの印刷不良がある場合には印刷条件を変えて印刷不良状態を改善することが行われる。例えば、特許文献１には、印刷後の印刷対象物を観察し、印刷対象物の表面状態に応じてスキージ走行速度を変更することにより、印刷ニジミやムラのない外観良好で一様な印刷状態が得られるようにした技術が示されている。
【特許文献１】特開平２−３０８５８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、スクリーン印刷において発生しうる印刷不良の中には、パターン孔内にペーストが十分に充填されなかったために、印刷対象物への転写後のペーストが高さ（印刷対象物からの高さ）不足となるタイプのものある。このようなパターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる高さ不足の印刷不良は、上記の印刷ニジミやムラ等のように、印刷対象物の表面を見ただけでは発見しにくく、したがってその改善も難しいという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができるスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のスクリーン印刷方法は、パターン孔が形成されたマスクプレートを印刷対象物に接触させてペーストを供給する工程と、マスクプレートに接触させたスキージをマスクプレートに対して相対移動させてパターン孔内にペーストを充填する工程と、印刷対象物とマスクプレートを分離させることによりパターン孔内のペーストを印刷対象物に転写する工程と、印刷対象物に転写されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状を検出する工程と、検出されたペーストの形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更する工程とを含む。
【０００７】
請求項２に記載のスクリーン印刷方法は、請求項１に記載のスクリーン印刷方法であって、検出されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状に基づいて、印刷対象物に転写されたペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成されていることを検知した場合、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のスクリーン印刷方法では、印刷されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の
形状を検出し、その検出したペーストの形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更するようにしている。パターン孔内へのペーストの充填不足により印刷後のペーストに高さ不足の印刷不良が生じている場合、そのことは印刷対象物への印刷後のペーストの高さ方向（印刷対象物からの高さ方向）の形状から検知することができ（例えば、ペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成される）、また、ペーストの充填不足はスキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させることによって改善することができるので、本発明のスクリーン印刷方法によれば、パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図、図４は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図５（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図、図９は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷手順の一例を示すフローチャートである。
【００１０】
図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基台２の上に基板位置合わせ部３を有し、基板位置合わせ部３の上方にはマスクプレート４、スキージヘッド５及びカメラユニット６が設けられている。
【００１１】
図１及び図２において、基板位置合わせ部３は水平方向位置合わせ機構１０及び垂直方向位置合わせ機構１１を有して成る。
【００１２】
水平方向位置合わせ機構１０は、基台２の上面側に、基台２に対して水平面内の一の方向（図１の紙面の左右方向。Ｙ軸方向とする）に移動自在に設けられたＹテーブル１４、Ｙテーブル１４の上面側に、Ｙテーブル１４に対してＹ軸と直交する水平面内の方向（図１の紙面に垂直な方向。Ｘ軸方向とする）に移動自在に設けられたＸテーブル１５、及び、Ｘテーブル１５の上面側に、Ｘテーブル１５に対して水平面内で回転自在に設けられたθテーブル１６を有する。
【００１３】
Ｙテーブル１４に設けられたＹテーブル駆動モータ１７を回転作動させるとＹテーブル１４が基台２に対してＹ軸方向に移動し、Ｘテーブル１５に設けられたＸテーブル駆動モータ１８を回転作動させるとＸテーブル１５がＹテーブル１４に対してＸ軸方向に移動し、θテーブル１６に設けられたθテーブル駆動モータ１９（図４参照）を回転作動させるとθテーブル１６がＸテーブル１５に対して回転する。Ｙテーブル駆動モータ１７、Ｘテーブル駆動モータ１８及びθテーブル駆動モータ１９の作動制御は、このスクリーン印刷機１に設けられた制御装置２０によってなされる（図４）。
【００１４】
垂直方向位置合わせ機構１１は、θテーブル１６に固定されたベースプレート２２、ベースプレート２２の上方にベースプレート２２に対して昇降自在に設けられた第１昇降プレート２３、第１昇降プレート２３の上方に第１昇降プレート２３に対して昇降自在に設けられた第２昇降プレート２４及び第２昇降プレート２４の上方に固定された基板支持ブロック２５を有する。
【００１５】
ベースプレート２２に設けられた第１昇降モータ２６を回転作動させると、第１ベルト
２７を介して、第１昇降プレート２３に垂直に支持された複数の第１昇降螺子２８が回転駆動され、これら第１昇降螺子２８に螺合した第１昇降プレート２３が昇降する。また、第１昇降プレート２３に設けられた第２昇降モータ２９を回転作動させると、第２ベルト３０を介して、第２昇降プレート２４に垂直に支持された複数の第２昇降螺子３１が回転駆動され、これら第２昇降螺子３１に螺合した第２昇降プレート２４が（すなわち基板支持ブロック２５が）昇降する。第１昇降モータ２６及び第２昇降モータ２９の作動制御は制御装置２０によってなされる。
【００１６】
垂直方向位置合わせ機構１１はまた、第１昇降プレート２３に立設された複数の垂直フレーム３４に支持されてＸ軸方向に延びた平行な一対の搬送コンベア３５と、搬送コンベア３５の上方に搬送コンベア３５と平行に設けられた一対のクランプ部材３６（図３も参照）を有している。一対の搬送コンベア３５は搬送コンベア３５の近傍に設けられたコンベア駆動モータ３７（図４参照）の回転作動によって駆動することができる。また、一対のクランプ部材３６はＹ軸方向に対向して配置されており、垂直フレーム３４に固定されたクランプシリンダ３８に駆動されてＹ軸方向に開閉作動する。コンベア駆動モータ３７及びクランプシリンダ３８の作動制御は制御装置２０によってなされる。
【００１７】
図１、図２及び図３において、マスクプレート４は矩形のマスク枠４ａによって四辺が支持されており、マスク枠４ａによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板ＰＢの電極Ｄ（図３参照）の形状及び位置に対応した多数のパターン孔４ｂが設けられている。
【００１８】
図２において、基台２には基板位置合わせ部３を挟んでＸ軸方向に対向するように立設された一対の縦フレーム３９が設けられており、各縦フレーム３９の上端部にはＹ軸方向に延びた第１ガイドレール４０と第２ガイドレール４１が設けられている。一対の第１ガイドレール４０にはＸ軸方向に延びた第１スライダ４４の両端部が支持されており、一対の第２ガイドレール４１には同じくＸ軸方向に延びた第２スライダ４５の両端部が支持されている。
【００１９】
図１及び図２において、スキージヘッド５は第１スライダ４４に固定して設けられている。第１スライダ４４は第１スライダ駆動モータ４６（図４参照）の回転作動によって第１ガイドレール４０に沿ってＹ軸方向に移動し、これによりスキージヘッド５がＹ軸方向に移動される。第１スライダ駆動モータ４６の作動制御は制御装置２０によってなされる。
【００２０】
スキージヘッド５はＹ軸方向に対向して設けられた２つのスキージ５ａと、各スキージ５ａを昇降させる２つのスキージ昇降シリンダ５ｂを備えて成る。各スキージ５ａはＸ軸方向に延びた形状を有しており、アタック角変更シリンダ５ｃ（図４参照）の作動によってアタック角を変更することができる。ここでアタック角とは、水平姿勢にされた基板ＰＢ或いはマスクプレート４に対してスキージ５ａがなす角度αのことである（図１）。各スキージ昇降シリンダ５ｂ及びアタック角変更シリンダ５ｃの作動制御は制御装置２０によってなされる。
【００２１】
カメラユニット６は第２スライダ４５上をＸ軸方向に移動自在に設けられている。第２スライダ４５は第２スライダ駆動モータ４８（図４参照）の回転作動によって第２ガイドレール４１に沿ってＹ軸方向に移動し、カメラユニット６はカメラ移動モータ４９（図４参照）の回転作動によって第２スライダ４５上をＸ軸方向に移動する。したがって、カメラユニット６は水平面内で自在に移動させることができる。なお、第２スライダ駆動モータ４８及びカメラ移動モータ４９の作動制御は制御装置２０によってなされる。
【００２２】
カメラユニット６は図１、図２及び図３に示すように、撮像面を下方に向けた第１カメラ６ａと、撮像面を上方に向けた第２カメラ６ｂと、撮像面を下方に向けた第３カメラ６ｃを備えている。第１カメラ６ａは、基板位置合わせ部３上の基板ＰＢに設けられている基板位置検出マーク（図示せず）の画像認識を行い、第２カメラ６ｂは、マスクプレート４に設けられているマスク位置検出マーク（図示せず）の画像認識を行う。また、第３カメラ６ｃはスキージ５ａによって基板ＰＢ上に印刷されたペースト５０の、基板ＰＢからの高さ方向の形状を含めた三次元形状の認識を行う。この第３カメラ６ｃは例えば、レーザや赤外線を用いて認識対象の立体形状の検出を行う構成を有する。第１カメラ６ａ、第２カメラ６ｂ及び第３カメラ６ｃの作動（撮像）制御は制御装置２０によってなされ、これらカメラ６ａ，６ｂ，６ｃにより撮像されたデータは制御装置２０に入力される（図４）。
【００２３】
次に、このスクリーン印刷機１が実行する基板ＰＢへのペーストの印刷手順を説明する。スクリーン印刷機１の上流側の装置（図示せず）から基板ＰＢが送られてきたら、スクリーン印刷機１の制御装置２０は、コンベア駆動モータ３７の制御を行って搬送コンベア３５にその基板ＰＢを受け取らせ、所定の位置まで搬送させる。そして、第２昇降モータ２９を作動させて第２昇降プレート２４を第１昇降プレート２３に対して上昇させ、基板支持ブロック２５を基板ＰＢの下面に押し当てて基板支持ブロック２５に基板ＰＢを支持させる。制御装置２０は、基板支持ブロック２５に基板ＰＢを支持させたら、クランプシリンダ３８を作動させてクランプ部材３６を閉作動させ、基板ＰＢを両側方からクランプさせる。
【００２４】
制御装置２０は、クランプ部材３６に基板ＰＢをクランプさせたら、第１カメラ６ａの移動及び撮像制御を行って第１カメラ６ａに基板ＰＢの基板位置検出マークの画像認識を行わせ、基板ＰＢの位置を把握するとともに、第２カメラ６ｂの移動及び撮像制御を行って第２カメラ６ｂにマスクプレート４のマスク位置検出マークの画像認識を行わせ、マスクプレート４の位置を把握する。
【００２５】
制御装置２０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート４の位置を把握したら、水平方向位置合わせ機構１０の作動制御を行って、基板ＰＢをマスクプレート４の直下の所定位置に位置させる（水平方向の位置合わせ）。基板ＰＢの水平方向への移動は、Ｙテーブル１４の基台２に対するＹ軸方向への移動、Ｘテーブル１５のＹテーブル１４に対するＸ軸方向への移動及びθテーブル１６のＸテーブル１５に対する水平面内での回転を組み合わせて行う。
【００２６】
基板ＰＢの水平方向の位置合わせが終わったら、制御装置２０は、垂直方向位置合わせ機構１１の作動制御を行って、基板ＰＢの上面をマスクプレート４の下面に接触させる（垂直方向の位置合わせ）。基板ＰＢの垂直方向への移動は、第１昇降プレート２３をベースプレート２２に対して上昇させて行う（図５（ｂ））。これにより、制御装置２０によるマスクプレート４に対する基板ＰＢの位置合わせ（水平方向の位置合わせと垂直方向の位置合わせ）が完了する。
【００２７】
制御装置２０は、マスクプレート４に対する基板ＰＢの位置合わせが完了したら、基板ＰＢに対するスクリーン印刷を実行する。これには、制御装置２０は先ず、図示しないペースト供給部の作動制御を行って、マスクプレート４の上面に半田ペーストや導電性ペースト等のペースト５０を供給し、次いで、スキージ昇降シリンダ５ｂの作動制御を行って一方のスキージ５ａを降下させ、そのスキージ５ａの下縁をマスクプレート４の上面に当接させる。
【００２８】
制御装置２０は、一方のスキージ５ａの下縁をマスクプレート４の上面に当接させたら
、第１スライダ駆動モータ４６の作動制御を行ってスキージヘッド５をＹ軸方向に移動させ（図５（ｂ）及び図６（ａ）中に示す矢印Ａ）、ペースト５０をスキージ５ａによってかき寄せてそれをマスクプレート４の複数のパターン孔４ｂ内に次々と充填させていく（図６（ｂ）参照）。
【００２９】
なお、図５（ｂ）は、図中の左側のスキージ５ａを矢印Ａの方向に移動させることによってペースト５０を矢印Ａの方向にかき寄せる様子を示したものである。ペースト５０を矢印Ａと反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ５ａをマスクプレート４の上面に当接させて、矢印Ａと反対の方向に移動させることになる。
【００３０】
制御装置２０は、マスクプレート４のパターン孔４ｂ内にペースト５０を充填させたら、第２昇降モータ２９を作動させて第２昇降プレート２４を下降させ、マスクプレート４を基板ＰＢから分離させる（図６（ｃ）中に示す矢印Ｂ）。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート４のパターン孔４ｂ内に充填されたペースト５０が基板ＰＢ上に転写（印刷）される（図６（ｃ））。
【００３１】
ここで、図６（ａ），（ｂ）に示すように、マスクプレート４のパターン孔４ｂ内にペースト５０が十分に充填された状態から版離れが行われたときは、図６（ｃ）に示すように、基板ＰＢにはパターン孔４ｂ内の空間立体形状をほぼそのまま象った理想形状のペースト５０が転写される。例えば、パターン孔４ｂが直方体形状をくり抜いた形状であったのであれば、基板ＰＢにはほぼ直方体形状となる理想形状のペースト５０が転写される。
【００３２】
しかし、図７（ａ），（ｂ）に示すように、マスクプレート４のパターン孔４ｂ内にペースト５０が十分に充填されておらず、パターン孔４ｂ内のスキージ５ａの移動方向（図７では、紙面の左側から右側へ向かう方向）の上流側（図７では紙面左側）の部分に空間ＳＰがある状態から版離れが行われたときには、基板ＰＢには理想形状とは異なった形状のペースト５０が転写されることとなる。このときのペースト５０の形状は、図７（ｃ）に示すように、ペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配（図７では紙面左下から右上に向かう方向の勾配）の傾斜面５０ａが形成されたものとなる。
【００３３】
このことから、基板ＰＢに転写されたペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されている場合には、パターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填が不十分であったことが分かる。なお、基板ＰＢに転写されたペースト５０がこのような形状となっていることは、ペースト５０の高さ（印刷対象物からの高さ）が不足している、すなわち高さ不足の印刷不良が生じていることを意味する。この高さ不足の印刷不良が生じていると、その後に行われる基板ＰＢへの部品の搭載工程等において部品の接合不良が起きるおそれがあるため、改善する必要がある。
【００３４】
ここで、上記のようなパターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足が発生するのは、スキージ５ａのマスクプレート４に対する移動速度（以下、スキージ移動速度と称する）が小さく、マスクプレート４上でのペースト５０のローリングが不十分であるためと考えられる。したがって、このように、基板ＰＢに転写された後のペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されており、パターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足が発生していると考えられる場合には、マスクプレート４に対するスキージ移動速度を上昇させることによってペースト５０のローリングを促進させることでパターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足を改善することができる。
【００３５】
そこで、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が実行するスクリーン印刷手順（スクリーン印刷方法）では、例えば、スキージ移動速度や版離れ速度等の印刷条件を設定する段階において、試験的なスクリーン印刷の実行と、そのスクリーン印刷の後、第３カメラ６ｃの移動及び撮像制御を行って、その基板ＰＢに転写されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状を含む三次元形状を検出し、その検出したペースト５０の形状に応じて、スキージ移動速度を変更するようにしている。具体的には、基板ＰＢに転写されたペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されていることを検知した場合には、スキージ移動速度を増大させるようにする。
【００３６】
また、図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、マスクプレート４のパターン孔４ｂ内にペースト５０が十分に充填された状態から版離れが行われた場合であっても、版離れ速度が適切でなかったときには、パターン孔４ｂ内に残存するペースト５０が多くなり、基板ＰＢに転写されたペースト５０には、スキージ５ａの移動方向の上流側の面だけでなく、スキージ５ａの移動方向の下流側にも傾斜面５０ｂ（この傾斜面５０ｂはスキージ５ａの移動方向に向けて下降する勾配の傾斜面）が生じ、基板ＰＢに転写されたペースト５０をスキージ５ａの移動方向と直交する水平方向（ここではＹ軸方向）から見たペースト５０の側面形状は三角形（三角形に近い形状）となる（図８（ｃ））。そして、版離れ速度が遅いほど、三角形の頂部Ｔはスキージ５ａの移動方向の下流側（図８の紙面右側）に寄る傾向にある。
【００３７】
このように、版離れ速度が適切でなかったことが原因で、基板ＰＢに転写されたペースト５０の側面形状が三角形となる場合、パターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足の場合と同様にペースト５０の高さ不足の印刷不良が生じるので、改善する必要がある。
【００３８】
このことから、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が実行するスクリーン印刷手順では、例えば上記の印刷条件を設定する段階において、試験的なスクリーン印刷を実行した後、第３カメラ６ｃの移動及び撮像制御を行って、基板ＰＢに転写されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状を検出し、その検出したペースト５０の形状に応じて、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させるときの相対速度を変更するようにしている。具体的には、検出したペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状に基づいて、基板ＰＢに転写されたペースト５０をスキージ５ａの移動方向と直交する水平方向から見たペースト５０の側面形状が三角形であることを検知した場合には、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させるときの相対速度を増大させるようにする。また、その三角形の頂部Ｔがスキージ５ａの移動方向に寄っている程度が大きいほど、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させるときの相対速度を増大させるようにする。
【００３９】
図９は、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が実行するスクリーン印刷手順の一例を示すフローチャートであり、スキージ移動速度及び版離れ速度の設定を行う段階におけるものを例としたものである。
【００４０】
スキージ移動速度及び版離れ速度の設定では、制御装置２０が先ず、スキージ移動速度及び版離れ速度を仮設定して試験的にスクリーン印刷を実行する（ステップＳＴ１）。制御装置２０は、基板ＰＢにスクリーン印刷を実行したら、そのスクリーン印刷によって基板ＰＢに転写されたペースト５０の三次元形状を第３カメラ６ｃによって検出し（ステップＳＴ２）、ペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されているか否かの判断を行う（ステップＳＴ３）。制御装置２０はその結果、基板ＰＢに転写されたペースト５０のスキージ５ａの上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されておらず、ペースト５０の形状がほぼ理想形状であること検知した場合（例えば図６（ｃ）
に示す場合）には、現在の条件（ステップＳＴ１で仮設定したスキージ移動速度及び版離れ速度）をそのまま最終決定の印刷条件として記憶部２０ａ（図４）に記憶する（ステップＳＴ４）。
【００４１】
一方、制御装置２０は、ステップＳＴ３において、ペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されていたことを検知した場合には、スキージ移動速度を増大させて改めてスクリーン印刷を実行した後（ステップＳＴ５）、第３カメラ６ｃによって、基板ＰＢに印刷されたペースト５０の三次元形状を検出する（ステップＳＴ６）。そして、検出したペースト５０の三次元形状から、ペースト５０の形状が改善方向（理想形状に近づく方向）に変化したかどうかの判断を行い（ステップＳＴ７）、その結果、ペースト５０の形状が改善方向に変化していたときには、ペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されていた原因のひとつがパターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足にあったことが明らかとなるので、改めてステップＳＴ５〜ステップＳＴ７を実行する。そして、ステップＳＴ７で、ペースト５０の形状が改善方向に変化しなくなったら、それまでに取得したスキージ移動速度のデータから最適のもの（ペースト５０の形状が理想形状に最も近づいたときのスキージ移動速度）を記憶して次のステップＳＴ９に進む。
【００４２】
なお、最初のステップＳＴ７で、ペースト５０の形状が改善方向に変化していないことを検知した場合には、ペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されていた原因のひとつに、パターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足は含まれていない（ペースト５０の充填不足は生じていない）ことが明らかとなるので、ステップＳＴ５〜ステップＳＴ７を繰り返すことなく、ステップＳＴ８で現在の（ステップＳＴ１で仮設定した）スキージ移動速度をそのまま記憶して、ステップＳＴ９に進む。
【００４３】
ステップＳＴ９では、直近のステップＳＴ６で検出したペースト５０の三次元形状に基づいて、基板ＰＢに転写されたペースト５０をスキージ５ａの移動方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）から見たペースト５０の側面形状が三角形であるかどうかの判断を行う。そして、その結果、ペースト５０の側面形状が三角形でなかった（理想形状である直方体形状に近かった）場合には、版離れ速度は適切であるといえるので、現在の（ステップＳＴ１で仮設定した）版離れ速度をそのまま記憶する（ステップＳＴ１０）。一方、ペースト５０の側面形状が三角形であった場合には（例えば図８（ｃ）に示す場合）、版離れ速度を増大させてスクリーン印刷を実行し（ステップＳＴ１１）、改めて第３カメラ６ｃを用いてペースト５０の三次元形状を検出し（ステップＳＴ１２）、ペースト５０の形状が改善方向（理想形状に近づく方向）に変化したかどうかの判断を行う（ステップＳＴ１３）。その結果、ペースト５０の形状が改善方向に変化していたときには、ペースト５０の側面形状が三角形となっている原因が、版離れ速度が適切でなかった（遅かった）ことにあると考えられるので、改めてステップＳＴ１１〜ステップＳＴ１３を実行する。そして、ステップＳＴ１３で、ペースト５０の形状が改善方向に変化しなくなったら、それまでに取得した版離れ速度のデータから最適のもの（ペースト５０の形状が理想形状に最も近づいたときの版離れ速度）を記憶する（ステップＳＴ１４）。なお、ステップＳＴ１１において、基板ＰＢに転写されたペースト５０の側面形状の三角形の頂部Ｔがスキージ５ａの移動方向（図８の紙面右側）に寄っているときほど版離れ速度を増大させるようにすれば、効率よく版離れ速度を最適の値に近づけることができる。
【００４４】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法（スクリーン印刷機１が実行するスクリーン印刷手順）では、パターン孔４ｂが形成されたマスクプレート４を印刷対象物である基板ＰＢに接触させてペースト５０を供給するペースト供給工程と、マ
スクプレート４に接触させたスキージ５ａをマスクプレート４に対して相対移動させてパターン孔４ｂ内にペースト５０を充填するペースト充填工程と、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させることによりパターン孔４ｂ内のペースト５０を基板ＰＢに転写するペースト転写工程と、基板ＰＢに転写されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状を検出する形状検出工程と、形状検出工程において検出されたペースト５０の形状に応じて、スキージ移動速度（スキージ５ａのマスクプレート４に対する相対移動速度）を変更するスキージ移動速度変更工程を含むものとなっている。
【００４５】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、基板ＰＢに転写（印刷）されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状を検出し、その検出したペースト５０の形状に応じて、スキージ移動速度を変化させるようにしているのであるが、ペースト５０の充填不足が生じている場合、そのことはペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状から検知することができ（ペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成される）、また、ペースト５０の充填不足はスキージ移動速度を増大させることによって改善することができるので、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法によれば、ペースト５０の充填不足に起因する印刷不良を改善することができる。
【００４６】
上述の例では、形状検出工程において検出されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状に基づいて、基板ＰＢに転写されたペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されていることを検知した場合に、スキージ移動速度（スキージ５ａのマスクプレート４に対する相対移動速度）を増大させるようにしていたが、これは、基板ＰＢに転写されたペースト５０のスキージ５ａの移動方向の上流側に、スキージ５ａの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面５０ａが形成されているときには、パターン孔４ｂ内へのペースト５０の充填不足が起きていると推定するものであり、簡易な方法でペースト５０の充填不足の発見し、かつ、それを改善することができるものとなっている。
【００４７】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、形状検出工程の後、スキージ移動速度変更工程とともに（上記例ではスキージ移動速度変更工程の後に）、形状検出工程において検出されたペースト５０の形状に応じて、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させるときの相対速度を変更する分離相対速度変更工程を含むものとなっている。そして、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させるときの相対速度の変更は、検出されたペースト５０の基板ＰＢからの高さ方向の形状に基づいて、基板ＰＢに転写されたペースト５０をスキージ５ａの移動方向と直交する水平方向から見たペースト５０の形状（側面形状）が三角形であることを検知した場合に、基板ＰＢとマスクプレート４を分離させるときの相対速度を増大させるものとしており、また、その三角形の頂部がスキージの移動方向に寄っている程度が大きいほど、印刷対象物とマスクプレートを分離させるときの相対速度を増大させるものとしている。これにより、版離れ速度が適切でなかった（遅かった）ためにペースト５０の高さ不足の印刷不良が生じていた場合でも、これを改善することができる。
【００４８】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、印刷対象物が基板であるとしていたが、これは一例であり、基板以外のものであってもよい。
【００４９】
また、本発明では、印刷対象物に転写されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更する工程を有するところに特徴があり、印刷対象物に転写されたペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成されていることを検知した場合
に、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させるというのは一つの手法に過ぎず、ペーストの高さ方向の形状に応じて行う、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度の変更の内容がこれに限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができるスクリーン印刷方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷手順の一例を示すフローチャート
【符号の説明】
【００５２】
１  スクリーン印刷機
４  マスクプレート
４ｂ  パターン孔
５ａ  スキージ
５０  ペースト
５０ａ  傾斜面
ＰＢ  基板（印刷対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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