(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を収納する基板収納容器を閉鎖・密閉する際に、ガスケットを嵌合保持溝へ挿入する作業が容易であり、かつ、基板収納容器のシール性能のばらつくことが少ない基板収納容器及び基板収納容器の蓋体の製造方法を提供する。【解決手段】開口を有し、基板を収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３と、容器本体２と蓋体３との間に介在するガスケット７を有する基板収納容器１において、蓋体３を筐体４とカバープレート６と筐体４の外側に設けられる枠体５とから形成し、前記枠体５は、前記筐体４と前記カバープレート６との間に挟持されていて、前記筐体４と前記枠体５との間にガスケット７が挟持されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し、基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体と蓋体との間に介在するガスケットを有する基板収納容器において、蓋体を筐体とカバープレートと筐体の外側に設けられる枠体とから形成し、前記枠体は、前記筐体と前記カバープレートとの間に挟持されていて、前記筐体と前記枠体との間にガスケットが挟持されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記筐体の端部内面に、前記ガスケットを位置決めする位置決め部を形成し、ガスケットには、この位置決め部と係合する係合部を設けた請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記枠体が、断面がコの字形状に屈曲形成されていて、傾斜面を備えた外側壁と、平坦な頂部と、内側壁と、内側壁から延びるフランジ部とを有する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
開口を有し、基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体と蓋体との間にガスケットを取り付ける基板収納容器の蓋体の製造方法であって、前記蓋体を筐体とカバープレート筐体の外側に設けられる枠体とから形成し、前記筐体の外周端部にガスケットを位置決め載置して、前記枠体を、このガスケットを覆うように載置し、前記カバープレートをさらにこの枠体上に載置して、前記筐体と前記カバープレートを固定し、取り付けると同時に、前記筐体と前記枠体との間にガスケットを挟持することを特徴とする基板収納容器の蓋体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハからなる基板等を収納、輸送、搬送、保管する際に使用される基板収納容器、及び基板収納容器の蓋体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板等を収納して、輸送、搬送、保管する際に使用される基板収納容器は、一端が開口し内部に基板を一定間隔で収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなり、この容器本体の開口部と蓋体との間にシール形成用のガスケットを設けることで、基板収納容器を密封していた（例えば、特許文献１参照）。また、ガスケットは、蓋体に保持されていた。
【０００３】
蓋体は、皿状の筐体と、筐体の開口を閉鎖するカバープレートとからなり、筐体の容器本体と向き合う側壁の端部周縁には、断面コの字状をした嵌合保持溝が全周に渡って形成されている。ガスケットは、エンドレス状の基部と、基部から延びるシール形成部とからなり、基部を蓋体の嵌合保持溝に嵌入することで、蓋体に保持されていた。
【０００４】
ここで、ガスケットの基部の表面には、嵌合保持溝の間隔よりも厚さが大きくなるような嵌合リブが１又は複数形成されていて、蓋体を繰り返して開閉するときにガスケットが抜け落ちてしまうことを防止していた。そのため、基部を嵌合保持溝へ挿入するときに、こうした嵌合リブを撓ませるか、押し潰しながら嵌合保持溝に挿入していた。
【０００５】
特許文献１に記載される従来技術では、蓋体の嵌合保持溝にシールガスケットの基体が所定の治具を使用してきつく嵌入される必要があり、シールガスケットを嵌入する際の力加減を誤ると、基体の端部が変形してシール性を損ね、精密基板の汚染を招くおそれが憂慮された。すなわち、蓋体の嵌合保持溝とシールガスケットの基体の端部とは、形状や寸法の一致しないことが少なくないので、シールガスケットを嵌入する際の力加減を誤ると、基体の水平性が悪化するよう変形し、屈曲シール片の先端部の高さが波打ち状態に変位してシール性を損ね、精密基板が汚染してしまうおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−６８３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記に鑑みなされたもので、基板を収納する基板収納容器を閉鎖・密閉する際に、ガスケットを嵌合保持溝へ挿入する作業が容易であり、かつ、基板収納容器のシール性能のばらつくことが少ない基板収納容器及び基板収納容器の蓋体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記した課題に鑑みなされたものであり、本発明の基板収納容器は、開口を有し、基板を収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３と、容器本体２と蓋体３との間に介在するガスケット７を有する基板収納容器１において、蓋体３を筐体４とカバープレート６と筐体４の外側に設けられる枠体５とから形成し、前記枠体５は、前記筐体４と前記カバープレート６との間に挟持されていて、前記筐体４と前記枠体５との間にガスケット７が挟持されていることを特徴とする。
【０００９】
前記筐体の端部２４内面に、前記ガスケット７を位置決めする位置決め部２５を形成し、ガスケット７には、この位置決め部２５と係合する係合部２３を設けること、また、前記枠体５が、断面がコの字形状に屈曲形成されていて、傾斜面１５を備えた外側壁１４と、平坦な頂部１３と、内側壁１６と、内側壁１６から延びるフランジ部１９とを有するようにすること、が好ましい。
【００１０】
また、本発明の基板収納容器の蓋体の製造方法は、開口を有し、基板を収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３と、容器本体２と蓋体３との間にガスケット７を取り付ける基板収納容器１の蓋体の製造方法であって、前記蓋体３を筐体４とカバープレート６と筐体４の外側に設けられる枠体５とから形成し、前記筐体４の外周端部にガスケット７を位置決め載置して、前記枠体５を、このガスケット７を覆うように載置し、前記カバープレート６をさらにこの枠体５上に載置して、前記筐体と前記カバープレート６を固定し、取り付けると同時に、前記筐体４と前記枠体５との間にガスケット７を挟持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ガスケットを嵌合保持溝へ挿入する作業が著しく簡単となり、作業のばらつきによるガスケットの挿入位置のばらつきを防止できるので、基板収納容器のシール性能のばらつきをなくして、基板の汚染を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の蓋体の表面側のカバープレートを外した状態で示す、平面図である。
【図２】本発明の実施形態の蓋体のガスケット保持構造を表す部分断面図である。
【図３】本発明の実施形態の基板収納容器の蓋体の組み立て工程を（ａ）〜（ｄ）に順次的に表す分解斜視図である。
【図４】基板収納容器の基本的な構造を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態を図面を使用して説明する。
始めに、基板収納容器の基本的な構造を説明する。
基板収納容器１は、図４に示すように、開口部を有し、基板を内部に収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３とからなる。蓋体３は、筐体４と枠体５、カバープレート６とで構成され、容器本体２と蓋体３とは、ガスケット７を介して閉鎖・密閉される。蓋体３には、蓋体３を開閉するための施錠機構８（図４では、具体的には、錠挿入口が示されている）が組み込まれている。蓋体の裏面には、基板を保持するリテーナ９が設けられる。図示は省略するが、容器本体２の内壁には、基板を一定間隔で支持するための棚部と、棚部の奥側の側壁に位置する溝部が設けられる。この溝部は、リテーナとの間で、棚部から基板を持ち上げるための傾斜面を備えている。
図１は、蓋体３の表面の平面図であって、蓋体３の筐体４と、筐体４に収納される施錠機構８を表している。１０は、回転プレートであり、回転プレート１０には、錠挿入口を形成するキャップ部品１１が設けられている。１７は、後述するボスリブである。
施錠機構８は、外部から操作可能な回転プレート１０と、回転プレートと係合して、蓋体３の側壁から出没される連結部材１２を有している。
【００１４】
図２は、蓋体３の内部構造を説明する図である。蓋体３は、前述し、後述する図３にも示すように、筐体４とカバープレート６とで表裏両面が構成され、筐体４の側方外側には、枠体５がさらに取り付けられている。
筐体４は、平板又は皿状に形成され、内部に蓋体３を容器本体２に係止するための施錠機構８が配置されている。
【００１５】
枠体５は、平坦な頂部１３を備えるように断面略コの字状に屈曲形成されている。枠体の外側壁１４は、傾斜面１５を備え、蓋体３を容器本体２に取り付けるときに、この傾斜面１５で、容器本体２の開口部と接触しながら、蓋体３の位置合わせを行う。枠体の内側壁１６は、筐体４の外側に設けられるカバープレート６の固定用ボスリブ１７の側壁と平行となるように傾斜面１８をなす壁面として形成されていて、この端部にはフランジ部１９が屈曲形成されていて、このフランジ部１９には貫通孔２０が形成されている。貫通孔２０の周縁が、筐体４を枠体５を介してカバープレート６を固定するためのボスリブ１７と、カバープレート６の固定部とに挟まれ、貫通孔２０に挿入されるボルト等の固定部品２２にて、カバープレート６と共に筐体４に固定される。
【００１６】
枠体の内側壁１６と外側壁１４との間に位置する突出した頂部１３は、基本的に平坦面に形成され、部分的にガスケット７を位置決めして固定させるための半球状や角状をした溝又は突起（図２では溝）（以下、係合部という）２３が１又は複数箇所に設けられている。この頂部１３は、部分的に筐体の端部２４と重なるように形成されていて、この筐体４と重なった部分に、ガスケット７を保持することができる。筐体の端部２４の枠体５と向き合う内面にも、ガスケット７の位置ずれを防止する係合部２３（図２では溝）を、枠体５に設けるのと同様に、形成することが好ましい。
【００１７】
次に、上記した嵌合保持溝を組み立て構成し、ガスケット７を取り付ける方法を、図３に基づいて説明する。図３（ａ）は、分解配置図、図３（ｂ）は、ガスケットを位置決めした状態、図３（ｃ）は、所要部材を位置決めして固定部材で固定し始める状態、図３（ｄ）は、取り付け完了の状態を、それぞれ示している。
筐体４に施錠機構を組み込んだ後に、筐体の端部２４の平坦な内面にガスケット７を載置する（図３（ｂ））。このときガスケットの基部２６の一方に形成される半球状の突起（係合部）を、筐体４に設けられる半球状の凹部（溝）（係合部）に嵌り込むようにする。その後枠体５をこのガスケット７の基部２６の他方に接触し、フランジ部に形成された貫通孔２０が固定用のボスリブ１７に形成される孔と合致するように載置する。
【００１８】
このとき、上記と同様に、ガスケットの基部２６の他方に形成される半球状の突起（係合部）を、枠体５に設けられる半球状の凹部に嵌り込むようにする。
また、ボスリブ１７および枠体の内側壁１６に傾斜面１５や係合部２３を係合すること、及びボスリブ１７上面と枠体５のフランジ部１９とを接触させることによって、ガスケット７と共に、筐体４と枠体５との２つの部材の位置決めをすることができる。
【００１９】
枠体５が載置されたら、引き続きその上にカバープレート６を載せる（図３（ｃ））。カバープレート６にはボスリブ１７と合致する貫通孔２７が形成されていて、この貫通孔２７が固定用のボスリブ１７の、周囲に螺刻溝２８が形成された孔部の芯と合致するように位置決め載置して、固定ボルト（固定部品）２２をボスリブ１７に挿入して、枠体５と一緒に筐体４に固定される。このように枠体５を固定すると、ガスケット７は、基部２６の突起（係合部）が潰されながら枠体５と筐体の端部２４との間で挟持されるようになる。
【００２０】
本発明の実施形態では、ガスケットを嵌入させる嵌合保持溝を、一体的に設けるのではなく、筐体の端部と、この端部と向き合う枠体の頂部とに分けて形成している。このことにより、ガスケットの取り付け作業が、簡単にガスケットを変形させたりすることなく可能となり、作業の仕方や作業員間のばらつきを排除できるので、基板収納容器のシール性能を均一にすることができ、基板の汚染を防止できる。
【符号の説明】
【００２１】
１：基板収納容器
２：容器本体
３：蓋体
４：筐体
５：枠体
６：カバープレート
７：ガスケット
８：施錠機構
９：リテーナ
１０：回転プレート
１１：キャップ部品
１２：連結部材
１３：（枠体が備える）頂部
１４：外側壁
１５：（外側壁の）傾斜面
１６：内側壁
１７：固定用ボスリブ
１８：（内側壁の）傾斜面
１９：フランジ部
２０：（フランジ）貫通孔
２２：固定部品
２３：係合部
２４：（筐体の）端部
２５：位置決め部
２６：（ガスケットの）基部
２７：（カバープレートの）貫通孔
２８：螺刻溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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