(57)【要約】  【課題】  薄板や箔材等であっても、極低温において低い電気抵抗率を発現しうる高純度アルミニウム材を提供する。  【解決手段】  本発明の高純度アルミニウム材は、純度９９．９９９９質量％以上である高純度アルミニウムの圧延材からなり、該圧延材の表面に表面研磨処理が施されている。好ましくは、この圧延材の表面は下記式    表面粗さ（μｍ）＝計測部表面の凹凸部分の体積（μｍ3）／計測面積（μｍ2）で求められる表面粗さが３μｍ未満となっている。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
純度９９．９９９９質量％以上である高純度アルミニウムの圧延材からなり、該圧延材の表面に表面研磨処理が施されていることを特徴とする高純度アルミニウム材。
【請求項２】
前記圧延材の表面は下記式
表面粗さ（μｍ）＝計測部表面の凹凸部分の体積（μｍ3）／計測面積（μｍ2）
で求められる表面粗さが３μｍ未満となっている請求項１記載の高純度アルミニウム材。
【請求項３】
前記圧延材は、厚みが１．５ｍｍ以下である請求項１または２記載の高純度アルミニウム材。
【請求項４】
厚み０．２〜２μｍの酸化皮膜で覆われている請求項１〜３のいずれかに記載の高純度アルミニウム材。
【請求項５】
４００〜６００℃で１時間以上保持する焼鈍処理が施されてなる請求項１〜４のいずれかに記載の高純度アルミニウム材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば５０Ｋ以下の極低温において低い電気抵抗率が要求される材料として有用な高純度アルミニウム材に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、医療用のＭＲＩ（磁気共鳴画像診断装置）や分析用のＮＭＲ（核磁気共鳴分析装置）等に用いられる超電導マグネットや、クライオポンプ、極低温冷凍機等の部材は、通常、５０Ｋ以下の極低温で使用される。そのため、これら部材の構成材料には、極低温の雰囲気において優れた電気伝導度を発現するといった特性が求められる。そのような材料としては、これまでから、電気抵抗率が低い高純度アルミニウムが利用されていた（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−０６３６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のように高純度アルミニウムにより形成された部材であっても、その形状を薄板や箔材等とした場合には、材料（すなわち、アルミニウム）が本来有する電気伝導性が充分に発現されず、極低温における電気抵抗率が満足しうるレベルに達しないという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、薄板や箔材等であっても、極低温において低い電気抵抗率を発現しうる高純度アルミニウム材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を行なった。その結果、部材の形状を薄板や箔材等とした場合、部材表面の微細な凹凸の凸部が電気の抵抗として作用し、これが電気伝導性を低下させる原因になっていることを見出した。そして、この知見に基づき、部材表面の凸部の量を表面研磨処理によって低減することにより、アルミニウムが本来有する電気伝導性を良好に発揮させうることを見出すとともに、極低温における電気伝導性を向上させるにはアルミニウムの純度が高いほど良いことをも見出した。ちなみに、以上の検討のなかで、部材表面の凹凸が及ぼす前述した悪影響は、アルミニウムの純度が高いほど、また部材の厚みが薄いほど、顕著に現れるものであるという知見も得られており、この点に鑑みても、部材表面の凹凸を表面研磨処理することが、極低温における低い電気抵抗率を得るうえで非常に有効であることが判った。本発明は、これらの知見に基づき完成されたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は以下の構成を有する。
（１）純度９９．９９９９質量％以上である高純度アルミニウムの圧延材からなり、該圧延材の表面に表面研磨処理が施されていることを特徴とする高純度アルミニウム材。
（２）前記圧延材の表面は下記式
表面粗さ（μｍ）＝計測部表面の凹凸部分の体積（μｍ3）／計測面積（μｍ2）
で求められる表面粗さが３μｍ未満となっている前記（１）記載の高純度アルミニウム材。
（３）前記圧延材は、厚みが１．５ｍｍ以下である前記（１）または（２）記載の高純度アルミニウム材。
（４）厚み０．２〜２μｍの酸化皮膜で覆われている前記（１）〜（３）のいずれかに記載の高純度アルミニウム材。
（５）４００〜６００℃で１時間以上保持する焼鈍処理が施されてなる前記（１）〜（４）のいずれかに記載の高純度アルミニウム材。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、部材の形状が薄板や箔材等であっても、例えば５０Ｋ以下の極低温において低い電気抵抗率を発現させることができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の高純度アルミニウム材は、純度９９．９９９９質量％以上である高純度アルミニウムの圧延材からなる。この高純度アルミニウムの純度の上限は、特に制限されないが、通常、９９．９９９９９質量％未満である。このような高純度アルミニウムの純度は、Ａｌの含有量の測定により求めてもよいが、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｓｉ、ＣｕおよびＭｇ（以下、これらを纏めて「８元素」と称することもある）について各元素の含有量を求め、それらの合計量を１００％から差し引くことにより求めることもできる。つまり、一般に、高純度アルミニウムに不純物として含まれうる元素としては、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｂ、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｇａ、Ａｓ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｔ、Ｈｇ、Ｐｂ、Ｂｉ、ＴｈおよびＵ（以下、これらを纏めて「３５元素」と称することもある）などが挙げられ、さらに、これら３５元素以外の不可避不純物を含有することもあるが、これらの中で、上記８元素以外の元素は、通常、含有されていたとしても極めて微量であり、前述のように上記８元素以外の元素の含有量をゼロと仮定して算出した純度であっても殆ど誤差は生じない。
【００１０】
前記高純度アルミニウムに含まれうる不純物のうち、Ｓｉ、ＣｕおよびＭｇの各元素の含有量はそれぞれ０．５質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、一方、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｖ、ＣｒおよびＺｒの各元素の含有量はそれぞれ０．１質量ｐｐｍ以下であることが好ましい。これにより、極低温において、より低い電気抵抗率を得ることができる。また、前記高純度アルミニウムは、同様の理由から、前記３５元素の合計含有量が１質量ｐｐｍ以下であることが好ましい。
【００１１】
このような高純度アルミニウムは、比較的純度の低い普通アルミニウム（例えば、純度９９．９質量％であるＪＩＳ−Ｈ２１０２の特１種程度のグレード）を精製することによって得ることができる。精製方法としては、特に制限されないが、好ましくは、前記高純度アルミニウムは、三層電解法による精製と、一方向凝固法による精製との両方を経て得られたものであるのがよい。三層電解法による精製と一方向凝固法による精製の実施順序は、特に制限されないが、通常は、まず三層電解法で精製し、その後、一方向凝固法で精製される。また、三層電解法による精製と一方向凝固法による精製は、例えば、交互に繰り返し行ってもよいし、いずれか一方もしくは両方を各々繰り返し行ってもよいが、特に、一方向凝固法による精製は、繰り返し行うことが好ましい。なお、三層電解法による精製および一方向凝固法による精製の具体的な手法や条件等は、通常この分野で行われている方法や条件等を適宜採用すればよい。
【００１２】
前記圧延材は、前記高純度アルミニウムの鋳塊に圧延加工を施すことによって得られる。圧延加工は、例えば、鋳塊を一対のロールの間に挟み込むことにより圧力を加えながら、これらロール間に鋳塊を通過させる方法など、通常の方法を採用して行えばよい。圧延加工を行う際の具体的な手法や条件（処理温度、処理時間、加工率など）は、特に制限されるものではなく、本発明の効果を損なわない範囲で適宜設定すればよい。
前記圧延材は、表面研磨処理による電気抵抗低減効果を顕著に発現させるうえでは、厚みが１．５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１．０ｍｍ以下である。つまり、前記圧延材がこのように厚みが薄い薄板や箔材等である場合には、極低温において表面研磨処理による電気伝導性の向上効果がより顕著になるのである。また、厚みが薄い圧延材は、熱伝達材として利用する場合、振動を伝え難く、防振効果をもつという利点もある。なお、ここで言う圧延材の厚み（すなわち、１．５ｍｍ以下）は、後述する酸化皮膜の厚みを含まないものである。
【００１３】
なお、前記高純度アルミニウムを圧延するに際しては、あらかじめ所望の形状に鋳造し、切削するなどの処理を施すこともできる。鋳造を行うには、例えば、高純度アルミニウムを加熱溶融して溶湯とし、得られた高純度アルミニウム溶湯を鋳型内で冷却固化させるといった通常の方法を採用すればよいが、これに限定されるものではない。鋳造の際の条件等も特に制限されないが、加熱温度は通常７００〜８００℃であり、加熱溶融は通常、減圧下あるいは不活性ガス（窒素ガス、アルゴンガス等）雰囲気下で、黒鉛製等のルツボ内で行なわれる。減圧下で加熱溶融を行なう場合には、通常１×１０-2Ｐａ〜１×１０-4Ｐａ、好ましくは、１×１０-3Ｐａ〜１×１０-4Ｐａとするのがよい。１×１０-4Ｐａを超える減圧下であっても得られる高純度アルミニウム材の性能上は問題ないが、設備等の観点から経済的に不利になる。
【００１４】
本発明の高純度アルミニウム材は、前記圧延材の表面に表面研磨処理が施されたものである。このように表面研磨処理を施すことにより、表面の凸部の量を低減することができ、その結果、薄板や箔材等の形状であっても、前述した高純度アルミニウムが有する電気伝導性を良好に発揮させ、極低温における電気抵抗率を下げることができる。
【００１５】
前記表面研磨処理の手法や条件等は、特に制限はなく、例えば、社団法人日本アルミニウム協会発行「アルミニウムハンドブック（第７版）」ｐ１８０に記載のような公知の電解研磨や化学研磨等の方法を採用することができる。好ましくは電解研磨がよく、その場合、具体的には、圧延材を陽極に、黒鉛電極を陰極に用い、通常、過塩素酸とエタノールとの混合液中、１５〜２５Ｖの電圧で０．５〜５分間の条件で定電圧電解を行えばよい。
【００１６】
本発明において、表面研磨処理が施された圧延材の表面は、下記式
表面粗さ（μｍ）＝計測部表面の凹凸部分の体積（μｍ3）／計測面積（μｍ2）
で求められる表面粗さ（以下、本明細書においては、これを「表面粗さ」と称する）が３μｍ未満となっていることが好ましい。換言すれば、表面研磨処理を、表面粗さが３μｍ未満となるように施すことが好ましいのである。
なお、前記表面粗さは、試料表面の三次元粗さ情報を計測することができるレーザー顕微鏡を用いて、表面の凹凸部分の体積を測定することにより求めることができる。このとき、計測面積は、より精度の高い結果を得るうえで、１００００μｍ2以上とすることが望ましい。
【００１７】
本発明の高純度アルミニウム材は、前記表面研磨処理が施された圧延材の表面が酸化皮膜で覆われたものであってもよい。この場合、酸化皮膜の厚みは、０．２〜２μｍに制御することが、より優れた電気伝導性を発現させるうえで好ましい。酸化皮膜を形成する方法としては、特に制限されないが、例えば陽極酸化処理により形成すると、処理時間によって酸化皮膜の厚みを容易に制御できるので、好ましい。
前記陽極酸化処理にて酸化皮膜を形成する場合、例えば、圧延材を陽極に、黒鉛電極を陰極に用い、通常、０．０１〜０．０３Ａ／ｃｍ2の電流密度で定電圧電解を行えばよい。陽極酸化処理に用いる電解液としては、例えば、硫酸水溶液、シュウ酸水溶液等が挙げられる。
【００１８】
本発明の高純度アルミニウム材には、切削や圧延加工の際に生じることのある歪みを除去する目的で、焼鈍処理が施されていてもよい。焼鈍処理は、例えば４００〜６００℃で１時間以上保持することにより行うことができる。極低温において優れた電気伝導性を発揮させるうえでは、焼鈍処理の温度は４５０〜５５０℃とすることが好ましく、また、焼鈍処理は減圧雰囲気中で施されることが好ましい。なお、この焼鈍処理は、前記圧延材に表面研磨処理を施す前後どちらで行ってもよいが、極低温において優れた電気伝導性を発揮させるうえでは、焼鈍処理の後に表面研磨処理が施されていることが好ましい。
【００１９】
以上のような本発明の高純度アルミニウム材は、形状に拘わらず極低温において低い電気抵抗率を発現しうるものである。具体的には、本発明の高純度アルミニウム材は、例えば、１．５ｍｍ以下の薄板や箔材といった形状としても、５０Ｋ以下の極低温において低い電気抵抗率を発揮する。かかる高純度アルミニウム材は、超電導マグネット、極低温冷凍機、クライオポンプ等の部材として好適に用いられる。
【実施例】
【００２０】
以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明は、かかる実施例により限定されるものではない。
以下の実施例および比較例において、アルミニウム（高純度アルミニウム）中の各元素含有量、および表面粗さの測定は、以下の方法で行なった。
【００２１】
＜元素含有量＞
アルミニウム（高純度アルミニウム）中の各元素含有量は、グロー放電質量分析法（サーモエレクトロン社製「ＶＧ９０００」を使用）にて測定した。
【００２２】
＜表面粗さ＞
表面粗さは、レーザー顕微鏡（（株）キーエンス製「ＶＫ−９７００」）を用いて、試料表面の三次元粗さ情報を、計測面積を２８０μｍ×２００μｍ、１０２４×７６８ピクセルで、高さ方向情報を１μｍ毎に計測することにより、計測部表面の凹凸部分の体積を求め、下記式に基づき算出した。
表面粗さ（μｍ）＝計測部表面の凹凸部分の体積（μｍ3）／計測面積（μｍ2）
【００２３】
（実施例１）
純度９９．９２質量％の普通アルミニウムを三層電解法により精製して得られた純度９９．９９９質量％のアルミニウム（Ｓｉ＝３質量ｐｐｍ、Ｃｕ＝２質量ｐｐｍ、Ｍｇ＝１質量ｐｐｍ、Ｆｅ＝２質量ｐｐｍ、これら以外のその他の３１元素＜１ｐｐｍ、不純物３５元素合計＜１０質量ｐｐｍ）を原料とし、これを一方向凝固法により精製して、純度９９．９９９９質量％の高純度アルミニウムを得た。
【００２４】
詳しくは、黒鉛製ルツボ（内寸法：幅６５ｍｍ×長さ４００ｍｍ×高さ３５ｍｍ）の中に１．８ｋｇの原料アルミニウム（純度９９．９９９質量％）を入れ、これを、炉体移動式管状炉の炉心管（石英製、内径１００ｍｍ×長さ１０００ｍｍ）の内部に収容し、１×１０-2Ｐａの減圧雰囲気にて炉体を７００℃に温度制御して、原料アルミニウムを溶解させた後、炉体を３０ｍｍ／時の速度で炉心管から引き抜くことにより端部から一方向に凝固させた。そして、長さ方向において凝固開始端より５０ｍｍの位置から凝固開始端より１５０ｍｍの位置までを切り出し、幅６５ｍｍ×長さ１００ｍｍ×厚さ２６ｍｍの塊状の高純度アルミニウムを得た。
【００２５】
この高純度アルミニウム中の各元素含有量は、次の通りであった。すなわち、Ｓｉ＝０．３７質量ｐｐｍ、Ｃｕ＝０．１１質量ｐｐｍ、Ｍｇ＝０．１２質量ｐｐｍ；Ｆｅ＝０．０６４質量ｐｐｍ、Ｔｉ＝０．０３５質量ｐｐｍ、Ｖ＝０．０３３質量ｐｐｍ、Ｃｒ＝０．０４質量ｐｐｍ、Ｚｒ＝０．０２質量ｐｐｍ；前記３５元素の合計含有量≦１質量ｐｐｍ、である。
【００２６】
次いで、上記で得られた高純度アルミニウム塊を、幅５０ｍｍ×長さ５０ｍｍ×厚さ２０ｍｍの大きさに切削加工し、これを室温下、幅約５０ｍｍ×長さ約２０００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍの大きさに圧延して、圧延板を得た。なお、圧延に際しては、厚さ２０ｍｍから厚さ８ｍｍまでは１パス２ｍｍとし、厚さ８ｍｍから厚さ３ｍｍまでは１パス１ｍｍとし、厚さ３ｍｍから厚さ０．５ｍｍまでは１パス０．５ｍｍとした。
【００２７】
次に、得られた圧延板を、幅１０ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさに３枚切り出し、それぞれ電解研磨法にて表面に表面研磨処理を施した。詳しくは、切り出した圧延板を陽極に、黒鉛電極を陰極に用い、電解研磨液として、過塩素酸：エタノール（体積比）＝１：６の混合液（２０℃）を用い、電圧２０Ｖ、６０秒間の条件で、定電圧電解を行った。表面研磨処理を施した各圧延板の表面粗さは１．４μｍであった。
【００２８】
その後、表面研磨処理した各圧延板を、それぞれ、（ａ）減圧度１０-3Ｐａの減圧雰囲気下で焼鈍する、（ｂ）大気雰囲気下で焼鈍する、（ｃ）純水中１００℃で３０分間煮沸するベーマイト処理を施した後、大気中で風乾し、その後、大気雰囲気下で焼鈍する、という３種類の処理に付し、本発明の高純度アルミニウム材（１−ａ）、（１−ｂ）、（１−ｃ）を得た。なお、各処理における焼鈍の条件は、５００℃、３時間とした。
【００２９】
得られた各高純度アルミニウム材を、４．２Ｋの液体ヘリウムまたは２９６Ｋの純水に浸漬して、それぞれ四端子法により電気抵抗を測定することにより、４．２Ｋにおける比抵抗値および２９６Ｋにおける比抵抗値を求めた。測定に際しては、電圧端子間距離は約１００ｍｍとし、測定電流は、４．２Ｋ（液体ヘリウム）の場合には３Ａ、２９６Ｋ（純水）の場合には０．１Ａとした。結果を表１に示す。
【００３０】
（比較例１）
電解研磨法による表面研磨処理を施さないこと以外は実施例１と同様にして、高純度アルミニウム材を作製した。
すなわち、実施例１と同様にして得られた圧延板を、幅１０ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさに３枚切り出し、電解研磨法による表面研磨処理を施すことなく、それぞれ、実施例１と同様の（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の３種類の処理に付し、比較用の高純度アルミニウム材（Ｃ１−ａ）、（Ｃ１−ｂ）、（Ｃ１−ｃ）を得た。なお、表面研磨処理を施さない状態の各圧延板の表面粗さは４．１μｍであった。
得られた高純度アルミニウム材について、実施例１と同様にして、４．２Ｋにおける比抵抗値および２９６Ｋにおける比抵抗値を求めた。結果を表１に示す。
【００３１】
（比較例２および３）
電解研磨法による表面研磨処理に代えて、粗面化処理を施したこと以外は実施例１と同様にして、高純度アルミニウム材を作製した。
すなわち、実施例１と同様にして得られた圧延板を、幅１０ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさに３枚ずつ切り出し、比較例２では粗目エメリー紙（♯３２０）を用い、比較例３では細目エメリー紙（♯１２００）を用い、湿式研磨にて表面に粗面化処理を施した。粗面化処理を施した各圧延板の表面粗さは、比較例２では４．３μｍ、比較例３では７．３μｍであった。
その後、粗面化処理した各圧延板を、それぞれ、実施例１と同様の（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の３種類の処理に付し、比較例２では比較用の高純度アルミニウム材（Ｃ２−ａ）、（Ｃ２−ｂ）、（Ｃ２−ｃ）を、比較例３では比較用の高純度アルミニウム材（Ｃ３−ａ）、（Ｃ３−ｂ）、（Ｃ３−ｃ）を得た。
得られた高純度アルミニウム材について、実施例１と同様にして、４．２Ｋにおける比抵抗値および２９６Ｋにおける比抵抗値を求めた。結果を表１に示す。
【００３２】
【表１】
2010159446.tif 000002
【００３３】
（実施例２）
実施例１と同様にして得られた圧延板を、幅１０ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさに切り出し、減圧度１０-2Ｐａの減圧雰囲気下、６００℃、３時間の条件で焼鈍処理を施した後、炉内で室温まで冷却し、次いで、電解研磨法にて表面に表面研磨処理を施して、本発明の高純度アルミニウム材（２）を得た。詳しくは、表面研磨処理は、焼鈍処理を施した圧延板を陽極に、黒鉛電極を陰極に用い、電解研磨液として、過塩素酸：エタノール（体積比）＝１：６の混合液（２０℃）を用い、電圧２０Ｖ、６０秒間の条件で、定電圧電解を行った。表面研磨処理を施した圧延板（すなわち、高純度アルミニウム材（２））の表面粗さは１．４μｍであった。
【００３４】
得られた高純度アルミニウム材について、実施例１と同様にして、４．２Ｋにおける比抵抗値および２９６Ｋにおける比抵抗値を求め、さらに、下記式から残留抵抗値（ＲＲＲ）を算出した。結果を表２に示す。
ＲＲＲ＝（２９６Ｋにおける比抵抗値）／（４．２Ｋにおける比抵抗値）
【００３５】
（実施例３〜５）
実施例２で得られた高純度アルミニウム材（２）に、陽極酸化処理を実施例毎に処理時間を変えて施すことにより、表面に種々の厚みの酸化皮膜を備えた本発明の高純度アルミニウム材（３）、（４）、（５）を得た。すなわち、高純度アルミニウム材（２）を陽極に、黒鉛電極を陰極に用い、電解液として１５％硫酸水溶液（２０℃）を用い、電流密度０．０１３Ａ／ｃｍ2の条件で、実施例３では１分間、実施例４では２分間、実施例５では２０分間、定電圧電解を行った。得られた高純度アルミニウム材表面の酸化皮膜の厚さを、断面のＳＥＭ写真に基づき測定したところ、実施例３で得られた高純度アルミニウム材（３）は０．４μｍ、実施例４で得られた高純度アルミニウム材（４）は１μｍ、実施例５で得られた高純度アルミニウム材（５）は７μｍであった。
得られた高純度アルミニウム材について、実施例１と同様にして、４．２Ｋにおける比抵抗値および２９６Ｋにおける比抵抗値を求め、さらに、実施例２と同様に残留抵抗値（ＲＲＲ）を算出した。結果を表２に示す。
【００３６】
【表２】
2010159446.tif 000003
【００３７】
（実施例６〜９）
実施例１と同様にして得られた高純度アルミニウム塊を、幅５０ｍｍ×長さ５０ｍｍ×厚さ２０ｍｍの大きさに切削加工し、これを室温下、圧延して、実施例毎に大きさ（厚み）の異なる圧延板を得た。すなわち、実施例６では幅約５０ｍｍ×長さ約５００ｍｍ×厚さ２ｍｍの大きさに圧延し、実施例７では幅約５０ｍｍ×長さ約１０００ｍｍ×厚さ１ｍｍの大きさに圧延し、実施例８では幅約５０ｍｍ×長さ約２０００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍの大きさに圧延し、実施例９では幅約５０ｍｍ×長さ約５０００ｍｍ×厚さ０．２ｍｍの大きさに圧延した。なお、圧延に際しては、厚さ２０ｍｍから厚さ８ｍｍまでは１パス２ｍｍとし、厚さ８ｍｍから厚さ３ｍｍまでは１パス１ｍｍとし、厚さ３ｍｍから厚さ０．５ｍｍまでは１パス０．５ｍｍとし、厚さ０．５ｍｍから厚さ０．２ｍｍまでは１パス０．１ｍｍとした。
【００３８】
次に、各実施例とも、得られた圧延板を幅１０ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさに２枚ずつ切り出した。そして、切り出した一方に、実施例１と同様に電解研磨法にて表面に表面研磨処理を施して、表面粗さを１．４μｍとした後、大気雰囲気下、５００℃、３時間の条件で焼鈍処理を施し、本発明の高純度アルミニウム材（６）、（７）、（８）および(９)を得た。
【００３９】
得られた高純度アルミニウム材について、極低温における表面研磨処理による電気伝導性の向上効果を評価した。
すなわち、上記で２枚ずつ切り出した圧延板の残りの一方に、表面研磨処理を施さず、表面粗さが４．１μｍである状態で、上記実施例６〜９と同様の条件（大気雰囲気下、５００℃、３時間）で焼鈍処理を施し、各実施例ごとに、ブランクとする表面研磨処理なしの高純度アルミニウム材（６’）、（７’）、（８’）および(９’)を得た。
本発明の高純度アルミニウム材（６）〜(９)と、上記で得た高純度アルミニウム材（６’）〜(９’)について、実施例１と同様にして４．２Ｋにおける比抵抗値を求め、各実施例ごとに、ブランク（表面研磨処理なし）の４．２Ｋでの比抵抗値をｘ、本発明の高純度アルミニウム材（表面研磨処理あり）の４．２Ｋでの比抵抗値をｙとして、下記式から比抵抗値低下率を算出した。
比抵抗値低下率（％）＝〔（ｘ−ｙ）／ｘ〕×１００
なお、参考として、各高純度アルミニウム材の２９６Ｋにおける比抵抗値も合わせて求めた。これらの結果を表３に示す。
【００４０】
【表３】
2010159446.tif 000004