(57)【要約】【課題】コアのそれぞれに対応した光源を用いなくても、本構成を有しない場合に比べて、押圧位置の検出にとってノイズとなる光を低減することが可能になり、タッチパネルに利用することができる光導波路、光導波路型タッチパネル、及び光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】バックライト３１から発せられた光は、遮光板３２の開口３２ａを透過して第１の反射面２２Ａで反射し、第１のコア２０Ａを伝播して第１の受光素子４Ａに入射する。バックライト３１からの光は、拡散光であるため、第１の反射面２２Ａで反射した光のうち一部の光が、第１のコア２０Ａを外れてクラッド２１を伝播するが、その光は第３の反射面２３Ａで上方に反射する。【選択図】図１
2010151992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
押圧される面を有する板状のクラッドと、
前記クラッド内に設けられた複数の第１のコアと、
前記クラッド内の前記第１のコアとは異なる層に、前記押圧される面から見て前記第１のコアと交差するように設けられた複数の第２のコアと、
前記複数の第１のコアのそれぞれの一方の端部に設けられ、前記クラッドの前記押圧される面と反対の面側から照射された光を反射して前記第１のコアを伝播させる第１の反射面と、
前記複数の第２のコアのそれぞれの一方の端部に設けられ、前記クラッドの前記押圧される面と反対の面側から照射された光を反射して前記第２のコアを伝播させる第２の反射面と、
前記第１の反射面で反射した光のうち、前記第１のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第１のコアの軸方向と異なる方向に反射する第３の反射面と、
前記第２の反射面で反射した光のうち、前記第２のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第２コアの軸方向と異なる方向に反射する第４の反射面と、
を備えた光導波路。
【請求項２】
硬度Ｈｓが４０以下で、開口数が０．０１〜０．２である請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
押圧される面を有する板状のクラッドと、前記クラッド内に設けられた複数の第１のコアと、前記クラッド内の前記第１のコアとは異なる層に、前記押圧される面から見て前記第１のコアと交差するように設けられた複数の第２のコアとを有する光導波路と、
前記光導波路の前記押圧される面と反対の面側に配置された液晶パネルと、
前記液晶パネルを介して前記光導波路に光を照射する光源と、
前記光導波路の前記複数の第１及び第２のコアの一方の端部側にそれぞれ配置された複数の第１及び第２の受光素子と、
前記複数の第１のコアの他方の端部に設けられ、前記光源からの光を反射して前記複数の第１のコアを伝播させて前記複数の第１の受光素子に入射させる第１の反射面と、
前記複数の第２のコアの他方の端部に設けられ、前記光源からの光を反射して前記複数の第２のコアを伝播させて前記複数の第２の受光素子に入射させる第２の反射面と、
前記第１の反射面で反射した光のうち、前記第１のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第１のコアの軸方向と異なる方向に反射する第３の反射面と、
前記第２の反射面で反射した光のうち、前記第２のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第２コアの軸方向と異なる方向に反射する第４の反射面と、
前記複数の第１及び第２の受光素子の出力信号に基づいて、前記光導波路の前記押圧される面への部分的な押圧によって前記第１及び第２のコアの変形した位置を検出する検出部と、
を備えた光導波路型タッチパネル。
【請求項４】
前記光導波路の硬度Ｈｓが４０以下で、開口数が０．０１〜０．２である請求項３に記載の光導波路型タッチパネル。
【請求項５】
第１のクラッド層上にコア層を形成し、前記コア層上に第２のクラッド層を形成する第１の工程と、
前記第２のクラッド層及び前記コア層の一方の辺の近傍に前記辺に平行に少なくとも１つの傾斜面を含む第１の溝を形成し、前記第２のクラッド層の前記第１の溝よりも内側に前記第１の溝に平行に少なくとも１つの傾斜面を含む第２の溝を形成する第２の工程と、
前記クラッド層及び前記コア層に前記第１の溝に直交する方向に分離溝を形成して前記第１の溝に直交する複数のコアを形成する第３の工程と、
を含む光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路、光導波路型タッチパネル、及び光導波路の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、タッチパネルとして光導波路を用いたものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載されたタッチパネルは、複数の光ファイバを平行に配列したシートをｘ方向用とｙ方向用の２枚重ね、各光ファイバの一方の端部に発光素子をそれぞれ配置し、各光ファイバの他方の端部に光を入射する発光素子を配置したものである。このタッチパネルによれば、シートの表面を押圧すると、光ファイバの曲げ損失により受光素子によるモニタ光量が減少し、これにより押圧位置を検出することができる。
【特許文献１】特開２００５−１０７８０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、コアのそれぞれに対応した光源を用いなくても、本構成を有しない場合に比べて、押圧位置の検出にとってノイズとなる光を低減することが可能になり、タッチパネルに利用することができる光導波路、光導波路型タッチパネル、及び光導波路の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様は、上記目的を達成するため、以下の光導波路、光導波路型タッチパネル、及び光導波路の製造方法を提供する。
【０００６】
［１］押圧される面を有する板状のクラッドと、前記クラッド内に設けられた複数の第１のコアと、前記クラッド内の前記第１のコアとは異なる層に、前記押圧される面から見て前記第１のコアと交差するように設けられた複数の第２のコアと、前記複数の第１のコアのそれぞれの一方の端部に設けられ、前記クラッドの前記押圧される面と反対の面側から照射された光を反射して前記第１のコアを伝播させる第１の反射面と、前記複数の第２のコアのそれぞれの一方の端部に設けられ、前記クラッドの前記押圧される面と反対の面側から照射された光を反射して前記第２のコアを伝播させる第２の反射面と、前記第１の反射面で反射した光のうち、前記第１のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第１のコアの軸方向と異なる方向に反射する第３の反射面と、前記第２の反射面で反射した光のうち、前記第２のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第２コアの軸方向と異なる方向に反射する第４の反射面と、
を備えた光導波路。
【０００７】
［２］硬度Ｈｓが４０以下で、開口数が０．０１〜０．２である前記［１］に記載の光導波路。
【０００８】
［３］押圧される面を有する板状のクラッドと、前記クラッド内に設けられた複数の第１のコアと、前記クラッド内の前記第１のコアとは異なる層に、前記押圧される面から見て前記第１のコアと交差するように設けられた複数の第２のコアとを有する光導波路と、前記光導波路の前記押圧される面と反対の面側に配置された液晶パネルと、前記液晶パネルを介して前記光導波路に光を照射する光源と、前記光導波路の前記複数の第１及び第２のコアの一方の端部側にそれぞれ配置された複数の第１及び第２の受光素子と、前記複数の第１のコアの他方の端部に設けられ、前記光源からの光を反射して前記複数の第１のコアを伝播させて前記複数の第１の受光素子に入射させる第１の反射面と、前記複数の第２のコアの他方の端部に設けられ、前記光源からの光を反射して前記複数の第２のコアを伝播させて前記複数の第２の受光素子に入射させる第２の反射面と、前記第１の反射面で反射した光のうち、前記第１のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第１のコアの軸方向と異なる方向に反射する第３の反射面と、前記第２の反射面で反射した光のうち、前記第２のコアを外れて前記クラッドを伝播する光を前記第２コアの軸方向と異なる方向に反射する第４の反射面と、前記複数の第１及び第２の受光素子の出力信号に基づいて、前記光導波路の前記押圧される面への部分的な押圧によって前記第１及び第２のコアの変形した位置を検出する検出部と、を備えた光導波路型タッチパネル。
【０００９】
［４］前記光導波路の硬度Ｈｓが４０以下で、開口数が０．０１〜０．２である前記［３］に記載の光導波路型タッチパネル。
【００１０】
［５］第１のクラッド層上にコア層を形成し、前記コア層上に第２のクラッド層を形成する第１の工程と、前記第２のクラッド層及び前記コア層の一方の辺の近傍に前記辺に平行に少なくとも１つの傾斜面を含む第１の溝を形成し、前記第２のクラッド層の前記第１の溝よりも内側に前記第１の溝に平行に少なくとも１つの傾斜面を含む第２の溝を形成する第２の工程と、前記クラッド層及び前記コア層に前記第１の溝に直交する方向に分離溝を形成して前記第１の溝に直交する複数のコアを形成する第３の工程と、を含む光導波路の製造方法。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、コアのそれぞれに対応した光源を用いなくても、本構成を有しない場合に比べて、押圧位置の検出にとってノイズとなる光を低減することが可能になり、タッチパネルに利用することができる光導波路を提供できる。
【００１２】
請求項２に記載された発明によれば、タッチパネルに用いたときに、本構成を有しない場合に比べて感度がよくなるような、光導波路を提供できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、コアのそれぞれに対応した光源を用いなくても、本構成を有しない場合に比べて、押圧位置の検出にとってノイズとなる光を低減することが可能になる光導波路型タッチパネルを提供できる。
【００１４】
請求項４に記載された発明によれば、本構成を有しない場合に比べて感度がよくなるような光導波路型タッチパネルを提供できる。
【００１５】
請求項５に記載された発明によれば、層を繰り返し積層することで光導波路を作製することができ、生産性が高くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の実施の形態に係る光導波路型タッチパネルの概略の構成を示す斜視図である。なお、同図では、反射面の図示を省略している。
【００１７】
この光導波路型タッチパネル１は、押圧される面（表面）２ａを有する板状のクラッド２１内の異なる層に互いに交差するように設けられた複数の第１及び第２のコア２０Ａ,２０Ｂを有する光導波路２と、光導波路２の裏面２ｂ側に配置されたディスプレイ３と、光導波路２の複数の第１及び第２のコア２０Ａ,２０Ｂの一方の端部側にそれぞれ配置された複数の第１及び第２の受光素子４Ａ,４Ｂとを備える。
【００１８】
ディスプレイ３は、画像を表示する液晶パネル３０と、液晶パネル３０を背面側から照明するバックライト３１とを備える。
【００１９】
（光導波路の構成）
光導波路２のコア２０Ａ，２０Ｂとクラッド２１のそれぞれの屈折率によって定まる開口数は、押圧したときのコア２０Ａ,２０Ｂの変形で伝播光を漏出しやすくするため、０．０１〜０．２、好ましくは０．０１〜０．１とする。
【００２０】
光導波路２は、コア２０Ａ，２０Ｂを変形しやすくするため、ＪＩＳ  Ｋ  ６３０１で規定された硬度でＨｓ４０以下、より好ましくはＨｓ２０以下の柔軟性を有する。そのためにコア２０Ａ，２０Ｂ及びクラッド２１は、例えば、エポキシ樹脂等の高分子材料から形成される。
【００２１】
図２は、光導波路型タッチパネル１の平面図、図３は、図２のＡ−Ａ線断面図、図４は、図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２２】
光導波路２は、図２及び図３に示すように、複数の第１のコア２０Ａの第１の受光素子４Ａと反対側の端部に設けられ、バックライト３１からの光を反射して複数の第１のコア２０Ａを伝播させて各第１の受光素子４Ａに入射させる複数の第１の反射面２２Ａと、複数の第１の反射面２２Ａで反射した光のうち、第１のコア２０Ａを外れてクラッド２１を伝播する光を第１のコア２０Ａの軸方向と異なる方向、例えば上方に反射する第３の反射面２３Ａとを備える。光路変換面としての第１及び第３の反射面２２Ａ，２３Ａには、安定した光路変換を確保するため、金属膜２４，２５が形成されている。金属膜２４，２５の材料は、光の反射率が高い銀，銀合金等が好ましい。
【００２３】
また、光導波路２は、図２及び図４に示すように、複数の第２のコア２０Ｂの第２の受光素子４Ｂと反対側の端部に設けられ、バックライト３１からの光を反射して複数の第２のコア２０Ｂを伝播させて各第２の受光素子４Ｂに入射させる複数の第２の反射面２２Ｂと、複数の第２の反射面２２Ｂで反射した光のうち、第２のコア２０Ｂを外れてクラッド２１を伝播する光を第２コア２０Ｂの軸方向と異なる方向、例えば上方に反射する第４の反射面２３Ｂとを備える。光路変換面としての第２及び第４の反射面２２Ｂ，２３Ｂには、安定した光路変換を確保するため、銀，銀合金等からなる金属膜２４，２５が形成されている。
【００２４】
第１乃至第４の反射面２２Ａ，２２Ｂ，２３Ａ，２３Ｂの傾斜角度は、バックライト３１からの光を効率良くコア２０Ａ，２０Ｂに導入するため、コア２０Ａ，２０Ｂの軸方向に対して４５°が望ましいが、バックライト３１から発せられる光が拡散光であることや、コア２０Ａ，２０Ｂに閉じ込め可能な開口数ＮＡから、４５±５°程度であればよい。
【００２５】
図５は、光導波路型タッチパネル１の制御系を示すブロック図である。光導波路型タッチパネル１は、本タッチパネル１の各部を制御する制御部１０を有し、この制御部１０に、第１の受光素子４Ａの出力信号に基づいて、第１のコア２０Ａの軸方向の押圧位置を検出する第１の位置検出部１１Ａと、第２の受光素子４Ｂの出力信号に基づいて、第２のコア２０Ｂの軸方向の押圧位置を検出する第２の位置検出部１１Ｂと、画像データ等を記憶する記憶部１２と、液晶パネル３０及びバックライト３１を駆動するパネル駆動部１３とを接続している。第１及び第２の位置検出部１１Ａ，１１Ｂと制御部１０は、押圧される面２ａへの部分的な押圧によって第１及び第２のコア２０Ａ、２０Ｂの変形した位置を押圧位置として検出する検出部を構成する。
【００２６】
第１及び第２の位置検出部１１Ａ,１１Ｂは、受光素子４Ａ,４Ｂが出力する電気信号のレベルが閾値未満のとき、その受光素子４Ａ,４Ｂに対応するコア２０Ａ,２０Ｂの位置を検出し、位置検出信号を制御部１０に出力する。
【００２７】
制御部１０は、第１及び第２の位置検出部１１Ａ,１１Ｂからの位置検出信号に基づいて、各位置検出部１１Ａ,１１Ｂが検出したコア２０Ａ，２０Ｂが交差する位置を押圧位置として検出する。
【００２８】
（光導波路の製造方法）
図６は、光導波路２の製造工程の一例を示し、（ａ１）〜（ｅ１）は、平面図、（ａ２）〜（ｃ２）は、（ａ１）〜（ｃ１）のＣ−Ｃ線断面図、（ｄ２）及び（ｅ２）は、（ｄ１）及び（ｅ１）のＤ−Ｄ線断面図である。
【００２９】
まず、図６（ａ１）、（ａ２）に示すように、第１のクラッド層２０１Ａ上にコア層２００を形成し、コア層２００上に第２のクラッド層２０１Ｂを形成する。これらの３層２００，２０１Ａ，２０１Ｂは、例えば、基板上にスピンコート、ディッピング、塗膜等の手段を繰返し行って形成する。塗膜による層の積層は、生産性が高い連続形成が可能となる点で好ましい。
【００３０】
次に、図６（ｂ１）、（ｂ２）に示すように、先端角が４５°のダイシングブレード５０により、第２のクラッド層２０１Ｂ及びコア層２００の一方の辺２ｃの近傍に辺２ｃに平行に傾斜面と垂直面で構成された第１の溝２０２を形成し、第２のクラッド層２０１Ｂの第１の溝２０２よりも内側に第１の溝２０２に平行に傾斜面と垂直面で構成された第２の溝２０３を形成する。なお、第１及び第２の溝２０２，２０３は、Ｖ溝でもよい。
【００３１】
次に、図６（ｃ１）、（ｃ２）に示すように、第２のクラッド層２０１Ｂの表面にマスクを密着させ、着膜装置を用いて第１及び第２の溝２０２，２０３の傾斜面に金属膜２０４，２０５を着膜する。着膜は、３層２００，２０１Ａ，２０１Ｂを傷めなければ、蒸着、スパッタリング等、特に制限はない。
【００３２】
次に、図６（ｄ１）、（ｄ２）に示すように、第２のクラッド層２０１Ｂ及びコア層２００に第１の溝２０２に直交する複数の分離溝２０６を先端の断面形状が矩形のダイヤモンドブレード５１を用いて形成して第１の溝２０２に直交する複数の第２のコア２０Ｂを形成する。
【００３３】
次に、図６（ｅ１）、（ｅ２）に示すように、溝２０６にクラッド層２０１Ａ，２０１Ｂと同一の材料のクラッド材２０７を充填し硬化させる。
【００３４】
これにより、図1に示す光導波路２の下側部分が形成される。前述した様に、光導波路２の上側部分を形成し、光導波路２の下側部分と上側部分とを貼り合わせることにより光導波路２を製造する。
【００３５】
なお、図１に示す光導波路２の下側部分を前述した様に形成した後、光導波路２の下側部分の上に第２のコア層及び第３のクラッド層を形成し、前述したように第１及び第２の溝を形成し、第１及び第２の溝の傾斜面に金属膜を形成し、分離溝による第１のコア２０Ａを形成してもよい。
【００３６】
（光導波路型タッチパネルの動作）
次に、光導波路型タッチパネル１の動作を図１〜図８を参照して説明する。
【００３７】
図７は、押圧状態の光導波路型タッチパネル１の平面図、図８（ａ）、（ｂ）は、図７の押圧位置における光導波路型タッチパネル１の要部断面図である。
【００３８】
制御部１０は、記憶部１２に記憶されている画像データに基づいてパネル駆動部１３を制御する。パネル駆動部１３は、画像データに応じた駆動信号を液晶パネル３０に送信するとともにバックライト３１を点灯させる。液晶パネル３０は、バックライト３１が発する光を受けて画像を表示する。
【００３９】
バックライト３１が発する光は、図３及び図４に示すように、遮光板３２の開口３２ａを透過し、第１及び第２の反射面２２Ａ，２２Ｂで反射し、第１及び第２のコア２０Ａ，２０Ｂを伝播する。第１及び第２のコア２０Ａ，２０Ｂを伝播した光は、第１及び第２の受光素子４Ａ，４Ｂに入射する。第１及び第２の受光素子４Ａ，４Ｂは、受光した光量に応じたレベルの電気信号を第１及び第２の位置検出部１１Ａ，１１Ｂに出力する。押圧していない箇所のコア２０Ａ，２０Ｂを伝播する光を受光した受光素子４Ａ，４Ｂは、閾値以上のレベルの電気信号を出力する。
【００４０】
また、バックライト３１からの光は、拡散光であるため、図３及び図４に示すように、第１及び第２の反射面２２Ａ，２２Ｂで反射した光のうち一部の光が、第１及び第２のコア２０Ａ，２０Ｂを外れてクラッド２１を伝播するが、その光は第３及び第４の反射面２３Ａ，２３Ｂで上方に反射される。従って、クラッド２１を伝播する光が受光素子４Ａ，４Ｂに入射してノイズとなるのを防ぐことができる。
【００４１】
光導波路２は、柔軟性を有しているため、図７に示すように、指又はペン等で光導波路２の表面２ａを部分的に押圧すると、図８（ａ），（ｂ）に示すように、押圧した箇所の第１及び第２のコア２０Ａ，２０Ｂは、変形する。第１及び第２のコア２０Ａ，２０Ｂを伝播する光は、第１及び第２のコア２０Ａ，２０Ｂが変形することで、押圧箇所での光閉じ込めが不十分となってコア２０Ａ，２０Ｂの外へ漏出する。押圧された箇所のコア２０Ａ，２０Ｂを伝播する光を受光した受光素子４Ａ，４Ｂは、閾値未満のレベルの電気信号を出力する。
【００４２】
第１及び第２の位置検出部１１Ａ，１１Ｂは、閾値未満のレベルの電気信号を受信した第１及び第２の受光素子４Ａ，４Ｂに基づいて対応するコア２０Ａ，２０Ｂの位置を検出し、その位置検出信号を制御部１０に出力する。制御部１０は、第１及び第２の座標検出部１１Ａ，１１Ｂからの位置検出信号に基づいて、表面２ａの押圧位置を検出し、押圧位置に対応した動作を行う。
【実施例１】
【００４３】
以下、本発明を実施例を挙げてさらに具体的に説明する。但し、これら実施例は、本発明を制限するものではない。
【００４４】
まず、ガラス基板上に紫外線硬化型エポキシ系樹脂（屈折率１．５８７）をスピンコート法で成膜し、紫外線を照射して硬化させ、厚さ３０μｍの第１のクラッド層２０１Ａを形成する。
【００４５】
次に、第１のクラッド層２０１Ａの上に紫外線硬化型エポキシ樹脂（屈折率１．５９０）をスピンコート法で成膜し、紫外線を照射して硬化させ、厚さ５０μｍのコア層２００を積層する。
【００４６】
次に、コア層２００の上に紫外線硬化型エポキシ樹脂（屈折率１．５８７）をスピンコート法で成膜し、紫外線を照射して硬化させ、厚さ３０μｍの第２のクラッド層２０１Ｂを積層して、総厚１１０μｍの３層シートを作製する。
【００４７】
次に、粒度５０００番のダイヤモンド砥粒を用いた先端角４５°のダイシングブレード（（株）ディスコ製）５０をダイシングソー（（株）ディスコ製ＤＡＤ３２１）に取り付ける。ダイシングソーには、３層シートがダイシングテープにより貼り付け固定されてある。
【００４８】
そして先端角４５°のダイシングブレード５０を３層シートの最表面から８０μｍの深さまで下ろし、３層シートの１辺付近の第２のクラッド層２０１Ｂ及びコア層２００を研削除去加工を行って第１の溝２０２を形成する。
【００４９】
次に、ダイシングブレード５０を傾斜面が形成された方向へ１２０μｍ移動させ、３層シートの最表面から３０μｍの深さまで下ろし、３層シートの第２のクラッド層２０１Ｂを、先ほど研削除去した第１の溝２０２と平行に研削除去加工を行って第２の溝２０３を形成する。
【００５０】
次に、幅１８０μｍの開口を設けたマスクを、開口から研削除去加工された２つの傾斜面が露出するようにして、３層シートに貼り付け、蒸着成膜装置に取り付ける。その蒸着成膜装置に銀合金材（三菱マテリアル社製３７番）を取り付け、蒸着成膜装置を稼動させて厚さ０．１μｍの銀合からなる金膜２０４，２０５を２つの傾斜面に成膜する。
【００５１】
次に、粒度３０００番のダイヤモンド砥粒を用いた先端の断面形状が矩形の幅２００μｍのダイシングブレード５１をダイシングソーに取り付ける。そしてダイシングブレード５１を３層シートの最表面から８０μｍの深さまで下ろし、既に形成された２つの傾斜面に直交する方向に研削除去加工を行って分離溝２０６を形成する。加工方向全体にその研削除去加工を行った後、ダイヤモンドブレード５１を２５０μｍ移動させ、平行に研削除去加工を行うことで、断面が５０μｍ×５０μｍの第２のコア２０Ｂを２５０μｍ間隔のアレイ状に作製する。
【００５２】
次に、研削除去加工した分離溝２０６及び銀合金を成膜した２つの溝２０２，２０３にクラッド用の紫外線硬化型エポキシ樹脂（屈折率１．５８７）を充填し、紫外線を照射して硬化させる。
【００５３】
次に、コア用の紫外線硬化型エポキシ樹脂（屈折率１．５９０）を前回同様に成膜・硬化させ、厚さ５０μｍのコア層を積層する。次に、クラッド用紫外線硬化型エポキシ樹脂（屈折率１．５８７）を前回同様に成膜・硬化させ、厚さ３０μｍのクラッド層を積層して、総厚１９０μｍのシートを作製する。
【００５４】
次に、粒度５０００番のダイヤモンド砥粒を用いた先端角４５°のダイシングブレード（（株）ディスコ製）５０をダイシングソー（（株）ディスコ製ＤＡＤ３２１）に取り付ける。ダイシングソーには、総厚１９０μｍの５層シートがダイシングテープにより貼り付け固定されてある。
【００５５】
そして先端角４５°のダイシングブレード５０を５層シートの最表面から８０μｍの深さまで下ろし、前回作製した傾斜面と直交する方向で、５層シートの１辺付近の上部クラッド層及びコア層を研削除去加工を行って第１の溝を形成する。
【００５６】
次に、ダイシングブレード５０を傾斜面が形成された方向へ１２０μｍ移動させ、５層シートの最表面から３０μｍの深さまで下ろし、５層シートの１辺の上部クラッド層を、先ほど研削除去した第１の溝と平行に研削除去加工を行って第２の溝を形成する。
【００５７】
次に、幅１８０μｍの開口を設けたマスクを、開口から研削除去加工された２つの傾斜面が露出するようにして、５層シートに貼り付け、蒸着製膜装置に取付ける。その蒸着成膜装置には、銀合金材（三菱マテリアル社製３７番）を取り付け、蒸着成膜装置を稼動させて厚さ０．１μｍの銀合からなる金膜を２つの傾斜面に成膜する。
【００５８】
次に、粒度３０００番のダイヤモンド砥粒を用いた先端の断面形状が矩形の幅２００μｍのダイシングブレード５１をダイシングソーに取り付ける。そしてダイシングブレード５１を５層シートの最表面から８０μｍの深さまで下ろし、既に形成された２つの傾斜面に直交する方向に研削除去加工って分離溝を形成する。加工方向全体にその研削除去加工を行った後、ダイヤモンドブレードを２５０μｍ移動させ、平行に研削除去加工を行うことで、断面が５０μｍ×５０μｍの第１のコア２０Ａが２５０μｍ間隔のアレイ状に作製される。このアレイ状の第１のコア２０Ａは前回作製した第２のコア２０Ｂと上面から見て交差する方向に配設されている。
【００５９】
次に、研削除去加工した分離溝及び銀合金を成膜した２つの溝にクラッド用の紫外線硬化型エポキシ樹脂（屈折率１．５８７）を充填し、紫外線を照射して硬化させる。そしてガラス基板を剥がして、タッチパネル用光導波路が作製された。このタッチパネル用光導波路の硬度は、Ｈｓ４０であった。
【００６０】
次に、液晶パネル３０の画像表示範囲外の２辺側に、タッチパネル用導波路の銀合金が形成された傾斜面に対向する位置に複数の開口３２ａを有する遮光板３２が形成されたディスプレイ３を用意する。
【００６１】
遮光板３２の開口３２ａの位置とコアに銀合金で形成された傾斜面の位置を表面２ａの法線方向で一致させて貼り合わせる。
【００６２】
次に、コア２０Ａ，２０Ｂの銀合金で形成された傾斜面と反対側の端部にそれぞれ受光素子（京セミ製ＩｎＧａＡｓフォトダイオード；受光径５０μｍ）４Ａ，４Ｂの受光面を取り付ける。
【００６３】
ディスプレイ３のバックライト３１から発せられる光が受光素子４Ａ，４Ｂで検出されるようになり、ディスプレイ３に貼り付けた光導波路２を１ＭＰａで押圧したところ、押圧したコア２０Ａ，２０Ｂの挿入損失が２ｄＢ増加したことを検知できた。その挿入損失を検知した受光素子４Ａ，４Ｂから、タッチパネルの押圧位置を検出できる。
【００６４】
［他の実施の形態］
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、その要旨を変更しない範囲内で種々な変形が可能である。例えば、本発明の要旨を変更しない範囲内で各実施の形態間の構成要素の組合せは任意に行うことができ、各実施の形態の構成要素を省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る光導波路型タッチパネルの概略の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、光導波路型タッチパネルの平面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図５は、光導波路型タッチパネルの制御系を示すブロック図である。
【図６】図６は、光導波路２の製造工程の一例を示し、（ａ１）〜（ｅ１）は、平面図、（ａ２）〜（ｃ２）は、（ａ１）〜（ｃ１）のＣ−Ｃ線断面図、（ｄ２）及び（ｅ２）は、（ｄ１）及び（ｅ１）のＤ−Ｄ線断面図である。
【図７】図７は、押圧状態の光導波路型タッチパネルの平面図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）は、図７の押圧位置における光導波路型タッチパネルの要部断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１…光導波路型タッチパネル、２…光導波路、２ａ…押圧される面（表面）、２ｂ…裏面、２ｃ…一方の辺、３…ディスプレイ、４Ａ…第１の受光素子、４Ｂ…第２の受光素子、１０…制御部、１１Ａ…第１の位置検出部、１１Ｂ…第２の位置検出部、１２…記憶部、１３…パネル駆動部、２０Ａ…第１のコア、２０Ｂ…第２のコア、２１…クラッド、２２Ａ…第１の反射面、２２Ｂ…第２の反射面、２３Ａ…第３の反射面、２２Ｂ…第４の反射面、２４，２５…金属膜、３０…液晶パネル、３１…バックライト、３２…遮光板、３２ａ…開口、５０，５１…ダイヤモンドブレード、２００…コア層、２０１Ａ…第１のクラッド層、２０１Ｂ…第２のクラッド層、２０２…第１の溝、２０３…第２の溝、２０４，２０５…金属膜、２０６…分離溝、２０７…クラッド材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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