(57)【要約】      （修正有）【課題】雄ネジ部を備えないダイアフラムであって、切削加工によって精度の高いダイアフラムを提供すること。【解決手段】第１面と第２面が表裏に形成されたダイアフラムを切削加工により製造するダイアフラムの製造方法において、ダイアフラムの第１面側の中央に突出した固定用ネジ部を有し、ダイアフラムＢの第２面側に円柱部１を有する、第１半製品Ａ１を加工する第１工程と、第１半製品Ａ１の固定用ネジ部に対応するネジ孔を有する第１保持具５を、第１半製品Ａ１と螺合し固定する第２工程と、第１半製品円柱部を切削し第２面を形成し第２半製品とする第３工程と、第２面に対応した形状の第２保持具と、固定用ネジ部の周囲に密着する形状の第保持具との間に第２半製品を固定する第４工程と、第２半製品の第１面に残った固定用ネジ部を切削し、第１面を形成しダイアフラムとする第５工程とを有する。【選択図】図５
2010071403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と第２面が表裏に形成されたダイアフラムを切削加工により製造するダイアフラムの製造方法において、
前記ダイアフラムの第１面側の中央に突出した固定用ネジ部を有し、前記ダイアフラムの第２面側に円柱部を有する、第１半製品を加工する第１工程と、
前記第１半製品の前記固定用ネジ部に対応するネジ孔を有する第１保持具を、前記第１半製品と螺合し固定する第２工程と、
前記第１半製品の前記円柱部を切削し前記第２面を形成し第２半製品とする第３工程と、
前記第２面に対応した形状の第２保持具と、前記固定用ネジ部の周囲に密着する形状の第３保持具との間に前記第２半製品を固定する第４工程と、
前記第２半製品の第１面に残った前記固定用ネジ部を切削し、前記第１面を形成しダイアフラムとする第５工程と、
を含むことを特徴とするダイアフラムの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載する製造方法であって、
前記第１工程において、前記固定用ネジ部の内径を中空とした前記第１半製品を形成することを特徴とするダイアフラムの製造方法。
【請求項３】
請求項１及び請求項２に記載する製造方法であって、
前記第２工程において、前記固定用ネジ部の内径部に密着するように固体を充填することを特徴とするダイアフラムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１面と第２面が表裏に形成されたダイアフラムを切削加工により製造するダイアフラムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象物であるダイアフラムは、薄膜のものであるため、通常はプレス工法により加工する方法が用いられている。しかし、プレス加工では型を製作する必要があるためリードタイムが長い問題がある。そのため、試作品を作ってテストしようとする場合には、プレス加工ではなく切削加工による製造方法が望まれてきた。
しかし、ダイアフラムは、例えば０．２ｍｍであるなど薄膜であるため、変形しやすい。そのため、切削加工による製造方法では、変形しやすいダイアフラムをどのように固定し、変形させずに精度が高いダイアフラムを製造するかが問題となる。
【０００３】
従来は、特許文献１にあるような凝固材をワークと固定用治具表面との間に介在させ冷却することでワークを凍結固定することにより、ダイアフラムを製造する方法が提案されている。
しかし、凝固材を用いてダイアフラムを製造する本発明の方法では、凝固材の厚みが加工誤差となること、凝固材を均一に塗布しないと加工精度がばらつくこと、切削熱により凝固材が収縮・膨張すると加工精度がばらつくこと等の問題点があり、精度の高いダイアフラムを製造することができなかった。
【０００４】
一方、凝固材を用いない固定方法として、特許文献２にあるような切削加工により製造するものがある。
特許文献２に係る発明は、ダイアフラムの中央に突出した雄ネジ部を備えるものを製造し、その雄ネジ部を利用して切削面を固定することで、精度の高いダイアフラムを製造する方法である。
【０００５】
【特許文献１】特許３００８３４４号公報
【特許文献２】特開２００１−８２６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の特許文献２に係る製造方法には、以下の問題があった。
すなわち、特許文献２により製造されるダイアフラムのように、ダイアフラムそのものが雄ネジ部を備える場合には、当該雄ネジ部を有するダイアフラムを製造する方法でもよい。
しかし、本発明で対象とする製品は雄ネジ部を備えないダイアフラムであるため、本製造方法を適用することはできない。
そこで、切削加工においてダイアフラムを固定することができる製造方法であり、製品中央に突出した雄ネジ部を有さないダイアフラムを製造することができる製造方法であり、精度の高いダイアフラムを製造できる製造方法が要求された。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、雄ネジ部を備えないダイアフラムであって、切削加工によって精度の高いダイアフラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るダイアフラムの製造方法は、以下の構成を有する。
（１）第１面と第２面が表裏に形成されたダイアフラムを切削加工により製造するダイアフラムの製造方法において、ダイアフラムの第１面側の中央に突出した固定用ネジ部を有し、ダイアフラムの第２面側に円柱部を有する、第１半製品を加工する第１工程と、第１半製品の固定用ネジ部に対応するネジ孔を有する第１保持具を、第１半製品と螺合し固定する第２工程と、第１半製品の円柱部を切削し第２面を形成し第２半製品とする第３工程と、第２面に対応した形状の第２保持具と、固定用ネジ部の周囲に密着する形状の第３保持具との間に第２半製品を固定する第４工程と、第２半製品の第１面に残った固定用ネジ部を切削し、第１面を形成しダイアフラムとする第５工程と、を含むことを特徴とする。
（２）（１）に記載する製造方法であって、第１工程において、固定用ネジ部の内径を中空とした第１半製品を形成することを特徴とする。
（３）（１）及び（２）に記載する製造方法であって、第２工程において、固定用ネジ部の内径部に密着するように固体を充填することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
上記のダイアフラムの切削加工による製造方法についての作用及び効果について説明する。
例えば、第１工程において、ダイアフラムの一方の端面である第１面に中央に突出し中空円筒状の固定用ネジ部を有し、ダイアフラムの第２面に相当する部分に円柱部を有する、第１半製品を製造する。第１半製品の円柱部の中心には、切欠き孔が形成されている。
第２工程において、第１面の固定用ネジ部に対応するネジ孔を備えた第１保持具を、第１半製品の固定用ネジ部と螺合し固定する。
第３工程において、第１半製品の第２面側を、切欠き孔からバイトにより切削し第２面を形成する第２半製品を製造する。
第４工程において、第２面に対応した形状の第２保持具を第２面に契合させる。また、第２保持具と第２半製品を覆うように、固定用ネジ部に対応する部分に加工用貫通孔が形成された第３保持具を装着する。さらに、第２保持具と第３保持具とをネジで螺合することで、固定する。
第５工程において、第１面に残った固定用ネジ部を、加工用貫通孔より切削し第１面を形成する第３半製品を製造する。
以上により、ダイアフラムの切削加工による製造は終了する。
【００１０】
（１）の製造方法を採用することにより、第１工程で形成された第１半製品は固定用ネジ部を有するため、第２、３工程の切削加工においてダイアフラムを確実に固定することができ、第２面を高精度で切削することができる。
また、第４工程において、第２保持具が第２面に契合されるため、第１面を切削する際に、第１面が変形することはない。
また、第５工程において第１面に残った固定用ネジ部を切削するため、製品中央に突出した固定用ネジ部を有さない第１面を製造することができる。
さらに、切削加工によりダイアフラムを製作することができるため、試作品を作る際のリードタイムを短くすることができる。
（２）により、固定用ネジ部の内径部が中空になっているため、第５工程における固定用ネジ部の切削を容易にすることができる。固定用ネジ部の中心は切削抵抗が大きいために固定用ネジ部の内径が中空になっていることで、固定用ネジ部の切削を容易にすることができる。切削を容易にすることができることで、加工中心部の加工精度を向上することができるため、第１面を高精度で切削することができる。
（３）により、固定用ネジ部の内径部が中空であるため、内径部に固体を充填することで第１半製品を確実に固定するができる。また、ダイアフラムは０．２ｍｍ程度と薄いため、内径部が中空となっていると第２面が変形してしまうが、内径部に固体を充填することで、第２面を変形しないで切削することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明に係るダイアフラムの切削加工による製造方法の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
＜第１工程＞
図３は、第１工程により切削加工される第１半製品Ａ１の断面図を示す。
第１工程は、旋盤加工により第１半製品Ａ１を切削加工する工程である。第１半製品Ａ１は、完成品であるダイアフラムＢの加工前のものである。
第１半製品Ａ１の形状について説明する。第１半製品Ａ１はドーム形状をしたドーム部２７及び円柱状の円柱部３１が結合した形状からなる。円柱部３１は、ドーム部２７の下面３３に形成されている。
ドーム部２７は、後述するダイアフラムＢの第１面２０側にある。ドーム部２７の上面２１の中心部に中空円柱形状の固定用ネジ部２２が形成されている。固定用ネジ部２２の中心部には、中空孔２３形成されている。また、固定用ネジ部２２の内周壁面には雌ネジ２４が、外周壁面には雄ネジ２５が、形成されている。ドーム部２７の最外周部には凸部２６が形成されている。
円柱部３１は、後述するダイアフラムＢの第２面３０側にある。円柱部３１の中心に切欠き部３２が形成されている。
第１半製品Ａ１は、従来技術である旋盤加工により加工することができるため、旋盤加工についての説明は割愛する。
【００１３】
＜第２工程＞
図４は、第１半製品Ａ１、ネジ４、及び第１保持具５の断面図を示す。図５は、第１半製品Ａ１にネジ４を螺合し、第１保持具５を螺合させた図を示す。
第２工程は、第１半製品Ａ１に、ネジ４を螺合し、第１保持具５を螺合し、第１半製品Ａ１を固定する工程である。
ネジ４は、第１半製品Ａ１の中空孔２３に収まる円筒形状をしている。ネジ４は、例えば六角孔付き先端が平板状のネジ等である。ネジ４の周壁には雄ネジ４ａが形成されている。ネジ４の上面４ｂには、例えば、六角孔、十字孔などが形成されている。そのため、作業者がドライバー等により、ネジ４を回転させることで、雄ネジ４ａと雌ネジ２４が螺合し、ネジ４は中空孔２３と嵌合する。ネジ４の先端が平板状であるため、中空孔２３の底面である上面２１の全面で契合することができる。
【００１４】
第１保持具５は、円柱形状をしている。第１半製品Ａ１と接面する側の面は第１面５ｅである。第１面５ｅに第１半製品Ａ１のドーム部２７と同じ形状を形取った凹部であるドーム面５ｃが形成されている。ドーム面５ｃの最外周部には、凸部２６と同じ形状の凹部５ｄが形成されている。ドーム面５ｃの中心部には、円柱形状の固定孔５ａが形成されている。固定孔５ａの内周壁には、雌ネジ５ｂが形成されている。
【００１５】
第１半製品Ａ１とネジ４を螺合させた状態で、作業者が第１半製品Ａ１を回転させることで、固定用ネジ部２２の雄ネジ２５を第１保持具５の雌ネジ部５ｂに螺合させる。固定用ネジ部２２を第１保持具５に最後まで螺合させると、第１半製品Ａ１の上面２１が第１保持具５のドーム面５ｃと契合する。また、凸部２６が凹部５ｄに契合する。
【００１６】
＜第３工程＞
図６は、図５の状態から、第１半製品Ａ１の円柱部３１を切削し、第１半製品Ａ１を第２半製品Ａ２とした状態を示す。図７は、第２半製品Ａ２から、ネジ４、及び、第１保持具５を取外した状態を示す。
図示しないバイトを動作させることにより、第１半製品Ａ１の円柱部３１を切削する。第１半製品Ａ１の円柱部３１を切削し、約０．２ｍｍ程度の薄さにする。しかし、鉄製の第１半製品Ａ１を約０．２ｍｍ程度の薄さにしようとすると、確実に固定されていないと、薄板部が変形してしまい、精度の高いダイアフラムＢを製造することができない。ここで、第２工程において、第１半製品Ａ１は、ネジ４により第２面の反対側の中空孔２３内の上面２１と契合していることから、中空孔２３内の上面２１は固定される。また、中空孔２３外の上面２１は、上面２１の形状と同じ形状を形取った凹部であるドーム面５ｃが契合していることから、中空孔２３外の上面２１は固定される。上面２１が確実に固定されることにより、バイトにより切削を行っても第２保持具Ａ２の第２面３０を変形させることはない。
バイトは、第１半製品Ａ１の最外周部の凸部２６側から中心のほうへ切削していく。中心方向へと加工することによりバイトが受けるダメージが少なく、バイトが長持ちするからである。
【００１７】
バイトにより第１半製品Ａ１の円柱部３１を切削することで、第１半製品Ａ１は第２半製品Ａ２になる。
第２半製品Ａ２は、皿状体のダイアフラム部３４と固定用ネジ部２２から構成されている。ダイアフラム部３４の表面が上面２１であり、裏面が第２面３０である。ダイアフラム部３４の最外周部には凸部２６が形成されている。ダイアフラム部３４の厚さは、約０．２ｍｍ程度である。
固定用ネジ部２２の形状は、第１半製品Ａ１と同様の形状であるため説明を割愛する。
その後、図７に示すように、作業者が第１半製品Ａ１を回転させることで、第１半製品Ａ１を第１保持具５から取り外す。また、作業者がドライバー等により第２半製品Ａ２から、ネジ４を取外す。
以上により第３工程は終了する。
【００１８】
＜第４工程＞
図８は、第２半製品Ａ２、第２保持具６の断面図を示す。図９は、第２半製品Ａ２に第２保持具６を契合させた状態の断面図を示す。図１０は、第２半製品Ａ２に第２保持具６を契合させたもの、及び、第３保持具７の断面図を示す。図１１は、第２半製品Ａ２に第２保持具６を契合させたものに、第３保持具７を契合させた状態の断面図を示す。
第２保持具６は、円柱状の土台部６ｃ、固定部６ｄ、及びドーム形状の接続部６ｅにより構成されている。
接続部６ｅの端面には上面６ｂが形成されている。上面６ｂの中心部は平らであるが、円周上に広がるにつれ湾曲している。
作業者は、第２保持具６を第２半製品Ａ２に契合させる。第２半製品Ａ２のダイアフラム部３４と第２保持具６の接続部６ｅの出っ張りの形状は契合するため、第２半製品Ａ２と第２保持具６は確実に固定することができる。
【００１９】
第３保持具７は、円形状の上壁７ｂ及び中空円柱形状の周壁７ｄにより構成されている。周壁７ｄは、上壁７ｂの最外周部に結合している。
上壁７ｂの中心には、円柱形状の加工用貫通孔７ａが貫通している。加工用貫通孔７ａの直径は、固定用ネジ部２２の直径よりも僅かに長い長さである。そのため、固定用ネジ部２２は、加工用貫通孔７ａを内嵌することができる。
周壁７ｄの内周壁７ｅの直径は、第２保持具６の固定部６ｄ直径より、僅かに長い長さである。そのため、第２保持具６の固定部６ｄは、周壁７ｄに内嵌することができる。
作業者は、第３保持具７を第２半製品Ａ２に契合させる。第３保持具７の周壁７ｄが、第２保持具６の固定部６ｄに契合した状態であるときに、図示しない固定ネジで第３保持具７の周壁７ｄと第２保持具６の固定部６ｄを固定する。
第２半製品Ａ２は、第２保持具６と第３保持具７に挟まれ固定される。
【００２０】
＜第５工程＞
図１２は、図１１の第２半製品Ａ２の固定用ネジ部２２を切削し第３半製品Ａ３とした状態の図を示す。図１３は、図１２の第３保持具７を第３半製品Ａ３から離間した状態の図を示す。
図１１に示す、第２半製品Ａ２が固定された状態にあるときに、図示しないバイトにより、第２半製品Ａ２の固定用ネジ部２２を切削する。このとき、固定用ネジ部２２には中空孔２３が形成されているため、バイトを中空孔２３に挿入し、切削することができる。加工中心部は切削抵抗が大きいため切削面が変形しやすく、加工精度が悪化する。そのため、固定用ネジ部２２に中空孔２３が形成されていることで加工中心部を加工する必要がなく加工精度を悪化させることがない。
また、第２半製品Ａ２のダイアフラム部３４は、第２保持具６の上面６ｂと契合しているため、バイトにより切削するときにも薄膜部が変形することはない。
【００２１】
第３半製品Ａ３は、皿状体の形状をしている。第３半製品Ａ３の表面が第１面２０であり、裏面が第２面３０である。第３半製品Ａ３の最外周部には凸部２６が形成されている。第３半製品Ａ３の厚さは、約０．２ｍｍ程度である。
図１２に示すように、図示しないバイトにより第２半製品Ａ２を第３半製品Ａ３とした後に、図１３に示すように、作業者等が第３保持具７の周壁７ｄと第２保持具６の固定部６ｄを固定していたネジを取外し、第３半製品Ａ３から、第３保持具７を切り離す。
以上により第５工程は終了する。
【００２２】
＜第６工程＞
図１４は、第３半製品Ａ３に第２保持具６を契合させたもの、及び、第４保持具８の断面図を示す。図１５は、第３半製品Ａ３に第２保持具６を契合させたものに、第４保持具８を契合させた状態の断面図を示す。図１６は、図１５の第３半製品Ａ３の凸部２６を切削しダイアフラムＢとした状態の図を示す。
第４保持具８は、円柱形状をしている。第４保持具８のうち第３半製品Ａ３と接続する面が接続面８ａであり、接続面８ａには、リング状に切欠き部８ｂが形成されている。
【００２３】
第３半製品Ａ３に第２保持具６が契合した状態にあるときに、作業者が、第３半製品Ａ３を第２保持具６と第４保持具８に契合する。それにより第３半製品Ａ３は固定される。
第３半製品Ａ３の凸部２６を図示しないバイトにより切削する。切欠き部８ｂが形成されていることにより、バイトが凸部２６を切削する際に第４保持具８が邪魔になることはない。
図１６に示すように、第３半製品Ａ３をダイアフラムＢとした後に、作業者がダイアフラムＢから第４保持具８を切り離し、その後第２保持具６を切り離す。
以上により第６工程は終了する。
【００２４】
図１は、本発明の方法により製造するダイアフラムＢの外観斜視図を示す。図２は、図１のダイアフラムＢの断面図を示す。
ダイアフラムＢの形状は、皿状体の形状をしている。ダイアフラムＢの表面が第１面２０であり、裏面が第２面３０である。ダイアフラムＢの厚さは、約０．２ｍｍ程度である。
【００２５】
（第２実施形態）
図１７は、第２実施形態における、第１半製品Ａ１０に第１保持具５０を螺合させ、位置決めピン４０を嵌挿した図を示す。
例えば、第１保持具５０は、第１実施形態の第１保持具５０と比べて、位置決めピン差込口５０ａが貫通している。
そして、第２工程において、第１半製品Ａ１０に第１保持具５０を作業者が螺合させる。そして、位置決めピン４０を第１保持具５０の位置決めピン差込口５０ａを嵌挿させ、第１半製品Ａ１０の中空孔２３に差し込むことで、ネジ４の代わりをすることができる。位置決めピン４０の先端が平板状であるため、中空孔２３の底面である上面２１の全面積部分を契合することができる。
第２工程において、第１半製品Ａ１０は、位置決めピン４０により第２面の反対側の中空孔２３内の上面２１と契合していることから、中空孔２３内の上面２１は固定される。上面２１が確実に固定されることにより、バイトにより切削を行ってもダイアフラムＢの第２面３０を変形させることはない。
第２実施形態における、その他の工程は、第１実施形態と同様であるため説明を割愛する。
【００２６】
以上詳細に説明したように、本実施例のダイアフラムＢの製造方法によれば、
（１）第１面２０と第２面３０が表裏に形成されたダイアフラムＢを切削加工により製造するダイアフラムＢの製造方法において、ダイアフラムの第１面側の中央に突出した固定用ネジ部２２を有し、ダイアフラムＢの第２面側に円柱部３１を有する、第１半製品Ａ１を加工する第１工程と、第１半製品Ａ１の固定用ネジ部２２に対応するネジ孔５ａを有する第１保持具５を、第１半製品Ａ１と螺合し固定する第２工程と、第１半製品Ａ１の円柱部３１を切削し第２面３０を形成し第２半製品Ａ２とする第３工程と、第２面３０に対応した形状の第２保持具６と、固定用ネジ部２２の周囲に密着する形状の第３保持具７との間に第２半製品Ａ２を固定する第４工程と、第２半製品Ａ２の第１面２０に残った固定用ネジ部２２を切削し、第１面２０を形成しダイアフラムＢとする第５工程と、を含むことを特徴とすることにより、第２、３工程の切削加工においてダイアフラムＢを確実に固定することができ、ダイアフラムＢを高精度で切削することができる。
また、第４工程において、第２保持具Ａ２が第２面３０に契合されるため、第１面２０を切削する際に、第１面２０が変形することはない。
また、第５工程において第１面２０に残った固定用ネジ部２２を切削するため、製品中央に突出した固定用ネジ部２２を有さない第１面２０を製造することができる。
また、切削加工によりダイアフラムＢを製作することができるため、プレス金型を製作することなく試作品を作ることができる。そのため、プレス金型を製作する際に必要とされたリードタイムよりも短い時間で製作することができる。
また、例えば、厚みの異なるダイアフラムを複数種類製造することも短時間で行うことができる。
【００２７】
（２）（１）に記載する製造方法であって、第１工程において、固定用ネジ部２２の内径を中空とした第１半製品Ａ１を形成することを特徴とすることにより、固定用ネジ部２２の内径部が中空になっているため、第５工程における固定用ネジ部２２の切削を容易にすることができる。固定用ネジ部２２の中心は切削抵抗が大きいために固定用ネジ部２２の内径が中空になっていることで、固定用ネジ部２２の切削を容易にすることができる。切削を容易にすることができることで、加工中心部の加工精度を向上することができるため、第１面２０を高精度で切削することができる。
【００２８】
（３）（１）及び（２）に記載する製造方法であって、第２工程において、固定用ネジ部２２の内径部に密着するように固体を充填することを特徴とすることにより、固定用ネジ部２２の内径部が中空であるため、内径部に固体を充填することで第１半製品Ａ１を確実に固定するができる。また、ダイアフラムＢは０．２ｍｍ程度と薄いため、内径部が中空となっていると第２面３０が変形してしまうが、内径部に固体を充填することで、第２面３０を変形させないで切削することができる。
【００２９】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、製造のリードタイムが長くてもよければ、切削加工時間を長くすることにより、固定用ネジ部２２に形成された中空孔２３をはじめから充填しておくこともできる。
また、同様にリードタイムが長くてもよければ、第１半製品Ａ１の切欠き部３２は、中空孔でなく充填されたものであってもよい。
また、ネジ４は、第１保持具５のネジ孔５ａに固定されたものであってもよい。ネジ孔５ａに固定されていれば、別々に第１半製品Ａ１に取り付ける必要がないため、作業性がよくなる。
また、位置決めピン４０は、第１保持具５０の位置決めピン差込口５０ａに固定されたものであってもよい。位置決めピン差込口５０ａに固定されていれば、別々に第１半製品Ａ１０に取り付ける必要がないため、作業性がよくなる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の方法により製造するダイアフラムＢの外観斜視図を示す。
【図２】図１のダイアフラムＢの断面図を示す。
【図３】第１工程により製造される第１半製品Ａ１の断面図を示す。
【図４】第１半製品Ａ１、ネジ４、及び第１保持具５の断面図を示す。
【図５】第１半製品Ａ１にネジ４を螺合し、第１保持具５を螺合させた図を示す。
【図６】図５の状態から、第１半製品Ａ１の円柱部３１を切削し、第１半製品Ａ１を第２半製品Ａ２とした状態を示す。
【図７】第２半製品Ａ２から、ネジ４、及び、第１保持具５を取外した状態を示す。
【図８】第２半製品Ａ２、第２保持具６の断面図を示す。
【図９】第２半製品Ａ２に第２保持具６を契合させた状態の断面図を示す。
【図１０】第２半製品Ａ２に第２保持具６を契合させたもの、及び、第３保持具７の断面図を示す。
【図１１】第２半製品Ａ２に第２保持具６を契合させたものに、第３保持具７を契合させた状態の断面図を示す。
【図１２】図１１の第２半製品Ａ２の固定用ネジ部２２を切削し第３半製品Ａ３とした状態の図を示す。
【図１３】図１２の第３保持具７を第３半製品Ａ３から離間した状態の図を示す。
【図１４】第３半製品Ａ３に第２保持具６を契合させたもの、及び、第４保持具８の断面図を示す。
【図１５】第３半製品Ａ３に第２保持具６を契合させたものに、第４保持具８を契合させた状態の断面図を示す。
【図１６】図１５の第３半製品Ａ３の凸部２６を切削しダイアフラムＢとした状態の図を示す。
【図１７】第２実施形態における、第１半製品Ａ１０に第１保持具５０を螺合させ、位置決めピン４０を嵌挿した図を示す。
【符号の説明】
【００３１】
Ａ１    第１半製品
Ａ２    第２半製品
Ａ３    第３半製品
２２    固定用ネジ部
３１    円柱部
５      第１保持具
５ａ    ネジ孔
６      第２保持具
７      第３保持具
Ｂ      ダイアフラム
２０    第１面
３０    第２面
【図１】
2010071403.tif 000003
【図２】
2010071403.tif 000004
【図３】
2010071403.tif 000005
【図４】
2010071403.tif 000006
【図５】
2010071403.tif 000007
【図６】
2010071403.tif 000008
【図７】
2010071403.tif 000009
【図８】
2010071403.tif 000010
【図９】
2010071403.tif 000011
【図１０】
2010071403.tif 000012
【図１１】
2010071403.tif 000013
【図１２】
2010071403.tif 000014
【図１３】
2010071403.tif 000015
【図１４】
2010071403.tif 000016
【図１５】
2010071403.tif 000017
【図１６】
2010071403.tif 000018
【図１７】
2010071403.tif 000019