(57)【要約】【課題】顕微鏡本体と、試料または試料載台が干渉することを防止する顕微鏡を提供すること。【解決手段】生物、医学、半導体などの分野において使用される顕微鏡１において、試料Ｗが載置される載置面を有する試料載置台１０と、少なくとも光源２４からの照明光を試料載置台１０上の試料Ｗに集光照射する対物レンズ２１を有する顕微鏡本体２０と、顕微鏡本体２０と試料Ｗの上面との位置情報を生成する生成部４６と、位置情報が所定位置を越えたか否かを判断する判断部４５と、判断部４５が、位置情報が所定位置を超えていると判断した場合に、位置情報が所定位置を超えている旨を報知する出力部４３とを備えた。【選択図】図１
2010266549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が載置される載置面を有する試料載置台と、
少なくとも前記試料載置台上の前記試料からの観察光を集光する対物レンズを有する顕微鏡本体部と、
前記顕微鏡本体部と前記試料の上面との間の位置情報を生成する生成部と、
前記位置情報が所定位置を越えたか否かを判断する判断部と、
前記判断部が、前記位置情報が所定位置を超えていると判断した場合に、前記位置情報が所定位置を超えている旨を報知する報知部と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記顕微鏡本体を支持し、該顕微鏡本体を前記試料載置台の載置面に対して鉛直方向に移動させる支柱をさらに備え、
前記支柱は、前記顕微鏡本体の高度を検出する高度検出部を備え、
前記生成部は、前記高度検出部によって検出された前記顕微鏡本体の高度情報をもとに前記位置情報を生成することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記顕微鏡本体は、前記試料からの前記観察光を撮像する撮像デバイスを有し、
生成部は、前記撮像デバイスが得た情報から焦点距離を算出して前記対物レンズと前記試料または前記試料載置台との間の位置情報を生成することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記支柱端部に設けられ、前記顕微鏡本体部の前記対物レンズの光軸が前記試料に対して傾くように前記支柱を回転させる回転部と、
前記回転部に連結され、前記支柱の傾斜角度を検出する角度検出部と、
を備え、
前記生成部は、前記角度検出部によって検出された傾斜角度をもとに、前記位置情報を生成し、
前記判断部は、生成された位置情報が所定位置を越えたか否かを判断することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の顕微鏡。
【請求項５】
前記試料の前記試料載置台に対する高さを入力する入力部を備え、
前記生成部は、前記入力部によって入力された前記高さをもとに前記位置情報を生成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の顕微鏡。
【請求項６】
前記顕微鏡本体下端部に、前記試料または前記試料載置台との位置情報を取得する位置検出部を設け、
前記判断部は、前記位置検出部から得られる位置情報をもとに、前記位置情報が所定値以上であるか否かを判断することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の顕微鏡。
【請求項７】
前記位置情報および所定位置は、距離情報または／および角度情報であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生物、医学、半導体などの分野において使用される正立型の顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡は、医学や生物学の分野における細胞等の観察をはじめとして、工業分野においてもＩＣウェハや磁気ヘッドの検査、金属組織等の品質管理、新素材の研究開発等、種々の用途に利用されている。近年では、観察像の画像記録用にＣＣＤカメラ等の撮像装置を備えた顕微鏡装置が多く使用されている。また、試料を異なる角度から観察するための技術として、対物レンズを含む光学系が、昇降機構と回転機構とを有するスタンド装置に取り付けられた顕微鏡がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載の構成の顕微鏡によれば、スタンド装置が有する回転機構の回転に伴い対物レンズの光軸が試料に対して傾くことになる。これにより、異なる角度から試料を観察することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−５９５９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示される技術では、回転機構の回転角度を大きくしていくと、対物レンズを備える顕微鏡本体が試料載置台または試料に干渉してしまう。また、顕微鏡本体の昇降運動によっても試料に干渉してしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、顕微鏡本体と、試料または試料載台が干渉することを防止する顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、試料が載置される載置面を有する試料載置台と、少なくとも前記試料載置台上の前記試料からの観察光を集光する対物レンズを有する顕微鏡本体部と、前記顕微鏡本体部と前記試料の上面との間の位置情報を生成する生成部と、前記位置情報が所定位置を越えたか否かを判断する判断部と、前記判断部が、前記位置情報が所定位置を超えていると判断した場合に、前記位置情報が所定位置を超えている旨を報知する報知部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記顕微鏡本体を支持し、該顕微鏡本体を前記試料載置台の載置面に対して鉛直方向に移動させる支柱をさらに備え、前記支柱は、前記顕微鏡本体の高度を検出する高度検出部を備え、前記生成部は、前記高度検出部によって検出された前記顕微鏡本体の高度情報をもとに前記位置情報を生成することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記顕微鏡本体は、前記試料からの前記観察光を撮像する撮像デバイスを有し、生成部は、前記撮像デバイスが得た情報から焦点距離を算出して前記対物レンズと前記試料または前記試料載置台との間の位置情報を生成することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記支柱端部に設けられ、前記顕微鏡本体部の前記対物レンズの光軸が前記試料に対して傾くように前記支柱を回転させる回転部と、前記回転部に連結され、前記支柱の傾斜角度を検出する角度検出部と、を備え、前記生成部は、前記角度検出部によって検出された傾斜角度をもとに、前記位置情報を生成し、前記判断部は、生成された位置情報が所定位置を越えたか否かを判断することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記試料の前記試料載置台に対する高さを入力する入力部を備え、前記生成部は、前記入力部によって入力された前記高さをもとに前記位置情報を生成することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記顕微鏡本体下端部に、前記試料または前記試料載置台との位置情報を取得する位置検出部を設け、前記判断部は、前記位置検出部から得られる位置情報をもとに、前記位置情報が所定値以上であるか否かを判断することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記位置情報および所定位置は、距離情報または／および角度情報であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、顕微鏡本体の位置情報を予め設定された所定値と比較して報知処理の要否を判定し、顕微鏡本体が該当する位置にある場合に報知するようにしたので、顕微鏡本体と、試料または試料載台が干渉することを防止するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本実施の形態にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す模式図である。
【図２】図２は、図１に示す回転部付近の構成を示す縦断側面図である。
【図３】図３は、図１に示す顕微鏡本体と試料載置台とを示す正面図である。
【図４】図４は、支柱を回動設定した場合の様子を示す正面図である。
【図５】図５は、図４に示す顕微鏡本体および試料近傍を拡大して示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態にかかる位置情報判断処理を示すフローチャートである。
【図７】図７は、報知処理として表示されるポップアップ画面の一例を示す模式図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態にかかる顕微鏡の変形例を示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態にかかる位置情報判断処理の変形例１を示す模式図である。
【図１０】図１０は、報知処理として表示されるポップアップ画面の一例を示す模式図である。
【図１１】図１１は、実施の形態にかかる位置情報判断処理の変形例２を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の顕微鏡を実施するための最良の形態について説明する。本発明は、以下に例示する実施の形態や変形例に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００１６】
図１は、本実施の形態にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す模式図であり、図２は、回転装置付近の構成を示す縦断側面図である。本実施の形態にかかる顕微鏡１は、概略的には、固定台１１と、試料載置台１０と、顕微鏡本体２０と、回転部３０と、制御機構４０とを備える。
【００１７】
固定台１１は、顕微鏡１を所望の場所に平らに設置するためのものである。試料載置台１０は、試料Ｗが載置される載置面を有し、固定台１１上に取り付けられている。なお、試料載置台１０と固定台１１との間に試料載置台１０を水平方向に移動させる載置台駆動部１０ａを有する。試料載置台１０は、載置台駆動部１０ａによって任意に駆動させることが可能であり、試料載置台１０に載置された試料Ｗの観察箇所が光軸Ｌ上にくるように試料Ｗを移動させることができる。
【００１８】
顕微鏡本体２０は、対物レンズ２１、結像レンズ２２、撮像デバイス２３、光源２４、ハーフミラー２５等の拡大撮像観察のための部品を搭載したもので、載置面１０ａの上方に配置される。結像レンズ２２、撮像デバイス２３およびハーフミラー２５は、対物レンズ２１の光軸Ｌ上に配置されている。この顕微鏡本体２０において、光源２４から出射された照明光は、ハーフミラー２５によって反射されることで、光軸Ｌの方向に向きを変える。そして、照明光は、対物レンズ２１を透過することで、試料Ｗに集光照射される。試料Ｗからの反射光は、再び対物レンズ２１およびハーフミラー２５を透過し、結像レンズ２２に入射し、この結像レンズ２２によって撮像デバイス２３に結像される。撮像デバイス２３は、ＣＣＤカメラ等からなる。これにより、撮像デバイス２３は、試料Ｗの拡大像を撮像し、撮像データを制御部４１に出力して表示させることで、試料Ｗの拡大観察を可能とする。なお、支柱３１が固定台１１に対して垂直（鉛直線Ｖに平行）に配置されている場合、顕微鏡本体２０も鉛直線Ｖに対して平行に配置される。
【００１９】
また、回転部３０は、固定台１１に配置された凸部１１ａ、１１ｂの間に設けられ、図２に示すように、支柱３１の下端に一体化された回転軸３２を凸部１１ａ、１１ｂに形成された支持穴３ａ、３ｂに対して円筒軸受３３を介して回転自在に嵌合させてなる。これにより、支柱３１は、前後方向の水平軸線Ｈ回りに回動可能に支持される。なお、回転軸３２に対しては、固定台１１の支持穴３周りの雌ねじ部に締結される止めねじ３４ａ付きのツマミ３４の先端が圧接することで、回転動作が禁止され、ツマミ３４を緩めることで回転自在となるように構成されている。また、回転軸３２の他方端部は、角度センサ３２ａが取り付けられ、角度センサ３２ａが検出した回転情報をもとに、生成部４６が回転軸３２に連動して回転する支柱３１の回転角度を位置情報として生成する。なお、角度センサ３２ａとしてロータリーエンコーダを用いてパルス情報を出力してもよく、ポテンショメータを用いて、電圧または抵抗値変化を出力してもよい。
【００２０】
ここで、支柱３１は、顕微鏡本体２０と同等の長さで上方に延在させて設けられている。この支柱３１の上端側には、本体取付部３５が取り付けられ、この本体取付部３５の先端側に顕微鏡本体２０が取り付けられることで、回転支柱３１と顕微鏡本体２０とが連結されている。本体取付部３５は、本体取付部３５の雌ねじ部に締結される止めねじ３６ａ付きのツマミ３６の先端が支柱３１の長手方向に形成されたスライダ３７に圧接することで位置固定され、ツマミ３６を緩めることでスライド自在な取付け構造とされ、支柱３１の任意位置に固定自在とされている。これにより、試料Ｗに対する対物レンズ２１の位置が可変設定自在とされている。また、回転部３０は、支柱３１部分を回動動作することで、対物レンズ２１の光軸Ｌが試料Ｗに対して傾くように顕微鏡本体２０を回転させることが可能に構成されている。また、支柱３１側面には、本体取付部３５の高度を観測するため、スライダ３７の圧接を検知可能な昇降検出部３１ａを備える。昇降検出部３１ａは、圧電素子等によって検出された検出信号を生成部４６に出力する。
【００２１】
また、顕微鏡１は、制御機構４０を備える。制御部４１は、ＣＰＵ等を用いて構成され、顕微鏡１の各部の処理および動作を制御する。制御部４１は、各構成部位に入出力される情報について所定の入出力制御を行い、かつ、この情報に対して所定の情報処理を行う。
【００２２】
入力部４２は、キーボード、マウス等を用いて構成され、検体の分析に必要な諸情報や分析動作の指示情報等を外部から取得する。報知部としての出力部４３は、モニタ、プリンタ、通信機構等を用いて構成され、検体の分析結果を含む諸情報を出力するとともに、判断部４５の判断に応じて、報知処理を行う。必要に応じて、音またはＬＥＤ等の光を出力する機構を備えてもよい。記憶部４４は、情報を磁気的に記憶するハードディスクと、顕微鏡１が処理を実行する際にその処理にかかわる各種プログラムをハードディスクからロードして電気的に記憶するメモリとを用いて構成され、検体の分析結果等を含む諸情報を記憶する。記憶部４４は、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＰＣカード等の記憶媒体に記憶された情報を読み取ることができる補助記憶装置を備えてもよい。判断部４５は、生成部４６が生成する顕微鏡本体２０と試料または試料載置台１０との位置情報をもとに、予め設定された所定値と比較し、出力部４３による報知処理が必要か否かを判断する。生成部４６は、高度検出部３１ａおよび角度センサ３２ａから出力される情報をもとに、位置情報を生成する。
【００２３】
以上のような構成の顕微鏡１によって、光源２４から出射される光をハーフミラー２５が対物レンズ２１側に反射させ、試料から反射した光が、結像レンズ２２を介して撮像デバイス２３に入射することによって、試料の拡大観察を行なうことができる。また、本実施の形態の顕微鏡１の使い方は、まず、顕微鏡本体２０を、回転支柱３１に取り付けた本体取付部３５の先端に固定する。その後、ステージ１０の載置面１０ａ上に試料Ｗを載せるとともに、液晶モニタを観察しながら、ツマミ３６を操作することで対物レンズ２１を含む顕微鏡本体２０を下降または上昇させて、図１に示すように、試料Ｗの表面がピントとなる焦点距離Ｄ１の位置に一致させてツマミ３６を固定する。これより、試料Ｗの拡大観察が可能となる。
【００２４】
ここで、顕微鏡本体２０の昇降移動について、図３を参照して説明する。図３は、図１に示す顕微鏡１の顕微鏡本体２０と試料載置台１０とを示す正面図である。図３において、顕微鏡本体２０と、試料載置台１０に載置された試料Ｗとの間の焦点距離Ｄ１に対して、顕微鏡本体２０と試料Ｗとが接触しないよう、報知距離Ｄｔｈが予め設定される。顕微鏡本体２０の昇降によって顕微鏡本体２０下端部と試料Ｗとの焦点距離Ｄ１が報知距離Ｄｔｈと比して小さくなった場合に、図１に示す出力部４３が、顕微鏡本体２０と試料Ｗとの間の距離が衝突危険距離にある旨を報知する。
【００２５】
なお、焦点距離Ｄ１の算出は、支柱３１に設けられた昇降検出部３１ａから出力される検出信号を受信した生成部４６が、信号を変換し、本体取付部３５と顕微鏡本体２０下端部との距離情報をもとに位置情報として生成することによって、焦点距離Ｄ１を得ることができる。焦点距離Ｄ１が得られると、制御部４１は、判断部４５に位置情報を出力して報知距離Ｄｔｈと比較し、報知処理の必要の要否を判断する。また、撮像デバイス２３から制御部４１に出力される撮像データをもとに焦点距離を算出してもよい。
【００２６】
つぎに、回転部３０によって支柱３１が回転した場合について、図４を参照して説明する。図４は、支柱３１を傾斜角θ１に回動設定した場合の様子を示す正面図である。顕微鏡本体２０は、支柱３１の回転に連動して鉛直線Ｖと試料載置台１０の上面との交点Ｐ１を中心として回転する。また、このときに鉛直線Ｖに対して顕微鏡本体２０が傾斜した角度を傾斜角θ１とする。傾斜角θ１は、鉛直線Ｖと対物レンズ２１の光軸Ｌとがなす角度であり、支柱３１の傾斜角度にも対応している。支柱３１の回転によって、試料Ｗを斜め上方から観察することが可能となる。
【００２７】
また、顕微鏡本体２０が傾斜した場合の位置情報算出について、図５を参照して説明する。図５は、図４に示す顕微鏡本体２０および試料Ｗ近傍を拡大して示す模式図である。図５において、鉛直線Ｖと試料載置台１０の上部平面とがなす角度は、鉛直線Ｖと対物レンズ２１の光軸Ｌとがなす傾斜角θ１と、回転中心Ｐ１と顕微鏡本体２０の下端部Ｐ２とを結ぶ線分Ｌ１と光軸Ｌとがなす固定角θ２と、試料載置台１０の上部平面と線分Ｌ１とがなす回転角θ３とに分けられる。ここで、固定角θ２は、顕微鏡本体２０によって決定される固定値である。顕微鏡本体２０の回転によって変化する傾斜角θ１および回転角θ３をもとに、生成部４６が、顕微鏡本体２０の下端部Ｐ２と試料載置台１０の上部平面との距離を算出する。
【００２８】
生成部４６は、角度センサ３２ａから受信した支柱３１の傾斜角度に対応した傾斜角θ１をもとに、接近距離Ｄ２を算出し、位置情報を生成する。ここで、下端部Ｐ２の試料載置台２０の平面と平行な線分と鉛直線Ｖとの交点をＰ３とし、交点Ｐ１、下端部Ｐ２、点Ｐ３からなる三角形に注目し、式（１）から距離（Ｄ２＋Ｄｈ）を算出することができる。試料Ｗの高さＤｈが既知の場合は入力部４２から高さＤｈを入力し、高さＤｈが未知である場合は、撮像デバイス２３からの焦点距離情報と、高度センサ３１ａからの高度情報をもとに試料Ｗの高さＤｈを算出する。式（１）によって得られた距離（Ｄ２＋Ｄｈ）から高さＤｈを減算することで、接近距離Ｄ２を得ることができる。得られた接近距離Ｄ２は、生成部４６によって位置情報として制御部４１に出力され、制御部４１は、判断部４５に接近距離Ｄ２と報知距離Ｄｔｈ比較して報知処理の必要要否を判断するよう指示する。
【００２９】
Ｌ１ｓｉｎ（θ１＋θ２）＝Ｄ２＋Ｄｈ      ・・・（１）
【００３０】
ここで、制御部４１が行なう位置情報判断処理について、図６を参照して説明する。図６は、本発明の実施の形態にかかる位置情報判断処理を示すフローチャートである。まず、制御部４１は、生成部４６から位置情報を取得すると（ステップＳ１０２）、判断部４５に得られた位置情報の報知要否判断処理を指示する（ステップＳ１０４）。制御部４１から報知要否判断処理指示を受けた判断部４５は、生成部４６が生成した位置情報としての接近距離Ｄ１，Ｄ２と、報知距離Ｄｔｈとして設定されている所定値とを比較して、接近距離Ｄ１，Ｄ２が所定値未満であるか否かを判断し、報知処理の要否を制御部４１に出力する（ステップＳ１０６）。ここで、制御部４１は、報知処理を要しない旨の判断を得た場合（ステップＳ１０６：Ｎｏ）、位置情報判断処理を終了する。また、報知処理を要するとの判断を得た場合（ステップＳ１０６：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０８に移行して出力部４３に接近距離Ｄ１，Ｄ２が所定値内である旨の報知処理を行うよう指示する。上述した処理を適宜繰り返すことによって、顕微鏡本体の移動による試料Ｗまたは試料載置台１０との衝突を防止することができる。
【００３１】
なお、ステップＳ１０８の報知処理は、警報機等により音で報知してもよく、ＬＥＤ等を用いて視覚的に報知してもよい。また、モニタ等にポップアップ画面を表示して報知してもよく、上述した報知を組み合わせてもよい。図７は、報知処理として表示されるポップアップ画面の一例を示す模式図である。図７に示すポップアップ画面Ｔ１は、接近距離Ｄ１，Ｄ２が、報知距離Ｄｔｈとして予め設定した所定値未満の場合に、接近距離を表示する。ここでは、たとえば、報知距離Ｄｔｈとして２５ｍｍと設定され、接近距離Ｄ１，Ｄ２が２０ｍｍとなった場合を示す。装置担当者は、接近距離を確認後にポップアップ画面Ｔ１上に表示されているＯＫボタンＢ１を指定して操作することで画面を閉じることができる。このポップアップ画面Ｔ１には、接近距離Ｄ１，Ｄ２の表示だけでなく、報知距離Ｄｔｈも併せて表示するようにすることもできる。
【００３２】
また、試料Ｗに対する焦点距離の調整を、Ｚ軸駆動部２６によって行なってもよい。図８は、本発明の実施の形態にかかる顕微鏡１の変形例を示す模式図である。図８に示すＺ軸駆動部２６は、制御部４１の制御のもと、ステッピングモータにより鉛直線Ｖと平行方向に駆動することによって、対物レンズ２１を通過する光の焦点調整を行なうことができる。また、Ｚ軸駆動部２６の駆動量と撮像デバイスからの撮像データとをもとに、焦点距離Ｄ１を算出し、図３に示す報知距離Ｄｔｈとの報知要否判断処理も可能である。なお、Ｚ軸駆動部２６は、サーボモータあるいは外部にスケールをもつモータを用いてもよい。
【００３３】
上述した実施の形態によって、顕微鏡本体が昇降または回転駆動した場合においても、顕微鏡本体と試料または試料載置台とが接触する前に報知することで、接触を回避することが可能となる。また、顕微鏡本体が昇降または回転中であっても、各センサによって連続的に位置情報を監視し、判断処理を行うことによって報知可能である。
【００３４】
ここで、図５における報知処理の要否判断を、傾斜角度から判断してもよい。図９は、実施の形態にかかる位置情報判断処理の変形例１を示す模式図である。顕微鏡本体２０の下端部Ｐ２は、図１に示す支柱３１の回転に連動して円弧Ａ上を移動する。ここで、判断部４５が判断する報知角度θ４は、たとえば、円弧Ａと報知距離Ｄｔｈの上端部との交点Ｐ４を報知基準とすると、判断部４５は、円弧Ａ上を試料載置台１０方向に移動し、下端部Ｐ２が交点Ｐ４を越えた、すなわち、設定された報知角度θ４を超えた場合に、報知対象となる。なお、傾斜可能限界角度が設定されている場合、傾斜限界角度から１０°減算した角度を報知角度として設定してもよく、減算の代わりに、たとえば、傾斜角度が傾斜可能限界範囲の９０％を超えた場合（すなわち、残りの傾斜可能範囲が１０％以下になった場合）に報知対象となるように設定してもよい。
【００３５】
報知角度θ４は、報知距離Ｄｔｈを設定し、試料Ｗの高度に応じて変化する円弧Ａ上の交点Ｐ４に対応して、鉛直線Ｖと回転中心Ｐ１と交点Ｐ４とがなす報知角度θ４を適宜自動的に算出するようにしてもよい。報知距離Ｄｔｈは任意に設定可能であり、場合によっては０に設定してもよく、複数設定してもよい。さらにここで、試料Ｗの高度は、既知の場合は入力してもよく、撮像デバイスから得られる撮像データをもとに算出してもよい。
【００３６】
また、図１０は、報知処理として表示されるポップアップ画面の一例を示す模式図である。図１０に示すポップアップ画面Ｔ２は、傾斜可能限界角度と、現傾斜角度とが表示される。現傾斜角度は、図１０において、例えば、傾斜可能限界角度が６０°と設定され、報知角度が５０°と設定されている場合であって、顕微鏡本体２０の回転角度（θ１＋θ２）が５０°となった際にポップアップ画面Ｔ２が表示される。装置担当者が確認後にＯＫボタンＢ２を押下すると、画面が閉じる。なお、ポップアップ画面Ｔ２は、報知角度θ４、残回転可能角度等を表示してもよい。
【００３７】
また、本実施の形態における報知要否判断処理を、顕微鏡本体２０の下端部に設けたセンサによって行なってもよい。図１１は、実施の形態にかかる位置情報判断処理の変形例２を示す模式図である。図１１に示す顕微鏡本体２０には、顕微鏡本体２０の下端部にセンサ２７，２８が設けられ、センサ２７，２８からの検出信号を生成部４６が位置情報として変換して生成し、判断部４５が所定値をもとに、生成された位置情報が報知処理を行う領域にあるか否かを判断する。制御部４１は、判断部４５の判断に応じて、出力部４３に報知するよう指示する。ここで、センサ２７，２８は、顕微鏡本体２０が回転する回転方向の顕微鏡本体２０側面に設置されることが好ましい。センサ２７，２８は、誘導型の近接センサを用いることが可能であって、センサ２７，２８内部の検出コイルのインピーダンス変化を利用して検出する。また、赤外線、静電容量、超音波または電磁波を用いるセンサも利用可能である。
【００３８】
なお、この変形例においても報知距離Ｄｔｈは任意に設定可能であり、場合によっては、０に設定してもよく、複数設定してもよい。報知距離Ｄｔｈを複数設定した場合、音またはＬＥＤ等の視覚的な報知処理は、各報知距離に応じて変化させることが好ましい。また、本実施の形態では、試料Ｗの高さを基準にしているが、顕微鏡本体２０の回転によって顕微鏡本体２０と試料Ｗとが接触しない場合は、回転の報知角度の基準を試料載置台１０の上部平面に設定してもよい。
【００３９】
さらに、レボルバを備え、対物レンズを複数有する顕微鏡においても、各対物レンズに対応して報知処理の要否を判断することができる。なお、撮像デバイスにより顕微鏡本体２０と試料Ｗとの間の位置情報が算出可能であれば、昇降検出部３１ａは設けなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上のように、本発明にかかる顕微鏡は、光学系を介して試料の観察を行う顕微鏡に有用であり、特に、ステージ上に載置した試料を上方から観察する正立型の顕微鏡に適している。
【符号の説明】
【００４１】
１  顕微鏡
１０  試料載置台
１０ａ  載置台駆動部
１１  固定台
２０  顕微鏡本体
２１  対物レンズ
２２  結像レンズ
２３  撮像デバイス
２４  光源
２５  ハーフミラー
２６  Ｚ軸駆動部
３１  支柱
３２  回転軸
３３  円筒軸受
４０  制御機構
４１  制御部
４２  入力部
４３  出力部
４４  記憶部
４５  判断部
４６  生成部
Ｗ  試料
【図１】
2010266549.tif 000003
【図２】
2010266549.tif 000004
【図３】
2010266549.tif 000005
【図４】
2010266549.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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