(57)【要約】【課題】貫通電極を有する半導体基板の電極から供給する電源の劣化や、半導体基板側から発生する電源ノイズによる影響を低減できる固体撮像装置を提供する。【解決手段】半導体基板１０の第１の主面に形成された撮像素子２１と、基板１０の第１の主面に対向する第２の主面上に形成されたハンダボール１８と、基板１０に空けられた貫通孔内に形成された絶縁膜３５と、貫通孔内の絶縁膜３５上に形成された貫通電極３７と、基板１０の第１の主面の貫通電極３７上に形成された内部電極３２とを備える。基板１０の第１の主面に対して垂直な方向から見たとき、絶縁膜３５と基板１０が接する外形は、内部電極３２の外形より大きい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の第１の主面に形成された撮像素子と、
前記半導体基板の前記第１の主面に対向する第２の主面上に形成された外部端子と、
前記半導体基板に空けられた貫通孔内に形成された絶縁膜と、
前記貫通孔内の前記絶縁膜上に形成され、前記外部端子に電気的に接続された貫通電極と、
前記半導体基板の前記第１の主面の前記貫通電極上に形成された第１の電極とを具備し、
前記半導体基板の第１の主面に対して垂直な方向から見たとき、前記絶縁膜と前記半導体基板が接する外形は、前記第１の電極の外形より大きいことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記貫通電極の外周の少なくとも１部を囲むように、前記半導体基板に形成された半導体領域と、
前記半導体領域上に形成され、前記半導体領域に電気的に接続された配線とをさらに具備し、
前記半導体領域には前記配線を介して接地電位が供給されていることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
半導体基板の第１の主面に形成された撮像素子と、
前記半導体基板の前記第１の主面に対向する第２の主面上に形成された外部端子と、
前記半導体基板に空けられた貫通孔内に形成され、前記外部端子に電気的に接続された貫通電極と、
前記半導体基板の前記第１の主面の前記貫通電極上に形成された第１の電極と、
前記貫通電極の外周の少なくとも１部を囲むように、前記半導体基板に形成された半導体領域と、
前記半導体領域上に形成され、前記半導体領域に電気的に接続された配線とを具備し、
前記半導体領域には前記配線を介して接地電位が供給されていることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項４】
前記第１の電極上及び前記半導体基板の前記第１の主面上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された第２の電極と、
前記第２の電極上及び前記層間絶縁膜上に形成され、前記第２の電極の一部分が開口された開口部を有するパッシベーション膜と、
前記第２の電極と前記第１の電極との間に接続形成されたコンタクトプラグと、
をさらに具備することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記撮像素子に対応するように、前記撮像素子上に配置されたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタ上に配置されたマイクロレンズと、
をさらに具備することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板に形成された貫通電極を有する固体撮像装置に関し、例えばカメラモジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の小型化に伴い、搭載される半導体デバイスも小型化、高集積化される必要がある。１９９０年代後半にはウェハレベルＣＳＰ（Wafer Level Chip Scale Package）の実用化検討が始まっている（例えば、非特許文献１参照）。リード線を廃したフリップチップ方式で、半導体チップ表面を下向きにしてバンプにより基板と半導体チップとを接合させるというやり方である。
【０００３】
一方、複数の半導体チップを三次元的に積層し、大幅な小型化を実現できる積層型パッケージ（マルチチップパッケージ）の開発も１９９０年代後半から行われており、貫通電極を用いたパッケージが提案されている（例えば、特許文献１参照）。光学素子でウェハレベルＣＳＰの検討が始まるのは２０００年前後からである。
【０００４】
また、非特許文献２には、小柳らによるガラス＋接着層＋イメージセンサ＋貫通電極の構造と実際に作成した断面写真が記載されている。また、同様に、特許文献２および特許文献３にも、貫通電極、光透過性支持基板を備えた光学素子の断面構造が開示されている。
【０００５】
ところが、これらすべての文献にて提案された貫通電極はシリコン半導体基板内に形成するため、貫通電極とシリコン半導体基板とのカップリングや、貫通電極周辺の接地抵抗が高いことなどにより、パッドから貫通電極を介して供給する電源が劣化したり、逆にシリコン半導体基板側から発生する電源ノイズにより所望した良好な電圧波形を形成できないという問題が生じている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２２３８３３号公報
【特許文献２】米国特許第６４８９６７５号明細書
【特許文献３】特開２００７−５３１４９号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】日経Micro Devices 1998年4月号P28, P164, P176
【非特許文献２】International Electron Devices Meeting 1999 Technical Digest pp.879-882
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、貫通電極を有する半導体基板の電極から供給する電源の劣化や、半導体基板側から発生する電源ノイズによる影響を低減できる固体撮像装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一実施態様の固体撮像装置は、半導体基板の第１の主面に形成された撮像素子と、前記半導体基板の前記第１の主面に対向する第２の主面上に形成された外部端子と、前記半導体基板に空けられた貫通孔内に形成された絶縁膜と、前記貫通孔内の前記絶縁膜上に形成され、前記外部端子に電気的に接続された貫通電極と、前記半導体基板の前記第１の主面の前記貫通電極上に形成された第１の電極とを具備し、前記半導体基板の第１の主面に対して垂直な方向から見たとき、前記絶縁膜と前記半導体基板が接する外形は、前記第１の電極の外形より大きいことを特徴とする。
【００１０】
本発明の他の実施態様の固体撮像装置は、半導体基板の第１の主面に形成された撮像素子と、前記半導体基板の前記第１の主面に対向する第２の主面上に形成された外部端子と、前記半導体基板に空けられた貫通孔内に形成され、前記外部端子に電気的に接続された貫通電極と、前記半導体基板の前記第１の主面の前記貫通電極上に形成された第１の電極と、前記貫通電極の外周の少なくとも１部を囲むように、前記半導体基板に形成された半導体領域と、前記半導体領域上に形成され、前記半導体領域に電気的に接続された配線とを具備し、前記半導体領域には前記配線を介して接地電位が供給されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、貫通電極を有する半導体基板の電極から供給する電源の劣化や、半導体基板側から発生する電源ノイズによる影響を低減できる固体撮像装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態のカメラモジュールの構成を示す断面図である。
【図２】第１実施形態のカメラモジュールにおけるシリコン半導体基板とガラス基板の部分を拡大した断面図である。
【図３】図２における周辺回路部をパッド開口部側から見た図である。
【図４】第１実施形態のカメラモジュールにおける貫通電極の製造方法を示す図である。
【図５】第１実施形態のカメラモジュールにおける貫通電極の製造方法を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態のカメラモジュールの構成を示す断面図である。
【図７】図６における周辺回路部をパッド開口部側から見た図である。
【図８】本発明の第３実施形態のカメラモジュールの構成を示す断面図である。
【図９】図８における周辺回路部をパッド開口部側から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。ここでは、固体撮像装置としてカメラモジュールを例に取る。説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
【００１４】
［第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態のカメラモジュールについて説明する。
【００１５】
図１は、第１実施形態のカメラモジュールの構成を示す断面図である。撮像素子（図示せず）が形成されたシリコン半導体基板（撮像素子チップ）１０の第１の主面上には、接着剤１１を介して光透過性支持基板、例えばガラス基板１２が形成されている。ガラス基板１２上には、接着剤１３を介してＩＲ（赤外線）カットフィルタ１４が配置されている。さらに、ＩＲカットフィルタ１４上には、接着剤１５を介して撮像レンズ１６を含むレンズホルダー１７が配置されている。
【００１６】
また、シリコン半導体基板１０の、第１の主面に対向する第２の主面上には、外部端子（電極）、例えばハンダボール１８が形成されている。シリコン半導体基板１０およびガラス基板１２の周囲には、遮光兼電磁シールド１９が配置されている。この遮光兼電磁シールド１９は、接着剤２０でレンズホルダー１７に接着されている。このような構造により、カメラモジュール１００が形成されている。
【００１７】
カメラモジュール１００は、例えば、樹脂あるいはセラミックからなる実装基板２００上にハンダボール１８を介して直接実装(ＣＯＢ: Chip On Board)される。
【００１８】
次に、図１におけるシリコン半導体基板１０とガラス基板１２の断面構造を詳細に説明する。
【００１９】
図２は、第１実施形態のカメラモジュールにおけるシリコン半導体基板とガラス基板の部分を拡大した断面図である。カメラモジュールは、撮像素子２１が形成された撮像画素部と、この撮像画素部から出力された信号を処理する周辺回路部とを有する。
【００２０】
カメラモジュールの撮像画素部は、以下のような構成を有する。
【００２１】
シリコン半導体基板１０の第１の主面には、素子分離絶縁層（例えば、ＳＴＩ(Shallow Trench Isolation)）２２と、素子分離絶縁層２２にて分離された素子領域が配置されている。素子領域には、フォトダイオード及びトランジスタを含む撮像素子２１が形成されている。
【００２２】
撮像素子２１が形成された第１の主面上には層間絶縁膜２３が形成され、層間絶縁膜２３上には層間絶縁膜２４が形成されている。さらに、層間絶縁膜２４中には配線２５が形成されている。
【００２３】
層間絶縁膜２４上には、パッシベーション膜２６が形成され、パッシベーション膜２６上にはベース層２７が形成されている。ベース層２７上には、撮像素子２１に対応するようにカラーフィルタ２８がそれぞれ配置されている。
【００２４】
カラーフィルタ２８上にはオーバーコート２９が形成され、オーバーコート２９上には撮像素子２１（またはカラーフィルタ２８）に対応するようにマイクロレンズ３０がそれぞれ形成されている。さらに、マイクロレンズ３０上は空洞３１となり、この空洞３１上には光透過性支持基板（透明基板）、例えばガラス基板１２が配置されている。
【００２５】
カメラモジュールの周辺回路部には、以下のような貫通電極及び電極パッドが形成されている。シリコン半導体基板１０の第１の主面上には層間絶縁膜２３が形成され、層間絶縁膜２３上には内部電極（第１の電極）３２が形成されている。
【００２６】
シリコン半導体基板１０の第２の主面から第１の主面を介して層間絶縁膜２３まで貫通孔が空けられている。貫通孔の側面上及び底面上には、絶縁膜３５が形成されている。シリコン半導体基板１０の第２の主面上には、絶縁膜３６が形成されている。
【００２７】
貫通孔の内面上（絶縁膜３５上及び内部電極３２の貫通孔側の面上）、及び絶縁膜３６上には、貫通電極（導電体層）３７が形成されている。内部電極３２は、撮像素子２１あるいは周辺回路部に形成された周辺回路（図示しない）に電気的に接続されている。
【００２８】
また、貫通電極３７上、及び第２の主面上の絶縁膜３６上には保護膜、例えばソルダーレジスト３８が形成されている。さらに、第２の主面上において、貫通電極３７上のソルダーレジスト３８の一部が開口され、露出した貫通電極３７上には、ハンダボール１８が形成されている。貫通孔に形成された貫通電極３７は、ハンダボール１８と、撮像素子２１あるいは周辺回路とを電気的に接続している。
【００２９】
なお、ソルダーレジスト３８は、例えばフェノール系樹脂、あるいはポリイミド系樹脂、アミン系樹脂などからなる。ハンダボール１８には、例えばＳｎ−Ｐｂ(共晶)、あるいは９５Ｐｂ−Ｓｎ(高鉛高融点半田)、Ｐｂフリー半田として、Ｓｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｃｕ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕなどが用いられる。
【００３０】
また、内部電極３２上には、層間絶縁膜２４を介して素子面電極（第２の電極）３３が形成されている。内部電極３２と素子面電極３３間の層間絶縁膜２４内には、これら電極間を電気的に接続するコンタクトプラグ３４が形成されている。素子面電極３３は、例えばコンタクトプラグ３４及び内部電極３２を介して、電圧の印加及び信号の読み出しなどに使用される。特に、ダイソートテスト時には、素子面電極３３にテスト用針が当てられる。
【００３１】
さらに、素子面電極３３上には、パッシベーション膜２６が形成されている。パッシベーション膜２６上にはベース層２７が形成され、ベース層２７上にはオーバーコート２９が形成されている。さらに、オーバーコート２９上には、スチレン系樹脂層３９が形成されている。
【００３２】
素子面電極３３上に配置された、これらパッシベーション膜２６、ベース層２７、オーバーコート２９、及びスチレン系樹脂層３９が開口されて、パッド開口部４０が形成されている。スチレン系樹脂層３９上及び素子面電極３３上には、接着剤１１を介してガラス基板１２が形成されている。接着剤１１はパターニングされており、撮像素子２１上（またはマイクロレンズ３０上）には配置されていない。
【００３３】
図３は、図２における周辺回路部をパッド開口部側から見た図であり、絶縁膜３５、内部電極３２、及び貫通電極３７のレイアウトを示す平面図である。図に示すように、絶縁膜３５の内側には内部電極３２が配置され、内部電極３２の内側には貫通電極３７が配置されている。
【００３４】
貫通孔において貫通電極３７とシリコン半導体基板１０との間に配置される絶縁膜３５は、貫通電極３７とシリコン半導体基板１０とを絶縁するものである。図２及び図３に示すように、シリコン半導体基板１０の第１の主面に平行な方向において、絶縁膜３５の膜厚は３００〜１０００ｎｍ程度であり、その外形は内部電極３２の外形の外側に位置している。
【００３５】
このような構造により、膜厚が薄い絶縁膜を貫通電極とシリコン半導体基板との間に配置した従来例に比べて、貫通電極３７とシリコン半導体基板１０間の容量を低減でき、貫通電極３７の時定数を小さくすることができる。これにより、ハンダボール１８から供給する電源の劣化を防止することができ、さらにシリコン半導体基板１０側から発生する電源ノイズによる影響を低減できる。これにより、所望した良好な電源電圧を撮像素子２１及び周辺回路に供給することができる。
【００３６】
次に、第１実施形態における貫通電極３７の製造方法を以下に述べる、
図４及び図５は、第１実施形態のカメラモジュールにおける貫通電極の製造方法を示す図である。
【００３７】
まず、図４に示すように、シリコン半導体基板１０に貫通孔を加工し、続いて、貫通孔内に絶縁膜３５を形成する。さらに、シリコン半導体基板１０の第２の主面上に絶縁膜３６を形成する。
【００３８】
続いて、図５に示すように、絶縁膜３６、３５、２３内に内部電極３２に達する貫通孔４１を空ける。さらに、図２に示すように、貫通孔４１の側面上及び底面上、及び基板１０の第２の主面上に貫通電極３７を形成する。これにより、内部電極３２と貫通電極３７を電気的に接続する。その後、ソルダーレジスト３８及びハンダボール１８を形成する。
【００３９】
以上説明したように第１実施形態によれば、貫通電極とシリコン半導体基板との間に、膜厚が厚い絶縁膜を形成することにより、貫通電極とシリコン半導体基板間の容量を低減することができる。これにより、貫通電極の時定数を小さくでき、外部端子から供給される電源電圧の劣化や、逆に半導体基板側から発生する電源ノイズによる影響を著しく低減することができる。これにより、信頼性の高い固体撮像装置を提供できる。
【００４０】
［第２実施形態］
本発明の第２実施形態のカメラモジュールについて説明する。第２実施形態では、貫通電極３７の外周を囲むように、接地電位に接続された半導体領域がシリコン半導体基板１０に形成されている。
【００４１】
図６は、第２実施形態のカメラモジュールの構成を示す断面図である。図７は、図６における周辺回路部をパッド開口部側から見た図であり、接地領域（半導体領域）４２、内部電極３２、及び貫通電極３７のレイアウトを示す平面図である。
【００４２】
カメラモジュールの撮像画素部は、第１実施形態と同様である。以下に、周辺回路部の構造を説明する。
【００４３】
図６に示すように、シリコン半導体基板１０の第１の主面上には層間絶縁膜２３が形成され、層間絶縁膜２３上には内部電極（第１の電極）３２が形成されている。シリコン半導体基板１０の第２の主面から第１の主面を介して層間絶縁膜２３まで貫通孔が空けられている。貫通孔の側面上、及びシリコン半導体基板１０の第２の主面上には、絶縁膜４５が形成されている。
【００４４】
さらに、貫通孔の内面上（絶縁膜４５上及び内部電極３２の貫通孔側の面上）、及び第２の主面の絶縁膜４５上には、貫通電極（導電体層）３７が形成されている。内部電極３２は、撮像素子２１あるいは周辺回路部に形成された周辺回路（図示しない）に電気的に接続されている。
【００４５】
また、貫通電極３７の外周を囲むように、シリコン半導体基板１０の第１の主面に、接地領域４２が形成されている。接地領域４２は、不純物濃度が高い拡散層からなり、貫通電極３７の近傍、例えば貫通電極３７から数μm〜数１０μmの位置に配置されている。図７には貫通電極３７の外周全体を囲むように、接地領域４２が形成された例を示したが、貫通電極３７の外周の１部のみに接地領域４２が形成されていてもよい。
【００４６】
さらに、接地領域４２上の層間絶縁膜２３、２４内には、接地領域４２に接続された配線４３、コンタクトプラグ４４が形成されている。接地領域４２には、接地電位等の基準電位が供給されている。このため、接地領域４２は、例えば配線４３及びコンタクトプラグ４４を介して、接地電位を持つハンダボール１８に接続される。
【００４７】
接地領域４２を持たない従来構造では、貫通電極３７周辺のシリコン半導体基板は、高い接地抵抗を有していたが、すなわち高い抵抗にて接地に接続されていたが、第２実施形態では、貫通電極３７周辺のシリコン半導体基板は、低い接地抵抗を有しており、電位が安定している。
【００４８】
このため、第１実施形態と同様に、ハンダボール１８から供給する電源の劣化を防止することができ、さらにシリコン半導体基板１０側から発生する電源ノイズによる影響を低減できる。これにより、所望した良好な電源電圧を撮像素子２１及び周辺回路に供給することができる。
【００４９】
以上説明したように第２実施形態によれば、貫通電極の周辺の接地抵抗を低減することにより、貫通電極の時定数を小さくし、外部端子から供給される電源電圧の劣化や、逆に半導体基板側から発生する電源ノイズによる影響を著しく低減することができる。これにより、信頼性の高い固体撮像装置を提供できる。
【００５０】
［第３実施形態］
本発明の第３実施形態のカメラモジュールについて説明する。第３実施形態は、第１実施形態及び第２実施形態の特徴部を組み合わせたものである。第３実施形態では、貫通電極３７とシリコン半導体基板１０との間に、膜厚が厚い絶縁膜が形成されると共に、貫通電極３７を囲むように、接地電位に接続された接地領域４２が形成されている。
【００５１】
図８は、第３実施形態のカメラモジュールの構成を示す断面図である。図９は、図８における周辺回路部をパッド開口部側から見た図であり、接地領域４２、絶縁膜３５、内部電極３２、及び貫通電極３７のレイアウトを示す平面図である。
【００５２】
図示するように、貫通電極３７とシリコン半導体基板１０との間に、膜厚が厚い絶縁膜３５が形成されている。さらに、貫通電極３７を囲むように、シリコン半導体基板１０の第１の主面に、接地電位に接続された接地領域４２が形成されている。その他の構成は、第１及び第２実施形態の構成と同様である。
【００５３】
第３実施形態によれば、第１及び第２実施形態よりも大きな効果を有し、第１及び第２実施形態よりさらに信頼性の高い固体撮像装置を提供できる。
【００５４】
また、前述した各実施形態はそれぞれ、単独で実施できるばかりでなく、適宜組み合わせて実施することも可能である。さらに、前述した各実施形態には種々の段階の発明が含まれており、各実施形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することも可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１０…シリコン半導体基板、１１…接着剤、１２…ガラス基板、１３…接着剤、１４…ＩＲ（赤外線）カットフィルタ、１５…接着剤、１６…撮像レンズ、１７…レンズホルダー、１８…ハンダボール（外部端子）、１９…遮光兼電磁シールド、２０…接着剤、２１…撮像素子、２２…素子分離絶縁層、２３…層間絶縁膜、２４…層間絶縁膜、２５…配線、２６…パッシベーション膜、２７…ベース層、２８…カラーフィルタ、２９…オーバーコート、３０…マイクロレンズ、３１…空洞、３２…内部電極（第１の電極）、３３…素子面電極（第２の電極）、３４…コンタクトプラグ、３５…絶縁膜、３６…絶縁膜、３７…貫通電極（導電体層）、３８…ソルダーレジスト、３９…スチレン系樹脂層、４０…パッド開口部、４１…貫通孔、４２…接地領域（半導体領域）、４３…配線、４４…コンタクトプラグ、４５…絶縁膜、１００…カメラモジュール、２００…実装基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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