(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単な構造で高真空度に耐えられ、生産性および改良性がよく低コストな箱型減圧用容器を提供する。【解決手段】角材１を接合して気密に繋がった６つの枠面２が形成された金属製の箱型フレーム３と、この箱型フレーム３の６つの枠面２に、内面６ａ外周部に保持した連続なシール部材５を介し当てがわれて、箱型フレーム３の６つの枠面２に囲われた開口２７を塞ぐ金属製の６つの面板６と、この６つの面板６を６つの枠面２への当てがい状態に保持する保持手段７と、を備える。【選択図】図１
2010275615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
角材を接合して気密に繋がった６つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、
この箱型フレームの６つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの６つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の６つの面板と、
この６つの面板を６つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器。
【請求項２】
四方に配した４つの角材の上端部間と、下端部間とを、それぞれ４つのアングル材ないしはチャンネル材にて接合して気密に繋がった６つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、
この箱型フレームの６つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの６つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の６つの面板と、
この６つの面板を６つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器。
【請求項３】
面板は、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの装備に供する装備用開口が設けられている請求項１又は２に記載の箱型減圧用容器。
【請求項４】
開口のまわりには、装備用開口への支持対象、取付対象、接続対象、塞ぎ体に対する取り付け穴が形成されている請求項３に記載の箱型減圧用容器。
【請求項５】
保持手段は、特定の面板を、それが塞ぐ枠面に対し開閉できるように、その特定の面板の一縁と枠面とを連結するヒンジと、特定の面板の前記一縁と反対の他縁側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具との組合せを含む請求項１〜４のいずれか１項に記載の箱型減圧用容器。
【請求項６】
１２本の金属製の角材を６つの枠面を形成するように端部どうしを突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる６つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、
６つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、
前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、
前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの６つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器の製造方法。
【請求項７】
４本の金属製の角材を四方に配し、それらの上端部間と、下端部間と、にそれぞれ４つの金属製のアングル材ないしはチャンネル材を突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる６つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、
６つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、
前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、
前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの６つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、
を備えたことを特徴とする箱型減圧用容器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧下でプラズマを発生させて、薄膜のコーティング、エッチングを行うのに利用される箱型減圧用容器、つまり、減圧したときに耐えられる箱型減圧用容器とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の減圧用容器は、一般に、高真空時に大気圧による応力が容器の角など一部の部分に極端に大きく掛るのを避けるために円筒形にするのが主流となっている（例えば、特許文献１、２）。
【０００３】
一方、角型の減圧容器（例えば、特許文献３参照。）や真空装置（例えば、特許文献４参照）も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６―２８７０５３号公報
【特許文献２】特開２００７−１２５６０号公報
【特許文献３】特開２００７−２９９７８５号公報
【特許文献４】特開２００６−１０５２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１、２に記載のもののように円筒形の減圧容器や真空容器などであると、プラズマ処理装置としては、真空計、電流端子などの挿入、ガス導入ライン、排気ラインなどの接続、除き窓などに供する開口を設けるのに、気密を保った接続、取付け、塞ぎなどを満足するには、接続端、取付端、塞ぎ端が軸線に直角な平面上に開口することが望まれる。それには、容器の円筒壁の開口に大小各種のパイプを溶接付けし、このパイプの端部を軸線に直角な平面上に開口させることが一般的であり、この開口には接続や取り付けのためのフランジが設けられる。しかし、円筒形の胴部を形成するには厚いステンレス板を円筒形に曲げ加工し、継ぎ目を溶接する必要があるし、パイプの溶接付は手溶接となるので手間である上、それらの溶接には気密性確保のために高度な技術が必要で、高価なものとなる。しかも、それらパイプ類を増設しようとすれば大がかりな加工が必要になり容易ではない。特許文献２は円筒形の容器の外回りに多角形の搬送容器を形成して、各多角面にロードロック室や処理室を接続することを提案しているが、構造が複雑でさらに製作しにくいものとなる。
【０００６】
一方、特許文献３は、６つの面板を突き合わせてねじで締結し合い箱型の減圧容器を形成し、減圧容器内の隅部、つまり各面板間の境界部に連続したシール部材を当てがい、このシール部材を当てがった境界部両側の面板どうしに跨って連結した直状アングル材でシール部材を境界部に押圧してシールする技術を開示している。特に、境界部が集合するコーナ部では、連続したシール部材にコーナを囲う三角形、多角形、円形をしたループ部を形成し、このループ部を直状アングル材の端部間でコーナまわりの３枚の面板どうしを連結する隅部押さえ具にて押圧し、コーナまわりでシールするようにしている。また、特許文献４は、１つの開口が形成された真空容器と、この真空容器の開口に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて開口を塞ぐ蓋とからなる真空容器を開示しているが、高真空度に耐える板厚の真空容器を絞り加工にて形成するのは至難の業であるし、面板を溶接接合し合って形成するのも溶接個所が多く手間が掛る上、高い技術が必要となるのでコストがかさむ。
【０００７】
本発明の目的は、簡単な構造で高真空度に耐えられ、生産性および改良性がよく低コストな箱型減圧用容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の減圧用容器は、角材を接合して気密に繋がった６つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、この箱型フレームの６つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの６つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の６つの面板と、この６つの面板を６つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
このような構成では、角材端部間の突き合わせ部まわりだけの金属間接合で気密に繋がった箱型フレームが形成できる。後は、箱型フレームの気密に繋がった６つの枠面に６つの面板をその内面の外周部に保持した連続したシール部材を介し当てがい、その当てがい状態を保持具、具体的にはボルト、掛け具、係止具などの保持手段で保持するだけで、固定や取り付け状態にするような制限なしに、箱型減圧用容器とすることができる。この減圧用容器は、それに排気ラインを接続して減圧されると内部に引圧が生じて各面板を、それを当てがっている各枠面に減圧度に応じた力で引き付けるので、各面板の箱型フレームへのシール部材を介した圧着度、シール圧が高まり高真空度でも真空漏れは生じない。耐圧強度は箱型フレームの曲げ強度、各面板の面外変形強度によって得られる。
【００１０】
上記において、さらに、面板は、真空計、電流端子などの挿入、ガス導入ライン、排気ラインなどの接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの装備に供する装備用開口が設けられていることを特徴とすることができる。
【００１１】
このような構成では、上記に加え、さらに、面板は、軸線に直角な平面に装備用開口を設けて、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎといった装備に供するのに、装備用開口を設けた面板のまわりの平面を直接の支持面、取付け面、塞ぎ面などとできる。
【００１２】
上記において、さらに、装備用開口のまわりには、装備用開口への支持対象、取付対象、接続対象に対する取り付け穴が形成されていることを特徴とすることができる。
【００１３】
このような構成では、装備用開口のまわりの面板表面を直接の支持面、取付面、塞ぎ面とするのに、装備用開口のまわりに形成した取り付け穴を利用してボルトを直接ねじ込むなどして支持、取付、接続、塞ぐことができる。
【００１４】
上記において、さらに、保持手段は、特定の面板を、それが塞ぐ枠面に対し開閉できるように、その特定の面板の一縁と枠面とを連結するヒンジと、特定の面板の前記一縁と反対の他縁側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具との組合せを含むことを特徴とすることができる。
【００１５】
このような構成では、上記に加え、さらに、保持手段として、特定の面板を、それが塞ぐ枠面に対し開閉できるように、その特定の面板の一縁と枠面とを連結するヒンジと、特定の面板の前記一縁と反対の他縁側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具との組合せを含むことにより、特定の面板を開閉してそれが当てがわれている枠面がなす開口の全体を減圧用容器内での処理対象物の出し入れに利用できる。
【００１６】
上記のような箱型減圧用容器は、１２本の金属製の角材を６つの枠面を形成するように端部どうしを突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる６つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、６つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの６つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、を備えたことを特徴とする製造方法によって得られる。
【００１７】
なお、上記角材どうしによる場合に代えて、四方に配した４つの角材の上端部間と、下端部間とを、それぞれ４つのアングル材ないしはチャンネル材にて接合して気密に繋がった６つの枠面が形成された金属製の箱型フレームと、この箱型フレームの６つの枠面に、内面外周部に保持した連続なシール部材を介し当てがわれて、箱型フレームの６つの枠面が囲う開口を塞ぐ金属製の６つの面板と、この６つの面板を６つの枠面への当てがい状態に保持する保持手段と、を備えたことを特徴とするものとしても同様である。
【００１８】
これの製造には、４本の金属製の角材を四方に配し、それらの上端部間と、下端部間と、にそれぞれ４つの金属製のアングル材ないしはチャンネル材を突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる６つの枠面を持った金属製の箱型フレームを形成する工程と、６つの枠面に当てがって塞ぐ面板の内面の外周部に前記枠面の外周寄り部分に対向する環状の溝を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口、およびこれら装備用開口に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴を装備用開口のまわりに形成する工程と、前記各種の装備用開口に、それらのまわりの取り付け穴を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ラインなどの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材を面板の内面から突出するように嵌め合わせて保持する工程と、前記シール部材の保持および装備をした面板を、箱型フレームの６つの枠面にシール部材を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレームと面板との間に働かせた保持手段により保持する工程と、を備えたことを特徴として行うことになる。
【００１９】
本発明のそれ以上の目的は、以下の詳細な説明および図面の記載によって明らかになる。本発明の各特徴は、それ自体単独で、あるいは可能な限り種々な組み合わせで複合して採用することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の箱型減圧用容器によれば、角材端部間の突き合わせ部まわりの小さな範囲の１６カ所だけのＴＩＧ溶接で代表される溶接などによる金属間接合と、箱型フレームの気密に繋がった６つの枠面に６つの面板をその内面の外周部に保持した連続したシール部材を介し当てがい、その当てがい状態を固定や取り付け状態への到達制限のない、保持具による保持とで、箱型減圧用容器が、簡単な構造で組立工数少なく生産性よく低コストに得られる。しかも、得られた箱型減圧用容器は、減圧状態での引圧により大気圧との差で各面板が各枠面に減圧度に応じた力で引き付け、ないしは押し付けられてシール圧が増大するので、高真空度でも真空漏れが回避される保証がある。耐圧強度は箱型フレームの曲げ強度と、各面板の面外変形強度とによって得られるが、面外変形は枠面に支持される内側の面域の広さにもよるが比較的耐えやすく、箱型フレームの曲げ強度を十分に取れば、面板は角材の太さに対して厚さを半減させられる。なお、角材は両端から中央部に向け、面板は周辺から中央部に向け、それぞれ応力が増大していくが、中央部で必要な強度を満足する一様な太さ、厚さに設定して強度を確保すれば、無駄な材料ボリュームを含むが加工上からコストの低減が図れる。説明の簡単のため６面体の箱型減圧容器としたが、本発明は実質的には面数に特にこだわらない。しかも、装備対象を増設するにも簡単な加工と組み立てで対応できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の箱型減圧用容器の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１の面板の内面に保持したシール部材取り付け部の詳細断面図である。
【図３】箱型フレームの別の構成例を示す一部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る箱型減圧用容器およびその製造方法の実施の形態につき、図１、図２を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
【００２３】
図１に示す減圧用容器１００は、説明の簡単のため６面体の箱型としたが、本発明は実質的には面数に特にこだわらない。角材１を接合して気密に繋がった６つの枠面２が形成された金属製の箱型フレーム３と、この箱型フレーム３の６つの枠面２に、内面外周部６ａの周部に保持した連続なシール部材５を介し当てがわれて、箱型フレーム３の６つの枠面２が囲う開口２７を塞ぐ金属製の６つの面板６と、この６つの面板６を６つの枠面２への当てがい状態に保持する保持手段７と、を備えている。これにより、減圧用容器１００は、角材１の端部間の突き合わせ部まわりだけの金属間接合で気密に繋がった箱型フレーム３が形成できる。後は、箱型フレーム３の気密に繋がった６つの枠面２に６つの面板６をその内面６ａの外周部に保持した連続したシール部材５を介し当てがい、その当てがい状態を保持手段７、具体的にはボルト７ａ、掛け具、係止具などの保持具で保持するだけで、固定や取り付け状態にするような制限なしに、箱型減圧用容器１００とすることができる。この減圧用容器１００は、それに排気ライン１１を接続して減圧されると内部に引圧が生じて各面板６を、それを当てがっている各枠面２に減圧度に応じた力で引き付けるので、各面板６の箱型フレーム３へのシール部材５を介した圧着度が高まり高真空度でも真空漏れは生じない。耐圧強度は箱型フレーム３の曲げ強度、各面板６の面外変形強度によって得られる。シール部材５は面板６の内面６ａに予め刻設するなどして形成した図２に示すようなアリなどの溝１２内に圧入するなどしておけばよい。溝１２やシール部材５などの寸法や圧入条件はＪＩＳ規格に準拠すればよい。もっとも、特許文献４に開示されたものなど他の保持構造を採用することができる。本実施の形態の箱型減圧用容器１００はプラズマ処理の供する用途上、耐食性、耐磁性のあるステンレス鋼を採用しており、前記接合はＴＩＧ溶接で代表される溶接接合としているが、気密性を有して繋がった枠面２が得られれば接合手法は特に問わない。図示例の溶接接合は図１に太い破線で示した溶接ライン１３に沿って溶接接合してある。溶接個所は１つの角材１の端部隣接面２つとそれに突き合せた角材１の端部の四周縁との間であり、箱型フレーム３の１つの角に対応して２か所あるが、２か所の溶接部１３の境界部は共通した溶接部１３となっている。端部隣接面に他の角材１の端部を突き合わせる対象の角材１は図示の場合、箱型フレーム３の四隅に縦配置した４つの角材１としてあるが、どれを選択してもよい。また、保持手段７がボルト７ａである場合、箱型フレーム３および面板６にねじ穴１４、１５を形成しておくことになる。箱型フレーム３のねじ穴１４は非貫通として、気密性、耐圧性を損なわないようにする。また、ねじ穴１４は取扱やすい角材１の段階で形成しておくのが好都合である。
【００２４】
以上の結果、角材１端部間の突き合わせ部まわりの小さな範囲の１６カ所だけの、ＴＩＧ溶接で代表される溶接などによる金属間接合と、箱型フレーム３の気密に繋がった６つの枠面２に６つの面板６をその内面６ａの外周部に保持した連続したシール部材５を介し当てがい、その当てがい状態を固定や取り付け状態への到達制限のない、保持手段７による保持とで、箱型減圧用容器１００が、簡単な構造で組立工数少なく生産性よく低コストに得られる。しかも、得られた箱型減圧用容器１００は、減圧状態での引圧により大気圧との差で各面板６が各枠面２に減圧度に応じた力で引き付け、ないしは押し付けられてシール圧が増大するので、高真空度でも真空漏れが回避される保証がある。耐圧強度は箱型フレーム３の曲げ強度と、各面板６の面外変形強度とによって得られるが、面外変形は枠面２に支持される内側の面域の広さにもよるが比較的耐えやすく、箱型フレーム３の曲げ強度を十分に取れば、面板６は角材１の太さに対して厚さを半減させられる。なお、角材は両端から中央部に向け、面板は周辺から中央部に向け、それぞれ応力が増大していくが、中央部で必要な強度を満足する一様な太さ、厚さに設定して強度を確保すれば、無駄な材料ボリュームを含むが加工上からコストの低減が図れる。また、角材１の強度は同じ太さでも長いもの程強度は落ちるが、最も強度が低い長さのものに必要な太さに統一するのが面一な枠面２を形成するのに好適で、面板６との間の真空漏れを回避しやすい。角材１の太さの統一はコスト面でも有利となる。しかも、装備対象を増設するにも簡単な加工と組み立てで対応できる。
【００２５】
なお、面板６の面外変形強度のアップは、全体的な厚さの変化に対して、図１に仮想線で示すような補強リブ４１を一体にあるいは溶接などで後付けして形成することもできる。補強リブによる面外変形強度アップも、その補強度合は面板６の平板での面外強度特性に対応して、例えば、周辺部から中央部へと増大させることもできる。補強リブ４１の形態は図１に仮想線で示す十字やそれ以上の数の放射状に設けてもよいし、種々な格子状に設けることもできる。また、放射状の補強リブ４１や格子状の補強リブを設けるのに周辺部から中央部に高さまたはおよび幅を増大させて、また、格子状の補強リブでは、さらに、上記に加え、または代えて、配列ピッチを減少させて、補強度合を調整することもできる。
【００２６】
さらに、面板６には、真空計、電流端子などの挿入、ガス導入ライン、排気ライン１１などの接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの装備に供する装備用開口２１が設けられている。これにより、面板６は、軸線に直角な平面に装備用開口２１を設けて、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン１１などの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎといった装備に供するのに、装備用開口２１を設けた面板６のまわりの平面を直接の支持面、取付け面、塞ぎ面などとできる。これを実現するのに、装備用開口２１のまわりには、装備用開口２１への支持対象、取付対象、接続対象に対する取り付け穴２２を形成してある。これにより、装備用開口２１のまわりの面板６表面を直接の支持面、取付面、塞ぎ面とするのに、装備用開口２１のまわりに形成した取り付け穴２２を利用してボルト２３を直接ねじ込むなどして支持、取付、接続、塞ぐことができる。そのために、排気ライン１１などの接続対象、支持対象、取付対象には、図１に示すような取り付け穴２４ａが形成された取り付け座２４を、フランジや取り付け基板などとして一体に、あるいは別物を溶接付するなどして一体に付帯させておくのが好適である。この場合も、取り付け孔２２は非貫通として気密性、耐圧性を損なわないようにする。
【００２７】
また、保持手段７は、特定の面板６を、それが塞ぐ枠面２に対し開閉できるように、その特定の面板６の一縁６ａと枠面２とを連結するヒンジ２５と、特定の面板６の前記一縁６ａと反対の他縁６ｂ側を枠面への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具２６との組合せを含むものとしている。このように、保持手段７として、特定の面板６を、それが塞ぐ枠面２に対し開閉できるように、その特定の面板６の一縁６ａと枠面２とを連結するヒンジと２５、特定の面板６の前記一縁６ａと反対の他縁６ｂ側を枠面２への当てがい状態に保持およびその保持を解除する保持具２６との組合せを含むことにより、特定の面板６を開閉してそれが当てがわれている枠面２がなす開口２７の全体を減圧用容器１００内での処理対象物の出し入れに利用でき、特別な加工が不要になる利点がある。
【００２８】
保持具２６は図示するハンドル２６ａ付きのねじとすることができるし、箱型フレーム３側に設けたクリック機構などの弾性キャッチャにキャッチされる突子、箱型フレーム３側に設けた固定係合部に係脱する可動係合部材などでもよい。いずれにしても、シール部材１２の外側位置で働くことによって気密性を損なうことはない。
【００２９】
なお、上記のような箱型減圧用容器１００は、１２本の金属製の角材１を６つの枠面２ａを形成するように端部１ａどうしを突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる６つの枠面２を持った金属製の箱型フレーム３を形成する工程と、６つの枠面２に当てがって塞ぐ面板６の内面６ａの外周部に前記枠面２の外周寄り部分に対向する環状の溝１２を形成し、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン１１などの支持、取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などに供する各種の装備用開口２１、およびこれら装備用開口２１に真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン１１などの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などの塞ぎに供する取り付け穴２２を装備用開口２１のまわりに形成する工程と、前記各種の装備用開口２１に、それらのまわりの取り付け穴２２を利用して、真空計、電流端子、ガス導入ライン、排気ライン１１などの取付、接続、覗き窓、対象物の出し入れ口などを塞ぐ装備を行い、前記溝に連続したシール部材５を面板６の内面６ａから突出するように嵌め合わせて保持する工程と、前記シール部材５の保持および装備をした面板６を、箱型フレーム３の６つの枠面２にシール部材５を介し当てがい、この当てがい状態を箱型フレーム３と面板６との間に働かせた保持手段７により保持する工程と、を備えた製造方法によって、生産性よく低コストに得られる。
【００３０】
なお、上記角材１どうしによる場合に代えて、図３に一部を示すように、四方に配した４つの角材１の上端部間と、下端部間とを、それぞれ４つのアングル材３１ないしはチャンネル材にて接合して気密に繋がった６つの枠面２が形成された金属製の箱型フレーム３を用いることができる。
【００３１】
これを製造するには、４本の金属製の角材１を四方に配し、それらの上端部間と、下端部間と、にそれぞれ４つの金属製のアングル材３１ないしはチャンネル材を突き合わせ、それら突き合わせ部まわりを接合して気密に繋がる６つの枠面２を持った金属製の箱型フレーム３を形成する工程を備えればよい。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明の箱型減圧用容器は、気密に繋がった６つの枠面を持った箱型フレームと、この箱型フレームの６つの枠面にシール部材を当てがった６つの面板と、この各面板の各枠面への当てがい状態を保持する保持手段とからなる簡単な構成にて、高真空に十分耐えられ、各種のプラズマ処理などに実用できる。
【符号の説明】
【００３３】
１  角材
１ａ  端部
２  枠面
３  函型フレーム
５  シール部材
６  面板
６ａ  内面
７  保持手段
７ａ、２３  ボルト
１１  排気ライン
１２  溝
１３  溶接ライン（溶接部）
１４、１５、２２、２４ａ  取り付け穴
２１  装備用開口
２５  ヒンジ
２６  保持具
２６ａ  ハンドル
２７  開口
３１  アングル材
【図１】
2010275615.tif 000003
【図２】
2010275615.tif 000004
【図３】
2010275615.tif 000005