(57)【要約】【課題】信頼性を確保しつつミラーのギャップ制御を容易にした光フィルタを提供する。【解決手段】本発明の光フィルタ１００は、互いに対向して配置された第１基板１４及び第２基板１５と、第１基板１４に設けられた第１ミラー２Ａと、第２基板１５に設けられ、第１ミラー２Ａと対向配置された第２ミラー２Ｂと、第１基板１４と第２基板１５とを磁力により固定する磁力クランプ手段２５とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して配置された第１基板及び第２基板と、
前記第１基板の前記第２基板側に設けられた第１ミラーと、
前記第２基板の前記第１基板側に設けられ、前記第１ミラーと対向配置された第２ミラーと、
前記第１基板と前記第２基板とを磁力により固定する磁力クランプ手段と
を有することを特徴とする光フィルタ。
【請求項２】
前記磁力クランプ手段が、前記第１基板に設けられた第１吸着部材と、前記第２基板に設けられ、前記第１吸着部材との間で吸着力を有する第２吸着部材と、を有することを特徴とする請求項１に記載の光フィルタ。
【請求項３】
前記第１吸着部材及び前記第２吸着部材のうちの一方が磁性部材であり、他方が磁石に吸着する金属部材であることを特徴とする請求項２に記載の光フィルタ。
【請求項４】
前記金属部材が、前記第１基板又は第２基板に形成された金属膜であることを特徴とする請求項３に記載の光フィルタ。
【請求項５】
前記磁性部材が永久磁石であることを特徴とする請求項３又は４に記載の光フィルタ。
【請求項６】
前記第１基板と前記第２基板の当接部において、
前記第１基板及び第２基板のうち一方の前記基板に、他方の前記基板側に突出する凸部が設けられており、他方の前記基板に前記凸部が挿入される凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光フィルタ。
【請求項７】
前記第１基板と前記第２基板の当接部において、
前記第１基板及び第２基板のそれぞれに、互いに対向する凹部が形成されており、前記凹部同士を対向させた内部に位置決め部材が収容されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光フィルタ。
【請求項８】
前記第１基板と前記第２基板の当接部において、
前記第１基板及び前記第２基板のうち少なくとも一方の前記基板に、内部に接着剤が設けられた凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光フィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
目標波長の光を選択して射出する光フィルタとして、エタロン素子が知られている。エタロン素子としては、ギャップを介して対向する一対のミラーを有し、このギャップを例えば一対の電極間の静電力で調整することにより、透過する光の波長を選択して目標波長とする、エアギャップ型で静電駆動型のものが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）。
【０００３】
このようなエタロン素子では、例えば第１基板及び第２基板のそれぞれの内面（対向面）にミラーと電極とを形成しておき、これら基板の内面を互いに対向させた状態でその一部を接合させ、製造している。すなわち、基板の一部を当接させた際、ミラー間及び電極間にはそれぞれギャップを設けておき、また、一方の基板には、ミラーの配置箇所が電極間の静電力によって変位し、ミラー間のギャップを変化させるように可動部を形成しておく。
【特許文献１】特開２００２−２１４４２９号公報
【特許文献２】特開２００３−５７４３８号公報
【特許文献３】特開２００５−６２３８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エタロン素子は、それぞれにミラーが設けられた２枚の基板を貼り合わせることで製造される。貼り合わせる方法としては、接着剤やバインダーなどで固定する方法や、陽極接合のような直接接合により固定する方法がある。
しかし、接着剤やバインダーを用いた固定方法では、ギャップの精度を確保することが困難である。また、表面活性化接合を用いた固定方法では、ギャップ制御は容易になるものの、基板同士の接合面の状態によって接着強度が変動するため、確実に固定することが困難な場合がある。
【０００５】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、信頼性を確保しつつミラーのギャップ制御を容易にした光フィルタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光フィルタは、上記課題を解決するために、互いに対向して配置された第１基板及び第２基板と、前記第１基板の前記第２基板側に設けられた第１ミラーと、前記第２基板の前記第１基板側に設けられ、前記第１ミラーと対向配置された第２ミラーと、前記第１基板と前記第２基板とを磁力により固定する磁力クランプ手段とを有することを特徴とする。
この構成によれば、第１基板と第２基板とを磁力により固定する磁力クランプ手段を備えているので接着剤が不要であり、接着剤を用いる場合のように第１ミラーと第２ミラーとのギャップがずれることがなくなる。また、陽極接合のような直接接合も不要であるため、第１基板と第２基板との当接部における表面状態等により機械強度が変化してしまうこともない。よって本発明によれば、信頼性を確保しつつギャップ制御を容易に行うことができる光フィルタを提供することができる。
【０００７】
前記磁力クランプ手段が、前記第１基板に設けられた第１吸着部材と、前記第２基板に設けられ、前記第１吸着部材との間で吸着力を有する第２吸着部材と、を有することが好ましい。この構成によれば、簡単で実用的な磁力クランプ手段を構成でき、製造性に優れた光フィルタとすることができる。
【０００８】
前記第１吸着部材及び前記第２吸着部材のうちの一方が磁性部材であり、他方が磁石に吸着する金属部材である構成としてもよい。すなわち、磁性部材同士の磁力吸着のみならず、磁性部材と金属部材との磁力吸着を利用してもよい。
【０００９】
前記金属部材が、前記第１基板又は第２基板に形成された金属膜である構成としてもよい。このような構成とすれば、基板の外面に磁石等を配置する場合に比して光フィルタを薄型化することができる。
【００１０】
前記磁性部材が永久磁石であることが好ましい。これにより、恒常的に第１基板と第２基板とを固定しておける磁力クランプ手段が容易に得られる。
【００１１】
前記第１基板と前記第２基板の当接部において、前記第１基板及び第２基板のうち一方の前記基板に、他方の前記基板側に突出する凸部が設けられており、他方の前記基板に前記凸部が挿入される凹部が形成されていることが好ましい。このような構成とすれば、第１基板と第２基板との基板面方向の位置合わせを容易に行うことができる光フィルタとなる。
【００１２】
前記第１基板と前記第２基板の当接部において、前記第１基板及び前記第２基板のうち少なくとも一方の前記基板に、内部に接着剤が設けられた凹部が形成されていることが好ましい。この構成によれば、機械強度に優れた光フィルタとすることができる。
【００１３】
前記凹部の一部が当該光フィルタの側端面に開口していることが好ましい。この構成によれば、接着剤の配置を容易に行えるようになる。また前記凹部が溝状であることが好ましい。この構成によれば接着剤による接合をより確実なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を詳しく説明する。
【００１５】
図１及び図２は、本発明の一実施の形態である光フィルタ１００を示す図であり、図１は光フィルタ１００の平面図、図２は、図１のＡ−Ａ’線に沿う位置における光フィルタ１００の側断面図である。
【００１６】
図１及び図２に示す光フィルタ１００はエアギャップ型で静電駆動型のエタロン素子である。
光フィルタ１００は、第１ミラー２Ａが設けられた第１基板１４と、第２ミラー２Ｂが設けられた第２基板１５と、第１基板１４と第２基板１５とを挟持する磁力クランプ手段２５とを備えている。
【００１７】
第１基板１４及び第２基板１５は、平面視正方形状の板状部材である。第１基板１４及び第２基板１５は、ガラス等の光透過性と絶縁性とを具備した材料からなる。具体的には、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ナトリウムガラス、無アルカリガラス等が好適に用いられる。第１基板１４及び第２基板１５をガラス基板とすれば、入射光として可視光を用いることができる。
なお、第１基板１４及び第２基板１５はシリコン基板であってもよい。この場合には、入射光として近赤外光を用いることができる。
【００１８】
第１基板１４には、第１ミラー２Ａと電極１６Ａとが設けられている。第１ミラー２Ａは平面視円形状であり、第２基板１５と対向する対向面（内面）１４Ａの中央部に配置されている。電極１６Ａは平面視円環状であり、対向面１４Ａの第１ミラー２Ａの周囲を取り囲む位置に設けられている。
【００１９】
第１基板１４の対向面１４Ａと反対側の面（外面）には、平面視円環状の溝部１４Ｂが形成されている。溝部１４Ｂは、平面視で第１ミラー２Ａを取り囲む位置に形成されている。一方、電極１６Ａとの関係では、溝部１４Ｂは、電極１６Ａの平面領域に内包される位置に形成されている。
【００２０】
第１基板１４の溝部１４Ｂが形成された領域は他の領域と比べて板厚が薄くなっており、第１基板１４の溝部１４Ｂの形成領域が弾性変形可能とされている。これにより、溝部１４Ｂと、溝部１４Ｂに囲まれた平面視円形状の第１ミラー２Ａを支持した部位とが、第１ミラー２Ａとともに上下動する可動部１３を構成している。
【００２１】
第１基板１４の外面には、第１吸着部材２５Ａが設けられている。第１吸着部材２５Ａの中央部には、溝部１４Ｂの外周形状に対応する円形の開口部２６Ａが形成されている。開口部２６Ａの内側に第１基板１４の可動部１３が露出している。第１吸着部材２５Ａは、後述の第２吸着部材２５Ｂとともに本発明に係る磁力クランプ手段２５を構成する。
【００２２】
第２基板１５には、第２ミラー２Ｂと電極１６Ｂとが設けられている。第２基板１５の第１基板１４と対向する対向面（内面）１５Ａには、第１凹部１１と第２凹部１２とが形成されている。第１凹部１１は、対向面１５Ａの中央部に平面視円形状を成して形成されている。第２凹部１２は、第１凹部１１を円環状に取り囲む位置に、第１凹部１１よりも浅い深さで形成されている。
第２ミラー２Ｂは第１ミラー２Ａと略同一の平面視円形状であり、第１凹部１１の底面に配置されている。電極１６Ｂは、電極１６Ａと略同一の円環状であり、第２凹部１２の底面に配置されている。
【００２３】
第２基板１５の外面には、第２吸着部材２５Ｂが設けられている。第２吸着部材２５Ｂの中央部には、第１吸着部材２５Ａの開口部２６Ａに対応する円形の開口部２６Ｂが形成されている。開口部２６Ｂは、第１吸着部材２５Ａの開口部２６Ａとともに、光フィルタ１００に対する光の入射口、射出口となる。第２吸着部材２５Ｂは、先の第１吸着部材２５Ａとともに本発明に係る磁力クランプ手段２５を構成する。
【００２４】
第１ミラー２Ａ及び第２ミラー２Ｂは、本実施形態の場合、高屈折率層と低屈折率層とを交互に複数積層した誘電体多層膜からなる。本発明に係る第１及び第２ミラーとしては、誘電体多層膜のほか、炭素を含有する銀の合金膜などを用いることもできる。
【００２５】
光フィルタ１００が可視光域又は赤外光域で用いられる場合、第１ミラー２Ａ及び第２ミラー２Ｂを構成する誘電体多層膜の高屈折率層は、例えば酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブなどを用いて形成することができる。低屈折率層としては、例えばフッ化マグネシウム、酸化シリコンなどを用いることができる。また、光フィルタ１００を紫外光域で用いる場合、高屈折率層を形成する材料としては、例えば酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化トリウム等を用いることができる。低屈折率層を形成する材料は、上記と同様である。
【００２６】
誘電体多層膜における高屈折率層及び低屈折率層の層数、厚さについては、必要とする光学特性に基づいて適宜に設定される。一般に、誘電体多層膜によって反射膜（ミラー）を形成する場合、所望の光学特性を得るために必要な層数は１２層以上であり、誘電体多層膜によって反射防止膜を形成する場合、所望の光学特性を得るために必要な層数は４層程度である。
【００２７】
電極１６Ａ、１６Ｂは導電材料を用いて形成することができる。電極１６Ａ、１６Ｂの構成材料は特に限定されないが、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｔｉ等の金属材料及びそれらを含む合金、導電性を付与された樹脂材料（カーボン等を分散した樹脂や導電性高分子）、導電性を付与した半導体材料（不純物をドープした単結晶シリコンや多結晶シリコン、アモルファスシリコン）、ＩＴＯ等の透明導電材料などを用いることができる。
【００２８】
また、図１に示すように、電極１６Ａには配線１７Ａが接続されており、電極１６Ｂには配線１７Ｂが接続されている。配線１７Ａは、電極１６Ａの外周端から延出されており、その先端部は光フィルタ１００の側端面に達している。配線１７Ｂは、電極１６Ｂの外周端から配線１７Ａとは反対側に延出されており、その先端部は配線１７Ａの先端とは反対側の光フィルタ１００の側端面に達している。配線１７Ａ及び配線１７Ｂには、図示略の電源が接続される。
【００２９】
なお、配線１７Ａは、第１基板１４に形成された配線溝１８Ａ内に配置されていることが好ましく、配線１７Ｂは、第２基板１５に形成された配線溝１８Ｂ内に配置されていることが好ましい。このように配線溝１８Ａ、１８Ｂを設けることで、配線１７Ａ、１７Ｂが第１基板１４と第２基板１５との接合部に干渉するのを回避できる。
【００３０】
図２に示すように、第１基板１４と第２基板１５とは、それらを挟持する磁力クランプ手段２５（第１吸着部材２５Ａ、第２吸着部材２５Ｂ）によって、互いに当接した状態で固定されている。本実施形態の場合、第１基板１４における対向面１４Ａの電極１６Ａの外周側の領域と、第２基板１５における対向面１５Ａの第２凹部１２の外周側の領域とが当接しており、当接されたこれらの領域が当接部２１を構成している。
【００３１】
当接部２１において、第１基板１４の四隅には対向面１４Ａに開口する凹部１４Ｄが形成されており、第２基板１５の四隅には対向面１５Ａで開口する凹部１５Ｄが形成されている。光フィルタ１００のそれぞれの角部において、凹部１４Ｄと凹部１５Ｄとは平面視で重なる位置に設けられており、板厚方向に連続する１つの密閉空間を形成する。そして、かかる密閉空間内に収容された位置決め部材２０により、第１基板１４と第２基板１５とが板面方向に位置決めされている。
【００３２】
なお、凹部１４Ｄ、１５Ｄ内に接着剤を配置し、位置決め部材２０と第１基板１４及び第２基板１５とを接着剤で固定してもよい。この場合には、凹部１４Ｄ、１５Ｄの外側に接着剤がはみ出さないようにすることが好ましい。これにより、はみ出した接着剤がギャップＧ１、Ｇ２の精度を低下させる原因となるのを回避できる。
【００３３】
第１吸着部材２５Ａ及び第２吸着部材２５Ｂは、いずれも磁性部材からなるものであってもよく、一方が磁性部材であり、他方が磁石に吸着する金属部材であってもよい。またその形状も、バルク状であってもシート状であってもよい。本実施形態のように、第１吸着部材２５Ａ及び第２吸着部材２５Ｂを第１基板１４及び第２基板１５の外面に配置する場合には、シート状であることが好ましい。第１吸着部材２５Ａ及び第２吸着部材２５Ｂをシート状とすることで、光フィルタ１００全体の厚みを小さくすることができ、また吸着力の作用する領域が広くなる。
【００３４】
磁性部材としては、第１基板１４と第２基板１５とを当接状態に保持できる吸着力（磁力）を発揮するものであれば、特に限定されない。すなわち、永久磁石であっても、電磁石であってもよい。ただし、磁力クランプ手段２５は、恒常的に第１基板１４と第２基板１５とをクランプして固定するものであるから、電力が不要な永久磁石を用いることが好ましい。
【００３５】
永久磁石としては、希土類磁石、フェライト磁石、アルニコ磁石などのいずれであってもよいが、強力な保磁力を有する希土類磁石（ネオジム磁石、サマリウムコバルト磁石、プラセオジム磁石、サマリウム磁石など）を用いることが好ましい。
【００３６】
また、磁石に吸着する金属部材としては、代表的には鉄及び鉄合金（ステンレスなど）を挙げることができる。その他の金属部材としては、コバルト、ニッケル、ガドリニウム、及びそれらの合金を挙げることができる。
【００３７】
以上の構成を備えた本実施形態の光フィルタ１００は、例えば第１基板１４を介して第１ミラー２Ａに入射させた光から、第１のギャップＧ１の大きさに対応した波長の光を選択的に取り出し、第２基板１５の射出面（外面）から射出させることができる。
より詳しくは、第１基板１４及び第１ミラー２Ａを透過して第１のギャップＧ１に入射した光は、第１ミラー２Ａと第２ミラー２Ｂとの間で複数回反射する。そして、第１ミラー２Ａと第２ミラー２Ｂとの間での干渉効果により、第１のギャップＧ１の大きさに対応した特定の波長の光が強められるとともに第２ミラー２Ｂを選択的に透過した光が射出面から射出される。
【００３８】
そして、光フィルタ１００では、第１のギャップＧ１を変化させることで、取り出される光の波長を制御することができる。第１のギャップＧ１を変化させるには、電極１６Ａ、１６Ｂ間に制御された電圧を印加する。電圧印加により電極１６Ａ、１６Ｂ間に印加電圧に応じた静電力が発生し、かかる静電力により可動部１３が変形して第１ミラー２Ａが変位する。これにより、第１のギャップＧ１を意図した間隔に制御することができる。
【００３９】
以上に詳細に説明した本実施形態の光フィルタ１００は、第１基板１４と第２基板１５とを、磁力クランプ手段２５の吸着力により固定している。
このような構成とされていることで、第１基板１４と第２基板１５とを、面同士で直接接触させた状態で固定することができる。すなわち、接着剤等を介して第１基板１４と第２基板１５とを貼り合わせる必要がないため、接着剤等の厚さの不均一に起因するギャップＧ１、Ｇ２のバラツキが発生するのを防止することができる。
したがって、本発明の光フィルタ１００は、第１ミラー２Ａと第２ミラー２Ｂとの間隔（第１のギャップＧ１）の精度を向上させることができる。
【００４０】
また本実施形態の光フィルタ１００では、磁力クランプ手段２５により第１基板１４と第２基板１５とが固定されるため、第１基板１４と第２基板１５とを接合する必要がない。したがって、陽極接合を用いる場合のように、接合面の表面状態によって接合強度が低下するということがなく、信頼性に優れた光フィルタを実現することができる。
【００４１】
以下、上記実施形態の変形例について説明する。以下のいずれの変形例においても、上記実施形態と同様の作用効果を得ることができるのはもちろんである。
【００４２】
（第１変形例）
図３は、第１変形例に係る光フィルタ１００Ａの断面図であって、上記実施形態における図２に相当する図である。
光フィルタ１００Ａは、第２吸着部材２５Ｂを、第２基板１５の第１基板１４側の面に形成された金属膜とした構成である。すなわち、第１吸着部材２５Ａが磁性部材であり、第２吸着部材２５Ｂが磁石を吸着する金属からなる構成である。第２吸着部材２５Ｂは、例えば鉄合金やコバルト合金などからなる金属膜とすることができ、その成膜方法としては、スパッタ法などの公知の成膜法を用いることができる。
【００４３】
なお、本例では第２基板１５の内面に金属膜の第２吸着部材２５Ｂを形成した場合について説明したが、金属膜の第２吸着部材２５Ｂは、第２基板１５の外面に形成してもよい。
また、第２吸着部材２５Ｂではなく、第１吸着部材２５Ａを金属膜としてもよい。この場合にも、図３に示すように、第１基板１４の外面に成膜してもよく、第１基板１４の内面（対向面１４Ａ）に形成してもよい。
【００４４】
本例のように、第２吸着部材２５Ｂと第１吸着部材２５Ａの少なくとも一方を金属膜とすることで、さらに薄型の光フィルタを実現することができる。
なお、第２吸着部材２５Ｂは第１基板１４との当接面に成膜されているが、接着剤とは異なり基板上に均一な厚さで形成できるため、ギャップＧ１、Ｇ２の精度を低下させるおそれはない。
【００４５】
（第２変形例）
図３は、第２変形例に係る光フィルタ１００Ｂの断面図であって、上記実施形態における図２に相当する図である。
光フィルタ１００Ｂは、第２吸着部材２５Ｂとして、固形の磁石を備えた構成である。光フィルタ１００Ａでは、第２基板１５に複数の凹部１５Ｅが形成されている。凹部１５Ｅは、第２基板１５の板厚方向の深さを有し、第２基板１５の外面に開口している。そして、凹部１５Ｅ内に、例えば円柱状の磁石からなる第２吸着部材２５Ｂが挿入されている。
【００４６】
第２吸着部材２５Ｂの形状は特に限定されず、直方体や立方体形状であってもよく、多角柱状や球状であってもよい。また、凹部１５Ｅ内に接着剤を配置し、第２吸着部材２５Ｂを第２基板１５に固着させておいてもよい。
【００４７】
光フィルタ１００Ａにおいて、第１吸着部材２５Ａは、磁性部材であっても、磁石に吸着する金属部材であってもよい。また、第１吸着部材２５Ａは、固形状の磁性部材や金属部材であってもよく、シート状の磁性部材であってもよい。さらに、第１吸着部材２５Ａは薄膜状の金属部材であってもよい。
【００４８】
なお、図３では凹部１５Ｅ内に固形磁石である第２吸着部材２５Ｂを配置しているが、凹部１５Ｅは必要に応じて形成すればよい。すなわち、第２吸着部材２５Ｂは、第２基板１５の外面に直接載置あるいは接着されていてもよい。また、図３では第２基板１５の外面に凹部１５Ｅを形成しているが、第２基板１５の側端面に凹部を形成し、かかる凹部に固形状の磁石からなる第２吸着部材２５Ｂを埋め込んでもよい。第１吸着部材２５Ａを固形状の磁石とする場合も同様である。
【００４９】
さらに、固形状の磁石あるいは金属部材を用いた形態を応用すれば、図２に示す位置決め部材２０を第１吸着部材２５Ａ又は第２吸着部材２５Ｂとして用いた構成も採用できる。この場合に、位置決め部材２０は、磁性部材、磁石に吸着する金属部材のいずれであってもよいが、第１基板１４及び第２基板１５のいずれかに固定されていなければならない。位置決め部材２０の固定方法としては、接着剤による固定であってもよく、螺合による固定であってもよい。あるいは、位置決め部材２０の外周面に固定ピンを設け、かかる固定ピンを凹部１４Ｄ又は凹部１５Ｄの内壁に係合させる固定方法であってもよい。
【００５０】
（第３変形例）
図４は、第３変形例に係る光フィルタ１００Ｃの断面図であって、上記実施形態における図２に相当する図である。
光フィルタ１００Ｃは、第１基板１４と第２基板１５との当接部２１おいて、接着剤による接合を用いる場合の構成である。光フィルタ１００Ｃでは、第１基板１４の内面の当接部２１に対応する位置に凹部１４Ｅが形成されている。凹部１４Ｅの内部には、接着剤２４が設けられている。
【００５１】
光フィルタ１００Ｃでは、凹部１４Ｅの内部に設けられた接着剤２４によって凹部１４Ｅの内壁と第２基板１５の内面とが接着されている。これにより、磁力クランプ手段２５のみにより第１基板１４と第２基板１５とを固定する場合と比べて、より大きな固定強度を得ることができ、機械強度に優れた光フィルタを実現することができる。
【００５２】
本例では、当接部２１に接着剤２４を用いているが、接着剤２４は凹部１４Ｅ内に配置され、第１基板１４と第２基板１５との当接面には塗布されない。したがって、第１基板１４と第２基板１５の対向面に接着剤を塗布して接合する場合のように接着剤の厚さの不均一によるギャップＧ１、Ｇ２の不均一が生じることはない。
【００５３】
本例では、凹部１４Ｅが第１基板１４の側端面より内側に形成されている場合について説明したが、凹部１４Ｅは、その一部が第１基板１４の側端面に開口していることが好ましい。このような構成とすれば、第１基板１４と第２基板１５とを当接させて固定した後に、凹部１４Ｅの開口部から接着剤２４を流し込んで接合することができる。
また、凹部１４Ｅは、当接部２１の面内に延在する溝状であることが好ましい。このような構成とすれば、接着剤２４による接着面積を広くすることができ、接合強度を向上させることができる。
【００５４】
なお、先の実施形態では、図１に示したように、第１基板１４及び第２基板１５に、配線溝１８Ａ、配線溝１８Ｂが形成されているため、かかる配線溝１８Ａ、１８Ｂを接着剤２４が配置される凹部１４Ｅとして利用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施形態に係る光フィルタの平面図。
【図２】実施形態に係る光フィルタの断面図。
【図３】光フィルタの第１変形例を示す図。
【図４】光フィルタの第２変形例を示す図。
【図５】光フィルタの第３変形例を示す図。
【符号の説明】
【００５６】
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ  光フィルタ、２Ａ  第１ミラー、２Ｂ  第２ミラー、１４  第１基板、１５  第２基板、１４Ｄ，１５Ｄ，１４Ｅ  凹部、２４  接着剤、２５  磁力クランプ手段、２５Ａ  第１吸着部材、２５Ｂ  第２吸着部材
【図１】
2010152047.tif 000003
【図２】
2010152047.tif 000004
【図３】
2010152047.tif 000005
【図４】
2010152047.tif 000006
【図５】
2010152047.tif 000007