(57)【要約】【課題】膜厚の大きく異なる薄膜状の被印刷物を、高生産性を維持したまま製造することが可能な薄膜形成装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様に係る薄膜形成装置は、外周面に転写パターンが形成された印刷版３１を有する印刷ロール３０と、少なくとも２つのパターンの異なるエリア１１，１２に分割されたインキセル１５を外周面に有し、薄膜形成溶液５を印刷版３１に転写するアニロックスロール１０と、アニロックスロール１０に担持された薄膜形成溶液５の表面を平坦化する平坦化手段２０と、被印刷体２を載置し、印刷版３１が担持する薄膜形成溶液５を被印刷体２に転移させるように搬送する印刷ステージ４０と、印刷版３１に転写するアニロックスロール１０のエリア１１、１２を調整する位置調整機構６０とを具備する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に転写パターンが形成された印刷版を有する印刷ロールと、
少なくとも２つのパターンの異なるエリアに分割されたインキセルを外周面に有し、薄膜形成溶液を前記印刷版に転写する凹版ロールと、
前記凹版ロールに担持された前記薄膜形成溶液の表面を平坦化する平坦化手段と、
被印刷体を載置し、前記印刷版が担持する前記薄膜形成溶液を前記被印刷体に転移させるように搬送する印刷ステージと、
前記印刷版に転写する前記凹版ロールの前記エリアを調整する位置調整機構と
を具備する薄膜形成装置。
【請求項２】
前記エリアは、前記凹版ロールの外周面における長軸方向と略平行に分割されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜形成装置。
【請求項３】
前記エリアは、前記凹版ロールの外周面における回転方向と略平行に分割されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄膜形成装置。
【請求項４】
前記位置調整機構は、
前記凹版ロールの前記エリア毎に設けられ、回転位置の基準となる印刷原点と、
前記被印刷体に転写する前記薄膜形成溶液の目標膜厚に応じて、前記印刷原点を変更する印刷原点切り替え部と、
前記印刷原点に基づいて前記凹版ロールと前記印刷版の互いの当接位置を制御する回転位置制御部と
を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜形成装置。
【請求項５】
前記インキセルは、前記エリア毎に異なる形状のパターンが形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄膜形成装置。
【請求項６】
前記インキセルは、前記エリア毎に配置密度が異なることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の薄膜形成装置。
【請求項７】
外周面に転写パターンが形成された印刷版を有する印刷ロールと、少なくとも２つのパターンの異なるエリアに分割されたインキセルを外周面に有するインキセルを外周面に有し、薄膜形成溶液を前記印刷版に転写する凹版ロールとを備えた薄膜形成装置を用意し、
被印刷体に転写する被印刷物の膜厚を決定し、
前記膜厚が得られるように、前記印刷版に転写する前記凹版ロールの前記エリアを決定し、それに基づいて前記印刷ロールと前記凹版ロールとの互いの位置を調整し、
前記凹版ロールに薄膜形成溶液を供給し、
前記凹版ロール上の前記薄膜形成溶液を前記印刷版に転写し、
前記印刷版が担持する前記薄膜形成溶液を、前記被印刷体に転写する薄膜形成方法。
【請求項８】
前記印刷ロールと前記凹版ロールの互いの位置の調整は、
前記膜厚を得るための前記エリアが前記印刷版と当接するように、前記凹版ロールの前記エリア毎に設けられた印刷原点を基に、前記凹版ロールと前記印刷ロールの互いの回転位置を調整することにより行うことを特徴とする請求項７に記載の薄膜形成方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の薄膜形成方法により被印刷物が形成された被印刷体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜形成装置、及び薄膜形成方法に関する。また、前記薄膜形成方法により被印刷物が印刷された被印刷体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子に用いられるガラス基板上に配向膜やカラーフィルターなどの薄膜を形成する方法として、フレキソ印刷装置による印刷法が知られている。この印刷法では、図６に示す様に、アニロックスロール１０の上部から液状の薄膜形成溶液５を適下する。そして、アニロックスロール１０の表面に滴下された薄膜形成溶液５をドクターブレード２０により表面を平坦化する。次いで、平坦化された薄膜形成溶液５をアニロックスロール１０から版胴３０上の印刷版３１に転写する。その後、印刷版３１に転写された薄膜形成溶液５をガラス基板２ａの上面に転写して塗布する。その後、ガラス基板２上に塗布された薄膜形成溶液５を加熱して硬化させることにより、ガラス基板２ａ上に薄膜を形成する。
【０００３】
ところで、このような薄膜形成時において、薄膜の形成膜厚を変更する方法としては、薄膜形成溶液５の濃度を調整する方法、ドクターブレード２０とアニロックスロール１０の接触圧を調整する方法、アニロックスロール１０と版胴３０との接触圧を調整する方法、印刷版３１とガラス基板２ａとの接触圧（印圧）を変更する方法などがある。
【０００４】
さらに、その他の膜厚変更方法として、特許文献１には、アニロックスロール１０と版胴３０を異なる周速で駆動させる方法が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−９６７０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記膜厚調整方法では、被印刷物の膜厚を大幅に変更することはできなかった。このため、膜厚を大幅に変更する必要がある場合には、別の装置を用意するか、アニロックスロール１０などの部品と交換して対応する必要があった。しかしながら、膜厚に応じた印刷装置を複数揃えたり、部品交換を行う方法では、製造効率が低下してしまう。例えば、アニロックスロール１０を交換する場合、交換作業と交換後の確認作業のために、最低でも２〜３時間の作業時間が必要となり、多くのマンパワーを必要とする。
【０００７】
本発明は、上述のような問題を解決する為になされたもので、膜厚の大きく異なる薄膜状の被印刷物を、高生産性を維持したまま製造することが可能な薄膜形成装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る薄膜形成装置は、外周面に転写パターンが形成された印刷版を有する印刷ロールと、少なくとも２つのパターンの異なるエリアに分割されたインキセルを外周面に有し、薄膜形成溶液を前記印刷版に転写する凹版ロールと、前記凹版ロールに担持された前記薄膜形成溶液の表面を平坦化する平坦化手段と、被印刷体を載置し、前記印刷版が担持する前記薄膜形成溶液を前記被印刷体に転移させるように搬送する印刷ステージと、前記印刷版に転写する前記凹版ロールの前記エリアを調整する位置調整機構とを具備するものである。
【０００９】
本発明に係る薄膜形成方法は、外周面に転写パターンが形成された印刷版を有する印刷ロールと、少なくとも２つのパターンの異なるエリアに分割されたインキセルを外周面に有するインキセルを外周面に有し、薄膜形成溶液を前記印刷版に転写する凹版ロールとを備えた薄膜形成装置を用意する。そして、被印刷体に転写する被印刷物の膜厚を決定し、前記膜厚が得られるように、前記印刷版に転写する前記凹版ロールの前記エリアを決定し、それに基づいて前記印刷ロールと前記凹版ロールとの互いの位置を調整する。さらに、前記凹版ロールに薄膜形成溶液を供給し、前記凹版ロール上の前記薄膜形成溶液を前記印刷版に転写し、前記印刷版が担持する前記薄膜形成溶液を、前記被印刷体に転写するものである。
【００１０】
本発明に係る被印刷体は、上記薄膜形成方法により被印刷物が形成されたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、膜厚の大きく異なる薄膜状の被印刷物を、高生産性を維持したまま製造することが可能な薄膜形成装置を提供することができるという優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を適用した実施形態の一例について説明する。なお、本発明の趣旨に合致する限り、他の実施形態も本発明の範疇に属し得ることは言うまでもない。また、以降の図における各部材のサイズや比率は、説明の便宜上のものであり、実際のものとは異なる。
【００１３】
［実施形態１］
図１（ａ）（ｂ）及び図２（ａ）（ｂ）は、本実施形態１に係る薄膜形成装置、及び薄膜形成方法の一例を説明するための模式的説明図である。図中の左右方向をＸ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、紙面に垂直な方向をＹ軸方向とする。また、図３（ａ）に、アニロックスロールの模式的斜視図を、図３（ｂ）に、図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ切断部断面図を示す。また、図３（ｃ）に図３（ｂ）のＡ１領域（第１エリア１１）の部分拡大模式図を、図３（ｄ）に図３（ｂ）のＡ２領域（第２エリア１２）の部分拡大模式図を示す。
【００１４】
本実施形態１に係る薄膜形成装置１は、フレキソ印刷を行うための装置である。無論、フレキソ印刷以外の凸版印刷においても、本発明を好適に適用することができる。薄膜形成装置１は、同図に示すように、凹版ロールたるアニロックスロール１０、平坦化手段たるドクターブレード２０、印刷ロールたる版胴３０、凸版状の印刷版３１、印刷ステージ４０、インキ供給部５０等を備えている。
【００１５】
アニロックスロール１０は、その外周面にメッシュ状のインキセル（彫刻パターン）１５（図３（ｃ）参照）が形成された円筒体状のロール（図３（ａ）参照）であり、Ｙ軸方向の回転軸１８に対して回転可能なように筺体（不図示）に取り付けられている。本実施形態１に係るアニロックスロール１０は、図１（ａ）中、時計方向に回転する。アニロックスロール１０の外周面に形成されたインキセル１５は、パターンの異なる第１エリア１１、第２エリア１２の２つのエリアに分割されている。詳しくは、後述する。アニロックスロール１０の上部には、インキ供給部５０が配置されている。
【００１６】
インキ供給部５０は、ディスペンサーノズルや溶液タンク等を備え、アニロックスロール１０に薄膜形成溶液５を供給する役割を担う。例えば、アニロックスロール１０の上部表面に沿ってＹ軸方向に往復可能に設けられている。インキ供給部５０の往復移動によりアニロックスロール１０の表面にインク等の薄膜形成溶液５を滴下する。これにより、アニロックスロール１０表面に薄膜形成溶液５が付着する。薄膜形成溶液５は、例えば、液晶表示装置等に適用される配向膜、カラーフィルター層、ブラックマトリックス層等を形成するための樹脂溶液、若しくは樹脂前駆体溶液である。薄膜形成溶液５は、いわゆるインクでもよく、特に限定されない。
【００１７】
ドクターブレード２０は、インキ供給部５０より回転方向下流側であって、アニロックスロール１０と印刷版３１とが接触する位置よりも回転方向上流側に位置する。ドクターブレード２０の役割は、インキ供給部５０から供給されたアニロックスロール１０表面上の薄膜形成溶液５表面を平坦化することにある。ドクターブレード２０とアニロックスロール１０とを所定の接触圧にて当接させることにより、薄膜形成溶液５表面が平坦化されアニロックスロール１０上において所定の厚さの膜になる。なお、アニロックスロール１０上に供給された薄膜形成溶液５表面を平坦化することができるものであればよく、ドクターブレード２０に代えて、ドクターロール等の他の平坦化手段を用いてもよい。
【００１８】
版胴３０は、その外周面に転写パターンが形成された印刷版３１を有する円筒体状のロールであり、Ｙ軸方向の回転軸３８に対して回転可能なように筺体（不図示）に取り付けられている。本実施形態１に係る版胴３０は、図１（ａ）中、反時計方向に回転する。
【００１９】
印刷版３１は、凸部を有するフレキソ版であり、版胴３０と一体的に回転する。印刷版３１とアニロックスロール１０とは、所定の圧力で接触するように配置されている。
【００２０】
印刷ステージ４０は、被印刷体２の載置台であり、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に自在に移動可能なように構成されている。さらに、Ｚ軸に対して回転可能なように構成してもよい。印刷ステージ４０の被印刷体２を載置する位置には、真空吸着などの被印刷体２を固定する手段が設けられている。印刷ステージ４０は、印刷版３１の回転のタイミングに合わせて被印刷体２を印刷版３１と接触する位置に搬送する。これにより、印刷版３１に担持された薄膜形成溶液５が被印刷体２に転写される。印刷ステージ４０のＺ軸方向に移動自在とすることにより、被印刷体２の厚みや種類、被印刷体２に形成する被印刷物３の厚みに応じて、被印刷体２と印刷版３１とが適切な接触圧となるように調整することができる。
【００２１】
被印刷体２は、例えば、ガラス基板、ポリカーボネート等のプラスチック基板、紙などのシートを挙げることができる。被印刷体２に定着する薄膜である被印刷物３（図２（ａ）（ｂ）参照）は、いわゆるベタ膜であってもよいし、カラーフィルター層やブラックマトリックスなどのパターン膜であってもよい。また、文字パターン等であってもよい。印刷版３１の凸部のパターンが被印刷物３に転写されるので、所望の凸部のパターンを有する印刷版３１を用いればよい。
【００２２】
アニロックスロール１０の外周面は、図３（ａ）に示すように、第１エリア１１と第２エリア１２の２つの領域に分割されている。第１エリア１１と第２エリア１２は、アニロックスロール１０の長軸方向Ｄ１と略平行に分割されている。第１エリア１１には、第１形状パターン１６が形成され、第２エリア１２には、第２形状パターン１７が形成されている。パターン形状を異にすることにより、被印刷物３の膜厚を変更することができる。
【００２３】
第１形状パターン１６は、図３（ｃ）に示すように多数の凹部状のインキセル１５が形成されている。同様に、第２形状パターン１７も、図３（ｄ）に示すように多数の凹部状のインキセル１５が形成されている。第１形状パターン１６と第２形状パターン１７は、凹部の深さが異なっている。本実施形態１においては、第１形状パターン１６の深さｈに対して、第２形状パターン１７の深さを２ｈとした。平面視上の形状及びサイズは、同一である。従って、第２エリア１２は、第１エリア１１に比して、より多くの薄膜形成溶液５を担持することができる。
【００２４】
第１エリア１１は、例えば、目標膜厚が概略８０ｎｍ（８００Å）の領域であり、第２エリア１２は、例えば、目標膜厚が概略２００ｎｍ（２０００Å）の領域である。なお、上述したように薄膜形成溶液５の濃度、ドクターブレード２０とアニロックスロール１０の接触圧、アニロックスロール１０と版胴３０との接触圧、若しくは印刷版３０と被印刷体２との接触圧を調整する方法や、アニロックスロール１０と版胴３０とを異なる周速とする方法などにより、目標膜厚を調整する方法を併用することができることは言うまでもない。
【００２５】
印刷版３１には、アニロックスロール１０の第１エリア１１、若しくは第２エリア１２のいずれか一方の形状パターンを転写する。これにより、被印刷体２に、第１エリア１１若しくは第２エリア１２のいずれか一方に担持された薄膜形成溶液５の被印刷物３を形成することができる。
【００２６】
アニロックスロール１０には、第１エリア１１、第２エリア１２其々において回転位置の基準となる印刷原点が定められている。第１エリア１１、第２エリア１２のいずれかを選択すると、印刷原点を切り替え、回転位置制御部によりアニロックスロール１０と印刷版３１の相互の回転位置が調整される。
【００２７】
アニロックスロール１０から転写される第１エリア１１、及び第２エリア１２の回転方向の長さは、アニロックスロール１０と版胴３０を等速で回転させる場合には、被印刷体２に形成するＸ軸方向の被印刷物３の長さＬ１以上とする。実際には、さらにアニロックスロール１０及び版胴３０の回転タイミング調整精度等を加味して円周長さを決定する。
【００２８】
次に、本実施形態１に係る薄膜形成装置１の動作について図１及び図２を用いつつ説明する。まず、被印刷体２にアニロックスロール１０の第１エリア１１、第２エリア１２のいずれを転写するかを決定する。ここでは、第１エリア１１に形成された第１形状パターン１６を印刷版３１に転写する例について説明する。
【００２９】
図６に、位置調整機構の概略的な構成を示すブロック図を示す。印刷調整機構６０は、同図に示すように、処理部６１、選択エリア情報部６２、薄膜形成条件情報部６３、印刷原点切り替え部６４、記憶部６５、回転位置制御部６６等を有する。
【００３０】
位置調整機構６０において、アニロックスロール１０の第１エリア１１を転写することを選択エリア情報部６２から処理部６１に送信する。また、選択エリア情報以外の薄膜形成条件（例えば、薄膜形成溶液の粘度、溶液の種類情報など）を薄膜形成条件情報部６３から処理部６１に送信する。さらに、印刷原点切り替え部６４によって第１エリア１１の印刷原点位置が所定の位置となるように設定する。
【００３１】
位置調整機構６０の処理部６１は、選択エリア情報部６２及び薄膜形成条件情報部６３からの情報を記憶部６５に送信し、最適なアニロックスロール１０及び版胴３０の回転条件を読み出す。記憶部６５には、各条件に応じて、アニロックスロールと版胴３０の最適な回転条件が予め記憶されている。そして、処理部６１にその情報を送信する。回転位置制御部６６は、この情報に基づいて、アニロックスロール１０と版胴３０の相互の回転位置を調整しつつ、所定の速度で回転させる。
【００３２】
第２エリア１２の領域に担持された薄膜形成溶液５を被印刷体２に転写させたいときには、リセットして、第２エリア１２を転写することを選択エリア情報部６２から処理部６１に送信する。そして、上記と同様の手順にて、位置調整機構６０を作動させる。基準とする印刷原点を切り替えることにより、印刷版３１と転写するエリアを容易に切り替えることができる。これにより、アニロックスロール１０の印刷原点の切り替えにより、膜厚の大幅に異なる被印刷物３を容易に得ることができる。
【００３３】
本実施形態１においては、アニロックスロール１０の表面と版胴３０の表面の回転速度が同一となるように、各ロールの径、周速を設定した。これにより、印刷版３１とアニロックスロールの表面が滑ることなく順次接触し、アニロックスロール１０の外周面の形状パターン内に充填された薄膜形成溶液５を印刷版３１に良好に転写することができる。
【００３４】
次いで、図１（ａ）に示すように、インキ供給部５０のディスペンサーノズルから、第１エリア１１の表面に薄膜形成溶液５を滴下する。そして、インキ供給部５０よりもアニロックスロール１０の回転方向下流側に位置するドクターブレード２０により、薄膜形成溶液５の表面を平坦化する（図１（ａ）参照）。
【００３５】
ドクターブレード２０により平坦化された薄膜形成溶液５を担持した第１エリア１１は、その後、図１（ｂ）に示すように、印刷版３１と当接しながら回転する。これにより、アニロックスロール１０の第１エリア１１の薄膜形成溶液５は、印刷版３１に転写される。
【００３６】
印刷版３１に転写された薄膜形成溶液５は、さらに、被印刷体２に転写されることにより、被印刷体２に薄膜形成溶液５が塗布される（図２（ａ）参照）。被印刷体２は、印刷ステージ４０に固設されており、印刷版３１の回転タイミングに連動して、印刷ステージ４０とともにＸ軸方向に搬送される。そして、印刷版３１と被印刷体２とが所定の接触圧で当接して、印刷版３１から被印刷体２に薄膜形成溶液５が転写される。
【００３７】
その後、必要に応じて、被印刷体２上に転写された薄膜形成溶液５を定着させる。定着手段としては、特に限定されないが、例えば加熱、ＵＶ光などである。これにより、例えば、樹脂前駆体が樹脂等に変換され、被印刷体２に定着される。本実施形態１においては、加熱することにより、被印刷物３を得た。定着工程は、被印刷体２へ転写した後であっても、転写のタイミングに同時に行ってもよい。なお、薄膜形成溶液５を被印刷体２に転写した後、溶剤の加熱乾燥工程などを追加してもよい。
【００３８】
従来、膜厚が大きく異なる被印刷物３を得ようとする場合、アニロックスロール１０自体を交換する必要があった。しかしながら、この方法によれば、交換作業と交換後の確認作業により数時間の作業時間を要してしまう。本実施形態１によれば、アニロックスロール１０の外周面にパターン形状の異なる第１エリア１１、第２エリア１２の２つの形状の異なるパターン領域を設け、どちらか一方のエリアのみを被印刷体２に転写することができるようにしたので、アニロックスロール１０を交換することなく、すなわち高生産性を維持したまま２つの膜厚変動の大きな被印刷物３を得ることができる。
【００３９】
さらに、薄膜形成溶液５の濃度を調整する方法、ドクターブレード２０とアニロックスロール１０の接触圧を調整する方法、アニロックスロール１０と版胴３０との接触圧を調整する方法、印刷版３１と被印刷体２との接触圧（印圧）を調整する方法、温度調整などの方法を併用することにより、其々のエリアに対して膜厚を調整することができる。従って、対応可能な膜厚幅を大幅に増やすことができる。
【００４０】
横電界方式（ＩＰＳ型等）の液晶表示パネルにおいては、焼きつき特性やコントラスト向上のために、従来使用の液晶表示パネル（例えば、ＴＮ型の液晶表示パネル）に比して大幅に厚膜化することが求められている。本実施形態１によれば、例えば、第１エリア１１をＴＮ型の液晶表示パネルの配向膜を成膜するために用い、第２エリア１２をＩＰＳ型の液晶表示パネルの配向膜を成膜するために用いる等、部品の共用化を図ることができる。従って、製造効率を高めることができる。
【００４１】
なお、第１形状パターン１６、第２形状パターン１７は、互いに異なる膜厚の薄膜形成が可能なように、異なるパターンにより構成されるが、本実施形態１のようにインキセル１５の深さを変更する態様に限定されない。例えば、第１形状パターン１６を、図３（ｄ）の形状に代えて、図５（ａ）や図５（ｂ）のようにすることも可能である。図５（ａ）の例によれば、第１形状パターン１６ｘと第２形状パターン１７のインキセル１５の深さを同一とし、第１形状パターン１６ｘを図３（ｃ）に示す第１形状パターン１６の配置密度の１／２となるようにしている。
【００４２】
また、図５（ｂ）の例によれば、第１形状パターン１６ｙと第２形状パターン１７の配置密度、インキセル深さが同一とし、第１形状パターン１６ｙのパターンの形状を、断面視上、Ｖ字形状となるようにしている。パターン形状としては、Ｖ字形状の他、Ｕ字形状など種々の形状とすることができる。また、平面視上の形状を変更してもよい。例えば、矩形状のインキセルを円状のインキセルや多角形状のインキセルとしてもよい。さらに、パターンの形状を同一とし、パターンサイズを変更してもよい。なお、配置密度、インキセル深さ、インキセル形状、インキセルサイズ等は、組み合わせて適用することも可能である。また、各エリア内の第１パターン形状１６は、巨視的に見た際に同一パターンであればよく、単一のインキセル深さや形状等に限定されるものではない。例えば、平面視上、矩形状のパターンと円形状のパターンが混在していてもよい。第２エリア１２においても同様である。
【００４３】
また、本実施形態１においては、アニロックスロール１０の外周面のエリアを２つに分割した例について述べたが、これに限定されるものではなく、３つ以上に分割してもよい。３つ以上とすることにより、さらに、１のアニロックスロールで形成可能な膜厚の幅を広げることができる。
【００４４】
また、本実施形態１においては、アニロックスロール１０の表面と版胴３０の表面とが等速である例について説明したが、これに限定されるものではなく、適宜、速度を変更してもよいことは言うまでもない。例えば、アニロックスロール１０表面の周速を版胴３０の表面の周速に比して早くなるように設定することにより、印刷版３１に転写するエリアの回転方向の長さを短くすることができる。その結果、アニロックスロール１０の径を、等速に設定する場合に比して小さくすることができる。
【００４５】
また、本実施形態１においては、版胴３０に取り付ける印刷版３１が１つである例について述べたが、版胴３０に、第１エリア１１、第２エリア１２の其々に対応する印刷版３１を２つ取り付けてもよい。そして、インキ供給部５０から薄膜形成溶液５を第１エリア１１、第２エリア１２に供給し、被印刷体２に対して交互に第１エリア１１、第２エリア１２の薄膜形成溶液５を転写して、異なる膜厚の被印刷物３を交互に得るようにしてもよい。これにより、製造効率をより高めることが可能となる。例えば、ＴＮ型の液晶表示パネルの配向膜、ＩＰＳ型の液晶表示パネルの配向膜を交互に搬送して、連続的に成膜するようにしてもよい。
【００４６】
また、位置調整機構６０は一例であって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の態様とすることができる。例えば、上記のように原点位置に代えて、アニロックスロール１０の各エリア、及び版胴３０にマークを設け、ＣＣＤカメラによりその回転位置を検知して、制御装置（不図示）により、両者の回転位置を制御するようにしてもよい。
【００４７】
[実施形態２]
次に、上記実施形態とは異なる構造のＴＦＴの一例について説明する。なお、以降の説明において、上記実施形態と同一の要素部材は同一の符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００４８】
本実施形態２に係る薄膜形成装置は、以下の点を除く基本的な構成及び動作は上記実施形態１と同一である。すなわち、上記実施形態１のアニロックスロール１０は、ロールの長軸方向と略平行な方向に分割されているエリアを有していたのに対し、本実施形態２に係るアニロックスロール１０ａは、ロールの回転方向と略平行な方向に分割されているエリアを有してい点において相違する。
【００４９】
図６（ａ）に、本実施形態２に係るアニロックスロール１０ａの平面図を、図６（ｂ）に、図６（ａ）のＩＶｂ−ＩＶｂ切断部断面図を、図６（ｃ）に図６（ａ）のＩＶｃ−ＩＶｃ切断部断面図を示す。
【００５０】
アニロックスロール１０ａの外周面は、図６（ａ）に示すように、第１エリア１１ａと第２エリア１２ａの２つの領域に分割されている。第１エリア１１ａと第２エリア１２ａは、アニロックスロール１０の回転方向と略平行に分割されている。第１エリア１１ａには、第１形状パターン１６が形成され、第２エリア１２ａには、第２形状パターン１７が形成されている。パターン形状を異にすることにより、被印刷物３の膜厚を変更することができる。
【００５１】
アニロックスロール１０ａには、インキ供給部５０により、第１エリア１１ａ若しくは第２エリア１２ａのいずれか一方に薄膜形成溶液が供給されるようなエリアを調整する位置調整機構を備える。インキ供給部５０は、アニロックスロール１０ａの上部表面に沿ってＹ軸方向に往復可能なように構成し、かつ、指定したエリアにのみ薄膜形成溶液５を供給する機構を備える。これにより、所望のエリアのみに薄膜形成溶液を供給するように設定することができる。
【００５２】
印刷版３１には、アニロックスロール１０ａの第１エリア１１ａ、若しくは第２エリア１２ａのいずれか一方の形状パターンが転写される。そして、薄膜形成溶液５が担持された印刷版３１と被印刷体２が当接して転写されるように印刷ステージ４０をＹ軸方向に調整する。これにより、被印刷体２に、第１エリア１１ａ若しくは第２エリア１２ａのいずれか一方に担持された薄膜形成溶液５の被印刷物３を形成することができる。無論、第１エリア１１ａ、第２エリア１２ａに同時に薄膜形成溶液を転写し、２つの被印刷体２を印刷ステージ４０に載置して搬送させ、同時に印刷処理を行うことも可能である。
【００５３】
本実施形態２に係る方法によれば、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。また、アニロックスロール１０ａの径を大きくすることを抑制することができる。
【００５４】
なお、アニロックスロールのエリアの分割方法については、上記実施形態に限定されるものではなく、外周面に少なくとも２つのパターンの異なるインキセルを有するエリアが形成されていればよい。上記実施形態１及び２の組み合わせも、好適に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】（ａ）（ｂ）は、実施形態１に係る薄膜形成装置の模式的説明図。
【図２】（ａ）（ｂ）は、実施形態１に係る薄膜形成装置の模式的説明図。
【図３】（ａ）は、実施形態１に係るアニロックスロールの模式的斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）のＩＩＩb-IIIｂ切断部断面図であり、（ｃ）は図３（ｂ）の領域Ａ１の部分拡大模式図であり、（ｄ）は図３（ｂ）の領域Ａ２の部分拡大模式図。
【図４】本実施形態１に係る位置調整機構のブロック図。
【図５】（ａ）（ｂ）は、変形例に係るアニロックスロールのインキセルの部分拡大模式図。
【図６】（ａ）は、実施形態２に係るアニロックスロールの正面図であり、（ｂ）は図６（ａ）のＩＶｂ−ＩＶｂ切断部断面図。
【図７】従来例に係る薄膜形成装置の模式的説明図。
【符号の説明】
【００５６】
１      薄膜形成装置
２      被印刷体
３      被印刷物
５      薄膜形成溶液
１０    アニロックスロール
１１    第１エリア
１２    第２エリア
１５    インキセル
１６    第１形状パターン
１７    第２形状パターン
１８    回転軸
２０    ドクターブレード
３０    版胴
３１    印刷版
３８    回転軸
４０    印刷ステージ
５０    インキ供給部
６０    位置調整機構
６１    処理部
６２    選択エリア情報部
６３    薄膜形成条件情報部
６４    印刷原点切り替え部
６５    記憶部
６６    回転位置制御部
【図１】
2010064339.tif 000003
【図２】
2010064339.tif 000004
【図３】
2010064339.tif 000005
【図４】
2010064339.tif 000006
【図５】
2010064339.tif 000007
【図６】
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【図７】
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