(57)【要約】      （修正有）【課題】シムを用いたアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことのできるエリアイメージセンサ支持装置、およびアオリ調整方法を提供する。【解決手段】エリアイメージセンサ２を保持し、矩形状の撮像面２ａの各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４からセンサ２の外方に一定距離離間した撮像面２ａの対角延長線上の４点の外郭位置ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４それぞれに、アオリ調整を行うシム取付部３Ｐ（１）〜３Ｐ（４）を設けたホルダ３Ａと、シム取付部３Ｐ（１）〜３Ｐ（４）に、撮像面２ａの各頂点部位のアオリ調整で選択的に取り付けられたアオリ調整用のシム５と、ホルダ３Ａをシム取付部３Ｐ（１）〜３Ｐ（４）に取り付けられたシム５を挟みレンズマウント１に取り付けるアオリ調整用ホルダ３Ｂと、ホルダ３Ａに保持されたエリアイメージセンサ２をアオリ調整用ホルダ３Ｂを介してレンズマウント１に固定する固定手段７とを具備した。【選択図】図１
2010011040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズマウントの光軸上の結像位置にエリアイメージセンサの撮像面を固定配置するエリアイメージセンサ支持装置であって、
前記エリアイメージセンサを保持し、同センサの矩形状の撮像面の各頂点から前記センサの外方に一定距離離間した前記撮像面の対角延長線上の４点の外郭位置それぞれに、アオリ調整を行うシム取付部を設けたホルダと、
前記シム取付部に、前記撮像面の各頂点部位のアオリ調整で選択的に取り付けられたアオリ調整用のシムと、
前記ホルダを前記シム取付部に取り付けられたシムを挟み前記レンズマウントに取り付けるアオリ調整部材と、
前記ホルダに保持された前記エリアイメージセンサを前記アオリ調整部材を介して前記レンズマウントに固定する固定手段と
を具備したことを特徴とするエリアイメージセンサ支持装置。
【請求項２】
前記シム取付部は、前記撮像面の中心を基準位置に前記各頂点までの距離の１．５倍以上の距離を存して前記撮像面の対角延長線上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエリアイメージセンサ支持装置。
【請求項３】
矩形状の撮像面を有するエリアイメージセンサに対し、同センサの撮像面の各頂点から一定距離離間した前記撮像面の対角延長線上の４点の外郭位置それぞれに、シム取付部を有して、同シム取付部に取り付けたシムにより前記エリアイメージセンサのアオリを調整し、前記エリアイメージセンサの撮像面をレンズマウントの光軸上の結像位置に固定配置するエリアイメージセンサのアオリ調整方法であって、
前記レンズマウントのフランジ面に対する前記撮像面の各頂点の前記光軸方向の距離を測定し、測定した距離をもとに前記フランジ面に対する前記撮像面の平行度を算出する測定ステップと、
前記算出した平行度が規定度数を超えたことを判定する判定ステップと、
前記判定をしたとき、外部に対し、アオリ調整を指示するとともに、前記各頂点の測定距離をもとに、アオリ調整の対象となるシム取付部および同シム取付部に取り付けるシムの厚さを算定し提示する調整指示ステップと、
を具備したことを特徴とするエリアイメージセンサのアオリ調整方法。
【請求項４】
前記調整指示ステップは、前記各頂点の測定距離に、前記撮像面と前記シム取付部との間の距離に従う係数を乗じ、当該係数を乗じた各頂点の距離の最大値と最小値の差をもとに、前記各シム取付部に取り付けるシムの厚さを算定することを特徴とする請求項３に記載のエリアイメージセンサのアオリ調整方法。
【請求項５】
前記撮像面の中心から前記シム取付部までの距離は、前記撮像面の中心から前記頂点までの距離の１．５倍以上であることを特徴とする請求項３に記載のエリアイメージセンサのアオリ調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラのエリアイメージセンサ支持装置および同センサのアオリ調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マシンビジョンシステムにおいては、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等のエリアイメージセンサを用いた工業用電子撮像カメラが広く用いられている。この種、工業用電子撮像カメラは、使用用途によって解像度を含む各種の仕様が規定される。例えば画像認識処理においては画面の四隅を含めた画面上の全部位を対象に高解像度の鮮明な画像取得を要求されるものがある。この要求に応えるためには、エリアイメージセンサの撮像面をレンズ光軸に対して直交させるための精緻なアオリ調整技術が必要とされる。なお、エリアイメージセンサにおける撮像面と外装面は平行度に関して必ずしも一定ではなく、例えば数十マイクロメートル程度の傾きをもつものもある。
【０００３】
この種のアオリ調整技術として、従来では、撮像素子の撮像面に対する固定板の傾きを３次元測定して、固定板を傾け、撮像面と固定板を平行に設定した状態で、接着剤により撮像素子を固定板に接着するアオリ調整手段が存在する。
【特許文献１】特開２００７−２５９１６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来のアオリ調整手段は、撮像素子を、直接、接着剤を用いて固定板に接着固定して撮像面のアオリを調整する調整手段であることから、接着剤が固化するまでの時間帯に亘り撮像面と固定板を平行に保った状態を保持しておかなければならず、接着剤が固化するまでの間に上記状態に変化が生じると製品不良につながるという問題がある。このため、接着剤を用いたアオリ調整手段は、アオリ量（平行度）の許容範囲が比較的広い量産向けのデジタルスチルカメラには適用可能であっても、アオリ量の許容範囲が狭い工業用電子撮像カメラに適用した場合は、歩留まり率が低く、従って経済的ダメージが大きく、実用性に乏しいという問題がある。
【０００５】
このため、上記した工業用電子撮像カメラの製造においては、人手によるシムを用いた精緻なアオリ調整作業により、撮像面のアオリ量（平行度）を、例えば数μｍ〜十数μｍ程度以下の精緻な規定範囲内に留めている。このシムを用いたアオリ調整作業は、厚さを異にする複数種のシムを予め用意しておき、３次元測定器で撮像面の傾きを測定しながら、厚さの異なる複数種のシムを組み合わせ用いてレンズマウントのセンサ取付部とセンサとの間にシムを介挿し、この測定作業とシムの取付作業を繰り返し行うことにより、アオリ調整を行っている。
【０００６】
本発明は、シムを用いたアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことのできるエリアイメージセンサ支持装置、およびシムを用いたアオリ調整作業を支援するアオリ調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、レンズマウントの光軸上の結像位置にエリアイメージセンサの撮像面を固定配置するエリアイメージセンサ支持装置であって、前記エリアイメージセンサを保持し、同センサの矩形状の撮像面の各頂点から前記センサの外方に一定距離離間した前記撮像面の対角延長線上の４点の外郭位置それぞれに、アオリ調整を行うシム取付部を設けたホルダと、前記シム取付部に、前記撮像面の各頂点部位のアオリ調整で選択的に取り付けられたアオリ調整用のシムと、前記ホルダを前記シム取付部に取り付けられたシムを挟み前記レンズマウントに取り付けるアオリ調整部材と、前記ホルダに保持された前記エリアイメージセンサを前記アオリ調整部材を介して前記レンズマウントに固定する固定手段とを具備したことを特徴とする。
【０００８】
このセンサ支持装置により、シムを用いた精緻なアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【０００９】
また、本発明は、矩形状の撮像面を有するエリアイメージセンサに対し、同センサの撮像面の各頂点から一定距離離間した前記撮像面の対角延長線上の４点の外郭位置それぞれに、シム取付部を有して、同シム取付部に取り付けたシムにより前記エリアイメージセンサのアオリを調整し、前記エリアイメージセンサの撮像面をレンズマウントの光軸上の結像位置に固定配置するエリアイメージセンサのアオリ調整方法であって、前記レンズマウントのフランジ面に対する前記撮像面の各頂点の前記光軸方向の距離を測定し、測定した距離をもとに前記フランジ面に対する前記撮像面の平行度を算出する測定ステップと、前記算出した平行度が規定度数を超えたことを判定する判定ステップと、前記判定をしたとき、外部に対し、アオリ調整を指示するとともに、前記各頂点の測定距離をもとに、アオリ調整の対象となるシム取付部および同シム取付部に取り付けるシムの厚さを算定し提示する調整指示ステップとを具備したことを特徴とする。
【００１０】
このアオリ調整方法により、シムを用いたアオリ調整作業に対して、効率のよい支援が行え、同調整作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、シムを用いたアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下図面を参照して本発明の実施形態を説明する。まず、図１乃至図３を参照して、本発明に係るマシンビジョンシステムに適用される電子カメラのエリアイメージセンサ支持装置、およびアオリ調整方法の概要を説明する。なお、この発明の実施形態では、アオリ調整の後に行われる、フランジバック調整、傾き角（θ）調整等について、その機構並びに方法の説明を省略する。エリアイメージセンサは、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサのいずれであってもよい。
【００１３】
本発明の実施形態に係る、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラのエリアイメージセンサ支持装置は、図１および図２に示すように、エリアイメージセンサ２を保持し、同センサ２の矩形状の撮像面２ａの各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４からセンサ２の外方に一定距離離間した撮像面２ａの対角延長線上の４点の外郭位置ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４それぞれに、アオリ調整を行うシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）を設けたホルダ３Ａと、上記シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に、撮像面２ａの各頂点部位のアオリ調整で選択的に取り付けられたアオリ調整用のシム５と、上記ホルダ３Ａをシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けられたシム５を挟み上記レンズマウント１に取り付ける、上記ホルダ３Ａと対をなすアオリ調整部材（アオリ調整用ホルダ）３Ｂと、上記ホルダ３Ａに保持されたエリアイメージセンサ２をアオリ調整用ホルダ３Ｂを介してレンズマウント１に固定する固定手段７とを具備して、レンズマウント１の光軸上の結像位置にエリアイメージセンサ２の撮像面２ａを固定配置する。
【００１４】
上記シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）は、撮像面２ａの中心を基準位置に、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４までの距離の１．５倍以上（例えば２，５倍）の距離を存して撮像面２ａの対角延長線上の４点の外郭位置ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４に設けられている。
【００１５】
このように、撮像面２ａの中心を基準位置に、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４までの距離の１．５倍以上の距離を存して撮像面２ａの対角延長線上の４点の外郭位置ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４にシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）を設けたセンサ支持機構により、エリアイメージセンサ２の撮像面２ａ近傍の外装面内でシム調整を行う構成に較べて、シムの厚さ調整によるアオリ調整を、より高い精度で容易かつ迅速に行うことができる。
【００１６】
本発明の実施形態に係るエリアイメージセンサのアオリ調整方法は、図２に示す、三次元光学測定器２１および三次元調整ステージ２２と制御処理装置（Ｓ−ＰＣ）２３とを用いて実現される。なお、ここでは、ホルダ３Ａおよびアオリ調整用ホルダ３Ｂを介して、エリアイメージセンサ２を撮像面２ａをレンズ光軸上に固定配置したレンズマウント１を、単に、センサ取付済のレンズマウント１と呼称する。
【００１７】
三次元光学測定器２１は、三次元調整ステージ２２に保持された、センサ取付済のレンズマウント１に対して、撮像面２ａの距離（Ｚ方向の距離）を測定する。三次元調整ステージ２２は、センサ取付済のレンズマウント１を保持し、制御処理装置（Ｓ−ＰＣ）２３の制御の下に、レンズマウント１に取り付けられたエリアイメージセンサ２の撮像面２ａを三次元光学測定器２１に対して任意の計測位置に移動させる。なお、この実施形態では、エリアイメージセンサ２のアオリ調整のみを対象としていることから、三次元調整ステージ２２の駆動範囲はＸ・Ｙ方向（撮像面２ａの面内位置制御）のみであり、図示するＺ方向、θ方向の駆動は必要としない。
【００１８】
制御処理装置（Ｓ−ＰＣ）２３は、例えばディスプレイ装置（ＤＩＳＰ）を備えたパーソナルコンピュータにより実現され、シムを用いたアオリ調整作業を支援する処理を実行する。このアオリ調整作業を支援する処理の手順を図３に示している。
【００１９】
本発明の実施形態に係るエリアイメージセンサのアオリ調整方法は、矩形状の撮像面２ａを有するエリアイメージセンサ２に対し、同センサ２の撮像面２ａの各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４から一定距離離間した、撮像面２ａの対角延長線上の４点の外郭位置ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４それぞれに、シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）を有して、同シム取付部に取り付けたシム５によりエリアイメージセンサ２の撮像面２ａのアオリ調整を行うもので、レンズマウント１のフランジ面（図４に示す符号ＳＳ参照）に対する撮像面２ａの各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４の光軸方向の距離（図２に示す符号Ｚ参照）を測定し、測定した距離をもとにフランジ面（ＳＳ）に対する撮像面２ａの平行度を算出する測定ステップ（図３ステップＳ１）と、算出した平行度が規定度数を超えたことを判定する判定ステップ（図３ステップＳ２）と、算出した平行度が規定度数を超えたことを判定したとき（図３ステップＳ２  Ｎｏ）、上記各頂点の測定距離に、撮像面２ａとシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）との間の距離に従う係数を乗じ、当該係数を乗じた各頂点の距離の最大値と最小値の差をもとに、各シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けるシム５の厚さを算定して、外部に対し、アオリ調整を指示するとともに、アオリ調整の対象となるシム取付部および同シム取付部に取り付けるシムの厚さを提示する調整指示ステップ（図３ステップＳ３〜Ｓ５）とを具備したことを特徴とする。
【００２０】
このように、本発明の実施形態に係るアオリ調整方法によれば、アオリ量（平行度）の測定結果に基づいて適正なシムの厚さが提示されることから、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラのアオリ調整作業におけるシムの交換作業を低減若しくは回避でき、シムの取り付けによるアオリ調整を作業者の経験に因らず容易にかつ迅速に行うことができる。
【００２１】
上記した実施形態の具体的な構成例を図４乃至図８に示している。  
図４および図５は上記図３のステップＳ１における測定処理を説明するための平面図および側面図である。なお、図５は、ホルダ３Ａおよびアオリ調整用ホルダ３Ｂを省略して示している。また、ここでは説明を簡素にするため、頂点ａｐ１−ａｐ４（ａｐ２−ａｐ３）方向のみの傾きについて示している。
【００２２】
この測定処理では、三次元光学測定器２１および三次元調整ステージ２２により、レンズマウント１のレンズ取付面１ａの開口１ｃ周囲に設けられたフランジ面（ＳＳ）を基準面として、エリアイメージセンサ２の撮像面２ａの各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４における基準面（ＳＳ）からの距離を測定する。ここで測定した各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４の基準面（ＳＳ）からの距離（４点）について最小値（ｄｉ）と最大値（ｄｊ）を求め、その最大値と最小値からアオリ量（平行度：ｓｌ）を求める（図３ステップＳ１）。
【００２３】
この平行度（ｓｌ）が規定度数を超えたか否かを、例えば測定した最小値（ｄｉ）と最大値（ｄｊ）の距離の差をもとに判定する（図３ステップＳ２）。ここで、平行度（ｓｌ）が規定度数を超えない場合（図３ステップＳ２  Ｙｅｓ）は、シムによるアオリ調整を必要としないものとして、上記測定を行ったエリアイメージセンサ２のアオリ調整作業を終了する。
【００２４】
また、平行度（ｓｌ）が規定度数を超えた場合（図３ステップＳ２  Ｎｏ）は、シムによるアオリ調整を必要とするものとして、その旨をディスプレイ装置（ＤＩＳＰ）に表示するとともに、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４の測定距離に、撮像面２ａとシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）との間の距離に従う係数を乗じ、撮像面２ａのアオリ量を拡大する。例えば、図６に示すように、頂点ａｐ１とａｐ３を結ぶ対角延長線に設けられたシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）の撮像面２ａ中心からの距離が、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４の撮像面２ａ中心からの距離に対して、２，５倍であるとき、この距離差２．５を係数として、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４における基準面（ＳＳ）からの測定距離に係数（２．５）を乗じる（図３ステップＳ３）。そしてこの係数を乗じた各頂点の距離の差をもとに、各シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けるシム５の厚さをシム取付部個々に算定する。すなわち、撮像面２ａの全方位に対して傾きがなくなるように、４点のシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けるシム各々の厚さを個々に算定する。この場合、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４の測定距離のうち、測定距離が最大値を示す頂点に対応したシム取付部に対しては、シムの厚さを零として算定する場合と、予め用意したシムのうちの最小厚のシムの厚さを算定値とし、残るシム取付部に対して最小厚のシムの厚さを加える（嵩上げする）場合とがあり、そのいずれかの算定方法が適用される（図３ステップＳ４）。測定距離が最大の点を基準とするときは他の３点のシム厚を多くする。測定距離が最小の点を基準とするときは他の３点のシム厚を少なくする。ここで算定した４点のシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けるシム各々の厚さをシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に対応付け、アオリ調整指示情報として、ディスプレイ装置（ＤＩＳＰ）に表示する。
【００２５】
このディスプレイ装置（ＤＩＳＰ）に表示されたアオリ調整指示情報の内容に基づいて、アオリ調整の作業者は、予め用意された、厚さをそれぞれ異にする複数種のシム５の中から、各シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付ける１枚若しくは複数枚のシム５を選定し、このシム５を取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付ける。このシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）は、図６に示すように、係合ピン３ａ，３ｂと、ホルダ取付孔３ｃを有し、この係合ピン３ａ，３ｂに、シム５の取付孔が係合して、シム５がシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けられる。シム５は、図６に示すように、略二等辺三角形状をなし、底辺を撮像面２ａの頂点方向に向けた状態で、上記係合ピン３ａ，３ｂに係合してシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に取り付けられる。このシム５を挟んで、図７に示すように、ホルダ３Ａに、アオリ調整用ホルダ３Ｂを取り付ける。この対をなすホルダ３Ａ，３Ｂの取り付けは、ホルダ３Ａの背面から、シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）のホルダ取付孔３ｃに、止めねじ６を嵌挿し、止めねじ６をホルダ３Ａと対をなすアオリ調整用ホルダ３Ｂに螺合することにより、ホルダ３Ａとアオリ調整用ホルダ３Ｂがシム５を挟んで螺着され、上記対をなすホルダ３Ａ，３Ｂがシム５を挟んで一体に固定される。またはアオリ調整用ホルダ３Ｂの前面から止めねじ６によりホルダ３Ａをねじ止めすることにより、ホルダ３Ａ，３Ｂ相互がシム５を挟んで一体に固定される。
【００２６】
この一体化されたホルダ３Ａ，３Ｂをレンズマウント１に取り付けることにより、ホルダ３Ａに保持されたエリアイメージセンサ２がレンズマウント１に固定される。ここでは固定手段に止めねじ７を用い、止めねじ７をホルダ３Ａの背面から固定用取り付け孔３ｅに嵌挿し、レンズマウント１に螺合することにより、ホルダ３Ａがレンズマウント１に螺着され、ホルダ３Ａに保持されたエリアイメージセンサ２がレンズマウント１に固定される。
【００２７】
この取付状態例を図８に示している。上記ホルダ３Ａのシム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）に介挿されたシム５，５，…により、図８に示すように、レンズマウント１の基準面となるフランジ面（ＳＳ）に対して、撮像面２ａの全方位に傾きがない（フランジ面（ＳＳ）に対して撮像面２ａが平行となる）、エリアイメージセンサ２が傾いた状態で、エリアイメージセンサ２がレンズマウント１に固定される。
【００２８】
上記した実施形態のアオリ調整機構により、エリアイメージセンサ２を、撮像面２ａの全方位に傾きがない、フランジ面（ＳＳ）に対して撮像面２ａが平行となる状態でレンズマウント１に取り付けることができ、かつ、そのアオリ調整作業を作業者の経験に因らず容易にかつ迅速に行うことができる。
【００２９】
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階では本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成要素の変形、変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、シム取付部３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）を、撮像面２ａの中心を基準位置として、各頂点ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４までの距離の２．５倍、対角延長線上に離間した、エリアイメージセンサ２の外郭位置に設けたが、これに限らず、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラにおけるカメラ筐体の大きさ等に応じて適宜設定すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置の構成を示す平面図。
【図２】上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置の構成要素およびアオリ調整方法を実現する構成要素を示す図。
【図３】上記実施形態に係るアオリ調整方法の処理手順を示すフローチャート。
【図４】上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。
【図５】上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。
【図６】上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。
【図７】上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。
【図８】上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。
【符号の説明】
【００３１】
１…レンズマウント、ＳＳ…基準面（フランジ面）、２…エリアイメージセンサ、２ａ…撮像面、ａｐ１，ａｐ２，ａｐ３，ａｐ４…頂点、３Ａ…ホルダ、３Ｐ（１），３Ｐ（２），３Ｐ（３），３Ｐ（４）…シム取付部、３Ｂ…アオリ調整部材（アオリ調整用ホルダ）、５…シム、６…止めねじ、７…固定手段（止めねじ）、２１…三次元光学測定器、２２…三次元調整ステージ、２３…制御処理装置（Ｓ−ＰＣ）。
【図１】
2010011040.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2010011040.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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