(57)【要約】【課題】光出射位置を一定に維持できる波長変換レーザー装置を提供すること。【解決手段】波長変換レーザー装置４０は、第１波長光を放出するレーザー光源１１と、上記第１波長光を第２波長光に変換させて出力する非線形光学結晶１５と、上記非線形光学結晶に対する第１波長光の入射角が変わるよう上記非線形光学結晶を回転させる非線形光学結晶用回転部１６と、上記第２波長光の出力の変化に応じて上記非線形光学結晶が上記第１波長光と位相整合を成すように上記非線形光学結晶用回転部の回転量を制御する非線形光学結晶用回転駆動制御部２０と、上記第２波長光が一定の出射位置に出力されるよう上記第１波長光の入射角の変化による上記第２波長光の出射位置の変化を補償する光出射位置調整部３０とを含む。【選択図】図２
2010061169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１波長光を放出するレーザー光源と、
前記第１波長光を第２波長光に変換させて出力する非線形光学結晶と、
前記非線形光学結晶に対する第１波長光の入射角が変わるよう前記非線形光学結晶を回転させる非線形光学結晶用回転部と、
前記第２波長光の出力の変化に応じて前記非線形光学結晶が前記第１波長光と位相整合を成すよう前記非線形光学結晶用回転部の回転量を制御する非線形光学結晶用回転駆動制御部と、
前記第２波長光が一定の出射位置に出力されるよう前記第１波長光の入射角の変化による前記第２波長光の出射位置の変化を補償する光出射位置調整部とを含み、
前記非線形光学結晶用回転駆動制御部は、
前記非線形光学結晶の第２波長光の出力変化に応じて前記第１波長光との位相整合を成すよう前記非線形光学結晶回転部を駆動させる第１電子制御部と、
前記非線形光学結晶から出力された光の一部をサンプリングして前記第１電子制御部に提供する第１ビーム分配器と、
前記第１電子制御部と前記第１ビーム分配器との間に配置され前記第１ビーム分配器から提供される光のうち前記第２波長光を選択的に分離して前記第１電子制御部に提供する分光フィルタとを含むことを特徴とする波長変換レーザー装置。
【請求項２】
前記光出射位置調整部は、
前記第２波長光の出射位置が変わるよう前記非線形光学結晶から出力された第２波長光の入射角に応じて前記第２波長光を屈折できる透明光学部材と、
前記透明光学部材に対する第２波長光の入射角が変わるよう前記透明光学部材を回転させる光学部材用回転部と、
前記非線形光学結晶の回転による前記第２波長光の出射位置の変化が補償されるよう前記光学部材用回転部の回転量を制御する光学部材用回転駆動制御部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項３】
前記第１ビーム分配器は、前記非線形光学結晶と前記透明光学部材との間に配置されたことを特徴とする請求項２に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項４】
前記光学部材用回転駆動制御部は、
前記非線形光学結晶の第２波長光の出力変化に応じて前記透明光学部材から出射される第２波長光の位置が一定に維持されるよう前記光学部材用回転部を駆動させる第２電子制御部と、
前記非線形光学結晶から出力された光の一部を検出して前記第２電子制御部に提供する第２ビーム分配器とを含むことを特徴とする請求項２に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項５】
前記第２電子制御部は、
前記非線形光学結晶の回転による前記第２波長光の出射位置の変化を検出する第２出力モニタと、
前記検出された前記第２波長光の出射位置の変化を補償するために前記光学部材の入射角の変化量に相応する制御信号を生成して前記光学部材用回転部に転送する第２駆動制御部とを含むことを特徴とする請求項４に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項６】
前記第２ビーム分配器は、前記透明部材の出力側に配置されたことを特徴とする請求項４に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項７】
前記光学部材用回転駆動制御部は、
前記第２波長光の出力方向に沿って形成されたスリットを有し、前記第２波長光の出射位置の変化に応じて前記スリットを通過する第２波長光の出力量が変わるよう構成された空間フィルタをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項８】
前記空間フィルタは、前記透明光学部材と前記第２ビーム分配器との間に配置されたことを特徴とする請求項７に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項９】
前記第１及び第２電子制御部は、一体化されたことを特徴とする請求項４に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項１０】
前記第２波長光の出力を増加させるために前記非線形結晶を通っても変換されない第１波長光を追加で前記非線形結晶を経由するよう構成された共振器構造をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項１１】
前記透明光学部材は、
入射面として使用される第１面と、前記第１面に平行して出射面として使用される第２面とを有する光学部材であることを特徴とする請求項２に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項１２】
前記透明光学部材は、光学的等方性物質からなる光学部材であることを特徴とする請求項１１に記載の波長変換レーザー装置。
【請求項１３】
前記透明光学部材は、前記非線形光学結晶と同一物質からなる光学部材であることを特徴とする請求項１１に記載の波長変換レーザー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は波長変換レーザー装置に関するものであって、より詳しくは、第２高調波を発生させる非線形結晶を含み、基本波との位相整合のために非線形結晶を回転させる構造を有する波長変換レーザー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、様々なディスプレイ及び光記録装置分野において半導体レーザーの需要が増え続けている。特に、ディスプレイ分野では、フルカラーの具現のための半導体レーザーの応用範囲が拡大するにつれ、低電力特性を有しつつ可視光線領域で高出力が可能なレーザーが強く求められている。
【０００３】
ところが、赤色光を得ようとする場合には、ＡｌＧａＩｎＰまたはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザーが比較的容易に製造されて使用されるが、緑色または青色光を得ようとする場合には、ＩＩＩ族窒化物半導体の固有の格子定数及び熱膨張係数により、他の半導体物質に比べて成長が非常に困難であると言う問題があり、電位のような高い結晶欠陥を有するため、レーザーの信頼性を低下させ寿命を短縮させるという問題を引き起こすことができる。
【０００４】
このような問題の解決策として、非線形特性を用いて波長を変換する方法が使用されている。このように非線形特性を用いる方法の一つとして、ダイオード励起固体［ＤＰＳＳ（ｄｉｏｄｅ−ｐｕｍｐｅｄ  ｓｏｌｉｄ−ｓｔａｔｅ）］レーザーが注目されている。例えば、Ｎｄ：ＹＡＧなどの結晶に８０８ｎｍ帯域のパンプレーザーダイオードの光を入射させ１０６０ｎｍ近くの波長を得た後、非線形光学結晶を用いて周波数を２倍に上げて５３０ｎｍ近くの緑色光を得ることができる。
【０００５】
ＤＰＳＳレーザー装置は、２次高調波発生用（Ｓｅｃｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎｉｃ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ）用結晶のような非線形光学結晶は温度による屈折率の変化が結晶方向によって異なるため、温度に応じて位相整合、即ち最適の波長変換効率を得るための入射角が変わる。これによって、使用温度範囲で非線形光学結晶の波長変換効率を一定に維持するための方案が求められる。
【０００６】
従来の方法としては、ペルチェ（ｐｅｌｔｉｅｒ）素子を用いた熱電冷却器［ＴＥＣ（ｔｈｅｒｍｏ−ｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｃｏｏｌｅｒ）］と熱放出構造を採用する方案があるが、電力消耗を増加させたりシステムが大きくなったりする短所がある。このような短所を解決すべく、特許文献１には、光出力をモニタリングし、これをフィードバックして最適の位相整合条件の入射角を有するよう非線形光学結晶を変位する方案が提案されている。
【０００７】
図１は、上記文献で提案された波長変換レーザー装置を示した概略図である。図１に図示された波長変換レーザー装置１０は、レーザー光源１、上記レーザー光源１の波長光を変換して所望の波長光に出力する非線形光学結晶５を含む。
【０００８】
上記波長変換レーザー装置１０では、出力された波長光の一部は第１ビーム分配器２ａにより第２ビーム分配器２ｂへ進行し、上記第２ビーム分配器２ｂは上記光を垂直成分と水平成分に分離し、変換された波長成分は分光フィルタ４を通じて第１及び第２位置検出部７ａ、７ｂへ伝達されることができる。上記第１及び第２位置検出部７ａ、７ｂは伝達された光の位相不整合度を検出し、その結果により制御部８は最適の出力条件を得るための入射角を有するよう回転部を用いて非線形光学結晶５に変位γを発生させる。
【０００９】
このように、図１に図示された波長変換レーザー装置１０は、非線形光学結晶５で変換された光の出力をモニタリングして現在の条件（例えば、温度）による位置不整合の程度をフィードバックし、その結果により機械的に非線形光学結晶５の変位を起こすことにより最大光変換効率を維持することができる。
【００１０】
ところが、このような波長変換レーザー装置１０は、非線形光学結晶５の変位γにより最終の出力位置が変わるという問題がある。より具体的に、図１に図示された通り、非線形光学結晶５が変位された場合（点線で表す）、光の出射位置はＯＵＴ１からＯＵＴ２に変更され出射位置の変位△αが発生する。
【００１１】
このような出射位置の変位により、装置の精密度が低下し、出力側の光学系の構成が困難である。特に、このような問題は最近、レーザー装置の応用分野として注目されている携帯用プロジェクタのような超小型化の製品で非常に深刻な問題になり得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】米国特許第６，６１４，５８４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためのものであって、その目的は、位相整合条件を満たすために非線形光学結晶を変位させる際に発生する出力光の変位を補償することにより、光出射位置を一定に維持できる波長変換レーザー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の技術的課題を実現すべく、本発明は、第１波長光を放出するレーザー光源と、上記第１波長光を第２波長光に変換させて出力する非線形光学結晶と、上記非線形光学結晶に対する第１波長光の入射角が変わるように上記非線形光学結晶を回転させる非線形光学結晶用回転部と、上記第２波長光の出力の変化に応じて上記非線形光学結晶が上記第１波長光と位相整合を成すように上記非線形光学結晶用回転部の回転量を制御する非線形光学結晶用回転駆動制御部と、上記第２波長光が一定の出射位置に出力されるように上記第１波長光の入射角の変化による上記第２波長光の出射位置の変化を補償する光出射位置調整部とを含み、上記非線形光学結晶用回転駆動制御部は、上記非線形光学結晶の第２波長光の出力変化に応じて上記第１波長光との位相整合を成すよう上記非線形光学結晶回転部を駆動させる第１電子制御部と、上記非線形光学結晶から出力された光の一部をサンプリングして上記第１電子制御部に提供する第１ビーム分配器と、上記第１電子制御部と上記第１ビーム分配器との間に配置され上記第１ビーム分配器から提供される光のうち上記第２波長光を選択的に分離して上記第１電子制御部に提供する分光フィルタとを含むことを特徴とする波長変換レーザー装置を提供する。
【００１５】
一実施形態において、本発明の好ましい実施形態において、上記光出射位置調整部は、上記第２波長光の出射位置が変わるように上記非線形光学結晶から出力された第２波長光の入射角に応じて上記第２波長光を屈折できる透明光学部材と、上記透明光学部材に対する第２波長光の入射角が変わるように上記透明光学部材を回転させる光学部材用回転部と、上記非線形光学結晶の回転による上記第２波長光の出射位置の変化が補償されるように上記光学部材用回転部の回転量を制御する光学部材用回転駆動制御部とを含む。
【００１６】
本実施形態において、上記第１ビーム分配器は、上記非線形光学結晶と上記透明光学部材との間に配置されることが好ましい。
【００１７】
上記光学部材用回転駆動制御部は、上記非線形光学結晶の第２波長光の出力変化に応じて上記透明光学部材から出射される第２波長光の位置が一定に維持されるように上記光学部材用回転部を駆動させる第２電子制御部と、上記非線形光学結晶から出力された光の一部を検出して上記第２電子制御部に提供する第２ビーム分配器とを含むように構成されていてもよい。
【００１８】
この場合に、上記第２電子制御部は、上記非線形光学結晶の回転による上記第２波長光の出射位置の変化を検出する第２出力モニタと、上記検出された上記第２波長光の出射位置の変化を補償するために上記光学部材の入射角の変化量に相応する制御信号を生成して上記光学部材用回転部へ転送する第２駆動制御部とを含むことができる。好ましくは、上記第２ビーム分配器は、上記透明部材の出力側に配置されることにより最終出力側の位置変化に基づいて光出射位置をより精密に補正することができる。
【００１９】
また、上記光学部材用回転駆動制御部は、上記第２波長光の出力方向に沿って形成されたスリットを有し、上記第２波長光の出射位置の変化に応じて上記スリットを通過する第２波長光の出力量が変わるように構成された空間フィルタをさらに含むことができる。この場合に、上記空間フィルタは上記透明光学部材と上記第２ビーム分配器との間に配置されることが好ましい。
【００２０】
本発明の他の実施形態において、上記第１及び第２電子制御部は、一体化して具現され、一つの出力モニタ部と一つの駆動制御部を用いて時分割方式などで２つのフィードバック制御を実現することもできる。
【００２１】
上記透明光学部材は、出射位置の調整が容易であるように入射面として使用される第１面と、上記第１面に平行して出射面として使用される第２面とを有する光学部材であることができる。上記透明光学部材は、光学的等方性物質からなる光学部材であることができるが、上記非線形光学結晶と同一物質からなる光学部材であってもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、位相整合過程において、非線形光学結晶の変位で発生する出射位置の変化を補償することにより、一定の光出射位置を有する波長変換レーザー装置を提供することができる。特に、最終ビーム出射位置、即ち透明光学部材の出力側で出射位置の変化をモニタリングすることにより、透明光学部材の屈折率の非線形性による複雑な位置補正過程をより簡素化させると同時に、より精密な位置補正を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来の波長変換レーザー装置の概略的な構成図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態による波長変換レーザー装置の概略的な構成図である。
【図３】図２に図示された波長変換レーザー装置において位相整合過程による光出射位置の調整を説明するための概略図である。
【図４】本発明による波長変換レーザー装置において光出射位置の変化量をモニタリングする過程を説明するためのグラフである。
【図５】本発明の他の実施形態による波長変換レーザー装置に採用可能な回転駆動制御部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照に本発明をより詳しく説明する。
【００２５】
図２は、本発明の好ましい実施形態による波長変換レーザー装置の概略的な構成図である。
【００２６】
図２に図示された波長変換レーザー装置４０は、第１波長光λ１を放出するレーザー光源１１と、上記第１波長光λ１を第２波長光λ２に変換させて出力する非線形光学結晶１５と、上記非線形光学結晶１５が配置された回転部１６と、上記非線形光学結晶１５の位相整合を制御する非線形光学結晶用回転駆動制御部２０とを含む。
【００２７】
上記非線形光学結晶用回転駆動制御部２０は、温度変化による波長変換の効率の低下を防ぐため、第２波長光λ２の出力変化をモニタリングして非線形光学結晶に位相整合のための変位を提供する。
【００２８】
図２に図示された通り、上記非線形光学結晶用回転駆動制御部２０は、上記非線形光学結晶１５の出力光の一部Ｌｐをサンプリングする第１ビーム分配器２２とサンプリングされた出力光Ｌｐで第２波長光の出力変化をモニタリングして位相整合を成すように上記非線形光学結晶回転部１６を駆動させる第１電子制御部２７とを含むことができる。
【００２９】
本実施形態において、上記非線形光学結晶用回転駆動制御部２０は、第１ビーム分配器２２と第１電子制御部２７との間に配置された分光フィルタ２４を含むことができる。上記分光フィルタ２４は、上記第１電子制御部で実際にモニタリングするための第２波長光のみ選択的に分離する。上記第１電子制御部２７は、第２波長光の出力変化△ｐを検出する第１出力モニタ部２７ａと、検出された出力変化△ｐに応じて位相整合のための回転制御信号Ｓｐを生成して非線形光学結晶用回転部１６へ転送する上記第１駆動制御部２７ｂとを含むことができる。第１駆動制御部２７ｂから転送される回転制御信号Ｓｐは、第２波長光の出力変化△ｐに基づいて演算した結果であって、位相整合に必要な上記非線形光学結晶１５の入射角変化量γ1に関連する制御信号である。
【００３０】
上記非線形光学結晶用回転部１６は、上記回転制御信号Ｓｐに応じて非線形光学結晶１５を所定の角度に回転させることにより、変わった温度条件でも最適の波長変換効率を維持することができる。
【００３１】
上述の位相整合過程において、非線形光学結晶１５に対する第１波長光λ1の入射角が変わるため、これによって第２波長光の出射位置Ｌ２は以前の出射位置Ｌ１とは異なる。
【００３２】
本発明による波長変換レーザー装置４０は、このような出射位置の変化△αを補償して第２波長光の出射位置を一定に維持するため、光出射位置調整部３０を採用する。上記光出射位置調整部３０は、上記第１波長光の入射角の変化による出射位置の変化をモニタリングしてその出射位置の変化を補償する。
【００３３】
図２に図示された通り、上記光出射位置調整部３０は、光出射位置の更なる変化のための透明光学部材３５と、その入射角を変更させるための回転部３６とを含む。
【００３４】
上記透明光学部材３５は、所定の屈折率と厚さを有することにより、その入射角に応じて出射位置を変更することができる。上記光学部材３５は、出力光の波長に影響しないつつも光損失を最小にするように透明な材質で構成されることが要され、好ましくは表面に無反射コーティングされることができる。
【００３５】
また、透明光学部材３５の屈折率と厚さだけで出射位置の変化量が簡単に演算できるように、入射面として使用される第１面と、出射面として使用される第２面が相互平行である透明光学部材３５を用いることが好ましい。例えば、上記透明光学部材３５は、光学的等方性物質からなる光学部材または上記非線形光学結晶１５と同一物質からなる光学部材であることもできる。
【００３６】
上記光学部材用回転部３６は、上記第２波長光の入射角が変わるように透明光学部材３５を回転させ第２波長光λ2を所望の位置に調整することができる。上記光学部材用回転部３６は、上記非線形光学結晶用回転部１６と類似な回転器具であることができ、但し、上記光学部材用回転部３６は、上記非線形光学結晶用回転部１６の回転による出射位置の変化を補償するために駆動されるので、その回転と同一回転軸を有するが、その反対方向に回転される。
【００３７】
図２に図示された通り、上記光出射位置調整部３０は、上記光学部材用回転部３６を上記非線形光学結晶１５の回転による上記第２波長光の出射位置の変化が補償されるように上記光学部材用回転部３６の回転量を制御する光学部材用回転駆動制御部を含む。
【００３８】
上記光学部材用回転駆動制御部は、上記非線形光学結晶用回転駆動制御部２０と類似に、上記非線形光学結晶１５から出力された光の一部Ｌｄを検出する第２ビーム分配器３２と、検出された光Ｌｄで決まる回転制御信号Ｓｄに応じて上記光学部材用回転部３６を駆動させる第２電子制御部３７とを含む。
【００３９】
本実施形態のように、上記第２ビーム分配器３２の位置は出射位置が変更されるどの地点にも設置できるが、透明光学部材３５の前端から出射位置を検出する場合には、実際に出射位置を制御するため透明光学部材３５を用いても、その屈折率の非線形性により位置補償過程が複雑になることがある。従って、本実施形態のように、上記透明部材３５の出力側に配置することが好ましい。このような配置は、出射位置の変化を最終出力側の位置変化を通じて判断できるため、より精密に出射位置の補正を実現することができる。
【００４０】
本実施形態において、光学部材用回転駆動制御部は、空間フィルタ３４を用いて出射位置の変化情報を提供する。上記空間フィルタ３４は上記第２波長光の出力方向に沿って形成されたスリットを有する構造であって、上記第２波長光λ2の出射位置の変化に応じてスリットを通過する第２波長光λ2の出力量が変わることにより、その出射位置の情報を提供することができる（図４を参照に詳しく説明）。本実施形態において、上記空間フィルタ３４は透明光学部材３５と第２ビーム分配器３２との間に配置されているが、上記第２ビーム分配器３２でサンプリングされた光Ｌｄが出射位置に関する情報を有することができる場合、上記空間フィルタ３４は第２ビーム分配器３２と第２電子制御部３７との間に配置されることもできる。
【００４１】
また、上記第２電子制御部３７は、上記非線形光学結晶１５の回転γ1による上記第２波長光の出射位置の変化量△ｄを検出する第２出力モニタ３７ａと、上記検出された上記第２波長光の出射位置の変化量△ｄに応じて上記光学部材３５の入射角を変更するための制御信号Ｓｄを生成して上記光学部材用回転部３６へ転送する第２駆動制御部３７ｂとを含むことができる。
【００４２】
上記第２駆動制御部３７ｂの回転制御信号Ｓｄにより、上記光学部材用回転部は透明光学部材３５を所定の角度に回転させることにより、非線形光学結晶１５の位相整合過程で変わった出射位置を所望の位置に維持させることができる。
【００４３】
このように、本発明による波長変換レーザー装置は、位相整合過程を行っても、光出射位置調整部が第２波長光を所望の出射位置に維持させて常に一定に出力させることができる。
【００４４】
本発明による波長変換レーザー装置は、図２に図示された実施形態に限定されず、当業者の必要に応じて様々な光学系構成をさらに含んだり代替したりすることができる。
【００４５】
好ましくは、上記波長変換レーザー装置４０は、上記第２波長光の出力を増加させるために、上記非線形光学結晶１５を通っても変換されない第１波長光を、追加で上記非線形光学結晶１５に通して変換されるよう構成された共振器構造をさらに含むことができる。非線形光学結晶１５の両端或いはレーザー光源１１の一側と非線形光学結晶の出力側にミラーを採用して、変換されない光が非線形光学結晶１５を複数回通るようにして変換効率を高めることができる。
【００４６】
図３（ａ）乃至（ｄ）は、各々図２に図示された波長変換レーザー装置において、位相整合過程による光出射位置の調整過程をより容易に説明するために提供された概略図である。
【００４７】
先ず、図３（ａ）は温度変化による位相不整合を表す。即ち、非線形光学結晶は、第２波長光への最大変換効率（点線で表す）を維持できる最初の位置にあると仮定したときに、温度変化により結晶方向に沿って屈折率が変わり第２波長光の変換効率は低くなる。
【００４８】
このような位相不整合の状態で、図３（ｂ）のように非線形光学結晶を一定角度に回転させ第１波長光との入射角を調整することにより最大変換効率を得ることができる。しかし、この場合に、スネルの法則により非線形光学結晶の屈折率と厚さにより出射位置に一定の変位が発生する。
【００４９】
図３（ｃ）は、図３（ｂ）の位相整合過程により出射位置が変わった状態で透明光学部材の入出射状態を示す。図３（ｃ）のように、透明光学部材は追加の波長変換（第３高調波など）無しで変わった出射位置を通過することになる。このような出射位置の変位量は、先に説明した光出射位置調整部により感知され図３（ｄ）のように制御されることができる。例えば、図２から説明した空間フィルタ３４のスリット構造が、図４に図示されたとおり、−ａ〜ａの範囲に設定されているときに、所望の出射位置の出力量Ａ１より低い出力量Ａ２を表し、このような出力量の変化（Ａ１−Ａ２）は第２電子制御部で出射位置の変化とそれによる透明光学部材３５の回転量に換算することができる。
【００５０】
このように換算された回転量に関連する制御信号は、透明光学部材用回転部へ転送され透明光学部材に対する第２波長光の入射角を変更させることができる。即ち、図３（ｄ）のように、上記透明光学部材は、非線形光学結晶の回転と逆方向に一定の角度に回転され出射位置を補償し、変換された第２波長光を最初の出射位置と同一位置に維持させることができる。
【００５１】
このように、本発明によると、位相整合過程で非線形光学結晶の回転により出射位置が変わる場合、その変わった出射位置をモニタリングして追加の光学部材を通じて所望の出射位置に正確に制御することができる。特に、本発明では最終ビームの出射位置、即ち透明光学部材の出力側で出射位置の変化をモニタリングすることにより、さらに精密な出射位置の補正を実現することができる。
【００５２】
本発明は、当業者に自明なとおり様々な変更ができる。例えば、本発明による波長変換レーザー装置をより小型化するため、第１及び第２電子制御装置を統合して一体に具現することができる。このような実施形態による電子制御部５７は図５に例示されている。
【００５３】
即ち、図２で説明された第１及び第２電子制御部の各出力モニタ部は、出力量の変化をモニタリングする共通の機能を有するため、単一の出力モニタ部５７ａで具現され２つの演算処理過程を担当することができる。また、第１及び第２電子制御部の各駆動制御部も、他の演算式に基づいて非線形光学結晶及び透明光学部材のための回転制御信号を同時に生成／転送するよう単一の駆動制御部５７ｂで構成されることができる。このように、第１及び第２電子制御部が統合された制御装置は、公知の時分割方式などのような原理を基に所望の２つ（位相整合／出射位置）のフィードバック制御を実現し、これを通じて全体装置をより小型化させることができる。
【００５４】
本発明は上述の実施形態及び添付の図面によって限られず、添付の請求範囲により限定する。従って、請求範囲に記載された本発明の技術的思想を外れない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更ができるということは、当技術分野において通常の知識を有している者には自明であり、これもまた本発明の範囲に属する。
【符号の説明】
【００５５】
１１  レーザー光源
１５  非線形光学結晶
１６  非線形光学結晶用回転部
２０  非線形光学結晶用回転駆動制御部
２２  第１ビーム分配器
２４  分光フィルタ
２７  第１電子制御部
２７ａ  第１光出力モニタ
２７ｂ  第１駆動制御部
３０  光出射位置調整部
３２  第２ビーム分配器
３４  空間フィルタ
３５  透明光学部材
３６  光学部材用回転部
３７  第２電子制御部
３７ａ  第２光出力モニタ
３７ｂ  第２駆動制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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