(57)【要約】【課題】クリーニング時における無駄なインク消費を防止できる、流体噴射装置および流体噴射装置のクリーニング方法を提供する。【解決手段】媒体Ｍへ流体を噴射する複数のノズル１３を有する流体噴射ヘッド１１と、複数のノズル１３の各々における流体の噴射状況を検出する検出部と、所定のノズル１３の近傍に負圧を発生させる負圧発生部と、流体噴射ヘッド１１及び負圧発生部の駆動を制御する制御部ＣＯＮＴと、を備えた流体噴射装置ＰＲＴである。制御部ＣＯＮＴは、検出部により流体の噴射不良が検出された不良ノズルの近傍に負圧を発生させるとともに、不良ノズルに対応する駆動素子を駆動して不良ノズルから流体を排出させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体へ流体を噴射する複数のノズルを有する流体噴射ヘッドと、
前記複数のノズルの各々における前記流体の噴射状況を検出する検出部と、
所定の前記ノズルの近傍に負圧を発生させる負圧発生部と、
前記流体噴射ヘッド及び前記負圧発生部の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記検出部により前記流体の噴射不良が検出された不良ノズルの近傍に負圧を発生させるとともに、前記不良ノズルに対応する駆動素子を駆動して当該不良ノズルから前記流体を排出させることを特徴とする流体噴射装置。
【請求項２】
前記負圧発生部は、前記検出部によって前記流体を噴射可能と判定された前記ノズルから前記流体が排出されない強さの負圧を発生させることを特徴とする請求項１に記載の流体噴射装置。
【請求項３】
前記負圧発生部は、前記流体噴射ヘッドに対して非接触状態で負圧を発生させることを特徴とする請求項１又は２に記載の流体噴射装置。
【請求項４】
前記負圧発生部は、一つの前記ノズルに対応する凹部が形成された本体部と、前記凹部内を吸引可能な吸引装置とを備えることを特徴とする請求項３に記載の流体噴射装置。
【請求項５】
媒体へ流体を噴射する複数のノズルを有する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置のクリーニング方法において、
前記複数のノズルの各々における前記流体の噴射状況を検出する検出工程と、
前記検出工程により前記流体の噴射不良が検出された不良ノズルの近傍に負圧を発生させるとともに、前記不良ノズルに対応する駆動素子を駆動して当該不良ノズルから前記流体を排出する工程と、を含むことを特徴とする流体噴射装置のクリーニング方法。
【請求項６】
検出工程により前記流体を噴射可能と判定された前記ノズルから前記流体が排出されない強さの負圧を前記不良ノズルの近傍に発生させることを特徴とする請求項５に記載の流体噴射装置のクリーニング方法。
【請求項７】
前記流体噴射ヘッドにおける前記ノズルの形成面に負圧発生部を非接触状態で対向配置し、前記負圧発生部を駆動することで前記不良ノズルの近傍に負圧を発生させることを特徴とする請求項５又は６に記載の流体噴射装置のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体噴射装置および流体噴射装置のクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体噴射装置として、記録ヘッド（流体噴射ヘッド）のノズルより記録媒体にインク（流体）を噴射するインクジェット式記録装置が知られている。このようなインクジェット式記録装置では、時間の経過に伴ってノズルからのインクの吐出速度や吐出量が変化し、インクの吐出状態（噴射状態）が変化する。このため、インクの吐出速度や吐出量を所望の範囲に維持するために、定期的に記録ヘッドのクリーニング処理が行われる。
【０００３】
記録ヘッドの内部では、時間の経過に伴って気泡が成長したりインクが増粘することでインクの吐出速度や吐出量が所望の値を超えてしまい、吐出不良が生じる。そこで、キャッピング装置を用いた吸引動作を定期的に行うことでノズルのクリーニングが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２１９５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、通常、キャッピング装置を用いたクリーニングでは全ノズルからインクが排出されるため、クリーニングが必要の無いノズルからもインクが排出されてしまう。したがって、クリーニング時にインクが無駄に消費されてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、クリーニング時における無駄なインク消費を防止できる、流体噴射装置および流体噴射装置のクリーニング方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の流体噴射装置は、媒体へ流体を噴射する複数のノズルを有する流体噴射ヘッドと、前記複数のノズルの各々における前記流体の噴射状況を検出する検出部と、所定の前記ノズルの近傍に負圧を発生させる負圧発生部と、前記流体噴射ヘッド及び前記負圧発生部の駆動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記検出部により前記流体の噴射不良が検出された不良ノズルの近傍に負圧を発生させるとともに、前記不良ノズルに対応する駆動素子を駆動して当該不良ノズルから前記流体を排出させることを特徴とする。
【０００８】
従来のキャップ装置を用いた吸引動作を行った場合、流体供給経路内に気泡が残留することで不良ノズルが誘発し、クリーニング動作を繰り返す必要があった。そのため、クリーニング時に多くの流体が無駄となっていた。これに対し、本発明の流体噴射装置によれば、不良ノズルの近傍が負圧状態となっているため、不良ノズルに対応する駆動素子を駆動した際、目詰まりが生じている不良ノズル内から流体を強制的に外部に排出することができる。よって、目詰まりが生じている不良ノズルのみから流体を排出できるので、クリーニング時に流体が無駄に消費されてしまうのを防止することができる。
【０００９】
また、上記流体噴射装置においては、前記負圧発生部は、前記検出部によって前記流体を噴射可能と判定された前記ノズルから前記流体が排出されない強さの負圧を発生させるのが好ましい。
この構成によれば、負圧発生時に不良ノズル以外の良品ノズルから流体が排出されるといった不具合を確実に防止できる。
【００１０】
また、上記流体噴射装置においては、前記負圧発生部は、前記流体噴射ヘッドに対して非接触状態で負圧を発生させるのが好ましい。
この構成によれば、非接触状態で不良ノズルから流体を排出させることができるので、従来のキャップ装置を用いた場合のようにノズルから排出された流体が流体噴射ヘッドの噴射面に付着するのを防止できる。
【００１１】
また、上記流体噴射装置においては、前記負圧発生部は、一つの前記ノズルに対応する凹部が形成された本体部と、前記凹部内を吸引可能な吸引装置とを備えるのが好ましい。
この構成によれば、各不良ノズルの近傍を選択的に負圧状態とするため、吸引装置の吸引力を抑えることができ、装置全体の大きさを小型化できる。
【００１２】
本発明の流体噴射装置のクリーニング方法は、媒体へ流体を噴射する複数のノズルを有する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置のクリーニング方法において、前記複数のノズルの各々における前記流体の噴射状況を検出する検出工程と、前記検出工程により前記流体の噴射不良が検出された不良ノズルの近傍に負圧を発生させるとともに、前記不良ノズルに対応する駆動素子を駆動して当該不良ノズルから前記流体を排出する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
本発明の流体噴射装置のクリーニング方法によれば、目詰まりが生じている不良ノズルの近傍を負圧状態としつつ、不良ノズルに対応する駆動素子を駆動させることで、不良ノズル内から流体が強制的に外部に排出されるようになる。よって、目詰まりが生じている不良ノズルのみから流体を排出できるので、クリーニング時に流体が無駄に消費されてしまうのを防止することができる。
【００１４】
また、上記流体噴射装置のクリーニング方法においては、検出工程により前記流体を噴射可能と判定された前記ノズルから前記流体が排出されない強さの負圧を前記不良ノズルの近傍に発生させるのが好ましい。
この構成によれば、負圧発生時に不良ノズル以外のノズルから流体が排出されるといった不具合を確実に防止できる。
【００１５】
また、上記流体噴射装置のクリーニング方法においては、前記流体噴射ヘッドにおける前記ノズルの形成面に負圧発生部を非接触状態で対向配置し、前記負圧発生部を駆動することで前記不良ノズルの近傍に負圧を発生させるのが好ましい。
この構成によれば、非接触状態で不良ノズルから流体を排出させることができるので、従来のキャップ装置を用いた場合のように流体噴射ヘッドの噴射面にノズルから排出された流体が付着するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンタ装置の構成を示す概略図。
【図２】噴射ヘッド周辺の要部平面図。
【図３】噴射ヘッドのノズル開口形成面を示す平面図。
【図４】噴射ヘッドの断面構成を示す図。
【図５】メンテナンス機構の概略構成を示す模式図。
【図６】負圧発生ユニットの本体部の平面構成を模式的に示す図。
【図７】インク滴センサーの構成を示す模式図。
【図８】インク滴センサーの検出原理を示す図。
【図９】インク滴センサーによって検出される電圧波形を示すグラフ。
【図１０】プリンタ装置の構成を示すブロック図。
【図１１】プリンタ装置の動作の様子を示す図。
【図１２】プリンタ装置の動作の様子を示す図。
【図１３】プリンタ装置の変形例に係る構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面をもとにして、本発明に係る流体噴射装置の実施の形態を説明する。流体噴射装置の各部材を認識可能な大きさとするため、以下の説明に用いる各図面には、縮尺が適宜変更された状態で各部材が示されている。本実施形態では、流体噴射装置としてインクジェット式のプリンタ装置を例に挙げて説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態のインクジェット式プリンタ（以下、プリンタ装置ＰＲＴと称す）の概略構成図である。図２は、噴射ヘッド周辺の要部平面図である。図３は、噴射ヘッドのノズル開口形成面を示す平面図である。
【００１９】
図１においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、ＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する場合がある。この場合においては、図中左右方向をＸ方向とし、図中紙面の奥行き方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち図中上下方向）をＺ方向とする。
【００２０】
これらの図に示すように、プリンタ装置ＰＲＴは、記録媒体（媒体）Ｍに画像や文字などを記録する装置である。記録媒体Ｍとしては、例えば紙やプラスチックなどが用いられる。プリンタ装置ＰＲＴは、インク噴射機構ＩＪ、搬送機構ＣＲ、メンテナンス機構ＭＮ及び制御装置（制御部）ＣＯＮＴを有している。
【００２１】
インク噴射機構ＩＪは、記録媒体Ｍにインク滴（流体）を噴射する部分である。インク噴射機構ＩＪは、噴射ヘッド（流体噴射ヘッド）１１及びインク供給部１２を有している。本実施形態で用いるインクは、染料や顔料、これを溶解または分散する溶媒を基本的成分とし、必要に応じて各種添加剤が添加された液状体を用いる。
【００２２】
噴射ヘッド１１は、記録媒体Ｍに複数色のインク滴を噴射可能なヘッドである。噴射ヘッド１１は、例えば図２に示すように、プリンタ装置ＰＲＴが対象とする最大サイズの記録媒体Ｍの少なくとも一辺を越える長さ（最大記録紙幅Ｗ）に亘って噴射領域１５を有するライン型の噴射ヘッドである。噴射ヘッド１１は、例えばＺ方向上に移動可能に設けられている。噴射ヘッド１１は、ノズル１３及び共通インク室１４を有している。
【００２３】
共通インク室１４は、例えば４色（イエロー：Ｙ、マゼンタ：Ｍ、シアン：Ｃ、ブラック：Ｋ）に対応するインクを保持する（共通インク室１４Ｙ、１４Ｍ、１４Ｃ、１４Ｋ）。噴射領域１５は、上記各色の共通インク室１４に対応して設けられている（噴射領域１５Ｙ、１５Ｍ、１５Ｃ、１５Ｋ）。
【００２４】
ノズル１３は、噴射ヘッド１１の噴射領域１５Ｙ、１５Ｍ、１５Ｃ、１５Ｋ内にそれぞれ複数設けられ、例えば上記４色のインク滴を吐出する開口部である。ノズル１３は、例えば図３に示すようにＹ方向に４列配列されている（ノズル列Ｌ）。ノズル列Ｌは、各色の噴射領域１５Ｙ、１５Ｍ、１５Ｃ、１５Ｋについて、１列又は複数列設けられる。ノズル１３の数やノズル列Ｌの数は、適宜設定される。噴射ヘッド１１のうちノズル１３が設けられる面が噴射面１１Ａとなる。噴射面１１Ａは、噴射ヘッド１１の−Ｚ側に設けられる。噴射ヘッド１１は、−Ｚ側へインク滴を噴射するようになっている。
【００２５】
図４は、噴射ヘッド１１の構成を示す断面図である。
同図に示すように、噴射ヘッド１１は、ヘッド本体１８と、ヘッド本体１８に接続された流路形成ユニット２２とを備えている。流路形成ユニット２２は、振動板１９と、流路基板２０と、ノズル基板２１とを備えている。
【００２６】
ヘッド本体１８は、合成樹脂からなる箱形の部材である。ヘッド本体１８には、駆動ユニット２４を収容する収容室２３と、外部から供給されたインクを流路形成ユニット２２に案内する内部流路２８とが形成されている。
【００２７】
収容室２３内に配置された駆動ユニット２４は、複数の圧電素子（駆動素子）２５と、複数の圧電素子２５の上端を支持する固定部材２６と、駆動信号を圧電素子２５に供給する柔軟なケーブル２７とを備えている。圧電素子２５は、複数のノズル１３のそれぞれに対応して設けられている。
【００２８】
内部流路２８は、ヘッド本体１８を図４上下方向に貫通して形成されている。内部流路２８は、図中上端部がインク供給部１２及び加圧機構３８に接続されている。内部流路２８は、インク供給部１２から供給されてくるインクを図示下端側の開口端を介して流路形成ユニット２２へ流通させるインクの流路である。
【００２９】
流路形成ユニット２２は、振動板１９、流路基板２０、及びノズル基板２１を積層し、接着剤等で接合一体化された構成になっている。流路形成ユニット２２には、ヘッド本体１８の内部流路２８に接続された共通インク室１４と、共通インク室１４に接続されたインク供給口３０と、インク供給口３０に接続された圧力室３１とを備えている。圧力室３１は、各々のノズル１３に対応して設けられている。各々の圧力室３１は、共通インク室１４と反対側の端部においてノズル１３に接続されている。
【００３０】
振動板１９は、例えばステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムがラミネート加工された構成になっている。振動板１９のうち圧力室３１に対応する部分には島部３２が形成されている。島部３２は、例えばエッチングなどにより支持板を環状に除去することで、圧電素子２５の下端に接合されている。
【００３１】
島部３２はダイヤフラム部として機能する。振動板１９は、圧力室３１上において、島部３２の周囲の弾性フィルムの部分が圧電素子２５の駆動に応じて弾性変形し、島部３２が上下動するようになっている。振動板１９と内部流路２８の下端近傍との間にも、支持板の一部を除去して弾性フィルムのみとした部分が設けられており、この部分が共通インク室１４内の圧力変動を吸収するコンプライアンス部３３となっている。
【００３２】
流路基板２０は、内部流路２８の下端とノズル１３とを接続する共通インク室１４、インク供給口３０、及び圧力室３１などのインク流通室を形成するための凹部を有する。これらの凹部は、流路基板２０の基材となるシリコン単結晶基板を異方性エッチングすることで形成されている。
【００３３】
ノズル基板２１は、所定方向に所定間隔（ピッチ）で形成された複数のノズル１３を有する。本実施形態のノズル基板２１は、例えばステンレス鋼等の金属で形成された板状の部材である。ノズル基板２１の外面が噴射面１１Ａである。
【００３４】
このように構成された噴射ヘッド１１は、ケーブル２７を介して圧電素子２５に駆動信号が入力されることで、圧電素子２５が伸縮するようになっている。圧電素子２５の伸縮は、振動板１９の変形（キャビティに接近する方向及び離れる方向への変形）として伝達されるようになっている。振動板１９の変形により、圧力室３１の容積が変化し、インクを収容した圧力室３１の圧力が変動するようになっている。この圧力の変動によって、ノズル１３から、インクが噴射されるようになっている。
【００３５】
図１に戻って、インク供給部１２は、インク噴射機構ＩＪの一側に配置され、噴射ヘッド１１の各共通インク室１４Ｙ、１４Ｍ、１４Ｃ、１４Ｋに接続されている。このインク供給部１２は、上記４色のインクを貯蔵するインクタンク１２Ｙ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｋを有している。インク供給部１２は、不図示のインク供給機構を有しており、当該インク供給機構を用いてインクを噴射ヘッド１１へと供給するようになっている。
【００３６】
搬送機構ＣＲは、紙送りローラ３５、排出ローラ３６などを有している。紙送りローラ３５、排出ローラ３６は、不図示のモータ機構によって回転駆動されるようになっている。搬送機構ＣＲは、インク噴射機構ＩＪによるインク滴の噴射動作に連動させて記録媒体Ｍを搬送経路ＭＲに沿って搬送するようになっている。
【００３７】
図５はメンテナンス機構ＭＮの概略構成を示す模式的に示す図である。
上記メンテナンス機構ＭＮは、フラッシングユニット４０と、負圧発生ユニット（負圧発生部）５０とを含むものである。フラッシングユニット４０は、図５に示されるようにインク受け部材４１と、インク吸収体４２と、を備えている。インク受け部材４１は、上面が開放されたトレイ状の部材であり、内側に上記インク吸収体４２が収容されている。フラッシングユニット４０は、ノズル１３の噴射特性を維持するためのフラッシング動作時に用いられるものである。
【００３８】
上記インク吸収体４２は、インクを保持可能（吸収可能）なスポンジ状部材、あるいは多孔部材等で形成されている。本実施形態においては、インク吸収体４２は、例えばフェルトなどの不織布で形成されている。
【００３９】
なお、インク受け部材４１の内側に設けられたインク吸収体４２の上方には、電極部材４５が配設されている。電極部材４５は、例えばステンレス鋼等の金属のメッシュ部材で形成されている。電極部材４５上に着弾したインク滴は、格子状の電極部材４５の隙間を通過して下側に配置されたインク吸収体４２に保持（吸収）されるようになっている。なお、インク滴が通過できれば、電極部材４５はメッシュ部材でなくてもよい。
【００４０】
負圧発生ユニット５０は、凹部５１ａが形成された本体部５１と、凹部５１ａにチューブ５２を介して接続される吸引ポンプ５３とを備えている。また、チューブ５２の内部と凹部５１ａとは、接続部５１ｂを介して連通している。これにより、吸引ポンプ５３は、凹部５１ａ内を吸引可能となっている。
【００４１】
また、吸引ポンプ５３の下流側には、チューブ５４を介して廃インク回収用タンク５５が接続されている。
さらに、負圧発生ユニット５０は、不図示の駆動機構を備えており、この駆動機構により上記本体部５１が噴射ヘッド１１の噴射面１１Ａにおける所定の位置に移動可能となっている。
【００４２】
図６は負圧発生ユニット５０の本体部５１の平面構成を模式的に示す図である。
本体部５１に形成される凹部５１ａは、図６に示されるように、平面視した状態で、噴射ヘッド１１における一部のノズル１３を含む大きさに形成されている。本実施形態では、例えば直線状に配置される３個のノズル１３を含む大きさの凹部５１ａを形成した。
【００４３】
図７はプリンタ装置に搭載されるインク滴センサーの概略構成を示す図である。
本実施形態のプリンタ装置ＰＲＴは、各ノズル１３におけるインクの噴射状況を検出可能なインク滴センサー（検出部）６０を備えている。インク滴センサー６０は、図７に示すように噴射ヘッド１１のノズル基板２１に電圧を印加する電圧印加装置７１と、噴射ヘッド１１から噴射されたインクを受ける上記電極部材４５と、電極部材４５の電圧を検出する電圧検出器７３と、電圧検出器７３の検出結果を処理する処理装置７４とを有している。
【００４４】
インク滴センサー６０は、噴射ヘッド１１の噴射面１１Ａと電極部材４５との間に電界を与え、ノズル１３から電極部材４５にインクが移動するときの静電誘導に基づく電圧値の時間的変化を検出波形として処理装置７４に出力する。処理装置７４は、インク滴センサー６０から出力された検出波形に基づいて、インクの重量に関する情報（すなわち、各ノズル１３のインクの噴射状況）を取得可能となっている。当該重量に関する情報は、例えば制御装置ＣＯＮＴに送信されるようになっている。
【００４５】
続いて、インク滴センサー６０の原理、すなわち静電誘導によって誘導電圧が生じる原理について図面を参照しながら説明する。図８は、静電誘導によって誘導電圧が生じる原理を説明する模式図である。図中矢印の上側は、インク滴が吐出された直後の状態を示し、矢印の下側はインクＬＱが電極部材４５に着弾した状態を示している。
【００４６】
図８は、インク滴センサー６０から出力される検出信号（インク１滴分）の波形の一例を示す図である。ノズル基板２１（負極側）と電極部材４５（正極側）との間に電圧を印加した状態で、吐出パルスを用いて圧電素子２５を駆動させて、任意の一つノズル１３からインクＬＱを吐出させるときの波形を示している。
【００４７】
インクＬＱが吐出されるとき、ノズル基板２１は負極となっているため、ノズル基板２１の一部の負電荷がインクＬＱに移動し、吐出されたインクＬＱは負に帯電する。負に帯電したインクＬＱが電極部材４５に対して近づくに連れ、静電誘導によって電極部材４５の表面では正電荷が増加する。ノズル基板２１と電極部材４５との間の電圧は、静電誘導によって生じる誘導電圧により、インクＬＱを吐出しない状態における当初の電圧値よりも高くなる。
【００４８】
インクＬＱが電極部材４５に着弾すると、インクＬＱの負電荷により電極部材４５の正電荷が中和される。このため、ノズル基板２１と電極部材４５との間の電圧は当初の電圧値を下回る。その後、ノズル基板２１と電極部材４５との間の電圧は当初の電圧値に戻る。
【００４９】
したがって、図９に示すように、インク滴センサー６０から出力される検出波形は、一旦電圧が上昇した後に、当初の電圧値を下回るまで下降し、その後当初の電圧値に戻る波形となる。このようにして、インク滴センサー６０により各ノズル１３からインクＬＱを吐出した際の電圧変化が検出される。
【００５０】
図１０はプリンタ装置ＰＲＴの電気的な構成を示すブロック図である。
本実施形態におけるプリンタ装置ＰＲＴは、全体の動作を制御する制御装置ＣＯＮＴを備えている。制御装置ＣＯＮＴには、プリンタ装置ＰＲＴの動作に関する各種情報を入力する入力装置６９と、プリンタ装置ＰＲＴの動作に関する各種情報を記憶した記憶装置８０とが接続されている。
【００５１】
制御装置ＣＯＮＴには、インク噴射機構ＩＪ、搬送機構ＣＲ、メンテナンス機構ＭＮ、インク滴センサー６０など、プリンタ装置ＰＲＴの各部が接続されている。プリンタ装置ＰＲＴは、圧電素子２５を含む駆動ユニットに入力する駆動信号を発生する駆動信号発生器８２を備えている。駆動信号発生器８２は、制御装置ＣＯＮＴに接続されている。
【００５２】
駆動信号発生器８２には、噴射ヘッド１１の圧電素子２５に入力する吐出パルスの電圧値の変化量を示すデータ、及び吐出パルスの電圧を変化させるタイミングを規定するタイミング信号が入力される。駆動信号発生器８２は、入力されたデータ及びタイミング信号に基づいて吐出パルス等の駆動信号を発生する。
【００５３】
次に、上記のように構成されたプリンタ装置ＰＲＴの動作を説明する。以下の説明では、プリンタ装置ＰＲＴの特徴であるクリーニング方法について述べる。
まず、昇降機構（不図示）によって噴射ヘッド１１の下方にインク受け部材４１を位置させ、噴射ヘッド１１の噴射面１１Ａと電極部材４５とを非接触状態で対向させる。これにより、インク滴センサー６０が待機状態とされる。
【００５４】
そして、電圧印加装置７１によって、噴射ヘッド１１の噴射面１１Ａと電極部材４５との間に電圧を印加する。これにより、インク滴センサー６０がＯＮ状態となる。このようにインク滴センサー６０を駆動した状態で、吐出パルスを用いて圧電素子２５を駆動し、各ノズル１３から順次インク滴を吐出する。インク滴センサー６０は、インク滴が電極部材４５に着弾した際の静電誘導に基づく電圧変化によってノズル１３の噴射状況、すなわち目詰まりが生じているノズル１３の検出を行うことができる。そして、インク滴センサー６０は、上述の検出結果を処理装置７４により制御装置ＣＯＮＴへと送信する。これにより制御装置ＣＯＮＴは、噴射ヘッド１１の全ノズル１３のうち、いずれのものが不良ノズルとなっているかを把握することができる。
【００５５】
続いて、制御装置ＣＯＮＴは、図１１に示すように駆動機構（不図示）を用いて本体部５１を不良ノズルの下方に移動させる。このとき、平面視した状態で、本体部５１の凹部５１ａ内に３個のノズル１３が位置している（図６参照）。なお、３個のノズル１３は少なくともいずれかが不良ノズル（吐出不良ノズル）であればよい。また、本体部５１はノズル基板２１に対して微小な隙間ｄを隔てて対向配置されており、非接触状態となっている。
【００５６】
そして、制御装置ＣＯＮＴは吸引ポンプ５３を駆動する。上述のように本体部５１とノズル基板２１との隙間ｄは非常に微小であるため、吸引ポンプ５３によって凹部５１ａに対向するノズル１３近傍に負圧を発生させることができる。ここで、制御装置ＣＯＮＴは、上記インク滴センサー６０によってインクの吐出不良が生じていない、すなわち正常ノズルからインクが排出されない負圧（例えば、ゲージ圧で−４ＫＰａ）を生じさせるように吸引ポンプ５３を駆動する。
【００５７】
また、制御装置ＣＯＮＴは、上述のように吸引ポンプ５３を駆動しつつ、吐出パルスを用いて不良ノズルに対応する圧電素子２５を駆動して不良ノズル１３ａからインクを排出する。ここで、不良ノズルに対応する圧電素子２５とは、不良ノズル１３ａから吐出されるインクが収容される圧力室３１の容積変化を生じさせる圧電素子を意味する。
【００５８】
ところで、従来のキャップ装置を用いた吸引動作を行った場合、流体供給経路内に気泡が残留することで不良ノズルが誘発し、クリーニング動作を繰り返し行う必要があった。そのため、クリーニング時に多くの流体が無駄となっていた。
これに対し、本実施形態によれば、このように目詰まりが生じている不良ノズルの近傍に負圧を発生させつつ、不良ノズル１３ａに対応する圧電振動子２５を駆動させることで、図１２に示されるように不良ノズル内からインクが強制的に外部に排出されるようになる。
よって、不良ノズル１３ａのみからインクが排出されるので、従来のキャッピングを用いた吸引動作によるクリーニングのように正常なノズルからもインクが排出されてしまうといったことが無くなり、クリーニング時にインクが無駄に消費されてしまうのを防止できる。
【００５９】
また、本実施形態によれば、従来のキャッピングを用いたクリーニングと異なり、非接触状態で不良ノズルからインクを排出できるので、噴射ヘッド１１の噴射面１１Ａにノズル１３から排出されたインクが付着するのを防止できる。
【００６０】
なお、凹部５１ａ内に配置されたノズル１３に吐出不良が生じていない正常ノズルが含まれる場合でも、上述のようにインクのメニスカスが破壊されることが防止されるので、正常ノズルに悪影響が及ぶことはない。
【００６１】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
上記実施形態では、本体部５１の凹部５１ａが平面視した状態で噴射ヘッド１１の複数個を含む大きさとなっている場合について説明したが、凹部の形状はこれに限定されない。例えば、図１３（ａ）に示すように、本体部１５１として、平面視した状態で噴射ヘッド１１の一つのノズル列を構成する全ノズル１３を含む大きさの凹部１５１ａが形成されたものを用いることができる。この構成によれば、吸引ポンプ５３の容量が多少大きくなるものの、ノズル列、すなわち同色インクを吐出するノズル１３における不良ノズルに対してクリーニングを一括して行うことができる。よって、クリーニング時にノズル１３から異なる色のインクが排出されないため、ノズル１３内のインクが混色してしまうといった不具合の発生を防止することができる。
【００６２】
或いは、図１３（ｂ）に示すように、本体部２５１として、平面視した状態で噴射ヘッド１１の一つのノズル１３を含む大きさの凹部２５１ａが形成されたものを用いることができる。この構成によれば、各不良ノズルの近傍を負圧状態とするため、吸引ポンプ５３の容量を抑えることができる。すなわち、吸引ポンプ５３として小型なものを用いることができ、メンテナンス機構ＭＮ、およびこれを備えたプリンタ装置ＰＲＴ自体を小型化できる。
【００６３】
また、上記実施形態ではライン型の噴射ヘッドを備えたプリンタ装置ＰＲＴについて説明したが、本発明はシリアル型の噴射ヘッドを備えたプリンタ装置についても適用可能である。
また、上記実施形態では、負圧発生ユニット５０のみを搭載したプリンタ装置ＰＲＴについて説明したが、負圧発生ユニット５０とともに従来のキャップ装置を搭載していても良い。これにより、圧力発生ユニット５０およびキャップ装置を用途に応じて使い分けることで、クリーニング時におけるインクの無駄を極力抑えるとともに安定したインクの吐出特性を備えた信頼性の高いプリンタ装置を提供できる。
【００６４】
上記実施例は、インクジェット式のプリンタと、インクカートリッジが採用されているが、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置と、その液体を収容した液体容器を採用しても良い。微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置に流用可能である。なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であれ良い。例えば、物質が液相であるときの状態のものであれば良く、粘性の高い又は低い液状態、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施例の形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルタの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散または溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサ等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用しても良い。そして、これらのうちいずれか一種の噴射装置および液体容器に本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００６５】
ＰＲＴ…プリンタ装置（流体噴射装置）、Ｍ…記録媒体（媒体）、ＣＯＮＴ…制御装置（制御部）、１１…噴射ヘッド（流体噴射ヘッド）、１３…ノズル、１３ａ…不良ノズル、２５…圧電素子（駆動素子）、５０…負圧発生ユニット（負圧発生部）、５１…本体部、５１ａ…凹部、１５１…本体部、１５１ａ…凹部、６０…インク滴センサー（検出部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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