(57)【要約】【課題】バレル内部に発生する摺動カスによる導通不良を改善し電気的な接触抵抗を低減させ導通経路を安定化させたコンタクトプローブを提供する。【解決手段】導電性の筒状体からなるバレルと、 該バレル内に摺動自在に嵌合する摺動部を有する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングと、前記プランジャーと前記スプリングとの間に狭持されるコマとを備え、該コマの長さは前記プランジャーが前記バレル内を軸心方向に往復動する往復動距離に対応する値と同等または大きい値に設定することによって、導通経路の接点と、摺動カスの滞留する滞留領域とを互いに離間した位置とする。【選択図】図２
2010266373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の筒状体からなるバレルと、 該バレル内に摺動自在に嵌合する摺動部を有する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングと、前記プランジャーと前記スプリングとの間に狭持されるコマとを備え、該コマの長さは前記プランジャーが前記バレル内を軸心方向に往復動する往復動距離に対応する値と同等または大きい値に設定されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記コマと当接する前記摺動部の端部が凸状の形状をなすことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記コマの前記スプリングに当接する他方の端部が略円錐形形状をなすことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記コマは前記摺動部に当接する一方の端部から前記スプリングに当接する他方の端部に向かって外径が小さくなる略円錐台形形状をなすことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記コマは外周部に凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
前記コマが非導電性材料で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項７】
前記バレルが、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈのうち少なくとも２種の金属を含有して成る導電性合金によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項８】
前記バレルがニッケル材を主成分とする電気鋳造方法によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項９】
前記バレルの外径が８００μｍ以下であることを特徴とする請求項１、請求項７、請求項８のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトプローブに関し、特に例えば半導体デバイスやウェハー等の電気的特性を検査する際に用いられる小型のコンタクトプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンタクトプローブは電子部品や回路基板の電極端子に接触させ、電極端子を外部装置と一時的に導通させるためのプローブ装置であり、例えば、回路基板の検査を行う際、回路基板の電極端子に針状のプランジャーを弾性的に当接させて電気的測定を行うものである。このコンタクトプローブは極めて細かい電極端子に当接させるために極めて小径のプランジャーが必要であり、被検査体の極小化に伴って更に小径のプランジャーが要求されるようになっている。
【０００３】
従来のコンタクトプローブの一例を図２１、図２２を参照して説明する。図２１は従来のコンタクトプローブの一例を示す外観図である。図２１に示すように従来のコンタクトプローブは棒状体のプランジャー２を被測定体と当接する先端（接触端）２Ｃを突出させた状態で、筒状体のバレル３内に収納されている。また、このプランジャー２は、バレル３から抜け出ないようにして、挿抜方向（プランジャー２の軸方向）に移動自在となるようにバレル３内に配設されている。また、プランジャー２は、バレル３内において軸方向に付勢されているため、先端２Ｃを図示しない電極端子に当接させれば、電極端子からの反力に応じて、プランジャー２の突出部の一部がバレル３内に弾性的に収容される。従って、適度な押圧力を保ちながら、先端２Ｃを電極端子に接触させることができる。
【０００４】
図２２は、図２１におけるＡ部の部分拡大縦断面図で、バレル３の中心軸を含む切断面により切断した断面図である。図２２に示すように、このコンタクトプローブは、バレル３内にスプリング４が収容され、このスプリング４の一端をプランジャー２の後端２ｂに当接させることによって、プランジャー２を付勢している。これらのプランジャー２、バレル３及びスプリング４は、いずれも導電性部材からなり電極端子に当接させるプランジャー２を外部装置に導通させる導通経路を有している。第１の導通経路はプランジャー２及びスプリング４の接点を経由させるものであり、第２の導通経路は、プランジャー２及びバレル３の接点を経由させるものである。
【０００５】
前述の第１の導通経路は常時形成されているが、第２の導通経路はプランジャー２とバレル３の内周部との間に設けられている隙間の方向にプランジャー２が移動し、プランジャー２の側面がバレル３の内周部に接触している場合にのみ形成されるため電気的な接触が不安定なものであった。そこで、電気的な接触を安定させるために図２３に示すようなコンタクトプローブ１が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。図２３はコンタクトプローブ１の主要部を示す部分断面図で、図２３（ａ）はプランジャー２が被検査体に押圧された際、スプリング４の付勢力に抗してプランジャー２がバレル３の内部に押し込まれた状態を示し、図２３（ｂ）はバレル３の内周部に付着滞留する摺動カスの状態を示している。
【０００６】
図２３（ａ）に示すように、コンタクトプローブ１は、バレル３内にバイアスピン５が収容されている。このバイアスピン５は、導電性を有し棒状体の両端５Ｂ、５Ｓを尖鋭化させた形状からなり、プランジャー２とスプリング４との間に挟まれた状態でバレル３内に保持されている。また、プランジャー２のバイアス端２Ｂは、バレル３の断面に対して角度を有して形成されている。このため、スプリング４の付勢力により、バイアスピン５に対し、プランジャー２の中心軸に直交する方向に押圧力が加えられ、バイアスピン５がバレル３の内面に押し当てられる。このとき、バレル３内で傾いたバイアスピン５は、接点７１においてプランジャー２と接触し、接点７２及び７３においてバレル内面と接触している。これらの接触は、いずれもスプリング４の付勢力を利用しており、常時、安定的に確保される。
【０００７】
従って、プランジャー２は、３つの導通経路８１〜８３を介して外部装置と電気的に接続される。導通経路８１は、プランジャー２からバレル３へ直接導通する経路である。導通経路８２は、接点７１及び７２を経由する経路、導通経路８３は、接点７１及び７３を経由する経路であり、ともにバイアスピン５を介してバレル３に導通させている。その結果、プランジャー２及びバレル３は、バイアスピン５を介して導通された状態となり、第２の導通経路が確保される。このようにコンタクトプローブ１は、バイアスピン５を利用して、プランジャー２をバレル３に導通させるバイアス構造を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−９０９４１号公報（第４−５頁、図２参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来技術におけるコンタクトプローブ１は、図２３（ｂ）に示すようにプランジャー２が被検査体に押圧された際、スプリング４の付勢力に抗してプランジャー２がバレル３の内部に押し込まれる動作を繰り返すと、スプリング４、バレル３、プランジャー２が磨耗しバレル３の内部に摺動カス９が発生し、バレル３の内周部３ａに付着滞留する。この摺動カス９はプランジャー２とスプリング４が共に摺動を繰り返す部分、即ち滞留領域Ｌに溜まり易く、この摺動カス９のためバイアスピン５とバレル３の内周部３ａとの接触が不安定となり、接点７２、７３における電気的な接触抵抗を増加させ接触不良が発生するおそれがある。このため、プランジャー２をバイアスピン５を介してバレル３の内周部に確実に接触させることができなくなることがあり、測定値の再現性が悪くなるという問題があった。そのため従来技術におけるコンタクトプローブの接触抵抗が、より一層低減されるとともに安定化されることが望まれていた。
【００１０】
（発明の目的）
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、バイアスピンを介したプランジャーとバレルとの電気的な接続を必ずしも必要とせず、プランジャーとバレルとの電気的な接触抵抗を低減させ導通経路を安定化させたコンタクトプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するための本発明における導電性の筒状体からなるバレルと、該バレル内に摺動自在に嵌合する摺動部を有する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングと、前記プランジャーと前記スプリングとの間に狭持されるコマとを備え、該コマの長さは前記プランジャーが前記バレル内を軸心方向に往復摺動する往復摺動距離に対応する値と同等または大きい値に設定されていることを特徴とする。
【００１２】
また、前記コマと当接する前記摺動部の端部が凸状の形状をなすことを特徴とする。
【００１３】
また、前記コマの前記スプリングに当接する他方の端部が略円錐形形状をなすことを特徴とする。
【００１４】
また、前記コマは前記摺動部に当接する一方の端部から前記スプリングに当接する他方の端部に向かって外径が小さくなる略円錐台形形状をなすことを特徴とする。
【００１５】
また、前記コマは外周部に凹部が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
前記コマが非導電性材料で形成されていることを特徴とする。
【００１７】
また、前記バレルが、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈのうち少なくとも２種の金属を含有して成る導電性合金によって形成されていることを特徴とする。
【００１８】
また、前記バレルがニッケル材を主成分とする電気鋳造方法によって形成されていることを特徴とする。
【００１９】
また、前記バレルの外径が８００μｍ以下であることを特徴とする。
【００２０】
（作用）
本発明のコンタクトプローブは、プランジャーとスプリングとの間に狭持されるコマを設け、コマの長さをプランジャーがバレル内を軸心方向に往復動する往復動距離に対応する値と同等または大きい値に設定することにより、摺動部の外周部とバレルの内周部とを接触させて形成する導通経路の接点部分と摺動カスの滞留する部分とを互いに離間した位置とすることができる。これにより摺動カスによる接触不良を防止し、摺動部の外周部とバレルの内周部との接触を確実にすることが出来る。
【００２１】
また、コマと当接するプランジャーの摺動部の端部が凸状に形状することにより、コマの一方の端部が摺動部の端部の表面上を滑りやすくし、スプリングの付勢力によって、コマとプランジャーの摺動部とを傾斜をさせ摺動部の外周部とバレルの内周部との接触を確実にすることが出来る。
【００２２】
また、コマのスプリングに当接する他方の端部を円錐形形状に形成することにより、コマとスプリグとの位置関係を安定化させることができる。
また、コマの外周部に凹部を設ける、または端部に向かって外径を小さくする等、コマの外周部の一部に外径が小さい径小部を設けることにより、バレルの内周部とコマの外周部との接触面積を小さくして、コマを摺動し易くすることができる。
【００２３】
また、バレルの材質をＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈのうち少なくとも２種の金属を含有して成る導電性合金とすることにより、プランジャーの摺動部の外周部とバレルの内周部との電気的な接続をより確実にすることが出来る。
【００２４】
また、バレルを電気鋳造方法によって形成することにより、径の小さい超小型のバレルを高精度で製作することができる。
【００２５】
また、前記バレルの外径が８００μｍ以下に設定することにより、摺動部の外周部とバレルの内周部とを接触を確実にすることが出来る。
【発明の効果】
【００２６】
以上のように本発明のコンタクトプローブは、プランジャーとスプリングとの間に狭持されるコマを設け、コマの長さをプランジャーがバレル内を軸心方向に往復動する往復動距離に対応する値と同等または大きい値に設定することにより、摺動部の外周部とバレルの内周部との接点部分と摺動カスの滞留する部分とを互いに離間した位置とするとともに、スプリングの付勢力を利用して、コマをバレルの中心軸に対して傾かせプランジャーの摺動部の外周部とバレルの内周部とを接触させて導通経路を形成することによって、摺動カスによる接触不良をなくし、摺動部の外周部とバレルの内周部とを接触を確実にすることができる。この結果、本発明のコンタクトプローブは電気的接触抵抗を低減させ導通経路を安定化させることができる。
【００２７】
また、コマの外周部の一部に外径が小さい径小部を設けることにより、バレルの内周部とコマの外周部との接触面積を小さくして、コマを摺動し易くすることができる。
また、バレルの外径が８００μｍ以下の場合に大きな効果が得られ、導通経路が安定した信頼性の高い小型のコンタクトプローブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるコンタクトプローブを示し、図１（ａ）は全体を示す外観図、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ部の部分拡大縦断面図、図１（ｃ）はコマの長さとプランジャーの往復動距離との関係を示す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態におけるスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図である。
【図４】図１におけるプランジャーがバレルの内部に押し込まれた状態を示す部分拡大断面図である。
【図５】プランジャーの摺動部と摺動カスの滞留位置との位置関係を示し、図５（ａ）はプランジャーの初期状態を示す部分断面図、図５（ｂ）はプランジャーがバレルの内部に押し込まれた状態を示す部分断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態における接触抵抗値を示す表である。
【図７】本発明の第２の実施形態におけるコンタクトプローブのプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態におけるスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態におけるプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態におけるプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態におけるスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図である。
【図１３】図１０におけるプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。
【図１４】本発明の第４の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図である。
【図１５】本発明の第４の実施形態におけるプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図である。
【図１６】本発明の第４の実施形態におけるスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図である。
【図１７】図１４におけるプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。
【図１８】本発明の第５の実施形態におけるコンタクトプローブのプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図である。
【図１９】本発明の第５の実施形態におけるスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図である。
【図２０】本発明の第５の実施形態におけるプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。
【図２１】従来技術におけるコンタクトプローブを示す外観図である。
【図２２】図２１におけるＡ部の部分拡大断面図である。
【図２３】従来技術におけるバレル内にバイアスピンが収容されているコンタクトブローブの主要部を示す部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１から図６は第１の実施形態におけるコンタクトプローブを示す図、図７から図９は第２の実施形態におけるコンタクトプローブを示す図、図１０から図１３は第３の実施形態におけるコンタクトプローブを示す図、図１４から図１７は第４の実施形態におけるコンタクトプローブを示す図、図１８から図２０は第５の実施形態におけるコンタクトプローブを示す図である。以下、本発明の実施形態におけるコンタクトプローブについて図に基づいて詳細に説明する。
【００３０】
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態におけるコンタクトプローブを示す図、図２はプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図３はスプリングと当接するプランジャーの他方の端部を示す部分拡大断面図、図４はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図、図５は、プランジャーの摺動部と摺動カスの滞留領域との位置関係を示す図、図６は、第１の実施形態におけるコンタクトプローブの接触抵抗値を示す表である。
【００３１】
図１（ａ）は第１の実施形態のコンタクトプローブの全体を示す外観図である。図１（ａ）に示すように第１の実施形態のコンタクトプローブ１０は棒状体のプランジャー１２を被測定体と当接する先端（接触端）１２Ｃを突出させた状態で、筒状体のバレル１３内に収納されている。また、このプランジャー１２は、バレル１３から抜け出ないようにして、挿抜方向（プランジャー１２の軸方向）に移動自在となるようにバレル１３内に配設されている。また、プランジャー１２は、バレル１３内において軸方向に付勢されているため、先端１２Ｃを図示しない電極端子に当接させれば、電極端子からの反力に応じて、プランジャー１２の突出部の一部がバレル１３内に弾性的に収容される。従って、適度な押圧力を保ちながら、先端１２Ｃを電極端子に接触させることができる。
【００３２】
図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ部の部分拡大縦断面図で、バレル１３の中心軸を含む切断面により切断したコンタクトプローブの主要部を示す断面図である。図１（ｂ）に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ１０は筒状体からなるバレル１３と、
バレル１３内に摺動自在に嵌合する摺動部１７を有するプランジャー１２と、バレル１３内に配置されプランジャー１２を軸方向に付勢するスプリング１４と、プランジャー１２とスプリング１４との間に狭持されるコマ１８とを備えている。
【００３３】
図１（ｃ）はコマ１８の長さｇとプランジャー１２の往復動距離ｆとの関係を示す概略図で、プランジャー１２の初期状態における摺動部１７１の位置を破線で示し、プランジャー１２がバレル１３の内部に押し込まれた状態における摺動部１７２の位置を実線で示している。また、初期状態における摺動部１７１の端部１７ｂと押し込まれた状態における摺動部１７２の端部１７ｂとの間の距離を往復動距離ｆとし、摺動カス１９の滞留し易い領域を滞留領域Ｎとした。図１（ｃ）に示すように、コマ１８の長さｇをプランジャー１２がバレル１３内を軸心方向に往復動する往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定することにより、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとを接触する部分（プランジャー１２の端部１７ｂが往復動する領域）と、バレル１３内部に発生する摺動カス１９の滞留し易い滞留領域Ｎとを互いに離間した位置としたものである。これによって摺動カスによる接触不良を防止し、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとの接触を確実にすることが出来る。
【００３４】
プランジャー１２は摺動部１７と、摺動部１７に連結する接触部１５とを備えており、プランジャー１２の接触部１５と摺動部１７との間には、他部より径が細い細径領域１６が設けられ、更に細径領域１６と摺動部１７との境界には段部１７ａが形成されている。また、プランジャー１２の接触部１５側がバレル１３の開口されている一端から突出し、その先端（図示せず）が被測定物に当接するようになっている。また、摺動部１７はバレル１３内に挿入された状態で、端部１７ｂがコマ１８の一方の端部１８ｂと当接されており、端部１７ｂが略円錐形形状に形成されている。
【００３５】
一方バレル１３の他端（図示せず）は、かしめられてスプリング１４の他方の端部（図示せず）が当接して外部に押出されないようにされている。また、バレル１３の内周部１３ａには周方向に延びる凸部からなる窪み１３ｂがプランジャー１２の細径領域１６に遊嵌する様に設けられている。これによって、窪み１３ｂと段部１７ａとが当接してプランジャー１２がバレル１３から外れるのを防止し、段部１７ａがバレル１３の窪み１３ｂと当接してプランジャー１２の可動範囲を規制するとともに軸方向に移動自在に保持している。なお、本実施形態におけるバレル１３は金（Ａｕ）、プラチナ（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）を含んで成る導電性合金によって形成されている。
【００３６】
コマ１８は略円筒形の形状をなし、プランジャー１２の摺動部１７とスプリング１４との間に狭持されおり、コマ１８の一方の端部１８ｂがプランジャー１２の摺動部１７の端部１７ｂに当接されている。コマ１８の他方の端部１８ａはスプリング１４の端部に当接されているとともにスプリング１４がコマ１８の他方の端部１８ａを押圧している。コマ１８の一方の端部１８ｂは略円錐形形状に形成されている。一方、プランジャー１２の摺動部１７の端部１７ｂも略円錐形形状に形成されており、コマ１８の一方の端部１８ｂが摺動部１７の端部１７ｂの表面上を滑りやすくしているとともにプランジャー１２及びコマ１８に対し、スプリング１４の付勢力をバレル１３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ａ、Ｂの方向）の力として作用させている。これによって、摺動部１７の端部１７ｂの一部をバレル１３の内周部１３ａに接触させることができる。
【００３７】
図２は図１の主要部を拡大した部分拡大断面を示している。図２に示すように、コマ１８の外径ｂの値は摺動部１７の外径ｄの値とほぼ等しい値に設定されている。また、バレル１３の内径ａと摺動部１７の外径ｄと及びコマ１８の外径ｂとの隙間はプランジャー１２がバレル１３内の摺動を円滑に案内するために所定のクリアランスが確保されるように、その値が設定されている。なお、プランジャー１２の摺動部１７の端部１７ｂは前述のように略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｒの値は１４０度とした。
【００３８】
図３は図１のコマ１８を拡大した拡大断面を示している。図３に示すようにコマ１８の外径ｂはスプリング１４の内径ｃに対して大きい値に設定されている。また、コマ１８の一方の端部１８ｂは略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｑの値は特に限定されるものではないが、本実施形態においては９０度とした。また、コマ１８の他方の端部１８ａは略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｐの値は特に限定されるものではないが鋭角の方がコマ１８の他方の端部１８ａがスプリング１４の内部に奥深く入り込み互いの位置が安定するため好ましい。なお、本実施形態においては角度Ｐの値を９０度に設定した。
【００３９】
また、コマ１８とバレル１３との電気的接続は必ずしも必要とせず、導通の安定性を考慮するとコマ１８の材質は電気的に高抵抗材が好ましく、特に非導電性材料からなることが好ましいが、一般的な金属合金材料を用いても良い。本実施形態においては、コマ１８の材質としてセラミックスを用いた。
【００４０】
図４はコンタクトプローブ１０の主要部を示す部分断面図で、プランジャー１２が被測定物に押圧された際、スプリング１４の付勢力に抗してプランジャー１２がバレル１３の内部に押し込まれ、プランジャー１２の摺動部１７及びコマ１８が傾いた状態を示している。図４に示すように、プランジャーが矢印Ａに示す方向に移動し、スプリング１４の付勢力が加わるとバレル１３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ｂ、Ｃで示す方向）の押圧力が作用してコマ１８がバレル１３内で傾くことになる。
【００４１】
さらに、プランジャー１２もスプリング１４の付勢力により、コマ１８を介してバレル１３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ｂ、Ｃで示す方向）に押圧力が加えられ、プランジャー１２の摺動部１７の端部１７ｂがバレル１３の中心軸に対し偏心することになる。このとき摺動部１７が傾き、摺動部１７の外周部の一部がバレル１３の内周部１３ａに接触し、接点１０１、１０２でプランジャー１２がバレル１３に当接し電気的に接触する。この場合の導通経路は接点１０１、１０２を通り矢印２０１、２０２で示す二つの導通経路となる。さらに、接触部１５も傾き、接触部１５の外周部の一部がバレル１３の内周部１３ａに接触し、接点１０３、１０４でプランジャー１２がバレル１３に当接し電気的に接触する。この場合の導通経路は接点１０３、１０４を通り矢印２０３、２０４で示す二つの導通経路となる。
【００４２】
図５は、プランジャーの摺動部と摺動カスの滞留位置との位置関係を示し、図５（ａ）はプランジャーの初期状態を示し、図５（ｂ）はプランジャーがバレルの内部に押し込まれた状態を示す。本実施形態におけるコンタクトプローブ１０は、図５（ａ）に示す初期状態において被測定物に接触部１５を当接させると、当接力を調節するために、プランジャー１２がバレル１３内を摺動部１７にガイドされ摺動しながら矢印Ａに示す方向に移動し、図５（ｂ）に示すように、プランジャー１２がバレル１３の内部に押し込まれた状態となる。このような動作を繰り返すと、バレル１３内部に摺動カス１９が発生しバレル内周部１３ａの滞留領域Ｎに付着滞留するが、この摺動カス１９は、プランジャー１２の摺動部１７とスプリング１４との間にコマ１８を設け、このコマの長さｇをプランジャー１２がバレル１３内を軸心方向に往復動する往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定することにより、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとを接触させて形成する導通経路２０２の接点１０２と、摺動カス１９の滞留する滞留領域Ｎとを互いに離間した位置とすることができる。これにより摺動カス１９による接触不良を防止し、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとの接触を確実にすることが出来る。
【００４３】
次に本実施形態におけるコンタクトプローブ１０の耐久試験の結果について説明する。図６は、本実施形態におけるコンタクトプローブ１０の耐久試験の結果と、比較のために従来例におけるコンタクトプローブの耐久試験の結果を示す。従来例におけるコンタクトプローブはコマ１８が形成されていない点が異なり、その他は、ほぼ同様である。また、耐久試験はプランジャーをバレル内で３０万回繰り返し摺動させた後の接触抵抗値を測定したものである。また、サンプル数は５個とした。図６に示すように本実施形態におけるコンタクトプローブ１０の耐久試験後の接触抵抗値は従来例に比較して約１／５に低減し、ばらつきの範囲を１／２０に低減することができた。
【００４４】
以上のように本実施形態のコンタクトプローブ１０は、プランジャー１２の摺動部１７とスプリング１４との間にコマ１８を設け、このコマの長さｇをプランジャー１２の往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定することにより、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとを接触させて形成する導通経路２０２の接点１０２と、摺動カス１９の滞留する滞留領域Ｎとを互いに離間した位置とすることができる。これにより摺動カス１９による接触不良を防止し、摺動部１７の外周部とバレルの内周部１３ａとの接点における電気的な接触を確実にすることが出来る。
【００４５】
（第２の実施形態）
図７は第２の実施形態におけるコンタクトプローブのプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図８はスプリングと当接するプランジャーの他方の端部を示す部分拡大断面図、図９はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図７に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ１１はプランジャー１２における摺動部１７の端部１７ｃ及びコマ１８の一方の端部１８ｄの形状が第１の実施形態と異なり、その他は第１の実施形態とほぼ同様である。そこで同じ構成要素については同一番号を付与し詳細な説明を省略する。
【００４６】
プランジャー１２の摺動部１７はバレル１３内に挿入された状態で、端部１７ｃがコマ１８の一方の端部１８ｄと当接されており、端部１７ｃが半球状の形状に形成されている。その他は第１の実施形態と同様であるため説明を省略する。また、バレル１３についても第１の実施形態と同様であるため説明を省略する。
【００４７】
コマ１８は第１の実施形態と同様に円筒形の形状をなし、プランジャー１２の摺動部１７とスプリング１４との間に狭持されおり、コマ１８の一方の端部１８ｄがプランジャー１２の摺動部１７の端部１７ｃに当接されている。コマ１８の一方の端部１８ｄは平面に形成されており、長手方向に略垂直な面となっている。一方、プランジャー１２の摺動部１７の端部１７ｃは、半球状の滑らか曲面に形成されており、コマ１８の一方の端部１８ｄが摺動部１７の端部１７ｃの端面上を滑りやすくしているとともにプランジャー１２及びコマ１８に対し、スプリング１４の付勢力をバレル１３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ａ、Ｂの方向）の力として作用させている。これによって、摺動部１７の端部１７ｃの一部をバレル１３の内周部１３ａに接触させることができる。また、プランジャー１２がバレル１３内を軸心方向に往復動する距離は第１の実施形態と同様に往復動距離ｆとした。
【００４８】
図８は図７のコマ１８を拡大した拡大断面を示している。図８に示すようにコマ１８の外径ｂはスプリング１４の内径ｃに対して大きい値に設定されている。コマ１８の一方の端部１８ｄは平面に形成されているが、この形状は、特に限定されるものではなく滑らかな凸状の曲面であっても良い。また、コマ１８の長さｇは第１の実施形態と同様にプランジャー１２の往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定した。その他の点については、第１の実施形態と同様であるため説明は省略する。
【００４９】
図９はコンタクトプローブ１１の主要部を示す部分断面図で、プランジャー１２が被測定物に押圧された際、スプリング１４の付勢力に抗してプランジャー１２がバレル１３の内部に押し込まれ、プランジャー１２の摺動部１７及びコマ１８が傾いた状態を示している。図９に示すように、スプリング１４の付勢力が加わると第１の実施形態と同様にコマ１８とプランジャー１２の摺動部１７が傾き摺動部１７の外周部の一部がバレル１３の内周部１３ａに接触し電気的に接続し導通経路が形成される。なお、詳細な説明については、第１の実施形態と重複するため省略する。
【００５０】
本実施形態におけるコンタクトプローブ１１は、第１の実施形態と同様にプランジャー１２の摺動部１７とスプリング１４との間にコマ１８を設け、このコマ１８の長さｇをプランジャー１２の往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定することにより、導通経路２０２の接点１０２と、バレル１３内部に発生する摺動カス１９の滞留する滞留領域Ｎとを互いに離間した位置とすることができる。これにより摺動カス１９による接触不良を防止し、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとの接触を確実にすることが出来る。
【００５１】
本実施形態におけるコンタクトプローブ１１の耐久試験後の接触抵抗値は第１の実施形態の場合と同様に、従来例に比較して約１／５に低減し、ばらつきの範囲を１／２０に低減することができた。以上のように本実施形態のコンタクトプローブ２１は、第１の実施形態と同様に、摺動カスによる接触不良を防止し、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとの接点１０１、１０２における電気的な接触を確実にすることが出来る。
【００５２】
（第３の実施形態）
図１０は第３の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図１１はプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図１２はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図１３はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図１０に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ２１は筒状体からなるバレル２３と、バレル２３内に摺動自在に嵌合するプランジャー２２と、バレル２３内に配置されプランジャー２２を軸方向に付勢するスプリング１４と、プランジャー２２とスプリング１４との間に狭持されるコマ２８とを備えており、バレル２３、プランジャー２２、コマ２８の形状が第１の実施形態と異なっているが、基本的な構成は同様である。
【００５３】
プランジャー２２は摺動部２７と、摺動部２７に連結する接触部２５とを備えている。また、プランジャー２２の接触部２５と摺動部２７との境界には段部２７ａが形成されており、プランジャー２２の接触部２５側がバレル２３の開口されている一端から突出し、その先端（図示せず）が被測定物に当接するようになっている。さらに、摺動部２７はバレル２３内に挿入された状態で、端部２７ｂがコマ２８の一方の端部２８ｂと当接されており、端部２７ｂが円錐形形状に形成されている。
【００５４】
一方バレル２３の他端（図示せず）は、かしめられてスプリング１４の他方の端部（図示せず）が当接して外部に押出されないようにされている。また、バレル２３の開口されている一端には全周に亘って内側に向かって突出する鍔部２３ｂがプランジャー２２の接触部２５に遊嵌する様に設けられている。これによって、鍔部２３ｂと段部２７ａとが当接してプランジャー２２がバレル２３から外れるのを防止し、段部２７ａがバレル２３の鍔部２３ｂと当接してプランジャー２２の可動範囲を規制するとともに軸方向に移動自在に保持している。なお、本実施形態におけるバレル２３は、ニッケル材を主成分とする電気鋳造法により形成したものであり、内側に導電材料として金（Ａｕ）、外側にニッケル（Ｎｉ）とした構造である。この電気鋳造法によれば、径の小さい超小型のバレルを高精度で且つ低価格で製造することができる。
【００５５】
コマ２８は一方の端部２８ｂからスプリング１４に当接する他方の端部２８ａに向かって外径が小さくなる略円錐台形形状をなし、プランジャー２２の摺動部２７とスプリング１４との間に狭持されおり、コマ２８の一方の端部２８ｂがプランジャー２２の摺動部２７の端部２７ｂに当接されている。コマ２８の他方の端部２８ａはスプリング１４の端部に当接されているとともにスプリング１４がコマ２８の他方の端部２８ａを押圧している。コマ２８の一方の端部２８ｂは第２の実施形態と同様に平面に形成されており、長手方向に略垂直な面となっている。一方、プランジャー２２の摺動部２７の端部２７ｂは、略円錐形形状の滑らか面に形成されており、コマ２８の一方の端部２８ｂが摺動部２７の端部２７ｂの端面上を滑りやすくしているとともにプランジャー２２及びコマ２８に対し、スプリング１４の付勢力をバレル２３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ａ、Ｂの方向）の力として作用させている。これによって、摺動部２７の端部２７ｂの一部をバレル２３の内周部２３ａに接触させることができる。
【００５６】
図１１は図１０の主要部を拡大した部分拡大断面を示している。図１１に示すように、コマ２８の一方の端部２８ｂの外径ｅの値は、摺動部２７の外径ｄの値とほぼ等しい値に設定されている。また、他方の端部２８ａの外径ｂの値は摺動部２７の外径ｄの値と比較して小さい値に設定されている。また、バレル２３の内径ａと摺動部２７の外径ｄとの隙間はプランジャー２２がバレル２３内の摺動を円滑に案内するために所定のクリアランスが確保されるように、その値が設定されている。これに対して略円錐台形形状をなすコマ２８の外周部２８ｃとバレル２３の内周部２３ａとの隙間はコマ２８の他方の端部２８ａ付近に向かって大きくなるように設定されているためバレル２３の内周部２３ａとコマ２８の外周部２８ｃとの接触面積を小さくして、コマを摺動し易くすることができる。なお、プランジャー２２の摺動部２７の端部２７ｂは前述のように略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｒの値は１６０度とした。また、プランジャー２２がバレル２３内を軸心方向に往復動する距離は第１の実施形態と同様に往復動距離ｆとした。
【００５７】
図１２は図１０のコマ２８を拡大した部分拡大断面を示している。図１２に示すようにコマ２８の他方の端部２８ａの外径ｂはスプリング１４の内径ｃに対して大きい値に設定されている。また、コマ２８の一方の端部２８ｂは第２の実施形態と同様に平面に形成されている。また、コマ２８の他方の端部２８ａは略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｐの値は第１の実施形態と同様に９０度とした。なお、本実施形態におけるコマ２８の材質はガラスとしたが導電性材料を用いても良い。また、コマ２８の長さｇをプランジャー２２の往復動距離ｆに対応する値より大きい値に設定した。本実施形態においては１０％程大きい値に設定した。
【００５８】
図１３はコンタクトプローブ２１の主要部を示す部分断面図で、プランジャー２２が被測定物に押圧された際、スプリング１４の付勢力に抗してプランジャー２２がバレル２３の内部に押し込まれ、プランジャー２２の摺動部２７及びコマ２８が傾いた状態を示している。図１３に示すように、スプリング１４の付勢力が加わるとバレル２３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ｂ、Ｃで示す方向）の押圧力が作用してコマ２８がバレル１３内で傾くことになる。
【００５９】
さらに、プランジャー２２もスプリング１４の付勢力により、コマ２８を介してバレル２３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ｂ、Ｃで示す方向）に押圧力が加えられ、プランジャー２２の摺動部２７の端部２７ｂがバレル２３の中心軸Ｍに対し偏心することになる。このとき、摺動部２７が傾き、摺動部２７の外周部の一部がバレル２３の内周部２３ａに接触し、接点１０１、１０２でプランジャー２２がバレル２３に当接し電気的に接触する。この場合の導通経路は接点１０１、１０２を通り矢印２０１、２０２で示す二つの導通経路となる。
【００６０】
本実施形態におけるコンタクトプローブ２１は、第１の実施形態と同様に、プランジャー２２の摺動部２７とスプリング１４との間にコマ２８を設け、コマ２８の長さｇをプランジャー２２の往復動距離ｆに対応する値より大きい値に設定することにより、導通経路２０２の接点１０２と、バレル２３内部に発生する摺動カス１９の滞留する滞留領域Ｎとを互いに離間した位置とすることができる。これにより摺動カス１９による接触不良を防止し、摺動部２７の外周部とバレル２３の内周部２３ａとの接触を確実にすることが出来る。また、本実施形態のコンタクトプローブ２１はコマ２８の一方の端部２８ｂから他方の端部２８ａに向かって外径が小さくなる略円錐台形形状をなしているためバレルの内周部２３ａとコマ２８の外周部２８ｃとの接触面積を小さくして、コマ２８を摺動し易くすることができる。また、コマ２８の材質を導電性の合金材料とした場合には、摺動カス１９とのコマ２８との接触面積がより少なくなるため電気的特性がより安定化する。  
【００６１】
また、本実施形態におけるコンタクトプローブ２１の耐久試験後の接触抵抗値は第１の実施形態の場合と同様に、従来例に比較して約１／５に低減し、ばらつきの範囲を１／２０に低減することができた。以上のように本実施形態のコンタクトプローブ２１は、第１の実施形態と同様に、摺動カス１９による接触不良を防止し、摺動部２７の外周部とバレル２３の内周部２３ａとの接点１０１、１０２における電気的な接触を確実にすることが出来る。
【００６２】
（第４の実施形態）
図１４は第４の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図１５はプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図１６はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図１７はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図１４に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ３１は筒状体からなるバレル３３と、
バレル３３内に摺動自在に嵌合するプランジャー３２と、バレル３３内に配置されプランジャー３２を軸方向に付勢するスプリング１４と、プランジャー３２とスプリング１４との間に狭持されるコマ３８とを備えており、バレル３３、プランジャー３２、コマ３８の形状が第１の実施形態と異なっているが、基本的な構成は同様である。
【００６３】
プランジャー３２は摺動部３７と、摺動部３７に連結する接触部３５とを備えている。また、プランジャー３２の接触部３５と摺動部３７との境界には段部３７ａが形成されており、プランジャー３２の接触部３５側がバレル３３の開口されている一端から突出し、その先端（図示せず）が被測定物に当接するようになっている。さらに、摺動部３７はバレル３３内に挿入された状態で、端部３７ｂがコマ３８の一方の端部３８ｂと当接されており、摺動部３７の端部３７ｂが半球状の形状に形成されている。
【００６４】
一方バレル３３の他端（図示せず）は、かしめられてスプリング１４の他方の端部（図示せず）が当接して外部に押出されないようにされている。また、バレル３３の内周部３３ａには周方向に延びる凸部からなる窪み３３ｂがプランジャー３２の接触部３５に遊嵌する様に設けられている。これによって、窪み３３ｂと段部３７ａとが当接してプランジャー３２がバレル３３から外れるのを防止し、段部３７ａがバレル３３の窪み３３ｂと当接してプランジャー３２の可動範囲を規制するとともに軸方向に移動自在に保持している。なお、本実施形態におけるバレル３３は、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、プラチナ（Ｐｔ）、ロジウム（Ｒｈ）を含んで成る導電性合金によって形成されている。
【００６５】
図１５は図１４の主要部を拡大した部分拡大断面を示している。図１５に示すように、コマ３８は円筒状の外周部に凹部３６が形成されており、この凹部３６は、コマ３８の長手方向の中央付近に形成されており外周の全周に亘って形成されている。その他の点は、第２の実施形態のコマ２８と同様であり、コマ３８の外径ｅの値は、摺動部３７の外径ｄの値とほぼ等しい値に設定されている。また、凹部３６を設けることにより、バレル３３の内周部３３ａとコマ３８の外周部３８ｃとの接触面積を小さくして、コマ３８を摺動し易くすることができる。また、プランジャー３２がバレル３３内を軸心方向に往復動する距離は第１の実施形態と同様に往復動距離ｆとした。
【００６６】
図１６は図１４のコマ３８を拡大した部分拡大断面を示している。図１６に示すようにコマ３８の外径ｂはスプリング１４の内径ｃに対して大きい値に設定されている。また、コマ３８の一方の端部３８ｂは第２の実施形態と同様に平面に形成されており、長手方向に略垂直な面となっている。また、コマ３８の他方の端部３８ａも第２の実施形態と同様に略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｐの値は９０度に設定されている。なお、凹部３６と外周部３８ｃとの境界部には段部が形成されているが、この境界部も斜面または曲面とすることでコマ３８の機械的強度を補強することができる。また、本実施形態におけるコマ３８の材質はシリコンの焼結材としたが導電性材料とすることもできる。また、コマ３８の長さｇをプランジャー２２の往復動距離ｆに対応する値とほぼ同等の値に設定した。
【００６７】
図１７はコンタクトプローブ３１の主要部を示す部分断面図で、プランジャー３２が被測定物に押圧された際、スプリング１４の付勢力に抗してプランジャー３２がバレル３３の内部に押し込まれ、プランジャー３２の摺動部３７及びコマ３８が傾いた状態を示している。図１７に示すように、スプリング１４の付勢力が加わるとバレル３３の中心軸Ｍに直交する方向（矢印Ｂ、Ｃで示す方向）の押圧力が作用してコマ３８がバレル３３内で傾き、プランジャー３２の摺動部３７も傾き、摺動部３７の外周部の一部がバレル３３の内周部３３ａに接触し、接点１０１、１０２でプランジャー３２がバレル３３に当接し電気的に接触する。この場合の導通経路は接点１０１、１０２を通り矢印２０１、２０２で示す二つの導通経路となる。
【００６８】
以上のように、本実施形態におけるコンタクトプローブ３１は、第１の実施形態と同様にプランジャー３２の摺動部３７とスプリング１４との間にコマ３８を設け、コマ３８の長さｇをプランジャー３２の往復動距離ｆに対応する値とほぼ同等の値に設定することにより、導通経路２０２の接点１０２と、摺動カス１９の滞留する滞留領域Ｎとを互いに離間した位置とすることができる。これによって、第１の実施形態と同様に摺動カス１９による接触不良が防止され、摺動部３７の外周部とバレル３３の内周部３３ａとの接触を確実にすることが出来る。また、本実施形態のコンタクトプローブ３１はコマ３８に凹部３６が設けられているためバレルの内周部３３ａとコマ３８の外周部３８ｃとの接触面積を小さくして、コマ３８を摺動し易くすることができる。また、コマ３８の材質を導電性の合金材料とした場合には、摺動カス１９とのコマ３８との接触面積がより少なくなるため、電気的特性がより安定化する。
【００６９】
本実施形態におけるコンタクトプローブ３１の耐久試験後の接触抵抗値は第１の実施形態の場合と同様に、従来例に比較して約１／５に低減し、ばらつきの範囲は１／２０に低減することができた。
以上のように本実施形態のコンタクトプローブ３１は、第１の実施形態と同様に、摺動カス１９による接触不良を防止し、摺動部３７の外周部とバレル３３の内周部３３ａとの接点１０１、１０２における電気的な接触を確実にすることが出来る。  
【００７０】
（第５の実施形態）
図１８は第５の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図１９はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図２０はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図１８に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ４１はコマ４８の形状が第１の実施形態と異なり、その他は第１の実施形態とほぼ同様である。そこで同じ構成要素については同一番号を付与し詳細な説明を省略する。
【００７１】
図１８に示すようにコマ４８は中央付近が円筒状に形成されており、この中央付近の外周部４８ｃから一方の端部４８ｂに向かって外径が小さくなる一方の曲面部４６ｂと、中央付近の外周部４８ｃから他方の端部４８ａに向かって外径が小さくなる他方の曲面部４６ａとが形成されている。両曲面部４６ａ、４６ｂは、いずれも略円錐台形形状をなし、一方の端部４８ｂは平面に形成されており長手方向に略垂直な面となっている。一方他方の端部４８ａは、第１の実施形態と同様で略円錐形形状をなしている。また、コマ４８の外径ｅの値は、摺動部１７の外径ｄの値とほぼ等しい値に設定されている。また、両曲面部４６ａ、４６ｂを設けることにより、バレル１３の内周部１３ａとコマ４８の外周部４８ｃとの接触面積を小さくして、コマ４８を摺動し易くすることができる。なお、プランジャー１２がバレル１３内を軸心方向に往復動する距離は第１の実施形態と同様に往復動距離ｆとした。
【００７２】
図１９は図１８のコマ４８を拡大した部分拡大断面を示している。図１９に示すようにコマ４８の他方の端部４８ａの外径ｂはスプリング１４の内径ｃに対して小さい値に設定されている。また、コマ４８の他方の端部４８ａは、第１の実施形態と同様に、略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度Ｐの値は９０度に設定されている。なお、本実施形態におけるコマ４８の材質はガラスとしたが、導電性の金属合金を用いても良い。また、コマ４８の長さｇをプランジャー１２がバレル１３内を軸心方向に往復動する往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定した。  
【００７３】
図２０はコンタクトプローブ４１の主要部を示す部分断面図で、プランジャー１２が被測定物に押圧された際、スプリング１４の付勢力に抗してプランジャー１２がバレル１３の内部に押し込まれ、プランジャー１２の摺動部１７及びコマ４８が傾いた状態を示している。図２０に示すように、スプリング１４の付勢力が加わると第１の実施形態と同様にコマ４８とプランジャー１２の摺動部１７が傾き摺動部１７の外周部の一部がバレル１３の内周部１３ａに接触し電気的に接続し導通経路が形成される。
【００７４】
また、本実施形態におけるコンタクトプローブ４１は、第１の実施形態と同様にプランジャー１２の摺動部１７とスプリング１４との間にコマ４８を設け、コマ４８の長さｇをプランジャー１２の往復動距離ｆに対応する値と同等の値に設定することにより、導通経路２０２の接点１０２と、摺動カス１９の滞留する滞留領域Ｎとを互いに離間した位置とすることができる。これによって、第１の実施形態と同様に摺動カス１９による接触不良が防止され、摺動部１７の外周部とバレル１３の内周部１３ａとの接触を確実にすることが出来る。また、本実施形態のコンタクトプローブ４１はコマ４８に曲面部４６ａ、４６ｂを設けることにより、バレル１３の内周部１３ａとコマ４８の外周部４８ｃとの接触面積を小さくして、コマ４８を摺動し易くすることができる。また、コマ４８の材質を導電性の合金材料とした場合には、摺動カス１９とのコマ４８との接触面積がより少なくなるため電気的特性がより安定化する。
【００７５】
本実施形態におけるコンタクトプローブ４１の耐久試験後の接触抵抗値は第１の実施形態と同様に、従来例に比較して約１／５に低減し、ばらつきの範囲は１／２０程度に低減することができた。以上のように、本実施形態におけるコンタクトプローブ４１は、第１の実施形態と同様に摺動カスによる接触不良が防止され、電気的接触を確実にすることが出来る。
【００７６】
なお、本実施形態においては、コンタクトプローブのコマの一方の端部の形状が平面または円錐形形状として説明したが、これに限定されるものではなく例えば半球状形状等でも良い。
【００７７】
また、本実施形態のコンタクトプローブのバレル外径については、８００μｍ以上の場合にも耐久試験後の接触抵抗値を従来例と比較して小さくすることができるが、バレル外径が８００μｍ以下で大きな効果が得られ、特に３００μｍ以下の極小径の場合に顕著な効果が得られる。
【００７８】
また、各実施形態におけるプランジャー、スプリングについては、特に記載してないが従来と同様の材料を用いたものを採用した。
【００７９】
また、各実施形態におけるコンタクトプローブについては、片側可動タイプを例に説明したが、これに限定されるものではなく両側タイプの場合も同様な効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００８０】
１０、１１、２１、３１、４１  コンタクトプローブ
１２、２２、３２  プランジャー
１３、２３、３３  バレル
１３ａ、２３ａ、３３ａ  バレルの内周部
１３ｂ  窪み
１４    スプリング  
１５、２５、３５  プランジャーの接触部
１６  細径部
１７、２７、３７、１７１、１７２  摺動部
１７ａ、２７ａ、３７ａ  段部
１７ｂ、１７ｃ、２７ｂ、３７ｂ  端部
１８、２８、３８、４８  コマ
１８ａ、２８ａ、３８ａ、４８ａ  コマの他方の端部 
１８ｂ、１８ｄ、２８ｂ、３８ｂ、４８ｂ  コマの一方の端部
２８ｃ、３８ｃ、４８ｃ  外周部
２３ｂ  鍔部
３６  凹部
４６ａ  他方の曲面部
４６ｂ  一方の曲面部  
１０１、１０２、１０３  接点
２０２、２０２、２０３  導通径路
【図１】
2010266373.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2010266373.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
2010266373.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2010266373.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
2010266373.tif 000023
【図２２】
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【図２３】
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