(57)【要約】【課題】耐圧性やこれに伴う検出精度の問題を招来することなく十分な感度を確保すること。【解決手段】第１圧力室１０Ａ及び第２圧力室１０Ｂを有した圧力容器１と、第１圧力室１０Ａ及び第２圧力室１０Ｂに圧力差が生じた場合に移動する態様で第２圧力室１０Ｂに配設した永久磁石５２と、圧力容器１の外部において永久磁石５２の移動を検出するホール素子６０とを備えた差圧センサにおいて、第２圧力室１０Ｂを構成する壁の外表面にホール素子６０を直接配設している。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１圧力室及び第２圧力室を有した圧力容器と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に圧力差が生じた場合に移動する態様で前記第２圧力室に配設した永久磁石と、前記圧力容器の外部において前記永久磁石の移動を検出する磁気検出素子とを備えた差圧センサにおいて、
前記圧力容器を構成する壁の外表面から第２圧力室に向けて嵌合凹部を形成し、この嵌合凹部において第２圧力室との間に位置する壁の外表面に前記磁気検出素子を直接配設したことを特徴とする差圧センサ。
【請求項２】
前記第２圧力室を構成する壁の外表面において前記磁気検出素子を配設する領域に直付凹部を形成したことを特徴とする請求項１に記載の差圧センサ。
【請求項３】
前記第２圧力室を構成する壁の内表面において前記永久磁石が移動する領域に対向する部位に磁石移動用凹部を形成し、少なくとも一部がこの磁石移動用凹部の内部を通過する態様で前記永久磁石を配設したことを特徴とする請求項１に記載の差圧センサ。
【請求項４】
前記磁気検出素子を覆う態様で前記圧力容器の外表面に配設したケース部材と、
前記磁気検出素子を取り囲む態様でこれら圧力容器及びケース部材の間に介在させたシール部材と
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の差圧センサ。
【請求項５】
前記磁気検出素子を覆い、かつ該磁気検出素子のリードを貫通させる態様で前記圧力容器の外表面に配設したケース部材と、
前記ケース部材の外表面において前記リードを通じて前記磁気検出素子に接続した回路基板及び信号ケーブルと、
前記ケース部材の外表面、前記リード、前記回路基板及び前記信号ケーブルを被覆する態様で設けたモールド樹脂と、
前記モールド樹脂を覆う態様で前記ケース部材の外表面に配設した樹脂製のカバー部材と
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の差圧センサ。
【請求項６】
前記モールド樹脂は、
前記回路基板において前記リード及び前記信号ケーブルの接続部分を被覆する態様で設けた第１モールド樹脂層と、
前記第１モールド樹脂層の外表部において前記信号ケーブルと前記ケース部材との間を被覆する態様で設けた第２モールド樹脂層と
を有し、かつ前記第１モールド樹脂層は前記第２モールド樹脂層よりも軟質の材料によって構成したことを特徴とする請求項５に記載の差圧センサ。
【請求項７】
前記嵌合凹部に嵌合する態様で前記ケース部材を圧力容器に配設したことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の差圧センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１圧力室及び第２圧力室を有した圧力容器と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に圧力差が生じた場合に移動する態様で前記第２圧力室に配設した永久磁石と、前記圧力容器の外部において前記永久磁石の移動を検出する磁気検出素子とを備えた差圧センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の差圧センサとしては、例えば特許文献１に差圧センサとして提供されたものがある。この差圧センサでは、圧力容器の内部に第１圧力室及び第２圧力室が設けられている。これら２つの圧力室は、ダイヤフラムによって仕切られた空間である。ダイヤフラムの中央部分には、円柱状の押圧部が一体に形成されている。
【０００３】
第２圧力室には、押圧バネを介して永久磁石が配設されている。押圧バネは、ダイヤフラムに向けて凸となるように湾曲状に構成された板バネであり、その湾曲部がダイヤフラムの押圧部に当接されている。永久磁石は、押圧バネの湾曲部から延在した舌片部の先端に保持されており、押圧バネが変形した場合に圧力容器に対して移動するものである。
【０００４】
一方、圧力容器の外表部には、上述した永久磁石の磁界を検出することのできる位置に磁気検出素子が設けられている。磁気検出素子は、例えば磁界の変化を電気信号に変換するホールＩＣである。この磁気検出素子は、磁気検出回路が構成された回路基板及び検出信号を出力する信号ケーブルとともに予めユニット化されてケースの内部に収容され、ケースを介して圧力容器に配設されている。
【０００５】
上記のように構成された差圧センサでは、第１圧力室及び第２圧力室にそれぞれ測定対象となる油圧が供給されると、その差圧に応じてダイヤフラムが変形することになる。ダイヤフラムが変形すると、押圧部を介して押圧バネが弾性的に変形し、舌片部に保持された永久磁石が移動するため、磁気検出素子によってこれを検出できるようになる。
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００８／０９３５２６号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、この種の差圧センサでは、磁気検出素子の感度を考慮した場合、永久磁石との間隙を無闇に大きく設定することはできず、磁気検出素子及び永久磁石の相互間隙を所定の閾値以下に設定する必要がある。上述した特許文献１の差圧センサの場合には、磁気検出素子と永久磁石との間に設定された間隙に圧力容器の壁とケースの壁とが介在する構成であるため、ケースの壁を考慮して圧力容器の壁をさらに薄く設定しなければならないことになる。
【０００８】
ここで、永久磁石と磁気検出素子との間に位置する圧力容器の壁は、第２圧力室を構成するものであり、差圧を検出する場合に油圧が加えられる部分である。このため、磁気検出素子の感度を確保すべく圧力容器の壁を薄く構成した場合には、撓み量が大きくなる等、耐圧性の点で問題を生じる恐れがある。さらに、圧力容器の壁が撓んだ場合には、磁気検出素子と永久磁石との相互間隙も変化することになり、磁気検出素子の検出精度にも影響を与えることになる。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みて、耐圧性やこれに伴う検出精度の問題を招来することなく十分な感度を確保することのできる差圧センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に係る差圧センサは、第１圧力室及び第２圧力室を有した圧力容器と、前記第１圧力室及び前記第２圧力室に圧力差が生じた場合に移動する態様で前記第２圧力室に配設した永久磁石と、前記圧力容器の外部において前記永久磁石の移動を検出する磁気検出素子とを備えた差圧センサにおいて、前記圧力容器を構成する壁の外表面から第２圧力室に向けて嵌合凹部を形成し、この嵌合凹部において第２圧力室との間に位置する壁の外表面に前記磁気検出素子を直接配設したことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項２に係る差圧センサは、上述した請求項１において、前記第２圧力室を構成する壁の外表面において前記磁気検出素子を配設する領域に直付凹部を形成したことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項３に係る差圧センサは、上述した請求項１において、前記第２圧力室を構成する壁の内表面において前記永久磁石が移動する領域に対向する部位に磁石移動用凹部を形成し、少なくとも一部がこの磁石移動用凹部の内部を通過する態様で前記永久磁石を配設したことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項４に係る差圧センサは、上述した請求項１において、前記磁気検出素子を覆う態様で前記圧力容器の外表面に配設したケース部材と、前記磁気検出素子を取り囲む態様でこれら圧力容器及びケース部材の間に介在させたシール部材とをさらに備えることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項５に係る差圧センサは、上述した請求項１において、前記磁気検出素子を覆い、かつ該磁気検出素子のリードを貫通させる態様で前記圧力容器の外表面に配設したケース部材と、前記ケース部材の外表面において前記リードを通じて前記磁気検出素子に接続した回路基板及び信号ケーブルと、前記ケース部材の外表面、前記リード、前記回路基板及び前記信号ケーブルを被覆する態様で設けたモールド樹脂と、前記モールド樹脂を覆う態様で前記ケース部材の外表面に配設した樹脂製のカバー部材とをさらに備えることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項６に係る差圧センサは、上述した請求項５において、前記モールド樹脂は、前記回路基板において前記リード及び前記信号ケーブルの接続部分を被覆する態様で設けた第１モールド樹脂層と、前記第１モールド樹脂層の外表部において前記信号ケーブルと前記ケース部材との間を被覆する態様で設けた第２モールド樹脂層とを有し、かつ前記第１モールド樹脂層は前記第２モールド樹脂層よりも軟質の材料によって構成したことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項７に係る差圧センサは、上述した請求項４または請求項５において、前記嵌合凹部に嵌合する態様で前記ケース部材を圧力容器に配設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、永久磁石と磁気検出素子との間に第２圧力室を構成する壁のみが介在されることになる。このため、磁気検出素子と永久磁石との間隙を上限として第２圧力室の壁の厚さ寸法を確保することができるようになる。これにより、磁気検出素子の感度を考慮して磁気検出素子と永久磁石との間隙が設定された場合にも、第２圧力室の壁に耐圧性を確保することができるようになり、撓み量が増大する事態を抑え、磁気検出素子の検出精度が低下する事態を防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る差圧センサの好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】
図１〜図１１は、本発明の実施の形態である差圧センサを示したものである。ここで例示する差圧センサは、例えば油圧回路においてオイルフィルタの上流側と下流側との圧力の差を検出する場合に適用されるもので、外形が直方体状の圧力容器１を備えている。
【００２０】
圧力容器１は、非磁性の金属、例えばＡＤＣ−１２等のアルミニウム合金によって成形したもので、図９及び図１０に示すように、その内部にチャンバ１０を有している。チャンバ１０は、圧力容器１の上面及び下面にそれぞれ開口した中空部分である。
【００２１】
チャンバ１０の上端部には、その内部を上下に仕切る態様でダイヤフラム２０が配設してある。ダイヤフラム２０は、図４、図９及び図１０に示すように、周縁部に厚肉部２０ａを構成した円板状を成し、その中心部下面に円柱状の押圧部２０ｂを有したもので、ゴム等の弾性部材によって一体に成形してある。押圧部２０ｂの下端には、キャップ２１が装着してある。キャップ２１は、押圧部２０ｂよりも硬質で摩擦係数の小さい樹脂材料によって成形したものである。
【００２２】
このダイヤフラム２０は、周縁の厚肉部２０ａをチャンバ１０の上方部に設けた段部に載置させた後、チャンバ１０の上端部に樹脂製の内蓋部材３０を配設することにより厚肉部２０ａを介して圧力容器１に挟持してある。ダイヤフラム２０に外力が作用していない場合には、自身の弾性力によって押圧部２０ｂが上方側に位置しており、図９及び図１０に示すように、中央部の上面が内蓋部材３０の下面に当接した状態に維持される。これに対してダイヤフラム２０に上方から押圧力を加えれば、弾性的に変形し、図１１に示すように、押圧部２０ｂが軸心方向に沿って下方に移動する。ダイヤフラム２０の外力を除去すれば、自身の弾性復元力によって押圧部２０ｂが上方に移動し、再び図９及び図１０に示すように、中央部の上面が内蓋部材３０の下面に当接した状態に復帰することになる。
【００２３】
図４、図９及び図１０に示すように、チャンバ１０の上端部に配設した内蓋部材３０には、連通孔３１、連絡溝３２及び導入孔３３が形成してある。連通孔３１は、チャンバ１０のほぼ中央となる部位に貫設したスリット状の開口であり、チャンバ１０においてダイヤフラム２０よりも上方に位置する領域（以下、「第１圧力室１０Ａ」という）と圧力容器１の外部とを連通している。連絡溝３２は、内蓋部材３０の上端面において連通孔３１を含む部位から径外方向に向けて延在した凹所である。連絡溝３２の延在端部は、チャンバ１０を超えた位置まで達している。導入孔３３は、図４及び図５に示すように、連絡溝３２の延在端部に貫設した小径の開口であり、その下端部が高圧導入通路４０の上端に連絡している。高圧導入通路４０は、圧力容器１に形成した油通路であり、チャンバ１０に近接する部位において圧力容器１の下面に開口している。この高圧導入通路４０には、その途中にフィルタ４１が設けてあるとともに、フィルタ４１を支持するためのスペーサ４２が下端部に装着してある。
【００２４】
この内蓋部材３０は、外蓋部材２を圧力容器１の上面に取り付けることにより、これら圧力容器１と外蓋部材２との間に挟装保持させてある。内蓋部材３０の外周囲には、外蓋部材２と圧力容器１との間にＯリング３が装着してある。外蓋部材２を取り付けた状態においては、内蓋部材３０に設けた連通孔３１、連絡溝３２及び導入孔３３の開口が閉塞されることになり、これら連通孔３１、連絡溝３２及び導入孔３３によって高圧導入通路４０から第１圧力室１０Ａに至る油通路が構成されることになる。
【００２５】
一方、図３、図８〜図１１に示すように、圧力容器１のチャンバ１０においてダイヤフラム２０よりも下方に位置する領域（以下、「第２圧力室１０Ｂ」という）には、バネ部材５０が収容してある。バネ部材５０は、板バネを１回螺旋状に巻回して構成したものである。本実施の形態では、バネ部材５０としてステンレスバネ材（ＳＵＳ３０１−ＣＳＰ）によって成形したものを適用している。このバネ部材５０は、巻回部分の外周部がダイヤフラム２０の押圧部２０ｂに装着したキャップ２１の下端面に当接した状態で、その両端部を介して圧力容器１に固定してある。
【００２６】
上述したバネ部材５０には、舌片部５１が設けてある。舌片部５１は、バネ部材５０においてキャップ２１の下端面に当接する部位の側縁部から側方に向けて漸次下方に湾曲した後、下方に向けて延在するもので、その下端部に永久磁石５２を保持している。永久磁石５２は、舌片部５１よりも僅かに幅の大きな直方体状に構成してあり、舌片部５１において第２圧力室１０Ｂの内壁面に近接した部位に固定してある。本実施の形態では、永久磁石５２としてネオジウム磁石を適用している。
【００２７】
図３、図８及び図１０からも明らかなように、圧力容器１には、第２圧力室１０Ｂを構成する壁の内表面に上下方向に沿って磁石移動用凹部１１が形成してある。磁石移動用凹部１１は、永久磁石５２よりも僅かに大きな幅に形成してあり、その内部に永久磁石５２及び舌片部５１の下端部を収容している。
【００２８】
さらに、上記差圧センサには、図６〜図１１に示すように、圧力容器１の外表面に嵌合凹部１２が設けてある。嵌合凹部１２は、横断面が横長の楕円形状を成す凹所であり、圧力容器１を構成する壁の外表面において磁石移動用凹部１１に対応する位置から第２圧力室１０Ｂに向けて形成してある。この嵌合凹部１２の内部には、ホール素子６０及びケース部材７０が配設してある。
【００２９】
ホール素子６０は、第２圧力室１０Ｂの内部に配設した永久磁石５２の磁界を検出するための磁気検出素子であり、図６及び図１２に示すように、矩形状のパッケージ６１と、パッケージ６１の端面から延出された３本のリード６２とを有している。このホール素子６０は、図６〜図１１に示すように、嵌合凹部１２に形成した直付凹部１３の内部に配設してある。直付凹部１３は、ホール素子６０のパッケージ６１を唯一収容することのできる大きさを有した矩形状の凹所であり、嵌合凹部１２の奥壁において第２圧力室１０Ｂに形成した磁石移動用凹部１１に対応する部位に形成してある。
【００３０】
ケース部材７０は、圧力容器１の嵌合凹部１２に嵌合する横断面形状を有し、先端部が閉塞する一方、基端部が開口したものである。このケース部材７０は、先端面と嵌合凹部１２の奥壁との間にＯリング（シール部材）４を介在させた状態で嵌合凹部１２に嵌合し、さらにネジ５によって圧力容器１に固定してある。図には明示していないが、ケース部材７０の先端面に設けたＯリング４は、ケース部材７０の外周を囲繞するように設けてあり、ホール素子６０の周囲全周を取り囲んでいる。
【００３１】
ケース部材７０には、回路基板７１及び３本の信号ケーブル７２が取り付けてある。これら回路基板７１及び信号ケーブル７２は、ホール素子６０から出力された電気信号を適宜処理した後、外部に出力するためのものである。ホール素子６０から延在する３本のリード６２は、それぞれケース部材７０に設けた挿通孔を介してケース部材７０を貫通し、回路基板７１に電気的に接続してある。信号ケーブル７２は、グロメット（カバー部材）８０によって束ねられており、ケース部材７０の基端側からその内部に延在して個々の導線が回路基板７１に電気的に接続してある。グロメット８０は、基端部側からケース部材７０に装着することによってその開口を閉塞するカバー部材であり、ゴム等の比較的柔軟性を有した樹脂材料によって成形してある。
【００３２】
図からも明らかなように、ケース部材７０とグロメット８０とによって囲まれる空間の内部には、モールド樹脂９０が充填してある。モールド樹脂９０は、回路基板７１においてホール素子６０のリード６２との接続部及び信号ケーブル７２の導線との接続部を被覆する第１モールド樹脂層９１と、第１モールド樹脂層９１の外表部において信号ケーブル７２とケース部材７０との間を被覆する第２モールド樹脂層９２とを有したものである。第１モールド樹脂層９１は、軟質の樹脂材によって構成してある。第２モールド樹脂層９２は、硬質であり、第１モールド樹脂層９１の外表部において信号ケーブル７２とケース部材７０との間を強固に被覆している。
【００３３】
図１２〜図１５は、上述した嵌合凹部１２にホール素子６０及びケース部材７０を取り付ける手順を示したものである。まず、図１２に示すように、嵌合凹部１２の奥壁に形成した直付凹部１３に接着剤を用いてホール素子６０のパッケージ６１を直接接着し、これを固定する。この場合、ホール素子６０の３本のリード６２を予め曲折し、直付凹部１３に配設された場合に嵌合凹部１２の開口側に向けて延在するようにしておくことが好ましい。また、直付凹部１３にホール素子６０を装着する接着剤は、後述するモールド樹脂９０を充填するまでの仮止めの役割を果たすものであり、その他の方法に代えても構わない。
【００３４】
次いで、図１３に示すように、Ｏリング４を装着した状態でケース部材７０を嵌合凹部１２に嵌合挿入するとともに、ケース部材７０に回路基板７１を配設する。さらに、図１４に示すように、回路基板７１及びケース部材７０を介して圧力容器１にネジ５を締結することにより、回路基板７１及びケース部材７０を圧力容器１に固定するとともに、ケース部材７０に形成した挿通孔を通じてホール素子６０のリード６２を回路基板７１に挿通させ、ハンダによってリード６２と回路基板７１とを電気的に接続する。
【００３５】
この状態から、図１５に示すように、ケース部材７０の内部にモールド樹脂９０（９１）を充填し、回路基板７１においてホール素子６０のリード６２との接続部及び信号ケーブル７２の導線との接続部を被覆する第１モールド樹脂層９１を構成する。第１モールド樹脂層９１が硬化した後、グロメット８０をケース部材７０の開口を閉塞し、グロメット８０の樹脂充填孔８１からモールド樹脂９０（９２）を充填することによって第１モールド樹脂層９１の外表部に信号ケーブル７２とケース部材７０との間を被覆する第２モールド樹脂層９２を構成する。
【００３６】
上記のように構成した差圧センサは、例えば、高圧導入通路４０を通じて第１圧力室１０Ａを油圧回路の高圧側に接続する一方、圧力容器１の底面に形成した開口を通じて第２圧力室１０Ｂを油圧回路の低圧側に接続して用いる。油圧回路の高圧側と低圧側とに差圧が生じると、その差圧に応じてダイヤフラム２０が動作し、押圧部２０ｂがその軸心方向に沿って移動することになる。ダイヤフラム２０の押圧部２０ｂが移動すると、キャップ２１を介してこれに接触するバネ部材５０が弾性的に変形することになり、その舌片部５１に保持させた永久磁石５２の位置が圧力容器１に対して変位する。第２圧力室１０Ｂに配設した永久磁石５２の変位は、圧力容器１の外部に配設したホール素子６０によって検出され、その検出信号が信号ケーブル７２を通じて外部に出力されることになる。
【００３７】
ここで、上述の差圧センサによれば、圧力容器１の外表面に直接ホール素子６０を接着して固定するようにしているため、永久磁石５２とホール素子６０との間には第２圧力室１０Ｂを構成する壁のみが介在されることになる。
【００３８】
このため、ホール素子６０と永久磁石５２との間隙を上限として第２圧力室１０Ｂの壁の厚さ寸法を可及的に大きく確保することができる。これにより、ホール素子６０の感度を考慮してホール素子６０と永久磁石５２との間隙を小さく設定した場合にも、第２圧力室１０Ｂの壁に十分な耐圧性を確保することができるようになり、撓み量が増大する事態を抑え、ホール素子６０の検出精度が低下する事態を防止することが可能となる。
【００３９】
しかも、上記差圧センサおいては、圧力容器１の外表面に形成した直付凹部１３にホール素子６０を配設するとともに、第２圧力室１０Ｂの内壁に形成した磁石移動用凹部１１に永久磁石５２を収容させるようにしている。つまり、圧力容器１の壁においてホール素子６０と永久磁石５２との間に位置する部分のみを薄肉に構成してホール素子６０の感度を確保する一方、その周囲に十分な厚さ寸法を確保することができるため、耐圧性の点で一層有利となる。
【００４０】
また、圧力容器１の外表面に配設したホール素子６０に対しては、これを覆う態様でケース部材７０を配設するとともに、ケース部材７０を圧力容器１との間にシール部材であるＯリング４を設けているため、防水性の点で問題が生じる恐れがない。
【００４１】
一方、ケース部材７０に配設した回路基板７１については、ホール素子６０のリード６２との接続部及び信号ケーブル７２の導線との接続部を被覆する態様でモールド樹脂９０を充填している。従って、これらの電気的接続部についても防水性の点で問題が生じる恐れはない。
【００４２】
さらに、上記差圧センサのモールド樹脂９０は、回路基板７１においてホール素子６０のリード６２との接続部及び信号ケーブル７２の導線との接続部を被覆する第１モールド樹脂層９１と、第１モールド樹脂層９１の外表部において信号ケーブル７２とケース部材７０との間を被覆する第２モールド樹脂層９２とを備え、かつ第２モールド樹脂層９２よりも軟質の樹脂材によって第１モールド樹脂層９１を構成してある。従って、例えば差圧センサの圧力容器１に振動や衝撃等の外力が作用した場合にも、第１モールド樹脂層９１によってこれが緩衝されることになり、ハンダ部分に剥離が生じる等の問題を招来する恐れがない。一方、第１モールド樹脂層９１に被覆した第２モールド樹脂層９２は硬質であり、第１モールド樹脂層９１の外表部において信号ケーブル７２とケース部材７０との間を強固に被覆しているため、信号ケーブル７２に引張力が作用した場合にも容易に脱落する恐れがない。
【００４３】
特に、上記差圧センサでは、図１０、図１１、図１３〜図１５に示すように、ケース部材７０の内表面において第２モールド樹脂層９２が充填される部位に三角状の凹溝７０ａが形成してある。従って、第２モールド樹脂層９２が硬化した後においては、この凹溝７０ａの部分で両者が係合することになり、ケース部材７０からモールド樹脂９０が脱落し難い状態となる。さらに、グロメット８０に形成した樹脂充填孔８１については、図８、図１４、図１５に示すように、外方に向けて漸次内径が拡大するように構成してある。従って、第２モールド樹脂層９２に対してグロメット８０が容易に脱落する事態を防止することができるようになる。
【００４４】
尚、上述した実施の形態では、圧力容器１を金属によって構成するようにしているが、必ずしも金属である必要はなく、樹脂材料によって構成しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態である差圧センサの外観を示す側面図である。
【図２】図１における矢視 II 図である。
【図３】図１に示した差圧センサの外観を示す底面図である。
【図４】図１における IV−IV 線断面図である。
【図５】図４における V−V 線断面図である。
【図６】図１における VI−VI 線断面図である。
【図７】図１における VII−VII 線断面図である。
【図８】図１における VIII−VIII 線断面図である。
【図９】図１における IX−IX 線断面図である。
【図１０】図１に示した差圧センサの断面側面図である。
【図１１】図１に示した差圧センサの断面側面図であり、第１圧力室と第２圧力室とに差圧が発生した状態を示すものである。
【図１２】図１に示した差圧センサにおいて圧力容器に磁気検出素子を取り付ける状態を示す断面平面図である。
【図１３】図１に示した差圧センサにおいて圧力容器に磁気検出素子を取り付けた後にケース部材７０を挿入する状態を示す断面平面図である。
【図１４】図１に示した差圧センサにおいて圧力容器に磁気検出素子を取り付けた後にケース部材７０を取り付ける状態を示す断面平面図である。
【図１５】図１に示した差圧センサにおいてケース部材にモールド樹脂を充填した状態を示す断面平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１      圧力容器
４      Ｏリング
１０      チャンバ
１０Ａ      第１圧力室
１０Ｂ      第２圧力室
１１      磁石移動用凹部
１２      嵌合凹部
１３      直付凹部
２０      ダイヤフラム
２０ａ      厚肉部
２０ｂ      押圧部
２１      キャップ
５０      バネ部材
５１      舌片部
５２      永久磁石
６０      ホール素子
７０      ケース部材
７０ａ      凹溝
７１      回路基板
７２      信号ケーブル
８０      グロメット
８１      樹脂充填孔
９０      モールド樹脂
９１      第１モールド樹脂層
９２      第２モールド樹脂層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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