(57)【要約】【課題】所定の生産工程における納期遅延の発生を防止可能な生産管理装置を提供する。【解決手段】本発明の生産管理装置は、所定の生産工程を実施するテスタ３１Ａ〜３１Ｄに対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理装置４０であって、上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、上記製品のロットごとの納期情報を取得するトラベラー情報受信部４１と、上記取得した納期情報に基づき、上記テスタ３１Ａ〜３１Ｄに割り付ける製品のロットを決定するロット割付部４７と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理装置であって、
上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、
上記製品のロットごとの納期情報を取得する納期情報取得手段と、
上記取得した納期情報に基づき、上記生産装置に割り付ける製品のロットを決定する割付ロット決定手段と、を備えていることを特徴とする生産管理装置。
【請求項２】
上記所定の生産工程には、当該生産工程を実施する上記生産装置が複数設けられており、
上記複数の生産装置の各々は、製品の種別に応じて、当該生産装置に用いられる治具が交換されることにより、複数種の製品に対して上記所定の生産工程を実施可能であり、
当該生産管理装置は、上記複数の生産装置の各々に用いられている治具が対応する製品種別を示す対応製品情報を、上記複数の生産装置の各々より取得する対応製品情報取得手段を、さらに備え、
上記割付ロット決定手段は、上記対応製品情報および上記納期情報に基づき、上記生産装置の各々に割り付ける製品のロットを決定することを特徴とする、請求項１に記載の生産管理装置。
【請求項３】
上記請求項１または２に記載の生産管理装置を備えた生産システムであって、
上記生産装置と、
上記製品のロットごとの納期情報を、各ロットを識別するための識別情報に関連付けて読取る納期情報読取装置と、
上記納期情報が読取られた製品のロットを、上記生産装置に割り付けられるまで、上記ロットごとの識別情報に関連付けて保管する保管装置と、を備えていることを特徴とする生産システム。
【請求項４】
上記所定の生産工程には、当該生産工程を実施する上記生産装置が複数設けられており、
上記生産管理装置は、
上記複数の生産装置の各々が稼動しているか否かを示す稼動情報を、当該生産装置の各々より取得する稼動情報取得手段と、
上記稼動情報より、稼動していない生産装置が複数あるかを判定する稼動状況判定手段と、を備え、
上記稼動状況判定手段の判定結果が真であった場合に、上記割付ロット決定手段によって上記生産装置への割り付けが決定された製品のロットを、上記稼動していない生産装置の数以下の複数のロットに分割するロット分割装置を備えていることを特徴とする、請求項３に記載の生産システム。
【請求項５】
所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理方法であって、
上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、
上記ロットごとの納期情報を取得する納期情報取得工程と、
上記取得した納期情報に基づき、上記生産装置に割り付ける製品のロットを決定する割付ロット決定工程と、を有していることを特徴とする生産管理方法。
【請求項６】
請求項１または２に記載の生産管理装置を動作させる生産管理プログラムであって、コンピュータを上記各手段として機能させるための生産管理プログラム。
【請求項７】
請求項６に記載の生産管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理装置、当該生産管理装置を備えた生産システム、生産管理方法、生産管理プログラム、および当該生産管理プログラムを記録する記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体チップや液晶表示装置などの製品を生産する生産工場においては、製品を製造する製造工程や製品を検査する検査工程など、複数の生産工程を経て完成品が出荷される。また、このような生産工場においては、各生産工程における生産装置に、ロット単位で製品が割り付けられる。一般的な製品ロットの割り付け方法としては、所定の生産工程において、製品ロットは、当該生産工程に到着した順に生産装置に割り付けられる。
【０００３】
また、このような生産工場において、製品の受注から出荷までのリードタイムを短縮することは重要であり、従来、各生産工程間における製品ロットの投入制御を行い、言い換えれば、所定の生産工程における生産装置への製品ロットの割り付けを管理し、リードタイムを短縮する生産管理方法が知られている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、所定の生産工程において、当該生産工程を並列に実施可能な複数の生産装置を用いる場合に、複数の生産装置の各々における、割付候補のロットの処理開始時刻を推定し、この処理開始時刻が最も短い生産装置に、割付候補のロットを割り付けることにより、リードタイムを短縮する割付方法が開示されている。
【０００５】
また、他の例として、特許文献２には、各生産工程における生産装置の稼動状況から、次に処理される予定の後続製品を決定し、生産装置の稼働率を向上させる方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００７−１０２２８１号公報（２００７年４月１９日公開）
【特許文献２】特開２００７−３２４４５４号公報（２００７年１２月１３日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示された従来例は、生産のリードタイムの短縮や、各生産工程における生産装置の稼働率の向上を目的としたものであり、各生産工程に投入される製品ロットの納期を考慮したものではない。そのため、所定の生産工程における生産装置に対して、納期までの時間が短い製品ロットが、納期までの時間が長い製品ロットよりも後に、割り付けられることがあり、結果、納期遅延と呼ばれる納期に間に合わない製品が発生し得るという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、所定の生産工程における納期遅延の発生を防止可能な、生産管理装置、生産管理システム、生産管理方法、生産管理プログラム、および当該生産管理プログラムを記録する記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に生産管理装置は、上記の課題を解決するために、
所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理装置であって、上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、上記製品のロットごとの納期情報を取得する納期情報取得手段と、上記取得した納期情報に基づき、上記生産装置に割り付ける製品のロットを決定する割付ロット決定手段と、を備えていることを特徴としている。
【０００９】
上記の構成によれば、所定の生産工程において、前工程から製品が到着すると、納期情報取得手段は、製品のロット（以下、製品ロットと称する）ごとに設定されている納期情報を読取る。さらに、割付ロット決定手段は、生産装置に割り付ける製品ロット（割付ロットと称する）を決定する際、製品ロットごとの納期情報に基づいて、複数の製品ロットから１つの製品ロットを選択し、割付ロットを決定する。
【００１０】
したがって、割付ロット決定手段は、納期までの時間が短い製品ロットを、優先的に生産装置に割り付けることが可能となり、結果、納期までの時間が短い製品ロットが、納期までの時間が長い製品ロットよりも後に割り付けられることに起因する、製品の納期遅延の発生を防止できる。
【００１１】
以上より、本発明の生産管理装置は、所定の生産工程における納期遅延の発生を防止できるという効果を奏する。
【００１２】
また、本発明に係る生産管理方法は、上記の課題を解決するために、
所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理方法であって、上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、上記ロットごとの納期情報を取得する納期情報取得工程と、上記取得した納期情報に基づき、上記生産装置に割り付ける製品のロットを決定する割付ロット決定工程と、を有していることを特徴としている。
【００１３】
上記の構成によれば、本発明に係る生産管理装置と同様の効果を奏する。
【００１４】
また、本発明に係る生産管理装置は、さらに、
上記所定の生産工程には、当該生産工程を実施する上記生産装置が複数設けられており、上記複数の生産装置の各々は、製品の種別に応じて、当該生産装置に用いられる治具が交換されることにより、複数種の製品に対して上記所定の生産工程を実施可能であり、当該生産管理装置は、上記複数の生産装置の各々に用いられている治具が対応する製品種別を示す対応製品情報を、上記複数の生産装置の各々より取得する対応製品情報取得手段を、さらに備え、上記割付ロット決定手段は、上記対応製品情報および上記納期情報に基づき、上記生産装置の各々に割り付ける製品のロットを決定することが好ましい。
【００１５】
上記構成によれば、所定の生産工程を実施する複数の生産装置の各々は、生産対象となる製品の種別に応じて、治具が交換されることにより、複数種の製品を生産することが可能となる。しかしながら、生産装置における治具の交換には、いくらかの時間を要する。
【００１６】
ここで、割付ロット決定手段は、各生産装置の対応製品情報と、製品ロットごとの納期情報とに基づき、生産装置に割り付けるロットを決定するため、納期までの時間が短い製品ロットを、治具の交換が必要ない生産装置に割り付けることが可能となり、結果、生産装置における治具交換に要する時間を省くことが可能となり、生産装置の稼働率を向上させることができる。
【００１７】
例をあげて説明すると、まず、所定の生産工程において、製品ロットａ、製品ロットｂ、および製品ロットｃの３種類の製品を生産するものとし、当該生産工程には、２つの生産装置ＡおよびＢが備えられているとする。
【００１８】
ここで、生産装置ＡおよびＢが共に待機中であり、さらに、生産装置Ａが製品ロットａの製品種別に対応する治具を備えており、生産装置Ｂが製品ロットｂの製品種別に対応する治具を備えているとすると、製品ロットａを生産装置Ａに割り付けた場合は、生産装置Ａにおいて治具交換は必要ないものの、生産装置Ｂにおいては、製品ロットｂに対応する治具から、製品ロットａに対応する治具に交換されることになる。
【００１９】
ここで、製品ロットａおよびｂの納期までの時間が、製品ロットｃの納期までの時間より短い場合、割付ロット決定手段は、対応製品情報および納期情報に基づいて、生産装置Ａに製品ロットａを割り付け、生産装置Ｂに製品ロットｂを割り付けることができ、結果、生産装置ＡおよびＢの治具交換に要する時間を省くことになり、生産装置ＡおよびＢの稼働率を向上させることができる。
【００２０】
また、本発明に係る生産システムは、上記の課題を解決するために、
本発明に係る生産管理装置を備えた生産システムであって、上記生産装置と、上記製品のロットごとの納期情報を、各ロットを識別するための識別情報に関連付けて読取る納期情報読取装置と、上記納期情報が読取られた製品のロットを、上記生産装置に割り付けられるまで、上記ロットごとの識別情報に関連付けて保管する保管装置と、を備えていることを特徴としている。
【００２１】
上記の構成によれば、所定の生産工程において、前工程より製品ロットが到着すると、納期情報読取装置は、到着した製品ロット設定された納期情報を、当該製品ロットと他の製品ロットとを識別する識別情報に関連付けて読取る。納期情報を読取られた製品ロットは、生産管理装置によって生産装置に割り付けられるまで、自身の識別情報に関連付けられて保管装置に保管される。
【００２２】
このように、保管装置に保管されている製品ロットの各々は、自身の識別情報と関連付けて保管されているため、生産管理装置は、上記の識別情報を参照して、保管装置に保管されている製品ロットを個別に管理できる。
【００２３】
また、本発明の生産システムは、本発明に係る生産管理装置を備えているため、本発明に係る生産管理装置と同様の効果を奏する。
【００２４】
また、本発明に係る生産システムは、さらに、
上記所定の生産工程には、当該生産工程を実施する上記生産装置が複数設けられており、上記生産管理装置は、上記複数の生産装置の各々が稼動しているか否かを示す稼動情報を、当該生産装置の各々より取得する稼動情報取得手段と、上記稼動情報より、稼動していない生産装置が複数あるかを判定する稼動状況判定手段と、を備え、上記稼動状況判定手段の判定結果が真であった場合に、上記割付ロット決定手段によって上記生産装置への割り付けが決定された製品のロットを、上記稼動していない生産装置の数以下の複数のロットに分割するロット分割装置を備えていることが好ましい。
【００２５】
上記構成によれば、生産管理装置は、複数の生産管理装置の稼動状況を示す稼動情報を取得し、稼動していない待機中の生産装置が複数あるか否かを判定することができる。
【００２６】
ここで、生産管理装置が、待機中の生産装置が複数あることを検出した場合、生産装置への割付が決定された製品ロットは、ロット分割装置によって、待機中の生産装置の数に応じたロット数に分割される。
【００２７】
このように、ロット分割装置が、１つの製品ロットを複数の製品ロットに分割することにより、分割された製品ロット（以下、分割ロットとする）は、複数の生産装置の各々に割り付けられる。つまり、１つの製品ロットは、複数の生産装置によって並列に処理されることになる。
【００２８】
なお、生産管理装置は、製品ロットごとの納期情報に基づき、生産装置に割り付ける製品のロットを決定していることから、納期までの時間が短い製品のロットを、優先的に、生産装置へ割り付ける。
【００２９】
つまり、上記構成を備えた生産システムは、待機中の生産装置が複数ある場合に、納期までの時間が短い製品のロットを、複数の生産装置によって並列に処理することができ、結果、所定の生産工程における、納期までの時間が短い製品のロットの処理時間を短くすることが可能となる。
【００３０】
（プログラムおよび記録媒体）
なお、上記生産管理装置は、コンピュータによって実現してもよい。この場合、コンピュータを上記各手段として動作させることにより上記生産管理装置をコンピュータにおいて実現する生産管理プログラム、およびその生産管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の生産管理装置では、以上のように、所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理装置であって、上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、上記製品のロットごとの納期情報を取得する納期情報取得手段と、上記取得した納期情報に基づき、上記生産装置に割り付ける製品のロットを決定する割付ロット決定手段と、を備えている。
【００３２】
また、本発明の生産システムは、上記生産管理装置を備えた生産システムであって、上記生産装置と、上記製品のロットごとの納期情報を、各ロットを識別するための識別情報に関連付けて読取る納期情報読取装置と、上記納期情報が読取られた製品のロットを、上記生産装置に割り付けられるまで、上記ロットごとの識別情報に関連付けて保管する保管装置と、を備えている。
【００３３】
また、本発明の生産管理方法は、所定の生産工程を実施する生産装置に対する、複数ロットの製品のロット単位での割り付けを管理する生産管理方法であって、上記製品には、当該製品の納期を示す納期情報がロット単位で予め設定されており、上記ロットごとの納期情報を取得する納期情報取得工程と、上記取得した納期情報に基づき、上記生産装置に割り付ける製品のロットを決定する割付ロット決定工程と、を有している。
【００３４】
したがって、本発明の生産管理装置、生産システム、および生産管理方法は、所定の生産工程における納期遅延の発生を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３６】
〔実施形態１〕
はじめに、図２を参照して、本発明の実施形態１に係る生産システム１００の構成について説明する。なお、本実施形態においては、半導体ウェハ（製品）の検査工程（所定の生産工程）の生産システムを、例にとって説明する。
【００３７】
図２は、半導体ウェハの検査工程を実施する生産システム１００の構成を示す模式図である。同図に示すように、生産システム１００が実施する検査工程は、概して、３つのサブシステム１０、２０、および３０に分かれており、各サブシステムに設けられた各装置を、生産管理装置４０が管理および制御することにより、検査工程を実施する。なお、図２においては、各サブシステムに設けられた各装置の物理的な移動を実線で示し、各装置と生産管理装置４０とにおいて送受信される信号の伝送経路を点線で示している。また、本実施形態においては、１つの半導体ウェハに２５０個の半導体チップが実装されており、さらに、２５枚の半導体ウェハを１つのロットとして、半導体ウェハロットが構成される。したがって、１つの半導体ウェハロットは、２５×２５０＝６２５０個の半導体チップを含んでいる。
【００３８】
なお、本実施形態に係る生産システム１００は、互いに異なる３つの種別の半導体ウェハロット５０ａ、５０ｂ、および５０ｃに対応する検査システムである。すなわち、半導体ウェハロット５０ａ、５０ｂ、および５０ｃの各々に含まれる半導体チップは、ウェハロットごとに種別が異なり、生産システム１００は、３つの種別の半導体チップを検査可能な検査システムである。以下の説明においては、ウェハロット５０ａに含まれる半導体チップを半導体チップａとし、ウェハロット５０ｂに含まれる半導体チップを半導体チップｂとし、ウェハロット５０ｃに含まれる半導体チップを半導体チップｃとする。さらに、以下の説明においては、さらにウェハロット５０ａ、５０ｂ、および５０ｃを総称する場合は、ウェハロット５０と称する。
【００３９】
（生産システム１００の検査工程）
図２に示す生産システム１００における検査工程の基本的な流れを説明すると、まず、当該生産システム１００の前工程において製造されたウェハロット５０をサブシステム１０において受け入れ、サブシステム２０において、受け入れが完了したウェハロット５０を一時保管する。サブシステム２０において一時保管されたウェハロット５０は、生産管理装置４０による制御のもと、移載機８１によって、サブシステム３０に設けられる４つの検査装置３１Ａ〜３１Ｂ（以下、テスタ３１Ａ〜３１Ｂと称し、総称する場合はテスタ３１と称する）のいずれかに割り付けられる。さらに、テスタ３１（生産装置）に割り付けられたウェハロット５０は、テスタ３１によって検査され、生産システム１００の次工程に移送される。なお、本実施形態においては、４つのテスタ３１を用いてウェハロット５０を検査する構成であるが、テスタ３１の数が１つ以上の構成も本発明の範疇に含まれる。
【００４０】
（サブシステム１０）
以下に、サブシステム１０、２０、および３０の詳細な説明を、サブシステム１０から順に説明する。まず、サブシステム１０において、生産システム１００の前工程よりウェハロット５０が、台車などの移送機であるビークル１２に乗って到着すると、ウェハロット５０のロットトラベラーに記録された情報を、トラベラー読取装置１１（納期情報読取装置）が読取る。このロットトラベラーとは、ウェハロット５０ごとに取り付けられており、ＩＣタグや２次元バーコードなどより構成される。また、このロットトラベラーには、取り付けられたウェハロットを構成する半導体ウェハの種別を示す「機種名」と、当該ウェハロット５０を識別するためのウェハロット５０ごとに固有の識別情報である「ロット番号」と、当該ウェハロット５０を構成する半導体ウェハの枚数を示す「ウェハ枚数」と、当該ウェハロット５０の「納期（納期情報）」と、当該ウェハロット５０をテスタ３１が検査する際に用いるプローブカードおよびテストボードを示す「プローブカード名」および「テストボード名」と、当該ウェハロット５０をテスタ３１が検査する際の環境温度を示す「検査温度」とが、記録されている。なお、以下の説明においては、ロットトラベラーに記録された上記の各情報を総称する場合、ロットトラベラー情報と称する。
【００４１】
ここで、トラベラー読取装置１１は、読取ったロットトラベラー情報を、生産管理装置４０に送信する。一方、ロットトラベラー情報を読取られたウェハロット５０は、移載機８１によってサブシステム２０に移送される。なお、図２に示す例では、生産システム１００の前工程よりウェハロット５０ａが到着し、このウェハロット５０ａが、ビークル１２に乗ったままトラベラー読取装置１１の前を通過することにより、自身のロットトラベラー情報が読取られ、その後、移載機８１によってサブシステム２０に移送される。なお、この移載機８１は、ウェハロット５０ａがロットトラベラー情報を読取られた後、当該ウェハロット５０ａを乗せたビークル１２が所定の位置に到着したことを感知し、当該ウェハロット５０ａをサブシステム２０に移送する機能を有している。
【００４２】
（サブシステム２０）
次に、サブシステム２０において、移載機８１が移送してきたウェハロット５０ａは、生産管理装置４０によってテスタ３１に割り付けられるまで、複数のウェハロット５０をロット単位で保管するロットストッカー２１（保管装置）に保管される。このロットストッカー２１は、複数のウェハロット５０を、ロット単位で保管するための複数の保管棚を備えており、各保管棚には保管棚ごとの位置を示すアドレス情報が予め付されている。ここで、移載機８１がロットストッカー２１の任意の保管棚に、移送してきたウェハロット５０を格納すると、ロットストッカー２１は、自身の保管棚に格納されたウェハロット５０のロット番号を、生産管理装置４０より取得し、取得したロット番号とウェハロット５０が格納された保管棚のアドレス情報とを関連付けて、生産管理装置４０に送信する。これにより、生産管理装置４０は、どのウェハロット５０が、ロットストッカー２１のどの保管棚に保管されているかを管理することが可能となる。なお、ここでは、移載機８１がウェハロット５０を任意の保管棚に格納し、ロットストッカー２１が、ウェハロット５０のロット番号と保管棚のアドレス情報とを関連付けて生産管理装置４０に送信する構成であるが、生産管理装置４０が移載機８１に、ウェハロット５０を格納する保管棚のアドレス情報を指示し、生産管理装置４０の指示に基づき、移載機８１が指示された保管棚にウェハロット５０を格納する構成であってもよい。この場合においても、生産管理装置４０は、ロットストッカー２１に保管されるウェハロット５０のロット番号と、保管棚のアドレス情報とを関連付けて管理することが可能となる。
【００４３】
次に、このロットストッカー２１に保管されたウェハロット５０は、移載機８２によって、サブシステム３０に移送される。この移載機８２は、生産管理装置４０からの指示に基づき動作するものであり、具体的には、生産管理装置４０が、特定の保管棚のアドレス情報を移載機８２に送信し、移載機８２は、送信されたアドレス情報の保管棚に保管されているウェハロット５０を、サブシステム３０に移送する。
【００４４】
（サブシステム３０）
次に、サブシステム３０において、移載機８２によって移送されてきたウェハロット５０は、ビークル３５に乗せられる。このビークル３５は、乗せられたウェハロット５０を、複数のテスタ３１のうち、どのテスタ３１に移送するかの指示を、生産管理装置４０より受けとる。ビークル３５は、生産管理装置４０からの指示に基づき、指定されたテスタ３１まで、自身に乗せられたウェハロット５０を搬送する。このビークル３５によって搬送されたウェハロット５０は、テスタ３１に付随する搬送装置（図示しない）によって自動的にテスタ３１にセットされる。
【００４５】
ここで、テスタ３１は、異なる機種のウェハロット５０ａ〜５０ｃの各々を検査するために、ウェハロット５０の機種に応じた治具を備える必要がある。例えば、テスタ３１において、検査対象のウェハロット５０が、ウェハロット５０ａからウェハロット５０ｂに変更になった場合、テスタ３１が備える治具も、ウェハロットの機種変更に伴い、変更される必要がある。
【００４６】
そこで、サブシステム３０においては、ウェハロット５０ａ〜５０ｃの各々に応じた治具であるプローブカード６０ａ〜６０ｃ（以下、総称する場合はプローブカード６０とする）、および、テストボード７０ａ〜７０ｃ（以下、総称する場合はテストボード７０とする）を保管する、プローブカードストッカー３６およびテストボードストッカー３７を備えている。さらに、移載機８３は、ビークル３５によるウェハロット５０の搬送に同期して、生産管理装置４０からの指示に基づき、ビークル３５によって搬送されるウェハロット５０の機種に応じたプローブカード６０およびテストボード７０を、プローブカードストッカー３６およびテストボードストッカー３７より取り出し、テスタ３１にセットする。
【００４７】
図２に示す例で言えば、ビークル３５によって、テスタ３１Ｃにウェハロット５０ａが搬送されるのと平行して、生産管理装置４０は、移載機８３に対して、ウェハロット５０ａに応じた治具であるプローブカード６０ａおよびテストボード７０ａをテスタ３１Ｃにセットする指示を出力する。移載機８３は、生産管理装置４０からの指示に基づき、プローブカード６０ａおよびテストボード７０ａをプローブカードストッカー３６およびテストボードストッカー３７より取り出し、テスタ３１Ｃにセットする。
【００４８】
次に、テスタ３１Ｃは、ウェハロット５０ａがセットされたことと、ウェハロット５０ａに対応するプローブカード６０ａおよびテストボード７０ａがセットされたこととを検知すると、ウェハロット５０ａの検査を開始する。さらに、テスタ３１Ｃは、検査開始と同時に、自身の稼動状況が「テスト中」であることを示す稼動情報を、生産管理装置４０に出力する。その後、テスタ３１は、自身にセットされたウェハロット５０の検査を完了すると、検査完了を示す信号を、ビークル３５に出力するとともに、自身の稼動状況が「テスト待ち」であることを示す稼動情報を、生産管理装置４０に出力し、次にウェハロット５０がセットされるまで待機する。一方、検査完了を示す信号を出力されたビークル３５は、当該信号を出力したテスタ３１まで移動し、当該信号を出力したテスタ３１にセットされているウェハロット５０を、生産システム１００の次工程に搬送する。
【００４９】
（テスタ３１の構成）
次に、テスタ３１における、ウェハロット５０の検査動作を、図３を参照して以下に説明する。図３は、ウェハロット５０がセットされたテスタ３１の構成を示す模式図である。
【００５０】
図３に示すように、テスタ３１には、セットされたウェハロット５０の機種に応じたプローブカード６０およびテストボード７０が取り付けられている。テスタ３１は、ウェハロット５０を検査する前に、例えば、ウェハロット５０がビークル３５によって搬送されている間に、予め生産管理装置４０より、当該検査を行うためのテストプログラムを取得する。なお、図３に示す例では、テスタ３１は、イーサネット（登録商標）を介して生産管理装置４０と接続している。
【００５１】
テスタ３１は、生産管理装置４０より取得したテストプログラムに基づいて、プローブカード６０およびテストボード７０を介して、ウェハロットを５０を構成する複数の半導体ウェハを、１枚ずつ検査する。
【００５２】
なお、本実施形態においては、生産システム１００に設けられた各装置（トラベラー読取装置１１、移載機８１、８２、および８３、ロットストッカー２１、ビークル１２および３５、テスタ３１）と、生産管理装置４０との通信手段は、赤外線を用いた無線通信や、イーサネット（登録商標）を用いた有線通信など、どのような通信手段であってもよい。
【００５３】
（生産管理装置４０の構成）
次に、図１、図４、および図５を参照して、生産管理装置４０の構成および動作処理を説明する。
【００５４】
図１は、生産管理装置４０の構成を示すブロック図である。図１に示すように、生産管理装置４０は、トラベラー読取装置１１からのロットトラベラー情報を含む信号（以下、トラベラー情報信号）を受信するトラベラー情報受信部４１（納期情報取得手段）と、ロットストッカー２１と通信を行うストッカー通信部４２と、テスタ３１Ａ〜３１Ｄの各々と通信を行うテスタ通信部４３（稼動情報取得手段）と、ウェハロット５０、プローブカード６０、およびテストボード７０の搬送指示を示す搬送指示信号を、移載機８１〜８３およびビークル３５に送信する搬送指示送信部４４と、テスタ通信部４３を介して取得した各テスタ３１の稼動状況を示す稼動情報を記憶する稼動情報管理部４５と、ストッカー通信部４２を介してロットストッカー２１に保管されているウェハロット５０のロット番号および保管棚のアドレス情報を記憶する、保管ロット管理部４６と、ロットストッカー２１に保管されているウェハロット５０のうち、各テスタ３１に割り付けるウェハロット５０を決定するロット割付部４７（割付ロット決定手段）と、生産管理部４８とを備えている。
【００５５】
（生産管理装置４０の動作）
図４は、生産管理装置４０における動作処理を示すフローチャート図であり、同図を参照して、生産管理装置４０における動作処理を説明する。
【００５６】
まず、ロット割付部４７は、生産管理部４８より、ウェハロット５０の種別ごとに、テスタ３１に割付が必要な半導体ウェハの枚数を示す情報を取得する（ステップ１：以下、Ｓ１と略称する）。ここで、ウェハロット５０のどの種別においても、テスタ３１への割付が不要な場合、ロット割付部４７は、自身の動作処理を終了する。一方、テスタ３１への割付が必要なウェハロット５０が存在する場合、ロット割付部４７は、Ｓ２に処理を移行する。なお、Ｓ１における処理の詳細な説明は後述とする。
【００５７】
次に、ロット割付部４７は、生産システム１００の前工程より新たにウェハロット５０（以下、新ロット５０と称する）が到着したか否かを検出する（Ｓ２）。具体的に説明すると、生産システム１００の前工程より、新たなウェハロット５０が到着すると、トラベラー読取装置１１は、新ロット５０のロットトラベラーよりロットトラベラー情報を読取り、トラベラー情報受信部４１に送信する。トラベラー情報受信部４１は、受信したロットトラベラー情報を、ロット割付部４７に出力することにより、ロット割付部４７は、生産システム１００の前工程より新ロット５０が到着したことを検知する。ロット割付部４７は、新ロット５０の到着を検知すると、新ロット５０のロットトラベラー情報を、自身の内部メモリに記録するとともに、新ロット５０のロット番号を、ストッカー通信部４２を介してロットストッカー２１に送信する。ロットストッカー２１は、移載機８１によって新ロット５０が格納された保管棚のアドレス情報と、ストッカー通信部４２から送信された新ロット５０のロット番号とを関連付けて、ストッカー通信部４２に送信する。保管ロット管理部４６は、この互いに関連付けられた新ロット５０のロット番号とアドレス情報とを、ストッカー通信部４２を介して取得し、自身の内部メモリに記録する。このように、保管ロット管理部４６は、前工程より新ロット５０が到着するごとに、新ロット５０のロット番号と、ロットストッカー２１の保管棚のアドレス情報とを互いに関連付けて記憶するため、保管ロット管理部４６は、ロットストッカー２１に保管される全てのウェハロット５０について、ロット番号と保管棚のアドレス情報とを関連付けて記録できることになる。なお、以下の説明においては、ロットストッカー２１に保管されているウェハロット５０を、保管ロット５０と略称する。
【００５８】
次に、保管ロット管理部４６が、新ロット５０のロット番号と保管棚のアドレス情報とを記録すると、ロット割付部４７は、保管ロット管理部４６より、全ての保管ロット５０のロット番号とアドレス情報とを読み出す。さらに、ロット割付部４７は、読み出した全ての保管ロット５０のロット番号を参照して、自身の内部メモリに記録しているロットトラベラー情報から、全ての保管ロット５０の納期を読み出す。ここで、ロット割付部４７は、読み出した納期と現在時刻との差より、保管ロット５０ごとの納期までの時間を算出し、納期までの時間が最も短い保管ロット５０から順に優先順位を付与し、優先順位が高い保管ロット５０から順に、テスタ３１への割付を行う。したがって、最も優先順位が高い保管ロット５０が、テスタ３１において優先的に検査されることになる。なお、ロット割付部４７は、最も優先順位が高い保管ロット５０を、Ｆｒｏｎｔｉｅｒロット（以下、Ｆロットと称する）と名づけ、自身の内部メモリに、このＦロットのロット番号を記録する（Ｓ３）。
【００５９】
次に、ロット割付部４７は、Ｆロットを選択済かどうか、つまり、Ｆロットのロット番号を、自身の内部メモリに記録済かどうかを検出する（Ｓ４）。ここで、Ｆロットのロット番号が記録済でない状況は、ロットストッカー２１に保管ロット５０が存在しないこと示す。すなわち、ロットストッカー２１に保管ロット５０が存在すれば、言い換えれば、検査待ちのウェハロット５０が存在すれば、Ｆロットは選択済の状態となる。ここで、Ｓ４において、Ｆロットが選択済でない場合は、生産管理装置４０の動作処理は、Ｓ２の処理に移行する。
【００６０】
次に、Ｓ４において、Ｆロットが選択済であった場合、ロット割付部４７は、稼動情報管理部４５より、テスタ３１Ａ〜３１Ｄが「テスト中」か「テスト待ち」の何れの状態にあるかを示す稼動情報を取得し、待機中のテスタ３１が存在するか否かを判定する（Ｓ５）。ここで、稼動情報管理部４５は、リアルタイムで、テスタ通信部４３を介して各テスタ３１の稼動状態を監視しており、各テスタ３１の稼動状態を示す「稼動情報」を、自身の内部メモリに記録している。また、稼動情報管理部４５は、各テスタ３１の稼動状態だけでなく、各テスタ３１に用いられている治具であるプローブカード６０およびテストボード７０が、ウェハロット５０のどの種別に対応するものであるかを示す「治具情報（対応製品情報）」と、各テスタ３１にインストールされているテストプログラムが、ウェハロット５０のどの種別に対応するものであるかを示す「対応種別情報（対応製品情報）」と、各テスタ３１における環境温度を示す「環境温度情報」とを、自身の内部メモリに記録している。なお、上記の「稼動情報」、「治具情報」、「対応種別情報」、および「環境温度情報」は、各テスタ３１において変更される度に、各テスタ３１によってテスタ通信部４３に送信される。
【００６１】
Ｓ５において、ロット割付部４７は、待機中のテスタ３１が少なくとも１つ以上あることを検出すると、待機中のテスタ３１に、既に選択済のＦロットを割り付ける割付処理を行う（Ｓ６）。Ｓ６の処理の後、ロット割付部４７は、Ｓ１の処理に移行する。なお、このＳ６における割付処理は、後ほど図５を参照して詳細に説明する。
【００６２】
（Ｓ１における動作）
以下に、Ｓ１における生産管理装置４０の動作処理を説明する。まず、生産管理部４８は、顧客からの受注に基づいて予め計画された生産計画の情報を取得している。例えば、５０，０００個の半導体チップａの受注を受けていた場合、上記の生産計画として、半導体チップａを５０，０００個生産することが、生産計画の情報に記録される。ここで、半導体チップの生産においては、１枚のウェハロットから、良品となる半導体チップが何個得られるかという「歩留まり」の問題がある。そこで、生産管理部４８は、各テスタ３１における検査結果を、テスタ通信部４３を介して各テスタ３１より取得し、この検査結果から、良品となる半導体チップが何個得られたかを検出する。上記の５０，０００個の半導体チップａを受注した例に当てはめると、生産管理部４８は、各テスタ３１からの検査結果より、半導体チップａの良品が、何個得られたかを検出する。さらに、生産計画に記録された半導体チップａの個数（５０，０００個）から、各テスタ３１ａにて良品と判定された半導体チップａの個数（ここでは例として、２７，７５０個の良品となる半導体チップａが得られているとする）を差分し、残り２２，２５０個の半導体チップａを得る必要があることを検出する。さらに、生産管理部４８は、予め予想された半導体チップａの歩留まり（以下、設定歩留まりと称す。また、ここでは例として、設定歩留まりを２２３個／半導体ウェハとする）を取得しており、残りの半導体チップａの必要数である２２，２５０個を、設定歩留まりである「２２３個／半導体ウェハ」で除算し、残り１００枚のウェハロット５０ａを、テスタ３１に割り付ける必要があることを算出する。生産管理部４８は、この残り１００枚のウェハロット５０ａを、テスタ３１に割り付ける必要があることを、ロット割付部４７に通知し、ロット割付部４７は、生産管理部４８からの当該通知された内容に基づいて、ウェハロット５０ａをテスタ３１に割り付ける必要があるか否かを判定する。なお、上記においては、半導体チップａを例にとって説明したが、生産管理部４８は、生産計画に記録された全ての半導体チップの種別ごとに、割付が必要な半導体ウェハ枚数を算出し、ロット割付部４７に通知する。さらに、生産管理部４８は、テスタ３１が半導体ウェハの検査を完了する度に、残りの割付が必要な半導体ウェハの枚数を、半導体チップの種別ごとに算出し、ロット割付部４７に通知する。
【００６３】
以上のように、ロット割付部４７は、生産管理部４８より通知される情報に基づいて、ウェハロット５０の割付を行うことにより、所定の種別の半導体チップについて、生産計画に記録された個数の良品が得られた場合には、この所定の種別のウェハロットが、前工程より到着しても、テスタ３１に割り付けることはない。すなわち、本実施形態に係る生産システム１００は、生産計画に基づいた、必要最低限の枚数となる半導体ウェハを検査することになり、結果、無駄な半導体ウェハの検査を低減することになり、自身の稼動効率を向上させることになる。
【００６４】
なお、本実施形態においては、生産管理部４８は、割付が必要な半導体ウェハ枚数を算出するにあたり、予め定められた設定歩留まりを用いる構成であるが、テスタ３１における検査結果を反映して、上記の設定歩留まりを、生産管理部４８自身が決定する構成であってもよい。
【００６５】
（Ｓ５における動作）
以下に、Ｓ５（図４参照）における生産管理装置４０の動作処理を、図５を参照して説明する。図５は、ロット割付部４７における、ロット割付処理を示すフローチャート図である。
【００６６】
まず、Ｓ５（図４参照）において、待機中のテスタ３１を検出すると、ロット割付部４７は、待機中のテスタが複数あるか否かを、稼動情報管理部４５からの稼動情報より判定する（Ｓ１１）。
【００６７】
このＳ１１において、ロット割付部４７が、待機中のテスタ３１が複数存在することを検出すると、ロット割付部４７は、Ｓ４（図４参照）において選択済となっているＦロットのロット番号を参照して、自身の内部メモリに記録している、Ｆロットのロットトラベラー情報を読み出し、Ｆロットの「機種名」と、「プローブカード名」および「テストボード名」と、「検査温度」とを取得する。さらにロット割付部４７は、待機中のテスタ３１の各々の「治具情報」、「対応種別情報」および「環境温度情報」を、稼動情報管理部４５より取得する。
【００６８】
ここで、テスタ３１は、Ｆロットの半導体ウェハを検査するためには、Ｆロットの種別に応じたテストプログラムをインストールしており、さらに、Ｆロットの種別に応じたプローブカード６０およびテストボード７０が取り付けられており、さらに、Ｆロットの「検査温度」に対応した環境温度に設定される必要がある。一般的に、テストプログラムの変更には数分、プローブカード６０およびテストボード７０の変更には数十分、環境温度の変更には、環境温度が安定するまでの時間を含め数十分から１時間程度必要となる。すなわち、待機中のテスタ３１において、既にＦロットに対応するテストプログラムがインストール済であれば、テストプログラム変更に要する時間は不要となり、プローブカード６０およびテストボード７０の変更、および環境温度の変更も同様である。
【００６９】
そこで、ロット割付部４７は、Ｆロットの「機種名」、「プローブカード名」、「テストボード名」、および「検査温度」と、待機中のテスタ３１ごとの「治具情報」、「対応種別情報」、および「環境温度情報」とを比較し、待機中のテスタ３１ごとに、テストプログラム変更に要する時間と、治具交換に要する時間と、環境温度変更に要する時間とを合算した時間（以下、段取り時間とする）を算出し、待機中のテスタ３１ごとの段取り時間を比較する（Ｓ１２）。
【００７０】
次に、ロット割付部４７は、最も段取り時間が短い待機中のテスタ３１を、Ｆロットの割付先とする（Ｓ１３）。なお、本実施形態においては、待機中のテスタ３１ごとの段取り時間を算出するにあたり、テストプログラム変更に要する時間と、治具交換に要する時間と、環境温度変更に要する時間との３つの時間情報を用いたが、これら３つの時間情報のうち、１つまたは２つの時間情報を用いる構成であってもよい。
【００７１】
一方、Ｓ１１において、ロット割付部４７が、待機中のテスタ３１が１つしか存在しないことを検出すると、検出した待機中のテスタ３１を、Ｆロットの割付先とする（Ｓ１４）。
【００７２】
次に、Ｓ１３またはＳ１４において、Ｆロットの割付先となるテスタ３１（以下、割付先テスタ３１と略称する）が決定されると、ロット割付部４７は、移載機８２（図２参照）に対して、Ｆロットが保管されている保管棚のアドレス情報と、Ｆロットをビークル３５に（図２参照）に積載させる指示とを送信する。さらに、ロット割付部４７は、ビークル３５に対して、移載機８２によって積載されたＦロットを、割付先テスタ３１まで搬送させる指示を送信する。
【００７３】
次に、ロット割付部４７は、Ｆロットの「機種名」と、割付先テスタ３１の「対応種別情報」とを比較し、割付先テスタ３１のテストプログラムの変更が必要か否かを判定する（Ｓ１５）。
【００７４】
Ｓ１５において、ロット割付部４７は、割付先テスタ３１のテストプログラムの変更が必要と判定した場合、Ｆロットの種別に応じたテストプログラムを、割付先テスタ３１に送信し、割付先テスタ３１が、送信されたテストプログラムをインストールする（Ｓ１６）。
【００７５】
次に、ロット割付部４７は、Ｆロットの「プローブカード名」および「テストボード名」と、割付先テスタ３１の「治具情報」とを比較し、割付先テスタ３１のプローブカード６０およびテストボード７０の変更が必要か否かを判定する（Ｓ１７）。
【００７６】
Ｓ１７において、ロット割付部４７は、割付先テスタ３１のプローブカード６０およびテストボード７０の変更が必要と判定した場合、移載機８３に、Ｆロットの「プローブカード名」および「テストボード名」と、割付先テスタ３１のプローブカード６０およびテストボード７０を交換する指示と、を送信する。移載機８３は、ロット割付部４７から指示に基づき、Ｆロットに応じたプローブカード６０およびテストボード７０を、プローブカードストッカー３６およびテストボードストッカー３７より取り出し、割付先テスタ３１のプローブカード６０およびテストボード７０を、Ｆロットに応じたプローブカード６０およびテストボード７０に交換する（Ｓ１８）。
【００７７】
次に、ロット割付部４７は、Ｆロットの「検査温度」と、割付先テスタ３１の「環境温度情報」とを比較し、割付先テスタ３１の環境温度の変更が必要か否かを検出する（Ｓ１９）。
【００７８】
Ｓ１９において、ロット割付部４７は、割付先テスタ３１の環境温度の変更が必要と判定した場合、割付先テスタ３１に、Ｆロットの「検査温度」を送信する。割付先テスタ３１は、送信された「検査温度」に基づき、自身の環境温度を変更する（Ｓ２０）。
【００７９】
Ｓ２０の処理が完了すると、生産管理装置４０は、Ｓ１（図４参照）の処理に移行し、一方、割付先テスタ３１は、Ｆロットの半導体ウェハの検査を開始する。
【００８０】
なお、本実施形態においては、２５枚の半導体ウェハを１ロットとしたが、１ロットを構成する半導体ウェハの枚数は上記の枚数に限るものではない。さらに、１つの半導体ウェハが２５０個の半導体チップを備える構成としたが、１枚の半導体ウェハが備える半導体チップの個数は、これに限るものではない。
【００８１】
上述した本実施形態においては、半導体ウェハの検査工程を例にとって説明したが、本発明はこれに限るものではなく、半導体ウェハの製造工程、液晶表示装置などの電気機器の製造工程および検査工程、さらには、当該電気機器を構成する部品、例えば液晶パネル単体や液晶パネルに液晶駆動回路やバックライト装置を組み込んだ液晶パネルモジュールなどの製造工程や検査工程にも適用できる。
【００８２】
〔実施形態２〕
次に、本発明の実施形態２に係る生産システム１００´について図６〜図８を参照して以下に説明する。図６は、生産システム１００´の構成を示す模式図である。なお、実施形態２に係る生産システム１００´の基本的な構成は、実施形態１に示す生産システム１００と同様であるため、実施形態２においては、実施形態１の生産システム１００と異なる箇所について説明し、同一の機能および作用を示す部材については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【００８３】
まず、本実施形態に係る生産システム１００´において、実施形態１の生産システム１００との違いは、ロット分割装置９０を備え、生産管理装置４０の代わりに生産管理装置４０´を備えたことである。
【００８４】
ここで、生産システム１００´における、基本的な動作を説明する。まず、生産システム１００´において、特急ロットと呼ばれる納期までの時間が非常に短いウェハロット５０が、前工程より到着することがある。この特急ロットをＦロットとして、生産管理装置４０´がテスタ３１に割り付ける際、待機中のテスタ３１が複数あれば、ロット分割装置９０が、特急ロットを、待機中のテスタ３１の数のロット数に分割し、生産管理装置４０´が、分割された特急ロットの各々を、待機中のテスタ３１の各々に割り付ける。このように、特急ロットを複数のロットに分割し、複数のテスタ３１によって検査することにより、特急ロットの検査工程を短い時間で完了することが可能となる。
【００８５】
以下に、図６を参照して、生産システム１００´における、各装置の詳細な動作を説明する。まず、生産システム１００´において、移載機８２は、生産管理装置４０´の指示に基づき、ロットストッカー２１に保管されているＦロットを、ロット分割装置９０またはビークル３５のいずれか一方に移送する。Ｆロットが、ビークル３５に移送された場合における、その後の生産システム１００´の動作処理は、実施形態１の生産システム１００と同じであるが、ロット分割装置９０に移送された場合、ロット分割装置９０は、移送されたＦロットを、生産管理装置４０´からの指示に基づき、複数のウェハロットに分割する。図６に示す例でいえば、ロット分割装置９０は、生産管理装置４０´より、Ｆロットを２つのロットに分割する指示を受け、２５枚の半導体ウェハにより構成されているＦロットを、１２枚の半導体ウェハにより構成されるウェハロットと、１３枚の半導体ウェハにより構成されるウェハロットとの、２つのウェハロットに分割する。さらに他の例をあげると、ロット分割装置９０は、生産管理装置４０´より、Ｆロットを３つのロットに分割する指示を受けると、２５枚の半導体ウェハにより構成されているＦロットを、８枚の半導体ウェハにより構成されるウェハロットを２つと、９枚の半導体ウェハにより構成されるウェハロットを１つとの、３つのウェハロットに分割する。
【００８６】
次に、移載機８２は、生産管理装置４０´の指示に基づき、ロット分割装置９０により分割された各Ｆロット（以下、分割ロットとする）を、ビークル３５に積載する。ビークル３５は、生産管理装置４０´の指示に基づき、各分割ロットを、待機中のテスタ３１の各々に搬送する。複数のテスタ３１によって検査された分割ロットは、ビークル３５によって、生産システム１００´の次工程に搬送される。
【００８７】
（生産管理装置４０´の構成）
次に、生産管理装置４０´の構成について、図７を参照して以下に説明する。図７は、生産管理装置４０´の構成を示すブロック図である。なお、本実施形態の生産管理装置４０´は、実施形態１の生産管理装置４０の変形例であるため、同一の機能および作用を示す部材については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【００８８】
図７に示すように、本実施形態の生産管理装置４０´は、実施形態１の生産管理装置４０と比べ、ロット分割装置９０と通信するための分割装置通信部４９をさらに備えている。
【００８９】
（生産管理装置４０´の動作）
ここで、図８を参照して、生産管理装置４０´の動作を説明する。なお、図８に示すフローチャートは、実施形態１の図４におけるＳ６を、詳細に説明するものであり、図４のＳ１〜Ｓ５における、生産管理装置４０´の動作処理は、実施形態１の生産管理装置４０と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００９０】
まず、Ｓ５（図４参照）において、待機中のテスタ３１を検出すると、ロット割付部４７は、待機中のテスタ３１が複数あるか否かを、稼動情報管理部４５からの稼動情報より判定する（Ｓ２１）。
【００９１】
このＳ２１において、生産管理装置４０´のロット割付部４７（稼動状況判定手段）が、待機中のテスタ３１が複数存在することを検出すると、ロット割付部４７は、Ｆロットの納期から現在時刻を差分し、Ｆロットの納期までの時間を算出する。さらに、ロット割付部４７は、予め設定された閾値と、算出したＦロットの納期までの時間とを比較し、算出した時間が上記の閾値より小さければ、Ｆロットを特急ロットと判定し、一方、算出した時間が上記の閾値より大きければ、Ｆロットは特急ロットではないと判定する（Ｓ３１）。
【００９２】
Ｓ３１において、ロット割付部４７は、Ｆロットを特急ロットと判定すると、移載機８２（図６参照）に対して、Ｆロットが保管されている保管棚のアドレス情報と、Ｆロットをロット分割装置９０に移送する指示を送信する。さらに、ロット割付部４７は、分割装置通信部４９を介して、ロット分割装置９０に、移載機８２によって移送されるＦロットを、待機中のテスタ３１の数と同数のロット数に分割する指示を送信する。ロット分割装置９０は、移載機８２によってＦロットが移送されたことを検知すると、ロット割付部４７からの指示に基づき、Ｆロットを分割する（Ｓ３２）。ロット分割装置９０は、Ｆロットの分割が完了すると、分割が完了したことを示す信号を、移載機８２に送信し、移載機８２は、分割された各分割ロットを、ロット分割装置９０からビークル３５に移送する。
【００９３】
ロット割付部４７は、ロット分割装置９０にＦロット分割の指示を送信した後、ビークル３５に、移載機８２によって移送された分割ロットの各々を、待機中のテスタ３１の各々に搬送する指示を送信するとともに、待機中のテスタ３１全てを、特急ロットと判定したＦロットの割付先テスタ３１とする（Ｓ３３）。
【００９４】
なお、図８に示すフローチャートにおいて、Ｓ２１の処理で、ロット割付部４７が待機中のテスタ３１を１つと検出した場合、生産管理装置４０´は、Ｓ２４の処理に移行する。さらに、Ｓ３１の処理で、ロット割付部４７がＦロットを特急ロットでないと判定した場合は、生産管理装置４０´は、Ｓ２２の処理に移行する。
【００９５】
なお、図８に示すＳ２２〜Ｓ３０の処理は、実施形態１の図５に示すＳ１２〜Ｓ２０の処理と同様であるため、ここではその詳細な説明を省略する。また、Ｓ３３において、ロット割付部４７が、複数の待機中のテスタ３１を、Ｆロットの割付先テスタ３１と決定した場合、Ｓ２５〜Ｓ３０の処理は、複数の割付先テスタ３１の各々に対して行われることは言うまでもない。
【００９６】
なお、本実施形態では、Ｓ３１において、Ｆロットの納期までの時間に基づき、ロット割付部４７が、Ｆロットが特急ロットか否かを判定したが、本発明はこれに限るものではなく、予めＦロットのロットトラベラー情報に、特急ロットか否かを示すフラグとなる情報が記録されており、ロット割付部は、このフラグとなる情報から、Ｆロットが特急ロットか否かを判定する構成であってもよい。
【００９７】
また、本実施形態では、Ｓ３１において、Ｆロットを特急ロットと判定した場合にのみ、Ｆロットを複数ロットに分割する構成としたが、Ｓ３１の処理を行わず、待機中のテスタ３１が複数ある場合に、Ｆロットを複数ロットに分割する構成であってもよい。
【００９８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００９９】
なお、本発明の生産システムを以下のように構成してもよい。
【０１００】
（第１構成）
複数製造設備に複数の製品がロット単位で投入される生産の工場おいて、逐次変化する生産状況に基づき、製造設備の負荷状況と、生産の工程に基づき製品の割付けを決定することを特徴とする生産システム。
【０１０１】
（第２構成）
上記請求項１において、製造設備への割付け決定する時、納期までの時間を算出し納期に着目した優先順位を決定し、その順番に従って、製造設備に製品ロットを割付けることを特徴とする生産システム。
【０１０２】
（第３構成）
上記請求項１において、納期を急ぐ特急ロットに対して、ロット分割を行い１つの製品ロットを複数第装置で処理することで、工程に到着してから出荷されるまでの、製品ロットスループット時間の短縮することを特徴とする生産システム。
【０１０３】
（第４構成）
上記請求項１において、装置の段取り時間を最小にすることにより、納期の改善、装置の稼働率向上を特徴とする生産システム。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
本発明は、所定の生産工程における製品の納期遅延を防止可能な生産管理装置、生産システム、生産管理方法、生産管理プログラム、および当該プログラムを記録する記録媒体を提供するものであり、特に、半導体チップなどの半導体部品の製造工程および検査工程、さらに、液晶パネル単体や液晶パネルモジュールあるいは液晶表示装置などの製品の製造工程および検査工程において利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】本発明の実施形態に係る、生産システムの構成を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る、生産装置の構成を示す模式図である。
【図３】本発明の実施形態に係る、生産管理装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態に係る、生産管理装置の動作処理を示すフローチャート図である。
【図５】本発明の実施形態に係る、生産管理装置における、製品のロットを生産装置に割り付けるための動作処理を示すフローチャート図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る、生産システムの構成を示す模式図である。
【図７】本発明の他の実施系地に係る、生産管理装置の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る、生産管理装置における、製品のロットを生産装置に割り付けるための動作処理を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【０１０６】
１１    トラベラー読取装置（納期情報読取装置）
２１    ロットストッカー（保管装置）
３１Ａ  テスタ（生産装置）
３１Ｂ  テスタ（生産装置）
３１Ｃ  テスタ（生産装置）
３１Ｄ  テスタ（生産装置）
３５    ビークル
４０    生産管理装置
４１    トラベラー情報受信部（納期情報取得手段）
４２    ストッカー通信部
４３    テスタ通信部（対応製品情報取得手段、稼動情報取得手段）
４４    搬送指示送信部
４５    稼動情報管理部
４６    保管ロット管理部
４７    ロット割付部（割付ロット決定手段、稼動状況判定手段）
４８    生産管理部
４９    分割装置通信部
６０ａ  プローブカード（治具）
６０ｂ  プローブカード（治具）
６０ｃ  プローブカード（治具）
７０ａ  テストボード（治具）
７０ｂ  テストボード（治具）
７０ｃ  テストボード（治具）
８１    移載機
８２    移載機
８３    移載機
９０    ロット分割装置
１００  生産システム
【図１】
2010015390.tif 000003
【図２】
2010015390.tif 000004
【図３】
2010015390.tif 000005
【図４】
2010015390.tif 000006
【図５】
2010015390.tif 000007
【図６】
2010015390.tif 000008
【図７】
2010015390.tif 000009
【図８】
2010015390.tif 000010