(57)【要約】【課題】本発明は、縦型拡散装置に用いられる分解可能型の外部燃焼機構において、外気が混入して発生する燃焼異常を確実に検出することができる異常燃焼検出装置及び異常燃焼検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】テーパー形状を有する開口を備え、内部で燃焼を持続させる容器状の燃焼ビン１０と、  前記開口の前記テーパー形状と係合することにより、前記開口を密封可能な係合部２１を有し、前記燃焼ビンの内部に気体を供給する供給管２２、２３を備えたバーナー２０と、  前記バーナーを背後から弾性力を用いて押圧し、前記開口を密封するバーナー押さえ機構３０と、を有する縦型拡散装置２００の外部燃焼機構６０の異常燃焼検出装置１２０、１２０ａ〜１２０ｅであって、  前記バーナーが後方に移動したことを検出する位置センサ７０、７３〜７９を備え、  該位置センサが前記バーナーの後方移動を検出したときに、前記外部燃焼機構の異常燃焼を検出することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側から内側に入るにつれて径が狭くなるテーパー形状を有する開口を備え、内部で燃焼を持続させる容器状の燃焼ビンと、
該燃焼ビンの前記開口の前記テーパー形状と係合することにより、前記燃焼ビンの前記開口を密封可能な係合部を有し、前記燃焼ビンの内部に気体を供給する供給管を備えたバーナーと、
前記バーナーを背後から弾性力を用いて前記燃焼ビン方向に押圧し、前記バーナーで前記燃焼ビンの前記開口を密封するバーナー押さえ機構と、を有する縦型拡散装置の外部燃焼機構の異常燃焼検出装置であって、
前記バーナーが後方に移動したことを検出する位置センサを備え、
該位置センサが前記バーナーの後方移動を検出したときに、前記外部燃焼機構の異常燃焼を検出することを特徴とする異常燃焼検出装置。
【請求項２】
前記位置センサは、リミットスイッチであることを特徴とする請求項１に記載の異常燃焼検出装置。
【請求項３】
前記位置センサは、レーザーセンサであることを特徴とする請求項１に記載の異常燃焼検出装置。
【請求項４】
前記位置センサは、フォトセンサであることを特徴とする請求項１に記載の異常燃焼検出装置。
【請求項５】
前記位置センサは、歪センサであることを特徴とする請求項１に記載の異常燃焼検出装置。
【請求項６】
前記位置センサが前記バーナーの後方移動を検出したときに、アラームを発するアラーム発生手段を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の異常燃焼検出装置。
【請求項７】
前記位置センサが前記バーナーの後方移動を検出したときに、前記縦型拡散装置を強制停止させる強制停止信号を出力する強制停止信号出力手段を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の異常燃焼検出装置。
【請求項８】
外側から内側に入るにつれて径が狭くなるテーパー形状を有する開口を備え、内部で燃焼を持続させる容器状の燃焼ビンと、
該燃焼ビンの前記開口の前記テーパー形状と係合することにより、前記燃焼ビンの前記開口を密封可能な係合部を有し、前記燃焼ビンの内部に気体を供給する供給管を備えたバーナーと、
前記バーナーを背後から弾性力を用いて前記燃焼ビン方向に押圧し、前記バーナーで前記燃焼ビンの前記開口を密封するバーナー押さえ機構と、を有する縦型拡散装置の外部燃焼機構の異常燃焼検出方法であって、
前記バーナーが後方に移動したときに、前記バーナーの後方移動を位置センサにより検出し、前記外部燃焼機構の異常燃焼を検出することを特徴とする異常燃焼検出方法。
【請求項９】
前記位置センサは、リミットスイッチであることを特徴とする請求項８に記載の異常燃焼検出方法。
【請求項１０】
前記位置センサは、レーザーセンサであることを特徴とする請求項８に記載の異常燃焼検出方法。
【請求項１１】
前記位置センサは、フォトセンサであることを特徴とする請求項８に記載の異常燃焼検出方法。
【請求項１２】
前記位置センサは、歪センサであることを特徴とする請求項８に記載の異常燃焼検出方法。
【請求項１３】
前記ナーナーの後方移動を前記位置センサにより検出したときに、アラームを発することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか一項に記載の異常燃焼検出方法。
【請求項１４】
前記バーナーの後方移動を前記位置センサにより検出したときに、強制停止信号を出力し、前記縦型拡散装置を強制停止させることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の異常燃焼検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異常燃焼検出装置及び異常燃焼検出方法に関し、特に、縦型拡散装置の外部燃焼機構の異常燃焼を検出する異常燃焼検出装置及び異常燃焼検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数のウエハをウエハポートに移載し、これを処理室内に収容して熱処理を施す処理装置において、保持体の上方に距離センサを設け、外周にその長手方向に沿ってレーザ光を放射して反射光を検出することにより、保持体の変形や被処理体の飛び出し等を検知するようにし、熱ストレスにより発生するウエハポートの変形異常を検知するようにした技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−２３５５０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述の特許文献１に記載の構成では、ウエハポートの変形異常については検知することができるが、熱処理自体の異常、例えば燃焼異常等を検知できないという問題があった。
【０００４】
ところで、半導体ウエハ等の試料の熱拡散を行う縦型拡散装置においては、一般的に、試料を収容する処理室と、処理室に熱を加える外部燃焼機構とを有する。かかる外部燃焼機構は、燃焼を発生及び持続させる容器状の燃焼ビンと、燃焼ビンに燃焼に必要な気体を供給するバーナー部を有するが、かかる燃焼ビンとバーナー部が一体的に構成された外部燃焼機構の他、清掃やメインテナンスが可能なように、燃焼ビンとバーナー部が係合して密閉可能なように構成した分解可能型の外部燃焼機構が存在する。かかる分解可能型の外部燃焼機構においては、試料への熱処理を行う際には、バーナー部と燃焼ビンとを係合させ、バーナー部を背後からバネ等の弾性力を用いて押圧力を付与し、燃焼ビンをバーナー部で密封した状態で燃焼を行う。
【０００５】
しかしながら、かかる分解可能型の外部燃焼機構を縦型拡散装置の加熱源として用いる場合、ガス供給機構等の劣化等により、燃焼開始時の１秒未満程度の極めて短時間において、瞬間的な小爆発が発生する場合があり、その場合には、一瞬バーナー部と燃焼ビンの間の密閉が崩れて隙間が生じ、空気等の外気が混入して気体純度が低下してしまい、燃焼異常が発生するという問題があった。また、かかる現象は、一瞬だけ発生してその後は通常の密封状態に戻ることが多いため、燃焼異常の発生を認識できない状態で拡散処理が実行されてしまい、更にその発見が困難であるという問題があった。また、このような燃焼異常が発生した状態で拡散処理が行われると、半導体ウエハ等の試料の拡散処理が適切に行われず、特にバッチ処理の場合には、大量の不良品を発生させてしまうという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、かかる縦型拡散装置に用いられる分解可能型の外部燃焼機構において、外気が混入して発生する燃焼異常を確実に検出することができる異常燃焼検出装置及び異常燃焼検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、第１の発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）は、外側から内側に入るにつれて径が狭くなるテーパー形状を有する開口を備え、内部で燃焼を持続させる容器状の燃焼ビン（１０）と、
該燃焼ビン（１０）の前記開口の前記テーパー形状と係合することにより、前記燃焼ビン（１０）の前記開口を密封可能な係合部（２１）を有し、前記燃焼ビン（１０）の内部に気体を供給する供給管（２２、２３）を備えたバーナー（２０）と、
前記バーナー（２０）を背後から弾性力を用いて前記燃焼ビン（１０）方向に押圧し、前記バーナー（２０）で前記燃焼ビン（１０）の前記開口部を密封するバーナー押さえ機構（３０）と、を有する縦型拡散装置（２００）の外部燃焼機構（６０）の異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ））であって、
前記バーナー（２０）が後方に移動したことを検出する位置センサ（７０、７３〜７９）を備え、
該位置センサ（７０、７３〜７９）が前記バーナー（２０）の後方移動を検出したときに、前記外部燃焼機構（６０）の異常燃焼を検出することを特徴とする。
【０００８】
これにより、バーナーが後方に移動して外気が混入した状態を容易かつ確実に検出することができ、外部燃焼機構の異常燃焼を早期に発見することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、リミットスイッチ（７０）であることを特徴とする。
【００１０】
これにより、安価な部品を用いて簡素な構成で異常燃焼の発生を確実に検出することができる。
【００１１】
第３の発明は、第１の発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、レーザーセンサ（７３、７４、７５）であることを特徴とする。
【００１２】
これにより、省スペースでセンサを設けることができるとともに、反射型のセンサをバーナーの後方正面に設けて位置の検出を行ったり、透過型のセンサをバーナーの両側後方に設けて位置の検出を行ったりすることができ、用途に応じてセンサの設置を行うことができる。
【００１３】
第４の発明は、第１の発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、フォトセンサで（７６）あることを特徴とする。
【００１４】
これにより、フォトダイオードを用いて高精度にバーナーの位置検出を行うことができる。
【００１５】
第５の発明は、第１の発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、歪センサ（７９）であることを特徴とする。
【００１６】
これにより、バーナーの位置の後方移動を圧力変動に変換して検出することができる。
【００１７】
第６の発明は、第１〜５のいずれかの発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）が前記外部燃焼機構（６０）の異常燃焼を検出したときには、アラームを発するアラーム発生手段（１００）を更に備えたことを特徴とする。
【００１８】
これにより、異常燃焼を検出したときには、操作者に異常の発生を了知させることができ、異常燃焼の発生を早期かつ確実に認識させることができる。
【００１９】
第７の発明は、第１〜６のいずれかの発明に係る異常燃焼検出装置（１２０、１２０ａ〜１２０ｅ）において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）が前記外部燃焼機構（６０）の異常燃焼を検出したときには、前記縦型拡散装置（２００）を強制停止させる強制停止信号を出力する強制停止信号出力手段（９０、９０ａ、９３）を更に備えたことを特徴とする。
【００２０】
これにより、異常燃焼の状態で行われている処理を中止させ、不良品の発生を防ぐとともに、異常燃焼の原因を究明することができる。
【００２１】
第８の発明に係る異常燃焼検出方法は、外側から内側に入るにつれて径が狭くなるテーパー形状を有する開口を備え、内部で燃焼を持続させる容器状の燃焼ビン（１０）と、
該燃焼ビン（１０）の前記開口の前記テーパー形状と係合することにより、前記燃焼ビン（１０）の前記開口を密封可能な係合部（２１）を有し、前記燃焼ビン（１０）の内部に気体を供給する供給管（２２、２３）を備えたバーナー（２０）と、
前記バーナー（２０）を背後から弾性力を用いて前記燃焼ビン（１０）方向に押圧し、前記バーナー（２０）で前記燃焼ビン（１０）の前記開口部を密封するバーナー押さえ機構（３０）と、を有する縦型拡散装置（２００）の外部燃焼機構（６０）の異常燃焼検出方法であって、
前記バーナー（２０）が後方に移動したときに、前記バーナー（２０）の後方移動を位置センサ（７０、７３〜７９）により検出し、前記外部燃焼機構（６０）の異常燃焼を検出することを特徴とする。
【００２２】
第９の発明は、第８の発明に係る異常燃焼検出方法において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、リミットスイッチ（７０）であることを特徴とする。
【００２３】
第１０の発明は、第８の発明に係る異常燃焼検出方法において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、レーザーセンサ（７３、７４、７５）であることを特徴とする。
【００２４】
第１１の発明は、第８の発明に係る異常燃焼検出方法において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、フォトセンサ（７６）であることを特徴とする。
【００２５】
第１２の発明は、第８の発明に係る異常燃焼検出方法において、
前記位置センサ（７０、７３〜７９）は、歪センサ（７９）であることを特徴とする。
【００２６】
第１３の発明は、第８〜１２のいずれかの発明に係る異常燃焼検出方法において、
前記外部燃焼機構（６０）の異常燃焼を検出したときに、アラームを発することを特徴とする。
【００２７】
第１４の発明は、第８〜１３のいずれかの発明に係る異常燃焼検出方法において、
前記外部燃焼機構の異常燃焼を検出したときに、強制停止信号を出力し、前記縦型拡散装置（６０）を強制停止させることを特徴とする。
【００２８】
なお、上記括弧内の参照符号は、理解を容易にするために付したものであり、一例に過ぎず、図示の態様に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、縦型拡散装置に用いられている分解可能型の外部燃焼機構の異常燃焼を確実に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。
【実施例１】
【００３１】
図１は、本発明を適用した実施例１に係る異常検出装置１２０の全体概略構成を示した図である。本実施例に係る異常検出装置１２０は、半導体ウエハの熱処理を行う縦型拡散装置２００の外部燃焼機構６０に設けられるので、図１においては、外部燃焼機構６０を含めた縦型拡散装置２００の主要構成要素も示している。
【００３２】
縦型拡散装置２００は、半導体ウエハＷを熱処理して酸化し、表面に酸化膜を形成するための装置である。図１においては、処理室１４０と、ウエハポート１５０が示されている。処理室１４０は、半導体ウエハＷを収容し、酸化熱処理を行う処理室である。本実施例に係る異常検出装置１２０が適用される縦型拡散装置２００は、処理室１４０が縦に長い円筒形をしている。ウエハポート１５０は、半導体ウエハＷを載置する保持体であり、複数の半導体ウエハＷを水平に支持できるように構成されている。従って、処理室１４０には、ウエハポート１５０に各々が水平に載置された複数枚の半導体ウエハＷが全体として縦長に配置され、バッチ処理が行えるように構成されている。また、縦型拡散装置２００は、拡散装置制御手段１３０により、その動作が制御される。拡散装置制御手段１３０は、所定の電子回路又はＣＰＵ（Central Processing Unit、中央処理装置）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等を備え、プログラムにより動作するマイクロコンピュータ等で構成されてよく、演算処理が可能な手段として構成される。
【００３３】
外部燃焼機構６０は、処理室１４０の外部に備えられ、処理室１４０内の半導体ウエハＷの表面の酸化膜形成処理に必要な高純度の水蒸気を、処理室１４０の外部から供給する水蒸気供給手段である。外部燃焼機構６０は、燃焼ビン１０と、バーナー２０と、バーナー押さえ機構３０と、台座４０とを有する。
【００３４】
燃焼ビン１０は、内部で炎の燃焼を発生及び持続させるための容器状の燃焼室である。詳細は後述するが、燃焼ビン１０のバーナー２０側の開口部は、バーナー２０と係合して密封が可能なように、外側から内側にその開口径が小さくなってゆくテーパー状の形状をしており、すり合わせ部１１を構成している。すり合わせ部１１は、バーナー２０とのすり合わせを行う部分であり、バーナー２０との係合面を形成するので、係合部１１と呼んでもよい。また、燃焼ビン１０の処理室１４０側は、処理室１４０に熱の供給ができるように、接続部１５で処理室１４０と接続されている。
【００３５】
バーナー２０は、燃焼ビン１０と係合して燃焼ビン１０を密封するとともに、燃焼に必要な気体を燃焼ビン１０に供給する部材である。よって、バーナー２０は、燃焼ビン１０のすり合わせ部１１と密着可能なテーパー状の形状を有する係合部を備えるとともに、燃焼ビン１０の内部に気体を供給する気体供給手段（図１では図示せず）を有する。
【００３６】
バーナー押さえ機構３０は、バーナー２０に背後から燃焼ビン１０の方向に押圧力を付与し、バーナー２０を燃焼ビン１０に係合させて固定するための手段である。詳細は後述するが、バーナー押さえ機構３０は、バーナー２０を背後から押さえ付ける力を付与するために、本体３１と、押さえ爪３２と、支持棒３３とを有する。また、バーナー押さえ機構３０は、図１には図示しないバネを有し、本体３１にバネが取り付けられ、弾性力によりバーナー２０を背後から前方に押し込む。また、台座４０は、バーナー押さえ機構３０を支持するための基台である。
【００３７】
異常燃焼検出装置１２０は、外部燃焼機構６０の異常燃焼を検出するための装置である。異常燃焼検出装置１２０は、リミットスイッチ７０と、リレー９０と、アラーム発生手段１００とを備える。
【００３８】
リミットスイッチ７０は、バーナー２０が、バネの弾性力に抗して後方に移動したときに、バーナー７０の後方移動を検出するための位置センサである。バーナー２０が、たとえ一瞬でも後退すると、バーナー２０と燃焼ビン１０のすり合わせ部１１に隙間ができ、そこから空気等の外気が混入し、本来供給されるべき気体純度よりも低い気体純度で燃焼が行われ、異常燃焼が発生する。そこで、本実施例に係る異常燃焼検出装置１２０においては、リミットスイッチ７０によりバーナー２０の後退を検出し、外気混入に伴う異常燃焼を検出する。
【００３９】
リレー９０は、リミットスイッチ７０で検出したバーナー２０の後方移動の検出信号を受けて、接続切り換えを行う手段である。例えば、異常燃焼検出手段１２０が、バーナー２０の後方移動に基づく異常燃焼の発生を検出したときに、アラームを発する構成となっていれば、アラーム発生手段１００を作動させるような接続切り換えを行う。また、異常燃焼検出手段１２０が、異常燃焼検出時には、縦型拡散装置２００を強制停止させる構成となっていれば、縦型拡散装置２００に強制停止信号を出力する接続切り換えを行う。なお、縦型拡散装置２００の強制停止は、例えば、リレー９０から、拡散装置制御手段１３０に強制停止信号が出力され、拡散装置制御手段１３０が、強制停止信号を受けて、縦型拡散装置２００を強制停止するようにしてもよい。
【００４０】
アラーム発生手段１００は、リミットスイッチ７０によりバーナー２０の異常燃焼を検出したときに、異常燃焼の発生を操作者に知らせるための警報手段である。アラーム発生手段１００は、操作者に異常燃焼の発生を認識させることができれば、種々の手段を適用することができ、例えば、ブザー１０１や、警報ランプ１０２等又はこれらの組み合わせが適用されてよい。
【００４１】
次に、図２を用いて、縦型拡散装置２００の外部燃焼機構６０について、より詳細に説明を行う。図２は、外部燃焼機構６０を含む縦型拡散装置２００の全体構成を示した図である。縦型拡散装置２００の処理室１４０、ウエハポート１５０及び半導体ウエハＷについては、図１の説明と同様であるので、その説明を省略する。
【００４２】
図２において、外部燃焼機構６０は、燃焼ビン１０と、バーナー２０と、外部にランプ５０を備えている。図１において説明したように、燃焼ビン１０は、内側に入る程開口径が狭くなるテーパー状の開口部を有し、バーナー２０は、燃焼ビン１０の開口部に密着して係合できるようなテーパー状の形状のすり合わせ部２１を有する。すり合わせ部２１は、燃焼ビン１０側と同様に、係合部２１と呼んでもよい。
【００４３】
バーナー２０は、燃焼ビン１０内に気体を供給する気体供給管２２、２３を有し、気体供給管２２、２３は、バーナー２０を貫通して設けられている。また、気体供給管２２、２３には、気体の供給源から気体供給管２２、２３に気体を供給するコネクタ２４、２５が接続されている。本実施例においては、酸化膜を半導体ウエハＷの表面上に形成する場合を例に挙げて説明するので、気体供給管２２及びコネクタ２４は水素ガスの供給路であり、気体供給路２３及びコネクタ２５は酸素ガスの供給路である場合を例に挙げて説明する。供給する気体の種類や気体供給路２２、２３及びコネクタ２４、２５の数は、縦型拡散装置２００の用途により適宜変更することができる。本実施例に係る縦型拡散装置２００においては、純度の高い水蒸気を外部燃焼機構６０で生成して処理室１４０に接続部１５を介して供給する必要がある。よって、気体供給路２２から燃焼ビン１０に供給される水素ガス及び気体供給路２３から燃焼ビン１０に供給される酸素ガスの供給量は、例えばマスフローコントローラ等により制御された所定流量が提供される。もし、燃焼ビン１０内に外気が混入すると、管理された流量の水素ガスと酸素ガス以外の不純ガスが混入してしまい、処理室１４０に供給すべき水の純度が低下してしまう。処理室１４０に供給する水（水蒸気）の純度は、例えば、９５％以上、又は９８％以上という高純度の水準であるので、僅かの外気の混入でも、半導体ウエハＷの酸化膜の形成が十分に行われず、処理された半導体ウエハＷが不良品となってしまう。よって、バーナー２０は、燃焼中は常に燃焼ビン１０と密封状態を保つ必要があり、これが一瞬でも後方移動すると、適切な純度の水を生成するような燃焼が行われず、異常燃焼が発生することになる。
【００４４】
また、バーナー２０は、集光板２６を備える。集光板２６は、密封時に、燃焼ビン１０の略中央付近に位置するようにバーナー２０の燃焼ビン１０への挿入側に設けられる。集光板２６は、燃焼を発生させる際のいわゆる火種となる手段であり、例えば、炭化ケイ素（ＳｉＣ）等の熱伝導率の高い材質で、平板状に形成される。
【００４５】
ランプ５０は、燃焼を発生させる際に、燃焼ビン１０の外部から集光板２６に光を照射し、集光板２６の温度を高める手段である。水素ガスと酸素ガスの場合、例えば５００℃程度で燃焼が発生及び持続するので、燃焼開始時には、ランプ５０の光で集光板２６を照射してそれよりも十分高い温度、例えば８００℃程度まで集光板２６の温度を上げるようにする。そして、条件が整った段階で、気体供給管２２、２３から水素ガス及び酸素ガスを所定流量で供給するようにすれば、燃焼が発生する。そして、その後はランプ５０を消灯させても、気体の供給が適切な流量で行われれば、燃焼は持続する。
【００４６】
例えば、このような構成を有する縦型拡散装置２００に、本実施例に係る異常検出装置１２０は適用される。
【００４７】
次に、図３を用いて、実施例１に係る異常検出装置１２０が適用される外部燃焼機構６０のバーナー押さえ機構３０の構成及び機能について説明する。図３は、実施例１に係る異常検出装置１２０が適用される外部燃焼機構６０の機械的構成を示した側断面図である。
【００４８】
図３において、開口部がテーパー状に形成され、すり合わせ部１１を有する燃焼ビン１０と、すり合わせ部１１に係合するようなテーパー角度のすり合わせ部２１を有する円錐台形状の部分を含むバーナー２０とが係合している。バーナー２０は、気体供給管２２、２３と、コネクタ２４、２５を備えるとともに、燃焼ビン１０の内部に集光板２６を支持している。集光板２６は、燃焼ビン１０の外部に設けられたランプ５０からの照射光を集光する。
【００４９】
バーナー２０は、バーナー押さえ機構３０により、背後から燃焼ビン１０のある前方に押圧力を加えられることにより、燃焼ビン１０と係合し、燃焼ビン１０を密封している。バーナー押さえ機構３０は、本体３１に固定された押さえ爪３２が、バーナー２０に背後から燃焼ビン１０方向への押圧力を付与している。本体３１は、台座４０に固定されたバネ３４が取り付けられ、バネ３４が縮もうとする弾性復元力により、前方へ進もうとする力が与えられている。この弾性力により、本体３１に固定された押さえ爪３２がバーナー２０を前方に押し込み、密閉状態を保っている。なお、本体３１と台座４０には、図示しないベアリングが設けられ、本体３１は、前後に移動可能に構成されている。
【００５０】
このように、外部燃焼機構６０は、燃焼ビン１０とバーナー２０による密封を、バーナー押さえ機構３０により、バネ３４の弾性力を利用した押圧力により実現している。かかるバーナー押さえ機構３０では、通常の状態では、弾性力により十分な密閉状態が保たれるが、例えば、気体の流量異常等により燃焼ビン１０内で瞬間的な小爆発が発生した場合には、爆発力に弾性力が負けてしまい、バーナー２０が後退して一瞬密閉状態が崩れてしまうという事態を招いてしまう。
【００５１】
図４は、実施例１に係る異常燃焼検出装置６０の位置センサの配置の一例を示した図である。図３で説明した点を踏まえて、実施例１に係る異常燃焼検出装置６０においては、バーナー２０の後方移動を検出できるように、位置センサとしてリミットスイッチ７０をバーナー押さえ機構３０の本体３１の後方に配置している。
【００５２】
図４（ａ）は、実施例１に係る異常燃焼検出装置６０のリミットスイッチ７０の配置例と通常状態を示した図である。図４（ａ）において、バーナー２０が、バーナー押さえ機構３０により燃焼ビン１０の方向に押圧力を付与され、密閉状態を保っている。バーナー押さえ機構３０は、本体３１がバネ３４により台座に連結され、本体３１に固定された押さえ爪３２及び支持棒３３が、バネ３４の復元力をバーナー２０に伝達し、バーナー２０は付与された押圧力により燃焼ビン１０との密閉を保っている。なお、本体３１が前後に移動可能なように、本体３１の裏面と台座４０には、スライドベアリング３５が設けられている。また、本体３１の左側の側面後方には、横に突起したスイッチキッカー３６が設けられている。
【００５３】
このような構成を有するバーナー押さえ機構３０の本体３１の外側後方の一方に、リミットスイッチ７０が設けられている。リミットスイッチ７０は、スイッチ本体７１と接点７２とを有し、接点７２が開いた状態のときには、リミットスイッチ７０はオフの状態である。そして、通常の燃焼時、つまり燃焼ビン１０とバーナー２０の密閉が保たれているときには、リミットスイッチ７０の接点７２は開状態にあり、オフとなるような位置にリミットスイッチ７０は設けられる。
【００５４】
図４（ｂ）は、異常燃焼が発生したときの位置センサの動作を示した図である。図４（ｂ）において、バーナー２０が瞬間的に外れて密閉状態が崩れ、バーナー２０がスライドベアリング３５により後方に移動した状態が示されている。そうすると、バーナー押さえ機構３０の本体３１の後方に設けられたリミットスイッチ７０が、本体３１のスイッチキッカー３６により押されてオンし、バーナー２０が外れた異常状態にあることを検出することができる。
【００５５】
図５は、リミットスイッチ７０の部分を拡大して示した平面図である。図５において、リミットスイッチ７０は、スイッチ本体７１の接点側の側面に金属が設けられており、接点７２が閉じることにより、導通信号が出力されるようになっている。よって、バーナー押さえ機構３０の本体３１が後退すると、スイッチキッカー３６により押圧力が加えられて接点７２が閉じ、本体３１の後方移動を検出することができる。なお、リミットスイッチ７０の設置位置は、ほんの僅かなバーナー２０の後方移動でも検出したい場合には、密閉状態でスイッチキッカー３６と接点７２と縦方向の間隔を狭く設定すれば良いし、ある程度の移動量以上のときにバーナー２０の後方移動を検出したい場合には、密閉状態におけるスイッチキッカー３６と接点７２の縦方向の距離を広めにして設定すればよい。この間隔は、用途に応じて適宜適切な値に調整することができる。
【００５６】
このように、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０によれば、位置センサとしてリミットスイッチ７０をバーナー押さえ機構３０の本体３１の後方外側に設けることにより、本体３１の後方移動からバーナー２０の後退を検出し、異常燃焼を検出することができる。リミットスイッチ７０は、安価な部品であり、取り付け設置が容易であるので、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０によれば、簡素な構成で、確実に異常燃焼を検出することができる。
【００５７】
図６は、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０の全体回路構成の一例について示した図である。図６において、本実施例に係る異常燃焼検出装置１２０は、位置センサであるリミットスイッチ７０と、リセットスイッチ８０と、リレー９０と、リレー電源９５と、アラーム発生手段１００として適用されたブザー１０１とを備える。
【００５８】
リセットスイッチ８０は、リミットスイッチ７０が一度オンとなったら、異常燃焼検出状態が継続されるので、異常燃焼の発生を確認後に、検出状態をオフに切り換えるためのスイッチである。リレー９０は、リミットスイッチ７０がオンとなったときに、ブザー１０１の接続をオフからオンに切り換えるための接続切り換え手段である。
【００５９】
図６において、動作例を説明すると、例えば、リミットスイッチ７０がオンしたら、リレー９０により、ブザー１０１がオンされ、ブザー音により操作者に異常燃焼の発生を知らせる。ブザー１０１は、その他、警報ランプ１０２等を適用してもよいし、これらを併用してもよい。
【００６０】
次いで、操作者が、縦型拡散装置２００の外部燃焼機構６０に異常燃焼が発生していることを確認したら、リセットスイッチ８０により、ブザー１０１のアラーム音を停止させることができる。実際の半導体プロセスにおいては、同じ種類の縦型拡散装置２００が複数台配置され、どの縦型拡散装置２００の外部燃焼機構６０が異常燃焼を発生しているかを発見するのに時間がかかるため、リミットスイッチ７０が一度オンしたら、リセットスイッチ８０をオンしない限り、アラームが継続するような構成としている。これにより、確実に異常燃焼の発生した外部燃焼機構６０を特定することができる。なお、逆に、アラームを一定時間で停止させたい場合には、タイマー等を設置し、ブザー１０１がアラームを発してから所定時間で停止させるような構成としてもよい。
【００６１】
図７は、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０の回路構成の詳細の一例を示した図である。図７に示した回路構成は、図６で説明した全体回路構成の動作を具体的に実現するための回路の一例を示しており、図６の各々の構成要素が、図７に対応している。即ち、リレー９０にリミットスイッチ７０、リセットスイッチ８０及びブザー１０１が接続されており、リレー電源９５は、２４〔Ｖ〕が供給されている。図６に加わった新たな構成要素としては、リレー電源９５が適切に供給されていることを示す電源ランプ９６と、リミットスイッチ７０が一度オンとなったら、リミットスイッチ７０のオン状態を継続しているのと同じ状態を維持するための自己保持用スイッチ９１と、ブザー用スイッチ９２が示されている。
【００６２】
図７に示す異常燃焼検出装置１２０の具体的回路において、通常状態では、リセットスイッチ８０はオンとなって閉じている。このとき、電源が適切に供給されていれば、電源ランプ９６は点灯している。バーナー２０の後退移動があり、リミットスイッチ７０がオンとなると、リレー９０が励磁し、自己保持用スイッチ９１がオンとなり、異常燃焼の発生が検出される。この後、バーナー２０が元の状態に戻り、リミットスイッチ７０がオフになったとしても、自己保持用スイッチ９１によりリミットスイッチ７０がオンとなったのと同じ状態が維持され、異常燃焼検出状態は維持される。
【００６３】
また、リミットスイッチ７０がオンとなったときには、リレー９０の励磁により、ブザー用スイッチ９２も同時にオンとなる。そして、ブザー１０１に電流が供給され、アラームが発せられる。このブザー用スイッチ９２も、リミットスイッチ７０がすぐオフになったとしても、自己保持用スイッチ９１により異常燃焼検出時の状態が保たれるので、ブザーは鳴り続ける。
【００６４】
操作者が異常燃焼の発生を確認し、アラームを停止させたい場合には、リセットスイッチ８０をオフにする。これにより、リレー９０の励磁は消滅するので、自己保持用スイッチ９１とブザー用スイッチ９２はオフとなり、通常状態に復帰する。
【００６５】
なお、図７に示した回路図は、一例に過ぎず、他の回路構成や手段により、同様の機能を実現するようにしてもよい。
【００６６】
このように、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０によれば、簡素な構成で、確実に縦型拡散装置２００の外部燃焼機構６０の異常燃焼を検出することができる。
【実施例２】
【００６７】
図８は、本発明を適用した実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａの全体の回路構成の一例を示した図である。実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａにおいては、機械的な構成は、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０と同様であり、全体の回路構成のみが異なっている。よって、機械的な構成については、その説明を省略する。
【００６８】
図８において、実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａは、位置センサであるリミットスイッチ７０と、リセットスイッチ８０と、リレー９０ａと、リレー電源９５と、アラーム発生手段１００として適用されたブザー１０１とを備える点では、実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０と同様である。
【００６９】
実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａにおいては、縦型拡散装置２００の装置本体と連動している点で、実施例１と異なっている。つまり、実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａは、リミットスイッチ７０のオン信号により異常燃焼の発生を検出したときには、ブザー１０１をオンとしてアラームを発生させるだけでなく、縦型拡散装置２００の拡散装置制御手段１３０に強制停止信号を出力し、縦型拡散装置２００を強制停止させる機能を備えている。この場合、リミットスイッチ７０からバーナー２０の後方移動を検出する信号が出力されたときに、リレー９０ａがブザー１０１を作動させる接続切り換えを行うとともに、強制停止信号を縦型拡散装置２００の装置制御手段１３０に出力する接続切り換えを行えばよい。強制停止信号自体は、単純なオン信号で良いので、リレー９０ａで接続を切り換えることにより、容易にそのような構成を実現することができる。この場合、リレー９０ａは、強制停止信号出力手段として機能する。
【００７０】
なお、図６においては、ブザー１０１のアラーム発生と縦型拡散装置２００への強制停止信号出力を双方実行する構成としているが、例えば、ブザー１０１のアラーム発報は行わずに、縦型拡散装置２００のみを強制停止させる動作を行わせてもよい。用途に応じて、そのような変更も可能である。
【００７１】
図９は、実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａの回路構成の詳細の一例を示した図である。図９において、外部用装置用スイッチ９３と、外部装置である縦型拡散装置２００の拡散装置制御手段１３０を更に備えている点以外は、実施例１の図７に示した回路構成と同様である。また、図９に示した回路構成図は、図８の全体回路構成図と対応している。
【００７２】
図９において、通常状態でリセットスイッチ８０はオン状態であり、バーナー２０の後方移動が検出されてリミットスイッチ７０がオンとなると、リレー９０が励磁する。すると、自己保持スイッチ９１と、ブザー用スイッチ９２に加えて、外部装置用スイッチ９３もオフからオンに切り換わり、強制停止信号が拡散装置制御手段１３０に出力される。これにより、リミットスイッチ７０で検出した異常燃焼により、ブザー１０１でアラームを発生させるだけでなく、縦型拡散装置２００を強制停止させ、半導体ウエハＷの不良品の製造を停止させることができる。この場合、リレー９０及び外部装置用スイッチ９３が強制停止信号出力手段として機能する。なお、通常状態に戻すには、リセットスイッチ８０をオフとすれば、リレー９０の励磁が消滅し、自己保持用スイッチ９１、ブザー用スイッチ９２及び外部装置用スイッチ９３が総てオフに切り換わり、通常状態に復帰する。
【００７３】
また、図９の回路において、ブザー１０１及びブザー用スイッチ９２を取り除き、外部装置用スイッチ９３のみを制御するようにしてもよい。このようにすれば、アラームを発することなく、縦型拡散装置２００の強制停止のみを実行することもできる。
【００７４】
実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａによれば、位置センサにより異常燃焼の発生を検出したときには、早期に縦型拡散装置２００の処理を停止させることができ、不良品の半導体ウエハＷの製造を早期に中止させることができる。また、早期の中止により、処理を中止した半導体ウエハＷを、他の正常動作をしている縦型拡散装置２００により処理を継続したり、異常が発生した外部燃焼機構６０を修理してから縦型拡散装置２００による処理を再開したりすることが可能となる。
【実施例３】
【００７５】
図１０は、本発明を適用した実施例３に係る異常燃焼検出装置１２０ｂの機械的構成を示した図である。実施例３に係る異常燃焼検出装置１２０ｂは、回路構成においては、実施例１又は実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０、１２０ａと同様であるが、位置センサの形態が異なっている。
【００７６】
実施例３に係る異常燃焼検出装置１２０ｂは、位置センサとして、反射型レーザーセンサ７３を適用している。図１０（ａ）は、位置センサとして反射型レーザーセンサ７３を適用した異常燃焼検出装置１２０の構成の一例を示した図である。なお、図１０（ａ）において、外部燃焼機構６０の構成は、実施例１における説明と同様であるので、その説明を省略する。
【００７７】
図１０（ａ）において、反射型のレーザーセンサ７３がバーナー押さえ機構３０の正面後方に設けられている。反射型のレーザーセンサ７３は、対象物体にレーザー光を照射し、反射した光を検出することにより、対象物体との距離を測定するセンサである。例えば、図１０（ａ）に示すように、バーナー２０が密閉状態にある通常状態において、バーナー押さえ機構３０の本体３１とレーザーセンサ７３との距離を基準距離としておけば、レーザーセンサ７３の検出結果が基準距離より短いときに、バーナー２０の後方移動を検出することができる。
【００７８】
図１０（ｂ）は、異常状態における異常燃焼検出装置１２０ｂの検出状態を示した図である。図１０（ｂ）において、バーナー２０が外れてバーナー押さえ機構３０の本体３１が後退すると、レーザーセンサ７３と本体３１との距離が短くなり、反射型のレーザーセンサ７３において、バーナー２０の後方移動を検出することができる。
【００７９】
このように、位置センサに反射型のレーザーセンサ７３を適用して、異常燃焼検出装置１２０ｂを構成するようにしてもよい。バーナー押さえ機構３０の側方後方部よりも、バーナー押さえ機構３０の正面後方の方が位置センサを設置し易い場合には、実施例３に係る異常燃焼検出装置１２０ｂを好適に適用することができる。
【００８０】
なお、実施例３に係る異常燃焼装置１２０ｂの回路構成については、実施例１の図６に示した回路構成と、実施例２の図８に示した回路構成の双方を用途に応じて適用することができる。
【実施例４】
【００８１】
図１１は、本発明を適用した実施例４に係る異常燃焼検出装置１２０ｃの機械的構成を示した図である。図１１において、外部燃焼機構６０の構成については、今までの実施例で説明した内容と同様であるので、その説明を省略する。図１１においては、異常燃焼検出装置１２０ｃの位置センサに、透過型のレーザーセンサ７４、７５が適用されている点で、実施例１〜３に係る異常燃焼検出装置１２０、１２０ａ、１２０ｂと異なっている。
【００８２】
図１１（ａ）は、通常状態における実施例４に係る異常燃焼検出装置１２０ｃを示した図である。図１１（ａ）において、バーナー押さえ機構３０の本体３１の後方両側に、対向して透過型のレーザーセンサ７４、７５が設置されている。透過型のレーザーセンサ７４、７５は、投光器７５と受光器７４とが１組として構成され、投光器７５から発射したレーザー光ＬＢを、受光器７４が受光するように構成されている。つまり、投光器７５から発射したレーザー光ＬＢが、受光器７４で所定の信号強度で受光できていれば、レーザーセンサ７４、７５間に障害物は存在しないことになる。図１１（ａ）の通常状態においては、バーナー２０は密閉状態にあり、バーナー押さえ機構３０の本体３１は、レーザービームＬＢよりも前方にあるので、投光器７５から投光されたレーザー光ＬＢは、受光器７４で受光され、バーナー２０が密閉状態にあることを検出できる。
【００８３】
図１１（ｂ）は、異常状態における実施例４に係る異常燃焼検出装置１２０ｃを示した図である。図１１（ｂ）において、バーナー２０が一瞬外れ、バーナー押さえ機構３０の本体３１が後退すると、本体３１にレーザー光ＬＢの透過が遮蔽され、投光器７５から投光されたレーザー光ＬＢが受光器７４で受光されなくなり、受光信号を受信できなくなる。これにより、レーザーセンサ７４、７５は、バーナー２０が後方に移動したことを検出することができ、異常燃焼を検出できる。
【００８４】
このように、実施例４に係る異常検出装置１２０ｃのように、透過型のレーザーセンサ７４、７５を位置センサとして用いて、外部燃焼機構６０の異常燃焼を検出するようにしてもよい。
【実施例５】
【００８５】
図１２は、実施例５に係る異常燃焼検出装置１２０ｄの位置センサの部分を示した図である。実施例５に係る異常燃焼検出装置１２０ｄは、位置センサに、フォトセンサ７６を適用している点で、実施例１〜４に係る異常燃焼検出装置１２０、１２０ａ〜１２０ｃと異なっている。
【００８６】
図１２（ａ）は、実施例５に係る異常燃焼検出装置１２０ｄの位置センサの部分を後方から見た正面図である。図１２（ａ）において、フォトセンサ７６が、バーナー押さえ機構３０の本体３１を下方から挟むように配置されている。フォトセンサ７６は、発光側に赤外発光ダイオード７７、受光側にシリコンフォトトランジスタ７８を利用した透過型の位置センサである。よって、フォトセンサ７６の配置は、実施例４の図１１において説明した配置とほぼ同様となる。
【００８７】
図１２（ｂ）は、実施例５に係る異常燃焼検出装置１２０ｄの位置センサの部分の斜視図である。通常状態のバーナー押さえ機構３０の本体３１の位置の後方両側に、本体３１を挟むように、赤外発光ダイオード７７と、シリコンフォトトランジスタ７８が対向して配置される。そして、本体３１が後方に移動し、赤外発光ダイオード７７からの発光が、本体３１に遮蔽されると、シリコンフォトトランジスタ７８の受光量が減少し、バーナー２０の後方移動を検出することができる。
【００８８】
図１２（ｃ）は、フォトセンサ７６の設置方法の他の一例について示した図である。例えば、バーナー押さえ機構３０の本体３１を、上下から挟み込むように配置してもよい。上下からの挟み込みは、本体３１の後方正面に設けてもよいし、後方への移動量が多くても本体３１とフォトセンサ７６との衝突が発生しないように、側方から上下に挟むような配置としてもよい。つまり、図１２（ｃ）を、側面図とみなしてもよいし（正面後方に設置）、後方からの正面図とみなしてもよい（側方後方に設置）。また、本体３１を直接検出するのではなく、本体３１に薄い板を垂直方向に設けて、それを左右から赤外発光ダイオード７７とシリコンフォトトランジスタ７８で挟み込んでバーナー２０の後退を検出するようにしてもよい。
【００８９】
このように、実施例５に係る異常燃焼検出装置１２０ｄのように、位置センサにフォトセンサ７６を適用するようにしてもよい。なお、フォトセンサ７６は、赤外発光ダイオード７７からの赤外線を検出することから、赤外線センサ７６と呼ぶようにしてもよい。
【実施例６】
【００９０】
図１３は、本発明を適用した実施例６に係る異常燃焼検出装置１２０ｅの機械的構成を示した図である。実施例６に係る異常燃焼検出装置１２０ｅにおいては、位置センサとして歪センサ７９を適用している。
【００９１】
図１３（ａ）は、通常状態における実施例６に係る異常燃焼検出装置１２０ｅを示した図である。図１３（ａ）において、実施例６に係る異常燃焼検出装置１２０ｅにおいては、バーナー押さえ機構３０の本体３１の後方に、歪センサ７９が設けられている。歪センサ７９は、表面に加えられた押圧力を電気信号に変換して検出するセンサであり、これを用いても、本体３１の後方移動を検出することができる。歪センサ７９は、例えば、フロッピ・ディスクのような四角形の形状をしているので、本体３１のように直線状に歪センサ７９の表面に押圧力を加えるよりも、点で歪センサ７９に押圧力を印加する方が検出し易いと考えられる。そこで、本実施例においては、バーナー押さえ機構３０の本体３１に、後方に突出した押圧棒３７を固定して設けている。これを、バーナー２０が密閉状態にあるときには、押圧棒３７が歪センサ７９に届かない位置であり、バーナー２０の移動があったときに、歪センサ７９に達する位置に設けることにより、バーナー２０の後方移動を検出することができる。
【００９２】
図１３（ｂ）は、異常状態における実施例６に係る異常燃焼検出装置１２０ｅを示した図である。バーナー２０が一瞬外れて後退することにより、バーナー押さえ機構３０の後方に突出して設けられた押圧棒３７が歪センサ７９に達して押圧力を加えている。これにより、歪センサ７９は、バーナー２０の後方移動を検出することができる。
【００９３】
図１４は、押圧棒３７と歪センサ７９の位置関係を示した側面図である。図１４（ａ）は、通常状態における押圧棒３７と歪センサ７９の位置関係を示した図である。図１４（ａ）において、通常状態においては、押圧棒３７は歪センサ７９と間隔を空けた接触しない位置に配置され、歪センサ７９で検出される押圧力は０の状態となっている。
【００９４】
図１４（ｂ）は、異常状態における押圧棒３７と歪センサ７９の位置関係を示した側面図である。図１４（ｂ）において、押圧棒３７が後退し、歪センサ７９まで到達して歪センサ７９に押圧力を付与している。この押圧力を、歪センサ７９は検出し、バーナー２０が後退し、異常燃焼が発生したことを検出する。
【００９５】
このように、位置センサに歪センサを適用して、異常燃焼検出装置１２０ｅを構成してもよい。
【００９６】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００９７】
特に、回路を含めた全体構成は、実施例１の図６及び実施例２の図８の内容を、適宜用途に応じて、実施例３〜６に総て適用することができる。これにより、用途に応じて種々の位置センサを選択できるとともに、異常燃焼を検出した後の処置も、用途に応じて適宜適切な処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】実施例１に係る異常検出装置１２０の全体概略構成を示した図である。
【図２】外部燃焼機構６０を含む縦型拡散装置２００の全体構成を示した図である。
【図３】外部燃焼機構６０の機械的構成を示した側断面図である。
【図４】実施例１に係る異常燃焼検出装置６０の位置センサの配置例を示した図である。
【図５】リミットスイッチ７０の部分を拡大して示した平面図である。
【図６】実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０の全体回路構成例を示した図である。
【図７】実施例１に係る異常燃焼検出装置１２０の回路構成詳細例を示した図である。
【図８】実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａの全体回路構成例を示した図である。
【図９】実施例２に係る異常燃焼検出装置１２０ａの回路構成詳細例を示した図である。
【図１０】実施例３に係る異常燃焼検出装置１２０ｂの機械的構成を示した図である。図１０（ａ）は、反射型レーザーセンサ７３を適用した異常燃焼検出装置１２０の構成例を示した図である。図１０（ｂ）は、異常状態における異常燃焼検出装置１２０ｂの検出状態を示した図である。
【図１１】実施例４に係る異常燃焼検出装置１２０ｃの機械的構成を示した図である。図１１（ａ）は、通常状態における異常燃焼検出装置１２０ｃを示した図である。図１１（ｂ）は、異常状態における異常燃焼検出装置１２０ｃを示した図である。
【図１２】実施例５に係る異常燃焼検出装置１２０ｄの位置センサ部分を示した図である。図１２（ａ）は、位置センサの部分を後方から見た正面図である。図１２（ｂ）は、位置センサの部分の斜視図である。図１２（ｃ）は、位置センサの設置方法の他の例について示した図である。
【図１３】実施例６に係る異常燃焼検出装置１２０ｅの機械的構成を示した図である。図１３（ａ）は、通常状態における異常燃焼検出装置１２０ｅを示した図である。図１３（ｂ）は、異常状態における異常燃焼検出装置１２０ｅを示した図である。
【図１４】押圧棒３７と歪センサ７９の位置関係を示した側面図である。図１４（ａ）は、通常状態における位置関係を示した図である。図１４（ｂ）は、異常状態における位置関係を示した側面図である。
【符号の説明】
【００９９】
１０    燃焼ビン
１１、２１    すり合わせ部（係合部）
１５    接続部
２０    バーナー
２２、２３    気体供給管
２４、２５    コネクタ
２６    集光板
３０    バーナー押さえ機構
３１    本体
３２    押さえ爪
３３    支持棒
３４    バネ
３５    スライドベアリング
３６    スイッチキッカー
３７    押圧棒
４０    台座
５０    ランプ
６０    外部燃焼機構
７０    リミットスイッチ
７１    スイッチ本体
７２    接点
７３、７４、７５    レーザーセンサ
７６    フォトセンサ
７７    赤外発光ダイオード
７８    シリコンフォトトランジスタ
７９    歪センサ
８０    リセットスイッチ
９０、９０ａ    リレー
９１    自己保持用スイッチ
９２    ブザー用スイッチ
９３    外部装置用スイッチ
９５    リレー電源
９６    電源ランプ
１００    アラーム発生手段
１０１    ブザー
１０２    警報ランプ
１２０、１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、１２０ｅ    異常燃焼検出装置
１３０    拡散装置制御手段
１４０    処理室
１５０    ウエハポート
２００    縦型拡散装置
【図１】
2010071578.tif 000003
【図２】
2010071578.tif 000004
【図３】
2010071578.tif 000005
【図４】
2010071578.tif 000006
【図５】
2010071578.tif 000007
【図６】
2010071578.tif 000008
【図７】
2010071578.tif 000009
【図８】
2010071578.tif 000010
【図９】
2010071578.tif 000011
【図１０】
2010071578.tif 000012
【図１１】
2010071578.tif 000013
【図１２】
2010071578.tif 000014
【図１３】
2010071578.tif 000015
【図１４】
2010071578.tif 000016