(57)【要約】【課題】従来は不可能と考えられていた排熱利用を実現し、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成する空調システムを提供する。【解決手段】空調対象となる部屋に導入する空気の温度調節を行う温度調節装置１と、上記温度調節装置１で部屋に導入する空気を加熱する予熱器８および再加熱器９に対して加熱媒体を循環供給する加熱媒体循環路１０と、冷却装置２と、上記冷却装置２において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路１０の加熱媒体と熱交換する熱交換器３ａ，３ｂとを備え、上記冷却装置２において冷却の際に発生した排熱を利用可能なように上記温度調節装置１における予熱器８および再加熱器９での加熱媒体の温度範囲を設定した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空調対象となる部屋に導入する空気の温度調節を行う温度調節装置と、
上記温度調節装置で部屋に導入する空気を加熱する加熱器に対して加熱媒体を循環供給する加熱媒体循環路と、
冷却装置と、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路の加熱媒体と熱交換する熱交換器とを備え、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置における加熱器での加熱媒体の温度範囲を設定したことを特徴とする空調システム。
【請求項２】
上記温度調節装置で部屋に導入する空気を冷却する冷却器に対して冷却媒体を循環供給する冷却媒体循環路をさらに備え、
上記冷却装置は、上記冷却媒体循環路を循環する冷却媒体を冷却するものである請求項１記載の空調システム。
【請求項３】
上記冷却装置は、空調対象となる部屋内の発熱源で発生した熱を冷却するものである請求項１または２記載の空調システム。
【請求項４】
空調対象となる部屋に導入する空気の温度調節を行う温度調節装置と、
上記温度調節装置で部屋に導入する空気を加熱する加熱器に対して加熱媒体を循環供給する加熱媒体循環路と、
冷却装置と、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路の加熱媒体と熱交換する熱交換器とを準備し、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置における加熱器での加熱媒体の温度範囲を設定したことを特徴とする空調方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、室内の温度および湿度を一定に保つための空調システムおよび方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、物の生産や研究において、空気中の微粒子に起因するコンタミネーションや異物混入を防止するため、室内の空気中に含まれる微粒子の数を一定値以下に抑えたクリーンルームを用いる場合がある。このようなクリーンルームは、半導体、液晶、精密機器等の主として塵埃に対する高い清浄度が求められる分野や、薬品、食品、医療品等のように、主として微生物や雑菌に対する高い清浄度が求められる分野で用いられている。
【０００３】
上記クリーンルームは、空気の清浄化と同時に、製品の製造にとって最適な環境を保つために空調装置により温度および湿度が調整されている。したがって、クリーンルーム内に外気を取り入れる際には、温度および湿度をコントロールした後に室内に導入することが行われる。
【０００４】
クリーンルーム内に外気導入する際の温湿度コントロールは、温湿度の高い夏季には冷却コイルで除湿と冷却を行い、逆に温湿度の低い冬季には加熱コイルと加湿器による加熱および加湿することが行われる。
【０００５】
クリーンルームでは、上記のような雰囲気制御や維持管理を年間を通して終日行われ、その運転には多大なエネルギーが必要となる。そのため、クリーンルームの運転や維持に対するエネルギー削減やコスト削減は、ユーザーの間で課題になっており、例えば下記の特許文献１および２に上げられるような特許出願も行われている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２６３７４８号公報
【特許文献２】特開２００４−１９０９７２号公報
【０００７】
上記特許文献１は、クリーンルーム内の清浄度を各所で均一にせず、高い清浄度が必要な箇所を隔壁で囲い、内部の空気の状態を適宜調節することにより、余分なエネルギーの消費を抑え、省エネルギー運転を行なおうとするものである。
【０００８】
上記特許文献２は、通常は最大能力で連続稼動しているファンフィルタユニットや空調機を、クリーンルーム内での装置の稼動数や入室している作業員数の増減に対応させて制御することにより、運転エネルギーを削減して省エネルギー運転を行なおうとするものである。
【０００９】
図２は、上記のようなクリーンルームにおいて一般的に用いられている空調システムを示す。この空調システムは、内調機１ａと外調機１ｂとを備えた温度調節装置１がクリーンルーム４に接続されている。上記内調機１ａおよび外調機１ｂには、それぞれ冷却媒体が通過する除湿用冷却器５と再冷却器６が設けられ、上記除湿用冷却器５および再冷却器６を通過する冷却媒体は冷却媒体循環路７で循環されるとともに、２機の空調用冷却装置２ａによって冷却されるようになっている。上記外調機１ｂには加熱媒体が通過する予熱器８および再加熱器９が設けられ、上記予熱器８および再加熱器９を通過する加熱媒体は加熱媒体循環路１０で循環されるとともに、ボイラ１１によって加熱されるようになっている。
【００１０】
すなわち、上記外調機１ｂは、除塵用のフィルター１２の前後に、予熱器８、加湿ノズル１３、除湿用冷却器５、再加熱器９を備え、導入する外気の温度および湿度を制御する。また、内調機１ａは、循環空気と、外調機１ｂで導入された外気の混合空気を再冷却して温度調節する再冷却器６を備えている。これにより、クリーンルーム４内は、温度２２〜２３℃、湿度４０〜５０％になるよう制御される。
【００１１】
上記空調システムでは、温度および湿度の調節は、まず、導入する外気を除湿用冷却器５で冷却して除湿し、この除湿工程で８℃程度まで温度が下がった空気を、再加熱器９で再加熱することが行われている。上記除湿工程および再加熱工程は、通年行われているうえ、冬季等には導入する外気自体が低温であるため、上記除湿工程および再加熱工程の前に予熱器８による予熱工程および加湿ノズル１３による加湿工程が必要となる。
【００１２】
上記外調機１ｂの予熱器８および再加熱器９を加熱するための加熱媒体は、加熱媒体循環路１０を循環してボイラ１１で加熱することが行われる。上記外調機１ｂの除湿用冷却器５および内調機１ａの除湿用冷却器５および再冷却器６を冷却する冷却媒体は、冷却媒体循環路７を循環して２機の空調用冷却装置２ａで冷却することが行われる。一方、クリーンルーム４内に設置された装置１４等の発熱源の熱は、外部冷却装置２ｂで冷却することが行われる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記従来の空調システムでは、温度調節装置１の予熱器８および再加熱器９を加熱するための加熱媒体をボイラ１１で加熱することが行われ、ボイラ１１の加熱設計を基本に設計されることから、予熱器８および再加熱器９での加熱媒体の温度もそれに合わせて高めに設定されている。例えば図示した例では、予熱器８および再加熱器９の入口での加熱媒体の温度は５５℃、出口での加熱媒体の温度は４５℃に設定されて運転されており、従来の空調システムは平均的にこの程度の温度設定で運転されていた。
【００１４】
また、予熱器８では、冬季では１０℃以下程度の低温の外気を一旦３０℃、７０％程度まで持っていくことが行われ、再加熱器９では、除湿用冷却器５で８℃程度まで下がった空気を１４℃程度まで持っていくことが行われることから、上述したように４５〜５５℃程度の温度が必要だと考えられていた。
【００１５】
一方、温度調節装置１の除湿用冷却器５および再冷却器６を冷却する冷却媒体は、２機の空調用冷却装置２ａで冷却することが行われる。図示した例では、上記空調用冷却装置２ａにおいて、１２℃程度の冷却媒体を冷凍機１５で７℃程度まで冷却し、そこで発生した排熱を冷却塔（クーリングタワー）１６を循環する冷却水に熱交換することが行われる。上記冷却塔１６では、冷却媒体との熱交換で３５℃程度まで上昇した冷却水を３０℃程度まで冷却することが行われる。
【００１６】
また、クリーンルーム４内に設置された発熱源である装置１４の熱を冷却する外部冷却装置２ｂでも、装置を冷却する冷却媒体を冷凍機１７で冷却し、そこで発生した排熱を冷却塔（クーリングタワー）１８を循環する冷却水に熱交換することが行われる。上記冷却塔１８では、冷却媒体との熱交換で３２℃程度まで上昇した冷却水を２８℃程度まで冷却することが行われる。
【００１７】
このように、従来の空調システムでは、温度調節装置１の予熱器８および再加熱器９を加熱する加熱系統と、除湿用冷却器５および再冷却器６を冷却する冷却系統とが独立分離して設けられており、加熱系統では加熱のためにボイラ１１を運転してエネルギーを消費し、冷却系統では、冷却装置２で冷却の再に熱交換された熱を排熱として冷却塔１６，１８で放熱していた。このように、系全体としてエネルギーロスの多い運転を行っていたのが実情である。
【００１８】
一方、上述したように、温度調節装置１の予熱器８および再加熱器９を加熱する加熱系統は、ボイラ１１の加熱設計を基本に設計されていることから、加熱媒体の温度もそれに合わせた高めの設定で運転されている。この温度調節装置１の予熱器８および再加熱器９に循環供給する加熱媒体の温度設定（４５〜５５℃）は、冷却装置２で排熱として放熱している冷却水の温度設定（３０〜３５℃）よりも遥かに高いことから、上述したような加熱系統と冷却系統が分離した設計にせざるを得ず、ここで熱交換を行って排熱を有効利用しようとする発想が生まれることがなく、エネルギーロスの多い運転を続けていたのが実情である。
【００１９】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、従来は不可能と考えられていた排熱利用を実現し、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成する空調システムおよび方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するため、本発明の空調システムは、空調対象となる部屋に導入する空気の温度調節を行う温度調節装置と、
上記温度調節装置で部屋に導入する空気を加熱する加熱器に対して加熱媒体を循環供給する加熱媒体循環路と、
冷却装置と、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路の加熱媒体と熱交換する熱交換器とを備え、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置における加熱器での加熱媒体の温度範囲を設定したことを要旨とする。
【００２１】
また、上記目的を達成するため、本発明の空調方法は、空調対象となる部屋に導入する空気の温度調節を行う温度調節装置と、
上記温度調節装置で部屋に導入する空気を加熱する加熱器に対して加熱媒体を循環供給する加熱媒体循環路と、
冷却装置と、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路の加熱媒体と熱交換する熱交換器とを準備し、
上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置における加熱器での加熱媒体の温度範囲を設定したことを要旨とする。
【発明の効果】
【００２２】
すなわち、本発明は、上記冷却装置において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置における加熱器での加熱媒体の温度範囲を設定した。これにより、冷却装置において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路の加熱媒体と熱交換する熱交換器を用い、従来は冷却装置で排熱として放熱していた熱を加熱媒体循環路の加熱媒体の熱として利用することができ、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成することができた。
【００２３】
本発明において、上記温度調節装置で部屋に導入する空気を冷却する冷却器に対して冷却媒体を循環供給する冷却媒体循環路をさらに備え、上記冷却装置は、上記冷却媒体循環路を循環する冷却媒体を冷却するものである場合には、温度調節装置で部屋に導入する空気を冷却する冷却器に循環供給する冷却媒体を冷却する際に発生する排熱を、加熱媒体循環路の加熱媒体の熱として利用することができ、エネルギーの自己循環率を高め、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成することができる。
【００２４】
本発明において、上記冷却装置は、空調対象となる部屋内の発熱源で発生した熱を冷却するものである場合には、空調対象となる部屋内の発熱源で発生した熱を冷却する際に発生する排熱を、加熱媒体循環路の加熱媒体の熱として利用することができ、エネルギーの有効利用率を高め、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
つぎに、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【実施例１】
【００２６】
図１は、本発明の空調方法を実現する空調システムの一実施形態を示す図である。
【００２７】
この例は、空調対象とする部屋としてクリーンルーム４の温湿度制御を行うシステムである。すなわち、この空調システムは、空調対象となるクリーンルーム４に導入する空気の温度調節を行う温度調節装置１と、上記温度調節装置１で部屋に導入する空気を加熱する加熱器としての予熱器８および再加熱器９に対して加熱媒体を循環供給する加熱媒体循環路１０と、冷却装置２とを備えている。
【００２８】
また、この空調システムは、上記冷却装置２において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路１０の加熱媒体と熱交換する熱交換器３ａ，３ｂをさらに備え、上記冷却装置２において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置１における加熱器としての予熱器８および再加熱器９での加熱媒体の温度範囲を設定している。
【００２９】
より詳しく説明すると、上記温度調節装置１は、内調機１ａと外調機１ｂとを備えて構成されている。上記外調機１ｂは、外気を導入して所定の温湿度（この例では１４℃）に調節した空気をファン２０および接続ダクト１９により内調機１ａに送る。上記接続ダクト１９は、クリーンルーム４から排出された空気を循環させる循環ダクト２１が接続されて、クリーンルーム４からの排気（この例では２５℃）と外調機１ｂから送られた外気とを混合する。クリーンルーム４からの排気と外調機１ｂから送られた外気（この例では２４℃）は、内調機１ａで所定の温度（この例では２０℃）に調節されて、ファン２３および導入ダクト２２によりクリーンルーム４内に導入される。
【００３０】
クリーンルーム４内には、発熱源としての生産機械等の装置１４が備えられ、２０℃で導入される空気が装置１４の発熱を受けて、常時温度２２〜２３℃、湿度４０〜５０％に保たれるようになっている。
【００３１】
上記外調機１ｂは、除塵用のフィルター１２の前後に、予熱器８、加湿ノズル１３、除湿用冷却器５、再加熱器９を備え、導入する外気の温度および湿度を制御する。また、内調機１ａは、クリーンルーム４からの排気と外調機１ｂで導入された外気の混合空気を再冷却して温度調節する再冷却器６を備えている。
【００３２】
上記除湿用冷却器５は、導入する外気（例えば３０℃、７０％）を冷却することにより空気中の水分を除去する。この除湿工程で、例えば８℃程度まで温度を下げることにより、所定の水分量として、最終的なクリーンルーム４内の湿度を所定範囲内に制御することが行われる。上記再加熱器９は、上記除湿工程で例えば８℃程度まで温度が下がった空気を例えば１４℃程度まで再加熱し、最終的なクリーンルーム４内の温湿度を所定範囲内に制御することが行われる。
【００３３】
このように、基本的には、除湿工程によって外気を所定の水分量に制御し、その後再加熱によって所定の温度に復元する。この２工程で所定の温度および水分量になった外気を、クリーンルーム４からの排気と混合し、さらに内調機１ａの再冷却器６で所定の温度まで冷却して温湿度を調節し、クリーンルーム４に導入することが行われる。
【００３４】
ここで、上記予熱器８および加湿ノズル１３は、冬季等のように導入する外気の温湿度が低い場合に、上述した除湿工程および再加熱工程によって所定の温湿度に制御できる程度（例えば３０℃、７０％）まで外気を昇温および加湿する。
【００３５】
上記外調機１ｂの除湿用冷却器５と内調機１ａの再冷却器６は、ともに冷却媒体が循環供給されて流通する。上記冷却媒体は、空調用冷却装置２ａ（この例では２機）に接続された冷却媒体循環路７で循環され、上記冷却媒体循環路７は、上記温度調節装置１で部屋に導入する空気を冷却する除湿用冷却器５および再冷却器６に対して冷却媒体を循環供給する。除湿用冷却器５および再冷却器６での冷却にともなって加熱された冷却媒体は、冷却装置２としての空調用冷却装置２ａによって冷却される。
【００３６】
上記空調用冷却装置２ａは、冷却媒体循環路７を循環する冷却媒体を冷却するための冷凍機１５と、上記冷凍機１５で発生する排熱を回収する熱回収媒体が循環する循環路２４、上記循環路２４を循環する熱回収媒体を冷却する冷却塔（クーリングタワー）１６、上記循環路２４に熱回収媒体を循環させるポンプ２５、上記循環路２４において冷却塔１６の上流側と下流側をバイパスするバイパス路２６とを備えて構成されている。
【００３７】
ここで、この空調システムは、クリーンルーム４に設置された発熱源としての装置１４で発生した熱を冷却する冷却装置としての外部冷却装置２ｂを備えている。上記外部冷却装置２ｂは、装置１４の熱を回収する熱回収熱媒体の循環路２７が接続される冷凍機１７（この例では２機）と、上記冷凍機１７で発生する排熱を回収する熱回収媒体が循環する循環路２９、上記循環路２９を循環する熱回収媒体を冷却する冷却塔（クーリングタワー）１８、上記循環路２９に熱回収媒体を循環させるポンプ２８、上記循環路２９において冷却塔１８の上流側と下流側をバイパスするバイパス路３０とを備えて構成されている。
【００３８】
また、外調機１ｂの予熱器８と再加熱器９は、ともに加熱媒体が循環供給されて流通する。上記加熱媒体は、ボイラ１１に接続された加熱媒体循環路１０で循環される。予熱器８と再加熱器９での加熱にともなって冷却された加熱媒体は、ボイラ１１によって加熱できるようになっている。上記加熱媒体循環路１０には、加熱媒体を循環させるポンプ３１と、ボイラ１１の上流側と下流側をバイパスするバイパス路３２とが設けられている。
【００３９】
また、上記加熱媒体循環路１０と空調用冷却装置２ａの循環路２４の間には、上記空調用冷却装置２ａにおいて上記冷却媒体循環路７を循環する冷却媒体を冷却する際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路１０の加熱媒体と熱交換する熱交換器３ａが設けられている。また、上記加熱媒体循環路１０と外部冷却装置２ｂの循環路２９の間には、空調対象となるクリーンルーム４内の発熱源である装置１４で発生した熱を冷却する際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路１０の加熱媒体と熱交換する熱交換器３ｂが設けられている。
【００４０】
そして、上記空調用冷却装置２ａおよび外部冷却装置２ｂにおいて、冷却媒体および熱回収媒体を冷却する際に発生した排熱を利用して加熱可能なように、上記温度調節装置１における予熱器８と再加熱器９での加熱媒体の温度範囲を設定している。
【００４１】
すなわち、この例では、除湿用冷却器５および再冷却器６の入口側において冷却媒体循環路７を流通する冷却媒体の温度は約７℃に設定され、除湿用冷却器５および再冷却器６の出口側の温度は約１２℃に設定されるよう空調用冷却装置２ａを稼動する。このとき、空調用冷却装置２ａは、冷凍機１５の出口側（冷却塔１６の入口側）において循環路２４を流通する熱回収媒体の温度は約３５℃、冷凍機１５の入口側（冷却塔１６の出口側）において循環路２４を流通する熱回収媒体の温度は約３０℃で運転される。
【００４２】
一方、この例では、温度調節装置１における予熱器８と再加熱器９での加熱媒体の温度範囲は、予熱器８と再加熱器９の入口側で加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体の温度を２９〜３１℃に設定し、出口側の温度を２０℃程度に設定している。このように、空調用冷却装置２ａにおいて、冷却の際に発生する排熱を回収する熱回収媒体の温度範囲（この例では３０〜３５℃）よりも、加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体の温度（この例では２９〜３１℃）が低くなるよう設定することにより、上記空調用冷却装置２ａにおいて冷却の際に発生した排熱を加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体の加熱するために利用可能なように構成されている。
【００４３】
同様に、外部冷却装置２ｂにおいて、冷却の際に発生する排熱を回収する熱回収媒体の温度範囲（この例では２８〜３２℃）よりも、加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体の温度（この例では２９〜３１℃）が低くなるよう設定することにより、上記外部冷却装置２ｂにおいて冷却の際に発生した排熱を加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体の加熱するために利用可能なように構成されている。
【００４４】
そして、この例では、予熱器８と再加熱器９から排出されて加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体は、予熱器８と再加熱器９の出口側で２０℃程度まで冷却されているが、外部冷却装置２ｂとの間に設けられた熱交換器３ｂを通過して熱交換することにより、２３℃程度まで昇温され、２機の空調用冷却装置２ａとの間に設けられた２つの熱交換器３ａを通過して熱交換することにより、順次２９℃程度、２９〜３１℃程度と昇温される。
【００４５】
このとき、冷凍機１５、１７での冷却に伴って発生した排熱は、熱回収媒体で回収されて循環路２４，２９を循環する際に熱交換器３ａ，３ｂで熱交換されて消費され、冷却塔１６，１８で放熱される排熱量が大幅に減少する。このため、冷却塔１６，１８を小型のものとすることができて、設備コストを抑えることが可能となる。
【００４６】
また、加熱媒体循環路１０を流通する加熱媒体は熱交換器３ａ，３ｂでの熱交換により昇温されることから、ボイラ１１の稼働率を大幅に減少させることができる。このため、ボイラ１１で消費されるエネルギーを大幅に減らしてランニングコストを大幅に低減することができる。
【００４７】
図１の実施例および図２の従来例に示す空調システムにより、それぞれクリーンルーム４の空調を行ったときのボイラ１１で消費される天然ガス量を比較した結果を下記の表１に示す。
【００４８】
【表１】
2010071543.tif 000003
【００４９】
表１からわかるように、夏季を含む６月〜１０月にかけてはボイラ１１の稼働率をゼロにすることができ、その他の月でも天然ガスの使用料を大幅に削減することができた。年間を通してのエネルギー削減率を９９％とすることができた。
【００５０】
このように、本実施形態は、上記冷却装置２において冷却の際に発生した排熱を利用して加熱可能なように上記温度調節装置１における予熱器８と再加熱器９での加熱媒体の温度範囲を設定した。これにより、冷却装置２において冷却の際に発生した排熱を上記加熱媒体循環路１０の加熱媒体と熱交換する熱交換器３ａ，３ｂを用い、従来は冷却装置２で排熱として放熱していた熱を加熱媒体循環路１０の加熱媒体の熱として利用することができ、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成することができた。
【００５１】
また、上記温度調節装置１で部屋に導入する空気を冷却する除湿用冷却器５および再冷却器６に対して冷却媒体を循環供給する冷却媒体循環路７をさらに備え、上記冷却装置２は、上記冷却媒体循環路７を循環する冷却媒体を冷却するものである場合には、温度調節装置１で部屋に導入する空気を冷却する除湿用冷却器５および再冷却器６に循環供給する冷却媒体を冷却する際に発生する排熱を、加熱媒体循環路１０の加熱媒体の熱として利用することができ、エネルギーの自己循環率を高め、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成することができる。
【００５２】
また、上記冷却装置２は、クリーンルーム４内の発熱源である装置１４で発生した熱を冷却するものである場合には、クリーンルーム４内の装置１４で発生した熱を冷却する際に発生する排熱を、加熱媒体循環路１０の加熱媒体の熱として利用することができ、エネルギーの有効利用率を高め、熱効率を大幅に向上して省エネルギーを達成することができる。
【００５３】
なお、上記実施形態において、加熱媒体、冷却媒体、熱回収媒体としては、例えば水を使用することができるが、これに限定するものではなく、熱媒体として使用可能な流体であれば、各種のものを用いることができる。
【００５４】
また、上記実施形態では、本発明をクリーンルーム用の空調システムおよび方法に適用した例を示したが、本発明は、クリーンルーム用の空調設備に限らず、その他の工場、ビル、施設等の空調設備にも適用できる趣旨である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の空調システムの一実施例を示す図である。
【図２】従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１：温度調節装置
１ａ：内調機
１ｂ：外調機
２：冷却装置
２ａ：空調用冷却装置
２ｂ：外部冷却装置
３ａ：熱交換器
３ｂ：熱交換器
４：クリーンルーム
５：除湿用冷却器
６：再冷却器
７：冷却媒体循環路
８：予熱器
９：再加熱器
１０：加熱媒体循環路
１１：ボイラ
１２：フィルター
１３：加湿ノズル
１４：装置
１５：冷凍機
１６：冷却塔
１７：冷凍機
１８：冷却塔
１９：接続ダクト
２０：ファン
２１：循環ダクト
２２：導入ダクト
２３：ファン
２４：循環路
２５：ポンプ
２６：バイパス路
２７：循環路
２８：ポンプ
２９：循環路
３０：バイパス路
３１：ポンプ
３２：バイパス路
【図１】
2010071543.tif 000004
【図２】
2010071543.tif 000005