(57)【要約】【課題】レーザーチップを発光点と対向する向きから高精度に位置決めすることのできるレーザーチップの位置決め方法を提供する。【解決手段】サブマウント２に第１面２０と第２面２１に渡る第２位置決めマーク２２を形成し、レーザーチップ１の発光点１２を有する面１１ａとサブマウントの第２面２１とが同じ方向に向いた状態で、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４とサブマウントの第１面２０側の第２位置決めマーク２２が所定の位置関係となるように、レーザーチップ１をサブマウント２の第１面２０に対して位置決め固定し、レーザーチップ１が固定されたサブマウント２の第２面側２１の第２位置決めマーク２２を基準として、サブマウント２の位置決めをなす。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１面と該第１面と角度をなして隣接する第２面とを有するサブマウントに対し、一面に発光点を有し該発光点を有する面と角度をなす他面に第１位置決めマークを有するレーザーチップを位置決め固定し、該レーザーチップが位置決め固定されたサブマウントを位置決めするレーザーチップの位置決め方法であって、
前記サブマウントに前記第１面と第２面に渡る第２位置決めマークを形成し、前記レーザーチップの発光点を有する面と前記サブマウントの第２面とが同じ方向に向いた状態で、前記レーザーチップの第１位置決めマークと前記サブマウントの第１面側の第２位置決めマークが所定の位置関係となるように、前記レーザーチップをサブマウントの第１面に対して位置決め固定し、前記レーザーチップが固定された前記サブマウントの第２面側の第２位置決めマークを基準として、前記サブマウントの位置決めをなすことを特徴とするレーザーチップの位置決め方法。
【請求項２】
前記サブマウントの位置決めは、前記サブマウントの第２面側の第２位置決めマークに加えて、前記サブマウントに取付けられたレーザーチップの発光点を有する面と前記第１位置決めマークを有する面とでなす稜線を基準としてなされることを特徴とする請求項１記載のレーザーチップの位置決め方法。
【請求項３】
前記サブマウントの第１面及び第２面に対して傾斜した方向から、レーザー装置からの光を照射し、前記サブマウントを前記レーザー装置からの光と直交する方向を軸に回転させる、または前記レーザー装置による光の照射位置が前記第１面から第２面に渡るように前記レーザー装置を移動させることにより、前記サブマウントの第１面と第２面に渡る前記第２位置決めマークを形成することを特徴とする請求項１または２記載のレーザーチップの位置決め方法。
【請求項４】
前記サブマウントを取付ける基材の一面に第３位置決めマークが形成され、該第３位置決めマークと前記第２位置決めマークが所定の位置関係となるように位置調整することで、前記レーザーチップが取付けられたサブマウントを前記基材の一面に位置決めすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザーチップの位置決め方法。
【請求項５】
前記サブマウントの第２面に対向するように、レンズ及び位置決め部を有し透明材料からなるレンズ部材を配置し、該レンズ部材を介して前記サブマウントの第２面に対向するように位置決め用カメラを配置し、該位置決め用カメラで前記レンズ部材の位置決め部と前記第２位置決めマークを撮影すると共に、該撮影した画像または映像に基づいて前記第２位置決めマークと位置決め部が所定の位置関係となるようにすることで、前記レーザーチップを前記レンズ部材のレンズに対して位置決めすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザーチップの位置決め方法。
【請求項６】
前記サブマウントの第２位置決めマークは、前記レーザーチップの取付位置を挟んで両側に形成されることを特徴とする請求項５記載のレーザーチップの位置決め方法。
【請求項７】
前記レンズ部材の位置決め部はレンズ面を有し、前記位置決め用カメラで前記レンズ面を介して前記第２位置決めマークを撮影し、該第２位置決めマークに合焦するように前記レンズ部材を光軸方向に位置調整することを特徴とする請求項５または６記載のレーザーチップの位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザーチップをサブマウントに固定し該サブマウントをレーザーチップを基準として機器内で位置決めする方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体レーザー素子であるレーザーチップは、光通信装置などにおいて広く用いられている。レーザーチップは、基板上に複数の材料が積層されて形成されており、積層の端面に発光点を有する。また、レーザーチップには、基板の面と平行な面に、発光点の位置と所定の位置関係を有する位置決め用マークが形成される。レーザーチップを機器内において基材の面に位置決めする際には、発光点からの発光方向と垂直な方向に向かって位置決め用カメラが配置され、この位置決め用カメラで撮影した画像または映像に基づいて位置決めがなされる。
【０００３】
このため、レーザーチップの発光方向は、基材の面と平行な方向となり、基材の面と垂直な方向に光を向けるためには、曲げミラーを設ける必要があった。このように曲げミラーを設けて光を垂直方向に向かわせるものとしては、例えば特許文献１に挙げるようなものがある。
【０００４】
しかし、曲げミラーは部品としてのコストが高く、機器の高コスト化を招くこととなる。また、曲げミラーに対して光が傾斜状に入射すると、光軸がずれてしまうという問題もあった。
【０００５】
このため、レーザーチップをサブマウントに対して取付け、このサブマウントを機器内に位置決め固定することにより、発光方向を任意に設定できるようにしたものも知られている。このようなレーザーチップの位置決め方法としては、例えば特許文献２に挙げるようなものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１１５７３２号公報
【特許文献２】特開平１０−１１７０４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、サブマウントに対してレーザーチップを取付ける場合においても、レーザーチップの発光点に対向した向きから位置決めを行うことができない。このため、レーザーチップの外形状などを基準として位置決めを行うこととなるが、レーザーチップは大判状に複数が配列された状態で一括形成された後、劈開されて個々のチップとして形成されるため、外形状の精度はあまり高くなく、したがって発光点の位置を機器内において高精度に位置決めすることは困難であった。
【０００８】
本発明は前記課題を鑑みてなされたものであり、レーザーチップを発光点と対向する向きから高精度に位置決めすることのできるレーザーチップの位置決め方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法は、少なくとも第１面と該第１面と角度をなして隣接する第２面とを有するサブマウントに対し、一面に発光点を有し該発光点を有する面と角度をなす他面に第１位置決めマークを有するレーザーチップを位置決め固定し、該レーザーチップが位置決め固定されたサブマウントを位置決めするレーザーチップの位置決め方法であって、
前記サブマウントに前記第１面と第２面に渡る第２位置決めマークを形成し、前記レーザーチップの発光点を有する面と前記サブマウントの第２面とが同じ方向に向いた状態で、前記レーザーチップの第１位置決めマークと前記サブマウントの第１面側の第２位置決めマークが所定の位置関係となるように、前記レーザーチップをサブマウントの第１面に対して位置決め固定し、前記レーザーチップが固定された前記サブマウントの第２面側の第２位置決めマークを基準として、前記サブマウントの位置決めをなすことを特徴として構成されている。
【００１０】
また、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法は、前記サブマウントの位置決めは、前記サブマウントの第２面側の第２位置決めマークに加えて、前記サブマウントに取付けられたレーザーチップの発光点を有する面と前記第１位置決めマークを有する面とでなす稜線を基準としてなされることを特徴として構成されている。
【００１１】
さらに、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法は、前記サブマウントの第１面及び第２面に対して傾斜した方向から、レーザー装置からの光を照射し、前記サブマウントを前記レーザー装置からの光と直交する方向を軸に回転させる、または前記レーザー装置による光の照射位置が前記第１面から第２面に渡るように前記レーザー装置を移動させることにより、前記サブマウントの第１面と第２面に渡る前記第２位置決めマークを形成することを特徴として構成されている。
【００１２】
さらにまた、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法は、前記サブマウントを取付ける基材の一面に第３位置決めマークが形成され、該第３位置決めマークと前記第２位置決めマークが所定の位置関係となるように位置調整することで、前記レーザーチップが取付けられたサブマウントを前記基材の一面に位置決めすることを特徴として構成されている。
【００１３】
そして、本発明に係る位置決め方法は、前記サブマウントの第２面に対向するように、レンズ及び位置決め部を有し透明材料からなるレンズ部材を配置し、該レンズ部材を介して前記サブマウントの第２面に対向するように位置決め用カメラを配置し、該位置決め用カメラで前記レンズ部材の位置決め部と前記第２位置決めマークを撮影すると共に、該撮影した画像または映像に基づいて前記第２位置決めマークと位置決め部が所定の位置関係となるようにすることで、前記レーザーチップを前記レンズ部材のレンズに対して位置決めすることを特徴として構成されている。
【００１４】
また、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法は、前記サブマウントの第２位置決めマークは、前記レーザーチップの取付位置を挟んで両側に形成されることを特徴として構成されている。
【００１５】
さらに、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法は、前記レンズ部材の位置決め部はレンズ面を有し、前記位置決め用カメラで前記レンズ面を介して前記第２位置決めマークを撮影し、該第２位置決めマークに合焦するように前記レンズ部材を光軸方向に位置調整することを特徴として構成されている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、サブマウントに第１面と第２面に渡る第２位置決めマークを形成し、レーザーチップの発光点を有する面とサブマウントの第２面とが同じ方向に向いた状態で、レーザーチップの第１位置決めマークとサブマウントの第１面側の第２位置決めマークが所定の位置関係となるように、レーザーチップをサブマウントの第１面に対して位置決め固定し、レーザーチップが固定されたサブマウントの第２面側の第２位置決めマークを基準として、サブマウントの位置決めをなすことにより、サブマウントに対してレーザーチップを第１位置決めマークと第２位置決めマークにより位置決めし、これによってレーザーチップの発光点と所定の位置関係となった第２位置決めマークの第２面側の部分で、発光点と対向する向きから高精度に位置決めすることができる。
【００１７】
また、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、サブマウントの位置決めは、サブマウントの第２面側の第２位置決めマークに加えて、サブマウントに取付けられたレーザーチップの発光点を有する面と第１位置決めマークを有する面とでなす稜線を基準としてなされることにより、発光点と当該稜線は高精度な位置関係にあるため、サブマウントを当該稜線と直交する方向に高精度に位置決めすることができる。
【００１８】
さらに、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、サブマウントの第１面及び第２面に対して傾斜した方向から、レーザー装置からの光を照射し、サブマウントをレーザー装置からの光と直交する方向を軸に回転させる、またはレーザー装置による光の照射位置が第１面から第２面に渡るようにレーザー装置を移動させることにより、サブマウントの第１面と第２面に渡る第２位置決めマークを形成することにより、簡易な方法で第１面と第２面にわたる高精度な第２位置決めマークを形成することができる。
【００１９】
さらにまた、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、サブマウントを取付ける基材の一面に第３位置決めマークが形成され、第３位置決めマークと第２位置決めマークが所定の位置関係となるように位置調整することで、レーザーチップが取付けられたサブマウントを基材の一面に位置決めすることにより、レーザーチップを機器内において高精度に位置決めすることができる。
【００２０】
そして、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、サブマウントの第２面に対向するようにレンズ部材を配置し、レンズ部材を介してサブマウントの第２面に対向する位置決め用カメラで、レンズ部材の位置決め部と第２位置決めマークを撮影すると共に、撮影した画像または映像に基づいて第２位置決めマークと位置決め部が所定の位置関係となるようにすることで、レーザーチップをレンズ部材のレンズに対して位置決めすることにより、レーザーチップとレンズとの位置関係を高精度に位置決めすることができる。
【００２１】
また、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、サブマウントの第２位置決めマークは、レーザーチップの取付位置を挟んで両側に形成されることにより、レンズ部材とサブマウントの位置関係を平面方向についてより確実に位置決めできる。
【００２２】
さらに、本発明に係るレーザーチップの位置決め方法によれば、レンズ部材の位置決め部はレンズ面を有し、位置決め用カメラでレンズ面を介して第２位置決めマークを撮影し、第２位置決めマークに合焦するようにレンズ部材を光軸方向に位置調整することにより、簡易にレンズ部材とレーザーチップの光軸方向位置を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態のレーザーチップの位置決め方法において用いられるレーザーチップの正面図及び平面図である。
【図２】第１の実施形態におけるレーザーチップの位置決めの工程を表した概念的な斜視図である。
【図３】サブマウントとレーザー装置の関係を表した側面図である。
【図４】位置決め用カメラが撮影する方向から見たレーザーチップとサブマウントの平面図である。
【図５】サブマウント及び基材の、位置決め用カメラが撮影する方向から見た平面図である。
【図６】本実施形態におけるレーザーチップの位置決めの工程を表した概念的な斜視図である。
【図７】位置決め用カメラが撮影する方向から見たレーザーチップとサブマウントの平面図である。
【図８】サブマウント及びレンズ部材の、位置決め用カメラが撮影する方向から見た平面図である。
【図９】レンズ面を介した位置調整の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の実施形態について図面に沿って詳細に説明する。図１には、本実施形態のレーザーチップの位置決め方法において用いられるレーザーチップの正面図（図１（ａ））及び平面図（図１（ｂ））を示している。この図に示すように、本実施形態のレーザーチップ１は、平板状に形成されてなる基板１０の一面側に、半導体の多層構造からなる積層部１１が形成されて構成されている。積層部１１は、積層端面１１ａに発光点１２を有している。
【００２５】
また、積層部１１において積層端面１１ａと直交し基板１０の一面と平行な平面部１１ｂには、発光点１２の位置を通るライン１３を挟んで線対称位置となる２箇所に、第１位置決めマーク１４が形成されている。第１位置決めマーク１４は、積層部１１の形成時における最終段階で、積層の工程と一体的に形成されるものであって、発光点１２の位置に対して高精度な所定位置に形成されたものである。第１位置決めマーク１４は、十字状をなすように形成されており、例えばその交点位置を発光点１２の位置決めの基準として用いることができる。
【００２６】
積層部１１は、膜厚を高精度に成膜しなければ、半導体レーザーとしての機能を果たすことができないため、基板１０からの膜厚は高精度に形成されている。このため、図１（ｂ）において、積層端面１１ａと平面部１１ｂとで形成される稜線１５は、発光点１２の位置に対して、膜厚方向において高精度な所定位置に形成されており、発光点１２の位置決めの基準として用いることができる。
【００２７】
次に、レーザーチップ１の位置決めの工程について説明する。図２には、第１の実施形態におけるレーザーチップ１の位置決めの工程を表した概念的な斜視図を示している。なお、図中にはサブマウント２を基準とした互いに直交するＸ方向とＹ方向及びＺ方向を示している。ここでは、レーザーチップ１をサブマウント２に対して位置決め固定し、さらに機器の一部を構成する基材３に対してサブマウント２を位置決めする工程について説明する。これにより、サブマウント２に高精度に位置決めされたレーザーチップ１を、機器内において高精度に位置決めすることができる。
【００２８】
図２（ａ）に示すように、サブマウント２は互いに直交して隣接する第１面２０と第２面２１を有する多面体形状に形成されている。まず、図２（ｂ）に示すように、サブマウント２に対して、レーザー装置２５から光を照射し、マーキングを行う。レーザー装置２５からの光は、サブマウント２の第１面２０から第２面２１に渡るように移動し、それに伴いサブマウント２には第１面２０から第２面２１に渡る一直線状の第２位置決めマーク２２が形成される。
【００２９】
図３には、サブマウント２とレーザー装置２５の関係を表した側面図を示している。この図には、図２と同じ方向を示すＸＹＺ方向が付されている。図３（ａ）には、サブマウント２に第２位置決めマーク２２を形成する第１の形態が表されており、この図に示すように、レーザー装置２５から照射される光は、サブマウント２の第１面２０及び第２面２１のいずれに対しても傾斜状となっている。
【００３０】
そして、レーザー装置２５から光を照射しつつ、サブマウント２をレーザー装置２５から照射される光と直交する方向（Ｘ方向）を軸に回転させることにより、サブマウント２の第１面２０と第２面２１に対し第２位置決めマーク２２を一連に形成することができる。これによって、第１面２０と第２面２１に渡る第２位置決めマーク２２を容易かつ高精度に形成することができる。
【００３１】
また、図３（ｂ）には、サブマウント２に第２位置決めマーク２２を形成する第２の形態が表されている。この図に示すように、この形態においてもレーザー装置２５から照射される光は、サブマウント２の第１面２０及び第２面２１のいずれに対しても傾斜状となっている。
【００３２】
図３（ｂ）においては、サブマウント２を回転させる代わりに、レーザー装置２５をサブマウント２の周りをＹＺ平面内で周回するように移動させる。これにより、第１の形態と同様にサブマウント２の第１面２０と第２面２１に対し第２位置決めマーク２２を連続的に形成することができる。すなわち、この形態においても第１面２０と第２面２１に渡る第２位置決めマーク２２を容易かつ高精度に形成することができる。
【００３３】
サブマウント２に第２位置決めマーク２２を形成したら、続いて図２（ｃ）に示すように、レーザーチップ１をサブマウント２に位置決め固定する。位置決めのために、サブマウント２の第１面２０とレーザーチップ１の平面部１１ｂに対向するように位置決め用カメラ３０が配置される。この位置決めについては、位置決め用カメラ３０が撮影する方向から見た平面図を図４に示しており、これに沿って説明する。図４には、図２と同じ方向を示すＸＹＺ方向が付されている。
【００３４】
図４に示すように、レーザーチップ１は、第１位置決めマーク１４を有する平面部１１ｂが、サブマウント２の第１面２０と同じ方向を向くように配置される。発光点１２を有する積層端面１１ａは、サブマウント２の第２面２１側を向くように配置される。
【００３５】
この状態において、位置決め用カメラ３０で撮影した画像または映像に基づき、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４と、サブマウント２の第２位置決めマーク２２のうち第１面２０側の部分とを基準として、これらが所定の位置関係となるように位置調整を行う。レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４は、前述のように発光点１２を通るライン１３を挟んだ線対称となる２箇所に形成されているので、第１位置決めマーク１４間の中点位置を通り、かつ第１位置決めマーク１４間を結ぶライン１６と直交するラインを、前記ライン１３とすることができ、このライン１３が直線状の第２位置決めマーク２２と一直線状となるように位置決めすることで、レーザーチップ１の発光点１２のサブマウント２に対するＸ方向の所定位置に位置決めされる。
【００３６】
また、Ｚ方向については、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４と、サブマウント２の第１面２０と第２面２１により形成される稜線２３によって、位置決めされる。すなわち、２つの位置決めマーク１４間を結ぶライン１６とサブマウント２の稜線２３が、平行でかつ所定間隔を有するように位置調整することで、レーザーチップ１の発光点１２のサブマウント２に対するＺ方向の所定位置に位置決めされる。
【００３７】
サブマウント２の第２位置決めマーク２２は、前述のように第１面２０と第２面２１に渡るように形成されているので、第１面２０において発光点１２が第２位置決めマーク２２と所定の位置関係となるように配置されることで、第２面２１においても第２位置決めマーク２２は発光点１２と所定の位置関係を有することとなる。したがって、サブマウント２を機器内に取付ける際において、第２面２１側の第２位置決めマーク２２を用いて位置決めを行う。
【００３８】
サブマウント２を機器の基材３に取付ける際には、図２（ｄ）に示すように、サブマウント２の第２面２１を基材３の一面３ａと同じ方向を向くように配置する。なお、図２（ｄ）では、図２（ｃ）の状態に対してサブマウント２を回転させて、レーザーチップ１の発光点１２が図中上方を向く状態としている。また、サブマウント２の第２面２１と基材３の一面３ａに対向するように、位置決め用カメラ３１が配置される。
【００３９】
サブマウント２は、第２面２１が基材３の一面３ａと同じ方向に向かうように配置される。すなわち、サブマウント２に固定されたレーザーチップ１の発光点１２は、基材３の一面３ａの面方向に対して垂直方向に向いた状態とされる。基材３の一面３ａには、サブマウント２の位置決めの基準となる第３位置決めマーク３ｂが形成されている。第３位置決めマーク３ｂは、十字状に形成されたものが２箇所に形成されており、十字の交点位置を位置決めの基準として用いる。
【００４０】
図５には、サブマウント２及び基材３の、位置決め用カメラ３１が撮影する方向から見た平面図を示している。この図に示すように、位置決め用カメラ３１は、サブマウント２の第２面２１側の第２位置決めマーク２２と、基材３の一面３ａに形成された第３位置決めマーク３ｂを撮影する。そして、撮影された画像または映像を基に、第２位置決めマーク２２と第３位置決めマーク３ｂが所定の位置関係となるように、サブマウント２の基材３に対する位置調整を行う。
【００４１】
位置調整においては、第２位置決めマーク２２と第３位置決めマーク３ｂの位置関係として、２つの第３位置決めマーク３ｂ間を結ぶライン３ｃに対して、第２位置決めマーク２２のラインが直交し、かつ２つの第３位置決めマーク３ｂ間の中点を通るようにする。これにより、サブマウント２の基材３に対するＸ方向の位置決めができる。また、レーザーチップ１の積層端面１１ａと平面部１１ｂとでなす稜線１５が、第３位置決めマーク３ｂ間のライン３ｃと平行でかつ所定間隔となるようにする。これにより、サブマウント２と基材３のＹ方向の位置決めができる。これらによって、サブマウント２と基材３を所定の位置関係とすることができ、レーザーチップ１の発光点１２が、機器内において所定の位置に位置決めされたこととなる。
【００４２】
このように、サブマウント２の第１面２０と第２面２１に渡る第２位置決めマーク２２を設けて、第１面２０側の第２位置決めマーク２２を基準にレーザーチップ１をサブマウント２に対して位置決めし、第２面２１側の第２位置決めマーク２２を基準にサブマウント２を機器の基材３に位置決めするようにしたことで、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４を用いてサブマウント２に対して位置決めしつつ、発光点１２を有するレーザーチップ１の積層端面１１ａ側から位置決めを行うことができるので、レーザーチップ１の発光点１２を基材３の面方向に対し垂直方向に向けた状態で、発光点１２の位置を高精度に位置決めできる。
【００４３】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態において、レーザーチップ１は第１の実施形態と同一のものを用いるので、レーザーチップ１についての説明は省略する。図６には、本実施形態におけるレーザーチップ１の位置決めの工程を表した概念的な斜視図を示している。ここでは、レーザーチップ１をサブマウント２に対して位置決め固定し、機器の一部を構成するレンズ部材４に対してサブマウント２を位置決めする工程について説明する。これにより、サブマウント２に高精度に位置決めされたレーザーチップ１を、機器内において高精度に位置決めすることができる。
【００４４】
図６（ａ）に示すように、サブマウント２は第１の実施形態と同様に互いに直交して隣接する第１面２０と第２面２１を有する多面体形状に形成されている。そして、図６（ｂ）に示すように、サブマウント２に対して、レーザー装置２５から光を照射し、マーキングを行い、第２位置決めマーク２２を２箇所に形成する。この形成方法は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００４５】
サブマウント２に第２位置決めマーク２２を形成したら、続いて図６（ｃ）に示すように、レーザーチップ１をサブマウント２に位置決め固定する。位置決めのため、サブマウント２の第１面２０とレーザーチップ１の平面部１１ｂに対向するように、位置決め用カメラ３０が配置される。レーザーチップ１は、２つの第２位置決めマーク２２の中間位置に配置される。また、その向きについては第１の実施形態と同様である。
【００４６】
この状態において、位置決め用カメラ３０で撮影した画像または映像に基づき、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４と、サブマウント２の第２位置決めマーク２２のうち第１面側の部分とを基準として、これらが所定の位置関係となるように位置調整を行う。図７には、位置決め用カメラ３０が撮影する方向から見た平面図を示している。この図には、図６と同じ方向を示すＸＹＺ方向が付されている。
【００４７】
本実施形態では、第２位置決めマーク２２がサブマウント２の２箇所に形成されており、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４間を結ぶライン１６と各第２位置決めマーク２２とが直角に交わるようにすると共に、第１位置決めマーク１４間の中点位置と、ライン１６と第２位置決めマーク２２との交点間の中点位置とが一致するように位置調整を行う。これにより、レーザーチップ１のサブマウント２に対するＸ方向の位置決めがなされる。
【００４８】
また、Ｚ方向については、レーザーチップ１の第１位置決めマーク１４と、サブマウント２の第１面２０と第２面２１により形成される稜線２３によって、位置決めされる。すなわち、２つの位置決めマーク１４間を結ぶライン１６とサブマウント２の稜線２３が、平行でかつ所定間隔を有するように位置調整することで、レーザーチップ１の発光点１２のサブマウント２に対するＺ方向の所定位置に位置決めされる。
【００４９】
次に、図６（ｄ）に示すように、サブマウント２の第２面２１に対向するようにレンズ部材４を配置し、さらにレンズ部材４に対向するように位置決め用カメラ３１を配置して、サブマウント２とレンズ部材４の位置決めを行う。なお、図６（ｄ）では、図６（ｃ）の状態に対してサブマウント２を回転させて、レーザーチップ１の発光点１２が図中上方を向く状態としている。レンズ部材４は、透明部材からなり平板状に形成された平板部４ａにレンズ４ｂが形成されて構成されたものであり、レンズ４ｂを挟んで２箇所に位置決め部４ｃが形成されている。
【００５０】
レンズ部材４とサブマウント２が所定位置に位置決めされた状態で、レンズ４ｂはレーザーチップ１の発光点１２と光軸が一致する。また、位置決め部４ｃは、平板部４ａにレーザーマーキング等の手法により形成されたマーカー４ｄと、レンズ面４ｅとが形成されている。マーカー４ｄは、十字状をなすと共に、十字の交点を位置決めの基準として用いることができる。また、レンズ面４ｅは、レンズ部材４とサブマウント２が所定の位置関係となったときに、位置決め用カメラ３１で撮影する画像または映像が第２位置決めマーク２２に合焦するように形成されている。
【００５１】
図８には、サブマウント２及びレンズ部材４の、位置決め用カメラ３１が撮影する方向から見た平面図を示している。この図に示すように、位置決め用カメラ３１は、レンズ部材４のマーカー４ｄと共に、レンズ部材４を介したサブマウント２の第２面２１側の第２位置決めマーク２２を撮影する。そして、撮影された画像または映像を基に、第２位置決めマーク２２とマーカー４ｄが所定の位置関係となるように、レンズ部材４のサブマウント２に対する平面方向の位置調整を行う。
【００５２】
位置調整においては、レンズ部材４の各マーカー４ｄが、それぞれサブマウント２の第２位置決めマーク２２がなすライン上に配置されるようにする。これにより、レンズ部材４のサブマウント２に対するＸ方向の位置決めができる。また、Ｙ方向にはレーザーチップ１の積層端面１１ａと平面部１１ｂとでなす稜線１５を基準として、この稜線１５のＺ方向位置と各マーカー４ｄとが所定の位置関係となるように位置調整を行う。これらによって、レーザーチップ１の発光点１２をレンズ４ｂの光軸上に配置することができる。
【００５３】
レンズ部材４がサブマウント２に対して平面方向に位置決めされたら、位置決め用カメラ３１によってレンズ面４ｅを介して第２位置決めマーク２２を撮影する。図９には、レンズ面４ｅを介した位置調整の側面図を示している。この図の状態で、レンズ部材４とサブマウント２の位置関係をＺ方向に調整し、位置決め用カメラ３１で得られるレンズ面４ｅを介した第２位置決めマーク２２の画像または映像が合焦する位置となるようにする。これによって、レーザーチップ１とレンズ４ｂがＺ方向に位置決めされる。
【００５４】
このように、本発明はレーザーチップ１をサブマウント２に位置決めすると共に、レンズ部材４との位置調整を行う場合においても、適用することができ、この場合にもレーザーチップ１の発光点１２側から位置調整を行うことができて、機器の構成を簡易にしてコストダウンを図ることができる。
【００５５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の適用は本実施形態には限られず、その技術的思想の範囲内において様々に適用されうるものである。
【符号の説明】
【００５６】
１    レーザーチップ
２    サブマウント
３    基材
３ｂ  第３位置決めマーク
４    レンズ部材
４ｃ  位置決め部
１０    基板
１１    積層部
１１ａ  積層端面
１１ｂ  平面部
１２    発光点
１４    第１位置決めマーク
２０    第１面
２１    第２面
２２    第２位置決めマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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