(57)【要約】【課題】ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、多孔質素材を成形したクリーニング部材２６をクリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２に押しつけてクリーニングするクリーニングユニット２０とを有するスクリーン印刷装置において、クリーニング部材２６をマスクプレート１２の下面１２ｂに対して摺動させて掻き取ることにより捕集されクリーニング部材２６の内部に含浸されたクリーニング対象物２５ａを、排気機構３２によって排気してクリーニング部材２６を吸引することによりクリーニング対象物２５ａを分離・除去し、再利用可能な半田成分を含むクリーニング対象物２５ａを集塵パック３１によって捕集して回収する。【選択図】図５
2010194911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、多孔質素材を所定形状に成形したクリーニング部材をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に当接させて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、
前記クリーニング機構は、前記クリーニング部材を前記マスクプレートの下面に対して摺動させることにより捕集され、さらに前記クリーニング部材の内部に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃手段と、
前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを、前記ヘッド昇降機構、前記部材清掃手段とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、
さらに前記部材清掃手段は、前記マスクプレートに摺接する摺接面の反対面側から前記クリーニング部材を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング部材から分離・除去する吸引手段を備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記吸引手段による吸引経路に配設され、前記分離・除去されたクリーニング対象物を捕捉回収する回収手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記クリーニング部材において前記マスクプレートの下面に当接して摺動する摺動面にマスククリーニング用の溶剤を供給する溶剤供給手段を備えたことを特徴とする請求項１または２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させるスクリーン印刷部と、多孔質素材を成形したクリーニング部材をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に当接させて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有し、
前記クリーニング機構は、前記クリーニング部材を前記マスクプレートの下面に対して摺動させることにより捕集されさらに前記クリーニング部材の内部に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃手段と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ヘッド昇降機構、前記部材清掃手段とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、さらに前記部材清掃手段は、前記マスクプレートに摺接する摺接面の反対面側から前記クリーニング部材を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング部材から分離・除去する吸引手段を備えた構成のスクリーン印刷装置によって、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スクリーン印刷部によって前記基板にペーストを印刷する印刷動作を実行する印刷工程と、
前記印刷実行工程が終了した後に、前記クリーニングヘッドを上昇させて前記クリーニング部材を前記マスクプレートの下面に押し付けた状態で、前記クリーニングヘッドを水平移動させてマスクプレートの下面をクリーニングするマスククリーニング工程と、
前記クリーニング部材を前記クリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に当接させて摺動させながら、前記部材清掃手段によって前記クリーニング部材に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記部材清掃工程を、前記マスククリーニング工程と同時並行的に実行することを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
前記媒体清掃工程を、前記マスククリーニング工程を実行していないクリーニング待機時に実行することを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。
【０００３】
印刷作業中には、マスクプレートの下面側には基板上で印刷部位からはみ出したクリーム半田が付着したり、基板上に完全に転写されなかったクリーム半田がマスクプレートの開口部に残留するなどの汚損が発生する。このようなクリーム半田による汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、これらのクリーム半田を除去するためのクリーニングを行う必要がある。
【０００４】
このため従来より、マスクプレートを下面側から専用のクリーニングぺーパを用いて拭き取ることによって残余のクリーム半田を除去するクリーニング機構を備えたスクリーン印刷装置が知られている（例えば特許文献１参照）。このクリーニング機構においては、ペーパロールから引き出されたクリーニングぺーパをクリーニングヘッドによってマスクプレートの下面に押し当て、次いでクリーニングヘッドを水平移動させることにより、マスクプレートの下面はクリーニングペーパによって清拭される。ここで示す例では、クリーニングペーパを有効利用するため、クリーニングペーパの両面を使用するようにしている。
【特許文献１】特開２００５−１９９４５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のようにクリーニングペーパをマスクプレートに対して押し付けてマスククリーニングを行う従来技術においては、その方式に起因して、以下のような課題があった。すなわち、クリーニングペーパはペーパロールに巻回された状態で供給されることから、１つのペーパロールによって供給される所定量のクリーニングペーパが使用済みとなる度に、ペーパロールを交換する必要がある。このため、連続してスクリーン印刷作業を継続する過程において、ペーパロールを交換するために所定頻度で装置停止を行うことが必要となり、生産性の低下を招く一つの要因となっていた。さらに、クリーニングペーパは使い捨てされることからランニングコストの低減が難しく、併せて資源の無駄を発生させることとなっていた。
【０００６】
そこで本発明は、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、多孔質素材を所定形状に成形したクリーニング部材をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に当接させて摺動
させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング機構は、前記クリーニング部材を前記マスクプレートの下面に対して摺動させることにより捕集され、さらに前記クリーニング部材の内部に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃手段と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを、前記ヘッド昇降機構、前記部材清掃手段とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、さらに前記部材清掃手段は、前記マスクプレートに摺接する摺接面の反対面側から前記クリーニング部材を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング部材から分離・除去する吸引手段を備えた。
【０００８】
本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させるスクリーン印刷部と、多孔質素材を成形したクリーニング部材をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に当接させて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有し、前記クリーニング機構は、前記クリーニング部材を前記マスクプレートの下面に対して摺動させることにより捕集されさらに前記クリーニング部材の内部に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃手段と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ヘッド昇降機構、前記部材清掃手段とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、さらに前記部材清掃手段は、前記マスクプレートに摺接する摺接面の反対面側から前記クリーニング部材を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング部材から分離・除去する吸引手段を備えた構成のスクリーン印刷装置によって、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記スクリーン印刷部によって前記基板にペーストを印刷する印刷動作を実行する印刷工程と、前記印刷実行工程が終了した後に、前記クリーニングヘッドを上昇させて前記クリーニング部材を前記マスクプレートの下面に押し付けた状態で、前記クリーニングヘッドを水平移動させてマスクプレートの下面をクリーニングするマスククリーニング工程と、前記クリーニング部材を前記クリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に当接させて摺動させながら、前記部材清掃手段によって前記クリーニング部材に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃工程とを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、多孔質素材を成形したクリーニング部材をクリーニングヘッドによってマスクプレートの下面に当接させて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構において、クリーニング部材をマスクプレートの下面に対して摺動させて掻き取ることにより捕集され、さらにクリーニング部材の内部に含浸されたクリーニング対象物を除去する部材清掃手段と、クリーニング対象物を掻き取る摺接面の反対面側からクリーニング部材を吸引することによりクリーニング対象物をクリーニング部材から分離・除去する吸引手段を備える構成とすることにより、装置停止を必要とせずにクリーニング部材を繰り返し再使用して、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図３は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの構成説明図、図５、図７は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた部材清掃手段の構造説明図、図６は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットにおけるクリーニング部材の機能説明図、図８は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法を示す動作説明図である。
【００１１】
まず図１、図２、図３を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷部１０を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上にＺ軸テーブル５を載置して構成されている。Ｚ軸テーブル５上には基板８を下面側から下受けして保持する基板保持部６が設けられている。上流側から搬入コンベア９Ａ（図２）を介して搬入された基板８は印刷コンベア９によって基板保持部６上に搬入され、クランパ７によって両側から挟み込まれて位置が固定される。以下に説明するスクリーン印刷部１０によって印刷された後の基板８は、搬出コンベア９Ｂ（図２参照）を介して下流側へ搬出される。
【００１２】
基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷部１０は、マスク枠１１に展張されたマスクプレート１２を備えている。マスクプレート１２には、印刷対象に応じたパターン孔１２ａ（図３参照）が設けられている。図２に示すように、基板位置決め部１の両側に配設された縦フレーム２１の側面には、２本の棒形状のブラケット２２が内側に水平に延出して配設されている。２本のブラケット２２の上面には、Ｌ字断面形状のマスクホルダ２３がＹ方向に架設されている。マスクホルダ２３は、マスクプレート１２のマスク枠１１を位置決めして保持する。
【００１３】
マスクプレート１２上にはスキージヘッド１３が配設されている。スキージヘッド１３は、水平なプレート１３ａにスキージ１５を昇降させるスキージ昇降機構１４を配設した構成となっており、図２に示すように、プレート１３ａの両端は縦フレーム２１上に配列されたガイド機構によって、Ｙ方向にスライド自在に支持されている。プレート１３ａは、ナット１６ａ、送りねじ１６ｂおよび回転駆動モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。またスキージ昇降機構１４を駆動することによりスキージ１５は昇降してマスクプレート１２の上面に当接する。
【００１４】
Ｚ軸テーブル５を上昇させてマスクプレート１２の下面を基板８に当接させた状態で、ペーストであるクリーム半田２５（図８（ａ）参照）が供給されたマスクプレート１２上で、スキージ移動手段を駆動してスキージ１５をＹ方向に移動させることにより、パターン孔１２ａを介して基板８にはクリーム半田２５が印刷される。すなわちスクリーン印刷部１０は、パターン孔１２ａが設けられたマスクプレート１２に基板８を当接させ、マスクプレート１２上でスキージ１５を摺動させることにより、パターン孔１２ａを介して基板８にペーストであるクリーム半田２５を印刷する。
【００１５】
スクリーン印刷部１０の上方には、カメラ１９が設けられている。図３に示すように、カメラ１９はＸ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１７によってＸＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１７は、カメラ１９を移動させるカメラ移動機構となっている。カメラ１９をカメラ移動機構によってマスクプレート１２に対して移動させることにより、カメラ１９はマスクプレート１２の任意の位置を撮像する。基板位置決め部１はＹ軸テーブル２によってスクリーン印刷部１０の下方からＹ方向に移動して、保持した基板８を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態でカメラ１９を基板位置決め部１上の基板８に移動させることにより、カメラ１９によって基板８の任意の位置を撮像し、基板位置を認識することができる。
【００１６】
Ｙ軸テーブル２上の基板位置決め部１の側方には、クリーニングユニット２０（クリーニング機構）が配設されている。クリーニングユニット２０は本体部２０ａ内に以下に説明する各要素を内蔵した構成となっており、本体部２０ａの上部からはクリーニングヘッド２４が突出している。Ｙ軸テーブル２を駆動することにより、クリーニングユニット２
０は基板位置決め部１とともにＹ方向に移動し、クリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２の下面１２ｂをクリーニングする。
【００１７】
本実施の形態においては、クリーニングヘッド２４の上部には多孔質素材をクリーニング対象物の掻き取りに適した所定形状に成形したクリーニング部材２６が装着されており、クリーニング部材２６をマスクプレート１２の下面１２ｂに当接させて摺動させることにより、マスクプレート１２に付着したクリーニング対象物２５ａを掻き取って除去するクリーニング形態を採用している。すなわち、クリーニング機構であるクリーニングユニット２０は、多孔質素材を所定形状に成形したクリーニング部材２６をクリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２の下面に当接させて摺動させることにより、このマスクプレート１２をクリーニングするようにしている。
【００１８】
図４を参照して、クリーニングユニット２０の構成を説明する。本体部２０ａの内部には、クリーニングヘッド２４がヘッド上部２４ａを本体部２０ａの上部から突出させて配設されており、クリーニングヘッド２４はヘッド昇降機構２７によって昇降自在となっている。ヘッド昇降機構２７を駆動することにより、クリーニングヘッド２４は昇降し（矢印ａ）、これによりヘッド上部２４ａに装着されたクリーニング部材２６に設けられた摺接面２６ａは、マスクプレート１２の下面１２ｂに接離自在となっている。クリーニングヘッド２４が上昇して摺接面２６ａが下面１２ｂに当接した状態で、クリーニングユニット２０をＹ方向に水平移動させる（矢印ｂ）ことにより、下面１２ｂに付着したクリーニング対象物はクリーニング部材２６によって掻き取られて除去される。
【００１９】
次に図５を参照して、クリーニングヘッド２４の構造を説明する。図５は、図１、図３に示すクリーニングユニット２０のＹＺ平面の断面の一部を示している。クリーニングヘッド２４は、略箱形状の吸引チャンバ３０を主体としており、吸引チャンバ３０の頂部に相当するヘッド上部２４ａには、Ｘ方向に細長いブロック形状のクリーニング部材２６（図３に示す平面図も参照）が装着されている。クリーニング部材２６は、所定形状に成形可能な物性を備えた多孔質素材より製作される。多孔質素材としては、内部に微細孔が形成された樹脂材料、ゴム系素材、スポンジ状の樹脂素材、さらには発泡成形により内部に気泡状の孔部を含んで成形された樹脂素材などが用いられる。要は、粘性体であるクリーム半田などのクリーニング対象物を含浸させて透過させることが可能な性質を有し、細長いブロック形状に成形可能なものであればよい。
【００２０】
図５に示すように、クリーニング部材２６の断面形状は、中央部分に凹部２６ｂを設けることによってＹ方向の両端部にマスクプレート１２の下面１２ｂに当接して摺動する摺接面２６ａを設けた形態となっている（図４参照）。クリーニング部材２６の断面をこのような形状とすることにより、下面１２ｂに付着したクリーム半田２５の残渣などのクリーニング対象物を、摺接面２６ａの両端のエッジ部分２６ｄによって掻き取ることができ、単にクリーニングペーパを押し当てて拭き取る形態と比較して、クリーニングの効率を向上させることが可能となっている。
【００２１】
クリーニング部材２６の内部には、摺接面２６ａの表面の近傍に位置して、液孔２６ｃが設けられており、液孔２６ｃは溶剤供給部３３と接続されている。溶剤供給部３３を作動させることにより、液孔２６ｃ内には洗浄用のアルコールや有機溶剤などのマスククリーニング用の溶剤が供給される。これにより、摺接面２６ａの表面には素材内部に存在する孔部を介して溶剤が滲出し、クリーニング面に溶剤を供給した状態でクリーニングを行う湿式クリーニングが可能となる。したがって、クリーニング部材２６に設けられた液孔２６ｃおよび溶剤供給部３３は、クリーニング部材２６においてマスクプレート１２の下面１２ｂに当接して摺動する摺接面２６ａにマスククリーニング用の溶剤を供給する溶剤供給手段となっている。
【００２２】
クリーニング部材２６の直下に設けられた上部吸引開口３０ｂは、吸引チャンバ３０の内部に設けられた吸引空間３０ａと連通している。吸引空間３０ａ内には、上部に導入開口３１ａが設けられた袋状の集塵パック３１が着脱自在に装着されており、導入開口３１ａは吸引空間３０ａに嵌合してクリーニング部材２６の下面が集塵パック３１の内部に対して露呈された状態となっている。集塵パック３１の材質は、通気性に富みかつクリーニング対象物２５ａを透過しない特性を有する紙や布などで製作されている。
【００２３】
吸引空間３０ａの底面側には下部吸引開口３０ｃが設けられており、下部吸引開口３０ｃには排気機構３２が接続されている。排気機構３２を駆動することにより、下部吸引開口３０ｃを介して吸引空間３０ａ内が排気される（矢印ｃ）。吸引チャンバ３０内に集塵パック３１を装着した状態で排気機構３２を駆動することにより、通気性を有する集塵パック３１を透過して集塵パック３１の内部が吸引され、したがってクリーニング部材２６は上部吸引開口３０ｂを介して下面側から吸引される。
【００２４】
これにより、マスクプレート１２のクリーニングによってクリーニング部材２６の内部に含浸されたクリーニング対象物２５ａは、クリーニング部材２６の内部の孔部を透過してクリーニング部材２６から分離・除去され、クリーニング部材２６の下面から集塵パック３１内へ移動する。そしてこの吸引を継続することにより、クリーニング部材２６を透過したクリーニング対象物２５ａは集塵パック３１によって捕集される。このようにして捕集されたクリーニング対象物２５ａは再利用可能な半田成分を含んでいることから、回収されて再処理される。
【００２５】
上記構成において、クリーニング部材２６が装着された吸引チャンバ３０、集塵パック３１および排気機構３２は、クリーニング部材２６をマスクプレート１２の下面１２ｂに対して摺動させることにより捕集され、さらに多孔質素材より成るクリーニング部材２６の内部に含浸されたクリーニング対象物２５ａを除去する部材清掃手段を構成する。そして本発明の実施の形態に示す例においては、この部材清掃手段は、マスクプレート１２に摺接する摺接面２６ａの反対面側からクリーニング部材２６を吸引することにより、クリーニング対象物２５ａをクリーニング部材２６から分離・除去する吸引手段（下部吸引開口３０ｃおよび排気機構３２）を備えた形態となっている。
【００２６】
さらに上記構成において、Ｙ軸テーブル２は、クリーニングヘッド２４をヘッド昇降機構および部材清掃手段とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段を構成する。そして集塵パック３１は、前述の吸引手段による吸引経路に配設され、分離・除去されたクリーニング対象物２５ａを捕捉回収する回収手段として機能する。なお、集塵パック３１内におけるクリーニング対象物２５ａの捕集状態を検出するために、上部吸引開口３０ｂと下部吸引開口３０ｃとの間の差圧を検出し、この差圧がしきい値を超えた場合に集塵パック３１の交換時期であることを警報として出力するようにしてもよい。
【００２７】
次にクリーニング部材２６によるマスクプレート１２のクリーニングについて、図６を参照して説明する。図６（ａ）は、摺接面２６ａに溶剤を供給しながらウエットの状態でクリーニングを行う湿式クリーニングの例を示している。すなわちクリーニング部材２６をマスクプレート１２に対して水平方向に摺動させながら（矢印ｄ）、溶剤供給部３３を作動させてクリーニング部材２６の液孔２６ｃ内に溶剤を供給する。このとき、溶剤供給部３３から継続的に溶剤が供給されることにより、液孔２６ｃから周囲に浸透した溶剤は必ず摺接面２６ａに到達する（矢印ｅ）。これにより、下面１２ｂに付着した状態のクリーニング対象物２５ａは溶剤によって軟化した状態で摺接面２６ａによって掻き取られて凹部２６ｂ内に集積する。
【００２８】
このとき、クリーニング部材２６の下面側は吸引されていることから（矢印ｆ）、掻き落とされたクリーニング対象物２５ａは多孔質素材よりなるクリーニング部材２６を厚み方向に透過して、下面側から集塵パック３１内に吸引される。この湿式のクリーニングにおいては、マスクプレート１２のパターン孔１２ａの内部や下面１２ｂに半固化状態で強固に付着したクリーニング対象物２５ａが存在する場合にあっても、溶剤によってこれらのクリーニング対象物２５ａが軟化して、容易にクリーニングを行うことができる。
【００２９】
図６（ｂ）は、摺接面２６ａに溶剤を供給せずにドライの状態でクリーニングを行う乾式クリーニングの例を示している。すなわちクリーニング部材２６をマスクプレート１２に対して水平方向に摺動させる過程において（矢印ｄ）、溶剤供給部３３を作動させずにクリーニング部材２６への溶剤の供給を停止する。このとき、前に実行された作業においてクリーニング部材２６に溶剤が供給されていた場合にあっても、クリーニング部材２６は常に下面側から吸引されることから、クリーニング部材２６内に残留した溶剤は下面側へ移動し（矢印ｇ）、摺接面２６ａはドライの状態となる。
【００３０】
マスクプレート１２を対象としてクリーニングを反復して実行する場合には、マスクプレート１２の汚損状態に応じて、湿式／乾式のクリーニングを適切に切り換えて適用しなければならない。乾式クリーニングの場合には、強固に固着したクリーニング対象物２５ａに対しては除去能力が不足するという欠点がある。これに対し、湿式クリーニングの場合には、クリーニング対象物２５ａを軟化させながら除去することから除去能力には優れるものの、溶剤によって溶かされたフラックス成分などがマスクプレート１２の下面１２ｂに薄膜状となって付着して残留するという欠点がある。このような、乾式／湿式の切換を要するような適用例において、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置では、単に溶剤供給部３３の作動をオンオフすることのみによって、乾式クリーニングと湿式クリーニングを切り換えて実行することが可能となっている。
【００３１】
なお図５に示す例においては、分離・除去されたクリーニング対象物２５ａを捕捉回収する回収手段として集塵パック３１を用いる例を示したが、回収手段はこれに限定されるものではなく、例えば図７に示すような構成としてもよい。図７において、クリーニングヘッド２４Ａは、図５に示すクリーニングヘッド２４と同様に、略箱形状の吸引チャンバ３０Ａを主体としている。ヘッド上部２４ａには、図５に示すものと同様のクリーニング部材２６が装着されている。吸引チャンバ３０Ａの上部において、クリーニング部材２６の直下に相当する高さ位置には、吸引チャンバ３０ＡをＹ方向に貫通するスリット３０ｄが設けられている。
【００３２】
スリット３０ｄには、リール供給方式の集塵ペーパ３６が水平方向に移動自在（矢印ｈ）に挿通しており、供給リール３４Ａによって供給される集塵ペーパ３６は、回収リール３４Ｂによって巻き取られる。集塵ペーパ３６は、通気性を有しクリーニング対象物２５ａを捕捉可能な特性を有する低価格・低品質の紙製シートである。クリーニングヘッド２４Ａを用いたクリーニングにおいては、吸引空間３０ａ内は空の状態であり、排気機構３２を駆動することによって吸引空間３０ａ内が直接吸引される（矢印ｃ）。この吸引力は通気性の集塵ペーパ３６を介してクリーニング部材２６の下面側に作用する。これにより、クリーニングによってクリーニング部材２６の内部に含浸されたクリーニング対象物２５ａはクリーニング部材２６の内部の孔部を透過してクリーニング部材２６から分離・除去され、クリーニング部材２６の下面から吸引されて吸引空間３０ａ内へ移動する。このとき、クリーニング対象物２５ａは集塵ペーパ３６（回収手段）によって捕集されて付着する。集塵ペーパ３６への付着量が増えてクリーニング対象物２５ａの捕集力が低下したならば、回収リール３４Ｂによって集塵ペーパ３６を巻き取り、新たな集塵ペーパ３６をクリーニング部材２６の直下に位置させる。このような用途に用いる集塵ペーパ３６は、従来マスクプレート１２のクリーニングに用いられていた専用のクリーニングペーパと比較して格段に安価であることから、ランニングコストを大幅に低減することが可能となっている。
【００３３】
次に上記構成を有するスクリーン印刷装置によるスクリーン印刷方法について図８を参照して説明する。図８（ａ）は、スクリーン印刷部１０によって基板８にペーストであるクリーム半田２５を印刷する印刷動作を実行する印刷工程を示している。すなわち基板位置決め部１において、基板保持部６によって下面側を保持され、クランパ７によって両側面を挟み込まれた基板８をマスクプレート１２の下面に当接させる。そしてこの状態においてマスクプレート１２上でスキージ１５を摺動させる（矢印ｉ）ことにより、パターン孔１２ａを介して基板８にペーストであるクリーム半田２５を印刷する。
【００３４】
この印刷工程を反復して実行する過程において、所定のインターバルにてマスククリーニング工程が実行される。すなわち、図８（ｂ）に示すように、印刷工程が終了した後に、クリーニングユニット２０をマスクプレート１２の下面側へ移動させ、次いでクリーニングヘッド２４を上昇させて（矢印ｊ）、マスクプレート１２の下面１２ｂに当接させる。そしてクリーニング部材２６をマスクプレート１２の下面に押し付けた状態で、クリーニングヘッド２４を水平移動させ（矢印ｋ）、マスクプレート１２の下面１２ｂをクリーニングする。
【００３５】
本実施の形態においては、前述のようにクリーニングによって汚損されたクリーニング部材２６をクリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２の下面１２ｂに当接させて摺動させながら、前述の部材清掃手段によってクリーニング部材２６に含浸されたクリーニング対象物２５ａを除去する部材清掃工程を実行するようにしている。この部材清掃工程は、図８（ｂ）に示すマスククリーニング工程と同時並行的に実行するようにしてもよく、また図８（ａ）に示す印刷工程において、クリーニングユニット２０がマスククリーニング工程を実行していないクリーニング待機時に実行するようにしてもよい。
【００３６】
上記説明したように本発明においては、多孔質素材を成形したクリーニング部材２６をクリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２の下面１２ｂに当接させて摺動させることにより、マスクプレート１２をクリーニングするクリーニング機構において、クリーニング部材２６をマスクプレート１２の下面１２ｂに対して摺動させて掻き取ることにより捕集され、さらにクリーニング部材２６の内部に含浸されたクリーニング対象物２５ａを除去する部材清掃手段と、クリーニング対象物２５ａを掻き取る摺接面２６ａの反対面側からクリーニング部材２６を吸引することによりクリーニング対象物２５ａをクリーニング部材２６から分離・除去する吸引手段を備えるようにしている。
【００３７】
これにより、使い捨てタイプのクリーニングペーパを用いる従来装置において不可避的に発生していた装置停止、すなわちペーパロールの形で供給されるクリーニングペーパを使用することに伴うロール交換ための装置停止が発生することがない。したがって同一のクリーニング部材２６を繰り返し再使用して、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができるという効果を有し、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷の分野に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの構成説明図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた部材清掃手段の構造説明図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットにおけるクリーニング部材の機能説明図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた部材清掃手段の構造説明図
【図８】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法を示す動作説明図
【符号の説明】
【００４０】
１  基板位置決め部
２  Ｙ軸テーブル（クリーニングヘッド移動手段）
８  基板
１２  マスクプレート
１２ａ  パターン孔
１５  スキージ
２０  クリーニングユニット（クリーニング機構）
２４，２４Ａ  クリーニングヘッド
２５  クリーム半田（ペースト）
２５ａ  クリーニング対象物
２６  クリーニング部材
２６ａ  摺接面
２７  昇降機構（ヘッド昇降機構）
３０  吸引チャンバ（部材清掃手段）
３１  集塵パック（部材清掃手段、回収手段）
３２  排気機構（部材清掃手段、吸引手段）
３６  集塵ペーパ（部材清掃手段、回収手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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