(57)【要約】【課題】液体の圧力を空気の圧力に変換して検出する構成を有効に活用することにより、液体の温度が高くても、当該液体の温度の影響を受けることなく、この液体の圧力を正しく検出するようにした圧力センサ及びこの圧力センサを利用した流量検出装置を提供する。【解決手段】液圧室Ｌ１及び空圧室Ｒ１が、両ダイヤフラム２２、２４を介し互いに対向するように基台Ｈ１内に形成されている。ここで、液圧室Ｌ１内に流入する薬液の液圧がダイヤフラム２２に作用し、空圧室Ｒ１内に流入する空気の空圧がダイヤフラム２４に作用する。圧電変換ユニット５０が基台Ｈ１上に設けられて、上記液圧の変動に伴う両ダイヤフラム２２、２４の変位に応じて変動する上記空圧を薬液の液圧として検出する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ本体と、このセンサ本体から離れて位置するように設けられる液圧検出手段と、空気流量絞り手段とを備える圧力センサであって、
前記センサ本体は、一側ハウジング部材と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジングを構成する他側ハウジング部材と、前記ハウジングの内部を空圧室及び液圧室に区画するように前記ハウジングに設けられる可撓性ダイヤフラム手段とを具備しており、
前記一側ハウジング部材は、液体供給源から前記液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路を形成するとともに、前記液圧室内に流入した前記液体を外部に流出させるように流出側液体通路を形成してなり、
前記他側ハウジング部材は、空気供給源から圧送される空気を前記空圧室内に流入させるよう流入側空気通路を形成するとともに、前記ダイヤフラム手段の中央部に対向して前記空圧室内に開口する開口部を有し、前記空圧室内に流入した空気を前記開口部から導入して外部に排出するように排出側空気通路を形成してなり、
前記空気流量絞り手段は、前記空気供給源からの空気を、その流量を絞って、前記液圧検出手段に供給するように、前記空気供給源と前記液圧検出手段との間に介装されており、
前記液圧検出手段は、その受圧部を通して、前記空気流量絞り手段からの空気を前記他側ハウジング部材の前記流入側空気通路に流入させるようになっており、
前記ダイヤフラム手段は、前記空圧室内にて生ずる前記空気の空圧のもとに、前記液圧室内にて生ずる前記液体の液圧に応じて変位し、前記排出側空気通路の前記開口部に対する開度を調整するようになっており、
前記液圧検出手段は、前記ダイヤフラム手段による前記排出側空気通路の前記開口部に対する調整開度に応じて、前記空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、前記空圧室内の空圧を、前記受圧部により受けて前記液体の液圧として検出するようにした圧力センサ。
【請求項２】
前記センサ本体から離れて位置するように前記液圧検出手段と前記センサ本体との間に介装されて前記空気供給源からの空気の空圧に応じて開弁する常閉型開閉弁手段を具備しており、
前記常閉型開閉弁手段は、その開弁により、前記液圧検出手段の前記受圧部からの空気を前記他側ハウジング部材の前記流入側空気通路に流入させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
センサ本体と、液圧検出手段と、空気流量絞り手段とを備える圧力センサであって、
前記センサ本体は、一側ハウジング部材と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジングを構成する他側ハウジング部材と、前記ハウジングに設けられてこのハウジングの内部を前記両ハウジング部材の間の境界面に沿う方向に区画して空圧室及び液圧室を形成する可撓性ダイヤフラム手段とを備えており、
前記液圧検出手段は、その受圧部にて前記他側ハウジング部材の前記境界面に沿う外壁の一部位に対向するように、当該外壁の前記一部位に設けられており、
前記一側ハウジング部材は、前記液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路を形成するとともに、前記液圧室内に流入した前記液体を外部に流出させるように流出側液体通路を形成してなり、
前記他側ハウジング部材は、空気供給源から圧送される空気を前記外壁に沿い流入してから前記空圧室内に流入させるように流入側空気通路を形成するとともに、前記ダイヤフラム手段の中央部に対向して前記空圧室内に開口する開口部を有して、前記空圧室内に流入した空気を前記開口部から外部に排出するように排出側空気通路を形成してなり、
前記空気流量絞り手段は、前記流入側空気通路のうち前記外壁の前記一部位に対する対応部位から前記外壁の一部位にかけて前記液圧検出手段の受圧部内に開口するように形成される中空部の上流側にて前記流入側空気通路に介装されており、
前記ダイヤフラム手段は、前記空圧室内にて生ずる前記空気の空圧のもとに前記液圧室内にて生ずる前記液体の液圧に応じて変位し、前記空気排出通路の前記開口部に対する開度を調整するようになっており、
前記液圧検出手段は、前記ダイヤフラム手段による前記空気排出通路の前記開口部に対する調整開度に応じて変動する前記空圧室内の空圧を、前記空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、前記流入側空気通路及び前記中空部を通し前記受圧部により受けて、前記空圧を前記液体の液圧として検出するようにした圧力センサ。
【請求項４】
前記他側ハウジング部材の前記外壁の他の部位に設けられる常閉型開閉弁手段を備えて、
前記他側ハウジング部材は、前記流入側空気通路のうち前記対応部位の下流側通路部位内に連通するように前記外壁の前記他の部位から前記下流側通路部位内にかけて凹部を形成してなり、
前記開閉弁手段は、前記外壁の前記他の部位から前記凹部内に変位可能に延出する弁体部を具備して、前記流入側空気通路のうち前記凹部の上流側通路部位からの空気に応じて、前記弁体部により、前記凹部内にて下流側通路部位を遮断するように閉弁することを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
センサ本体と、このセンサ本体から離れて位置するように設けられる液圧検出手段と、空気流量絞り手段とを備える圧力センサであって、
前記センサ本体は、一側ハウジング部材と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジングを構成する他側ハウジング部材と、前記ハウジングの内部を空圧室及び液圧室に区画するように前記ハウジングに設けられる可撓性ダイヤフラム手段とを具備しており、
前記一側ハウジング部材は、液体供給源から前記液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路を形成するとともに、前記液圧室内に流入した前記液体を外部に流出させるように流出側液体通路を形成してなり、
前記他側ハウジング部材は、空気供給源から圧送される空気を前記空圧室内に流入させるよう流入側空気通路を形成するとともに、前記空圧室内に流入した空気を外部に排出するように排出側空気通路を形成し、かつ、前記ダイヤフラム手段と同軸的に位置するように前記流入側空気通路部内に弁機構手段を介装してなり、
前記液圧検出手段は、その受圧部を通して、前記センサ本体の前記排出側空気通路から排出される空気を流出させるようになっており、
前記空気流量絞り手段は、前記液圧検出手段の受圧部から流出する空気を絞って排出するように前記液圧検出手段の下流側に設けられており、
前記弁機構手段は、
前記他側ハウジング部材内にて前記ダイヤフラム手段と同軸的に位置するように前記流入側空気通路の下流側通路部を構成する段付き孔部であって、前記流入側空気通路の上流側通路部内に開口する大径孔部と、この大径孔部から同軸的に前記空圧室に向けて延出されて前記大径孔部を前記空圧室内に連通させる小径孔部とを設けてなる段付き孔部と、
前記段付き孔部内にて同軸的に軸動可能に設けられて前記小径孔部を通り前記ダイヤフラム手段の前記中央部に向けて延出するロッド部及び前記大径孔部と前記小径孔部との環状境界段部に着座可能に前記ロッド部の軸方向中間部位に同軸的に形成される鍔部と有するロッドと、
前記大径孔部内にて前記鍔部を前記環状境界段部に着座させるように付勢するコイルスプリングとを備えて、
前記ロッドが前記鍔部にて前記環状境界段部から解離するように軸動したとき、前記流入側空気通路の前記上流側通路部内に流入する空気を、前記段付き孔部の前記大径孔部及び前記小径孔部を通して前記空圧室内に流入させるようになっており、
前記ダイヤフラム手段は、前記空圧室内にて生ずる前記空気の空圧のもとに、前記液圧室内にて生ずる前記液体の液圧に応じて変位し、前記ロッドを前記鍔部にて前記環状境界段部から解離させるべく軸動させるようになっており、
前記液圧検出手段は、前記ダイヤフラム手段による前記鍔部の前記環状境界段部に対する解離度に応じて、前記空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、前記空圧室内の空圧を、前記受圧部により受けて前記液体の液圧として検出するようにした圧力センサ。
【請求項６】
前記センサ本体から離れて位置するように前記液圧検出手段と前記センサ本体との間に介装されて前記空気供給源からの空気の空圧に応じて開弁する常閉型開閉弁手段を具備しており、
前記常閉型開閉弁手段は、その開弁により、前記センサ本体の前記流出側空気通路からの空気を前記液圧検出手段の前記受圧部に流入させるようにしたことを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
センサ本体と、液圧検出手段と、空気流量絞り手段とを備える圧力センサであって、
前記センサ本体は、一側ハウジング部材と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジングを構成する他側ハウジング部材と、前記ハウジングに設けられてこのハウジングの内部を前記両ハウジング部材の間の境界面に沿う方向に区画して空圧室及び液圧室を形成する可撓性ダイヤフラム手段とを備えており、
前記液圧検出手段は、その受圧部にて前記他側ハウジング部材の前記境界面に沿う外壁の一部位に対向するように、当該外壁の前記一部位に設けられており、
前記一側ハウジング部材は、前記液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路を形成するとともに、前記液圧室内に流入した前記液体を外部に流出させるように流出側液体通路を形成してなり、
前記他側ハウジング部材は、空気供給源から圧送される空気を前記空圧室内に流入させるよう流入側空気通路を形成するとともに、前記空圧室内に流入した空気を前記外壁に向けて流動させてから当該外壁の少なくとも前記一部位に沿い流動させて外部に排出するように排出側空気通路を形成し、かつ、前記ダイヤフラム手段と同軸的に位置するように前記流入側空気通路部内に弁機構手段を介装してなり、
前記空気流量絞り手段は、前記流出側空気通路のうち前記外壁の前記一部位に対する対応部位から前記外壁の一部位にかけて前記液圧検出手段の受圧部内に開口するように形成される中空部の下流側にて前記流入側空気通路に介装されており、
前記弁機構手段は、
前記他側ハウジング部材内にて前記ダイヤフラム手段と同軸的に位置するように前記流入側空気通路の下流側通路部を構成する段付き孔部であって、前記流入側空気通路の上流側通路部内に開口する大径孔部と、この大径孔部から同軸的に前記空圧室に向けて延出されて前記大径孔部を前記空圧室内に連通させる小径孔部とを設けてなる段付き孔部と、
前記段付き孔部内にて同軸的に軸動可能に設けられて前記小径孔部を通り前記ダイヤフラム手段の前記中央部に向けて延出するロッド部及び前記大径孔部と前記小径孔部との環状境界段部に着座可能に前記ロッド部の軸方向中間部位に同軸的に形成される鍔部と有するロッドと、
前記大径孔部内にて前記鍔部を前記環状境界段部に着座させるように付勢するコイルスプリングとを備えて、
前記ロッドが前記鍔部にて前記環状境界段部から解離するように軸動したとき、前記流入側空気通路の前記上流側通路部内に流入する空気を、前記段付き孔部の前記大径孔部及び前記小径孔部を通して前記空圧室内に流入させるようになっており、
前記ダイヤフラム手段は、前記空圧室内にて生ずる前記空気の空圧のもとに、前記液圧室内にて生ずる前記液体の液圧に応じて変位し、前記ロッドを前記鍔部にて前記環状境界段部から解離させるべく軸動させるようになっており、
前記液圧検出手段は、前記ダイヤフラム手段による前記鍔部の前記環状境界段部に対する解離度に応じて、前記空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、前記空圧室内の空圧を、前記受圧部により受けて前記液体の液圧として検出するようにした圧力センサ。
【請求項８】
前記他側ハウジング部材の前記外壁の他の部位に設けられる常閉型開閉弁手段を備えて、
前記他側ハウジング部材は、前記流出側空気通路のうち前記対応部位の下流側通路部位内に連通するように前記外壁の前記他の部位から前記下流側通路部位内にかけて凹部を形成してなり、
前記開閉弁手段は、前記外壁の前記他の部位から前記凹部内に変位可能に延出する弁体部を具備して、前記流入側空気通路からの空気に応じて、前記弁体部により、前記凹部内にて前記下流側通路部位を遮断するように閉弁することを特徴とする請求項７に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記ダイヤフラム手段は、前記液圧室内の前記液体に接するように前記ハウジング内にてその内周面の軸方向中間部位と一体となるように形成してなる第１ダイヤフラムと、この第１ダイヤフラムと前記空圧室との間にて前記第１ダイヤフラムに接するように支持される第２ダイヤフラムとを備えて、
前記第１及び第２のダイヤフラムは、前記液圧室内の液圧に応じた変位により前記空圧室内の空圧を変動させることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記ダイヤフラム手段は、前記ハウジング内にて前記液圧室と前記空圧室との間に支持されて前記液圧室内の液圧に応じた変位により前記空圧室内の空圧を変動させる単一のダイヤフラムであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１１】
請求項３に記載の圧力センサを、２つ、第１及び第２の圧力センサとして備え、
かつ、前記第１圧力センサの前記流出側液体通路と前記第２圧力センサの前記流入側液体通路との間に介装されて前記第１圧力センサの前記流出側液体通路から前記第２圧力センサの前記流入液体通路に流入する液体の流量を絞る液体流量絞り手段と、
この液体流量絞り手段の絞り作用のもとに前記第１及び第２の圧力センサの各液圧室内に生ずる液圧の差に応じて変動する前記第１及び第２の圧力センサの各空圧室内の空圧の差に基づき前記液圧の差に対応する前記液体の流量を検出するようにした流量検出装置。
【請求項１２】
前記第１及び第２の圧力センサの前記各ハウジングが、前記第１及び第２の圧力センサの前記各一側ハウジング部材に対応する一側共通ハウジング部材と、前記第１及び第２の圧力センサの前記各他側ハウジング部材に対応する他側共通ハウジング部材であって前記一側共通ハウジング部材に組み付けられる他側共通ハウジング部材とでもって、単一の共通ハウジングとして形成され、
前記液体流量絞り手段が、前記第１圧力センサの前記流出側液体通路及び前記第２圧力センサの前記流入側液体通路に代えて、前記第１及び第２の圧力センサの前記各液圧室の間に介装されるように前記他側共通ハウジング部材内に形成されており、
流入側共通空気通路が、前記空気供給源からの空気を前記他側共通ハウジング部材の外部から前記各空気供給通路を介し前記第１及び第２の圧力センサの前記各空圧室内に供給するように、前記他側共通ハウジング部材内にて前記第１及び第２の圧力センサの前記各空気供給通路に接続形成されており、
流出側共通空気通路が、前記第１及び第２の圧力センサの前記各空気排出通路に代えて、前記各空圧室の空気を前記共通ハウジングの外部へ排出するように、前記他側共通ハウジング部材内にて、前記各空圧室内に前記第１及び第２の圧力センサの前記各ダイヤフラム手段の中央部に対向して開口する各開口部を有し、当該各開口部から前記他側共通ハウジング部材の外部へ開口するように延出形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の液体流量検出装置。
【請求項１３】
請求項７に記載の圧力センサを、２つ、第１及び第２の圧力センサとして備え、
かつ、前記第１圧力センサの前記流出側両液体通路と前記第２圧力センサの前記流入側液体通路との間に介装されて前記第１圧力センサの前記流出側両液体通路から前記第２圧力センサの前記流入側液体通路に流入する液体の流量を絞る液体流量絞り手段を備えて、
この液体流量絞り手段の絞り作用のもとに前記第１及び第２の圧力センサの各液圧室内に生ずる液圧の差に応じて変動する前記第１及び第２の圧力センサの各空圧室内の空圧の差に基づき前記液圧の差に対応する前記液体の流量を検出するようにした流量検出装置。
【請求項１４】
前記第１及び第２の圧力センサの前記各ハウジングが、前記第１及び第２の圧力センサの前記各一側ハウジング部材に対応する一側共通ハウジング部材と、前記第１及び第２の圧力センサの前記各他側ハウジング部材に対応する他側共通ハウジング部材であって前記一側共通ハウジング部材に組み付けられる他側共通ハウジング部材とでもって、単一の共通ハウジングとして形成され、
前記液体流量絞り手段が、前記第１圧力センサの前記流出側液体通路及び前記第２圧力センサの前記流入側液体通路に代えて、前記第１及び第２の圧力センサの前記各液圧室の間に介装されるように前記他側共通ハウジング部材内に形成されており、
流入側共通空気通路が、前記空気供給源からの空気を、前記第２圧力センサの前記弁機構手段の前記段付き孔部の内部を通り前記第１圧力センサの前記弁機構手段の前記段付き孔部内に供給するように前記他側共通ハウジング部材内にて形成されており、
流出側共通空気通路が、前記各空圧室からの空気を前記第１及び第２の圧力センサの前記各流出側空気通路を介し前記共通ハウジングの外部に排出するように、前記他側共通ハウジング部材内にて、前記各流出側空気通路に接続形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液体流量検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置或いは薬剤製造装置その他各種の装置において利用される高温の液体の圧力を検出する圧力センサ及びこの圧力センサの少なくとも一部を利用した流量検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の圧力センサとしては、下記特許文献１に記載の非汚染性本体を有する圧力センサモジュールが提案されている。この圧力センサモジュールは、ハウジングを有しており、このハウジング内に形成したキャビティは、流体流動回路に接続してなる導管内にその開口部から連通している。
【０００３】
また、筒状スペーサが、その環状フランジにて、導管の開口部に対向するようにキャビティ内に設けられており、当該筒状スペーサの環状フランジと導管の開口部との間には、円盤膜が、その裏面にて導管の開口部内に対向するように、キャビティ内において、Ｏリングと共に挟持されている。
【０００４】
また、圧力センサが、その裏面にて、上記円盤膜にその表面側から接触するように、上記筒状スペーサの環状フランジ内に設けられている。
【０００５】
このように構成した当該圧力センサモジュールにおいては、液体が流体流動回路から導管内に流入すると、この液体は導管内を通り流出する。ここで、上述のごとく、円盤膜がその裏面にて導管の開口部内に対向しているため、液体は、導管の開口部内にて円盤膜の裏面に接触或いは接近しながら流出する。
【０００６】
これにより、円盤膜が、導管の開口部内の液体の圧力の変動に応じて撓むことにより変位することで、圧力センサは当該円盤膜の変位に基づき液体の圧力を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３３２３５１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述のように構成した圧力センサモジュールにおいては、圧力センサがその裏面にて円盤膜にその表面から接触或いは接近して位置する。しかも、円盤膜は、その裏面にて、導管の開口部で液体と接触して位置する。
【０００９】
このため、圧力センサは、その裏面にて、導管の開口部内の液体に対し接近して位置することとなる。従って、液体の温度が、圧力センサの耐熱温度よりも高い温度である場合には、圧力センサが、液体の高い温度の影響を受けて、異常となり、液体の圧力を正しく検出することができないという不具合が生ずる。
【００１０】
そこで、本発明は、以上のようなことに対処するため、液体の圧力を空気の圧力に変換して検出する構成を有効に活用することにより、液体の温度が高くても、当該液体の温度の影響を受けることなく、この液体の圧力を正しく検出するようにした圧力センサ及びこの圧力センサを利用した流量検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題の解決にあたり、本発明に係る圧力センサは、請求項１の記載によれば、
センサ本体（Ｂ４）と、このセンサ本体から離れて位置するように設けられる液圧検出手段（５０Ａ）と、空気流量絞り手段（８００ａ）とを備える。
【００１２】
当該圧力センサにおいて、センサ本体は、一側ハウジング部材（７１０）と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジング（７００）を構成する他側ハウジング部材（７２０）と、ハウジングの内部を空圧室（Ｒ１）及び液圧室（Ｌ１）に区画するようにハウジングに設けられる可撓性ダイヤフラム手段（７３０）とを具備しており、
一側ハウジング部材は、液体供給源から液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路（７１０ｂ、７１３ａ）を形成するとともに、液圧室内に流入した液体を外部に流出させるように流出側液体通路（７１０ｃ、７１３ｂ）を形成してなり、
他側ハウジング部材は、空気供給源（Ａ）から圧送される空気を空圧室内に流入させるよう流入側空気通路（７２３）を形成するとともに、ダイヤフラム手段の中央部に対向して空圧室内に開口する開口部を有し、空圧室内に流入した空気を上記開口部から導入して外部に排出するように排出側空気通路（７２４）を形成してなり、
空気流量絞り手段は、空気供給源からの空気を、その流量を絞って、液圧検出手段に供給するように、空気供給源と液圧検出手段との間に介装されており、
液圧検出手段は、その受圧部を通して、空気流量絞り手段からの空気を他側ハウジング部材の上記流入側空気通路に流入させるようになっており、
ダイヤフラム手段は、空圧室内にて生ずる空気の空圧のもとに、液圧室内にて生ずる液体の液圧に応じて変位し、排出側空気通路の上記開口部に対する開度を調整するようになっており、
液圧検出手段は、ダイヤフラム手段による排出側空気通路の上記開口部に対する調整開度に応じて、空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、空圧室内の空圧を、上記受圧部により受けて液体の液圧として検出する。
【００１３】
これによれば、液圧室及び空圧室が、上述のごとく、ダイヤフラム手段を介し互いに対向するように構成されることで、液圧室内の液圧及び空圧室内の空圧がダイヤフラム手段に対し互いに向き合うように作用する。
【００１４】
そして、このような液圧及び空圧の作用のもとに、ダイヤフラム手段の流出側空気通路の開口部に対する開度が、上述のように向き合う液圧及び空圧の間の差に応じたダイヤフラム手段の変位に伴い、調整されて、空圧を、液圧に対応するように調整する。従って、このように調整された空圧を液圧検出手段により検出することで、液圧を精度よく検出することができる。
【００１５】
また、上述のごとく、液圧を空圧に変換するための主たる構成として、空圧室、ダイヤフラム手段及び液圧室がハウジング内に設けられ、一方、上述のように変換された空圧を液圧として検出するための液圧検出手段が、ハウジングから離れた位置にて設けられている。これにより、液圧検出手段が耐熱性に欠けており、かつ、液圧室内の液体の温度が異常な高温に上昇することがあっても、液体の高温が液圧検出手段に影響を与えることがない。その結果、液圧検出手段は、上述した本来の検出機能を良好に維持しつつ、液圧の検出を精度よく検出し得る。
【００１６】
ここで、上述のように、液圧検出手段が、ハウジングから離れた位置にて設けられているから、液圧検出手段及びセンサ本体の分離した配置構成を、配置箇所に応じて自由に選択することができる。
【００１７】
また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載の圧力センサにおいて、
センサ本体から離れて位置するように液圧検出手段とセンサ本体との間に介装されて空気供給源からの空気の空圧に応じて開弁する常閉型開閉弁手段（８００）を具備しており、
当該常閉型開閉弁手段は、その開弁により、液圧検出手段の上記受圧部からの空気を他側ハウジング部材の上記流入側空気通路に流入させるようにしたことを特徴とする。
【００１８】
これにより、上述したような液圧の検出が、開閉弁手段の開弁のもとになされる。そして、このような液圧の検出状態において、開閉弁手段が閉弁すると、液圧検出手段がセンサ本体から遮断される。従って、液圧室内の液体が腐食性ガスを発生しても、この腐食性ガスが、ハウジングの内部を通り液圧検出手段に到達することはない。その結果、液圧検出手段が、液体の腐食性ガスにより腐食されることなく、本来の機能を良好に維持し得る。
【００１９】
また、本発明に係る圧力センサは、請求項３の記載によれば、センサ本体（Ｂ）と、液圧検出手段（５０）と、空気流量絞り手段（４１ｄ）とを備える。
【００２０】
当該圧力センサにおいて、センサ本体は、一側ハウジング部材（Ｈ１）と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジング（Ｈ）を構成する他側ハウジング部材（Ｈ２）と、前記ハウジングに設けられてこのハウジングの内部を両ハウジング部材の間の境界面に沿う方向に区画して空圧室（Ｒ１）及び液圧室（Ｌ１）を形成する可撓性ダイヤフラム手段（２２、２４、２６）とを備えており、
液圧検出手段は、その受圧部にて他側ハウジング部材の上記境界面に沿う外壁の一部位に対向するように、当該外壁の前記一部位に設けられており、
一側ハウジング部材は、液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路（２０ｂ、２３ａ）を形成するとともに、液圧室内に流入した液体を外部に流出させるように流出側液体通路（２３ｂ、２０ｃ）を形成してなり、
他側ハウジング部材は、空気供給源（Ａ）から圧送される空気を上記外壁に沿い流入してから空圧室内に流入させるように流入側空気通路（４１、３３）を形成するとともに、ダイヤフラム手段の中央部に対向して空圧室内に開口する開口部（３２ａ）を有して、空圧室内に流入した空気を上記開口部から外部に排出するように排出側空気通路（３４）を形成してなり、
空気流量絞り手段は、上記流入側空気通路のうち上記外壁の前記一部位に対する対応部位から上記外壁の一部位にかけて液圧検出手段の受圧部内に開口するように形成される中空部（４２）の上流側にて上記流入側空気通路に介装されており、
ダイヤフラム手段は、空圧室内にて生ずる空気の空圧のもとに液圧室内にて生ずる液体の液圧に応じて変位し、上記空気排出通路の上記開口部に対する開度を調整するようになっており、
液圧検出手段は、ダイヤフラム手段による上記空気排出通路の上記開口部に対する調整開度に応じて変動する空圧室内の空圧を、空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、上記流入側空気通路及び上記中空部を通し上記受圧部により受けて、空圧を液体の液圧として検出する。
【００２１】
このように、液圧を空圧に変換するための主たる構成として、空圧室、ダイヤフラム手段及び液圧室がハウジング内に設けられ、一方、上述のように変換された空圧を液圧として検出するための液圧検出手段が、ハウジング上に支持されている。
【００２２】
このため、圧力センサの構成をコンパクトにしつつ、液圧検出手段を、液圧室内の液体からは空間的に離れて位置させることができる。その結果、液圧検出手段が耐熱性に欠けており、かつ、液圧室内の液体の温度が異常な高温に上昇することがあっても、液体の高温が液圧検出手段に影響を与えることなく、当該液圧検出手段の本来の検出機能を良好に維持することができ、かつ、コンパクトに構成した圧力センサの提供が可能となる。
【００２３】
また、本発明は、請求項４の記載によれば、請求項３に記載の圧力センサにおいて、
他側ハウジング部材の上記外壁の他の部位に設けられる常閉型開閉弁手段（６０ａ、６０ｂ）を備えて、
他側ハウジング部材は、上記流入側空気通路のうち上記対応部位の下流側通路部位内に連通するように上記外壁の上記他の部位から上記下流側通路部位内にかけて凹部（４６）を形成してなり、
開閉弁手段は、上記外壁の上記他の部位から上記凹部内に変位可能に延出する弁体部（６６）を具備して、上記流入側空気通路のうち上記凹部の上流側通路部位からの空気に応じて、上記弁体部により、上記凹部内にて下流側通路部位を遮断するように閉弁することを特徴とする。
【００２４】
このような構成によっても、請求項２に記載の発明と同様の作用効果を達成することができる。
【００２５】
また、本発明に係る圧力センサは、請求項５の記載によれば、センサ本体（Ｂ５）と、このセンサ本体から離れて位置するように設けられる液圧検出手段（５０Ａ）と、空気流量絞り手段（８００ａ）とを備える。
【００２６】
当該圧力センサにおいて、センサ本体は、一側ハウジング部材（９１０）と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジング（９００）を構成する他側ハウジング部材（９２０）と、ハウジングの内部を空圧室（Ｒ１）及び液圧室（Ｌ１）に区画するようにハウジングに設けられる可撓性ダイヤフラム手段（９３０）とを具備しており、
一側ハウジング部材は、液体供給源から液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路（９１０ｂ、９１３ａ）を形成するとともに、液圧室内に流入した液体を外部に流出させるように流出側液体通路（９１０ｃ、９１３ｂ）を形成してなり、
他側ハウジング部材は、空気供給源（Ａ）から圧送される空気を空圧室内に流入させるよう流入側空気通路（９２３）を形成するとともに、空圧室内に流入した空気を外部に排出するように排出側空気通路（９２４）を形成し、かつ、ダイヤフラム手段と同軸的に位置するように上記流入側空気通路部内に弁機構手段（３０ａ）を介装してなり、
液圧検出手段は、その受圧部を通して、センサ本体の上記排出側空気通路から排出される空気を流出させるようになっており、
空気流量絞り手段は、液圧検出手段の受圧部から流出する空気を絞って排出するように前記液圧検出手段の下流側に設けられており、
弁機構手段は、
他側ハウジング部材内にてダイヤフラム手段と同軸的に位置するように上記流入側空気通路の下流側通路部を構成する段付き孔部であって、上記流入側空気通路の上流側通路部内に開口する大径孔部（３７ｃ）と、この大径孔部から同軸的に空圧室に向けて延出されて上記大径孔部を空圧室内に連通させる小径孔部（３７ａ）とを設けてなる段付き孔部（３７）と、
上記段付き孔部内にて同軸的に軸動可能に設けられて上記小径孔部を通りダイヤフラム手段の上記中央部に向けて延出するロッド部（３９ｂ）及び上記大径孔部と上記小径孔部との環状境界段部に着座可能に上記ロッド部の軸方向中間部位に同軸的に形成される鍔部（３９ｃ）と有するロッド（３９）と、
上記大径孔部内にて上記鍔部を上記環状境界段部に着座させるように付勢するコイルスプリング（３９ａ）とを備えて、
ロッドが上記鍔部にて上記環状境界段部から解離するように軸動したとき、上記流入側空気通路の上記上流側通路部内に流入する空気を、上記段付き孔部の上記大径孔部及び上記小径孔部を通して空圧室内に流入させるようになっており、
ダイヤフラム手段は、空圧室内にて生ずる空気の空圧のもとに、液圧室内にて生ずる液体の液圧に応じて変位し、ロッドを上記鍔部にて上記環状境界段部から解離させるべく軸動させるようになっており、
液圧検出手段は、ダイヤフラム手段による上記鍔部の上記環状境界段部に対する解離度に応じて、空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、空圧室内の空圧を、上記受圧部により受けて前記液体の液圧として検出する。
【００２７】
このように本発明を構成しても、液圧室内の液圧及び空圧室内の空圧がダイヤフラム手段に対し互いに向き合うように作用する。そして、このような液圧及び空圧の作用のもとに、ダイヤフラム手段による弁機構手段の鍔部の小径孔部に対する解離度が、上述のように向き合う液圧及び空圧の間の差に応じたダイヤフラム手段の変位に伴い、調整されて、液圧に対応する空圧に調整する。従って、このように調整された空圧を液圧検出手段により検出することで、液圧を精度よく検出することができる。その他の作用効果、請求項１に記載の発明と同様である。
【００２８】
また、本発明は、請求項６の記載によれば、請求項５に記載の圧力センサにおいて、センサ本体から離れて位置するように液圧検出手段とセンサ本体との間に介装されて空気供給源からの空気の空圧に応じて開弁する常閉型開閉弁手段（８００）を具備しており、
常閉型開閉弁手段は、その開弁により、センサ本体の上記流出側空気通路からの空気を前記液圧検出手段の前記受圧部に流入させるようにしたことを特徴とする。
【００２９】
このように構成しても、請求項５に記載の発明の作用効果を達成しつつ、請求項２に記載の発明と同様の作用効果を達成することができる。
【００３０】
また、本発明に係る圧力センサは、請求項７の記載によれば、センサ本体（Ｂ１）と、液圧検出手段（５０）と、空気流量絞り手段（４１ｄ）とを備える。
【００３１】
当該圧力センサにおいて、センサ本体は、一側ハウジング部材（Ｈ１）と、この一側ハウジング部材に組み付けられてハウジング（Ｈ）を構成する他側ハウジング部材（Ｈ２）と、ハウジングに設けられてこのハウジングの内部を両ハウジング部材の間の境界面に沿う方向に区画して空圧室（Ｒ１）及び液圧室（Ｌ１）を形成する可撓性ダイヤフラム手段（２２、２５、２７）とを備えており、
液圧検出手段は、その受圧部にて他側ハウジング部材の上記境界面に沿う外壁の一部位に対向するように、当該外壁の前記一部位に設けられており、
一側ハウジング部材は、液圧室内に液体を流入させるように流入側液体通路（２０ｂ、２３ａ）を形成するとともに、液圧室内に流入した液体を外部に流出させるように流出側液体通路（２３ｂ、２０ｃ）を形成してなり、
他側ハウジング部材は、空気供給源（Ａ）から圧送される空気を空圧室内に流入させるよう流入側空気通路（３６）を形成するとともに、空圧室内に流入した空気を上記外壁に向けて流動させてから当該外壁の少なくとも上記一部位に沿い流動させて外部に排出するように排出側空気通路（３５、４１）を形成し、かつ、ダイヤフラム手段と同軸的に位置するように上記流入側空気通路部内に弁機構手段（３０ａ）を介装してなり、
空気流量絞り手段は、上記流出側空気通路のうち上記外壁の上記一部位に対する対応部位から上記外壁の一部位にかけて液圧検出手段の受圧部内に開口するように形成される中空部（４２）の下流側にて上記流入側空気通路に介装されており、
弁機構手段は、
他側ハウジング部材内にてダイヤフラム手段と同軸的に位置するように上記流入側空気通路の下流側通路部を構成する段付き孔部であって、上記流入側空気通路の上流側通路部内に開口する大径孔部（３７ｃ）と、この大径孔部から同軸的に空圧室に向けて延出されて上記大径孔部を空圧室内に連通させる小径孔部（３７ａ）とを設けてなる段付き孔部（３７）と、
上記段付き孔部内にて同軸的に軸動可能に設けられて上記小径孔部を通りダイヤフラム手段の上記中央部に向けて延出するロッド部（３９ｂ）及び上記大径孔部と上記小径孔部との環状境界段部に着座可能に上記ロッド部の軸方向中間部位に同軸的に形成される鍔部（３９ｃ）と有するロッド（３９）と、
上記大径孔部内にて前記鍔部を上記環状境界段部に着座させるように付勢するコイルスプリング（３９ａ）とを備えて、
ロッドが上記鍔部にて上記環状境界段部から解離するように軸動したとき、上記流入側空気通路の上記上流側通路部内に流入する空気を、上記段付き孔部の上記大径孔部及び上記小径孔部を通して空圧室内に流入させるようになっており、
ダイヤフラム手段は、空圧室内にて生ずる空気の空圧のもとに、液圧室内にて生ずる液体の液圧に応じて変位し、ロッドを上記鍔部にて上記環状境界段部から解離させるべく軸動させるようになっており、
液圧検出手段は、ダイヤフラム手段による上記鍔部の上記環状境界段部に対する解離度に応じて、空気流量絞り手段の絞り作用のもとに、空圧室内の空圧を、上記受圧部により受けて液体の液圧として検出する。
【００３２】
このように、弁機構手段を有していても、液圧を空圧に変換するための主たる構成として、空圧室、ダイヤフラム手段及び液圧室がハウジング内に設けられ、一方、上述のように変換された空圧を液圧として検出するための液圧検出手段が、ハウジング上に支持されている。これによっても、請求項５に記載の発明と同様の作用効果が、達成され得る。
【００３３】
また、本発明は、請求項８の記載によれば、請求項７に記載の圧力センサにおいて、
他側ハウジング部材の上記外壁の他の部位に設けられる常閉型開閉弁手段（６０ａ、６０ｂ）を備えて、
他側ハウジング部材は、上記流出側空気通路のうち上記対応部位の下流側通路部位内に連通するように上記外壁の前記他の部位から上記下流側通路部位内にかけて凹部（４６）を形成してなり、
開閉弁手段は、上記外壁の上記他の部位から上記凹部内に変位可能に延出する弁体部（６６）を具備して、上記流入側空気通路からの空気に応じて、上記弁体部により、上記凹部内にて前記下流側通路部位を遮断するように閉弁することを特徴とする。
【００３４】
このように構成しても、請求項７に記載の発明の作用効果を達成しつつ、請求項４に記載の発明と同様の作用効果を達成することができる。
【００３５】
また、本発明は、請求項９の記載によれば、請求項１〜８のいずれか１つに記載の圧力センサにおいて、
ダイヤフラム手段は、液圧室内の液体に接するようにハウジング内にてその内周面の軸方向中間部位と一体となるように形成してなる第１ダイヤフラムと、この第１ダイヤフラムと空圧室との間にて第１ダイヤフラムに接するように支持される第２ダイヤフラムとを備えて、
第１及び第２のダイヤフラムは、液圧室内の液圧に応じた変位により空圧室内の空圧を変動させることを特徴とする。
【００３６】
このように、ダイヤフラム手段が、２枚のダイヤフラムにより構成されているから、空気層が、第１ダイヤフラムと第２ダイヤフラムとの間に形成されて、第１ダイヤフラムと共に、断熱層としての役割を果たす。これにより、上記空気層が、第１ダイヤフラムと協働して、液圧室内の液体の熱を第２ダイヤフラムから良好に遮断する。
【００３７】
その結果、第２ダイヤフラムは、液圧室内の液体の温度による影響を受けて変形することがなく、本来の撓みによる変位を精度よくなし得る。例えば、両ダイヤフラムの形成材料が温度による線膨張係数の大きなフッ素樹脂であっても、両ダイヤフラムは、温度による影響を受けて変形することがない。その結果、請求項１に記載の発明の作用効果がより一層向上され得る。
【００３８】
また、上述のように、ダイヤフラム手段が、２枚のダイヤフラムにより構成されているから、液圧室内の液圧が当該液圧室側から第１ダイヤフラムに作用し、一方、空圧室内の空圧が当該空圧室側から第２ダイヤフラムに作用する。従って、第１及び第２のダイヤフラムが、それぞれ、液圧室内の液圧及び空圧室内の空圧を、別々に、受けもつこととなる。このため、一枚のダイヤフラムがその両面側から液圧及び空圧を共に受けて両面側へ撓む状況に比べ、各ダイヤフラムは、それぞれに作用する液圧及び空圧を受けて互いに向かい合う方向に撓むのみである。その結果、第１及び第２のダイヤフラムの寿命を長く維持することができる。
【００３９】
また、上述のごとく、第１ダイヤフラムが液圧室内の液体に接するように形成されていることから、液体が液圧室内に流動しても、第１ダイヤフラムの液圧室側において液体による液だまりが生ずることがない。
【００４０】
また、本発明は、請求項１０の記載によれば、請求項１〜８のいずれか１つに記載の圧力センサにおいて、
ダイヤフラム手段は、ハウジング内にて液圧室と空圧室との間に支持されて液圧室内の液圧に応じた変位により空圧室内の空圧を変動させる単一のダイヤフラムであることを特徴とする。
【００４１】
これによれば、当該単一のダイヤフラムが、その両面側から、液圧室内の液圧及び空圧室内の空圧と共に直接受けることとなる。その結果、単一のダイヤフラムの液圧の変動に対する感度を良好に確保することができる。
【００４２】
また、本発明に係る流量検出装置は、請求項１１の記載によれば、
請求項３に記載の圧力センサを、２つ、第１及び第２の圧力センサとして備え、
かつ、第１圧力センサの上記流出側液体通路と第２圧力センサの上記流入側液体通路との間に介装されて第１圧力センサの上記流出側液体通路から第２圧力センサの上記流入液体通路に流入する液体の流量を絞る液体流量絞り手段と、
この液体流量絞り手段の絞り作用のもとに第１及び第２の圧力センサの各液圧室内に生ずる液圧の差に応じて変動する第１及び第２の圧力センサの各空圧室内の空圧の差に基づき液圧の差に対応する液体の流量を検出するようにした。
【００４３】
これにより、請求項３に記載の発明による液圧の検出精度のもとに、各検出液圧の差に基づき液体の流量を検出することとなる。その結果、液体の流量を精度よく検出し得る流量検出装置の提供が可能となる。
【００４４】
また、本発明は、請求項１２の記載によれば、請求項１１に記載の液体流量検出装置において、
第１及び第２の圧力センサの各ハウジングが、第１及び第２の圧力センサの各一側ハウジング部材に対応する一側共通ハウジング部材（Ｊ１）と、第１及び第２の圧力センサの各他側ハウジング部材に対応する他側共通ハウジング部材であって一側共通ハウジング部材に組み付けられる他側共通ハウジング部材（Ｊ２）とでもって、単一の共通ハウジング（Ｊ）として形成され、
液体流量絞り手段が、第１圧力センサの上記流出側液体通路及び第２圧力センサの上記流入側液体通路に代えて、第１及び第２の圧力センサの各液圧室の間に介装されるように記他側共通ハウジング部材内に形成されており、
流入側共通空気通路（４２０）が、空気供給源からの空気を他側共通ハウジング部材の外部から上記各空気供給通路を介し第１及び第２の圧力センサの各空圧室内に供給するように、他側共通ハウジング部材内にて第１及び第２の圧力センサの上記各空気供給通路に接続形成されており、
流出側共通空気通路（３４２）が、第１及び第２の圧力センサの上記各空気排出通路に代えて、各空圧室の空気を共通ハウジングの外部へ排出するように、他側共通ハウジング部材内にて、各空圧室内に第１及び第２の圧力センサの各ダイヤフラム手段の中央部に対向して開口する各開口部を有し、当該各開口部から他側共通ハウジング部材の外部へ開口するように延出形成されていることを特徴とする。
【００４５】
このように、ハウジングを単一の共通ハウジングとして、液体流量絞り手段、流入側共通空気通路及び流出側共通空気通路を上述のように他側共通ハウジング部材に形成しても、請求項１１に記載の発明と同様の作用効果を達成することができる。
【００４６】
また、本発明に係る流量検出装置は、請求項１３の記載によれば、
請求項７に記載の圧力センサを、２つ、第１及び第２の圧力センサとして備え、
かつ、第１圧力センサの上記流出側両液体通路と第２圧力センサの上記流入側液体通路との間に介装されて第１圧力センサの上記流出側両液体通路から第２圧力センサの上記流入側液体通路に流入する液体の流量を絞る液体流量絞り手段を備えて、
この液体流量絞り手段の絞り作用のもとに第１及び第２の圧力センサの各液圧室内に生ずる液圧の差に応じて変動する第１及び第２の圧力センサの各空圧室内の空圧の差に基づき前記液圧の差に対応する前記液体の流量を検出するようにした。
【００４７】
これにより、請求項７に記載の発明による液圧の検出精度のもとに、各検出液圧の差に基づき液体の流量を検出することとなる。その結果、液体の流量を精度よく検出し得る流量検出装置の提供が可能となる。
【００４８】
また、本発明は、請求項１４の記載によれば、請求項１３に記載の液体流量検出装置において、
第１及び第２の圧力センサの各ハウジングが、第１及び第２の圧力センサの各一側ハウジング部材に対応する一側共通ハウジング部材（Ｊ１）と、第１及び第２の圧力センサの各他側ハウジング部材に対応する他側共通ハウジング部材であって一側共通ハウジング部材に組み付けられる他側共通ハウジング部材（Ｊ２）とでもって、単一の共通ハウジング（Ｊ）として形成され、
液体流量絞り手段が、第１圧力センサの上記流出側液体通路及び第２圧力センサの上記流入側液体通路に代えて、第１及び第２の圧力センサの各液圧室の間に介装されるように他側共通ハウジング部材内に形成されており、
流入側共通空気通路（３５０ａ）が、空気供給源からの空気を、第２圧力センサの弁機構手段の上記段付き孔部の内部を通り第１圧力センサの弁機構手段の上記段付き孔部内に供給するように他側共通ハウジング部材内にて形成されており、
流出側共通空気通路（４２０）が、各空圧室からの空気を第１及び第２の圧力センサの上記各流出側空気通路を介し共通ハウジングの外部に排出するように、他側共通ハウジング部材内にて、上記各流出側空気通路に接続形成されていることを特徴とする。
【００４９】
このように、ハウジングを単一の共通ハウジングとして、液体流量絞り手段、流入側共空気通路及び流出側共通空気通路を上述のように共通ハウジングに形成しても、請求項１３に記載の発明と同様の作用効果を達成することができる。
【００５０】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る圧力センサの第１実施形態の部分破断正面図である。
【図２】図１の圧力センサの平面図である。
【図３】図１の圧力センサの部分破断左側面図である。
【図４】図１の圧力センサの部分破断右側面図である。
【図５】図６の５−５線に沿う断面図である。
【図６】図５の６−６線に沿う断面図である。
【図７】図５の空圧室内の空圧と液圧室内の液圧との関係を直線で示すグラフである。
【図８】本発明に係る圧力センサの第１実施形態の断面図である。
【図９】図８の圧力センサにおいて弁機構の作動状態を示す断面図である。
【図１０】図９の空圧室内の空圧と液圧室内の液圧との関係を直線で示すグラフである。
【図１１】本発明の第３実施形態を、図１４の１１−１１線に沿う断面にて示す図である。
【図１２】図１１の流量検出装置の右側面図である。
【図１３】図１１の１３−１３線に沿う断面図である。
【図１４】図１３の１４−１４線に沿う断面図である。
【図１５】本発明の第４実施形態を、図１７の１５−１５線に沿う断面にて示す図である。
【図１６】図１５の１６−１６線に沿う断面図である。
【図１７】図１６の１７−１７線に沿う断面図である。
【図１８】本発明の第５実施形態の要部を示す断面図である。
【図１９】本発明の第６実施形態の要部を示す断面図である。
【図２０】本発明の第７実施形態を示す要部断面全体構成図である。
【図２１】本発明の第８実施形態を示す要部断面全体構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
以下、本発明の各実施形態を図面により説明する。
（第１実施形態）
図１〜図４は、半導体製造装置の枚葉式処理系統に適用された本発明に係る圧力センサの第１実施形態を示している。この圧力センサ（以下、圧力センサＳａという）は、上記枚葉式処理系統において、薬液を貯留する薬液供給源（図示しない）から延出する配管Ｐ１(図１参照）と、半導体ウェハーを処理する処理カップ（図示しない）から延出する配管Ｐ２(図１参照）との間に接続されている。
【００５３】
当該圧力センサＳａは、図１〜図５にて示すごとく、センサ本体Ｂを備えている。このセンサ本体Ｂは、ハウジングＨを有しており、このハウジングＨは、下側ハウジング部材Ｈ１及び上側ハウジング部材Ｈ２により構成されている。
【００５４】
下側ハウジング部材Ｈ１は、台座１０及び内側壁２０を有しており、台座１０は、図１〜図４から分かるように、矩形板状に形成されている。本第１実施形態において、台座１０は、例えば、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）でもって形成されている。
【００５５】
内側壁２０は、図１及び図５にて示すように、矩形板状壁本体２０ａと、流入側筒状ボス２０ｂと、流出側筒状ボス２０ｃとにより構成されており、壁本体２０ａは、台座１０の上面上に積層されている。なお、本第１実施形態において、内側壁２０は、フッ素樹脂、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）でもって形成されている。
【００５６】
当該壁本体２０ａは、図５にて示すごとく、大径穴部２１ａ及び小径穴部２１ｂを有しており、これら大径穴部２１ａ及び小径穴部２１ｂは、ダイヤフラム２２（後述する）を介し、互いに同軸的に対向するように、壁本体２０ａの上下両面側から同軸的に縦断面コ字状に形成されている。
【００５７】
センサ本体Ｂは、ダイヤフラム２２及びダイヤフラム２４を有している。ダイヤフラム２２は、図５にて示すごとく、円板状厚膜部２２ａ及び円環状可撓性薄膜部２２ｂでもって一体的に形成されており、薄膜部２２ｂは、厚膜部２２ａの外周部から外方に向け円環状に延出している。本第１実施形態において、ダイヤフラム２２は、薄膜部２２ｂにて、壁本体２０ａと一体的に形成されている。なお、この一体的形成は、上述のごとく大径穴部２１ａ及び小径穴部２１ｂを壁本体２０ａ内に形成する際になされる。
【００５８】
このように構成したダイヤフラム２２は、その円環状薄膜部２２ｂの下方への撓みにより、厚膜部２２ａにて下方へ変位し、この変位状態のもと、薄膜部２２ｂの上方への撓みにより、厚膜部２２ａにて上方へ変位する。本第１実施形態では、ダイヤフラム２２が、ダイヤフラム２４に対し、下側に位置することから、以下、ダイヤフラム２２及びダイヤフラム２４は、それぞれ、下側ダイヤフラム２２及び上側ダイヤフラム２４ともいう。
【００５９】
また、当該壁本体２０ａは、円柱台状の封止部材２１ｃを有しており、この封止部材２１ｃは、壁本体２０ａの下方から小径穴部２１ｂ内に圧入により嵌着されている。これにより、この封止部材２１ｃと下側ダイヤフラム２２との間には、横断面円形状の液圧室Ｌ１が、封止部材２１ｃによる封止のもとに気密的に形成されている。
【００６０】
また、当該壁本体２０ａは、流入通路部２３ａ及び流出通路部２３ｂを有しており、これら流入通路部２３ａ及び流出通路部２３ｂは、液圧室Ｌ１を介し互いに対向するように壁本体２０ａ内に形成されている。これにより、流入通路部２３ａは、その内部にて液圧室Ｌ１の内部を通り流出通路部２３ｂの内部に連通している。
【００６１】
流入側筒状ボス２０ｂ及び流出側筒状ボス２０ｃは、壁本体２０ａの外周面から互いに対向して逆方向に外方へ突出するように形成されている。流入側筒状ボス２０ｂは、その内部にて、壁本体２０ａの流入通路部２３ａの内部に連通しており、当該流入側ボス２０ｂは、上記薬液供給源から配管Ｐ１を通り吐出される薬液を、流入通路部２３ａを介し液圧室Ｌ１内に流動させる。このことは、液圧室Ｌ１内における薬液の液圧が下側ダイヤフラム２２の下面に上方に向けて作用することを意味する。
【００６２】
一方、流出側筒状ボス２０ｃは、液圧室Ｌ１から流出通路部２３ｂ内に流動する薬液を、上記処理カップから延出する配管Ｐ２内に流動させる。なお、上記処理カップ内の半導体ウェハーは、配管Ｐ２からの薬液により処理される。
【００６３】
上側ダイヤフラム２４は、円板状厚膜部２４ａ、円環状可撓性薄膜部２４ｂ、円環状フランジ部２４ｃ及び円錐状弁体部２４ｄを一体的に有するように、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）でもって形成されている。
【００６４】
この上側ダイヤフラム２４において、薄膜部２４ｂは、厚膜部２４ａの外周上端部から外方に向け延出している。また、フランジ部２４ｃは、薄膜部２４ｂの外周部から外方へ延出しており、このフランジ部２４ｃは、その内周面軸方向中間部位にて薄膜部２４ｂの外周部と一体となっている。また、弁体部２４ｄは、厚膜部２４ａの上面中央部から上方へ円錐状に突出形成されている。
【００６５】
このように構成した上側ダイヤフラム２４は、内側壁２０の大径穴部２１ａ内に収容されており、当該上側ダイヤフラム２４は、フランジ部２４ｃにて、Ｏリング３１と大径穴部２１ａの底壁外周部（大径穴部２１ａ及び小径穴部２１ｂの間の円環状境界段部）との間に気密的に挟持されて、厚膜部２４ａにて、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａ上に着座している。
【００６６】
これにより、上側ダイヤフラム２４は、下側ダイヤフラム２２とともに、大径穴部２１ａ及び小径穴部２１ｂを、上述の空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１として区画して、その薄膜部２４ｂの下方への撓みにより、厚膜部２４ａにて、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａを液圧室Ｌ１側へ押動するように変位する。そして、このような変位状態のもと、上側ダイヤフラム２４は、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａにより押動されて、薄膜部２４ｂの上方への撓みのもとに上空圧室Ｒ１側へ変位する。
【００６７】
上側ハウジング部材Ｈ２は、図１及び図３〜図５にて示すごとく、内側壁３０及び上壁４０により構成されている。本第１実施形態では、内側壁３０及び上壁４０は、ともに、フッ素樹脂、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）でもって形成されている。
【００６８】
内側壁３０は、図５にて示すごとく、その下面にて、Ｏリング３１を介して内側壁２０の上面上に気密的に積層されている。ここで、Ｏリング３１は、上側ダイヤフラム２４のフランジ部２４ｃを、大径穴部２１ａの底壁外周部との間にて挟持するように、内側壁３０の円環状溝部３１ａ内に嵌着されている。なお、円環状溝部３１ａは、内側壁３０の下面のうち大径穴部２１ａの底壁外周部に対する対向部位に形成されている。
【００６９】
また、当該内側壁３０は、凹所３２を有しており、この凹所３２は、円環状溝部３１ａの内周側にて、内側壁３０にその下面側から上方に向け凹状に形成されている。これにより、当該凹所３２は、その内部にて、内側壁２０の大径穴部２１ａに上方から同軸的に対向して、上側ダイヤフラム２４の上面との間に、上述の空圧室Ｒ１を形成する。
【００７０】
また、当該凹所３２は、環状部３２ａを設けてなり、この環状部３２ａは、弁座部３２ａとして、上側ダイヤフラム２４の円錐状弁体部２４ｄに同軸的に対向するように、凹所３２の内面中央部から円錐状弁体部２４ｄに向け突出形成されている。これにより、弁体部２４ｄは、その変位に伴い、弁座部３２ａとの間の開度を調整する。なお、弁体部２４ｄ及び弁座部３２ａにより構成される弁はダイヤフラム弁Ｖａ（図５参照）という。
【００７１】
次に、このダイヤフラム弁Ｖａの開度と上下両側ダイヤフラム２４、２２の変位との関係について説明する。後述のように、空圧室Ｒ１内の空圧が上側ダイヤフラム２４の上面に下方に向けて作用するとともに、液圧室Ｌ１内の液圧が下側ダイヤフラム２２の下面に上方に向けて作用すると、上下両側ダイヤフラム２４、２２が、液圧と空圧との差圧に応じて、各薄膜部２４ｂ、２２ｂの撓みのもとに、各厚膜部２４ａ、２２ａにて、共に、上方或いは下方へ変位する。
【００７２】
ここで、下側ダイヤフラム２２の下面に作用する液圧をＰａとし、上側ダイヤフラム２４の上面に作用する空圧をＰｂとする。そして、液圧Ｐａが変動するとき、空圧Ｐｂが、両厚膜部２４ａ、２２ａの上下方向への変動に応じたダイヤフラム弁Ｖａ（図５参照）の開度の変化に伴い変動する。なお、ダイヤフラム弁Ｖａの開度は、液圧Ｐｂと空圧Ｐａとの差圧に比例する。
【００７３】
本第１実施形態において、上述した下側ダイヤフラム２２の下面に作用する液圧Ｐａ（液圧室Ｌ１内の薬液の液圧）と、上述した上側ダイヤフラム２４に作用する空圧Ｐｂ（空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂ）との間の関係は、図７にて示すごとく、直線特性１により特定されている。この直線特性１では、空圧Ｐｂが、液圧Ｐａの増大（或いは減少）に伴い直線的に増大（或いは減少）する。
【００７４】
また、当該内側壁３０は、図５にて示すごとく、通路３３及び通路３４を有しており、通路３３は、上壁４０を後述のごとく通り流入する空気を、空圧室Ｒ１内に供給するように、内側壁３０内にてその板厚方向に形成されている。
【００７５】
また、通路３４は、図５にて示すごとく、内側壁３０内にてＬ字状に形成されており、この通路３４は、凹所３２の環状部３２ａを開口部３２ａとして、空圧室Ｒ１内に開口することで、空圧室Ｒ１の内部を内側壁３０の外部に連通させる。しかして、上側ダイヤフラム２４がその円錐状弁体部２４ｄにて環状部３２ａ（通路３４の開口部３２ａ）から解離しているとき、通路３４は、空圧室Ｒ１の内部を内側壁３０の外部に開放する。
【００７６】
上壁４０は、通路４１を有しており、この通路４１は、一側通路部４１ａ及び他側通路部４１ｂでもって、上壁４０内にて、図５にて示すごとく、Ｌ字状に形成されている。一側通路部４１ａは、上壁４０内にてその上下両面に平行となるように当該上壁４０の側面から延出形成されており、この一側通路部４１ａは、その開口端部４１ｃにて、空気供給源Ａの空気の供給口部に接続されている。これにより、当該一側通路部４１ａは、その開口端部４１ｃを介し、空気供給源Ａから空気を圧送される。なお、空気供給源Ａは、その内部にて、予圧を付与した空気を貯蔵する。
【００７７】
他側通路部４１ｂは、一側通路部４１ａの延出端部から下方に向けＬ状に屈曲して延出するように上壁４０内にて形成されており、この他側通路部４１ｂは、その延出端開口部にて、内側壁３０の通路３３を介し空圧室Ｒ１内に連通している。これにより、他側通路部４１ｂは、通路３３を介し一側通路部４１ａ内の空気を空圧室Ｒ１内に流入させる。
【００７８】
また、通路４１は、オリフィス４１ｄを有しており、このオリフィス４１ｄは、図５にて示すごとく、一側通路部４１ａ内にてその開口端部４１ｃの近傍部位にて設けられている。本実施形態において、このオリフィス４１ｄは、主として、後述のごとく、圧電変換ユニット５０の受圧面に作用させる空圧を形成する役割を果たす。
【００７９】
また、上壁４０は、図５及び図６にて示すごとく、中空部４２を有しており、この中空部４２は、上壁４０にその上面側から横断面円形状（図６参照）にて下方に向け凹状に形成されている。当該中空部４２は、その底部のうち一側通路部４１ａの延出方向中間部位に対する対応部にて、帯状連通孔部４２ａ（図５及び図６参照）を形成してなり、この帯状連通孔部４２ａは、一側通路部４１ａの上記延出方向中間部位内に帯状に連通する。これにより、一側通路部４１ａ内にて流動する空気は、帯状連通孔部４２ａから中空部４２内にも流動する。
【００８０】
本第１実施形態において、図５にて、符号４３はＯリングを示しており、このＯリング４３は、上壁４０の円環状溝部４３ａ内に嵌着されて、他側通路部４１ｂを内側壁３０及び上壁４０の境界面から気密的にシールする。なお、円環状溝部４３ａは、上壁４０の下面のうち他側通路部４１ｂの流出端部の近傍円環状部位に形成されている。
【００８１】
また、当該センサ本体Ｂは、図５にて示すごとく、圧電変換ユニット５０及び安全機構６０を備えており、これら圧電変換ユニット５０及び安全機構６０は、ハウジングＨと一体的となるように、その上壁４０にその上方から組み付けられて、四角箱状蓋体Ｃ内に収容されている。ここで、蓋体Ｃは、その下端開口部にて、上壁４０の上面に装着されている。なお、蓋体Ｃは、例えば、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）でもって形成されている。
【００８２】
圧電変換ユニット５０は、筒体５１を有しており、この筒体５１は、その開口部５１ａにて、上壁４０の中空部４２を上方から覆うようにして、当該上壁４０の上面に装着されている。
【００８３】
また、当該圧電変換ユニット５０は、静電容量型の扁平状空圧検出素子５２及び信号処理回路５３を有している。空圧検出素子５２は、その外周部にて、筒体５１の円環状部５１ｂ内に同軸的に嵌着されており、当該空圧検出素子５２の外周部は、円環状部５１ｂにより、その上側内面にて、Ｏリング４４を介して、上壁４０の上面のうち中空部４２の外周部上に押圧されている。
【００８４】
空圧検出素子５２は、その受圧部（本実施形態では、空圧検出素子５２の下面である受圧面）により中空部４２内の空圧を検出し、この検出空圧に比例するレベルにて電気信号として発生する。ここで、中空部４２内の空圧が、空圧室Ｒ１内の空圧に相当し液圧室Ｌ１内の液圧に比例することから、空圧検出素子５２は、中空部４２内の空圧に基づき液圧室Ｌ１内の液圧を検出することを意味する。
【００８５】
なお、上述した円環状部５１ｂは、筒体５１の開口部５１ａをその内周面側から断面逆Ｌ字状に切除することで、形成されている。また、Ｏリング４４は、上壁４０の上面のうち中空部４２の近傍外周面部に沿い円環状に形成した溝部４４ａ内に嵌装されており、このＯリング４４は、空圧検出素子５２の下面外周部と上壁４０の上面のうち中空部４２の近傍外周面部との間に挟持されている。これにより、Ｏリング４４は、中空部４２の内部を筒体５１の外部から気密的にシールする。
【００８６】
信号処理回路５３は、筒体５１内にて、空圧検出素子５２の直上に支持されており、この信号処理回路５３は、空圧検出素子５２からの電気信号を信号処理して、中空部４２内の空圧（換言すれば、液圧室Ｌ１内の液圧）に比例する出力信号を発生してリード線５４を通して外部回路（図示しない）に出力する。なお、リード線５４は、筒体５１の上壁の一部に嵌着したゴムブッシュ５４ａ及び蓋体Ｃの側壁の一部に嵌着したグロメット５４ｂを通りその外部に延出している。
【００８７】
安全機構６０は、図５及び図６にて示すごとく、常閉型開閉弁６０ａを備えている。この開閉弁６０ａは、上壁４０の通路４１内に介装されているもので、当該開閉弁６０ａは、四角筒状ケーシング６１及び蓋体６２を備えている。蓋体６２は、その大径部６２ａをケーシング６１の開口端面に当接させるようにして、小径部６２ｂにて、ケーシング６１の開口部内に気密的にかつ同軸的に嵌着されている。
【００８８】
このように構成したケーシング６１は、その開口部にて、上壁４０の通路４１を構成してなる一側通路部４１ａと他側通路部４１ｂとのＬ字状連結部に対向する位置にて、上壁４０の外側円環状部４５ａ上に気密的に立設されている。なお、外側円環状部４５ａは、内側円環状部４５ｂとともに、上壁４０の上面のうち凹部４６（後述する）の外周面部から上方へ突出するように形成されている。
【００８９】
また、開閉弁６０ａは、ピストン６３を有しており、このピストン６３は、小径の基端部６３ａ、基端側中径部６３ｂ、中央側大径部６３ｃ（以下、ピストン部６３ｃともいう）、先端側中径部６３ｄ及び小径の先端部６３ｅでもって同軸的にかつ一体的に形成されている。なお、小径の基端部６３ａ、基端側中径部６３ｂ、先端側中径部６３ｄ及び小径の先端部６３ｅは、ピストン６３のロッド部を構成する。
【００９０】
このように構成されたピストン６３において、基端部６３ａ及び基端側中径部６３ｂは、それぞれ、ケーシング６１の上壁６１ａの中央孔部及び内筒部６１ｂ内に軸方向に摺動可能に嵌装されている。ここで、内筒部６１ｂは、ケーシング６１の上壁６１ａの内面から当該ケーシングの周壁部６１ｃの上側小径内孔部（図５参照）内へ同心的に延出されている。
【００９１】
また、当該ピストン６３は、そのピストン部６３ｃにて、ケーシング６１の周壁部６１ｃの下側大径内孔部（図５参照）内にＯリング６４を介し気密的にかつ軸方向に摺動可能に嵌装されている。これにより、ピストン部６３ｃは、ケーシング６１の周壁部６１ｃの下側大径内孔部内にて、蓋体６２との間に空間部Ｒ２を形成する。なお、Ｏリング６４は、ピストン部６３ｃの外周面のうち軸方向中間部位にその周方向に沿い形成した円環状溝部内に嵌装されている。また、ケーシング６１の上側小径内孔部内にてその上壁６１ａとピストン部６３ｃとの間に形成される空所は、上側小径内孔部の周壁部に形成した貫通孔部（図示しない）を通り外部に連通している。
【００９２】
また、当該ピストン６３の先端側中径部６３ｄは、蓋体６２の中央貫通孔部６２ｃにＯリング６５を介し軸方向へ気密的に摺動可能に挿通されており、このピストン６３の小径の先端部６３ｅは、蓋体６２の中央貫通孔部６２ｃを通り上壁４０の凹部４６（図５参照）内に延出している。
【００９３】
ここで、凹部４６は、上壁４０の上面のうち蓋体６２に対する対応部位から一側通路部４１ａと他側通路部４１ｂとの上記Ｌ字状連結部にかけて凹状に形成されており、この凹部４６は、その底部側にて、一側通路部４１ａ及び他側通路部４１ｂ内にその上記Ｌ字状連結部内への各開口端部から連通している。なお、Ｏリング６５は、先端側中径部６３ｄの外周面軸方向中間部位にその周方向に形成した円環状溝部内に嵌装されている。
【００９４】
また、開閉弁６０ａは、図５にて示すごとく、柱状弁体部６６、ダイヤフラム６７及びコイルスプリング６８を有しており、弁体部６６は、その基端部側軸穴部にて、ピストン６３の先端部６３ｅに下方から同軸的に嵌着されている。これにより、弁体部６６は、その先端部にて、他側通路部４１ｂの上記Ｌ字状連結部内への開口端部に対向している。なお、当該他側通路部４１ｂの上記開口端部は、後述のごとく、弁体部６６により開閉される弁座部としての役割を果たす。従って、弁体部６６の他側通路部４１ｂの弁座部に対する着座は、開閉弁６０ａの閉弁に対応し、一方、弁体部６６の他側通路部４１ｂの弁座部からの解離は、開閉弁６０ａの開弁に対応する。
【００９５】
ダイヤフラム６７は、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）により、弁体部６６と一体に形成されているもので、このダイヤフラム６７は、その外周部にて、蓋体６２の外周部と上壁４０の内側円環状部４５ｂとの間に挟持されて、上壁４０の凹部４６を上側から気密的にシールしている。
【００９６】
コイルスプリング６８は、ケーシング６１の内筒部６１ｂと周壁部６１ｃの上側小径内孔部との間に同軸的に嵌装されており、このコイルスプリング６８は、その両端部にて、ピストン６３の中央側大径部６３ｃ（ピストン部６３ｃ）とケーシング６１の上壁６１ａとの間に挟持されている。これにより、当該コイルスプリング６８は、ピストン６３を、そのピストン部６３ｃにて、他側通路部４１ｂの上記弁座部に向けて付勢する。
【００９７】
本第１実施形態では、コイルスプリング６８の付勢力に対応するバネ常数は次のように設定されている。即ち、空間部Ｒ２内に後述のごとく生ずる空圧が所定圧未満のとき、ピストン６３は、そのピストン部６３ｃにて、コイルスプリング６８の付勢力に基づき下方へ摺動して弁体部６６を他側通路部４１ｂの弁座部に着座させるように、コイルスプリング６８のバネ定数が設定されている。なお、上記所定圧は、開閉弁６０ａの開閉作動にハンチングを生じさせない程度において、できる限り小さな値に設定されている。
【００９８】
また、安全機構６０は、配管６０ｂを備えており、この配管６０ｂは、その基端部にて、上壁４０にその上面から形成された流出孔部４７内に嵌着されている。また、当該配管６０ｂの他端部は、開閉弁６０ａのケーシング６１の周壁部６１ｃに形成した開孔部（図示しない）を介し、空間部Ｒ２内に連通している。これにより、空気供給源Ａから上壁４０の一側通路部４１ａ内に圧送される空気は、配管６０ｂ内に分流して空間部Ｒ２内に流入する。なお、流出孔部４７は、上壁４０の一側通路部４１ａのうちオリフィス４１ｄの近傍部位内に開口するように上壁４０の上面側から形成されている。
【００９９】
以上のように構成した本第１実施形態において、上記半導体製造装置が作動状態におかれたものとする。このとき、開閉弁６０ａは、図５にて示すごとく、閉弁状態にある。
【０１００】
このような状態において、空気供給源Ａが空気の圧送を開始するとともに、上記薬液供給源が薬液の吐出を開始すると、空気供給源Ａからの空気は、上壁４０の一側通路部４１ａ内にその開口端部４１ｃ及びオリフィス４１ｄを通り流入するとともに、上記薬液供給源からの薬液は、配管Ｐ１を通り内側壁２０の流入側ボス２０ｂ内に流入する。
【０１０１】
現段階では、開閉弁６０ａは上述のごとく閉弁状態にあるため、上述のように一側通路部４１ａ内に流入する空気は、上壁４０の流出孔部４７及び配管６０ｂを通り開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に流入する。これに伴い、空圧が空間部Ｒ２内に発生して増大していく。
【０１０２】
然る後、空間部Ｒ２内の空圧が上記所定圧よりも増大すると、開閉弁６０ａのピストン６３は、空気室Ｒ２内の空圧により、コイルスプリング６８の付勢力に抗して上動し、弁体部６６が他側通路部４１ｂの上記弁座部から解離する。このことは、開閉弁６０ａが開弁することを意味する。
【０１０３】
すると、上述のように上壁４０の一側通路部４１ａ内に流入する空気は、配管６０ｂから分流して上壁４０の凹部４６及び他側通路部４１ｂ並びに内側壁３０の通路３３を通り空圧室Ｒ１内に流入する。このため、上述したダイヤフラム弁Ｖａの閉弁状態のもとに、空圧Ｐｂが空圧室Ｒ１内に発生する。そして、空圧Ｐｂは増大しつつ上側ダイヤフラム２４の上面に作用する。
【０１０４】
一方、上述のように吐出される薬液は、上述したダイヤフラム弁Ｖａの閉弁状態のもとに、上記薬液供給源から配管Ｐ１、内側壁２０の流入側ボス２０ｂ、流入通路部２３ａ、液圧室Ｌ１、流出通路部２３ｂ及び流出側ボス２０ｃ並びに配管Ｐ２を通り上記処理カップ内に流入する。
【０１０５】
このような過程においては、液圧室Ｌ１内に流入する薬液が、下側ダイヤフラム２２の下面に沿い流動する。これに伴い、薬液の圧力が液圧Ｐａとして下側ダイヤフラム２２の下面に作用する。
【０１０６】
しかして、上述のように、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂが上側ダイヤフラム２４の上面に作用するとともに、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａが下側ダイヤフラム２２の下面に作用すると、下側ダイヤフラム２２は、その厚膜部２２ａにて、上側ダイヤフラム２４の厚膜部２４ａとの間で互いに向かい合う方向に押し合うこととなる。このため、ダイヤフラム弁Ｖａは、液圧Ｐａと空圧Ｐｂとの差圧に対応する開度にて、空圧室Ｒ１内の空気を、内側壁３０の排出通路３４を通して外部に排出する。
【０１０７】
このような状態において、液圧Ｐａが増大すると、下側ダイヤフラム２２が、その厚膜部２２ａにて、液圧Ｐａにより上方に押動される。これに伴い、上側ダイヤフラム２４が、その厚膜部２４ａにて、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａにより上方へ押動されて変位する。このため、ダイヤフラム弁Ｖａの開度が減少して空圧Ｐｂを直線的に増大させる。このことは、空圧Ｐｂが、液圧Ｐａの増大に伴い直線的に増大することを意味する（図７の直線特性１参照）。
【０１０８】
すると、このような空圧Ｐｂの増大は、オリフィス４１ｄの絞り作用のもとに、内側壁３０の通路３３、上壁４０の他側通路部４１ｂ、凹部４６、一側通路部４１ａ、その帯状連通孔部４２ａを通り中空部４２内に伝わり、空圧検出素子５２の受圧面に作用する。
【０１０９】
このため、空圧検出素子５２は、その受圧面に作用する空圧の増大を検出して電気信号を発生して信号処理回路５３に出力する。これに伴い、信号処理回路５３は、当該電気信号を信号処理して、中空部４２内の空圧の増大に比例する出力信号を発生してリード線５４を通して上記外部回路に出力する。
【０１１０】
このような状態において、液圧Ｐａが減少すると、上側ダイヤフラム２４が、その厚膜部２４ａにて、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂにより下方に押動される。これに伴い、下側ダイヤフラム２２が、その厚膜部２２ａにて、上側ダイヤフラム２４の厚膜部２４ａにより下方へ押動されて変位する。このため、ダイヤフラム弁Ｖａの開度が増大して空圧Ｐｂを減少させる。このことは、空圧Ｐｂが、液圧Ｐａの減少に伴い直線的に減少することを意味する（図７の直線特性１参照）。
【０１１１】
すると、このような空圧Ｐｂの減少は、内側壁３０の通路３３、上壁４０の他側通路部４１ｂ、凹部４６、一側通路部４１ａ、その帯状連通孔部４２ａを通り中空部４２内に伝わり、空圧検出素子５２の受圧部である受圧面に作用する。
【０１１２】
このため、空圧検出素子５２は、その受圧面に作用する空圧の減少を検出して電気信号を発生して信号処理回路５３に出力する。これに伴い、信号処理回路５３は、当該電気信号を信号処理して、中空部４２内の空圧の減少に比例する出力信号を発生してリード線５４を通して上記外部回路に出力する。
【０１１３】
以上によれば、本第１実施形態では、上述のごとく、液圧室Ｌ１及び空圧室Ｒ１が、上下両側ダイヤフラム２４、２２を介し互いに対向するように構成されることで、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａ及び空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂが下側ダイヤフラム２２及び上側ダイヤフラム２４に対し互いに向き合うように作用する。
【０１１４】
そして、このような液圧Ｐａ及び空圧Ｐｂの作用のもとに、ダイヤフラム弁Ｖａの開度が、上述のように向き合う液圧Ｐａ及び空圧Ｐｂの間の差に応じた両ダイヤフラム２２、２４の変位に伴い、調整されて、空圧Ｐｂを、液圧Ｐａに比例するように調整する（図７参照）。
【０１１５】
従って、このように調整された空圧を空圧検出素子５２により検出することで、液圧Ｐａを精度よく検出することができる。また、このように検出した出力を信号処理回路５３により上述のごとく信号処理することで、精度よく、信号処理することができる。
【０１１６】
また、本第１実施形態においては、上述のごとく、薬液の圧力を空気の圧力に変換するための主たる構成として、空圧室Ｒ１、上下両側ダイヤフラム２４、２２及び液圧室Ｌ１がハウジングＨ内に設けられ、一方、上述のように変換された空気の圧力を検出するための空圧検出素子５２及びその信号処理回路５３が、ハウジングＨ上に支持されている。
【０１１７】
これにより、空圧室Ｒ１、上下両側ダイヤフラム２４、２２及び液圧室Ｌ１が、空圧検出素子５２及びその信号処理回路５３と共にハウジングＨに一体化され、かつ、空圧検出素子５２が、信号処理回路５３とともに、液圧室Ｌ１から空間的に離れた位置に支持されていることとなる。このことは、圧力センサＳａをコンパクトな形状寸法に維持しつつ、空圧検出素子５２や信号処理回路５３を、液圧室Ｌ１内に流動する薬液からは空間的に離れて位置させることを意味する。
【０１１８】
このように、空圧検出素子５２や信号処理回路５３を、液圧室Ｌ１内に流動する薬液からは空間的に離れて位置させることから、空圧検出素子５２や信号処理回路５３の形成材料が耐熱性に欠けており、かつ、液圧室Ｌ１内に流動する薬液の温度が異常な高温に上昇することがあっても、薬液の高温が空圧検出素子５２や信号処理回路５３に影響を与えることがない。その結果、空圧検出素子５２は、上述した本来の検出機能を良好に維持しつつ、液圧の検出を精度よく検出し得るとともに、信号処理回路５３は、上述した本来の信号処理機能を良好に維持しつつ、空圧検出素子５２の検出出力に対する信号処理を精度よく行い得る。このことは、圧力センサＳａが、液圧を精度よく検出し得る耐温性の高いコンパクトな圧力センサとして提供され得ることを意味する。
【０１１９】
また、本第１実施形態では、上述のごとく、上下両側ダイヤフラム２４、２２からなる２枚のダイヤフラム構成が採用されているから、空気層が、上側ダイヤフラム２４と下側ダイヤフラム２２との間に形成されて、下側ダイヤフラム２２と共に、断熱層としての役割を果たす。これにより、上記空気層が、下側ダイヤフラム２２と協働して、液圧室Ｌ１内の液体の熱を上側ダイヤフラム２４から良好に遮断する。
【０１２０】
従って、上側ダイヤフラム２４は、液圧室Ｌ１内の液体の温度による影響を受けて変形することがなく、本来の撓みによる変位を良好になし得る。例えば、両ダイヤフラム２２、２４の形成材料が温度による線膨張係数の大きなフッ素樹脂であっても、両ダイヤフラム２２、２４は、温度による影響を受けて変形することがない。その結果、液圧を精度よく検出し得る等の上述した作用効果がより一層向上され得る。
【０１２１】
また、上述のごとく、下側ダイヤフラム２２が、その下面にて、液圧室Ｌ１内の薬液に接近するように内側壁２０内に配設されている。従って、薬液が流入通路部２３ａを通り液圧室Ｌ１内に流動しても、下側ダイヤフラム２２の下面の下側に、薬液による液だまりが発生することがない。
【０１２２】
また、上述のように、２枚のダイヤフラム２２、２４が液圧室Ｌ１及び空圧室Ｒ１の間に設けられていることから、液圧室Ｌ１内の液圧が当該液圧室側から下側ダイヤフラム２２に作用し、一方、空圧室Ｒ１内の空圧が当該空圧室側から上側ダイヤフラム２４に作用する。従って、両ダイヤフラムが、それぞれ、液圧室Ｌ１内の液圧及び空圧室Ｒ１内の空圧を、別々に、受けもつこととなる。このため、一枚のダイヤフラムがその両面側から液圧及び空圧を共に受けて両面側へ撓む状況に比べ、各ダイヤフラム２２、２４は、それぞれに作用する液圧及び空圧を受けて互いに向かい合う方向に撓むのみである。その結果、両ダイヤフラム２２、２４の寿命を長く維持することができる。
【０１２３】
また、本第１実施形態では、開閉弁６０ａを、上壁４０の通路４１（オリフィス４１ｄを含む）及び内側壁３０の通路３３からなる空気供給源Ａからの空気の流入系統内に介装するとともに、空圧室Ｒ１を、開閉弁６０ａの後流側にて、上記流入系統と内側壁３０の通路３４からなる排出系統との間に介装するように構成されている。
【０１２４】
このため、上述したような液圧Ｐａの検出状態において、開閉弁６０ａの空間部Ｒ２の内部が、空気供給源Ａからの空気の圧送の停止により当該空気から遮断されると、開閉弁６０ａにおいて、ピストン６３が、コイルスプリング６８の付勢力に基づき下動して、弁体部６６を他側通路部４１ｂの上記弁座部に着座させる。
【０１２５】
これにより、開閉弁６０ａが閉弁する。すると、上壁４０の凹部４６及び一側通路部４１ａの各内部が、上壁４０の他側通路部４１ｂの内部から遮断される。従って、液圧室Ｌ１内の薬液が腐食性ガスを発生しても、この腐食性ガスが、基台Ｈ１の内部、特に、内側壁３０や上壁４０の各内部を通り蓋体Ｃ内の空圧検出素子５２や信号処理回路５３に到達することはない。
【０１２６】
その結果、空圧検出素子５２や信号処理回路５３が、薬液の腐食性ガスにより腐食されることなく、本来の機能を良好に維持し得る。なお、上述のようなピストン６３の下動過程においては、空間部Ｒ２内の空気は、ピストン部６３ｃにより、開閉弁６０ａのケーシング６１の周壁に形成した貫通状小孔部（図示しない）を通して外部に排出される。
（第２実施形態）
図８は、本発明の第２実施形態を示している。この第２実施形態では、圧力センサ（以下、圧力センサＳｂという）が、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａに代えて、採用されている。
【０１２７】
当該圧力センサＳｂはセンサ本体Ｂ１を備えており、このセンサ本体Ｂ１は、上記第１実施形態にて述べたセンサ本体Ｂの構成を次のように変更して構成されている。
【０１２８】
当該センサ本体Ｂ１は、上記第１実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２４（図５参照）に代えて、図８にて示すごとく、上側ダイヤフラム２５を備えている。この上側ダイヤフラム２５は、円板状厚膜部２５ａ、円環状可撓性薄膜部２５ｂ、円環状フランジ部２５ｃ及びリフトストップ部２５ｄでもって構成されており、厚膜部２５ａ、薄膜部２５ｂ及びフランジ部２５ｃは、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）でもって一体的に形成されている。
【０１２９】
薄膜部２５ｂは、厚膜部２５ａの外周上端部から外方に向け延出している。また、フランジ部２５ｃは、薄膜部２５ｂの外周部から外方へ延出しており、このフランジ部２５ｃは、その内周面軸方向中間部位にて薄膜部２５ｂの外周部と一体となっている。
【０１３０】
リフトストップ部２５ｄは、上側ダイヤフラム２５の上方への変位量を規制する役割を果たすもので、このリフトストップ部２５ｄは、図８にて図示断面形状を有するように、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）により形成されている。当該リフトストップ部２５ｄは、その下部にて、厚膜部２５ａの上面中央部に形成した凹所内に嵌着されており、このリフトストップ部２５ｄには、その上面中央から、窪み部２５ｅが下方に向け断面Ｖ字状に形成されている。また、リフトストップ部２５ｄの上面には、溝部２５ｆが窪み部２５ｅの外周側において、十字状に切り欠き形成されている。
【０１３１】
しかして、このように構成した上側ダイヤフラム２５は、上記第１実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２４と同様に、内側壁２０の大径穴部２１ａ内に収容されており、この上側ダイヤフラム２５は、フランジ部２５ｃにて、大径穴部２１ａの上記底壁外周部上に着座して、厚膜部２５ａにて、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａ上に着座している。
【０１３２】
しかして、上側ダイヤフラム２５は、その薄膜部２５ｂの下方への撓みにより、厚膜部２５ａにて、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａを下方へ押動するように変位し、この変位状態のもと、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａにより押動されて薄膜部２５ｂの上方への撓みのもとに上方へ変位する。
【０１３３】
本第２実施形態において、上述した下側ダイヤフラム２２の下面に作用する液圧Ｐａと、上述した上側ダイヤフラム２５に作用する空圧Ｐｂとの間の関係は、図１０にて示すごとく、直線特性２により特定されている。この直線特性２では、液圧Ｐａ＜Ｐａｏのとき、空圧Ｐｂ＝０である。また、Ｐａ≧Ｐａｏのとき、空圧Ｐｂは、液圧Ｐａの増大（或いは減少）に伴い直線的に増大（或いは減少）する。本実施形態では、Ｐａｏは、弁機構３０ａのコイルスプリング３９ａ（後述する）の付勢力に相当する圧力を表す。
【０１３４】
また、本第２実施形態では、圧力センサＳｂは、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａと同様に、圧電変換ユニット５０及び安全機構６０を有するが、当該圧力センサＳｂにおいては、安全機構６０の配管６０ｂが、上記第１実施形態とは異なり、図８にて示すごとく、開閉弁６０ａの左側にて、上記第１実施形態にて述べた上側ハウジング部材Ｈ２と一体的となるようにその上壁４０に設けられている。
【０１３５】
このため、本第２実施形態にいう圧力センサＳｂにおいては、上壁４０は、上記第１実施形態にて述べた流出孔部４７に代えて、通路４８を有しており、この通路４８は、上壁４０の左側部にその上面から下方に向け貫通状に形成されている。これに伴い、圧力センサＳｂでは、配管６０ｂが、その基端部にて、通路４８の上端開口部４８ａ内に嵌着されて連通している。なお、当該配管６０ｂの他端部は、図８にて示すごとく、開閉弁６０ａのケーシング６１の周壁に設けた開孔部６１ｄを介して空間部Ｒ２内に連通している。
【０１３６】
但し、安全機構６０は、上述のような配管６０ｂの上壁４０に対する連通構成の変更に伴い、圧電変換ユニット５０及び上壁４０の他側通路部４１ｂと共に、上記第１実施形態とは異なり、図８にて図示右側に位置している。これに伴い、一側通路部４１ａの全長も、上記第１実施形態とは異なり、図８にて示すごとく、短縮されている。
【０１３７】
また、センサ本体Ｂ１においては、通路３５、Ｔ字状通路３６及び弁機構３０ａが、上記第１実施形態にて述べた内側壁３０の通路３３及び通路３４に代えて、図８にて示すごとく、内側壁３０内に設けられている。
【０１３８】
通路３５は、上壁４０の他側通路部４１ｂに対応する位置にて、内側壁３０内にその上面から下方に向けて貫通状に延出するように形成されており、この通路３５は、その基端開口部にて、Ｏリング４３を介し、上壁４０の他側通路部４１ｂ内にその下端開口部から連通している。また、当該通路３５は、その延出端開口部にて、内側壁３０の凹所３２の右側部内に連通している。これにより、通路３５は、空圧室Ｒ１の内部を、上壁４０の他側通路部４１ｂ、凹部４６及び一側通路部４１ａ並びにオリフィス４１ｄを介し開口端部４１ｃから外部に連通させる。
【０１３９】
Ｔ字状通路３６は、弁機構３０ａとともに、図８にて示すごとく、通路３５の左側において、内側壁３０内に設けられており、Ｔ字状通路３６は、通路部３６ａ及び通路部３６ｂによって、Ｔ字状に形成されている。
【０１４０】
通路部３６ａは、図８にて示すごとく、内側壁３０内にてその左側面から当該内側壁３０の上面に平行に右方に向けて延出して形成されており、この通路部３６ａは、その延出端開口部にて、弁機構３０ａの段付き孔部３７（後述する）内に連通している。
【０１４１】
通路部３６ｂは、図８にて示すごとく、内側壁３０内にその上面から通路部３６ａの長手方向中間部位に向けて延出するように形成されており、この通路部３６ｂは、その基端開口部にて、Ｏリング４８ｂを介し、上壁４０の通路４８の延出端開口部内に連通している。また、当該通路部３６ｂの延出端開口部は、通路部３６ａの上記長手方向中間部位内に連通している。
【０１４２】
これにより、Ｔ字状通路３６では、通路部３６ａが、上記第１実施形態にて述べた空気供給源Ａから圧送される空気を、弁機構３０ａの段付き孔部３７内に流入させる。また、通路部３６ｂは、通路部３６ａ内に流入する空気を、当該通路部３６ａの長手方向中間部位にて、分流させて上壁４０の通路４８及び安全機構６０の配管６０ｂを介し開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に流入させる。なお、Ｏリング４８ｂは、上壁４０の下面のうち通路４８の延出端開口部の外周部に形成した円環状溝部４８ｃ内に嵌装されて、通路４８及び通路部３６ｂの各内部を内側壁３０及び上壁４０の境界面から気密的にシールする。
【０１４３】
弁機構３０ａは、図８にて示すごとく、段付き孔部３７と、支持柱３８と、ロッド３９と、コイルスプリング３９ａとによって構成されている。
【０１４４】
段付き孔部３７は、通路部３６ａと通路３５との間にて、上記第１実施形態にて述べた内側壁３０の凹所３２の中央部に対応するように、内側壁３０にその上面から下方に向け貫通状に延出して形成されている。
【０１４５】
この段付き孔部３７は、互い同軸的に形成した小径内孔部３７ａ及び大径内孔部３７ｃを備えている。小径内孔部３７ａは、凹所３２の中央部内に連通しており、大径内孔部３７ｃは、その左側開口部３７ｂにて、通路部３６ａ内にその延出端開口部から連通している。なお、左側開口部３７ｂは、大径内孔部３７ｃの内周面のうち左側中間部位にて、支持柱３８の小径筒部３８ｂ（後述する）の外周面に対し交差する方向に形成されている。
【０１４６】
支持柱３８は、その大径基端部３８ａにて、段付き孔部３７の大径孔部３７ｃ内にＯリング３７ｄを介し気密的に嵌着されており、当該支持柱３８の小径筒部３８ｂは、大径基端部３８ａの下端部から下方に向けて段付き孔部３７と同軸的に延出している。
【０１４７】
ロッド３９は、図８にて示すごとく、ロッド本体３９ｂ及び円板状鍔部３９ｃでもって、縦断面十字状に形成されている。当該ロッド３９において、ロッド本体３９ｂが、その上側ロッド部にて、支持柱３８の小径筒部３８ｂ内にその下方から摺動可能に嵌装されており、このロッド本体３９ｂの下側ロッド部は、段付き孔部３７の小径内孔部３７ａ内に挿通されて、上側ダイヤフラム２５のリフトストップ部２５ｄの窪み部２５ｅに着座可能に対向している。これに伴い、矩形板状鍔部３９ｃは、小径内孔部３７ａに形成した円環状隆起部ａ（図８参照）上に着座し得るようになっている。
【０１４８】
ここで、小径内孔部３７ａの内径は、ロッド本体３９ｂの下側ロッド部の軸方向中間部位の外径よりも大きい。また、小径内孔部３７ａの円環状隆起部ａは、小径内孔部３７ａの上端部から上方へ円環状に隆起して形成されている。
【０１４９】
コイルスプリング３９ａは、段付き孔部３７内において、支持柱３８の小径筒部３８ｂにその外周側から同軸的に嵌装されており、このコイルスプリング３９ａは、その両端部にて、支持柱３８の大径基端部３８ａと、ロッド３９の鍔部３９ｃとの間に挟持されている。
【０１５０】
これにより、当該コイルスプリング３９ａは、ロッド３９を鍔部３９ｃにて下方に向けて付勢して、ロッド本体３９ｂの下側ロッド部を上側ダイヤフラム２５のリフトストップ部２５ｄの窪み部２５ｅ内に係合させる。このことは、上側ダイヤフラム２５が、リフトストップ部２５ｄにて、内側壁３０の凹所３２の内面から下方へ解離する方向に、コイルスプリング３９ａにより付勢されることを意味する。
【０１５１】
このように構成した弁機構３０ａにおいて、ロッド３９が、図８にて示すごとく、コイルスプリング３９ａの付勢力のもとに、鍔部３９ｃにて、小径内孔部３７ａの円環状隆起部ａ上に着座しているとき、空圧室Ｒ１の内部は、弁機構３０ａにより通路部３６ａから遮断されている。また、ロッド３９が、コイルスプリング３９ａの付勢力に抗し上方へ摺動して、鍔部３９ｃにて隆起部ａから解離すると、通路部３６ａから弁機構３０ａに流入する空気は、鍔部３９ｃと段付き孔部３７の小径内孔部３７ａとの間から当該小径内孔部３７ａの中空部及びリフトストップ部２５ｄの溝部２５ｆを通り空圧室Ｒ１内に流入する。
【０１５２】
この空気の流入量は、鍔部３９ｃと円環状隆起部ａとの間の間隔に応じて決まる。このことは、鍔部３９ｃ及び円環状隆起部ａが、弁機構３０ａの弁部を構成することを意味する。本実施形態では、弁機構３０ａの弁部の開度が、ダイヤフラム２５の変位量に応じて変化することから、弁機構３０ａの弁部は、以下、ダイヤフラム弁Ｖｂともいう。なお、リフトストップ部２５ｄの溝部２５ｆは、弁機構３０ａから空圧室Ｒ１内に流入する空気に対し絞りとならない程度の横断面積を有するように形成されている。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１５３】
以上のように構成した本第２実施形態において、上記第１実施形態と同様に、上記半導体製造装置が作動状態におかれたものとする。このとき、開閉弁６０ａは、図８にて示すごとく、閉弁状態にある。また、弁機構３０ａの弁部、即ち、ダイヤフラム弁Ｖｂも閉弁状態にあるため、空圧室Ｒ１は、Ｔ字状通路３６の通路部３６ａから弁機構３０ａにより遮断されている。このとき、上側ダイヤフラム２５のリフトストップ部２５ｄは、その溝部２５ｆにて、内側壁３０の凹所３２の内面から下方へ解離した状態にある。また、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂは、Ｐｂ＝０の状態にある（図１０の直線特性２参照）。
【０１５４】
このような状態において、上記第１実施形態と同様に、空気供給源Ａが空気の圧送を開始するとともに、上記薬液供給源が薬液の吐出を開始すると、空気供給源Ａからの空気は、上側ハウジング部材Ｈ２の内側壁３０のＴ字状通路３６の通路部３６ａ内に流入するとともに、上記薬液供給源からの薬液は、配管Ｐ１を通り下側ハウジング部材Ｈ１の内側壁２０の流入側ボス２０ｂ内に流入する。
【０１５５】
現段階では、上述のごとく、空圧室Ｒ１がＴ字状通路３６の通路部３６ａから遮断されている。従って、通路部３６ａ内に流入した空気は、通路部３６ｂ、上壁４０の通路４８及び配管６０ｂを通り開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に開孔部６１ｄから流入する。これに伴い、空間部Ｒ２内の空圧が上記所定圧よりも増大すると、開閉弁６０ａが開弁する。これにより、上壁４０の連通路４１が、その他側通路部４１ｂにて、凹部４６を介し一側通路部４１ａ内に連通する。
【０１５６】
一方、圧力センサＳｂの内側壁２０の流入側ボス２０ｂ内に流入する薬液は、流入通路部２３ａを通り液圧室Ｌ１内にて下側ダイヤフラム２２の下面に沿い流動して、流出通路部２３ｂ及び流出側ボス２０ｃ並びに配管Ｐ２を通り上記処理カップ内に流入する。これに伴い、薬液の圧力が液圧Ｐａとして下側ダイヤフラム２２の下面に作用する。
【０１５７】
しかして、上述のように、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂが上側ダイヤフラム２５の上面に作用するとともに、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａが下側ダイヤフラム２２の下面に作用すると、下側ダイヤフラム２２は、その厚膜部２２ａにて、上側ダイヤフラム２５の厚膜部２５ａとの間で互いに向かい合う方向に押し合うこととなる。このとき、空圧Ｐｂ＞０となり、液圧Ｐａ≧Ｐａｏとなる（図１０の直線特性２参照）。
【０１５８】
このような状態において、液圧Ｐａが増大すると、下側ダイヤフラム２２が、その厚膜部２２ａにて、液圧Ｐａにより上方に押動される。これに伴い、上側ダイヤフラム２５が、その厚膜部２５ａにて、下側ダイヤフラム２２の厚膜部２２ａにより上方へ押動されて変位する。このため、弁機構３０ａの弁部、即ち、ダイヤフラム弁Ｖｂの開度が、当該ダイヤフラム弁Ｖｂの閉弁状態から、上側ダイヤフラム２５の上方への変位量に応じて増大する。
【０１５９】
すると、上述のようにＴ字状通路３６の通路部３６ａ内に流入する空気は、弁機構３０ａの段付き孔部３７内に流入した後、段付き孔部３７の内周面とロッド３９のロッド本体３９ｂの上側ロッド部及び鍔部３９ｃとの間を通り、段付き孔部３７の小径内孔部３７ａと鍔部３９ｃとの間に流入し、さらに、段付き孔部３７の小径内孔部３７ａの中空部を通り空圧室Ｒ１内に流入する。そして、このように空圧室Ｒ１内に流入する空気は、内側壁３０の通路３５及び上壁４０の他側通路部４１ｂを通り一側通路部４１ａ内に流入し、さらにオリフィス４１ｄ内にその絞り作用のもとに流入して、開口端部４１ｃから外部へ流出する。
【０１６０】
このような段階においては、上述のようにダイヤフラム弁Ｖｂの開度が上側ダイヤフラム２５の上方への変位量に応じて増大するため、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂは、オリフィス４１ｄの絞り作用のもとに、直線的に増大する。このことは、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂが、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａ（≧Ｐａｏ）の増大に伴い直線的に増大することを意味する（図１０の直線特性２参照）。
【０１６１】
そして、このような空圧Ｐｂの増大は、オリフィス４１ｄの絞り作用のもとに、内側壁３０の通路３５、上壁４０の他側通路部４１ｂ、一側通路部４１ａ、その帯状連通孔部４２ａを通り中空部４２内に伝わり、空圧検出素子５２の受圧面に作用する。
【０１６２】
このため、空圧検出素子５２は、その受圧面に作用する空圧の増大を検出して電気信号を発生して信号処理回路５３に出力する。これに伴い、信号処理回路５３は、当該電気信号を信号処理して、中空部４２内の空圧の増大に比例する出力信号を発生してリード線５４を通して上記外部回路に出力する。
【０１６３】
このような状態において、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａが減少すると、上側ダイヤフラム２５が、その厚膜部２５ａにて、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂにより下方に押動されて変位する。これに伴い、下側ダイヤフラム２２が、その厚膜部２２ａにて、上側ダイヤフラム２５の厚膜部２５ａにより下方へ押動されて変位する。
【０１６４】
ここで、上述のように上側ダイヤフラム２５が下方へ変位すると、弁機構３０ａのロッド３９が、鍔部３９ｃに対するコイルスプリング３９ａの付勢力のもとに、液圧Ｐａの減少に応じて下方へ摺動する。これに伴い、ダイヤフラム弁Ｖｂの開度が液圧Ｐａの減少に応じて減少して、弁機構３０ａから空圧室Ｒ１内への空気の流入量を減少させる。このことは、空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂが、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａの減少に伴い直線的に減少することを意味する（図１０の直線特性２参照）。
【０１６５】
すると、このような空圧Ｐｂの減少は、内側壁３０の通路３５、上壁４０の他側通路部４１ｂ、一側通路部４１ａ、その帯状連通孔部４２ａを通り、オリフィス４１ｄの絞り作用のもとに、中空部４２内に伝わって、空圧検出素子５２の受圧面に作用する。
【０１６６】
このため、空圧検出素子５２は、その受圧面に作用する空圧の減少を検出して電気信号を発生して信号処理回路５３に出力する。これに伴い、信号処理回路５３は、当該電気信号を信号処理して、中空部４２内の空圧の減少に比例する出力信号を発生してリード線５４を通して上記外部回路に出力する。
【０１６７】
以上によれば、本第２実施形態では、上述のごとく、液圧室Ｌ１及び空圧室Ｒ１が、上下両側ダイヤフラム２５、２２を介し互いに対向するように構成されることで、液圧室Ｌ１内の液圧Ｐａ及び空圧室Ｒ１内の空圧Ｐｂが下側ダイヤフラム２２及び上側ダイヤフラム２５に対し互いに向き合うように作用する。
【０１６８】
そして、このような液圧Ｐａ及び空圧Ｐｂの作用のもとに、ダイヤフラム弁Ｖｂの開度が、上述のように向き合う液圧Ｐａ（≧Ｐａｏ）及び空圧Ｐｂの間の差に応じた両ダイヤフラム２２、２５の変位に伴い、調整されて、空圧Ｐｂを、液圧Ｐａに比例する空圧に調整する（図１０参照）。従って、このように調整された空圧を空圧検出素子５２による検出することで、液圧Ｐａを精度よく検出することができる。また、このように検出した出力を信号処理回路５３により上述のごとく信号処理することで、精度よく、信号処理することができる。
【０１６９】
また、本第２実施形態においては、上述のごとく、液圧を空圧に変換するための主たる構成として、空圧室Ｒ１、上下両側ダイヤフラム２５、２２、弁機構３０ａ及び液圧室Ｌ１がハウジングＨ内に設けられ、一方、上述のように変換された空気の圧力を検出するための空圧検出素子５２及びその信号処理回路５３が、ハウジングＨ上に支持されている。
【０１７０】
これにより、空圧室Ｒ１、上下両側ダイヤフラム２５、２２、弁機構３０ａ及び液圧室Ｌ１が、空圧検出素子５２及びその信号処理回路５３と共にハウジングＨに一体化され、かつ、空圧検出素子５２が、信号処理回路５３とともに、液圧室Ｌ１から空間的に離れた位置に支持されていることとなる。このことは、圧力センサＳｂをコンパクトな形状寸法に維持しつつ、空圧検出素子５２や信号処理回路５３を、液圧室Ｌ１内に流動する薬液からは空間的に離れて位置させることを意味する。
【０１７１】
このように、本第２実施形態においても、空圧検出素子５２や信号処理回路５３を、液圧室Ｌ１内に流動する薬液からは空間的に離れて位置させることから、空圧検出素子５２や信号処理回路５３の形成材料が耐熱性に欠けており、かつ、液圧室Ｌ１内に流動する薬液の温度が異常な高温に上昇することがあっても、薬液の高温が空圧検出素子５２や信号処理回路５３に影響を与えることがない。その結果、上記第１実施形態と同様に、本第２実施形態においても、空圧検出素子５２は、上述した本来の検出機能を良好に維持しつつ、液圧の検出を精度よく検出し得るとともに、信号処理回路５３は、上述した本来の信号処理機能を良好に維持しつつ、空圧検出素子５２の検出出力に対する信号処理を精度よく行い得る。このことは、圧力センサＳｂが、上記第１実施形態とは異なり弁機構３０ａをも有していても、液圧を精度よく検出し得る耐温性の高いコンパクトな圧力センサとして提供され得ることを意味する。
また、本第２実施形態においては、上述のごとく、上下両側ダイヤフラム２５、２２からなる２枚のダイヤフラム構成が採用されているから、空気層が、上側ダイヤフラム２５と下側ダイヤフラム２２との間に形成されて、下側ダイヤフラム２２と共に、断熱層としての役割を果たす。従って、本第２実施形態においても、上記第１実施形態と実質的に同様に、上側ダイヤフラム２５が、液圧室Ｌ１内の液体の温度による影響を受けて変形することがなく、本来の撓みによる変位を良好になし得ることで、液圧の検出精度を良好に維持することができる。
【０１７２】
また、本第２実施形態でも、上述のごとく、上下両側ダイヤフラム２５、２２からなる２枚のダイヤフラム構成が採用されているから、下側ダイヤフラム２２の下面は、液圧室Ｌ１の周壁面の一部を構成する。従って、薬液が流入通路部２３ａを通り液圧室Ｌ１内に流動しても、下側ダイヤフラム２２の下面の下側に、薬液による液だまりが発生することがない。
また、本第２実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、空圧室Ｒ１を、内側壁３０のＴ字状通路３６及び弁機構３０ａからなる空気供給源Ａからの空気の流入系統と、内側壁３０の通路３５及び上壁４０の通路４１（オリフィス４１ｄを含む）からなる排出系統との間に介装するとともに、開閉弁６０ａを、空圧室Ｒ１の後流側にて、上記排出系統中内に介装するように構成されている。
【０１７３】
このため、上述したような液圧Ｐａの検出状態において、開閉弁６０ａの空間部Ｒ２の内部が、空気供給源Ａからの空気の圧送の停止により当該空気から遮断されると、開閉弁６０ａは、そのピストン６３により、上記第１実施形態と同様に、弁体部６６を他側通路部４１ｂの上記弁座部に着座させて、閉弁する。その結果、上記第１実施形態と同様に、空圧検出素子５２や信号処理回路５３が、薬液の腐食性ガスにより腐食されることなく、本来の機能を良好に維持し得る。なお、このようなピストン６３の下動過程においては、空間部Ｒ２内の空気は、ピストン部６３ｃにより、開閉弁６０ａのケーシング６１の周壁に形成した貫通状小孔部（図示しない）を通して外部に排出される。その他の作用効果は、上記第１実施形態と同様である。
（第３実施形態）
図１１〜図１４においては、本発明に係る流量検出装置Ｑａが、本発明の第３実施形態として、上記第１実施形態にて述べた半導体製造装置の枚葉式処理系統に適用された例を示している。この第３実施形態において、当該流量検出装置Ｑａは、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａに代えて、上記枚葉式処理系統に適用されてなるもので、この流量検出装置Ｑａは、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａにおける薬液の液圧を空圧に変換する構成を、２組、利用して構成されている。
【０１７４】
当該流量検出装置Ｑａは、図１１にて示すごとく、検出装置本体Ｂ２を備えている。この検出装置本体Ｂ２は、ハウジングＪを有しており、このハウジングＪは、下側ハウジング部材Ｊ１及び上側ハウジング部材Ｊ２により構成されている。
【０１７５】
下側ハウジング部材Ｊ１は、上記第１実施形態にて述べた下側ハウジング部材Ｈ１の台座１０及び内側壁２０にそれぞれ対応する台座１００及び内側壁２００を有しており、台座１００は、図１１、図１２及び図１４から分かるように、矩形板状に形成されている。本第２実施形態において、台座１００は、例えば、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）でもって、形成されている。
【０１７６】
内側壁２００は、図１１にて示すように、矩形板状壁本体２００ａと、流入側筒状ボス２００ｂと、流出側筒状ボス２００ｃとにより構成されている。壁本体２００ａは、台座１００の上面上に積層されており、この壁本体２００ａは、図１１にて示すごとく、上下流両側大径穴部２１０ａ及び上下流両側小径穴部２１０ｂを有している。なお、本第３実施形態において、例えば、上下流両側大径穴部２１０ａにおいて、「上下流」とは、下側ハウジング部材Ｊ１内の薬液の流れ方向における上下流をいう。このことは、後述する上下流両側ダイヤフラム２２０、上下流両側ダイヤフラム２４０、上下流両側封止部材２１０ｃ、上下流両側液圧室Ｌ２、上下流両側凹所３２０或いは上下流両側空圧室Ｒ１１においても同様である。
【０１７７】
各上流側の大径穴部２１０ａ及び小径穴部２１０ｂは、上流側ダイヤフラム２２０を介し、互いに同軸的に対向するように、壁本体２００ａの上下両面側から同軸的に縦断面コ字状に形成されている。また、各下流側の大径穴部２１０ａ及び小径穴部２１０ｂは、下流側ダイヤフラム２２０を介し、互いに同軸的に対向するように、各上流側の大径穴部２１０ａ及び小径穴部２１０ｂの下流側にて、壁本体２００ａの上下両面側から同軸的に縦断面コ字状に形成されている。なお本第３実施形態において、内側壁２００は、上記第１実施形態にて述べたＰＴＦＥでもって形成されている。
【０１７８】
本第３実施形態において、上下流両側ダイヤフラム２２０は、他の上下流両側ダイヤフラム２４０（後述する）に対し、それぞれ、下側に位置するもので、当該上下流両側ダイヤフラム２２０の各々は、上記第１実施形態にて述べた下側ダイヤフラム２２の円板状厚膜部２２ａ及び円環状可撓性薄膜部２２ｂに対応する円板状厚膜部２２０ａ及び円環状可撓性薄膜部２２０ｂを有するように、当該下側ダイヤフラム２２と同様に形成されている。なお、当該上下流両側ダイヤフラム２２０は、上述のごとく、上下流両側大径穴部２１０ａ及び上下流両側小径穴部２１０ｂを壁本体２００ａ内に形成する際に、当該壁本体２００ａと一体に形成されている。
【０１７９】
また、当該壁本体２００ａは、上記第１実施形態にて述べた封止部材２１ｃに対応する円柱台状の上下流両側封止部材２１０ｃを有しており、これら上下流両側封止部材２１０ｃは、それぞれ、壁本体２００ａの下方から上下流両側小径穴部２１０ｂ内に圧入により嵌着されている。これにより、これら上下流両側封止部材２１０ｃと上下流両側ダイヤフラム２２０との間には、横断面円形状の上下流両側液圧室Ｌ２が、各対応の封止部材２１０ｃによる封止のもとに気密的に形成されている。
【０１８０】
また、当該壁本体２００ａは、図１１にて示すごとく、流入通路部２３０ａ、絞り通路２３０ｂ及び流出通路部２３０ｃを有しており、流入通路部２３０ａ及び絞り通路２３０ｂは、上流側液圧室Ｌ２を介し互いに対向するように壁本体２００ａ内に形成されている。これにより、流入通路部２３０ａは、その内部にて上流側液圧室Ｌ２の内部を通り絞り通路２３０ｂの内部に連通している。
【０１８１】
絞り通路２３０ｃは、絞り部２３１を有しており、この絞り部２３１は、所定の絞り度合いを有するように絞り通路２３０ｃ内に形成されている。また、流出通路部２３０ｃは、下流側液圧室Ｌ２を介し絞り通路２３０ｂに対向するように壁本体２００ａ内に形成されており、この流出通路部２３０ｃは、その内部にて、下流側液圧室Ｌ２の内部を通り絞り通路２３０ｂの内部に連通している。
【０１８２】
流入側筒状ボス２００ｂ及び流出側筒状ボス２００ｃは、壁本体２００ａの外周面から互いに対向して逆方向に突出するように形成されている。流入側筒状ボス２００ｂは、上記薬液供給源から延出する配管Ｐ１（図１参照）に接続されており、この流入側筒状ボス２００ｂは、その中空部にて、壁本体２００ａの流入通路部２３０ａの内部に連通している。これにより、当該流入側ボス２００ｂは、上記薬液供給源から配管Ｐ１を通り吐出される薬液を、流入通路部２３０ａを介し上流側液圧室Ｌ２内に流動させる。なお、上流側液圧室Ｌ２内における薬液の液圧は、上流側ダイヤフラム２２０の下面に上方に向けて作用する。
【０１８３】
一方、流出側筒状ボス２００ｃは、上記処理カップ（図示しない）から延出する配管Ｐ２（図１参照）に接続されており、この流出側筒状ボス２００ｃは、絞り通路２３０ｂから下流側液圧室Ｌ２を通り流出通路部２３０ｃ内に流動する薬液を、上記処理カップから延出する配管Ｐ２内に流動させる。なお、下流側液圧室Ｌ２内における薬液の液圧は、下流側ダイヤフラム２２０の下面に上方に向けて作用する。
【０１８４】
また、下側ハウジング部材Ｊ１は、図１１にて示すごとく、上下流両側ダイヤフラム２４０を有しており、当該上下流両側ダイヤフラム２４０は、それぞれ、上記第１実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２４の厚膜部２４ａ、可撓性薄膜部２４ｂ、フランジ部２４ｃ及び弁体部２４ｄにそれぞれ対応する円板状厚膜部２４０ａ、円環状可撓性薄膜部２４０ｂ、円環状フランジ部２４０ｃ及び円錐状弁体部２４０ｄを有するように、当該上側ダイヤフラム２４と同様に形成されている。
【０１８５】
このように形成した上下流両側ダイヤフラム２４０は、それぞれ、内側壁２００の上下流両側大径穴部２１０ａ内に収容されており、上流側ダイヤフラム２４０は、フランジ部２４０ｃにて、各上流側の大径穴部２１０ａ及び小径穴部２１０ｂの間の円環状境界段部上に上流側Ｏリング３１０（後述する）を介し内側壁３００により気密的に挟持されている。これにより、上流側ダイヤフラム２４０は、上流側ダイヤフラム２２０の厚膜部２２０ａ上に着座している。
【０１８６】
しかして、上流側ダイヤフラム２４０は、その薄膜部２４０ｂの下方への撓みにより、厚膜部２４０ａにて、上流側ダイヤフラム２２０の厚膜部２２０ａを下方へ押動するように変位し、この変位状態のもと、上流側ダイヤフラム２２０の厚膜部２２０ａにより押動されて薄膜部２４０ｂの上方への撓みのもとに上方へ変位する。
【０１８７】
また、下流側ダイヤフラム２４０は、フランジ部２４０ｃにて、各下流側の大径穴部２１０ａ及び小径穴部２１０ｂの間の円環状境界段部上に下流側Ｏリング３１０（後述する）を介し内側壁３００により気密的に挟持されている。これにより、下流側ダイヤフラム２４０は、厚膜部２４０ａにて、下流側ダイヤフラム２２０の厚膜部２２０ａ上に着座している。
【０１８８】
しかして、下流側ダイヤフラム２４０は、その薄膜部２４０ｂの下方への撓みにより、厚膜部２４０ａにて、下流側ダイヤフラム２２０の厚膜部２２０ａを下方へ押動するように変位し、この変位状態のもと、下流側ダイヤフラム２２０の厚膜部２２０ａにより押動されて薄膜部２４０ｂの上方への撓みのもとに上方へ変位する。
【０１８９】
上側ハウジング部材Ｊ２は、上記第１実施形態にて述べた下側ハウジング部材Ｈ１の内側壁３０及び上壁４０にそれぞれ対応する内側壁３００及び上壁４００によって構成されている。本第３実施形態では、内側壁３００及び上壁４００は、上記第１実施形態にて述べたＰＴＦＥでもって形成されている。
【０１９０】
内側壁３００は、図１１にて示すごとく、その下面にて、上下流両側Ｏリング３１０を介して内側壁２００の上面上に気密的に積層されている。ここで、上下流両側Ｏリング３１０の各々は、上下流両側ダイヤフラム２４０の各フランジ部２４０ｃを、上下流両側大径穴部２１０ａ間の上記円環状境界段部との間にて挟持するように、内側壁３００の円環状の各溝部３１０ａ内に嵌着されている。なお、各溝部３１０ａは、内側壁３００の下面のうち上下流両側大径穴部２１０ａ間の上記円環状境界段部に対する対向部位に形成されている。
【０１９１】
また、当該内側壁３００は、上下流両側凹所３２０を有しており、これら上下流両側凹所３２０は、それぞれ、各溝部３１０ａの内周側にて、内側壁３００にその下面側から上方に向け凹状に形成されている。これにより、当該上下流両側凹所３２０は、それぞれ、その各内部にて、内側壁２００の上下流両側大径穴部２１０ａに上方から同軸的に対向して、上下流両側ダイヤフラム２４０の各上面との間に上下流両側室Ｒ１１（以下、上下流両側空圧室Ｒ１１ともいう）を形成する。
【０１９２】
また、当該上下流両側凹所３２０は、それぞれ、環状部３２０ａを設けてなり、これら環状部３２０ａは、それぞれ、弁座部３２０ａとして、上下流両側ダイヤフラム２４０の各円錐状弁体部２４０ｄに同軸的に対向するように、上下流両側凹所３２０の各内面中央部から下方に向け突出形成されている。これにより、各弁座部３２０ａは、それぞれ、その下方から各弁体部２４０ｄにより着座されるようになっている。以下、上下流両側凹所３２０において、各対応の弁体部２４０ｄ及び弁座部３２０ａが構成する各弁は上下流両側ダイヤフラム弁Ｖａ（図１１参照）という。
【０１９３】
本第３実施形態において、上流側ダイヤフラム弁Ｖａの開度と上流側の各ダイヤフラム２２０、２４０の変位との関係及び下流側ダイヤフラム弁Ｖｂの開度と下流側の各ダイヤフラム２２０、２４０の変位との関係は、ともに、上記第１実施形態にて述べたダイヤフラム弁Ｖａの開度と上下両側ダイヤフラム２４、２２の変位との関係と同様である。
【０１９４】
また、上流側ダイヤフラム２２０に作用する液圧Ｐａ（上流側液圧室Ｌ２内の薬液の液圧）と上流側ダイヤフラム２４０に作用する上流側空圧室Ｒ１１内の空圧Ｐｂとの間の関係及び下流側ダイヤフラム２２０に作用する液圧Ｐａ（下流側液圧室Ｌ２内の薬液の液圧）と下流側ダイヤフラム２４０に作用する下流側空圧室Ｒ１１内の空圧Ｐｂとの間の関係は、それぞれ、上記第１実施形態にて述べた直線特性１（図７参照）により特定される。
【０１９５】
また、当該内側壁３００は、図１１或いは図１４から分かるように、上下流両側通路３３０（図１４では、下流側通路３３０のみを示す）及び通路３４０を有している。上下流両側通路３３０は、それぞれ、図１４にて例示するごとく、上壁４００を後述のごとく通り流れる空気を、両空圧室Ｒ１１内に流入させるように、内側壁３００内にてその板厚方向に形成されている。ここで、上下流両側空圧室Ｒ１１内に生ずる各空圧は、上下流両側ダイヤフラム２４０の各上面に下方に向けて作用する。
【０１９６】
また、通路３４０は、図１１にて示すごとく、上下流両側通路部３４１及び共通通路部３４２を一体的に有するように、内側壁３００内に形成されている。しかして、上流側通路部３４１は、上流側凹所３２０の環状部３２０ａを開口部３２０ａとして、上流側空圧室Ｒ１１の内部を共通通路部３４２を通し内側壁３００の外部に連通させるとともに、下流側通路部３４１は、下流側凹所３２０の環状部３２０ａを開口部３２０ａとして、下流側空圧室Ｒ１１の内部を共通通路部３４２を通し内側壁３００の外部に連通させる。これにより、上下流両側ダイヤフラム２４０が、それぞれ、各弁体部２４０ｄにて、上下流両側凹所３２０の各環状部３２０ａから解離しているとき、共通通路部３４２は、各環状部３２０ａを介して、上下流両側空圧室Ｒ１１の各内部を内側壁３０の外部に開放する。
【０１９７】
上壁４００は、上下流両側通路４１０（図１４では下流側通路４１０のみを示す）及び共通通路４２０を有しており、上下流両側通路４１０は、図１４にて例示するごとく、それぞれ、一側通路部４１０ａ及び他側通路部４１０ｂでもって、上壁４００内にて、Ｌ字状に形成されている。
【０１９８】
当該上下流両側通路４１０において、各一側通路部４１０ａは、上壁４００内にてその上下両面に平行となるように互いに間隔をおいて形成されている。当該各一側通路部４１０ａは、その一側端部にて、共通通路４２０の長手方向中間部位内に連通しており、これら各一側通路部４１０ａの他側端部にて、上下流両側凹部４４０（後述する）内に連通している。
【０１９９】
共通通路４２０は、図１２、図１３或いは図１４から明らかなごとく、上下流両側圧電変換ユニット５０に沿い、その上下流両側開閉弁６０ａとは反対側（図１３では、図示上側）にて、上壁４００内に形成されており、この共通通路４２０は、その開口端部４２１にて、上記第１実施形態にて述べた空気供給源Ａの空気の供給口部に接続されている（図１２及び図１３参照）。これにより、当該共通通路４２０は、その開口端部４２１を介し、空気供給源Ａから空気を圧送されて、上下流両側通路４１０の各一側通路部４１０ａ内に流入させる。
【０２００】
上下流両側通路４１０の各他側通路部４１０ｂは、図１４にて例示するごとく、それぞれ、上下流両側通路４１０の各一側通路部４１０ａの延出端部から下方に向けＬ状に屈曲して延出するように上壁４００内にて形成されており、当該各他側通路部４１０ｂは、その延出端開口部にて、それぞれ、内側壁３００の上下流両側通路３３０を介し上下流両側空圧室Ｒ１１内に連通している。これにより、各他側通路部４１０ｂは、それぞれ、上下流両側通路３３０を介し各対応の一側通路部４１０ａ内の空気を上下流両側空圧室Ｒ１１内に流入させる。
【０２０１】
また、上下流両側通路４１０は、図１３或いは図１４から分かるように、それぞれ、オリフィス４１２を有しており、これら両オリフィス４１２は、それぞれ、各一側通路部４１０ａ内にて共通通路４２０（後述する）の中間部位近傍部位に設けられている。なお、各オリフィス４１２は、それぞれ、主として、後述のごとく、各圧電変換ユニット５０（後述する）の受圧面に作用させる空圧を形成する役割を果たす。
【０２０２】
また、上壁４００は、図１４にて例示するごとく、上下流両側中空部４３０を有しており、これら上下流両側中空部４３０は、それぞれ、上壁４００にその上面側から横断面円形状にて下方に向け、互いに間隔をおいて凹状に形成されている。当該上下流両側中空部４３０は、それぞれ、その各底部のうち各対応の一側通路部４１０ａの延出方向中間部位に対する対応部にて、帯状連通孔部４１３（図１４では一方の帯状連通孔部４１３のみを示す）を形成してなり、これら帯状連通孔部４１３は、各対応の一側通路部４１０ａの上記延出方向中間部位内に帯状に連通する。これにより、各一側通路部４１０ａ内にて流動する空気は、各対応の帯状連通孔部４１３から各対応の中空部４３０内にも流動する。
【０２０３】
本第３実施形態において、図１１にて、各符号４１４はそれぞれＯリングを示しており、これら各Ｏリング４１４は、上壁４００の各円環状溝部４１４ａ内に嵌着されて、各対応の他側通路部４１０ｂを内側壁３００及び上壁４００の境界面から気密的にシールする。なお、各溝部４１４ａは、上壁４００の下面のうち各対応の他側通路部４１０ｂの流出端部の近傍円環状部位に形成されている。
【０２０４】
また、当該検出装置本体Ｂ２においては、上記第１実施形態にて述べた圧電変換ユニット５０が、２つ、上下流両側圧電変換ユニット５０として採用され、安全機構６００が、上記第１実施形態にて述べた安全機構６０に代えて、採用され、かつ、空圧−流量変換回路５４３が採用されている。これら上下流両側圧電変換ユニット５０、安全機構６００及び空圧−流量変換回路５４３は、検出装置本体Ｂ２の上壁４００上に設けられて、四角箱状蓋体Ｃ２内に収容されている。ここで、蓋体Ｃ２は、その下端開口部にて、上壁４００の上面に装着されている。なお、蓋体Ｃ２は、例えば、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）でもって形成されている。
【０２０５】
上下流両側圧電変換ユニット５０は、図１４にて例示するごとく、それぞれ、その各筒体５１の開口部５１ａにて、上壁４００の上下流両側中空部４３０の各々を上方から覆うようにして、当該上壁４００の上面に装着されている。
【０２０６】
また、上下流両側圧電変換ユニット５０において、各空圧検出素子５２は、その外周部にて、円環状部５１ｂにより、その上側内面にて、各Ｏリング４３１を介して、上壁４００の上面のうち上下流両側中空部４３０の各外周部上に押圧されている。なお、各Ｏリング４３１は、上壁４００の上面のうち各中空部４３０の近傍外周面部に沿い円環状に形成した各溝部４３２内に嵌装されており、当該各Ｏリング４３１は、各対応の空圧検出素子５２の下面外周部と上壁４００の上面のうち各対応中空部４２の近傍外周面部との間に気密的に挟持されている。
【０２０７】
上下流両側圧電変換ユニット５０において、各信号処理回路５３は、各対応の空圧検出素子５２からの電気信号を信号処理して、各対応中空部４３０内の空圧に比例する出力信号を発生して各リード線５４１を通して出力する。なお、各リード線５４１は、各対応の筒体５１の上壁の一部に嵌着したゴムブッシュ５４２（図１４では一方のゴムブッシュ５４２のみを示す）を通り延出している。
【０２０８】
空圧−流量変換回路５４３は、図１４にて示すごとく、蓋体Ｃ２内にて支持されており、この空圧−流量変換回路５４３は、各信号処理回路５３からの電気信号により表される上下流両側空圧室Ｒ１１の各空圧に基づき当該各空圧の差を薬液の流量に変換して、蓋体Ｃ２の側壁の一部に嵌着したグロメット５４３を通りその外部に延出するリード線から外部回路に出力する。なお、薬液の流量は、上述した薬液の液圧の差の平方根に比例する。
【０２０９】
安全機構６００は、図１１、図１３及び図１４のいずれかにて示すごとく、上記第１実施形態にて述べた開閉弁６０ａを、２つ、上下流側開閉弁６０ａとして備えており、これら上下流側開閉弁６０ａは、それぞれ、上下流両側圧電変換ユニット５０に対応する位置にて、上壁４００の上面上に配設されている。
【０２１０】
当該安全機構６００において、上下流両側開閉弁６０ａは、図１１或いは図１４にて例示するごとく、それぞれ、上下流両側通路４１０内に介装されており、これら上下流両側開閉弁６０ａは、その各ピストン６３の各先端部６３ｅにて、それぞれ、上壁４００の上下流両側凹部４４０（図１１参照）内に延出している。
【０２１１】
本第３実施形態において、上下流両側凹部４４０は、それぞれ、上壁４００のうち上下流両側開閉弁６０ａの各蓋体６２に対する各対応部位から上下流両側通路４１０の各対応の一側及び他側の通路部４１０ａ、４１０ｂのＬ字状連結部にかけて凹状に形成されており、これら上下流両側凹部４４０は、それぞれ、その各底部側にて、各対応の一側及び他側の通路部４１０ａ、４１０ｂ内にその各対応のＬ字状連結部内への各開口端部から連通している。
【０２１２】
また、当該安全機構６００は、図１３にて示すごとく、Ｔ字状配管６１０を有しており、この配管６１０においては、配管部６１１が、その両端側開口部にて、上下流両側開閉弁６０ａの各空間部Ｒ２内に連通している。また、配管部６１２は、その一端側開口部にて、配管部６１１の長手方向中央部位内に連通しており、当該配管部６１２の他側開口部は、共通通路４２０の長手方向中間部位内に連通している。これにより、配管６００は、空気供給源Ａから共通通路４２０内に圧送される空気を、配管部６１２内に導入して配管部６１１を通して上下流両側開閉弁６０ａの各空間部Ｒ２内に流入させる。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０２１３】
以上のように構成した本第３実施形態において、上記第１実施形態と同様に、上記半導体製造装置が作動状態におかれたものとする。このとき、上下流両側開閉弁６０ａは、図１１にて示すごとく、ともに、閉弁状態にある。
【０２１４】
このような状態において、上記第１実施形態と同様に、空気供給源Ａが空気の圧送を開始するとともに、上記薬液供給源が薬液の吐出を開始すると、空気供給源Ａからの空気は、図１３及び図１４から明らかなように、上壁４００の共通通路４２０内に流入するとともに、上記薬液供給源からの薬液は、配管Ｐ１を通り内側壁２００の流入側ボス部２００ｂ内に流入する。
【０２１５】
現段階では、上下流両側開閉弁６０ａは上述のごとく閉弁状態にあるため、上述のように共通通路４２０内に流入する空気は、Ｔ字状配管６１０の配管部６１２及び配管部６１１を通り上下流両側開閉弁６０ａの各空間部Ｒ２内に流入する。
【０２１６】
然る後、各空間部Ｒ２内の空圧が、上記第１実施形態にて述べた所定圧よりも増大すると、上下流両側開閉弁６０ａが開弁する。これに伴い、共通通路４２０内に流入する空気が、上下流両側通路４１０の各一側通路部４１０ａ内に各オリフィス４１２を通り流入する（図１４参照）。このように各一側通路部４１０ａ内にする空気は、上下流両側開閉弁６０ａの開弁状態にて、上壁４００の上下流両側凹部４４０及び各他側通路部４１０ｂ並びに内側壁３００の上下流両側通路３３０を通り上下流両側空圧室Ｒ１１内に流入する。このため、各空圧が、上下流両側ダイヤフラム弁Ｖａの各閉弁状態にて、各空圧室Ｒ１１内に発生して上下流両側ダイヤフラム２４０の上面に作用する。なお、以下、上流側空圧室Ｒ１１内に生ずる空圧は、空圧Ｐｂｃといい、下流側空圧室Ｒ１１内に生ずる空圧は、空圧Ｐｂｄという。
【０２１７】
一方、上述のように吐出される薬液は、上下流両側ダイヤフラム弁Ｖａの各閉弁状態にて、上記薬液供給源から配管Ｐ１、ハウジングＪの流入側ボス２００ｂ、流入通路部２３０ａ、上流側液圧室Ｌ２、絞り通路２３０ｂ、下流側液圧室Ｌ２、流出通路部２３０ｃ及び流出側ボス２００ｃ並びに配管Ｐ２を通り上記処理カップ内に流入する。
【０２１８】
このような過程においては、上流側液圧室Ｌ２内に流入する薬液の液圧が上流側ダイヤフラム２２０の下面に沿い作用するとともに、下流側液圧室Ｌ２内に流入する薬液の液圧が下流側ダイヤフラム２２０の下面に沿い作用する。ここで、上流側液圧室Ｌ２からの薬液は、絞り通路２３０ｂによりその絞り部２３１により絞られて、下流側液圧室Ｌ２内に流入する。このため、絞り通路２３０ｂの絞り部２３１の上下流両側にて薬液の圧力に差圧（以下、液圧差ΔＰともいう）が発生する。以下、上流側液圧室Ｌ２内における液圧は、液圧Ｐａｃといい、下流側液圧室Ｌ２内における液圧は、液圧Ｐａｄという。また、絞り通路２３０ｂの絞り度合いは一定であるため、液圧Ｐａｄは液圧Ｐａｃに比例する。
【０２１９】
しかして、上述のような液圧差ΔＰのもと、上下流両側ダイヤフラム弁Ｖａは、それぞれ、液圧Ｐａｃと空圧Ｐｂｃとの差圧に対応する開度及び液圧Ｐａｄと空圧Ｐｂｄとの差圧に対応する開度にて、上下流両側空圧室Ｒ１１内の空気を通路３４０の上下流両側通路部３４１及び共通通路部３４２を通して外部に排出する（図１１参照）。
【０２２０】
このような状態において、上流側液圧室Ｌ２内の液圧Ｐａｃが増大或いは減少すると、下流側液圧室Ｌ２内の液圧Ｐａｄも、絞り通路２３０ｂによる絞り度合いのもとに、液圧Ｐａｃの増大に比例して増大或いは減少する。
【０２２１】
しかして、上述のように両液圧Ｐａｃ、Ｐａｄが増大すると、上下流両側の各両ダイヤフラム２２０、２４０が、その各厚膜部２２０ａ、２４０ａにて、上方へ変位する。これに伴い、上下流両側ダイヤフラム弁Ｖａが、その各開度を減少させて各空圧室Ｒ１１内の空圧Ｐｂｃ、Ｐｂｄを直線的に増大或いは減少させる（図７の直線特性１参照）。
【０２２２】
すると、このような両空圧Ｐｂｃ、Ｐｂｄの各増大或いは各減少は、それぞれ、各対応のオリフィス４１２の絞り作用のもとに、内側壁３００の各対応の通路３３０、上壁４００の各対応の他側通路部４１０ｂ、各凹部４４０、各一側通路部４１０ａ及びその帯状開口部４１３を通り、各対応の中空部４３０内に伝わり、各対応の空圧検出素子５２の受圧面に作用する。
【０２２３】
このため、各空圧検出素子５２は、それぞれ、その受圧面に作用する空圧の増大を検出して電気信号を発生し各対応の信号処理回路５３に出力する。これに伴い、各信号処理回路５３は、それぞれ、当該各電気信号を信号処理して、各中空部４３０内の空圧の増大に比例する出力信号を発生し、空圧−流量変換回路５４３が、各信号処理回路５３の出力信号に基づき上記薬液の流量を表す出力を発生する。
【０２２４】
以上説明したように、本第３実施形態では、上述したごとく、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａにおいて薬液の液圧を空圧に変換する液圧−空圧変換構成が２組採用されている。そして、このような２組の液圧−空圧変換構成のもと、薬液が上流側液圧室Ｌ２から絞り通路２３０ｂを通り下流側液圧室Ｌ２内に流動する通路構成が採用されている。これにより、このような通路構成では、当該薬液の液圧が、上流側液圧室Ｌ２内にて発生し、絞り通路２３０ｂによる絞り作用のもとに、下流側液圧室Ｌ２内にて減少し、絞り通路２３０ｂの上下流間において差圧を生ずる。
【０２２５】
このような絞り通路２３０ｂの上下流間における差圧のもと、上流側両ダイヤフラム２２０、２４０を介し対向する上流側液圧室Ｌ２及び上流側空圧室Ｒ１１内の液圧及び空圧の差圧が、上流側液圧室Ｌ２内における薬液の液圧に応じて変動し、上流側両ダイヤフラム２２０、２４０の変位が変動し、上流側ダイヤフラム弁Ｖａの開度が変動して上流側空圧室Ｒ１１内の空圧を変動させる。
【０２２６】
一方、下流側両ダイヤフラム２２０、２４０を介し対向する下流側液圧室Ｌ２及び下流側空圧室Ｒ１１内の液圧及び空圧の差圧が、下流側液圧室Ｌ２内における薬液の液圧に応じて変動し、下流側両ダイヤフラム２２０、２４０の変位が変動し、下流側ダイヤフラム弁Ｖａの開度が変動して下流側空圧室Ｒ１１内の空圧を変動させる。
【０２２７】
そして、上述のように変動する上下流両側空圧室Ｒ１１内の各空圧は、それぞれ、上下流両側圧電変換ユニット５０の各々において上下流両側液圧室Ｌ２内の各薬液の液圧に比例するレベルの出力に変換され、かつこれら各出力が、これに比例する薬液の流量に空圧−流量変換回路５４３によって変換される。
【０２２８】
ここで、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａは、上述のごとく、精度よく薬液の液圧を検出し得る。従って、本第３実施形態の流量検出装置において、当該圧力センサＳａの液圧−空圧変換構成を利用することで、薬液の流量が精度よく検出され得る。
（第４実施形態）
図１５及び図１６は、本発明に係る流量検出装置Ｑｂが、本発明の第４実施形態として、上記第２実施形態にて述べた半導体製造装置の枚葉式処理系統に適用された例を示している。この第４実施形態において、その流量検出装置は、上記第２実施形態にて述べた圧力センサＳｂに代えて、上記枚葉式処理系統に適用されてなるもので、この流量検出装置は、上記第２実施形態にて述べた圧力センサＳｂにおける薬液の液圧を空圧に変換する構成を、２組、利用して構成されている。
【０２２９】
当該流量検出装置Ｑｂは、図１５にて示すごとく、検出装置本体Ｂ３を備えている。この検出装置本体Ｂ３は、上記第３実施形態にて述べた上下流両側ダイヤフラム２４０（図１１参照）に代えて、上下流両側ダイヤフラム２５０を備えており、当該上下流両側ダイヤフラム２５０は、それぞれ、円板状厚膜部２５０ａ、円環状可撓性薄膜部２５０ｂ、円環状フランジ部２５０ｃ及びリフトストップ部２５ｄでもって構成されている。ここで、上下流両側ダイヤフラム２５０の各々の厚膜部２５０ａ、薄膜部２５０ｂ、円環状フランジ部２５０ｃは、上記第２実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２５の厚膜部２５ａ、薄膜部２５ｂ及びフランジ部２５ｃと同様に、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）でもって一体的に形成されている。なお、本第４実施形態において、リフトストップ部２５ｄとしたのは、上記第２実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２５のリフトストップ部２５ｄを、２つ採用して上下流両側ダイヤフラム２５０の各リフトストップ部としたためである。
【０２３０】
上下流両側ダイヤフラム２５０の各々のリフトストップ部２５ｄは、図１５にて示すごとく、その下部にて、厚膜部２５０ａの上面中央部に形成した凹所内に嵌着されている。
【０２３１】
しかして、このように構成した上下流両側ダイヤフラム２５０は、それぞれ、上記第２実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２５と同様に、内側壁２００の上下流両側大径穴部２１０ａ内に収容されており、これら上下流両側ダイヤフラム２５０は、上側ダイヤフラム２５と同様に、それぞれ、フランジ部２５０ｃにて、上下流両側大径穴部２１０ａの上記各底壁外周部上に着座している。
【０２３２】
これにより、上下流両側ダイヤフラム２５０は、それぞれ、その薄膜部２５０ｂの下方への撓みにより、厚膜部２５０ａにて、上下流両側ダイヤフラム２２０の各厚膜部２２０ａを下方へ押動するように変位し、この変位状態のもと、各厚膜部２２０ａにより押動されて薄膜部２５０ｂの上方への撓みのもとに上方へ変位する。
【０２３３】
また、本第４実施形態では、安全機構６００が、上下流両側圧電変換ユニット５０とともに、上記第３実施形態にて述べた蓋体Ｃ２内に収容されているが、当該安全機構６００においては、上下流両側配管６２０が、上記第３実施形態にて述べたＴ字状配管６１０に代えて、上記第３実施形態にて述べたハウジング部材Ｊ２の上壁４００に設けられている。
【０２３４】
上下流両側配管６２０は、それぞれ、図１５或いは図１７にて示すごとく、上下流両側開閉弁６０ａの各々の図示右側に配設されており、上流側配管６２０は、図１５或いは図１７にて示すごとく、その基端開口部にて、上壁４００の上流側通路４５０（後述する）内にその上端開口部から連通している。また、当該上流側配管６２０は、その基端開口部から上流側開閉弁６０ａに向けて延出しており、この上流側配管６２０は、その延出開口端部にて、上流側開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に四角筒状ケーシング６１の開孔部６１ｄを介し連通している。
【０２３５】
一方、下流側配管６２０は、図１５或いは図１７にて示すごとく、その基端開口部にて、上壁４００の下流側通路４５０（後述する）内にその上端開口部から連通している。また、当該下流側配管６２０は、その基端開口部から下流側開閉弁６０ａに向けて延出しており、この下流側配管６２０は、その延出開口端部にて、下流側開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に四角筒状ケーシング６１の開孔部６１ｄを介し連通している。
【０２３６】
また、本第３実施形態では、上述のような配管６２０の上壁４０に対する連通構成に伴い、上下流両側通路４５０が、図１５にて示すごとく、それぞれ、上下流両側凹部４４０の各々の右側にて、上壁４００にその厚さ方向に向け貫通状に形成されている。なお、図１５にて、各符号４５１は、それぞれ、Ｏリングを示しており、これらＯリング４５１は、それぞれ、上壁４００の各円環状溝部４５１ａ内に嵌着されて、各対応の通路４５０を内側壁３００及び上壁４００の境界面から気密的にシールする。なお、各溝部４５１ａは、上壁４００の下面のうち各対応の通路４５０の流出端部の近傍円環状部位に形成されている。
【０２３７】
また、本第４実施形態においては、上下流両側Ｔ字状通路３５０、上下流両側通路３６０及び上下流両側弁機構３０ａが、図１５及び図１７にて示すごとく、上記第３実施形態にて述べた上下流両側通路３３０及び上下流両側Ｌ字状通路３４０（図１１及び図１４参照）に代えて、内側壁３００内に形成されている。なお、本第４実施形態において、上下流両側弁機構３０ａとしたのは、上上記第２実施形態にて述べた弁機構３０ａ（図８参照）を、２つ採用して、上下流両側弁機構３０ａとしたためである。
【０２３８】
上下流両側Ｔ字状通路３５０のうち、上流側Ｔ字状通路３５０は、上下流両側弁機構３０ａの間にて内側壁３００内に形成されており、この上流側Ｔ字状通路３５０は、通路部３５０ａ及び通路部３５０ｂにより構成されている。当該流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａは、その流出端開口部にて、上流側弁機構３０ａの段付き孔部３７内にその右側開口部３７ｅ（後述する）を介し連通しており、当該通路部３５０ａの流入端開口部は、下流側弁機構３０ａの段付き孔部３７内にその左側開口部３７ｆ（後述する）を介し連通している。また、当該上流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ｂは、その流入端部にて、上流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａの長手方向中間部位内に連通しており、この通路部３５０ｂの流出端開口部は、上壁４００の上流側通路４５０を通り上流側配管６２０内に連通している。
【０２３９】
一方、下流側Ｔ字状通路３５０は、図１５にて示すごとく、下流側弁機構３０ａの右側にて、内側壁３００内に形成されており、この下流側Ｔ字状通路３５０は、上流側Ｔ字状通路３５０と同様に、通路部３５０ａ及び通路部３５０ｂにより構成されている。ここで、下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａの流入端開口部３５１には、上記第３実施形態とは異なり、空気供給源Ａがその供給口部にて接続されている。また、下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ｂは、下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａの長手方向中間部位の内部を上壁４００の下流側通路４５０を通して安全機構６００の下流側配管６２０内に連通する。
【０２４０】
また、検出装置本体Ｂ３は、上記第２実施形態にて述べた弁機構３０ａを、２つ、上下流両側弁機構３０ａとして備えている。上下流両側弁機構３０ａのうち、上流側弁機構３０ａは、図１５にて示すごとく、上流側ダイヤフラム２５０と同軸的に位置するように、内側壁３００内に設けられており、当該上流側弁機構３０ａの段付き孔部３７の内周面のうち右側中間部位には、右側開口部３７ｅが、支持柱３８の小径筒部３８ｂの外周面に対向するように形成されている。また、当該上流側弁機構３０ａのロッド３９は、その先端部にて、上流側ダイヤフラム２５０の弁座部２５の窪み部２５ｅに着座可能に対向している。
【０２４１】
一方、下流側弁機構３０ａは、下流側ダイヤフラム２５０と同軸的に位置するように、内側壁３００内に形成されており、当該下流側弁機構３０ａの段付き孔部３７の内周面のうち左右両側の各中間部位には、左右両側の各開口部３７ｆ、３７ｅが、支持柱３８の小径筒部３８ｂの外周面に対向するように形成されている。これにより、上流側弁機構３０ａの段付き孔部３７は、その右側開口部３７ｅにて、上流側通路３５０の通路部３５０ａ、下流側弁機構３０ａの段付き孔部３７の左側開口部３７ｆ、支持柱３８の小径筒部３８ｂの外周空所及び右側開口部３７ｅを通り下流側通路３５０の通路部３５０ａ内に連通している。また、当該下流側弁機構３０ａのロッド３９は、その先端部にて、下流側ダイヤフラム２５０の弁座部２５の窪み部２５ｅに着座可能に対向している。その他の構成は、上記第３実施形態と同様である。
【０２４２】
以上のように構成した本第４実施形態において、上記第２実施形態と同様に、上記半導体製造装置が作動状態におかれたものとする。このとき、上下流両側開閉弁６０ａは、図１５にて示すごとく、ともに閉弁状態にある。また、上下流両側弁機構３０ａの各弁部、即ち各ダイヤフラム弁Ｖｂは、閉弁状態にある。
【０２４３】
このような状態において、上記第３実施形態と同様に、空気供給源Ａによる空気の圧送及び上記薬液供給源による薬液の吐出が開始されると、空気供給源Ａからの空気は、上記第３実施形態とは異なり、図１５にて示すように、内側壁３００の下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａ内にその流入端開口部３５１から流入するとともに、上記薬液供給源Ａからの薬液は、配管Ｐ１を通り内側壁２００の流入側ボス２００ｂ内に流入する。
【０２４４】
現段階では、上述のごとく、上下流両側弁機構３０ａの各弁部、即ち各ダイヤフラム弁Ｖｂは、閉弁状態にあるため、上下流両側空圧室Ｒ１１は、それぞれ、上下流両側のＴ字状通路３５０の各通路部３５０ａから遮断されている。
【０２４５】
従って、上述のように下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａ内に流入した空気は、当該下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ｂ、上壁４００の下流側通路４５０及び安全機構６００の下流側配管６２０を通り下流側開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に開孔部６１ｄから流入する。また、このように上流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａ内に流入した空気は、上流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ｂ、上壁４００の上流側通路４５０及び安全機構６００の上流側配管６２０を通り上流側開閉弁６０ａの空間部Ｒ２内に開孔部６１ｄから流入する。
【０２４６】
しかして、上述のように、空気が、上下流両側開閉弁６０ａの各空間部Ｒ２内に流入すると、空圧が、当該各空間部Ｒ２内に発生して増大していく。そして、各空間部Ｒ２内の空圧が上記所定圧よりも増大すると、上下流両側開閉弁６０ａが、それぞれ、開弁する。これにより、上壁４００の上下流両側通路４１０の各々において、その一側通路部４１０ａが他側通路部４１０ｂ内に上流側凹部４４０を介し連通する。
【０２４７】
一方、上述のように、内側壁２００の流入側ボス２００ｂ内に流入する薬液は、上記第３実施形態と同様に、上流側液圧室Ｌ２、絞り通路２３０ｂ、下流側液圧室Ｌ２、流出通路部２３０ｃ及び流出側ボス２００ｃ並びに配管Ｐ２を通り上記処理カップ内に流入する。
【０２４８】
このような過程においては、上記第３実施形態と同様に、上流側液圧室Ｌ２内に流入する薬液の液圧Ｐａｃが上流側ダイヤフラム２２０の下面に沿い作用するとともに、下流側液圧室Ｌ２内に流入する薬液の液圧Ｐａｄが下流側ダイヤフラム２２０の下面に沿い作用する。ここで、上流側液圧室Ｌ２からの薬液は、絞り通路２３０ｂによりその絞り部２３１により絞られるため、下流側液圧室Ｌ２内の薬液Ｐａｄは上流側液圧室Ｌ２内の液圧Ｐａｃよりも減少する。これに伴い、液圧差ΔＰ（液圧Ｐａｃと液圧Ｐａｄとの差）が、上記第３実施形態と同様に、絞り通路２３０ｂの絞り部２３１の上下流両側にて発生する。
【０２４９】
このような状態において、上流側液圧室Ｌ２内の液圧Ｐａｃが増大すると、下流側液圧室Ｌ２内の薬液Ｐａｄも増大する。これに伴い、上下流両側ダイヤフラム２５０が、上下流両側ダイヤフラム２２０の撓みより、上方へ押動されて変位する。このため、上下流両側弁機構３０ａの各弁部、即ち、各ダイヤフラム弁Ｖｂが、上下流両側ダイヤフラム２５０の上方への各変位に応じて開弁する。
【０２５０】
すると、上述のように内側壁３００の下流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａ内にその流入端開口部３５１から流入する空気は、下流側弁機構３０ａの段付き孔部３７内に右側開口部３７ｅを通り流入するとともに、当該段付き孔部３７の左側開口部３７ｆから上流側Ｔ字状通路３５０の通路部３５０ａ内に流入して上流側弁機構３０ａの段付き孔部３７内にその右側開口部３７ｅから流入する。
【０２５１】
しかして、このように、空気が上下流両側弁機構３０ａの各段付き孔部３７内に流入すると、上下流両側弁機構３０ａの各々毎に、段付き孔部３７内に流入した空気は、上記第２実施形態と同様に、段付き孔部３７の内周面とロッド３９のロッド本体３９ｂの上側ロッド部及び鍔部３９ｃとの間を通り、段付き孔部３７の小径内孔部３７ａと鍔部３９ｃとの間に流入し、さらに、段付き孔部３７の小径内孔部３７ａの内部を通り空圧室Ｒ１１内に流入する。そして、このように空圧室Ｒ１１内に流入した空気は、上側上壁３００の対応の通路３６０、対応の通路４１０の他側通路部４１０ｂ、対応の凹部４４０及び対応の通路４１０の一側通路部４１０ａを通り対応のオリフィス４１２により絞られて共通通路４２０内に流入してその開口端部４２１から外部に流出する（図１６及び図１７参照）。その後の作動は上記第３実施形態と同様である。
【０２５２】
以上説明したように、本第４実施形態では、上述したごとく、上記第２実施形態にて述べた圧力センサＳｂにおいて薬液の液圧を空圧に変換する液圧−空圧変換構成が２組採用されている。そして、このような２組の液圧−空圧変換構成のもと、薬液が上流側液圧室Ｌ２から絞り通路２３０ｂを通り下流側液圧室Ｌ２内に流動する通路構成が採用されている。
【０２５３】
これにより、このような通路構成では、当該薬液の液圧が、上流側液圧室Ｌ２内にて発生し、絞り通路２３０ｂによる絞り作用のもとに、下流側液圧室Ｌ２内にて減少し、絞り通路２３０ｂの上下流間において差圧を生ずる。
【０２５４】
このような絞り通路２３０ｂの上下流間における差圧のもと、上記第３実施形態と同様に、上流側両ダイヤフラム２２０、２４０を介し対向する上流側液圧室Ｌ２及び上流側空圧室Ｒ１１内の液圧及び空圧の差圧が、上流側液圧室Ｌ２内における薬液の液圧に応じて変動し、上流側両ダイヤフラム２２０、２４０の変位が変動し、上流側ダイヤフラム弁Ｖｂの開度が変動して上流側空圧室Ｒ１１内の空圧を変動させる。
【０２５５】
一方、下流側両ダイヤフラム２２０、２４０を介し対向する下流側液圧室Ｌ２及び下流側空圧室Ｒ１１内の液圧及び空圧の差圧が、下流側液圧室Ｌ２内における薬液の液圧に応じて変動し、下流側両ダイヤフラム２２０、２４０の変位が変動し、下流側ダイヤフラム弁Ｖｂの開度が変動して下流側空圧室Ｒ１１内の空圧を変動させる。
【０２５６】
そして、上述のように変動する上下流両側空圧室Ｒ１１内の各空圧は、それぞれ、上下流両側圧電変換ユニット５０の各々において上下流両側液圧室Ｌ２内の各薬液の液圧に比例するレベルの出力に変換され、かつこれら各出力が、これに比例する薬液の流量に空圧−流量変換回路５４３によって変換される。
【０２５７】
ここで、上記第２実施形態にて述べた圧力センサＳｂは、上述のごとく、精度よく薬液の液圧を検出し得る。従って、本第４実施形態の流量検出装置において、当該圧力センサＳｂの液圧−空圧変換構成を利用することで、薬液の流量が精度よく検出され得る。
（第５実施形態）
図１８は、本発明の第５実施形態の要部を示している。この第５実施形態では、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａのセンサ本体Ｂにおいて、単一のダイヤフラム２６が、上下両側ダイヤフラム２２、２４に代えて採用されている。
【０２５８】
当該ダイヤフラム２６は、円板状厚膜部２６ａ、円環状可撓性薄膜部２６ｂ、円環状フランジ部２６ｃ及び円錐状弁体部２６ｄを一体的に有するように、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）でもって、形成されている。
【０２５９】
このダイヤフラム２６において、薄膜部２６ｂは、厚膜部２６ａの外周下端部から外方に向け延出している。また、フランジ部２６ｃは、薄膜部２６ｂの外周部から外方へ延出しており、このフランジ部２６ｃは、その内周面軸方向下端部位にて薄膜部２６ｂの外周部と一体となっている。また、弁体部２６ｄは、厚膜部２６ａの上面中央部から上方へ円錐状に突出形成されている。
【０２６０】
このように構成したダイヤフラム２６は、下側ハウジング部材Ｈ１の内側壁２０の大径穴部２１ａ内に収容されており、当該ダイヤフラム２６は、フランジ部２６ｃにて、大径穴部２１ａの底壁外周部上に着座している。これに伴い、ダイヤフラム２６は、厚膜部２６ａにて、液圧室Ｌ１内に対向している。
【０２６１】
これにより、ダイヤフラム２６は、その薄膜部２６ｂの下方への撓みにより、厚膜部２６ａにて、液圧室Ｌ１側変位し、薄膜部２６ｂの上方への撓みのもとに上方へ変位する。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０２６２】
このように構成した本第５実施形態においては、単一のダイヤフラム２６が、その両面側から、液圧室Ｌ１内の液圧及び空圧室Ｒ１内の空圧と共に直接受けることとなる。その結果、単一のダイヤフラム２６の液圧の変動に対する感度を良好に確保することができる。なお、上述した液だまりを除き、上記第１実施形態にて述べた上下両側ダイヤフラム２２、２４と同様の機能を果たすことができる。
（第６実施形態）
図１９は、本発明の第６実施形態の要部を示している。この第６５実施形態では、上記第２実施形態にて述べた圧力センサＳｂのセンサ本体Ｂ２において、単一のダイヤフラム２７が、上下両側ダイヤフラム２２、２５に代えて採用されている。
【０２６３】
当該ダイヤフラム２７は、円板状厚膜部２７ａ、円環状可撓性薄膜部２７ｂ、円環状フランジ部２７ｃ及び弁体部２７ｄでもって構成されており、厚膜部２７ａ、可撓性薄膜部２７ｂ及びフランジ部２７ｃは、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）でもって一体的に形成されている。
【０２６４】
このダイヤフラム２７において、薄膜部２７ｂは、厚膜部２７ａの外周下端部から外方に向け延出している。また、フランジ部２７ｃは、薄膜部２７ｂの外周部から外方へ延出しており、このフランジ部２７ｃは、その内周面軸方向下端部位にて薄膜部２７ｂの外周部と一体となっている。また、弁体部２７ｄは、上記第２実施形態にて述べた弁体部２５ｄと同様の構成を有しており、この弁体部２７ｄは、その下部にて、厚膜部２７ａの上面中央部に形成した凹所内に嵌着されている。
【０２６５】
しかして、このように構成したダイヤフラム２７は、上記第２実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２５と同様に、下側ハウジング部材Ｈ１の内側壁２０の大径穴部２１ａ内に収容されており、このダイヤフラム２７は、フランジ部２７ｃにて、大径穴部２１ａの上記底壁外周部上に着座している。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０２６６】
このように構成した本第６実施形態においては、単一のダイヤフラム２７が、上記第２実施形態にて述べた上下両側ダイヤフラム２２、２５と同様の機能を果たすことで、上記第２実施形態と実質的に同様の作用効果を達成することができる。
（第７実施形態）
図２０は、本発明の第７実施形態を示している。この第７実施形態においては、圧力センサＳｃが、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａに代えて、採用されている。
【０２６７】
当該圧力センサＳｃは、図２０にて示すごとく、センサ本体Ｂ４を備えている。このセンサ本体Ｂ４は、例えば、ＰＴＦＥからなるハウジング７００を有しており、このハウジング７００は、下側ハウジング部材７１０及び上側ハウジング部材７２０でもって構成されている。
【０２６８】
ここで、上側ハウジング部材７２０は、その開口部７２１にて、下側ハウジング部材７１０の開口部７１１に係合されて、ハウジング７００を構成しており、このハウジング７００内には、ダイヤフラム７３０（後述する）が組み付けられて当該ハウジング７００の内部を、上記第１実施形態にて述べた空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１に区画形成している。
【０２６９】
下側ハウジング部材７１０は、矩形板状壁本体７１０ａと、流入側筒状ボス７１０ｂと、流出側筒状ボス７１０ｃとにより構成されている。壁本体７１０ａは、凹部７１２を有しており、この凹部７１２は、その周壁部にて、図２０にて示すごとく、大径壁部７１２ａ及び小径壁部７１２ｂでもって、ダイヤフラム７３０を介し図示上下に同軸的に位置するように形成されている。ここで、凹部７１２は、ダイヤフラム７３０を介し、大径壁部７１２ａ側部位及び小径壁部７１２ｂ側部位にて、それぞれ、上述した空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１を構成する。
【０２７０】
また、壁本体７１０ａは、流入通路部７１３ａ及び流出通路部７１３ｂを有しており、これら流入通路部７１３ａ及び流出通路部７１３ｂは、液圧室Ｌ１を介し互いに対向するように壁本体７１０ａ内に形成されている。これにより、流入通路部７１３ａは、その内部にて、液圧室Ｌ１を通り、流出通路部７１３ｂの内部に連通している。
【０２７１】
流入側筒状ボス７１０ｂ及び流出側筒状ボス７１０ｃは、壁本体７１０ａの外周面から互いに対向して逆方向に外方へ突出されている。流入側筒状ボス７１０ｂは、その中空部にて、壁本体７１０ａの流入通路部７１３ａの内部に連通しており、当該流入側ボス７１０ｂは、上記第１実施形態にて述べた薬液供給源から配管Ｐ１を通り吐出される薬液を、流入通路部７１３ａを介し液圧室Ｌ１内に流動させる。一方、流出側筒状ボス７１０ｃは、液圧室Ｌ１から流出通路部７１３ｂ内に流動する薬液を、上記第１実施形態にて述べた配管Ｐ２内に流動させる。
【０２７２】
上側ハウジング部材７２０は、図２０にて示すごとく、凹所７２２を有しており、この凹所７２２は、上側ハウジング部材７２０にその下面側から上方に向け凹状に形成されて、上述した空圧室Ｒ１を、ダイヤフラム７３０との間に形成する。また、凹所７２２は、環状部７２２ａを設けてなり、この環状部７２２ａは、弁座部７２２ａとして、ダイヤフラム７３０の円錐状弁体部７３４に同軸的に対向するように、凹所７２２の内面中央部から下方に向け突出形成されている。これにより、弁体部７３４は、その変位に伴い、弁座部７２２ａとの間の開度を調整する。なお、弁体部７３４及び弁座部７２２ａにより構成される弁は、上記第１実施形態と同様に、ダイヤフラム弁Ｖａという。
【０２７３】
また、当該上側ハウジング部材７２０は、その内部に、図２０にて示すごとく、両通路部７２３、７２４を形成してなり、通路部７２３は、空圧室Ｒ１の内部を、配管Ｐ５を介し、常閉型開閉弁８００の流出孔部８１１ｂ（後述する）の内部に連通させる。また、通路部７２４は、その内端開孔部にて、凹所７２２の弁座部７２２ａを介し、空圧室Ｒ１内に連通しており、この通路部７２４の外端開孔部は、ハウジング７００の外部に連通している。
【０２７４】
また、センサ本体Ｂ４は、ダイヤフラム７３０を有しており、このダイヤフラム７３０は、上記第１実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２４の厚膜部２４ａ、可撓性薄膜部２４ｂ、フランジ部２４ｃ及び弁体部２４ｄにそれぞれ対応する円板状厚膜部７３１、円環状可撓性薄膜部７３２、円環状フランジ部７３３及び円錐状弁体部７３４を有するように、上側ダイヤフラム２４と同様に形成されている。
【０２７５】
このように形成したダイヤフラム７３０は、下側ハウジング部材７１０の凹部７１２内に収容されており、当該ダイヤフラム７３０は、フランジ部７３３にて、Ｏリング７４０と大径壁部７１２ａ及び小径壁部７１２ｂとの間の円環状境界段部との間に気密的に挟持されている。これにより、当該ダイヤフラム７３０は、凹部７１２を、空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１として区画して、その薄膜部７３２の下方への撓みにより、厚膜部７３１にて、液圧室Ｌ１側へ押動するように変位し、この変位状態のもと、薄膜部２４ｂの上方への撓みのもとに空圧室Ｒ１側へ変位する。
【０２７６】
開閉弁８００は、本第７実施形態において、上記第１実施形態とは異なり、センサ本体Ｂ４とは分離した構成にて採用されており、この開閉弁８００は、ケーシング８１０内に摺動体８２０及びコイルスプリング８３０を収容して構成されている。
【０２７７】
ケーシング８１０は、四角筒状ケーシング本体８１０ａと、隔壁８１０ｂとを備えている。ケーシング本体８１０ａは、段付き内孔部８１１、流入孔部８１２ａ及び流出孔部８１２ｂを有しており、段付き内孔部８１１は、ケーシング本体８１０ａの内部に同軸的に形成されている。流入孔部８１２ａ及び流出孔部８１２ｂは、その各内端部にて、段付き内孔部８１１の下部内に連通するようにケーシング本体８１０ａの下部から互いに逆向きに外方へ突出形成されており、流入孔部８１２ａは、配管Ｐ４、圧電変換ユニット５０Ａ、配管Ｐ３及びオリフィス８００ａを介し、上記第１実施形態にて述べた空気供給源Ａの供給口部内に連通している。一方、流出孔部８１２ｂは、配管Ｐ５を介し上側ハウジング部材７２０の連通路部７２３内に連通している。なお、隔壁８１０ｂは、ケーシング本体８１０の段付き内孔部８１１の軸方向中間部位内にＯリング８１３を介し気密的にかつ同軸的に嵌着されている。
【０２７８】
摺動体８２０は、ケーシング本体８１０の段付き内孔部８１１内に隔壁８１０ｂを介し同軸的に摺動可能に支持されており、この摺動体８２０は、ピストン８２０ａ及び弁体８２０ｂでもって構成されている。
【０２７９】
ピストン８２０ａは、断面コ字状のピストン本体８２１から筒状ロッド８２２を同軸的に延出して構成されている。このピストン８２０ａにおいては、ピストン本体８２１が、図２０にて示すごとく、隔壁８１０ｂの図示上側にてケーシング本体８１０の段付き内孔部８１１内にＯリング８２１ａを介し気密的にかつ同軸的に摺動可能に嵌装され、かつ、筒状ロッド８２２が、隔壁８１０ｂの貫通孔部内に両Ｏリングを介し気密的にかつ同軸的に摺動可能に嵌装されている。
【０２８０】
これにより、ピストン８２０ａは、ピストン本体８２１により、段付き内孔部８１１の内部を、隔壁８１０ｂの図示上側にて、給気部８１１ａ及び排気部８１１ｂに区画している。ここで、コイルスプリング８３０は、ケーシング本体８１０の上壁部と隔壁８１０ｂとの間にて、段付き内孔部８１１内に同軸的に介装されて、ピストン本体８２１を隔壁８１０ｂに向けて付勢している。
【０２８１】
弁体８２０ｂは、弁体部８２３からロッド部８２４を同軸的に延出して構成されている。しかして、弁体８２０ｂは、ロッド部８２４にて、ピストン８２０ａの筒状ロッド８２２内に下方から同軸的に螺着されて、弁体部８２３を、段付き内孔部８１１の内部のうち隔壁８１０ｂの下側部位内に延出させている。なお、流入孔部８１２ａ及び流出孔部８１２ｂは、下端開孔部８１１ｃを介し互いに連通している。
【０２８２】
しかして、ピストン８２０においては、弁体８２０ｂは、コイルスプリング８３０の付勢のもと、弁体部８２３にて、段付き内孔部８１１の下端開孔部８１１ｃを開閉可能に当該下端開孔部８１１ｃに着座している。このことは、開閉弁８００が閉弁していることを意味する。
【０２８３】
また、空気供給源Ａからの空気が配管Ｐ６及びケーシング本体８１０の貫通孔部８１４を通り給気部８１１ａ内に圧送されると、ピストン本体８２１が、弁体８２０ｂとともに、コイルスプリング８３０に抗して摺動して、弁体部８２０ｂを下端開孔部８１１ｃから解離させる。このことは、開閉弁８００が開弁することを意味する。本第７実施形態では、空気供給源Ａから開閉弁８００の給気部８１１ａ内に流入する空気の圧力が、コイルスプリング８３０のバネ定数に対応する値になっとき、開閉弁８００が開弁する。なお、ピストン本体８２１がコイルスプリング８３０に抗して摺動するに伴い、排気室８１１ｂ内の空気は、ケーシング本体８１０の貫通孔部８１５を通り外部に排出される。
【０２８４】
圧電変換ユニット５０Ａは、本第７実施形態において、開閉弁８００と同様に、上記第１実施形態とは異なり、センサ本体Ｂ４とは分離した構成にて採用されている。圧電変換ユニット５０Ａは、上記第１実施形態にて述べた圧電変換ユニット５０と同様の機能を有するもので、この圧電変換ユニット５０Ａは、その中空部（図示しない）にて、両配管Ｐ３、Ｐ４の間に接続されている。
【０２８５】
しかして、この圧電変換ユニット５０Ａは、その中空部内に、空気供給源Ａから配管Ｐ３を介し空気を圧送されて、当該空気の空圧を、空圧検出素子（上記第１実施形態にて述べた空圧検出素子５２に相当）によりその受圧面にて検出し、この検出空圧に比例するレベルにて電気信号としてリード線ｆから発生する。
【０２８６】
オリフィス８００ａは、配管Ｐ３中の介装されている。このオリフィス８００ａは、上記第１実施形態にて述べたオリフィス４１ｄと同様の役割を果たすのもので、このオリフィス８００ａは、空気供給源Ａから配管Ｐ３を通して圧電変換ユニット５０Ａの中空部内に圧送される空気の量を所定の絞り度合いにて絞る。
【０２８７】
以上のように構成した本第７実施形態において、開閉弁８００の閉弁状態において、空気供給源Ａからの空気が配管Ｐ６内に吐出されると、この空気は、開閉弁８００の給気部８１１ａ内に貫通孔部８１４から圧送されるとともに、オリフィス８００ａにより絞られて配管Ｐ３、圧電変換ユニット５０Ａの中空部及び配管Ｐ４を通り開閉弁８００内にその流入孔部８１２ａから圧送される。また、上記薬液供給源からの薬液が配管Ｐ１内に吐出されると、この薬液は、センサ本体Ｂ４内にその流入側ボス部７１０ｂから流入する。
【０２８８】
すると、開閉弁８００が、給気部８１１ａ内への空気の空圧に応じて開弁し、この開弁のもとに、開閉弁８００内にその流入孔部８１２ａから圧送される空気が、ケーシング本体８１０の開孔部８１１ｃ、流出孔部８１２ｂ及び配管Ｐ５を通りセンサ本体Ｂ４の空圧室Ｒ１内にその連通路部７２３から流入した後連通路部７２４から外部に排出される。また、センサ本体Ｂ４内にその流入側ボス部７１０ａから圧送された薬液は、液圧室Ｌ１内を通り流出側ボス部７１０ｂ及び配管Ｐ２を介し上記処理カップ内に流入する。
【０２８９】
このような空気及び薬液の流動過程においては、センサ本体Ｂ４の空圧室Ｒ１内に流入する空気の空圧がダイヤフラム７３０に空圧室Ｒ１側から作用するとともに、センサ本体Ｂ４の液圧室Ｌ１内に流入する薬液の液圧がダイヤフラム７３０に液圧室Ｌ１側から作用する。
【０２９０】
これに伴い、ダイヤフラム７３０が、その厚膜部７３１にて、空圧室Ｒ１内の空圧と液圧室Ｌ１内の液圧との差に応じて変位し、ダイヤフラムＶａがその開度にて調整される。このため、空圧室Ｒ１内の空圧が、ダイヤフラムＶａの開度に応じて、オリフィス８００ａの絞り作用のもとに、開閉弁８００の流出孔部８１２ｂ及び流入孔部８１２ａを介し圧電変換ユニット５０Ａの中空部内にて上記空圧検出素子の受圧面に作用する。このため、圧電変換ユニット５０Ａは、上記空圧検出素子によりその受圧面にて検出し、この検出空圧に比例するレベルにて電気信号を発生する。
【０２９１】
以上によれば、本第７実施形態では、センサ本体Ｂ４、開閉弁８００、圧電変換ユニット５０Ａ及びオリフィス８００ａが、上記第１実施形態にて述べたセンサ本体Ｂ（オリフィス４１ｄを含む）、開閉弁６０ａ及び圧電変換ユニット５０のように互いに一体的に組み付けられているのとは異なり、相互に分離して位置するように構成されていても、これらセンサ本体Ｂ４、開閉弁８００、圧電変換ユニット５０Ａ及びオリフィス８００ａは、それぞれ、センサ本体Ｂ（オリフィス４１ｄを含む）、開閉弁６０ａ及び圧電変換ユニット５０と同様に機能する。
【０２９２】
これにより、本第７実施形態においても、圧力センサＳｃは、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａと同様に作動することで、当該圧力センサＳａと同様の作用効果を達成し得る。ここで、上述のように、圧電変換ユニット５０Ａが、センサ本体Ｂ４から離れた位置にて設けられているから、圧電変換ユニット５０Ａ及びセンサ本体Ｂ４の分離した配置構成を、配置箇所に応じて自由に選択することができる。
（第８実施形態）
図２１は、本発明の第８実施形態を示している。この第８実施形態においては、圧力センサＳｄが、上記第７実施形態にて述べた圧力センサＳｃに代えて、採用されている。
【０２９３】
当該圧力センサＳｄは、図２１にて示すごとく、センサ本体Ｂ５を備えている。このセンサ本体Ｂ５は、上記第７実施形態とは異なり、開閉弁８００の上流側に設けられている。当該センサ本体Ｂ５は、例えば、ＰＴＦＥからなるハウジング９００を有しており、このハウジング９００は、下側ハウジング部材９１０及び上側ハウジング部材９２０でもって構成されている。
【０２９４】
ここで、上側ハウジング部材９２０は、その開口部７２１にて、下側ハウジング部材９１０の開口部９１１に係合されて、ハウジング９００を構成しており、このハウジング９００内には、ダイヤフラム９３０（後述する）が組み付けられて当該ハウジング９００の内部を、上記第２実施形態にて述べた空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１に区画形成している。
【０２９５】
下側ハウジング部材９１０は、矩形板状壁本体９１０ａと、流入側筒状ボス９１０ｂと、流出側筒状ボス９１０ｃとにより構成されている。壁本体９１０ａは、凹部９１２を有しており、この凹部９１２は、その周壁部にて、図２１にて示すごとく、大径壁部９１２ａ及び小径壁部９１２ｂでもって、ダイヤフラム９３０を介し図示上下に同軸的に位置するように形成されている。ここで、凹部９１２は、ダイヤフラム９３０を介し、大径壁部９１２ａ側部位及び小径壁部９１２ｂ側部位にて、それぞれ、上述した空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１を構成する。
【０２９６】
また、壁本体９１０ａは、流入通路部９１３ａ及び流出通路部９１３ｂを有しており、これら流入通路部９１３ａ及び流出通路部９１３ｂは、液圧室Ｌ１を介し互いに対向するように壁本体９１０ａ内に形成されている。これにより、流入通路部９１３ａは、その内部にて、液圧室Ｌ１を通り、流出通路部９１３ｂの内部に連通している。
【０２９７】
流入側筒状ボス９１０ｂ及び流出側筒状ボス９１０ｃは、壁本体９１０ａの外周面から互いに対向して逆方向に外方へ突出されている。流入側筒状ボス９１０ｂは、その中空部にて、壁本体９１０ａの流入通路部９１３ａの内部に連通しており、当該流入側ボス９１０ｂは、上記第７実施形態にて述べた薬液供給源から配管Ｐ１を通り吐出される薬液を、流入通路部９１３ａを介し液圧室Ｌ１内に流動させる。一方、流出側筒状ボス９１０ｃは、液圧室Ｌ１から流出通路部９１３ｂ内に流動する薬液を、上記第７実施形態にて述べた配管Ｐ２内に流動させる。
【０２９８】
上側ハウジング部材９２０は、凹所９２２及び両通路部９２３、９２４を有している。凹所９２２は、ダイヤフラム９３０の厚膜部９３１に対応する位置にて、上側ハウジング部材９２０にその内面側から上方へ凹状に形成されている。これにより、当該凹所９２２は、ダイヤフラム９３０及び下側ハウジング部材９１０の凹部９１２の大径壁部９１２ａとともに、空圧室Ｒ１を形成する。
【０２９９】
両通路部９２３、９２４は、弁機構３０ａ（後述する）の両側において、上側ハウジング部材９２０の内部に形成されており、通路部９２３は、空気供給源Ａから圧送される空気を弁機構３０ａ内に流入させるように、図２１にて弁機構３０ａの左側にて、上側ハウジング部材９２０の内部に形成されている。また、通路部９２４は、空圧室Ｒ１内の空気を、配管Ｐ４を介し、開閉弁８００の流入孔部８１２ａ内に流入させるように、弁機構３０ａの右側にて、上側ハウジング部材９２０の内部に凹所９２２からＬ字状に延出形成されている。
【０３００】
ダイヤフラム９３０は、図２１にて示すごとく、上記第２実施形態にて述べたダイヤフラム７３０の円板状厚膜部７３１、円環状可撓性薄膜部７３２及び円環状フランジ部７３３にそれぞれ対応する円板状厚膜部９３１、円環状可撓性薄膜部９３２及び円環状フランジ部９３３と、上記第２実施形態にて述べたリフトストップ部２５ｄとによって構成されている。
【０３０１】
このように構成したダイヤフラム９３０は、フランジ部９３３にて、Ｏリング９４０と大径壁部９１２ａ及び小径壁部９１２ｂとの間の円環状境界段部との間に気密的に挟持されている。これにより、当該ダイヤフラム９３０は、凹部９１２を、空圧室Ｒ１及び液圧室Ｌ１として区画して、その薄膜部９３２の下方への撓みにより、厚膜部９３１にて、液圧室Ｌ１側へ押動するように変位し、この変位状態のもと、薄膜部９３２の上方への撓みのもとに空圧室Ｒ１側へ変位する。
【０３０２】
弁機構３０ａは、上記第２実施形態と同様の構成を有して、上側ハウジング部材９２０内に設けられている。この弁機構３０ａは、図２１にて示すごとく、ダイヤフラム９３０と同軸的に位置するように、上側ハウジング部材９２０の内部に設けられており、当該上流側弁機構３０ａの段付き孔部３７の内周面のうち左側中間部位には、左側開口部３７ｇが、支持柱３８の小径筒部３８ｂの外周面に対向するように形成されている。また、当該上流側弁機構３０ａのロッド３９は、その先端部にて、ダイヤフラム９３０の弁座部２５の窪み部２５ｅに着座可能に対向している。
【０３０３】
また、本第８実施形態においては、圧電変換ユニット５０Ａは、上記第７実施形態と同様にセンサ本体Ｂ５とは分離した構成にて採用されているものの、上記第７実施形態とは異なり、オリフィス８００ａと共に、開閉弁８００の下流側に設けられている。即ち、本第８実施形態においては、圧電変換ユニット５０Ａは、開閉弁８００の流出孔部８１２ｂから延出する配管Ｐ７と配管８との間に接続されている。
【０３０４】
しかして、この圧電変換ユニット５０Ａは、その中空部内に、開閉弁８００からその開弁状態にて配管Ｐ７を介し空気を圧送されて、当該空気の空圧を、空圧検出素子によりその受圧面にて検出し、この検出空圧に比例するレベルにて電気信号としてリード線ｆから発生する。
【０３０５】
また、オリフィス８００ａは、配管Ｐ８の中間部位に介装されており、このオリフィス８００ａは、開閉弁８００、配管Ｐ７及び圧電変換ユニット５０Ａの中空部を通り配管Ｐ８から外部に排出される空気の量を所定の絞り度合いにて絞る。
【０３０６】
以上のように構成した本第８実施形態において、開閉弁８００の閉弁状態において、空気供給源Ａからの空気が配管Ｐ６内に吐出されると、この空気は、開閉弁８００の給気部８１１ａ内に貫通孔部８１４から圧送されるとともに、配管Ｐ３を通りセンサ本体Ｂ５内にその通路部９２３から流入する。また、上記薬液供給源からの薬液が配管Ｐ１内に吐出されると、この薬液は、センサ本体Ｂ５内にその流入側ボス部９１０ｂから流入する。
【０３０７】
しかして、上述のように空気が開閉弁８００の給気部８１１ａ内に圧送されると、開閉弁８００が、給気部８１１ａ内への空気の空圧に応じて開弁する。また、上述のように空気がセンサ本体Ｂ５内にその通路部９２３から流入すると、この空気は、上記第２実施形態と同様に、段付き孔部３７の小径内孔部３７ａと鍔部３９ｃとの間に流入する。これに伴い、上記第２実施形態と同様に、ロッド３９が上動して小径内孔部３７ａと鍔部３９ｃとの間への流入空気を小径内孔部３７ａからダイヤフラム９３０のリフトストップ部２５ｄを介し空気室Ｒ１内に流入させる。
【０３０８】
すると、空気室Ｒ１内に流入した空気は、センサ本体Ｂ５の通路部９２４、配管Ｐ４及び開弁状態にある開閉弁８００の流入孔部８１２ａ、開口部８１１ｃ及び流出孔部８１２ｂ、並びに配管Ｐ７を通り圧電変換ユニット５０Ａの中空部内に流入する。このように当該中空部内に流入した空気は、オリフィス８００ａにより絞られて配管Ｐ８を通り外部に流出する。
【０３０９】
また、上述のように薬液がセンサ本体Ｂ５内にその流入側ボス部９１０ｂから流入すると、当該薬液は、センサ本体Ｂ５の液圧室Ｌ１及び流出側ボス部９１０ｃ、並びに配管Ｐ２を通り上記処理カップ内に流入する。
【０３１０】
このような空気及び薬液の流動過程においては、センサ本体Ｂ５の空圧室Ｒ１内に流入する空気の空圧がダイヤフラム９３０に空圧室Ｒ１側から作用するとともに、センサ本体Ｂ５の液圧室Ｌ１内に流入する薬液の液圧がダイヤフラム９３０に液圧室Ｌ１側から作用する。
【０３１１】
これに伴い、ダイヤフラム９３０が、その厚膜部９３１にて、空圧室Ｒ１内の空圧と液圧室Ｌ１内の液圧との差に応じて変位し、ダイヤフラムＶｂがその開度にて調整される。このため、空圧室Ｒ１内の空圧が、ダイヤフラムＶｂの開度に応じて、オリフィス８００ａの絞り作用のもとに、開閉弁８００の流出孔部８１２ｂ及び流入孔部８１２ａを介し圧電変換ユニット５０Ａの中空部内にて上記空圧検出素子の受圧面に作用する。このため、圧電変換ユニット５０Ａは、上記空圧検出素子によりその受圧面にて検出し、この検出空圧に比例するレベルにて電気信号を発生する。
【０３１２】
以上によれば、本第８実施形態では、センサ本体Ｂ５、開閉弁８００、圧電変換ユニット５０Ａ及びオリフィス８００ａが、上記第２実施形態にて述べたセンサ本体Ｂ１（オリフィス４１ｄを含む）、開閉弁６０ａ及び圧電変換ユニット５０のように互いに一体的に組み付けられているとは異なり、相互に分離して位置するように構成されていても、これらセンサ本体Ｂ５、開閉弁８００、圧電変換ユニット５０Ａ及びオリフィス８００ａは、それぞれ、センサ本体Ｂ１（オリフィス４１ｄを含む）、開閉弁６０ａ及び圧電変換ユニット５０と同様に機能する。
【０３１３】
これにより、本第８実施形態においても、圧力センサＳｄは、上記第２実施形態にて述べた圧力センサＳｂと同様に作動することで、当該圧力センサＳｂと同様の作用効果を達成し得る。
【０３１４】
なお、本発明の実施にあたり、上記実施形態に限ることなく、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）本発明の実施にあたり、上記第１実施形態とは異なり、安全機構６０を構成する開閉弁６０ａ及び配管６０ｂを、上壁４０の流出孔部４７及び凹部４６とともに廃止してもよい。これによれば、上記第１実施形態にて述べた各作用効果のうち安全機構６０による作用効果以外の作用効果を達成することができる。
（２）本発明の実施にあたり、上記第２実施形態とは異なり、安全機構６０を構成する開閉弁６０ａ及び配管６０ｂを、上壁４０の通路４８、Ｏリング４８ａ及び凹部４６とともに廃止してもよい。これによれば、上記第２実施形態にて述べた各作用効果のうち安全機構６０による作用効果以外の作用効果を達成することができる。
（３）本発明の実施にあたり、上記第２実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２５に代えて、上記第１実施形態にて述べた上側ダイヤフラム２４を採用し、上記第２実施形態にて述べた弁機構３０ａを廃止して、Ｔ字状通路３６をその通路部３６ａにて直接空圧室Ｒ１に連通させるようにしてもよい。
（４）本発明の実施にあたり、流量検出装置は、上記第３実施形態にて述べた構成に代えて、上記第１実施形態にて述べた圧力センサＳａを２つ採用し、これら両圧力センサＳａの一方の流出側ボス２０ｃと他方の圧力センサＳａの流入側ボス２０ａとの間に、上記第３実施形態にて述べた絞り通路２３０に相当する絞り通路素子を接続して、両圧力センサＳａの検出出力を上記流量変換回路により薬液の流量に変換するようにしても、上記第３実施形態と同様の作用効果を達成できる。
（５）本発明の実施にあたり、圧電変換ユニット５０の空圧検出素子５２は、上記第１実施形態とは異なり、その受圧面にて、上壁４０の上面との間にて、中空部４２内に連通する間隙部を形成するように、筒体５１の開口部５１ａに嵌着するようにしてもよい。ここで、空圧検出素子５２の受圧面は、単独で、或いは、上記間隙部を含めて受圧部と把握してもよい。
【符号の説明】
【０３１５】
ａ…隆起部、Ｈ、Ｊ…ハウジング、Ｈ１、Ｊ１…下側ハウジング部材、
Ｈ２、Ｊ２…上側ハウジング部材、Ｒ１、Ｒ１１…空圧室、
２０ｂ、２０ｃ…筒状ボス、２１ａ、２１０ａ…大径穴部、
２１ｂ、２１０ｂ…小径穴部、２１ｃ、２１０ｃ…封止部材、
２２、２４、２５、２６、２７、２２０、２４０、２５０…ダイヤフラム、
２３、２３０…液圧室Ｌ１、２３０ａ、２３ｂ、２３０ｂ…通路部、
２４ｄ、２４０ｄ…弁体部、２５ｄ…リフトストップ部、３０ａ…弁機構、
３２ａ、３２０ａ…環状部、３４…排出通路、３５、４８…通路、
３６…Ｔ字状通路、３６ｂ…通路部、３７…段付き孔部、３７ａ…小径内孔部、
３７ｃ…大径内孔部、３８ｂ…小径筒部、３９…ロッド、３９ａ、
６８…コイルスプリング、３９ｂ…ロッド本体、３９ｃ…鍔部、
４１、４１０、３４０…通路、４１ｄ、４１２…オリフィス、
４２、４３０…中空部、４６、４４０…凹部、６０ａ…開閉弁、６０ｂ…配管、
６６…弁体部、２３０ｂ…絞り通路、４２０…共通通路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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