(57)【要約】【課題】ＩＣに対する局所冷却の際の室温過冷却を抑制できるＩＣ低温テストの温度制御装置の提供。【解決手段】ＩＣ低温テストの温度制御装置は、テスト室１０内の室温ＴＲを検知する室温センサＳＲからの室温情報ＩＲに応じて第１バルブＶ１を開閉制御し液体窒素Ｎ２をテスト室１０内にファン２０の第１ノズルＡから吹き込む室温コントローラ３０と、テスト室１０内のテストボード１２上のソケット１４に設定されて電気テスト中のＩＣ１４の近傍温度ＴＩＣを検知するＩＣ温度センサＳＩＣからのＩＣ温度情報Ｉに応じて第２のバルブＶ２を開閉制御し液体窒素Ｎ２をＩＣ１６に向けてファン２０の第２ノズルＢから吹き込む局所温度コントローラ４０と、第２バルブＶ２を開成する際、室温度情報ＩＲとＩＣ温度情報Ｉとに基づいて乾燥圧縮空気から室温ＴＲよりも高い冷気温度ＴＨの冷気を生成してテスト室１０内に吹き込む冷気発生器５０を有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスト室内の室温を検知する第１温度センサからの第１温度情報に応じて第１バルブを開閉制御し冷却ガスを前記テスト室内に吹き込む室温コントローラと、前記テスト室内のテストボード上のソケットに設定されて電気テスト中のＩＣの近傍温度を検知する第２温度センサからの第２温度情報に応じて第２バルブを開閉制御し冷却ガスを前記ＩＣに向けて吹き込む局所温度コントローラとを備えたＩＣ低温テストの温度制御装置において、
前記第２バルブを開成する際、前記第１温度情報と前記第２温度情報とに基づいて前記室温よりも高い温度の低温エアーを前記テスト室内に吹き込む過冷却抑制手段を有することを特徴とするＩＣ低温テストの温度制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＩＣ低温テストの温度制御装置において、前記過冷却抑制手段はボルテックス・チューブを用いて成ることを特徴とするＩＣ低温テストの温度制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣテストハンドラーに関し、特に、ＩＣ低温テストの温度制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣテストハンドラーにおけるＩＣ低温テストの温度制御装置は、テスト室内の室温を検知する第１温度センサからの第１温度情報に応じて第１バルブを開閉制御し液体窒素をテスト室内に吹き込む室温コントローラと、テスト室内のテストボード上のソケットに設定されて電気テスト中のＩＣから発生する熱を局所的に冷ますために、当該ＩＣの近傍温度を検知する第２温度センサからの第２温度情報に応じて第２のバルブを開閉制御し液体窒素をＩＣに向けて吹き込む局所温度コントローラを備えている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記の温度制御装置においては、液体窒素をＩＣに向けて吹き付けると、ＩＣから発生する熱を局所的且つ急速に冷ますことができるものの、テスト室内の室温（全体温度）も低下させて過冷却となり、室温が所定温度へ上昇復帰するまで不適正温度期間が紛れ込み、ＩＣ低温テストの低温恒常性に劣る。
【０００４】
そこで、上記問題点に鑑み、本発明の課題は、ＩＣに対する局所冷却の際の室温過冷却を抑制できるＩＣ低温テストの温度制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明は、テスト室内の室温を検知する第１温度センサからの第１温度情報に応じて第１バルブを開閉制御し冷却ガスを前記テスト室内に吹き込む室温コントローラと、テスト室内のテストボード上のソケットに設定されて電気テスト中のＩＣの近傍温度を検知する第２温度センサからの第２温度情報に応じて第２バルブを開閉制御し冷却ガスをＩＣに向けて吹き込む局所温度コントローラとを備えたＩＣ低温テストの温度制御装置において、第２のバルブを開成する際、第１温度情報と第２温度情報とに基づいて室温よりも高い温度の低温エアーをテスト室内に吹き込む過冷却抑制手段を有することを特徴とする。
【０００６】
このようなＩＣ低温テストの温度制御装置においては、第２バルブを開成してＩＣに対する局所冷却の際、過冷却補償手段により第１温度情報と第２温度情報とに基づいて室温よりも高い温度の低温エアーを吹き込むようになっている。エアーの吹き込みにより応答性良く、テスト室内の過冷却を抑制でき、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
【０００７】
この過冷却抑制手段としてはボルテックス・チューブを用い、圧縮空気から冷気をテスト室内に吹き込むようにする。温度補償の応答性が速いため、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ＩＣに対する局所冷却の際の室温過冷却を抑制できる
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係るＩＣ低温テストの温度制御装置の実施例を示す概念図である。
【図２】同実施例において使用するボルテックス・チューブを示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るＩＣ低温テストの温度制御装置の実施例を示す概念図、図２は同実施例において使用するボルテックス・チューブを示す概念図である。
【００１１】
本例のＩＣテストハンドラーにおけるＩＣ低温テストの温度制御装置は、テスト室１０内の室温ＴＲを検知する室温センサＳＲからの室温情報ＩＲに応じて第１バルブＶ１を開閉制御し液体窒素Ｎ２をテスト室１０内にファン２０の第１ノズルＡから吹き込む室温コントローラ３０と、テスト室１０内のテストボード１２上のソケット１４に設定されて電気テスト中のＩＣ１４の近傍温度ＴＩＣを検知するＩＣ温度センサＳＩＣからのＩＣ温度情報Ｉに応じて第２のバルブＶ２を開閉制御し液体窒素Ｎ２をＩＣ１６に向けてファン２０の第２ノズルＢから吹き込む局所温度コントローラ４０を備える。また、第２バルブＶ２を開成する際、室温度情報ＩＲとＩＣ温度情報Ｉとに基づいて乾燥圧縮空気から室温ＴＲよりも高い冷気温度ＴＨの冷気を生成してテスト室１０内に吹き込む冷気発生器（過冷却抑制手段）５０を有する。
【００１２】
この冷気発生器５０はボルテックス効果を発揮するボルテックス・チューブで、図２に示す如く、乾燥圧縮空気源に接続した供給口５１から第３のバルブＶ３を開くことにより、外側の旋回流（自由渦）が生じて暖気排出口５２から暖気が排出されると共に、内側の旋回流（強制流）が冷気吐出口５３より冷気として吐き出されるようになっている。
【００１３】
このようなＩＣ低温テストの温度制御装置においては、第２バルブＶ２を開成してＩＣ１６に対する局所冷却の際、冷気発生器５０により室温情報ＩＲとＩＣ温度情報Ｉとに基づいて室温ＴＲよりも高い冷気温度ＴＨの冷気（低温エアー）を吹き込むため、エアーの吹き込みにより応答性良く、テスト室１０内の過冷却を抑制でき、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
【００１４】
また、この冷気発生器５０としてはボルテックス・チューブを用い、乾燥圧縮空気から冷気をテスト室１０内に吹き込むようになっている。温度補償の応答性が速いため、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
【符号の説明】
【００１５】
１０…テスト室
１２…テストボード
１４…ソケット
１６…ＩＣ
２０…ファン
３０…室温コントローラ
４０…局所温度コントローラ
５０…冷気発生器
５１…供給口
５２…暖気排出口
５３…冷気吐出口
Ａ…第１ノズル
Ｂ…第２ノズル
Ｉ…ＩＣ温度情報
ＩＲ…室温情報
Ｎ２…液体窒素
ＳＩＣ…ＩＣ温度センサ
ＳＲ…室温センサ
ＴＨ…冷気温度
ＴＩＣ…近傍温度
ＴＲ…室温
Ｖ１…第１バルブ
Ｖ２…第２バルブ
【図１】
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【図２】
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