(57)【要約】【課題】ペースト塗布装置のガントリと架台とを分割することにより装置を小型化して搬送し、これらを組み立てるに際して精密な位置決めを可能にする。【解決手段】ペースト塗布装置は、架台１からガントリ２Ｂを取り外し可能である。台車式搬送装置は、２台の搬送台車４０ａ，４０ｂからなり、これらは同じ構造をなしている。搬送台車４０ａは、下開きの「コ」の字状の外側脚４３ａと「Ｈ」の字状の内側脚４４ａとが、中央付近で回転可能に取り付けられ、外側脚４３ａと内側脚４４ａとの上端部が天板４６ａに移動可能に当接し、これらの下端部が底板４５ａに移動可能に当接している。これにより、搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａの伸縮動作に応じて、外側脚４３ａと内側脚４４ａが回動し、天板４６ａが上下動する。そして、搬送台車４０ａ，４０ｂ夫々の天板４６ａ，４６ｂにガントリ２Ｂの横梁２ａの端部が搭載されて固定される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から該基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置の該ガントリを搬送するための台車式搬送装置であって、
該ガントリの夫々の端部を支持する２台の搬送台車からなり、
該搬送台車は、支持する該ガントリの端部の高さを変えられる上下動手段を備えたことを特徴とする台車式搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の台車式搬送装置において、
前記ガントリの両端の支持は、前記搬送台車での取付面に前記ガントリの両端をボルト締結することによるものであることを特徴とする台車式搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の台車式搬送装置において、
前記上下動手段は、電動機によって駆動されることを特徴とする台車式搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の台車式搬送装置において、
前記電動機によって駆動される前記夫々の搬送台車の前記上下動手段は、高さを変えるときにほぼ同時に上下動作を開始し、かつほぼ同じ速度によって連動して動作することを特徴とする台車式搬送装置。
【請求項５】
ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から該基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置の該ガントリを搬送するための搬送台車によるガントリの搬送及び組立方法において、
該搬送台車は２台を一組として、該搬送台車で該ガントリの夫々の端部を支持し、該夫々の搬送台車で、上下手段により、支持した該ガントリの両端の高さを変えられることを特徴とした搬送及び組立方法。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送及び組立方法において、
前記ガントリの両端の支持は、前記搬送台車での取付面に前記ガントリの両端をボルト締結することによるものであることを特徴とする搬送及び組立方法。
【請求項７】
請求項５に記載の搬送及び組立方法において、
前記上下動手段は、電動機によって駆動することを特徴とする搬送及び組立方法。
【請求項８】
請求項７に記載の搬送及び組立方法において、
前記電動機によって駆動される前記夫々の搬送台車の前記上下動手段は、高さを変えるときにほぼ同時に上下動作を開始し、かつほぼ同じ速度によって連動して動作することを特徴とする搬送及び組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルの製造過程で、基板上にペーストを塗布するための、また、液晶を滴下するためのペースト塗布装置に係り、特に、塗布ノズルが取り付けられたガントリを架台に取り付けたり、取り外したりするための台車式搬送装置と搬送及び組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のペースト塗布装置の一例とし、ガントリフレームを含む門型のベースユニットと、基板を載置するテーブルユニットとが分離できる構造のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
かかるペースト塗布装置をトラックなどで移送する場合、一旦、テーブルユニットを門型ベースユニットから取り外して門型ベースユニットの外方に分離移動することにより、門型ベースユニットの内方に空間を設け、次に、ガントリフレームを回転して折り畳まれた状態とする。これにより、トラック等での移送時には、占有スペースが小さくなるように変形できるものである。折り畳み動作による位置再現性に関しては、絶対値エンコーダを使って値を記憶させることで位置調整を容易にする。
【０００４】
また、他の例としては、塗布ヘッドを備えたガントリ構造を有し、塗布ヘッドがガラス基板上部でペーストの塗布動作を行なうようにしたペースト塗布装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
かかるペースト塗布装置では、架台上部に２台のガントリが設置され、これらガントリの横梁上を塗布ヘッドがＹ軸方向に駆動され、また、ガントリ自体はリニアモータによってＸ軸方向に駆動されるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−５５５５４号公報
【特許文献２】特許第３７０１８８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＬＣＤなどのフラットパネルの分野においては、ガラス基板サイズの大型化が急速に進んでおり、これに伴ってペースト塗布装置も大型化してきており、もはやガラス基板を搭載するＸＹテーブルを駆動し、塗布ノズルを上下動させるだけで描画する方式では、省スペース化を図りにくくなってきている。
【０００８】
そこで、上記の特許文献１，２に記載のペースト塗布装置では、ペースト描画時には、ガラス基板をＸ軸テーブル上で移動させ、上部に設置した門型フレーム上のＹ軸方向に移動可能に設置された塗布ノズルでペースト描画する方式が提案されてきた。これは、ガラス基板と塗布ノズルがそれらの相対位置関係を変化させながらペースト塗布する方式であり、装置の小型化が図れるものである。
【０００９】
しかしながら、さらにガラス基板サイズの大型化が進み、この方式のまま比例してペースト塗布装置を大きくすると、搬送車の幅限界を超えてしまい、輸送が困難な状況となってしまう。
【００１０】
そこで、塗布ノズルとその移動機構とが設けられた横梁を備えたガントリと、架台に固定して設置されたこのガントリの移動機構を支持する部分とを、基板を搭載するテーブルの外側または下側の位置で分割できるようにした構造が提案されている。
【００１１】
しかし、このような構造のものにおいては、分割されたガントリを、いかに精度良く架台に組み立てるかが課題となる。新たに可動部を増やし、位置を計測して高精度の組み立て状態を再現しようとしても、可動部での微小ずれを皆無にすることは困難を極めるし、このように位置計測によって組み立て状態を再現しようとしても、完全な再現を実現することは同じく困難を極めることになる。また、トラック等での移送は専ら目的地でペースト塗布装置を据え付けために行なわれるものであり、ペースト塗布装置が一旦据え付けられると、それを頻繁に移送することはまれであり、装置の移送よりも、むしろ組み立てに際しての確実な位置決めの方が優先する場合が多い。
【００１２】
本発明の目的は、かかる問題を解消し、ガントリと架台とを分割することにより装置を小型化して搬送し、その後これらを組み立てるに際して精密な位置決めを可能にするペースト塗布装置等に対応可能な小型軽量の簡便な台車式搬送装置と搬送及び組立方法を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、分解時においても、組立時と逆の手順によって確実に取り外し可能であって、その後の再組立に位置再現性に支障を来さない小型軽量で簡便な台車式搬送装置と搬送及び組立方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明は、ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置のガントリを搬送するための台車式搬送装置であって、ガントリの夫々の端部を支持する２台の搬送台車からなり、搬送台車は、支持するガントリの端部の高さを変えられる上下動手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明による台車式搬送装置は、ガントリの両端の支持が、搬送台車での取付面にガントリの両端をボルト締結することによるものであることを特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明による台車式搬送装置は、上下動手段が、電動機によって駆動されることを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明による台車式搬送装置は、電動機によって駆動される夫々の搬送台車の上下動手段が、高さを変えるときにほぼ同時に上下動作を開始し、かつほぼ同じ速度によって連動して動作することを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置のガントリを搬送するための搬送台車によるガントリの搬送及び組立方法において、搬送台車は２台を一組として、搬送台車でガントリの夫々の端部を支持し、夫々の搬送台車で、上下手段により、支持したガントリの両端の高さを変えられることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明による搬送及び組立方法は、ガントリの両端の支持が、搬送台車での取付面にガントリの両端をボルト締結することによるものであることを特徴とする。
【００２０】
さらに、本発明による搬送及び組立方法は、上下動手段が、電動機によって駆動することを特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明による搬送及び組立方法は、電動機によって駆動される夫々の搬送台車の上下動手段は、高さを変えるときにほぼ同時に上下動作を開始し、かつほぼ同じ速度によって連動して動作することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、第１に、取り扱うガラス基板が大型化し、これに伴って塗布ヘッドを支持するガントリが大型化しても、ガントリの組み付け、取り外しを可能として、装置をより小型にして輸送することができ、第２に、ガントリの組み付け、取り外しを簡便でかつ精度良く行なうことができ、第３に、架台から切り離された状態のガントリを搬送する手段として用いることにより、搬送手段や持上げ・降ろし手段を追加準備する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明による台車式搬送装置と搬送及び組立方法の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】ペースト塗布装置の一具体例の組み立てた状態を示す斜視図である。
【図３】図２に示す塗布ヘッド部におけるヘッド部分を拡大して示す斜視図である。
【図４】図２に示すペースト塗布装置の制御システムの一具体例を示すブロック図である。
【図５】図４における副制御部の一具体例を示すブロック図である。
【図６】図２に示すペースト塗布装置の全体動作の一具体例を示すフローチャートである。
【図７】図２におけるガントリと架台との取付部の一具体例を示す斜視図である。
【図８】図１に示す実施形態の搬送台車の速度制御パターンを示す図である。
【図９】図１に示す実施形態の台車搬送装置を用いてガントリを架台に組み付ける作業の手順の一具体例を示すフローチャートである。
【図１０】図１に示す実施形態の台車搬送装置を用いてガントリを架台１から取り外す作業の手順の一具体例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
装置の大型化に伴って、組立，調整作業後の装置一体の状態のままで製造元から据付先等へ陸上輸送するには、道路の幅制限等のため、支障をきたす状況になってきている。
【００２５】
そこで、本発明では、ガントリの支持体と直動ガイドとの接続部付近でガントリ側と直動ガイド側とが切り離し可能な状態で、搬送台車がガントリ側を支持し、このように支持したまま長時間保持できるようにした。これによって、陸上輸送時には、ガンドリ側と直胴ガイド側とを分割して搬送でき、据付先では、精度を低下することなく組み立て接続し、装置を稼動できる状態に整える。このとき、搬送台車に搭載するガントリは水平状態を維持したままで、上下動作できる構造としている。
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
【００２７】
なお、以下に説明する実施形態は、門型フレーム構造で基板面上にペーストパターン（シール材パターン）を描画するペースト塗布装置に関するものであるが、同様に、門型フレーム構造で基板上に液晶を滴下する滴下装置にも適用できることはいうまでもない。
【００２８】
図１は本発明による台車式搬送装置と搬送及び組立方法の一実施形態を示す斜視図であって、１は架台、２Ｂはガントリ、２ｂは横梁、５は基板載置テーブル（基板保持機構）、１８ａｂはモータドライバ、４０は台車式搬送装置、４０ａ，４０ｂは搬送台車、４１ａ，４１ｂはガントリ固定部材、４２ａ，４２ｂは搬送台車用サーボモータユニット、４３ａ，４３ｂは外側脚、４４ａ，４４ｂは内側脚、４５ａ，４５ｂは底板、４６ａ，４６ｂは天板、５０ａ，５０ｂは台車モータドライバである。なお、図１に対応する部分には同一符号を付けている。
【００２９】
同図において、この実施形態の台車式搬送装置４０は、２台の搬送台車４０ａ，４０ｂとこれらを駆動するための台車モータドライバ５０ａ，５０ｂとからなるものである。これら搬送台車４０ａ，４０ｂは、架台１の内部に設けられた主制御部のモータコントローラ１７ａｂによって制御される台車モータドライバ５０ａ，５０ｂにより、ペースト塗布装置の１または複数の塗布ヘッド部（図示せず）を直動案内するガントリ（門型フレーム部）を搬送するものである。
【００３０】
ここで、このペースト塗布装置は、上面側に基板載置テーブル５が設けられた架台１上に２台のガントリがＸ軸方向に移動可能に取り付けられた構成をなしており、これらガントリが架台１から取り外したり、架台１に取り付けたりすることができる。かかるペースト塗布装置を搬送する際、架台１からこれらガントリを取り外したり、架台１にガントリを取り付けたりするのに搬送台車４０ａ，４０ｂが用いられる。
【００３１】
図１は架台１から取り外された一方のガントリ２Ｂが台車式搬送装置、即ち、２台の搬送台車４０ａ，４０ｂに載置されている状態を示すものである。
【００３２】
以下では、まず、本発明による台車式搬送装置及びその搬送方法が用いられるペースト塗布装置の具体例について説明し、図１に示す実施形態については、このペースト塗布装置を例にして後述する。
【００３３】
図２はペースト塗布装置の一具体例の組み立てた状態を示す斜視図であって、１は架台、２Ａ，２Ｂはガントリ、２ａ，２ｂは横梁、３はＹ軸方向移動機構（リニアレール）、４ａ，４ｂはレール、５は基板保持機構、６ａ，６ｂはＸ軸方向移動機構、７ａ，７ｂは横梁側支持部材、８ａ，８ｂは架台側支持部材、９はＺ軸移動テ−ブル支持ブラケット、１０はＺ軸移動テ−ブル、１１はＺ軸サーボモータ、１２は塗布ヘッド部である。
【００３４】
なお、対向して設置した複数の塗布ヘッド各部は、煩雑となることを避けるため番号を省略するが、同様の構成となっている。
【００３５】
同図において、架台１上には、Ｘ軸方向に配列されて互いに対向した２つのガントリ２Ａ，２Ｂが設けられている。ガントリ２Ｂは長さ方向がＹ軸方向の横梁２ｂとその両端側に固定して設けられた横梁側支持部材７ａ，７ｂとからなり、一方の横梁側支持部材７ａが、架台１のＸ軸に沿う一方の辺側に設けられたレール４ａに沿って、Ｘ軸方向移動機構６ａにより、移動する架台側支持部材８ａに締結され、他方の横梁側支持部材７ｂも、同様に、架台１のＸ軸に沿う他方の辺側に設けられたレール４ｂに沿って、Ｘ軸方向移動機構６ｂにより、移動する架台側支持部材３２ｂに締結されている。これにより、ガントリ２ｂは、２つのＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂにより、Ｘ軸方向に移動する。
【００３６】
ガントリ２Ａも、同様であって、横梁２ａと、符号は省略しているが、この横梁２ａの両端側に固定して設けられた横梁側支持部材とから構成され、夫々の横梁側支持部材がレール４ａ，４ｂに沿ってＸ軸方向に移動する架台側支持部材に締結されている。これにより、ガントリ２ａも、Ｘ軸方向移動機構により、Ｘ軸方向に移動する。
【００３７】
レール４ａ，４ｂ間には、基板（図示せず）を保持する基板載置テーブル５が設けられており、上記の構成のガントリ２Ａ，２Ｂは、この基板載置テーブル５を抱え込むようにして、架台１に取り付けられており、これらガントリ２Ａ，２Ｂの横梁２ａ，２ｂが基板載置テーブル５をＹ軸方向で全体にわたって横切った状態で、Ｘ軸方向に移動する。
【００３８】
ガントリ２Ａの横梁２ａのガントリ２Ｂと対向する側の面には、Ｙ軸方向の直動ガイドが設けられており、これに沿ってリニアモータを備えた複数の塗布ヘッド部１２がＹ軸方向に配列されて設けられて入る。これら塗布ヘッド部１２は夫々、Ｙ軸方向移動機構（リニアレール）３により、ガントリ２Ａの面に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００３９】
夫々の複数の塗布ヘッド部１２では、これらを支持するためのＹ軸方向移動用リニアサーボモータが裏面側に設けられ、表側にＺ軸サーボモータ１１が設けられたＺ軸移動テ−ブル支持ブラケット９を備えている。このＺ軸移動テ−ブル支持ブラケット９に、このＺ軸サーボモータ１１によってペースト塗布部を上下に移動させるＺ軸移動テーブル１０が設けられている。
【００４０】
ガントリ２Ｂも、同様であって、横梁２ｂのガントリ２Ａと対向する側の面に夫々リニアモータを備えた複数の塗布ヘッド部がＹ軸方向に配列されて設けられており、これら塗布ヘッド部は夫々、Ｙ軸方向移動機構（リニアレール）により、ガントリ２Ｂの面に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００４１】
図３は図２の塗布ヘッド部１２におけるヘッド部分を拡大して示す斜視図であって、１３はペースト収納筒（シリンジ）、１４はノズル支持具、１５はノズル、１６は距離計、１７は基板である。
【００４２】
同図において、Ｚ軸移動テーブル１０（図２）には、ペースト収納筒１３やノズル１５が設けられたノズル支持具１４や距離計１６，照明の可能な光源を備えた鏡筒（図示せず），画像認識カメラ（図示せず）が取り付けられている。ペースト収納筒１３からノズル１５の先端までは、ノズル支持具１４によって支持されている。
【００４３】
なお、上記の鏡筒や画像認識カメラは、各塗布ヘッド部１２の塗布ノズルの平行調整や間隔調整用に使用される他、基板１７の位置合わせやペーストパターンの形状認識などに使用されるために、基板１７に対向するように設けられている。
【００４４】
距離計１６は、ノズル１５の先端部に対してガラスからなる基板１７の表面（上面）までの距離を非接触式の三角測距法で計測する。即ち、距離計１６の筐体内に発光素子が設けられ、この発光素子から放射されたレーザ光は基板１７上の計測点Ｓで反射し、同じく筐体内に設けられた受光素子で受光され、受光位置に応じてノズル１５の先端部と基板１７との間の距離を計測する。また、基板１７上でのレーザ光の計測点Ｓとノズル１５の直下位置とは、基板１７上で僅かな距離ΔＸ及びΔＹだけずれているが、この僅かな距離のずれでは、基板１７の表面の凹凸の差が無視できる範囲なので、距離計１６の計測結果とノズル１５の先端部から基板１７の表面（上面）までの距離との間に差は殆ど存在しない。従って、この距離計１６の計測結果に基づいてＺ軸移動テーブル１０（図２）を制御することにより、基板１７の表面の凹凸（うねり）に合わせてのノズル１５の先端部から基板１７の表面（上面）までの距離（間隔）を一定に維持することができる。
【００４５】
このようにして、ノズル１５の先端部から基板１７の表面（上面）までの距離（間隔）を一定に維持し、かつ、ノズル１５から吐出される単位時間当りのペースト量を一定に維持することにより、基板１７上に塗布描画されるペーストパターンは幅や厚さが一様になる。
【００４６】
図４は図２に示すペースト塗布装置の制御システムの一具体例を示すブロック図であって、１８ａは主制御部、１８ａａはマイクロコンピュータ、１８ａｂはモータコントローラ、１８ａｃはデータ通信バス、１８ａｄは外部インターフェース、１８ａｅは画像認識装置、１８ａｆは各塗布ヘッド移動用のＹ軸リニアモータ・ドライバ、１８ａｇは塗布ヘッドの間隔を調整するＸ軸のリニアモータ・ドライバ、１８ａｈはθ軸テーブルのモータ・ドライバ、１８ｂは副制御部、１８ｃはハードディスク、１８ｄはＵＳＢメモリ、１８ｅは通信ケーブル、１８ｆはモニタ、１８ｇはキーボード、１９はレギュレータ、２０はバルブユニット、２１は画像認識カメラである。
【００４７】
同図において、各機構の駆動を行なうリニアモータとテーブルを移動するサーボモータを制御する主制御部１８ａが、架台１（図２）の内部に設けられている。主制御部１８ａは、通信ケーブル１８ｅを介して、副制御部１８ｂに接続されている。副制御部１８ｂは、Ｚ軸移動テーブル１０（図２）を駆動するサーボモータ１０（図２）を制御する。主制御部１８ａには、モニタ１８ｆやキーボード１８ｇ，外部記憶装置であるハードディスク１８ｃ，ＵＳＢメモリ１８ｄが接続されている。キーボード１８ｇから入力されたデータなどは、外部記憶装置であるハードディスク１８ｃやＵＳＢメモリ１８ｄなどの記憶媒体に記憶保管される。
【００４８】
台車モータドライバ５０ａ、５０ｂは、図１に示すように、台車式搬送装置の搬送台車４０ａ，４０ｂの上下動の駆動源となる搬送台車用サーボモータ４２ａ，４２ｂのドライバである。２台の搬送台車４０ａ，４０ｂの高さを計測しながら、手動で上下する方法もあるが、この実施形態では、モータを採用した例である。
【００４９】
主制御部１８ａは、マイクロコンピュータ１８ａａやモータコントローラ１８ａｂ、Ｘ軸，Ｙ軸，θ軸等の各軸ドライバ１８ａｆ〜１８ａｈ、各位置毎の複数の画像認識カメラ２１のいずれかで得られる映像信号を処理する画像処理装置１８ａｅ、副制御部１８ｂ、レギュレータ１９、バルブユニット２０の制御を行なう外部インターフェース１８ａｄを内蔵している。
【００５０】
また、マイクロコンピュータ１８ａａには、図示しないが、主演算部や後述する塗布描画を行なうための処理プログラムを格納したＲＯＭ，主演算部での処理結果や外部インターフェース１８ａｄ及びモータコントローラ１８ａｂからの入力データを格納するＲＡＭ，外部インターフェース１８ａｄやモータコントローラ１８ａｂとデータをやりとりする入出力部などを備えている。
【００５１】
各モータには、位置を検出するリニアスケールと回転量を検出するエンコーダが内蔵されており、その検出結果をＸ軸，Ｙ軸，テーブルＹ軸等の各軸ドライバ１８ｆ〜１７ｈに戻して位置制御を行なっている。
【００５２】
図５は図４における副制御部１８ｂの一具体例を示すブロック図であって、１８ｂａはマイクロコンピュータ、１８ｂｂはモータコントローラ、１８ｂｃはデータ通信バス、１８ｂｄは外部インターフェース、１８ｂｉはＺ軸モータ用ドライバであり、前出の図面に対応する部分には同一符号をつけている。
【００５３】
同図において、副制御部１８ｂは、マイクロコンピュータ１８ｂａやモータコントローラ１８ｂｂ，Ｚ軸ドライバ１８ｂｉ，距離計１６で得られる高さデータの入力や主制御部１８ａとの信号伝送を行なう外部インターフェース１８ｂｄを内蔵している。また、マイクロコンピュータ１８ｂａには、図示しないが、主演算部や後述する塗布描画時のノズル１５の高さ制御を行なうための処理プログラムを格納したＲＯＭ，主演算部での処理結果や外部インターフェース１８ｂｄ及びモータコントローラ１８ｂｂからの入力データを格納するＲＡＭ，外部インターフェース１８ｂｄやモータコントローラ１８ｂｂとデータをやりとりする入出力部などを備えている。Ｚ軸モータ１０（図２）には、回転量を検出するエンコーダが内蔵されており、その検出結果をＺ軸ドライバ１８ｂｉに戻してＺ軸モータ１０の位置制御を行なっている。
【００５４】
以上の主制御部１８ａと副制御部１８ｂの連携した制御のもとに、図２に示すペースト塗布装置での各モータが、キーボード１８ｇから入力されてマイクロコンピュータ１８ａａのＲＡＭに格納されているデータに基づいて移動・回転することにより、基板載置テーブル５（図２）に保持された基板１７（図３）を、Ｘ軸方向に任意の距離を移動し、かつ、ノズル部を上下に移動するＺ軸移動テーブル１０（図２）を介して、支持したノズル１５（図３）を、横梁２ａ，２ｂ（図２）の塗布ヘッドのＹ軸方向移動機構３（図２）により、Ｙ軸方向に任意の距離を移動し、その移動中、ペースト収納筒１３（図３）に設定した気圧が継続して印加されてノズル１５の先端部の吐出口からペーストが吐出され、基板１７に所望のペーストパターンが塗布される。
【００５５】
ノズル１５がＸ軸方向へ水平移動中に距離計１６（図３）がノズル１５と基板１７との間隔を計測し、これを常に一定の間隔を維持するように、ノズル１５がＺ軸移動テーブル１０の上下移動で制御される。
【００５６】
図６は図２に示すペースト塗布装置の全体動作の一具体例を示すフローチャートである。
【００５７】
同図において、電源が投入されると（ステップ１００）、まず、ペースト塗布装置の初期設定が実行される（ステップ１０１）。この初期設定工程では、図２において、各軸移動用のモータ及びＺ軸移動テーブル１０を駆動することにより、基板載置テーブル５をＸ方向に移動させて所定の基準位置に位置決めし、また、ノズル１５（図３）を、そのペースト吐出口がペースト塗布を開始する位置（即ち、ペースト塗布開始点）となるように、所定の原点位置に設定すると共に、さらに、ペーストパターンデータや基板位置データ，ペースト吐出終了位置データの設定を行なうものである。
【００５８】
かかるデータの入力はキーボード１８ｇ（図４）から行なわれ、入力されたデータは、前述したように、マイクロコンピュータ１８ａａ（図４）に内蔵されたＲＡＭに格納される。
【００５９】
この初期設定工程（ステップ１０１）が終了すると、次に、基板１７を基板吸着機構５（図２）に搭載して保持させる（ステップ１０２）。
【００６０】
続いて、基板予備位置決め処理（ステップ１０３）を行なう。この処理では、基板載置テーブル５に搭載された基板１７の位置決め用マークを複数の画像認識カメラ２１中から設定してある画像認識カメラを使用して撮影し、位置決め用マークの重心位置を画像処理で求めて基板１７のθ方向での傾きを検出し、これに応じて各軸ドライバ１８ａｆ〜１８ａｈ（図４）を制御して各軸サーボモータを駆動し、塗布ヘッドをＹ軸方向に移動し、このθ方向の傾きを補正する。以上により、基板予備位置決め処理（ステップ１０３）を終了する。
【００６１】
次に、ペーストパターン描画処理（ステップ１０４）を行なう。この処理では、まず、基板１７の塗布開始位置に各塗布ヘッド部１２（図２）のノズル１５の吐出口を位置移動させ、ノズル位置を精密に位置決めする。
【００６２】
次に、各塗布ヘッド部１２のサーボモータ及びＺ軸移動テーブル１０（図２）を動作させてノズル１５の高さをペーストパターン描画高さに設定する。
【００６３】
ノズルの初期移動距離データに基づいてノズル１５を初期移動距離分下降させる。続く動作では、基板１７の表面高さを各塗布ヘッド部１２の距離計１６（図３）により測定し、各塗布ヘッド部１２のノズル１５の先端がペーストパターンを描画する高さに設定されているか否かを確認し、描画高さに設定できていない場合は、ノズル１５を微小距離下降させ、上記の基板１７の表面計測とノズル１５の微小距離下降を繰返し動作を行ない、ノズル１５の先端をペーストパターンの塗布描画高さに設定する。
【００６４】
以上の処理が終了すると、次に、マイクロコンピュータ１８ａａ（図４）のＲＡＭに格納されたペーストパターンデータとθ方向の傾きを補正に基づいてガントリ２Ａ，２ＢがＸ軸方向に、これらガントリでの塗布ヘッド部１２がＹ軸方向に夫々駆動され、これにより、各ヘッドぷ１３でのノズル１５のペースト吐出口が基板１７に対向した状態で、このペーストパターンデータに応じて、ノズル１５と基板１７が夫々Ｘ，Ｙ軸方向に移動するとともに、ペースト収納筒１３（図３）に設定した気圧を印加してノズル１５のペースト吐出口からのペーストの吐出を開始する。
【００６５】
このようにして、基板１７へのペーストパターンの塗布が開始する。
【００６６】
そして、これとともに、図５で先に説明したように、副制御部１８ｂのマイクロコンピュータ１８ｂａは各塗布ヘッド部１２での距離計１６からノズル１５のペースト吐出口と基板１７の表面との間隔の実測デ−タが入力され、これにより基板１７の表面のうねりを測定して、この測定値に応じてＺ軸ドライバ１８ｂｉを制御してＺ軸サーボモータ１１（図２）を駆動することにより、基板１７の表面からのノズル１５の設定高さが一定に維持される。これにより、所望の塗布量でペーストパターンを塗布することができる。
【００６７】
以上のようにして、ペーストパターンの描画が進むが、ノズル１５のペースト吐出口が基板１７上の上記ペーストパターンデータによって決まる描画パターンの終端であるか否かの判断により、この終端でなければ、再び基板の表面うねりの測定処理に戻り、以下、上記の塗布描画を繰り返して、ペーストパターン形成が描画パターンの終端に達するまで継続する。
【００６８】
そして、この描画パターン終端に達すると、Ｚ軸サーボモータ１１を駆動してノズル１５を上昇させ、このペーストパターン描画工程（ステップ１０４）が終了する。
【００６９】
次に、基板排出処置（ステップ１０５）に進み、基板保持機構２（図２）での基板１７の保持を解除し、装置外に排出する。
【００７０】
そして、以上の全工程を停止するか否かを判定し（ステップ１０５）、複数枚の基板に同じパターンでペースト膜を形成する場合には（ステップ１０６の“Ｙｅｓ”）、基板搭載処理（ステップ３２０）から繰り返され、全ての基板についてかかる一連の処理が終了すると（ステップ１０６の“Ｎｏ”）、作業が全て終了（ステップ１０７）となる。
【００７１】
図７は図２におけるア部として示すガントリ２（ガントリ２Ａ，２Ｂの総称）と架台１との取付部の一具体例を示す斜視図であって、２２は締結ボルトであり、前出図面に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００７２】
同図において、ガントリ２の横梁側支持部材７ａの先端には、架台側支持部材８ａが固定されており、架台１上に設けられたレール４ａ上を移動するＸ軸方向移動機構６の上面上にこの架台側支持部材８ａが載置される。そして、このように、Ｘ軸方向移動機構６上に架台側支持部材８ａが載置された状態で、これらＸ軸方向移動機構６に架台側支持部材８ａが、締結ボルト２２により、締め付けられて固定される。このようにして、夫々のガントリ２がＸ軸方向移動機構６が固定され、架台１上をＸ軸方向に移動させることができる。
【００７３】
また、ガントリ２を架台１から分離するときには、締結ボルト２２を取り除けばよい。
【００７４】
次に、図１に示す本発明による台車式搬送装置と搬送及び組立方法の一実施形態について説明する。なお、搬送台車４０ａと搬送台車４０ｂとは、構造が同一であるので、一方の搬送台車４０ａについて説明する。
【００７５】
同図において、２本のバー状部材を上部で連結して下開きの「コ」の字の形状をした外側脚４３ａと２本のバー状部材を中央で連結して「Ｈ」の字の形状をした内側脚４４ａとが、中央付近で回転ヒンジで左右を接続されて回転可能に取り付けられている。外側脚４３ａの下側端は底板４５ａに鉛直面方向に回転可能な状態で固定され、外側脚４３ａの上側端はローラが付いており、そのローラが天板４６ａの裏を転がるように当接している。一方、内側脚４３ａの下側端には、ローラが取り付けられており、このローラが底板４５ａ上を転がるように当接している。内側脚４４ａの上側端は天板４６ａの裏に鉛直面方向に回転可能な状態で固定されている。
【００７６】
搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａはシャフト先端にピニオンが取り付けられ、ガイドに支持されたラックと噛み合うことにより、直線状、つまり伸縮動作する構造になっている。
【００７７】
内側脚４４ａの中央付近の横方向のバーには、搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａが鉛直面方向に回転可能な状態で固定されている。搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａの他端は、底板４５ａに鉛直面方向に回転可能な状態で固定されている。これにより、搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａの伸縮動作に応じて、外側脚４３ａと内側脚４４ａがローラで転がりながら回転ヒンジ部で互いに角度を変えて傾き、天板４６ａが上下動する。
【００７８】
この搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａは、モータコントローラ１８ａｂから、台車モータドライバ５０ａを介して制御駆動する。ここで、搬送台車４０ａの搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａと搬送台車４０ｂの搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ｂとの２系統は夫々台車モータドライバ５０ａ，５０ｂに接続され、共通の１台のモータコントローラ１８ａｂによって、同時に起動及び停止、また、等速駆動するように制御される。
【００７９】
動作パターンは、図８に示すように、台形駆動であり、滑らかに加速・減速によって、起動・停止し、同じ位置で停止できる。
【００８０】
搬送台車４０ａ、４０ｂに長時間ガントリを積載した状態にしておく場合には、その高さを最も低い位置にしておく方が、重心が低くなるので、その積載状態が安全である。さらには、搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａ、４２ｂのモータは電磁ブレーキ付きを採用して、電源断時にブレーキがかかるようにすれば、なお良い。
【００８１】
次に、図１に示す台車式搬送装置によるガントリ２の架台１への組み付け，架台１からの分解作業について説明する。
【００８２】
図９はこの実施形態の台車搬送装置を用いてガントリ２を架台１に組み付ける作業の手順の一具体例を示すフローチャートである。ここでは、ガントリ２Ｂについて説明する。
【００８３】
同図において、本体装置、即ち、ペースト塗布装置を停止させた後（ステップ２００）に、搬送台車４０ａ，４０ｂに取り付けた搬送台車用サーボモータで原点復帰させて、２台の搬送台車４０ａ，４０ｂの台座の天板４６ａ，４６ｂの高さが所定の高さで、かつ同一になるようにし（ステップ２０１）、停止高さ位置に正常に位置決めされたことを確認する（ステップ２０２）。原点復帰動作ステップ２０１は搬送台車４０ａ，４０ｂにガントリ２Ｂを搭載していない状態で始める場合に実施するものであり、選択して行なうことができる。このとき、別途計測器で台座の高さを計測すると、なお良い。
【００８４】
次に、クレーン等の手段により、ガントリ２Ｂを搬送台車４０ａ，４０ｂの台座の天板４６ａ，４６ｂ上に降ろし、このガントリ２Ｂの両端をガントリ固定部材４１ａ，４１ｂに積載して固定する（ステップ２０３）。図示しないが、台座の天板４６ａ，４６ｂへのガントリ固定部材４１ａ，４１ｂの固定は、専用のボルトで架台への締結箇所とは異なる位置で締結する。
【００８５】
このあと、横梁２ａを含むガントリ２Ｂの両側を夫々搬送台車４０ａ，４０ｂに積載した状態で、搬送台車４０ａ，４０ｂを移動させることにより、ガントリ２Ｂを架台１上のその締結部の上部に移動する（ステップ２０４）。次に、搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａ，４２ｂの回転に伴う伸縮による昇降移動機構により、ガントリ２Ｂを架台１側の接触面まで降ろして（ステップ２０５）、締結部（即ち、図７でのＸ軸方向移動機構６）に接続（搭載）し（ステップ２０６）、図７で説明したように、締結ボルト２２（図７）で締結する（ステップ２０７）。これにより、ガントリ２ＢがＸ軸方向移動機構６に固定されて架台１に取り付けられることになる。
【００８６】
締結ボルト２２で締結後に、搬送台車４０ａ，４０ｂを架台１から取り外し（ステップ２０８）、ガントリ２Ｂ側と架台１側との配線及び配管を接続（ステップ２０９）する。
【００８７】
しかる後、元々架台１には、２台以上のガントリが取り付けられているものであって、このとき、架台１に取り付けなければならないガントリがほかにあれば（例えば、ガントリ２Ａ：ステップ２１０の“Ｙｅｓ”）、そのガントリについて、ステップ１１０からステップ１５０までの手順を繰り返す。そして、取り付けるべきガントリがほかになければ（ステップ２１０の“Ｎｏ”）、組み付け終了となる（ステップ２１１）。
【００８８】
図１０はこの実施形態の台車搬送装置を用いてガントリ２を架台１から取り外す作業の手順の一具体例を示すフローチャートである。この作業手順は、基本的には、図９での組み付け作業の逆の手順となる。ここでも、ガントリ２Ｂについて説明する。
【００８９】
同図において、本体装置、即ち、ペースト塗布装置の架台１を設置した後（ステップ３００）に、搬送台車４０ａ，４０ｂの搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａ，４２ｂを原点復帰させて、２台の搬送台車４０ａ，４０ｂの台座の天板４６ａ，４６ｂの高さが所定の高さ、かつ同一になるようにし（ステップ３０１）、所定の停止高さ位置に正常に位置決めされたことを確認する（ステップ３０２）。この台座の高さは、別途計測器で計測した方が良い。
【００９０】
ガントリ２Ｂ側と架台１側の配線及び配管の接続を取り外し（ステップ３０３）、搬送台車４０ａ，４０ｂを架台１の近傍に持ち込んで、ガントリ２Ｂの架台１との締結部に接触させる（ステップ３０４）。次に、ガントリ２Ｂと架台１を締結している締結ボルト２２（図７）を取り外し（ステップ３０５）、ガントリ２Ｂを架台１から切離して搬送台車４０ａ，４０ｂに固定し（ステップ３０６）、搬送台車用サーボモータ・ユニット４２ａ，４２ｂの回転での伸縮による昇降移動機構を用いて、ガントリ２Ｂを架台１から持上げる（ステップ３０７）。
【００９１】
このあと、ガントリ２Ｂの横梁２ｂの両側を夫々搬送台車４０ａ，４０ｂで積載した状態で架台１と離して架台１の外位置に搬送して取り出す（ステップ３０８）。次に、座面へ固定されたボルトを取り外し、クレーン等の手段で搬送台車の台座の天板４６ａ，４６ｂ上に固定された、両端となるガントリ固定部材４１ａ，４１ｂのボルト締結を解除し、ガントリ２Ｂごと取り外す（ステップ３０９）。ここで、余計な吊り手段を追加設置しないで組み立て、取り外し及び搬送を行うことも可能であり、この場合には、搬送台車４０ａ，４０ｂにガントリ２Ｂを取り付けたままで搬送，保管することも可能であり、その場合には、ステップ３０９は不要である。
【００９２】
元々、架台１には、２台以上のガントリが取り付けられているものであって、このとき、取り外すガントリ２がほかにあれば（例えば、ガントリ２Ａ：ステップ３１０の“Ｙｅｓ”）、ステップ３０１からステップ３１０までの手順を繰り返す。そして、取り外さなければならないガントリがほかになければ（ステップ３１０の“Ｎｏ”）、組み付け作業を終了となる（ステップ３１２）。
【００９３】
以上のように、本発明では、塗布ノズルが設けられた横梁の移動機構側を持つガントリ部分につながる横梁側支持部材７ａ，７ｂと、架台１に固定して設置するガントリ２の移動機構を支持する部分につながる架台側支持部材８ａ，８ｂとを、基板を搭載するテーブル（基板載置テーブル５）の外側または下側の位置において、搬送台車４０ａ，４０ｂを用いて、ガントリ２の水平姿勢を維持したまま、分割及び組み立て可能な構造とするものであるから、精度を低減させることなく、分解後の装置の最大寸法を狭小化できる。取り扱い対象が２（ｍ）超の大型マザーガラス基板用途であっても、装置の最大寸法は３（ｍ）程度以内の幅に抑えることができ、ひいては、一般公道による装置の搬送に際しての問題も解決することができる。組み付け時には、分解前と同じ状態を簡便に再現することができる。これにより、製造物（液晶パネル）の品質向上に寄与する。
【符号の説明】
【００９４】
１  架台
２Ａ，２Ｂ  ガントリ
２ａ，２ｂ  横梁
３  Ｙ軸方向移動機構（リニアレール）
４ａ，４ｂ  レール
５  基板載置テーブル（基板保持機構）
６ａ，６ｂ  Ｘ軸方向移動機構
７ａ，７ｂ  横梁側支持部材
８ａ，８ｂ  架台側支持部材
９  Ｚ軸移動テ−ブル支持ブラケット
１０  Ｚ軸移動テ−ブル
１１  Ｚ軸サーボモータ
１２  塗布ヘッド部
１３  ペースト収納筒（シリンジ）
１４  ノズル支持具
１５  ノズル
１６  距離計
１７  基板
１８ａ  主制御部
１８ａａ  マイクロコンピュータ    １８ａｂ  モータコントローラ
１８ａｃ  データ通信バス    １８ａｄ  外部インターフェース
１８ａｅ  画像認識装置    １８ａｆ  Ｙ軸リニアモータ・ドライバ
１８ａｇ  リニアモータ・ドライバ    １８ａｈ  モータ・ドライバ
１８ｂ  副制御部
１８ｂａ  マイクロコンピュータ    １８ｂｂ  モータコントローラ
１８ｂｃ  データ通信バス          １８ｂｄ  外部インターフェース
１８ｂｉ  Ｚ軸モータ用ドライバ
１８ｃ  ハードディスク
１８ｄ  ＵＳＢメモリ
１８ｅ  通信ケーブル
１８ｆ  モニタ
１８ｇ  キーボード
１９  レギュレータ
２０  バルブユニット
２１  画像認識カメラ
２２  締結ボルト
４０ａ，４０ｂ  搬送台車
４１ａ，４１ｂ  ガントリ固定部材
４２ａ，４２ｂ  搬送台車用サーボモータユニット
４３ａ，４３ｂ  外側脚
４４ａ，４４ｂ  内側脚
４５ａ，４５ｂ  底板
４６ａ，４６ｂ  天板
５０ａ，５０ｂ  台車モータドライバ
【図１】
2010260025.tif 000003
【図２】
2010260025.tif 000004
【図３】
2010260025.tif 000005
【図４】
2010260025.tif 000006
【図５】
2010260025.tif 000007
【図６】
2010260025.tif 000008
【図７】
2010260025.tif 000009
【図８】
2010260025.tif 000010
【図９】
2010260025.tif 000011
【図１０】
2010260025.tif 000012