(57)【要約】【課題】産業用ロボットコントローラの小型化を実現するとともに表示灯の視認性、コネクタの脱着性を向上し、狭いスペースにも設置することができる産業用ロボットコントローラを提供すること【解決手段】産業用ロボットコントローラ１のフロントパネル２を、天板から傾斜して前方に突出するように形成された第１フロントパネル２ａと、底面から傾斜して前方に突出するように形成された第２フロントパネル２ｂと、の２面で構成した。【選択図】図１
2010064230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
産業用ロボットに接続されてこれを制御する産業用ロボットコントローラにおいて、
前記産業用ロボットコントローラのフロントパネルが、
天板から傾斜して前方に突出するように形成された第１フロントパネルと、
底面から傾斜して前方に突出するように形成された第２フロントパネルと、の２面で構成されたことを特徴とする産業用ロボットコントローラ。
【請求項２】
前記第１フロントパネルに、前記産業用ロボットまたは前記産業用ロボットコントローラ内部の動作状態を表示する状態表示灯と、前記産業用ロボットコントローラ電源のＯＮまたはＯＦＦを示す動作表示灯と含むメンテナンス表示部が配置されたことを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットコントローラ。
【請求項３】
前記メンテナンス表示部が回転可能に構成されたことを特徴とする請求項２記載の産業用ロボットコントローラ。
【請求項４】
前記天板に前記メンテナンス表示部を映すミラーが回転可能に設置されたことを特徴とする請求項２記載の産業用ロボットコントローラ。
【請求項５】
前記天板に前記ミラーを収納可能な凹部が形成されたことを特徴とする請求項４記載の産業用ロボットコントローラ。
【請求項６】
請求項１記載の産業用ロボットコントローラを収納したことを特徴とする半導体搬送装置。
【請求項７】
請求項６記載の半導体搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボットコントローラの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造産業においては、半導体デザインルールの微細化とウエハの大口径化が進んでいる。この微細化に対応するためには、最大６００行程にも及ぶ全ての製造工程を高いクリーンルームのもとで行うことが必要となるが、広いクリーンルーム全体を高いクリーン度に保つには限界があり、膨大な費用もかかる。また、ウエハの大口径化に伴って半導体製造装置は設置面積が大きくなり、クリーンルーム面積が拡大するため、小フットプリント、装置の小型化が強く求められる。そのため、半導体製造装置に搭載される産業用ロボットのコントローラは、小型化が必須であり、半導体製造装置に組込まれる産業用ロボットのコントローラは、限られたスペースを効率よく利用することが求められている。コントローラを小型化する構成には、例えば、特許文献１などがある。
また、産業用ロボットコントローラの小型化のため、コントローラに必要な、コネクタ，ファン，表示灯，スイッチなどの部品をコントローラのフロントパネル，リアパネルに分けて配置しているものもある。
【特許文献１】特開平４−３６５５８１号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、産業用ロボットコントローラは、コネクタ，ファン，表示灯，スイッチなど、必要な部品をフロントパネルのような盤面に配置すると、コントローラのサイズが概ね決まってしまう。従って、従来の産業用ロボットコントローラでは、平面なフロントパネルにこれらの部品を配置していて、これら部品のサイズ、配置等の制限により、コントローラをその制限以上に小型化することができないという問題があった。
また、コントローラ小型化のためにこれらの部品をフロントパネル，リアパネルの両面に分けて配置したような場合は、コントローラのフロント側、リア側の両方に配線スペースが必要となり、コントローラの設置スペースが広く必要となる問題もあった。
さらに、表示灯は作業者の視認性、ティーチングペンダント用コネクタは脱着性、を考慮する必要があって、これらの部品の配置が制限されるので、コントローラ盤面の面積が不足するという問題があった。
また、コントローラの設置場所によっては、作業者が表示灯を目視確認できない、コネクタの脱着がしづらいという問題点もあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、産業用ロボットコントローラの小型化を実現するとともに表示灯の視認性、コネクタの脱着性を向上し、狭いスペースにも設置することができる産業用ロボットコントローラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、産業用ロボットに接続されてこれを制御する産業用ロボットコントローラにおいて、前記産業用ロボットコントローラのフロントパネルが、天板から傾斜して前方に突出するように形成された第１フロントパネルと、底面から傾斜して前方に突出するように形成された第２フロントパネルと、の２面で構成されたことを特徴とする産業用ロボットコントローラとするものである。
請求項２に記載の発明は、前記第１フロントパネルに、前記産業用ロボットまたは前記産業用ロボットコントローラ内部の動作状態を表示する状態表示灯と、前記産業用ロボットコントローラ電源のＯＮまたはＯＦＦを示す動作表示灯と含むメンテナンス表示部が配置されたことを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットコントローラとするものである。
請求項３に記載の発明は、前記メンテナンス表示部が回転可能に構成されたことを特徴とする請求項２記載の産業用ロボットコントローラとするものである。
請求項４に記載の発明は、前記天板に前記メンテナンス表示部を映すミラーが回転可能に設置されたことを特徴とする請求項２記載の産業用ロボットコントローラとするものである。
請求項５に記載の発明は、前記天板に前記ミラーを収納可能な凹部が形成されたことを特徴とする請求項４記載の産業用ロボットコントローラとするものである。
請求項６に記載の発明は、請求項１記載の産業用ロボットコントローラを収納したことを特徴とする半導体搬送装置とするものである。
請求項７に記載の発明は、請求項６記載の半導体搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１記載の発明によると、フロントパネルが飛び出し型の２面構成となっているので、フロントパネルの面積が増大し、必要なコネクタや表示灯がフロントパネルに多数または自由に配置できて、これらをフロントパネルに集約できる。これにより産業用コントローラを小型化できる。また、ケーブルの配線スペースがフロントパネル方向のみとなるので、コントローラの左右側面や背面におけるスペースが狭い場所へ設置することができる。
請求項２記載の発明によると、メンテナンス時に作業者が目視する頻度が高いメンテナンス表示部が天板から傾斜して前方に突出するように形成された第１フロントパネルに配置されているので、コントローラを作業者の目線よりも低い位置に配置したときに、メンテナンス表示部の視認性が高くなる。
請求項３記載の発明によると、メンテナンス表示部が回転可能になっているので、コントローラを縦置きにしても必要に応じて作業者が見易いようにこれを回転でき、視認性が高くなる。
請求項４記載の発明によると、メンテナンス表示部を映すミラーが設置されているので、コントローラを作業者の目線よりも高い位置に配置したときに、ミラーにメンテナンス表示部を映して作業ができるようになる。
請求項５記載の発明によると、ミラーを使わないときにこれを天板よりと同じかそれよりも低くして収納できる凹部を備えたので、ミラーが邪魔になることが無い。
請求項６及び７記載の発明によると、フットプリントが縮小された装置を構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００７】
図１は、本発明の産業用ロボットコントローラの外観図と、これに接続される産業用ロボットの外観図である。また、図２は産業用ロボットコントローラ５の６面図を示している。なお、図２では後述するミラー３４を記載していない。
図１において、産業用ロボット５は、半導体ウエハや液晶基板といった基板を搬送する水平多関節ロボットである。ここでは産業用ロボット５が２台あって、１台の産業用ロボットコントローラ１にそれぞれ接続されて制御される。各々の産業用ロボット５は、外部ケーブル４によって産業用ロボットコントローラ１に接続されている。
【０００８】
図１及び図２から明らかなように、本発明の産業用ロボットコントローラ５は、底面と、底面に平行な天板と、底面から垂直な背面と、底面から垂直な左右側面と、後述する２面の傾斜したフロントパネル２から形成されていて、全部で７面体の構造をなしている。産業用ロボットコントローラ１の正面側であるフロントパネル２は、従来の平面的な垂直の盤面ではなく、第１フロントパネル２ａと第２フロントパネル２ｂの２面で構成されている。第２フロントパネル２ｂは、産業用ロボットコントローラ１の底面に対して垂直ではなく、やや前方に倒れるように傾斜して前面側に突出している。また、第１フロントパネル２ａも、産業用ロボットコントローラ１の天板に対して垂直ではなく、天板から第１フロントパネル２ａの面が斜め上方を向くように傾斜して前面側に突出している。そして、第１フロントパネル２ａと第２フロントパネル２ｂとが接している。従って、産業用ロボットコントローラ１のフロントパネル２は、第１フロントパネル２ａと第２フロントパネル２ｂの２面が接する辺が、コントローラの正面に突出していて、これら傾斜した２面によってフロントパネルが形成されている。このようにフロントパネル２を形成することで、従来よりもパネルの表面積が増大するので、後述する様々なコネクタや表示灯をフロントパネルに配置することができる。従って、コントローラの背面や側面にコネクタ等を配置する必要がなく、少なくともフロントパネル２にアクセスできるスペースさえあれば、コントローラの背面や側面に対してスペースが無いような狭い設置場所でも置くことができる。
なお、第１フロントパネル２ａと第２フロントパネル２ｂの２面の角度は、コントローラの搭載スペース、及びこれらのパネルに配置されるコネクタ等の形状により、傾斜角度を変更すべきである。
【０００９】
第１フロントパネル２ａには、産業用ロボット５のメンテナンス時に使用する７セグメントＬＥＤ３１、表示灯３２が配置されている。７セグメントＬＥＤ３１は、産業用ロボット５やコントローラ内部の動作状態を、予め定めた数字やアルファベットで表示する状態表示灯である。つまりエラーコードを表示するものである。また、表示灯３２は、コントローラ電源のＯＮ／ＯＦＦを示す動作表示灯である。作業者は、産業用ロボット５のメンテナンス時に必ずこれら７セグメントＬＥＤ３１、表示灯３２を確認しながら作業を行う。本発明では、これらの７セグメントＬＥＤ３１、表示灯３２を含む部分をメンテナンス表示部３と呼ぶ。作業者がメンテナンス時に頻繁に目視するメンテナンス表示部３が第１フロントパネル２ａに配置されていることにより、作業者の目線よりも下に産業用ロボットコントローラ１が設置された場合に、メンテナンス表示部３の視認性が高くなる。
【００１０】
メンテナンス表示部３は、産業用ロボットコントローラ１を、図１のような横置き、あるいは図示しない縦置きのどちらの場合でも正方向で確認できるようにするため、３６０°回転できるように取付けられている。図３はメンテナンス表示部３を回転させる機構を示す要部拡大図である。（ａ）が側面図、（ｂ）が第１フロントパネル２ａの正面図である。図３のように、メンテナンス表示部３は回転することを考慮して、正方形サイズで製作されている。メンテナンス表示部３は、中央部に付勢手段２７が設けてあって、コントローラ内部側へ常時付勢されている。メンテナンス表示部３の周囲に設けられたネジなどの固定具２８を外し、付勢手段２７に抗するようにメンテナンス表示部３を引っ張り、メンテナンス表示部３が目的の方向となるよう回転させることができる。回転後は、再び固定具２８によってメンテナンス表示部３を第１フロントパネル２ａに対して固定する。
【００１１】
また、メンテナンス表示部３の近傍には必要に応じてミラー３４が設置されている。ミラー３４は、産業用ロボットコントローラ１が、後述する半導体製造装置上部に搭載されるなど、作業者の目線よりも上に設置されて、第１フロントパネル２ａを作業者が目視しにくい場合に、７セグメントＬＥＤ３１や表示灯３２を見えるようにするために取り付けられている。ミラー３４の詳細を示す要部拡大図が図４である。図４は産業用ロボットコントローラ１の右側面図である。図のように、メンテナンス表示部３の上側には、ミラー３４がヒンジ３５を介して回転可能に設けられている。ミラー３４はヒンジ３５によって所望の角度で停止できる。ミラー３４は、作業者が使用しない場合は、コントローラ天板に設けたミラー収納凹部３３に収納されている。作業者がミラー３４を使用する場合は、ミラー３４を天板に対して９０度以上起立させ、ミラー３４がメンテナンス表示部３と対向させてこれを映して使用する。ミラー３４はメンテナンス表示部３を映すことができる最小のサイズで形成されている。
【００１２】
このときの産業用ロボットコントローラ１の使用状態を示すのが図５である。図５は半導体製造装置の一部である搬送装置の側断面図を示す図である。
図５において、半導体製造装置の正面外部には周囲に隔壁を有する搬送装置５１が設置されている。搬送装置５１の正面外側には、基板を収納したカセット５５を搭載し、その蓋を開閉するなどして、搬送装置５１内へ基板を取り出せるようにするカセットオープナ５４（ＰＯＤオープナやＦＯＵＰオープナという）が複数台設けられている。このカセットオープナ５４によれば、装置外の比較的清浄でない雰囲気を搬送装置内に侵入させることなく、カセット５５から装置内へ基板を取り出せるようにできる。産業用ロボット５は、図示しない昇降機構によって上部のアーム１１を昇降させたり、各アームを互いに回転させたりしながら、ハンド５０に搭載した基板を目的の位置や処理装置５６へと搬送する。装置の外部側面には、基板を処理する処理装置５６が接続される。処理装置５６では、例えばＣＶＤ、エッチング、露光などといった所定の処理が基板に対して行われる。
一方、搬送装置５１の上部には、ＦＦＵ５２が設置されている。ＦＦＵ５２は、清浄な気体を上から下にダウンフローさせて、装置の内部を清浄な気体によって充満させている。さらにＦＦＵ５２の上部には、本発明の産業用ロボットコントローラ１が横置きで設置されている。搬送装置５１の正面の隔壁が開閉自在となっていて、ここから作業者が産業用ロボットコントローラ１の正面側を目視できるようになっている。搬送装置５１は、上述したように設置面積の縮小のため、コントローラを作業者の目線よりも高いところに収納している。一方、作業者は産業用ロボット５のメンテナンスにおいてメンテナンス表示部３を頻繁に目視する必要があり、従来のコントローラでは、メンテナンスに必要な表示が作業者に見えにくい場合があった。本発明の産業用ロボットコントローラ１は、メンテナンス前にミラー３４を起立させることにより、作業者の目線よりも高いところに収納されているコントローラのメンテナンス表示部３をミラー３４に映し、作業者が簡単にこれを確認できるようになっている。
【００１３】
また、第１フロントパネル２ａには、コントローラと上位装置との接続に使用される上位装置Ｉ／Ｆコネクタ２２が配置されている。これは、産業用ロボット５の周囲の図示しない機器を含めて産業用ロボット５に所定の動作を指令する上位装置と接続される部分である。このコネクタは、産業用ロボット５を後述するティーチングペンダント２６によって実際に操作する作業者ではなく、通常、上位装置を扱う作業者が頻繁に扱うコネクタである。
また、第１フロントパネル２ａには、ティーチングペンダント用コネクタ２１が配置されていて、ここにティーチングペンダント２６が接続可能である。ティーチングペンダント２６は、産業用ロボット５を教示したり、作業者が手動でロボットを動作させたりするときに使用するもので、装置の通常の動作時には接続されない。
以上のように、本発明では第１フロントパネル２ａに、メンテナンス表示部３と、上位装置Ｉ／Ｆコネクタ２２と、ティーチングペンダント用コネクタ２１とが少なくとも配置されていて、ティーチングペンダント２６のように脱着が頻繁に必要と考えられるものや、メンテナンス時に作業者が頻繁に目視する必要があるメンテナンス表示部３や、上位装置を扱う作業者が頻繁に扱うコネクタが配置されているので、作業者の視認性や作業性に優れている。
【００１４】
第２フロントパネル２ｂには、ロボットエンコーダ・センサ用コネクタ２３、ロボットパワー用コネクタ２４など、外部ケーブル４が常時接続されているコネクタと、ファン２５が配置されている。ファン２５は、コントローラ内部で発生した熱をコントローラ外部に放出するファンであって、本実施例では第２フロントパネル２ｂの左右２箇所に設けられている。
ファン２５を第２フロントパネル２ｂに設けることにより、ファンから放出される気体は、コントローラ正面の下方に向かって排出される。そして、上述した搬送装置の上部にコントローラが設置されると、ファンから放出された気体は、コントローラの上方や側面方向に拡散せず、すぐにＦＦＵ５１に吸引されて、周囲の半導体製造装置に影響を与えることが無い。また、本発明のコントローラが、上述した搬送装置において、その上部に設置されなくて、例えば産業用ロボットの脇に設置された場合であっても、ファンからの排出気体は、ＦＦＵ５１のダウンフローの気流を乱すことなく搬送装置の外部へ輩出される。
また、本発明では第２フロントパネル２ｂに傾斜が設けてあるので、上述した搬送装置の上部に設置されると、第２フロントパネル２ｂに接続される外部ケーブル４などのケーブルの曲げＲが緩やかになり、コントローラ前面に必要なスペースが小さくなる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の産業用ロボットコントローラおよびこれに接続される産業用ロボットの外観図
【図２】本発明の産業用ロボットコントローラの外観の６面図
【図３】本発明の産業用ロボットコントローラのメンテナンス表示部の回転機構の要部拡大図
【図４】本発明の産業用ロボットコントローラのミラーの要部拡大図
【図５】本発明の産業用ロボットコントローラを搭載した半導体製造装置の側断面図
【符号の説明】
【００１６】
１  産業用ロボットコントローラ
２  フロントパネル
３  メンテナンス表示部
４  外部ケーブル
５  産業用ロボット
２１  ティーチングペンダント用コネクタ
２２  上位装置Ｉ／Ｆコネクタ
２３  ロボットエンコーダ・センサ用コネクタ
２４  ロボットパワー用コネクタ
２５  ファン
２６  ティーチングペンダント
２７  付勢手段
２８  固定具
３１  ７セグメントＬＥＤ
３２  表示灯
３３  ミラー収納凹部
３４  ミラー
３５  ヒンジ
５０  ハンド
５１  搬送装置
５２  ＦＦＵ
５４  カセットオープナ
５５  カセット
５６  処理装置
【図１】
2010064230.tif 000003
【図２】
2010064230.tif 000004
【図３】
2010064230.tif 000005
【図４】
2010064230.tif 000006
【図５】
2010064230.tif 000007