(57)【要約】【課題】品質低下や生産性の低下を防止する。【解決手段】描画エリア４１にてヘッド７２から液滴を吐出して描画する描画工程と、メンテナンスエリア４２にてヘッドのメンテナンス処理を行うメンテナンス工程とを有する。メンテナンス工程中に、描画エリアの温度を調整する温度調整工程を有する。【選択図】図９
2010152260.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画エリアにてヘッドから液滴を吐出して描画する描画工程と、メンテナンスエリアに
て前記ヘッドのメンテナンス処理を行うメンテナンス工程とを有する液滴吐出装置のメン
テナンス方法であって、
前記メンテナンス工程中に、前記描画エリアの温度を調整する温度調整工程を有するこ
とを特徴とする液滴吐出装置のメンテナンス方法。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、
前記温度調整工程では、複数のヘッドのうち、前記メンテナンス処理が完了したヘッド
を用いて前記描画エリアの温度を調整することを特徴とする液滴吐出装置のメンテナンス
方法。
【請求項３】
請求項２記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、
前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、前記描画エリア内で順次往復移動させるこ
とを特徴とする液滴吐出装置のメンテナンス方法。
【請求項４】
請求項２記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、
前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、メンテナンス処理完了時の前記描画エリア
における温度分布に応じた位置に配置することを特徴とする液滴吐出装置のメンテナンス
方法。
【請求項５】
請求項４記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、
前記描画エリアの複数の領域温度が略同一のときに、前記メンテナンスエリアに近い領
域に優先して前記ヘッドを配置することを特徴とする液滴吐出装置のメンテナンス方法。
【請求項６】
請求項２から５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置のメンテナンス方法において、
複数の前記ヘッドでヘッド群を構成し、
前記ヘッド群毎に前記描画エリアを移動させて、該描画エリアの温度を調整することを
特徴とする液滴吐出装置のメンテナンス方法。
【請求項７】
ヘッドから液滴を吐出して描画する描画エリアと、前記ヘッドのメンテナンス処理が行
われるメンテナンスエリアとを有する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドのメンテナンス処理が行われているときに、前記描画エリアの温度を調整す
る温度調整装置を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７記載の液滴吐出装置において、
前記温度調整装置は、複数のヘッドのうち、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを
有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８記載の液滴吐出装置において、
前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、前記描画エリア内で順次往復移動させる駆
動制御装置を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項８記載の液滴吐出装置において、
前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、メンテナンス処理完了時の前記描画エリア
における温度分布に応じた位置に配置する駆動制御装置を有することを特徴とする液滴吐
出装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の液滴吐出装置において、
前記駆動制御装置は、前記描画エリアの複数の領域温度が略同一のときに、前記メンテ
ナンスエリアに近い領域に優先して前記メンテナンス処理が完了したヘッドを配置するこ
とを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項８から１１のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッドは、複数でヘッド群を構成し、且つ前記ヘッド群毎に前記描画エリアを移動
して、該描画エリアの温度を調整することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置とそのメンテナンス方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット方式で微小な液滴を吐出可能な機能液滴吐出ヘッドを用いて、液
晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルタに代表される各種の電気光学装置（フラッ
トパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する液滴吐出装置が知られている。そして、この
ような液滴吐出装置では、副走査に起因する吐出精度低下を回避すると共にタクトタイム
を短縮すべく、いわゆるラインプリンタのように、キャリッジ（ユニット支持機構）に複
数の機能液滴吐出ヘッドを搭載し、その複数の機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルにより
、ワークの吐出走査方向に直交する方向における描画対象幅をカバーする幅広の描画ライ
ンを構成することが考えられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、特許文献２には、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した同一且つ複数のキャリッ
ジユニットを描画エリアと吸引ユニット等が配置されたメンテナンスエリアとの間で個別
に移動させることにより、メンテナンス性を損なうことなく、メンテナンス手段を小型に
構成することができる液滴吐出装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−８２２１６号公報
【特許文献２】特開２００７−３０７９１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
液滴吐出ヘッド及びヘッドに電気信号を印加する電子回路は、動作中に自己発熱を起こ
すため、描画エリア（ヘッド待機位置）は周囲よりも温度が高い状態となり、また周辺機
器、部材の温度も周囲よりも高くなる。ヘッドを駆動するための圧電素子は、温度特性を
有しており、温度変動が生じると液滴の吐出量も変動する虞があり、またヘッド内の液状
体についても温度変化により粘度が変動するため、吐出量が変動する虞がある。
【０００５】
そのため、描画エリア（雰囲気）の温度は一定に調整する必要があるが、温度が安定し
た描画エリアからヘッドが上述したメンテナンスエリアに移動すると、描画エリアの温度
が低下するため、メンテナンス後に描画エリアに戻ったヘッドは熱が奪われて温度低下を
引き起こすという問題が生じる。
このように温度低下が生じた状態で液滴を吐出した場合、吐出量の変動に起因して膜厚
むら等の品質低下を招いてしまう。そこで、ヘッドの温度が安定するまで描画エリアで待
機させることも考えられるが、この場合は生産性の低下を招いてしまう。
【０００６】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、品質低下や生産性の低下を防止
できる液滴吐出装置とそのメンテナンス方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出装置のメンテナンス方法は、描画エリアにてヘッドから液滴を吐出し
て描画する描画工程と、メンテナンスエリアにて前記ヘッドのメンテナンス処理を行うメ
ンテナンス工程とを有する液滴吐出装置のメンテナンス方法であって、前記メンテナンス
工程中に、前記描画エリアの温度を調整する温度調整工程を有することを特徴とするもの
である。
従って、本発明の液滴吐出装置のメンテナンス方法では、メンテナンスエリアにてヘッ
ドのメンテナンス処理が行われている間に、描画エリアの温度を調整するため、描画エリ
アの温度低下を抑制することができる。そのため、本発明では、メンテナンス処理が完了
したヘッドが描画エリアに戻った後もヘッドの温度低下が生じないため、ヘッドの吐出量
変動やヘッド待機時間も生じず、品質低下や生産性低下を招くことを防止できる。
【０００８】
前記温度調整工程では、複数のヘッドのうち、前記メンテナンス処理が完了したヘッド
を用いて前記描画エリアの温度を調整する構成を好適に採用できる。
従って、本発明の液滴吐出装置のメンテナンス方法では、描画エリアの温度を調整する
ための機器を別途設ける必要がなくなり、装置の小型化及び低価格化を実現することがで
きる。
【０００９】
また、本発明では、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、前記描画エリア内で順
次往復移動させる手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを熱源として、描画
エリア内を順次加熱することができる。
【００１０】
また、本発明では、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、メンテナンス処理完了
時の前記描画エリアにおける温度分布に応じた位置に配置する手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、例えば描画エリア内で温度が低い領域を重点的に温度調整す
ることができ、描画エリア内で生じる温度分布を最低限に抑えることができる。
【００１１】
上記の場合、前記描画エリアの複数の領域温度が略同一のときに、前記メンテナンスエ
リアに近い領域に優先して前記ヘッドを配置する手順を好適に採用できる。
描画エリアのうち、前記メンテナンスエリアに近い領域に位置するヘッドは遠い領域に
位置するヘッドよりも後にメンテナンス処理が行われるため、描画エリアに戻る時間が遅
くなるが、本発明では、メンテナンスエリアに近い領域を優先して加熱することが可能と
なり、温度分布が大きくなることを防止できる。
【００１２】
また、本発明では、  複数の前記ヘッドでヘッド群を構成し、前記ヘッド群毎に前記描
画エリアを移動させて、該描画エリアの温度を調整する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数のヘッドを群構成でメンテナンス処理を実施する場合等
にも本発明を適用可能である。
【００１３】
一方、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドから液滴を吐出して描画する描画エリアと、前
記ヘッドのメンテナンス処理を行うメンテナンスエリアとを有する液滴吐出装置であって
、前記ヘッドのメンテナンス処理が行われているときに、前記描画エリアの温度を調整す
る温度調整装置を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出装置では、メンテナンスエリアにてヘッドのメンテナンス処
理が行われている間に、描画エリアの温度を調整するため、描画エリアの温度低下を抑制
することができる。そのため、本発明では、メンテナンス処理が完了したヘッドが描画エ
リアに戻った後もヘッドの温度低下が生じないため、ヘッドの吐出量変動やヘッド待機時
間も生じず、品質低下や生産性低下を招くことを防止できる。
【００１４】
前記温度調整装置としては、複数のヘッドのうち、前記メンテナンス処理が完了したヘ
ッドを有する構成を好適に採用できる。
従って、本発明の液滴吐出装置では、描画エリアの温度を調整するための機器を別途設
ける必要がなくなり、装置の小型化及び低価格化を実現することができる。
【００１５】
また、本発明では、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、前記描画エリア内で順
次往復移動させる駆動制御装置を有する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを熱源として、描画
エリア内を順次加熱することができる。
【００１６】
また、本発明では、前記メンテナンス処理が完了したヘッドを、メンテナンス処理完了
時の前記描画エリアにおける温度分布に応じた位置に配置する駆動制御装置を有する構成
を好適に採用できる。
これにより、本発明では、例えば描画エリア内で温度が低い領域を重点的に温度調整す
ることができ、描画エリア内で生じる温度分布を最低限に抑えることができる。
【００１７】
上記構成では、前記駆動制御装置は、前記描画エリアの複数の領域温度が略同一のとき
に、前記メンテナンスエリアに近い領域に、優先して前記メンテナンス処理が完了したヘ
ッドを配置する構成を好適に採用できる。
描画エリアのうち、前記メンテナンスエリアに近い領域に位置するヘッドは遠い領域に
位置するヘッドよりも後にメンテナンス処理が行われるため、描画エリアに戻る時間が遅
くなるが、本発明では、メンテナンスエリアに近い領域を優先して加熱することが可能と
なり、温度分布が大きくなることを防止できる。
【００１８】
また、本発明では、前記ヘッドが、複数でヘッド群を構成し、且つ前記ヘッド群毎に前
記描画エリアを移動して、該描画エリアの温度を調整する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数のヘッドを群構成でメンテナンス処理を実施する場合等
にも本発明を適用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の液滴吐出装置とそのメンテナンス方法の実施の形態を、図１ないし図１
４を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材
の縮尺を適宜変更している。
【００２０】
まず、液滴吐出装置について説明する。
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、床上に設置した大型の共通架台２１
と、共通架台２１上の全域に広く載置された描画装置２２と、描画装置２２に添設された
メンテナンス手段２３とを備え、メンテナンス手段２３により機能液滴吐出ヘッド７２（
液滴吐出ヘッド；図４乃至図６参照）の機能維持・回復を行うと共に、描画装置２２によ
りワークＷ上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。さらに、この液滴吐出
装置１には、上位コンピュータ３に接続され液滴吐出装置１の各手段を制御するコントロ
ーラ２４（制御部１３２、図８参照）等が組み込まれている。
【００２１】
また、液滴吐出装置１に導入されるワークＷ（図１参照）は、例えば石英ガラスやポリ
イミド樹脂等で構成された透明基板である。
【００２２】
まず、液滴吐出装置１における描画装置２２およびこれによる描画処理について説明す
る。描画装置２２は、複数（例えば１２個）の機能液滴吐出ヘッド７２とこれを搭載した
キャリッジ７３とから成る複数（例えば７個）のキャリッジユニット３１と、共通架台２
１上に設置され、ワークＷを載置するセットテーブル５１を有し、ワークＷをＸ軸方向に
移動させるＸ軸テーブル３２と、Ｘ軸テーブル３２を跨ぐようにして配設され、７個のキ
ャリッジユニット３１を個々にＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル３３と、７個のキャリ
ッジユニット３１に搭載された機能液滴吐出ヘッド７２に機能液をそれぞれ供給する７個
の機能液供給ユニット１０１から成る機能液供給手段３４と、ワークＷやキャリッジユニ
ット３１等を画像認識する画像認識手段３５（図８参照）とを備えている。
【００２３】
そして、Ｘ軸テーブル３２によるワークＷの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル３３によるキャ
リッジユニット３１の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア４１となっ
ており、また、Ｙ軸テーブル３３によるキャリッジユニット３１の移動軌跡上のＸ軸テー
ブル３２から外側に外れた領域が、メンテナンスエリア（描画待機エリア）４２となって
おり、このメンテナンスエリア４２に上記のメンテナンス手段２３が設置されている。一
方、Ｘ軸テーブル３２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対するワークＷの搬出入を行
うワーク搬出入エリア４３となっている。
【００２４】
Ｘ軸テーブル３２は、導入されたワークＷをセットするセットテーブル５１と、セット
テーブル５１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ５２と、Ｘ軸方向
に延在し、セットテーブル５１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸
リニアモータ５３，５３と、Ｘ軸リニアモータ５３に並設され、Ｘ軸エアースライダ５２
の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール５４，５４と、セットテーブル５１の位置を把
握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニ
アモータ５３，５３を駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール５４，５４をガイドにしなが
ら、Ｘ軸エアースライダ５２をＸ軸方向に移動し、セットテーブル５１にセットされたワ
ークＷがＸ軸方向に移動する。
【００２５】
セットテーブル５１は、ワークＷを直接吸着セットする吸着テーブル５６と、吸着テー
ブル５６の下部に接続された回転部５８、および回転部５８の下部に接続されＸ軸エアー
スライダ５２上に配設された固定部５９で構成され、吸着テーブル５６を介してワークＷ
のθ位置を微調整（θ補正）するワークθ軸テーブル５７とを有している。
【００２６】
吸着テーブル５６は、平面視略正方形に形成され、その一辺の長さは、最大サイズのワ
ークＷの長辺の長さに合わせて設定されており、ワークＷを縦置き（ワークＷの長辺をＸ
軸方向と平行にする）および横置き（ワークＷの長辺をＹ軸方向と平行にする）のいずれ
か任意の向きでセット可能になっている。また、いずれのサイズのワークＷも、センター
合わせでセットされる。
【００２７】
ワークθ軸テーブル５７の固定部５９上には、吸着テーブル５６の描画エリア４１側（
図３の右側）に隣接して、メンテナンス手段２３の定期フラッシングボックス１１６が設
置されている。定期フラッシングボックス１１６は、機能液滴吐出ヘッド７２による液滴
吐出動作（描画動作）が行われない待機状態のときに、セットテーブル５１の移動により
機能液滴吐出ヘッド７２と対向する位置に配置される。
【００２８】
一方、Ｙ軸テーブル３３は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド６６，６６上
に支持され、描画エリア４１およびメンテナンスエリア４２間を架け渡すと共に、７個の
キャリッジユニット３１を、描画エリア４１とメンテナンスエリア４２との間で個々に移
動させるものである。Ｙ軸テーブル３３は、７個のキャリッジユニット３１をそれぞれ垂
設する７個のブリッジプレート６１と、７個のブリッジプレート６１がＹ軸方向に整列す
るよう、これを両持ちで支持する７組のＹ軸スライドテーブル６２と、Ｙ軸方向に延在し
、各組のＹ軸スライドテーブル６２を介して各ブリッジプレート６１をＹ軸方向に移動さ
せる前後一対のＹ軸リニアモータ６３，６３と、Ｙ軸方向に延在し、７個のブリッジプレ
ート６１の移動を案内する前後各２本（計４本）のＹ軸ガイドレール６４と、各キャリッ
ジユニット３１の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。
【００２９】
そして、一対のＹ軸リニアモータ６３，６３を駆動すると、７組のＹ軸スライドテーブ
ル６２をそれぞれ独立して移動させ、７個のキャリッジユニット３１を個別にＹ軸方向へ
移動させることができる。これによれば、７個のキャリッジユニット３１に対する個々の
移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。もちろん、７組のＹ軸スライドテ
ーブル６２を同時にＹ軸方向に移動させることにより、７個のキャリッジユニット３１を
一体としてＹ軸方向に移動させることも可能である。
なお、本実施形態では、単一のＹ軸テーブル３３に７個のキャリッジユニット３１を並
べて搭載したが、複数のＹ軸テーブル３３を設け、７個のキャリッジユニット３１をこれ
らに分割して搭載してもよい。
【００３０】
さらに、各組のＹ軸スライドテーブル６２に支持されたブリッジプレート６１上には、
対応する各キャリッジユニット３１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド７２を駆動
するヘッド用電装ユニット９７が設けられており、７個のヘッド用電装ユニット９７は、
相互に干渉することがないよう（ノイズ防止）、千鳥状に配置されている。また、前後一
対の支持スタンド６６，６６には、それぞれ前後側面にブラケット６７が外向きに固定さ
れており、各ブラケット６７上にＹ軸収容ボックス６８が支持されている。２個のＹ軸収
容ボックス６８には、７個のヘッド用電装ユニット９７の千鳥配置に対応して、７個のＹ
軸ケーブル担持体６９（ケーブルベア：登録商標）が、４個と３個に二分されて収容され
ており、各Ｙ軸ケーブル担持体６９は、ヘッド用電装ユニット９７に接続するフレキシブ
ルフラットケーブルを各キャリッジユニット３１の移動に追従可能に構成されている。
また、７個の機能液供給ユニット１０１のタンクユニット（図示省略）は、各ヘッド用電
装ユニット６６に対峙するようにして、千鳥状に配置されている。
【００３１】
図１および図４に示すように、７個のキャリッジユニット３１は、Ｙ軸テーブル３３の
７個のブリッジプレート６１によりそれぞれ垂設されてＹ軸方向に並んでおり、各キャリ
ッジユニット３１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２から成るヘッドユニット（ヘッド
群）７１と、ヘッドユニット７１および機能液供給ユニット１０１のバルブユニット１０
４（後述する）を搭載するキャリッジ７３とから構成されている。なお、７個のキャリッ
ジユニット３１を、描画エリア４１側からメンテナンスエリア４２側に向けて（図４の左
側から右側に向けて）順に第１キャリッジユニット３１ａ、第２キャリッジユニット３１
ｂ、・・・、第７キャリッジユニット３１ｇとする。
【００３２】
図３および図４に示すように、各キャリッジ７３は、ヘッドユニット７１およびバルブ
ユニット１０４を位置決め固定する平面視略平行四辺形の支持プレート７６と、支持プレ
ート７６を保持するキャリッジ本体７７と、キャリッジ本体７７を吊設すると共に、キャ
リッジ本体７７の上部に連結され、キャリッジ本体７７を介してヘッドユニット７１のθ
位置を微調整（θ軸補正）するヘッドθ軸テーブル７８と、ヘッドθ軸テーブル７８の上
部に連結され、ヘッドθ軸テーブル７８およびキャリッジ本体７７を介してヘッドユニッ
ト７１のＺ位置を微調整（Ｚ軸補正）するヘッドＺ軸テーブル７９とを有している。なお
、図示しないが、各支持プレート７６には、画像認識を前提として、各キャリッジユニッ
ト３１（ヘッドユニット７１）をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決め（位置認識）する
ための基準となる一対の基準ピンが設けられている。
【００３３】
支持プレート７６は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されてお
り、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２を位置決めすると共に、ヘッド保持部材（図示省略
）により各機能液滴吐出ヘッド７２を裏面側から固定するための１２個の装着開口（図示
省略）が形成されている。そして、支持プレート７６は、キャリッジ本体７７に着脱自在
に支持され、ヘッドユニット７１は、バルブユニット１０４と共に支持プレート７６を介
してキャリッジ７３に搭載される。
【００３４】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド７２は、いわゆる２連のものであり、２連の接
続針８２を有する機能液導入部８１と、機能液導入部８１に連なる２連のヘッド基板８３
と、機能液導入部８１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッ
ド内流路が形成されたヘッド本体８４とを備えている。接続針８２は、後述する圧力調整
弁１０５（図４参照）を介して機能液タンク（図示省略）に接続され、機能液滴吐出ヘッ
ド７２のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体８４は、ピエゾ素子等で構
成されたキャビティ９１と、２本のノズル列９４，９４を相互に平行に形成したノズル面
９３を有するノズルプレート９２とを有している。
【００３５】
各ノズル列９４の長さは、例えば１インチ（略２５．４ｍｍ）であって、各ノズル列９
４は１８０個のノズル９５が等ピッチ（略１４０μｍ）で並べられて構成されている。
また、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル９５からの吐出量が中央部に位
置するノズル９５からの吐出量に比べて多くなってしまうため、両端部の各１０個のノズ
ル９５を不吐出ノズルとし、中央部の１６０個のノズル９５を吐出ノズルとして、吐出ノ
ズルのみから機能液を吐出し、不吐出ノズルからは機能液を吐出しないようにしている。
【００３６】
次に、機能液滴吐出ヘッド７２におけるノズルプレート９２及びキャビティ９１につい
て説明する。
図６（ａ）は機能液滴吐出ヘッド７２の構造説明図、図６（ｂ）は正面断面図である。
なお、図６においては、図５に対して機能液滴吐出ヘッド７２が上下逆に図示されている
。
【００３７】
機能液滴吐出ヘッド７２は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液
体を吐出させるもので、上述したように、複数列に配列された複数のノズル９５を有して
いる。この機能液滴吐出ヘッド７２の構造の一例を説明すると、機能液滴吐出ヘッド７２
は、図６（ａ）に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート９２と振動板１２３
とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１２４を介して接合したものである。ノ
ズルプレート９２と流路形成部としての振動板１２３との間には、仕切部材１２４によっ
て複数の空間１２５と液溜部１２６とが形成されている。各空間１２５と液溜部１２６の
内部はインク（液状体）で満たされており、各空間１２５と液溜部１２６とは供給口１２
７を介して連通した（接続された）ものとなっている。すなわち、空間１２５及び供給口
１２７は、液溜部１２６に満たされたインクをノズル９５に導くための流路１２８を形成
している。
また、ノズルプレート９２には、空間１２５からインクを噴射するためのノズル（ノズ
ル開口）９５が形成されている。一方、振動板１２３には、液溜部１２６にインクを供給
するための孔１２９が形成されている。
【００３８】
また、振動板１２３の空間１２５に対向する面と反対側の面上には、図６（ｂ）に示す
ように、圧電素子（ピエゾ素子）１２０が接合されている。この圧電素子１２０は、圧電
材料を一対の電極１３０で挟持したものであり、一対の電極１３０に通電すると圧電材料
が収縮するよう構成されたものであり、ノズル９５毎に設けられている。そして、このよ
うな構成のもとに圧電素子１２０が接合されている振動板１２３は、圧電素子１２０と一
体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１２５の容積が増
大するようになっている。したがって、空間１２５内に増大した容積分に相当するインク
が、液溜部１２６から供給口１２７を介して流入する。また、このような状態から圧電素
子１２０への通電を解除すると、圧電素子１２０と振動板１２３はともに元の形状に戻る
。したがって、空間１２５も元の容積に戻ることから、空間１２５内部のインクの圧力が
上昇し、ノズル９５から基板に向けてインクの液滴Ｌが吐出される。
【００３９】
すなわち、上述したヘッド基板８３には、２連のコネクタ９６，９６が設けられており
、各コネクタ９６は、フレキシブルフラットケーブルを介して上記のヘッド用電装ユニッ
ト９７（ヘッドドライバ１４１、図８参照）に接続されている。そして、コントローラ２
４からヘッド用電装ユニット９７を介してキャビティ９１（電極１３０）に駆動波形が印
加すると、上記振動板１２３の撓曲によるキャビティ９１のポンプ作用により、各ノズル
９５から機能液滴が吐出される。したがって、キャビティ９１に印加する駆動波形の大き
さ（印加電圧値の大きさ）や周期を制御することで、液滴吐出量や吐出タイミングがノズ
ル９５毎に独立して制御される。
【００４０】
本実施形態では、ワークＷに対し、７個のキャリッジユニット３１のうち少なくとも１
つのキャリッジユニット３１から成る稼動ユニット群３６をＸ軸方向に相対的に移動させ
ながら、描画エリア４１においてその機能液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に機能液を
吐出して描画処理を行う構成となっている。
【００４１】
なお、機能液滴吐出ヘッド７２の液滴吐出方式としては、前記の圧電素子１２０を用い
たピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱
変換体を用いた方式を採用してもよい。
【００４２】
機能液供給手段３４の各機能液供給ユニット１０１は、機能液を貯留する１２個の機能
液タンクから成るタンクユニットと、機能液タンクおよび機能液滴吐出ヘッド７２間の水
頭圧を調整する１２個の圧力調整弁１０５から成るバルブユニット１０４と、１２個の機
能液タンクと１２個の圧力調整弁１０５とをそれぞれ接続する１２本のタンク側給液チュ
ーブ（図示省略）と、１２個の圧力調整弁１０５および１２個の機能液滴吐出ヘッド７２
（の各２連の接続針８２）をそれぞれ分岐継手（図示省略）を介して接続する２４本のヘ
ッド側給液チューブ（図示省略）とを有している。
【００４３】
画像認識手段３５は、ワーク搬出入エリア４３の前後両側に臨むように配設され、ワー
クＷの両長辺部分にそれぞれ形成された２つのワークアライメントマーク（図示省略）を
それぞれ画像認識する２台のワーク認識カメラ１０６（図８参照）と、Ｘ軸テーブル３２
のＸ軸エアースライダ５２に連結され、各キャリッジ７３（支持プレート７６）の２つの
基準ピンを画像認識するヘッド認識カメラ１０７（図８参照）と、上記のＹ軸テーブル３
３に添設されたカメラ移動機構（図示省略）によりＹ軸方向に移動可能にそれぞれ搭載さ
れ、ワークＷ等に吐出された機能液滴（ドット）を上方から撮像して画像認識する２台の
ドット認識カメラ１０８（図８参照）とを有している。これらの各種カメラの画像認識結
果に基づいて、上述したワークＷやヘッドユニット７１の位置補正が行われる。
【００４４】
ここで、図１ないし図３を参照して、描画装置２２によるワークＷへの吐出動作、すな
わち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、上記の
ワーク搬出入装置２により吸着テーブル５６にワークＷがセットされ、そのワークＷの位
置補正が、ワークθ軸テーブル５７によるθ軸方向の位置補正と、ワークＷのＸ軸方向お
よびＹ軸方向の位置データ補正とにより行われる。相前後して、描画エリア４１に移動す
る稼動ユニット群３６と、メンテナンスエリア４２に移動する描画待機ユニット群３７と
の仕分けが行われる（詳細は後述する）。また、描画エリア４１に移動した稼動ユニット
群３６の各ヘッドユニット７１の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル７８によるθ軸方向の
位置補正およびＹ軸テーブル３３によるＹ軸方向の位置補正と、ヘッドユニット７１のＸ
軸方向の位置データ補正とにより行われる。
【００４５】
ワークＷやヘッドユニット７１の位置補正が行われた後、描画装置２２は、コントロー
ラ２４（制御部１３２）による制御を受けながら、ワークＷをＸ軸テーブル３２によりＸ
軸方向に往動させると共に、これに同期して稼動ユニット群３６の機能液滴吐出ヘッド７
２を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。続いて、ワークＷ
を復動させながら、再度ワークＷに対する機能液の吐出が行われる。このようにワークＷ
のＸ軸方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド７２の駆動とを複数回繰り返すことで、ワ
ークＷに対する描画が行われる。すなわち、描画エリア４１に臨むワークＷに対し、稼動
ユニット群３６をＸ軸方向に相対的に移動させながら、稼動ユニット群３６の機能液滴吐
出ヘッド７２からワークＷ上に機能液を吐出して描画処理が行われる。
【００４６】
なお、この描画処理において、ワークＷの往動時のみ機能液の吐出が行われる構成とし
てもよい。また、ワークＷを固定とし、稼動ユニット群３６をＸ軸方向に移動させる構成
であってもよい。さらに、本実施形態では、上述したように、ワークＷの描画対象幅と稼
動ユニット群３６の部分描画ライン群の長さとが対応しているが、ワークＷの描画対象幅
が稼動ユニット群３６の部分描画ライン群の長さよりも長い構成であってもよく、この場
合には、ワークＷに対し稼動ユニット群３６を往復動させながら機能液滴吐出ヘッド７２
を駆動させて吐出走査（主走査）を行った後、Ｙ軸テーブル３３により稼動ユニット群３
６を部分描画ライン群の長さ分Ｙ軸方向に移動させ（副走査）、再度ワークＷに対する主
走査が行われる。そして、この主走査および副走査を数回繰り返してワークＷの端から端
まで液滴吐出が行われる。
【００４７】
次に、図２および図７を参照して、液滴吐出装置１におけるメンテナンス手段２３およ
びこれによる機能液滴吐出ヘッド７２の機能維持・回復処理について説明する。メンテナ
ンス手段２３は、機能液滴吐出ヘッド７２を、吐出機能を維持した状態で保管すると共に
、吐出機能を維持・回復するものである。メンテナンス手段２３は、機能液滴吐出ヘッド
７２を吸引して、機能液滴吐出ヘッド７２から機能液を強制的に排出させる吸引ユニット
１１１と、機能液が付着して汚れた機能液滴吐出ヘッド７２のノズル面９３を払拭するワ
イピングユニット１１３と、吸引ユニット１１１の７個の分割吸引ユニット１１２（後述
する）およびワイピングユニット１１３をそれぞれ個別に昇降可能に支持する８個のユニ
ット昇降機構１１５から構成されるユニット昇降手段１１４とを有しており、これらは、
アングル架台１１８上に支持されてメンテナンスエリア４２に配設されている。さらに、
メンテナンス手段２３は、上記のワークθ軸テーブル５７上に配設された定期フラッシン
グボックス１１６と、セットテーブル５１の前後両側に配設された一対の吐出前フラッシ
ングボックス（図示省略）とを有している。
【００４８】
吸引ユニット１１１は、７個のキャリッジユニット３１に対応して、Ｙ軸方向に配列さ
れた７個の分割吸引ユニット１１２を有している。各分割吸引ユニット１１２は、キャリ
ッジユニット３１に対して下側から臨み、１２個の機能液滴吐出ヘッド７２のノズル面９
３にそれぞれ気密に封止させる１２個のキャップ１２１と、１２個のキャップ１２１を昇
降自在に支持するキャップ支持部材１２２と、封止させたキャップ１２１を介して機能液
滴吐出ヘッド７２に吸引力を作用させるエゼクタ（図示省略）とを備えている。
【００４９】
１２個のキャップ１２１は、各キャリッジ７３に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッ
ド７２の並びに対応させて、キャップ支持部材１２２に配設したものである。そのため、
吸引ユニット１１１全体では、７個のキャリッジユニット３１の全機能液滴吐出ヘッド７
２の配置パターンに倣って、１２×７個のキャップ１２１が配置されており、全機能液滴
吐出ヘッド７２にそれぞれ対応するキャップ１２１を一度に封止させることが可能である
。さらに、キャップ１２１をノズル面９３に封止させた状態でエゼクタを駆動することに
より、ノズル９５から機能液を吸引することで、機能液滴吐出ヘッド７２内で増粘した機
能液を除去することができる。
【００５０】
したがって、吸引ユニット１１１は、各キャップ１２１により機能液滴吐出ヘッド７２
を気密に封止することで、複雑な機構を用いることなく、機能液滴吐出ヘッド７２のノズ
ル９５の機能液が乾燥することを防止して、機能液滴吐出ヘッド７２を機能維持状態に保
管すると共に、各キャップ１２１により気密状態として機能液滴吐出ヘッド７２のノズル
９５から吸引することで、増粘した機能液を排出することができる。
【００５１】
ワイピングユニット１１３は、メンテナンスエリア４２の描画エリア４１側、すなわち
描画エリア４１と吸引ユニット１１１との間に配置されており、機能液滴吐出ヘッド７２
の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面９３を、洗浄液を含浸させたワイピン
グシート１２３を用いて拭き取るものである。このような配置により、ワイピングユニッ
ト１１３は、吸引ユニット１１１による吸引を終えて、描画エリア４１へ個々に移動する
キャリッジユニット３１に順次臨むことができ、その機能液滴吐出ヘッド７２にワイピン
グ処理を行うことができるようになっている。そして、上記の吸引処理と、吸引処理によ
りノズル面９３に付着した機能液を拭き取るワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた
機能液滴吐出ヘッド７２の吐出機能を回復させることができる。
【００５２】
図３に示すように、定期フラッシングボックス１１６は、ワークＷに対する描画を一時
的に停止するときに行うフラッシングを受けるためのものであり、上記のワークθ軸テー
ブル５７上に設けられ、ワークＷの交換のためにセットテーブル５１がワーク搬出入エリ
ア４３に臨むとき、定期フラッシングボックス１１６が描画エリア４１に臨み、機能液滴
吐出ヘッド７２からのフラッシングを受けるようになっている。
【００５３】
図示しないが、一対の吐出前フラッシングボックスは、ワークＷに機能液を吐出させる
直前に行う吐出前フラッシングを受けるためのものであり、セットテーブル５１をＸ軸方
向に挟むように配設されている。これにより、ワークＷの往復動に伴う機能液滴吐出ヘッ
ド７２の吐出駆動の直前に行われるフラッシングを受けることができる。
定期フラッシングボックス１１６および一対の吐出前フラッシングボックスは、それぞ
れ平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収させる吸収材（図
示省略）が敷設されている。また、各フラッシングボックスの長辺（Ｙ軸方向）は、上記
の最大幅描画ラインＬｍの長さに対応して形成されているため、稼動ユニット群３６が全
キャリッジユニット３１により構成されている場合にも、その機能液滴吐出ヘッド７２か
らのフラッシングを受け得るようになっている。
【００５４】
次に、図８を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について簡単に説明する。液滴吐
出装置１の制御系は、基本的に、上位コンピュータ３と、機能液滴吐出ヘッド７２、Ｘ軸
テーブル３２、Ｙ軸テーブル３３、メンテナンス手段２３等を駆動する各種ドライバを有
する駆動部１３１と、駆動部１３１を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部（駆
動制御装置）１３２（コントローラ２４）とを備えている。
【００５５】
上位コンピュータ３は、コントローラ２４に接続されたコンピュータ本体１６に、キー
ボード１７や、キーボード１７による入力結果等を画像表示するディスプレイ１８等が接
続されて構成されている。
駆動部１３１は、機能液滴吐出ヘッド７２を吐出駆動制御するヘッドドライバ１４１と
、Ｘ軸テーブル３２およびＹ軸テーブル３３の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ド
ライバ１４２と、メンテナンス手段２３の吸引ユニット１１１、ワイピングユニット１１
３およびユニット昇降機構１１５を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１４３とを備え
ている。
【００５６】
制御部１３２は、ＣＰＵ１５１と、ＲＯＭ１５２と、ＲＡＭ１５３と、Ｐ−ＣＯＮ１５
４とを備え、これらは互いにバス１５５を介して接続されている。ＲＯＭ１５２は、ＣＰ
Ｕ１５１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や画像
認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００５７】
ＲＡＭ１５３は、各種レジスタ群のほか、ワークＷに機能液の吐出を行うための描画デ
ータを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび機能液滴吐出ヘッド７２の位置データ
を記憶する位置データ記憶部、オペレータによってキーボード１７から入力された各種設
定（後述する稼動ユニット群３６と描画待機ユニット群３７との設定等）を記憶する設定
記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００５８】
Ｐ−ＣＯＮ１５４には、駆動部１３１の各種ドライバのほか、画像認識手段３５の各種
カメラが接続されており、ＣＰＵ１５１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェー
ス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ
１５４は、上位コンピュータ３からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１５５
に取り込むと共に、ＣＰＵ１５１と連動して、ＣＰＵ１５１等からバス１５５に出力され
たデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１３１に出力する。
【００５９】
そして、ＣＰＵ１５１は、ＲＯＭ１５２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１５
４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１５３内の各種デー
タ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１５４を介して駆動部１３１等に各種の制御信号を出力す
ることにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１５１は、機能液滴
吐出ヘッド７２、Ｘ軸テーブル３２およびＹ軸テーブル３３を制御して、所定の液滴吐出
条件および所定の移動条件でワークＷに描画を行う。
【００６０】
（メンテナンス方法の第１実施形態）
続いて、上記の液滴吐出装置１において、機能液滴吐出ヘッド７２に対するメンテナン
ス方法の第１実施形態について、図９を参照して説明する。
なお、上記の説明では、吸引ユニット１１１の分割吸引ユニット１１２及びキャリッジ
ユニット３１（ヘッドユニット７１）、定期フラッシングボックス１１６は、それぞれ７
基ずつ設けられる構成として説明したが、以下の説明及び図９では理解を容易にするため
に、それぞれ４基（ａ〜ｄ）ずつを使って説明する。また、図９においては、これら分割
吸引ユニット１１２、キャリッジユニット３１、定期フラッシングボックス１１６を簡略
化して図示している。
【００６１】
まず、図９（ａ）に示すように、描画エリア４１において定期フラッシングボックス１
１６と対向するキャリッジユニット３１ａ〜３１ｄ（ヘッドユニット７１）を、Ｙ軸リニ
アモータ６３，６３を駆動することにより、図９（ｂ）に示すように、一括的にメンテナ
ンスエリア４２に移動させ分割吸引ユニット１１２と対向させる。メンテナンスエリア４
２で分割吸引ユニット１１２による吸引処理及びワイピングユニット１１３によるワイピ
ング処理のメンテナンス処理が最初に完了したキャリッジユニット３１ａは、図９（ｃ）
に示すように、描画エリア４１に移動して、定期フラッシングボックス１１６ａ〜１１６
ｄと対向する位置を順次往復移動する。
【００６２】
このとき、キャリッジユニット３１ａに支持された機能液滴吐出ヘッド７２においては
、ノズル９５から液状体が吐出されない大きさ（駆動波形）で圧電素子１２０が駆動する
ことにより、メニスカスの増粘を防止するのに伴って圧電素子１２０が発熱する。これに
より、加熱源であるキャリッジユニット３１ａ〜３１ｄのメンテナンスエリア４２への移
動により、温度が低下していた描画エリア４１（の雰囲気）は、温度調整装置としてのキ
ャリッジユニット３１ａの往復移動により加熱（温度調整）されることになる。
【００６３】
続いて、キャリッジユニット３１ｂに対するメンテナンス処理が完了すると、図９（ｄ
）に示すように、キャリッジユニット３１ｂは描画エリア４１に移動して、キャリッジユ
ニット３１ａとともに定期フラッシングボックス１１６ａ〜１１６ｄと対向する位置を順
次往復移動する。この場合も、キャリッジユニット３１ｂに支持された機能液滴吐出ヘッ
ド７２においては、ノズル９５から液状体が吐出されない大きさ（微振動）で圧電素子１
２０が駆動することにより圧電素子１２０が発熱するため、キャリッジユニット３１ｂは
描画エリア４１における加熱源となって周囲の温度を調整することになる。
【００６４】
この後、キャリッジユニット３１ｃに対するメンテナンス処理が完了すると、上記と同
様に、図９（ｅ）に示すように、キャリッジユニット３１ａ〜３１ｃが定期フラッシング
ボックス１１６ａ〜１１６ｂと対向する位置を順次往復移動する。キャリッジユニット３
１ｃにおいても、機能液滴吐出ヘッド７２におけるノズル９５から液状体が吐出されない
大きさ（微振動）で圧電素子１２０が駆動して発熱するため、キャリッジユニット３１ｃ
は描画エリア４１における加熱源となって周囲の温度を調整する。
【００６５】
そして、キャリッジユニット３１ｄに対するメンテナンス処理が完了すると、キャリッ
ジユニット３１ａ〜３１ｄは、図９（ａ）に示したそれぞれ定期フラッシングボックス１
１６ａ〜１１６ｄと対向する待機位置に位置決めされ、描画処理を開始可能となる。
【００６６】
以上のように、本実施形態では、メンテナンス処理が完了した機能液滴吐出ヘッド７２
を用いて描画エリア４１の温度を調整するため、メンテナンス工程中であっても、描画エ
リア４１の温度低下を抑制することができる。そのため、本実施形態では、メンテナンス
処理完了後に描画エリア４１に移動した機能液滴吐出ヘッド７２の熱が奪われて液滴の吐
出量が変動して品質低下を招いたり、ヘッドの温度が安定するまで待機することで生産性
が低下することを防止できる。従って、本実施形態では、高品質のデバイスを効率よく製
造することが可能になる。
【００６７】
また、本実施形態では、キャリッジユニット３１を描画エリア４１の全体に亘って順次
往復移動させるため、描画エリア４１の温度分布を均等にすることが可能である。
さらに、本実施形態では、上記描画エリア４１の温度調整をメンテナンス処理が完了し
た機能液滴吐出ヘッド７２を用いているため、温度調整用機器を別途設ける必要がなく、
装置の小型化及び低価格化に寄与できる。
【００６８】
（メンテナンス方法の第２実施形態）
続いて、機能液滴吐出ヘッド７２に対するメンテナンス方法の第２実施形態について、
図１０を参照して説明する。この図において、図９に示す第１実施形態の構成要素と同一
の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
上記第１実施形態では、メンテナンス処理が完了した機能液滴吐出ヘッド７２を描画エ
リア４１で順次往復移動させる構成としたが、第２実施形態では描画エリア４１の温度分
布に応じた位置に配置する構成について説明する。
【００６９】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、描画エリア４１で待機状態のキャリッジ
ユニット３１ａ〜３１ｄ（ヘッドユニット７１）をメンテナンスエリア４２に移動させた
後に、メンテナンス処理が最初に完了したキャリッジユニット３１ａは、図１０（ｃ）に
示すように、描画エリア４１に移動して、定期フラッシングボックス１１６ｄと対向する
位置に配置される。なお、描画エリア４１に移動した機能液滴吐出ヘッド７２については
、上述した第１実施形態と同様に、ノズルから液滴が吐出されない大きさで圧電素子１２
０が駆動するが、これは他の機能液滴吐出ヘッド７２についても同様であるため、以下の
説明は省略する。
【００７０】
すなわち、メンテナンス処理は、キャリッジユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ
の順序で成されて完了するため、描画エリア４１にキャリッジユニット３１ａ〜３１ｄが
戻ってくる順序もメンテナンス処理の完了順序となる。そのため、最初にキャリッジユニ
ット３１ａが戻ってくる定期フラッシングボックス１１６ａと対向する位置と、最後にキ
ャリッジユニット３１ｄが戻ってくる定期フラッシングボックス１１６ｄと対向する位置
とでは温度分布が生じることになる（定期フラッシングボックス１１６ａと対向する位置
は温度低下が小さく、定期フラッシングボックス１１６ｄと対向する位置は温度低下が大
きくなる）。そこで、温度低下が最も大ききことが想定される定期フラッシングボックス
１１６ｄと対向する位置に、メンテナンス処理が最初に完了したキャリッジユニット３１
ａを配置して加熱することで、後に生じる温度分布を小さくすることができる。
【００７１】
次に、キャリッジユニット３１ｂのメンテナンス処理が完了すると、この時点で温度低
下が大きいと想定される定期フラッシングボックス１１６ａ〜１１６ｃと対向する位置の
中、図１０（ｄ）に示すように、メンテナンスエリア４２に近い側の定期フラッシングボ
ックス１１６ｂ、１１６ｃと対向する位置を選択して、キャリッジユニット３１ａ、３１
ｂをそれぞれ配置する。この選択は、メンテナンスエリア４２に近い側に位置する定期フ
ラッシングボックスと対向する位置に配置されるキャリッジユニットの方がメンテナンス
処理を実施するタイミングが後になり、描画エリア４１に戻るまでの時間が長くなって、
この位置が温度低下しやすいことを考慮して行われる。
【００７２】
続いて、キャリッジユニット３１ｃのメンテナンス処理が完了すると、図１０（ｅ）に
示すように、この時点まで温度調整がなされておらず、温度低下が最も大きいと想定され
る定期フラッシングボックス１１６ａと対向する位置を選択して、キャリッジユニット３
１ａを配置する。また、温度低下が２番目に大きいと想定される定期フラッシングボック
ス１１６ｄと対向する位置を選択して、キャリッジユニット３１ｃを配置する。そして、
温度低下が３番目に大きいと想定される定期フラッシングボックス１１６ｂ、１１６ｃと
対向する位置については、メンテナンス処理が未完了のキャリッジユニットが一つだけで
あり、描画エリア４１に戻ってくるまでの時間に差が無いため、後にキャリッジユニット
を待機位置に戻す際に待機位置まで移動させるキャリッジユニットの数を少なくするため
に、定期フラッシングボックス１１６ｂと対向する位置を選択して、キャリッジユニット
３１ｂを配置する。
【００７３】
そして、キャリッジユニット３１ｄに対するメンテナンス処理が完了すると、キャリッ
ジユニット３１ａ〜３１ｄは、図１０（ａ）に示したそれぞれ定期フラッシングボックス
１１６ａ〜１１６ｄと対向する待機位置に位置決めされ、描画処理を開始可能となる。
【００７４】
このように本実施形態では、上記第１実施形態と同様の作用・効果が得られることに加
えて、描画エリア４１における温度分布及び想定される温度分布に基づいて温度調整を行
う位置を選択するため、より効果的に温度分布を小さくすることが可能になる。
【００７５】
［カラーフィルタの製造方法］
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明す
る。図１１は、基板Ｓにおけるカラーフィルタ領域１５１の説明図である。上記液滴吐出
装置１を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板Ｓ
上に、複数個のカラーフィルタ領域１５１をマトリクス状に形成する際に適用することが
できる。これらのカラーフィルタ領域１５１は、後で基板Ｓを切断することにより、液晶
表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフ
ィルタ領域１５１においては、図１３に示したように、Ｒのインク、Ｇのインク、および
Ｂのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置
する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型
あるいはスクウェア型等としてもよい。
【００７６】
図１２は、カラーフィルタの製造方法の説明図である。このようなカラーフィルタ領域
１５１を形成するには、まず、図１２（ａ）に示すように、透明の基板Ｓの一方の面に対
し、ブラックマトリクス１５２を形成する。このブラックマトリクス１５２を形成する際
には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色樹脂）を、スピンコート等の方法で所定の厚
さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。
このブラックマトリクス１５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレ
メント１５３については、例えばＸ軸方向の幅を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ
程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁と
して機能する。
【００７７】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１における液滴吐出ヘッドから、図１２（ｂ）に示す
ようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴１５４（液状体）を吐出し、こ
れを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴１５４の量については、加熱工程における
インクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク滴の焼成を行い、図１２（
ｃ）に示すようなインク受容層１６０とする。
【００７８】
次に、液滴吐出ヘッド７２から、図１２（ｄ）に示すようにＲのインク滴１５４Ｒ（液
状体）を吐出し、これを基板Ｓ上に着弾させる。吐出するインク滴１５４の量については
、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インクの仮焼
成を行い、図１２（ｅ）に示すようなＲ着色層１３４Ｒとする。以上の工程を、Ｇ着色層
形成装置、Ｂ着色層形成装置においても繰り返し、図１２（ｆ）に示すように、Ｇ着色層
１３４Ｇ、Ｂ着色層１３４Ｂを順次形成する。Ｒ着色層１３４Ｒ、Ｇ着色層１３４Ｇ、Ｂ
着色層１３４Ｂを全て形成した後、これら着色層１３４Ｒ，１３４Ｇ，１３４Ｂを一括し
て焼成する。
【００７９】
次いで、基板Ｓを平坦化し、かつ着色層１３４Ｒ，１３４Ｇ，１３４Ｂを保護するため
、図１２（ｇ）に示すように各着色層１３４Ｒ，１３４Ｇ，１３４Ｂやブラックマトリク
ス１５２を覆うオーバーコート膜（保護膜）１５６を形成する。このオーバーコート膜１
５６の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採
用することもできるが、着色層１３４Ｒ，１３４Ｇ，１３４Ｂの場合と同様に液滴吐出装
置１を用いることもできる。
【００８０】
［液晶装置］
次に、上記カラーフィルタを備えた液晶装置（電気光学装置）の一実施形態を示す。図
１３はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図１３中の符号１３０は液
晶装置である。この液晶装置１３０は透過型のもので、一対のガラス基板１３１、１３２
の間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等からなる液晶層１３３が挟持されてなる
ものである。
【００８１】
一方のガラス基板１３１には、その内面に上記カラーフィルタ１５５が形成されている
。カラーフィルタ１５５は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色からなる着色層１３４Ｒ、１３４Ｇ、１３
４Ｂが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層１３４Ｒ（１３
４Ｇ、１３４Ｂ）間には、ブラックマトリクス１５２が形成されている。そして、これら
カラーフィルタ１５５およびブラックマトリクス１５２の上には、カラーフィルタ１５５
やブラックマトリクス１５２によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、
オーバーコート膜（保護膜）１５６が形成されている。オーバーコート膜１５６の上には
複数の電極１３７がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜１３８が形成され
ている。
【００８２】
他方のガラス基板１３２には、その内面に、カラーフィルタ１５５側の電極１３７と直
交するようにして、複数の電極１３９がストライプ状に形成されており、これら電極１３
９上には、配向膜１４０が形成されている。なお、前記カラーフィルタ１５５の各着色層
１３４Ｒ、１３４Ｇ、１３４Ｂは、それぞれ各ガラス基板１３２上の電極１３９、１３７
の交差する位置に配置されている。また、電極１３７、１３９は、ＩＴＯ（Indium Tin O
xide）などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板１３２とカラー
フィルタ１５５の外面側にはそれぞれ偏光板（図示せず）が設けられ、ガラス基板１３１
、１３２間にはこれら基板１３１、１３２間の間隔（セルギャップ）を一定に保持するた
めスペーサ１４１が設けられている。さらに、これらガラス基板１３１、１３２間には液
晶１３３を封入するためのシール材１４２が設けられている。
【００８３】
本実施形態の液晶装置１３０では、上記液滴吐出装置１を用いて製造されるカラーフィ
ルタ１５５を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することが
できる。
【００８４】
［電子機器］
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図１４は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図１４において、符号５０
０は液晶テレビジョン本体を示し、符号５０１は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表
示部を示している。このように、図１６に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備
えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現す
ることができる。
【００８５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発
明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材
の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計
要求等に基づき種々変更可能である。
【００８６】
例えば、上記実施形態では、描画エリア４１の温度を調整する手段として、メンテナン
ス処理が完了した機能液滴吐出ヘッド７２を設ける構成としたが、これに限定されるもの
ではなく、例えば定期フラッシングボックス１１６ａ〜１１６ｄにヒーター（加熱装置）
を設け、メンテナンス処理中はこのヒーターを作動させて描画エリア４１の温度を調整す
る構成としてもよい。
【００８７】
また、上記実施形態では、複数の機能液滴吐出ヘッド７２が各キャリッジユニット３１
ａ〜３１ｄに群構成で搭載される構成としたが、これに限られるものではなく、例えば一
つの機能液滴吐出ヘッド７２がキャリッジユニットに搭載されて移動する構成であっても
本発明を適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】複数のキャリッジユニットの説明図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】液滴吐出ヘッドの説明図である。
【図７】メンテナンス手段の外観斜視図である。
【図８】液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。
【図９】本実施形態のメンテナンス方法を示す工程図である。
【図１０】第２実施形態に係るメンテナンス方法を示す工程図である。
【図１１】基板におけるカラーフィルタ領域の説明図である。
【図１２】カラーフィルタの製造方法の説明図である。
【図１３】パッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図である。
【図１４】液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００８９】
１…液滴吐出装置、  ４１…描画エリア、  ４２…メンテナンスエリア（描画待機エリ
ア）、  ７１…ヘッドユニット（ヘッド群）、  ７２…機能液滴吐出ヘッド（ヘッド、温
度調整装置）、  １３２…制御部（駆動制御装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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