(57)【要約】      （修正有）【課題】電子パッケージ方法とその設備を提供する。【解決手段】パネル基板１０１を作業サセプタ１０に搭載して、各種パッケージ工程を実行するものである。各種パッケージ装置は、作業サセプタに近接して配置され、機械アームにより作業領域に移動されて、基板の輸送と反りの問題を克服する。パッケージ工程において、パネル基板を利用し、パネル基板の異なる領域上で、同時に、相同、或いは、異なるパッケージ工程を実行することができ、これにより、効果的に歩留まりを増加し、コストダウンを達成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子パッケージ方法であって、
基板を作業サセプタに搭載する工程と、
チップ粘着工程を実行して、複数のチップを前記基板上に固定し、前記チップ粘着工程は、チップ粘着装置を前記作業サセプタに移動して作業する工程と、
ワイヤーボンディング工程を実行し、複数のリード線により、前記チップと前記基板を電気的に接続し、前記ワイヤーボンディング工程は、ワイヤーボンディング装置を前記作業サセプタに移動して作業する工程と、
モールド工程を実行して、前記チップと前記リード線を被覆し、前記モールド工程は、モールド装置を前記作業サセプタに移動して作業する工程と、
前記基板に対し単一化工程を実行して、複数のパッケージ体を獲得し、前記単一化工程は、シンギュレーション装置を作業サセプタに移動して作業する工程と、
からなることを特徴とする電子パッケージ方法。
【請求項２】
更に、前記パッケージ体に対しマーク工程を実行する工程を含み、前記マーク工程は、マーク装置を前記作業サセプタに移動して作業することを特徴とする請求項１に記載の電子パッケージ方法。
【請求項３】
前記マーク装置は、機械アームにより、懸掛方式で、前記作業サセプタに移動して作業することを特徴とする請求項２に記載の電子パッケージ方法。
【請求項４】
前記チップ粘着装置、前記ワイヤーボンディング装置、前記モールド装置、前記シンギュレーション装置は、機械アームにより、懸掛方式で、前記作業サセプタに移動して作業することを特徴とする請求項１に記載の電子パッケージ方法。
【請求項５】
前記チップ粘着工程、前記ワイヤーボンディング工程、及び、前記モールド工程は、同時に、前記基板上の異なる領域で作業できることを特徴とする請求項１に記載の電子パッケージ方法。
【請求項６】
更に、前記単一化工程に前に、前記基板を旋転させると共に、前記基板の背面にボールマウント工程を実行する工程を含み、前記ボールマウント工程は、機械アームにより、懸掛方式で、前記作業サセプタに移動して作業することを特徴とする請求項１に記載の電子パッケージ方法。
【請求項７】
電子パッケージ設備であって、
基板を搭載する作業サセプタと、
懸掛設置し、前記作業サセプタに移動して、複数のチップを前記基板上に固定するチップ粘着装置と、
懸掛設置し、前記作業サセプタに移動して、ワイヤーボンディングを実行し、前記チップと前記基板を複数のリード線により電気的に接続するワイヤーボンディング装置と、
懸掛設置し、前記作業サセプタに移動して、前記チップと前記リード線を被覆するモールド装置と、
懸掛設置し、前記作業サセプタに移動して、前記基板に対し単一化工程を実行して、複数のパッケージ体を獲得するシンギュレーション装置と、
からなることを特徴とする電子パッケージ設備。
【請求項８】
更に、マーク装置を有し、懸掛設置され、前記作業サセプタに移動して、前記パッケージ体に対しマークを実行することを特徴とする請求項７に記載の電子パッケージ設備。
【請求項９】
更に、機械アームを有し、前記マーク装置を移動することを特徴とする請求項８に記載の電子パッケージ設備。
【請求項１０】
更に、機械アームを有し、それぞれ、前記チップ粘着装置、前記ワイヤーボンディング装置、前記モールド装置、及び、前記シンギュレーション装置に設置されて、前記作業サセプタに移動して、各種工程を実行することを特徴とする請求項７に記載の電子パッケージ設備。
【請求項１１】
前記チップ粘着装置、前記ワイヤーボンディング装置、及び、前記モールド装置は、同時に、前記作業サセプタに移動して、前記基板の異なる領域で作業を実行することを特徴とする請求項７に記載の電子パッケージ設備。
【請求項１２】
更に、旋転装置を有し、前記基板を旋転し、前記旋転装置は、機械アームにより、懸掛方式で、前記作業サセプタに移動して作業することを特徴とする請求項７に記載の電子パッケージ設備。
【請求項１３】
更に、ボールマウント装置を含み、機械アームにより、懸掛方式で、前記作業サセプタに移動して、前記基板の背面に対し、ボールマウントを実行することを特徴とする請求項１２に記載の電子パッケージ設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子パッケージ方法、及び、その設備に関するものであって、特に、パネル基板を使用した電子パッケージ方法、及び、その設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板メーカーは、パネル基板（panel  substrate）によりパッケージ基板を製作する。出荷前に、パネル基板を棒状基板（strip  type   substrate）に分割し、パッケージメーカーに送って、後続のパッケージ作業を実行する。しかし、パッケージメーカーが、棒状基板を各製造設備に伝送して、パッケージ工程を実行するのに、現有の製造設備の規格に適合するために、作業領域の大小、基板の反り、伝送問題を克服することができず、生産能力が制限される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述の問題を解決するため、本発明は、電子パッケージ方法、及び、その設備を提供し、パネル基板によりパッケージ作業を実行し、効果的に産量を増加し、コストを減少させることを目的とする。
【０００４】
本発明は、電子パッケージ方法、及び、その設備を提供し、パネル基板を作業サセプタに搭載して、各種パッケージ工程を実行し、各種パッケージ装置は、作業サセプタに近接して配置され、機械アームにより作業領域に移動されて、基板の輸送と反りの問題を克服することを目的とする。
【０００５】
本発明は、電子パッケージ方法、及び、その設備を提供し、パネル基板の異なる領域上で、同時に、相同、或いは、異なるパッケージ工程を実行することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達成するため、本発明の実施例の電子パッケージ方法は、基板を作業サセプタに搭載する工程と、チップ粘着工程を実行して、複数のチップを基板上に固定し、チップ粘着工程は、チップ粘着装置を作業サセプタに移動して作業する工程と、ワイヤーボンディング工程を実行し、複数のリード線により、チップと基板を電気的に接続し、ワイヤーボンディング工程は、ワイヤーボンディング装置を作業サセプタに移動して作業する工程と、モールド工程を実行して、チップとリード線を被覆し、モールド工程は、モールド装置を作業サセプタに移動して作業する工程と、基板に対し単一化工程を実行して、複数のパッケージ体を獲得し、単一化工程は、シンギュレーション装置を作業サセプタに移動して作業する工程と、からなる。
【０００７】
本発明のもう一つの実施例による電子パッケージ設備は、基板を搭載する作業サセプタと、懸掛設置し、作業サセプタに移動して、複数のチップを基板上に固定するチップ粘着装置と、懸掛設置し、作業サセプタに移動して、ワイヤーボンディングを実行し、チップと基板を複数のリード線により電気的に接続するワイヤーボンディング装置と、懸掛設置し、作業サセプタに移動して、チップとリード線を被覆するモールド装置と、懸掛設置し、作業サセプタに移動して、基板に対し単一化工程を実行して、複数のパッケージ体を獲得するシンギュレーション装置と、からなる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、基板の輸送と反りの問題を克服し、パネル基板の異なる領域上で、同時に、相同、或いは、異なるパッケージ工程を実行することができ、効果的に歩留まりを増加し、コストダウンを達成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明の実施例による電子パッケージ方法を示す図である。本実施例中、まず、基板を作業サセプタに搭載する（S１０）。基板はパネル基板である。続いて、チップ粘着工程（die  attach）を実行して、複数のチップを基板上に固定する（S２０）。チップ粘着工程は、チップ粘着装置、例えば、点接着、チップ掴み取り装置等を作業サセプタに移動して作業する。その後、ワイヤーボンディング工程（wire  bond）を実行し、複数のリード線により、チップと基板を電気的に接続する（S３０）。ワイヤーボンディング工程は、ワイヤーボンディング装置を作業サセプタに移動して作業する。
【００１０】
続いて、モールド工程（mold）を実行して、チップとリード線を被覆する（S４０）。モールド工程は、モールド装置を作業サセプタに移動して作業する。その後、基板に対し単一化工程（singulation）を実行して、複数のパッケージ体を獲得する（S６０）。単一化工程は、シンギュレーション装置を作業サセプタに移動して作業する。この他、チップ粘着装置、ワイヤーボンディング装置、モールド装置、及び、シンギュレーション装置は、機械アームにより、懸掛方式で、作業サセプタに移動して作業する。実施例中、パッケージ体に対し、マーク工程（mark）を実行する（S７０）。マーク工程は、マーク装置を作業サセプタに移動して作業する。マーク装置は機械アームにより、懸掛方式で作業サセプタに移動して作業する。
【００１１】
上述の説明を継続すると、実施例中、単一化工程に前に、基板を旋転させると共に、基板の背面にボールマウント工程を実行する工程（S５０）を含む。ボールマウント装置は、機械アームにより、懸掛方式で、作業サセプタに移動して作業する。
【００１２】
上述の実施例によると、本発明の電子パッケージ方法は、パッケージ装置を懸掛方法で、作業サセプタに移動してパッケージ工程を実行する。よって、パネル基板上で、同時に、異なるパッケージ工程を実行することができ、例えば、異なる領域で、同時に、チップ粘着工程、ワイヤーボンディング工程、モールド工程を実行することができる。この他、本発明中、製造工程の必要に応じて、その他の工程（S８０）、例えば、検査（inspection）、旋転、洗浄工程を含む。
【００１３】
図２を参照すると、実施例中、本発明の電子パッケージ設備は、作業サセプタ（working susceptor）１０と、チップ粘着装置２０と、ワイヤーボンディング装置３０と、モールド装置４０と、シンギュレーション装置６０と、からなる。実施例中、電子パッケージ設備は、ボールマウント装置５０、マーク装置７０、及び、その他の装置８０、を含む。
【００１４】
上述の説明を継続すると、作業サセプタ１０はパネル基板１０１を搭載するのに用いられる。チップ粘着装置２０、ワイヤーボンディング装置３０、モールド装置４０、シンギュレーション装置６０、ボールマウント装置５０、マーク装置７０、及び、その他の装置８０は、作業サセプタ１０付近に設置され、機械アームにより、作業サセプタ１０に移動し、パネル基板１０１の特定領域に対し、同時、或いは、非同時に作業を実行する。
【００１５】
チップ粘着装置２０は、複数のチップをパネル基板１０１に固定する。ワイヤーボンディング装置３０は、チップとパネル基板１０１を、複数のリード線により電気的に接続する。モールド装置４０は、チップとリード線を被覆する。シンギュレーション装置６０は、パネル基板１０１に対し単一化を実行して、複数のパッケージ体を獲得する。マーク装置７０は、パッケージ体に対しマークを実行する。ボールマウント装置５０は、基板の背面に対しボールマウントを実行する。
【００１６】
また、もう一実施例中、その他の装置８０は旋転装置で、機械アームにより、懸掛方式で、作業サセプタ１０に移動して、パネル基板１０１を旋転させる。設備が旋転不要で、ボールマウントを実行できる場合、必ずしも、旋転装置が必要というわけではない。また、本発明中、各種工程の実行時に、適当な隔離と洗浄方式で、工程中に残留物が残って、その他の作業を汚染するのを防止する。
【００１７】
上述を総合すると、本発明は、パネル基板によりパッケージ作業を実行し、パネル基板の異なる領域で、同時に、相同、或いは、異なるパッケージ工程を実行でき、効果的に産量を増加し、コストを減少させる。パネル基板を作業サセプタに搭載して、各種パッケージ工程を実行し、各種パッケージ装置は、作業サセプタ付近に懸掛設置されて、機械アームにより作業箇所に移動するので、基板の反りと伝送の問題を克服することができる。
【００１８】
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施例によるフローチャートである。
【図２】本発明の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
10  作業サセプタ
20  チップ粘着装置
30  ワイヤーボンディング装置
40  モールド装置
50  ボールマウント装置
60  シンギュレーション装置
70  マーク装置
80  その他の装置
100  電子パッケージ設備
101  基板
S10  基板を作業サセプタに搭載する
S20  チップ粘着工程
S30  ワイヤーボンディング工程
S40  モールド工程
S50  ボールマウント工程
S60  単一化工程
S70  マーク工程
S80  その他の工程
【図１】
2010016325.tif 000003
【図２】
2010016325.tif 000004