(57)【要約】【課題】エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供する。【解決手段】エアマイクロメータ１３と測定具１４の間に電磁弁４１を設ける。空気源１１に第二レギュレータ５３を介して接続されたエアセンサ５５は、通流するエアの変化を検出して電磁弁４１へ伝達する。例えばエアセンサ５５の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁４１へ出力すると、電磁弁４１は閉弁して測定具１４へのエアの供給を遮断する。測定具１４の支持板上面にジェットノズル１０１を設け、エアセンサ５５からのエアをジェットノズル１０１の吹出口１０２からワークの下端面へ吹き付ける。測定具１４からワークが取り外されて吹出口１０２が開放されると、エアセンサ５５のエア流量が増大するので、電磁弁４１が測定ヘッドの噴出口８４へのエアの供給を遮断する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気源からエアを、エアマイクロメータを介して測定具に供給し、該測定具に設けられた測定ヘッドの噴出口から当該測定ヘッドにセットされたワークの対象箇所に吹き付けるエアマイクロシステムにおいて、
前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態を検出する検出手段と、
該検出手段が前記ワークがセットされていないことを検出した際に前記エアマイクロメータから前記噴出口へのエアの供給を遮断する遮断手段と、
を備えたことを特徴とするエアマイクロシステム。
【請求項２】
前記ワークを前記測定ヘッドにセットした状態で前記ワークの端面が着座する着座部を前記測定具に設け、前記着座部への前記ワークの着座状態を検出するセンサで前記検出手段を構成したことを特徴とする請求項１記載のエアマイクロシステム。
【請求項３】
前記ワークが前記着座部に着座した状態で前記ワークの端面にエアを吹き付ける吹出口を前記測定具に設ける一方、
前記吹出口からのエアの吹き出し量を検出する流量センサや前記吹出口に供給するエア圧を検出する圧力センサ等のエアセンサで前記センサを構成したことを特徴とする請求項２記載のエアマイクロシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの内径等の寸法を測定するエアマイクロシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、円形リング状のワークの内径を測定する際には、図４に示すように、エアマイクロシステム８０１が用いられていた。
【０００３】
このエアマクロシステム８０１は、空気源８１１からエアが供給されるエアマイクロメータ８１２と、該エアマイクロメータ８１２からエアが供給される測定具８１３とによって構成されている。
【０００４】
前記エアマイクロメータ８１２は、前記空気源８１１からの空気圧を調整するレギュレータ８２１と第一絞り８２２とを介して前記測定具８１３にエアを供給するように構成されており、前記レギュレータ８２１と前記第一絞り８２２との間には、フロート管８２３が接続されており、該フロート管８２３の出力は、迂回路８２４を介して前記第一絞り８２２の下流に接続されている。また、前記フロート管８２３の出力には、第二絞り８２５が接続されており、該第二絞り８２５の出力は大気開放されている。
【０００５】
これにより、前記第一絞り８２２によって前記測定具８１３へのエア流量を制御するとともに、前記第二絞り８２５によってエアの排出量を制御できるように構成されており、前記フロート管８２３に設けられたフロート８３１の高さから当該フロート管８２３を流れるエア流量の変化を測定できるように構成されている。
【０００６】
このエアマイクロメータ８１２からエアの供給を受ける前記測定具８１３は、基部と該基部に立設された円柱状の測定ヘッドとを備えており（図示省略）、該測定ヘッドの側面には、前記エアマイクロメータ８１２から供給されたエアを噴出する噴出口８４１が設けられている。
【０００７】
これにより、前記測定ヘッドを包囲するようにワークをセットした状態で、前記エアマイクロメータ８１２から供給されたエアを前記ワークの内周面に吹き付け、前記噴出口８４１から前記内周面までの間隙に応じて生じた背圧を前記エアマイクロメータ８１２で測定することで、前記ワークの内径を測定できるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような従来のエアマイクロシステム８０１にあっては、非計測時に測定具８１３の噴出口８４１からエアが吹き出たままとなり、エアの垂れ流しによる無駄が生じてしまう。
【０００９】
これを防止する為に、空気源８１１からのエア供給を、測定毎にＯＮ／ＯＦＦすることが考えられるが、この場合、エア供給開始時の突入圧がエアマイクロメータ８１２内の第一絞り８２２及び第二絞り８２５に加わることによって調整状態を狂わしてしまう。このため、エア供給を開始する度に、各絞り８２２，８２５の再調整が必要となり、手間が掛かってしまう。
【００１０】
これらから、非計測時であっても、前記噴出口８４１からエアを吹き出したままにしておくといった利用形態が日常的に行われており、エア使用量の増大要因となっていた。
【００１１】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のエアマイクロシステムにあっては、空気源からエアを、エアマイクロメータを介して測定具に供給し、該測定具に設けられた測定ヘッドの噴出口から当該測定ヘッドにセットされたワークの対象箇所に吹き付けるエアマイクロシステムにおいて、前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態を検出する検出手段と、該検出手段が前記ワークがセットされていないことを検出した際に前記エアマイクロメータから前記噴出口へのエアの供給を遮断する遮断手段と、を備えている。
【００１３】
すなわち、測定後において、測定具にセットされたワークが測定ヘッドから取り外された際には、該測定ヘッドに前記ワークがセットされていないことが検出される。すると、前記エアマイクロメータから前記噴出口へのエアの供給が遮断され、当該噴出口からのエアの噴出が停止される。
【００１４】
これにより、非計測時での不要なエアの消費が防止される。
【００１５】
このとき、前記エアの遮断は、前記エアマイクロメータの前記噴出口との間で行われる。
【００１６】
このため、空気源とエアマイクロメータとの間でエアを遮断する場合のように、供給開始時のエア突入圧がエアマイクロメータ内の絞りを狂わせるといった不具合が回避される。
【００１７】
ここで、フロート管を通流するエア流量を当該フロート管内のフロートの移動によって測定するフロート式のエアマイクロメータにおいて、前記空気源からのエアをＯＮ／ＯＦＦすると、エア供給開始時の突入圧によって前記フロートが急激に移動してフロート管の一端に当接してしまう。この場合、フロート管が傷みやすく、エアマイクロメータの寿命が縮まってしまう。
【００１８】
しかし、本発明では、前記エアマイクロメータと前記噴出口との間でエアの遮断が行われるので、前記突入圧によるフロート管への悪影響が排除される。
【００１９】
また、請求項２のエアマイクロシステムにおいては、前記ワークを前記測定ヘッドにセットした状態で前記ワークの端面が着座する着座部を前記測定具に設け、前記着座部への前記ワークの着座状態を検出するセンサで前記検出手段を構成した。
【００２０】
すなわち、前記測定具には、ワークを測定ヘッドにセットした状態で当該ワークの端面が着座する着座部が設けられており、前記着座部への前記ワークの着座状態を物理的又は電気的接触で検出する着座センサや近接センサ等のセンサによって、前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態が検出される。
【００２１】
さらに、請求項３のエアマイクロシステムでは、前記ワークが前記着座部に着座した状態で前記ワークの端面にエアを吹き付ける吹出口を前記測定具に設ける一方、前記吹出口からのエアの吹き出し量を検出する流量センサや前記吹出口に供給するエア圧を検出する圧力センサ等のエアセンサで前記センサを構成した。
【００２２】
すなわち、前記測定具には、前記ワークの端面にエアを吹き付ける吹出口が設けられており、前記ワークが前記着座部に着座した状態では、前記吹出口からのエアが前記ワークの端面に吹き付けられることによって、当該吹出口からの吹き出し量が減少するとともに、吹出口に供給されるエア圧は上昇する。一方、前記ワークが前記着座部から離座した状態では、前記吹出口が開放されることによって、当該吹出口からの吹き出し量が増大するとともに、前記吹出口に供給されるエア圧は低下する。
【００２３】
このため、前記吹出口からのエアの吹き出し量や前記吹出口に供給されるエア圧を、流量センサや圧力センサ等からなるエアセンサで検出することで、前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態が検出される。
【００２４】
このとき、前記着座部への前記ワークの離着座は、前記吹出口から吹き出されるエアの変化を利用して検出する。このため、前記エアマイクロメータにエアを供給する空気源からのエアを有効利用することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように本発明の請求項１のエアマイクロシステムにあっては、測定具にセットされたワークを測定ヘッドから取り外した際に、前記エアマイクロメータから前記噴出口へのエア供給を遮断することで、当該噴出口からのエアの噴出を自動的に停止することができる。
【００２６】
したがって、非計測時であっても、測定具の噴出口からのエアの吹き出しが常時行われれていた従来と比較して、不要なエアの垂れ流しを防止することができ、エア使用量を削減することができる。
【００２７】
これにより、空気源を構成するコンプレッサの仕事量を抑えることができ、省エネに貢献することができる。
【００２８】
また、前記測定ヘッドからワークを取り外した際にエア供給を自動で遮断することができるため、空気源からのエアを手動でＯＮ／ＯＦＦしていた従来と比較して、作業者の手間が省け、利便性が向上する。
【００２９】
このとき、前記エアマイクロメータと前記噴出口との間でエアの遮断を行うことができるため、前記空気源と前記エアマイクロメータとの間でエアを遮断する場合のように、供給開始時のエア突入圧がエアマイクロメータ内の絞りを狂わせるといった不具合を回避することができ、エアのＯＮ／ＯＦＦに起因した測定精度の低下を防止することができる。
【００３０】
また、前記エアマイクロメータの各絞りの再調整も不要となるため、これによっても作業者の手間が省け、利便性が向上する。
【００３１】
そして、フロート管を流れるエア流量を当該フロート管に設けられたフロートの移動によって測定するフロート式のエアマイクロメータを使用する場合であっても、前記空気源からのエアをＯＮ／ＯＦＦする場合と比較して、エア供給開始時の突入圧によるフロート管の傷みを防止し、エアマイクロメータの長寿命化を図ることができる。
【００３２】
また、請求項２のエアマイクロシステムにおいては、ワークを測定ヘッドにセットした状態で当該ワークの端面が着座する着座部が測定具に設けられており、前記着座部への前記ワークの着座状態を物理的又は電気的接触で検出する着座センサや近接センサ等のセンサによって、前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態を検出することができる。
【００３３】
このとき、前記着座部への前記ワーク端面の着座状態から前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態を検出するため、測定具の形状やワークの形状に関わらず、前記セット状態を検出することができる。
【００３４】
さらに、請求項３のエアマイクロシステムでは、前記測定具に設けられた吹出口からのエアの吹き出し量や吹出口に供給されるエア圧を、流量センサや圧力センサ等からなるエアセンサで検出することで、前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態を検出することができる。
【００３５】
このとき、前記着座部への前記ワークの離着座は、前記吹出口から吹き出されるエアの変化を利用して検出する。このため、前記エアマイクロメータにエアを供給する空気源からのエアを有効に活用することができる。
【００３６】
また、物理的又は電気的接触で検出を行う着座センサや近接センサを使用する場合と比較して、レイアウトに自由度を持たせることができるとともに、オイルミスト等の環境下であっても、誤作動無く使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
【００３８】
図１は、本実施の形態にかかるエアマイクロシステム１を示す回路図であり、該エアマイクロシステム１は、図２にも示すように、ワーク２の寸法を測定できるように構成されている。
【００３９】
測定対象とするワーク２としては、円形リング状の部材が挙げられ、本実施の形態では、前記ワーク２の内径寸法Ｄを測定する場合を例に挙げて説明するが、後述する測定ヘッドを変更することによってワーク２の外形を測定することも可能である。
【００４０】
このエアマイクロシステム１は、図１に示したように、工場等に設置された空気源１１に接続パイプ１２を介して接続されたエアマイクロメータ１３と、該エアマイクロメータ１３に接続された測定具１４とによって構成されている。
【００４１】
前記エアマイクロメータ１３には、前記空気源１１から供給されたエアのエア圧を調整する第一レギュレータ２１と、第一絞り２２とが直列に接続されており、該第一絞り２２からの出力は、測定用エア供給パイプ２３を介して、前記測定具１４に接続されている。前記第一レギュレータ２１と前記第一絞り２２との間には、フロート管２４が接続されており、該フロート管２４の出力は、迂回路２５を介して、前記第一絞り２２の下流に接続されている。
【００４２】
また、前記フロート管２４の出力には、第二絞り２６が接続されており、該第二絞り２６の出力は、大気開放されている。
【００４３】
これにより、前記第一絞り２２によって前記測定具１４へのエア流量を制御するとともに、前記第二絞り２６によってエアの排出量を制御できるように構成されており、前記フロート管２４に設けられたフロート３１の高さから当該フロート管２４を流れるエア流量の変化を測定できるように構成されている。
【００４４】
このエアマイクロメータ１３から延出した前記測定用エア供給パイプ２３には、電磁弁４１が接続されており、該電磁弁４１から延出した接続パイプ４２は、図３に示すように、前記測定具１４に設けられた測定用接続部４３，・・・に接続されるように構成されている。
【００４５】
一方、図１に示したように、前記空気源１１には、サブエア回路５１を構成する第一サブエア供給パイプ５２が接続されており、該サブエア供給パイプ５２には、前記空気源１１から供給されたエアの空気圧を調整する第二レギュレータ５３が接続されている。該第二レギュレータ５３は、第二サブエア供給パイプ５４を介して、エアセンサ５５に接続されており、該エアセンサ５５は、当該サブエア回路５１を通流するエアの通流量を検出する流量センサや、当該サブエア回路５１を通流するエアのエア圧を検出する圧力センサ等によって構成されている。
【００４６】
このエアセンサ５５は、前記電磁弁４１に接続されており、当該エアセンサ５５を通流するエアの変化を検出して、前記電磁弁４１へ伝達するように構成されている。
【００４７】
具体的に説明すると、当該エアセンサ５５を流量センサで構成した場合、当該流量センサを流れるエアの通流量が所定値を超えた際に、その旨を前記電磁弁４１へ出力し、また前記エアセンサ５５を圧力センサで構成した場合、当該圧力センサを流れるエアのエア圧が所定値を下回った際に、その旨を前記電磁弁４１へ出力するように構成されており、これらを受けた電磁弁４１では、閉弁作動することによって、前記測定具１４へのエアの供給を遮断するように構成されている。
【００４８】
そして、このエアセンサ５５の出力には、第三サブエア供給パイプ６１が接続されており、該第三サブエア供給パイプ６１は、図３に示したように、前記測定具１４に設けられた確認用接続部６２に接続されるように構成されている。
【００４９】
この測定具１４は、図２及び図３に示したように、矩形状の基台７１と、該基台７１上に設けられた円板状のベース７２と、該ベース７２上に設けられた円柱状の支持板７３とを備えており、該支持板７３の中央部には、円柱状の測定ヘッド７４が立設されている。この測定ヘッド７４は、円形リング状の前記ワーク２を外嵌できる大きさに形成されており、当該測定ヘッド７４に前記ワーク２をセットした状態で、当該ワーク２の内周面７５が前記測定ヘッド７４の外周面７６に対向するように構成されている。
【００５０】
ここで、本実施の形態では、ワーク２の内径寸法Ｄを測定する為の測定ヘッド７４を例に挙げて説明するが、ワーク２の外形寸法を測定する際には、当該ワーク２が内嵌する内嵌穴を有した測定ヘッド７４を設け、その内周面に後述する噴出口を設けるものとする。
【００５１】
前記測定ヘッド７４の外周面７６には、図２に示したように、上下方向に延在する排出溝８１，・・・が周方向に等間隔をおいて四ヶ所に凹設されており、各排出溝８１，・・・の側部には、円形の円形溝８２，８２が二箇所に凹設されている。各円形溝８２，８２は、対応する前記排出溝８１に連通しており、各円形溝８２，８２の底面には、円筒状の噴出ノズル８３，８３が中央部に突設されている。この噴出ノズル８３，８３の中央には、噴出口８４，８４が開口しており、各噴出ノズル８３，８３の噴出口８４，８４は、前記測定用接続部４３，・・・及び前記接続パイプ４２を介して前記電磁弁４１に接続されている。
【００５２】
これにより、前記測定ヘッド７４を包囲するようにワーク２を外嵌してセットした状態で、図１に示したように、前記空気源１１から供給されたエアを、前記エアマイクロメータ１３及び前記電磁弁４１を介して、前記測定ヘッド７４に設けられた前記各噴出口８４，・・・から噴出し、前記ワーク２の対象箇所である内周面７５に吹き付けられるように構成されており、前記噴出口８４，・・・から前記内周面７５までの間隙に応じて生じた背圧を前記エアマイクロメータ１３で測定することで、前記ワーク２の内径寸法Ｄを測定できるように構成されている。
【００５３】
また、前記測定具１４に設けられた前記支持板７３の上端面には、図２及び図３に示したように、着座部９１，・・・が周方向に等間隔をおいて複数突設されており、前記測定ヘッド７４に前記ワーク２を装着した状態で、該ワーク２の下端面９２が前記各着座部９１，・・・に当接して支持されるように構成されている。
【００５４】
これにより、前記測定ヘッド７４にセットされた前記ワーク２は、当該測定ヘッド７４に対する高さが位置決めされるように構成されており、前記各噴出口８４，・・・から噴出されるエアの吹き付け位置が、当該ワーク２の下端面９２を基準にして決定されるように構成されている。
【００５５】
前記支持板７３の上面には、図３に示したように、ジェットノズル１０１が隣接した着座部９１，９１間に突設されており、このジェットノズル１０１の中央には、吹出口１０２が開口している。
【００５６】
この吹出口１０２の内径寸法は、前記噴出口８４，・・・より十分小さな大きさに設定されており、当該吹出口１０２から吹き出されるエア量は、複数設けられた総ての噴出口８４，・・・から噴出されるトータルの噴出量と比較して、十分に小さくなるように構成されている。
【００５７】
前記ジェットノズル１０１の高さ寸法は、前記各着座部９１，・・・より、やや低く設定されており、前記測定ヘッド７４にセットされた前記ワーク２の下端面９２を前記着座部９１，・・・に面接して着座した状態で、当該ジェットノズル１０１の前記吹出口１０２が前記ワーク２の前記下端面９２に対向するように構成されている。
【００５８】
このジェットノズル１０１の前記吹出口１０２は、図１に示したように、前記確認用接続部６２及び第三サブエア供給パイプ６１を介して、前記エアセンサ５５に接続されており、前記空気源１１から前記第二レギュレータ５３及び前記エアセンサ５５を介して供給されたエアを、前記測定ヘッド７４にセットされた前記ワーク２の前記下端面９２へ向けて吹き付けられるように構成されている。
【００５９】
これにより、前記エアセンサ５５を通流するエアの変化を検出することによって、前記各着座部９１，・・・への前記ワーク２の着座状態、すなわち前記ワーク２のセット状態を検出できるように構成されている。
【００６０】
具体的説明すると、前記エアセンサ５５を流量センサで構成した場合、前記測定ヘッド７４から前記ワーク２が取り外され、該ワーク２の前記下端面９２が対向した前記吹出口１０２が開放されると、当該吹出口１０２からのエアの噴出量が増大する。すると、前記流量センサを流れるエア流量が所定値を超えるので、該流量センサが、これを検出することによって、前記ワーク２が取り外されたことを検出することができる。
【００６１】
また、前記エアセンサ５５を圧力センサで構成した場合、前記測定ヘッド７４から前記ワーク２が取り外され、該ワーク２の前記下端面９２が対向した前記吹出口１０２が開放されると、当該吹出口１０２からのエアの噴出量が増大する。すると、前記圧力センサを通過するエアのエア圧が所定値を下回るので、当該圧力センサが、これを検出することによって、前記ワーク２が取り外されたことを検出することができる。
【００６２】
これによって、前記測定ヘッド７４から前記ワーク２が取り外された旨が前記電磁弁４１へ出力されると、当該電磁弁４１は閉弁作動し、前記測定具１４の前記各噴出口８４，・・・へのエアの供給が遮断される。
【００６３】
これにより、前記エアセンサ５５によって前記測定ヘッド７４への前記ワーク２のセット状態を検出する検出手段が構成されるとともに、前記ワーク２がセットされていないことを検出した際に前記エアマイクロメータ１３から前記噴出口８４，・・・へのエアの供給を遮断する遮断手段が前記電磁弁４１によって構成されている。
【００６４】
以上の構成にかかる本実施の形態において、ワーク２の計測を終了し、測定具１４にセットされたワーク２が測定ヘッド７４から取り外された際には、該測定ヘッド７４に前記ワーク２がセットされていないことが検出される。すると、前記エアマイクロメータ１３から前記測定ヘッド７４に設けられた各噴出口８４，・・・へのエアの供給が遮断され、当該噴出口８４，・・・からのエアの噴出が停止される。
【００６５】
このように、前記測定具１４にセットされた前記ワーク２を前記測定ヘッド７４から取り外すことによって、前記噴出口８４，・・・からのエアの噴出を自動的に停止することができる。
【００６６】
したがって、非計測時であっても、前記測定具１４の各噴出口８４，・・・からのエアの吹き出しが常時行われていた従来と比較して、不要なエアの垂れ流しを防止することができ、エア使用量を削減することができる。
【００６７】
これにより、前記空気源１１を構成するコンプレッサの仕事量を抑えることができ、省エネに貢献することができる。
【００６８】
また、前記測定ヘッド７４から前記ワーク２を取り外した際にエア供給を自動で遮断することができるため、前記空気源１１からのエアを手動でＯＮ／ＯＦＦしていた従来と比較して、作業者の手間が省け、利便性が向上する。
【００６９】
このとき、前記エアの遮断は、前記エアマイクロメータ１３と前記噴出口８４，・・・との間で行われる。
【００７０】
このため、空気源１１とエアマイクロメータ１３との間でエアを遮断する場合のように、供給開始時のエア突入圧がエアマイクロメータ１３内の各絞り２２，２６を狂わせるといった不具合を回避することができ、エアのＯＮ／ＯＦＦに起因した測定精度の低下を防止することができる。
【００７１】
また、前記エアマイクロメータ１３の各絞り２２，２６の再調整も不要となるため、これによっても作業者の手間が省け、利便性が向上する。
【００７２】
ここで、本実施の形態では、フロート管２４を通流するエア流量を当該フロート管２４内のフロート３１の移動によって測定するフロート式のエアマイクロメータ１３が使用されている。このフロート式のエアマイクロメータ１３において、前記空気源１１とエアマイクロメータ１３との間で、エアをＯＮ／ＯＦＦすると、エア供給開始時の突入圧によって前記フロート３１が急激に移動してフロート管２４の上端に激しく当接してしまう。この場合、前記フロート管２４が傷みやすく、当該エアマイクロメータ１３の寿命が縮まってしまう。
【００７３】
しかし、本実施の形態では、前記エアマイクロメータ１３と前記測定具１４の前記噴出口８４，・・・との間でエアの遮断が行われるので、前記突入圧によるフロート管２４への悪影響を回避することができ、エアマイクロメータ１３の長寿命化を図ることができる。
【００７４】
また、前記ワーク２を前記測定ヘッド７４にセットした状態で当該ワーク２の下端面９２が着座する着座部９１，・・・が前記測定具１４に設けられており、前記着座部９１，・・・への前記ワーク２の着座状態を検出するセンサによって、前記測定ヘッド７４への前記ワーク２のセット状態を検出することができる。
【００７５】
このとき、前記着座部９１，・・・への前記ワーク２下端面９２の着座状態から前記測定ヘッド７４への前記ワーク２のセット状態を検出するため、前記測定具１４の形状や前記ワーク２の形状に関わらず、前記セット状態を検出することができる。
【００７６】
なお、本実施の形態では、前記着座部９１，・・・への前記ワーク２の着座状態を検出するセンサを、流量センサや圧力センサ等のエアセンサ５５で構成した場合に付いて説明したが、前記ワーク２の着座状態を、ワーク２が物理的又は電気的に接触したことを検出して作動する着座センサやワーク２が前記着座部９１，・・・に近接したことを感知する近接センサ等のセンサで構成しても良い。
【００７７】
そして、前記測定具１４には、前記ワーク２の下端面９２にエアを吹き付ける吹出口１０２が設けられており、前記ワーク２が前記着座部９１，・・・に着座した状態では、前記吹出口１０２からのエアが前記ワーク２の下端面９２に吹き付けられることによって、当該吹出口１０２からの吹き出し量が減少するとともに、吹出口１０２に供給されるエア圧は上昇する。
【００７８】
一方、前記ワーク２が前記着座部９１，・・・から離座した状態では、前記吹出口１０２が開放されることによって、当該吹出口１０２からの吹き出し量が増大するとともに、前記吹出口１０２に供給されるエア圧は低下する。
【００７９】
このため、前記吹出口１０２からのエアの吹き出し量や前記吹出口１０２に供給されるエア圧を、流量センサや圧力センサ等からなる前記エアセンサ５５で検出することで、前記測定ヘッド７４への前記ワーク２のセット状態を検出することができる。
【００８０】
このとき、前記着座部９１，・・・への前記ワーク２の離着座は、前記吹出口１０２から吹き出されるエアの変化を利用して検出する。このため、前記エアマイクロメータ１３にエアを供給する空気源１１からのエアを有効に活用することができる。
【００８１】
また、前記ワーク２が物理的又は電気的に接触したことを検出して作動する着座センサや近接センサを使用する場合と比較して、レイアウトに自由度を持たせることができるとともに、オイルミスト等の環境下であっても、誤作動無く使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の一実施の形態を示す回路図である。
【図２】同実施の形態の測定具を示す正面図である。
【図３】同実施の形態の測定具を示す平面図である。
【図４】従来のエアマイクロシステムを示す回路図である。
【符号の説明】
【００８３】
１    エアマイクロシステム
２    ワーク
１１    空気源
１３    エアマイクロメータ
１４    測定具
４１    電磁弁
５５    エアセンサ
７４    測定ヘッド
７５    内周面
８４    噴出口
９１    着座部
９２    下端面
１０１    ジェットノズル
１０２    噴出口
Ｄ    内径寸法
【図１】
2010071701.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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