(57)【要約】【課題】ラインドライバ形式エンコーダに適用した場合にも、スペースやコストを増加させずに高精度に異常を検出する。【解決手段】エンコーダ１２の出力信号であって位相が異なる複数の信号が、電源線及び信号線を含む配線系統を介しそれぞれ一組の差動信号として制御装置３５０に入力され、前記差動信号を処理して異常を検出する異常監視装置において、制御装置３５０は、複数組の差動信号をディジタル信号にそれぞれ変換するラインレシーバ３５１Ａ，３５１Ｂ、及びカウンタ３３５Ａ，３３５Ｂ、パルス数比較異常検出部３３６等からなる第１の異常検出手段と、タイマ３３８Ａ，３３８Ｂ、パルス幅比較異常検出部３４０等からなる第２の異常検出手段と、レベル計測手段３４１Ａ，３４１Ｂ、ＡＤ変換部３３２Ａ，３３２Ｂ、レベル異常検出部３３３Ａ，３３３Ｂ等からなる第３の異常検出手段と、を備える。【選択図】図１
2010266260.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体の位置を検出するエンコーダの出力信号であって位相の異なる複数の信号が、電源線及び信号線を含む配線系統を介してそれぞれ一組の差動信号として制御装置に入力され、この制御装置が、前記差動信号を処理して前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する異常監視装置において、
前記制御装置は、
複数組の前記差動信号を、前記制御装置のグランド電位を基準としたディジタル信号にそれぞれ変換し、これらのディジタル信号のパルス数に基づいて前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する第１の異常検出手段と、
複数の前記ディジタル信号のパルス幅に基づいて前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する第２の異常検出手段と、
少なくとも一組の差動信号をレベル計測手段により所定レベルのアナログ信号に変換し、このアナログ信号を変換してなるディジタル信号から前記アナログ信号の電圧レベルを検出して前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する第３の異常検出手段と、
を備えたことを特徴とする異常監視装置。
【請求項２】
請求項１に記載した異常監視装置において、
第３の異常検出手段は、
前記レベル計測手段として、前記差動信号が入力される両電源方式のアナログ演算手段、または、前記差動信号が入力され、かつ片電源方式であってオフセット電圧を重畳してなるアナログ演算手段を備え、
これらのアナログ演算手段から出力されたアナログ信号の電圧レベルが正側の正常範囲外または負側の正常範囲外であるときに前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出することを特徴とする異常監視装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載した異常監視装置において、
前記回転体の回転時には、第１または第２の異常検出手段により異常を検出し、前記回転体の停止時には、第３の異常検出手段により異常を検出することを特徴とする異常監視装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインバータやサーボシステム等の電動機を駆動する電力変換器において、パルスエンコーダ（以下、単にエンコーダともいう）や配線系統の異常を検出し、安全機能を実現するための異常監視装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電動機の出力軸に取り付けたパルスエンコーダの出力信号から電動機速度や回転子位置を演算し、この演算値をフィードバックして電動機を可変速駆動するインバータやサーボシステムが普及している。これらの装置において、エンコーダの出力信号に異常があると正常な運転が困難になるため、従来より、エンコーダ内部の異常や配線系統の異常を検出して運転を停止する方法が種々提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１（特開２００８−２３２９７８号公報）には、異常監視のためにマイクロプロセッサの内部機能を利用することにより、部品数を少なくして回路を最小限化し、コストの低減を図った配線異常検出装置が開示されている。
この従来技術（便宜上、第１の従来技術という）では、まず、エンコーダの出力信号がアナログ信号として配線異常検出装置に入力される。そして、上記アナログ信号をＡ／Ｄ（アナログ／ディジタル）変換し、変換後の電圧レベルが、過渡状態を除いて所定の中間電圧レベルになっている場合に、信号系統に不完全接触や短絡が生じていると判断して異常を検出している。
以下、図８を参照しながら、この従来技術の回路構成及び動作を説明する。
【０００４】
図８において、配線異常検出装置１００は、マイクロプロセッサ１２０と、プログラムメモリ１２１と、ＡＤ変換器１２３と、定電圧電源回路１３０と、バッファアンプ１３５と、直列抵抗１３１ａ，１３１ｂと、フィルタコンデンサ１３２ａ，１３２ｂと、プルダウン抵抗１３４ａ，１３４ｂと、を備えている。なお、１２２はマイクロプロセッサ１２０内のメモリである。
また、１１０は電動機（図示せず）の回転角度を検出するためのロータリーエンコーダであり、このエンコーダ１１０は、回転角度検出信号として二相（Ａ相，Ｂ相）の信号を出力する回転角度検出回路１１５と、Ａ相，Ｂ相信号出力用トランジスタとしてのセンサスイッチ１１１ａ，１１１ｂと、ドロッパダイオード１１２ａ，１１２ｂ，１１３ａ，１１３ｂと、ブリーダ抵抗１１４ａ，１１４ｂとから構成されている。
【０００５】
更に、１０１は直流電源、１０２は電源スイッチ、１０３は接地線、１０４は電源線、１０５，１０６は信号線である。
エンコーダ１１０におけるＡ，ＢはＡ相信号，Ｂ相信号の出力端子であり、配線異常検出装置１００におけるＡ１，Ａ２はアナログ入力信号、マイクロプロセッサ１２０におけるＤ１，Ｄ２はセンサスイッチ１１１ａ，１１１ｂの開閉論理信号、Ｖｍは監視電圧を示している。
【０００６】
エンコーダ１１０の動作としては、回転角度検出回路１１５の出力信号によりセンサスイッチ１１１ａ，１１１ｂがオンまたはオフすると、ドロッパダイオード１１２ａ，１１２ｂ，１１３ａ，１１３ｂ及びブリーダ抵抗１１４ａ，１１４ｂの作用により、電圧降下が発生する。この電圧降下による電圧をＡ相信号、Ｂ相信号として出力端子Ａ，Ｂから出力させ、信号線１０５，１０６を介して配線異常検出装置１００に入力することにより、以下に述べるような異常検出動作を行う。
【０００７】
図９は、配線異常検出装置１００に入力されるＡ相，Ｂ相のアナログ入力信号Ａ１，Ａ２の特性を示している。以下では、Ａ相のアナログ入力信号Ａ１の特性について説明するが、Ｂ相のアナログ入力信号Ａ２についても全く同様の動作となる。
センサスイッチ１１１ａがオンすると、ドロッパダイオード１１２ａのオン電圧降下により、図９の電圧レベルＶＬが検出される。一方、センサスイッチ１１１ａがオフすると、ブリーダ抵抗１１４ａ及びドロッパダイオード１１３ａの電圧降下により、電圧レベルＶＨが検出される。なお、実際には、ドロッパダイオード１１２ａ，１１３ａの特性のバラツキを考慮して、電圧レベルＶＬ，ＶＨを中心とした一定範囲内をそれぞれ正常「Ｌ(Low)」レベル、正常「Ｈ(High)」レベルとしている。
上記のように、アナログ入力信号の電圧レベルが「Ｌ」レベルか「Ｈ」レベルかを判定することで、回転角度検出用のパルスの有無を検出している。
このとき、例えば信号線１０５に断線やグランドとの地絡が発生していると、上述した電圧降下成分が検出されず、アナログ入力信号はグランドレベルに固定されるため、異常発生を検出することができる。
【０００８】
また、エンコーダ１１０の出力端子Ａが正側電源Ｖｃｃと短絡した場合は、アナログ入力信号がＶＨよりも高い電圧レベルで固定されるため、同様に異常が発生したことを検出可能である。更に、正側電源Ｖｃｃとグランドとの不完全接触や他の信号線との接触が発生すると、アナログ入力信号は図９の中間電圧レベル（論理判定レベル）Ｖｓ１またはＶｓ２として検出され、これらの中間電圧レベルＶｓ１またはＶｓ２が一定期間継続した場合も異常と判断する。
【０００９】
なお、センサスイッチ１１１ａのオン・オフの切り替え時に、直列抵抗１３１ａ及びフィルタコンデンサ１３２ａからなるローパスフィルタによってＡ相のアナログ入力信号Ａ１の電圧波形がフィルタリングされる。このため、サンプルタイミングによっては、正常時でも中間電圧レベルＶｓ１，Ｖｓ２が過渡的に検出されてしまい、結果として異常を誤検出するおそれがある。
上記の誤検出を防止するため、この従来技術では、中間電圧レベルＶｓ１，Ｖｓ２が検出された場合に詳細判定を実行し、この中間電圧レベルＶｓ１，Ｖｓ２が過渡的に発生したものか一定期間継続して発生したものかを判断し、一定期間継続している場合には、前述した正側電源Ｖｃｃとグランドとの不完全接触や他の信号線との接触による異常と判断している。
【００１０】
他の従来技術（便宜上、第２の従来技術という）としては、エンコーダから出力される二相信号（位相が異なるＡ相信号及びＢ相信号）をＡ／Ｄ変換した後に個別のカウンタに入力して一定期間のパルス数をそれぞれカウントし、これらのパルス数に基づいて異常を検出する方法が知られている。
例えば、電動機が回転していると、その回転速度に応じたパルス数がＡ相信号、Ｂ相信号として計測されるが、一方の相の信号線が断線していたり電源線や接地線と接触していると、各相のパルス数に誤差が発生する。従って、各相のパルス数を比較することにより異常を検出することができる。また、各相のパルス数に相当する速度検出値を現在の速度指令値等と比較することで、一方の相だけでなく、二相の同時異常も検出することができる。
【００１１】
第１の従来技術によれば、電動機が停止している場合でも、配線異常検出装置１００に入力されるアナログ信号の電圧レベルに応じて配線異常を検出することができる。しかし、電動機の運転中には、配線異常の判断が困難になり、配線が正常な場合でも誤って異常と判断してしまうおそれがある。その理由は次の通りである。
一般にエンコーダは、電動機等の回転体の一機械周期（回転電動機の場合は一回転）当たりの出力信号数が決められており、高速になると出力信号の間隔が短くなる。一方、マイクロプロセッサ等の演算処理装置は、通常、一定周期で演算処理を行うため、エンコーダからの出力信号の間隔が演算処理装置の演算周期よりも大幅に短くなることが往々にしてある。
このとき、演算処理装置側のＡＤ変換器によるサンプルタイミングがエンコーダの出力信号変化時に偶然一致してしまうと、前述したような中間電圧レベルが連続的に検出されてしまい、配線系統が正常であるにもかかわらず誤って異常と判断する場合がある。
【００１２】
図１０は、上述した誤判断時におけるエンコーダ出力信号、ＡＤ変換サンプルタイミング、電源電圧Ｖｃ、アナログ入力信号の電圧レベルの検出値、及びグランドレベルを示すタイミングチャートである。
図示するように、ＡＤ変換サンプルタイミングの周期がエンコーダ出力信号の周期に対して特定倍になった時に、各サンプルタイミングにおける検出値が等しくなり、これによってアナログ入力信号の電圧レベルが中間電圧レベルで固定されている（すなわち異常である）と誤認する可能性がある。
このような誤判断を防いで装置の信頼性を高めるためには、サンプルタイミングの周期が短い高速なＡＤ変換器を用いることが有効であるが、高速のＡＤ変換器は一般に高価であるため、装置のコストが上昇するという問題がある。
【００１３】
これに対し、第２の従来技術では、二相のパルス数に基づいて異常を検出する原理上、電動機が停止している状態では異常検出が不可能である。従って、電動機停止時における異常検出手段を別途用意する必要があり、これがコスト上昇の原因となる。
【００１４】
また、第１の従来技術と第２の従来技術とを組み合わせれば、電動機運転時、停止時の両方に対応可能な異常検出装置を構成することも可能であるが、以下のようなケースに対しては異常検出が不可能である。
（１）エンコーダの二相の出力信号の位相が異常であるケース。
例えば、信号線が部分的に短絡することにより、二相の出力信号の間隔が一時的に変動する場合。
この場合は、電動機の運転によりエンコーダの出力信号が発生している時にしか異常を検出できず、また、第２の従来技術のように、単にパルスの数を比較するだけでは検出することができない。
（２）本来であれば異常によって二相のパルス数が異なるべきであるにもかかわらず、ノイズ等により出力信号が発振し、たまたま二相のパルス数が一致する場合。
上記以外にも、異常時に他の原因によってパルス数に差が生じないこともあるので、そのような場合には異常を検出することができない。
【００１５】
上記の点に鑑み、本出願人は下記の異常監視装置を特願２００９−４９３７５として既に出願している。
この先願に係る異常監視装置は、電動機出力軸等の回転体の位置を検出するエンコーダの出力信号をアナログ信号として制御装置に入力し、回転体の停止時に発生する異常をアナログ入力信号の電圧レベルに基づいて検出する。また、回転体の回転時には、少なくとも二相のアナログ入力信号を変換してなるディジタル信号を用いて、各相の一定周期内のパルス数の差を所定の閾値と比較する。更に、位相が異なる二以上のディジタル信号を合成して得た合成信号のパルス幅、または、各相のディジタル信号のパルス幅をそれぞれ監視して異常を検出するものである。
【００１６】
以下、この先願発明の概要を説明する。
図１１において、１０は位相が９０度異なる二相のアナログ信号を出力するエンコーダ、２０は電源線、信号線、接地線からなるケーブル、３１０はエンコーダ１０の出力信号を処理してエンコーダ１０の異常やケーブル２０を含む配線系統の異常を検出する制御装置である。
【００１７】
エンコーダ１０は、電動機出力軸等の回転体の回転により、位相が９０度異なる二つの相対的な位置検出信号（Ａ相信号及びＢ相信号）を発生する光学センサを備え、Ａ相信号及びＢ相信号は、コンプリメンタリ構成のトランジスタＴｒ１，Ｔｒ２のベースにそれぞれ入力されている。
一方のトランジスタＴｒ１のコレクタは電源端子Ｖｃ（電源電圧もＶｃと表記する）に接続され、他方のトランジスタＴｒ２のコレクタはグランド端子Ｍに接続されている。また、トランジスタＴｒ１，Ｔｒ２同士の接続点は、制限抵抗Ｒ１を介してＡ相信号端子Ａ、Ｂ相信号端子Ｂにそれぞれ接続される。
【００１８】
エンコーダ１０には、制御装置３１０からケーブル２０を介して電源電圧Ｖｃが供給されており、エンコーダ１０の各部の電気信号は制御装置３１０と共通の電位を基準としている。なお、制御装置３１０内の電源回路は図示を省略する。
通常は、ノイズによる影響を防ぐために、図１１におけるＡ相信号端子Ａ、Ｂ相信号端子Ｂ等でフォトカプラや絶縁アンプによりエンコーダ１０と制御装置３１０とを電気的に絶縁することがあるが、ここでは、説明を簡単にするためにエンコーダ１０と制御装置３１０とを同電位としている。
【００１９】
次に、制御装置３１０において、電源端子Ｖｃ、Ａ相信号端子Ａ、グランド端子Ｍの相互間、及び、電源端子Ｖｃ、Ｂ相信号端子Ｂ、グランド端子Ｍの相互間には、バイアス発生手段としての分圧抵抗Ｒｘ，Ｒｙがそれぞれ接続されている。
エンコーダ１０から出力されるＡ相信号が「Ｈ」レベル（トランジスタＴｒ１がオンし、トランジスタＴｒ２がオフしている状態）の場合、制御装置３１０により検出されるＡ相信号端子Ａのアナログ電圧Ｖａｄｅｔ（図１１におけるアナログ信号ＳｉｇＡａｎａの電圧に相当）は、トランジスタＴｒ１のオン電圧降下を無視すると、数式１によって表される。
【００２０】
【数１】
2010266260.tif 000003
【００２１】
一方、Ａ相信号が「Ｌ」レベル（トランジスタＴｒ１がオフし、トランジスタＴｒ２がオンしている状態）の場合、Ａ相信号端子Ａのアナログ電圧Ｖａｄｅｔは、トランジスタＴｒ２のオン電圧降下を無視すると、数式２によって表される。
【００２２】
【数２】
2010266260.tif 000004
【００２３】
すなわち、エンコーダ１０に故障がなくケーブル２０に断線や短絡、地絡等がない正常時には、図１２に示すように、アナログ電圧Ｖａｄｅｔとして、Ａ相信号が「Ｈ」レベルの時には、電源電圧Ｖｃからバイアス分を減算したアナログハイレベル（Ｒｙ・Ｖｃ／（Ｒ１＋Ｒｙ）が検出される。また、Ａ相信号が「Ｌ」レベルの時には、グランド電圧にバイアス分を加算したアナログローレベル（Ｒ１・Ｖｃ／（Ｒ１＋Ｒｘ））が検出される。
なお、数式１，２は、Ｂ相信号端子Ｂのアナログ電圧についても同様に成立する。
【００２４】
再び図１１において、Ａ相信号端子Ａのアナログ信号ＳｉｇＡａｎａとＢ相信号端子Ｂのアナログ信号ＳｉｇＢａｎａとは、制御装置３１０内の演算処理装置であるマイコン３１１内のアナログ入力部３３１Ａ，３３１Ｂにそれぞれ入力される。アナログ入力部３３１Ａ，３３１Ｂの出力信号はＡＤ変換部３３２Ａ，３３２Ｂによりディジタル信号に変換される。そして、これらのディジタル信号が入力される後続のレベル異常検出部３３３Ａ，３３３Ｂにおいて、アナログ電圧として前述のアナログハイレベルまたはアナログローレベルが検出されるか否かを判断することにより、異常が検出される。
すなわち、この先願発明では、レベル異常検出部３３３Ａ，３３３Ｂがアナログ入力信号の電圧レベルを検出することにより、回転体が停止しているときの異常（ケーブル２０の断線、信号線と電源線との短絡、地絡等）を検出することができ、回転体が回転している場合でも、信号線と電源線との短絡、地絡を検出することができる。
【００２５】
一方、図１１におけるディジタル信号処理手段３１Ａ，３１Ｂは一種のＡＤ変換手段であり、コンパレータ等によりアナログ信号を閾値と比較してマイコン３１１に入力するＡ相，Ｂ相のディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢを作成する。
これらのディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢは、マイコン３１１内のディジタル入力部３３４Ａ，３３４Ｂ及びカウンタ３３５Ａ，３３５Ｂを介してパルス数比較異常検出部３３６に入力され、ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢのパルス数を比較することにより、異常が検出される。
【００２６】
また、上記ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢは、マイコン３１１内のディジタル入力部３３７Ａ，３３７Ｂにそれぞれ入力されている。ディジタル入力部３３７Ａ，３３７Ｂの出力側には、Ａ相，Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの「Ｈ」レベルの幅を測定するタイマ３３８Ａ，３３８Ｂがそれぞれ接続され、タイマ３３８Ａ，３３８Ｂの出力側にパルス幅比較異常検出部３４０が接続されている。
パルス幅比較異常検出部３４０は、Ａ相，Ｂ相のそれぞれについて、タイマ値（ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの「Ｈ」レベルの幅）の前回値と今回値とを比較し、または、Ａ相のタイマ値とＢ相のタイマ値とを比較し、これらの差が所定の閾値を超える場合に異常が検出される。
【００２７】
次に、上記パルス数比較異常検出部３３６及びパルス幅比較異常検出部３４０によって実行される、回転体の回転時における異常検出動作について詳述する。
図１３は、正常時におけるディジタル信号処理手段３１Ａ，３１Ｂの出力信号、カウンタ３３５Ａ，３３５Ｂ及びタイマ３３８Ａ，３３８Ｂの出力信号を示すタイミングチャートである。
【００２８】
Ａ相のカウンタ３３５Ａは、制御周期Ｔｓ間に検出されたディジタル信号ＳｉｇＡの立ち上がりエッジ数をカウントし、制御周期Ｔｓ毎に内部のメモリにカウント値を保存する。図１３では、前回のカウント値ＣｏｕｎｔＡ０と、今回の制御周期Ｔｓ間に測定されたカウント値ＣｏｕｎｔＡ１が示されている。この例では、制御周期Ｔｓ間にディジタル信号ＳｉｇＡの立ち上がりエッジを４回検出したので、カウント値は４である。
また、Ｂ相のカウンタ３３５Ｂも、制御周期Ｔｓ間に検出されたディジタル信号ＳｉｇＢの立ち上がりエッジ数をカウントし、制御周期Ｔｓ毎に内部のメモリにカウント値を保存する。図１３では、前回のカウント値ＣｏｕｎｔＢ０と、今回の制御周期Ｔｓ間に測定されたカウント値ＣｏｕｎｔＢ１が示されており、この例では、制御周期Ｔｓ間にディジタル信号ＳｉｇＢの立ち上がりエッジを５回検出したので、カウント値は５である。
【００２９】
Ａ相のタイマ３３８Ａは、Ａ相ディジタル信号ＳｉｇＡの立ち上がりで動作を開始し、立ち下がりでタイマ値を保存することにより、このタイマ値からＡ相ディジタル信号ＳｉｇＡの「Ｈ」レベルの幅を測定する。
同様に、Ｂ相のタイマ３３８Ｂは、Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＢの立ち上がりで動作を開始し、立ち下がりでタイマ値を保存することにより、このタイマ値からＢ相ディジタル信号ＳｉｇＢの「Ｈ」レベルの幅を測定する。なお、図１３において、ＴＡ０，ＴＡ１，……，ＴＢ０，ＴＢ１，……はタイマ値（ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの「Ｈ」レベルの幅）を示す。
パルス幅比較異常検出部３４０は、Ａ相，Ｂ相のタイマ値の前回値と今回値とをそれぞれ比較し、図１３の例では前回値と今回値とが等しいことから正常と判断する。
【００３０】
図１４は、Ａ相ディジタル信号ＳｉｇＡに異常が発生した場合のタイミングチャートである。Ａ相の信号線が電源線と短絡した等の理由によりＡ相のディジタル信号ＳｉｇＡが「Ｈ」レベルで固定されると、カウンタ３３５Ａ，３３５Ｂによるカウント値ＣｏｕｎｔＡ１，ＣｏｕｎｔＢ１の差が所定の閾値（例えば２）より大きくなった場合に異常と判断する。ケーブルの断線や地絡等によりＡ相のディジタル信号ＳｉｇＡが「Ｌ」レベルで固定された場合や、Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＢに異常が発生した場合も、同様な原理によって異常を検出可能である。
【００３１】
図１５は、Ａ相，Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの両方に異常が発生した場合のタイミングチャートである。
この場合、カウント値ＣｏｕｎｔＡ１，ＣｏｕｎｔＢ１は何れも２であるため、パルス数比較異常検出部３３６では異常を検出することができない。そこで、この場合にはＡ相，Ｂ相のタイマ値の前回値と今回値とをそれぞれ比較する。
すなわち、図１５において、Ａ相，Ｂ相共に、異常が発生する直前のディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの「Ｈ」レベルの幅（つまりタイマ値）ＴＡ１，ＴＢ１を測定するが、異常発生によりタイマ値を保存するためのディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの立ち下がりエッジが現れないので、異常発生後はＡ相，Ｂ相共にタイマ値が加算されていく。そこで、所定のタイミングでＡ相，Ｂ相について今回加算中のタイマ値ＴＡ１，ＴＢ１を前回のタイマ値ＴＡ０，ＴＢ０とそれぞれ比較すれば、ＴＡ１とＴＡ０との間、ＴＢ１とＴＢ０との間にはそれぞれ大きな差があるため、これらの差が所定の閾値を超えた場合にＡ相，Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢの両方に異常が発生したことが検出される。
【００３２】
また、図１６は、Ａ相ディジタル信号ＳｉｇＡの位相に異常が発生した場合のタイミングチャートである。このような位相異常は、Ｂ相側との部分的な短絡やエンコーダ１０内のトランジスタＴｒ１，Ｔｒ２の故障等に起因するものである。
この場合、Ａ相，Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢのパルス数には閾値（例えば２）以上の差はないが、異常であるＡ相のタイマ値と正常なＢ相のタイマ値との間、つまりＴＡｅｒｒ１とＴＢ１との間、ＴＡｅｒｒ２とＴＢ２との間にはそれぞれ差が生じている。更に、例えばＡ相ディジタル信号ＳｉｇＡの今回のタイマ値ＴＡｅｒｒ１と前回のタイマ値ＴＡ１との間にも差が生じている。
そこで、パルス幅比較異常検出部３４０では、タイマ値ＴＡｅｒｒ１とＴＢ１との差、またはタイマ値ＴＡｅｒｒ２とＴＢ２と差、あるいはタイマ値ＴＡｅｒｒ１とＴＡ１との差が所定の閾値よりも大きいことをもって、Ａ相ディジタル信号ＳｉｇＡの異常を検出するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３３】
【特許文献１】特開２００８−２３２９７８号公報（段落［００１０］〜［００１７］、図１，図２等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３４】
さて、図１１に示した先願発明では、エンコーダ１０がトランジスタＴｒ１，Ｔｒ２からなるコンプリメンタリ形式であることを想定しており、差動出力形式（ラインドライバ形式）のエンコーダには対応していない。ここで、ラインドライバ形式は、一相あたり、信号Ａとその反転信号Ａ−とからなる一組の差動信号を出力し、これらを受信したレシーバ側で差動信号Ａ，Ａ−を基準電位に合わせた論理レベルに変換することで、コモンモード電位の変動などの影響を受けにくく、ノイズに強いシステムを構築できる利点がある。
【００３５】
しかるに、ラインドライバ形式のエンコーダを先願発明の制御装置３１０にそのまま適用すると、以下のような問題を生じる。
（１）エンコーダの出力信号が差動信号であるため、一相あたり２倍のＡＤ変換部が必要になり、マイコン等のチャンネル数が不足するとＡＤ変換部を更に追加しなくてはならず、装置のスペースやコストが増加する。
（２）上記（１）の対策として、基準電位に合わせた論理レベルに変換した後のラインレシーバの出力信号をＡＤ変換することでＡＤ変換部の数を減少させる場合には、一相あたり二つの差動信号の信号線のうち１本だけ断線した時の異常を検出することができない。これは、前述したように、断線時には中間電圧レベルが検出されるが、ラインレシーバの差動信号のスレッシュホールドレベルによりハイレベルまたはローレベルの何れかに固定されるため、断線時にも正常と誤認してしまうためである。
【００３６】
そこで、本発明の解決課題は、ラインドライバ形式のエンコーダを使用した場合にも、スペースやコストの増加を招くことなく高精度に異常を検出可能とした異常監視装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３７】
上記目的を達成するために、請求項１に係る異常監視装置は、回転体の位置を検出するエンコーダの出力信号であって位相の異なる複数の信号が、電源線及び信号線を含む配線系統を介してそれぞれ一組の差動信号として制御装置に入力され、この制御装置が、前記差動信号を処理して前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する異常監視装置において、
前記制御装置は、
複数組の前記差動信号を、前記制御装置のグランド電位を基準としたディジタル信号にそれぞれ変換し、これらのディジタル信号のパルス数に基づいて前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する第１の異常検出手段と、
複数の前記ディジタル信号のパルス幅に基づいて前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する第２の異常検出手段と、
少なくとも一組の差動信号をレベル計測手段により所定レベルのアナログ信号に変換し、このアナログ信号を変換してなるディジタル信号から前記アナログ信号の電圧レベルを検出して前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出する第３の異常検出手段と、
を備えたものである。
【００３８】
請求項２に係る異常監視装置は、請求項１に記載した異常監視装置において、
第３の異常検出手段は、
前記レベル計測手段として、前記差動信号が入力される両電源方式のアナログ演算手段、または、前記差動信号が入力され、かつ片電源方式であってオフセット電圧を重畳してなるアナログ演算手段を備え、
これらのアナログ演算手段から出力されたアナログ信号の電圧レベルが正側の正常範囲外または負側の正常範囲外であるときに前記エンコーダまたは配線系統の異常を検出するものである。
【００３９】
請求項３に係る異常監視装置は、請求項１または２に記載した異常監視装置において、
前記回転体の回転時には、第１または第２の異常検出手段により異常を検出し、前記回転体の停止時には、第３の異常検出手段により異常を検出するものである。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によれば、ラインドライバ形式のエンコーダを使用した場合でも、第３の異常検出手段において、一組の差動信号をレベル計測手段により所定レベルのアナログ信号に変換し、その電圧レベルに基づいて、回転体の停止時におけるエンコーダ自体や配線系統の異常を検出することができる。また、回転体の回転時については、第１または第２の異常検出手段により、アナログ信号を変換して得たディジタル信号に基づいて異常を検出可能である。
特に本発明では、ＡＤ変換部の増設が不要であるため装置のスペースやコストが増加するおそれがないと共に、二つの差動信号の信号線のうち１本だけの断線も検出可能として異常検出精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態を示す回路図である。
【図２】図１におけるレベル計測手段の変形例を示す回路図及び動作説明図である。
【図３】実施形態の正常時の動作説明図である。
【図４】実施形態の異常時の動作説明図である。
【図５】実施形態の異常時の動作説明図である。
【図６】実施形態の異常時の動作説明図である。
【図７】実施形態の異常検出動作を示すフローチャートである。
【図８】第１の従来技術に係る配線異常検出装置の回路図である。
【図９】図８における配線異常検出装置のアナログ入力信号の特性図である。
【図１０】第１の従来技術の問題点を説明するためのタイミングチャートである。
【図１１】先願発明の構成を示すブロック図である。
【図１２】先願発明の正常時におけるアナログ電圧レベルの説明図である。
【図１３】先願発明の正常時の動作を示すタイミングチャートである。
【図１４】先願発明の異常時の動作を示すタイミングチャートである。
【図１５】先願発明の異常時の動作を示すタイミングチャートである。
【図１６】先願発明の異常時の動作を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明の実施形態を示す回路図である。この実施形態において、制御装置３５０内のマイコン３１１の構成は図１１の先願発明と同一であり、異なるのはマイコン３１１に入力されるＡ相，Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢ及びＡ相，Ｂ相アナログ信号ＳｉｇＡａｎａ，ＳｉｇＢａｎａの生成手段であるため、以下ではこの点を中心に説明する。
【００４３】
図１において、１１はラインドライバ形式エンコーダであり、電動機出力軸等に設けられた光学式エンコーダ１２から、位相が９０度異なるＡ相入力信号、Ｂ相入力信号が出力される。これらの信号はＡ相、Ｂ相のラインドライバ１３Ａ，１３Ｂに入力され、それぞれ一組の差動信号Ａ，Ａ−及びＢ，Ｂ−が生成される。なお、図１では、符号Ａ，Ｂの上に「−」を付して反転信号Ａ−，Ｂ−を示してある。
差動信号Ａ，Ａ−及びＢ，Ｂ−はケーブル２１を介して制御装置３５０に入力されている。
【００４４】
制御装置３５０において、差動信号Ａ，Ａ−及びＢ，Ｂ−は、電源端子Ｖｃ（電源電圧もＶｃと表記する）とグランドＭとの間にそれぞれ接続された分圧抵抗Ｒｘ，Ｒｙ同士の接続点を介して、Ａ相のラインレシーバ３５１Ａ及びＢ相のラインレシーバ３５１Ｂに入力されている。
ラインレシーバ３５１Ａ，３５１ＢはＡ相，Ｂ相の入力信号をＡ相，Ｂ相ディジタル信号ＳｉｇＡ，ＳｉｇＢに変換し、これらのディジタル信号はマイコン３１１内のディジタル入力部３３４Ａ，３３７Ａ，３３４Ｂ，３３７Ｂに入力される。これらのディジタル入力部３３４Ａ，３３７Ａ，３３４Ｂ，３３７Ｂ以降の処理は図１１の先願発明と同様であり、パルス数比較異常検出部３３６及びパルス幅比較異常検出部３４０により回転体の回転時における異常が検出される。
【００４５】
一方、差動信号Ａ，Ａ−及びＢ，Ｂ−は、正負両電源（電源電圧をＶｃ，−Ｖｃとする）方式のアナログ演算手段としてのＡ相オペアンプ３５２Ａ及びＢ相オペアンプ３５２Ｂの正入力端子、負入力端子にそれぞれ入力されている。なお、オペアンプ３５２Ａ，３５２Ｂは増幅抵抗やフィードバック抵抗を備えており、これらによって増幅比が決定されるが、説明を簡単にするために、ここでは上記抵抗の図示を省略し、オペアンプ３５２Ａ，３５２Ｂをゲイン１の差動増幅回路として説明する。
【００４６】
オペアンプ３５２Ａ，３５２Ｂのアナログ出力信号は、電圧レベル変換手段３５３Ａ，３５３Ｂにそれぞれ入力されている。電圧レベル変換手段３５３Ａ，３５３Ｂは、オペアンプ３５２Ａ，３５２Ｂのアナログ出力信号に予め電源電圧Ｖｃの１／２程度の電圧を加算すると共に、電源電圧Ｖｃを超えないように増幅比を変換してマイコン３１１内のＡＤ変換部３３２Ａ，３３２Ｂへの入力電圧レベルを調整する機能を有する。これは、マイコン３１１に内蔵されたＡＤ変換部３３２Ａ，３３２Ｂが正負の極性を持つ電圧を扱えないためである。
ここで、オペアンプ３５２Ａ及び電圧レベル変換手段３５３ＡによってＡ相のレベル計測手段３４１Ａが構成され、オペアンプ３５２Ｂ及び電圧レベル変換手段３５３ＢによってＢ相のレベル計測手段３４１Ｂが構成される。
【００４７】
なお、図１において、ラインレシーバ３５１Ａ，３５１Ｂ、ディジタル入力部３３４Ａ，３３４Ｂ、カウンタ３３５Ａ，３３５Ｂ、パルス数比較異常検出部３３６は、請求項における第１の異常検出手段を構成している。
また、ラインレシーバ３５１Ａ，３５１Ｂ、ディジタル入力部３３７Ａ，３３７Ｂ、タイマ３３８Ａ，３３８Ｂ、パルス幅比較異常検出部３４０は、請求項における第２の異常検出手段を構成している。
更に、レベル計測手段３４１Ａ，３４１Ｂ、アナログ入力部３３１Ａ，３３１Ｂ、ＡＤ変換部３３２Ａ，３３２Ｂ、レベル異常検出部３３３Ａ，３３３Ｂは、請求項における第３の異常検出手段を構成している。
【００４８】
なお、オペアンプ３５２Ａ，３５２Ｂ及び電圧レベル変換手段３５３Ａ，３５３Ｂからなるレベル計測手段３４１Ａ，３４１Ｂは、図２（ａ）のような回路によって構成することもできる。
すなわち、例えばＡ相について説明すると、片電源方式のオペアンプ（電源電圧をＶｄとする）３５２Ａ１とオフセット電圧Ｖｏｆｆとを組み合わせて用いてもよい。この場合には、Ｖｃよりも高い正電源電圧Ｖｄと、Ｖｄよりも低い（例えばＶｄの１／２程度の）オフセット電圧Ｖｏｆｆという二つの電圧レベルを用いることで負電源を省略可能であり、図１のレベル計測手段３４１Ａと同様の作用を果たすことができる。
図２（ｂ）〜（ｅ）は、差動信号Ａ，Ａ−の論理に応じたＡ相アナログ信号ＳｉｇＡａｎａを示しており、両電源方式のオペアンプを用いた場合と同様に所定の電圧レベルを検出可能である。
図示されていないが、Ｂ相についても図２（ａ）と同様な片電源方式のオペアンプ及びオフセット電圧を用いてアナログ信号ＳｉｇＢａｎａを得ることができる。
【００４９】
次に、Ａ相，Ｂ相アナログ信号ＳｉｇＡａｎａ，ＳｉｇＢａｎａを用いた回転体停止時の異常検出動作について説明する。以下ではＡ相について説明するが、Ｂ相についても動作は同一である。
まず、図３は正常時の動作説明図であり、図３（ａ）はラインドライバ１３Ａからオペアンプ３５２Ａに至る回路を示し、図３（ｂ）はオペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡのレベルを示している。なお、図１の光学式エンコーダ１２からラインドライバ１３Ａに入力されるＡ相入力信号をＸＡとする。
【００５０】
ラインドライバ１３ＡはＦＥＴ等の半導体素子の組み合わせにより構成されており、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベルの場合には差動信号Ａが電源電圧Ｖｃのレベル、差動信号Ａ−がグランド端子Ｍのレベル（グランド電位）となり、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｌ」レベルの場合には差動信号Ａがグランド端子Ｍのレベル、差動信号Ａ−が電源電圧Ｖｃのレベルとなる。また、半導体素子のオン電圧降下やケーブルの配線抵抗に起因して、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベルの場合には出力電圧が減少し、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｌ」レベルの場合には出力電圧が増加する。
【００５１】
いま、半導体素子のオン電圧降下やケーブルの配線抵抗による誤差電圧をＶ０とし、この誤差電圧が差動信号Ａ，Ａ−の両方に発生すると仮定した場合、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベルの時のオペアンプ３５２Ａの入力信号ＶＡ，ＶＡ−は数式３のようになる。
なお、明細書本文中では、ＶＡの反転信号をＶＡ−と表記し、図３以下では、符号ＶＡの上に「−」を付して反転信号を表記してある。
［数３］
ＶＡ＝Ｖｃ−Ｖ０
ＶＡ−＝Ｍ＋Ｖ０
（Ｍはグランド電位を示す）
従って、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは数式４となる。
［数４］
ＹＡ＝ＶＡ−ＶＡ−＝Ｖｃ−２Ｖ０
【００５２】
また、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｌ」レベルの時のオペアンプ３５２Ａの入力信号ＶＡ，ＶＡ−は数式５のようになる。
［数５］
ＶＡ＝Ｍ＋Ｖ０
ＶＡ−＝Ｖｃ−Ｖ０
従って、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは数式６となる。
［数６］
ＹＡ＝ＶＡ−ＶＡ−＝−Ｖｃ＋２Ｖ０
【００５３】
次いで、図４は、差動信号Ａ，Ａ−の両方のケーブル２１が断線した場合の回路図（図４（ａ））及び出力信号ＹＡのレベルを示す図（図４（ｂ））である。この時は、Ａ相入力信号ＸＡの論理にかかわらず、オペアンプ３５２Ａの入力信号ＶＡ，ＶＡ−は、数式７のように何れも電源電圧Ｖｃを分圧抵抗により分圧した値となる。
［数７］
ＶＡ＝ＶＡ−＝Ｖｃ・Ｒｙ／（Ｒｘ＋Ｒｙ）
従って、ＶＡ−ＶＡ−＝０となり、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは図４（ｂ）に示す如くグランド電位Ｍとなる。
このため、出力信号ＹＡのレベルが図３の正常時とは異なるので、図１のレベル異常検出部３３３Ａが異常を検出し、外部に異常検出信号を出力する。
なお、エンコーダ１１に接続される電源線や接地線が断線した場合はエンコーダ１１に電源が供給されなくなるので、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは同じくグランド電位Ｍとなり、レベル異常検出部３３３Ａが異常を検出することができる。
【００５４】
次に、図５は、差動信号Ａ側のケーブル２１が断線した場合の回路図（図５（ａ））及び出力信号ＹＡのレベルを示す図（図５（ｂ））である。この場合は、Ａ相入力信号ＸＡの論理レベルに応じてオペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは異なるレベルとなる。
すなわち、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベルの場合には、オペアンプ３５２Ａの入力信号ＶＡ，ＶＡ−は数式８となる。
［数８］
ＶＡ＝Ｖｃ・Ｒｙ／（Ｒｘ＋Ｒｙ）
ＶＡ−＝Ｍ＋Ｖ０
従って、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは数式９となる。
［数９］
ＹＡ＝ＶＡ−ＶＡ−＝Ｖｃ・Ｒｙ／（Ｒｘ＋Ｒｙ）−Ｖ０
Ｒｘ＝Ｒｙの場合には、数式９は（Ｖｃ／２）−Ｖ０となり、図５（ｂ）に示すように、ＭとＶｃとの中間にある破線のレベルからＶ０を減じた電圧となる。
【００５５】
また、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｌ」レベルの場合には上記と逆になり、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは数式１０となる。
［数１０］
ＹＡ＝ＶＡ−ＶＡ−＝Ｖ０−Ｖｃ・Ｒｙ／（Ｒｘ＋Ｒｙ）
Ｒｘ＝Ｒｙの場合には、数式１０９は−（Ｖｃ／２）＋Ｖ０となり、図５（ｂ）に示すように、Ｍと−Ｖｃとの中間にある破線のレベルにＶ０を加えた電圧となる。
【００５６】
よって、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベル、「Ｌ」レベルの何れの場合にも、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは図３の正常時とは異なるレベルになるため、異常を検出することができる。
なお、差動信号Ａ−側のケーブル２１が断線した場合も、Ａ相入力信号ＸＡの論理と数式９，１０の関係が逆になるだけであり、同様に異常を検出することが可能である。
【００５７】
図６は、差動信号Ａ側のケーブル２１が電源線と短絡した場合の回路図（図６（ａ））及び出力信号ＹＡのレベルを示す図（図６（ｂ））である。
この場合、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベルの時は、オペアンプ３５２Ａの入力信号ＶＡ，ＶＡ−は数式１１となる。
［数１１］
ＶＡ＝Ｖｃ
ＶＡ−＝Ｍ＋Ｖ０
よって、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは数式１２となる。
［数１２］
ＹＡ＝ＶＡ−ＶＡ−＝Ｖｃ−Ｖ０
この場合、図６（ｂ）と図３（ｂ）との比較から明らかなように、正常時に比べて出力信号ＹＡのレベルはＶ０だけ異なっている。従って、Ｖ０が十分に大きい値となるようにラインドライバ１３Ａの出力側に抵抗を挿入する等の手段を講じておけば、電源線との短絡による異常時と正常時とを確実に判別することができる。また、Ｖ０が小さくて正常時、異常時の判別が困難な場合には、回転時の異常検出を行うパルス数比較異常検出部３３６やパルス幅比較異常検出部３４０による検出結果により補完しても良い。
【００５８】
一方、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｌ」レベルの時は、オペアンプ３５２Ａの入力信号ＶＡ，ＶＡ−は数式１３となる。
［数１３］
ＶＡ＝Ｖｃ
ＶＡ−＝Ｖｃ−Ｖ０
よって、オペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡは数式１４となる。
［数１４］
ＹＡ＝ＶＡ−ＶＡ−＝Ｖ０
このため、Ａ相入力信号ＸＡが「Ｈ」レベルの場合と同様に、正常時との判別が可能である。
なお、差動信号Ａ−側のケーブル２１が電源線と短絡した場合は、Ａ相入力信号ＸＡの論理と数式１２，１４の関係が逆になり、また、差動信号Ａ側のケーブル２１が接地線と短絡した場合は、数式１１，１３のＶＡがグランド電位になるだけであるため、同様に異常を検出することができる。
【００５９】
図７は、本実施形態における異常検出動作を示すフローチャートである。
まず、回転体が回転中か停止中かを判断し、回転中であれば図１のラインレシーバ３５１Ａ，３５１Ｂから出力されるディジタルＳｉｇＡ，ＳｉｇＢを用いてパルス数比較異常検出部３３６及びパルス幅比較異常検出部３４０により異常を検出する（ステップＳ１Ｎｏ，ステップＳ７）。
【００６０】
停止中であれば、前述したオペアンプ３５２Ａの出力信号ＹＡ（及びオペアンプ３５２Ｂの出力信号ＹＢ）に基づくＡ相，Ｂ相アナログ信号ＳｉｇＡａｎａ，ＳｉｇＢａｎａを用いて異常判断を行う（ステップＳ１Ｙｅｓ，ステップＳ２）。
すなわち、例えば出力信号ＹＡに基づくＡ相アナログ信号ＳｉｇＡａｎａを図３（ｂ）に示した正常時の正側の電圧レベル（Ｖｃ−２Ｖ０）に検出誤差のマージンを加えた値の範囲（正側の正常範囲）と比較し、その範囲外と判断した場合には（ステップＳ３Ｙｅｓ）、正常時の負側の電圧レベル（−Ｖｃ＋２Ｖ０）に検出誤差のマージンを加えた値の範囲（負側の正常範囲）と比較する（ステップＳ４）。ここで、上記マージンの値は、ＡＤ変換誤差やオペアンプ３５２Ａ，３５２Ｂのオフセット電圧等を考慮して決定すれば良い。
そして、負側についても正常範囲外である場合には（ステップＳ４Ｙｅｓ）、異常と判断して異常検出信号（アラーム）を発生する（ステップＳ５）。また、正側あるいは負側が正常範囲内であれば（ステップＳ３Ｎｏ，ステップＳ４Ｎｏ）、正常モードの処理、つまりエンコーダや配線系統に異常なしと判断して電動機等の回転体を駆動すればよい。
【００６１】
以上詳述したように、本実施形態によれば、ラインドライバ形式エンコーダ１１を用いたシステムに対しても、ＡＤ変換部を増設することなくエンコーダ内部や配線系統の断線、短絡、地絡を検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、電動機ばかりでなく、各種の回転体の回転速度や位置（角度）を検出するエンコーダ及びその配線系統の異常監視に利用可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１１：ラインドライバ形式エンコーダ
１２：光学式エンコーダ
１３Ａ，１３Ｂ：ラインドライバ
２１：ケーブル
３１１：マイコン
３３１Ａ，３３１Ｂ：アナログ入力部
３３２Ａ，３３２Ｂ：ＡＤ変換部
３３３Ａ，３３３Ｂ：レベル異常検出部
３３４Ａ，３３４Ｂ，３３７Ａ，３３７Ｂ：ディジタル入力部
３３５Ａ，３３５Ｂ：カウンタ
３３６：パルス数比較異常検出部
３３８Ａ，３３８Ｂ：タイマ
３４０：パルス幅比較異常検出部
３４１Ａ，３４１Ｂ：レベル計測手段
３５０：制御装置
３５１Ａ，３５１Ｂ：ラインレシーバ
３５２Ａ，３５２Ｂ，３５２Ａ１：オペアンプ
３５３Ａ，３５３Ｂ：電圧レベル変換手段
Ｒｘ，Ｒｙ：分圧抵抗
【図１】
2010266260.tif 000005
【図２】
2010266260.tif 000006
【図３】
2010266260.tif 000007
【図４】
2010266260.tif 000008
【図５】
2010266260.tif 000009
【図６】
2010266260.tif 000010
【図７】
2010266260.tif 000011
【図８】
2010266260.tif 000012
【図９】
2010266260.tif 000013
【図１０】
2010266260.tif 000014
【図１１】
2010266260.tif 000015
【図１２】
2010266260.tif 000016
【図１３】
2010266260.tif 000017
【図１４】
2010266260.tif 000018
【図１５】
2010266260.tif 000019
【図１６】
2010266260.tif 000020