(57)【要約】【課題】清拭部の表面を発泡樹脂やシリコーンゴムで被覆することなく、発塵が充分に抑えられた清拭用具を提供する。【解決手段】軸２０と、軸２０の少なくとも一方の端部に設けられた清拭部３０とを有する清拭用具１０であり、前記清拭部が、繊維を集合させ、かつ該繊維間の少なくとも一部を接合させた繊維接合体を含む。【選択図】図１
2010110708.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸と、該軸の少なくとも一方の端部に設けられた清拭部とを有する清拭用具であり、
前記清拭部が、繊維を集合させ、かつ該繊維間の少なくとも一部を接合させた繊維接合体を含む、清拭用具。
【請求項２】
前記清拭部が、前記繊維接合体からなる最外層と、該最外層の内側に設けられた内層とから構成される、請求項１に記載の清拭用具。
【請求項３】
前記繊維間の接合が、繊維同士の溶着による、請求項１または２に記載の清拭用具。
【請求項４】
前記繊維間の接合が、バインダー樹脂を用いた接着による、請求項１または２に記載の清拭用具。
【請求項５】
前記繊維接合体を構成する繊維が、ポリアクリロニトリルを含む、請求項１または２に記載の清拭用具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、清拭用具に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種清拭、薬や化粧品の塗布等に用いられている清拭用具としては、棒状の軸の少なくとも一方の端部に綿（コットン）や極細の合成繊維を巻き付けた綿球部を有するもの（いわゆる綿棒）が知られている。
しかし、従来の清拭用具を工業用、特に精密機械用、半導体関連用、光通信関連用等として用いた場合、繊維から発生する塵（リント（綿埃）、繊維屑等）が問題となる。
【０００３】
そこで、綿球部を発泡樹脂やシリコーンゴムで被覆したもの（例えば、特許文献１、２）等が提案されている。
しかし、これら清拭用具には、発泡樹脂やシリコーンゴムからの溶出物（可塑剤、界面活性剤、シリコーン化合物、ナトリウムイオン等）が、被清拭物に移るという問題がある。特に、シリコーン化合物、ナトリウムイオンを溶出する清拭用具は、半導体関連の清拭に用いることはできない。
【特許文献１】特開２００５−３４９２９６号公報
【特許文献２】特開平０９−０４７３７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、清拭部の表面を発泡樹脂やシリコーンゴムで被覆することなく、発塵が充分に抑えられた清拭用具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の清拭用具は、軸と、該軸の少なくとも一方の端部に設けられた清拭部とを有する清拭用具であり、前記清拭部が、繊維を集合させ、かつ該繊維間の少なくとも一部を接合させた繊維接合体を含むことを特徴とする。
【０００６】
前記清拭部は、前記繊維接合体からなる最外層と、該最外層の内側に設けられた内層とから構成されることが好ましい。
前記繊維間の接合は、繊維同士の溶着、またはバインダー樹脂を用いた接着によることが好ましい。
前記繊維接合体を構成する繊維は、ポリアクリロニトリルを含むことが好ましい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の清拭用具は、清拭部の表面を発泡樹脂やシリコーンゴムで被覆することなく、発塵が充分に抑えられている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（清拭用具）
本発明の清拭用具は、軸と、該軸の少なくとも一方の端部に設けられた清拭部とを有する。
図１および図２は、本発明の清拭用具の一例を示す図である。清拭用具１０は、軸２０と、該軸２０の少なくとも一方の端部に設けられた清拭部３０とを有する。
【０００９】
軸２０としては、接着剤を片面に塗布した紙やフィルムを芯に巻きつけたもの；接着剤を片面に塗布した紙やフィルムを芯なしで巻き回したもの；プラスチック軸（ポリプロピレン軸等）、木軸、金属軸（アルミニウム軸等）、カーボンファイバー軸等が挙げられる。
軸２０の直径は、通常、０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ程度である。軸２０の長さは、通常、１００ｍｍ〜２００ｍｍ程度である。
【００１０】
清拭部３０は、繊維接合体（Ａ）を含むものであり、少なくとも表面が繊維接合体（Ａ）で覆われている。
繊維接合体（Ａ）は、繊維（ａ）を集合させ、かつ該繊維（ａ）間の少なくとも一部を接合させたものである。繊維（ａ）間の接合は、繊維（ａ）同士の溶着によって行うことが好ましい。また、バインダー樹脂を用いた接着によって行ってもよい。
【００１１】
繊維（ａ）の平均繊維径は、０．００１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０１μｍ〜１０μｍがより好ましく、０．０１μｍ〜１μｍがさらに好ましい。平均繊維径が０．００１μｍ未満では、繊維（ａ）間の接合の際に繊維切れが起きる可能性があり、繊維（ａ）自体も不安定である。平均繊維径が１０μｍを超えると、油膜や１０μｍ以下の大きさの塵を充分に清拭できない。
繊維（ａ）の平均繊維径は、繊維接合体（Ａ）を走査型電子顕微鏡で撮影し、電子顕微鏡写真上から無作為に選択した２０箇所の繊維（ａ）の繊維径を測定し、これらを平均して求める。
【００１２】
繊維（ａ）の材料としては、ポリマー（熱可塑性ポリマー、生分解性ポリマー等）、ポリマーブレンド、無機物質を１種類以上ブレンドした複合体等が好ましい。
熱可塑性ポリマーとしては、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン６６、ナイロン６、ナイロン４６、ポリアミド、ポリアクリロニトリル等が挙げられる。
生分解性ポリマーとしては、ポリウレタン、ポリビニルアルコール、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリエチレングリコール、ポリ乳酸グリコール、ポリエチレン・ビニルアセテート、ポリエチレン・ビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、コラーゲン等が挙げられる。
ポリマーブレンドとしては、ポリエチレン・ビニルアルコールとポリ乳酸との組み合わせ、ポリメタクリル酸メチルとアクリロニトリルとの組み合わせ、ポリアニリンとポリエチレンオキシドとの組み合わせ、コラーゲンとポリエチレンオキシドとの組み合わせ、シルクとポリエチレンオキシドとの組み合わせ、ポリアニリンとポリスチレンとの組み合わせ等が挙げられる。
複合体としては、ポリビニルアルコールとシリカとの組み合わせ、ナイロン６とモンモリロナイトとの組み合わせ、ポリアクリロニトリルと酸化チタンとの組み合わせ、ポリカプロラクトンと炭酸カルシウムとの組み合わせ、ポリカプロラクトンとカーボンナノチューブとの組み合わせ等が挙げられる。
【００１３】
繊維（ａ）は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を混合して用いてもよい。
繊維（ａ）としては、耐溶剤性の観点より、ポリアクリロニトリル（以下、ＰＡＮと記す。）が好ましい。ＰＡＮは、アセトン、イソプロピルアルコール、水等の溶媒に浸漬した場合に溶出する溶出物の量が、他のポリマーに比較して極めて少ない。
【００１４】
清拭部３０の軸方向の長さは、通常、１２〜１６ｍｍ程度である。清拭部３０の太さは、通常、２〜１０ｍｍ程度である。
清拭部３０の形状としては、図示例の楕円球（楕円体）状の他に、水滴状、円錐状、スパイラル状等が挙げられる。
【００１５】
清拭部３０は、図１に示すように、軸２０の端部に設けられた繊維接合体（Ａ）のみからなる繊維塊状体であってもよく、図２に示すように、軸２０の端部に設けられた内層３２の表面を繊維接合体（Ａ）からなる最外層３４で被覆したものであってもよい。
【００１６】
内層３２としては、発泡樹脂（オレフィン系樹脂、ウレタン系樹脂等）やシリコーンゴムの成形体；繊維接合体（Ａ）以外の繊維集合体（Ｂ）からなる繊維塊状体（綿球部）を軸２０の端部に設けたもの；該繊維塊状体の表面を発泡樹脂やシリコーンゴムでさらに被覆したもの等が挙げられる。繊維集合体（Ｂ）としては、綿（コットン）、合成繊維等が集合したもの等が挙げられる。
内層３２を設けることにより、清拭部３０に弾力性が付与される。また、繊維接合体（Ａ）の使用量を節約できる。図２の清拭部３０においては、繊維接合体（Ａ）からなる最外層３４を有するため、内層３２を形成している樹脂等からの溶出物の溶出、繊維屑等が原因となる塵の発生等が抑えられる。
【００１７】
（清拭用具の製造方法）
清拭用具１０は、軸２０の少なくとも一方の端部または該端部に形成された内層３２に、繊維接合体（Ａ）を巻き付けて清拭部３０を形成することによって製造できる。
繊維接合体（Ａ）を巻き付ける際には、軸２０の端部の表面、または内層３２の表面、または繊維接合体（Ａ）の一部に接着剤等をあらかじめ塗布しておいてもよい。
【００１８】
繊維接合体（Ａ）を構成する繊維（ａ）の製造方法としては、溶融紡糸法、セルフアッセンブリー法、フェイズ・セパレーション法、エレクトロスピニング法等が挙げられる。
以下、エレクトロスピニング法について説明する。
【００１９】
エレクトロスピニング法に用いる装置は、先の尖ったプラス電極（毛細管やノズル。以下、プラス電極をノズルと記す。）と、平板状等のマイナス電極（アース電極）とで構成される。先の尖ったノズルとしては、注射器の針、ガラスキャピラリに電極を差し込んだもの等が挙げられる。
該装置においては、先端にノズルが取り付けられたポリマー溶液タンク、注射器であればシリンジもしくは針に、プラスの電圧が印加されており、ノズルを出た電荷を帯びたポリマー溶液は、電界中をマイナス電極に向かって吸い寄せられる。このとき、ポリマーが低分子だと粒子状にスプレーされて繊維形状を保てない。ポリマーが高分子だと複数に分かれた繊維がマイナス電極に向かって吸い寄せられ、マイナス電極の表面に繊維（ａ）が集積される。
【００２０】
エレクトロスピニング法では、繊維（ａ）の原料であるポリマーは、溶媒に溶解した状態でなければならない。ポリマーの濃度は、ポリマー溶液１００質量％中、１〜３０質量％が好ましい。ポリマーの濃度が１質量％以上であれば、粒子状にスプレーされにくく、繊維形状を保てる。ポリマーの濃度が３０質量％を超えると、平均繊維径が１０μｍ超の繊維となったり、ポリマー溶液の粘度が高くなりすぎて、紡糸が困難となったりする。
【００２１】
ポリマーがＰＡＮの場合、ＰＡＮの質量平均分子量は、５０，０００〜２００，０００が好ましく、１００，０００〜１５０，０００がより好ましい。
質量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定される、スチレン換算の質量平均分子量である。
【００２２】
ポリマー溶液の粘度は、１００ｍＰａ．ｓ〜２０，０００ｍＰａ．ｓが好ましく、１，０００ｍＰａ．ｓ〜１５，０００ｍＰａ．ｓがより好ましく、１，０００ｍＰａ．ｓ〜１０，０００ｍＰａ．ｓがさらに好ましい。粘度が１００ｍＰａ．ｓ以上であれば、粒子状にスプレーされにくく、繊維形状を充分に保てる。粘度が２０，０００ｍＰａ．ｓ以下であれば、流動性が良好となり、安定的にノズルから吐出され、均一な繊維を得やすい。
ポリマー溶液の粘度は、Ｂ型粘度計を用い、温度：２５℃、回転数：３０ｒｐｍの条件にて測定する。
【００２３】
溶媒は、ポリマーを均一に溶解できるものであればよい。溶媒としては、極性の高い溶媒（水、ギ酸、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等）、アルコール系溶媒（エチルアルコール、メチルアルコール、イソプロピルアルコール等）、塩素系溶媒（四塩化炭素、クロロホルム等）、ケトン系溶媒（アセトン、メチルエチルケトン等）、芳香族系溶媒（トルエン、ベンゼン等）等が挙げられる。溶媒は、２種類以上の混合物であってもよい。
【００２４】
ポリマー溶液には、被清拭物に悪影響を及ぼさない範囲で、添加剤（耐光向上剤、酸化防止剤、可塑剤等）を添加してもよい。耐光向上剤としては、ヒンダードアミン、ベンゾトリアゾール等が挙げられる。酸化防止剤としては、ジブチルヒドロキシトルエン（ＢＨＴ）等が挙げられる。可塑剤としては、エポキシ化大豆油等が挙げられる。
ポリマー溶液には、被清拭物に悪影響を及ぼさない範囲で、着色剤（顔料、染料等）、導電性カーボン、界面活性剤等を添加してもよい。導電性カーボンまたは帯電防止効果のある界面活性剤を添加することにより、清拭部３０に帯電防止性能が付与される。
【００２５】
印加される電圧は、通常、５ｋＶ〜３０ｋＶである。また、印加される電圧の強さは、ノズルからマイナス電極までの距離とも関連している。距離が短ければ小さい電圧でもよく、距離が長ければ電圧もまた距離に応じた大きさが必要となる。また、距離だけでなく、ノズルからの吐出量、ポリマー溶液の濃度や粘度、ポリマーの種類や分子量、繊維（ａ）の繊維径や品位によっても最適な電圧が異なってくるので、製造する繊維（ａ）に応じた電圧を選ぶ必要がある。
【００２６】
ノズルを出た電荷を帯びたポリマー溶液の溶媒は、通常、マイナス電極に到達するまでに蒸発してしまうが、条件によっては蒸発できない場合もある。この場合、紡糸を行っている環境の気圧、温度、湿度等を変更したり、気流を発生させたりして溶媒を蒸発させてもよい。また、ポリマー溶液の温度や粘度も、溶媒の蒸発に影響するので、最適な条件を設定することが重要である。
【００２７】
マイナス電極の形状は、平板状である必要はなく、任意の形状であってもよい。例えば、ベルト状、ロール状、円盤状等が挙げられる。ベルト状であれば、電極を回転させながら、集積された繊維（ａ）を巻き取ることができる。ロール状であれば、筒状に集積された繊維（ａ）を得ることができる。円盤状であれば、円盤の中心を通る軸をノズルに対し垂直に配置し、円盤を高速に回転させることにより、方向の揃った状態で集積された繊維（ａ）を得ることができる。
【００２８】
また、ノズルとマイナス電極との間に、捕集部材（例えば、メッシュ）を挿入すると、該捕集部材の上に繊維（ａ）が集積される。該捕集部材は、メッシュ状である必要はなく、ノズルとマイナス電極の間で電荷の移動を阻害しない形状であればよい。
さらに、ノズルの数は増やすことで、生産性をあげてもよい。ノズルの数を増やした場合、ポリマー溶液は、１種類であってもよく、２種類以上であってもよい。
【００２９】
得られた繊維（ａ）は、例えば、下記の方法（Ｉ）〜方法（IV）によって繊維接合体（Ａ）とされる。
【００３０】
方法（I）：
マイナス電極に到達するまでにポリマー溶液の溶媒を完全に蒸発させないことで、残留した溶媒により繊維同士の少なくとも一部を溶着させ、接合させることができる。残留した溶媒は、紡糸後、時間の経過にしたがって蒸発していくが、場合によっては、ファンからの送風、オーブン等の乾燥装置により蒸発させてもよい。
【００３１】
方法（II）：
紡糸後、得られた繊維（ａ）を溶媒に一定時間浸漬し、その後水洗、乾燥することにより、繊維同士の少なくとも一部を溶着させ、接合させることができる。用いる溶媒は、ポリマー溶液に用いた溶媒と同様なものが挙げられる。溶媒は、２種類以上の混合物であってもよい。繊維（ａ）の表面を少量溶解できる程度の溶解度のものを、ポリマーの種類に応じて選択することが好ましい。
浸漬時間は、通常、１分未満である。１分未満であれば、繊維の強度低下が抑えられ、繊維切れによる発塵が抑えられる。また、繊維が完全に溶解することがない。
乾燥は、公知の乾燥装置を用いて行う。
【００３２】
方法（III）：
ポリマーが熱可塑性ポリマーの場合、加熱によっても繊維同士の少なくとも一部を溶着させ、接合させることができる。
【００３３】
方法（IV）：
マイナス電極上にあらかじめバインダー樹脂溶液を塗布し、この上に繊維（ａ）を集積させることにより、繊維同士の少なくとも一部をバインダー樹脂で接着させ、接合させることができる。
バインダー樹脂としては、繊維（ａ）の原料であるポリマーと同じものが好ましい。また、市販の綿棒の綿球部表面を繊維接合体（Ａ）で被覆する場合には、市販の綿棒の綿球部に用いられているポリビニルアルコール等の樹脂をバインダーとして用いてもよい。
バインダー樹脂溶液の溶媒としては、ポリマー溶液に用いた溶媒と同様なものが挙げられる。
バインダー樹脂溶液の上に繊維（ａ）を集積させた後、公知の乾燥装置にて乾燥を行う。ただし、バインダー樹脂の溶媒として有機溶媒を用いた場合、乾燥前に水に１分〜１０分程度浸漬し、脱溶媒を行ってから乾燥するとよい。
【００３４】
得られた繊維（ａ）、該繊維（ａ）から構成される繊維接合体（Ａ）、または該繊維接合体（Ａ）を含む清拭部３０をエレクトレット加工により帯電させることにより、被清拭物の塵を吸着により除去してもよい。
【００３５】
以上説明した本発明の清拭用具にあっては、清拭部に含まれる繊維接合体（Ａ）が、繊維（ａ）間の少なくとも一部を接合させたものであるため、繊維（ａ）を単に集合させたものに比べ、繊維（ａ）の強度が向上し、繊維切れ等による繊維屑が発生しにくい。また、リントも発生しにくい。よって、清拭部の表面を発泡樹脂やシリコーンゴムで被覆することなく、清拭部からの発塵が充分に抑えられる。そして、清拭部の表面を発泡樹脂やシリコーンゴムで被覆しないため、発泡樹脂やシリコーンゴムからの溶出物が清拭部の表面から溶出したり、（自己発塵による）塵が発生したりすることはない。
よって、本発明の清拭用具は、精密機械、半導体関連、光通信関連等の清拭に好適に用いられる。また、通常の綿棒の用途にも使用可能である。
【実施例】
【００３６】
以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。
【００３７】
（平均繊維径）
繊維接合体を走査型電子顕微鏡で２０００倍の倍率で撮影し、無作為に選択した２０箇所の繊維の繊維径を測定し、これらを平均して平均繊維径を求めた。
【００３８】
（耐溶剤性試験）
得られた清拭用具の清拭部の繊維集合体（もしくは繊維接合体）（清拭用具１本分）の質量を室温２０℃で測定した後、清拭部を１０ｍＬの溶剤が入った秤量びんに入れ、室温で２４時間浸漬した。溶剤としては、アセトン、イソプロピルアルコール、キシレン、水の４種類を用いた。繊維集合体（もしくは繊維接合体）を取り出し、秤量びんの溶剤を室温で蒸発させ、秤量びん中の残渣を１２０℃（キシレンに浸漬したものは１５０℃）のオーブンで６０分間乾燥した後、室温まで放冷し、残渣の質量を測定した。
【００３９】
〔実施例１〕
ＰＡＮ（質量平均分子量：１５０，０００）を溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと記す。）に溶解して１５質量％のＰＡＮ溶液（粘度：１１，０００ｍＰａ．ｓ）を調製した。
得られたＰＡＮ溶液をシリンジに入れ、印加電圧：２０ｋＶ、ノズルとマイナス電極との距離：２００ｍｍ、室温：２０℃、湿度：４０％ＲＨの条件で、エレクトロスピニング法で３時間紡糸を行って、マイナス電極上に設置したアルミニウム箔上にＰＡＮ繊維を集積させた。得られたＰＡＮ繊維を、溶媒のＤＭＦとメチルエチルケトン（以下、ＭＥＫと記す。）を質量比で７：３の割合で混合した溶液に１秒間浸漬し、水洗後、オーブンにて乾燥させた。繊維集合体を走査型電子顕微鏡で観察したところ、ＰＡＮ繊維の平均繊維径は０．６８μｍであり、一部の繊維同士が複数本溶着して繊維接合体を形成していた。
【００４０】
長さ：７３ｍｍ、直径：１．５ｍｍのポリプロピレン製の軸の両端に接着剤を塗布した後、該両端に得られた繊維接合体を巻き付け、長さ：１２ｍｍ、最大太さ：２．７ｍｍの楕円球状の清拭部を有する清拭用具を作製した。
該清拭用具を用いて、半導体ウエハー表面の清拭を行ったところ、微小な塵を拭き取ることができ、自己発塵による塵も発生していなかった。
【００４１】
〔実施例２〕
市販されている綿棒（日本綿棒株式会社製、商品名「Ｐ７５２Ｓ」）の綿球部に、実施例１で得られた繊維接合体を巻き付け、綿球部（内層）の表面全体を繊維接合体からなる最外層で被覆した楕円球状の清拭部を有する清拭用具を作製した。
該清拭用具について耐溶剤性試験を行った。表１に示すように、清拭用具１本当たりの残渣の質量は非常に少なかった。
【００４２】
【表１】
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【００４３】
また、得られた清拭用具を用いて、半導体ウエハー表面の清拭を行ったところ、微小な塵を拭き取ることができ、元の綿棒の綿球部からのリントの脱落や、自己発塵による塵も発生していなかった。また、綿球部があることで弾力性が付与されるため、拭き取り性が性能、感触ともにさらに向上した。
【００４４】
〔実施例３〕
ＰＡＮ（質量平均分子量：１５０，０００）を溶媒のＤＭＦに溶解して１０質量％のＰＡＮ溶液（粘度：１，４００ｍＰａ．ｓ）を調製した。
得られたＰＡＮ溶液をシリンジに入れ、印加電圧：２０ｋＶ、ノズルとマイナス電極との距離：２００ｍｍ、室温：２０℃、湿度：４０％ＲＨの条件で、エレクトロスピニング法で３時間紡糸を行って、マイナス電極上に設置したアルミニウム箔上にＰＡＮ繊維を集積させ、繊維集合体を得た。
【００４５】
市販されている綿棒（日本綿棒株式会社製、商品名「Ｐ７５２Ｓ」）の綿球部に、得られた繊維集合体を巻き付け、綿球部（内層）の表面全体を繊維集合体からなる最外層で被覆した楕円球状の清拭部を有する清拭用具を得た。
得られた清拭用具の清拭部を溶剤のＤＭＦとＭＥＫを質量比で７：３の割合で混合した溶液に１秒間浸漬し、水洗後、オーブンにて乾燥させた。清拭部の繊維集合体を走査型電子顕微鏡で観察したところ、ＰＡＮ繊維の平均繊維径は０．５４μｍであり、一部の繊維同士が複数本溶着して繊維接合体を形成していた。
得られた清拭用具を用いて、半導体ウエハー表面の清拭を行ったところ、微小な塵を拭き取ることができ、元の綿棒の綿球部からのリントの脱落や、自己発塵による塵も発生していなかった。また、綿球部があることで弾力性が付与されるため、拭き取り性が性能、感触ともにさらに向上した。
【００４６】
〔実施例４〕
ＰＡＮ（質量平均分子量：１５０，０００）を溶媒のＤＭＦに溶解して１０質量％のＰＡＮ溶液（粘度：１，４００ｍＰａ．ｓ）を調製した。
得られたＰＡＮ溶液をシリンジに入れ、印加電圧：２０ｋＶ、ノズルとマイナス電極との距離：２００ｍｍ、室温：２０℃、湿度：４０％ＲＨの条件で、エレクトロスピニング法で３時間紡糸を行って、マイナス電極上に設置したアルミニウム箔上にＰＡＮ繊維を集積させた。この際、ＰＡＮを溶媒のＤＭＦに溶解した５質量％のＰＡＮ溶液を、アルミニウム箔上にあらかじめ塗布した。得られた繊維集合体を水浴に３分間浸漬して脱溶媒を行い、オーブンにて乾燥させた。繊維集合体を走査型電子顕微鏡で観察したところ、ＰＡＮ繊維の平均繊維径は０．５５μｍであり、一部の繊維同士がバインダー樹脂のＰＡＮにより接着されて繊維接合体を形成していた。
【００４７】
市販されている綿棒（日本綿棒株式会社製、商品名「Ｐ７５２Ｓ」）の綿球部に、得られた繊維接合体を巻き付け、綿球部（内層）の表面全体を繊維接合体からなる最外層で被覆した楕円球状の清拭部を有する清拭用具を作製した。
得られた清拭用具を用いて、半導体ウエハー表面の清拭を行ったところ、微小な塵を拭き取ることができ、元の綿棒の綿球部からのリントの脱落や、自己発塵による塵も発生していなかった。また、綿球部があることで弾力性が付与されるため、拭き取り性が性能、感触ともにさらに向上した。
【００４８】
〔実施例５〕
ポリウレタン（質量平均分子量：８７，８００、以下、ＰＵと記す。）を溶媒のＤＭＦに溶解して１５質量％のＰＵ溶液（粘度：１，８３０ｍＰａ．ｓ）を調製した。
得られたＰＵ溶液をシリンジに入れ、印加電圧：２０ｋＶ、ノズルとマイナス電極との距離：２００ｍｍ、室温：２０℃、湿度：４０％ＲＨの条件で、エレクトロスピニング法で３時間紡糸を行って、マイナス電極上に設置したアルミニウム箔上にＰＵ繊維を集積させ、繊維集合体を得た。
【００４９】
市販されている綿棒（日本綿棒株式会社製、商品名「Ｐ７５２Ｓ」）の綿球部に、得られた繊維集合体を巻き付け、綿球部（内層）の表面全体を繊維集合体からなる最外層で被覆し、清拭用具を得た。
得られた清拭用具を１６０℃のオーブンで３０秒間加熱し、最外層の繊維集合体を形成する繊維の一部を溶融させ、繊維同士の溶着により接合させた。繊維集合体を走査型電子顕微鏡で観察したところ、ＰＵ繊維の平均繊維径は０．３４μｍであり、繊維同士が熱溶着していた。
得られた清拭用具を用いて、半導体ウエハー表面の清拭を行ったところ、微小な塵を拭き取ることができ、元の綿棒の綿球部からのリントの脱落や、自己発塵による塵も発生していなかった。また、綿球部があることで弾力性が付与されるため、拭き取り性が性能、感触ともにさらに向上した。
【００５０】
〔実施例６〕
ＰＡＮ（質量平均分子量：１５０，０００）を溶媒のＤＭＦに溶解して１５質量％のＰＡＮ溶液（粘度：１１，０００ｍＰａ．ｓ）を調製した。
得られたＰＡＮ溶液をシリンジに入れ、印加電圧：２０ｋＶ、ノズルとマイナス電極との距離：２００ｍｍ、室温：２０℃、湿度：４０％ＲＨの条件で、気流の発生しない閉じた空間でエレクトロスピニング法で３時間紡糸を行って、マイナス電極上に設置したアルミニウム箔上にＰＡＮ繊維を集積させ、繊維集合体を得た。繊維集合体から溶媒が完全に蒸発しておらず、室温：２０℃、湿度：４０％ＲＨの開放空間で１時間ファンによる送風を行い、乾燥させた。
【００５１】
市販されている綿棒（日本綿棒株式会社製、商品名「Ｐ７５２Ｓ」）の綿球部に、得られた繊維集合体を巻き付け、綿球部（内層）の表面全体を繊維集合体からなる最外層で被覆し、清拭用具を得た。繊維集合体を走査型電子顕微鏡で観察したところ、ＰＡＮ繊維の平均繊維径は２．８μｍであり、繊維同士が残留していた溶媒により溶着して繊維接合体を形成していた。
得られた清拭用具を用いて、半導体ウエハー表面の清拭を行ったところ、微小な塵を拭き取ることができ、元の綿棒の綿球部からのリントの脱落や、自己発塵による塵も発生していなかった。また、綿球部があることで弾力性が付与されるため、拭き取り性が性能、感触ともにさらに向上した。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明の清拭用具は、精密機械、半導体関連、光通信関連等の工業用清掃用具として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の清拭用具の一例を示す端部付近の側面図である。
【図２】本発明の清拭用具の他の例を示す端部付近の側面図および一部断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  清拭用具
２０  軸
３０  清拭部
３２  内層
３４  最外層
【図１】
2010110708.tif 000004
【図２】
2010110708.tif 000005