(57)【要約】【課題】円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法の測定を可能にする円形の幅寸法測定装置を提供する。【解決手段】全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置。
【請求項２】
前記画像から前記円形状の仮中心点を求める手段は、予め登録された特徴パターンと該特徴パターンと、円形状の仮中心点の相対的な位置情報を予め登録しておくことによって円形状の仮中心点を求めることを特徴とする請求項１記載の円形の幅寸法測定装置。
【請求項３】
前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段は、前記仮中心点から放射状に複数の検査エリアを求め、前記複数の検査エリア毎に円形のエッジを求めることを特徴とする請求項１または２に記載の円形の幅寸法測定装置。
【請求項４】
前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段は、前記円形の複数のエッジからエッジの組み合わせを複数求め、該複数のエッジの組み合わせから仮想円の中心を求めることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の円形の幅寸法測定装置。
【請求項５】
前記仮想円の中心から仮想円を求める手段は、仮想円の中心と複数のエッジとの平均距離から仮想円の半径を求めることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の円形の幅寸法測定装置。
【請求項６】
前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形の幅寸法とする幅寸法算出手段は、前記仮想円から予め設定された距離から外れた検出エッジを削除し、削除した残りの検出エッジから再度仮想円を求め、削除する検出エッジが無い場合の仮想円を検出円とし、前記検出円の直径を円形状の幅寸法とすることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の円形の幅寸法測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はカラーフィルタ基板等に形成された１または２以上の層を有する円形状の幅寸法を測定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
円形状として、カラーフィルタ基板に形成されたフォトスペーサーの場合を例として説明する。
【０００３】
図１はカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図であり、ガラス基板１０上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）１１、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）１２−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）１２−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）１２−３、透明電極１３、及び１４−１と１４−２からなるフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）が順次形成されたものである。
【０００４】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られている。
【０００５】
図２はフォトリソグラフィー法の工程を示す概略ブロック図である。カラーフィルタは、先ずガラス基板上にブラックマトリックス（ＢＭ）を形成する工程、ガラス基板を洗浄する工程、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥する工程、着色フォトレジストを乾燥、硬化するプリベーク工程、露光する工程、現像する工程、着色フォトレジストを硬化させる工程、透明電極成膜工程、ＰＳを形成する工程がこの順に行われ製造される。
【０００６】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、ガラス基板を洗浄する工程から、着色フォトレジストを硬化する工程間ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００７】
前記カラーフィルタの製造途中では種々の規格管理項目があるが、その１つに線幅や幅寸法の規格管理がある。管理する線幅や幅寸法には長方形、正方形、円形など、さまざまな形状がある。これら形状の線幅や幅寸法に対して手動で線幅測定機を用いて線幅や幅寸法を測定し規格管理している。
【０００８】
それぞれの形状の線幅や幅寸法を線幅測定機を用いて測定する場合には、前記さまざまな形状の撮像画像からオペレータが形状のエッジ部分を判断して線幅や幅寸法を測定している。しかし、オペレータが形状のエッジ部分を判断して測定しているために、測定に時間がかかってしまう。そのため、自動で線幅や幅寸法を測定する装置が望まれている。
【０００９】
上記問題を解決するために、測定対象の左右または上下のエッジを検出し、エッジ間の距離を測定して線幅や幅寸法を測定する方法が提案されている（特許文献１）。
【００１０】
しかし上記方法では、長方形や正方形などの端部のエッジ検出が容易なものに限られ、円形のような円弧状のエッジ検出の場合には適用できない。
【００１１】
図３は図１の破線１５で示される部分を拡大した図を示す。図３においてＰＳ１４は１４−１と１４−２の部分から形成されるが、１４−１の部分は例えば１６はレッドの着色フォトレジストで形成される層、１７はグリーンの着色フォトレジストで形成される層、１８はブルーの着色フォトレジストで形成される層であって、円錐の形状をなすものである。更に、透明電極１３が成膜された後、セル組みの際に対向する駆動電極との接触を避けるためのスペーサーとして１４−２の部分が形成される。
【００１２】
図４は、前記図３におけるＰＳの一部１４−１の上面図を示す。１４−１はレッドの着色フォトレジストの層１６とグリーンの着色フォトレジストの層１７とブルーの着色フォトレジストの層１８から成る。ＢＭ（図示せず）とレッドの着色フォトレジストの層１６の境界部分１９と、レッドの着色フォトレジストの層１６とグリーンの着色フォトレジストの層１７の境界部分２０と、グリーンの着色フォトレジストの層１７とブルーの着色フォトレジストの層１８の境界部分２１とがあり、前記３つの境界部分１９，２０，２１はいずれも円形状を形成している。
【００１３】
図４における１９、２０、２１の円形状のエッジ部分のコントラストは低く、更に円弧になっているためにエッジの検出が不正確になり、検出結果にバラツキが生じてしまう。また、測定者による円形状の幅寸法測定の場合には、測定者の判断で円形状のエッジが決定されてしまうので、測定者によって測定結果に差が生じている。
【００１４】
上記の理由から、円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法を測定する方法、装置が望まれている。
【特許文献１】特開平１１−２８８４６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、これら上記の問題を鑑みてなされたもので、円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法の測定を可能にする円形の幅寸法測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の請求項１に係る発明は、全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置である。
【００１７】
本発明の請求項２に係る発明は、前記画像から前記円形状の仮中心点を求める手段は、予め登録された特徴パターンと、該特徴パターンと円形状の仮中心点の相対的な位置情報を予め登録しておくことによって円形状の仮中心点を求めることを特徴とする請求項１記載の円形の幅寸法測定装置である。
【００１８】
本発明の請求項３に係る発明は、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段は、前記仮中心点から放射状に複数の検査エリアを求め、前記複数の検査エリア毎に円形のエッジを求めることを特徴とする請求項１または２に記載の円形の幅寸法測定装置である。
【００１９】
本発明の請求項４に係る発明は、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段は、前記円形の複数のエッジからエッジの組み合わせを複数求め、該複数のエッジの組み合わせから仮想円の中心を求めることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の円形の幅寸法測定装置である。
【００２０】
本発明の請求項５に係る発明は、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段は、仮想円の中心と複数のエッジとの平均距離から仮想円の半径を求めることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の円形の幅寸法測定装置である。
【００２１】
本発明の請求項６に係る発明は、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形の幅寸法とする幅寸法算出手段は、前記仮想円から予め設定された距離から外れた検出エッジを削除し、削除した残りの検出エッジから再度仮想円を求め、削除する検出エッジが無い場合の仮想円を検出円とし、前記検出円の直径を円形状の幅寸法とすることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の円形の幅寸法測定装置である。
【発明の効果】
【００２２】
円形状のエッジの検出を自動検出し、検出した円形状から円形の幅寸法の自動測定を可能にする。その結果、幅寸法測定者の測定負荷が解消され、しかも測定者による測定結果の誤差のない円形の幅寸法の測定が可能となり、更にカラーフィルタの製造工程中で、円形の幅寸法の測定を行い、幅寸法不良の原因を発見することによって、幅寸法不良を最小限に留めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明に係る円形の幅寸法測定装置を用いて円形の幅寸法の測定を実施するための最良の形態を、カラーフィルタ基板の着色レジストによって形成されたＰＳの一部の円形の幅寸法を測定する場合を例として説明する。
【００２４】
図５は本発明に係るカラーフィルタ基板の着色フォトレジストによって形成されたＰＳの一部を断面で示した図である。ガラス基板３０上にはＢＭ３１、Ｒ画素３２、Ｂ画素３３の着色画素が形成されており、更にＢＭ３１上にはレッドの着色フォトレジストの層３６とグリーンの着色フォトレジストの層３７とブルーの着色フォトレジストの層３８の３層を有するＰＳの一部３５が形成されている。各着色フォトレジストの層３６と３７と３８は各着色画素と同時に形成される。
【００２５】
図６は本発明に係るカラーフィルタ基板のＰＳの円形の幅寸法を測定する場合に使用する円形の幅寸法測定装置の一例の概略図を示す。カラーフィルタ基板４１は測定ステージ４２に載置される。測定ステージ４２はＸ軸駆動部４５、Ｙ軸駆動部４６によって駆動される。撮像手段である撮像部４３は光源、レンズ、ハーフミラー、カメラを有しており、Ｚ軸駆動部４７によって駆動される。光源から発せられた照明光はレンズ、ハーフミラー等を介してカラーフィルタ基板４１を照明し、照明されたカラーフィルタ基板４１はレンズ、ハーフミラーを介してカメラによって上方から撮像される。制御ユニット４４は画像を記憶する記憶部、測定結果等を表示する表示部、測定ステージ４２を駆動するＸ軸駆動部４５、Ｙ軸駆動部４６、撮像部４３を駆動するＺ軸駆動部４７、撮像部４３の制御を行う制御部、オペレータ操作用の操作部、画像情報を演算する演算部を有している。
【００２６】
例えばカラーフィルタの着色画素の形成が、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に行われる場合は、前記円形の幅寸法の測定は、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の各画素が形成される毎に行うか、あるいはＢ画素まで全ての画素が形成された後に行うかは、適宜選択される。
【００２７】
図７は本発明に係る円形の幅寸法測定装置を用いて、カラーフィルタ基板のＰＳの円形の幅寸法を測定する場合に使用するカラーフィルタ基板の一部を模式的に示した上面図である。ＢＭ５１上に形成されたＰＳの一部５０、ＢＭ５１の中の特徴あるパターン（以下、特徴パターン）５２、Ｒ画素５３、Ｇ画素５４、Ｂ画素５５を示す。
【００２８】
図８は図７のＰＳの一部５０を撮像手段である撮像部４３で撮像した画像を模式的に示した図である。レッドの着色フォトレジストの層５６、グリーンの着色フォトレジストの層５７、ブルーの着色フォトレジストの層５８と、ＢＭ（図示せず）とレッドの着色フォトレジストの層５６の境界部分６１、レッドの着色フォトレジストの層５６とグリーンの着色フォトレジストの層５７の境界部分６２、グリーンの着色フォトレジストの層５７とブルーの着色フォトレジストの層５８の境界部分６３を示し、前記３つの境界部分はいずれも円形状を有している。
【００２９】
図９は本発明に係る円形の幅寸法測定装置を用いて円形の幅寸法を測定する場合のフロー図を示す。
【００３０】
図７、図８、図９を用いて図８のＰＳの一部５０の内、円形６２の幅寸法Ｄを測定する場合を例として、次に詳細に説明する。
【００３１】
撮像した画像から円形状の仮中心点を求める手段を次に説明する。
【００３２】
先ず、特徴パターンを登録する（Ｓ−１）。特徴パターンは、例えば図７に示すＢＭ５１の中から特徴ある部分を特徴パターン５２として採用する。特徴パターン５２の登録はカラーフィルタ基板の中での特徴パターンの位置を示す座標とパターンの形状を登録することによって行われる。本実施形態では特徴パターンの登録は１枚のカラーフィルタ基板の中で例えば、４隅と中央部の計５箇所登録するが、これに限定するものではない。
【００３３】
前記特徴パターンからＰＳの一部５０の円形の中心までの相対距離の登録（Ｓ−２）を行う。前記相対距離の登録は前記特徴パターンの登録同様、１枚のカラーフィルタ基板の中で例えば、４隅と中央部の計５箇所登録するが、これに限定するものではない。相対距離の登録後、円形の幅寸法測定を開始（Ｓ−３）する。
【００３４】
前記登録された特徴パターン５２を、座標及びパターンマッチングによって検出（Ｓ−４）する。特徴パターンを検出後、円形状の仮中心点出し（Ｓ−５）を行う。前記登録された特徴パターンからの相対距離から求めた点を円形の仮中心点とする。
【００３５】
次に、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段を説明する。
【００３６】
円形状の仮中心点出し（Ｓ−５）を行った後、検査エリア設定（Ｓ−６）を行う。検査エリアの設定を図１０を用いて説明する。７１は前記求められた円形状の仮中心点であって、該円形状の仮中心点から放射状に複数の検査エリア７２を設定する。検査エリア７２の大きさと個数は予め登録されている。図１０では検査エリアを１２個（図１０でのａ１〜ａ１２の１２個）設定した例を示しているが、３個以上であればこれに限定するものではないが、設定個数が少ない場合には円検出が出来ない（円検出不能）、または円検出がされても正確な円検出が出来ないために幅寸法の測定に誤差が生じる可能性があるため、検査エリアは検出したい円の円周上の全てが含まれるように設定することが望ましい。
【００３７】
エッジ検出（Ｓ−７）は一般的に用いられている方法を採用する。即ち、撮像した画像を二値化して白から黒に、または、黒から白に変化する部分をエッジとして検出する二値化方法と、撮像した画像を濃淡部分で微分して、該微分値の大きさが予め設定した閾値を越えた部分をエッジとする濃淡微分方法等が適宜採用することによってエッジ検出が行われる。図１０の場合、６１、６２，６３の３つの円形状があるが、測定する円形状は、検査エリア７２において予め外側からＮ番目と任意指定したエッジの検出を行う。本実施形態ではＮ＝２として予め指定しておき、外側から２番目の６２で示される円形状のエッジを検出する。
【００３８】
検出した複数のエッジの一例を図１１に示す。図１１では、７１は円形の仮中心点、６２は幅寸法を測定する円、７２は検出した複数のエッジ（図１１では検出したエッジは合計２４個）であって、各検出エリア毎に２個のエッジを検出し、合計２４個のエッジ７３が検出されているが、これに限定されるものではない。
【００３９】
次に、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段を説明する。
【００４０】
仮想円中心出し（Ｓ−８）は、次の手順で行う。
【００４１】
仮想円中心出し（Ｓ−８）の手順を図１２の仮想円中心出しのフロー図と、図１３の仮想円中心出しを説明するための図を用いて説明する。
【００４２】
仮想円中心出しスタート（Ｋ−１）後、前記検出された２４個の検出エッジの１／３個（＝Ａ）、即ち８個のエッジを選択する（Ｋ−２）。前記８個のエッジの中から３個の代表点７４−１、７４−２、７４−３を求め（Ｋ−３）、残りのエッジ数（Ｂ＝Ａ−３）即ち５を記憶（Ｋ−４）する。この時、前記３個の代表点を結ぶ三角形の各角度が鈍角にならないように３個の代表点を求める。前記３個の代表点から中心を求める（Ｋ−５）。前記３個の代表点から中心を求めるには、代表点３個を結ぶ３つの直線のうち２つの直線の垂直２等分線の交点を中心として求めることが出来る。求めた中心を仮の中心として記憶（Ｋ−６）した後、残りのエッジ数が３個以上の場合（本実施形態では８−３＝５）は（（Ｋ−７）のＹＥＳ）、Ｂの値をＡに入れ替え（Ａ＝Ｂ）（Ｋ−８）、再び３個の代表点を求める（Ｋ−３）。残ったエッジ数が３個以下になった場合（Ｋ−７のＮＯ）は、（Ｋ−６）で記憶された仮の中心の平均を求め（Ｋ−９）、平均して求めた中心を仮想円７６の中心７５として仮想円中心出しを終了（Ｋ−１０）する。本発明の実施形態は、円形の２４個のエッジから３つのエッジの組み合わせを求め、前記３つのエッジの組み合わせから各々求められた３つの仮の中心の平均から仮想円の中心を求める場合の例である。
【００４３】
次に、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段を説明する。
【００４４】
前記求められた仮想円の中心と全ての検出エッジの距離から仮想円の半径７７を求める（Ｓ−９）。前記仮想円の半径７７は仮想円の中心と全ての検出エッジの距離の平均あるいは仮想円の中心と全ての検出エッジの距離の二乗平均から求める。
【００４５】
次に、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形の幅寸法とする幅寸法算出手段を説明する。
【００４６】
前記求められた仮想円の中心と半径を持つ仮想円に対して、検出エッジが予め設定した規格範囲内にない場合は、該検出エッジを規格外エッジ７８として削除する。前記削除する規格外エッジがある場合は（Ｓ−１０のＹＥＳ）、規格外エッジを削除し（Ｓ−１１）、削除したエッジを除いた残りのエッジ数が全体の１／３以上の場合は（Ｓ−１２のＹＥＳ）、前記削除したエッジを除いた残りのエッジ数を基に、再度、仮想円中心出し（Ｓ−８）を行う。再度、仮想円中心出し（Ｓ−８）を行う理由は、仮想円の中心出しの精度を良くするためである。図１４は図１３に示される検出された２４個のエッジから規格外エッジ２個７８を削除した残りの２２個のエッジ７９を示すが、前記残りの２２個のエッジを基に再度仮想円中心出し（Ｓ−８）を行う。
【００４７】
規格外エッジがない場合は（Ｓ−１０のＮＯ）、直前に求めた仮想円を検出円として（Ｓ−１３）、該仮想円の半径から検出円の幅寸法Ｄが測定され（Ｓ−１４）、終了する（Ｓ−１６）。
【００４８】
削除したエッジを除いた残りのエッジ数が全体の１／３以下になった場合は（（Ｓ−１２のＮＯ））、円検出が不能として（Ｓ−１５）、終了する（Ｓ−１６）。
【００４９】
前記削除したエッジを除いた残りのエッジ数が全体の１／３以下になり、円検出不能の場合は、１回目の仮想円中心出し時あるいは、複数回繰り返し行った仮想円中心出しの度に、多くのエッジが削除されたことを意味し、即ち、検出したエッジが広範囲に広がっている場合である。この原因は、ＰＳの一部５０を形成する段階で円形状の形成不良が発生した場合や、撮像部のカメラのフォーカス不良によるものである。したがって、ＰＳを形成する段階で使用される製造装置のチエックやカメラのフォーカスの調整を行う必要がある。
【００５０】
なお、上記発明の最良の実施形態では、図８の６２の円形状の幅寸法を測定する場合を例として説明したが、他の円形状６１や６３の測定や、透明電極を成膜後、最上層のＰＳの一部を形成した後に最上層のＰＳの円形の幅寸法の測定にも適用できる。更にはＰＳを着色フォトレジストで形成するのではなく、図１５に示すように、ガラス基板８０上にＢＭ８１、着色画素８２、透明電極８３を形成した後に１層で形成されたＰＳの円形の幅寸法の測定にも適用出来る。また、本発明の最良の実施形態でのカラーフィルタ基板のＰＳに限定されずに、全体として１または２以上の層を有する円形の幅寸法を測定する場合にも適用できる。
【００５１】
以上のように本発明によれば、カラーフィルタ基板のＰＳの円形状のエッジを自動で検出し、検出した円形状から円形の幅寸法の自動測定を可能にする。その結果、幅寸法測定者の測定負荷が解消され、しかも測定者による測定結果の誤差のない円形の幅寸法の測定が可能となり、更にカラーフィルタの製造工程中で、円形の幅寸法の測定を行うことによって、幅寸法の不良を最小限にとどめることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図
【図２】フォトリソグラフィー法の工程を示す概略ブロック図
【図３】図１の破線１５で示される部分を拡大した図
【図４】ＰＳの一部で着色フォトレジストで形成された部分を示す図
【図５】本発明に係るカラーフィルタ基板の着色フォトレジストによって形成されたＰＳ        の一部を断面で示した図
【図６】本発明に係る円形の幅寸法測定装置を用いてカラーフィルタ基板のＰＳの円形の        幅寸法を測定する場合に使用する装置の一例の概略図
【図７】本発明に係る円形の幅寸法測定装置を用いてカラーフィルタ基板のＰＳの円形の        幅寸法を測定する場合に使用するカラーフィルタ基板の一部を模式的に示した上        面図
【図８】本発明に係るＰＳの一部を撮像した画像を模式的に示した図
【図９】本発明に係る円形の幅寸法測定装置を用いて円形の幅寸法を測定するフロー図
【図１０】本発明に係る検査エリアの設定を説明するための図
【図１１】本発明に係る検出したエッジの一例を示す図
【図１２】本発明に係る仮想円中心出しの詳細フロー図
【図１３】本発明に係る仮想円中心出しを説明するための図
【図１４】本発明に係る削除したエッジを除いた検出エッジを示す図
【図１５】本発明に係る円形の幅寸法測定装置が適用できるＰＳが１層の場合を示す図
【符号の説明】
【００５３】
１０・・・ガラス基板
１１・・・ＢＭ
１２−１・・・レッドＲの着色画素
１２−２・・・グリーンＧの着色画素
１２−３・・・ブルーＢの着色画素
１３・・・透明電極
１４・・・ＰＳ
１４−１・・・ＰＳの一部
１４−２・・・ＰＳの一部
１５・・・破線で囲まれた部分
１６・・・レッドの着色フォトレジストの層
１７・・・グリーンの着色フォトレジストの層
１８・・・ブルーの着色フォトレジストの層
１９・・・ＢＭとレッドの着色フォトレジストの層１６の境界部分
２０・・・レッドの着色フォトレジストの層１６とグリーンの着色フォトレジストの層１
７の境界部分
２１・・・グリーンの着色フォトレジストの層１７とブルーの着色フォトレジストの層１
８の境界部分
３０・・・ガラス基板
３１・・・ＢＭ
３２・・・Ｒ画素
３３・・・Ｂ画素
３５・・・ＰＳの一部
３６・・・レッドの着色フォトレジストの層
３７・・・グリーンの着色フォトレジストの層
３８・・・ブルーの着色フォトレジストの層
４１・・・カラーフィルタ基板
４２・・・測定ステージ
４３・・・撮像部
４４・・・制御ユニット
４５・・・Ｘ軸駆動部
４６・・・Ｙ軸駆動部
４７・・・Ｚ軸駆動部
５０・・・ＰＳの一部の中の特徴あるパターン
５１・・・ＢＭ
５２・・・特徴パターン
５３・・・Ｒ画素
５４・・・Ｇ画素
５５・・・Ｂ画素
５６・・・レッドの着色フォトレジストの層
５７・・・グリーンの着色フォトレジストの層
５８・・・ブルーの着色フォトレジストの層
６１・・・ＢＭとレッドの着色フォトレジストの層５６の境界部分
６２・・・レッドの着色フォトレジストの層５６とグリーンの着色フォトレジストの層５
７の境界部分
６３・・・グリーンの着色フォトレジストの層５７とブルーの着色フォトレジストの層５
８の境界部分
７１・・・円形の仮中心点
７２・・・検査エリア
ａ１〜ａ１２・・・検査エリア
７３・・・検出された２４個のエッジ
７５・・・仮想円の中心
７６・・・仮想円
７７・・・仮想円の半径
７８・・・規格外エッジ
７９・・・検出された２４個のエッジから規格外エッジを削除した残りのエッジ
８０・・・ガラス基板
８１・・・ＢＭ
８２・・・着色画素
８３・・・透明電極
８４・・・ＰＳ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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