(57)【要約】【課題】構造が単純であり、回転式切削工具により切削加工されたシール面に螺旋状に形成された切削痕を、確実に平滑化することができるシール面の仕上げ加工用工具を提供する。【解決手段】シール面の仕上げ加工用工具１は、本体１０、本体の先端側に形成されシール面に接触する円環状の平坦な加工面１１、加工面１１を取り囲むようにその外側に形成され本体の縦断面において加工面に対して２０乃至３０°の角度で本体の基端側に向けて傾斜する肩部１２、加工面１１に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部１３、及び本体の基部を先端側に向けて押圧する押圧部材を有する。本体の縦断面において加工面の内縁で凹形状に接線を引いたときの接線の延長線と加工面とのなす角度は２０乃至３０°であり、回転式切削工具により切削加工されたシール面に、加工面１１を適宜の押圧力で接触させ、加工面に平行に本体を移動させることによりシール面を仕上げ加工する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転式切削工具を使用して切削加工されたシール面を仕上げ加工するためのシール面の仕上げ加工用工具において、
本体と、
この本体の先端側に形成され前記シール面に接触する円環状の平坦な加工面と、
この加工面を取り囲むようにその外側に形成され前記本体の縦断面において前記加工面に対して２０乃至３０°の角度で前記本体の基端側に向けて傾斜する肩部と、
前記加工面に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部と、
前記本体の基部を先端側に向けて押圧する押圧部材と、
を有し、
前記本体の縦断面において前記加工面の内縁で前記凹形状に接線を引いたときの前記接線の延長線と前記加工面とのなす角度が２０乃至３０°であり、
前記加工面を前記回転式切削工具による切削面に押圧力をもって接触させ、前記加工面に平行に前記本体を移動させることにより前記シール面を仕上げ加工するものであることを特徴とするシール面の仕上げ加工用工具。
【請求項２】
前記円環状の加工面の幅は、０．２乃至０．２５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載のシール面の仕上げ加工用工具。
【請求項３】
前記押圧部材は、前記本体の基端部を先端側に向けて付勢する弾性部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載のシール面の仕上げ加工用工具。
【請求項４】
前記弾性部材は圧縮スプリングバネであることを特徴とする請求項３に記載のシール面の仕上げ加工用工具。
【請求項５】
前記逃がし部は前記本体の先端部に開口する孔であり、この孔を介して前記加工面に潤滑油を供給することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のシール面の仕上げ加工用工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転式切削工具を使用して切削加工されたシール面を仕上げ加工するシール面の仕上げ加工用工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶、半導体部品製造用の真空チャンバ等には、アルミニウム等の金属を機械加工して製造された部品が使用されている。そして、真空チャンバ等の部品同士が接触する部分には、内部の気密性を確保するために、接触する部品の片方又は両方に、図５（ａ）に示すような矩形断面の溝２０が設けられ、この溝２０にＯリング等のシール部材４が介装される。又は、図５（ｂ）に示すように、部品２の凹部２３周縁に、凹部２３よりも段差状に高く溝２０が設けられ、この溝２０にシール部材４が介装される。
【０００３】
シール部材４を介装するために部品に設けられる溝２０は、図６（ａ）に示すように、通常、フライス盤等の工作機械を使用して、エンドミル等の回転式切削工具２２で切削加工する。
【０００４】
このように加工される溝２０の底部２１には、回転式切削工具２２によって切削加工することにより、図６（ｂ）に示すように、螺旋状の切削痕２１ａが残る。この切削痕２１ａは、図７に示すように、溝底面２１において、回転式切削工具２２の加工軌跡に対して垂直な方向成分を含む微小な隙間２１ｃを形成する。従って、溝２０に沿う形状のシール部材をこの微小な隙間２１ｃ上に載置した場合、気密性を確保すべき空間の内外が貫通してしまう。そして、真空チャンバ等における気密性、真空性を維持することができなくなるという問題点がある。
【０００５】
この問題点を解決するために、へールバイトという切削工具を使用して、溝底面２１をなぞるように切削する技術が特許文献１，２に開示されている。この仕上げ加工は、へール加工とよばれている。
【０００６】
また、図８に示すように、微小な隙間２１ｃが形成された溝２０の底面２１を、仕上げ加工用工具１ａを使用して押圧し、隙間２１ｃを押し潰して仕上げ加工する方法も考えられる。しかしながら、仕上げ加工用工具１ａとして例えば単純な棒状の工具を使用した場合、溝底面２１と工具との接触面積が大きいため、溝底面２１を切削してしまう。そして、溝底面２１が切削されると、シール部材を介装したときに溝底面２１とシール部材との接触面積が減少し、所望のシール性が得られなくなると共に、仕上げ加工後に更に削り屑を除去する工程が必要となり、加工コストが増大する。また、仕上げ加工時に生成した削り屑は、仕上げ加工時の熱によって、仕上げ加工用工具１ａの下面又は溝底面２１に付着する。そして、工具１ａの下面に削り屑が付着した場合、付着した削り屑が溝底面２１を更に掘り下げ、溝底面２１に削り屑が付着した場合と同様に、所望の仕上げ面が得られなくなる。
【０００７】
一方、溝底面における仕上げ加工用工具の接触面積を小さくするために、平板状の工具１ａを使用した場合、エンドミル等を使用したミル加工時の加工軌跡に沿って仕上げ加工すると、図９に示すように、隙間２１ｃが押し潰される部分の幅が仕上げ加工用工具１ａの進行に伴って局所的に狭まる。そして、シール部材４が溝底面２１に接触する部分の一部に隙間２１ｃが残存し、所望のシール性を確保することができない。この問題を解決するためには、隙間２１ｃを押し潰す部分の幅を均一に保持するように工具１ａを回転させる必要がある。
【０００８】
上述の特許文献１に開示された技術は、溝底面において矩形をなす平板状工具を、回転させながら溝に沿って進行させて荒仕上げし、その後、仕上げ加工用工具の切削刃を進行方向に対して法線方向をなすように回転制御しながら進行させて、仕上げ削りを施すものである。
【０００９】
また、特許文献２に開示された技術は、仕上げ加工用工具の形状を溝底面において円環状とし、円環の周縁に切削刃を設けて溝底面を均一の幅で切削加工して仕上げ加工するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平６−１２６５２０号公報
【特許文献２】特開２００２−１４４１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述の従来技術には以下のような問題点がある。特許文献１に記載の技術は、仕上げ加工用工具の切削刃を進行方向に対して法線方向をなすように回転制御する構成であるため、加工する溝の形状に合わせて適宜工具の回転を複雑に制御する必要がある。
【００１２】
また、特許文献１及び２に記載された技術は、切削加工時に回転式切削工具によって形成された溝底面を更に切削加工する構成であるため、上述の如く、仕上げ加工後に溝底面２１とシール部材との接触面積が減少するか、又は発生した削り屑が仕上げ加工用工具若しくは溝底面に付着して、所望のシール性が得られなくなる。また、削り屑が工具又は溝底面に付着しなかった場合においても、これを除去する工程が必要となり、加工コストが増大するという問題点がある。
【００１３】
更に、従来のフライス盤等の工作機械においては、図８に示すように、工具をホルダ３０にチャックした状態で仕上げ加工を行うため、例えば平板状の仕上げ加工用工具を使用して仕上げ加工を行う場合、工具が溝底面と接触する部分の面積が依然大きく、切削痕を押し潰す際に工具が焼き付いて、仕上げ面が平滑に形成されないという問題点がある。
【００１４】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、構造が単純であり、回転式切削工具により切削加工されたシール面に螺旋状に形成された切削痕を、確実に平滑化することができるシール面の仕上げ加工用工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るシール面の仕上げ加工用工具は、回転式切削工具を使用して切削加工されたシール面を仕上げ加工するためのシール面の仕上げ加工用工具において、本体と、この本体の先端側に形成され前記シール面に接触する円環状の平坦な加工面と、この加工面を取り囲むようにその外側に形成され前記本体の縦断面において前記加工面に対して２０乃至３０°の角度で前記本体の基端側に向けて傾斜する肩部と、前記加工面に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部と、前記本体の基部を先端側に向けて押圧する押圧部材と、を有し、前記本体の縦断面において前記加工面の内縁で前記凹形状に接線を引いたときの前記接線の延長線と前記加工面とのなす角度が２０乃至３０°であり、前記加工面を前記回転式切削工具による切削面に押圧力をもって接触させ、前記加工面に平行に前記本体を移動させることにより前記シール面を仕上げ加工するものであることを特徴とする。
【００１６】
また、前記円環状の加工面の幅は、０．２乃至０．２５ｍｍであることが好ましい。
【００１７】
更に、前記押圧部材は、例えば前記本体の基端部を先端側に向けて付勢する弾性部材である。
【００１８】
この場合、前記弾性部材を圧縮スプリングバネによって構成することができる。
【００１９】
そして、前記逃がし部は、例えば前記本体の先端部に開口する孔であり、この孔を介して前記加工面に潤滑油を供給してもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のシール面の仕上げ加工用工具は、円環状の平坦な加工面、加工面を取り囲むように本体の基端側に向けて傾斜する肩部、加工面の内周縁に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部、及び押圧部材だけで構成され、構造が単純である。
【００２１】
また、加工面が円環状に設けられているため、仕上げ加工用工具を進行方向に沿って回転させる機構を有しない工作機械に設置した場合においても、均一な幅で加工面を被切削部材に接触させて仕上げ加工することができる。
【００２２】
そして、この円環状の加工面は、押圧部材によって切削面に押圧力をもって接触するように構成されており、加工面に囲まれた領域に凹形状の逃がし部が設けられ、加工面の外側には加工面に対して所定の角度をなして傾斜した肩部が設けられている。そして、逃がし部は、本体の縦断面において加工面の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、この接線の延長線と加工面とが所定の角度をなすように設けられている。従って、工具の焼き付きを発生させない範囲において、仕上げ加工用工具と溝底面との接触面積を小さくすることができ、螺旋状の切削痕を均一な押圧力で確実に押し潰して平滑化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態の仕上げ加工用工具を加工面側からみた斜視図、（ｂ）は本実施形態の仕上げ加工用工具を示す一部断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る仕上げ加工用工具の本体及びホルダを示す縦断面図である。
【図３】（ａ）は本実施形態に係る仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す上面図、（ｂ）は（ａ）を仕上げ加工用工具の進行方向からみた一部断面図である。
【図４】本発明の仕上げ加工用工具の変形例を示す一部断面図である。
【図５】（ａ）は真空チャンバ等に使用される部品及びシール部材を示す斜視図、（ｂ）は真空チャンバ等に使用される他の部品及びシール部材を示す斜視図である。
【図６】（ａ）はエンドミルによるフライス加工工程を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の上面図である。
【図７】図６（ｂ）のＡ−Ａ断面における溝底面を示す一部断面図である。
【図８】従来の仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す断面図である。
【図９】従来の仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。図１（ａ）は本発明の実施形態の仕上げ加工用工具の本体を加工面側（上下逆に）からみた斜視図、（ｂ）は本発明の実施形態の仕上げ加工用工具の本外の下半部を示す断面図、図２は本実施形態の仕上げ加工用工具の本体及びホルダを示す断面図、図３（ａ）は本実施形態に係るシール面の仕上げ加工用工具による仕上げ加工工程を示す上面図、（ｂ）は（ａ）を仕上げ加工用工具の進行方向からみた一部断面図である。
【００２５】
図１（ａ）に示すように、本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具１の本体１０は、全体的に円柱状をなし、その先端に円環状の平坦な加工面１１が形成されている。そして、この本体１０の先端には、円環状の加工面１１を取り囲むようにして、本体半径方向外方に肩部１２が形成されており、この肩部１２は、本体１０の平坦加工面１１から本体１０の基端側に向けて傾斜する斜面を有している。この肩部１２の傾斜角度αは、図１（ｂ）に示す縦断面図において、平坦加工面１１に対して２０乃至３０°の角度をなしている。また、加工面１１に囲まれた本体の中心領域には、凹形状の逃がし部１３が設けられており、本体１０の縦断面において加工面１１の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、この接線の延長線と加工面とは２０乃至３０°の角度βをなしている。円柱状の本体１０は、外径Ｄが例えば１０乃至３０ｍｍである。そして、本実施形態においては、加工面１１の幅Ｗは例えば０．２乃至０．２５ｍｍである。即ち、例えば加工面１１によって平滑化する部分の幅を１０ｍｍとする場合、本体１０の逃がし部１３の直径ｄ１は９．５乃至９．６ｍｍである。
【００２６】
そして、図２に示すように、本実施形態の仕上げ加工用工具１は、例えば、フライス盤等の工作機械３における主軸等のホルダ３０に取り付けられる。フライス盤等の工作機械においては、図８に示すように、工具１ａをホルダ３０に着脱可能に取り付けるが、本実施形態においては、工作機械３の工具１ａの代わりに、仕上げ加工用工具１をホルダ３０に取り付ける。即ち、ホルダ３０は、取り付け用の孔３１がホルダ中心軸に同軸的に且つ先端（下端）に開口するように形成されており、仕上げ加工用工具１はその基端部側から孔３１内に挿入される。このとき、ホルダ３０の孔３１の上端の壁と、仕上げ加工用工具１の本体１０の基端部側端面との間に圧縮スプリングバネ１５を介装しておく。これにより、本体１０は、バネ１５により、その基端部が押圧され、本体１０がその先端部側に向けて付勢されるようになっている。従って、本体１０はその先端の加工面１１が図３に示すエンドミルにより切削加工された被加工部材２のシール面（溝底面２１）に押圧される。また、工具１の本体１０側面のホルダ３０に挿入された部分において、一部溝１６を設けると共に、この溝１６にホルダ３０側から抜け止め用のネジ３０ａを介装する。これにより、工具１はホルダ３０から抜けることなく圧縮スプリングバネ１５による弾性力を受け、被加工部材２のシール面（溝底面２１）に押圧される。
【００２７】
なお、圧縮スプリングバネ１５の長さは例えば５０ｍｍである。バネ１５の長さが必要以上に短いと、バネ定数の増加によって押圧力の調整が困難となるため、ホルダ３０からの工具１の突出長さとの関係でバネ１５の長さを決定することが好ましい。また、本体１０の外径Ｄが例えば２０ｍｍの場合、圧縮スプリングバネ１５による押圧力は１２５ｋｇｆ程度であるが、被切削部材２の材質、及びミル加工後の溝底面２１の粗度によってバネ１５の押圧力を調整することが好ましい。この場合、ホルダ３０の孔３１の上端の壁に例えばスプリングの押圧力を調整するネジ３０ｂを設け、孔３１上端の壁からのネジ３０ｂの突出量を調整することによって、圧縮スプリングバネ１５の押圧力を調整することができる。更に、仕上げ加工時の工具１の倒れを防止するために、ホルダ３０が被切削部材２等に干渉しない範囲において、ホルダ３０からの工具１の突出長さはできるだけ短いことが好ましい。
【００２８】
次に、本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具１の動作について説明する。例えば、図５に示すような真空チャンバのＯリング配置用溝２０をエンドミル等の回転式切削工具２２により切削加工する。そうすると、この溝２０の底部２１には、回転式切削工具２２によって切削加工することにより、図６（ｂ）及び図３（ａ）に示すように、螺旋状の切削痕２１ａが残る。
【００２９】
次いで、工作機械３のホルダ３０に本実施形態の仕上げ加工用工具１を装着し、溝２０の上方からホルダ３０を下降させることにより、加工用工具１の本体１０を下降させ、本体１０の先端（下端）の平坦な加工面１１を溝底面２１に接触させる。そして、更にホルダ３０が下降すると、圧縮スプリングバネ１５が縮退して、本体１０に付勢力を及ぼし、本体１０の加工面１１を溝底面２１に押圧する。そして、この状態で、図３（ａ）に示すように、ホルダ３０を溝２０に沿って移動させることにより、本体１０の加工面１１は溝底面２１の切削痕２１ａを押し潰して、溝底面２１を平滑化する。
【００３０】
ホルダ３０の移動は、被切削部材２に対する相対的なものであり、ホルダ３０を移動させても良いし、被切削部材２を移動させてもよい。また、本実施形態の仕上げ加工用工具１は、溝底面２１上で加工面１１に平行に移動することにより、切削痕２１ａを押し潰すものであり、回転（自転）はしない。従って、本体１０又はホルダ３０と溝２０との位置関係は一定であり、本体１０は、溝２０に沿って一方向に摺動する。そして、本体１０の加工面１１が円環状をなしているので、本実施形態の加工用工具１は、図３（ａ）に示す溝２０の屈曲部分を通過する際にも、本体１０又はホルダ３０と溝２０との位置関係を一定にしたままで良い。つまり、本体１０は溝２０の９０°の屈曲部分においても、その向きは一定であるので、結果的に、本体１０はその進行方向に対し屈曲方向と反対方向に相対的に自転することになる。このように、本体１０は屈曲部で進行方向に対して相対的に自転することにより、本体１０が向いている方向は、常に一定の方向であるので、この本体１０を保持するホルダ３０の向きも常に一定とすることができる。従って、工作機械におけるホルダ３０の移動の制御は、屈曲部において、ホルダの回転を伴わず（進行方向に対しては相対的に自転するが）、ホルダの溝２０に沿う移動のみであるので、容易である。
【００３１】
上述の如く、本体１０の加工面１１が溝２０に沿って、溝底面２１に摺動することにより、溝底面２１の圧痕２１ａが押し潰されて、表面が平滑化される。これにより，溝底面２１には平滑面２１ｂが形成される。このとき、圧縮スプリングバネ１５によって、加工面１１の溝底面２１に対する押圧力は一定に保持されるので、平滑面２１ｂが溝の進行方向にうねりを生じることが防止される。また、この平滑面２１ｂの幅は、仕上げ加工用工具１の進行方向に沿って常に一定である。なお、このとき、平滑面２１ｂ上には、仕上げ加工用工具１の摺動による微小な圧痕が形成される場合があるが、この圧痕の方向は、溝２０の長手方向に平行である。即ち、この微小圧痕には、溝２０の幅方向に延びる成分がなく、シール部材を平滑面２１ｂ上に介装した場合においても、溝２０とシール部材との間にはシール面（溝２０）の幅方向に延びる隙間が生じることはない。よって，シール部材によるシール性は、確実に確保することができる。
【００３２】
本実施形態の仕上げ加工用工具１は、加工面１１の外側に形成された肩部１２が加工面１１に対して２０乃至３０°の角度αをなして傾斜している。肩部１２の傾斜は、仕上げ加工用工具１が溝底面２１に接触する面積を小さくすると共に、加工面１１が溝底面２１を押圧する力を円柱状の本体１０の基端側から安定的に支持し、被切削部材２を塑性変形させて平滑面２１ｂを安定して形成することに寄与している。そして、肩部１２が加工面１１に対してなす角度αが２０°未満であると、加工面１１が溝底面２１を押し潰して平滑面２１ｂを形成する際、肩部１２が溝底面２１に接触する面積が増大し、溝底面２１に対して実質的に加工面１１と同等の作用を及ぼすようになる。従って、溝底面２１を切削して削り屑が生じたり、切削痕２１ａを押し潰す際に工具が焼き付いて、仕上げ面が平滑に形成されなくなる虞がある。一方、肩部１２が加工面１１に対してなす角度αが３０°を超えると、円柱状の本体の基端側から溝底面２１を押圧する力を支持する作用が小さくなり、溝底面２１における切削痕２１ａの押し潰しが不十分となり、平滑面２１ｂの安定した形成が困難になる。従って、本発明において、肩部１２が加工面との間になす角度αを２０乃至３０°と規定する。
【００３３】
本実施形態の逃がし部１３は、本体の先端側の加工面１１に囲まれた領域に設けられており、凹形状をなしている。そして、この凹形状の逃がし部１３も、肩部１２と同様に、本体１０の縦断面において加工面１１の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、この接線の延長線と加工面１１とは２０乃至３０°の角度βをなしている。加工面１１に対する逃がし部１３の角度を規定することにより、肩部１２と同様に、仕上げ加工用工具１が溝底面２１に接触する面積を小さくすると共に、加工面１１が溝底面２１を押圧する力を円柱状の本体１０の基端側から安定的に支持し、被切削部材２を塑性変形させて平滑面２１ｂを安定して形成することができる。仕上げ加工においては、切削痕２１ａは、まず肩部１２の傾斜面から加工面１１までの間の部分に接触して押し潰されて、塑性変形する。しかしながら、加工方向前方側においては、切削痕２１ａが完全に塑性変形しきれずに、弾性変形によって形状が若干元に戻る場合がある。本実施形態においては、本体１０の縦断面において加工面１１の内縁で凹形状部分に接線を引いたとき、接線の延長線が加工面１１との間になす角度βを、肩部１２の傾斜角αと同一の範囲に設定することにより、弾性変形によって元に戻った切削痕２１ａを加工方向後方側でも確実に押し潰し、切削痕２１ａを確実に塑性変形させることができる。即ち、加工方向後方側において、逃がし部１３の端部は加工方向前方側の肩部１２と同じ作用を有する。従って、角度βを２０乃至３０°と規定する。この角度βは、加工面１１に対する肩部１２の傾斜角度αと同一であることが好ましい。
【００３４】
本実施形態において、加工面１１の幅Ｗは上述の如く、例えば０．２乃至０．２５ｍｍである。加工面１１の幅Ｗが０．２ｍｍ未満であると、加工面１１が溝底面２１と実質的に線接触に近い形で接触するようになり、先端が鋭利になった加工面１１がその端部で溝底面２１を切削してしまったり、仕上げ加工用工具１自体が接触部分で潰れやすくなる。一方、加工面１１の幅Ｗが０．２５ｍｍを超えた場合においても、加工面１１が溝底面２１に接触する面積が増大し、溝底面２１を切削して削り屑を生じる。また、切削痕２１ａを押し潰す際に工具が焼き付いて、仕上げ面が平滑に形成されなくなる虞がある。従って、加工面１１の幅を０．２乃至０．２５ｍｍと規定する。そして、逃がし部１３の直径ｄ１は、本体１０の加工面１１の幅を上述のように決めて、加工面と溝底面２１との間の接触面積を調整すると共に、平滑面２１ｂの幅を調整するために、決めることができる。この平滑面２１ｂの幅は、シール部材の幅とシール性を考慮して決めることが必要である。即ち、溝底面２１の上に、Ｏリング等のシール部材を載置した場合に、シール部材と溝底面２１との接触領域が平滑面２１ｂの幅とほぼ一致するようにした方が、シール性及び仕上げ加工の程度を考慮して、無駄がなく、効率的である。
【００３５】
以上の工程を経て、溝底面２１に平滑面２１ｂを形成することにより、シール部材を介装したとき、シール部材が溝底面２０の平滑面２１ｂと隙間なく面接触するようになる。そして、シール部材による気密性が確保され、真空チャンバ等の部品の信頼性が向上する。
【００３６】
本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具１は、構造が単純である。また、溝底面２１を押圧する加工面１１が円環状に設けられているので、移動軌跡に沿って常時同一の幅で平滑面２１ｂを形成する。従って、ホルダ３０を回転する機構を有しない工作機械３に取り付けて仕上げ加工した場合においても、安定してシール面を仕上げ加工することができる。
【００３７】
また、逃がし部１３及び肩部１２を設けることにより、加工面１１が被切削部材２の溝底面２１に接触する面積を小さく抑えることができ、接触面積の増大に伴う溝底面の切削、削り屑の発生及び焼き付きを防止することができる。
【００３８】
また、本実施形態のシール面の仕上げ加工用工具１には、押圧部材として圧縮スプリングバネ１５が設けられている。これにより、加工面の溝底面への押圧力を一定にすることができ、過度に大きい押圧力に起因する工具の焼き付き及び削り屑の発生を防止することができる。
【００３９】
そして、このような本体１０の溝底面２１上の移動を複数回周回させ、仕上げ加工用工具１による仕上げ加工を複数回繰り返すと、平滑面２１ｂ上に残存する圧痕も更に一層消失させて表面をより一層平滑化することができる。
【００４０】
なお、本実施形態においては、押圧部材として圧縮スプリングバネ１５を設けたが、押圧部材は弾性部材に限らず、円柱状の本体１０と工作機械３のホルダ３０との間に空気圧又は油圧式のシリンダを設け、このシリンダによって加工面１１の溝底面２１に対する押圧力を制御してもよく、又は本体１０とは別体的に空気圧又は油圧調整装置を設け、この空気圧又は油圧調整装置によって圧力が制御された加圧機構により、加工面１１の溝底面に対する押圧力を制御してもよい。
【００４１】
また、図４に示すように凹形状の逃がし部１３に連通する潤滑油供給孔１４を設け、仕上げ加工時に加工面１１に潤滑油を供給するように構成すれば、潤滑油供給孔１４から供給された潤滑油の潤滑作用により、シール面の仕上げ加工用工具の相対的な移動が円滑となり、工具の焼き付きが更に一層確実に防止される。
【符号の説明】
【００４２】
１：（シール面の）仕上げ加工用工具、１ａ：仕上げ加工用工具、１０：本体、１１：加工面、１２：肩部、１３：逃がし部、１４：潤滑油供給孔、１５：圧縮スプリングバネ、１６：溝、２：被切削部材、２０：溝、２１：溝底面、２１ａ：切削痕、２１ｂ：平滑面、２２：回転式切削工具、２３：凹部、３：工作機械、３０：ホルダ、３０ａ：ネジ、３０ｂ：ネジ、４：シール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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