(57)【要約】【課題】液晶素子と光学フィルムとを、高精度の位置関係で、しかも前記液晶素子と光学フィルムとの間に気泡を生じさせること無く貼り付ける。【解決手段】多孔質材からなり、平坦面に形成された光学フィルム載置面を有し、開閉可能な密閉型容器１内に設けられた通気性ステージ７の上に、光学フィルム３１を、その粘着面とは反対面をステージ７に対向させて配置し、ステージ７内の空気を容器１外に排気することによりステージ７内を減圧してステージ７上に光学フィルム３１を吸着し、ステージ７上に吸着された光学フィルム３１の上に、液晶素子３０を、その光学フィルム貼り付け面を光学フィルム３１に対向させて配置し、容器１を密閉して容器１内を減圧した状態で、前記ステージ７の減圧による前記光学フィルム３１の吸着を解除し、光学フィルム３１をその中央部から周縁部に向かって液晶素子３０に貼り付ける。【選択図】図５
2010151993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶素子と、前記液晶素子に対する貼り付け面に粘着面が形成された光学フィルムとの貼り付け方法において、
多孔質材からなり、平坦面に形成された光学フィルム載置面を有し、開閉可能な密閉型容器内に設けられた通気性ステージの上に、前記光学フィルムを、その粘着面とは反対面を前記ステージに対向させて配置し、前記ステージ内の空気を前記容器外に排気することにより前記ステージ内を減圧して前記ステージ上に前記光学フィルムを吸着する工程と、
前記ステージ上に吸着された前記光学フィルムの上に、液晶素子を、その光学フィルム貼り付け面を前記光学フィルムに対向させて配置する工程と、
前記容器を密閉して前記容器内を減圧し、前記容器内の気圧と前記ステージ内の気圧とに差を生じさせて、その気圧差により、前記光学フィルムをその中央部から周縁部に向かって前記液晶素子に貼り付ける工程と、
を備えることを特徴とする液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【請求項２】
密閉型容器内が減圧された状態でステージ内の減圧による光学フィルムの吸着を解除し、前記ステージへの前記光学フィルムの吸着力に、前記光学フィルムの中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を持たせることにより、前記光学フィルムを、その中央部から周縁部に向かって液晶素子に引き付けて前記液晶素子に貼り付けることを特徴とする請求項１に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【請求項３】
通気性ステージは、その中央部に通気孔が配置され、その通気孔から前記ステージ内に空気を流入させることにより、前記ステージへの光学フィルムの吸着力に、前記通気孔を中心にして前記光学フィルムの中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を形成することを特徴とする請求項２に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【請求項４】
ステージは、光学フィルムが載置される領域の中央部に対応する中央ステージ部材と、前記中央ステージ部材の周囲を同心状に囲む枠形状に形成された複数の枠状ステージ部材とが、隣り合うステージ部材間を気密状態に遮断して配置された分割型ステージからなっており、前記ステージ上に前記光学フィルムを載置し、前記ステージの各ステージ部材内の空気を排気して前記ステージ上に前記光学フィルムを吸着し、密閉型容器内を減圧した後、前記各ステージ部材内の気圧を前記中央ステージ部材から順に昇圧させることにより、前記光学フィルムを、その中央部から周縁部に向かって液晶素子に押し付けて前記液晶素子に貼り付けることを特徴とする請求項１に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【請求項５】
光学フィルムを液晶素子に貼り付けた後に、ローラ掛けにより、前記光学フィルムと液晶素子とをさらに強く貼り付けることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【請求項６】
ローラ掛けは、光学フィルムの中央部に対応する部分から開始することを特徴とする請求項５に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造における液晶素子と偏光板等の光学フィルムの貼り付けは、従来、テーブル上に液晶素子を配置し、前記液晶素子の上に、前記光学フィルムをその一端側からローラによって前記液晶素子に貼り付ける方法で行われている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−１９７３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記従来の方法では、ローラの移動にともなって光学フィルムがずれ動き、液晶素子への光学フィルムの貼り付け位置に狂いが生じることがあり、また、液晶素子と貼り付けられた光学フィルムとの間に気泡が生じ、製造された液晶表示パネルに表示不良が発生することがある。
【０００４】
この発明は、液晶素子と光学フィルムとを、高精度の位置関係で、しかも前記液晶素子と光学フィルムとの間に気泡を生じさせること無く貼り付けることができる液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の請求項１に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法は、液晶素子と、前記液晶素子に対する貼り付け面に粘着面が形成された光学フィルムとの貼り付け方法において、
多孔質材からなり、平坦面に形成された光学フィルム載置面を有し、開閉可能な密閉型容器内に設けられた通気性ステージの上に、前記光学フィルムを、その粘着面とは反対面を前記ステージに対向させて配置し、前記ステージ内の空気を前記容器外に排気することにより前記ステージ内を減圧して前記ステージ上に前記光学フィルムを吸着する工程と、
前記ステージ上に吸着された前記光学フィルムの上に、液晶素子を、その光学フィルム貼り付け面を前記光学フィルムに対向させて配置する工程と、
前記容器を密閉して前記容器内を減圧し、前記容器内の気圧と前記ステージ内の気圧とに差を生じさせて、その気圧差により、前記光学フィルムをその中央部から周縁部に向かって順に前記液晶素子に貼り付ける工程と、
を備えることを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法において、前記密閉型容器内が減圧された状態で前記ステージ内の減圧による前記光学フィルムの吸着を解除し、、前記ステージへの前記光学フィルムの吸着力に、前記光学フィルムの中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を持たせることにより、前記光学フィルムを、その中央部から周縁部に向かって液晶素子に引き付けて前記液晶素子に貼り付けることを特徴とする。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、前記請求項２に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法において、前記通気性ステージは、その中央部に通気孔が配置され、その通気孔から前記ステージ内に空気を流入させることにより、前記ステージへの前記光学フィルムの吸着力に、前記通気孔を中心にして前記光学フィルムの中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を形成することを特徴とする。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、前記請求項１に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法において、前記ステージは、前記光学フィルムが載置される領域の中央部に対応する中央ステージ部材と、前記中央ステージ部材の周囲を同心状に囲む枠形状に形成された複数の枠状ステージ部材とが、隣り合うステージ部材間を気密状態に遮断して配置された分割型ステージからなっており、前記ステージ上に前記光学フィルムを載置し、前記ステージの各ステージ部材内の空気を排気して前記ステージ上に前記光学フィルムを吸着し、密閉型容器内を減圧した後、前記各ステージ部材内の気圧を前記中央ステージ部材から順に昇圧させることにより、前記光学フィルムを、その中央部から周縁部に向かって液晶素子に押し付けて前記液晶素子に貼り付けることを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、前記請求項１に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法において、前記光学フィルムを液晶素子に貼り付けた後に、ローラ掛けにより、前記光学フィルムと液晶素子とをさらに強く貼り付けることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、前記請求項５に記載の液晶素子と光学フィルムの貼り付け方法において、前記ローラ掛けは、前記光学フィルムの中央部に対応する部分から開始することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の貼り付け方法によれば、液晶素子と光学フィルムとを、高精度の位置関係で、しかも前記液晶素子と光学フィルムとの間に気泡を生じさせること無く貼り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
図１〜図７はこの発明の第１の実施例を示しており、図１は液晶素子と光学フィルムとを貼り付けるための貼り付け装置の断面図、図２は前記貼り付け装置の基台の平面図である。
【００１３】
図１及び図２のように、前記貼り付け装置は、基台２と、下面が開放する容器体５とにより構成され、前記容器体５の開放端を前記基台２上に当接させることによって密閉される開閉可能な密閉型容器１と、前記容器１内に配置された通気性ステージ７とからなっている。
【００１４】
前記通気性ステージ７は、板状の多孔質材、例えば多孔質セラミック板からなっており、平坦面に形成された光学フィルム載置面８を有している。なお、この実施例において、前記ステージ７は、液晶素子３０に貼り付ける光学フィルム３１（図３〜図６参照）の外形よりも僅かに小さい平面形状に形成されており、その上面全体が光学フィルム載置面８とされている。
【００１５】
そして、前記ステージ７は、前記基台２の上面に前記ステージ７の平面形状及び厚さに対応した形状に形成された凹入部３に、前記ステージ７の上面の光学フィルム載置面８と、前記基台２の凹入部３の周囲の上面とを面一にして気密状態に嵌着されている。
【００１６】
また、前記基台２の中心部には、前記通気性ステージ７内への給排気を行うための通気孔４が設けられ、前記容器体５には、前記容器１内への給排気を行うための通気孔６が設けられており、前記基台２に設けられた通気孔４に、前記容器１外に配置されたステージ用減圧系１０が接続され、前記容器体５に設けられた通気孔６に、前記容器１外に配置された容器用減圧系１４が接続されている。
【００１７】
前記ステージ用減圧系１０は、真空エジェクタ１１と、減圧系１０のオン／オフを行うために前記真空エジェクタ１１の排気側に接続された開閉弁（電磁弁または手動弁）１２と、前記ステージ７内の減圧度を維持するために前記真空エジェクタ１１と前記通気孔４との接続配管に介在させて設けられたチェック弁１３とにより構成され、前記容器用減圧系１４は、真空ポンプ１５と、真空度ゲージ１６とにより構成されている。
【００１８】
図３〜図６は、前記貼り付け装置による液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け方法を示す貼り付け工程図であり、この実施例では、次のような工程で前記液晶素子３０と光学フィルム３１とを貼り付ける。
【００１９】
なお、図３〜図６では液晶素子３０を簡略化しているが、この液晶素子３０は、枠状のシール材を介して接合された一対の透明基板と、これらの基板間の間隙に封入された液晶層と、前記一対の基板の互いに対向する内面にそれぞれ形成され、互いに対向する領域により複数の画素を形成する透明電極とからなっている。
【００２０】
この液晶素子３０は、液晶分子をツイスト配向させたＴＮ型またはＳＴＮ型、液晶分子を基板面に対して実質的に垂直に配向させた垂直配向型、液晶分子を分子長軸を一方向に揃えて基板面と実質的に平行に配向させた非ツイストの水平配向型、液晶分子をベンド配向させるベンド配向型のいずれでもよく、また、強誘電性または反強誘電性液晶素子でもよい。
【００２１】
さらに、前記液晶素子３０は、一対の基板の内面にそれぞれ複数の画素を形成するための電極を設けたものに限らず、一対の基板のいずれか一方の内面に、複数の画素を形成するための第１の電極と、それよりも液晶層側に前記第１の電極と絶縁して形成された複数の細長電極部を有する第２の電極とを設け、これらの電極間に横電界（基板面に沿う方向の電界）を生じさせて液晶分子の配向状態を変化させる横電界制御型のものでもよい。
【００２２】
また、前記光学フィルム３１は、例えば偏光板、或いは位相差板が一体的に積層して形成された位相差板付き偏光板であり、前記液晶素子３０に対する貼り付け面に、粘着剤３３（図７参照）が塗布された粘着面３２が形成されている。
【００２３】
まず、図３のように、前記密閉型容器１の基台２の内面に設けられた通気性ステージ７の上に、前記光学フィルム３１を、その粘着面３２とは反対面を前記ステージ７に対向させ、前記光学フィルム３１の周縁部が前記ステージ７の周囲において前記基台２の内面上に重なるように位置決めして配置し、前記通気性ステージ７内の空気を、前記ステージ用減圧系１０によって前記容器１外に排気することにより、前記ステージ７内を減圧し、前記ステージ７上に前記光学フィルム３１を吸着する。
【００２４】
なお、前記光学フィルム３１は、その周縁部を前記基台２の内面上に重ねられ、前記ステージ７を覆って配置されているため、前記ステージ７内の空気の排気にともなって前記基台２の上面側からステージ７内に吸引される空気の量は少なく、したがって、前記ステージ７内を確実に減圧し、前記光学フィルム３１を前記ステージ７上に吸着することができる。
【００２５】
そして、前記ステージ７は、多孔質材からなっており、その光学フィルム載置面８が平坦面に形成されているため、前記光学フィルム３１を、皺や浪打等を生じさせること無く、フラットにステージ７上に吸着することができる。
【００２６】
次に、前記ステージ７内の減圧度を一定に保った状態で、図４のように、前記ステージ７上に吸着された前記光学フィルム３１の上に、液晶素子３０を、その光学フィルム貼り付け面を前記光学フィルム３１の粘着面３２に対向させて、予め定めた位置に位置決めして配置する。なお、図４では、前記光学フィルム３１の上に液晶素子３０を、前記粘着面３２に粘着しないように、押し付け力を加えずに静かに重ねて配置している。
【００２７】
次に、図５のように、前記容器体５の開放端を前記基台２上に当接させて前記容器１を密閉し、その後に、前記容器用減圧系１４によって容器１内を減圧し、前記容器１内が減圧された状態で前記ステージ７内の減圧による前記光学フィルム３１の吸着を解除することにより、前記容器１内の気圧と前記ステージ７内の気圧とに差を生じさせ、その気圧差に、前記光学フィルム３１の中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を持たせることにより、その気圧差によって、前記光学フィルム３１を、その中央部から周縁部に向かって前記液晶素子３０に貼り付ける。
【００２８】
すなわち、前記容器１内が減圧された状態で前記ステージ７内の減圧による前記光学フィルム３１の吸着を解除し、前記ステージへの前記光学フィルムの吸着力に、前記光学フィルムの中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を持たせることにより、前記容器１内と前記ステージ７内の気圧差に、前記光学フィルム３１の中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を持たせ、その気圧差によって、前記光学フィルム３１を、その中央部から周縁部に向かって前記液晶素子３０に貼り付ける。
【００２９】
この実施例では、前記ステージ７の中央部に配置された通気孔４から前記ステージ７内に空気を流入させることにより、前記ステージ７への光学フィルム３１の吸着力に、前記通気孔４を中心にして前記光学フィルム３１の中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を形成している。
【００３０】
図７は、この工程における前記光学フィルム３１が液晶素子３０に引き付けられる様子を模式的に示しており、図７（ａ）のように、前記光学フィルム３１上に液晶素子３０を、前記光学フィルム３１の粘着面３２に粘着しないように重ねた状態で、前記容器１内を減圧し、前記ステージ７による減圧を解除して、前記容器１内と前記ステージ７内との間に、前記光学フィルム３１の中央部から周辺に向かって弱くなる勾配を持った気圧差を生じさせると、その気圧差によって、前記光学フィルム３１が、図７（ｂ）のように、その中央部から周縁部に向かって、液晶素子３０との間の空気（粘着材３３中の空気を含む）を周囲に押し出しながら液晶素子３０に引き付けられ、最終的に、図７（ｃ）のように、前記光学フィルム３１の全体が前記液晶素子３０に密着し、前記粘着面３２を介して前記液晶素子３０に貼り付けられる。
【００３１】
そのため、前記液晶素子３０と光学フィルム３１とを、高精度の位置関係で、しかも前記液晶素子３０と光学フィルム３１との間に気泡を生じさせること無く貼り付けることができる。
【００３２】
なお、この実施例では、前記ステージ７に吸着された光学フィルム３１の上に、液晶素子３０を、前記光学フィルム３１の粘着面３２に粘着しないように重ねて配置しているが、液晶素子３０は、前記光学フィルム３１の上に、この光学フィルム３１との間に僅かな間隙を設けて配置してもよく、その場合も、前記容器１内の減圧により、前記光学フィルム３１をその中央部から周縁部に向かって前記液晶素子３０に貼り付けることができる。
【００３３】
また、この実施例においては、前記光学フィルム３１に、予め、その周縁部から中央部に向かって粘着面３２の方向に膨らむ反り癖、つまり図７（ｂ）のように湾曲した反り癖を付けておいてもよい。
【００３４】
なお、前記光学フィルム３１に、このような反り癖があっても、前記ステージ７内の減圧により、前記光学フィルム３１を、その反りを矯正してステージ７上に吸着することができる。
【００３５】
そして、前記光学フィルム３１の上に表示素子３０を配置し、前記容器１内を減圧した後に前記ステージ７内の減圧を解除すると、前記容器１内と前記ステージ７内の気圧差と、前記光学フィルム３１が元の反り状態に戻る力とによって、前記光学フィルム３１が、その中央部から周縁部に向かって液晶素子３０に貼り付くため、反り癖のある前記光学フィルム３１を確実に、その中央部から周縁部に向かって液晶素子３０に貼り付けることができる。
【００３６】
そして、前記光学フィルム３１を液晶素子３０に貼り付けた後は、前記容器１内を大気圧に戻して前記基台２上から容器体５を退去させ、その後にローラ掛けにより、前記光学フィルム３１と液晶素子３０とをさらに強く貼り付ける。
【００３７】
この実施例では、前記ローラ掛けを、図６のように、前記液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け体を前記ステージ７上に吸着させた状態で、前記液晶素子３０の一端の上にローラ２５を押し付け、このローラ２５を前記液晶素子３０の他端まで移動させる方法で行っている。
【００３８】
そのため、前記ローラ掛けにより、前記液晶素子３０と光学フィルム３１とをさらに強く密着させ、その貼り付け強度をより高くすることができる。また、前記容器１内と前記ステージ７内との気圧差によって前記液晶素子３０に前記光学フィルム３１を貼り付ける際に、万一、前記液晶素子３０と光学フィルム３１との間に空気が残留しても、その残留空気を前記ローラ掛けによって排除し、前記液晶素子３０と光学フィルム３１とを、その間に気泡をより確実に生じさせること無く貼り付けることができる。
【００３９】
なお、前記ローラ掛けを行うときは、互いに貼り付りけられた液晶素子３０と光学フィルム３１を前記ステージ７に吸着した状態で行うのが好ましい。その後は、前記ステージ７内を大気圧に戻し、前記液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け体を取り出す。
【００４０】
前記ローラ掛けは、前記光学フィルム３１の中央部に対応する部分から開始してもよい。図８は、前記光学フィルム３１の中央部に対応する部分から開始するローラ掛け方法を示しており、この例では、まず図８（ａ）のように前記液晶素子３０の中央部の上にローラ２５を押し付け、このローラ２５を前記液晶素子３０の一端まで移動させ、さらに前記ローラ２５を、図８（ｂ）のように前記液晶素子３０の他端まで移動させる。
【００４１】
このように、前記ローラ掛けを、前記光学フィルム３１の中央部に対応する部分から開始すれば、液晶素子３０と光学フィルム３１との間に空気を残留させることなく、前記液晶素子３０と光学フィルム３１とを確実に貼り付けることができる。
【００４２】
なお、上記実施例では、前記ローラ掛けを、前記液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け体を前記ステージ７上に吸着させて行っているが、このローラ掛けは、前記貼り付け体を前記ステージ７上から取り出して他のプレート上で行ってもよく、その場合は、ローラ掛けを、光学フィルム３１側から行ってもよい。
【００４３】
（第２の実施形態）
図９〜図１９はこの発明の第２の実施例を示している。なお、この実施例において、前記第１の実施例に対応するものには図に同符号を付し、同一にものについてはその説明を省略する。
【００４４】
図９は液晶素子と光学フィルムとを貼り付けるための貼り付け装置の断面図、図１０は前記貼り付け装置の基台の平面図であり、この実施例の貼り付け装置は、通気性ステージとして、前記光学フィルム３１が載置される領域の中央部に対応する中央ステージ部材１９と、前記中央ステージ部材１９の周囲を同心状に囲む枠形状に形成された複数の枠状ステージ部材２０，２１，２２，２３とが、隣り合うステージ部材１９，２０間、２０，２１間、２１，２２間及び２２，２３間を気密状態に遮断して配置された分割型ステージ１７を備えたものである。
【００４５】
前記分割型ステージ１７を構成する中央ステージ部材１９及び複数の枠状ステージ部材２０，２１，２２，２３はそれぞれ、多孔質セラミック等の多孔質材からなっており、密閉型容器１の基台２の上面に各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３の平面形状及び厚さにそれぞれ対応した形状に形成された複数の凹入部３ａに、各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３それぞれの上面と、前記基台２の隣り合う凹入部３ａ，３ａ間の隔壁３ｂの上面及び凹入部形成領域の周囲の上面とを面一にして気密状態に嵌着され、これらのステージ部材１９，２０，２１，２２，２３の上面により、平坦面からなる光学フィルム載置面１８を形成し、且つ、隣り合うステージ部材１９，２０間、２０，２１間、２１，２２間及び２２，２３間を、前記隣り合う凹入部３ａ，３ａ間の隔壁３ｂにより気密状態に遮断されて配置されている。
【００４６】
また、前記基台２の前記複数の凹入部３ａ，３ａに対応する部分には、前記分割型ステージ１７の各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内への給排気を行うための通気孔４ａがそれぞれ設けられており、これらの通気孔４ａに、前記容器１外に配置されたステージ用減圧系１０ａが接続されている。
【００４７】
前記ステージ用減圧系１０ａは、真空エジェクタ１１及びオン／オフ用開閉弁１２と、前記真空エジェクタ１１から分岐されて前記各通気孔４，４にそれぞれ接続された複数の分岐配管にそれぞれ介在させて設けられた複数のチェック弁１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅとにより構成されている。
【００４８】
また、前記容器１の基台２上には、前記分割型ステージ１７の両側縁にそれぞれ対応させて、前記分割型ステージ１７に吸着された光学フィルム３１の上に、液晶素子３０を、光学フィルム３１との間に１〜２ｍｍ程度の僅かな間隙を設けて支持するための液晶素子支持台２４が形成されている。
【００４９】
図１１〜図１９は、前記貼り付け装置による液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け方法を示す貼り付け工程図であり、この実施例では、次のような工程で前記液晶素子３０と光学フィルム３１とを貼り付ける。
【００５０】
まず、図１１のように、前記密閉型容器１の基台２の内面に設けられた分割型ステージ１７の上に、前記光学フィルム３１を、その粘着面３２とは反対面を前記ステージ１７に対向させ、前記光学フィルム３１の周縁部が前記分割型ステージ１７の周囲において前記基台２の内面上に重なるように位置決めして配置し、前記分割型ステージ１７の各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内の空気を、前記ステージ用減圧系１０ａによって前記容器外に排気することにより、前記各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内を減圧し、前記分割型ステージ１７上に前記光学フィルム３１を吸着する。
【００５１】
次に、前記ステージ用減圧系１０ａによる減圧を停止し、前記分割型ステージ１７の各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内の減圧度を一定に保った状態で、図１２のように、前記分割型ステージ１７上に吸着された前記光学フィルム３１の上に、液晶素子３０を、その光学フィルム貼り付け面を前記光学フィルム３１の粘着面３２に対向させて予め定めた位置に位置決めし、この液晶素子３０の両側縁部を前記基台２上の液晶素子支持台２４に支持させて、前記光学フィルム３１との間に間隙を設けて配置する。
【００５２】
次に、図１３のように、前記容器体５の開放端を前記基台２上に当接させて前記容器１を密閉し、容器用減圧系１４によって前記容器１内を、前記分割型ステージ１７の各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内の減圧度と同程度に減圧し、その後に、図１４〜図１６のように、前記各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内の気圧を中央ステージ部材１９から順に昇圧させることにより、前記光学フィルム３１を、その中央部から周縁部に向かって、液晶素子３０との間の空気（粘着材３３中の空気を含む）を周囲に押し出しながら液晶素子３０に押し付けて前記液晶素子に貼り付ける。
【００５３】
そのため、前記液晶素子３０と光学フィルム３１とを、高精度の位置関係で、しかも前記液晶素子３０と光学フィルム３１との間に気泡を生じさせること無く貼り付けることができる。
【００５４】
なお、この実施例では、前記分割型ステージ１７に吸着された光学フィルム３１の上に、液晶素子３０を、前記光学フィルム３１との間に間隙を設けて配置しているが、前記液晶素子３０は、前記光学フィルム３１の上に、この光学フィルム３１の粘着面３２に粘着しないように、押し付け力を加えずに静かに重ねて配置してもよく、その場合も、前記分割型ステージ１７の各ステージ部材１９，２０，２１，２２，２３内の気圧を中央ステージ部材１９から順に昇圧させることにより、前記光学フィルム３１をその中央部から周縁部に向かって前記液晶素子３０に貼り付けることができる。
【００５５】
そして、前記光学フィルム３１を前記液晶素子３０に貼り付けた後は、前記容器１内を大気圧に戻して前記基台２上から容器体５を退去させ、次いで前記ステージ７内を大気圧に戻して、前記液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け体を取り出し、その後にローラ掛けにより、前記光学フィルム３１と液晶素子３０とをさらに強く貼り付ける。
【００５６】
この実施例では、前記ローラ掛けを、図１７〜図１９のように、平坦なプレート２６上に、前記液晶素子３０と光学フィルム３１の貼り付け体を、例えば光学フィルム３１を上にして載置し、まず図１７のように、前記光学フィルム３１の中央部の上にローラ２７を押し付けて、このローラ２７を図１８のように、前記光学フィルム３１の一端まで移動させ、さらに前記ローラ２７を、図１９のように前記光学フィルム３１の他端まで移動させる方向で行っている。
【００５７】
なお、上記実施例では、前記ローラ掛けを、光学フィルム３１の中央部に対応する部分から開始しているが、このローラ掛けは、前記光学フィルム３１の一端から他端に向かって行ってもよく、さらに、前記ローラ掛けは、液晶素子３０側から行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】この発明の第１の実施例を示す液晶素子と光学フィルムとを貼り付けるための貼り付け装置の断面図。
【図２】前記貼り付け装置の基台の平面図。
【図３】第１の実施例の貼り付け方法の第１工程を示す図。
【図４】第１の実施例の貼り付け方法の第２工程を示す図。
【図５】第１の実施例の貼り付け方法の第３工程を示す図。
【図６】第１の実施例の貼り付け方法の第４工程を示す図。
【図７】前記第３工程における光学フィルムが液晶素子に引き付けられる様子を模式的に示した図。
【図８】第１の実施例の貼り付け方法における他のローラ掛け方法を示す図。
【図９】この発明の第２の実施例を示す液晶素子と光学フィルムとを貼り付けるための貼り付け装置の断面図。
【図１０】前記貼り付け装置の基台の平面図。
【図１１】第２の実施例の貼り付け方法の第１工程を示す図。
【図１２】第２の実施例の貼り付け方法の第２工程を示す図。
【図１３】第２の実施例の貼り付け方法の第３工程を示す図。
【図１４】第２の実施例の貼り付け方法の第４工程を示す図。
【図１５】第２の実施例の貼り付け方法の第５工程を示す図。
【図１６】第２の実施例の貼り付け方法の第６工程を示す図。
【図１７】第２の実施例の貼り付け方法の第７工程を示す図。
【図１８】第２の実施例の貼り付け方法の第８工程を示す図。
【図１９】第２の実施例の貼り付け方法の第９工程を示す図。
【符号の説明】
【００５９】
１…密閉型容器、２…基台、５…容器体、７…ステージ、８…光学フィルム載置面、１７…分割型ステージ、１８…光学フィルム載置面、１９…中央ステージ部材、２０，２１，２２，２３…枠状ステージ部材、２４…液晶素子支持台、２５，２７…ローラ、３０…液晶素子、３１…光学フィルム、３２…粘着面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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