(57)【要約】【課題】微小隙間絞りにより複数の静圧ポケットに圧力流体を送り込むことができる静圧軸受装置を提供。【解決手段】静圧ポケット２４，２５，２６，６２に圧力流体を供給する連通路１６，１７と、絞り１と、圧力供給路１０と有する静圧軸受装置であって、絞りは、二枚の部材２，３間に設けられた微小間隙部１１と、それぞれの開口が互いに所定距離離隔して微小間隙部に直接開口する複数の連通路１６，１７の静圧ポケット側開口部６，７と、複数の静圧ポケット側開口部と所定距離離隔して微小間隙部に開口する入り口側開口部８とで構成し、入り口側開口部と圧力供給路とを連通する入り口路９とを設ける。微小間隙部は二枚の平面間２ａ，５ａに設けられた微小深さｈの凹断面溝３、又は軸受本体外周６３ｂとケーシング内径穴６４ａとの間に形成された微小周溝７１とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体を静圧支持する複数の静圧ポケットと、前記静圧ポケットのそれぞれの静圧ポケットに圧力流体を供給する連通路と、前記連通路に圧力流体を供給する圧力供給路と、前記圧力供給路と前記連通路との間に設けられた絞りと、を有する静圧軸受装置において、前記絞りは、二枚の部材間に設けられた微小間隙部と、前記それぞれの開口が互いに所定距離離隔して前記微小間隙部に直接開口する複数の前記連通路の静圧ポケット側開口部と、前記複数の静圧ポケット側開口部と所定距離離隔して前記微小間隙部に開口する入り口側開口部と、前記入り口側開口部と前記圧力供給路とを連通する入り口路と、を有していることを特徴とする静圧軸受装置。
【請求項２】
前記微小間隙部は、二枚の平面間に設けられた微小深さの凹断面溝であることを特徴とする請求項１記載の静圧軸受装置。
【請求項３】
前記凹断面溝の端部が閉塞されていることを特徴とする請求項２記載の静圧軸受装置。
【請求項４】
前記凹断面溝の端部が開放され、前記静圧ポケット側開口部縁と前記入り口側開口部縁との距離をＬしたとき、前記静圧ポケット側開口部及び前記入り口側開口部の最外縁端から前記端部までの長さの全てがＬの４倍以上、かつ、前記静圧ポケット側開口部縁間の全ての長さがＬの４倍以上であることを特徴とする請求項２記載の静圧軸受装置。
【請求項５】
前記移動体は、直方体の側面、上面の両端側及び下面の両端側に前記静圧ポケットが形成された本体と、前記本体の上平面に載置固定された載置台と、からなり、前記載置台の下平面に前記凹断面溝が長手方向に形成されており、前記本体は、前記静圧ポケットと、前記複数の連通路と、前記凹断面溝の幅方向端側に開口する前記複数の静圧ポケット側開口部と、を有し、前記入り口開口部が幅方向の前記幅方向端側とは反対位置側の前記載置台又は本体のいずれかに形成され、前記各静圧ポケットに対応した軸受平面を有する基台部により、前記移動体が静圧支持されていることを特徴とする請求項２又は３又は４記載の静圧軸受装置。
【請求項６】
前記移動体は丸棒状の軸であって、前記軸と、前記軸を支持する静圧ポケットが内径側に設けられた円筒状の軸受本体と、前記軸受本体の外周に沿って外挿された内径穴を有するケーシングと、を有する静圧軸受装置であって、前記微小間隙部は、前記軸受本体外周と、前記内径穴とで径方向微小隙間を形成する微小周溝とされ、前記連通路の開口部は前記軸受本体の外周に開口し、前記入り口路が前記ケーシングに設けられており、前記入り口路と、前記入り口路に連通し前記軸受本体外周と前記内径穴との間に形成された周溝と、前記微小周溝と、前記微小周溝に直接開口する前記複数の静圧ポケット側開口部と、が軸方向に順次形成されていることを特徴とする請求項１記載の静圧軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧ポケットを有する静圧軸受装置に関し、特に静圧ポケットへ流入する流体を制御する絞り構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、静圧軸受の静圧ポケットの絞り構造には、連通路に直接又はプラグ等を挿入して、オリフィスやチョークの微小穴を設けた絞りや、多孔質材を介在させた多孔質絞り等が知られている。静圧ポケット以外では、軸受面に直接微小穴を開けた自成絞り、軸受表面に浅く狭い溝を設けた表面絞り等がある。特許文献１は、静圧ポケットと微小穴とを組み合わせた絞り構造の例である。このものは、シリンダ軸を支持する静圧ポケットが設けられた円筒状の軸受本体と、軸受本体の外周に沿って外挿された内径穴を有するケーシングとからなる静圧軸受装置である。
【０００３】
軸受本体の外周には二本の外周油溝が設けられている。外周油溝の一方は油導入路（圧力供給路）に連通されている。外周油溝の他方は連通路を介して静圧ポケットに接続され、連通路に絞りが設けられている。二本の外周溝間の軸受本体の外周はわずかに外径が小さくされており、ケーシングの内径穴内周とで、微小隙間を形成し、あるいは、多数の軸方向浅溝を外周に設け、二本の外周溝間を連通させている。この微小隙間や浅溝の大きさは、連通路に設けられた絞り径より小さくされている。
【０００４】
これにより、圧力供給路からの流体は、外周油溝の一方を通って、微小隙間あるいは軸方向浅溝を通って、他方の外周油溝を通り、連通路及び絞りを介して静圧ポケットに導かれ、静圧軸受装置を形成する。微小隙間又は軸方向浅溝の大きさは絞り径より小さくされているので、ごみ等が補足され、補足されなかったごみは容易に絞り穴を通過するので、絞り穴でのごみ詰まりを防止し、絞り穴によるゴミ除去能力の確保と作動油供給系の負担軽減を図っている。
【０００５】
また、特許文献２では、スロット絞りという、スラスト及びジャーナル軸受用自成絞りが開示されている。このものは、内筒の外周と、外筒の内周とで径方向の微小隙間を形成し、微小隙間が開口する端面をスラスト軸受面としている。微小隙間を介して空気圧を供給し、スラスト荷重を自成絞り静圧軸受で受けるものである。
【０００６】
一方、特許文献２のものでは、さらに、径方向の隙間でなく、軸方向の二平面で絞りを形成したものが開示されている。即ち、軸方向に配列した、二個の円筒の端面同士の二平面で内径側に軸方向の微小隙間を形成し、微小隙間が開口する内径面をジャーナル軸受面としている。
【０００７】
さらに、二平面で絞りを形成しているものが特許文献３に開示されている。このものは、互いに平面で密接する二個のブロック一方の平面に溝を掘り、溝の両端に開口部を形成し、他方の平面を対向させて接合し、溝と相手側平面とで絞り流路を形成している。溝の形状、開口部の位置を上下に連通するようにして、さらに多層にすることにより種々の長さの絞りユニットを形成している。
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−１６９６０９号公報
【特許文献２】特開２０００−２９１６５７号公報
【特許文献３】特開２００６−２６６３５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このような、内外筒で形成する微小隙間や、端面同士や平面で形成する微小隙間は、容易に所望の隙間を得られる。しかし、いずれも、軸受部と微小隙間部とは一対一での対応で配置しなければならない。このため、複数の静圧ポケットに圧油を分配するためには、複数の微小隙間を各静圧ポケットの連通路にそれぞれ設ける必要があるため、静圧軸受装置全体が大きくなってしまうという問題があった。さらに、特許文献１のものでは、各静圧ポケットにそれぞれ絞りを設ける必要があり、また、絞りは静圧ポケットへの連通路に小径孔が開けられたプラグをそれぞれに設けているので、部品点数が大きく、加工が困難であるという問題があった。また、特許文献２のものは、自成絞りタイプであり、静圧ポケットへの適用は特許文献１と同様に別に流路及び絞りを設ける必要がある。また、特許文献３のものは、各ポケット毎に設けるに留まらず、さらに、積層するため部品点数が多くなり、大きさも大きくなるという問題があった。
【００１０】
本発明の課題は、前述した問題点に鑑みて、簡単な構造の微小隙間タイプの絞りにより複数の静圧ポケットに圧力流体を送り込むことができる静圧軸受装置を提供することである。さらには、静圧軸受装置に簡単に内蔵でき、加工も容易な静圧軸受装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明においては、移動体を静圧支持する複数の静圧ポケットと、前記静圧ポケットのそれぞれの静圧ポケットに圧力流体を供給する連通路と、前記連通路に圧力流体を供給する圧力供給路と、前記圧力供給路と前記連通路との間に設けられた絞りと、を有する静圧軸受装置において、前記絞りは、二枚の部材間に設けられた微小間隙部と、前記それぞれの開口が互いに所定距離離隔して前記微小間隙部に直接開口する複数の前記連通路の静圧ポケット側開口部と、前記複数の静圧ポケット側開口部と所定距離離隔して前記微小間隙部に開口する入り口側開口部と、前記入り口側開口部と前記圧力供給路とを連通する入り口路と、を有する静圧軸受装置とすることにより、前述した課題を解決した。
【００１２】
即ち、前述した従来の微小隙間で制御する静圧パッドは１個である。また、自成絞りの場合も軸受部としては１個となる。また、特許文献１のものでは、微小隙間の後に外周油溝を設け、外周油溝と静圧ポケットとを絞り付きの連通路で接続しているので、微小隙間は絞りとしての作用はしていない。これに対して、本発明の絞りは、それぞれの連通路の開口を互いに離隔して、微小間隙部に直接開口させることにより、一つの微小隙間でもって、複数の絞りを実現したのである。なお、微小間隙部の絞り性能は、主として、間隙量、流体の粘度、圧力、入り口側開口部と静圧ポケット側開口部との距離と開口径の比で決まる。なお、静圧ポケット側開口部の開口間の距離、凹断面溝端部からの距離等により影響を受けるが、これらの影響を少なくする距離とするのはいうまでもない。
【００１３】
詳述すると、入り口側開口部から流入した圧力流体は微小隙間により絞られて微小隙間内をほぼ均一に広がって供給、移動される。入り口側開口部から所定距離離れた位置で、連通路の静圧ポケット側開口部をこの微小間隙内に開口させると、絞られた圧力流体は連通路を通って静圧ポケットに流入することとなる。これで、一つの静圧ポケットに絞られた圧力流体が供給される。一方、この開口に離隔して、入り口側開口部から所定距離離れた位置で他の連通路の開口を設けても、同様に、絞られた圧力流体は連通路を通って静圧ポケットに流入することになる。そこで、連通路の静圧ポケット側開口部同士を互いに影響を許容される位置に複数開口させれば、それぞれが絞られた圧力流体を複数の静圧ポケットに供給することができるものとなり、一つの微小間隙により、複数の静圧ポケットに絞られた（制御された）圧力流体を供給できるものとなった。なお、連通路には絞りを設けなくてよいが、微調整のため等に適宜設けてもよいことはいうまでもない。また、圧力流体は潤滑油、作動油等の液体を用いる。
【００１４】
微小隙間は、従来の方法で、充分製作可能であるが、二平面間の場合は、一方を平坦にし、他方に凹部を設ければよい。そこで、請求項２に記載の発明においては、前記微小間隙部は、二枚の平面間に設けられた微小深さの凹断面溝である静圧軸受装置とした。かかる凹断面溝は、平面研削盤で、平面上を所定幅の砥石を往復動させることにより、容易に得られる。
【００１５】
この場合、このまま平面を合わせるのみでは、両端が開放となるので、圧力流体が静圧ポケット以外に流出する。流出した圧力流体を他の潤滑部へ供給してもよい。しかし、かかる必要がない場合は、流出しない方が好ましい。そこで、請求項３に記載の発明においては、前記凹断面溝の端部が閉塞されている静圧軸受装置とした。かかる凹断面溝は、平面研削盤では、端部で砥石を上昇させ、切り上がりすることにより得られる。また、別部材で端面を塞いでもよい。
【００１６】
また、凹断面溝の開放端部や、静圧ポケット側開口部間の絞り性能に対する互いの影響を少なくするため、請求項４に記載の発明においては、前記凹断面溝の端部が開放され、前記静圧ポケット側開口部縁と前記入り口側開口部縁との距離をＬしたとき、前記静圧ポケット側開口部及び前記入り口側開口部の最外縁端から前記端部までの長さの全てがＬの４倍以上、かつ、前記静圧ポケット側開口部縁間の全ての長さがＬの４倍以上の静圧軸受装置とした。なお、入り口側開口部の開口を長穴とし、静圧ポケット側連通路の開口部の開口を長穴に沿って配置することにより、入り口側と静圧ポケット側の開口の距離を均一にし、さらにバラツキを少なくするとよい。逆に、異なるポケット形状に対しては、流出抵抗に合わせポケット側の開口穴位置やサイズ等を異ならせることにより、それぞれのポケットに対する面絞り条件を適宜調整するとよい。
【００１７】
移動体がテーブルのような平面体にあっては、上下、両側面に静圧ポケットを設ける。そこで、上下、両側面に静圧ポケットを有する移動体本体の上部を平面とし、その面に本発明の面絞りである微小間隙部を形成すればよい。そこで、請求項５に記載の発明においては、前記移動体は、直方体の側面、上面の両端側及び下面の両端側に前記静圧ポケットが形成された本体と、前記本体の上平面に載置固定された載置台と、からなり、前記載置台の下平面に前記凹断面溝が長手方向に形成されており、前記本体は、前記静圧ポケットと、前記複数の連通路と、前記凹断面溝の幅方向端側に開口する前記複数の静圧ポケット側開口部と、を有し、前記入り口開口部が幅方向の前記幅方向端側とは反対位置側の前記載置台又は本体のいずれかに形成され、前記各静圧ポケットに対応した軸受平面を有する基台部により、前記移動体が静圧支持されている静圧軸受装置を提供する。
【００１８】
移動体であるテーブルにはワークを取り付ける載置台部分と、静圧支持される本体部から構成されるが、載置台部分と本体部とは、一体とするより、上下に分割する場合が多い、かかる場合には、分割面に凹断面溝と開口を追加すれば容易に絞り機構を得ることができる。
【００１９】
さらに、移動体が回転体、シリンダ軸等の軸の場合については、静圧ポケットは軸回りに形成される。そこで、請求項６に記載の発明においては、前記移動体は丸棒状の軸であって、前記軸と、前記軸を支持する静圧ポケットが内径側に設けられた円筒状の軸受本体と、前記軸受本体の外周に沿って外挿された内径穴を有するケーシングと、を有する静圧軸受装置であって、前記微小間隙部は、前記軸受本体外周と、前記内径穴とで径方向微小隙間を形成する微小周溝とされ、前記連通路の開口部は前記軸受本体の外周に開口し、前記入り口路が前記ケーシングに設けられており、前記入り口路と、前記入り口路に連通し前記軸受本体外周と前記内径穴との間に形成された周溝と、前記微小周溝と、前記微小周溝に直接開口する前記複数の静圧ポケット側開口部と、が軸方向に順次形成されている静圧軸受装置を提供する。
【００２０】
引用文献１が、微小隙間（周溝）の両側に周溝を有しているのに対し、本発明においては、静圧ポケット側の周溝を廃し、微小間隙部に直接開口する静圧ポケット側開口部を設け、それを連通路としてそれぞれ各静圧ポケットと連通することにより、絞りを構成できる。なお、ジャーナル軸受用静圧ポケットばかりでなく、スラスト軸受用静圧ポケットの場合にも適用できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、圧力流体が供給される微小間隙部に直接開口する静圧ポケット側開口部を設け、圧力流体を静圧ポケットに導き、一つの微小間隙部で複数の静圧ポケットの絞りを提供できるので、プラグ及びプラグ用の穴明け加工、組み付けが不要となり、加工工数も少なく構造が簡単で、製造も簡単なものとなった。また、面タイプでも全体を大きくすることもない。さらに、本発明の絞りは、小径穴絞りではなく、面であるので、小径穴絞りより、隙間としては小さくなる。しかし、ゴミが入り口に引っかかっても、他の部分から容易に圧力流体が微小間隙部に流れ込むので、結果として、ゴミに強く、絞りとしての性能の劣化が少ない静圧軸受装置を提供するものとなった。さらに、開口部の径、位置、距離等を異ならせることにより各静圧ポケットに供給する圧力流体の絞り条件を変更でき応用範囲の広い絞りを得られる。
【００２２】
また、請求項２に記載の発明においては、二枚の平面間に設けられた凹断面溝とし、平面研削盤で容易に加工できるようにしたので、平面間の距離、幅を精度よく加工でき、精度の高い絞り性能を得ることができる。さらに、請求項３に記載の発明においては、端面処理も容易であり、圧力流体の漏れを少なくして、供給装置の省エネルギーを可能とするものとなった。
【００２３】
また、絞り性能に対する互いの影響を少なくするため、請求項４に記載の発明においては、静圧ポケット側開口部縁と入り口側開口部縁との距離Ｌよりその他の各距離を４倍以上の大きさとしたので、互いの影響のバラツキが少なくなり、絞り性能が安定する。なお、凹断面溝の幅は、静圧ポケット側開口部を入り口側開口部とが開口する幅があれば良いが、少なくとも半分以上開口するに充分な幅があればよい。
【００２４】
かかる二面間の隙間により、容易に複数の静圧ポケットへの絞りを構成できるので、請求項５に記載の発明においては、テーブル等の矩形の移動体を上下に二分割して、その平面間に微小間隙部を設け静圧軸受装置とすることができるので。さらに、請求項６に記載の発明においては、回転軸、シリンダ軸等の場合にあっても、軸受側をケーシングと軸受部とに周方向で分割して形成した径方向隙間を微小間隙部としたので、回転軸やシリンダ軸であっても、組立、メンテナンスが容易なものとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は二平面間に形成した本発明の絞りの模式図（斜視図）であり、（ａ）は、二平面を形成するブロックを重ね合わせ組み付ける前、（ｂ）は組み付けた状態を示している。絞りは２個である。本実施例絞り１は、上側のブロック２の下面２ａに微小深さｈの凹断面溝３が形成されている。凹断面溝３の両端３ａ，３ｂは開放されている。下側のブロック５の上面５ａには凹断面溝３の溝方向に二個の静圧ポケット側開口部６，７が離隔して設けられ、連通路１６，１７を形成して図示しない静圧ポケットに接続されている。
【００２６】
凹断面溝３の幅方向に対峙して、溝方向に伸びる長穴とされた入り口側開口部８が開けられている。入り口側開口部８の長穴中央部８ｃの反連通路側直角方向に入り口路９が設けられ、圧力流体が供給される圧力供給路１０が設けられている。圧力供給路１０は下ブロック５の下方から図示しない圧力流体発生部に接続されている。ブロック２の下面２ａ及び凹断面溝３は平面研削盤により加工形成される。
【００２７】
図１（ｂ）に示すように、かかる、二枚のブロック２，５を重ね合わせて、絞り１，１を形成する。重ね合わせたときに、長穴（入り口側開口部）８は凹断面溝３の一方の側面に隣接して凹断面溝に開口する位置、静圧ポケット側開口部６，７は凹断面溝の他方の側面に隣接して凹断面溝に開口する位置となるようにされる。また、下ブロック５上面５ａと凹断面溝とで微小間隙部１１を形成する。入り口側開口部８と静圧ポケット側開口部６，７がそれぞれ微小間隙部に開口し、絞りを形成している。なお、各図において、微小間隙部１１や後述する静圧軸受を構成する各静圧ポケット面と受部との隙間、絞りの隙間等々は発明の理解のため誇張して記載している。
【００２８】
このとき、図１（ａ）に示すように、静圧ポケット側開口部６，７縁部と入り口側開口部８縁部との距離をＬとしたとき、静圧ポケット側開口部の最外縁端から端部までの長さＳがＬの４倍以上＋α、入り口側開口部８の最外縁端から端部までの長さｓがＬの４倍以上、静圧ポケット側開口部縁間の長さＰをＬの４倍以上とするのがよい。αは入り口側開口部縁の位置を静圧ポケット側開口部縁の位置より外側にして、それぞれの静圧ポケット側開口部への絞りが均一になるように設定する。静圧ポケット側開口の径をｄ、入り口側開口の径をＤとすると、凹断面溝幅はＨ≧Ｄ＋Ｌ＋ｄとされている。また、長穴の長さＱは、Ｑ≧２（ｄ＋Ｐ）であり、長穴に対する複数の静圧ポケット側開口ができる限り同条件となるような寸法にされる。例えば、粘度が２２〜３２ｃＳｔ、圧力３ＭＰａ程度の潤滑油流体の場合、Ｄ、ｄは５〜１０ｍｍ、Ｌ＝４〜２０ｍｍ、凹断面溝深さｈ＝１０〜１００μｍ程度が好ましい。
【００２９】
かかる絞り１においては、図示しない圧力供給部からの圧力流体は、圧力供給路１０、入り口路９、入り口側開口部８を通って、微小間隙部１１で絞られ、それぞれ静圧ポケット側開口部６，７に供給され、それぞれ図示しない静圧ポケットに供給され、静圧軸受を形成する。一部の圧力流体は微小間隙部１１を通って両端３ａ，３ｂから流出するが、開口部６．７，８からの距離Ｓ、ｓを充分取っており、絞り性能に影響を与えない程度にされている。なお、静圧ポケット側開口部は２箇所設けたが、さらに多く設けてもよい。
【００３０】
次に、かかる絞りを移動テーブルに使用した場合の実施の形態について説明する。図２は本発明の実施の形態を示す移動テーブル用の静圧軸受装置の側面図、図３の（ａ）は図２のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図２のＢ−Ｂ線断面図である。図２、３において、静圧軸受装置２０は、ワークを載置する、あるいは加工軸を載置するテーブル（移動体）２１を基台部５１と形成する静圧軸受により図２で見て左右方向（水平一方向）に移動可能に支持する。テーブル２１は、直方体の本体２３と、本体上面２３ａに載置固定された載置台４１とからなる。
【００３１】
本体２３の前後側面には、それぞれ２個ずつ側面静圧ポケット２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが長手方向に形成されている。本体２３の上面の前後に、それぞれ２個ずつ上面静圧ポケット２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄが長手方向に形成されている。本体２３の下面の前後に、それぞれ２個ずつ下面静圧ポケット２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが長手方向に形成されている。なお、以下の説明に当たっては、読みやすいように符号の添字の小文字アルファベットの一部を省略する。
【００３２】
また、テーブル２１の４隅のうちの一隅の側面、上面、下面の静圧ポケットを一組として、本体上面２３ａの４隅にそれぞれ、各静圧ポケット２４，２５，２６に連通する連通路３４，３５，３６が形成され、開口部４４，４５，４６を長手方向に並べて開口されている。また、それぞれの組の開口部４４，４５，４６に近接して、長穴の入り口側開口部３８がそれぞれ４箇所長手方向に開口されている。それぞれ入り口側開口部３８は入り口路３９を通って、順次合流して、圧力供給路４０に接続され、図示しない圧力源に接続されている。
【００３３】
載置台４１の下平面４１ａに移動方向とは平行な方向に二本の凹断面溝４２ａ，４２ｂが形成されており、凹断面溝がそれぞれ、２組の開口部に重なるように組み付けられる。静圧ポケット側開口部４４，４５，４６が凹断面溝４２の幅方向端側となり、入り口開口部３８が反対側の幅方向端側に位置するようにされる。これにより、凹断面溝４２と本体上面２３ａとで微小間隙部１１を形成し、入り口開口部３８、静圧ポケット側開口部４４，４５，４６とで絞り１が形成される。
【００３４】
基台部５１は、上部が開口し、両側面上部の内側張出部５２ａ，５２ｂの下面に上部受部５５ａ、５５ｂ、開口内の前後側面に側面受部５４ａ，５４ｂ、及び両側面下部内側張出部５３ａ，５３ｂの上面に下部受部５６ａ，５６ｂが形成されている。各受部５５，５４，５６は軸受（摺動）平面を形成し、テーブル本体２３の対応する各静圧ポケット面２５，２４，２６で摺動可能に静圧支持されている。基台部５１の開口下部にはさらに空間が設けられ、ボールねじ５７が貫通し、サーボモータ５８で回転可能にされている。ボールねじ５７の回転により、本体２３が図２で、左右方向に移動できるようにボールねじ、リニアモータ、静圧ねじ等が使用される。
【００３５】
かかる静圧軸受装置２０によれば、圧力供給路４０から流入する圧力流体は、４箇所の入り口路３９に枝分かれして、各入り口開口部３８に達する。入り口開口部に達した圧力流体は微小間隙部１１を通って、各静圧ポケット側開口部４４，４５，４６、連通路３４，３５，３６を通って、各静圧ポケット２４，２５，２６に供給される。これにより、各静圧ポケット２４，２５，２６と基台部５１の各受部５４，５５，５６とで静圧軸受を構成することができる。長穴にされた入り口開口部３８と静圧ポケット側開口部４４，４５，４６との距離を同一寸法とすれば、凹断面溝の端部からも離隔しているので、絞り性能は同一であり、バラツキも小さい。
【００３６】
さらに、本発明の絞り１を回転軸に使用した場合の実施の形態について説明する。図４は本発明の実施の形態を示す回転軸用の静圧軸受装置の（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。なお、前述したと同様な構成については、同符号を付し説明の一部を省略する。図４において、回転軸用静圧軸受装置６０は回転軸６１と回転軸を支持する軸受本体６３及び軸受本体に外挿されるケーシング６４とからなる。回転軸（移動体）６１を静圧支持する静圧ポケット６２が軸受本体６３の内径側６３ａに等分に四箇所配置されている。また、静圧ポケット６２から連通路が６６が放射状に延びている。
【００３７】
軸受本体外周６３ｂにケーシング６４が外挿されている。ケーシングの内径穴６４ａと軸受本体外周径６３ｂとは焼嵌めされている。軸受本体外周の一部が小さくされた周溝６８が形成され、周溝に続いて片側で２０〜６０μｍ径が小さくされた微小周溝７１が形成されている。圧力供給路１０がケーシングに設けられ、入り口路９を経て、周溝６８に連通されている。各静圧ポケット６２に連通する連通路６６の開口部６７が微小周溝７１に開口し、入り口路９と、周溝６８、微小周溝７１、静圧ポケット側開口部６７が軸方向に順次形成されている。
【００３８】
これにより、微小周溝７１で微小間隙部１１を形成し、周溝６８、微小隙間１１、静圧ポケット側開口部６７とで絞り１が形成される。かかる回転軸用の静圧軸受装置６０によれば、圧力供給路１０から流入する圧力流体は、入り口路９、周溝６８、微小隙間１１、静圧ポケット側開口部６７、連通路６６を通って静圧ポケット６２に供給される。連通路は径方向及び軸方向に等分に配置することで、周溝と静圧ポケット側開口部との間の微小周溝の絞り性能は同条件となり、バラツキも小さく均一な絞りを得ることができる。
【００３９】
なお、本実施例では回転軸のジャーナル（ラジアル）軸受について述べたが、スラスト軸受や、特許文献１のようなシリンダ軸等、種々の軸にも適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】二平面間に形成した本発明の絞りの模式図であり、（ａ）は、二平面を形成するブロックを重ね合わせ組み付ける前、（ｂ）は組み付けた状態を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す移動テーブル用の静圧軸受装置の側面図である。
【図３】（ａ）は図２のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】本発明の実施の形態を示す回転軸用の静圧軸受装置の（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    絞り
２、４１  載置台
２ａ、４１ａ  載置台の下平面
３、４２ａ、４２ｂ、７１  凹断面溝（微小周溝）
３ａ、３ｂ  凹断面溝の端部
５、２３  本体
５ａ、２３ａ  本体の上平面
２１、６１  移動体（軸）
６、７、４４、４５、４６、６７  静圧ポケット側開口部
８、３８、６８  入り口側開口部（周溝）
９    入り口路
１０  圧力供給路
１１  微小間隙部
１７、１８、３４、３５、３６、６６  連通路
２０、６０  静圧軸受装置
２４、２５、２６、６２  静圧ポケット
５１  基台部
５４、５５、５６  軸受平面
６３  円筒状の軸受本体
６３ａ  軸受本体の内径穴
６３ｂ  軸受本体外周
６４  ケーシング
６４ａ  ケーシングの内径穴
ｈ    微小深さ
Ｌ    静圧ポケット側開口部縁と入り口側開口部縁との距離
Ｐ    静圧ポケット側開口部縁間の長さ
Ｓ、ｓ  静圧ポケット側開口部及び入り口側開口部の最外縁端から端部までの長        さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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