(57)【要約】      （修正有）【課題】角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できるようにする。【解決手段】第１液滴Ａを吐出する第１ノズル３６Ａと、第１液滴Ａと空中で接触する方向に第２液滴Ｂを吐出して第１液滴Ａに第２液滴Ｂを混合させる第２ノズル３６Ｂと、混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴の飛翔方向を変更する変更手段と、を備える第１制御部及び第２制御部が、印加する駆動波形を制御することにより、その混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更するようになっている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１液滴を吐出する第１ノズルと、
前記第１液滴と空中で接触する方向に第２液滴を吐出して前記第１液滴に前記第２液滴を混合させる第２ノズルと、
前記第１液滴と前記第２液滴とが混合された混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて前記第１液滴と前記第２液滴との混合比率及び前記混合液滴の飛翔方向を変更する変更手段と、
を備える液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記変更手段は、
第１被吐出面と角度の異なる第２被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第２被吐出面との角度が垂直に近づくように前記第１液滴及び前記第２液滴の少なくとも一方の運動量を変更することにより前記混合液滴の飛翔方向を変更する請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１液滴は、前記第２液滴よりも粘着性が高く、
前記変更手段は、第１被吐出面よりも鉛直方向に近い角度である第２被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第１被吐出面に着弾される混合液滴よりも前記混合液滴の第１液滴の混合比率を高くする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２液滴は、前記第１液滴よりも導電性が高く、
前記変更手段は、第２被吐出面よりも水平方向に近い角度である第１被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第２被吐出面に着弾される混合液滴よりも前記混合液滴の第２液滴の混合比率を高くする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記変更手段は、
第１被吐出面と角度の異なる第２被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第１ノズルから前記第１液滴が吐出される吐出間隔及び前記第２ノズルから前記第２液滴が吐出される吐出間隔を、前記第１被吐出面に向けて吐出する場合の吐出間隔と異なる吐出間隔に変更する請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１ノズルの吐出方向に沿って第２液滴を吐出する第３ノズルと、
前記第２液滴と空中で接触する方向に前記第２ノズルの吐出方向に沿って第１液滴を吐出する第４ノズルと、
前記第３ノズルからの第２液滴と前記第４ノズルからの前記第１液滴とが混合された混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて前記第１液滴と前記第２液滴との混合比率及び前記混合液滴の飛翔方向を変更する変更手段と、
を備える請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１液滴及び前記第２液滴と空中で接触する方向に第３液滴を吐出して前記第１液滴及び前記第２液滴に前記第３液滴を混合させる第３ノズルを備え、
前記変更手段は、その混合された混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて前記第１液滴と前記第２液滴と前記第３液滴の混合比率及び前記混合液滴の飛翔方向を変更する請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドと、
前記被吐出面が形成された被吐出物と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させ、第１被吐出面と角度の異なる第２被吐出面に前記混合液滴が着弾される場合に前記第２被吐出面と前記液滴吐出ヘッドとの相対移動速度を前記第１被吐出面と前記液滴吐出ヘッドとの相対移動速度と異なる速度に変更する移動手段と、
を備える液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置としては、特許文献１に開示されるインクジェット記録装置が公知である。特許文献１に開示されるインクジェット記録装置は、先端にオリフィス１２Ｙ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｂを備える複数のインク収容部と、該各インク収容部に収容された各色のインクと、各インク収容部に配設され、各インクをインク滴にして前記オリフィス１２Ｙ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｂから噴出させるインク滴発生手段とを有する。
【０００３】
そして、前記インク収容部のうち、少なくとも二つ以上のインク収容部は、インク滴が印刷媒体１６に到達するまでの間に合体する方向に向けて配設される。少なくとも二つ以上のインク収容部のオリフィスから噴出させられたインク滴は、印刷媒体１６に到達するまでの間に合体して他の色のインク滴になり、印刷媒体１６に付着させられる。１回のドットが形成されることによって各色が混合される。
【０００４】
特許文献２には、導電性のインク材料を噴射して配線板を製造する製造方法が開示されている。特許文献２の製造方法は、印刷基板１上に搭載され立体的形状部分を有する実装部品３に、インク噴射手段８から導電性のインク材料を噴射して、実装部品３の立体的形状部分に配線に印刷し、印刷基板１上に形成された配線２と、実装部品３の電極部分４とを接続する。
【０００５】
また、特許文献３には、液滴吐出法を用いて接続配線を形成する形成方法が開示されている。特許文献３に開示された形成方法では、形成される接続配線３４がチップ部品１０の側方の段差で断線しないように、チップ部品１０の側面に接触するようにしてスロープ材３０を形成し、スロープ材３０表面の斜面部をもってチップ部品１０の能動面１２（パッシべーション膜１６表面）から回路基板２０の実装面まで段差無く連続するようになっている。接続配線３４は、パッシべーション膜１６の開口部に露出された接続端子１４の上面からスロープ材３０の斜面上を通って配線パターン２２上に至るように形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１４１９０１号公報（図１）
【特許文献２】特開２００３−２８９１７９号公報（図１）
【特許文献３】特開２００６−１３５２３６号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に係る液滴吐出ヘッドは、第１液滴を吐出する第１ノズルと、前記第１液滴と空中で接触する方向に第２液滴を吐出して前記第１液滴に前記第２液滴を混合させる第２ノズルと、前記第１液滴と前記第２液滴とが混合された混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて前記第１液滴と前記第２液滴との混合比率及び前記混合液滴の飛翔方向を変更する変更手段と、を備える。
【０００９】
本発明の請求項２に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１の構成において、前記変更手段は、第１被吐出面と角度の異なる第２被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第２被吐出面との角度が垂直に近づくように前記第１液滴及び前記第２液滴の少なくとも一方の運動量を変更することにより前記混合液滴の飛翔方向を変更する。
【００１０】
本発明の請求項３に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１又は請求項２の構成において、前記第１液滴は、前記第２液滴よりも粘着性が高く、前記変更手段は、第１被吐出面よりも鉛直方向に近い角度である第２被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第１被吐出面に着弾される混合液滴よりも前記混合液滴の第１液滴の混合比率を高くする。
【００１１】
本発明の請求項４に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１〜３のいずれか１項の構成において、前記第２液滴は、前記第１液滴よりも導電性が高く、前記変更手段は、第２被吐出面よりも水平方向に近い角度である第１被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第２被吐出面に着弾される混合液滴よりも前記混合液滴の第２液滴の混合比率を高くする。
【００１２】
本発明の請求項５に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１〜４のいずれか１項の構成において、前記変更手段は、第１被吐出面と角度の異なる第２被吐出面に前記混合液滴を着弾させる場合に、前記第１ノズルから前記第１液滴が吐出される吐出間隔及び前記第２ノズルから前記第２液滴が吐出される吐出間隔を、前記第１被吐出面に向けて吐出する場合の吐出間隔と異なる吐出間隔に変更する。
【００１３】
本発明の請求項６に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１〜５のいずれか１項の構成において、前記第１ノズルの吐出方向に沿って第２液滴を吐出する第３ノズルと、前記第２液滴と空中で接触する方向に前記第２ノズルの吐出方向に沿って第１液滴を吐出する第４ノズルと、前記第３ノズルからの第２液滴と前記第４ノズルからの前記第１液滴とが混合された混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて前記第１液滴と前記第２液滴との混合比率及び前記混合液滴の飛翔方向を変更する変更手段と、を備える。
【００１４】
本発明の請求項７に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１〜５のいずれか１項の構成において、前記第１液滴及び前記第２液滴と空中で接触する方向に第３液滴を吐出して前記第１液滴及び前記第２液滴に前記第３液滴を混合させる第３ノズルを備え、前記変更手段は、その混合された混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて前記第１液滴と前記第２液滴と前記第３液滴の混合比率及び前記混合液滴の飛翔方向を変更する。
【００１５】
本発明の請求項８に係る液滴吐出装置は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドと、前記被吐出面が形成された被吐出物と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させ、第１被吐出面と角度の異なる第２被吐出面に前記混合液滴が着弾される場合に前記第２被吐出面と前記液滴吐出ヘッドとの相対移動速度を前記第１被吐出面と前記液滴吐出ヘッドとの相対移動速度と異なる速度に変更する移動手段と、を備える。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の請求項１の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００１７】
本発明の請求項２の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００１８】
本発明の請求項３の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００１９】
本発明の請求項４の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００２０】
本発明の請求項５の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００２１】
本発明の請求項６の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００２２】
本発明の請求項７の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【００２３】
本発明の請求項８の構成によれば、本構成を有していない場合に比べ、角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本実施形態に係る配線描画装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略分解斜視図である。
【図３】図３は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図である。
【図４】図４は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面図である。
【図５】図５は、液滴吐出ヘッドをノズル面側から見た概略斜視図である。
【図６】図６は、混合液滴を基板の基板面に着弾させる場合の液滴吐出ヘッドの動作を示した概略図である。
【図７】図７は、混合液滴を電子部品の側面に着弾させる場合の液滴吐出ヘッドの動作を示した概略図である。
【図８】図８は、基板の基板面上を混合液滴の着弾位置が移動する速度と、混合液滴の着弾位置が電子部品の側面を上昇する速度との速度差について説明するための概略図である。
【図９】図９は、混合液滴を、基板面上と斜面に斜めに着弾させる場合の、液滴吐出ヘッドの動作と着弾形状を示した概略図である。
【図１０】図１０は、第１変形例に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。
【図１１】図１１は、第１変形例に係る液滴吐出ヘッドをノズル面側から見た概略斜視図である。
【図１２】図１２は、第２変形例に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。
【００２６】
本実施形態では、液滴を吐出する液滴吐出装置の一例として、導電性材料の液滴を基板に吐出して配線を描画する配線描画装置について説明する。
【００２７】
なお、液滴吐出装置としては、この配線描画装置に限定されるものではない。液滴吐出装置としては、例えば、インク滴を吐出して記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置、フィルムやガラス上にインク等を吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置、及び液滴を吐出して膜を形成する各種の成膜装置であってもよく、液滴を吐出するものであればよい。
【００２８】
（本実施形態に係る配線描画装置の全体構成）
まず、本実施形態に係る配線描画装置の全体構成を説明する。図１は、本実施形態に係る配線描画装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【００２９】
本実施形態に係る配線描画装置１０は、図１に示すように、液滴の吐出を受ける被吐出物の一例としての基板１２を移動させる基板移動機構１４と、基板１２へ液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１６と、液滴吐出ヘッド１６を移動させるヘッド移動機構１８と、を備えている。
【００３０】
基板移動機構１４は、基板１２を載せる台の一例としてのステージ２０と、ステージ２０を案内する案内部材の一例としてのレール２２と、を備えている。レール２２は、一方向（図１におけるＹ方向）に沿って延び設けられている。ステージ２０は、レール２２に沿って両方向（図１におけるＹ方向）に移動可能にレール２２に支持されている。
【００３１】
ステージ２０は、図示しない駆動装置から駆動力を付与され、レール２２に沿って移動する。これにより、基板１２と液滴吐出ヘッド１６とは相対移動する。なお、基板１２には、電子部品１３が、被吐出面の一例としての基板面１２Ａに取り付けられている。
【００３２】
ヘッド移動機構１８は、ステージ２０の移動方向と直交する直交方向（図１におけるＸ方向）に移動可能に液滴吐出ヘッド１６を支持する支持部材２４を備えている。液滴吐出ヘッド１６は、図示しない駆動装置から駆動力を付与され、直交方向（図１におけるＸ方向）に沿って両方向に移動する。これにより、基板１２と液滴吐出ヘッド１６とは、相対移動する。
【００３３】
以上のように、基板移動機構１４及びヘッド移動機構１８は、基板１２と液滴吐出ヘッド１６とを相対移動させる移動手段として機能するが、基板１２と液滴吐出ヘッド１６とが相対移動すればよいので、例えば、液滴吐出ヘッド１６が固定されてステージ２０のみが図１におけるＹ方向及びＸ方向に移動する構成であってもよい。また、例えば、ステージ２０が固定されて液滴吐出ヘッド１６のみが図１におけるＹ方向及びＸ方向に移動する構成であってもよい。
【００３４】
また、基板移動機構１４及びヘッド移動機構１８は、上記に示した構成に限られず、種々の構成とすることが可能である。
【００３５】
（本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成）
次に、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略分解斜視図である。図３は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図である。図４は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面図である。図５は、液滴吐出ヘッドをノズル面側から見た概略斜視図である。
【００３６】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１６は、図２、図３及び図４に示すように、ノズル板２６と、供給孔板２８と、圧力室板３０と、振動板３２と、圧電素子からなる駆動部３４と、を備えている。これらのノズル板２６、供給孔板２８、圧力室板３０、振動板３２、駆動部３４が、この順で積層され、各板体が接合されている。
【００３７】
ノズル板２６には、インク滴を吐出するノズル３６が複数形成されている。このノズル３６は、ノズル板２６を貫通する円孔であり、第１ノズル３６Ａと第２ノズル３６Ｂとで構成されている。第１ノズル３６Ａと第２ノズル３６Ｂは、それぞれがノズル板２６に１列に配列されている。
【００３８】
また、ノズル板２６には、第１共通流路４０Ａが、第１ノズル３６Ａ側に第１ノズル３６Ａの配列方向に沿って形成され、第２共通流路４０Ｂが、第２ノズル３６Ｂ側に第２ノズル３６Ｂの配列方向に沿って形成されている。
【００３９】
供給孔板２８には、ノズル板２６の第１ノズル３６Ａと通じる第１流通路３８Ａと、ノズル板２６の第２ノズル３６Ｂと通じる第２流通路３８Ｂと、がそれぞれ形成されている。これにより、第１流通路３８Ａから第１ノズル３６Ａへ液体が流通可能とされ、第２流通路３８Ｂから第２ノズル３６Ｂへ液体が流通可能となっている。
【００４０】
また、供給孔板２８には、ノズル板２６の第１共通流路４０Ａの一端部と通じる第１供給路４６Ａと、ノズル板２６の第１共通流路４０Ａの他端部と通じる第１戻し路４７Ａと、が形成されている。これにより、第１供給路４６Ａから第１共通流路４０Ａへ液体が流通可能とされ、第１共通流路４０Ａから第１戻し路４７Ａへ液体が流通可能となっている。
【００４１】
また、供給孔板２８には、ノズル板２６の第２共通流路４０Ｂの一端部と通じる第２供給路４６Ｂと、ノズル板２６の第２共通流路４０Ｂの他端部と通じる第２戻し路４７Ｂと、が形成されている。これにより、第２供給路４６Ｂから第２共通流路４０Ｂへ液体が流通可能とされ、第２共通流路４０Ｂから第２戻し路４７Ｂへ液体が流通可能となっている。
【００４２】
また、供給孔板２８には、ノズル板２６の第１共通流路４０Ａと通じる第１供給孔４２Ａが、第１供給路４６Ａと第１戻し路４７Ａとの間に、第１共通流路４０Ａに沿って複数形成されている。これにより、第１共通流路４０Ａから第１供給孔４２Ａへ液体が流通可能となっている。
【００４３】
また、供給孔板２８には、ノズル板２６の第２共通流路４０Ｂと通じる第２供給孔４２Ｂが、第２供給路４６Ｂと第２戻し路４７Ｂとの間に、第２共通流路４０Ｂに沿って複数形成されている。これにより、第２共通流路４０Ｂから第２供給孔４２Ｂへ液体が流通可能となっている。
【００４４】
圧力室板３０には、一端部で第１流通路３８Ａと通じ、他端部で第１供給孔４２Ａと通じる第１圧力室４４Ａが形成されている。これにより、第１供給孔４２Ａから第１圧力室４４Ａへ液体が流通可能とされ、第１圧力室４４Ａから第１流通路３８Ａへ液体が流通可能となっている。
【００４５】
圧力室板３０には、一端部で第２流通路３８Ｂと通じ、他端部で第２供給孔４２Ｂと通じる第２圧力室４４Ｂが形成されている。これにより、第２供給孔４２Ｂから第２圧力室４４Ｂへ液体が流通可能とされ、第２圧力室４４Ｂから第２流通路３８Ｂへ液体が流通可能となっている。
【００４６】
また、圧力室板３０には第１供給路４６Ａと通じる第１供給路４８Ａと、第１戻し路４７Ａと通じる第１戻し路４９Ａとが形成されている。これにより、第１供給路４６Ａから第１供給路４８Ａへ液体が流通可能とされ、第１戻し路４７Ａから第１戻し路４９Ａへ液体が流通可能となっている。
【００４７】
また、圧力室板３０には第２供給路４６Ｂと通じる第２供給路４８Ｂと、第２戻し路４７Ｂと通じる第２戻し路４９Ｂが形成されている。これにより、第２供給路４６Ｂから第２供給路４８Ｂへ液体が流通可能とされ、第２戻し路４７Ｂから第２戻し路４９Ｂへ液体が流通可能となっている。
【００４８】
また、振動板３２には第１供給路４８Ａと通じる第１供給路５０Ａと、第１戻し路４９Ａと通じる第１戻し路５１Ａが形成されている。これにより、第１供給路４８Ａから第１供給路５０Ａへ液体が流通可能とされ、第１戻し路４９Ａから第１戻し路５１Ａへ液体が流通可能となっている。
【００４９】
また、振動板３２には第２供給路４８Ｂと通じる第２供給路５０Ｂと、第２戻し路４９Ｂと通じる第２戻し路５１Ｂが形成されている。これにより、第２供給路４８Ｂから第２供給路５０Ｂへ液体が流通可能とされ、第２戻し路４９Ｂから第２戻し路５１Ｂへ液体が流通可能となっている。
【００５０】
第１供給路５０Ａ及び第１戻し路５１Ａは、第１液体を貯留する第１貯留部（図示省略）と通じている。これにより、第１貯留部から第１液体が第１供給路５０Ａに供給される。第１供給路５０Ａに供給された第１液体は、第１供給路４８Ａ、第１供給路４６Ａ、第１共通流路４０Ａ、第１供給孔４２Ａ、第１圧力室４４Ａ、第１流通路３８Ａを介して、第１ノズル３６Ａに供給され、第１ノズル３６Ａに充填される。
【００５１】
また、第１供給路５０Ａから第１共通流路４０Ａに供給された第１液体は、第１戻し路４７Ａ及び第１戻し路４９Ａを通じて、第１戻し路５１Ａから第１貯留部に第１液体が戻される。このように、第１液体は循環するようになっている。
【００５２】
第２供給路５０Ｂ及び第２戻し路５１Ｂは、第２液体を貯留する第２貯留部（図示省略）と通じている。これにより、第２貯留部から第２液体が第２供給路５０Ｂに供給される。第２供給路５０Ｂに供給された第２液体は、第２供給路４８Ｂ、第２供給路４６Ｂ、第２共通流路４０Ｂ、第２供給孔４２Ｂ、第２圧力室４４Ｂ、第２流通路３８Ｂを介して、第２ノズル３６Ｂに供給され、第２ノズル３６Ｂに充填される。
【００５３】
また、第２供給路５０Ｂから第２共通流路４０Ｂに供給された第２液体は、第２戻し路４７Ｂ及び第２戻し路４９Ｂを通じて、第２戻し路５１Ｂから第２貯留部に第２液体が戻される。このように、第２液体は循環するようになっている。
【００５４】
第２液体は、例えば、第１液体より導電性が高く、第１液体は、第２液体よりも粘着性が高いものが使用される。第２液体としては、例えば、導電性を有する金属粒子を溶媒に第１液体よりも多く分散させたものが用いられ、第１液体としては、例えば、金属粒子よりも粘着性があるバインダー剤を溶媒に第２液体よりも多く分散させたものが用いられる。
【００５５】
具体的には、例えば、第２液体及び第１液体として、金属粒子としての酸化銀及びバインダー剤としての有機銀化合物を有機溶剤に分散させたものが用いられ、第２液体は、第１液体よりも酸化銀が多く分散されたものが用いられ、第１液体は、第２液体よりも有機銀化合物が多く分散されたものが用いられる。
【００５６】
また、第２液体及び第１液体として、金属粒子としての第１金属粉、第１金属粉の表面をコートする第１コート剤、分散助剤及びバインダー剤を、第１溶媒に分散させたものを用い、第２液体は、第１液体よりもバインダー剤が少なく分散されたものを用い、第１液体は、第２液体よりもバインダー剤が多く分散されたものを用いてもよい。
【００５７】
第１金属粉としては、例えば、ニッケル粉、銀粉、金粉、銅粉、パラジウム粉が用いられる。第１コート剤としては、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミ、酸化ジルコニウム、酸化チタンが用いられる。分散助剤としては、例えば、ポリアクリル酸、有機基置換水酸化アンモニウム、ヒドロキシル基含有アミン化合物が用いられる。バインダー剤としては、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニアカップリング剤、アルミニウムカップリング剤が用いられる。第１溶媒としては、例えば、水、アルコール類が用いられる。
【００５８】
また、第２液体及び第１液体として、金属粒子としての第２金属粉、第２金属粉の表面をコートする第２コート剤及びバインダー剤としての熱硬化性樹脂成分を、第２溶媒に分散させたものを用い、第２液体は、第１液体よりもバインダー剤が少なく分散されたものを用い、第１液体は、第２液体よりもバインダー剤が多く分散されたものを用いてもよい。
【００５９】
第２金属粉としては、例えば、銀粉、金粉、銅粉、白金粉が用いられる。第２コート剤としては、例えば、Ｃ８〜Ｃ１８のアルキルアミン、アルカンチオール、アルカンジオールが用いられる。第２溶媒としては、例えば、テルピネオール、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、メシチレンが用いられる。熱硬化性樹脂成分としては、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂が用いられる。なお、第１液体及び第２液体は、上記の構成に限られず、種々の構成とすることが可能である。
【００６０】
駆動部３４は、第１駆動部３４Ａと第２駆動部３４Ｂとで構成されている。第１駆動部３４Ａは、振動板３２を挟んで第１圧力室４４Ａに対向配置されており、第２駆動部３４Ｂは、振動板３２を挟んで第２圧力室４４Ｂに対向配置されている。
【００６１】
第１駆動部３４Ａには、第１駆動部３４Ａの駆動を制御する第１制御部５６Ａが接続されており、第２駆動部３４Ｂには、第２駆動部３４Ｂの駆動を制御する第２制御部５６Ｂが接続されている。
【００６２】
第１駆動部３４Ａ及び第２駆動部３４Ｂは、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂのそれぞれから駆動波形（駆動信号）が印加されて駆動する。
【００６３】
第１駆動部３４Ａと第２駆動部３４Ｂは、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂのそれぞれから駆動波形（駆動信号）が印加されると、それぞれが第１圧力室４４Ａ及び第２圧力室４４Ｂの容積を減少させるように振動板３２を変形させ、第１圧力室４４Ａ内の第１液体及び第２圧力室４４Ｂ内の第２液体へ圧力を付与する。これにより、第１圧力室４４Ａと通じる第１ノズル３６Ａから第１液体が第１液滴Ａとして吐出され、第２圧力室４４Ｂと通じる第２ノズル３６Ｂから第２液体が第２液滴Ｂとして吐出される（図６（Ａ）参照）。
【００６４】
ここで、第１ノズル３６Ａは、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂが形成されたノズル板２６のノズル面（吐出面）２６Ａに対して斜め方向に形成されている。なお、基板１２の基板面１２Ａに対しても斜め方向とされている。
【００６５】
第２ノズル３６Ｂは、第１ノズル３６Ａが吐出する第１液滴Ａと空中で接触する方向に第２液滴Ｂを吐出するようになっている。
【００６６】
具体的には、第２ノズル３６Ｂは、第２ノズル３６Ｂから吐出される液滴の軌道と第１ノズル３６Ａから吐出される液滴の軌道とが交わるように、ノズル板２６のノズル面（吐出面）２６Ａに対して斜め方向に形成されている。なお、基板１２の基板面１２Ａに対しても斜め方向とされている。
【００６７】
これにより、第１ノズル３６Ａから吐出される第１液滴Ａと、第２ノズル３６Ｂから吐出される第２液滴Ｂとを空中で混合して、その混合された混合液滴Ｃが基板面１２Ａに着弾するようになっている。第１ノズル３６Ａと第２ノズル３６Ｂとは、ノズル面２６Ａに対する角度が同じとされている。なお、第１ノズル３６Ａと第２ノズル３６Ｂとは、ノズル面２６Ａに対して、異なる角度とされていてもよい。
【００６８】
本実施形態では、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂが、印加する駆動波形を制御することにより、その混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更するようになっている。すなわち、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂは、その混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更する変更手段として機能する。なお、この第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更した場合の吐出動作について、後述する。
【００６９】
なお、ノズル板２６には、図４及び図５に示すように、ノズル面２６Ａ側のノズル３６部分にノズル３６の配列方向に沿って、断面三角形状の凹部５４が形成されている。凹部５４の底面５４Ａは、それぞれ、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂの軸方向に直交している。
【００７０】
また、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとが混合されるには、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの全体が衝突する必要は無く、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの一部が接触すれば、その表面張力により第１液滴Ａと第２液滴Ｂとが混合される。
【００７１】
また、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとが混合されればよいので、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂの一方が、ノズル面２６Ａに対して垂直方向に形成されていてもよい。
【００７２】
また、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂから液滴を吐出させるための構成として、圧電方式によって液滴を吐出させる構成を用いたが、これに限られず、サーマル方式等の他の方式によって液滴を吐出させる構成であっても良い。サーマル方式の場合においては、液滴を吐出させるための圧力を発生させる圧力発生素子として、発熱素子が用いられる。
（第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂの吐出動作の一例）
次に、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂの吐出動作の一例を説明する。
【００７３】
ここでは、第１被吐出面としての基板１２の基板面１２Ａと、第１被吐出面とは角度の異なる第２被吐出面としての電子部品１３の側面１３Ａとに混合液滴Ｃを着弾させる場合を取り上げて説明する。
【００７４】
基板１２の基板面１２Ａは、水平方向に沿った水平面であり、電子部品１３の側面１３Ａは、鉛直方向に沿った鉛直面である。なお、第１被吐出面としては、水平面である必要はなく、第２被吐出面としては、鉛直面である必要はなく、第１被吐出面と第２被吐出面とが異なる角度であれば良い。また、第１被吐出面と第２被吐出面の角度差が、９０度である必要もない。
【００７５】
混合液滴Ｃを基板面１２Ａに着弾させる場合には、図６（Ｂ）に示すように、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂは、それぞれ第１駆動部３４Ａ及び第２駆動部３４Ｂに、同様のタイミングで同程度の電圧で形成される駆動波形を印加する。
【００７６】
これにより、第１液滴Ａと第２液滴Ｂは、図６（Ａ）に示すように、同じ運動量で同じタイミングで衝突し、基板面１２Ａに対して垂直方向に吐出される。このとき、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとは、液滴量が１対１となる。
【００７７】
混合液滴Ｃを電子部品１３の上面１３Ｂに着弾させる場合にも同様に、図６（Ｂ）に示すように、駆動波形を印加して、混合液滴Ｃを着弾させてもよい。なお、電子部品１３の上面１３Ｂは、水平方向に沿った水平面とされている。
【００７８】
次に、混合液滴Ｃを電子部品１３の側面１３Ａに着弾させる場合には、図７（Ｂ）に示すように、第１制御部５６Ａは、第２制御部５６Ｂが印加した駆動波形より、波形の振幅が大きく、遅れたタイミングで駆動波形を印加する。また、第２制御部５６Ｂは、第１制御部５６Ａが印加する駆動波形より、波形の振幅が小さく、早いタイミングで駆動波形を印加する。
【００７９】
これにより、図７（Ａ）に示すように、第１液滴Ａの運動量が第２液滴Ｂの運動量よりも大きいので、第２ノズル３６Ｂ側に混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。すなわち、混合液滴Ｃの側面１３Ａとの角度が垂直に近づくように混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。
【００８０】
また、第１液滴Ａが第２液滴Ｂよりも液滴量が多くなる。第１液滴Ａは、第２液滴Ｂよりも粘着性が高いので液だれしにくくなる。
【００８１】
なお、第１液滴Ａの速度が第２液滴Ｂよりも速いので、第２液滴Ｂよりも遅れたタイミングでも第１液滴Ａは第２液滴Ｂと衝突が可能となる。
【００８２】
ところで、液滴吐出ヘッド１６の移動速度（基板１２の基板面１２Ａ上を混合液滴Ｃの着弾位置が移動する速度）をＶｃとし、混合液滴Ｃの飛翔軌道と電子部品１３の側面１３Ａとでなす角度をθとしたとき、混合液滴Ｃの着弾位置が電子部品１３の側面１３Ａを上昇する速度Ｖｔは、以下の式で求められる（図８（Ａ）参照）。
【００８３】
Ｖｔ＝Ｖｃ／Ｔａｎθ
従って、θが４５°の場合には、Ｖｔ＝Ｖｃとなる。
【００８４】
また、θが４５°を超える場合には、Ｖｔ＞Ｖｃとなり、電子部品１３の側面１３Ａにおける混合液滴Ｃの着弾位置間隔が、基板１２の基板面１２Ａにおける混合液滴Ｃの着弾位置間隔よりも広くなる。
【００８５】
この場合においては、図８（Ｂ）に示すように、混合液滴Ｃを電子部品１３の側面１３Ａに着弾させる場合に、液滴吐出ヘッド１６の移動速度を低下させ、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂの駆動周波数を上昇させる。なお、液滴吐出ヘッド１６の移動速度と第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂの駆動周波数とのどちらか一方を調整すればよく、両方を調整する必要はない。
【００８６】
また、θが４５°未満の場合には、Ｖｔ＜Ｖｃとなり、電子部品１３の側面１３Ａにおける混合液滴Ｃの着弾位置間隔が、基板１２の基板面１２Ａにおける混合液滴Ｃの着弾位置間隔よりも狭くなる。
【００８７】
この場合においては、混合液滴Ｃを電子部品１３の側面１３Ａに着弾させる場合に、液滴吐出ヘッド１６の移動速度を上昇させ、第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂの駆動周波数を低下させる。なお、液滴吐出ヘッド１６の移動速度と第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂの駆動周波数とのどちらか一方を調整すればよく、両方を調整する必要はない。
【００８８】
なお、第１液滴Ａ及び第２液滴Ｂの滴量、混合比も変化しているので、単純に上式に従って、液滴吐出ヘッド１６の移動速度と第１制御部５６Ａ及び第２制御部５６Ｂの駆動周波数を調整することに限定するものではない。
【００８９】
上記の例では、混合液滴Ｃが被吐出面に垂直に近づくように飛翔方向を変更した例であったが、それに限定するものではない。図９（Ａ）に示すように、第1ノズル３６Ａから吐出される第１液滴Ａと、第２ノズル３６Ｂから吐出される第２液滴Ｂの運動量を変え、混合液滴Ｃが、基板１２の基板面１２Ａ上に対して、垂直より浅い角度で着弾するようにしても良い。さらに、図９（Ｂ）に示すように、基板１２上に斜面１４Ａをもつ凸部１４があった場合、斜面１４Ａに対して、混合液滴Ｃが垂直より浅い角度で着弾するように、飛翔方向を調整してもよい。
【００９０】
このように垂直より浅い角度で着弾することによって、図９（Ｃ）に示すように、基板面１２Ａ及び斜面１４Ａにおいて着弾液滴１５が楕円形状となる。これにより、被吐出面の角度が変わった部分においても、線のつながりがよくなり、線幅が一定となる。
【００９１】
（液滴吐出ヘッド１６の第１変形例）
次に、液滴吐出ヘッド１６の第１変形例について説明する。図１０は、第１変形例に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。図１１は、第１変形例に係る液滴吐出ヘッドをノズル面側から見た概略斜視図である。
【００９２】
第１変形例に係る液滴吐出ヘッド１６は、図１０及び図１１に示すように、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂに加えて、第１ノズル３６Ａの吐出方向に沿って第２液滴Ｂを吐出する第３ノズル３６Ｃと、第２液滴Ｂと空中で接触する方向に第２ノズル３６Ｂの吐出方向に沿って第１液滴Ａを吐出する第４ノズル３６Ｄとを有している。
【００９３】
ノズル板２６には、ノズル面２６Ａ側の第３ノズル３６Ｃ及び第４ノズル３６Ｄ部分に第３ノズル３６Ｃ及び第４ノズル３６Ｄの配列方向に沿って、断面三角形状の凹部５５が形成されている。凹部５５の底面５５Ａは、それぞれ、第３ノズル３６Ｃ及び第４ノズル３６Ｄの軸方向に直交している。
【００９４】
第３ノズル３６Ｃは、第２液体が貯留される第２貯留部と通じており、第２貯留部から第２液体が供給されるようになっており、第４ノズル３６Ｄは、第１液体が貯留される第１貯留部と通じており、第１貯留部から第１液体が供給されるようになっている。
【００９５】
また、第３ノズル３６Ｃ及び第４ノズル３６Ｄは、ノズル板２６を貫通する円孔であり、それぞれがノズル板２６に１列に配列されている。この構成では、基板１２と相対移動方向に沿って、第２ノズル３６Ｂ、第１ノズル３６Ａ、第４ノズル３６Ｄ及び第３ノズル３６Ｃの順で配置されている。
【００９６】
この第４ノズル３６Ｄ及び第３ノズル３６Ｃに対しても、制御部（図示省略）から駆動波形（駆動信号）が印加されて駆動する駆動部（図示省略）が設けられている。この制御部が、印加する駆動波形を制御することにより、第４ノズル３６Ｄからの第１液滴Ａと第３ノズル３６Ｃからの第２液滴Ｂとが混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、その第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更するようになっている。すなわち、前記制御部は、その混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更する変更手段として機能する。
【００９７】
ここで、混合液滴Ｃを電子部品１３の側面１３Ａ（図１０における右側面）に着弾させる場合には、図１０（Ａ）に示すように、第１ノズル３６Ａからの第１液滴Ａの運動量を、第２ノズル３６Ｂからの第２液滴Ｂの運動量よりも大きくして、第２ノズル３６Ｂ側に混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。すなわち、混合液滴Ｃの側面１３Ａとの角度が垂直に近づくように混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。
【００９８】
混合液滴Ｃを電子部品１３の側面１３Ｃ（図１０における左側面）に着弾させる場合には、図１０（Ｂ）に示すように、第４ノズル３６Ｄからの第１液滴Ａの運動量を、第３ノズル３６Ｃからの第２液滴Ｂの運動量よりも大きくして、第３ノズル３６Ｃ側に混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。すなわち、混合液滴Ｃの側面１３Ｃとの角度が垂直に近づくように混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。
【００９９】
このように、第１変形例に係る液滴吐出ヘッド１６では、電子部品１３の両側面（側面１３Ａ及び側面１３Ｃ）において、混合液滴Ｃの飛翔方向が変更される。
【０１００】
（液滴吐出ヘッド１６の第２変形例）
次に、液滴吐出ヘッド１６の第２変形例について説明する。図１２は、第２変形例に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。
【０１０１】
第２変形例に係る液滴吐出ヘッド１６は、図１２（Ａ）（Ｂ）に示すように、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂに加えて、第３液滴Ｅを吐出する第３ノズル３６Ｅを有している。
【０１０２】
図１２（Ｂ）に示すように、第１ノズル３６Ａ、第２ノズル３６Ｂ及び第３ノズル３６Ｅをノズル面２６Ａ側から見ると、その中心を結ぶ線が三角形状をなすように配列されている。
【０１０３】
第１ノズル３６Ａは、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂが形成されたノズル板２６のノズル面（吐出面）２６Ａに対して斜め方向に形成されている。なお、基板１２の基板面１２Ａに対しても斜め方向とされている。
【０１０４】
第２ノズル３６Ｂは、第１ノズル３６Ａが吐出する第１液滴Ａと空中で接触する方向に第２液滴Ｂを吐出するようになっている。
【０１０５】
さらに、第３ノズル３６Ｅは、第１ノズル３６Ａが吐出する第１液滴Ａ及び第２ノズル３６Ｂが吐出する第２液滴Ｂと空中で接触する方向に第３液滴Ｅを吐出するようになっている。
【０１０６】
具体的には、第３ノズル３６Ｅは、第３ノズル３６Ｅから吐出される液滴の軌道と第２ノズル３６Ｂから吐出される液滴の軌道と第１ノズル３６Ａから吐出される液滴の軌道とが交わるように、ノズル板２６のノズル面（吐出面）２６Ａに対して斜め方向に形成されている。なお、基板１２の基板面１２Ａに対しても斜め方向とされている。
【０１０７】
これにより、第１ノズル３６Ａから吐出される第１液滴Ａと、第２ノズル３６Ｂから吐出される第２液滴Ｂと、第３ノズル３６Ｅから吐出される第３液滴Ｅとを空中で混合して、その混合された混合液滴Ｃが基板面１２Ａに着弾するようになっている。第１ノズル３６Ａと第２ノズル３６Ｂと第３ノズル３６Ｅとは、ノズル面２６Ａに対する角度が同じとされている。なお、第１ノズル３６Ａと第２ノズル３６Ｂと第３ノズル３６Ｅとは、ノズル面２６Ａに対して、異なる角度とされていてもよい。
【０１０８】
本実施形態では、第３ノズル３６Ｅに対しても、制御部（図示省略）から駆動波形（駆動信号）が印加されて駆動する駆動部（図示省略）が設けられている。この制御部（図示省略）が、印加する駆動波形を制御することにより、混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂと第３液滴Ｅの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更するようになっている。すなわち、前記制御部は、その混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂと第３液滴Ｅとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更する変更手段として機能する。
【０１０９】
この構成では、混合液滴Ｃの飛翔方向は、第１ノズル３６Ａ及び第２ノズル３６Ｂの配列方向だけでなく、それに直交する方向にも変更される。
【０１１０】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０  配線描画装置（液滴吐出装置）
１６  液滴吐出ヘッド
１８  ヘッド移動機構（移動手段）
３６Ａ  第１ノズル
３６Ｂ  第２ノズル
３６Ｃ  第３ノズル
３６Ｄ  第４ノズル
３６Ｅ  第３ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2010194399.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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