(57)【要約】【課題】磁気記録媒体にサーボパターンを磁気転写するサーボマスター及びこれを利用した磁気転写方法を提供する。【解決手段】第１面及び第２面を有するメンブレンと、第１面に形成されたものであり、磁気記録媒体に磁気転写しようとするサーボパターン形状にパターン化された磁性層を含む複数のスタンプ領域と、第２面に形成されたものであり、複数のスタンプ領域に圧力を加える加圧手段とを備えているサーボマスターである。【選択図】図３Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面及び第２面を有するメンブレンと、
前記第１面に形成されたものであり、磁気記録媒体に磁気転写しようとするサーボパターン形状にパターン化された磁性層を含む複数のスタンプ領域と、
前記第２面に形成されたものであり、前記複数のスタンプ領域に圧力を加える加圧手段とを備えているサーボマスター。
【請求項２】
前記加圧手段は、前記複数のスタンプ領域に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の圧電素子から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のサーボマスター。
【請求項３】
前記隣接する圧電素子間の領域それぞれには、前記圧電素子の駆動時に、前記スタンプ領域が受ける圧力を維持する維持部材が設けられたことを特徴とする請求項２に記載のサーボマスター。
【請求項４】
前記圧電素子の変位方向が、前記メンブレンに対して垂直方向となる構造であることを特徴とする請求項３に記載のサーボマスター。
【請求項５】
前記維持部材は、隣接する圧電素子の側面に接するように設けられたことを特徴とする請求項４に記載のサーボマスター。
【請求項６】
前記圧電素子の変位が、前記メンブレンに対して水平方向となる構造であることを特徴とする請求項３に記載のサーボマスター。
【請求項７】
前記メンブレンと前記磁性層との間に、バッファ層が形成されたことを特徴とする請求項２ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のサーボマスター。
【請求項８】
（ア）磁気記録媒体に磁気転写しようとするサーボパターンが形成された複数のスタンプ領域を含むサーボマスターを準備する段階と、
（イ）前記複数のスタンプ領域が磁気記録媒体の表面と対向するように、前記サーボマスターを磁気記録媒体上に配し、前記複数のスタンプ領域に選択的に圧力を加える段階とを含む磁気転写方法。
【請求項９】
前記サーボマスターは、前記複数のスタンプ領域がメンブレン上に形成された構造を有することを特徴とする請求項８に記載の磁気転写方法。
【請求項１０】
前記複数のスタンプ領域がそれぞれ前記磁気記録媒体の表面と接着された程度を判断し、前記複数のスタンプ領域に加えられる圧力を個別に調節する段階をさらに含むことを特徴とする請求項８または９に記載の磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録技術に係り、特に、磁気記録媒体にサーボ情報を収めたサーボパターンを磁気転写するためのサーボマスター、及びこれを利用した磁気転写方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体を使用するハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ：ｈａｒｄ  ｄｉｓｃ  ｄｒｉｖｅ）は、大容量であり、且つ高速アクセス（ａｃｃｅｓｓ）が可能な特性を有するために、コンピュータだけではなく、各種デジタル機器の情報記憶装置として注目されており、最近、産業化及び情報化が迅速になされつつ、取り扱われる情報の量が急増することによって、ＨＤＤの高密度化が要求されている。
【０００３】
一方、磁気記録媒体には、ＨＤＤ駆動のために、磁気ヘッドを磁気記録媒体上の所望の位置に正しく位置させるためのサーボ情報があらかじめ記録されていなければならない。サーボ情報は、磁気記録媒体の記録層を所定パターンに磁化（ｍａｇｎｅｔｉｚａｔｉｏｎ）させたサーボパターンに記録され、かようなサーボパターンは、前記パターンに対応する形状が形成されたマスター記録媒体を磁気転写する方法でなされる。
【０００４】
ＨＤＤが高密度化されるにつれて、サーボパターンの線幅も、それに対応して小さくならなければならないので、高密度記録に見合うサーボパターンを効果的に磁気転写できる構造のマスター記録媒体についての研究が必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前述の必要性によって導き出されたものであり、高記録密度の磁気記録媒体に適したサーボパターンを磁気記録媒体に磁気転写でき、磁気転写時に、磁気記録媒体との接触特性にすぐれたサーボマスター及び磁気転写方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態によるサーボマスターは、第１面及び第２面を有するメンブレンと、前記第１面に形成されたものであり、磁気記録媒体に磁気転写しようとするサーボパターン形状にパターン化された磁性層を含む複数のスタンプ領域と、前記第２面に形成されたものであり、前記複数のスタンプ領域に圧力を加える加圧手段とを備えている。
【０００７】
前記加圧手段は、前記複数のスタンプ領域に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の圧電素子から構成されうる。
【０００８】
前記隣接する圧電素子間の領域それぞれには、前記圧電素子の駆動時に、前記スタンプ領域が受ける圧力を維持する維持部材が設けられる。
【０００９】
前記圧電素子の変位方向は、前記メンブレンに対して垂直方向となる構造、または水平方向となる構造になりうる。
【００１０】
また、前記圧電素子は、単層構造または多層構造として形成されうる。
【００１１】
前記メンブレンと前記磁性層との間に、バッファ層がさらに形成されうる。
【００１２】
また、本発明の実施形態による磁気転写方法は、磁気記録媒体に磁気転写しようとするサーボパターンの形成された複数のスタンプ領域を含むサーボマスターを準備する段階と、前記複数のスタンプ領域が磁気記録媒体の表面と対向するように、前記サーボマスターを磁気記録媒体上に配し、前記複数のスタンプ領域に選択的に圧力を加える段階とを含む。
【００１３】
前記複数のスタンプ領域に圧力を加えるために、圧電方式または静電圧方式を使用できる。
【００１４】
前記複数のスタンプ領域がそれぞれ前記磁気記録媒体の表面と接着された程度を判断し、前記複数のスタンプ領域に加えられる圧力を、個別に調節する段階をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の実施形態によるサーボマスターは、磁気転写時に、磁気記録媒体にさらに緊密に接触させることのできる構造を有する。また、サーボマスターのスタンプ領域のみが磁気記録媒体と接触し、スタンプ領域を除外した領域部分を磁気記録媒体に接触させず、機械的損傷や表面汚染を減らすことができる。
【００１６】
本発明の実施形態による磁気転写方法によれば、サーボマスターで、スタンプ領域だけを磁気記録媒体の表面に接するようにし、効果的に高品質のサーボパターンを磁気記録媒体に転写できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】磁気記録媒体の一般的な領域構造を示す図面である。
【図２】磁気記録媒体にサーボパターンを磁気転写する方法を示す図面である。
【図３Ａ】本発明の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加されていない状態を示す図面である。
【図３Ｂ】本発明の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加された状態を示す図面である。
【図４Ａ】本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加されていない状態を示す図面である。
【図４Ｂ】本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加された状態を示す図面である。
【図５Ａ】本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加されていない状態を示す図面である。
【図５Ｂ】本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加された状態を示す図面である。
【図６Ａ】本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加されていない状態を示す図面である。
【図６Ｂ】本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、スタンプ領域に圧力が印加された状態を示す図面である。
【図７Ａ】本発明の実施形態による磁気転写方法について説明する図面である。
【図７Ｂ】本発明の実施形態による磁気転写方法について説明する図面である。
【図７Ｃ】本発明の実施形態による磁気転写方法について説明する図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付された図面を参照しつつ、本発明の望ましい実施形態について詳細に説明する。以下の図面で、同じ参照符号は同じ構成要素を指し、図面上で各構成要素の大きさは、説明の明瞭性と便宜性とのために、誇張されていることがある。
【００１９】
本発明によるマスター記録媒体及びその製造方法について説明するに先立ち、まず、図１及び図２を参照し、ＨＤＤ（ｈａｒｄ  ｄｉｓｃ  ｄｒｉｖｅ）に使われる磁気記録媒体にサーボパターンを形成する方法について説明する。
【００２０】
図１は、磁気記録媒体の一般的な領域構造を示す図面である。磁気記録媒体は、情報が複数の円形トラックに沿って記録されるように、ディスク形状を有し、その領域は、データが記録されるデータ領域Ｄと、トラックについてのサーボ情報が記録されたサーボ領域Ｓとに分けられている。サーボ領域Ｓには、その領域が特定パターンに磁化されてなるサーボパターンが形成されている。サーボパターンは、例えば、サーボ同期を提供するプリアンブル、サーボセクタの開始を知らせ、かつ続くグレイコードを読み取るための同期を提供するサーボアドレス・マーク（ＳＡＭ：ｓｅｒｖｏ  ａｄｄｒｅｓｓ  ｍａｒｋ）、トラックＩＤ（ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）を提供するグレイコード、トラック追従のために要求される位置誤差信号（ｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｅｒｒｏｒ  ｓｉｇｎａｌ）を計算するための情報を提供するバーストを含むことができる。図示されたパターンの具体的な形状は例示的なものであり、該形状はトラックによって互いに異なり、ＨＤＤが、磁気記録媒体に対する記録再生時に、サーボ領域Ｓのサーボパターンからサーボ情報を読み取ることによって、トラック探索（ｓｅｅｋｉｎｇ）及びトラック追従（ｆｏｌｌｏｗｉｎｇ）を行うことになる。
【００２１】
図２は、磁気記録媒体に、これと同じサーボパターンを形成する方法を示している。磁気記録媒体Ｍにサーボパターンを形成するために、形成しようとするサーボパターン形状を磁気転写（ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｔｒａｎｓｆｅｒ）できるサーボマスター３０を使用する。例えば、サーボマスター３０は、サーボパターン形状が陽刻された（ｅｍｂｏｓｓｅｄ）基板１０、及び前記パターンが形成された表面に沿って、ＣｏＦｅのような物質から形成された磁性層２０を含む。サーボパターンを形成しようとする磁気記録媒体Ｍ上に、サーボマスター３０を載せて外部磁場Ｂを印加する。外部磁場Ｂによって、サーボマスター３０の磁性層２０及び磁気記録媒体Ｍの上層部の記録層が磁化され、このとき、磁化されたパターンは、マスター記録媒体Ｍの陽刻された形状と同じになる。
【００２２】
一方、前述の方法によって、サーボパターンを磁気転写するにあたり、サーボマスター３０の磁性層２０が磁気記録媒体Ｍの表面に緊密に接触されねばならない。ところで、一般的に、サーボマスター３０の磁性層２０や磁気記録媒体Ｍは、いずれも類似した硬度（ｈａｒｄｎｅｓｓ）特性を有し、これは、２つの物質が緊密に接触し難くする。２つの物質間に緊密な接触を誘導するために、過度な圧力を印加する場合、サーボマスター３０や磁気記録媒体Ｍをいずれも損傷させることがある。
【００２３】
本発明は、前記発生可能な問題点に着眼したものであり、サーボマスター３０と磁気記録媒体Ｍとの間の接触程度を微細に調節できるサーボマスター構造及び磁気転写方法を提示しようとするものである。
【００２４】
図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の実施形態によるサーボマスター１００の概略的な構造を示す断面図であり、それぞれ、スタンプ領域１２０に圧力が印加されていない状態、及び印加された状態を示す図面である。
【００２５】
図面を参照すれば、サーボマスター１００は、メンブレン１１０、メンブレン１１０の一面に形成された複数のスタンプ領域１２０、スタンプ領域１２０に圧力を加える加圧手段１６０を備える。
【００２６】
メンブレン１１０は、印加された圧力によって容易に変形され、これをスタンプ領域１２０に伝達するためのものであり、Ｎｉのような金属材質、またはポリマーによって形成されうる。
【００２７】
スタンプ領域１２０は、磁気記録媒体に磁気転写しようとするサーボパターン形状にパターン化された磁性層１２２を含む。例えば、スタンプ領域１２０は、サーボパターン形状が陰刻された形態のポリマー層１２４が設けられ、前記陰刻された内部を磁性層１２２が充填する形態になっている。かような形状は、例えば、メンブレン１１０上にポリマー層１２４を平坦にコーティングし、サーボパターン形状が陽刻されたナノスタンプを利用したナノ・インプリント工程によってポリマー層１２４を陰刻した後、陰刻された部分に、磁性層１２２をメッキまたは蒸着する方法で形成できる。ナノ・インプリント工程を使用することは、磁性層１２２パターンの線幅をさらに微細に具現することを可能にするので、記録密度の高い磁気記録媒体のサーボパターンを転写するのに適している。
【００２８】
加圧手段１６０は、メンブレン１１０の面のうちスタンプ領域１２０が形成された面の裏面に形成され、スタンプ領域１２０に圧力を加えるためのものであり、例えば、複数のスタンプ領域１２０に対応する位置に、それぞれ設けられた複数の圧電素子１６１から構成されうる。圧電素子１６１は、電場が加えられれば変形を起こす圧電物質を利用したものであり、図面に詳細に図示されているわけではないが、圧電物質と圧電物質とに電場を印加するための電極部を具備することになる。複数の圧電素子１６１は、それぞれに同じ電圧が印加される構造であるか、または個別に印加電圧の大きさが調節されうる構造になることもある。複数の圧電素子１６１を個別に駆動する場合、スタンプ領域１２０ごとに印加される圧力程度を調節できるという利点がある。また、圧電素子１６１は、単層構造または多層構造として形成されうる。多層構造を使用する場合、低電圧で圧電素子１６１を駆動できるという利点がある。本実施形態で圧電素子１６１は、圧電物質が変形される変位方向が、矢印で図示したように、メンブレン１１０に対して垂直方向になるように設けられており、圧電素子１６１のプッシュモード（ｐｕｓｈ  ｍｏｄｅ）駆動によって、メンブレン１１０を下方に押し出し、スタンプ領域１２０に圧力を印加することになる。
【００２９】
隣接する圧電素子１６１間の領域それぞれには、圧電素子１６１の駆動時に、前記スタンプ領域１２０の受ける圧力を維持する維持部材１４０が設けられる。また、圧電素子１６１のプッシュモード駆動を維持するために、圧電素子１６１の側面と維持部材１４０とに接する維持部材１４１がさらに設けられる。ここで、維持部材１４０，１４１の形態や位置は例示的なものであり、圧電素子１６１のプッシュモード駆動によって、メンブレン１１０が下方に反るように維持できるいかなる形状でも可能である。
【００３０】
基板層１８０は、サーボマスター１００の構成において必須なものではなく、ただ、薄いメンブレン１１０上にスタンプ領域１２０を形成する過程で、メンブレン１１０を支えるように設けられたものであり、圧電素子１６１の駆動時に、メンブレン１１０が良好に反るように、スタンプ領域１２０の両端側に対応する基板層１８０部分はエッチングされている。
【００３１】
図面は、サーボマスターの一部分だけを例示して図示したものであり、１つの圧電素子１６１がカバーするスタンプ領域１２０は、図１に図示した複数のサーボセクタＳのうち、一部に該当するサーボパターンを磁気転写できる領域である。すなわち、１つのスタンプ領域１２０に形成されたサーボパターンは、一つまたは複数のトラックのサーボセクタＳにサーボパターンを転写する形態にもなり、１つのトラックのサーボセクタに該当するサーボパターンのうちでも、一部のパターンだけを転写する形態になることも可能である。
【００３２】
図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の他の実施形態によるサーボマスター２００の概略的な構造を示す断面図であり、それぞれ、スタンプ領域１２０に圧力が印加されていない状態、及び印加された状態を示す図面である。
【００３３】
サーボマスター２００は、メンブレン１１０、メンブレン１１０の一面に形成された複数のスタンプ領域１２０、スタンプ領域１２０に圧力を加える加圧手段１６０を備える。本実施形態で加圧手段１６０は、矢印で図示したように、メンブレン１１０に対して水平方向に変位する構造の圧電素子２６１で設けられている。
【００３４】
隣接する圧電素子２６１間の領域それぞれには、圧電素子２６１の駆動時に、前記スタンプ領域１２０が受ける圧力を維持する維持部材２４０が設けられる。
【００３５】
圧電素子２６１は、ベンディングモード（ｂｅｎｄｉｎｇ  ｍｏｄｅ）駆動によってメンブレン１１０を下方に押し出し、スタンプ領域１２０に圧力を印加することになる。かような構造のサーボマスター２００は、図３Ａ及び図３Ｂで説明したサーボマスター１００に比べ、全体厚を薄くできるという長所がある。
【００３６】
図５Ａ及び図５Ｂは、本発明の他の実施形態によるサーボマスターの概略的な構造を示す断面図であり、それぞれ、スタンプ領域に圧力が印加されていない状態及び印加された状態を示す図面である。
【００３７】
本実施形態のサーボマスター３００は、メンブレン１１０とスタンプ領域１２０との間に、バッファ層１３０がさらに形成された点で、図３Ａ及び図３Ｂで説明したサーボマスター１００と違いがあるので、これについてのみ説明する。
【００３８】
バッファ層１３０は、スタンプ領域１２０が磁気転写時に、磁気記録媒体とさらに緊密に接触できるように設けられたものである。また、接触誘導や磁気転写誘導に有利な特徴を有する機能性物質を導入でき、磁気転写性能を改善できる。
【００３９】
バッファ層１３０は、磁性層１２２に比べ、柔軟な（ｓｏｆｔ）特性を有する物質から形成されうる。その場合、機械的衝撃防止と共に、磁気転写時に、磁気記録媒体との接着力をさらに向上させることができる。バッファ層１３０の材質としては、例えば、レジン（ｒｅｓｉｎ）、ポリマー、ゴム（ｒｕｂｂｅｒ）の材質が採用されうる。また、バッファ層１３０は、磁性物質で形成され、その場合、磁性層１２２パターンが磁気転写することを促進できる。バッファ層１３０を形成する磁性物質としては、例えば、ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅのような物質で形成されうる。
【００４０】
図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の他の実施形態によるサーボマスター４００の概略的な構造を示す断面図であり、それぞれ、スタンプ領域１２０に圧力が印加されていない状態、及び印加された状態を示す図面である。
【００４１】
本実施形態のサーボマスター４００は、メンブレン１１０とスタンプ領域１２０との間に、バッファ層１３０がさらに形成された点で、図４Ａ及び図４Ｂで説明したサーボマスター２００と違いがあり、バッファ層１３０は、図５Ａ及び図５Ｂで説明したところと実質的に同一である。すなわち、本実施形態の構造は、ベンディングモード駆動によってメンブレン１１０を下方に押し出し、スタンプ領域１２０に圧力を印加する構造であり、サーボマスター４００の全体厚を薄くすることができ、また、バッファ層１３０を導入して磁気記録媒体とのさらに緊密な接触を誘導しており、バッファ層１３０の材質を適切に選択し、さらに効果的な磁気転写を行うことに適している。
【００４２】
以上で説明した本発明の実施形態によるサーボマスター１００，２００，３００，４００は、磁気転写時に、サーボマスター１００，２００，３００，４００と磁気記録媒体とをさらに緊密に接触させる構造を有する。また、サーボマスター１００，２００，３００，４００のスタンプ領域１２０だけが磁気記録媒体と接触し、スタンプ領域１２０を除外した領域部分を磁気記録媒体に接触させず、機械的損傷や表面汚染を減らすことができる。
【００４３】
図７Ａないし図７Ｃは、本発明の実施形態による磁気転写方法について説明する図面である。
【００４４】
図７Ａを参照すれば、磁気記録媒体Ｍに磁気転写するサーボパターンが形成されたスタンプ領域１２０を含むサーボマスター１００を用意し、これを磁気記録媒体Ｍ上に配する。図面では、図３Ａ及び図３Ｂで説明した実施形態のサーボマスター１００を使用するように例示しているが、他の実施形態のサーボマスター２００，３００，４００を使用したり、または本方法を遂行できるその他の構造のサーボマスターを使用することも可能である。
【００４５】
磁気記録媒体Ｍは、一般的に、下地層、記録層を含む多層構造として形成され、上層部の記録層は、垂直磁気異方性が良好であるＣｏ合金またはＦｅ合金を含んでなされうる。磁気転写のために、サーボマスター１００のスタンプ領域１２０は、磁気記録媒体Ｍの記録層を磁化させることができるように、磁気記録媒体Ｍの表面と接触されねばならない。
【００４６】
図７Ｂは、加圧手段１６０によってスタンプ領域１２０に圧力を印加するところを示している。スタンプ領域１２０に圧力を加えるために、静電圧方式または圧電方式を使用できる。図面では、加圧手段１６０としては、圧電素子１６１を採用したところを示しており、静電圧方式を利用する場合には、例えば、メンブレン１１０上で、スタンプ領域１２０に対応する領域に電極部を形成し、磁気記録媒体Ｍとの間に静電引力を発生させる構成を採択できる。
【００４７】
圧電素子１６１に電圧が印加されれば、圧電素子１６１が変形しつつ、メンブレン１１０を下方に押し込み、スタンプ領域１２０が磁気記録媒体Ｍの表面に接触される。このとき、圧電素子１６１は、メンブレン１１０上で、スタンプ領域１２０と対応する領域のみに形成されており、サーボマスター１００において、スタンプ領域１２０を除外した領域は、磁気記録媒体Ｍの表面と接触しない。図面では、複数の圧電素子１６１それぞれが異なるように変形し、スタンプ領域１２０と磁気記録媒体Ｍとの接触程度が異なっていることを示している。すなわち、本発明の磁気転写方法は、各スタンプ領域１２０と磁気記録媒体Ｍ表面との接触程度を判断し、これによって、複数のスタンプ領域１２０に加えられる圧力を個別に調節する段階を含むことができる。スタンプ領域１２０と磁気記録媒体Ｍとの接触程度を調節するために、圧電素子１６１に印加する電圧を調節し、圧電素子１６１の変形程度を調節する。複数のスタンプ領域１２０は、それぞれの表面状態によって、微細な高さの差を有することができ、この場合、同じ電圧を印加しても、各スタンプ領域１２０が磁気記録媒体Ｍの表面に接触する程度は、異なりうる。
【００４８】
図７Ｃのように、スタンプ領域１２０全体が磁気記録媒体Ｍの表面に接触された後、外部磁場Ｂを印加する。外部磁場の印加のために、例えば、電磁石装置を使用でき、サーボマスター１００が磁気記録媒体Ｍに接触された構造の上下部に、それぞれＮ極Ｓ極が形成されるように電磁石装置を配し、図示した方向の外部磁場Ｂを印加できる。これによって、スタンプ領域１２０に形成された磁性層１２２のパターンによって、磁気記録媒体Ｍにサーボパターンが転写される。
【００４９】
前述の段階、特に、サーボマスターを磁気記録媒体上に配し、スタンプ領域１２０に圧力を加える段階は、一般的な磁気転写方法と同様に、真空チャンバ内で行える。その場合、スタンプ領域１２０と磁気記録媒体Ｍの表面とが真空吸入によって接触された程度を個別に判断し、接触状態が良好ではないスタンプ領域１２０に対応する圧電素子１６１のみを駆動し、接触状態を良好にすることができる。
【００５０】
前述の磁気転写方法によれば、サーボマスター１００で、スタンプ領域１２０だけを磁気記録媒体Ｍの表面に接するようにし、効果的に高品質のサーボパターンを磁気記録媒体Ｍに転写できる。
【００５１】
かような本願発明であるサーボマスター及び磁気転写方法は、理解を助けるために図面に図示された実施形態を参考に説明されたが、それらは例示的なものに過ぎず、当分野で当業者ならば、それらから多様な変形及び均等な他実施形態が可能であるという点を理解することができるであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲によって決まるものである。
【符号の説明】
【００５２】
１０  陽刻された基板
２０，１２２  磁性層
３０，１００，２００，３００，４００  サーボマスター
１１０  メンブレン
１２０  スタンプ領域
１２４  ポリマー層
１３０  バッファ層
１４０，１４１，２４０  維持部材
１６０  加圧手段
１６１，２６１  圧電素子
１８０  基板層
Ｂ  外部磁場
Ｄ  データ領域
Ｍ  磁気記録媒体
Ｓ  サーボ領域
【図１】
2010015669.tif 000003
【図２】
2010015669.tif 000004
【図３Ａ】
2010015669.tif 000005
【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
2010015669.tif 000009
【図５Ｂ】
2010015669.tif 000010
【図６Ａ】
2010015669.tif 000011
【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
2010015669.tif 000013
【図７Ｂ】
2010015669.tif 000014
【図７Ｃ】
2010015669.tif 000015