(57)【要約】【課題】適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計を提供する。【解決手段】主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂが設けられた主流路保持体１０と、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられた、主流路保持体１０に着脱可能な分流路保持体３０と、分流路２５を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ８と、流れセンサ８によって検出される流体の流量と主流路１１を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流路２５に配置される分流比設定部材と、流れセンサ８によって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する算出回路３０１と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主流路、及び前記主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、
前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた、前記主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記流れセンサによって検出される流体の流量と前記主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、前記分流孔又は前記分流路に配置される分流比設定部材と、
前記流れセンサによって検出された流量、及び前記分流比に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、
を備えることを特徴とする分流式流量計。
【請求項２】
前記分流路の少なくとも一部が、前記分流路保持体の前記主流路保持体に対向する面に凹部として設けられており、前記分流路保持体が前記主流路保持体から分離された場合に、前記分流路の内部が露出することを特徴とする請求項１に記載の分流式流量計。
【請求項３】
主流路、前記主流路に通じる一対の分流孔、及び前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、
前記分流路を覆う、前記流路保持体に着脱可能なカバーと、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記流れセンサによって検出される流体の流量と前記主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、前記分流孔又は前記分流路に配置される分流比設定部材と、
前記流れセンサによって検出された流量、及び前記分流比に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、
を備えることを特徴とする分流式流量計。
【請求項４】
前記分流路の少なくとも一部が、前記流路保持体の外面に凹部として設けられており、前記カバーが分離された場合に、前記分流路の内部が露出することを特徴とする請求項３に記載の分流式流量計。
【請求項５】
前記分流比設定部材で設定される前記分流路の流路抵抗によって前記分流比が設定されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項６】
前記分流路における前記分流比設定部材の位置によって前記分流比が設定されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項７】
前記分流比設定部材で設定される前記分流路の断面積によって前記分流比が設定されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項８】
前記分流比設定部材で設定される前記分流路の断面形状によって前記分流比が設定されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項９】
前記分流比設定部材が、前記流れセンサに対して、前記流体の上流側に配置されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項１０】
前記分流比に関する情報を保存するための分流比記憶装置を更に備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項１１】
前記分流比に関する情報が、分流比の値であることを特徴とする請求項１０に記載の分流式流量計。
【請求項１２】
前記分流比設定部材を検出する分流比設定部材検出部を更に備えることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項１３】
前記分流比設定部材検出部で検出された前記分流比設定部材で決定される分流比の値を照合する照合部を更に備えることを特徴とする請求項１２に記載の分流式流量計。
【請求項１４】
主流路、及び前記主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、
前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた、前記主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記流れセンサによって検出される流体の流量と前記主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、前記分流孔又は前記分流路に配置される分流比設定部材と、
前記流れセンサによって検出された流量、及び前記分流比に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、
を備えることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１５】
前記分流路の少なくとも一部が、前記分流路保持体の前記主流路保持体に対向する面に凹部として設けられており、前記分流路保持体が前記主流路保持体から分離された場合に、前記分流路の内部が露出することを特徴とする請求項１４に記載の流量制御装置。
【請求項１６】
主流路、前記主流路に通じる一対の分流孔、及び前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、
前記分流路を覆う、前記流路保持体に着脱可能なカバーと、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記流れセンサによって検出される流体の流量と前記主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、前記分流孔又は前記分流路に配置される分流比設定部材と、
前記流れセンサによって検出された流量、及び前記分流比に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、
を備えることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１７】
前記分流路の少なくとも一部が、前記流路保持体の外面に凹部として設けられており、前記カバーが分離された場合に、前記分流路の内部が露出することを特徴とする請求項１６に記載の流量制御装置。
【請求項１８】
主流路、及び前記主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、
前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた、前記主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記流れセンサによって検出される流体の流速を調整するために、前記分流路に配置される調整部材と、
を備えることを特徴とする分流式流量計。
【請求項１９】
前記分流路の少なくとも一部が、前記分流路保持体の前記主流路保持体に対向する面に凹部として設けられており、前記分流路保持体が前記主流路保持体から分離された場合に、前記分流路の内部が露出することを特徴とする請求項１８に記載の分流式流量計。
【請求項２０】
主流路、前記主流路に通じる一対の分流孔、及び前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、
前記分流路を覆う、前記流路保持体に着脱可能なカバーと、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記流れセンサによって検出される流体の流速を調整するために、前記分流路に配置される調整部材と、
を備えることを特徴とする分流式流量計。
【請求項２１】
前記分流路の少なくとも一部が、前記流路保持体の外面に凹部として設けられており、前記カバーが分離された場合に、前記分流路の内部が露出することを特徴とする請求項２０に記載の分流式流量計。
【請求項２２】
前記分流路における前記調整部材の位置によって、前記流速が調整されることを特徴とする請求項１８乃至２１のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【請求項２３】
前記分流路を流れる流体の流量と前記主流路を流れる流体の流量との分流比が一定である、請求項１８乃至２２のいずれか１項に記載の分流式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は計測技術に関し、特に分流式流量計及び流量制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業炉、ボイラ、及び空調熱源機器等においては、適切な流量の流体が供給されることが求められている。そのため、流量を正確に計測するための流量計が種々開発されている（例えば、特許文献１、２、３参照。）。ここで、流量計が測定可能な流体の流速又は流量の範囲は限られている。したがって、配管等に流量計を設置する場合、配管に流れる流体の予測される流速又は流量に対応する測定範囲を有する流量計をあらかじめ選定する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１７３８９６号公報
【特許文献２】特開２００５−３００３６５号公報
【特許文献３】特開２００７−３３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、配管に流量計を設置した後に、配管を流れる流体の流速又は流量が、予測よりも少なくなったり、あるいは多くなったりし、流量計の測定範囲を超えてしまう場合がある。この場合、流量計を交換する工事をする必要があり、コストがかかるという問題がある。予測される流速又は流量に対して十分に測定範囲の広い流量計を設置しておけば、この問題は生じないが、その反面、フルスケールに対して低い流速、あるいは小流量の領域で測定が行われる機会が多くなるので、測定精度が悪化しがちになる。そこで本発明は、流速又は流量の適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計及び流量制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の特徴は、（イ）主流路、及び主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、（ロ）一対の分流孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた、主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）流れセンサによって検出される流体の流量と主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流孔又は分流路に配置される分流比設定部材と、（ホ）流れセンサによって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、を備える分流式流量計であることを要旨とする。
【０００６】
本発明に係る分流式流量計によれば、分流路保持体が主流路保持体に着脱可能であり、分流路に分流比設定部材を配置するによって、分流比を容易に設定可能である。そのため、主流路保持体を配管等に固定したまま、分流路を流れる流体の流量を、流れセンサの測定範囲内にすることが可能となる。
【０００７】
本発明の他の特徴は、（イ）主流路、主流路に通じる一対の分流孔、及び一対の分流孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、（ロ）分流路を覆う、主流路保持体に着脱可能なカバーと、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）流れセンサによって検出される流体の流量と主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流孔又は分流路に配置される分流比設定部材と、（ホ）流れセンサによって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、を備える分流式流量計であることを要旨とする。
【０００８】
本発明に係る分流式流量計によれば、分流路を覆うカバーが流路保持体に着脱可能であり、分流路に分流比設定部材を配置するによって、分流比を容易に設定可能である。そのため、流路保持体を配管等に固定したまま、分流路を流れる流体の流量を、流れセンサの測定範囲内にすることが可能となる。
【０００９】
さらに、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、及び主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、（ロ）一対の分流孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた、主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）流れセンサによって検出される流体の流量と主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流孔又は分流路に配置される分流比設定部材と、（ホ）流れセンサによって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、（ヘ）主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、（ト）算出された流量に基づき、制御弁を駆動し、主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、を備える流量制御装置であることを要旨とする。
【００１０】
本発明に係る流量制御装置によれば、分流路保持体が主流路保持体に着脱可能であり、分流路に分流比設定部材を配置するによって、分流比を容易に設定可能である。そのため、主流路保持体を配管等に固定したまま、分流路を流れる流体の流量を、流れセンサの測定範囲内にすることが可能となる。したがって、主流路を流れる流体の流量を正確に計算することが可能となり、また、主流路を流れる流体の流量を正確に調節することも可能となる。
【００１１】
また、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、主流路に通じる一対の分流孔、及び一対の分流孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、（ロ）分流路を覆う、流路保持体に着脱可能なカバーと、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）流れセンサによって検出される流体の流量と主流路を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流孔又は分流路に配置される分流比設定部材と、（ホ）流れセンサによって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、（ヘ）主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、（ト）算出された流量に基づき、制御弁を駆動し、主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、を備える流量制御装置であることを要旨とする。
【００１２】
本発明に係る流量制御装置によれば、分流路を覆うカバーが流路保持体に着脱可能であり、分流路に分流比設定部材を配置するによって、分流比を容易に設定可能である。そのため、流路保持体を配管等に固定したまま、分流路を流れる流体の流量を、流れセンサの測定範囲内にすることが可能となる。したがって、主流路を流れる流体の流量を正確に計算することが可能となり、また、主流路を流れる流体の流量を正確に調節することも可能となる。
【００１３】
また、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、及び主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、（ロ）一対の分流孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた、主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）流れセンサによって検出される流体の流速を調整するために、分流路に配置される調整部材と、を備える分流式流量計であることを要旨とする。
【００１４】
本発明に係る分流式流量計によれば、分流路保持体が主流路保持体に着脱可能であり、分流路に調整部材を配置するによって、流れセンサによって検出される流体の流速を容易に調整可能である。そのため、主流路保持体を配管等に固定したまま、流れセンサによって検出される流体の流速を、流れセンサの測定範囲内にすることが可能となる。
【００１５】
また、本発明の他の特徴は、（イ）主流路、主流路に通じる一対の分流孔、及び一対の分流孔を介して主流路と連通する分流路が設けられた流路保持体と、（ロ）分流路を覆う、流路保持体に着脱可能なカバーと、（ハ）分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、（ニ）流れセンサによって検出される流体の流速を調整するために、分流路に配置される調整部材と、を備える分流式流量計であることを要旨とする。
【００１６】
本発明に係る分流式流量計によれば、分流路を覆うカバーが流路保持体に着脱可能であり、分流路に調整部材を配置するによって、流れセンサによって検出される流体の流速を容易に調整可能である。そのため、流路保持体を配管等に固定したまま、流れセンサによって検出される流体の流速を、流れセンサの測定範囲内にすることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計及び流量制御装置を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る主流路保持体の上面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る主流路保持体の図２のＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る主流路保持体の図２のＩＶ−ＩＶ方向から見た断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る分流路保持体の下面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る流れセンサの斜視図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る流れセンサの図６のＶＩＩ−ＶＩＩ方向から見た断面図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材の第１の斜視図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材の第２の斜視図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第１の斜視図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第２の斜視図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第３の斜視図である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第４の斜視図である。
【図１４】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材の下面図である。
【図１５】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材の第１の上面図である。
【図１６】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第１の下面図である。
【図１７】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材の第２の上面図である。
【図１８】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第２の下面図である。
【図１９】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第３の下面図である。
【図２０】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第４の下面図である。
【図２１】本発明の第１の実施の形態に係る分流路整流部材の第３の上面図である。
【図２２】本発明の第１の実施の形態の変形例に係る分流路整流部材と分流比設定部材の斜視図である。
【図２３】本発明の第２の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図２４】本発明の第２の実施の形態に係る主流路保持体とシール部材の上面図である。
【図２５】本発明の第２の実施の形態に係る主流路保持体の図２４のＸＸＶ−ＸＸＶ方向から見た断面図である。
【図２６】本発明の第２の実施の形態に係る主流路保持体の図２４のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ方向から見た断面図である。
【図２７】本発明の第２の実施の形態に係るシール部材と分流比設定部材の第１の上面図である。
【図２８】本発明の第２の実施の形態に係るシール部材と分流比設定部材の第２の上面図である。
【図２９】本発明の第２の実施の形態に係るシール部材と分流比設定部材の第３の上面図である。
【図３０】本発明の第３の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図３１】本発明の第４の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図３２】本発明の第５の実施の形態に係る流量制御装置の断面図である。
【図３３】本発明の第６の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図３４】本発明の第６の実施の形態に係る流路保持体の断面図である。
【図３５】本発明の第６の実施の形態に係る流路保持体と分流路整流部材の断面図である。
【図３６】本発明の第７の実施の形態に係る流量制御装置の断面図である。
【図３７】本発明の第８の実施の形態に係る分流式流量計の斜視図である。
【図３８】本発明の第８の実施の形態に係る分流式流量計の第１の断面図である。
【図３９】本発明の第８の実施の形態に係る分流式流量計の第２の断面図である。
【図４０】本発明の第８の実施の形態に係る分流路保持体の拡大下面図である。
【図４１】本発明の第８の実施の形態に係る分流比設定部材の拡大下面図である。
【図４２】本発明の第８の実施の形態に係る分流路保持体及び分流比設定部材の第１の拡大下面図である。
【図４３】本発明の第８の実施の形態に係る分流路保持体及び分流比設定部材の第２の拡大下面図である。
【図４４】本発明の第８の実施の形態に係る分流路保持体及び分流比設定部材の第３の拡大下面図である。
【図４５】本発明の第８の実施の形態に係る分流式流量計に含まれるＣＰＵの模式図である。
【図４６】本発明の第９の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図４７】本発明の第９の実施の形態に係る分流比設定部材の斜視図である。
【図４８】本発明の第１０の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図４９】本発明の第１０の実施の形態に係る主流路保持体の上面図である。
【図５０】本発明の第１０の実施の形態に係る主流路保持体の図４９のＬ−Ｌ方向から見た断面図である。
【図５１】本発明の第１０の実施の形態に係る主流路保持体の図４９のＬＩ−ＬＩ方向から見た断面図である。
【図５２】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第１の斜視図である。
【図５３】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第２の斜視図である。
【図５４】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第３の斜視図である。
【図５５】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第４の斜視図である。
【図５６】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第１の下面図である。
【図５７】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第２の下面図である。
【図５８】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第３の下面図である。
【図５９】本発明の第１０の実施の形態に係る分流路整流部材と分流比設定部材の第４の下面図である。
【図６０】本発明の第１０の実施の形態の変形例に係る分流路整流部材と分流比設定部材の斜視図である。
【図６１】本発明の第１１の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図６２】本発明の第１１の実施の形態に係る主流路保持体とシール部材の上面図である。
【図６３】本発明の第１１の実施の形態に係る主流路保持体の図６２のＬＸＩＩＩ−ＬＸＩＩＩ方向から見た断面図である。
【図６４】本発明の第１１の実施の形態に係る主流路保持体の図６２のＬＸＩＶ−ＬＸＩＶ方向から見た断面図である。
【図６５】本発明の第１１の実施の形態に係るシール部材と分流比設定部材の第１の上面図である。
【図６６】本発明の第１１の実施の形態に係るシール部材と分流比設定部材の第２の上面図である。
【図６７】本発明の第１１の実施の形態に係るシール部材と分流比設定部材の第３の上面図である。
【図６８】本発明の第１２の実施の形態に係る分流式流量計の断面図である。
【図６９】本発明の第１２の実施の形態に係る流路保持体の断面図である。
【図７０】本発明の第１２の実施の形態に係る流路保持体と分流路整流部材の断面図である。
【図７１】本発明の第１３の実施の形態に係る分流式流量計の斜視図である。
【図７２】本発明の第１３の実施の形態に係る分流式流量計の第１の断面図である。
【図７３】本発明の第１３の実施の形態に係る分流式流量計の第２の断面図である。
【図７４】本発明の第１３の実施の形態に係る分流比設定部材の拡大下面図である。
【図７５】本発明の第１３の実施の形態に係る分流路保持体及び分流比設定部材の第１の拡大下面図である。
【図７６】本発明の第１３の実施の形態に係る分流路保持体及び分流比設定部材の第２の拡大下面図である。
【図７７】本発明の第１３の実施の形態に係る分流路保持体及び分流比設定部材の第３の拡大下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００２０】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る分流式流量計は、断面図である図１に示すように、主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂが設けられた主流路保持体１０と、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられた、主流路保持体１０に着脱可能な分流路保持体３０と、分流路２５を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ８と、流れセンサ８によって検出される流体の流量と主流路１１を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流路２５に配置される分流比設定部材４９Ａとを備える。
【００２１】
さらに分流式流量計は、流れセンサ８に電気的に接続され、分流路保持体３０に配置された中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００を備える。ＣＰＵ３００は、流れセンサ８によって検出された流量、及び分流比設定部材４９Ａによって設定された分流比に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する算出回路３０１を備える。なお、図１は断面図であるが、ＣＰＵ３００及び分流比記憶装置４００は模式的に描かれており、実際には、マイクロプロセッサ、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、Ｉ／Ｏ回路等により構成される。
【００２２】
上面図である図２、ＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た断面図である図３、及びＩＶ−ＩＶ方向から見た断面図である図４に示すように、六面体の主流路保持体１０の対向する二面に、注入口１３及び排出口１４が設けられている。注入口１３及び排出口１４のそれぞれには、ガスや液体等の流体を通す配管が挿入される。主流路保持体１０の内部に設けられた主流路１１は、注入口１３から排出口１４に貫通している。主流路１１の一部に、主流路１１の内径を狭める差圧発生構造１２が設けられている。差圧発生構造１２によって、主流路１１の注入口１３側と排出口１４側の間で、流体の流速に応じた差圧が発生する。差圧発生構造１２は、例えばオリフィス又はベンチュリーである。以下、主流路１１の差圧発生構造１２より注入口１３側を上流と呼び、主流路１１の差圧発生構造１２より排出口１４側を下流と呼ぶ。
【００２３】
主流路保持体１０の主流路１１と平行な面には、上方から見て楕円状の凹部１６が設けられている。凹部１６から主流路１１の上流に分流孔４ａが貫通し、凹部１６から主流路１１の下流に分流孔４ｂが貫通している。主流路保持体１０の材料には、金属又は樹脂等が使用可能である。
【００２４】
図１に示すように、主流路保持体１０の凹部１６を覆うように、分流路保持体３０は着脱自在に配置される。分流路保持体３０の形状は、例えば板状、あるいはブロック状である。分流路保持体３０の主流路保持体１０に対向する面に、下面図である図５に示すように分流路２５が設けられている。分流路２５は、下方から見て、図２に示す主流路保持体１０の楕円状の凹部１６と同様の輪郭を有する凹部である。なお、図１に示すように、主流路保持体１０上に分流路保持体３０が配置されたときに、分流路保持体３０で覆われた凹部１６が、分流孔４ａ，４ｂを接続する分流路２５の一部をなしてもよい。
【００２５】
図５に示すように、分流路２５中に、流れセンサ８が設けられている。流れセンサ８は、斜視図である図６、及びＶＩＩ−ＶＩＩ方向から見た断面図である図７に示すように、キャビティ６６が設けられた基板６０、基板６０上にキャビティ６６を覆うように配置された絶縁膜６５、及び絶縁膜６５に設けられたヒータ６１を備える。また、流れセンサ８は、図１に示すように分流路保持体３０が主流路保持体１０上に配置された場合に、ヒータ６１より分流路２５の上流側に位置する図６及び図７に示す上流側測温抵抗素子６２、ヒータ６１より下流側に位置する下流側測温抵抗素子６３、及び上流側測温抵抗素子６２より上流側に設けられた周囲温度センサ６４を備える。
【００２６】
絶縁膜６５のキャビティ６６を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。周囲温度センサ６４は、図１に示す分流路２５に流入してきた流体の温度を測定する。図６及び図７に示すヒータ６１は、キャビティ６６を覆う絶縁膜６５の中心に配置されており、分流路２５に流れる流体を、周囲温度センサ６４が計測した温度よりも一定温度、例えば１０℃高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子６２はヒータ６１より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子６３はヒータ６１より下流側の温度を検出するために用いられる。
【００２７】
ここで、図１に示す分流路２５中の流体が静止している場合、図６及び図７に示すヒータ６１で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図１に示す分流路２５中の流体が上流から下流に流れている場合、図６及び図７に示すヒータ６１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子６２の温度よりも、下流側測温抵抗素子６３の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差は、図１に示す分流路２５中の流体の速度と相関関係がある。そのため、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差から、分流路２５を流れる流体の流量が求められる。
【００２８】
図６及び図７に示す基板６０の材料としては、シリコン（Ｓｉ）等が使用可能である。絶縁膜６５の材料としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）等が使用可能である。キャビティ６６は、異方性エッチング等により形成される。またヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。
【００２９】
図５に示す分流路保持体３０の分流路２５には、流れセンサ８を覆うように、図８及び図９に示す分流路整流部材６２０Ａがはめ込まれる。図５に示す分流路保持体３０の分流路２５の内周と図８及び図９に示す分流路整流部材６２０Ａの楕円状の外周は略同一である。分流路整流部材６２０Ａが分流路２５にはめ込まれた後、図１に示すように分流路保持体３０は主流路保持体１０上に配置される。なお、図８は、分流路整流部材６２０Ａを主流路保持体１０に対向する面６１１Ａの方から見た斜視図であり、図９は、分流路整流部材６２０Ａを分流路保持体３０に対向する面６１１Ｂの方から見た斜視図である。
【００３０】
図８に示す分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ａの外周近傍には、囲壁６３５が配置されている。囲壁６３５の内部は、略Ｓ字状に配置された仕切り壁６３０で、上流側と下流側に二分されている。仕切り壁６３０で二分された囲壁６３５の内部の上流側において、楕円状の分流路整流部材６２０Ａの長軸と外周の接点近傍に凹部３３が設けられている。また、楕円状の分流路整流部材６２０Ａの短軸と平行に、３本の敷居壁１３１Ａ，１３１Ｂ，１３１Ｃが面６１１Ａ上に配置されている。敷居壁１３１Ａが最も凹部３３の近傍に配置されている。敷居壁１３１Ａの長さが最も短く、敷居壁１３１Ａの高さが最も高い。
【００３１】
さらに、仕切り壁６３０で二分された囲壁６３５の内部の上流側において、楕円状の分流路整流部材６２０Ａの短軸と外周の接点近傍に、第１の連通孔２３１が設けられている。第１の連通孔２３１は、敷居壁１３１Ａ及び敷居壁１３１Ｂの間と、敷居壁１３１Ｂ及び敷居壁１３１Ｃの間と、敷居壁１３１Ｃ及び仕切り壁６３０の間とを流れた流体を、面６１１Ａの裏側の図９に示す面６１１Ｂの方に通すために設けられている。
【００３２】
ここで、図１に示す分流路２５の流路抵抗を調節することによって、分流式流量計の分流比を調節するために、図１０に示すように、敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を埋めるように分流比設定部材４９Ａが分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ａ上に配置されるか、図１１に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を埋めるように分流比設定部材４９Ｂが配置されるか、図１２に示すように、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間を埋めるように分流比設定部材４９Ｃが配置される。あるいは、図１３に示すように、敷居壁１３１Ａ及び敷居壁１３１Ｂの間と、敷居壁１３１Ｃ及び仕切り壁６３０の間の両方に、分流比設定部材４９Ａ及び分流比設定部材４９Ｃが配置される場合もある。
【００３３】
分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのそれぞれは、板状の部材であり、接着剤等で分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ａ上に固定される。ただし、分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを有する複数の分流路整流部材６２０Ａを予め用意しておいてもよい。
【００３４】
図８に示す仕切り壁６３０で二分された囲壁６３５の内部の下流側においても、楕円状の分流路整流部材６２０Ａの長軸と外周の接点近傍に凹部３４が設けられている。また、楕円状の分流路整流部材６２０Ａの短軸と平行に、３本の敷居壁１３２Ａ，１３２Ｂ，１３２Ｃが配置されている。
【００３５】
第１の連通孔２３１及び第２の連通孔２３２は、図９に示す面６１１Ｂ側に連通している。分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ｂには、楕円状の分流路整流部材６２０Ａの短軸と平行に、敷居片３８Ａ，３８Ｂが設けられている。敷居片３８Ａ，３８Ｂの間に、図５に示す流れセンサ８が格納される。面６１１Ａ，６１１Ｂと平行な水平方向において、図８に示す敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの中心線の位置と、図９に示す敷居片３８Ａと敷居片３８Ｂの中心線の位置は、ほぼ一致する。そのため、図８に示す敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を流れた流体は、第１の連通孔２３１を通って、図９に示す敷居片３８Ａと敷居片３８Ｂの間を主に流れる。敷居片３８Ａ，３８Ｂの外側には、壁部３７Ａ，３７Ｂが平行に設けられている。また、分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ｂには、金網固定部３６が配置されている。金網固定部３６によって、金網が適宜固定される。
【００３６】
ここで、図１に示す分流路２５中における流体の流れについて、図１４乃至図２１を参照しながら説明する。まず、主流路１１の上流から流れてきた流体は、差圧発生構造１２によって一部が分流孔４ａに流入する。主流路１１から分流孔４ａに流入した流体は、分流孔４ａを通り抜け、分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ａ上を流れる。
【００３７】
流体は仕切り壁６３０によって進行方向を変えられ、分流比設定部材が分流路整流部材６２０Ａに配置されていない場合、敷居壁１３１Ａ，１３１Ｂ，１３１Ｃ及び仕切り壁６３０の間を通過する。ここで、各敷居壁間をほぼ均等な量の流体が流れる。流体は、第１の連通孔２３１を通って、面６１１Ａの裏側の図１５に示す面６１１Ｂ側に向かう。
【００３８】
第１の連通孔２３１を通った流体は、金網固定部３６に固定された金網６３６によって整流される。流体は、図５に示した流れセンサ８の下方を通過し、図１５に示す第２の連通孔２３２に向かって進行する。その後、流体は、第２の連通孔２３２を通って、図１４に示す面６１１Ａ側に戻る。
【００３９】
面６１１Ａ側に戻った流体は、敷居壁１３２Ａ，１３２Ｂ，１３２Ｃの間を通り、仕切り壁６３０に向かって進行する。さらに流体は、仕切り壁６３０によって進行方向を変えられ、凹部３４を通流し、図１に示す分流孔４ｂを経て、主流路１１に流出する。
【００４０】
これに対し、図１６に示すように、分流比設定部材４９Ａが分流路整流部材６２０Ａの敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間に配置されている場合、流体は敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を流れることができない。そのため、分流比設定部材４９Ａが配置されていない場合と比べて、より多くの流体が敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を高速に流れる。敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を流れた流体は、第１の連通孔２３１を通って、流れセンサ８が位置する図１７に示す敷居片３８Ａ，３８Ｂの間を主に流れる。したがって、図１６に示すように、分流比設定部材４９Ａを敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間に配置することによって、流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。
【００４１】
また、図１８に示すように、分流比設定部材４９Ｃを敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間に配置することによっても、流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。さらに、図１９に示すように、分流比設定部材４９Ａを敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間に配置し、分流比設定部材４９Ｃを敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間に配置することによって、流れセンサ８によって検出される流体の流速をさらに速くすることも可能となる。
【００４２】
また、図２０に示すように、分流比設定部材４９Ｂが分流路整流部材６２０Ａの敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間に配置されている場合、流体は敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を流れることができない。そのため、分流比設定部材４９Ｂが配置されていない場合と比べて、図２１に示すように、敷居片３８Ａ，３８Ｂの間を流れる流体の流量が減少し、流速も低下する。したがって、図２０に示すように、分流比設定部材４９Ｂを敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間に配置することによって、流れセンサ８によって検出される流体の流速を遅くすることも可能になる。
【００４３】
図１に示すように、流れセンサ８は、分流路保持体３０内部に配置されたＣＰＵ３００に接続されている。また、分流路保持体３０内部には、ＣＰＵ３００に接続された入力装置２５１と、ＣＰＵ３００に接続された第１の分流比記憶装置４００が配置されている。ここで、図１０に示すように、敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間に分流比設定部材４９Ａを配置したときの分流比の値、図１１に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間に分流比設定部材４９Ｂを配置したときの分流比の値、図１２に示すように、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間に分流比設定部材４９Ｃを配置したときの分流比の値、及び図１３に示すように、分流比設定部材４９Ａと分流比設定部材４９Ｃの両方を配置したときの分流比の値は、それぞれ予め取得可能である。したがって、分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを配置したユーザ又はエンジニアによって、配置された分流比設定部材に対応する分流比の値が、分流比に関する情報として、図１に示す入力装置２５１を介して、第１の分流比記憶装置４００に入力される。
【００４４】
なお、第１の分流比記憶装置４００への分流比に関する情報の入力は、パーソナルコンピュータ等を介して行ってもよい。第１の分流比記憶装置４００にはＲＡＭ等の揮発性メモリ等が使用可能である。ＣＰＵ３００の算出回路３０１は、分流比に関する情報を、第１の分流比記憶装置４００から読み出す。さらに算出回路３０１は、流れセンサ８で検出した分流路２５を流れる流体の流量、及び第１の分流比記憶装置４００から読み出した分流比に関する情報に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する。
【００４５】
分流路保持体３０の上には、液晶ディスプレイ等の表示装置３５が配置される。表示装置３５は、算出回路３０１が第１の分流比記憶装置４００から読み出した分流比に関する情報、及び算出回路３０１が算出した主流路１１を流れる流体の流量を表示する。表示装置３５により、ユーザ又はエンジニアが分流比に関する情報を確認することが可能となる。なお、表示装置３５は、分流路保持体３０から離れた位置に配置されてもよい。
【００４６】
以上示した第１の実施の形態に係る分流式流量計によれば、配管等に設置した後に、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速が遅すぎて、流れセンサ８で流体の流量を適切に測定できないことが判明した場合でも、図１０、図１２、及び図１３に示すように、分流比設定部材４９Ａ及び分流比設定部材４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを配置することにより分流路２５の流れセンサ８近傍を流れる流体の流速に対する、主流路１１を流れる流体の流速の分流比を容易に下げることが可能となる。また反対に、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速が速すぎて、流れセンサ８で流体の流量を適切に測定できないことが判明した場合でも、図１１に示すように、分流比設定部材４９Ｂを配置することにより、容易に分流比を上げることが可能となる。
【００４７】
よって、図１に示す流れセンサ８によって測定可能な流速又は流量の範囲が一定であっても、分流比を変更することにより、分流式流量計の測定範囲を実質的に広げることが可能となる。さらに、分流路保持体３０が主流路保持体１０から分離された場合に、分流路２５の内部が露出するため、容易に分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃを配置又は除去することが可能である。このように、分流路保持体３０が主流路保持体１０に着脱可能であるため、分流比の変更に際して、主流路保持体１０を配管から取り外す必要がない。したがって、従来の分流比を変更できない分流式流量計で必要だった配管からの取り外し工事が不要となり、コストを下げることも可能となる。なお、図１０乃至図１２に示した分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのそれぞれの断面積又は断面形状を変化させることによっても、図１に示す分流路２５の流路抵抗を変化させ、結果として分流比を変化させることが可能である。
【００４８】
（第１の実施の形態の変形例）
図１１においては、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を隙間なく埋めるように、分流比設定部材４９Ｂが配置される例を示した。これに対し、図２２に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間に、間隔をおいて分流比設定部材１４９Ｂと分流比設定部材２４９Ｂを配置してもよい。図１１に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を隙間なく埋めると、敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を通った流体と、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間を通った流体が合流する際に、条件によっては乱流が生じうる場合もある。これに対し、図２２に示すように、間隔をおいて分流比設定部材１４９Ｂと分流比設定部材２４９Ｂを配置することにより、敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を通った流体と、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間を通った流体が合流する際に生じうる乱流を抑制することが可能となる。
【００４９】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る分流式流量計は、断面図である図２３に示すように、主流路保持体１０と分流路整流部材６２０Ａの間に配置されるシール部材５２０を備える。板状のシール部材５２０はゴム等からなり、分流路２５から流体が漏れるのを防止する。上面図である図２４、ＸＸＶ−ＸＸＶ方向から見た断面図である図２５、及びＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ方向から見た断面図である図２６に示すように、シール部材５２０は、主流路保持体１０の凹部１６の底面に配置される。シール部材５２０には、分流孔４ａ，４ｂにそれぞれ連通する貫通孔５０４ａ，５０４ｂが設けられている。
【００５０】
第１の実施の形態においては、図１０乃至図１２に示したように、分流路整流部材６２０Ａに分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃを配置する例を示した。これに対し、図２７乃至図２９に示すように、シール部材５２０上に分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃを配置してもよい。なお、図２７に示す分流比設定部材４９Ａは、シール部材５２０上に図８に示す分流路整流部材６２０Ａが配置される場合に、敷居壁１３１Ａ及び敷居壁１３１Ｂの間に嵌合されるよう配置されている。また、図２８に示す分流比設定部材４９Ｂは、シール部材５２０上に図８に示す分流路整流部材６２０Ａが配置される場合に、敷居壁１３１Ｂ及び敷居壁１３１Ｃの間に嵌合されるよう配置されている。また、図２９に示す分流比設定部材４９Ｃは、シール部材５２０上に図８に示す分流路整流部材６２０Ａが配置される場合に、敷居壁１３１Ｃ及び仕切り壁６３０の間に嵌合されるよう配置されている。
【００５１】
図２７乃至図２９に示す分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのそれぞれは、接着剤等でシール部材５２０上に固定される。ただし、分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを有する複数のシール部材５２０を予め用意しておいてもよい。以上示した第２の実施の形態に係る分流式流量計においても、適切な分流比を容易に設定することが可能となる。
【００５２】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る分流式流量計は、図３０に示すように、揮発性の第１の分流比記憶装置４００に加えて、不揮発性の第２の分流比記憶装置４０１をさらに備える。不揮発性の第２の分流比記憶装置４０１にも、分流比に関する情報が、入力装置２５１を介して、入力される。不揮発性の第２の分流比記憶装置４０１には、ＥＥＰＲＯＭ等が使用可能である。第３の実施の形態に係る分流式流量計のその他の構成要素は、第１の実施の形態に係る分流式流量計と同様であるので、説明は省略する。
【００５３】
ここで、分流式流量計への電力供給が停止した場合、揮発性の第１の分流比記憶装置４００に保存されていた分流比に関する情報は消去される。しかし、不揮発性の第２の分流比記憶装置４０１に保存されていた分流比に関する情報は消去されない。そのため、電力供給が再開された後、第２の分流比記憶装置４０１に保存されていた分流比に関する情報を、ＣＰＵ３００が第１の分流比記憶装置４０１に保存しなおすことにより、流量の算出を速やかに再開することが可能となる。
【００５４】
あるいは、分流式流量計が電池で駆動されている場合、電池が消耗して必要な電圧が供給不可能になった場合にも、揮発性の第１の分流比記憶装置４００に保存されていた分流比に関する情報が消去されうる。この場合も、電池を交換した後、第２の分流比記憶装置４０１に保存されていた分流比に関する情報を、ＣＰＵ３００が第１の分流比記憶装置４０１に保存しなおすことにより、流量の算出を速やかに再開することが可能となる。
【００５５】
（第４の実施の形態）
第１の実施の形態においては、図１に示すＣＰＵ３００に、分流比に関する情報として、分流比の値そのものが入力される場合を説明した。これに対し、図３１に示す第４の実施の形態に係る分流式流量計のＣＰＵ３００には、分流比に関する情報として、分流比設定部材４９Ａの配置位置、断面積、又は断面形状等が入力される。ここで、第４の実施の形態に係る分流式流量計は、ＣＰＵ３００が照合部３０３をさらに備え、ＣＰＵ３００に照合情報記憶装置４０３が接続されている。
【００５６】
ここで、照合情報記憶装置４０３は、分流比設定部材４９Ａの配置位置、断面積、又は断面形状等に対応する分流比の値の対照表等を保存している。照合部３０３は、照合情報記憶装置４０３に保存されている対照表を参照して、ＣＰＵ３００が受信した分流比設定部材４９Ａの配置位置、断面積、又は断面形状等に対応する分流比の値を抽出し、抽出した分流比の値を第１の分流比記憶装置４００に保存する。第４の実施の形態に係る分流式流量計のその他の構成要素は、第１の実施の形態に係る分流式流量計と同様であるので、説明は省略する。第４の実施の形態に係る分流式流量計においては、分流比の値そのものをユーザ又はエンジニアが知らなくとも、分流比設定部材４９Ａの配置位置、断面積、又は断面形状等を入力することにより、正確な分流比の設定が可能となる。
【００５７】
（第５の実施の形態）
第５の実施の形態に係る流量制御装置は、図３２に示すように、分流式流量計５０、分流式流量計５０の排出口１４に接続された流路９９、及び流路９９に接続され、流体の流量を制御する制御弁４１を備える。制御弁４１は、例えばソレノイド弁である。制御弁４１は、流路４３及び流路４４と、流路４３及び流路４４を連通する弁室４５が設けられた弁座４２、弁室４５に収納され、流路４４を開閉する弁体４６、弁体４６に連結された磁性体のプランジャ４７、及び通電されてプランジャ４７を上下させるソレノイドコイル４８を備える。
【００５８】
分流式流量計５０は、第１の実施の形態に係る分流式流量計の構成要素に加えて、算出回路３０１で算出された流量に基づき、制御弁４１を駆動し、主流路１１及び流路９９を流れる流体の流量を調節するコントローラ３０５をさらに備える。コントローラ３０５は、算出回路３０１及び制御弁４１のソレノイドコイル４８に電気的に接続されている。コントローラ３０５は算出回路３０１から流量の信号を受信し、流量が設定値よりも多い場合は、ソレノイドコイル４８に通電して、流量を減少させる。また流量が設定値よりも少ない場合は、ソレノイドコイル４８に通電して、流量を増加させる。
【００５９】
第５の実施の形態に係る流量制御装置は、第１の実施の形態で説明した分流式流量計を採用しているため、分流比を容易に設定し、流量を制御することが可能となる。また、分流式流量計５０と制御弁４１は一体化してもよい。なお、第２乃至第４の実施の形態で説明した分流式流量計を採用してもよいことはもちろんである。さらに、第５の実施の形態に係る流量制御装置の制御弁は、ソレノイド弁に限定されない。例えば、特開２００７−７１３３０号公報に説明されているような、ボール弁を、制御弁として使用してもよい。
【００６０】
（第６の実施の形態）
第６の実施の形態に係る分流式流量計は、図３３に示すように、主流路１１、主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂ、及び一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路１２５が設けられた流路保持体１１０と、分流路１２５を覆う、流路保持体１１０に着脱可能なカバー３９を備える。図３４に示すように、分流路１２５は、流路保持体１１０の外面に設けられた凹部である。第６の実施の形態においては、図３５に示すように、分流比設定部材４９Ａが固定された分流路整流部材６２０Ａは、流路保持体１１０の分流路１２５にはめ込まれる。なお、図１１及び図１２で説明した分流比設定部材４９Ｂ，４９Ｃが分流路整流部材６２０Ａに固定された場合も同様である。
【００６１】
流路保持体１１０の形状は、例えば板状、あるいはブロック状である。図３５に示すように、分流路整流部材６２０Ａが流路保持体１１０の分流路１２５にはめ込まれた後、図３３に示すように、分流路１２５は、流れセンサ８が設けられたカバー３９で覆われる。カバー３９上には、ＣＰＵ３００、入力装置２５１、及び第１の分流比記憶装置４００を含む計測ユニット１３０が配置される。第６の実施の形態に係る分流式流量計においては、流路保持体１１０に設けられた凹部である分流路１２５が着脱可能なカバー３９で覆われているため、分流比の変更が必要な場合は、カバー３９を流路保持体１１０から外すことによって、分流路１２５の内部が露出する。そのため、図１０乃至図１３で説明した分流比設定部材４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを容易に分流路１２５内に配置して、分流比を変更することが可能である。
【００６２】
（第７の実施の形態）
図３６に示す第７の実施の形態に係る流量制御装置は、第６の実施の形態で説明した分流式流量計５１を用いている他は、第５の実施の形態に係る流量制御装置と同様である。第７の実施の形態に係る流量制御装置においても、分流比を容易に設定し、流量を制御することが可能となる。
【００６３】
（第８の実施の形態）
第８の実施の形態に係る分流式流量計は、斜視図である図３７、及び断面図である図３８に示すように、注入口１３から排出口１４に貫通する主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂが設けられた主流路保持体２１０を備える。さらに第８の実施の形態に係る分流式流量計は、分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられた分流路保持体２３０を備える。分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃのそれぞれは、分流路保持体２３０が主流路保持体２１０上に配置された場合に、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する。分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃは平行に設けられており、また分流路２５ａを挟むように、分流路２５ｂ，２５ｃが設けられている。
【００６４】
分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃのそれぞれの幅は、例えば同じである。分流路２５ａの一部を覆うように、分流路保持体２３０上に、分流路２５ａを流れる流体の流速又は流量を計測するための流れセンサ８が配置されている。図３７、及び主流路１１に対して垂直方向の断面図である図３９に示すように、主流路保持体２１０には、分流路保持体２３０が配置された場合に、流れセンサ８を格納するための凹部２２５が設けられている。
【００６５】
分流路保持体２３０の主流路保持体２１０に対向する面の拡大図である図４０に示すように、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1は、分流路２５ａと分流路２５ｂのピッチＬ2の２倍である。また、分流路保持体２３０には、分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃと垂直に交差する溝５２５が設けられている。溝５２５には、図４１に示す板状の分流比設定部材４２５が配置される。分流比設定部材４２５には、選択用流路４２１，４２２，４２３，４２４が平行に設けられている。選択用流路４２１，４２２，４２３，４２４のそれぞれの幅は、例えば分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃのそれぞれの幅と同じである。また、選択用流路４２１と選択用流路４２２のピッチＬ2、選択用流路４２２と選択用流路４２３のピッチＬ2、並びに選択用流路４２３と選択用流路４２４のピッチＬ2のそれぞれは、図４０に示す分流路２５ａと分流路２５ｂのピッチＬ2と同じである。
【００６６】
図４１に示す分流比設定部材４２５は、図４０に示す溝５２５にはめ込まれ、分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃに垂直な方向にスライド可能である。ここで、分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃに均等に流体を流す場合、図４２に示すように、選択用流路４２１で分流路２５ｃを連通させ、選択用流路４２３で分流路２５ａを連通させ、選択用流路４２４で分流路２５ｂを連通させるように、分流比設定部材４２５が配置される。この場合、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1が、選択用流路４２１と選択用流路４２２のピッチＬ2の２倍であるため、選択用流路４２２は孤立し、流体を通さない。
【００６７】
これに対し、分流路２５ａ，２５ｂに流体を流し、分流路２５ｃに流体を流さない場合、図４３に示すように、選択用流路４２２で分流路２５ａを連通させ、選択用流路４２３で分流路２５ｂを連通させるように、分流比設定部材４２５が配置される。この場合、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1が、選択用流路４２１と選択用流路４２２のピッチＬ2の２倍であるため、選択用流路４２１は孤立し、流体を通さない。また、選択用流路４２４も孤立し、流体を通さない。したがって、分流路２５ｃは連通されず、分流比設定部材４２５で遮断される。また、分流路２５ｃが遮断されるため、より多くの流体が分流路２５ａ，２５ｂを流れる。そのため、図３８に示す流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。
【００６８】
また、分流路２５ａ，２５ｃに流体を流し、分流路２５ｂに流体を流さない場合、図４４に示すように、選択用流路４２２で分流路２５ｃを連通させ、選択用流路４２４で分流路２５ａを連通させるように、分流比設定部材４２５が配置される。この場合、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1が、選択用流路４２２と選択用流路４２３のピッチＬ2の２倍であるため、選択用流路４２３は孤立し、流体を通さない。また、選択用流路４２１も孤立し、流体を通さない。したがって、分流路２５ｂは連通されず、分流比設定部材４２５で遮断される。また、分流路２５ｂが遮断されるため、より多くの流体が分流路２５ａ，２５ｃを流れる。そのため、図３８に示す流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。
【００６９】
図３７に示すように、分流路保持体２３０には、分流比検出手段２９０がさらに設けられている。分流比検出手段２９０は、分流比設定部材４２５の配置を検出する。分流比検出手段２９０には、スライドスイッチ等が使用可能である。図４５に模式的に示すように、流れセンサ８及び分流比検出手段２９０はＣＰＵ３００に接続されている。ＣＰＵ３００に接続されている照合情報記憶装置４１３は、図４２に示すように分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃが連通するように分流比設定部材４２５が配置された場合の分流比の値、図４３に示すように分流路２５ａ，２５ｂが連通するように分流比設定部材４２５が配置された場合の分流比の値、及び図４４に示すように分流路２５ａ，２５ｃが連通するように分流比設定部材４２５が配置された場合の分流比の値を保存する。
【００７０】
図３７に示す分流比検出手段２９０が分流比設定部材４２５の配置を検出すると、図４５に示す照合部３２３は、分流比設定部材４２５の配置に対応する分流比の値を照合情報記憶装置４１３から読み出し、第１の分流比記憶装置４００に保存する。その後、算出回路３０１が、主流路１１を流れる流量を算出する方法は、第１の実施の形態と同様であるので、説明は省略する。第８の実施の形態に係る分流式流量計によれば、分流比設定部材４２５の配置を自動的に検出し、主流路１１を流れる流量を算出することが可能になる。ただし、ユーザ又はエンジニアが分流路の値を第１の分流比記憶装置４００に保存してもよいことはもちろんである。
【００７１】
（第９の実施の形態）
第９の実施の形態に係る分流式流量計においては、断面図である図４６に示すように、分流孔４ａ，４ｂに、分流比設定部材３４９Ａ，３４９Ｂがそれぞれ配置される。分流比設定部材３４９Ａ，３４９Ｂは、図４７に示すように、筒状である。図３に示したように、分流孔４ａ，４ｂのそれぞれの内部には段が設けられており、分流孔４ａ，４ｂのそれぞれの内径は、主流路１１に接続する側の方が、凹部１６に接続する側よりも狭くなっている。図４６に示す分流比設定部材３４９Ａ，３４９Ｂは、凹部１６側から、分流孔４ａ，４ｂの内部の段上に挿入される。筒状の分流比設定部材３４９Ａの内径は、例えば、分流孔４ａの主流路１１に接続する側の内径以上である。これにより、主流路１１から分流孔４ａに流入する流体に乱流が生じることを防止し、かつ、流体によって分流比設定部材３４９Ａが押し流されることを防止する。第９の実施の形態に係る分流式流量計によれば、分流路保持体３０を主流路保持体１０から分離された場合に、図３に示すように分流孔４ａ，４ｂが外部に露出する。そのため、図４６に示す分流比設定部材３４９Ａ，３４９Ｂを容易に配置又は除去し、分流比を変更することが可能となる。
【００７２】
（第１０の実施の形態）
第１０の実施の形態に係る分流式流量計は、断面図である図４８に示すように、主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔６０４ａ，６０４ｂが設けられた主流路保持体１０と、一対の分流孔６０４ａ，６０４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられた、主流路保持体１０に着脱可能な分流路保持体３０と、を備える。さらに、分流式流量計は、流れセンサ８によって検出される流体の流速を調整するために、分流路２５に配置される調整部材５４９Ａを備える。また、分流式流量計は、分流路２５を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ８と、流れセンサ８によって検出された流量に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する算出回路３０１と、を備える。
【００７３】
上面図である図４９、Ｌ−Ｌ方向から見た断面図である図５０、及びＬＩ−ＬＩ方向から見た断面図である図５１に示すように、主流路１１の一部に、主流路１１の内径を狭める差圧発生構造１１２が設けられている。例えばオリフィス又はベンチュリー等の差圧発生構造１１２によって、主流路１１の注入口１３側と排出口１４側の間で、流体の流速に応じた差圧が発生する。主流路保持体１０の主流路１１と平行な面には、上方から見て楕円状の凹部１６が設けられている。凹部１６から主流路１１の上流に分流孔６０４ａが貫通し、凹部１６から主流路１１の下流に分流孔６０４ｂが貫通している。差圧発生構造１１２によって、主流路１１の上流から流れてきた流体の一部が、分流孔６０４ａに流入する。
【００７４】
図４８に示す流れセンサ８によって検出される流体の流速を調節するために、図５２に示すように、分流路整流部材６２０Ａの敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を埋めるように、調整部材５４９Ａが分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ａ上に配置される。あるいは、図５３に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を埋めるように、調整部材５４９Ｂが分流路整流部材６２０Ａに配置される。あるいは、図５４に示すように、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間を埋めるように、調整部材５４９Ｃが分流路整流部材６２０Ａに配置される。あるいは、図５５に示すように、敷居壁１３１Ａ及び敷居壁１３１Ｂの間と、敷居壁１３１Ｃ及び仕切り壁６３０の間の両方に、調整部材５４９Ａ及び調整部材５４９Ｃが配置される。
【００７５】
図５２乃至図５５に示す調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃのそれぞれは、板状の部材であり、接着剤等で分流路整流部材６２０Ａの面６１１Ａ上に固定される。ただし、調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを有する複数の分流路整流部材６２０Ａを予め用意しておいてもよい。
【００７６】
第１０の実施の形態においては、例えば、調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃを分流路整流部材６２０Ａに配置しても、分流式流量計の分流比がほぼ同じとなるよう、図４８に示す差圧発生構造１１２及び分流孔６０４ａ，６０４ｂの大きさが設定されている。したがって、第１０の実施の形態に係る分流式流量計は、ほぼ固有の分流比を有する。
【００７７】
ここで、図５６に示すように、調整部材５４９Ａが分流路整流部材６２０Ａの敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間に配置されている場合、流体は敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を流れることができない。そのため、調整部材５４９Ａが配置されていない場合と比べて、流体が、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃとの間を高速に流れる。したがって、流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。
【００７８】
また、図５７に示すように、調整部材５４９Ｃを敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間に配置することによっても、流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。さらに、図５８に示すように、調整部材５４９Ａを敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間に配置し、調整部材５４９Ｃを敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間に配置することによって、流れセンサ８によって検出される流体の流速をさらに速くすることも可能となる。
【００７９】
また、図５９に示すように、調整部材５４９Ｂが分流路整流部材６２０Ａの敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃとの間に配置されている場合、流体は敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃとの間を流れることができない。そのため、流れセンサ８によって検出される流体の流速を遅くすることも可能になる。
【００８０】
ＣＰＵ３００の算出回路３０１は、流れセンサ８で検出した分流路２５を流れる流体の流量、及び分流式流量計の固有の分流比に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する。
【００８１】
以上示した第１０の実施の形態に係る分流式流量計によれば、流体の流速が流れセンサ８の測定レンジ以下となり、流体の流量を適切に測定できない場合でも、図５２、図５４、及び図５５に示すように、調整部材５４９Ａ及び調整部材５４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを配置し、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速を容易に上昇させることが可能となる。また反対に、流体の流速が流れセンサ８の測定レンジ以上となり、流体の流量を適切に測定できない場合でも、図５３に示すように、調整部材５４９Ｂを配置し、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速を容易に低下させることが可能となる。
【００８２】
よって、図４８に示す流れセンサ８によって測定可能な流速の範囲が一定であっても、流れセンサ８近傍の流体の流速を調節することにより、分流式流量計の測定範囲を実質的に広げることが可能となる。さらに、分流路保持体３０を主流路保持体１０から分離させると、分流路２５の内部が露出するため、容易に調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃを配置又は除去することが可能である。このように、分流路保持体３０が主流路保持体１０に着脱可能であるため、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速を調節する際に、主流路保持体１０を配管から取り外す必要がない。したがって、配管からの取り外し工事が不要となり、コストを下げることも可能となる。なお、図５２乃至図５４に示した調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃのそれぞれの断面積又は断面形状を変化させることによっても、流れセンサ８近傍の流体の流速を調節することが可能である。
【００８３】
（第１０の実施の形態の変形例）
図５３においては、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を隙間なく埋めるように、調整部材５４９Ｂが配置される例を示した。これに対し、図６０に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間に、間隔をおいて調整部材６４９Ｂと調整部材７４９Ｂを配置してもよい。図５３に示すように、敷居壁１３１Ｂと敷居壁１３１Ｃの間を隙間なく埋めると、敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を通った流体と、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間を通った流体が合流する際に、条件によっては乱流が生じうる場合もある。これに対し、図６０に示すように、間隔をおいて調整部材６４９Ｂと調整部材７４９Ｂを配置することにより、敷居壁１３１Ａと敷居壁１３１Ｂの間を通った流体と、敷居壁１３１Ｃと仕切り壁６３０の間を通った流体が合流する際に生じうる乱流を抑制することが可能となる。
【００８４】
（第１１の実施の形態）
第１１の実施の形態に係る分流式流量計は、断面図である図６１に示すように、主流路保持体１０と分流路整流部材６２０Ａの間に配置されるシール部材５２０を備える。上面図である図６２、ＬＸＩＩＩ−ＬＸＩＩＩ方向から見た断面図である図６３、及びＬＸＩＶ−ＬＸＩＶ方向から見た断面図である図６４に示すように、シール部材５２０は、分流孔６０４ａ，６０４ｂにそれぞれ連通する貫通孔７０４ａ，７０４ｂが設けられている。第１１の実施の形態においても、分流式流量計の分流比がほぼ分流比がほぼ同じとなるよう、差圧発生構造１１２、及び分流孔６０４ａ，６０４ｂの大きさが設定されている。
【００８５】
第１０の実施の形態においては、図５２乃至図５４に示したように、分流路整流部材６２０Ａに調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃを配置する例を示した。これに対し、図６５乃至図６７に示すように、シール部材５２０上に調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃを配置してもよい。なお、図６５に示す調整部材５４９Ａは、シール部材５２０上に図８に示す分流路整流部材６２０Ａが配置される場合に、敷居壁１３１Ａ及び敷居壁１３１Ｂの間に嵌合されるよう配置されている。また、図６６に示す調整部材５４９Ｂは、シール部材５２０上に図８に示す分流路整流部材６２０Ａが配置される場合に、敷居壁１３１Ｂ及び敷居壁１３１Ｃの間に嵌合されるよう配置されている。また、図６７に示す調整部材５４９Ｃは、シール部材５２０上に図８に示す分流路整流部材６２０Ａが配置される場合に、敷居壁１３１Ｃ及び仕切り壁６３０の間に嵌合されるよう配置されている。
【００８６】
図６５乃至図６７に示す調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃのそれぞれは、接着剤等でシール部材５２０上に固定される。ただし、調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを有する複数のシール部材５２０を予め用意しておいてもよい。以上示した第１１の実施の形態に係る分流式流量計においても、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速を容易に調整することが可能となる。
【００８７】
（第１２の実施の形態）
第１２の実施の形態に係る分流式流量計は、図６８に示すように、主流路１１、主流路１１に通じる一対の分流孔６０４ａ，６０４ｂ、及び一対の分流孔６０４ａ，６０４ｂを介して主流路１１と連通する分流路１２５が設けられた流路保持体１１０と、分流路１２５を覆う、流路保持体１１０に着脱可能なカバー３９を備える。第１２の実施の形態においても、分流比がほぼ同じとなるよう、差圧発生構造１１２及び分流孔６０４ａ，６０４ｂの大きさが設定されている。
【００８８】
図６９に示すように、分流路１２５は、流路保持体１１０の外面に設けられた凹部である。第１２の実施の形態においては、図７０に示すように、調整部材５４９Ａが固定された分流路整流部材６２０Ａは、流路保持体１１０の分流路１２５にはめ込まれる。なお、図５３及び図５４で説明した調整部材５４９Ｂ，５４９Ｃが分流路整流部材６２０Ａに固定された場合も同様である。
【００８９】
第１２の実施の形態に係る分流式流量計においては、流路保持体１１０に設けられた凹部である分流路１２５が着脱可能なカバー３９で覆われている。流れセンサ８近傍を流れる流体の流速の調整が必要な場合、カバー３９を流路保持体１１０から外せば、分流路１２５の内部が露出する。そのため、図５２乃至図５５で説明した調整部材５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃのいずれか、又はこれらの組み合わせを容易に分流路１２５内に配置して、流れセンサ８近傍を流れる流体の流速を調節することが可能である。
【００９０】
（第１３の実施の形態）
第１３の実施の形態に係る分流式流量計は、斜視図である図７１、断面図である図７２、及び図７３に示すように、差圧発生構造１１２が設けられた主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔６０４ａ，６０４ｂが設けられた主流路保持体２１０を備える。第１３の実施の形態においても、分流比がほぼ同じとなるよう、差圧発生構造１１２及び分流孔６０４ａ，６０４ｂの大きさが設定されている。
【００９１】
分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃのそれぞれは、分流路保持体２３０が主流路保持体２１０上に配置された場合に、一対の分流孔６０４ａ，６０４ｂを介して主流路１１と連通する。また、分流路２５ａの一部を覆うように、分流路保持体２３０上に、分流路２５ａを流れる流体の流速又は流量を計測するための流れセンサ８が配置されている。
【００９２】
図７１に示す溝５２５には、図７４に示す、板状の調整部材９２５が配置される。調整部材９２５には、選択用流路９２１，９２２，９２３，９２４が平行に設けられている。選択用流路９２１，９２２，９２３，９２４のそれぞれの幅は、例えば分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃのそれぞれの幅と同じである。また、選択用流路９２１と選択用流路９２２のピッチＬ2、選択用流路９２２と選択用流路９２３のピッチＬ2、並びに選択用流路９２３と選択用流路９２４のピッチＬ2のそれぞれは、図７１に示す分流路２５ａと分流路２５ｂのピッチと同じである。
【００９３】
図７４に示す調整部材９２５は、図７１に示す溝５２５にはめ込まれ、分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃに垂直な方向にスライド可能である。ここで、分流路２５ａ，２５ｂ，２５ｃに均等に流体を流す場合、図７５に示すように、選択用流路９２１で分流路２５ｃを連通させ、選択用流路９２３で分流路２５ａを連通させ、選択用流路９２４で分流路２５ｂを連通させるように、調整部材９２５が配置される。この場合、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1が、選択用流路９２１と選択用流路９２２のピッチＬ2の２倍であるため、選択用流路９２２は孤立し、流体を通さない。
【００９４】
これに対し、分流路２５ａ，２５ｂに流体を流し、分流路２５ｃに流体を流さない場合、図７６に示すように、選択用流路９２２で分流路２５ａを連通させ、選択用流路９２３で分流路２５ｂを連通させるように、調整部材９２５が配置される。この場合、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1が、選択用流路９２１と選択用流路９２２のピッチＬ2の２倍であるため、選択用流路９２１は孤立し、流体を通さない。また、選択用流路９２４も孤立し、流体を通さない。したがって、分流路２５ｃは連通されず、調整部材９２５で遮断される。また、分流路２５ｃが遮断されるため、より多くの流体が分流路２５ａ，２５ｂを流れる。そのため、図７２に示す流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。
【００９５】
また、分流路２５ａ，２５ｃに流体を流し、分流路２５ｂに流体を流さない場合、図７７に示すように、選択用流路９２２で分流路２５ｃを連通させ、選択用流路９２４で分流路２５ａを連通させるように、調整部材９２５が配置される。この場合、分流路２５ａと分流路２５ｃのピッチＬ1が、選択用流路９２２と選択用流路９２３のピッチＬ2の２倍であるため、選択用流路９２３は孤立し、流体を通さない。また、選択用流路９２１も孤立し、流体を通さない。したがって、分流路２５ｂは連通されず、調整部材９２５で遮断される。また、分流路２５ｂが遮断されるため、より多くの流体が分流路２５ａ，２５ｃを流れる。そのため、図７２に示す流れセンサ８によって検出される流体の流速を速くすることが可能になる。
【００９６】
（その他の実施の形態）
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、分流式流量計は、図１に示す算出回路３０１が第１の分流比記憶装置４００から読み出した分流比に関する情報、及び算出回路３０１が算出した主流路１１を流れる流体の流量を、外部のパーソナルコンピュータ等に送信する送信装置を備えていてもよい。また、図３０に示す第２の分流比記憶装置４０１は、分流路保持体３０から着脱可能であってもよい。着脱可能にすることにより、第２の分流比記憶装置４０１に保持されている情報を、外部の機器で読み出すことが可能となる。また、第１０乃至第１３に係る分流式流量計を用いて、流量制御装置を構成してもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲の発明特定事項によってのみ限定されるものである。
【符号の説明】
【００９７】
４ａ，４ｂ，６０４ａ，６０４ｂ     分流孔
８     流れセンサ
１０，２１０  主流路保持体
１１   主流路
１２   差圧発生構造
１３   注入口
１４   排出口
１６，３３，３４     凹部
２５，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，１２５             分流路
３０，２３０  分流路保持体
３５   表示装置
３６   金網固定部
３７Ａ，３７Ｂ       壁部
３８Ａ，３８Ｂ       敷居片
３９   カバー
４１   制御弁
４２   弁座
４３，４４，９９     流路
４５   弁室
４６   弁体
４７   プランジャ
４８   ソレノイドコイル
４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃ，１４９Ｂ，２４９Ｂ，３４９Ａ，３４９Ｂ，４２５       分流比設定部材
５０，５１    分流式流量計
６０   基板
６１   ヒータ
６２   上流側測温抵抗素子
６３   下流側測温抵抗素子
６４   周囲温度センサ
６５   絶縁膜
６６   キャビティ
１１０ 流路保持体
１１２ 差圧発生構造
１３０ 計測ユニット
１３１Ａ，１３１Ｂ，１３１Ｃ，１３２Ａ，１３２Ｂ，１３２Ｃ     敷居壁
２２５ 凹部
２３１，２３２       連通孔
２５１ 入力装置
２９０ 分流比検出手段
３０１ 算出回路
３０３，３２３              照合部
３０５ コントローラ
４００ 第１の分流比記憶装置
４０１ 第２の分流比記憶装置
４０３，４１３              照合情報記憶装置
４２１，４２２，４２３，４２４，９２１，９２２，９２３，９２４ 選択用流路
５０４ａ，５０４ｂ，７０４ａ，７０４ｂ    貫通孔
５２０ シール部材
５２５ 溝
５４９Ａ，５４９Ｂ，５４９Ｃ，６４９Ｂ，７４９Ｂ，９２５       調整部材
６１１Ａ，６１１Ｂ   面
６２０Ａ      分流路整流部材
６３０ 壁
６３５ 囲壁
６３６ 金網
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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【図７０】
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【図７１】
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【図７２】
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【図７３】
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【図７４】
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【図７５】
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【図７６】
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【図７７】
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