(57)【要約】【課題】従来使用できなかった円筒振動子を、圧力センサに使用することが出来る圧力センサの製造方法及び圧力センサを提供することを特徴とする。【解決手段】圧力センサの製造方法が、内部の被測定物の圧力に応じた固有振動数を有する円筒振動子と、円筒振動子の外周面に設けられた加振用圧電素子と、対向するように円筒振動子の外周面に設けられた２つの振動検出用圧電素子と、を具備する圧力センサの製造方法であって、加振用圧電素子と振動検出用圧電素子との周波数毎の挿入損失を測定する挿入損失測定工程と、挿入損失測定工程の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を円筒振動子の円周方向にずらす振動検出位置移動工程とを、具備する。【選択図】図２
2010151599.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部の被測定物の圧力に応じた固有振動数を有する円筒振動子と、前記円筒振動子の外周面に設けられた加振用圧電素子と、対向するように前記円筒振動子の外周面に設けられた２つの振動検出用圧電素子と、を具備する圧力センサの製造方法であって、
前記加振用圧電素子と前記振動検出用圧電素子との周波数毎の挿入損失を測定する挿入損失測定工程と、
前記挿入損失測定工程の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を前記円筒振動子の円周方向にずらす振動検出位置移動工程とを、
具備することを特徴とする圧力センサの製造方法。
【請求項２】
振動検出位置移動工程は、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの前記円筒振動子の接触側の電極を前記円筒振動子の円周方向に複数の分割電極に分割し、前記分割電極の円周方向にずれたいずれかを接触させるように前記振動検出用圧電素子を取り付けることによって、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を前記円筒振動子の円周方向にずらすことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項３】
内部の被測定物の圧力に応じた固有振動数を有する円筒振動子と、前記円筒振動子の外周面に設けられた加振用圧電素子と、対向するように前記円筒振動子の外周面に設けられた２つの振動検出用圧電素子と、を具備する圧力センサであって、
前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの前記円筒振動子の接触側の電極が、円周方向に複数に分割された分割電極になっており、
前記加振用圧電素子と前記振動検出用圧電素子との周波数毎の挿入損失を測定する挿入損失測定手段と、
前記挿入損失測定手段の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、使用する前記分割電極を円周方向にずれた前記分割電極のいずれかに切り替えることによって、振動検出位置を円周方向にずらす切替手段と、
具備することを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体または液体の圧力の精密計測に用いられる圧力センサの製造方法及び圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ジェットエンジンの空燃比を決定する際の気体または液体の圧力の精密計測には、円筒振動子を用いた圧力センサが用いられている。
例えば、上記圧力センサとして、下記特許文献１には、起動時においても正確に測定を行なうことができる圧力センサが開示されている。この圧力センサは、上面が閉じられ、下面が開口された薄肉の円筒部を有する円筒振動子と、円筒振動子と同軸の円筒状であると共にその内側に円筒振動子の円筒部が嵌合されて円筒振動子との空隙が真空室を構成するハウシングと、円筒振動子の基部の外側に設けられた溝に円周方向に等間隔に取り付けられた４つの圧電素子から構成されている。４つの圧電素子の内の２つは、増幅器の入力側に接続され、残り２つの圧電素子は、増幅器の出力側に接続されている。この４つの圧電素子と、増幅回路とが発振回路を構成し、円筒振動子を自励振させる。
【０００３】
そして、このような圧力センサにおける各圧電素子は、薄膜状の一対の電極によって圧電素子を挟み込むように積層された構成になっており、夫々が略円板状に形成されている。そして、圧力センサの円筒振動子の軸線方向の基端側には、圧力の測定対象である気体または液体（被測定物）が供給される圧力ポートが連結される。この圧力ポートから円筒振動子に供給される被測定物の圧力によって円筒部がひずみ、円筒部の受信計によって円筒振動子の固有振動数が変化する。そして、圧電素子から受信計へ入力される固有振動数信号は円筒振動子の固有振動数に伴って変化し、受信計はこの固有振動数信号に基づいて被測定物の圧力を算出する。
【特許文献１】特開２０００−３５２５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記従来技術では、発振回路が特定の振動周波数を用いて発振を行い、当該発振によって円筒振動子を振動させている。しかしながら、上述した圧力センサにおける円筒振動子は機械的な作業によって製造される為に、全ての円筒振動子を肉厚が円周方向に均一に近いものにすることは大変困難なことである。そして、肉厚が均一ではない円筒振動子を圧力センサに用いた場合に、挿入損失の差が小さい隣り合う２つの固有振動モードが発生することがある。圧力センサでは、この２つの固有振動モードのいずれかの周波数を使用して発振を行うが、２つの周波数の内の同一の周波数を回路によって常に選択して発振する為には、その挿入損失が３ｄＢ（デシベル）以上離れている必要がある。
【０００５】
しかしながら、圧力センサでは、２つの固有振動モードの挿入損失の差が３ｄＢ以下になってしまうと、２つの固有振動モードの周波数が近いこともあり、常に同じ周波数を回路によって選択することが出来なくなってしまう。圧力センサでは、常に同じ周波数を回路によって選択することが出来なくなってしまうと、発振が不安定になる為、センサとして十分に機能することが出来なくなってしまう。そして、現在、このような問題を発生させる原因となる円筒振動子は、圧力センサに使用することが出来ない為に、廃棄されている。  
【０００６】
本発明は、上述した事情を鑑みたものであり、従来使用できなかった円筒振動子を、圧力センサに使用することが出来る圧力センサの製造方法及び圧力センサを提供することを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明では、圧力センサの製造方法に係る第１の解決手段として、内部の被測定物の圧力に応じた固有振動数を有する円筒振動子と、前記円筒振動子の外周面に設けられた加振用圧電素子と、対向するように前記円筒振動子の外周面に設けられた２つの振動検出用圧電素子と、を具備する圧力センサの製造方法であって、前記加振用圧電素子と前記振動検出用圧電素子との周波数毎の挿入損失を測定する挿入損失測定工程と、前記挿入損失測定工程の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を前記円筒振動子の円周方向にずらす振動検出位置移動工程とを、具備するという手段を採用する。
【０００８】
本発明では、圧力センサの製造方法に係る第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、振動検出位置移動工程は、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの前記円筒振動子の接触側の電極を前記円筒振動子の円周方向に複数の分割電極に分割し、前記分割電極の円周方向にずれたいずれかを接触させるように前記振動検出用圧電素子を取り付けることによって、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を前記円筒振動子の円周方向にずらすという手段を採用する。
【０００９】
また、本発明では、圧力センサに係る第１の解決手段として、内部の被測定物の圧力に応じた固有振動数を有する円筒振動子と、前記円筒振動子の外周面に設けられた加振用圧電素子と、対向するように前記円筒振動子の外周面に設けられた２つの振動検出用圧電素子と、を具備する圧力センサであって、前記振動検出用圧電素子の少なくとも１つの前記円筒振動子の接触側の電極が、円周方向に複数に分割された分割電極になっており、前記加振用圧電素子と前記振動検出用圧電素子との周波数毎の挿入損失を測定する挿入損失測定手段と、前記挿入損失測定手段の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、使用する前記分割電極を円周方向にずれた前記分割電極のいずれかに切り替えることによって、振動検出位置を円周方向にずらす切替手段と、具備するという手段を採用する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、圧力センサの製造方法が、内部の被測定物の圧力に応じた固有振動数を有する円筒振動子と、円筒振動子の外周面に設けられた加振用圧電素子と、対向するように円筒振動子の外周面に設けられた２つの振動検出用圧電素子と、を具備する圧力センサの製造方法であって、加振用圧電素子と振動検出用圧電素子との周波数毎の挿入損失を測定する挿入損失測定工程と、挿入損失測定工程の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を円筒振動子の円周方向にずらす振動検出位置移動工程とを、具備する。
【００１１】
これにより、圧力センサでは、２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以上になる為、常に同一の固有振動モードの周波数を回路によって取り出すことが出来る。その為、圧力センサは、発振を安定的に動作させることが出来る。そして、従来、発振の不安定化の原因となる肉厚が多少均一ではない円筒振動子は廃棄されていたが、本実施形態に係る圧力センサの製造方法によって、従来廃棄していた円筒振動子を圧力センサＡに使用することが出来るようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態は、圧力センサの製造方法に関する。
図１は、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の製造対象である圧力センサＡの概略構成を示す図である。図１の（ａ）は、圧力センサＡの概略構成を示す部分断面図であり、図１の（ｂ）は、圧力センサＡの概略構成を示す機能ブロック図である。
圧力センサＡは、図１に示すように、円筒振動子１、ハウジング２、圧力ポート３、振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ、加振用圧電素子４ｃ，４ｄ及び増幅器５から構成されている。
【００１３】
円筒振動子１は、恒弾性合金で構成され、図１の（ａ）に示すように、上面が閉じられた薄肉の円筒部１ａと、この円筒部１ａの下部にこの円筒部１ａと同軸で一体に形成された円筒状の基部１ｂとを備えている。円筒部１ａは、自身と同軸でありかつその径が基部１ｂの径と同一の円筒状のハウジング２の内側に嵌合されている。円筒部１ａの上面がハウジング２の上部開口２ａを塞ぎ、基部１ｂの上面がハウジング２の下部開口２ｂを塞ぐことによって、円筒振動子１とハウジング２との空隙である真空室６が形成される。
【００１４】
そして、基部１ｂには、円周方向に延びる略リング溝状の溝部１ｃが形成されている。溝部１ｃの内側の円周方向に沿った円周面が、円筒振動子１の振動する外周面を形成している。そして、この溝部１ｃの内側の円周面には、４つの圧電素子、すなわち振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ及び加振用圧電素子４ｃ，４ｄが円周方向に等間隔に取り付けられている。また、円筒振動子１の基部１ｂの下側には、基部１ｂを拡径した台部１ｄが形成されている。この台部１ｄの径方向の中央部分には、圧力ポート３に連結する為の連結孔１ｅが軸線Ｘ方向に沿って形成されている。
【００１５】
ハウジング２は、略円筒状に形成されており、上面側に上部開口２ａが形成されると共に下面側に下部開口２ｂが形成されている。そして、ハウジング２は、その内側に円筒振動子１の円筒部１ａが嵌合され、円筒部１ａの上面から基部１ｂの上面近傍までの円筒部１ａの外周面を覆っている。圧力センサＡでは、このように、円筒振動子１及びハウジング２によって略円筒形状が形成されている。そして、圧力センサＡの略円筒形状の外形寸法は、直径がφ１６ｍｍ程度、軸線Ｘ方向の高さが２０〜３０ｍｍ程度になっている。
【００１６】
圧力ポート３は、円筒振動子１の内部へ圧力Ｐを有する気体または液体（被測定物）を供給する為の円筒形状の供給口が設けられている。圧力ポート３は、その供給口が円筒振動子１の台部１ｄに設けられた連結孔１ｅに嵌合されることによって、円筒振動子１と連結している。そして、圧力ポート３は、円筒振動子１へ圧力Ｐを有する気体または液体を供給する。
【００１７】
振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ及び加振用圧電素子４ｃ，４ｄは、円筒振動子１の基部１ｂに設けられた溝部１ｃの内側の円周面に、円周方向に沿って等間隔に取り付けられている。すなわち、振動検出用圧電素子４ａ，４ｂが、対向するように溝部１ｃの内側の円周面に取り付けら、また、加振用圧電素子４ｃ，４ｄが、対向するように溝部１ｃの内側の円周面に取り付けられている。振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ及び加振用圧電素子４ｃ，４ｄは、夫々が略円板状又は略円形薄膜状に形成されており、正電極、圧電体及び負電極の積層によって構成されている。そして、振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ及び加振用圧電素子４ｃ，４ｄは、正電極が円筒振動子に接触するように円筒振動子に取り付けられる。例えば、この振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ及び加振用圧電素子４ｃ，４ｄは、その直径がφ３．６ｍｍ程度、厚さが０．１５ｍｍ程度である。
【００１８】
増幅器５は、図１の（ｂ）に示すように、その入力に振動検出用圧電素子４ａ，４ｂの出力が接続される。また、増幅器５の出力は、加振用圧電素子４ｃ，４ｄに接続される。この増幅器５と、振動検出用圧電素子４ａ，４ｂ及び加振用圧電素子４ｃ，４ｄとによって発振回路が構成され、圧力センサＡの円筒振動子１を自励振させる。
【００１９】
そして、圧力センサＡでは、図１の（ｂ）に示すように、増幅器５によって増幅された固有振動数信号ｓｆを受信計Ｂへ出力する。受信計Ｂでは、ＣＰＵ(Central Processing Unit)が、ＲＯＭ(Read Only Memory)に記憶されている制御プログラムを実行することにより、固有振動信号ｖｓに基づいて被測定物である気体または液体の圧力Ｐを算出し、算出した結果を表示部に表示させる。
【００２０】
次に、圧力センサの製造方法の工程について、上記圧力センサＡを用いて説明する。図２は、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の挿入損失測定工程のシステム構成図である。
まず、挿入損失測定工程では、図２に示すように、圧力センサＡから増幅器５を取り除き、代わりにスペクトラムアナライザＣを接続する。この際、スペクトラムアナライザＣの入力には、振動検出用圧電素子４ａ，４ｂが接続している。また、スペクトラムアナライザＣの出力には、加振用圧電素子４ｃ，４ｄが接続する。そして、このスペクトラムアナライザＣは、周波数毎の挿入損失を測定し、その想定結果を周波数スペクトラムとして出力する。
【００２１】
そして、圧力センサＡの円筒振動子１の肉厚が円周方向に均一ではない場合に、挿入損失測定工程において、スペクトラムアナライザＣが図３に示す周波数スペクトラムを出力する。図３は、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の挿入損失測定工程において、圧力センサＡの円筒振動子１の肉厚が円周方向に均一ではない場合に、スペクトラムアナライザＣが出力する周波数スペクトラムを示す図である。なお、図３は、縦軸が挿入損失であり、横軸が周波数である。
【００２２】
圧力センサＡの円筒振動子１の肉厚が円周方向に均一ではない場合に、図３に示すように、周波数スペクラムに挿入損失の差が２．7ｄＢ（デシベル）である隣り合う２つのピークが出現する。この２つのピークは、圧力センサＡの円筒振動子１の自励振において、振動周波数の異なる２つの固有振動モードが発生していることを示している。
【００２３】
そして、圧力センサＡでは、２つの固有振動モードの内のいずれか一方の周波数に基づいて発振回路を動作させる必要がある為、２つの固有振動モードの内の同一の固有振動モードの周波数のみを回路によって常に取り出す必要がある。
しかしながら、圧力センサＡでは、図３に示す２つの固有振動モードのように周波数が近い場合に、その挿入損失に３ｄＢ（デシベル）以上の差がないと、常に同一の固有振動モードを回路によって取り出すことが出来ずに、発振が不安定になる。そして、圧力センサＡでは、振動周波数の異なる２つの固有振動モードが発生した場合に、図２に示すように、円筒振動子１の振動における２つの腹によって振動検出用圧電素子４ａに圧力が加わる。
【００２４】
次に、振動検出位置移動工程では、挿入損失測定工程の挿入損失の測定の結果、図３に示す周波数スペクトルのように、２つの固有振動モードの挿入損失の差が３ｄＢ以下である場合に、振動検出用圧電素子４ａの正電極を分割し、分割した正電極の一部を円筒振動子１に接触させるように振動検出用圧電素子４ａを円筒振動子１に取り付ける。
【００２５】
図４は、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の振動検出位置移動工程の振動検出用圧電素子４ａの正電極の分割例を示す図である。
具体的に、振動検出位置移動工程では、図４に示すように、円筒振動子に接触する側の振動検出用圧電素子４ａの正電極を、円筒振動子１の円周方向に沿って略均等に２分割すると共に円周方向の直交方向に沿って略均等に２分割することによって、略扇形状の同一形状である４つの分割電極１４ａ‐１〜１４ａ‐４に分割する。
【００２６】
そして、振動検出用圧電素子４ａの分割電極１４ａ‐１〜１４ａ‐４の内、図４に示す右上側に配された分割電極１４ａ‐１（斜線部）のみを円筒振動子１に接触させて、はんだ付けによって円筒振動子１に振動検出用圧電素子４ａを取り付ける。
圧力センサＡでは、振動周波数の異なる２つの固有振動モードが発生した場合に、分割電極１４ａ‐１のみを円筒振動子１に接触させることによって、円筒振動子１の振動における２つの腹によって振動検出用圧電素子４ａに圧力が加えられていたものを、振動における１つの腹のみによって振動検出用圧電素子４ａに圧力が加わるように、振動検出位置を円筒振動子１の円周方向にずらすことが出来る。
【００２７】
図５は、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の振動検出位置移動工程によって振動検出用圧電素子４ａの正電極の分割電極４ａ‐１のみが円筒振動子１に接触するように振動検出用圧電素子４ａを円筒振動子１に取り付けた場合に、スペクトラムアナライザＣが出力する周波数スペクトラムを示す図である。圧力センサＡでは、分割電極１４ａ‐１のみを円筒振動子１に接触させることによって、図５に示すように、２つの固有振動モードの挿入損失の差が、７．５ｄＢまで広がる。これにより、圧力センサＡでは、２つの固有振動モードの挿入損失の差が３ｄＢ以上になる為、常に同一の固有振動モードの周波数を回路によって取り出すことが出来る。
【００２８】
以上のように、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の挿入損失測定工程では、測定した圧力センサＡの発振回路の周波数毎の挿入損失をスペクトラムアナライザＣに出力させ、振動検出位置移動工程では、挿入損失測定工程の挿入損失の測定の結果、図３に示す周波数スペクトルのように２つの固有振動モードの挿入損失の差が３ｄＢ以下である場合に、図４に示すように、振動検出用圧電素子４ａの正電極を略均等に４つの分割電極１４ａ‐１〜１４ａ‐４に分割し、分割電極１４ａ‐１が円筒振動子１に接触するように振動検出用圧電素子４ａを円筒振動子１に取り付けることによって、振動検出を円筒振動子１の円周方向にずらす。
【００２９】
これにより、圧力センサＡでは、図５に示すように、２つの固有振動モードの挿入損失の差が３ｄＢ以上になる為、常に同一の固有振動モードの周波数を回路によって取り出すことが出来る。その為、圧力センサＡは、発振を安定的に動作させることが出来る。そして、従来、図３に示す周波数スペクトラムが出力された場合に、その原因となる肉厚が多少均一ではない円筒振動子１は廃棄されていたが、本実施形態に係る圧力センサの製造方法によって、従来廃棄していた円筒振動子１を圧力センサＡに使用することが出来るようになる。
【００３０】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく、例えば以下のような変形が考えられる。
（１）上記実施形態の圧力センサの製造方法では、振動検出位置移動工程において、図４に示すように、振動検出用圧電素子４ａの正電極を４つに分割し、分割電極４ａ‐１を円筒振動子１に接触するように振動検出用圧電素子４ａを取り付けたが、本発明はこれに限定されない。
例えば、分割電極４ａ‐１以外の分割電極１４ａ‐２，１４ａ‐３，１４ａ‐４のいずれかを円筒振動子１に接触するように振動検出用圧電素子４ａを円筒振動子１に取り付けるようにしてもよい。
【００３１】
図６は、本実施形態に係る圧力センサの製造方法の振動検出位置移動工程の変形例を示す図である。図６の（ａ）は、振動検出用圧電素子４ａの正電極の分割の変形例を示し、図６の（ｂ）は、振動検出用圧電素子４ｂの正電極の分割例を示している。
また、図４に示すように振動検出用圧電素子４ａの正電極を４つの略扇形状の同一形状に分割するのではなく、図６の（ａ）に示すように、円周方向に沿って振動検出用圧電素子４ａの正電極を略均等に３つの分割電極２４ａ‐１〜２４ａ‐３に分割し、振動検出用圧電素子４ａの分割電極２４ａ‐１及び２４ａ‐３のいずれかを円筒振動子１に接触するように振動検出用圧電素子４ａを円筒振動子１に取り付けることによって、振動検出位置を円筒振動子１の円周方向にずらすようにしてもよい。
【００３２】
そして、振動検出用圧電素子４ａだけでなく、振動検出用圧電素子４ｂの正電極を、図６の（ｂ）に示すように、振動検出用圧電素子４ａと同じく略扇形状の同一形状である４つの分割電極１４ｂ‐１〜１４ｂ‐４に分割する。そして、振動検出用圧電素子４ａの１４ａ‐１を円筒振動子に接触させるように円筒振動子１に振動検出用圧電素子４ａを取り付けると共に振動検出用圧電素子４ｂの１４ｂ‐１及び１４ｂ‐２を円筒振動子１に接触させるように円筒振動子１に振動検出用圧電素子４ｂを取り付けるようにしてもよい。また、振動検出用圧電素子４ａの１４ａ‐１を円筒振動子に接触させるように円筒振動子１に振動検出用圧電素子４ａを取り付けると共に振動検出用圧電素子４ｂの１４ｂ‐１を円筒振動子１に接触させるように円筒振動子１に振動検出用圧電素子４ａを取り付けることによって、振動検出位置を円筒振動子１の円周方向にずらすようにしてもよい。
【００３３】
（２）上記実施形態の圧力センサの製造方法では、挿入損失測定工程及び振動検出位置移動工程によって、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、振動検出用圧電素子の少なくとも１つの振動検出位置を円筒振動子の円周方向にずらしたが、本発明はこれに限定されない。
【００３４】
例えば、圧力センサＡが、電極が４つの分割電極４ａ‐１〜４ａ‐４に分割されている振動検出用圧電素子４ａと、挿入損失測定手段と、切替手段とを具備し、挿入損失測定手段が、加振用圧電素子４ｃ，４ｄと振動検出用圧電素子４ａ，４ｂとの周波数毎の挿入損失を測定し、切替手段が、挿入損失測定手段の測定の結果、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、使用する分割電極を円周方向にずれた前記分割電極のいずれかに切り替えることによって、振動検出位置を円周方向にずらす。このように、圧力センサＡが、隣り合う２つの固有振動モードの挿入損失の差が所定のしきい値以下である場合に、自動的に、振動検出位置を円周方向にずらすようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施形態に係る圧力センサの製造方法の製造対象である圧力センサＡの概略構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る圧力センサの製造方法の挿入損失測定工程のシステム構成図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る圧力センサの製造方法の挿入損失測定工程において、圧力センサＡの円筒振動子１の肉厚が円周方向に均一ではない場合に、スペクトラムアナライザＣが出力する周波数スペクトラムを示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る圧力センサの製造方法の振動検出位置移動工程の振動検出用圧電素子４ａの正電極の分割例を示す図である。ある。
【図５】本発明の一実施形態に係る圧力センサの製造方法の振動検出位置移動工程によって振動検出用圧電素子４ａの正電極の分割電極４ａ‐１のみが円筒振動子１に接触するように振動検出用圧電素子４ａを円筒振動子１に取り付けた場合に、スペクトラムアナライザＣが出力する周波数スペクトラムを示す図である。ある。
【図６】本発明の一実施形態に係る圧力センサの製造方法の振動検出位置移動工程の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
Ａ…圧力センサ、Ｂ…受信計、Ｃ…スペクトラムアナライザ、１…円筒振動子、１ａ…円筒部、１ｂ…基部、１ｃ…溝部、１ｄ…台部、１ｅ…連結孔、２…ハウジング、２ａ…上部開口、２ｂ…下部開口、３…圧力ポート、４ａ，４ｂ…振動検出用圧電素子、４ｃ，４ｄ…加振用圧電素子、５…増幅器、６…真空室、１４ａ‐１〜１４ａ‐４…分割電極、１４ｂ‐１〜１４ｂ‐４…分割電極、２４ａ‐１〜２４ａ‐３…分割電極、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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