(57)【要約】【課題】  絶縁膜上に配線金属膜とバリア膜が形成された基板の研磨に使用することにより、高研磨速度で低ディッシング、低エロージョン、低スクラッチの埋め込み配線の形成が可能となる研磨剤を提供する。【解決手段】  ベンゾトリアゾール等のヘテロサイクリックベンゼン化合物を、炭素数１〜４の１級アルコール、炭素数２〜４のグリコール、ＣＨ３ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＯＣｍＨ２ｍ＋１（ｍは１〜４の整数）で表されるエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン及び炭酸プロピレンからなる群から選ばれる１種以上の有機溶媒に溶解した後、砥粒となる酸化物微粒子の水分散液と混合して研磨剤を得る。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を研磨するための化学的機械的研磨用研磨剤であって、下記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）及び（Ｅ）を含有することを特徴とする研磨剤。
（Ａ）酸化物微粒子、
（Ｂ）酸化剤、
（Ｃ）式１で表される化合物（ただし、Ｒは水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基又はカルボン酸基。）、
（Ｄ）水、
（Ｅ）炭素数１〜４の１級アルコール、炭素数２〜４のグリコール、式２で表されるエーテル（ただし、ｍは１〜４の整数。）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン及び炭酸プロピレンからなる群から選ばれる１種以上。
【化１】
2010251778.tif 000009
【化２】
2010251778.tif 000010
【請求項２】
酸及びｐＨ緩衝剤をさらに含み、ｐＨが２〜９である請求項１に記載の研磨剤。
【請求項３】
前記（Ａ）が、シリカ、アルミナ、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化ゲルマニウム、酸化亜鉛及び酸化マンガンからなる群から選ばれる１種以上である請求項１又は２に記載の研磨剤。
【請求項４】
前記（Ｅ）が、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン及び炭酸プロピレンからなる群から選ばれる１種以上である請求項１〜３のいずれかに記載の研磨剤。
【請求項５】
研磨剤の全質量に対し、前記（Ｅ）が０．０１〜５０質量％含まれ、かつ前記（Ｃ）が０．００１〜５質量％含まれる請求項１〜４のいずれかに記載の研磨剤。
【請求項６】
研磨剤を研磨定盤上の研磨パッドに供給し、被研磨面と接触させて、被研磨面と研磨パッドを相対運動させて行う研磨方法において、請求項１〜５のいずれかに記載の研磨剤を用いて、配線金属膜とバリア膜が形成された基板を研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項７】
前記バリア膜は、タンタル、タンタル合金又はタンタル化合物からなり、前記配線金属膜は、銅、銅合金又は銅化合物からなる請求項６に記載の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス製造工程に用いられる研磨剤に関し、より詳しくはバリア膜材料としてタンタル系金属を用いた埋め込み金属配線の形成に好適な研磨剤及びそれを用いた基板の研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の高集積化・高機能化にともない、微細化・高密度化のための微細加工技術の開発が求められている。半導体デバイス製造工程、特に多層配線形成工程においては、層間絶縁膜や埋め込み配線の平坦化技術が重要である。すなわち、半導体製造プロセスの微細化・高密度化により配線が多層化するにつれ、各層での表面の凹凸が大きくなりやすく、その段差がリソグラフィの焦点深度を越える等の問題を防ぐために、多層配線形成工程での高平坦化技術が重要となってくる。
【０００３】
配線材料としては、従来使われてきたＡｌ合金に比べて比抵抗が低く、エレクトロマイグレーション耐性に優れることから、Ｃｕが着目されている。Ｃｕはその塩化物ガスの蒸気圧が低く、従来から用いられてきた反応性イオンエッチング法（ＲＩＥ：  Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）では配線形状への加工が難しいため、配線の形成にはダマシーン法（Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）が用いられる。これは絶縁膜に配線用の溝パターンやビア等の凹部を形成し、次にバリア膜を形成した後に、Ｃｕを溝部に埋め込むようにスパッタ法やメッキ法等で成膜し、その後凹部以外の絶縁膜表面が露出するまで余分なＣｕとバリア膜を化学的機械的研磨法（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ、以下ＣＭＰという。）で除去して、表面を平坦化する方法である。近年は、このように凹部にＣｕが埋め込まれたＣｕ配線とビア部を同時に形成するデュアルダマシーン法（Ｄｕａｌ  Ｄａｍａｓｃｅｎｅ）が主流となっている。
【０００４】
このようなＣｕ埋め込み配線形成においては、Ｃｕの絶縁膜中への拡散防止のために、バリア膜としてＴａ、タンタル合金又は窒化タンタル等のタンタル化合物が形成される。したがってＣｕを埋め込む配線部分以外では、露出したバリア膜をＣＭＰにより取り除く必要がある。しかしバリア膜はＣｕに比べて非常に硬いために、十分な研磨速度が得られない場合が多い。そこで図１に示すように配線金属膜を除去する第１研磨工程とバリア膜を除去する第２研磨工程からなる２段階研磨法が提案されている。
【０００５】
図１は、埋め込み配線をＣＭＰにより形成する方法を示す断面図であり、（ａ）は研磨前、（ｂ）は配線金属膜４を除去する第１研磨工程の終了後、（ｃ）はバリア膜３を除去する第２研磨工程終了後を示す。図１（ａ）に示すように、Ｓｉ基板１上に埋め込み配線５を形成するための溝が形成された絶縁膜２が形成され、その上にバリア膜３、その上に配線金属膜４（Ｃｕ膜）が形成されており、第１研磨工程で配線金属膜４を、第２研磨工程でバリア膜３を除去する。
【０００６】
しかし、従来の研磨剤を用いたＣＭＰでは、Ｃｕの埋め込み配線５のディッシングやエロージョンが大きくなる問題があった。ここでディッシングとは、幅の広い配線部で発生しやすいもので、図２に示すように配線部の配線金属膜４が過剰に研磨され中央部が窪んだ状態をいう。エロージョンとは、密集した配線部で発生しやすいもので、図３に示すように配線密度の低い部分に比べ、密集した配線部の絶縁膜２が過剰に研磨され、絶縁膜２が薄くなる現象をいう。なお、図２、３においてはバリア膜３は省略している。
【０００７】
従来の研磨剤を用いた場合は、バリア膜３の研磨速度が配線金属膜４の研磨速度に対し非常に小さいため、バリア膜３を除去する間に配線部のＣｕが過剰に研磨されて大きなディッシングが生じていた。また、配線密度の低い部分に比べ、高密度配線部のバリア膜３やその下の絶縁膜２に加わる研磨圧力が相対的に高くなり、そのため第２研磨工程での研磨速度が配線密度により大幅に異なり、その結果高密度配線部の絶縁膜２が過剰に研磨されて、大きなエロージョンが生じていた。ディッシングやエロージョンが発生すると、配線抵抗の増加やエレクトロマイグレーションが起こりやすくなり、デバイスの信頼性を低下させる問題があった。
【０００８】
バリア膜として用いられるＴａやタンタル化合物は化学的にはエッチングが難しく、またＣｕに比べて硬度が高いために、機械的にも研磨による除去は容易ではない。研磨速度を上げるために、砥粒の硬度を高くすると柔らかいＣｕ配線にスクラッチが発生して、電気的不良などの問題が発生しやすい。また、砥粒の濃度を高めると、絶縁膜の研磨速度も同時に大きくなるため、大きなエロージョンが発生する。さらに研磨剤中での砥粒の分散状態を維持することが困難になり、経時的に沈降やゲル化が生じるなどの分散安定性の問題が生じる。
【０００９】
また、ＣＭＰにおいては研磨剤によるＣｕの腐食を防止する必要がある。Ｃｕ及び銅合金に対する腐食抑制剤の中でも最も効果的で広く利用されているものとして、ベンゾトリアゾール（以下、ＢＴＡという。）及びその誘導体が知られている（能登谷武紀，ベンゾトリアゾール系インヒビターの腐食抑制機構およびその適用，日本防錆技術協会，１９８６，Ｐ．１）。ＢＴＡはＣｕ及び銅合金表面に緻密な皮膜を形成し、酸化還元反応を抑制してエッチングを防止するために、Ｃｕ配線部のディッシングを防止するための研磨剤中への添加物として有効である。
【００１０】
例えば、特許文献１には、研磨剤にＢＴＡ又はその誘導体を含有させてＣｕの表面に保護膜を形成することにより、ディッシングを防止することが記載されている。しかしこの方法では、水への溶解度が低いＢＴＡを研磨剤中へ十分な量添加するのは容易ではなく（溶解度１．９８重量％・２５℃）、また添加量が多くなると砥粒の分散液である研磨剤の分散のバランスをくずして経時的に砥粒の沈降が生じやすく、研磨剤の保存安定性が低い等の問題が生じていた。
【００１１】
また、金属膜を平坦化するための研磨剤として、特許文献２に砥粒としてコロイド状アルミナを含む酸化酸性スラリーが記載されている。しかし、この方法はバリア膜としてＮｂを研磨する場合には有効であるが、バリア膜にＴａ又はその合金を用いたＣｕ配線の形成においては、研磨速度や仕上がった配線の平坦性が十分ではない。
【００１２】
さらに、特許文献３には酸化セリウム、アルミナ、シリカ、チタニア、ジルコニア等の金属酸化物砥粒と尿素と過酸化水素を含むスラリーからなる研磨剤が記載されている。しかしこの研磨剤は、バリア膜の研磨速度がＣｕ配線の研磨速度に対し非常に小さいため、ディッシングが発生しやすいことやスラリーの安定性が悪い等の問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平８−８３７８０号公報（請求項１〜３，段落０００６）
【特許文献２】特開平１０−７４７６４号公報（要約）
【特許文献３】特開平１１−２１５４６号公報（請求項２２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
そこで本発明は、絶縁膜上に配線金属膜とバリア膜が形成された基板の研磨において、高い研磨速度でありながらディッシングやエロージョンの発生を抑制しつつ、スクラッチの少ない信頼性の高い電気特性に優れた埋め込み配線部の形成を可能とする金属を研磨するための研磨剤であって、砥粒が分散したスラリーからなり、経時的に沈殿やゲル化等を生じにくく十分に安定な研磨剤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は基板を研磨するための化学的機械的研磨用研磨剤であって、下記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）及び（Ｅ）を含有することを特徴とする研磨剤及び該研磨剤の製造方法を提供する。
（Ａ）酸化物微粒子、
（Ｂ）酸化剤、
（Ｃ）式１で表される化合物（ただし、Ｒは水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基又はカルボン酸基。）、
（Ｄ）水、
（Ｅ）炭素数１〜４の１級アルコール、炭素数２〜４のグリコール、式２で表されるエーテル（ただし、ｍは１〜４の整数。）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン及び炭酸プロピレンからなる群から選ばれる１種以上。
【００１６】
【化１】
2010251778.tif 000002
【００１７】
【化２】
2010251778.tif 000003
【００１８】
また、本発明は、研磨剤を研磨定盤上の研磨パッドに供給し、被研磨面と接触させて、被研磨面と研磨パッドを相対運動させて行う研磨方法において、上記研磨剤を用いて、配線金属膜とバリア膜の形成された基板を研磨することを特徴とする研磨方法を提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る研磨剤や研磨方法により、絶縁膜上に配線金属膜とバリア膜が形成された基板の研磨において、高研磨速度で低ディッシング、低エロージョン、低スクラッチの埋め込み配線の形成が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ＣＭＰによる埋め込み配線の形成方法を示す工程断面図である。（ａ）研磨前、（ｂ）配線金属膜を除去する第１研磨工程終了後、（ｃ）バリア膜を除去する第２研磨工程終了後。
【図２】ディッシングの形成過程を示す断面図である。（ａ）研磨前、（ｂ）研磨後。
【図３】エロージョンの形成過程を示す断面図である。（ａ）研磨前、（ｂ）研磨後。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施の形態を説明する。本発明の研磨剤（以下、本研磨剤という。）は、半導体基板上に形成された配線金属膜及びバリア膜を研磨するためのＣＭＰ用研磨剤として好適である。特に、Ｔａ、タンタル合金又は窒化タンタル等のタンタル化合物をバリア膜として凹部を有する絶縁膜上に形成し、その凹部を埋め込むように配線金属膜が形成された基板をＣＭＰにより研磨して、埋め込み配線やビア等の電気的接続部を形成する工程において好適に使用ができる。本研磨剤は、配線金属膜の研磨とバリア膜の研磨を分ける２段階研磨法においては、バリア膜の露出した後に行う第２研磨工程において使用すると特に好適であるが、第１研磨工程で使用してもよい。
【００２２】
研磨剤中の成分（Ａ）（酸化物微粒子）は研磨砥粒であり、具体的にはシリカ、アルミナ、酸化セリウム（セリア）、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、酸化チタン（チタニア）、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化ゲルマニウム及び酸化マンガンから選ばれる１種以上が好ましい。シリカとしては、種々の公知の方法で製造されるものを使用できる。例えば四塩化ケイ素を酸素と水素の火炎中で気相合成したヒュームドシリカやケイ酸ナトリウムをイオン交換したコロイダルシリカ又はケイ素アルコキシドを液相で加水分解したコロイダルシリカが挙げられる。同様にコロイダルアルミナも好ましく使用できる。また、液相法や気相法で製造した酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛も好ましく使用できる。なかでも、粒径の均一な高純度品を得ることができるコロイダルシリカが好ましい。
【００２３】
成分（Ａ）の平均粒径は、研磨特性と分散安定性の点から、５〜５００ｎｍが好ましく、１０〜３００ｎｍがより好ましい。また、本研磨剤中の成分（Ａ）の濃度は、研磨剤全質量の０．５〜２０％の範囲で研磨速度、均一性、材料選択性、分散安定性等を考慮して適宜設定することが好ましい。
【００２４】
成分（Ｂ）（酸化剤）は、バリア膜表面に酸化皮膜を形成させ、機械的な力で基板表面から酸化皮膜を除去することによりバリア膜の研磨を促進するために用いられる。成分（Ｂ）としては、過酸化水素、ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸塩、次亜塩素酸塩、過塩素酸塩、過硫酸塩、過炭酸塩、過ホウ酸塩及び過リン酸塩から選ばれる１種以上が好ましい。ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸塩、次亜塩素酸塩、過塩素酸塩、過硫酸塩、過炭酸塩、過ホウ酸塩及び過リン酸塩としては、アンモニウム塩や、カリウム塩等のアルカリ金属塩を使用できる。なかでも、アルカリ金属成分を含有せず、有害な副生成物を生じない過酸化水素が好ましい。
【００２５】
本研磨剤中の成分（Ｂ）の濃度は、研磨促進の十分な効果を得る点から研磨剤全質量の０．５〜２０％の範囲で、研磨速度、研磨剤スラリーの均一性等を考慮して適宜設定することが好ましい。
【００２６】
成分（Ｃ）は、配線金属部のディッシングを防止するために配線金属表面に保護膜を形成する機能を有するものである。配線金属がＣｕからなる場合は、Ｃｕ表面に物理吸着又は化学吸着して皮膜を形成することによりＣｕの溶出を抑制するものであればよく、式１で表される化合物が挙げられる。ただし、式１中、Ｒは水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基又はカルボン酸基である。
【００２７】
【化３】
2010251778.tif 000004
【００２８】
具体的にはＢＴＡ、ＢＴＡのベンゼン環の４又は５位置のＨ原子一つがメチル基と置換されたトリルトリアゾール（ＴＴＡ）、カルボン酸基で置換されたベンゾトリアゾール−４−カルボン酸等が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。成分（Ｃ）は、研磨特性の点から研磨剤の全質量に対し、０．００１〜５％含まれることが好ましく、０．００２〜０．５％含まれることがより好ましい。
【００２９】
本研磨剤においては、砥粒である成分（Ａ）は主に水（成分Ｄ）に分散させて用いるが、成分（Ｃ）は水に対する溶解度が低いので、水と又は成分（Ａ）を水に分散させた分散液と直接混合すると、研磨剤の分散安定性が低下しやすい。そこで本発明の研磨剤の製造方法では、成分（Ａ）を水に分散させた分散液と混合する前に成分（Ｃ）を高濃度で溶解できる有機溶媒に溶解してから当該分散液と混合することが好ましい。上記有機溶媒として本発明では成分（Ｅ）を用いている。例えば、ＢＴＡの場合、水への溶解度が１．９８重量％であるのに対し、メチルアルコールでは７１．６重量％、イソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡという。）では５３．９重量％、エチレングリコールでは５０．７重量％である（いずれも２５℃において）。成分（Ｅ）に予め成分（Ｃ）を溶解した後、成分（Ａ）が分散した分散液に添加することで、製造プロセス上も局所的偏析を防ぎながら安定に研磨剤を製造できる。
【００３０】
成分（Ｅ）は、炭素数１〜４の１級アルコール、炭素数２〜４のグリコール及びＣＨ3ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2Ｏ−ＣmＨ2m+1（式２）で表されるエーテル（ただし、ｍは１〜４の整数。）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン及び炭酸プロピレンからなる群から選ばれる１種以上である。具体的には、１級アルコールとしては、メチルアルコノール、エチルアルコール、ＩＰＡが好ましい。
【００３１】
グリコールとしては、エチレングリコール（以下、ＥＧという。）プロピレングリコール（以下、ＰＧという。）が好ましい。エーテルとしては、プロピレングリコールメチルエーテル（以下、ＰＧＭという。）、プロピレングリコールエチルエーテル（以下、ＰＧＥという。）が好ましい。
【００３２】
また、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、炭酸プロピレンは、２５℃における比誘電率が３０〜６５の範囲の極性溶媒であり、溶媒和により電解質を高濃度で溶解できる。すなわち、これらの溶媒は成分（Ｃ）を高濃度で溶解した溶液を得られるため、上述の成分（Ａ）が水に分散した分散液に上記溶液を添加する製造プロセスでも有効である。
【００３３】
また、成分（Ｅ）は、本研磨剤の流動性を制御する機能を有する。研磨剤を研磨定盤上の研磨パッドに供給して研磨面と接触させ、被研磨面と研磨パッドを相対運動させて行う研磨方法においては、研磨剤を被研磨面と研磨パッドの間に効率よく供給し、かつ削りくずを効率よく排出することが重要である。例えば、研磨剤の表面張力が高い場合や粘度が高い場合は、効率よく供給しかつ排出することができず、研磨速度も低下する。本研磨剤には、表面張力の高い水（成分Ｄ）が含まれるため、その流動性を調整するためには成分（Ｅ）が必要である。
【００３４】
上述した成分（Ｅ）のなかでも、特にメチルアルコール、エチルアルコール、エチレングリコール及びＮ−メチル−２−ピロリドンからなる群から選ばれる１種以上が、研磨特性及び研磨剤組成物の分散安定性の点で好ましい。
【００３５】
また、成分（Ｅ）は、研磨特性と分散安定性の点から研磨剤の全質量に対し、０．０１〜５０％含まれることが好ましく、０．５〜３０％含まれることがより好ましい。
【００３６】
成分（Ｄ）の水は、本研磨剤中に本研磨剤全質量の４０〜９８％、特に６０〜９０％含まれることが好ましい。上述のとおり、水は成分（Ｅ）とともに本研磨剤の流動性を制御する機能を有するので、水の含有量は研磨速度、平坦化特性等の目標とする研磨特性に合わせて適宜設定する。
【００３７】
また、本研磨剤には成分（Ａ）として酸化物微粒子が含まれている。酸化物微粒子には表面水酸基が存在し、一般に粒径が小さくなるほどよりその活性が高く、凝集やゲル化による経時変化が生じやすい。ところが本発明者らは、成分（Ｅ）を含有させることにより研磨剤の凝集やゲル化を抑制でき、研磨剤が長期に渡って初期の研磨特性を維持できることを見出した。長期に渡って分散安定状態を維持した研磨剤を用いることにより、バリア膜の研磨速度を高速度に保ちながら、ディッシングやエロージョンが小さく、かつスクラッチが少なく信頼性の高い電気特性に優れた埋め込み配線部の形成が可能となる。
【００３８】
本研磨剤には、成分（Ａ）〜（Ｅ）のほかに酸が含まれることが好ましい。酸としては、硝酸、硫酸及びカルボン酸から選ばれる１種以上が好ましい。なかでも、酸化力のあるオキソ酸であり、ハロゲンを含まない硝酸が好ましい。また、本研磨剤中の酸の濃度は、研磨剤全質量の０．０１〜２０％が好ましい。
【００３９】
また本研磨剤を所定のｐＨに調整するために、酸と同時に本研磨剤中にアルカリ性の化合物を添加してもよい。該アルカリ性の化合物としては、アンモニア、水酸化カリウム、又はテトラメチルアンモニウムヒドロキシドやテトラエチルアンモニウムヒドロキシド（以下、ＴＥＡＨという。）のような４級アンモニウムヒドロキシド等が使用できる。アルカリ金属を含まない方が望ましい場合には、アンモニアが好適である。
【００４０】
研磨剤の研磨特性と分散安定性を考慮すると、本研磨剤のｐＨは３〜９に制御することが好ましい。特に砥粒としてシリカを使用する場合は、ｐＨ３〜５又はｐＨ７〜９が好ましい。これらのｐＨ範囲であると研磨剤中でシリカが安定である。いずれのｐＨを選択するかについては、目標とするＣｕ、絶縁膜及びＴａの研磨速度の選択比により使い分ける。
【００４１】
ＰＨを調整するために、研磨剤中にｐＨ緩衝剤を使用してもよい。該ｐＨ緩衝剤としては一般のｐＨ緩衝能がある物質ならば使用できるが、多価カルボン酸であるコハク酸、クエン酸、シュウ酸、フタル酸、酒石酸及びアジピン酸から選ばれる１種以上が好ましい。また、グリシルグリシンや炭酸アルカリも使用できる。配線金属がＣｕである場合は、Ｃｕの研磨速度を抑制しディッシングを防止する点から、Ｃｕとの錯化係数がクエン酸ほど高くないコハク酸が好ましい。なお、本研磨剤中のｐＨ緩衝剤の濃度は、研磨剤全質量の０．０１〜１０％が好ましい。
【００４２】
本研磨剤は、配線金属膜とバリア膜が形成された基板を研磨するのに好適であるが、この場合特にバリア膜がＴａ、タンタル合金又はタンタル化合物から選ばれる１種以上からなる膜を研磨する場合に高い効果が得られる。しかし、他の金属等からなる膜に対しても適用でき、バリア膜としてＴａ以外の金属又は金属化合物、例えばＴｉ、ＴｉＮ、ＴｉＳｉＮ、ＷＮ等からなる膜を用いた場合も、同様の効果を得られる。
【００４３】
また、本研磨剤は、配線金属膜がＣｕ、銅合金及び銅化合物から選ばれる１種以上の場合に高い効果が得られるが、Ｃｕ以外の金属、例えばＡｌ、Ｗ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕ等の金属膜に対して用いても同様の効果が得られる。また、上記基板における絶縁膜としては二酸化ケイ素又はＳｉＯＦからなる膜、有機ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  ｏｎ  ｇｌａｓｓにより得られる有機成分を含む膜）、ポーラスシリカ等の低誘電率材料からなる膜が挙げられる。
【００４４】
本発明の研磨方法は、前記研磨剤を研磨定盤上の研磨パッドに供給し、被研磨面と接触させて被研磨面と研磨パッドを相対運動させて行う研磨方法である。必要により、パッドコンディショナーを研磨パッドの表面に接触させて、研磨パッド表面のコンディショニングを行いながら研磨してもよい。
【００４５】
本研磨剤は、絶縁膜に配線用の溝パターンやビア等の凹部を形成し、次にバリア膜を形成した後に、Ｃｕを溝部に埋め込むようにスパッタ法やメッキ法等で成膜した基板において、凹部以外の絶縁膜表面が露出するまでＣｕとバリア膜をＣＭＰで除去して、埋め込み金属配線を形成する方法に好適に用いられる。すなわち、図１に示すような２段階の研磨工程において、図１（ｂ）の状態から図１（ｃ）の状態まで研磨する第２研磨工程で使用すると、ディッシングやエロージョンが形成されにくく好適である。
【００４６】
以下に本発明を、実施例（例１〜１１、１４〜１９、２２〜２４）及び比較例（例１２、１３、２０、２１）によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより限定されない。
【００４７】
［研磨剤の調製］
純水に酸とアルカリ及びｐＨ緩衝剤を加えて１０分間撹拌した（ａ液）。次に成分（Ｃ）を有機溶媒（成分（Ｅ））に溶解した（ｂ液）。そして、ｂ液をａ液に添加後、さらに１０分撹拌した（ｃ液）。
【００４８】
次に酸化物微粒子（成分（Ａ））の分散液をｃ液に徐々に添加後、アルカリ性化合物を徐々に添加して、ｐＨを調整した。さらに酸化剤の水溶液を添加して３０分間撹拌して、研磨剤を得た。各例において使用した成分（Ｃ）と成分（Ｅ）と成分（Ａ）の種類とそれらの研磨剤全質量に対する濃度（％）、及び研磨剤のｐＨを表１に、使用した酸化剤、酸、アルカリ及びｐＨ緩衝剤の種類とそれらの研磨剤全質量に対する濃度を表２にそれぞれ示す。
【００４９】
［研磨条件］
研磨は、以下の装置及び条件で行った。
研磨機：全自動ＣＭＰ装置ＭＩＲＲＡ（ＡＰＰＬＩＥＤ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ社製）研磨圧：２０ｋＰａ、回転数：プラテン（定盤）１０３ｒｐｍ、ヘッド（基板保持部）９７ｒｐｍ、研磨剤供給速度：２００ミリリットル/分、研磨パッド：ＩＣ１０００（ロデール社製）。
【００５０】
［被研磨物］
（ブランケットウェハ）
（１）Ｃｕ（配線金属膜）研磨速度評価用ウェハ：基板上に厚さ１５００ｎｍのＣｕ層をメッキで成膜した８インチウェハ。
（２）Ｔａ（バリア膜）研磨速度評価用ウェハ：基板上に厚さ２００ｎｍのＴａ層をスパッタで成膜した８インチウェハ。
（３）ＳｉＯ2（絶縁膜）研磨速度評価用ウェハ：基板上に厚さ８００ｎｍのＳｉＯ2層をプラズマＣＶＤで成膜した８インチウェハ（（１）〜（３）はいずれもＳｅｍａｔｅｃｈ製）。
【００５１】
（パターンウェハ）
基板上に形成された絶縁膜に対し、配線密度５０％で、配線幅５μｍ及び５０μｍの配線パターンを形成し、その配線パターンの形成された絶縁膜の上に、厚さ２５ｎｍのＴａ層をスパッタで成膜し、さらにその上に厚さ１５００ｎｍのＣｕ層をメッキで成膜した８インチウェハ（商品名：８３１ＣＭＰ０００、Ｓｅｍａｔｅｃｈ製）。
【００５２】
［研磨剤の特性評価方法］
配線金属膜、バリア膜、絶縁膜それぞれの研磨速度の評価には、ブランケットウェハを使用し、ディッシング、エロージョンの評価にはパターンウェハを使用した。パターンウェハの研磨においては、配線金属膜を除去する第１研磨工程とバリア膜を除去する第２研磨工程からなる２段階研磨法を行った。第１研磨工程用の研磨剤には、アルミナ、過酸化水素、クエン酸、ポリアクリル酸アンモニウム及び水が研磨剤全質量に対しそれぞれ、３％、４％、０．１％、０．０５％及び９２．８５で構成される研磨剤を使用した。なお、実施例、比較例ともに第１研磨工程ではすべて上記研磨剤を用いた。
【００５３】
第１研磨工程後に絶縁膜上のＴａが露出した段階で、配線幅５μｍの位置のディッシングは４０ｎｍ、配線幅５０μｍの位置のディッシングは６０ｎｍであり、エロージョンはいずれの配線幅でも０ｎｍであった。その後、絶縁膜上のＴａが消失するまで、表１及び表２に示された組成の各例の研磨剤を用いて第２研磨工程を実施した。
【００５４】
研磨特性については次の方法で評価した。研磨速度は、研磨前後の膜厚から算出した。膜厚の測定には、ＣｕとＴａについては四探針法による表面抵抗から算出するシート抵抗測定装置ＲＳ７５（ＫＬＡテンコール社製）を用い、絶縁膜については光干渉式全自動膜厚測定装置ＵＶ１２８０ＳＥ（ＫＬＡテンコール社製）を用いた。ディッシングとエロージョンの平坦化特性については、触針式で段差を測定する高解像度プロファイラＨＲＰ１００（ＫＬＡテンコール社製）を用いた。
【００５５】
研磨剤の分散安定性については、調製直後と一ヵ月後の平均粒径の変化により評価した。平均粒径はマイクロトラックＵＰＡ（日機装社製）で測定した。平均粒径の増加が５０％以内であったものを○、それより大きかったものを×で示した。
【００５６】
表３にＣｕ、Ｔａ、ＳｉＯ2の各膜の研磨速度（単位はｎｍ／分）を、表４にディッシングとエロージョンそれぞれによる段差（単位はｎｍ）と研磨剤の分散安定性を示す。
【００５７】
【表１】
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【００５８】
【表２】
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【００５９】
【表３】
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【００６０】
【表４】
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【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明の研磨剤を用いると、絶縁膜上に配線金属膜とバリア膜が形成された基板の研磨において、高い研磨速度でありながらディッシングやエロージョンの発生を抑制しつつ、スクラッチの少ない信頼性の高い電気特性に優れた埋め込み配線部の形成が可能である。さらに、本発明の研磨剤は経時的に沈殿やゲル化等を生じにくく、分散安定性にも優れている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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