(57)【要約】【課題】液体吐出装置のノズルの内部やその外側に付着している異物を速やかかつ確実に取り除くことができ、しかも、この取り除いた異物が再度ノズルの内部やその外側に付着する虞がなく、さらには、液体吐出装置の製造工程中にて生じたノズル内部の異物も効率的に取り除くことができる液体吐出装置のノズルの異物除去方法を提供する。【解決手段】液滴吐出装置の吐出ノズル１０２１の異物除去方法であり、吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７内に付着したカラーフィルタ用インクがゲル化あるいは固化したゲル状物質や固化物からなる固着物１０３１や吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７付近のプレート面１０２１ａ上に付着した固着物１０３２に大気圧プラズマ１０３３を照射し、この固着物１０３１、１０３２を吐出ノズル１０２１から除去する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する液体室を備えたノズルと、前記液体室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段とを備え、前記圧力発生手段が前記液体室内の前記液体に圧力変動を生じさせることにより前記ノズルから前記液体を吐出する液体吐出装置における前記ノズルの異物を除去する方法であって、
前記ノズルへプラズマを照射して前記ノズルの内部及び外部に付着した異物を除去することを特徴とする液体吐出装置のノズルの異物除去方法。
【請求項２】
前記プラズマは、大気圧プラズマであることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置のノズルの異物除去方法。
【請求項３】
前記プラズマを照射した後に前記ノズル内を吸引し、前記ノズル内の異物を吸引除去することを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出装置のノズルの異物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置のノズルの異物除去方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、自発光型の平面表示型電気光学装置として、有機薄膜により発光層（電気光学層）等を構成した多層構造の有機エレクトロルミネッセンス（Electroluminescence：ＥＬ）表示装置が開発され、これまでにも様々な提案がなされている（例えば、特許文献１等参照）。
この有機ＥＬ表示装置には、トップエミッション型と、ボトムエミッション型の２種類のものがあり、薄型、軽量、フレキシブル、インクジェット法を用いて作製可能等の優れた特徴を有することから、ディスプレイパネル、電子ペーパー等、様々な分野への応用が進められている。
【０００３】
この有機ＥＬ表示装置では、マトリックス状に多数形成された発光素子（有機ＥＬ素子）各々に対応する画素領域にカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタは、カラーフィルタ用インクを液滴として吐出するインクジェット（液体吐出装置）を用いた成膜技術により形成することが行われている（例えば、特許文献２等参照）。
このインクジェットでは、インクヘッドのインクを吐出するノズル、特にノズルの吐出口付近に、このインク中の溶媒が揮散して粘性を増加させた増粘インクが付着して目詰まりを生じさせる虞があり、そこで、所定の回数吐出させた後、あるいは所定の期間毎に、このノズルの吐出口付近に付着した増粘インクを、キャップを用いた吸引により除去する方法、このノズルに超音波振動を加えてノズル内に付着した増粘インクを除去する方法（特許文献３）等が採られている。
【０００４】
また、ノズルのプレート面に付着したインクを除去する場合、ゴムブレードの端面をプレート面に当てながら、このゴムブレードをプレート面に沿って動かすことによりインクを擦り取る方法、繊維クロスでプレート面上のインクを拭き取る方法等の乾式除去方式、有機溶媒を染み込ませた繊維クロスでプレート面上のインクを拭き取る方法等の湿式除去方式等が採られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−８５４８８号公報
【特許文献２】特開２００３−１５９７８７号公報
【特許文献３】特開２００２−３６１９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のインクを除去する方法では、ガラス基板等にインクを吐出する場合、インクヘッドの駆動波形等を適正に調整しても、インクミストを完全に無くすことは困難である。特に、複数枚のガラス基板にインクを吐出する場合、インクミストがノズルのプレート全面に付着し、このインクミストが付着した状態で長時間経過した場合、ノズルの吐出口の周囲にインクミストがゲル化あるいは固化したゲル状物質や固化物が固着し、ノズルの吐出口を狭めてしまう虞があるという問題点があった。
吐出口が狭くなった場合、吐出するインクの質量が減少することによる膜の不均一、吐出口の断面が歪んで真円状でなくなってしまうことによるインクの飛び散りやインクの液滴の着弾位置異常、この着弾位置異常により生じるカラーフィルタの混色等の問題が生じることとなる。
【０００７】
そこで、インクヘッドのノズルを、例えば、８時間〜２４時間毎に定期的にクリーニングする必要があるが、従来のインクを除去する方法では、プレート面に付着した異物がノズル内に侵入し、このノズルの内部に固着してしまう虞があった。また、インクの材料自体に起因する不具合等によりノズルの内部の広範囲にインクが原因となる異物が発生する虞があった。
この固着物や異物は、超音波振動や洗浄液による洗浄で取り除くことが行われているが、これらの方法では、固着物や異物をノズル内から完全に除去することができず、やはり、ノズルの吐出口を狭めてしまう虞があるという問題点があった。
さらに、インクヘッドの製造工程中にノズルの内部に異物を付着させている可能性があり、量産工程で初期曲がり等の不具合が生じる原因になっている。
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、液体吐出装置のノズルの内部やその外側に付着している異物を速やかかつ確実に取り除くことができ、しかも、この取り除いた異物が再度ノズルの内部やその外側に付着する虞がなく、さらには、液体吐出装置の製造工程中にて生じたノズル内部の異物も効率的に取り除くことができる液体吐出装置のノズルの異物除去方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような液体吐出装置のノズルの異物除去方法を提供した。
本発明の液体吐出装置のノズルの異物除去方法は、液体を収容する液体室を備えたノズルと、前記液体室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段とを備え、前記圧力発生手段が前記液体室内の前記液体に圧力変動を生じさせることにより前記ノズルから前記液体を吐出する液体吐出装置における前記ノズルの異物を除去する方法であって、前記ノズルへプラズマを照射して前記ノズルの内部及び外部に付着した異物を除去することを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、前記ノズルへプラズマを照射することにより、このプラズマを前記ノズルの内部に進入させ、このノズル内に付着している異物をプラズマのエネルギーによりノズルから速やかに剥離する。また、このプラズマを前記ノズルのプレート面に照射することにより、このプレート面に付着している異物をプラズマのエネルギーによりプレート面から速やかに剥離する。これにより、ノズルの内部及び外部に付着している異物を速やかに除去することができる。
【００１１】
以上により、ノズルからの液滴の吐出量を良好な状態に維持することができ、この吐出工程における保守管理を確実に行うことができる。したがって、吐出工程に用いられる液体の使用に無駄がなくなり、この使用量を削減することができる。
さらに、ノズルの品質を常に一定に保つことができるので、吐出するインクの質量が減少することによる膜の不均一、吐出口の断面が歪んで真円状でなくなってしまうことによるインクの飛び散りやインクの液滴の着弾位置異常、この着弾位置異常により生じる混色等の問題も生じ難くなり、製品の品質を向上させることができる。
【００１２】
本発明においては、前記プラズマは大気圧プラズマであることが好ましい。
この構成によれば、プラズマとして、真空プラズマと比べて直進性が低く、その径が出射方向に向かって広がる傾向がある大気圧プラズマを用いることで、この大気圧プラズマをノズルへ照射すると、ノズル内へ進入した大気圧プラズマの径が出射方向に向かって広がり、ノズル内に付着している異物をプラズマのエネルギーによりノズルから速やかに剥離する。これにより、ノズル内に付着している異物を速やかかつ完全に除去することができる。
【００１３】
本発明においては、前記プラズマを照射した後に前記ノズル内を吸引し、前記ノズル内の異物を吸引除去することが好ましい。
この構成によれば、プラズマ照射後においてもノズルの内部に残存するプラズマ照射にて剥離した異物を、ノズル内を吸引することにより外部へ取り出す。これにより、プラズマ照射後にてもノズル内に残存する異物を速やかに外部へ取り出し、除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態における有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態における有機ＥＬ表示装置の画素領域を示す平面構成図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’線、Ｂ−Ｂ’線及びＣ−Ｃ’線に沿う部分断面図である。
【図４】本発明の一実施形態における有機ＥＬ表示装置のバンク構造を示す平面図である。
【図５】図４のＤ−Ｄ’線に沿う部分断面図である。
【図６】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図７】液滴吐出装置の吐出ノズルを示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態のカラーフィルタの製造方法における吐出ノズルの異物除去方法を示す過程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の液体吐出装置のノズルの異物除去方法を実施するための形態について、図面を参照して説明する。
ここでは、液体吐出装置のノズルの異物除去方法を適用する製造工程として、電気光学物質の一例である電界発光型物質、中でも有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）材料を用いた有機ＥＬ表示装置の製造工程を採用し、この有機ＥＬ表示装置の製造工程にて液体吐出装置のノズルの異物を除去する方法について説明する。
【００１６】
本発明の実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、本発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。
また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造とは縮尺や数等が異なっている。
【００１７】
図１は、本実施形態の液体吐出装置のノズルの異物除去方法を適用する有機ＥＬ表示装置の製造工程にて得られた有機ＥＬ表示装置（電気光学装置）１の配線構造を示す図であり、この有機ＥＬ表示装置１は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を用いたアクティブマトリクス型の有機ＥＬ表示装置である。
【００１８】
この有機ＥＬ表示装置１は、互いに並列な複数の走査線１０１と、各走査線１０１に対して直角に交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、各信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とがそれぞれ配線され、これら走査線１０１と信号線１０２との各交点付近に画素領域Ｘが設けられている。
信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備えた信号線駆動回路１００が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備えた走査線駆動回路８０が接続されている。
【００１９】
さらに、画素領域Ｘ各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用ＴＦＴ１１２と、このスイッチング用ＴＦＴ１１２を介して信号線１０２から供給される画素信号を保持する保持容量１１３と、この保持容量１１３によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用ＴＦＴ１２３と、この駆動用ＴＦＴ１２３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに該電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極（陽極：第１の電極）２３と、この画素電極２３と陰極（第２の電極）５０との間に挟み込まれた発光層１１０とが設けられている。これら画素電極２３と陰極５０と発光層１１０とにより、発光素子（有機ＥＬ素子）が構成されている。
【００２０】
この有機ＥＬ表示装置１によれば、走査線１０１を駆動してスイッチング用ＴＦＴ１１２をオン状態にすると、このときの信号線１０２の電位が保持容量１１３に保持され、この保持容量１１３の状態に応じて駆動用ＴＦＴ１２３のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用ＴＦＴ１２３のチャネルを介して電源線１０３から画素電極２３に電流が流れ、さらに発光層１１０を介して陰極５０に電流が流れる。よって、発光層１１０では、これを流れる電流量に応じて発光する。
【００２１】
次に、この有機ＥＬ表示装置１の具体的な構成について説明する。
図２は、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１の１表示単位を構成するＲ、Ｇ、Ｂの３つの画素領域Ｘを示す平面構成図であり、図３は図２のＡ−Ａ’線、Ｂ−Ｂ’線及びＣ−Ｃ’線に沿う部分断面構成図である。本実施形態の有機ＥＬ表示装置では、図２に示す３つの画素領域Ｘにより１表示単位が構成されている。
【００２２】
図２に示すように、有機ＥＬ表示装置１には、複数（図示では１本）の走査線１０１と、これらの走査線１０１に直交して延びる複数（図示では３本）の信号線１０２が設けられており、走査線１０１及び信号線１０２に囲まれた領域が画素領域Ｘに対応している。画素領域Ｘにおいては、走査線１０１と信号線１０２との交差点に対応してスイッチング用ＴＦＴ１１２が設けられており、このスイッチング用ＴＦＴ１１２に駆動用ＴＦＴ１２３及び保持容量１１３が接続されている。また、発光層１１０を挟み信号線１０２と反対側の位置には、信号線１０２に沿う方向に延在する電源線１０３を有している。
【００２３】
画素領域Ｘは、画像を表示する実表示領域４と、この実表示領域４の周囲に配置された回路領域５とに区画されている。
実表示領域４には、それぞれ画素電極を有する表示領域Ｒ、Ｇ、ＢがＡ−Ａ’方向、Ｂ−Ｂ’方向及びＣ−Ｃ’方向にそれぞれ離間してマトリックス状に形成されている。そして、実表示領域４の透明基板２０上には、画素電極２３を駆動するための駆動用ＴＦＴ１２３などを含む回路部１１が形成されており、この回路部１１上には、画素電極（陽極）２３と発光層１１０と陰極５０とを備えた発光素子（有機ＥＬ素子）がマトリックス状に多数形成されている。
【００２４】
発光層１１０は、具体的にはエレクトロルミネッセンス層であり、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層などのキャリア注入層またはキャリア輸送層を備えた構成であればよく、さらには、正孔阻止層（ホールブロッキング層）、電子阻止層（エレクトロン阻止層）を備えた構成であってもよい。
この発光素子は、上記の構成のもとに、その発光層１１０において、正孔輸送層（図示略）から注入された正孔と陰極５０からの電子とが結合することにより発光する。
【００２５】
発光層１１０を構成するための材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料を用いることができる。具体的には、（ポリ）フルオレン誘導体（ＰＦ）、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系有機材料などが好適に用いられる。
【００２６】
これらの発光材料は、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料、あるいはルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。
なお、上述した高分子材料に代えて、従来公知の低分子材料を用いることもできる。
また、必要に応じて、このような発光層１１０の上に電子注入層を設けた構成としてもよい。
【００２７】
画素電極２３は、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１がトップエミッション型であることから、透明である必要がなく、したがって、各種の導電材料から適宜選択することによって形成されている。
陰極５０は、図２〜図３に示すように、実表示領域４および回路領域５の総面積より広い面積を有し、しかも実表示領域４および回路領域５それぞれを覆うように形成されたもので、発光層１１０とバンク層３１０の上面、さらにはバンク層３１０の外側部を形成する壁面を覆った状態で透明基板２０上に形成されている。
この陰極５０は、バンク層３１０の外側で透明基板２０の外周部に形成された陰極用配線（図示略）を介して駆動ＩＣ（駆動回路）に接続されている。
【００２８】
陰極５０の材料としては、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１がトップエミッション型であることから、光透過性である必要があり、したがって、透明導電材料が用いられる。この透明導電材料としては、スズ添加酸化インジウム（ＩＴＯ：Indium Tin Oxide）が好適であるが、これ以外にも、例えば、亜鉛添加酸化インジウム（ＩＺＯ／アイ・ゼット・オー：Indium Zinc Oxide）（登録商標）等の酸化インジウム・酸化亜鉛系アモルファス透明導電膜等を用いることができる。
なお、本実施形態ではＩＴＯを用いている。
【００２９】
この陰極５０では、その上に、ケイ素化合物や金属化合物などの無機化合物からなる陰極保護層（図示略）を形成してもよい。この陰極保護層を陰極５０上に形成することにより、製造プロセス時においても、陰極５０への酸素等の侵入を良好に防止することができる。
なお、陰極保護層を形成する場合、基体２００の外周部の絶縁層２８４上まで、１０ｎｍから３００ｎｍ程度の厚みに形成することが好ましい。
【００３０】
この回路部１１及び発光素子（有機ＥＬ素子）を有する透明基板２０の上方には、緩衝層２１０を介して透明基板３０が対向配置されている。
この透明基板３０は、発光素子（有機ＥＬ素子）に外部から酸素や水分が浸入するのを防止するガスバリア層としての機能を有するもので、これにより陰極５０や発光層１１０への酸素や水分の浸入を防止し、酸素や水分による陰極５０や発光層１１０の劣化等を抑えるようになっている。
【００３１】
この透明基板３０は、例えばガラス基板からなるもので、可視光線領域における光透過率が８０％以上のガラス基板が好ましい。
この光透過率は、透明基板３０の材質や厚みを適宜に調整することにより、可視光線領域における光透過率を最適条件に調整することができる。
【００３２】
この透明基板３０のうち発光素子（有機ＥＬ素子）と対応する領域には、図４及び図５に示すように、矩形状のカラーフィルタ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂがそれぞれ形成され、これらのカラーフィルタ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂの周囲には、これらのカラーフィルタ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂに対応する矩形状の開口部２１２ａを有する光遮蔽性材料からなるバンク２１２が形成されている。そして、互いに隣り合うカラーフィルタ２１１Ｒのバンク２１２の側壁と、カラーフィルタ２１１Ｇのバンク２１２の側壁とは、重なり合って共通の側壁となっている。同様に、互いに隣り合うカラーフィルタ２１１Ｇのバンク２１２の側壁と、カラーフィルタ２１１Ｂのバンク２１２の側壁も、重なり合って共通の側壁となっている。
【００３３】
緩衝層２１０は、透明基板２０及び回路部１１を含む基体側の反りや体積変化により発生する応力を緩和し、不安定なバンク層３１０からの陰極５０の剥離を防止する機能を有するもので、下側に位置するバンク層３１０の形状の影響により凸凹状とされた陰極５０の凸凹部分を埋めるように形成されており、更に、その上面は略平坦とされている。
この緩衝層２１０では、その上面が略平坦化されているので、この緩衝層２１０上に形成される透明基板３０に応力が集中する部位がなくなる。これにより、透明基板３０においては、クラックの発生を防止することができる。
【００３４】
この有機ＥＬ表示装置１では、カラー表示を行うべく発光層１１０が、光の三原色にそれぞれ対応する光を発光するように、赤色表示領域Ｒに赤色光のみを透過するフィルタ２１１Ｒを、緑色表示領域Ｇに緑色光のみを透過するフィルタ２１１Ｇを、青色表示領域Ｂに青色光のみを透過するフィルタ２１１Ｂを、それぞれ設け、これら３種類の表示領域Ｒ、Ｇ、Ｂによりカラー表示を行う１画素が構成されている。
また、これら３種類の表示領域Ｒ、Ｇ、Ｂ各々の境界である回路領域５には、金属クロムをスパッタリング法などにて成膜したブラックマトリクス（ＢＭ、図示略）が形成されている。
【００３５】
次に、この有機ＥＬ表示装置１のカラーフィルタの製造方法について説明する。
ここでは、まず、このカラーフィルタを製造する際に用いられる装置について説明する。
この装置としては、液滴吐出ヘッドから基板に対して液滴を吐出することにより膜パターンを製造する液滴吐出装置（液体吐出装置：インクジェット装置）が用いられる。
【００３６】
図６は、この液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。
この液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド１００１と、Ｘ軸方向駆動軸１００４と、Ｙ軸方向ガイド軸１００５と、制御装置ＣＯＮＴと、ステージ１００７と、クリーニング機構１００８と、基台１００９と、ヒータ１０１５とを備えている。
ステージ１００７は、この液滴吐出装置ＩＪによりインク（液体材料）を吐出する対象となる基板Ｐを支持するものであり、基板Ｐを基準位置に固定する固定機構（図示略）を備えている。
【００３７】
液滴吐出ヘッド１００１は、図７に示すように、吐出ノズル１０２１を複数個（図では省略）備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドであり、吐出ノズル１０２１は、液滴吐出ヘッド１００１の下面にＹ軸方向（図７中紙面に垂直な方向）に沿って一定間隔にて配列されている。したがって、液滴吐出ヘッド１００１の吐出ノズル１０２１は、非走査方向であるＹ軸方向に一定間隔で並んで設けられている。
【００３８】
この吐出ノズル１０２１には、カラーフィルタ用インク（液体）１０２２を収容するインク室（液体室）１０２３が備えられ、このインク室１０２３には、カラーフィルタ用インク１０２２を収容するインクタンク（図示略）を含むインク供給系１０２４が接続されている。
また、この吐出ノズル１０２１の上面には、インク室１０２３に隣接してピエゾ素子（圧力発生手段）１０２５が設置され、このピエゾ素子１０２５には駆動回路１０２６が接続されている。
【００３９】
この液滴吐出ヘッド１００１では、インク１０２２がインク供給系１０２４を介してインク室１０２３に供給される。
ここで、駆動回路１０２６によりピエゾ素子１０２５に電圧を印加すると、この電圧の大きさに対応してピエゾ素子１０２５が圧力変動し、このピエゾ素子１０２５の圧力変動に応じてインク室１０２３が変形し、この吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７からインク１０２２が吐出される。
この場合、印加電圧を制御することにより、ピエゾ素子１０２５の歪み量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１０２５の歪み速度を制御することができる。このピエゾ方式によるインク吐出はインクに熱を加えないため、インクの組成に影響を与え難いという利点を有する。
【００４０】
この液滴吐出ヘッド１００１には、この液滴吐出ヘッド１００１をクリーニングするための大気圧プラズマ発生装置１０１６及び液滴吐出ヘッド１００１の異物を吸引するための吸引装置１０１７を備えている。
この大気圧プラズマ発生装置１０１６は、大気圧程度の圧力下、アーク電圧：数Ｖ〜数十Ｖ、アーク電流：数十Ａ〜１０００Ａにてアーク放電を生じさせることで非直進性の熱プラズマを発生させる装置であり、制御装置ＣＯＮＴにより制御される。また、吸引装置１０１７は、真空装置または減圧装置と吸引用ノズル及び配管とを備えたもので、吐出ノズル１０２１に付着した異物を真空または減圧により吸引し除去する装置であり、大気圧プラズマ発生装置１０１６と同様に制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００４１】
Ｘ軸方向駆動軸１００４には、Ｘ軸方向駆動モータ１００２が接続されている。Ｘ軸方向駆動モータ１００２はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ軸方向駆動軸１００４を回転させる。このＸ軸方向駆動軸１００４が回転すると、液滴吐出ヘッド１００１はＸ軸方向に移動する。
一方、Ｙ軸方向ガイド軸１００５は、基台１００９に固定されており、移動できないようになっている。一方、ステージ１００７は、Ｙ軸方向駆動モータ１００３を備えている。このＹ軸方向駆動モータ１００３はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＹ軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ１００７をＹ軸方向に移動する。
【００４２】
制御装置ＣＯＮＴは、液滴吐出ヘッド１００１に液滴の吐出制御用の電圧を供給する。また、Ｘ軸方向駆動モータ１００２に液滴吐出ヘッド１００１のＸ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、Ｙ軸方向駆動モータ１００３にステージ１００７のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を供給する。
【００４３】
クリーニング機構１００８にはＹ軸方向の駆動モータ（図示略）が備えられている。そして、このＹ軸方向の駆動モータを駆動させることにより、クリーニング機構１００８は、Ｙ軸方向ガイド軸１００５に沿って移動する。このクリーニング機構１００８の移動も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
ヒータ１０１５は、ここではランプアニールにより基板Ｐを熱処理する手段であり、基板Ｐ上に塗布された液体材料に含まれる溶媒の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ１０１５の電源の投入及び遮断も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００４４】
この液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド１００１と基板Ｐを支持するステージ１００７とを相対的に走査しつつ基板Ｐに対して液滴を吐出する。ここでは、Ｘ軸方向を走査方向、Ｙ軸方向を非走査方向とする。
なお、図６では、液滴吐出ヘッド１００１は、基板Ｐの進行方向に対し直角に配置されているが、液滴吐出ヘッド１００１の角度を調整し、基板Ｐの進行方向に対して交差させるようにしてもよい。このようにすれば、液滴吐出ヘッド１００１の角度を調整することで、ノズル間のピッチを調節することができる。また、基板Ｐとノズル面との距離を任意に調節することが出来るようにしてもよい。
【００４５】
次に、このカラーフィルタの製造方法における吐出ノズル１０２１の異物除去方法について説明する。
ここでは、透明基板３０に、バンク２１２及びカラーフィルタ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを形成した後に、吐出ノズル１０２１の異物を除去する方法について説明する。
【００４６】
まず、図８（ａ）に示すように、透明基板３０として、可視光線領域における光透過率が８０％以上のガラス基板３０１を用意し、このガラス基板３０１の表面に表面改質処理の一種であるヘキサメチルジシラサン（（ＣＨ３）３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）３）を塗布するＨＭＤＳ処理を施し、ガラス基板３０１の表面にＨＭＤＳ層３０２を形成し、このＨＭＤＳ層３０２上にバンクの形成材料を塗布し、ガラス基板３０１の表面にバンク膜３０３を形成する。
【００４７】
次いで、図８（ｂ）に示すように、このバンク膜３０３にフォトリソグラフィ法によりエッチングを施し、このバンク膜３０３にバンク２１２を形成する。
次いで、このバンク２１２にフッ酸処理を施す。このフッ酸処理は、例えば、２．５質量％のフッ素を含む水溶液を用いてエッチング処理を施すことで、バンク２１２内のＨＭＤＳ層３０２を除去する。
このバンク２１２の上面はインク１０２２に対して撥液性となっており、一方、バンク２１２の内面はカラーフィルタ用のインク１０２２に対して親液性となっている。
【００４８】
そこで、上記の液滴吐出装置ＩＪを用いて、カラーフィルタ用インク１０２２をバンク２１２内に吐出する。
ここでは、カラーフィルタ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂそれぞれに対応するバンク２１２内それぞれに、赤の着色材料を含むカラーフィルタ用インク（赤インク）、緑の着色材料を含むカラーフィルタ用インク（緑インク）、青の着色材料を含むカラーフィルタ用インク（青インク）をそれぞれ吐出する。
これにより、複数のバンク２１２それぞれがカラーフィルタ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂそれぞれに対応するように、複数のバンク２１２それぞれに赤インク、緑インク、青インクが吐出される。
次いで、このカラーフィルタ用インク１０２２を加熱処理することにより硬化させ、図８（ｃ）に示すように、カラーフィルタ２１１Ｒ（２１１Ｇ、２１１Ｂ）とする。
【００４９】
このカラーフィルタ用インク１０２２の吐出を所定回数、例えば１００００回行った後、或いは８時間〜２４時間行った後には、図８（ｄ）に示すように、吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７内に、カラーフィルタ用インク１０２２がゲル化あるいは固化したゲル状物質や固化物からなる固着物（異物）１０３１が付着するという不具合が生じる虞がある。また、カラーフィルタ用インク１０２２のインクミストが吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７付近のプレート面１０２１ａ上に付着して固着物（異物）１０３２になるという不具合が生じる虞がある。
そこで、大気圧プラズマ発生装置１０１６を用いて、吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７に、アルゴンガスを用いた大気圧プラズマ１０３３を照射する。
【００５０】
この大気圧プラズマ発生装置１０１６と吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７との距離は、出来るだけ近い方が好ましく、例えば、５〜２０ｍｍである。
また、この大気圧プラズマ１０３３の照射時間及び出力は、プレート面１０２１ａにダメージを与えないように出来るだけ最小にする必要があり、例えば、照射時間は１〜５秒、出力時の電圧は７０Ｖ〜１００Ｖ、周波数は１０ｋＨｚ〜３０ｋＨｚである。
【００５１】
この大気圧プラズマ１０３３は、真空プラズマと比べて直進性が低いので、吐出口１０２７内に進入すると、この吐出口１０２７内に進入した大気圧プラズマ１０３３の径が進行方向に向かって広がり、吐出口１０２７内に付着した固着物１０３１に大気圧プラズマ１０３３のエネルギーによる衝撃を加え、この衝撃により固着物１０３１を吐出口１０２７内から速やかに剥離する。
また、カラーフィルタ用インク１０２２のインクミストによるプレート面１０２１ａ上の固着物１０３２も大気圧プラズマ１０３３のエネルギーによる衝撃を加えることにより、この衝撃により固着物１０３２をプレート面１０２１ａから速やかに剥離する。
【００５２】
このように、吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７及びプレート面１０２１ａに大気圧プラズマ１０３３を照射することにより、吐出口１０２７内に付着した固着物１０３１及びプレート面１０２１ａ上に付着した固着物１０３２を大気圧プラズマ１０３３のエネルギーによる衝撃により速やかに剥離することができる。
この大気圧プラズマ１０３３の照射間隔は、カラーフィルタ用インク１０２２の吐出回数、液滴吐出ヘッド１００１の稼働時間、のいずれかにより吐出ノズル１０２１のクリーニングの間隔を最適に決定するものであり、上述したように、例えばカラーフィルタ用インク１０２２の吐出を１００００回行った後、あるいは液滴吐出ヘッド１００１を８時間〜２４時間稼働した後、というようにある決まった間隔にて定期的にクリーニングを行うことにより、液滴吐出ヘッド１００１における不具合の発生を事前に防止することができる。
【００５３】
次いで、図８（ｅ）に示すように、吸引装置１０１７を用いて吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７及びプレート面１０２１ａの吸引によるクリーニングを行う。この吸引により、吐出口１０２７内にて剥離した固着物１０３１やプレート面１０２１ａ上にて剥離した固着物１０３２が速やかに取り除かれる。
これにより、大気圧プラズマ１０３３照射後においても吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７内に残存する固着物１０３１やプレート面１０２１ａ上に残存する固着物１０３２を、吸引装置１０１７を用いて速やかかつ確実に取り除くことができる。
【００５４】
以上、吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７内及びプレート面１０２１ａへの大気圧プラズマ１０３３の照射、吸引装置１０１７を用いた吐出ノズル１０２１の吐出口１０２７及びプレート面１０２１ａの吸引によるクリーニング、を順次行うことにより、吐出口１０２７内に付着した固着物１０３１やプレート面１０２１ａ上に付着した固着物１０３２を速やかかつ確実に除去することができる。
したがって、従来の洗浄による吸引洗浄では除去することができなかった吐出ノズル１０２１における頑固な固着物１０３１、１０３２を確実に除去することができる。その結果、吐出ノズル１０２１からのカラーフィルタ用インク１０２２の吐出量を長期に亘って良好な状態に維持することができ、このカラーフィルタ用インク１０２２の吐出工程における保守管理を確実に行うことができる。
【００５５】
なお、本実施形態では、有機ＥＬ表示装置のカラーフィルタの製造工程にて液滴吐出装置ＩＪの吐出ノズル１０２１の固着物１０３１、１０３２を除去する方法について説明したが、この液滴吐出装置ＩＪの吐出ノズル１０２１の固着物１０３１、１０３２を除去する方法は、有機ＥＬ表示装置のカラーフィルタの製造工程に限ることなく、有機ＥＬ表示装置の製造工程以外の、各種金属配線、紫外線（ＵＶ）インク、配向膜等、成膜プロセス全般に対して適用可能である。
【符号の説明】
【００５６】
ＩＪ…液滴吐出装置、１００１…液滴吐出ヘッド、１０１６…大気圧プラズマ発生装置、１０１７…吸引装置、１０２１…吐出ノズル、１０２２…カラーフィルタ用インク、１０２３…インク室、１０２４…インク供給系、１０２５…ピエゾ素子、１０２７…吐出口、１０３１、１０３２…固着物、１０３３…大気圧プラズマ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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