(57)【要約】【課題】スミヤやブルーミング等を抑えて適切な検査を行い、バックライト光の範囲を調節して誤判定を抑制する。【解決手段】被検査パネルの非点灯検査を行う非点灯検査装置である。搬送装置に臨ませて設けられ、当該搬送装置で搬送される前記被検査パネルの画像を取り込むラインカメラと、前記ラインカメラに臨ませて配置され前記被検査パネルに光を照射するバックライトと、前記搬送装置で搬送されてくる前記被検査パネルの位置を、前記ラインカメラの上流側で検知するパネルセンサと、前記バックライトからの光を制御して効率的に前記ラインカメラに入射させる光制御板と、前記被検査パネルが前記ラインカメラの視野に入るまでの設定時間後に前記バックライトを点灯させる制御部とを備えた。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査パネルの非点灯検査を行う非点灯検査装置であって、
前記被検査パネルを搬送する搬送装置に臨ませて設けられ、当該搬送装置で搬送される前記被検査パネルの画像を取り込むラインカメラと、
前記搬送装置を中間に介在させた状態で前記ラインカメラに臨ませて配置され前記被検査パネルに光を照射するバックライトと、
前記搬送装置で搬送されてくる前記被検査パネルの位置を、前記ラインカメラの上流側で検知するパネルセンサと、
前記バックライトからの光を制御して効率的に前記ラインカメラに入射させる光制御板と、
前記パネルセンサで前記被検査パネルの位置を検知して当該被検査パネルが前記ラインカメラの視野に入るまでの設定時間後に前記バックライトを点灯させる制御部と
を備えたことを特徴とする非点灯検査装置。
【請求項２】
前記光制御板が、光を透過させるスリットを備えた遮光板で構成され、
当該遮光板のスリットが、前記被検査パネルの幅サイズに合わせてスリット幅の調節を可能にして、前記バックライトの光を前記被検査パネルの幅サイズに合わせることを特徴とする、請求項１に記載の非点灯検査装置。
【請求項３】
前記光制御板が、左右に分割された２枚の遮光板で構成されると共に各遮光板がスライド可能に支持され、各遮光板の間隔を調整して、前記バックライトの光の幅を前記被検査パネルのサイズに合わせることを特徴とする、請求項１に記載の非点灯検査装置。
【請求項４】
前記遮光板を伸縮可能な構成にして、前記スリットの長さを調整することを特徴とする、請求項２に記載の非点灯検査装置。
【請求項５】
前記２枚の遮光板が、遮光幅調節機構に支持され、
当該遮光幅調節機構が、前記各遮光板をそれぞれ支持して移動させる直動機構によって構成されたことを特徴とする、請求項３に記載の非点灯検査装置。
【請求項６】
前記遮光板が、着脱可能に取り付けられ、前記被検査パネルのサイズ等の条件に合わせて差し替えられることを特徴とする、請求項２乃至５のいずれか１項に記載の非点灯検査装置。
【請求項７】
前記パネルセンサが、被検査パネルの搬送方向に直交する方向にスライド可能に取り付けられたことを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の非点灯検査装置。
【請求項８】
前記光制御板が、偏光方向を互いにずらした２枚の偏光板で構成され、一方の偏光板が前記ラインカメラに面して、他方の偏光板が前記バックライトに面して配置されたことを特徴とする、請求項１に記載の非点灯検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査光を被検査パネルに当ててゴミ等の異物や泡等の欠陥の有無を検出する非点灯検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
非点灯検査は、バックライトの光を表示パネルに当て、異物や欠陥の有無を検出するための検査である。このような非点灯検査は一般的に知られている。例えば特許文献１に示すような例がある。この非点灯検査は、液晶を封入した表示パネルの電極にプローブを接触させて行う点灯検査よりも前に行われる。非点灯検査装置は、製造ライン等のコンベアの近傍に設置されて、搬送されてくる表示パネルを随時検査する。具体的には、コンベアから表示パネルを機械ハンドで吸着し、非点灯検査装置に表示パネルを載置して、CCDカメラで画像を取り込み、検査を行っていた。
【０００３】
しかし、この場合、検査に時間がかかってしまう。このため近年では、表示パネルの検査工程でのリードタイムの短縮を図るべく、特許文献２のように、搬送装置に検査装置を取り付けて、非点灯検査と搬送が同時に行えるように付加価値を高めた検査装置が提案されている。この検査装置は、搬送移動するガラス板に、その下方に設けた光源より光を照射し、ガラス板の上方に設けたラインカメラにてガラス板の搬送方向と直交する方向を走査撮像し、得られた明部と暗部の濃淡信号によりガラス板の欠陥を検出する装置である。この検査装置により、ガラス板中の非遮光性欠陥を光らせて明部とし、ガラス板中の遮光性異物に遮断されて暗部となるように光を照射することにより遮光性異物欠陥を識別する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２０５８８号公報
【特許文献２】特開平１１−３３７５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、搬送装置の上面側に取り付けられたCCDカメラに、搬送装置の下面側に配置されたバックライトから常に光が照射されると、スミアやブルーミングが発生し、欠陥の有無を判定することができなくなってしまう。
【０００６】
また、バックライトの照射範囲がコントロールできないため、表示パネルのサイズを変更して、小さいパネルを検査する時などには光が漏れてしまい、上記同様に、スミアやブルーミングが発生し、欠陥の有無を判定することができなくなってしまう。
【０００７】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、被検査パネルのサイズの違い等に係わらず、欠陥の有無を正確に判定することができる非点灯検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る非点灯検査装置は、被検査パネルの非点灯検査を行う非点灯検査装置であって、前記被検査パネルを搬送する搬送装置に臨ませて設けられ、当該搬送装置で搬送される前記被検査パネルの画像を取り込むラインカメラと、前記搬送装置を中間に介在させた状態で前記ラインカメラに臨ませて配置され前記被検査パネルに光を照射するバックライトと、前記搬送装置で搬送されてくる前記被検査パネルの位置を、前記ラインカメラの上流側で検知するパネルセンサと、前記バックライトからの光を制御して効率的に前記ラインカメラに入射させる光制御板と、当該パネルセンサで前記被検査パネルの位置を検知して当該被検査パネルが前記ラインカメラの視野に入るまでの設定時間後に前記バックライトを点灯させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
スミヤやブルーミング等を抑えて適切な検査を行うことができる。さらに、バックライト光の範囲を調節して、非点灯検査の誤判定を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】被検査パネルを搬送する搬送装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る非点灯検査装置を示す概略側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る非点灯検査装置を示す概略正面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る非点灯検査装置の遮光板を示す平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る非点灯検査装置を示す概略正面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る非点灯検査装置の光制御板を示す平面図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る非点灯検査装置を示す概略側面図である。
【図８】本発明の変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係る非点灯検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。本発明に係る非点灯検査装置は、被検査パネルが介在しないときに検査カメラにバックライト光が直接入射して被検査パネルの欠陥の判定ができなくなることを防止すると共に、被検査パネルのサイズが変わったときに誤判定を抑制できるように改良した検査装置である。
【００１２】
［第１実施形態］
本実施形態の非点灯検査装置は、被検査パネルを搬送する搬送装置に組み込まれている。搬送装置は、被検査パネルの製造ライン等に設置されている一般的な装置である。この搬送装置の一例を図１に示す。図１中の搬送装置１１は、駆動軸１２に支持されたコンベアローラー１３で被検査パネル２を搬送する装置である。搬送装置１１は、被検査パネルの製造ライン等に複数設置されている処理装置をそれぞれ繋ぐように設置される。
【００１３】
搬送装置１１は、２枚の側壁部１４の間に、一定の間隔をあけて複数配置された駆動軸１２がそれぞれ取り付けられている。各駆動軸１２には複数個のコンベアローラー１３が取り付けられている。駆動軸１２は、図示しないベルト等に連結されて動力が与えられ、コンベアローラー１３を回転させるようになっている。各駆動軸１２のコンベアローラー１３がそれぞれ回転駆動されることで、被検査パネル２を一定の速度で搬送するようになっている。なお、被検査パネル２は、上層を構成する液晶部３と、下層を構成する下面偏光板４とから構成されている。
【００１４】
非点灯検査装置２１は、上記搬送装置１１で搬送されている被検査パネル２を、搬送状態のまま止めることなく検査するための装置である。非点灯検査装置２１は、図２，３に示すように、ラインカメラ２２と、バックライト３１と、遮光板１５と、パネルセンサ２４と、制御部２５から構成されている。
【００１５】
ラインカメラ２２は、搬送装置１１で搬送される被検査パネル２の画像を取り込むための装置である。ラインカメラ２２は、一次元カメラで構成され、被検査パネル２の搬送方向に直交する方向（横方向）にスキャンするように構成されている。ラインカメラ２２は、搬送装置１１で搬送される被検査パネル２の一側（上側）に、この被検査パネル２に望ませた状態で配設され、被検査パネル２を透過する光を撮影する。具体的には、アーチ型に形成されたカメラフレーム２３が搬送装置１１の２枚の側壁部１４にそれぞれ取り付けられて、搬送装置１１の上側に掛け渡されている。これにより、カメラフレーム２３は、被検査パネル２の搬送方向に直行する横方向に配設されている。そして、複数のラインカメラ２２がカメラフレーム２３に並べて取り付けられている。これにより各ラインカメラ２２は、横方向に並べられ、被検査パネル２の全幅をカバーできるようになっている。
【００１６】
そして、被検査パネル２が搬送装置１１で各ラインカメラ２２の直下を搬送されることで、各ラインカメラ２２が被検査パネル２の全面をスキャンするようになっている。
【００１７】
バックライト３１は、被検査パネル２にその下側から光を照射して、被検査パネル２の欠陥や異物等を検出するための照明手段である。バックライト３１は、搬送装置１１を中間に介在させた状態でラインカメラ２２に臨ませて配置されている。即ち、バックライト３１は、搬送装置１１で搬送される被検査パネル２の他側（下側）であって、前記ラインカメラ２２に対向する位置（ラインカメラ２２の直下の位置）に配置されている。このバックライト３１は、被検査パネル２の搬送方向に直交する方向で、かつ、前記各ラインカメラ２２のスキャン方向に整合するように配設されている。バックライト３１は、直線状の発光体で構成されて、ラインカメラ２２のスキャン領域のみを照射する。
【００１８】
遮光板１５は、バックライト３１からの光を制御して効率的に前記ラインカメラ２２に入射させる光制御板である。具体的には、遮光板１５は、バックライト３１からの光を、前記各ラインカメラ２２の視野（スキャン領域）全体に照射し、この視野以外を照射しないようになっている。遮光板１５は、各ラインカメラ２２とバックライト３１との間に配置されている。具体的には、遮光板１５は、各ラインカメラ２２とバックライト３１との間であって、コンベアローラー１３とバックライト３１との間に配置されている。
【００１９】
遮光板１５は、図４に示すように、光を通さない板材で構成され、その中央部に光を透過させるスリット１６が設けられている。このスリット１６は、バックライト３１からの光を、被検査パネルの下側から、前記各ラインカメラ２２の視野全体にのみ絞って照射するようになっている。このスリット１６は、バックライト３１からの光を被検査パネル２の下側から視野全体に照射させることができる寸法の長溝状に形成されている。スリット１６の長さは、被検査パネル２の幅とほぼ同じ幅に設定される。少なくとも被検査パネル２の液晶部３よりも広い幅に設定される。下面偏光板４の幅より狭くても良い。遮光板１５の端部とスリット１６の端部の間に幅が遮光幅になる。また、スリット１６の幅は、各ラインカメラ２２によるスキャンを可能にする幅に設定されている。即ち、ある程度の幅に設定される。
【００２０】
遮光板１５は、被検査パネル２のサイズ等の条件に合わせた遮光板１５に差し替え可能な構造になっている。具体的には、搬送装置１１の側壁部１４にネジ等の取り付け金具で着脱自在に取り付けられている。側壁部１４には、遮光板１５の差し替えが可能な開口(図示せず)が開けられている。被検査パネル２のパネルサイズや、被検査パネル２に照射するバックライト光の幅等の条件に合うように、スリット１６の異なる遮光板１５を差し替えることで、バックライト光が透過する範囲を変える。遮光板１５は、前記開口に挿入されて固定される。遮光板１５の固定方法としては、取り付け金具によって遮光板１５を堅固に固定するようにしてもよく、摩擦板等によって遮光板１５がずれないように支持する程度でも良い。
【００２１】
パネルセンサ２４は、搬送装置１１で搬送されてくる被検査パネル２の位置を、ラインカメラ２２の上流側で検知するためのセンサである。パネルセンサ２４は、図２に示すように、被検査パネル２が各ラインカメラ２２の近傍に接近していることを検知する。パネルセンサ２４は、バックライト３１及び遮光板１５の近傍に配置されている。パネルセンサ２４としては、近接センサ等の非接触で被検査パネル２の存在を検知できるセンサを用いる。パネルセンサ２４は、被検査パネル２の搬送方向の上流側の近傍に配設され、搬送されてきた被検査パネル２が直前位置まで近づいていることを検知する。このパネルセンサ２４での被検査パネル２の検知をトリガーとしてバックライト３１を点灯するようになっている。これは、スミヤやブルーミング等の問題を解決するためのである。バックライト３１から直接ラインカメラ２２に入射する光と、被検査パネル２の検査時に入射する光とでは、その輝度に大きな差があるため、バックライト３１を常時点灯させておくと、スミヤやブルーミングを生じることがある。このため、パネルセンサ２４によって、被検査パネル２の通過を検知し、この被検査パネル２がラインカメラ２２の直下を通過するときだけバックライト３１を点灯させる。即ち、バックライト３１は通常消灯しておき、被検査パネル２がラインカメラ２２の直下を通過するときだけバックライト３１を点灯させるように制御する。
【００２２】
パネルセンサ２４の設置位置は正確に特定する。これは、被検査パネル２をパネルセンサ２４で検知した後、被検査パネル２の先端がラインカメラ２２の直下の視野に入るまでの時間を正確に特定すると共に、被検査パネル２の後端がラインカメラ２２の直下の視野を通過するまでの時間を正確に特定するためである。即ち、被検査パネル２がラインカメラ２２の視野に入る直前にバックライト３１を点灯させ、視野を通過した直後にバックライト３１を消灯させるためである。このとき、バックライト３１の点灯応答時間も考慮して設定する。このため、パネルセンサ２４の設置位置からラインカメラ２２の視野までの距離と、被検査パネル２の搬送速度とから、被検査パネル２の前記視野への到達時間（ラインカメラ２２の視野に入るまでの時間）がわかるため、被検査パネル２の先端の到達時間の経過直前にバックライト３１を点灯させ、被検査パネル２の後端の到達時間の経過直後にバックライト３１を消灯させるように制御する。このとき、被検査パネルの有無をセンサが検知し、バックライト３１が点灯また消灯する応答時間も考慮して時間を設定する。これらの制御は制御部２５で行う。
【００２３】
なお、パネルセンサ２４は、被検査パネル２の搬送速度とバックライト３１の応答時間を考慮した距離ｄ（図２参照）を予め算出して特定した設置位置に取り付けるようにしても良い。また、被検査パネル２のサイズにより搬送速度が一定にならないことがあるため、パネルセンサ２４の位置を調節できるように、パネルセンサ２４を被検査パネル２の搬送方向に移動させる移動機構を取り付けても良い。さらに、パネルセンサ２４は、横方向に複数設けて、被検査パネル２を複数箇所で検出するようにしても良い。
【００２４】
制御部２５は、画像処理と点灯制御を行うための装置である。具体的には、制御部２５は、パネルセンサ２４で被検査パネル２の位置を検知して前記設定時間後にバックライト３１を点灯及び消灯させる。制御部２５は、パネルセンサ２４と、バックライト３１と、ラインカメラ２２とにそれぞれ接続されて（図２，３においては便宜的にラインカメラ２２にのみ接続しているが、全てに接続される。）、これらを制御する。具体的には、制御部２５は、パネルセンサ２４からの検出信号に基づいてバックライト３１のON，OFFを制御すると共に、ラインカメラ２２からの画像情報を取り込んで画像処理を行う装置である。この制御部２５には、モニター２６が接続されている。モニター２６は、ラインカメラ２２の画像を写して、作業者が確認等を行う。
【００２５】
以上のように構成された非点灯検査装置２１は次のように作用する。
【００２６】
非点灯検査の開始と共にラインカメラ２２をONにして、パネルセンサ２４を作動させる。そして、搬送装置１１で搬送されてくる被検査パネル２の先端をパネルセンサ２４が検知すると、その検知信号を制御部２５に送信する。
【００２７】
制御部２５は、パネルセンサ２４の検知信号の受信時から設定時間後にバックライト３１をONにして、被検査パネル２の先端がラインカメラ２２の視野に入る直前又は被検査パネル２の下面偏光板４が視野に入り液晶部３が視野に入る直前に、視野全体を照射する。即ち、遮光板１５のスリット１６によってラインカメラ２２の視野の領域にのみ照射される。
【００２８】
次いで、制御部２５は、パネルセンサ２４からの、被検査パネル２なし信号（被検査パネル２が通過した信号）の受信時から設定時間後にバックライト３１をOFFにする。即ち、被検査パネル２の後端がラインカメラ２２の視野から抜けた直後又は被検査パネル２の液晶部３が視野から抜けて下面偏光板４が視野に残っている時点で、バックライト３１をOFFにして、バックライト３１の光がラインカメラ２２に直接入射しないようにする。
【００２９】
次いで、制御部２５は、ラインカメラ２２から取り込んだ画像を処理して、他の部分と輝度が異なる点や線等を検索する。例えば、ノーマリホワイトの場合は黒い影になる点や線等、ノーマリブラックの場合は光った点や線等を検索する。これらの点や線等が無ければ良、あれば不良と判断し、不良の被検査パネル２を取り除くなどの処理を行う。
【００３０】
以上のように、バックライト３１のON／OFF制御を最適時間で行うことにより、スミヤやブルーミングの問題を抑制して、検査精度を向上させることができる。
【００３１】
さらに、遮光板１５でバックライト光の範囲を調節して、バックライト光が直接ラインカメラ２２に入射しないようにしたため、非点灯検査の誤判定を抑制することができる。
【００３２】
また、ラインカメラ２２は一次元カメラで構成され、バックライト３１は直線状の発光体で構成されたため、従来の二次元カメラで、面状の発光体の構成に比べて大幅にコスト低減することができる。
【００３３】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の非点灯検査装置の全体構成は、上述した第１実施形態の非点灯検査装置と同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３４】
本実施形態は、被検査パネル２のパネルサイズが変更された場合にも対応できるように改良したものである。バックライト３１による光の照射範囲が一定の場合、被検査パネル２のパネルサイズを変更すると、被検査パネル２から光がはみ出したり、被検査パネル２全体を照射できなかったりする。これを解消するために、遮光板１５´を用いる。この遮光板１５´は、前記バックライト３１からの光を制御して効率的に前記ラインカメラ２２に入射させる光制御板である。
【００３５】
遮光板１５´は２枚の遮光板で構成される。即ち、遮光板１５´は、図５，６に示すように、左右に分割された２枚の遮光板で構成されると共に各遮光板がスライド可能に支持され、各遮光板の間隔（スリット）１６´を調整して、前記バックライト３１の光の幅を新しい被検査パネルのサイズに合わせる。
【００３６】
各遮光板１５´には、長穴１７が設けられている。側壁部１４に設けられたネジ等の取り付け治具(図示せず)が長穴１７に貫通して設けられて、この取り付け治具で遮光板１５´が保持されている。遮光板１５´は、長穴１７をスライドさせることによって、遮光幅を任意に拡縮させ、パネルサイズの変更に合わせて調節が可能となる。遮光板１５´のスライド機構は、パネルサイズのへ変更時に手動で遮光幅を調節しても良いが、モータのような駆動装置を取り付けて、パネルサイズの変更時にデータを入力し遮光幅を調節する。
【００３７】
非点灯検査装置は、被検査パネルが検査装置部21を通過する際に、ラインカメラ２２が被検査パネルの画像を順次取り込み、その画像データを元に制御部２５により良・不良の判断がなされる。ゴミや気泡が混入していると、バックライト光が乱反射して偏光板を透過するため、ゴミや気泡を判別することができる。
【００３８】
これにより、前記第１実施形態と同様に作用、効果を奏することができる。
【００３９】
[第３実施形態]
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の非点灯検査装置の全体構成は、上述した第１実施形態の非点灯検査装置と同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。本実施形態の非点灯検査装置は偏光板を備えたものである。
【００４０】
図７は、偏光板４がない被検査パネル２´における非点灯検査の実施例を示している。偏光板４の無い被検査パネル２´は、検査時にバックライト光を全て透過してしまい、高輝度の光がラインカメラ２２に入射し良・不良の判定ができない問題が起こる。そこで、本実施形態では、光制御板４´を設けた。この光制御板４´は、前記バックライト３１からの光を制御して効率的に前記ラインカメラ２２に入射させる板材である。
【００４１】
前記光制御板４´は、２枚の偏光板で構成されている。これらの偏光板は１／４波長板で構成されている。この２枚の１／４波長板の偏光方向を互いに９０度ずらして配設されている。一方の１／４波長板は前記ラインカメラ２２に面して、他方の１／４波長板は前記バックライト３１に面してそれぞれ配置されている。
【００４２】
これにより、通常は、一方の１／４波長板と他方の１／４波長板とで、バックライト３１からの光は遮断されて、ラインカメラ２２の画像は黒くなる。
【００４３】
そして、被検査パネル２´に異物が存在する場合は、バックライト３１側の１／４波長板で直線偏光された光が、異物で乱反射して、ラインカメラ２２側の１／４波長板を透過してしまう。これにより、ラインカメラ２２は、通常の画像の中に、点又は線の光を検知する。
【００４４】
これにより、スミヤやブルーミングの問題を抑制して、検査精度を向上させることができる。さらに、バックライト光が直接ラインカメラ２２に入射しないため、非点灯検査の誤判定を抑制することができる。
【００４５】
[変形例]
前記各実施形態では、ラインカメラ２２を２つ設けたが、被検査パネル２には種々のサイズがあるため、被検査パネル２のサイズに合わせて１つ又は３つ以上のラインカメラ２２を設けるようにしてもよい。この場合も、上記各実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００４６】
前記各実施形態では、非点灯検査装置２１を、カメラフレーム２３等で搬送装置１１に一体的に組み込んだが、別部材として適宜、既存の搬送装置１１に組み込むようにしてもよい。例えば、カメラフレーム２３等の取り付け時具を、搬送装置１１に着脱可能に構成して、既存の搬送装置１１に組み込む。取り付け時具を、コの字状に構成して、搬送装置１１にその横から挿入して取り付けるようにしても良い。
【００４７】
前記第１実施形態では、遮光板１５のスリット１６は一定長に設定したが、遮光板１５を伸縮可能な構成にして、スリット１６の長さを調整できるようにしても良い。具体的には図８に示すように、遮光板４１は、スライド板片４２と、スライド支持片４３とから構成されている。スライド板片４２は、第１実施形態の遮光板１５をその中央付近で切断した一方の片で構成されている。スライド支持片４３は、第１実施形態の遮光板１５をその中央付近で切断した状態で、その両端部に、前記スライド板片４２の両端部が嵌合する支持筒部４４を備えて構成されている。これにより、スライド支持片４３の各支持筒部４４にスライド板片４２の両端部が嵌合してスライドし、スリット４５の長さを調整する。即ち、被検査パネル２の幅サイズに合わせてスリット長の調節を可能にして、前記バックライト３１の光を前記被検査パネル２の幅サイズに合わせるようにしてもよい。
【００４８】
この場合も、上記各実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００４９】
また、前記各実施形態では、遮光板１５と光制御板４´とを個別に設けたが、これらを重ねて取り付けても良い。
【００５０】
また、前記第２実施形態の、２枚の遮光板を支持する遮光幅調節機構を設けても良い。この遮光幅調節機構を、前記各遮光板をそれぞれ支持して移動させる、直動モータ等からなる直動機構によって構成して、作業者がモニター２６を見ながら遮光板の間隔を被検査パネル２の幅に合わせて正確に調整するようにしても良い。
【００５１】
前記各実施形態では、前記パネルセンサ２４を、カメラフレーム２３に固定したが、直動機構によって、被検査パネル２の搬送方向に直交する方向にスライド可能に取り付けてもよい。また、直動機構は、自動でも、手動でもよい。
【００５２】
本発明は、上記各実施形態には限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。特に、遮光板の形状や配置、移動機構等は様々な改良が可能である。
【００５３】
前記第３実施形態で検査する被検査パネル２´は、偏光板４を設ける前の段階のパネルを対象にしているが、最終的なパネルとしては、偏光板４を被検査パネル２´の下側面だけに設けたもの、上側面だけに設けたもの又は上下両側面に設けたものがある。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の非点灯検査装置は、検査光を透過するパネルであって、その内部や表面に、ゴミ等の異物や泡等の欠陥があるか否かを検出する必要がある全てのパネルの検査に用いることができる。
【符号の説明】
【００５５】
１１：搬送装置、１２：駆動軸、１３：コンベアローラー、１４：側壁部、１５：遮光板、１５´：遮光板、１６：スリット、１７：長穴、２１：非点灯検査装置、２２：ラインカメラ、２３：カメラフレーム、２４：パネルセンサ、２５：制御部、２６：モニター、３１：バックライト、４１：遮光板、４２：スライド板片、４３：スライド支持片、４５：スリット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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