(57)【要約】 【課題】  下地体を搬送方向に移動させるときに、下地体を支持する部品に破損が生じることを防止することのできる搬送装置および析出装置を提供する。【解決手段】  下地体の搬送装置１０は、下地保持体１６と、保持体駆動部１７と、搬送駆動部１８と、受取部１９と、変位制限部２１とを含んで構成される。下地保持体１６は、溶湯から析出体を析出させるための下地となる下地体１５の少なくとも一部が溶湯に浸漬されるときに下地体１５を保持する。保持体駆動部１７は、下地保持体１６が保持した下地体１５を溶湯に浸漬させるために下地保持体１６を駆動する。搬送駆動部１８は、下地体１５を予め定める搬送方向Ｘに移動させる。受取部１９は、下地体１５を搬出するときに下地保持体１６に隣接し、下地体１５を下地保持体１６から受取る。変位制限部２１は、下地保持体１６が受取部１９に隣接するときに、下地保持体１６の変位の最大許容量を制限する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶湯から析出体を析出させるための下地となる下地体の少なくとも一部が溶湯に浸漬されるときに、前記下地体を保持する下地保持体と、
前記下地保持体が保持した前記下地体の少なくとも一部を溶湯に浸漬させるために、前記下地保持体を駆動する保持体駆動部と、
前記下地体を予め定める搬送方向に移動させる搬送駆動部と、
前記下地体を搬出するときに、前記下地保持体に隣接し、前記下地体を前記下地保持体から受取る受取部と、
前記下地保持体が前記受取部に隣接するとき、前記下地保持体の変位の最大許容量を制限する変位制限部とを含むことを特徴とする下地体の搬送装置。
【請求項２】
前記下地保持体に外力が付与されることによる前記下地保持体の変位の最大許容量は、前記変位制限部の取付け位置の変更によって調整されることを特徴とする請求項１に記載の下地体の搬送装置。
【請求項３】
前記下地保持体が変位の最大許容量の分、変位するときに、前記変位制限部が接触する被接触部をさらに含み、
前記被接触部の、前記変位制限部に臨む表面は、前記下地体の浸漬による前記下地保持体の温度変化、および前記搬送駆動部の稼動による前記下地保持体の振動によって前記下地体が変位したときの、前記被接触部に対する前記変位制限部の相対位置に対応する範囲を含んで形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の下地体の搬送装置。
【請求項４】
前記変位制限部の少なくとも一部は、前記搬送方向に関して前記下地保持体と前記受取部との中間に配置され、
前記下地保持体と前記受取部との中間に配置される前記変位制限部の上方に臨む表面は、水平な平面に対して角度を成して形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の下地体の搬送装置。
【請求項５】
前記下地保持体に関して前記受取部と前記搬送方向反対側に設けられ、前記下地保持体に下地体が供給されるときに下地体を案内する供給案内部をさらに含み、
前記搬送駆動部は、前記下地体を前記供給案内部から前記下地保持体に供給するとき、および前記受取部が前記下地保持体から下地体を受取るときに、前記下地体を予め定める搬送方向一方に移動させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の下地体の搬送装置。
【請求項６】
前記変位制限部は、下地保持体に設けられ、
前記下地保持体の変位の最大許容量は、前記受取部の位置を基準に制限されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の下地体の搬送装置。
【請求項７】
前記変位制限部は、前記受取部に設けられ、前記下地保持体の変位の最大許容量は、前記受取部の位置を基準に制限されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の下地体の搬送装置。
【請求項８】
前記下地保持体は、前記受取部に対して前記搬送方向に隣接して配置される隣接状態と、前記受取部に対して前記搬送方向に隣接する位置から離脱した離脱状態とを有し、
前記下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、前記下地保持体は、前記搬送方向に垂直な予め定める垂直方向一方に移動することによって切換えられ、
前記変位制限部の前記受取部側の端部には、前記垂直方向一方に臨み、前記下地保持体側に向かうにつれて前記垂直方向一方に向かう傾斜面が形成されることを特徴とする請求項６に記載の下地体の搬送装置。
【請求項９】
前記下地保持体は、前記受取部に対して前記搬送方向に隣接して配置される隣接状態と、前記受取部に対して前記搬送方向に隣接する位置から離脱した離脱状態とを有し、
前記下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、前記搬送方向に垂直な予め定める垂直方向一方に移動することによって切換えられ、
前記変位制限部の前記下地保持体側の端部には、前記垂直方向他方に臨み、前記下地保持体側に向かうにつれて前記垂直方向一方に向かう傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項７に記載の下地体の搬送装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の下地体の搬送装置と、
前記下地体の搬送装置を収容するチャンバとを含むことを特徴とする析出装置。
【請求項１１】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の下地体の搬送装置と、
前記下地体の搬送装置を収容するチャンバとを含み、
前記変位制限部の一部は、前記チャンバよりも外方に配置され、
前記下地保持体に外力が付与されることによる前記下地保持体の変位の最大許容量は、前記変位制限部の取付け位置をチャンバよりも外方において変更することによって調整されることを特徴とする析出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶湯から析出体を析出させるための下地となる下地体を搬送する下地体の搬送装置と、この下地体の搬送装置を備え、溶湯から析出体を析出させる析出装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０は、従来技術に係る駆動機構の平面図および側面図である。従来技術に係る下地体の搬送装置１として、析出用基板６の搬送方向後方から、析出用基板６を押圧する爪部材２を備える駆動機構が知られる。駆動機構は、爪部材２と、爪進退機構４とを備えており、爪進退機構４が爪部材２を搬送方向に進退移動させることによって、爪部材２は、下地体である析出用基板６を搬送方向後方から押圧し、爪部材２は析出用基板６を搬送方向に移動させる。搬送装置１は、第１搬送台３と、基板把持機構７と、第２搬送台５とをさらに有している。析出用基板６が第１搬送台３から搬送方向に移動すると、基板把持機構７は、析出用基板６を保持する。基板把持機構７に保持された状態から析出用基板６が搬送方向に押出され、析出用基板６は、第２搬送台５を介して搬出される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９３７６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術に係る駆動機構１では、爪進退機構４の動作不良、爪部材２および爪進退機構４の温度変化に伴う熱変形などによって、第１搬送台３と基板把持機構７との位置ずれ、および基板把持機構７と第２搬送台５との位置ずれのいずれかが生じた場合、移動する析出用基板６と基板把持機構７との搬送方向の接触、または析出用基板６と第２搬送台５との搬送方向の接触が生じ、析出用基板６、基板把持機構７および第２搬送台５のいずれかが破損する可能性がある。
【０００５】
特に、析出用基板６、第１搬送台３、基板把持機構７、および第２搬送台５がカーボンで形成される場合、使用される環境下においてカーボン同士の摺動は、たとえば平滑な金属表面同士の摺動に比べて大きな摩擦抵抗を示し、析出用基板６を移動させるには、摩擦抵抗に抗する大きな駆動力が必要となる。この場合、摩擦抵抗が小さい場合に比べて、移動する析出用基板６と基板把持機構７との搬送方向の接触、または析出用基板６と第２搬送台５との搬送方向の接触によって、析出用基板６、基板把持機構７および第２搬送台５のいずれかが破損する可能性が高くなるという問題点がある。
【０００６】
本発明の目的は、下地体を搬送方向に移動させるときに、下地体を支持する部品に破損が生じることを防止することのできる搬送装置および析出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に従えば、下地体の搬送装置は、下地保持体と、保持体駆動部と、搬送駆動部と、受取部と、変位制限部とを含んで構成される。下地保持体は、溶湯から析出体を析出させるための下地となる下地体の少なくとも一部が溶湯に浸漬されるときに、下地体を保持する。保持体駆動部は、下地保持体が保持した下地体の少なくとも一部を溶湯に浸漬させるために、下地保持体を駆動する。搬送駆動部は、下地体を予め定める搬送方向に移動させる。受取部は、下地体を搬出するときに、下地保持体に隣接し、下地体を下地保持体から受取る。変位制限部は、下地保持体が受取部に隣接するときに、下地保持体の変位の最大許容量を制限する。
【０００８】
また本発明に従えば、下地保持体に外力が付与されることによる下地保持体の変位の最大許容量は、変位制限部の取付け位置の変更によって調整される。
【０００９】
また本発明に従えば、下地体の搬送装置は、被接触部をさらに含んで構成される。被接触部には、下地保持体が変位の最大許容量の分、変位するときに、変位制限部が接触する。被接触部の変位制限部に臨む表面は、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動によって下地体が変化したときの、被接触部に対する変位制限部の相対位置に対応する範囲を含んで形成される。
【００１０】
また本発明に従えば、変位制限部の少なくとも一部は、搬送方向に関して下地保持体と受取部との中間に配置される。下地保持体と受取部との中間に配置される変位制限部の上方に臨む表面は、水平な平面に対して角度を成して形成される。
【００１１】
また本発明に従えば、下地体の搬送装置は、供給案内部をさらに含んで構成される。供給案内部は、下地保持体に関して受取部と搬送方向反対側に設けられ、下地保持体に下地体が供給されるときに下地体を案内する。搬送駆動部は、下地体を供給案内部から下地保持体に供給するとき、および受取部が下地保持体から下地体を受取るときに、下地体を予め定める搬送方向一方に移動させる。
【００１２】
また本発明に従えば、変位制限部は、下地保持体に設けられ、下地保持体の変位の最大許容量は、受取部の位置を基準に制限される。
【００１３】
また本発明に従えば、変位制限部は、受取部に設けられ、下地保持体の変位の最大許容量は、前記受取部の位置を基準に制限される。
【００１４】
また本発明に従えば、変位制限部は、下地保持体に設けられ、下地保持体は、受取部に対して搬送方向に隣接して配置される隣接状態と、受取部に対して搬送方向に隣接する位置から離脱した離脱状態とを有する。下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、下地保持体は、搬送方向に垂直な予め定める垂直方向一方に移動することによって切換えられる。変位制限部の受取部側の端部には、垂直方向一方に臨み、下地保持体側に向かうにつれて垂直方向一方に向かう傾斜面が形成される。
【００１５】
また本発明に従えば、変位制限部は、受取部に設けられ、下地保持体は、受取部に対して搬送方向に隣接して配置される隣接状態と、受取部に対して搬送方向に隣接する位置から離脱した離脱状態とを有する。下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、下地保持体は、搬送方向に垂直な予め定める垂直方向一方に移動することによって切換えられる。変位制限部の下地保持体側の端部には、垂直方向他方に臨み、下地保持体側に向かうにつれて垂直方向一方に向かう傾斜面が形成される。
【００１６】
また本発明に従えば、析出装置は、前記下地体の搬送装置と、下地体の搬送装置を収容するチャンバとを含んで構成される。
【００１７】
また本発明に従えば、析出装置は、前記下地体の搬送装置と、下地体の搬送装置を収容するチャンバとを含んで構成される。変位制限部の一部は、チャンバよりも外方に配置され、下地体に外力が付与されることによる下地体の変位の最大許容量は、変位制限部の取付け位置をチャンバよりも外方において変更することによって調整される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、変位制限部は、下地保持体が受取部に隣接するときに、下地保持体の変位の最大許容量を制限する。これによって、下地保持体および保持体駆動部に付与される外力の最大の大きさを制限することができる。下地保持体の位置は、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動によって、変化する場合がある。下地体を搬送駆動部によって下地保持体に保持される位置まで移動させるときに、下地体が下地保持体に接触し、外力を付与する場合がある。下地保持体の変位の最大許容量は、変位制限部によって制限されるので、下地体を搬送方向に移動させるときに、保持体駆動部が破損することを防止することができる。
【００１９】
また本発明によれば、下地保持体に外力が付与されることによる下地保持体の変位の最大許容量は、変位制限部の取付け位置の変更によって調整される。これによって、保持体駆動部の破損の防止を確実にすることができる。下地保持体の位置は、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動によって、変化する場合がある。この場合、保持駆動部に破損の可能性が生じるときの下地保持体の搬送方向の位置は、変化する。変位制限部の取付け位置を変更することができるので、変位制限部によって制限される下地保持体の変位の最大許容量を、保持体駆動部の破損が防止されるときの下地保持体の最大変位量以下に設定することが可能となる。したがって、下地保持体の位置が変化した場合にも、保持体駆動部の破損を防止することができる。
【００２０】
また本発明によれば、被接触部の変位制限部に臨む表面は、被接触部に対する変位制限部の相対位置に対応する範囲を含んで形成される。これによって、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動のいずれかによって下地保持体が変位したときにも、変位制限部を被接触部に接触させることができる。これによって、下地保持体の変位の最大許容量を制限することができる。したがって、保持体駆動部が破損することを防止することができる。
【００２１】
また本発明によれば、下地保持体と受取部との中間に配置される変位制限部の上方に臨む表面は、水平な平面に対して角度を成して形成される。これによって、下地体と下地保持体との摺動によって粉末が発生した場合に、変位制限部のうち搬送方向に関して下地保持体と受取部との中間に配置される部分の上部に粉末が堆積することを防止することができる。これによって、変位制限部に粉末が付着することを防止することができるので、変位制限部によって設定される下地保持体の変位の最大許容量が変化することを防止することができる。
【００２２】
また本発明によれば、搬送駆動部は、下地体を供給案内部から下地保持体に供給するとき、および受取部が下地保持体から下地体を受取るときに、下地体を予め定める搬送方向一方に移動させる。これによって、下地体を下地保持体から受取部に搬送することと、供給案内部から下地保持体に下地体を供給することとを同時に行うことが可能となる。したがって、受取部と別体の供給案内部が設けられず、下地保持体への下地体の供給にも受取部を用いる場合に比べて、単位時間当たりに製造できる析出体の個数を多くすることができる。これによって、析出体の製造の効率を高くすることができる。また下地保持体から受取部への下地体の搬送の向きと、供給案内部から下地保持体への下地体の供給の向きとを同一にすることができるので、これらの向きが互いに異なる場合に比べて、搬送駆動部の構造を簡単化することができる。
【００２３】
また本発明によれば、変位制限部は、下地保持体に設けられ、下地保持体の変位の最大許容量は、受取部の位置を基準に制限される。これによって、変位制限部を小形化することができる。下地保持体は、保持体駆動部によって駆動可能であり、下地保持体に下地体が供給されるときに、下地体から下地保持体に外力が付与される可能性があるので、下地保持体は、搬送方向に変位する可能性がある。これに対し、受取部は、移動させる必要がなく固定されているので、下地保持体が変位すると、下地保持体と受取部との搬送方向の距離は、変化する。下地体を搬出するときに下地保持体と受取部とは、搬送方向に隣接し、また変位制限部は、下地保持体と受取部との相対位置によって下地保持体の変位の最大許容量を制限するので、変位制限部を下地保持体および受取部以外の部分に取付ける場合に比べて、変位制限部を小形化することができる。
【００２４】
また本発明によれば、変位制限部は、受取部に設けられ、下地保持体の変位の最大許容量は、前記受取部の位置を基準に制限される。これによって、変位制限部を小形化することができる。下地保持体は、保持体駆動部によって駆動可能であり、下地保持体に下地体が供給されるときに、下地体から下地保持体に外力が付与される可能性があるので、下地保持体は、搬送方向に変位する可能性がある。これに対し、受取部は、移動させる必要がなく固定されているので、下地保持体が変位すると、下地保持体と受取部との搬送方向の距離は、変化する。下地体を搬出するときに下地保持体と受取部とは、搬送方向に隣接し、また変位制限部は、下地保持体と受取部との相対位置によって下地保持体の変位の最大許容量を制限するので、変位制限部を下地保持体および受取部以外の部分に取付ける場合に比べて、変位制限部を小形化することができる。
【００２５】
また本発明によれば、変位制限部は、下地保持体に設けられ、下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、下地保持体は、搬送方向に垂直な予め定める垂直方向一方に移動することによって切換えられる。変位制限部の受取部側の端部には、垂直方向一方に臨み、下地保持体側に向かうにつれて垂直方向一方に向かう傾斜面が形成される。
【００２６】
これによって、変位制限部および受取部が破損することを防止することができる。下地保持体の位置は、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動によって、変化する場合がある。これによって、下地保持体と受取部とが互いに近接した状態で下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときに、下地保持体に設けられた変位制限部が受取部に接触する可能性がある。変位制限部の受取部側の端部には、傾斜面が形成されるので、変位制限部が受取部に接触しても、変位制限部と受取部との間に働く力は、変位制限部と受取部との距離を増大させる向きの力を、成分の一部として含む。したがって、下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときに、変位制限部および受取部が破損することを防止することができる。
【００２７】
また本発明によれば、変位制限部は、受取部に設けられ、下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、下地保持体は、搬送方向に垂直な予め定める垂直方向一方に移動することによって切換えられる。変位制限部の下地保持体側の端部には、垂直方向他方に臨み、下地保持体側に向かうにつれて垂直方向一方に向かう傾斜面が形成される。
【００２８】
これによって、下地保持体および変位制限部が破損することを防止することができる。下地保持体の位置は、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動によって、変化する場合がある。これによって、下地保持体と受取部とが互いに近接した状態で下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときに、下地保持体に設けられた変位制限部が受取部に接触する可能性がある。変位制限部の受取部側の端部には、傾斜面が形成されるので、下地保持体が変位制限部に接触しても、下地保持体と変位制限部との間に働く力は、下地保持体と変位制限部と距離を増大させる向きの力を、成分の一部として含む。したがって、下地保持体が離脱状態から隣接状態に切換えられるときに、下地保持体および変位制限部が破損することを防止することができる。
【００２９】
また本発明によれば、下地体の搬送装置を含まない場合に比べて、析出体の製造の効率を高くすることができる。下地体の搬送装置では、下地保持体、受取部および保持体駆動部が破損することを未然に防止することができるので、下地保持体、受取部および保持体駆動部のいずれかが破損しやすい場合に比べて、析出体の製造の途中で製造の中断してチャンバを開放することが必要となる可能性を低減することができる。またチャンバを開放する回数を低減することができるので、チャンバ内の条件を変化させる回数を低減することができる。したがって、下地保持体、受取部および保持体駆動部が破損しやすい場合に比べて、析出体を高効率に製造することができる。
【００３０】
また本発明によれば、変位制限部の一部は、チャンバよりも外方に配置され、下地体に外力が付与されることによる下地体の変位の最大許容量は、変位制限部の取付け位置をチャンバよりも外方において変更することによって調整される。これによって、下地体の搬送装置を含まない場合に比べて、析出体の製造の効率を高くすることができる。下地保持体の位置は、下地体の浸漬による下地保持体の温度変化、および搬送駆動部の稼動による下地保持体の振動によって、変化する場合がある。変位制限部の取付位置は、チャンバよりも外方から変更可能であるので、下地保持体の位置が変化した場合にも、チャンバを開放することなく変位制限部を調整することができる。したがって、チャンバを開放する回数を低減することと、下地保持体、受取部および保持体駆動部の破損を防止することとを、両立することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態を、複数の形態について説明する。以下の説明においては、各形態に先行する形態ですでに説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する場合がある。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。またそれぞれの実施形態は、本発明に係る技術を具体化するために例示するものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。本発明に係る技術内容は、特許請求の範囲に記載された技術的範囲内において、種々の変更を加えることが可能である。以下の説明は、下地体の搬送装置１０、および析出装置１１についての説明をも含む。
【００３２】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る平面図および側面図である。本発明の第１実施形態に係る析出装置１１は、半導体材料または金属材料の溶湯から、析出体を析出させ、析出した析出体を搬送する。本発明において、半導体材料または金属材料の温度を、その融点以上にすることによって溶融させた液体を、「溶湯」と称し、溶湯から析出した半導体または金属の固体を「析出体」と称する。本発明の第１実施形態に係る析出装置１１は、下地体の搬送装置１０と、下地体の搬送装置１０を収容するチャンバ１４（図９を参照しながら後述する）とを含んで構成される。下地体の搬送装置１０は、溶湯から析出体を析出させるための下地となる下地体１５を搬送する。
【００３３】
下地体の搬送装置１０は、下地保持体１６と、保持体駆動部１７と、搬送駆動部１８と、受取部１９と、変位制限部２１とを含んで構成される。下地保持体１６は、溶湯から析出体を析出させるための下地となる下地体１５の少なくとも一部が溶湯に浸漬されるときに、下地体１５を保持する。保持体駆動部は、下地保持体１６が保持した下地体１５の少なくとも一部を溶湯に浸漬させるために、下地保持体１６を駆動する。搬送駆動部１８は、下地体１５を予め定める搬送方向Ｘに移動させる。受取部１９は、下地体１５を搬出するときに、下地保持体１６に隣接し、下地体１５を下地保持体１６から受取る。
【００３４】
変位制限部２１は、下地保持体１６が受取部１９に隣接するときに、下地保持体１６の変位の最大許容量を制限する。下地保持体１６に外力が付与されることによる下地保持体１６の変位の最大許容量は、変位制限部２１の取付け位置の変更によって調整される。本実施形態において変位制限部２１は、下地保持体１６に設けられ、下地保持体１６の変位の最大許容量は、受取部１９の位置を基準に制限される。
【００３５】
下地体の搬送装置１０は、被接触部２２をさらに含んで構成される。被接触部２２には、下地保持体１６が変位の最大許容量の分、変位するときに、変位制限部２１が接触する。被接触部２２の変位制限部２１に臨む表面は、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動によって下地体１５が変化したときの、被接触部２２に対する変位制限部２１の相対位置に対応する範囲を含んで形成される。
【００３６】
下地体の搬送装置１０は、供給案内部２４をさらに含んで構成される。供給案内部２４は、下地保持体１６に関して受取部１９と搬送方向Ｘ反対側に設けられ、下地保持体１６に下地体１５が供給されるときに下地体１５を案内する。搬送駆動部１８は、下地体１５を供給案内部２４から下地保持体１６に供給するとき、および受取部１９が下地保持体１６から下地体１５を受取るときに、下地体１５を予め定める搬送方向一方Ｘ１に移動させる。搬送方向Ｘは、下地体１５が下地保持体１６に保持されるとき、または下地体１５が搬出されるときに、下地体１５が移動する方向である。
【００３７】
受取部１９が下地保持体１６から下地体１５を受取るときには、下地保持体１６および受取部１９は、搬送方向Ｘに並ぶ。下地保持体１６に関して受取部１９と搬送方向Ｘに並んだ状態を「隣接状態」と称する。隣接状態において、下地保持体１６に対して受取部１９の位置する向きを「搬送方向一方」Ｘ１と称し、受取部１９に対して下地保持体１６の位置する向きを「搬送方向他方」Ｘ２と称する。本実施形態においては、供給案内部２４が下地保持体１６に下地体１５を供給するときと、受取部１９が下地保持体１６から下地体１５を受取るときには、供給案内部２４、下地保持体１６および受取部１９は、搬送方向他方Ｘ２から搬送方向一方Ｘ１に向かって、この順番で直線的に並び、隣接状態となる。
【００３８】
下地保持体１６が受取部１９に対して隣接状態から離脱した状態を「離脱状態」と称する。下地保持体１６は、離脱状態に移行し、下地体１５を溶湯に浸漬する。下地保持体１６は、保持体駆動部１７の駆動によって隣接状態と離脱状態とに切換えられる。下地保持体１６は、離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、搬送方向Ｘに垂直な予め定める垂直方向一方Ｙ１に移動することによって切換えられる。以下、下地保持体１６が隣接状態にあり、下地体１５が隣接状態の下地保持体１６に保持されるときの下地体１５および下地保持体１６について説明する。
【００３９】
図２は、本発明の第１実施形態における下地体１５を下地保持体１６が保持しているときの、下地体１５および下地保持体１６の断面図である。図２は、下地体１５および下地保持体１６の搬送方向Ｘに垂直な断面の断面図である。下地体１５は、溶湯に浸漬される浸漬部２６を有し、浸漬部２６の一方の面は溶湯に浸漬される。本発明において、溶湯に浸漬される面を「浸漬面」２７と称し、隣接状態の下地保持体１６に保持された状態における浸漬面２７の法線を「基準方向」Ｚと称する。基準方向Ｚのうち、浸漬面２７が向かう向きを「基準方向一方」Ｚ１と称し、基準方向Ｚのうち、浸漬面２７から浸漬部２６内部に向かう向きを「基準方向他方」Ｚ２と称する。本実施形態において具体的には、基準方向一方Ｚ１は鉛直上方であり、基準方向他方Ｚ２は鉛直下方である。
【００４０】
浸漬部２６は、その基準方向一方Ｚ１の端部に浸漬面２７が形成され、浸漬面２７を貯留される溶湯に向けて、溶湯に浸漬される。浸漬される部分は、浸漬面２７を含んでいれば、浸漬面２７以外の表面が浸漬されてもよい。浸漬部２６は溶湯から固体を析出するときの下地となる。溶湯から固体として析出する析出体は、浸漬部２６の浸漬面２７上に固着し、析出した浸漬面２７上の析出体の表面に、さらに析出体が固着する。これが連続的に繰返されて、析出体は溶湯の中で徐々に大きく成長する。
【００４１】
下地体１５は、浸漬部２６の基準方向他方Ｚ２に係合部２８を有する。下地保持体１６には、下地体１５を保持するための内部空間が形成される。係合部２８は、下地保持体１６が下地体１５を保持するときに、下地保持体１６に形成される内部空間に進入することによって、下地体１５の浸漬部２６が下地保持体１６に対して固定されることを可能にする部分である。係合部２８は、大略的に基準方向Ｚを厚み方向とする板状に形成され、以下、係合部２８の基準方向Ｚの寸法を、係合部２８の厚みと称することがある。
【００４２】
下地保持体１６に形成される内部空間は、基準方向一方Ｚ１に開放し、かつ基準方向Ｚに交差する搬送方向Ｘに開放する。係合部２８は、下地保持体１６に形成される内部空間に対して、内部空間が開放する搬送方向Ｘのうちの一方から挿入される。本発明において、内部空間に係合部２８が進入するときの、係合部２８の変位方向が、搬送方向Ｘである。
【００４３】
搬送方向Ｘと基準方向Ｚとは互いに垂直であり、搬送方向Ｘと基準方向Ｚとに垂直な方向を「垂直方向」Ｙと称する。本実施形態では、搬送方向一方Ｘ１、すなわち搬送方向Ｘ下流に向かって、基準方向一方Ｚ１を上方としたときの右方を「垂直方向一方」Ｙ１と称し、垂直方向Ｙのうち垂直方向一方Ｙ１とは逆の向きを「垂直方向他方」Ｙ２と称する。
【００４４】
下地体１５のうち、浸漬部２６は直方体の形状に形成され、係合部２８は、浸漬部２６から基準方向他方Ｚ２に突出して形成される。係合部２８の搬送方向Ｘの寸法は、浸漬部２６の搬送方向Ｘの寸法よりも小さく、係合部２８の垂直方向Ｙの寸法は、浸漬部２６の垂直方向Ｙの寸法よりも小さい。係合部２８は、浸漬部２６の搬送方向Ｘ中央部に設けられ、かつ浸漬部２６の垂直方向Ｙ中央部に設けられる。係合部２８は、搬送方向Ｘに見て基準方向他方Ｚ２に向かうにつれて広がる台形の形状に形成される。係合部２８のうち基準方向一方Ｚ１の端部における垂直方向Ｙの寸法は比較的小さく、基準方向他方Ｚ２の端部における垂直方向Ｙの寸法は比較的大きく形成される。
【００４５】
係合部２８の垂直方向一方Ｙ１の端部には、基準方向一方Ｚ１に向かうにつれて、垂直方向他方Ｙ２に向かい、かつ基準方向一方Ｚ１に臨む傾斜面が形成される。係合部２８の垂直方向他方Ｙ２の端部には、垂直方向一方Ｙ１に向かうにつれて基準方向一方Ｚ１に向かい、かつ基準方向一方Ｚ１に臨む傾斜面が形成される。下地保持体１６には、係合部２８の搬送方向Ｘに垂直な断面形状に対応した形状の内部空間が形成される。下地保持体１６の内部空間の搬送方向Ｘに垂直な断面は、係合部２８の搬送方向Ｘに垂直な断面とほぼ同じ形状および大きさに形成され、かつわずかに大きく形成される。
【００４６】
下地保持体１６のうち、下地保持体１６の内部空間を垂直方向一方Ｙ１から規定する部分には、基準方向一方Ｚ１に向かうにつれて、垂直方向他方Ｙ２に向かい、かつ基準方向他方Ｚ２に臨む傾斜面が形成される。下地保持体１６の内部空間を垂直方向他方Ｙ２から規定する部分には、基準方向一方Ｚ１に向かうにつれて、垂直方向一方Ｙ１に向かい、かつ基準方向他方Ｚ２に臨む傾斜面が形成される。これによって、下地体１５の係合部２８が下地保持体１６の内部空間に進入することで下地保持体１６は下地体１５を保持することができ、下地保持体１６が垂直方向Ｙに移動しても、浸漬面２７を基準方向他方Ｚ２に向けても、下地体１５の保持を維持することができる。
【００４７】
保持体駆動部１７は、下地保持体１６を、搬送方向Ｘに垂直な平面に平行な向きに回転駆動する。換言すれば、保持体駆動部１７が下地保持体１６を回転駆動するときに、下地保持体１６が移動する周方向は、搬送方向Ｘに垂直である。保持体駆動部１７は、下地保持体１６を予め定める周方向一方に駆動し、本実施形態において保持体駆動部１７は、下地保持体１６を周方向他方に駆動することはない。搬送方向一方Ｘ１に見て、保持体駆動部１７は、下地保持体１６を時計回りに回転駆動する。回転駆動の中心位置は、隣接状態にある下地保持体１６よりも基準方向他方Ｚ２に配置される。これによって、保持体駆動部１７が下地保持体１６を回転駆動するときに下地保持体１６は、垂直方向一方Ｙ１に移動することによって離脱状態から隣接状態となり、かつ隣接状態から離脱状態となる。
【００４８】
供給案内部２４および受取部１９は、チャンバ１４に対する相対位置が固定された状態で、チャンバ１４内に設けられる。供給案内部２４は、基準方向Ｚを厚み方向とする平板状に形成される供給平板部３２と、供給平板部３２から基準方向一方Ｚ１に突出して設けられる２本の供給レール部３３とを含む。２つの供給レール部３３は、搬送方向Ｘを長手方向とする長手形状に形成され、垂直方向Ｙに互いに離れて配置される。供給レール部３３は、供給平板部３２の基準方向一方Ｚ１に臨む表面部から基準方向一方Ｚ１に、下地体１５の係合部２８の厚み以上の寸法で突出して形成される。
【００４９】
２つの供給レール部３３間の垂直方向Ｙの間隔は、係合部２８の垂直方向Ｙの寸法以上の大きさに設定される。これによって、下地体１５が浸漬部２６を基準方向一方Ｚ１に、係合部２８を基準方向他方Ｚ２に向けて供給案内部２４上に配置されるとき、２つの供給レール部３３の基準方向一方Ｚ１の表面部は、浸漬部２６の基準方向他方Ｚ２の表面部に接触する。本実施形態において搬送駆動部１８は、下地体１５を搬送方向一方Ｘ１に向けて押圧することによって下地体１５を移動させ、下地体１５が供給案内部２４上に配置されるとき、下地体１５は、浸漬部２６の基準方向他方Ｚ２の表面部を供給レール部３３の基準方向一方Ｚ１の表面部に摺動させながら移動する。供給平板部３２と供給レール部３３とは、本実施形態においてカーボンから形成され、一体に形成される。
【００５０】
受取部１９は、基準方向Ｚを厚み方向とする平板状に形成される受取平板部３４と、受取平板部３４から基準方向一方Ｚ１に突出して設けられる２本の受取レール部３６とを含む。２つの受取レール部３６は、搬送方向Ｘを長手方向とする長手形状に形成され、垂直方向Ｙに互いに離れて配置される。受取レール部３６は、受取平板部３４の基準方向一方Ｚ１に臨む表面部から基準方向一方Ｚ１に、下地体１５の係合部２８の厚み以上の寸法で突出して形成される。
【００５１】
２つの受取レール部３６間の垂直方向Ｙの間隔は、係合部２８の垂直方向Ｙの寸法以上の大きさに設定される。これによって、下地体１５が浸漬部２６を基準方向一方Ｚ１に、係合部２８を基準方向他方Ｚ２に向けて受取部１９上に配置されるとき、２つの受取レール部３６の基準方向一方Ｚ１の表面部は、浸漬部２６の基準方向他方Ｚ２の表面部に接触する。本実施形態において、下地体１５が受取部１９上に配置されるとき、下地体１５は、浸漬部２６の基準方向他方Ｚ２の表面部を受取レール部３６の基準方向一方Ｚ１の表面部に摺動させながら移動する。受取平板部３４と受取レール部３６とは、本実施形態においてカーボンから形成され、一体に形成される。
【００５２】
供給案内部２４と下地保持体１６との間、および下地保持体１６と受取部１９との間には、隣接状態においても間隙が形成される。保持体駆動部１７は、下地保持体１６を搬送方向Ｘに垂直な向きに回転駆動するので、供給案内部２４と下地保持体１６との間、および下地保持体１６と受取部１９との間には、離脱状態においても搬送方向Ｘに離れている。溶湯からの熱が下地体１５および下地保持体１６を介して保持体駆動部１７に伝達され、保持体駆動部１７の温度が上昇し、保持体駆動部１７に熱変形が生じても、隣接状態および離脱状態において、供給案内部２４と下地保持体１６との間、および下地保持体１６と受取部１９との間には、間隙が形成される。
【００５３】
これによって、搬送駆動部１８によって下地体１５が移動されることによって供給案内部２４、下地保持体１６、保持体駆動部１７および受取部１９に振動が生じても、常時間隙が形成された状態が維持され、供給案内部２４と下地保持体１６とが接触することも、また下地保持体１６と受取部１９とが接触することも防止される。
【００５４】
溶湯の温度は、摂氏１４００度（略号「℃」）以上１６００℃以下のうちいずれかの温度に設定され、溶湯からの析出体の製造を行ったときに下地保持体１６の温度は、４００℃〜６００℃の温度にまで達する。これによって、保持体駆動部１７には、温度変化による熱変形が生じる可能性がある。溶湯、下地体１５、下地保持体１６および保持体駆動部１７の温度範囲は予め予測が可能であり、保持体駆動部１７の温度上昇による変形量も、実験またはシミュレーションによって予測可能である。また搬送駆動部１８による下地体１５の搬送に伴う振動の振幅についても、実験によって計測が可能であるので、予測可能である。保持体駆動部１７の変形量に関するこれらの予測に基づいて、供給案内部２４と下地保持体１６との間、および下地保持体１６と受取部１９との間に常時間隙が形成される。
【００５５】
保持体駆動部１７の温度上昇による搬送方向Ｘの変形量は、すなわち下地保持体１６と受取部１９との間隙の変化量であり、単に「間隙変化量」と称することがある。変位制限部２１のうちの少なくとも一部は、搬送方向Ｘに関して隣接状態における少なくとも下地保持体１６と受取部１９との間の位置に配置される。析出体の析出の開始前、供給案内部２４、下地保持体１６および受取部１９の位置調整は、チャンバ１４を開放し、常温において行われる。これらは、位置調整の段階において、隣接状態では搬送方向Ｘに直線的に並んで設定される。供給案内部２４、下地保持体１６および受取部１９の位置が、隣接状態において、搬送方向Ｘに直線的に並んだ状態を、特に「隣接理想状態」と称する。
【００５６】
析出体の析出の開始後、析出体の析出および搬送を繰返しながら供給案内部２４、下地保持体１６および受取部１９の位置調整を行うことは不可能である。下地保持体１６の位置は、前記熱変形によって、隣接状態において基準方向Ｚおよび垂直方向Ｙにも変位する場合があり、この場合、供給案内部２４と下地保持体１６とは、隣接理想状態からずれる。
【００５７】
供給案内部２４および受取部１９に対して、下地保持体１６が隣接理想状態から搬送方向Ｘに垂直ないずれかの向きに変位した場合、供給案内部２４上の下地体１５を、搬送駆動部１８が搬送方向Ｘに移動させて下地保持体１６の位置にまで移動させるときに、下地体１５が下地保持体１６に搬送方向一方Ｘ１に向かう外力を付与する可能性がある。これによって、下地保持体１６は、搬送方向一方Ｘ１に変位する。下地体の搬送装置１０は、変位制限部２１を設けることによって、下地保持体１６が搬送方向一方Ｘ１に変位したときに、変位制限部２１が下地保持体１６の搬送方向一方Ｘ１への変位を阻止する。変位制限部２１は、受取部１９を基準に下地保持体１６の搬送方向一方Ｘ１への変位を阻止する。
【００５８】
具体的には、本実施形態において変位制限部２１は、下地保持体１６に固定して設けられ、下地保持体１６に搬送方向一方Ｘ１への外力が付与され、変位した場合に、変位制限部２１は、受取部１９に固定して設けられる被接触部２２に接触して被接触部２２を押圧する。接触しかつ押圧することを「当接する」と称すると、変位制限部２１は、被接触部２２に当接することによって被接触部２２から反作用としての押圧力を受ける。被接触部２２から受ける反作用としての押圧力を「反力」と称すると、変位制限部２１は、被接触部２２から反力を受けることによって、下地保持体１６の変位を阻止する。
【００５９】
下地保持体１６に外力が付与されない状態から、変位制限部２１が被接触部２２に当接するまでの下地保持体１６の変位は、許容される。この許容される下地保持体１６の変位量を、「最大変位量Ｌ」と称する。熱変形および振動による保持体駆動部１７の変形量の最大量、すなわち間隙変化量は、予め予測可能である。また、保持体駆動部１７に破損が生じない範囲で下地保持体１６が変位するときの変位量を「復帰可能変位量」と称すると、復帰可能変位量のうち最大の変位量が、下地保持体１６に許容される変位の最大許容量である。復帰可能変位量のうち最大の変位量を「復帰可能最大変位量」と称すると、変位制限部２１によって許容される前記最大変位量Ｌは、復帰可能最大変位量以内の値に設定される。熱変形および振動による間隙変化量は、隣接理想状態を基準とし、析出装置１１を稼動させたときに、保持体駆動部１７および下地保持体１６の熱変形および振動によって、下地保持体１６に生じた変形量である。
【００６０】
変位制限部２１は、ベース３８と回転胴部３９と固定ナット４２を含む。ベース３８は、下地保持体１６に固定され、回転胴部３９は、ベース３８から、被接触部２２に向かって突出して設けられる。回転胴部３９は、搬送方向Ｘに延びる軸線まわりに回転可能であり、回転胴部３９がこの軸線まわりに回転されることによって、回転胴部３９は、ベース３８に対して搬送方向Ｘに変位する。固定ナット４２は、回転胴部３９のベース３８からの突出量が調整された状態で、締められることによって、回転胴部３９をベース３８に対して固定する。固定ナット４２によって固定された状態において回転胴部３９の軸線まわりの回転は阻止され、ベース３８から搬送方向一方Ｘ１に向かう突出量は、固定される。
【００６１】
変位制限部２１は、隣接状態における下地保持体１６の基準方向他方Ｚ２側の表面部に取付けられ、垂直方向Ｙに離れて２つ設けられる。被接触部２２は、受取部１９の基準方向他方Ｚ２の表面部に固定して設けられ、被接触部２２のうち搬送方向他方Ｘ２の表面部は、変位制限部２１の回転胴部３９の位置に対応して形成される。保持体駆動部１７が熱変形によって変形した場合には、隣接理想状態からずれる可能性があるけれども、そのずれ量は予測可能であるので、変位制限部２１に臨む被接触部２２の搬送方向他方Ｘ２の表面部として必要な大きさは、予め予測可能である。被接触部２２の変位制限部２１に臨む表面部を予め定める大きさに形成することによって、熱変形および振動が下地保持体１６に生じた場合にも、回転胴部３９は、被接触部２２の表面部に当接することができる。被接触部２２の少なくとも変位制限部２１に臨む表面部は、搬送方向Ｘに関して下地保持体１６と受取部１９との間に配置される。
【００６２】
熱変形の向きおよび間隙変化量は、少なくとも同一の下地保持体１６および保持体駆動部１７が複数回、析出体の製造に用いられる場合には、確実に予測可能となる。また変位制限部２１の回転胴部３９を回転させることによって、変位制限部２１による下地保持体１６の最大変位量Ｌを調整することができるので、熱変形および振動によって下地保持体１６の位置に変位が生じたとしても、下地保持体１６の最大変位量Ｌを、復帰可能最大変位量以内に調整し設定することができる。最大変位量Ｌは、具体的には、隣接状態における、変位制限部２１と被接触部２２との搬送方向Ｘの間隔として、設定される。
【００６３】
析出装置１１は、下地体の搬送装置１０と、図９に示すチャンバ１４と、溶湯容器と、温度検知部と、加熱部と、気体供給部と、温度制御部（いずれも図示外）とを含んで構成される。析出装置１１は、チャンバ１４内に、常温に比べて高温の雰囲気が充満した状態で稼動される。充満される気体としては、たとえば水分などの不純物の含有量が可及的に少ない高純度の不活性ガスが使用される。たとえばアルゴンガスなどを使用する。本実施形態において気体供給部は、高純度のアルゴンガスをチャンバ１４内に供給する。これによって、析出体を、純度および結晶性の高い結晶として製造することができる。析出体の製造途中において、チャンバ１４内に充満する雰囲気は、およそ２００℃〜２５０℃の温度となる。この温度条件下においてもアルゴンガスは、反応不活性であるので、化学反応を起こすことはない。
【００６４】
温度検知部は、溶湯容器内の溶湯の温度およびチャンバ１４内の雰囲気の少なくともいずれか一方の温度を測定し、測定結果を温度制御部に対して出力する。加熱部は、溶湯容器内の溶湯を加熱する。これは、溶湯容器を加熱する構成とすることもあるけれども、たとえば溶湯となる金属固体に電圧を印加して電流を発生させることによって、溶湯となる金属を直接加熱する構成とすることも可能である。温度制御部は、予め溶湯の温度として定められる温度を判断基準として記憶しておき、温度検知部から出力される測定結果を判断基準と比較し、加熱部の制御を行うことによって、溶湯の温度を一定に調整する。
【００６５】
本実施形態において搬送方向Ｘおよび垂直方向Ｙは、略水平に設定される。「略水平」は「水平」を含む。したがって、供給レール部３３および受取レール部３６も、略水平に設定される。供給案内部２４、下地体１５、下地保持部、および受取レール部３６は、それぞれ一体に形成され、カーボンによって形成される。下地体１５は、供給案内部２４の供給レール部３３を搬送方向一方Ｘ１に向けて搬送される。この搬送は、搬送駆動部１８によって行われる。搬送駆動部１８は、搬送方向Ｘに離れる３つの押圧片２０を有し、各押圧片２０は、垂直方向Ｙに長手方向を有する形状に形成される。
【００６６】
各押圧片２０は、下地体１５をその搬送方向他方Ｘ２から搬送方向一方Ｘ１に向けて押圧し、搬送する。具体的には、各押圧片２０は、下地体１５の浸漬部２６の搬送方向他方Ｘ２の端部を搬送方向一方Ｘ１に押圧することで、下地体１５を搬送する。搬送駆動部１８は、３つの押圧片２０を有するので、搬送方向一方Ｘ１への一度の移動によって、３つの下地体１５を搬送することができる。各押圧片２０の搬送方向Ｘの間隔は、下地体１５の搬送方向Ｘの寸法に比べて、わずかに長く設定される。３つのうち１つの押圧片２０の搬送方向一方Ｘ１の端面から、これに搬送方向Ｘに隣接する押圧片２０の搬送方向一方Ｘ１の端面までのピッチは、いずれの押圧片２０間についても同じピッチに設定され、以下、これを「搬送ピッチ」５１と称する。
【００６７】
搬送駆動部１８は、３つの押圧片２０を搬送方向一方Ｘ１に移動させる駆動と、基板方向一方に移動させる駆動と、搬送方向他方Ｘ２に移動させる駆動と、基板方向他方に移動させる駆動とをこの順序で、順次行う。以下、この４つの押圧片２０の動作を１周回とする。搬送方向一方Ｘ１および搬送方向他方Ｘ２への駆動によって押圧片２０が移動する距離は、前記搬送ピッチ５１に同じ寸法に設定される。押圧片２０が基板方向一方に移動する距離は、浸漬部２６の基準方向Ｚの厚み以上の距離に設定される。これによって、押圧片２０の１周回の動きによって、下地体１５は、３つ一度に１搬送ピッチ５１ずつ搬送される。また押圧片２０が基準方向Ｚに移動する距離は、浸漬部２６の厚み方向以上に設定されるので、押圧片２０が各下地体１５に対して搬送方向Ｘに変位するときに、押圧片２０が浸漬部２６に接触することを防ぐことができる。
【００６８】
搬送駆動部１８が、押圧片２０を浸漬部２６に当接させた状態で、下地体１５を搬送方向一方Ｘ１に移動させるときには、下地体１５と供給レール部３３との搬送方向Ｘの摺動によって、摩擦が生じる。下地体１５の搬送が行われるときのチャンバ１４内の雰囲気の温度は常温に比べて高く設定される。このように温度の高い雰囲気下では、カーボンとカーボンとの摺動における摩擦力は、チャンバ１４内の雰囲気の温度が常温である場合に比べて、大きいことが知られる。搬送駆動部１８は、下地体１５と供給レール部３３との摺動に伴う摩擦力に抗して下地体１５に押圧力を付与し、下地体１５を搬送方向一方Ｘ１に搬送する。
【００６９】
搬送駆動部１８が下地体１５を搬送方向一方Ｘ１に押圧する押圧力が大きければ大きいほど、下地体１５が下地保持体１６に搬送方向他方Ｘ２から当接したときに、下地保持体１６に付与される力が大きくなる可能性がある。しかし下地保持体１６に付与される押圧力は、大きければ大きいほど、保持体駆動部１７が大きく変形し、下地保持体１６の搬送方向Ｘへの変位量が大きくなる。本実施形態の下地体の搬送装置１０は、変位制限部２１を含んで構成されるので、下地保持体１６の搬送方向Ｘへの変位量を制限することができる。これによって、下地保持体１６に付与される押圧力の一部を受取部１９にからの反力によって搬送方向Ｘに相殺し、間隙変化量を抑制することができる。したがって、保持体駆動部１７の破損を防止することができる。
【００７０】
下地保持体１６に下地体１５が保持されると、下地保持体１６は保持体駆動部１７によって回転駆動され、隣接状態における下地保持体１６よりも基準方向他方Ｚ２に配置される溶湯に浸漬される。溶湯は、半導体または金属が、それらの融点以上の温度にまで加熱されることによって液体となったもので、溶湯容器に保持される。溶湯容器は、溶湯を成す材料の融点にも耐える耐熱性を有する材料によって形成され、チャンバ１４内に配置される。
【００７１】
保持体駆動部１７は、下地保持体１６を回転駆動する部分で、下地保持体１６を支持する複数の支柱４３、回転駆動の中心を成す回転軸、回転駆動の原動力を発生するモータを含む。モータを、たとえばステッピングモータによって実現すれば、角変位量を制御することが容易となる。またエンコーダをさらに含み、エンコーダによって支柱４３の角変位量を検出し、その検出量に応じてモータの制御を行う制御部をさらに含む構成とすれば、エンコーダと制御部とによってモータを制御することが可能となる。
【００７２】
隣接理想状態において設定される下地保持体１６と受取部１９との間の搬送方向Ｘの間隙は、予測される間隙変化量よりも大きく設定される。これによって、たとえば保持体駆動部１７に熱変形が生じても、下地保持体１６が受取部１９に当接することを防止することができる。前述した復帰可能最大変位量は、下地体１５の温度が４００℃〜６００℃にまで上昇した状態を前提に予測され、変位制限部２１によって許容される最大変位量Ｌは、復帰可能最大変位量以下の大きさに設定される。隣接理想状態において設定される下地保持体１６と受取部１９との間の搬送方向Ｘの間隙は、復帰可能最大変位量よりも小さく設定されることが好ましい。
【００７３】
変位制限部２１によって許容される最大変位量Ｌは、たとえば次の手順に従って決定される。第１に、下地保持体１６に対し搬送方向Ｘに作用して復帰可能な負荷の最大値、すなわち復帰可能最大変位量Ｌに対応する負荷の最大値を、シミュレーションまたは実験によって予測する。第２に、前記負荷の最大値よりも充分小さな、たとえば１０％の許容負荷量を決定する。第３に、決定した許容負荷量の負荷が作用したときの、下地保持体１６の搬送方向Ｘの変位量を、シミュレーションまたは実験によって決定する。第４に、熱変形および振動の振幅による間隙変化量を、シミュレーションまたは実験によって決定する。第５に、前記許容負荷量の負荷が作用したときの変位量と前記間隙変化量とを合計した長さを、最大変位量Ｌとして決定する。
【００７４】
決定した最大変位量Ｌを、実際の変位制限部２１と被接触部２２との間隔として設定するときには、まず変位制限部２１の固定ナット４２を緩める。次に、回転胴部３９を回転させることによって、回転胴部３９のうちの最も被接触部２２の端部と、被接触部２２との間隔を、決定した最大変位量Ｌに等しく設定する。次に固定ナット４２を締めることで、回転胴部３９をベース３８に対して固定する。
【００７５】
図３は、本発明の第１実施形態において、変位制限部２１によって下地保持体１６の変位が制限された状態を表す平面図および側面図である。図３（ａ）は、基準方向一方Ｚ１、すなわち上方から見た平面図であり、図３（ｂ）は、垂直方向一方Ｙ１から見た側面図である。図３には、下地体１５の搬送の途中において、たとえば機械的または熱的な原因によって、供給案内部２４と下地保持体１６とが、基準方向Ｚに相対的な位置ずれを生じた場合を示す。この状態は、たとえば以下のような原因によって生じる場合がある。
【００７６】
たとえば、下地体１５の搬送を開始するときに、供給レール部３３に対する下地保持体１６の相対位置が基準方向Ｚにずれて配置され、これによって、搬送開始後すぐに下地体１５の搬送方向一方Ｘ１の端部が下地保持体１６の搬送方向他方Ｘ２の端部に衝突する。
【００７７】
またたとえば、搬送駆動部１８が下地保持体１６に保持された下地体１５を受取部１９に搬出するときに、下地保持体１６と下地体１５との摩擦によって下地保持体１６に機械的な負荷が作用し、下地保持体１６が搬送方向一方Ｘ１に角変位してのめった形状に変形する。この変形が弾性変形であったとしても、複数の下地体１５が連続して搬送方向Ｘに搬送される場合には、これによって、保持体駆動部１７の支柱４３が変形した状態で、次の下地体１５が下地保持体１６に当接する。
【００７８】
これらによって搬送方向一方Ｘ１に変位した下地体１５によって下地保持体１６が押圧変位され、変位制限部２１が被接触部２２に当接した状態で、下地保持体１６は、それ以上搬送方向一方Ｘ１に変位しなくなる。変位制限部２１の回転胴部３９が被接触部２２に当接した状態で下地保持体１６が搬送方向Ｘに停止した状態において、保持体駆動部１７に作用している外力の大きさは、予め定めた許容負荷量に等しい。したがって、保持体駆動部１７が破損することはない。変位制限部２１が被接触部２２に当接し、下地保持体１６が搬送方向Ｘに停止した場合には、搬送駆動部１８の駆動を停止し、後退させ、下地体１５を取去り、下地保持体１６と受取部１９との相対位置の変化を修正する。これによって、保持体駆動部１７が破損することが防止されるので、保持体駆動部１７が破損する場合に比べて、下地板の搬送および析出体の製造に必要な処理工程を簡単化することができる。
【００７９】
第１実施形態によれば、変位制限部２１は、下地保持体１６が受取部１９に隣接するときに、下地保持体１６の変位の最大許容量を制限する。これによって、下地保持体１６および保持体駆動部１７に付与される外力の最大の大きさを制限することができる。下地保持体１６の位置は、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動によって、変化する場合がある。下地体１５を搬送駆動部１８によって下地保持体１６に保持される位置まで移動させるときに、下地体１５が下地保持体１６に接触し、外力を付与する場合がある。下地保持体１６の変位の最大許容量は、変位制限部２１によって制限されるので、下地体１５を搬送方向Ｘに移動させるときに、保持体駆動部１７が破損することを防止することができる。
【００８０】
また第１実施形態によれば、下地保持体１６に外力が付与されることによる下地保持体１６の変位の最大許容量は、変位制限部２１の取付け位置の変更によって調整される。これによって、保持体駆動部１７の破損の防止を確実にすることができる。下地保持体１６の位置は、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動によって、変化する場合がある。この場合、保持駆動部に破損の可能性が生じるときの下地保持体１６の搬送方向Ｘの位置は、変化する。変位制限部２１の取付け位置を変更することができるので、変位制限部２１によって制限される下地保持体１６の変位の最大許容量を、保持体駆動部１７の破損が防止されるときの下地保持体１６の最大変位量Ｌ以下に設定することが可能となる。したがって、下地保持体１６の位置が変化した場合にも、保持体駆動部１７の破損を防止することができる。
【００８１】
また第１実施形態によれば、下地体の搬送装置１０は、被接触部２２をさらに含んで構成される。被接触部２２には、下地保持体１６が変位の最大許容量の分、変位するときに、変位制限部２１が接触する。被接触部２２の変位制限部２１に臨む表面は、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動によって下地体１５が変化したときの、被接触部２２に対する変位制限部２１の相対位置に対応する範囲を含んで形成される。
【００８２】
これによって、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動のいずれかによって下地保持体１６が変位したときにも、変位制限部２１を被接触部２２に接触させることができる。これによって、下地保持体１６の変位の最大許容量を制限することができる。したがって、保持体駆動部１７が破損することを防止することができる。
【００８３】
また第１実施形態によれば、下地体の搬送装置１０は、供給案内部２４をさらに含んで構成される。供給案内部２４は、下地保持体１６に関して受取部１９と搬送方向Ｘ反対側に設けられ、下地保持体１６に下地体１５が供給されるときに下地体１５を案内する。搬送駆動部１８は、下地体１５を供給案内部２４から下地保持体１６に供給するとき、および受取部１９が下地保持体１６から下地体１５を受取るときに、下地体１５を予め定める搬送方向一方Ｘ１に移動させる。
【００８４】
これによって、下地体１５を下地保持体１６から受取部１９に搬送することと、供給案内部２４から下地保持体１６に下地体１５を供給することとを同時に行うことが可能となる。したがって、受取部１９と別体の供給案内部２４が設けられず、下地保持体１６への下地体１５の供給にも受取部１９を用いる場合に比べて、単位時間当たりに製造できる析出体の個数を多くすることができる。これによって、析出体の製造の効率を高くすることができる。また下地保持体１６から受取部１９への下地体１５の搬送の向きと、供給案内部２４から下地保持体１６への下地体１５の供給の向きとを同一にすることができるので、これらの向きが互いに異なる場合に比べて、搬送駆動部１８の構造を簡単化することができる。
【００８５】
また第１実施形態によれば、変位制限部２１は、下地保持体１６に設けられ、下地保持体１６の変位の最大許容量は、受取部１９の位置を基準に制限される。これによって、変位制限部２１を小形化することができる。下地保持体１６は、保持体駆動部１７によって駆動可能であり、下地保持体１６に下地体１５が供給されるときに、下地体１５から下地保持体１６に外力が付与される可能性があるので、下地保持体１６は、搬送方向Ｘに変位する可能性がある。これに対し、受取部１９は、移動させる必要がなく固定されているので、下地保持体１６が変位すると、下地保持体１６と受取部１９との搬送方向Ｘの距離は、変化する。下地体１５を搬出するときに下地保持体１６と受取部１９とは、搬送方向Ｘに隣接し、また変位制限部２１は、下地保持体１６と受取部１９との相対位置によって下地保持体１６の変位の最大許容量を制限するので、変位制限部２１を下地保持体１６および受取部１９以外の部分に取付ける場合に比べて、変位制限部２１を小形化することができる。
【００８６】
また第１実施形態によれば、析出装置１１は、前記下地体の搬送装置１０と、下地体の搬送装置１０を収容するチャンバ１４とを含んで構成される。これによって、下地体の搬送装置１０を含まない場合に比べて、析出体の製造の効率を高くすることができる。下地体の搬送装置１０では、下地保持体１６、受取部１９および保持体駆動部１７が破損することを未然に防止することができるので、下地保持体１６、受取部１９および保持体駆動部１７のいずれかが破損しやすい場合に比べて、析出体の製造の途中で製造の中断してチャンバ１４を開放することが必要となる可能性を低減することができる。またチャンバ１４を開放する回数を低減することができるので、チャンバ１４内の条件を変化させる回数を低減することができる。したがって、下地保持体１６、受取部１９および保持体駆動部１７が破損しやすい場合に比べて、析出体を高効率に製造することができる。
【００８７】
図４は、本発明の第１実施形態に類似する他の実施形態に係る下地体の搬送装置１０の側面図である。本実施形態では、受取部１９の受取平板部３４を、被接触部２２としても利用する。したがって、被接触部２２には、下地保持体１６が変位の最大許容量の分、変位するときに、変位制限部２１が接触する。被接触部２２のうち変位制限部２１に臨む表面は、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動によって下地体１５が変化したときの、被接触部２２に対する変位制限部２１の相対位置に対応する範囲を含んで形成される。これによって、第１実施形態に比べて、被接触部２２および受取部１９の構造を簡単化することが可能となる。
【００８８】
（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態に係る下地体の搬送装置１０の平面図および側面図である。第２実施形態に係る析出装置１１は、第１実施形態に係る析出装置１１に類似しており、以下、第１実施形態に対する第２実施形態の相違点を中心に説明する。第２実施形態において、変位制限部２１は、受取部１９に設けられ、下地保持体１６の変位の最大許容量は、前記受取部１９の位置を基準に制限される。
【００８９】
具体的には、本実施形態において変位制限部２１は、下地保持体１６に搬送方向一方Ｘ１への外力が付与され、変位した場合に、下地保持体１６は、受取部１９に固定して設けられる変位制限部２１を当接する。これによって、下地保持体１６は、変位制限部２１に当接することによって変位制限部２１から反作用としての押圧力を受ける。下地保持体１６は、変位制限部２１から反力を受けることによって、下地保持体１６の変位は阻止される。下地保持体１６に外力が付与されない状態から、下地保持体１６が変位制限部２１に当接するまでの下地保持体１６の変位は、許容される。変位制限部２１によって許容される下地保持体１６の最大変位量Ｌは、復帰可能最大変位量以内の値に設定される。
【００９０】
変位制限部２１は、ベース３８と回転胴部３９と固定ナット４２とを含む。下地体の搬送装置１０は、変位制限部２１の搬送方向他方Ｘ２側の端部に設けられる被当接部５２をさらに含んで構成される。ベース３８は、受取部１９に固定され、回転胴部３９は、ベース３８から、下地保持体１６に向かって突出して設けられる。回転胴部３９は、搬送方向Ｘに延びる軸線まわりに回転可能であり、回転胴部３９がこの軸線まわりに回転されることによって、回転胴部３９は、ベース３８に対して搬送方向Ｘに変位する。固定ナット４２は、回転胴部３９のベース３８からの突出量が調整された状態で、締められることによって、回転胴部３９をベース３８に対して固定する。固定ナット４２によって固定された状態において回転胴部３９の軸線まわりの回転は阻止され、ベース３８から搬送方向一方Ｘ１に向かう突出量は、固定される。
【００９１】
変位制限部２１は、受取部１９の基準方向他方Ｚ２側の表面部に取付けられ、垂直方向Ｙに離れて２つ設けられる。被当接部５２は、回転胴部３９の搬送方向他方Ｘ２の表面部に固定して設けられ、被当接部５２のうち搬送方向他方Ｘ２の表面部は、下地保持体１６の位置に対応して形成される。保持体駆動部１７が熱変形によって変形した場合には、隣接理想状態からずれる可能性があるけれども、そのずれ量は予測可能であるので、下地保持体１６に臨む被当接部５２の搬送方向他方Ｘ２の表面部として必要な大きさは、予め予測可能である。被当接部５２の下地保持体１６に臨む表面部を予め定める大きさに形成することによって、熱変形および振動が下地保持体１６に生じた場合にも、下地保持体１６は、被当接部５２の表面部に当接することができる。被当接部５２の少なくとも下地保持体１６に臨む表面部は、搬送方向Ｘに関して下地保持体１６と受取部１９との間に配置される。
【００９２】
熱変形の向きおよび間隙変化量は、少なくとも同一の下地保持体１６および保持体駆動部１７が複数回、析出体の製造に用いられる場合には、確実に予測可能となる。また変位制限部２１の回転胴部３９を回転させることによって、変位制限部２１による下地保持体１６の最大変位量Ｌを調整することができるので、熱変形および振動によって下地保持体１６の位置に変位が生じたとしても、下地保持体１６の最大変位量Ｌを、復帰可能最大変位量以内に調整し設定することができる。最大変位量Ｌは、具体的には、隣接状態における、下地保持体１６と被当接部５２との搬送方向Ｘの間隔として、設定される。
【００９３】
第２実施形態によれば、変位制限部２１は、受取部１９に設けられ、下地保持体１６の変位の最大許容量は、前記受取部１９の位置を基準に制限される。これによって、変位制限部２１を小形化することができる。下地保持体１６は、保持体駆動部１７によって駆動可能であり、下地保持体１６に下地体１５が供給されるときに、下地体１５から下地保持体１６に外力が付与される可能性があるので、下地保持体１６は、搬送方向Ｘに変位する可能性がある。これに対し、受取部１９は、移動させる必要がなく固定されているので、下地保持体１６が変位すると、下地保持体１６と受取部１９との搬送方向Ｘの距離は、変化する。下地体１５を搬出するときに下地保持体１６と受取部１９とは、搬送方向Ｘに隣接し、また変位制限部２１は、下地保持体１６と受取部１９との相対位置によって下地保持体１６の変位の最大許容量を制限するので、変位制限部２１を下地保持体１６および受取部１９以外の部分に取付ける場合に比べて、変位制限部２１を小形化することができる。
【００９４】
（第３実施形態）
図６は、本発明の第３実施形態に係る下地体の搬送装置１０の平面図および側面図である。第３実施形態に係る析出装置１１は、第１実施形態に係る析出装置１１に類似しており、以下、第１実施形態に対する第３実施形態の相違点を中心に説明する。変位制限部２１の一部は、搬送方向Ｘに関して下地保持体１６と受取部１９との中間に配置され、変位制限部２１の他の一部は、搬送方向Ｘに関して下地保持体１６と供給案内部２４との中間に配置される。これによって、下地保持体１６が基準方向Ｚに延びる直線まわりに角変位する駆動力を付与されて、下地保持体１６が前記直線まわりに角変位した場合にも、保持駆動部の破損を防止することができる。
【００９５】
下地保持体１６に保持される下地体１５を搬送駆動部１８が搬送方向Ｘに押圧することによって、下地体１５が受取部１９に移動するときに、下地保持体１６の内部空間を規定する表面部と下地体１５の係合部２８との摩擦が、接触する表面において均等に分布せず、垂直方向Ｙに不均一となった場合には、下地保持体１６を搬送方向Ｘに押圧する押圧力に起因する下地体１５と下地保持体１６との摩擦によって、下地保持体１６に、基準方向Ｚに延びる直線まわりに角変位させる駆動力が付与される場合がある。
【００９６】
この回転力は、第１および第２実施形態に類似する変位制限部２１によってもある程度抑制することは可能であるけれども、第３実施形態においては、供給案内部２４と下地保持体１６との間、および変位制限部２１が下地保持体１６と受取部１９との間に変位制限部２１が配置されることによって、第１および第２実施形態に比べて、下地保持体１６の角変位は、小さい角度の角変位で抑制される。これによって、保持体駆動部１７に付与される力の大きさを抑制することができる。
【００９７】
（第４実施形態）
図７は、本発明の第４実施形態に係る下地体の搬送装置１０の平面図および側面図である。第４実施形態に係る析出装置１１は、第１実施形態に係る析出装置１１に類似しており、以下、第１実施形態に対する第４実施形態の相違点を中心に説明する。第４実施形態において搬送駆動部１８は、ロボットハンド５４によって実現される。変位制限部２１は、下地保持体１６に設けられ、変位制限部２１に対応する被接触部２２の一部は、チャンバ１４に固定して配置される。本実施形態において、下地保持体１６に供給される前の下地体１５は、所定の第１位置に載置され、第１位置からロボットハンド５４で下地保持体１６にまで搬送される。また下地保持体１６から搬出される下地体１５は、所定の第２位置に載置され、下地保持体１６から第２位置までは、ロボットハンド５４によって搬送される。
【００９８】
搬送駆動部１８としてロボットハンド５４を用いる場合には、第１位置および第２位置を自由に設計できることから、析出装置１１の設計の自由度を高くすることができる。しかし、ロボットハンド５４による搬送の駆動力は、第１〜第３実施形態における、押圧片２０を有する搬送駆動部１８の駆動力に比べて大きい。また下地保持体１６に搬送方向Ｘに供給案内部２４および受取部１９が隣接して配置されないので、供給案内部２４および受取部１９の少なくともいずれか一方を基準に下地保持体１６の最大変位量Ｌを制限することができない。
【００９９】
第４実施形態では、変位制限部２１を下地保持体１６に設け、変位制限部２１が当接する被接触部２２を下地保持体１６よりも搬送方向一方Ｘ１に配置することによって、下地保持体１６の最大変位量Ｌを決定する。被接触部２２は、チャンバ１４に固定されるので、被接触部２２と保持体駆動部１７との相対位置は固定される。これによって、下地保持体１６の位置が熱変形および振動の少なくともいずれか一方によって変化し、下地保持体１６に搬送されてきた下地体１５が下地保持体１６に接触し、下地保持体１６を押圧し、下地保持体１６が搬送方向一方Ｘ１に変位しても、変位制限部２１が被接触部２２に当接した状態で、この状態以上に下地保持体１６が変位することを防止することができる。
【０１００】
第４実施形態において、被接触部２２は、チャンバ１４に固定されるものとしたけれども、第４実施形態に類似した他の実施形態において、被接触部２２の一部は、チャンバ１４よりも外方に配置され、下地体１５に外力が付与されることによる下地体１５の変位の最大許容量は、被接触部２２の取付け位置をチャンバ１４よりも外方において変更することによって調整されてもよい。
【０１０１】
これによって、下地保持体１６の位置が変化した場合にも、チャンバ１４を開放することなく被接触部２２の位置を調整することができる。したがって、チャンバ１４を開放する回数を低減することと、下地保持体１６、受取部１９および保持体駆動部１７の破損を防止することとを、両立することができる。
【０１０２】
（第５実施形態）
図８は、本発明の第５実施形態における下地体１５および下地保持体１６の断面図と、下地体の搬送装置１０の平面図である。図８（ａ）には、下地体１５および下地保持体１６を搬送方向Ｘに垂直な平面で切断した断面図を示し、図８（ｂ）には、下地体の搬送装置１０の平面図である。第５実施形態に係る析出装置１１は、第１実施形態に係る析出装置１１に類似しており、以下、第１実施形態に対する第５実施形態の相違点を中心に説明する。
【０１０３】
変位制限部２１の少なくとも一部は、搬送方向Ｘに関して下地保持体１６と受取部１９との中間に配置される。下地保持体１６と受取部１９との中間に配置される変位制限部２１の上方に臨む表面は、水平な平面に対して角度を成して形成される。これによって、下地体１５と下地保持体１６との摺動によって粉末が発生した場合に、変位制限部２１のうち搬送方向Ｘに関して下地保持体１６と受取部１９との中間に配置される部分の上部に粉末が堆積することを防止することができる。これによって、変位制限部２１に粉末が付着することを防止することができるので、変位制限部２１によって設定される下地保持体１６の変位の最大許容量が変化することを防止することができる。
【０１０４】
下地保持体１６は、受取部１９に対して搬送方向Ｘに隣接して配置される隣接状態と、受取部１９に対して搬送方向Ｘに隣接する位置から離脱した離脱状態とを有する。下地保持体１６が離脱状態から隣接状態に切換えられるときには、下地保持体１６は、搬送方向Ｘに垂直な予め定める垂直方向一方Ｙ１に移動することによって切換えられる。変位制限部２１の受取部１９側の端部には、垂直方向一方Ｙ１に臨み、下地保持体１６側に向かうにつれて垂直方向一方Ｙ１に向かう傾斜面が形成される。
【０１０５】
これによって、変位制限部２１および受取部１９が破損することを防止することができる。変位制限部２１の受取部１９側の端部には、傾斜面が形成されるので、変位制限部２１が受取部１９に接触しても、変位制限部２１と受取部１９との間に働く力は、変位制限部２１と受取部１９との距離を増大させる向きの力を、成分の一部として含む。したがって、下地保持体１６が離脱状態から隣接状態に切換えられるときに、変位制限部２１および受取部１９が破損することを防止することができる。
【０１０６】
変位制限部２１の下地保持体１６側の端部には、垂直方向他方Ｙ２に臨み、下地保持体１６側に向かうにつれて垂直方向一方Ｙ１に向かう傾斜面が形成される。これによって、下地保持体１６および変位制限部２１が破損することを防止することができる。変位制限部２１の受取部１９側の端部には、傾斜面が形成されるので、下地保持体１６が変位制限部２１に接触しても、下地保持体１６と変位制限部２１との間に働く力は、下地保持体１６と変位制限部２１と距離を増大させる向きの力を、成分の一部として含む。したがって、下地保持体１６が離脱状態から隣接状態に切換えられるときに、下地保持体１６および変位制限部２１が破損することを防止することができる。
【０１０７】
（第６実施形態）
図９は、本発明の第６実施形態に係る下地体の搬送装置１０の側面図である。第６実施形態に係る析出装置１１は、第１実施形態に係る析出装置１１に類似しており、以下、第１実施形態に対する第６実施形態の相違点を中心に説明する。第６実施形態において変位制限部２１の一部は、チャンバ１４よりも外方に配置され、下地体１５に外力が付与されることによる下地体１５の変位の最大許容量は、変位制限部２１の取付け位置をチャンバ１４よりも外方において変更することによって調整される。
【０１０８】
これによって、下地体の搬送装置１０を含まない場合に比べて、析出体の製造の効率を高くすることができる。下地保持体１６の位置は、下地体１５の浸漬による下地保持体１６の温度変化、および搬送駆動部１８の稼動による下地保持体１６の振動によって、変化する場合がある。変位制限部２１の取付位置は、チャンバ１４よりも外方から変更可能であるので、下地保持体１６の位置が変化した場合にも、チャンバ１４を開放することなく変位制限部２１を調整することができる。したがって、チャンバ１４を開放する回数を低減することと、下地保持体１６、受取部１９および保持体駆動部１７の破損を防止することとを、両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る平面図および側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態における下地体１５を下地保持体１６が保持しているときの、下地体１５および下地保持体１６の断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態において、変位制限部２１によって下地保持体１６の変位が制限された状態を表す平面図および側面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に類似する他の実施形態に係る下地体の搬送装置１０の側面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る下地体の搬送装置１０の平面図および側面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る下地体の搬送装置１０の平面図および側面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る下地体の搬送装置１０の平面図および側面図である。
【図８】本発明の第５実施形態における下地体１５および下地保持体１６の断面図と、下地体の搬送装置１０の平面図である。
【図９】本発明の第６実施形態に係る下地体の搬送装置１０の側面図である。
【図１０】従来技術に係る駆動機構の平面図および側面図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１０  下地体の搬送装置
１１  析出装置
１４  チャンバ
１５  下地体
１６  下地保持体
１７  保持体駆動部
１８  搬送駆動部
１９  受取部
２１  変位制限部
２２  被接触部
２４  供給案内部
３２  供給平板部
３３  供給レール部
３４  受取平板部
３６  受取レール部
５２  被当接部
【図１】
2010093087.tif 000003
【図２】
2010093087.tif 000004
【図３】
2010093087.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2010093087.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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