(57)【要約】      （修正有）【課題】高価なパワーアンプを使用することなく所望の電圧波形を生成することができる鋸歯状波生成回路を提供する。【解決手段】鋸歯状波電圧の放電時の最終電圧値を設定するバイアス手段と、設定された所定値の定電流を出力する定電流手段と、前記定電流手段からの出力電流によって充電を行う充電手段と、前記充電手段の充電と放電を行って充電手段の出力電圧を鋸歯状波電圧に制御し、出力波形の傾き、出力電圧値、周期を制御することにより生成する。【選択図】図１
2010011337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を偏向させる偏向電極に印加する鋸歯状波電圧を生成する鋸歯状波生成回路において、
前記鋸歯状波電圧の放電時の最終電圧値を設定するバイアス手段と、
前記電子線の走査速度に応じて設定された所定値の定電流を出力する定電流手段と、
前記定電流手段からの出力電流によって充電を行う充電手段と、
前記充電手段の充電と放電を行って当該充電手段の出力電圧を鋸歯状波電圧に制御し、前記電子線を前記充放電の周期で走査させる制御手段と、
を備えることを特徴とする鋸歯状波生成回路。
【請求項２】
前記制御手段は、
前記充電手段と並列に接続された電界効果トランジスタであり、入力信号に従ってオンオフすることにより前記充電手段の充電と放電を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の鋸歯状波生成回路。
【請求項３】
偏向電極と当該偏向電極の各電極に対応して設けた請求項１から請求項２のいずれか１の項に記載の鋸歯状波生成回路を備え、
前記各鋸歯状波生成回路の充放電周期を同期させ、極性を逆の極性とする、
ことを特徴とする偏向装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線を偏向させる偏向電極に印加する鋸歯状波電圧の生成回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、観察対象の試料に電子線（以下電子ビームという）を照射して、試料から反射してきた電子または、二次電子を観測して画像処理を行い画像を表示させる走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）において、電子ビームを走査（スキャン）させる方法は、偏向コイルまたは、静電レンズを用いた偏向装置により実施されている。この偏向装置の電極に電子ビームを曲げるために電圧を印加するが、試料のスキャン幅を大きくするためには高電圧が必要であるため、図５に示すようにスキャン信号を入力して高電圧に増幅するパワーアンプが使用されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−２５９８１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来のパワーアンプは、高電圧の出力が必要なことから、高価なパワーアンプが使用されており、また、パワーアンプ自体の発熱が多いため、放熱を行う必要があることから外形が大きくなり、小型化できないという問題がある。
また、このパワーアンプは、周波数を上げると歪みが多くなるため、スキャン時間を高速化できないという問題がある。
さらに、パワーアンプで入力信号を増幅する際に、入力信号のノイズも増幅されてしまうという問題がある。（図５参照）
【０００４】
本発明は、上記の課題認識に基づいてなされたものであり、高価なパワーアンプを使用せずに偏向装置の電極に印加する所望の電圧波形を生成することができる回路を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明の鋸歯状波生成回路は、電子線を偏向させる偏向電極に印加する鋸歯状波電圧を生成する鋸歯状波生成回路において、前記鋸歯状波電圧の放電時の最終電圧値を設定するバイアス手段と、前記電子線の走査速度に応じて設定された所定値の定電流を出力する定電流手段と、前記定電流手段からの出力電流によって充電を行う充電手段と、前記充電手段の充電と放電を行って当該充電手段の出力電圧を鋸歯状波電圧に制御し、前記電子線を前記充放電の周期で走査させる制御手段と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の前記制御手段は、前記充電手段と並列に接続された電界効果トランジスタであり、入力信号に従ってオンオフすることにより前記充電手段の充電と放電を制御する、ことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の偏向装置は、偏向電極と当該偏向電極の各電極に対応して設けた上記いずれかの鋸歯状波生成回路を備え、前記各鋸歯状波生成回路の充放電周期を同期させ、極性を逆の極性とする、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、定電流の充電と放電を制御する機能を設け、電子ビームを偏向するための鋸歯状波電圧を生成することができる。また、出力波形の傾き、出力電圧値、周期は設定値を変更して制御するようにしたので、電子ビームの初期位置、スキャン速度、スキャン幅を任意に設定することができ、高価で発熱の大きいパワーアンプを使用せずに安定した高電圧の鋸歯状波を生成することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図１（Ａ）は、本実施形態による鋸歯状波生成回路の構成を示したブロック図であり、図１（Ｂ）は、本実施形態による鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の波形を示す図である。図１（Ａ）において、鋸歯状波生成回路は、定電流回路１０、コンデンサ２０、スイッチ３０、バイアス回路４０、から構成される。
【００１０】
鋸歯状波生成回路は、外部からの入力信号Ｓをスイッチ３０に入力して、入力信号Ｓの値によりスイッチ３０をオンオフさせることによりコンデンサ２０の充電と放電を繰り返してコンデンサ２０の出力を鋸歯状波電圧波形（図１（Ｂ）参照）として出力する。
【００１１】
定電流回路１０は、入力された定電圧入力を設定された所定の電流値にして出力する定電流電源回路である。
定電流回路１０に電流値を設定することにより、設定された電流値に従った定電流を後述するコンデンサ２０に出力し、該コンデンサ２０が充電する際の充電速度を変更することができる。この充電速度を制御することにより、本実施形態の鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の傾き（図１（Ｂ）の傾き）が変わる。この傾きの設定は、後述する走査型電子顕微鏡（鋸歯状波生成回路を偏向装置に適用して電子ビームを偏向させる走査型電子顕微鏡）が観察する試料上に照射する電子ビームのスキャン速度を制御することとなる。
【００１２】
コンデンサ２０は、定電流回路１０の出力電流によって定電流充電を行うコンデンサである。
コンデンサ２０に充電が行われると鋸歯状波生成回路が出力する出力電圧値が上昇し、放電が行われると出力電圧値が下降する。このように出力電圧値の上昇と下降とが繰り返されることにより、出力電圧波形が鋸歯状波となる。
【００１３】
スイッチ３０は、外部からの入力信号Ｓのレベルに従ってオンオフするスイッチである。
スイッチ３０にスイッチオフの状態を示す入力信号Ｓ（例えば、“Ｌ”レベル）が入力されると該スイッチ３０を開放する。このことにより、コンデンサ２０の両端を開放して該コンデンサ２０が定電流回路１０の出力電流によって充電される。また、スイッチオンの状態を示す信号（例えば、“Ｈ”レベル）が入力されると該スイッチ３０を閉じ、該コンデンサ２０の両端を短絡して該コンデンサ２０に充電されている電荷を放電させる。
スイッチ３０に入力する外部からの入力信号Ｓの周期によって、コンデンサ２０に充電または、放電を行わせ、該充電と放電を繰り返すことにより、鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の周期（図１（Ｂ）のスキャン周期）を制御する。この周期の設定は、後述する走査型電子顕微鏡が観察する試料上に照射する電子ビームのスキャン周期を制御することとなる。
【００１４】
バイアス回路４０は、回路の接地レベルを設定された所定の電圧値に変更する直流アンプ回路である。
バイアス回路４０は、設定されたバイアス値に従ってバイアス電圧を出力し、コンデンサ２０が放電を完了する電圧を変更することによって、該鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の最も低い電圧値（図１（Ｂ）のＤＣバイアス）を制御する。このバイアス値の設定は、後述する走査型電子顕微鏡が観察する試料上に照射する電子ビームの始点を制御することとなる。
【００１５】
また、本実施形態の鋸歯状波生成回路の電源電圧（＋Ｖｓ）は、該鋸歯状波生成回路が生成する鋸歯状波の波高（図１（Ｂ）のスキャン幅）を決定する。
【００１６】
上記に述べたとおり、本実施形態の鋸歯状波生成回路は、定電流回路１０での傾き制御、スイッチ３０での周期制御、バイアス回路４０での放電完了電圧制御と電源電圧での波高制御により、所望の鋸歯状波を得ることが可能となる。
【００１７】
次に、鋸歯状波を上記とは逆の極性とする場合について説明する。図２（Ａ）は、図１（Ａ）に示した鋸歯状波生成回路と逆極性の鋸歯状波電圧を出力する鋸歯状波生成回路の構成を示したブロック図であり、図２（Ｂ）は、本実施形態による逆極性の鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の波形を示す図である。図２（Ａ）において、本実施形態による逆極性の鋸歯状波生成回路は、定電流回路５０、コンデンサ６０、スイッチ７０、バイアス回路８０、から構成される。本実施形態による逆極性の鋸歯状波生成回路は、図１に示した鋸歯状波生成回路と逆の極性であるが、各ブロックの動作はそれぞれ対応するブロックと同様である。
【００１８】
本実施形態による鋸歯状波生成回路は、外部からの入力信号Ｓをスイッチ７０に入力して、入力信号Ｓの値によりスイッチ７０をオンオフさせることによりコンデンサ６０の充電と放電を繰り返してコンデンサ６０の出力を鋸歯状波電圧波形（図２（Ｂ）参照）として出力する。
【００１９】
定電流回路５０に電流値を設定することにより、設定された電流値に従った定電流を後述するコンデンサ６０に出力し、該コンデンサ６０が充電する際の充電速度を変更することができる。この充電速度の制御することにより、本実施形態の逆極性の鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の傾き（図２（Ｂ）の傾き）が変わる。この傾きの設定は、後述する走査型電子顕微鏡が観察する試料上に照射する電子ビームのスキャン速度を制御することとなる。
【００２０】
コンデンサ６０に充電が行われると鋸歯状波生成回路が出力する出力電圧値が下降し、放電が行われると出力電圧値が上昇する。このように出力電圧値の下降と上昇とが繰り返されることにより、出力電圧波形が鋸歯状波となる。
【００２１】
スイッチ７０は、スイッチ３０と同じ外部からの入力信号Ｓが入力される。
スイッチ７０にスイッチオフの状態を示す入力信号Ｓ（例えば、“Ｌ”レベル）が入力されると該スイッチ７０を開放する。このことにより、コンデンサ６０の両端を開放して該コンデンサ６０が定電流回路５０の出力電流によって充電される。また、スイッチオンの状態を示す信号（例えば、“Ｈ”レベル）が入力されると該スイッチ７０を閉じ、該コンデンサ６０の両端を短絡して該コンデンサ６０に充電されている電荷を放電させる。
スイッチ７０に入力する外部からの入力信号Ｓの周期によって、コンデンサ６０の充電または、放電を制御し、該充電と放電を繰り返すことにより、逆極性の鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の周期（図２（Ｂ）のスキャン周期）を制御する。この周期の設定は、後述する走査型電子顕微鏡が観察する試料上に照射する電子ビームのスキャン周期を制御することとなる。
【００２２】
バイアス回路８０は、設定されたバイアス値に従ってバイアス電圧を出力し、コンデンサ６０が放電を完了する電圧を変更することによって、該鋸歯状波生成回路が出力する鋸歯状波の最も高い電圧値（図２（Ｂ）のＤＣバイアス）を制御する。このバイアス値の設定は、後述する走査型電子顕微鏡が観察する試料上に照射する電子ビームの始点を制御することとなる。
【００２３】
また、本実施形態の鋸歯状波生成回路の電源電圧（−Ｖｓ）は、該鋸歯状波生成回路が生成する鋸歯状波の波高（図２（Ｂ）のスキャン幅）を決定する。
【００２４】
上記に述べたとおり、本実施形態の鋸歯状波生成回路は、定電流回路５０での傾き制御、スイッチ７０での周期制御、バイアス回路８０での放電完了電圧制御と電源電圧での波高制御により、所望の鋸歯状波を得ることが可能となる。
【００２５】
なお、本実施形態の図１（Ａ）および図２（Ａ）において、スイッチ３０とスイッチ７０は、入力信号Ｓでのレベルに応じてオンオフするものであれば良く、該スイッチ３０およびスイッチ７０を電界効果トランジスタを使用する場合は、電界効果トランジスタに入力する入力信号側と本実施形態の鋸歯状波生成回路側では電源レベルが異なり電位が変わるため、例えば、磁気カプラ等を用いて電界効果トランジスタの信号側とスイッチ側を絶縁することで対応することが可能である。
【００２６】
以下、本発明の実施形態の鋸歯状波生成回路を電子ビームを偏向させて試料を観察する走査型電子顕微鏡の偏向装置に適用した場合について説明する。図３（Ａ）は、走査型電子顕微鏡の一般的な構成を示した概念図であり、図３（Ｂ）は、該走査型電子顕微鏡が観察対象の試料に電子ビームを照射する様子を示した概念図である。また、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）の走査型電子顕微鏡の偏向装置９０の構成を示したブロック図であり、電子ビームを偏向させる４つの偏向電極に対して、図１および図２で示した鋸歯状波生成回路を適用している。
【００２７】
図３（Ａ）に示す走査型電子顕微鏡は、電子源５００から発生した電子をコンデンサレンズ５０１で軌道を変えて収束させ、収束した電子ビームを偏向装置９０によって偏向させることにより観察する試料６００上をスキャンさせる。
試料に電子ビームを照射することにより、試料から２次電子が放出される。
放出された２次電子を２次電子検出器５０２で検出して、増幅器５０３で増幅させた後、電気信号データを取り込んで、欠陥検査のために処理したり、電気信号を表示用のブラウン管５０５（ＣＲＴ）の偏向コイル５０４に入力することにより、表示面に観察する試料の拡大像が表示される。
【００２８】
図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示す走査型電子顕微鏡が電子ビームを偏向して観察する試料をスキャンする概念を示しており、電子ビームは、偏向装置９０によってＸ方向（走査型電子顕微鏡の手前からみて左右方向）および、Ｙ方向（走査型電子顕微鏡の手前からみて前後または奥行き方向）に偏向されることにより、２次元で観察を行っている。
【００２９】
図３（Ｃ）は、図３（Ａ）に示す走査型電子顕微鏡の偏向装置９０を上方から見た場合を示しており、Ｘ方向は図３（Ｃ）では左右方向となり、Ｙ方向は、図３（Ｃ）では上下方向となる。
【００３０】
図３（Ｃ）において、本実施形態による偏向装置９０は、第１の偏向電極１００、第１の鋸歯状波生成回路１０１、第２の偏向電極２００、第２の鋸歯状波生成回路２０１、第３の偏向電極３００、第３の鋸歯状波生成回路３０１、第４の偏向電極４００、第４の鋸歯状波生成回路４０１、から構成される。
【００３１】
図３（Ｃ）において偏向装置９０は、Ｘ方向に相対する偏向電極１００と偏向電極２００を備え、偏向電極１００に図１（Ａ）で示した構成の鋸歯状波生成回路１０１が接続され、偏向電極２００に図２（Ａ）で示した構成（鋸歯状波生成回路１０１と逆極性）の鋸歯状波生成回路２０１が接続される。また、偏向電極１００と偏向電極２００に直交したＹ方向に相対する偏向電極３００と偏向電極４００を備え、偏向電極３００に図１（Ａ）で示した構成の鋸歯状波生成回路３０１が接続され、偏向電極４００に図２（Ａ）で示した構成（鋸歯状波生成回路３０１と逆極性）の鋸歯状波生成回路４０１が接続される。
【００３２】
図３（Ａ）に示す走査型電子顕微鏡は、電子源より発生した電子ビームを偏向装置９０の偏向電極１００と偏向電極２００によって電子ビームをＸ方向に偏向させ、偏向電極３００と偏向電極４００によって電子ビームをＹ方向に偏向させることにより、該走査型電子顕微鏡で観察する試料を図３（Ｂ）に示すようにスキャンする。
【００３３】
図３（Ｃ）において、電子ビームのＸ方向制御は、偏向電極１００と偏向電極２００を用いて行う。
電子ビームの偏向は、偏向電極１００に接続された鋸歯状波生成回路１０１が生成する鋸歯状波と偏向電極２００に接続された鋸歯状波生成回路２０１が生成する鋸歯状波の電位差によって制御される。
鋸歯状波生成回路１０１のコンデンサと鋸歯状波生成回路２０１のコンデンサを同じ特性のコンデンサで構成し、鋸歯状波生成回路１０１および、鋸歯状波生成回路２０１が生成する鋸歯状波が逆の極性で絶対値が同じとなるように電源電圧と定電流回路の電流値を設定した場合は、鋸歯状波生成回路１０１または、鋸歯状波生成回路２０１のどちらか一方で制御した場合に比べて、偏向電極１００、２００間の電位差が２倍になるため、電子ビームのスキャン幅を２倍とすることができる。
【００３４】
図３（Ｃ）において、電子ビームのＹ方向制御は、偏向電極３００と偏向電極４００を用いて行う。
電子ビームの偏向は、偏向電極３００に接続された鋸歯状波生成回路３０１が生成する鋸歯状波と偏向電極４００に接続された鋸歯状波生成回路４０１が生成する鋸歯状波の電位差によって制御される。
鋸歯状波生成回路３０１のコンデンサと鋸歯状波生成回路４０１のコンデンサを同じ特性のコンデンサで構成し、鋸歯状波生成回路３０１および、鋸歯状波生成回路４０１が生成する鋸歯状波が逆の極性で絶対値が同じとなるように電源電圧と定電流回路の電流値を設定した場合は、鋸歯状波生成回路３０１または、鋸歯状波生成回路４０１のどちらか一方で制御した場合に比べて電位差をかせぐことができるため、２倍のスキャン幅とすることができる。
【００３５】
次に、本発明の実施形態の鋸歯状波生成回路を接続した偏向装置によって走査型電子顕微鏡の電子ビームを偏向させてスキャンする場合について説明する。図４は、鋸歯状波生成回路を適用した偏向装置９０により偏向された電子ビームが試料上をスキャンするように制御した様子を示した図である。
【００３６】
なお、電子ビームのＸ方向制御および、Ｙ方向制御は、各偏向電極に接続された鋸歯状波生成回路にそれぞれ設定された電源電圧、定電流回路の電流値、バイアス値および、入力信号によって生成される鋸歯状波電圧によって行われる。
【００３７】
まず、走査型電子顕微鏡で試料を観察する前の準備として、スキャンの開始点７００ａの位置に電子ビームが偏向されるようにＸ方向を制御する鋸歯状波生成回路とＹ方向を制御する鋸歯状波生成回路のバイアス回路にバイアス電圧値を設定する。
また、Ｘ方向および、Ｙ方向のスキャン幅が、Ｙ方向の入力信号が１周期分の時間でＸ方向の入力信号が整数倍となるようにＸ方向を制御する鋸歯状波生成回路および、Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路それぞれの電源電圧と定電流回路の電流値を設定する。このことにより、スキャンの終了点７００ｚが決定される。
これらの設定が完了後に走査型電子顕微鏡で試料の観察を開始する。
【００３８】
試料の観察を開始する時は、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路および、Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路それぞれの入力信号を同時にスタート（スイッチオフ状態を示す信号を入力）させることにより、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路および、Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路それぞれのコンデンサに充電が開始され、電子ビームの偏向が開始される。
Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路のコンデンサへの充電が遅くなるように定電流回路を設定することによって、Ｙ方向へのスキャンはゆっくりと進み、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路のコンデンサへの充電が速くなるように定電流回路を設定することによって、Ｘ方向へのスキャンは速く進む。このことにより電子ビームは、スキャン開始点７００ａからＸ方向の１回目のスキャン終了点７００ｂに向かって移動することとなる。
【００３９】
Ｘ方向の１回目のスキャン終了点７００ｂの時にＸ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオン状態を示す入力信号が入力されると、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路のコンデンサに充電されている電荷が放電され、電子ビームは、コンデンサの短絡による所定の放電時間でＸ方向の２回目のスキャン開始点７００ｃに移動する。その後、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオフ状態を示す入力信号が入力されると、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路のコンデンサに充電が開始され、電子ビームは、１回目と同様に、Ｘ方向の２回目のスキャン開始点７００ｃからＸ方向の２回目のスキャン終了点７００ｄに向かって移動していく。
【００４０】
Ｘ方向の２回目のスキャン終了点７００ｄの時にＸ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオン状態を示す入力信号が入力されると、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路のコンデンサに充電されている電荷が放電され、電子ビームは、コンデンサの短絡による所定の放電時間でＸ方向の３回目のスキャン開始点７００ｅに移動する。
その後、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオフ状態を示す入力信号の入力によるコンデンサの充電と、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオン状態を示す入力信号の入力によるコンデンサの放電を繰り返す。
【００４１】
上記に述べたとおり、電子ビームは、Ｙ方向へのゆっくりとした移動を行いながら、Ｘ方向の移動を繰り返すことにより、スキャン終了点７００ｚに向かって移動していく。このことにより、Ｘ方向および、Ｙ方向のスキャン幅全体に電子ビームが偏向され、走査型電子顕微鏡でのスキャンが完了する。
なお、電子ビームのスキャン終了点７００ｚの時にＸ方向を制御する鋸歯状波生成回路および、Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオン状態を示す入力信号が入力されると、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路および、Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路それぞれのコンデンサに充電されている電荷が放電され、電子ビームは、コンデンサの短絡による所定の放電時間でＸ方向および、Ｙ方向のスキャン開始点７００ａに移動するが、走査型電子顕微鏡でのスキャンは完了しているため、次にスキャンを開始する前にスキャン開始点７００ａに移動していれば良いため、Ｘ方向を制御する鋸歯状波生成回路および、Ｙ方向を制御する鋸歯状波生成回路にスイッチオン状態を示す入力信号が入力されるか否かは、試料の観察に影響しない。
【００４２】
上記に述べたとおり、本発明を実施するための最良の形態によれば、走査型電子顕微鏡において、観察する試料をスキャンするための電子ビームの偏向を行う偏向装置に高価なパワーアンプを使用することなく、偏向装置の電極に印加する所望の電圧波形を生成することが可能となる。
【００４３】
なお、本実施形態において、鋸歯状波生成回路を走査型電子顕微鏡の偏向装置に適用する例を示したが、その他にも鋸歯状波の傾き、周期、バイアス、波高等により制御される装置に鋸歯状波を入力するための回路として使用することが可能である。
【００４４】
なお、上述した実施形態における鋸歯状波生成回路内のスイッチをオンオフさせる入力信号をコンピュータで制御するようにしても良い。その場合、この制御機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによって実現しても良い。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時刻の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時刻プログラムを保持しているものも含んでも良い。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００４５】
以上、本発明の実施形態について、図１乃至図５を参照して説明してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲においての種々の変更も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態による鋸歯状波生成回路の構成を示したブロック図である。
【図２】本発明の実施形態による鋸歯状波生成回路が逆極性である場合の構成を示したブロック図である。
【図３】本発明の実施形態による鋸歯状波生成回路を走査型電子顕微鏡の偏向装置に適用した例を示す図である。
【図４】本発明の実施形態による鋸歯状波生成回路を適用した偏向装置により電子ビームが試料をスキャンする様子を示した図である。
【図５】従来のパワーアンプを用いた鋸歯状波増幅回路の構成を示したブロック図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０，５０  定電流回路  ２０，６０  コンデンサ  ３０，７０  スイッチ  ４０，８０  バイアス回路  ９０  偏向装置  １００，２００，３００，４００  偏向電極  １０１，２０１，３０１，４０１  鋸歯状波生成回路  ５００  電子源  ５０１コンデンサレンズ  ５０２  ２次電子検出器  ５０３  増幅器  ５０４  偏向コイル  ５０５  ブラウン管（ＣＲＴ）  ６００試料
【図１】
2010011337.tif 000003
【図２】
2010011337.tif 000004
【図３】
2010011337.tif 000005
【図４】
2010011337.tif 000006
【図５】
2010011337.tif 000007