(57)【要約】【課題】防湿特性に優れ、性能劣化を長期的に防止できる電気泳動表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の電気泳動表示装置１００は、表示領域を有する素子基板２と、透明基板３０上に電気泳動層３１を有し、素子基板２の表示領域に貼り合わされた電気泳動シート３と、少なくとも電気泳動シート３および電気泳動シート３の外周部の素子基板２上を覆って成膜された第１防湿膜５１と、第１防湿膜５１を覆って成膜された第２防湿膜５２とを有する多層防湿膜５０とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域を有する素子基板と、
透明基板上に電気泳動層を有し、前記素子基板の前記表示領域に貼り合わされた電気泳動シートと、
少なくとも前記電気泳動シートおよび該電気泳動シートの外周部の前記素子基板上を覆って成膜された第１防湿膜と、該第１防湿膜を覆って成膜された第２防湿膜と、を有する多層防湿膜と、を備えている
ことを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
第２防湿膜が、前記第１防湿膜よりも防湿性が高い
ことを特徴とする請求項１記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記第１防湿膜がＳｉＯＮからなる膜であって、
前記第２防湿膜がＡｌＯｘあるいはＳｉＯからなる膜である
ことを特徴とする請求項１または２記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記電気泳動シートの外周部に設けられ、
前記電気泳動シートから離れるにつれて前記素子基板からの高さが減少する傾斜面を有する段差緩和部を備え、
前記段差緩和部上にも前記多層防湿膜が成膜されている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記傾斜面の前記素子基板の表面に対する傾斜角が４５度以下である
ことを特徴とする請求項４記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記段差緩和部の外周端が、前記素子基板の表面上に位置している
ことを特徴とする請求項４または５記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
前記段差緩和部が、少なくとも前記透明基板の側端面に接している
ことを特徴とする請求項４ないし６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項８】
前記多層防湿膜を有する電気泳動表示パネルが、樹脂膜あるいはラミネート材によって封止されている
ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項９】
素子基板の表示領域に、透明基板上に電気泳動層を有した電気泳動シートを貼り合わせる工程と、
少なくとも前記電気泳動シートおよび前記素子基板上に第１防湿層を成膜する工程と、
前記第１防湿層上に第２防湿膜を成膜することで多層防湿膜を形成する工程と、を有することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第１防湿膜および前記第２防湿膜を、気相法あるいは蒸着法を用いて成膜する
ことを特徴とする請求項９記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記多層防湿膜を形成した後、
前記素子基板および前記電気泳動シートを有する電気泳動表示パネルを、樹脂膜あるいはラミネート材によって封止する工程を備えた
ことを特徴とする請求項９または１０記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１から８のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子ペーパーなどの表示部として、電気泳動表示装置が用いられるようになった。電気泳動表示装置は、液相分散媒に複数の電気泳動粒子が分散された電気泳動分散液を有する構成になっている。電気泳動表示装置は、電界を印加することで該電気泳動粒子の分布状態が変化し、該電気泳動分散液の光学特性が変化することを表示に利用した装置である。
【０００３】
電気泳動表示装置の代表的なものとして、マイクロカプセル型電気泳動表示装置（マイクロカプセル型ＥＰＤ）がある。マイクロカプセル型電気泳動表示装置は、外部から水分等がマイクロカプセル表示層内に侵入すると表示層内の電気伝導率が高くなり、表示機能が劣化するという欠点もある。
【０００４】
そこで、電気泳動表示装置の耐湿性向上の手段として、従来から防水フィルムを用いる方法が広く利用されている。例えば特許文献１には、一枚の防湿フィルムで電気泳動表示装置全体を被包することで、電気泳動表示装置の表示層内への水分の侵入を防止する方法が記載されている。また、特許文献２には、ロールに巻かれたシート状の連続した基板に湿分バリア性の高いフィルム材をラミネートする方法が記載されている。
【特許文献１】特開２００７−２３３３３７号公報
【特許文献２】特開２００７−１６３６６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１記載の電気泳動表示装置では、防水フィルムを折り畳むことによって電気泳動表示装置を被包するため、必ず防水フィルムの端部同士の接合部が存在し、この接合部から水分などが浸入する可能性がある。そのため、これらの外的影響が著しく電気泳動表示装置の性能を低下させる要因となっていた。
【０００６】
また、特許文献２では、フィルム材のラミネート時に必ず接着層を介することとなり、接着層から湿度が侵入したり表示層内の逃湿を招くことで、電気泳動表示装置を著しく劣化させる原因となっていた。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、防湿特性に優れ、性能劣化を長期的に防止できる電気泳動表示装置およびその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気泳動表示装置は、上記課題を解決するために、表示領域を有する素子基板と、透明基板上に電気泳動層を有し、前記素子基板の前記表示領域に貼り合わされた電気泳動シートと、少なくとも前記電気泳動シートおよび該電気泳動シートの外周部の前記素子基板上を覆って成膜された第１防湿膜と、前記第１防湿膜を覆って成膜された第２防湿膜と、を有する多層防湿膜と、を備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、少なくとも電気泳動シートと、該電気泳動シートの外周部の素子基板上を覆って多層防湿膜が成膜されているので、防水フィルムなどの別部材を用いて封止する場合に比べて密着性がよく、内部への水分の浸入を確実に抑えることができる。また、多層防湿膜は、第１防湿膜と第２防湿膜とを有している。つまり、本発明では、電気泳動表示パネルを複数の防湿膜で封止することで、電気泳動表示装置の耐湿性をより高めることが可能である。
【００１０】
また、前記電気泳動シートの外周部に設けられ、前記電気泳動シートから離れるにつれて前記素子基板からの高さが減少する傾斜面を有する段差緩和部を備え、前記段差緩和部上にも前記多層防湿膜が成膜されていることが好ましい。
本発明によれば、素子基板上に段差緩和部を設けることによって、電気泳動シートと素子基板との間に形成される段差を緩和することができるので、シートの外周端で各防湿膜が部分的に薄くなることが防止され、略均一な膜厚で成膜することが可能となる。これにより、多層防湿膜のカバレッジ性が低下するのを防ぐことができ、優れた耐湿性を有したものとなる。
【００１１】
また、第２防湿膜が、前記第１防湿膜よりも防湿性が高いことが好ましい。
本発明によれば、第１防湿膜の膜厚が薄くても高い防湿性を確保することができる。
【００１２】
また、前記第１防湿膜がＳｉＯＮからなる膜であって、前記第２防湿膜がＡｌＯｘあるいはＳｉＯからなる膜であることが好ましい。
本発明によれば、電気泳動層に影響を与えることなく（例えば、電気泳動層の逃湿を招くことなく）、電気泳動表示装置の耐湿性をより一層高めることができる。
【００１３】
また、前記傾斜面の前記素子基板の表面に対する傾斜角が４５度以下であることが好ましい。
本発明によれば、傾斜面の素子基板の表面に対する傾斜角を４５度以下とすることにより、電気泳動シートと素子基板との間の段差をより緩和でき、第１防湿膜および第２防湿膜を略均一な膜厚で成膜することができる。これにより、カバレッジ性に優れた多層防湿膜とすることができる。
【００１４】
また、前記段差緩和部の外周端が、前記素子基板の表面上に位置していることが好ましい。
本発明によれば、段差緩和部の外周端が素子基板の表面上に位置しているので、段差緩和部全体を覆うようにして多層防湿膜を成膜することができる。これにより、段差緩和部と素子基板との界面から水分が浸入するのを効果的に防ぐことができる。
【００１５】
また、段差緩和部が、少なくとも前記透明基板の側端面に接していることが好ましい。
本発明では、段差緩和部が少なくとも透明基板の側端面に接しているので、電気泳動層を確実に封止することができる。
【００１６】
また、前記多層防湿膜を有する電気泳動表示パネルが、樹脂膜あるいはラミネート材によって封止されていることが好ましい。
本発明では、電気泳動表示パネルの最表層に樹脂膜あるいはラミネート材を設けておくことにより、多層防湿膜を保護でき、該多層防湿膜の封止性を確保できる。また、このような構成とすることによって、電気泳動表示装置の耐湿性をより一層向上できる。
【００１７】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、上記課題を解決するために、素子基板の表示領域に、透明基板上に電気泳動層を有した電気泳動シートを貼り合わせる工程と、少なくとも前記電気泳動シートおよび前記素子基板上に第１防湿層を成膜する工程と、前記第１防湿層上に第２防湿膜を成膜することで多層防湿膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、少なくとも電気泳動シートと、該電気泳動シートの外周部の素子基板上を覆って多層防湿膜を成膜するので、防水フィルムなどの別部材を用いて封止する場合に比べて密着性がよく、内部への水分の浸入を確実に抑えることができる。また、第１防湿膜上に第２防湿膜を成膜することによって、多層防湿膜としての封止性を向上させることができる。このように、電気泳動シートを複数の防湿膜を有する多層防湿膜で封止することで、電気泳動表示装置の耐湿性をより高めることが可能である。
【００１９】
また、前記第１防湿膜および前記第２防湿膜を、気相法あるいは蒸着法を用いて成膜することが好ましい。
本発明では、第１防湿膜の電気泳動シートおよび素子基板に対する密着性や、第１防湿膜と第２防湿膜との密着性が向上する。そのため、各構成要素の界面からの水分の侵入がより確実に抑えられ、優れた耐湿性を確保することができる。
【００２０】
また、多層防湿膜を形成した後、前記素子基板および前記電気泳動シートを有する電気泳動表示パネルを、樹脂膜あるいはラミネート材によって封止する工程を備えたことが好ましい。
本発明によれば、多層防湿膜が成膜された電気泳動表示パネルを樹脂膜あるいはラミネート材によって封止することにより、多層防湿膜を保護でき、該多層防湿膜の封止性を確保することができる。また、電気泳動表示装置の耐湿性をより一層向上できる。
【００２１】
本発明の電子機器は、上記した電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする。
この電子機器によれば、耐湿性に優れた電気泳動表示装置を備えているので、信頼性に優れた電子機器とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本実施形態に係る電気泳動表示装置の概略構成を示す平面図である。図２は図１におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。
【００２３】
図１及び図２に示すように、電気泳動表示装置１００は、素子基板２および電気泳動シート３を有する電気泳動表示パネル１、接続基板Ｆなどを備えており、素子基板２の表面２ａに電気泳動シート３が貼り付けられるとともに素子基板２の表面２ａに接続基板Ｆが接続された構成になっている。本実施形態では、電気泳動シート３の表面に多層防湿膜５０が設けられている。
【００２４】
電気泳動表示パネル１には、静止画や動画等の画像を表示する表示領域５が設けられている。表示領域５内には、マトリクス状に配列された複数の画素が設けられており、画素ごとに表示が行われるようになっている。表示領域５の周囲の領域は、画像が表示されない非表示領域６となっている。この非表示領域６には画素が設けられておらず、駆動回路素子２２及び２３、端子２４などが設けられている。
【００２５】
素子基板２は、例えば０．５ｍｍ程度の厚さの基板２０と、基板２０上に形成された画素電極２５及びスイッチング素子２６などを含む駆動層２１を有している。基板２０としては、例えばガラス基板、石英基板、シリコン基板、ガリウム砒素基板、珪素塩鉱物などの無機基板や、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）等で構成されるプラスチック基板（樹脂基板）などを用いることができる。
【００２６】
駆動層２１は、基板２０のうち表示領域５に対応する領域に形成されている。この駆動層２１には各画素に設けられる画素電極２５やスイッチング素子２６、スイッチング素子２６に接続される不図示のデータ線及び走査線などが形成されている。また、各画素電極２５にはそれぞれ不図示の保持容量が接続されていてもよい。
【００２７】
駆動層２１の平面領域は、表示領域５と略一致しており、駆動回路素子２２及び２３はこの駆動層２１の周縁部（非表示領域６）に設けられている。駆動回路素子２２及び２３はデータ線や走査線に電気的に接続されており、駆動層２１に信号を供給するようになっている。端子２４は素子基板２の４辺のうち一辺（図中では右端）に沿って複数設けられており、これらの端子２４の一部は素子基板２上に形成されている図示しない配線によって駆動回路素子２２及び２３に接続されている。また、これらの端子２４は接続基板Ｆに接続されている。接続基板Ｆには制御回路４０が設けられている。
【００２８】
素子基板２上のうち平面視で接続基板Ｆが設けられた辺の２つの角部には、それぞれ上下導通材９が配置されている。上下導通材９は、配線９ａ及び上記の端子２４の一部を介して接続基板Ｆの制御回路４０に接続されている。
【００２９】
なお、ここでは上下導通材９が２つ配置されている例を示しているが、これに限られることは無く、例えば上下導通材９が１つあるいは３つ以上設けられている構成であっても構わない。
【００３０】
電気泳動シート３は、透明基板３０、共通電極３５、電気泳動層３１及び接着層３３を有している。
透明基板３０は、例えば０．２ｍｍ程度の厚さを有し電気泳動層３１を保持する基板であり、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）など光透過性の高い材料からなる矩形の基板である。透明基板３０の表面３０ａ側は電気泳動表示パネル１の表示面側になっている。
【００３１】
共通電極３５は、透明基板３０の内面３０ｃのほぼ全面に形成されている。この共通電極３５は例えばＩＴＯなどの光透過性の高い導電材料で構成されており、上下導通材９によって素子基板２に接続されている。
【００３２】
電気泳動層３１は、複数のマイクロカプセル３２を有している。
マイクロカプセル３２は電気泳動分散液が封入された略球状のカプセルであり、各カプセルの直径はほぼ同一（３０μｍ〜１００μｍ）になっている。マイクロカプセル３２のカプセル壁膜を形成する材料としては、アラビアガム・ゼラチンの複合膜、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、尿素樹脂などの化合物が挙げられる。マイクロカプセル３２に封入された電気泳動分散液は、複数の電気泳動粒子と、当該電気泳動粒子を分散させるための分散媒とからなる。
【００３３】
分散媒としては、水やアルコール系溶媒、各種エステル類、ケトン類、脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、ハロゲン化炭化水素、カルボン酸塩又はその他の種々の油類等の単独、またはこれらの混合物に界面活性剤等を配合したものを用いることができる。
【００３４】
電気泳動粒子としては、分散媒中で電位差による電気泳動により移動する性質を有する有機あるいは無機の粒子（高分子あるいはコロイド）を用いることができる。具体的には、カーボンブラック、アニリンブラック等の黒色顔料、二酸化チタン等の白色顔料、モノアゾのアゾ系顔料、イソインドリノン等の黄色顔料、モノアゾのアゾ系顔料、キナクリドンレッド等の赤色顔料、フタロシアニンブルー等の青色顔料、フタロシアニングリーン等の緑色顔料等の１種又は２種以上を用いることができる。これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンド等の粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤等の分散剤、潤滑剤、安定化剤等を添加することができる。
【００３５】
マイクロカプセル３２には、例えば白色顔料である二酸化チタンと黒色顔料であるカーボンブラックとの二種類の電気泳動粒子が封入されており、一方が負に、他方が正に帯電されている。勿論他の電気泳動粒子を用いても構わないし、電気泳動粒子を一種類のみ用い、これを共通電極側、あるいは画素電極側に泳動させることで表示可能となるように構成しても構わない。
【００３６】
接着層３３は、バインダを兼ねた熱硬化タイプの接着剤である。接着層３３としては、マイクロカプセル３２のカプセル壁膜に対する親和性が良好で、共通電極および画素電極に対する接着性に優れ、かつ絶縁性の良い接着剤であることが好ましい。また、熱硬化タイプではあるが、硬化後も弾性がある接着剤が好ましい。
【００３７】
本実施形態では、少なくとも電気泳動シート３と、電気泳動シート３の外周部の素子基板２上とが多層防湿膜５０によって被覆されている。多層防湿膜５０は、少なくとも電気泳動シート３の表面と素子基板２の非表示領域６の一部を覆って成膜された２層構造の防湿膜であって、電気泳動シート３側から順に積層された第１防湿膜５１および第２防湿膜５２を有してなる。
【００３８】
第１防湿膜５１は、酸窒化シリコン膜（ＳｉＯＮ）からなる蒸着膜であって、電気泳動シート３、および素子基板２の表面２ａを被覆するように成膜されている。その膜厚は４００ｎｍ程度とされている。
第２防湿膜５２は、酸化アルミニウム（ＡｌＯｘ）あるいは一酸化ケイ素（ＳｉＯ）などからなる蒸着膜であって、第１防湿膜５１上にその表面全体を被覆するようにして成膜されている。その膜厚は６００ｎｍ程度とされている。
なお、本実施形態では、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を用いている。
【００３９】
また、多層防湿膜５０全体の膜厚が１〜２μｍ程度であることが好ましい。材料や成膜方法に応じてその膜厚を選択することで、防湿性に優れた多層防湿膜５０とすることができる。
【００４０】
また、実際には第１防湿膜５１および第２防湿膜５２が素子基板２の側端面２ｂにも成膜される場合もあるが、少なくとも第２防湿膜５２の外側に第１防湿膜５１が露出しないように形成する。
【００４１】
このようにして、素子基板２上の電気泳動シート３は、電気泳動シート３および素子基板２上に直接成膜された多層防湿膜５０によって完全に封止された状態となっている。
【００４２】
多層防湿膜５０によって封止された電気泳動表示パネル１は、例えばラミネート材６０によってさらにその全体が封止されている。ラミネート材６０の材料としては、アクリルなどが挙げられる。
【００４３】
次に、上記のように構成された電気泳動表示パネル１の動作を簡単に説明する。
画素電極２５と共通電極３５との間に共通電極３５の電圧が相対的に高くなるように電圧を印加すると、正に帯電された黒色の電気泳動粒子はクーロン力によってマイクロカプセル３２内のうち画素電極２５側に引き寄せられる。一方、負に帯電された白色の電気泳動粒子はクーロン力によってマイクロカプセル３２内の共通電極３５側に引き寄せられる。この結果、マイクロカプセル３２内の透明基板３０側には白色の電気泳動粒子が集まることになり、電気泳動表示パネル１の表示領域５にはこの白色の電気泳動粒子の色（白色）が表示されることとなる。
【００４４】
逆に、画素電極２５と共通電極３５との間に画素電極２５の電位が相対的に高くなるように電圧を印加すると、負に帯電された白色の電気泳動粒子はクーロン力によって画素電極２５側に引き寄せられる。一方、正に帯電された黒色の電気泳動粒子はクーロン力によって共通電極３５側に引き寄せられる。この結果、マイクロカプセル３２内の透明基板３０側には黒色の電気泳動粒子が集まることになり、電気泳動表示パネル１の表示領域５には黒色の電気泳動粒子の色（黒色）が表示されることとなる。
【００４５】
次に、図３を参照して、上記のように構成された電気泳動表示装置１００の製造方法を説明する。
まず、基板２０上に配線や駆動層などを配置して素子基板２を形成し、図３（ａ）に示すように、素子基板２の表示領域５に接着層３３を介して電気泳動シート３を貼り合わせる。
【００４６】
電気泳動シート３を貼り合わせた後、図３（ｂ）に示すように、素子基板２および電気泳動シート３上に第１防湿膜５１を成膜する。成膜方法としては、物理的気相堆積法（ＰＶＤ）や化学的気相堆積法（ＣＶＤ）等が挙げられる。
【００４７】
具体的には、成膜方法により公知の成膜装置を選択し、所定の圧力で成膜処理を行う。本実施形態では、第１防湿膜５１の材料としてＳｉＯＮを用いていることから、成膜時の圧力を１．２Ｐａ〜１．０×１０−３Ｐａ程度に設定する。
【００４８】
次に、図３（ｃ）に示すように、第１防湿膜５１上に、ＡｌＯｘあるいはＳｉＯなどからなる第２防湿膜５２を、蒸着法あるいは気相法などを用いて成膜する。
ＡｌＯｘにより第２防湿膜５２を成膜する際の圧力を、１．０×１０−５〜１．０×１０−６Ｐａ程度に設定する。
ＳｉＮにより第２防湿膜５２を成膜する際の圧力を、１．０×１０−４〜１．０×１０−５Ｐａ程度に設定する。
このようにして、第１防湿膜５１および第２防湿膜５２からなる多層防湿膜５３を得る。
なお、実際には素子基板２の側端面２ｂにも多層防湿膜５０が形成されることになる。
【００４９】
上記した各成膜工程では、成膜材料に応じて成膜時間を適宜調整し、防湿性を確保可能な所定の膜厚となるようにする。
このようにして、第１防湿膜５１および第２防湿膜５２からなる多層防湿膜５０を形成し、該多層防湿膜５０によって素子基板２の露出部分（非表示領域６）および電気泳動シート３の表面全体を覆うようにして封止する。
【００５０】
次に、図３（ｄ）に示すように、多層防湿膜５０が成膜された電気泳動表示パネル１を、アクリルなどのラミネート材６０によってさらに封止する。こうすることで、電気泳動表示パネル１の全体が封止され、より高い防湿性を確保することができる。
このようにして、電気泳動表示装置１００が製造される。
【００５１】
上述した通り、本実施形態の電気泳動表示装置１００では、電気泳動表示パネル１の片面側において、多層防湿膜５０が、電気泳動シート３および素子基板２上を覆うようにして成膜されている。これにより、素子基板２上に貼り付けられた電気泳動シート３の表面全体が多層防湿膜５０によって封止されている。このように、多層防湿膜５０を直接成膜することによって、防水フィルムなどの別部材を用いて封止する場合に比べて電気泳動シート３や素子基板２に対する密着性を良くすることができ、優れた封止性が得られる。
また、防水フィルムを用いた場合に形成される接合部の剥離などの外的影響により、著しく電気泳動表示装置の性能を低下させる要因をなくすことができる。
【００５２】
電気泳動層３１は水分を嫌うため、このように電気泳動シート３および素子基板２の表面２ａに多層防湿膜５０を直接成膜する構成を採用することにより、電気泳動層３１への水分の浸入を確実に防止することができる。
【００５３】
上述したように、多層防湿膜５０は、ＳｉＯＮからなる第１防湿膜５１と、ＡｌＯｘあるいはＳｉＮなどからなる第２防湿膜５２とを有しており、第１防湿膜５１および第２防湿膜５２がこの順で電気泳動シート３、および素子基板２上に成膜されている。
【００５４】
ここで、第２防湿膜５２の材料としてＡｌＯｘを用いた場合、膜厚を比較的薄くしても、高湿度環境下であっても水分透過を十分に防ぐことができる。ＡｌＯｘからなる防湿膜は、ＳｉＯＮからなる防湿膜よりもカバレッジ性が高く防湿効果も優れているが、ＳｉＯＮを用いる場合よりも高真空で成膜する必要がある。そのため、電気泳動シート３上にＡｌＯｘを先に成膜しようとすると、電気泳動層３１内が減湿して表示品位が低下してしまう可能性がある。
【００５５】
したがって、本実施形態では、ＡｌＯｘに比べて比較的低真空で成膜できるＳｉＯＮを先に電気泳動シート３上に成膜しておき、その後、ＡｌＯｘを成膜するようにしている。こうすることで、電気泳動層３１の減湿を防ぎ、表示特性に影響を与えることなく電気泳動表示装置１００の耐湿性を向上させることができる。
【００５６】
また、第１防湿膜５１上に第２防湿膜５２を積層させることで、電気泳動シート１と素子基板２との間に形成される段差部のカバレッジ性が向上する。つまり、第１防湿膜５１を蒸着などによって形成する場合、段差部においてその膜厚が薄くなることがあるが、第２防湿膜５２を積層させることで第１防湿膜５１の薄膜部分を補うことができる。また、第１防湿膜５１よりも防湿性の高い第２防湿膜５２を積層させることによって、カバレッジ性とともに防湿性も向上する。
【００５７】
また、ＳｉＮを用いて第２防湿膜５２を形成する場合には、膜自体の応力が大きいため、電気泳動表示パネル１に曲げなどが生じないように、膜厚の調整を適宜行うことが好ましい。これにより、第２防湿膜５２の防湿性を安定的に確保することができる。
【００５８】
なお、本実施形態では多層防湿膜５０を２層構造としたが、３層以上の防湿膜で構成してもよい。
【００５９】
また、本実施形態では、電気泳動表示パネル１を樹脂やラミネート材６０でさらに封止する構成としたので、組立時に多層防湿膜５０に傷が付くのを防止することができ、水分の侵入防止効果をさらに高めることができる。また、電気泳動表示パネル１を保護する機能もあり、落下時の衝撃によって電気泳動表示パネル１が壊れるのを避けることができる。
【００６０】
また、本実施形態において、素子基板２の周縁部には駆動層２１が設けられていないため、石英などからなる素子基板２上に多層防湿膜５０を直接成膜することができる。通常、駆動層２１上にアクリルなどの保護膜を設けることが多いが、該保護膜上に本実施形態の多層防湿膜５０を成膜した場合、その界面から水分が侵入するおそれがある。そのため、本実施形態においては、少なくとも表示領域５に駆動層２１を形成し、素子基板２上に多層防湿膜５０を直接成膜することによって、多層防湿膜５０の素子基板２に対する密着性を高めるようにしている。
【００６１】
このように、耐湿性に優れた構成とすることで、性能の劣化が防止され、信頼性の高い電気泳動表示装置１００を得ることができる。
【００６２】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について述べる。本実施形態では、第１実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。図４は、第２実施形態の電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
【００６３】
以下に示す本実施形態の電気泳動表示装置の基本構成は、上記第１実施形態とほぼ同一構成であるが、素子基板２と電気泳動シート３との間に形成される段差を緩和する段差緩和部５４を設けた点において、上記第１実施形態と異なっている。
【００６４】
図４に示すように、本実施形態では、素子基板２上に、電気泳動シート３、段差緩和部５４、多層防湿膜５０が設けられている。
段差緩和部５４は、素子基板２のうち表示領域５の周囲であって、電気泳動シート３の外周部に設けられており、電気泳動シート３の外側で電気泳動シート３を平面視で囲むようにして配置されている。
【００６５】
段差緩和部５４は、電気泳動シート３に接する側の厚さが電気泳動シート３の厚さと略同一とされているが、素子基板２の周縁部（面方向外側）へ向かうに従って下降する傾斜面５４ａを有した構成となっている。換言すれば、段差緩和部５４は、電気泳動シート３から離れるにつれて素子基板２からの高さが減少する傾斜面５４ａを有している。傾斜面５４ａの素子基板２の表面２ａに対する傾斜角θは、４５度以下に設定されている。傾斜角θを４５度以下に設定しておくことで、均一な膜厚の多層防湿膜５０が得られる。
【００６６】
傾斜面５４ａは、電気泳動シート３における透明基板３０の表面３０ａと素子基板２の表面２ａとを繋ぐように延在していることが好ましい。傾斜面５４ａの端部、すなわち段差緩和部５４の内周端５４ｂが透明基板３０の側端面３０ｂに接し、外周端５４ｃが素子基板２の表面２ａ上であって素子基板２の周縁部よりも内側に位置している。
なお、平面視において表示領域５にかからなければ、段差緩和部５４の内周端５４ｂが透明基板３０の表面３０ａの一部に重なっていても良い。
【００６７】
また、段差緩和部５４と電気泳動シート３とは密着していることが好ましい。両者の間に隙間があると、隙間によって多層防湿膜５０（第１防湿膜５１および第２防湿膜５２）が切れたり薄くなってしまい、防湿効果が損なわれるおそれがある。
【００６８】
多層防湿膜５０は、ＳｉＯＮからなる蒸着膜であって、電気泳動シート３、段差緩和部５４、および素子基板２の表面２ａを被覆するように成膜されている。その膜厚は４００ｎｍ程度である。
【００６９】
上述のように、多層防湿膜５０が成膜された電気泳動表示パネル８０は、さらにラミネート材６０によって封止されている。
【００７０】
次に、本実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を説明する。
第１実施形態同様に、素子基板２上に電気泳動シート３を貼り合わせた後、図５（ａ）に示すように、電気泳動シート３の外周部となる素子基板２上の表示領域５の周囲に樹脂材料を塗布する。
【００７１】
樹脂材料を塗布すると、素子基板２の表面２ａ上から電気泳動シート３の側周面および透明基板３０の側端面３０ｂにかけて濡れ拡がり、図示のような断面略三角状となる。その後、樹脂材料を硬化させることにより、素子基板２に対して所定の角度θで傾斜する傾斜面５４ａを有した段差緩和部５４が得られる。このとき、塗布した材料が素子基板２の周縁部にまで濡れ拡がらないように、材料の粘性や塗布量などを調整する。
【００７２】
次に、電気泳動シート３、段差緩和部５４、および素子基板２上に、ＳｉＯＮからなる多層防湿膜５０を蒸着法あるいは気相法などを用いて成膜する。多層防湿膜５０の成膜方法は、上記第１実施形態と同様であって、まず電気泳動シート３上に第１防湿膜５１を成膜し（図５（ｂ））、該第１防湿膜５１上に第２防湿膜５２を成膜することによって多層防湿膜５０を得るようにする（図５（ｃ））。
【００７３】
次に、図５（ｄ）に示すように、多層防湿膜５０が成膜された電気泳動表示パネル８０をラミネート材６０によってさらに被覆する。こうすることで、電気泳動表示パネル８０の全体が封止される。
このようにして、第２実施形態の電気泳動表示装置を製造する。
【００７４】
本実施形態の電気泳動表示装置では、素子基板２上に段差緩和部５４を設けた構成とした。段差緩和部５４がない場合、電気泳動シート３における透明基板３０の辺や角部において、多層防湿膜５０の膜厚が薄くなりやすく、カバレッジ性が低下するという問題がある。
そこで本実施形態では、素子基板２上に段差緩和部５４を設けることによって、電気泳動シート３と素子基板２との間に形成される段差を緩和することができるので、多層防湿膜５０が部分的に薄くなることが防止され、多層防湿膜５０を略均一な膜厚で成膜することが可能となる。これにより、多層防湿膜５０によるカバレッジ性が良好となり、優れた耐湿性を有した電気泳動表示装置とすることができる。
【００７５】
［電子機器］
次に、本発明の電気泳動表示装置を備えた電子機器について説明する。
【００７６】
図６は、電子ペーパー５００を示す斜視図である。
電子ペーパー５００は、本発明の電気泳動表示装置を表示手段５０１として備えている。電子ペーパー５００は可撓性を有し、従来の紙と同様の質感及び柔軟性を有する書き換え可能なシートからなる本体５０２を備えて構成されている。
【００７７】
図７は、電子ノート６００を示す斜視図である。
電子ノート６００は、図６に示した電子ペーパー５００が複数枚束ねられ、カバー６０１に挟まれているものである。カバー６０１は、例えば外部の装置から送られる表示データを入力する図示は省略の表示データ入力手段を備える。これにより、その表示データに応じて、電子ペーパーが束ねられた状態のまま、表示内容の変更や更新を行うことができる。
【００７８】
電子ペーパー５００、及び電子ノート６００は、本発明の電気泳動表示装置を備えたことで、低消費電力であり、かつ信頼性に優れた表示手段を備えたものとなっている。
なお、本発明の電気泳動表示装置は、上記に例示した電子機器に限らず、例えば携帯電話、携帯用オーディオ機器などの表示手段として用いることができ、いずれの電子機器においても、低消費電力で信頼性に優れた表示手段として機能する。
【００７９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもなく、上記各実施形態を組み合わせても良い。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００８０】
例えば、先の実施形態においては、電気泳動表示パネル１をラミネート材６０によって封止するとしたが、エポキシ樹脂または、アクリル樹脂などの樹脂膜によって封止する構成としてもよい。
【００８１】
また、先の実施形態においては、駆動層２１を構成する絶縁層の一部で電気泳動層３１の周囲を囲うような構成としてもよい。これにより、電気泳動層３１への水分の侵入を確実に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】第１実施形態の電気泳動表示装置の概略構成を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】第１実施形態の電気泳動表示装置の製造工程図。
【図４】第２実施形態の電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図。
【図５】第２実施形態の電気泳動表示装置の製造工程図。
【図６】電子ペーパーの斜視図。
【図７】電子ノートの斜視図。
【符号の説明】
【００８３】
１００…電気泳動表示装置、１，８０…電気泳動表示パネル、２…素子基板、２ａ…表面、３…電気泳動シート、５…表示領域、３０…透明基板、３０ｂ…側端面、３１…電気泳動層、５０…多層防湿膜、５１…第１防湿膜、５２…第２防湿膜、５４…段差緩和部、５４ａ…傾斜面、６０…ラミネート材、５００…電子ペーパー（電子機器）、６００…電子ノート（電子機器）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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