(57)【要約】【課題】自在軸継手に加わる荷重によりトルク中点電圧の変動を抑制し、更に温度変動や磁場変動の影響についても高い耐性を有する磁歪式トルクセンサおよび電動パワーステアリング装置を提供する。【解決手段】隣接する同士で磁気異方性を異にする、少なくとも第１、第２、第３磁歪膜（３１、３２、３３）と、この第１、第２、第３磁歪膜の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、第１、第２、第３検出コイル（３４、３５、３６）とを設け、演算回路（ＥＣＵ４０）が、第１と第２検出コイルの出力信号を比較した第１の信号と、第２と第３検出コイルの出力信号を比較した第２の信号との差分から回転軸に作用するトルクを算出する。【選択図】図１
2010223591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸の捻れを磁性作用により検出して前記回転軸に加えられるトルクを算出する磁歪式トルクセンサにおいて、
前記回転軸の外周面に配置され、トルクが作用した状態で隣接する同士で磁気異方性を異にする、少なくとも第１、第２、第３磁歪膜と、
この第１、第２、第３磁歪膜に所定の間隙を空けて対向配置され、それぞれの磁歪膜の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、第１、第２、第３検出コイルと、
前記第１検出コイルと前記第２の検出コイルとの出力信号を比較した第１の信号と、前記第２検出コイルと前記第３検出コイルの出力信号を比較した第２の信号との差分から前記回転軸に作用するトルクを算出する演算回路と、
を備えたことを特徴とする磁歪式トルクセンサ。  
【請求項２】
回転軸の捻れを磁性作用により検出して前記回転軸に加えられたトルクを算出する磁歪式センサにおいて、
前記回転軸の外周面に配置され、トルクが作用した状態で隣接する同士で磁気異方性を異にする、第１、第２、第３磁歪膜と、
前記第１磁歪膜に第１検出コイルが、前記第２磁歪膜に第２、第３検出コイルが、前記第３磁歪膜に第４検出コイルがそれぞれ所定の間隙を空けて対向配置され、前記磁歪膜の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、前記第１、第２、第３、第４検出コイルと、
前記第１検出コイルと前記第３検出のコイルの出力信号を比較した第１の信号と、前記第２検出コイルと第４検出コイルの出力信号を比較した第２の信号とから、前記回転軸に作用するトルクを算出する演算回路と、
を備えたことを特徴とする磁歪式トルクセンサ。
【請求項３】
前記演算回路は、
第１のハーフブリッジと第２のハーフブリッジとを含み、
前記第１のハーフブリッジを構成する分母に前記第１検出コイルと前記第３検出コイルの出力信号の和を、分子に前記第１検出コイルと前記第３検出コイルの出力信号のうち小さい方を割り当てて除算することにより前記第１の信号を生成し、
前記第２のハーフブリッジを構成する分母に前記第２検出コイルと前記第４検出コイルの出力信号の和を、分子に前記第２検出コイルと前記第４検出コイルの出力信号のうち小さい方を割り当てて除算することにより前記第２の信号を生成することを特徴とする請求項２記載の磁歪式トルクセンサ。
【請求項４】
運転者が操舵のために操作するステアリング操作子と、
このステアリング操作子の回転作用を伝達する自在軸継手と、
この自在軸継手に前記回転軸の一端がつながれる請求項１、請求項２、または請求項３記載の磁歪式トルクセンサと、
前記磁歪式トルクセンサで算出された前記トルクに応じて前記回転軸に補助操舵力を付加するモータと、
前記磁歪式トルクセンサにより算出された前記トルクに係る信号に基づいて前記モータの駆動を制御する電子制御装置と、
を備えたことを特徴とする磁歪式トルクセンサを備えた電動パワーステアリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁歪に起因する磁気特性の変化に基づいて回転軸に作用するトルクを検出する、磁歪式トルクセンサ及び電動パワーステアリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触式トルクセンサとして、磁歪に起因する磁気特性の変化に基づいてトルクを検出する磁歪式トルクセンサが知られており、この磁歪式トルクセンサは、例えば、電動ステアリング装置の操舵トルク検出用等に用いられることが知られている（例えば、特許文献１（図３）。）。
【０００３】
特許文献１を次図に基づいて説明する。
図４に示されるように、従来の電動パワーステアリング装置１００では、自在軸継手１０１に回転軸１０２の一端部１０２ａが連結され、この回転軸１０２の他端部１０２ｂにラックアンドピニオン機構１０３を介してラック軸１０４が連結される。
【０００４】
回転軸１０２は、一端部１０２ａを除いて、２個の軸受１０５，１０６でハウジング１０７に支持されている。そして、この回転軸１０２は、ラックアンドピニオン機構１０３のピニオン１０８の両端部だけを２個の軸受１０５，１０６で支持することになる。
【０００５】
また、電動パワーステアリング装置１００は、磁歪式トルクセンサ１１０を備えており、この磁歪式トルクセンサ１１０は、ステアリングハンドルに加えられたステアリング系の操舵トルクを検出するものであり、回転軸１０２の一端部１０２ａの表面に設けられた磁歪膜１１１，１１２と、この磁歪膜１１１，１１２の近傍に配置された検出コイル１１３，１１４とからなる。回転軸１０２に作用するトルクに応じて磁歪膜１１１，１１２の磁歪特性が変化するため、これを検出イル１１３，１１４で検出することにより、トルクを磁気的に検出することができる。
【０００６】
また、上述した磁歪式トルクセンサ１１０の故障を誤検出するのを防止するために、第１磁性膜に第１検出コイルと第２検出コイルを対抗配置し、第２磁性膜に、第３検出コイルと第４検出コイルとを対抗配置し、第１検出回路の出力と第２検出コイルの出力と、第３検出コイルの出力と、第４検出コイルの出力と、に基づいて磁歪式トルクセンサ１１０の故障を検出する技術も知られている（例えば、特許文献２（図１）。）。
【０００７】
ところで、回転軸１０２の上方に、自在軸継手１０１が配置され、この自在軸継手１０１が荷重源となって、回転軸１０２に下向きの力や角度θ２に起因する曲げ力が加わる。その結果、回転軸１０２に設けられた磁歪膜１１１、１１２にそれぞれ非対称な応力が作用し、磁歪膜１１１と磁歪膜１１２との間にインダクタンス量の変化に差異が生じることがある。
【０００８】
また、ステアリングシャフト内の温度変化や磁場変動からなる環境変化によってもその非対称な環境変化により各磁歪膜１１１、１１２のインダクタンスの変化に同様の差異が生じてしまう可能性がある。このように、磁歪膜１１１、１１２が、非対称な荷重や環境変化をうけてインダクタンス量の変化に差異が生じると、トルク中点電圧が変動して検出精度が落ちるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−１０１４２２公報
【特許文献２】特開２００６−６４４４５公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、自在軸継手の影響や環境変化が作用してもインダクタンス量の変化を抑えることができる磁歪式トルクセンサ及び電動パワーステアリング装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る発明は、回転軸の捻れを磁性作用により検出して前記回転軸に加えられるトルクを算出する磁歪式トルクセンサにおいて、前記回転軸の外周面に配置され、トルクが作用した状態で隣接する同士で磁気異方性を異にする、少なくとも第１、第２、第３磁歪膜と、この第１、第２、第３磁歪膜に所定の間隙を空けて対向配置され、それぞれの磁歪膜の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、第１、第２、第３検出コイルと、前記第１検出コイルと前記第２検出コイルとの出力信号を比較した第１の信号と、前記第２検出コイルと前記第３検出コイルの出力信号を比較した第２の信号との差分から前記回転軸に作用するトルクを算出する演算回路と、を備えたことを特徴とする。  
【００１２】
請求項２に係る発明は、回転軸の捻れを磁性作用により検出して前記回転軸に加えられたトルクを算出する磁歪式センサにおいて、前記回転軸の外周面に配置され、トルクが作用した状態で隣接する同士で磁気異方性を異にする、第１、第２、第３磁歪膜と、前記第１磁歪膜に第１検出コイルが、前記第２磁歪膜に第２、第３検出コイルが、前記第３磁歪膜に第４検出コイルがそれぞれ所定の間隙を空けて対向配置され、前記磁歪膜の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、前記第１、第２、第３、第４検出コイルと、前記第１検出コイルと前記第３検出のコイルの出力信号を比較した第１の信号と、前記第２検出コイルと第４検出コイルの出力信号を比較した第２の信号とから、前記回転軸に作用するトルクを算出する演算回路と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項２記載の磁歪式トルクセンサにおいて、前記演算回路は、第１のハーフブリッジと第２のハーフブリッジとを含み、前記第１のハーフブリッジを構成する分母に前記第１検出コイルと前記第３検出コイルの出力信号の和を、分子に前記第１検出コイルと前記第３検出コイルの出力信号のうち小さい方を割り当てて除算することにより前記第１の信号を生成し、前記第２のハーフブリッジを構成する分母に前記第２検出コイルと前記第４検出コイルの出力信号の和を、分子に前記第２検出コイルと前記第４検出コイルの出力信号のうち小さい方を割り当てて除算することにより前記第２の信号を生成することを特徴とする。
【００１４】
請求項４に係る発明は、運転者が操舵のために操作するステアリング操作子と、このステアリング操作子の回転作用を伝達する自在軸継手と、この自在軸継手に前記回転軸の一端がつながれる請求項１、請求項２、または請求項３記載の磁歪式トルクセンサと、前記磁歪式トルクセンサで算出された前記トルクに応じて前記回転軸に補助操舵力を付加するモータと、前記磁歪式トルクセンサにより算出された前記トルクに係る信号に基づいて前記モータの駆動を制御する電子制御装置と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明では、隣接する同士で磁気異方性を異にする、少なくとも第１、第２、第３磁歪膜と、この第１、第２、第３磁歪膜の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、第１、第２、第３検出コイルとを設け、演算回路が、第１と第２検出コイルの出力信号を比較した第１の信号と、第２、第３検出コイルの出力信号を比較した第２の信号との差分から回転軸に作用するトルクを算出する構成とすることで、回転軸の一端にトルク以外の荷重が加わった場合のトルク中点電圧の変動を低減することができ、また、環境変化が発生した場合にもセンサ中電電圧の変動を抑制できる。
【００１６】
請求項２に係る発明では、トルクが作用した状態で隣接する同士で磁気異方性を異にする、第１、第２、第３磁歪膜と、第１磁歪膜に第１検出コイルが、第２磁歪膜に第２、第３検出コイルが、第３磁歪膜に第４検出コイルがそれぞれ所定の間隙を空けて対向配置し、演算回路が、第１と第３検出コイルの出力信号を比較した第１の信号と、第２と第４検出コイルの出力信号を比較した第２の信号とから、回転軸に作用するトルクを算出する構成とすることで、回転軸にトルク以外の荷重が加わった場合のトルク中点電圧の変動を低減することができ、また、環境変化が発生した場合にも中点電圧の変動を抑制できる。
【００１７】
請求項３に係る発明では、演算回路が、第１のハーフブリッジを構成する分母に第１と第３検出コイルの出力信号の和を、分子に第１と第３検出コイルの出力信号のうち小さい方を割り当てて除算することにより第１の信号を生成し、第２のハーフブリッジを構成する分母に第２と第４検出コイルの出力信号の和を、分子に第２と第４検出コイルの出力信号のうち小さい方を割り当てて除算することにより第２の信号を生成することで、第１の信号と第２の信号の差動によるトルク算出時の変動相殺効果を増大させることができるため、回転軸にトルク以外の荷重が加わった場合のトルク中点電圧の変動を低減することができる。  
【００１８】
請求項４に係る発明では、自在軸継手に回転軸の一端がつながれる請求項１から請求項３のいずれか１項記載の磁歪式トルクセンサにより算出されたトルクに係る信号に基づいてモータの駆動を制御することにより、自在軸継手等の支点位置により回転軸の一端にトルク以外の荷重が加わった場合にもトルク中点電圧の変動を低減することができる。また、環境変化が発生した場合にもトルク中点電圧の変動を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る磁歪式トルクセンサを備えた電動パワーステアリング装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明に係る磁歪式トルクセンサの基本構造を示した図である。
【図３】本発明に係る磁歪式トルクセンサのトルク検出出力特性図である。
【図４】従来の磁歪式トルクセンサを有する電動ステアリング装置の概要を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１に示されるように、電動パワーステアリング装置１０において、ステアリング操作子としてのハンドル１１から延びるステアリングシャフト１２に、自在軸継手１３が連結され、この自在軸継手１３から中間軸１４が延ばされ、この中間軸１４の下端に自在軸継手１５が連結され、この自在軸継手１５に回転軸１６が連結されている。
【００２２】
この回転軸１６は、３つの軸受１７、１８、１９で支持されており、下部にウオームホイール２１及びピニオン２２が設けられ、２つの軸受１７、１８間に、磁歪式トルクセンサ３０が配置される。
【００２３】
ウオームホイール２１は、モータ２３のモータ軸に設けられているウオームギヤ２４に噛み合っており、モータ２２で駆動される。
ピニオン２２は、左右の前輪２５、２６に渡されているラック軸２７のラック２８に噛み合い、ラック軸２７を車幅方向へ移動させる。
【００２４】
磁歪式トルクセンサ３０は、回転軸１６の外周面の全周に渡り環状に設けられ、トルクが作用した状態で隣接する同士で透磁率が異っている、少なくとも第１磁歪膜３１と、第２磁歪膜３２（３２ａ、３２ｂ）と、第３磁歪膜３３と、この第１磁歪膜３１と、第２磁歪膜３２（３２ａ、３２ｂ）と、第３磁歪膜３３に所定の間隙を空けて対向配置され、それぞれの磁歪膜３１、３２（３２ａ、３２ｂ）、３３の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、第１検出コイル３４と、第２検出コイル３５ｂと、第３検出コイル３５ａと、第４検出コイル３６と、を有している。
【００２５】
各検出コイル３４、３５ｂ、３５ａ、３６のインダクタンスの変化は、電圧変化に変換され、電子制御装置（ＥＣＵ４０）に出力される。
ＥＣＵ４０は、第１検出コイル３４と第３検出コイル３５ａの出力信号を比較した第１の信号と、第２検出コイル３ｂと第４検出コイル３６の出力信号を比較した第２の信号との差分から回転軸１６に作用するトルクを算出する演算回路として機能する。
【００２６】
なお、上述した第１磁歪膜３１、第２磁歪膜３２（３２ａ、３２ｂ）、第３磁歪膜３３のそれぞれの磁気異方性の方向、第１検出コイル３４、第２検出コイル３５ｂ、第３検出コイル３５ａ、第４検出コイル３６のそれぞれにおけるインダクタンスの変化、および、ＥＣＵ４０によるトルク算出の原理ついては、図２以降を参照して詳細に説明する。
【００２７】
以下の説明で、（ＣＣ）（ＢＢ）（ＡＡ）（ＤＤ）は、磁歪膜３１、３２ｂ、３２ａ、３３毎のインダクタンスを示す。
図２に示されるように、本発明の実施の形態に係る磁歪式トルクセンサ３０は、回転軸１６と、４つの磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）と、それぞれの磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）に所定の間隙を空けて対向配置され、各磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する、第１検出コイル３４、第２検出コイル３５ｂ、第３検出コイル３５ａ、第４検出コイル３６とで構成される。
【００２８】
ここで、４つの磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）の磁気異方性付加方向は、軸方向に、例えば、右、左、左、右のそれぞれとする。なお、左、右、右、左でもよい。
各磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）は、歪みに対して透磁率の変化が大きい素材からなる金属膜であり、メッキ法で形成したＮｉ−Ｆｅ系の合金膜、スパッタ膜、シェブロン構造のいずれでもよい。
【００２９】
また、各磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）の透磁率の変化に応じてインダクタンスの変化を検出する検出ブリッジは、一方の（第１）ハーフブリッジをＶＴ１＝ＣＣ／（ＡＡ＋ＣＣ）とし、他方の（第２）ハーフブリッジをＶＴ２＝ＢＢ／（ＢＢ＋ＤＤ）とする２つのハーフブリッジの差動アンプ４１による差動出力（ＶＴ３＝ＶＴ２−ＶＴ１）とするフルブリッジ構成とする。ここで、ＶＴ１，ＶＴ２は、ハーフブリッジ出力電圧であり、ＶＴ３は、トルク検出電圧である。
【００３０】
但し、インダクタンス変化は、自在軸継手１５からの荷重による影響により、自在軸継手１５と各磁歪膜３１（ＣＣ）、３２ｂ（ＢＢ）、３２ａ（ＡＡ）、３３３（ＤＤ）の中心位置までの距離に応じて変化する。ここでは、ＢＢ＞ＤＤ、ＣＣ＞ＡＡである。
【００３１】
このことを利用し、ＥＣＵ４０は、第１ハーフブリッジを構成する分母に第１検出コイル３４と第３検出コイル３５ｂの出力信号の和を、分子に第１検出コイル３４と第３検出コイル３５ｂの出力信号のうち小さい方（ここでは第１検出コイル３４）を割り当て除算することにより第１の検出信号であるハーフブリッジ出力電圧ＶＴ１を生成する（ＶＴ１＝ＣＣ／（ＡＡ＋ＣＣ））。
また、第２のハーフブリッジを構成する分母に第２検出コイル３５ｂと第４検出コイル３４の出力信号の和を、分子に第２検出コイル３５ｂと第４検出コイル３４の出力信号のうち小さい方（ここでは第２検出コイル３５ｂ）を割り当てて除算することにより第２の検出信号であるハーフブリッジ出力電圧ＶＴ２を生成する（ＶＴ２＝ＢＢ／（ＢＢ＋ＤＤ））。
【００３２】
なお、故障検出出力ＶＴＦは、従来同様、加算器４２による、第１の検出信号ＶＴ１と第２の検出信号ＶＴ２との和動出力（ＶＴＦ＝ＶＴ１＋ＶＴ２）である。
【００３３】
磁歪式トルクセンサ３０のトルク検出出力特性を図３で説明する。図３において、横軸は、回転軸１６（回転軸）に加えられたトルクを、縦軸は電圧（インダクタンス変化）を意味する。
【００３４】
図３に示されるように、ＶＴ１＝ＣＣ／（ＡＡ＋ＣＣ）とＶＴ２＝ＢＢ／（ＢＢ＋ＤＤ）は、隣接する磁歪膜がそれぞれ互いに逆方向となる磁気異方性を有することから、ＶＴ１とＶＴ２が交わる交点Ｂを含む縦軸に関して略線対称の関係にある。
ＶＴ３は、このＶＴ１とＶＴ２を利用し、両特性の差動をとることによって作成されるトルク出力特性を示す。このＶＴ３を監視することにより、回転軸１６に印加されるトルクを算出することができる。実際には、ＶＴ３の点Ｂを原点位置（トルク中点）に設定し、右側部分を正領域、左側部分を負領域として扱う。このＶＴ３によりトルクの回転方向と大きさの情報を得ることができる。
【００３５】
本発明の実施の形態に係る磁歪式トルクセンサ３０によれば、上述した検出ブリッジを構成する分子に磁性変化の少ない磁歪膜を割り当てることで、ＶＴ１とＶＴ２の差動によるトルク算出時の変動相殺効果を増大させ、回転軸１６にトルク以外の荷重が印加された場合のトルク中点電圧の変動を低減させることができる。
【００３６】
本発明の実施の形態に係る磁歪式トルクセンサ３０の評価データを次に示す。
【００３７】
【表１】
2010223591.tif 000003
【００３８】
表１は、自在軸継手１５に２５０Ｎｍの荷重が印加された場合の磁歪式トルクセンサ３０のインピーダンス変化の様子について、４枚の磁歪膜（ＤＤ、ＡＡ、ＢＢ、ＣＣ）毎、自在軸継手１５の配置位置を原点に各磁歪膜中心位置までの距離（位置）と、初期インピーダンス（初期Ｚ）と、荷重印加時のインピーダンス（荷重時Ｚ）と、インピーダンス変化（Δ）とを対応づけて表形式で示したものである。
【００３９】
表１において、例えば、磁歪膜（ＤＤ）について、位置が８３．５ｍｍ、初期Ｚが２５０Ω、荷重時Ｚが２４８．２４１４Ω、Δが１１．７５８５９Ωである。以下、同様に、磁歪膜（ＡＡ）、（ＢＢ）、（ＣＣ）毎の位置、初期Ｚ、荷重時Ｚ、Δが示されている。表１によれば、自在軸継手１５の近くに位置する磁歪膜ほど特性変化が小さいことが理解できる（ＤＤ＜ＡＡ＜ＢＢ＜ＣＣ）。
【００４０】
【表２】
2010223591.tif 000004
【００４１】
表２は、このときのＶＴ１、ＶＴ２、ＶＴ３の電圧変化の様子を表形式で示したものである。
表２において、Ａは、例えば、特許文献２に開示された一対の磁歪膜に対して検出を行う従来方法を適用し、外乱が加わった場合のトルク中点電圧値、Ｂは本発明を適用した場合のトルク中点電圧値であり、これにより、９％程度（９．３３１１０４）発生していたトルク中点電圧の変動を１％以下（０．８１２７６３８）にまで低減できることが理解できる。
【００４２】
以上に説明したように本発明の実施の形態に係る磁歪式トルクセンサ３０によれば、回転軸１６に少なくとも３枚の磁歪膜を設け、軸方向上端から、例えば、右、左、右のように互いに異なる磁気異方性を付加し、また、検出ブリッジを構成する分子に磁性変化の小さな磁歪膜を配置することで、シャフト上端に入力トルク以外の荷重が印加された場合のトルク中点電圧の変動を低減させることができる。また、温度変化により、あるいは走行環境により磁場変化がシャフト上端から下端に発生した場合にも同様、トルク中点電圧の変動を大幅に減少できる。このことにより、磁歪式トルクセンサ３０の信頼性を大幅に高めることができ、電動パワーステアリング装置１０をはじめとした適用分野を広げることができる。
【００４３】
また、本発明の実施の形態に係る磁歪式トルクセンサ３０を備えた電動パワーステアリング装置１０によれば、磁歪式トルクセンサ３０により算出されたトルクに係る信号に基づいてモータ２３の駆動を制御することにより、自在軸継手１５等の支点位置により回転軸１６の一端にトルク以外の荷重が印加された場合にも、トルク中点電圧の変動を低減することができ、また、温度や磁場変化が発生した場合にもトルク中点電圧の変動を抑制でき、信頼性の高い電動パワーステアリング装置１０を提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、電動パワーステアリング装置１０の操舵トルク検出に用いる磁歪式トルクセンサ３０に適用して特に顕著な効果が得られる。
【符号の説明】
【００４５】
１０…電動パワーステアリング装置、１３、１５…自在軸継手、１６…回転軸、３０…磁歪式トルクセンサ、３１…第１磁歪膜、３２ａ、３２ｂ…第２磁歪膜、３３…第３磁歪膜、３４…第１検出コイル、３５…第２検出コイル、３６…第３検出コイル、４０…ＥＣＵ、４１…差動アンプ、４２…加算器
【図１】
2010223591.tif 000005
【図２】
2010223591.tif 000006
【図３】
2010223591.tif 000007
【図４】
2010223591.tif 000008