(57)【要約】【課題】隔壁の角においても確実に着色できるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】基板２上を少なくとも１つの着色角部７ａを有する着色領域７に区画する隔壁４を形成する隔壁形成工程と、着色角部７ａに近い隔壁４の角部側面４ｃに親液処理をする表面改質工程とを有する。さらに、隔壁４に囲まれた着色領域７に着色膜５の材料を含む機能液２６を塗布する塗布工程と、塗布された機能液２６を固化して着色膜５を形成する固化工程とを有する。塗布工程は内部塗布工程と角部塗布工程とを有する。そして、内部塗布工程では隔壁４に機能液２６を塗布し、角部塗布工程では角部側面４ｃにおける隔壁上面４ａ上面から隔壁側面４ｂにかけて機能液２６を塗布する。【選択図】図９
2010015005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上を少なくとも１つの角部を有する着色領域に区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、
前記隔壁に囲まれた前記着色領域に色要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、
塗布された前記液状体を固化して色要素を形成する固化工程とを有し、
前記塗布工程は角部塗布工程を含み、
前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記塗布工程では前記液状体を液滴にして吐出して塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記角部塗布工程において吐出する前記液滴は、前記角部塗布工程以外の前記塗布工程において吐出する前記液滴より小さいことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
基板と、少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁と、
前記隔壁に囲まれた着色領域に形成された色要素と、を備え、
前記角部の前記隔壁の側面において前記色要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルタであって、
前記角部の前記隔壁上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載のカラーフィルタであって、
前記隔壁において前記色要素を囲む上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項７】
請求項６に記載のカラーフィルタであって、
前記隔壁の側面において前記角部と離れた場所は、前記角部より前記液状体に対して撥液性が高く、前記隔壁の上面より撥液性が低いことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項８】
一対の電極の間に発光要素を有する光学素子の形成方法であって、
前記電極を基板上に形成する電極形成工程と、
少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、
前記隔壁に囲まれた発光領域に発光要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、
塗布された前記液状体を固化して発光要素を形成する固化工程とを有し、
前記塗布工程は角部塗布工程を含み、
前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とする光学素子の形成方法。
【請求項９】
第１の電極が形成された基板と、少なくとも１つの角部を有する発光領域に前記基板を区画する隔壁と、
前記隔壁に囲まれた前記発光領域に形成された発光要素と、
前記第１の電極と共に前記発光要素を挟むように配置された第２の電極と、を備え、
前記角部の前記隔壁の側面において前記発光要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とする光学素子。
【請求項１０】
請求項４〜７のいずれか一項に記載のカラーフィルタまたは請求項９に記載の光学素子を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電気光学装置を表示部に備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、光学素子の形成方法、光学素子、電気光学装置、電子機器等にかかわり、特に品質良く膜を形成する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー画像を表示する表示部を有する電子機器にはカラーフィルタが活用されることが多い。そして、特許文献１に色の濃淡差の少ないカラーフィルタの製造方法が開示されている。それによると、上面に撥液処理がされたバンク（以下、隔壁と称す）を基体に形成する。そして隔壁に区画された着色層形成領域（以下、着色領域と称す）に着色材料を含む機能液を液滴吐出法（インクジェット法）を用いて塗布する。次に、着色材料を含む機能液を硬化させていた。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４７４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
インクジェット法を用いて基体上の隔壁内に機能液を吐出するとき、機能液には表面張力が働くことにより球体形状に近くなる。そして、着色領域が多角形に区画されるとき、隔壁の角となる場所において機能液が球体形状に近づくことにより、機能液が充填されない場合がある。この機能液を乾燥して固化するとき、隔壁の角では機能液による膜が形成されないので、この部分は着色されない。従って、このカラーフィルタは着色されない部分を含んだ不良品となる。そして、隔壁の角においても確実に着色できるカラーフィルタの製造方法が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例にかかるカラーフィルタの製造方法であって、基板上を少なくとも１つの角部を有する着色領域に区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、前記隔壁に囲まれた前記着色領域に色要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、塗布された前記液状体を固化して色要素を形成する固化工程とを有し、前記塗布工程は角部塗布工程を含み、前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とする。
【０００７】
このカラーフィルタの製造方法によれば、隔壁形成工程にて隔壁が形成される。そして、表面改質工程において隔壁の角部が親液化される。そして、塗布工程では着色領域に液状体を塗布する。液状体の体積が小さいとき、液状体には表面張力が働くので液状体は球体に近づく傾向がある。その結果、角部の液状体が塗布されない可能性がある。角部塗布工程では側面の角部に液状体を塗布している。側面の角部は親液化されることにより液状体が濡れ広がり易くなっており、角部には直接液状体が塗布されるので確実に液状体を塗布することができる。そして、固化工程において液状体を固化することにより、着色領域の総ての場所に色要素を形成することができる。
【０００８】
［適用例２］
上記に記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記塗布工程では前記液状体を液滴にして吐出して塗布することを特徴とする。
【０００９】
このカラーフィルタの製造方法によれば、液状体を液滴にして吐出する。塗布する液状体の量は１滴の液滴の量と液滴数とを積算した量となるので、液滴の体積と液滴数を制御することにより液状体の量を精度良く吐出して着色領域に液状体を塗布することができる。
【００１０】
［適用例３］
上記に記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記角部塗布工程において吐出する前記液滴は、前記角部塗布工程以外の前記塗布工程において吐出する前記液滴より小さいことを特徴とする。
【００１１】
このカラーフィルタの製造方法によれば、角部塗布工程においては小さい液滴が吐出されるので、着弾した液滴が隔壁上面を塗布する面積を小さくすることができる。
【００１２】
［適用例４］
本適用例にかかるカラーフィルタであって、基板と、少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁と、前記隔壁に囲まれた着色領域に形成された色要素と、を備え、前記角部の前記隔壁の側面において前記色要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
このカラーフィルタによれば、角部の隔壁の側面に親液面が形成される。従って、着色領域に液状体を塗布するとき、液状体が流動し難い角部の隔壁の側面に、液状体を配置し易くすることができる。その結果、着色領域の総ての場所に液状体を配置することができる。
【００１４】
［適用例５］
上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記角部の前記隔壁上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
このカラーフィルタによれば、角部の隔壁上面は撥液性を有し、角部の側面は親液性を有している。従って、隔壁の角部側面と隔壁の上面とを跨いで液滴が位置するとき、液滴は表面張力により隔壁の上面側から角部側面側へ移動し易くなる。その結果、塗布した液状体は着色領域内の角部にも流入し易くすることができる。
【００１６】
［適用例６］
上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記隔壁において前記色要素を囲む上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とする。
【００１７】
このカラーフィルタによれば、隔壁の上面は撥液面となっている。従って、着色領域内の液状体は隔壁を乗越え難くなる為、隣りの着色領域へ液状体を移動し難くすることができる。
【００１８】
［適用例７］
上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記隔壁の側面において前記角部と離れた場所は、前記角部より前記液状体に対して撥液性が高く、前記隔壁の上面より撥液性が低いことを特徴とする。
【００１９】
このカラーフィルタによれば、隔壁の側面において角部に近い場所では角部と離れている面より親液性が高くなっている。そして、液状体に働く表面張力により、隔壁の側面に位置する液状体は角部と離れている場所から角部に流動し易くなる。さらに、角部と離れている場所では隔壁の上面より側面の方が親液性が高いので、液状体が隔壁の上面と側面とを跨いで配置されるとき、液状体は隔壁の上面側から側面側へ流動し易くなっている。従って、塗布される液状体を着色領域に集めて、着色領域の総ての場所に液状体を配置することができる。
【００２０】
［適用例８］
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、一対の電極の間に発光要素を有する光学素子の形成方法であって、前記電極を基板上に形成する電極形成工程と、少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、前記隔壁に囲まれた発光領域に発光要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、塗布された前記液状体を固化して発光要素を形成する固化工程とを有し、前記塗布工程は角部塗布工程を含み、前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００２１】
この光学素子の形成方法によれば、隔壁形成工程にて隔壁が形成される。そして、表面改質工程において角部の隔壁の側面が親液化される。そして、塗布工程では隔壁内に液状体を塗布する。このとき、液状体に表面張力が働くので、角部と近い場所まで液状体が塗布されない場合がある。角部塗布工程では角部に液状体を塗布している。角部の隔壁の側面は親液化され、直接液状体が塗布されるので、確実に、角部に液状体を塗布することができる。そして、固化工程において液状体を固化することにより、発光領域の総ての場所に発光要素を配置することができる。その結果、電極から発光領域に電流を流すとき、総ての発光領域から発光させることができる。
【００２２】
［適用例９］
本適用例にかかる光学素子であって、第１の電極が形成された基板と、少なくとも１つの角部を有する発光領域に前記基板を区画する隔壁と、前記隔壁に囲まれた前記発光領域に形成された発光要素と、前記第１の電極と共に前記発光要素を挟むように配置された第２の電極と、を備え、前記角部の前記隔壁の側面において前記発光要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とする。
【００２３】
この光学素子によれば、角部の隔壁の側面に親液面が形成される。従って、発光領域に発光要素の材料を含む液状体を塗布するとき、液状体が角部に流動し易くすることができる。その結果、発光領域の総ての場所に塗布することができる。
【００２４】
［適用例１０］
本適用例にかかる電気光学装置であって、上記のいずれか一項に記載のカラーフィルタまたは上記に記載の光学素子を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この電気光学装置がカラーフィルタを備えるとき、カラーフィルタが備える着色領域は総て着色されている。従って、カラーフィルタを光が通過するとき、総ての光は着色される。その結果、電気光学装置は品質の良い画像を提供することができる。
【００２６】
この電気光学装置が光学素子を備えるとき、光学素子が備える発光領域には総ての場所に発光要素が配置されている。発光要素が適正に配置されない場所では電極間に過電流が流れる為、光学素子の寿命が短くなる。本適用例の光学素子が発光するとき、光学素子の総ての場所にて適正な電流が通電される。従って、電気光学装置は寿命を長くすることができる。
【００２７】
［適用例１１］
本適用例にかかる電子機器であって、上記に記載の電気光学装置を表示部に備えたことを特徴とする。
【００２８】
この電子機器によれば、表示部に品質の良いカラーフィルタを備えている。もしくは、寿命の長い光学素子を備えている。従って、画質が良い電子機器、もしくは、寿命の長い電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００３０】
（第１の実施形態）
本実施形態における特徴的なカラーフィルタの例と液滴吐出装置を用いた吐出方法により液滴を吐出してカラーフィルタを形成する場合の例とについて図１〜図１０に従って説明する。
【００３１】
（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のカラーフィルタのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー画像を形成する。図１に示すように、カラーフィルタ１は基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面には着色素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、着色素子３は赤、青、緑色の着色素子３により構成され、各色の着色素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、上から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に着色素子３が配列して配置されている。そして、図中に上から下へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。
【００３２】
着色素子３は格子状に形成された隔壁４を備え、隔壁４は着色された樹脂材料によって形成され光が透過しないようになっている。隔壁４によって矩形に仕切られた場所には赤色着色膜５ａ、青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃ等の色要素としての着色膜５が形成されている。赤色素子列３ａの着色素子３には赤色着色膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃが形成されている。
【００３３】
図２（ａ）は着色領域を示す要部模式平面図であり、着色膜５が配置されていない状態を示している。図２（ｂ）は着色領域を示す要部模式断面図であり、図２（ａ）の着色領域のＢ−Ｂ’線に沿う断面を示している。図２に示すように、隔壁４は断面形状が略台形に形成され、隔壁上面４ａは平坦に形成されている。隔壁側面４ｂは傾斜をつけて形成された斜面になっている。隔壁側面４ｂにより矩形に囲まれた基板２上の面は平坦に形成され、この面を隔壁底面６と称す。そして、隔壁４によって矩形に区画された隔壁側面４ｂ及び隔壁底面６からなる領域を着色領域７と称し、着色領域７に着色膜５が配置されることにより着色素子３が形成される。
【００３４】
矩形に配置された着色領域７の四隅を着色角部７ａとし、矩形に配置された隔壁底面６の四隅を底面角部６ａとする。そして、隔壁側面４ｂにおいて着色角部７ａと底面角部６ａとの間とその近傍の場所を角部側面４ｃとする。１つの隔壁側面４ｂにおいて角部側面４ｃに挟まれた場所を中部側面４ｄとする。従って、１つの着色領域７は１つの隔壁底面６と４つの角部側面４ｃと４つの中部側面４ｄにより構成されている。
【００３５】
着色膜５は着色膜５の材料を溶解もしくは分散した機能液を着色領域７に塗布して形成されている。そして、着色領域７及び隔壁上面４ａにはこの機能液に対して親液性を有する場所と撥液性を有する場所とが形成されている。具体的には、隔壁底面６と角部側面４ｃとには機能液に対する親液性が高い親液面が形成されており、例えば、接触角が２０度以下に形成されている。そして、隔壁上面４ａでは機能液に対する撥液性が高い撥液面が形成されており、例えば、接触角が５０度以上に形成されている。そして、中部側面４ｄは隔壁底面６及び角部側面４ｃより撥液性が高く、隔壁上面４ａより撥液性が低く形成されており、例えば、接触角が３０度〜４０度に形成されている。
【００３６】
（液滴吐出装置）
図３は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図であり、この液滴吐出装置は、着色膜５の材料を含む機能液を基板２に吐出する装置である。図３に示すように、液滴吐出装置１０は一方向に延びる一対の案内レール１１，１２を備え、案内レール１１，１２が延在する方向をＹ方向とする。そして、水平方向のうちＹ方向と直交する方向をＸ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は重力加速度の方向と逆の方向となる。
【００３７】
案内レール１１，１２上には案内レール１１，１２に沿って移動するステージ１３が配置され、ステージ１３は直動機構１４を備えている。この直動機構１４は、例えば案内レール１１，１２に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転する図示しないＹ軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転または逆転して、ステージ１３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動または、復動してＹ方向に走査するようになっている。
【００３８】
ステージ１３のＸ方向にはステージ位置検出装置１５を備え、ステージ１３のＹ方向の位置を検出することが可能になっている。ステージ位置検出装置１５は、例えば、位置を示す目盛りが配置された長尺のスケールと目盛りを検出するセンサ等から構成されている。そして、センサがスケールの目盛りを検出することにより、ステージ位置検出装置１５はステージ１３の位置を認識する。
【００３９】
ステージ１３の上面には載置面１３ａが形成され、その載置面１３ａには図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１３ａに基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１３ａの所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００４０】
ステージ１３のＺ方向には、Ｘ方向に延びる一対の案内レール１６，１７が配置されている。案内レール１６，１７上には案内レール１６，１７に沿って移動するキャリッジ１８が配置され、キャリッジ１８は直動機構１９を備えている。そのキャリッジ１８の直動機構１９は、例えば、ステージ１３が備える直動機構１４と同様の機構である。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をキャリッジ１８が備える図示しないＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転または逆転して、キャリッジ１８が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動または復動してＸ方向に走査するようになっている。
【００４１】
キャリッジ１８のＹ方向にはキャリッジ位置検出装置２０を備え、キャリッジ１８のＸ方向の位置を検出することが可能になっている。キャリッジ位置検出装置２０は、例えば、ステージ位置検出装置１５と同様の装置を用いることができる。このキャリッジ１８の下側には液滴吐出ヘッド２１が凸設されている。
【００４２】
液滴吐出装置１０には機能液を供給可能に収容する図示しない収容タンクが配設されている。そして、収容タンクから液滴吐出ヘッド２１までチューブを介して機能液が供給される。他にも、液滴吐出装置１０は制御装置２２を備えている。制御装置２２は直動機構１４，１９、ステージ位置検出装置１５、キャリッジ位置検出装置２０、液滴吐出ヘッド２１と接続されている。
【００４３】
制御装置２２は直動機構１４を駆動してステージ１３をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド２１と対向する場所が基板２の一端と基板２の他端との間で往復するように、制御装置２２は基板２を移動させる。この方向を主走査方向とする。そして、制御装置２２は基板２を液滴吐出ヘッド２１に対して１往復した後、制御装置２２はキャリッジ１８の直動機構１９を駆動して液滴吐出ヘッド２１を移動させる。この動作を繰り返して、制御装置２２はキャリッジ１８をＹ方向に走査する。この方向を副走査方向とする。
【００４４】
制御装置２２はステージ位置検出装置１５が出力するステージ１３の位置信号を入力する。さらに、制御装置２２はキャリッジ位置検出装置２０が出力するキャリッジ１８の位置信号を入力する。そして、ＸＹ方向における基板２と液滴吐出ヘッド２１との相対位置を認識する。そして、液滴吐出ヘッド２１が基板２に対して所望の場所に位置するとき、液滴吐出ヘッド２１から基板２に液滴を吐出することが可能になっている。そして、液滴吐出装置１０は基板２に所望のパターンを描画することができる。
【００４５】
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式平面図である。図４（ａ）に示すように、１つのキャリッジ１８には、３個の液滴吐出ヘッド２１が略Ｙ方向において等間隔に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド２１は赤色、青色、緑色の機能液が供給されている。そして、この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド２１はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。
【００４６】
そして、液滴吐出ヘッド２１の表面にはノズルプレート２３が配置され、ノズルプレート２３にはノズル２４が複数形成されている。ノズル２４の数は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２３にはノズル２４の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２４が配置されている。
【００４７】
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図４（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２１は、ノズルプレート２３を備え、ノズルプレート２３には、ノズル２４が形成されている。ノズルプレート２３の上側であって、ノズル２４と対向する位置には、ノズル２４と連通する圧力室としてのキャビティ２５が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド２１のキャビティ２５には、図示しない供給装置に貯留されている液状体としての機能液２６が図示しない流路を介して供給される。
【００４８】
キャビティ２５の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ２５内の容積を拡大縮小する振動板２７と、上下方向に伸縮して振動板２７を振動させる駆動部としての圧電素子２８が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド２１が圧電素子２８を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子２８が伸縮して、振動板２７がキャビティ２５内の容積を拡大縮小してキャビティ２５を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド２１のノズル２４から、縮小した容積分の機能液２６が液滴２９として吐出される。ノズル２４、キャビティ２５、振動板２７、圧電素子２８等により液滴吐出素子３０が構成され、１つの液滴吐出ヘッド２１には複数の液滴吐出素子３０が配列して形成されている。
【００４９】
（カラーフィルタの形成方法）
次に、上述した液滴吐出装置１０を用いて液滴吐出ヘッド２１から基板２に機能液２６を塗布し、カラーフィルタ１を形成する形成方法について図５〜図１０を用いて説明する。図５は、カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャートである。
【００５０】
ステップＳ１は隔壁形成工程に相当する。この工程は、基板上に隔壁を形成する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は表面改質工程に相当し、基板の一部に親液処理を施し、別の一部に撥液処理を施す工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は内部塗布工程に相当し、着色領域の底面に機能液を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は角部塗布工程に相当し、隔壁の角部側面に機能液を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は固化工程に相当し、塗布された機能液を乾燥して固化する工程である。ステップＳ３及びステップＳ４を合わせてステップＳ１０の塗布工程とする。以上の工程によりカラーフィルタを形成する工程を終了する。
【００５１】
次に、図６〜図１０のカラーフィルタの製造方法を説明するための模式図を用いて、図５に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図６（ａ）はステップＳ１の隔壁形成工程に対応する図である。図６（ａ）に示すように、基板２に隔壁４を形成する。隔壁４の材料としては、着色膜５の溶媒または分散媒に対して耐久性を有し、所定の形状にパターニング可能な材料であることが望ましい。さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できる材料であれば良い。例えば、感光性のフェノール樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂等といった絶縁性を有する有機系感光性の高分子材料を用いることが好ましい。隔壁４の形成方法としては、例えば、基板２の表面に有機系感光性材料をロールコート法、スピンコート法、スプレーコート法、ダイコート法、ディップコート法等の所定の方法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍ〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域７に対応した大きさの開口部が設けられたマスクを基板２と所定の位置で対向させて露光した後現像することにより、隔壁４を形成することができる。
【００５２】
図６（ｂ）〜図７（ｂ）はステップＳ２の表面改質工程に対応する図である。図６（ｂ）に示すように、隔壁４が形成された基板２に機能液２６を構成する溶媒３２もしくは分散媒３３を塗布する。機能液２６の溶媒及び分散媒としては、着色膜５の材料を溶解または分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン等の炭化水素系化合物を溶媒及び分散媒として例示できる。他にも、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサン等のエーテル系化合物を溶媒及び分散媒として例示できる。さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン等の極性化合物を溶媒及び分散媒として例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法（インクジェット法）への適用の容易さの点で、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、炭化水素系化合物を挙げることができる。次に、基板２に塗布された溶媒３２または分散媒３３を乾燥して固化することにより親液膜３４を形成する。
【００５３】
次に、図６（ｃ）及び図６（ｄ）に示すように、隔壁上面４ａ及び中部側面４ｄに配置された親液膜３４を除去する。そして、隔壁底面６及び角部側面４ｃに限定して親液膜３４を配置する。この親液膜３４のＺ方向の面が親液面３４ａとなる。親液膜３４を除去する方法としては隔壁上面４ａ及び中部側面４ｄの形状に光が透過するマスクを用いて、レーザー光や紫外光を照射する方法が挙げられる。光の照射条件としては、親液膜３４を形成する材料や厚み等を考慮して、親液膜３４が除去されるように光の強度、照射時間等を適宜調整する。また、照射するレーザー光としては、例えばＮｂ：ＹＡＧレーザーまたは炭酸ガスレーザー等を用いることができる。他にも、親液膜３４をエッチングして除去しても良い。例えばレジスト膜を形成した後、露光、現像してパターニングする。次に、ウエットエッチング、ドライエッチングすることにより隔壁上面４ａ及び中部側面４ｄに配置された親液膜３４を除去する。その後、レジスト膜を除去しても良い。
【００５４】
次に、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、隔壁上面４ａに撥液面３５を形成する。撥液処理としては、例えばフッ素系化合物を含むフッ素含有ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する方法を採用することができる。フッ素系化合物を用いることにより、隔壁４の表面にフッ素基が導入され、これにより液体材料を弾くことが可能になる。フッ素系化合物としては、例えばＣＦ4、ＳＦ6、ＣＨＦ3等が挙げられる。このとき、隔壁上面４ａの形状にパターニングされたマスクを基板２に重ねてプラズマ処理を行う。その結果、隔壁上面４ａに限定して撥液面３５が形成される。
【００５５】
図７（ｃ）〜図８（ｃ）はステップＳ３の内部塗布工程に対応する図である。図７（ｃ）及び図８（ａ）に示すように、ステップＳ３において、液滴吐出ヘッド２１のノズル２４から隔壁底面６に向けて液滴２９を吐出する。このとき、図７（ｃ）に示すように、基板２と液滴吐出ヘッド２１とを連続して相対移動させ、隔壁底面６と対向する場所にノズル２４が位置するときに、ノズル２４から液滴２９を吐出する。そして、図８（ａ）に示すように、液滴２９の着弾位置３１が隔壁底面６に位置するようにする。その結果、図８（ｂ）に示すように、隔壁４に囲まれた着色領域７に機能液２６が充填される。隔壁上面４ａは撥液面３５が形成されているので、機能液２６は隔壁上面４ａに乗り上がらない。そして、隣り合う着色領域７の機能液２６が連結しないようになっている。
【００５６】
図８（ｃ）は着色領域７に機能液２６が塗布された状態の１例を示している。この例では、機能液２６の表面張力により角部側面４ｃに機能液２６が充填されていない。このまま機能液２６を乾燥して固化するとき、隔壁底面６の一部には着色膜５が形成されない恐れがある。
【００５７】
図９（ａ）〜図１０（ａ）はステップＳ４の角部塗布工程に対応する図である。図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２１のノズル２４から隔壁４の角部側面４ｃに向けて液滴２９を吐出する。このとき、図９（ａ）に示すように、基板２と液滴吐出ヘッド２１とを連続して相対移動させ、角部側面４ｃと対向する場所にノズル２４が位置するときに、ノズル２４から液滴２９を吐出する。そして、図９（ｂ）に示すように、液滴２９の着弾位置３１が角部側面４ｃに位置するようにする。その結果、図９（ｃ）及び図１０（ａ）に示すように、ステップＳ３にて隔壁底面６に着弾した機能液２６と角部側面４ｃに着弾した機能液２６が融合する。その結果、隔壁４に囲まれた着色領域７の総ての場所に機能液２６が充填される。
【００５８】
図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）はステップＳ５の固化工程に対応する図である。図１０（ｂ）に示すように、機能液２６が塗布された基板２を乾燥装置３８に配置する。乾燥装置３８は乾燥室３９を備えている。乾燥室３９は載置台４０を備え、基板２は載置台４０に配置される。乾燥室３９は図中上側の供給管４１及び供給バルブ４２を介して乾燥気体供給部４３と接続されている。さらに、乾燥室３９は図中下側の排気管４４及び排気バルブ４５を介して排気部４６と接続されている。そして、乾燥気体供給部４３から供給される乾燥気体４７が供給バルブ４２及び供給管４１を介して乾燥室３９に供給される。次に、乾燥気体４７は基板２に塗布された機能液２６に沿って流動する。このとき、機能液２６に含まれる溶媒３２及び分散媒３３を乾燥気体４７が蒸発させて除去することにより、機能液２６を乾燥させる。そして、機能液２６が乾燥することにより、着色膜５が形成される。次に、溶媒３２及び分散媒３３を含んだ乾燥気体４７は排気管４４及び排気バルブ４５を通過して排気部４６により図示しない処理装置に排気される。その結果、図１０（ｃ）に示すように、基板２の着色領域７に着色膜５が形成されたカラーフィルタ１が完成する。以上で、カラーフィルタ１の製造工程を終了する。
【００５９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ２の表面改質工程において隔壁４の角部側面４ｃが親液化される。そして、ステップＳ３の内部塗布工程では隔壁底面６に機能液２６を塗布する。塗布された機能液２６の体積が小さいとき、機能液２６には表面張力が働くので機能液２６は球体に近づく傾向がある。その結果、角部側面４ｃには機能液２６が塗布されない可能性がある。ステップＳ４の角部塗布工程では角部側面４ｃに機能液２６を塗布している。角部側面４ｃは親液化されることにより液状体が濡れ広がり易くなっており、角部側面４ｃに直接機能液２６が塗布されるので確実に機能液２６を塗布することができる。そして、ステップＳ５の固化工程において機能液２６を固化することにより、着色領域７の総ての場所に着色膜５を形成することができる。
【００６０】
（２）本実施形態によれば、機能液２６を液滴２９にして吐出している。塗布する機能液２６の量は１滴の液滴２９の量と液滴数とを積算した量となるので、液滴２９の体積と液滴数を制御することにより機能液２６の量を精度良く吐出して着色領域７に機能液２６を塗布することができる。
【００６１】
（３）本実施形態によれば、ステップＳ４の角部塗布工程において、小さい液滴２９を吐出する。このとき、着弾した液滴２９が隔壁上面４ａを塗布する面積を小さくすることができる。そして、隔壁上面４ａに着弾した液滴２９は着色領域７に塗布された機能液２６と合体する為、隔壁上面４ａに機能液２６を残り難くすることができる。
【００６２】
（４）本実施形態によれば、隔壁４の角部側面４ｃに親液面が形成される。従って、着色領域７に機能液２６を塗布するとき、機能液２６が流動し難い隔壁４の角部側面４ｃに、機能液２６を配置し易くすることができる。その結果、着色領域７の総ての場所に機能液２６を配置することができる。
【００６３】
（５）本実施形態によれば、隔壁上面４ａは撥液性を有し、隔壁４の角部側面４ｃは親液性を有している。従って、隔壁４の角部側面４ｃと隔壁上面４ａとを跨いで液滴２９が位置するとき、液滴２９は表面張力により隔壁上面４ａから隔壁４の角部側面４ｃへ移動し易くなる。その結果、塗布した機能液２６は着色領域７の隅にも流入し易くすることができる。
【００６４】
（６）本実施形態によれば、隔壁上面４ａは撥液面となっている。従って、着色領域７内の機能液２６は隔壁４を乗越えて、隣りの着色領域７へ移動し難くすることができる。
【００６５】
（７）本実施形態によれば、隔壁側面４ｂにおいて角部側面４ｃは中部側面４ｄより親液性が高いので、機能液２６に働く表面張力により機能液２６は中部側面４ｄから角部側面４ｃに流動し易くなる。さらに、中部側面４ｄは隔壁上面４ａより親液性が高く形成されているので、機能液２６が隔壁上面４ａと中部側面４ｄを跨いで配置されるとき、機能液２６は隔壁上面４ａから中部側面４ｄへ流動し易くなっている。従って、塗布される機能液２６を着色領域７に集めて、着色領域７の総ての場所に機能液２６を配置することができる。
【００６６】
（第２の実施形態）
次に、上記のカラーフィルタを搭載した液晶表示装置とその液晶表示装置を製造する一実施形態について図１１を用いて説明する。まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の１つである液晶表示装置について説明する。図１１は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【００６７】
図１１に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置５０は、透過型の液晶表示パネル５１と、液晶表示パネル５１を照明する照明装置５２とを備えている。液晶表示パネル５１は、液晶５３を素子基板５４とカラーフィルタとしての対向基板５５とで挟持して配置されている。そして、素子基板５４における下側の表面には、下偏光板５６が配置され、対向基板５５における上側の表面には、上偏光板５７が配置されている。
【００６８】
素子基板５４は光透過性のある材料からなる基板５８を備え、基板５８の上側には、絶縁膜５９が形成されている。絶縁膜５９上には、マトリクス状に画素電極６０が形成され、各画素電極６０には、スイッチング機能を有するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）素子６１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子６１のドレイン端子に画素電極６０が接続されている。
【００６９】
各画素電極６０及びＴＦＴ素子６１を囲んで、格子状に、走査線６２及びデータ線６３が形成されている。そして、走査線６２は、ＴＦＴ素子６１のゲート端子と接続され、データ線６３は、ＴＦＴ素子６１のソース端子と接続されている。そして、画素電極６０、ＴＦＴ素子６１、走査線６２、データ線６３等からなる素子層６４の液晶５３側には、配向膜６５が形成されている。
【００７０】
対向基板５５は光透過性のある材料からなる基板６７を備えている。基板６７の下側には、遮光性を有する材料からなる下層隔壁６８が格子状に形成され、下層隔壁６８の下側には、有機化合物等からなる上層隔壁６９が形成されている。そして、下層隔壁６８及び上層隔壁６９により隔壁７０が構成されている。
【００７１】
隔壁７０によってマトリクス状に区画された凹部には、色要素としての着色層７１として、赤色着色層７１Ｒ，緑色着色層７１Ｇ，青色着色層７１Ｂが形成されている。そして、隔壁７０と着色層７１とを覆うオーバーコート層７２が形成されている。このオーバーコート層７２を覆うようにＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等の透明導電膜からなる電極膜としての対向電極７３が形成されている。さらに、対向電極７３の液晶５３側には、配向膜７４が形成されている。配向膜７４と配向膜６５とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶５３が凹凸に沿って配列して形成されている。
【００７２】
液晶５３は、該液晶５３を挟持する画素電極６０と対向電極７３とに電圧を印加すると液晶５３の傾き角度が変化する性質を持っており、ＴＦＴ素子６１のスイッチング動作により、液晶５３にかける電圧をコントロールして液晶５３の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶５３により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにＴＦＴのスイッチング動作により、液晶５３をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【００７３】
画素電極６０は、ＴＦＴ素子６１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線６３から供給される画素信号が各画素電極６０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極６０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板５５の対向電極７３と画素電極６０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶５３の光透過量が変化する。
【００７４】
照明装置５２は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル５１に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等を備えている。光源には、白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。
【００７５】
尚、下偏光板５６及び、上偏光板５７は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルム等の光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５１は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子６１に限らずＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【００７６】
液晶表示装置５０を製造する工程として、基板５８に画素電極６０やＴＦＴ素子６１等の素子層６４を形成する素子形成工程が行われる。次に、配向膜６５を形成する配向膜形成工程が行われて素子基板５４が完成する。一方、基板６７に着色層７１及びオーバーコート層７２を形成するカラーフィルタ形成工程が行われる。次に、オーバーコート層７２の下面に対向電極７３を形成する電極形成工程が行われる。続いて、対向電極７３の下面に配向膜７４を形成する配向膜形成工程が行われて対向基板５５が完成する。次に、素子基板５４に液晶５３を塗布する液晶配置工程が行われる。続いて、素子基板５４または対向基板５５に接着剤を塗布した後、素子基板５４と対向基板５５とを接着する組立工程が行われる。次に、下偏光板５６と上偏光板５７とを貼り付ける偏光板貼付工程が行われて、液晶表示パネル５１が完成する。
【００７７】
対向基板５５の着色層７１を形成するカラーフィルタ形成工程において、第１の実施形態における製造工程と同様な工程を用いる。具体的には、隔壁７０に囲まれた基板６７と隔壁７０の側面に親液処理を施して親液面を形成する。次に、隔壁７０の側面において角部としての四隅を除いて親液面を改質して親液性を低下させる。続いて、隔壁７０の液晶５３側の面に撥液処理を施して撥液面を形成する。次に、液滴吐出装置１０を用いて着色層７１の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。
【００７８】
このとき、まず基板６７上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁７０の側面の四隅に液滴２９を吐出する。その結果、隔壁７０に囲まれた着色領域は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して着色層７１を形成する。
【００７９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、隔壁７０に囲まれた着色領域は総て着色されている。従って、着色層７１を光が通過するとき、総ての光は着色される。その結果、液晶表示装置５０は品質の良い画像を提供することができる。
【００８０】
（第３の実施形態）
次に、上記の膜形成方法を応用して有機ＥＬ装置（ＥＬＥＣＴＲＯ  ＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ）を製造する一実施形態について図１２を用いて説明する。まず、電気光学装置の１つである有機ＥＬ装置について説明する。図１２は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【００８１】
図１２に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置８０は基板８１を備え、基板８１の上側には、絶縁膜８２が形成されている。絶縁膜８２上には、コンタクト電極８３がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極８３と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子８４が形成されている。そして、ＴＦＴ素子８４のドレイン端子にコンタクト電極８３が接続されている。
【００８２】
各コンタクト電極８３及びＴＦＴ素子８４を囲むように、走査線８５及びデータ線８６が格子状に形成されている。そして、走査線８５は、ＴＦＴ素子８４のゲート端子と接続され、データ線８６は、ＴＦＴ素子８４のソース端子と接続されている。そして、コンタクト電極８３、ＴＦＴ素子８４、走査線８５、データ線８６等からなる素子層８７が形成されている。素子層８７の上側には絶縁膜８８が形成され、絶縁膜８８の上側には、隔壁８９が格子状に形成されている。
【００８３】
隔壁８９により形成される凹状領域の各底部には、第１の電極としての画素電極９０が形成され、画素電極９０は、コンタクト電極８３と電気的に接続されている。隔壁８９に囲まれた領域を発光領域９１と称し、この発光領域９１は方形に形成されている。従って、発光領域９１には４箇所の角部９１ａが配置されている。画素電極９０の上面には、発光素子としての正孔輸送層９２が形成され、正孔輸送層９２の上面には、発光要素としての発光層９３Ｒ，９３Ｇ，９３Ｂ等の発光層９３が形成されている。そして、正孔輸送層９２と発光層９３とにより機能層９４が形成されている。発光層９３Ｒは、赤色を発光する有機発光材料等により構成された発光層であり、発光層９３Ｇは、緑色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。同様に、発光層９３Ｂは、青色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。
【００８４】
機能層９４及び隔壁８９の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料等からなる第２の電極としての陰極９５が形成されている。本実施形態においては、陰極９５は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）を採用している。陰極９５の上面には、光透過性を有する材料等からなる封止膜９６が形成され、陰極９５及び機能層９４が空気中の酸素により酸化されることを防止している。
【００８５】
画素電極９０、機能層９４、陰極９５により発光素子９７が構成されている。画素電極９０と陰極９５との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層９２は、正孔のみを流動する。そして、発光層９３は、正孔輸送層９２から供給される正孔と陰極９５から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子８４は、スイッチング動作を行い、機能層９４にかける電圧をコントロールすることにより、発光層９３が発光する光量を制御する。このように、発光層９３が発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【００８６】
画素電極９０は、ＴＦＴ素子８４のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線８６から供給される画素信号が各画素電極９０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極９０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極９５と画素電極９０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層９３Ｒ，９３Ｇ，９３Ｂが発光する光量が変化する。
【００８７】
封止膜９６の上側には隔壁９８が格子状に形成されている。隔壁９８に囲まれた領域を着色領域９９と称し、この着色領域９９は方形に形成されている。従って、着色領域９９には４箇所の角部９９ａが配置されている。封止膜９６上面の着色領域９９には、赤色着色膜１００Ｒ、青色着色膜１００Ｂ、緑色着色膜１００Ｇ等の色要素としての着色膜１００が形成されている。赤色着色膜１００Ｒは赤色の発光層９３Ｒと対向する場所に配置され、赤色の発光層９３Ｒが発光する色合いを調整する機能を備えている。同様に、青色着色膜１００Ｂは青色の発光層９３Ｂと対向する場所に配置され、緑色着色膜１００Ｇは緑色の発光層９３Ｇと対向する場所に配置されている。そして、青色着色膜１００Ｂ、緑色着色膜１００Ｇはそれぞれ青色の発光層９３Ｂ、緑色の発光層９３Ｇが発光する色合いを調整する機能を備えている。着色膜１００及び隔壁９８の上側には保護膜１０１が配置され、保護膜１０１により着色膜１００が汚れないように保護されている。さらに、保護膜１０１の上側が平坦に形成されることにより、発光層９３が発光する光が上側へ直進するようになっている。封止膜９６、隔壁９８、着色膜１００によりカラーフィルタ１０２が構成されている。
【００８８】
有機ＥＬ装置８０を製造する工程として、基板８１にコンタクト電極８３やＴＦＴ素子８４等の素子層８７や絶縁膜８８を形成する素子形成工程が行われる。次に、隔壁８９を形成する隔壁形成工程が行われ、続いて、画素電極９０を形成する電極形成工程が行われる。次に、隔壁８９の表面に親液処理と撥液処理を行う表面改質工程が行われる。正孔輸送層９２の材料を含む液状体としての機能液２６を塗布する塗布工程が行われ、続いて、塗布した機能液２６を乾燥して固化する固化工程が行われる。次に、発光層９３の材料を含む機能液２６を塗布する塗布工程が行われ、続いて、塗布した機能液２６を乾燥して固化する固化工程が行われる。
【００８９】
次に、陰極９５を形成した後、陰極９５上に封止膜９６を形成する電極形成工程が行われる。続いて、封止膜９６上に隔壁９８を形成する隔壁形成工程が行われる。次に、着色膜１００の材料を含む機能液２６を塗布する塗布工程が行われ、続いて、塗布した機能液２６を乾燥して固化する固化工程が行われる。次に、保護膜１０１を塗布した後、乾燥して固化する保護膜形成工程が行われて、有機ＥＬ装置８０が完成する。
【００９０】
画素電極９０の表面に正孔輸送層９２及び発光層９３を形成する工程において、第１の実施形態と同様な方法を用いる。具体的には、表面改質工程において隔壁８９に囲まれた画素電極９０と隔壁８９の側面８９ａに親液処理を施して親液面を形成する。次に、隔壁８９の側面８９ａにおいて角部９１ａを除いて親液面を改質して親液性を低下させる。続いて、隔壁８９の陰極９５側の上面８９ｂに撥液処理を施して撥液面を形成する。
【００９１】
次に、塗布工程において液滴吐出装置１０を用いて正孔輸送層９２の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。このとき、まず画素電極９０上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する内部塗布工程を行う。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁８９の側面の四隅に液滴２９を吐出する角部塗布工程を行う。その結果、隔壁８９に囲まれた発光領域９１は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、固化工程において、塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して正孔輸送層９２を形成する。
【００９２】
次に、塗布工程において発光層９３の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。このときにも、まず正孔輸送層９２上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する内部塗布工程を行う。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁８９の側面の四隅に液滴２９を吐出する角部塗布工程を行う。その結果、隔壁８９に囲まれた発光領域９１は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、固化工程において塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して発光層９３を形成する。
【００９３】
さらに、封止膜９６上に着色膜１００を形成する工程において、第１の実施形態における製造工程と同様な方法を用いる。具体的には、表面改質工程において隔壁９８に囲まれた封止膜９６の上面と隔壁９８の側面９８ａに親液処理を施して親液面を形成する。次に、隔壁９８の側面９８ａにおいて角部９９ａを除いて親液面を改質して親液性を低下させる。続いて、隔壁９８の保護膜１０１側の上面９８ｂに撥液処理を施して撥液面を形成する。
【００９４】
次に、塗布工程において着色膜１００の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。このとき、まず封止膜９６上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する内部塗布工程を行う。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁９８の側面９８ａの四隅に液滴２９を吐出する角部塗布工程を行う。その結果、隔壁９８に囲まれた着色領域９９は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、固化工程において、塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して着色膜１００を形成する。
【００９５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、発光素子９７を製造する表面改質工程において角部９１ａの隔壁８９の側面８９ａが親液化される。そして、塗布工程の内部塗布工程では隔壁８９内に機能層９４の材料を含む機能液２６を塗布する。このとき、機能液２６に表面張力が働くので、角部９１ａまで機能液２６が塗布されない場合がある。角部塗布工程では角部９１ａに機能液２６を塗布している。角部９１ａの隔壁８９の側面８９ａは親液化され、直接機能液２６が塗布されるので、確実に、角部９１ａに機能液２６を塗布することができる。そして、固化工程において液状体を固化することにより、発光領域の総ての場所に機能層９４を配置することができる。その結果、電極から発光領域に電流を流すとき、総ての発光領域から発光させることができる。
【００９６】
（２）本実施形態によれば、発光素子９７における角部９１ａの隔壁８９の側面８９ａに親液面が形成される。従って、発光領域９１に機能層９４の材料を含む機能液２６を塗布するとき、機能液２６が角部９１ａに流動し易くすることができる。その結果、発光領域９１の総ての場所に機能液２６を塗布することができる。
【００９７】
（３）本実施形態によれば、発光素子９７が備える機能層９４は、機能層９４を配置する予定の総ての場所に機能層９４が配置されている。機能層９４が適正に配置されない場所では画素電極９０と陰極９５との間に過電流が流れる為、発光素子９７の寿命が短くなる。発光素子９７が発光するときには、発光素子９７の総ての場所にて適正な電流が通電される。従って、有機ＥＬ装置８０は画素電極９０の寿命を長くすることができる。
【００９８】
（４）本実施形態によれば、カラーフィルタ１０２は第１の実施形態と同様の方法にて製造されているので、着色領域９９の総ての場所に着色膜１００が形成されている。その結果、有機ＥＬ装置８０は品質のよい画像を表示することができる。
【００９９】
（第４の実施形態）
次に、第２の実施形態の液晶表示装置５０もしくは第３の実施形態の有機ＥＬ装置８０を備えた電子機器について説明する。図１３は、パーソナルコンピュータに液晶表示装置もしくは有機ＥＬ装置を搭載した例を示す概略斜視図である。図１３に示すように、電子機器としてのパーソナルコンピュータ１１０の本体は情報を表示する表示部に表示装置１１１を備えている。この表示装置１１１に、第２の実施形態の液晶表示装置５０もしくは第３の実施形態の有機ＥＬ装置８０が配設されている。パーソナルコンピュータ１１０に配置されている表示装置１１１は上記の実施形態により製造され、表示装置１１１が表示する画像は品質の良いカラー画像を表示することが可能になっている。従って、パーソナルコンピュータ１１０は見易い画面を表示する表示装置１１１を、表示部に備えた電子機器となっている。
【０１００】
尚、上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、キャビティ２５を加圧する加圧手段に、圧電素子２８を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板２７を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ２５内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液２６を気化させたり、機能液２６に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板２７を変形させて、加圧しても良い。尚、この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。
【０１０１】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、隔壁４を形成した後、隔壁上面４ａに撥液性のある撥液面３５を形成したが、他の方法でも良い。例えば、隔壁４の材料から成る膜を形成した後、膜上を撥液処理する。次に、膜をパターニングして隔壁４を形成しても良い。この方法でも隔壁上面４ａに撥液性のある撥液面３５を形成することができる。
【０１０２】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、フッ素含有ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する方法を採用したが、他の方法でも良い。例えば、撥液原料を溶剤に溶かした機能液を塗布した後、乾燥して固化することにより撥液膜を形成しても良い。撥液原料を溶剤に溶かした機能液としては、例えば、ダイキン工業社製のオプツールＤＳＸをフッ素系溶剤に希釈した機能液を採用しても良い。尚、この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。
【０１０３】
他にも、撥液性を有する感光性樹脂を用いて隔壁４を形成しても良い。隔壁４は、透明でもよいが好ましくは遮光性を有する黒色がよく黒色感光性樹脂材料としては、例えば撥液性を発現させるヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂と、ネガ型の透明アクリル系感光性樹脂と、カーボンブラック等の黒色の無機顔料または黒色の有機顔料とを含む材料を採用しても良い。隔壁４の形成と撥液面３５の形成とが同一工程にて行える為、隔壁４の形成と撥液面３５の形成を生産性良く行うことができる。
【０１０４】
他にも、撥液膜を形成するフッ化アルキルシラン、ヘキサメチルジシラン、フッ化アルキルシラン、ヘキサメチルジシランを、気相成長法により形成しても良い。撥液膜の形成方法としては気相成長法に限らず、自己組織膜形成法を用いることができる。自己組織膜形成法は有機分子膜等からなる自己組織化膜を形成する方法であり、撥液性の材料を含む有機分子膜を形成することができる。
【０１０５】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、ステップＳ３の内部塗布工程の後、ステップＳ４の角部塗布工程を行った。ステップＳ４の後にステップＳ３を行っても良い。ステップＳ４において角部側面４ｃに機能液２６が塗布されるので、着色角部７ａにも機能液２６を塗布することができる。尚、この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。
【０１０６】
（変形例５）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は同じ色の着色素子３が直線状に配列するストライプ状のフィルタであるが、着色素子３の配列はデルタ配置、モザイク配置等の配列にも採用することができる。
【０１０７】
（変形例６）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は３色の着色素子３が配置されているが、３色に限らず、２色もしくは４色以上の色の場合にも適用することができる。
【０１０８】
（変形例７）
前記第１の実施形態において、中部側面４ｄは角部側面４ｃより撥液性のある面に改質したが、中部側面４ｄは角部側面４ｃと同じ親液面としても良い。この場合においても、角部側面４ｃにおける機能液２６の流動不良が発生しないときには、中部側面４ｄの親液性を低下させなくても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式断面図。
【図２】（ａ）は、着色領域を示す要部模式平面図、（ｂ）は、着色領域を示す要部模式断面図。
【図３】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図４】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式平面図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図５】カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャート。
【図６】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図８】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図９】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図１０】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図１１】第２の実施形態にかかわる液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１２】第３の実施形態にかかわる有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１３】第４の実施形態にかかわり、パーソナルコンピュータに液晶表示装置もしくは有機ＥＬ装置を搭載した例を示す概略斜視図。
【符号の説明】
【０１１０】
１，１０２…カラーフィルタ、２，６７，８１…基板、４，７０，８９，９８…隔壁、４ｂ…隔壁側面、４ｃ…角部としての角部側面、５，１００…色要素としての着色膜、７，９９…着色領域、２６…液状体としての機能液、２９…液滴、３４…親液膜、３４ａ…親液面、５５…カラーフィルタとしての対向基板、７１…色要素としての着色層、９０…第１の電極としての画素電極、９１ａ…角部、９３…発光要素としての発光層、９５…第２の電極としての陰極、１１０…電子機器としてのパーソナルコンピュータ。
【図１】
2010015005.tif 000003
【図２】
2010015005.tif 000004
【図３】
2010015005.tif 000005
【図４】
2010015005.tif 000006
【図５】
2010015005.tif 000007
【図６】
2010015005.tif 000008
【図７】
2010015005.tif 000009
【図８】
2010015005.tif 000010
【図９】
2010015005.tif 000011
【図１０】
2010015005.tif 000012
【図１１】
2010015005.tif 000013
【図１２】
2010015005.tif 000014
【図１３】
2010015005.tif 000015