(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドから吐出されたインクによって形成された表面が凹凸状態にあるフィルタの塗布ムラ、塗布抜け等を検査できるようにする。【解決手段】表示用パネル上の所定個所にインクジェット塗工処理によって形成されたカラーフィルタの塗布状態を検査するフィルタ検査装置において、カラーフィルタに照射された光の透過光を用いて検査することにある。反射光だけでは、ピンホールや異物による凹凸が分かりにくいので、透過光による検査を行うことで、両者を区別して、高精度に欠陥を検出することができる。また、透過光による検査は、インクの乾燥前後のいずれの時点でも行なえるという効果がある。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用パネル上の所定個所にインクジェット塗工処理によって形成されたカラーフィルタの塗布状態を検査するフィルタ検査装置において、
前記カラーフィルタに照射された光の透過光を用いて検査することを特徴とするフィルタ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のフィルタ検査裝置において、前記カラーフィルタに照射された光の反射光及び透過光を用いて検査することを特徴とするフィルタ検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載のフィルタ検査裝置において、
前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第１の光照射手段と、
前記第１の光照射手段によって照射された光のうち前記表示用パネル側から反射された反射光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する反射光検出手段と、
前記カラーフィルタの塗布された側とは反対側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第２の光照射手段と、
前記第２の光照射手段と前記表示用パネル表面との間に設けられた光拡散手段と、
前記光拡散手段よって拡散された光のうち前記表示用パネルを透過した透過光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する透過光検出手段と
を備えたことを特徴とするフィルタ検査裝置。
【請求項４】
請求項３に記載のフィルタ検査裝置において、前記反射光検出手段と前記透過光検出手段を１個の検出手段で併用することを特徴とするフィルタ検査裝置。
【請求項５】
請求項２、３又は４に記載されたフィルタ検査裝置において、前記反射光を用いた検査を塗布されたカラーフィルタの光沢がなくなる前に行なうことを特徴とするフィルタ検査裝置。
【請求項６】
表示用パネルにフィルタ用のインクを吐出するインクジェットヘッド手段と、
前記表示用パネルを搭載した状態で前記インクジェットヘッド手段に対して相対的に移動制御されるステージ手段と、
前記インクジェットヘッド手段を前記ステージ手段に対して相対的に移動制御するフレーム手段と、
前記フレーム手段及び前記ステージ手段を移動制御することによって前記インクジェットヘッド手段と前記ステージ手段との間の相対的な位置関係を制御しながら前記インクジェットヘッド手段の吐出状態を制御して前記表示用パネルの所望位置にフィルタを成形する制御手段と、
前記表示用パネル上に成形された前記フィルタの状態を前記フィルタに照射された光の透過光を用いて検査するフィルタ検査手段と
を備えたことを特徴とするフィルタ製造装置。
【請求項７】
請求項６に記載のフィルタ製造裝置において、前記フィルタ検査手段が、前記表示用パネル上に成形された前記フィルタの状態を前記フィルタに照射された光の反射光及び透過光を用いて検査することを特徴とするフィルタ製造装置。
【請求項８】
請求項７に記載のフィルタ製造裝置において、前記フィルタ検査手段は、
前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第１の光照射手段と、
前記第１の光照射手段によって照射された光のうち前記表示用パネル側から反射された反射光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する反射光検出手段と、
前記カラーフィルタの塗布された側とは反対側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第２の光照射手段と、
前記第２の光照射手段と前記表示用パネル表面との間に設けられた光拡散手段と、
前記光拡散手段よって拡散された光のうち前記表示用パネルを透過した透過光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する透過光検出手段と
を備えたことを特徴とするフィルタ製造裝置。
【請求項９】
請求項８に記載のフィルタ製造裝置において、前記反射光検出手段と前記透過光検出手段を１個の検出手段で併用することを特徴とするフィルタ製造裝置。
【請求項１０】
請求項７、８又は９に記載されたフィルタ製造裝置において、前記反射光を用いた検査を塗布されたカラーフィルタの光沢がなくなる前に行なうことを特徴とするフィルタ製造裝置。
【請求項１１】
請求項６から１０までのいずれか１に記載のフィタ製造裝置を用いて表示用パネルを製造することを特徴とする表示用パネル製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示用パネルで使用されるカラーフィルタなどをインクジェット法を用いて製造するフィルタ検査装置、フィルタ製造裝置及び表示用パネル製造方法に係り、特にインクジェット塗工処理によって形成されたカラーフィルタの塗布状態を検査することのできるフィルタ検査装置、フィルタ製造裝置及び表示用パネル製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近では、液晶ディスプレイ装置などの表示用パネルで使用されるカラーフィルタなどをインクジェット法を用いて製造する製造方法が種々提案されている。このインクジェット法では、ＲＧＢの各色のインクを吐出する複数のインクジェットヘッドをガラス基板に対して相対的に移動させ、ガラス基板上の各色要素（ＲＧＢ）に対応する位置に所定色のインクを吐出して各色要素を製造している。このようなインクジェット法を用いたカラーフィルタの製造過程において塗布状態を検査するものとして、例えば、特許文献１に記載のようなものが知られている。
【特許文献１】特開２００５−７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図１は、従来のインクジェット法を用いたカラーフィルタ製造裝置の一例の概略構成を示す図である。図に示すように、このカラーフィルタ製造裝置は、ＸＹθステージ１０、スライドフレーム２０、インクジェットヘッドユニット３０、制御部４０から構成される。ＸＹθステージ１０には、ガラス基板５０（一点鎖線で示す）が搭載されている。ＸＹθステージ１０は、ガラス基板５０を搭載した状態でインクジェットヘッドユニット３０に対して相対的にＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動する。インクジェットヘッドユニット３０は、ＸＹθステージ１０を通過可能なように構成された門型のスライドフレーム２０によって保持され、ＸＹθステージ１０上のガラス基板５０に対して各色（ＲＧＢ）に対応したインクを吐出する。なお、インクジェットヘッドユニット３０もＸＹθステージ１０と同様にＸ方向（図１の縦方向）の、Ｙ方向（図１の横方向）、θ方向に移動制御可能に構成されている。制御部４０は、図示していないリニアスケールなどから入力される基準クロックパルス信号に基づいてインクジェットヘッドユニット３０を制御し、インクジェットヘッドユニット３０から各色のインクを吐出し、ガラス基板５０上にカラーフィルタを形成する。
【０００４】
特許文献１に記載されたものは、従来、フィルタ形成処理前にガラス基板の余白部分の異常検出パターン描画領域に予めインクを吐出し、この余白部分にインクジェットヘッドからインクが正常に吐出されたか否かの検査を行っていたものを、フィルタ形成処理のインク吐出時にリアルタイムで検査することができるようにし、余白部分をなくしインクやガラス基板を有効に利用することができるようにしたものである。
【０００５】
カラーフィルタを形成するには、ガラス基板の一面にフォトリソグラフィー技術を用いてブラックマトリクスをパターニングし、このブラックマトリクスの格子で囲まれた最小の表示要素（フィルタエレメント）内にインクジェットヘッドからインクが吐出される。ブラックマトリクスの格子の形状は、例えばＸ軸方向幅を約３０［μｍ］、Ｙ軸方向幅を約１００［μｍ］程度である。ガラス基板に吐出されたインクは、約１０［μｍ］程度の山となるので、インクジェットヘッドは複数のインクを吐出し、この約１０［μｍ］程度の山の複数を用いて格子全体を覆うように格子内にインクを吐出する。このように複数のインクによって塗り固められることによって、平坦なカラーフィルタを形成するようにしている。
【０００６】
しかしながら、約１０〜２０［μｍ］程度の液滴をブラックマトリクスで区切られた格子状のフィルタエレメント内にＲＧＢと色分けして吐出しているため、インクは揮発性溶剤と共に吐出され、吐出直後にインクの液滴は濡れ広がり、微細に見た場合に表面に凹凸が存在し、山状となっているため、インクを用いて格子内に平坦なカラーフィルタを形成することは非常に難しく、微細に見た場合、カラーフィルタ表面は細かな凹凸状態になっている。検査時にはこの凹凸状態を考慮して、塗布ムラ、塗布抜け等を見分けなければならず、ピンホールと液滴の区別が困難な場合もある。また、インクの液滴は揮発するため時間が経つと乾燥し、光沢がなくなり、反射光を用いての検査が困難な状況になるという問題も有する。
【０００７】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッドから吐出されたインクによって形成された表面が凹凸状態にあるフィルタの塗布ムラ、塗布抜け等を検査することのできるフィルタ検査装置、フィルタ製造裝置及び表示用パネル製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフィルタ検査裝置の第１の特徴は、表示用パネル上の所定個所にインクジェット塗工処理によって形成されたカラーフィルタの塗布状態を検査するフィルタ検査装置において、前記カラーフィルタに照射された光の透過光を用いて検査することにある。反射光だけでは、ピンホールや異物による凹凸が分かりにくいので、透過光による検査を行うことで、両者を区別して、高精度に欠陥を検出することができる。また、透過光による検査は、インクの乾燥前後のいずれの時点でも行なえるという効果がある。
【０００９】
本発明のフィルタ検査裝置の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載のフィルタ検査裝置において、前記カラーフィルタに照射された光の反射光及び透過光を用いて検査することにある。反射光及び透過光を用いて検査することによって、両者の欠点を補って、ピンホールや異物による凹凸などによる欠陥を高精度に検出することができる。
【００１０】
本発明のフィルタ検査裝置の第３の特徴は、前記第２の特徴に記載のフィルタ検査裝置において、前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第１の光照射手段と、前記第１の光照射手段によって照射された光のうち前記表示用パネル側から反射された反射光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する反射光検出手段と、前記カラーフィルタの塗布された側とは反対側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第２の光照射手段と、前記第２の光照射手段と前記表示用パネル表面との間に設けられた光拡散手段と、前記光拡散手段よって拡散された光のうち前記表示用パネルを透過した透過光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する透過光検出手段とを備えたことにある。これは、フィルタ検査裝置をより具体的にしたものであり、第１及び第２の光照射手段と、反射光検出手段と、透過光検出手段と、透過光の場合、光指向性による検出ムラが生じるので、第１の光照射手段の光を拡散する光拡散手段を設けるようにしたものである。
【００１１】
本発明のフィルタ検査裝置の第４の特徴は、前記第３の特徴に記載のフィルタ検査裝置において、前記反射光検出手段と前記透過光検出手段を１個の検出手段で併用することにある。反射光検出手段と透過光検出手段を併用することで検出光学系の構成を簡略化することができる。
【００１２】
本発明のフィルタ検査裝置の第５の特徴は、前記第２、第３又は第４の特徴に記載のフィルタ検査裝置において、前記反射光を用いた検査を塗布されたカラーフィルタの光沢がなくなる前に行なうことにある。インクジェットヘッドから吐出されたインクの液滴は、揮発するために、塗布後のフィルタエレメントは、その経過後の時間が長くなると、インクが乾燥し、光沢がなくなり、反射光を用いての検査が困難な状況になる。そこで、この発明では、フィルタ表面に光沢が存在するときに反射光による検査を行なうようにした。なお、透過光による検査については、乾燥前後のいずれの時点で行なってもよい。
【００１３】
本発明のフィルタ製造裝置の第１の特徴は、表示用パネルにフィルタ用のインクを吐出するインクジェットヘッド手段と、前記表示用パネルを搭載した状態で前記インクジェットヘッド手段に対して相対的に移動制御されるステージ手段と、前記インクジェットヘッド手段を前記ステージ手段に対して相対的に移動制御するフレーム手段と、前記フレーム手段及び前記ステージ手段を移動制御することによって前記インクジェットヘッド手段と前記ステージ手段との間の相対的な位置関係を制御しながら前記インクジェットヘッド手段の吐出状態を制御して前記表示用パネルの所望位置にフィルタを成形する制御手段と、前記表示用パネル上に成形された前記フィルタの状態を前記フィルタに照射された光の透過光を用いて検査するフィルタ検査手段とを備えたことにある。これは、前述のフィルタ検査裝置の第１の特徴に記載のものをフィルタ検査手段として採用したフィルタ製造裝置の発明である。
【００１４】
本発明のフィルタ製造裝置の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載のフィルタ製造裝置において、前記フィルタ検査手段が、前記表示用パネル上に成形された前記フィルタの状態を前記フィルタに照射された光の反射光及び透過光を用いて検査することにある。これは、前述のフィルタ検査裝置の第２の特徴に記載のものをフィルタ検査手段として採用したフィルタ製造裝置の発明である。
【００１５】
本発明のフィルタ製造裝置の第３の特徴は、前記第２の特徴に記載のフィルタ製造裝置において、前記フィルタ検査手段は、前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第１の光照射手段と、前記第１の光照射手段によって照射された光のうち前記表示用パネル側から反射された反射光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する反射光検出手段と、前記カラーフィルタの塗布された側とは反対側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第２の光照射手段と、前記第２の光照射手段と前記表示用パネル表面との間に設けられた光拡散手段と、前記光拡散手段よって拡散された光のうち前記表示用パネルを透過した透過光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する透過光検出手段とを備えたことにある。これは、前述のフィルタ検査裝置の第３の特徴に記載のものをフィルタ検査手段として採用したフィルタ製造裝置の発明である。
【００１６】
本発明のフィルタ製造裝置の第４の特徴は、前記第３の特徴に記載のフィルタ製造裝置において、前記反射光検出手段と前記透過光検出手段を１個の検出手段で併用することにある。これは、前述のフィルタ検査裝置の第４の特徴に記載のものをフィルタ検査手段として採用したフィルタ製造裝置の発明である。
【００１７】
本発明のフィルタ製造裝置の第５の特徴は、前記第２、第３又は第４の特徴に記載のフィルタ製造裝置において、前記反射光を用いた検査を塗布されたカラーフィルタの光沢がなくなる前に行なうことにある。これは、前述のフィルタ検査裝置の第５の特徴に記載のものをフィルタ検査手段として採用したフィルタ製造裝置の発明である。
【００１８】
本発明の表示用パネル製造方法の特徴は、前記第１から第５までのいずれか１の特徴に記載のフィタ製造裝置を用いて表示用パネルを製造することにある。これは、前述のフィルタ製造装置を用いて、表示用パネルにフィルタを形成するようにした表示パネル製造方法の発明に関するものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、インクジェットヘッドから吐出されたインクによって形成された表面が凹凸状態にあるフィルタの塗布ムラ、塗布抜け等を検査することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図２は、本発明の一実施の形態に係るインクジェット法を用いたカラーフィルタ製造装置の概略構成を示す図である。カラーフィルタ製造裝置は、ＸＹθステージ１０、スライドフレーム２０、インクジェットヘッドユニット３０、制御部４０から構成される。ＸＹθステージ１０は、ガラス基板５０（一点鎖線で示す）を搭載し、搭載した状態でガラス基板５０をインクジェットヘッドユニット３０に対して相対的にＸ方向（図２の縦方向）、Ｙ方向（図２の横方向）、θ方向に移動する。
【００２１】
インクジェットヘッドユニット３０は、ＸＹθステージ１０を通過可能なように構成された門型のスライドフレーム２０（点線で示す）によって保持され、ＸＹθステージ１０上のガラス基板５０に対して各色（ＲＧＢ）に対応したインクを吐出する。この実施の形態では、インクジェットヘッドユニット３０が１個の場合を示すが、２個、４個、それ以上のインクジェットヘッドユニットを備えたものも存在する。
【００２２】
反射光検出ヘッド６０は、スライドフレーム２０の長手方向に沿って設けられたＣＣＤアレイセンサから構成されている。図示していないが、反射光検出ヘッド６０の下側には検出照明が設けられている。透過光検出ヘッド７０は、スライドフレーム２０の長手方向であって反射光検出ヘッド６０に隣接して設けられたＣＣＤアレイセンサから構成されている。反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０に検出光を導入する検出用照明はそれぞれＬＥＤ光源で構成されている。
【００２３】
図３は、反射光検出ヘッド、透過光検出ヘッド及びＬＥＤ光源の位置関係を示す図であり、図２の下側から見た側面図である。図に示すように、反射光検出ヘッド６０は、ＬＥＤ光源６５から照射された光でガラス基板５０で反射した反射光を受光し、その反射光量に応じた反射光検出信号を出力する。同じく透過光検出ヘッド７０は、ＬＥＤ光源７５から照射された光であって、光拡散板７７によって拡散されて平均化された光のうちガラス基板５０を透過した透過光を受光し、その透過光量に応じた透過光検出信号を出力する。ＬＥＤ光源７５は、砲弾型のＬＥＤが所定のピッチでアレイ状に複数配列されたものである。ＬＥＤ光源７５は砲弾型をしており、光指向性を有するので、ガラス基板５０とＬＥＤ光源７５との間に光拡散板７７を設けて光指向性による検出ムラが発生しないように工夫してある。なお、砲弾型ＬＥＤに変えて、チップＬＥＤの表面に拡散板を取付け、指向性を少なくしたものを光源として使用してもよい。通常、ＸＹθステージ１０は平面性を調整してあるので、ＬＥＤ光源７５は、ＸＹθステージ１０の裏面に撓みのない状態で配設される。
【００２４】
図４は、ガラス基板５０上のブラックマトリクス（以下ＢＭ：フィルタエレメント）内にＲＧＢのインクが吐出された状態と反射光検出ヘッド及び透過光検出ヘッドの検出視野との位置関係を示す図である。図４において、各フィルタエレメントは、矩形状をしており、その周囲は樹脂製あるいは金属クロム製で仕切られている。各フィルタエレメントにはＲＧＢのインクが吐出されており、上段左側からＢ，Ｒ，Ｇ，Ｂ，Ｒ，Ｇの順番に並んでいる。点線で示す長方形６０ａ，７０ａ，６０ｂ，７０ｂ，６０ｃ，７０ｃは、反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０の検出視野を模式的に示したものである。検出視野６０ａ，７０ａは、フィルタエレメントのほぼ中央付近に反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０が位置する場合を示し、検出視野６０ｂ，７０ｂは、上下方向のフィルタエレメント間に反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０が位置する場合を示し、検出視野６０ｃ，７０ｃはフィルタエレメントの最上端部に反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０が位置する場合を示す。
【００２５】
図５は、各検出視野における反射光検出ヘッド及び透過光検出ヘッドの検出信号の一例を示す図である。図５（Ａ）は検出視野６０ａにおける反射光検出ヘッド６０の反射光検出信号、図５（Ｂ）は検出視野６０ｂにおける反射光検出ヘッド６０の反射光検出信号、図５（Ｃ）は検出視野６０ｃにおける反射光検出ヘッド６０の反射光検出信号、図５（Ｄ）は検出視野７０ａにおける透過光検出ヘッド７０の透過光検出信号、図５（Ｅ）は検出視野７０ｂにおける透過光検出ヘッド７０の透過光検出信号、図５（Ｆ）は検出視野７０ｃにおける透過光検出ヘッド７０の透過光検出信号をそれぞれ示す図である。なお、図５（Ｄ）〜（Ｆ）の透過光検出ヘッド７０の透過光検出信号については、反射光検出信号に対応させるために信号を反転したものを示している。
【００２６】
図５（Ａ）の反射光検出信号は、フィルタエレメントのほぼ中央付近に反射光検出ヘッド６０が位置した場合の信号の一例を示している。この反射光検出信号はＢＭ上で反射が大きく、カラーフィルタ（ＲＧＢ）上で反射が小さいことを示しており、図４のフィルタエレメントの配列に対応した規則正しい信号となっている。円５ａは図５（Ａ）の反射光検出信号の小円部を拡大して示した図である。円５ａ内の信号にはフィルタ部にピンホールによるやや高反射欠陥（左側の凸部）と異物による低反射欠陥（右側の凹部）が存在している。
【００２７】
図５（Ｂ）の反射光検出信号は、上下方向のフィルタエレメント間すなわちにＢＭ上に反射光検出ヘッド６０が位置した場合の信号の一例を示している。この反射光検出信号は反射の大きなＢＭ上における反射信号なので、全体的に高い信号を示しており、図４のフィルタエレメント（ＲＧＢ）の配列に対応して規則正しい信号となっている。円５ｂは図５（Ｂ）の反射光検出信号の小円部を拡大して示した図である。円５ｂ内の信号には、ＢＭにピンホールが存在し、その部分が低反射（凹部）となっている。
【００２８】
図５（Ｃ）の反射光検出信号は、フィルタエレメントの最上端部に反射光検出ヘッド６０が位置した場合の信号の一例を示している。この反射光検出信号は反射光検出ヘッド６０の配列方向とフィルタエレメント（ＲＧＢ）の配列方向が一致しておらず、θ成分が存在するために不安定である。このような場合には、アライメントマークを使用して図５（Ｂ）のレベルに合わせて検出するようにする。
【００２９】
図５（Ｄ）の透過光検出信号は、フィルタエレメント（ＲＧＢ）のほぼ中央付近に透過光検出ヘッド７０が位置した場合の信号の一例を示している。この透過光検出信号は、前述の反射光検出信号に対応させるために信号を反転して示している。従って、０レベルが上側にある。この透過光検出信号はＢＭ上で透過がゼロとなりカラーフィルタ上でそのカラーフィルタの色特徴に応じた透過光量に応じた信号を示している。カラーフィルタＲが最も透過量が小さく、次にカラーフィルタＢ、Ｇの順番になっている。この透過光検出信号は、図４のフィルタエレメント（ＲＧＢ）の配列に対応した規則正しい信号となっている。円５ｄは図５（Ｄ）の透過光検出信号の小円部（カラーフィルタＧに対応した部分）を拡大して示した図である。円５ｄ内の信号にはフィルタ部にピンホールによる増光信号（左側の凹部）と異物による減光信号（右側の凸部）が存在している。ここで重要なのは、反射光検出信号における円５ａ内の信号と、透過光検出信号における円５ｄ内の信号が互いに反転しているということである。両信号を差分を取ることによって、その振幅は約２倍となり、ピンホール欠陥の検出感度を向上させることができる。
【００３０】
図５（Ｅ）の透過光検出信号は、上下方向のフィルタエレメント（ＲＧＢ）間すなわちにＢＭ上に透過光検出ヘッド７０が位置した場合の信号の一例を示している。この透過光検出信号は透過率の小さなＢＭ上における透過信号なので、限りなくゼロに近い信号を示しており、図４のフィルタエレメント（ＲＧＢ）の配列にに対応してた規則正しい信号となっている。円５ｅは図５（Ｅ）の透過光検出信号の小円部を拡大して示した図である。円５ｅ内の信号には、ＢＭにピンホールが存在し、その部分が周辺部よりも高透過（凹部）となっている。
【００３１】
図５（Ｆ）の透過光検出信号は、フィルタエレメント（ＲＧＢ）の最上端部に透過光検出ヘッド７０が位置した場合の信号の一例を示している。この透過光検出信号は、図５（Ｃ）の場合と同様に、透過光検出ヘッド７０の配列方向とフィルタエレメント（ＲＧＢ）の配列方向が一致しておらず、θ成分が存在するために不安定である。このような場合には、アライメントマークを使用して図５（Ｅ）のレベルに合わせて検出するようにする。
【００３２】
図６は、図２の制御部４０内に構築されるフィルタ検査回路の構成を示す図である。ポジションカウンタ４１は、ステージの位置を示す位置データをステージコントローラ４２、ＣＣＤ信号発生手段４３及びデジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）４５にそれぞれ出力する。ステージコントローラ４２は、ステージ１０の移動速度等を制御する。ＣＣＤ信号発生手段４３は、上述の反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０からそれぞれ出力される反射光検出信号及び透過光検出信号をメモリ手段４４に出力する。メモリ手段４４は、これらの反射光検出信号及び透過光検出信号をそれぞれの位置データに対応付けて記憶する。デジタルシグナルプロセッサ４５は、基準ＣＣＤパターン発生手段４６に共に動作し、比較用の基準信号パターンすなわち正常な反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０からそれぞれ出力されるべきＲ，Ｇ，Ｂ，ＢＭにおける反射光基準信号及び透過光基準信号を作成し、それを位置データに対応付けてメモリ手段４７に順次記憶する。比較判定手段４８は、メモリ手段４４及び４７から同じ位置データに対応した反射光検出信号及び透過光検出信号、並びに反射光基準信号及び透過光基準信号を読み出し、両信号を比較判定し、欠陥が発生したと思われる位置データ、反射光検出信号及び透過光検出信号を欠陥メモリ４９に順次書き込む。
【００３３】
インクジェットヘッドから吐出されたインクの液滴は、揮発するためにフィルタエレメントは、吐出経過後の時間が長くなると、インクが乾燥し、光沢がなくなり、反射光を用いての検査が困難な状況になる。そこで、この実施の形態では、このような場合は透過光のみを用いて検査を行なうことができる。
【００３４】
図７は、レンズの収差による信号の落ち込みの様子とその補正によるフラット化の様子を示す図である。図７（Ａ）に示すように、レンズの中央付近に比べてその周辺付近では、収差による信号の落ち込みが見られるので、均一に塗布し、欠陥のないサンプルを用いて、信号の補正係数を求め、それを図７（Ａ）の信号に乗算することによって、図７（Ｂ）のように信号のフラット化を図るようにしている。これにより、より正確な検査を行なうことができる。
【００３５】
上述の実施の形態では、図３に示すように、反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０を別々に設ける場合について説明したが、図８に示すように、反射光検出ヘッド６０と透過光検出ヘッド７０を併用して、検出ヘッド６０７０のようにしてもよい。この場合、ＬＥＤ光源７５と光拡散板７７を検出ヘッド６０７０の受光面に併せて傾斜して設置することが好ましい。
【００３６】
上述の実施の形態では、フィルタ製造装置として、インクジェット法を用いたカラーフィルタ製造裝置を例に説明したが、これ以外に、マスクを使用せず、電子ビームやレーザビームを使用して被露光体上にＣＡＤデータのパターンを直接描画する露光装置などにも適用可能である。この種の露光装置は、レーザ光源と、レーザ光源から発射されるレーザビームを往復走査する露光光学系と、被露光体を載置した状態で搬送する搬送手段とを備え、ＣＡＤデータ及び基準クロック信号（制御用パルス）に基づいてレーザ光源の発射状態を制御しながらレーザビームを往復走査すると共に被露光体をレーザビームの走査方向と直交する方向に搬送して、被露光体上に機能パターンに相当するＣＡＤデータのパターンを二次元的に形成するものである。
また、上述の実施の形態では、反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０をスライドフレーム２０の長手方向に沿って設ける場合について説明したが、インクジェットヘッドユニット３０のように、反射光検出ヘッド６０及び透過光検出ヘッド７０をユニット化して、インクジェットヘッドユニット３０の動作に連動して検出ヘッドを動作させるようにしてもよい。さらに、上述の実施の形態では、反射光及び透過光の両者を用いて検査する場合について言及しているが、透過光のみを用いて検査することによって、インクの乾燥を考慮に入れることなく検査を行なうことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】従来のインクジェット法を用いたカラーフィルタ製造裝置の一例の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るインクジェット法を用いたカラーフィルタ製造装置の概略構成を示す図である。
【図３】反射光検出ヘッド、透過光検出ヘッド及びＬＥＤ光源の位置関係を示す図であり、図２の下側から見た側面図である。
【図４】ガラス基板２０上のブラックマトリクス（フィルタエレメント）内にＲＧＢのインクが吐出された状態と反射光検出ヘッド及び透過光検出ヘッドの検出視野との位置関係を示す図である。
【図５】各検出視野における反射光検出ヘッド及び透過光検出ヘッドの検出信号の一例を示す図である。
【図６】図２の制御部４０内に構築されるフィルタ検査回路の構成を示す図である。
【図７】レンズの収差による信号の落ち込みの様子とその補正によるフラット化の様子を示す図である。
【図８】反射光検出ヘッド、透過光検出ヘッド及びＬＥＤ光源の位置関係の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  ＸＹθステージ
２０  スライドフレーム
３０  インクジェットヘッドユニット
４０  制御部
５０  ガラス基板
６０…反射光検出ヘッド
７０…透過光検出ヘッド
６０７０…検出ヘッド
６５，７５…ＬＥＤ光源
７７…光拡散板
４１…ポジションカウンタ
４２…ステージコントローラ
４３…ＣＣＤ信号発生手段
４５…デジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）
４６…基準ＣＣＤパターン発生手段
４４，４７…メモリ手段
４８…比較判定手段
４９…欠陥メモリ
【図１】
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【図２】
2010015103.tif 000004
【図３】
2010015103.tif 000005
【図４】
2010015103.tif 000006
【図５】
2010015103.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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