(57)【要約】【課題】互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさを、任意の位置において確認することができる、隙間確認治具を提供する。【解決手段】ヘッド部２と、ヘッド部２に接続される棒状部３とを備えている。棒状部３の延伸方向にヘッド部２を投影した際に、この延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状において、ヘッド部２は、直線的に最も離れた２点間の距離が規定長さとなり、さらに、この２点間の中心から、規定長さの半分の長さを半径とした仮想円内に投影形状の全体が含まれる。【選択図】図１
2010266360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド部と、前記ヘッド部に接続される棒状部とを備え、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさと規定長さとの大小関係を確認するための隙間確認治具であって、
前記棒状部の延伸方向に前記ヘッド部を投影した際に、前記延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状において、前記ヘッド部は、直線的に最も離れた２点間の距離が前記規定長さとなり、さらに、該２点間の中心から、前記規定長さの半分の長さを半径とした仮想円内に前記投影形状の全体が含まれる、隙間確認治具。
【請求項２】
前記棒状部の軸心が、前記仮想円の中心に位置する、請求項１に記載の隙間確認治具。
【請求項３】
前記投影形状が、互いに平行な対向する２つの長辺を有し、前記２つの長辺の端部同士をつなぐ２つの短辺がそれぞれ外側に突き出した曲線から構成される擬似長円形であり、
前記ヘッド部が、前記擬似長円形の断面形状で所定の高さを有する柱状に形成された、請求項１または２に記載の隙間確認治具。
【請求項４】
前記投影形状が六角形であり、
前記ヘッド部が、前記六角形の断面形状で所定の高さを有する柱状に形成された、請求項１または２に記載の隙間確認治具。
【請求項５】
前記ヘッド部が、軸部および該軸部に取り付けられる２つの板状部から構成され、
前記２つの板状部は、前記軸部の中心軸を含む平面に平行に、かつ、該中心軸に関して互いに線対称の位置に配置され、
前記軸部の中心軸から最も離れた位置にある、一方の前記板状部の端部から他方の板状部の端部までの長さが、前記規定長さとなる、請求項１または２に記載の隙間確認治具。
【請求項６】
請求項１に記載の隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットであって、
前記複数の隙間確認治具が異なる前記規定長さを有する、隙間確認治具セット。
【請求項７】
前記ヘッド部と前記棒状部とが着脱可能である、請求項６に記載の隙間確認治具セット。
【請求項８】
請求項１に記載の隙間確認治具を用いて、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさを確認する隙間確認方法であって、
第１の規定長さを有する第１隙間確認治具の前記規定長さを特定する前記２点間を結ぶ長手方向が、前記一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ、前記第１隙間確認治具を前記一対の部材の間に挿入する第１工程と、
前記第１隙間確認治具を前記棒状部の軸を中心に回転させ、前記第１隙間確認治具の前記長手方向と前記一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認する第２工程と
を備える、隙間確認方法。
【請求項９】
請求項６に記載の隙間確認治具セットを用いて、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさを確認する隙間確認方法であって、
第１の規定長さを有する第１隙間確認治具の前記規定長さを特定する前記２点間を結ぶ長手方向が、前記一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ、前記第１隙間確認治具を前記一対の部材の間に挿入する第１工程と、
前記第１隙間確認治具を前記棒状部の軸を中心に回転させ、前記第１隙間確認治具の前記長手方向と前記一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認する第２工程と、
前記第２工程において、前記第１隙間確認治具を回転させることが可能であった場合に、前記第１隙間確認治具の前記規定長さより大きい第２の規定長さを有する第２隙間確認治具を準備し、前記第１隙間確認治具を回転させることが不可能であった場合に、前記第１隙間確認治具の前記規定長さより小さい第３の規定長さを有する第３隙間確認治具を準備する第３工程と、
前記第２または前記第３の規定長さを有する前記第２または前記第３の隙間確認治具の前記長手方向が、前記一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ、前記第２または前記第３の隙間確認治具を前記一対の部材の間に挿入する第４工程と、
前記第２または前記第３の隙間確認治具を前記棒状部の軸を中心に回転させ、前記第２または前記第３の隙間確認治具の前記長手方向と前記一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認する第５工程と
を備える、隙間確認方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の隙間確認方法を用いて、ＣＶＤ装置の電極間の隙間を所定の間隔にして薄膜を形成する方法であって、
前記ＣＶＤ装置の電極間の隙間を確認する工程と、
前記電極間の隙間の確認結果に基づき、前記ＣＶＤ装置の電極間の隙間を所定の間隔に調整する工程と
を備える、薄膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隙間確認治具および隙間確認治具セットならびにそれを用いた隙間確認方法および薄膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板上に薄膜を形成する装置として、プラズマＣＶＤ装置がある。プラズマＣＶＤの構造を開示した先行文献として、特開２００６−１２０９２６号公報(特許文献１)がある。特許文献１に記載された、プラズマＣＶＤ装置では、チャンバ内に複数のアノード電極およびカソード電極が設置されている。
【０００３】
アノード電極とカソード電極とは、所定の間隔を置いて配置されている。薄膜が形成される基板は、アノード電極上に配置される。よって、アノード電極とカソード電極との間の隙間が所定の間隔に維持されていない場合、基板上に一定の膜厚の薄膜を形成することができない。一般に、アノード電極とカソード電極との間の隙間は、テーパゲージを用いて確認されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１２０９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板が大型化するのに伴って、ＣＶＤ装置のアノード電極およびカソード電極も大型化してきている。基板上に均一な膜厚の薄膜を形成するためには、アノード電極およびカソード電極の全面に亘って、アノード電極とカソード電極との間の隙間を所定の間隔に維持する必要がある。
【０００６】
テーパゲージを用いてアノード電極とカソード電極との隙間を確認する場合、アノード電極およびカソード電極の端部における隙間は確認することができるが、アノード電極およびカソード電極の中心部近傍の隙間は確認することができない。
【０００７】
本発明は上記の問題点に鑑みなされたものであって、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさを、任意の位置において確認することができる、隙間確認治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る隙間確認治具は、ヘッド部と、ヘッド部に接続される棒状部とを備え、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさと規定長さとの大小関係を確認するための隙間確認治具である。棒状部の延伸方向にヘッド部を投影した際に、この延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状において、ヘッド部は、直線的に最も離れた２点間の距離が規定長さとなり、さらに、この２点間の中心から、規定長さの半分の長さを半径とした仮想円内に投影形状の全体が含まれる。
【０００９】
このような構成にすることにより、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間に、隙間確認治具を挿入する際に、隙間確認治具の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ挿入することができる。このとき、隙間確認治具と一対の部材との間に隙間が広く形成されるため、一対の部材の間の隙間の任意の位置に、隙間確認治具を容易に挿入することができる。
【００１０】
規定長さの半分の長さを半径とした仮想円内に投影形状の全体が含まれるため、棒状部の軸を中心に隙間確認治具を回転させた際に、隙間確認治具のヘッド部の規定長さ以外の位置で、一対の部材の対向面と接触して係止されることを防止できる。
【００１１】
本発明に係る隙間確認治具では、棒状部の軸心が、仮想円の中心に位置するようにしてもよい。
【００１２】
挿入後の隙間確認治具を棒状部の軸を中心に回転させ、隙間確認治具の上記長手方向と一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認することにより、一対の部材の間の隙間と隙間確認治具の規定長さとの大小関係を確認することができる。
【００１３】
本発明に係る隙間確認治具では、投影形状が、互いに平行な対向する２つの長辺を有し、２つの長辺の端部同士をつなぐ２つの短辺がそれぞれ外側に突き出した曲線から構成された擬似長円形をなし、ヘッド部が、この擬似長円形の断面形状で所定の高さを有する柱状に形成されていてもよい。また、本発明に係る隙間確認治具では、投影形状が六角形であり、ヘッド部が、六角形の断面形状で所定の高さを有する柱状に形成されていてもよい。
【００１４】
本発明に係る隙間確認治具では、ヘッド部が、軸部およびこの軸部に取り付けられる２つの板状部から構成され、２つの板状部は、軸部の中心軸を含む平面に平行に、かつ、この中心軸に関して互いに線対称の位置に配置され、軸部の中心軸から最も離れた位置にある、一方の板状部の端部から他方の板状部の端部までの長さが、規定長さとなるようにしてもよい。
【００１５】
本発明に係る隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットは、複数の隙間確認治具が異なる規定長さを有するようにしてもよい。このようにした場合、複数の規定長さと一対の部材の間の隙間の大きさとの大小関係を確認することができるため、隙間の大きさの範囲をより限定することができる。
【００１６】
本発明に係る隙間確認治具は、ヘッド部と棒状部とが着脱可能であるようにしてもよい。このように構成した場合、複数のヘッド部を準備しておいて、その中から選択された１つのヘッド部と棒状部とを適宜接続することにより、１本の棒状部を使用して隙間確認治具を構成することができる。
【００１７】
本発明に係る隙間確認治具を用いる隙間確認方法は、第１の規定長さを有する第１隙間確認治具の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ、第１隙間確認治具を一対の部材の間に挿入する第１工程を備える。また、第１隙間確認治具を棒状部の軸を中心に回転させ、第１隙間確認治具の上記長手方向と一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認する第２工程を備える。このようにした場合、一対の部材の間の隙間の大きさと第１の規定長さとの大小関係を確認することができる。
【００１８】
本発明に係る隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットを用いる隙間確認方法は、第１の規定長さを有する第１隙間確認治具の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ、第１隙間確認治具を一対の部材の間に挿入する第１工程を備える。また、第１隙間確認治具を棒状部の軸を中心に回転させ、第１隙間確認治具の上記長手方向と一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認する第２工程を備える。
【００１９】
さらに、第２工程において、第１隙間確認治具を回転させることが可能であった場合に、第１隙間確認治具の規定長さより大きい第２の規定長さを有する第２隙間確認治具を準備し、第１隙間確認治具を回転させることが不可能であった場合に、第１隙間確認治具の規定長さより小さい第３の規定長さを有する第３隙間確認治具を準備する第３工程を備える。
【００２０】
また、第２または第３の規定長さを有する第２または第３の隙間確認治具の上記長手方向が、一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ、第２または第３の隙間確認治具を一対の部材の間に挿入する第４工程を備える。さらに、第２または第３の隙間確認治具を棒状部の軸を中心に回転させ、第２または第３の隙間確認治具の上記長手方向と一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認する第５工程とを備えるようにしてもよい。
【００２１】
このようにした場合、一対の部材の間の隙間の大きさと第１の規定長さとの大小関係を確認した後に、さらに、一対の部材の隙間の大きさと第２または第３の規定長さとの大小関係を確認することができる。よって、一対の部材の隙間の大きさの範囲をより限定することができる。
【００２２】
本発明に係る隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットを用いて行なう隙間確認方法により、ＣＶＤ装置の電極間の隙間を所定の間隔にして薄膜を形成する方法は、ＣＶＤ装置の電極間の隙間を確認する工程と、電極間の隙間の確認結果に基づき、ＣＶＤ装置の電極間の隙間を所定の間隔に調整する工程とを備えるようにしてもよい。このようにした場合、電極間の隙間を所定の間隔に調整して基板上に薄膜を形成することができるため、膜厚が均一な薄膜を形成することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明においては、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間に、隙間確認治具を挿入する際に、隙間確認治具の上記長手方向が、一対の部材の対向面と直交しないように配置しつつ挿入することができる。よって、隙間確認治具と一対の部材との間に隙間が広く形成されるため、一対の部材の間の隙間の任意の位置に、隙間確認治具を容易に挿入することができる。
【００２４】
さらに、挿入後の隙間確認治具を棒状部の軸を中心に回転させ、隙間確認治具の上記長手方向と一対の部材の対向面とが直交する位置を通過して回転することの可否を確認することにより、一対の部材の間の隙間と隙間確認治具の規定長さとの大小関係を確認することができる。このようにして、互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさを、任意の位置において確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施の形態に係る隙間確認治具の外観を示す斜視図である。
【図２】同実施の形態に係る隙間確認治具のヘッド部を棒状部の延伸方向に投影した際に、延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状を示す図である。
【図３】同実施の形態に係る隙間確認治具の変形例の外観を示す斜視図である。
【図４】同実施の形態に係る隙間確認治具の変形例のヘッド部を棒状部の延伸方向に投影した際に、延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状を示す図である。
【図５】同実施の形態に係る隙間確認治具の他の変形例の外観を示す斜視図である。
【図６】同実施の形態に係る隙間確認治具の他の変形例のヘッド部を棒状部の延伸方向に投影した際に、延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状を示す図である。
【図７】同実施形態に係る隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットの外観を示す分解斜視図である。
【図８】２段の電極を備えたプラズマＣＶＤ装置を示す断面模式図である。
【図９】プラズマＣＶＤ装置のカソード電極およびアノード電極を示す模式斜視図である。
【図１０】プラズマＣＶＤ装置のカソード電極およびアノード電極の間の隙間に、本実施形態に係る隙間確認治具を挿入する状態を示す模式斜視図である。
【図１１】同実施形態に係る隙間確認治具を用いてプラズマＣＶＤ装置の電極間の中心部の隙間の大きさを確認している状態を示す模式斜視図である。
【図１２】プラズマＣＶＤ装置の電極間で、同実施形態に係る隙間確認治具を回転させている状態を示す側面模式図である。
【図１３】プラズマＣＶＤ装置の電極間で、同実施形態に係る隙間確認治具を回転させている状態を示す側面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、この発明に基づいた一実施の形態における隙間確認治具について、図を参照しながら説明する。
【００２７】
図１は、本発明の一実施の形態に係る隙間確認治具の外観を示す斜視図である。図１に示すように、本発明の一実施の形態に係る隙間確認治具１は、ヘッド部２とヘッド部２に接続される棒状部３とを備えている。本実施形態では、ヘッド部２および棒状部３をステンレス鋼で作製したが、樹脂材料などで作製してもよい。
【００２８】
図２は、本実施の形態に係る隙間確認治具のヘッド部を棒状部の延伸方向に投影した際に、延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状を示す図である。図２に示すように、本実施の形態に係る隙間確認治具１のヘッド部２の投影形状２Ｘは、疑似長円形である。ここで、疑似長円形とは、互いに平行な対向する２つの長辺を有し、前記２つの長辺の端部同士をつなぐ２つの短辺がそれぞれ外側に突き出した曲線から構成される形状をいう。図１に示すように、ヘッド部２は、疑似長円形の断面形状で所定の高さを有する柱状に形成されている。
【００２９】
図２に示すように、ヘッド部２の投影形状２Ｘにおいて、直線的に最も離れた２点である点２Ａと点２Ｂとの間の距離Ｌ1が、隙間確認治具１の規定長さとなる。さらに、点２Ａと点２Ｂとの間の中心から、規定長さの半分の長さ１／２Ｌ1を半径とした仮想円４内に投影形状２Ｘの全体が含まれる。よって、仮想円４の外側に投影形状２Ｘは、存在しない。
【００３０】
点２Ａと点２Ｂとの２点間を結ぶ長手方向に直交する方向に短手部２Ｗが形成されている。短手部２Ｗは、長さＬ2で形成され、Ｌ1＞Ｌ2の関係にある。本実施形態では、棒状部３の軸心は、仮想円４の中心に位置しているが、棒状部３の軸心が仮想円４の中心からずれていてもよい。
【００３１】
図３は、本実施の形態に係る隙間確認治具の変形例の外観を示す斜視図である。図４は、本実施の形態に係る隙間確認治具の変形例のヘッド部を棒状部の延伸方向に投影した際に、延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状を示す図である。図３に示すように、変形例である隙間確認治具５は、ヘッド部６とヘッド部６に接続される棒状部３とを備えている。
【００３２】
図４に示すように、隙間確認治具５のヘッド部６の投影形状６Ｘは、六角形である。図３に示すように、ヘッド部６は、六角形の断面形状で所定の高さを有する柱状に形成されている。
【００３３】
図４に示すように、ヘッド部６の投影形状６Ｘにおいて、直線的に最も離れた２点である点６Ａと点６Ｂとの間の距離Ｌ1が、隙間確認治具５の規定長さとなる。さらに、点６Ａと点６Ｂとの間の中心から、規定長さの半分の長さ１／２Ｌ1を半径とした仮想円４内に投影形状６Ｘの全体が含まれる。よって、仮想円４の外側に投影形状６Ｘは、存在しない。
【００３４】
点６Ａと点６Ｂとの２点間を結ぶ長手方向に直交する方向に短手部６Ｗが形成されている。短手部６Ｗは、長さＬ2で形成され、Ｌ1＞Ｌ2の関係にある。本実施形態では、棒状部３の軸心は、仮想円４の中心に位置しているが、棒状部３の軸心が仮想円４の中心からずれていてもよい。
【００３５】
図５は、本実施の形態に係る隙間確認治具の他の変形例の外観を示す斜視図である。図６は、本実施の形態に係る隙間確認治具の他の変形例のヘッド部を棒状部の延伸方向に投影した際に、延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状を示す図である。図５に示すように、他の変形例である隙間確認治具７は、ヘッド部１０とヘッド部１０に接続される棒状部３とを備えている。
【００３６】
ヘッド部１０は、軸部８およびこの軸部８に取り付けられる２つの板状部９Ａ，９Ｂから構成されている。軸部８は、四角柱状に形成され、側面に板状部９Ａを取り付けるための溝部８Ａ、および、板状部９Ｂを取り付けるための溝部８Ｂが形成されている。溝部８Ａと溝部８Ｂは、軸部８の中心軸を含む平面に平行に、かつこの中心軸に関して互いに線対称の位置に形成されている。
【００３７】
板状部９Ａ，９Ｂは、矩形状の板で形成され、溝部８Ａ，８Ｂの溝幅より僅かに厚い板厚で形成されている。板状部９Ａ，９Ｂを溝部８Ａ，８Ｂに嵌入することにより、板状部９Ａ，９Ｂを軸部８Ａ，８Ｂに取り付ける。よって、板状部９Ａと９Ｂとは、軸部８の中心軸を含む平面に平行に、かつ、この中心軸に関して互いに線対称の位置に配置される。軸部８および板状部９Ａ，９Ｂは、ステンレス鋼または樹脂材料を用いて形成することができる。本実施形態では、板状部９Ａ，９Ｂがそれぞれ別々に形成されているが、板状部９Ａ，９Ｂは一体で形成されていてもよい。
【００３８】
図６に示すように、ヘッド部１０の投影形状１０Ｘにおいて、直線的に最も離れた２点である点１０Ａと点１０Ｂとの間の距離Ｌ1が、隙間確認治具７の規定長さとなる。さらに、点１０Ａと点１０Ｂとの間の中心から、規定長さの半分の長さ１／２Ｌ1を半径とした仮想円４内に投影形状１０Ｘの全体が含まれる。よって、仮想円４の外側に投影形状１０Ｘは、存在しない。
【００３９】
点１０Ａと点１０Ｂとの２点間を結ぶ長手方向に直交する方向に短手部１０Ｗが形成されている。短手部１０Ｗは、長さＬ2で形成され、Ｌ1＞Ｌ2の関係にある。本実施形態では、棒状部３の軸心は、仮想円４の中心に位置しているが、棒状部３の軸心が仮想円４の中心からずれていてもよい。図５に示すように、軸部８の中心軸から最も離れた位置にある、一方の板状部９Ａの端部から他方の板状部９Ｂの端部までの長さが、隙間確認治具７の規定長さとなる。
【００４０】
図７は、本実施形態に係る隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットの外観を示す分解斜視図である。図７に示すように、本実施の形態に係る隙間確認治具セット１１は、異なる規定長さＬ1A，Ｌ1B，Ｌ1Cを有する複数のヘッド部１２，１３，１４、および棒状部１５から構成される。本実施形態の隙間確認治具セット１１は、３つのヘッド部１２，１３，１４を備えているが、ヘッド部の数はこれに限られない。
【００４１】
本実施形態の隙間確認治具は、ヘッド部１２，１３，１４と棒状部１５とが着脱可能であるが、ヘッド部１２，１３，１４と棒状部１５とが一体に形成されていてもよい。ただし、ヘッド部１２，１３，１４と棒状部１５とを着脱可能にした場合、複数のヘッド部１２，１３，１４を準備しておいて、その中から選択された１つのヘッド部と棒状部１５とを適宜接続することにより、１本の棒状部１５を使用して隙間確認治具を構成することができる。よって、準備する棒状部１５の数を減らすことができる。
【００４２】
また、本実施形態では、棒状部１５の先端にねじ部１５Ａを形成し、ヘッド部１２，１３，１４にねじ穴１２Ｃ，１３Ｃ，１４Ｃを形成することにより着脱可能にしている。着脱方法は、軽い嵌合など他の方法で行なってもよい。
【００４３】
ヘッド部１２では、棒状部１５を取り付けた状態で、棒状部１５の延伸方向にヘッド部１２を投影した際に、棒状部１５の延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状において、直線的に最も離れた点１２Ａと点１２Ｂとの２点間の距離Ｌ1Aが、規定長さとなる。
【００４４】
ヘッド部１３では、棒状部１５を取り付けた状態で、棒状部１５の延伸方向にヘッド部１３を投影した際に、棒状部１５の延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状において、直線的に最も離れた点１３Ａと点１３Ｂとの２点間の距離Ｌ1Bが、規定長さとなる。
【００４５】
ヘッド部１４では、棒状部１５を取り付けた状態で、棒状部１５の延伸方向にヘッド部１４を投影した際に、棒状部１５の延伸方向に直交する平面上に投影される投影形状において、直線的に最も離れた点１４Ａと点１４Ｂとの２点間の距離Ｌ1Cが、規定長さとなる。ヘッド部１２，１３，１４のそれぞれの規定長さは、距離Ｌ1A＞距離Ｌ1B＞距離Ｌ1Cの関係にある。
【００４６】
以下、本実施形態の隙間確認治具を用いて隙間を確認する対象について、プラズマＣＶＤ装置を例にして説明する。ただし、対象は、プラズマＣＶＤ装置に限られず、互いに対向する面を有する一対の部材であればよい。
【００４７】
図８は、２段の電極を備えたプラズマＣＶＤ装置を示す断面模式図である。図８に示すように、プラズマＣＶＤ装置１６には、所定の間隔を置いて２つの柱１７が配置されている。それぞれの柱１７には、上方に第１カソード電極支持部１８が互いに対向するように形成され、下方に第２カソード電極支持部２２が互いに対向するように形成されている。
【００４８】
第１カソード電極支持部１８の上面を橋渡しするように、第１カソード電極１９が配置されている。第１カソード電極１９と対向するように第１アノード電極２１が、第１アノード電極支持部２０の上面を橋渡しするように配置されている。第１カソード電極１９と第１アノード電極２１との間に、距離Ｌ2の隙間が設けられている。
【００４９】
第２カソード電極支持部２２の上面を橋渡しするように、第２カソード電極２３が配置されている。第２カソード電極２３と対向するように第２アノード電極２５が、第２アノード電極支持部２４の上面を橋渡しするように配置されている。第２カソード電極２３と第２アノード電極２５との間に、距離Ｌ3の隙間が設けられている。
【００５０】
プラズマＣＶＤ装置１６では、薄膜を形成する基板をアノード電極２１，２５の上方に配置して、処理を行なう。そのため、電極間の距離Ｌ2およびＬ3を精度良く維持しなければ、基板上に均一な膜厚の薄膜を形成することができない。
【００５１】
図９は、プラズマＣＶＤ装置のカソード電極およびアノード電極を示す模式斜視図である。図９に示すように、互いに対向する第１カソード電極１９と第１アノード電極２１との間の隙間を距離Ｌ2とし、互いに対向する第２カソード電極２３と第２アノード電極２５との間の隙間を距離Ｌ3とする。
【００５２】
このとき、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の四隅部Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３，Ｘ４および中心部Ｘ５のそれぞれの位置において、隙間の大きさは異なる。特に、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の大きさが１片１ｍ以上である場合、電極の反りまたは歪などにより各位置での隙間の大きさにばらつきが発生しやすい。従来では、テーパゲージを用いて、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の端部の隙間を確認していたため、中心部Ｘ５の隙間を確認することができなかった。
【００５３】
以下、本実施形態の隙間確認治具を複数備えた隙間確認治具セットを用いて、プラズマＣＶＤ装置の電極間の隙間を確認する方法について説明する。図１０は、プラズマＣＶＤ装置のカソード電極およびアノード電極の間の隙間に、本実施形態に係る隙間確認治具を挿入する状態を示す模式斜視図である。
【００５４】
図１０に示すように、互いに対向するカソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の中心部Ｘ５における隙間の大きさを確認するために、隙間確認治具セット１１の中から適宜選択した隙間確認治具を準備する。たとえば、ヘッド部１２と棒状部１５を接続した隙間確認治具を準備する。
【００５５】
準備した隙間確認治具を、ヘッド部１２，１３，１４の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向とカソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の対向面とが平行となるように配置した状態で、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間に挿入する。このようにすることで、隙間確認治具の短手部とカソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５との間に広い隙間が存在するため、隙間確認治具をカソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５に接触することを抑制しながら、中心部Ｘ５の位置まで容易に挿入することができる。
【００５６】
図１１は、本実施形態に係る隙間確認治具を用いてプラズマＣＶＤ装置の電極間の中心部の隙間の大きさを確認している状態を示す模式斜視図である。図１１に示すように、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間に挿入した隙間確認治具を、棒状部１５の軸を中心に回転させる。
【００５７】
隙間確認治具を回転させていくと、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の対向面に対して、隙間確認治具のヘッド部１２，１３，１４の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、平行から直交するようになってくる。隙間確認治具のヘッド部１２，１３，１４の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の対向面に直交した状態のとき、隙間確認治具とカソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５との間の隙間が最も小さくなる。
【００５８】
図１２は、プラズマＣＶＤ装置の電極間で、本実施形態に係る隙間確認治具を回転させている状態を示す側面模式図である。図１２に示すように、たとえば、ヘッド部１２の第１の規定長さの距離Ｌ1Aの方が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間の大きさより大きい場合、隙間確認治具は、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５と接触して回転することができない。
【００５９】
よって、隙間確認治具のヘッド部１２の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の対向面に直交した状態になるまで、隙間確認治具を回転させることができない。この結果から、ヘッド部１２の第１の規定長さの距離Ｌ1Aの方が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間の大きさより大きいことが確認できる。
【００６０】
上記のように、隙間確認治具を回転させることができなかった場合、次に、ヘッド部１２の第１の規定長さの距離Ｌ1Aより小さい第３の規定長さを有するヘッド部１３を棒状部１５に取り付ける。逆に、隙間確認治具を回転させることができた場合、ヘッド部１２の第１の規定長さの距離Ｌ1Aより大きい第２の規定長さを有するヘッド部を棒状部１５に取り付ける。
【００６１】
準備した隙間確認治具を、ヘッド部の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向とカソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の対向面とが平行となるように配置した状態で、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間に挿入する。
【００６２】
図１３は、プラズマＣＶＤ装置の電極間で、本実施形態に係る隙間確認治具を回転させている状態を示す側面模式図である。図１３に示すように、たとえば、ヘッド部１３の第３の規定長さの距離Ｌ1Bの方が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間の大きさより小さい場合、隙間確認治具は、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５と接触せずに回転することができる。
【００６３】
よって、隙間確認治具のヘッド部１３の規定長さを特定する２点間を結ぶ長手方向が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の対向面に直交した状態になるまで、隙間確認治具を回転させることができる。この結果から、ヘッド部１３の第３の規定長さの距離Ｌ1Bの方が、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間の大きさより小さいことが確認できる。
【００６４】
上記の結果から、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間の大きさは、距離Ｌ1Aから距離Ｌ1Bの間にあることを確認することができる。たとえば、距離Ｌ1Aと距離Ｌ1Bとの差を０．１ｍｍとした場合、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間の大きさを１００μｍのオーダで確認することが可能になる。
【００６５】
本実施形態の隙間確認治具では、１つの隙間確認治具を用いて互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさと規定長さとの大小関係を確認することができる。また、複数の異なる規定長さを有する隙間確認治具を用いて互いに対向する面を有する一対の部材の間の隙間の大きさと規定長さとの大小関係を確認することにより、隙間の大きさの範囲をより限定して確認することができるようになる。
【００６６】
本実施の形態に係る隙間確認治具を用いて、ＣＶＤ装置の電極間の隙間を所定の間隔に調整することで、被処理物である基板上に薄膜を均一に形成することができる。たとえば、図８に示すようなプラズマＣＶＤ装置について、電極間の隙間を調整する方法について説明する。
【００６７】
プラズマＣＶＤ装置１６では、電極を交換する。このとき、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間が所定の距離Ｌ2，Ｌ3となるように調整する必要がある。特に、上述のように、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の中心部の隙間を確認して調整する必要がある。
【００６８】
そこで、本実施形態に係る隙間確認治具を用いて、プラズマＣＶＤ装置の電極間の隙間を確認する。このとき、電極の端部および中心部など数箇所において隙間を確認する。その数箇所の確認結果の平均値と所定の距離との差を算出する。
【００６９】
次に、算出結果に基づき、プラズマＣＶＤ装置の電極間の隙間を所定の間隔に調整する。調整方法は、カソード電極１９，２３とカソード電極支持部１８，２２との間に、シムを挟むことにより行なう。ただし、調整方法は、この方法に限られず、たとえば、カソード支持部１８，２２の位置を調整して行なってもよい。
【００７０】
このように、カソード電極１９，２３およびアノード電極２１，２５の間の隙間を所定の距離に精度良く調整して、薄膜形成を行なうことにより、基板上に均一な膜厚の薄膜を形成することができる。本実施形態では、プラズマＣＶＤ装置を用いたが、互いに対向する面を有する一対の部材を有するＣＶＤ装置またはその他の装置に対しても、同様に適用することが可能である。
【００７１】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【００７２】
１，５，７  隙間確認治具、２，６，１０，１２，１３，１４  ヘッド部、２Ｘ，６Ｘ，１０Ｘ  ヘッド部の投影形状、２Ａ，２Ｂ，６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１０Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ，１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ  点、２Ｗ，６Ｗ，１０Ｗ  短手部、３  棒状部、４  仮想円、８  軸部、８Ａ，８Ｂ  溝部、９Ａ，９Ｂ  板状部、１１  隙間確認治具セット、１２Ｃ，１３Ｃ，１４Ｃ  ねじ穴、１５  棒状部、１５Ａ  ねじ部、１６  プラズマＣＶＤ装置、１７  柱、１８  第１カソード電極支持部、１９  第１カソード電極、２０  第１アノード電極支持部、２１  第１アノード電極、２２  第２カソード電極支持部、２３  第２カソード電極、２４  第２アノード電極支持部、２５  第２アノード電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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