(57)【要約】【課題】  貼り合せた電子本体と基板を分離するための分離装置及びその方法を提供する。【解決手段】  平台、伝動部、溶解部、洗浄部及び第１仕切板を含む分離装置において、伝動部は平台上に配置し、電子本体と基板を移動するに用いる。溶解部は、平台上に配置し、溶剤を電子本体と基板に噴射する。洗浄部は平台上に配置し、電子本体を洗浄する。第１仕切板は、溶解部と洗浄部との間に設け、この第１仕切板は少なくとも一つ以上の第１貫通孔を有し、電子本体のみが通過できるように設定する。電子本体は第１貫通孔を通過できるように、一方、基板は第１貫通孔を通過できないようにすることにより、電子本体と基板を分離する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼り合せた電子本体と基板を分離する分離装置であって、
平台と、
前記平台に配置し、前記電子本体と前記基板を移動する伝動部と、
前記平台に配置し、溶剤を前記電子本体と前記基板に噴射する溶解部と、
前記平台に配置し、前記電子本体を洗浄する洗浄部と、
前記溶解部と前記洗浄部との間に設け、少なくとも一つ以上の第１貫通孔を有する第１仕切板と、
を含み、前記分離装置において、
前記第１貫通孔の高さは前記電子本体のみを通過でき、前記基板は前記第１貫通孔を通過できないように設定するため、前記電子本体と前記基板を分離させることを特徴とする分離装置。
【請求項２】
前記溶解部は、前記溶剤を噴射し、前記電子本体と前記基板に付着された接着剤を溶解する第１ノズルを備えることを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項３】
前記洗浄部は、噴射により、前記電子本体または前記基板のいずれかを移動する第２ノズルを備えることを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項４】
前記伝動部は、前記電子本体または前記基板のいずれかを移動するローラーセット又は流体であることを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項５】
前記平台上に設け、前記電子本体または前記基板のいずれかを乾燥する乾燥部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項６】
前記平台上に設け、前記電子本体または前記基板のいずれかを収集する収集部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項７】
前記平台上に設け、分離された前記基板を第２貫通孔に案内する基板推移部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項８】
前記電子本体は、ウェハ、ソーラーセル又はパネルのいずれかであることを特徴とする、請求項１に記載の分離装置。
【請求項９】
貼り合せた電子本体と基板を分離する分離方法において、
平台、伝動部、溶解部、基板推移部、洗浄部、第１仕切板を設け、かつ前記第１仕切板は前記溶解部と前記洗浄部との間に設けるステップと、
前記伝動部の連動により、貼り合わせた前記電子本体と前記基板を前記第１仕切板に向かって移動させるステップと、
前記溶解部により、溶剤を噴射し、前記電子本体上に付着された接着剤を溶解するステップと、
前記電子本体を前記第１仕切板に備える第１貫通孔を通過させて前記洗浄部に移動し、前記基板を前記第１貫通孔を通過させないようにすると、貼り合せた前記電子本体と前記基板を分離させるステップと、
前記基板推移部の案内により、分離させた前記基板を前記第１仕切板上の第２貫通孔を通過して、前記洗浄部に移動させるステップと、
前記洗浄部より噴射する洗浄剤により、分離させた前記電子本体と前記基板を洗浄し、前記電子本体と前記基板に付着された接着剤を除去するステップと、
を含む分離方法。
【請求項１０】
前記洗浄部より噴射する洗浄剤の勢いの連動で、前記電子本体は前記第２仕切板上の第３貫通孔を通過し、前記基板は、前記第２仕切板の第４貫通孔を通過し、乾燥部に至るステップを含むことを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【請求項１１】
乾燥部を前記平台上に設け、分離させた前記電子本体と前記基板をそれぞれ乾燥するステップをさらに含めることを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【請求項１２】
収集部を前記平台上に設け、分離させた前記電子本体と前記基板をそれぞれ収集するステップをさらに含めることを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【請求項１３】
前記溶解部は、前記溶剤を噴射し、前記電子本体と前記基板に付着された接着剤を溶解する第１ノズルを備えることを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【請求項１４】
前記洗浄部は、噴射により、前記電子本体または前記基板のいずれかを移動する第２ノズルを備えることを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【請求項１５】
前記伝動部は、前記電子本体と前記基板のいずれかを移動するローラーセット又は流体であることを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【請求項１６】
前記電子本体は、ウェハ、ソーラーセル又はパネルのいずれかであることを特徴とする、請求項９に記載の分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一種の分離装置に関し、特に電子本体と基板を水平移動による分離と収集の自動化プロセスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子本体（例えば、半導体ウェハ、ソーラーセル、パネルなど）の洗浄方法はロボットアームにより洗浄区域に搬送し洗浄を行った後、それに続いて、ロボットアームによって、電子本体を洗浄区域から乾燥区域に搬送され、そして、電子本体に付着された液体を乾燥させ。乾燥させた電子本体をロボットアームにより、そのまま収容区域に収容する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記説明した通り、従来技術は電子本体の洗浄の用意ステップから、乾燥して収容区域に充填完了までの一連の作業が、別々に独立作動であり連続作動できず、すべてのステップを連続したプロセスに整合されることができないため、多くの時間を浪費するほか、製造コストの向上及びメンテナンスコストの増加ともなる。特に、各セクションの作業において、各動作がウェハ一つずつに作動するのみで、ロットごとのウェハ処理または大量のウェハ処理ができないがゆえに、全体の効率を大幅に向下させる。
【０００４】
また、電子本体がますます薄型化に対し、輸送と作動による破損を防止するため、薄型化された電子本体上に貼り合わせ基板を増加しなければならないとなる。しかしながら、従来の電子本体の洗浄装置において、電子本体と基板を分離できる装置を具備していない。
【０００５】
上記のような問題点から観察すると、前記した現在の電子本体の洗浄装置において、製品構造や洗浄手段の使用面では、明らかに不便と欠陥が存在していって、改善すべき問題である。これらの問題を解決するために、関連企業は解決の道を見つけ出すには苦労ばかりしてきたが、長い時間をかけても適用な設計が完成するのは見当たらない。なお、一般的な製品および方法においては、適切な構造及ぶ方法が上述の問題を解決することができていないために、明らかに関連業者にとって解決すべき問題である。よって、どうやって一種の新しい分離装置およびその方法は、実に現時点重要な研究課題の一つであり、または当該業者にとって改革の目標でもある。
【０００６】
本発明は上記従来技術の様々な解決すべく問題点に鑑みなされたものであり、本発明者が長年にわたる鋭意研究開発と数多く実務経験に基づき、一種の分離装置及びその方法を提供し、前記した欠点を併せて改善できる実施態様と根拠とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記に鑑み、本発明の目的は、溶解部、洗浄部、乾燥部及び収集部を備えた平台により、貼り合わせた電子本体と基板を分離する、一種の分離装置及びその方法を提供することである。
【０００８】
本発明の別の目的は、溶解部と洗浄部との間を仕切る仕切板上の貫通孔により、貼り合せた電子本体と基板を分離する、一種の分離装置及びその方法を提供することである。
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明は貼り合わせた電子本体と基板を分離するための分離装置を提供し、この分離装置は、平台、伝動部、溶解部、洗浄部及び第１仕切板を含む装置である。伝動部は、平台上に配置し、電子本体と基板を移動させるに用いる。溶解部は、平台上に配置し、溶剤を電子本体と基板に噴射するに用いる。洗浄部は、平台上に配置し、電子本体を洗浄するに用いる。第１仕切板は、溶解部と洗浄部との間に設け、この第１仕切板は少なくとも一つ以上の第１貫通孔を有し、電子本体のみで第１貫通孔を通過させるようにする。一方、基板は、第１貫通孔を通過させないようにする。したがって、電子本体と基板を分離させる。
【００１０】
本発明の目的の達成と問題を解決するためには、さらに以下の技術手段を採用して実現することができる。
【００１１】
当該分離装置において、該溶解部は、該溶剤を噴射し、該電子本体と該基板に付着された接着剤を溶解する第１ノズルを備えること。
【００１２】
当該分離装置において、該洗浄部は、噴射により、該電子本体または該基板のいずれかを移動する第２ノズルを備えること。
【００１３】
当該分離装置において、該伝動部は、該電子本体または該基板のいずれかを移動するローラーセット又は流体であること。
【００１４】
当該分離装置において、該平台上に設け、該電子本体または該基板のいずれかを乾燥する乾燥部をさらに含むこと。
【００１５】
当該分離装置において、該平台上に設け、該電子本体または該基板のいずれかを収集する収集部をさらに含むこと。
【００１６】
当該分離装置において、該平台上に設け、分離された該基板を第２貫通孔に案内する基板推移部をさらに含むこと。
【００１７】
当該分離装置において、該電子本体は、ウェハ、ソーラーセル又はパネルのいずれかであること。
【００１８】
また、本発明はさらに貼り合せた電子本体と基板を分離するための分離方法を提供する。この分離方法は以下のプロセスを含む。
【００１９】
イ、平台、伝動部、溶解部、基板推移部、洗浄部と第１仕切板を配置し、それにこの第１仕切板を前述の溶解部と洗浄部との間に設けるステップ、
【００２０】
ロ、上記の伝動部の伝動により、電子本体と基板を上記の第１仕切板に向かって移動させるステップ、
【００２１】
ハ、溶解部により溶剤を噴射させ、上記の電子本体に付着された接着剤を溶解するステップ、
【００２２】
二、第１仕切板に有する第１貫通孔により、上記の電子本体は、第１貫通孔を通過させ、上記の洗浄部に移動し、一方、上記の基板を上記の第１貫通孔を通過させないようにすることによって、貼り合せた電子本体と基板を分離させるステップ、
【００２３】
ホ、上記の基板推移部の案内により、分離された上記の基板を上記の第１仕切板上の第２貫通孔を通過して、上記の洗浄部に移動させるステップ、
【００２４】
ヘ、上記の洗浄部から噴射する洗浄剤により、分離された上記の電子本体と上記の基板を洗浄し、上記の電子本体と上記の基板に付着していた接着剤除去のステップ。
【００２５】
本発明の目的の達成と問題を解決するためには、さらに以下の技術手段を採用して実現することができる。
【００２６】
当該分離方法はさらに以下のステップを含み、
該洗浄部より噴射する洗浄剤の勢いの連動で、前記電子本体は前記第２仕切板上の第３貫通孔を通過し、前記基板は、前記第２仕切板の第４貫通孔を通過し、乾燥部に至るステップ。
【００２７】
当該分離方法はさらに以下のステップを含み、
乾燥部を該平台上に設け、分離させた該電子本体と該基板をそれぞれ乾燥するステップ。
【００２８】
当該分離方法はさらに以下のステップを含み、
収集部を該平台上に設け、分離させた該電子本体と該基板をそれぞれ収集するステップ。
【００２９】
当該分離方法において、該溶解部は、該溶剤を噴射し、該電子本体と該基板に付着された接着剤を溶解する第１ノズルを備える。
【００３０】
当該分離方法において、該洗浄部は、噴射により、該電子本体または該基板のいずれかを移動する第２ノズルを備える。
【００３１】
当該分離方法において、該伝動部は、該電子本体と該基板のいずれかを移動するローラーセット又は流体であること。
【００３２】
当該分離方法において、該電子本体は、ウェハ、ソーラーセル又はパネルのいずれかであること。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は一種の分離装置及びその方法にかかわるものである。当該分離装置は、貼り合せた電子本体と基板を分離するに用い、この分離装置には平台、伝動部、溶解部、洗浄部と第１仕切板を含む。伝動部は、平台上に配置し、電子本体と基板を移動させるに用いる。溶解部は、平台上に配置し、溶剤を電子本体と基板に噴射するに用いる。洗浄部は、平台上に配置し、電子本体を洗浄するに用いる。第１仕切板は、溶解部と洗浄部との間に設け、この第１仕切板は少なくとも一つ以上の第１貫通孔を有し、電子本体のみで第１貫通孔を通過させるようにする。一方、基板は、第１貫通孔を通過させないようにする。したがって、電子本体と基板を分離させる。本発明は、貼り合せた電子本体と基板を大量に分離する効果がある。本発明は上記の複数の長所と実用価値を持ち、製品構造のみならず、分離方法又は機能面ともより大きい改善ができ、技術面には顕著な進歩がある。また、便利と実用な効果が生成し、現在の電子本体洗浄装置に利得的な突出で多数の効果を有し、実用により一層適する。誠に新規性、進歩性と実用性を備えた新しい設計である。
【００３４】
上述した説明は本発明の技術内容の概略のみであり、前記した本発明の技術手段、特長および効果については、以下の参考図面に沿っての実施できる好ましい実施形態の詳細説明により明らかになろう。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る分離装置を示す立体構造図である。
【図２】本発明に係る分離装置を示す第１作動態様図である。
【図３】本発明に係る分離装置を示す第２作動態様図である。
【図４】本発明に係る分離装置を示す第３作動態様図である。
【図５】本発明に係る分離装置を示す第４作動態様図である。
【図６】本発明に係る分離装置を示す第５作動態様図である。
【図７】本発明に係る分離装置を示す第６作動態様図である。
【図８】本発明に係る分離装置を示す第７作動態様図である。
【図９】本発明に係る分離方法を説明するための流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
本発明を所定の目的に達成するために採用した技術手段及び効果をさらに開示するために、以下の参考図面と好ましい実施形態を併せ、本発明により提出した分離装置及び分離方法またその具体的な実施形態、構造、ステップ及びその効果は、以下に詳述される説明で明確になるであろう。
【００３７】
また、本発明の上述及びその技術内容、特長および効果については、以下の参考図面に沿って好ましい実施形態の詳細説明により明らかになろう。好ましい実施形態の説明を通して、より一層本発明の所定の目的に達成するために採用した技術手段及び効果を深く、かつ具体的に了解になるであろう。しかしながら、添附の図面は参照と説明のためであり、本発明に限定されるものではない。
【００３８】
図１は、本発明に係る分離装置を示す立体構造図である。この図において、分離装置１は貼り合せた電子本体１１と基板１２を分離するための装置である。電子本体１１はウェハ、ソーラーセル、パネル又はその他基板と接着した後、基板１２と分離可能な電子本体１１であってもよい。また、この実施態様において、ウェハの実施態様を示しているが、この限りでない。分離装置１は、平台２、伝動部２１、溶解部２２、基板推移部２３、洗浄部２４、第１仕切板２５、乾燥部２６、第２仕切板２７及び収集部２８を含む。
【００３９】
当該伝動部２１は、平台２上に配置し、ローラーセット２１１を有し、平台２上に注ぐ流体２１２の勢いで、電子本体１１と基板１２を移動する。なお、ローラーセット２１１は溶解部２２、洗浄部２４と乾燥部２６にそれぞれ配置し、平台２上に注ぐ流体２１２を溶解部２２と洗浄部２４に分布させ、注いだ流体２１２が電子本体１１と基板１２を覆っていない場合は、ローラーセット２１１とローラーセット２１１の下部に設ける第１ノズル２２２、第２ノズル２４２により、電子本体１１と基板１２を連動して移動する。その一方、注いだ流体２１２が電子本体１１と基板１２を覆っているときは、ローラーセット２１１による連動して移動可能であるほか、流体２１２による電子本体１１と基板１２を連動して移動するこのも可能である。この実施態様において、ローラーセット２１１と流体２１２による電子本体１１と基板１２を連動して移動する実施態様を示しているが、この限りでない。
【００４０】
当該溶解部２２は、平台２上に配置し、溶剤供給装置２２１と複数の第１ノズル２２２とを有する。溶剤供給装置２２１の溶剤２２３を第１ノズル２２２に供給することにより、溶剤２２３を電子本体１１と基板１２に噴射し、電子本体１１と基板１２上における接着剤１３を溶解する。さらに、この部分の第１ノズル２２２は、斜め方向に沿って噴射する方式で、電子本体１１と基板１２の移動に連動することができる。
【００４１】
当該基板推移部２３は第１仕切板２５の前に設け、基板１２を第２貫通孔２５２に案内させる。
【００４２】
当該洗浄部２４は平台２上に配置し、洗浄剤２４３、洗浄剤供給装置２４１と複数の第２ノズル２４２を有し、ここの洗浄剤は脱イオン水又はイソプロピルアルコール（ｉｓｏｐｒｏｐｙｌ  ａｌｃｏｈｏｌ、ＩＰＡとも言う）あるいは他の化学液体を含み、電子本体１１と基板１２を洗浄に用いる。これにより、電子本体１１と基板１２上に付着した接着剤１３の除去を行う。
【００４３】
第１仕切板２５は、溶解部２２と洗浄部２４との間に設け、この第１仕切板２５は少なくとも一つ以上の第１貫通孔２５１と少なくとも一つ以上の第２貫通孔２５２とを有する。上記の第１貫通孔２５１の位置は、電子本体１１のみ、通過できるように設定し、これに対して上記の第２貫通孔２５２の位置では、基板１２のみを通過できるように設定する。電子本体１１と基板１２との間に付着された接着剤１３は溶剤２２３によって溶かされた後に、伝動部２１の連動を介して、または第１ノズル２２２の斜め方向による溶剤２２３噴射の勢いの連動で、基板１２は第１仕切板２５によって止められ、電子本体１１は引き続き第１貫通孔２５１を通過する。これにより、電子本体１１と基板１２は移動中に分離し、乾燥部２６に移動される。第１貫通孔２５１と第２貫通孔２５２の位置する高さは、異なる電子本体１１と異なる基板１２との厚みに従って設計することができる。
【００４４】
乾燥部２６は、電子本体１１と基板１２を乾燥するに用いる。
【００４５】
第２仕切板２７は、洗浄部２４と乾燥部２６との間に設け、この第２仕切板２７は第３ノズル２７１と第４ノズル２７２を有し、洗浄剤２４３と洗浄剤供給装置２４１により、洗浄剤２４３を第２ノズル２４２に供給し、洗浄剤２４３を電子本体１１と基板１２に噴射して、電子本体１１と基板１２上に付着された接着剤１３を洗浄する。なお、この第２ノズル２４２は、斜め方向に向かって噴射するとなる。
【００４６】
収集部２８は、電子本体１１と基板１２をそれぞれに収集する。
【００４７】
前記分離装置１は必要に応じて、挟持具３１と排気設備３２を追加しても良い。挟持具３１は、貼り合わせた電子本体１１と基板１２をそれぞれ挟持し、平台２に搬送する。排気設備３２は、平台２の上部に設け、分離装置１の一連の作動工程で生成した化学気体を排出する。
【００４８】
図２ないし図９は、それぞれ本発明に係る分離装置の第１作動態様図、第２作動態様図、第３作動態様図、第４作動態様図、第５作動態様図、第６作動態様図、第７作動態様図並びに分離方法の流れ図を示す。この図において、本発明に係る分離方法の流れは、ステップＳ２０より展開し、このステップＳ２０において平台２、伝動部２１、溶解部２２、基板推移部２３、洗浄部２４、第１仕切板２５、乾燥部２６、第２仕切板２７、収集部２８及び必要に応じて追加される挟持具３１と、排気設備３２（図１を参照する）を設ける。この実施態様において、電子本体１１はウェハの実施態様を示しているが、ウェハに限ることではなく、ソーラーセル、パネル又はその他基板１２と接着した後、基板１２と分離可能な電子本体１１であっても良い。
【００４９】
ステップＳ２１において、挟持具３１は貼り合わせた電子本体１１と基板１２をそれぞれ挟持して平台２の溶解部２２に搬送する。さらに、ステップＳ２２において、伝動部２１のローラーセット２１１と流体２１２（図１を参照する）により、貼り合せた電子本体１１と基板１２を溶解部２２から第１仕切板２５に移動させる。
【００５０】
引き続き、ステップＳ２３において、第１ノズル２２２から噴射する溶剤（アルコール、イソプロピルアルコールなどの溶剤）によって、ウェハ上に付着された接着剤１３を溶解する。
【００５１】
そして、ステップＳ２４において、第１ノズル２２２の噴射又は流体２１２の勢いの連動で、電子本体１１は第１仕切板２５上の第１貫通孔２５１を通過し、洗浄部２４に移動させる。一方、基板１２は第１貫通孔２５１を通過できないため、もともと貼り合わせた電子本体１１と基板１２が分離することとなり、基板推移部２３の案内により、分離された基板１２は第１仕切板２５上の第２貫通孔２５２を通過して、洗浄部２４に移動させる。
【００５２】
また、ステップＳ２５において、第２ノズル２４２から噴射する洗浄剤より、電子本体１１と基板１２を洗浄して、電子本体１１と基板１２上に付着された接着剤（図示しない）を除去する。さらに、ステップＳ２６において、伝動部２１のローラーセット２１１と流体２１２の勢いで、分離された電子本体１１と基板１２をそれぞれに洗浄部２４から第２仕切板２７に移動させ、それにつれて、ステップＳ２７において、第２ノズル２４２の噴射又は流体２１２の勢いの連動で、電子本体１１は第２仕切板２７上の第３貫通孔２７１を通過し、基板１２は第２仕切板２７上の第４貫通孔２７２を通過して、乾燥部２６に移動させる。
【００５３】
それから、ステップＳ２８において、乾燥部２６にて、電子本体１１と基板１２をそれぞれ乾燥した後、伝動部２１のローラーセット２１１により、分離された電子本体１１と基板１２をそれぞれ乾燥部２６から収集部２８に移動させる。
【００５４】
最後、ステップＳ２９において、収集部２８は、移動中の電子本体１１と基板１２を収集部２８に集めた後、ステップＳ３０において、排気設備３２（図１を参照する）により分離装置１の各作動工程にて生成する化学気体を排出し、電子本体１１と基板１２の一連の分離工程を完成する。
【００５５】
伝動部２１、溶解部２２、基板推移部２３、洗浄部２４、第１仕切板２５、乾燥部２６、第２仕切板２７と、収集部２８とも平台２上に設けられているため、貼り合せた電子本体１１と基板１２はその平台２上において、一貫した自動化プロセスを行い、貼り合せた電子本体１１と基板１２は水平方向の移動において、前記の分離と収集作業が完成するほか、分離後の電子本体１１と基板１２も同期処理できることから、生産量の向上と、設備の製造コストを大幅に低減できる。
【００５６】
以上は本発明の好ましい実施形態の列挙であり、本発明の権利範囲に制限を加わるものではない。よって、本発明の権利範囲及び明細書の内容による効果等の変化や変更はなお本発明の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００５７】
１                分離装置
１１              電子本体
１２              基板
１３              接着剤
２                平台
２１              伝動部
２１１            ローラーセット
２１２            流体
２２              溶解部
２２１            溶剤供給装置
２２２            第１ノズル
２２３            溶剤
２３              基板推移部
２４              洗浄部
２４１            洗浄剤供給装置
２４２            第２ノズル
２４３            洗浄剤
２５              第１仕切板
２５１            第１貫通孔
２５２            第２貫通孔
２６              乾燥部
２７              第２仕切板
２７１            第３貫通孔
２７２            第４貫通孔
２８              収集部
３１              挟持具
３２              排気設備
Ｓ２０〜Ｓ３０    各ステップ
【図１】
2010093251.tif 000003
【図２】
2010093251.tif 000004
【図３】
2010093251.tif 000005
【図４】
2010093251.tif 000006
【図５】
2010093251.tif 000007
【図６】
2010093251.tif 000008
【図７】
2010093251.tif 000009
【図８】
2010093251.tif 000010
【図９】
2010093251.tif 000011