(57)【要約】【課題】未硬化の絶縁被覆材が駆動部が設けられた領域に流れ込むのを防止する。【解決手段】バンプ４０は、アクチュエータユニット１８の表面に配設されるとともにアクチュエータユニット１８の対応する電極３６に導通されており、バンプ４０の一部は、絶縁被覆材４４を突き抜けて配線基板２０の対応する端子４２に電気的に接続されている。そして、バンプ４０の基端部４０ａの外周面に位置する駆動部３８に最も近接した点を最近接点Ｐ１とし、バンプ４０の基端部４０ａの外周面に位置する駆動部３８から最も離間した点を最離間点Ｐ２としたとき、複数のバンプ４０のそれぞれの表面における最近接点Ｐ１を含む近接領域Ｒ１は、複数のバンプ４０のそれぞれの表面における最離間点Ｐ２を含む離間領域Ｒ２よりも未硬化の絶縁被覆材４４が流れ難いように処理されている。【選択図】図６
2010234534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルと前記複数のノズルのそれぞれに個別に連通された複数の圧力室とを有する流路ユニットと、
前記複数の圧力室内の液体に吐出圧を個別に付与する複数の駆動部と、前記複数の駆動部に対応する複数の電極とを有し、前記複数の電極のそれぞれに駆動電圧が付与されることによって前記複数の駆動部が選択的に駆動される駆動ユニットと、
基板本体と前記基板本体の表面に形成された複数の端子と前記複数の端子を覆う絶縁被覆材とを有する配線基板と、
前記駆動ユニットの表面に配設されるとともに対応する前記電極に導通され、前記絶縁被覆材を突き抜けて対応する前記端子に電気的に接続される、導電性を有する突起状の複数のバンプとを備え、
前記絶縁被覆材は、前記複数のバンプが突き抜ける際には未硬化であり、その後に硬化したものであり、
前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部に最も近接した点を最近接点とし、前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部から最も離間した点を最離間点としたとき、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最近接点を含む近接領域は、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最離間点を含む離間領域よりも未硬化の前記絶縁被覆材が流れ難いように処理されている、液体吐出装置。
【請求項２】
前記バンプにおける前記端子に最初に押し当てられる点を当接点としたとき、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記当接点を含み、かつ、前記近接領域および前記離間領域と重ならない当接領域は、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記当接領域を取り囲む周囲領域よりも粗面に形成されている、請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記端子の表面における前記当接点と接触する点を被当接点とし、前記端子の表面における前記被当接点を含む領域を押当領域とし、前記端子の表面における前記押当領域の周囲に位置する領域を端子周囲領域としたとき、
前記端子周囲領域は、前記押当領域よりも粗面に形成されている、請求項１または２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記端子の表面における前記押当領域の外周縁と前記端子周囲領域の内周縁との間に位置する領域を中間領域としたとき、
前記押当領域は、前記中間領域よりも粗面に形成されている、請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記各領域の表面粗さは、前記端子周囲領域、前記近接領域、前記離間領域、前記押当領域、前記中間領域の順番に粗くなっている、請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記複数のバンプのそれぞれは、前記駆動ユニットの表面における略四角形のバンプ領域に配設されており、
少なくとも、前記バンプ領域の４つのコーナー部のそれぞれには、前記駆動ユニットと前記配線基板との接続強度を高めるための接続バンプが配設されており、
前記４つのコーナー部のそれぞれに配設された前記４つの接続バンプの中心点を直線で結ぶことによって得られる基準四角形を想定したとき、前記４つの接続バンプのそれぞれの表面における前記基準四角形の外側に位置する外側領域の少なくとも一部は、前記基準四角形の内側に位置する内側領域よりも粗面に形成されている、請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出装置。
【請求項７】
液体を吐出する複数のノズルと前記複数のノズルのそれぞれに個別に連通された複数の圧力室とを有する流路ユニットと、
前記複数の圧力室内の液体に吐出圧を個別に付与する複数の駆動部と、前記複数の駆動部に導通された複数の電極とを有し、前記複数の電極のそれぞれに駆動電圧が付与されることによって前記複数の駆動部が選択的に駆動される駆動ユニットと、
基板本体と前記基板本体の表面に形成された複数の端子と前記複数の端子を覆う絶縁被覆材とを有する配線基板と、
前記駆動ユニットの表面に配設されるとともに対応する前記電極に導通され、前記絶縁被覆材を突き抜けて対応する前記端子に電気的に接続される、導電性を有する突起状の複数のバンプとを備える液体吐出装置の製造方法であって、
（ａ）前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部に最も近接した点を最近接点とし、前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部から最も離間した点を最離間点としたとき、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最近接点を含む近接領域が、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最離間点を含む離間領域よりも未硬化の前記絶縁被覆材が流れ難いように、前記複数のバンプのそれぞれの表面を処理する工程と、
（ｂ）配線基板における前記基板本体の表面に未硬化の前記絶縁被覆材を塗布して前記複数の端子を覆う工程と、
（ｃ）前記駆動ユニットと前記配線基板とを互いに近づく方向に相対的に移動させることによって、前記複数のバンプのそれぞれを、前記絶縁被覆材を突き抜けさせて前記複数の端子のそれぞれに押し当てる工程と、
（ｄ）前記絶縁被覆材を硬化させる工程とを備える、液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のノズルから液体を選択的に吐出させる駆動ユニットと、駆動ユニットに駆動電圧を付与するための配線基板とを物理的かつ電気的に接続して構成された液体吐出装置、およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルから液体を吐出する液体吐出装置としては、たとえばインク吐出装置が周知であり、その一例が特許文献１に開示されている。特許文献１のインク吐出装置は、駆動電圧に基づいて複数のノズルからインクを選択的に吐出させるための複数の駆動部を有するアクチュエータユニットと、シート状の基板本体とその表面に形成された複数の配線とを有する配線基板とを備えている。また、アクチュエータユニットの表面には、複数の駆動部のそれぞれに対応する複数の電極が形成されており、配線基板における複数の配線のそれぞれの端部には、端子が形成されており、複数の配線と複数の端子とが基板本体の表面に形成された合成樹脂層によって被覆されている。そして、配線基板における複数の端子とアクチュエータユニットにおける複数の電極とが、アクチュエータユニットの表面に形成された複数のバンプを介して電気的に接続されている。複数のバンプのそれぞれは、製造時に未硬化の合成樹脂層を突き抜けることによって端子に対して電気的に接続されており、アクチュエータユニットと配線基板とは、硬化した合成樹脂層によって物理的に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３０５８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたインク吐出装置によれば、未硬化の合成樹脂がアクチュエータユニットの表面に到達した状態で合成樹脂を硬化させることによって、バンプと端子との接続強度を高めることができる（特許文献１の段落［００１２］参照）。しかし、未硬化の合成樹脂が、アクチュエータユニットの表面に到達した後、さらに駆動部が設けられた領域に流れ込んだのでは、駆動部の動作が阻害されるため、アクチュエータユニットの性能が著しく低下するおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、駆動ユニットの表面に到達した未硬化の絶縁被覆材が駆動部が設けられた領域に流れ込むのを防止することができる、液体吐出装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出装置は、液体を吐出する複数のノズルと前記複数のノズルのそれぞれに個別に連通された複数の圧力室とを有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に吐出圧を個別に付与する複数の駆動部と、前記複数の駆動部に対応する複数の電極とを有し、前記複数の電極のそれぞれに駆動電圧が付与されることによって前記複数の駆動部が選択的に駆動される駆動ユニットと、基板本体と前記基板本体の表面に形成された複数の端子と前記複数の端子を覆う絶縁被覆材とを有する配線基板と、前記駆動ユニットの表面に配設されるとともに対応する前記電極に導通され、前記絶縁被覆材を突き抜けて対応する前記端子に電気的に接続される、導電性を有する突起状の複数のバンプとを備え、前記絶縁被覆材は、前記複数のバンプが突き抜ける際には未硬化であり、その後に硬化したものであり、前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部に最も近接した点を最近接点とし、前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部から最も離間した点を最離間点としたとき、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最近接点を含む近接領域は、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最離間点を含む離間領域よりも未硬化の前記絶縁被覆材が流れ難いように処理されている。
【０００７】
この構成では、複数のバンプのそれぞれの表面における最近接点を含む近接領域は、複数のバンプのそれぞれの表面における最離間点を含む離間領域よりも未硬化の絶縁被覆材が流れ難いように処理されているので、未硬化の絶縁被覆材は、近接領域よりも離間領域へより多く流れることになる。したがって、近接領域を流れる絶縁被覆材が駆動部が設けられた領域に流れ込むのを防止することができるとともに、駆動ユニットと配線基板とを接続するのに十分な量の絶縁被覆材を離間領域から駆動ユニットの表面に到達させることができる。
【０００８】
なお、未硬化の絶縁被覆材が流れ難いように処理する方法としては、バンプの表面を粗面に形成する方法（粗面処理法）や、バンプの表面に撥水性の高い樹脂材料を塗布する方法（撥水処理法）等があるが、いずれかに限定されるものではない。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出装置の製造方法は、液体を吐出する複数のノズルと前記複数のノズルのそれぞれに個別に連通された複数の圧力室とを有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に吐出圧を個別に付与する複数の駆動部と、前記複数の駆動部に導通された複数の電極とを有し、前記複数の電極のそれぞれに駆動電圧が付与されることによって前記複数の駆動部が選択的に駆動される駆動ユニットと、基板本体と前記基板本体の表面に形成された複数の端子と前記複数の端子を覆う絶縁被覆材とを有する配線基板と、前記駆動ユニットの表面に配設されるとともに対応する前記電極に導通され、前記絶縁被覆材を突き抜けて対応する前記端子に電気的に接続される、導電性を有する突起状の複数のバンプとを備える液体吐出装置の製造方法であって、（ａ）前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部に最も近接した点を最近接点とし、前記バンプの基端部の外周面に位置する前記駆動部から最も離間した点を最離間点としたとき、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最近接点を含む近接領域が、前記複数のバンプのそれぞれの表面における前記最離間点を含む離間領域よりも未硬化の前記絶縁被覆材が流れ難いように、前記複数のバンプのそれぞれの表面を処理する工程と、（ｂ）配線基板における前記基板本体の表面に未硬化の前記絶縁被覆材を塗布して前記複数の端子を覆う工程と、（ｃ）前記駆動ユニットと前記配線基板とを互いに近づく方向に相対的に移動させることによって、前記複数のバンプのそれぞれを、前記絶縁被覆材を突き抜けさせて前記複数の端子のそれぞれに押し当てる工程と、（ｄ）前記絶縁被覆材を硬化させる工程とを備える、液体吐出装置の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、未硬化の絶縁被覆材が駆動部が設けられた領域に流入するのを防止することができ、駆動ユニットの性能低下を防止することができる。また、近接領域よりも離間領域の方が絶縁被覆材が流れ易くなっているので、十分な量の絶縁被覆材を離間領域から駆動ユニットの表面に到達させることができ、絶縁被覆材の硬化後には、駆動ユニットと配線基板とを確実に接続することができる。さらに、未硬化の絶縁被覆材が流れ難いように処理する際には、「流れ難さの程度」を細かく調整することができるので、未硬化の絶縁被覆材の流れをバンプの材質等に応じて好適に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係る液体吐出装置の構成を示す分解斜視図である。
【図２】実施形態に係る液体吐出装置の構成を示す部分断面図である。
【図３】実施形態に係る液体吐出装置における駆動ユニットの構成を示す部分拡大平面図である。
【図４】実施形態に係る液体吐出装置の要部の構成を示す部分拡大断面図である。
【図５】実施形態に係る液体吐出装置における配線基板の構成を示す平面図である。
【図６】実施形態に係る液体吐出装置におけるバンプの構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は斜視図である。
【図７】実施形態に係る液体吐出装置における端子の構成を示す図である。
【図８】実施形態に係る液体吐出装置における接続バンプの構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の好ましい実施形態に係る「液体吐出装置」および「液体吐出装置の製造方法」について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態では、本発明を「駆動ユニット」としての「アクチュエータユニット」を用いてインクを吐出させる方式の「インク吐出装置」に適用しているが、本発明は、「発熱体ユニット」で加熱したときの圧力を用いてインクを吐出させる方式の「インク吐出装置」や、着色液を吐出させる「着色液吐出装置」や、導電液を吐出させる「導電液吐出装置」等のような他の「液体吐出装置」にも適用可能である。本発明を「着色液吐出装置」または「導電液吐出装置」等に適用した場合には、以下の説明で用いる「インク」を「着色液」または「導電液」等に読み替えるものとする。また、以下の説明で用いる「下」とは、インクを吐出する方向を意味し、「上」とは、その反対の方向を意味するものとする。
［インク吐出装置の全体構成］
図１は、インク吐出装置１０の構成を示す分解斜視図である。インク吐出装置１０は、ブラック（ＢＫ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびマゼンダ（Ｍ）の４色のインクを、２つのドライバＩＣ１２で生成された駆動電圧に基づいて複数のノズル１４（図３）から用紙等の吐出対象物（図示省略）に向けて選択的に吐出するものであり、図１に示すように、流路ユニット１６と、「駆動ユニット」としてのアクチュエータユニット１８と、フレキシブル配線基板２０とを有している。
【００１３】
流路ユニット１６は、図２に示すように、５枚のプレート２２ａ〜２２ｅを積層することによって構成されており、これらのプレート２２ａ〜２２ｅに形成された「凹部」または「貫通孔」が互いに連通されることによって、インクの色ごとに４つのインク流路Ｎ１〜Ｎ４（図１）が構成されている。つまり、流路ユニット１６には、インクを溜めるマニホールド２４と、マニホールド２４にインクを供給するインク供給口２６（図１）と、マニホールド２４内のインクを外部に吐出する複数のノズル１４と、マニホールド２４と複数のノズル１４とを連通する複数の個別流路２８とがインクの色ごとに構成されており、複数の個別流路２８のそれぞれには、ノズル１４に対して個別に連通する圧力室３０が設けられている。
【００１４】
アクチュエータユニット１８は、図２に示すように、流路ユニット１６における圧力室３０の上面３０ａを構成するとともに、複数の圧力室３０のそれぞれの内部に存在するインクに吐出圧を選択的に付与するものであり、振動板３２と、圧電層３４と、複数の電極３６とを有している。振動板３２は、導電性材料によって形成されており、複数の圧力室３０を覆うようにして流路ユニット１６の上面に接合されている。圧電層３４は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料によって形成されており、その厚み方向に分極されている。複数の電極３６のそれぞれは、導電性材料によって形成されており、図３に示すように、アクチュエータユニット１８の表面における圧力室３０と対向する位置に配設された電極部３６ａと、当該位置から外れた位置に配設された端子部３６ｂとを有している。したがって、アクチュエータユニット１８においては、図２に示すように、圧電層３４における振動板３２と電極部３６ａとによって挟まれた部分が、駆動電圧によって駆動される駆動部３８となっている。そして、電極３６における端子部３６ｂの表面には、後述するバンプ４０（図６）が形成されている。なお、電極部３６aおよび端子部３６ｂは、本発明の「電極」に含まれる一例である。
【００１５】
配線基板２０は、いわゆる「ＣＯＦ（チップ・オン・フィルム）」と称されるものであり、図４および図５に示すように、ポリイミド樹脂等のような可撓性を有する合成樹脂材料からなるシート状の基板本体４６と、銅箔等のような導電性材料によって基板本体４６の一方の表面に形成された複数の端子４２と、基板本体４６の一方の表面に搭載された２つのドライバＩＣ１２（図１、図５）と、銅箔等のような導電性材料によって基板本体４６の一方の表面に形成され、複数の端子４２のそれぞれと２つのドライバＩＣ１２のいずれか一方とを電気的に接続する複数の配線４８（図５）と、基板本体４６の一方の表面において複数の端子４２および複数の配線４８を被覆する絶縁被覆材４４（図４）とを有している。そして、２つのドライバＩＣ１２のそれぞれで生成された駆動電圧が、複数の配線４８および複数の端子４２を通してアクチュエータユニット１８に与えられる。
［配線基板の接続構造］
本実施形態では、絶縁被覆材４４とバンプ４０と端子４２とによって、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを接続する「配線基板の接続構造」が構成されているため、以下には、これらの構成要素についてより詳細に説明する。
【００１６】
＜絶縁被覆材＞
絶縁被覆材４４は、製造時に複数のバンプ４０が突き抜ける際には未硬化であり、その後に硬化したものであり、熱硬化性および電気絶縁性を有する合成樹脂材料（エポキシ樹脂等）によって形成されている。そして、絶縁被覆材４４の厚さは、端子４２および配線４８に対する「電気絶縁機能」と、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを接続する「接続機能」とを同時に発揮し得るように、１５〜２０μｍ程度に設計されている。
【００１７】
なお、絶縁被覆材４４の材質としては、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを接続する際（すなわち、複数のバンプ４０が突き抜ける際）に未硬化であり、その後に硬化するものであればよく、本実施形態のような熱で硬化する「熱硬化性樹脂」に代えて、紫外線で硬化する「紫外線硬化性樹脂」等が用いられてもよい。
【００１８】
＜バンプ＞
複数のバンプ４０のそれぞれは、図６に示すように、導電性材料（Ａｇを含む金属材料等）によって略円錐台状または略半球状に形成された突起状の部材であり、パンプ４０の表面は、頂部４０ｂから基端部４０ａに向かうにつれて外側に広がる傾斜面に形成されている。そして、図４に示すように、バンプ４０の基端部４０ａが、端子部３６ｂを介してアクチュエータユニット１８の表面に配設されるとともに、対応する電極３６（電極部３６ａ）に導通されており、また、バンプ４０の頂部４０ｂが、絶縁被覆材４４を突き抜けて対応する端子４２に押し当てられており、これにより電極３６とバンプ４０と端子４２とが電気的に接続されている。絶縁被覆材４４の厚さが１５〜２０μｍ程度であるのに対して、バンプ４０の高さは３５μｍ程度に設計されている。したがって、インク吐出装置１０の製造時には、後述するように、バンプ４０の頂部４０ｂで押し退けられた未硬化の絶縁被覆材４４が、端子４２およびバンプ４０のそれぞれの表面を流れてアクチュエータユニット１８の表面に到達し、硬化後には、上述の「接続機能」を発揮するようになる。
【００１９】
ここで、アクチュエータユニット１８の表面に到達した絶縁被覆材４４が、当該表面をさらに流れて駆動部３８が設けられた領域に到達した場合には、駆動部３８の動作が阻害されるため、アクチュエータユニット１８の性能が著しく低下するおそれがある。一方、絶縁被覆材４４の流れをバンプ４０の表面で完全に阻止したのでは、絶縁被覆材４４をアクチュエータユニット１８と配線基板２０との間に跨って付着させることができないため、絶縁被覆材４４の「接続機能」を有効に発揮させることができず、アクチュエータユニット１８と配線基板２０との接続強度が著しく低下するおそれがある。さらに、バンプ４０の頂部４０ｂが端子４２（図４）に押し当てられたときに、端子４２の表面に存在する酸化絶縁膜（図示省略）がこれらの間に介在したのでは、端子４２とバンプ４０とを電気的に十分に接続することができない。そこで、本実施形態では、バンプ４０の表面粗さを調整することによって、適量の絶縁被覆材４４がアクチュエータユニット１８の表面に到達するように構成されており、また、端子４２とバンプ４０とが電気的に確実に接続されるように構成されている。
【００２０】
すなわち、図６に示すように、バンプ４０の基端部４０ａの外周面に位置する駆動部３８に最も近接した点を最近接点Ｐ１とし、基端部４０ａの外周面に位置する駆動部３８から最も離間した点を最離間点Ｐ２としたとき、複数のバンプ４０のそれぞれの表面における最近接点Ｐ１を含む近接領域Ｒ１は、複数のバンプ４０のそれぞれの表面における最離間点Ｐ２を含む離間領域Ｒ２よりも、未硬化の絶縁被覆材４４が流れ難いように形成されている。つまり、未硬化の絶縁被覆材４４との接触抵抗がより大きくなるように、近接領域Ｒ１の表面粗さがより粗面に設計されている。したがって、バンプ４０の頂部４０ｂで押し退けられた未硬化の絶縁被覆材４４が、近接領域Ｒ１を通ってアクチュエータユニット１８の表面の駆動部３８が設けられた領域に流れ込むのを防止することができるとともに、十分な量の絶縁被覆材４４を離間領域Ｒ２からアクチュエータユニット１８の表面に到達させることができ、絶縁被覆材４４の硬化後には、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを確実に接続することができる。
【００２１】
また、図６に示すように、バンプ４０における端子４２に最初に押し当てられる点を当接点Ｐ３としたとき、バンプ４０の表面における当接点Ｐ３を含み、かつ、近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２と重ならない当接領域Ｒ３は、バンプ４０の表面における当接領域Ｒ３を取り囲む周囲領域Ｒ４（本実施形態では、近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２と重なっている。）よりも粗面に形成されている。本実施形態では、周囲領域Ｒ４が上述の近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２と重なっており、当接領域Ｒ３が近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２と重なっていないので、近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２よりも当接領域Ｒ３の方がより粗面であり、当接領域Ｒ３、近接領域Ｒ１、離間領域Ｒ２の順番（Ｒ３＞Ｒ１＞Ｒ２）で表面粗さが粗くなっている。したがって、バンプ４０の頂部４０ｂを端子４２（図４）に押し当てた際には、最も粗面に形成された当接領域Ｒ３によって端子４２の表面に形成された酸化絶縁膜を破ることができ、端子４２とバンプ４０との電気的な接続状態を確実かつ安定的に得ることができる。
【００２２】
なお、「近接領域Ｒ１と離間領域Ｒ２との境界」および「当接領域Ｒ３と周囲領域Ｒ４」との境界は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、図６（Ａ）に示すように、バンプ４０を平面視したときに、最近接点Ｐ１と最離間点Ｐ２とを結ぶ仮想直線Ｌ０に対して直交する方向に延びる線が、近接領域Ｒ１と離間領域Ｒ２とを仕切る境界線Ｌ１となっており、当該境界線Ｌ１によってバンプ４０の表面積が２等分されている。また、図６（Ｂ），（Ｃ）に示すように、バンプ４０を正面視したときに、傾斜面の曲率が急変する点を結んで得られる円を規定する線が、当接領域Ｒ３と周囲領域Ｒ４とを仕切る境界線Ｌ２となっている。
【００２３】
なお、バンプ４０の表面を粗面に形成する方法としては、従来から存在する任意の方法を用いることができ、たとえば、「バンプ４０の表面にイオンを吹き付けて当該表面を粗す方法（イオン吹き付け法）」や、「エッチングで溶ける粒状材を予めバンプ４０に混入しておき、後のエッチング処理で当該粒状材を溶かして粗面を得る方法（エッチング法）」等を用いることができる。
【００２４】
また、未硬化の絶縁被覆材４４が流れ難いようにする方法としては、本実施形態の「バンプ４０の表面を粗面に形成する方法（粗面処理法）」に代えて、「バンプ４０の表面の一部にフッ素系樹脂材等を塗布して、塗布された表面とそれ以外の表面との流れ易さを調整する方法（撥水処理法）」等が用いられてもよい。
【００２５】
さらに、本実施形態では、粗面処理が施される各領域において「表面粗さの程度」を変えることによって、未硬化の絶縁被覆材４４の「流れ易さ」を調整しているが、「粗面を構成する凹凸の方向」を変えることによって、或いは、「表面粗さの程度」および「粗面を構成する凹凸の方向」の両方を変えることによって、当該「流れ易さ」を調整するようにしてもよい。たとえば、近接領域Ｒ１においては、絶縁被覆材４４の流れの上流側に向けて突出するように凹凸の方向を設計することによって、未硬化の絶縁被覆材４４との接触抵抗を大きくし、これにより絶縁被覆材４４を流れ難くしてもよい。
【００２６】
＜端子＞
複数の端子４２のそれぞれは、図７に示すように、アクチュエータユニット１８における複数の端子部３６ｂのそれぞれに対向して略円形に形成されており、バンプ４０の当接点Ｐ３と接触する被当接点Ｐ４が端子４２の中央部に位置している。そして、端子４２においては、被当接点Ｐ４を含む円形の領域が、バンプ４０が押し当てられる押当領域Ｒ５となっており、端子４２の外周部を構成する環状の領域が、押当領域Ｒ５の周囲に位置する端子周囲領域Ｒ６となっており、押当領域Ｒ５の外周縁Ｌ３と端子周囲領域Ｒ６の内周縁Ｌ４との間に位置する環状の領域が、中間領域Ｒ７となっている。
【００２７】
ここで、未硬化の絶縁被覆材４４を突き抜けたバンプ４０が端子４２に押し当てられると、端子４２を覆っていた絶縁被覆材４４がバンプ４０によって押し退けられ、当該押当領域Ｒ５から中間領域Ｒ７を通って端子周囲領域Ｒ６に向かうようになる。しかし、絶縁被覆材４４が、端子４２の表面に対して平行な方向に移動するだけでは、絶縁被覆材４４をアクチュエータユニット１８の表面に到達させることができず、絶縁被覆材４４の「接続機能」を有効に発揮させることができない。そこで、本実施形態では、押当領域Ｒ５、端子周囲領域Ｒ６および中間領域Ｒ７の間で表面粗さを調整することによって、適量の絶縁被覆材４４がアクチュエータユニット１８の表面に到達するように構成されている。すなわち、図７に示すように、端子４２の各領域の表面粗さが、端子周囲領域Ｒ６、押当領域Ｒ５、中間領域Ｒ７の順番（Ｒ６＞Ｒ５＞Ｒ７）で粗くなるように設計されている。
【００２８】
したがって、製造時において、バンプ４０の頂部４０ｂで押当領域Ｒ５から押し退けられた未硬化の絶縁被覆材４４は、中間領域Ｒ７をスムーズに流れるものの、中間領域Ｒ７から端子周囲領域Ｒ６に向けては流れ難くなっており、中間領域Ｒ７からバンプ４０の周囲領域Ｒ４（近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２）に絶縁被覆材４４が導かれることになる。そして、周囲領域Ｒ４に到達した絶縁被覆材４４は、近接領域Ｒ１よりも離間領域Ｒ２へより多く流れることになり、上述のように、適量の絶縁被覆材４４がアクチュエータユニット１８の表面に到達することになる。また、押当領域Ｒ５は中間領域Ｒ７よりも粗面であることから、押当領域Ｒ５に対する絶縁被覆材４４の「食い付き性」、すなわち「粗面に噛み込まれることによる接合性」がよくなるとともに、押当領域Ｒ５に当接されたバンプ４０の周囲に絶縁被覆材４４を留めることができ、端子４２に対するバンプ４０の物理的かつ電気的な接続を確実に行うことができる。
【００２９】
なお、端子４２における押当領域Ｒ５、端子周囲領域Ｒ６および中間領域Ｒ７のそれぞれの表面粗さと、バンプ４０における近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２のそれぞれの表面粗さとは、適量の絶縁被覆材４４をアクチュエータユニット１８の表面に到達させるために、互いに関係付けて設計されることが望ましく、押当領域Ｒ５から押し出された絶縁被覆材４４を中間領域Ｒ７から近接領域Ｒ１および離間領域Ｒ２に効率よく導くためには、端子周囲領域Ｒ６、近接領域Ｒ１、離間領域Ｒ２、押当領域Ｒ５、中間領域Ｒ７の順番（Ｒ６＞Ｒ１＞Ｒ２＞Ｒ５＞Ｒ７）で表面粗さが粗くなっていることが望ましい。
【００３０】
＜接続バンプ＞
本実施形態では、図１および図２に示すように、各インク流路Ｎ１〜Ｎ４を構成する複数のノズル１４が複数のノズル列を成すように配設されているので、アクチュエータユニット１８の表面には、複数のノズル１４のそれぞれに対応する複数の電極３６が複数の電極列を成すように配設されており、これに伴って複数のバンプ４０が複数のバンプ列を成すように配設されている。したがって、インク吐出装置１０を平面視したときには、図５に示すように、複数のバンプ４０のそれぞれが、アクチュエータユニット１８の表面における略四角形のバンプ領域Ｑに配設されていることになる。
【００３１】
ここで、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを絶縁被覆材４４で接合した後、配線基板２０に対してアクチュエータユニット１８から引き剥がす方向の外力が付与されると、当該外力は、バンプ領域Ｑの４つのコーナー部に位置する４つのバンプの少なくとも１つに集中的に作用する。したがって、これら４つのバンプにおいて、絶縁被覆材４４との接続強度が不十分であれば、配線基板２０が簡単に引き剥がされてしまうことになり、このことが不良品発生の重大な原因となる。そこで、本実施形態では、少なくとも、バンプ領域Ｑの４つのコーナー部のそれぞれには、アクチュエータユニット１８と配線基板２０との接続強度を高めるための接続バンプ５０が配設されている。
【００３２】
複数の接続バンプ５０のそれぞれは、表面の状態（表面粗さ等）を除いて、上述のバンプ４０と同様に構成されている。そして、図５および図８に示すように、バンプ領域Ｑの４つのコーナー部のそれぞれに配設された４つの接続バンプ５０の中心点Ｕ（図８）を仮想直線Ｌ５で結ぶことによって得られる基準四角形Ｓを想定したとき、接続バンプ５０のそれぞれの表面における基準四角形Ｓの外側に位置する外側領域Ｒ８の少なくとも一部は、前記基準四角形Ｓの内側に位置する内側領域Ｒ９よりも粗面に形成されている。したがって、外側領域Ｒ８の少なくとも一部においては、絶縁被覆材４４との食い付きがよくなり、接続バンプ５０と絶縁被覆材４４との接続強度が高められ、これによりアクチュエータユニット１８と配線基板２０との接続強度が高められる。
［インク吐出装置の製造方法］
インク吐出装置１０の製造方法は、流路ユニット１６とアクチュエータユニット１８と配線基板２０を製造する「部品製造工程」と、流路ユニット１６とアクチュエータユニット１８とを接合する「第１接合工程」と、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを接合する「第２接合工程」とによって実行される。
【００３３】
「部品製造工程」では、流路ユニット１６とアクチュエータユニット１８と配線基板２０とを別々に製造する。アクチュエータユニット１８の製造工程では、複数のバンプ４０および複数の接続バンプ５０のそれぞれの表面に対して、上述の粗面処理（図６、図８）を施し、配線基板２０の製造工程では、複数の端子４２のそれぞれの表面に対して、上述の粗面処理（図７）を施す。なお、粗面処理の具体的方法として、「イオン吹き付け法」や「エッチング法」等を用いることができること、「粗面処理法」に代えて「薬品処理法」等を用いることができることは、上述の通りである。
【００３４】
「第１接合工程」では、流路ユニット１６とアクチュエータユニット１８とを相互に位置決めし、これらを接着剤等を用いて接合する。なお、複数のバンプ４０および複数の接続バンプ５０のそれぞれの表面に対する粗面処理は、「第１接合工程」において、流路ユニット１６とアクチュエータユニット１８とを接合した後に行うようにしてもよい。
【００３５】
「第２接合工程」では、まず、配線基板２０における基板本体４６の表面に未硬化の絶縁被覆材４４を塗布し、当該絶縁被覆材４４によって粗面処理が完了した複数の端子４２と複数の配線４８（図５）とを覆う。続いて、アクチュエータユニット１８と配線基板２０とを互いに近づく方向へ相対的に移動させることによって、複数のバンプ４０および複数の接続バンプ５０のそれぞれの頂部４０ｂ，５０ｂを、絶縁被覆材４４を突き抜けさせて複数の端子４２のそれぞれに押し当てる。その後、未硬化の絶縁被覆材４４を加熱（たとえば１５０℃）して、絶縁被覆材４４を硬化させる。
【００３６】
なお、「第２接合工程」において絶縁被覆材４４を硬化させる工程は、絶縁被覆材４４の種類によって相違し、絶縁被覆材４４として紫外線硬化性樹脂を用いた場合には、絶縁被覆材４４に対して紫外線を照射することになる。
【符号の説明】
【００３７】
Ｎ１〜Ｎ４…  インク流路
Ｐ１…  最近接点
Ｐ２…  最離間点
Ｐ３…  当接点
Ｐ４…  被当接点
Ｒ１…  近接領域
Ｒ２…  離間領域
Ｒ３…  当接領域
Ｒ４…  周囲領域
Ｒ５…  押当領域
Ｒ６…  端子周囲領域
Ｒ７…  中間領域
Ｒ８…  外側領域
Ｒ９…  内側領域
Ｑ…  バンプ領域
Ｓ…  基準四角形
Ｕ…  中心点
１０…  インク吐出装置（液体吐出装置）
１２…  ドライバＩＣ
１４…  ノズル
１６…  流路ユニット
１８…  アクチュエータユニット（駆動ユニット）
２０…  配線基板
３６…  電極
３６ａ…  電極部
３６ｂ…  端子部
３８…  駆動部
４０…  バンプ
４０ａ…  基端部
４０ｂ…  頂部
４２…  端子
４４…  絶縁被覆材
５０…  接続配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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