(57)【要約】【課題】剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着することを防止して接着シートを剥離することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供すること。【解決手段】接着シートＳが貼付された半導体ウエハＷを保持するテーブル１１と、剥離シートＲＬに接着剤層Ａを介して基材シートＢＳが仮着された帯状の原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、原反を繰り出す途中で、第１及び第２の切り込みＣ１、Ｃ２を形成して把持部２８と接着部２９とを備えた剥離用テープＰＴを形成する第１の切込手段１３及び  第２の切込手段１４と、剥離用テープを剥離するピールプレート１５と、剥離用テープを保持する保持手段１６と、剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段１７と、把持部の把持手段１８と、把持手段とテーブルとを相対移動させる単軸ロボット１９とを含み、把持手段とテーブルとの相対移動により、接着シートが半導体ウエハから剥離される。【選択図】図１
2010016205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動により接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
剥離シート側から接着剤層まで達する閉ループ状の第１の切り込みと、基材シート側から剥離シートに達するとともに、前記第１の切り込みと部分的に重なり合って把持部を形成し、且つ、それ以外の領域が前記接着シートの外縁形状に対応する外縁を有する接着部となる閉ループ状の第２の切り込みとによって形成された剥離用テープが剥離シートに仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離用テープを剥離する剥離手段と、
前記剥離用テープを保持する保持手段と、
前記接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させるとともに、前記把持部を被着体の外方に突出する状態で前記剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、
前記把持部を把持する把持手段と、
前記把持手段と保持手段とを相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動により接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
剥離シートに基材シートが接着剤層を介して仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、
前記原反を繰り出す途中で剥離シート側から接着剤層まで達する閉ループ状の第１の切り込みを形成する第１の切込手段と、
前記基材シート側から剥離シートに達するとともに、前記第１の切り込みと部分的に重なり合って把持部を形成し、且つ、それ以外の領域が前記接着シートの外縁形状に対応する外縁を有する接着部となる閉ループ状の第２の切り込みを形成する第２の切込手段と
前記剥離用テープを剥離する剥離手段と、
前記剥離用テープを保持する保持手段と、
前記接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させるとともに、前記把持部を被着体の外方に突出する状態で前記剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、
前記把持部を把持する把持手段と、
前記把持手段と保持手段とを相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
前記保持手段は、前記接着部と同一平面形状を備えた吸着ヘッドを含むことを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記第１の切込手段は原反に所定のマークを施すマーキング手段を備えている一方、前記第２の切込手段はマークを検知する検知手段を備え、当該マークの位置に基づいて前記第２の切り込みを形成することを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載のシート剥離装置。
【請求項５】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動により接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
接着シートが貼付された被着体を支持する工程と、
剥離シートに基材シートが接着剤層を介して仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す途中で剥離シート側から接着剤層まで達する閉ループ状の第１の切り込みを形成する工程と、
前記基材シート側から剥離シートに達するとともに、前記第１の切り込みと部分的に重なり合って把持部を形成し、且つ、それ以外の領域が前記接着シートの外縁形状に対応する外縁を有する接着部となる閉ループ状の第２の切り込みを形成する工程と、
前記剥離用テープを剥離する工程と、
前記剥離用テープを保持する工程と、
前記接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させるとともに、前記把持部を被着体の外方に突出する状態で前記剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
前記把持部を把持する工程と、
前記被着体と剥離用テープ手段に保持させた状態で当該把持手段と被着体とを相対移動させて接着シートを被着体から剥離する工程とを有することを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、接着シートの縁部から確実に剥離するとともに、被着体に貼付された接着シートを剥離する剥離用テープの消費量を抑制することのできるシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）の処理工程においては、ウエハの回路面等を保護するために接着シートが貼付される。このような接着シートは、所定の処理工程後、シート剥離装置等を用いてウエハから剥離される。
シート剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献におけるシート剥離装置は、ウエハに貼付された円形の接着シートの径方向に横断するように帯状の剥離用テープを接着し、当該剥離用テープの巻き取りを行うことで接着シートをウエハから剥離する構成が採用されている。
【特許文献１】特開２００７−４３０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート剥離装置にあっては、剥離用テープを接着シートに貼付したときに、当該剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着して、接着シートの剥離を妨げたり、被着体を載置するテーブル等に接着剤が付着して汚してしまう、という不都合がある。また、ウエハの径以上の長さの剥離用テープが必要なため、当該剥離用テープの消費量が多くランニングコストが高騰する、という不都合もある。近年、ウエハ径の大きなものが採用されるため、このような不都合は顕著に現れる。
【０００４】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着して接着シートの剥離を妨げたり、被着体を載置するテーブル等を接着剤で汚してしまうことなく当該接着シートを確実に剥離することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、接着シートを剥離する剥離用テープの消費量を抑制して接着シートを剥離することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動により接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、剥離シート側から接着剤層まで達する閉ループ状の第１の切り込みと、基材シート側から剥離シートに達するとともに、前記第１の切り込みと部分的に重なり合って把持部を形成し、且つ、それ以外の領域が前記接着シートの外縁形状に対応する外縁を有する接着部となる閉ループ状の第２の切り込みとによって形成された剥離用テープが剥離シートに仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離用テープを剥離する剥離手段と、前記剥離用テープを保持する保持手段と、前記接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させるとともに、前記把持部を被着体の外方に突出する状態で前記剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、前記把持部を把持する把持手段と、前記把持手段と保持手段とを相対移動させる移動手段とを備える、という構成を採っている。
【０００６】
また、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動により接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、剥離シートに基材シートが接着剤層を介して仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す途中で剥離シート側から接着剤層まで達する閉ループ状の第１の切り込みを形成する第１の切込手段と、前記基材シート側から剥離シートに達するとともに、前記第１の切り込みと部分的に重なり合って把持部を形成し、且つ、それ以外の領域が前記接着シートの外縁形状に対応する外縁を有する接着部となる閉ループ状の第２の切り込みを形成する第２の切込手段と、前記剥離用テープを剥離する剥離手段と、前記剥離用テープを保持する保持手段と、前記接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させるとともに、前記把持部を被着体の外方に突出する状態で前記剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、前記把持部を把持する把持手段と、前記把持手段と保持手段とを相対移動させる移動手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記保持手段は、前記接着部と同一平面形状を備えた吸着ヘッドを含む、という構成を採ることができる。
【０００８】
また、前記第１の切込手段は原反に所定のマークを施すマーキング手段を備えている一方、前記第２の切込手段はマークを検知する検知手段を備え、当該マークの位置に基づいて前記第２の切り込みを形成する、という構成を採っている。
【０００９】
更に、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動により接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、接着シートが貼付された被着体を支持する工程と、剥離シートに基材シートが接着剤層を介して仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、前記原反を繰り出す途中で剥離シート側から接着剤層まで達する閉ループ状の第１の切り込みを形成する工程と、前記基材シート側から剥離シートに達するとともに、前記第１の切り込みと部分的に重なり合って把持部を形成し、且つ、それ以外の領域が前記接着シートの外縁形状に対応する外縁を有する接着部となる閉ループ状の第２の切り込みを形成する工程と、前記剥離用テープを剥離する工程と、前記剥離用テープを保持する工程と、前記接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させるとともに、前記把持部を被着体の外方に突出する状態で前記剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、前記把持部を把持する工程と、前記被着体と剥離用テープ手段に保持させた状態で当該把持手段と被着体とを相対移動させて接着シートを被着体から剥離する工程とを有する、という手法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、原反を繰り出す途中で、接着シートに貼付する剥離用テープを形成し、貼付手段が接着部の少なくとも一部の外縁と接着シートの少なくとも一部の外縁とを一致させ、把持部が被着体の外方に突出する状態で、剥離用テープを接着シートに貼付する構成としたことで、剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着して、当該接着シートの剥離を妨げたり、被着体を載置するテーブル等に接着剤が付着して汚れてしまうといった不都合を解消し、把持部を把持して被着体と相対移動させることで接着シートを剥離することができる。また、剥離用テープを接着シートの一部に接着する大きさとなる枚葉型とした場合、接着シートを横断する方向に沿って剥離用テープを貼付する従来のシート剥離装置に比べて剥離用テープの消費量を抑制することが可能となる。
また、保持手段を構成する吸着ヘッドが接着部と同一平面形状に設けられた構成では、接着部の外縁を接着シートの外縁に一致させた状態で剥離用テープを接着することができ、接着シートを外縁から確実に剥離することができる。
更に、マーキング手段と検知手段とを備えた構成では、第１の切り込みと第２の切り込みの形成位置関係を高精度に保って剥離用テープを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示されている。この図において、シート剥離装置１０は、接着シートＳが貼付された被着体としての半導体ウエハＷを支持する支持手段としてのテーブル１１と、剥離シートＲＬに接着剤層Ａを介して基材シートＢＳが仮着された帯状の原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、原反Ｒを繰り出す途中で所定形状の切り込みを施し剥離用テープＰＴを形成する第１の切込手段１３及び第２の切込手段１４と、原反Ｒから剥離用テープＰＴを剥離する剥離手段としてのピールプレート１５と、剥離用テープＰＴを吸着保持する保持手段１６と、剥離用テープＰＴを接着シートＳに貼付する貼付手段１７と、剥離用テープＰＴの一部を構成する把持部２８を把持する把持手段１８と、この把持手段１８とテーブル１１とを相対移動させる移動手段としての単軸ロボット１９とを備えて構成されている。なお、前記ウエハＷは略円形をなし、接着シートＳは、ウエハＷに対応した平面形状に設けられている。
【００１３】
前記テーブル１１は、略方形の平面形状を備えているとともに、上面側が図示しない吸着面として形成され、前記単軸ロボット１９を介して図１中左右方向に移動可能に支持されている。
【００１４】
前記繰出手段１２は、原反Ｒを支持する支持ローラ２０と、モータＭによって回転する駆動ローラ２２と、当該駆動ローラ２２との間に剥離用テープＰＴが剥離された後の不要原反部分Ｒ１を挟み込むピンチローラ２３と、駆動ローラ２２と同期回転して不要原反部分Ｒ１を巻き取る巻取ローラ２４とにより構成されている。なお、繰出手段１２は、図示しないフレームに支持される。
【００１５】
前記第１の切込手段１３は、剥離シートＲＬ側で上下に移動可能に配置されたダイプレート３０Ａと、このダイプレート３０Ａに設けられ閉ループ状の第１の切り込みＣ１を形成する第１の切断刃３０Ｂとからなる第１のカッターダイ３０と、基材シートＢＳ側に配置されたプラテン３１と、カッターダイ３０と同期して剥離シートＲＬの所定位置にマークＭを施すマーキング手段としてのスタンパ３２とを含む。第１の切り込みＣ１は、図２に示されるように、剥離シートＲＬ側から接着剤層Ａまで達する深さに設定されている。
【００１６】
前記第２の切込手段１４は、基材シートＢＳ側で上下に移動可能に配置されたダイプレート３５Ａと、このダイプレート３５Ａに設けられ閉ループ状の第２の切り込みＣ２を形成する第２の切断刃３５Ｂとからなる第２のカッターダイ３５と、剥離シートＲＬ側に配置されたプラテン３６と、このプラテン３６に併設されてマークＭを検出する検知手段３７とを含む。第２の切り込みＣ２は、図２に示されるように、基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬまで達する深さに設定されている。また、第１の切り込みＣ１と部分的に重なり合って把持部２８を形成し、重なり合っていない領域が接着シートＳの外縁形状に対応する外縁を有する接着部２９となる閉ループ状の第２の切り込みを施すようになっている。
【００１７】
前記第１の切り込みＣ１は、図２に示されるように、幅方向両端を形成する側端切込Ｃ１ａと、この側端切込Ｃ１ａの繰出方向下流側を繋ぐ前端切込Ｃ１ｂと、この反対側に位置する曲縁状の後端切込Ｃ１ｃとからなる閉ループとされ、後端切込Ｃ１ｃの両端と側端切込Ｃ１ａとは、円弧状の繋ぎ部切込Ｃ１ｄを介して連なるように形成されている。なお、後端切込Ｃ１ｃは接着シートＳの外縁部分に一致する曲縁となっている。
【００１８】
前記第２の切り込みＣ２は、図２に示されるように、前記側端切込Ｃ１ａ、前端切込Ｃ１ｂ及び繋ぎ部切込Ｃ１ｄにそれぞれ一致する上面側端切込Ｃ２ａ、上面前端切込Ｃ２ｂ及び上面繋ぎ部切込Ｃ２ｄと、上面繋ぎ部切込Ｃ２ｄから幅方向外側にそれぞれ向けられたショルダ部切込Ｃ２ｅと、当該ショルダ部切込Ｃ２ｅに連なる上面側端切込Ｃ２ｆと、これら上面側端切込Ｃ２ｆの繰出方向上流側を繋ぐ上面後端切込Ｃ２ｇとを含む閉ループとされている。本実施形態における剥離用テープＰＴは、接着部２９のショルダ部切込Ｃ２ｅと把持部２８の後端切込Ｃ１ｃとは、平面視で断絶することなく接着シートＳの外縁部分に一致するようになっており、これにより接着部２９は、接着シートＳの外縁形状に対応する外縁を有する平面形状に設けられている。また、接着部２９は把持部２８に対して必然的に幅広い平面形状とされ、これにより、後述する剥離力が接着シートＳに広く及ぶように設けられている。
【００１９】
前記保持手段１６は、ピールプレート１５の先端側に配置され、図示しない減圧ポンプに接続されてピールプレート１５によって剥離された剥離用テープＰＴを吸着保持可能に設けられた吸着ヘッド４１により構成されている。なお、吸着ヘッド４１の吸着面は、接着部２９の平面形状と同一の平面形状に設けられている。これにより、ショルダ部切込Ｃ２ｅと後端切込Ｃ１ｃとを接着シートＳの外縁部分に一致させるとともに、把持部２８を接着シートＳの外縁から突出させた状態で剥離用テープＰＴを接着シートＳに貼付することが可能となっている。なお、本実施形態では、ショルダ部切込Ｃ２ｅと後端切込Ｃ１ｃとを接着シートＳの外縁部分に一致させる動作は、図示しない制御手段が単軸ロボット１９の出力するパルスをカウントして制御されるが、後述の貼付手段１７側をテーブル１１に対して移動させるように構成したり、テーブル１１と貼付手段１７との両方を移動させて、ショルダ部切込Ｃ２ｅと後端切込Ｃ１ｃとを接着シートＳの外縁に一致させるようにしてもよい。
【００２０】
前記貼付手段１７は、直動モータ３９を含み、その出力軸４０に吸着ヘッド４１が固定されている。これにより、吸着ヘッド４１に保持された剥離用テープＰＴをテーブル１１上の接着シートＳに貼付することが可能となっている。
【００２１】
前記把持手段１８は、チャックホルダ４５と、当該チャックホルダ４５に支持された回動可能な上部爪部材４６及び上下動可能な下部爪部材４７とを含み、これら上部爪部材４６と下部爪部材４７とが相互に作用して把持部２１を把持可能に設けられている。なお、把持手段１８は、図示しないロボットアーム等の移動手段に支持され、例えば、図１に示される位置を初期位置としたときに、同位置に対して上下及び左右に移動可能に設けられている。
【００２２】
次に、前記シート剥離装置１０によるシート剥離方法について、図３ないし図５をも参照しながら説明する。
【００２３】
所定の入力操作によって起動信号が入力されると、繰出手段１２のモータＭが駆動して原反Ｒ若しくは不要原反部分Ｒ１が巻取ローラ２４に所定長さ巻き取れられて停止する。そして、第１の切込手段１３を介して剥離シートＲＬ側から第１の切り込みＣ１が形成され、同時に、スタンパ３２を介してマークＭが剥離シートＲＬの一端側に施される。第１の切り込みＣ１が形成されると、再びモータＭが駆動し、マークＭが検知手段３７により検知されて停止し、第２の切込手段１４によって第２の切り込みＣ２が形成される。これにより、接着部２８と把持部２９とを備えた剥離用テープＰＴが形成されることとなる。
【００２４】
このようにして形成された剥離用テープＰＴは、次の間欠送りが行われてピールプレート１５上の所定位置に停止してスタンバイ状態となる。そして、図１に示されるように、図示しない搬送手段によってテーブル１１上に接着シートＳが貼付されたウエハＷが載置されると、更に次の間欠送りが行われ、ピールプレート１５で剥離された剥離用テープＰＴが吸着ヘッド４１に吸着保持される。
【００２５】
この一方、テーブル１１が単軸ロボット１９を介して移動し、当該単軸ロボット１９のパルスを介してウエハＷが貼付手段１７の下方所定位置に達したことを検知すると、単軸ロボット１９が駆動を停止する。この時、図１に示されるように、ウエハＷの左端部は把持手段１８の下部爪部材４７の右側に位置する。
【００２６】
貼付手段１７の直動モータ３９が駆動することにより、吸着ヘッド４１が下降し、接着部２９を接着シートＳの外周部分に貼付する。この際、ショルダ部切込Ｃ２ｅと後端切込Ｃ１ｃとを接着シートＳの外縁部分に一致するように貼付されることで、接着剤層Ａが接着シートＳ以外の部分に接着することを防止する。
【００２７】
そして、図４に示されるように、上部爪部材４６と下部爪部材４７とが相互に作用して把持部２８を把持する（図４参照）。その後、吸着ヘッド４１は上昇位置に復帰する。
【００２８】
次いで、把持手段１８がウエハＷに干渉しない位置に上昇した後、図５に示されるように、テーブル１１が左側に移動することで接着シートＳがウエハＷから剥離されることとなる。
【００２９】
従って、このような実施形態によれば、原反Ｒを繰り出す途中で把持部２８と接着部２９とを備えた剥離用テープＰＴがリアルタイムで形成でき、把持部２８が接着シートＳの外周から突出する状態で接着部２９を接着シートＳに貼付した後に、把持部２８を把持して接着シートＳを剥離することができる。この際、接着部２９の一部外縁が接着シートＳの一部外縁に一致しているため、接着剤がテーブル１１等に付着して汚してしまうような不都合を回避することができる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３１】
例えば、前記実施形態では、第１の切り込みＣ１を形成した後に第２の切り込みＣ２を形成する場合について図示、説明したが、第２の切り込みＣ２を形成した後に、第１の切り込みＣ１を形成することでもよい。この場合、前記スタンパ３２及び検知手段３７の配置は、前記実施形態のように維持した状態で、第１及び第２の切込手段１３、１４の配置を逆転させれば足りる。更に、予め第１の切り込みＣ１と第２の切り込みＣ２とが形成された原反Ｒを採用すれば、第１及び第２の切込手段１３、１４は設けなくてもよい。
【００３２】
また、前記実施形態では、接着部２９の一部の外縁と接着シートＳの一部の外縁とを一致させる構成を図示して説明したが、接着部２９の全外縁と接着シートＳの全外縁とが一致する構成としてもよい。この場合でも、接着シートＳの外縁からはみ出した接着剤Ａが接着シートＳ以外の部分に付着して剥離を妨げたり、周辺を汚損してしまう不都合を解消することを達成することができる。
【００３３】
更に、前記剥離用テープＰＴの平面形状、すなわち、把持部２８及び接着部２９の平面形状は、図示構成例に限定されるものではなく、接着シートＳの平面形状に対応して変更することができる。
【００３４】
また、接着シートＳを剥離する際の把持手段１８とテーブル１１との相対移動は、少なくとも一方の移動によっても達成することができる。
【００３５】
更に、移動手段は単軸ロボット１９に限らず、リニアモータ、シリンダ等を採用してもよく、また、把持手段１８は、把持部２８を把持することができるものであれば足りる。
【００３６】
また、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３７】
更に、接着剤層Ａは、感圧接着性の接着剤や感熱接着性の接着剤を採用することができ、組成物に関しては何ら限定されることはない。
【００３８】
また、把持手段１８は吸着ヘッド４１に設けることができる。このように構成することで、把持手段１８を上昇させる駆動手段を別途設けることなく直動モータ３９によって代替可能となる。
【００３９】
更に、第１の切り込みＣ１と第２の切り込みＣ２とで、側端切込Ｃ１ａ、前端切込Ｃ１ｂ及び繋ぎ部切込Ｃ１ｄに対して、上面側端切込Ｃ２ａ、上面前端切込Ｃ２ｂ及び上面繋ぎ部切込Ｃ２ｄを必ずしも一致させる必要はなく、第１の切り込みＣ１と、第２の切り込みＣ２とが重なり合い、且つ、接着部２９のショルダ部切込Ｃ２ｅと把持部２８の後端切込Ｃ１ｃとが平面視で断絶することなく接着シートＳの外縁部分に一致するようになっていれば足りる。
【００４０】
更に、前記実施形態では、把持部２８を原反Ｒの繰出方向下流側に形成するように第１、第２の切り込み手段１３、１４を設けたシート剥離装置を図示して説明したが、把持部２８を原反Ｒの繰出方向上流側や左右方向に形成するように第１、第２の切り込み手段１３、１４を設けてもよいし、そのように第１の切り込みＣ１と第２の切り込みＣ２とが予め形成された原反Ｒを採用してもよい。この場合、把持手段１８は、把持部２８が形成された方向に配置すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】第１及び第２の切込手段と、これら切込手段によって形成される切込形状との対応関係を示す説明図。
【図３】接着シートに剥離用テープを貼付した状態を示す概略正面図。
【図４】把持手段が把持部を把持した状態を示す要部正面図。
【図５】接着シートが剥離されている状態を示す要部正面図。
【符号の説明】
【００４２】
１０  シート剥離装置
１１  テーブル（支持手段）
１２  繰出手段
１３  第１の切込手段
１４  第２の切込手段
１５  ピールプレート（剥離手段）
１６  保持手段
１７  貼付手段
１８  把持手段
１９  単軸ロボット（移動手段）
２８  把持部
２９  接着部
３２  スタンパ（マーキング手段）
３７  検知手段
４１  吸着ヘッド
Ａ  接着剤層
ＢＳ  基材シート
Ｃ１  第１の切り込み
Ｃ２  第２の切り込み
Ｍ  マーク
ＰＴ  剥離用テープ
Ｒ  原反
ＲＬ  剥離シート
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
2010016205.tif 000003
【図２】
2010016205.tif 000004
【図３】
2010016205.tif 000005
【図４】
2010016205.tif 000006
【図５】
2010016205.tif 000007