(57)【要約】【課題】常温で固体の有機金属化合物をキャリアガスに随伴させて供給する供給装置において、有機金属化合物の総合的な利用効率を向上させる。【解決手段】  供給装置は、２つの容器１ａ、１ｂと、容器１ａ、１ｂの内部をその下端で連絡する連通管５とを有する。容器１ａにはガス導入管２が備えられており、容器１ｂにはガス導出管３が備えられている。容器１ａ、１ｂの内部には、球状担体に有機金属化合物を担持させた後に破砕して得られた、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含む破砕物１０が充填されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
常温で固体の有機金属化合物をキャリアガスに随伴させて供給する供給装置であって、
キャリアガスの導入口および導出口を備えた容器手段と、
前記容器手段に充填された有機金属化合物と、
前記容器手段に、前記キャリアガスの流れ方向において前記有機金属化合物の上流側に充填された、前記導入口から導入されたキャリアガスを分散させる分散材と、
を有し、
前記有機金属化合物は、球状担体に担持させた後に破砕して得られた、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含む破砕物として前記容器手段に充填されていることを特徴とする供給装置。
【請求項２】
前記容器手段は、
前記導入口が上部に設けられ、前記破砕物が充填されたカラム型の第１容器と、
前記導出口が上部に設けられ、前記破砕物が充填されたカラム型の第２容器と、
前記第１容器の内部および第２容器の内部をその下端で連絡する連絡部材と、
を有する請求項１に記載の供給装置。
【請求項３】
前記分散材は、前記第１容器の内部に充填されている請求項２に記載の供給装置。
【請求項４】
前記分散材は、前記破砕物の上に前記破砕物を覆って層状に充填されている請求項３に記載の供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、常温で固体の有機金属化合物が充填された容器内にキャリアガスを流通させることによって、キャリアガスとともに有機金属化合物を供給する供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
化合物半導体デバイスの製造において、ＭＯＣＶＤ法（有機金属化学気相成長法）が一般に用いられる。ＭＯＣＶＤ法では、ガス化した有機金属化合物を長時間にわたって一定の濃度で安定して供給することが重要であり、有機金属化合物を安定して供給するのに供給装置が用いられる。
【０００３】
従来の供給装置の一例として、特許文献１に開示された供給装置がある。特許文献１に開示された供給装置は、キャリアガスの導入口および導出口を備えた容器と、容器内に充填された、常温で固体の有機金属化合物とを有している。有機金属化合物は、それに対して不活性な担体に担持させた後に破砕されて得られた、担体担持有機金属化合物の破砕物とされ、さらに、篩い分けによって粒径が０．８４ｍｍ未満の粉体が含まれないように構成されている。
【０００４】
特許文献１に記載の供給装置によれば、担体に担持させた有機金属化合物を破砕して得られた破砕物の粒径の最小値を上記のように制限することにより、有機金属化合物を長時間にわたって安定して供給できる。具体的には、特許文献１には、担体および有機金属化合物としてそれぞれヘリパックおよびトリメチルインジウムを用いて供給安定性テストを行った結果、破砕物の粒径の最小値を制限しなかった場合は、４５％の使用割合までしか有機金属化合物を安定して供給できなかったのに対し、破砕物の粒径を上記のように制限した場合は、７５％の使用割合まで有機金属化合物を安定して供給できることが記載されている。
【０００５】
しかしながら、上述した従来の供給装置では、破砕物を篩い分けして粒径を調節した場合は、篩い分けによって排除された有機金属化合物が無駄になり、その一方で、篩い分けをしなかった場合は、キャリアガスによって運ばれず容器内に残ってしまう有機金属化合物の割合が多く、いずれの場合も、総合的に見た有機金属化合物の利用効率には未だ改善の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２７７７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、有機金属化合物の総合的な利用効率を向上させる有機金属化合物の供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため本発明者らが鋭意検討した結果、有機金属化合物の担体として球状の担体を用いるとともに、キャリアガスを分散させる分散材を容器内に充填することにより、担体担持有機金属化合物の破砕物の粒径の最小値を制限しなくても、有機金属化合物を高い使用割合まで安定して供給できる場合があることを見出した。
【０００９】
本発明の供給装置は、常温で固体の有機金属化合物をキャリアガスに随伴させて供給する供給装置であって、
キャリアガスの導入口および導出口を備えた容器手段と、
前記容器手段に充填された有機金属化合物と、
前記容器手段に、前記キャリアガスの流れ方向において前記有機金属化合物の上流側に充填された、前記導入口から導入されたキャリアガスを分散させる分散材と、
を有し、
前記有機金属化合物は、球状担体に担持させた後に破砕して得られた、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含む破砕物として前記容器手段に充填されていることを特徴とする。
【００１０】
上記本発明の供給装置において、容器手段は、
導入口が上部に設けられ、破砕物が充填されたカラム型の第１容器と、
導出口が上部に設けられ、破砕物が充填されたカラム型の第２容器と、
第１容器の内部および第２容器の内部をその下端で連絡する連絡部材と、
を有していてもよい。
【００１１】
この場合、分散材は、第１容器の内部に充填されていることが好ましい。さらに、分散材は、破砕物の上に破砕物を覆って層状に充填されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、常温で固体の有機金属化合物を、破砕物の製造から、供給装置の稼働中における有機金属化合物の供給まで、有機金属化合物の総合的な利用効率を向上させることができる、工業的に好適な有機金属化合物の供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態による有機金属化合物の供給装置の模式的断面図である。
【図２】図１において各容器のサイズを同じにした有機金属化合物の供給装置の模式的断面図である。
【図３】図１において充填口をガス導入管と別にした有機金属化合物の供給装置の模式的断面図である。
【図４】単一の容器を有する有機金属化合物の供給装置の模式的断面図である。
【図５】単一の容器を有する有機金属化合物の供給装置の他の例の模式的断面図である。
【図６】実施例２の安定供給テストによって得られた、トリメチルインジウムの使用割合と供給量との関係のグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１を参照すると、本発明の一実施形態による有機金属化合物の供給装置が示される。供給装置は、互いに間隔をあけて並列に配置されたカラム型の２つの容器１ａ、１ｂと、容器１ａ、１ｂの下端で２つの容器１ａ、１ｂの内部を連絡する連通管５とを有している。
【００１５】
一方の容器１ａの上端部には、容器１ａ内にキャリアガスを導入するためのガス導入口を構成するガス導入管２が取り付けられている。他方の容器１ｂの上端部には、容器１ｂ内のガスを外部へ導出するためのガス導出口を構成するガス導出管３が取り付けられている。
【００１６】
各容器１ａ、１ｂの内部には、常温で固体の有機金属化合物を担体に担持させた後に破砕することによって得られた、担体担持有機金属化合物の破砕物１０が充填されている。さらに、ガス導入管２が取り付けられた側の容器１ａの内部には、ガス導入管２から導入されたキャリアガスを容器１ａ内で分散させるための分散材１１が、破砕物１０の上に充填されている。つまり、容器１ａには、破砕物１０および分散材１１が、容器１ａの底部からこの順番に充填され、分散材１１は、容器１ａの内部でのキャリアガスの流れ方向において破砕物１０の上流側に充填されている。分散材１１は、多数の部材の集合体であり、各部材間に隙間を有して容器１ａ内に充填される。
【００１７】
容器１ａ、１ｂの外部において、ガス導入管２およびガス導出管３の中間部には、充填口４が設けられている。充填口４は開閉可能に構成されており、充填口４を開くことにより、一方の容器１ａの内部に破砕物１０および分散材１１を充填でき、他方の容器１ｂの内部に破砕物１０を充填できる。
【００１８】
容器１ａへの破砕物１０および分散材１１の充填には、一般的に行なわれている公知の方法を利用することができる。例えば、不活性ガスの雰囲気にて、充填口からそのまま破砕物１０および分散材１１をこの順番で容器１ａ内に投入することによって、破砕物１０および分散材１１を容器１ａ内に充填することができる。容器１ｂへの破砕物１０の充填も、これと同様に行なうことができる。
【００１９】
ガス導入管２から容器１ａ内に導入されるキャリアガスは、容器１ａ、１ｂ内に充填された破砕物１０および分散材１１に対して不活性なものであれば特に限定されず、例えば、アルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガス、水素ガスを使用することができる。なお、これらのキャリアガスは、単独で使用してもよいし、二種以上を混合して使用してもよい。
【００２０】
本発明において使用する常温で固体の有機金属化合物としては、例えば、tert-ブチルリチウム等のリチウム化合物；トリメチルインジウム、ジメチルクロロインジウム、シクロペンタジエニルインジウム、トリメチルインジウム・トリメチルアルシンアダクト、トリメチルインジウム・トリメチルホスフィンアダクト等の有機インジウム化合物；エチルヨウ化亜鉛、エチルシクロペンタジエニル亜鉛、シクロペンタジエニル亜鉛等の有機亜鉛化合物；メチルジクロロアルミニウム、トリフェニルアルミニウム等の有機アルミニウム化合物；メチルジクロロガリウム、ジメチルクロロガリウム、ジメチルブロモガリウム等の有機ガリウム化合物；ビス(シクロペンタジエニル)マグネシウム等のマグネシウム化合物；トリフェニルビスマス等のビスマス化合物；ビス(シクロペンタジエニル)マンガン等のマンガン化合物；フェロセン等の鉄化合物；ビス(アセチルアセトナト)バリウム、ジピバロイルメタナトバリウム・1,10-フェナントロリンアダクト等のバリウム化合物；ビス(アセチルアセトナト)ストロンチウム、ジピバロイルメタナトストロンチウム等のストロンチウム化合物；ビス(アセチルアセトナト)銅、ジピバロイルメタナト銅等の銅化合物；ビス(アセチルアセトナト)カルシウム、ジピバロイルメタナトカルシウム等のカルシウム化合物；ジピバロイルメタナトイットリビウム等のイットリビウム化合物が挙げられる。なお、本発明の供給装置は、有機金属化合物以外にも、金属を含まない有機化合物、金属を含む又は含まない無機化合物にも適用できる場合がある。
【００２１】
破砕物１０は、有機金属化合物に対して不活性な担体に担持させた後に破砕されることによって形成されている。よって、容器１ａ、１ｂに充填される破砕物１０は、破砕によって、担体に担持されたままの有機金属化合物および担体から脱落した有機金属化合物の両方を含んでいる。本発明では、これらを個々に区別せず、実際に担体に担持されている有機金属化合物だけでなく、担体から脱落し実際には担体に担持されていない有機金属化合物も含めて、全体として破砕物１０という。
【００２２】
破砕物１０は、破砕によって様々なサイズとされ、その粒径は特に制限されない。ただし、キャリアガスとの良好な接触を確保するためには、粒径は、６．０ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは４．７６ｍｍ以下である。特に本発明では、容器１ａ、１ｂに充填された破砕物１０は、粒径が０．８４ｍｍ未満の破砕物１０を含んでいる。破砕物１０における、粒径が０．８４ｍｍ未満のものの割合は特に制限されないが、粒径が０．８４ｍｍ以上のもの１ｇに対して、好ましくは１ｇ以下、より好ましくは０．５ｇ以下である。
【００２３】
有機金属化合物を担持する一般的な担体としては、アルミナ球、ヘリパック、スポンジチタン、ディクソンパッキンなどが知られている。本発明では、少なくとも球状担体が用いられる。球状担体の種類には、ジルコニア球、アルミナ球、テフロン（登録商標）球、ステンレス球、ガラス球、鉄球、窒化珪素球、炭化珪素球、真鍮球、アルミ球、チタン球等が挙げられる。なお、アルミナ製の担体を用いる場合、アルミナの種類にはα−アルミナとγ−アルミナがあるが、本発明においてはα−アルミナを好ましく用いることができる。球状担体の直径は特に制限されないが、好ましくは０．１ｍｍ〜４．０ｍｍ、より好ましくは０．３ｍｍ〜２．０ｍｍである。また、球状担体は、非球状担体と混合してもよい。非球状担体に対する球状担体の容積比は特に制限されないが、好ましくは１以上である。また球状担体は均一なサイズであってもよいし、二種以上のサイズであってもよい。破砕物１０中の、担体１ｍｌに対する有機金属化合物の量の比は、特に制限されないが、好ましくは０．８〜２．５ｇ、より好ましくは０．９〜２．０ｇである。
【００２４】
本発明において使用する分散材１１は、容器１ａ内に一緒に充填される破砕物１０に対して不活性な材料で形成されることが好ましい。このような材料としては、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、グラッシーカーボン、グラファイト、チタン酸カリ、スポンジチタン、石英、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化ケイ素、ステンレス、アルミニウム、ニッケル、チタン、タングステン、フッ素樹脂、ガラス、ジルコニア、鉄等が挙げられる。なお、これらの材料は、単独または二種以上を混合して使用してもよい。また、分散材１１を構成する個々の部材の形状は特に限定されず、例えば、不定形状、球状、多面体状、繊維状、網状、スプリング状、コイル状、円筒状等のものを使用することができる。これらのうち、球状の部材を用いることが、分散材１１を容器１ａに充填したときに各部材間の隙間で形成されるキャリアガスの流路を一様に分散させることができるため好ましい。例えば球状の場合、分散材１１のサイズは、充填口４から容器１ａに入るサイズであれば特に制限されないが、好ましくは直径０．１〜８．０ｍｍ、より好ましくは直径０．１〜６．０ｍｍである。また、分散材１１のサイズは均一なサイズであってもよいし、二種以上のサイズであってもよい。
【００２５】
容器１ａへの分散材１１の充填量は、ガス導入管２から容器１ａ内に導入されたキャリアガスを破砕物１０と接触する前に分散させることができるように、容器１ａのサイズ等に応じて適宜決定することができる。すなわち、容器１ａ内に充填された分散材１１の層の高さが好ましくは５〜２００ｍｍ、より好ましくは５〜１５０ｍｍとなるように充填する。
【００２６】
本実施形態の供給装置は、上記のように容器１ａ内に破砕物１０および分散材１１を充填し、かつ容器１ｂ内に破砕物１０を充填した状態で、ガス導入管２をキャリアガス源に接続するとともに、ガス導出管３を例えば気相成長装置に接続して使用される。
【００２７】
供給装置が一定の温度に保持された状態でキャリアガス源から供給装置にキャリアガスが導入される。導入されたキャリアガスは、ガス導入管２→容器１ａ→連通管５→容器１ｂ→ガス導出管３という経路を通って気相成長装置へ供給される。
【００２８】
供給装置内でのキャリアガスの流れの過程で、容器１ａに導入されたキャリアガスは、まず、分散材１１と接触する。分散材１１は、上記のように多数の部材の集合体であって、各部材間に隙間を有しているので、分散材１１と接触したキャリアガスは、各部材間の隙間によって形成される多数の流路を通って容器１ａの底部へ向かって流れ、広い範囲で破砕物１０と接触する。このようにしてキャリアガスが分散材１１を通過することによってキャリアガスの流れは分散材１１で分散されるので、キャリアガスを破砕物１０に、容器１ａの横断面のほぼ全体にわたって均一に接触させることができる。よって、キャリアガスは破砕物１０と効率よく接触し、気化した有機金属化合物をキャリアガスで良好に運ぶことができる。
【００２９】
このような分散材１１によるキャリアガスの分散をより効果的に発揮させるためには、分散材１１は、図１に示すように、破砕物１０を上から覆って層状になるように容器１ａ内に充填されることが好ましい。
【００３０】
分散材１１の層を通過したキャリアガスは、破砕物１０の層を通過して容器１ａの底部に達した後、連通管を通って容器１ｂに導入され、容器１ｂ内を上昇しながら、容器１ｂ内に充填されている破砕物１０の層を通過する。このキャリアガスの一連の流れの中でキャリアガスが破砕物１０中の有機金属化合物と接触することにより、有機金属化合物はキャリアガスによって運び去られ、消費される。キャリアガスによって運び去られた有機金属化合物は、キャリアガスとともに容器１ｂのガス導出管３から導出され、気相成長装置へ供給される。
【００３１】
従来は、破砕物１０の中に粒径が０．８４ｍｍ未満の粉体が存在しているとキャリアガスの流れに対する圧損が大きくなるため、破砕物１０の層の中に特定の流路が形成されてキャリアガスの偏流が起こりやすかった。しかし、本発明のように、担体として球状担体を用いるとともに、容器内に導入されたキャリアガスを分散させる分散材を容器内に充填することにより、粒径が０．８４ｍｍ未満の粉体が存在していたとしても、破砕物１０の層の中に特定の流路が形成されにくく、破砕物１０とキャリアガスとの接触効率を向上させることができる。その結果、容器１ａ、１ｂに充填された有機金属化合物を、破砕物１０の粒径を制限した場合と同等、あるいはそれ以上の高い使用割合まで安定して気相成長装置へ供給することができる。
【００３２】
その理由は定かではないが、ガラス容器を用いて破砕物１０の消費過程（図示しない）を観察したところ、球状の担体は、破砕物１０の層の中で比較的自由に移動していた。そのため、有機金属化合物の消費に応じて形成される破砕物１０の隙間に担体が移動して、特定の流路の形成が抑制されるためであると考えられる。一方、スポンジチタンのような非球状担体のみを用いた場合、球状担体と比較し担体が移動し難い様子で、破砕物１０の層の中に特定の流路が形成され、キャリアガスの偏流が起きていた。
【００３３】
さらに、本形態では、粒径が０．８４ｍｍ未満の破砕物１０を篩い分けしていないため、破砕物１０を得るために用いた有機金属化合物のほぼ全てを利用でき、有機金属化合物の無駄は殆どない。
【００３４】
以上のように、本実施形態によれば、破砕物１０の製造時においては、有機金属化合物を有効に利用でき、さらに、供給装置の稼働中においては、容器１ａ、１ｂ内に充填する破砕物１０の粒径を制限した場合と比較して同等またはそれ以上の使用割合まで有機金属化合物を安定して供給できる。よって、破砕物１０の製造から、供給装置の稼働中における有機金属化合物の供給まで、有機金属化合物の総合的な利用効率を向上させることができる。
【００３５】
以上、代表的な実施形態を示すことによって本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で種々の変更を加えることができる。
【００３６】
例えば、容器１ａ、１ｂの形状は、カラム型であれば、例えば、円筒形、三角筒形、四角筒形、六角筒形等、任意の形状とすることができ、これらの中でも、円筒形の容器１ａ、１ｂが好ましく使用される。２つの容器１ａ、１ｂの形状は同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。
【００３７】
２つの容器１ａ、１ｂの総容量は、特に制限されないが、実用性を考慮すると、１０〜５０００ｍｌの範囲内であることが好ましく、より好ましくは１０〜３０００ｍｌの範囲内、特に好ましくは２５〜１０００ｍｌである。各容器１ａ、１ｂの容量は、図１に示す例では互いに異なっているが、図２に示すように、互いに同じであってもよい。各容器１ａ、１ｂの容量が互いに異なる場合、有機金属化合物を長時間にわたってより安定して供給するためには、図１に示すように、キャリアガスが導入される側の容器１ａ、すなわちガス導入管２が設けられている容器１ａの容量を、ガス導出管３が設けられている容器１ｂの容量よりも大きくすることが望ましい。さらに、ガス導出管３が設けられている容器１ｂの容量に対する、ガス導入管２が設けられている容器１ａの容量の比は、１〜８０であることが好ましく、より好ましくは１〜４０である。
【００３８】
キャリアガスは、容器１ａ、１ｂの内部を、主として容器１ａ、１ｂの軸方向に流通する。そのため、容器１ａ、１ｂ内を流通するキャリアガスが容器１ａ、１ｂ内で有機金属化合物と効率よく接触できるように、容器１ａ、１ｂの内寸は、直径に対する高さの割合が、０．８〜１０．０であることが好ましく、より好ましくは１．２〜１０．０である。この値は、容器１ａ、１ｂが円筒形である場合を想定しているが、円筒形でない場合は、横断面積から、その横断面積と等しい面積となる円形の直径で考えてもよい。
【００３９】
容器１ａ、１ｂの縦横比を上記の範囲とすることにより、キャリアガスが有機金属化合物と効率よく接触しないまま通過してしまうガス流路の形成をより抑制することができ、さらに安定した有機金属化合物の供給量を維持することができる。
【００４０】
連通管５は、２つの容器１ａ、１ｂの内部を、両者間でガスが流通できるように連絡するものであれば、その形状や構造は特に制限されない。例えば、１本の直管を折り曲げることによって、２つの容器１ａ、１ｂを下端で連絡できる所定の形状に形成したもの、複数本の直管を所定の形状となるように繋ぎ合せたもの、およびＵ字形の管材などを連通管５として用いることができる。連通管５の設計上の観点からは、連通管５を直管で構成することが望ましい。
【００４１】
連通管５の長さは特に制限されず、２つの容器１ａ、１ｂのサイズや配置等に応じて適宜設計することができる。また、連通管５の直径についても、容器１ａ、１ｂとの接続部において容器１ａ、１ｂの断面積に比べて連通管５の断面積が小さければ特に制限されない。
【００４２】
ガス導入管２およびガス導出管３は、それぞれ容器１ａ、１ｂの上端部に位置していれば、形状、サイズ、および容器１ａ、１ｂに対する取り付け角度等は特に制限されない。
【００４３】
また、上述した実施形態では、充填口４がガス導入管２およびガス導出管３の中間部に設けられている例を示したが、例えば図３に示すように、容器１ａの充填口４を、ガス導入管２とは別に設けることもできる。また、図示しないが、容器１ｂの充填口４をガス導出管３とは別に設けたり、両方の容器１ａ、１ｂの充填口４をガス導入管２およびガス導出管３とは別に設けたりすることもできる。
【００４４】
さらに、上述した実施形態では、２つの容器１ａ、１ｂが互いに離れて配置されている例を示したが、互いに接して配置されていてもよい。容器１ａ、１ｂの互いの位置関係についても、上述した実施形態では２つの容器１ａ、１ｂが並列に配置されている例を示したが、２つの容器１ａ、１ｂの下端同士が連結されていれば互いの位置関係は特に限定されない。
【００４５】
破砕物１０が充填される容器手段は、上述した実施形態では２つの容器１ａ、１ｂを下端部で互いに連結した構造を有するものを示した。しかし、容器手段の構造は、例えば図４および図５に示すような、この種の供給装置に一般に用いられる任意の構造を採用することもできる。
【００４６】
図４に示す供給装置は、破砕物１１０を充填した単一の容器１０１を有している。容器１０１の上端部には、容器１０１内にキャリアガスを導入するためのガス導入口を構成するガス導入管１０２が取り付けられており、一方、容器１０１の下端部には、容器１０１内のガスを外部へ導出するためのガス導出口を構成するガス導出管１０３が取り付けられている。容器１０１の内部には、常温で固体の有機金属化合物を担体に担持させた後に破砕することによって得られた破砕物１１０が充填され、さらにその上に、ガス導入管１０２から導入されたキャリアガスを容器１０１内で分散させるための分散材１１１が層状に充填されている。これら破砕物１１０および分散材１１１を容器１０１内に充填するための充填口１０４が、ガス導入管１０２の中間部に設けられている。図４に示した供給装置を用いても、担体担持有機金属化合物の破砕物として、球状担体に担持させた後に破砕して得られた、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含む破砕物を用いることで、前述したのと同様の効果が得られる。
【００４７】
図５に示す供給装置も、破砕物１１０を充填した、上部よりも下部が小径とされた単一の容器１０１を有しており、その上端部には、容器１０１内にキャリアガスを導入するためのガス導入管１０２と、キャリアガス導出用のガス導出管１０３と、破砕物１１０を容器１０１内に充填するための充填口１０４が取り付けられている。ただし、ガス導出管１０３は、容器１０１の内部において容器１０１の底部まで延びており、その下端部には分散器１０５として焼結金属製のフィルターが取り付けられている。分散器１０５は取り付けられていなくてもよい。図５に示す供給装置によれば、キャリアガスは、ガス導入管１０２を通って容器１０１の内部に供給され、容器１０１の内部を上方から下方へ向かって流れ、その間に、分散材１１１および破砕物１１０と順次接触する。容器１０１の下部に達したキャリアガスは、ガス導出管１０３に流入し、ガス流入管１０３を通って容器１０１の外部へ排出される。図５に示した供給装置を用いても、担体担持有機金属化合物の破砕物として、球状担体に担持させた後に破砕して得られた、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含む破砕物を用いることで、前述したのと同様の効果が得られる。
【実施例】
【００４８】
次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。なお、ガス導出管３より流出するトリメチルインジウムの濃度は、超音波式ガス濃度計（商品名；Piezocon（Lorex社製））で測定した。
【００４９】
（実施例１）
常温で固体の有機金属化合物としてトリメチルインジウム（以下、「ＴＭＩ」という）を用意するとともに、担体としてスポンジチタン（粒径：０．８４ｍｍ〜２．００ｍｍ（東邦チタニウム社製））とアルミナ球（α−アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）の２種類を用意した。内容積１６００ｍｌのステンレス製容器に、スポンジチタン１９ｇとアルミナ球３４ｇの混合物およびＴＭＩ５２ｇを入れ、ステンレス製容器をＴＭＩの融点以上である１０５℃まで加熱してＴＭＩを完全に融解させた。その後、ステンレス容器を室温まで冷却して、ＴＭＩをスポンジチタンとアルミナ球の混合物に担持させた。次いで、これをスパチュラ等のステンレス製の道具を用いて破砕し、破砕物の全量が４メッシュの篩を通過するようにさらに破砕し、粒径４．７６ｍｍ以下のスポンジチタン／アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物１０３ｇを得た。
【００５０】
ここで、得られた破砕物を２０メッシュの篩で篩い分けしたところ、そのうちの１５ｇが篩を通り、残りの８８ｇは篩を通らなかった。つまり、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを１５ｇ含み、それより大きい粒径のものを８８ｇ含んでいた。また、得られた破砕物中のＴＭＩの重量は５０ｇであり、担体に担持させる前にステンレス製容器に仕込んだＴＭＩの重量５２ｇに対する、供給装置に充填するＴＭＩの重量の割合（以下、「充填収率」という）は９６％であった。
【００５１】
得られた破砕物を、窒素雰囲気中にて、図１に示すように構成された供給装置の２つの容器１ａ、１ｂに充填口４より充填した。本実施例では、ＴＭＩの総量が５０ｇである、破砕物１０３ｇを、２つの容器１ａ、１ｂにそれぞれ７０ｇおよび３３ｇに分けて充填した。
【００５２】
供給装置としては、各容器１ａ、１ｂはともに円筒形状であり、キャリアガスが導入される側の容器１ａのサイズが、内径５５ｍｍ、高さ１３５ｍｍ、内容積３０２ｍｌであり、キャリアガスが導出される側の容器１ｂのサイズが、内径１７．５ｍｍ、高さ１３５ｍｍ、内容積３１ｍｌであるものを使用した。連通管５は、内径が７．５ｍｍの直管を組み合わせて構成した。容器１ａ、１ｂおよび連通管５ステンレス製とした。
【００５３】
破砕物の充填後、キャリアガスが導入される側の容器１ａのみに、分散材１１を１００ｍｌ充填した。分散材１１としては、アルミナ球（α―アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）を用いた。
【００５４】
供給装置を、常圧、３０℃に保った恒温槽内に取り付け、ガス導入管２よりキャリアガスとしてアルゴンガスを毎分３００ｍｌの流量で容器１ａ内に導入し、ガス導出管３より導出されるガス中の経時的なＴＭＩ濃度を測定することによって、ＴＭＩの安定供給テストを行なった。その結果、容器１ｂのガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時約０．４２ｇであり、供給速度は９１％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとして同様にＴＭＩの安定供給テストを行なったところ、ガス導出管３から得られたトリメチルインジウムの供給量は毎時約０．８４ｇであり、供給速度は８９％の使用割合まで安定していた。
【００５５】
（実施例２）
実施例１において、担体としてアルミナ球（α−アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）のみを用い、かつ、用いたアルミナ球およびＴＭＩの重量を変更した以外は実施例１と同様の方法でアルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を作製し、得られた破砕物を用いて実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行った。破砕物を作製するにあたり、用いたアルミナ球の重量は９４ｇ、アルミナ球に担持させるために仕込んだＴＭＩの重量は５２ｇとした。得られた破砕物の重量は１４４ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった。つまり、充填収率は９６％であった。また、得られた破砕物を２０メッシュの篩で篩い分けしたところ、そのうちの１９ｇが篩を通り、残りの１２５ｇは篩を通らなかった。つまり、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを１９ｇ含んでいた。また、破砕物は、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにそれぞれ１０７ｇおよび３７ｇに分けて充填した。
【００５６】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は９３％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は９１％の使用割合まで安定していた。実施例２の安定供給テストによって得られた、ＴＭＩの使用割合と供給量との関係のグラフを図６に示す。
【００５７】
（実施例３）
実施例２において、ＴＭＩの安定供給テストに用いた供給装置を変更した以外は実施例２と同様にして、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を作製し、得られた破砕物を用いて安定供給テストを行った。得られた破砕物の重量は１４４ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった（充填収率：９７％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００５８】
実施例３で用いた供給装置は、実施例１で用いた供給装置と構造および各部材の材質は同じであるが各容器１ａ、１ｂのサイズが異なっていた。各容器１ａ、１ｂは、ともに円筒形状で、キャリアガスが導入される側の容器１ａのサイズが、内径５５ｍｍ、高さ９０ｍｍ、内容積１９５ｍｌであり、キャリアガスが導出される側の容器１ｂのサイズが、内径１７．５ｍｍ、高さ９０ｍｍ、内容積２０ｍｌであった。容器１ａ、１ｂのサイズが異なることに伴い、２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を１２１ｇおよび２３ｇに分けて充填した。
【００５９】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４１ｇであり、供給速度は９１％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８２ｇであり、供給速度は８８％の使用割合まで安定していた。
【００６０】
（実施例４）
実施例２において、ＴＭＩの安定供給テストに用いた供給装置を変更した以外は実施例２と同様にして、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を作製し、得られた破砕物を用いて安定供給テストを行った。得られた破砕物の重量は１４４ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった（充填収率：９５％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００６１】
実施例４で用いた供給装置は、実施例１で用いた供給装置と構造および各部材の材質は同じであるが各容器１ａ、１ｂのサイズが異なっていた。各容器１ａ、１ｂは、ともに円筒形状で、キャリアガスが導入される側の容器１ａのサイズが、内径５５ｍｍ、高さ１００ｍｍ、内容積２１９ｍｌであり、キャリアガスが導出される側の容器１ｂのサイズが、内径２３ｍｍ、高さ１００ｍｍ、内容積３９ｍｌであった。容器１ａ、１ｂのサイズが異なることに伴い、２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を１０６ｇおよび３８ｇに分けて充填した。
【００６２】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は９２％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は９０％の使用割合まで安定していた。
【００６３】
（実施例５）
実施例１において、担体であるスポンジチタンおよびアルミナ球の重量をそれぞれ３８ｇおよび６９ｇとし、それらに担持させるために仕込んだＴＭＩの重量を１０２ｇとした以外は実施例１と同様な方法にて、スポンジチタン／アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は２０７ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は１００ｇであった（充填収率：９８％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００６４】
次いで、得られた破砕物を用い、実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、実施例５では、得られた破砕物の重量が２０７ｇであったことに伴い、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を１７２ｇおよび３５ｇに分けて充填した。
【００６５】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４１ｇであり、供給速度は９４％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８２ｇであり、供給速度は９２％の使用割合まで安定していた。
【００６６】
（実施例６）
実施例５において、担体としてアルミナ球（α−アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）のみを用い、用いたアルミナ球の重量を１８８ｇとするとともに、アルミナ球に担持させるために仕込んだＴＭＩの重量を１０３ｇとした以外は、実施例５と同様な方法にて、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は２８８ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は１００ｇであった（充填収率：９７％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００６７】
次いで、得られた破砕物を用い、実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、実施例６では、得られた破砕物の重量が２８８ｇであったことに伴い、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を２５２ｇおよび３６ｇに分けて充填した。
【００６８】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は９５％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は９３％の使用割合まで安定していた。
【００６９】
（実施例７）
実施例６において、用いたアルミナ球の重量を５６４ｇとするとともに、アルミナ球に担持させるために仕込んだＴＭＩの重量を３０６ｇとし、ＴＭＩの安定供給テストに用いた供給装置を変更した以外は、実施例６と同様な方法にて、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は８６４ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は３００ｇであった（充填収率：９８％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００７０】
実施例７で用いた供給装置は、実施例１で用いた供給装置と各部材の材質は同じであるが、図３に示すように、各容器１ａ、１ｂのサイズが異なるとともに、容器１ａの充填口４がガス導入管２とは別に設けてある構造であった。各容器１ａ、１ｂは、ともに円筒形状で、キャリアガスが導入される側の容器１ａのサイズが、内径８３ｍｍ、高さ１３５ｍｍ、内容積６９０ｍｌであり、キャリアガスが導出される側の容器１ｂのサイズが、内径２３ｍｍ、高さ１３５ｍｍ、内容積５３ｍｌであった。また、容器１ａの内部において、ガス導入管２の下方に、中央部が凹んだコーン形状の邪魔板で構成される分散器（不図示）を配置した。容器１ａ、１ｂのサイズが異なることに伴い、２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を８０２ｇおよび６２ｇに分けて充填した。
【００７１】
破砕物の充填後、キャリアガスが導入される側の容器１ａのみに、分散材１１を１５０ｍｌ充填した。分散材１１としては、アルミナ球（α―アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）を用いた。
【００７２】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は８９％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は８７％の使用割合まで安定していた。
【００７３】
（実施例８）
実施例２において、担体としてガラス球（直径：０．５ｍｍ）のみを用い、用いたガラス球の重量を６１ｇとした以外は、実施例２と同様な方法にて、ガラス球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は１１１ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった（充填収率：９６％）。また、得られた破砕物を２０メッシュの篩で篩い分けしたところ、そのうちの１８ｇが篩を通り、残りの９３ｇは篩を通らなかった。つまり、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを１８ｇ含んでいた。
【００７４】
次いで、得られた破砕物を用い、実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、実施例８では、得られた破砕物の重量が１１１ｇであったことに伴い、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を８３ｇおよび２８ｇに分けて充填した。破砕物の充填後、キャリアガスが導入される側の容器１ａのみに、分散材１１を１００ｍｌ充填した。分散材１１としては、ガラス球（直径：０．５ｍｍ）を用いた。
【００７５】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は９０％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は８７％の使用割合まで安定していた。
【００７６】
（実施例９）
実施例２において、用いたアルミナ球の重量を６０ｇ、アルミナ球に担持させるために仕込んだＴＭＩの重量を３１ｇとした以外は、実施例２と同様な方法にて、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は９０ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は３０ｇであった（充填収率：９７％）。また、得られた破砕物は粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００７７】
次いで、破砕物を用い、温度を２５℃とした以外は実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行なった。ただし、実施例９では、図４に示すような、円筒部と、その下方で漏斗状に形成されたコーン部とを有する単一の容器１０１を用いた。具体的な寸法は、円筒部は高さが９６ｍｍ、内径が４６ｍｍ、コーン部は高さが３２ｍｍ、上端での内径が４６ｍｍ、下端での内径が１６ｍｍであり、容器１０１の全体での内容積が１９２ｍｌであった。容器１０１には、９０ｇの破砕物を充填した。破砕物の充填後、容器１０１に分散材１１１を７９ｍｌ充填した。分散材１１１としては、アルミナ球（α―アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）を用いた。
【００７８】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．６４ｇであり、供給速度は８４％の使用割合まで安定していた。なお、本実施例では、アルゴンガス供給量を毎分３００ｍｌとしたときの安定供給テストは行なわなかった。
【００７９】
（実施例１０）
実施例９において、担体をガラス球（直径：０．５ｍｍ）４０ｇとした以外は、実施例９と同様な方法にて、ガラス球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は７０ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は３０ｇであった（充填収率：９７％）。また、得られた破砕物を２０メッシュの篩で篩い分けしたところ、得られた破砕物は粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００８０】
次いで、得られた破砕物および分散材を、実施例９で用いた単一の容器１０１（図４参照）に充填し、実施例９と同様にＴＭＩの安定供給テストを行なった。容器１０１への破砕物の充填量は７０ｇとした。また、分散材１１１としては、ガラス球（直径：０．５ｍｍ）を用い、その充填量は７９ｍｌとした。
【００８１】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．６４ｇであり、供給速度は８７％の使用割合まで安定していた。
【００８２】
（実施例１１）
実施例２において、ＴＭＩの安定供給テストに用いた供給装置を変更した以外は実施例２と同様にして、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を作製し、得られた破砕物を用いて安定供給テストを行なった。得られた破砕物の重量は１４５ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった（充填収率：９７％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００８３】
安定供給テストには、図５に示したような、単一の容器１０１を有する供給装置を用いた。用いた容器１０１は上部よりも下部の直径が小さく、上部の内径は６９ｍｍ、下部の内径は２０ｍｍ、高さ１５４ｍｍ、内容積３００ｍｌであった。また、容器１０１の下部に配置される分散器１０５は、ステンレス製で、孔径は９０μｍであった。容器１０１への破砕物の充填量は１４５ｇとし、分散材としてはアルミナ球（α―アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）を用い、その充填量は１５０ｍｌとした。
【００８４】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４４ｇであり、供給速度は８８％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８８ｇであり、供給速度は８７％の使用割合まで安定していた。
【００８５】
（比較例１）
実施例１において、担体としてスポンジチタン（粒径：０．８４ｍｍ〜２．００ｍｍ、東邦チタニウム社製）のみを用いるとともに、４メッシュの篩で篩い分けして得られたスポンジチタン担持ＴＭＩの破砕物をさらに２０メッシュの篩で篩い分けし、篩を通った粒径０．８４ｍｍ未満の破砕物を除去した以外は実施例１と同様な方法でスポンジチタン担持ＴＭＩの破砕物を得た。用いたスポンジチタンの重量は７５ｇ、スポンジチタンに担持させるために仕込んだＴＭＩの重量は６２ｇであり、得られた破砕物は、粒径０．８４ｍｍ〜４．７６ｍｍ、重量１２５ｇであった。また、破砕物中のＴＭＩの重量は５０ｇ（充填収率：８１％）であった。
【００８６】
次いで、得られた破砕物を用い、実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、比較例１では、得られた破砕物の重量が１２５ｇであったことに伴い、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を９２ｇおよび３３ｇに分けて充填した。
【００８７】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４２ｇであり、供給速度は９１％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８４ｇであり、供給速度は８９％の使用割合まで安定していた。
【００８８】
（比較例２）
比較例１において、担体をアルミナ球（α−アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）に変更し、その重量を１０８ｇとするとともに、アルミナ球に担持させるために仕込んだＴＭＩの重量を６６ｇとした以外は比較例１と同様にして、粒径０．８４ｍｍ〜４．７６ｍｍのアルミナ球担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は１４８ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇ（充填収率：７６％）であった。
【００８９】
次いで、得られた破砕物を用い、実施例１と同様にしてＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、比較例２では、得られた破砕物の重量が１４８ｇであったことに伴い、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂには破砕物をそれぞれ１１１ｇおよび３７ｇに分けて充填した。
【００９０】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は９３％の使用割合まで安定していた。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は９１％の使用割合まで安定していた。
【００９１】
（比較例３）
実施例２において、アルミナ球担持ＴＭＩの破砕物の充填後、キャリアガスが導入される側の容器１ａに、分散材を充填しなかった以外は、実施例２と同様な方法にしてＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、比較例３では、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を１０６ｇおよび３８ｇに分けて充填した。
【００９２】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４３ｇであり、供給速度は８２％の使用割合までしか安定していなかった。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８６ｇであり、供給速度は８０％の使用割合までしか安定していなかった。
【００９３】
（比較例４）
実施例２において、担体としてスポンジチタン（粒径：０．８４ｍｍ〜２．００ｍｍ（東邦チタニウム社製））のみを用い、用いたスポンジチタンの重量を５４ｇとした以外は実施例２と同様な方法にて、スポンジチタン担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は１０４ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった（充填収率：９６％）。また、得られた破砕物を２０メッシュの篩で篩い分けしたところ、そのうちの１０ｇが篩を通り、残りの９４ｇは篩を通らなかった。つまり、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを１０ｇ含んでいた。
【００９４】
次いで、得られた破砕物を用い、実施例１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行った。ただし、比較例４では、得られた破砕物の重量が１０４ｇであったことに伴い、供給装置の２つの容器１ａ、１ｂにはそれぞれ破砕物を７１ｇおよび３３ｇに分けて充填した。
【００９５】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４４ｇであり、供給速度は７８％の使用割合までしか安定していなかった。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８８ｇであり、供給速度は７２％の使用割合までしか安定していなかった。
【００９６】
（比較例５）
比較例４において、スポンジチタン担持ＴＭＩの破砕物の充填後、キャリアガスが導入される側の容器１ａに、分散材を充填しなかった以外は、比較例４と同様にしてＴＭＩの安定供給テストを行った。
【００９７】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４２ｇであり、供給速度は６５％の使用割合までしか安定していなかった。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８４ｇであり、供給速度は６２％の使用割合までしか安定していなかった。
【００９８】
（比較例６）
比較例４において、ＴＭＩの重量を３１ｇとし、担体であるスポンジチタンの重量を３５ｇとした以外は比較例４と同様な方法にて、スポンジチタン担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は６５ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は３０ｇであった（充填収率：９７％）。また、得られた破砕物は粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【００９９】
次いで、得られた破砕物および分散材を、実施例９で用いた単一の容器１０１（図４参照）に充填し、実施例９と同様にＴＭＩの安定供給テストを行なった。容器１０１への破砕物の充填量は６５ｇとした。また、分散材１１１としては、アルミナ球（α―アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）を用い、その充填量は７９ｍｌとした。
【０１００】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．６０ｇであり、供給速度は６７％の使用割合までしか安定していなかった。
【０１０１】
（比較例７）
実施例１１において、担体としてスポンジチタン（粒径：０．８４ｍｍ〜２．００ｍ、東邦チタニウム社製）を用いた以外は実施例１１と同様な方法にて、スポンジチタン担持ＴＭＩの破砕物を得た。得られた破砕物の重量は１０３ｇであり、そのうちのＴＭＩの重量は５０ｇであった（充填収率：９６％）。また、得られた破砕物は、粒径が０．８４ｍｍ未満のものを含んでいた。
【０１０２】
次いで、得られた破砕物および分散材を、実施例１１で用いた単一の容器１０１を有する供給装置（図５参照）に充填し、実施例１１と同様にＴＭＩの安定供給テストを行なった。容器１０１への破砕物の充填量は１０３ｇとした。また、分散材としては、アルミナ球（α―アルミナ製、直径：０．５ｍｍ）を用い、その充填量は１５０ｍｌとした。
【０１０３】
ＴＭＩの安定供給テストの結果、アルゴンガスの供給量を毎分３００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．４４ｇであり、供給速度は７４％の使用割合までしか安定していなかった。また、アルゴンガスの供給量を毎分６００ｍｌとしたときは、ガス導出管１０３から得られたＴＭＩの供給量は毎時０．８８ｇであり、供給速度は７０％の使用割合までしか安定していなかった。
【０１０４】
上述の実施例１〜１１および比較例１〜７の主要なテスト条件およびテスト結果を表１にまとめる。
【０１０５】
【表１】
2010248628.tif 000003
【０１０６】
表１より、実施例１〜１１は、比較例１〜２と比較して、ＴＭＩの安定使用割合が同等でありながら、充填収率が１０％以上も向上しており、有機金属化合物の総合的な利用効率が向上していることがわかる。また、比較例３〜７は、実施例１〜１１と同等の充填収率を達成しているが、ＴＭＩの安定使用割合が実施例１〜１１と比較して大きく低下している。
【符号の説明】
【０１０７】
１ａ、１ｂ、１０１    容器
２、１０２    ガス導入管
３、１０３    ガス導出管
４、１０４    充填口
５    連通管
１０、１１０    有機金属化合物
１１、１１１    分散材
１０５    分散器
【図１】
2010248628.tif 000004
【図２】
2010248628.tif 000005
【図３】
2010248628.tif 000006
【図４】
2010248628.tif 000007
【図５】
2010248628.tif 000008
【図６】
2010248628.tif 000009