(57)【要約】【課題】塗布膜の品質を低下させる塗布液の固形物ができ難く、その固形物を除去することができる塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置は、（ａ）凹部１３３ａと開口部１３３ｂとが形成されており、ノズル１１３を構成する他の部品から独立して回転可能なマニホールド１３３と、（ｂ）マニホールド１３３を回転させて、凹部１３３ａと開口部１３３ｂとのいずれかをスリット１４１に合わせる駆動装置（不図示）とを備え、（ｃ）凹部１３３ａが、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだマニホールド１３３の部分であり、（ｄ）開口部１３３ｂが、外側から内側まで貫通したマニホールド１３３の部分であり、（ｅ）マニホールド１３３が、充填工程と循環工程とにおいて、スリット１４１に凹部１３３ａを合わせるように回転して、塗布工程において、スリット１４１に開口部１３３ｂを合わせるように回転する。【選択図】図２
2010253328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エクストルージョン型のノズルを使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記ノズルにおいて塗布液が供給される部品であって、凹部と開口部とが形成されており、前記ノズルを構成する他の部品から独立して移動可能な管と、
前記管を移動させて、前記凹部と前記開口部とのいずれかを前記ノズルの吐出口に合わせる駆動装置とを備え、
前記凹部が、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだ前記管の部分であり、
前記開口部が、前記凹部に平行して管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通した前記管の部分であり、
前記管が、前記管に塗布液を充填するときと、前記管に残留する塗布液を排出するときとに、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせるように移動して、前記ノズルの吐出口から塗布液を吐出するときに、前記ノズルの吐出口に前記開口部を合わせるように移動する
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、
前記凹部に浄化ガスを供給する浄化ガス供給装置と、
前記洗浄液供給装置から供給される洗浄液と、前記浄化ガス供給装置から供給される浄化ガスとのいずれかに、前記凹部に供給される流体を切り替える切替弁とを備える
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記凹部である第１の凹部とは別に、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだ第２の凹部が前記管に形成されており、
前記第１の凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、
前記第２の凹部に浄化ガスを供給する浄化ガス供給装置とを備える
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記ノズルにおいて前記管を保持する部品であって、前記管が設置される空間が形成されており、前記ノズルの吐出口とは別に、前記空間から前記ブロックの外部に繋がる貫通穴が前記ブロックに形成されたブロックを備え、
前記開口部である第１の開口部とは別に、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通した第２の開口部が前記管に形成されており、
前記管が、前記管の内部に混入しているエアを排出するときに、前記ノズルの吐出口に前記凹部と前記第１の開口部とを合わせずに前記貫通穴に前記第２の開口部を合わせるように移動する
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項５】
エクストルージョン型のノズルを使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法であって、
前記ノズルにおいて塗布液が供給される部品であって、凹部と開口部とが形成されており、前記ノズルを構成する他の部品から独立して移動可能な管を回転させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記管に塗布液を供給して、前記管に塗布液を充填する充填工程と、
前記管を回転させて、前記ノズルの吐出口に前記開口部を合わせた状態で、前記管に塗布液を供給して、前記管に充填された塗布液を前記ノズルの吐出口から吐出する塗布工程と、
前記管を回転させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記管に塗布液を供給して、前記管に残留する塗布液を排出する循環工程とを含む
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
前記管を移動させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記凹部に洗浄液を供給して、前記ノズルの吐出口を洗浄する洗浄工程を含む
ことを特徴とする請求項５に記載の塗布方法。
【請求項７】
前記管を移動させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記凹部に圧縮空気を供給して、前記ノズルの吐出口付近に残留する塗布液を排出する排出工程を含む
ことを特徴とする請求項５に記載の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉状の被塗布物や連続して走行する帯状の被塗布物などの表面に塗布液を塗布する塗布装置に関するものであり、特に、ディスプレイパネルや電池極板などの製造に使用されるエクストルージョン型の塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイパネルや電池極板などの製造において、エクストルージョン型の塗布装置が使用されている。ここで、エクストルージョン型の塗布装置（以下、単に、塗布装置と略称する。）は、粒子を分散させた塗布液を、エクストルージョン型ノズル（以下、単に、ノズルと略称する。）で、被塗布物の表面に塗布する装置である。下記（１），（２）に示す長所を有する。
【０００３】
（１）塗布の直前まで塗布液が空気にさらされないので、塗布膜の品質が安定する。
（２）基本的に必要量の塗布液だけ吐出されるので、ロスの少ない塗布が可能である。
ただし、塗布を行わないときや分離し易い粒子が入った塗布液を使用するときは、ノズルの内部に残留する塗布液を流動させる必要がある。これに対して、ノズルの内部に残留する塗布液を流動させる塗布装置がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
具体的には、図１７、図１８に示すように、塗布装置１０は、被塗布物の表面に塗布液を塗布する装置である。塗布液が貯えられるタンク１１と、例えば、定量ポンプのように、安定した送液が可能なポンプ１２と、ポンプ１２から送液された塗布液を吐出するノズル１３と、ノズル１３の先端に押し当てられるロール１４とを備える。
【０００５】
ここで、図１８については、ノズル１３の内部構造を見易くするために、図１７における切断線Ａ−Ａでノズル１３とロール１４とを切断して、矢印方向からノズル１３とロール１４との断面を見たものを含む状態で表示している。すなわち、ノズル１３とロール１４との上側を除去した状態で表示している。
【０００６】
また、塗布装置１０は、塗布待機時のように、塗布が行われないときは、ノズル１３の先端にロール１４が押し当てられて、ロール１４の外側に被覆積層された弾性部材１４ａで、ノズル１３の先端に位置するスリット４１の吐出口４１ｂが密封される。弾性部材１４ａでスリット４１の吐出口４１ｂが密封された状態で、ポンプ１２が作動して、タンク１１に貯えられている塗布液がマニホールド４２の流入口４２ａに供給される。これに伴い、マニホールド４２の内部に残留する塗布液が、マニホールド４２の流出口４２ｂから排出されて、タンク１１に戻る。このように、塗布液が循環することで、マニホールド４２の内部が流動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−３２６４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の塗布装置１０では、塗布液の循環中、スリット４１の吐出口４１ｂが弾性部材１４ａで密封されていても、スリット４１の吐出口４１ｂから僅かに塗布液が滲みだす。これに伴い、滲みだした塗布液が固化して、塗布液が固化してできた固形物が、ノズル１３の先端に付着したり、塗布液中に混入したりする場合がある。また、塗布直後のスリット４１に残存する塗布液が塗布待機時に固化して、スリット４１の内側に付着する場合がある。結果、塗布液が固化してできた固形物に起因して、塗布膜の品質が低下する場合がある。
【０００９】
また、これとは別に、今後ますます、ディスプレイパネルや電池極板などのデバイスの性能を向上させるために、塗布工程における品質向上が求められる。特に、被塗布物の表面に付与する機能膜をウェットプロセスで形成する場合においては、沈降しやすい粒子が入った塗布液を塗布する塗布工程が求められる。
【００１０】
しかしながら、従来の塗布装置１０では、沈降しやすい粒子が入った塗布液を使用すると、塗布液が固化してできた固形物が、ノズル１３の先端に付着したり、塗布液中に混入したりし易くなる。また、塗布液が固化してできた固形物が、スリット４１の内側に付着し易くなる。塗布液が固化してできた固形物に起因して、塗布膜の品質が低下することが、より顕著になる。このため、塗布工程における品質向上が求められることに応えることが困難である。
【００１１】
そこで、本発明は、塗布膜の品質を低下させる塗布液の固形物ができ難く、その固形物を除去することができる塗布装置を提供することを目的とする。また、その塗布装置を使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明に係わる塗布装置は、下記に示す特徴を備える。
（ＣＬ１）本発明に係わる塗布装置は、（ａ）エクストルージョン型のノズルを使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布装置であって、（ｂ）前記ノズルにおいて塗布液が供給される部品であって、凹部と開口部とが形成されており、前記ノズルを構成する他の部品から独立して移動可能な管と、（ｃ）前記管を移動させて、前記凹部と前記開口部とのいずれかを前記ノズルの吐出口に合わせる駆動装置とを備え、（ｄ）前記凹部が、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだ前記管の部分であり、（ｅ）前記開口部が、前記凹部に平行して管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通した前記管の部分であり、（ｆ）前記管が、前記管に塗布液を充填するときと、前記管に残留する塗布液を排出するときとに、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせるように移動して、前記ノズルの吐出口から塗布液を吐出するときに、前記ノズルの吐出口に前記開口部を合わせるように移動する。
【００１３】
（ＣＬ２）上記（ＣＬ１）に記載の塗布装置は、（ａ）前記凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、（ｂ）前記凹部に浄化ガスを供給する浄化ガス供給装置と、（ｃ）前記洗浄液供給装置から供給される洗浄液と、前記浄化ガス供給装置から供給される浄化ガスとのいずれかに、前記凹部に供給される流体を切り替える切替弁とを備える。
【００１４】
（ＣＬ３）上記（ＣＬ１）に記載の塗布装置は、（ａ）前記凹部である第１の凹部とは別に、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだ第２の凹部が前記管に形成されており、（ｂ）前記第１の凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、（ｃ）前記第２の凹部に浄化ガスを供給する浄化ガス供給装置とを備える。
【００１５】
（ＣＬ４）上記（ＣＬ１）に記載の塗布装置は、（ａ）前記ノズルにおいて前記管を保持する部品であって、前記管が設置される空間が形成されており、前記ノズルの吐出口とは別に、前記空間から前記ブロックの外部に繋がる貫通穴が前記ブロックに形成されたブロックを備え、（ｂ）前記開口部である第１の開口部とは別に、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通した第２の開口部が前記管に形成されており、（ｃ）前記管が、前記管の内部に混入しているエアを排出するときに、前記ノズルの吐出口に前記凹部と前記第１の開口部とを合わせずに前記貫通穴に前記第２の開口部を合わせるように移動する。
【００１６】
なお、本発明は、塗布装置として実現されるだけではなく、下記に示す塗布方法としても実現されるとしてもよい。
（ＣＬ５）本発明に係わる塗布方法は、（ａ）エクストルージョン型のノズルを使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法であって、（ｂ）前記ノズルにおいて塗布液が供給される部品であって、凹部と開口部とが形成されており、前記ノズルを構成する他の部品から独立して移動可能な管を回転させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記管に塗布液を供給して、前記管に塗布液を充填する充填工程と、（ｃ）前記管を回転させて、前記ノズルの吐出口に前記開口部を合わせた状態で、前記管に塗布液を供給して、前記管に充填された塗布液を前記ノズルの吐出口から吐出する塗布工程と、（ｄ）前記管を回転させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記管に塗布液を供給して、前記管に残留する塗布液を排出する循環工程とを含む。
【００１７】
（ＣＬ６）上記（ＣＬ５）に記載の塗布方法は、前記管を移動させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記凹部に洗浄液を供給して、前記ノズルの吐出口を洗浄する洗浄工程を含む。
【００１８】
（ＣＬ７）上記（ＣＬ５）に記載の塗布方法は、前記管を移動させて、前記ノズルの吐出口に前記凹部を合わせた状態で、前記凹部に圧縮空気を供給して、前記ノズルの吐出口付近に残留する塗布液を排出する排出工程を含む。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、塗布液が供給される管を移動させることで、ノズルの吐出口に塗布液が流入することを回避することができる。これによって、塗布待機時にノズルを密封する弾性部材が無くても、管の内部の塗布液を流通させることができる。このことから、塗布準備時にノズルに塗布液を充填する際も吐出口を密封する必要が無くなる。このため、ノズル先端が汚染され難くなり、品質不良の原因となる塗布液の固形物がノズル先端にでき難くなる。さらに、管の内部に限定して塗布液を流通させることができるので、品質不良の原因となる塗布液中の粒子が管の内部に堆積し難くなる。結果、塗布膜の品質を低下させる塗布液の固形物ができ難くなる。
【００２０】
また、塗布液が供給される管を移動させることで、洗浄液や浄化ガスなどが管の内部に流入することを回避することができる。これによって、仮に、塗布液が固化して固形物ができても、ノズルの吐出口付近に残留する塗布液だけを除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施の形態１における塗布装置の構成を示す図である。
【図２】実施の形態１における塗布装置に備わるノズルの構造を示す図である。
【図３】実施の形態１における塗布装置に備わるノズルの構成要素を示す図である。
【図４】実施の形態１における塗布装置に備わるノズルの内部状態を示す第１の図である。
【図５】実施の形態１における塗布装置に備わるノズルの内部状態を示す第２の図である。
【図６】実施の形態１における塗布装置と比較される従来の塗布装置の構成を示す図である。
【図７】実施の形態１における塗布装置と比較される従来の塗布装置に備わるノズルの構造を示す図である。
【図８】実施の形態１における塗布装置と比較される従来の塗布装置に備わるノズルの構成要素を示す図である。
【図９】実施の形態１における塗布装置で連続塗布テストを実施して得られた評価結果の一覧表を示す図である。
【図１０】従来の塗布装置で連続塗布テストを実施して得られた評価結果の一覧表を示す図である。
【図１１】実施の形態２における塗布装置の構成を示す図である。
【図１２】実施の形態２の変形例における塗布装置に備わるノズルの内部状態を示す図である。
【図１３】実施の形態３における塗布装置に備わるノズルの内部状態を示す第１の図である。
【図１４】実施の形態３における塗布装置に備わるノズルの内部状態を示す第２の図である。
【図１５】実施の形態３における塗布装置に備わるノズルの構成部品である第１のブロックを斜め方向から見た図である。
【図１６】実施の形態３における塗布装置に備わるノズルの構成部品である第１のブロックの内側を示す図である。
【図１７】従来の塗布装置の構成を示す図である。
【図１８】従来の塗布装置に備わるノズルの構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（実施の形態１）
以下、本発明に係わる実施の形態１について説明する。
＜概要＞
本実施の形態における塗布装置は、下記（１）に示す特徴を備える。
【００２３】
（１）塗布装置は、（ａ）エクストルージョン型のノズルを使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布装置であって、（ｂ）ノズルにおいて塗布液が供給される部品であって、凹部と開口部とが形成されており、ノズルを構成する他の部品から独立して移動可能な管と、（ｃ）管を移動させて、凹部と開口部とのいずれかをノズルの吐出口に合わせる駆動装置とを備え、（ｄ）凹部が、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだ管の部分であり、（ｅ）開口部が、凹部に平行して管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通した管の部分であり、（ｆ）管が、管に塗布液を充填するときと、管に残留する塗布液を排出するときとに、ノズルの吐出口に凹部を合わせるように移動して、ノズルの吐出口から塗布液を吐出するときに、ノズルの吐出口に開口部を合わせるように移動する。
【００２４】
なお、本実施の形態における塗布装置を使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法は、下記（２），（３）に示す特徴を備える。
（２）塗布方法は、（ａ）エクストルージョン型のノズルを使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法であって、（ｂ）ノズルにおいて塗布液が供給される部品であって、凹部と開口部とが形成されており、ノズルを構成する他の部品から独立して移動可能な管を回転させて、ノズルの吐出口に凹部を合わせた状態で、管に塗布液を供給して、管に塗布液を充填する充填工程と、（ｃ）管を回転させて、ノズルの吐出口に開口部を合わせた状態で、管に塗布液を供給して、管に充填された塗布液をノズルの吐出口から吐出する塗布工程と、（ｄ）管を回転させて、ノズルの吐出口に凹部を合わせた状態で、管に塗布液を供給して、管に残留する塗布液を排出する循環工程とを含む。
【００２５】
（３）塗布方法は、管を移動させて、ノズルの吐出口に凹部を合わせた状態で、凹部に圧縮空気を供給して、ノズルの吐出口付近に残留する塗布液を排出する排出工程を含む。
以上の点を踏まえて、本実施の形態における塗布装置について説明する。
【００２６】
＜構成＞
まず、本実施の形態における塗布装置の構成について説明する。
図１に示すように、塗布装置１１０は、被塗布物の表面に塗布液を塗布する装置である。塗布液が貯えられるタンク１１１と、例えば、定量ポンプのように、安定した送液が可能なポンプ１１２と、ポンプ１１２から送液された塗布液を吐出するノズル１１３とを備える。
【００２７】
また、塗布装置１１０は、タンク１１１とポンプ１１２とが注液管１２１で連結されており、注液管１２１に注液弁１２２が取り付けられており、注液管１２１を流通する塗布液の流量が注液弁１２２の開閉で制御される。ポンプ１１２とノズル１１３（マニホールド１３３の一端）とが供給管１２３で連結されており、供給管１２３に供給弁１２４が取り付けられており、供給管１２３を流通する塗布液の流量が供給弁１２４の開閉で制御される。ノズル１１３（マニホールド１３３の他端）とタンク１１１とが排出管１２５で連結されており、排出管１２５に排出弁１２６が取り付けられており、排出管１２５を流通する塗布液の流量が排出弁１２６の開閉で制御される。
【００２８】
なお、マニホールド１１３が、上記管に該当する。伝達ベルト１１４、モータ１１５などが、上記駆動装置に該当する。
＜ノズル１１３＞
図２、図３に示すように、ノズル１１３は、エクストルージョン型のノズルである。ノズル１１３の外側を構成する部品である第１のブロック１３１と第２のブロック１３２と、塗布液が流通する円筒状管であるマニホールド１３３と、厚さｈの矩形状薄板である合わせ面シム１３４と、厚さｈの矩形状小片薄板である第１のスリット面シム１３５と第２のスリット面シム１３６とを備える。
【００２９】
また、ノズル１１３は、第１のブロック１３１と第２のブロック１３２との各々の内側中央に半円状溝が形成されている。これらの半円状溝に回転可能な状態でマニホールド１３３が嵌められている。マニホールド１３３の上方に合わせ面シム１３４が配置されている。マニホールド１３３の下方に間隔ｄだけ空けて第１のスリット面シム１３５と第２のスリット面シム１３６とが個別に配置されている。
【００３０】
また、ノズル１１３は、マニホールド１３３と、合わせ面シム１３４と、第１のスリット面シム１３５と、第２のスリット面シム１３６とが、第１のブロック１３１と第２のブロック１３２とで挟み込まれている。これらが挟み込まれた状態で、第１のブロック１３１と第２のブロック１３２とがネジ（不図示）で相互に固定されている。
【００３１】
また、ノズル１１３は、第１のブロック１３１と第２のブロック１３２とで挟み込まれた第１のスリット面シム１３５と第２のスリット面シム１３６との間の空間がスリット１４１になる。以下、第１のブロック１３１と第２のブロック１３２との各々のＸ方向寸法をノズル幅ｗとする。スリット１４１のＸ方向開口寸法ｄをスリット塗布幅ｄとする。スリット１４１のＹ方向開口寸法ｈをスリットギャップｈとする。
【００３２】
また、マニホールド１３３は、管軸方向に沿って延びる凹部１３３ａが外周側に形成されている。凹部１３３ａに平行して、管軸方向に沿って延びる開口部１３３ｂが形成されている。管軸方向から見て、凹部１３３ａの位置から所定の角度だけ位相を変えた位置に開口部１３３ｂが形成されている。
【００３３】
凹部１３３ａは、外周から内周まで貫通せずに窪んでいるだけであって、浄化ガス（例えば、圧縮空気、窒素ガスなど。）が供給されるマニホールド１３３の部分である。凹部１３３ａの管軸方向寸法がノズル幅ｗよりも所定の寸法だけ長い。凹部１３３ａの円周方向寸法がスリットギャップｈよりも広い。凹部１３３ａの両端から洗浄管１２７の下流側の両端が個別に挿入されている。洗浄管１２７の上流側にノズル浄化装置１１６が取り付けられている。ノズル浄化装置１１６に取り付けられている洗浄管１２７が凹部１３３ａの両端に挿入されている。
【００３４】
開口部１３３ｂは、外周から内周まで貫通したマニホールド１３３の部分である。開口部１３３ｂの管軸方向寸法がスリット塗布幅ｄよりも長くノズル幅ｗよりも短い。開口部１３３ｂの円周方向寸法がスリットギャップｈよりも広い。
【００３５】
なお、洗浄管１２７として、柔軟性・伸縮性を有するものが使用されている。また、図１に示すように、塗布装置１１０は、マニホールド１３３の一端側の外周に伝達ベルト１１４が取り付けられており、伝達ベルト１１４を介してモータ１１５の駆動力がマニホールド１３３に伝わる。これに伴い、管軸を回転軸として、凹部１３３ａと開口部１３３ｂとがスリット１４１の方向に合わされる程度に、マニホールド１３３が回転する。このとき、凹部１３３ａの両端から洗浄管１２７の先端が抜けずに、マニホールド１３３の回転に追随して、洗浄管１２７も動く。
【００３６】
＜動作＞
次に、塗布装置１１０の動作について説明する。ここでは、マニホールド１３３に塗布液を充填する工程（以下、充填工程と略称する。）と、マニホールド１３３に充填された塗布液を塗布する工程（以下、塗布工程と略称する。）と、マニホールド１３３に残留する塗布液を循環する工程（以下、循環工程と略称する。）とについて説明する。
【００３７】
なお、図４、図５については、ノズル１１３の内部状態を見易くするために、Ｙ−Ｚ面を切断面として、第１のスリット面シム１３５と第２のスリット面シム１３６との間のいずれか位置で切断された状態で表示している。
【００３８】
＜充填工程＞
まず、充填工程では、図４に示すように、マニホールド１３３が回転して、マニホールド１３３の凹部１３３ａの位置がスリット１４１の導入口１４１ａの方向に合わされる。凹部１３３ａの位置が導入口１４１ａの方向に合わされた状態で、注液弁１２２と供給弁１２４と排出弁１２６とが開いて、ポンプ１１２が作動する。このとき、タンク１１１に貯えられている塗布液がマニホールド１３３に供給されて、マニホールド１３３の内部が塗布液で満たされる。そして、排出管１２５までも塗布液で満たされて、エアが抜けてから、排出弁１２６が閉じて、ポンプ１１２が停止する。
【００３９】
なお、ポンプ１１２の負荷を軽減するために、排出弁１２６が閉じる直前に、ポンプ１１２からの供給量が少なくなることが望ましい。
＜塗布工程＞
次に、塗布工程では、マニホールド１３３の内部にエアが流入することを防止するために、注液弁１２２と供給弁１２４とが閉じる。その後に、図５に示すように、マニホールド１３３が回転して、マニホールド１３３の開口部１３３ｂの位置がスリット１４１の導入口１４１ａの方向に合わされる。開口部１３３ｂの位置が導入口１４１ａの位置に合わされた状態で、供給弁１２４が開いて、ポンプ１１２が作動する。このとき、ポンプ１１２に貯えられている塗布液がマニホールド１３３に供給されて、マニホールド１３３に貯えられている塗布液がスリット１４１の方に押し出されて、スリット１４１の吐出口１４１ｂから塗布液が被塗布物（不図示）に吐出する。そして、塗布が終了すると、ポンプ１１２が停止して、供給弁１２４が閉じた後に、注液弁１２２が開いて、タンク１１１に貯えられている塗布液でポンプ１１２に塗布液が補充される。
【００４０】
＜循環工程＞
次に、循環工程では、スリット１４１に残留する塗布液が排出されるメンテナンスエリア（不図示）にノズル１１３が移動する。その後に、図４に示すように、マニホールド１３３が回転して、マニホールド１３３の凹部１３３ａの位置がスリット１４１の導入口１４１ａの方向に合わされる。凹部１３３ａの位置が導入口１４１ａの方向に合わされた状態で、ノズル浄化装置１１６が作動して、凹部１３３ａに圧縮空気が送り込まれて、スリット１４１に残留する塗布液が排出される。注液弁１２２と供給弁１２４と排出弁１２６とが開いて、ポンプ１１２が作動する。このとき、マニホールド１３３に残留する塗布液が循環する。そして、循環が終了すると、充填工程と同様に、排出弁１２６が閉じて、ポンプ１１２が停止する。
【００４１】
なお、ポンプ１１２の負荷を軽減するために、排出弁１２６が閉じる直前に、ポンプ１１２からの供給量が少なくなることが望ましい。
＜従来の塗布装置＞
次に、本実施の形態における塗布装置１１０と比較される従来の塗布装置について説明する。
【００４２】
図６に示すように、従来の塗布装置１５０は、従来の塗布装置１０を枚葉式に置き換えたものであり、ロール１４の代わりにリップシール１５１でノズル１３の先端を封止しながら循環する装置である。なお、本実施の形態における塗布装置１１０と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
【００４３】
＜ノズル１３＞
図７、図８に示すように、ノズル１３は、エクストルージョン型のノズルである。ノズル１３の外側を構成する部品である第１のブロック３１と第２のブロック３２と、凹形状薄板であるシム３３とを備える。
【００４４】
また、ノズル１３は、第１のブロック３１の内側中央だけに半円状溝が形成されている。シム３３の切欠き部３３ａが下に向けられた状態で切欠き部３３ａが半円状溝まで及ぶように、シム３３が配置されている。
【００４５】
また、ノズル１３は、第１のブロック３１と第２のブロック３２とでシム３３が挟み込まれている。シム３３が挟み込まれた状態で、第１のブロック３１と第２のブロック３２とがネジ（不図示）で相互に固定されている。
【００４６】
また、ノズル１３は、第１のブロック３１と第２のブロック３２とで挟み込まれたシム３３の切欠き部３３ａがスリット４１になる。第１のブロック３１の内側中央に形成された半円状溝がマニホールド４２になる。ノズル１３に塗布液が供給されると、マニホールド４２のＸ方向に塗布液が均一に分配されて、スリット４１から塗布液が整流した状態で吐出する。
【００４７】
＜比較＞
次に、本実施の形態における塗布装置１１０と従来の塗布装置１５０とを比較した結果について説明する。
【００４８】
ここでは、一例として、ガラス基板上に塗布液を塗布して得られた塗布膜の出来映えを評価した。具体的には、粒子を含んだ塗布液をガラス基板上に塗布する工程を５０回行った後に、マニホールドを回転させて、マニホールドに残留する塗布液を循環する工程を１回だけ行い、これらの工程を、２００枚まで連続で行い、５０枚ごとに塗布膜を真空乾燥させた（以下、連続塗布テストと呼称する）。
【００４９】
ここで、塗布液としては、体積累積平均径２［μｍ］の酸化マグネシウム粒子を分子量６００のアセチレングリコールに濃度５重量％で分散させたもので、粘度が５［ｍＰａ・ｓ］のものを使用した。被塗布物として、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）の前面板パネル用の幅９８０［ｍｍ］×長さ５５４［ｍｍ］のガラス基板を使用した。そのガラス基板の表面に、幅９５０［ｍｍ］×長さ５４０［ｍｍ］の範囲に、酸化マグネシウム粒子の占める面積の割合（以下、被覆率と呼称する。）が２０％となる狙いで塗布した。マニホールドを浄化する循環流量を３０００［ｃｍ３／ｍｉｎ］として、循環時間を１０［ｓ］として、塗布直前の捨て打ち量を４［ｃｍ３］とした。
【００５０】
また、目視による塗布膜の欠陥と画像検査の解析で算出される被覆率とで、塗布膜の出来映えを評価した。このとき、面内で３５点測定した被覆率の平均と目視判定で検出した塗工スジの数とを５０枚ごとに評価した。
【００５１】
なお、本実施の形態における塗布装置１１０で連続塗布テストを実施して得られた評価結果を図９に示した。また、従来の塗布装置１５０で連続塗布テストを実施して得られた評価結果を図１０に示した。
【００５２】
＜考察＞
図９に示すように、評価結果（一覧表１６１）を見ると、被覆率平均に減少または増加する傾向が見られず、塗工スジの発生も見られない。
【００５３】
例えば、１０１枚のときの被覆率平均が１９．９％である。このときの塗工スジの数が０である。また、１５１枚のときの被覆率平均が１９．８％である。このときの塗工スジの数が０である。
【００５４】
これは、ノズル１１３の先端を封止することなく、マニホールド１３３だけを効率的に循環することによって得られた結果であると言える。
一方、図１０に示すように、評価結果（一覧表１６２）を見ると、塗布枚数が増加すると、被覆率平均が序々に減少していく傾向と、塗工スジが増加していく傾向とが顕著になる。
【００５５】
例えば、１０１枚のときの被覆率平均が１９．７％である。このときの塗工スジの数が３である。また、１５１枚のときの被覆率平均が１９．３％である。このときの塗工スジの数が８である。
【００５６】
これは、塗布液中に沈降した粒子が、スリット４１の導入口４１ａに堆積して、導入口４１ａを塞ぐため、スリット４１の吐出口４１ｂから吐出される塗布液の濃度が次第に減少して、被覆率が序々に低下していくと推察される。また、ノズル１３の先端が汚染されていくため、塗布中に混入した粒子の凝集体が塗布中の被塗布物とノズル１３の先端に引っ掛かり、塗布膜上にスジを残す頻度が多くなっていくと推察される。
【００５７】
＜まとめ＞
以上、本実施の形態によれば、従来の塗布装置１５０と比べて、下記に示す特徴を備える。
【００５８】
従来の塗布装置１５０では、マニホールド４２に塗布液を充填したり、マニホールド４２に残留する塗布液を循環したりするときに、スリット４１の吐出口４１ｂがリップシール１５１（弾性部材）で密封される。このとき、吐出口４１ｂから滲みだした塗布液が固化してできた固形物が、ノズル１３の先端に付着したり、塗布液中に混入したりする。例えば、ノズル１３の先端に固形物が付着した状態で塗布すると、その固形物で塗布膜に塗工スジが生じたり、その固形物が塗布膜に含まれたりする。同様に、塗布液中に固形物が混入した状態で塗布すると、その固形物で塗布膜に塗工スジが生じたり、その固形物が塗布膜に含まれたりする。結果、塗布膜の品質が低下する。
【００５９】
これに対して、本実施の形態における塗布装置１１０では、マニホールド１３３が回転して、マニホールド１３３からスリット１４１に対する塗布液の供給または停止を切り替えることができる。このため、従来の塗布装置１５０のようにスリット４１の吐出口４１ｂがリップシール１５１（弾性部材）で密封されなくとも、マニホールド１３３に塗布液を充填したり、マニホールド１３３に残留する塗布液を循環したりすることができる。すなわち、スリット１４１の吐出口１４１ｂをリップシール１５１（弾性部材）で密封する必要がない。さらに、マニホールド１３３の凹部１３３ａを介してスリット１４１に圧縮空気を送り込むことで、スリット１４１に残留する塗布液を排出することができる。ノズル１１３の先端に固形物が付着したり、塗布液中に固形物が混入したりすることを回避することができる。固形物で塗布膜に塗工スジが生じ難くなり、固形物が塗布膜に含まれ難くなり、塗布膜の品質を保持することができる。
【００６０】
また、従来の塗布装置１５０では、塗布液に高い剪断力が加わるスリット４１の導入口４１ａで分離した粒子がスリット４１に滞留する。スリット４１に粒子が滞留した状態で塗布すると、塗布膜に塗布ムラが生じる。このため、循環後で塗布前に、塗布液の捨て打ちを十分に行って、スリット４１に滞留した粒子を排出する必要がある。これに伴い、塗布液のロスや時間のロスが生じる。
【００６１】
これに対して、本実施の形態における塗布装置１１０では、循環中は、スリット１４１の導入口１４１ａにマニホールド１３３の開口部１３３ｂが位置しないので、スリット１４１に塗布液が全く流れ込まず、マニホールド１３３の内部に沈降した粒子を根こそぎタンク１１１まで押し戻すことができる。さらに、スリット１４１にも塗布液が流れ込む場合よりも、少ない流量で循環することができる。結果、循環時の流量の損失を軽減することができる。すなわち、マニホールド１３３の内部だけを効率的に循環することができる。このため、沈降した粒子でスリット１４１の導入口１４１ａが塞がれることで、スリット１４１の吐出口１４１ｂから吐出される塗布液の濃度が低下することを抑制することができる。結果、被覆率が低下することを回避することができる。また、塗布液のロスや時間のロスを改善することができる。
【００６２】
また、従来の塗布装置１５０では、リップシール１５１（弾性部材）の材質や塗布液の表面張力と濡れ性などにもよるが、ノズル１３の先端がリップシール１５１（弾性部材）から離れるときに、リップシール１５１（弾性部材）の表面に塗布液が引き寄せられる。このとき、スリット４１に微少な空間が生じる。さらに、マニホールド４２の内部が少しでも負圧になると、一瞬で、スリット４１にエアが流入する。スリット４１にエアが残留した状態で塗布すると、塗布膜の表面に気泡ができる。このため、循環後で塗布前に、塗布液の捨て打ちを十分に行って、スリット４１に残留したエアを排出する必要がある。これに伴い、塗布液のロスや時間のロスが生じる。
【００６３】
これに対して、本実施の形態における塗布装置１１０では、マニホールド１３３の内部圧力を正圧に維持することができるので、スリット１４１にエアが流入し難い。このため、塗布膜の表面に気泡ができることを回避することができる。また、塗布液のロスや時間のロスを改善することができる。
【００６４】
（実施の形態２）
以下、本発明に係わる実施の形態２について説明する。
＜概要＞
本実施の形態における塗布装置は、下記（１）に示す特徴を備える。
【００６５】
（１）塗布装置は、（ａ）凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、（ｂ）凹部に浄化ガスを供給する浄化ガス供給装置と、（ｃ）洗浄液供給装置から供給される洗浄液と、浄化ガス供給装置から供給される浄化ガスとのいずれかに、凹部に供給される流体を切り替える切替弁とを備える。
【００６６】
なお、上記（１）の代わりに、下記（２）に示す特徴を備えるとしてもよい。
（２）塗布装置は、（ａ）凹部である第１の凹部とは別に、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通せずに外側が窪んだ第２の凹部が管に形成されており、（ｂ）第１の凹部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、（ｃ）第２の凹部に浄化ガスを供給する浄化ガス供給装置とを備える。
【００６７】
なお、本実施の形態における塗布装置を使用して被塗布物に塗布液を塗布する塗布方法は、下記（３）に示す特徴を備える。
（３）塗布方法は、管を移動させて、ノズルの吐出口に凹部を合わせた状態で、凹部に洗浄液を供給して、ノズルの吐出口を洗浄する洗浄工程を含む。
【００６８】
以上の点を踏まえて、本実施の形態における塗布装置について説明する。なお、実施の形態１と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
＜構成＞
まず、本実施の形態における塗布装置の構成について説明する。
【００６９】
図１１に示すように、塗布装置２１０は、実施の形態１における塗布装置１１０と比べて、下記（１），（２）に示す点が異なる。
（１）塗布装置２１０は、実施の形態１におけるノズル浄化装置１１６の代わりに、洗浄液供給装置２１１と浄化ガス供給装置２１２とを備える。洗浄液供給装置２１１は、スリット１４１の洗浄効果を有する洗浄液（例えば、エタノールなどの有機溶剤など。）を供給する装置である。浄化ガス供給装置２１２は、スリット１４１に残留する塗布液を排出するための浄化ガス（例えば、圧縮空気、窒素ガスなど。）を供給する装置である。
【００７０】
（２）塗布装置２１０は、洗浄管２２１の上流側に切替弁２２２が取り付けられており、切替弁２２２で、洗浄液供給装置２１１と浄化ガス供給装置２１２とのいずれかに供給源が切り替えられる。マニホールド１３３の内部に残留する塗布液を循環している間に、洗浄管２２１を介して洗浄液と浄化ガスとをマニホールド１３３の凹部１３３ａに逐次供給する。このとき、供給源が洗浄液供給装置２１１であるときは、洗浄液を凹部１３３ａに供給して、凹部１３３ａを介してスリット１４１に残留する塗布液を洗浄する（洗浄工程）。また、供給源が浄化ガス供給装置２１２であるときは、浄化ガスを凹部１３３ａに供給して、凹部１３３ａを介してスリット１４１に残留する塗布液を排出する（排出工程）。
【００７１】
なお、洗浄効果という観点では、スリット１４１に洗浄液を流し込んでから圧縮空気を送り込む方が望ましい。また、固形物を溶解して浄化するという観点では、洗浄液としては、塗布液の中に混入している溶媒を主成分とするものが望ましい。
【００７２】
＜まとめ＞
以上、本実施の形態によれば、マニホールド１３３の凹部１３３ａに供給する流体を洗浄液と浄化ガスとのいずれかに切替弁２２２で容易に切り替えることができる。塗布待機時に洗浄液と浄化ガスを使用して、常時、スリット１４１を清浄な状態に保つことができる。このため、スリット１４１に残留する塗布液が固化して固形物になっても、凹部１３３ａを介してスリット１４１のみを洗浄することで、固形物を排除することができる。ノズル１１３の先端に固形物が付着したり、塗布液中に固形物が混入したりすることを回避することができる。固形物で塗布膜に塗工スジが生じ難くなり、固形物が塗布膜に含まれ難くなり、塗布膜の品質を保持することができる。さらに、量産における長時間安定稼働が可能になり、生産性を大幅に向上させることができる。
【００７３】
＜変形例＞
なお、塗布装置２１０は、ノズル１１３の代わりに、図１２に示すノズル２１３を備えるとしてもよい。ノズル２１３は、ノズル１１３と比べて、マニホールド１３３の代わりに、マニホールド２３３を備える点が異なる。マニホールド２３３は、マニホールド１３３と比べて、凹部１３３ａの代わりに、洗浄液用凹部２３３ａと浄化ガス用凹部２３３ｂとが外周側に個別に形成されている点が異なる。
【００７４】
具体的には、マニホールド２３３は、開口部１３３ｂに平行して、管軸方向に沿って延びる洗浄液用凹部２３３ａが外周側に形成されている。洗浄液用凹部２３３ａに平行して、管軸方向に沿って延びる浄化ガス用凹部２３３ｂが外周側に形成されている。管軸方向から見て、開口部１３３ｂの位置から所定の角度だけ位相を変えた位置に洗浄液用凹部２３３ａが形成されている。洗浄液用凹部２３３ａの位置から所定の角度だけ位相を変えた位置に浄化ガス用凹部２３３ｂが形成されている。
【００７５】
洗浄液用凹部２３３ａは、外周から内周まで貫通せずに窪んでいるだけであって、洗浄液だけが供給されるマニホールド２３３の部分である。洗浄液用凹部２３３ａの管軸方向寸法がノズル幅ｗよりも所定の寸法だけ長い。洗浄液用凹部２３３ａの円周方向寸法がスリットギャップｈよりも広い。洗浄液供給装置２１１に取り付けられている洗浄管２２３が洗浄液用凹部２３３ａの両端に挿入されている。
【００７６】
浄化ガス用凹部２３３ｂは、外周から内周まで貫通せずに、窪んでいるだけであって、洗浄液用凹部２３３ａとは別に、浄化ガスだけが供給されるマニホールド２３３の部分である。浄化ガス用凹部２３３ｂの管軸方向寸法がノズル幅ｗよりも所定の寸法だけ長い。浄化ガス用凹部２３３ｂの円周方向寸法がスリットギャップｈよりも広い。浄化ガス供給装置２１２に取り付けられている洗浄管２２４が浄化ガス用凹部２３３ｂの両端に挿入されている。
【００７７】
これによって、切替弁２２２が不要になるだけでなく、浄化時間の短縮や供給ガス量の低減にも繋がる。また、洗浄管１２７を共用する場合においては、切替弁２２２で洗浄液から浄化ガスに切り替えた時点では、洗浄管２２１や切替弁２２２にも洗浄液が存在する。このため、洗浄管２２１や切替弁２２２に存在する洗浄液も浄化ガスで排出する必要がある。しかしながら、洗浄液と浄化ガスとを別系統でスリット１４１に供給することで、洗浄液を浄化ガスで排出する必要がなく、排出に伴う余分な時間とガス量を低減することができる。
【００７８】
（実施の形態３）
以下、本発明に係わる実施の形態３について説明する。
＜概要＞
本実施の形態における塗布装置は、下記（１）に示す特徴を備える。
【００７９】
（１）塗布装置は、（ａ）ノズルにおいて管を保持する部品であって、管が設置される空間が形成されており、ノズルの吐出口とは別に、空間からブロックの外部に繋がる貫通穴がブロックに形成されたブロックを備え、（ｂ）開口部である第１の開口部とは別に、管軸方向に沿って延びており、外側から内側まで貫通した第２の開口部が管に形成されており、（ｃ）管が、管の内部に混入しているエアを排出するときに、ノズルの吐出口に凹部と第１の開口部とを合わせずに貫通穴に第２の開口部を合わせるように移動する。
【００８０】
以上の点を踏まえて、本実施の形態における塗布装置について説明する。なお、実施の形態１と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
＜構成＞
まず、本実施の形態における塗布装置の構成について説明する。
【００８１】
本実施の形態における塗布装置は、実施の形態１における塗布装置と比べて、下記（１），（２）に示す点が異なる。
（１）本実施の形態における塗布装置は、ノズル１１３の代わりに、図１３、図１４に示すノズル３１３を備える。
【００８２】
なお、図１３、図１４については、ノズル３１３の内部状態を見易くするために、Ｙ−Ｚ面を切断面として、エア抜き穴３３１ｂで切断された状態で表示している。
ノズル３１３は、ノズル１１３と比べて、第１のブロック１３１とマニホールド１３３との代わりに、第１のブロック３３１とマニホールド３３３とを備える点が異なる。第１のブロック３３１は、第１のブロック１３１と比べて、第１のブロック３３１の上部にエア抜き溝３３１ａが形成されている点が異なる。図１５に示すように、マニホールド３３３は、マニホールド１３３と比べて、凹部１３３ａと開口部１３３ｂと以外に、管軸方向に沿って延びるエア抜き用開口部３３３ａが形成されている点が異なる。
【００８３】
エア抜き溝３３１ａは、第１のブロック１３１の半円状溝に連接するように、第１のブロック３３１の上部に形成された窪みである。エア抜き溝３３１ａのＹ方向寸法がエア抜き用開口部３３３ａの円周方向寸法よりも広い。図１６に示すように、エア抜き溝３３１ａのＸ方向寸法がスリット塗布幅ｄに相当する。ノズル３１３の上面まで貫通するエア抜き穴３３１ｂがエア抜き溝３３１ａの両端に個別に形成されている。
【００８４】
エア抜き用開口部３３３ａは、外周から内周まで貫通したマニホールド３３３の部分である。エア抜き用開口部３３３ａの管軸方向寸法がスリット塗布幅ｄよりも長くノズル幅ｗよりも短い。エア抜き用開口部３３３ａの円周方向寸法がスリットギャップｈよりも広い。凹部１３３ａと開口部１３３ｂとがマニホールド３３３の下部（６時方向）に位置するときは、エア抜き用開口部３３３ａがマニホールド３３３の上部（１１時方向）に位置する。
【００８５】
（２）図１３、図１４に示すように、ノズル３１３は、マニホールド３３３の内部に残留する塗布液が循環した後に、凹部１３３ａと開口部１３３ｂとの各々の位置がスリット１４１の位置と一致しないで、エア抜き用開口部３３３ａの位置がエア抜き溝３３１ａの位置と一致するように、マニホールド３３３が回転する。注液弁１２２と供給弁１２４とが開き、排出弁１２６が閉じた状態で、ポンプ１１２が作動して、マニホールド３３３の内部に混入しているエアが塗布液とともに排出される。
【００８６】
＜まとめ＞
以上、本実施の形態では、循環直後に、マニホールド３３３の内部に混入したエアをノズル３１３の上面から塗布液とともに排出する。これによって、塗布時に、エアが吐出されることが無くなり、品質不良を大幅に低減することができる。
【００８７】
基本的には、充填工程でも、マニホールド３３３の内部に混入したエアを排除することができる。また、従来の塗布装置１５０のようにリップシール１５１（弾性部材）を必要としないので、マニホールド３３３の内部にエアが混入する可能性も少ない。
【００８８】
しかしながら、配管や弁の継手部分の摩耗、給液系の誤操作などによって、マニホールド３３３の内部圧力が負圧になると、スリット１４１にエアが流入する。スリット１４１にエアが残留した状態で塗布すると、塗布抜けが生じる。また、一旦、マニホールド３３３の内部にエアが混入すると、マニホールド３３３の内部圧力を正圧に戻しても、マニホールド３３３の内部に混入したエアを容易に除去することができない。
【００８９】
そこで、循環直後に、マニホールド３３３の内部圧力が正圧になった時点で、マニホールド３３３の内部に混入したエアをノズル３１３の上面から塗布液とともに排出することで、マニホールド３３３の内部に混入したエアを容易に除去することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明は、枚葉状の被塗布物や連続して走行する帯状の被塗布物などの表面に塗布液を塗布する塗布装置などとして、特に、ディスプレイパネルや電池極板などの製造に使用されるエクストルージョン型の塗布装置などとして利用することができる。
【符号の説明】
【００９１】
１０  塗布装置
１１  タンク
１２  ポンプ
１３  ノズル
１４  ロール
１４ａ  弾性部材
３１  第１のブロック
３２  第２のブロック
３３  シム
３３ａ  切欠き部
４１  スリット
４１ａ  導入口
４１ｂ  吐出口
４２  マニホールド
４２ａ  流入口
４２ｂ  流出口
１１０  塗布装置
１１１  タンク
１１２  ポンプ
１１３  ノズル
１１４  伝達ベルト
１１５  モータ
１１６  ノズル浄化装置
１２１  注液管
１２２  注液弁
１２３  供給管
１２４  供給弁
１２５  排出管
１２６  排出弁
１２７  洗浄管
１３１  第１のブロック
１３２  第２のブロック
１３３  マニホールド
１３３ａ  凹部
１３３ｂ  開口部
１３４  合わせ面シム
１３５  第１のスリット面シム
１３６  第２のスリット面シム
１４１  スリット
１４１ａ  導入口
１４１ｂ  吐出口
１５０  塗布装置
１５１  リップシール
１６１，１６２  一覧表
２１０  塗布装置
２１１  洗浄液供給装置
２１２  浄化ガス供給装置
２１３  ノズル
２２１  洗浄管
２２２  切替弁
２２３  洗浄管
２２４  洗浄管
２３３  マニホールド
２３３ａ  洗浄液用凹部
２３３ｂ  浄化ガス用凹部
３１３  ノズル
３３１  第１のブロック
３３１ａ  エア抜き溝
３３１ｂ  エア抜き穴
３３３  マニホールド
３３３ａ  エア抜き用開口部
【図１】
2010253328.tif 000003
【図２】
2010253328.tif 000004
【図３】
2010253328.tif 000005
【図４】
2010253328.tif 000006
【図５】
2010253328.tif 000007
【図６】
2010253328.tif 000008
【図７】
2010253328.tif 000009
【図８】
2010253328.tif 000010
【図９】
2010253328.tif 000011
【図１０】
2010253328.tif 000012
【図１１】
2010253328.tif 000013
【図１２】
2010253328.tif 000014
【図１３】
2010253328.tif 000015
【図１４】
2010253328.tif 000016
【図１５】
2010253328.tif 000017
【図１６】
2010253328.tif 000018
【図１７】
2010253328.tif 000019
【図１８】
2010253328.tif 000020