(57)【要約】【課題】フラットパネルディスプレイの検査装置のコネクタを提供する。【解決手段】透明基板の表面に複数の電極の形成されているフラットパネルディスプレイの検査を行うための検査装置のコネクタにおいて、コネクタは、弾性を有する板状の絶縁体からなるコネクタ基板の上に、導電材料により構成される複数の端子が配列されたものであって、複数の端子は、対応する前記複数の電極と接触させることにより各々電気的な接続をとるためのものであり、コネクタ基板には端子の長さ方向に平行なスリットが、複数の端子ごとに周期的に形成されていることを特徴とする検査装置のコネクタを提供することにより上記課題を解決する。【選択図】  図３
2010021019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の表面に複数の電極の形成されているフラットパネルディスプレイの検査を行うための検査装置のコネクタにおいて、
前記コネクタは、弾性を有する板状の絶縁体からなるコネクタ基板の上に、導電材料により構成される複数の端子が配列されたものであって、
前記複数の端子は、対応する前記複数の電極と接触させることにより各々電気的な接続をとるためのものであり、
前記コネクタ基板には前記端子の長さ方向に平行なスリットが、複数の前記端子ごとに周期的に形成されていることを特徴とする検査装置のコネクタ。
【請求項２】
透明基板の表面に複数の電極の形成されているフラットパネルディスプレイの検査を行うための検査装置のコネクタにおいて、
前記コネクタは、弾性を有する金属板上に絶縁膜を形成したコネクタ基板における、前記絶縁膜上に導電材料により構成される複数の端子が配列されたものであって、
前記複数の端子は、対応する前記複数の電極と接触させることにより各々電気的な接続をとるためのものであり、
前記コネクタ基板には前記端子の長さ方向に平行なスリットが、複数の前記端子ごとに周期的に形成されていることを特徴とする検査装置のコネクタ。
【請求項３】
前記金属板は、ステンレス又はリン青銅により形成されていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置のコネクタ。
【請求項４】
前記透明基板は、ガラス基板、プラスチック基板または、フィルム基板であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の検査装置のコネクタ。
【請求項５】
前記スリットの形成される長さは、前記電極と前記端子とが接触している長さよりも長いものであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の検査装置のコネクタ。
【請求項６】
前記端子は、前記コネクタ基板上に、銅、ニッケル、金を順に積層形成したもの、または、前記コネクタ基板上に、銅、ニッケル、パラジウム、金を順に積層形成したものであることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の検査装置のコネクタ。
【請求項７】
前記スリット間に形成される端子は、２本以上５本以下であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の検査装置のコネクタ。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載のコネクタと、
前記コネクタを介し前記フラットパネルディスプレイの電極に検査信号を供給するための信号供給装置と、
を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置のコネクタ及び検査装置に関するものであって、特にフラットパネルディスプレイの表示等の検査を行うための検査装置のコネクタ及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、表示装置として、従来のＣＲＴに代わり液晶表示装置やプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが主流となっている。これらのフラットパネルディスプレイは、表示面に形成された蛍光体を電子で励起することにより表示を行うＣＲＴとは異なり、各々の画素を形成する発光素子や表示素子に電界を印加することや、電流を流すことにより表示がされる。
【０００３】
このようなフラットパネルディスプレイでは、ガラス等からなる透明な基板上に各々の発光素子や表示素子に電圧を印加するため、または、電流を流すための電極が設けられており、これらの電極に電圧を印加したり、電流を流すことにより、発光素子を発光させたり、表示素子に表示をさせるものである。このため、フラットパネルディスプレイの欠陥等を検査する場合においては、透明基板上に形成された電極に、電圧を印加すること、または電流を流すことにより行われる。よって、フラットパネルディスプレイの表示に関する検査を行う検査装置においては、フラットパネルディスプレイに形成された複数の電極と電気的な接続をとるためのコネクタが必要となる。
【０００４】
特許文献１では、棒状の弾性体の表面にワイヤ状の電極を形成した構成のコネクタを用いた方法が開示されている。この方法では、弾性体を押しつけることによりフラットパネルディスプレイの電極と接触させ電気的な接続をとるものである。
【０００５】
また、特許文献２では、片持ち梁状の端子が複数配列された構成のコネクタが開示されている。このコネクタの端子の形状を図８、図９に示す。図８は、このコネクタの複数の端子が配列されている部分の上面図であり、図９は、図８における破線８Ａ―８Ｂにおいて切断した断面図を示す。この構成のコネクタでは、片持ち梁状の端子１１１がフラットパネルディスプレイ１２０の基板１２１上に形成された電極１２２に各々対応して設けられており、片持ち梁状の端子１１１の各々をフラットパネルディスプレイの電極１２２の各々と接触させることにより電気的に接続するものである。片持ち梁状の端子１１１は、各々が梁状となっているため、接触圧のバラツキも比較的小さい。
【特許文献１】特開平１０−６５１８８号公報
【特許文献２】特開２００６−３０２６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般に、フラットパネルディスプレイに用いられる基板は、可視光領域で透明なガラス基板やフィルム等からなる基板である。これら基板は、通常の電気配線に用いられるプリント基板と異なり、ガラス基板では割れ等が生じやすく、また、フィルム等からなる基板では柔らかく、傷等がつきやすいといった特徴を有している。
【０００７】
従って、これらの基板に形成された電極と電気的接続をとるためのコネクタは、プリント基板に用いられるものとは異なる特性が要求される。具体的には、ガラス基板の場合では、コネクタが接触することにより、ガラス基板に割れが生じないこと、また、プラスチック基板やフィルム基板の場合は、コネクタが接触することにより、プラスチック基板やフィルム基板が変形したり傷ついたりしないこと等が要求される。近年、フラットパネルディスプレイは大画面化しており、電極の配列されている領域の長さも長くなる傾向にあり、また電極間ピッチも狭くなる傾向にある。フラットパネルディスプレイの検査を行う際には、この領域におけるすべての電極について均一にコネクタの端子を接触させる必要がある。
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載されている方法では、棒状の弾性体が、弾性体として機能するためには、ある程度の体積を必要とし、検査装置を大きくしてしまう。また、コネクタの端子となる部分は弾性体に巻き付けられたワイヤであるため、長期の使用によりワイヤが弾性体の中にめり込んでしまったり、形状が変形してしまったりして、フラットパネルディスプレイに配列されている電極すべてに均一に接触させることが困難となる。
【０００９】
また、特許文献２に記載されている方法では、電極のピッチが狭くなった場合に対応することが困難となる。即ち、フラットパネルディスプレイに形成される電極のピッチが狭くなった場合に、片持ち梁状の端子１１１の幅Ｋも狭くする必要がある。一般に、このような片持ち梁状の端子１１１は金属板をプレス加工することにより形成されるが、プレス加工の特性上、片持ち梁状の端子１１１の幅Ｋを狭くした場合には、金属板も薄くする必要があるため、薄く細い片持ち梁状の端子では、強度的な観点等からも接触圧を高めることが困難なものとなってしまう。
【００１０】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ガラス基板、プラスチック基板、フィルム基板等を用いたフラットパネルディスプレイの検査において、長期の使用において変形等することなく、配列されている電極に均一に接触させることが可能な構成のフラットパネルディスプレイの検査を行う検査装置のコネクタ及び検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、透明基板の表面に複数の電極の形成されているフラットパネルディスプレイの検査を行うための検査装置のコネクタにおいて、前記コネクタは、弾性を有する板状の絶縁体からなるコネクタ基板の上に、導電材料により構成される複数の端子が配列されたものであって、前記複数の端子は、対応する前記複数の電極と接触させることにより各々電気的な接続をとるためのものであり、前記コネクタ基板には前記端子の長さ方向に平行なスリットが、複数の前記端子ごとに周期的に形成されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、透明基板の表面に複数の電極の形成されているフラットパネルディスプレイの検査を行うための検査装置のコネクタにおいて、前記コネクタは、弾性を有する金属板上に絶縁膜を形成したコネクタ基板における、前記絶縁膜上に導電材料により構成される複数の端子が配列されたものであって、前記複数の端子は、対応する前記複数の電極と接触させることにより各々電気的な接続をとるためのものであり、前記コネクタ基板には前記端子の長さ方向に平行なスリットが、複数の前記端子ごとに周期的に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、前記金属板は、ステンレス又はリン青銅により形成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、前記透明基板は、ガラス基板、プラスチック基板または、フィルム基板であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、前記スリットの形成される長さは、前記電極と前記端子とが接触している長さよりも長いものであることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、前記端子は、前記コネクタ基板上に、銅、ニッケル、金を順に積層形成したもの、または、前記コネクタ基板上に、銅、ニッケル、パラジウム、金を順に積層形成したものであることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、前記スリット間に形成される端子は、２本以上５本以下であることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、前記記載のコネクタと、前記コネクタを介し前記フラットパネルディスプレイの電極に検査信号を供給するための信号供給装置と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ガラス基板、プラスチック基板、フィルム基板等を用いたフラットパネルディスプレイの検査において、長期の使用においても均一に電極に接触させることが可能な構成のフラットパネルディスプレイの検査を行う検査装置のコネクタ及び検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための最良の実施の形態について、以下に説明する。
【００２１】
本実施の形態は、フラットパネルディスプレイの検査を行う検査装置のコネクタである。この検査装置は、フラットパネルディスプレイの画素を構成する表示素子又は発光素子に電圧を印加、又は、電流を流すことにより、実際に表示素子又は発光素子を表示又は発光させて検査を行う検査装置である。このためフラットパネルディスプレイに形成された電極と電気的な接続をとるためのコネクタが必要となる。このコネクタは、各々の電極に対応した端子が設けられており、検査を行う際には、フラットパネルディスプレイに形成された電極と、検査装置のコネクタに設けられた端子とを各々接触させる。
【００２２】
また、フラットパネルディスプレイは、ガラス基板、有機材料からなるプラスチック基板または、フィルム基板等のフレキシブルで可視領域において透明な基板上に、各々の発光画素又は表示画素を駆動するための電極が形成されている。これらの基板は、上述のように、通常の電気配線の形成されているプリント基板とは異なる特徴を有している。
【００２３】
図１に、本実施の形態におけるフラットパネルディスプレイの電極に検査装置のコネクタの端子を接触させた状態のフラットパネルディスプレイの検査装置のコネクタの上面図を示し、図２に、図１における破線１Ａ−１Ｂにおいて切断した断面図を示す。
【００２４】
本実施の形態におけるフラットパネルディスプレイの検査装置のコネクタ１０は、
ステンレス等からなる弾性を有する金属板１１上にポリイミド等の絶縁膜１２を形成したコネクタ基板の上に、電極となる端子１３がくし状に形成されている。一方、フラットパネルディスプレイ２０では、可視領域において透明な基板の一種であるガラス基板２１上に電極２２が形成されている。フラットパネルディスプレイの検査装置のコネクタ１０には、フラットパネルディスプレイ２０における電極２２に対応した数の端子１３が形成されており、各々の端子１３は、フラットパネルディスプレイ２０における各々の電極２２と接触させることにより、電気的な導通をとることができる構成となっている。尚、検査装置のコネクタ１０における端子１３は、後述するよう金属膜の積層膜により構成されている。
【００２５】
次に、フラットパネルディスプレイの検査装置のコネクタ１０の構成について説明する。図３にフラットパネルディスプレイの検査装置のコネクタ１０の底面図を示し、図４に、図３における破線３Ａ−３Ｂにおいて切断した断面図を示す。
【００２６】
この検査装置のコネクタ１０は、前述のとおり、金属板１１上に絶縁膜１２を形成し、更に、その上に、各々の端子１３を形成したものである。
【００２７】
金属板１１は、弾性を有する程度の薄さに加工され、板バネとしての機能を有している。この金属板１１を構成する材料は、弾性を有するものであれば良く、ステンレスやリン青銅等の材料が挙げられる。本実施の形態では、金属板１１として、厚さ５０〜８０μｍのステンレスからなる基板を用いている。また、金属板１１には、形成される端子の長さ方向にスリット１４が形成されている。このスリット１４は、フラットパネルディスプレイにおける電極２２とコネクタの端子１３とを均一に接触させるためのものであり、スリット１４を形成することにより、スリット１４により仕切られた領域ごとに加わる力が異なる場合であっても、各々の力に対応して変形する。これにより、電極２２が配列されている領域が長くなっても、すべての電極２２と接触することが可能となる構成となっている。
【００２８】
このようなスリット１４を形成することにより、フラットパネルディスプレイの電極２２の配列されている領域に対応して、端子１３と容易に接触させることが可能となる。このため、いわゆるスリット１４の深さは、コネクタに形成された端子１３とフラットパネルディスプレイにおける電極２２とが接触する部分の長さよりも長く形成されていることが好ましい。具体的には、図１に示すように、コネクタ１０におけるスリット１４の長さ（深さ）Ｓは、コネクタ１０の端子１３とフラットパネルディスプレイ２０の電極２２との接触領域の長さＷよりも長く形成されていることが好ましい。スリット１４をこのような深さで形成することにより、フラットパネルディスプレイ２０の電極２２との電気的接続を確実なものとすることができる。本実施の形態では、スリット１４の長さ（深さ）Ｓは、約１．２ｍｍである。また、接触領域の長さＷは、約１．０ｍｍである。
【００２９】
絶縁膜１２は、ポリイミド等からなる有機絶縁材料により構成されている。尚、絶縁膜１２は、絶縁性を有する材料であって、柔軟性を有する材料であれば、有機材料、無機材料を問わず用いることが可能である。
【００３０】
端子１３は、金属膜を積層することにより形成されている。端子１３の構成は、図４に示すように、ステンレスからなる金属板１１上に絶縁膜１２の形成されたものの上に、銅（Ｃｕ）からなる第１金属膜３１を形成し、その上に、ニッケル（Ｎｉ）からなる第２金属膜３２を形成し、更にその上に、金（Ａｕ）からなる第３金属膜３３を積層形成したものである。
【００３１】
このように金属膜を積層形成することにより、各々の膜において機能分離をさせることができる。即ち、第１金属膜３１を構成する銅は、高い導電性を有し、第２金属膜を構成するにニッケルは腐食に強く比較的硬い、第３金属膜３３を構成する金は柔らかいものの腐食に強いという特性を有する。このように膜を多層化することにより、各々の材料の特徴を活かした端子１３を形成することができる。また、このような多層膜にすることにより、各々の金属膜に形成されるピンホールを減らすことができ、耐環境特性を向上させることが可能となる。これにより信頼性が高く耐久性の高い端子１３を得ることができる。
【００３２】
また、スリット１４は複数の端子１３ごとに形成されている。一つの端子１３ごとにスリット１４を形成した場合では、金属板１１の強度を維持することができず、力が加わった場合に、元には戻らない不可逆の変形をしてしまう場合がある。このような変形が生じてしまうと、フラットパネルディスプレイのすべての電極２２に端子１３を各々接触させることができなくなってしまう。このため、スリット１４は、数本の端子ごとに形成される。発明者の経験に基づくならば、スリット１４は２本以上５本以下の端子ごとに形成することが実用上好ましい。
【００３３】
一方、スリット１４が形成される間隔が広すぎると、コネクタの柔軟性が失われてしまい、フラットパネルディスプレイの電極２２への接触がされなくなってしまう箇所が生じてしまう。このため、スリット１４は、所定の間隔で形成されることが好ましい。本実施の形態では、このスリット１４は打ち抜き加工、ダイシングソー等による機械的加工または、ウエットエッチング等のエッチング加工により形成されており、スリット１４の形成されるピッチＰは、約１．５ｍｍである。
【００３４】
本実施の形態では、ステンレス等からなる金属板１１上に絶縁膜１２を形成したものを用いたが、弾性を有する基板であって、絶縁性を有するものであれば、単体の材料からなる基板を用いてもよい。具体的には、図５に示すように、絶縁性を有する有機材料からなるコネクタ基板４１上に、電極となる端子１３を構成する第１金属膜３１、第２金属膜３２、第３金属膜３３を積層形成したものであり、このような構成のコネクタにおいても同様の効果を得ることができる。
【００３５】
また、本実施の形態における検査装置のコネクタ１０は、図６に示すように、金属板１１上に絶縁膜１２を形成したものの上に、銅からなる第１金属層膜３６を形成し、その上に、ニッケルからなる第２金属膜３７を形成し、その上に、パラジウム（Ｐｄ）からなる第３金属層３８を形成し、その上に、金からなる第４金属層３９を形成した構成の端子１３であっても良い。
【００３６】
次に、図７に基づき、このコネクタ１０を用いたフラットパネルディスプレイの検査装置の概要について説明する。
【００３７】
本実施の形態におけるフラットパネルディスプレイの検査装置は、フラットパネルディスプレイ２０の電極と、検査装置のコネクタ１０における端子とを各々接続させて、検査装置本体５１からフラットパネルディスプレイ２０に電圧を印加、又は電流を流すことによりフラットパネルディスプレイ２０において表示を行う。フラットパネルディスプレイ２０に表示された画像を用いて、検査装置の検出器５２または人を介し、画素欠陥等や表示むら等の検査が行われる。このようにして、信号供給装置である検査装置本体５１より、コネクタ１０を介し検査のための検査信号を供給することにより、フラットパネルディスプレイ２０の検査が行われる。
【００３８】
本実施の形態におけるフラットパネルディスプレイの検査装置では、フラットパネルディスプレイの電極２２と検査装置のコネクタ１０の端子１３との接触を確実にすることができるため、接触不良に起因して生じていた良品を不良品と判断する等の誤判定を減らすことが可能となる。
【００３９】
以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】フラットパネルディスプレイの電極に接触させた状態の本実施の形態における検査装置のコネクタの上面透過図
【図２】フラットパネルディスプレイの電極に接触させた状態の本実施の形態における検査装置のコネクタの断面図
【図３】本実施の形態における検査装置のコネクタの底面図
【図４】本実施の形態における検査装置のコネクタの断面図
【図５】本実施の形態における別の検査装置のコネクタの断面図（１）
【図６】本実施の形態における別の検査装置のコネクタの断面図（２）
【図７】本実施の形態におけるコネクタを用いたフラットパネルディスプレイの検査装置の概要構成図
【図８】従来の検査装置のコネクタの上面図
【図９】従来の検査装置のコネクタの断面図
【符号の説明】
【００４１】
１０    コネクタ
１１    金属板
１２    絶縁膜
１３    端子
１４    スリット
２０    フラットパネルディスプレイ
２１    ガラス基板
２２    電極
３１    第１金属膜（銅）
３２    第２金属膜（ニッケル）
３３    第３金属膜（金）
【図１】
2010021019.tif 000003
【図２】
2010021019.tif 000004
【図３】
2010021019.tif 000005
【図４】
2010021019.tif 000006
【図５】
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【図６】
2010021019.tif 000008
【図７】
2010021019.tif 000009
【図８】
2010021019.tif 000010
【図９】
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