(57)【要約】【課題】スイッチを作動させるためのセンサ用磁石が設けられた揺動部材を確実に揺動させることができるようにした検出装置提供することにある。【解決手段】装置本体を構成するブラケット２２及び支持部材２５と、装置本体に中途部が揺動可能に支持された揺動部材２７と、揺動部材の一端部に設けられ搬送される基板が当たることで揺動部材を中立位置から揺動位置に揺動させる検知ローラ３１と、揺動部材の他端部に対向して設けられ磁界の変化に応じて信号を出力するリードスイッチ３８と、揺動部材の他端部に設けられ揺動部材とともに揺動することでリードスイッチに与える磁界を変化させるセンサ用磁石３３と、揺動部材の他端部の揺動方向の一方と他方の少なくともどちらかに対向して設けられ上記揺動部材が揺動したときにセンサ用磁石との間で揺動部材を中立位置に戻す磁気反発力を発生する反発用磁石を具備する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に搬送される被搬送部材を検出する検出装置であって、
装置本体と、
この装置本体に中途部が揺動可能に支持された揺動部材と、
この揺動部材の一端部に設けられ搬送される上記被搬送部材が当たることで上記揺動部材を中立位置から揺動位置に揺動させる検知部材と、
上記装置本体の上記揺動部材の他端部に対向する位置に設けられ磁界の変化に応じて信号を出力するスイッチと、
上記揺動部材の他端部に設けられ上記揺動部材とともに揺動することで上記スイッチに与える磁界を変化させるセンサ用磁石と、
上記揺動部材の他端部の揺動方向の一方と他方の少なくともどちらかに対向して設けられ上記揺動部材が揺動したときに上記センサ用磁石との間で上記揺動部材を上記中立位置に戻す磁気反発力を発生する反発用磁石と
を具備したことを特徴とする被搬送部材の検出装置。
【請求項２】
上記センサ用磁石は上記揺動部材の他端部に形成された収納孔に液密な状態で収容され、上記反発用磁石は耐薬品性を備えた合成樹脂製のチューブに液密な状態で収容されていることを特徴とする請求項１記載の被搬送部材の検出装置。
【請求項３】
上記装置本体はブラケットと、このブラケットに平行に離間対向して設けられた一対の支持部材とによって構成されていて、
上記支持部材の幅方向の中途部に上記揺動部材の中途部が揺動可能に支持され、
上記支持部材の幅方向両端に上記センサ用磁石と上記反発用磁石を収容したチューブの長手方向の両端部が保持されていることを特徴とする請求項１記載の被搬送部材の検出装置。
【請求項４】
被搬送部材を処理液によって処理する処理装置であって、
上記被搬送部材が搬入されるチャンバと、
このチャンバ内に搬入された被搬送部材に処理液を供給する処理手段と、
上記チャンバ内に搬入された被搬送部材を検出する検出装置を具備し、
上記検出装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする被搬送部材の処理装置。
【請求項５】
上記被搬送部材を傾斜させて搬送する搬送手段を備え、
上記検出装置は、上記揺動部材の回転軸線を上記被搬送部材の傾斜角度と同じ角度で傾斜させて配置されることを特徴とする請求項４記載の被搬送物の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はチャンバ内で処理液によって処理される被搬送部材が所定の位置に搬送されてきたときにそのことを検出する検出装置及びその検出装置が用いられた処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置の製造過程においては、被搬送部材としての矩形状のガラス製の基板に回路パターンを形成するということが行われている。回路パターンを形成する場合、上記基板に対して現像処理、エッチング処理あるいはレジストの剥離処理などの処理が行われる。
【０００３】
これらの処理工程を行う場合、基板がチャンバ内に搬入されて搬送ローラにより所定の位置まで搬送されたならば、そのことを検出装置で検出し、その検出に基いて基板に対する処理液の供給や搬送などの制御を行うようにしている。
【０００４】
上記検出装置としては特許文献１に示す構造が知られている。特許文献１に示された検出装置は装置本体を有し、この装置本体には揺動部材が揺動可能に支持されている。この揺動部材の一端部には搬送される基板が当たることで、上記揺動部材を揺動させる検知ローラが設けられている。
【０００５】
上記揺動部材の他端部には磁石が設けられ、この磁石に対向する位置にはリードスイッチが配置されている。上記揺動部材が揺動していない中立位置から揺動位置まで所定の角度揺動することで、上記磁石が上記リードスイッチに作用する磁界が変化する。それによって、その磁界の変化で揺動部材が揺動したか否か、つまり基板が揺動部材の検知ローラに当たる位置まで搬送されてきたかどうかを検知できるようになっている。
【０００６】
上記揺動部材の他端部にはウエイトが設けられている。そして、上記基板が上記検知ローラから外れる位置まで搬送されると、上記揺動部材は上記ウエイトの重量によって揺動位置から中立位置へ戻るようになっている。
【特許文献１】特開２００７−６６９８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記基板はチャンバ内で処理液を用いて現像処理、エッチング処理あるいはレジストの剥離処理などが行われる。上記検出装置はチャンバ内に設けられているから、基板を処理する処理液の影響を受けることが避けられない。
【０００８】
検出装置が薬液の影響を受けると、その装置本体の揺動部材を揺動可能に支持した支持部分に処理液が付着して凝固することがあるから、揺動部材は自重及び他端部に設けられたウエイトの重量によって揺動位置から中立位置に円滑に揺動し難くなるということが避けられないということがある。
【０００９】
それによって、上記基板が上記検出装置の検知ローラから外れる位置に搬送されても、上記揺動部材が揺動した状態から中立位置に戻らないということがあるため、リードスイッチが基板の搬送状態を正確に検知できないということになる。
【００１０】
特許文献１では揺動部材を揺動可能に支持した部分に処理液を供給することで、処理液が凝固して揺動部材の揺動が損なわれるのを防止するようにしている。揺動部材の支持部分に処理液を供給すれば、処理液が凝固して揺動部材の揺動の円滑性が損なわれるのを低減することができる。
【００１１】
しかしながら、長期の使用によって処理液が揺動部材の支持部分に入り込み、その一部が凝固するということがあるから、そのような場合には揺動部材は揺動の円滑性が損なわれ、揺動部材が揺動位置から中立位置に戻り難いということが生じる。
【００１２】
一方、最近では基板が大型化する傾向にある。基板が大型化した場合、基板を水平搬送するとたわみが生じ易いから、基板を水平面に対して所定の角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送するようにしている。
【００１３】
基板を７５度の角度で傾斜させて搬送する場合、上記検知装置は検知ローラが設けられた揺動部材の回転軸線を基板の傾斜角度と同じ７５度の角度となるよう配置することになる。つまり、検知ローラに基板が当たったときに、揺動部材が円滑に揺動するよう、揺動部材を基板の板面に対してほぼ直交する角度で配置する。
【００１４】
しかしながら、揺動部材をそのような角度、つまり水平面に対して２５度の傾斜角度で配置すると、搬送される基板が検知ローラから外れたとき、揺動部材の自重と、この揺動部材の他端部に設けられたウエイトの重量が揺動部材を揺動位置から揺動角度が０となる中立位置に戻す力としてほとんど作用しなくなるから、上記揺動部材が揺動位置から中立位置に戻り難いということがある。
【００１５】
基板を傾斜させて搬送する場合、上述したように揺動部材が自重やウエイトの重量によって揺動位置から中立位置に戻り難いということがある。そのため、上記揺動部材を揺動位置から中立位置にばねの復元力によって強制的に戻すことが考えられている。しかしながら、ばねは基板を処理する処理液によって早期に腐食され易いから、その機能が持続しないということがある。
【００１６】
この発明は、揺動位置に揺動した揺動部材を中立位置に確実に戻すことができるようにした被搬送部材の検知装置及びその検知装置を用いた被搬送物の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明は、所定方向に搬送される被搬送部材を検出する検出装置であって、
装置本体と、
この装置本体に中途部が揺動可能に支持された揺動部材と、
この揺動部材の一端部に設けられ搬送される上記被搬送部材が当たることで上記揺動部材を中立位置から揺動位置に揺動させる検知部材と、
上記装置本体の上記揺動部材の他端部に対向する位置に設けられ磁界の変化に応じて信号を出力するスイッチと、
上記揺動部材の他端部に設けられ上記揺動部材とともに揺動することで上記スイッチに与える磁界を変化させるセンサ用磁石と、
上記揺動部材の他端部の揺動方向の一方と他方の少なくともどちらかに対向して設けられ上記揺動部材が揺動したときに上記センサ用磁石との間で上記揺動部材を上記中立位置に戻す磁気反発力を発生する反発用磁石と
を具備したことを特徴とする被搬送部材の検出装置にある。
【００１８】
上記センサ用磁石は上記揺動部材の他端部に形成された収納孔に液密な状態で収容され、上記反発用磁石は耐薬品性を備えた合成樹脂製のチューブに液密な状態で収容されていることが好ましい。
【００１９】
上記装置本体はブラケットと、このブラケットに平行に離間対向して設けられた一対の支持部材とによって構成されていて、
上記支持部材の幅方向の中途部に上記揺動部材の中途部が揺動可能に支持され、
上記支持部材の幅方向両端に上記センサ用磁石と上記反発用磁石を収容したチューブの長手方向の両端部が保持されていることが好ましい。
【００２０】
この発明は、被搬送部材を処理液によって処理する処理装置であって、
上記被搬送部材が搬入されるチャンバと、
このチャンバ内に搬入された被搬送部材に処理液を供給する処理手段と、
上記チャンバ内に搬入された被搬送部材を検出する検出装置を具備し、
上記検出装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする被搬送部材の処理装置にある。
【００２１】
上記被搬送部材を傾斜させて搬送する搬送手段を備え、
上記検出装置は、上記揺動部材の回転軸線を上記被搬送部材の傾斜角度と同じ角度で傾斜させて配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
この発明によれば、揺動部材が中立位置から揺動位置に揺動したとき、揺動部材の他端部に設けられたセンサ用磁石と反発用磁石との間で磁気反発力が生じるから、その磁気反発力によって揺動部材を設置状態に大きく左右されることなく、確実に中立位置に戻すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は被搬送部材としての、たとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板Ｗを処理する処理装置の縦断面図であって、この処理装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１はベース板２上に支持部材３によって図１にθで示す所定の角度、たとえば水平面に対して７５度の角度で傾斜して設置されている。
【００２５】
上記チャンバ１の内部には、傾斜搬送手段を構成する複数の搬送軸５(１つのみ図示)が図１の紙面に直交するチャンバ１の幅方向に沿って所定間隔で設けられている。この搬送軸５には複数の支持ローラ６が軸方向に所定間隔で回転可能に設けられている。上記搬送軸５は、軸線が上記チャンバ１と同じ角度で傾斜するよう、上端及び下端がそれぞれブラケット７によって支持されている。
【００２６】
上記チャンバ１の幅方向一端面には上記基板Ｗが供給される搬入スリット、他端面にはチャンバ１内を搬送された基板Ｗが排出される搬出スリット(ともに図示せず)が形成されている。上記搬入スリットからチャンバ１内に供給された基板Ｗは下端が駆動ローラ８の外周面によって支持され、背面が上記支持ローラ６によって支持される。
【００２７】
上記駆動ローラ８は上記チャンバ１の内底部に軸受１０によって回転可能に支持された駆動軸９の一端に設けられている。この駆動軸９の他端はチャンバ１の前面に形成された動力室１１内に突出し、その突出端には従動歯車１２が嵌着されている。この従動歯車１２には駆動歯車１３が噛合され、この駆動歯車１３は駆動源１４によって回転駆動されるようになっている。すなわち、上記駆動ローラ８は上記駆動源１４によって回転駆動されるようになっている。
【００２８】
上記駆動ローラ８が回転駆動されれば、この駆動ローラ８の外周面に下端が支持され背面が支持ローラ６によって支持された上記基板Ｗが上記駆動ローラ８の回転方向に搬送されることになる。
【００２９】
上記チャンバ１内には、このチャンバ１内を搬送される上記基板Ｗの前面に対向して処理手段を構成する複数の給液管１６(１本のみ図示)が基板Ｗの搬送方向に対して所定間隔で配設されている。給液管１６には軸線方向に所定間隔で複数のノズル体１７が設けられている。
【００３０】
そして、上記基板Ｗがチャンバ１内に供給され、上記駆動ローラ８によって所定の位置まで搬送されたことが後述する検出装置２１によって検出されると、その検出に基いて上記給液管１６のノズル体１７から上記基板Ｗの前面にエッチング液や剥離液などの処理液が噴射されるようになっている。
【００３１】
上記検出装置２１は図２と図３に示すように板材からなるブラケット２２を有する。このブラケット２２には長手方向の一端に開放した溝２３が形成され、この溝２３によって幅方向の両端部に所定間隔で離間した一対の取付け片２４が形成されている。
【００３２】
一対の取付け片２４の外面には、それぞれ板状の支持部材２５の幅方向の一端部が取り付け固定されている。つまり、一対の支持部材２５は板面を平行に離間させて上記ブラケット２２に取り付けられている。この実施の形態では、上記ブラケット２２と一対の支持部材２５とで検出装置２１の装置本体を構成している。
【００３３】
上記ブラケット２２に形成された溝２３の開放端側に位置する上記一対の支持部材２５の一端部の幅方向中央部には支軸２６が架設されている。この支軸２６には揺動部材２７の中途部が回転可能に支持されている。つまり、揺動部材２７は上記支軸２６を支点として揺動可能に設けられている。
【００３４】
上記揺動部材２７は耐薬品性を備えた非磁性材、たとえばステンレス鋼や樹脂などの材料によって形成されていて、その一端部にはＵ字状の取り付け溝２８が設けられている。この取り付け溝２８には検知部材としての検知ローラ３１が支軸２９によって回転可能に支持されている。検知ローラ３１は径方向の一部を上記取り付け溝２８から外方へ突出させている。
【００３５】
上記揺動部材２７の他端部には収納孔３２が幅方向に沿って形成されている。この収納孔３２の一端は上記揺動部材２７の幅方向の一端面に開口していて、その内部には円柱状のセンサ用磁石３３が収容されている。センサ用磁石３３を収容した上記収納孔３２の開口は栓３４によって液密に閉塞されている。
【００３６】
それによって、上記チャンバ１内に設けられた上記検出装置２１に、基板Ｗを処理する処理液がかかっても、その処理液によって上記センサ用磁石３３が腐食するのが防止されるようになっている。
【００３７】
上記揺動部材２７は非磁性材料によって形成されている。そのため、揺動部材２７の収納孔３２に収納されたセンサ用磁石３３の磁力は上記揺動部材２７の外部に作用するようになっている。
【００３８】
上記一対の支持部材２５の他端面、つまり上記ブラケット２２に形成された溝２３の閉塞端側に位置する端面には、図３に示すように耐蝕性を有する樹脂製のチューブ３７の一端部がホルダ３６によって支持されている。このチューブ３７の一端部の内部、つまり上記揺動部材２７が揺動していない中立位置にあるとき、その他端部に設けられた上記センサ用磁石３３に対向するスイッチとしてのリードスイッチ３８が収容されている。上記リードスイッチ３８は上記センサ用磁石３３の磁力に応じて信号を出力するようになっている。
【００３９】
なお、スイッチとしてはリードスイッチ３８に代わり、ホール素子や磁気抵抗素子などのスイッチであってもよい。  
図１と図２に示すように、上記リードスイッチ３８からはリード線３９が導出されている。このリード線３９はチャンバ１の外部に設けられた制御装置４１に接続されている。この制御装置４１はリードスイッチ３８からの信号に基いて上記給液管１６に設けられたノズル体１７への処理液の供給を制御するようになっている。なお、詳細は図示しないが、ノズル体１７への処理液の供給は、上記給液管１６に接続された図示しない開閉制御弁の開閉を制御することで行われる。
【００４０】
図３に示すように、上記一対の支持部材２５の幅方向の両端面には帯状部材からなる保持部材４２が図示しないねじによって着脱可能に固定される。この保持部材４２と上記支持部材２５の端面との間には、上記揺動部材２７を支軸２６よりもわずかに下方の位置に第１の保持部４３と、この第１の保持部４３よりも下方であって、上記揺動部材２７が中立位置にあるときにその他端部に設けられたセンサ用磁石３３に対応する高さに第２の保持部４４が形成されている。
【００４１】
左右一対の上記第１の保持部４３には耐蝕性を有する樹脂製の第１のチューブ４５の両端部が保持され、左右一対の上記第２の保持部４４には耐蝕性を有する樹脂製の第２のチューブ４６の両端部が保持されている。
【００４２】
第１、第２のチューブ４５、４６の内には、それぞれ上記センサ用磁石３３に対して磁気反発力を生じる極性の第１の反発用磁石４７と第２の反発用磁石４８が収容されている。第１、第２の反発用磁石４７、４８を収容した各チューブ４５、４６の両端部はそれぞれ栓４９によって液密に閉塞されている。それによって、チューブ４５、４６の内部に基板Ｗを処理する処理液が浸入して上記磁石４７、４８を腐食することがないようになっている。
【００４３】
なお、上記チューブ４５，４６の両端部を閉塞した栓４９は、第１、第２の反発用磁石４７、４８を各チューブ４５，４６内の長手方向中途部でずれ動くことなく保持する保持部材としての機能を持っている。
【００４４】
このように構成された検出装置２１は、図２に示すようにチャンバ１内に、揺動部材２７の回転軸線Ｏ、つまり支軸２６の軸線を７５度の角度で傾斜して搬送される基板Ｗの傾斜角度と同じ角度で傾斜させ、しかも揺動部材２７の一端に設けられた検知ローラ３１の一部が同図にｄで示す寸法だけ搬送される基板Ｗの板面よりも突出する状態で設置される。具体的には、検出装置２１のブラケット２２をチャンバ１内に設けられた図示しない固定部材に連結固定して設置される。
【００４５】
そして、チャンバ１内に供給された基板Ｗが背面を支持ローラ６に支持され、下端を駆動ローラ８に駆動されて上記検出装置２１が設置された箇所まで搬送されてくると、その基板Ｗは揺動部材２７の一端に設けられた検知ローラ３１を押圧して揺動部材２７を揺動させる。
【００４６】
図４に示すように、揺動部材２７が中立位置Ｎから鎖線で示す左右どちらか一方の揺動位置Ｓに揺動すると、その他端に設けられたセンサ用磁石３３とリードスイッチ３８との対向間隔が変化するから、その変化によってリードスイッチ３８に作用するセンサ用磁石３３の磁力も変化する。それによって、リードスイッチ３８から制御装置４１に信号が出力され、その信号によって基板Ｗへの処理液の供給が開始される。
【００４７】
検知ローラ３１が基板Ｗに押圧されて揺動部材２７が揺動位置Ｓにあると、揺動部材２７の他端に設けられたセンサ用磁石３３は、揺動部材２７が中立位置Ｎにあるときよりも支持部材２５の幅方向一端側に設けられた第１、第２の反発用磁石４７，４８に接近する。
【００４８】
センサ用磁石３３が第１、第２の反発用磁石４７，４８に接近すると、センサ用磁石３３と第１、第２の反発用磁石４７，４８の間に磁気反発力が発生する。
【００４９】
基板Ｗが検知ローラ３１を押圧している間は、上記磁気反発力によって揺動部材２７が揺動位置Ｓから中立位置Ｎに戻ることはないが、基板Ｗが検知ローラ３１から外れると、上記磁気反発力によって揺動部材２７が揺動位置Ｓから中立位置Ｎに戻ることになる。
【００５０】
それによって、センサ用磁石３３がリードスイッチ３８に接近し、その信号が制御装置４１に出力されるから、制御装置４１は処理液の供給を停止することになる。
【００５１】
基板Ｗによる検知ローラ３１の押圧が解除されたとき、揺動部材２７は上述したようにセンサ用磁石３３と第１、第２の反発用磁石４７，４８の間に発生する磁気反発力によって揺動位置Ｓから中立位置Ｎに戻ることになる。つまり、磁気反発力によって揺動部材２７を揺動位置から中立位置Ｎに強制的に戻すことができる。
【００５２】
第１、第２の反発用磁石４７，４８は、支持部材２５の幅方向一端側と他端側の両方に設けられている。そのため、基板Ｗの搬送方向が逆方向になり、揺動部材２７が基板Ｗによって中立位置Ｎから揺動位置Ｓに揺動せられる方向が逆になっても、揺動部材２７に設けられたセンサ用磁石３３と、逆の揺動方向に設けられた第１、第２の反発用磁石４７，４８と、の間に磁気反発力が発生する。それによって、基板Ｗによる検知ローラ３１の押圧状態が解除されれば、上記揺動部材２７を確実に中立位置Ｎへ戻すことができる。
【００５３】
基板Ｗによる検知ローラ３１の押圧状態が解除され、センサ用磁石３３と、支持部材２５の幅方向一端側に設けられた第１、第２の反発用磁石４７，４８との磁気反発力で揺動部材２７が揺動位置Ｓから中立位置Ｎに戻るとき、揺動部材２７は中立位置Ｎを越えて揺動し過ぎてしまう虞がある。
【００５４】
しかしながら、第１、第２の反発用磁石４７，４８は、支持部材２５の幅方向一端側と他端側の両側に設けられているから、揺動部材２７が支持部材２５の幅方向一端側の第１、第２の反発用磁石４７，４８との反発力で中立位置Ｎを越えてさらに揺動しようとすると、幅方向他端側の第１、第２の反発用磁石４７，４８から反発力を受ける。
【００５５】
それによって、上記揺動部材２７が中立位置Ｎを超えて揺動し過ぎるのを防止することができるから、リードスイッチ３８がセンサ用磁石３３から受ける磁界によって誤動作するのを防止することができる。
【００５６】
揺動部材２７を揺動位置Ｓから中立位置Ｎへ戻すための磁気反発力を発生させるために、リードスイッチ３８を作動させるためのセンサ用磁石３３を利用するようにしている。つまり、センサ用磁石３３を揺動部材２７の揺動検出と、磁気反発力を発生とに兼用しているから、その分、部品点数を少なくすることができる。
【００５７】
上記センサ用磁石３３は揺動部材２７に形成された収納孔３２に液密に収容され、第１、第２の反発用磁石４７，４８は第１、第２のチューブ４５，４６に液密に収容されている。
【００５８】
そのため、基板を処理する処理液が周囲に飛散しても、各磁石３３，４７，４８に処理液が直接かかることがないから、これら磁石が処理液によって腐食されるのが防止される。つまり、各磁石３３，４７，４８によって揺動部材２７の揺動を検出したり、磁気反発力を発生させるという機能を長期にわたって安定した状態で維持することができる。
【００５９】
基板Ｗを水平搬送する場合には、揺動部材２７が基板Ｗの板面に対して直角になるよう、揺動部材２７を鉛直に配置するため、揺動部材２７は基板Ｗによる押圧状態が解除されれば、自重或いは揺動部材２７の他端部に設けられるウエイトなどの重量によって中立位置に戻ることができる。
【００６０】
上述した実施の形態のように、基板Ｗを水平面に対して７５度の角度で傾斜して搬送する場合、検出装置２１は、基板Ｗの板面に対して揺動部材２７の先端に設けられた検知ローラ３１が直角に当たるよう、揺動部材２７の回転軸線Ｏを基板Ｗの傾斜角度と同じ角度で傾斜させて配置される。つまり、揺動部材２７は水平面に対して２５度の角度で傾斜した状態になる。
【００６１】
揺動部材２７の傾斜角度が鉛直状態に比べて大幅に小さい２５度であると、検知ローラ３１が基板Ｗによって押圧されて揺動部材２７が揺動した後、その押圧状態が解除されても、揺動部材２７の自重或いは他端部に設けられたウエイトの重量が揺動部材２７を元の中立位置Ｎに戻す力としてほとんど作用することがない。そのため、揺動部材２７が中立位置Ｎに確実に戻らないということが生じる。
【００６２】
しかしながら、上述したように支持部材２５の幅方向両側に第１、第２の反発用磁石４７，４８を設け、揺動部材２７が揺動位置Ｓにあるとき、揺動部材２７に設けられたセンサ用磁石３３との間で磁気反発力を発生させるようにしたから、その磁気反発力によって揺動部材２７を揺動位置Ｓから中立位置Ｎに確実に戻ることができる。
【００６３】
上記一実施の形態では、基板を７５度の角度で傾斜して搬送する場合に検出装置を適用した例を挙げて説明したが、基板波７５度以外の角度で傾斜して搬送される場合や水平に搬送される場合であっても、この発明の検出装置を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】この発明の一実施の形態を示す検知装置が設置された基板を処理するチャンバの縦断面図。
【図２】上記チャンバ内に設けられた検知装置を一部断面した拡大図。
【図３】上記検知装置の側面図。
【図４】上記検知装置の揺動部材が中立位置と揺動位置との間で揺動する状態を説明するための図。
【符号の説明】
【００６５】
１…チャンバ、１６…給液管(処理手段)、２１…検出装置、２２…ブラケット(装置本体)、２５…支持部材(装置本体)、２７…揺動部材、３１…検知ローラ(検知部材)、３３…センサ用磁石、３８…リードスイッチ、４１…制御装置、４５，４６…チューブ、４７…第１の反発用磁石、４８…第２の反発用磁石。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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