(57)【要約】【課題】脱塩性能を回復し、洗浄後の運転再開において、早期に高い水質の脱イオン水が得られるＥＤＩの洗浄方法。【解決手段】脱塩室２室構造の電気式脱イオン水製造装置１０の洗浄方法であって、カチオン交換体を含むイオン交換体が充填されたカチオン除去室５２に酸性液を流すカチオン再生操作を備えたカチオン洗浄工程、及び／又は、アニオン交換体を含むイオン交換体が充填されたアニオン除去室５４にアルカリ性液を流すアニオン再生操作を備えたアニオン洗浄工程を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極側のカチオン交換膜と陽極側のアニオン交換膜とで区画され、被処理水を流通する脱塩室が設けられ、
前記カチオン交換膜又は前記アニオン交換膜を介して、前記脱塩室の両側に濃縮室が設けられ、
前記脱塩室は、前記カチオン交換膜と前記アニオン交換膜との間に配置された中間イオン交換膜によって、その厚さ方向に区画され、
前記カチオン交換膜と前記中間イオン交換膜とで区画されたカチオン除去室には、カチオン交換体を含むイオン交換体が充填され、
前記アニオン交換膜と前記中間イオン交換膜とで区画されたアニオン除去室には、アニオン交換体を含むイオン交換体が充填された電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法において、
前記カチオン除去室に酸性液を流すカチオン再生操作を備えたカチオン洗浄工程、及び／又は、前記アニオン除去室にアルカリ性液を流すアニオン再生操作を備えたアニオン洗浄工程を有することを特徴とする、電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法。
【請求項２】
前記カチオン再生操作は、酸性液を被処理水の流通方向と向流になるように流すことを特徴とする、請求項１に記載の電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法。
【請求項３】
前記アニオン再生操作は、アルカリ性液を被処理水の流通方向と向流になるように流すことを特徴とする、請求項１又は２に記載の電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法。
【請求項４】
前記アニオン洗浄工程及び前記カチオン洗浄工程を有し、前記アニオン洗浄工程の頻度は、前記カチオン洗浄工程の頻度の２〜１０倍であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
脱イオン水を製造する方法として、イオン交換樹脂に被処理水を通水して脱イオンを行う方法が知られている。しかし、この方法ではイオン交換樹脂の脱塩性能が飽和したときに、薬剤によって再生を行う必要がある。近年、このような処理操作上の不利な点を解消するため、薬剤による再生が不要な電気式脱イオン水製造装置（以下、ＥＤＩという）が実用化されている。
【０００３】
ＥＤＩは、電気泳動と電気透析とを組み合わせた脱イオン水製造装置である。ＥＤＩは、アニオン交換膜とカチオン交換膜との間にイオン交換体を充填し脱塩室とし、イオン交換膜の外側に陽極を備える陽極室と、陰極を備える陰極室（以下、陽極と陰極を総じて、電極ということがある）を配置した装置である。ＥＤＩによる脱イオン水の製造方法は、電極に直流電圧を印加した状態で脱塩室に被処理水を通水することにより、被処理水中のイオン成分をイオン交換体で吸着し、電気泳動にて膜面までイオンを泳動させ、イオン交換膜にて電気透析して濃縮水中へと除去するものである。このＥＤＩは、脱塩室内の異種のイオン交換体の界面（以下、異種イオン交換体界面という）にて生じる電位差により、水の解離反応が進行し、Ｈ＋とＯＨ−が生成することで、脱塩室内のイオン交換体を連続して再生するものである。このように、ＥＤＩは、電気によりイオン交換体を連続して再生するため、薬剤によるイオン交換体の再生を行わずに連続運転できる。
【０００４】
ところで、イオン交換体に吸着したイオンは、その種類によりイオン交換体からの脱着のしやすさが異なる。一般的には１価イオンよりも２価イオンや３価イオン等の多価イオンが脱着しにくいと言われている。ＥＤＩの運転中においては、Ｎａ＋等の１価イオンはイオン交換体から脱着しやすく、イオン交換体に残留する量は少ない。一方、硬度成分（Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等）やＳｉＯ２（シリカは、特別な形態をとることが多いため、一般のイオンとは異なった表示とする）は、イオン交換体から脱着しにくく、イオン交換体に残留しやすい。
【０００５】
被処理水には、イオン交換体から脱着しにくい硬度成分やＳｉＯ２等が含まれることが多い。このため、ＥＤＩを長期間運転したり、硬度成分やＳｉＯ２が高濃度に含まれる被処理水を処理すると、脱塩室のイオン交換体には、イオン交換体から脱着しにくいイオン成分が徐々に蓄積されることとなる。この結果、脱塩室のイオン交換体のイオン交換能力が次第に低下し、得られる脱イオン水は、比抵抗が低下する等の水質低下を招くことがある。
【０００６】
加えて、ＥＤＩの脱塩室の電気抵抗は、その脱塩室のイオン交換体の種類や吸着しているイオンの種類により異なることが知られている。例えば、一般的なアニオン交換体は、塩素イオン（Ｃｌ−）や水酸化物イオン（ＯＨ−）が吸着していると、比較的、低い電気抵抗となる。一方、炭酸イオン（ＣＯ３２−）や炭酸水素イオン（ＨＣＯ３−）、ＳｉＯ２が吸着している場合には、比較的、高い電気抵抗となる。脱塩室内に充填されたイオン交換体にＳｉＯ２が多量に吸着して電気抵抗が高くなると、脱塩室では被処理水中のイオン成分に対する電流効率の低下、さらにはイオン交換体の再生効率の低下を招き、得られる脱イオン水の水質が低下する。
近年、ＥＤＩの電流効率の向上を図るために、脱塩室１つ当たりの濃縮室の数を従来の約半分にし、ＥＤＩの電気抵抗を著しく低減できる脱塩室２室構造のＥＤＩが提案されている（例えば、特許文献１）。しかし、かかる脱塩室２室構造のＥＤＩにおいても、イオン交換体へのイオン成分の蓄積により、次第に電気抵抗の上昇や脱イオン水の水質低下を生じる。
【０００７】
このような問題に対し、脱塩室に酸性液又はアルカリ性液を通液し、ＥＤＩの脱塩性能を回復することが試みられている。例えば、特許文献２では、脱塩室にカチオン交換体のカチオン交換基の対イオンのＨ＋を置換する１価のカチオンを有する化合物の水溶液を流した後、アルカリ性液を流すことで、イオン交換体に吸着したＳｉＯ２を良好に除去する洗浄方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３３８５５５３号公報
【特許文献２】特許第３７３１８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来のＥＤＩは、被処理水中のアニオン成分（Ｃｌ−、ＨＣＯ３−、ＣＯ３２−、ＳｉＯ２等）とカチオン成分（Ｎａ＋、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等）とを１つの脱塩室で除去する必要があるため、脱塩室に充填するイオン交換体はアニオン交換体とカチオン交換体との混床形態あるいは複床形態で充填されることが多い。
このため、脱塩室には、カチオン成分の除去を担うカチオン交換体と、アニオン成分の除去を担うアニオン交換体とが存在することとなり、それぞれのイオン交換体を適切な薬液で洗浄することができない。例えば、洗浄液として、塩酸水溶液を用いた場合には、カチオン交換体はＨ形に再生されるのに対して、アニオン交換体は塩化物イオンが吸着した塩形となる。また、例えば、洗浄液として水酸化ナトリウム水溶液を用いた場合には、アニオン交換体はＯＨ形に再生されるのに対して、カチオン交換体はナトリウムイオンが吸着した塩形となる。このような状態でＥＤＩの運転を再開すると、脱イオン水が目的の水質に至るまでに長時間を有するという問題があった。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、イオン交換体の脱塩性能を回復し、洗浄後の運転再開において、早期に高い水質の脱イオン水が得られるＥＤＩの洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者達は、検討した結果、脱塩室２室構造のＥＤＩにおいて、陰極側に設けられ主にカチオン成分を除去するカチオン除去室と、陽極側に設けられ主にアニオン成分を除去するアニオン除去室とに、それぞれの特性に応じた洗浄を行うことで、脱塩性能を十分に回復し、かつ、ＥＤＩの運転再開において早期に高い水質の脱イオン水が得られることを見出し、本発明に至った。
【００１２】
本発明のＥＤＩの洗浄方法は、陰極側のカチオン交換膜と陽極側のアニオン交換膜とで区画され、被処理水を流通する脱塩室が設けられ、前記カチオン交換膜又は前記アニオン交換膜を介して、前記脱塩室の両側に濃縮室が設けられ、前記脱塩室は、前記カチオン交換膜と前記アニオン交換膜との間に配置された中間イオン交換膜によって、その厚さ方向に区画され、前記カチオン交換膜と前記中間イオン交換膜とで区画されたカチオン除去室には、カチオン交換体を含むイオン交換体が充填され、前記アニオン交換膜と前記中間イオン交換膜とで区画されたアニオン除去室には、アニオン交換体を含むイオン交換体が充填された電気式脱イオン水製造装置の洗浄方法において、前記カチオン除去室に酸性液を流すカチオン再生操作を備えたカチオン洗浄工程、及び／又は、前記アニオン除去室にアルカリ性液を流すアニオン再生操作を備えたアニオン洗浄工程を有することを特徴とする。
【００１３】
前記カチオン再生操作は、酸性液を被処理水の流通方向と向流になるように流すことが好ましく、前記アニオン再生操作は、アルカリ性液を被処理水の流通方向と向流になるように流すことが好ましく、前記アニオン洗浄工程及び前記カチオン洗浄工程を有し、前記アニオン洗浄工程の頻度は、前記カチオン洗浄工程の頻度の２〜１０倍であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のＥＤＩの洗浄方法によれば、イオン交換体の脱塩性能を回復し、洗浄後の運転再開において、早期に水質の高い脱イオン水が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の洗浄方法に用いるＥＤＩの一例を示す断面図である。
【図２】実施例１、比較例１〜２における運転時間と脱イオン水の比抵抗との相関を示すグラフである。
【図３】実施例１〜２における運転時間と脱イオン水の比抵抗との相関を示すグラフである。
【図４】実施例２〜３における運転時間と脱イオン水の比抵抗との相関を示すグラフである。
【図５】実施例４〜５における運転時間と電気抵抗比との相関を示すグラフである。
【図６】比較例１に用いたＥＤＩを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態の一例について、図１を用いて説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１７】
（ＥＤＩ）
図１は、本発明のＥＤＩの洗浄方法に用いるＥＤＩ１０の断面図である。図１に示すように、ＥＤＩ１０は陰極２２と陽極６２との間に、複数の脱塩室５０が、濃縮室３０に挟持されて配置されている。
【００１８】
脱塩室５０は、カチオン除去室５２とアニオン除去室５４とで構成されている。カチオン除去室５２は、カチオン交換膜４２と枠体５１と中間イオン交換膜４４とが陰極２２側から順に配置され、枠体５１の開口部にカチオン交換体を含むイオン交換体が充填され形成されている。アニオン除去室５４は、中間イオン交換膜４４と枠体５３とアニオン交換膜４６とが陰極２２側から順に配置され、枠体５３の開口部にアニオン交換体を含むイオン交換体が充填され形成されている。こうして、脱塩室５０は中間イオン交換膜４４によって厚さ方向に略二分され、脱塩室５０には、中間イオン交換膜４４を介して隣接するカチオン除去室５２とアニオン除去室５４とが設けられている。
【００１９】
カチオン除去室５２には、被処理水流入ライン５５と被処理水流出ライン５６とが接続されている。被処理水流出ライン５６は、取り外し可能な配管（不図示）により、被処理水流入ライン５７と接続されている。アニオン除去室５４には、被処理水流入ライン５７と脱イオン水流出ライン５８とが接続されている。陰極２２及び陽極６２は、図示されない電源と接続されている。
【００２０】
陰極室２０は、陰極２２と枠体２１と仕切り膜２４とが、陰極２２側から順に配置され、形成されている。陰極室２０には、電極水流入ライン２３と電極水流出ライン２５とが接続されている。陽極室６０は、仕切り膜２４と枠体６１と陽極６２とが、陰極２２側から順に配置され、形成されている。陽極室６０には、電極水流入ライン６３と電極水流出ライン６５とが接続されている。
【００２１】
濃縮室３０は、脱塩室５０の両側にカチオン交換膜４２又はアニオン交換膜４６を介して枠体３１が配置され、形成されている。濃縮室３０には、濃縮水流入ライン３３と濃縮水流出ライン３５とが接続されている。
【００２２】
中間イオン交換膜４４は、被処理水の水質、脱イオン水に求める水質、カチオン除去室５２又はアニオン除去室５４に充填するイオン交換体の種類等を勘案して選択することができる。中間イオン交換膜４４としては、アニオン交換膜もしくはカチオン交換膜の単一膜、又は、アニオン交換膜とカチオン交換膜との両方を配置した複合膜のいずれであってもよい。
【００２３】
カチオン除去室５２に充填するイオン交換体は、カチオン交換体を含むものである。
カチオン除去室５２に充填するイオン交換体の充填形態は、特に限定されず、例えば、カチオン交換体の単床形態、カチオン交換体とアニオン交換体との混床形態又は複床形態が挙げられる。カチオン除去室５２は、主に被処理水中のカチオン成分（Ｎａ＋、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等）を除去するためである。
【００２４】
カチオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。カチオン交換体の種類は特に限定されず、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等が挙げられる。
【００２５】
アニオン除去室５４に充填するイオン交換体は、アニオン交換体を含むものである。
アニオン除去室５４に充填するイオン交換体の充填形態は、特に限定されず、例えば、アニオン交換体の単床形態、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態又は複床形態が挙げられる。アニオン除去室５４は、主に被処理水中のアニオン成分（Ｃｌ−、ＣＯ３２−、ＨＣＯ２−、ＳｉＯ２等）を除去するためである。
【００２６】
アニオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。アニオン交換体の種類は特に限定されず、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等が挙げられる。
【００２７】
枠体５１、５３は、絶縁性を有し、被処理水が漏洩しない素材であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ノリル等の樹脂製の枠体を挙げることができる。
【００２８】
濃縮室３０は、濃縮水が流通できる構造であればよい。例えば、枠体３１の開口部には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ノリル等の樹脂製のメッシュや、通水性を有する格子状の枠材を設置してもよいし、イオン交換体を充填してもよい。
枠体３１の材質は、枠体５１と同様である。
【００２９】
陰極室２０は、電極水が流通できる構造であればよい。例えば、枠体２１の開口部には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ノリル等の樹脂製のメッシュや、通水性を有する格子状の枠材を設置してもよいし、イオン交換体を充填してもよい。陽極室６０は、陰極室２０と同様に、電極水が流通できる構造であればよい。
【００３０】
陰極２２は、陰極としての機能を発揮するものであれば特に限定されず、例えば、板状のステンレスや網状のステンレス、又は、白金、パラジウム、イリジウム等の貴金属、あるいは前記貴金属をチタン等に被覆した網状あるいは板状の電極を挙げることができる。陽極６２は、陽極として機能を発揮するものであれば特に限定されないが、電極水中にＣｌ−が存在する場合には、陽極には塩素発生が起きるため、耐塩素性能を有するものが好ましい。例えば、白金、パラジウム、イリジウム等の貴金属、あるいは前記貴金属をチタン等に被覆した網状あるいは板状の電極を挙げることができる。
【００３１】
仕切り膜２４は、イオン交換膜であれば特に限定されず、被処理水の水質や、ＥＤＩ１０の運転条件等を考慮して選択することができる。例えば、カチオン交換膜又はアニオン交換膜を選択することができる。
枠体２１の材質は、枠体５１と同様であり、枠体６１の材質は、枠体５１と同様である。
【００３２】
（ＥＤＩの洗浄方法）
本発明のＥＤＩの洗浄方法は、カチオン除去室５２に酸性液を流すカチオン再生操作を備えたカチオン洗浄工程、及び／又は、アニオン除去室５４にアルカリ性液を流すアニオン再生操作を備えたアニオン洗浄工程を有する。ＥＤＩの洗浄は、脱塩室５０のイオン交換体にイオン成分が蓄積し脱塩性能が低下した場合等に、ＥＤＩの運転を一旦停止して行われる。
【００３３】
＜脱イオン水の製造＞
ＥＤＩ１０を用いた脱イオン水の製造方法の一例について、図１を用いて説明する。まず、電極水流入ライン２３から陰極室２０に電極水を流入させ、電極水流入ライン６３から陽極室６０に電極水を流入させる。濃縮水流入ライン３３から濃縮室３０に濃縮水を流入させる。そして、陰極２２と陽極６２との間に、直流電圧を印加する。
【００３４】
被処理水を被処理水流入ライン５５からカチオン除去室５２に流入させる。流入した被処理水は、カチオン除去室５２内のイオン交換体内を拡散しながら流通し、被処理水流出ライン５６から流出する。この間、被処理水中のＮａ＋、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等のカチオン成分はカチオン交換体に吸着される。同時に、異種イオン交換体界面では、水分解によりＯＨ−とＨ＋とが生成される。そして、カチオン交換体は、生成したＨ＋と、カチオン交換体に吸着されているカチオン成分とが交換され、再生される。カチオン交換体から脱着したカチオン成分は、カチオン交換膜４２を透過して、濃縮室３０に移動する。濃縮室３０に移動したカチオン成分は、濃縮水に取り込まれて濃縮水流出ライン３５から排出される。
【００３５】
被処理水流出ライン５６から流出した被処理水は、図示されない配管と被処理水流入ライン５７とを順に経由し、アニオン除去室５４に流入する。アニオン除去室５４に流入した被処理水は、アニオン除去室５４内のイオン交換体内を拡散しながら流通する。この間、被処理水中のＣｌ−、ＣＯ３２−、ＨＣＯ３−、ＳｉＯ２等のアニオン成分は、アニオン交換体に吸着される。そして、アニオン交換体は、吸着されたアニオン成分とＯＨ−とが交換されて再生する。アニオン交換体から脱着したアニオン成分は、陽極６２に引き寄せられアニオン交換膜４６を透過し、濃縮室３０に移動する。濃縮室３０に移動したアニオン成分は、濃縮水に取り込まれて濃縮水流出ライン３５から排出される。
こうして、被処理水は、カチオン成分とアニオン成分とが高度に除去された脱イオン水となって、脱イオン水流出ライン５８から流出する。
【００３６】
電極水流入ライン２３から、陰極室２０に流入した電極水は、陰極室２０内を上昇流で流通する。この間、電極水は、陰極２２から発生したＨ２等を取り込んで、電極水流出ライン２５から流出する。電極水流入ライン６３から陽極室６０に流入した電極水は、陽極室６０内を上昇流で流通する。この間、電極水は、陽極６２から発生したＣｌ２、Ｏ２等を取り込んで、電極水流出ライン６５から流出する。
【００３７】
被処理水は特に限定されないが、工業用水や井水の濁質成分を除濁膜にて除去した水を逆浸透（ＲＯ）膜にて処理した水、さらには脱炭酸塔等で脱炭酸処理した水等が挙げられる。
【００３８】
濃縮水に用いる原水は、特に限定されることはなく、被処理水と同じ水源の水を濃縮水の原水として使用しても良いし、脱イオン水や純水等を使用しても良い。
【００３９】
電極水に用いる原水は、特に限定されることはなく、被処理水と同じ水源の水を電極水の原水として使用しても良いし、脱イオン水や純水等を使用しても良い。
【００４０】
＜洗浄方法＞
ＥＤＩ１０は、上述のような脱イオン水の製造を行うと、次第にカチオン除去室５２のイオン交換体や、アニオン除去室５４のイオン交換体にイオン成分が蓄積され、それぞれのイオン交換体の再生形の割合が少なくなる。このように、イオン交換体の再生形の割合が少なくなると、被処理水中のイオン成分を十分に吸着することができず、脱イオン水の水質が低下する。この際、ＥＤＩ１０の運転を一旦停止し、洗浄を行う。
【００４１】
≪カチオン洗浄工程≫
カチオン洗浄工程は、カチオン除去室５２に酸性液を流すカチオン再生操作を備える。
まず、ＥＤＩ１０への被処理水、濃縮水及び電極水の供給を停止し、陰極２２と陽極６２との間への電圧の印加を停止する。次いで、被処理水流出ライン５６と被処理水流入ライン５７とを接続する配管を取り外し、カチオン除去室５２に酸性液を流す（カチオン再生操作）。カチオン除去室５２に流入した酸性液は、カチオン除去室５２に充填したイオン交換体内を拡散しながら流通する。この間、カチオン交換体に吸着したＮａ＋、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等のカチオン成分と、酸性液のＨ＋が置換されて、カチオン交換体は再生される。任意の量の酸性液をカチオン除去室５２に流した後、酸性液のカチオン除去室５２への供給を停止する（以上、カチオン洗浄工程）。そして、洗浄水をカチオン除去室５２に流し、カチオン除去室５２内に残留する酸性液をカチオン除去室５２から排出する（カチオン水洗工程）。
【００４２】
酸性液は、カチオン交換体を再生できるものであればよく、カチオン交換体の種類を勘案して決定することができ、例えば、塩酸、硫酸等の水溶液が挙げられる。
酸性液の濃度は、カチオン交換体の種類や、酸性液の種類を勘案して決定することができる。例えば、塩酸水溶液を酸性液とする場合、塩酸濃度は２〜１０質量％、より好適には３〜４質量％の範囲から決定される。上記範囲内であれば、カチオン交換体の再生が十分に行え、かつ、カチオン交換体への損傷が少ないためである。
【００４３】
カチオン再生操作で流通させる酸性液の量は、酸性液の種類、濃度、カチオン交換体の汚染の程度を勘案して決定できる。
【００４４】
カチオン再生操作における酸性液の通液速度は、酸性液の種類、濃度、カチオン交換体の汚染の程度を勘案して決定でき、例えば、脱イオン水の製造時における被処理水の通水速度の１／２００〜２倍が好ましい。
【００４５】
カチオン再生操作における酸性液の温度は、イオン交換体の種類等を勘案して決定できる。
【００４６】
カチオン再生操作における酸性液の流通の方法は、例えば、任意の量の酸性液をカチオン除去室５２に循環流通させてもよく、酸性液を循環させずに廃棄してもよい。
【００４７】
カチオン再生操作における酸性液の流通方向は特に限定されず、例えば、被処理水の流通方向と同方向、即ち、被処理水流入ライン５５から酸性液をカチオン除去室５２に流し、被処理水流出ライン５６から酸性液を排出してもよい。また、例えば、酸性液の流通方向は、被処理水の流通方向に対して向流、即ち、被処理水流出ライン５６からカチオン除去室５２に酸性液を流し、被処理水流入ライン５５から排出してもよい。中でも、酸性液の流通方向は、被処理水の流通方向に対して向流とすることが好ましい。被処理水の流通方向の上流側のイオン交換体は、下流側のイオン交換体に比べてイオン交換の負荷が大きいため、前記下流側のイオン交換体よりも再生形の割合が少ない。このため、被処理水の流通方向と同様に酸性液を流すと、前記上流側のイオン交換体から脱着したイオン成分を高濃度に含む酸性液が下流側のイオン交換体と接触するため、前記下流側のイオン交換体の再生が不十分となることがある。従って、カチオン再生操作は、酸性液を被処理水の流通方向に対し向流とし、酸性液による再生の必要が少ないイオン交換体から洗浄することで、短時間で効率的にカチオン交換体を再生できる。
【００４８】
カチオン水洗工程で用いる洗浄水としては、例えば、ＥＤＩで処理した脱イオン水等が挙げられる。
【００４９】
≪アニオン洗浄工程≫
アニオン洗浄工程は、アニオン除去室５４にアルカリ性液を流すアニオン除去操作を備える。
ＥＤＩ１０への被処理水、濃縮水及び電極水の供給を停止し、陰極２２と陽極６２との間への電圧の印加を停止する。次いで、被処理水流出ライン５６と被処理水流入ライン５７とを接続する配管を取り外し、アニオン除去室５４にアルカリ性液を流す（アニオン再生操作）。アニオン除去室５４に流入したアルカリ性液は、アニオン除去室５４に充填したイオン交換体内を拡散しながら流通する。この間、アニオン交換体に吸着したＣｌ−、ＣＯ３２−、ＨＣＯ３−、ＳｉＯ２等のアニオン成分と、アルカリ性液のＯＨ−が置換されて、アニオン交換体は再生される。任意の量のアルカリ性液をアニオン除去室５４に流した後、アルカリ性液のアニオン除去室５４への供給を停止する（以上、アニオン洗浄工程）。そして、洗浄水をアニオン除去室５４に流し、アニオン除去室５４内に残留するアルカリ性液をアニオン除去室５４から排出する（アニオン水洗工程）。
【００５０】
アルカリ性液は、アニオン交換体を再生できるものであればよく、アニオン交換体の種類を勘案して決定することができ、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水溶液が挙げられる。
アルカリ性液の濃度は、アニオン交換体の種類や、アルカリ性液の種類を勘案して決定することができる。例えば、水酸化ナトリウム水溶液をアルカリ性液とする場合には、１〜１０質量％、より好適には４〜５質量％の範囲から決定される。上記範囲内であれば、アニオン交換体の再生が十分に行え、かつ、アニオン交換体への損傷が少ないためである。
【００５１】
アニオン再生操作で流通させるアルカリ性液の量は、アルカリ性液の種類、濃度、アニオン交換体の汚染の程度を勘案して決定できる。
【００５２】
アニオン再生操作におけるアルカリ性液の通液速度は、アルカリ性液の種類、濃度、アニオン交換体の汚染の程度を勘案して決定でき、例えば、脱イオン水の製造時における被処理水の通水速度の１／２００〜２倍が好ましい。
【００５３】
アニオン再生操作におけるアルカリ性液の温度は、イオン交換体の種類等を勘案して決定することができ、例えば、３０〜９０℃が好ましく、４０〜６０℃がより好ましい。上記範囲内であれば、アニオン交換体に吸着したＳｉＯ２の脱着を促進できるためである。
【００５４】
アニオン再生操作におけるアルカリ性液の流通の方法は、例えば、任意の量のアルカリ性液をアニオン除去室５４に循環させてもよく、アルカリ性液を循環させずに廃棄してもよい。
【００５５】
アニオン再生操作におけるアルカリ性液の流通方向は特に限定されず、例えば、被処理水の流通方向と同方向、即ち、被処理水流入ライン５７からアルカリ性液をアニオン除去室５４に流し、脱イオン水流出ライン５８からアルカリ性液を排出してもよい。また、例えば、アルカリ性液の流通方向は、被処理水の流通方向に対して向流、即ち、脱イオン水流出ライン５８からアニオン除去室５４にアルカリ性液を流し、被処理水流入ライン５７から排出してもよい。中でも、アルカリ性液の流通方向は、被処理水の流通方向に対して向流とすることが好ましい。被処理水の流通方向の上流側のイオン交換体は、下流側のイオン交換体に比べてイオン交換の負荷が大きいため、前記下流側のイオン交換体よりも再生形の割合が少ない。このため、アニオン再生操作は、アルカリ性液を被処理水の流通方向に対し向流とし、アルカリ性液による再生の必要が少ないイオン交換体から洗浄することで、短時間で効率的にアニオン交換体を再生できる。
なお、アニオン再生操作におけるアルカリ性液の流通方向は、カチオン再生操作における酸性液の流通方向と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００５６】
アニオン水洗工程で用いる洗浄水としては、例えば、ＥＤＩで処理した脱イオン水等が挙げられる。
【００５７】
カチオン洗浄工程とアニオン洗浄工程とは、同時に行ってもよく、カチオン洗浄工程の後にアニオン洗浄工程を行ってもよく、アニオン洗浄工程の後にカチオン洗浄工程を行ってもよい。本発明の洗浄方法は、脱塩室２室構造のＥＤＩを洗浄対象とするため、カチオン除去室５２とアニオン除去室５４とを独立して洗浄できるためである。
【００５８】
カチオン洗浄工程とアニオン洗浄工程の頻度は、被処理水の水質や、脱塩室５０に充填したイオン交換体の種類に応じて決定することができる。被処理水に含まれるイオン成分の内、硬度成分及びＳｉＯ２はアニオン交換体から脱着しにくい。主に被処理水中のアニオン成分の除去を目的とするアニオン除去室５４は、頻度を上げて洗浄しなければ、脱塩性能が早期に低下するおそれがある。このため、アニオン洗浄工程は、カチオン洗浄工程の２〜１０倍の頻度が好適である。
【００５９】
上述のとおり、ＥＤＩのカチオン除去室のカチオン交換体は、本発明のＥＤＩの洗浄方法がカチオン再生操作を備えるカチオン洗浄工程を有することで、ＥＤＩの運転再開時に再生形となっている。このため、カチオン除去室のカチオン交換体は、ＥＤＩの運転再開時において、被処理水中のカチオン成分（Ｎａ＋、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等）を好適に吸着できる。
また、ＥＤＩのアニオン除去室のアニオン交換体は、本発明のＥＤＩの洗浄方法がアニオン再生操作を備えるアニオン洗浄工程を有することで、ＥＤＩの運転再開時に再生形となっている。このため、アニオン除去室のアニオン交換体は、ＥＤＩの運転再開時において、被処理水中のアニオン成分（Ｃｌ−、ＣＯ３２−、ＨＣＯ２−、ＳｉＯ２等）を好適に吸着できる。
この結果、ＥＤＩは、本発明の洗浄方法により脱塩性能が回復され、洗浄後に運転再開した場合にも早期に高い水質の脱イオン水を製造できる。
【００６０】
上述の実施形態では、カチオン洗浄工程とアニオン洗浄工程との両工程によりＥＤＩを洗浄しているが、本発明の洗浄方法はこれに限定されず、例えば、カチオン洗浄工程のみを行ってもよいし、アニオン洗浄工程のみを行ってもよい。
【００６１】
上述の実施形態において、カチオン洗浄工程は、カチオン再生操作のみを備えるが、本発明はこれに限られない。例えば、カチオン除去室が混床形態又は複床形態の場合、カチオン洗浄工程は、カチオン再生操作の前段にアルカリ性液をカチオン除去室に流す操作を設けてもよい。アルカリ性液を流すことで、カチオン除去室に充填されたアニオン交換体に吸着したアニオン成分の内、脱着しにくいアニオン成分を除去できるためである。ただし、カチオン洗浄工程は、カチオン再生操作を最後段に備えることが好ましい。カチオン再生操作を最後段に備えることで、ＥＤＩの運転再開時におけるカチオン除去室のカチオン交換体の再生形の割合をさらに多くできるためである。この結果、ＥＤＩの運転再開後は、より早期に高い水質の脱イオン水を製造できる。
【００６２】
上述の実施形態において、アニオン洗浄工程は、アニオン再生操作のみを備えるが、本発明はこれに限られない。例えば、アニオン除去室が混床形態又は複床形態の場合、アニオン洗浄工程は、アニオン再生操作の前段に酸性液をアニオン除去室に流す操作を設けてもよい。ただし、アニオン洗浄工程は、アニオン再生操作を最後段に備えることが好ましい。アニオン再生操作を最後段に備えることで、ＥＤＩの運転再開時におけるアニオン除去室のアニオン交換体の再生形の割合をさらに多くできるためである。この結果、ＥＤＩの運転再開後は、より早期に高い水質の脱イオン水を製造できる。
【００６３】
また、例えば、アニオン除去操作の前に、カチオン交換体のカチオン交換基の対イオンのＨ＋を置換する１価のカチオンを有する化合物の水溶液を流す操作（水素基置換操作）を設けてもよい。混床形態又は複床形態のアニオン除去室では、アニオン交換体がＳｉＯ２を吸着しているが、カチオン交換基の対イオンがＨ＋のままである。このような状態のアニオン除去室に、例えば水酸化ナトリウム水溶液を流すと、アニオン交換体はＮａＯＨによって再生されてＳｉＯ２を脱着する。この時、イオン交換体同士の隙間には、局所的にＳｉＯ２が高濃度となる。一方、カチオン交換体はＮａＯＨの持つＮａ＋と対イオンのＨ＋が置換されてＨ＋を放出する。放出されたＨ＋は、ＮａＯＨの持つＯＨ−を中和し、局所的に中性域を生じる。高濃度のＳｉＯ２は、中性域で速やかにゲル化して析出し、析出したＳｉＯ２がイオン交換体の間の隙間を詰まらせることがある。ゲル化して析出したＳｉＯ２は、酸性液やアルカリ性液で再溶解させることが困難である。アニオン再生操作の前段で、カチオン交換基の対イオンのＨ＋を置換する１価のカチオンを有する化合物を流すことで、化合物中の１価のカチオンは、カチオン交換基の対イオンのＨ＋を置換し、その後のアニオン再生操作でカチオン交換体からＨ＋が放出されることを防げる。このため、アニオン再生操作で流したアルカリ性液が中和されず、アニオン再生操作中は、アニオン除去室内が常にアルカリ域であり、ＳｉＯ２をゲル化させることなく、アニオン交換体からＳｉＯ２を脱着できる。
【００６４】
カチオン交換基の対イオンのＨ＋を置換する１価のカチオンを有する化合物は、例えば、塩化ナトリウム、塩化カリウム等が挙げられる。中でも、塩化ナトリウムが好ましい。塩化ナトリウムを用いる場合には、例えば、１〜２０質量％の水溶液とすることが好ましい。
なお、アニオン除去室へのイオン交換体の充填形態がアニオン交換体の単床形態の場合、アニオン洗浄工程は、上述の水素置換操作を設けなくてもよい。アニオン再生操作のみであってもＳｉＯ２の析出を生ずることなく、アニオン交換体を再生できるためである。
【００６５】
上述の実施形態では、カチオン洗浄工程及びアニオン洗浄工程は、被処理水流出ライン５６と被処理水流入ライン５７とを接続する配管を取り外して行っているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ＥＤＩには、カチオン除去室に酸性液を供給するラインが別途設けられていてもよいし、アニオン除去室にアルカリ性液を供給するラインが別途設けられていてもよい。
【実施例】
【００６６】
以下、本発明について実施例を挙げて具体的に説明するが、実施例に限定されるものではない。
（測定方法）
＜水質評価：導電率、比抵抗＞
水質評価には導電率ならびに比抵抗を用いた。不純物を全く含んでいない水の場合、２５℃の水における導電率の理論値は０．０５５μＳ／ｃｍ、比抵抗の理論値は１８．２ＭΩ・ｃｍとなる。脱イオン水の水質は、比抵抗が１８．２ＭΩ・ｃｍに近づき、かつ高ければ高いほど水質としては清浄であると評価できる。脱イオン水の水質評価は、比抵抗をもって行った。
導電率は、導電率計（８７３ＣＣ、ＦＯＸＢＯＲＯ社製）を用いて測定した。また、比抵抗は、比抵抗計（８７３ＲＳ、ＦＯＸＢＯＲＯ社製）を用いて測定した。
【００６７】
（実施例１）
図１に示すＥＤＩ１０と同様の、３枚の脱塩室が設けられた脱塩室２室構造のＥＤＩを下記仕様にて作製して、ＥＤＩ−Ａを得た。得られたＥＤＩ−Ａを用い、下記運転条件で１年間の連続運転を行った。
１年間の連続運転（初期運転）後、アルカリ性液として５０℃の４質量％水酸化ナトリウム水溶液を被処理水の流通方向と同方向で、ＥＤＩ−Ａのアニオン除去室へ流した。アルカリ性液は、通水速度：８０Ｌ／ｈで、２時間流した（アニオン洗浄工程）。その後、アニオン除去室に比抵抗値１５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水を１６０Ｌ／ｈで２時間通水した（アニオン水洗工程）。
酸性液として３．５質量％塩酸水溶液を被処理水の通水方向と同方向で、ＥＤＩ−Ａのカチオン除去室へ流した。酸性液は、通液速度：８０Ｌ／ｈで２時間流した（カチオン洗浄工程）。その後、カチオン除去室に比抵抗値１５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水を１６０Ｌ／ｈで２時間通水した（カチオン水洗工程）。
こうして、アニオン水洗工程とカチオン水洗工程を終えた後、ＥＤＩ−Ａの運転を再開し、得られた脱イオン水の比抵抗を６時間毎に測定し、その測定結果を図２に示す。また、図３には、ＥＤＩ−Ａの運転再開後１週間の脱イオン水の比抵抗を２４時間毎に表示し、その後は脱イオン水の比抵抗を１週間毎に表示した。
【００６８】
＜ＥＤＩ−Ａ仕様＞
・アニオン交換膜：株式会社アストム製
・カチオン交換膜：株式会社アストム製
・中間イオン交換膜：アニオン交換膜、株式会社アストム製
・陽極室の仕切り膜：カチオン交換膜、株式会社アストム製
・陰極室の仕切り膜：アニオン交換膜、株式会社アストム製
・アニオン除去室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ５ｍｍ
・アニオン除去室の充填イオン交換体：強塩基性アニオン交換樹脂、ローム・アンド・ハース社製
・カチオン除去室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ５ｍｍ
・カチオン除去室の充填イオン交換体：強酸性カチオン交換樹脂、ローム・アンド・ハース社製
・濃縮室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ４ｍｍ
・濃縮室の充填イオン交換体：強塩基性アニオン交換樹脂、ローム・アンド・ハース社製
・陽極室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ４ｍｍ
・陽極室の充填イオン交換体：強酸性カチオン交換樹脂、ローム・アンド・ハース社製
・陰極室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ４ｍｍ
・陰極室の充填イオン交換体：強塩基性アニオン交換樹脂、ローム・アンド・ハース社製
【００６９】
＜運転条件＞
・被処理水の導電率：５±２μＳ／ｃｍ（ＲＯ膜の透過水）
・脱塩室の被処理水流量：８０Ｌ／ｈ
・濃縮水の原水の導電率：５±２μＳ／ｃｍ（ＲＯ膜の透過水）
・濃縮水流量：８Ｌ／ｈ
・電極水の原水の導電率：５±２μＳ／ｃｍ（ＲＯ膜の透過水）
・電極水流量：１０Ｌ／ｈ
・運転電流値：１Ａ
・電流密度：０．４２Ａ／ｄｍ２
【００７０】
（実施例２）
アニオン洗浄工程におけるアルカリ性液の流通方向を被処理水の流通方向に対して向流とし、カチオン洗浄工程における酸性液の流通方向を被処理水の流通方向に対して向流とし洗浄（向流再生法）した以外は、実施例１と同様にして、ＥＤＩ−Ａの運転を再開し、脱イオン水を得た。得られた脱イオン水の比抵抗を２４時間毎に１週間測定し、その後、１週間毎に測定した。その測定結果を図３〜４に示す。
【００７１】
（実施例３）
カチオン洗浄工程及びカチオン水洗工程を行わず、アニオン洗浄工程及びアニオン水洗工程のみを行った以外は、実施例２と同様にして、ＥＤＩ−Ａの運転を再開し、脱イオン水を得た。得られた脱イオン水の比抵抗を２４時間毎に１週間測定し、その後、１週間毎に測定した。その測定結果を図４に示す。
【００７２】
（実施例４）
初期運転の時間を１０００時間とした以外は、実施例２と同様にしてＥＤＩ−Ａの運転を再開した。初期運転中及び運転再開後における電極間の電気抵抗を１週間毎に測定した。測定した電気抵抗は、初期運転開始時の電気抵抗を「１」とした際の相対値（電気抵抗比）として図５に示す。
【００７３】
（実施例５）
初期運転の時間を１０００時間とした以外は、実施例３と同様にしてＥＤＩ−Ａの運転を再開した。初期運転中及び運転再開後における電極間の電気抵抗を１週間毎に測定した。測定した電気抵抗は、初期運転開始時の電気抵抗を「１」とした際の相対値（電気抵抗比）として図５に示す。
【００７４】
（比較例１）
比較例１に用いた脱塩室１室構造のＥＤＩについて、図６を用いて説明する。図６は、ＥＤＩ９００の断面図である。ＥＤＩ９００は、陰極室９２０と陽極室９６０との間に、３枚の脱塩室９５０と、脱塩室９５０の両側に設けられた濃縮室９３０とが配置されている。陰極室９２０は、陰極９２２と、枠体９２１と、仕切り膜９２４とが陰極９２２側から順に配置され形成されている。陽極室９６０は、仕切り膜９２４と、枠体９６１と、陽極９６２とが陰極９２２側から順に配置され形成されている。陰極室９２０には、電極水流入ライン９２３と電極水流出ライン９２５とが接続され、陽極室９６０には、電極水流入ライン９６３と電極水流出ライン９６５とが接続されている。
【００７５】
脱塩室９５０は、カチオン交換膜９４２と、枠体９５１と、アニオン交換膜９４６とが陰極９２２側から順に配置され、枠体９５１の開口部にイオン交換体が充填され形成されている。脱塩室９５０には、被処理水流入ライン９５５と、脱イオン水流出ライン９５８とが接続されている。濃縮室９３０は、脱塩室９５０の両側に、枠体９３１が配置され形成されている。濃縮室９３０には濃縮水流入ライン９３３と、濃縮水流出ライン９３５とが接続されている。
【００７６】
ＥＤＩ９００と同様のＥＤＩを下記仕様にて作成し、ＥＤＩ−Ｂを得た。得られたＥＤＩ−Ｂを用い、下記運転条件で１年間の連続運転（初期運転）を行った。
１年間の連続運転後、酸性液として３．５質量％塩酸水溶液を被処理水の通水方向と同方向で脱塩室へ流した。酸性液は、通液速度：８０Ｌ／ｈで２時間流した。その後、脱塩室に比抵抗値１５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水を１６０Ｌ／ｈで２時間通水した。
次いで、アルカリ性液として５０℃の４質量％水酸化ナトリウム水溶液を被処理水の流通方向と同方向で脱塩室へ流した。アルカリ性液は、通水速度：８０Ｌ／ｈで、２時間流した。その後、脱塩室に比抵抗値１５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水を１６０Ｌ／ｈで２時間通水した。
こうして、洗浄を終えた後、ＥＤＩ−Ｂの運転を再開し、得られた脱イオン水の比抵抗を６時間毎に測定した。その測定結果を図２に示す。
【００７７】
＜ＥＤＩ−Ｂ仕様＞
・アニオン交換膜：株式会社アストム製
・カチオン交換膜：株式会社アストム製
・陽極室の仕切り膜：カチオン交換膜、株式会社アストム製
・陰極室の仕切り膜：アニオン交換膜、株式会社アストム製
・脱塩室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ１０ｍｍ
・脱塩室の充填イオン交換体：５０体積％の強酸性カチオン交換樹脂（ローム・アンド・ハース社製）と５０体積％の強塩基性アニオン交換樹脂（ローム・アンド・ハース社製）との混床形態
・濃縮室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ４ｍｍ
・濃縮室の充填イオン交換体：強塩基性アニオン交換樹脂、ローム・アンド・ハース社製
・陽極室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ４ｍｍ
・陽極室の充填イオン交換体：強酸性カチオン交換体、ローム・アンド・ハース社製
・陰極室：縦３００ｍｍ、横８０ｍｍ、厚さ４ｍｍ
・陰極室の充填イオン交換体：強塩基性アニオン交換体、ローム・アンド・ハース社製
【００７８】
＜運転条件＞
・被処理水の導電率：５±２μＳ／ｃｍ（ＲＯ膜の透過水）
・脱塩室の被処理水流量：８０Ｌ／ｈ
・濃縮水の原水の導電率：５±２μＳ／ｃｍ（ＲＯ膜の透過水）
・濃縮水流量：８Ｌ／ｈ
・電極水の原水の導電率：５±２μＳ／ｃｍ（ＲＯ膜の透過水）
・電極水流量：１０Ｌ／ｈ
・運転電流値：１Ａ
・電流密度：０．４２Ａ／ｄｍ２
【００７９】
（比較例２）
ＥＤＩ−Ｂに代えてＥＤＩ−Ａを用いた以外は、比較例１と同様の方法にて脱イオン水を得た。得られた脱イオン水の比抵抗を６時間毎に測定した。その測定結果を図２に示す。
【００８０】
図２は、ＥＤＩの運転再開後の運転時間を横軸にとり、得られた脱イオン水の比抵抗を縦軸にとった、運転時間と脱イオン水の比抵抗との相関を示すグラフである。図２中、凡例（ａ）は実施例１の結果を示し、凡例（ｂ）は比較例１の結果を示し、凡例（ｃ）は比較例２の結果を示す。図２に示すとおり、本発明の洗浄方法で脱塩室２室構造のＥＤＩ−Ａを洗浄した実施例１は、運転再開３６時間後に、比抵抗１４ＭΩ・ｃｍという高い水質の脱イオン水を得た。これに対し、脱塩室１室構造のＥＤＩ−Ｂを従来の洗浄方法で洗浄した比較例１は、運転再開３６時間後において、脱イオン水の比抵抗が３ＭΩ・ｃｍという低い水質の脱イオン水であった。加えて、脱塩室２室構造のＥＤＩ−Ａを酸性液で洗浄した後、アルカリ性液で洗浄した比較例２は、運転再開３６時間後において、脱イオン水の比抵抗が５ＭΩ・ｃｍという低い水質の脱イオン水であった。このことから、カチオン除去操作を最後段に備えるカチオン洗浄工程によりカチオン除去室のカチオン交換体を再生形とし、アニオン除去操作を最後段に備えるアニオン洗浄工程によりアニオン除去室のアニオン交換体を再生形とした状態でＥＤＩの運転を再開することで、早期に高い水質の脱イオン水が得られることが判った。
【００８１】
図３は、ＥＤＩの運転再開後の運転時間を横軸にとり、得られた脱イオン水の比抵抗を縦軸にとった、運転時間と脱イオン水の比抵抗との相関を示すグラフである。図３中、凡例（ａ）は実施例１の結果を示し、凡例（ｄ）は実施例２の結果を示す。図３に示すとおり、実施例１においては、運転再開４８時間後に、脱イオン水の比抵抗が１４．５ＭΩ・ｃｍに達した。これに対し、向流再生法によるカチオン再生操作及びアニオン再生操作を行った実施例２においては、運転再開４８時間後に脱イオン水の比抵抗が１６．５ＭΩ・ｃｍに達した。このことから、カチオン再生操作又はアニオン再生操作は、被処理水の流通方向に対して向流とすることで、運転再開後、より早期に高い水質の脱イオン水が得られることが判った。
【００８２】
加えて、実施例２で得られた脱イオン水は、運転再開後、同じ運転時間において、実施例１で得られた脱イオン水よりも約２ＭΩ・ｃｍ高い比抵抗であった。さらに、実施例２は、実施例１と比較して、長時間にわたって高い比抵抗の脱イオン水が得られた。これは、向流再生法により、被処理水の流通方向下流側のイオン交換体が十分に再生できたことに由来すると推測できる。
【００８３】
図４は、ＥＤＩの運転再開後の運転時間を横軸にとり、得られた脱イオン水の比抵抗を縦軸にとった、運転時間と脱イオン水の比抵抗との相関を示すグラフである。図４中、凡例（ｄ）は実施例２の結果を示し、凡例（ｅ）は実施例３の結果を示す。
図４に示すとおり、カチオン洗浄工程及びカチオン水洗工程を行わず、アニオン洗浄工程に向流再生法を用いた実施例３は、実施例２とほぼ同等の比抵抗の脱イオン水が得られた。
【００８４】
図５は、ＥＤＩの運転時間を横軸にとり、ＥＤＩの電極間の電気抵抗比を縦軸にとった、運転時間とＥＤＩの電気抵抗比との相関を示すグラフである。図５中、凡例（ｆ）は実施例４の結果を示し、凡例（ｇ）は実施例５の結果を示す。図５に示すように、実施例４及び５の電気抵抗比の上昇の程度は、運転再開後においてほぼ同等であった。
図４、５の結果から、本実施例における脱イオン水の水質が低下する要因は、主にアニオン交換体へのアニオン成分（ＣＯ３２−、ＨＣＯ３−、ＳｉＯ２等）の蓄積であることを示している。このことから、本実施例に用いた被処理水であれば、アニオン洗浄工程をカチオン洗浄工程よりも頻度高く行うことで、高い水質の脱イオン水を安定して得られることが判る。加えて、被処理水の水質を勘案し、カチオン洗浄工程又はアニオン洗浄工程のいずれかを行うことで、十分な洗浄効果が得られることが示唆される。
【符号の説明】
【００８５】
１０、９００    電気式脱イオン水製造装置
２２、９２２    陰極
３０、９３０    濃縮室
４２、９４２    カチオン交換膜
４４    中間イオン交換膜
４６、９４６    アニオン交換膜
５０、９５０    脱塩室
５２    カチオン除去室
５４    アニオン除去室
６２、９６２    陽極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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