(57)【要約】【課題】フィルム基材表面への傷、打痕、しわやそれによる傷等の発生を防止しうる連続表面処理システムの提供すること。【解決手段】巻き出しロール１０２からフィルム基材１０１を巻き出すための巻き出し装置１０４と、入口側と出口側に開口部を有し内部にシャワー配管とフィルム基材を略水平方向に搬送する駆動ローラー１０６と駆動ローラーと同速度で回転するニップローラー１０７とを有し駆動ローラーとニップローラーが蛇行防止用鍔状構造物を有さないスプレー型表面処理槽１１０と、入口側と出口側に開口部を有し内部の処理液１１２中にフィルム基材が浸漬されるように配置されフィルム基材の搬送方向に回転可能に設けられ蛇行防止用鍔状構造物を有さないフリーローラー１１３を有する浸漬型表面処理槽１１４と、開口部から搬入されたフィルム基材を巻き取りロール１１５に巻き取るための巻き取り装置１１７とから構成される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム基材をロール状に巻き取って得た巻き出しロールをその内部に収納し、その側壁にフィルム基材が通過しうる開口部を有し、この開口部を介して巻き出しロールからフィルム基材を巻き出すための巻き出し装置と、
その入口側側面と出口側側面とに前記フィルム基材が通過するための開口部を有し、その内部に表面処理液をフィルム基材表面にシャワーリングするためのスプレーノズルを有するシャワー配管と、フィルム基材を、フィルム基材表面が略水平方向なるように搬送するための駆動ローラーと、駆動ローラーと同速度でフィルム基材を搬送方向へ送り出すように回転するニップローラーとを有し、かつ前記駆動ローラーとニップローラーが蛇行防止用鍔状構造物を有さないスプレー型の表面処理槽と、
その入口側側面と出口側側面とに前記フィルム基材が通過するための開口部と、その内部に溜められた処理液中にフィルム基材が浸漬されるように配置され、かつフィルム基材の搬送方向に回転可能に設けられ蛇行防止用鍔状構造物を有さないフリーローラーを有する浸漬型の表面処理槽と、
フィルム基材を巻き取る巻き取りロールをその内部に収納し、その側壁にフィルム基材が通過しうる開口部を有し、この開口部を介して搬入されたフィルム基材を前記巻き取りロールに巻き取るための巻き取り装置、
とから構成されることを特徴とする表面処理システム。
【請求項２】
前記浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側に、それぞれ前記スプレー型の表面処理槽を設けたものを一ユニットとし、このユニットを、前記巻き出し装置と、前記巻き取り装置との間に少なくとも一ユニット設けたことを特徴とする請求項１記載の表面処理システム。
【請求項３】
前記巻き出し装置と、その下流側に設けられた前記表面処理槽との間に、ダンサーローラーを用いた荷重装置を設けたことを特徴とする請求項２記載の表面処理システム。
【請求項４】
フィルム基材として、その表面に導体層を有し、幅１００〜２０００ｍｍ、厚さ１０〜２００μｍの幅広で極薄のフィルム基材を、請求項１〜３記載のいずれかの表面処理システムを用いて表面処理することを特徴とする表面処理方法。
【請求項５】
前記ユニットを構成する前記浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側に設けられたそれぞれの前記スプレー型の表面処理槽内の前記駆動ローラーの回転数を調整し、前記フィルム基材の搬送速度を調整して前記フィルム基材を搬送することを特徴とする請求項４記載の表面処理方法。
【請求項６】
前記ユニットに導入される前記フィルム基材と排出される前記フィルム基材の搬送速度差が０．０１〜０．０５ｍ／ｍｉｎとなるように、前記浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側に設けられたそれぞれの前記スプレー型の表面処理槽内の前記駆動ローラーの回転数を調整することを特徴とする請求項５記載の表面処理方法。
【請求項７】
前記表面処理槽で行われる表面処理が、前記フィルム基材導体層の脱脂、水洗、レジスト層の現像、エッチング、残存するレジスト層の除去、めっきの少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載した表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、幅広、かつ極薄のフィルム基材に表面処理を施すためのシステムと、このシステムを用いてフィルム基材の表面処理を行う方法に関する。本発明の対象となるフィルム基材としては、例えば、ポリイミドフィルムの表面に導電層が設けられた幅１００〜２０００ｍｍ、厚さ１０〜２００μｍというフィルム基材であり、この基材を用いてＣＯＦ等のフレキシブル配線基板が作成される。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＣＯＦ配線基板やＴＡＢテープなどの電子部品は、長尺の絶縁性フィルム表面に導体層が設けられた基材表面の導体層を、連続的に加工して配線層を設けるようにして得ている。近年、高配線密度のＣＯＦ配線基板やＴＡＢテープが、極めて薄い導体層を有する軽量で、フレキシブル性を有する基材を用いて製造されるようになってきている（特許文献１第２頁参照）。具体的には、例えば、厚さ２５〜７５μｍ程度のポリイミドフィルム表面に厚さ１０μｍ以下の導体層を設けたフィルム基材である。
【０００３】
こうした基材を用いてＣＯＦを製造するには、例えば、基材の導体層表面の前処理、レジストフィルムのラミネート、露光、現像、エッチング、残存するレジスト層の除去、前処理、めっき、水洗、ソルダーレジストの塗布・乾燥等の処理が連続的に行われる。なお、このような基材を用いてＣＯＦ等のフレキシブルプリント配線基板を得るとすると、加工工程で使用されるレジスト層の厚さを加えても、総厚が１０〜２００μｍ、多くは１００μｍ程度である（特許文献２第２頁参照）。
【０００４】
長尺の基材に、こうした一連の処理を連続的に行う従来の一般的な表面処理システムとして、例えば図３に示したものがある。図３に示した表面処理システムは、基材１をロール状に巻き取って得た巻き出しロール２をその内部に収納し、その側壁に基材が通過しうる開口部３を有し、この開口部３を介してロール２から基材１を巻き出すための巻き出し装置４と、その入口側側面と出口側側面とに前記基材１が通過するための開口部５，５’を有し、その内部に基材１を搬送するための搬送ローラー６と、表面処理液を基材１表面にシャワーリングするスプレーノズル７とを有するスプレー型の表面処理槽ａ１と、その入口側側面と出口側側面とに前記基材１が通過するための開口部８，８’と、その内部に溜められた処理液９中に基材１が浸漬されるように配置された搬送ローラー１０とを有する浸漬型の表面処理槽ｂ１と、表面処理槽ｂ１の下流側に設けられた前記スプレー型の表面処理槽ａ２と、その入口側側面と出口側側面とに前記基材１が通過するための開口部１１，１１’と、図示しない駆動モーターで回転される駆動ローラー１２と、駆動ローラー１２とともに基材を抱き角９０〜１８０度で保持することが可能に設けられたガイドローラー１２’と、ニップローラー１３とを有する駆動装置ｃ１と、駆動装置ｃ１の下流側に、スプレー型の表面処理槽ａ３、浸漬型の表面処理槽ｂ２、スプレー型の表面処理槽ａ４、前記駆動装置ｃ１と同じ構造の駆動装置ｃ２が、この順で設けられ、その後に基材１を巻き取る巻き取りロール１４をその内部に収納し、その側壁に基材が通過しうる開口部１５を有し、この開口部１５を介して基材１を前記巻き取りロール１４に巻き取るための巻き取り装置１６とから構成される。なお、浸漬型の表面処理槽の前後にスプレー型の表面処理槽を設けたブロックを１ユニットとし、このユニットを所望数繰り返し、必要に応じて各ユニット間に駆動装置が設けられる。
【０００５】
なお、通常、基材の蛇行を防止するために、搬送ローラー６，１０や駆動ローラー１２やガイドローラー１２’の両端には図４に示したような鍔状の搬送ガイド１７が設けられている。こうした搬送ガイドは、脆弱薄板状フィルムにかかる負荷を低減し搬送ラインの位置決めを簡便に行うことができ、簡便かつ安価であることより多用されている。
【０００６】
ところで、スプレー型の表面処理槽は、前記したように、その中を通過する基材に向けて表面処理液をシャワーリングするタイプの装置であり、基材表面の酸洗、水洗、めっき等によく用いられる。また、浸漬型の表面処理槽は、例えば脱脂やエッチング、めっき等のように浸漬状態で表面処理することが好ましいものに対してよく用いられる。従って、図３の表面処理システムを用いれば、例えば、表面処理槽ａ１で基材表面を水洗し、表面処理槽ｂ１で基材を脱脂液中に浸漬し、表面処理槽ａ２，ａ３で水洗して基材表面の脱脂液を完全に除去し、表面処理槽ｂ２でエッチング液中に基材を浸漬し、表面処理槽ａ４で水洗することが可能である。
【０００７】
因みに、図３の表面処理システムでは、中間部分に配設される駆動装置ｃ１は補助的に用いられるものであり、巻き取り装置１６の直前に配設される駆動装置ｃ２が主である。この二つの駆動装置ｃ１，ｃ２の駆動モーターの回転数を調整することにより、搬送中の基材に掛かる張力を一定とし、図４の搬送ガイドと合わせて基材の蛇行防止を図っている。
【０００８】
ところで、前記したように、様々な電子機器の高性能化に伴い、例えばＣＯＦのようなプリント配線基板などでは小型化、極薄化、フレキシブル化、ファイン化などが必須となってきている一方で、コスト面でも一層の低コストが要求されるようになってきている。そのため、一度に搬送するフィルム基材の幅もより幅広化し１００〜２０００ｍｍ、厚さ１０〜２００μｍというフィルム基材を用い、フィルム基材での幅方向においてもプリント配線基板の多数個取りを可能として生産コストを削減する傾向にある。
【０００９】
幅広かつ極薄のフィルム基材を図３に示したような従来の表面処理システムで処理しようとすると、ローラーの精度や、ローラーのフィルム基材の抱き角による搬送状態への影響が大きくなり、搬送速度の調整と鍔状の搬送ガイドとの組み合わせでフィルム基材の蛇行を防止することが困難となり、フィルム基材の蛇行が発生する。フィルム基材が蛇行すると、前記した鍔状の搬送ガイドとフィルム基材とが接触し、フィルム基材表面に傷、打痕が生じる。また、幅広化に伴い、前記図３の駆動装置ｃ１，ｃ２の駆動ローラー１２やガイドローラー１２’のフィルム基材抱き角を調整しても、フィルム基材に掛る張力のフィルム基材面内でのばらつきも大きくなり、しわや傷が発生するといった問題も発生する。
【００１０】
脆弱なフィルム基材を蛇行無く搬送するための方法として、例えば、特許文献３第１，３頁等に記載された方法の適用が考えられる。特許文献３には、基材を一定速度で送り出す送り出し駆動ローラーの搬送方向下流側にダンサーローラーを配設し、このダンサーローラーの上下方向への変位量を変位センサで検出し、コントローラーにより、変位量を０に戻すようにダンサーローラーの搬送方向下流側に配設された第１の駆動ローラーによる基材の搬送速度を制御し、そして、第１の駆動ローラーの搬送方向下流側に配設された第２の駆動ローラーより搬送方向上流側の位置に、その位置における基材の張力を検出する張力センサを設け、コントローラーにより、この張力を基準張力に戻すように第２の駆動ローラーによる基材の搬送速度を調整する方法が開示されている。
【００１１】
この方法は本来基材として金属の条材を対象とするものであるが、極めて薄く、フレキシブル性を有するフィルム基材にも適用可能かとも思われる。しかし、この方法を本発明の対象とする前記した幅１００〜２０００ｍｍ、厚さ１０〜２００μｍというフレキシブル性を有する本発明が対象とするフィルム基材を搬送するため適用した場合には、前記図３のシステムを用いた場合と同様の理由により蛇行防止とそれによるシワの発生防止が図れない。加えて、この方法に用いる装置は高価格となり、常にコストダウンを強く求められる電子業界にあっては、現実的には好ましいとは言い難い。
【００１２】
また、他の方法として、特許文献２第１頁に開示された方法がある。この方法は、振動付加手段と振動方向変更調整手段と蛇行検出手段と蛇行補正制御手段とを設け、搬送ローラーに振動を付加して搬送ローラーとフィルム材との摩擦抵抗を大幅に軽減し、かつ蛇行が生じた場合は付加する振動の方向を変更調整して蛇行を自動補正する方法が開示されている。しかし、この方法を本発明の対象である前記した幅広で、極めて薄く、かつフレキシブル性を有するフィルム基材の搬送に適用しても、前記図３のシステムを用いた場合と同様の理由により蛇行防止とそれによるシワの発生防止が図れない。加えて、この方法に用いる装置は高価格となり、常にコストダウンを強く求められる電子業界にあっては、現実的で好ましいとは言い難い。
【００１３】
以上のことから、上記したような従来の方法では、現在頻繁に必要とされる定期的、あるいは任意間隔での目視による搬送状態の確認、調整作業を無くすことはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００２−６８４３５号公報  第２頁参照
【特許文献２】特開平６−１１５７８３号公報  第１，２頁参照
【特許文献３】特開２０００−９６２６５号公報  第１，３頁等参照
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、その表面に導体層を有し、幅１００〜２０００ｍｍ、厚さ１０〜２００μｍの幅広で極薄のフィルム基材を搬送し、フィルム基材の導体層の脱脂、水洗、レジスト層の現像、エッチング、残存するレジスト層の除去、めっきといった各種表面処理を連続的に行っても、前記フィルム基材表面への傷、打痕、しわやそれによる傷等の発生を防止しうる表面処理システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記課題を解決する本発明による表面処理システムは、フィルム基材をロール状に巻き取って得た巻き出しロールをその内部に収納し、その側壁にフィルム基材が通過しうる開口部を有し、この開口部を介して巻き出しロールからフィルム基材を巻き出すための巻き出し装置と、その入口側側面と出口側側面とに前記フィルム基材が通過するための開口部を有し、その内部に表面処理液をフィルム基材表面にシャワーリングするためのスプレーノズルを有するシャワー配管と、フィルム基材を、フィルム基材表面が略水平方向なるように搬送するための駆動ローラーと、駆動ローラーと同速度でフィルム基材を搬送方向へ送り出すように回転するニップローラーとを有し、かつ前記駆動ローラーとニップローラーが蛇行防止用鍔状構造物を有さないスプレー型の表面処理槽と、その入口側側面と出口側側面とに前記フィルム基材が通過するための開口部と、その内部に溜められた処理液中にフィルム基材が浸漬されるように配置され、かつフィルム基材の搬送方向に回転可能に設けられ蛇行防止用鍔状構造物を有さないフリーローラーを有する浸漬型の表面処理槽と、フィルム基材を巻き取る巻き取りロールをその内部に収納し、その側壁にフィルム基材が通過しうる開口部を有し、この開口部を介して搬入されたフィルム基材を前記巻き取りロールに巻き取るための巻き取り装置とから構成されることを特徴としている。
【００１７】
また、本発明による表面処理システムは前記発明に加えて、前記浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側に、それぞれ前記スプレー型の表面処理槽を設けたものを一ユニットとし、このユニットを、前記巻き出し装置と、前記巻き取り装置との間に少なくとも一ユニット設けたことを特徴としている。
【００１８】
また、本発明による表面処理システムは前記発明に加えて、前記巻き出し装置と、その下流側に設けられた前記表面処理槽との間に、ダンサーローラーを用いた荷重装置を設けたことを特徴としている。
【００１９】
そして、本発明による表面処理方法は、フィルム基材として、その表面に導体層を有し、幅１００〜２０００ｍｍ、厚さ１０〜２００μｍの幅広で極薄のフィルム基材を用い、上記のいずれかの表面処理システムを用いて表面処理することを特徴としている。
【００２０】
また、本発明による表面処理方法は前記発明に加えて、前記ユニットを構成する前記浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側に設けられたそれぞれの前記スプレー型の表面処理槽内の前記駆動ローラーの回転数を調整し、前記フィルム基材の搬送速度を調整して前記フィルム基材を搬送することを特徴としている。
【００２１】
また、本発明による表面処理方法は前記発明に加えて、前記ユニットに導入される前記フィルム基材と排出される前記フィルム基材の搬送速度差が０．０１〜０．０５ｍ／ｍｉｎとなるように、前記浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側に設けられたそれぞれの前記スプレー型の表面処理槽内の前記駆動ローラーの回転数を調整することを特徴としている。
【００２２】
また、本発明による表面処理方法は前記発明に加えて、前記表面処理槽で行われる表面処理が、前記フィルム基材導体層の脱脂、水洗、レジスト層の現像、エッチング、残存するレジスト層の除去、めっきの少なくともいずれか一つであることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の表面処理システム及び本発明の表面処理方法によれば、以下の顕著な効果が得られる。
（１）幅広かつ極薄のフープ材の搬送にも対応が可能であり、各処理槽における搬送速度を調整し、差速を理想的な状態に調整することで、低い張力での搬送が可能である。
（２）駆動ローラーの抱き角もほぼ０度であるため、駆動ローラーに起因するしわや傷が生じ難い。
（３）フープ材の蛇行によって接触する構造物がないため、そのような構造物起因による傷、打痕はほぼ皆無となる。
（４）駆動装置などの駆動専用の処理槽が不要となるため装置全長を抑えることが可能となり、省スペースでの生産が可能でコストメリットも見込める構造である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明における表面処理装置の一例を示す説明図である。
【図２】図１の表面処理装置のスプレー型の表面処理槽の拡大説明図である。
【図３】従来方式における表面処理装置の一例を示す説明図である。
【図４】従来方式におけるフープ材の蛇行を防止する機構を有したローラーの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の表面処理システムの一実施形態を図１に示す。図１を用いて本発明のシステムを構成する主要装置と主要表面処理槽を説明する。
図１において、１０４は巻き出し装置であり、その側壁にフィルム基材１０１が通過しうる開口部１０３を有し、その内部にフィルム基材１０１をロール状に巻き取って得た巻き出しロール１０２を収納している。
【００２６】
１１０はスプレー型の表面処理槽であり、１０５，１０５’は前記フィルム基材１０１が表面処理槽１１０に搬入、搬出されるために入口側側面と出口側側面とにそれぞれ設けられた開口部である。１０６は駆動ローラー、１０７はニップローラー、１０８はスプレーノズル、１０９はシャワー配管であり、これらは何れもスプレー型の表面処理槽１１０内に設けられている。そして、駆動ローラー１０６とニップローラー１０７は、何れも図４に示したようないわゆる蛇行防止用鍔状構造物を有さないものである。
【００２７】
スプレー型の表面処理槽１１０内では、駆動ローラー１０６とニップローラー１０７とが、フィルム基材１０１をその表面が略水平方向となるようにして搬送できるように配置され、駆動ローラー１０６とニップローラー１０７との回転数は同じとされている。この結果、フィルム基材１０１は変形することなく、略水平方向に搬送される。
【００２８】
また、シャワー配管１０９に設けられたスプレーノズル１０８より、水、現像液、エッチング液といった表面処理液がフィルム基材１０１表面に噴霧される。噴霧された表面処理液は図示しないホールドタンクに回収され、要すれば、固液分離、ｐＨ調整等の液調整された後、循環使用される。
【００２９】
１１４は浸漬型の表面処理槽であり、１１１，１１１’は前記フィルム基材１０１が表面処理槽１１４に搬入搬出されるための入口側側面と出口側側面とにそれぞれ設けられた開口部であり、１１２は浸漬型の表面処理槽１１４内に溜められた処理液である。１１３はフリーローラーであり、表面処理槽１１４内に溜められた処理液１１２中にフィルム基材１０１が浸漬されるように配置され、かつフィルム機材１０１の搬送方向に回転可能に設けられており、また図４に示したようないわゆる蛇行防止用鍔状構造物を有さない形状となっている。
【００３０】
フィルム基材１０１は開口部１１１を介して浸漬型の表面処理槽１１４内に搬入され、フリーローラー１１３により処理液１１２中に浸漬され、表面処理される。処理液１１２は、図示しない調整槽との間で循環されたり、劣化に応じて全量取り替えられたりする。
【００３１】
１１７は巻き取り装置であり、１１６は巻き取り装置側壁に設けられた開口部であり、１１５はフィルム基材１０１を巻き取るための巻き取りローラーである。フィルム基材１０１は開口部１１６を介して巻き取り装置１１７内に設けられた巻き取りローラー１１５に巻き取られる。
【００３２】
本発明の表面処理システムでは、浸漬型の表面処理槽の上流側と下流側とにスプレー型の表面処理槽を設けたものを一ユニットとし、巻き出し装置１０４と巻き取り装置１１７の間に前記ユニットを少なくとも一つ設けたものである。なお、図１は、巻き出し装置１０４と巻き取り装置１１７の間に前記ユニットを二つ設けたものである。
【００３３】
次に、上記した図１の表面処理システムをさらに詳述するとともに本発明のフィルム基材の表面処理方法を説明する。
幅広かつ極薄のフィルム基材１０１が巻き出し装置１０４より巻き出され、スプレー型の表面処理槽１１０内へ搬送される。このフィルム基材１０１の搬送はスプレー型の表面処理槽１１０内に設けられた駆動ローラー１０６により搬送される。
【００３４】
スプレー型の表面処理槽１１０内に設けられた駆動ローラー１０６、ニップローラー１０７は、シャフト部は、例えばスプレーする表面処理液に合わせて選択することが好ましく、例えば腐食性の溶液を処理液として用いる場合には、耐食性を有するステンレス（例えば、SUS304,SUS316等）製とすることが好ましい。駆動ローラー１０６とニップローラー１０７のローラー部は、共に蛇行を機械的に防止するいわゆる蛇行防止用鍔状構造物等を有さず、例えば熱可塑性エラストマーをライニングした円柱状の表面が平坦なローラーから構成する。
【００３５】
また、駆動ローラー１０６のシャフトには回転伝達機構、例えば、はすば歯車を設け、モーターなどの動力とチェーンなどで連結しているメインシャフト上に各々設置された回転伝達機構、例えばはすば歯車を介して表面処理槽１１０内の複数の若しくは全ての駆動ローラー１０６が同じ速度で、同じ方向に回転し、さらにフィルム基材１０１に適度な張力を加えるためのニップローラー１０７も駆動ローラー１０６と同様に回転伝達機構を設けることで同じ速度で、フープ材を送り出す方向へ回転させる。これにより、フィルム基材１０１にかかる張力が小さい状態で搬送可能としている。なお、図中に示されたニップローラー１０７の一部を駆動機構に連結されないフリーローラーに置き換えても支障はない。
【００３６】
以上の例示では、シャフトをSUS304、ローラーを熱可塑性エラストマー、回転伝達機構をはすば歯車としているがこの限りではなく、チェーンやベルトを用いる等、どのような種類の回転伝達機構でも良い。
【００３７】
表面処理槽１１０内に設けられたスプレーノズル１０８付きのシャワー配管１０９の構造や材質は、既知の物から用いる表面処理液に合わせて選択すれば良く、特に拘らない。また、表面処理槽１１０内に設けるシャワー配管１０９の位置、本数、一つのシャワー配管１０９に設けるスプレーノズル１０８の数についても、スプレーノズル１０８から吐出される表面処理液の量と圧力についても、実際に処理されるフィルム基材１０１と表面処理液との関係で決めざるを得ないので、予め試験をして決めることが望ましいが、従来のスプレー型表面処理槽を用いた表面処理より得られたデータを参考とし、決定しても良い。
【００３８】
次に、スプレー型の表面処理槽１１０にて表面処理されたフィルム基材１０１は、浸漬型の表面処理槽１１４で槽内に溜められた浸漬液１１２内に浸漬され、表面処理される。浸漬型の表面処理槽１１４内には、フィルム基材１０１の進行方向に自由に回転するフリーローラー１１３が設けられている。図１では表面処理槽１１４内の表面処理液１１２中に設けられたフリーローラー１１３の数は３個であるが、一槽内に配置するフリーローラーの数を適宜増減することは可能である。なお、一槽内に配置するフリーローラーの数は、槽の大きさにもより異なるため、最適数は予備試験等により求めておくことが好ましい。
【００３９】
フリーローラー１１３のシャフト部は、用いる表面処理液に合わせて選択することが好ましく、例えば腐食性の溶液を処理液として用いる場合には、耐食性を有するステンレス（例えば、SUS304,SUS316等）製とすることが好ましい。ローラー部は、蛇行を機械的に防止するいわゆる蛇行防止用鍔状構造物等を有さず、例えば熱可塑性エラストマーをライニングした円柱状の表面が平坦なローラーから構成する。
【００４０】
表面処理槽１１４に搬入されたフィルム基材は、この表面処理槽１１４の下流側に設けられたスプレー型の表面処理槽１１０’内の駆動ローラー１０６により表面処理槽１１４の槽外に搬出される。
【００４１】
表面処理槽１１４の下流にはスプレー型の表面処理槽１１０’，１１０”、と浸漬型の表面処理槽１１４’とスプレー型の表面処理槽１１０’”が、この順で配置されている。これらの表面処理槽はいずれも前記した表面処理槽１１０，１１４と同じものである。
【００４２】
搬送されるフィルム基材に掛けられる張力はニップローラー１０７の重量、本数、ニップローラー１０７と駆動ローラー１０６との間隔により変化するが、本発明では、これらを一定とした上で、各スプレー型の表面処理槽１１０，１１０’，１１０”，１１０’”に設けられた駆動ローラー１０６の回転数に差を設けることにより調整する。
【００４３】
この調整は、例えば各スプレー型の表面処理槽１１０，１１０’，１１０”，１１０’”の駆動ローラー１０６間の回転数差を、フィルム基材送り速度として０．０１〜０．０５ｍ／ｍｉｎ、好ましくは０．０１〜０．０３ｍ／ｍｉｎとなるようにする。この範囲より下回るようにすることは、現状の駆動機構では困難である。また、この範囲を上回るようにすると、各槽間でのフィルム基材にかかる張力を、フィルム基材にしわを発生させることなく、また、問題となるような蛇行を発生させることなく搬送するように調整することが困難となる。
【００４４】
なお、図１に示してはいないが、巻き出し装置１０４とスプレー型の表面処理槽１１０との間にダンサーローラーを設け、表面処理槽１１０内に搬入されるフィルム基材に張力を掛けておけば、より本発明の効果を奏しやすい。
【００４５】
また、やはり図１に示してはいないが、巻き取り装置１１７に巻き取られるフィルム基材の端部を、超音波センサを始めとする非接触式センサで検出し、検出結果に基づき巻き取りローラー１１５を左右に位置調整して、巻き取られたフィルム基材端部を揃えることも、通常よく行われていることである。この方法を用いれば、仮に搬送時にフィルム基材に蛇行が生じても得られる巻き取りローラーはフィルム基材端部が揃った良好なものが得られる。
【００４６】
上記した本発明の表面処理システムでは、本発明の対象である幅広、かつ極薄のフィルム基材を搬送し、表面処理しても、スプレー型の表面処理槽では、駆動ローラーのフィルム基材抱き角はほぼ０度であり、浸漬型の表面処理槽では、フリーローラーを用いているため、駆動ローラーやフリーローラーに起因するしわや傷も生じ難く、これらのローラーに蛇行防止用鍔状構造物を設けていないため、当然のことながら、蛇行防止用鍔状構造物とフィルム基材との接触による傷、打痕は皆無となる。
【００４７】
また、上記のような構造で幅広かつ極薄のフィルム基材の搬送を行えば、各処理槽における搬送速度を調整し、差速を理想的な状態に調整することで、全体として従来よりも低い張力での搬送が可能となる。また、このようにコンベア方式で搬送することで、従来の装置に必要であった図３に例示した駆動装置などの駆動専用の装置が不要となるため表面処理システム全長を抑えることが可能となり、装置製作にかかるコストも削減できる。
【実施例】
【００４８】
（実施例１）
図１に例示した表面処理システムを用い、ポリイミドフィルムの片面に銅で構成した導電層を有する幅約２６０ｍｍ、厚さ約５０μｍ、長さ２００ｍのフィルム基材の搬送試験を行った。
【００４９】
フィルム基材の搬送速度を、巻き取り速度が２．００ｍ／ｍｉｎ（表面処理槽１１０’”でのフィルム基材送り速度に対応する）となるようにして試験を行ったところ、搬送時におけるフィルム基材の蛇行状態は良好であり搬送方向に向かっての蛇行は左右に±５ｍｍの範囲であった。当然、蛇行防止機構を有さないため接触による傷、打痕も見られなかった。
【００５０】
なお、このとき表面処理槽１１０”でのフィルム基材送り速度を１．９９ｍ／ｍｉｎ、表面処理槽１１０’でのフィルム基材送り速度を１．９９ｍ／ｍｉｎ、表面処理槽１１０でのフィルム基材送り速度を１．９８ｍ／ｍｉｎとした。この調整は駆動ローラーの回転数を調整しておこなった。
【００５１】
（実施例２）
実施例１と同じ装置、同じフィルム基材を用い、表面処理槽１１０、１１０’、１１０”、１１０’”での表面処理を水洗とし、表面処理槽１１４内にアルカリ性脱脂液を溜め、表面処理槽１１４’に酸性脱脂液を溜め、フィルム基材導電層の表面処理を行った。フィルム基材の送り速度は、各表面処理槽に設けられた駆動ローラーの回転数を調整し、表面処理槽１１０’”で１．９９ｍ／ｍｉｎ、表面処理槽１１０”で１．９８ｍ／ｍｉｎ、表面処理槽１１０’で１．９８ｍ／ｍｉｎ、表面処理槽１１０で１．９７ｍ／ｍｉｎとした。
搬送時におけるフィルム基材の蛇行状態は良好であり搬送方向に向かっての蛇行は左右に±５ｍｍの範囲であった。当然、蛇行防止機構を有さないため接触による傷、打痕も見られなかった。また、得られたフィルム基材表面の処理状態は良好であり、良好な金属銅表面が得られていた。
【００５２】
（実施例３）
処理するフィルム基材をポリイミドフィルムの片面に銅で構成した導電層を有する幅約２６０ｍｍ、厚さ約３５μｍ、長さ２００ｍのフィルム基材とし、フィルム基材の送り速度を以下のようにした以外は実施例２と同様の表面処理試験を行った。
表面処理槽１１０’”での送り速度：２．１０ｍ／ｍｉｎ
表面処理槽１１０”での送り速度：１．９７ｍ／ｍｉｎ
表面処理槽１１０’での送り速度：１．９７ｍ／ｍｉｎ
表面処理槽１１０での送り速度：１．９４ｍ／ｍｉｎ
搬送時におけるフィルム基材の蛇行状態は良好であり搬送方向に向かっての蛇行は左右に±５ｍｍの範囲であった。当然、蛇行防止機構を有さないため接触による傷、打痕も見られなかった。また、得られたフィルム基材表面の処理状態は良好であり、良好な金属銅表面が得られていた。
【００５３】
（比較例１）
実施例１と同じ装置、同じフィルム基材を用い、フィルム基材の送り速度を以下のようにした以外は実施例１と同様の搬送試験を行った。
表面処理槽１１０’”での送り速度：２．１０ｍ／ｍｉｎ
表面処理槽１１０”での送り速度：１．９４ｍ／ｍｉｎ
表面処理槽１１０’での送り速度：１．９４ｍ／ｍｉｎ
表面処理槽１１０での送り速度：１．９２ｍ／ｍｉｎ
試験開始後、まもなく表面処理槽１１０”と１１０’”との間でフィルム基材に張力過多によるシワの発生が見られ、蛇行の幅も大きくなっており、無視できない状態となったので搬送試験を中止した。なお、表面処理槽１１０と１１０’との間の搬送状態は良好であった。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の表面処理システムを用いれば、幅広、極薄のフィルム基材のみでなく、その他の幅広かつ極薄のフープ材の搬送にも対応が可能である。加えて、各表面処理槽に設けられた駆動ローラーと被搬送材との抱き角がほぼ０度であるため、被搬送材に掛ける張力を小さくできる。そして、この張力の調整を各表面処理槽に設けられた駆動ローラーの回転数の差として与えることができるため、従来の装置と比較して駆動専用の装置が不要となり、装置全長を抑えることが可能となり、省スペースでの生産が可能でコストメリットも見込める。
【００５５】
また、低張力で搬送できることから、搬送時に被搬送材にシワやゆがみを発生させることがなく、蛇行も小さなものとすることができる。加えて用いるローラー類に蛇行防止用鍔状構造物を設けていないため、被搬送材が蛇行しても接触する構造物がないため、そのような構造物起因による傷、打痕は皆無となる。この結果、本発明の表面処理システムを用いれば、製品収率の向上が図られる。
こうしたことから、本発明は産業上極めて有用である。
【符号の説明】
【００５６】
１                基材
２                巻き出しロール
３                開口部
４                巻き出し装置
５，５’          開口部
６                搬送ローラー
７                スプレーノズル
８，８’          開口部
９                処理液
１０                搬送ローラー
１１，１１’        開口部
１２                駆動ローラー
１２’              ガイドローラー
１３                ニップローラー
１４                巻き取りロール
１５                開口部
１６                巻き取り装置
ａ１，ａ２，ａ３，ａ４                スプレー型の表面処理槽
ｂ１，ｂ２          浸漬型の表面処理槽
ｃ１，ｃ２          駆動装置
１０１                フィルム基材
１０２                巻き出しロール
１０３                開口部
１０４                巻き出し装置
１０５，１０５’      開口部
１０６                駆動ローラー
１０７                ニップローラー
１０８                スプレーノズル
１０９                シャワー配管
１１０，１１０’，１１０”，１１０’”  スプレー型の表面処理槽
１１１，１１１’      開口部
１１２                処理液
１１３                フリーローラー
１１４，１１４’      浸漬型の表面処理槽
１１５                巻き取りローラー
１１６                開口部
１１７                巻き取り装置
【図１】
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【図２】
2010179987.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010179987.tif 000006