(57)【要約】【課題】  気泡排出性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体が流通する液体流路を形成した複数の基板の少なくとも一部を接着剤により接合してなる液体噴射ヘッドにおいて、液体流路は、液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１を備え、該圧力発生室より上流側の流路の壁面に露出する接着剤は第一接着剤１０１からなり、該圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤は第二接着剤１０２からなり、該第二接着剤は液体との親和性が第一接着剤よりも高い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流通する液体流路を形成した複数の基板の少なくとも一部を接着剤により接合してなる液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体流路は、前記液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を備え、
該圧力発生室より上流側の流路の壁面に露出する接着剤は第一接着剤からなり、
該圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤は第二接着剤からなり、該第二接着剤は前記液体との親和性が前記第一接着剤よりも高いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
液体が流通する液体流路を形成した複数の基板の少なくとも一部を接合してなる液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体流路は、前記液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を備え、
該圧力発生室より上流側の流路の壁面に露出する接着剤は、純水との接触角が９０度以上である第一接着剤からなり、
該圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤は、純水との接触角が８０度以下である第二接着剤からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記液体流路は、複数の前記圧力発生室に一つの壁面側で連通して共通の液体室となるリザーバーを備え、該一つの壁面に露出する接着剤は、前記第二接着剤からなることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第一接着剤が熱可塑性樹脂からなり、前記第二接着剤が、前記液体に対する親和性を付与する添加剤が０．１ｗｔ％〜５．０ｗｔ％の割合で添加された熱可塑性樹脂からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエーターユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び前記圧力発生室の共通のインク室となるリザーバーが設けられたリザーバー形成基板を有する流路ユニットとを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−０４２５５９号公報（第６〜８頁、第１〜２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、液体流路（特に圧力発生室）に気泡が発生又は流入すると印字不良が発生するので、メンテナンス動作としてのクリーニングにより気泡を排出している。しかしながら、クリーニングによっても排出できない気泡があり、これがクリーニングによる印字特性の回復を抑制してしまうという問題がある。特に圧力発生室内の気泡は確実に排出する必要があるものの、圧力発生室の側壁に露出した基板を接着するための接着剤がインクとの親和性が低いので気泡が付着しやすく、低流速のクリーニングでは付着した気泡を容易に排出できない。
【０００４】
ちなみに、上記問題を解決するためにインクとの親和性が高いアクリル樹脂系の接着剤を用いることも考えられるが、アクリル樹脂系の接着剤は接着性が低すぎてインクジェット式記録ヘッドを構成することができない。また、インク自体の親和性を高めることも考えられるが、インクの設計の自由度が低いという問題がある。
【０００５】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑み、気泡排出性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体が流通する液体流路を形成した複数の基板の少なくとも一部を接着剤により接合してなる液体噴射ヘッドにおいて、前記液体流路は、前記液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を備え、該圧力発生室より上流側の流路の壁面に露出する接着剤は第一接着剤からなり、該圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤は第二接着剤からなり、該第二接着剤は前記液体との親和性が前記第一接着剤よりも高いことを特徴とする。
本発明では、圧力発生室より上流の領域においては液体との親和性の低い第一接着剤で気泡を吸着し続けて気泡を集合させてより大きな気泡を形成させて、低流速のクリーニングによっても気泡を排出することができるように構成している。これと共に、圧力発生室より上流側で、液体との親和性の低い第一接着剤により気泡を吸着することで液体吐出中に圧力室内に気泡が流入するのを抑制して、吐出特性の低下を抑制できる。また、圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤は、第一接着剤よりも高い親和性を有する第二接着剤からなることで、圧力発生室内では接着剤により気泡を吸着することがなく、低流速のクリーニングによっても気泡を排出することができるようにしている。
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体が流通する液体流路を形成した複数の基板の少なくとも一部を接合してなる液体噴射ヘッドにおいて、前記液体流路は、前記液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を備え、該圧力発生室より上流側の流路の壁面に露出する接着剤は、純水との接触角が９０度以上である第一接着剤からなり、該圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤は、純水との接触角が８０度以下である第二接着剤からなることを特徴とする。
純水との接触角が９０度以上であると、気泡が付着しやすく、純水との接触角が８０度以下であると、気泡が付着しにくい。即ち、本発明では、圧力発生室より上流の領域においては純水との接触角が９０度以上である気泡が付着しやすい第一接着剤で気泡を吸着し続けて気泡を集合させてより大きな気泡を形成させて、低流速のクリーニングによっても気泡を排出することができるように構成している。これと共に、圧力発生室より上流側で、気泡の付着しやすい第一接着剤により気泡を吸着することで液体吐出中に圧力室内に気泡が流入するのを抑制して、吐出特性の低下を抑制できる。また、圧力発生室を含む下流側の流路の壁面に露出する接着剤層は、純水との接触角が８０度以下であり気泡が付着しにくい第二接着剤からなることで、圧力発生室内では接着剤により気泡を吸着することがなく、低流速のクリーニングによっても気泡を排出することができるようにしている。
【０００９】
前記液体流路は、複数の前記圧力発生室に一つの壁面側で連通して共通の液体室となるリザーバーを備え、該一つの壁面に露出する接着剤は、前記第二接着剤からなることが好ましい。このリザーバーの長手方向の側壁のうち、前記圧力発生室近傍の側壁に露出する接着剤が第二接着剤からなることで、よりクリーニングにより気泡を排出しやすくすることができる。また、吸着した気泡が圧力発生室内に流入して吐出特性が劣化するのを抑制することができる。
【００１０】
具体的には、前記第一接着剤が熱可塑性樹脂からなり、前記第二接着剤が、前記液体に対する親和性を付与する添加剤が０．１ｗｔ％（重量％）〜５．０ｗｔ％の割合で添加された熱可塑性樹脂からなることが好ましい。このような接着剤を用いることで、簡易に上記構成を実現し、液体噴射ヘッドの気泡の排出特性を向上させることができる。
【００１１】
本発明の液体噴射装置は、前記いずれかの液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。前記した液体噴射ヘッドを備えることで、気泡の排出特性が高く、かつ、吐出特性も向上される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図であり、図２及び図３はインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１３】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、このアクチュエーターユニット２０が固定される流路ユニット３０とで構成されている。
【００１４】
アクチュエーターユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１５】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０〜１２μｍステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００１６】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバーとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００１７】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。
【００１８】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４１と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４２と、各圧電体層４２上に設けられた上電極膜４３とで構成されている。圧電体層４２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４１は、並設された圧電体層４２に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４１を各圧電体層４２毎に設けるようにしてもよい。
【００１９】
アクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の基板からなり、それぞれを接着剤により接合している。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２０】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力発生室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバー３２が形成されるリザーバー形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２１】
液体供給口形成基板３１は、厚さ６０μｍステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバー３２と圧力発生室２１とを接続する液体供給口３７と、また、各リザーバー３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給する液体導入孔３８とが設けられている。液体供給口３７と液体導入孔３８とは、後述するリザーバー３２の短手方向の両端部にそれぞれ連通するように設けられている。なお、本実施形態では、１つの液体導入孔３８は、詳しくは後述するリザーバー３２の圧力発生室２１の並設方向である一方向の中央部に連通するように設けられている。
【００２２】
リザーバー形成基板３３は、インク流路（液体流路）を構成するに適した、例えば、１５０μステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバー３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２３】
リザーバー３２は、複数の圧力発生室２１に亘って、即ち、圧力発生室２１の並設方向である一方向に亘って設けられており、この並設方向とリザーバー３２の長手方向は一致する。リザーバー３２は、液体導入孔３８から導入されたインクを供給連通孔２５を介して圧力発生室２１に供給する。このようなリザーバー形成基板３３の材料としては、ステンレス鋼等の金属やセラミックなどを用いることができる。
【００２４】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。
【００２５】
このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とを構成する各基板、即ち流路形成基板２２、振動板２３、圧力発生室底板２４、液体供給口形成基板３１、リザーバー形成基板３３及びノズルプレート３５は、接着剤を介して接合されて固定されている。
【００２６】
ここで、接着剤について説明する。本実施形態では、各基板を第一接着剤１０１と第二接着剤１０２とを用いて接合している。具体的には、図１及び２のＡ−Ａ’線より液体導入孔３８側の領域Ａ１では、第一接着剤１０１を用いて各基板を接合しており、Ａ−Ａ’線よりアクチュエーターユニット２０側の領域Ａ２では、第二接着剤１０２を用いて各基板を接合している。即ち、インクジェット式記録ヘッド１０では二種類の接着剤を用いて接合されている。
【００２７】
このようにして基板を接合した場合には、図２に示すように、液体導入孔３８からノズル開口３４に至る液体流路を構成する壁面において、液体導入孔３８からリザーバー３２の上流側までの壁面に露出する第一接着剤１０１が露出し、リザーバー３２の下流側からノズル開口３４まで第二接着剤１０２が露出している。
【００２８】
ここで、第一接着剤１０１は、流路を流通するインク（液体）との親和性の低い（即ち、疎液性を有する）接着剤からなるものであり、第二接着剤１０２は、第一接着剤１０１よりもインクとの親和性の高い（即ち、親液性を有する）接着剤からなるものである。図３に示すように、第一接着剤１０１が疎液性を有することで、インク中の気泡が壁面に露出した第一接着剤１０１に吸着される。この吸着された気泡は、集合してサイズが大きくなるため、低流速で行うクリーニングであっても排出しやすい。また、気泡が壁面に露出した第一接着剤１０１に吸着されることで、液体吐出中に圧力発生室２１に気泡が流入するのを抑制して、吐出特性の低下を抑制できる。さらに、第二接着剤１０２が親液性を有することから、第一接着剤１０１に吸着されなかった気泡が圧力発生室２１に流入したとしても、第二接着剤１０２に吸着されないのでメンテナンス動作としてのクリーニングにより排出することができる。さらにこの場合、本実施形態に示すように、リザーバー３２の液体供給口３７側（上流側）の側面に露出する接着剤が第二接着剤１０２であることで、気泡が吸着しにくいので圧力発生室２１へのインクの流入を妨げることがなく、また、サイズの大きい気泡が圧力発生室２１に流入することがないように構成されている。従って、インクの吐出特性が向上する。
【００２９】
このように、本実施形態においては、気泡をクリーニングにより排出することができ、その結果、気泡による吐出不良を低減することができる。また、圧力発生室２１に気泡が流入するのを抑制して吐出特性の低下も抑制できる。以下、第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２について詳細に説明する。
【００３０】
これらの接着剤は、例えば表面張力が２０〜３０ｍＮ／ｍの液体（例えばインクジェット式記録ヘッドに用いられるインク）に対して、第一接着剤１０１は純水との接触角が９０度以上、第二接着剤１０２は純水との接触角が８０度以下である。第一接着剤１０１の純水との接触角が９０度以上であれば、前記液体に対して十分に親和性が低く、気泡が十分に吸着される。他方で、ヘッドの構成部材として用いられるＳＵＳ（ステンレス）に対する純水の静的接触角は、７０°〜８０°であるため、第二接着剤１０２の純水との接触角が８０度以下であれば、構成部材と同程度の高い親水性を有していることになり、気泡が吸着されにくい。
【００３１】
第一接着剤１０１としては、純水との接触角が９０度以上、即ち疎液性の熱可塑性樹脂を用いることができる。具体的には、金属同士の接着性に優れたポリオレフィン系樹脂が挙げられ、ポリオレフィン系樹脂としては、ポリオレフィン樹脂やエチレン系重合体を用いることができる。ポリオレフィン樹脂としては、ポリプロピレン、ポリブデン、ポリメチルペンテン、ポリスチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリエチレン等が挙げられ、これらの１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。エチレン系重合体としては、エチレン・α−オレフィン共重合体、エチレン・酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体等が挙げられ、これらの１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。もちろん、ポリオレフィン樹脂とエチレン系重合体とを組み合わせて使用しても良い。好ましくは、三井化学製のアドマーＶＥ３００（ＥＶＡベース）を用いることである。
【００３２】
第二接着剤１０２としては、純水との接触角が８０度以下、即ち親液性の熱可塑性樹脂を用いることができる。具体的には基剤として、上記の金属同士の接着性に優れたポリオレフィン系樹脂を用いることができ、この基剤としてのポリオレフィン系樹脂（ポリオレフィン樹脂やエチレン系重合体等が好ましい）に対して親液性を付与する添加剤を添加したものが挙げられる。このような上記添加剤としては、親水基を有するもの、例えば界面活性剤、帯電防止剤、或いは防曇剤が挙げられ、これらの１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。これらの添加剤を添加することで、接着樹脂中に含有された添加剤が貼り合せ時に熱溶融され表面にブリード（にじみ）し、ブリードした添加剤中の親水性官能基によって第二接着剤１０２の表面の親水度を向上できる。界面活性剤としては、親水性部分がイオン性（カチオン性・アニオン性・双性）のものと非イオン性（ノニオン性）のどちらでもよいが、特に、インクジェット用の添加剤としては、非イオン系界面活性剤・陰イオン系界面活性剤を用いるのが好ましい。これは、インク中のイオン性含有物の影響を受け難く、インクと反応することで異物等をヘッド内（インク流路内）に生じさせることがないからである。
【００３３】
非イオン系界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、グリセリン脂肪酸エステル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミド、ソルビタン、プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、脂肪酸ソルビタンエステル、アルキルモノグリセリルエーテル等が挙げられ、これらの１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。また、陰イオン系界面活性剤としては、例えばアルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩等が挙げられ、これらの１種を単独でまたは２種を組み合わせて使用することができる。また、非イオン系界面活性剤及び陰イオン系界面活性剤を組み合わせて使用することも可能である。
【００３４】
具体的に本実施形態では、添加剤として、主成分をポリオキシエチレンアルキルエーテルとポリプロピレンの混合マスターバッチとする、例えばチバスペシャリティケミカル製のｉｒｕｇａｓｕｒｆｈｌ５６０（ＨＬＢ値１３〜１９程度）や、主成分をグリセリン脂肪酸エステルとする、例えばチバスペシャリティケミカル製のＡｔｍｅｒ１２９Ｖ（ＨＬＢ値５〜８程度）が用いることが特に好ましい。
【００３５】
添加剤は、０．１ｗｔ％〜 ５．０ｗｔ、好ましくは％０．２５ｗｔ％〜 ５．０ｗｔ％の割合で樹脂中に添加されている。この範囲であれば、上述したような親水性を得るとともに、十分な接合強度を備えた接着剤を得ることができる。添加剤の割合は、より好ましくは、０．５ｗｔ％〜 ５．０ｗｔ％であり、特に好ましくは１．０ｗｔ％とすることである。
【００３６】
なお、第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２は粘着物性及び親液性（又は疎液性）を損なわない範囲において他の添加剤を含んでいてもよい。
【００３７】
このような接着剤は、基板に塗布するか、またはフィルム状に加工して基板に設置した後に加熱して加圧することにより十分な接着物性を有する。本実施形態では、取り扱いの利便性から熱溶着フィルムとして用いている。この場合に、本実施形態の第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２はアクリル系の接着剤に比べて高い接着性を有するので、インクジェット式記録ヘッド１０を構成することができる。
【００３８】
上記構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジから液体導入孔３８を介してリザーバー３２内にインクを取り込み、リザーバー３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。即ち、インク流路（液体流路）とは、液体導入孔３８、リザーバー３２、液体供給口３７、供給連通孔２５、圧力発生室２１、ノズル連通孔２６、３６及び３９並びにノズル開口３４に至るまでのインクの流通する流路をいい、インクジェット式記録ヘッド１０の構成によってこの流路にはさらに連通孔等が増えてもよく、また減っても良い。また、圧力発生室２１より上流側の流路とは圧力発生室２１から液体導入孔３８までをいい、圧力発生室２１を含む流路の下流側とは圧力発生室２１からノズル開口３４までをいう。この場合に、上述のように接着剤として第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２を用いることで、気泡が第一接着剤１０１に吸着されるので圧力発生室２１に流入されにくい。
【実施例１】
【００３９】
第一接着剤１０１として三井化学製のアドマーＶＥ３００を用い、また、第二接着剤１０２として三井化学製のアドマーＶＥ３００に対してチバスペシャリティケミカル製のｉｒｕｇａｓｕｒｆｈｌ５６０（添加剤１）を添加したものを用いてインクジェット式記録ヘッドを構成した。この場合、添加剤１の添加量を０、０．１、０．２５、０．５、１．０、２．０、５．０、１０ｗｔ％に変化させて第二接着剤１０２の組成を変化させると共に、第二接着剤１０２の純水との接触角をＦＴＡ４０００（ＦＴＡ社製接触角計）により測定した。
【００４０】
その結果、添加剤１がない場合（即ち第一接着剤１０１と同一の組成である場合）には、純水との接触角は９０度以上であり、また、構成されたインクジェット式記録ヘッドの気泡排出性は低かった。これは、親液性を有する接着剤が圧力発生室よりも下流側に存在しないためであると考えられる。
【００４１】
添加剤１の添加量が０．１及び０．２５ｗｔ％である場合には、純水との接触角は約８０度以下であり、インクジェット式記録ヘッドの気泡排出性は添加剤がない場合よりは高くなった。添加剤１の添加量が０．５、１．０、２．０、５．０ｗｔ％である場合には、純水との接触角は約８０度以下であり、インクジェット式記録ヘッドの気泡排出性が最も高くなった。このように、インクジェット式記録ヘッドを第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２で用いて構成することで、気泡排出性は向上した。
【００４２】
また、添加剤１の代わりにチバスペシャリティケミカル製のＡｔｍｅｒ１２９Ｖ（添加剤２）を用いて同様にインクジェット式記録ヘッドを構成した。この場合、添加剤２の添加量は２．０ｗｔ％であり、第二接着剤１０２の純水との接触角をＦＴＡ４０００（ＦＴＡ社製接触角計）により測定した。その結果、純水との接触角は７５度以下となり、インクジェット式記録ヘッドの気泡排出性は高くなった。このように、インクジェット式記録ヘッドを第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２で用いて構成することで、気泡排出性は向上した。
【００４３】
次に、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０を用いたインクジェット式記録装置（液体噴射装置）について説明する。本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４４】
図４に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４５】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４６】
上述した実施形態では、アクチュエーターユニット２０も接着剤で接合することにより構成したが、アクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化されていてもよい。この場合には、流路ユニット３０側が第一接着剤１０１及び第二接着剤１０２により接合されていればよい。圧力発生室２１より上流側で第一接着剤１０１により少なくともインク中の気泡を吸着して圧力発生室２１への気泡の流入を抑制できると共に、圧力発生室２１側の側壁に露出した第二接着剤１０２によりインクの吐出特性を向上させることができる。
【００４７】
上述した実施形態では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエーター、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。
【００４８】
また、上述した実施形態においては、インクジェット式記録ヘッドとしてリザーバー３２をリザーバー形成基板３３のみによって構成したが、複数のリザーバー形成基板によって構成してもよい。また、リザーバー３２の下方にコンプライアンス部を設けるためのコンプライアンス基板をリザーバー形成基板３３とノズルプレート３５との間に設けることも可能である。
【００４９】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの検査方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  アクチュエーターユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ２５  供給連通孔、  ３０  流路ユニット、  ３１  液体供給口形成基板、  ３２  リザーバー、  ３３  リザーバー形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ３６  ノズル連通孔、  ３７  液体供給口、  ３８  液体導入孔、  ３９  ノズル連通孔、  ４０  圧電素子、  １０１  第一接着剤、  １０２  第二接着剤
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図３】
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