(57)【要約】【課題】相対向する基板の外表面を高度に平行化した光学記録媒体を提供する。【解決手段】少なくとも二つのプラテン（１６、１８）を利用して記録媒体を作成する装置と方法に関する。第１プラテン（１６）は第２プラテン（１８）に対して移動自在であり、各プラテンには、基板（１２、１４）が載置される第１及び第２支持面が備わっている。第１及び第２基板はそれぞれ長手方向内表面と長手方向外表面とを有している。これらの基板は一つかそれ以上の基準位置に対して調芯装置（１９）により調芯され、位置決めシステム（３２）が、それぞれの基板（１２、１４）の長手方向外表面を平行にするとともに、基板（１２、１４）の長手方向内表面の間に所望のギャップを形成する。それぞれの基板の長手方向内表面の間のギャップには、供給ユニットからの液媒体が導入される。【選択図】図１
2010073303.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学記録媒体を製造する方法であって、
互いに対向する支持面がほぼ平行となるように当該支持面を調芯するステップと、
それぞれが長手方向内表面と長手方向外表面とを有する少なくとも二つの基板を対応する支持面に載置するか、または、当該少なくとも二つの基板を一緒に前記支持面の一方に載置するステップと、
一つ以上の基準位置に対して前記基板を調芯するステップと、
前記基板の長手方向外表面の間で、互いに対向する前記支持面が確立した平行度と一致する平行度を得るべく前記基板を位置決めするステップと、
前記基板の長手方向外表面の間で確立した平行度を保ちつつ、前記基板の長手方向内表面の間にギャップを形成すべく前記基板を位置決めするステップと、
所要量の液体を供給して、前記基板の長手方向内表面の間に媒体を形成するステップとを備えた光学記録媒体製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記支持面が剛体の基準プラテンである光学記録媒体製造方法。
【請求項３】
請求項１において、前記基板が円形ディスクである光学記録媒体製造方法。
【請求項４】
請求項１において、前記基板が正方形、矩形、または、楕円形である光学記録媒体製造方法。
【請求項５】
請求項１において、前記基板が中心孔を有している光学記録媒体製造方法。
【請求項６】
請求項１において、前記基板がガラスまたはプラスチック製である光学記録媒体製造方法。
【請求項７】
請求項１において、前記基板が一つ以上の直線縁を有している光学記録媒体製造方法。
【請求項８】
請求項１において、前記基板が一つ以上の曲線縁を有している光学記録媒体製造方法。
【請求項９】
請求項１において、前記基板は約０．１〜５ミリの厚みを有し、１インチあたり約１／１０〜２０ウェーブの平坦度を有している光学記録媒体製造方法。
【請求項１０】
請求項１において、前記基板は約０．１〜５ミリの厚みを有し、前記長手方向外表面間の平行度が約１０〜５０００マイクロラジアンである光学記録媒体製造方法。
【請求項１１】
請求項１において、前記基板の基準部分を調芯する前記ステップと前記液体を供給する前記ステップが調芯プラグを利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１２】
請求項１において、前記基板を調芯するステップが調芯装置を利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１３】
請求項１において、前記基板を調芯するステップが曲線縁に沿って二点調芯を利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１４】
請求項１において、前記基板を調芯するステップが二つ以上の直線縁の三点調芯を利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１５】
請求項１において、前記対向する支持面を調芯するステップが三点位置決めシステムを利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１６】
請求項１において、前記基板を位置決めするステップが三点位置決めシステムを利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１７】
請求項１において、前記基板は内径を有しており、前記基板を位置決めするステップが当該基板の前記内径を介して行う装置を利用することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１８】
請求項１において、前記供給ステップが前記基板間のギャップに前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項１９】
請求項１８において、前記供給ステップが、前記基板を中心基準位置に対して調芯させるのに利用する調芯装置を介して前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２０】
請求項１において、前記供給ステップが、一つ以上のディスク型基板の内径に挿入した装置を介して前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２１】
請求項１において、前記供給ステップが基板表面に前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２２】
請求項１において、前記供給ステップが、前記液体を供給するのに利用する装置と前記基板の内縁との間のギャップをシールすることを含む光学記録媒体製造府お方。
【請求項２３】
請求項１において、前記供給ステップが、前記液体が前記基板の中心領域から当該基板の外縁の方へと外方に流れるように前記液体に正圧を付加することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２４】
請求項１において、前記供給ステップが一つの半径位置で基板表面に前記液体を供給して環状領域を形成することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２５】
請求項１において、前記供給ステップが二つ以上の半径位置で前記液体を供給して二つ以上の環状ないし螺旋状領域を形成することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２６】
請求項１において、前記供給ステップが、液層が均一になるように前記基板の外縁から内縁へと当該基板の内表面の間に前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２７】
請求項１において、前記供給ステップが、ガス気泡が閉じ込められることなく液層が均一になるように、前記基板の前記内表面間におけるガスを当該基板の外縁へ追い出しつつ、半径方向に前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２８】
請求項１において、前記供給ステップが、液層が所定の厚みを有し、ガス気泡が閉じ込められていないものとなるように、正方形もしくは矩形の基板または直線縁及び曲線縁を有する基板の前記内表面間におけるガスを前記基板の一つ以上の対向する縁へ追い出しつつ、前記基板の一つ以上の縁から前記液体を供給することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項２９】
請求項１において、前記液体が重合可能なものであって、その処理が熱処理を利用するものである光学記録媒体製造方法。
【請求項３０】
請求項１において、前記液媒体が重合可能なものであって、その処理が化学線照射を利用するものである光学記録媒体製造方法。
【請求項３１】
請求項１において、前記液媒体が重合可能なものであって、その処理が紫外線照射を利用するものである光学記録媒体製造方法。
【請求項３２】
請求項１において、前記媒体を安定化すべく前記液体を処理するステップを更に備える光学記録媒体製造方法。
【請求項３３】
請求項３２において、前記処理ステップが前記液媒体の円形領域を処理することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項３４】
請求項３３において、前記円形領域が前記基板の外縁及び内縁における、または、それらの近傍における連続トラックである光学記録媒体製造方法。
【請求項３５】
請求項３３において、前記円形領域が前記基板の中心を中心とする異なる半径を持つ二つ以上の連続トラックである光学記録媒体製造方法。
【請求項３６】
請求項３２において、前記処理ステップが前記液媒体の螺旋状領域を処理することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項３７】
請求項３２において、前記処理ステップが前記液媒体の個別に独立した領域を処理することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項３８】
請求項３７において、前記個別に独立した領域が互いに接している光学記録媒体製造方法。
【請求項３９】
請求項３７において、前記個別に独立した領域が互いに離間しているか、または、互いに部分的に重なっている光学記録媒体製造方法。
【請求項４０】
請求項１において、前記供給ステップが毛細管現象を利用して行われる光学記録媒体製造方法。
【請求項４１】
請求項１において、前記供給ステップが、前記液体が前記基板の中心及び外縁の方へ流れるように、当該基板に正圧を作用させて該液体に圧縮力を働かせることを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項４２】
請求項１において、前記供給ステップが、前記基板を静止または回転させている間に当該基板間に前記液体を注入し、その後、該基板を回転させて該液体をその基板の外縁の方へと外方に拡散させることを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項４３】
請求項４２において、前記供給ステップが、前記基板に正圧を作用させると共に、当該基板を回転させることで前記液体に圧縮力を作用させることを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項４４】
請求項１において、前記基板の長手方向外表面の間で平行度を維持するすべく当該基板の位置を固定するステップを更に備える光学記録媒体製造方法。
【請求項４５】
光学記録媒体を製造する方法であって、
それぞれが長手方向内表面と長手方向外表面とを有する少なくとも二つの基板を対応する支持面に載置するステップと、
一つ以上の基準位置に対して前記基板を調芯するステップと、
前記基板のそれぞれの長手方向内表面の間にギャップを形成すべく前記基板を互いに位置決めするステップと、
前記基板の長手方向外表面の間の平行度を確保すべく当該基板を位置決めするステップと、
液体を供給して、前記基板のそれぞれの長手方向内表面の間に媒体を形成するステップと、
前記媒体を安定化すべく、前記液体を処理するステップとを備えた光学記録媒体製造方法。
【請求項４６】
請求項４５において、前記ギャップが少なくとも一つの機械的係止部材を利用して形成される光学記録媒体製造方法。
【請求項４７】
請求項４６において、少なくとも一つの直線測距センサーを利用して前記少なくとも一つの機械的係止部材の位置を調節するステップを更に備える光学記録媒体製造方法。
【請求項４８】
請求項４５において、前記ギャップが一つ以上の直線測距センサーを利用して形成される光学記録媒体製造方法。
【請求項４９】
請求項４５において、前記ギャップが一群のスペーサを利用して予め設定されている光学記録媒体製造方法。
【請求項５０】
請求項４９において、前記スペーサが前記支持面の何れか一つに固定状態で装着されている光学記録媒体製造方法。
【請求項５１】
請求項４９において、前記スペーサが前記支持面の何れか一つに可動状態で装着されている光学記録媒体製造方法。
【請求項５２】
請求項５１において、前記基板の傾斜角を測定する光学測定装置を利用して前記スペーサのそれぞれの高さを調節するステップを更に備える光学記録媒体製造方法。
【請求項５３】
請求項５２において、前記光学測定装置を利用することが、前記基板の外表面からの表面反射がほぼ、同一線形順序にならぶまで当該支持面の高さを調節することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項５４】
請求項４５において、前記平行度を確保すべく基板を位置決めするステップが、前記基板の傾斜角を測定する光学測定装置を利用し、前記基板の外表面からの表面反射がほぼ、同一線形順序にならぶまで前記支持面の位置を調節することを含む光学記録媒体製造方法。
【請求項５５】
光学記録媒体を製造する装置であって、
少なくとも二つのプラテンであって、第１のプラテンが第２のプラテンに対して相対移動自在となっており、第１および第２のプラテンのそれぞれは、長手方向内表面と長手方向外表面とを有する第１及び第２基板がそれぞれ載置される第１及び第２支持面を有している少なくとも二つのプラテンと、
一つ以上の基準位置に対して前記第１及び第２基板を調芯する調芯装置と、
前記第１及び第２基板のそれぞれの長手方向外表面の間にほぼ完全な平行度を確保すると共に、前記第１及び第２基板のそれぞれの長手方向内表面の間に所望のギャップを形成する位置決めシステムと、
第１及び第２基板のそれぞれの長手方向内表面の間における前記ギャップに液媒体を注入する供給ユニットとを備えた光学記録媒体製造装置。
【請求項５６】
請求項５５において、前記液媒体を安定化する処理装置を更に備える光学記録媒体製造装置。
【請求項５７】
請求項５５において、前記処理装置が紫外線照射を利用する光学記録媒体製造装置。
【請求項５８】
請求項５５において、前記処理装置が化学線照射を利用する光学記録媒体製造装置。
【請求項５９】
請求項５５において、前記処理装置が熱処理を利用する光学記録媒体製造装置。
【請求項６０】
請求項５５において、前記第１及び第２基板のそれぞれの外表面の間に所望の平行度を確保するロック装置を更に備える光学記録媒体製造装置。
【請求項６１】
請求項６０において、前記ロック機構が、三つのテーパー状ブロックの間にくさびとして挿入されて、当該ブロックを前記位置決めシステムの三本の剛体シャフトへ押圧することにより、前記三本の剛体シャフトの移動を阻止するボールを含む光学記録媒体製造装置。
【請求項６２】
請求項５５において、前記供給ユニットが、前記液媒体を貯蔵する一つの液槽を含み、該液槽は前記調芯装置に直接、または、前記液槽から前記調芯装置へと該液媒体を供給するチューブを介して前記調芯装置に連結されている光学記録媒体製造装置。
【請求項６３】
請求項５５において、前記供給ユニットが各液媒体を貯蔵する複数の液槽を含み、各液槽は前記調芯装置と直接、または、前記液槽から前記調芯装置へと該液媒体を供給するチューブを介して前記調芯装置に連結されている光学記録媒体製造装置。
【請求項６４】
請求項５５において、各基板の前記内表面に当該基板の外域に沿って隆起部が設けられており、該隆起部が各基板のそれぞれの内表面の間の距離を減少させている光学記録媒体製造装置。
【請求項６５】
請求項５５において、前記位置決めシステムが三点位置決めシステムである光学記録媒体製造装置。
【請求項６６】
請求項６５において、前記三点位置決めシステムが剛体装着スペーサを含む光学記録媒体製造装置。
【請求項６７】
請求項６５において、前記三点位置決めシステムが可動装着スペーサを含む光学記録媒体製造装置。
【請求項６８】
請求項５５において、前記位置決めシステムが前記ギャップを形成する少なくとも一つの機械的係止部材を含む光学記録媒体製造装置。
【請求項６９】
請求項５５において、前記位置決めシステムが前記ギャップを形成する直線測距センサーを含む光学記録媒体製造装置。
【請求項７０】
請求項５５において、前記位置決めシステムが前記基板の傾斜角を測定する光学測定装置を含み、前記所望の平行度が、当該光学測定装置が各基板のそれぞれの外表面からの表面反射が同一線形順序にならんだと判断したときに得られる光学記録媒体製造装置。
【請求項７１】
請求項５５において、前記調芯装置が各基板の内径にあてがわれる光学記録媒体製造装置。
【請求項７２】
少なくとも二つの基板と、前記基板のそれぞれの長手方向内表面の間に設けた媒体とを有し、前記二つ基板のそれぞれの長手方向外表面がほぼ平行である光学記録体。
【請求項７３】
請求項７２において、前記基板が円形ディスクである光学記録体。
【請求項７４】
請求項７２において、各基板に中心孔が設けられている光学記録体。
【請求項７５】
請求項７２において、前記基板が正方形、矩形、または、楕円形である光学記録体。
【請求項７６】
請求項７２において、前記基板が少なくとも一つの直線縁を有している光学記録体。
【請求項７７】
請求項７２において、前記基板が少なくとも一つの曲線縁を有している光学記録体。
【請求項７８】
請求項７２において、前記基板がガラス製である光学記録体。
【請求項７９】
請求項７２において、前記基板がプラスチック製である光学記録体。
【請求項８０】
請求項７２において、前記基板は約０．１〜５ミリの厚みを有し、１インチあたり約１／１０〜２０ウェーブの平坦度を有している光学記録体。
【請求項８１】
請求項７２において、前記基板は約０．１〜５ミリの厚みを有し、前記長手方向外表面間の平行度が約１０〜５０００マイクロラジアンである光学記録体。
【請求項８２】
請求項７２において、各基板の前記内表面に当該基板の外域に沿って隆起部が設けられており、該隆起部が各基板のそれぞれの内表面の間の距離を減少させている光学記録体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録動作を行う記録媒体または接合層が二つの基板の間に収納された光学媒体の製造方法とその装置に関する。
〔関連出願〕
【０００２】
本出願は、２００１年５月１４日に出願された米国仮出願Ｎｏ．６０／２９０，７４３の優先権を主張する。この仮出願は参照により本明細書に引用したものとする。
【背景技術】
【０００３】
例えばデジタル式ホログラフィック・データストレージやデジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ）のような光学データストレージシステムで使われている媒体においては、既存のドライブ装置やホログラフィック・データストレージを想定しているドライブ装置でのサーボ・システムが複雑になるのをできるだけ避けるために、当該媒体の両側の外表面が高度の平行度を有しているのが好ましい。適度に平坦な光学媒体の生産にあたり産業界で用いられている方法（例えば、ＤＶＤ製造における接合工程）では、重合可能な接合層ないし記録層の厚みを一貫して適当な値に製作して管理維持しているが、高度な平行度を有する媒体の外表面がもたらす利得について考慮は払っていない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の如くの光学媒体処理システムは産業界で確立しているところであり、計画通りの目的に適って一応十分稼働しているものと考えられている。しかしながら、問題点がないというものではない。特に大部分の処理システムは、媒体を挟む基板の厚みの変動により当該基板に生ずるウ縁（くさび）現象、または、一方の基板が他方の基板に対して傾いていることから基板間の媒体に生じるウ縁に対処できない。従って、表面の正確な平行度を持つ光学記録媒体を生産するのが望ましいのである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、液体記録ないし液体接合材が適当な剛性基板の間に挟持されているディスク媒体の製造システムを実現しており、完成品としてのディスク媒体は適度の平坦度を有し、また、高度な平行度を奏する。このシステムは、ディスク、正方形ないし矩形のカード、または、例えば楕円形媒体の如く光学記憶に適したその他の幾何学形状の媒体、または直線及び曲線からなる縁を有する媒体についても実施できるものである。
【０００６】
本発明の一つの構成によれば、光学記録媒体製造方法では、互いに対向する支持面がほぼ平行となるように当該支持面を調芯し、それぞれが長手方向内表面と長手方向外表面とを有する少なくとも一つの基板を各支持面に載置するか、または、両方の基板を一つの支持面に載置する。各基板は一つかそれ以上の基準位置に対して調芯され、その後、前記基板の長手方向外表面の間で、互いに対向する前記支持面が確立した平行度と一致する平行度を得るべく前記基板を位置決めする。オプションで、基板の長手方向外表面間で確立した平行度を保つために、基板が動かないように固定する。しかる後、前記基板の長手方向外表面の間で確立した平行度を保ちつつ、前記基板の長手方向内表面の間にギャップを形成すべく前記基板を位置決めする。そして、液媒体となる所要量の液体を供給して、前記基板の長手方向内表面の間に媒体を形成し、液体を安定化するために当該液体を処理する。
【０００７】
この構成による本発明の実施形態は、下記の特徴を一つかそれ以上備えている。基板がディスク型基板、または、中心孔を有する基板である場合、調芯プラグを利用して、当該基板の調芯を行う一方、三点位置決めシステムを利用して一方の基板を他方の基板に対して移動させる。少なくとも一つの曲線縁を有する基板の如くの基板の調芯も、曲線縁に沿って二点調芯を利用するか、二つかそれ以上の直線縁の少なくとも三点調芯を利用することによっても達成できる。別の方法としては、直径の拡張できるピン、または、コレットを基板の内径にあてがってもよい。
【０００８】
液媒体は、基板の中心域から当該基板の外縁へと液媒体が流れるように正圧(positive pressure)を作用させて調芯プラグを介して供給される。このような供給は、吸引作用も
しくは毛細管現象で、或いは、基板を回転させる、または、それらの組合わせによっても達成できる。別の方法としては、基板の内径孔に装置を挿入して、この装置で前述の供給を行ってもよい。液媒体を、例えば一つの半径位置で基板表面に供給して環状領域を形成するか、または、二つかそれ以上の半径位置で基板表面に供給して複数の環状ないし螺旋状領域を形成するようにしてもよい。例えば、液媒体を基板間のギャップに挿入された針により供給する。別の実施形態としては、基板の外縁から内縁へと基板の内表面の間に液媒体を供給して、基板上に均一な液層が形成されるようにしてもよい。また、基板に正圧を作用させて、液媒体が基板の中心および外縁へと流れるように当該液媒体に作用する圧縮力を生成してもよい。基板は液媒体の供給時に静止させてもよく、または、回転させてもよい。
【０００９】
液媒体は重合可能であるのが通常であり、その場合、熱処理、化学線照射および／もしくは紫外線照射、またはそれらの組合わせで処理できる。基板が正方形もしくは矩形、または直線縁と曲線縁とを有するものであれば、液媒体を正圧の下で基板間のギャップに供給するか、または、吸引作用ないし毛細管現象を利用して基板間のギャップに供給して、基板の互いに対向する外縁へと一方の縁から流れるようにしてもよい。別の方法としては、基板に正圧を作用させて液媒体に圧縮力を働かせることにより、基板の縁の間に均一な媒体を形成するように当該液媒体を流してもよい。前記基板は約０．１〜５ミリの厚みを有し、１インチあたり約１／１０〜２０ウェーブの平坦度を有するものであってもよい。また、前記基板のそれぞれの長手方向外表面の平行度は約１０〜５０００マイクロラジアンであってもよい。
【００１０】
本発明の別の構成によれば、光学記録媒体の製造方法は、少なくとも二つの基板を対応する支持面に載置するステップと、基板がディスク型基板の場合、中心基準位置に対して、または、ディスクが正方形ないし矩形の場合、一つ以上の縁のような他の基準位置に対して前記基板を調芯するステップと、前記基板の位置をロックないし確固に確定して平行度を得るステップと、基板の内表面間に所望のギャップが形成されるまで基板をそれぞれに対して移動させるステップと、互いに隣接する基板の間のギャップに所要量の液媒体が均一に充填するように、当該基板の間に液媒体を供給するステップと、液媒体を処理して当該液媒体の厚みを安定化するステップとからなる。
【００１１】
この構成での本発明の実施形態は、基準面に固定状態または可動状態に装着した一群のスペーサを利用することも含んでいる。スペーサが可動状態で装着されているのであれば、それらのスペーサの高さは、基板の傾斜角を測定する光学測定装置、または、干渉計装置ないし歪み計の如くの直線測距装置を利用して調節してもよい。別の方法としては、一つかそれ以上の機械的係止部材を利用して前記ギャップを形成してもよい。
【００１２】
更に本発明の別の構成によれば、記録媒体の製造装置は、少なくとも二つのプラテンを含む。第１プラテンは第２プラテンに対して移動自在である。これら第１および第２プラテンは、第１及び第２基板が載置される第１及び第２支持面をそれぞれ有している。第１および第２基板はそれぞれ長手方向内表面と外表面とを有している。この装置は、ディスク型基板を中心基準位置に対して調芯する調芯装置、または、正方形もしくは矩形の基板または少なくとも一つの曲線縁を有する基板の場合では基準位置に対して一つかそれ以上の縁を位置決めする装置と、基板の外表面間で所望の平行度を確立し、所望のギャップを基板間に形成する三点位置決めシステムをも含む。ロック装置で、基板の外表面間の平行度を所望値に保ち、供給ユニットで基板間のギャップに液媒体を供給している。このように供給された液媒体は、当該液媒体の厚みを保つべく処理装置により安定化され、基板の外表面の平行度を保つ。
【００１３】
ロック機構は、三つのテーパー状ブロックの間にくさびとして挿入されて、当該ブロックを前記位置決めシステムの三本の剛体シャフトへ押圧することにより、前記三本の剛体シャフトの移動を阻止するボールを含む。
【００１４】
また、或る実施形態では、前記供給ユニットは液媒体を貯蔵する一つの液槽を含む。ディスク型基板の場合、該液槽は前記調芯装置（ハブ）もしくは液媒体を供給するように工夫されたその他の装置と直接連結されているか、または、前記液槽から前記調芯装置もしくはその他の適当な供給ユニットへと液媒体を供給するチューブと連結されている。他の実施形態では、供給ユニットは液媒体を貯蔵する複数の液槽を含む。ディスク型基板の場合、各液槽は調芯ハブもしくは他の適当な供給装置に直接連結されるか、または液槽から調芯ハブもしくは他の適当な供給装置に各液媒体を供給するチューブに連結されている。調芯ハブ、または、基板が正方形もしくは矩形または少なくとも一つの曲線縁を有するものであれば他の適当な供給ユニットには、その供給ユニットが複数の液槽からなるものであれば、混合室を備えていてもよい。この混合室には構造部材ないし突起が設けられていてもよい。混合室に導入した液媒体が前記突起にぶつかると、乱流がその液媒体内で発生するので、複数種の成分が均一に混合された溶液が生成される。
【００１５】
各基板の内表面には、当該基板の外域に沿って隆起部が設けられていてもよい。この隆起部は、第１及び第２基板のそれぞれの内表面の間の距離を減少させている。三点位置決めシステムは、基板の内表面の間に前記ギャップを形成する固定装着スペーサないし可動装着スペーサを含む。
【００１６】
本発明による種々の利点には、基板の外表面が互いに高度に平行になっている必要のある、光学記録に利用できる媒体の作製ができるという利点がある。このようなシステムと方法とは、基板におけるウ縁を勘案していると共に、それを補償することができるものである。また、それにより、種々の寸法のギャップへと基板間に液体材料を導入することができ、導入した液体は気泡を閉じ込めることなくギャップ内で均一に配分される。液媒体が重合可能なものであれば、本発明のシステムと方法とにより、当該媒体の基板の外表面の間の平行度を確保し、維持するように、加熱法と光化学法の何れか、または両方により材料を反応させる方法が得られるのである。ギャップ寸法内に液媒体を供給するものとして説明するシステムと方法は、ＤＶＤ接合に、または、他の大きさのディスクやカードの如くの光学記憶媒体とホログラフィック記録媒体の何れか、または両方の接合に使用される、または、利用されるものと想定されている広範囲の粘度の液媒体にも対応している。基板の外表面の間で高度の平行度を確保し維持するものとして説明する方法は、光学サーボ・システムに有用な構造上の特徴を提供する。
【００１７】
本発明の前述およびその他の目的、特徴、および利点は、添付図面に示す本発明の好ましい実施形態の以下の詳細な説明で明らかになるであろう。図面では、同一参照符号は異なる図面においても同一部品を指す。図面は必ずしも縮尺１倍尺通りでなく、本発明の原理を示すことに重点が置かれている。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による光学記録媒体製造システムの前面図である。
【図２Ａ】図１に示した光学記録媒体製造システムの側面図である。
【図２Ｂ】図１に示した光学記録媒体製造システムの側面図である。
【図２Ｃ】図１に示した光学記録媒体製造システムにおけるロック機構の平面図である。
【図３】隣接する基板を調芯し、両者間に液媒体を注入する調芯ハブの側面図である。
【図４】光学記録媒体の自動製造方法を示すフローチャートである。
【図５Ａ】図１に示した光学記録媒体製造システムにおける三点位置決めシステムの別の実施形態を示す図である。
【図５Ｂ】図１に示した光学記録媒体製造システムにおける三点位置決めシステムの別の実施形態を示す図である。
【図６】三点位置決めシステムに代る代替の実施形態を示す図である。
【図７Ａ】複数種の液媒体を注入する調芯ハブの別の実施形態を示す図である。
【図７Ｂ】複数種の液媒体を注入する調芯ハブの別の実施形態を示す図である。
【図７ＡＡ】図７Ａの矢印７ＡＡの方向から見た矢視図である。
【図７ＢＡ】図７Ａの矢印７ＢＡの方向から見た矢視図である。
【図７ＢＢ】図７Ａの矢印７ＢＢの方向から見た矢視図である。
【図８】基板の外縁を越えて液媒体がオーバーフローするのを防ぐガスケットないし突起を備えた一対の基板を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好ましい実施の形態を詳述するが、添付図面において同一部品には同一符号を用いている。本発明の光学記録媒体製造システムを図１において１０を以て示す。この媒体製造システム１０は、実際の記録層（または、ＤＶＤ技術では接合層）が二つの基板に挟まれている光学媒体を作製するシステムである。このシステム１０は、二つの基板の外表面間で高度な平行度を有する媒体を作製できることに特徴を有している。また、媒体は、ガス気泡を当該媒体に閉じ込められることなく均一に製作される。各基板は、プラスチックないしガラスからなる単一のシートないしディスクであってもよく、または、プラスチックとガラスの何れか、または両方からなり、他の接合層ないし記録層を挟持する積層（ラミネート）シートないしディスクであってもよい。このシートは、正方形、矩形、楕円形の何れの形状であってもよく、或いは、直線状と曲線状の何れか、または両方の形状の縁を含むその他の適当な幾何学的形状であってもよい。
【００２０】
まず概要を説明すれば、このシステム１０を利用するに当たっては、作業者が各基板１２、１４を対応する支持面、即ち、下プラテン１６と上プラテン１８のそれぞれの内表面に載置する。これらのプラテンは、光学平坦度と称されている表面品質と高度な表面平坦度とを奏するように作製されている。そのために、それぞれのプラテンの長手方向内表面、即ち、対向する支持面の間で平行度を所望通りにすることができ、また、基板をそれぞれのプラテンに載置する前からプラテンのそれぞれの長手方向内表面が互いに実質的に平行となるように、平行状態が確保されている。
【００２１】
前述のように基板をそれぞれのプラテンに載置すると、基板がディスク型であれば、当該基板の長手方向表面に対する中心軸を調芯ハブ１９で中心基準位置に調芯し、その後、基板１２、１４のそれぞれの内表面が互いに接触するように、当該基板を合体させる。基板をそれぞれのプラテンに固定することにより、ディスク型基板は、それぞれの中心が調芯された状態に保たれるので、基板の長手方向外表面間の平行度が確定され、ロックされて、プラテン間の平行度が意図通りのレベルに維持される。
【００２２】
同様に、基板が正方形、矩形、もしくはその他の形状であっても、基板をそれぞれのプラテンに固定することにより、当該基板はそれぞれの中心が調芯された状態に保たれるので、基板の外表面間の平行度が確定され、ロックされて、プラテン間の平行度が意図通りのレベルに維持される。
【００２３】
何れにしても、基板の厚みとしては、約０．１〜５ミリで、その平坦度は１インチあたり１／１０〜２０ウェーブであってもよい。他方、基板の長手方向外表面の間の平行度は約１０〜５，０００マイクロラジアンである。
【００２４】
その後、例えば制御パネル２１でギャップを設定することにより、基板同士を僅かだけ離間させる。基板がディスク型の場合ではチューブ２６を介して調芯ハブ１９と連結した配液槽２２を含む配液ユニット１７から液媒体を供給して、これを調芯ハブ１９を介して基板１２、１４間の所定ギャップに注入する。基板が正方形、矩形、或いはその他の形状のものである場合では、配液槽２２とチューブ２６ないしその他の液体搬送手段からなる配液ユニット１７から液媒体を供給して、これを当該基板の一方の縁から、または、基板間の他の領域から基板間の所定ギャップに注入する。
【００２５】
液媒体がギャップに充填されると、処理装置２３を利用して、通常は重合可能な物質からなる液媒体を安定させる。別の方法としては、基板を調芯すると共に、液媒体を注入する調芯ハブ１９を使う代わりに、基板を調芯する調芯装置と、液媒体を注入する配液ハブとを別々にしてもよい。以下、記録媒体を作製するシステム１０とその方法の詳細を説明する。
【００２６】
システム１０は、一組の真空ライン３０を介して上下プラテン１８、１６と連結した真空源２８を含む。上下プラテン１８、１６には一群の孔が穿設されていて、これらの孔は、真空ライン３０と各プラテンにおける一群の孔とを介して真空源２８により吸引して埋設トラック（図示せず）内を真空にすることにより、それぞれの基板を対応するプラテンに吸着させるべく、当該埋設トラックに接続されている。図１に示す実施形態では、上プラテン１８は、システム１０の支持ベース２４の上部に固着されているが、下プラテン１６は、矢印Ａ−Ａの方向に沿って上下動自在になっている。別の方法として、基板１２、１４を他の適当な機構で対応するプラテンに取り付け、上プラテン１８を可動とし、下プラテン１６を固定してもよい。
【００２７】
また、システム１０には、基板１２、１４のそれぞれの外表面が互いに平行となるように当該基板１２、１４の調芯を容易化する三点位置決めシステム３２が備わっている。この位置決めシステム３２は、その上端が上部フレーム４０を貫通していると共に、ボール４４を支承するＶ字形溝４２が設けられている三本の剛体シャフト３４、３６、３８を含む。下プラテン１６は三本のシャフト３４、３６、３８上のボール４４上に着座している。これらの剛体シャフト３４、３６、３８は、下プラテン１６を三点支持するように配置されている。
【００２８】
他方、各剛体シャフト３４、３６、３８の下端は、当該下端が下部フレーム４６における孔４８内を上下方向に摺動するように前記下部フレーム４６に取り付けられている。剛体シャフト３４、３６、３８の各下端にはバネ５０が設けられているので、剛体シャフト３４、３６、３８はこれらのバネ５０の作用により下部フレーム４６から離間する方向に付勢されている。各シャフト３４、３６、３８の大径端４７の直径は対応する孔４８の直径よりも大きくしてあるので、シャフトが対応する孔４８から抜け出るようなことはない。
【００２９】
下部フレーム４６も矢印Ａ−Ａに沿って上下動できるようになっている。この下部フレーム４６はスクリュー式駆動機構５４を介して固定駆動モーター５２（または、油圧ないしガス圧により駆動されるピストン）に連結されている。この下部フレーム４６とスクリュー式駆動機構５４とは、スクリュー式駆動機構５４の回転運動で下部フレーム４６が直線運動するように互いに連動している。従って、下部フレーム４６が上昇すると、それぞれのバネ５０を介して対応する剛体シャフト３４、３６、３８に圧縮力が伝達されるのである。
【００３０】
尚、三本のシャフト３４、３６、３８はそれぞれ独立して移動自在になっている。従って、前述のように下部フレーム４６が上昇すると、各シャフトに伝達される圧縮力は下プラテン１６のベースに伝達されるものの、上プラテン１８の内表面に対する下プラテン１６の内表面の傾きを調節して減少させるために、それぞれの圧縮力は互いに違っている。
【００３１】
図２Ａと図２Ｃに、所望の平行度に設定した後で上下プラテン１８、１６を定置固定するのに利用するロック機構６０を示す。このロック機構６０は、三つのテーパー状ブロック６２、６３、６４を含む。可動プラットフォーム６８の直上に位置決めされているボール６６は、これらのテーパー状ブロック６２、６３、６４が画成する円錐状の内方領域７０に収まっている。これら三つのテーパー状ブロック６２、６３、６４はそれぞれ独立して移動自在であって、剛体シャフト３８、３４、３６にそれぞれ隣接して配置されている。
【００３２】
上プラテン１８の内表面に対して下プラテン１６の内表面を所望の平行度に設定すべく、駆動モーター５２でスクリュー式駆動機構５４を駆動して下部プラットフォーム４６、ひいては、下プラテン１６を上昇させると、下部プラットフォーム４６はΔ（図２Ｂ）で示すように僅かだけ移動する。そこで、作業者はハンドル５５をロック位置へと操作して下プラテン１６をロックする（ロック機構は、このハンドル５５をロック位置から反対方向へ動かすとリリースされる）。ハンドル５５の移動によりプラットフォーム６８、ひいては、ボール６６が上昇移動する。このようにボール６６が上昇すると、三つのブロック６２、６３、６４が、当該ブロックの内表面と摺接するこのボール６６により、剛体シャフト３４、３６、３８の方へと矢印Ｂで示した外方に押勢される。これらのテーパー状ブロック６２、６３、６４の外表面とそれぞれに対応する剛体シャフト３８、３４、３６との間の摩擦作用によりシャフトが移動できないところで、ボール６６をその位置にロックする。前述のように上下プラテン１８、１６のそれぞれの内表面間で所望の平行度に得るために、当該プラテン１６、１８の位置を確保してロックするには、他の方法も考えられる。
【００３３】
図１と図３とを参照して、基板１２、１４間のギャップを充填するには、基板がディスク型であれば配液槽２２からの液媒体を調芯ハブ１９に供給して調芯ハブ１９の内室８２に溜める。そしてこの内室８２から、該内室８２から調芯ハブ１９の外表面へと延在する複数の水平オリフィス８４を介して液媒体を流入させ、二つの基板１２、１４間のギャップ領域全体を当該液媒体で充填する。別の方法としては、内室８２からの液媒体を連続オリフィスを介してギャップに流入させるようにしてもよい。チューブ２６は、ステンレススチール、テフロン(R)、テフロン(R)被覆チューブ、または、液媒体に対して化学的に不活性な他の材料からなるものであってもよい。調芯ハブ１９には二つのＯリング９０が備わっていて、これらのＯリング９０が基板１２、１４の内縁と協働して、液媒体が調芯ハブ１９と基板１２、１４の外表面との間に漏れるのを防ぐシールを構成している。基板１２、１４と協働して液媒体が基板１２、１４の外表面へ漏れるのを防ぐシールを形成する方法としては、前述の方法に限らず、この他の方法も考えられる。
【００３４】
一つの実施形態では、チューブ８６を介して真空ポンプないし真空源８５に調芯ハブ１９を連結し、この調芯ハブ１９に、チューブ８６との接続点からＯリング９０の上方の領域まで延在する内部チャネル８７を形成している。真空源８５は基板を吸引することで調芯ハブ１９をシールするので、基板間のギャップの領域に至るまで液媒体を、例えば無水環境と嫌気環境の何れか、または両方の特殊環境条件の下で注入できるのである。別の方法としては、配液ユニットが最上層の基板の外表面に対してまた、プラテンの内径に収まる底部プラテンに対してシールされるように、吸引により当該配液ユニットがシールされるようにしてもよい。
【００３５】
注入した液媒体が調芯ハブ１９から基板１２、１４の外縁へと半径方向に均一に流れるので、基板１２、１４の内表面間の所定のギャップの大きさは一定に保たれる。また、液媒体が基板１２、１４の外縁に向かって流れるため、注入した液媒体は基板１２、１４の内表面の間に滞留するガスを均一に排除するので、ガス気泡を含まない所定厚みの均等な液層が形成されるのである。液媒体を注入するのに利用する正圧の設定値は、基板１２、１４間の領域への液媒体の注入が迅速に行われるように液媒体の粘度に応じて調整しておいてもよい。別の方法としては、所要量の液媒体の注入をピストンの直線運動で行われるようにしてもよく、その場合当該ピストンは配液ユニット内、または、配液ユニット外の適当な場所に臨ませる。このピストンの一例としては、油圧ないしガス圧、或いは、例えばアクチュエータを利用するその他の適当な手段によりその位置が制御されるようになっている円筒形ピストンであってもよい。
【００３６】
液媒体としては、種々の方法で処理したり、安定させることのできる重合可能なものが一般的である。例えば、注入した後に液媒体を安定させるのに利用する処理装置２３（図１）としては、何れか一方、または両方のプラテンの内表面上に配置された一群の発光ダイオード（ＬＥＤ）であってもよい。これらのＬＥＤは、透明な基板を透過して液媒体に達する可視光を発光するものである。別の方法としては、液媒体を安定させるのに、紫外線源と化学線源と熱処理源の何れか単独で、または、それらの組合わせを利用してもよい。紫外線ないし化学線を利用する場合では、重合可能な液媒体は、当該照射線に対して光化学的活性を有するものでなければならない。別の方法として、または、上述の処理方法と組み合わせて、基板の縁またはその近傍における重合可能な液媒体の縁を、紫外線照射源、化学線照射源、または、熱処理源により処理されるようにしてもよい。化学線照射源として一般的なものには、ＬＥＤ、レーザー・ダイオード、その他のレーザー源、クセノン・フラッシュ装置の如くのストロボ・フラッシュ源、白熱源、ハロゲン灯などが挙げられる。
【００３７】
図４に、前述のシステム１０で光学記録媒体を作製するプロセス１０００のフロー・チャートを示す。同図において、まずステップ１００２において、作業者が、または、コンピュータ制御器で駆動モーター５２を駆動して、下部フレーム４６をＺ方向に上昇させる。すると、下プラテン１６が上プラテン１８と接触するまで上昇する。これら二つのプラテンが互いに当接すると、両者間にはギャップはない。これで、両プラテンの長手方向内表面同士が均一に密着すると高度な平行度が得られることになり、従って、両プラテンの長手方向内表面がほぼ互いに平行になったことになる。
【００３８】
次のステップ１００４においては、ロック機構６０を操作してプラテン１６、１８のそれぞれの内表面間に得られた平行状態を確保する。
【００３９】
そしてステップ１００６において、基板１２、１４がプラテン１６、１８の間に充填できるように、駆動モーター５２でプラテン１６、１８を離間させて、当該プラテン間の距離を調節する。そしてステップ１００７において、基板１２、１４を個別に、または一緒にプラテン１６、１８のそれぞれの対向する内表面に載置する。即ち、各基板を対応する内表面に載置するか、または、両基板を何れか一方の内表面に載置する。
【００４０】
次のステップ１００８では、作業者は調芯ハブ１９を利用して、基板１２、１４のそれぞれの中心軸を基準中央位置と調芯する。本実施形態では、例えばプラテン１６、１８の内径を形成する孔および基板１２、１４の内径を形成する孔に中心プラグ１９を挿入して、基板を相対的に調芯すると共に、プラテンの中心に対しても調芯している。別の方法として、例えば基板１２、１４の曲面に沿って２カ所で接触支持して、当該接触支持点がプラテンの基準中心位置に対して一定位置に臨むようにする二点調芯システムを利用してもよいし、または、直径の拡張自在なピンないしコレットを基板の内径にあてがって調芯するようにしてもよい。その後ステップ１０１０にて、真空源２８を駆動することにより真空による吸引力で基板１２、１４をプラテン１６、１８にそれぞれ吸着させ、固定する。
【００４１】
基板１２、１４をプラテン１６、１８にそれぞれ吸着させた後、ステップ１０１２にて、駆動モーター５２を駆動して下部フレーム４６をＺ方向に上昇させる。それに伴い、下プラテン１６も、下側基板１２が上プラテン１８に固定されている上側基板１４と接触するまで上昇する。これらの基板１２、１４は、両者間のギャップがなくなるゼロギャップ位置で合体させられる。これにより両基板の長手方向外表面と両プラテンの長手方向内表面とが均一に密着することから、両基板１２、１４の外表面間での所望平行度が、両プラテン１６、１８の内表面間で確立した平行度と一致するようになる。
【００４２】
その後、上プラテン１８を一定位置に静止させたまま、下プラテン１６をＺ方向に移動させて両基板１２、１４の互いに対向する内表面間に所望のギャップを形成する。尚、下プラテン１６を移動させている間、それまでに確立した平行度が失われるようなことはない。別の方法として、例えば一つかそれ以上の機械的係止部材を利用して所定位置へと下プラテン１６をＺ方向に移動させて、両基板１２、１４の互いに対向する内表面間にギャップが形成されるようにしてもよい。
【００４３】
そしてステップ１０１４において、調芯プラグ１９を介して液媒体を給液することで基板１２、１４の内表面間のギャップを充填する。殊に、液媒体は正圧の作用で調芯ハブ１９の水平孔８４から流入するので、液媒体は調芯ハブ１９から外方に基板１２、１４の外縁に向かって流れて、基板１２、１４間のギャップ全体を充填する。液媒体は正圧で供給されているものの、Ｏリング９０により調芯プラグ１９と基板１２、１４の内縁との間の領域への液媒体の流出が阻止される。
【００４４】
別の方法として、液媒体は基板の内縁近傍に挿入した装置を介して注入するようにしてもよい。この場合での装置は、基板の表面上の一カ所の半径位置に液媒体を注入して当該表面上に環状領域を形成するか、または、二つかそれ以上の半径位置に液媒体を注入して当該表面上に複数の環状または螺旋状領域を形成するものであってもよい。
【００４５】
または、基板の外縁から内縁へと液媒体を基板の内表面間に注入して均一な液層が形成されるようにしてもよい。基板の間のギャップに針を挿入して、その針を介して液媒体を注入してもよい。また、基板に正圧を作用させることにより、液媒体に圧縮力を作用させて、液媒体が基板の中心と外縁の方へと流れて均一な液層が形成されるようにしてもよい。この圧縮力は、基板が静止しているとき、または、基板が回転しているときに作用させてもよい。
【００４６】
基板間のギャップを液媒体で充填した後、ステップ１０１６において液媒体を処理装置２３が発生する紫外線で照射して、液媒体の組織(structure)を安定化する。別の方法と
しては、化学線照射ないし熱処理、或いはその組合わせを利用して重合可能な液層を処理してもよい。
【００４７】
熱処理ないし照射線は、両基板の内表面間に挟まれ、当該基板の内外縁に接する注入された液媒体の領域に対して行ってもよい。例えば、それらの領域はディスクの外縁と内縁近傍において、ディスクを中心とする連続トラックの場合は円形ではあるが、当該領域は螺旋状トラックであってもよい。別の実施形態にあっては、熱ないし照射処理は、基板の内縁と外縁との間の複数箇所において、追加的に、または、独立して行ってもよい。これらの処理される箇所には、例えば基板１２、１４の中心孔を中心とする、複数の異なった半径の連続トラック、または、同心リング状もしくは螺旋状トラックに配置されている複数箇所における小さい円形スポットが含まれる。他の例としては、特に所望する箇所において、種々の幾何学的形状と大きさの独立したスポット形状で局所的な重合領域を形成すべく熱ないし照射線を適用することが挙げられる。
【００４８】
前述のスポットは、完全に分離していてもよく、または、スポット群として部分的に重なっていてもよい。そのようなスポット群は、他のスポット群と接していてもよく、または、離れていてもよい。例えば、これらのスポットは、ディスク上の所望位置において当該ディスクを中心とする円形トラックないし螺旋トラックに設けてもよく、または、基板が正方形、矩形、ないしその他の形状であれば所望位置に列、行、ないしその他の有用な形状に設けてもよい。熱処理または照射によりもたらされる重合の度合いは、所要の機械的完全性を奏する重合組織を持つ複数の部位が形成される程度で十分であり、また、重合が行われるスポットないしリングの大きさは、平行度を維持する上での全体的な所要の機械的完全性を奏する程度で十分である。
【００４９】
両基板の外表面間で高度な平行度を維持するために重合させる領域は、完成品としての光学媒体においてサーボ制御上の特徴が得られるように工夫さた構造上の特徴として用いることもできる。例えば、重合領域がそれらの箇所においてホログラムが形成されるように生成されるのであれば、ホログラムによる回折作用によりもたらされるそれらの領域における反射率の変動を光学サーボ制御に利用することができる。例えば、光照射による重合が行われている間にそれらの領域に、ダイオードやレーザー、フラッシュ灯の如くの発光器を利用して反射ホログラムを記録することができる。これらの反射ホログラムのある箇所は、光学サーボ・システムに有用な特定角度で特定波長の光を回折させるのに利用することができる。
【００５０】
前述の実施形態では、基板１２、１４の内表面間のギャップは、制御パネル２１で設定した所定距離だけ下プラテンを上プラテンから離間することにより形成している。しかしながら、このギャップを形成するのにその他の機構を利用することもできる。例えば、図５Ａと図５Ｂとにおいては、それぞれを球形ボールとした三つの剛体スペーサ２００２を備え、それぞれの剛体スペーサ２００２が底部プラテン２０００の内表面２００４（基準面となる）の頂部に載置され、ピン２００６を介して底部プラテン２０００に固着されている下プラテン２０００を示している。三つのスペーサは下プラテン２０００の外域近傍において互いに等距離おきに位置決めされているが、下プラテン２０００の外域ないし内域、または、基板が置かれる箇所の内側と外側の何れか、または、両方に臨む適当な領域に互いに適当な距離を隔てて位置決めしてもよい。三つのスペーサ２００２の頂部が上プラテン２０１０の内表面２０１２と接触するまで下プラテン２０００を上プラテン２０１０の方へと例えば前述の駆動機構で移動させると、ギャップｈ１がこれら二つのプラテン間に形成される。別の方法としては、下プラテン２０００を静止させ、上プラテン２０１０を可動とすることもできる。
【００５１】
何れにしても、上プラテン２０１０と下プラテン２０００のそれぞれの内表面の間のギャップｈ１は、三つのスペーサ２００２の直径と同一であり、基板の厚さと液媒体の所望厚さとの和に等しいと考えてもよい。プラテン２０００、２０１０の内表面２００２、２０１２間に複数の正方形ないし矩形基板が載置される場合では、底部プラテン２０００の内表面２００４（基準面となる）の頂部に配置される、球形ボールの形をした剛体スペーサ２００２は四つ以上あってもよい。
【００５２】
他の実施形態では、一つかそれ以上の機械的係止部材を利用して、または、例えばリニアー・トランスジューサ、歪み計、もしくは、干渉計の動きを制御するのに使われているのと類似のレーザー周波数のゼロ交点(zero-crossing)のような一つ以上の直線測距センサーを利用して、ギャップを形成するようにしてもよい。この直線測距センサーは、機械的係止部材の位置を調節する上でも利用可能である。或る実施形態では、基板の傾斜角度を測定する光学測定装置を使用して、所望の平行度を確保している。このような装置類を利用することで、基板の外表面からの表面反射光が同一線形順序(co-linear)にならぶまで支持面の位置を調節する。
【００５３】
使用に当たっては、基板１２、１４を対応するプラテン２０００、２０１０に載置し、その後、真空源２８（図１）を稼働することで真空により基板をプラテンに吸着させ、固定する。そして、基板がディスク型であれば、調芯ハブ１９で、或いは、例えば位置決めピンを利用して前述のように基板１２、１４を互いに調芯する。他方、基板が正方形ないし矩形、または、少なくとも一つの直線縁ないし曲線縁を有するその他の形状であれば、例えば位置決めピンないし棒やその他の適当な位置決め装置を利用して基板１２、１４をその一つかそれ以上の縁に沿って整合させる。従って、二つのプラテン２０００、２０１０を、スペーサ２００２の頂部が上プラテン２０１０の内表面と接触した状態で互いに合体すればギャップｈ２が形成される。このギャップｈ２は、ほぼ、二つの基板１２、１４の間に注入される液媒体の厚みを定めている。
【００５４】
スペーサ２００２と上下プラテン２０１０、２０００の内表面の表面平坦度には、製造段階で所望の平行度が得られるのを保証する範囲での一定の許容度を持たせている。なお、スペーサ２００２は、下プラテン２００２ではなくて、上プラテン２０１０に装着してもよい。また、このスペーサ２００２は、ピン２００６を用いるよりは、図６に示すように、窪み２１１１を介して定置するようにしてもよい。更に、適当な幾何学的構成のその他のスペーサを、球形スペーサ２００２の代わりに利用することも可能である。
【００５５】
スペーサ２００２は下プラテン２０００に固定しているが、全てのスペーサが同一高さを有していなければならないことはない。そのような実施の形態にあっては、ピン２００６の代わりに、高さ調節機構を設けて、高さ可動状態で装着されているスペーサを例えばギヤ機構により、または、油圧ないしガス圧により駆動されるピストンによりプラテンに対して別個に調節できるようにする。スペーサの高さを適切に調節するには、例えばスペーサ近傍の位置における基板からの第１及び第２反射光を用いて、基板１２、１４の傾斜角を測定する光学測定器を連動させて利用してもよい。
【００５６】
高さ可変状態で装着したスペーサの高さは、基板１２、１４の外表面からのそれぞれの表面反射光が同一線形順序にならぶまで調節されるが、その時点で両基板の外表面間に所望の平行度が達成されることになる。その後に可動状態で装着したスペーサを、ロックシステムないしスペーサを定位置に保持する他の適当なシステムを利用して定置させるのである。
【００５７】
上述の実施形態では、一種の液媒体を基板間に注入するものとしている。しかし、図７Ａと図７Ｂとには、複数種、例えば三種の液媒体の混合を促進する混合チャック２１１０を備えた調芯ハブ１９を示す。この実施形態では、調芯ハブ１９は、三つの配液槽２１１２、２１１４、２１１６にそれぞれの対応する配液ライン２１１８、２１２０、２１２２を介して連結されている。これらの三つの配液槽からの液媒体は、対応する配液ラインを介して混合チャック２１１０に供給され、その混合チャックにおいて三種の液媒体が混合され、その後内室８２に蓄えられる。内室８２に蓄えられた混合液媒体は、水平オリフィス８４を介して基板１２、１４の間の領域に注入される。この混合チャック２１１０には一群の内方突起が設けられていてもよく、その場合、三種の液媒体がその突起と衝突して流れすぎると、三種の液媒体が乱流状態になって混合される。そのような構成においては、一つの配液槽から供給される空気反応性(air sensitive)液媒体は混合チャック２１１
０内で他の配液槽から供給される湿気反応性（moisture sensitive）液媒体と、もう一つの配液槽から供給される感光性（photosensitized）液媒体と混合される。
【００５８】
大部分の用途においては、使われる液媒体の粘度は、その表面張力の作用により液媒体が基板１２、１４の外縁を越えてほぼ流出できないほど高いものである。しかし、一部の用途、例えば厚さの大きな液媒体を必要とする用途と低粘度の液媒体を利用する用途との何れか、または両方にあっては、表面張力の作用で液媒体が縁を過ぎて流出するのを防ぎきれないことがある。そのような用途では、図８に示すように、基板１２、１４の内表面の外縁において基板の内表面間のギャップを減少させるガスケット２２００（または、基板に成形した突起）をその外縁に沿って基板の内表面に設けてもよい。これらのガスケット２２００は、ギャップにおける表面張力の作用を助長させて液媒体が基板１２、１４の外縁を越えて流出するのを効果的に防ぐことができる。別の方法としては、基板の縁またはその近傍における重合可能な液媒体の縁部を、注入された液媒体が縁部に接近すると同時に紫外線照射源、化学線照射源、または、熱処理源で処理してもよい。
【００５９】
本発明を好ましい実施形態により図示し、説明してきたが、当業者には、添付の特許請求項に包含される本発明の範囲から逸脱することなく、形状および細部の変更が実行可能であることは理解されるであろう。例えば、液媒体を毛細管現象を利用して、或いは、吸引により二つの基板間のギャップに注入する方法と、液媒体をギャップ領域に注入して、基板をスピンさせることで液媒体をギャップに均一に拡散させる方法の何れか、または両方をとることもできる。
【符号の説明】
【００６０】
１０  光学記録媒体製造システム
１２  基板
１４  基板
１６  下プラテン
１７  配液ユニット
１８  上プラテン
２１  制御パネル
２２  配液槽
２３  処理装置
２４  支持ベース
２６  チューブ
２８  真空源
３０  真空ライン
３２  三点位置決めシステム
３８  剛体シャフト
４０  上部フレーム
４４  ボール
４６  下部フレーム
５０  バネ
５２  駆動モーター
【図１】
2010073303.tif 000003
【図２Ａ】
2010073303.tif 000004
【図２Ｂ】
2010073303.tif 000005
【図２Ｃ】
2010073303.tif 000006
【図３】
2010073303.tif 000007
【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７ＡＡ】
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【図７ＢＡ】
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【図７ＢＢ】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成21年9月11日(2009.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学記録媒体を製造する方法であって、
互いに対向する支持面がほぼ平行となるように当該支持面を調芯するステップと、
それぞれが長手方向内表面と長手方向外表面とを有する少なくとも二つの基板を対応する支持面に載置するか、または、当該少なくとも二つの基板を一緒に前記支持面の一方に載置するステップと、
一つ以上の基準位置に対して前記基板を調芯するステップと、
前記基板の長手方向外表面の間で、互いに対向する前記支持面が確立した平行度と一致する平行度を得るべく前記基板を位置決めするステップと、
前記基板の長手方向外表面の間で確立した平行度を保ちつつ、前記基板の長手方向内表面の間にギャップを形成すべく前記基板を位置決めするステップと、
所要量の液体を供給して、前記基板の長手方向内表面の間に媒体を形成するステップとを備えた光学記録媒体製造方法。