(57)【要約】【課題】フィルム片の全体面積に対して開口部面積の割合が多いフィルム片であっても、確実にフィルム片を台紙から剥離する。【解決手段】フィルム片付台紙１２を間欠的に供給する台紙供給手段と、供給されたフィルム片付台紙１２を曲折してフィルム片１２ｂの一部を台紙１２ａから剥離させる剥離プレート１６と、台紙１２ａの曲折位置で台紙１２ａから剥離されたフィルム片１２ｂの一部に対して先端部が進退自在で、かつ、フィルム片１２ｂの一部を押圧してフィルム片１２ｂの台紙１２ａからの剥離を促進する爪部５０と、剥離プレート１６に位置するフィルム片１２ｂに接離動自在であって、爪部５０によって一部が台紙１２ａから剥離されたフィルム片１２ｂを吸着し、台紙１２ａからフィルム片１２ｂを剥離する吸着手段４０と、を具備していることを特徴とするフィルム片剥離装置１００。【選択図】図１
2010149988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面側に複数枚の所定形状のフィルム片が長手方向に所定の間隙を開けて粘着されているテープ状の台紙を所要位置で曲折し、曲折位置において前記フィルム片を前記台紙から剥離するフィルム片剥離装置において、
前記台紙を所定方向に間欠的に供給する台紙供給手段と、
前記台紙供給手段によって供給された前記台紙を曲折して前記フィルム片の一部を前記台紙から剥離させる剥離プレートと、
前記剥離プレートの前記台紙の曲折位置で、前記台紙から剥離されたフィルム片の一部に対して先端部が進退自在に設けられ、前記フィルム片の一部を押圧して前記フィルム片の前記台紙からの剥離を促進する爪部と、
前記剥離プレートに位置するフィルム片に接離動自在に設けられ、前記爪部によって一部が台紙から剥離されたフィルム片を吸着し、前記台紙から前記フィルム片を剥離する吸着手段と、を具備していることを特徴とするフィルム片剥離装置。
【請求項２】
前記フィルム片が粘着された台紙が走行する前記剥離プレートにおける第１の走行面と、前記フィルム片が剥離された台紙が走行する前記剥離プレートにおける第２の走行面と、により画成される角度が鋭角であることを特徴とする請求項１記載のフィルム片剥離装置。
【請求項３】
前記剥離プレートの前記台紙の曲折位置には、前記爪部が進入可能な切欠部が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のフィルム片剥離装置。
【請求項４】
前記台紙には、前記爪部が接離動する部位に、前記爪部が進入可能な透孔が形成されていることを特徴とする請求項３記載のフィルム片剥離装置。
【請求項５】
前記第１の走行面が水平面に形成されていると共に、前記第２の走行面が傾斜面に形成されていることを特徴とする請求項２〜４のうちのいずれか一項に記載のフィルム片剥離装置。
【請求項６】
請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載のフィルム片剥離装置であって、
台紙供給手段によって、間欠的に所定量の台紙を剥離プレートに向けて供給して台紙から剥離されたフィルム片の一部を、爪部の先端によって押圧して、前記フィルム片の台紙からの剥離を促進した後、前記フィルム片を吸着手段によって吸着して前記台紙から剥離するように、前記台紙供給手段、前記爪部および前記吸着手段の動作を制御する制御部を具備することを特徴とするフィルム片剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフィルム片剥離装置に関し、更に詳細には一面側に複数枚の所定形状のフィルム片が長手方向に所定の間隙を開けて貼着されているテープ状の台紙を曲折して、曲折位置のフィルム片を台紙から剥離するフィルム片剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数枚のフィルム片が長手方向に所定の間隙を開けて貼着されているテープ状の台紙（以下、フィルム片がテープ状の台紙に貼着されたものをフィルム片付台紙と称する）から一枚ごとにフィルム片を台紙から剥離するフィルム片剥離装置が下記特許文献１に記載されている。このフィルム片剥離装置の概略を図１１に示す。図１１に示すフィルム片剥離装置では、供給ローラ１１０に巻回されたフィルム片付台紙１１２を、ガイドローラ１１４及び剥離プレート１１６を経由して一対の引取ローラ１１８によって引き取り、巻取ローラ１２０に巻き取る。この剥離プレート１１６の先端近傍（フィルム片付台紙１１２の移動方向の先端部近傍）には、その上方に真空吸着ヘッド１２２が昇降可能に設けられている。
かかる剥離プレート１１６には、下記特許文献１に記載されている様に、フィルム片付台紙１１２の移動方向先端部が剥離エッジ部１１６ａに形成されている。このため、図１２に示す様に、剥離プレート１１６の水平面に他面側が走行して移動してきた、テープ状の台紙１１２ａの一面側に複数枚のフィルム片１１２ｂ，１１２ｂ・・が貼着されたフィルム片付台紙１１２は、その剥離エッジ部１１６ａによって曲折され、フィルム片１１２ｂの一部が台紙１１２ａから剥離される。この状態で一対の引取ローラ１１８を停止してフィルム片付台紙１１２の移動を停止した後、真空吸着ヘッド１２２が降下してフィルム片１１２ｂを吸着して台紙１１２ａから完全に剥離する。この際に、図１３に示す様に、真空吸着ヘッド１２２は、フィルム片１１２ｂに近接し、フィルム片１１２ｂの台紙１１２ａから剥離した部分を吸着した後、フィルム片１１２ｂの全体を台紙１１２ａから剥離する。
真空吸着ヘッド１２２によるフィルム片１１２ｂの台紙１１２ａからの剥離が終了した後、一対の引取ローラ１１８を再駆動してフィルム片付台紙１１２の引き取り（供給）が再開する。
【特許文献１】特開２００２−３３８１３６号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図１１〜図１３に示す従来のフィルム片剥離装置によれば、テープ状の台紙１１２ａの一面側に複数枚のフィルム片１１２ｂ，１１２ｂ・・が貼着されたフィルム片付台紙１１２からフィルム片１１２ｂを自動的に剥離して、所定の物品等に貼着できる。このようなフィルム片１１２ｂは、例えば配線基板と半導体チップとを接合する際において、配線基板の接合部分のみにはんだ粉を供給する際の開口部が形成されたマスキングテープとして使用されることがある。図１４は、従来技術にかかるマスキングテープ（図１４（Ａ））および近年におけるマスキングテープ（図１４（Ｂ））の平面図である。図１４（Ａ）に示すように、従来技術にかかるマスキングテープ１２ｂは、開口部１２ｘの面積と枠部１２ｙ（薄墨部分）の面積とを比較すると、枠部１２ｙの面積の方がはるかに大きい形状に形成されている。かかる枠部１２ｙの面積は、吸着ヘッドによる吸着力が作用する部分であるため、台紙に貼着されているマスキングテープ１２ｂを吸着ヘッドに吸着して台紙から剥離させるためには、ある程度の面積を枠部１２ｙとして設けておく必要がある。しかしながら近年におけるマスキングテープ１２ｂは、図１４（Ｂ）に示すように、開口部１２ｘの面積が枠部１２ｙの面積に対してはるかに比率が高くなる形状に形成されている。このように枠部１２ｙの面積が少なくなると、吸着ヘッドによりマスキングテープ１２ｂへの吸着力がわずかになるため、マスキングテープ１２ｂと台紙との貼着力（粘着力）が吸着ヘッドによる吸着力に勝り、台紙からマスキングテープ１２ｂを剥離させることができなくなってしまうという不具合が発生している。
そこで、本発明の課題は、フィルム片の全体面積に対して開口部面積の割合が多いフィルム片であっても、確実にフィルム片を台紙から剥離できるフィルム片剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者は、前記課題を解決するには、吸着ヘッドによる台紙とフィルム片の引き剥がし処理を行う際において、台紙からのフィルム片の引き剥がしを促進させる機械的な手段を採用することが有効であると考え検討した結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、一面側に複数枚の所定形状のフィルム片が長手方向に所定の間隙を開けて粘着されているテープ状の台紙を所要位置で曲折し、曲折位置において前記フィルム片を前記台紙から剥離するフィルム片剥離装置において、前記台紙を所定方向に間欠的に供給する台紙供給手段と、前記台紙供給手段によって供給された前記台紙を曲折して前記フィルム片の一部を前記台紙から剥離させる剥離プレートと、前記剥離プレートの前記台紙の曲折位置で、前記台紙から剥離されたフィルム片の一部に対して先端部が進退自在に設けられ、前記フィルム片の一部を押圧して前記フィルム片の前記台紙からの剥離を促進する爪部と、前記剥離プレートに位置するフィルム片に接離動自在に設けられ、前記爪部によって一部が台紙から剥離されたフィルム片を吸着し、前記台紙から前記フィルム片を剥離する吸着手段と、を具備していることを特徴とするフィルム片剥離装置にある。
【０００５】
また、前記フィルム片が粘着された台紙が走行する前記剥離プレートにおける第１の走行面と、前記フィルム片が剥離された台紙が走行する前記剥離プレートにおける第２の走行面と、により画成される角度が鋭角であることを特徴とする。これにより、剥離プレートの先端部がいわゆるエッジ状に形成されることになるから、剥離プレートの先端部において台紙の供給方向を反対向きとなるように曲折することができ、フィルム片と台紙との剥離を促進させることができる。
【０００６】
また、前記剥離プレートの前記台紙の曲折位置には、前記爪部が進入可能な切欠部が形成されていることを特徴とする。これにより、爪部の先端部が剥離プレートを貫通してフィルム片に接触（押圧）させることが可能になるため、より確実にフィルム片を台紙から容易に剥離させることが可能になる。また、剥離プレートの先端部分で曲折されるシートが、切欠部でたわみ加減になる点においても台紙からのフィルム片の剥離を容易に行うことができる。
【０００７】
さらに、前記台紙には、前記爪部が接離動する部位に、前記爪部が進入可能な透孔が形成されていることを特徴とする。これにより、爪部の先端部をフィルム片が貼り付けられている台紙に直接接触（押圧）させることができるため、より確実にフィルム片を台紙から剥離させることができる。
【０００８】
また、前記第１の走行面が水平面に形成されていると共に、前記第２の走行面が傾斜面に形成されていることを特徴とする。これにより、テープ付台紙のフィルム片面を上面側にすることができるため、台紙からのフィルム片の剥離処理・吸着処理におけるそれぞれの状態確認を容易におこなうことができる。
【０００９】
また、上記のうちいずれかに記載されているフィルム片剥離装置において、台紙供給手段によって、間欠的に所定量の台紙を剥離プレートに向けて供給して台紙から剥離されたフィルム片の一部を、爪部の先端によって押圧して、前記フィルム片の台紙からの剥離を促進した後、前記フィルム片を吸着手段によって吸着して前記台紙から剥離するように、前記台紙供給手段、前記爪部および前記吸着手段の動作を制御する制御部を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、剥離プレートの先端部の近傍位置において、台紙と台紙に貼着されているフィルム片の境界面部分に爪部の先端部を進入させ、爪部の先端部をフィルム片に機械的に接触（当接）させることにより、フィルム片の一部を台紙から確実に剥離させることができ、剥離されたフィルム片を剥離プレートの先端部の上方位置に配設した吸着手段によって吸着させることで、フィルム片全体を台紙から剥離させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（第１実施形態）
本発明に係るフィルム片剥離装置の一例としてマスキングテープ剥離装置１００について図面と共に説明する。図１は、第１実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の構成を示す正面図である。図２は、剥離プレートの先端部の近傍部分における拡大図である。
本実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置１００は、図１に示すように、供給ローラ１０に巻回された、一面側に複数枚のフィルム片であるマスキングテープ１２ｂ，１２ｂ・・・が長手方向（供給方向）に所定の間隙をあけて貼着されている台紙１２ａ（以下、これらをまとめてフィルム片付台紙１２と称することがある）を、ガイドローラ１４、剥離プレート１６、テンション付与部２０を経由して巻取ローラ３０に所要の長さ毎に間欠的に巻き取る構成（台紙供給手段）と、剥離プレート１６の先端近傍（フィルム片付台紙１２の移動方向の先端部近傍）における上方位置に配設された吸着ヘッド４０および、その下方位置に配設された爪部５０と、を具備している。吸着ヘッド４０と爪部５０とはそれぞれ図１内に示す矢印の方向に、図示しないシリンダ装置によって剥離プレート１６に対して上方側または下方側から接離動自在に設けられている。
供給ローラ１０、テンション付与部２０、巻取ローラ３０、吸着ヘッド４０、爪部５０のそれぞれは、互いの動作に同期して作動するよう、図示しない制御部により動作が制御されている。
【００１２】
フィルム片付台紙１２を所要位置で曲折し、マスキングテープ１２ｂの一部を台紙１２ａから剥離させるための剥離プレート１６について説明する。
剥離プレート１６の先端部に台紙１２ａを曲折する剥離エッジ部１６ａが形成されている。かかる剥離エッジ部１６ａは、フィルム片付台紙１２（マスキングテープ１２ｂが貼着した状態の台紙１２ａ）が走行する第１の走行面１６ｂと、マスキングテープ１２ｂが剥離された台紙１２ａが走行する第２の走行面１６ｃとから構成されており、第１の走行面１６ｂと第２の走行面１６ｃとにより画成される角度は鋭角である。
更に、この剥離エッジ部１６ａは、フィルム片付台紙１２の他面側が走行する第１の走行面１６ｂが水平面に形成されていると共に、マスキングテープ１２ｂが剥離された台紙１２ａの他面側が走行する第２の走行面１６ｃが走行面１６ｂに対して傾斜面に形成されている。
剥離プレート１６は、図１内の剥離プレート１６の近傍に記載されている矢印方向（図中の左右方向）に往復駆動自在に設けられている。剥離プレート１６の駆動源は駆動モータ等により構成することができ、駆動モータの動作は、他の構成と同期するように制御部により制御されている（共に図示せず）。
【００１３】
あらかじめ設定された長さで供給ローラ１０から巻きだされたフィルム片付台紙１２に、剥離プレート１６と協働してテンションを付与するテンション付与部２０について説明する。
テンション付与部２０は、固定ローラ２２、テンション付与ローラ２４、ローラ駆動装置２６、ストッパ２８を具備している。テンション付与部２０の各構成の動作は制御部によって、他の構成の動作に同期して作動するように制御されている。ローラ駆動装置２６はテンション付与ローラ２４を図１中の上下方向に移動可能に設けられていて、具体的にはシリンダ装置等により構成することができる。ストッパ２８は、剥離プレート１６と供給ローラ１０との間の位置と、テンション付与部２０と巻取ローラ３０との間の位置に設けられている。ストッパ２８は、フィルム片付台紙１２の台紙１２ａの部分において、台紙１２ａの厚さ方向に挟む配置に設けられ、図示しないシリンダ装置等の駆動手段によりフィルム片付台紙１２に接離動可能な構成になっている。このようにしてフィルム片付台紙１２は、ストッパ２８により挟持された部分から剥離プレート１６、固定ローラ２２およびテンション付与ローラ２４間において引張されることによりテンションが付与されることになる。
【００１４】
次に台紙１２ａからマスキングテープ１２ｂの剥離を促進するための吸着ヘッド４０および爪部５０について説明する。
吸着ヘッド４０は、フィルム片付台紙１２と対向する側の面（下面）に吸着孔が所要間隔をあけて配設されている。吸着ヘッド４０は図示されない真空ポンプ等の減圧手段および移動手段を具備している。吸着ヘッド４０は減圧手段により吸着孔部分を減圧することにより、爪部５０により台紙１２ａから剥離したマスキングテープ１２ｂの少なくとも一部を吸着して台紙１２ａから剥離させる。台紙１２ａから完全に剥離したマスキングテープ１２ｂは、搬送手段により所定の位置に搬送された後、マスキングテープ貼付対象物である配線基板（図示せず）に貼り付けされる。
【００１５】
爪部５０は、図２に示すように、剥離プレート１６の先端部（以下、剥離エッジ部１６ａということがある）の下方位置に、剥離エッジ部１６ａに進退自在（接離動可能）に配設されている。爪部５０を剥離エッジ部１６ａに進退動させる駆動源としては、例えばシリンダ装置を用いることができる。より詳細に説明すると爪部５０は、剥離エッジ部１６ａ近傍位置において、第１の走行面１６ｂの延長線上に位置し、かつ、剥離エッジ部１６ａとの水平離間距離Ｈは、マスキングテープ１２ｂの厚さ寸法ｔ以下となる位置に配設される。爪部５０は、剥離エッジ部１６ａの外表面に接触しない程度に近接させることができればさらに好適である。爪部５０が剥離エッジ部１６ａに対して進退動する方向は、第１の走行面１６ｂに対して傾斜する方向に設定されている。なお本実施形態においては、第２の走行面１６ｃに対して垂直な方向をなしているが、この角度に限定されるものではない。
このように形成された爪部５０が、剥離プレート１６の先端部（剥離エッジ部１６ａ）分でシール付台紙１２が下方に向かって鋭角に曲折される際に、台紙１２ａとマスキングテープ１２ｂとの間に生じたわずかな剥離部分（台紙１２ａとマスキングテープ１２ｂとの貼着境界面）からマスキングテープ１２ｂの接着面（下面）に接触する。爪部５０はさらにマスキングテープ１２ｂを持ち上げるように突出することで台紙１２ａとの剥離部分を増加して吸着ヘッド４０に吸着保持させる。吸着ヘッド４０に吸着されたマスキングテープ１２ｂは、その開口部を配線基板の半導体チップ搭載位置に位置合わせして貼着される。
吸着ヘッド４０および爪部５０の動作は制御部により動作が制御されている。
【００１６】
また、剥離エッジ部１６ａには、監視手段が配設されている。このような監視手段としては剥離エッジ部１６ａの近傍位置における映像を撮影するカメラと、カメラにより撮影された画像データを画像処理する画像処理手段を具備する画像処理部により構成することができる。本実施形態においては、画像処理部を制御部によって代用しているが、画像処理部を個別に設ける構成としてもよい。カメラにより撮影された画像データは制御部に送信され、制御部が画像データを適宜の方法で処理することで、シール付台紙１２の供給量を制御している。
【００１７】
次に、本実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置１００の動作について説明する。図３〜図５は、第１実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略構成図である。
マスキングテープ剥離装置１００が起動すると、制御部はコマンドを発して巻取ローラ３０を巻取り方向に回転駆動させ、所定量のフィルム片付台紙１２を供給する。このときストッパ２８は互いに離反し、図３（Ａ）に示すようにフィルム片付台紙１２から離反した状態であるから供給ローラ１０に巻き付けられているフィルム片付台紙１２は、巻取ローラ３０側に巻き出されることになる。このようにしてフィルム片付台紙１２が所定長さに巻き出されると、制御部はテンション付与部２０を構成するストッパ２８にコマンドを発し、図３（Ｂ）に示すようにフィルム片付台紙１２の台紙１２ａを上下方向から挟持してフィルム片付台紙１２の巻き出しを制限する。シール付台紙１２は、制御部によりマスキングテープ１２ｂが剥離プレート１６の先端部（剥離エッジ部１６ａ）位置または剥離エッジ部１６ａよりもわずかにはみ出した位置で固定される。
【００１８】
次に制御部は、ローラ駆動装置２６にコマンドを発し、ローラ駆動装置２６（テンション付与ローラ２４）を図４（Ａ）に示すように下方に移動させ、ストッパ２８と固定ローラ２２およびテンション付与ローラ２４との間でフィルム片付台紙１２にテンションを付与する。このようにすることで、剥離エッジ部１６ａの先端位置においてマスキングテープ１２ｂの一部を台紙１２ａから剥離させた状態にすることができる。次に制御部は、爪部５０にコマンドを発し、図４（Ｂ）に示すように爪部５０が剥離プレート１６の下方からマスキングテープ１２ｂの下面に当接させてマスキングテープ１２ｂを持ち上げる（リフトアップする）ことでマスキングテープ１２ｂと台紙１２ａとの剥離を促進する。続いて制御部は吸着ヘッド４０にコマンドを発し、図５（Ａ）に示すようにマスキングテープ１２ｂの上方からマスキングテープ１２ｂに接近させ、吸着孔部分を減圧させることにより台紙１２ａから剥離したマスキングテープ１２ｂを吸着する。さらに制御部は、剥離プレート１６の駆動モータにコマンドを発し、図５（Ｂ）に示すように剥離プレート１６を爪部５０から離反する方向にスライド移動させる。また、剥離プレート１６のスライド動作に同期させローラ駆動装置２６の下降動作と、吸着ヘッド４０および爪部５０の上昇動作の制御も行っている。
【００１９】
爪部５０と剥離プレート１６およびローラ駆動装置２６の動作により、マスキングテープ１２ｂと台紙１２ａとの剥離が促進され、剥離したマスキングテープ１２ｂは吸着ヘッド４０に吸着（転着）される。このようにして吸着ヘッド４０にマスキングテープ１２ｂが吸着されると、吸着ヘッド４０は配線基板がセットされた位置にマスキングテープ１２ｂを搬送し、配線基板に位置決めしてマスキングテープ１２ｂを貼着する。
配線基板にマスキングテープ１２ｂが貼着されると、制御部は、図３（Ａ）に示すようにストッパ２８によるフィルム片付台紙１２の挟持を解除すると共に巻取ローラ３０を台紙１２ａの巻取り方向に回転駆動させて、剥離エッジ部１６ａに向けて所定長さのフィルム片付台紙１２を送り出し、次のマスキングテープ１２ｂを剥離エッジ部１６ａに供給する。このとき、剥離プレート１６は当初位置に戻されているのはもちろんである。以上の動作を繰り返し行うことによりフィルム片付台紙１２の台紙１２ａからマスキングテープ１２ｂの剥離作業を連続的に行うことができる。
本実施形態におけるマスキングテープ剥離装置１００を採用することにより、枠部分１２ｙの面積よりも開口部１２ｘの面積の方が大きい形状のマスキングテープ１２ｂであっても、吸着ヘッド４０に確実に吸着させることができ、半導体装置の製造工程において、配線基板へ効率的にマスキングテープ１２ｂを貼着することができる。
【００２０】
（第２実施形態）
本実施形態においては、剥離プレート１６の形状が特徴的なマスキングテープ剥離装置１００について説明を行う。図６は、第２実施形態にかかる剥離プレート近傍位置における上方斜視図である。本実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置１００の基本構成については、第１実施形態と同様の構成を採用することができるため、同一の部材番号を付し、ここでの詳細な説明は省略している。
剥離プレート１６の先端部は第１の走行面１６ｂと第２の走行面１６ｃとにより鋭角をなす剥離エッジ部１６ａに形成されているのは先の実施形態と同様である。ここでは、図６に示すように、剥離エッジ部１６ａに切欠部１６ｄが形成されている点が特徴である。切欠部１６ｄは、第１の走行面１６ｂから第２の走行面１６ｃに向かって剥離プレート１６を板厚方向に貫通している。爪部５０はこの切欠部１６ｄ位置においてマスキングテープ１２ｂに進退動（接離動）する。したがって本実施形態にかかる爪部５０の配設位置は、第１実施形態における配設位置よりも剥離プレート１６側に近接する位置（剥離エッジ部１６ａと平面的に重複する位置）になる。かかる爪部５０は、台紙１２ａからマスキングテープ１２ｂを持ち上げる際に、マスキングテープ１２ｂが貼着している台紙１２ａを介してマスキングテープ１２ｂを下方から持ち上げる動作を行うため、台紙１２ａを破らないようにするために爪部５０の先端部はいわゆるアール加工等により先丸形状（半球状の先端部形状）に形成されている。
【００２１】
本実施形態におけるマスキングテープ１２ｂの剥離方法について説明する。図７〜図９は第２実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略図である。本実施形態においては、制御部が先の実施形態と同様の動作制御を行い、図７（Ａ）に示すように剥離プレート１６の先端部（剥離エッジ部１６ａ）にマスキングテープ１２ｂの先端縁が位置した状態でいったんフィルム片付台紙１２の供給を停止させる。この後制御部はテンション付与部２０にコマンドを発し、図７（Ｂ）に示すようにフィルム片付台紙１２をストッパ２８により挟持し、ローラ駆動装置２６を下降させてフィルム片付台紙１２にテンションを付与する。この状態とした後、制御部は爪部５０にコマンドを発し、図８（Ａ）に示すように剥離エッジ部１６ａに形成された切欠部１６ｄに爪部５０の先端部を進入させる。これにより、第２の走行面１６ｃ側に沿って走行（摺動）している台紙１２ａが爪部５０の先端部により切欠部１６ｄに押し込まれ、第１の走行面１６ｂ側に沿って走行（摺動）している台紙１２ａが第２の走行面１６ｃ側に引き込まれる状態になり、台紙１２ａからマーキングテープ１２ｂの一部が剥離する。
【００２２】
この後、制御部は吸着ヘッド４０にコマンドを発し、図８（Ｂ）に示すように吸着ヘッド４０をマスキングテープ１２ｂに接近させ、減圧手段により吸着孔部分を減圧させてマスキングテープ１２ｂの吸着を開始する。これと略同時または直後に、爪部５０の先端部は図９に示すようにマスキングテープ１２ｂをさらに押し上げて台紙１２ａとマスキングテープ１２ｂの剥離を促進させると共に、吸着ヘッド４０が上昇する。このとき、剥離プレート１６は先の実施形態における動作とは異なり、当初の位置にとどまっていてもよい。
吸着ヘッド４０が台紙１２ａからマスキングテープ１２ｂを剥離させた後の動作は先の実施形態と同様にして行うことができる。
本実施形態におけるマスキングテープ剥離装置１００の構成を採用することにより、第１実施形態で説明したようにフィルム片付台紙１２の供給位置を厳密に管理する必要がなく、フィルム片付台紙１２の供給量制御が容易になるという利点がある。したがって本実施形態によれば、フィルム片付台紙１２の供給量制御は、定量搬送機構を採用すればよく、カメラや画像処理手段からなる画像処理部が不要になり、低コスト化が可能である。
【００２３】
（第３実施形態）
本実施形態においては、フィルム片付台紙１２の形状が特徴的なマスキングテープ剥離装置１００について説明する。図１０は、第３実施形態にかかる剥離プレート近傍位置における上方斜視図である。本実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置１００の基本構成については、第１実施形態と同様の構成を採用することができるため、同一の部材番号を付し、ここでの詳細な説明は省略している。
本実施形態にかかるフィルム片付台紙１２は、図１０に示すように、台紙１２ａの所要位置に透孔１２ｃが配設されている点が特徴的である。かかる透孔１２ｃは台紙１２ａの厚さ方向に貫通する貫通孔により形成されている。透孔１２ｃは、台紙１２ａに貼着されるマスキングテープ１２ｂの供給方向（巻き出し方向）における前端縁位置よりも前方位置からマスキングテープ１２ｂと重複する位置の範囲に設けられている。図１０に示す台紙１２ａには２箇所に透孔１２ｃが形成されているが、透孔１２ｃの配設数は単数であってもよいし、３箇所以上に配設することもできる。
爪部５０は、透孔１２ｃの配設位置に位置合わせして配設されている。爪部５０の構成は第２実施形態における爪部５０と同様の構成であることが好ましいが、爪部５０の配設位置は第１および第２実施形態で説明したいずれの位置であってもかまわない。また、切欠部１６ｄと透孔１２ｃはそれぞれが重なる位置関係となるように配設したうえで、爪部５０の先端で直接マスキングテープ１２ｂの裏面を押し上げるようにすれば、マスキングテープ１２ｂの剥離が容易になり好適である。
【００２４】
このような構成を採用することにより、台紙１２ａとマスキングテープ１２ｂとの接着面積を減少させることができるため、マスキングテープ１２ｂと台紙１２ａとの粘着力を減少させることができる。すなわち、第２実施形態における利点が得られるのはもちろんのこと、さらに確実にマスキングテープ１２ｂを台紙１２ａから剥離させることが可能になる点において好都合である。
本実施形態におけるマスキングテープ剥離装置１００を用いたマスキングテープ１２ｂの剥離処理方法については、先の実施形態で説明した方法と同様にして行うことができるため、ここでの詳細な説明は省略する。
【００２５】
以上の本願発明にかかるマスキングテープ剥離装置１００について実施形態に基づいて詳細に説明してきたが、本願発明は、以上に示した実施形態に限定されるものではないのはもちろんである。例えば、剥離プレート１６は、以上の実施形態において示した形状に限定されるものではなく、剥離エッジ部１６ａは必ずしも形成されていなくてもよい。また、剥離プレート１６は第１の走行面１６ｂが水平面に形成されていなくてもよいし、第１の走行面１６ｂと第２の走行面１６ｃとにより画成される剥離プレート１６の先端部位置の角度は直角（剥離エッジ部１６ａを有しない形状）であってもよいのはもちろんである。以上のように形成された剥離プレート１６に上記実施形態で説明した剥離プレート１６の構成を適用してもよいのはもちろんである。
【００２６】
また、以上の実施形態においては、爪部５０は剥離プレート１６または剥離エッジ部１６ａの下方側からマスキングテープ１２ｂに進退動（接離動）し、爪部５０の先端部が台紙１２ａからマスキングテープ１２ｂを持ち上げるようにしてマスキングテープを剥離させる形態について説明しているが、この剥離機構に限定されるものではない。剥離プレート１６の配設レイアウトによっては、爪部５０をフィルム片付台紙１２の上面側や側面側からフィルム片付台紙１２に進退動させる形態であってもよい。要は、マスキングテープ１２ｂと台紙１２ａとの粘着面側からマスキングテープ１２ｂを離反させる方向に爪部５０が進退動可能な構成であればよい。
【００２７】
また、第３実施形態においては、フィルム片付台紙１２に形成した透孔１２ｃは、テープ付台紙１２ａの供給方向において、台紙１２ａに貼着されたマスキングテープ１２ｂの前端縁よりも前方位置からマスキングテープと重複する位置までの範囲に形成されている形態について説明しているが、台紙１２ａとマスキングテープ１２ｂとの貼着力（粘着力）の軽減効果を強めるためには、台紙１２ａに貼着されたマスキングテープ１２ｂの前端縁よりも前方位置からマスキングテープ１２ｂの後端縁を超える範囲に形成したり、爪部５０に対応する部位以外にも配設することが好適である。また、本実施形態においては台紙１２ａに透孔１２ｃを配設する形態について説明しているが、複数条の台紙１２ａを所要間隔にセットし、マスキングテープ１２ｂを貼着するようにしてもよい。これによれば台紙１２ａ間の隙間部分を透孔１２ｃと同様に機能させることができる。
いずれにしても透孔１２ｃは、マスキングテープ１２ｂの枠部（実際に台紙１２ａと貼着している部位）に配設されている。
【００２８】
また、以上の実施形態においては、配線基板に半導体チップを搭載する際、にはんだペーストを所要位置に塗布するために用いられるマスキングテープ１２ｂを台紙１２ａから剥離するための装置について説明しているが、この用途に限定されるものではなく、製品等にフィルム片を貼着させる際に、台紙からフィルム片を剥離する際に用いるフィルム片剥離装置に適用することができるのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の構成を示す正面図である。
【図２】剥離プレートの先端部の近傍部分における拡大図である。
【図３】第１実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略構成図である。
【図４】第１実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略構成図である。
【図５】第１実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略構成図である。
【図６】第２実施形態にかかる剥離プレート近傍位置における上方斜視図である。
【図７】第２実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略図である。
【図８】第２実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略図である。
【図９】第２実施形態にかかるマスキングテープ剥離装置の動作状態を示す概略図である。
【図１０】第３実施形態にかかる剥離プレート近傍位置における上方斜視図である。
【図１１】従来技術におけるフィルム片剥離装置の一例を示す説明図である。
【図１２】従来技術においてフィルム片の一部が台紙から剥離される状態を示す説明図である。
【図１３】フィルム片の台紙から剥離した部分を吸着した後、フィルム片の全体を台紙から剥離させた状態を示す概略説明図である。
【図１４】従来技術にかかるマスキングテープと近年におけるマスキングテープの平面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  供給ローラ
１２  フィルム片付台紙
１２ａ  台紙
１２ｂ  マスキングテープ
１２ｃ  透孔
１２ｘ  開口部
１２ｙ  枠部
１４  ガイドローラ
１６  剥離プレート
１６ａ  剥離エッジ部
１６ｂ  第１の走行面
１６ｃ  第２の走行面
１６ｄ  切欠部
２０  テンション付与部
２２  固定ローラ
２４  テンション付与ローラ
２６  ローラ駆動装置
２８  ストッパ
３０  巻取ローラ
４０  吸着ヘッド
５０  爪部
１００  マスキングテープ剥離装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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