(57)【要約】【課題】周囲の吐出ノズルの稼働状態が変動することに起因して吐出ノズルからの吐出量が変動することを抑制する電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置を提供する。【解決手段】電気光学装置の製造方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、機能膜が形成される機能膜区画を備える基材と、を相対移動させ、複数の吐出ノズルから選択的に吐出された液状体を機能膜区画に配置する電気光学装置の製造方法であって、ノズル列における吐出ノズルの配列方向と交差する方向に基材とノズル列とを相対移動させると共に、吐出ノズルから選択的に液状体を吐出する吐出走査工程と、配列方向に基材とノズル列とを相対移動させる副走査工程と、を有し、副走査工程の少なくとも一回は、相対移動量が、配列方向における機能膜区画の配列ピッチの整数倍である第一の副走査工程である電気光学装置の製造方法である。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、機能膜が形成される機能膜区画を備える基材と、を相対移動させ、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記機能膜区画に配置する電気光学装置の製造方法であって、
前記ノズル列における吐出ノズルの配列方向と交差する方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させると共に、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出する吐出走査工程と、
前記配列方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させる副走査工程と、を有し、
前記副走査工程の少なくとも一回は、相対移動量が、前記配列方向における前記機能膜区画の配列ピッチの整数倍である第一の副走査工程であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
それぞれの前記吐出ノズルについて吐出駆動条件を設定する駆動条件設定工程をさらに有し、
前記駆動条件設定工程では、前記第一の副走査工程の後に行う前記吐出走査工程における前記吐出駆動条件を、当該第一の副走査工程の前に行った前記吐出走査工程における前記吐出駆動条件と同じ前記吐出駆動条件に設定することを特徴とする、請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記副走査工程は、一回あたりの相対移動量が前記ノズル列における前記複数の吐出ノズルのノズルピッチの整数倍である第二の副走査工程を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
前記駆動条件設定工程では、前記第二の副走査工程の後に行う前記吐出走査工程における前記吐出駆動条件を、当該第二の副走査工程の前に行った前記吐出走査工程における吐出駆動条件と異なる吐出駆動条件に設定することを特徴とする、請求項３に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記配列方向における複数の前記ノズル列の間隔を調整する列ピッチ調整工程をさらに有し、
前記列ピッチ調整工程において、前記ノズル列の間隔を前記配列ピッチの整数倍に調整することを特徴とする、請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記配列方向における複数の前記ノズル列の間隔を調整する列ピッチ調整工程をさらに有し、
前記列ピッチ調整工程において、前記ノズル列の間隔を前記ノズルピッチの整数倍に調整することを特徴とする、請求項３又は４に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記電気光学装置一個に対応する電気光学パネルが複数形成されるマザーパネルを、前記副走査方向において前記電気光学パネルの機能膜形成領域を前記配列ピッチの整数倍で配設して形成することを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、機能膜が形成される機能膜区画を備える基材と前記ノズル列とを相対移動させる移動手段と、を備え、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記機能膜区画に配置する電気光学装置の製造装置であって、
前記移動手段は、前記ノズル列における吐出ノズルの配列方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させる副走査と、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出するのにともなって前記配列方向と交差する主走査方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させる吐出走査と、を行い、
前記副走査の少なくとも一回は、相対移動量が、前記配列方向における前記機能膜区画の配列ピッチの整数倍であることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記吐出走査の際に前記吐出ノズルを駆動する吐出駆動条件を設定する駆動条件設定手段をさらに備え、
前記駆動条件設定手段は、相対移動量が前記配列ピッチの整数倍である前記副走査の前後に実行する前記吐出走査を、同じ前記吐出駆動条件に設定することを特徴とする、請求項８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
前記副走査の少なくとも一回は、相対移動量が前記ノズル列における前記複数の吐出ノズルのノズルピッチの整数倍であり、
前記駆動条件設定手段は、相対移動量が前記ノズルピッチの整数倍の副走査の前後に実行する前記吐出走査を、異なる吐出駆動条件に設定することを特徴とする、請求項８又は９に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１１】
前記ノズル列を複数備え、前記配列方向における前記複数のノズル列の間隔が、前記配列ピッチの整数倍であることを特徴とする請求項８又は９に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１２】
前記ノズル列を複数備え、前記配列方向における前記複数のノズル列の間隔が、前記ノズルピッチの整数倍であることを特徴とする、請求項１０に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１３】
前記ノズル列を複数備え、前記配列方向における前記複数のノズル列の間隔を調整するノズル列間隔調整手段をさらに備えることを特徴とする、請求項８又は９に記載の電気光学装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の機能膜を形成するための電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の機能膜を形成するための電気光学装置の製造装置に関する。電気光学装置としては、液晶装置や有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス（Organic Electro Luminescence））装置などが挙げられる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置などのカラーフィルタ膜のような機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する描画装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置（描画）し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる描画装置は、液滴吐出ヘッドを基板に対して相対移動させながら、液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して、基板上に位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状を有する膜を形成することができる。微小な液滴の大きさを規定し、精度良く実現することができるため、精密な膜厚を有する膜を形成することができる。
【０００３】
より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現することが必要になっている。より精密な膜厚を実現するためには、機能膜を形成する区画のそれぞれに、正確な量の液状体を配置することが必要である。正確な量の液状体を配置するためには、それぞれの吐出ノズルから吐出される液状体の吐出量が、設定された吐出量を正確に実現するものであることが必要である。
特許文献１には、１個の区画に対して、液状体を配置する走査を複数回行い、それぞれの走査ごとに異なる吐出ノズルから吐出された液状体を配置することによって、ノズル群ごとの吐出量の変動に起因する液状体の吐出ムラ、すなわち区画に配置される液状体の量のばらつきを低減できるヘッドユニットおよび液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、配線基板の製造方法が開示されている。
【０００４】
しかし、多数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドにおいては、近接して形成された吐出ノズルが互いに影響を及ぼしあうことは避け難く、周囲の吐出ノズルが休止しているか、吐出動作を実施しているかによって、吐出量が変動する可能性がある。特許文献２には、印字ヘッド（液滴吐出ヘッド）のノズルの吐出個数に変化がある場合に起る印字品質の悪化を改善するために、印字ヘッドのノズルアレイのインク吐出率に応じて印字ヘッドの各ノズルの駆動素子に供給する駆動パルスを補正するインクジェットプリンタが開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−９４０４４号公報
【特許文献２】特開２００６−２８９７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に開示された装置においては、ノズルアレイインク吐出率を判断し、対応する補正データを取得し、各吐出ノズルごとに印字ヘッドへの駆動信号を補正し、駆動パルスの補正を実施することが必要である。駆動パルスを補正するためには、液状体吐出装置の制御装置が駆動パルスを補正する作業を実施する必要があり、補正作業のための時間を必要とすると共に、補正作業を実施する制御装置の負荷が増大する。描画吐出を効率的に実施するためには、多数の吐出ノズルを備えることが有効であるが、多数の吐出ノズルのそれぞれについて駆動パルスを補正するために、多数の駆動パルスを補正する作業を実施する必要があり、液状体を配置する工程の工程時間が増大する可能性があるという課題があった。同時に、液状体吐出装置の制御装置の負荷も増大するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、機能膜が形成される機能膜区画を備える基材と、を相対移動させ、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記機能膜区画に配置する電気光学装置の製造方法であって、前記ノズル列における吐出ノズルの配列方向と交差する方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させると共に、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出する吐出走査工程と、前記配列方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させる副走査工程と、を有し、前記副走査工程の少なくとも一回は、相対移動量が、前記配列方向における前記機能膜区画の配列ピッチの整数倍である第一の副走査工程であることを特徴とする。
【０００９】
この電気光学装置の製造方法によれば、副走査工程の少なくとも一回は、相対移動量が、機能膜区画の配列ピッチの整数倍である第一の副走査工程である。相対移動量が機能膜区画の配列ピッチの整数倍である場合、当該副走査工程を挟んだ吐出走査工程において、吐出ノズルに対向する機能膜区画などの部分が、ほとんどの吐出ノズルで同じになる。すなわち、第一の副走査工程の前の吐出走査工程において例えば機能膜区画の中央に対向していた吐出ノズルは、当該第一の副走査工程の後の吐出走査工程においても機能膜区画の中央に対向し、例えば機能膜区画の境界領域に対向していた吐出ノズルは、後の吐出走査工程においても境界領域に対向する。したがって、第一の副走査工程の前と後の吐出走査工程において、それぞれの吐出ノズルにおける吐出又は否吐出の状態が共通になる。ノズル列においては、吐出を実施する吐出ノズルの配列が共通となる。これにより、近接して形成された吐出ノズルの状態が略同等となるため、周囲の吐出ノズルの稼働状態が変動することに起因する吐出量の変動を抑制することができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、それぞれの前記吐出ノズルについて吐出駆動条件を設定する駆動条件設定工程をさらに有し、前記駆動条件設定工程では、前記第一の副走査工程の後に行う前記吐出走査工程における前記吐出駆動条件を、当該第一の副走査工程の前に行った前記吐出走査工程における前記吐出駆動条件と同じ前記吐出駆動条件に設定することが好ましい。
【００１１】
この電気光学装置の製造方法によれば、第一の副走査工程の後に行う吐出走査工程における吐出駆動条件は、当該第一の副走査工程の前に行った吐出走査工程における吐出駆動条件と同じ吐出駆動条件に設定される。このため、第一の副走査工程の後に実施する吐出走査工程における吐出駆動条件は、新たに適切な吐出条件を求めることを必要としない。これにより、吐出駆動条件を求めるために必要となる時間や負荷を抑制することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記副走査工程は、一回あたりの相対移動量が前記ノズル列における前記複数の吐出ノズルのノズルピッチの整数倍である第二の副走査工程を含むことが好ましい。
【００１３】
この電気光学装置の製造方法によれば、ノズルピッチの整数倍の相対移動量で副走査が実施される。ノズル列の長さはノズルピッチの整数倍であるため、一回の吐出走査で液状体を配置する副走査方向の幅もノズルピッチの整数倍である。相対移動量をノズルピッチの整数倍にすることで、吐出走査で液状体を配置する幅に対応して副走査を実施する際に、過不足なく副走査における移動量を設定しやすくすることができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記駆動条件設定工程では、前記第二の副走査工程の後に行う前記吐出走査工程における前記吐出駆動条件を、当該第二の副走査工程の前に行った前記吐出走査工程における吐出駆動条件と異なる吐出駆動条件に設定することが好ましい。
【００１５】
この電気光学装置の製造方法によれば、第二の副走査工程の後に行う吐出走査工程では、吐出駆動条件が変更される。副走査工程における相対移動量がノズルピッチの整数倍の場合、副走査工程の前後で、それぞれの吐出ノズルが対向する機能膜区画などの部分が、ほとんどの吐出ノズルで異なる。したがって、ノズル列において吐出を実施する吐出ノズルの配列パターンも異なる。これにより、吐出ノズルの近傍の吐出ノズルの吐出又は休止の状態も変わることから、吐出量が変化する可能性がある。吐出駆動条件を異なる吐出駆動条件に設定することで、吐出量の変化を抑制することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記配列方向における複数の前記ノズル列の間隔を調整する列ピッチ調整工程をさらに有し、前記列ピッチ調整工程において、前記ノズル列の間隔を前記配列ピッチの整数倍に調整することが好ましい。
【００１７】
この電気光学装置の製造方法によれば、ノズル列の間隔が配列ピッチの整数倍に調整されるため、一列のノズル列が一回の吐出走査で液状体を配置する副走査方向の幅を配列ピッチの整数倍にすることによって、ノズル列間で液状体が配置されない領域の幅も配列ピッチの整数倍になる。これにより、吐出走査後に、ノズル列間で液状体が配置されなかった領域にノズル列を移動する際の副走査における移動量も配列ピッチの整数倍にすることができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記配列方向における複数の前記ノズル列の間隔を調整する列ピッチ調整工程をさらに有し、前記列ピッチ調整工程において、前記ノズル列の間隔を前記ノズルピッチの整数倍に調整することが好ましい。
【００１９】
この電気光学装置の製造方法によれば、ノズル列の間隔がノズルピッチの整数倍に調整されるため、ノズル列間で液状体が配置されない領域の幅もノズルピッチの整数倍になる。これにより、吐出走査後に、ノズル列間で液状体が配置されなかった領域にノズル列を移動する際の副走査における移動量をノズルピッチの整数倍にすることによって、ノズル列間で液状体が配置されなかった領域に対して過不足なく効率的に吐出ノズルを対向させることができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例にかかる電気光学装置の製造方法において、前記電気光学装置一個に対応する電気光学パネルが複数形成されるマザーパネルを、前記副走査方向において前記電気光学パネルの機能膜形成領域を前記配列ピッチの整数倍で配設して形成することが好ましい。
【００２１】
この電気光学装置の製造方法によれば、機能膜形成領域を配列ピッチの整数倍で配設して形成する。これにより、一つの機能膜形成領域に対向していたノズル列を次の機能膜形成領域に対向する位置まで相対移動させる副走査の移動量を、機能膜ピッチの整数倍にすることができる。
【００２２】
［適用例８］本適用例にかかる電気光学装置の製造装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、機能膜が形成される機能膜区画を備える基材と前記ノズル列とを相対移動させる移動手段と、を備え、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記機能膜区画に配置する電気光学装置の製造装置であって、前記移動手段は、前記ノズル列における吐出ノズルの配列方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させる副走査と、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出するのにともなって前記配列方向と交差する主走査方向に前記基材と前記ノズル列とを相対移動させる吐出走査と、を行い、前記副走査の少なくとも一回は、相対移動量が、前記配列方向における前記機能膜区画の配列ピッチの整数倍であることを特徴とする。
【００２３】
この電気光学装置の製造装置によれば、副走査の少なくとも一回は、相対移動量が、機能膜区画の配列ピッチの整数倍である。相対移動量が機能膜区画の配列ピッチの整数倍である場合、当該副走査を挟んだ吐出走査において、吐出ノズルに対向する機能膜区画などの部分が、ほとんどの吐出ノズルで同じになる。すなわち、副走査の前の吐出走査において例えば機能膜区画の中央に対向していた吐出ノズルは、当該副走査の後の吐出走査においても機能膜区画の中央に対向し、例えば機能膜区画の境界領域に対向していた吐出ノズルは、後の吐出走査においても境界領域に対向する。したがって、副走査の前と後の吐出走査において、それぞれの吐出ノズルにおける吐出又は否吐出の状態が共通になる。ノズル列においては、吐出を実施する吐出ノズルの配列が共通となる。これにより、近接して形成された吐出ノズルの状態が略同等となるため、周囲の吐出ノズルの稼働状態が変動することに起因する吐出量の変動を抑制することができる。
【００２４】
［適用例９］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記吐出走査の際に前記吐出ノズルを駆動する吐出駆動条件を設定する駆動条件設定手段をさらに備え、前記駆動条件設定手段は、相対移動量が前記配列ピッチの整数倍である前記副走査の前後に実行する前記吐出走査を、同じ前記吐出駆動条件に設定することが好ましい。
【００２５】
この電気光学装置の製造装置によれば、相対移動量が配列ピッチの整数倍である副走査の前後に実行する吐出走査を、同じ吐出駆動条件に設定する。このため、相対移動量が配列ピッチの整数倍である副走査の後に実施する吐出走査における吐出駆動条件は、新たに適切な吐出条件を求めることを必要としない。これにより、吐出駆動条件を求めるために必要となる時間や負荷を抑制することができる。
【００２６】
［適用例１０］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記副走査の少なくとも一回は、相対移動量が前記ノズル列における前記複数の吐出ノズルのノズルピッチの整数倍であり、前記駆動条件設定手段は、相対移動量が前記ノズルピッチの整数倍の副走査の前後に実行する前記吐出走査を、異なる吐出駆動条件に設定することが好ましい。
【００２７】
この電気光学装置の製造装置によれば、副走査の少なくとも一回は、相対移動量がノズル列における吐出ノズルのノズルピッチの整数倍であり、相対移動量がノズルピッチの整数倍の副走査の前後に実行する吐出走査は、異なる吐出駆動条件に設定される。副走査における相対移動量がノズルピッチの整数倍の場合、副走査の前後で、それぞれの吐出ノズルが対向する機能膜区画などの部分が、ほとんどの吐出ノズルで異なる。したがって、ノズル列において吐出を実施する吐出ノズルの配列パターンも異なる。これにより、吐出ノズルの近傍の吐出ノズルの吐出又は休止の状態も変わることから、吐出量が変化する可能性がある。相対移動量がノズルピッチの整数倍の副走査の前後に実行する吐出走査における吐出駆動条件を異なる吐出駆動条件に設定することで、吐出量の変化を抑制することができる。
【００２８】
［適用例１１］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記ノズル列を複数備え、前記配列方向における前記複数のノズル列の間隔が、前記配列ピッチの整数倍であることが好ましい。
【００２９】
この電気光学装置の製造装置によれば、ノズル列の間隔が配列ピッチの整数倍であるため、一列のノズル列が一回の吐出走査で液状体を配置する副走査方向の幅を配列ピッチの整数倍にすることによって、ノズル列間で液状体が配置されない領域の幅も配列ピッチの整数倍になる。これにより、吐出走査後に、ノズル列間で液状体が配置されなかった領域にノズル列を移動する際の副走査における移動量も配列ピッチの整数倍にすることができる。
【００３０】
［適用例１２］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記ノズル列を複数備え、前記配列方向における前記複数のノズル列の間隔が、前記ノズルピッチの整数倍であることが好ましい。
【００３１】
この電気光学装置の製造装置によれば、ノズル列の間隔がノズルピッチの整数倍であるため、ノズル列間で液状体が配置されない領域の幅もノズルピッチの整数倍になる。これにより、吐出走査後に、ノズル列間で液状体が配置されなかった領域にノズル列を移動する際の副走査における移動量をノズルピッチの整数倍にすることによって、ノズル列間で液状体が配置されなかった領域に対して過不足なく効率的に吐出ノズルを対向させることができる。
【００３２】
［適用例１３］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記ノズル列を複数備え、前記配列方向における前記複数のノズル列の間隔を調整するノズル列間隔調整手段をさらに備えることが好ましい。
【００３３】
この電気光学装置の製造装置によれば、ノズル列間隔調整手段を用いてノズル列の間隔を調整することで、基材の形状や製造方法に対応した適切なノズル列の間隔を有する製造装置を構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程、及び電気光学装置の一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、カラーフィルタ膜や発光層などの機能膜を製造する方法を例に説明する。当該機能膜を製造する工程では、ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの一例としてのインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて機能膜の材料を含む機能液を基板上の所定の区画に配置する方法を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３５】
（第一の実施形態）
最初に、電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置の一実施形態である第一の実施形態について、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置のカラーフィルタを製造する工程において、機能膜の一例である色要素膜（フィルタ膜）を形成する工程で用いられる製造方法及び製造装置を例に説明する。
【００３６】
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を含む液状体を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状体に熱を加えることがほとんどないため、熱による材料の組成などへの影響がほとんどないという利点を有する。また、駆動電圧などの駆動条件を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるため、正確な吐出量を実現できるという利点も有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。
【００３７】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００３８】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有している。機能液供給部４は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド１７の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００３９】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１７に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００４０】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸テーブル１２（図４参照）によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３を、Ｘ軸テーブル１１（図４参照）によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４１】
このように、液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００４２】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。
【００４３】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給部４から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７４が構成されている。
【００４４】
ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。
【００４５】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。
【００４６】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。１個の液滴吐出ヘッド１７が有する２本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うことができる。当該ノズル列を、「ヘッドノズル列」と表記する。ヘッドノズル列は、例えば１８０個の２倍の３６０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向のノズルピッチが７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２５．１ｍｍである。
【００４７】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００４８】
圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００４９】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板５４（図６（ｂ）参照）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。
【００５０】
吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば、１ｐｌから３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００５１】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００５２】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート６１と、キャリッジプレート６１に搭載された９個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド本体７４がキャリッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図３は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００５３】
一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。一つのヘッド組６２が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が有する６本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うことができる。当該ノズル列を、「ヘッド組ノズル列」と表記する。ヘッド組ノズル列は、例えば１８０個の６倍、１０８０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離（ノズル列長さ）は、約７５．５ｍｍである。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２を構成している。
【００５４】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組６２は、それぞれが有する１本のヘッド組ノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列７８Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘッド組６２を構成する液滴吐出ヘッド１７の、一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組６２における９個の液滴吐出ヘッド１７が有する１８本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うことができる。当該ノズル列を、「ユニットノズル列」と表記する。ユニットノズル列は、例えば１８０個の１８倍、３２４０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２２６．７ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００５５】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【００５６】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ４ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ７ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００５７】
入出力インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。
【００５８】
ヘッドドライバ１７ｄには、ヘッド機構部２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータと、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、アライメントカメラを移動するためのカメラ移動モータや、ワーク載置台２３のθ駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワーク２０とを相対移動させてワーク２０の任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワーク２０上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００５９】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンス装置部５を構成する保守ユニット５Ａの吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。
【００６０】
検査ドライバ７ｄには、検査ユニット７が有する吐出検査ユニット１８や、重量測定ユニット１９などが接続されている。検査ドライバ７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８を駆動して、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。また、重量測定ユニット１９を駆動して、液滴吐出ヘッド１７から吐出される液状体の液滴の重量である吐出重量の測定を実施させる。なお、本実施形態における吐出重量は、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が吐出する機能液の液滴一滴の重量である。液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が吐出する機能液の液滴一滴の大きさ（体積）は、吐出量と表記する。吐出重量と吐出量とは、同じ量を重量又は体積で表す場合のそれぞれの呼称である。
【００６１】
給液ドライバ４ｄには、機能液供給部４が接続されている。給液ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って機能液供給部４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを有する検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【００６２】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００６３】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図５に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００６４】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワーク２０などの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。
【００６５】
シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワーク２０などの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングは、例えば液滴吐出ヘッド１７におけるノズル列７８Ａごとに共通であり、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、略同時に機能液の液滴が吐出される。
【００６６】
＜駆動波形＞
次に、圧電素子５９に印加する駆動信号（ＣＯＭ）の駆動波形、及び当該駆動波形の駆動信号を印加された圧電素子５９の動作による吐出動作について、図６を参照して説明する。図６は、駆動波形の基本波形及び駆動波形に対応した圧電素子の動作を示す図である。図６（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図であり、図６（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図である。
【００６７】
図６（ａ）に示すように、駆動信号を印加する前の待機状態では、圧電素子５９には一定の電圧が印加されている（図６（ａ）のＡ）。この電圧を中間電位と表記する。描画を実施する際は、描画開始前に、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げ、描画終了後に、グランドレベルに戻す。
図６（ｂ）に示すように、圧電素子５９を中間電位に維持した待機状態では、圧電素子５９がわずかに縮んで振動板５２が圧電素子５９の側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓んでいる（図６（ｂ）のＡ）。
【００６８】
駆動周期の最初の工程は、圧電素子５９に印加する電圧を、中間電位から始まって、高電位に引き上げる（昇圧、図６（ａ）のＢ）。圧電素子５９に印加される電圧が高くなることで、圧電素子５９がさらに縮んで、振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、可撓性を有する材料で形成された振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される（給液、図６（ｂ）のＢ）。
この工程を、昇圧給液工程と表記する。昇圧給液工程では、吐出ノズル７８から空気が圧力室に入り込まないように、圧電素子５９をゆっくり変位させる。圧電素子５９に印加される高電位の電圧が、液滴吐出ヘッド１７を駆動するために印加される駆動電圧に相当する。
なお、個別の吐出ノズル７８に対応する圧電素子５９に印加する高電位の電圧が、当該吐出ノズル７８の駆動電圧に相当し、当該駆動電圧を含む圧電素子５９に印加する駆動波形などの条件が当該吐出ノズル７８の吐出駆動条件に相当する。駆動電圧を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４が、駆動条件設定手段に相当する。
【００６９】
上述したように、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、略同時に機能液の液滴が吐出される。したがって、振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られるタイミングも、ノズル列７８Ａを構成する全ての吐出ノズル７８において略同一のタイミングである。また、圧力室５８を形成する振動板５２は、ノズル列７８Ａを構成する全ての吐出ノズル７８において共通である。このため、隣のノズル列７８Ａや近接する位置のノズル列７８Ａが吐出を実施するか否かによって、振動板５２のそれぞれの圧力室５８を形成する部分が圧力室５８の反対側に撓む形状や撓み量が微妙に変動する可能性がある。すなわち吐出ノズル７８からの吐出量が微妙に変動する可能性がある。
【００７０】
昇圧給液工程後、圧電素子５９に印加する電圧を高電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出前待機状態と表記する（図６（ａ）のＣ）。圧電素子５９を構成する圧電材料は、電圧変化が終了した後でも機械的な振動が残留しているため、その機械振動が収まるまで待機する工程が、吐出前待機状態である。
【００７１】
機械振動が収まる時間だけ吐出前待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させる（図６（ａ）のＤ）。圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させることによって、圧電素子５９の変位が一気に零になり、圧力室５８は急激に狭くなり、圧力室５８の内部に充填されていた機能液が、吐出ノズル７８から吐出される（図６（ｂ）のＤ）。この工程を、降圧吐出工程と表記する。
圧電素子５９の変位量は印加される電圧に拠って変わることから、印加する高電位の電圧値によって、圧電素子５９が縮む量が異なるため、圧力室５８の容積が増加する量も異なる。このため、当該高電位の電圧値を調整することによって、圧力室５８に充填されて吐出される機能液の量、すなわち液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８からの吐出量を調整することができる。
【００７２】
上述したように、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、設計上は、同時に機能液の液滴が吐出される。したがって、圧電素子５９に印加する電圧を高電位に引き上げるタイミングも、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８において略同一のタイミングである。このため、ノズル列７８Ａにおける吐出を実施する吐出ノズル７８の数によって、それぞれの圧電素子５９に印加される高電位の電圧値が、僅かではあるが変動する可能性がある。すなわち、吐出ノズル７８からの吐出量が、僅かではあるが変動する可能性がある。
【００７３】
降圧吐出工程の次に、圧電素子５９に印加する電圧を低電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出後待機状態と表記する（図６（ａ）のＥ）。圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ低電位状態を維持する工程が、吐出後待機状態である。
圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ吐出後待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げて（図６（ａ）のＦ）、再び待機状態（中間電位）にする。
【００７４】
＜着弾位置＞
次に、吐出ノズル７８と、それぞれの吐出ノズル７８から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について説明する。図７は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図７（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図７（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図７に示した矢印ａの方向に、ワーク２０に対して吐出ノズル７８を相対移動させながら、任意の位置において液状体の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００７５】
図７（ａ）に示すように、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配設されている。上述したように、液滴吐出ヘッド１７における２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
図７（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点８１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円８１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列７８Ａの全部の吐出ノズル７８から、図７（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。
図７（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル７８から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点８１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズル７８の最小吐出間隔（時間）との積である。
吐出ノズル７８の最小吐出間隔は、上述したラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力される間隔である。
図７（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線がＸ軸方向に並列した着弾面が形成される。図７（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点８１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００７６】
液滴を配置することによって画像を描画したり、所定の区画に液状体を充填したりするためには、当該画像の描画や区画への充填に適する着弾点８１を液滴を配置する着弾点８１として選択する。図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点８１の位置について、液滴を配置するか否かを定めることによって、機能液を配置する位置を規定する配置表が形成される。当該配置表に従って、対応する吐出ノズル７８が対応する時点で吐出を実施することで、所望の画像の描画や所望の区画への充填が行われる。
【００７７】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図８参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図８を参照して説明する。図８は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図８に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００７８】
図８に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参照）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。
【００７９】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００８０】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００８１】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００８２】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００８３】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【００８４】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８５】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図９を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図９（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図９（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。
【００８６】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図９（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【００８７】
図９（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。マザー対向基板２０１Ａが、基材に相当する。
【００８８】
＜カラーフィルタ膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）などの配列について、図１０を参照して説明する。図１０は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
【００８９】
図１０に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。フィルタ膜領域２２５が、機能膜区画に相当し、フィルタ膜２０５が、機能膜に相当する。フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液が、機能膜膜の材料を含む液状体に相当する。
【００９０】
３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。図１０（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図であり、図１０（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図であり、図１０（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図である。
【００９１】
ストライプ配列は、図１０（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。
モザイク配列は、図１０（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。
デルタ配列は、図１０（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配列である。
【００９２】
図１０（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。
【００９３】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【００９４】
図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。
【００９５】
次に、図１１のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液２５２をそれぞれ充填して、当該機能液２５２を乾燥させることによって形成する。
【００９６】
より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
【００９７】
同様にして、図１２（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１２（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
【００９８】
次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【００９９】
次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
【０１００】
図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１０１】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１０２】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１０３】
次に、図１１のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１０４】
＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、フィルタ膜領域２２５などの、マザー対向基板におけるＣＦ層のフィルタ膜領域に機能液を配置する工程について、図１４を参照して説明する。図１４は、機能液を配置する工程におけるフィルタ膜領域と吐出を実行する吐出ノズルの配置との関係を示す説明図である。図１４（ａ）は、フィルタ膜領域のＹ軸方向の配列位置を示す説明図であり、図１４の（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）は、吐出走査における吐出を実行する吐出ノズルの配置を示す説明図である。
図示を容易にして説明を解り易くするために、フィルタ膜領域１２５及び液滴吐出ヘッド１７を簡略化した液滴吐出ヘッド１７０を例にして説明する。図１４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態と同様に、液滴吐出ヘッド１７０を備えるヘッドユニットが液滴吐出装置に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と同じ方向を示している。
【０１０５】
図１４に示したように、液滴吐出ヘッド１７０は、１２個の吐出ノズル８１０を有している。液滴吐出ヘッド１７０を備えるヘッドユニット１２０は、ヘッドユニット２１と同様に、９個の液滴吐出ヘッド１７０を備えており、９個の液滴吐出ヘッド１７０が有する１０８個の吐出ノズル８１０からなるノズル列を有している。図１４（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）では、液滴吐出ヘッド１７０のＸ軸方向の位置ずれを省略して、Ｙ軸方向の位置のみ表示している。
ヘッドユニット１２０が備える液滴吐出ヘッド１７０を、端の方から順に、液滴吐出ヘッド１７２、液滴吐出ヘッド１７３、液滴吐出ヘッド１７４、液滴吐出ヘッド１７５と表記する。液滴吐出ヘッド１７２、液滴吐出ヘッド１７３、液滴吐出ヘッド１７４、液滴吐出ヘッド１７５が有する吐出ノズル８１０を、吐出ノズル８２１から吐出ノズル８３２、吐出ノズル８４１から吐出ノズル８５２、吐出ノズル８６１から吐出ノズル８７２、吐出ノズル８８１から吐出ノズル８９２と表記する。ヘッドユニット１２０が備える５番目以降の液滴吐出ヘッド１７０は図示省略した。図１４（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）では、吐出を実施する吐出ノズル８１０を黒丸で示し、吐出を休止する吐出ノズル８１０を白丸で示している。
【０１０６】
フィルタ膜領域１２５は、Ｙ軸方向に領域ピッチＧＰのピッチ間隔で配列されている。図１４（ａ）には、フィルタ膜領域１２５の列を一列のみ示しており、ＣＦ層の領域は、図１４（ａ）に示したフィルタ膜領域１２５の列がＸ軸方向に配列されて構成されている。フィルタ膜領域１２５を、ＣＦ層の領域の端の方から順に、フィルタ膜領域１２５ａ、フィルタ膜領域１２５ｂ、フィルタ膜領域１２５ｃ、のように表記する。フィルタ膜領域１２５が、機能膜区画に相当する。
【０１０７】
本実施形態におけるフィルタ膜領域１２５については、一個所のフィルタ膜領域１２５に対して、４回の吐出走査を実施して、合計１０滴の機能液２５２を配置する。
一回目の吐出走査では、図１４（ｂ）に示した範囲で、液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３，８４５，８４６，８４８，８４９，８５２と、液滴吐出ヘッド１７４の吐出ノズル８６１，８６３，８６４，８６５，８６７，８６８，８７０，８７１と、液滴吐出ヘッド１７５の吐出ノズル８８２，８８３とが吐出を実施している。液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３から吐出された液滴が、フィルタ膜領域１２５ａに着弾している。図示省略したが、一回目の吐出走査では、ヘッドユニット１２０を構成する９個の液滴吐出ヘッド１７０の中で、液滴吐出ヘッド１７２を除く８個の液滴吐出ヘッド１７０が吐出を行っている。
【０１０８】
一回目の吐出走査の後、副走査を実施して、２回目の吐出走査を実施する。副走査は、一回目の吐出走査の位置からヘッドユニット１２０をＹ軸方向に領域ピッチＧＰだけ移動する。
２回目の吐出走査では、図１４（ｃ）に示した範囲で、液滴吐出ヘッド１７２の吐出ノズル８３０，８３１と、液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３，８４５，８４６，８４８，８４９，８５２と、液滴吐出ヘッド１７４の吐出ノズル８６１，８６３，８６４，８６５，８６７，８６８，８７０，８７１とが吐出を実施している。液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３から吐出された液滴は、フィルタ膜領域１２５ｂに着弾している。２回目の吐出走査では、９番目の液滴吐出ヘッド１７０が吐出を実施するＣＦ層の領域のＹ軸方向の幅は、一回目の吐出走査における幅と比べて、液滴吐出ヘッド１７２が吐出を実施するＣＦ層の領域のＹ軸方向の幅だけ、狭くなっている。これにより、２回目の吐出走査では、一回目の吐出走査と同じ液滴吐出ヘッド１７０の幅にして８個分の領域のフィルタ膜領域１２５に機能液２５２を配置する。
【０１０９】
２回目の吐出走査の後、副走査を実施して、３回目の吐出走査を実施する。副走査は、２回目の吐出走査の位置からヘッドユニット１２０をＹ軸方向に領域ピッチＧＰだけ移動する。
３回目の吐出走査では、図１４（ｄ）に示した範囲で、液滴吐出ヘッド１７２の吐出ノズル８２７，８２８，８３０，８３１と、液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３，８４５，８４６，８４８，８４９，８５２と、液滴吐出ヘッド１７４の吐出ノズル８６１，８６３，８６４，８６５，８６７，８６８とが吐出を実施している。液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３から吐出された液滴は、フィルタ膜領域１２５ｃに着弾している。３回目の吐出走査では、９番目の液滴吐出ヘッド１７０が吐出を実施するＣＦ層の領域のＹ軸方向の幅は、２回目の吐出走査における幅と比べて、液滴吐出ヘッド１７２が吐出を実施するＣＦ層の領域のＹ軸方向の幅だけ、狭くなっている。
【０１１０】
３回目の吐出走査の後、副走査を実施して、４回目の吐出走査を実施する。副走査は、３回目の吐出走査の位置からヘッドユニット１２０をＹ軸方向に領域ピッチＧＰだけ移動する。
４回目の吐出走査では、図１４（ｅ）に示した範囲で、液滴吐出ヘッド１７２の吐出ノズル８２３，８２４，８２７，８２８，８３０，８３１と、液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３，８４５，８４６，８４８，８４９，８５２と、液滴吐出ヘッド１７４の吐出ノズル８６１，８６３，８６４，８６５とが吐出を実施している。液滴吐出ヘッド１７３の吐出ノズル８４１，８４２，８４３から吐出された液滴は、フィルタ膜領域１２５ｄに着弾している。４回目の吐出走査では、９番目の液滴吐出ヘッド１７０が吐出を実施するＣＦ層の領域のＹ軸方向の幅は、３回目の吐出走査における幅と比べて、液滴吐出ヘッド１７２が吐出を実施するＣＦ層の領域のＹ軸方向の幅だけ、狭くなっている。
【０１１１】
上記のように、４回の吐出走査において、液滴吐出ヘッド１７３における吐出を実施する吐出ノズル８１０は固定である。液滴吐出ヘッドにおける吐出を実施する吐出ノズルの分布を「吐出実施配列」と表記する。液滴吐出ヘッド１７３と同様に、液滴吐出ヘッド１７４から８番目の液滴吐出ヘッド１７０までの液滴吐出ヘッド１７０も、４回の吐出走査において、吐出を実施する吐出ノズル８１０は固定であって、吐出実施配列は、それぞれの液滴吐出ヘッド１７０において一定である。吐出実施配列が一定であることで、それぞれの吐出ノズル８１０が近傍の吐出ノズル８１０の駆動状態によって互いに及ぼされあう影響も一定である。したがって、近傍の吐出ノズル８１０の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動はほとんどないため、吐出ノズル８１０の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。
領域ピッチＧＰが、機能膜ピッチに相当する。Ｙ軸方向に領域ピッチＧＰだけ移動する副走査が、第一の副走査に相当し、当該副走査の工程が、第一の副走査工程に相当する。
【０１１２】
４回の吐出走査及び３回の副走査を実施して、ここで説明した例では、Ｙ軸方向の幅が液滴吐出ヘッド１７０の８個分である領域のフィルタ膜領域１２５に機能液２５２が配置される。ここで説明した３回の副走査を挟む４回の吐出走査のように、所定の範囲の機能膜区画への機能液の配置を完結する走査を、「区画走査」と表記する。一回の区画走査で機能液の配置を完結する範囲を、「区画走査領域」と表記する。ここで説明した例では、区画走査領域は、Ｙ軸方向の幅が液滴吐出ヘッド１７０の８個分の領域である。詳細には、８個の液滴吐出ヘッド１７０が有する９６個の吐出ノズル８１０に相当する９６個の吐出ノズル８１０が対向することができる領域である。
【０１１３】
次の区画走査は、ヘッドユニット１２０を、ヘッドユニット１２０の吐出ノズル８１０が次の区画走査領域に臨む位置まで相対移動させる副走査を実施した後で、実施する。当該副走査を、「区画副走査」と表記する。ここでの区画副走査は、区画走査領域の幅だけ、ヘッドユニット１２０を相対移動させる。個々の場合の区画副走査による相対移動量は、９６個の吐出ノズル８１０が対向することができる幅であって、吐出ノズル８１０のノズルピッチの整数倍である。
ノズルピッチの整数倍だけ移動した区画副走査の後の吐出走査における吐出実施配列は、区画副走査の前の吐出走査における吐出実施配列とは異なる可能性が高い。このため、近傍の吐出ノズル８１０の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動が発生する可能性が高い。当該影響を抑制するために、個別の吐出ノズル８１０ごとに、駆動電圧などの駆動条件の調整を実施する。この場合の、区画副走査が、第二の副走査に相当し、当該区画副走査の工程が、第二の副走査工程に相当する。
【０１１４】
なお、区画走査におけける一回目の吐出走査で機能液を配置する幅を、フィルタ膜領域１２５のＹ軸方向における配設ピッチである領域ピッチＧＰの整数倍とし、２から４回目の吐出走査においても機能液を配置する幅を同じ幅にすることで、区画走査領域のＹ軸方向の幅が、領域ピッチＧＰの整数倍となる。この場合は、近傍の吐出ノズル８１０の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動はほとんどないため、吐出ノズル８１０の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。この場合の、区画副走査は、第一の副走査に相当し、当該区画副走査の工程は、第一の副走査工程に相当する。
ヘッドユニット２１を用いてフィルタ膜領域２２５に機能液を配置する場合も、ヘッドユニット１２０を用いてフィルタ膜領域１２５に機能液を配置する場合と同様である。
【０１１５】
＜機能液配置−２＞
次に、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、フィルタ膜領域２２５などの、マザー対向基板におけるＣＦ層のフィルタ膜領域に機能液を配置する工程の他の例について、図１５を参照して説明する。図１５は、機能液を配置する工程におけるＣＦ層の領域と吐出を実行する液滴吐出ヘッドの配置との関係を示す説明図である。図１５（ａ）は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図であり、図１５（ｂ）は、ＣＦ層の領域における区画走査領域を示す平面図であり、図１５（ｃ）は、区画走査領域ごとの吐出を実施するヘッド組の表である。
【０１１６】
図１５（ａ）に示したヘッドユニット１２１は、上述したヘッドユニット２１と同じ構成である。図１５（ａ）に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１と同様にヘッドユニット１２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。ヘッドユニット１２１は、３色のカラーフィルタに対応する３種類の機能液を配置する構成であることが、ヘッドユニット２１と異なっている。ヘッドユニット１２１は、赤色ヘッド組６２Ｒと、緑色ヘッド組６２Ｇと、青色ヘッド組６２Ｂと、を備えている。赤色ヘッド組６２Ｒは、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する材料を含む赤色機能液２５２Ｒを吐出する赤色吐出ヘッド１７Ｒで構成されている。赤色ヘッド組６２Ｒは、３個の赤色吐出ヘッド１７Ｒを備えている。緑色ヘッド組６２Ｇは、緑色フィルタ膜２０５Ｇを形成する材料を含む緑色機能液２５２Ｇを吐出する緑色吐出ヘッド１７Ｇで構成されている。緑色ヘッド組６２Ｇは、３個の緑色吐出ヘッド１７Ｇを備えている。青色ヘッド組６２Ｂは、青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する材料を含む青色機能液２５２Ｂを吐出する青色吐出ヘッド１７Ｂで構成されている。青色ヘッド組６２Ｂは、３個の青色吐出ヘッド１７Ｂを備えている。
３個の赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、又は青色吐出ヘッド１７Ｂの位置関係は、ヘッドユニット２１のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の位置関係と同じである。ヘッドユニット１２１における赤色ヘッド組６２Ｒと、緑色ヘッド組６２Ｇと、青色ヘッド組６２Ｂとの位置関係は、ヘッドユニット２１におけるヘッド組６２間の位置関係と同じである。
【０１１７】
吐出走査は、赤色ヘッド組６２Ｒ、緑色ヘッド組６２Ｇ、又は青色ヘッド組６２Ｂの単位で実施する。Ｘ軸方向の略同じ位置に液滴を着弾させるノズル列がヘッド組ノズル列であることが、当該ノズル列がユニットノズル列である上述した吐出走査とは、異なっている。図１５（ｂ）に示すように、区画走査領域１４１、区画走査領域１４２、及び区画走査領域１４３、は、赤色ヘッド組６２Ｒ、緑色ヘッド組６２Ｇ、又は青色ヘッド組６２Ｂにおけるヘッド組ノズル列のＹ軸方向の長さに対応した幅となる。すなわち、区画走査領域１４１、区画走査領域１４２、及び区画走査領域１４３のＹ軸方向の配設ピッチは、赤色ヘッド組６２Ｒ、緑色ヘッド組６２Ｇ、及びは青色ヘッド組６２ＢのＹ軸方向の配設ピッチと略同じになる。
【０１１８】
図１５（ｃ）に示すように、最初の区画走査１では、青色ヘッド組６２Ｂによって区画走査領域１４１のフィルタ膜領域２２５Ｂに青色機能液２５２Ｂを配置する。
次に、区画走査２では、青色ヘッド組６２Ｂによって区画走査領域１４２のフィルタ膜領域２２５Ｂに青色機能液２５２Ｂを配置し、緑色ヘッド組６２Ｇによって区画走査領域１４１のフィルタ膜領域２２５Ｇに緑色機能液２５２Ｇを配置する。
次に、区画走査３では、青色ヘッド組６２Ｂによって区画走査領域１４３のフィルタ膜領域２２５Ｂに青色機能液２５２Ｂを配置し、緑色ヘッド組６２Ｇによって区画走査領域１４２のフィルタ膜領域２２５Ｇに緑色機能液２５２Ｇを配置し、赤色ヘッド組６２Ｒによって区画走査領域１４１のフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。
次に、区画走査４では、緑色ヘッド組６２Ｇによって区画走査領域１４３のフィルタ膜領域２２５Ｇに緑色機能液２５２Ｇを配置し、赤色ヘッド組６２Ｒによって区画走査領域１４２のフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。
次に、区画走査５では、赤色ヘッド組６２Ｒによって区画走査領域１４３のフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。
区画走査１から区画走査５を実施することによって、区画走査領域１４１、区画走査領域１４２、及び区画走査領域１４３におけるフィルタ膜領域２２５Ｒ、フィルタ膜領域２２５Ｇ、又はフィルタ膜領域２２５Ｂのそれぞれに、赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、又は青色機能液２５２Ｂが配置される。
【０１１９】
上記１から５の区画走査において、吐出走査の間に実施にする副走査における相対移動量は、上述した＜機能液配置＞と同様に、フィルタ膜領域２２５のＹ軸方向における配設ピッチである領域ピッチの整数倍である。したがって、それぞれの区画走査において実施される４回の吐出走査で、吐出を実施する吐出ノズル７８は固定であって、吐出実施配列は、それぞれの液滴吐出ヘッド１７において一定である。吐出実施配列が一定であることで、それぞれの吐出ノズル７８が近傍の吐出ノズル７８の駆動状態によって互いに及ぼされあう影響も一定である。したがって、近傍の吐出ノズル７８の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動はほとんどないため、吐出ノズル７８の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。
それぞれの区画走査において実施されるＹ軸方向にフィルタ膜領域２２５の領域ピッチの整数倍だけ移動する副走査が、第一の副走査に相当し、当該副走査の工程が、第一の副走査工程に相当する。
【０１２０】
上述したように、区画走査領域１４１、区画走査領域１４２、及び区画走査領域１４３は、赤色ヘッド組６２Ｒ、緑色ヘッド組６２Ｇ、又は青色ヘッド組６２Ｂにおけるヘッド組ノズル列のＹ軸方向の長さに対応した幅である。このため、区画走査１から区画走査５の間に実施する各区画副走査における相対移動量は、ヘッド組ノズル列のＹ軸方向の長さに対応した移動量であり、ノズル列におけるノズルピッチの整数倍の長さである。
ノズルピッチの整数倍だけ移動した区画副走査の後の吐出走査における吐出実施配列は、区画副走査の前の吐出走査における吐出実施配列とは異なる可能性が高い。このため、近傍の吐出ノズル７８の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動が発生する可能性が高い。当該影響を抑制するために、区画走査１から区画走査５のそれぞれの最初の吐出走査に先立って、個別の吐出ノズル７８について、駆動電圧などの駆動条件の調整を実施する。この場合の、区画副走査は、第二の副走査に相当し、当該区画副走査の工程は、第二の副走査工程に相当する。
【０１２１】
上記１から５の区画走査における一回目の吐出走査で機能液を配置する幅を、フィルタ膜領域２２５のＹ軸方向における配設ピッチである領域ピッチの整数倍とし、２から４回目の吐出走査においても機能液を配置する幅を同じ幅にすることで、区画走査領域のＹ軸方向の配設ピッチが、領域ピッチの整数倍となる。この場合は、区画副走査における相対移動量も領域ピッチの整数倍となるため、１から５の区画走査において、赤色ヘッド組６２Ｒ、緑色ヘッド組６２Ｇ、又は青色ヘッド組６２Ｂが吐出を実施する際に吐出を行う吐出ノズル７８の配列は、一定である。これにより、近傍の吐出ノズル７８の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動はほとんどないため、吐出ノズル７８の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。この場合の、区画副走査は、第一の副走査に相当し、当該区画副走査の工程は、第一の副走査工程に相当する。
【０１２２】
なお、より正確には、最初の区画走査１では、一回目、２回目、及び３回目の吐出走査においては、区画走査領域１４１における区画走査領域１４２側のフィルタ膜領域２２５Ｂで青色機能液２５２Ｂを配置できないフィルタ膜領域２２５Ｂが存在し、当該フィルタ膜領域２２５Ｂに規定量の青色機能液２５２Ｂが配置できない。しかし、次の区画走査２の一回目、２回目、及び３回目の吐出走査では、区画走査領域１４２に対向するノズル列における区画走査領域１４１側の吐出ノズル７８が、区画走査領域１４１の当該フィルタ膜領域２２５Ｂに対向する位置に在る。このため当該吐出ノズル７８を用いて、区画走査１においては規定量の青色機能液２５２Ｂを配置できなかったフィルタ膜領域２２５Ｂに対して、区画走査２において、規定量に対して不足していた青色機能液２５２Ｂを補充することができる。他の区画走査領域１４２や区画走査領域１４３についても同様であり、青色機能液２５２Ｂの他の機能液２５２についても同様である。
【０１２３】
以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）吐出走査の間の副走査では、副走査の前の吐出走査の位置からヘッドユニット１２０をＹ軸方向に領域ピッチＧＰだけ移動している。このため、当該副走査を挟んだ吐出走査において、吐出ノズル８１０に対向するフィルタ膜領域１２５の部分が、ほとんどの吐出ノズル８１０において同じになる。例えば、最初の吐出走査においてフィルタ膜領域１２５ａの端に対向していた吐出ノズル８４１は、後の吐出走査においてもフィルタ膜領域１２５ｂ、フィルタ膜領域１２５ｃ、又はフィルタ膜領域１２５ｄの端に対向している。したがって、吐出ノズル８４１は、いずれの吐出走査においても吐出を実施する。これにより、液滴吐出ヘッド１７３などの液滴吐出ヘッド１７０が有するノズル列において、吐出ノズル８１０の吐出実施配列を、いずれの吐出走査においても共通にすることができる。
【０１２４】
（２）４回の吐出走査において、吐出ノズル８１０の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。これにより、ＣＰＵ４４が駆動条件を求めるために必要となる時間や、ＣＰＵ４４などの吐出装置制御部６の負荷を抑制することができる。
【０１２５】
（３）区画副走査の後の吐出走査に際しては、吐出ノズル８１０の駆動電圧などの駆動条件の調整を実施する。ノズルピッチの整数倍だけ移動した区画副走査の後の吐出走査における吐出実施配列は、区画副走査の前の吐出走査における吐出実施配列とは異なる可能性が高いため、近傍の吐出ノズル８１０の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動が発生する可能性が高い。吐出ノズル８１０の駆動電圧などの駆動条件の調整を実施することで、当該吐出量の変動を抑制することができる。
【０１２６】
（４）１から５の区画走査において、吐出走査の間に実施にする副走査における相対移動量は、フィルタ膜領域２２５の領域ピッチの整数倍である。これにより、それぞれの区画走査において実施される４回の吐出走査で、吐出を実施する吐出ノズル７８を固定にして、それぞれの液滴吐出ヘッド１７における吐出実施配列を一定にすることができる。
【０１２７】
（５）１から５の区画走査において、それぞれの区画走査において実施される４回の吐出走査では、吐出ノズル７８の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。これにより、ＣＰＵ４４が駆動条件を求めるために必要となる時間や、ＣＰＵ４４などの吐出装置制御部６の負荷を抑制することができる。
【０１２８】
（６）区画走査１から区画走査５の間に実施する各区画副走査における相対移動量は、ヘッド組ノズル列のＹ軸方向の長さに対応した移動量であり、ノズル列におけるノズルピッチの整数倍の長さである。これにより、ヘッド組ノズル列が有する全ての吐出ノズルを用いると共に、各区画走査によって機能液が配置される区画走査領域を隙間なく形成することができる。
【０１２９】
（７）区画走査１から区画走査５のそれぞれの最初の吐出走査に先立って、個別の吐出ノズル７８について、駆動電圧などの駆動条件の調整を実施する。これにより、区画副走査における相対移動量がノズルピッチの整数倍の長さであるために吐出実施配列が変わることに起因して、吐出ノズル７８からの吐出量が変動することを抑制することができる。
【０１３０】
（第二の実施形態）
次に、電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置の一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、機能膜の一例である発光層及び正孔輸送層を形成する工程で用いられる製造方法及び製造装置を例に説明する。本実施形態において用いる液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１と基本的な構成は同一のものである。液滴吐出装置については、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１とは異なるヘッドユニットの構成について説明する。
【０１３１】
＜有機ＥＬ表示装置の構成＞
最初に、有機ＥＬ表示装置の構成について、図１６、図１７、及び図１８を参照して説明する。図１６は、有機ＥＬ表示装置の平面構成を示す概略正面図である。図１７は、有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図である。
図１６に示すように、有機ＥＬ表示装置３００は、発光素子である複数の有機ＥＬ素子３０７を有する素子基板３０１と、封止基板３０９とを備えている。有機ＥＬ素子３０７はいわゆるカラー素子であり、有機ＥＬ表示装置３００は、図１７に示すように、赤色素子３０７Ｒ（赤色系）、緑色素子３０７Ｇ（緑色系）、青色素子３０７Ｂ（青色系）の３色の有機ＥＬ素子３０７を有している。有機ＥＬ素子３０７は表示領域３０６に配置されており、当該表示領域３０６に画像が表示される。
【０１３２】
素子基板３０１上の３色の有機ＥＬ素子３０７は、図１７（ａ）、及び図１７（ｂ）に示すように、例えば、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁３１５によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば略方形状の領域に発光層３１７（図１８参照）などを形成することによって形成される。例えば、有機ＥＬ素子３０７を構成する正孔輸送層３１６（図１８参照）や発光層３１７の材料を含む機能液を隔壁３１５によって区画された画素領域３２１（図１８参照）に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、正孔輸送層３１６や発光層３１７を形成する。正孔輸送層３１６や発光層３１７が機能膜に相当し、正孔輸送層３１６や発光層３１７の材料を含む機能液が液状体に相当する。画素領域３２１が、機能膜区画に相当する。
【０１３３】
素子基板３０１は、各有機ＥＬ素子３０７に対応した位置に、駆動素子としての複数のスイッチング素子３１２（図１８参照）を備えている。スイッチング素子３１２は、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子である。また、封止基板３０９よりもひとまわり大きく、額縁状に張り出した部分には、スイッチング素子３１２を駆動する２つの走査線駆動回路部３０３と１つのデータ線駆動回路部３０４が設けられている。素子基板３０１の端子部３０１ａには、これらの走査線駆動回路部３０３、又はデータ線駆動回路部３０４と外部駆動回路とを接続するためのフレキシブルな中継基板３０８が実装されている。これらの走査線駆動回路部３０３、及びデータ線駆動回路部３０４は、例えば、予め素子基板３０１の表面に低温ポリシリコンの半導体層を形成して構成する。
【０１３４】
有機ＥＬ素子３０７の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、図１７（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の有機ＥＬ素子３０７になる配列である。モザイク配列は、図１７（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとに有機ＥＬ素子３０７一つ分だけ色をずらした配列で、３色有機ＥＬ表示装置の場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの有機ＥＬ素子３０７が３色となる配列である。そして、図１７では図示省略したデルタ配列は、有機ＥＬ素子３０７の配置を段違いにし、３色有機ＥＬ表示装置の場合、任意の隣接する３つの有機ＥＬ素子３０７が異なる色となる配列である。
【０１３５】
次に、有機ＥＬ表示装置３００の有機ＥＬ素子３０７の構成について説明する。図１８は、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図である。図１８に示すように、素子基板３０１は、ガラス基板３１０と、ガラス基板３１０の一方の表面上に形成された複数のスイッチング素子３１２と、スイッチング素子３１２を覆うように形成された絶縁層３１１と、絶縁層３１１上に形成されており、導通層３１４ａを介してスイッチング素子３１２と導通している複数の画素電極３１４と、複数の画素電極３１４の間に形成された隔壁３１５と、を有する。さらに、隔壁３１５によって区画された領域（以降、「画素領域３２１」と表記する。）の画素電極３１４上に形成された正孔輸送層３１６と、正孔輸送層３１６上に積層して形成された発光層３１７と、発光層３１７および隔壁３１５を覆うように設けられた対向電極３１８と、を有する。有機ＥＬ表示装置３００は、素子基板３０１の対向電極３１８に対向して封止基板３０９が配置され、対向電極３１８と封止基板３０９との間に不活性ガス３２０が封入されている。隔壁３１５によって区画された領域の画素電極３１４上に形成された正孔輸送層３１６、発光層３１７、対向電極３１８が、有機ＥＬ素子３０７に該当する。
【０１３６】
画素領域３２１に、赤色、緑色、又は青色の光をそれぞれ発光する、赤色発光層３１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層３１７Ｇ（緑色系）、又は青色発光層３１７Ｂ（青色系）を形成することで、赤色素子３０７Ｒ、緑色素子３０７Ｇ、又は青色素子３０７Ｂを形成する。赤色素子３０７Ｒ、緑色素子３０７Ｇ、青色素子３０７Ｂを各１個ずつ含む有機ＥＬ素子３０７の組で、画像を構成する最小単位である絵素を形成している。１絵素内の赤色素子３０７Ｒ、緑色素子３０７Ｇ、青色素子３０７Ｂのいずれか１つ又はそれらの組合せを選択的に発光させることにより、フルカラー表示を行う。
【０１３７】
＜有機ＥＬ素子の製造＞
次に、有機ＥＬ表示装置３００の素子基板３０１における、有機ＥＬ素子３０７を構成する正孔輸送層３１６及び発光層３１７の形成工程について、図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャートであり、図２０（ａ）乃至（ｅ）は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図である。
【０１３８】
図１９のステップＳ２１では、図２０（ａ）に示すように、スイッチング素子３１２と、絶縁層３１１と、導通層３１４ａと、画素電極３１４とが形成されたガラス基板３１０の表面に、隔壁３１５を形成する。隔壁３１５は、例えば、ガラス基板３１０の表面に隔壁３１５の材料を含む機能液を塗布し、乾燥させて隔壁膜を形成し、フォトエッチングなどで画素領域３２１などの部分を取り除くことで、形成する。
次に、図１９のステップＳ２２では、隔壁３１５が形成されたガラス基板３１０を洗浄する。
【０１３９】
次に、ステップＳ２３では、隔壁３１５が形成され洗浄されたガラス基板３１０を、配置された機能液が馴染み易くなるように、表面処理する。隔壁３１５に囲まれた画素領域３２１の底部と、隔壁３１５の側面とが、正孔輸送層３１６を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液である正孔輸送層材料液５６０に対して親液性となるように処理し、隔壁３１５の頂部は正孔輸送層材料液５６０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、画素領域３２１に充填されるべく配置された正孔輸送層材料液５６０が画素領域３２１に馴染み易くなると共に、画素領域３２１から溢れ出し難くなる。
【０１４０】
次に、ステップＳ２４では、正孔輸送層材料液５６０を配置する。図２０（ｂ）に示すように、隔壁３１５によって形成された複数の画素領域３２１のそれぞれに正孔輸送層３１６の材料を含む正孔輸送層材料液５６０を液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出し、画素領域３２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する。
より具体的には、正孔輸送層３１６を形成する画素領域３２１に順次液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が対向するように位置決めし、正孔輸送層材料液５６０を液滴５６０ａとして吐出して、画素領域３２１に着弾させる。画素領域３２１に所定の量の正孔輸送層材料液５６０を着弾させて、ステップＳ２４の正孔輸送層材料液配置工程を終了する。
【０１４１】
次に、図１９のステップＳ２５では、画素領域３２１に正孔輸送層材料液５６０が配置されたガラス基板３１０を減圧環境に投入し、正孔輸送層材料液５６０を乾燥させて、正孔輸送層３１６を形成する。なお、正孔輸送層材料液５６０は、厳密には、液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、正孔輸送層材料液５６０の溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して画素領域３２１に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ２５を終了して、図２０（ｃ）に示すように、正孔輸送層３１６が形成される。
【０１４２】
次に、図１９のステップＳ２６では、発光層材料液５７０を配置する。図２０（ｄ）に示したように、正孔輸送層３１６が形成された複数の画素領域３２１のそれぞれに発光層３１７の材料を含む発光層材料液５７０を液滴吐出ヘッド１７から液滴５７０ａとして吐出し、画素領域３２１の正孔輸送層３１６の上に発光層材料液５７０を配置する。勿論、異なる色の各発光層３１７が形成される各画素領域３２１に対しては、異なる発光層材料を含む発光層材料液５７０を吐出する。例えば、上述した３色の発光層によるカラー表示（図１７参照）であれば、赤色、緑色、又は青色の光を発光する、赤色発光層３１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層３１７Ｇ（緑色系）、又は青色発光層３１７Ｂ（青色系）をそれぞれ形成するべき画素領域３２１に向けて、それぞれの発光層３１７を形成する発光層形成材料を含む発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを液滴吐出ヘッド１７から吐出する。
【０１４３】
なお、正孔輸送層材料液５６０が画素領域３２１に馴染み易くなると共に画素領域３２１から溢れ出し難くなるようにステップＳ２３で実行した表面処理が、発光層材料液５７０については有効でない場合には、ステップＳ２６を実行する前に、ステップＳ２３で実行した処理と同様の表面処理を実行する。勿論、この場合に実行する処理は、発光層材料液５７０が画素領域３２１に馴染み易くなると共に画素領域３２１から溢れ出し難くなるようにする表面処理である。
発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂをそれぞれ配置するべきそれぞれの画素領域３２１に、所定の量の発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを着弾させて、ステップＳ２６の発光層材料液配置工程を終了する。
【０１４４】
次に、ステップＳ２７では、画素領域３２１に発光層材料液５７０が配置されたガラス基板３１０を減圧環境に投入し、発光層材料液５７０を乾燥させて、発光層３１７を形成する。なお、発光層材料液５７０は、厳密には、液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出された瞬間から乾燥を開始するが、発光層材料液５７０の溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して画素領域３２１に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ２７を終了して、図２０（ｅ）に示すように、発光層３１７が形成される。
【０１４５】
図２０（ｅ）に示すように、発光層３１７を形成して、正孔輸送層３１６及び発光層３１７の形成工程を終了する。さらに、対向電極３１８を形成する工程を実行して、素子基板３０１を形成する。さらに、封止基板３０９を取付け、上述した中継基板３０８等を実装して、有機ＥＬ表示装置３００を形成する。
【０１４６】
＜機能液配置−３＞
次に、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、機能膜区画に機能液を配置する工程の他の例について、図２１を参照して説明する。本工程の例は、表示領域３０６の画素領域３２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する工程である。図２１は、機能液を配置する工程における画素領域と吐出を実行する液滴吐出ヘッドの配置との関係を示す説明図である。図２１（ａ）は、ヘッドユニット群の概略構成を示す平面図であり、図２１（ｂ）は、マザー素子基板を示す平面図である。
【０１４７】
《ヘッドユニット群》最初に、ヘッドユニット群１５０について説明する。図２１（ａ）に示したように、ここで説明する液滴吐出装置のヘッド機構部は、ヘッドユニット１５１を９個有するヘッドユニット群１５０を備えている。ヘッドユニット１５１は、上述したヘッドユニット２１と同様の構成であって、９個の液滴吐出ヘッド１７を備えている。９個のヘッドユニット１５１は、上述したＹ軸テーブル１２と同様のＹ軸テーブルによってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。９個のヘッドユニット１５１の移動又は保持は、それぞれのヘッドユニット１５１ごとに独立して行うことも可能であり、２乃至９個を一体にして行うことも可能である。これにより、ヘッドユニット１５１間のＹ軸方向の距離を調整することができる。図２１（ａ）に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられるのと同様にヘッドユニット群１５０が液滴吐出装置に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と同様の方向を示している。
【０１４８】
上述したように、一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組６２における９個の液滴吐出ヘッド１７が有する１８本のノズル列７８Ａは、１本のユニットノズル列として扱うことができる。ヘッドユニット１５１においても同様に、１本のユニットノズル列として扱うことができる。
ヘッドユニット群１５０において、隣り合うヘッドユニット１５１は、それぞれのユニットノズル列が、互いにＹ軸方向に、ユニットノズル列における１ノズルピッチ（ノズル列７８Ａにおけるノズルピッチの１／２）の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。１ノズルピッチの間隔は、より正確には、隣り合うユニットノズル列の端の吐出ノズル７８どうしの中心間距離が１ノズルピッチとなる間隔である。ヘッドユニット１５１は、当該間隔まで近接させて配置できることが、ヘッドユニット２１と異なっている。
ヘッドユニット群１５０が備える９個のヘッドユニット１５１を一体にして移動させることで、９個のヘッドユニット１５１における８１個の液滴吐出ヘッド１７が有する１６２本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うことができる。当該ノズル列を、「ユニット群ノズル列１５２」と表記する。ユニット群ノズル列１５２は、例えば１８０個の１６２倍、２９１６０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２０４１．１ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット群１５０の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、２９１６０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【０１４９】
《マザー素子基板》次に、マザー素子基板３１０Ａについて、説明する。素子基板３０１は、分割されることによってガラス基板３１０となるマザー素子基板３１０Ａの上に上述した有機ＥＬ素子３０７などを形成した後、マザー素子基板３１０Ａを個別の素子基板３０１（ガラス基板３１０）に分割して形成される。図２１（ｂ）には、ガラス基板３１０となる部分及び表示領域３０６が形成される部分を示している。図２１（ｂ）に示すように、マザー素子基板３１０Ａからは、２５個の素子基板３０１が形成される。なお、本実施形態においては、マザー素子基板３１０Ａの上の表示領域３０６に有機ＥＬ素子３０７などを形成したものや、有機ＥＬ素子３０７などを形成する途中の状態のものも、マザー素子基板３１０Ａと表記する。
マザー素子基板３１０Ａにおけるガラス基板３１０となる部分及び表示領域３０６の位置は、表示領域３０６のＹ軸方向における配設ピッチが、表示領域３０６に形成される画素領域３２１のＹ軸方向の領域ピッチの整数倍となる位置に設定されている。
マザー素子基板３１０Ａのガラス基板３１０となる領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、有機ＥＬ素子３０７などを形成する諸工程を実行するためにマザー素子基板３１０Ａを、液滴吐出装置などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【０１５０】
《マザー素子基板への機能液の配置》次に、ヘッドユニット群１５０を用いて、マザー素子基板３１０Ａの画素領域３２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する工程について説明する。図２１（ａ）及び図２１（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向において、ヘッドユニット群１５０が有するユニット群ノズル列１５２の長さは、マザー素子基板３１０ＡにおいてＹ軸方向に５個が配列されている画素領域３２１の幅より長くなっている。このため、一回の吐出走査で、マザー素子基板３１０Ａの上に２５個が配列されている画素領域３２１の全てに正孔輸送層材料液５６０を配置することが可能である。
【０１５１】
例えば、上述した＜機能液配置＞において説明したように、４回の吐出走査によって、画素領域３２１に、所定量の正孔輸送層材料液５６０が配置される。この場合、副走査における相対移動量を適宜定めることで、４回の吐出走査及び３回の副走査を実施して、マザー素子基板３１０Ａの上の全ての画素領域３２１に、所定量の正孔輸送層材料液５６０が配置される。この条件を満たす副走査における相対移動量は、３回の副走査における相対移動量とマザー素子基板３１０Ａ上の５個の画素領域３２１のＹ軸方向の幅とを加えた値がユニット群ノズル列１５２の長さを超えない値である。これにより、マザー素子基板３１０Ａ上の全ての画素領域３２１が、上述した＜機能液配置＞において説明した一個所の区画走査領域に入り、一回の区画走査でマザー素子基板３１０Ａの上の全ての画素領域３２１に、所定量の正孔輸送層材料液５６０が配置される。一回の区画走査に含まれる３回の副走査における相対移動量は、それぞれ画素領域３２１のＹ軸方向の配設ピッチである領域ピッチの整数倍である。
一回の区画走査で全ての画素領域３２１に、所定量の正孔輸送層材料液５６０が配置されるため、次の区画走査領域に臨む位置まで相対移動させる区画副走査は実施しない。したがって、副走査における相対移動量は、全ての副走査において領域ピッチの整数倍である。
このように、ヘッドユニット群１５０を用いてマザー素子基板３１０Ａの画素領域３２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する場合には、副走査における相対移動量は、全ての副走査において領域ピッチの整数倍である。
【０１５２】
＜機能液配置−４＞
次に、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、機能膜区画に機能液を配置する工程の他の例について、図２２を参照して説明する。本工程の例は、表示領域３０６の画素領域３２１に発光層材料液５７０を配置する工程である。図２２は、発光層材料液を配置する工程における表示領域と吐出を実行する液滴吐出ヘッドの配置との関係を示す説明図である。図２２（ａ）は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図であり、図２２（ｂ）は、表示領域における区画走査領域を示す平面図であり、図２２（ｃ）は、区画走査領域ごとの吐出を実施するヘッド組の表である。
【０１５３】
図２２（ａ）に示したヘッドユニット１６０Ａは、３個のヘッド組ユニット１６０を備えている。ヘッド組ユニット１６０は、キャリッジプレート１６１と、キャリッジプレート１６１に搭載された３個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。当該３個の液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドユニット２１におけるヘッド組６２に相当し、ヘッドユニット２１における１組のヘッド組６２における３個の液滴吐出ヘッド１７と同じ位置関係及び取付け構造で、キャリッジプレート１６１に固定されている。ヘッド組ユニット１６０は、上述したＹ軸テーブル１２と同様のＹ軸テーブルによってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。図２２（ａ）に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態と同様にヘッドユニット１６０Ａが液滴吐出装置に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１５４】
ヘッドユニット１６０Ａは、３色のカラーフィルタに対応する３種類の機能液を配置する構成であって、３個のヘッド組ユニット１６０は、それぞれ赤色ヘッド組１６２Ｒを備えるヘッド組ユニット１６０Ｒと、緑色ヘッド組１６２Ｇを備えるヘッド組ユニット１６０Ｇと、青色ヘッド組１６２Ｂを備えるヘッド組ユニット１６０Ｂと、である。
赤色ヘッド組１６２Ｒは、赤色発光層３１７Ｒを形成する材料を含む発光層材料液５７０Ｒを吐出する赤色吐出ヘッド１７１Ｒで構成されている。赤色ヘッド組１６２Ｒは、３個の赤色吐出ヘッド１７１Ｒを備えている。緑色ヘッド組１６２Ｇは、緑色発光層３１７Ｇを形成する材料を含む発光層材料液５７０Ｇを吐出する緑色吐出ヘッド１７１Ｇで構成されている。緑色ヘッド組１６２Ｇは、３個の緑色吐出ヘッド１７１Ｇを備えている。青色ヘッド組１６２Ｂは、青色発光層３１７Ｂを形成する材料を含む発光層材料液５７０Ｂを吐出する青色吐出ヘッド１７１Ｂで構成されている。
【０１５５】
上述したように、ヘッドユニット１６０Ａにおける赤色ヘッド組１６２Ｒを備えるヘッド組ユニット１６０Ｒと、緑色ヘッド組１６２Ｇを備えるヘッド組ユニット１６０Ｇと、青色ヘッド組１６２Ｂを備えるヘッド組ユニット１６０Ｂとは、Ｙ軸方向に独立して移動させることも可能であり、相互の距離を調整することができる。ヘッドユニット１６０Ａにおける赤色ヘッド組１６２Ｒと、緑色ヘッド組１６２Ｇと、青色ヘッド組１６２Ｂとの位置関係は、ヘッドユニット１２１における赤色ヘッド組６２Ｒと、緑色ヘッド組６２Ｇと、青色ヘッド組６２Ｂとの位置関係と、Ｙ軸方向における互いの距離を調整できることのみが異なっている。
ヘッド組ユニット１６０Ｒとヘッド組ユニット１６０Ｇとヘッド組ユニット１６０ＢとをＹ軸方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構、及び移動量を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と制御信号にしたがって移動機構を駆動する駆動機構ドライバ４０ｄとが、ノズル列間隔調整手段に相当する。
ヘッド組１６２が有するヘッド組ノズル列の両端の吐出ノズル７８の中心間距離をノズル列長ＵＬと表記する。図２２（ａ）に示したヘッドユニット１６０Ａにおいて、ヘッド組１６２が有するヘッド組ノズル列の配設ピッチをノズル列ピッチＵＰと表記する。
【０１５６】
吐出走査は、赤色ヘッド組１６２Ｒ、緑色ヘッド組１６２Ｇ、又は青色ヘッド組１６２Ｂの単位で実施する。Ｘ軸方向の略同じ位置に液滴を着弾させるノズル列は、ヘッド組ユニット１６０が備えるヘッド組１６２が有するヘッド組ノズル列である。図２２（ｂ）に示すように、区画走査領域１６６、区画走査領域１６７、及び区画走査領域１６８は、ノズル列ピッチＵＰに対応した幅となる。
【０１５７】
図２２（ｃ）に示すように、最初の区画走査１では、青色ヘッド組１６２Ｂによって区画走査領域１６６における青色発光層３１７Ｂを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｂを配置する。
次に、区画走査２では、青色ヘッド組１６２Ｂによって区画走査領域１６７における青色発光層３１７Ｂを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｂを配置し、緑色ヘッド組１６２Ｇによって区画走査領域１６６における緑色発光層３１７Ｇを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｇを配置する。
次に、区画走査３では、青色ヘッド組１６２Ｂによって区画走査領域１６８における青色発光層３１７Ｂを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｂを配置し、緑色ヘッド組１６２Ｇによって区画走査領域１６７における緑色発光層３１７Ｇを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｇを配置し、赤色ヘッド組１６２Ｒによって区画走査領域１６６における赤色発光層３１７Ｒを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｒを配置する。
次に、区画走査４では、緑色ヘッド組１６２Ｇによって区画走査領域１６８における緑色発光層３１７Ｇを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｇを配置し、赤色ヘッド組１６２Ｒによって区画走査領域１６７における赤色発光層３１７Ｒを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｒを配置する。
次に、区画走査５では、赤色ヘッド組１６２Ｒによって区画走査領域１６８における赤色発光層３１７Ｒを形成する画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｒを配置する。
区画走査１から区画走査５を実施することによって、区画走査領域１６６、区画走査領域１６７、及び区画走査領域１６８における画素領域３２１のそれぞれに、発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂが配置される。
【０１５８】
なお、ノズル列ピッチＵＰの大きさによっては、最初の区画走査１では、一回目、２回目、及び３回目の吐出走査においては、区画走査領域１６６における区画走査領域１６７側の画素領域３２１で発光層材料液５７０Ｂを配置できない画素領域３２１が存在し、当該画素領域３２１に規定量の発光層材料液５７０Ｂが配置できない場合がある。しかし、次の区画走査２の一回目、２回目、及び３回目の吐出走査において、区画走査領域１６７に対向するノズル列における区画走査領域１６６側の吐出ノズル７８が当該画素領域３２１に対向する位置に在る。このため、当該吐出ノズル７８を用いて、区画走査領域１６６において、区画走査１では規定量の発光層材料液５７０Ｂが配置できなかった画素領域３２１に対して、区画走査２において、規定量に対して不足していた発光層材料液５７０Ｂを補充することができる。他の区画走査領域１６７や区画走査領域１６８についても同様であり、発光層材料液５７０Ｂの他の発光層材料液５７０についても同様である。
ノズル列ピッチＵＰは可変であるため、ノズル列ピッチＵＰの大きさを、最初の区画走査１の、一回目、２回目、及び３回目の吐出走査においても、発光層材料液５７０を配置できない画素領域３２１が存在しない値に設定することもできる。
【０１５９】
上述した＜機能液配置＞と同様に、上記１から５の区画走査におけける一回目の吐出走査で機能液を配置する幅を、画素領域３２１のＹ軸方向の配設ピッチである領域ピッチの整数倍とし、２から４回目の吐出走査においても発光層材料液５７０を配置する幅を同じ幅にすることで、区画走査領域のＹ軸方向の幅が、領域ピッチの整数倍となる。この場合は、近傍の吐出ノズル７８の駆動状態が変動することの影響による吐出量の変動はほとんどないため、吐出ノズル７８の駆動電圧などの駆動条件は、調整を実施することなく、一定の駆動条件を維持する。この場合の、区画副走査は、第一の副走査に相当し、当該区画副走査の工程は、第一の副走査工程に相当する。
【０１６０】
上述したように、区画走査領域１６６、区画走査領域１６７、及び区画走査領域１６８は、ノズル列ピッチＵＰに対応した幅である。ノズル列ピッチＵＰを画素領域３２１のＹ軸方向の配設ピッチである領域ピッチの整数倍にすることで、区画走査１から区画走査５の間に実施する各区画副走査における相対移動量は、領域ピッチの整数倍となる。
このように、ヘッドユニット１６０Ａを用いてマザー素子基板３１０Ａの画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、及び発光層材料液５７０Ｂを配置する場合には、副走査における相対移動量は、全ての副走査において領域ピッチの整数倍である。
【０１６１】
以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ヘッドユニット群１５０を用いて、マザー素子基板３１０Ａの画素領域３２１に機能液を配置する際は、副走査における相対移動量は、全ての副走査において領域ピッチの整数倍である。これにより、吐出走査における吐出実施配列を、ユニット群ノズル列１５２を構成する大部分の液滴吐出ヘッド１７のノズル列において、一定にすることができる。なお、吐出実施配列が一定にならないノズル列は、４回の吐出走査の中で、表示領域３０６間に対向するために吐出を実施しない場合がある吐出ノズル７８を含むノズル列である。
【０１６２】
（２）表示領域３０６のＹ軸方向における配設ピッチが、画素領域３２１の領域ピッチの整数倍となっている。これにより、副走査における相対移動量が領域ピッチの整数倍であることによって、吐出ノズル７８が対向する表示領域３０６が変わっても、当該吐出ノズル７８が対向している画素領域３２１における当該吐出ノズル７８が臨む位置を略同一にすることができる。
【０１６３】
（３）ヘッドユニット１６０Ａにおける赤色ヘッド組１６２Ｒを備えるヘッド組ユニット１６０Ｒと、緑色ヘッド組１６２Ｇを備えるヘッド組ユニット１６０Ｇと、青色ヘッド組１６２Ｂを備えるヘッド組ユニット１６０Ｂとは、Ｙ軸方向に独立して移動させることが可能であり、相互の距離を調整することができる。これにより、それぞれのヘッド組が有するヘッド組ノズル列間のノズル列ピッチを調整することができる。
【０１６４】
（４）ノズル列ピッチＵＰを画素領域３２１のＹ軸方向の配設ピッチである領域ピッチの整数倍にすることで、区画走査１から区画走査５の間に実施する各区画副走査における相対移動量を、領域ピッチの整数倍にすることができる。これにより、ヘッドユニット１６０Ａを用いてマザー素子基板３１０Ａの画素領域３２１に発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、及び発光層材料液５７０Ｂを配置する場合には、副走査における相対移動量を、全ての副走査において領域ピッチの整数倍にすることができる。
【０１６５】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１６６】
（変形例１）前記実施形態においては、複数の液滴吐出ヘッド１７を組合せたヘッドユニット２１などのヘッドユニットを用いて印刷幅の広いノズル列を構成していたが、ノズル列を多数の液滴吐出ヘッドを用いて構成することは必須ではない。例えば、ヘッドユニット群１５０のユニット群ノズル列１５２と同等の長さのノズル列を備える単一の液滴吐出ヘッドを用いてもよい。
ノズル列を単一の液滴吐出ヘッドを用いて形成する構成は、多数の液滴吐出ヘッドを用いて形成する構成に比べて、キャリッジなどが１個ですみ、液滴吐出ヘッド相互の位置合せが不要など、ヘッドユニットの構成が簡単であり、ヘッドユニットの制御が簡単になるという利点を有する。
一方、ノズル列を複数の液滴吐出ヘッドを用いて形成する構成は、個別の液滴吐出ヘッドが小型で作りやすいという利点や、ノズル列の部分を個別の液滴吐出ヘッドの単位で交換可能であるという利点などを有する。
【０１６７】
（変形例２）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１や、ヘッドユニット群１５０において、Ｙ軸方向において隣り合う液滴吐出ヘッド１７は、それぞれの一番端の吐出ノズル７８が１ノズルピッチ（ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチＰの１／２）の中心間距離を隔てて配設される構成であった。しかし、吐出量が安定しやすい中央側の吐出ノズルを使用して、液滴吐出ヘッド単体におけるノズル列の端の幾つかの吐出ノズルは吐出させない使用方法もある。そのような使用方法を用いる場合には、使用する吐出ノズルにおける一番端の吐出ノズルが１ノズルピッチの中心間距離を隔てて配設される構成とすることが好ましい。
【０１６８】
（変形例３）前記第二の実施形態においては、＜機能液配置−３＞において、ヘッドユニット群１５０を用いて、正孔輸送層材料液５６０を配置する例を説明したが、一回の区画走査で基材の全面に液状体を配置できるような長さのノズル列を用いて複数種類の液状体を並行して配置してもよい。ヘッドユニット群１５０を用いて、例えば赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、及び青色機能液２５２Ｂを並行して配置してもよい。同一種類の機能液を吐出する単位としては、ヘッドユニット群１５０にあっては、隣り合う３個のヘッドユニット１５１や、個別のヘッドユニット１５１や、３個の液滴吐出ヘッド１７からなるヘッド組や、個別の液滴吐出ヘッド１７などを用いることができる。
同一種類の機能液を吐出する単位として、隣り合う３個のヘッドユニット１５１や、個別のヘッドユニット１５１を用いると、３個のヘッドユニット１５１や個別のヘッドユニット１５１が構成するノズル列間のノズル列ピッチを調整して、ノズル列ピッチを機能膜ピッチの整数倍にすることもできる。
【０１６９】
（変形例４）前記実施形態においては、一回の区画走査あたり、４回の吐出走査と３回の副走査とを実施していたが、一回の区画走査あたりの吐出走査の回数は何回であってもよい。一回の吐出走査で全ての機能膜区画に充分な量の液状体を配置することが可能であって、区画副走査を必要とする機能液配置であれば、一回の区画走査あたりの吐出走査の回数は一回であっても、上述した製造方法のいずれかを適用することができる。
【０１７０】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐出する構成であったが、液滴吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体を供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。
【０１７１】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。
【０１７２】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１は９個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、９個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。
【０１７３】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１個のヘッドユニット２１を備えており、ヘッドユニット群１５０を備える液滴吐出装置は９個のヘッドユニット１５１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは１個又は９個に限らない。液滴吐出装置は、何個のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【０１７４】
（変形例９）前記実施形態においては、一個所の区画走査領域に対する一回の区画走査（４回の吐出走査及び３回の副走査）を全て実施してから区画副走査を実施していたが、区画副走査の間に区画走査を完結することは必須ではない。区画走査における副走査と、区画副走査とはどのような順番で実施してもよい。
例えば、最初に一回の吐出走査と区画副走査とを繰り返して、基材における全ての区画走査領域について、一回ずつ吐出走査を実施して、次に、各区画走査領域ごとに残りの吐出走査を副走査を挟んで実施する方法であってもよい。全ての区画走査領域に一旦液状体を配置することで、区画走査領域の境界に位置する機能膜区画においても、機能膜区画内の区画走査領域の境界を挟んだ位置ごとに液状体が配置される時点が異なることを抑制することができる。２分された液状体が配置された時点が異なることに起因して乾燥の進行状態が異なると、均一な膜が形成され難くなる可能性がある。
【０１７５】
（変形例１０）前記第一の実施形態においては、ノズル列における吐出を実施する吐出ノズルの配列が変わらない副走査における相対移動量として、相対移動量が機能膜ピッチとしての領域ピッチＧＰである例について説明したが、当該相対移動量が機能膜ピッチであることは必須ではない。ノズル列における吐出を実施する吐出ノズルの配列を変えないためには、副走査における相対移動量は、機能膜ピッチの整数倍であればよい。
【０１７６】
（変形例１１）前記実施形態においては、副走査における相対移動量は、領域ピッチの整数倍又はノズルピッチの整数倍であったが、副走査における領域ピッチの整数倍の相対移動量以外の相対移動量がノズルピッチの整数倍であることは必須ではない。副走査における領域ピッチの整数倍の相対移動量以外の相対移動量は、液状体を配置する領域に効率良く吐出ノズルを対向させることができるような相対移動量であればどのような相対移動量であってもよい。
【０１７７】
（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２３をＸ軸方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット２１をＹ方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。他の例においても、吐出走査における相対移動を基材側を移動させることで実施し、副走査における相対移動をノズル列を有する液滴吐出ヘッド側を移動させることで実施していた。しかし、ノズル列を備える液滴吐出ヘッドと基材との、吐出走査における相対移動を基材を移動させることで実施することも、副走査における相対移動を液滴吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
液滴吐出ヘッドと基材との吐出走査における相対移動を、液滴吐出ヘッドを吐出走査の方向に移動させることで実施してもよい。液滴吐出ヘッドと基材との副走査方向の相対移動を、基材を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、液滴吐出ヘッドと基材との、吐出走査方向及び副走査方向の相対移動を、液滴吐出ヘッド、又は基材のどちらか一方を、吐出走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、液滴吐出ヘッド、及び基材の両方を、吐出走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。
【０１７８】
（変形例１３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、液滴吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。上述した電気光学装置の製造方法において用いる液滴吐出ヘッド、又は電気光学装置の製造装置が備える液滴吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。
【０１７９】
（変形例１４）前記実施形態においては、液状体を配置する機能膜区画としてのフィルタ膜領域２２５や画素領域３２１は、平面視略方形状の領域であったが、液状体を配置する領域の形状が略方形状であることは必須ではない。液状体を配置する領域の形状は、方形状とは異なる多角形や、長円形や、円形や、多角形の角を曲線にした形状や、曲率が異なる複数の曲線で構成された形状や、これらの形状の一部が欠かれた形状などであってもよい。
【０１８０】
（変形例１５）前記実施形態においては、液滴吐出装置を使用して機能液を配置する対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００及び有機ＥＬ表示装置３００において、フィルタ膜２０５又は正孔輸送層３１６や発光層３１７を形成する際の描画吐出について説明した。しかし、機能液を配置する対象物の電気光学装置は、液晶装置や有機ＥＬ装置に限らない。機能液を配置する対象物の電気光学装置は、上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある電気光学装置であれば、どのような電気光学装置であってもよく、プラズマ型表示装置など、他の電気光学装置であってもよい。
【０１８１】
（変形例１６）前記第二の実施形態においては、有機ＥＬ素子３０７は、正孔輸送層３１６と発光層３１７とが、画素電極３１４と対向電極３１８とに挟まれた構成であったが、有機ＥＬ素子は、このような構成に限らない。有機ＥＬ素子は、発光層のみが画素電極と対向電極とに挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層と電子注入層とが挟まれた構成のものなどが知られている。前記実施形態に記載した電気光学装置の製造方法及び電気光学装置の製造装置は、これらの電子輸送層や正孔注入層や電子注入層の形成にも適用することができる。
【０１８２】
（変形例１７）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。
【０１８３】
（変形例１８）前記第一の実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるカラーフィルタであるＣＦ層２０８について説明したが、上述した膜形成方法を用いて好適に製造できるカラーフィルタは、液晶表示装置のカラーフィルタに限らない。前記実施形態に記載した電気光学装置の製造方法及び電気光学装置の製造装置を用いることで、無色又は有色の光を発光する発光層と組合せてカラー有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置用のカラーフィルタも好適に製造することができる。
【０１８４】
（変形例１９）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタを用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であったが、駆動素子はＴＦＴ素子に限らない。他の駆動素子、例えば薄膜ダイオード（ＴＦＤ（Thin Film Diode））を備える液晶装置であってもよい。液晶の配向方式は、垂直配向であっても、水平配向であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１８５】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図５】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図６】（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図。（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図。
【図７】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図８】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図９】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図１０】３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。
【図１１】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１２】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１３】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１４】機能液を配置する工程におけるフィルタ膜領域と吐出を実行する吐出ノズルの配置との関係を示す説明図。
【図１５】機能液を配置する工程におけるＣＦ層の領域と吐出を実行する液滴吐出ヘッドの配置との関係を示す説明図。
【図１６】有機ＥＬ表示装置の平面構成を示す概略正面図。
【図１７】有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図。
【図１８】有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図。
【図１９】素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャート。
【図２０】素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図。
【図２１】機能液を配置する工程における画素領域と吐出を実行する液滴吐出ヘッドの配置との関係を示す説明図。
【図２２】発光層材料液を配置する工程における表示領域と吐出を実行する液滴吐出ヘッドの配置との関係を示す説明図。
【符号の説明】
【０１８６】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、２１，１２０，１２１，１５１…ヘッドユニット、４４…ＣＰＵ、６２…ヘッド組、７８…吐出ノズル、１４１，１４２，１４３…区画走査領域、１５０…ヘッドユニット群、１５２…ユニット群ノズル列、１６０，１６０Ｂ，１６０Ｇ，１６０Ｒ…ヘッド組ユニット、１６０Ａ…ヘッドユニット、１６２…ヘッド組、１６６，１６７，１６８…区画走査領域、１７０，１７２，１７３，１７４，１７５…液滴吐出ヘッド、２００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５…フィルタ膜、２２５…フィルタ膜領域、１２５，２５２…機能液、３００…有機ＥＬ表示装置、３０１…素子基板、３０７…有機ＥＬ素子、３１０…ガラス基板、３１０Ａ…マザー素子基板、３１６…正孔輸送層、３１７…発光層、３２１…画素領域、５６０…正孔輸送層材料液、５７０…発光層材料液、８１０…吐出ノズル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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