(57)【要約】【課題】接触位置における温度を安定させて接着不良などを防止することができるヒートローラ、シート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】接触ローラ４２の外部に加熱装置４３を設けたので、この加熱装置４３で加熱した時点で所定温度となるようにヒータ４６の加熱温度を適宜に設定すればよいため、温度制御が容易となり、安定した温度で接着シートＳを加熱することができ、接着シートＳの接着不良などを防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱体に接触しつつその表面に沿って転動して当該被加熱体を加熱する接触ローラと、
前記接触ローラの外部に位置して当該接触ローラを加熱する加熱手段とを備えることを特徴とするヒートローラ。
【請求項２】
前記加熱手段には、前記被加熱体の外形形状に応じて前記接触ローラの加熱領域を拡大または縮小させる加熱領域調節手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のヒートローラ。
【請求項３】
前記加熱手段は、前記接触ローラに対して離間接近可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のヒートローラ。
【請求項４】
被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記被着体に前記接着シートを押圧して貼付する貼付手段とを備え、
前記貼付手段は、
前記接着シートに接触しつつその表面に沿って転動して当該接着シートを加熱する接触ローラと、
前記接触ローラの外部に位置して当該接触ローラを加熱する加熱手段とを有して構成されることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項５】
前記繰出手段は、剥離シートに仮着された前記接着シートを繰り出すものであって、
前記接着シートから前記剥離シートを剥離する剥離手段を備えることを特徴とする請求項４に記載のシート貼付装置。
【請求項６】
前記貼付手段は、前記接触ローラの外周温度を検出する温度検出手段を有し、この温度検出手段の検出結果に基づいて前記加熱手段の温度を制御することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のシート貼付装置。
【請求項７】
前記貼付手段は、前記接触ローラが接触する直前領域における前記接着シートの電位を検出する帯電検出手段と、この帯電検出手段の検出結果に基づいて極性が逆の電荷を帯びたイオンを前記接触ローラに付与する除電手段とを有することを特徴とする請求項４から請求項６のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項８】
前記加熱手段には、前記接触ローラに向かって温風を送出する送風手段が設けられていることを特徴とする請求項４から請求項７のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項９】
被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記接着シートを繰り出す工程と、
前記被着体に前記接着シートを接触ローラで押圧して貼付する貼付工程とを備え、
前記貼付工程において、前記接触ローラの外部から当該接触ローラを加熱し、加熱した接触ローラで前記接着シートを加熱することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヒートローラ、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被加熱体を加熱しつつ押圧するヒートローラが利用されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のヒートローラは、その内部に設けられた熱源であるヒータ膜で加熱され、その熱によって未定着トナーを加熱して記録紙に定着させるように利用される。
一方、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという）の表面にダイボンディング用等の感熱接着性の接着シートを貼付するシート貼付装置が用いられており、このシート貼付装置において、接着シートを加熱して押圧する手段として、前述のようなヒートローラが利用されることもある。
【０００３】
【特許文献１】特公平５−５５０３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載されたようなヒートローラでは、その外周の所定領域を被加熱体に接触させて熱を伝達するため、伝達した後には当該領域の温度が一時的に低下し、ヒートローラが１回転する間に当該領域の温度を所定値まで戻す必要がある。しかし、ヒータ膜等の熱源を内蔵したヒートローラでは、１回転する間に所定温度まで戻るように熱源の温度管理を行うことが難しく、接触領域の温度が所定値に達しなければ接着シートの接着不良を招き、熱源の容量を大きくすると所定温度を上回ってしまう等の不具合が発生する可能性がある。
【０００５】
本発明は、以上のような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接触位置における温度を安定させて接着不良などを防止することができるヒートローラ、シート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明のヒートローラは、被加熱体に接触しつつその表面に沿って転動して当該被加熱体を加熱する接触ローラと、前記接触ローラの外部に位置して当該接触ローラを加熱する加熱手段とを備える、という構成を採用している。
この際、本発明のヒートローラでは、前記加熱手段には、前記被加熱体の外形形状に応じて前記接触ローラの加熱領域を拡大または縮小させる加熱領域調節手段が設けられていることが好ましい。
さらに、本発明のヒートローラでは、前記加熱手段は、前記接触ローラに対して離間接近可能に設けられていることが好ましい。
【０００７】
また、本発明のシート貼付装置は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記被着体に前記接着シートを押圧して貼付する貼付手段とを備え、前記貼付手段は、前記接着シートに接触しつつその表面に沿って転動して当該接着シートを加熱する接触ローラと、前記接触ローラの外部に位置して当該接触ローラを加熱する加熱手段とを有して構成される、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記繰出手段は、剥離シートに仮着された前記接着シートを繰り出すものであって、前記接着シートから前記剥離シートを剥離する剥離手段を備えることが好ましい。
さらに、前記貼付手段は、前記接触ローラの外周温度を検出する温度検出手段を有し、この温度検出手段の検出結果に基づいて前記加熱手段の温度を制御することが好ましい。
また、前記貼付手段は、前記接触ローラが接触する直前領域における前記接着シートの電位を検出する帯電検出手段と、この帯電検出手段の検出結果に基づいて極性が逆の電荷を帯びたイオンを前記接触ローラに付与する除電手段とを有することが好ましい。
さらに、前記加熱手段には、前記接触ローラに向かって温風を送出する送風手段が設けられていることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記被着体を保持する工程と、前記接着シートを繰り出す工程と、前記被着体に前記接着シートを接触ローラで押圧して貼付する貼付工程とを備え、前記貼付工程において、前記接触ローラの外部から当該接触ローラを加熱し、加熱した接触ローラで前記接着シートを加熱することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、接触ローラの外部に設けた加熱手段で接触ローラを加熱することで、この加熱する領域の温度を所定値に設定しやすくなり、被加熱体（接着シート）に接触する位置での温度を安定させることができる。すなわち、従来のような内部に熱源を有するヒートローラでは、温度が低下してから１回転する間に徐々に温度を上昇させ、ちょうど１回転した時点で所定温度となるように熱源の温度を設定しなければならない。これに対して本発明では、接触ローラの外部に加熱手段が設けられているので、この加熱手段で加熱した時点で所定温度となるように加熱手段の温度を設定すればよいため、温度制御が容易となり、安定した温度で被加熱体を加熱することができ、接着シートの接着不良などを防止することができる。
また、加熱手段に設けた加熱領域調節手段によって、接触ローラの加熱領域を拡大または縮小させる構成によれば、被加熱体の外形形状に応じた所定の領域を加熱することで、加熱する必要のない領域を加熱しないようにでき、加熱に要するエネルギーの節約を図ることができる。
さらに、接触ローラに対して加熱手段を離間接近可能に設ければ、接触ローラを急激に加熱する必要がある場合には加熱手段を接近させ、接触ローラの温度上昇を抑える必要がある場合には加熱手段を離間させることで、接触ローラの温度をさらに緻密に制御することができる。また、加熱手段の温度を上昇させたり下降させたりして接触ローラの温度制御する場合と比較して、加熱手段を離間接近させる構成の方が容易に制御でき、特に、接触ローラの温度を下げる場合には、加熱手段を離間させることが有効である。
【００１１】
また、貼付手段に温度検出手段が設けられていれば、温度検出手段で検出した接触ローラの外周温度に基づいて加熱手段の温度を正確に制御することができ、より一層適切な温度管理を行うことができる。
さらに、貼付手段に帯電検出手段および除電手段が設けられていれば、接着シートを貼付するのと同時に除電することができ、工程の短縮化を図ることができる。そして、加熱手段に送風手段が設けられていれば、加熱手段からの温風に除電手段のイオンを含ませることができるとともに、除電手段を加熱手段と一体化できて装置の小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
【００１３】
〔第１実施形態〕
図１は、第１実施形態に係るシート貼付装置１を示す側面図である。
図１において、シート貼付装置１は、表面に回路が形成されたウェハＷの裏面にダイボンディング用のダイアタッチフィルム等の接着シートＳを貼付する装置である。このシート貼付装置１は、被着体であるウェハＷを下方から保持する保持手段であるテーブル２と、剥離シートＲＬに仮着された感熱接着性の接着シートＳを繰り出す繰出手段である繰出装置３と、繰り出された接着シートＳおよび剥離シートＲＬを上方から押圧しつつ加熱して接着シートＳをウェハＷに貼付する貼付手段である貼付ユニット４と、貼付した接着シートＳから剥離シートＲＬを剥離する剥離手段である剥離装置５とを備えて構成されている。
【００１４】
テーブル２は、図示しない吸引口を介してウェハＷを吸着保持する平板状のテーブル本体２１を備え、図示しない表面保護シートが貼付されたウェハＷを当該表面保護シート側から吸着保持可能に構成されている。
【００１５】
繰出装置３は、図示しない支持装置に支持された繰出装置本体３１と、この繰出装置本体３１に設けられた支持ローラ３２、繰出しローラ３３およびピンチローラ３４と、繰出しローラ３３を回転駆動するモータＭ１とを備えて構成されている。この繰出装置３は、剥離シートＲＬおよび接着シートＳをロール状に巻取った状態で支持ローラ３２で支持するとともに、繰出しローラ３３とピンチローラ３４とで挟み込んだ剥離シートＲＬおよび接着シートＳをモータＭ１の回転駆動によりウェハＷ側に繰り出すように構成されている。
【００１６】
貼付ユニット４は、図示しない支持装置に支持されて図１中の左右方向および上下方向に移動自在に設けられた貼付装置本体４１と、この貼付装置本体４１に支持されて剥離シートＲＬおよび接着シートＳの上面側に沿って転動可能な接触ローラ（ヒートローラ）４２と、この接触ローラ４２の外部である上方に離れて設けられて接触ローラ４２を加熱する加熱手段である加熱装置４３とを備えて構成されている。この貼付ユニット４は、図１に矢印で示すように、図中、右から左に向かう進行方向Ａに沿って移動し、この移動に伴い、接触ローラ４２が剥離シートＲＬの上面に接触しつつ剥離シートＲＬおよび接着シートＳをウェハＷに向かって押圧するように構成されている。そして、貼付ユニット４には、接触ローラ４２の表面温度を検出する温度検出手段である温度センサー４４が当該接触ローラ４２に対して進行方向Ａの後方側に設けられている。また、接触ローラ４２に対して進行方向Ａの前方側には、剥離シートＲＬおよび接着シートＳの電位を検出する帯電検出手段である帯電センサー４５が設けられている。
【００１７】
加熱装置４３は、その内部に熱源であるヒータ４６と、プラス・マイナスいずれかの電荷を帯びたイオンを放出する除電手段としてのイオナイザ４７と、イオナイザ４７からのイオンを含みヒータ４６で加熱された温風を接触ローラ４２に向かって吹き出す送風手段である送風ファン４８とを有して構成されている。ヒータ４６は、温度センサー４４で検出した接触ローラ４２の表面温度に基づき、接触ローラ４２を加熱する加熱温度を適宜に調節できるように構成されている。このヒータ４６としては、例えば、コイルヒータや赤外線ヒータ、温水ヒータなど、適宜なものが利用可能である。また、イオナイザ４７は、帯電センサー４５で検出した剥離シートＲＬおよび接着シートＳの電位に基づき、この電位と極性が逆の電荷を帯びたイオンを放出し、剥離シートＲＬおよび接着シートＳを除電できるように構成されている。
【００１８】
また、加熱装置４３には、図２にも示すように、接触ローラ４２に対向する下面側において開閉する加熱領域調節手段としてのシャッタ４３１が設けられ、このシャッタ４３１による開口サイズを変更することで、当該加熱装置４３によって加熱する接触ローラ４２の加熱領域が調節できるように構成されている。具体的には、ウェハＷの外形形状に応じて進行方向Ａの始端部や終端部では、図２(Ａ)に示すように、開口サイズを小さくして加熱領域を縮小させ、進行方向Ａの中間部では、図２(Ｂ)に示すように、開口サイズを大きくして加熱領域を拡大するように、シャッタ４３１が開閉制御可能に構成されている。さらに、加熱装置４３は、図示しない昇降装置を介して貼付装置本体４１に上下移動可能に支持され、接触ローラ４２に対して離間接近可能に設けられている。
【００１９】
剥離装置５は、図示しない支持装置に支持されて図１中の左右方向に移動自在に設けられた剥離装置本体５１と、この剥離装置本体５１に設けられた回収ローラ５２、剥離用ローラ５３およびピンチローラ５４と、回収ローラ５２を回転駆動するモータＭ２と、剥離用ローラ５３を回転駆動するモータＭ３とを備えて構成されている。この剥離装置５は、貼付ユニット４によってウェハＷに貼付された後の接着シートＳから剥離シートＲＬを剥離しつつ、剥離した剥離シートＲＬを回収ローラ５２に巻き取り回収するものであって、図１中、左から右に向かって移動しながらモータＭ２，Ｍ３で回収ローラ５２および剥離用ローラ５３を回転駆動することで、剥離シートＲＬを回収するように構成されている。
【００２０】
次に、本実施形態のシート貼付方法として、シート貼付装置１の動作を図３も参照して説明する。
ウェハＷに接着シートＳを貼付する手順としては、先ず、ウェハＷがテーブル２の所定位置に載置されると、図３に示すように、貼付ユニット４が上方に位置し、剥離装置５が同図中二点鎖線で示される所定位置に保持された状態から、モータＭ３の回転がロックされ、剥離装置５が進行方向Ａに向かって移動することで、剥離シートＲＬおよび接着シートＳがウェハＷの上方に向かって繰り出される。このときモータＭ１は、剥離シートＲＬおよび接着シートＳが弛まない程度に旅程の張力を付与するようになっている。また、図示しない検知手段によって、接着シートＳがウェハＷの上方所定位置に配置されたことが検知され、剥離装置５の進行方向Ａに向かう移動が停止される。その後、図１に示すように、テーブル２が上昇することで、ウェハＷが接着シートＳに対して微小距離離れた状態に保たれる（繰出工程）。なお、図１ではウェハＷと接着シートＳとが微小距離離れた状態の表示を省略する。
【００２１】
次に、図１に示すように、貼付ユニット４の進行方向Ａの基点に対応したウェハＷの端部（図１の右端部）において、貼付ユニット４は、加熱装置４３のヒータ４６からの熱を送風ファン４８で温風として接触ローラ４２に送り、接触ローラ４２を所定温度まで加熱するとともに、この接触ローラ４２を剥離シートＲＬの上面に接触させる。この際、加熱装置４３のシャッタ４３１は、ウェハＷ端部の幅寸法に対応して開口サイズが小さくなるように開閉制御される。さらに、貼付ユニット４は、接触ローラ４２を剥離シートＲＬおよび接着シートＳに所定の押圧力でウェハＷに押圧しつつ、進行方向Ａに向かって移動して接触ローラ４２を剥離シートＲＬの上面に沿って転動させる。この貼付ユニット４の移動に際し、加熱装置４３のシャッタ４３１は、ウェハＷの中間部に向かうに従い開口サイズが徐々に大きくなり、ウェハＷの終端部に向かうに従い開口サイズが徐々に小さくなるように開閉制御される。このように、加熱装置４３で加熱した接触ローラ４２を剥離シートＲＬの上面に沿って転動させることで、接着シートＳを押圧しつつ加熱することで、感熱接着性の接着シートＳがウェハＷに接着される（貼付工程）。
【００２２】
以上の貼付工程において、温度センサー４４は、剥離シートＲＬおよび接着シートＳに熱を伝達して温度が低下した接触ローラ４２の表面温度を検出し、この検出結果に基づいてヒータ４６は、その加熱温度を適宜に調節する。また、帯電センサー４５は、接触ローラ４２の進行方向Ａの前方位置における剥離シートＲＬおよび接着シートＳの電位を検出し、この検出結果に基づいてイオナイザ４７は、検出した電位と極性が逆の電荷を帯びたイオンを放出する。このように加熱装置４３は、イオナイザ４７から放出されたイオンを温風に含ませ、この温風によって接触ローラ４２を加熱するとともに、接触ローラ４２にイオンを帯電させる。そして、帯電した接触ローラ４２が剥離シートＲＬに接触することで、剥離シートＲＬおよび接着シートＳが除電されることになる。
【００２３】
以上のように進行方向Ａに向かって移動しながらウェハＷの全面に接着シートＳを接着したら、貼付ユニット４は、剥離シートＲＬの上面から離脱するとともに、温度センサー４４、帯電センサー４５、ヒータ４６、イオナイザ４７および送風ファン４８を停止して、図３に示す位置に退避する。
次に、モータＭ１がロックされた状態で、剥離装置５は、図３に示すように、繰出装置３に接近する方向に移動しながら、モータＭ２，Ｍ３を作動させて回収ローラ５２および剥離用ローラ５３を回転駆動し、接着シートＳから剥離シートＲＬを剥離しつつ剥離した剥離シートＲＬを回収ローラ５２に巻き取り回収し、二点鎖線で示す位置で停止する（剥離工程）。
この後、接着シートＳを貼付したウェハＷを適宜な搬送装置でテーブル２から搬出し、当該テーブル２が下降して接着シートＳの貼付手順が完了し、以降、上記同様の動作が繰り返される。
【００２４】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、接触ローラ４２の外部に加熱装置４３が設けられているので、この加熱装置４３で加熱した時点で所定温度となるようにヒータ４６の加熱温度を適宜に設定すればよいため、温度制御が容易となり、安定した温度で接着シートＳを加熱することができ、接着シートＳの接着不良などを防止することができる。
【００２５】
〔第２実施形態、第３実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態および第３実施形態を、それぞれ図４および図５に基づいて説明する。
第２、第３実施形態では、前記第１実施形態のシート貼付装置１と比較して、貼付ユニット４の構成が相違するものの、その他の構成は第１実施形態のシート貼付装置１と略同様である。そして、第２、第３実施形態では、それぞれ接触ローラ４２を加熱する加熱手段として、加熱ローラ４９Ａおよびラバーヒータ４９Ｂが採用され、これらの加熱ローラ４９Ａおよびラバーヒータ４９Ｂが接触ローラ４２の外部に設けられている。従って、加熱ローラ４９Ａおよびラバーヒータ４９Ｂによって接触ローラ４２を外部から加熱することで、第１実施形態と同様に、温度制御が容易となり、安定した温度で接着シートＳを加熱することができる。
【００２６】
図４において、第２実施形態の貼付ユニット４Ａは、貼付装置本体４１と、接触ローラ４２と、この接触ローラ４２を加熱する加熱手段である加熱ローラ４９Ａとを備えて構成されている。加熱ローラ４９Ａは、接触ローラ４２の外部である上側に接触して設けられるとともに、接触ローラ４２が剥離シートＲＬの上面を転動するのに伴って加熱ローラ４９Ａも回転するようになっている。そして、加熱ローラ４９Ａは、その内部に図示しない熱源を有して構成され、この熱源は、温度センサー４４で検出した接触ローラ４２の表面温度に基づいて加熱温度を調整可能に構成されている。なお、第２実施形態において、加熱ローラ４９Ａは、接触ローラ４２の上側に設けられるものに限らず、接触ローラ４２に対して進行方向Ａの前方側や後方側に設けられてもよく、さらには接触ローラ４２の周囲の複数箇所に設けられてもよい。
【００２７】
図５において、第３実施形態の貼付ユニット４Ｂは、貼付装置本体４１と、接触ローラ４２と、この接触ローラ４２を加熱する加熱手段であるラバーヒータ４９Ｂとを備えて構成されている。ラバーヒータ４９Ｂは、任意の形態に変形可能な面状のヒータであり、接触ローラ４２の下側を除く略全周を覆って接触ローラ４２に接触することなく設けられている。なお、第３実施形態において、ラバーヒータ４９Ｂは、接触ローラ４２の略全周を覆うものに限らず、ラバーヒータ４９Ｂの加熱性能等に応じて適宜な範囲に設けられていればよい。
また、第２、第３実施形態の貼付ユニット４Ａ，４Ｂにおいて、前記第１実施形態と同様の帯電センサー４５およびイオナイザ４７が設けられていてもよい。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の部材も対象とすることができ、半導体ウェハとしては、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示できる。また、接触ローラで加熱する対象である被加熱体として、前記実施形態では、感熱接着性の接着シートＳを例示したが、接着シートＳに限らず、被加熱体としては、任意の加熱対象物でよく、その物理特性や化学特性は特に限定されない。
【００３０】
また、前記実施形態では、接着シートＳをウェハＷに貼付するシート貼付装置１を例示して説明したが、本発明のヒートローラは、シート貼付装置１のみならず、様々な装置において利用可能である。
さらに、前記実施形態のシート貼付装置１は、ダイアタッチフィルム等の接着シートＳをウェハＷに貼付するものであったが、貼付装置で貼付する接着シートは、ダイアタッチフィルムに限らず、感圧接着性の接着シート等の適宜なシートやフィルム、テープなどであってもよい。
【００３１】
さらに、前記実施形態では、温度センサー４４の温度検出によって、ヒータ４６の温度を適宜に調節したが、加熱装置４３を図示しない昇降装置を介して接触ローラ４２に対して離間させて、当該接触ローラ４２の温度を下降させたり、接近させて上昇させたりしてもよい。また、加熱装置４３の接触ローラ４２に対する離間接近に加えて、ヒータ４６の温度を適宜に調節してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１のシート貼付装置における接触ローラおよび加熱手段の側面図。
【図３】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図４】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図５】本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【符号の説明】
【００３３】
１              シート貼付装置
２              テーブル（保持手段）
３              繰出装置（繰出手段）
４，４Ａ，４Ｂ  貼付ユニット（貼付手段）
５              剥離装置（剥離手段）
４２            接触ローラ（ヒートローラ）
４３            加熱装置（加熱手段）
４４            温度センサー（温度検出手段）
４５            帯電センサー（帯電検出手段）
４７            イオナイザ
４８            送風ファン（送風手段）
４９Ａ          加熱ローラ（加熱手段）
４９Ｂ          ラバーヒータ（加熱手段）
４３１          シャッタ（加熱領域調節手段）
ＲＬ            剥離シート（被加熱体）
Ｓ              接着シート（被加熱体）
Ｗ              ウェハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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