(57)【要約】【課題】グリーンシートを薄層化した場合であっても、個片状のグリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生を防止することができ、しかも個片状のグリーンシートを支持基材上に保持した状態で搬送可能とするグリーンシートの製造方法を提供すること。【解決手段】長手方向に沿って連続する支持基材９０上に長手方向に沿って長尺状グリーンシート１０ａを形成する工程と、支持基材９０を切離しないように、長尺状グリーンシート１０ａの短手方向に沿って、長尺状グリーンシート１０ａを切離し、個片状グリーンシート１０ｂと除去予定部分１０ｃとを形成する工程と、除去予定部分１０ｃを支持基材９０上から除去する工程と、支持基材９０の短手方向に沿って、個片状グリーンシート１０ｂが形成されていない領域において、支持基材９０を切離する工程と、を有するグリーンシートの製造方法。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に沿って連続する支持基材上に長手方向に沿って長尺状グリーンシートを形成する工程と、
前記支持基材を切離しないように、前記長尺状グリーンシートの短手方向に沿って、前記長尺状グリーンシートを切離し、個片状グリーンシートと、隣り合う前記個片状グリーンシートの間に存在する除去予定部分または前記長尺状グリーンシートと前記個片状グリーンシートとの間に存在する除去予定部分と、を形成する工程と、
前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する工程と、
前記支持基材の短手方向に沿って、前記個片状グリーンシートが形成されていない領域において、前記支持基材を切離する工程と、を有するグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記支持基材の長手方向に沿って、前記個片状グリーンシートの長さが、前記除去予定部分の長さよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記支持基材の短手方向に沿って、前記支持基材の長さが、前記個片状グリーンシートの長さよりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
前記支持基材を切離する工程の前に、前記長尺状グリーンシート上に、または、前記個片状グリーンシート上に、所定の電極パターンを形成する工程を有する請求項１〜３のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
前記除去予定部分には、前記電極パターンが形成されていないことを特徴とする請求項４に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項６】
前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する工程において、粘着部材に前記除去予定部分を接着させて除去することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項７】
前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する工程において、連続する長尺状粘着部材を繰り出し、前記長尺状粘着部材に前記除去予定部分を接着させてから巻き取ることにより、前記除去予定部分を除去することを特徴とする請求項６に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法により、切離された支持基材上に形成された個片状グリーンシートを製造する工程と、
切離された前記支持基材を搬送する工程と、
切離された前記支持基材上に形成された前記個片状グリーンシートを積層し、加圧した後、切離された前記支持基材を前記個片状グリーンシートから剥離して、グリーンシート積層体を形成する工程と、を有するグリーンシート積層体の製造方法。
【請求項９】
長手方向に沿って連続しており、長尺状グリーンシートを形成するための支持基材を搬送する搬送手段と、
前記支持基材を切離しないように、前記長尺状グリーンシートの短手方向に沿って、前記長尺状グリーンシートを切離し、個片状グリーンシートと、隣り合う前記個片状グリーンシートの間に存在する除去予定部分または前記長尺状グリーンシートと前記個片状グリーンシートとの間に存在する除去予定部分と、を形成する除去予定部分形成手段と、
前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する除去手段と、
前記支持基材の短手方向に沿って、前記支持基材を切離する切離手段と、を有するグリーンシートの製造装置。
【請求項１０】
前記除去手段が、粘着部材に前記除去予定部分を接着させて除去する手段であることを特徴とする請求項９に記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項１１】
前記除去手段が、連続する長尺状粘着部材を繰り出し、前記長尺状粘着部材に前記除去予定部分を接着させてから巻き取ることにより、前記除去予定部分を除去する手段であることを特徴とする請求項１０に記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項１２】
前記除去予定部分形成手段が、円盤状切断刃を進退させることにより前記除去予定部分を形成する手段であることを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載のグリーンシートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシートの製造方法、グリーンシート積層体の製造方法およびグリーンシートの製造装置に関し、さらに詳しくは、グリーンシートを薄層化した場合であっても、グリーンシートの端面が擦れることによる塵埃を防止できるグリーンシートの製造方法および製造装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品は、たとえば以下のようにして製造される。すなわち、可撓性支持基材上にドクターブレード法により、セラミック塗料を用いて長尺状グリーンシートを形成し、その上に、電極パターンをスクリーン印刷により形成する。セラミック塗料は、セラミック粉、有機バインダ、可塑剤、溶剤等を含む。電極パターンを形成するための電極ペーストは、パラジウム、銀、ニッケル等の導電性粉末を含む。
【０００３】
複数の電極パターンが形成された長尺状グリーンシートを、支持基材とともに積層される大きさのグリーンシート（個片状グリーンシート）に切断した後、所定の枚数で積層・圧着し、グリーンシート積層体を得る。そして、これを切断し、複数のセラミックグリーンチップを得る。セラミックグリーンチップは、脱バインダ処理および焼成処理されてセラミック焼結体（素体）となり、端子電極が形成され、積層セラミック電子部品が完成する。
【０００４】
上記では、長尺状グリーンシートから個片状グリーンシートに切断される際には、支持基材とともに切断されるため、グリーンシートの切断面（端面）と支持基材の切断面（端面）とが一致して露出することとなる。そのため、切断後の工程に搬送する際、あるいは、積層時に、個片状グリーンシートの端面が擦れてしまい、塵埃を発生させ、異物等の混入を招くという弊害があった。また、グリーンシートと支持基材とが切断刃により圧着されながら切断されるため、グリーンシートと支持基材とは変形しながら密着してしまう。そのため、その後の工程において、個片状グリーンシートから支持基材を剥離することが困難となってしまうという弊害があった。
【０００５】
このような問題に対し、特許文献１では、支持基材上にセラミックグリーンシートを間欠的に形成（塗布）し、支持基材の切断面（端面）には、個片状セラミックグリーンシートの端面が露出しないようにしている。
【０００６】
しかしながら、セラミックグリーンシートを間欠的に形成する場合には、塗布厚みを一定に保つことが困難となり、特に、セラミックグリーンシートを薄層化した場合にその影響が大きくなる。そのため、支持基材上にグリーンシートを連続的に形成することが望まれていた。
【０００７】
特許文献２では、支持基材を長尺状セラミックグリーンシートから剥離してから、長尺状セラミックグリーンシートを切断し、個片状グリーンシートを得ている。
【０００８】
特許文献２によれば、均一な厚みの個片状グリーンシートは得られるものの、支持基材を剥離した後は、セラミックグリーンシートのみを搬送することになるため、セラミックグリーンシートを薄層化した場合には、セラミックグリーンシートのみを搬送することが困難となってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−２２１１００号公報
【特許文献２】特開２００５−１９８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記のような従来技術に鑑みてなされたものであって、グリーンシートを薄層化した場合であっても、個片状のグリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生を防止することができ、しかも個片状のグリーンシートを支持基材上に保持した状態で搬送可能とするグリーンシートの製造方法を提供することを目的としている。さらに、本発明の別の目的は、個片状のグリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生を防止することができ、しかも個片状のグリーンシートを支持基材上に保持した状態で搬送可能とするグリーンシートの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係るグリーンシートの製造方法は、
長手方向に沿って連続する支持基材上に長手方向に沿って長尺状グリーンシートを形成する工程と、
前記支持基材を切離しないように、前記長尺状グリーンシートの短手方向に沿って、前記長尺状グリーンシートを切離し、個片状グリーンシートと、隣り合う前記個片状グリーンシートの間に存在する除去予定部分または前記長尺状グリーンシートと前記個片状グリーンシートとの間に存在する除去予定部分と、を形成する工程と、
前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する工程と、
前記支持基材の短手方向に沿って、前記個片状グリーンシートが形成されていない領域において、前記支持基材を切離する工程と、を有する。
【００１２】
本明細書において、「切離」とは、連続する長尺状の支持基材またはグリーンシートから、その一部が切り離され、個片状の支持基材またはグリーンシートとされることをいう。したがって、連続する長尺状の支持基材またはグリーンシートが部分的に切断されていても、切断部分が長尺状の支持基材またはグリーンシートから切り離された状態でなければ、切離されていないこととなる。これにより、グリーンシートを切離するためには、切れ込みが少なくともグリーンシートを貫通していれば十分であり、支持基材の途中で切れ込みが止まっていても構わない。
【００１３】
本発明では、まず、連続する支持基材を切離しないようにして、支持基材上に形成されている長尺状グリーンシートを切離している。具体的には、個片状グリーンシートと、除去予定部分と、が形成されるように支持基材の短手方向に沿って長尺状グリーンシートを切離する。そして、この除去予定部分を除去することで、連続する支持基材上に個片状グリーンシートが間欠的に形成されている状態とすることができる。その後に支持基材のみを切離することで、切離された支持基材の切断面（端面）には、個片状グリーンシートの端面は露出しない。
【００１４】
そのため、切離された支持基材を搬送する工程やグリーンシートの積層時においても、グリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生を防止することができる。しかも、支持基材の切離は、個片状グリーンシートが形成されていない領域で行われるため、支持基材の切離時には、個片状グリーンシートが支持基材に押しつけられず、支持基材とグリーンシートとが変形・密着することはない。したがって、後の積層時においても、グリーンシートから支持基材を容易に剥離することができる。
【００１５】
さらには、支持基材が切離されていない状態、すなわち、連続する支持基材上において除去予定部分を除去するため、容易に除去予定部分を除去することができる。なお、支持基材を切離した後に、除去予定部分を除去しようとすると、除去予定部分の位置決めや支持基材の保持が困難となってしまう。
【００１６】
好ましくは、前記支持基材の長手方向に沿って、前記個片状グリーンシートの長さが、前記除去予定部分の長さよりも大きいことを特徴とする。
【００１７】
このようにすることで、最終的に廃棄されることとなる除去予定部分を低減することができ、生産性の向上につながる。また、個片状グリーンシートの領域を支持基材上に十分に確保しつつ、除去予定部分のみを容易に除去することができる。
【００１８】
好ましくは、前記支持基材の短手方向に沿って、前記支持基材の長さが、前記個片状グリーンシートの長さよりも大きいことを特徴とする。
【００１９】
このようにすることで、支持基材の短手方向においても、支持基材の端面にはグリーンシートの端面は露出しない。したがって、グリーンシートの全ての端面において、グリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生を防止することができる。
【００２０】
好ましくは、前記支持基材を切離する工程の前に、前記長尺状グリーンシート上に、または、前記個片状グリーンシート上に、所定の電極パターンを形成する工程を有する。より好ましくは、前記除去予定部分には、前記電極パターンが形成されていないことを特徴とする。
【００２１】
連続する支持基材上にグリーンシートが保持された状態であれば、電極パターンの形成時における位置合わせが容易となり、精度良くかつ効率的に電極パターンを形成することができる。また、除去予定部分に電極パターンを形成しないことで、除去予定部分を確実に除去することができる。
【００２２】
好ましくは、前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する工程において、粘着部材に前記除去予定部分を接着させて除去することを特徴とする。より好ましくは、連続する長尺状粘着部材を繰り出し、前記長尺状粘着部材に前記除去予定部分を接着させてから巻き取ることにより、前記除去予定部分を除去することを特徴とする。このようにすることで、簡便な操作で除去予定部分を確実に除去することができる。特に、連続する長尺状粘着部材を繰り出し、巻き取ることで、粘着部材自体の供給・排出を容易に行うことができる。その結果、除去予定部分を容易に除去することができる。
【００２３】
また、本発明に係るグリーンシート積層体の製造方法は、上記のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法により、切離された支持基材上に形成された個片状グリーンシートを製造する工程と、
切離された前記支持基材を搬送する工程と、
切離された前記支持基材上に形成された前記個片状グリーンシートを積層し、加圧した後、切離された前記支持基材を前記個片状グリーンシートから剥離して、グリーンシート積層体を形成する工程と、を有する。
【００２４】
本発明においては、切離された支持基材上に形成された個片状グリーンシートが上記の方法により得られるため、切離された支持基材の搬送時や、個片状グリーンシートの積層時に、グリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生が効果的に防止され、異物等の混入が防止されたグリーンシート積層体を得ることができる。
【００２５】
また、本発明に係るグリーンシートの製造装置は、長手方向に沿って連続しており、長尺状グリーンシートを形成するための支持基材を搬送する搬送手段と、
前記支持基材を切離しないように、前記長尺状グリーンシートの短手方向に沿って、前記長尺状グリーンシートを切離し、個片状グリーンシートと、隣り合う前記個片状グリーンシートの間に存在する除去予定部分または前記長尺状グリーンシートと前記個片状グリーンシートとの間に存在する除去予定部分と、を形成する除去予定部分形成手段と、
前記除去予定部分を前記支持基材上から除去する除去手段と、
前記支持基材の短手方向に沿って、前記支持基材を切離する切離手段と、を有する。
【００２６】
本発明に係るグリーンシートの製造装置によれば、連続する支持基材上に間欠的に保持された個片状グリーンシートを得ることができる。そのため、支持基材を切離しても、切離された支持基材の切断面（端面）には、個片状グリーンシートの端面が露出しないようにすることができる。
【００２７】
好ましくは、前記除去手段が、粘着部材に前記除去予定部分を接着させて除去する手段であることを特徴とする。より好ましくは、連続する長尺状粘着部材を繰り出し、前記長尺状粘着部材に前記除去予定部分を接着させてから巻き取ることにより、前記除去予定部分を除去する手段であることを特徴とする。このようにすることで、除去予定部分を簡便かつ確実に除去することができる。特に、連続する長尺状粘着部材を繰り出し、巻き取ることで、粘着部材自体の供給・排出を容易に行うことができる。その結果、除去予定部分を容易に除去することができる。
【００２８】
好ましくは、前記除去予定部分形成手段が、円盤状切断刃を進退させることにより前記除去予定部分を形成する手段であることを特徴とする。このようにすることで、個片状グリーンシートを過度に支持基材へ押しつけることなく、除去予定部分を形成することできる。そのため、除去予定部分を含むグリーンシートと支持基材とは密着しておらず、除去予定部分の除去が容易となる。
【００２９】
本発明に係るグリーンシートの製造方法または製造装置により製造されるグリーンシートは、たとえば、積層セラミック電子部品の製造に好適に用いられる。積層セラミック電子部品としては、特に制限されず、コンデンサ、インダクタ、バリスタ、フィルタ等の電子部品であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る方法により製造されたグリーンシートが適用されて得られた積層セラミックコンデンサの概略断面図である。
【図２】図２は、キャリアシート上に長尺状グリーンシートを形成するためのグリーンシート形成装置を示す概略図である。
【図３】図３は、キャリアシート上に形成された長尺状グリーンシート上に内部電極パターンを形成するための電極形成装置を示す概略図である。
【図４】図４は、本発明の一実施形態に係るグリーンシートの製造装置を示す概略図である。
【図５】図５（Ａ）は、図４に示すグリーンシートの製造装置における切り込み形成部をＸ軸方向から見た要部概略図、図５（Ｂ）は、同部をＹ軸方向から見た要部概略図である。
【図６】図６は、キャリアシート上に形成された内部電極パターンを有する長尺状グリーンシートをＺ軸方向から見た概略図である。
【図７】図７は、キャリアシート上に形成された長尺状グリーンシートから、個片状グリーンシートおよび除去予定部分を切離した状態を示す概略図である。
【図８】図８（Ａ）は、図４に示すグリーンシートの製造装置における除去部をＺ軸方向から見た要部概略図、図８（Ｂ）は、同部をＸ軸方向から見た要部概略図である。
【図９】図９（Ａ）は、図８に示す除去部を用いて、除去予定部分をキャリアシートから除去する工程をＺ軸方向から見た概略図、図９（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１０】図１０（Ａ）は、図９の続きの工程をＺ軸方向から見た概略図、図１０（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１１】図１１（Ａ）は、図１０の続きの工程をＺ軸方向から見た概略図、図１１（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１２】図１２（Ａ）は、図１１の続きの工程をＺ軸方向から見た概略図、図１２（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１３】図１３（Ａ）は、図１２の続きの工程をＺ軸方向から見た概略図、図１３（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１４】図１４（Ａ）は、図１３の続きの工程をＺ軸方向から見た概略図、図１４（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１５】図１５（Ａ）は、図１４の続きの工程をＺ軸方向から見た概略図、図１５（Ｂ）は、同工程をＸ軸方向から見た概略図である。
【図１６】図１６は、図７において、除去予定部分を除去した後の状態を示す概略図である。
【図１７】図１７は、切離されたキャリアシート上に形成された個片状グリーンシートを示す図である。
【図１８】図１８は、グリーンシートの積層装置の概略図である。
【図１９】図１９は、図１８に示すグリーンシートの積層装置の積層部に備えられたキャリアシート剥離機構を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
【００３２】
積層セラミックコンデンサの全体構成
まず、本実施形態に係る方法および装置により製造されるグリーンシートが適用されて得られる電子部品の一例として、積層セラミックコンデンサの全体構成について説明する。
【００３３】
図１に示すように、本実施形態において得られる積層セラミックコンデンサ２は、コンデンサ素体４と、第１端子電極６と第２端子電極８とを有する。コンデンサ素体４は内部電極層１２を有し、誘電体層１０の間に内部電極層１２が交互に積層してある。
【００３４】
一方の内部電極層１２は、コンデンサ素体４の第１端部の外側に形成してある第１端子電極６の内側に対して電気的に接続してある。また、他方の内部電極層１２は、コンデンサ素体４の第２端部の外側に形成してある第２端子電極８の内側に対して電気的に接続してある。
【００３５】
誘電体層１０の材質は、特に限定されず、たとえばチタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウムまたはこれらの混合物などの誘電体材料で構成される。各誘電体層１０の厚みは、特に限定されないが、数μｍ〜数百μｍのものが一般的である。
【００３６】
内部電極層１２の材質は、導電性材料で構成されていれば特に限定されず、Ｃｕ、Ｎｉおよびこれらの合金から選ばれる少なくとも１種で構成してあることが好ましい。
【００３７】
端子電極６および８の材質も特に限定されないが、通常、Ｎｉ，Ｐｄ，Ａｇ，Ａｕ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｉｒ等の少なくとも１種、又はそれらの合金を用いることができる。通常は、Ｃｕ，Ｃｕ合金、Ｎｉ又はＮｉ合金等や、Ａｇ，Ａｇ−Ｐｄ合金、Ｉｎ−Ｇａ合金等が使用される。端子電極６および８の厚みも特に限定されないが、通常１０〜５０μｍ程度である。
【００３８】
積層セラミックコンデンサ２の形状やサイズは、目的や用途に応じて適宜決定すればよい。積層セラミックコンデンサ２が直方体形状の場合は、通常、縦（０．４〜５．７ｍｍ）×横（０．２〜５．０ｍｍ）×厚み（０．２〜３．２ｍｍ）程度である。
【００３９】
積層セラミックコンデンサの製造方法
次に、積層セラミックコンデンサ２を製造する方法の一例を説明し、本実施形態に係るグリーンシートおよびグリーンシート積層体の製造方法、グリーンシートの製造装置について説明する。
【００４０】
まず、焼成後に図１に示す誘電体層１０を構成することになるグリーンシート１０ａを製造するために、グリーンシート用ペーストを準備する。  
【００４１】
グリーンシート用ペーストは、通常、セラミック粉末と有機ビヒクルとを混練して得られた有機溶剤系ペースト、または水系ペーストで構成される。本実施形態では、セラミック粉末として上記の誘電体材料を用いればよい。
【００４２】
また、有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。
【００４３】
次いで、図１に示す内部電極層１２を形成するための内部電極パターン用ペーストを準備する。内部電極パターン用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電性材料、あるいは焼成後に上記した導電性材料となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。
【００４４】
本実施形態では、まず、図２に示すグリーンシート形成装置２０に備えられたドクターブレード２１により、上記にて調製したグリーンシート用ペーストを、繰り出しロール２２から巻き解した支持基材としてのキャリアシート９０（たとえばＰＥＴフィルム）上に塗布して、長尺状グリーンシート１０ａを形成する。キャリアシート９０の厚みは特に制限されないが、後述する除去予定部分を形成する工程において、キャリアシート９０にも切れ込みが形成される場合があるため、キャリアシート９０が切離されないように、５０〜１００μｍ程度とすることが好ましい。
【００４５】
長尺状グリーンシート１０ａは、キャリアシート９０上に形成された後に乾燥炉２３を通過し、乾燥され、キャリアシート９０とともに、巻き取りロール２４として巻き取られる。長尺状グリーンシート１０ａの厚みは特に制限されないが、グリーンシートの薄層化に対応するため、１〜７０μｍ程度とすることが好ましい。
【００４６】
次いで、図３に示すように、グリーンシート形成装置２０の巻き取りロール２４から巻き解されたグリーンシート１０ａの表面に、電極印刷装置３０に備えられたスクリーン３１を用いて、内部電極パターン用ペーストをスクリーン印刷して、内部電極パターン１２ａを形成する。すなわち、内部電極パターン１２ａを有する長尺状グリーンシート１０ａを得る。本実施形態では、内部電極パターン１２ａの形成と同時に、後述する位置決めマークを形成しておく。そして、乾燥炉３３を通過させて乾燥し、内部電極パターン１２ａを有する長尺状グリーンシート１０ａは、キャリアシート９０とともに、巻き取りロール３４として巻き取られる。
【００４７】
巻き取りロール３４は、本発明の一実施形態に係るグリーンシートの製造装置４０に設置される。図４に示すように、本発明の一実施形態に係るグリーンシートの製造装置４０は、基準孔形成部４１、切り込み形成部５０、除去部６０、キャリアシート切離部７０およびマガジン収納部４３を有している。なお、図４では、キャリアシート９０の搬送手段の図示を省略している。
【００４８】
そして、キャリアシート９０上に形成されている内部電極パターン１２ａを有するグリーンシート１０ａが、巻き取りロール３４から巻き解され、矢印に示す方向（Ｘ軸方向）に沿って、基準孔形成部４１に搬送される。この基準孔形成部４１において、グリーンシート１０ａに基準孔が形成される。
【００４９】
基準孔が形成された後、内部電極パターン１２ａを有する長尺状グリーンシート１０ａは、キャリアシート９０とともに、除去予定部分形成手段としての切れ込み形成部５０に搬送される。
【００５０】
以下、切れ込み形成部５０、および切れ込み形成部５０により長尺状グリーンシート１０ａを個片状グリーンシート１０ｂおよび除去予定部分１０ｃに切離する工程について詳細に説明する。図５（Ａ）に切れ込み形成部５０のＸ軸方向から見た要部概略図、図５（Ｂ）に切れ込み形成部５０のＹ軸方向から見た要部概略図を示している。
【００５１】
図５（Ａ）に示すように、切れ込み形成部５０は、Ｘ軸方向に所定間隔で配置された２枚の円盤状刃５１を備えており、水平移動シリンダ５２に沿って、水平方向（Ｙ軸方向）に進退自在となっている。また、円盤状刃５１は、図５（Ｂ）に示すように、昇降シリンダ５３に沿って、上下方向（Ｚ軸方向）にも移動自在である。
【００５２】
Ｙ軸方向およびＺ軸方向における円盤状刃５１の移動を制御することで、図６の切離予定線１５ｙに沿って、長尺状グリーンシート１０ａが、個片状グリーンシート１０ｂと除去予定部分１０ｃとに切離される。すなわち、２連の円盤状刃５１がＹ軸正方向に進む、または、負方向に後退するだけで、長尺状グリーンシート１０ａの長手方向（Ｘ軸方向）に沿って、所定間隔の長さを有し、短手方向（Ｙ軸方向）に沿って、長尺状グリーンシート１０ａと同じ長さを有する除去予定部分１０ｃが形成されることとなる。切り込み形成部５０により、個片状グリーンシート１０ｂおよび除去予定部分１０ｃがキャリアシート９０上に形成された状態を図７に示す。
【００５３】
本実施形態では、図６および７に示すように、長尺状グリーンシート１０ａ上には、内部電極パターン１２ａとともに位置決め用マーク１８が形成されている。この位置決め用マーク１８は、後述する積層工程における積層精度を高めるために形成されている。したがって、切離予定線１５ｙは、位置決め用マーク１８が除去予定部分１０ｃ上に存在しないように設定される。
【００５４】
上記のようにして、長尺状グリーンシート１０ａは切離されるものの、長尺状グリーンシート１０ａが形成されているキャリアシート９０は切離されない。そのため、後述する除去予定部分１０ｃを除去する工程を経てから、キャリアシート９０を切離することで、切離されたキャリアシート９０の端面と、個片状グリーンシート１０ｂの端面とは一致しない。その結果、その後の搬送工程においても、グリーンシートの端面が擦れることによる塵埃の発生を抑制することができる。また、グリーンシートの積層工程においても、塵埃等が異物として、混入しないため、生産性を向上できる。
【００５５】
なお、長尺状グリーンシート１０ａの切離時においては、キャリアシート９０が切離しない程度であれば、キャリアシート９０に切れ込みが入ってもよい。すなわち、円盤状刃５１により形成される切れ込みの深さが、キャリアシート９０の厚みよりも小さくなるように、円盤状刃５１の動きを制御すればよい。あるいは、本実施形態では、キャリアシート９０の短手方向（Ｙ軸方向）の長さは、長尺状グリーンシート１０ａの短手方向（Ｙ軸方向）の長さよりも大きいため、長尺状グリーンシート１０ａの短手方向の長さの分だけ、長尺状グリーンシート１０ａを切離すればよい。この場合、キャリアシート９０の短手方向の中央付近において、円盤状刃５１がキャリアシート９０を貫通していても、キャリアシート９０の端部では円盤状刃５１による切れ込みが形成されていないため、キャリアシート９０は切離されない。本実施形態では、切れ込み形成部５０には、スライドガイド５４や円盤状刃５１のクッション用バネ５５等が備えられており、上記のような円盤状刃５１の精密な制御が可能となっている。
【００５６】
上記で長尺状グリーンシート１０ａから個片状セラミックグリーンシート１０ｂおよび除去予定部分１０ｃが切離された後、図７に示す矢印の方向に、キャリアシート９０上に保持された状態（図７に示す状態）で、図４に示す除去部６０に搬送される。この除去部６０では、切れ込み形成部５０により形成された除去予定部分１０ｃがキャリアシート９０から除去される。
【００５７】
以下、除去部６０および除去部６０により除去予定部分１０ｃをキャリアシート９０から除去する工程について詳細に説明する。
【００５８】
本実施形態では、除去予定部分１０ｃをキャリアシート９０から除去する手段として、除去予定部分を粘着部材に接着させて除去する機構を採用している。図８を用いて、該機構の概要を説明する。図８（Ａ）は、該機構を、図４のＺ軸方向から見た概略図であり、図８（Ｂ）は、同機構を図４のＸ軸方向から見た概略図である。以下、図９〜１５においても同様である。
【００５９】
まず、キャリアシート９０の短手方向（Ｙ軸方向）の一端側に存在する繰り出しリール６１から巻き解された粘着部材としての粘着テープ６２がＹ軸方向に繰り出される。この粘着テープ６２は、除去予定部分１０ｃの上側、かつ上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在なシリンダ６３、６４の下側を通って、キャリアシート９０の短手方向（Ｙ軸方向）の他端側に存在する第１開閉ハンド６６に挟持または開放されている。この第１開閉ハンド６６は、粘着テープ６２を挟持または開放し、上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在である。さらに粘着テープ６２は、第１開閉ハンド６６に対してＹ軸正方向に存在する第２開閉ハンド６７に挟持または開放され、巻き取りリール６８に巻き取られることとなる。この第２開閉ハンド６７は、粘着テープ６２を挟持または開放し、水平方向（Ｙ軸方向）に移動自在である。よって、本実施形態では、粘着テープ６２の繰り出し・巻き取り方向は、長尺状グリーンシート１０ａの進行方向（Ｘ軸方向）に対して直交することになるが、粘着テープ６２の繰り出し・巻き取り方向が長尺状グリーンシート１０ａの進行方向と平行となってもよい。
【００６０】
除去予定部分１０ｃをキャリアシート９０から除去する工程について以下に説明する。まず、粘着テープ６２により除去予定部分１０ｃが除去される前では、図９に示すように、第１シリンダ６３、第２シリンダ６４および第３シリンダ６５が上昇した状態で待機している。第１シリンダ６３は、下端において粘着テープ６２およびキャリアシート９０を固定する役割を有し、第２シリンダ６４は、下端において粘着テープ６２を除去予定部分１０ｃに貼着させる役割を有し、第３シリンダ６５は、下端においてキャリアシート９０を固定する役割を有している。図９では、粘着テープ６２は、シリンダ６３、６４の直下を通り、第１開閉ハンド６６により挟持されている。また、第２開閉ハンド６７では、粘着テープ６２が挟持されていない状態（開放状態）となっており、粘着テープ６２は、第２開閉ハンド６７を通じて、巻き取りリール６８に案内されている。
【００６１】
次に、図１０に示すように、第１〜３シリンダ６３、６４、６５および第１開閉ハンド６６が同期して下降する。これに伴い、粘着テープ６２も下降し、第２シリンダ６４により、粘着テープ６２が除去予定部分１０ｃに貼り付けられるとともに、第１シリンダ６３により、粘着テープ６２およびキャリアシート９０の一端側が固定され、第３シリンダ６５により、キャリアシート９０の他端側が固定される。
【００６２】
この図１０では、除去予定部分１０ｃは、隣り合う個片状グリーンシート１０ｂの間に隠れた状態となっているが、除去予定部分１０ｃは、第２シリンダ６４の直下にあるため、粘着テープ６２は除去予定部分１０ｃに貼着しており、除去予定部分１０ｃは、キャリアシート９０上に保持されている。
【００６３】
次に、図１１に示すように、第１シリンダ６３および第３シリンダ６５が下端にある状態（粘着テープ６２およびキャリアシート９０の一端側が固定され、キャリアシート９０の他端側が固定された状態）のままで、第２シリンダ６４および第１開閉ハンド６６を同期して上昇させる。第２シリンダ６４および第１開閉ハンド６６を上昇させ始めると、粘着テープ６２は第１開閉ハンド６６に挟持され、かつ第３シリンダ６５には固定されていないため、粘着テープ６２はキャリアシート９０の他端側から上昇し始める。このとき、粘着テープ６２には除去予定部分１０ｃが貼着しているため、除去予定部分１０ｃも粘着テープ６２の他端側から上昇し始める。しかも、キャリアシート９０の他端側は、第３シリンダ６５により固定されているため、除去予定部分１０ｃのみが上昇し始める。すなわち、除去予定部分１０ｃがキャリアシート９０から除去（剥離）され始める。
【００６４】
そして、第１開閉ハンド６６が図１２に示す状態（上端）まで上昇すると、除去予定部分１０ｃは、粘着テープ６２の他端側から一端側に渡りキャリアシート９０から除去（剥離）された状態となる。除去予定部分１０ｃは、長尺状グリーンシート１０ａおよび個片状グリーンシート１０ｂとは前工程において切離されており、キャリアシート９０も第１シリンダ６３および第３シリンダ６５によって固定されている。したがって、除去予定部分１０ｃを除去する操作は、キャリアシート９０と、キャリアシート９０上に保持されている長尺状グリーンシート１０ａおよび個片状グリーンシート１０ｂとに何ら影響を与えない。
【００６５】
さらに、図１３に示すように、第２開閉ハンド６７が粘着テープ６２を挟持していない状態（開放状態）で、第１開閉ハンド６６側（Ｙ軸負方向）に前進し、その前進端において、粘着テープ６２を挟持する。そして、第１開閉ハンド６６を開放し、粘着テープ６２を挟持しない状態とする。
【００６６】
次に、図１４に示すように、第１シリンダ６３を上昇させ、この上昇に同期させて、粘着テープ６２を挟持している第２開閉ハンド６７を後退させる。そうすると、図１４に示すように、除去予定部分１０ｃが貼着した粘着テープ６２が、第２シリンダ６４の直下からＹ軸正方向に移動し始める。そして、図１５に示すように、第２開閉ハンド６７が後退端に達したときには、除去予定部分１０ｃは粘着テープ６２とともに作業テーブル外に排出され、その後巻き取りリール６８に巻き取られることとなる。同時に、繰り出しリール６１から、新たな粘着テープ６２が繰り出され、除去予定部分１０ｃが貼着していない粘着テープ６２が、シリンダ６３、６４の下側に配置される。そして、第１開閉ハンド６６により粘着テープ６２を挟持するとともに第２開閉ハンド６７を開放する。その後、一旦、第３シリンダ６５を上昇させてから、キャリアシート９０を次の除去予定部分１０ｃが除去部６０の直下に来るまで搬送して、上述した工程を繰り返すことで、Ｘ軸方向に搬送される除去予定部分１０ｃをキャリアシート９０上から連続的に除去（剥離）することができる。
【００６７】
図１６に、除去予定部分１０ｃがキャリアシート９０上から除去された個片状グリーンシート１０ｂ（電極パターン１２ａ形成済み）を示す。上記のように、長尺状グリーンシート１０ａの進行方向に直交させて、粘着テープを間欠的に繰り出し、シリンダにより粘着テープを上下降させて除去予定部分１０ｃに貼着することで、連続的かつ確実に除去予定部分１０ｃをキャリアシート９０上から除去することができる。すなわち、生産性を低下させることなく、グリーンシートを切離する一連の工程に組み込むことができる。
【００６８】
除去予定部分１０ｃが除去された個片状グリーンシート１０ｂは、連続するキャリアシート９０上に保持された状態で、図４に示すキャリアシート切離部７０に搬送され、個片状グリーンシートが形成されていない領域において（たとえば、図１６の切離予定線１６ｙに沿って）、キャリアシート９０を昇降カッター７１により切断し、図１７に示すカード状の（切離された）キャリアシート９０上に形成されたカード状の（個片状の）グリーンシート１０ｂを得る。個片状グリーンシート１０ｂは、切離されたキャリアシート９０上に保持された状態で、たとえば、図４に示す負圧吸着搬送手段４２を用いて、マガジン収納部４３に収納される。このとき、個片状グリーンシート１０ｂの全ての端面（外縁部）は、キャリアシート９０の端面に露出していないため、本発明の効果が得られる。
【００６９】
次に、このマガジン収納部４３から、キャリアシート９０を搬送し、個片状グリーンシート１０ｂを積層し、グリーンシート積層体を形成する。個片状グリーンシート１０ｂを積層する方法および装置としては特に制限されないが、たとえば、図１８に示すグリーンシート積層体の製造装置８０を用いればよい。該装置８０によれば、まず、切離されたキャリアシート９０上に保持された個片状グリーンシート１０ｂを１枚ずつ位置補正部８１に搬送し、個片状グリーンシート１０ｂ上に形成されている位置決め用マーク１８をカメラ８３で読み取り、位置合わせをした後、積層部８２へ個片状グリーンシート１０ｂを搬送して積層し、これを圧着し、その後切離されたキャリアシート９０を剥離する操作を繰り返してグリーンシート積層体１０ｄを形成すればよい。積層時にも、個片状グリーンシート１０ｂの全ての端面（外縁部）は、キャリアシート９０の端面に露出していないため、本発明の効果が得られる。
【００７０】
個片状グリーンシート１０ｂから、切離されたキャリアシート９０を剥離する手段としては、たとえば、図１９に示すように、積層部８２に備えられたキャリアシート剥離機構８５を用いればよい。キャリアシート剥離機構８５は、クランプ部８５ａと、該クランプ部８５ａを矢印に示す方向に移動させる不図示の移動手段を有する。キャリアシート剥離機構８５は、クランプ部８５ａにキャリアシート９０をクランプさせ、クランプ部８５ａを移動させることによって、個片状グリーンシート１０ｂからキャリアシート９０を剥離することができる。
【００７１】
なお、図１９に示す積層部８２に備えられるキャリアシート剥離機構としては、キャリアシート９０をクランプして剥離するものに限られず、たとえば、粘着テープにキャリアシート９０を粘着させて剥離する機構や、その他の機構であってもよい。
【００７２】
グリーンシート積層体の製造装置８０に備えられた積層部８１によって得られたグリーンシート積層体１０ｄは、必要に応じて不図示のプレス部で更に押圧された後、切断工程において切断されて、グリーンチップが作製される。グリーンチップは、焼成工程において焼成された後、端子電極６，８等が取り付けられ、図１に示す積層セラミックコンデンサ２となる。
【００７３】
このようにして製造された積層セラミックコンデンサ２は、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
【００７４】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。
【００７５】
上述した実施形態では、除去予定部分を除去する手段として、粘着テープに除去予定部分を貼着させる方法を例示したが、たとえば、負圧吸着手段に対して除去予定部分を吸着させて除去してもよい。あるいは、キャリアシートの剥離と同様に、クランプ機構で除去予定部分の一端を直接挟持して剥離してもよい。
【符号の説明】
【００７６】
２…  積層セラミックコンデンサ
１０…  誘電体層
１０ａ…  長尺状グリーンシート
１０ｂ…  個片状グリーンシート
１０ｃ…  除去予定部分
１０ｄ…  グリーンシート積層体
１２…  内部電極層
１２ａ…  内部電極パターン
６，８…  端子電極
４…  コンデンサ素体
２０…  グリーンシート形成装置
３０…  内部電極形成装置
４０…  グリーンシート製造装置
５０…  切れ込み形成部
５１…  円盤状刃
６０…  除去部
６２…  粘着テープ
６３、６４、６５…  シリンダ
６６、６７…  開閉ハンド
７０…  キャリアシート切離部
８０…グリーンシート積層装置
９０…  キャリアシート
１５ｙ、１６ｙ…切離予定線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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