(57)【要約】      （修正有）【課題】板状基体の搬送方向からの位置ずれの補正が可能であり、安定した高精度の搬送が可能であって、かつ静電気の発生、およびパーテイクルの発生を、低減することができる浮上搬送装置および浮上搬送方法を得る。【解決手段】板状基体の搬送路を形成する基台１０と、前記基台１０を覆う囲い板２０と、前記基台１０に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルと、板状基体の搬送時のずれを検出する手段とで構成される浮上搬送装置１００であって、前記複数の噴射ノズルは、板状基体を前記基台１０の面に沿って浮上搬送させ、前記複数の吸引ノズルは、前記噴射ノズルの列の外側に配置されて、板状基体の搬送時のずれを検出する手段からの信号によって、前記複数の吸引ノズルのいずれかの吸引力が調整されて、前記板状基体３０の搬送のずれが補正される浮上搬送装置１００とする。【選択図】図１
2010179985.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルと、前記板状基体の搬送時のずれを検出する手段とで構成される浮上搬送装置であって、前記複数の噴射ノズルは、板状基体を前記基台の面に沿って浮上搬送させ、前記複数の吸引ノズルは、前記噴射ノズルの列の外側に配置されて、板状基体の搬送時のずれを検出する手段からの信号によって、前記複数の吸引ノズルのいずれかの吸引力が調整されて、前記板状基体の搬送のずれが補正されることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記噴出ノズルの噴出パイプ部の方向は、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲であり、かつ吸引ノズルの吸引パイプ部の方向は、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲であることを特徴とする請求項１記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記吸引ノズルの吸引パイプ部の垂直方向の断面形状は、基台表面に通じる一方の側が、円弧状をなして基台の表面部に通じていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルとを用いて板状基体を気流を用いて搬送する浮上搬送方法であって、
前記複数の噴射ノズルからの気流の噴出によって、板状基体を前記基台の平面に沿って浮上搬送させ、
板状基体の搬送方向のずれを検出する手段が、前記複数の吸引ノズルの気流の吸引力を制御して、前記板状基体の搬送のずれを補正することを特徴とする浮上搬送方法。
【請求項５】
前記噴出ノズルの噴出パイプ部の方向を、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲とし、かつ吸引ノズルの吸引パイプ部の方向を、基台の面の（搬送）垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲とすることを特徴とする請求項４記載の浮上搬送方法。
【請求項６】
前記吸引ノズルの吸引パイプ部の垂直方向の断面形状を、一方の側が、円弧状をなして基台の平面部に合流するように形成することを特徴とする請求項４または５のいずれかに記載の浮上搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状基体の搬送に関して、気体を噴射することによって、板状基体を浮上させながら搬送し、板状基体を搬送すると同時に吸引ノズルの吸引孔からの気流の吸引によって搬送を安定化する浮上搬送装置および浮上搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の浮上搬送装置については、例えば、特許文献１に記載されている。図７は、従来の浮上搬送装置の斜視図であり、特許文献１にて開示された図である。
図７の浮上搬送装置は、其台１００の上に囲い板２００が設置され、其台１００の表面には、噴出ノズル７、７a、７ｂ、８、８a、８ｂ、他（図示していないが、其台１００の前面にある）が配置されている。
【０００３】
前記噴出ノズル７、７a、７ｂ、８、８a、８ｂ、他からは、位置方向（図中矢印）のごとく気流が流れており、板状其体３００を、矢印の方向へ搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−６２９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の浮上搬送装置における問題点は以下のごとくである。第１に、板状基体を搬送する場合の搬送方向のずれの補正について、従来の浮上搬送装置は、噴出ノズルだけによる板状基体の搬送であるため、板状基体用のガードレールを設置せざるを得なかった。これによって、板状其体の周辺部には、前記板状基体用のガードレールによって、きずが生ずることがあった。第２に、気流噴射にて、被搬送体に気流が当たると、摩擦による静電気が発生するという問題点があった。前記の発生した静電気が、浮上搬送装置に悪影響を起こす場合があった。第３に、気流噴射にて、板状基体周辺からのパーテイクルが周囲に飛散するという問題点があった。
【０００６】
本発明の課題は、板状基体の搬送方向からの位置ずれの補正が可能であり、安定した高精度の搬送が可能であって、かつ静電気の発生、パーテイクルの発生を低減することができる浮上搬送装置および浮上搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の浮上搬送装置は、板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルと、板状基体の搬送時のずれを検出する手段とで構成される浮上搬送装置であって、前記複数の噴射ノズルは、板状基体を前記基台の面に沿って浮上搬送させ、前記複数の吸引ノズルは、前記噴射ノズルの列の外側に配置されて、板状基体の搬送時のずれを検出する手段からの信号によって、前記複数の吸引ノズルのいずれかの吸引力が調整されて、前記板状基体の搬送のずれが補正されることを特徴とする浮上搬送装置である。
【０００８】
ここで、前記噴出ノズルの噴出パイプ部の方向は、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲であり、かつ吸引ノズルの吸引パイプ部の方向は、搬送垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲であることを特徴とする浮上搬送装置である。
【０００９】
また、前記吸引ノズルの吸引パイプの垂直方向の断面形状は、一方の側が、円弧状をなして基台の平面部に合流するように形成することを特徴とする浮上搬送装置である。
【００１０】
本発明の浮上搬送方法は、板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルとを用いて板状基体を気流を用いて搬送する浮上搬送方法であって、前記複数の噴射ノズルからの気流の噴出によって、板状基体を前記基台の平面に沿って浮上搬送させ、板状基体の搬送方向のずれを検出する手段が、前記複数の吸引ノズルの気流の吸引力を制御して、前記板状基体の搬送のずれを補正することを特徴とする浮上搬送方法である。
【００１１】
ここで、前記噴出ノズルによって、前記被搬送体を浮上させ、前記噴出ノズルの方向は、搬送垂直方向となす角度が、搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲とし、かつ吸引ノズルの吸引方向は、搬送垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３０°以上から６０°以下の範囲とする浮上搬送方法である。
また、前記吸引ノズルの吸引パイプの垂直方向の断面形状を、一方の側が、円弧Ｒをなして基台の平面部に合流するように形成することを特徴とする浮上搬送方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、板状基体の搬送方向からの位置ずれの補正が可能であり、安定した高精度の搬送が可能であって、かつ静電気の発生、およびパーテイクルの発生を低減する浮上搬送装置および浮上搬送方法を提供することができる。
【００１３】
請求項１に係る発明によれば、基台に配置された吸引ノズルの吸引力を調整することによって、板状基体の搬送方向のずれを補正することができる浮上搬送装置を提供することができる。
【００１４】
請求項２に係る発明によれば、噴出ノズルの噴出パイプ部の方向を、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲とし、かつ吸引ノズルの吸引パイプ部の方向を、基台の面の垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲とするので、安定して板状基体を搬送する力を得ると共に、板状基体を安定して吸引して搬送方向のずれを補正する浮上搬送装置を提供することができる。
【００１５】
請求項３に係る発明によれば、前記吸引ノズルの吸引パイプ部の垂直方向の断面形状は、基台表面に通じる一方の側が、円弧状をなして基台の表面部に通じていることを特徴とす浮上搬送装置を提供できるので、より安定した板状其体の搬送ができる。
【００１６】
請求項４に係る発明によれば、板状基体の搬送路を形成する基台と、前記基台を覆う囲い板と、前記基台に配置された複数の噴射ノズルおよび複数の吸引ノズルとを用いて板状基体を気流を用いて搬送する浮上搬送方法であって、前記複数の噴射ノズルからの気流の噴出によって、板状基体を前記基台の平面に沿って浮上搬送させ、板状基体の搬送方向のずれを検出する手段が、前記複数の吸引ノズルの気流の吸引力を制御して、前記板状基体の搬送のずれを補正することを特徴とする浮上搬送方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１による浮上搬送装置の斜視図。
【図２】図１の浮上搬送装置のＡＡ断面図。
【図３】図１の浮上搬送装置のＢＢ断面図。
【図４】図１の浮上搬送装置のＣＣ断面図。
【図５】図１の浮上搬送装置の基台における、噴出孔、吸引孔の配置を示す平面図。
【図６】本発明の実施の形態２の浮上搬送装置に使用される吸引ノズルの断面図。
【図７】従来の浮上搬送装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１による浮上搬送装置の斜視図である。図１にて、浮上搬送装置１００は、基台１０と囲い板２０とで構成されている。前記基台１０の平面部分に、被搬送体が搬送されるための搬送路が形成される。貴台１０の平面部分には、複数の噴出孔と、複数の吸引孔が配置されており、図１では、噴出孔２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、吸引孔１Ａ、１Ｂが露出している。前記噴出孔２Ａ、２Ｂ、２Ｃからは、気体が噴出して、前記噴出した気体が、板状基体３０を浮上させ、かつ搬送方向へ前進させる。また、吸引孔１Ａ、１Ｂには、周辺の気体が吸引されていき、浮上搬送装置１００の周辺部の気体を吸引し、浮上搬送装置１００の搬送方向を安定化させる。ここで、前記気体は、空気でも良いし、その他の不活性ガス、窒素ガス、他でも良い。
【００１９】
図２は、図１の浮上搬送装置のＡＡ断面図である。図２において、噴出孔２Ａ、２Ｂ、２Ｃは、それぞれ噴出ノズル２１Ａ、噴出ノズル２１Ｂ、噴出ノズル２１Ｃから噴出パイプ部２１０Ａ，２１０Ｂ，２１０Ｃを経由して、基台１０の平面部に露出している。前記噴出孔２Ａ、２Ｂ、２Ｃからは、基台１０の側面にある供給管４０に供給された気体が噴出し、前記噴出した気体が、被搬送体３０を浮上させると同時に前進させる機能を有する。搬送垂直方向とのなす角度は、ほぼ０°となっている。
【００２０】
また、吸引孔１Ａ、１Ｂは、それぞれ吸引ノズル１１Ａ、吸引ノズル１１Ｂと吸引パイプ部１１０Ａ，１１０Ｂを介して繋がっており、基台１０の平面部に露出している。
吸引孔１Ａ、１Ｂは、浮上搬送装置１００の周辺部の気体を吸引し、図２に示したごとく、導入パイプの軸方向と、搬送垂直方向とのなす角度は、角度θをつけており、浮上搬送装置１００の搬送方向のずれを安定化させる働きを行う。
ここで、角度θは、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲が選択される。
【００２１】
図３は、図１の浮上搬送装置のＢＢ断面図である。図３では、合計６個の噴出ノズルが配列されており、それずれ噴出ノズル２１Ｃ、３１Ｃ、４１Ｃ、５１Ｃ、６１Ｃ、７１Ｃ、および噴出孔２Ｃ、３Ｃ、４Ｃ、５Ｃ、６Ｃ、７Ｃ、噴出ノズル２１Ｃ、３１Ｃ、４１Ｃ、５１Ｃ、６１Ｃ、７１Ｃが示されている。ここで、各噴出ノズルについて、噴出パイプ部２１０Ｃ、３１０Ｃ、４１０Ｃ、５１０Ｃ、６１０Ｃ、７１０Ｃの角度は、搬送方向に傾いた角度βを持っている。ここで、角度βは、噴出パイプ部の長手方向が、基台の面の垂直方向となす角度であって、板状其体の搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲に設定される。このように噴出ノズルは、板状其体を浮上させると共に、一定方向へ搬送する作用を行う。
【００２２】
図４は、図１の浮上搬送装置のＣＣ断面図である。図４では、６個の吸引ノズルが示されており、吸引ノズル１１Ｂ、１２Ｂ，１３Ｂ，１４Ｂ，１５Ｂ，１６Ｂ、吸引孔１Ｂ、１０Ｂ、２０Ｂ、３０Ｂ、４０Ｂ、５０Ｂ、吸引ノズル１Ｂ、１０Ｂ、２０Ｂ、３０Ｂ、４０Ｂ、５０Ｂが示されている。ここで、各吸引ノズルについて、吸引パイプ部の角度αは、被搬送体３０の搬送方向（図中の矢印）とは、逆方向に傾いている。ここで、角度αは、
基台の面の垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲が設定される。
【００２３】
ここで、図示はしていないが、図１の浮上搬送装置では、板状其体３０の搬送方向からの位置ずれを検知する画像センサーが、配置されている。前記画像センサーが、あらかじめ設定された板状其体の設定した位置とのずれを検出して、各吸引ノズルの吸引能力を調節することとなる。
【００２４】
図５は、図１の浮上搬送装置における、基台１０に露出した各噴出ノズルの噴出孔、各吸引ノズルの吸引孔を示す平面図である。ここで、前記噴出ノズルによって、前記被搬送体を浮上させ、前記噴出ノズルの方向は、搬送垂直方向となす角度が、搬送順方向側に３０°以上から４５°以下の範囲であり、かつ吸引ノズルの吸引方向は、搬送垂直方向となす角度が、搬送逆方向側に３５°以上から６０°以下の範囲であることを特徴とする。
【００２５】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２の浮上搬送装置に使用される吸引ノズルの断面図である。
図６にて、円弧状部分を有する吸引ノズル６１にて、吸引パイプ部６００の垂直方向の断面形状は、基台表面に通じる一方の側が、円弧状部分９をなして基台１０の表面部に通じている。これによって、気流のコアンダ効果が生じ、其台の表面近傍に流れる気流の流れ９０が生じ、より安定した板状其体の搬送が可能となる。この図６の吸引ノズルを使用することによって、板状其体へあたる気流の総量に関して衝突が軽減され、静電気の発生を、従来よりも抑制できる。
【実施例】
【００２６】
吸引ノズルの吸引パイプ部が、通常の円形断面のストレート形状であって、噴出ノズルの角度を４０°、吸引ノズルの角度を５０°とした場合のデータを表１に示す。
比較例は、従来の図７の装置を使用した。
表１より、実施例１、実施例２ともに、比較例よりも搬送の精度が優れており、また静電気の発生、およびパーテイクルの発生を軽減している。
【００２７】
【表１】
2010179985.tif 000003
（備考）  噴出ノズルの角度    ４０°
吸引ノズルの角度    ５０°
【符号の説明】
【００２８】
１００    浮上搬送装置
１０、１００    基台
２０、２００    囲い板
３０、３００    板状基体
２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ    噴出ノズル
２Ａ、２Ｂ、２Ｃ  噴出孔
２１０Ａ、２１０Ｂ、２１０Ｃ    噴出パイプ部
１１Ａ、１１Ｂ    吸引ノズル
１Ａ、１Ｂ        吸引孔
１１０Ａ、１１０Ｂ        吸引パイプ部
４０、４００    気体供給管
５０    気体吸収管
６１  円弧状部分を有する吸引ノズル
６００  吸引パイプ部
６  吸引孔
９  円弧状部分
９０  其台の表面近傍に流れる気流の流れ
６２  配管パイプ
【図１】
2010179985.tif 000004
【図２】
2010179985.tif 000005
【図３】
2010179985.tif 000006
【図４】
2010179985.tif 000007
【図５】
2010179985.tif 000008
【図６】
2010179985.tif 000009
【図７】
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