(57)【要約】【課題】対象体に対して、比較的高い光量の光を、比較的小さい光量分布で照射する。【解決手段】一方向に延びた溝部を一方主面に備えた基体と、前記溝部の底面に配された発光体と、を備え、前記溝部の内側面は、前記底面の側に近づくにつれて前記溝部の中心に近づく斜面領域を有し、前記発光体は前記一方向に沿って配列された複数の発光領域を有することを特徴とする光照射ヘッドを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びた溝部を一方主面に備えた基体と、
前記溝部の底面に配された発光体と、を備え、
前記溝部の内側面は、前記底面の側に近づくにつれて前記溝部の中心に近づく斜面領域を有し、
前記発光体は前記一方向に沿って配列された複数の発光領域を有することを特徴とする光照射ヘッド。
【請求項２】
前記発光体は、基板と、前記基板の一方主面に設けられた発光層と、を有し、
前記基板は、前記発光層からの発光に対して透明であることを特徴とする請求項１記載の光照射ヘッド。
【請求項３】
前記発光体の前記発光領域は、前記基板の、前記溝部の前記底面と対向する側の主面に設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の光照射ヘッド。
【請求項４】
前記発光体と前記溝部の前記底面とが、前記発光領域からの発光を反射する導電層を介して接合されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光照射ヘッド。
【請求項５】
前記基体はセラミックスからなり、前記溝部の前記斜面領域の少なくとも一部は、セラミックスが露出していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光照射ヘッド。
【請求項６】
前記発光層は、ＵＶ光を発光することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の光照射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の光照射ヘッドと、
前記基体の前記一方主面と対向された対象体と前記光照射ヘッドとを相対移動させる移動機構と、
前記対象体に、前記光照射ヘッドよりの発光を受けて硬化する光硬化性物質の液滴を吐出し、前記対象体の表面に前記液滴を付着させる吐出手段と、
を備えることを特徴とする液滴硬化装置。
【請求項８】
対象体の表面に、請求項１〜６のいずれかに記載の光照射ヘッドによる発光を受けて硬化する光硬化性物質を付着させ、
前記対象体の表面に付着した液滴に照射し、前記液滴を硬化させることを特徴とする液滴硬化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光照射ヘッド、液滴硬化装置、および液滴硬化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線硬化型の樹脂や塗料は、レジスト皮膜の形成や印刷の分野から光ピックアップ等の組立工程における小物部品の接着固定の分野まで広く使用されている。近年、印刷媒体の多様化、環境に対する配慮、印刷スピードの高速化等の理由から、紫外線硬化型インク（ＵＶインク）を用いた印刷手法が注目されている。ＵＶインクを用いた印刷では、ＵＶインクを印刷媒体に付着させ、付着したインクに紫外光（ＵＶ光）を照射して、このＵＶインクを短時間で硬化させる。
【０００３】
従来、かかる紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線照射ヘッドの光源としては、一般に高圧水銀ランプや低圧水銀ランプ等の蛍光ランプが使用されてきた。近年、例えば下記特許文献１に記載のインクジェット式記録装置のように、ＵＶ光を発するＵＶＬＥＤ素子が複数配列されたＵＶＬＥＤアレイを照射光源として用いた印刷装置が提案されている。図７は、下記特許文献１記載のＵＶＬＥＤアレイの一例である。従来のＵＶＬＥＤアレイは、基体１１８の主面に凹状の反射構造体１１９が複数配置され、各反射鏡構造体各々にＬＥＤ素子等の発光素子１１９が配置されている。
【特許文献１】特開２００５−１０４１０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
かかる従来のＵＶＬＥＤアレイでは、各反射鏡構造体で各発光素子からの光を成形しており、ＵＶＬＥＤアレイから照射される光量のムラが比較的大きいという課題があった。本発明はかかる課題を解決する目的でなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願発明は、一方向に延びた溝部を一方主面に備えた基体と、前記溝部の底面に配された発光体と、を備え、前記溝部の内側面は、前記底面の側に近づくにつれて前記溝部の中心に近づく斜面領域を有し、前記発光体は前記一方向に沿って配列された複数の発光領域を有することを特徴とする光照射ヘッドを提供する。
【０００６】
また、かかる光照射ヘッドと、前記基体の前記一方主面と対向された対象体と前記光照射ヘッドとを相対移動させる移動機構と、前記対象体に、前記光照射ヘッドよりの発光を受けて硬化する光硬化性物質の液滴を吐出して、前記対象体の表面に前記液滴を付着させる吐出手段と、を備えることを特徴とする液滴硬化装置を併せて提供する。
【０００７】
また、対象体の表面に、上記光照射ヘッドによる発光を受けて硬化する光硬化性物質を付着させ、前記対象体の表面に付着した液滴に照射し、前記液滴を硬化させることを特徴とする液滴硬化方法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の光照射ヘッドによれば、対象体に対して、比較的高い光量の光を、比較的小さい光量分布で照射することができる。本発明の液滴硬化装置および方法によれば、対象体に付着させた液滴を、比較的短時間で硬化させることができ、対象体表面での硬化ムラも比較的少ない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の実施の形態は、例示するものであって、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。
【００１０】
図１は、本発明の光照射ヘッドの一実施形態である照射ヘッド１０について説明する図であり、（ａ）は照射ヘッド１０の概略斜視図、（ｂ）は照射ヘッド１０の概略断面図である。照射ヘッド１０は、例えばアルミナ等のセラミックからなる絶縁基板１１の一方主面に、一方向に延びた長尺の反射溝１２が、複数本並列に配置されている。反射溝１２の底面には、発光体１４が配置されている。また、反射溝１２の底面には、発光体１４に電力を供給するとともに、これら発光体１４をフリップチップ接続するための電極２４ａ、２４ｂが設けられている。また、各電極２４ａ、２４ｂは、絶縁基板１１の内部に配された配線導体１３を介して、外部に設けられた入力端子と電気的に接続されている。また、反射溝１２内には、発光体１４全体を覆うように、例えばシリコーン樹脂からなる封止材１９が充填されている。
【００１１】
絶縁基板１１は、板状の支持部１１Ａの表面に、反射部１１Ｂが配置された構成となっている。支持部１１Ａは、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、ガラスセラミックス等のセラミックス、またはエポキシ樹脂や液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の樹脂等で構成される。
【００１２】
支持部１１Ａがセラミックス等から成る場合、支持部１１Ａとなる複数のグリーンシートに、発光装置の内外を電気的に導通接続するために、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、マンガン（Ｍｎ）、銅（Ｃｕ）等の金属ペーストから成る配線導体１３を配置し、支持部１１Ａを焼成すると同時に金属ペーストも焼成することにより、配線導体１３を有する支持部１１Ａが形成される。このような配線導体１３は、上記周知のメタライズ法やメッキ法などを用いて形成すればよい。また、支持部１１Ａが樹脂から成る絶縁体の場合、配線導体１３は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌ、鉄（Ｆｅ）−ニッケル（Ｎｉ）−コバルト（Ｃｏ）合金またはＦｅ−Ｎｉ合金等の金属材料から成るリード端子を基体１に埋設し、リード端子の一端を搭載部１ａに導出し、他端を基体１の側面や下面に導出して露出させることによって形成することができる。
【００１３】
絶縁基板１１は、支持部１１Ａの上面に、反射部１１Ｂが配置されて構成されている。反射部１１Ｂは、発光体１４の側を向く側面が、図中上方を向くように傾斜した斜面とされている。照射ヘッド１０では、発光体１４から放射されて反射部１１Ｂに向かう光の成分が、この反射部１１Ｂの側面（すなわち、溝部１２の内側斜面）で上方に反射され、図中上方に向けて効率的に照射される。本実施形態の反射部１１Ｂは、白色光源の下で白色に視認される、多孔質のセラミックスからなり、例えば紫外線領域の光に対して、比較的良好な反射性を有する。反射部１１Ｂは、例えば酸化アルミニウム質焼結体、酸化ジルコニウム質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体等のセラミックスで構成すればよい。また、反射部１１Ｂは、エポキシ樹脂や液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の樹脂で構成されてもよい。また、所望の反射性を達成するたに、反射部１１Ｂの材質や、発光体１４からの発光の波長などに応じ、反射部１１Ｂの側面に、金属メッキや蒸着等によって形成された例えば金属性の反射膜が設けられていてもよい。
【００１４】
発光体１４は、例えばサファイア等からなる基板１５の一方主面に、例えばＧａＮ等の化合物半導体からなる公知のＬＥＤ発光層１７が設けられて構成されている。発光体１４の基板１５は、反射溝１２の長手方向に沿った長尺形状を有する。第１の実施形態では、基板１５の一方主面に、複数の発光層１７が、基板１５の長さ方向に沿って複数配列されている。本実施形態では、これら発光層１７は、基板１５の、絶縁基板１１の溝部１２の底面と対向する側（図１（ｂ）の下側）の主面に設けられている。例えばサファイアからなる基板の主面全体に、ＧａＮ等からなる化合物半導体層を形成した後、公知のエッチング手法によって部分的に除去することで、本実施形態のように、基板１５の一方主面に、複数分離された状態で発光層１７を設けることができる。本実施形態では、発光層１７が発光領域とされている。
【００１５】
長手方向に延びた基板１５の一方主面に、それぞれ離間して複数の発光層１７を配置することで、各発光層１７の上記長手方向に沿った間隔を、比較的小さくすることができる。例えば、図７に示す従来の照射ヘッドのように、各発光素子を各々反射構造体内に配置した場合は、この反射構造体を作製するにあたっての形状的な制約、また、微小な発光素子をそれぞれ保持して実装するにあたっての制約などが生じ、各発光素子の間隔は例えば３．０ｍｍ以下にすることは困難であった。これに対し、例えば周知の半導体製造技術を用い、基板１５の一方主面に複数分離された発光層１７を形成した場合、各発光層１７の上記長手方向に沿った間隔を、例えば１．０ｍｍ未満にすることもでき、更には０．５ｍｍ未満にすることも可能である。
【００１６】
本実施形態の発光層１７は、例えば発光の波長が、ピークスペクトルが３８０ｎｍ以下である、いわゆるＵＶＬＥＤ素子である。発光層１７は、基板１５の一方の主面に、複数の半導体結晶層が積層されてなる（なお、各半導体層については、図示していない）。より具体的には、発光層１７は、例えば、基板１５の一方から、ｎ型およびｐ型のうちの一方の導電型の半導体層と、コンタクト層と、ｎ型およびｐ型のうちの一方の他方の導電型の半導体層と、コンタクト層とがこの記載の順番で積層されて形成されている。
【００１７】
また、発光層１７の表面（溝部１２の底面と対向する側の面）には、例えばＡｇを主成分とする電極２５ａと、電極２５ｂとが設けられている。各発光層１７の表面に設けられた、これらの電極２５ａおよび２５ｂが、溝部１２の底面に設けられた各電極２４ａおよび２４ｂに、それぞれフリップチップ接続されて、各発光体１４が溝部１２内に配置固定されている。発光層１７は、各電極２５ａおよび電極２５ｂに電圧が印加されることで、電圧値の大きさに応じた光量の光を発する。本実施形態の基板１５はサファイアからなり、発光層１７からの発光に対し、比較的良好な透明性を有する。
【００１８】
図１に示す実施形態では、複数の発光層１７がそれぞれ電極２５ａおよび電極２５ｂを備えている。かかる実施形態では、発光層１７それぞれに印加する電圧を、各発光層１７毎に独立して制御することができる。なお、電極の構成については特に限定されず、例えば、複数の発光層１７に同時に接続する長尺の電極を溝部１２内に配し、複数の発光層１７に同じ電圧を一括して印加する構成としてもよい。また、各発光層１７を電気的に並列に接続してもよく、また電気的に直列に接続してもよい。
【００１９】
封止部材１９は、例えばシリコーン樹脂からなり、ＬＥＤ発光層１７からの発光を良好に透過する。封止材１９の屈折率は例えば約１．４と、空気の屈折率（約１．０）と比較して、基板１５の屈折率（例えば、サファイアの屈折率１．７）に、より近くなっている。
【００２０】
図２は、本実施形態の照射ヘッド１０における光の照射状態について説明する図である。図２（ａ）は図１に示すＡ−Ａ断面、図２（ｂ）は図１に示すＢ−Ｂ断面を示している。光照射ヘッド１では、配線導体１３および電極２４ａおよび電極２４ｂを介して、基板１５表面に設けられた複数の発光層１７それぞれに電流が流され、各発光層１７が発光する。図２（ａ）および（ｂ）は、複数の発光層１７が、同時に発光した場合について示している。
【００２１】
照射ヘッド１０では、各発光層１７の上記長手方向に沿った間隔を、例えば１．０ｍｍ未満と比較的小さくされており、複数の発光層１７からの発光の、長手方向に沿った光量分布は比較的小さくされている。例えばＬＥＤ素子からなる各発光層１７からの発光は、特に強い指向性を有さず、空間的にあらゆる方向に拡がって照射される。照射ヘッド１０では、発光層１７の表面に設けられた反射電極２５、および溝部１２の底面、および溝部１２の内側側面によって、発光層１７から発せられた光が反射され、図中の上側に向けて効率的に照射される。この際、各発光層１７から照射された光は、図２（ａ）に示すように、例えば基板１５と封止材１９との界面において反射され、溝部１２の長手方向に延びた基板１５の内部を、この長手方向に沿って比較的良好に伝搬する。すなわち、複数配置された発光層１７からの発光は、溝部１２の長手方向に沿ってある程度拡がりつつ、溝部１２内から上方に向けて照射される。なお、本実施形態の封止材１９は、基板１５と比較的近い屈折率を有しており、発光層１７からの光が、サファイアからなる基板１５の界面において全反射されて、基板１５内に必要以上に閉じ込められることを抑制している。なお、封止材１９の屈折率を変更することで、基板１５の界面における屈折率差を変更して、基板１５の界面における全反射角を調整し、ひいては溝部１２内から照射される光の光量および光量分布を、調整することもできる。なお、本発明は、封止材を有することに限定されない。
【００２２】
本実施形態の照射ヘッド１０によれば、各発光層１７からの発光は、溝部１２の長手方向について拡がりつつ、溝部１２内から上方に照射される。このため、溝部１２から上方に向かう光の、溝部１２の長手方向に沿った発光光量の分布が、比較的抑制されている。また、各発光層１７からの発光は、溝部１２の長手方向に略垂直な方向については広がりが抑制され、図中の上側に向けて効率的に集光させて照射している。かかる本実施形態の照射ヘッド１０によれば、溝部１２の長手方向に沿った光の光量分布を比較的小さくしつつ、比較的高い光量の光を照射することができる。
【００２３】
図３は、本発明の照射ヘッドの第２の実施形態について説明する概略斜視図である。また、図４は、第２の実施形態の照射ヘッド２０における光の照射状態について説明する図である。図４（ａ）は図３に示すＡ−Ａ断面、図４（ｂ）は図３に示すＢ−Ｂ断面を示している。第２の実施形態の照射ヘッド２０は、基板１５に設けられた発光層１７が、図中上側を向けて実装されている、いわゆるフェイスアップタイプの実装形式の照射ヘッドである。かかる第２の実施形態の照射ヘッド２０においても、溝部１２の長手方向に沿って長尺な基板１５内を、各発光層１７からの光が伝搬しつつ、溝部１２内から図中上方に照射される。かかる本実施形態の照射ヘッド１０によれば、溝部１２の長手方向に沿った光の光量分布を比較的小さくしつつ、比較的高い光量の光を照射することができる。
【００２４】
図５は、本発明の第３の実施形態の照射ヘッド３０について説明する概略斜視図である。図５に示す第３の実施形態の照射ヘッド３０では、基板１５の一方主面のほぼ全面にわたって、発光層１７が連続して形成されている。すなわち、第３の実施形態の照射ヘッド３０では、溝部１２の長手方向に沿って、発光層１７が連続して延在している。本発明の照射ヘッドでは、発光素子が設けられる基板が、一方向に延びた溝部の長手方向に沿って延びた長尺形状を有しており、発光素子自体を、溝部の長手方向に沿って連続して形成することができる。かかる照射ヘッド３０でも、溝部１２の長手方向に沿った光の光量分布を比較的小さくしつつ、比較的高い光量の光を照射することができる。なお、図５に示す照射ヘッド３０において、発光層１７を図中上側に向けた状態で、発光体１４を溝部１２内に配置してもよい。この場合も同様に、溝部１２の長手方向に沿った光の光量分布を比較的小さくしつつ、比較的高い光量の光を照射することができる。
【００２５】
図６（ａ）および（ｂ）は、照射ヘッド１０を備えて構成される、本発明の液滴硬化装置の一例である、インクジェットプリンタ５０について説明する図であり、図５（ａ）は、インクジェットプリンタ５０の概略上面図である。また、図５（ｂ）は、インクジェットプリンタ５０の概略断面図である。
【００２６】
インクジェットプリンタ５０は、一方向（図中Ｘ方向）に搬送される、例えば紙などの記録媒体５２の表面に、インクジェットヘッド７０からインク滴を吐出するとともに、記録媒体５２の表面に付着させたインク滴に所定の波長分布の光を照射して、記録媒体５２に付着したインク滴を硬化させる。インクジェットプリンタ５０は、記録媒体５２が載置されるプラテン５４と、送りローラ６２と押えローラ６４とを有して構成された搬送手段６０と、インクジェットヘッド７０をプラテン５４に対して相対移動させる移動機構８０と、照射ヘッド１０と、を有して構成されている。
【００２７】
インクジェットヘッド７０は、プラテン５４に載置されて搬送される記録媒体５２の表面に、外部から入力される画像信号に応じて光硬化性のインク滴を吐出する。インクジェットヘッド７０は、従来公知の、いわゆるサーマル型やバブル型などの、公知のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド７０は、移動機構８０が備えるガイドレール８２に沿って、図中Ｙ方向に沿って往復移動される。
【００２８】
記録媒体５２は、搬送手段６０によって、例えば図中Ｘ方向に沿って搬送される。記録媒体５２の移動にともない、インクジェットヘッド７０も図中Ｙ方向に沿って移動される。インクジェットヘッド７０には、これら記録媒体５２やインクジェットヘッド７０の移動にともない、図示しない制御部から画像信号が送られる。インクジェットヘッド７０では、この画像信号に応じて、記録媒体に向けて光硬化性のインク滴を吐出し、記録媒体５２の表面に画像信号に応じた画像パターン（インク滴のパターン）を形成する。
【００２９】
照射ヘッド１０は、溝部１２の長手方向が、記録媒体の搬送方向に略垂直（図中Ｘ方向）に沿うよう配置されている。溝部１２内には、発光体１４が長手方向に沿って、直列に複数配置されており、この長手方向に沿って複数の発光層１７が配列されている。照射ヘッド１０は、インクジェットヘッド７０に対し、記録媒体５２よりも下流側に配置されている。すなわち、インクジェットプリンタ５０では、インクジェットヘッド７０から吐出されて記録媒体５２の表面に付着したインク滴に、照射ヘッド１０からの光が照射されるよう構成されている。上述のように、照射ヘッド１０によれば、溝部１２の長手方向に沿った光の光量分布を比較的小さくしつつ、比較的高い光量の光を照射することができる。すなわち、インクジェットヘッド７０から吐出されて記録媒体５２の表面に、比較的高い光量の光を、溝部１２の長手方向に沿って比較的均一に照射することができる。
【００３０】
本実施形態のインクジェットプリンタ７０によれば、記録媒体５２の表面に付着したインク滴を比較的短時間で硬化させることができ、記録媒体５２表面におけるインクの硬化ムラも比較的少ない。例えば、図中Ｙ方向に沿った特定箇所において、インクの硬化が局所的に遅い場合など、この特定箇所では周囲に比べてインクの滲みや拡がりが大きくなる。この場合、記録媒体に記録された画像において、この特定箇所に対応する位置に現れる、記録媒体の搬送方向（Ｘ方向）に沿った線状の画像ムラが視認されることもある。本実施形態のインクジェットプリンタ７０では、かかる画像ムラの発生も抑制される。
【００３１】
なお、本実施形態のインクヘッドプリンタ７０では、照射ヘッド１０の制御部１０の図示しないメモリには、インクジェットヘッド７０から吐出されるインク滴を硬化するのに比較的良好な光の特徴を示すデータ、具体的には、吐出するインク滴を硬化するのに適した波長分布特性および発光強度（各波長域の発光強度）を表すデータが入力されている。照射ヘッド１０では、制御部３０が、予め入力されているこの入力データに基づいて、複数の発光層１７に入力する駆動電流の大きさを調整することもできる。インクヘッドプリンタヘッド７０によれば、使用するインクの特性に応じた適正な光量で光を照射することができ、比較的低エネルギーの光で、インク滴を硬化させることができる。
【００３２】
なお、インクジェットプリンタの形態は、以上の実施形態に限定されない。例えば、軸支されたローラを回転させ、このローラ表面に沿って記録媒体を搬送する、いわゆるオフセット印刷型のプリンタであってもよく、同様の効果を奏する。
【００３３】
本実施形態では、インクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタに、照射ヘッドを適用した例を示している。本発明の照射ヘッドは、例えば対象体表面にスピンコートした光硬化樹脂を硬化させる専用装置など、各種類の光硬化樹脂の硬化に適用することができる。また、例えば、露光装置における照射光源などに用いてもよい、この場合も、比較的高い光量の光を、比較的少ない光量分布で照射することができる点で好ましい。また、上述の第１の実施形態の照射ヘッド１０のように、複数の発光素子からの発光を各々独立して制御することもでき、例えば感光性材料の表面に選択的に光を照射し、照射した光に応じた画像を形成する画像形成装置にも用いることもできる。
【００３４】
以上、本発明の照射ヘッド、面発光型照射ヘッド、液滴硬化装置、および液滴効果方法について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の光照射ヘッドの一実施形態である照射ヘッド１０について説明する図であり、（ａ）は照射ヘッド１０の概略斜視図、（ｂ）は照射ヘッド１０の概略断面図である。
【図２】本実施形態の照射ヘッド１０における光の照射状態について説明する図であり、（ａ）は図１に示すＡ−Ａ´断面、（ｂ）は図１に示すＢ−Ｂ´断面を示している。
【図３】本発明の照射ヘッドの第２の実施形態について説明する概略斜視図である。
【図４】図３に示す第２の実施形態の照射ヘッド２０における光の照射状態について説明する図であり、（ａ）は図３に示すＡ−Ａ´断面、（ｂ）は図３に示すＢ−Ｂ´断面を示している。
【図５】本発明の第３の実施形態の照射ヘッド３０について説明する概略斜視図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、照射ヘッド１０を備えて構成される、本発明の液滴硬化装置の一例である、インクジェットプリンタの一実施形態の概略図であり、（ａ）は、インクジェットプリンタ５０の概略上面図、（ｂ）はインクジェットプリンタ５０の概略断面図である。
【図７】従来の照射ヘッドの一例について示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０  照射ヘッド
１１  絶縁基板
５０  インクジェットプリンタ
５２  記録媒体
５４  プラテン
６０  搬送手段
６２  送りローラ
６４  押えローラ
７０  インクジェットヘッド
８０  移動機構
８２  ガイドレール
【図１】
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【図２】
2010149381.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010149381.tif 000006
【図５】
2010149381.tif 000007
【図６】
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【図７】
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