(57)【要約】【課題】  基板回収動作を高速化する。【解決手段】  基板搬送装置は、基板10を搭載する基板保持手段11と、前記基板保持手段に基板を吸着保持させるための吸着手段15と、前記基板保持手段11から基板を外すための加圧手段16と、前記基板保持手段を駆動する駆動手段19と、前記吸着手段15と前記加圧手段16と前記駆動手段19とを制御し前記基板保持手段11から前記基板10を滑らせて移動させる制御手段12と、前記基板保持手段から滑って移動する基板を回収する基板回収手段32と、移動する基板位置を規制する規制手段17と、を備えることを特徴とする。【選択図】  図１
2010129856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載する基板保持手段と、前記基板保持手段に基板を吸着保持させるための吸着手段と、前記基板保持手段から基板を外すための加圧手段と、前記基板保持手段を駆動する駆動手段と、前記吸着手段と前記加圧手段と前記駆動手段とを制御し前記基板保持手段から前記基板を滑らせて移動させる制御手段と、前記基板保持手段から滑って移動する基板を回収する基板回収手段と、移動する基板位置を規制する規制手段と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記基板保持手段と、前記基板回収手段は、基板移動方向に向かって傾斜していることを
特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造などに用いられる、基板の保持や受渡しなどの技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５、図６、図７により、従来の基板の保持や受け渡し動作について説明する。
【０００３】
図５は、従来のウエハ吸着保持装置の概略図である。
【０００４】
図６は、従来のウエハ回収シーケンスのフローチャートである。
【０００５】
図7a, 図7b, 図7cは、従来のウエハ回収動作説明図である。
【０００６】
ウエハチャック11は、図示しない吸着手段により、ウエハ10を吸着する。
【０００７】
ウエハ供給ハンド40は、ウエハ10をウエハチャック11へ搬送し、ピン60上にウエハを置く。このとき、ウエハ10は、ピン吸着孔61により吸着される。
【０００８】
その後ウエハチャック１１は上昇し、ウエハを吸着する。
【０００９】
従来のウエハ回収動作を図６、図7により説明する。
【００１０】
露光動作終了後、ウエハ回収時、ウエハチャック11は、ウエハ回収位置へ移動し、ウエハチャック11は下降し、ウエハ10はピン60上に載った状態になり、ウエハ回収ハンド32が浸入する（図7-a）。
【００１１】
次に、ウエハ回収ハンド32は、Ｚ方向に移動し、ウエハ10をウエハ回収ハンド32に載せる（図7-b）。Ｚ方向に移動後は、ウエハ回収ハンド32とピン60は干渉しない位置になるため、ウエハチャック11は、ウエハ供給位置に移動可能になる。
【００１２】
次に、ウエハ回収ハンド32の図示しない吸着手段によりウエハ10は吸着され、ウエハ回収ハンド32を引くことで、ウエハ10を回収する（図7-c）。
【特許文献１】特開平08-083750号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ウエハ搭載時は、露光ステージに搭載されたときのXYθ位置を高精度に再現させる必要があり、ウエハ供給ハンド40からウエハチャック11にウエハ１０を搭載する際、ウエハ供給ハンド40、ピン60、ウエハチャック11それぞれで、ウエハ10を吸着しながら搬送することで、ウエハ移動中のウエハ位置ズレを防止し、搭載時のXYθ位置の高精度化を実現している。
【００１４】
一方、ウエハ回収時は、XYθ位置を高精度に再現させる必要はないが、確実にウエハを回収するため、図7に示すように、ウエハチャック11やピン60で吸着をおこない、ウエハをウエハ回収ハンド32で吸着後、ウエハを回収する方法を行なっている。
【００１５】
半導体露光装置のスループットを向上させるためには、ウエハ供給ハンドと露光ステージ間のウエハ搭載時間や、露光ステージとウエハ回収ハンド間のウエハ回収時間を短縮させる必要がある。
【００１６】
そこで、本発明は、露光ステージからウエハ回収ハンドへのウエハ移動を高速化し、ウエハ回収時のスループット向上を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明の基板搬送装置は、
基板を搭載する基板保持手段と、前記基板保持手段に基板を吸着保持させるための吸着手段と、前記基板保持手段から基板を外すための加圧手段と、前記基板保持手段を駆動する駆動手段と、前記吸着手段と前記加圧手段と前記駆動手段とを制御し前記基板保持手段から前記基板を滑らせて移動させる制御手段と、前記基板保持手段から滑って移動する基板を回収する基板回収手段と、移動する基板位置を規制する規制手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ウエハを滑らせて回収ハンドに回収することで、従来ウエハ回収時行なっていたピン持ち替え動作時間、回収ハンド浸入時間等をなくす効果があり、ウエハ回収動作を高速化できるため、生産性の向上が計れる露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は本発明の実施例の半導体製造システムのシステム構成図である。
【００２１】
図２は本発明の実施例のフローチャートである。
【００２２】
正圧バルブ14をOFF、負圧バルブ13をONすると、負圧ポンプ15により、ウエハ10をウエハチャック１１に吸着保持する。
【００２３】
正圧バルブ14をON、負圧バルブ13をOFFすると、正圧ポンプ16により、ウエハ10のウエハチャック１１上での吸着保持を解除する。
【００２４】
ウエハチャック11は、ステージ駆動部19によって、ステージ35上を移動する。
【００２５】
正圧バルブ14、負圧バルブ13、ステージ駆動部19は、コントローラ12によって制御される。
【００２６】
ウエハ回収ハンド32は、ウエハ10をウエハチャック１１から滑らせて回収するためのハンドであり、回収ハンドウエハ通過検知発光部30と、回収ハンドウエハ通過検知受光部31を備え、ウエハ10の通過を検知する。
【００２７】
図２のフローチャートに従い、ウエハ回収動作を説明する。
【００２８】
ウエハチャック１１は、ステージ35上を移動し露光動作を行い、露光終了後回収開始位置33に移動する（図２-a）。このとき、ウエハチャック11はウエハ回収ハンド32の方向に、ウエハ10の吸着保持が解除されると自重で移動する方向に傾斜させる。ウエハ回収ハンド３２もウエハが自重で回収される方向に傾斜している。
【００２９】
次に回収終了位置に向かって移動を開始する（図２-b）。
【００３０】
移動の加速終了後、負圧バルブOFF（図２-c）によりウエハ10の吸着圧をOFFし、正圧バルブON（図２-d）により、ウエハ10をウエハチャック11からはずれた状態にする。
【００３１】
その後、回収位置へ近づきウエハチャック１１が減速する（図2-e）。ウエハ10はウエハチャック１１からの正圧により、摩擦の少ない状態であるため、ウエハ10は等速運動を続け、ウエハチャック11から、ウエハ回収ハンド32へ移動する。
【００３２】
図３は、図２-eのときのウエハ搬送装置の説明図であり、ウエハチャック１１が回収終了位置３４に到達し停止後、ウエハ１０が慣性で移動している状況を示す。
【００３３】
ウエハチャック11とウエハ回収ハンド32にあるウエハズレ防止柵17は、移動中のウエハ10が、移動方向からずれることを防ぐ。通過検知発光部31と回収ハンドウエハ通過検知受光部30により、ウエハチャック11からウエハ10が移動する状況を判定し、規定時間以内に、ウエハ通過終了が確認できたら、ウエハ10がウエハ回収ハンド32に到達したと判断し、（図2-f）ウエハ回収動作を正常終了する。
【００３４】
規定時間以内に回収ハンドでウエハ通過を検知できなかった場合は回収動作異常（図2-g）と判断する。
【００３５】
異常時ウエハ回収棚18は、ウエハ10がウエハチャック11から移動してきたとき、ウエハ回収ハンド32の動作異常等で、ウエハ回収ハンド32が所定の位置にない場合、ウエハを回収するための部材である。
【００３６】
図４に本発明の実施例のウエハ回収動作説明図を示す。
【００３７】
ウエハチャック１１は、ウエハ回収ハンド32と同じ量ωｘ傾斜させる。
【００３８】
ウエハチャック１１から滑って移動するウエハ10は、ウエハチャック停止時の慣性と、傾斜ωｘによってスムースにウエハ回収ハンド32に移動する。また、ウエハズレ防止柵17によって、ウエハチャック１１の駆動に異常があった場合でも、ウエハ10が、不適切な位置に移動することはない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施例の半導体製造システムのシステム構成図。
【図２】本発明の実施例のフローチャート。
【図３】本発明の実施例のウエハ回収動作説明図。
【図４】本発明の実施例のウエハ回収動作説明図。
【図５】従来のウエハ吸着保持装置の概略図。
【図６】従来のウエハ回収シーケンスのフローチャート。
【図７】図7a、図7b、図7cは、従来のウエハ回収動作説明図。
【符号の説明】
【００４０】
10  ウエハ
11  ウエハチャック
12  コントローラ
【図１】
2010129856.tif 000003
【図２】
2010129856.tif 000004
【図３】
2010129856.tif 000005
【図４】
2010129856.tif 000006
【図５】
2010129856.tif 000007
【図６】
2010129856.tif 000008
【図７】
2010129856.tif 000009