(57)【要約】【課題】ワークを所定位置でカットして複数個に分割する際に、短時間の内に効率よくワークを所定の位置に位置決めすることが可能なワーク位置決め装置、およびその方法を提供する。【解決手段】ワーク１の両側面の位置決めマークＭを個別に認識する２つのＣＣＤカメラ７R，７Lと、ワーク１を両側面に沿った一つの直線方向に直線移動可能、かつワークの側面を周回する周方向に沿って回転移動可能に設けられたテーブル４と、両ＣＣＤカメラ７R，７Lの内のいずれか一方の画像認識範囲にのみ位置決めマークＭが捉えられた場合にはテーブル４を回転移動させるとともに、その回転移動に伴う位置決めマークＭの直線方向に沿った移動量を相殺するようにテーブル４を逆方向に直線移動させる制御を行うコントローラ８とを備える。【選択図】図１
2010021411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを所定位置でカットして複数個に分割する際に、前記ワークの両側面にそれぞれ形成された位置決めマークに基づき、ワークを所定の位置に位置決めするための装置であって、
所定の画像認識範囲を有し、前記両側面の位置決めマークを個別に認識する２つの撮像手段と、
前記ワークを前記両側面に沿った一つの方向に直線移動させ、かつワークをその周方向に沿って回転移動させることが可能なテーブルと、
前記２つの両撮像手段のうち、いずれか一方の前記撮像手段の前記画像認識範囲にのみ前記位置決めマークが捉えられた場合には、前記テーブルを回転移動させるとともに、その回転移動に伴う前記位置決めマークの直線方向の移動量を相殺するように前記テーブルを前記直線方向に沿って逆方向に移動させる制御手段と
を備えることを特徴とするワーク位置決め装置。
【請求項２】
前記位置決めマークは、前記ワークの両側面の長手方向に沿って所定ピッチで複数形成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク位置決め装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記ワークの両側面の最外端に位置する前記位置決めマークを各撮像手段でそれぞれ同時に捉えた時点から、最外端から内側に向かう複数の前記位置決めマークまでを各々の撮像手段で順次連続して捉えられるか否かを判定し、連続して捉えられた場合にのみワークのカット開始許可を与えるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のワーク位置決め装置。
【請求項４】
前記ワークの側面と直交する主表面の中心を通る垂直軸を回転中心として、その回転中心から前記位置決めマークが形成された側面までの距離をＬ、予め設定された前記ワークの回転移動量をΔθ、前記ワークの回転移動に伴う前記位置決めマークの前記直線方向に沿う移動を相殺するように逆方向に移動させる直線移動量をΔｓとすると、前記制御手段は、
Δｓ＝Ｌ・ｔａｎ（Δθ）
の関係を満たすように前記テーブルの移動を制御するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のワーク位置決め装置。
【請求項５】
ワークを所定位置でカットして複数個に分割する際に、前記ワークの両側面にそれぞれ形成された位置決めマークに基づき、ワークを所定の位置に位置決めするための方法であって、
前記位置決めマークが両側面に形成されたワークを準備する工程と、
前記位置決めマークを両側面から２つの撮像手段で個別に捉える工程と、
一方側面の前記位置決めマークを一方の前記撮像手段の画像認識範囲内に捉え、他方の側面の前記位置決めマークを他方の前記撮像手段の画像認識範囲内に捉えられない場合には、前記テーブルを回転方向に回転移動させるとともに、その回転移動に伴う前記位置決めマークの直線方向に沿った移動量を相殺するように前記直線方向に沿って逆方向に移動させる工程と
を含むことを特徴とするワーク位置決め方法。
【請求項６】
前記位置決めマークは、前記ワークの両側面の長手方向に沿って所定ピッチで複数形成されていることを特徴とする請求項５記載のワーク位置決め装置。
【請求項７】
前記ワークの両側面の最外端に位置する前記位置決めマークを各撮像手段でそれぞれ同時に捉えた時点から、最外端から内側に向かう複数の前記位置決めマークまでを各々の撮像手段で順次連続して捉えられるか否かを確認し、連続して捉えられた場合にのみワークのカット開始可能と判断することを特徴とする請求項６記載のワークの位置決め方法。
【請求項８】
前記ワークの側面と直交する主表面の中心を通る垂直軸を回転中心として、その回転中心から前記位置決めマークが形成された側面までの距離をＬ、予め設定された前記ワークの回転移動量をΔθ、前記ワークの回転移動に伴う前記位置決めマークの前記直線方向に沿う移動を相殺するように逆方向に移動させる直線移動量をΔｓとすると、
Δｓ＝Ｌ・ｔａｎ（Δθ）
の関係を満たすように前記テーブルの移動を制御することを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のワーク位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック積層体などのワークを所定位置でカットして複数個に分割するに際して、ワークの両側面にそれぞれ形成された位置決めマークに基づいてワークを所定の位置に位置決めするためのワーク位置決め装置、およびワーク位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ウェハにフォトマスクを通して露光したり、セラミック積層体を所定の寸法にカットするような場合には、半導体ウェハやセラミック積層体などのワークをテーブル上に載置して移動させることにより、ワークを精度よく所定の位置に位置決めする必要がある。
【０００３】
そのため、従来より、ワークの表面に複数個の位置決めマークを予め形成しておき、このワークをテーブル上に載置する一方、テーブルに近接してＣＣＤカメラなどの撮像手段を設け、この撮像手段によって位置決めマークを観察し、位置決めマークが撮像手段の画像認識範囲内に捉えられたときに、その位置決めマークが画像認識範囲内の所定の箇所に位置するようにテーブルを直線移動もしくは回転移動させることにより、ワークを位置決めするようにしている。
【０００４】
しかし、ワークをテーブル上に載置する際の初期の載置精度が悪い場合や、位置決めマークの形成位置精度にばらつきがある場合などには、ワークをテーブル上に載置した際に、撮像手段の画像認識範囲内に位置決めマークを捉えることができない場合がある。このように、最初に画像認識範囲内に位置決めマークが現れないと、位置決めマークに基づいてワークを位置決めすることができなくなってしまう。
【０００５】
そこで、このような事態に対処するため、次のような対策を講じたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この位置決め方法では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸方向に直線移動可能で、かつ一つの回転軸を中心として回転可能なテーブルと、ＣＣＤカメラと、ワークの表面に形成された左右２つの位置決めマークの画像をＣＣＤカメラの画像認識範囲内に収束させる光学系とを設けるようにしている。なお、以下において、ワークの側面を周回する周方向に沿ってテーブルを回転させる場合の回転方向をθ方向と称する。
【０００６】
そして、この位置決め方法では、ワークをテーブル上に載置した際に、ＣＣＤカメラの画像認識範囲内に左右の位置決めマークが同時に現れない場合には、Ｘ軸またはＹ軸方向に沿って徐々に移動距離を正逆方向に増加させながら、左右どちらかの位置決めマークが検出されるまでテーブルを直線移動させる。そして、左右のいずれか一方の位置決めマークが検出されると、テーブルをθ方向に沿って徐々に移動距離を正逆転方向に増加させながら、他方の位置決めマークが検出されるまでテーブルを回転移動させる。このようにしても、左右の位置決めマークが同時に検出できないときには、最初に戻り、Ｘ軸またはＹ軸方向に沿って徐々に移動距離を正逆方向に増加させながら、左右どちらかの位置決めマークが検出されるまでテーブルを直線移動させ、左右のいずれか一方の位置決めマークが検出されると、次に、テーブルをθ方向に沿って徐々に移動距離を正逆転方向に増加させながら、他方の位置決めマークが検出されるまでテーブルを回転移動させるようにしている。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１６８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来技術では、左右２つの位置決めマークがＣＣＤカメラの画像認識範囲内に同時に捉えられるようになるまでは、平行移動と回転移動とを時分割で交互に順次繰り返す必要があるため、両方の位置決めマークが検出されるまでに時間がかかり、位置決め調整の効率が悪いという問題点がある。
【０００９】
また、セラミック積層体を所定の寸法にカットして個々の積層電子部品に分割する場合を想定すると、当該ブロックの両側部表面の長手方向に沿って露出するように配列形成された多数の露出電極を位置決めマークとして利用することが考えられる。その際、最外端に位置する露出電極を第１の位置決めマークとしてまず検出する必要があるが、従来技術を適用した場合には、第１の位置決めマークよりも内側の位置決めマークを第１の位置決めマークとして誤って検出してしまうおそれがある。また、ごみや汚れを位置決めマークとして誤検出した場合にも、誤検出したことを認識することができない。このため、カット開始位置を誤って設定してしまうという問題点がある。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、ワークを所定位置でカットして複数個に分割する際に、短時間の内に効率よくワークを所定の位置に位置決めすることができるワーク位置決め装置、およびワーク位置決め方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明のワーク位置決め装置は、
ワークを所定位置でカットして複数個に分割する際に、前記ワークの両側面にそれぞれ形成された位置決めマークに基づき、ワークを所定の位置に位置決めするための装置であって、
所定の画像認識範囲を有し、前記両側面の位置決めマークを個別に認識する２つの撮像手段と、
前記ワークを前記両側面に沿った一つの方向に直線移動させ、かつワークをその周方向に沿って回転移動させることが可能なテーブルと、
前記２つの両撮像手段のうち、いずれか一方の前記撮像手段の前記画像認識範囲にのみ前記位置決めマークが捉えられた場合には、前記テーブルを回転移動させるとともに、その回転移動に伴う前記位置決めマークの直線方向の移動量を相殺するように前記テーブルを前記直線方向に沿って逆方向に移動させる制御手段と
を備えることを特徴としている。
【００１２】
前記位置決めマークは、前記ワークの両側面の長手方向に沿って所定ピッチで複数形成されていることが望ましい。
【００１３】
また、前記制御手段は、前記ワークの両側面の最外端に位置する前記位置決めマークを各撮像手段でそれぞれ同時に捉えた時点から、最外端から内側に向かう複数の前記位置決めマークまでを各々の撮像手段で順次連続して捉えられるか否かを判定し、連続して捉えられた場合にのみワークのカット開始許可を与えるように構成されていることが望ましい。
【００１４】
また、前記ワークの側面と直交する主表面の中心を通る垂直軸を回転中心として、その回転中心から前記位置決めマークが形成された側面までの距離をＬ、予め設定された前記ワークの回転移動量をΔθ、前記ワークの回転移動に伴う前記位置決めマークの前記直線方向に沿う移動を相殺するように逆方向に移動させる直線移動量をΔｓとすると、前記制御手段は、
Δｓ＝Ｌ・ｔａｎ（Δθ）
の関係を満たすように前記テーブルの移動を制御するように構成されていることを特徴としている。
【００１５】
また、本発明のワーク位置決め方法は、
前記位置決めマークが両側面に形成されたワークを準備する工程と、
前記位置決めマークを両側面から２つの撮像手段で個別に捉える工程と、
一方側面の前記位置決めマークを一方の前記撮像手段の画像認識範囲内に捉え、他方の側面の前記位置決めマークを他方の前記撮像手段の画像認識範囲内に捉えられない場合には、前記テーブルを回転方向に回転移動させるとともに、その回転移動に伴う前記位置決めマークの直線方向に沿った移動量を相殺するように前記直線方向に沿って逆方向に移動させる工程と
を含むことを特徴としている。
【００１６】
また、前記位置決めマークは、前記ワークの両側面の長手方向に沿って所定ピッチで複数形成されていることが望ましい。
【００１７】
また、本発明（請求項７）にかかるワーク位置決め方法は、前記ワークの両側面の最外端に位置する位置決めマークを各撮像手段でそれぞれ同時に捉えた時点から、最外端から内側に向かう複数の位置決めマークまでを各々の撮像手段で順次連続して捉えられるか否かを確認し、連続して捉えられた場合にのみワークのカット開始可能と判断することを特徴としている。
【００１８】
また、本発明（請求項８）にかかるワーク位置決め方法は、前記ワークの側面と直交する主表面の中心を通る垂直軸を回転中心として、その回転中心から位置決めマークが形成された側面までの距離をＬ、予め設定された前記ワークの回転移動量をΔθ、前記ワークの回転移動に伴う位置決めマークの前記直線方向に沿う移動を相殺するように逆方向に移動させる直線移動量をΔｓとすると、
Δｓ＝Ｌ・ｔａｎ（Δθ）
の関係を満たすように前記テーブル移動を制御することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１９】
本発明（請求項１、請求項５）によれば、ワークの位置決めに際して、まず、ワークの最外端の位置決めマークを検出するようにし、少なくとも両側面の位置決めマークの内の一方が検出されれば、検出した一方の位置決めマークが画像認識範囲内から外れないように、ワークの回転移動と平行移動とを同時に行って他方の位置決めマークの検出を行うようにしているので、位置決め開始当初にワークの両側面の位置決めマークの両方が各撮像手段の画像認識範囲内から外れている場合にも、ワーク両側の位置決めマークがそれぞれ画像認識範囲内に捉えられるように短時間の内にかつ効率よくワークを所定の位置に位置決めすることが可能になる。
【００２０】
また、本発明（請求項２、請求項６）によれば、ワークが例えばセラミック積層体などで構成されている場合、当該積層体の周辺側の端部は歪みが大きい場合があり、歪みの少ない内側の部分を使用したいことがあるが、その際、位置決めマークは、ワークの両側面の長手方向に沿って所定ピッチで複数形成されているので、最外端から内側に向かう複数の位置決めマークを順次カウントすることにより、最終的に歪みのない箇所の位置決めマークの位置をカット開始位置として設定することが可能になり、精度を向上させることができる。
【００２１】
また、本発明（請求項３、請求項７）によれば、ワークの両側面の最外端に位置する位置決めマークを各撮像手段でそれぞれ同時に捉えた時点から、最外端から内側に向かう複数の位置決めマークまでを各々の撮像手段で順次連続して捉えられるか否かを検証し、連続して捉えられた場合にのみワークのカット開始可能と判断するので、ごみや汚れがあっても、これらを位置決めマークとして誤検出するおそれがなくなり、カット開始位置を誤って設定するという不具合の発生を確実に防止することができる。
【００２２】
また、本発明（請求項４、請求項８）によれば、ワークの両側面の位置決めマークの内の一方が検出された場合には、他方の位置決めマークが検出されるようにワークを回転移動させるが、その際、ワークの回転移動量Δθと、これに伴うワークの直線移動量Δｓとの間に常に一定の関係式（条件）が成立するようにしているので、ワークの回転移動に伴う一方の位置決めマークの直線方向に沿った移動量を確実に相殺することができる。その結果、最初に検出された一方の位置決めマークが常に画像認識範囲内から外れないようにしつつ、他方の位置決めマークを検出することが可能になる。そして、これにより、ワークの両側面の位置決めマークを短時間の内に、かつ効率よく画像認識範囲内に捉えられるように調整することが可能になり、ワークの位置決めをさらに効率よく、しかも確実に行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明の実施例を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例】
【００２４】
図１は本発明の一実施例にかかるワークカット装置の構成を示す斜視図である。
この実施例のワークカット装置は、ワーク１を所定の位置に位置決めする本発明のワーク位置決め装置２と、このワーク位置決め装置２で位置決めされたワーク１を所定のサイズにカットするカット機構３とを有する。
ここに、ワーク位置決め装置２は、ワーク１が載置されるテーブル４を有し、このテーブル４の下方には、当該テーブル４を互いに直交するＸ軸、Ｙ軸の各方向にそれぞれ直線移動させる直線移動機構５、およびテーブル４をθ方向に回転移動させる回転移動機構６が設けられている。また、テーブル４の近接位置にはワーク１の両側面にそれぞれ形成された位置決めマークを個別に認識する２つの撮像手段としての各ＣＣＤカメラ７R，７Lが左右に対向配置され、さらに、各ＣＣＤカメラ７R，７Lで撮影された画像に基づいて直線移動機構５および回転移動機構６を制御する制御手段としてのコントローラ８を備えている。
また、コントローラ８には当該コントローラ８に対して各種の設定値を入力するキーボードなどからなる設定器９が設けられている。
【００２５】
コントローラ８は、例えばマイクロコンピュータを備えており、予めインストールされた所定の制御プログラムやアプリケーションプログラム、上記のＣＣＤカメラ７R，７Lで撮影された画像情報、および設定器９で設定された初期設定値に基づいて画像処理や各種演算を行って直線移動機構５、回転移動機構６、およびカット機構３をそれぞれ制御するように構成されている。
【００２６】
図２はワーク１となるセラミック積層体の斜視図、図３は同セラミック積層体の平面図である。
このセラミック積層体（以下、単にワークという）１は、平板ブロック状のもので、その内部に図示しない複数の内部電極を備えているとともに、測面に露出するように配列形成された複数の露出電極１０を備えている。
そして、この実施例では、ワーク１の側面において長手方向に沿って順次形成されている複数の露出電極１０間の余白部分が位置決めマークとして利用される。この実施例では、電極間の余白を位置決めマークとして利用しているが、ワーク１の外周部にカット位置を示すマークを印刷し、これを位置決めマークとして利用してもよい。
【００２７】
そのため、図４に示すように、右側のＣＣＤカメラ７R（同図（ａ））の画像認識範囲ＲR、および左側のＣＣＤカメラ７L（同図（ｂ））の画像認識範囲ＲLは、いずれも左右隣り合う２つの露出電極１０が含まれる範囲に限定されており、３つ以上の露出電極１０が同時に含まれないように設定されている。そして、この実施例では隣り合う２つの露出電極１０間の余白部分を位置決めマークＭとし、かつ、隣り合う２つの露出電極１０間の各余白部分（位置決めマークＭ）の中央に切り込みを入れてチップを切り出すカット位置としている。
【００２８】
次に、ワーク１をカットする際の位置決め制御について、図５−１、図５−２に示すフローチャート、および図６−１、図６−２、図７に示す各動作説明図を参照して説明する。なお、以下において符合Ｓは各処理ステップを意味する。
【００２９】
まず、設定器９により、ワーク１の位置決め制御に必要な初期設定を行う（Ｓ１）。
この初期設定としては、位置決めマークＭの検出に際してワークの最外端の位置決めマークＭよりも外側にＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLが最初に位置するように、図７に示すようにサーチ開始位置Ｑ０を予め登録する。また、互いに隣接する位置決めマークＭのピッチ（ここでは隣り合う２つの露出電極１０間の余白部分の中央から次の余白部分の中央までの距離）Ｐｍ、位置決めマークＭを検出するためにテーブル４を直線移動させる際の所定の直線移動量（直線サーチピッチ）ΔＰ、位置決めマークＭを検出するためにテーブル４を回転移動させる際の所定の回転移動量（回転サーチピッチ）Δθ、この回転サーチピッチΔθ分の回転移動に伴う位置決めマークＭの直線方向に沿う移動を相殺するように逆方向に移動させる場合の直線移動量Δｓをそれぞれ設定入力する。なお、ΔθとΔｓとの相互関係については、後で説明する。
【００３０】
また、後述するように、コントローラ８は、位置決めマークＭを検出するために、テーブル４を直線サーチピッチΔＰ分ずつ繰り返して直線移動させる際の繰り返し回数を直線サーチカウンタでカウントし、また、テーブル４を回転サーチピッチΔθ分ずつ繰り返して回転移動させる際の繰り返し回数を回転サーチカウンタでカウントする。また、検出された位置決めマークＭが本当に妥当なものであるかを検証するために、位置決めマークＭのピッチＰｍ分ずつテーブル４を繰り返して移動させる際の繰り返し回数をマーク確認用カウンタでカウントする。
【００３１】
このため、直線サーチカウンタのカウント値Ｎａとして許容される限界値ＮａLT、回転サーチカウンタのカウント値Ｎｂとして許容される限界値ＮｂLT、およびマーク確認用カウンタのカウント値Ｎｃによって検証されるマーク検証回数Ｎｄをそれぞれ設定する。さらに、カット開始位置を設定するためのカット開始位置番号Ｎｅをそれぞれ設定する。また、上記の各カウンタのカウント値Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃは、初期値としていずれも予め“０”を設定する。なお、これらの各初期設定値の意味は、以下のフローチャートの説明に従ってさらに明らかになる。
【００３２】
上記のようにして初期設定を行った後、カットするワーク１を図示しない搬送手段によってテーブル４上に搬送して所定の位置に載置する。なお、この場合、ワーク１の露出電極１０が形成されている左右の両側面は、テーブル４のＹ軸に沿うように配置される。そして、コントローラ８は、以下の手順でワーク１の最外端の位置決めマークＭを検出する。
【００３３】
まず、コントローラ８は直線移動機構５を制御し、図７に示すように、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の最外端の位置決めマークＭよりも外側に位置するサーチ開始位置Ｑ０までテーブル４をＹ軸方向に沿って直線移動させる（Ｓ２）。次に、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の内側方向に向かうようにテーブル４を直線サーチピッチΔＰ分だけ直線移動させて左右の位置決めマークＭの検出処理を行う（Ｓ３）（図６−１(ａ)参照）。その際、直線サーチカウンタのカウント値Ｎａを一つ増加させ（Ｓ４）、このカウント値Ｎａが限界値ＮａLTを超えているか否かを判断し（Ｓ５）、超えていなければ、続いて左右両方の位置決めマークＭがともに検出されたか否かを判断する（Ｓ６）。
【００３４】
ここで、左右の位置決めマークＭがともに検出されている場合には、Ｓ１３に移行する一方、左右の位置決めマークＭがともに検出されていなければ、片方の位置決めマークＭが検出されているか否かを判断する（Ｓ７）。このとき、片方の位置決めマークＭが検出されている場合には、Ｓ９に移行する。また、左右の位置決めマークＭがいずれも検出されていなければ、再びＳ３に戻り、Ｓ３〜Ｓ７までを繰り返す。また、Ｓ５で直線サーチカウンタのカウント値Ｎａが限界値ＮａLTを超えている場合には、位置決めマークＭの検出処理を終了し、オペレータによる手動調整処理に移行する（Ｓ８）。
【００３５】
上記のＳ７において、片方の位置決めマークＭだけが検出されていると判断された場合には、もう一方の位置決めマークＭを検出するために、コントローラ８は、直線移動機構５および回転移動機構６をともに制御し、テーブル４の回転移動と直線移動とを同時に行って一方の位置決めマークＭの検出処理を実行する（Ｓ９）（図６−１（ｂ）参照）。
【００３６】
すなわち、コントローラ８は、テーブル４を回転サーチピッチΔθ分だけ回転させる。その際、図中右側のＣＣＤカメラ７Rで最初に位置決めマークＭが検出された場合には、テーブル４を時計回りに回転させ、また左側のＣＣＤカメラ７Lで最初に位置決めマークＭが検出された場合には、テーブル４を反時計回りに回転させる（Ｓ９）。しかも、このテーブル４の回転と同時に、この回転サーチピッチΔθ分の回転移動に伴う位置決めマークＭのＹ軸方向に沿う移動量を相殺するように逆方向にテーブル４を直線移動量Δｓ分だけ直線移動させる。次に、このΔθとΔｓとの相互関係について、図８を参照して説明する。
【００３７】
いま、図８に示すように、ワーク１の側面と直交する主表面の中心を通る垂直軸を回転中心ｏとして、その回転中心ｏから位置決めマークＭが形成された側面までの距離をＬ、予め設定されている回転サーチピッチをΔθとする。そして、例えば、右側のＣＣＤカメラ７Rで最初に位置決めマークＭが検出されたとし、その場合にテーブル４を時計回りに回転サーチピッチΔθ分回転させると、そのＣＣＤカメラ７Rで検出される位置決めマークＭは、図中の符合Ｔ１からＴ２に示す位置まで移動する。ここで、Ｔ１からＴ２までの位置移動によるＸ軸方向との成す角度をεとすると、この回転に伴うＹ軸方向の位置決めマークＭの移動距離Δｓは、
Δｓ＝Ｌ・ｔａｎ（ε）                                  （１）
となる。
【００３８】
また、回転サーチピッチΔθが十分に小さい場合には、ε≒Δθなので、上記（１）式より、近似的に、
Δｓ＝Ｌ・ｔａｎ（Δθ）                                （２）
が成立する。
【００３９】
したがって、テーブル４が回転サーチピッチΔθ分だけ回転されるに伴って位置決めマークＭがＹ軸方向にΔｓだけ移動する分、同時にテーブル４をΔｓ分だけ反対方向に直線移動させれば、最初に検出された右側の位置決めマークＭが常にＣＣＤカメラ７Rの画像認識範囲内にある状態を保ちつつ、左側の位置決めマークＭが左側のＣＣＤカメラ７Lの画像認識範囲内に収まるようにすることができる。これにより、ワーク１の両側面の位置決めマークＭを短時間内に、かつ効率よくそれぞれ画像認識範囲内に捉えられるように調整することが可能になる。なお、最初に左側のＣＣＤカメラ７Lで位置決めマークＭが検出された場合にも、上記の方法に準じる方法により、両方の位置決めマークを短時間内に、かつ効率よく画像認識範囲内に捉えられるように調整することができる。
【００４０】
このようにして、片方の位置決めマークＭだけが検出されている場合には、上記のように回転移動と直線移動とを同時に行って他方の位置決めマークＭの検出処理を行う（Ｓ９）。その際、回転サーチカウンタのカウント値Ｎｂを一つ増加させた後（Ｓ１０）、このカウント値Ｎｂが限界値ＮｂLTを超えているか否かを判断し（Ｓ１１）、超えていなければ、続いて左右両方の位置決めマークＭがともに検出されたか否かを判断する（Ｓ１２）。なお、Ｓ１１で回転サーチカウンタのカウント値Ｎｂが限界値ＮｂLTを超えている場合には、位置決めマークＭの検出処理を終了し、オペレータによる手動調整処理に移行する（Ｓ８）。
【００４１】
そして、Ｓ１２あるいは先のＳ６で左右両方の位置決めマークＭが同時に検出された場合には、次に、コントローラ８は位置合わせ処理を行う（Ｓ１３）。この位置合わせ処理では、ワーク１の左右側面の位置決めマークＭの余白の中央（＝Ｐｍ／２）のカット位置が左右のＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLの中央と一致するようにテーブル４を移動させるなどして位置合わせを行う（図６−１（ｃ）参照）。
【００４２】
次に、上記のようにして検出されたワーク１の最外端の左右の位置決めマークＭがごみや汚れによる誤検出ではなく確実に位置決めマークＭであることを検証するために、コントローラ８は、さらに次の処理を行う。
【００４３】
すなわち、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLが予め設定された位置決めマークＭのピッチＰｍ分だけワークの内側方向に向かうようにテーブル４を直線移動させ（Ｓ１４）、その際にマーク確認用カウンタのカウント値Ｎｃを一つ増加させる（Ｓ１５）。そして、左右両方の位置決めマークＭがともに検出されたか否かを判断する（Ｓ１６）。続いて、マーク確認用カウンタのカウント値Ｎｃがマーク検証回数Ｎｄを超えているか否かを判断し（Ｓ１７）、超えていなければ、Ｓ１４に戻り、Ｓ１４〜Ｓ１７を繰り返す（図６−２（ｄ）参照）。
【００４４】
したがって、例えばマーク検証回数Ｎｄ＝３に設定されている場合には、図７に示すように、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLに対してワークの外側から内側に向けてＱ１→Ｑ２→Ｑ３→Ｑ４というように位置決めマークＭがピッチＰｍ分ずつ順次移動されて、その都度、左右の位置決めマークＭの検出処理が実行される。なお、Ｓ１６で左右の位置決めマークＭがともに検出できない場合には、位置決めマークＭの検出処理を終了し、オペレータによる手動調整処理に移行する（Ｓ８）。
【００４５】
Ｓ１７でマーク確認用カウンタのカウント値Ｎｃがマーク検証回数Ｎｄに到達するまで、ワーク１の左右の位置決めマークＭが常に同時に検出された場合には、最初に検出されたワーク１の最外端の左右の位置決めマークＭは誤検出ではなく妥当なものと判断し、コントローラ８は、続いて、予め初期値として設定されたカット開始位置を規定するカット開始位置番号Ｎｅと、マーク検証回数Ｎｄの値とを参照して、次式に基づいて現在のワーク１の位置からＷの距離だけテーブル１を直線移動させる（Ｓ１８）（図６−２（ｅ）参照）。
Ｗ＝（Ｎｅ−Ｎｄ）・Ｐｍ                          （３）
【００４６】
ここで、Ｎｅ＞Ｎｃの場合には、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の内側方向に向かうようにテーブル４が移動する。また、Ｎｅ＝Ｎｃの場合には、テーブル４の移動はなくワーク１は現在の位置に留まる。また、Ｎｅ＜Ｎｃの場合には、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の外側方向に向かうようにテーブル４が移動する。例えば、カット開始位置番号Ｎｅ＝５、マーク検証回数Ｎｄ＝３に予め設定されている場合には、図７に示すように、現在のカット位置Ｑ４を基準として、Ｗ＝（５−３）・Ｐｍ＝２・Ｐｍ分だけ、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の内側方向に向かうようにテーブル４が移動する。
【００４７】
そして、テーブル４の移動後、先のＳ１３と同様な位置合わせ処理を行う（Ｓ１９）。それから、コントローラ８がカット機構３を制御し、カット機構３によるワーク１の最初のカットが実行される（Ｓ２０）。ワーク１のカットが終了すると、再度、位置決めマークＭのピッチＰｍ分だけテーブル４が移動され（Ｓ２１）、ワーク１の全てのカットが終了したか否かが判断される（Ｓ２２）。そして、ワーク１の全てのカットが終了するまで、Ｓ１９〜Ｓ２２が繰り返された後、ワーク１の全てのカットが終了すると全てのカット処理が完了する。
【００４８】
以上のように、この実施例では、ワーク１の位置決め開始当初は、ワーク１の最外端の位置決めマークＭよりも外側にＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLが位置するようにテーブル４を移動させておいてから、ワーク１の最外端の位置決めマークＭを検出するようにし、その後、少なくとも両側面の位置決めマークＭの内の一方が検出されれば、検出した一方の位置決めマークＭが画像認識範囲内から外れないように、ワーク１の回転移動と平行移動とを同時に行って他方の位置決めマークＭの検出を行うので、当初にワーク１の両側面の位置決めマークＭが各ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲL内からともに外れている場合でも、ワーク１の両側面の位置決めマークＭを短時間の内に、かつ効率よくそれぞれ画像認識範囲ＲR，ＲL内に捉えられるように調整することができる。
【００４９】
また、ワーク１の両側面の最外端に位置する位置決めマークＭを各ＣＣＤカメラ７R，７Lで同時に捉えた時点から、最外端から内側に向かう複数の位置決めマークＭまでを各々のＣＣＤカメラ７R，７Lで順次連続して捉えられるか否かを検証し、連続して捉えられた場合にのみワーク１のカット開始可能と判断するので、ごみや汚れがあっても、これらを位置決めマークＭとして誤検出する恐れがなくなる。
【００５０】
そして、前工程で製造されたワークの外端部の歪み発生の程度に応じて、カット開始位置番号Ｎｅを予め登録しておけば、ワーク１の最外端から内側に向かって位置決めマークＭを確実にカウントして、所定のカット開始位置でカットが実行されるため、カット開始位置を誤らず、かつ、歪みのないチップを得ることができ、不良品の発生を抑えることが可能になる。
【００５１】
なお、上記の実施例では、位置決めマークＭのピッチＰｍごとにテーブル４を移動してカットするため、Ｓ１８において、現在のワーク１の位置からカット開始位置までのテーブル４の移動量Ｗを上記（３）式に基づいて決定しているが、位置決めマークＭのピッチが個々に異なる場合でも、予め各露出電極１０間のピッチＰｍｉを初期値として登録しておくことにより、次式によって、現在のワーク１の位置からカット開始位置までの移動量Ｗを算出することが可能である。
【００５２】
【数１】
2010021411.tif 000003
【００５３】
ただし、Ｐｍｉはｉ番目の位置決めマークＭとｉ＋１番目の位置決めマークＭとの距離、Ｎｄは前述のマーク検証回数、Ｎｅは前述のカット開始位置番号である。この場合も、前述と同様、Ｎｅ＞Ｎｃの場合には、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の内側方向に向かうようにテーブル４が移動する。また、Ｎｅ＝Ｎｃの場合には、テーブル４の移動はなくワーク１は現在の位置に留まる。また、Ｎｅ＜Ｎｃの場合には、ＣＣＤカメラ７R，７Lの画像認識範囲ＲR，ＲLがワーク１の外側方向に向かうようにテーブル４が移動する。
【００５４】
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、発明の範囲内において各種の変形を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
上記実施例では、セラミック積層体をワークとしてこれを所要寸法にカットする場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば半導体ウェハをワークとして、これを所要寸法にカットする場合などにも広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施例にかかるワークカット装置の構成を示す斜視図である。
【図２】ワークとなるセラミック積層体の斜視図である。
【図３】図２のセラミック積層体の平面図である。
【図４】(ａ)，(ｂ)は本発明の実施例にかかるワークカット装置のＣＣＤカメラの画像認識範囲とワークの両側面に形成された位置決めマークとなる露出電極との関係を示す説明図である。
【図５−１】本発明の実施例にかかるワークカット装置を用いてワークをカットする際の位置決め制御手順を示すフローチャートである。
【図５−２】本発明の実施例にかかるワークカット装置を用いてワークをカットする際の位置決め制御手順を示すフローチャートである。
【図６−１】(ａ)〜(ｃ)は本発明の実施例にかかるワークカット装置を用いてワークをカットする際の位置決め制御の動作を説明する図である。
【図６−２】(ｄ)，(ｅ)は本発明の実施例にかかるワークカット装置を用いてワークをカットする際の位置決め制御の動作を説明する図である。
【図７】本発明の実施例にかかるワークカット装置を用いてワークをカットする際の位置決め制御の動作を説明する図である。
【図８】テーブル４を回転サーチピッチΔθ分だけ回転移動させた場合の、このΔθと、位置決めマークのＹ軸方向に沿う直線移動量Δｓとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１      ワーク（セラミック積層体）
２      ワーク位置決め装置
３      カット機構
４      テーブル
５      直線移動機構
６      回転移動機構
７R     ＣＣＤカメラ（撮像手段）  
７L     ＣＣＤカメラ（撮像手段）
８      コントローラ（制御手段）
９      設定器
１０    露出電極
Ｍ      位置決めマーク
ＲR     画像認識範囲
ＲL     画像認識範囲
【図１】
2010021411.tif 000004
【図２】
2010021411.tif 000005
【図３】
2010021411.tif 000006
【図４】
2010021411.tif 000007
【図５−１】
2010021411.tif 000008
【図５−２】
2010021411.tif 000009
【図６−１】
2010021411.tif 000010
【図６−２】
2010021411.tif 000011
【図７】
2010021411.tif 000012
【図８】
2010021411.tif 000013