(57)【要約】【課題】測定装置を必要とせず、給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いをより簡易に検出することができる。【解決手段】ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５へ２つの異なる駆動パルス信号及び検査パルス信号をそれぞれ供給する。このとき、ＦＰＣ５０に流れた電流値を積算して算出された総電荷量にパルス信号の電圧値を割ることで静電容量をそれぞれ算出する。その後、駆動パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量と、検出パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量を比較することで、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２間の接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出する。【選択図】  図４
2010208172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
充放電を伴って動作する駆動対象への、駆動装置からの給電を行う、給電系統の検査方法であって、
前記駆動装置から前記駆動対象へ検査パルス信号を供給する供給工程と、
前記供給工程により供給された前記検査パルス信号によって駆動している前記駆動対象の、充電開始から充電完了する途中まで、または、放電開始から放電完了する途中までの間において前記給電系統を流れる電流値を積算して、１回の充電または放電による総電荷量を算出する算出工程と、
前記算出工程により算出された総電荷量に基づいて、前記給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出する検出工程と、を備えていることを特徴とする給電系統の検査方法。
【請求項２】
前記供給工程において、前記駆動装置から前記駆動対象へ、前記駆動対象の充放電が完全には行われないように設定された第１検査パルス信号を供給し、
前記算出工程において、前記第１検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間、または、立下りから立ち上がりまでのエッジ間における前記給電系統を流れる電流値を積算して総電荷量を算出することを特徴とする請求項１に記載の給電系統の検査方法。
【請求項３】
前記供給工程において、前記駆動装置から前記駆動対象へ、前記第１検査パルス信号と、前記駆動対象の完全充電と完全放電が繰り返し行われるように設定された、前記第１検査パルスとは異なるパルス幅を有する第２検査パルス信号を供給し、
前記算出工程において、前記第１検査パルス信号を供給したときの、前記第１検査パルス信号の前記エッジ間における前記給電系統を流れる電流値を積算して第１電荷量を算出するとともに、前記第２検査パルス信号を供給したときの、前記第２検査パルス信号の前記エッジ間における前記給電系統を流れる電流値を積算して第２電荷量を算出し、
前記検出工程において、前記第１電荷量と前記第２電荷量とを比較して、前記第２電荷量に対して前記第１電荷量が所定値以上小さい場合に、前記基準の抵抗値に対して前記給電系統の抵抗値が大きいと検出することを特徴とする請求項２に記載の給電系統の検査方法。
【請求項４】
前記第２検査パルス信号は、通常駆動時に前記駆動装置から前記駆動対象に供給する駆動パルス信号であることを特徴とする請求項３に記載の給電系統の検査方法。
【請求項５】
前記供給工程において、前記駆動装置から前記駆動対象へ供給される前記第１検査パルス信号及び前記第２検査パルス信号は、同じ周波数で、デューティー比が異なっていることを特徴とする請求項４または５に記載の給電系統の検査方法。
【請求項６】
前記駆動対象は、圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の給電系統の検査方法。
【請求項７】
前記駆動装置と前記圧電アクチュエータは、配線部材を介して電気的に接続されており、
前記圧電アクチュエータの接点と前記配線部材の接点が接触して電気的に導通した状態で、それら接点の周囲に配置された樹脂によって、前記配線部材と前記圧電アクチュエータが接合されていることを特徴とする請求項６に記載の給電系統の検査方法。
【請求項８】
前記駆動装置と前記圧電アクチュエータは、配線部材を介して電気的に接続されており、
前記圧電アクチュエータの接点と前記配線部材の接点が金属粒子を含有した導電性を有する樹脂により接続され、前記配線部材と前記圧電アクチュエータが接合されていることを特徴とする請求項６に記載の給電系統の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、充放電を伴って動作する駆動対象への、駆動装置からの給電を行う、給電系統の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、充放電を伴って動作する駆動対象と、この駆動対象に給電を行う駆動装置とを、給電系統に接続したものが知られている。例えば、特許文献１には、充放電を伴って駆動し、流路ユニットに形成されたインク流路内のインクに噴射圧力を付与する、駆動対象たる圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータへ給電を行う、駆動装置たるドライバＩＣとを、ドライバＩＣを実装し、圧電アクチュエータ表面の複数の個別電極に電気的に接続されたフレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）で接続したインクジェットヘッドについて開示されている。このインクジェットヘッドには、圧電アクチュエータの複数の個別電極に複数の導電性バンプがそれぞれ突出して設けられており、ＦＰＣに圧電アクチュエータの複数のバンプに対応し、ドライバＩＣと接続された複数の端子がそれぞれ設けられている。そして、端子とバンプが電気的に接続されており、インクジェットヘッドは、ドライバＩＣからこの端子に電圧を供給することで、端子と接続されたバンプを介して個別電極に電圧を印加して、圧電アクチュエータを駆動している。
【０００３】
このような駆動装置と駆動対象を接続しているＦＰＣを含む給電系統には、配線抵抗などの抵抗成分が少なからず含まれているが、この給電系統の抵抗値が大きいと、充放電電流が小さくなることで、駆動対象の充放電速度が変わってしまい、駆動対象の駆動に影響を与えることがある。例えば、ＦＰＣの端子と圧電アクチュエータのバンプとの接合状態によって、この接続部の抵抗値が大きくなってしまい、給電系統の抵抗値が大きくなることもある。特許文献１に記載されたインクジェットヘッドでは、ＦＰＣの端子と圧電アクチュエータのバンプの接触が不十分であると、接触面積が小さいため、接触抵抗が大きくなる。すると、ドライバＩＣからこのバンプと接続された個別電極に印加される電圧波形がなまってしまい、この個別電極に対応したインク流路内のインクへ付与される噴射圧力が小さくなり、噴射タイミングがずれたり、所望の噴射特性を得られなくなってしまう。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３０５８４７号公報（図９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、給電系統の抵抗値を測定したいが、特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣの端子と圧電アクチュエータのバンプの接触抵抗を測定しようとすると、わざわざ測定装置を準備して、この測定装置のプローブを端子とバンプにそれぞれ接触させて接触抵抗を測定しなければならず面倒であった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、抵抗値の大きさの度合いをより簡易に検出することができる給電系統の検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の給電系統の検査方法は、充放電を伴って動作する駆動対象への、駆動装置からの給電を行う、給電系統の検査方法であって、前記駆動装置から前記駆動対象へ検査パルス信号を供給する供給工程と、前記供給工程により供給された前記検査パルス信号によって駆動している前記駆動対象の、充電開始から充電完了する途中まで、または、放電開始から放電完了する途中までの間において前記給電系統を流れる電流値を積算して、１回の充電または放電による総電荷量を算出する算出工程と、前記算出工程により算出された総電荷量に基づいて、前記給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出する検出工程と、を備えている。
【０００８】
本発明の給電系統の検査方法によると、給電系統の抵抗値の大きさの違いにより充放電速度が変化した駆動対象の充電開始から充電完了する途中まで、または、放電開始から放電完了する途中までの間において給電系統を流れる電流値に基づいて、給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出することができる。これにより、給電系統の検査の際に、測定装置を用いずに抵抗値の大きさの度合いを検出することができるため、測定装置を用いる際の煩わしさが解消され、抵抗値の大きさの度合いを簡易に検出することができる。なお、「基準の抵抗値」とは、駆動装置と駆動対象とが正常に導通されている場合における、給電系統の抵抗値を指す。
【０００９】
また、前記供給工程において、前記駆動装置から前記駆動対象へ、前記駆動対象の充放電が完全には行われないように設定された第１検査パルス信号を供給し、前記算出工程において、前記第１検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間、または、立下りから立ち上がりまでのエッジ間における前記給電系統を流れる電流値を積算して総電荷量を算出することが好ましい。駆動対象の充放電が完全には行われないような検査パルス信号を駆動対象に供給したときには、充電時間または放電時間が途中で終わり不十分なため、充電時または放電時の総電荷量は完全充放電時と比べると小さくなる。ただし、給電系統の抵抗値の大きさによって、単位時間当たりに給電系統を流れる電流値が異なるため、充電時または放電時の総電荷量にばらつきが生じる。したがって、この充電時または放電時の総電荷量から、給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出することができる。
【００１０】
さらに、前記供給工程において、前記駆動装置から前記駆動対象へ、前記第１検査パルス信号と、前記駆動対象の完全充電と完全放電が繰り返し行われるように設定された、前記第１検査パルスとは異なるパルス幅を有する第２検査パルス信号を供給し、前記算出工程において、前記第１検査パルス信号を供給したときの、前記第１検査パルス信号の前記エッジ間における前記給電系統を流れる電流値を積算して第１電荷量を算出するとともに、前記第２検査パルス信号を供給したときの、前記第２検査パルス信号の前記エッジ間における前記給電系統を流れる電流値を積算して第２電荷量を算出し、前記検出工程において、前記第１電荷量と前記第２電荷量とを比較して、前記第２電荷量に対して前記第１電荷量が所定値以上小さい場合に、前記基準の抵抗値に対して前記給電系統の抵抗値が大きいと検出することが好ましい。充放電が途中で終わるような第１検査パルス信号を駆動対象に供給したときには、基準の抵抗値に対して給電系統の抵抗値が大きいと、途中で終了した充電または放電期間中に充電または放電された総電荷量が相対的に小さくなる。また、第２検査パルス信号を駆動対象に供給したときには、給電系統の抵抗値の大きさにかかわらず、充電時または放電時の総電荷量は等しい。これらより、基準の抵抗値に対して給電系統の抵抗値が大きいときには、第１検査パルス信号を供給したときの第１電荷量と、第２検査パルス信号を供給したときの第２電荷量との差が大きくなる。したがって、第２電荷量を基準として、第１電荷量が所定値以上小さい場合に、基準の抵抗値に対して給電系統の抵抗値が大きいと検出することができる。
【００１１】
また、前記第２検査パルス信号は、通常駆動時に前記駆動装置から前記駆動対象に供給する駆動パルス信号であることが好ましい。これによると、通常駆動時に利用する駆動パルス信号を検査に用いることができる。
【００１２】
加えて、前記供給工程において、前記駆動装置から前記駆動対象へ供給される前記第１検査パルス信号及び前記第２検査パルス信号は、同じ周波数で、デューティー比が異なっていることが好ましい。ここで、デューティー比とは、パルス信号の立ち上がり区間と立下り区間の比である。供給工程において、第１検査パルス信号と第２検査パルス信号のデューティー比が同じで、第２検査パルス信号よりも第１検査パルス信号の周波数を大きくしていくと、周波数特性により充電時または放電時の総電荷量が小さくなってしまう。すると、給電系統の抵抗値の大きさによって、充電時または放電時の総電荷量が小さくなったのか、周波数特性により充電時または放電時の総電荷量が小さくなったのか判定することが困難である。そこで、第１検査パルス信号と第２検査パルス信号のデューティー比を異ならせることで、周波数特性の影響を受けずに、充電時または放電時の総電荷量に基づいて、給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出することができる。
【００１３】
また、前記駆動対象は、圧電アクチュエータであることが好ましい。これによると、充放電に伴って駆動する圧電アクチュエータと配線部材との間の給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出することができる。
【００１４】
さらに、前記駆動装置と前記圧電アクチュエータは、配線部材を介して電気的に接続されており、前記圧電アクチュエータの接点と前記配線部材の接点が接触して電気的に導通した状態で、それら接点の周囲に配置された樹脂によって、前記配線部材と前記圧電アクチュエータが接合されていることが好ましい。圧電アクチュエータの接点と配線部材の接点の接触している箇所に生じる抵抗値は、給電系統の抵抗値に含まれる。圧電アクチュエータの接点と配線部材の接点は接触して電気的に接続されているため、接点同士を接合して電気的に接続する場合に比べて、接点間の接触抵抗が大きくなる。このような場合に、接点間の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出しやすい。また、接触抵抗のばらつきが大きく影響するため、抵抗値の大きさの度合いを検出する必要性が高い。
【００１５】
また、前記駆動装置と前記圧電アクチュエータは、配線部材を介して電気的に接続されており、前記圧電アクチュエータの接点と前記配線部材の接点が金属粒子を含有した導電性を有する樹脂により接続され、前記配線部材と前記圧電アクチュエータが接合されていてもよい。圧電アクチュエータの接点と配線部材の接点を電気的に接続している導電性を有する樹脂に生じる抵抗値は、給電系統の抵抗値に含まれる。樹脂は金属に比べて抵抗が大きく、樹脂を介して電気的に接続された圧電アクチュエータの接点と配線部材の接点の間の抵抗値は大きくなる。このような場合に、接点間の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出しやすい。また、抵抗値のばらつきが大きく影響するため、抵抗値の大きさの度合いを検出する必要性が高い。
【発明の効果】
【００１６】
給電系統の抵抗値の大きさの違いにより充放電速度が変化した駆動対象の充電開始から充電完了する途中まで、または、放電開始から放電完了する途中までの間において給電系統を流れる電流値に基づいて、給電系統の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出することができる。これにより、給電系統の検査の際に、測定装置を用いずに抵抗値の大きさの度合いを検出することができる為、測定装置を用いる際の煩わしさが解消され、抵抗値の大きさの度合いを簡易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】インクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの一部平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】ドライバＩＣから圧電アクチュエータまでの電気的構成を示す等価回路図である。
【図５】抵抗器の抵抗値の違いによるコンデンサに印加されるパルス信号のなまりについて説明する図であり、（ａ）は図４のａ点における電圧波形図であり、（ｂ）は図４のｂ点における給電系統の抵抗値が小さい場合の電圧波形図であり、（ｃ）は図４のｂ点における給電系統の抵抗値が大きい場合の電圧波形図である。
【図６】基準の抵抗値の場合に駆動パルス信号を供給したときの説明図である。
【図７】抵抗値が大きい場合に駆動パルス信号を供給したときの説明図である。
【図８】基準の抵抗値の場合に検査パルス信号を供給したときの説明図である。
【図９】抵抗値が大きい場合に検査パルス信号を供給したときの説明図である。
【図１０】基準の抵抗値の場合と抵抗値が大きい場合のデューティー比に応じた静電容量を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明の好適な実施形態について説明する。本実施形態は、駆動装置であるドライバＩＣからＦＰＣを介して駆動対象である圧電アクチュエータに給電を行うことで、流路ユニットのインク流路内のインクに噴射圧力が付与され、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
【００１９】
まず、このインクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタについて説明する。図１はインクジェットプリンタの概略構成図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の左右方向（走査方向）に移動可能なキャリッジ２と、このキャリッジ２に設けられ、記録用紙Ｐに対してインクを噴射するシリアル型のインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを図１の前方（紙送り方向）へ搬送する搬送ローラ３と、を有している。
【００２０】
インクジェットヘッド１は、キャリッジ２と一体的に走査方向へ移動しつつ、図示しないインクカートリッジから供給されたインクを、その下面に配置されたノズル２０（図２、図３参照）から記録用紙Ｐに対して噴射する。また、搬送ローラ３は、記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する。そして、インクジェットプリンタ１００は、インクジェットヘッド１のノズル２０から記録用紙Ｐへインクを噴射させながら、搬送ローラ３により記録用紙Ｐを前方へ搬送させることで、記録用紙Ｐに所望の画像や文字などを記録するように構成されている。
【００２１】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２は、インクジェットヘッドの一部平面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【００２２】
図２及び図３に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズル２０及び圧力室１４を含むインク流路が形成された流路ユニット４と、圧力室１４内のインクに圧力を付与することにより、流路ユニット４のノズル２０からインクを噴射させる圧電アクチュエータ５（駆動対象）と、圧電アクチュエータ５に給電を行うドライバＩＣ５５（駆動装置）と、圧電アクチュエータ５とドライバＩＣ５５を電気的に接続するフレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ：配線部材）５０と、を有している。なお、図２においては、図面の簡単のため、ドライバＩＣ５５及びＦＰＣ５０は仮想線で示されている。なお、本実施形態におけるドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５までのＦＰＣ５０の配線などを含む電気系統が、本発明における給電系統に相当する。
【００２３】
まず、流路ユニット４について説明する。図３に示すように、流路ユニット４は、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及び、ノズルプレート１３を有しており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接合されて構成されている。
【００２４】
４枚のプレート１０〜１３のうち、最も上方に位置するキャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４が形成されている。各圧力室１４は、平面視で走査方向に長い、略楕円形状に形成されている。複数の圧力室１４は、紙送り方向に沿って千鳥状に配列されている。なお、千鳥状に配列された２列の圧力室列２１により、１色のインクに対応する１組の圧力室群２２が構成されており、さらに、複数色のインク（例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色）にそれぞれ対応した複数組の圧力室群２２が、走査方向に並べられている。なお、図２は、インクジェットヘッド１の上面の一部領域のみを示す一部上面図であり、それゆえ、図２には、１組の圧力室群２２に属する２列の圧力室列２１のみが示されている。
【００２５】
キャビティプレート１０に形成された複数の圧力室１４の下部はベースプレート１１により覆われ、これら複数の圧力室１４は流路ユニット４の上面においてそれぞれ開口している。さらに、後述する圧電アクチュエータ５が流路ユニット４の上面に接合されることによって、複数の圧力室１４の上部が、圧電アクチュエータ５に覆われた構造となっている。また、図２に示すように、キャビティプレート１０には、１組の圧力室群２２ごとにインク供給口１８が形成されており、各インク供給口１８は、インクジェットヘッド１の上方（図２の紙面垂直手前側）に配置されるとともに図示しないインクカートリッジに接続されたインクタンク（図示省略）と接続される。
【００２６】
図２及び図３に示すように、ベースプレート１１の、平面視で圧力室１４の両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、平面視で、圧力室１４の連通孔１５側の部分と重なるように、紙送り方向に延びる複数のマニホールド流路１７が形成されている。１組の圧力室群２２（２列の圧力室列２１）に対応する２つのマニホールド流路１７は、キャビティプレート１０に形成された１つのインク供給口１８に連通しており、インクタンクからインク供給口１８を介してマニホールド流路１７へインクが供給される。さらに、マニホールドプレート１２の、平面視で複数の圧力室１４のマニホールド流路１７に連通する端部と反対側の端部と重なる位置には、複数の連通孔１６にそれぞれ連なる複数の連通孔１９が形成されている。
【００２７】
さらに、ノズルプレート１３の、平面視で複数の連通孔１９に重なる位置には、複数のノズル２０がそれぞれ形成されている。図２に示すように、ノズル２０は、対応する圧力室１４の、マニホールド流路１７に連通する端部と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置されている。これにより、複数のノズル２０は、複数の圧力室１４とそれぞれ対応して千鳥状に配列されている。
【００２８】
そして、図３に示すように、マニホールド流路１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、さらに、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット４内には、マニホールド流路１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る個別インク流路が複数形成されている。
【００２９】
次に、圧電アクチュエータ５について説明する。図２及び図３に示すように、圧電アクチュエータ５は、複数の圧力室１４を覆うように流路ユニット４の上面に接合された振動板３０と、この振動板３０の上面（圧力室１４と反対側の面）に、複数の圧力室１４と対向するように配置された圧電層３１と、圧電層３１の上面に配置された複数の個別電極３２と、複数の個別電極３２に接続された端子部３５からそれぞれ突出した複数のバンプ６２と、を有している。
【００３０】
振動板３０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼などの鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板３０は、キャビティプレート１０の上面に、複数の圧力室１４を覆うように接合されている。また、この導電性を有する振動板３０の上面は、複数の個別電極３２との間で圧電層３１を挟み、この圧電層３１に厚み方向の電界を生じさせる、共通電極を兼ねている。この共通電極としての振動板３０は、ＦＰＣ５０の図示しないグランド配線を介してドライバＩＣ５５に接続されて、常にグランド電位に保持されている。
【００３１】
また、振動板３０の上面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする、圧電材料からなる圧電層３１が形成されている。この圧電層３１は、複数の圧力室１４を覆うように連続的に形成されている。
【００３２】
圧電層３１の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が、複数の圧力室１４の中央部と対向する領域にそれぞれ形成されている。この個別電極３２は、金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。
【００３３】
さらに、複数の個別電極３２の連通孔１５側端部からは、個別電極３２と同じく導電性材料からなる複数の端子部３５が、圧力室１４の周縁を越えて外側の領域まで引き出されている。これら複数の端子部３５には、銀などの導電性材料からなる複数のバンプ６２がそれぞれ突出して形成されている。これら複数のバンプ６２は、ＦＰＣ５０のランド５３に接触して電気的に接続されている。各個別電極３２は、バンプ６２及びＦＰＣ５０のランド５３を介して、ＦＰＣ５０上に実装されたドライバＩＣ５５（図２参照）と電気的に接続されている。
【００３４】
次に、ドライバＩＣ５５が実装されたＦＰＣ５０について説明する。図３に示すように、ＦＰＣ５０は、基材５１と、この基材５１の下面（図３において圧電アクチュエータ５と対向する面）に設けられた複数のランド５３と、を有している。ＦＰＣ５０は、圧電アクチュエータ５の上方に所定の間隔をあけて配置されており、走査方向に引き出されている。
【００３５】
基材５１は、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料からなり、可撓性を有するものである。基材５１の下面における複数のバンプ６２とそれぞれ対向する位置には、銀や白金などの導電性材料からなる複数のランド５３がそれぞれ設けられており、各ランド５３はバンプ６２と接触している。
【００３６】
また、基材５１の下面には、エポキシ樹脂などの熱硬化性の合成樹脂層６３が形成されている。この合成樹脂層６３は、バンプ６２及びランド５３の表面を覆うことで、ＦＰＣ５０と振動板３０とを接合している。
【００３７】
ＦＰＣ５０の走査方向に引き出された領域には、ドライバＩＣ５５が実装されている。ドライバＩＣ５５は、ＦＰＣ５０の図示しない複数の配線とそれぞれ接続されており、これらの複数の配線を介して複数のランド５３と電気的に接続されており、複数のランド５３及び複数のバンプ６２を介して複数の個別電極３２のそれぞれに対して、駆動パルス信号を供給することで、それらの個別電極３２の電位を所定の駆動電位とグランド電位との間で切り換える。
【００３８】
次に、インク噴射時における圧電アクチュエータ５の作用について説明する。ドライバＩＣ５５から、ある個別電極３２に対して所定の駆動電位が付与されたときには、この駆動電位が付与された個別電極３２とグランド電位に保持されている共通電極としての振動板３０との間に電位差が生じ、個別電極３２と振動板３０の間に挟まれた、駆動領域の圧電層３１に厚み方向の電界が生じる。そして、圧電層３１の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層３１はその分極方向である厚み方向と直交する面方向に収縮する。
【００３９】
ここで、圧電層３１の下側の振動板３０はキャビティプレート１０に固定されているため、この振動板３０の上面に位置する圧電層３１が面方向に収縮するのに伴って、振動板３０の圧力室１４を覆う部分が圧力室１４側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。本実施形態における圧電アクチュエータ５では、振動板３０が上述したように変形した状態でインクの噴射まで待機する。そして、インクの噴射をするときには、ドライバＩＣ５５は、個別電極３２に駆動電位を付与した状態から、個別電極３２への駆動電位の付与を停止する。これにより、個別電極３２の電位がグランド電位になり、振動板３０が元の形状に戻って圧力室１４内の容積が増大し、圧力室１４内に圧力波が発生する。
【００４０】
ここで、従来から知られているように、この圧力室１４の容積増大に伴う圧力波が圧力室１４の長手方向に片道伝搬する時間が経過したときに、圧力室１４内の圧力は正に転じる。そこで、ドライバＩＣ５５は、この圧力室１４内の圧力が正に転じるタイミングで、再び個別電極３２へ駆動電位を付与する。このとき、上述した圧力室１４の容積増大に伴う圧力波と、振動板３０が圧力室１４側に凸に変形する際に生じる圧力波とが合成されるため、圧力室１４内のインクに大きな圧力が付与されて、インクがノズル２０から噴射される。
【００４１】
次に、ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５までの電気的構成について説明する。図４は、ドライバＩＣから圧電アクチュエータまでの電気的構成を示す等価回路図である。図５は、給電系統の抵抗値の違いによるコンデンサに印加されるパルス信号のなまりについて説明する図であり、（ａ）は図４のａ点における電圧波形図であり、（ｂ）は図４のｂ点における給電系統の抵抗値が小さい場合の電圧波形図であり、（ｃ）は図４のｂ点における給電系統の抵抗値が大きい場合の電圧波形図である。
【００４２】
図４に示すように、圧電アクチュエータ５を駆動対象とすると、ドライバＩＣ５５は圧電アクチュエータ５を駆動する駆動装置とみなすことができる。そして、圧電アクチュエータ５の個別電極３２と振動板３０との間に挟まれ、分極された圧電層３１の駆動領域は、充放電を行うコンデンサ８３とみなすことができ、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２の接触部は、給電系統に含まれる抵抗器８４とみなすことができる。なお、ランド５３とバンプ６２が十分な接触面積を確保しつつ接触している場合における抵抗器８４の理想的な抵抗値を正常な抵抗値（基準の抵抗値）とする。
【００４３】
このように、インクジェットヘッド１は、駆動装置であるドライバＩＣ５５から駆動対象である圧電アクチュエータ５の充放電を行うコンデンサ８３に電圧を印加する給電系統の途中に抵抗器８４が直列に接続されたＲＣ回路とみなすことができる。
【００４４】
ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５までの電気的構成が、このようなＲＣ回路になっていると、給電系統の抵抗値が大きくなるにつれて、時定数が大きくなってしまい、ドライバＩＣ５５から供給された駆動パルス信号は、コンデンサ８３に印加されるときにはなまってしまう。
【００４５】
例えば、図５（ａ）に示すように、ドライバＩＣ５５からデューティー比５０％の駆動パルス信号を供給する。すると、給電系統の抵抗値が小さいと、図５（ｂ）に示すように、コンデンサ８３に印加される駆動パルス信号の電圧波形は若干なまって、立ち上がり時間がＴｒ１となり、立下り時間がＴｆ１となる。このとき、コンデンサ８３は、完全充電と完全放電が繰り返されており、Ｔｒ１＝Ｔｆ１となっている。
【００４６】
しかしながら、同様の駆動パルス信号を供給したときに、給電系統の抵抗値が大きいと、図５（ｃ）に示すように、コンデンサ８３に印加される駆動パルス信号の電圧波形は大きくなまって、立ち上がり時間がＴｒ１よりも長いＴｒ２となり、立下り時間がＴｆ１よりも長いＴｆ２となる。このときも、コンデンサ８３は、完全充電と完全放電が繰り返されており、Ｔｒ２＝Ｔｆ２となっている。このように、給電系統の抵抗値の大きさが、コンデンサ８３に印加される駆動パルス信号の電圧波形に大きく影響する。
【００４７】
給電系統の抵抗成分は、ＦＰＣ５０の図示しない配線の配線抵抗など種々の抵抗成分を含んでいるが、特に、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２の接触抵抗（抵抗器８４の抵抗値）が大きな割合を占めている。
【００４８】
これは、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２の間が接合ではなく、単に接触して電気的に接続されているだけだからである。このＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２間の接触抵抗、すなわち抵抗器８４の抵抗値は、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接触面積の大きさと相関があり、接触面積が小さいと、抵抗値は大きくなる。
【００４９】
例えば、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５の押圧が不十分などの理由で、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２の接触が不十分であり、ランド５３とバンプ６２の接触面積が小さいと、接触抵抗（抵抗器８４の抵抗値）は大きくなる。すると、ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５の個別電極３２に印加される駆動パルス信号の電圧波形がなまってしまい、この個別電極３２に対応するインク流路内のインクへ付与される噴射圧力が小さくなり、噴射タイミングがずれたり、所望の噴射特性を得られなくなってしまう。このように、ランド５３とバンプ６２の接触抵抗が大きいと、基準の噴射特性を得られなくなってしまうため、給電系統の抵抗成分の中で最も大きな割合を占めるこの接触抵抗（抵抗器８４の抵抗値）を含む給電系統の抵抗値を測定したい。
【００５０】
しかしながら、ランド５３とバンプ６２の接触抵抗を測定するためには、わざわざ測定装置を準備して、この測定装置のプローブをランド５３とバンプ６２にそれぞれ接触させて接触抵抗を測定しなければならず面倒であった。また、インクジェットヘッド１に形成された全てのランド５３とバンプ６２の接触抵抗を測定するには、非常に長い時間がかかってしまう。さらに、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５間は非常に狭いため、そこに測定装置のプローブを差し込んで接触抵抗を直接測定することは技術的に困難であった。そこで、ランド５３とバンプ６２の接触面積を測定して、この接触面積から接触抵抗を推定することも考えられるが、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５は所定の押圧時間だけ互いに押圧して、ランド５３とバンプ６２を接触させているだけなので、接触面積を測定することも困難であった。
【００５１】
これらの理由から、本実施形態においては、給電系統の抵抗成分の中で最も大きな割合を占めるこの接触抵抗（抵抗器８４の抵抗値）を給電系統の抵抗値とみなす。そして、ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５の個別電極３２にパルス信号を印加している間に、これらを接続するＦＰＣ５０の配線を流れる電流値を積算して算出される総電荷量に基づいて、ランド５３とバンプ６２の接触部における基準の抵抗値に対する接触抵抗（すなわち、抵抗器８４の抵抗値）の大きさの度合いを検出する。図６は、基準の抵抗値の場合に駆動パルス信号を供給したときの説明図である。図７は、抵抗値が大きい場合に駆動パルス信号を供給したときの説明図である。図８は、基準の抵抗値の場合に検査パルス信号を供給したときの説明図である。図９は、抵抗値が大きい場合に検査パルス信号を供給したときの説明図である。図１０は、基準の抵抗値の場合と抵抗値が大きい場合のデューティー比に応じた静電容量を示す図である。なお、図６〜図９において、（ａ）は図４のａ点における電圧波形であり、（ｂ）は図４のｂ点における電圧波形であり、（ｃ）は図４のｃ点における電流波形である。
【００５２】
基準の抵抗値に対する接触抵抗、すなわち抵抗器８４の抵抗値の大きさの度合いを検出するには、ドライバＩＣ５５から個別電極３２に駆動パルス信号及び後述する検査パルス信号を印加したときの圧電層３１の駆動領域、すなわちコンデンサ８３の静電容量をそれぞれ算出する。そして、この２つのパルス信号をそれぞれ印加したときのコンデンサ８３の静電容量を比較して、抵抗器８４の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出する。
【００５３】
まず、ドライバＩＣ５５から個別電極３２に駆動パルス信号（第２検査パルス信号）を印加したときのコンデンサ８３の静電容量の算出方法について説明する。駆動パルス信号とは、インクジェットヘッド１の通常駆動時において、流路ユニット４のノズル２０からインクを噴射する際にこのノズル２０に対応する個別電極３２に印加するパルス信号であり、コンデンサ８３の完全充電と完全放電が繰り返し行われるように設定された所定のパルス幅を有するパルス信号である。本実施形態においては、周波数２０ｋＨｚでデューティー比５０％のパルス信号を駆動パルス信号とする。
【００５４】
図６（ａ）に示すように、ドライバＩＣ５５から駆動パルス信号を供給する（供給工程）と、図６（ｂ）に示すように、コンデンサ８３には若干なまった電圧波形の駆動パルス信号が印加される。このとき、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでの電圧印加時においては、図６（ｃ）に示すように、コンデンサ８３が完全充電されるまでの時間Ｔｒ１の間、ＦＰＣ５０には電流値Ｉ１をピークとして次第にゼロに近づくような正方向の電流が流れ、充電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。
【００５５】
また、駆動パルス信号の立下りから立ち上がりまでの電圧非印加時においては、コンデンサ８３が完全放電されるまでの時間Ｔｆ１の間、ＦＰＣ５０には電流値−Ｉ１をピークとして次第にゼロに近づくような負方向の電流が流れ、放電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。
【００５６】
このＦＰＣ５０を流れる電流とは、正負に関わらず、単位時間当たりにＦＰＣ５０を流れる電荷量である。また、コンデンサ８３の静電容量とは、単位電圧当たりにコンデンサ８３に蓄えられた電荷量である。そのため、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるＦＰＣ５０を流れる電流値を積算（時間積分）すると、その時間内にコンデンサ８３に充電された総電荷量が算出され（数１参照）、この総電荷量に駆動パルス信号の電圧印加時の電圧値を割ることで、コンデンサ８３の静電容量が算出される（算出工程：数２参照）。なお、本実施形態における静電容量とは、コンデンサ８３の静電容量とは異なり、上述したような方法で算出され、コンデンサ８３の充放電時に見かけ上やりとりされている容量を示す。コンデンサ８３に充電された総電荷量は、図６（ｃ）の面積Ｓ１である。なお、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるコンデンサ８３に充電された総電荷量（面積Ｓ１）は、駆動パルス信号の立下りから立ち上がりまでのエッジ間におけるコンデンサ８３から放電された総電荷量（面積Ｓ２）と同じである。
【数１】
2010208172.tif 000003
【数２】
2010208172.tif 000004
【００５７】
次に、検査パルス信号（第１検査パルス信号）とは、コンデンサ８３の充放電が完全には行われないように設定された、駆動パルス信号とは異なるパルス幅を有するパルス信号である。本実施形態においては、周波数２０ｋＨｚでデューティー比１０％のパルス信号を検査パルス信号とする。つまり、駆動パルス信号と検査パルス信号は、周波数は同じで、デューティー比が異なっているパルス信号である。
【００５８】
図８（ａ）に示すように、ドライバＩＣ５５から検査パルス信号を供給すると、図８（ｂ）に示すように、コンデンサ８３には若干なまった電圧波形の検査パルス信号が印加される。このとき、検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでの電圧印加時においては、図８（ｃ）に示すように、電圧印加時間が短く、コンデンサ８３は完全には充電されないため、電圧が印加されている時間Ｔｒ５の間、ＦＰＣ５０には電流値Ｉ１をピークとして次第にゼロに近づくような正方向の電流が流れ続ける。
【００５９】
また、検査パルス信号の立下りから立ち上がりまでの電圧非印加時においては、完全には充電されていないコンデンサ８３が完全に放電されるまでの短い時間Ｔｆ５の間だけＦＰＣ５０には電流値−Ｉ１をピークとして次第にゼロに近づくような負方向の電流が流れ、放電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。
【００６０】
この検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるＦＰＣ５０を流れる電流値を積算すると、コンデンサ８３に充電された総電荷量（面積Ｓ５）が算出され、この総電荷量に検査パルス信号の電圧印加時の電圧値を割ることで、コンデンサ８３の静電容量が算出される。なお、検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるコンデンサ８３に充電された総電荷量（面積Ｓ５）は、検査パルス信号の立下りから立ち上がりまでのエッジ間におけるコンデンサ８３から放電された総電荷量（面積Ｓ６）と同じである。
【００６１】
ここで、駆動パルス信号の印加時には、ランド５３とバンプ６２との接触状態が正常であったとしても、不十分であったとしても、すなわち、抵抗器８４の抵抗値が基準の値でも大きくても、コンデンサ８３の静電容量は同じ値となる。
【００６２】
これは、抵抗器８４の抵抗値に関係なく、コンデンサ８３が完全充電と完全放電を交互に繰り返しているためである。具体的には、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接触状態が不十分で接触抵抗が大きい場合において、図７（ａ）に示すように、ドライバＩＣ５５から駆動パルス信号を供給すると、図７（ｂ）に示すように、コンデンサ８３には大きくなまった電圧波形の駆動パルス信号が印加される。このとき、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでの電圧印加時においては、図７（ｃ）に示すように、コンデンサ８３が完全充電されるまでの時間Ｔｒ４の間、ＦＰＣ５０には電流値Ｉ１よりも小さな電流値Ｉ２をピークとして次第にゼロに近づくような正方向の電流が流れ、充電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。
【００６３】
また、駆動パルス信号の立下りから立ち上がりまでの電圧非印加時においては、コンデンサ８３が完全放電されるまでの時間Ｔｆ４の間、ＦＰＣ５０には電流値−Ｉ１よりも小さな電流値−Ｉ２をピークとして次第にゼロに近づくような負方向の電流が流れ、放電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。
【００６４】
このとき、ＦＰＣ５０に流れる電流値は全体的に小さくなるが、電流が流れている時間が長くなるため、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるコンデンサ８３に充電された総電荷量（面積Ｓ５）は、図６（ｃ）における面積Ｓ１と同じである。また、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるコンデンサ８３に充電された総電荷量（面積Ｓ５）は、駆動パルス信号の立下りから立ち上がりまでのエッジ間におけるコンデンサ８３から放電された総電荷量（面積Ｓ６）とも同じである。
【００６５】
しかしながら、検査パルス信号の印加時において、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接触状態が不十分なときには、正常なときに比べて、接触抵抗が大きい（抵抗器８４の抵抗値が大きい）ため、ＦＰＣ５０を流れる電流が小さくなり、検査パルス信号は駆動パルス信号に比べてデューティー比が小さく、電圧印加時間が短い分、コンデンサ８３の充放電が完全には行われず、コンデンサ８３の静電容量は小さくなる。
【００６６】
具体的には、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接触状態が不十分で接触抵抗が大きい場合において、図９（ａ）に示すように、ドライバＩＣ５５から検査パルス信号を供給すると、図９（ｂ）に示すように、コンデンサ８３には大きくなまった電圧波形の検査パルス信号が印加される。このとき、検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでの電圧印加時においては、図９（ｃ）に示すように、電圧印加時間が短く、コンデンサ８３は完全には充電されないため、電圧が印加されている時間Ｔｒ６の間、ＦＰＣ５０には電流値Ｉ１よりも小さな電流値Ｉ２をピークとして次第にゼロに近づくような正方向の電流が流れ続ける。
【００６７】
また、検査パルス信号の立下りから立ち上がりまでの電圧非印加時においては、完全には充電されていないコンデンサ８３が完全に放電されるまでの短い間Ｔｆ６の間だけＦＰＣ５０に電流値−Ｉ１よりも小さな電流値−Ｉ２をピークとして次第にゼロに近づくような負方向の電流が流れ、放電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。なお、駆動パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるコンデンサ８３に充電された総電荷量（面積Ｓ７）は、駆動パルス信号の立下りから立ち上がりまでのエッジ間におけるコンデンサ８３から放電された総電荷量（面積Ｓ８）と同じである。また、面積Ｓ７は、図８（ｃ）における面積Ｓ５より小さな値である。
【００６８】
つまり、ランド５３とバンプ６２の接触状態が正常なとき（抵抗器８４の抵抗値が基準の値のとき）の、駆動パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量と、検査パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量との差に比べて、ランド５３とバンプ６２の接触状態が不十分なとき（抵抗器８４の抵抗値が大きなとき）の、駆動パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量と、検査パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量との差は大きくなる。
【００６９】
したがって、駆動パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量に対して、検査パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量が所定値以上小さい場合に、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接触状態が不十分であり、接触抵抗が基準の抵抗値に対して大きいと検出することができる。
【００７０】
このように、インクジェットヘッド１があらかじめ備えているドライバＩＣ５５から２つの異なる駆動パルス信号及び検査パルス信号をそれぞれ供給することで算出された、駆動パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量と、検出パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量を比較することで、測定装置を必要とせず、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２間の接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いをより簡易に検出することができる。また、インクジェットヘッド１に形成された全てのランド５３とバンプ６２の正常な接触状態に対する接触抵抗の大きさの度合いも迅速に検出することができる。また、上述したようなランド５３とバンプ６２の接触抵抗が比較的大きい場合に、この接触抵抗のばらつきはインクジェットヘッド１の噴射特性に大きく影響するため、抵抗値の大きさの度合いを検出する必要性が高い。
【００７１】
なお、検査パルス信号は、コンデンサ８３の充放電が完全には行われないように設定された、駆動パルス信号とは異なるパルス幅を有するパルス信号であれば、いかなるパルス信号であってもよい。例えば、周波数２０ｋＨｚでデューティー比９０％のパルス信号でもよい。
【００７２】
ドライバＩＣ５５から個別電極３２にこのようなデューティー比９０％の検査パルス信号を印加すると、検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでの電圧印加時において、コンデンサ８３が完全充電されるまでＦＰＣ５０には電流が流れ、充電が完了すると、ＦＰＣ５０には電流が流れなくなる。
【００７３】
また、検査パルス信号の立下りから立ち上がりまでの電圧非印加時においては、コンデンサ８３が完全放電されないため、ＦＰＣ５０には電流が流れ続ける。その後は、すぐ、駆動パルス信号が立ち上がるため、充電がすぐ完了し、ＦＰＣ５０には電流がすぐ流れなくなる。
【００７４】
この検査パルス信号の立ち上がりから立下りまでのエッジ間におけるＦＰＣ５０を流れる電流値を積算すると、コンデンサ８３に充電された総電荷量が算出され、この総電荷量に検査パルス信号の電圧印加時の電圧値を割ることで、コンデンサ８３の静電容量が算出される。このとき、検査パルス信号の印加時において、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接触状態が不十分なときには、正常なときに比べて、接触抵抗が大きい（抵抗器８４の抵抗値が大きい）ため、ＦＰＣ５０を流れる電流が小さくなり、検査パルス信号は駆動パルス信号に比べてデューティー比が大きく、電圧非印加時間が短い分、コンデンサ８３の充放電が完全には行われず、コンデンサ８３の静電容量は小さくなる。
【００７５】
これらより、図１０に示すように、ドライバＩＣ５５からデューティー比５０％近傍のパルス信号を供給すると、コンデンサ８３は完全充放電を繰り返すため、ランド５３とバンプ６２の接触抵抗の大きさに関わらず、同じ静電容量となるが、ドライバＩＣ５５からデューティー比０％や１００％近傍のパルス信号を供給すると、コンデンサ８３は不十分な充放電を繰り返すこととなり、ランド５３とバンプ６２の接触抵抗の大きさが大きくなり、静電容量は小さくなる。
【００７６】
このような算出方法を用いて、デューティー比を変えながら、５箇所のランド５３とバンプ６２間の静電容量をそれぞれ算出する。これら５箇所は、順にｃｈ１〜ｃｈ５とする。このとき、ドライバＩＣから供給するパルス信号のデューティー比ごとに各ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２間の静電容量を表１に示す。
【００７７】
【表１】
2010208172.tif 000005
【００７８】
表１に示すように、ｃｈ１〜５の静電容量は、デューティー比５０％のときを最大として、デューティー比が大きくなる、もしくは、小さくなるにつれて小さくなっている。このとき、例えば、デューティー比５０％のときの静電容量よりもデューティー比１０％のときの静電容量が２０ｐＦ以上小さい場合には、接触抵抗が大きいとすると、ｃｈ１、３は、接触抵抗が基準の抵抗値に対して大きいと検出することができる。
【００７９】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００８０】
本実施形態においては、駆動パルス信号と検査パルス信号の周波数を同じにして、デューティー比を異ならせていたが、検査パルス信号はコンデンサ８３の充放電を完全には行えないパルス信号であれば、駆動パルス信号と異なる周波数であってもよい。これだと、駆動パルス信号と検査パルス信号のデューティー比は固定なので、周波数を可変させることは容易である。しかしながら、周波数を大きくしていくと、周波数特性によりコンデンサ８３自体の抵抗が大きくなってしまう。すなわち、駆動パルス信号よりも検査パルス信号の周波数を大きくしていくと、周波数特性により充電時または放電時の総電荷量が小さくなってしまう。すると、抵抗器８４の抵抗値の大きさによって、充電時または放電時の総電荷量が小さくなったのか、周波数特性により充電時または放電時の総電荷量が小さくなったのか判定することができない。このような理由から、駆動パルス信号と検査パルス信号のデューティー比を異ならせることで、周波数特性の影響を受けずに、接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出することが好ましい。
【００８１】
また、本実施形態においては、パルス信号の立ち上がりから立下りまでの充電時のエッジ間におけるＦＰＣ５０を流れる電流値を積算することで算出された、コンデンサ８３に充電された総電荷量にパルス信号の電圧印加時の電圧値を割ることで、コンデンサ８３の静電容量を算出していたが、パルス信号の立下りから立ち上がりまでの放電時のエッジ間において、同様にしてコンデンサ８３の静電容量を算出してもよい。
【００８２】
さらに、本実施形態においては、駆動パルス信号印加時と検査パルス信号印加時のコンデンサ８３の静電容量を比較して、接触抵抗の大きさの度合いを検出していたが、駆動パルス信号印加時と検査パルス信号印加時の、ＦＰＣ５０を流れる電流値を積算することで算出された、コンデンサ８３に充電された総電荷量から静電容量を算出せずに接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出してもよい。
【００８３】
また、本実施形態においては、駆動パルス信号と検査パルス信号を印加したときのコンデンサ８３の静電容量の差から接触抵抗の大きさの度合いを検出していたが、複数のコンデンサ８３に対して検査パルス信号を印加して、複数のコンデンサ８３の静電容量を相対的に比較して、極端に値が小さいコンデンサ８３と直列に接続された抵抗器８４の抵抗が大きいと検出してもよい。
【００８４】
また、本実施形態においては、ＦＰＣ５０側の接続対象であるランド５３と、圧電アクチュエータ５側の接続対象である端子部３５から突出したバンプ６２を接触させることで電気的に接続させて、その周囲に配置された合成樹脂層６３によって、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５を接合していたが、ＦＰＣ５０側の接続対象であるランド５３と、圧電アクチュエータ５側の接続対象である端子部３５を、例えば、異方性導電性接着剤などの金属粒子を含有した導電性を有する熱硬化性樹脂により電気的に接続するとともに、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５を接合してもよい。圧電アクチュエータ５の端子部３５とＦＰＣ５０のランド５３を電気的に接続している樹脂に生じる抵抗値は、給電系統の抵抗値に含まれる。樹脂は金属に比べて抵抗が大きく、樹脂を介して電気的に接続された圧電アクチュエータ５の端子部３５とＦＰＣ５０のランド５３の間の抵抗値は大きくなる。このような場合にも、端子部３５とＦＰＣ５０間の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出しやすい。
【００８５】
さらに、本実施形態においては、駆動パルス信号及び検査パルス信号を供給したときのコンデンサ８３の静電容量の差から接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出していたが、駆動パルス信号を供給したときの、充電開始から充電完了する途中まで、または、放電開始から放電完了する途中までの間にＦＰＣ５０を流れる電流値を積算して算出された総電荷量を、完全充電または放電中にＦＰＣ５０を流れる電流値を積算して算出された総電荷量と比較して、接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出してもよい。
【００８６】
さらに、本実施形態では、駆動パルス信号及び検査パルス信号を供給したときのコンデンサ８３の静電容量の差から接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出していたが、基準の抵抗値のときのコンデンサ８３の静電容量があらかじめ分かっている場合には、駆動パルス信号を供給せずに検査パルス信号だけ供給して、このときのコンデンサ８３の静電容量と基準の抵抗値のときのコンデンサ８３の静電容量との差から接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出してもよい。
【００８７】
また、本実施形態においては、給電系統に生じる抵抗の一例として、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２の間の接触抵抗を挙げたが、その他、ＦＰＣ５０の配線の配線抵抗を含めた給電系統全体の抵抗成分の基準の抵抗値に対する抵抗値の大きさの度合いを検出することができる。このとき、基準の抵抗値とは、給電系統にリークなどが生じていないときの理想的な抵抗値である。
【００８８】
さらに、本実施形態においては、圧電アクチュエータの通常駆動時に供給する駆動パルス信号及び検査パルス信号を供給したときのコンデンサ８３の静電容量の差から接触抵抗の基準の抵抗値に対する大きさの度合いを検出していたが、駆動パルス信号に限らず、完全充放電が繰り返されるパルス信号であればよい。
【００８９】
また、ドライバＩＣからＦＰＣを介して圧電アクチュエータに給電を行うような場合に限らず、充放電を伴って動作する駆動対象であれば圧電アクチュエータに限らず、いかなる装置に対しても本発明を適用することが可能である。
【符号の説明】
【００９０】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
５  圧電アクチュエータ
４１  キャビティプレート
５０  ＦＰＣ
５３  ランド
５５  ドライバＩＣ
６２  バンプ
１００  インクジェットプリンタ
【図１】
2010208172.tif 000006
【図２】
2010208172.tif 000007
【図３】
2010208172.tif 000008
【図４】
2010208172.tif 000009
【図５】
2010208172.tif 000010
【図６】
2010208172.tif 000011
【図７】
2010208172.tif 000012
【図８】
2010208172.tif 000013
【図９】
2010208172.tif 000014
【図１０】
2010208172.tif 000015