(57)【要約】【課題】位置検出センサーを設けるたり、位置ズレ量を求めたり、位置補正をしたりすることによる、費用増加や搬送時間の増大をきたすことなく、保持対象物又は搬送対象物を、搬送装置や保持対象物又は搬送対象物の着座位置に対して位置決めすることができる吸引保持ハンド、搬送装置、保持方法、着座方法、及び搬送方法を提供する。【解決手段】吸引保持ハンドは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持ハンドであって、旋回流発生室が開口しており、水平方向に対して傾いている吸引保持面と、傾いた吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への保持対象物の移動を規制する規制部材と、吸引保持面及び規制部材を支持する支持部材と、を備える。【選択図】図１０
2010253568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持ハンドであって、
前記旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面と、
前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記保持対象物の移動を規制する規制部材と、
前記吸引保持面が傾いた状態を維持して、前記吸引保持面及び前記規制部材を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする吸引保持ハンド。
【請求項２】
前記規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法は、前記保持対象物の厚さより小さいことを特徴とする、請求項１に記載の吸引保持ハンド。
【請求項３】
前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において高い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記保持対象物の移動を規制する第二の規制部材をさらに備え、前記第二の規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法は、前記保持対象物の厚さより大きいことを特徴とする、請求項１又は２に記載の吸引保持ハンド。
【請求項４】
前記吸引保持面の水平方向に対する角度を変える角度変更手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吸引保持ハンド。
【請求項５】
旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、搬送対象物を非接触で吸引保持する保持手段を備え、前記保持手段によって保持した前記搬送対象物を搬送する搬送装置であって、
前記保持手段は、前記旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面と、
前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する規制部材と、
前記吸引保持面が傾いた状態を維持して、前記吸引保持面及び前記規制部材を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
前記規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法は、前記搬送対象物の厚さより小さいことを特徴とする、請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記保持手段は、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において高い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する第二の規制部材をさらに備え、前記第二の規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法は、前記搬送対象物の厚さより大きいことを特徴とする、請求項５又は６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記吸引保持面の水平方向に対する角度を変える角度変更手段をさらに備えることを特徴とする、請求項５乃至７のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項９】
保持対象物を保持する保持方法であって、
旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面を備える吸引保持端末の前記吸引保持面を前記保持対象物の被吸引保持面に接近させる接近工程と、
前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、前記保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持工程と、
前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記保持対象物の移動を規制する規制部材に前記保持対象物を当接させる位置決め工程と、を有することを特徴とする保持方法。
【請求項１０】
保持した搬送対象物を予め規定された着座位置に着座させる着座方法であって、
旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面を備える吸引保持端末に、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、吸引保持し、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する規制部材に端面を当接させた前記搬送対象物の前記端面を、前記搬送対象物の前記着座位置に形成された位置規定壁に当接させる当接工程と、
前記搬送対象物の前記端面を、前記位置規定壁に当接させた状態で前記搬送対象物を着座させる着座工程と、を有することを特徴とする着座方法。
【請求項１１】
第一の位置に在る搬送対象物を第二の位置に移動させる搬送方法であって、
旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面を備える吸引保持端末の前記吸引保持面を前記第一の位置に在る前記搬送対象物の被吸引保持面に接近させる接近工程と、
前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、前記搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持工程と、
前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する規制部材に前記搬送対象物の端面を当接させる位置決め工程と、
位置決めされた前記搬送対象物を前記吸引保持端末が吸引保持した状態で、前記吸引保持端末を移動させる移動工程と、
前記吸引保持端末を前記第二の位置に停止して、前記搬送対象物の吸引保持状態を解除して、前記搬送対象物を着座させる着座工程とを有することを特徴とする搬送方法。
【請求項１２】
前記第二の位置における前記搬送対象物の配置位置に形成された位置規定壁に、前記搬送対象物における前記規制部材に当接している端面を当接させる工程をさらに有することを特徴とする、請求項１１に記載の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持対象物を吸引保持する吸引保持ハンド、搬送対象物を吸引保持して搬送する搬送装置、保持対象物を吸引保持する保持方法、保持した搬送対象物を所定の着座位置に着座させる着座方法、及び搬送対象物を吸引保持して搬送する搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶装置を構成する基板のように、部材の多くの部分が接触することによって汚染されることが好ましくない部分であるような被加工部材などは、被加工部材を取り上げて保持し、他の位置まで移動させて、当該位置に置く搬送作業を自動的に行う搬送装置を用いて取扱うことによって、汚染されることを抑制している。効率良く搬送するための様々な工夫がなされており、特許文献１には、基板を搬送する方向に対応して、基板の面の方向を調整することによって、移動される基板が受ける空気抵抗の増大や塵埃の巻き上げなどの不都合な状態が発生しない基板搬送装置、および基板搬送方法が開示されている。
【０００３】
また、液晶装置を構成する基板のように、微細な構造を精密に形成することが必要な被加工部材においては、多くの場合、加工装置に対して被加工部材を所定の着座位置に正確に着座させることが必要である。被加工部材を、定められた着座位置に精度よく着座させるためには、搬送装置における所定の被加工部材保持位置に正確に被加工部材を保持させて、当該被加工部材保持位置を定められた被加工部材の着座位置に対応する位置に位置させて、当該位置で被加工部材を着座させることによって可能となる。
特許文献２には、位置検出センサーを設け、搬送対象物の位置ズレ量を求めて、位置ズレ量に対応して搬送装置による移動量などの補正を行うセラミック板搬送装置及び方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−５３１２６号公報
【特許文献２】特開平６−２８６８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に開示された搬送装置のように位置検出センサーを設けた装置では、位置検出センサーを設けるために、装置の大きさが増大したり、装置の製造コストが増大したりする可能性があるという課題があった。また、位置ズレ量を検出するための時間及び移動量などを補正する時間が必要であり、検出された位置ズレ量から移動量などの補正量を算出するための時間も必要であり、搬送時間が増大するという課題もあった。さらに、補正量の算出などを実施する搬送装置の制御装置の負荷が増大するという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる吸引保持ハンドは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持ハンドであって、前記旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面と、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記保持対象物の移動を規制する規制部材と、前記吸引保持面が傾いた状態を維持して、前記吸引保持面及び前記規制部材を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本適用例の吸引保持ハンドによれば、保持対象物を非接触で吸引保持し、保持対象物を吸引保持する吸引保持面が水平方向から傾いており、傾いた低い側には、規制部材が配設されている。
旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持するチャッキング装置は、ベルヌーイの定理を利用したものであり、ベルヌーイチャックとも呼ばれる。ベルヌーイの定理を利用したベルヌーイチャックは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じた負圧によって保持対象物を吸引する。旋回流発生室の気体は、吸引保持面に開口した吸引用吹出し口から流出するため、保持対象物を吸引保持面から離反させる方向の力を被吸引面に作用させることから、吸引された保持対象物と吸引保持面との非接触状態が形成される。
一般的に、吸引保持面は、支持部材によって鉛直方向の下向きに支持されており、吸引保持ハンドは、保持対象物を懸吊する状態で保持する。保持対象物は吸引保持面と非接触状態であるため、保持対象物が吸引保持される力によって吸引保持面に平行な方向の拘束力を受けることは、ほとんどない。このため、傾いた吸引保持面に吸引保持された保持対象物は、吸引保持面と一定の隙間を維持した状態で、重力によって傾いた下側に移動する。傾いた下側には、規制部材が配設されているため、保持対象物は、端面が規制部材に当接した状態で吸引保持される。これにより、吸引保持ハンドに対して、保持対象物の位置を、一定の位置に位置決めすることができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる吸引保持ハンドは、前記規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法が、前記保持対象物の厚さより小さいことが好ましい。
【００１０】
この吸引保持ハンドによれば、規制部材の吸引保持面からの高さ寸法が保持対象物の厚さより小さいため、規制部材に当接した状態の保持対象物において、規制部材に当接した端面は、高さ方向において規制部材に当接しない部分が存在する。このため、当該部分を、保持対象物を規制部材に当接させる力と同じ力を利用して、別の部材に当接させることで、保持対象物を別の部材に当接させて、その位置に位置決めすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる吸引保持ハンドは、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において高い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記保持対象物の移動を規制する第二の規制部材をさらに備え、前記第二の規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法は、前記保持対象物の厚さより大きいことが好ましい。
【００１２】
この吸引保持ハンドによれば、傾いた吸引保持面における鉛直方向において高い側に、保持対象物の移動を規制する第二の規制部材が配設されている。これにより、吸引保持ハンドからの吸引力によって吸引保持面に向かって持ち上げられた保持対象物が、吸引保持面が傾いていることに起因して発生する、保持対象物に対して吸引保持面に平行な方向に付勢するように作用する分力によって、傾いた吸引保持面の高い側に移動することを規制することができる。第二の規制部材の吸引保持面からの高さ寸法が、保持対象物の厚さより大きいことによって、保持対象物が吸引力を及ぼされる早い段階から、保持対象物が傾いた吸引保持面の高い側に移動することを規制できる状態にすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる吸引保持ハンドは、前記吸引保持面の水平方向に対する角度を変える角度変更手段をさらに備えることが好ましい。
【００１４】
この吸引保持ハンドによれば、角度変更手段を備え、吸引保持面の水平方向に対する角度を変えることができる。これにより、吸引保持する時点と、吸引保持している状態とで、それぞれ吸引保持面の角度を変えて、吸引保持する時点や吸引保持している状態における、それぞれの適切な吸引保持面の角度に吸引保持面の角度を調整することができる。
【００１５】
［適用例５］本適用例にかかる搬送装置は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、搬送対象物を非接触で吸引保持する保持手段を備え、前記保持手段によって保持した前記搬送対象物を搬送する搬送装置であって、前記保持手段は、前記旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面と、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する規制部材と、前記吸引保持面が傾いた状態を維持して、前記吸引保持面及び前記規制部材を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
本適用例の搬送装置によれば、搬送対象物を非接触で吸引保持し、搬送対象物を吸引保持する吸引保持面が水平方向から傾いており、傾いた低い側には、規制部材が配設されている。
旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、搬送対象物を非接触で吸引保持するチャッキング装置は、ベルヌーイの定理を利用したものであり、ベルヌーイチャックとも呼ばれる。ベルヌーイの定理を利用したベルヌーイチャックは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じた負圧によって搬送対象物を吸引する。旋回流発生室の気体は、吸引保持面に開口した吸引用吹出し口から流出するため、搬送対象物を吸引保持面から離反させる方向の力を被吸引面に作用させることから、吸引された搬送対象物と吸引保持面との非接触状態が形成される。
一般的に、吸引保持面は、支持部材によって鉛直方向の下向きに支持されており、保持手段は、搬送対象物を懸吊する状態で保持する。搬送対象物は吸引保持面と非接触状態であるため、搬送対象物が吸引保持される力によって吸引保持面に平行な方向の拘束力を受けることは、ほとんどない。このため、傾いた吸引保持面に吸引保持された搬送対象物は、吸引保持面と一定の隙間を維持した状態で、重力によって傾いた下側に移動する。傾いた下側には、規制部材が配設されているため、搬送対象物は、端面が規制部材に当接した状態で吸引保持される。これにより、吸引保持ハンドに対して、搬送対象物の位置を、一定の位置に位置決めすることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる搬送装置は、前記規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法が、前記搬送対象物の厚さより小さいことが好ましい。
【００１８】
この搬送装置によれば、規制部材の吸引保持面からの高さ寸法が搬送対象物の厚さより小さいため、規制部材に当接した状態の搬送対象物において、規制部材に当接した端面は、高さ方向において規制部材に当接しない部分が存在する。このため、当該部分を、搬送対象物を規制部材に当接させる力と同じ力を利用して、別の部材に当接させることで、搬送対象物を別の部材に当接させて、その位置に位置決めすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる搬送装置は、前記保持手段が、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において高い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する第二の規制部材をさらに備え、前記第二の規制部材の前記吸引保持面からの高さ寸法は、前記搬送対象物の厚さより大きいことが好ましい。
【００２０】
この搬送装置によれば、傾いた吸引保持面における鉛直方向において高い側に、搬送対象物の移動を規制する第二の規制部材が配設されている。これにより、吸引保持ハンドからの吸引力によって吸引保持面に向かって持ち上げられた搬送対象物が、吸引保持面が傾いていることに起因して発生する、搬送対象物に対して吸引保持面に平行な方向に付勢するように作用する分力によって、傾いた吸引保持面の高い側に移動することを規制することができる。第二の規制部材の吸引保持面からの高さ寸法が、搬送対象物の厚さより大きいことによって、搬送対象物が吸引力を及ぼされる早い段階から、搬送対象物が傾いた吸引保持面の高い側に移動することを規制できる状態にすることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる搬送装置は、前記吸引保持面の水平方向に対する角度を変える角度変更手段をさらに備えることが好ましい。
【００２２】
この搬送装置によれば、角度変更手段を備え、吸引保持面の水平方向に対する角度を変えることができる。これにより、吸引保持する時点と、吸引保持している状態とで、それぞれ吸引保持面の角度を変えて、吸引保持する時点や吸引保持している状態における、それぞれの適切な吸引保持面の角度に吸引保持面の角度を調整することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例にかかる保持方法は、保持対象物を保持する保持方法であって、旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面を備える吸引保持端末の前記吸引保持面を前記保持対象物の被吸引保持面に接近させる接近工程と、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、前記保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持工程と、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記保持対象物の移動を規制する規制部材に前記保持対象物を当接させる位置決め工程と、を有することを特徴とする。
【００２４】
本適用例の保持方法によれば、吸引保持面を備える吸引保持端末の吸引保持面を保持対象物の被吸引保持面に接近させる接近工程を有する。
旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持するチャッキング装置は、ベルヌーイの定理を利用したものであり、ベルヌーイチャックとも呼ばれる。ベルヌーイの定理を利用したベルヌーイチャックは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じた負圧によって保持対象物を吸引する。接近工程によって、保持対象物を吸引保持端末に吸引することができる。旋回流発生室の気体は、吸引保持面に開口した吸引用吹出し口から流出するため、保持対象物を吸引保持面から離反させる方向の力を被吸引面に作用させることから、吸引された保持対象物と吸引保持面との非接触状態が形成され、吸引保持工程が実施される。
一般的に、吸引保持面は、支持部材によって鉛直方向の下向きに支持されており、吸引保持ハンドは、保持対象物を懸吊する状態で保持する。保持対象物は吸引保持面と非接触状態であるため、保持対象物が吸引保持される力によって吸引保持面に平行な方向の拘束力を受けることは、ほとんどない。このため、傾いた吸引保持面に吸引保持された保持対象物は、吸引保持面と一定の隙間を維持した状態で、重力によって傾いた下側に移動する。傾いた下側には、規制部材が配設されているため、保持対象物は、端面が規制部材に当接した状態で吸引保持され、位置決め工程が実施される。これにより、吸引保持端末に対して、保持対象物の位置を、一定の位置に位置決めすることができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例にかかる着座方法は、保持した搬送対象物を予め規定された着座位置に着座させる着座方法であって、旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面を備える吸引保持端末に、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、吸引保持し、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する規制部材に端面を当接させた前記搬送対象物の前記端面を、前記搬送対象物の前記着座位置に形成された位置規定壁に当接させる当接工程と、前記搬送対象物の前記端面を、前記位置規定壁に当接させた状態で前記搬送対象物を着座させる着座工程と、を有することを特徴とする。
【００２６】
本適用例の着座方法によれば、規制部材に端面を当接させた搬送対象物の当該端面を、搬送対象物の着座位置に形成された位置規定壁に当接させる当接工程を有する。
搬送対象物は吸引保持面と非接触状態であるため、搬送対象物が吸引保持される力によって吸引保持面に平行な方向の拘束力を受けることは、ほとんどない。このため、傾いた吸引保持面に吸引保持された搬送対象物は、吸引保持面と一定の隙間を維持した状態で、重力によって傾いた下側に移動して規制部材に端面を当接させている。このため、規制部材に対する搬送対象物の位置はほとんど一定であり、規制部材の位置を基準として移動させることによって、搬送対象物の端面を位置規定壁に当接させることができる。搬送対象物は、吸引保持面に対して吸引保持面に平行な方向に微小な力で容易に移動できるため、位置規定壁に対して搬送対象物を予め正確に位置決めすることを必要とせずに、当接させるだけで、搬送対象物が位置規定壁に当接して位置決めされた状態にすることができる。着座工程を実施することで、位置規定壁によって規定される位置に搬送対象物を着座させることができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例にかかる搬送方法は、第一の位置に在る搬送対象物を第二の位置に移動させる搬送方法であって、旋回流発生室が開口しており、水平方向（鉛直方向に直交する方向）に対して傾いている吸引保持面を備える吸引保持端末の前記吸引保持面を前記第一の位置に在る前記搬送対象物の被吸引保持面に接近させる接近工程と、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、前記搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持工程と、前記吸引保持面に対して、傾いた前記吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、前記吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への前記搬送対象物の移動を規制する規制部材に前記搬送対象物の端面を当接させる位置決め工程と、位置決めされた前記搬送対象物を前記吸引保持端末が吸引保持した状態で、前記吸引保持端末を移動させる移動工程と、前記吸引保持端末を前記第二の位置に停止して、前記搬送対象物の吸引保持状態を解除して、前記搬送対象物を着座させる着座工程とを有することを特徴とする。
【００２８】
本適用例の搬送方法によれば、吸引保持面を備える吸引保持端末の吸引保持面を搬送対象物の被吸引保持面に接近させる接近工程を有する。
旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、搬送対象物を非接触で吸引保持するチャッキング装置は、ベルヌーイの定理を利用したものであり、ベルヌーイチャックとも呼ばれる。ベルヌーイの定理を利用したベルヌーイチャックは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じた負圧によって搬送対象物を吸引する。接近工程によって、搬送対象物を吸引保持端末に吸引することができる。旋回流発生室の気体は、吸引保持面に開口した吸引用吹出し口から流出するため、搬送対象物を吸引保持面から離反させる方向の力を被吸引面に作用させることから、吸引された搬送対象物と吸引保持面との非接触状態が形成され、吸引保持工程が実施される。
一般的に、吸引保持面は、支持部材によって鉛直方向の下向きに支持されており、吸引保持ハンドは、搬送対象物を懸吊する状態で保持する。搬送対象物は吸引保持面と非接触状態であるため、搬送対象物が吸引保持される力によって吸引保持面に平行な方向の拘束力を受けることは、ほとんどない。このため、傾いた吸引保持面に吸引保持された搬送対象物は、吸引保持面と一定の隙間を維持した状態で、重力によって傾いた下側に移動する。傾いた下側には、規制部材が配設されているため、搬送対象物は、端面が規制部材に当接した状態で吸引保持され、位置決め工程が実施される。これにより、吸引保持端末に対して、搬送対象物の位置を、一定の位置に位置決めすることができる。吸引保持端末に対して、搬送対象物の位置が一定の位置に位置決めされているため、当該状態を維持して吸引保持端末を搬送対象物の第二の位置に対応する所定の位置に移動させて、その位置において搬送対象物の吸引保持状態を解除して着座させることで、搬送対象物を第二の位置に着座させることができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる搬送方法は、前記第二の位置における前記搬送対象物の配置位置に形成された位置規定壁に、前記搬送対象物における前記規制部材に当接している端面を当接させる工程をさらに有することが好ましい。
【００３０】
この搬送方法によれば、規制部材に端面を当接させた搬送対象物の当該端面を、位置規定壁に当接させる当接工程を有する。
搬送対象物は吸引保持面と非接触状態であるため、搬送対象物が吸引保持される力によって吸引保持面に平行な方向の拘束力を受けることは、ほとんどない。このため、傾いた吸引保持面に吸引保持された搬送対象物は、吸引保持面と一定の隙間を維持した状態で、重力によって傾いた下側に移動して規制部材に端面を当接させている。このため、規制部材に対する搬送対象物の位置はほとんど一定であり、規制部材の位置を基準として移動させることによって、搬送対象物の端面を位置規定壁に当接させることができる。搬送対象物は、吸引保持面に対して吸引保持面に平行な方向に微小な力で容易に移動できるため、位置規定壁に対して搬送対象物を予め正確に位置決めすることを必要とせずに、当接させるだけで、搬送対象物が位置規定壁に当接して位置決めされた状態にすることができる。着座工程を実施することで、位置規定壁によって規定される位置に搬送対象物を着座させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】（ａ）は、液晶変調パネルについて、各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。（ｂ）は、（ａ）にＨ−Ｈで示した断面における断面形状を示す概略断面図。
【図２】搬送装置の概形状を示す外観斜視図。
【図３】吸引パットの構造を示す斜視図。
【図４】ヘッドケースの構成を示す平面図。
【図５】（ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す断面図。（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図。
【図６】（ａ）は、吸引保持ハンドの全体構成を示す分解斜視図。（ｂ）は、装置取付部の構造を示す側面図。
【図７】（ａ）は、ワークガイドの外観斜視図。（ｂ）は、ワークガイドの平面図。（ｃ）は、ワークガイドの側面図。
【図８】（ａ）は、吸引保持端末の側面図。（ｂ）は、吸引保持端末を吸引保持面側から見た平面図。
【図９】対向基板の搬送工程の各工程を示すフローチャート。
【図１０】対向基板の搬送工程の各工程における吸引保持端末と対向基板との位置関係を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、吸引保持ハンド、搬送装置、保持方法、着座方法、及び搬送方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、搬送対象物を搬送して、定められた位置に着座させて整列させる搬送装置を例にして説明する。実施形態の搬送装置は、液晶装置の製造工程において、搬送用トレイに載せて搬送されてきた液晶装置を構成するフィルター基板（対向基板）などを加工装置に供給するために、加工用トレイに整列させる装置である。なお、以下の説明において参照する図面では、構成部材をわかり易く表示するために、部材又は部分の縦横の縮尺や部分ごとの縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３３】
＜液晶変調パネル＞
最初に、搬送装置１０（図２参照）が扱う対向基板１５０を備える液晶変調パネル１４０について、図１を参照して説明する。液晶変調パネル１４０は、液晶光変調装置を構成する主要要素であり、液晶光変調装置は、投射型表示装置のライトバルブとして用いられる光変調装置である。
図１は、液晶変調パネルの構造を示す模式図である。図１（ａ）は、液晶変調パネルについて、各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）にＨ−Ｈで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。本実施形態に係る液晶変調パネル１４０は、電気光学素子の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルである。
【００３４】
図１に示したように、液晶変調パネル１４０は、ＴＦＴアレイ基板１５５と対向基板１５０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１５５と対向基板１５０との間に液晶層１５７が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１５５と対向基板１５０とは、画像表示領域１４２ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材１５２により相互に接着されている。
【００３５】
シール材１５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１５５上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材１５２中には、ＴＦＴアレイ基板１５５と対向基板１５０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバー或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００３６】
シール材１５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１４２ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜１５３が、対向基板１５０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜１５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１５５側に内蔵遮光膜として設けてもよい。
【００３７】
画像表示領域１４２ａの周辺に広がる領域のうち、シール材１５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１６１及び外部回路接続端子１６２がＴＦＴアレイ基板１５５の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１６４は、この一辺に隣接する２辺に沿い、且つ、額縁遮光膜１５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域１４２ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１６４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１５５の残る一辺に沿い、且つ、額縁遮光膜１５３に覆われるようにして複数の配線１６５が設けられている。
【００３８】
対向基板１５０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１６６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１５５にはこれらのコーナーに対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１５５と対向基板１５０との間で電気的な導通をとることができる。
【００３９】
図１（ｂ）において、ＴＦＴアレイ基板１５５上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極１６９上に、図示しない配向膜が形成されている。他方、対向基板１５０上には、対向電極１６７の他、格子状又はストライプ状の遮光膜１６８、更には最上層部分に図示しない配向膜が形成されている。また、液晶層１５７は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００４０】
なお、図１に示したＴＦＴアレイ基板１５５上には、これらのデータ線駆動回路１６１、走査線駆動回路１６４等に加えて、他の回路を形成してもよい。他の回路として、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００４１】
＜搬送装置＞
次に、搬送装置１０について、図２を参照して説明する。図２は、搬送装置の概形状を示す外観斜視図である。
図２に示すように、搬送装置１０は、吸引保持ハンド２０と、ハンド移動腕３１と装置機台３８とを備えるロボット機構３０と、搬送装置制御部３９とを備えている。
【００４２】
ハンド移動腕３１は、腕部３２ａと、腕部３２ｂと、腕関節部３３と、ハンド保持機構３４と、腕軸部３６とを備えている。腕部３２ａの一端と腕部３２ｂの一端とは、腕関節部３３で接続されている。腕部３２ｂの腕関節部３３に接続された一端の反対側の一端は、腕軸部３６に接続されている。腕軸部３６は、腕部３２ｂを腕軸部３６の回動軸を中心に回動可能に支持している。腕軸部３６の回動軸の軸方向は、略鉛直方向である。腕部３２ｂは、腕部３２ａを、腕関節部３３を介して、腕関節部３３の回動軸を中心に回動可能に支持している。腕部３２ａと腕部３２ｂとは、腕関節部３３において互いのなす角度を調整可能である。即ち、ハンド移動腕３１は、腕関節部３３において屈伸可能である。腕軸部３６の回動軸の軸方向と、腕関節部３３の回動軸の軸方向とは、互いに略平行である。装置機台３８は、内蔵する摺動支持機構（図示省略）を介して、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動自在に、且つ精密に位置決め固定可能に支持している。
【００４３】
腕部３２ａの腕関節部３３に接続された一端の反対側の一端には、ハンド保持機構３４が固定されている。ハンド保持機構３４には、吸引保持ハンド２０が固定されている。ハンド保持機構３４は、腕軸部３６の回動軸の軸方向及び腕関節部３３の回動軸の軸方向と同じ軸方向の回動軸を有している。したがって、ハンド保持機構３４の回動軸の軸方向は、略鉛直方向である。ハンド保持機構３４は、腕部３２ａに対して、当該回動軸を中心に吸引保持ハンド２０を回動可能に支持している。
【００４４】
吸引保持ハンド２０は、後述する吸引パット２１（図３参照）を４個備えており、吸引保持ハンド２０の吸引保持面１８２Ａ（図８参照）は、４個の吸引パット２１が備える４個の吸引保持面１８２（図３参照）で構成されている。吸引保持ハンド２０の吸引保持面１８２Ａ（吸引保持面１８２）は、ハンド保持機構３４の回動軸と略垂直な面に対して傾いている。吸引保持ハンド２０が、吸引保持ハンド又は保持手段に相当する。
ハンド保持機構３４によって吸引保持ハンド２０を回動させることで、吸引保持面の傾き方向（傾いた面の高い方と低い方との平面方向における位置関係）を変えることができる。
搬送装置制御部３９は、情報入出力装置（図示省略）を介して予め入力された制御プログラムに基づいて、搬送装置１０の各部の動作を統括制御する。
【００４５】
次に、搬送装置１０によってワークを搬送する際の搬送装置１０の動作について説明する。
最初に、腕軸部３６によって、ハンド移動腕３１を回動させて任意の方向に向け、腕関節部３３においてハンド移動腕３１を屈伸させることによって、吸引保持ハンド２０を任意の位置、例えば、ワークを吸引保持可能な位置に位置させる。次に、装置機台３８の摺動支持機構によって、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動させることによって、吸引保持ハンド２０の吸引保持面をワークを吸引保持可能な距離まで接近させ、当該位置でワークを吸引保持する。次に、装置機台３８の摺動支持機構によって腕軸部３６を摺動させて、吸引保持ハンド２０を移動させ、ワークを持ち上げる。
次に、腕軸部３６によって、ハンド移動腕３１を回動させて、ハンド移動腕３１をワークを載置する方向に向け、腕関節部３３においてハンド移動腕３１を屈伸させることによって、ワークを吸引保持した吸引保持ハンド２０を、ワークが載置位置に臨む位置に位置させる。次に、装置機台３８の摺動支持機構によって、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動させることによって、吸引保持ハンド２０が吸引保持したワークを載置面に載置可能な距離まで接近させ、当該位置でワークの吸引保持を解除し、ワークを載置面に着座させる。搬送装置１０によって搬送される対向基板１５０などのワークが、保持対象物又は搬送対象物に相当する。
【００４６】
＜吸引パット＞
次に、吸引保持ハンド２０が備える吸引パット２１について、図３を参照して説明する。吸引パット２１は、ベルヌーイの定理を応用して、吸引保持する部材を吸引するとともに、流出する気体によって部材に押し力を加えることによって、部材と吸引パットとの非接触状態を維持して、非接触で部材を保持するものである。図３は、吸引パットの構造を示す斜視図である。
【００４７】
図３に示すように、吸引パット２１は、旋回流発生室１８１と、吸引保持面１８２と、一対の気体噴出流路１８３，１８３と、一対のチャンバ流路１８５，１８５と、を備えている。旋回流発生室１８１は、円柱状の凹部である。吸引保持面１８２は、吸引パット２１の旋回流発生室１８１が開口する端面であり、旋回流発生室１８１の開口側端に連なり、吸引保持された状態の被吸引部材が臨む面である。気体噴出流路１８３は、一端が旋回流発生室１８１の内周面１８４に開口しており、旋回流発生室１８１に圧縮空気を噴出させて、旋回流発生室１８１に旋回流を発生させる。チャンバ流路１８５は、各気体噴出流路１８３の上流端に連通し、気体供給源２８（図６参照）からの圧縮空気を供給する。気体供給源２８から供給された圧縮空気は、一対のチャンバ流路１８５に同時に流入し、それぞれ気体噴出流路１８３を通って旋回流発生室１８１に噴出される。
【００４８】
吸引パット２１の外形は、略円形の吸引保持面１８２を端面とする略円筒形状であり、円筒の途中から吸引保持面１８２の反対側の端面までは、一部が切り欠かれた形状をしている。切り欠かれた部分は、平坦な面であって、互いに平行な一対の面１８６，１８６で構成されている。チャンバ流路１８５の気体噴出流路１８３に連通する側の反対側は、面１８６に開口している。
【００４９】
旋回流発生室１８１は、その内周面１８４の一端が閉塞された円柱状に形成されており、旋回流発生室１８１の閉塞側には、一対の気体噴出流路１８３が形成されている。旋回流発生室１８１に流入した圧縮空気は、その内周面１８４に沿うように流れ、強い旋回流となってやがて開放端から側方に流出する。旋回流の中心部には、ベルヌーイの定理に従って負圧が生じ、この負圧により対向基板１５０などを吸引する。
【００５０】
吸引保持面１８２は、旋回流発生室１８１の開口側端に連なり、旋回流の旋回軸に対して略直交する形状に形成されている。旋回流発生室１８１で発生した旋回流は、旋回流発生室１８１の開放端に達すると、その遠心力により吸引保持面１８２に沿って内周側から外周側に向って渦流となって流れ出す。旋回流発生室１８１から流出して、吸引保持面１８２上を流れ出す空気により、対向基板１５０などと吸引保持面１８２との間隙が維持される。
【００５１】
図３に示した吸引パット２１では、旋回流発生室１８１に発生する旋回流は、吸引保持面１８２側から見て、時計まわりに旋回する。気体噴出流路１８３の位置を、旋回流発生室１８１の中心軸を含む面に関して面対称の位置にすると、旋回流発生室１８１に発生する旋回流は、吸引保持面１８２側から見て、反時計まわりに旋回する。本実施形態では、旋回方向に関わらず、いずれの旋回方向の旋回流を発生するものも、吸引パット２１と表記する。
なお、吸引パット２１の形状は、旋回流発生室１８１の開口端が徐々に広がるようにベルマウス形状としてもよいし、吸引保持面１８２に渦流を維持する渦形の溝を形成するようにしてもよい。
【００５２】
＜ヘッドケース＞
次に、吸引パット２１が固定されており、吸引保持ヘッド２５（図６参照）を構成するヘッドケース５１について、図４及び図５を参照して説明する。図４は、ヘッドケースの構成を示す平面図である。図５は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す図である。図５（ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す断面図であり、図５（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図である。
【００５３】
図４及び図５に示すように、ヘッドケース５１は、４個の吸引パット２１を下方に突出させ、且つそれぞれの旋回流発生室１８１の端が同一平面内に位置するように保持している。具体的には、ヘッドケース５１には、４個の固定装着穴がマトリクス状に形成されている。固定装着穴は、上述した吸引パット２１の一対の面１８６，１８６と隙間なく嵌合できる平坦面を備えている。各吸引パット２１は、面１８６が形成された部分が固定装着穴に嵌合されて、接着固定されている。吸引パット２１で発生する旋回流の旋回方向は、４個の吸引パット２１の中で対角に位置する２個の吸引パット２１が時計まわりに旋回する旋回流を発生し、他方の対角に位置する２個の吸引パット２１が反時計まわりに旋回する旋回流を発生するように、４個の吸引パット２１が配置されている。
【００５４】
図４に示すように、ヘッドケース５１に形成した圧空溝８８は、４個の吸引パット２１を二分する位置に配設した幅広の主圧空溝８４と、主圧空溝８４から各吸引パット２１に向って垂直に分岐した各吸引パット２１ごとに１組、計４組の幅狭の副圧空溝８５と、から形成されている。各副圧空溝８５は、長い長尺副圧空溝８５ａと短い短尺副圧空溝８５ｂとから成り、取り付けられた吸引パット２１を挟み込む位置に配設されている。吸引パット２１がヘッドケース５１に取り付けられた状態で、長尺副圧空溝８５ａ及び短尺副圧空溝８５ｂは、吸引パット２１の面１８６に開口しているチャンバ流路１８５にそれぞれ連通している。後述する気体供給源２８（図６参照）から供給される圧縮空気が、後述する蓋ケース５２（図６参照）の吸引気体孔５４から流入し、主圧空溝８４及び各副圧空溝８５を介して、各吸引パット２１に流入する。吸引パット２１に流入した圧縮空気は、旋回流発生室１８１に噴出され、図５に示した矢印ａのように旋回する旋回流が発生する。蓋ケース５２は、ヘッドケース５１の周縁に形成された突設枠部８７の内側に嵌合することで、ヘッドケース５１に対して位置決めされる。
【００５５】
＜吸引保持ハンド＞
次に、吸引保持ハンド２０の全体構成について、図６を参照して説明する。図６は、吸引保持ハンドの全体構成を示す図である。図６（ａ）は、吸引保持ハンドの全体構成を示す分解斜視図であり、図６（ｂ）は、装置取付部の構造を示す側面図である。
図６に示すように、吸引保持ハンド２０は、対向基板１５０などのワークを吸引保持する複数（図示のものは、４個）の吸引パット２１と、吸引パット２１を保持するパットホルダー２３と、パットホルダー２３を支持する装置取付部２４と、非接触保持用の空気を供給する気体供給源２８と、を備えている。
【００５６】
パットホルダー２３は、上述したヘッドケース５１を有する吸引保持ヘッド２５と、吸引保持ヘッド２５を垂設支持するワークガイド２６と、ワークガイド２６を垂設支持するジョイント部材２７と、を同軸上に重ねる状態に構成されている。
吸引保持ヘッド２５は、ヘッドケース５１と蓋ケース５２とを備え、蓋ケース５２がヘッドケース５１の周縁に形成された突設枠部８７の内側に嵌合して、隙間なく固定されている。蓋ケース５２がヘッドケース５１に固定されることで、ヘッドケース５１に形成された主圧空溝８４及び各副圧空溝８５が、蓋ケース５２に形成された吸引気体孔５４、及び吸引パット２１に形成されたチャンバ流路１８５に連通する気体流路となっている。
【００５７】
気体供給源２８は、例えば圧空ポンプのような、圧縮空気を送出する装置である。気体供給源２８には、圧縮空気を送るための吸引給気管２９の一端が接続されている。吸引給気管２９の他端は、パットホルダー２３のジョイント部材２７に形成された吸引給気流路７４に接続されている。
【００５８】
吸引保持ハンド２０の装置取付部２４は、略円筒形状に形成され、上半部の内部には太径の取付孔４１が、下半部の内部には細径の装着孔４２がそれぞれ形成されている。取付孔４１は、中心軸である取付孔軸４１ａが略円筒形状の外形と同軸に形成されている。装着孔４２は、中心軸である装着孔軸４２ａが、取付孔軸４１ａと交差すると共に、取付孔軸４１ａに対して傾いて形成されている。取付孔４１は、吸引保持ハンド２０をロボット機構３０のハンド保持機構３４に取り付けるための部位として機能し、装着孔４２には、ジョイント部材２７の装着部７２が差し込み装着される。装着孔軸４２ａと取付孔軸４１ａとが互いに傾いていることを明示するために、傾き角度を大きくして図示しているが、実際の傾き角度は、数度である。
ハンド保持機構３４と装置取付部２４とは、取付孔４１に嵌入したハンド保持機構３４の部分を、上ネジ孔４３に螺合した止めネジで固定することによって、互いに固定される。装置取付部２４とジョイント部材２７とは、装着孔４２に嵌入した装着部７２を、下ネジ孔４４に螺合した止めネジで固定することによって、互いに固定される。装置取付部２４が、支持部材に相当する。
【００５９】
パットホルダー２３のジョイント部材２７は、装着部７２及び垂設部７１を備えている。略角柱形状を有する垂設部７１の一端の頂面に、垂設部７１の略角柱形状の中心と中心軸が略一致する円柱形状の装着部７２が立設されている。略円柱形状の装着部７２の側面の一部が切り欠かれて、上述した下ネジ孔４４に螺合した止めネジが突き当てられる平坦部７２ａが形成されている。装着部７２を装置取付部２４の装着孔４２嵌合し、止めネジを下ネジ孔４４に螺合することにより、ジョイント部材２７が装置取付部２４に装着される。垂設部７１の装着部７２が突設された端面の反対側の端面には、略方形の角を面取りした形状の台座７９が突設されている。この台座７９にワークガイド２６に形成された台座着座部６９（図７参照）が嵌合して、位置決め固定される。
【００６０】
垂設部７１の内部には、吸引給気流路７４が形成されている。吸引給気流路７４は、吸引給気管２９が接続されると共に、吸引パット２１の旋回流発生室１８１に連なる略「Ｌ」字状の流路である。吸引給気流路７４は、横流路７５と、縦流路７６とを有している。横流路７５は、略角柱形状の垂設部７１の側面に開口し、当該側面に略垂直に形成されており、当該開口に、継手７７を介して吸引給気管２９が接続されている。縦流路７６は、一端が台座７９の面の略中心位置に開口し、当該面に略垂直に形成されており、当該開口は、台座７９に嵌合したワークガイド２６の吸引気体孔６４に接続されている。横流路７５及び縦流路７６における開口端と反対側の端は、互いに接合して、略「Ｌ」字状の吸引給気流路７４を形成している。
【００６１】
ワークガイド２６は、略方形の厚板の４角が面取りされた形状に形成されたガイド本体６１と、一つの対角に位置する面取り部の両側においてガイド本体６１の板面に立設された、２個のガイド突起６２及び２個のガイド突起６３と、が一体に形成されている。
ガイド本体６１におけるガイド突起６２及びガイド突起６３が立設された面の反対側の面には、垂設部７１の台座７９が嵌入する台座着座部６９が窪入形成されている。垂設部７１（ジョイント部材２７）の端面に形成された台座７９が台座着座部６９に係合して固定されることで、ワークガイド２６が、垂設部７１に懸吊支持されている。
【００６２】
上述した吸引保持ヘッド２５は、ワークガイド２６に懸吊支持されている。吸引保持ヘッド２５がワークガイド２６に懸吊支持されている状態で、ワークガイド２６の略中央に形成された吸引気体孔６４は、蓋ケース５２の略中央に形成された吸引気体孔５４と連通している。
【００６３】
＜ワークガイド＞
次に、ワークガイド２６について、図７を参照して詳細に説明する。図７は、ワークガイドの形状を示す図である。図７（ａ）は、ワークガイドの外観斜視図であり、図７（ｂ）は、ワークガイドの平面図であり、図７（ｃ）は、ワークガイドの側面図である。
【００６４】
上述したように、ワークガイド２６は、ガイド本体６１と、２個のガイド突起６２及び２個のガイド突起６３と、ガイド本体６１の略中央に形成された吸引気体孔６４と、台座着座部６９とを備えている。
図７に示すように、ガイド本体６１は、略方形の板の４角が面取りされた形状を有している。面取りされた角の一つにおいて、面取りの両側の各辺の端に、それぞれガイド突起６２が立設されている。ガイド突起６２の内側（ガイド本体６１の中央側）のガイド面６２ａは、ガイド本体６１の本体面６１ａに略垂直に形成されている。２個所のガイド面６２ａは、本体面６１ａに平行な方向において、互いに略直交する方向を向いている。ガイド本体６１上に位置したワークは、それぞれのガイド突起６２に当接することで、２方向への移動を規制される。
ガイド突起６２が形成されている角部と対角の位置の角部には、ガイド本体６１の中心に関してガイド突起６２と略点対称の位置に、ガイド突起６３が立設されている。ガイド突起６３の内側の面も、ガイド本体６１の本体面６１ａに略垂直に形成されている。２個所のガイド面６３ａは、本体面６１ａに平行な方向において、互いに略直交する方向を向いている。ガイド本体６１上に位置したワークは、それぞれのガイド突起６３に当接することで、ガイド突起６２に当接することで移動を規制される方向と反対側の２方向への移動を規制される。
ガイド突起６２の方が、ガイド突起６３より立設高さが低くなっている。ガイド突起６２が、規制部材に相当する。ガイド突起６３が、第二の規制部材に相当する。
【００６５】
＜吸引保持端末＞
次に、吸引保持端末９０について、図８を参照して説明する。４個の吸引パット２１と、吸引保持ヘッド２５と、ワークガイド２６との組を吸引保持端末９０と表記する。図８は、吸引保持端末の形状を示す外観図である。図８（ａ）は、吸引保持端末の側面図であり、図８（ｂ）は、吸引保持端末を吸引保持面側から見た平面図である。
【００６６】
図８（ａ）に示した装着孔軸４２ａは、上述した装置取付部２４の装着孔４２の中心軸である装着孔軸４２ａである。軸４０ａは、取付孔軸４１ａに平行な軸であり、吸引保持ハンド２０がロボット機構３０のハンド保持機構３４に取り付けられた状態では、軸４０ａの方向が鉛直方向である。装着孔軸４２ａと軸４０ａとが互いに傾いていることを明示するために、傾き角度を大きくして図示しているが、実際の傾き角度は、数度である。
【００６７】
上述したように、４個の吸引パット２１は、吸引保持ヘッド２５のヘッドケース５１に固定されており、吸引保持ヘッド２５は、ワークガイド２６のガイド本体６１上に固定されている。ワークガイド２６は、ジョイント部材２７に固定されている。ジョイント部材２７の装着部７２は、装置取付部２４の装着孔４２に嵌合して固定されている。この構成により、図８に示すように、４個の吸引パット２１の吸引保持面１８２に平行な方向は、装着孔軸４２ａと略直交する方向であり、水平方向（鉛直方向である軸４０ａの方向と直交する方向）に対して傾いている。４個の吸引パット２１の吸引保持面１８２を総称して、吸引保持面１８２Ａと表記する。装着孔軸４２ａは、吸引保持面１８２Ａの略中央に位置している。
【００６８】
ガイド突起６２は、装着孔軸４２ａの軸方向において、吸引保持面１８２Ａより、例えば対向基板１５０の厚さの半分程度、突出している。ガイド突起６３は、装着孔軸４２ａの軸方向において、吸引保持面１８２Ａより、例えば対向基板１５０の厚さの１．２倍程度、突出している。
吸引保持面１８２Ａを囲む４方向には、それぞれガイド突起６２又はガイド突起６３が配設されており、吸引保持面１８２Ａに吸引保持された対向基板１５０などのワークは、ガイド突起６２又はガイド突起６３によって、吸引保持面１８２Ａに平行な方向への移動を規制される。言い換えると、ワークがガイド本体６１と重なる位置に在り、ワークの１個の角が近接して配設された２個のガイド突起６２の間に在って、当該角を構成する２辺がそれぞれ１個のガイド突起６２に略当接しており、当該角の対角に位置する角も近接して配設された他の２個のガイド突起６３の間に在って、その角を構成する２辺がそれぞれ１個のガイド突起６３に略当接している状態にワークを位置させることができる位置に、４個のガイド突起６２又はガイド突起６３が配設されている。４個のガイド突起６２又はガイド突起６３によって、略長方形又は正方形のワークの、ガイド本体６１の面方向の移動を規制することができる。４個のガイド突起６２又はガイド突起６３の位置を変えることによって、異なる大きさや平面形状のワークを吸引保持することができる。
なお、図示したガイド突起６２及びガイド突起６３は、明確に図示するために大きく示してあるが、ガイド突起６２及びガイド突起６３の大きさは、加えられる力に耐えられる強度が得られる大きさであれば充分である。
【００６９】
＜搬送＞
次に、吸引保持ハンド２０によって対向基板１５０を吸引保持、移動、及び着座する搬送工程について、図９及び図１０を参照して説明する。搬送工程は、搬送用パレット１００に置かれた対向基板１５０を吸引保持し、加工用パレット１２０の着座領域１２１に着座させて整列させる工程である。図９は、対向基板の搬送工程の各工程を示すフローチャートである。図１０は、対向基板の搬送工程の各工程における吸引保持端末と対向基板との位置関係を示す説明図である。
【００７０】
最初に、図９のステップＳ１では、ロボット機構３０によって吸引保持ハンド２０を移動させて、吸引保持端末９０が搬送用パレット１００に置かれた対向基板１５０を吸引保持できる吸引位置に移動させる。後述するが、後工程で吸引保持端末９０に対する対向基板１５０の位置合わせを実施するため、ステップＳ１における対向基板１５０の位置に対する吸引保持端末９０の位置精度は、図１０（ａ）に示すように、ガイド突起６２及びガイド突起６３の間に対向基板１５０が入れば充分である。
【００７１】
図１０に示した装着孔軸４２ａは、上述した装置取付部２４の装着孔４２の中心軸である装着孔軸４２ａである。軸４０ａは、上述したように、装置取付部２４の取付孔軸４１ａに平行な軸であり、搬送工程は吸引保持ハンド２０がロボット機構３０のハンド保持機構３４に取り付けられた状態の搬送装置１０を用いて実施されるため、軸４０ａの方向が鉛直方向である。したがって、装着孔軸４２ａは鉛直方向に対して傾いており、装着孔軸４２ａに直交する吸引保持面１８２Ａは、水平面に対して傾いている。装着孔軸４２ａと軸４０ａとが互いに傾いていることを明示するために、傾き角度を大きくして図示しているが、実際の傾き角度は、数度である。
【００７２】
次に、図９のステップＳ２では、図１０（ｂ）に示すように、吸引保持端末９０によって対向基板１５０を、非接触で吸引保持する。この工程は、気体供給源２８から吸引パット２１に圧縮空気を送り、旋回流発生室１８１に負圧を発生させていることで、ステップＳ１を実施することによって、ステップＳ１の完了と略同時に、実施される。なお、図１０では、対向基板１５０と吸引パット２１とが接して示されているが、正確には、対向基板１５０と吸引パット２１との間には、微小な隙間が存在する。
【００７３】
次に、図９のステップＳ３では、図１０（ｃ）に示すように、対向基板１５０の端面をガイド突起６２に当接させることで、対向基板１５０を、吸引保持端末９０（搬送装置１０）に対して位置決めする。
吸引保持面１８２Ａが水平面に対して傾いていることとから、対向基板１５０に加わる重力によって吸引保持面１８２Ａに平行な方向の力が発生し、対向基板１５０に加わる。吸引パット２１が非接触で対向基板１５０を吸引保持しているため、対向基板１５０は吸引保持面１８２Ａの面方向に摺動自在に保持されている。吸引保持面１８２Ａに平行な方向の力が対向基板１５０に加わることと、対向基板１５０は吸引保持面１８２Ａの面方向に摺動自在に保持されていることとによって、対向基板１５０は吸引保持面１８２Ａに沿って、傾いた吸引保持面１８２Ａの低い側に、移動する。傾いた吸引保持面１８２Ａの低い側には、対向基板１５０の移動を規制可能なガイド突起６２が形成されているため、移動した対向基板１５０の端面がガイド突起６２に当接する。このように、ステップＳ３の工程は、ステップＳ２の完了と略同時に、自動的に実施される。
上述したように、ガイド突起６２は、装着孔軸４２ａの軸方向において、吸引保持面１８２Ａより、例えば対向基板１５０の厚さの半分程度、突出している。このため、対向基板１５０は、厚さの半分程度がガイド突起６２よりとび出した状態で保持されている。
【００７４】
次に、図９のステップＳ４では、ロボット機構３０によって、対向基板１５０を吸引保持した吸引保持ハンド２０を移動させて、対向基板１５０を吸引保持した吸引保持端末９０が加工用パレット１２０における所定の着座領域１２１に臨む位置に、移動させる。吸引保持端末９０が所定の着座領域１２１に臨む位置を、吸引保持端末９０の着座実施位置と表記する。
【００７５】
次に、図９のステップＳ５では、図１０（ｄ）に示すように、対向基板１５０のガイド突起６２に当接していた端面を、加工用パレット１２０における所定の着座領域１２１の端に形成されて着座領域１２１の範囲を規定している位置規定壁１２２に当接させる。対向基板１５０は、厚さの半分程度がガイド突起６２よりとび出した状態で保持されているため、とび出した部分を位置規定壁１２２に当接させることができる。
対向基板１５０は、吸引保持面１８２Ａが水平方向に対して傾いていることによって、対向基板１５０に加わる重力の吸引保持面１８２Ａに平行な方向の分力が作用し、当該分力によって、ガイド突起６２に当接しているため、対向基板１５０がガイド突起６２に当接する力は微小な力である。このため、対向基板１５０が位置規定壁１２２に当接させられることで、対向基板１５０は、容易にガイド突起６２から離されて、吸引保持面１８２Ａに平行な方向の位置を位置規定壁１２２によって規定される状態で、吸引保持ハンド２０に吸引保持されている。
【００７６】
対向基板１５０を位置規定壁１２２に向けて接近させる方向は、図１０（ｄ）に矢印ｂで示したように、水平面に対して、吸引保持面１８２Ａが傾いた方向と同じ方向に傾いた方向であることが好ましい。傾いた方向から接近させることで、位置規定壁１２２に対向基板１５０の端面を当接させるために必要な、位置規定壁１２２に対する対向基板１５０の端面の、水平方向における位置精度を大きくすることができる。図１０（ｄ）に二点鎖線で示した対向基板１５０のように、吸引保持端末９０に吸引保持された対向基板１５０が着座領域１２１の底に当接した場合でも、対向基板１５０が吸引保持面１８２Ａに平行な方向に逃げる可能性が高いため、対向基板１５０が吸引パット２１と加工用パレット１２０との間に挟まれる可能性を小さくすることができる。
【００７７】
次に、図９のステップＳ６では、吸引パット２１に対する圧縮空気の供給を停止して、吸引保持状態を解除することで、対向基板１５０を加工用パレット１２０の着座領域１２１に着座させる。吸引保持端末９０に吸引保持された対向基板１５０は、図１０（ｅ）に二点鎖線で示した対向基板１５０のように位置規定壁１２２に当接している。吸引保持状態が解除されると、対向基板１５０には水平方向の力が加えられる可能性はほとんどないため、重力によって鉛直方向に落下して、端面を位置規定壁１２２に略接した状態で、着座領域１２１に着座する。
ステップＳ６を実施して、１個の対向基板１５０を搬送用パレット１００から搬送して、加工用パレット１２０の着座領域１２１に着座させる工程を終了する。この工程を繰り返すことによって、搬送用パレット１００に載せられた対向基板１５０を搬送して、加工用パレット１２０の上に整列させる。
【００７８】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）吸引保持面１８２Ａが水平面に対して傾かせることによって、対向基板１５０に加わる重力によって吸引保持面１８２Ａに平行な方向の力を、対向基板１５０に加えることができる。
【００７９】
（２）吸引パット２１が非接触で対向基板１５０を吸引保持しているため、対向基板１５０は吸引保持面１８２Ａの面方向に摺動自在に保持されていることから、対向基板１５０は、吸引保持面１８２Ａに平行な方向の力によって容易に移動させることができる。
【００８０】
（３）傾いた吸引保持面１８２Ａの低い側には、対向基板１５０の移動を規制可能なガイド突起６２が形成されているため、対向基板１５０の端面がガイド突起６２に当接することで、対向基板１５０を係止することができる。対向基板１５０の端面がガイド突起６２に当接した状態にすることで、吸引保持端末９０（吸引保持ハンド２０）に対して対向基板１５０の位置を一定位置にすることができる。
【００８１】
（４）吸引保持端末９０に吸引保持された対向基板１５０は、吸引保持面１８２Ａが水平面に対して傾かせて形成されていることによって、ガイド突起６２に当接して、吸引保持端末９０（吸引保持ハンド２０）に対して一定の位置に位置決めされる。このため、吸引保持ハンド２０によって対向基板１５０を吸引保持する時点においては、対向基板１５０を吸引保持端末９０に対して正確に位置決めすることは不要である。これにより、対向基板１５０を吸引保持するために吸引保持端末９０を対向基板１５０に接近させる際の、対向基板１５０に対する吸引保持端末９０の位置精度の許容誤差を大きくすることができる。
【００８２】
（５）ガイド突起６２は、装着孔軸４２ａの軸方向において、吸引保持面１８２Ａより、例えば対向基板１５０の厚さの半分程度、突出している。このため、対向基板１５０は、厚さの半分程度がガイド突起６２よりとび出した状態で保持されている。これにより、対向基板１５０の端面がガイド突起６２に当接した状態のまま、対向基板１５０の端面を位置規定壁１２２に当接させることができる。
【００８３】
（６）対向基板１５０を着座領域１２１に着座させる際には、対向基板１５０の端面を位置規定壁１２２に当接させる。対向基板１５０の端面を位置規定壁１２２に当接させることにとって、対向基板１５０の位置規定壁１２２に対する位置を一定の位置にすることができる。これにより、対向基板１５０を加工用パレット１２０の着座領域１２１における所定の位置に位置決めすることができる。
【００８４】
（７）対向基板１５０の端面を位置規定壁１２２に当接させることで、対向基板１５０を加工用パレット１２０の着座領域１２１における所定の位置に位置決めすることができるため、対向基板１５０を着座領域１２１に着座させる際の、着座領域１２１に対向基板１５０の位置精度の許容誤差を大きくすることができる。
【００８５】
（８）ガイド突起６３は、傾いた吸引保持面１８２Ａの高い側に配設されており、吸引保持面１８２Ａからの高さがガイド突起６２より高くなっている。これにより、吸引保持端末９０が搬送用パレット１００に置かれた対向基板１５０を吸引保持する際に、ガイド突起６３と対向基板１５０との距離が小さくなる。これにより、吸引保持端末９０が対向基板１５０に近づく過程において、吸引保持端末９０と対向基板１５０との距離が遠い状態でも、ガイド突起６３が対向基板１５０の位置を規制する機能を有する状態にすることができる。
【００８６】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００８７】
（変形例１）前記実施形態においては、対向基板１５０を着座領域１２１に着座させる際には、対向基板１５０の端面を位置規定壁１２２に当接させていたが、保持対象物又は搬送対象物を着座位置に対して位置決めするために保持対象物又は搬送対象物を位置規定壁に当接させることは必須ではない。保持対象物又は搬送対象物の移動を規制する規制部材に当接させることによって、保持対象物又は搬送対象物を吸引保持ハンド又は搬送装置に対して位置決めしているため、吸引保持ハンド又は保持手段を着座位置に対して正確な位置に位置させることで、保持対象物又は搬送対象物を、着座位置に対して位置決めしてもよい。この場合、位置規定壁を必要としないため、位置規定壁のような位置を規定する部材が存在しない着座位置に対しても、保持対象物又は搬送対象物を位置決めすることができる。
【００８８】
（変形例２）前記実施形態においては、吸引保持ハンド２０は４個の吸引パット２１を備えていたが、吸引保持ハンドが備える吸引パットは、４個に限らない。吸引保持する保持対象物の大きさや重量に対応した適切な吸引保持力を実現できれば、吸引保持ハンドが備える吸引パットは、いくつであってもよい。
【００８９】
（変形例３）前記実施形態においては、ガイド本体６１は略方形の平面形状を有していたが、ガイド本体の形状は略方形に限らない。ガイド本体の形状は、ワークの形状に対応した形状であればどのような形状であってもよい。
【００９０】
（変形例４）前記実施形態においては、装置取付部２４は、取付孔４１と装着孔４２とが一体に形成された部材であり、取付孔軸４１ａと装着孔軸４２ａとがなす角度は固定であって、吸引保持面１８２Ａが水平面に対する傾きは固定であったが、当該傾きが固定であることは必須ではない。例えば、装置取付部２４を、取付孔４１を有する部分と、装着孔４２を有する部分との二体構造として、二体を、角度を変えることができる接続機構を介して接続することによって、取付孔軸４１ａと装着孔軸４２ａとがなす角度を、適宜変えられる構造にしてもよい。吸引保持工程や、位置決め工程などにおいて、吸引保持面の傾き角度をそれぞれその工程に適した角度にすることができる。水平が好ましい工程では水平にすることもできる。この場合の角度を変えることができる接続機構が、角度変更手段に相当する。
【００９１】
（変形例５）前記実施形態においては、吸引保持ハンド２０は、傾いた吸引保持面１８２Ａの高い側に配設されたガイド突起６３を備えていたが、ガイド突起６３のような第二の規制部材を設けることは必須ではない。吸引保持工程が終了して吸引保持された状態の保持対象物及び搬送対象物は、規制部材に当接しており、第二の規制部材に位置規制されることが必要となる可能性は小さいため、吸引保持ハンド又は保持手段は、ガイド突起６３のような第二の規制部材を設けない構成であってもよい。
【符号の説明】
【００９２】
１０…搬送装置、２０…吸引保持ハンド、２１…吸引パット、２４…装置取付部、２６…ワークガイド、２７…ジョイント部材、２８…気体供給源、３０…ロボット機構、３４…ハンド保持機構、３８…装置機台、３９…搬送装置制御部、４０ａ…軸、４１…取付孔、４１ａ…取付孔軸、４２…装着孔、４２ａ…装着孔軸、５１…ヘッドケース、６１…ガイド本体、６１ａ…本体面、６２…ガイド突起、６２ａ…ガイド面、６３…ガイド突起、６３ａ…ガイド面、７４…吸引給気流路、８４…主圧空溝、８５…副圧空溝、８８…圧空溝、９０…吸引保持端末、１００…搬送用パレット、１２０…加工用パレット、１２１…着座領域、１２２…位置規定壁、１４０…液晶変調パネル、１５０…対向基板、１５５…ＴＦＴアレイ基板、１５７…液晶層、１８１…旋回流発生室、１８２…吸引保持面、１８２Ａ…吸引保持面、１８３…気体噴出流路、１８４…内周面、１８５…チャンバ流路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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