(57)【要約】【課題】メッシュマスクに付着したインクの乾燥を防止することにより、メッシュマスクを洗浄する必要がないスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置を提供する。【解決手段】スクリーン印刷方法は、以下の工程を備えている。被印刷物３５の表面を露出するためのパターン孔７ａを有するメッシュマスク６のパターン孔７ａにインク３２を充填することにより被印刷物３５にインク３２が印刷される。メッシュマスク６のパターン孔７ａを有するパターン領域７に付着したインク４１が乾燥する前に、インク３２，４１の乾燥を防止できるようにメッシュマスク６の少なくともパターン領域７が密閉される。【選択図】図１
2010253757.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被印刷物の表面を露出するためのパターン孔を有するメッシュマスクの前記パターン孔にインクを充填することにより前記被印刷物に前記インクを印刷する工程と、
前記メッシュマスクの前記パターン孔を有するパターン領域に付着した前記インクが乾燥する前に、前記インクの乾燥を防止できるように前記メッシュマスクの少なくとも前記パターン領域を密閉する工程とを備えた、スクリーン印刷方法。
【請求項２】
被印刷物の表面を露出するためのパターン孔を有するメッシュマスクの前記パターン孔にインクを充填することにより前記被印刷物に前記インクを印刷する工程と、
前記メッシュマスクの前記パターン孔を有するパターン領域に付着した前記インクが乾燥する前に、前記インクの乾燥を防止するために揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる工程とを備えた、スクリーン印刷方法。
【請求項３】
前記インクの乾燥を防止するために前記揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる工程は、前記揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域の下方または上方のいずれかから前記パターン領域に貫通させる、請求項２に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４】
前記インクの乾燥を防止するために前記揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる工程は、前記揮発性の溶媒を溜めるためのタンクから、前記タンクで蒸発した前記揮発性の溶媒の蒸気を前記タンクに接続されたホースに導いて前記パターン領域に貫通させる、請求項２または３に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記インクの乾燥を防止するために前記揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる工程は、前記インクの乾燥を防止できるように前記メッシュマスクの少なくとも前記パターン領域を密閉した状態で行なわれる、請求項２〜４のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
前記インクの乾燥を防止するために前記揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる工程は、前記揮発性の溶媒をヒーターで蒸発させる工程を含む、請求項２〜５のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記インクの乾燥を防止するために前記揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる工程は、前記揮発性の溶媒を超音波発振器で蒸発させる工程を含む、請求項２〜５のいずれかに記載のスクリーン印刷方法。
【請求項８】
パターン孔を有するメッシュマスクを用いて前記被印刷物の表面にインクを塗布するためのスクリーン印刷装置であって、
前記メッシュマスクの前記パターン孔上を移動可能に取り付けられたスキージと、
前記スキージが移動することにより前記パターン孔を有するパターン領域に付着した前記インクの乾燥を防止できるように、前記メッシュマスクの少なくとも前記パターン領域を密閉可能に構成された乾燥防止密閉容器とを備えた、スクリーン印刷装置。
【請求項９】
パターン孔を有するメッシュマスクを用いて前記被印刷物の表面にインクを塗布するためのスクリーン印刷装置であって、
前記メッシュマスクの前記パターン孔上を移動可能に取り付けられたスキージと、
前記スキージが移動することにより前記パターン孔を有するパターン領域に付着した前記インクの乾燥を防止するために、揮発性の溶媒の蒸気を前記パターン領域に貫通させる乾燥防止蒸気供給部材とを備えた、スクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置に関し、特にメッシュマスクを用いて印刷するスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被印刷対象物にメッシュマスクを用いてインクを印刷するスクリーン印刷方法が使用されている。スクリーン印刷方法において、インクは常温であっても時間が経つと乾燥して固まる。メッシュマスクに付着したインクが乾燥して固まると、固まったインクの破片が被印刷物に転写されたり、メッシュマスクのパターン孔を塞いだりして、印刷不良の原因となる。そのため、印刷を中断する場合や定期的にメッシュマスクを洗浄する必要がある。具体的には、メッシュマスクは、手作業により溶剤で湿らせた布でインクを拭き取ることによって洗浄される。メッシュマスクは、溶剤に浸漬されることによって、また溶剤でシャワー洗浄されることによって洗浄される。
【０００３】
たとえば、特開昭５９−９１０８８号公報（特許文献１）では、シンナーを吸わせたフィルターごしにファンで送風することにより、スクリーン近傍の空気をシンナーの蒸気で略飽和あるいは過飽和状態にすることによりインク粘度を一定にする装置が提案されている。この公報では、インクの粘度を一定に保つことにより印刷不良を発生しにくくすることが提案されている。また、たとえば、特開２０００−１１７９５４号公報（特許文献２）では、スクリーン版をカバーで囲んで、カバー内に溶液剤を注入することなどによってスクリーン版をクリーニングする方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５９−９１０８８号公報
【特許文献２】特開２０００−１１７９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の特開昭５９−９１０８８号公報の装置は、スクリーンに沿った方向にファンで送風している。また、ファンがスクリーンより高い位置に配置されている。そのためシンナーの蒸気はほとんどスクリーンに噴きつけられないので、効果的にスクリーンに付着したインクの乾燥を防止することができない。また、上記の特開２０００−１１７９５４号公報では、スクリーン版のクリーニング方法が提案されており、インクの乾燥を防止することは提案されていない。
【０００６】
したがって、依然としてメッシュマスクに付着したインクは乾燥して固まるため、印刷を中断する場合や定期的にメッシュマスクを洗浄する必要がある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、メッシュマスクに付着したインクの乾燥を防止することにより、メッシュマスクを洗浄する必要がないスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一のスクリーン印刷方法は、以下の工程を備えている。
被印刷物の表面を露出するためのパターン孔を有するメッシュマスクのパターン孔にインクを充填することにより被印刷物にインクが印刷される。メッシュマスクのパターン孔を有するパターン領域に付着したインクが乾燥する前に、インクの乾燥を防止できるようにメッシュマスクの少なくともパターン領域が密閉される。
【０００９】
本発明の他のスクリーン印刷方法は、以下の工程を備えている。
被印刷物の表面を露出するためのパターン孔を有するメッシュマスクのパターン孔にインクを充填することにより被印刷物にインクが印刷される。メッシュマスクのパターン孔を有するパターン領域に付着したインクが乾燥する前に、インクの乾燥を防止するために揮発性の溶媒の蒸気をパターン領域に貫通させる。
【００１０】
本発明の一のスクリーン印刷装置は、パターン孔を有するメッシュマスクを用いて被印刷物の表面にインクを塗布するためのスクリーン印刷装置であって、スキージと乾燥防止密閉容器とを備えている。スキージは、メッシュマスクのパターン孔上を移動可能に取り付けられている。乾燥防止密閉容器は、スキージが移動することによりパターン孔を有するパターン領域に付着したインクの乾燥を防止できるように、メッシュマスクの少なくともパターン領域を密閉可能に構成されている。
【００１１】
本発明の他のスクリーン印刷装置は、パターン孔を有するメッシュマスクを用いて被印刷物の表面にインクを塗布するためのスクリーン印刷装置であって、スキージと乾燥防止蒸気供給部材とを備えている。スキージは、メッシュマスクのパターン孔上を移動可能に取り付けられている。乾燥防止蒸気供給部材は、スキージが移動することによりパターン孔を有するパターン領域に付着したインクの乾燥を防止するために、揮発性の溶媒の蒸気をパターン領域に貫通させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、メッシュマスクのパターン孔を有するパターン領域に付着したインクが乾燥する前に、パターン領域を密閉するか、または揮発性の溶媒の蒸気をパターン領域に貫通させるため、パターン領域に付着したインクが乾燥することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法に用いられる下部カバーおよびＯリングを概略的に示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、平リングが用いられた場合を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷方法に用いられる下部カバーおよびＯリングを概略的に示す平面図である。
【図７】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、上部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、上部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態４におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態４におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、上部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷方法に用いられる下部カバーおよびＯリングを概略的に示す平面図である。
【図１４】本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、上部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図１５】本発明の実施の形態６におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態６におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、下部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態７におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態７におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、上部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態８におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態８におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、下部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図２１】本発明の実施の形態９におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図２２】本発明の実施の形態９におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、上部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態１０におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図である。
【図２４】本発明の実施の形態１０におけるスクリーン印刷方法を概略的に示す断面図であって、下部カバーを備えた場合を示す断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法に用いられるメッシュマスクを概略的に示す平面図である。
【図２６】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法に用いられるメッシュマスクの一部を拡大して概略的に示す平面図である。
【図２７】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法に用いられるメッシュマスクの一部を拡大して概略的に示す側面図である。
【図２８】図２５におけるＸＸＶＩＩＩ−ＸＸＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図２９】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法に用いられるメッシュマスクを概略的に示す側面図である。
【図３０】図２８における接着領域の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図３１】図２８におけるマスク領域の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図３２】図２８におけるパターン領域の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図３３】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷を概略的に示す平面図である。
【図３４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷を概略的に示す断面図である。
【図３５】図３４におけるパターン領域の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図３６】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷直後のインクの状態を概略的に示す断面図である。
【図３７】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷後の揮発性の溶媒が蒸発している状態を概略的に示す断面図である。
【図３８】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷後の不揮発性の溶質が残った状態を概略的に示す断面図である。
【図３９】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷後のメッシュマスクの状態を概略的に示す平面図である。
【図４０】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷後のパターン領域の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図４１】従来技術におけるインクの付着したメッシュマスクを布拭きで洗浄する様子を概略的に示す平面図である。
【図４２】従来技術におけるインクの付着したメッシュマスクを溶剤に浸漬させて洗浄する様子を概略的に示す側面図である。
【図４３】従来技術におけるインクの付着したメッシュマスクを溶剤でシャワー洗浄する様子を概略的に示す側面図である。
【図４４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置を概略的に示す平面図であって、印刷前の状態を示す平面図である。
【図４５】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置を概略的に示す側面図であって、印刷前の状態を示す側面図である。
【図４６】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置を概略的に示す平面図であって、印刷中の状態を示す平面図である。
【図４７】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置を概略的に示す側面図であって、印刷中の状態を示す側面図である。
【図４８】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置を概略的に示す平面図であって、印刷後の状態を示す平面図である。
【図４９】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置を概略的に示す側面図であって、印刷後の状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
まず本発明の実施の形態１のスクリーン印刷方法について説明する。
【００１５】
図１および図２を参照して、スクリーン印刷後、メッシュマスク６に付着したインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥する前に、インク３２，４１が付着したメッシュマスク６が上部カバー１と下部カバー３とに挟まれる。上部カバー１と下部カバー３とがそれぞれ平面視においてメッシュマスク６の中央部に形成されたパターン領域７を囲むよう配置される。
【００１６】
図１および図３を参照して、上部カバー１は、メッシュマスク６と対向する面の中央部に凹形状を有している。上部カバー１の凹形状の外周側にＯリング２が配置されている。下部カバー３は、メッシュマスク６と対向する面の中央部に凹形状を有している。下部カバー３の凹形状の外周側にＯリング４が配置されている。上部カバー１の凹形状と下部カバー３の凹形状とが対向し、Ｏリング２とＯリング４とがメッシュマスク６を介在して対向することによって、それらによって囲まれた内部空間が形成される。
【００１７】
インク３２，４１が乾燥する前に上部カバー１と下部カバー３とがそれぞれＯリング２，４を介在してメッシュマスク６を挟むことにより、上記の内部空間内のインク３２，４１が付着したパターン領域７とパターン領域７の周辺のメッシュマスク６とが密閉される。これにより、パターン孔７ａを有するパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６とに付着したインク３２，４１が乾燥することが防止される。
【００１８】
乾燥防止密閉容器は、本実施の形態ではたとえば上部カバー１、Ｏリング２、下部カバー３およびＯリング４で構成されている。メッシュマスク６の最外周側にはメッシュマスク６を保持するためのフレーム５が固定されている。
【００１９】
なお、上記では上部カバー１と下部カバー３とがＯリング２，４を有している場合について説明したが、これに限定されず、図４に示すように平リング８、９を有していてもよい。
【００２０】
次に、本実施の形態のスクリーン印刷方法に用いられるメッシュマスクについて説明する。図２５および図２８を参照して、メッシュマスク６は、接着領域６ａと、マスク領域６ｂと、パターン領域７とを有している。パターン領域７がメッシュマスク６の中央部に形成されている。パターン領域７は、被印刷物３５（図３４）にインク３２，４１を転写するためにメッシュマスク６がパターンニングされた領域である。平面視においてパターン領域７を囲むようにマスク領域６ｂが形成されている。マスク領域６ｂは、被印刷物３５上にインク３２を転写しないようにメッシュマスク６がマスキングされた領域である。平面視においてマスク領域６ｂを囲むように接着領域６ａが形成されている。接着領域６ａは、メッシュマスク６を保持するためのフレーム５が接着された領域である。図２８および図２９に示すように、フレーム５がメッシュマスク６の全周に連続して形成されており、接着領域６ａはメッシュマスク６の全周に連続して形成されている。
【００２１】
図２６および図２７は、図２５の領域２６の一部を拡大した図である。図２６および図２７を参照して、メッシュマスク６では、直線の縦糸２７に対して、横糸２８が縦糸２７の上下に織り込まれている。互いに隣り合う横糸２８は、同じ縦糸２７に対して上側と下側とからそれぞれ接するように織り込まれている。なお、この織り方は、メッシュマスク６の厚みが縦糸２７または横糸２８の直径の３倍となるので３Ｄ織りと呼ばれる。メッシュマスク６の縦糸２７および横糸２８は、たとえばＳＵＳ（Ｓｔｅｅｌ  Ｕｓｅｄ  Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ：ステンレス鋼）からなっている。また、フレーム５は、たとえばアルミニウムまたはＳＵＳからなっている。
【００２２】
図３０を参照して、接着領域６ａでは、織り込まれた縦糸２７および横糸２８が接着剤２９で囲まれて固められている。その接着剤２９によってフレーム５と接着領域６ａとが固定されている。図３１を参照して、マスク領域６ｂでは、織り込まれた縦糸２７および横糸２８が乳剤３０で囲まれて固められている。これにより、マスク領域６ｂがマスキングされている。図３２を参照して、パターン領域７では、織り込まれた縦糸２７および横糸２８が被印刷物３５の表面を露出するためのパターン孔７ａ以外の部分において乳剤３０で固められている。パターン孔７ａと乳剤３０で固められた部分とによってパターン領域７が形成されている。
【００２３】
織り込まれた縦糸２７および横糸２８が接着剤２９でフレーム５に固定される、乳剤３０がメッシュマスク６の平面視におけるフレーム５の内側部分に塗布され、マスク領域６ｂが形成される。メッシュマスク６の中央部の乳剤３０がパターンニングされてパターン領域７が形成される。これにより、メッシュマスク６が完成する。
【００２４】
続いて、上記のメッシュマスクを用いたスクリーン印刷について説明する。図３３および図３４を参照して、スキージ３１の進行方向（図３３中矢印方向）３３に対して、パターン領域７の手前側に塗布されたインク３２がパターン領域７上を通ってパターン領域７の奥側へスキージ３１によって移動される。この際、スキージ３１がメッシュマスク６を押し下げることによって、メッシュマスク６には印圧がかけられている。これにより、図３４および図３５に示すように、メッシュマスク６が押し下げられて被印刷物３５と接した状態で、パターン孔７ａにインク３２が充填される。インク３２がパターン孔７ａから押し出され被印刷物３５に転写される。説明のため被印刷物３５に転写されたインク３２は、インク３７とする。被印刷物３５は、吸着ステージ３６に吸着されて固定されている。被印刷物３５は、たとえばシリコンウェハの基板である。
【００２５】
スキージ３１がパターン領域７の奥側の所定の位置まで移動すると、スキージ３１がメッシュマスク６から上方に離れる。被印刷物３５が取り出されて、目的とする被印刷物３５上へのインク３７のパターニングが実現する。
【００２６】
奥側によったインク３２は、スクレッパ３４をメッシュマスク６上に下げてパターン領域７の手前側に移動することによって、手前側に移動される。スクレッパ３４がパターン領域７の手前側の所定の位置まで行くとスクレッパ３４がメッシュマスク６から上方に離れる。次の被印刷物３５がメッシュマスク６の下に設置される。以上の動作を繰り返すことにより連続してスクリーン印刷が行なわれる。
【００２７】
続いて、スクリーン印刷されたインクについて説明する。図３６に示すように、スクリーン印刷直後の被印刷物３５に転写されたインク３７の成分は、一般に不揮発性の溶質３８と、揮発性の溶媒３９とからなっている。図３７に示すように、次工程の乾燥工程では、室温もしくは上昇された温度において揮発性の溶媒３９が蒸発する。図３７中矢印４０は、揮発性の溶媒３９が蒸発している状態を示している。図３８に示すように、揮発性の溶媒３９が蒸発しきると不揮発性の溶質３８が残り、目的のパターンが形成される。
【００２８】
図３９および図４０に示すように、スクリーン印刷後、メッシュマスク６は、インク３２，４１で汚れている。パターン領域７の縦糸２７および横糸２８にはインク４１がこびりついている。インク４１が固まってしまうと、固まったインク４１の破片が被印刷物３５に転写されることがある。また、固まったインク４１の破片がパターン孔７ａを塞ぐことがある。これらは印刷不良の原因となる。
【００２９】
次に、本実施の形態のスクリーン印刷装置の構成について説明する。
図４４および図４５を参照して、本実施の形態のスクリーン印刷装置１００は、乾燥防止密閉容器（上部カバー１、Ｏリング２，４、下部カバー３）と、スキージ３１と、スクレッパ３４と、吸着ステージ３６と、吸着ステージレール５２と、吸着ステージスライダ５３と、メッシュマスク固定レール５４と、メッシュマスク固定治具５５と、エアシリンダー５６、５７と、軸５８と、取付部材５９と、スキージバー６０と、スキージレール６１と、延長バー６３、６４とを主に有している。
【００３０】
図４５においては、見やすくすため上部カバー１、Ｏリング２、下部カバー３、Ｏリング４、フレーム５およびメッシュマスク６は断面視で図示されている。図４７および図４９も同様である。なお、図４４〜図４８においては、フレーム５、メッシュマスク６および被印刷物３５が図示されている。なお、図４４、図４６、図４８においては見やすくするためメッシュマスク固定レール５４とメッシュマスク固定治具５５とは省略されている。
【００３１】
フレーム５を介在してメッシュマスク６を挟んで固定するようにメッシュマスク固定レール５４とメッシュマスク固定治具５５とが構成されている。メッシュマスク固定レール５４とメッシュマスク固定治具５５との下方に、吸着ステージレール５２が配置されている。吸着ステージレール５２には吸着ステージスライダ５３が吸着ステージレール５２に沿って移動可能に取り付けられている。
【００３２】
吸着ステージスライダ５３に被印刷物３５を吸着するための吸着ステージ３６が取り付けられている。吸着ステージ３６は、吸着ステージレール５２および吸着ステージスライダ５３によってメッシュマスク６の延びる方向に沿って移動可能に構成されている。また、吸着ステージレール５２は、吸着ステージ３６をメッシュマスク６の下面に対して昇降可能に構成されている。
【００３３】
メッシュマスク固定レール５４とメッシュマスク固定治具５５との上方に、スキージ３１を移動するためのスキージバー６０とスキージレール６１とが配置されている。スキージバー６０は、スキージレール６１上をメッシュマスク６の延びる方向に沿って移動可能に構成されている。スキージ３１は、パターン孔７ａ上を移動可能に取り付けられている。スキージ３１とスクレッパ３４とがエアシリンダー５６、５７および軸５８を介在してスキージバー６０に対して昇降可能に構成されている。エアシリンダー５６、５７および軸５８は取付部材５９に取り付けられている。
【００３４】
上部カバー１は、延長バー６３が伸縮することによってメッシュマスク６の延びる方向に沿って移動可能に構成されている。上部カバー１は、メッシュマスク６の上方を移動可能に配置されている。延長バー６３は、上部カバー１をメッシュマスク６の上面に対して昇降可能に構成されている。下部カバー３は、延長バー６４が伸縮することによってメッシュマスク６の延びる方向に沿って移動可能に構成されている。下部カバー３は、メッシュマスク６の下方を移動可能に配置されている。延長バー６４は、下部カバー３をメッシュマスク６の下面に対して昇降可能に構成されている。
【００３５】
次に、本実施の形態のスクリーン印刷装置の動作について説明する。
まず、印刷前の状態について説明する。図４４および図４５に示すように、被印刷物３５の表面にインク３７を塗布するためのスクリーン印刷装置１００では、上記のメッシュマスク６がメッシュマスク固定レール５４とメッシュマスク固定治具５５とに挟まれて固定される。被印刷物３５および吸着ステージ３６は吸着ステージレール５２に沿って平面視においてメッシュマスク６と重ならないように配置される。吸着ステージ３６および吸着ステージレール５２は、断面視においてメッシュマスク固定レール５４より被印刷物３５が低くなるように配置される。
【００３６】
上部カバー１および下部カバー３は延長バー６３、６４が短縮することにより平面視においてメッシュマスク６と重ならないように配置される。上部カバー１および延長バー６３は、断面視においてメッシュマスク６より高く、スキージ３１より低くなるように配置される。下部カバー３および延長バー６４は、断面視においてメッシュマスク６より低くなるように配置される。
【００３７】
次に、印刷中の状態について説明する。図４６および図４７に示すように、被印刷物３５を載せた吸着ステージ３６が吸着ステージレール５２に沿ってメッシュマスク６の中央部の下方に移動する。その位置でスキージ３１によって押圧されることによってメッシュマスク６と被印刷物３５とが接触する高さに吸着ステージレール５２が上昇する。
【００３８】
スキージ３１によって押圧されることによってメッシュマスク６と被印刷物３５とが接触する高さにスキージ３１がエアシリンダー５６，５７によって下降する。スキージバー６０がスキージレール６１に沿って移動する。これにより、スキージ３１がパターン孔７ａ上を移動することによって、メッシュマスク６の上面に準備されたインク３２がパターン領域７上を移動する。このようにして、被印刷物３５の表面を露出するためのパターン孔７ａにインク３２を充填することにより被印刷物３５にインク３２がスクリーン印刷される。
【００３９】
次に、印刷後の状態について説明する。スクリーン印刷が終わると、スクリーン印刷装置１００は、再び上記の印刷前の状態になる。次の印刷をしばらくしない場合、図４８および図４９を参照して、延長バー６３が伸長することによって上部カバー１がメッシュマスク６の中央部の上方へ移動する。その位置で延長バー６３が下降する。延長バー６４が伸長することによって下部カバー３がメッシュマスク６の中央部の下方へ移動する。その位置で延長バー６４が上昇する。
【００４０】
このようにして、インク３２が乾燥する前に、上部カバー１およびＯリング２ならびに下部カバー３およびＯリング４によってインク３２，４１の付着したパターン領域７およびその周辺のメッシュマスク６が密閉される。これにより、パターン領域７およびその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１が乾燥することが防止される。
【００４１】
次に、本実施の形態の作用効果について従来技術と比較して説明する。
図４１に示すように、従来技術では、インク３２，４１（図４０）の付着したメッシュマスク６が人の手４３により洗浄用の溶剤を湿らせた布４２を用いて布拭きで洗浄される。また、図４２に示すように、従来技術では、インク３２，４１（図３３、図４０）の付着したメッシュマスク６が洗浄槽４４に溜められた洗浄用の溶剤４５に浸漬されて洗浄される。
【００４２】
また、図４３に示すように、従来技術では、インク３２，４１（図３３、図４０）の付着したメッシュマスク６が洗浄用の溶剤４７でシャワー洗浄される。シャワー洗浄機の槽４６内にフレーム５に取り付けられたメッシュマスク６が配置され、シャワーノズル５０から洗浄用の溶剤４７が円錐状５１にシャワー噴射される。シャワーノズル５０から噴射された洗浄用の溶剤４７はポンプ４８によって配管４９を循環されて再びシャワーノズル５０から噴射される。
【００４３】
これに対して、本実施の形態によれば、スクリーン印刷後、インク３２、４１が乾燥する前に、上部カバー１と下部カバー３とでインク３２、４１の付着したパターン領域７およびその周辺のメッシュマスク６を挟み込む。そして、Ｏリング２，３で密閉することにより、インク３２，４１から揮発性の溶媒３９が蒸発することを防止することができる。これにより、パターン領域７およびその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１が乾燥することを防止することができる。したがって、インク３２，４１の付着したメッシュマスク６を洗浄する必要がない。そのため、洗浄する手間を省くことができる。
【００４４】
（実施の形態２）
まず本発明の実施の形態２のスクリーン印刷方法について説明する。
【００４５】
図５および図６を参照して、スクリーン印刷後、メッシュマスク６に付着したインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥する前に、インク３２，４１が付着したメッシュマスク６が揮発性の溶媒１１を溜めるための溶媒タンク２１を有する下部カバー１０にＯリング４を介在して密着される。下部カバー３が平面視においてメッシュマスク６の中央部に形成されたパターン領域７を囲むよう配置される。揮発性の溶媒１１がパターン領域７の下方に配置される。
【００４６】
図５および図６を参照して、下部カバー１０は、メッシュマスク６と対向する面の中央部に凹形状を有している。この凹形状の一部が溶媒タンク２１を形成している。下部カバー１０の凹形状の外周側にＯリング４が配置されている。
【００４７】
揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンク２１がパターン領域７の下方に配置されている。また、パターン領域７の外側でメッシュマスク６とＯリング４とが接触している。そのため、インク３２，４１が乾燥する前に、揮発性の溶媒１１の蒸気１２がパターン領域７を下方から貫通する。つまり、パターン領域７のパターン孔７ａから揮発性の溶媒１１の蒸気１２が排出される。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２によって、パターン領域７およびその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１の揮発性の溶媒３９（図３６）が蒸発することが抑制される。したがって、パターン領域７およびその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１が乾燥することが防止される。
【００４８】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば溶媒タンク２１を有する下部カバー１０で構成されている。
【００４９】
本実施の形態のスクリーン印刷装置１００は、上記の下部カバー１０が実施の形態１の上部カバー１および下部カバー３の代わりに適用されることで構成され得る。
【００５０】
また、図７に示すように、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。上部カバー１と下部カバー１０とがそれぞれＯリング２、４を介在してメッシュマスク６を挟むことにより、それらによって構成された内部空間内のインク３２が付着したメッシュマスク６が密閉される。これにより、さらにパターン孔７ａを有するパターン領域７とパターン領域７の周辺に付着したインク３２，４１が乾燥することが防止される。
【００５１】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態１と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５２】
次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
本実施の形態によれば、パターン領域７に付着したインク３２が乾燥する前に、インク３２の乾燥を防止するために揮発性の溶媒１１の蒸気１２をパターン領域７に貫通させる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２によってパターン領域７およびその周辺に付着したインク３２の揮発性の溶媒１１が蒸発することを抑制することができる。したがって、メッシュマスク６に付着したインク３２が乾燥することを防止することができる。よって、インク３２、４０の付着したメッシュマスク６を洗浄する必要がない。そのため、洗浄する手間を省くことができる。
【００５３】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触することによって、上部カバー１と下部カバー３とでインク３２、４１の付着したメッシュマスク６を挟み込んでＯリング２、４で密閉することができる。これにより、さらにパターン領域７とその周辺に付着したインク３２，４１が乾燥することを防止することができる。
【００５４】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３のスクリーン印刷方法は、実施の形態２のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒をヒーターで蒸発させる工程を含んでいる点が主に異なっている。
【００５５】
図８を参照して、揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンク２１の下方に溶媒を温めるためのヒーター１３が配置されている。ヒーター１３とヒーター電源１４とが電線１５によって電気的に接続されている。
【００５６】
下部カバー１０の中央部の溶媒タンク２１に揮発性の溶媒１１が入れられ、ヒーター１３で温められる。ヒーター１３で揮発性の溶媒１１が温められることにより、温められない場合に比較して揮発性の溶媒１１が多く蒸発する。
【００５７】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば溶媒タンク２１を有する下部カバー１０およびヒーター１３で構成されている。
【００５８】
また、図９に示すように、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。これにより、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥することが防止される
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態２と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５９】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態２と同様の作用効果を有する。
【００６０】
また、ヒーター１３によって、揮発性の溶媒１１が温められることにより、揮発性の溶媒１１が温められない場合に比較して多く蒸発することができる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２をより多く供給することができるため、よりインク３２、４１が乾燥することを防止することができる。
【００６１】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２、４１が乾燥することを防止することができる。
【００６２】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４のスクリーン印刷方法は、実施の形態２のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒を超音波発振器で蒸発させる工程を含んでいる点が主に異なっている。
【００６３】
図１０を参照して、揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンクの下方に溶媒を蒸気化するための超音波発振器１６が配置されている。超音波発振器１６と超音波発振器電源１７とが電線１８によって電気的に接続されている。
【００６４】
下部カバー１０の中央部の溶媒タンクに揮発性の溶媒１１が入れられ、超音波発振器１６が揮発性の溶媒１１を蒸発させる。超音波発振器１６で揮発性の溶媒１１を蒸発させることにより、超音波発振器１６で蒸発させない場合に比較して揮発性の溶媒１１が多く蒸発する。
【００６５】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば溶媒タンク２１を有する下部カバー１０および超音波発振器１６で構成されている。
【００６６】
また、図１１に示すように、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。
【００６７】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態２と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６８】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態２と同様の作用効果を有する。
【００６９】
また、超音波発振器１６によって、揮発性の溶媒１１が蒸気化されることにより、揮発性の溶媒１１が超音波発振器１６によって蒸気化されない場合と比較して多く蒸発することができる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２をより多く供給することができるため、よりインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥することを防止することができる。
【００７０】
また、ヒーター加熱方式に比べ低温の超音波発振で揮発性の溶媒１１を蒸気化するのでより安全性が高い。
【００７１】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２、４１が乾燥することを防止することができる。
【００７２】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５のスクリーン印刷方法は、実施の形態２のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒を溜めるためのタンク（溶媒タンク）を別個に備えている点が主に異なっている。
【００７３】
図１２および図１３を参照して、揮発性の溶媒１１を溜めるための溶媒タンク２１と下部カバー１９とがホース２２で接続されている。溶媒タンク２１には揮発性の溶媒１１が溜められている。溶媒タンク２１の上部とホース２２とが連通している。下部カバー１９の下面の中央部に形成された供給孔２０とホース２２とが連通している。これにより、溶媒タンク２１で蒸発した揮発性の溶媒１１の蒸気２３がホース２２に導かれてパターン領域７を下方から貫通する。
【００７４】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば下部カバー１９、溶媒タンク２１およびホース２２で構成されている。
【００７５】
また、図１４に示すように、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。
【００７６】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態２と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７７】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態２と同様の作用効果を有する。
【００７８】
また、溶媒タンク２１が下部カバー１９と別個に構成されているので、揮発性の溶媒１１の補充および管理を向上することができる。
【００７９】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２、４１（図３３、図４０）が乾燥することを防止することができる。
【００８０】
（実施の形態６）
本発明の実施の形態６のスクリーン印刷方法は、実施の形態５のスクリーン印刷方法と比較して、下部カバーの代わりに上部カバーを備えている点が主に異なっている。
【００８１】
図１５を参照して、揮発性の溶媒１１を溜めるための溶媒タンク２１と上部カバー２４とがホース２２で接続されている。溶媒タンク２１には揮発性の溶媒１１が溜められている。溶媒タンク２１の上部とホース２２とが連通している。上部カバー２４の上面の中央部に形成された供給孔２５とホース２２とが連通している。これにより、溶媒タンク２１で蒸発した揮発性の溶媒１１の蒸気２３がホース２２に導かれてパターン領域７を上方から貫通する。
【００８２】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば上部カバー２４、溶媒タンク２１およびホース２２で構成されている。
【００８３】
また、図１６に示すように、下部カバー３がＯリング４を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。これにより、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥することが防止される。
【００８４】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態５と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００８５】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態５と同様の作用効果を有する。
【００８６】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触しているため、揮発性の溶媒１１の蒸気２３が上部カバー２４と、Ｏリング２と、メッシュマスク６とで囲まれた空間に充満しやすい。そのため、揮発性の溶媒１１の蒸気２３がＯリング２で囲まれた部分まで供給されやすいので、パターン領域７の周辺のインク３２の蒸発をさらに防止することができる。
【００８７】
また、下部カバー３がＯリング４を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２、４１が乾燥することを防止することができる。
【００８８】
（実施の形態７）
本発明の実施の形態７のスクリーン印刷方法は、実施の形態５のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒をヒーターで蒸発させる工程を含んでいる点が主に異なっている。
【００８９】
図１７を参照して、揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンク２１の下方に溶媒１１を温めるためのヒーター１３が配置されている。ヒーター１３とヒーター電源１４とが電線１５によって電気的に接続されている。
【００９０】
溶媒タンク２１に揮発性の溶媒１１が入れられ、ヒーター１３で温められる。ヒーター１３で揮発性の溶媒１１が温められることにより、揮発性の溶媒１１が温められない場合に比較して多く蒸発する。
【００９１】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば下部カバー１９、溶媒タンク２１、ホース２２およびヒーター１３で構成されている。
【００９２】
また、図１８に示すように、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。
【００９３】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態５と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００９４】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態５と同様の作用効果を有する。
【００９５】
また、ヒーター１３によって、揮発性の溶媒１１が温められることにより、揮発性の溶媒１１が温められない場合に比較して多く蒸発することができる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２をより多く供給することができるため、よりインク３２，４１（図３３，図４０）が乾燥することを防止することができる。
【００９６】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１が乾燥することを防止することができる。
【００９７】
（実施の形態８）
本発明の実施の形態８のスクリーン印刷方法は、実施の形態６のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒をヒーターで蒸発させる工程を含んでいる点が主に異なっている。
【００９８】
図１９を参照して、揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンク２１の下方に溶媒１１を温めるためのヒーター１３が配置されている。ヒーター１３とヒーター電源１４とが電線１５によって電気的に接続されている。
【００９９】
溶媒タンク２１に揮発性の溶媒１１が入れられ、ヒーター１３で温められる。ヒーター１３で揮発性の溶媒１１が温められることにより、揮発性の溶媒１１が温められない場合に比較して多く蒸発する。
【０１００】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば上部カバー２４、溶媒タンク２１、ホース２２およびヒーター１３で構成されている。
【０１０１】
また、図２０に示すように、下部カバー３がＯリング４を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。
【０１０２】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態６と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１０３】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態６と同様の作用効果を有する。
【０１０４】
また、ヒーター１３によって、揮発性の溶媒１１が温められることにより、揮発性の溶媒１１が温められない場合に比較して多く蒸発することができる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気２３をより多く供給することができるため、よりインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥することを防止することができる。
【０１０５】
また、下部カバー３がＯリング４を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２，４１が乾燥することを防止することができる。
【０１０６】
（実施の形態９）
本発明の実施の形態９のスクリーン印刷方法は、実施の形態５のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒を超音波発振器で蒸発させる工程を含んでいる点が主に異なっている。
【０１０７】
図２１を参照して、揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンクの下方に溶媒を蒸気化するための超音波発振器１６が配置されている。超音波発振器１６が超音波発振器電源１７に電線１８によって電気的に接続されている。
【０１０８】
下部カバー１０の中央部の溶媒タンクに揮発性の溶媒１１が入れられ、超音波発振器１６が揮発性の溶媒１１を蒸発させる。
【０１０９】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば下部カバー１９、溶媒タンク２１、ホース２２および超音波発振器１６で構成されている。
【０１１０】
また、図２２に示すように、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。
【０１１１】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態５と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１１２】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態５と同様の作用効果を有する。
【０１１３】
また、超音波発振器１６によって、揮発性の溶媒１１が蒸気化されることにより、揮発性の溶媒１１が超音波発振器１６によって蒸気化されない場合と比較して多く蒸発することができる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２をより多く供給することができるため、よりインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥することを防止することができる。
【０１１４】
また、ヒーター加熱方式に比べ低温の超音波発振で揮発性の溶媒１１を蒸気化するのでより安全性が高い。
【０１１５】
また、上部カバー１がＯリング２を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２、４１が乾燥することを防止することができる。
【０１１６】
（実施の形態１０）
本発明の実施の形態１０のスクリーン印刷方法は、実施の形態６のスクリーン印刷方法と比較して、揮発性の溶媒を超音波発振器で蒸発させる工程を含んでいる点が主に異なっている。
【０１１７】
図２３を参照して、揮発性の溶媒１１が溜められた溶媒タンク２１の下方に溶媒１１を蒸気化するための超音波発振器１６が配置されている。超音波発振器１６が超音波発振器電源１７に電線１８によって電気的に接続されている。
【０１１８】
溶媒タンク２１に揮発性の溶媒１１が入れられ、超音波発振器１６が揮発性の溶媒１１を蒸発させる。
【０１１９】
乾燥防止蒸気供給部材は、本実施の形態ではたとえば上部カバー２４、溶媒タンク２１、ホース２２および超音波発振器１６で構成されている。
【０１２０】
また、図２４に示すように、下部カバー３がＯリング４を介在してメッシュマスク６と接触するように配置されていてもよい。
【０１２１】
なお、本実施の形態のこれ以外の方法および構成は上述した実施の形態６と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１２２】
以上により、本実施の形態のスクリーン印刷方法によれば、実施の形態６と同様の作用効果を有する。
【０１２３】
また、超音波発振器１６によって、揮発性の溶媒１１が蒸気化されることにより、揮発性の溶媒１１が超音波発振器１６によって蒸気化されない場合と比較して多く蒸発することができる。これにより、揮発性の溶媒１１の蒸気１２をより多く供給することができるため、よりインク３２，４１（図３３、図４０）が乾燥することを防止することができる。
【０１２４】
また、ヒーター加熱方式に比べ低温の超音波発振で揮発性の溶媒１１を蒸気化するのでより安全性が高い。
【０１２５】
また、下部カバー３がＯリング４を介在してメッシュマスク６と接触することによって、さらにパターン領域７とその周辺のメッシュマスク６に付着したインク３２、４１が乾燥することを防止することができる。
【０１２６】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１２７】
本発明は、メッシュマスクを用いて印刷するスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置に特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【０１２８】
１，２４  上部カバー、２，４  Ｏリング、３，１０，１９  下部カバー、５  フレーム、６  メッシュマスク、６ａ  接着領域、６ｂ  マスク領域、７  パターン領域、７ａ  パターン孔、８，９  平リング、１２，２３  蒸気、１３  ヒーター、１４  ヒーター電源、１５  電線、１６  超音波発振器、１７  超音波発振器電源、１８  電線、２０，２５  供給孔、２１  溶媒タンク、２２  ホース、２７  縦糸、２８  横糸、２９  接着剤、３０  乳剤、３１  スキージ、３２，３７，４１  インク、３４  スクレッパ、３５  被印刷物、３６  吸着ステージ、３８  不揮発性の溶質、３９  揮発性の溶剤、５２  吸着ステージレール、５３  吸着ステージスライダ、５４  メッシュマスク固定レール、５５  メッシュマスク固定治具、５６，５７  エアシリンダー、５８  軸、５９  取付部材、６０  スキージバー、６１  スキージレール、６３，６４  延長バー、１００  スクリーン印刷装置。
【図１】
2010253757.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2010253757.tif 000034
【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
2010253757.tif 000042
【図４１】
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【図４２】
2010253757.tif 000044
【図４３】
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【図４４】
2010253757.tif 000046
【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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