(57)【要約】【課題】薄膜製造装置等の特に粉塵を含んだガスの真空排気に最適な分子ポンプを提供する。【解決手段】円筒状のロータ２ｂの外周部に形成されている第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１と、前記ロータ２ｂの円周部に形成されている第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２とからなるねじ溝ポンプ部１ｂを有する分子ポンプ１において、前記第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１から第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２への折り返し部に前記ロータ２ｂの下端部に沿ってダストコレクター室４を環状に設けると共に該ダストコレクター室４の下方にダスト貯蔵室５を環状に設け、前記ダストコレクター室４と該ダスト貯蔵室５とを狭い連絡通路６で連通して、ダストコレクター室４にて採取された粉塵等が該ダスト貯蔵室５に集積されるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターボ分子ポンプ部とこれに連通するねじ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプ、又はねじ溝ポンプ部のみからなる分子ポンプにおいて、前記ねじ溝ポンプ部は円筒状のロータの外周面とこれに対向する外側ステータの内周面とによって形成される第１ねじ溝ポンプ部と、前記円筒状ロータの内周面とこれに対向する内側ステータの外周面とによって形成される第２ねじ溝ポンプ部とからなり、前記ロータの下端部における第１ねじ溝ポンプ部から第２ねじ溝ポンプ部への折り返し部に前記ロータの下端部に沿ってダストコレクター室を環状に設けると共に該ダストコレクター室の下方にダスト貯蔵室を環状に設け、前記ダストコレクター室と該ダスト貯蔵室とを狭い連絡通路で連通したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項２】
前記ダストコレクター室の断面形状は下方に位置するに従って間隔が狭くなる対向面からなるホッパー状に形成したことを特徴とする請求項１に記載の分子ポンプ。
【請求項３】
前記ダストコレクター室とダスト貯蔵室とを連通する連絡通路は、前記ダストコレクター室の底部に前記ホッパー状内側の対向面から斜外方で且つ下方に延長する円錐台状の細隙通路からなる請求項２に記載の分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄膜製造装置等の特に粉塵を含んだガスの真空排気に最適な分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の真空排気装置として、上部のターボ分子ポンプ部とこれに連通する下部のねじ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプが多く使われている。
【０００３】
このような複合分子ポンプの一例として、ターボ分子ポンプ部の下の円筒状のロータ（円筒ロータ）と、該円筒ロータの外周及び内周と小間隙を有して対向する外側ステータ及び内側ステータからなり、これら外側ステータ及び内側ステータの表面にそれぞれねじ溝を刻設して外側ねじ溝ポンプ部及び内側ねじ溝ポンプからなるねじ溝ポンプ部を形成し、外側ねじ溝ポンプ部から排出された排気が反転して内側ねじ溝ポンプ部を経由して当該複合分子ポンプから排出されるようにした例がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特許第３０９８１３９号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図を図３に示す。
【０００６】
図３において、ねじ溝ポンプ部ａは円筒状のロータｂと該ロータｂの外側に設けた外側ステータｄ１とからなる外側ねじ溝ポンプ部ｃ１と、該ロータｂの内側に設けた内側ステータｄ２とからなる内側ねじ溝ポンプ部ｃ２とからなる。尚、ｅ１及びｅ２はそれぞれ外側ステータｄ１又は内側ステータｄ２の各表面に刻設されているねじ溝を示す。
【０００７】
このような複合分子ポンプを用いて薄膜製造装置の容器内の排気を行なう場合、薄膜製造の過程において前記容器内に剥離した薄膜のかけらを生じるので、これらのかけらが異物として分子ポンプに悪影響を及ぼすことがある。
【０００８】
特に複合分子ポンプでは、ねじ溝ポンプ部ａに狭い隙間を持つため、前記かけらがこの隙間に詰まったり噛み込んだりして、ロータｂが回転ロックを起こすという問題があった。
【０００９】
また、この噛み込みの起こる状況を見ると、その多くは一旦複合分子ポンプを停止してから再起動するときに起き易いことが判った。
【００１０】
これは、複合分子ポンプを停止させるときに該複合分子ポンプ内に気体を導入し、回転体（ロータ）が気体から受ける抵抗を利用してその停止迄の時間の短縮を図るのが一般的であるが、この気体の導入により、ねじ溝ポンプ部ａの途中の折り返し部ｆ等に堆積したかけら等の異物が巻き上って前記ねじ溝ｅ１、ｅ２に付着し、噛み込みの危険性が増大するという問題があった。
【００１１】
本発明はこれらの問題点を解消し、ねじ溝ポンプ部で異物の噛み込みの起こらないようなねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記の目的を達成すべく、ターボ分子ポンプ部とこれに連通するねじ溝ポンプ部とからなる複合分子ポンプ、又はねじ溝ポンプ部のみからなる分子ポンプにおいて、前記ねじ溝ポンプ部は円筒状のロータの外周面とこれに対向する外側ステータの内周面とによって形成される第１ねじ溝ポンプ部と、前記円筒状ロータの内周面とこれに対向する内側ステータの外周面とによって形成される第２ねじ溝ポンプ部とからなり、前記ロータの下端部における第１ねじ溝ポンプ部から第２ねじ溝ポンプ部への折り返し部に前記ロータの下端部に沿ってダストコレクター室を環状に設けると共に該ダストコレクター室の下方にダスト貯蔵室を環状に設け、前記ダストコレクター室と該ダスト貯蔵室とを狭い連絡通路で連通した。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、薄膜製造装置等の特に粉塵を含んだガスの真空排気において、ロータ停止のための気体導入を行なった場合にもねじ溝ポンプ部に異物の噛み込み等の不具合が生じないような分子ポンプを提供できる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明を実施するための最良の形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１５】
本発明の実施例１を図面に従って説明する。
【００１６】
図１は本実施例の複合分子ポンプ１の縦断面図である。
【００１７】
複合分子ポンプ１は上部のターボ分子ポンプ部１ａと、これに連通する下部のねじ溝ポンプ部１ｂとからなる。
【００１８】
２はロータで、該ロータ２の上部はターボ分子ポンプ部ロータ２ａであり、該ターボ分子ポンプ部ロータ２ａは外周部に複数の動翼２ａ１を放射状に且つ多段に外方へ突出させている。
【００１９】
又、前記ロータ２の下方部はねじ溝ポンプ部ロータ２ｂであり、該ねじ溝ポンプ部ロータ２ｂは円筒状に形成されている。
【００２０】
前記ねじ溝ポンプ部ロータ２ｂの外周部と小間隙を有して対抗する外側ステータ３ａとにより第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１を形成しており、また、ねじ溝ポンプ部ロータ２ｂの内周部と小間隙を有して対抗する内側ステータ３ｂとにより第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２を形成している。
【００２１】
これら第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１及び第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２からなるねじ溝ポンプ部１ｂの詳細を図２に示した。
【００２２】
ここで、前記外側ステータ３ａの内周面に第１ねじ溝３ａ１を又前記内側ステータ３ｂの外周面に第２ねじ溝３ｂ１をそれぞれ形成した。又前記外側ステータ３ａと前記内側ステータ３ｂの下端部のベース部３ｃにおいて前記第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１から前記第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２へと矢印Ａの如く流れが移行する折り返し部に、環状のダストコレクター室４が設けられている。
【００２３】
そして該ダストコレクター室４はその半径方向において上半部が等間隔に対向する内外の側面により形成され又下半部が下方に位置するに従って間隔が狭くなる対向面からなるホッパー状に形成されている。
【００２４】
更に該ダストコレクター室４の下方の前記ベース部３ｃにはダスト貯蔵室５が環状に設けられており、これらダストコレクター室４とダスト貯蔵室５とを連絡通路６で連通している。
【００２５】
該連絡通路６は、前記ダストコレクター室４の底部に、前記ホッパー状の内側対向面から斜外方で且つ下方に延長する円錐台状の細隙通路として形成されている。
【００２６】
又、前記ダスト貯蔵室５は、例えば長方形断面を有する円環状に形成されている。
【００２７】
又、７はＯリングで、前記外側ステータ３ａと内側ステータ３ｂとの間をベース部３ｃで気密に密閉している。
【００２８】
更に又、本実施例ではロータ２、外側ステータ３ａ及び内側ステータ３ｂを、いずれもアルミ合金製としている。
【００２９】
次に本実施例の複合分子ポンプ１の作動及びその効果について説明する。
【００３０】
複合分子ポンプ１を薄膜製造装置の真空排気に用いるときは、剥離した薄膜の破片等の異物を含んだガスが吸気口１ｃより取り込まれる。
【００３１】
即ち異物を含んだガスはターボ分子ポンプ部１ａを通り、次いで第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１を通り、ダストコレクター室４で反転をして第２次ねじ溝ポンプ部を通り、排気口１ｄより排出される。
【００３２】
この間、ガス中に含まれている異物は、ダストコレクター室４で旋回をしている間にガスから離れて連絡通路６に入り込み、更にダスト貯蔵室５へと落下していく。
【００３３】
このように、ダストコレクター室４には剥離した薄膜の破片等の異物が留まっていないので、複合分子ポンプ１を停止させるために該複合分子ポンプ１内に気体を導入しても、ダストコレクター室４内には舞上る粉塵や異物がなく、従ってねじ溝ポンプ部１ｂで異物の噛み込みも起こらず、安全である。
【００３４】
これは、ダストコレクター室４からダスト貯蔵室５へ通じる連絡通路６の幅を狭くし、且つ異物が連絡通路６に入りやすく出にくいように該連絡通路６に傾斜を設けた効果である。
【００３５】
尚、本実施例は複合分子ポンプに本発明を適用した場合を示したが、これはねじ溝ポンプ部のみからなる分子ポンプであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明の分子ポンプは、薄膜製造装置等の特に粉塵や異物を含んだガスの真空排気に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施例１の複合分子ポンプの縦断面図である。
【図２】同上複合分子ポンプの一部の詳細図である。
【図３】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１        複合分子ポンプ
１ａ      ターボ分子ポンプ部
１ｂ      ねじ溝ポンプ部
１ｂ１    第１ねじ溝ポンプ部
１ｂ２    第２ねじ溝ポンプ部
２ｂ      円筒状のロータ
３ａ      外側ステータ
３ｂ      内側ステータ
４        ダストコレクター室
５        ダスト貯蔵室
６        連絡通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010096006.tif 000005