(57)【要約】【課題】無発塵であり塵埃吸着の少ない、難燃性の、より優れた吸音特性を有するクリーンルーム用の吸音材および吸音構造体を提供する。【解決手段】連続気泡型弾性フォーム吸音材をフッ素系樹脂薄膜製の袋に封入することによるクリーンルーム用吸音材。また吸音面に相当する一面に、アルミニウム製エキスパンドメタルを事前に平坦化した板状体を積層し、当該積層体をフッ素系樹脂薄膜の中に封入したことを特徴とするクリーンルーム用吸音材、およびそれらの吸音構造体。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続気泡型弾性フォーム吸音材をフッ素系樹脂薄膜製の袋に封入したことを特徴とするクリーンルーム用吸音材。
【請求項２】
連続気泡型弾性フォーム吸音材を直方体形状に整形加工し、クリ−ンルーム内の吸音面に相当する前記直方体の一面に、アルミニウム製エキスパンドメタルを事前に平坦化した板状体を積層し、当該積層体をフッ素系樹脂薄膜の中に封入したことを特徴とするクリーンルーム用吸音材。
【請求項３】
請求項１および請求項２のクリーンルーム用吸音材を、金属製の筐体に組み込んだことを特徴とするクリ−ンルーム用吸音構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに用いる吸音材の技術分野に属する。詳しくは、無発塵であり塵埃吸着の少ない難燃性の吸音材および吸音構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム用吸音材としては、有機繊維不織布の少なくとも片面に、無塵紙を積層した吸音材があげられる。
【特許文献１】特開２００５−１９５６３７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記、吸音材を構成している有機繊維不織布も無塵紙も通気性があるために、その通気孔を通して空気中に浮遊する塵埃を吸着、有機繊維不織布の細孔に蓄積する可能性が高い。何らかの理由で吸音材に力が作用すると、逆にこの蓄積された塵埃が通気孔を通して空気中に逆流し、クリーンルームを汚染する可能性がある。
【０００４】
本発明の目的は、前記問題を解決して無発塵であり塵埃吸着の少ない、難燃性の、より優れた吸音特性を有するクリーンルーム用の吸音材および吸音構造体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者等は膜振動吸音板の長年の実験的検証ならびに製造経験より、通気性の無いフッ素系樹脂薄膜と連続気泡型弾性フォーム吸音材および事前に平坦化加工したエキスパンドメタルを用いることにより、優れた吸音特性が得られ、さらに通気性のない吸音材が得られることに着目、本発明に至ったものである。
【０００６】
本発明の第一の態様は、連続気泡型弾性フォーム吸音材をフッ素系樹脂薄膜製の袋に封入したことを特徴とするクリーンルーム用吸音材である。
【０００７】
本発明の第二の態様は、連続気泡型弾性フォーム吸音材を直方体形状に整形加工し、クリ−ンルーム内の吸音面に相当する前記直方体の一面に、アルミニウム製エキスパンドメタルを事前に平坦化した板状体を積層し、当該積層体をフッ素系樹脂薄膜の中に封入したことを特徴とするクリーンルーム用吸音材である。
【０００８】
本発明の第三の態様は、第一の態様および第二の態様に記載のクリーンルーム用吸音材を、金属製の筐体に組み込んだことを特徴とするクリ−ンルーム用吸音構造体である。
【発明の効果】
【０００９】
以上説明した通り、本発明によれば、無発塵であり塵埃吸着の少ない、難燃性の、より優れた吸音特性を有するクリーンルーム用の吸音材および吸音構造体と提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明のクリーンルーム用吸音材およびクリーンルーム用吸音構造体について、添付の図面を参照して詳細に説明する。なお、図は説明のための概念図であり、エキスパンドメタルの網目のサイズ、筐体のサイズ等は実寸に即したものではない。
【００１１】
また、以下の説明において、連続気泡型弾性フォーム吸音材とは樹脂製の非常に緻密な内部セル（細孔）構造を有し、これらのセル（細孔）が互いに繋がりあって材料の表裏面を空気が通過できる構造（オープンセル）の発泡体であり、音波（振動する空気粒子）はこの細孔内を通過する摩擦抵抗を受けて熱エネルギーに変換され吸音される。
【００１２】
連続気泡型弾性フォーム吸音材の嵩密度は約10ｋｇ／ｍ３と軽量である、自己消火性であり高い難燃性を示す。耐熱性も高く、常用温度１５０℃の使用に耐えられる。
【００１３】
また、加水分解しないので優れた耐薬品性をしめす。
【００１４】
また、優れた断熱性を示し、熱伝導率は０．０３３ｋｃａｌ／ｍ−ｈ−℃と小さい。
【００１５】
加工も極めて容易であり、カッターなどで簡単に切断加工が可能であり、その切断面もグラスウール等の切断面と比較して平滑であり、剥離等に対する安定性も高い。
【００１６】
また、以下の説明においてフッソ系樹脂薄膜とは実施例１に示す市販品のカタログに四フッ化エチレンポリコーマ（ＥＴＦＥ）として例示される。
【００１７】
フッソ系樹脂薄膜の耐熱性は−２００℃〜+１８０℃までの温度領域での使用が可能である、難燃性については、ＪＩＳ  Ａ１３２２（建築用薄物材料の難燃性試験方法）により防炎一級合格品である。
【００１８】
また、耐候性にも優れると共に、耐薬品性にも優れ、強酸、強アルカリ、有機溶剤に対して、溶出、劣化しない。
【００１９】
前記連続気泡型弾性フォーム吸音材と相俟って良好な吸音特性を発現させる目的で、フッソ系樹脂薄膜の厚さは４μｍ〜３０μｍが好ましいが、２１μｍ〜２５μｍがより好適である。
【００２０】
また、以下の説明において、エキスパンドメタルとは金属板に特殊な刃型を用いて千鳥配列の切れ目を入れ、同時にこれを押し伸ばしながら網目を形成した網状の金属板である。図１の（ａ）はエキスパンドメタルの一つの網目１の正面図であり、（ｂ）はそのａ−ａ断面図、また（ｃ）は（ｂ）にロール圧延して平坦化加工を施した状態を示すエキスパンドメタル３の説明図である。
【００２１】
図１の（ｂ）から明らかなように、エキスパンドメタルの断面には大きな起伏（凹凸）があるため、フッソ系樹脂薄膜と接触した際、樹脂薄膜２との接触が不十分であり、結果的に吸音特性は不十分である。
【００２２】
図１の（ｃ）は、エキスパンドメタルを、圧延ロールを用いて平坦化加工を施した状態を示すエキスパンドメタル３を示す説明図であり、フッソ系樹脂薄膜と接触した際、樹脂薄膜との接触が十分になるので吸音特性も向上する。
【００２３】
平坦化加工後のエキスパンドメタル３の厚さには特に限定はなく、要求される機械的強度、吸音板のサイズ等に応じて適宜選定すればよいが、吸音特性、取り扱性、加工性、重量等を考慮すれば、通常０．２ｍｍ〜２ｍｍ程度、好ましくは０．４ｍｍ〜１ｍｍである。
【実施例１】
【００２４】
連続気泡型弾性フォーム吸音材５としては、独逸ＢＡＳＦ社製の物（商品名ＢＡＳＯＴＥＣＴ）を用いた。これを、機械式カッター（バーチカルカッター）を用いて、１００ｍｍ、５０ｍｍ、４０ｍｍ、２５ｍｍ、１２．５ｍｍの厚みにスライスした。
【００２５】
それぞれの厚みの上記スライス片から垂直入射吸音率測定用の直径が１００ｍｍの円柱サンプルを切り抜いた。
【００２６】
上記それぞれの厚みの連続気泡型弾性フォーム吸音材５の円柱サンプルを、フッソ系樹脂薄膜４を用いて封入した。
【００２７】
フッソ系樹脂薄膜４としては、旭硝子株式会社製の薄膜（商品名アフレックスＧＳ）で２１μｍの薄膜を用いた。
【００２８】
上記、フッソ系樹脂薄膜４に封入したそれぞれの厚みの連続気泡型弾性フォーム吸音材５を垂直入射吸音率測定用の試験片とした。その断面図を図１に示す。
【００２９】
上記それぞれの試験片に対して、ＪＩＳ  １４０５に基づいて垂直入射吸音率を測定した結果を表１に示す。
【００３０】
【表１】
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【００３１】
表１から明らかなように、それぞれの連続気泡型弾性フォーム吸音材５の厚みに応じて良好な吸音率が得られた。
【実施例２】
【００３２】
実施例１と同様の連続気泡型弾性フォーム吸音材５で、厚みが５０ｍｍ、４０ｍｍ、２５ｍｍのものをスライスした。
【００３３】
それぞれの上記スライス片から垂直入射吸音率測定用の直径が１００ｍｍの円柱サンプルを切り抜いた。
【００３４】
網目サイズが５ｍｍ−１０ｍｍの事前に平坦化加工を施したアルミニウム製のエキスパンドメタル７を準備した。平坦化加工後の厚みは１ｍｍとし、直径が１００ｍｍの円盤状に加工した。
【００３５】
このエキスパンドメタルを、図２の断面図に示すように連続気泡型弾性フォーム吸音材５の上に上載せした形でフッソ系樹脂薄膜に封入して垂直入射吸音率測定用の試験片とした。
【００３６】
上記それぞれの試験片に対して、ＪＩＳ  １４０５に基づいて垂直入射吸音率を測定し、実施例１の測定結果、すなわちエキスパンドメタル無しの場合と比較した結果を表２に示す。
【表２】
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【００３７】
表２からあきらかなように、連続気泡型弾性フォーム吸音材５の厚みが５０ｍｍと４０ｍｍに関しては１０００Ｈｚ以下の周波数領域において、また２５ｍｍに関しては全周波数領域において吸音率の向上が明らかである。
【実施例３】
【００３８】
図４に示すように、２０００ｍｍ（長さ）×１０００ｍｍ（幅）×１００ｍｍ（深さ）で上面のみが開放する筐体９を製作した。なお、この筐体の底面は厚さが１ｍｍの鋼板製遮音板１０で、側壁１１は厚さ１ｍｍの鋼板を用いて箱状に加工した、幅２５ｍｍ（そなわち、これが側壁の厚さ）の板材を組み合わせたものである。
【００３９】
同様に実施例２（図３）に示すクリーンルーム用吸音材８を前記筐体９に充填した。その短辺方向の断面図を図６に示し、クリーンルーム用吸音構造体（エキスパンドメタル有り）１３とした。
【００４０】
これら２種類のクリーンルーム用吸音構造体（１２と１３）について、ＪＩＳ  Ａ１４０９に準じて残教室法吸音率を測定した結果を表３に示す。
【００４１】
表３から明らかなように、本発明のクリーンルーム用吸音構造体（１２と１３）は優れた吸音特性を有する事が明らかである。
【表３】
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【産業上の利用可能性】
【００４２】
無発塵であり塵埃吸着の少ない、難燃性の、より優れた吸音特性を有するクリーンルーム用の吸音材および吸音構造体として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】エキスパンドメタルを説明する図であり、（ａ）は一つの網目の正面図を、（ｂ）はそのａ−ａ断面図を、また（ｃ）はロール圧延して平坦化した状態をしめす。
【図２】本発明のクリーンルーム用吸音材（エキスパンドメタル無し）を示す図である。
【図３】本発明のクリーンルーム用吸音材（エキスパンドメタル有り）を示す図である。
【図４】２０００ｍｍ（長さ）×１０００ｍｍ（幅）×１００ｍｍ（深さ）で上面のみが開放する筐体９を示す図である。
【図５】本発明のクリーンルーム用吸音構造体（エキスパンドメタル無し）１２を示す図である。
【図６】本発明のクリーンルーム用吸音構造体（エキスパンドメタル有り）１３を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  エキスパンドメタルの一つの網目
２  樹脂薄膜
３  平坦化加工を施した状態を示すエキスパンドメタル
４  フッ素系樹脂薄膜  
５  連続気泡型弾性フォーム吸音材
６  クリーンルーム用吸音材（エキスパンドメタル無し）
７  事前に平坦化加工を施したアルミニウム製のエキスパンドメタル
８  クリーンルーム用吸音材（エキスパンドメタル有り）
９  金属製の筐体
１０  筐体の底面
１１  筐体の側壁
１２  クリ−ンルーム用吸音構造体（エキスパンドメタル無し）
１３  クリ−ンルーム用吸音構造体（エキスパンドメタル有り）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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