(57)【要約】【課題】作業台において、作業効率を高める。【解決手段】作業床面を構成する天板部２と、この天板部２の一端を支持する第１脚部４及び天板部２の他端を支持する第２脚部５を有する支持脚部６と、を備える作業台１において、天板部２は、第１脚部４及び第２脚部５に沿って水平方向に移動する構成とする。【選択図】図１
2010116718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業床面を構成する天板部と、
該天板部の一端を支持する第１脚部及び前記天板部の他端を支持する第２脚部を有する支持脚部と、
を備える作業台において、
前記天板部は、前記第１脚部及び前記第２脚部に沿って水平方向に移動する、
ことを特徴とする作業台。
【請求項２】
前記第１脚部及び前記第２脚部の少なくとも一方には、作業者用の通路が形成されていることを特徴とする請求項１記載の作業台。
【請求項３】
前記第１脚部と前記第２脚部とは、互いに平行に、前記天板部の長手方向に交差する方向に延び、
前記天板部は、該天板部の長手方向に交差する方向に、前記第１脚部及び前記第２脚部に沿って水平方向に移動する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の作業台。
【請求項４】
前記天板部を前記支持脚部に対し固定する位置と、そこから退避した位置とをとるロック機構を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の作業台。
【請求項５】
前記ロック機構は、前記天板部を前記支持脚部に対し固定するための操作及び前記天板部を移動させるための操作を行わせる操作部を有することを特徴とする請求項４記載の作業台。
【請求項６】
前記天板部の側部に立設され該天板部の長手方向に延びる幅木部を更に備え、
該幅木部は、前記天板部の側部に立設された位置と、そこから退避した位置とに移動可能である、
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項記載の作業台。
【請求項７】
前記天板部は、作業床面を構成する水平状態の位置と、該水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動可能であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の作業台。
【請求項８】
前記天板部は、その長手方向に敷設され前記作業床面を構成する水平状態の位置と前記立ち上がった位置とに互いに独立して移動する複数の板材を有することを特徴とする請求項７記載の作業台。
【請求項９】
前記天板部には、該天板部を前記立ち上がった位置に移動させるための孔が形成されていることを特徴とする請求項７又請求項８記載の作業台。
【請求項１０】
前記天板部は、その長手方向に敷設され前記孔が形成された複数の板材を有することを特徴とする請求項９記載の作業台。
【請求項１１】
前記第１脚部及び前記第２脚部に沿って水平方向に互いに独立して移動する複数の前記天板部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項記載の作業台。
【請求項１２】
前記天板部は、基板を検査する基板検査装置上を前記第１脚部及び前記第２脚部に沿って水平方向に移動することを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項記載の作
業台。
【請求項１３】
前記天板部は、基板を搬送する基板搬送装置上を前記第１脚部及び前記第２脚部に沿って水平方向に移動することを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項記載の作業台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶パネル製造工場の製造ラインに配置される基板検査装置や基板搬送装置等の高所において、メンテナンス等の作業を行うための作業台に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル製造工場では、レジストコート、ベーク、露光、現像などのフォトリソグラフィ工程によりガラス基板（マザーガラス）にレジストパターニングを行って液晶パネルを製造している。このような液晶パネル製造ラインには、ガラス基板を製造するレジストコート装置、露光装置などの基板製造装置や、各工程で製造されたガラス基板を検査するための基板検査装置や、各装置間にガラス基板を搬送する基板搬送装置が配置されている。
【０００３】
現在、液晶パネル製造工場では、生産性を高めるために一辺が３０００ｍｍを超える大型ガラス基板が採用され、この大型ガラス基板を搬送する搬送ラインの高さが１７００ｍｍと高くなっている。そのため、基板製造装置、基板検査装置や基板搬送装置においては、高所でのメンテナンス作業を強いられることになる。
【０００４】
移動式の作業台としては、例えば、特許文献１及び２が提案されている。
【特許文献１】特開平５−３３０３７９号公報
【特許文献２】特開平８−２９６３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述の大型ガラス基板の大型化に伴い、基板検査装置や基板搬送装置、ひいては作業台も大型化している。作業台としては、作業を行う天板の両側に梯子を設けた台形状のものが知られている。この作業台を用いた場合、大型ガラス基板を載置するステージや基板搬送路に跨いで設け、作業員２人により作業台を移動させ、作業位置に停止させた後、梯子を登って天板上で作業することになる。この作業台での作業は高所となるため、安全を考慮して作業台の移動の際には作業者が降りなくてはならない。作業台は非常に重く、作業台を移動させるのは動力的にも操作的にも大変に手間のかかるものとなっている。そのため、メンテナンス等の作業中に作業台を移動させると、作業のために昇り降りする時間と作業台を移動させる労力と時間を要し作業効率を悪化させてしまうという問題が生じる。
【０００６】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、作業効率を高めることができる作業台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の作業台は、作業床面を構成する天板部と、この天板部の一端を支持する第１脚部及び上記天板部の他端を支持する第２脚部を有する支持脚部と、を備える作業台において、上記天板部は、上記第１脚部及び上記第２脚部に沿って水平方向に移動する構成とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、天板部を第１脚部及び第２脚部に沿って水平方向に移動させることで
、作業台全体を移動させる際の手間を省略することができるため、作業効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施の形態に係る作業台について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る作業台１を示す斜視図である。
図２Ａ及び図２Ｂは上記作業台１の可動部３を示す正面図及び右側面図である。
【００１０】
図３は、上記作業台１の天板部２が立ち上がった状態を示す斜視図である。
作業台１は、作業床面を構成する天板部２等からなる可動部３と、天板部２の一端を後述する走行部１０を介して支持する第１脚部４、及び天板部２の他端を後述する走行部１１を介して支持する第２脚部５を有する支持脚部６と、を備え、図２Ａに示す作業対象物１３を跨ぐように配置される。
【００１１】
可動部３は、天板部２、天板載置部７、複数の幅木部８、手摺り部９、走行部１０，１１、ロック機構１２，ダンパ支持部１４，１５，ダンパ１６，１７等からなる。
天板部２は、その長手方向に敷設された複数（本実施の形態では５つ）の板材２ａを有し、天板載置部７上に固定されている。なお、天板載置部７の両端には図３に示すダンパ１６，１７の上端が連結されている。ダンパ１６，１７は、その下端において、ダンパ支持部１４，１５により支持されている。ダンパ支持部１４，１５は、走行部１０，１１に固定され、走行部１０，１１から下方に延びている。
【００１２】
天板部２は、作業床面を構成する水平状態の位置（図１参照）と、この水平状態の位置から回転し立ち上がった位置（図３参照）とに、図３に示す矢印方向Ａに回移動する。この天板部２を回動させて水平位置に下ろす際に、上述のダンパ１６，１７により衝撃力を緩衝させる役目をする。
【００１３】
なお、天板部２は、鉛直方向まで立ち上げる必要はなく、例えば後述する作業対象物１３が基板検査装置や基板搬送装置である場合には、ダウンフローの流れを損なわない程度の傾斜角度、例えば鉛直方向から±２０°の範囲に立ち上げることでも、ダウンフローの流れを妨げるのを防止することができると共に、後述する省スペース化を図ることができる。
【００１４】
各板材２ａは、天板２を図１に示すように水平位置に下げた状態で天板２の直下を作業する際に、各天板２ａを天板載置部７から取り外し、又は回動させることができるようになっている。この天板２ａには、取り外し又は回動の際に作業者の指を挿入できる２つの孔２ｂが形成されている。この孔２ｂの開口面積は、作業者の足が引掛かかることのないように、或いは指を挿入して天板２を持ち上げることができる範囲で小さくするとよい。なお、詳しくは後述するが、各板材２ａを、水平状態の位置と、そこからほぼ垂直に立ち上がった位置とに回動可能に設けるようにするとよい。
【００１５】
図２Ａに示すように、水平位置に下ろした天板部２の上面から、後述する基板検査装置や基板搬送装置等の作業対象物１３の上面までの高さＬは、作業者が天板部２の上にうつぶせした状態で作業者の手が届く範囲、例えば５０ｍｍ〜７００ｍｍ、好ましくは３００ｍｍ〜５００ｍｍ程度とするとよい。
【００１６】
この高さＬを３００ｍｍ程度とすることで、例えば、作業対象物１３が基板検査装置や基板搬送装置等である場合には、多関節ロボット等の基板搬送ロボットのハンドが天板部２と作業対象物１３との間に侵入することができ、かつ作業も容易にできるようになる。
【００１７】
複数（本実施の形態では４つ）の幅木部８は、天板部２の側部において、天板部２の長手方向に一直線状に立設されている。各幅木部８は、作業者が天板部２から滑って落下することのないように、足が引掛かる程度の高さに形成されている。各幅木部８は、図２Ｂに示すように天板部２の側部に立設された位置と、そこから退避し天板部２上に水平に畳まれた位置とに回動する。この幅木部８は、作業者がうつぶせ状態で作業する際に、作業の邪魔にならないように畳まれ、作業終了に図２Ｂに示すように立設させる。
【００１８】
手摺り部９は、天板部２の少なくとも一方の側部に立設され、天板部２の長手方向に延びる。なお、手摺り部９の両端には、図３に示すように立ち上がった状態の天板部２を係止する係止部９ａ，９ａが設けられている。
【００１９】
なお、本実施の形態では、天板部２を立ち上げる構造になっているため、複数の板材２ａが外れないように天板載置部７にロック機構により固定されている。
係止部９としては、例えば、回転フック式の手動ロック部材等を用いることができるが、天板部２の立ち上げを検出して自動でロックする電動式ロック部材を用いてもよい。
【００２０】
走行部１０，１１は、天板部２の長手方向両端に固定され、後述する第１脚部４及び第２脚部５の作業者用の通路を構成する歩行板４ａ，５ａ上に１つずつ配置される。
図２Ｂに示す走行部１１は、走行方向に一直線状に設けられ第２脚部５の歩行板５ａ上を転動する２つの走行ローラ１１ａ，１１ａと、第２脚部５のガイドレール５ｂの底面に沿って転動することで走行部１１の浮き上がりを防止する２つの上ガイドローラ１１ｂ，１１ｂと、上記ガイドレール５ｂの天板部２側の側面に沿って転動する２つの横ガイドローラ１１ｃ，１１ｃと、を有する。
【００２１】
なお、図示はしないが、第１脚部４側の走行部１０にも、走行部１１と同様に、第１脚部４の歩行板４ａ上を転動する走行ローラ、並びに、第１脚部４のガイドレール４ｂに沿って転動する上ガイドローラ及び横ガイドローラが、走行部１１とは対称的に設けられているものとする。
【００２２】
以上のように天板部２に固定された走行部１０，１１が第１脚部４及び第２脚部５上の歩行板４ａ，５ａ上を走行することで、天板部２は、長手方向に交差（本実施の形態では直交）する方向（矢印Ｄ）に移動することが可能となっている。
【００２３】
なお、第１脚部４と第２脚部５の歩行板４ａ，５ａは、互いに平行に、天板部２の長手方向に交差する方向（方向Ｄ）に延びている。また、天板部２の水平方向（矢印Ｄ）への移動は、厳密に水平である必要はなく、作業対象物１３によっては、水平方向から多少の傾斜をつけてもよい。
【００２４】
ブレーキ機構１２は、走行部１０を歩行板４ａの任意の位置に固定させるもので、例えはブレーキパッドを歩行板４ａと接する下面設けたブレーキ部と、このブレーキ部を歩行板４ａ面に接触させる位置（ロック状態）と歩行板４ａ面から離れる退避位置（解除状態）に移動させるリンクと、このリンクに接続されブレーキ部をロック状態及び解除状態に操作する操作レバー１２ａと、を有する。
【００２５】
操作レバー１２ａは、ブレーキ機構１２を解除した状態で、作業者が操作レバー１２ａを掴みながら引いたり、押したりすることで天板部２を含む可動部３全体を移動させる役目を果たす。操作レバー１２ａは、作業者が直立した状態で掴むことができる程度の高さまで走行部１０に対して鉛直上方に延び、例えば傾けることでブレーキ部のロックを解除することができる。可動部３を移動させる場合には、上記解除状態のまま操作レバー１２ａを掴んで可動部３を手動で移動させることになる。
【００２６】
第１脚部４及び第２脚部５は、上述の歩行板４ａ，５ａ及びガイドレール４ｂ，５ｂに加え、歩行板４ａ，５ａを支持する複数の脚柱４ｃ，５ｃ、及び、歩行板４ａ，５ａへ接続された梯子部４ｄ，５ｄを有する。
【００２７】
以上説明した本実施の形態によれば、天板部２は、第１脚部４及び第２脚部５の歩行板４ａ，５ａに沿って水平方向に移動するため、従来のように作業者がいちいち高所から下まで降りて作業台を押して移動させることが無く、作業を行う高所で天板部２を任意の位置に移動させ、移動後にすぐに天板部２に移動して作業を開始できるため、作業効率を著しく向上高させることができる。
【００２８】
また、本実施の形態では、第１脚部４及び第２脚部５には、作業者用の通路を構成する歩行板４ａ，５ａが形成されている。そのため、作業者は、作業床面を構成する天板部２上を通って他方の歩行板上に楽に移動することができる。
【００２９】
また、本実施の形態では、第１脚部４と第２脚部５の歩行板４ａ，５ａとは、互いに平行に、天板部２の長手方向に交差する方向（矢印Ｄ）に延び、天板部２は、長手方向に交差する方向（矢印Ｄ）に移動する。そのため、作業者は図４に示すように３ｍ四方の広い作業対象領域となる浮上ステージの全面をくまなく作業することができる。
【００３０】
また、本実施の形態では、ロック機構１２は、天板部２を支持脚部６（第１脚部４）に対し固定するための操作と、天板部２を移動させるための操作とを行わせる操作レバー１２ａを有する。そのため、天板部２の移動操作を簡単且つ安全に行うことができ、したがって、安全性を確保しながら作業効率を高めることができる。
【００３１】
また、本実施の形態では、作業台１は、天板部２の側部に立設され天板部２の長手方向に延びる幅木部８を更に備え、この幅木部８は、天板部２の側部に立設された位置と、そこから退避した位置とに移動可能である。そのため、天板部２における作業中には幅木部８を上記退避した位置に移動させることで、作業効率を一層高めることができる。
【００３２】
また、本実施の形態では、天板部２は、作業床面を構成する水平状態の位置と、この水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動可能である。そのため、作業台１を基板検査装置や基板搬送装置等の作業対象物１３に適用した場合には、作業を行っていないときに天板部２を立ち上がらせておくことで、天板部２がダウンフローの流れを遮るのを防ぐことができる。
【００３３】
更には、天板部２を図３に示すように第１脚部４及び第２脚部５の端部に移動させて作業対象物１３上から退避させる場合でも、天板部２の立ち上がった状態における幅は水平状態における幅よりも小さくなるため、天板部２を作業対象物１３上から退避させておくためのスペースを狭くすることができる。したがって、作業台１の省スペース化を図ることもできる。
【００３４】
更にまた、複数の板材２ａを、天板部２の長手方向に敷設し、作業床面を構成する水平状態の位置とそこから立ち上がった位置とに互いに独立して取り外しまたは回動できるようにした場合には、天板部２の下方での作業が容易になり、したがって、より一層作業効率を高めることができる。
【００３５】
また、本実施の形態では、天板部２には、この天板部２を上記立ち上がった位置に移動させるための孔２ｂが形成されている。そのため、簡単に天板部２を立ち上がらせることができ、したがって、より一層作業効率を高めることができる。更には、複数の板材２ａ
を上述のように互いに独立して立ち上がらせるようにした場合には、複数の板材２ａに孔２ｂを形成することで、各板材２ａを簡単に立ち上がらせることができ、したがって、より一層作業効率を高めることができる。
【００３６】
なお、本実施の形態では、作業者用の通路を構成する歩行板４ａ，５ａを第１脚部４及び第２脚部５の両方に設けているが、作業者用の通路を構成する歩行板４ａ，５ａは、第１脚部４及び第２脚部５の一方のみに設けられていても作業効率を高めることができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、ロック機構１２をメカニカルに構成したが電磁ロック機構により遠隔操作できるようにしてもよい。
また、本実施の形態では、幅木部８の、天板部２の側部に立設された位置から退避した位置を、天板部２上に水平に畳まれた位置として説明したが、例えば、鉛直下方にスライドした位置や、天板部２の上面よりも下方に回転した位置などとしてもよい。
【００３８】
また、本実施の形態では、天板部２（可動部３）の移動を、操作レバー１２ａにより手動で行わせる例について説明したが、駆動部を設け自動走行させるようにしてもよい。
＜第１変形例＞
図４は、本実施の形態の第１変形例に係る作業台２０、及び基板検査装置３０を示す斜視図である。
【００３９】
本変形例の作業台２０は、作業対象物１３として基板検査装置３０を採用した点、第１脚部４及び第２脚部５の歩行板４ａ，５ａの両側部に脚部用手摺り４ｆ，５ｆを設けた点、及び、梯子部４ｄ，５ｄの両側部に梯子部用手摺り４ｇ，５ｇを設けた点を除いて図１及び図３に示す作業台１と概ね同様であるため、同一の部材・部分については図４に同一の符号を付して説明を省略する。
【００４０】
基板検査装置３０は、マトリクス状に敷設された浮上プレート３１ａを有するステージ部３１と、検査部３２ａを有しステージ部３１上を１軸方向（天板部２の移動方向と同一方向Ｄ）に移動するガントリ３２と、ステージ部３１の下部に配置されたベース部３３と、を備え、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる基板（マザーガラス基板）を検査する。
【００４１】
なお、基板検査装置３０は、基板検査装置３０を跨ぐように配置される作業台２０と共に、クリーンルームに配置される。
浮上プレート３１ａは、エアの吐出により図示しない基板を浮上させる。
【００４２】
検査部３２ａは、例えば顕微鏡であり、ガントリ３２に沿って、ガントリ３２の移動方向（矢印Ｄ）とは直交する水平方向に移動する。そのため、検査部３２ａは、ステージ部３１上を水平２軸方向に自在に移動可能となっている。
【００４３】
基板検査装置３０は、第１脚部４と第２脚部５の歩行板４ａ，５ａとの間に配置され、天板部２は、ガントリ３２に取り付けられた検査部３２ａの取り付け、及び面手作業が可能な高さになるようにステージ部３１に近づけて配置されている。そのため、天板部２は、検査部３２ａによる検査中には、検査部３２ａと干渉しないように図４に示す第１脚部４及び第２脚部５の端部、例えば、基板検査装置３０と図示しない基板検査装置３０用の外装との間、に退避させる必要がある。その逆に、天板部２の移動中には、ガントリ３２を図４に示すようにステージ部３１の外側の退避領域に退避させて、天板部２の移動スペースを確保する必要がある。
【００４４】
以上説明した本変形例のように、作業台２０を基板検査装置３０に適用し、天板部２が
基板検査装置３０上を第１脚部４及び第２脚部５に沿って水平方向に移動するようにすることで、上記一実施の形態で説明したように、基板検査装置３０のメンテナンス等の作業効率を高めることができる。
【００４５】
＜第２変形例＞
図５は、上記一実施の形態の第２変形例に係る作業台４０、及び基板搬送装置５０を示す斜視図である。
【００４６】
本変形例の作業台４０は、作業対象物１３として基板搬送装置５０を採用した点、互いに独立して水平方向に移動する２つの可動部４１，４２を配置した点、及び、梯子部４ｈを第１脚部４のみに配置した点を除いて図１及び図３に示す作業台１と概ね同様であるため、同一の部材・部分については図５に同一の符号を付して説明を省略する。
【００４７】
基板搬送装置５０は、図示しない基板の搬送路を構成するステージ部５１と、基板を巨視的に検査するオートマクロ検査部５２と、基板を微視的に検査するミクロ検査部５３と、イオナイザ５４，５５と、通路部５６と、を備える、本変形例では基板検査装置を兼ねる基板搬送装置であり、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる基板（マザーガラス基板）を搬送・検査する。
【００４８】
なお、基板搬送装置５０は、例えば、フォトリソグラフィ製造ラインに配置される基板搬送装置であり、基板搬送装置５０を跨ぐように配置される作業台４０と共に、クリーンルームに配置される。
【００４９】
ステージ部５１は、例えば、マトリクス状に敷設された図示しない浮上プレートと、基板を保持して搬送する基板搬送部５１ａとを有し、基板搬送部５１ａにより、基板を、天板部２の移動方向と同一方向Ｄに搬送する。
【００５０】
なお、浮上プレートに代えてステージ部５１上に搬送ローラや搬送コンベア等を配置する場合には、基板搬送部５１ａは不要となる。
通路部５６は、オートマクロ検査部５２とミクロ検査部５３との間に配置され、歩行板４ａ，５ａと同様に、作業者用通路を構成する。
【００５１】
作業台４０の２つの可動部４１，４２は、オートマクロ検査部５２及びミクロ検査部５３を挟んだ両側に１つずつ配置されている。可動部４１，４２の天板部２，２は、イオナイザ５４，５５とは干渉しない高さにあるが、オートマクロ検査部５２及びミクロ検査部５３とは干渉する高さにある。
【００５２】
ここで、オートマクロ検査部５２及びミクロ検査部５３が固定式であるため、これらとの干渉を避けるために可動部４１，４２を退避させる必要はないが、基板の検査・搬送中には、天板部２を立ち上がらせた状態にすることで、ダウンフローの流れを遮るのを防ぐことができると共に省スペース化を図ることができる。
【００５３】
なお、本変形例では、基板搬送装置５０がオートマクロ検査部５２及びミクロ検査部５３を備える例について説明したが、フォトリソグラフィ製造ライン等に配置された、基板の検査を行わず搬送のみを行う基板搬送装置にも、作業台を適用するのは有効である。
【００５４】
以上説明した本変形例のように、作業台４０を基板搬送装置５０に適用し、天板部２が基板検査装置５０上を第１脚部４及び第２脚部５に沿って水平方向に移動するようにすることで、上記一実施の形態で説明したように、基板搬送装置５０のメンテナンス等の作業効率を高めることができる。
【００５５】
また、本変形例では、複数の天板部２，２（可動部４１，４２）が第１脚部４及び第２脚部５に沿って水平方向に互いに独立して移動するため、オートマクロ検査部５２やミクロ検査部５３のような天板部２，２と干渉する高さに位置する障害物があっても有効に作業効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施の形態に係る作業台を示す斜視図である。
【図２Ａ】本発明の一実施の形態に係る作業台の可動部を示す正面図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施の形態に係る作業台の可動部を示す右側面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る作業台の天板部が立ち上がった状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施の形態の第１変形例に係る作業台、及び基板検査装置を示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施の形態の第２変形例に係る作業台、及び基板搬送装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１      作業台
２      天板部
２ａ      板材
２ｂ      孔
３      可動部
４      第１脚部
５      第２脚部
４ａ，５ａ      歩行板
４ｂ，５ｂ      ガイドレール
４ｃ，５ｃ      脚柱
４ｄ，５ｄ      梯子部
４ｆ，５ｆ      脚部用手摺り
４ｇ，５ｇ      梯子部用手摺り
４ｈ      梯子部
６      支持脚部
７      天板載置部
８      幅木部
９      手摺り部
９ａ      係止部
１０，１１      走行部
１１ａ      走行ローラ
１１ｂ      上ガイドローラ
１１ｃ      横ガイドローラ
１２      ロック機構
１２ａ      操作レバー
１３      作業対象物
１４，１５      ダンパ支持部
１６，１７      ダンパ
２０      作業台
３０      基板検査装置
３１      ステージ部
３１ａ      浮上プレート
３２      ガントリ
３２ａ      検査部
３３      ベース部
４０      作業台
４１，４２      可動部
５０      基板搬送装置
５１      ステージ部
５１ａ      基板搬送部
５２      オートマクロ検査部
５３      ミクロ検査部
５４，５５      イオナイザ
５６      通路部
【図１】
2010116718.tif 000003
【図２Ａ】
2010116718.tif 000004
【図２Ｂ】
2010116718.tif 000005
【図３】
2010116718.tif 000006
【図４】
2010116718.tif 000007
【図５】
2010116718.tif 000008