(57)【要約】【課題】インク吐出デバイスの電気接続部とインナーリードとの位置調整に要する時間を短縮可能で、かつ位置合わせ精度を向上させることが可能なインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】本発明はインクジェット記録ヘッドは、複数の突起部４を有する。これら各突起部４は、インク吐出デバイス１の上面１ｂ上に各電気接続部３の配列方向と平行に配列され、上面１ｂに平行な方向であってかつ各電気接続部３の配列方向に直交する方向から見て各電気接続部３の間に配置されている。さらに、隣接する各突起部４どうしの間隔は、突起部４の最頂部４ａにおいてはインナーリード５の軸線方向と直交する方向の幅ｂより広く、かつ最頂部４ａから突起部４の底部４ｄに向けて狭くなっている。【選択図】図３
2010149403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを備えたインク吐出デバイスと、複数のリードを備えた電気配線基板と、各前記リードに電気的に接続される、前記インク吐出デバイスの主面に配列された複数の電気接続部と、を有し、前記リード及び前記電気接続部を介して供給される電気エネルギーを受けて前記インク吐出デバイスの前記ノズルからインクを吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク吐出デバイスの前記主面上に前記電気接続部の配列方向と平行に配列され、前記主面に平行な方向であってかつ前記電気接続部の前記配列方向に直交する方向から見て各々が各前記電気接続部の間に配置されている複数の突起部を有し、
隣接する各前記突起部どうしの間隔は、前記突起部の最頂部においては前記リードの軸線方向と直交する方向の幅より広く、かつ前記最頂部から前記突起部の底部に向けて狭くなっていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
各前記突起部は、各前記電気接続部と、前記インク吐出デバイスの端部との間に配置されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
隣接する各前記突起部どうしの前記突起部の前記底部における前記間隔は、前記電気接続部の、各前記電気接続部の配列方向と平行な方向の幅以上である、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記電気配線基板にはデバイスホールが形成されており、前記インク吐出デバイスは前記デバイスホール内に配置されている、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
各前記突起部は、フォトリソグラフィ法を用いて形成されている、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記リードを、前記突起部の前記最頂部と前記底部との間に形成された側面の表面上を摺動させることで、前記電気接続部に対する前記リードの位置合わせを行う、インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記リードを前記電気接続部に押圧してボンディングするために、前記リードを前記電気接続部に対して近接させる際に、前記位置合わせがなされる、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記インク吐出デバイスの主面に平行な面内において前記インク吐出デバイスの前記電気接続部に対して前記電気配線基板の位置を調整した後、前記リードを前記電気接続部に対して近接させる際に、前記位置合わせがなされる、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年インクジェットプリンタは低コスト化が求められており、それに伴いインクジェット記録ヘッドも構成部品のコストダウンが進められている。プリンタ本体からインク吐出駆動に用いられる電気エネルギーを供給されるインク吐出デバイスも例外ではなく、低コスト化を実現するためにインク吐出デバイスのチップサイズの小型化が進められている。従ってインク吐出デバイスの電気接続部のサイズや配列ピッチ、またインク吐出デバイスに接続される可撓性電気配線基板のインナーリードの幅や配列ピッチも微細化している。
【０００３】
また、低コスト化は生産性の観点からも行われており、装置による加工動作は厳しい時間的制約を満足しなければならない。従って上述した微細化された可撓性電気配線基板のインナーリードとインク吐出デバイスの電気接続部を、高精度かつ短時間でアライメントを行い、電気的接合を行うことが要求されている。
【０００４】
インクジェット記録ヘッドの製造において、インク吐出用の駆動エネルギおよびインク吐出制御信号をプリンタ本体からインク吐出デバイスに供給する機能を有する可撓性電気配線基板と、インク吐出デバイスを電気的に接続する工程が重要工程の１つである。すなわち、可撓性電気配線基板のデバイスホールに設けられたインナーリードと、インク吐出デバイスの電気接続部とを接合する、インナーリードボンディング（以下ＩＬＢと称する）工程である。ＩＬＢ工程では、インナーリードと、インク吐出デバイスの電気接続部とが所定の相対位置で接合されることが重要である。
【０００５】
しかし、ＩＬＢ工程においてインナーリードと電気接続部の位置関係が許容位置範囲から外れた状態で電気的接合をされた場合、
・インナーリードと電気接続部との間に、所望の接合面積が得られず、結果として十分な接合強度が得られない。
・インナーリードがインク吐出デバイスの表面に接触して、ショートする、あるいは配線パターンが破損する。
などの現象が懸念される。
【０００６】
ショート、配線パターンの破損は言うまでも無く、接合強度不足の場合には物流などに対する接続部分の維持信頼性の点で問題を生じる。従って、ＩＬＢ工程では、可撓性電気配線基板のインナーリードとインク吐出デバイス１の電気接続部との相対位置精度を高めることが重要である。
【０００７】
ＩＬＢ工程における可撓性電気配線基板のインナーリードとインク吐出デバイス上の電気接続部であるバンプとの高精度な位置合わせを実現する方法が特許文献１に開示されている。特許文献１には、インク吐出デバイス上のバンプの全数あるいはその一部に、それらに対応して設けられた可撓性電気配線基板のインナーリードを機械的にはめあわせる方法が開示されている。この方式によれば、インク吐出デバイス上の電気接続部と可撓性電気配線基板のインナーリードとの接合後の相対位置精度は所定の範囲内に収めることが可能である。
【特許文献１】特開平９−３００６２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、引用文献１の方法は、可撓性電気配線基板のインナーリードとバンプとを機械的にはめ合わせが可能となる相対位置関係まで、両者の位置関係を調整する厳密な相対的位置合わせを必要とする。つまり、引用文献１の方法では、機械的にはめ合わせが可能となる相対位置関係となるまで行われる、装置による繰り返しの位置調整に要する時間が長くなってしまうことが懸念される。
【０００９】
ＩＬＢ工程では、例えば、電気接続部及びインナーリードの中心軸を合わせた状態を目標位置として位置調整する。上述したように、可撓性電気配線基板のインナーリードとインク吐出デバイスの電気接続部との相対位置合わせに高い精度が要求される。ここで、インク吐出デバイスの電気接続部の幅寸法が１００μｍであるのに対して、可撓性電気配線基板のインナーリードの幅寸法が６０μｍであるとする。この場合、両者の中心軸合わせに対する許容ズレ量を±２０μｍ以内とする位置合わせ精度が要求されていた。要求される精度を実現すべく、インク吐出デバイスおよび可撓性電気配線基板のターゲットマークを認識する画像処理、および該画像情報に基づき相対位置調整を行う高分解能の自動ステージなどを用いた高精度なアライメント機構が採用されていた。
【００１０】
しかしながら、インク吐出デバイスの小型化に伴い、インクジェット記録ヘッドの製法開発において、以下に述べる解決すべき課題が発生した。
【００１１】
上記インク吐出デバイスの小型化による電気接続部の微細化により、将来的にはインク吐出デバイスの電気接続部の幅寸法が約６０μｍ、インナーリードの幅寸法が約４０μｍとなることが想定されている。すなわち、インナーリードと電機接続部との相対位置精度が現在よりもさらに厳しくなることが想定される。また、ヘッドの低コスト化には生産性向上の観点から工程加工時間（タクト）の短縮も求められており、両者の相対位置合わせに使用できる時間は現在よりも長くなる可能性は低い。
【００１２】
すなわち、
・インク吐出デバイスの電気接続部およびインナーリードの微細化に伴う、要求位置合わせ精度の向上への対応
・従来と同等以下の位置合わせ時間にて高い要求位置合わせ精度を実現する、実質的な位置調整時間の短縮
の２つの課題をクリアしなければならない。
【００１３】
本発明は、インク吐出デバイスの電気接続部とインナーリードとの位置調整に要する時間を短縮可能で、かつ位置合わせ精度の向上が可能なインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、複数のノズルを備えたインク吐出デバイスと、複数の電極を備えた可撓性の電気配線基板と、各電極に電気的に接続される、インク吐出デバイスの主面に配列された複数の電気接続部と、を有する。そして、本発明のインクジェット記録ヘッドは、電極及び電気接続部を介して供給される電気エネルギーを受けてインク吐出デバイスの各ノズルからインクを吐出するものである。このような本発明はインクジェット記録ヘッドは、複数の突起部を有する。これら各突起部は、インク吐出デバイスの主面上に電気接続部の配列方向と平行に配列され、主面に平行な方向であってかつ各電気接続部の配列方向に直交する方向から見て各電気接続部の間に配置されている。さらに、隣接する各突起部どうしの間隔は、突起部の最頂部においては電極の軸線方向と直交する方向の幅より広く、かつ最頂部から突起部の底部に向けて狭くなっている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、インク吐出デバイスの電気接続部とインナーリードとの位置調整に要する時間を短縮可能で、かつ位置合わせ精度の向上が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明を適用したインクジェット記録ヘッドの例を用いて、実施例を以下に説明する。
【００１７】
図１に、本発明を適用したインクジェット記録ヘッドの一例の外観図を示す。また、図２に、図１に示すインクジェット記録ヘッドにおけるインク吐出デバイス近傍の分解斜視図を示す。さらに、図３（ａ）に本実施形態のインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図を示し、図３（ｂ）に、図３（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図を示す。図４（ａ）に、インナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図を示し、図４（ｂ）に、図４（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図を示す。図５（ａ）に、インナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図を示し、図５（ｂ）に、図５（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図を示す。
【００１８】
図１及び図２に示すインクジェット記録ヘッド１０は、インク収納部６と、インク吐出デバイス１と、可撓性の電気配線基板７とを有し、インク収納部６とインク吐出デバイス１とが一体となったタイプのものである。インク収納部６は、その内部にインク吐出デバイス１に供給するためのインクを収納している。なお、本発明はインク収納部６とインク吐出デバイス１とが別体であっても適用可能である。
【００１９】
インク吐出デバイス１は、複数のノズル２と、ノズル２内に設けられた不図示のエネルギー変換素子、及びノズル２に連通する不図示の吐出口と、複数の電気接続部３と、複数の突起部４とを有する。
【００２０】
複数のノズル２は、並列配置されノズル列を形成している。これら各ノズル２は、インク吐出デバイス１の端面１ａから間隔Ｌだけ離れた位置に配列されている。なお、間隔Ｌは、インク吐出デバイス１の端面１ａから各ノズル２の端面１ａ側の端部３ａまでの距離である。インク収納部６からインク吐出デバイス１のノズル２内に供給されたインクにエネルギー変換素子が吐出エネルギーを付与することで吐出口からインクが吐出される。エネルギー変換素子としては発熱素子が適用可能であり、この場合、発熱素子を駆動し発熱させると、発熱素子上のインクが急激に加熱されてインク流路内に膜沸騰に伴う気泡が発生し、この気泡の成長による圧力でインクが吐出口から吐出される。
【００２１】
電気接続部３は、インク吐出デバイス１の一主面である上面１ｂ上に、各ノズル２に対応するように配列されている。隣接する電気接続部３同士の中心軸間の距離はＰ１であり、電気接続部３同士の側端部３ｂ間の距離はｅである。電気接続部３はエネルギー変換素子及び後述するインナーリード５に電気的に接続されている。エネルギー変換素子への電力供給は、インナーリード５及び電気接続部３を介してなされる。
【００２２】
突起部４は、インク吐出デバイス１の上面１ｂから高さｈ1に位置する最頂部４ａと、最頂部４ａから突起部４の底部４ｄまでを繋ぐ２つの傾斜面４ｂとを有する。すなわち、突起部４の断面形状は台形となっている。複数の突起部４は、インク吐出デバイス１の上面１ｂ上に、各電気接続部３の配列方向と平行に配列されている。また、複数の突起部４は、上面１ｂに平行な方向であってかつ電気接続部３の配列方向に直交する方向から見て各々が各電気接続部３の間に位置するように配置されている。また、隣接する突起部４同士の中心軸間の距離はＰ１であり、隣接する電気接続部３同士の中心軸間の距離Ｐ１に等しい。また、最頂部４ａの中心軸は電気接続部３同士の側端部３ｂの間に位置する。さらにこれら複数の突起部４は、上述した間隔Ｌで示される領域内に配列されている。
【００２３】
上述のように、突起部４は複数並列されているが、一の突起部４と、この一の突起部４に隣接する突起部４とにより開口部４ｃを形成している。隣接する各突起部４どうしの間隔は、突起部４の最頂部４ａにおいてはインナーリード５の軸線方向と直交する方向の幅ｂより広く、かつ最頂部４ａから突起部４の底部４ｄに向けて狭くなっている。すなわち、突起部４の最頂部４ａ間の幅である上端幅ｃはインナーリード５の幅ｂよりも広い。隣接する各突起部４どうしの底部４ｄにおける間隔は、電気接続部３の、各電気接続部３の配列方向と平行な方向の幅ａ以上とするのが好ましい。
【００２４】
突起部４は、半導体やプリント基板などの製造に用いられるフォトリソグラフィ法を用いて作製可能である。例えば、インク吐出デバイス１の作製過程で、インク吐出デバイス１の表面に塗布された感光性有機樹脂を、マスクを用いて適宜感光させて必要部分のみを残すことで、所望の突起部４の形状を形成することが可能である。また、フォトリソグラフィ技術を用いてノズル２を作製するインク吐出デバイス１であれば、ノズル２の作製過程で突起部４を同時に作成することが可能である。
【００２５】
電気配線基板７にはデバイスホール７ａが形成されており、このデバイスホール７ａ内にインク吐出デバイス１が配置される。電気配線基板７はデバイスホール７ａ内に向けて延出した電極であるインナーリード５を複数有する。インナーリード５は、後述するＩＬＢ工程によりデバイスホール７ａ内に配置されたインク吐出デバイス１の電気接続部３に電気的に接合される。
【００２６】
上記構成の本発明によれば、インナーリード５と電気接続部３との最終的な相対位置関係は、開口部４ｃの底部４ｄの幅ｄ及び位置によって概ね決定することができる。すなわち、開口部４ｃの底部４ｄの中心軸４ｄ1と、電気接続部３の中心軸３ｃが同軸線上であり、かつ開口部４ｃの底部４ｄの幅ｄがインナーリード５と同等の寸法関係であればよい。
【００２７】
次に、ＩＬＢ工程について説明する。ＩＬＢ工程は以下の段階から成り立っている。
（１）電気配線基板７のデバイスホール７ａ内にインク吐出デバイス１を供給する。
（２）電気配線基板７のインナーリード５とインク吐出デバイス１の電気接続部３との相対位置合わせに利用するターゲットマークとして、インク吐出デバイス１のアライメントマークとインナーリード５を画像認識する。その後、電気接続部３とインナーリード５の相対位置が軸中心で重なるようにＸＹ平面（インク吐出デバイス１の上面１ｂに平行な面）内における所定の位置関係の範囲内に位置調整する。
（３）インナーリード５と電気接続部３の重ね合わせた部分に対して、ＩＬＢツールを押圧することで電気接続部３にインナーリード５を溶着させる。
【００２８】
本発明は上記（２）、（３）の段階に関するものである。すなわち、上記（２）あるいは（３）の段階において、突起部４が、電気接続部３に対してインナーリード５の相対位置を所定の範囲内の位置関係とする、アライメントガイドとして機能する、というものである。
【００２９】
本発明において、ＩＬＢ工程中に、アライメントガイドとして突起部４を機能させるタイミングは、以下の２つのタイミングを採ることが可能である。
・ＩＬＢツール下降時（上記（３）の段階におけるアライメントガイド）
・インク吐出デバイス１と電気配線基板７の相対位置合わせ時（上記（２）の段階におけるアライメントガイド）
以下に上記２つの方法に関して個別の実施例として具体的に述べる。
〔実施例１〕
本実施例では、「ＩＬＢツール下降時のアライメントガイド」に関して、図３〜図５を用いて以下に具体的に述べる。すなわち、電極であるインナーリード５を電気接続部３に押圧してボンディングするために、インナーリード５を電気接続部３に対して近接させる際に、位置合わせを行う方法について説明する。
なお、ＩＬＢツールは、簡単のため、図示されていない。
【００３０】
通常、ＩＬＢ工程において、電気配線基板７のインナーリード５と、インク吐出デバイス１の電気接続部３との相対的位置合わせは、両者の軸線がほぼ重なる精度範囲まで繰り返し相対位置調整を行う。
【００３１】
本実施例では、インク吐出デバイス１の電気接続部３の幅ａと、インナーリード５の幅ｂ、および両寸法ａ、ｂの公差は以下のとおりである。
・ａ／公差        ：１００±５μｍ
・ｂ／公差        ：６０±１０μｍ
この場合、以下のように、電気接続部３の幅ａが最小値となり、かつインナーリード５の幅ｂが最大値となる場合、相対位置関係の要求精度が最も高くなる。
・ａ＝９５μｍ
・ｂ＝７０μｍ
すなわち、この場合、中心軸あわせで、相対位置関係の要求精度は、机上値では±１２．５μｍとなる。従って、位置調整機構に求められる位置合わせ精度は、安全係数を考慮して従来±５μｍとしていた。しかし、上記位置合わせ精度を満足するには、高精度の位置調整機構を用いたとしても、位置合わせ作業を数回繰り返しての微調整は避けがたい。
【００３２】
そこで、開口部４ｃの上端幅ｃはインナーリード５の幅ｂより広い寸法とする必要があるが、本実施例では、特に上端幅ｃを電気接続部３の幅ａとほぼ同じ寸法とした。また、上端幅ｃが電気接続部３の幅ａとなるように各突起部４を設けたことに伴い、電気接続部３とインナーリード５との位置調整機構による位置合わせ完了許容位置を、一般的な中心軸合わせの位置関係から大幅に緩和した関係とした。すなわち、図４（ａ）、及び図４（ｂ）の模式図に示すように、インナーリード５の幅方向の端部が開口部４ｃの上端幅ｃ以内に位置していればよいとした。これにより、位置調整機構に求められる位置合わせ精度は従来の±５μｍに対して、最大±１２．５μｍとなり、要求位置合わせ精度は約２．５倍緩和されることになる。
【００３３】
本実施例では、以下のボンディング条件でＩＬＢ工程を行った。
・ＩＬＢツール下降速度：１４４０ｍ／ｍｉｎ
・ＩＬＢツール温度：５００℃
・ボンディング時間：０．４ｓ
上記条件下においてＩＬＢ工程を実施した後、さらに以下の工程を経ることで、インナーリード５と電気接続部３とは適正な相対位置となり接合された。
（１）ＩＬＢツールは、設定速度でインナーリード５に当接する。
（２）ＩＬＢツールに押圧されながらインナーリード５は開口部４ｃの内縁、すなわち、傾斜面４ｂに沿って摺動しながら下降する。
（３）下降したインナーリード５は開口部４ｃとの摺動によってボンディング位置が矯正されながら電気接続部３に対して接近する。
（４）インク吐出デバイス１に対する相対位置を矯正されたインナーリード５は、電気接続部３にＩＬＢツールによって押圧、溶着される。
【００３４】
インナーリード５と電気接続部３とが当接する時点で、有効なボンディング面積を確保できる両者の軸線がほぼ重なる図５（ａ）及び図５（ｂ）の模式図のような位置関係となる（インナーリード５の溶着部は不図示）。
【００３５】
本実施例によれば、ＩＬＢツールの下降動作において、インナーリード５が開口部４ｃの形状に沿うことで相対位置が矯正され、最終的に、インナーリード５と電気接続部３とを高い精度で接合することが可能となった。
【００３６】
また、本実施例によれば、位置合わせ精度を緩和できるので、高速の要求タクトを満足することができる。
〔実施例２〕
本実施例では、「インク吐出デバイスと可撓性電気配線基板の相対位置合わせ時のアライメントガイド」に関して、図６〜図８を用いて、以下に具体的に述べる。すなわち、インク吐出デバイス１の上面１ｂに平行な面内で電気接続部３に対して電気配線基板７の位置を調整した後、インナーリード５を電気接続部３に近接させる際に位置合わせを行う方法について説明する。図６（ａ）に本実施形態のインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図を、また、図６（ｂ）に、図６（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図を示す。図７（ａ）に、インナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図を、また、図７（ｂ）に、図７（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図を示す。図８（ａ）に、インナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図を、また、図８（ｂ）に、図８（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図を示す。
【００３７】
なお、本実施例では、実施例１と重複する説明については省略するものとする。
【００３８】
一般に、ＸＹ平面内の相対位置調整は、装置上の不図示の治具に固定されたインク吐出デバイス１の電気接続部３に対して、不図示のアライメント機構に保持された電気配線基板７のインナーリード５の相対位置を調整することでなされる。
【００３９】
ＸＹ平面内の相対位置調整が完了となる位置範囲を、図６（ａ）、及び図６（ｂ）の模式図に示すように、インナーリード５の幅方向の端部が開口部４ｃの上端幅ｃ以内に位置していればよいとした。
【００４０】
両者の相対位置関係が上記位置範囲内となった後、電気配線基板７をインク吐出デバイス１に対して接近させる（下降動作が一般的である）。この接近動作によってインナーリード５は突起部４によって相対位置を矯正されて、図８（ａ）及び図８（ｂ）の模式図に示すように電気接続部３との相対位置が所定の位置範囲内となる。
【００４１】
なお、図６（ｂ）に示す突起部４の高さｈは、インナーリード５が上記電気接続部３に接近する（下降する）動作中にインナーリード５の相対位置を矯正でき、かつ製品仕様上不都合が無ければ、適宜設定可能である。
【００４２】
また、本実施例の方法では、上記インナーリード５の相対位置矯正動作にはＩＬＢ加工条件は関係なく、要求タクトを満足できれば、適宜装置動作を決定することで可能である。
【００４３】
本実施例において、インク吐出デバイス１の電気接続部３の幅ａと、インナーリード５の幅ｂ、および両寸法ａ、ｂの公差を実施例１と同じにした場合、本実施例においても実施例１と同等の効果を得ることができた。すなわち、インナーリード５と電気接続部３との相対位置合わせに関する精度は従来の±５μｍに対して、最大±１２．５μｍとなり、要求位置合わせ精度は約２．５倍緩和することができた。そして、本実施例によれば、インナーリード５が開口部４ｃの形状に沿うことで相対位置が矯正され、最終的に、実施例１と同様にインナーリード５と電気接続部３とを高い精度で接合することが可能となった。
【００４４】
また、本実施例によれば、位置合わせ精度を緩和できるので、実施例１と同様に高速の要求タクトを満足することができる。
【００４５】
なお、本発明を適用したインクジェット記録ヘッドにおいて、突起部４の位置、開口形状、材質あるいは製法は、次の機能を発揮するのに悪影響がなければどのようなものであってもよい。すなわち、突起部４の位置、開口形状、材質あるいは製法はインナーリード５の位置が突起部４の開口形状に従うことで電気接続部３に対する所定の位置に矯正される機能を発揮できるのであれば、どのようなものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を適用したインクジェット記録ヘッドの一例の外観図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録ヘッドにおけるインク吐出デバイス近傍の分解斜視図である。
【図３】（ａ）は、本発明の実施例１におけるインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図であり、（ｂ）は、（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の実施例１におけるインナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図であり、（ｂ）は、（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図である。
【図５】（ａ）は本発明の実施例１におけるインナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図であり、（ｂ）は、図（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図である。
【図６】（ａ）は、本発明の実施例２におけるインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図であり、（ｂ）は、（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の実施例２におけるインナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図であり、（ｂ）は、（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図である。
【図８】（ａ）は本発明の実施例２におけるインナーリードが開口構造部上方に位置調整された状態を示すインク吐出デバイスの一部拡大模式平面図であり、（ｂ）は、図（ａ）中のＡ方向からみた模式側面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    インク吐出デバイス
１ｂ    上面
２    ノズル
３    電気接続部
４    突起部
４ａ    最頂部
４ｂ    傾斜面
４ｃ    開口部
４ｄ    底部
【図１】
2010149403.tif 000003
【図２】
2010149403.tif 000004
【図３】
2010149403.tif 000005
【図４】
2010149403.tif 000006
【図５】
2010149403.tif 000007
【図６】
2010149403.tif 000008
【図７】
2010149403.tif 000009
【図８】
2010149403.tif 000010