(57)【要約】【課題】圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することのできる圧電振動子の製造方法を提供する。【解決手段】吸引用の開口部６０を有するステージ５６を備えたトレイ５０に圧電振動片３０を載せる搭載工程と、開口部６０に負圧をかけて圧電振動片３０をステージ５６に固定する吸着工程と、圧電振動片３０の入出力電極３６に導電性接着剤４０を塗布する塗布工程と、圧電振動片３０をステージ５６に吸着固定させた状態で、入出力電極３６とマウント電極とを導電性接着剤４０を介して電気的に接続する実装工程と、ステージ５６に圧電振動片３０を載せた状態で導電性接着剤４０を硬化させる硬化工程とを有し、実装工程ではトレイ５０におけるステージ５６の段差部５４を利用してパッケージベース１６に対する圧電振動片３０の搭載角度と搭載時の高さを定めることを特徴とする。【選択図】図１
2010081225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片の一端を導電性接着剤で固定し、他端を浮かせた圧電振動子の製造方法において、
吸引用の開口部と、該開口部の周縁に形成した段差部と、を有するステージを備えた圧電振動子製造用トレイに前記圧電振動片を前記開口部を覆うように載せる搭載工程と、
前記開口部に負圧をかけて前記圧電振動片を前記ステージに固定する吸着工程と、
前記圧電振動片の入出力電極または前記圧電振動片を実装するパッケージベースのマウント電極に導電性接着剤を塗布する塗布工程と、
前記圧電振動片を前記ステージに吸着固定させた状態で、前記入出力電極と前記マウント電極とを前記導電性接着剤を介して電気的に接続する実装工程と、
前記ステージに前記圧電振動片を載せた状態で前記導電性接着剤を硬化させる硬化工程とを有し、
前記実装工程では前記圧電振動子製造用トレイにおける前記ステージの段差部の高さ又は傾斜角度により前記パッケージベースに対する前記圧電振動片の搭載角度と搭載時の高さを定めることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電振動子の製造方法であって、
前記硬化工程の後に前記ステージに設けた開口部から前記圧電振動片の周波数調整を行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電振動子の製造方法であって、
前記搭載工程において、前記圧電振動片の自由端側が固定端側よりも低い位置に来るように前記ステージの段差部を傾斜させたことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項４】
圧電振動子のパッケージを構成するパッケージベースを載置する枠部と、
前記枠部の内側に設けられて圧電振動片を搭載するステージとを有し、
前記ステージには開口部と、前記圧電振動片の搭載高さを定める段差部が設けられることを特徴とする圧電振動子製造用トレイ。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電振動子製造用トレイであって、
前記開口部の大きさを、搭載する圧電振動片の励振電極のサイズよりも大きく、かつ当該圧電振動片の外形サイズよりも小さくしたことを特徴とする圧電振動子製造用トレイ。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の圧電振動子製造用トレイであって、
前記ステージの搭載面を、搭載する圧電振動片の自由端側が固定端側よりも低い位置に来るように傾斜させたことを特徴とする圧電振動子製造用トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子の製造方法、及び圧電振動子を製造する際に使用するトレイに係り、特に小型薄型化が要求される圧電振動子の製造に好適な製造方法、及び製造用トレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
図３に示すような圧電振動片は従来、パッケージ２０を構成するパッケージベース１６の載置、パッケージベース１６のマウント電極への導電性接着剤４０の塗布、導電性接着剤４０を介した圧電振動片３０の実装（搭載）、及び導電性接着剤４０の硬化といった４つの工程を経た後、周波数調整等を行い、パッケージベース１６の開口部をリッド１８で封止するという方法で製造されてきた。
【０００３】
このような製造方法では圧電振動子の小型化薄型化が進む中で、製造時の制御精度の問題と、製造工程中における時間的工程的ロスといった問題が生じている。製造時の制御精度とは例えば、導電性接着剤により片持ち支持される圧電振動片の自由端が、導電性接着剤が硬化するまでの間に自重の影響を受けて下がってしまうという問題である。従来このような問題に対する対策としては、圧電振動片を搭載する際に、自由端が固定端よりも上側に来るように圧電振動片を傾けて搭載を行うという手段が採られてきた。
【０００４】
しかし近年、小型化薄型化傾向に沿って製造される圧電振動片では、圧電振動片の傾斜角が大きかった場合にはリッドに、傾斜角が小さかった場合にはパッケージベース底面に、それぞれ自由端が接触してしまうといった場合があり、圧電振動片の搭載精度と自由端側の落ち込みの個体差が問題となっている。
【０００５】
一方、製造工程中における時間的工程的ロスとは、図８に示すように、パッケージベース１６に対する圧電振動片３０の搭載（図８（Ａ）参照）、導電性接着剤４０の硬化（図８（Ｂ）参照）という工程を経た後、周波数調整を行うために、パッケージベース１６の上下を逆転させて専用トレイへの載せ替えを行う工程（図８（Ｃ）、（Ｄ）参照）を経る必要があり、周波数調整のためのイオンビームの照射は、専用トレイへの載せ替えを終了した後に行う必要があるという点である（図８（Ｅ）参照）。
【０００６】
圧電振動片の搭載精度に関しては、圧電振動片をパッケージベースに搭載した後、パッケージベースを逆さまにして水晶振動片を水平なステージに押付け、または押付けた上で吸引を行い、この状態で導電性接着剤を硬化させるという方法が特許文献１に開示されている。また、トレイを用いたイオンビームによる周波数調整に関しては、特許文献２に開示されている。
【特許文献１】特開２００７−１５８４５６号公報
【特許文献２】特開２００８−１１１３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されているような方法によれば、確かに圧電振動片の搭載精度の問題を解決できるものと考えられる。しかし、特許文献１に開示されている方法は、パッケージを構成するパッケージベースを載置する工程と、載置されたパッケージベースのマウント電極に導電性接着剤を塗布する工程、導電性接着剤に圧電振動片を搭載する工程、パッケージベースをひっくり返してステージに圧電振動片を押し付ける工程、下がり気味の圧電振動片を吸引する工程、及び導電性接着剤を硬化させる工程といった６つの工程が必要である。これは、パッケージベース載置、導電性接着剤の塗布、圧電振動片の搭載、硬化といった４つの工程で行われていた従来の製造工程よりも２工程多くなってしまい、工程的なロスが大きいという問題がある。
【０００８】
また、圧電振動片の搭載から圧電振動片搭載後の周波数調整工程までの流れに関しては、何ら改善がなされていない。
そこで本発明では、上記問題を解決し、圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することのできる圧電振動子の製造方法、並びにイオンビームによる周波数調整工程までの工程的時間的なロスの少ない圧電振動子の製造方法を提供すると共に、これらの圧電振動子の製造方法を実施するための圧電振動子製造用トレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］圧電振動片の一端を導電性接着剤で固定し、他端を浮かせた圧電振動子の製造方法において、吸引用の開口部と、該開口部の周縁に形成した段差部と、を有するステージを備えた圧電振動子製造用トレイに前記圧電振動片を前記開口部を覆うように載せる搭載工程と、前記開口部に負圧をかけて前記圧電振動片を前記ステージに固定する吸着工程と、前記圧電振動片の入出力電極または前記圧電振動片を実装するパッケージベースのマウント電極に導電性接着剤を塗布する塗布工程と、前記圧電振動片を前記ステージに吸着固定させた状態で、前記入出力電極と前記マウント電極とを前記導電性接着剤を介して電気的に接続する実装工程と、前記ステージに前記圧電振動片を載せた状態で前記導電性接着剤を硬化させる硬化工程とを有し、前記実装工程では前記圧電振動子製造用トレイにおける前記ステージの段差部の高さ又は傾斜角度により前記パッケージベースに対する前記圧電振動片の搭載角度と搭載時の高さを定めることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
このような特徴を有する圧電振動子の製造方法によれば、圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することができる。
【００１０】
［適用例２］適用例１に記載の圧電振動子の製造方法であって、前記硬化工程の後に前記ステージに設けた吸引口から前記圧電振動片の周波数調整を行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【００１１】
また、このような特徴を有する圧電振動子の製造方法によれば、圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することができることに加え、周波数調整までの工程的時間的なロスを少なくすることができる。
【００１２】
［適用例３］適用例１または適用例２に記載の圧電振動子の製造方法であって、前記搭載工程において、前記圧電振動片の自由端側が固定端側よりも低い位置に来るように前記ステージの段差部を傾斜させたことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【００１３】
このような特徴を有する圧電振動子の製造方法によれば、個々、あるいはロット毎に、仕様に応じた搭載角度をバラつき無く持たせた状態で圧電振動片をパッケージベースに実装することが可能となる。
【００１４】
［適用例４］圧電振動子のパッケージを構成するパッケージベースを載置する枠部と、前記枠部の内側に設けられて圧電振動片を搭載するステージとを有し、前記ステージには開口部と、前記圧電振動片の搭載高さを定める段差部が設けられることを特徴とする圧電振動子製造用トレイ。
【００１５】
上記のような特徴を有する圧電振動子製造用トレイによれば、圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することを可能とする上記特徴を有する圧電振動子の製造方法を実施することができる。
【００１６】
［適用例５］適用例４に記載の圧電振動子製造用トレイであって、前記開口部の大きさを、搭載する圧電振動片の励振電極のサイズよりも大きく、かつ当該圧電振動片の外形サイズよりも小さくしたことを特徴とする圧電振動子製造用トレイ。
このような特徴を有するトレイであれば、圧電振動片を吸着した際に、圧電振動片に形成された励振電極を傷つける虞が無い。
【００１７】
［適用例６］適用例４または適用例５に記載の圧電振動子製造用トレイであって、前記ステージの搭載面を、搭載する圧電振動片の自由端側が固定端側よりも低い位置に来るように傾斜させたことを特徴とする圧電振動子製造用トレイ。
このような特徴を有するトレイであれば、所望する角度を付与した状態で、パッケージベースに対して圧電振動片を実装することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の圧電振動子の製造方法、及び圧電振動子製造用トレイに係る実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
本発明の圧電振動子の製造方法により製造する圧電振動子１０は図３に示すように、圧電振動片３０と、この圧電振動片３０を内部に実装するパッケージ２０とから成る。図３に示す圧電振動片３０は、圧電素板３２を水晶とするＡＴカット水晶振動片であり、両主面には対を成す励振電極３４が形成されており、一方の端部には前記対を成す励振電極３４のいずれかに、引出し電極３８を介して接続された入出電極３６が形成されている。なお当然に、圧電振動片３０はＡＴカット水晶振動片以外の振動片、例えばＳＡＷ素子片や音叉型圧電振動片であっても良い。
【００１９】
パッケージ２０は、圧電振動片３０を収容するためのパッケージベース１６とパッケージベース１６の開口部を塞ぐリッド１８とにより成る。図３に示すパッケージベース１６は枡形に形成されており、セラミック基板による底板１２とコバール等の低融点金属により構成されたシームリングによる側壁１４とによって構成されている。リッド１８には、シームリングと同一素材からなる金属板や、ソーダガラス等を構成素材とした板ガラスが用いられる。
【００２０】
パッケージ２０の内部にはマウント電極（不図示）が形成され、外部には外部実装電極２２が形成されており、マウント電極に対する圧電振動片３０の実装は、導電性接着剤４０を介して成される。
【００２１】
次に、本発明の圧電振動子の製造方法に用いる圧電振動子製造用トレイ５０（以下単にトレイ５０と称す）の構造について図１を参照して説明する。本発明に係るトレイ５０は、枠部５２とステージ５６を有し、枠部５２とステージ５６との間には段差部５４が設けられ、ステージ５６の主面には開口部６０がそれぞれ備えられている。
【００２２】
枠部５２は圧電振動子１０のパッケージ２０を構成するパッケージベース１６を載置する部位であり、図１に示すタイプのトレイ５０では、パッケージベース１６の側壁上端、すなわちシームリング１４の上端を支持することとなる。つまりパッケージベース１６は、トレイ５０に対して開口部６０を対向させた状態、換言すればトレイ５０に対して逆さまの状態で載置されることとなる。
【００２３】
ステージ５６は圧電振動片載置面５８を備え、パッケージベース１６に実装する圧電振動片３０の搭載高さ（ギャップ）、及び搭載角度を定める役割を担う。図３に示す圧電振動子１０の場合、パッケージベース１６が枡状に形成されているため、ステージ５６は枠部５２に対して凸状となるような段差部５４を持つ事となる。すなわち、パッケージベース１６を枠部５２に被せた場合には、ステージ５６がパッケージベース１６のキャビティ内に入り込むこととなる。なお、ステージ５６における圧電振動片載置面５８は、枠部５２と平行、すなわち水平面として形成する。圧電振動片載置面５８を枠部５２に対して平行な面とすることで、パッケージベース１６に対して圧電振動片３０を水平に搭載することが可能となる。
【００２４】
開口部６０は、圧電振動片３０を圧電振動片載置面５８に吸着させるための機構である。このため開口部６０のサイズは、載置を予定する圧電振動片３０の外形サイズよりも小さいことが前提となる。また、開口部６０を平面視した際のサイズとして望ましくは、圧電振動片３０に形成された励振電極３４を平面視した際のサイズよりも大きくすると良い（例えば両者を相似形状とした場合には、単純に平面積が大きければ良い）。開口部６０のサイズを励振電極３４よりも大きくすることで、圧電振動片載置面５８が励振電極３４に触れることが無くなる。これにより、開口部６０を負圧にした際に励振電極３４が圧電振動片載置面５８と接触して損傷を受けるといった事態が生ずることが無く、励振電極の損傷による電位抵抗の上昇に伴うＣＩ値の向上（劣化）等を生じさせることもない。なお、開口部６０には、開口部６０内を負圧にするための図示しない真空ポンプ等が接続されることとなる。
【００２５】
上記のような構成の圧電振動子１０を上記のようなトレイ５０を用いて製造する方法について説明する。
本実施形態に係る圧電振動子の製造方法ではまず、図１（Ａ）に示すように、圧電振動片３０をトレイ５０におけるステージ５６の圧電振動片載置面５８に載置する（搭載工程）。搭載時の位置決めは、水平面におけるステージ５６と、図示しない治具により吸着搬送される圧電振動片３０との双方の画像を取得した上で、両者の回転角度によるズレを導きだして角度補正を行った上で搭載が成される。
【００２６】
次に、圧電振動片３０によって閉塞された開口部６０に負圧をかけて圧電振動片３０を吸着する（吸着工程）。吸着工程は、開口部６０に図示しない真空ポンプ等の負圧手段を接続することで成される。真空ポンプの接続に際しては、トレイ５０の下半部を覆うような大型トレイ（不図示）にトレイ５０ごと嵌め込むような形態を採ることが望ましい。このような構成とすることで、トレイ５０を工程毎に切替える必要が無くなり、圧電振動片３０を実装したパッケージベース１６を次工程へ移送する際にも同一トレイを使用することが可能となるからである。
【００２７】
次に、ステージに載置した圧電振動片３０の入出力電極３６に、導電性接着剤４０を塗布する（塗布工程）。入出力電極３０に対する導電性接着剤４０の接触状態は、圧電振動子１０としての電気的特性に大きな影響を与える。従来は、パッケージベース１６におけるマウント電極に対して導電性接着剤４０を塗布し、塗布した導電性接着剤４０に対して圧電振動片３０を押し付けるという手段を採っていたため、圧電振動片３０の入出力電極３６に対する導電性接着剤４０の接触状態にはバラつきが多かった。これに対して本実施形態の製造方法によれば、入出力電極３６に対して直接導電性接着剤４０を塗布することとなるため、上記のようなバラつきを少なくすることが可能となる。また、入出力電極３６に比べてパッケージベース１６に形成されるマウント電極の面積は大きいため、少量の導電性接着剤４０であっても、確実に両者の導通を採ることが可能となる。
【００２８】
次に、図１（Ｂ）に示すように、塗布した導電性接着剤４０をパッケージベース１６におけるマウント電極に接合させるようにして、開口面をトレイ５０に対向させた状態で、枠部５２にシームリング１４の上端部を接触させる（実装工程）。このようにしてパッケージベース１６に圧電振動片３０を実装することにより、導電性接着剤４０を塗布してから実装が完了するまでのタイムラグが少ない。このため、導電性接着剤４０の硬化による悪影響が出難い。また、パッケージベース１６に圧電振動片３０を実装した後にパッケージベース１６を反転させ、圧電振動片３０をステージ５６に押し付けるといった従来技術に開示されているような工程の場合、ステージ５６の主面が完全な平滑面でなかった場合、圧電振動片３０の先端（自由端）がステージ５６の表面に引っかかってしまい、搭載位置にズレが生じてしまう虞がある。これに対して本実施形態に係る製造方法では、圧電振動片３０をステージ５６の圧電振動片載置面５８に吸着固定した後にパッケージベース１６を被せる構成としているため、搭載位置にズレが生ずる虞が無い。
【００２９】
さらにステージ５６にパッケージベース１６を被せた状態で導電性接着剤４０を硬化させる（硬化工程）。硬化工程は、圧電振動片３０を実装したパッケージベース１６を搭載したトレイ５０を移送して、接着剤４０を硬化させるための加熱炉に、トレイ５０ごと搬入し、加熱することで成される。
【００３０】
ここまでの工程により、本発明の圧電振動子の製造方法における１つの課題を解決することができる。このため、硬化工程終了後には図１（Ｃ）に示すように、圧電振動片３０を実装したパッケージベース１６をトレイ５０から取り外し、取り外した後のパッケージベース１６にリッド１８を取り付けてキャビティを封止したり、さらにトレイ５０を移送して周波数調整を行ったりすることができる。
【００３１】
上記工程までの製造方法によれば、ステージ５６に載置した圧電振動片３０に対してパッケージベース１６を被せるようにして圧電振動片３０の実装を行うため、従来技術における圧電振動片の実装とパッケージベースの反転を１つの工程で実現することが可能となり、工程的ロスが少なくなった。
【００３２】
また、実装高さおよび角度を定められたステージ５６に圧電振動片３０を吸着固定した状態でパッケージベース１６に対する実装を行い、この状態で導電性接着剤４０を硬化させるようにしているため、圧電振動片３０の搭載高さの誤差や、自重による自由端の沈み込みによる搭載角度のバラつき、ズレ等が無い。このため、スループットの向上を図ることができる。
【００３３】
次に、圧電振動片を実装した後、イオンビームによる周波数調整工程を行う場合を合わせた製造方法について、図２を参照して説明する。トレイ５０の構造、及びステージ５６に対して圧電振動片３０を搭載して吸引した後に導電性接着剤４０を塗布し（図２（Ａ）参照）、導電性接着剤４０を塗布した圧電振動片３０に対してパッケージベース１６を被せ、導電性接着剤４０を硬化させるという工程（図２（Ｂ）参照）は、上述した通りである。
【００３４】
周波数調整を行う場合、導電性接着剤４０を硬化させるために搬入した加熱炉から搬出したトレイ５０に圧電振動片３０を実装したパッケージベース１６を載置したまま、トレイ５０をイオンビーム照射装置に移送する。イオンビーム照射装置では、トレイ５０の下側、すなわちパッケージベース１６の開口部側から、トレイ５０に設けた開口部６０を利用してイオンビームが照射される。イオンビームの照射に使用されるガスとしては、例えばアルゴンを挙げることができる。そして、イオンビームを照射された励振電極３４はエッチングされ、圧電振動子１０としての共振周波数は高周波側へ微調されることとなる（図２（Ｃ）参照）。
【００３５】
このような方法によれば、圧電振動片３０の実装工程に使用するトレイ５０と、イオンビームによる周波数調整工程に使用するトレイ５０とを共通化させることができる。このため、製造装置毎にトレイの入れ替えを行う必要性が無く、入れ替えに要する時間的ロスを無くすことができる。
【００３６】
上記実施形態では、トレイ５０におけるステージ５６の圧電振動片載置面５８を枠部５２と平行としていたが、本発明に係るトレイは図４に示すように、圧電振動片載置面５８を枠部５２に対して傾けたものも含む。具体的には、圧電振動片３０の自由端側が、入出力電極３６が形成された固定端側よりも低い位置に来るように、ステージ５６の段差部５４の高さに差をつけ、圧電振動片載置面５８に傾斜を持たせるのである。
【００３７】
このような構成とすることにより、実装された圧電振動片３０はパッケージベース１６の底面に対して、固定端側よりも自由端側が高くなることとなる。このため、落下等に起因する大きな衝撃があった場合であっても、圧電振動片３０の自由端がパッケージベース３０の底板に接触する危険性を低減することができる。
【００３８】
なお、このような構成のトレイ５０ａを用いて圧電振動子１０を製造する場合であっても、トレイ５０ａのステージ５６に対して圧電振動片３０を載置し、吸引し、導電性接着剤を塗布し（図４（Ａ）参照）、圧電振動片３０の入出力電極に塗布された導電性接着剤４０に対してパッケージベース１６のマウント電極を接触させるように、パッケージベース１６を被せるという工程（図４（Ｂ）参照）に変わりは無い。
【００３９】
また、上記実施形態では、トレイ５０のステージ５６は、枠部５２に対して凸状の段差部５４を持つ旨記載した。しかしながら、圧電振動子の構成が、図５（Ａ）に示すようなもの、すなわち板状のパッケージベース１６とキャップ状のリッド（蓋体）１８を有するようなものである場合には、パッケージベース１６に対する圧電振動片３０の搭載位置を確保するために、図５（Ｂ）に示すような凹状の段差部５４を有するものを使用することとなる。
【００４０】
このような構成のトレイ５０ｂを使用する場合であっても本発明に係る圧電振動子の製造方法は、凹状の段差部５４を有するステージ５６の圧電振動片載置面５８に圧電振動片３０を載置し、開口部６０を負圧にして圧電振動片３０を吸着し、導電性接着剤４０を塗布し（図５（Ｂ）参照）、導電性接着剤４０を塗布した圧電振動片３０にパッケージベース１６を被せる（図５（Ｃ）参照）といったそれぞれの工程に差異は無い。
【００４１】
ただし、図５に示す圧電振動子１０ａのパッケージベース１６には側壁が無いため、トレイ５０ｂの枠部５２にはパッケージベース１６の底面が接触する（載置される）こととなる。
【００４２】
このような方法で圧電振動子を製造した場合であっても、上述した実施形態に係る圧電振動子の製造方法と同様な効果を奏することができる。また、パッケージベース１６に対して圧電振動片３０を実装した後には、トレイ５０ｂにパッケージベース１６を載置したままの状態で、イオンビームによる周波数調整工程に移行することもできる。
【００４３】
また、上記実施形態では、圧電振動片３０の入出力電極３６に導電性接着剤４０を塗布して実装を行う旨記載した。しかしながら、本発明を実施する上では図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、パッケージベース１６におけるマウント電極に導電性接着剤４０を塗布した上で、ステージ５６に載置された圧電振動片３０にパッケージベース１６を被せて実装を行うようにしても良い。このような方法であっても、位置決め精度の利点以外の点については、上述した圧電振動子の製造方法と同様な効果を得ることができるからである。
【００４４】
また、上記実施形態では、１つまたは２つといった比較的少ない数の圧電振動子１０を製造するための方法のようにして図面等に示した。しかしながら本発明に係る圧電振動子の製造方法、及び圧電振動子製造用トレイは、図７（Ａ）に示すようなシート状トレイ５０ｃ（以下単にトレイ５０ｃと称す）であっても良く、このようなトレイ５０ｃを使ったバッチ処理による製造であっても良い。
【００４５】
トレイ５０ｃには、複数のステージ５６と、開口部６０が設けられている。このような形態のトレイ５０ｃを用いる場合には、トレイ５０ｃの下部全体を覆うチャンバ（不図示）を設け、ステージ５６に圧電振動片３０を載置した後に、前記チャンバを負圧に保つようにすると良い。チャンバを設けることにより、複数の開口部６０間に科される負圧の差を小さくすることができるからである。なお、製造方法としては、各ステージに圧電振動片３０を載置し、導電性接着剤４０を塗布し、パッケージベース１６を被せて導電性接着剤４０を硬化させるというそれぞれの工程に変わりは無い。また、このような大型のトレイ５０ｃを用いた場合であっても、イオンビームによる周波数調整は、当該トレイ５０ｃにパッケージベース１６を載置したまま行うことができる。
【００４６】
また、このような大型なトレイ５０ｃを用いて圧電振動子１０を製造する場合、導電性接着剤４０の硬化時間を考慮し、図７（Ｂ）に示すように、１つの圧電振動片をステージ５６に載置した後導電性接着剤４０（図７には不図示）を塗布し、１つのパッケージベース１６を被せるという工程を繰り返して行い、図７（Ｃ）に示すようにトレイ５０ｃ全体に至るようにすることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】パッケージベースに対する圧電振動片の実装工程を示す図である。
【図２】パッケージベースに対する圧電振動片の実装工程と圧電振動片を実装したパッケージの周波数調整工程までの流れを示す図である。
【図３】発明に係る製造方法により製造する圧電振動片の構成を示す図である。
【図４】意図的に圧電振動片を斜めに実装する場合におけるトレイの構造を示す図である。
【図５】他の圧電振動子の構造と、この構造の圧電振動子を製造する場合のトレイの構造を示す図である。
【図６】パッケージベースに対する圧電振動片の実装工程において、パッケージベース側に導電性接着剤を塗布する例を示す図である。
【図７】バッチ処理を行うためのシート状トレイを使用した製造方法を説明するための図である。
【図８】従来の圧電振動子の製造工程を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０………圧電振動子、１２………底板、１４………側壁、１６………パッケージベース、１８………リッド、２０………パッケージ、２２………外部実装電極、３０………圧電振動片、３２………圧電素板、３４………励振電極３６………入出力電極、３８………引出し電極、５０………トレイ、５２………枠部、５４………段差部、５６………ステージ、５８………圧電振動片載置面、６０………開口部。
【図１】
2010081225.tif 000003
【図２】
2010081225.tif 000004
【図３】
2010081225.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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