(57)【要約】  【課題】硬質炭素被膜と摺動部材との密着性を高め、低摩擦係数の摺動部材を提供し、信頼性の高い高効率の密閉型圧縮機を提供する。  【解決手段】金属材料からなる基材の表面に、Ｔｉ被膜１２８を形成し、前記Ｔｉ被膜１２８の上層にさらに水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜１２７を形成したもので、金属材料や非結晶硬質炭素被膜１２７との結合力が高いＴｉ被膜１２８により密着性を高め、水素含有量を０原子％とすることにより非結晶硬質炭素被膜１２７中のダイヤモンド成分およびグラファイト成分の密度を上げ摩擦係数を低下させることができるため、高信頼性で高効率の摺動部材を提供することができる。【選択図】図３
2010025075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料からなる基材の表面に、Ｔｉ被膜を形成し、前記Ｔｉ被膜の上層にさらに水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜を形成したことを特徴とする摺動部材。
【請求項２】
Ｔｉ被膜の膜厚は、０．１から０．３μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の摺動部材。
【請求項３】
非結晶硬質炭素被膜の膜厚が、１．０μｍ以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の摺動部材。
【請求項４】
基材は、鉄またはアルミニウムである請求項１から３のいずれか一項に記載の摺動部材。
【請求項５】
鉄またはアルミニウムからなる摺動部材を相手材として摺動する請求項１から４のいずれか一項に記載の摺動部材。
【請求項６】
密閉容器内にオイルを貯留するとともに圧縮要素を収容し、前記圧縮要素は主軸および偏心軸を備えたクランクシャフトと、前記主軸を回転自在に軸支する軸受部と、一方が前記クランクシャフトに一体に形成され、他方が前記軸受部に一体に形成されたスラスト部と、圧縮室を形成するシリンダーブロックと、前記圧縮室内を往復動するピストンと、前記偏心軸と平行に配置され前記ピストンに固定されたピストンピンと、前記偏心軸と前記ピストンとを連結するコンロッドとを備えレシプロ型の圧縮要素を形成し、前記クランクシャフト、前記スラスト部、前記シリンダーブロック、前記ピストン、前記ピストンピン、前記コンロッドの少なくともひとつに請求項１から５のいずれか一項に記載の摺動部材を用いた密閉型圧縮機。
【請求項７】
粘度グレードがＶＧ１０以下のオイルを用いた請求項６に記載の密閉型圧縮機。
【請求項８】
圧縮要素を駆動する電動要素を備え、前記電動要素は少なくとも電源周波数以下の運転周波数を含む複数の運転周波数でインバーター駆動される請求項７に記載の密閉型圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピストンやクランクシャフト、ピストンピン等の摺動面に、耐摩耗性の優れた非結晶硬質炭素被膜を形成した摺動部材と、冷蔵庫やエアーコンデンサー等に使用される密閉型圧縮機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、地球環境保護の観点から化石燃料の使用を減らすために高効率の密閉型圧縮機の開発が進められている。
【０００３】
従来、密閉型圧縮機のピストンやクランクシャフトの摺動面には、水素含有量の少ない硬質炭素被膜を形成することによって、摺動部位の摩擦係数を減少させ、摩擦抵抗を少なくした摺動部材および密閉型圧縮機についての記載がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
以下、図面を参照しながら上記従来の摺動部材および密閉型圧縮機を説明する。
【０００５】
図６は、特許文献１に記載された従来の密閉型圧縮機の縦断面図、図７は特許文献１に記載された従来の摺動部材の要部断面図である。
【０００６】
図６に示すように、密閉容器１は底部にオイル２を貯留するとともに、固定子３および回転子４からなる電動要素５と、電動要素５によって駆動される往復式の圧縮要素６を収容している。
【０００７】
次に圧縮要素６の詳細を以下に説明する。
【０００８】
クランクシャフト７は、回転子４を圧入固定した主軸部８および、主軸部８に対し偏心して形成された偏心軸９を備え、さらに給油ポンプ１０を設けている。
【０００９】
また、シリンダーブロック１１は略円筒形のボアー１２からなる圧縮室１３を形成するとともに、主軸部８を軸支する軸受部１４を設けている。
【００１０】
ボアー１２に遊嵌されたピストン１５は、ピストンピン１６を介して、偏心軸９との間を連結手段であるコンロッド１７によって連結されている。
【００１１】
ボアー１２の端面はバルブプレート１８で封止されている。
【００１２】
また、ヘッド１９は高圧室（図示せず）と低圧室（図示せず）を形成し、バルブプレート１８の反ボアー１２側に固定される。
【００１３】
サクションチューブ２０は、密閉容器１に固定されるとともに冷凍サイクルの低圧側（図示せず）に接続され、冷媒ガス（図示せず）を密閉容器１内に導く。サクションマフラー２１は、バルブプレート１８とヘッド１９に挟持される。
【００１４】
クランクシャフト７の主軸部８と軸受部１４、ピストン１５とボアー１２、ピストンピン１６とコンロッド１７、クランクシャフト７の偏心軸９とコンロッド１７とは、相互に摺動部を形成し、摺動部を構成する摺動部材は、どちらか一方の摺動部表面に水素含有量の少ない硬質炭素被膜２２が施されている。
【００１５】
図７では、摺動部の一例として、ピストン１５とボアー１２で形成される摺動部を示しており、ピストン１５の摺動部表面に水素含有量の少ない硬質炭素被膜２２を形成している。
【００１６】
以上のように構成された密閉型圧縮機について、以下その動作を説明する。
【００１７】
商用電源（図示せず）から供給される電力は電動要素５に供給され、電動要素５の回転子４を回転させる。回転子４はクランクシャフト７を回転させ、偏心軸９の偏心運動が連結手段であるコンロッド１７からピストンピン１６を介してピストン１５に伝達されてピストン１５はボアー１２内を往復運動し、サクションチューブ２０を通じて密閉容器１内に導かれた冷媒ガス（図示せず）は、サクションマフラー２１から吸入され、圧縮室１３内で連続して圧縮される。
【００１８】
オイル２はクランクシャフト７の回転に伴い、給油ポンプ１０から各摺動部に給油され、摺動部を潤滑するとともに、ピストン１５とボアー１２の摺動部においては、シールの役割を果たす。
【００１９】
ここでピストン１５とボアー１２とは、漏れ損失を小さくするために非常に狭いクリアランスで遊嵌されている。その結果、ピストン１５とボアー１２の形状、精度のばらつきによっては、部分的に相互接触を起こす部位が生じることもある。
【００２０】
しかしながら、硬質炭素被膜２２をピストン１５の摺動面に形成することで、ピストン１５が上死点ならびに下死点において速度が零となった場合においても、ピストン１５の表面に形成した硬質炭素皮膜２２により、ボアー１２との摺動抵抗を低減することができる。
【特許文献１】特開２００５−９８２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
しかしながら、上記従来の摺動部材をオイルの粘度が高い環境下で使用する場合は、摺動部材表面にオイルを保持することができ、摺動部材表面への負荷を低く抑えることができたが、近年の密閉型圧縮機の高効率化に伴うオイルの低粘度化により、摺動部材表面にオイルを保持する能力が低下し、その結果、摺動部材表面への負荷が増大し、硬質炭素被膜２２が摺動部材の基材部より剥がれ、耐摩耗性の低下が生じるという課題を有していた。
【００２２】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、硬質炭素被膜と摺動部材との密着性を高め、低摩擦係数の摺動部材を提供し、信頼性の高い高効率の密閉型圧縮機を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記従来の課題を解決するために、本発明の摺動部材は、摺動部材の基材の表面に、Ｔｉ被膜を形成し、このＴｉ被膜の上層に非結晶硬質炭素被膜を形成することで、基材と非結晶硬質炭素被膜との密着性を良化させるという作用を有する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の摺動部材および密閉型圧縮機は、金属材料からなる基材の表面に、Ｔｉ被膜を形成し、このＴｉ被膜の上層にさらに水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜を形成したもので、Ｔｉ被膜により基材と非結晶硬質炭素被膜との密着性を高めることにより、高信頼性の摺動部材および、高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
請求項１に記載の発明は、金属材料からなる基材の表面に、Ｔｉ被膜を形成し、前記Ｔｉ被膜の上層にさらに水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜を形成したもので、金属材料や非結晶硬質炭素被膜との結合力が高いＴｉ被膜により密着性を高め、水素含有量を０原子％とすることにより非結晶硬質炭素被膜中のダイヤモンド成分およびグラファイト成分の密度を上げ摩擦係数を低下させることができるため、高信頼性で高効率の摺動部材を提供することができる。
【００２６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、Ｔｉ被膜の膜厚を０．１から０．３μｍの範囲内としたもので、非結晶硬質炭素被膜との結合力により密着性およびせん段力を高めることができるため、請求項１に記載の発明の効果に加えてさらに、高信頼性で高効率の摺動部材を提供することができる。
【００２７】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、非結晶硬質炭素被膜の膜厚を１．０μｍ以上としたもので、膜厚を厚くすることにより高硬度および高密度の被膜を形成することができるため、請求項１または２に記載の発明に加えてさらに、高信頼性で高効率の摺動部材を提供することができる。
【００２８】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載の発明において、基材を鉄またはアルミニウムとしたもので、Ｔｉ被膜との高い密着性を得ることができるため、請求項１から３のいずれか一項に記載の発明に加えてさらに、高信頼性で高効率の摺動部材を提供することができる。
【００２９】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の発明において、鉄またはアルミニウムからなる摺動部材を相手材として摺動するもので、非結晶硬質炭素被膜の平滑性と低凝着性により、鉄またはアルミニウムへの攻撃性を低く抑えることができるため、請求項１から４のいずれか一項に記載の発明に加えてさらに、高信頼性で高効率の摺動部材を提供することができる。
【００３０】
請求項６に記載の発明は、密閉容器内にオイルを貯留するとともに、圧縮要素を収容し、前記圧縮要素は主軸および偏心軸を備えたクランクシャフトと、前記主軸を回転自在に軸支する軸受部と、一方が前記クランクシャフトに一体に形成され、他方が前記軸受部に一体に形成されたスラスト部と、圧縮室を形成するシリンダーブロックと、前記圧縮室内を往復運動するピストンと、前記偏心軸と平行に配置され前記ピストンに固定されたピストンピンと、前記偏心軸と前記ピストンとを連結するコンロッドとを備えレシプロ型の圧縮要素を形成し、前記クランクシャフト、前記スラスト部、前記シリンダーブロック、前記ピストン、前記ピストンピン、前記コンロッドの少なくともひとつに、請求項１から５に記載の発明の摺動部材を用いた密閉型圧縮機としたもので、摺動部材との密着性が高い非結晶硬質炭素被膜で、低摩擦、低摩耗特性を得ることができるため、高信頼性かつ高効率のレシプロ型の密閉型圧縮機を提供することができる。
【００３１】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の発明において、粘度グレードがＶＧ１０以下のオイルを用いたもので、低粘度オイルにおいても非結晶硬質炭素被膜の平滑性の高い表面および低摩擦係数により、十分な耐摩耗性を得ることができるため、請求項６に記載の発明の効果に加えてさらに、高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機を提供することができる。
【００３２】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、圧縮機構を駆動する電動要素を備え、前記電動要素は少なくとも電源周波数以下の運転周波数を含む複数の運転周波数でインバーター駆動するもので、摺動部表面の非結晶硬質炭素被膜の平滑性と低凝着性により、駆動スピードが遅い場合においても低摩耗、低摩擦特性を得ることができるため、請求項７に記載の発明の効果に加えてさらに、高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機を提供することができる。
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によってこの発明が限定されるものではない。
【００３４】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における密閉型圧縮機の縦断面図、図２は図１におけるＡ部拡大図、図３は図２におけるＢ部拡大図、図４は同実施の形態におけるＴｉ被膜の膜厚と臨界荷重の関係図であり、Ｔｉ被膜の膜厚と非結晶硬質炭素被膜との密着性の関係を示している。
【００３５】
また、図５は同実施の形態における非結晶硬質炭素被膜の膜厚と臨界荷重の関係図であり、非結晶硬質炭素被膜の膜厚と非結晶硬質炭素被膜の臨界荷重との関係を示している。
【００３６】
図１から図３において、密閉容器１０１内にはＲ１３４ａからなる冷媒ガス１０２を充填するとともに、底部にはＶＧ１０のエステル系からなるオイル１０３を貯留し、固定子１０４および回転子１０５からなる電動要素１０６と、これによって駆動される往復式の圧縮要素１０７を収容している。
【００３７】
次に圧縮要素１０７の詳細を以下に説明する。
【００３８】
クランクシャフト１０８は、回転子１０５を圧入固定した主軸１０９および主軸１０９に対し偏心して形成された偏心軸１１０からなり、下端にはオイル１０３に連通する給油ポンプ１１１を設けている。鋳鉄からなるシリンダーブロック１１２は、略円筒形のボアー１１３と主軸１０９を軸支する軸受部１１４とを形成している。
【００３９】
また、回転子１０５にはフランジ面１１５が形成され、軸受部１１４の上端面はスラスト部１１６になっている。フランジ面１１５と軸受部１１４のスラスト部１１６の間にはスラストワッシャ１１７が挿入されている。そして、フランジ面１１５、スラスト部１１６およびスラストワッシャ１１７でスラスト軸受部１１８を構成している。
【００４０】
漏れ損失を小さくするために、ある一定のクリアランスを保ってボアー１１３に遊嵌されたピストン１１９は、鋳鉄または鉄系の材料からなり、ボアー１１３とともに圧縮室１２０を形成し、ピストンピン１２１を介して連結手段であるコンロッド１２２によって偏心軸１１０と連結されている。ピストン１１９とボアー１１３は、例えば直径の差で５μｍから１５μｍ程度のクリアランス寸法で遊嵌されている。
【００４１】
ボアー１１３の端面はバルブプレート１２３で封止されている。また、ヘッド１２４は高圧室（図示せず）と低圧室（図示せず）を形成し、バルブプレート１２３の反ボアー１１３側に固定される。サクションチューブ１２５は、密閉容器１０１に固定されるとともに冷凍サイクルの低圧側（図示せず）に接続され、冷媒ガス１０２を密閉容器１０１内に導く。サクションマフラー１２６は、バルブプレート１２３とヘッド１２４に挟持される。
【００４２】
ピストン１１９とボアー１１３、主軸１０９と軸受部１１４、スラスト部１１６とスラストワッシャ１１７、ピストンピン１２１とコンロッド１２２、偏心軸１１０とコンロッド１２２は相互に摺動部を形成するとともに、それぞれの摺動部材１３０の少なくとも一方に、水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜１２７を形成している。
【００４３】
ここではピストン１１９を例にとって詳しく述べることにする。
【００４４】
ピストン１１９とボアー１１３が相互に形成する摺動部のうち、ピストン１１９の摺動面表面に、Ｔｉ被膜１２８を形成し、このＴｉ被膜１２８の上層にさらに水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜１２７を形成している。こうして形成されたＴｉ被膜１２８が、非結晶硬質炭素被膜１２７と摺動部材１３０との密着力を安定して高めることができ、その結果、極めて密着力の強い非結晶硬質炭素被膜１２７を形成することができる。
【００４５】
この非結晶硬質炭素被膜１２７は、炭素同士の結合形態がダイヤモンド構造（ＳＰ３結合）とグラファイト結合（ＳＰ２結合）の両方から成る四面体アモルファスカーボン膜である。
【００４６】
以上のピストン１１９を組み込んだレシプロ型の密閉型圧縮機について、以下その動作を説明する。
【００４７】
商用電源（図示せず）から供給される電力は電動要素１０６に供給され、電動要素１０６の回転子１０５を回転させる。回転子１０５はクランクシャフト１０８を回転させ、偏心軸１１０の偏心運動が連結手段であるコンロッド１２２からピストンピン１２１を介してピストン１１９を駆動することで、ピストン１１９はボアー１１３内を往復運動し、サクションチューブ１２５を通じて密閉容器１０１内に導かれた冷媒ガス１０２は、サクションマフラー１２６から吸入され、圧縮室１２０内で圧縮される。
【００４８】
オイル１０３はクランクシャフト１０８の回転に伴い、給油ポンプ１１１から各摺動部に給油され、摺動部を潤滑するとともに、ピストン１１９とボアー１１３の間においてはシールの役割を果たす。
【００４９】
圧縮室１２０内で圧縮された冷媒ガス１０２は、ディスチャージチューブ（図示せず）を通って冷凍サイクル内（図示せず）に排出され、冷凍サイクル（図示せず）内を潤滑して、再びサクションチューブ１２５より密閉容器１０１内に導かれる。
【００５０】
ピストン１１９がボアー１１３内で往復圧縮運動をする際、ピストン１１９とボアー１１３のクリアランスが非常に狭いため、ピストン１１９とボアー１１３の形状、精度のばらつきによっては、部分的に相互接触を起こす部位が生ずることもある。
【００５１】
こういった場合においても、Ｔｉ被膜１２８により、非結晶硬質炭素被膜１２７とピストン１１９の摺動表面との密着性が高いため、ピストン１１９の摺動部表面から非結晶硬質炭素被膜１２７が剥離することを抑制することができる。
【００５２】
また、非結晶硬質炭素被膜１２７は水素が含有されず炭素のみで構成され、緻密な膜で硬度が高いため、摺動部の摩擦係数が低くなり、摺動損失が低下するため、高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機を提供することができる。
【００５３】
また、非結晶硬質炭素被膜１２７が剥離しないため、摩耗が発生しにくいので、ピストン１１９とボアー１１３のクリアランスが大きくなりにくく、圧縮した冷媒ガス１０２がピストン１１９とボアー１１３のクリアランスから漏れることがないため、高効率の密閉型圧縮機を提供することができる。
【００５４】
次に非結晶硬質炭素被膜１２７の密着性について、３．７ｍｍの距離を１６ｍｍ／ｍｉｎのスピードで０．０１Ｎから２５Ｎまで負荷をかけるスクラッチ試験機にて評価をおこなった。Ｔｉ被膜１２８および非結晶硬質炭素被膜１２７の膜厚と密着性の関係を図４および図５を参照しながら説明する。
【００５５】
図４において、横軸にＴｉ被膜１２８の膜厚を示し、縦軸にスクラッチ試験における臨界荷重を示している。この試験における非結晶硬質炭素被膜１２７の膜厚を１．０μｍとした。
【００５６】
図４より、Ｔｉ被膜１２８の膜厚が０．３μｍを超えることによって、臨界荷重が急激に低下していることがわかる。
【００５７】
図５において、横軸に非結晶硬質炭素被膜１２７の膜厚を示し、縦軸にスクラッチ試験における臨界荷重を示している。この試験におけるＴｉ被膜１２８の膜厚を０．２μｍとした。
【００５８】
図５より、非結晶硬質炭素被膜１２７の膜厚が厚くなることによって、臨界荷重値が高くなることがわかり、非結晶硬質炭素被膜１２７の膜厚が１．０μｍ以上になると一定の臨界荷重値を示すことがわかる。
【００５９】
これらのことから、Ｔｉ被膜１２８の膜厚が０．１から０．３μｍとし、非結晶硬質炭素被膜１２７の膜厚を１．０μｍ以上とすることにより、Ｔｉ被膜１２８を介しての基材と非結晶硬質炭素被膜１２７との結合力を高めることができ、密着性の高い被膜を形成することができる。
【００６０】
以上のＴｉ被膜１２８および非結晶硬質炭素被膜１２７を備えたピストン１１９を組み込んだレシプロ型の密閉型圧縮機について、以下その動作をさらに詳細に説明する。
【００６１】
ピストン１１９が上死点ならびに下死点に位置したときには速度が零となり理論的に油圧が発生せず油膜が形成されなくなるため、この上死点ならびに下死点において金属接触が生じることが多い。
【００６２】
また、密閉型圧縮機１２９においては、ピストン１１９が上死点付近にあるときは、ピストン１１９が圧縮された高圧冷媒により大きな圧縮荷重を受ける。この圧縮荷重はピストンピン１２１、コンロッド１２２を介してクランクシャフト１０８に伝わり、クランクシャフト１０８が反ピストン１１９方向へ押され、傾斜する。
【００６３】
この傾斜はボアー１１３の中でピストン１１９を傾斜させる力となり、この結果ピストン１１９のトップ面側の上端と反トップ面側の下端にボアー１１３とのこじりが発生する。そしてこのこじりによってピストン１１９がボアー１１３と接触し摩耗が生ずる。
【００６４】
特に本実施の形態１に示す片持ち軸受の密閉式圧縮機１２９の場合は、クランクシャフト１０８の傾斜が大きくなるため、このこじれが顕著に表れる。その結果、非結晶硬質炭素被膜１２７が剥離しやすくなることがある。
【００６５】
しかしながら、本実施の形態においては、非結晶硬質炭素被膜１２７がＴｉ被膜１２８により基材であるピストン１１９との密着性が高いため、非結晶硬質炭素被膜１２７が剥離し難く、非結晶硬質炭素被膜１２７は高硬度であるため低いせん断力で容易に滑りやすいため、摺動部の摩擦係数が低くなり、摺動損失が低下するため、高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機１２９を提供することができる。
【００６６】
なお、本発明の実施の形態においては、一定速度の密閉型圧縮機１２９について述べたが、インバーター化に伴い密閉型圧縮機１２９の低速化が進む中、特に２０Ｈｚを切るような超低速運動に於いてはさらに流体潤滑を成立させにくくなり、金属接触を起こし易くなるので、同様に実施可能であり、本発明の効果がより顕著に得られる。
【００６７】
なお、本発明の実施の形態においては、ピストン１１９の摺動部表面にＴｉ被膜１２８を形成し、このＴｉ被膜１２８の上層にさらに非結晶硬質炭素被膜１２７を形成させたものを例にとって詳しく述べたが、相互に摺動部を形成しているクランクシャフト１０８の主軸１０９と軸受部１１４、回転子１０５のフランジ面１１５とスラストワッシャ１１７、軸受部１１４の上端面のスラスト部１１６とスラストワッシャ１１７、ピストンピン１２１とコンロッド１２２、偏心軸１１０とコンロッド１２２の摺動部においても、相当の作用効果が得られるものである。
【００６８】
また、本発明の実施の形態において、Ｒ１３４ａの冷媒ガス１０２とＶＧ１０のエステル系からなるオイル１０３との組み合わせで説明したが、他の冷媒とＶＧ１０以下のエステル系および鉱油の組み合わせについても、同等の効果が得られる。他の冷媒としてはＲ６００ａ、Ｒ２９０及びこれらを含んだ混合冷媒、Ｒ１３４ａ、Ｒ１５２、Ｒ４０７Ｃ、Ｒ４０４Ａ、Ｒ４１０が挙げられる。
【００６９】
さらに、本発明の実施の形態において、鋳鉄または鉄系の摺動部材１３０について説明をおこなったが、アルミニウムからなる摺動部材１３０についても同等の効果が得られる。
【００７０】
また、本発明の実施の形態において、電動要素１０６が圧縮要素１０７の上方に配置された例で説明したが、電動要素１０６が圧縮要素１０７の下方に配置された密閉型圧縮機においても同様に実施可能である。
【００７１】
以上のように本実施の形態によれば高い信頼性を持った摺動部材１３０とすることが可能で有り、その摺動部材１３０を組み込んだ高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機を提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
以上のように、本発明にかかる密閉型圧縮機は、摺動部材の摺動表面にＴｉ被膜を形成し、このＴｉ被膜の上層にさらに水素含有量が０原子％である非結晶硬質炭素被膜を形成することにより、密着性が高く、摩擦係数の低減が図れ、高信頼性かつ高効率の密閉型圧縮機を提供することが可能となるので、冷凍サイクルを用いた機器に幅広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施の形態１における密閉型圧縮機の縦断面図
【図２】図１におけるＡ部拡大図
【図３】図２におけるＢ部拡大図
【図４】同実施の形態におけるＴｉ被膜の膜厚と臨界荷重の関係図
【図５】同実施の形態における非結晶硬質炭素被膜の膜厚と臨界荷重の関係図
【図６】従来の密閉型圧縮機の縦断面図
【図７】従来の摺動部材の要部断面図
【符号の説明】
【００７４】
１０１  密閉容器
１０３  オイル
１０６  電動要素
１０７  圧縮要素
１０８  クランクシャフト
１０９  主軸
１１０  偏心軸
１１２  シリンダーブロック
１１４  軸受部
１１６  スラスト部
１１９  ピストン（基材）
１２０  圧縮室
１２１  ピストンピン
１２２  コンロッド
１２７  非結晶硬質炭素被膜
１２８  Ｔｉ被膜
１３０  摺動部材
【図１】
2010025075.tif 000003
【図２】
2010025075.tif 000004
【図６】
2010025075.tif 000005
【図３】
2010025075.tif 000006
【図４】
2010025075.tif 000007
【図５】
2010025075.tif 000008
【図７】
2010025075.tif 000009