(57)【要約】【課題】活性層の膜厚均一性に優れた貼り合わせウェーハを安価に製造できる貼り合わせウェーハの製造方法を提案する。【解決手段】活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、活性層用ウェーハに基板温度が200℃を超える高温での酸素イオン注入を行った後、その高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて少なくとも一回、基板温度が200℃以下の低温での酸素イオン注入を行って酸素イオン注入層を形成し、その後の、活性層用ウェーハへの熱処理工程で、1200℃以下の温度で熱処理を施して、高温注入による注入イオン最大領域と低温注入によるアモルファス層とを一つに纏めるものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性層用ウェーハと支持層用ウェーハとを貼り合わせて貼り合わせウェーハを製造する方法であって、
(1) 活性層用ウェーハに酸素イオンを注入して、酸素イオン注入層を形成する工程と、
(2) 活性層用ウェーハの酸素イオン注入側の表面と支持層用ウェーハとを直接、または絶縁膜を介して貼り合わせる工程と、
(3) 貼り合わせたウェーハの貼り合わせ強度を向上させるための熱処理工程と、
(4) 貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分を、酸素イオン注入層をストップ層として減厚化して、酸素イオン注入層を露出させる工程と、
(5) 貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分の酸素イオン注入層を除去する工程と、
を含む一連の工程を具え、
前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、活性層用ウェーハに基板温度が200℃を超える高温での酸素イオン注入を行った後、前記高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて少なくとも一回、基板温度が200℃以下の低温での酸素イオン注入を行って酸素イオン注入層を形成することを特徴とする、貼り合わせウェーハの製造方法。
【請求項２】
前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程における前記低温での酸素イオン注入で、前記高温での酸素イオン注入と加速電圧を同じにした場合および前記高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて複数回酸素イオンを注入することを特徴とする、請求項１記載の貼り合せウェーハの製造方法。
【請求項３】
前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記高温での酸素イオン注入の際の加速電圧をVH、前記低温での酸素イオン注入の際の加速電圧をVL、とすると、少なくとも一回は低温注入を下記条件
1.0×VH＜VL＜1.2×VH
とすることを特徴とする、請求項２記載の貼り合わせウェーハの製造方法。
【請求項４】
前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記高温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1016〜1.0×1018 atoms/cm2、前記低温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1015〜1.0×1017 atoms/cm2とすることを特徴とする、請求項１から３までの何れか１項記載の貼り合わせウェーハの製造方法。
【請求項５】
前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記低温での酸素イオン注入を複数回行うとともに、その複数回の酸素イオン注入の間の休止時に、ウェーハを360度およびその整数倍以外の所定角度回転させることを特徴とする、請求項１から４までの何れか１項記載の貼り合わせウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼り合わせウェーハの製造方法に関し、特に、酸素イオン注入層を減厚化の際のストップ層として効果的に用いるようにした貼り合わせウェーハの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的な貼り合わせウェーハの製造方法としては、酸化膜（絶縁膜）が形成された一枚のシリコンウェーハに、もう一枚のシリコンウェーハを貼り合わせ、この貼り合わせたシリコンウェーハの一方を研削・研磨してSOI（Silicon On Insulator）層を形成する方法（研削研磨法）や、シリコンウェーハの内部に酸素イオンを打ち込んだのち、高温アニールを行うことによって、シリコンウェーハの内部に埋め込み酸化膜（BOX）層を形成し、該BOX層の上部をSOI層とする方法（SIMOX：Separation by Implanted Oxygen法）、SOI層側となるシリコンウェーハ（活性層用ウェーハ）の表層部に水素イオン等を打ち込んでイオン注入層を形成したのち、そのシリコンウェーハを支持基板用のシリコンウェーハと貼り合わせ、ついで熱処理により上記のイオン注入層で剥離させることによってSOI層を形成する方法（スマートカット法）等が知られている（SIMOX法については、例えば特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、上記した方法では何れも、活性層の膜厚均一性に劣る（±30％以上）という問題があった。
【０００４】
そこで、上記の問題を解決するものとして、本発明者らは先に、酸素イオン注入法と研削研磨法を組み合わせたプロセス、すなわち
「表面に絶縁膜を有しまたは有しない活性層用ウェーハを、直接、支持層用ウェーハと貼り合わせたのち、活性層用ウェーハ部分を薄膜化することからなる、貼り合わせウェーハの製造方法であって、
活性層用ウェーハに酸素イオンを注入して、活性層内に酸素イオン注入層を形成する工程と、
活性層用ウェーハに対し、非酸化性雰囲気中にて1100℃以上の温度で熱処理を施す工程と、
活性層用ウェーハと支持層用ウェーハとを貼り合わせる工程と、
貼り合わせたウェーハの貼り合わせ強度を向上させるための熱処理工程と、
貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分を、酸素イオン注入層の手前まで研削する工程と、
貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分をさらに研磨またはエッチングして、酸素イオン注入層を露出させる工程と、
貼り合わせたウェーハを酸化処理して、酸素イオン注入層の露出面に酸化膜を形成する工程と、
この酸化膜を除去する工程と、
非酸化性雰囲気中にて1100℃以下の温度で熱処理を施して、貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分を平坦化する工程と、
の時系列的結合になることを特徴とする、貼り合わせウェーハの製造方法。」
を開発し、これを開示した（特許文献２参照）。
この方法によれば、活性層の膜厚均一性に比較的優れ、また透過電子顕微鏡（TEM）による評価で比較的欠陥の少ない、直接貼り合わせウェーハの提供が可能になった。
【特許文献１】特開平５−２９１５４３号公報
【特許文献２】特開２００８−１６５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献２で開示した方法では、酸素イオン注入層を研磨ストップ層として働かせることは記載されているものの、研磨ストップ層として望ましい酸素イオン注入層の条件までは示されておらず、得られる酸素イオン注入層は、必ずしも研磨ストップ層として最適化されているとはいえないという問題があった。
【０００６】
即ち、上記方法では酸素イオンの注入を、常法に基づき基板温度が200℃を超える高温で一回だけ行っているため、形成した酸素イオン注入層は、図２(b)に断面TEM写真で示すとともに図４(a)〜(c)に略線図で示すように、活性層用ウェーハ部分の酸素イオン注入側（図４では下側）の表面（図ではBOX層とSOI層との境界）に近い側の層（注入ダメージ最大領域）Ａとその酸素イオン注入側の表面から遠い側の層（注入イオン最大領域）Ｂとの二層構造となる場合があり、このような二層構造になると、酸素イオン注入層のシリコン中に分散するSiO2粒子の体積分率が低くなって、層Ｂ側からの研磨中にSiO2粒子が酸素イオン注入層から脱落し、研磨ストップ後に、図４(a)に示すように、酸素イオン注入層の表面に凹凸が残り易くなる。
【０００７】
このため、その後に酸化処理を施すと、図４(b)に示すように、上記酸素イオン注入層を含めて所定深さまで酸化させた酸化膜Ｃが、酸素イオン注入層の表面の凹凸に応じてSOI層の表面に食い込み、図４(c)に示すように、酸化膜Ｃを除去した後にSOI層の表面に凹凸が残り易い。そこで上記の方法では、その後の熱処理工程で活性層用ウェーハ部分の表面を平坦化して、活性層の膜厚均一性を得ているが、熱処理に時間と工数が嵩むという、解決することが望ましい課題があった。
【０００８】
本発明は、上記の課題を有利に解決するもので、研磨ストップ層として望ましい、充分に高い研磨ストップ機能を持つ酸素イオン注入層が得られる、貼り合わせウェーハの有利な製造方法を提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
さて、本発明者は、上記の問題を解決すべく、酸素イオン注入層での研磨ストップ条件について鋭意検討を重ねた結果、研磨ストップ層として望ましい酸素イオン注入層は、厚さ方向の平均酸素濃度分布が単一のピークを持つものであるという知見を得た。
さらに、本発明者は、厚さ方向の平均酸素濃度分布が単一のピークを持つためには酸素イオン注入で、基板温度が高温での注入と低温での注入とを組み合わせると有効であるという知見を得た。
本発明は上記の知見に立脚するものである。
【００１０】
すなわち、本発明の貼り合わせウェーハの製造方法の要旨構成は次のとおりである。
１．活性層用ウェーハと支持層用ウェーハとを貼り合わせて貼り合わせウェーハを製造する方法であって、
(1) 活性層用ウェーハに酸素イオンを注入して、酸素イオン注入層を形成する工程と、
(2) 活性層用ウェーハの酸素イオン注入側の表面と支持層用ウェーハとを直接、または絶縁膜を介して貼り合わせる工程と、
(3) 貼り合わせたウェーハの貼り合わせ強度を向上させるための熱処理工程と、
(4) 貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分を、酸素イオン注入層をストップ層として減厚化して、酸素イオン注入層を露出させる工程と、
(5) 貼り合わせたウェーハの活性層用ウェーハ部分の酸素イオン注入層を除去する工程と、
を含む一連の工程を具え、
前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、活性層用ウェーハに基板温度が200℃を超える高温での酸素イオン注入を行った後、前記高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて少なくとも一回、基板温度が200℃以下の低温での酸素イオン注入を行って酸素イオン注入層を形成することを特徴とする、貼り合わせウェーハの製造方法。
【００１１】
２．前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程における前記低温での酸素イオン注入で、前記高温での酸素イオン注入と加速電圧を同じにした場合および前記高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて複数回酸素イオンを注入することを特徴とする、請求項１記載の貼り合せウェーハの製造方法。
【００１２】
３．前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記高温での酸素イオン注入の際の加速電圧をVH、前記低温での酸素イオン注入の際の少なくとも一回の加速電圧をVL、とすると、    1.0×VH＜VL＜1.2×VH
とすることを特徴とする、請求項２記載の貼り合わせウェーハの製造方法。
【００１３】
４．前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記高温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1016〜1.0×1018 atoms/cm2、前記低温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1015〜1.0×1017 atoms/cm2とすることを特徴とする、請求項１から３までの何れか１項記載の貼り合わせウェーハの製造方法。
【００１４】
５．前記(1)の活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記低温での酸素イオン注入を複数回行うとともに、その複数回の酸素イオン注入の間の休止時に、ウェーハを360度およびその倍数以外の所定角度回転させることを特徴とする、請求項１から４までの何れか１項記載の貼り合わせウェーハの製造方法。
【発明の効果】
【００１５】
酸素イオン注入層における厚さ方向の平均酸素濃度分布が複数のピークを持っている場合は、SiO2粒子同士が離れ過ぎていることから、活性層用ウェーハ部分を減厚化するために研磨を行っている際にSiO2粒子が脱落し易いため、研磨ストップ機能が充分に高くない。すなわち、研磨ストップ後に酸素イオン注入層の表面に凹凸が残り易くなる。
一方、酸素イオン注入層における厚さ方向の平均酸素濃度分布が単一のピークを持っている場合は、SiO2粒子同士が密に固まっていることから、活性層用ウェーハ部分を減厚化するために研磨を行っている際にSiO2粒子が脱落しにくいため、充分に高い研磨ストップ機能を奏することができる。
【００１６】
そして本発明では、活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、活性層用ウェーハに基板温度が200℃を超える高温での酸素イオン注入を行った後、その高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて少なくとも一回、基板温度が200℃以下の低温での酸素イオン注入を行って酸素イオン注入層を形成することから、高温での酸素イオン注入で注入イオン最大領域を形成した後、加速電圧を高めた低温での酸素イオン注入でアモルファス層（注入ダメージ最大領域）を先の注入イオン最大領域近くまで深く形成し、その後の熱処理で、高温注入による注入イオン最大領域と低温注入によるアモルファス層とを一つに纏めることができるので、1200℃以下の温度での熱処理でも単一のピークのストップ層が形成される。
【００１７】
従って本発明によれば、貼り合わせウェーハの製造中、研磨ストップ層として望ましい充分高い研磨ストップ機能を安定して奏する酸素イオン注入層を持つようにし得て、活性層の膜厚均一性に優れた貼り合わせウェーハを安価に製造することができる。
【００１８】
なお、活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程における低温での酸素イオン注入で、高温での酸素イオン注入と加速電圧を同じにした場合および高温での酸素イオン注入より加速電圧を高めた場合を含めて、複数回に分割して酸素イオンを注入すれば、酸素イオンをムラなく注入できるので、ストップ層へのピンホールの発生を抑制し得て、研磨ストップ機能を安定して得ることができる。
【００１９】
また、活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、高温での酸素イオン注入の際の加速電圧をVH、低温での酸素イオン注入の際の少なくとも一回の加速電圧をVLとすると、
1.0×VH＜VL＜1.2×VH
とすれば、低温での酸素イオン注入の際の加速電圧VLを高温での酸素イオン注入の加速電圧VHより適度に高めることができるので好ましい。
【００２０】
さらに、活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、高温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1016〜1.0×1018 atoms/cm2、低温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1015〜1.0×1017 atoms/cm2とすれば、高温での酸素イオン注入で注入イオン最大領域を形成した後、低温での酸素イオン注入でアモルファス層（注入ダメージ最大領域）を先の注入イオン最大領域まで深く形成することができる。
【００２１】
そして、活性層用ウェーハへの酸素イオンの注入工程で、前記低温での酸素イオン注入を複数回行うとともに、その複数回の酸素イオン注入の間の休止時に、ウェーハを360度およびその整数倍以外の所定角度回転させれば、酸素イオン注入中のウェーハ面内温度分布の影響を低減させ得て、活性層の面内均一性をより高めることができる。ここで、360度およびその整数倍以外としたのは、360度またはその整数倍の角度だけ回転させても元の状態に戻るだけだからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を具体的に説明する。
まず、本実施形態で対象とする貼り合わせウェーハ及び、図１に示すプロセスフローに従う本実施形態の各製造工程について具体的に説明する。
・貼り合わせウェーハ
本実施形態により、例えばSIMOXウェーハ等の貼り合わせウェーハを作製するには、活性層用ウェーハと支持層用ウェーハの２枚のシリコンウェーハを貼り合わせるわけであるが、本実施形態は両ウェーハの貼り合わせに際し、絶縁膜（酸化膜）を介する場合は勿論のこと、このような絶縁膜を介さずに直接貼り合わせる場合にも適用することができる。
なお、貼り合わせウェーハとしては、貼り合せに適した表面ラフネスが良好なものであれば、ドーパントの種類、濃度および酸素濃度などは限定されない。ただし、欠陥をより低減するためには、COP（Crystal Oriented Particle）がないまたは少ないウェーハが好ましい。ここに、COPの低減には、ＣＺ引き上げ条件を最適化してCOPを少なくする方法、ウェーハ鏡面加工後還元雰囲気中で1000℃以上の高温熱処理を施す方法、ウェーハ上にCVDなどでSiをエピタキシャル成長させる方法などを適用することができる。
【００２３】
(1) 活性層用ウェーハに酸素イオンを注入する工程
先ず本実施形態では、活性層用ウェーハに酸素イオンを注入する。
本実施形態においては、酸素イオン注入時の加速電圧は、最終製品の活性層厚さに応じて適宜選択することができ、特に限定されることはない。従って、通常の酸素イオン注入機の加速電圧：100〜300keV程度で行えばよい。
但し、本実施形態では酸素イオン注入として、基板温度が200℃を超える（例えば450℃の）高温で酸素イオン注入を行う高温注入と、基板温度が200℃以下の（例えば100℃または20℃（室温）の）低温で酸素イオン注入を行う低温注入とを行う。
そして、高温での酸素イオン注入の際の加速電圧をVH、低温での酸素イオン注入の際の加速電圧をVL、とすると、
1.0×VH＜VL＜1.2×VH
としており、これにより、低温での酸素イオン注入の際の加速電圧VLを高温での酸素イオン注入の加速電圧VHより僅かに高めている。
一方、本実施形態においては、酸素イオン注入時のドーズ量は、酸素イオン注入層における厚さ方向の平均酸素濃度分布が活性層用ウェーハへの熱処理後に単一のピークを持つように、高温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1016〜1.0×1018 atoms/cm2、低温での酸素イオン注入の際のドーズ量を1.0×1015〜1.0×1017 atoms/cm2に設定する。
【００２４】
高温での酸素イオン注入の際のドーズ量が1.0×1016 atoms/cm2に満たない、または低温での酸素イオン注入の際のドーズ量が1.0×1015 atoms/cm2に満たない場合には、(2)の熱処理工程での熱処理後の酸素イオン注入層における酸素原子を含んだSiアモルファス層が単一層に纏まらずに二層構造となるかまたは充分に形成されず、SiO2粒子同士が離れ過ぎていることから、後述する貼り合わせ後の(5)の工程で活性層用ウェーハ部分を減厚化するために研磨を行っている際にSiO2粒子が脱落し易いため、的確に研磨ストップを行うことができない。
一方、高温での酸素イオン注入の際のドーズ量が1.0×1018 atoms/cm2を超える、または低温での酸素イオン注入の際のドーズ量が1.0×1017 atoms/cm2を超える場合には、酸素イオン注入の際に高酸素が必要となるため、酸素イオン注入にコストが嵩んでしまう。
【００２５】
なお、上記低温での酸素イオン注入時における基板温度は室温以下でも実施は可能であるが、そのためにはウェーハを強制的に冷却する機能を注入機に付加する必要がある。
また、上記低温での酸素イオン注入を分割注入としても良く、その間の注入休止時に、ウェーハを360度およびその整数倍を除く所定角度回転させても良く、このように回転させれば、酸素イオン注入中のウェーハ面内温度分布の影響を低減させ得て、活性層の面内均一性をより高めることができる。
さらに、上記高温での酸素イオン注入と低温での酸素イオン注入との間、あるいは低温での酸素イオンの分割注入の間に洗浄を行ってもよい。洗浄方法としては、パーティクル除去能力に優れたSC1、HF、O3および有機酸による洗浄などが好適である。
【００２６】
(2) 活性層用ウェーハを熱処理する工程
次いで本実施形態では、酸素イオン注入後、貼り合わせ前の段階で、1100℃以上でかつ1200℃以下の温度で、２時間熱処理を施す。1100℃未満の温度では、酸素イオン注入層が単一層に纏まらずに二層構造となってしまうか、充分アモルファス状態にならず、研磨ストップ機能が充分高くならない。
この熱処理時、非酸化性雰囲気中で処理することにより、酸素イオン注入時に最表面近傍に注入された酸素を外方へ拡散させて酸素濃度を下げ、貼り合わせ強化熱処理時の最表面近傍の酸素析出物を抑制することに寄与し、その結果、欠陥密度のさらなる低減が可能となる。非酸化性雰囲気としては、ArやH2またはその混合雰囲気などが有利に適合する。
【００２７】
図２(a)，(b)に、本実施形態の条件および従来条件に従ってそれぞれ酸素イオンを注入した後、熱処理を施したウェーハの、貼り合わせ後における断面TEM写真を比較して示す。
なお、酸素イオン注入条件および熱処理条件は、それぞれ次のとおりである。
・従来条件
酸素イオン注入処理  高温注入：加速電圧：200 keV、ドーズ量：1.0×1016 atoms/cm2、基板温度：450℃
低温注入：加速電圧：180 keV、ドーズ量：0.04×1016 atoms/cm2
熱処理  1100℃，２ｈ
・本発明条件
酸素イオン注入処理  高温注入：加速電圧：200 keV、ドーズ量：1.0×1017 atoms/cm2、基板温度：450℃
低温注入：加速電圧：210 keV、ドーズ量：0.04×1016 atoms/cm2、基板温度：100℃
熱処理  1100℃，２ｈ
同写真から明らかなように、従来条件では、酸素イオン注入層（SiO2層）の表面に凹凸が観察されるので、図４(a)〜(c)に示すように、貼り合せ後にSi層を研磨し、酸化膜を形成してそれを除去した後の活性層表面に、凸凹の発生が避けられない。
これに対し、本実施形態の条件では、酸素イオン注入層（SiO2層）と表面のSi層との界面は平滑であるので、研磨ストップ層として望ましい、充分高い研磨ストップ機能を持つとともに安価に酸素イオン注入できる酸素イオン注入層が形成されていることが判る。
また図３(a)，(b)は酸素イオン注入後のTEM写真を示すが、低温注入の加速電圧が高温注入と同じ場合(図３(b))と比較して、低温注入をやや深めの210 keVにした場合(図３(a))は、アモルファス層が高温注入で形成された酸素イオン注入層（黒い部分）を深くまでカバーしていることが判り、この効果により、熱処理後の酸素イオン注入層が二層に分離するのを防いでいる。
【００２８】
(3) 活性層用ウェーハと支持層用ウェーハを貼り合わせる工程
本実施形態では次いで、活性層用ウェーハと支持層用ウェーハとを貼り合わせるが、この貼り合わせに際しては、絶縁膜を介してもよいし、絶縁膜を介さずに直接、貼り合わせることもできる。
絶縁膜を介して貼り合わせを行う場合、絶縁膜としてはBOX等の酸化膜（SiO2）、窒化膜（Si3N4）などが好適である。また、成膜方法としては、酸化雰囲気や窒素雰囲気中での熱処理（熱酸化、熱窒化）、CVDなどが好適である。熱酸化としては、酸素ガスの他、水蒸気を使ったWet酸化なども使用することができる。
【００２９】
さらに、絶縁膜は、酸素イオン注入前に成膜しても良いし、注入後でも良い。
また、絶縁膜の成膜は、活性層用ウェーハまたは支持層用ウェーハ、あるいは活性層用および支持層用の両ウェーハに対して行うことができる。
【００３０】
また、貼り合わせの前には、パーティクルによるボイドの発生を抑制するため、洗浄処理を施すことが有利である。
洗浄方法として、一般的なシリコンウェーハ洗浄方法である、SC1＋SC2、HF＋O3、有機酸またはその組み合わせなどが有効である。
さらに、1000℃以下の貼り合せ温度では貼り合せ強度が十分ではなく、貼り合わせ後の研削・研磨工程の条件（圧力・速度）によっては、剥がれる危険性が懸念される場合には、貼り合せ強度を高めるために、貼り合わせ前のシリコン表面を、酸素・窒素・He・H2・Arまたはその混合雰囲気を使ったプラズマによる活性化処理を施すことが有利である。この場合、貼り合わせ強化熱処理の温度は、300〜500℃程度でも良い。
【００３１】
なお、直接貼り合わせの場合、貼り合せ面に吸着したH2Oがその後の熱処理でSiO2に変化し、貼り合わせ界面に存在するため、貼り合せ面のHF洗浄を行い、疎水面貼り合わせを行って、SiO2を抑制する方法を行ってもよい。これにより、界面での酸化物を低減することができ、デバイス特性の改善につながる。
【００３２】
(4) 貼り合わせ強度向上のための熱処理工程
本実施形態では次いで、貼り合せ強度を高めるための熱処理を行う。この熱処理は、結合強度を十分上げるために、1000℃以上の温度で、１ｈ以上熱処理することが好ましい。雰囲気については特に制限されないが、次工程の研削工程でのウェーハ裏面の保護のために、酸化雰囲気として、150nm以上の酸化膜をつけることが好ましい。
【００３３】
(5) 活性層用ウェーハを減厚化し酸素イオン注入層を露出させる工程
本実施形態では次いで、活性層用ウェーハを研削および研磨により減厚化し、酸素イオン注入層を露出させる。
・研削
貼り合わせウェーハの活性層用ウェーハの研削は、機械式の加工で実施される。この研削では、酸素イオン注入層の表面側に活性層用ウェーハの一部を残す。残される活性層用ウェーハの一部の膜厚は限定されない。
次工程での研磨工程時間を短縮するために、酸素イオン注入層の直前まで研削することが好ましいが、研削装置の精度、研削によるダメージ深さ（約２μm）を考慮すると、残膜Si厚さは３〜10μm 程度とするのが好ましい。
【００３４】
・研磨
研削に引き続いて、貼り合わせウェーハの活性層用ウェーハを研磨して、酸素イオン注入層を露出させる。
この研磨法においては、砥粒濃度が１質量％以下の研磨剤を供給しながら行うことが好ましい。このような研磨液としては、砥粒（例えばシリカ）濃度が１質量％以下のアルカリ性溶液が挙げられる。なお、アルカリ性溶液としては、無機アルカリ溶液（KOH，NaOH等）、有機アルカリ溶液（例えば、アミンを主成分とするピペラジンやエチレンジアミン等）またはこれらの混合溶液などが好適である。
この研磨法は、砥粒濃度が１質量％以下であることもあって、砥粒による機械的な研磨作用はほとんどなく、化学的な研磨作用が優先される。そして、このアルカリ性溶液による化学的な研磨作用により、活性層用ウェーハの一部（Si層）が研磨される。アルカリ性溶液は、Si／（酸素原子を含んだSiアモルファス層またはSi中にSiO2粒子が分散した層）のエッチングレート比が高いため、活性層用ウェーハの一部であるSi層は効率よく研磨することができるが、酸素原子を含んだSiアモルファス層またはSi中にSiO2粒子が分散した層は殆ど研磨されない。従って、研磨装置の機械的精度が十分でなくても、酸素イオン注入層はほとんど研磨されずに、Si層のみが研磨される結果、酸素イオン注入層を均一に露出させることができる。
すなわち、本実施形態における酸素イオン注入層は、充分高い研磨ストップ機能を持つ研磨ストップ層として機能する。
【００３５】
特に、研磨前にSiをエッチングすることで、テラス（２枚のウェーハが貼り合わない最外周１〜３mmの領域）と貼り合わせ領域との境界がスムースになり、パーティクルの発生が抑制される。なお、研磨前にテラス部のみを研磨してもよい。
【００３６】
(6) 酸素イオン注入層の除去工程
本実施形態では次いで、露出した酸素イオン注入層を除去する。この酸素イオン注入層は、酸素原子を含んだSiアモルファス、一部再結晶化したSiおよびSiO2からなる。除去方法としては、エッチング法、酸化＋エッチング法、研磨などが適用できる。
・エッチング法
酸素イオン注入層は、完全なSiO2層（BOX層）となるためには酸素ドーズ量・熱処理が十分でない条件を選択しているため、エッチングにはSiO2を除去するHF溶液、Siを除去するアルカリ溶液、またはSiを酸化するSC1溶液やオゾン溶液と酸化して生成したSiO2を除去するHF溶液とを交互に行うなどのエッチング条件が好ましい。
いずれにしても、HF溶液を使用し、HF溶液に浸漬した後、SiO2除去の目安となる、ウェーハ表面全体が撥水面になるまで、酸化＋HFを繰り返し行うことが好ましい。
【００３７】
・酸化法
この方法は、酸素イオン注入層の露出面に所定厚さの酸化膜を形成する工程と、この酸化膜を除去する工程からなる。
この酸化処理は、酸化性雰囲気中で行えばよく、処理温度は特に限定されないが、好適には600〜1000℃の酸化性雰囲気である。
但し、酸素イオン注入層のアモルファスが再結晶化されることで発生するSiO2粒子に起因した表面ラフネスの劣化を抑制するためには、低温で処理することが好ましく、600〜900℃がより好ましい。
低温で酸化処理を行う場合、酸化膜成長速度を大きくするために、H2O蒸気を使ったWet酸化やHClガスを含んだ酸化性ガス処理の塩酸酸化を適用することができ、高いスループットを得るためにより好ましい。
酸化膜の厚さは、特に限定されるものではないが、酸素イオン注入層に結晶欠陥層が存在する場合には、その厚さ以上とすることが好ましく、本実施形態の酸素イオン注入条件においては、100〜500nm程度とすることが好ましい。酸化膜の厚さが100nm未満では、本実施形態の酸素イオン注入条件ではSiアモルファス層を十分に除去することができず、一方500nm超では、酸化膜の面内均一性の崩れにより、活性層膜厚均一性が劣化する。
この酸化膜を除去するには、HF液による洗浄でもよいし、水素ガスやArガスまたはHFを含むガスを使ったアニールによるエッチングでもよい。ここに、上記の酸化処理および除去処理は、複数回行ってもよい。これにより、平坦化された表面粗さを維持したまま、活性層の一層の薄膜化が可能となる。
酸化膜を除去した後に、例えば有機酸とフッ酸との混合液に貼り合わせウェーハを浸積して、貼り合わせウェーハの表面に付着するパーティクルおよび金属不純物を除去することは有利である。
【００３８】
(7) 活性層用ウェーハ表面の平坦化及び／または薄膜化工程
本実施形態では次いで、活性層用ウェーハ表面の平坦化等を行う。
酸素イオン注入層除去後の貼り合わせウェーハ表面は、鏡面研磨と比較すると荒れているため、平坦にすることが望ましい。
平坦化方法としては、還元雰囲気中での熱処理、研磨およびSiエッチングができるガス・イオン・ラジカルなどからなるガスエッチングなどが適用できる。
・研磨法
貼り合わせ表面を極僅か研磨してラフネスを改善する。研磨代は10〜500nm程度とするのが好ましい。10nm未満では十分にラフネスが改善できず、一方500nm超えでは活性層の膜厚均一性が劣化する。この処理により、表面ラフネス（RMS）を0.5nm以下にすることが可能である。
【００３９】
・還元雰囲気熱処理
Ar、H2またはその混合雰囲気中で熱処理することにより、貼り合わせウェーハ表面のラフネスを改善する。処理温度は1000℃以上1300℃以下程度とすることが好ましい。処理時間については低温ほど長時間とする必要があり、1000〜1200℃では１〜２ｈ程度、1200〜1250℃では10〜30min程度、1250℃以上では１〜５min程度とすることが好ましい。上記の温度および時間を超えて高温・長時間熱処理にすると、還元雰囲気のエッチング作用により活性層の面内均一性が劣化するおそれがある。
本実施形態では、貼り合せ後、酸素イオン注入層除去までの熱処理で、必ずしも十分な貼り合せ強度が得られるとは限らない。よって、酸素イオン注入層除去後に貼り合せ強度が改善される1100℃以上の温度での平坦化処理は、より好ましい。
貼り合せ前処理でプラズマなどによる表面活性化を施した場合は、必ずしも1100℃以上の熱処理は必要ない。
熱処理炉としては、複数枚を同時に処理できる抵抗加熱型の縦型炉または一枚毎処理するランプ加熱式のRTA（高速昇降温炉）などが好適である。特に1200℃以上の処理ではRTAが有効である。
そして、上記の熱処理により、研磨法の場合と同様に、表面ラフネス（RMS）を0.5nm以下にすることが可能である。
この熱処理により生じた表面酸化膜の除去は、HF液による洗浄でもよいし、水素ガスやArガスまたはHFを含むガスを使ったアニールによるエッチングを用いてもよい。
【００４０】
かくして本実施形態によれば、膜厚均一性に優れ、かつ欠陥が少なく、しかも表面ラフネスが格段に向上した貼り合わせウェーハを得ることができる。
【００４１】
本実施形態の実施可能性の確認のため、本実施形態に類似するが一回の酸素イオン注入を行う方法で、酸素イオン注入層における厚さ方向の平均酸素濃度分布が単一のピークを持つかまたは互いに近接した二つのピークを持つ貼り合わせウェーハを製造した参考例と比較例とについて以下に説明する。
ＣＺ法により育成され、ボロンがドーパントとされたシリコンインゴットからスライスした直径：300mmのシリコンウェーハを２枚ずつ組にして準備して、各組の２枚のうち一方のシリコンウェーハを活性層用ウェーハとするとともに、他方のシリコンウェーハを支持層用ウェーハとした。
各組の活性層用ウェーハに対し、酸化雰囲気中にて1000℃で10minの熱処理を施し、厚さ：10nmの酸化膜を成膜した。
次に、各組の活性層用ウェーハの表面から、高温の酸素イオン注入を加速電圧：200 keV、ドーズ量は1.0×1017 atoms/cm2で実施した。また、各組の低温注入は、基板温度を室温から200℃以下とし、加速電圧を180 keVから240 keVとし、ドーズ量を0.04×1017 atoms/cm2とした。また、一部のサンプルでは低温注入をドーズ量：0.02×1017 atoms/cm2として二分割し、一回目の加速電圧を200 keV、二回目の加速電圧を210 keVにし、さらにそれぞれのウェーハ保持位置を０度および180度に回転させて注入を行い、注入の間にHF+O3の洗浄を施した。
その結果、各組の活性層用ウェーハの表面から約600〜800nmの深さ位置に酸素イオン注入層が形成された。
次いで、各組の活性層用ウェーハを非酸化性（Ar）雰囲気中で貼り合わせ前熱処理（アニール）し、熱処理温度は1100℃、熱処理時間は５ｈとした。
【００４２】
次いで、各組の両ウェーハにHF＋オゾン洗浄を施し、貼り合せ面上のパーティクルを除去した後、各組の両ウェーハを貼り合わせた。
その後、各組の両ウェーハの貼り合わせ界面を強固に結合するための貼り合わせ後熱処理（アニール）を行った。熱処理条件は、ウェット酸化性ガス雰囲気中で1100℃、２時間とし、貼り合せウェーハ表裏面に約600nm厚の酸化膜をつけ、後加工時の裏面保護膜とした。
次に、研削装置を用いて、各貼り合わせウェーハの活性層用ウェーハを、その表面から所定の厚さ分だけ研削した。すなわち、酸素イオン注入層の表面側に活性層用ウェーハの一部（膜厚略５μm）だけを残す研削処理を施した。
ついで、砥粒（シリカ）濃度が１質量％以下の砥粒を含む研磨剤を供給しながら、研削後の各貼り合わせウェーハの表面を研磨し、酸素イオン注入層を露出させた。研磨剤としては、砥粒濃度が１質量％以下であるアルカリ性溶液を使用した。このアルカリ性溶液は、有機アルカリ溶液であり、アミンを主成分としたもの（例えばピペラジン、エチレンジアミン等）である。
【００４３】
その後、各貼り合わせウェーハに対し、酸化性雰囲気中にて、温度：950℃、0.5時間のウェット酸化処理を施した。その結果、酸素イオン注入層の露出面に所定厚さの酸化膜が形成され、酸素原子を含んだSiアモルファス層が全て酸化膜（SiO2）になった。次に、この酸化膜をHFエッチング（HF液組成：10％、温度：20℃）により除去した。これにより、酸化膜除去後、露出した活性層の厚さが面内にて均一化され、かつ薄膜化された。
【００４４】
次に、各貼り合わせウェーハを以下の処理により洗浄した。まず、オゾン濃度が５ppmの溶存オゾン水溶液に、次に純水に対して有機酸としてクエン酸を0.06質量％混合した水溶液に、そしてフッ酸を0.05質量％添加した水溶液に、その後純水に対して有機酸であるクエン酸を0.6質量％添加した水溶液に、最後にオゾン濃度が５ppmの室温の溶存オゾン水溶液に、それぞれ浸漬した。処理時間は各々５分、温度は室温とした。この洗浄処理により、各貼り合わせウェーハの表面から金属不純物およびパーティクルを除去した。
上記の洗浄後、アルゴンガス雰囲気中にて1100℃、２時間の熱処理を施して、各貼り合わせウェーハを完成させた。
【００４５】
表１に各条件の結果を示す。低温注入を施すことでSOI膜厚均一性が改善するが（参考例１および比較例２、３）、高温注入より僅かに加速電圧を大きくした本発明の実施例１，２では、より膜厚均一性が改善されたことがわかる。
また、低温注入を二分割した本発明の実施例３では、SOI膜厚均一性が4nmと最も良い値を示した。
【００４６】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００４７】
かくして本発明の貼り合わせウェーハの製造方法によれば、貼り合わせウェーハの製造中、研磨ストップ層として望ましい、充分高い研磨ストップ機能を安定して持つ酸素イオン注入層を持つようにし得るので、活性層の膜厚均一性に優れた貼り合わせウェーハを安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態のプロセスフローを示す図である。
【図２】(a)は上記実施形態の条件、また(b)は従来の条件に従って、それぞれ酸素イオンを注入後、熱処理を施したウェーハの、貼り合わせ後の断面TEM写真である。
【図３】上記実施形態と同様に酸素イオン注入を高温注入と低温注入との二段階で行ったウェーハであって、(a)は低温注入の加速電圧を高温注入より大きくしたもの、また(b)は低温注入の加速電圧を高温注入よりやや小さくしたものの、それぞれ酸素イオンを注入した後の断面TEM写真である。
【図４】(a)，(b)，(c)は、従来方法で酸素イオン注入および貼り合わせ前熱処理を行った貼り合わせウェーハの研磨Stop後の研磨面状態の、酸化膜除去後の表面状態への影響を模式的に示す断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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