(57)【要約】【課題】真円度の良いロールを得るためのロール研磨方法を提供する。【解決手段】第一のロール（１７）のセンターだしを行ない、該第一のロール（１７）の外周面（１７ｃ）と両端の軸受け部（１７ｂ）とを研削装置（３１）で研削して室温における該第一のロール（１７）の真円度を２５μｍ以内にする第一の工程と、該軸受け部（１７ｂ）に軸受け（１９）及び軸受けハウジング（２３）を装着する第二の工程と、該軸受けハウジング（２３）をベース（５）に固定する第三の工程と、該第一のロール（１７）を回転させる第四の工程と、３μｍ以内の真円度を有し且つ外周面（３ｃ）上に研磨手段（２９）を備えた第二のロール（３）を回転させ、該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）に該第二のロール（３）を押し当てて該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）を研磨する第五の工程とを備えた研磨方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のロールのセンターだしを行ない、該第一のロールの外周面と両端の軸受け部とを研削装置で研削して室温における該第一のロールの真円度を２５μｍ以内にする第一の工程と、
該軸受け部に軸受け及び軸受けハウジングを装着する第二の工程と、
該軸受けハウジングをベースに固定する第三の工程と、  
該第一のロールを回転させる第四の工程と、
３μｍ以内の真円度を有し且つ外周面上に研磨手段を備えた第二のロールを回転させ、該第一のロールの該外周面に該第二のロールを押し当てて該第一のロールの該外周面を研磨する第五の工程とを備えることを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
該第一のロールの直径（ｄ１）は、該第二のロールの直径（ｄ２）の２倍以上であることを特徴とする請求項１に記載の研磨方法。
【請求項３】
該第一のロールの該外周面は、加熱手段により加熱または冷却手段により冷却されることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨方法。
【請求項４】
該第二のロールの該外周面は、加熱手段により加熱または冷却手段により冷却されることを特徴とする請求項１乃至３に記載の研磨方法。
【請求項５】
該第一のロール及び／又は該第二のロールの内部は、該第一のロール及び／又は該第二のロールの内部に熱媒を循環させる該加熱手段により加熱又は該冷却手段により冷却されることを特徴とする請求項３又は４に記載の研磨方法。
【請求項６】
該第一のロールの内部は、複数の流体流路が層状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５に記載の研磨方法。
【請求項７】
該第一のロールと該第二のロールとの温度差は、２０℃以内であることを特徴とする請求項１乃至６に記載の研磨方法。
【請求項８】
該第一のロールの面長（Ｌ１）は、該第二のロールの面長（Ｌ２）の１／２以下であることを特徴とする請求項１乃至７に記載の研磨方法。
【請求項９】
該研磨手段は、研磨テープを該第二のロールに螺旋に巻きつけてセットすることを特徴とする請求項１乃至８に記載の研磨方法。
【請求項１０】
前記第五の工程は、最初に、粗い砥粒の研磨テープで該第一のロールの該外周面を研磨する工程と、その後に、細かい砥粒の研磨テープで該第一のロールの該外周面を仕上げる工程とを含むことを特徴とする請求項９に記載の研磨方法。
【請求項１１】
前記第五の工程は、該第一のロールの振れを５μｍ以内になるまで該第一のロールの該外周面を研磨する工程を含むことを特徴とする請求項１乃至１０に記載の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧延機のロール研削においては、ワークロールをロールチョックに組み込まれたままの状態で研削できるロール研削装置がある（例えば、特許文献１参照。）。
また、圧延機に組み込まれたワークロール及びバックアップロールを研削することができるオンラインロールグラインダがある（例えば、特許文献２参照。）。
これらは、ロールの組み替えやロールの整備工場への搬送による生産効率の低下を防止するために、ロールを圧延機に組み込んだ状態でロールを研削するものである。
【０００３】
また、圧延機から取り出した圧延ロールをより短時間のうちに再研削するために、温度制御した研削剤を圧延ロールの胴部表面全長にわたって吹き掛けることにより、圧延ロールを圧延作業時の温度に比較的近い温度に保ち、砥石を圧延ロールの胴部表面に接触させて研削を行うロールの研削方法がある（例えば、特許文献３参照。）。
【０００４】
また、研磨ヘッドと被加工物との間の接触面温度を制御して接触面応力分布を変えることにより、被加工物の平滑度、平面度、及び平行度のばらつき発生を抑制するために、研磨ヘッドに加熱流体を供給して加熱するための加熱装置を有する研磨装置がある（例えば、特許文献４参照。）。
【０００５】
また、研磨布紙を表面に吸着するための多数の細孔と、冷却水用の通路が設けられた研磨ロールがある（例えば、特許文献５参照。）。
【０００６】
【特許文献１】特公平５−３２１２４号公報
【特許文献２】特開平５−２３７５２１号公報
【特許文献３】特開昭５８−４３４３号公報（第４頁右上欄第９行〜第１７行）
【特許文献４】特開２００２−８３７９１号公報
【特許文献５】特開２００２−３５５７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図６は、バックロール上を走行するウエブに流体を塗布するスロットノズルを示す図である。
バックロール１０１は、矢印Ａで示す方向に回転する。ウエブ１０３は、バックロール１０１上に巻き付いて、矢印Ｂで示す方向に搬送される。スロットノズル１０５は、バックロール１０１との間にわずかな隙間Ｇを空けて配置されている。スロットノズル１０５から吐出される流体は、ウエブ１０３上に塗布される。
【０００８】
（幾何学形状の影響）
ウエブ１０３上に流体を均一の厚さで塗布するためには、スロットノズル１０５とバックロール１０１との間の隙間Ｇが、バックロール１０１の一回転中常に一定であることが望ましい。もし、バックロール１０１の真円度が悪いと、バックロール１０１の一回転中に隙間Ｇがバックロール１０１の回転に伴い変化してしまう。隙間Ｇが変化すると、ウエブ１０３上に塗布される流体の厚さが変化する。したがって、ウエブ１０３上に流体を均一の厚さで塗布するためには、バックロール１０１の真円度をよくすることが望ましい。
【０００９】
また、スロットノズル１０５の長さ全体にわたって、隙間Ｇが均一であることが望ましい。もし、バックロール１０１の円筒度がわるいと、スロットノズル１０５の長さ方向で隙間Ｇが変化してしまう。隙間Ｇが変化すると、ウエブ１０３上に塗布される流体の厚さが変化する。したがって、スロットノズル１０５の長さ全体にわたって、すなわち、バックロール１０１のロール面長の全範囲にわたって隙間Ｇを均一にするためには、バックロール１０１の円筒度をよくすることが望ましい。
【００１０】
（取付誤差の影響）
一方、バックロール１０１は、軸受け（不図示）及び軸受ハウジング（不図示）により回転可能に保持されている。
軸受けには、許容誤差がある。軸受けの内輪には、精度等級が良く小径の呼び内径のものでも例えば約２．５マイクロメートル（μｍ）の許容誤差があり、軸受けの外輪にも、精度等級が良く小径の呼び外径のものでも例えば約４〜５マイクロメートルの許容誤差がある。さらに、軸受けを保持する軸受けハウジングにも約３〜５マイクロメートルの許容誤差がある。例えば、軸受けの許容誤差について、ＪＩＳ Ｂ １５１４に規定されている内輪及び外輪の寸法精度を見てみれば分かるように、円すいころ軸受けを除くラジアル軸受けでは、内輪では、呼び軸受け内径１８〜３０ｍｍの場合、精度等級２級で平均内径寸法差が上０〜下−２．５μｍであり、精度等級５級では上０〜下−６μｍである。また呼び軸受け内径８０〜１２０ｍｍの場合、精度等級２級で平均内径寸法差が上０〜下−５μｍであり、精度等級５級では上０〜下−１０μｍである。外輪では、呼び軸受け外径５０〜８０ｍｍの場合、精度等級２級で平均外径寸法差が上０〜下−４μｍであり、精度等級５級では上０〜下−９μｍである。また呼び軸受け外径１５０〜１８０ｍｍの場合、精度等級２級で平均外径寸法差が上０〜下−７μｍであり、精度等級５級では上０〜下−１３μｍである。
したがって、バックロール１０１が軸受けを介して軸受けハウジングに取り付けられたときに、これらの許容誤差のために、バックロール１０１の回転に振れが生じる。たとえ、バックロール１０１の真円度及び円筒度をよくしたとしても、軸受け及び軸受けハウジングの取付誤差のために、バックロール１０１の回転に振れが生じることがある。バックロール１０１の振れは、バックロール１０１とスロットノズル１０５との間の隙間Ｇを変化させる。これによって、隙間Ｇがバックロール１０１のロール面長の全範囲にわたって一定でなくなり、ウエブ１０３上に塗布される流体の厚さが変化する。
【００１１】
（温度による影響）
バックロール１０１は、スロットノズル１０５から流体が塗布されるときに、所定温度に加熱されることがある。室温において真円度及び円筒度の良いバックロール１０１であっても、温度上昇のために、バックロール１０１がねじれるという問題がある。室温で研削したロールは、所定の使用温度にまで加熱されると、真円度のばらつきを生じることがある。例えば、温度が６０℃上昇すると、真円度の誤差は、±３０マイクロメートルも生じることがある。
特に、バックロール１０１の構造が複雑である場合には、温度上昇によるバックロール１０１の変形が大きくなることがある。バックロールの構造が単純であれば、温度の影響は少ないが、バックロールの構造が複雑である場合には、温度の影響が大きい。
【００１２】
（圧力による影響）
バックロール１０１は、加熱媒体又は冷却媒体を通すための通路を設けて、温度を調整する。
例えば、熱媒は、約０．１〜０．７ＭＰａの圧力でバックロールの通路へ供給される。通路に熱媒の圧力がかかると、バックロールが膨張して変形する。
【００１３】
そこで、本発明は、真円度の良いロールを得るためのロール研磨方法を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明は、軸受組立体に取り付けられたロールの振れを小さくすることができるロール研磨方法を提供することを目的とする。
【００１５】
また、本発明は、温度によるロールの変形の影響が少ないロール研磨方法を提供することを目的とする。
【００１６】
また、本発明は、圧力によるロールの変形の影響が少ないロール研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前述した課題を解決する為に本発明では次のような研磨方法とした。
すなわち、ロール研磨方法において、
第一のロール（１７）のセンターだしを行ない、該第一のロール（１７）の外周面（１７ｃ）と両端の軸受け部（１７ｂ）とを研削装置（３１）で研削して室温における該第一のロール（１７）の真円度を２５μｍ以内にする第一の工程と、
該軸受け部（１７ｂ）に軸受け（１９）及び軸受けハウジング（２３）を装着する第二の工程と、
該軸受けハウジング（２３）をベース（５）に固定する第三の工程と、
該第一のロール（１７）を回転させる第四の工程と、
３μｍ以内の真円度を有し且つ外周面（３ｃ）上に研磨手段（２９）を備えた第二のロール（３）を回転させ、該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）に該第二のロール（３）を押し当てて該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）を研磨する第五の工程とを設けた。
これによって、第一のロール（１７）を軸受け組立体（２４）に取り付けて、実際に使用する状態にある第一のロール（１７）を研磨することができる。よって、第一のロール（１７）の回転振れを小さくすることができる。
なお、前記したように軸受けは、その内輪、外輪に精度等級によって寸法差があり、精度等級の良い、例えば５級に比べて２級の軸受けを購入し使用する場合は、一般的に納期が長くかつ価格も高価であるが、本発明では、精度等級の低い例えば５級の寸法差の大きい軸受け（１９）を軸受け組立体（２４）に用いても、実際に使用する状態にある第一のロール（１７）を研磨することができので、短納期で安価な軸受けで以って第一のロール（１７）の回転振れを小さくすることができる。
【００１８】
該第一のロール（１７）の直径（ｄ１）は、該第二のロール（３）の直径（ｄ２）の２倍以上であるとよい。
第二のロール（３）の直径（ｄ２）を小さくすることにより、真円度の良い第二のロールの作成を容易にすることができる。
【００１９】
該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）は、加熱手段（２７）により加熱または冷却手段（２７）により冷却されるとよい。
これによって、第一のロール（１７）の外周面（１７ｃ）の温度を実際の使用温度に調整することができる。第一のロール（１７）の外周面（１７ｃ）を実際の使用温度で研磨することにより、温度変化が第一のロール（１７）の変形に与える影響を小さくすることができる。
【００２０】
該第二のロール（３）の該外周面（３ｃ）は、加熱手段（２５）により加熱または冷却手段（２５）により冷却されるとよい。
これによって、第二のロール（３）の外周面（３ｃ）の温度を、第一のロール（１７）の実際の使用温度と同じ或いはそれよりも２０℃ぐらい低い温度に調整することができる。
【００２１】
該第一のロール（１７）及び／又は該第二のロール（３）の内部は、該第一のロール（１７）及び／又は該第二のロール（３）の内部に熱媒を循環させる該加熱手段（２５、２７）により加熱又は該冷却手段（２５、２７）により冷却されるとよい。
熱媒の温度を制御することにより、第一のロール（１７）及び／又は第二のロール（３）の温度を調整することができる。
【００２２】
該第一のロール（１７）の内部は、複数の流体流路（３７、３８、３９）が層状（３５ａ、３５ｂ、３５ｃ）に形成されているとよい。
熱媒を使用する時の熱媒の圧力（例えば、０．２ＭＰａ）を第一のロール（１７）にかけて研磨することにより、圧力による変形の影響を少なくすることができる。さらに、ウエブを吸着するための真空圧力を第一のロール（１７）にかけて研磨することにより、圧力による変形の影響を少なくすることができる。
【００２３】
該第一のロール（１７）と該第二のロール（３）との温度差は、２０℃以内であるとよい。
【００２４】
該第一のロール（１７）の面長（Ｌ１）は、該第二のロール（３）の面長（Ｌ２）の１／２以下であるとよい。
【００２５】
該研磨手段は、該第二のロール（３）に螺旋に巻きつけてセットされた研磨テープ（２９）であるとよい。
【００２６】
前記第五の工程は、最初に、粗い砥粒の研磨テープで該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）を研磨する工程と、その後に、細かい砥粒の研磨テープで該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）を仕上げる工程とを含むとよい。
【００２７】
前記第五の工程は、該第一のロール（１７）の振れを５μｍ以内になるまで該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）を研磨する工程を含むとよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の一実施例により研磨された第一のロールは、回転振れが小さくなる。これによって、第一のロールをスロットノズルのバックロールとして使用したときに、ウエブ上へ流体を均一な膜厚で塗布することができる。
【００２９】
本発明の一実施例によれば、真円度の良いロールを得ることができる。
【００３０】
また、本発明の一実施例によれば、軸受組立体に取り付けられたロールの回転振れを小さくすることができる。
【００３１】
また、本発明の一実施例によれば、温度によるロールの変形の影響を少なくすることができる。
【００３２】
また、本発明の一実施例によれば、圧力によるロールの変形の影響を少なくすることができる。
【００３３】
また、本発明の一実施例によれば、複雑な構造のロールを研磨することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明を、好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。ただし、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００３５】
（研磨装置）
図１は、研磨装置１を示す斜視図である。
【００３６】
研磨装置１は、研磨ロール（第二のロール）３を備えている。研磨ロール３は、軸線Ｘ１を中心に回転可能に基礎台（ベース）５の上に設けられている。研磨ロール３は、両端部を軸受け７により支持されている。軸受け７は、軸受けハウジング９により保持されている。軸受けハウジング９は、テーブル１１に固定されている。テーブル１１は、両端部がレール１３により支持されている。レール１３は、基礎台５に固定されている。テーブル１１は、駆動装置１５により、レール１３上を軸線Ｙに沿って摺動する。軸線Ｙは、研磨ロール３の軸線Ｘ１に対して垂直である。
【００３７】
研磨すべきロール（第一のロール）１７は、軸線Ｘ２を中心に回転可能に基礎台５の上に取り付けられる。研磨すべきロール１７の軸線Ｘ２は、研磨ロール３の軸線Ｘ１とほぼ平行に配置される。研磨すべきロール１７は、両端の軸受け部１７ｂを軸受け１９により支持されている。軸受け１９は、軸受けハウジング２３により保持されている。軸受け１９及び軸受けハウジング２３は、軸受け組立体２４を構成する。軸受け組立体２４は、基礎台５に取り付けられて、研磨すべきロール１７は、実際に使用する状態になる。
【００３８】
研磨ロール３及び研磨すべきロール１７は、モーター（不図示）により回転させられる。
【００３９】
研磨ロール３は、熱媒供給管２５に接続されている。熱媒は、熱媒供給管２５から研磨ロール３の内部へ供給される。研磨すべきロール１７は、熱媒供給管２７に接続されている。熱媒は、熱媒供給管２７からロール１７の内部へ供給される。
【００４０】
研磨ロール（第二のロール）３は、真円度が３マイクロメートル以内である。研磨ロール３は、研磨テープ２９が螺旋状に巻かれている。
【００４１】
図２は、研磨すべきロール（第一のロール）１７のロール部分１７ａの直径ｄ１と研磨ロール（第二のロール）３のロール部分３ａの直径ｄ２を示す図である。研磨ロール３の真円度をよくするためには、研磨ロール３の直径ｄ２は小さい方が良い。したがって、研磨ロール３の直径ｄ２は、研磨すべきロール１７の直径ｄ１より小さい方が良い。より好ましくは、研磨すべきロール（第一のロール）１７の直径ｄ１は、研磨ロール（第二のロール）３の直径ｄ２の２倍以上であるとよい。
【００４２】
図３は、研磨すべきロール（第一のロール）１７の面長Ｌ１と研磨ロール（第二のロール）３の面長Ｌ２を示す図である。ここで、ロール面長は、軸受け部（ジャーナル）３ｂ，１７ｂを含まないロール部分３ａ，１７ａの軸方向の長さをいう。本実施例においては、研磨すべきロール（第一のロール）１７の面長Ｌ１は、研磨ロール（第二のロール）３の面長Ｌ２の二分の一以下に設定した。
【００４３】
（研磨方法）
図４は、円筒研削盤で研削されているロールを示す図である。図４に示すように、円筒研削盤（不図示）のセンター３３により研磨すべきロール（第一のロール）１７のセンターだしを行う。研磨すべきロール１７のロール部分１７ａの外周面１７ｃと両端の軸受け部１７ｂとを円筒研削盤（不図示）の砥石車３１で研削する。これにより、ロール１７の外周面１７ｃの真円度を、室温で２５マイクロメートル以内にする。
【００４４】
図１に示すように、円筒研削盤で研削したロール（第一のロール）１７の軸受け部１７ｂに軸受け１９を取り付ける。
軸受け１９を軸受けハウジング２３に装着する。
【００４５】
軸受けハウジング２３を基礎台５に取り付ける。これによって、研磨すべきロール１７は、実際に使用する状態になる。
【００４６】
研磨すべきロール（第一のロール）１７をモーター（不図示）により回転させる。
【００４７】
真円度が３μｍ以内の研磨ロール（第二のロール）３の外周面３ｃに研磨テープ２９を螺旋状に巻き付け、研磨ロール３をモーター（不図示）により回転する。テーブル１１を駆動装置１５により研磨すべきロール（第一のロール）１７へ向けて移動して、回転している研磨ロール３を回転しているロール１７の外周面１７ｃに当接させ、外周面１７ｃを研磨する。
【００４８】
研磨ロール３により外周面１７ｃを研磨する工程において、最初に、粗い砥粒の研磨テープでロール１７の外周面１７ｃを研磨し、その後に、粗い砥粒の研磨テープを細かい砥粒の研磨テープと交換して、細かい砥粒の研磨テープでロール１７の外周面１７ｃを仕上げてもよい。例えば、最初に番手（#）が３２０メッシュ若しくは３２０メッシュ以下の粗い粒度（砥粒）の研磨テープで研磨し、その後に４００メッシュ若しくは４００メッシュ以上の細かい粒度の研磨テープで仕上げるようにしてもよい。また、さらに好ましくは、最初に３２０メッシュ若しくは３２０メッシュ以下の粗い粒度の研磨テープで研磨し、次に４００〜６００メッシュの細かい粒度の研磨テープで中間研磨をし、次に１０００メッシュ若しくは１０００メッシュ以上のさらに細かい粒度の研磨テープで仕上げ研磨をするようにするとよい。このようにすれば、粗い砥粒から細かい砥粒の研磨テープを段階的に用いて表面傷を直していくようにして最終的に良好な仕上げ研磨面を得ることができ、全体的な研磨時間を短くして研磨を早く行うことができる。なお、該番手の数値（メッシュ）は、本来１インチ（２５．４ｍｍ）平方当りの篩の目の数を表し、砥粒（研磨材）の粒の大きさを示す単位であり、粗めの砥粒のもの程、数値が少なくなり、細かい砥粒のもの程、数値が大きくなるものである。研磨テープの種類としては、例えば三共理化学株式会社製のミラーフィルム（商品名）シリーズ等を用いることができる。
【００４９】
本実施例においては、研磨すべきロール（第一のロール）１７の振れが５マイクロメートル以内になるまで該ロール１７の外周面１７ｃを研磨ロール３で研磨する。ここで、ロールの真円度は、ロールをセンタリングしてそれを基準にしたものであり、一方、ロールの振れは、ロールを軸受け組立体２４に組み込んで軸受け１９を介して回転させたときのロール表面の振れをいう。
【００５０】
なお、研磨すべきロール（第一のロール）１７を加熱又は冷却して、研磨すべきロール（第一のロール）１７の外周面１７ｃの温度を実際の使用温度に調整するとよい。研磨すべきロール（第一のロール）１７は、熱媒供給管２７からロール１７の内部へ加熱媒体を供給して加熱することができる。あるいは、熱媒供給管２７からロール１７の内部へ冷却媒体を供給してロール１７を冷却することができる。これにより、研磨すべきロール（第一のロール）１７を研磨する際に、ロール１７の外周面１７ｃの温度を実際の使用温度に調整することができる。実際の使用温度でロール１７を研磨することにより、ロール１７の研磨精度に対する温度の影響を小さくすることができる。
【００５１】
また、研磨ロール（第二のロール）３を加熱又は冷却して、研磨ロール３のロール部分３ａの外周面３ｃの温度を調整するとよい。研磨ロール（第二のロール）３は、熱媒供給管２５からロール３の内部へ加熱媒体を供給して加熱することができる。あるいは、熱媒供給管２５からロール３の内部へ冷却媒体を供給してロール３を冷却することができる。これにより、研磨すべきロール（第一のロール）１７を研磨する際に、ロール３の外周面３ｃの温度を調整することができる。研磨する際に、研磨ロール３の温度を研磨すべきロール１７の温度と同じにするとよい。研磨ロール３の温度は、研磨すべきロール１７の実際の使用温度との差が同じ或いはそれよりも２０℃ぐらい低くてもよい。すなわち、研磨する際に、研磨ロール３と研磨すべきロール１７との温度差が０℃〜２０℃の範囲内であるとよい。
【００５２】
図５は、研磨すべきロール（第一のロール）のロール部分の部分断面図である。
研磨すべきロール（第一のロール）１７のロール部分１７aの内部は、複数の流体流路が層状に形成されている。ロール部分１７ａの内側層３５ａは、熱媒を通すための熱媒流路３７が螺旋状に形成されている。加熱媒体又は冷却媒体が熱媒流路３７へ供給されて、研磨すべきロール（第一のロール）１７の温度を調整する。熱媒は、約０．１〜０．７MPａの圧力で供給される。ロール１７に熱媒の圧力がかかるとロール１７は膨張して変形する。研磨精度に対する圧力の影響を小さくするために、ロール１７の使用時の圧力（例えば、０．２ＭＰａ）を流体流路にかけてロール１７を研磨する。
【００５３】
ロール部分１７ａの中間層３５ｂは、真空圧力を供給するための吸引通路３８を形成している。吸引通路３８には、約−９０ｋＰａの真空圧力が供給される。ロール部分１７ａの外側層３５ｃには、多数の吸引孔３９が設けられている。吸引孔３９は、吸引通路３８に連通している。これによって、ロール１７上を搬送されるウエブは、ロール１７に吸着される。
【００５４】
なお、本実施例において、研磨すべきロール（第一のロール）１７は、円筒度が低くてもよい。ロールに振れが無ければ、円筒度は特に問わない。
【００５５】
本実施例により研磨された第一のロールを、スロットノズルのバックロールとして使用したときに、ウエブ上へ流体を均一な膜厚で塗布することができる。流体をホットメルト材料とした場合には、１０マイクロメートル以下の安定した膜厚でホットメルト材料をウエブ上に塗布することができる。
【００５６】
（研磨ロール３の作成）
研磨ロール３の作成においては、研磨ロール３の直径が小さければ、従来の研削方法で真円度及び円筒度のよいロールを作成することができる。しかし、従来の研削方法では、直径の大きなロールを精度良く作成することが困難である。
しかし、直径の大きな研磨ロール３が要求されることもある。直径の大きな研磨ロールを作成するためには、まず、真円度の高い直径の小さなマザーロールを作成する。そして、このマザーロールを研磨ロールとして、本発明の研磨方法により、直径の大きなロールを研磨する。マザーロールの直径は、５０ｍｍ〜２００ｍｍのものを使用すると良い。マザーロールの直径が小さい方が、マザーロールの真円度の精度を出しやすい。マザーロールは、単純な構造がよい。熱変形しにくいからである。マザーロールは、膨張してもよい。マザーロールは、回転軸線に沿って貫通孔を設け、貫通孔に油を流すことにより加熱してもよい。
研磨される直径の大きなロールは、１回転／分の回転速度で回転させ、マザーロールは、数百回転／分の回転速度で回転させる。マザーロールの回転速度を２００ｒｐｍぐらいまでに抑えるためには、マザーロールの直径をあまり小さくできない。
直径の大きなロールをマザーロールとして、さらに大きい直径のロールを本発明の研磨方法により研磨して直径の大きなマザーロールを作成することもできる。
このようにして、直径の大きな研磨ロール３を作成することができる。
【００５７】
（変形例）
上記実施例を参照して、本発明を説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではない。
【００５８】
本実施例においては、研磨テープを巻き付けたロールを研磨ロールとして使用した。一般に、通常の研磨ロールの真円度をよくすることは、難しい。これに対して、本実施例の研磨ロール３は、ロールに研磨テープを巻きつけたものである。ロールは、一般に、精度良く作成することができる。また、研磨テープの厚さのばらつきは、主に、研磨テープのアンカー材から飛び出した砥粒の高さのばらつきであるので、研磨テープの厚さのばらつきは、±１マイクロメートルぐらいの範囲内にある。研磨テープをロールに螺旋状に巻き付けて、研磨すべきロールに当てると、研磨テープの表面の凸部が押し下げられて、研磨テープの表面は、さらにフラットになる。よって、本実施例の研磨ロールは、通常の研磨ロールに比べて、真円度をよくすることができる。
【００５９】
研磨テープは、粘着テープ又はバンドで両端をロールに留めることができる。
【００６０】
本発明は、研磨テープに限定されるものではなく、ロールに研磨材を塗ったものでもよい。研磨材は、螺旋状である必要はない。
【００６１】
ロールの加熱には、熱風を使用することもできる。
熱媒が熱風の場合は、軸受け部を暖めないように、ロールを囲んで熱風の通路を作り熱風が軸受け部にかからないようにするとよい。
【００６２】
本実施例においては、ロールは、ウエブを吸着するための吸引孔を設けている。しかし、ロールは、エアーの吹き出しのための構造を有していてもよい。
【００６３】
本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その特徴事項から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施することができる。そのため、前述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本発明の範囲内のものである。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】研磨装置を示す斜視図。
【図２】研磨すべきロール（第一のロール）の直径と研磨ロール（第二のロール）の直径を示す図。
【図３】研磨すべきロール（第一のロール）の面長と研磨ロール（第二のロール）の面長を示す図。
【図４】円筒研削盤で研削されているロールを示す図。
【図５】研磨すべきロール（第一のロール）のロール部分の部分断面図。
【図６】バックロール上を走行するウエブに流体を塗布するスロットノズルを示す図。
【符号の説明】
【００６５】
１      研磨装置
３      研磨ロール（第二のロール）
３ａ    ロール部分
３ｂ    軸受け部分
３ｃ    外周面
５      基礎台（ベース）
７      軸受け
９      軸受けハウジング
１１      テーブル
１３      レール
１５      駆動装置
１７      研磨すべきロール（第一のロール）
１７ａ    ロール部分
１７ｂ    軸受け部
１７ｃ    外周面
１９      軸受け
２３      軸受けハウジング
２４      軸受け組立体
２５      熱媒供給管
２７      熱媒供給管
２９      研磨テープ
３１      砥石車
３３      センター
３５ａ    内側層
３５ｂ    中間層
３５ｃ    外側層
３７      熱媒流路
３８      吸引通路
３９      吸引孔
１０１    バックロール
１０３    ウエブ
１０５    スロットノズル
ｄ１      第一のロールの直径
ｄ２      第二のロールの直径
Ｇ        隙間
Ｌ１      研磨すべきロールの面長
Ｌ２      研磨ロールの面長
Ｘ１      研磨ロールの軸線
Ｘ２      研磨すべきロールの軸線
【図１】
2010149257.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2010149257.tif 000006
【図５】
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【図６】
2010149257.tif 000008