(57)【要約】【課題】空きリソースの不足の発生を防止することができる、基板処理装置ならびに基板処理装置におけるグラフ描画周期決定方法およびグラフ描画方法を提供する。【解決手段】基板処理装置１では、データ収集部２２により、薬液流量などのデータが一定のデータ収集周期ＤＴで取得される。この取得されたデータは、データバッファ２１に一時的に記憶される。データバッファ２１からデータを読み出す周期に一致するグラフ描画周期ＧＴは、コンピュータ２のリソースの使用状況の一例であるＣＰＵ使用率に基づいて決定される。そして、その決定されたグラフ描画周期ＧＴでデータバッファ２１からデータが読み出され、データの時間変化を示すグラフが操作パネル３のディスプレイ３１に描画される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対する処理のために使用される基板処理装置であって、
ディスプレイと、
所定のデータを一定のデータ取得周期で取得するデータ取得手段と、
前記データ取得手段により取得された前記データを一時的に記憶するデータバッファと、
少なくとも前記データ取得手段を実現するコンピュータのリソースの使用状況に基づいて、前記データバッファから前記データを読み出す周期を決定する周期決定手段と、
前記周期決定手段で決定された周期で、前記データバッファから前記データを読み出し、前記データの時間変化を示すグラフを前記ディスプレイに描画するグラフ描画手段とを含む、基板処理装置。
【請求項２】
ユーザがユーザ設定周期を入力するために、ユーザにより操作される操作部をさらに含み、
前記周期決定手段は、前記コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期を決定し、当該システム設定周期と前記操作部から入力されるユーザ設定周期とを比較して、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期よりも長い場合には、前記ユーザ設定周期を前記データバッファから前記データを読み出す周期に決定し、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期以下である場合には、前記システム設定周期を前記データバッファから前記データを読み出す周期に決定する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
コンピュータを備える基板処理装置において、所定のデータの時間変化を示すグラフをディスプレイに描画する周期を決定する方法であって、
前記コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期を設定するシステム設定周期設定ステップと、
ユーザによる操作部の操作により入力されるユーザ設定周期を取得するユーザ設定周期取得ステップと、
前記システム設定周期設定ステップで設定されたシステム設定周期と前記ユーザ設定周期取得ステップで取得されたユーザ設定周期とを比較して、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期よりも長い場合には、前記ユーザ設定周期を前記グラフを描画する周期に決定し、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期以下である場合には、前記システム設定周期を前記グラフを前記ディスプレイに描画する周期に決定する周期決定ステップとを含む、グラフ描画周期決定方法。
【請求項４】
コンピュータを備える基板処理装置において、所定のデータの時間変化を示すグラフをディスプレイに描画する方法であって、
前記データを一定のデータ取得周期で取得するデータ取得ステップと、
前記データ取得ステップで取得された前記データをデータバッファに一時的に記憶させるデータバッファステップと、
前記コンピュータのリソースの使用状況に基づいて、前記データバッファから前記データを読み出す周期を決定する周期決定ステップと、
前記周期決定ステップで決定された周期で、前記データバッファから前記データを読み出し、前記グラフを前記ディスプレイに描画するグラフ描画ステップとを含む、グラフ描画方法。
【請求項５】
前記コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期を設定するシステム設定周期設定ステップと、
ユーザによる操作部の操作により入力されるユーザ設定周期を取得するユーザ設定周期取得ステップとをさらに含み、
前記周期決定ステップでは、前記システム設定周期設定ステップで設定されたシステム設定周期と前記ユーザ設定周期取得ステップで取得されたユーザ設定周期とが比較されて、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期よりも長い場合には、前記ユーザ設定周期が前記データバッファから前記データを読み出す周期に決定され、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期以下である場合には、前記システム設定周期が前記データバッファから前記データを読み出す周期に決定される、請求項４に記載のグラフ描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対する処理のために使用される基板処理装置ならびに基板処理装置におけるグラフ描画周期決定方法およびグラフ描画方法に関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造などに用いられる基板処理装置には、コンピュータが備えられており、その稼働中は常に、コンピュータにより各部の状態が監視されている。たとえば、基板に対する処理中には、コンピュータにより、基板に供給される薬液の流量などのデータが一定のデータ収集周期で収集される。そして、薬液の流量が予め定める閾値以下に低下するなどの異常が発生すると、アラームが出力されたり、危険な場合には、処理が緊急に停止されたりする。これにより、基板に対する処理の品質の低下が防止され、基板処理装置が危険な状態に陥ることが防止されている。
【０００３】
また、基板処理装置には、ディスプレイを含む操作パネルが設けられている。そして、一定のデータ収集周期で取得される薬液の流量などのデータは、操作パネルのディスプレイにグラフで表示されるようになっている。このグラフは、コンピュータによりデータが取得される度に再描画（更新）される。これにより、基板処理装置のユーザは、ディスプレイに表示されるグラフを見ることによって、基板処理装置の現在の状態をリアルタイムで確認することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１１８５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、グラフの再描画の際には、新たに取得されたデータと過去に取得されたデータとを比較して、最適なグラフ軸の描画範囲（スケール）が決定され、コンピュータのリソースが多く費やされる場合がある。グラフの再描画にコンピュータのリソースが多く費やされると、データの取得やアラーム出力、緊急停止制御のための空きリソースが不足し、それらの動作のリアルタイム性が損なわれるおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、空きリソースの不足の発生を防止することができる、基板処理装置ならびに基板処理装置におけるグラフ描画周期決定方法およびグラフ描画方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するための請求項１記載の基板処理装置は、ディスプレイと、所定のデータを一定のデータ取得周期で取得するデータ取得手段と、前記データ取得手段により取得された前記データを一時的に記憶するデータバッファと、少なくとも前記データ取得手段を実現するコンピュータのリソースの使用状況に基づいて、前記データバッファから前記データを読み出す周期を決定する周期決定手段と、前記周期決定手段で決定された周期で、前記データバッファから前記データを読み出し、前記データの時間変化を示すグラフを前記ディスプレイに描画するグラフ描画手段とを備えている。
【０００８】
この基板処理装置では、データ取得手段により、所定のデータが一定のデータ取得周期で取得される。この取得されたデータは、データバッファに一時的に記憶される。データバッファからデータを読み出す周期は、少なくともデータ取得手段を実現するコンピュータのリソースの使用状況に基づいて決定される。そして、その決定された周期でデータバッファからデータが読み出され、データの時間変化を示すグラフがディスプレイに描画される。
【０００９】
データが取得される度にグラフが描画されるのではなく、コンピュータのリソースの使用状況に基づいて決定された周期でグラフが描画されるので、空きリソースの不足を防止することができる。すなわち、コンピュータの空きリソースが少ないときには、グラフの描画の周期が長い周期に設定されることにより、グラフの描画に使用されるリソースを低減することができ、空きリソースを増やすことができるので、空きリソースの不足の発生を防止することができる。
【００１０】
請求項２に記載のように、基板処理装置が、ユーザがユーザ設定周期を入力するために、ユーザにより操作される操作部をさらに備える場合、周期決定手段は、コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期を設定し、当該システム設定周期と操作部から入力されるユーザ設定周期とを比較して、ユーザ設定周期がシステム設定周期よりも長い場合には、ユーザ設定周期をデータバッファからデータを読み出す周期に決定し、ユーザ設定周期がシステム設定周期以下である場合には、システム設定周期をデータバッファからデータを読み出す周期に決定することが好ましい。
【００１１】
ユーザ設定周期がシステム設定周期よりも長い場合には、ユーザが設定するユーザ設定周期でグラフがディスプレイに描画され、ユーザ設定周期がシステム設定周期以下である場合には、グラフがシステム設定周期で描画されるので、コンピュータの空きリソースがグラフの描画のために不足することを防止できる。
請求項３に記載のグラフ描画周期決定方法は、コンピュータを備える基板処理装置において、所定のデータの時間変化を示すグラフをディスプレイに描画する周期を決定する方法であって、前記コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期を設定するシステム設定周期設定ステップと、ユーザによる操作部の操作により入力されるユーザ設定周期を取得するユーザ設定周期取得ステップと、前記システム設定周期設定ステップで設定されたシステム設定周期と前記ユーザ設定周期取得ステップで取得されたユーザ設定周期とを比較して、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期よりも長い場合には、前記ユーザ設定周期を前記グラフを描画する周期に決定し、前記ユーザ設定周期が前記システム設定周期以下である場合には、前記システム設定周期を前記グラフを前記ディスプレイに描画する周期に決定する周期決定ステップとを含む。
【００１２】
このグラフ描画周期決定方法によれば、コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期が設定される。また、ユーザによる操作部の操作により入力されるユーザ設定周期が取得される。そして、システム設定周期とユーザ設定周期とが比較されて、ユーザ設定周期がシステム設定周期よりも長い場合には、ユーザ設定周期がグラフを描画する周期に決定され、ユーザ設定周期がシステム設定周期以下である場合には、システム設定周期がグラフをディスプレイに描画する周期に決定される。
【００１３】
そのため、ユーザ設定周期がシステム設定周期よりも長い場合には、グラフの描画の周期がユーザにより設定されたユーザ設定周期とされ、ユーザ設定周期がシステム設定周期以下である場合には、グラフの描画の周期がシステム設定周期にされるので、画像形成装置のコンピュータの空きリソースがグラフの描画のために不足することを防止できる。
請求項４に記載のグラフ描画方法は、コンピュータを備える基板処理装置において、所定のデータの時間変化を示すグラフをディスプレイに描画する方法であって、前記データを一定のデータ取得周期で取得するデータ取得ステップと、前記データ取得ステップで取得された前記データをデータバッファに一時的に記憶させるデータバッファステップと、前記コンピュータのリソースの使用状況に基づいて、前記データバッファから前記データを読み出す周期を決定する周期決定ステップと、前記周期決定ステップで決定された周期で、前記データバッファから前記データを読み出し、前記グラフを前記ディスプレイに描画するグラフ描画ステップとを含む。
【００１４】
このグラフ描画方法によれば、所定のデータが一定のデータ取得周期で取得される。この取得されたデータは、データバッファに一時的に記憶される。データバッファからデータを読み出す周期は、コンピュータのリソースの使用状況に基づいて決定される。そして、その決定された周期でデータバッファからデータが読み出され、データの時間変化を示すグラフがディスプレイに描画される。
【００１５】
データが取得される度にグラフが描画されるのではなく、コンピュータのリソースの使用状況に基づいて決定された周期でグラフが描画されるので、空きリソースの不足を防止することができる。すなわち、コンピュータの空きリソースが少ないときには、グラフの描画の周期が長い周期に設定されることにより、グラフの描画に使用されるリソースを低減することができ、空きリソースを増やすことができるので、空きリソースの不足の発生を防止することができる。
【００１６】
請求項５に記載のように、グラフ描画方法が、コンピュータのリソースの使用状況に応じたシステム設定周期を設定するシステム設定周期設定ステップと、ユーザによる操作部の操作により入力されるユーザ設定周期を取得するユーザ設定周期取得ステップとをさらに含む場合、周期決定ステップでは、システム設定周期設定ステップで設定されたシステム設定周期とユーザ設定周期取得ステップで取得されたユーザ設定周期とが比較されて、ユーザ設定周期がシステム設定周期よりも長い場合には、ユーザ設定周期がデータバッファからデータを読み出す周期に決定され、ユーザ設定周期がシステム設定周期以下である場合には、システム設定周期がデータバッファからデータを読み出す周期に決定されることが好ましい。
【００１７】
ユーザ設定周期がシステム設定周期よりも長い場合には、ユーザが設定するユーザ設定周期でグラフがディスプレイに描画され、ユーザ設定周期がシステム設定周期以下である場合には、グラフがシステム設定周期で描画されるので、コンピュータの空きリソースがグラフの描画のために不足することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の要部の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、図１に示す描画周期調整部におけるグラフ描画周期の決定方法を説明するためのフローチャートである。
【図３】図３は、ＣＰＵ使用率に応じたシステム設定周期の一例を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の要部の構成を示すブロック図である。
基板処理装置１は、半導体装置の製造工場などに設置され、半導体ウエハなどの基板に対する処理のために使用される。基板処理装置１における処理の方式は、とくに限定されず、基板を１枚ずつ処理する枚葉式であってもよいし、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式であってもよい。枚葉式が採用される場合、基板処理装置１は、たとえば、基板を保持するための基板保持機構、基板保持機構に対して１枚の基板を受け渡しするためのロボットなどを備える。バッチ式が採用される場合、基板処理装置１は、たとえば、複数枚の基板を一括して保持する基板保持機構、基板保持機構により保持された基板を一括して収容する処理槽などを備える。基板に対する処理としては、基板を洗浄する洗浄処理、基板の表面上の薄膜を除去するためのエッチング処理、基板を加熱／冷却する熱処理、基板の表面上に膜を形成するための膜形成処理などが例示される。以下の説明においては、基板処理装置１では、処理室内に１枚の基板が収容されて、薬液および純水を用いてその基板を洗浄する枚葉式の洗浄処理が行われるものとする。
【００２０】
基板処理装置１は、コンピュータ２と、ユーザが操作可能な位置に配置される操作パネル３と、ユーザが視認可能な位置に配置される警報ランプ４とを備えている。
コンピュータ２は、ＣＰＵおよびメモリなどをハードウェア構成として備えている。メモリの記憶領域の一部は、データを一時的に記憶しておくためのデータバッファ２１として使用される。
【００２１】
操作パネル３には、ディスプレイ３１や、ディスプレイ３１に表示される画面上でボタンを押下したり数値などを入力したりするための入力デバイス（図示せず）が設けられている。ディスプレイ３１には、後述する各データの時間変化を示すグラフが表示（描画）される。そして、ユーザは、入力デバイスを操作することにより、そのディスプレイ３１へのグラフの描画の周期をユーザ設定周期ＵＴとしてコンピュータ２に入力することができるようになっている。
【００２２】
また、基板処理装置１は、コンピュータ２がプログラムを実行することにより実現される機能処理部を備えている。この機能処理部には、データ収集部２２、ガス漏れ監視部２３、緊急停止制御部２４、薬液流量監視部２５、アラーム出力部２６、ＣＰＵ使用率演算部２７、描画周期調整部２８およびグラフ描画処理部２９が含まれる。
データ収集部２２は、基板処理装置１の各部に配置されたセンサ類から、基板に供給される薬液の流量および温度、処理室内からの排気流量などのデータを一定のデータ収集周期ＤＴ（たとえば、１００ｍｓｅｃ）で収集する。そして、データ収集部２２は、その収集したデータをデータバッファ２１に格納するとともに、排気流量のデータをガス漏れ監視部２３に入力し、薬液流量のデータを薬液流量監視部２５に入力する。
【００２３】
ガス漏れ監視部２３は、データ収集部２２から入力される排気流量のデータを常に監視している。そして、ガス漏れ監視部２３は、処理室からの排気の流量が予め定める流量以下に低下すると、処理室または処理室に接続された排気配管系からのガス漏れが生じていると判断し、緊急停止制御部２４に緊急停止指令信号を入力する。
緊急停止制御部２４は、ガス漏れ監視部２３からの緊急停止指令信号の入力に応答して、基板処理装置１の各部の動作を緊急に停止させる。
【００２４】
薬液流量監視部２５は、データ収集部２２から入力される薬液流量のデータを常に監視している。そして、薬液流量監視部２５は、基板に供給される薬液の流量が予め定める流量以下に低下すると、薬液の供給系に異常が発生していると判断し、アラーム出力部２６にアラーム出力信号を入力する。
アラーム出力部２６は、薬液流量監視部２５からのアラーム出力信号の入力に応答して、基板への薬液の供給を停止するとともに、警報ランプ４を点灯させる。
【００２５】
ＣＰＵ使用率演算部２７は、コンピュータ２のリソースの使用状況の一例であるＣＰＵ使用率を演算し、その演算したＣＰＵ使用率を描画周期調整部２８に入力する。
描画周期調整部２８には、ＣＰＵ使用率演算部２７からのＣＰＵ使用率に加えて、ユーザが操作パネル３を操作して入力するユーザ設定周期ＵＴがメモリを介して入力されるようになっている。描画周期調整部２８は、ＣＰＵ使用率およびユーザ設定周期ＵＴに基づいて、操作パネル３のディスプレイ３１へのグラフの描画の周期（グラフ描画周期）ＧＴを決定する。このグラフ描画周期ＧＴの具体的な決定方法については、後に詳述する。そして、描画周期調整部２８は、グラフ描画周期ＧＴごとに、データバッファ２１に蓄積されているデータを読み出し、その読み出したデータをグラフ描画処理部２９に入力する。すなわち、データバッファ２１には、グラフ描画周期ＧＴの１周期の間にデータ収集部２２に収集された各データが蓄積されており、描画周期調整部２８は、そのデータバッファ２１に蓄積された１周期分の各データをグラフ描画処理部２９に入力する。
【００２６】
なお、データバッファ２１に蓄積可能なデータ量には限界があるので、グラフ描画周期ＧＴは、グラフ描画周期ＧＴの１周期の間にデータ収集部２２に収集されるデータ量がデータバッファ２１に蓄積可能な最大のデータ量を超えるような長い周期には設定されない。したがって、ユーザ設定周期ＵＴがそのような長い周期に設定された場合、その設定は無効にされる。
【００２７】
グラフ描画処理部２９は、描画周期調整部２８からデータが入力されると、その入力されたデータと過去に入力されたデータとを比較して、最適なグラフ軸の描画範囲（スケール）を決定し、その最適なスケールでデータの時間変化を示すグラフをディスプレイ３１に描画する。なお、グラフの表示形態としては、ユーザが操作パネル３の入力デバイスを操作して、ディスプレイ３１の画面を切り替えることにより、各データのグラフが順に１つずつ表示されてもよいし、すべてのデータのグラフがディスプレイ３１の１画面にまとめて表示されてもよい。
【００２８】
図２は、描画周期調整部２８におけるグラフ描画周期の決定方法を示すフローチャートである。図３は、ＣＰＵ使用率に応じたシステム設定周期の一例を示す表である。
基板処理装置１の電源がオンされると、データ収集周期ＤＴが取得される（ステップＳ１）。
また、操作パネル３から入力されるユーザ設定周期ＵＴが取得される（ステップＳ２）。なお、このユーザ設定周期ＵＴの取得とは、操作パネル３から入力されてメモリに保存されているユーザ設定周期ＵＴがメモリから読み出されることを意味する。
【００２９】
さらに、ＣＰＵ使用率演算部２７からＣＰＵ使用率が取得される（ステップＳ３）。
そして、ＣＰＵ使用率に応じたシステム設定周期ＳＴが演算される（ステップＳ４）。
具体的には、図３に示すように、ＣＰＵ使用率が０％以上２０％未満である場合には、データ収集周期ＤＴを１０倍することによりシステム設定周期ＳＴ＝ＤＴ×１０が算出される。ＣＰＵ使用率が２０％以上３０％未満である場合には、データ収集周期ＤＴを２０倍することにより、システム設定周期ＳＴ＝ＤＴ×２０が算出される。ＣＰＵ使用率が３０％以上５０％未満である場合には、データ収集周期ＤＴを５０倍することによりシステム設定周期ＳＴ＝ＤＴ×５０が算出される。ＣＰＵ使用率が５０％以上である場合には、データ収集周期ＤＴを１００倍することによりシステム設定周期ＳＴ＝ＤＴ×１００が算出される。
【００３０】
たとえば、データ収集周期ＤＴが１００ｍｓｅｃである場合において、ＣＰＵ使用率が０％以上２０％未満である場合には、システム設定周期ＳＴが１ｓｅｃ（＝１０００ｍｓｅｃ）と算出され、ＣＰＵ使用率が２０％以上３０％未満である場合には、システム設定周期ＳＴが２ｓｅｃ（＝２０００ｍｓｅｃ）と算出され、ＣＰＵ使用率が３０％以上５０％未満である場合には、システム設定周期ＳＴが５ｓｅｃ（＝５０００ｍｓｅｃ）と算出され、ＣＰＵ使用率が５０％以上である場合には、システム設定周期ＳＴが１０ｓｅｃ（＝１００００ｍｓｅｃ）と算出される。
【００３１】
つづいて、ユーザ設定周期ＵＴとシステム設定周期ＳＴとが比較され、ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴよりも長いか否かが判断される（ステップＳ５）。
ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴよりも長い場合には（ステップＳ５のＹＥＳ）、ユーザ設定周期ＵＴがグラフ描画周期ＧＴに決定される（ステップＳ６）。
一方、ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴ以下である場合には（ステップＳ５のＮＯ）、システム設定周期ＳＴがグラフ描画周期ＧＴに決定される（ステップＳ７）。
【００３２】
こうしてグラフ描画周期ＧＴが決定されると、負荷監視タイマがリセットされる（ステップＳ８）。そして、負荷監視タイマによる計時が新たに開始される。負荷監視タイマは、たとえば、コンピュータ２のメモリ内に設けられるＲＡＭカウンタとクロックを発生する発振器とにより構成することができる。
負荷監視タイマによる計測時間が予め定める時間（たとえば、６０ｓｅｃ）に達すると、タイマイベントが発生する。タイマイベントが発生すると（ステップＳ９のＹＥＳ）、ユーザ設定周期ＵＴおよびＣＰＵ使用率が再取得され（ステップＳ２，Ｓ３）、グラフ描画周期ＧＴが再決定される（ステップＳ４〜Ｓ７）。グラフ描画周期ＧＴが再決定されると、負荷監視タイマが一旦リセットされた後に再スタートされる。
【００３３】
グラフ描画周期ＧＴの決定からタイマイベントが発生するまでの間は、基板処理装置１の電源がオフされたか否かが繰り返し調べられ（ステップＳ１０）、電源がオフされると、このグラフ描画周期ＧＴの決定のための処理が終了する。
以上のように、基板処理装置１では、データ収集部２２により、薬液流量などのデータが一定のデータ収集周期ＤＴで取得される。この取得されたデータは、データバッファ２１に一時的に記憶される。データバッファ２１からデータを読み出す周期に一致するグラフ描画周期ＧＴは、コンピュータ２のリソースの使用状況の一例であるＣＰＵ使用率に基づいて決定される。そして、その決定されたグラフ描画周期ＧＴでデータバッファ２１からデータが読み出され、データの時間変化を示すグラフが操作パネル３のディスプレイ３１に描画される。
【００３４】
データが取得される度にグラフが描画されるのではなく、コンピュータ２のＣＰＵ使用率に基づいて決定されたグラフ描画周期ＧＴでグラフが描画されるので、空きリソースの不足を防止することができる。すなわち、コンピュータ２の空きリソースが少ないときには、グラフ描画周期ＧＴが長い周期に設定されることにより、グラフの描画に使用されるリソースを低減することができ、空きリソースを増やすことができるので、空きリソースの不足の発生を防止することができる。
【００３５】
具体的には、グラフ描画周期ＧＴの決定に際しては、コンピュータ２のＣＰＵ使用率に応じたシステム設定周期ＳＴが演算される。また、ユーザによる操作パネル３の操作により入力されるユーザ設定周期ＵＴが取得される。そして、システム設定周期ＳＴとユーザ設定周期ＵＴとが比較されて、ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴよりも長い場合には、ユーザ設定周期ＵＴがグラフ描画周期ＧＴに決定され、ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴ以下である場合には、システム設定周期ＳＴがグラフ描画周期ＧＴに決定される。
【００３６】
そのため、ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴよりも長い場合には、グラフ描画周期ＧＴをユーザが所望するユーザ設定周期ＵＴとすることができ、ユーザ設定周期ＵＴがシステム設定周期ＳＴ以下である場合には、グラフ描画周期ＧＴがシステム設定周期ＳＴにされるので、コンピュータ２の空きリソースがグラフの描画のために不足することを防止できる。その結果、データの取得やアラーム出力、緊急停止制御にコンピュータ２のリソースを使用することができ、それらの動作のリアルタイム性を確保することができる。
【００３７】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
たとえば、ＣＰＵ使用率をコンピュータのリソースの使用状況の一例として取り上げたが、リソースの使用状況の他の例として、コンピュータのメモリ（物理メモリ）の使用率、メモリの未使用容量などを挙げることができる。また、ＣＰＵによる処理中のプロセス数も、リソースの使用状況を間接的に表す。
【００３８】
また、システム設定周期がデータ収集周期の整数倍に設定される例を取り上げたが、システム設定周期は、データ収集周期よりも長ければ、データ収集周期の整数倍でなくてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１    基板処理装置
２    コンピュータ
３    操作パネル（操作部）
２１  データバッファ
２２  データ収集部（データ取得手段）
２８  描画周期調整部（周期決定手段）
２９  グラフ描画処理部（グラフ描画手段）
３１  ディスプレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010224974.tif 000005