(57)【要約】【課題】コストを低減した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】圧力発生素子を駆動することで液体を吐出する液体噴射ヘッド１を具備する液体噴射ヘッドユニットＩであって、圧力発生素子と電気的に接続された接続配線を有する第１配線基板４１０と少なくとも２つの第１配線基板４１０を異なる位置で支持する支持部材４００とを具備する液体噴射ヘッドと、複数の前記第１配線基板４１０の前記接続配線に電気的に接続された共通の第２配線基板６００と、前記第２配線基板６００が電気的に接続されるヘッド基板７００と、を具備し、前記第２配線基板６００に、前記ヘッド基板７００に接続される端子部を一方面側に並設する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生素子を駆動することで液体を吐出する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットであって、
圧力発生素子と電気的に接続された接続配線を有する第１配線基板と、少なくとも２つの第１配線基板を異なる位置で支持する支持部材と、を具備する液体噴射ヘッドと、
複数の前記第１配線基板の前記接続配線に電気的に接続された共通の第２配線基板と、
前記第２配線基板が電気的に接続されるヘッド基板と、を具備し、
前記第２配線基板には、前記ヘッド基板に接続される端子部が一方面側に並設されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記第１配線基板の前記第２配線基板に接続される接続配線が設けられた面と、前記第２配線基板の前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた面とが、互いに交差するように配置されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
複数の液体噴射ヘッドを具備すると共に、複数の第２配線基板が、共通の前記ヘッド基板の一方面側に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
前記第２配線基板が、前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた基部と、該基部の端子部が設けられた面とは交差する方向に延設されて、前記第１配線基板の接続配線に接続される少なくとも２つの脚部とを具備することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
前記第２配線基板が、前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた第１基部と、第１の前記第１配線基板に接続されて、前記第１基部の前記端子部が設けられた面とは交差する方向に延設された第１脚部とを有する第１配線部材と、
前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた第２基部と、前記支持部材の異なる位置に設けられた第２の前記第１配線基板に接続されて、前記第２基部の前記端子部が設けられた面とは交差する方向に延設された第２脚部とを有する第２配線部材と、を具備し、
前記第１配線部材の前記第１基部と、前記第２配線基板の前記第２基部とが積層されて構成され、前記第１基部の前記端子部と、前記第２基部の前記端子部とが互いに干渉しない位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項６】
前記第１配線基板が、ＣＯＦ基板からなると共に、前記第２配線基板がフレキシブルプリント基板からなることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項７】
前記液体噴射ヘッドを底面側で保持すると共に、前記ヘッド基板を側面側で保持する保持部材をさらに具備することを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズル開口に連通する圧力発生室とこの圧力発生室に連通する連通部とが形成される流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に接合されて圧電素子を保持するための圧電素子保持部を有する保護基板とを具備したものが知られている。ここで、保護基板上には、圧電素子を駆動するための駆動回路であるＩＣが載置されている。また、駆動回路と圧電素子とは、圧電素子の一方の電極から引き出されたリード電極を介して導電性ワイヤーからなる接続配線によりワイヤーボンディング法により接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、インクジェット式記録ヘッドが装着されると共にインクジェット式記録ヘッドに電気的に接続される第２配線基板が保持されたケース部材を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１４８８１３号公報
【特許文献２】特開２００７−２６９０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、インクジェット式記録ヘッドに接続された複数の第１配線基板を、ケース部材に設けられた共通の第２配線基板に接続するのは煩雑であると共に工数がかかって高コストになってしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニットに限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、コストを低減した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧力発生素子を駆動することで液体を吐出する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットであって、圧力発生素子と電気的に接続された接続配線を有する第１配線基板と、少なくとも２つの第１配線基板を異なる位置で支持する支持部材と、を具備する液体噴射ヘッドと、複数の前記第１配線基板の前記接続配線に電気的に接続された共通の第２配線基板と、前記第２配線基板が電気的に接続されるヘッド基板と、を具備し、前記第２配線基板には、前記ヘッド基板に接続される端子部が一方面側に並設されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、少なくとも２つの第１配線基板を、１つの第２配線基板によってヘッド基板に同時に実装することができ、部品点数を減らしてコストを低減することができると共に、実装工程を減少させてコストを低減することができる。
【０００９】
ここで、前記第１配線基板の前記第２配線基板に接続される接続端子が設けられた面と、前記第２配線基板の前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた面とが、互いに交差するように配置されていることが好ましい。これによれば、複数の液体噴射ヘッドに接続された第２配線基板を同一面方向に配置することができる。
【００１０】
また、複数の液体噴射ヘッドを具備すると共に、複数の第２配線基板が、共通の前記ヘッド基板の一方面側に電気的に接続されていることが好ましい。これによれば、第２配線基板毎にヘッド基板を複数設ける必要がなくなり、部品点数を減少させることができると共に、ヘッド基板と制御手段等との接続箇所を減少させて、コストを低減することができる。また、ヘッド基板の小型化を図ることができ、ヘッドユニットの小型化を図ることができる。
【００１１】
また、前記第２配線基板が、前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた基部と、該基部の端子部が設けられた面とは交差する方向に延設されて、前記第１配線基板の接続配線に接続される少なくとも２つの脚部とを具備することが好ましい。これによれば、少なくとも２つの第２配線基板を１つの第２配線基板でヘッド基板に接続することができる。
【００１２】
また、前記第２配線基板が、前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた第１基部と、第１の前記第１配線基板に接続されて、前記第１基部の前記端子部が設けられた面とは交差する方向に延設された第１脚部とを有する第１配線部材と、前記ヘッド基板に接続される前記端子部が設けられた第２基部と、前記支持部材の異なる位置に設けられた第２の前記第１配線基板に接続されて、前記第２基部の前記端子部が設けられた面とは交差する方向に延設された第２脚部とを有する第２配線部材と、を具備し、前記第１配線部材の前記第１基部と、前記第２配線基板の前記第２基部とが積層されて構成され、前記第１基部の前記端子部と、前記第２基部の前記端子部とが互いに干渉しない位置に配置されていてもよい。これによれば、第１基部と第２基部とが積層されるため、第１基部と第２基部との積層領域の面積を低減することができる。したがって、第２配線基板を小型化して、如いてはヘッドユニットを小型化することができる。
【００１３】
また、前記第１配線基板が、ＣＯＦ基板からなると共に、前記第２配線基板がフレキシブルプリント基板からなることが好ましい。これによれば、ＣＯＦ基板に実装された駆動回路の放熱を支持部材によって行うことができる。
【００１４】
また、前記液体噴射ヘッドを底面側で保持すると共に、前記ヘッド基板を側面側で保持する保持部材をさらに具備することが好ましい。これによれば、複数の液体噴射ヘッドを保持部材によって同時に保持させることができる。
【００１５】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の何れかに記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、小型化及びコストを低減した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態１に係るヘッドユニットの概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドユニットの断面図である。
【図３】実施形態１に係るヘッドユニットの断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】実施形態１に係る第２配線基板を示す斜視図である。
【図８】実施形態１に係る第２配線基板の変形例を示す斜視図である。
【図９】実施形態１に係る第２配線基板の変形例を示す斜視図である。
【図１０】実施形態１に係る第２配線基板の変形例を示す側面図である。
【図１１】一実施形態に係るインクジェット式記録装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドを示す断面図、図３は、図２のＡ−Ａ'断面図である。
【００１８】
図示するように、インクジェット式記録ヘッドユニットＩ（以下、ヘッドユニットＩとも言う）は、複数のインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）と、記録ヘッド１を保持する保持部材５００と、保持部材５００に設けられたヘッド基板７００と記録ヘッド１とを電気的に接続する第２配線基板６００とを具備する。
【００１９】
まず、記録ヘッド１について図４〜図６を参照して詳細に説明する。なお、図４は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図５は、記録ヘッドの平面図であり、図６は、図４のＢ−Ｂ'断面図である。
【００２０】
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
【００２１】
流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された列が２列設けられている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板３０のリザーバー部３１と連通して圧力発生室１２の列毎に共通のインク室となるリザーバー１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。さらに、各連通路１５は、圧力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１を連通部１３側に延設してインク供給路１４と連通部１３との間の空間を区画することで形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の幅方向の断面積より小さい断面積を有するインク供給路１４と、このインク供給路１４に連通すると共にインク供給路１４の幅方向の断面積よりも大きい断面積を有する連通路１５とが複数の隔壁１１により区画されて設けられている。
【００２２】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。本実施形態では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を２列設けたため、１つの記録ヘッド１には、ノズル開口２１の並設されたノズル列が２列設けられている。なお、ノズルプレート２０は、例えばガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
【００２３】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが順次積層形成されて、本実施形態の圧力発生素子である圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、流路形成基板１０側の第１電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２４】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でもペロブスカイト構造の強誘電体材料からなる。圧電体層７０は、ペロブスカイト構造の結晶膜を用いるのが好ましく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。
【００２５】
また、圧電素子３００の個別電極である各第２電極８０には、絶縁体膜５５上まで延設された例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。リード電極９０は、一端部が第２電極８０に接続されていると共に、他端部側が圧電素子３００が並設された列と列との間に延設されている。
【００２６】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、第１電極６０、絶縁体膜５５及びリード電極９０上には、リザーバー１００の少なくとも一部を構成するリザーバー部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバー部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成している。なお、本実施形態では、流路形成基板１０にリザーバー１００となる連通部１３を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、リザーバー部３１のみをリザーバーとしてもよい。また、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）にリザーバー１００と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。
【００２７】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する保持部である圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。なお、本実施形態では、圧電素子３００が並設された列が２列設けられているため、圧電素子保持部３２を圧電素子３００の並設された各列に対応してそれぞれ設けるようにした。すなわち、保護基板３０には、圧電素子保持部３２が並設された圧電素子３００の列が並ぶ列設方向に２つ設けられている。
【００２８】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２９】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。貫通孔３３は、本実施形態では、２つの圧電素子保持部３２の間に設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３０】
圧電素子３００を駆動するための駆動回路２００は、第１配線基板であるＣＯＦ基板４１０の接続配線（図示なし）に実装してある。ここで、ＣＯＦ基板４１０には図示していないが接続配線が設けられており、接続配線の下端部がリード電極９０に接続されるとともにほぼ垂直に立ち上げられて板状を有する支持部材４００の側面に接着されている。すなわち、支持部材４００は両側面が垂直面となっている直方体である。また、ＣＯＦ基板４１０の接続配線は、リード電極９０に接続された端部とは反対側の端部が、ＣＯＦ基板４１０の上端部（流路形成基板１０とは反対側の端部）にノズル開口２１の並設方向に亘って並設されて、詳しくは後述する第２配線基板６００に接続される。ちなみに、第２配線基板６００に接続される接続配線の端部は、本実施形態では、駆動回路２００が実装された面側、すなわち、支持部材４００とは反対側の面に設けられている。
【００３１】
さらに詳言すると、本実施形態に係る記録ヘッド１では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を２列設けたため、圧電素子３００が圧力発生室１２の幅方向（圧電素子３００の幅方向）に並設された列が２列設けられている。すなわち、圧力発生室１２、圧電素子３００及びリード電極９０の２列が相対向して設けられたものである。そして、下部が貫通孔３３に挿入されている支持部材４００の両側面には、それぞれＣＯＦ基板４１０が接着されており、各ＣＯＦ基板４１０は、それぞれの下端部の接続配線が圧電素子３００の各列のリード電極９０の端部及び第１電極６０に接続されるとともにほぼ垂直に立ち上げられている。本実施形態では、支持部材４００の側面のそれぞれに１枚のＣＯＦ基板４１０を設けることで、１つの支持部材４００に合計２枚のＣＯＦ基板４１０が設けられている。
【００３２】
なお、可撓性の配線基板であるＣＯＦ基板４１０は、単体で起立させようとしても撓み易いため、ＣＯＦ基板４１０を支えとなる剛性部材である支持部材４００に接合することで、ＣＯＦ基板４１０の撓みを抑えて起立させることができるが、もちろん、支持部材４００を設けずに、ＣＯＦ基板４１０のみを流路形成基板１０の圧電素子３００が設けられた面に対して直交する方向に直立するように設けるようにしてもよい。また、ＣＯＦ基板４１０を支持部材４００の側面に接着するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ＣＯＦ基板４１０が支持部材４００に倒れ掛かるように保持されてもよい。
【００３３】
また、図６に示すように、支持部材４００の下端面とＣＯＦ基板４１０の下端部との間には、テフロン（登録商標）等で好適に形成し得る緩衝部材４３０が配設してある。また、ＣＯＦ基板４１０の下端部とリード電極９０とは、導電性粒子（例えば、異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などの異方性導電材に含有されるもの）で電気的に接続されている。すなわち、支持部材４００を圧下することでその下端面を介してＣＯＦ基板４１０をリード電極９０側に押圧する。このことにより、導電性粒子を潰してＣＯＦ基板４１０とリード電極９０との所定の電気的な接続を行う。この際、緩衝部材４３０はＣＯＦ基板４１０に対する押圧力を均一化するように機能する。ここで、支持部材４００の下端面とＣＯＦ基板４１０の下端部、又は緩衝部材４３０と当接する支持部材４００の下端面を、前記導電性粒子の粒子径の５倍以内の面精度とするのが好ましい。このことにより、緩衝部材４３０の存在とも相俟ってＣＯＦ基板４１０の下端部を介して導電性粒子に作用させる押圧力を均一化することができ、導電性粒子を確実に潰して良好な電気的接続が確保されるからである。もちろん、ＣＯＦ基板４１０の下端部（接続配線）とリード電極９０との接続は、導電性粒子に限定されず、例えば、半田等の金属材料を溶融させて両者を接続するようにしてもよい。
【００３４】
また、支持部材４００は、記録ヘッド１をその最高使用保証温度で使用した場合でも駆動回路２００の温度がそのジャンクション温度未満になるように放熱させ得る熱伝導率を有するものとするのが望ましい。このことにより最も過酷な負荷条件で駆動回路を動作させても十分な放熱効果を発揮させることで駆動回路の長期安定的な駆動に資することができる。このため、本実施形態における支持部材４００はＳＵＳを材料として形成してある。この場合には、駆動回路２００が発生する熱を支持部材４００が流路形成基板１０を介してその内部を流通するインクに吸収させることができる結果、駆動回路２００が発生する熱を有効に放熱させることができる。同様の作用・効果は、ＳＵＳ等の金属を材料としない場合でも流路形成基板１０の表面と駆動回路２００との距離を十分小さくすることによっても得ることができる。すなわち、駆動回路２００と流路形成基板１０の表面との距離を、記録ヘッド１をその最高使用保証温度で使用した場合でも駆動回路２００の温度がそのジャンクション温度未満になるように放熱させ得る距離とすれば良い。
【００３５】
なお、このような支持部材４００としては、詳しくは後述する保持部材であるヘッドケース１１０と線膨張係数が同等の材料で形成するのが好ましく、例えば、ステンレス鋼やシリコンなどが挙げられる。
【００３６】
さらに、図６に示すように、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバー部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバー１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバー１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３７】
さらに、コンプライアンス基板４０上には、保持部材であるヘッドケース１１０が設けられている。ヘッドケース１１０には、インク導入口４４に連通してカートリッジ等の貯留手段からのインクをリザーバー１００に供給するインク導入路１１１が設けられている（図４参照）。また、ヘッドケース１１０には、開口部４３に対向する領域に凹部１１２（図６参照）が形成され、開口部４３のたわみ変形が適宜行われるようになっている。さらに、ヘッドケース１１０には、保護基板３０に設けられた貫通孔３３と連通する配線部材保持孔１１３が設けられており、ＣＯＦ基板４１０及び支持部材４００は、配線部材保持孔１１３内に挿通された状態で、ＣＯＦ基板４１０の下端部がリード電極９０と接続されている。そして、ヘッドケース１１０の配線部材保持孔１１３に挿通されたＣＯＦ基板４１０及び支持部材４００は、ヘッドケース１１０と接着剤１２０を介して接着されている。ここで、ヘッドケース１１０とＣＯＦ基板４１０とを接着剤１２０を介して接着してもよいが、ヘッドケース１１０と支持部材４００とを直接接着した方が、ヘッドケース１１０に支持部材４００を確実に保持させることができる。すなわち、ヘッドケース１１０と支持部材４００との剛体同士を接着することで、ＣＯＦ基板４１０とリード電極９０とが確実に接続された状態を保持させることができ、ＣＯＦ基板４１０とリード電極９０との接続が剥がれて断線する等の不具合を防止することができる。したがって、本実施形態では、ＣＯＦ基板４１０にリード電極９０の並設方向に沿って、所定の間隔で厚さ方向に貫通する保持孔４１１を設け、この保持孔４１１を介してヘッドケース１１０と支持部材４００とを接着剤１２０を介して接着するようにした。また、ヘッドケース１１０と支持部材４００とを直接接着する際には、ヘッドケース１１０と支持部材４００とを線膨張係数の同等な材料で形成するのが好ましい。本実施形態では、ヘッドケース１１０と支持部材４００とをステンレス鋼で形成することで、記録ヘッド１が熱により膨張・収縮した際に、ヘッドケース１１０と支持部材４００との線膨張係数の違いによる反りや破壊を防止することができる。ちなみに、ヘッドケース１１０と支持部材４００とを、線膨張係数が違う材料を用いると、支持部材４００が流路形成基板１０を押圧してしまい、流路形成基板１０にクラックが発生する虞がある。さらには、ヘッドケース１１０と支持部材４００とは、これらの部材が固定される保護基板３０とも略同一の線膨張係数である材料がより望ましい。
【００３８】
このような記録ヘッド１では、ノズル開口２１が開口するインク吐出面とは反対側にＣＯＦ基板４１０が突出して設けられていることになる。
【００３９】
そして、本実施形態のヘッドユニットＩは、図１〜３に示すように、記録ヘッド１のＣＯＦ基板４１０側に保持部材５００を有する。
【００４０】
保持部材５００は、ベース部材５１０と、供給針５３０が複数配設された供給針ホルダー５４０とを具備する。
【００４１】
ベース部材５１０は、底面側に配線基板挿通孔５１１が設けられており、配線基板挿通孔５１１が開口する底面に複数の記録ヘッド１が保持されている。ベース部材５１０は、ノズル列の列設方向に複数の記録ヘッド１を保持する。本実施形態では、ベース部材５１０は５個の記録ヘッド１を保持している。
【００４２】
また、配線基板挿通孔５１１は、記録ヘッド１が通り抜けることなく、ＣＯＦ基板４１０及び支持部材４００を挿入可能な大きさを有する。そして、ベース部材５１０の配線基板挿通孔５１１が開口する底面は、記録ヘッド１のヘッドケース１１０上に接着剤を介して接合されている。なお、配線基板挿通孔５１１は、各記録ヘッド１毎に独立していてもよく、また、複数の記録ヘッド１に亘って連続して設けられていてもよい。ただし、ベース部材５１０には、複数の記録ヘッド１が保持されるため、隣り合う記録ヘッド１の間からインクが内部に侵入しないように、配線基板挿通孔５１１には隣り合う記録ヘッド１の間を塞ぐ梁部５１２が設けられている。配線基板挿通孔５１１を複数の記録ヘッド１毎に独立させるには、この梁部５１２を配線基板挿通孔５１１と同じ深さで形成すればよく、配線基板挿通孔５１１を複数の記録ヘッド１に共通して連通させるには、梁部５１２を記録ヘッド１側のみに設け、梁部５１２の上方に連通する空間を画成すればよい。
【００４３】
また、ベース部材５１０は、一側面（供給針ホルダーが固定された面とは交差する面）には、配線基板挿通孔５１１の挿通方向と同一方向（ＣＯＦ基板４１０の直立方向）に立設された壁部５１３が設けられている。この壁部５１３は、複数の記録ヘッド１に亘って、すなわち、複数の記録ヘッド１の並設方向が面方向となるように設けられている。そして、壁部５１３の外側には、ヘッド基板７００が固定されている。
【００４４】
ベース部材５１０に保持されたヘッド基板７００は、各種駆動信号用の電子部品が実装されており、記録ヘッド１の端部に接続された第２配線基板６００を介して記録ヘッド１に駆動信号を供給するものである。また、ヘッド基板７００には、図示しないコネクタが設けられており、このコネクタを介してヘッド基板７００には、制御装置からの制御ケーブル等の外部配線が電気的に接続される。
【００４５】
また、図２に示すように、壁部５１３の供給針ホルダー５４０が固定される面側には、供給針ホルダー５４０が当接される面側に開口する鉤状の係合爪５１４と、係合爪５１４に対向する位置に係合爪５１４側に向かって突出する突出部５１５とが設けられている。また、ベース部材５１０の壁部５１３とは反対側の端部近傍には、厚さ方向に貫通する供給針ホルダー固定孔５１６が設けられている。そして、係合爪５１４と突出部５１５との間に供給針ホルダー５４０の一端部側を係合させて、供給針ホルダー５４０の他端部を供給針ホルダー固定孔５１６を挿通させた固定ねじ５１７によって固定することで、供給針ホルダー５４０はベース部材５１０に固定される。
【００４６】
ここで、図３に示すように、供給針ホルダー５４０は、ベース部材５１０に固定される面とは反対側、すなわち、図中上面に、インクを貯留した貯留手段であるインクカートリッジが装着されるカートリッジ装着部５１８を有する。
【００４７】
また、供給針ホルダー５４０の底面には、一端がカートリッジ装着部５１８に開口し、他端がベース部材５１０側に開口する複数の第１供給路５１９がそれぞれ形成された管状の第１流路形成部５２０が突設されている。
【００４８】
さらに、図２に示すように、供給針ホルダー５４０の一端部側には、先端を上に向けて突設された被係合爪５４１が設けられている。この被係合爪５４１がベース部材５１０の係合爪５１４と突出部５１５との間に係合することによって、供給針ホルダー５４０の一端部はベース部材５１０に固定される。また、供給針ホルダー５４０の被係合爪５４１とは反対側の端部には、ベース部材５１０の供給針ホルダー固定孔５１６に挿入されると共に固定ねじ５１７が螺合される固定部５４２が設けられており、供給針ホルダー５４０は、ベース部材５１０の係合爪５１４と突出部５１５との間に被係合爪５４１を係合させた状態で、ベース部材５１０の供給針ホルダー固定孔５１６に固定部５４２を挿入することで位置決めされる。そして、ベース部材５１０の供給針ホルダー固定孔５１６に供給針ホルダー５４０とは反対側から固定ねじ５１７を挿入し、固定ねじ５１７を供給針ホルダー５４０の固定部５４２に螺合することで、供給針ホルダー５４０はベース部材５１０に固定される。
【００４９】
また、図３に示すように、供給針ホルダー５４０の上面側、すなわち、カートリッジ装着部５１８の第１供給路５１９の開口部分には、インクカートリッジに挿入される複数の供給針５３０が、インク内の気泡や異物を除去するためのフィルタ５３１を介して固定されている。
【００５０】
これらの各供給針５３０は、各第１供給路５１９に連通する貫通孔５３２をそれぞれ有する。そして、供給針５３０がインクカートリッジに挿入されることで、インクカートリッジ内のインクは供給針５３０の貫通孔５３２を介して供給針ホルダー５４０の第１供給路５１９に供給される。
【００５１】
一方、ベース部材５１０の配線基板挿通孔５１１内には、一端が記録ヘッド１のインク導入路１１１に連通すると共に、他端が各第１供給路５１９に連通する第２供給路５２１が設けられた管状の第２流路形成部５２２が設けられている。すなわち、供給針５３０の貫通孔５３２から供給されたインクは、供給針ホルダー５４０の第１供給路５１９と、保持部材５００の第２供給路５２１とを介して記録ヘッド１に供給される。なお、特に図示していないが、各部材の流路を接続する領域、すなわち、供給針ホルダー５４０と第１保持部材５００との間などには、エラストマーやゴムなどの環状のパッキンが設けられている。このパッキンによって第１供給路５１９及び第２供給路５２１を通過するインクが外部に漏出することなくこれらを連通させている。
【００５２】
また、図３に示すように、ベース部材５１０の配線基板挿通孔５１１には、上述のように記録ヘッド１のＣＯＦ基板４１０及び支持部材４００が挿通されている。そして、ベース部材５１０配線基板挿通孔５１１内には、第２配線基板６００が配置されている。
【００５３】
第２配線基板６００は、例えば、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の可撓性を有する配線基板からなり、上述した図４及び図６に示すように、記録ヘッド１の２つのＣＯＦ基板４１０に１つ接続されている。なお、図１及び図３に示すように、本実施形態のヘッドユニットＩには、５つの記録ヘッド１が設けられているため、記録ヘッド１毎に設けられた第２配線基板６００は、５つ設けられていることになる。
【００５４】
具体的には、図７（ｂ）に示すように、第２配線基板６００は、一方向に延設された基部６０１と、基部６０１の一端部側に設けられて基部６０１の延設方向とは交差する方向に延設された２つの脚部６０２とを具備する。
【００５５】
基部６０１の脚部６０２が設けられた一端部とは反対側の他端部側には、ヘッド基板７００と接続される複数の入力端子部の群６０３が設けられている。
【００５６】
また、２つの脚部６０２は、基部６０１の面方向と同一面方向に設けられた２つの脚部６０２を、同一方向に互いに相対向するように屈曲して設けられたものである。各脚部６０２の下端部（図７の下）側の互いに相対向する面には、それぞれインクジェット式記録ヘッド１のＣＯＦ基板４１０の接続配線に接続される複数の出力端子部の群６０４が設けられている。これらの出力端子部の２つの群６０４は、基部６０１の入力端子部の群６０３に脚部６０２及び基部６０１を通る配線（図示なし）を介して電気的に導通している。すなわち、第２配線基板６００には、端子部として、入力端子部と出力端子部とが設けられていることになる。
【００５７】
このような第２配線基板６００は、２つの脚部６０２のそれぞれの出力端子部の群６０４が、各インクジェット式記録ヘッド１の２枚のＣＯＦ基板４１０の接続配線に接続される。そして、２枚のＣＯＦ基板４１０は、１枚の第２配線基板６００によって集約されて、ヘッド基板７００に接続されている。
【００５８】
すなわち、１枚の第２配線基板６００によって、インクジェット式記録ヘッド１の２枚のＣＯＦ基板４１０をヘッド基板７００に同時に接続することができる。特に、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、２枚のＣＯＦ基板４１０が支持部材４００の異なる位置である両側面に設けられているため、ＣＯＦ基板４１０の第２配線基板６００に接続される接続配線（端子部）は、支持部材４００の両側面にそれぞれ１列ずつ設けられている（図示なし）。このような２列の接続配線の端子部を、同時にヘッド基板７００を接続するのは困難であるが、本実施形態のように、屈曲した脚部６０２を有する第２配線基板６００を用いることで、２枚の異なる位置に設けられたＣＯＦ基板４１０を第２配線基板６００を介してヘッド基板７００の一方面に同時に接続することができる。すなわち、２枚のＣＯＦ基板４１０を第２配線基板６００の一度の接続でヘッド基板７００に同時に接続することができる。したがって、第２配線基板６００をＣＯＦ基板４１０毎に設ける必要がなく、部品点数を減らすことができると共に、接続工程を減らすことができ、コストを低減することができる。
【００５９】
また、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッド１が並設されており、且つインクジェット式記録ヘッド１の並設方向に向かって、ＣＯＦ基板４１０が並設されている。したがって、保持部材５００のＣＯＦ基板４１０の並設方向が面方向となる側面に、ヘッド基板７００を配置することで、同一面に複数の第２配線基板６００を接続することができる。すなわち、ＣＯＦ基板４１０の第２配線基板６００に接続された接続配線が設けられた面と、第２配線基板６００のヘッド基板７００に接続される入力端子部の群６０３が設けられた面とは互いに交差するように配置されている。このような配置であっても、上述した第２配線基板６００を用いることで、ＣＯＦ基板４１０とヘッド基板７００とを容易に接続することができる。
【００６０】
なお、ヘッド基板７００は、第２配線基板６００毎に独立して設けられていても、複数の第２配線基板６００に共通して設けられていてもよいが、ヘッド基板７００を複数の第２配線基板６００に共通させることで、部品点数を減らすことができると共に、ヘッド基板７００と制御手段等との接続箇所を減らすことができ、ヘッド基板７００の小型化を図ることができ、如いてはヘッドユニットＩの小型化を図ることができる。
【００６１】
また、このような第２配線基板６００は、フィルム状の配線部材を屈曲することで容易に形成することができる。具体的には、まず、図７（ａ）に示すように、基部６０１及び２つの脚部６０２が同一面内にＴ字状となるように形成されたフィルム状の配線部材を用意する。次いで、図７（ｂ）に示すように、２つの脚部６０２を基部６０１の入力端子部の群６０３が設けられた面とは交差する方向に屈曲する。このとき、２つの脚部６０２を同一方向に屈曲する。これにより、基部６０１に対してＬ字状に屈曲された脚部６０２が２つ設けられた第２配線基板６００を容易に形成することができる。
【００６２】
ちなみに、このように脚部６０２のみを屈曲した第２配線基板６００は、配線（入力端子部の群６０３及び出力端子部の群６０４）を一方面側のみに設けておくと、２つの脚部６０２が互いに相対向する面に出力端子部の群６０４を配置することができるものの、基部６０１の脚部６０２に向かう面側に入力端子部の群６０３が配置されてしまう。したがって、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、フィルム状の配線部材には、予め入力端子部の群６０３と出力端子部の群６０４とを異なる面に設け、これらをコンタクトホール等で接続すればよい。
【００６３】
もちろん、２つの脚部６０２が互いに相対向する面に出力端子部の群６０４を配置し、基部６０１の脚部６０２に向かう面側に入力端子部の群６０３を配置した場合には、ヘッド基板７００の向きを調整してもよい。
【００６４】
また、出力端子部の群６０４を２つの脚部６０２が互いに相対向する面とは反対側、すなわち、外側に設けるようにしてもよい。この場合には、ＣＯＦ基板４１０と第２配線基板６００との接続を反転させればよい。
【００６５】
なお、第２配線基板６００は上述したものに限定されるものではない。例えば、第２配線基板６００Ａとして、図９に示すように、基部６０１Ａが脚部６０２を中心として折り返されたものを用いてもよい。具体的には、まず、図８（ａ）に示すように、入力端子部の群６０３と出力端子部の群６０４とが同一面側に設けられたＴ字状のフィルム状の配線部材を用意する。次いで、図８（ｂ）に示すように、基部６０１Ａを、脚部６０２を中心として折り返す。そして、図９に示すように、脚部６０２を屈曲させることで第２配線基板６００Ａを形成することができる。このように形成された第２配線基板６００Ａは、両面に配線を設けることなく、図８（ａ）に示すように、一方の面のみに配線（入力端子部及び出力端子部の群６０３、６０４）を設けても、最終的には図９に示すように、２つの脚部６０２が互いに相対向する面に出力端子部の群６０４が配置され、且つ基部６０１Ａの脚部６０２に向かう面とは反対側の面に入力端子部の群６０３が配置される。したがって、第２配線基板６００Ａは、両面に配線が設けられた第２配線基板６００に比べて、コストを低減することができると共に、ヘッド基板７００やＣＯＦ基板４１０に外側から視認可能な向きで接続することができる。
【００６６】
さらに、第２配線基板６００は、１枚のフィルム状の配線部材に限定されず、複数のフィルム状の配線部材を積層して形成してもよい。このような例を図１０に示す。図１０に示すように、第２配線基板６００Ｂは、Ｌ字状を有する第１配線部材６１０と、Ｌ字状を有する第２配線部材６２０とを具備し、第１配線部材６１０と第２配線部材６２０とが積層されて構成されている。
【００６７】
具体的には、第１配線部材６１０は、ヘッド基板７００に接続される入力端子部の群６１３が設けられた第１基部６１１と、支持部材４００の一方の側面に設けられたＣＯＦ基板４１０に接続されて、第１基部６１１の入力端子部の群６１３が設けられた面とは交差する方向に延設された第１脚部６１２とを具備する。
【００６８】
また、第２配線部材６２０は、ヘッド基板７００に接続される入力端子部の群６２３が設けられた第２基部６２１と、支持部材４００の他方の側面に設けられたＣＯＦ基板４１０に接続されて、第２基部６２１の入力端子部の群６２３が設けられた面とは交差する方向に延設された第２脚部６２２とを具備する。
【００６９】
そして、第１配線部材６１０の第１基部６１１と、第２配線部材６２０の第２基部６２１とが積層されることで、第２配線基板６００Ｂが構成されている。なお、これら第１基部６１１の入力端子部の群６１３と、第２基部６２１の入力端子部の群６２３とは互いに干渉しない位置に配置されている。
【００７０】
具体的には、第２配線基板６００Ｂは、図１０（ａ）〜図１０（ｂ）に示す工程により形成されている。すなわち、図１０（ａ）に示すように、同一面内でＬ字状を有するフィルム状の配線部材と、同一面内で逆方向に屈曲した逆Ｌ字状を有するフィルム状の配線部材とを用意する。そして、これらの直線部分（第１基部６１１及び第２基部６２１）を重ね合わせることで、第１基部６１１及び第２基部６２１とで構成される基部６０１Ｂと、第１脚部６１２及び第２脚部６２２とで構成される脚部６０２Ｂとを有するＴ字状のフィルム材料からなる第２配線基板６００Ｂを形成する。その後は、上述した図７（ｂ）と同様に、脚部６０２Ｂ、すなわち、第１脚部６１２と第２脚部６２２とを屈曲することで、第２配線基板６００Ｂが形成される。ちなみに、図１０に示す第２配線基板６００Ｂは、第１の第１配線基板及び第２の第１配線基板として、支持部材４００に支持された２つのＣＯＦ基板４１０に接続される。
【００７１】
このような第２配線基板６００Ｂは、第１基部６１１と第２基部６２１とが積層されて形成されているため、第１基部６１１に設けられた配線と第２基部６２１に設けられた配線とが積層状態で配置される。したがって、第１基部６１１及び第２基部６２１の面方向の幅を狭くすることができ、第２配線基板６００Ｂの小型化、如いてはヘッドユニットＩの小型化を図ることができる。
【００７２】
なお、ＣＯＦ基板４１０とこれらの第２配線基板６００（以下、上述した第２配線基板６００Ａ及び６００Ｂも含むものとして記載してある）との接続方法は、特に限定されず、例えば、半田等の金属を溶融させることによって接続してもよく、また、異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などの異方性導電材を用いるようにしてもよい。
【００７３】
また、保持部材５００には、ヘッド基板７００が保持された面側の側面に、各第２配線基板６００に対応して複数のスリット５２３が設けられており、各記録ヘッド１の第２配線基板６００は、このスリット５２３を介して保持部材５００の外周面側に配置されている。そして、スリット５２３を介して外部に延設された第２配線基板６００の基部６０１は、保持部材５００の壁部５１３に沿って屈曲されて、その入力端子部の群６０３がヘッド基板７００と電気的に接続されている。ヘッド基板７００と第２配線基板６００との接続方法は、上述したＣＯＦ基板４１０と第２配線基板６００との接続と同様に、半田等の金属を溶融させる方法や、異方性導電材を用いた方法などが挙げられる。
【００７４】
このような構成のヘッドユニットＩでは、インクカートリッジからのインクを貫通孔５３２、第１供給路５１９及び第２供給路５２１とインク導入路１１１及びインク導入口４４とを介してリザーバー１００内に取り込み、リザーバー１００からノズル開口２１に至るまでの流路内をインクで満たした後、ヘッド基板７００から第２配線基板６００及びＣＯＦ基板４１０を介して供給された記録信号に従って、各圧力発生室１２に対応する各圧電素子３００に電圧を印加して圧電素子３００と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まり各ノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００７５】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、第２配線基板６００〜６００Ｂとして、フレキシブルプリント基板を例示したが、第２配線基板６００〜６００Ｂは、屈曲される領域が可撓性を有していればよく、例えば、リジット−フレキシブル基板を用いるようにしてもよい。すなわち、リジット−フレキシブル基板としては、例えば、ヘッド基板７００側とＣＯＦ基板４１０側とをリジット基板とし、２つのリジット基板同士をフレキシブル基板で接続したものが挙げられる。ただし、上述した実施形態１のように、第２配線基板６００〜６００Ｂとして、フレキシブルプリント基板を用いた方が、煩雑な組み立てや接続が不要となり、コストを低減することができることは言うまでもない。
【００７６】
また、例えば、上述した実施形態１では、支持部材４００の両側面にそれぞれＣＯＦ基板４１０を設けるようにしたが、各側面に２つ以上のＣＯＦ基板４１０を設けるようにしてもよい。
【００７７】
また、上述した実施形態１では、支持部材４００の両側面にそれぞれ１枚ずつＣＯＦ基板４１０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、両側面のＣＯＦ基板４１０として連続した１枚のＣＯＦ基板を用いるようにしてもよい。また、駆動回路２００を異なる場所に設け、ＣＯＦではなく、回路を搭載しない第１配線基板としてもよい。
【００７８】
さらに、上述した実施形態１では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を２列設けたものであるが、この場合の列数には特別な制限はない。一列であっても、３列以上であっても構わない。複数列の場合には少なくとも２列一組を相対向させて設ければよい。
【００７９】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生素子として、薄膜型の圧電素子３００を有するアクチュエーター装置を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエーター装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエーター装置などを使用することができる。また、圧力発生素子として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００８０】
なお、上述した実施形態のヘッドユニットＩは、インクジェット式記録装置に搭載される。図１１は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図示するように、上記実施形態１のヘッドユニットＩは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニットＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００８１】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００８２】
また、上述したインクジェット式記録装置ＩＩでは、ヘッドユニットＩがキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニットＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００８３】
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置ＩＩを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【００８４】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置、  １  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  １５  連通路、２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３２  圧電素子保持部、  ３３  貫通孔、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９０  リード電極、  １００  リザーバー、  １１０  ヘッドケース（保持部材）、  １１３  配線部材保持孔、  １２０  接着剤、  ２００  駆動回路、  ３００  圧電素子（圧力発生素子）、  ４００  支持部材、  ４１０  ＣＯＦ基板（第１配線基板）、  ４３０  緩衝部材、  ５００  保持部材、  ５１０  ベース部材、  ５３０  供給針、  ５４０  供給針ホルダー、  ６００、６００Ａ、６００Ｂ  第２配線基板、  ７００  ヘッド基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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