Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】筐体の接着方法において、シール剤に接着と封止の両方の機能をもつ電子制御装置を提供する。【解決手段】電子部品５が実装された回路基板４と、回路基板４に実装された外部に電気的に接続するためのコネクタ１，回路基板４を取付けるベース３，ベース３を取付けるカバー２をシール剤７ａ，７ｂで接着し、筐体（ベース３，カバー２）内の密封構造を備えた電子制御装置において、端子ピン６が貫通されたコネクタ１貫通壁の内壁面と、外部に接続される外部との間に、端子ピン６方向に対して垂直に端子ピン６全面が露出するようにコネクタ１凹部を設け、さらにコネクタ１とカバー２をシール剤７ｂで接着する部位を同じ位置にしてシール剤７ｂを塗布し充満させる。そして、コネクタ１とカバー２の接着と、コネクタ１と端子ピン６の隙間を同じシール剤７ｂで同時に接着させる。【選択図】  図１
2010186563.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベースに搭載された回路基板と外部とを端子ピンを介して電気的に接続するためのコネクタと、
前記回路基板をカバーするカバーと、を接着剤で接着する電子制御装置において、
前記コネクタには、前記カバーとコネクタとの接着部位に、片側又は両側開口の空隙が設けられ、前記空隙は、前記端子ピンと交わるように形成されることを特徴とする電子制御装置。
【請求項２】
前記空隙にシール剤を充填させることを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項３】
前記カバーに、前記空隙と勘合する凸部を形成することを特徴とする請求項１，２記載の電子制御装置。
【請求項４】
前記シール剤と前記接着剤とが同じ材料であることを特徴とする請求項２記載の電子制御装置。
【請求項５】
前記シール剤と前記接着剤とが異なる材料であることを特徴とする請求項２記載の電子制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を搭載した電子制御装置に係り、特に車両のエンジンを制御するための電子制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品が実装された回路基板と、回路基板に実装された外部に電気的に接続するためのコネクタと、それらを収容する筐体の電子制御装置として、特許文献１に示すコネクタの端子ピンが貫通された貫通壁の内壁面に、貫通壁と端子ピンとの間を封止するためのシール剤を貯留可能な貯留部が設けられており、密封性を確保しているシール構造であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−８７８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、ケース，カバー、及びコネクタを組立て、接着する工数を減らすことである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前述の課題を解決するために、ベースと、ベースに搭載された回路基板と外部とを端子ピンを介して電気的に接続するためのコネクタと、回路基板をカバーするカバーと、を接着剤で接着する電子制御装置において、コネクタには、カバーとコネクタとの接着部位に、片側又は両側開口の空隙が設けられ、該空隙は、コネクタの端子ピンと交わるように形成されることを特徴とする電子制御装置を提案する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ケース，カバー、及びコネクタを組立て、接着する工数を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施例１の電子制御装置を示す断面図。
【図２】実施例１の電子制御装置にシール剤を除いた断面図。
【図３】実施例１の電子制御装置をコネクタの凹部を示す斜視図。
【図４】実施例３の電子制御装置を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本実施例における電子制御装置の断面図である。電子制御装置は電子部品５が実装された回路基板４と、回路基板４に実装された外部に電気的に接続するためのコネクタ１と、回路基板４を搭載するベース３と、ベース３を取付けるカバー２で筐体は構成されており、ベース３とカバー２、及びベース３とコネクタ１とをシール剤７ａ，７ｂで接着する。
【００１０】
コネクタ１には、カバーとコネクタとの接着部位に片側開口の空隙が凹部としてもうけられている。そして、端子ピンは、この空隙を通過して回路基板に接続される。さらに、コネクタ１凹部にシール剤７ｂを流し込むことにより、カバーとコネクタとを接着することができる。コネクタ１凹部の内部では、端子ピン６が露出しており、シール剤７ｂを充満させることで、コネクタ１と端子ピン６との隙間と、コネクタ１とカバー２と、をシール剤７ｂで接着し硬化させる。さらに、シール剤７ｂの塗布工程の向きを変えずにシール剤７ｂを塗布し、コネクタ１凹部を充満させてコネクタ１とカバー２を接着することができ、外部に電気的に接続されるコネクタ１の部位から、筐体内部の電子部品５が実装された回路基板４へ、水浸入を防ぐことができる。
【００１１】
なお、コネクタに設ける空隙はコネクタを貫通していても良い。この場合、充填する接着剤が外部にこぼれないようにコネクタとベースとが接着される部位の構造を工夫する必要がある。
【００１２】
図２は、図１に対してシール剤７ａ，７ｂを除いた電子制御装置の断面図であり、図３は、コネクタ１凹部にシール剤７ｂを充満させる前の状態の斜視図である。
【実施例２】
【００１３】
実施例１において、コネクタ１凹部へコネクタ１と端子ピン６の隙間を埋めるシール剤７ｂと、コネクタ１とカバー２を接着するシール剤７ｂを同じシール剤７ｂで接着することにより、コネクタ１と端子ピン６の隙間を埋める封止用シール剤８を廃止することができる。
【実施例３】
【００１４】
図４は、本実施例における電子制御装置断面図である。実施例１において、コネクタ１凹部へコネクタ１と端子ピン６の隙間を埋める封止用シール剤８と、コネクタ１とカバー２を接着するシール剤７ｂを同じ位置で接着することができる。
【符号の説明】
【００１５】
１  コネクタ
２  カバー
３  ベース
４  回路基板
５  電子部品
６  端子ピン
７ａ  シール剤（ベース側）
７ｂ  シール剤（カバー側）
８  封止用シール剤
【図１】
2010186563.tif 000003
【図２】
2010186563.tif 000004
【図３】
2010186563.tif 000005
【図４】
2010186563.tif 000006
(57)【要約】【課題】  弁体の傾きを防止して弁体が弁口を完全閉止できるレバーフロート式ドレントラップを提供する。【解決手段】  入口１と出口２を有する本体３に蓋体４を締結して内部に弁室６を有するケーシングを構成する。弁室６と出口２を連通する第１弁口７及び第２弁口８から成る弁口を弁室６の下部に形成する。弁室６内に支持された揺動軸１０の周りに回転するレバー１１を設ける。弁室６内の液位に応じて浮上降下するフロート１２をレバー１１に連結すると共に第１弁口７及び第２弁口８を開閉する第１弁体１８及び第２弁体１９から成る弁体１５をレバー１１に連結する。先端にほぼ半球状凸部２０を有する案内棒１６ａを弁体１５に設ける。案内棒１６ａの半球状凸部２０を第１弁口７及び第２弁口８から成る弁口の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部２１を本体３に設ける。【選択図】      図１
2010096252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングで入口と弁室と出口を形成し、弁室と出口を連通する弁口を弁室の下部に形成し、弁室内に支持された揺動軸の周りに回転するレバーを設け、弁室内の液位に応じて浮上降下するフロートをレバーに連結すると共に弁口を開閉する弁体をレバーに連結したものにおいて、先端にほぼ半球状凸部を有する案内棒を弁体に設け、案内棒の半球状凸部を弁口の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部をケーシングに設けたことを特徴とするレバーフロート式ドレントラップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気配管系や圧縮空気配管系やガス配管系に発生するドレンをフロートを用いて自動的に排出するレバーフロート式ドレントラップに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレバーフロート式ドレントラップは、ケーシングで入口と弁室と出口を形成し、弁室と出口を連通する弁口を弁室の下部に形成し、弁室内に支持された揺動軸の周りに回転するレバーを設け、弁室内の液位に応じて浮上降下するフロートをレバーに連結すると共に弁口を開閉する弁体をレバーに連結したもので、弁室内の液位に応じて浮上降下するフロートでレバーを回転させて弁体で弁口を開閉することによりドレンを自動的に排出するものである。
【０００３】
上記従来のレバーフロート式ドレントラップにおいては、弁体が弁口を閉止するときに傾いた状態で弁口に当接すると、弁体が弁口を完全閉止できなくなり、気体を漏出する問題があった。
【特許文献１】特開昭５５−１１２４８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする課題は、弁体の傾きを防止して弁体が弁口を完全閉止できるレバーフロート式ドレントラップを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ケーシングで入口と弁室と出口を形成し、弁室と出口を連通する弁口を弁室の下部に形成し、弁室内に支持された揺動軸の周りに回転するレバーを設け、弁室内の液位に応じて浮上降下するフロートをレバーに連結すると共に弁口を開閉する弁体をレバーに連結したものにおいて、先端にほぼ半球状凸部を有する案内棒を弁体に設け、案内棒の半球状凸部を弁口の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部をケーシングに設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、先端にほぼ半球状凸部を有する案内棒を弁体に設け、案内棒の半球状凸部を弁口の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部をケーシングに設けたものであるので、弁体が弁口側に変位するときに案内棒の半球状凸部がケーシングの円錐状凹部に案内され、弁体の傾きを防止して弁体が弁口を完全閉止できるという優れた効果を生じる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明のレバーフロート式ドレントラップは、先端にほぼ半球状凸部を有する案内棒を弁体に設け、案内棒の半球状凸部を弁口の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部をケーシングに設けたものである。そのため、弁体が弁口側に変位するときに案内棒の半球状凸部がケーシングの円錐状凹部に案内されるので、弁体の傾きを防止して弁体が弁口を完全閉止できる。
【実施例１】
【０００８】
上記の技術的手段の具体例を示す実施例を説明する（図１参照）。本発明のレバーフロート式ドレントラップは、入口１と出口２を有する本体３に蓋体４をボルト５で締結して内部に弁室６を有するケーシングを構成する。弁室６と出口２を連通する第１弁口７及び第２弁口８を有する弁座部材９を弁室６の下部の本体３に図示しないねじにより取り付ける。入口１は弁室６の下部に開口し、出口２は第１弁口７及び第２弁口８を介して弁室６の下部に開口する。
【０００９】
弁室６内の弁座部材９に揺動軸１０を支持し、揺動軸１０にレバー１１の右側部を回転可能に連結する。レバー１１の左端部に弁室６内の液位に応じて浮上降下する中空球形のフロート１２を連結する。レバー１１の右端部に揺動軸１０と平行な連結軸１３を支持し、連結軸１３に連結棒１４の上部を回転可能に連結する。連結棒１４の下部は弁体１５の弁棒１６の上端部に支持された揺動軸１０と平行な弁軸１７に回転可能に連結する。
【００１０】
弁体１５は第１弁口７を上方の弁室６側から開閉する第１弁体１８と、第２弁口８を上方の出口２側から開閉する第２弁体１９と、第１弁体１８と第２弁体１９を連結する弁棒１６とから構成する。弁棒１６の後端（上端）は第１弁体１８から上方に突出して上端部が連結棒１４に連結される。弁棒１６の先端（下端）は第２弁体１９から下方に突出する案内棒１６ａを成し、案内棒１６ａの先端（下端）はほぼ半球状凸部２０を有する。案内棒１６ａの半球状凸部２０を第１弁口７と第２弁口８の軸方向に案内するほぼ円錐状凹部２１を本体３に設ける。
【００１１】
弁室６内の液位が低い場合は、図１に示すようにフロート１２は降下し、第１弁体１８及び第２弁体１９が第１弁口７及び第２弁口８を閉じている。入口１から流入するドレンによって弁室６内の液位が上昇すると、フロート１２が上動してレバー１１が揺動軸１０を中心に時計回り方向に回転する。このレバー１１の回転により、連結棒１４を介して弁体１５が上動して第１弁体１８及び第２弁体１９が第１弁口７及び第２弁口８を開く。これにより、弁室６のドレンを出口２から排出する。
【００１２】
ドレンの排出により弁室６内の液位が低下すると、フロート１２が下動してレバー１１が揺動軸１０を中心に反時計回り方向に回転する。このレバー１１の回転により、連結棒１４を介して弁体１５が下動して第１弁体１８及び第２弁体１９が第１弁口７及び第２弁口８を閉じる。これにより、気体の漏出を防止する。この第１弁体１８及び第２弁体１９が下動して第１弁口７及び第２弁口８側に変位するときに案内棒１６ａの半球状凸部２０が本体３の円錐状凹部２１に案内されるので、第１弁体１８及び第２弁体１９の傾きを防止して第１弁体１８及び第２弁体１９が第１弁口７及び第２弁口８を完全閉止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明のレバーフロート式ドレントラップの断面図。
【符号の説明】
【００１４】
１  入口
２  出口
３  本体
４  蓋体
６  弁室
７  第１弁口
８  第２弁口
１０  揺動軸
１１  レバー
１２  フロート
１５  弁体
１６  弁棒
１６ａ  案内棒
１８  第１弁体
１９  第２弁体
２０  半球状凸部
２１  円錐状凹部
【図１】
2010096252.tif 000003
(57)【要約】【課題】  熱交換器の全体を均一に加熱することのできる減圧蒸気加熱装置を得ること。【解決手段】  反応釜１のジャケット部１１に蒸気供給管３を接続する。蒸気供給管３には蒸気圧力調節弁７を取り付ける。ジャケット部１１の下方に真空吸引手段２を連通する。真空吸引手段は、エゼクタ１４とタンク５と循環ポンプ１５とで構成する。ジャケット部１１の右側に蒸気排出口４を形成して、下端部をエゼクタ１４と接続する。  ジャケット部１１の右側部へ必要な蒸気が供給されない場合に、自動開閉バルブ６を開弁することにより、ジャケット部１１内に強制的に蒸気の流れを作ることができ、ジャケット部１１内の全体に且つ均一に蒸気を供給することができる。【選択図】 図１
2010096391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被熱交換物を収納する熱交換器と、当該熱交換器に加熱用の蒸気を供給する蒸気供給管と、熱交換器内の流体を吸引する真空吸引手段を接続したものにおいて、蒸気供給管から熱交換器へ供給される蒸気が、熱交換器内の行き渡らない箇所に、蒸気排出口を形成して、熱交換器内の全体に蒸気が供給されるようにしたことを特徴とする減圧蒸気加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱交換器内の被加熱物を低圧蒸気で加熱するものに関し、特にその加熱蒸気温度が１００℃程度の比較的低温の場合に適した減圧蒸気加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の減圧蒸気加熱装置は、熱交換器と、この熱交換器に加熱用の蒸気を供給する蒸気供給管と、熱交換器内の流体を吸引する吸引手段を接続し、熱交換器と吸引手段の間に気体と液体を分離する気液分離器を配置したもので、吸引効率を高く維持することができるものである。
【０００３】
上記従来の減圧蒸気加熱装置では、熱交換器を複数の回転円板１０，１１で構成するものであるが、蒸気供給管２から供給される蒸気の圧力が低かったり、あるいは、供給蒸気量が少ない場合に、この複数の回転円板１０，１１の全体に供給蒸気が行き渡らずに、回転円板１０，１１の全体を均一に加熱することができない問題があった。
【特許文献１】特開２００５−３７０４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする課題は、熱交換器の全体にムラなく供給蒸気が行き渡るようにして、熱交換器の全体を均一に加熱することのできる減圧蒸気加熱装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、被熱交換物を収納する熱交換器と、当該熱交換器に加熱用の蒸気を供給する蒸気供給管と、熱交換器内の流体を吸引する真空吸引手段を接続したものにおいて、蒸気供給管から熱交換器へ供給される蒸気が、熱交換器内の行き渡らない箇所に、蒸気排出口を形成して、熱交換器内の全体に蒸気が供給されるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、供給蒸気の行き渡らない箇所に、蒸気排出口を形成したことによって、熱交換器内の蒸気供給部から蒸気排出口へ強制的に蒸気の流れを作り出すことができ、熱交換器の全体に蒸気を供給でき、熱交換器の全体を均一に加熱することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明は、熱交換器内の蒸気の行き渡らない箇所に蒸気排出口を形成するものであるが、この蒸気排出口は、通路を開閉弁することのできるバルブ等で構成することができる。
【実施例１】
【０００８】
図１において、熱交換器としての反応釜１と吸引手段２と加熱用の蒸気供給管３、及び、蒸気排出口４とで減圧蒸気加熱装置を構成する。
【０００９】
蒸気供給管３は図示しないボイラー等の蒸気源と接続すると共に、蒸気圧力調節弁７を取り付けて、熱交換器としての反応釜１のジャケット部１１と接続する。
【００１０】
反応釜１のジャケット部１１の下端を、蒸気トラップ１２とバルブ１３を介して吸引手段２のエゼクタ１４と接続する。吸引手段２は、エゼクタ１４とタンク５と循環ポンプ１５に循環路１６を介して接続した組み合わせポンプとして構成する。エゼクタ１４はタンク５内の流体を循環ポンプ１５で循環して通過させることにより、その流体温度に応じた吸引力を生じるものである。
【００１１】
循管路１６を分岐して余剰流体排出管９を連通する。余剰流体排出管９には開閉弁１０を取り付けて、図示しないタンク５内のレベル計と連動してタンク５内の液位を所定レベルに維持する。
【００１２】
反応釜１のジャケット部１１の右側に蒸気排出口４を形成する。蒸気排出口４は、自動開閉バルブ６を介在して、エゼクタ１４と接続する。ジャケット部１１の下部に温度センサ８を取り付けて、ジャケット部１１内部の温度を検出し、その信号を自動開閉バルブ６へ送信する。
【００１３】
反応釜１内の図示しない被加熱物を加熱する場合、蒸気供給管３から加熱用の蒸気をジャケット部１１に供給すると共に、循環ポンプ１５を駆動してエゼクタ１４で吸引力を発生させる。
【００１４】
ジャケット部１１に供給された蒸気は、反応釜１内の被過熱物を加熱すると共に、蒸気の凝縮した復水は蒸気トラップ１２を通ってエゼクタ１４に吸引されタンク５に至る。
【００１５】
蒸気供給管３から供給される蒸気の圧力が低い場合、あるいは、供給蒸気量が少ない場合は、蒸気供給管３と反対側のジャケット部１１内へは必要な蒸気を供給することができず、その部分の温度は低下した状態となるが、この温度低下を温度センサ８で検出して自動開閉バルブ６を開弁することによって、蒸気供給管３から蒸気排出口４を経てエゼクタ１４へと至る蒸気の流れを作り出すことができ、ジャケット部１１内の全体を均一に蒸気加熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る減圧蒸気加熱装置の実施例を示す構成図。
【符号の説明】
【００１７】
１  反応釜
２  真空吸引手段
３  蒸気供給管
４  蒸気排出口
５  タンク
６  自動開閉バルブ
８  温度センサ
１１  ジャケット部
１４  エゼクタ
１５  循環ポンプ
【図１】
2010096391.tif 000003
(57)【要約】【課題】車両の排気管の水没によるエンジン停止により、脱出走行が出来ない危険を軽減、回避せんとするものである【解決手段】車両排気管の先端部に水浸密着特性を有する素材の、水遮断機具を付設し車両のエンジン排気圧により排気作動を為す方法【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両の排気管先端部に、水浸密着特性を有する素材を利用した器具を付設し、
車両排気管への水の浸入遮断をなし、
車両のエンジン排気圧により排気作動を為す事を特徴とする排気方法
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】水没車両の排気保持に関する
【背景技術】
【０００２】最近、地球温暖化の為、世界的に頻繁に豪雨による車両の水没事故が頻発する日常がある
【発明の表示】
【発明が解決使用とする課題】
【０００３】然るに、大多数の車両は、排気管の出口が路面から３０〜５０センチ以下で水平である、この為、車両が水溜りに進入すると簡単に排気管が水没しエンジン停止を為し水没を為す、この危険を減少せんとする方法である
【課題を解決するための手段】
【０００４】即ち、車両の排気管の先端部に、排気を確保し水の浸入を防ぐ機能を持つ部品を装着させる方法である、
【０００５】例えば第１図、第２図のごとき形状の、皮革、耐熱布、不織布、など任意の水浸密着特性を有する部品を排気管先端に付設する、先端部位は素材を二重に重ねた形状を為し、水浸状態で密着特性と周辺水圧により水遮断をなしエンジンの排出圧力により排気作動を為す
【０００６】尚、該、部品の先端部の排気部位を任意の数に分割を為し排気圧を制御してもよい
【０００７】また、該、部品の素材特性に合わせ、任意の浮力、又は重力を持たせてもよい
【発明の効果】
【０００８】上述の、水浸密着特性の排気管先端部品により、車両の排気管が水没しても部品特性と、周辺水圧の為、該部品が密着をなし排気管内への水の浸入を遮断、排気を確保しエンジン停止を防ぎ、車両の水没脱出、救命に役立つものである
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】第１図の如き排気管負圧吸い込み防止の末広がり形状の皮革を素材とした部品を排気管先端に付設する、部品先端部の排気部位を水平の状態に装着を為すことで水没時に防水密着効果が均一になり、エンジン排気量、排気圧に影響されることなく水の浸入防止が図れる
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】・・該、排気保持部品
【図２】・・該、排気保持部品
【符号の説明】
【００１１】    １・・排気部位
２・・車両排気管接続部
３・・排気分割用仕切り壁
【図１】
2010096166.tif 000002
【図２】
2010096166.tif 000003
(57)【要約】      （修正有）【課題】水の重さと地球の重力と梃子の原理を利用し電力を供給する。【解決手段】固定ピン７の両側に梃子レバー６を配置し、梃子レバーの一端に移動容器３を固定し、他の一端にワイヤで吊り下げた移動容器４を装着し、移動容器３の上側に固定容器２、下側に発電機１を配置し、移動容器４の下側には可動弁１１を付設したゴム容器を配置する。固定容器２、移動容器３、発電機１、移動容器４、ゴム容器５、移動容器２の順に配管などで連結する。【選択図】図１
2010096168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水の重さと地球の重力を利用し永久的に水を循環させ羽車を回転させ電力を作りだす。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】水と地球の重力による水の流れ。
【発明の開示】
【発明が解決しょうとする課題】
【０００２】上部から一度落下した水を再び上部へ戻す。
【課題を解決するための手段】
【０００３】水の重さと地球の重力そして梃子の原理を利用した。
【発明の効果】
【０００４】外部の力を一切使わず電力を供給できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】地球の化石燃料使用せず  図１・図２・図３  水の重さ地球の重力・梃子の原理を利用してエネレギーを確保する。
【産業上の利用可能性】
【０００６】住宅敷地内に永久発電装置を設置し各家庭独自で電力を供給する。又共同住宅〈マンション〉では、共有敷地内でこの永久発電装置を設置し各家庭に電力を供給する。
そして、生産工場では工場使用電力の供給にも永久発電装置を設置し生産電力を独自で賄います。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明装置図
【図２】本発明装置図
【図３】本発明装置図
【符号の説明】
【０００８】  １  …  発電機
２  …  固定容器
３  …  移動容器
４  …  移動容器
５  …  ゴム容器
６  …  梃子アーム
７  …  固定ピン
８  …  ワイヤー
９  …  配管
１０  …  配管
１１  …  可動弁
１２  …  電球
【図１】
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【図２】
2010096168.tif 000004
【図３】
2010096168.tif 000005
(57)【要約】【課題】長時間、固定的姿勢に於いて労働を強いられる環境下で職業病とも言える症候群を軽減する為、根本的な原因の除去即ち前腕からのストレスを取り除く事により、心身の健全な状態を維持し、又手関節が不自由な障害者の方の生産性の向上且つ効率的な仕事が出来る様生理学的良肢位に基づいたパソコン用コントローラーを提供する。【解決手段】ワイヤレスパッド４の下部にロールベアリング３とトラッキングエンジン２を設け、ワイヤレスパッド４の上部には低反発素材パッド１を設け、手を置き易くし、ワイヤレスパッド４に接続した小型のコントローラー７を設け、手の平が横向きでも、上向きでも操作可能なクリックセンサー５やスクロールボール６を配置した。以上の事により、前腕にストレスがかからない状態でパソコン業務が出来る事を特徴とする。【選択図】図２
2010073183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）手を横向き又は、手の平を上向きで置けるサイズの低反発素材を使用した、長時間でも疲労しないパッドを使用し、高性能なレーザーテクノロジーのトラッキングエンジンを搭載した、ボールベアリングなどで円滑に動かす事の出来るパソコン用ワイヤレスハンドパッド。
（ロ）そのワイヤレスハンドパッドに連結する、手の平を横向きでも上向きでも使用出来る位置にクリックボタンやスクロールボタンを配置したパソコン用小型コントローラー。
以上の如く構成されたパソコン用ストレスフリーワイヤレスコントローラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】この発明はトラッキングエンジンを内蔵したワイヤレスハンドパッドに、クリックボタンなどを付けたパソコン用小型コントローラーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】従来、マウスの様なパソコン用コントローラーを使用する際、手の平を下に向けて、手首を反した状態で使用する物しかなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】これには次の様な問題があった。従来のマウスでは手の平を下に反さないと操作出来ないため、手首を骨折した後遺症によって手関節を反せない方や、生まれつき手首の関節に障害がある方は、操作する事が困難か不可能であった。又、健常者であっても長時間、従来のマウスを操作する際、相当な負担がかかっていた。
それは、従来のマウスを操作する際、手の平を下に向ける事により、
2010073183.tif 000003
とる。図１参考図
2010073183.tif 000004
は、平行に並び負担のかからない生理的良肢位となる。図２
以上の事から、従来通りマウスを操作する際、生理的良肢位から逸脱し、回内位となるため、前腕の深後方の筋区画でそのコンパートメントである円回内筋と方形回内筋を収縮させ、その緊張状態
2010073183.tif 000005
過筋張や組織の癒着を起こす可能性が高かった。
実際、私の臨床現場の経験から、従来のマウスを使用し、その悪い姿勢で長時間、固定的姿勢を保つパソコン従事者の右首から肩への疲労、右手指先までのシビレや知覚異常、冷感、バネ指、手根管症候群などを訴える患者が後を絶たなかった。それらの症状を引き起こす原因として、前述した、従来のマウスを使用する際の不良肢位により、主要神経や毛細血管レベルでの循環の滞りによって各筋肉を硬縮させ、前腕と密接に連動する、肘関節、肩関節へと神経支配領域に沿って悪影響を及ぼす事が考察出来る。
以上の事から、障害者の不便な操作を除くため、パソコン業務従事者の心身の負担を軽減させるため、本発明はなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
2010073183.tif 000006
それら２本の骨の中央に走る正中神経に負担をかけない生理的良肢位で長時間
2010073183.tif 000007
本発明は以上のような構成よりなるパソコン用ストレスフリーワイヤレスコントローラーである。
【発明の効果】
【０００５】発明は以上のような構成で、手関節に障害がある方にも支障なくパソコン業務が行えるようになる。また、ＩＴ関連業務従事者などパソコンを長時間操作する方の良肢位での操作により、肉体的ストレスを除去するため、心身の負担が軽減する。また精神衛生状態が良くなり、周りの職場の方々、家族の方にも良い影響を与えられる事が期待出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】以下、本案の実施の形態について説明する。
高性能なレーザーテクノロジーのマウスパッドを不要なトラッキングエンジンを内蔵した手の甲サイズの長時間使用しても疲労しにくい、手の接触部に低反発素材を使用した、ハンドパッドを作成する。その底部にはボールベアリングによって円滑に動くものとし、ハンドパッドそのものを移動させる事でカーソルを動かすものとするパソコン画面上のカーソルの事である。
ハンドパッドに連結するコントローラーを作成する。そして手の平を横向き又は、上向きで使用する際に押し易い位置に左右クリックボタン及びスクロールボールを配置する。パソコン本体とハンドパッドはワイヤレスで交信出来るものとする。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の斜視図である。
【図２】本発明の側面図である。
【図３】本発明の底面図である。
【図４】本発明の実施例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０００８】１  低反発素材パッド    ２  トラッキングエンジン    ３  ロールベアリング
４  ワイヤレスハンドパッド    ５  クリックセンサー    ６  スクロールボール
７  コントローラー
【図１】
2010073183.tif 000008
【図２】
2010073183.tif 000009
【図３】
2010073183.tif 000010
【図４】
2010073183.tif 000011
(57)【要約】【課題】  従来のパソコンロックセキュリティは使用者の意図的な操作でなされるものであった。その操作という手順ゆえに、ロックのかけ忘れが発生しセキュリティ上の安全が保たれないことがあった。【解決手段】  測距モジュールとマイコンを組み合わせた機器を使用することにより使用者の操作とは関係なく使用者と測距モジュールを設置場所の位置関係だけでロックを行えることができる。これにより、使用者のロックのかけ忘れをより安全に防止することが可能である。【選択図】図１
2010073179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測距モジュールとマイコンを組み合わせた機器による、パソコン用セキュリティシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、パソコン使用時におけるセキュリティに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、パソコン使用中における一定時間の無操作や特定のキー入力によりパソコンにロックをかけられるものであった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  これらは、次のような欠点があった。
（イ）離席時によるロックのかけ忘れ。
（ロ）現に使用中だが無操作による不必要なロックの作動。
本発明は、これらの欠点を除くためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  測距モジュールとマイコンを組み合わせた機器を設け使用者の位置を計測すると共にその機器とパソコン間で通信を行うことにより使用者と測距モジュールを設置した場所との距離においてパソコンにロックをかけるシステムである。
【発明の効果】
【０００５】  上述したように、本発明は使用者の操作に関係なく使用者と測距モジュールの位置関係でパソコンにロックをかけることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  以下、本発明の実施の形態を図１に基づいて説明する。
（イ）マイコン基板（２）と測距モジュール（１）を接続する（６）。マイコン基板（２）上のマイコンにより使用者位置情報を計算する。
（ロ）マイコン基板（２）とパソコン（４）を接続（５）する。
（ハ）測距モジュール（１）をパソコンモニター（３）正面に設置する。
本発明を使用するときは、マイコンから送られてくる測距データを元にパソコン側でセキュリティ上の制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  本発明の構成図である。
【符号の説明】
【０００８】１  測距モジュール
２  マイコン基板
３  パソコンモニター
４  パソコン
５  通信線（マイコン基板とパソコンをＵＳＢケーブルで接続する）
６  通信線（マイコン基板と測距モジュールを接続するリード線）
【図１】
2010073179.tif 000003
(57)【要約】【課題】格納架（ラック）に搭載された測定器等の搭載物を置く台は、スライドレールで引き出す構造となっているが、操用上スライド途中の長さでスライドレールをロックしたいのにできないという問題があった。  本発明は、スライドするレール部の任意長さでのロックを可能とすると共に、スライドレール部にかかる荷重を分散するロック機構を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の格納架構造は、測定器等を搭載する格納架において、前記測定器等を設置する台と、台を引き出すスライドレールと、スライドレールを固定する固定機構で構成したことを特徴とする。【選択図】  図１
2010073996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定器等を搭載する格納架において、前記測定器等を設置する台と、台を引き出すスライドレールと、スライドレールを固定する固定機構で構成したことを特徴とする電子機器の格納架構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の格納架構造に係り、特に格納架のスライドレールをロックする機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器の格納架（以下ラックと記す）に設置するスライドレールにはロック機能を備えたものがある。スライドレールのロック機構は、図示しないがスライドするレール部が最大の長さに達した状態を保持するための機構である。そのため、それ以外の状態（スライドする途中及び、最短の収納状態）の場合、スライドレール可動部はロック（固定）されていない。
【０００３】
スライドレールをラックに設置し使用する場合、主にラックから測定器等の搭載物が取り出し易いようにする目的で使用されるためである。
【０００４】
電子機器の筐体にスライドレールを設け、スライドレールで引出しを引き出す構造が、例えば特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００８−６０２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の従来技術には、格納架（ラック）に搭載された測定器等の搭載物を置く台は、スライドレールで引き出す構造となっているが、操用上スライド途中の長さでスライドレールをロックしたいのにできないという問題があった。
【０００６】
本発明は、スライドするレール部の任意長さでのロックを可能とすると共に、スライドレール部にかかる荷重を分散するロック機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の格納架構造は、測定器等を搭載する格納架において、前記測定器等を設置する台と、台を引き出すスライドレールと、スライドレールを固定する固定機構で構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ラックに搭載されたスライドレールのロック機構に依存せず、任意の長さでスライドレールのロックが可能となる。ラッチがあることにより、スライドレールにかかる荷重がラッチに分散されるため、スライドレール自体の破損防止ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の一実施例を図１から図３を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態に係る格納架を示す正面図および側面図である。図１（ａ）はラック１の正面図である。図１（ｂ）はラック１の側面図である。図１（ｃ）はイ部の拡大図である。
【００１０】
図１において、ラック１は、フレーム２、カバー（図示せず）、ベース３からなる本体を有し、その内側には、測定器等を搭載できるように、フレーム２で支持されたスライドレール５を有する。図１（ａ）（ｂ）はカバーを取り付けていない状態を示す。
【００１１】
図１（ｂ）はスライドレール５に、金属板を搭載させ、作業台６とし使用できるようにしている。
【００１２】
図２は本発明の実施の形態に係るスライドレール５を最大長さにした状態を示す上面図である。
【００１３】
次に図１（ｃ）と図３を用いて、本発明の一実施例である作業台６のロック機構を説明する。図３は本発明の実施の形態に係るロック機構を示す上面図である。
【００１４】
図１（ｃ）において、スライドレール５及び、作業台６側面の任意の位置に左右に動かすことのできるラッチ（以降ラッチ称する。）４の柱が挿入できるラッチの柱が入る穴４２を施す。ラッチの柱が入る穴４２の位置は、ロックしたい長さの位置に設ける。フレーム２に設けられたラッチ４を手動にてラッチの作動方向４３に示す左右方向にスライドさせることにより、ラッチの柱が入る穴４２に挿入され、スライドレール５はロックされる。ラッチの柱が入る穴４２に挿入されるラッチ４により、スライドレール５が支持され、荷重がラッチ４側に分散される。片側のみラッチ５を設けてもロック機能は有効であるが、更にスライドレール５に対する荷重の分散を考慮する場合、もう片方側にもラッチ４を設けることで、一層効果的に荷重の分散が行える。
【００１５】
本発明は、ラックに搭載されたスライドレールのロック機構に依存せず、任意の長さでスライドレールのロックが可能となる。ラッチがあることにより、スライドレールにかかる荷重がラッチに分散されるため、スライドレール自体の破損防止ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態に係る格納架を示す正面図および側面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る作業台を最大長さ状態にした上面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るロック機構を示す上面図である。
【符号の説明】
【００１７】
１：ラック、２：フレーム、３：ベース、４：ラッチ、５：スライドレール、６：作業台、４１：ラッチの柱、４２：ラッチの柱が入る穴、４３：ラッチの作動方向。
【図１】
2010073996.tif 000003
【図２】
2010073996.tif 000004
【図３】
2010073996.tif 000005
(57)【要約】【課題】  電気器具の受電部であるプラグにカバーがない為、使用中なのか使用していないのか記憶が不確かになり、このプラグ抜き忘れによる火災事故等や人体への接触怪我があった。【解決手段】  電気器具の受電部であるプラグにカバーを取り付ける。【選択図】図１
2010073671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気器具の受電部であるプラグをカバーするものである。
【発明の詳細な説明】
【背景分野】
【０００１】本発明は、電気器具の受電部であるプラグのカバーである。
【背景技術】
【０００２】  従来、電気器具の受電部であるプラグには、受電部であるがゆえに、感電などの危険がないので、これのカバーは無かった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  上述の如く、電気器具の受電部であるプラグにはカバーが無いため、電気器具を使用した後、送電部のコンセントから抜いたのかどうか確認が不十分になり、これが火災などの事故に繋がることがあった。【０００４】  電気器具の受電部であるプラグの形状は、金属片が飛び出しているので、人体が接触すると怪我をする恐れがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上述の目的を達成するため、本発明は電気器具の受電部であるプラグ用の、脱着が容易なカバーである。
【発明の効果】
【０００６】  以上説明したように、本発明によれば、電気器具の受電部であるプラグに、脱着可能なカバーを取り付けることにより、受電しているか受電していないか、という確認を容易にしたものである。
出かける時など、家を空けるとき電気器具の受電部であるプラグにカバーを取り付ける事により、電気器具を使用していない事が確認できるので、出かけた後の不安感を防ぐことができる。
また、電気器具の受電部であるプラグの、金属片が飛び出している形状による、人体への接触による怪我を防ぐ事ができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  本発明の外観斜視図
【符号の説明】
【０００８】  １  電気器具の受電部であるプラグのカバー
２  電気器具の受電部であるプラグ
【図１】
2010073671.tif 000003
(57)【要約】      （修正有）【課題】家庭用電気器具・プラグの両側ではコードが下垂し、コードの重さで最大９０度の折れ曲がりが生じ、これによりコードに電気抵抗が生じ、コードに熱を感じる事がある。また、コード内電線が破断した例もある。家庭電器製品のコードを電気抵抗から守り、コード内電線の破断が起こりにくい、電気コードとプラグのハンガを提供する。【解決手段】円形の平板に、中心にコードを掛ける軸を施す。軸になる部分は電気抵抗の発生を抑える目的で、直径２０ｃｍの円の弧を用い、ここにコードを架ける。巻きつけない事で小さい円にならず、電気抵抗の発生を防ぐ目的を有する。壁側に対面する表にはプラグ架を付け、プラグとコードの折れ曲がりを解消できる。【選択図】図５
2010073672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
巻き枠の中心に直径２０ｃｍの円が描く、弧の一部を軸とするコード架。
【請求項２】
壁面に対面する円板表に、コンセントプラグ用架を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】この発明は電気コードを抜いたとき、使用後のコードとプラグを収納する。
これにより、家庭電気器具の捻じれ屈曲から起こる、電気抵抗を解決するための発明に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  現在ある多くのプラグは、使用後コンセントから抜くように推奨されている。テレビ・オーブン・トースター・電気ポット・コーヒーメーカー・パソコン・プリンター・炊飯器と、多くの家庭用電気器具が普及している。プラグを抜いたあと、コードを適切に収納する場所と機能が周辺にない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】家庭電化製品には、コードを束ねることを禁じた注意書きがある。小さい円周や９０度近い屈曲はコード内の電線に電気抵抗が生じる。電気抵抗はコンセント・プラグ・コードの発熱や過熱が生じる。
この発明は、これらの問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】この発明は、２枚の板に挟まれた軸にコードを架け、プラグを垂直方に収納する。２枚の板の中心には、直径２０ｃｍの円を分割した軸を固定する。壁側に対面する板の外側にプラグを架ける突起を付ける。
【発明の効果】
【０００５】この発明はコンセントからプラグを抜いたとき、プラグ・コードを収納する場所がない。コードの長さはコード自体が伸縮しないので、予測寸法である。長い余分なコードは束ね、あるいは複数のプラグを使用できるコンセントを用いる。たこ足配線・束ねたコードは日常的に目にする。家庭電気器具のコンセント・プラグ・コードを安全に収納する効果を持つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】この発明は、２枚の平板に挟んだ軸にコードを架ける。軸には、巻きつけないことで電気抵抗を小さくする架を施した。架には直径２０ｃｍの円の弧を用いた。２０ｃｍの円から９０度・１３０度・１８０度の線分に描かれる弧のうち、１３０度の弧が使用にあたりコードがはねない、使用する周辺の設置において最良であった。壁側に対する平板の表にプラグの狭小部分に対応した突起を設け、プラグを架ける。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】正面図
【図２】背面図
【図３】底面図
【図４】右側面図
【図５】実施図
【符号の説明】
【０００８】１    平板
２    プラグの架
３    吊り下げの穴
４    コードの架
５    使用状態
【図１】
2010073672.tif 000003
【図２】
2010073672.tif 000004
【図３】
2010073672.tif 000005
【図４】
2010073672.tif 000006
【図５】
2010073672.tif 000007
(57)【要約】【課題】持ち運びが可能であるので設置場所を据え付け後に変更することができ、融通性の高い比較的小型の火災警報受信機を提供する。【解決手段】金属製またはプラスチック製の持ち運びハンドル２が火災警報受信機１の上端に設けられ、且つ端子台３が火災警報受信機１の外側面に設けられており、端子台３には火災感知器または火災感知線４を接続することが可能である。【選択図】図１
2010073082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信機の上端部に設けられた金属製またはプラスチック製の持ち運びハンドルと、
受信機の外側面に設けられ、火災感知器または火災感知線を接続する端子台と
を備えたことを特徴とする火災警報受信機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、融通性の高い比較的小型の火災警報受信機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
市販の火災報知設備では、通常、火災感知器がケーブルを介して火災警報受信機の端子台に接続されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、従来の火災警報受信機は相当に大型であって、コンクリートなどで所定位置に固定され、火災予防域の変更、整備、部品交換などの際に容易に他の位置に移動させることはできず、火災予防域の変更の際には別の火災警報受信機を購入することが必要になる。このため、従来の火災警報受信機は、持ち運びができないので融通性に欠け、メンテナンス費用も高くなるという問題があった。
【０００４】
したがって、この発明は、融通性の高い火災警報受信機を提供することを目的としてなされたものである。
【特許文献１】特開２００７−３１０６２９号公報
【発明の開示】
【０００５】
この発明によれば、持ち運びハンドルが火災警報受信機の上端部に設けられ、且つ端子台が火災警報受信機の外側面に設けられ、該端子台には火災感知器または火災感知線を接続することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、この発明の実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０００７】
図１および図２はこの発明にかかる火災警報受信機１を示す。この火災警報受信機１では、ほぼ半円形または逆Ｕ字形側面である金属製またはプラスチック製の持ち運びハンドル２が火災警報受信機１の上端部に設けられている。したがって、手でハンドル２を把持し、火災警報受信機１を持ち運び、これを任意の据え付け場所に移動させることができる。さらに、端子台３（図２）が、火災警報受信機１の裏側外側面においてやや片側に寄せて縦方向に設置されている。端子台３には、火災感知器（図示しない）または火災感知線４を接続することができる。さらに、キャップ付きコード７（図２）をＡＣ電源に接続する。
【０００８】
図５または図６には火災感知線４を示し、該火災感知線は図５のように適宜巻いておけばよく、図６のように火災感知線４をリール５に巻き取っておいてもよい。また、図６に示すように、中継接続線６を介して、火災感知線４と端子台３を接続することも可能である。また、端子台３に火災感知器を直接接続してもよい。火災感知線４は、国際公開ＷＯ２００５／０２２４７８号や特許３７７５７４８号などに開示されている。
【０００９】
図示しないけれども、一例として、火災感知線４は、銅線またはアルミニウム線などの１対の長い導体であり、１対の導体のまわりに、所定長さの形状記憶合金体を１個または所定間隔を置いて複数個配置する。例えば、この導体は、１対の可溶絶縁電線の可溶絶縁体内に収容されている。この形状記憶合金体はコイル状であり、該形状記憶合金体の周囲温度が設定温度に達したとき、その熱によって形状記憶合金体が形状復元する。
【００１０】
火災が発生した時に、火災の熱によって周囲温度が上昇し、その温度が形状記憶合金体の設定温度に達すると、火災感知線４において、火災の熱によって形状記憶合金体が形状復元され、コイル状の半径が減少する。この結果、形状記憶合金体によって双方の電線が接触または接続される。したがって、電流が火災警報受信機１などから供給され、火災ランプなどに流れ、電流によって火災ランプを点灯することで警報がなされ、火災に的確に対処できる。
【００１１】
さらに、図３または図４に示すようなベル部材８のコード９を端子台３に接続することができる。図３または図４において、火災警報受信機１と同様、ベル部材８もポータブル式のものである。図３に示すベル部材８では、金具１０によってベル部材８を吊ることもできる。図４に示すように、コード９をリール１１に巻き取ってもよい。
【００１２】
したがって、火災感知線４で火災を感知し、ベル部材８を鳴らし、火災を警報することができる。押しボタン１２によってベル部材８を鳴らし、火災を警報することもできる。
【００１３】
さらに、火災警報受信機１を任意の据え付け場所に移動させることができ、ベル部材８を任意に移動させることもでき、その融通性は高い。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明にかかる火災警報受信機の斜視図である。
【図２】裏面から見た図１の火災警報受信機の斜視図である。
【図３】火災警報受信機の端子台に接続するベルの一例を示す斜視図である。
【図４】火災警報受信機の端子台に接続するベルの他の例を示す斜視図である。
【図５】火災警報受信機の端子台に接続する火災感知線の一例を示す斜視図である。
【図６】火災警報受信機の端子台に接続する火災感知線の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００１５】
１  火災警報受信機
２  持ち運びハンドル
３  端子台
４  火災感知線
【図１】
2010073082.tif 000003
【図２】
2010073082.tif 000004
【図３】
2010073082.tif 000005
【図４】
2010073082.tif 000006
【図５】
2010073082.tif 000007
【図６】
2010073082.tif 000008
(57)【要約】【課題】アッシング及びクリーニング時における処理スピードと処理均一性を向上させるバレル型プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】反応容器の内部に反応ガス導入管を１本以上取り付ける。そしてガス導入管のガス噴出口は１個以上設けそれぞれ中空型孔加工とする。【選択図】図１
2010021504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧反応容器中で被処理物（シリコンウエハー等）をアッシング又はクリーニングするための分割対向型電極を有したバレル型石英チャンバ内部に反応ガス導入管を１本以上取り付けたバッチ式プラズマ処理装置。
【請求項２】
前記反応ガス導入管のガス噴出口には１個以上の中空型孔加工を施す。
【請求項３】
・前記中空型孔のサイズは径１ｍｍ以上、深さ１ｍｍ以上とする。
【請求項４】
・前記中空型孔の間隔は１ｍｍ以上とする。
【請求項５】
・前記反応ガス導入管の材質は石英ガラスやパイレックスガラス或いはセラミックス又はアルミやステンレスを使用する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は半導体や液晶デバイス及び広くエレクトロニクスデバイスの製造プロセスで用いられるプラズマ処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】半導体集積回路素子や液晶表示素子等広くエレクトロニクスデバイスの表面アッシングやクリーニング又はエッチングをバッチ処理で行う場合、単品（１枚又は１個）ずつ処理する枚葉式と比べ処理速度と均一性に問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】従来、分割対向電極を備えるバレル式反応容器内部の上又は下側に反応ガス導入管を１本取り付けてガス噴出口を１個以上一定間隔に孔加工し反応ガスを供給していたが、単品（１枚又は１個）毎に処理する枚葉式に比べて一括処理するバッチ式は性能が大分劣っていた。
そこで処理速度と均一性に関する本来的な性能向上を実現するための高密度プラズマ発生方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】前記処理速度と均一性に関し本来的性能の向上を実現するため反応容器内部に従来１本取り付けていた反応ガス導入管を上又は下側に水平半径軸に対し角度３０度間隔に計５本取り付ける。そして各反応ガス導入管のガス噴出口は１個以上とし中空型に孔加工して一定間隔で配置する。
【発明の効果】
【０００５】バッチ式従来性能に対し２倍以上の高密度プラズマ発生を可能にし処理速度と均一性に関し飛躍的な性能向上を実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】以下、本発明の最良な一実施形態について図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【０００７】本発明のバッチ式バレル型プラズマ処理装置は内部が減圧される反応容器▲１▼を備える。反応容器▲１▼の材質は一般的に石英ガラス、パイレックスガラスや場合によってアルミやステンレスなどの金属材料も使用できる。バレル型の反応容器▲１▼内部に１本以上の反応ガス導入管▲２▼と真空ポンプ▲１０▼に接続される１本の排気管▲３▼を設ける。（排気管の取り付けは外部でも構わない。）反応容器▲１▼周囲にはホット電極▲４▼とグランド電極▲５▼が対向して固定され、ホット電極▲４▼には高周波発振器▲６▼から周波数１３．５６ＭＨｚの高周波電力がインピーダンス整合器▲７▼を介して接続されグランド電極▲５▼は筐体にアースされている。なお、周波数に関しては１３．５６ＭＨｚに限らず低い方は数十ＫＨｚから高い方は１００ＭＨｚ位まで利用が考えられる。また、反応容器▲１▼内部には被処理物であるシリコンウエハ▲８▼等を搭載する石英ボート▲９▼が配置される。
さらに、本プラズマ処理装置一連の処理プロセスを説明する。まずスタート信号がオンされると真空引きが開始し反応容器内部が所定の真空度になると反応ガスが導入され一定の時間を置いて（通常１０秒から６０秒）高周波電力が供給されプラズマ放電が始まる。その後予めレシピ設定された処理時間経過後改めて所定の真空度まで到達した時点でパージに移り大気圧に戻ったところで終了ブザーが鳴り一巡の処理が終了する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明のバレル型プラズマ処理装置の反応容器を示す概略断面図である。
【図２】本発明による反応容器を概略的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【０００９】▲１▼反応容器、▲２▼反応ガス導入管、▲３▼排気管、▲４▼ホット電極、▲５▼グランド電極、▲６▼高周波発振器、▲７▼インピーダンス整合器、▲８▼シリコンウエハ、▲９▼石英ボート、▲１０▼真空ポンプ。
【図１】
2010021504.tif 000003
【図２】
2010021504.tif 000004