(57)【要約】【課題】  ＥＶＡが均一かつ高精度にＰＥＴフィルム等上にコーティングされている多層フィルムを提供する。【解決手段】  ＰＥＴフィルム層又はＰＥＮフィルム層、及び厚み０．２〜２０μｍのエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層を有する多層フィルムであって、そのコーティング層の厚み精度が±１μｍ以下であることを特徴とする多層フィルム、並びにその製造方法。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＥＴフィルム層又はＰＥＮフィルム層、及び厚み０．２〜２０μｍのエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層を有する多層フィルムであって、そのコーティング層の厚み精度が±１μｍ以下であることを特徴とする多層フィルム。
【請求項２】
ＰＥＴフィルム層又はＰＥＮフィルム層、及び厚み２０〜１５０μｍのエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層を有する多層フィルムであって、そのコーティング層の厚み精度が±１μｍ以下であり、そのコーティング層中に存在する３０μｍ以上のフィッシュアイが１ｍ２当たり０．２個以下であることを特徴とする多層フィルム。
【請求項３】
エチレン・酢酸ビニル共重合体をハロゲン系溶剤、又は沸点が７０〜１４０℃、溶解度指数が１３〜２０ＭＰａ１／２である脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、エーテル系化合物及びアセタール系化合物から選ばれる少なくとも１種類の非ハロゲン系溶剤に溶解して得られた溶液で、温度が３０〜１６０℃である溶液を、ＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムに連続的に流延することによりコーティングし、その後、得られたコーティング皮膜中の溶剤を加熱により蒸散させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の多層フィルムの製造方法。
【請求項４】
ＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムが３０〜１３０℃に加温されていることを特徴とする請求項３記載の多層フィルムの製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載の多層フィルムを有することを特徴とする太陽電池用のバッキングシート。
【請求項６】
請求項２に記載の多層フィルムを有することを特徴とする半導体ウエハー用のバックグラインドテープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は多層フィルムに関するもので、より詳しくはエチレン・酢酸ビニル共重合体がコーティングされているポリエステル系多層フィルムに関するものであり、太陽電池用のバッキングシート、半導体ウエハー用のバックグラインドテープに使用できるものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーンエネルギーである太陽光発電システムは普及が進んでいる。太陽光発電に用いられる太陽電池モジュールはガラス基板層、封止樹脂で充填された板状の太陽電池素子層、及び保護層から形成される。封止樹脂としてはエチレン・酢酸ビニル共重合体（以下、「ＥＶＡ」と略することがある）が主に用いられるが、これは、ＥＶＡの透明性、耐候性、及び耐湿性に優れることが理由である。保護層にはポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂フィルムが用いられている。
【０００３】
しかし、特定のポリエチレン樹脂を除き、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂は何れもＥＶＡとの接着性が低く、上記の多層構造において中間の封止層を形成するＥＶＡとの接着性に問題があった。
【０００４】
また、フッ素系樹脂は高価であるためポリエステル樹脂の使用が鋭意検討されており、特にＥＶＡとの接着性を向上するための技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。また、ポリエステル樹脂を用いる場合にはそのガスバリア性、耐湿性を向上させる目的でシリカを蒸着したＰＥＴが提案されている。
【０００５】
また、ガラスを柔軟性の高いプラスチックフィルムに替え、軽量でフレキシブルな太陽電池モジュールの検討も進んでいる。このガラス代替材料としてポリエステルフィルムの使用が提案されている。このポリエステルフィルムにおいても、上記の保護層と同様に太陽電池素子を封止している中間層のＥＶＡとの接着性が低いという共通の問題点を有していた。
【０００６】
このような背景から、従来は、保護層の製造においてはＰＥＴに接着剤を塗工し、その上にＥＶＡの単層フィルムを貼合するという煩雑な工程が必要であった。
【０００７】
しかし、この工程ではＥＶＡの単層フィルムが必要となるが、ＥＶＡの単層フィルムは柔軟性が高く、他のフィルムと貼合する際にＥＶＡフィルムを把持するとき、弱い張力で容易に伸張し変形してしまう。その結果、貼合工程においてＥＶＡフィルムに厚みムラが生じる、貼合した単層フィルムに内部応力が残留し、環境温度の上昇に伴い積層体に歪みが生じる等の致命的な問題があった。しかも、このようなＥＶＡの単層フィルムは工業的に製造されておらず、その入手が極めて難しいという問題もあった。
【０００８】
また、ＥＶＡの単層フィルムを貼合する複雑な工程が必要であった他の理由は、ＥＶＡの溶液を室温でコーティングするのが極めて難しいことによる。ＥＶＡは室温で有機溶剤に溶解しにくく、加熱溶解した場合でもコーティング時にポリマーが析出し、均一な膜厚のコーティング層を得るのは極めて難しい。従って、ＥＶＡを任意の厚みでＰＥＴにコーティングできる技術が求められていた。
【０００９】
一方、半導体ウエハーの表面を研磨する際に、該ウエハーを固定するために用いられるバックグラインドテープにおいてはウエハー裏面の凹凸を吸収し、また、ウエハーの破壊を避けるためにクッション性に優れたものが使用されている。バックグラインドテープにはＰＥＴとＥＶＡの積層体が使用される。ＥＶＡはクッション性に富むことから本用途に好適に用いられているが、ウエハーの薄肉化に併せてクッション性の向上が求められるようになってきた。また、クッション性のみならずウエハーを固定するバックグラインドテープには厳しい平坦性が求められ、ＥＶＡ層に存在するフィッシュアイが平坦性を阻害するため、ＥＶＡ中のゲル低減が課題となっている。クッション性を向上させるには用いるＥＶＡ中として酢酸ビニル含有量が高いものを選択することにより達成できるが、一方で酢酸ビニル含有量が高いＥＶＡはフィルム化する際にゲルを生じやすいという致命的な欠点を有している。従って、クッション性とゲル低減という相反する性質を両立させる技術が求められていた。更に、現状、バックグラインドテープはＰＥＴにＥＶＡフィルムを接着、貼合して製造されるため、より簡便な製造方法が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−３３２１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記の課題を解決する手段としてＥＶＡをポリエステルフィルム上にコーティングする方法が考えられる。しかし、ＥＶＡを有機溶剤に溶解して室温まで冷却すると、ＥＶＡが析出するため、ＥＶＡ溶液を室温で特定のポリエステルフィルム等にコーティングするのは極めて難しかった。
【００１２】
本発明は、これらに鑑みてなされたものであり、その目的はＥＶＡが均一かつ高精度にＰＥＴフィルム等上にコーティングされている多層フィルムと、ＥＶＡを均一かつ高精度にＰＥＴフィルム等上にコーティングする方法を提供する。さらに、従来ＥＶＡフィルムをＰＥＴフィルム上に貼合する煩雑な製造方法が簡略化され、連続的にＥＶＡがＰＥＴフィルム等にコーティングされている多層フィルムを効率的に製造する方法、封止層と良好な接着性を有する太陽電池用のバッキングシート、及びクッション性、及び平坦性を両立させた半導体ウエハー用のバックグラインドテープを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは鋭意検討した結果、ＥＶＡを特定の溶剤に溶解して得られたＥＶＡの溶液をＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムにコーティングすることにより、ポリエステルフィルム上に膜厚精度が高いＥＶＡ層をコーティングできることを見出し本発明に至った。なお、本発明はＥＶＡをＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルム上にコーティングする方法を提供すると同時に、ＥＶＡ中に含まれるフィッシュアイの原因となっている未架橋ゲルの凝集状態を溶剤を用いて解消することができ、この溶解操作により未溶融ゲル由来のフィッシュアイが消失する。すなわち、本発明は、ＰＥＴフィルム層又はＰＥＮフィルム層、及び厚み０．２〜２０μｍのエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層を有する多層フィルムであって、そのコーティング層の厚み精度が±１μｍ以下であることを特徴とする多層フィルム、並びにその製造方法である。
【００１４】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１５】
本発明の多層フィルムは、ＰＥＴフィルム層又はＰＥＮフィルム層を有するものである。本発明におけるＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム又はＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）フィルムとしては、フィルム表面をエポキシ樹脂、ウレア樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、オキサゾリン基本含有樹脂等によりコーティングした易接着性ＰＥＴ、易接着性ＰＥＮ等が例示されるが、ＥＶＡ溶液をコーティングした際にＥＶＡ皮膜との接着性が確保できれば用いるＰＥＴ又はＰＥＮには何らの制約もない。
【００１６】
また、金属蒸着処理を行ったＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムを用いることも同様に可能であり、金属箔を貼合したＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムを用いることも可能である。更に、シリカ蒸着等の無機物を蒸着したＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムを用いることも可能である。
【００１７】
本発明の多層フィルムは、エチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層を有するものである。本発明におけるエチレン・酢酸ビニル共重合体としては、特に制限はなく、酢酸ビニル共重合体としては酢酸ビニル含有量が５〜４０ｗｔ％のものを用いることができる。透明性の観点からは酢酸ビニル含有量の高いものが好適に用いられ、好ましくは酢酸ビニル量は１０ｗｔ％以上である。コーティング時のＥＶＡの濃度を調整することによりＥＶＡ溶液の粘度を調整できるため、使用するＥＶＡのメルトフローレート（ＭＦＲ）には何ら制限はない。
【００１８】
また、本発明におけるエチレン・酢酸ビニル共重合体は、エチレン・酢酸ビニル共重合体に高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、線状低密度ポリエチレン（Ｌ−ＬＤＰＥ）、超低密度ポリエチレン（Ｖ−ＬＤＰＥ）、その他の樹脂等をブレンドしたものでも良い。線状低密度ポリエチレン（Ｌ−ＬＤＰＥ）としては、エチレン−１−ブテン共重合体、エチレン−１−ヘキセン共重合体、エチレン−１−オクテン共重合体などのエチレン−α−オレフィン共重合体が挙げられる。その他の樹脂としては、例えば、エチレン−４−メチルペンテン−１樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）およびその鹸化物、エチレン−ビニルアルコール樹脂（ＥＶＯＨ）、エチレン−プロピレン共重合体（ＥＰＭ）等のエチレン系コポリマー、ポリプロピレンホモポリマー、ポリプロピレンブロックコポリマー、ポリプロピレンランダムコポリマー等が挙げられ、さらに、これらのポリオレフィンの塩素化物も同様にＥＶＡにブレンドして用いることができる。これらのポリオレフィン樹脂を合成するための重合方法は通常知られている方法でよく、高圧ラジカル重合、中低圧重合、溶液重合、スラリー重合等であり、使用触媒は過酸化物系触媒、チーグラー−ナッタ触媒、メタロセン触媒等が挙げられ、これらの触媒で重合されたポリオレフィンを何ら制限なく使用することができる。これらポリオレフィン樹脂の分子量は、ポリオレフィン樹脂がハロゲン系溶剤又は特定の非ハロゲン系溶剤に溶解する限り何ら制限がない。ＥＶＡ及びポリオレフィン樹脂の形状は、ポリオレフィン樹脂が溶剤に溶解する限り何ら制限はないが、例えば、ストランドカット法等により得られる円柱状ペレット、水中ホットカット法（アンダーウォーターカット法）等により製造される卵型ペレット、無定形の粉体、粒状物、顆粒等が例示される。また、高密度ポリエチレンのようにスラリー法で製造される樹脂の場合には、粉体としてポリマーが反応器から取り出されることがあるが、本発明ではこのような粉末状のポリマーも同様に使用することができる。さらに、本発明の製造方法では一度成形されたＥＶＡのフィルム、繊維、成形体を原料とすることも可能であり、この場合、何ら、その成形体の形状に制限はない。
【００１９】
本発明の多層フィルムにおけるエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層は、厚みが０．２〜２０μｍ又は２０〜１５０μｍである。厚みが０．２μｍ未満の場合は、接着面における均一な接着強度が得られない場合がある。また、厚みが１５０μｍを超える場合はコーティング膜の膜厚精度が確保できない場合がある。厚みが０．２〜２０μｍのものは、太陽電池保護用のバッキングシートに使用でき、一方、厚みが２０〜１５０μｍのものは、半導体ウエハー用のバックグラインドテープに使用できる。
【００２０】
本発明の多層フィルムにおけるエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層は、厚み精度が±１μｍ以下である。厚み精度が±１μｍを外れると、バックグラインドテープにおいて半導体ウエハーを固定する際の水平度が確保できなくなる場合がある。
【００２１】
エチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層中に存在する３０μｍ以上のフィッシュアイの個数については何ら制限はないが、半導体ウエハー用のバックグラインドテープに使用できるためには、３０μｍ以上のフィッシュアイが１ｍ２当たり０．２個以下であることが好ましい。
【００２２】
本発明の多層フィルムは、ＰＥＴフィルム層又はＰＥＮフィルム層、及び厚み０．２〜２０μｍのエチレン・酢酸ビニル共重合体のコーティング層を有するものであるが、本発明の目的を阻害しない限り、他の層を有していても良い。他の層としては、例えば、シリカ等の無機物質からなる層、アルミのような金属膜等があげられる。
【００２３】
本発明の多層フィルムの製造方法は、エチレン・酢酸ビニル共重合体をハロゲン系溶剤、又は沸点が７０〜１４０℃、溶解度指数が１３〜２０ＭＰａ１／２である脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、エーテル系化合物及びアセタール系化合物から選ばれる少なくとも１種類の非ハロゲン系溶剤に溶解して得られた溶液で、温度が３０〜１６０℃である溶液を、ＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムに連続的に流延することによりコーティングし、その後、得られたコーティング皮膜中の溶剤を加熱により蒸散させるものである。
【００２４】
本発明の製造方法で用いられるハロゲン系溶剤は、ポリオレフィン樹脂が溶解する限り何ら制限はないが、例えば、１，１−ジクロロエタン、１，２−ジクロロエタン、塩化メチレン、クロロフォルム、１，１，１−トリクロロエタン、１，１，２−トリクロロエタン、四塩化炭素、トリクロロエチレン、パークロロエチレン等の塩素系溶剤、臭化エタン等の臭素系溶剤、モノフルオロベンゼン、１，４−ジフルオロベンゼン、パーフルオロヘプタン、パーフルオロオクタン、ジクロロペンタフルオロプロパン等のフッ素系溶剤、ブロモクロロメタン、１，２−ジブロモ−１，１−ジフルオロエタン等の臭素とフッ素を含有する溶剤等が例示される。これらのハロゲン系溶剤は２種以上を混合して使用することもできる。
【００２５】
これらのハロゲン系溶剤の中では、ＥＶＡを例えば、８０〜１１０℃で溶解できるハロゲン系溶剤が適しており、また、溶剤の蒸散の観点からは沸点の低いハロゲン系溶剤が適している。このような観点から、好ましくは１，１，２−トリクロロエタンである。
【００２６】
本発明の製造方法で用いられる非ハロゲン系溶剤は、沸点が７０〜１４０℃、溶解度指数が１３〜２０ＭＰａ１／２である脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、エーテル系化合物及びアセタール系化合物から選ばれる少なくとも１種類の非ハロゲン系溶剤（以下単に「非ハロゲン系溶剤」という）である。沸点が７０℃未満である場合、常圧又は低圧にてＥＶＡを溶解することが困難であり、一方、沸点が１４０℃を超える場合には、溶剤を蒸散させる際のエネルギーコストが大きくなるため問題である。また、溶解度指数が１３〜２０ＭＰａ１／２の範囲から外れる場合には、溶剤へのＥＶＡの溶解が困難となる。脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、エーテル系化合物及びアセタール系化合物以外の他の非ハロゲン系溶剤（以下単に「他非ハロゲン系溶剤」という、例えば、メチルエチルケトン、ジイソプロピルケトン、ジエチルケトン等のケトン化合物、アセトニトリル、ベンゾニトリル等のニトリル化合物、１−ブタノール、イソプロパノール、２−メチル−２−ブタノール等のアルコール化合物、トリエチルアミン、エチレンジアミン等のアミン化合物等）では、沸点が７０〜１４０℃、溶解度指数が１３〜２０ＭＰａ１／２であっても、溶剤へのＥＶＡの溶解が困難となる。非ハロゲン系溶剤としては、例えば、ｎ−ヘプタン、２−メチルヘキサン、３−メチルヘキサン、２，３−ジメチルペンタン、２，４−ジメチルペンタン、ｎ−オクタン、２，２，３−トリメチルペンタン、イソオクタン、２，２，５−トリメチルヘキサン、１−ヘプテン、１−オクテン、メチルシクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、シクロヘキセン等の脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、ｍ−キシレン、ｐ−キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素、シクロペンチルメチルエーテル、エチルアミノエーテル、ジオキサン、ジプロピルエーテル等のエーテル系化合物、ジエチルアセタ−ル等のアセタール系化合物が例示される。これらの非ハロゲン系溶剤は２種以上を混合して使用することもでき、その割合は特に限定するものではない。また、非ハロゲン系溶剤は、ＥＶＡ溶液を均一な溶解状態とするために、溶解度指数における水素結合力項（δｈ）が５ＭＰａ１／２以下であることが好ましい。
【００２７】
これらの非ハロゲン系溶剤の中では、ＥＶＡの溶解性と熱劣化抑制とのバランスの観点からはＥＶＡを例えば、８０〜１２０℃で溶解できる非ハロゲン系溶剤が好ましく、また、溶剤の蒸散の観点からは沸点の低い非ハロゲン系溶剤が好ましい。このような観点から、好ましくはｎ−ヘプタン、メチルシクロヘキサン、トルエン、シクロペンチルメチルエーテルである。
【００２８】
非ハロゲン系溶剤は、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、エーテル系化合物及びアセタール系化合物から選ばれる少なくとも１種類の非ハロゲン系溶剤であるが、本発明の効果を阻害しない範囲で、他非ハロゲン系溶剤を含有していても良い。他非ハロゲン系溶剤を含有する場合の非ハロゲン系溶剤と他非ハロゲン系溶剤の重量割合は、含有する他非ハロゲン系溶剤により異なるが、例えば、７０〜９９：３０〜１があげられる。
【００２９】
本発明の製造方法におけるＥＶＡの溶解温度は用いる溶剤とＥＶＡにより適宜決定されるが、溶解温度は６０〜２００℃が用いられる。好ましくは溶剤の沸点以下、常圧で溶解させるのが経済的側面から好適である。必要に応じて、ＥＶＡが溶解しない場合には、耐圧容器を用いて溶剤の沸点以上の温度で溶解することも可能である。溶解時間はＥＶＡの形状、及び、溶解温度に依存するが、２０分から８時間である。ＥＶＡの溶解は完全に行う必要があり、一定の溶液粘度に到達するまで溶解を行うことが好ましい。しかしながら、溶解時の撹拌は必須ではない。また、溶解に用いる反応器はベッセル、チューブ、横型反応器、押出機等、その形状等を問わない。
【００３０】
ＥＶＡのハロゲン系溶剤又は非ハロゲン系溶剤への溶解により調製されたＥＶＡ溶液はＥＶＡ中の異物をさらに除くために、ＥＶＡが溶解した状態で濾過することが好ましい。濾過方法としては公知の方法を用いることができ、例えば、金属織布（メッシュ）、ポリマーフィルターの通称で知られている金属製の焼結フィルター、金属性不織布、ポリプロピレン、フッ素樹脂等の高分子材料を用いた不織布等が例示される。これらの濾過材は単独、又は複数組み合わせて使用することができ、また、濾過は順次、濾過精度を上げるため、多段階に分けて行うこともできる。
【００３１】
ポリマーフィルターを用いた濾過方法では、プリーツ型、又はキャンドル型と呼ばれる円筒型のフィルターを用いたポリマーフィルター、シリンダー型、又は、多数のディスク状フィルターを組み合わせたリーフディスク型のポリマーフィルターを用いることができる。また、プリーツ型、又はキャンドル型とリーフディスク型のフィルターを同一フィルター容器内に設置した複合型のポリマーフィルターを用いることも可能である。フィルター濾材は特に制限されず、焼結金網、焼結金属不織布、焼結金属粉末濾材を用いることができる。低粘度のポリマー溶液を濾過する際の精度はできる限り高い方が好ましく、０．５〜２００μｍの範囲のフィルターが好適に用いられる。濾過温度は使用する溶剤の沸点以下であれば、特に制限されない。濾過条件は濾過効率が少なくとも９５％以上、更に好ましくは９９％以上となるよう、ＥＶＡ溶液の流量、及び圧力、濾材の選定を行うことが好ましい。また、ポリマーフィルター以外にも焼結金属メッシュを濾材として用いたプレートチューブ型、又はプレートプリーツ型のラインフィルターを用いることができる。
【００３２】
ＥＶＡ溶液の濾過は１回で不十分な場合には、更に２度に分けて行うことができる。
【００３３】
ＥＶＡ溶液の濃度は特に制限がなく、選択した溶剤により適宜、設定することが必要であるが、０．１〜５０重量％の濃度が用いられる。
【００３４】
上記のＥＶＡの溶解に際しては、各種添加剤をフィルムのフィッシュアイ、外観、及び物性に影響しない範囲で添加することができる。例えば、フェノール系、リン系、イオウ系等から選ばれた単独、又は複数の酸化防止剤を始め、ワックス等種々の添加剤を添加できる。
【００３５】
本発明の製造方法では、ハロゲン系溶剤又は非ハロゲン系溶剤に溶解して得られたＥＶＡ溶液で、温度が３０〜１６０℃であるＥＶＡ溶液を、ＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムに連続的に流延することによりコーティングする。
【００３６】
使用されるＥＶＡ溶液は、温度が３０〜１６０℃であることが必要である。温度が３０℃未満の場合は、用いるＥＶＡの種類によってはポリマーが析出する場合があり均一塗工できない場合がある。一方、温度が１６０℃を超える場合は、溶剤の揮発による濃度変化が大きく、用いるＥＶＡによっては均一な膜厚のコーティング膜を形成するのが困難となる場合がある。ＥＶＡ溶液の温度が低い場合には、３０〜１６０℃となるように加温すれば良い。
【００３７】
ＥＶＡ溶液をポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム又はポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルムに流延する方法としては、例えば、グラビアコーター、コンマコーター、ダイコーター、ダブルメイヤーバーコーター等を使用することが例示される。溶剤の沸点が低い場合には、流延過程におけるハロゲン系溶剤の急速な揮発によるＥＶＡ溶液の粘度上昇を抑制するため、ダイコーター、ダブルメイヤーバーコーターを用いるのが好ましい。
【００３８】
以下、ＥＶＡ溶液からの析出を防止するため加熱可能なダイを設置したダイコーターを用いた場合の例を説明する。ＥＶＡ溶液を３０〜１６０℃に加温でき、加圧が可能なタンクに移液し、ポリマー溶液をタンクの加圧することによりダイスへ移液する。タンクとダイスは、タンク下部の抜出しバルブにホースヒーターを施工したテフロン（登録商標）チューブで連結し、タンクの温度と同一温度に保持した状態とするのが好ましい。
【００３９】
ＥＶＡ溶液をＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムにコーティングする際、コーティング液がＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルム上に塗工された際、ＥＶＡ溶液が冷却されフィルム上でＥＶＡが溶液から析出する場合には、冷却ダイに近接するＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムを保持するバックロールをＥＶＡの析出を防止するため３０〜１３０℃に加温する。
【００４０】
流延速度は何ら制限はないが、基材上に形成された直後のＥＶＡ層の厚みとは独立に０．５〜５０ｍ／分であることが好ましい。コーティング膜の厚みはＥＶＡ溶液のダイからの吐出量とＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムの搬送速度により制御することができる。ＥＶＡ溶液のダイからの吐出量は上記のタンクの圧力により調整することができる。
【００４１】
他のコーティング方法、例えばグラビアコーター、コンマコーター、ダブルメイヤーバーコーター等を用いる場合にも、ＥＶＡ溶液が接触する部分はＥＶＡの溶液からの析出を防止するため、全て上述の温度に加熱しておくことが好ましい。
【００４２】
ＥＶＡの析出（コーティング液の白濁）を防止するためには、ＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムが３０〜１３０℃に加温されていることが好ましい。
【００４３】
本発明の製造方法において溶剤を蒸散させる方法としては、ＥＶＡ溶液を基材上に連続的に流延し薄膜化した後、加熱により乾燥する方法を用いることができる。
【００４４】
基材上に形成されたＥＶＡ溶液層の乾燥は１段階から多段階に分けて行うことができ、その温度範囲は５０〜２００℃であり、多段階で乾燥する場合には５０〜１００℃で１次乾燥し、１００〜２００℃の範囲で２次乾燥する等の方法をとることができる。また、必要に応じて乾燥を３段階以上に分けて行うことも可能である。この乾燥は工業的にはダイコーターに隣接した乾燥炉を用いて効率的に行うことができる。必要であれば、赤外線を用いて溶剤を蒸散させることが出来る。
【発明の効果】
【００４５】
本発明の多層フィルムは、ＥＶＡが均一かつ高精度にＰＥＴフィルム等上にコーティングされており、平坦性、クッション性、ＥＶＡとの接着性等に優れるため、太陽電池保護用のバッキングシートに使用でき、さらに、３０μｍ以上のフィッシュアイが０．２個以下／ｍ２であるため、高い品質が求められる半導体ウエハー用のバックグライドテープ等に使用できる。
【実施例】
【００４６】
以下に実施例にもとづき本発明をさらに詳しく説明するが、これらは本発明の理解を助けるための例であって本発明はこれらの実施例により何等の制限を受けるものではない。
【００４７】
（１）ＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合体）
ＥＶＡ１：ウルトラセン（登録商標）６３８（酢酸ビニル含有量＝２０ｗｔ％、ＭＦＲ＝１３ｇ／１０分、密度＝９４０ｋｇ／ｍ３），東ソー株式会社製
ＥＶＡ２：ウルトラセン（登録商標）７２６（酢酸ビニル含有量＝３１ｗｔ％、ＭＦＲ＝７００ｇ／１０分、密度＝９４８ｋｇ／ｍ３），東ソー株式会社製
ＥＶＡ３：ウルトラセン（登録商標）７６０（酢酸ビニル含有量＝４２ｗｔ％、ＭＦＲ＝７０ｇ／１０分、密度＝９６８ｋｇ／ｍ３），東ソー株式会社製
ＥＶＡ４：ウルトラセン（登録商標）６３４（酢酸ビニル含有量＝２６ｗｔ％、ＭＦＲ＝４．３ｇ／１０分、密度＝９４９ｋｇ／ｍ３），東ソー株式会社製  
（２）ＰＥＴフィルム
テオネックス（登録商標）７０７（易接着性ＰＥＴフィルム），帝人デュポンフィルム（株）製
（３）ＰＥＮフィルム
メリネックス（登録商標）Ｑ５１ＤＷ（易接着性ＰＥＮフィルム），帝人デュポンフィルム（株）製
＜膜厚の測定＞
アンリツ株式会社製  膜厚測定器Ｋ−４０２Ｂを用いて、２３℃に保った恒温室に２４時間保管した後測定した。
【００４８】
＜フィッシュアイの測定＞
タカノ株式会社製ＣＳＩ−７０００を用いてＥＶＡをコートする前のＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムのフィッシュアイ、ＥＶＡをコートした後のＰＥＴフィルム又はＰＥＮフィルムのフィッシュアイの差からＥＶＡ層にある１ｍ２当たりのフィッシュアイの個数を測定し算出した。
【００４９】
＜コーティング＞
加熱可能な巾３００ｍｍ、及び６００ｍｍのダイを設置した塗工機を用いて行った。オートクレーブで溶解したポリマー溶液はユニコントロールズ（株）製の５Ｌスケールの窒素導入バルブを備えた加圧可能なタンクに加熱ジャケットを装着したものに移液した。タンク内のポリマー溶液は、タンクを加圧することによりダイスへ移液した。タンクとダイスは、タンク下部の抜出しバルブに（株）マイセック製のホースヒーターを施工したテフロン（登録商標）チューブで連結し、一定温度に保持した状態とした。
【００５０】
ダイスの温調は日本金型産業（株）製の金型温調機ＴＳＷ−７５Ｓを用いて行い、ホースヒーター、及び、加熱タンクは（株）マイセック製のＨＳＴ−１２０ＣＴを用いて温度調節した。また、塗工ダイに近接するフィルムを保持するロールは背面から岩崎電気株式会社製のハロゲンヒータ（型式ＩＲＥ１８２−Ｎ）を用いて加熱し、温度はハロゲンヒーターに加える電圧により調節した。
【００５１】
＜接着試験＞
プレス成形機として（株）神藤金属工業所製  復動式圧縮成形機ＷＦＡ−５０を用いて加熱温度１５０℃、圧力１０ＭＰａ、１０分間、冷却温度３０℃、圧力１０ＭＰａ、５分間のプレス条件にて厚さ１００μｍのプレス成形シートを得た。該プレス成形シートと被着体をテスター産業株式会社製ヒートシールテスターＴＰ−７０１を用いて１８０℃、６０秒、０．２ＭＰａの条件で加熱接着した。引張試験機として（株）オリエンテック製テンシロン万能試験機ＲＴＥ−１２１０を用いて引張速度（剥離速度）３００ｍｍ／分の条件にてＴ型剥離試験により、その接着強度を評価した。
【００５２】
実施例１
ＥＶＡ１のペレット３．２ｋｇ、及びメチルシクロヘキサン（沸点：１００．９℃，溶解度指数：１６．０ＭＰａ１／２）２０Ｌ（１５．４ｋｇ）を３０Ｌのオートクレーブに仕込み、加熱下９５℃で１時間、攪拌下、溶解させてポリオレフィン溶液（ＥＶＡ溶液）を得た。この溶液の内３Ｌを９５℃に加温した５Ｌのタンクに移液し、９０℃に保持した加温ジャケット付のテフロン（登録商標）ホースを通して加温した６００ｍｍ幅のコーティングダイへ移液した。タンクを加圧し、９０℃に保持したダイから溶液を基材であるＰＥＴフィルム上に流延し、コーティングした。ＰＥＴフィルムの速度は１５ｍ／分に設定した。得られたＥＶＡをコーティングしたＰＥＴフィルムを１４０℃で乾燥し、多層フィルムを得た。ＰＥＴ上に形成されたＥＶＡ層の厚みは０．２μｍであった。酢酸ビニル含有量２０ｗｔ％、厚み１００μｍのＥＶＡのプレス成形シートのＥＶＡシートとのＴ型剥離強度は１９Ｎ／１５ｍｍであり接着性に優れており、太陽電池用のバッキングシートとして利用できる高い接着強度を有していることを確認した。
【００５３】
実施例２
ＥＶＡ２のペレット４．２ｋｇ、及び１，１，２−トリクロロエタン２０Ｌ（２８．８ｋｇ）を３０Ｌのオートクレーブに仕込み、加熱下９５℃で１時間、攪拌下、溶解させてＥＶＡ溶液を得た。この溶液の内３Ｌを９５℃に加温した５Ｌのタンクに移液し、９０℃に保持した加温ジャケット付のテフロン（登録商標）ホースを通して加温した６００ｍｍ幅のコーティングダイへ移液した。タンクを加圧し、９０℃に保持したダイから溶液を基材であるＰＥＴフィルム上に流延し、コーティングした。ＰＥＴフィルムの速度は３ｍ／分に設定した。得られたＥＶＡをコーティングしたＰＥＴフィルムを１４０℃で乾燥し、多層フィルムを得た。ＰＥＴ上に形成されたＥＶＡ層の厚みは２０μｍであった。酢酸ビニル含有量２０ｗｔ％、厚み１００μｍのＥＶＡのプレス成形シートと熱融着した場合のＴ型剥離強度は１８Ｎ／１５ｍｍであり接着性に優れており、太陽電池用のバッキングシートとして利用できる高い接着強度を有していることを確認した。
【００５４】
実施例３
ＥＶＡ３のペレット３．６ｋｇ、及び１，１，２−トリクロロエタン２０Ｌ（２８．８ｋｇ）を３０Ｌのオートクレーブに仕込み、加熱下１１０℃で１時間、攪拌下、溶解させてＥＶＡ溶液を得た。この溶液の内３Ｌを８０℃に加温した５Ｌのタンクに移液し、８０℃に保持した加温ジャケット付のテフロン（登録商標）ホースを通して加温した６００ｍｍ幅のコーティングダイへ移液した。タンクを加圧し、８０℃に保持したダイから溶液を基材であるＰＥＴフィルム上に流延し、コーティングした。ＰＥＴフィルムの速度は２ｍ／分に設定した。得られたＥＶＡをコーティングしたＰＥＴフィルムを１４０℃で乾燥し、多層フィルムを得た。ＰＥＴ上に形成されたＥＶＡ層の厚みは１００μｍ、膜厚精度は±０．５μｍであり平坦性に優れていた。得られたフィルムのフィッシュアイを測定した結果、３０μｍ以上のフィッシュアイは０．２個／ｍ２であった。弾性率は１９ＭＰａであり柔軟性、クッション性に優れており、半導体ウエハー用のバックグラインドテープとしての実用的な平坦性とクッション性を有していることを確認した。
【００５５】
実施例４
ＥＶＡ４のペレット４．２ｋｇ、及びメチルシクロヘキサン（沸点：１００．９℃，溶解度指数：１６．０ＭＰａ１／２）２０Ｌ（１５．４ｋｇ）を３０Ｌのオートクレーブに仕込み、加熱下１１０℃で１時間、攪拌下、溶解させてＥＶＡ溶液を得た。この溶液の内３Ｌを８０℃に加温した５Ｌのタンクに移液し、８０℃に保持した加温ジャケット付のテフロン（登録商標）ホースを通して加温した６００ｍｍ幅のコーティングダイへ移液した。タンクを加圧し、８０℃に保持したダイから溶液を基材であるＰＥＴフィルム上に流延し、コーティングした。ＰＥＴフィルムの速度は１．５ｍ／分に設定した。得られたＥＶＡをコーティングしたＰＥＴフィルムを１４０℃で乾燥し、多層フィルムを得た。ＰＥＴ上に形成されたＥＶＡ層の厚みは１３０μｍ、膜厚精度は±０．５μｍであり平坦性に優れていた。得られたフィルムのフィッシュアイを測定した結果、３０μｍ以上のフィッシュアイは０．１個／ｍ２であった。弾性率は３８ＭＰａであり柔軟性、クッション性に優れており、半導体ウエハー用のバックグラインドテープとしての実用的な平坦性とクッション性を有していることを確認した。
【００５６】
実施例５
ＥＶＡ２のペレット４．２ｋｇ、及び１，１，２−トリクロロエタン２０Ｌ（２８．８ｋｇ）を３０Ｌのオートクレーブに仕込み、加熱下９５℃で１時間、攪拌下、溶解させてＥＶＡ溶液を得た。この溶液の内３Ｌを９５℃に加温した５Ｌのタンクに移液し、９０℃に保持した加温ジャケット付のテフロン（登録商標）ホースを通して加温した６００ｍｍ幅のコーティングダイへ移液した。タンクを加圧し、９０℃に保持したダイから溶液を基材であるＰＥＮフィルム上に流延し、コーティングした。ＰＥＮフィルムの速度は２ｍ／分に設定した。得られたＥＶＡをコーティングしたＰＥＮフィルムを１４０℃で乾燥し、多層フィルムを得た。ＰＥＮ上に形成されたＥＶＡ層の厚みは１０μｍであった。酢酸ビニル含有量２０ｗｔ％、厚み１００μｍのＥＶＡのプレス成形シートと熱融着した場合のＴ型剥離強度は１９Ｎ／１５ｍｍであり接着性に優れており、太陽電池用のバッキングシートとして利用できる高い接着強度を有していることを確認した。
【００５７】
実施例６
ＥＶＡ４のペレット４．２ｋｇ、及びメチルシクロヘキサン（沸点：１００．９℃，溶解度指数：１６．０ＭＰａ１／２）２０Ｌ（１５．４ｋｇ）を３０Ｌのオートクレーブに仕込み、加熱下１１０℃で１時間、攪拌下、溶解させてＥＶＡ溶液を得た。この溶液の内３Ｌを８０℃に加温した５Ｌのタンクに移液し、８０℃に保持した加温ジャケット付のテフロン（登録商標）ホースを通して加温した６００ｍｍ幅のコーティングダイへ移液した。タンクを加圧し、８０℃に保持したダイから溶液を基材であるＰＥＮフィルム上に流延し、コーティングした。ＰＥＮフィルムの速度は２ｍ／分に設定した。得られたＥＶＡをコーティングしたＰＥＴフィルムを１４０℃で乾燥し、多層フィルムを得た。ＰＥＴ上に形成されたＥＶＡ層の厚みは１００μｍであり、膜厚精度は±０．５μｍであり平坦性に優れていた。得られたフィルムのフィッシュアイを測定した結果、３０μｍ以上のフィッシュアイは０．１個／ｍ２であった。弾性率は３８ＭＰａであり柔軟性、クッション性に優れており、半導体ウエハー用のバックグラインドテープとしての実用的な平坦性とクッション性を有していることを確認した。
【００５８】
比較例
ＥＶＡ４をプレス成形し、厚み１５０μｍのフィルムを得た。得られたフィルムをＰＥＴフィルムと１２０℃で０．０１ＭＰａで２分間熱圧着して積層体を得た。得られたフィルムにはフィッシュアイが１０個／ｍ２存在し、積層体の厚み精度は±３μｍであり、平坦性に劣っており、半導体ウエハー用のバックグラインドテープとしての実用的な平坦性を有していなかった。