(57)【要約】  【課題】リップが異なる材料のリップ部材とリップ先端部材で構成された塗布器において、低コストかつ簡易な構成でバイメタル変形を抑制することが可能な塗布器、塗布装置および塗布方法、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。  【解決手段】フロントリップとリアリップの互いの内面を対向させ、締結要素により一体的に結合されることで長手方向に延びる一定間隔のスロットと塗布液の吐出口が形成されるとともに、フロントリップとリアリップはそれぞれ、スロットと吐出口を形成するリップ先端部材が、リップ先端部材を保持するリップ部材に結合されて構成される塗布器において、熱膨張係数α１、縦弾性係数Ｅ１であるリップ先端部材に対して、リップ先端部材と長手方向に略同一長さで、熱膨張係数α２、縦弾性係数Ｅ２である調整部材が、最適な面積と位置で、リップ部材に結合されている塗布器。【選択図】図１
2010069375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロントリップとリアリップの互いの内面を対向させ、締結要素により一体的に結合されることで長手方向に延びる一定間隔のスロットと塗布液の吐出口が形成されるとともに、前記フロントリップとリアリップはそれぞれ、前記スロットと吐出口を形成するリップ先端部材が、前記リップ先端部材を保持するリップ部材に結合されて構成される塗布器において、熱膨張係数α１、縦弾性係数Ｅ１である前記リップ先端部材に対して、前記リップ先端部材と長手方向に略同一長さで、熱膨張係数α２、縦弾性係数Ｅ２である調整部材が、式（１）を満たし、且つ式（２）で算出されるβが０．８５〜１．１５となるような面積と位置で、前記リップ部材に結合されていることを特徴とする塗布器。
【数１】
2010069375.tif 000007
【請求項２】
フロントリップとリアリップの互いの内面を対向させ、締結要素により一体的に結合されることで長手方向に延びる一定間隔のスロットと塗布液の吐出口が形成されるとともに、前記フロントリップとリアリップはそれぞれ、前記スロットと吐出口を形成するフロントリップ先端部材とリアリップ先端部材が、前記フロントリップ先端部材とリアリップ先端部材をそれぞれ保持するフロントリップ部材とリアリップ部材に結合されて構成される塗布器において、熱膨張係数αＦ１、縦弾性係数ＥＦ１である前記フロントリップ先端部材および熱膨張係数αＲ１、縦弾性係数ＥＲ１であるリアリップ先端部材に対して、前記フロントリップ先端部材およびリアリップ先端部材と長手方向に略同一長さで、熱膨張係数αＦ２、縦弾性係数ＥＦ２であるフロントリップ調整部材および熱膨張係数αＲ２、縦弾性係数ＥＲ２であるリアリップ調整部材が、式（３）および（４）を満たし、且つ式（５）および（６）で算出されるβＦおよびβＲがともに０．８５〜１．１５となるような面積と位置で、前記フロントリップ部材およびリアリップ部材にそれぞれ結合されていることを特徴とする塗布器。
【数２】
2010069375.tif 000008
【請求項３】
塗布液を被塗布部材に吐出する塗布器と、前記塗布器に塗布液を供給する液体供給手段と、前記被塗布部材を保持する保持手段と、前記塗布器と前記保持手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備えた塗布装置であって、前記塗布器は請求項１、２のいずれかに記載の塗布器であることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項３に記載の塗布装置を用いたディスプレイ用部材の製造装置。
【請求項５】
請求項３に記載の塗布装置を用いて、塗布器から被塗布部材に塗布液を供給しつつ、前記塗布器と前記被塗布部材とを相対移動させて前記被塗布部材の表面に塗布膜を形成することを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
請求項５に記載の塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにアレイ基板、プラズマディスプレイ用パネル、光学フィルタなどの製造分野に使用されるものである。詳しくは、異なる材料の部材で構成されることで発生するバイメタル変形を抑制することが可能な塗布器の改良、並びに、この塗布器を用いた塗布装置および塗布方法、さらには、これらを用いたディスプレイ用部材の製造装置および製造方法の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶ディスプレイは、カラーフィルタ、アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を被塗布部材としてのガラス基板の表面に塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。たとえば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、フォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとアレイ基板との間に注入される液晶のスペースを形成する柱にしたり、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバーコート塗布膜を形成したりする製造工程などもある。
この塗布膜形成のための塗布装置としては、従来スピナー、バーコータなどが使用されていたが、塗布液の消費量削減や消費電力量削減、さらに塗布基板大型化に伴う装置の大型化が困難であることなどにより、近年に至って、ダイコータ（例えば特許文献１）の使用が主流となっている。ダイコータは、一対のリップを組合せて構成された塗布器の吐出口を被塗布部材に近接させ、塗布液を塗布器の吐出口から吐出させながら塗布器と被塗布部材とを相対移動させて、塗布器の先端部と被塗布部材との間にビードを形成しつつ、被塗布部材の表面上に塗布膜を形成するものである。
【０００３】
この種のダイコータを使用して、ガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布する場合、洗浄が不十分な被塗布部材には、大きさが１ｍｍにも満たないガラス片や金属粉といった異物が付着していることがある。塗布膜形成の際に、被塗布部材の表面に異物が付着している場合には、近接される塗布器の吐出口を形成する先端部と異物が直接衝突する。一方、被塗布部材の裏面に異物が付着している場合には、塗布器の先端部と異物により部分的に凸状に突出した被塗布部材が直接衝突する。以上のような衝突があると、塗布器の先端部には傷や欠損などの損傷が発生する。
また、作業者が定期メンテナンスや塗布器の交換のために、ダイコータから塗布器を取り外して、塗布器の分解／洗浄／組立などを行う場合、作業者の不注意で工具などの硬質材を塗布器上に落下させると、塗布器の先端部に上記の衝突時と同様な損傷を与えることもある。
このように塗布器の先端部に損傷が発生すると、塗布器の先端部と被塗布部材の間に形成される塗布液のビードに乱れが生じ、塗布膜には塗布器の先端部の損傷箇所付近にスジ状の塗布欠点が発生する。
【０００４】
そのため、塗布器を構成する各リップを、塗布器の先端部を構成するリップ先端部材とその他の部分からなるリップ部材との複合構成とし、リップ先端部材にはリップ部材に通常適用されるステンレス鋼よりも高硬度な超硬合金やセラミックスなどの材料を適用して、塗布器の先端部の損傷を防止することがなされている（例えば特許文献２〜４）
【特許文献１】特開平６−３３９６５６号公報
【特許文献２】特開２００４−６６０１６号公報
【特許文献３】特開２００７−１４８９３号公報
【特許文献４】特開２００５−１６１４５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２、３で示されているように、リップ部材とリップ先端部材を各々異なる材料にしてリップを構成すると、各々の部材の熱膨張係数が異なることから、使用環境の温度変化により、リップ部材とリップ先端部材に熱伸縮量の相違による反りや捩れといった変形（以下、バイメタル変形）が発生する。これにより、これらの部材を組合せた塗布器では、高い膜厚精度が得られるように一定間隔で形成された塗布器の吐出口の間隙が不均一になってしまい、膜厚精度が低下する。特に近年、基板の大型化に対応するために塗布器が長尺化しているため、塗布器が使用されるクリーンルームの微小な温度変化であっても、塗布器がバイメタル変形によって大きく変形し、要求される高い膜厚精度を満たせない。
【０００６】
このような問題を解決するために特許文献４では、各リップ単体の長手方向（塗布幅方向）と直交する断面での図心に対して、リップ先端部材の点対称位置、すなわち各リップのリップ先端部材の配置位置とは対角逆側に、熱膨張係数および縦弾性係数がリップ先端部材と同一の材料からなる調整部材を配することで、リップのバイメタル変形を抑制している。しかしながら、そのために、特許文献４の発明では、調整部材にはリップ先端部材と同一材料である非常に高価な超硬合金を用いており、そのような高価な材料を多数用いることは、コスト高となるので実際には非常に実施困難である。さらに、特許文献４では、リップごとにバイメタル変形を抑える調整部材を設けるようにしているので、調整部材の個数が多くなり、材料や組立にかかるコストが増加することの他、構造が複雑化している。バイメタル変形を抑制するためには、温度変化が発生した際に、熱伸縮量の違いによってリップ先端部材および調整部材にそれぞれ発生するモーメントを打ち消しあうことが本質となるが、それに対して、特許文献４では、調整部材の物性、形状、配置位置などがどのように影響するかについて全く触れられていない。
この発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、リップが異なる材料のリップ部材とリップ先端部材で構成された塗布器において、低コストかつ簡易な構成でバイメタル変形を抑制することが可能な塗布器、塗布装置および塗布方法、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記本発明の目的は、以下に述べる手段により達成される。
本発明の塗布器は、フロントリップとリアリップの互いの内面を対向させ、締結要素により一体的に結合されることで長手方向に延びる一定間隔のスロットと塗布液の吐出口が形成されるとともに、前記フロントリップとリアリップはそれぞれ、前記スロットと吐出口を形成するリップ先端部材が、前記リップ先端部材を保持するリップ部材に結合されて構成される塗布器において、熱膨張係数α１、縦弾性係数Ｅ１である前記リップ先端部材に対して、前記リップ先端部材と長手方向に略同一長さで、熱膨張係数α２、縦弾性係数Ｅ２である調整部材が、式（１）を満たし、且つ式（２）で算出されるβが０．８５〜１．１５となるような面積と位置で、前記リップ部材に結合されていることを特徴とする。
【０００８】
【数１】
2010069375.tif 000003
【０００９】
また、本発明の塗布器は、フロントリップとリアリップの互いの内面を対向させ、締結要素により一体的に結合されることで長手方向に延びる一定間隔のスロットと塗布液の吐出口が形成されるとともに、前記フロントリップとリアリップはそれぞれ、前記スロットと吐出口を形成するフロントリップ先端部材とリアリップ先端部材が、前記フロントリップ先端部材とリアリップ先端部材をそれぞれ保持するフロントリップ部材とリアリップ部材に結合されて構成される塗布器において、熱膨張係数αＦ１、縦弾性係数ＥＦ１である前記フロントリップ先端部材および熱膨張係数αＲ１、縦弾性係数ＥＲ１であるリアリップ先端部材に対して、前記フロントリップ先端部材およびリアリップ先端部材と長手方向に略同一長さで、熱膨張係数αＦ２、縦弾性係数ＥＦ２であるフロントリップ調整部材および熱膨張係数αＲ２、縦弾性係数ＥＲ２であるリアリップ調整部材が、式（３）および（４）を満たし、且つ式（５）および（６）で算出されるβＦおよびβＲがともに０．８５〜１．１５となるような面積と位置で、前記フロントリップ部材およびリアリップ部材にそれぞれ結合されていることを特徴とする。
【００１０】
【数２】
2010069375.tif 000004
【００１１】
本発明に係る塗布装置は、塗布液を被塗布部材に吐出する塗布器と、該塗布器に塗布液を供給する液体供給手段と、該被塗布部材を保持する保持手段と、該塗布器と該保持手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備えた塗布装置であって、該塗布器は上記のいずれかに記載の塗布器であることを特徴とする。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造装置は、前記に記載の塗布装置を用いることを特徴とする。
本発明に係る塗布方法は、前記に記載の塗布装置を用いて、塗布器から被塗布部材に塗布液を供給しつつ、該塗布器と該被塗布部材とを相対移動させて被塗布部材の表面に塗布膜を形成することを特徴とする。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法は、前記に記載の塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る塗布器によれば、リップ部材とは異なる材料のリップ先端部材を有した塗布器において、リップ先端部材と物性が異なる調整部材であっても、その形状、配置位置を最適化してバイメタル変形が抑制できるようにしたので、安価な材料を調整部材に用いることができるようになった。また、リップ先端部材に対して１つの調整部材でバイメタル変形を抑制することも可能とした。その結果、低コスト且つ簡略な構造でバイメタル変形を抑制する塗布器を実現し、リップ先端部材に超硬合金などの高硬度の材料を使用することで耐久性に優れ、しかもバイメタル変形がなく、高精度の塗布器を安価に提供することが可能となる。
本発明に係る塗布装置および塗布方法は、上記の優れた塗布器を用いて塗布を行うのであるから、微小な温度変化であっても、塗布器には、各部材の熱伸縮量の相違によって誘起される反りや捩れといったバイメタル変形もなく、リップ先端部材の高硬度化によって塗布器の先端部の損傷を防止できるので、高い膜厚精度でスジ状の塗布欠点も全くなく優れた品位の塗布膜を得ることが出来る。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造装置および製造方法によれば、上記の優れた塗布器並びに塗布装置および塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、優れた塗布品位のディスプレイ用部材を低コストかつ高い歩留りで製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係る塗布器１の概略斜視図、図２は塗布器１の概略側面断面図、図３は調整部材５の配置位置を詳細に示した概略側面断面図、図４は調整部材５の別の配置位置を詳細に示した概略側面断面図、図５は塗布器１を搭載した塗布装置であるダイコータ３０の概略構成図である。
【００１４】
図１を参照すると、本発明に係る塗布器１が示されている。塗布器１は、フロントリップ２、リアリップ３、側板４および調整部材５から構成されている。フロントリップ２とリアリップ３は、塗布器１の長手方向である塗布幅方向（図１に示すＹ方向）に延在しており、内面が互いに対向する状態で配置され、リップ締結要素である複数のリップ締結用ボルト６によって、一体的に締結固定されている。塗布器１の塗布幅方向に直交する断面を示した図２を参照すると、締結されたフロントリップ２とリアリップ３の対向する内面には、塗布液を塗布幅方向に拡幅するためのマニホールド７と、マニホールド７で拡幅された塗布液を均一に吐出するためのスロット８が、塗布幅方向に延在して形成されている。  
【００１５】
スロット８の下端には、スリット状の吐出口９が形成されており、吐出口９やスロット８の間隔であるスロット間隙ｈは塗布幅方向に均一になっている。調整部材５は、塗布幅方向に延在するフロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７からなり、吐出口９とは逆側の塗布器１の上部に配置され、フロントリップ２とリアリップ３の各々に締結固定されている。ここで、調整部材５をフロントリップ２やリアリップ３に締結固定する手段としては、ボルトによる締結や接着材による接着など強固に固定できるなら如何なる手段でも良い。図１を再び参照すると、塗布器１には、塗布液を塗布器１に供給するための供給口１０が塗布幅方向中央部に設けられている。この供給口１０から供給された塗布液は、供給口１０と連通しているマニホールド７で塗布幅方向へ拡幅され、スロット８を通過した後に、吐出口９から塗布幅方向に均一に吐出される。なお、塗布器１の塗布幅方向の両端面には、塗布器１の内部に供給された塗布液が吐出口９以外から漏れ出さないように側板４が設けられている。
【００１６】
次に、図２を再び参照すると、吐出口９が形成される塗布器１の先端部には、フロントリップ先端部材１２とリアリップ先端部材１３により構成されるリップ先端部材１１が備えられている。ここで、リップ先端部材１１の塗布幅方向の長さは、調整部材５の塗布幅方向の長さと略同一であり、好ましくは調整部材５の長さの±１５％の範囲内、さらに好ましくは±１０％の範囲内である。フロントリップ先端部材１２は、フロントリップ部材１４と結合してフロントリップ２を構成し、リアリップ先端部材１３は、リアリップ部材１５と結合してリアリップ３を構成している。フロントリップ先端部材１２とフロントリップ部材１４の結合、およびリアリップ先端部材１３とリアリップ部材１５の結合の手段としては、ボルトによる締結や接着材による接着など強固に固定できるなら如何なる手段でも良い。フロントリップ部材１４およびリアリップ部材１５の材料には、如何なるものでも適用できるが、比較的安価で耐薬品性に優れたステンレス鋼が好適に用いられる。リップ先端部材１１であるフロントリップ先端部材１２およびリアリップ先端部材１３の材料は、塗布器１の先端部の損傷を防止するために、硬質な材料であれば如何なるものでも良いが、好ましくはビッカース硬度で８００ＨＶ以上、より好ましくは１２００ＨＶ以上の高硬度の硬質材料とする。このように高硬度であれば、被塗布部材に付着したガラスや金属などの異物よりも硬度が高いので、接触や摩擦などによる傷が発生せず、且つ衝撃に対するチッピングも生じにくい、具体的な材料としてはビッカース硬度で１０００ＨＶ〜１５００ＨＶの非常に高価な超硬合金が好ましく用いられる。
【００１７】
これに対して調整部材５の材料は、リップ先端部材１１であるフロントリップ先端部材１２およびリアリップ先端部材１３と同一の材料でも良いが、異なる材料を適用する方が好ましい。特に、フロントリップ先端部材１２およびリアリップ先端部材１３の材料として、非常に高価な超硬合金が用いられている場合は、調整部材５に超硬合金に比べて比較的安価なセラミックスなどを用いると、同一材料を用いる場合に比べて塗布器１の製作コストを大幅に削減することが可能となる。このように、調整部材５に安価でリップ先端部材１１と異なる別の材料を適用する時は、熱膨張係数や縦弾性係数などの物性が異なることを配慮して、以下に説明する実施態様に基づいて調整部材５の材料、面積と図心からなる形状、配置位置を定める。
【００１８】
以下、本発明の実施態様１について説明する。本態様では、フロントリップ２のフロントリップ先端部材１２とリアリップ３のリアリップ先端部材１３により構成されるリップ先端部材１１、フロントリップ２とリアリップ３を締結して一体化した塗布器１を基準として、調整部材５の材料、形状、配置位置を定める。
【００１９】
まず、塗布器１の塗布幅方向に直交する断面での形状を示す図３を参照する。リップ先端部材１１は熱膨張係数α１、縦弾性係数Ｅ１の硬質材料より構成される。リップ先端部材１１は、長手方向すなわち塗布幅方向に直交する断面内で、フロントリップ先端部材１２が形成する形状ＫＦ１（斜線で範囲を図示）と、リアリップ先端部材１３が形成する形状ＫＲ１（斜線で範囲を図示）と、で囲われた形状Ｋ１（太線で範囲を図示）を形成する。リップ先端部材１１の形状Ｋ１には、リップ先端部材１１を構成するフロントリップ先端部材１２とリアリップ先端部材１３の間に囲まれているスロット８の一部が空間として含まれている。形状Ｋ１は面積Ｓ１を有し、図心は黒丸で示される図心Ｚ１の位置にある。なお面積Ｓ１は、形状Ｋ１の実体部分の総面積であり、空間は含まれない。
【００２０】
これに対してフロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７よりなる調整部材５は、リップ先端部材１１とは別の材料で、熱膨張係数α２、縦弾性係数Ｅ２の物性を有する。調整部材５は、これも塗布幅方向に直交する断面内で、フロントリップ調整部材１６が形成する形状ＫＦ２（斜線で範囲を図示）と、リアリップ調整部材１７が形成する形状ＫＲ２（斜線で範囲を図示）で囲われた形状Ｋ２（太線で範囲を図示）を形成する。調整部材５の形状Ｋ２には、フロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７の間に囲まれているフロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の一部が含まれているが、これを空間としている。形状Ｋ２は面積Ｓ２を有し、図心は黒丸で示される図心Ｚ２の位置にある。なお面積Ｓ２は、形状Ｋ２の実体部分の総面積であり、空間としている部分は含まれない。
【００２１】
またリップ先端部材１１、調整部材５とは別の材料で、熱膨張係数α０、縦弾性係数Ｅ０の物性を有するフロントリップ２のフロントリップ部材１４とリアリップ３のリアリップ部材１５は、一体的に結合されている。したがって、塗布幅方向に直交する断面内で、フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５が結合されて形状Ｋ０を形成する。当然ながら形状Ｋ０は、フロントリップ２とリアリップ３が結合されて形成される形状から、リップ先端部材１１の形状Ｋ１と調整部材５の形状Ｋ２を除外したものとなる（ただし空間とした部分は除外されない）。フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体の形状Ｋ０は面積Ｓ０を有し、図心は黒丸で示される図心Ｚ０の位置にある。
【００２２】
さて、環境温度が現状よりも変化すると、リップ先端部材１１とフロントリップ部材１４、リアリップ部材１５との熱膨張係数の違いから両者の熱伸縮量が異なり、それによって塗布幅方向（図３の紙面に直交する方向）に延在する塗布器１を、図３の上下方向と左右方向に曲げようとする曲げモーメントが発生する。例えば熱膨張係数α１＞α０で、環境温度が現状よりも高くなると、塗布幅方向に延在する塗布器１（フロントリップ２とリアリップ３の結合体）を上方向ＺＵに向けて曲げる曲げモーメントがリップ先端部材１１からフロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体に作用する。この時、例えば図３に一点鎖線で示されるフロントリップ２とリアリップ３が対向して結合される内面である合わせ面Ｐに対して、フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５が対称形であるのに対して、リップ先端部材１１を構成するフロントリップ先端部材１２とリアリップ先端部材１３が対称形でなく、フロントリップ先端部材１２が形成する形状ＫＦ１の方の面積が大きいとすると、塗布幅方向に延在する塗布器１を左方向ＸＬに向けて曲げる曲げモーメントがリップ先端部材１１からフロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体にさらに作用する。
【００２３】
このように温度変化に伴うリップ先端部材１１とフロントリップ部材１４、リアリップ部材１５の結合体との熱伸縮量の相違により発生する曲げモーメントに対して、調整部材５からそれを相殺する曲げモーメントが作用するように、調整部材５の材料と形状と配置位置を定める。すなわち、
１）フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の熱膨張係数α０に対して、式（１）を満たして相対的な大小関係がリップ先端部材１１の熱膨張係数α１と同じになる熱膨張係数α２を有する材料を選定する。
（α１−α０）×（α２−α０）＞０      ・・・（１）
２）リップ先端部材１１の形状Ｋ１の図心Ｚ１と、それから長さＬ１だけ離れたフロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体の形状Ｋ０の図心Ｚ０と、を結んだ直線の略延長線上に、調整部材５の形状Ｋ２の図心Ｚ２を配置し、さらに形状Ｋ２の面積Ｓ２と、図心Ｚ０と図心Ｚ２の間の長さＬ２を、式（２）のβが好ましくは０．８５〜１．１５、より好ましくは０．９〜１．１になるように定める。
β＝((α１−α０)×Ｅ１×Ｓ１×Ｌ１)／((α２−α０)×Ｅ２×Ｓ２×Ｌ２)  ・・・（２）
ここで、略延長線とは、図心Ｚ０を中心として、半径ｒ＝０．１５Ｌ１で描いた二点差線で示す円内を、図心Ｚ１から引いた直線ｍが通過するものを全て含むことを意味する。
【００２４】
以上のようにして調整部材５の材料（熱膨張係数α２、縦弾性係数Ｅ２）、形状（図心Ｚ２、面積Ｓ２）、配置位置（長さＬ２）を選定するのであれば、これらは如何なるものであってもよい。例えば本実施態様では、調整部材５はフロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７に分けて、各々フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５に結合して一体とした結合体となるようにしているが、調整部材５を一つの一体調整部材として、フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５に結合してもよい。またフロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７は図３の左右方向に離れた位置に置かれているが、フロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７が左右方向に接するように配置して、フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５に結合してもよい。このように、フロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７が左右方向に接するように配置し、しかもこれを一つの一体化した調整部材５として成形しても、一つの調整部材にすることによって材料にかかるコストを低くすることが出来るので好ましい。
【００２５】
次に、本発明の実施態様２について説明する。本態様では、フロントリップ２内でフロントリップ先端部材１２を基準として、フロントリップ調整部材１６の材料、形状、配置位置を定めるとともに、リアリップ３内でリアリップ先端部材１３を基準として、リアリップ調整部材１７の材料、形状、配置位置を定める。
【００２６】
まず、塗布器１の塗布幅方向に直交する断面での形状を示す図４を参照する。フロントリップ２において、フロントリップ先端部材１２は熱膨張係数αＦ１、縦弾性係数ＥＦ１の硬質材料より構成される。フロントリップ先端部材１２の塗布幅方向に直交する断面で示される形状ＫＦ１（斜線で範囲を図示）は面積ＳＦ１を有し、図心は黒丸で示される図心ＺＦ１の位置にある。これに対してフロントリップ調整部材１６は、フロントリップ先端部材１２とは別の材料で、熱膨張係数αＦ２、縦弾性係数ＥＦ２の物性を有する。フロントリップ調整部材１６の塗布幅方向に直交する断面内で示される形状ＫＦ２（斜線で範囲を図示）は面積ＳＦ２を有し、図心は黒丸で示される図心ＺＦ２の位置にある。
【００２７】
また、フロントリップ先端部材１２とは別の材料で、熱膨張係数αＦ０、縦弾性係数ＥＦ０の物性を有するフロントリップ部材１４は、塗布幅方向に直交する断面内での形状が形状ＫＦ０と示される。形状ＫＦ０はまた、フロントリップ２の形状からフロントリップ先端部材１２の形状ＫＦ１とフロントリップ調整部材１６の形状ＫＦ２を除外したものとなる。フロントリップ部材１４の形状ＫＦ０は面積ＳＦ０を有し、図心は黒丸で示される図心ＺＦ０の位置にある。
【００２８】
次に、リアリップ３において、リアリップ先端部材１３は熱膨張係数αＲ１、縦弾性係数ＥＲ１の硬質材料より構成される。リアリップ先端部材１３の塗布幅方向に直交する断面で示される形状ＫＲ１（斜線で範囲を図示）は面積ＳＲ１を有し、図心は黒丸で示される図心ＺＲ１の位置にある。これに対してリアリップ調整部材１７は、リアリップ先端部材１３とは別の材料で、熱膨張係数αＲ２、縦弾性係数ＥＲ２の物性を有する。
【００２９】
リアリップ調整部材１７の塗布幅方向に直交する断面で示される形状ＫＲ２（斜線で範囲を図示）は面積ＳＲ２を有し、図心は黒丸で示される図心ＺＲ２の位置にある。また、リアリップ先端部材１３とは別の材料で、熱膨張係数αＲ０、縦弾性係数ＥＲ０の物性を有するリアリップ部材１５は、塗布幅方向に直交する断面の形状が形状ＫＲ０と示される。形状ＫＲ０はまた、リアリップ３の形状からリアリップ先端部材１３の形状ＫＲ１とリアリップ調整部材１７の形状ＫＲ２を除外したものとなる。リアリップ部材１５の形状ＫＲ０は面積ＳＲ０を有し、図心は黒丸で示される図心ＺＲ０の位置にある。
【００３０】
さて、環境温度が現状よりも変化すると、フロントリップ２はフロントリップ先端部材１２とフロントリップ部材１４、リアリップ３はリアリップ先端部材１３とリアリップ部材１５の熱膨張係数の違いからそれぞれの熱伸縮量が異なり、それによって塗布幅方向（図４の紙面に直交する方向）に延在するフロントリップ２およびリアリップ３を、図３の上下方向と左右方向に曲げようとする曲げモーメントがそれぞれ発生する。
【００３１】
例えば、フロントリップ２において、熱膨張係数αＦ１＞αＦ０で、環境温度が現状よりも高くなると、塗布幅方向に延在するフロントリップ２を上方向ＺＵ、且つ右方向ＸＲに向けて曲げる曲げモーメントが、フロントリップ先端部材１２からフロントリップ部材１４に作用する。また、リアリップ３において、熱膨張係数αＲ１＞αＲ０で、温度が現状よりも高くなると、塗布幅方向に延在するリアリップ３を上方向ＺＵ、且つ左方向ＸＬに向けて曲げる曲げモーメントが、リアリップ先端部材１３からリアリップ部材１５に作用する。
【００３２】
このように環境温度変化に伴うフロントリップ先端部材１２とフロントリップ部材１４のそれぞれの熱伸縮量の相違により発生する曲げモーメントに対して、フロントリップ調整部材１６からそれを相殺する曲げモーメントが作用するように、同様に、リアリップ先端部材１３とリアリップ部材１５間で発生する曲げモーメントに対して、リアリップ調整部材１７から相殺する曲げモーメントが作用するようにする。すなわち、フロントリップ２、リアリップ３の個々で環境温度変化によるバイメタル変形をなくすようにするために、フロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７の材料と形状と配置位置をそれぞれ定める。
【００３３】
すなわち、
１）フロントリップ２／リアリップ３において、フロントリップ部材１４／リアリップ部材１５の熱膨張係数αＦ０／αＲ０に対して、式（３）／（４）を満たして相対的な大小関係がフロントリップ先端部材１２／リアリップ先端部材１３の熱膨張係数αＦ１／αＲ１と同じになる熱膨張係数αＦ２／αＲ２を有する材料をそれぞれ選定する。
（αＦ１−αＦ０）×（αＦ２−αＦ０）＞０    ・・・（３）
（αＲ１−αＲ０）×（αＲ２−αＲ０）＞０    ・・・（４）
２）フロントリップ２／リアリップ３において、フロントリップ先端部材１２の形状ＫＦ１／リアリップ先端部材１３の形状ＫＲ１の図心ＺＦ１／ＺＲ１と、それから長さＬＦ１／ＬＲ１だけ離れたフロントリップ部材１４の形状ＫＦ０の図心ＺＦ０／リアリップ部材１５の形状ＫＲ０の図心ＺＲ０と、を結んだ直線の略延長線上に、フロントリップ調整部材１６の形状ＫＦ２の図心ＺＦ２／リアリップ調整部材１７の形状ＫＲ２の図心ＺＲ２を配置し、さらに形状ＫＦ２の面積ＳＦ２／形状ＫＲ２の面積ＳＲ２と、図心ＺＦ０と図心ＺＦ２との間の長さＬＦ２／図心ＺＲ０と図心ＺＲ２との間の長さＬＲ２を、式（５）／式（６）のβＦ／βＲがそれぞれ好ましくは０．８５〜１．１５、より好ましくは０．９〜１．１になるようにそれぞれ定める。
【００３４】
【数３】
2010069375.tif 000005
【００３５】
【数４】
2010069375.tif 000006
【００３６】
ここで、略延長線とは、図心ＺＦ０／図心ＺＲ０を中心として、半径ｒＦ＝０．１５ＬＦ１／半径ｒＲ＝０．１５ＬＲ１で描いた二点差線で示す円内を、図心ＺＦ１／図心ＺＲ１から引いた直線ｍＦ／ｍＲが通過するものを全て含むことを意味する。
以上のようにしてフロントリップ調整部材１６の材料（熱膨張係数αＦ２、縦弾性係数ＥＦ２）、形状（図心ＺＦ２、面積ＳＦ２）、配置位置（長さＬＦ２）、およびリアリップ調整部材１７の材料（熱膨張係数αＲ２、縦弾性係数ＥＲ２）、形状（図心ＺＲ２、面積ＳＲ２）、配置位置（長さＬＲ２）を選定するのであれば、これらは如何なるものであってもよい。
【００３７】
また、本実施態様では、フロントリップ２とリアリップ３に、リップ先端部材１１として、フロントリップ先端部材１２とリアリップ先端部材１３をそれぞれ備えているが、塗布器１に対して、どちらか一方のリップにリップ先端部材１１を備えているものにも適用できる。例えば、フロントリップ２の先端部のみにリップ先端部材１１であるフロントリップ先端部材１２を備えている場合は、調整部材は、フロントリップ２側のみに配置されれば良く、式（３）を満たすような材料を選定し、式（５）で算出されるβＦが０．８５〜１．１５、より好ましくは０．９〜１．１となるように形状、配置位置を定める。
【００３８】
一方、リアリップ３の先端部のみにリップ先端部材１１であるリアリップ先端部材１３を備えている場合は、調整部材は、リアリップ３側のみに配置されれば良く、式（４）を満たすような材料を選定し、式（６）で算出されるβＲが０．８５〜１．１５、より好ましくは０．９〜１．１となるように形状、配置位置を定める。
【００３９】
次に、本発明に係る塗布器１を用いた塗布装置について説明する。図５を参照すると、本発明に係る塗布器１が搭載されたダイコータ３０が示されている。ダイコータ３０は、基台３１を備えており、その上に一対のガイドレール３２が設けられている。このガイドレール３２の上には、ステージ３３が設置されている。ステージ３３はリニアモータ３４により駆動され、図５に示すＸ方向に自在に往復動が可能である。またステージ３３の上面は図示しない複数個の吸着孔からなる真空吸着面となっており、被塗布部材である基板３５を吸着保持することができる。次に、基台３１には、門型の支柱３６が設置されている。この支柱３６の両側には、上下方向の往復動が可能な一対の昇降ユニット３７が備えられており、塗布を行う塗布器１は、この昇降ユニット３７に吐出口９を下向きにして取り付けられている。
【００４０】
塗布器１を上下に昇降させる昇降ユニット３７は、塗布器１の塗布幅方向の両端に１台ずつ備えられており、塗布器１を保持する保持台３８を昇降させる昇降台３９、昇降台３９を上下方向に案内するガイド４０、モータ４１の回転運動を昇降台３９の直線運動に変換するボールネジ４２、より構成されている。この昇降ユニット３７は、塗布器１の塗布幅方向の両端で各々独立して動作することができるため、塗布器１の塗布幅方向の水平に対する傾き角を任意に設定できる。これにより、塗布器１の吐出口９と被塗布部材である基板３５の表面との隙間を、塗布器１の塗布幅方向に平行にすることができ、この隙間の大きさ、すわなち、クリアランスを一様に任意の大きさに設定することができる。
【００４１】
さらに、基台３１には拭取りユニット５０が設けられている。この拭取りユニット５０は、ステージ３３と同様にガイドレール３２上を塗布方向であるＸ方向に自在に往復動できる。拭取りユニット５０は、拭取りヘッド５１と、拭取りヘッド５１をヘッド保持器５３を介して塗布幅方向に自在に往復動させる拭取りヘッド駆動装置５２、トレイ５４、拭取りユニット保持台５５で構成されている。なお、拭取りヘッド５１は、塗布器１の吐出口９を形成する先端部の形状に合わせた形をしており、合成樹脂などの弾性体を用いることが好ましい。
【００４２】
この拭取りユニット５０を使用して拭取りを行う場合は、拭取りユニット５０を塗布器１の下部までＸ方向に移動させ、塗布器１を昇降ユニット３７により下降させて拭取りヘッド５１を塗布器１の先端部に接触させる。そして、接触させた拭取りヘッド５１を、拭取りヘッド駆動装置５２により塗布器１のＸ方向に直交する塗布幅方向に摺動させることにより、塗布器１の先端部に付着した残留塗布液およびパーティクルなどを除去することができる。これらの残留塗布液およびパーティクルなどは、拭取りヘッド５１の下部に設置されたトレイ５４によって受け取られ、図示しない廃液経路を通じて、図示しない廃液タンクに回収される。なお、このトレイ５４は、塗布液の品種交換や塗布器１の先端部の乾燥防止のために吐出口９から吐出される塗布液や溶剤などを回収することにも使用できる。
【００４３】
また、ダイコータ３０には、塗布液を塗布器１に供給する塗布液供給装置６０も備えられている。塗布液供給装置６０には、塗布液２０を蓄える塗布液タンク６１が備えられている。この塗布液２０は、塗布液タンク６１の下流に接続されたポンプ供給路６２、吸引用開閉バルブ６３を経て、シリンジポンプ６４に供給される。シリンジポンプ６４に供給された塗布液２０は、吐出用開閉バルブ６５、ダイ供給路６６を介して、塗布器１の供給口１０からマニホールド７に送り込まれる。
【００４４】
シリンジポンプ６４は、シリンジ６７、ピストン６８、ピストン６８を保持するピストン保持台６９、ピストン保持台６９を上下方向に案内するピストン昇降ガイド７０、ピストン保持台６９の上下方向の駆動源であるモータ７１、モータ７１の回転運動をピストン保持台６９の直線運動に変換するボールネジ７２、より構成されている。本構成を有するシリンジポンプ６４は、塗布液タンク６１からピストン６８の内部通路を経てシリンジ６７の内部に塗布液２０の充填を行い、それをピストン６８により押し出すことで、塗布器１に基板３５の塗布領域分の容量の塗布液２０を供給する定容量型のポンプである。
【００４５】
シリンジ６７の内部に塗布液２０を充填する場合は、シリンジ６７の上流に取り付けられている吸引用開閉バルブ６３を「開」、シリンジ６７の下流に取り付けられている吐出用開閉バルブ６５を「閉」にした状態で、ピストン６８を下降させる。また、シリンジ６７の内部の塗布液２０を塗布器１に向かって送液する場合は、吸引用開閉バルブ６３を「閉」、吐出用開閉バルブ６５を「開」にした状態で、ピストン６８を上昇させる。シリンジポンプ６４から送液された塗布液２０は、塗布器１に供給される。
【００４６】
なお、リニアモータ３４、モータ４１、さらにはシリンジポンプ６４のピストン６８を駆動するモータ７１を含む塗布液供給装置６０などは、すべて制御装置８０の制御信号にて動作する。そして、制御装置８０に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各装置に送信されることで、あらかじめ定められた動作を行う。また、各動作条件の変更が必要な場合は、操作盤８１に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置８０に伝達されて、運転動作の変更が可能となる。
【００４７】
次に、本発明に係る塗布器１を搭載したダイコータ３０を使って、基板３５に塗布する塗布方法の一例について説明する。
【００４８】
まず、ダイコータ３０における各可動部の原点復帰が行われると、各可動部はあらかじめ設定されたスタンバイ位置に移動する。なお、この時までに目標とする塗布条件を実現するためのパラメータは、操作盤８１に入力が完了されている。さらに、塗布液タンク６１から塗布器１の内部まで塗布液２０は既に充満されており、ピストン６８は最下点にあり、吸引用開閉バルブ６３は閉、吐出用開閉バルブ６５は開となっている。
【００４９】
以上の準備動作が完了した時点で、拭取りユニット５０をＸ方向に塗布器１の直下に移動させる。続いて、ステージ３３の表面に図示しない複数のリフトピンを上昇させ、図示しないアンローダから基板３５をリフトピン上部に積載する。そしてリフトピンを下降させて、基板３５をステージ３３の上面に載置し、図示しないセンタリング装置で基板３５の位置決めを行い、図示しない複数の吸着孔により基板３５を吸着保持する。
【００５０】
これと並行して、塗布液供給装置６０を稼動させて、塗布器１から少量の塗布液２０をトレイ５４に向かって吐出させる。そして、塗布器１を昇降ユニット３７により下降し、塗布器１の先端を拭取りヘッド５１に接触させ、拭取りヘッド５１を塗布器１の塗布幅方向に摺動させる。塗布器１の吐出口９の周辺が拭取りヘッド５１の摺接によって清掃されたら、塗布器１は昇降ユニット３７によって上昇され、拭取りユニット５０は塗布器１から離れたＸ方向の原点位置に戻される。
【００５１】
次に、基板３５を保持したステージ３３が移動を開始し、図示しないセンサにより基板３５の厚さを計測する。その後、基板３５の塗布開始位置が塗布器１の吐出口９の真下まで移動してステージ３３が停止する。そして、図示しないセンサにより計測された基板３５の厚さを基に、昇降ユニット３７が稼動されて、塗布器１の吐出口９と基板３５の表面までの隙間、すなわちクリアランスが設定された値になるよう、塗布器１を下降させる。
【００５２】
塗布器１の下降が終了したら、塗布液供給装置６０を駆動し、ピストン６８でシリンジ６７の内部に充填された塗布液２０を押し出して、図５に示すようにビード４４を形成してから一定時間後に、基板３５を保持したステージ３３をリニアモータ３４により移動開始させる。これによって塗布器１の吐出口９から、移動する基板３５の表面に塗布液２０が吐出され、ビード４４を形成しつつ塗布膜が形成される。その後、基板３５の塗布終了部が塗布器１の吐出口９の位置にきたら、ピストン６８を停止させて塗布液２０の供給を停止し、続いて昇降ユニット３７を駆動して、塗布器１を上昇させる。
【００５３】
この動作で、基板３５と塗布器１の間に形成されたビード４４が完全に断ち切られ、塗布が終了する。その後もステージ３３は移動を続け、基板３５を搬出する位置で停止する。これと並行して、塗布器１は上下方向の原点位置に戻される。そして、ステージ３３上の基板３５の吸着を解除し、図示しないリフトピンを上昇することで基板３５を持ち上げ、アンローダが基板３５を保持して、次工程に基板３５を搬送する。
【００５４】
次いで、ステージ３３は原点位置に戻され、吸引用開閉バルブ６３を開、吐出用開閉バルブ６５を閉としてから、シリンジポンプ６４のピストン６８は下降して、シリンジ６７の内部に新たな塗布液２０を充填させる。塗布液２０の充填が完了したら、吸引用開閉バルブ６３を閉、吐出用開閉バルブ６５を開とし、その後に再び、拭取りユニット５０をＸ方向に塗布器１の下部まで移動させ、次の基板３５が移載されてくるのを待ち、同じ動作を繰り返す。
【００５５】
ここで、本発明が適用できる塗布液２０としては、流動性をもつ液体であれば特に限定されないが、例えば、着色用塗布液、レジスト液、表面保護用塗布液、帯電防止用塗布液、あるいは、滑性用塗布液などがあり、水や有機溶媒に、高分子材料やガラス、金属などの無機材料を溶解もしくは分散させたものが多く使用される。また、用いられる塗布液２０の粘度は、好ましくは０．５〜１００，０００ｍＰａ・ｓ、より好ましくは１〜５０，０００ｍＰａ・ｓであり、塗布性からニュートニアンであることが好ましいが、チキソ性を有する塗布液にも適用できる。具体的に適用できる塗布液の例としては、カラーフィルタ用のＲＧＢレジスト液、ブラックマトリックス用レジスト液、フォトスペーサ用レジスト液、オーバーコート材、アレイ基板用ポジレジスト液、ＰＤＰ用の隔壁用感光性ガラスペーストなどがある。また、基板３５である被塗布部材としてはガラスの他にアルミなどの金属板、セラミック板、シリコンウェハーなどを用いてもよい。
【実施例】
【００５６】
以下に、実施例を示し、本発明例を更に具体的に説明する。
本発明に係る塗布器１を、図５に示すダイコータ３０にそのまま適用してカラーフィルタを製造した。塗布器１は図１に示す構成で、塗布幅が１１００ｍｍ、スロット間隙ｈが１００μｍである。フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体であるリップ部材としては、図３に示すリップ部材の形状Ｋ０の面積Ｓ０が１５０００ｍｍ２、長手方向の長さが１３００ｍｍ、熱膨張係数α０が１１×１０−６／Ｋ、縦弾性係数Ｅ０が２００ＧＰａであるステンレス鋼を使用した。また、フロントリップ先端部材１２とリアリップ先端部材１３により構成されるリップ先端部材１１としては、硬度がビッカース硬度で１２００ＨＶ、リップ先端部材１１の形状Ｋ１の面積Ｓ１が３００ｍｍ２、長手方向の長さが１１００ｍｍ、熱膨張係数α１が５．８×１０−６／Ｋ、縦弾性係数Ｅ１が５５０ＧＰａである超硬合金を使用し、リップ先端部材１１の形状Ｋ１の図心Ｚ１と、リップ部材の形状Ｋ０の図心Ｚ０と、の間の長さＬ１が６０ｍｍとなるように配置した。
【００５７】
ここで、バイメタル変形を抑制するために、フロントリップ調整部材１６とリアリップ調整部材１７で構成される調整部材５の材料、形状、配置位置は、実施様態１に基づいて選定した。まず、調整部材５の材料としては、式（１）を満たすように熱膨張係数α２が６×１０−６／Ｋ、縦弾性係数Ｅ２が４００ＧＰａ、Ａｌ２Ｏ含有率が９９．５％以上であるアルミナ・セラミックスを選定した。
【００５８】
形状、配置位置としては、調整部材５の形状Ｋ２の面積Ｓ２を３５０ｍｍ２、リップ部材の形状Ｋ０の図心Ｚ０と、調整部材５の形状Ｋ２の図心Ｚ２と、の間の長さＬ２を７０ｍｍで、式（２）のβが０．８５〜１．１５の範囲内である１．０５となるように配置した。ここで、調整部材５の長手方向の長さはリップ先端部材と同一長さの１１００ｍｍにし、調整部材５の形状Ｋ２の図心Ｚ２は、リップ先端部材１１の形状Ｋ１の図心Ｚ１と、リップ部材の形状Ｋ０の図心Ｚ０と、を結んだ直線の延長線上に配置した。
【００５９】
次に、カラーフィルタの製造に使用する塗布液２０としては、ブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色の各塗布液を用意した。ブラックマトリックス用塗布液は、カーボンブラックを遮光材、アクリル樹脂をバインダー、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を溶媒にそれぞれ用い、固形分濃度を１０％、粘度を１０ｍＰａ・ｓに調整した。同様に、Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１５％で混合し、粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１５％で粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１５％で粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したものである。これらの塗布液はいずれも感光性特性を有するものであった。
【００６０】
上記のダイコータ３０を使用して以下の手順でカラーフィルタを製造した。
まず、１１００×１３００ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラスの基板３５に、塗布膜厚１０μｍ、塗布器１と基板３５との間であるクリアランスが１００μｍ、塗布速度３ｍ／分にて塗布した。塗布した基板３５は１００℃のホットプレートで１０分乾燥して、露光・現像・剥離を行なった後、２６０度のホットプレートで３０分加熱してキュアし、厚さが１μｍとなるブラックマトリックスパターンを作成した。
【００６１】
次に、Ｒ色用塗布液を塗布膜厚が１３μｍにする以外はブラックマトリックス用塗布液と全く同じ条件でダイコータ３０にて、ブラックマトリックスが形成された１００枚の基板３５に連続して塗布を行なった。塗布した基板３５は、９０℃のホットプレートで１０分乾燥後、露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗布膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。次に、Ｒ色用塗布液と同様の操作をＧ色用塗布液、Ｂ色用塗布液にも順次適用し、最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させ、１００枚のカラーフィルタを作成した。
【００６２】
この際、基板３５に付着している異物が原因と見られる塗布器１と異物との衝突が５回確認されたが、硬質材料のリップ先端部材１１を使用していることから、塗布器１の先端部には損傷も起こらず、得られたカラーフィルタにも塗布欠点は見られなかった。また、ダイコータ３０が使用された環境は、カラーフィルタの製造をしている間で±２℃程度の温度変化が常時発生していたが、塗布器１のバイメタル変形は皆無であり、その結果、得られたカラーフィルタは、全数に亘って膜厚精度が±３％以下で高品質のカラーフィルタが得られた。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係る塗布器１の概略斜視図である。
【図２】塗布器１の概略側面断面図である。
【図３】調整部材５の配置位置を詳細に示した概略側面断面図である。
【図４】調整部材５の別の配置位置を詳細に示した概略側面断面図である。
【図５】塗布器１を搭載した塗布装置であるダイコータ３０の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６４】
１：塗布器
２：フロントリップ
３：リアリップ
４：側板
５：調整部材
６：リップ締結用ボルト
７：マニホールド
８：スロット
９：吐出口
１０：供給口
１１：リップ先端部材
１２：フロントリップ先端部材
１３：リアリップ先端部材
１４：フロントリップ部材
１５：リアリップ部材
１６：フロントリップ調整部材
１７：リアリップ調整部材
２０：塗布液
３０：ダイコータ
３１：基台
３２：ガイドレール
３３：ステージ
３４：リニアモータ
３５：基板
３６：支柱
３７：昇降ユニット
３８：保持台
３９：昇降台
４０：ガイド
４１：モータ
４２：ボールネジ
４４：ビード
５０：拭取りユニット
５１：拭取りヘッド
５２：拭取りヘッド駆動装置
５３：ヘッド保持器
５４：トレイ
５５：拭取りユニット保持台
６０：塗布液供給装置
６１：塗布液タンク
６２：ポンプ供給路
６３：吸引用開閉バルブ
６４：シリンジポンプ
６５：吐出用開閉バルブ
６６：ダイ供給路
６７：シリンジ
６８：ピストン
６９：ピストン保持台
７０：ピストン昇降ガイド
７１：モータ
７２：ボールネジ
８０：制御装置
８１：操作盤
ｈ：スロット間隙
Ｋ０：リップ部材（フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体）の長手方向に直交する断面での形状
Ｋ１：リップ先端部材１１の長手方向に直交する断面での形状
Ｋ２：調整部材５の長手方向に直交する断面での形状
ＫＦ０：フロントリップ部材１４の長手方向に直交する断面での形状
ＫＦ１：フロントリップ先端部材１２の長手方向に直交する断面での形状
ＫＦ２：フロントリップ調整部材１６の長手方向に直交する断面での形状
ＫＲ０：リアリップ部材１５の長手方向に直交する断面での形状
ＫＲ１：リアリップ先端部材１３の長手方向に直交する断面での形状
ＫＲ２：リアリップ調整部材１７の長手方向に直交する断面での形状
Ｚ０：形状Ｋ０の図心
Ｚ１：形状Ｋ１の図心
Ｚ２：形状Ｋ２の図心
ＺＦ０：形状ＫＦ０の図心
ＺＦ１：形状ＫＦ１の図心
ＺＦ２：形状ＫＦ２の図心
ＺＲ０：形状ＫＲ０の図心
ＺＲ１：形状ＫＲ１の図心
ＺＲ２：形状ＫＲ２の図心
Ｓ０：形状Ｋ０の面積
Ｓ１：形状Ｋ１の面積
Ｓ２：形状Ｋ２の面積
ＳＦ０：形状ＫＦ０の面積   
ＳＦ１：形状ＫＦ１の面積
ＳＦ２：形状ＫＦ２の面積
ＳＲ０：形状ＫＲ０の面積
ＳＲ１：形状ＫＲ１の面積
ＳＲ２：形状ＫＲ２の面積
ｍ：図心Ｚ１と図心Ｚ０を通る直線
ｍＦ：図心ＺＦ１と図心ＺＦ０を通る直線
ｍＲ：図心ＺＲ１と図心ＺＲ０を通る直線
Ｌ１：図心Ｚ１と図心Ｚ０との間の長さ
Ｌ２：図心Ｚ０と図心Ｚ２との間の長さ
ＬＦ1： 図心ＺＦ１と図心ＺＦ０との間の長さ
ＬＦ２：図心ＺＦ０と図心ＺＦ２との間の長さ
ＬＲ１：図心ＺＲ１と図心ＺＲ０との間の長さ
ＬＲ２：図心ＺＲ０と図心ＺＲ２との間の長さ
Ｐ：フロントリップ２とリアリップ３が対向して結合される内面である合わせ面
α０：リップ部材（フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体）の熱膨張係数
α１：リップ先端部材１１の熱膨張係数
α２：調整部材５の熱膨張係数
αＦ０：フロントリップ部材１４の熱膨張係数
αＦ１：フロントリップ先端部材１２の熱膨張係数
αＦ２：フロントリップ調整部材１６の熱膨張係数
αＲ０：リアリップ部材１５の熱膨張係数
αＲ１：リアリップ先端部材１３の熱膨張係数
αＲ２：リアリップ調整部材１７の熱膨張係数
Ｅ０：リップ部材（フロントリップ部材１４とリアリップ部材１５の結合体）の縦弾性係数
Ｅ１：リップ先端部材１１の縦弾性係数
Ｅ２：調整部材５の縦弾性係数
ＥＦ０：フロントリップ部材１４の縦弾性係数
ＥＦ１：フロントリップ先端部材１２の縦弾性係数
ＥＦ２：フロントリップ調整部材１６の縦弾性係数
ＥＲ０：リアリップ部材１５の縦弾性係数
ＥＲ１：リアリップ先端部材１３の縦弾性係数
ＥＲ２：リアリップ調整部材１７の縦弾性係数
【図１】
2010069375.tif 000009
【図２】
2010069375.tif 000010
【図３】
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【図４】
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【図５】
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