(57)【要約】【課題】装置の輸送時には、装置を小型化することができて、装置の輸送を円滑に行なうことができるようにする。【解決手段】架台１の上面には、基板が載置される基板保持機構８が設けられ、その両側にＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂが設けられ、その磁石板７とガイドレール７ａ，７ｂに沿って移動する架台側支持部材５ａ，５ｂとしてのスライダ３０ａ，３０ｂが夫々設けられている。また、ガントリ２ｂの横梁３ｂの夫々の先端部には、横梁側支持部材４ａ，４ｂが設けられ、これらの先端部のＬ字型金具３１ａ，３１ｂが夫々スライダ３０ａ，３０ｂの上面に載置されて締結ボルトによって固定され、これにより、ガントリ２ｂが架台１に移動可能に取り付けられる。そして、かかる締結ボルトを取り外すことにより、ガントリ２ｂを架台１から分離することができる。他方のガントリ２ａについても、同様である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出するペースト塗布装置において、
該架台上の該基板載置テーブルの外側に該ガントリの移動機構を設け、
該移動機構に該ガントリを着脱可能に取り付けるガントリ取り付け手段を設けたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出するペースト塗布装置において、
該架台上の該基板載置テーブルよりも下側に該ガントリの移動機構を設け、
該移動機構に該ガントリを着脱可能に取り付けるガントリ取り付け手段を設けたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項３】
請求項１に記載のペースト塗布装置において、
前記ガントリ取り付け手段は、前記基板載置テーブルよりも低い位置に設けたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項４】
ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出するペースト塗布装置において、
該架台上の該基板載置テーブルの外側に該ガントリの移動機構を設けて該ガントリを移動させ、
該移動機構で該ガントリの該移動機構からの取り外し、該移動機構への取り付けを可能に構成したことを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項５】
ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出するペースト塗布装置において、
該架台上の該基板載置テーブルよりも下側に該ガントリの移動機構を設けて該ガントリを移動させ、
該移動機構で該ガントリの該移動機構からの取り外し、該移動機構への取り付けを可能に構成したことを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項６】
請求項４に記載のペースト塗布方法において、
前記ガントリの移動機構は、前記基板載置テーブルよりも低い位置に設けられていることを特徴とするペースト塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルの製造過程で、基板上にペーストの塗布、あるいは液晶の滴下をするためのペースト塗布装置及び塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のペースト塗布装置として、ペーストパターンが描画される基板を保持した基板保持機構が架台上に設けられ、また、複数の塗布ヘッドをＹ軸方向に移動可能に設けられた２個のヘッド支持機構が架台上に設けられ、これらヘッド支持機構の一方を固定し、他方を架台上でＹ軸方向に移動させるようにし、これら塗布ヘッド部のＹ軸方向への移動とヘッド支持機構のＸ軸方向への移動とともに、塗布ヘッド部で基板上にペーストを塗布することにより、基板上に所定のペーストパターンを描画するようにしたペースト塗布装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３７９３７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＬＣＤ（液晶表示装置）などのフラットパネルの分野においては、そのパネルを形成するためのガラス基板のサイズの大型化が急速に進んでおり、これに伴って、かかるフラットパネルを作成するためのペースト塗布装置も大型化してきており、もはやガラス基板を搭載するテーブルを駆動し、塗布ヘッド部のノズルを上下動させてペーストパターンを描画する方式では、省スペース化が図り難くなってきている。
【０００５】
そこで、上記特許文献１に記載のペースト塗布装置は、Ｘ軸方向に移動可能とし、ヘッド支持機構を基板をまたぐ構造のガントリ（門型フレーム）の構造とし、かかるガントリの一方をＸ軸方向に移動可能とするとともに、かかるガントリの横梁に複数の塗布ヘッド部をＹ軸方向に移動可能とし、塗布ヘッド部と基板との相対位置関係を変化させながら塗布ヘッド部のノズルから基板上にペーストを塗布することにより、基板上にペーストパターンを描画する方式が採られるものであり、これにより、装置の小型化が図られている。
【０００６】
しかしながら、さらにガラス基板の大型化が進み、かかる方式を採りながらペースト塗布装置を大型化すると、かかるペースト装置を搬送する搬送車の幅限界を越えてしまい、輸送が困難な状況になるという問題が生ずる。
【０００７】
本発明の目的は、かかる問題を解消し、装置の輸送時には、装置を小型化することができて、装置の輸送を円滑に行なうことができるようにしたペースト塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、稼動時においても、塵埃対策を施しつつ、塗布精度を低減することなく、設置スペースを小さくすることができようにしたペースト塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置であって、架台上の基板載置テーブルの外側にガントリの移動機構を設け、移動機構にガントリを着脱可能に取り付けるガントリ取り付け手段を設けたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置であって、架台上の基板載置テーブルよりも下側にガントリの移動機構を設け、移動機構にガントリを着脱可能に取り付けるガントリ取り付け手段を設けたことを特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明によるペースト塗布装置は、ガントリ取り付け手段、基板載置テーブルよりも低い位置に設けたことを特徴とする。
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は、ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置において、架台上の基板載置テーブルの外側にガントリの移動機構を設けてガントリを移動させ、移動機構でガントリの移動機構からの取り外し、移動機構への取り付けを可能に構成したことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、ノズル吐出口からペーストを吐出する塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに載置された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出するペースト塗布装置において、架台上の基板載置テーブルよりも下側にガントリの移動機構を設けてガントリを移動させ、移動機構でガントリの移動機構からの取り外し、移動機構への取り付けを可能に構成したことを特徴とする。
【００１４】
さらに本発明によるペースト塗布方法は、ガントリの移動機構が、基板載置テーブルよりも低い位置に設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、大型の基板を取り扱うことができて、しかも、輸送に際しては、簡単な分解作業によって搬送車の制限幅を越えない程度に小型化することができ、その輸送を支障なく行なうことができる。
【００１６】
また、装置を設置する際の装置の組み立て時に要求される装置の各部の精度を低下させることがないし、装置を輸送する際の装置の分解や組み立て，調整などの作業も少なくなって、装置の納入先への搬送，納入が容易なものとなる。
【００１７】
さらに、ガントリを支持しながら移動させる移動機構が設置されている基板よりも下方に位置するものであるから、かかる移動機構の摺動によって発生する塵芥などが基板に影響することがなくなる。
【００１８】
以上のことから、本発明では、装置の搬送の円滑化，安全性を確保することができ、稼働時の高品質なペーストの塗布や液晶の滴下を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明によるペースト塗布装置及び方法の第１の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１における塗布ヘッド部の一具体例を示す斜視図である。
【図３】図１に示す第１の実施形態での主制御系統の一具体例を示すブロック図である。
【図４】図１に示す第１の実施形態での副制御系統の一具体例を示すブロック図である。
【図５】図１に示す第１の実施形態の全体動作の一具体例を示すフローチャートである。
【図６】図１に示すペースト塗布装置のガントリを基台から取り外した状態の一具体例を示す斜視図である。
【図７】図６における「ア部」、即ち、ガントリと架台との接続機構を拡大して示す斜視図である。
【図８】図６に示す状態から図１に示す状態にするための作業の流れの一具体例を示すフローチャートである。
【図９】図１に示す状態から図６に示す状態にするための作業の流れの一具体例を示すフローチャートである。
【図１０】図１に示すペースト塗布装置のガントリを基台から取り外した状態の他の具体例を示す斜視図である。
【図１１】図１０におけるガントリと架台との接続機構を拡大して示す斜視図である。
【図１２】本発明によるペースト塗布装置及び方法の第２の実施形態をほぼＹ軸方向に見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明は、ノズルを有する１個または複数個の塗布ヘッド部を直動案内する塗布ヘッドのＹ軸方向移動機構を備えた横梁からなる門型フレーム（ガントリ）を備えた構成をなすものである。
【００２１】
ガラス基板は年々大型化することによるペースト塗布装置の大型化に伴い、組み立て，調整された装置をそのまま製造元から据付け先などに陸上輸送するには、道路や搬送車の幅などの制限により、支障を来す状況になってきている。さらには、ガントリがガラス基板よりも上側を移動する構造が多いことから、この移動に伴ってガントリの支持部の摺動により発生する塵芥がガラス基板の表面に落下し、製品となるペースト塗布された、あるいは液晶が滴下されたガラス基板の品質を劣化させるという問題があった。
【００２２】
そこで、本発明は、ガントリの支持部とその移動機構との接続部でガントリと架台とを分割できる構造とするものであり、これにより、ペースト塗布装置の陸上輸送に際しては、ガントリを架台から切り離して輸送し、据付け先では、ガントリを架台に組み合わせるようにするものであり、組み立て作業を簡略化して使用することができる状態にすることができる。
【００２３】
また、架台上でのガントリの移動による摺動部は、架台の辺部にガラス基板が載置されるテーブルよりも下側に配置されるものであり、これにより、装置の設置面積の増加が抑圧され筒、ダウンフローの空調環境下でガントリの摺動部で発生する塵芥が製品となるガラス基板に落下しにくい構造とするものである。
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面をもとに説明する。
【００２５】
図１は本発明によるペースト塗布装置及び方法の第１の実施形態をほぼＸ軸方向に見た斜視図であって、１は架台、１ａ，１ｂは架台側面、２ａ，２ｂはガントリ（門型フレーム）、３ａ，３ｂは横梁、４ａ，４ｂは横梁側支持部材、５ａ，５ｂは架台側支持部材、６ａ，６ｂはＸ軸方向移動機構、７は磁石板、８は基板保持機構、９はヘッド設置面、１０は塗布ヘッド部、１１はリニアレールを含むＹ軸方向移動機構、１２はＺ軸サーボモータ、１３はＺ軸移動テ−ブル支持ブラケット、１４はＺ軸移動テーブルである。
【００２６】
なお、図１では、この図面が煩雑となることを避けるために、図面上に現われている部分にのみ符号を付け、それ以外の部分については、符号を省略している。また、この第１の実施形態は、基板面上にペーストパターン（シール材パターン）を描画するペースト塗布装置及び方法に関するものとするものであるが、基板上に液晶を滴下する滴下装置にも適用できることは言うまでもない。
【００２７】
図１において、架台１上には、基板保持機構８が設けられており、搬送されてきた図示しないガラス基板がこの基板保持機構８に搭載される。この基板保持機構８は搭載された基板をＸ，Ｙ軸方向に移動させたり、回動（θ軸方向の移動）させたりするのが可能であって、これにより、基板の位置，姿勢が微調整される。
【００２８】
架台１上のこの基板保持機構８の両側の下側には、Ｘ軸方向に沿う架台１の両側の辺部に沿ってＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂが設けられている。これらＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂは夫々、ここでは、例えば、リニアモータを形成するものであって、その磁石板７がＸ軸方向に沿って設置されている。これらＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂ上に２つのガントリ２ａ，２ｂが載置・支持されており、これらＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂにより、Ｘ軸方向に移動することができる。使用される最大幅の基板に対し、架台１のＸ軸方向の幅（以下、横幅という）をできるだけ小さくしてできるだけ小型化するために、この横幅方向の対向する辺に設けられた磁石板７は、架台１のＸ軸方向の側面（即ち、架台側面）１ａ，１ｂに近接して設置されている。
【００２９】
ここで、図面上手前側のガントリ２ｂについて説明すると、このガントリ２ｂは、Ｘ軸方向に垂直なＹ軸方向に長い横梁３ｂと、この横梁３ｂの両端部に設けられ、この横梁２ｂを支持する脚状の２つの横梁側支持部材４ａ，４ｂとからなり、これら横梁側支持部材４ａ，４ｂが夫々Ｘ軸方向移動機構６ａ，６ｂに移動可能に設けられている架台側支持部材（スライダ）５ａ，５ｂに取り付けられている。
【００３０】
ガントリ２ｂの横梁３ｂは架台１のＸ軸方向の幅よりも長く、このため、横梁３ｂの両端部は架台１のＸ軸に平行な両側の側面、即ち、架台側面１ａ，１ｂから突出しており、このため、この横梁３ｂの両端部の下面に設けられている横梁側支持部材４ａ，４ｂも夫々、架台１のかかる両側の架台側面１ａ，１ｂから突出している。これにより、ガントリ２ｂは、横梁３ｂが基板保持機構８を横梁側支持部材４ａ，４ｂと架台側支持部材５ａ，５ｂとで抱え込んでいるような形状をなしている。
【００３１】
他方のガントリ２ａについても、ガントリ２ｂの以上の構成と同様の構成をなしている。
【００３２】
ガントリ２ａ，２ｂの横梁３ａ，３ｂの互いに対向するヘッド設置面９には夫々、複数の塗布ヘッド部１０が設けられている。図１では、向う側のガントリ２ａのヘッド面１０が正面側を向いて示しているので、以下、このガントリ２ａのヘッド設置面９について説明する。
【００３３】
ガントリ２ａのヘッド設置面９には、その面の長手方向（即ち、Ｙ軸方向）に沿ってＹ軸方向移動機構１１が設けられており、このＹ軸方向移動機構１１に複数の塗布ヘッド部１０が取り付けられている（なお、ここでは、１つの塗布ヘッド部１０にのみ符号を付している）。これら塗布ヘッド部１０には夫々、Ｙ軸方向移動機構１１とともに構成されるＹ軸方向移動機構のリニアモータが設けられており、かかるリニアモータが、これら塗布ヘッド部１０をＹ軸方向移動機構１１に沿ってＹ軸方向に移動させる。なお、以下の説明では、かかるＸ軸方向移動機構についても、Ｙ軸方向移動機構１１として説明する。
【００３４】
夫々の塗布ヘッド部１０の基台には、その裏面側（ヘッド設置面９側）に、上記のように、Ｙ軸方向移動機構１１としてのリニアモータが設けられ、その表面側にＺ軸サーボモータ１２を有するＺ軸移動テ−ブル支持ブラケット１３が設けられており、このＺ軸サーボモータ１２により、塗布ヘッド部１０を上下に移動させるＺ軸移動テーブル１４が設けられている。このＺ軸移動テーブル１４に、後述するように、ペースト収納筒（シリンジ）やノズルが設けられたノズル支持具，距離計，照明光源を備えた鏡筒と画像認識カメラなどが取り付けている。
【００３５】
以上の構成は、手前側のガントリ２ｂのヘッド設置面についても同様である。そして、かかる構成により、Ｙ軸方向移動機構１１によって各塗布ヘッド部１０が基板保持機構８に載置された基板上をＹ軸方向に駆動され、Ｘ軸方向移動機構６ａ，６ｂによってガントリ２ａ，２ｂが、従って、各塗布ヘッド部１０が同じくＸ軸方向に駆動されて、この基板上に複数の同一形状のペーストパターンが同時に描画される。
【００３６】
図２は図１における塗布ヘッド部１３の一具体例の腰部を拡大して示す斜視図であって、１５はペースト収納筒、１６はノズル支持具、１７はノズル、１８は距離計、１９は基板である。
【００３７】
同図において、ペースト収納筒１５やノズル１７が設けられたノズル支持具１６及び距離計１８は、Ｚ軸移動テーブル１４（図１）に設けられている。
【００３８】
距離計１８は、ノズル１７の先端部から基板保持機構８（図１）に搭載されている基板１９の表面（上面）までの距離を非接触式の三角測距法で計測する。即ち、距離計１８の筐体内に発光素子が設けられ、この発光素子から放射されたレーザ光は基板１９上の計測点Ｓで反射し、同じく筐体内に設けられた受光素子での受光位置に応じて計測される。また、基板１９上でのレーザ光の計測点Ｓとノズル２０の直下位置とは、基板１９上で僅かな距離ΔＸ及びΔＹだけずれているが、この僅かな距離程度のずれでは、基板１９の表面の凹凸の差が無視できる範囲なので、距離計１８の計測結果とノズル１７の先端部から基板１９の表面（上面）までの距離との間に差は殆ど存在しない。従って、この距離計１８の計測結果に基いてＺ軸移動テーブル９を制御することにより、基板１９の表面の凹凸（うねり）に合わせてノズル１７の先端部から基板１９の表面（上面）までの距離（間隔）を一定に維持することができる。
【００３９】
このようにして、ノズル１７の先端部から基板１９の表面（上面）までの距離（間隔）を一定に維持し、かつ、ノズル１７から吐出される単位時間当りのペースト量が定量に維持することにより、基板１９上に塗布描画されるペーストパターンはその幅や厚さが一様になる。
【００４０】
なお、図示しないが、照明の可能な光源を備えた鏡筒と画像認識カメラは、各塗布ノズル２０の平行調整や間隔調整用に使用される他、基板１９の位置合わせやペーストパターンの形状認識などのために、基板に対向するように設けられている。
【００４１】
図１に戻って、この実施形態では、以上の各部を制御する制御部を備えている。即ち、架台１の内部には、各機構の駆動を行なうリニアモータとテーブルを移動させるサーボモータを制御する主制御部が設けられている。そして、この主制御部に、ケーブルを介して、副制御部に接続されている。副制御部は、Ｚ軸移動テーブル１４を駆動するＺ軸サーボモータ１０を制御する。
【００４２】
図３はかかる主制御部の構成とその制御の一具体例を示すブロック図であって、２０ａは主制御部、２０ａａはマイクロコンピュータ、２０ａｂはモータコントローラ、２０ａｃは画像認識装置、２０ａｄは外部インターフェース、２０ａｅはデータ通信バス、２０ｂは副制御部、２１はＵＳＢ（ユニバーサル・シリアル・バス）メモリ、２２はハードディスク、２３はモニタ、２４はキーボード、２５はレギュレータ、２６はバルブユニット、２７ａは塗布ヘッド部移動用Ｙ軸リニアモータ用ドライバ、２７ｂはガントリ移動用Ｘ軸リニアモータ用ドライバ、２７ｃはテーブル回転用θ軸モータ用ドライバ、２８は画像認識カメラ、２９は通信ケーブルである。
【００４３】
同図において、主制御部２０ａは、マイクロコンピュータ２０ａａ、Ｙ軸方向移動機構１１を駆動する塗布ヘッド部移動用Ｙ軸リニアモータ用ドライバ（以下、Ｙ軸ドライバと略称する）２７ａやＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂを駆動するガントリ移動用Ｘ軸リニアモータ用ドライバ（以下、Ｘ軸ドライバと略称する）２７ｂ，基板が搭載された基板保持機構８（図１）をθ軸方向に駆動するテーブル回転用θ軸モータ用ドライバ（以下、θ軸ドライバと略称する）２７ｃを制御するモータコントローラ２０ａｂ、画像認識カメラ２８で得られる映像信号を処理する画像処理装置２０ａｃ及び副制御部２０ｂや塗布ヘッド部１０のペースト塗布動作を制御するレギュレータ２５，バルブユニット２６と通信を行なう外部インターフェース１７ａｄを内蔵しており、これらマイクロコンピュータ２０ａａとモータコントローラ２０ａｂと画像処理装置２０ａｃと外部インターフェース１７ａｄとがデータ通信バス２０ａｅを介して相互に接続されている。ここで、副制御部２０ｂは、この外部インターフェース１７ａｄに通信ケーブル２９を介して接続されている。
【００４４】
また、主制御部２０ａには、ＵＳＢメモリ２１や外部記憶装置であるハードディスク２２，モニタ２３やキーボード２４などが接続されている。キーボード２４から入力されたデータなどは、モニタ２３で表示されるとともに、ハードディスク２２やＵＳＢメモリ２１などの記憶媒体に記憶保管される。
【００４５】
マイクロコンピュータ２０ａａには、図示しないが、主演算部や後述する塗布描画を行なうための処理プログラムを格納したＲＯＭ，主演算部での処理結果や外部インターフェース１７ａｄ，モータコントローラ２０ａｂからの入力データを格納するＲＡＭ，外部インターフェース２０ａｄやモータコントローラ２０ａｂとデータをやりとりする入出力部などを備えている。
【００４６】
これらＹ軸ドライバ２７ａで駆動される各塗布ヘッド部１０のＹ軸方向移動機構１１としてのリニアモータやＸ軸ドライバ２７ｂで駆動されるガントリ２ａ，２ｂのＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂとしてのリニアモータは、各塗布ヘッド部１０やガントリ２ａ，２ｂの位置を検出するリニアスケールを検出するエンコーダが内蔵されており、その検出結果を夫々Ｙ軸ドライバ２７ａ，Ｘ軸ドライバ２７ｂに供給して塗布ヘッド部１０のＸ軸方向，Ｙ軸方向の位置制御が行なわれる。また、同様にして、θ軸ドライバ２７ｃで駆動される基板保持機構８（図１）、従って、基板の回転駆動モータは、この基板の回転量を検出するエンコーダが内蔵されており、その検出結果をθ軸ドライバ２７ｃに供給して基板の向きの制御が行なわれる。
【００４７】
図４は図３における副制御部２０ｂの一具体例を示すブロック図であって、２０ｂａはマイクロコンピュータ、２０ｂｂはモータコントローラ、２０ｂｃは外部インターフェース、２０ｂｄはデータ通信バス、２７ｄはＺ軸モータ用ドライバであり、前出の図面に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【００４８】
同図において、副制御部２０ｂは、マイクロコンピュータ２０ｂａやモータコントローラ２０ｂｂ，距離計１８で得られる高さデータの入力や主制御部２０ａとの信号伝送を行なう外部インターフェース２０ｂｃを内蔵しており、これらはデータ通信バス２０ｂｄを介して相互に接続されている。また、マイクロコンピュータ２０ｂａには、図示しないが、主演算部や後述する塗布描画時のノズル１７（図２）の基板１９の表面からの高さ制御を行なうための処理プログラムを格納したＲＯＭ，主演算部での処理結果や外部インターフェース２０ｂｃ及びモータコントローラ２０ｂｂからの入力データを格納するＲＡＭ，外部インターフェース２０ｂｃやモータコントローラ２０ｂｂとデータをやりとりする入出力部などを備えている。モータコントローラ２０ｂｂによって制御されるＺ軸モータ用ドライバ２７ｄは、塗布ヘッド部１０毎に設けられてそのＺ軸サーボモータ１２を駆動するものであって、これらＺ軸サーボモータ１２には、その回転量を検出するエンコーダが内蔵されており、その検出結果がＺ軸モータ用ドライバ２７ｄに戻してノズル１７の高さ位置制御が行なわれる。
【００４９】
主制御部２０ａと副制御部２０ｂとの連携した制御のもと、各モータ（リニアモータやＺ軸サーボモータ，θ軸サーボモータ）が、キーボード２４（図３）から入力されてマイクロコンピュータ２０ａａのＲＡＭに格納されているデータに基いて移動・回転することにより、基板保持機構８（図１）に保持されている基板１９（図２）を、Ｘ軸方向に任意の距離だけ移動させ、かつ、ノズル１７（図２）を上下に移動するＺ軸移動テーブル１４を介して、支持したノズル１７を、横梁２ａ，２ｂに設けられた塗布ヘッド部１０のＸ軸方向移動機構３により、Ｙ軸方向に任意の距離を移動し、その移動中、ペースト収納筒１２に設定した気圧が継続して印加されてノズル１７の先端部の吐出口からペーストが吐出され、基板１９に所望のペーストパターンが描画される。
【００５０】
ノズル１７がＹ軸方向へ水平移動中に、距離計１８がノズル１７と基板１９の表面との間の間隔を計測し、これを常に一定の間隔を維持するように、ノズル１７がＺ軸移動テーブル１４の上下移動で制御される。
【００５１】
図５は図１に示す実施形態の全体動作を示すフローチャートである。
【００５２】
同図において、図１に示すペースト塗布装置に電源が投入されると（ステップＳ１００）、まず、装置の初期設定が実行される（ステップＳ１０１）。この初期設定工程では、図１において、Ｙ軸方向移動機構１１やＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂのリニアモータやＺ軸移動テーブル１４を駆動することにより、基板保持機構８をＹ軸方向に移動させて所定の基準位置に位置決めし、また、ノズル１７（図２）の位置が、そのペースト吐出口がペースト塗布を開始する位置（即ち、ペースト塗布開始点）となるように、所定の原点位置に設定すると共に、さらに、ペーストパターンデータや基板位置データ，ペースト吐出終了位置データの設定を行なうものである。
【００５３】
かかるデータの入力はキーボード２４（図３）で行なわれ、入力されたデータは、上記のように、マイクロコンピュータ２０ａａ（図３）に内蔵されたＲＡＭに格納される。
【００５４】
この初期設定工程（ステップＳ１０１）が終了すると、次に、基板１９を基板保持機構８（図１）に搭載して保持する（ステップＳ１０２）。
【００５５】
続いて、基板予備位置決め処理（ステップＳ１０３）を行なう。この処理では、基板保持機構８に搭載された基板１９の位置決め用マークを画像認識カメラで撮影し、その映像信号から位置決め用マークの重心位置を画像処理で求めて基板１９のθ軸方向での傾きを検出し、これに応じてＹ軸ドライバ２７ａやＸ軸ドライバ２７ｂ，θ軸ドライバ２７ｃ（図３）を駆動して塗布ヘッド部１０をＸ，Ｙ軸方向に移動し、また、θ軸方向の傾きを補正する。以上により、基板予備位置決め処理（ステップＳ１０３）を終了する。
【００５６】
次に、ペーストパターン描画処理（ステップＳ１０４）を行なう。この処理では、まず、基板１９の塗布開始位置にノズル１７の吐出口を移動させ、ノズル位置を精密に位置決めする。次に、Ｚ軸ドライバ２７ｄ（図４）を動作させて各ノズル１７の高さをペーストパターン描画高さに設定する。ノズルの初期移動距離データに基づいて各ノズル１７を初期移動距離分下降させる。続く動作では、基板１９の表面高さを各距離計１８で測定し、ノズル１７の先端がペーストパターンを描画する高さに設定されているか否かを確認し、描画高さに設定できていない場合には、ノズル１７を微小距離下降させ、上記の基板１９の表面計測とノズル１７の微小距離下降動作とを繰返し行ない、ノズル１７の先端をペーストパターンの塗布描画高さに設定する。
【００５７】
以上の処理が終了すると、次に、マイクロコンピュータ２０ａａ（図３）のＲＡＭに格納されたペーストパターンデータとθ軸方向の傾きの補正に基づいてＹ軸方向移動機構１１やＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂのリニアモータが駆動され、これにより、ノズル１７のペースト吐出口が基板１９に対向した状態で、このペーストパターンデータに応じて、ノズル１７が基板１９に対して夫々Ｘ，Ｙ軸方向に移動するとともに、各ペースト収納筒１５（図２）に設定した圧力で気圧を加圧してノズル１７のペースト吐出口からのペーストの吐出を開始する。これにより、基板１９へのペーストパターンの塗布が開始する。
【００５８】
そして、これとともに、先に説明したように、副制御部２０ｂのマイクロコンピュータ２０ｂａは距離計１８からノズル１７のペースト吐出口と基板１９の表面との間の間隔の実測デ−タを取得し、基板１９の表面のうねりを測定して、この測定値に応じて夫々のＺ軸サーボモータ１２を駆動することにより、基板１９の表面からのノズル１７の設定高さが一定に維持される。これにより、所望の塗布量でペーストパターンを塗布することができる。
【００５９】
以上のようにして、ペーストパターンの描画が進むが、ノズル１７のペースト吐出口が基板１９上の上記ペーストパターンデータによって決まる描画パターンの終端であるか否かの判断により、この終端でなければ、再び基板の表面うねりの測定処理に戻り、以下、上記の塗布描画を繰り返して、形成されるペーストパターンがその描画パターンの終端に達するまで継続する。
【００６０】
そして、この描画パターン終端に達すると、Ｚ軸サーボモータ１２を駆動してノズル１７を上昇させ、このペーストパターン描画工程（ステップＳ１０４）が終了する。
【００６１】
次に、基板排出処置（ステップＳ１０５）に進み、図１に示す基板保持機構８から基板１９を解除して装置外に排出する。
【００６２】
そして、以上の全工程が対象とする全ての基板１９に対してなされたか否かを判定し（ステップＳ１０６）、複数枚の基板に同じペーストパターンを形成する場合には、基板搭載処理（ステップＳ１０２）から繰り返され、全ての基板についてかかる一連の処理が終了すると、作業が全て終了する（ステップＳ１０７）。  図１に戻って、ところで、ガントリ２ａ，２ｂのヘッド設置面９に設けられるＹ軸方向移動機構１１は、複数の塗布ヘッド部１０が基板上にペーストパターンを描画するに必要な範囲を越えてＹ軸方向に伸延している。これにより、塗布ヘッド部１０は基板上から外れた位置まで移動することができる。このような基板からはずれた場所で各塗布ヘッド部１０のメンテナンスや取り付け，取外しなどの作業が行なわれる。
【００６３】
このため、各ガントリ２ａ，２ｂの横梁３ａ，３ｂは、架台１の横幅よりも長くなり、これらの両端部が架台１の架台側面１ａ，１ｂから突出することになる。また、かかる長さの横梁２ａ，２ｂは、より安定に支持するために、横梁側支持部材４ａ，４ｂが横梁２ａ，２ｂの先端部に設けられて、夫々架台側支持部材５ａ，５ｂに取り付けられている。これにより、特に、横梁側支持部材４ａ，４ｂも架台１の架台側面１ａ，１ｂから突出することになる。
【００６４】
ところで、例えば、液晶パネルの大型化に伴い、このようなパネルの製造効率を高めるための複数のペーストパターンを１つの基板に同時に描画する基板を用いるペースト塗布装置が、ペーストパターンの描画に使用される基板が大面積化するのに伴い、大型化しており、その架台が大型化しているが、架台があまりにも大型化し、その横幅があまり大きくなると、ペースト塗布装置を、例えば、運送するのに、運搬車両に搭載できなくなるなどといった支障を来すことになる。このため、架台１の横幅に制限が加えられている。
【００６５】
しかしながら、このように架台の横幅に制限が加えられ、これによって架台を運搬車両に搭載できるものであるとしても、架台の横幅を、大面積の基板を使用することができるように、かかる基板を使用可能な制限ぎりぎりの横幅にしたとしても、図１に示すように、ガントリ２ａ，２ｂの横梁３ａ，３ｂの両側の先端部や横梁側支持部材４ａ，４ｂが架台１の架台側面１ａ，１ｂから突出してしまうことになり、架台１の横幅の制限値を越えてしまい、同様の問題が生ずることになる。
【００６６】
この実施形態では、かかる問題を解消するために、架台側支持部材５ａ，５ｂと横梁側支持部材４ａ，４ｂとが締結ボルトで結合された構成とし、この締結ボルトを取り外すことにより、架台側支持部材５ａ，５ｂと横梁側支持部材４ａ，４ｂとが分離できるようにして、ガントリ２ｂを架台１から取り外しできるようにしたものである。他方のガントリ２ａにおいても、同様の構成をなしている。
【００６７】
図６は図１に示すペースト塗布装置のガントリ２ａ，２ｂを基台１から取り外した状態の一具体例を示す斜視図であって、７ａ，７ｂは直動ガイド、３０ａ，３０ｂはスライダ、３１ａ，３１ｂはＬ字型金具であり、図１に対応図部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００６８】
同図において、Ｘ軸方向移動機構６ａは、互いに平行に設置された磁石板７と直動ガイド７ａを備え、これら磁石板７と直動ガイド７ａとの上に配置されてこれら磁石板７と直動ガイド７ａとに沿って移動可能なスライダ３０ａとから構成されており、磁石板７とスライダ３０ａに設けられた図示しない部品とにより、リニアモータが形成されている。また、Ｘ軸方向移動機構６ｂは、互いに平行に設置された磁石板７と直動ガイド７ｂを備え、これら磁石板７と直動ガイド７ｂとの上に配置されてこれら磁石板７と直動ガイド７ｂとに沿って移動可能なスライダ３０ｂとから構成されており、磁石板７とスライダ３０ｂに設けられた図示しない部品とにより、リニアモータが形成されている。これらスライダ３０ａ，３０ｂが、図１における架台側支持部材５ａ，５ｂに相当するものであり、その上面が平坦面をなしている。
【００６９】
一方、ガイトリ２ｂに設けられた横梁側支持部材４ａ，４ｂには夫々、その先端部にＬ字型金具３１ａ，３１ｂが一体に設けられており、これらＬ字型金具３１ａ，３１ｂの下面が平坦面をなしている。これらＬ字型金具３１ａ，３１ｂの下面を該当するスライダ３０ａ，３０ｂの上面に固定することにより、図１に示すように、ガントリ２ｂが架台側支持部材５ａ，５ｂに、従って、架台１に取り付けられた状態となり、基板へのペーストパターンの塗布に使用できる状態となる。また、図５に示すように、Ｌ字型金具３１ａ，３１ｂの下面とスライダ３０ａ，３０ｂの上面との固定を解除することにより、ガントリ２ｂを持ち上げて架台１から取り外すことができる。
【００７０】
なお、上記のように、ガントリ２ｂの横梁３ｂの両端部や横梁側支持部材４ａ，４ｂが架台１の架台側面１ａ，１ｂから突出していることから、横梁側支持部材４ａ，４ｂの両端面は互いに向き合った垂直面をなしており、かかる垂直な端面にＬ字型金具３１ａ，３１ｂの垂直な取り付け面が取り付けられている構成をなしている。このため、これらＬ字型金具３１ａ，３１ｂは横梁側支持部材４ａ，４ｂの先端部から水平方向に互いに向き合って配置されることにより、これにより、横梁側支持部材４ａ，４ｂが架台１の架台側面１ａ，１ｂから突出しても、Ｌ字型金具３１ａの平坦な下面を磁石板７と直動ガイド７ａとの上に設けられた架台１上のスライダ３０ａの平坦な上面に、また、Ｌ字型金具３１ｂの平坦な下面を磁石板７と直動ガイド７ｂとの上に設けられた架台１上のスライダ３０ｂの平坦な上面に、夫々同時に対向させることができる。これにより、上記のように、ガントリ２ｂをスライダ３０ａ，３０ｂに取り付けることができるし、取り外すことができる。
【００７１】
このように、スライダ３０ａ，３０ｂの上面部がガントリ２ｂの締結部をなしている。
【００７２】
他方のガントリ２ａに関しても、同様の構成をなしている。
【００７３】
以上のように、この具体例では、ガントリ２ａ，２ｂを架台１から分離できるようにしたものであるが、かかる分解の前の状態では、このペースト塗布装置を上面から見た場合、ガントリ２ａ，２ｂの長さである装置の短辺の寸法をＡとすると、現在の大型のマザーガラス基板のサイズは約２（ｍ）角を超えるものであり、これを取り囲むガントリを一体となっていたのでは、装置の幅Ａが３．５（ｍ）を越え、４（ｍ）程度まで拡大する場合もある。このため、一般公道による装置搬送時、輸送車内部にかかる装置を収納できなくなる問題が発生する。この対応として、通常であれば、架台１から基板保持機構８も含めて分割する構造を検討することになり、その場合、基板保持機構８が取り外されたり、取り付けられたりすると、その度に装置の組み立て精度が低下し、さらには、塗布位置精度も劣化させてしまう。
【００７４】
しかし、この具体例の構成では、ガントリ２ａ，２ｂに限って分解できる構造としたことにより、装置としては、架台１の横幅の寸法Ｂにまで狭小化できる。また、ガントリ２ａ，２ｂとしては、さらに小さい短辺の幅Ｃで済むことから、分解後の装置の最大寸法はＢとすることができ、超大型のマザーガラス基板に用いるとしても、３（ｍ）を若干越える程度の幅に抑えることができた。その結果、一般公道による装置の搬送も問題なく解決するものである。
【００７５】
図７は図６における「ア部」、即ち、ガントリ２ｂと架台１との接続機構を拡大して示す斜視図であって、ガントリ２ｂが架台１から分離されて状態を示しており、７ｂはガイドレール、３０ｂ1は載置面、３１ｂ1は当接面、３１ｂ2は上面、３２，３３はボルト孔、３４ａ，３４ｂはリブ、３５は締結ボルトである。なお、前出図面に対応する部分には、同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００７６】
同図において、架台１（図６）側に設けられている架台側支持部材５ｂはスライダ３０ｂからなるものであって、このスライダ３０ｂは磁石板７とともにＸ軸方向移動機構６ｂを構成するリニアモータ備えており、磁石板７とこれに平行に設置されているガイドレール７ａとに沿って移動することができる。そして、このスライダ３０ｂの平坦な上面が載置面３０ｂ1をなしている。なお、個のスライダ３０ｂは、架台１の架台側面１ｂから突出しないように、設置されている。
【００７７】
一方、ガントリ２ｂの横梁側支持部材４ｂの先端部のＬ字型金具３１ｂは、その垂直部分が横梁側支持部材４ｂに一体化され、その水平部分がスライダ３０ｂの載置面３０ｂ1に結合される部分である。このため、このＬ字型金具３１ｂの下面がスライダ３０ｂの載置面３０ｂ1に当接する当接面３１ｂ1となり、その上面３１ｂ2には、このＬ字型金具３１ｂを補強するためのリブ３４ａが設けられ、このリブ３４ａの両側に複数個（ここでは、３個）ずつ当接面３１ｂ1に貫通するボルト孔３２が設けられている。これに対し、スライダ３０ｂの載置面３０ｂ1にも、Ｌ字型金具３１ｂのボルト孔３２夫々に該当する位置に、内部にねじが切られたボルト孔３３が設けられている。なお、横梁側支持部材４ｂにも、これを補強するためのリブ３４ｂが設けられている。
【００７８】
そこで、Ｌ字型金具３１ｂをスライダ３０ｂの載置面３０ｂ1上に載置し、スライダ３０ｂに対してＬ字型金具３１ｂを位置調整することにより、Ｌ字型金具３１ｂのボルト孔３２を夫々スライダ３０ｂ状の該当するネジ孔３３に一致させることができ、かかる状態でボルト孔３２から夫々締結ボルト３５を差し込んでねじ込むことにより、Ｌ字型金具３１ｂがスライダ３０ｂに固定させることができ、ガントリ２ｂの横梁側支持部材４ｂが架台側支持部材５ｂに取り付けられたことになる。
【００７９】
かかる構成はガントリ２ｂの横梁側支持部材４ａ及び架台側支持部材５ａについても同様であり、これら横梁側支持部材４ａ，４ｂと架台側支持部材５ａ，５ｂとが夫々取り付けられることにより、ガントリ２ｂが架台１に移動可能に取り付けられることになる。また、以上のことは、他方のガントリ２ａについても同様であり、同様にして、ガントリ２ａも架台１に移動可能に取り付けられることになる。
【００８０】
そこで、図１に示すように、ガントリ２ａ，２ｂが架台１に取り付けられた状態にあるとき、締結ボルト３５を横梁側支持部材４ａ，４ｂ及び架台側支持部材５ａ，５ｂから取り外すことにより、図７において、Ｌ字型金具３１ｂをスライダ３０ｂから分離することができ、これにより、ガントリ２ａ，２ｂを架台１から取り外すことができる。
【００８１】
図８は図６に示す状態から図１に示す状態にするための作業の流れの一具体例を示すフローチャートである。以下では、ガントリ２ｂを例にして説明するが、ガントリ２ａについても同様であるし、また、ガントリ２ａについても、同様、である。
【００８２】
同図において、まず、持ち上げ用治具で持ち上げたガントリ２ｂを架台１の締結部、即ち、スライダ３０ｂの上方に持ち込む（ステップＳ２００）。そして、ガントリ２ｂを降下させて横梁側支持部材４ｂの先端部のＬ字型金具３１ｂの当接面３１ｂ1がスライダ３０ｂの載置面３０ｂ1に当接し、Ｌ字型金具３１ｂが個の載置面３０ｂ1に載置される状態にする（ステップＳ２０１）。そして、Ｌ字型金具３１ｂのボルト孔３２とスライダ３０ｂの載置面３０ｂ1のボルト孔３３とを一致させて締結ボルト３５をボルト孔３２から挿入し、ねじ込むことにより、Ｌ字型金具３１ｂをスライダ３０ｂに固定する。これにより、ガントリ２ｂが架台１の架台側支持機構５ｂに固定され、ガントリ２ｂが架台１に取り付けられる（ステップＳ２０２）。
【００８３】
しかる後、持ち上げ用治具がガントリ２ｂから取り外され（ステップＳ２０３）、ガントリ２ｂと架台１との接続部での配線及び配管の接続がなされ（ステップＳ２０４）、一連の組み立て作業が終了する。
【００８４】
図９は図１に示す状態から図６に示す状態にするための作業の流れの一具体例を示すフローチャートである。以下では、ガントリ２ｂを例にして説明するが、ガントリ２ａについても同様であるし、また、ガントリ２ａについても、同様、である。
【００８５】
同図において、まず、ガントリ２ｂと架台１との接続部の配線及び配管の接続を取り外し（ステップＳ３００）、持ち上げ用治具をガントリ２ｂに取り付ける（ステップＳ３０１）。しかる後、図７で説明したように、締結ボルト３５をＬ次金具３１ｂ及びスライダ３０ｂから取り外し（ステップＳ３０２）、持ち上げ用治具によってガントリ２ｂを持ち上げて（ステップＳ３０３）、別の場所に移動させる（ステップＳ３０４）。これにより、ガンドリ２ｂが架台１から分離される。
【００８６】
以上のように、比較的簡単な作業でもってガントリ２ａ，２ｂを架台１に取り付けることができるし、架台１から取り外すことができる。
【００８７】
図１０は図１に示すペースト塗布装置のガントリ２ａ，２ｂを基台１から取り外した状態の他の具体例を示す斜視図であって、図６に対応図部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００８８】
図６及び図７に示した具体例は、ガントリ２ｂの横梁側支持部材４ａ，４ｂと架台側支持部材５ａ，５ｂとを水平面で接続するようにしたものであるが、この具体例は、図１０に示すように、これらを垂直面で接続するようにしたものである。
【００８９】
図１０において、横梁側支持部材４ａ，４ｂの先端面は垂直面をなしており、架台側支持部材５ａ，５ｂであるスライダ３０ａ，３０ｂの当接面も垂直面をなしている。横梁側支持部材４ａ，４ｂの先端面をスライダ３０ａ，３０ｂの当接面に当接させ、締結ボルトによってこれらを締結することにより、ガントリ２ｂが架台１に取り付けられる。
【００９０】
図１１は図１０におけるガントリ２ｂと架台１との接続機構を拡大して示す斜視図であって、ガントリ２ｂが架台１から分離されて状態を示しており、３１ｂ3は頂面、３６，３７は当接面、３８は突出部、３９はボルト孔であり、図７に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００９１】
同図において、架台側支持部材５ｂは、図７に示すスライブ３０ｂ上に図７に示すＬ字型金具３１ｂが一体に搭載された構成をなしており、このＬ字型金具３１ｂの垂直部の外面が当接面３６をなしている。かかる当接面３６は、架台１の側面１ｂに、そこから吐出しない程度に、近接して配置される。
【００９２】
一方、横梁側支持部材４ｂの先端は平坦な垂直面が形成されており、この垂直面が当接面３７をなしてこの当接面の上辺に段部が設けられて突出部３８が形成されている。そして、この当接面３７には、その反対側の面に貫通するボルト孔３９が複数個設けられている。
【００９３】
横梁側支持部材４ｂの当接面３７を架台側支持部材５ｂ側のＬ字型金具３１ｂの当接面３６に当接させることにより、横梁側支持部材４ｂが架台側支持部材５ｂに取り付けられることになるが、かかる状態では、横梁側支持部材４ｂの先端の当接面３７と突出部３８との間の段部が架台側支持部材５ｂ側のＬ字型金具３１ｂの頂面３１ｂ3に当接して突出部３８がこの頂面３１ｂ3に載置されることになるが、これにより、横梁側支持部材４ｂの当接面３７のＬ字型金具３１ｂの当接面３６に対する上下方向の位置決めがなされることになる。
【００９４】
また、Ｌ字型金具３１ｂの当接面３６には、図示しないが、横梁側支持部材４ｂの当接面３７でのボルト孔３９夫々に該当するボルト孔が設けられており、これらのボルト孔には、ネジが切られている。
【００９５】
そこで、Ｌ字型金具３１ｂの当接面３６に、上記のように、横梁側支持部材４ｂの当接面３７を当接させ、この当接面３７でのボルト孔３９が夫々Ｌ字型金具３１ｂの当接面３６に設けられたボルト孔に一致するように、横梁側支持部材４ｂの当接面３７の位置調整をし、しかる後、横梁側支持部材４ｂ側から当接面３７のボルト孔３９を通してＬ字型金具３１ｂの当接面３６のボルト孔に締結ボルトを差し込み、さらに、ねじ込むことにより、横梁側支持部材４ｂの当接面３７がＬ字型金具３１ｂの当接面３６、従って、架台側支持部材５ｂに固定されることになる。そして、同様にして、横梁側支持部材４ａも架台側支持部材５ａに固定されることにより、ガントリ２ｂが架台１に移動可能に取り付けられる。
【００９６】
かかる構成によると、横梁側支持部材４ａと架台側支持部材５ａとを固定する締結ボルトを取り外すことにより、ガントリ２ｂを架台１から簡単に取り外すことができる。
【００９７】
以上は、ガントリ２ｂに関するものであったが、他方のガントリ５ａについても同様である。
【００９８】
この具体例も、図６，図７に示した具体例と同様の効果が得られる。
【００９９】
図１２は本発明によるペースト塗布装置及び方法の第２の実施形態をほぼＸ軸方向に見た斜視図であって、４０ａ，４０ｂはＸ軸方向移動機構設置面であり、図１に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【０１００】
なお、図１１でも、図１と同様、この図面が煩雑となることを避けるために、図面上に現われている部分にのみ符号を付け、それ以外の部分については、符号を省略している。また、この第２の実施形態は、基板面上にペーストパターン（シール材パターン）を描画するペースト塗布装置及び方法に関するものとするものであるが、基板上に液晶を滴下する滴下装置にも適用できることは言うまでもない。
【０１０１】
図１２において、架台１の左右の側面１ａ，１ｂ側には、これら側面１ａ，１ｂに対して段差Ｄだけへこんだ平坦な垂直面のＸ軸方向移動機構設定面４０ａ，４０ｂが設けられており、これらＸ軸方向移動機構設定面４０ａ，４０ｂにＸ軸方向のＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂが設けられている。ここで、この段差Ｄは、Ｘ軸方向移動機構６ａ，６ｂの架台側支持部材５ａ，５ｂ（但し、架台側支持部材５ｂは図示せず）が側面１ａ，１ｂから突出しない程度に設定されている。
【０１０２】
架台側支持部材５ａは、例えば、図７に示すスライダ３０ｂと同等なものであって、その当接面は垂直面をなしている。また、ガントリ２ｂの横梁側支持部材４ａの先端面である当接面も垂直面をなすものであって、架台側支持部材５ａの当接面に横梁側支持部材４ａの当接面が当接して締結ボルトで締め付けられていることにより、ガントリ２ｂの横梁側支持部材４ａが架台側支持部材５ａに固定されて、ガントリ２ｂが架台１に設置されることになる。また、かかる締結ボルトを取り外すことにより、ガントリ２ｂが架台１から分離されることになり、ペースト塗布装置をガンドレ２ｂと架台１とに分離することができる。
【０１０３】
以上のことは、他方のガンドリ２ａについても同様である。
【０１０４】
また、ガントリ２ａ，２ｂの架台１への取り付け作業は、先の図８に示す作業と同様であり、ガントリ２ａ，２ｂの架台１からの取り外し作業も、先の図９に示す作業と同様である。また、この第２の実施形態の基板へのペースト塗布動作も、図５に示す第１の実施形態と同様である。
【０１０５】
以上のように、この第２の実施形態では、ガントリ２ａ，２ｂの架台１からの取り外しや架台１への取り付けが可能であることから、先の第１の実施形態と同様の効果が得られるが、さらに、ガントリ２ａ，２ｂを移動させるためのＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂを架台１の側面１ａ，１ｂに設けたことから、図１に示す第１の実施形態に比べ、架台１の上面でのＸ軸方向移動機構６ａ，６ｂを設置するためのスペースが不要となり、このことから、架台１の横幅Ｂ２（図１２）を図６に示す第１の実施形態での架台１の横幅Ｂ１よりも狭くすることができ、その分装置を小型化できる。
【符号の説明】
【０１０６】
１  架台
１ａ，１ｂ  架台側面
２ａ，２ｂ  ガントリ（門型フレーム）
３ａ，３ｂ  横梁
４ａ，４ｂ  横梁側支持部材
５ａ，５ｂ  架台側支持部材
６ａ，６ｂ  Ｘ軸方向移動機構
７  磁石板
７ａ，７ｂ  ガイドレール
８  基板保持機構
９  ヘッド設置面
１０  塗布ヘッド部
１１  Ｙ軸方向移動機構
１２  Ｚ軸サーボモータ
１３  Ｚ軸移動テ−ブル支持ブラケット
１４  Ｚ軸移動テーブル
３０ａ，３０ｂ  スライダ
３１ａ，３１ｂ  Ｌ字型金具
３０ｂ1  載置面
３１ｂ1  当接面
３１ｂ2  上面
３２，３３  ボルト孔
３４ａ，３４ｂ  リブ
３５  締結ボルト
ガントリ２ｂが架台１から分離されて状態を示しており
３１ｂ3  頂面
３６，３７  当接面
３８  突出部
３９  ボルト孔
４０ａ，４０ｂ  Ｘ軸方向移動機構設置面
【図１】
2010253446.tif 000003
【図２】
2010253446.tif 000004
【図３】
2010253446.tif 000005
【図４】
2010253446.tif 000006
【図５】
2010253446.tif 000007
【図６】
2010253446.tif 000008
【図７】
2010253446.tif 000009
【図８】
2010253446.tif 000010
【図９】
2010253446.tif 000011
【図１０】
2010253446.tif 000012
【図１１】
2010253446.tif 000013
【図１２】
2010253446.tif 000014