(57)【要約】【課題】  被試験メモリを試験してフェイル情報を収集し、この収集したフェイル情報を用いて前記被試験メモリの不良部分を救済する演算を行うメモリデバイス試験装置において、不良救済演算を行う際に、全てのフェイル情報が格納された演算用メモリのアドレス範囲を指定してフェイル数のカウントおよびフェイル情報のサーチを行っていたが、このフェイル数のカウントとフェイル情報のサーチに時間がかかり、試験時間が長くなってしまうという課題を解決する。【解決手段】  救済条件毎に、使用するフェイル情報を振り分けて複数の小容量メモリに格納し、またこの振り分けたフェイル情報のフェイル数をカウントして前記小容量メモリに格納するようにした。メモリを指定するだけでフェイル数およびフェイル情報が得られるので、不良救済演算を効率化することができる。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験メモリを試験してフェイル情報を収集し、この収集したフェイル情報を用いて前記被試験メモリの不良部分を救済する演算を行うメモリデバイス試験装置において、
前記フェイル情報が格納されるフェイルメモリと、
被試験メモリの不良部分を救済するための救済条件が入力され、前記フェイルメモリに格納されているフェイル情報を読み込み、前記救済条件に基づいて読み込んだフェイル情報を振り分ける第１のフェイル情報振分部と、
前記第１のフェイル情報振分部によって振り分けられたフェイル情報が格納される複数の第１のメモリと、
前記救済条件が入力され、前記複数の第１のメモリに格納されたフェイル情報を読み込んで、前記被試験メモリの不良部分を救済する不良救済演算を実行する演算部と、
を具備したことを特徴とするメモリデバイス試験装置。
【請求項２】
前記第１のフェイル情報振分部は、振り分けたフェイル情報のフェイル数をカウントし、このカウント値を前記複数の第１のメモリに格納するようにしたことを特徴とする請求項１記載のメモリデバイス試験装置。
【請求項３】
前記第１のメモリは、アドレスライン毎のフェイル数をカウントするラインカウント機能を具備したことを特徴とする請求項１若しくは請求項２記載のメモリデバイス試験装置。
【請求項４】
前記第１のメモリは、特定のアドレスラインをマスクするラインフェイルマスク機能を具備したことを特徴する請求項１乃至請求項３いずれかに記載のメモリデバイス試験装置。
【請求項５】
前記フェイルメモリは、
入力されたフェイル情報を振り分ける第２のフェイル情報振分部と、
前記第２のフェイル情報振分部によって振り分けられたフェイル情報が格納される複数の第２のメモリと、
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項４いずれかに記載のメモリデバイス試験装置。
【請求項６】
前記第２のフェイル情報振分部は、振り分けたフェイル情報のフェイル数をカウントし、このカウント値を前記複数の第２のメモリに格納するようにしたことを特徴とする請求項５記載のメモリデバイス試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メモリデバイスを試験して不良救済演算を行い、不良箇所を救済するメモリデバイス試験装置に関し、不良救済演算を効率的に行うことができるメモリデバイス試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体メモリは数千万〜数億個の記憶セルで構成されているので、全てのセルを完全に動作させることは困難である。そのため、予備セルを搭載し、不良セルをこの予備セルで置き換えることにより不良セルを救済して、メモリの不良率を低減させている。
【０００３】
図４に、半導体メモリを試験し、不良セルを救済するデータを生成するメモリデバイス試験装置の構成を示す。図４において、メモリ試験部１１は被試験メモリ１０にテスト信号を出力し、被試験メモリ１０を試験する。被試験メモリ１０の試験結果であるフェイル情報はフェイルメモリ１２に格納される。
【０００４】
２０は不良セルを救済するためのデータを生成する不良救済演算部であり、演算用メモリ２１、演算部２２で構成される。演算部２２には、不良セルを救済するための条件である救済条件２３が入力される。
【０００５】
フェイルメモリ１２には、被試験メモリ１０のフェイル情報がまとめて格納されている。一方、不良救済演算は、救済条件２３および被試験メモリ１０のメモリ構造によって、分割されたアドレス範囲を別々に演算解析して、不良セル救済のためのデータを演算する。また、試験時間を短くするために、メモリ試験部１１と不良救済演算部２０は同時に動作させる。すなわち、試験を行いながら並行して不良救済演算を行う。
【０００６】
このため、フェイルメモリ１２に格納されているフェイル情報を演算用メモリ２１にコピーし、この演算用メモリ２１を用いて、不良セルを救済するためのデータを生成する不良救済演算を行う。このデータは被試験メモリ１０にセットされる。
【０００７】
次に、図５フローチャートに基づいて不良救済演算の手順を説明する。最初に、工程（Ｐ５−１）でメモリ試験部１１は被試験メモリ１０を試験してフェイル情報を収集し、フェイルメモリ１２に格納する。次に、工程（Ｐ５−２）で、フェイルメモリ１２に格納されているフェイル情報を演算用メモリ２１にコピーする。
【０００８】
次に、工程（Ｐ５−３）でアドレス範囲を指定して、工程（Ｐ５−４）でこのアドレス範囲のフェイル数をカウントしてフェイル数を取得する。なお、アドレス範囲は救済条件によって異なる。
【０００９】
そして、工程（Ｐ５−５）で、指定されたアドレス範囲のフェイル情報をサーチ（探索）し、フェイルアドレスを取得する（工程（Ｐ５−６））。そして、工程（Ｐ５−７）で、フェイル数、フェイルアドレスを用いて不良救済演算を行い、不良セルを救済するためのデータを生成する。
【００１０】
工程（Ｐ５−８）で、全ての救済条件について不良救済演算を行ったかを調べ、不良救済演算を行っていない救済条件があれば（ＮＯ）工程（Ｐ５−３）に戻り、全ての救済条件について不良救済演算を行っていれば（ＹＥＳ）終了する。
【特許文献１】特開２００８−１０８３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、このようなメモリデバイス試験装置には次のような課題があった。演算用メモリ２１にはフェイルメモリ１２がそのままコピーされる。一方、不良救済演算のためには救済条件あるいは半導体メモリ１０の構造によって異なるアドレス範囲のフェイル情報が必要になる。このため、救済条件が変わる度にアドレス範囲を再指定してフェイル情報を取得しなければならないが、この処理が複雑であり、かつ多大の処理時間が必要なので、試験に時間がかかるという課題があった。
【００１２】
また、不良救済演算を行うためには、指定されたアドレス範囲のフェイル数が必要になる。全体のフェイル数はフェイルメモリ１２から演算用メモリ２１にフェイル情報をコピーする際に計算することができるが、個々のアドレス範囲のフェイル数は別にカウントしなければならず、このカウントに時間がかかるという課題もあった。
【００１３】
従って本発明の目的は、演算用メモリ２１を複数の領域に分割し、不良救済演算に先立ってこの分割した領域にフェイル情報を振り分けて格納することにより、短時間で不良救済演算を行うことができるメモリデバイス試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような課題を解決するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
被試験メモリを試験してフェイル情報を収集し、この収集したフェイル情報を用いて前記被試験メモリの不良部分を救済する演算を行うメモリデバイス試験装置において、
前記フェイル情報が格納されるフェイルメモリと、
被試験メモリの不良部分を救済するための救済条件が入力され、前記フェイルメモリに格納されているフェイル情報を読み込み、前記救済条件に基づいて読み込んだフェイル情報を振り分ける第１のフェイル情報振分部と、
前記第１のフェイル情報振分部によって振り分けられたフェイル情報が格納される複数の第１のメモリと、
前記救済条件が入力され、前記複数の第１のメモリに格納されたフェイル情報を読み込んで、前記被試験メモリの不良部分を救済する不良救済演算を実行する演算部と、
を具備したものである。アドレス範囲を指定してフェイル情報にアクセスする必要がなくなるので、不良救済演算が簡単になる。
【００１５】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記第１のフェイル情報振分部は、振り分けたフェイル情報のフェイル数をカウントし、このカウント値を前記複数の第１のメモリに格納するようにしたものである。不良救済演算でフェイル数をカウントする必要がなくなる。
【００１６】
請求項３記載の発明は、請求項１若しくは請求項２記載の発明において、
前記第１のメモリは、アドレスライン毎のフェイル数をカウントするラインカウント機能を具備したものである。短時間でアドレスライン毎のフェイル数を得ることができる。
【００１７】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３いずれかに記載の発明において、
前記第１のメモリは、特定のアドレスをマスクするラインフェイルマスク機能を具備したものである。フェイル情報をより効率よく取得できる。
【００１８】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４いずれかに記載の発明において、
前記フェイルメモリは、
入力されたフェイル情報を振り分ける第２のフェイル情報振分部と、
前記第２のフェイル情報振分部によって振り分けられたフェイル情報が格納される複数の第２のメモリと、
を具備したものである。フェイル数のカウントやフェイル情報の探索をより効率的にできる。
【００１９】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、
前記第２のフェイル情報振分部は、振り分けたフェイル情報のフェイル数をカウントし、このカウント値を前記複数の第２のメモリに格納するようにしたものである。フェイル数をより短時間で取得できる。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３，４，５および６の発明によれば、被試験メモリを試験してフェイル情報を収集し、この収集したフェイル情報を用いて前記被試験メモリの不良部分を救済する演算を行うメモリデバイス試験装置において、救済条件に基づいてフェイル情報を振り分けて複数のメモリに格納し、不良救済演算時にこの複数のメモリの１つを選択して、フェイル情報のサーチするようにした。
【００２１】
救済条件毎にフェイル情報を振り分けて小容量のメモリに格納するので、フェイルサーチの際にアドレス範囲の定義が単純になり、不良救済演算の処理を効率化することができるという効果がある。
【００２２】
また、フェイル情報を振り分ける際に、振り分けたフェイル情報毎にフェイル数をカウントして保存しておくことで、不良救済演算でのフェイル数カウントが不要になるので、不良救済演算に要する時間を短縮することができるという効果もある。
【００２３】
さらに、フェイルメモリ自体を複数の小容量メモリで構成し、フェイル情報を振り分けて格納することにより、更に効率化を図ることができるという効果もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るメモリデバイス試験装置の一実施例を示す構成図である。なお、図４と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００２５】
図１において、３０は不良救済演算部であり、フェイル情報振分部３１、ｎ個のメモリ３２ａ〜３２ｎ、演算部３３で構成される。フェイル情報振分部３１は第１のフェイル情報振分部に相当し、メモリ３２ａ〜３２ｎは第１のメモリに相当する。
【００２６】
フェイル情報振分部３１はフェイルメモリ１２からフェイル情報を読み込み、このフェイル情報をメモリ３２ａ〜３２ｎに振り分けて格納する。また、フェイル情報を格納する際に、各メモリ３２ａ〜３２ｎに格納したフェイル情報からフェイル数をカウントし、このフェイル数をメモリ３２ａ〜３２ｎに格納する。すなわち、メモリ３２ａ〜３２ｎには、これらのメモリに格納されているフェイル情報のフェイル数が格納される。
【００２７】
フェイル情報振分部３１には救済条件２３が入力される。フェイル情報振分部３１は、救済条件毎にフェイル情報を振り分けて、この振り分けたフェイル情報を各メモリ３２ａ〜３２ｎに格納する。例えば、救済条件Ａで使用するフェイル情報はメモリ３２ａに格納し、救済条件Ｂで使用するフェイル情報はメモリ３２ｂに格納する。また、この振り分けた単位でフェイル数をカウントし、このフェイル数を各メモリ３２ａ〜３２ｎに格納する。
【００２８】
メモリ３２ａ〜３２ｎは、例えば１２８ビット×１２８ビットの小容量のメモリであり、フェイル情報振分部３１が振り分けたフェイル情報、およびフェイル数が格納される。
【００２９】
演算部３３には救済条件２３が入力される。演算部３３はこの救済条件に基づいてメモリ３２ａ〜３２ｎの１つを選択して、この選択したメモリに格納されたフェイル情報およびフェイル数を読み込み、不良セルを救済するデータを生成する。
【００３０】
次に、図２フローチャートに基づいてこの実施例の動作を説明する。図２において、最初に工程（Ｐ２−１）で、メモリ試験部１１を用いて被試験メモリ１０を試験してフェイル情報を収集する。このフェイル情報はフェイルメモリ１２に格納される。
【００３１】
次に、工程（Ｐ２−２）で、フェイル情報振分部３１は全ての救済条件を考慮して、フェイル情報の振り分け手順を決定する。すなわちフェイルメモリ１２に格納されたフェイル情報について、救済条件毎に必要なフェイル情報を振り分け、３２ａ〜３２ｎのどれにコピーするかを決定する。
【００３２】
次に、工程（Ｐ２−３）で、決定した振り分け手順に基づいて、フェイルメモリ１２に格納されたフェイル情報をメモリ３２ａ〜３２ｎに振り分けてコピーする。このとき、メモリ３２ａ〜３２ｎに格納すべきフェイル情報のフェイル数をカウントし、このフェイル数を各メモリに格納する。
【００３３】
次に、工程（Ｐ２−４）で、演算部３３は救済条件の１つを参照し、メモリ３２ａ〜３２ｎの中で不良救済演算に必要なフェイル情報が格納されているメモリを選択し、工程（Ｐ２−５）でこの選択したメモリに格納されているフェイル数から、不良セルを救済できるかどうかを判断する。メモリ３２ａ〜３２ｎにフェイル数が格納されているので、演算部３３はこの格納されているフェイル数を読み出すだけで、フェイル数を得ることができる。
【００３４】
工程（Ｐ２−６）で救済できないと判断した（ＮＯ）ときは、工程（Ｐ２−９）に移動する。救済できると判断した（ＹＥＳ）ときは、工程（Ｐ２−７）で選択したメモリからフェイル情報を読みし、フェイルサーチしてフェイルアドレスを取得し、工程（Ｐ２−８）で不良救済演算を行う。
【００３５】
不良救済演算が終了するか、工程（Ｐ２−６）で救済できないと判断したときは、工程（Ｐ２−９）で全ての救済条件を終了したかを判断し、終了した（ＹＥＳ）ときは試験を終了し、終了していない救済条件があるときは工程（Ｐ２−４）に戻って、次の救済条件に基づいてメモリを選択する。
【００３６】
次に、この実施例の動作を具体的に説明する。被試験メモリ１０が０〜１５の１６個のブロックに分割されており、救済条件は不良ブロックを見つけることであるとする。また、メモリ３２の数は３２ａ、３２ｂの２個とする。
【００３７】
この場合、メモリ３２ａにブロック０〜７のフェイル情報を格納し、メモリ３２ｂにブロック８〜１５のフェイル情報を格納する。メモリ３２ａのフェイル数から、ブロック０〜７には不良がないことがわかる。そのため、メモリ３２ｂのフェイル情報をサーチし、不良ブロック９を見つける。サーチする範囲が半分になるので、短時間でサーチすることができる。
【００３８】
従来は、演算部２２が救済条件からアドレス範囲を決定して、このアドレス範囲のフェイル数をカウントすると共に、フェイル情報をサーチしてフェイルアドレスを得ていた。すなわち、ソフトウエアで演算用メモリ２１の内容を読み出してフェイル数をカウントし、またフェイルアドレスを得ていた。そのため、多くの時間がかかるという欠点があった。
【００３９】
本実施例では不良救済演算を行う前にハードウエアでフェイルメモリ１２のフェイル情報を振り分けてメモリ３２ａ〜３２ｎにコピーすると共に、各メモリのフェイル数をカウントして保存するようにした。
【００４０】
ハードウエアでコピーするので、短時間でフェイルメモリ１２からメモリ３２ａ〜３２ｎにフェイル情報をコピーできる。また、コピーと同時にフェイル数をカウントして格納するようにしたので、メモリを読み出すだけでフェイル数を得ることができ、短時間で救済できるかどうかの判断を行うことができる。また、選択したメモリだけサーチすればよいので、短時間でサーチを行うことができる。
【００４１】
なお、メモリ３２ａ〜３２ｎに、アドレスライン毎のフェイル数をカウントする機能であるラインカウント機能や、特定のアドレスラインをマスクする機能であるラインフェイルマスク機能を実装すると、より効率的に不良救済演算を行うことができる。ラインフェイルマスク機能は特定のラインをマスクする機能であり、不良が指定数を超えているラインは救済が必要と判定し、不良アドレス取得時にマスクする事でフェイル情報を効率よく取得することができる。
【００４２】
図３に本発明の他の実施例を示す。この実施例はフェイルメモリを複数のメモリで構成し、フェイル情報を分割してこれらのメモリに格納するようにしたものである。なお、図１と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。また、フェイル情報振分部４１、５１はそれぞれ第２、第１のフェイル情報振分部に相当し、メモリ４２ａ〜４２ｎ第２のメモリに相当する。
【００４３】
図３において、４０はフェイルメモリであり、フェイル情報振分部４１、およびメモリ４２ａ〜４２ｎで構成される。メモリ試験部１１から出力されるフェイル情報はフェイル情報振分部４１で振り分けられ、メモリ４２ａ〜４２ｎに格納される。また、フェイル情報を格納するときにフェイル数をカウントし、このカウントしたフェイル数も格納する。
【００４４】
５０は不良救済演算部であり、フェイル情報振分部５１、メモリ３２ａ〜３２ｎ、演算部３３で構成される。フェイル情報振分部５１と演算部４３には救済条件２３が入力される。
【００４５】
不良救済演算部５０は、図１の不良救済演算部３０と同様の構成を具備している。フェイル情報振分部５１はメモリ４２ａ〜４２ｎからフェイル情報を読み出し、救済条件毎に読み出したフェイル情報をメモリ３２ａ〜３２ｎに振り分けてコピーする。このとき、フェイル数をカウントしてこのフェイル数も格納する。
【００４６】
演算部３３は救済条件に基づいてメモリ３２ａ〜３２ｎの１つを選択し、この選択したメモリに格納されたフェイル数とフェイル情報から不良救済演算を行う。
【００４７】
フェイル情報振分部４１は全ての試験に共通な条件に基づいて、おおまかにフェイル情報を振り分け、フェイル情報をメモリ４２ａ〜４２ｎに格納する。フェイル情報振分部５１は救済条件に基づいてメモリ４２ａ〜４２ｎを選択し、この選択したメモリに格納されているフェイル情報をメモリ３２ａ〜３２ｎに振り分けてコピーする。
【００４８】
この実施例では、フェイル情報振分部５１はフェイルメモリ４０に格納されたフェイル情報の一部のみを振り分ければよいので、フェイル情報のコピーおよびフェイルカウントをより高速に実行することができる。
【００４９】
なお、図１、図３実施例において、フェイル情報振分部３１、４１、５１はフェイル情報を振り分けると同時に、振り分けたフェイル情報のフェイル数をカウントしてメモリ３２ａ〜３２ｎ、４２ａ〜４２ｎに格納するようにしたが、フェイル数は格納しないようにすることもできる。この場合でも、メモリ３２ａ〜３２ｎ、４２ａ〜４２ｎの容量が小さいので、従来例に比べて、より短時間でフェイル数をカウントすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例の動作を示すフローチャートである。
【図３】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図４】従来のメモリデバイス試験装置の構成図である。
【図５】従来のメモリデバイス試験装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５１】
１０  被試験メモリ
１１  メモリ試験部
１２、４０  フェイルメモリ
２３  救済条件
３０、５０  不良救済演算部
３１、４１、５１  フェイル情報振分部
３２ａ〜３２ｎ、４２ａ〜４２ｎ  メモリ
３３  演算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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