(57)【要約】【課題】  １本の光ファイバで複数の波長の光を伝送する、波長多重光伝送や１芯双方向光伝送の端末機として用いられる小型化且つ低コストな光モジュールおよびその製造方法を提供する。【解決手段】  複数の光素子が載置された基台２３と、基板の表裏面に波長選択フィルタやミラーを形成した光合分波器３を用意し、これら二つの部品を、光素子実装面とフィルタ表面が互いに略平行な角度となるように、パッケージ５０に実装し、光素子を基台２３に対して斜めに発光・受光するように配置することにする。これによって、光合分波器３をX-Y平面に平行に実装できるため、旋盤を用いて容易にパッケージの加工が可能なことから、コストを削減することが出来る。【選択図】図２
2010186090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバを取り付け可能な筐体と、
前記筐体内に設けられた光合分波器と、
少なくとも一つ以上の発光素子と、
少なくとも一つ以上の受光素子と、
前記発光素子及び前記受光素子を搭載し、前記筐体に取り付けられた基台とを備え、
前記光合分波器は、前記基台に略平行に設けられ、
前記発光素子は、前記基台の面及び前記光合分波器の主面に対して斜め方向に発光することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項２】
光ファイバを取り付け可能な筐体と、
前記筐体内に設けられた光合分波器と、
少なくとも二つ以上の発光素子と、
前記発光素子及び前記受光素子を搭載し、前記筐体に取り付けられた基台とを備え、
前記光合分波器は、前記基台に略平行に設けられ、
前記発光素子は、前記基台の面及び前記光合分波器の主面に対して斜め方向に発光することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記発光素子は、発光素子搭載基板に搭載され、
前記発光素子搭載基板は、発光素子を搭載した面が前記基台の面に対して斜め方向を、向いていることを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項４】
光ファイバを取り付け可能な筐体と、
前記筐体内に設けられた光合分波器と、
少なくとも一つ以上の発光素子と、
少なくとも一つ以上の受光素子と、
前記発光素子及び前記受光素子を搭載し、前記筐体に取り付けられた基台とを備え、
前記光合分波器は、前記基台に略平行に設けられ、
前記受光素子は、前記基台の面及び前記光合分波器の主面に対して斜め方向からの光を受光することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項５】
光ファイバを取り付け可能な筐体と、
前記筐体内に設けられた光合分波器と、
少なくとも二つ以上の受光素子と、
前記発光素子及び前記受光素子を搭載し、前記筐体に取り付けられた基台とを備え、
前記光合分波器は、前記基台に略平行に設けられ、
前記受光素子は、前記基台の面及び前記光合分波器の主面に対して斜め方向からの光を受光することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項６】
請求項１において、
前記受光素子は、前記基台の面に対して斜め方向からの光を受光することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項７】
請求項１、請求項４または請求項５において、
前記受光素子は、受光素子搭載基板に搭載され、
前記受光素子搭載基板は、受光素子を搭載した面が前記基台の面に対して斜め方向を、向いていることを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項８】
請求項６において、
前記発光素子は発光素子搭載基板に搭載され、
前記受光素子は受光素子搭載基板に搭載され、
前記発光素子搭載基板は前記発光素子を搭載した面が前記基台の面に対して斜め方向を、前記受光素子搭載基板は前記受光素子を搭載した面が前記基台の面に対して斜め方向を、向いていることを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項９】
請求項１、請求項２、請求項４または請求項５において、
前記光合分波器は、
基板と、
前記基板の両面に設けられた複数の波長選択フィルタとを有することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項１０】
請求項９において、
前記光合分波器は、その主面に斜め方向から入射した光を、その波長に応じて異なる位置で、主面に対して斜め方向に出射することを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項１１】
請求項１、請求項２、請求項４または請求項５において、
前記筐体は、凹部を有し、
前記光分波器及び前記基台は、前記凹部の壁面に直交するように設けられていることを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記凹部の壁面に段差を有し、
前記光分波器は、前記段差の段に取り付けられていることを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項１３】
請求項３、請求項７または請求項８において、
前記発光素子搭載基板または前記受光素子搭載基板は、
前記発光素子または前記受光素子を搭載する平面状の面と、
球面状または円柱状の面とを有することを特徴とする光送受信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光モジュールに係り、特に、複数の波長の光を合波して送信する多波長光送信モジュールおよび複数の波長が合波された光を分波して受信する光受信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年情報通信分野において、光を用いて大容量のデータを高速でやりとりする通信トラフィックの整備が急速に行われつつある。中でも特にインターネットの爆発的な普及に伴うアクセス回線のブロードバンド化が加速しており、ＦＴＴＨ(Fiber To The Home)サービスの顕著な市場立ち上がりが見られる。ＦＴＴＨの光伝送方式の中で、現在需要が増えてきているのが、複数の加入者で１本のファイバを共有するＰＯＮ (passive optical network)方式である。同方式では収容局から１本のファイバで送信されてきたデータを、スプリッタで１６本から３２本のファイバへ分岐し、各加入者宅まで分配することでファイバ敷設コストを大幅に削減可能である。また、各加入者側には端末装置としてＯＮＵ（Optical Network Unit）が敷設され、収容局から加入者側への下り信号(波長1.5μm)と、加入者側から収容局への上り信号(波長1.3μm)を波長多重(WDM)することにより、上りと下りの信号を同一のファイバを用いて伝送している。さらに、ＯＮＵ内には３波長双方向光モジュールが載置されており、上り信号送信用の発光素子(LD: Laser Diode)、下り信号受信用の受光素子(PD: Photo Detector)、上り／下り信号を分離するWDMフィルタで基本的に構成されている。
【０００３】
従来のモジュール方式を図１に示す。図１は、パッケージ１内に発光素子１１、受光素子１２a、１２b、波長選択フィルタ３１a、３１bの各光部品を空間的に配置した一芯双方向（BIDI: Bi-Directional）モジュールの基本構成を示したものである。本方式では各光部品を独立に作製可能であるため、作製歩留まりを確保し易い。また、レンズ４０を各々集積したCANパッケージに搭載された光素子１１、１２a、１２bを動作させながらファイバ６０と光軸調芯する、所謂アクティブアライメントで光接続可能であるため、安定した光結合効率が得られる利点がある。その反面、部品点数が多い。加えて、波長選択フィルタ３１a、３１bをパッケージ５０の端面に対して斜めに実装するため、図１に示すＺ軸に対して所望の角度になるようにパッケージ５０を加工する必要があり、小型・低コスト化に不利な事が難点である。
【０００４】
波長の拡張性と小型化・低コスト化を両立させる為には、波長合分波器をコンパクトなスペースで行うことが必要となる。コンパクトな波長合分波器として、複数のフィルタユニットを共通の平行四辺形プリズム若しくは他の光学ブロック上に搭載する方法がある。例えば、特開昭６１―１０３１１０号公報の多重化デバイスにおいては、複数の光学フィルタが、共通の光導波路を伝播した異なる波長の光を分割する。予め定められた波長の光を透過するとともに、他の波長の光を反射するような、波長選択フィルタとミラーの各々が、透明な基板の所定の位置に互いに取り付けられた合分波器を有している。入射光線が、透明な基板に入射し、基板表面の各波長選択フィルタやミラーで順次、部分的に透過され且つ部分的に反射されて、ジグザクの光路を形成するように波長選択フィルタやミラーが配置される。特定の波長の光が各々のフィルタで除去されるか若しくは付加される。しかしながら本多重化デバイスの構成は、光素子と合分波器がロッドレンズ及びファイバを介して結合されており、小型化が難しく、部品点数も多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６１−１０３１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、従来の技術では部品点数が多く、光素子の実装も含めると光部品の実装工程が多い。また、波長選択フィルタをパッケージの端面に対して斜めに実装するには、図1に示すＺ軸に対して所望の角度になるようにパッケージを加工する必要があるので加工が難しく、コストもかかるため、小型化、低コスト化に限界があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は１本の光ファイバで複数の波長の光を伝送する、波長多重光伝送や１芯双方向光伝送の端末機として用いられる光モジュールに関して、低損失な光学特性及び高信頼性を保ちつつ、部品点数及び実装工程数を大幅削減し、小型且つ低コストな光モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明では、上記の課題を解決するために、複数の発光素子と受光素子が搭載された基台と、基板の表裏面に波長選択フィルタやミラーを搭載した波長合分波器を用意し、これら二つの部品を略並行でありながら、光素子実装面とフィルタ表面が互いに非平行な角度となるように、パッケージ内で実装する。そのために、発光素子を搭載した基板と受光素子を搭載した基板を基台に対して非平行に搭載するための斜面を基台に設けている。もしくは、発光素子を搭載した基板や受光素子を搭載した基板を基台に対して非平行に搭載するために、基板を搭載する半球状の台座を備え、その台座を搭載するための台座と同じ曲率半径の凹部を基台に設けている。加えて、平行な一対の対向面を持ち、光の波長に対して透明な材料で出来た所望の厚さの基板を支持基板とし、一対の平行な面の一方には少なくとも一種類の波長選択フィルタを、他の面には第一のフィルタで選択されなかった波長の光を反射するためのミラーを設ける。この際これらのフィルタ及びミラーには光が入出射する為の窓を設ける。この光合分波器を、基台に対して略平行になるようにパッケージ内に固定する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、一つの光軸で複数の波長の光を送信する多波長送信モジュール及び多波長受信モジュールに関して、部品点数及び実装工程数を大幅に削減し、小型且つ低コストな光モジュールを提供することにある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、従来モジュールの第１の方式である、BIDIモジュールの基本構成図である。
【図２】図２は、本発明の実施例である三波長双方向光送受信モジュールの断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施例である三波長双方向光送受信モジュールの光合分波器の断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施例である三波長双方向光送受信モジュールの光合分波器の断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施例である発光素子搭載部の断面図である。
【図６（ａ）】図６（ａ）は、本発明の実施例である発光素子搭載用の台座を用いた発光素子の出射方向の調整手順である。
【図６（ｂ）】図６（ｂ）は、本発明の実施例である発光素子搭載用の台座を用いた発光素子の出射方向の調整手順である。
【図６（ｃ）】図６（ｃ）は、本発明の実施例である発光素子搭載用の台座を用いた発光素子の出射方向の調整手順である。
【図６（ｄ）】図６（ｄ）は、本発明の実施例である発光素子搭載用の台座を用いた発光素子の出射方向の調整手順である。
【図６（ｅ）】図６（ｅ）は、本発明の実施例である発光素子搭載用の台座を用いた発光素子の出射方向の調整手順である。
【図７】図７は、本発明の実施例である発光素子搭載部の断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施例である発光素子搭載用の台座の断面図である。
【図９】図９は、本発明の実施例である発光素子搭載部の断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施例である発光素子搭載部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明をする。なお、実質同一部位には同じ参照番号を振り、説明は繰り返さない。
【実施例１】
【００１２】
図２を用いて実施例１を説明する。図２は本発明を発光素子から出射される第一の波長の光をファイバに結合して送信し、ファイバから波長多重されて出射される光から第二の波長の光と第三の波長の光を波長分離し、それぞれ対応する受光素子に導き受信するという機能を備えた三波長双方向光送受信モジュールに適用した例の断面図である。
【００１３】
パッケージ（筐体）５０は、その内部にレンズ４０、光合分波器３０を有し、発光素子１１、受光素子１２を有する基台２３が取り付けられている。また、パッケージ５０は、光ファイバ６０に取り付けられている。
【００１４】
発光素子１１と受光素子１２a、１２bはそれぞれ基板２１にはんだで接着されている。発光素子１１、受光素子１２を搭載した基板２１は、Agペーストを用いて基台２３上に実装されている。このとき基板２１は、発光素子１１の出射方向、もしくはファイバから受光素子１２a,bへの入射方向を、基台２３に平行にパッケージ５０に実装された光合分波器３で屈折された光がファイバに光結合させることが可能な角度になるように、基板２１の素子搭載面の角度を調整されて実装されている。これにより、発光素子１１は基台２３に対して斜め方向に光を出射することができ、受光素子は斜め方向からの光を効率よく受光することができる。ここで斜め方向とは、基台２３の主面の法線方向から１５°以上の角度をなす方向のことをいう。発光素子１１の波長は１３３０nm、受光素子１２a、１２bに入射する光の波長は、それぞれ１５５０nm、１４９０nmとする。
【００１５】
光合分波器３は透明基板３０を支持基板とし、一方の面に第一の波長選択フィルタ３１aと第二の波長選択フィルタ３１bが隣接して形成され、この面と平行な対向する面に第一のミラーである波長選択フィルタ３１aと第二のミラーである波長選択フィルタ３１bが形成されている。第一の波長選択フィルタ３１aと第二の波長選択フィルタ３１bは、特定の範囲の波長の光を透過し、他の波長の光は反射するが、第一の波長選択フィルタ３１aと第二の波長選択フィルタ３１bとでは異なる波長範囲の光を透過するようになっている。透明基板３０の材質は使用する波長に対して透明であれば良く限定されるものではないが、安価で加工精度の良いものが望ましく（例えば、非結晶ガラス、サファイア結晶、結晶石英、シリコン等）、本実施例ではBK７を透明ガラス基板３０として用いている。実施例１の光合分波器３を図３と図４に示す。実施例では、図３に示すように基板３０に波長選択フィルタ３１a,３１bを隣接して形成し、基板３０を挟んで対向して配置された波長選択フィルタ間で反射を繰り返され、図３に示すジグザグの光路をたどることで分波される。図４に示すように、波長選択フィルタ３１aと対向する位置に、波長選択フィルタ３１aを透過する光は透過し、上記波長フィルタ３１aに反射される光を反射するミラー４１aを配置することで光合分波器３を作製することも可能である。
【００１６】
波長選択フィルタ３１a、３１bはTa2O5とSiO2からなる誘電体多層膜で構成されており、特定の波長の光を透過し、他の特定の波長の光を反射する。フィルタ３１aは、１３３０nmの光、すなわち発光素子１１が発する光を透過し、１４９０nmと１５５０nmの光を反射する性質を持つフィルタ（いわゆるバンドパスフィルタ）とする。フィルタ３１bは１４９０nmの光、すなわち受光素子12aが受光する光を透過し、１５５０nmの光を反射する性質を持つバンドパスフィルタとする。
【００１７】
この光合分波器３を、パッケージ５０に旋盤加工により形成した凹部50ｂに外形合わせで実装し、ＵＶ硬化樹脂を用いて接着する。パッケージ５０の光合分波器３との接合面は、基台２３に対して平行となるように加工されている。図１の従来技術では、波長選択フィルタ３１a、３１bとパッケージ５０の接合面は、それぞれ基台２３に対して所望の角度を持つように加工されている。このような複雑な形状を旋盤により形成することは困難であり、一般に放電加工により形成されていた。そのため、パッケージの低コスト化が困難であった。しかしながら、本実施例では、凹部（貫通孔）50ｂを旋盤加工などで形成することにより、凹部50ｂの深さ方向（凹部50ｂの壁面に沿った方向）に直交する平面状の段差50aが容易に形成される。この段差50aを接合面として光合分波器３の面方向を方向付けして取り付けることで、光合分波器３が光素子と光カップリング可能となる。なお、パッケージ50の基台２３を取り付ける面は、凹部50ｂの深さ方向に対して直交するものとする。このような構成とすることにより、旋盤により容易に加工可能な形状となるため低コスト化を実現することが可能となる。
【００１８】
発光素子１１からの出射光（１３３０nm）を集光し、ファイバ６０へ入射させるためのレンズ４０も同様に、パッケージ５０にUV硬化樹脂により接着する。なお、ファイバ６０から出射される光（１４９０nmおよび１５５０nm）も同様に、レンズ４０により集光され光合分波器３へ入射することとなる。
【００１９】
この光合分波器３とレンズ４０を接着したパッケージ５０、発光素子１１と受光素子１２a、１２bを搭載した基台２３およびファイバ６０の３つの光部品をアクティブ調芯により最大光結合の得られる位置関係で保持した後、YAG溶接により上記３つの光部品を固定する。
【００２０】
このように作製した送受信光モジュールにおいて、光素子とファイバ６０は以下のように光を送受信する。発光素子１１から出射する１３３０nmの光が光合分波器３に到達した後、波長選択フィルタ３１aを透過して、ガラス支持基板３０に到達する。光合分波器３は光軸に対して非垂直な角度に実装されているので、光は屈折率差（スネルの法則）で決まる一定の屈折を受けた後、光合分波器３から出射し、レンズ４０を介してファイバ６０に入射する。また、ファイバ６０から出射した１４９０nmと１５５０nmの光はレンズ４０を介して、光合分波器３に到達し、屈折を受けた後、光合分波器３内を伝播し、ミラーとなる波長選択フィルタ３１aで反射される。その反射された光が対向する面にある波長選択フィルタ３１aでまた反射され、それを繰り返す。そして、波長選択フィルタ３１bを１４９０nmの光のみが透過して、１４９０nmに対応する受光素子１２aに入射する。一方、１５５０nmの光は波長選択フィルタ３１bで再び反射され、対向する面にある波長選択フィルタ３１bでまた反射され、それを繰り返す。そして、波長選択フィルタ３１bが形成されていない光合分波器３の箇所から、１５５０nmの光に対応する１５５０nmの光は受光素子１２bに入射する。
【００２１】
なお、本実施例では発光素子１１としてマイクロレンズを集積した垂直出射型LDを用いたが、端面出射型LDを用いてもかまわない。しかしながら、実装上の簡便さから垂直出射型のLDが好適である。
【００２２】
また、本実施例では、光合分波器３を実装するパッケージ５０の凹部を、旋盤を用いて形成したが、旋盤以外のものを用いても形成してもかまわない。
【００２３】
また、本実施例では、発光素子１つと受光素子２つが同一パッケージ内に配置される３波長対応光モジュールを例に説明したが、この構成に限らず複数の光素子（発光素子、受光素子等）が同一パッケージ内に配置される光モジュールに対して適用可能であることはいうまでもない。
【実施例２】
【００２４】
図５から図１０は実施例２を説明するための図である。図５は実施例１において、発光素子と受光素子を搭載する箇所を半球状の凹部にした光送受信モジュールであり、基台２３に発光素子１１を搭載する箇所を拡大した図である。
【００２５】
出射方向の調整の手順を図６に示す。
【００２６】
はじめに、(a)に示すようにはんだで基板２１に搭載した発光素子１１のFFP(Far Field Pattern)をFFP測定器８０で計測し、出射方向（θ0,φ0）を特定する。
【００２７】
次に、(b)に示すようにAgペースト、もしくははんだを用いて半球状の台座２２に基板２１を接着する。
【００２８】
そして、(c)に示すθ、φ方向に可動なステージ９４、９５と、X、Y、Z方向に可動なステージ９１、９２、９３を備えたマニピュレーター９０で基板２１を把持し、FFPで得られた出射方向（θ0,φ0）分を補正したのち、所定の方向（α,0）へ調整する。次に、角度を保持した状態のままX,Yステージを稼働させて基台２３上にある台座２２と同じ曲率半径をもつ凹部の上まで移動させる。
【００２９】
そして、(d)に示すように、Zステージを稼働させて、Agペースト７１の塗布してある凹部に搭載する。
【００３０】
そこで(e)に示すように、マニピュレーターで基板を把持したまま、ＵＶ硬化接着剤７０を塗布し、ＵＶを照射して台座２２を仮固定する。Agペースト内の気泡を取り除くため、真空脱泡を行った後、ＵＶ硬化接着剤７０、台座２２と基台２３の接合材のAgペーストを同時に熱硬化させて台座２２を固定する。
【００３１】
なお、本実施例では台座２２と基台２３の接合材をAgペーストとしたが、台座２２と基台２３の仮固定にUV接着剤を用いない場合には、長時間熱硬化する必要が無く、はんだを構成する組織の拡散を考慮しなくても良いので、台座２２と基台２３の接合材にはんだを用いてもよい。また、台座は半球状としたが、台座の面が球面となるように曲面を形成していればよい。
【００３２】
次に台座２２の形状の実施形態を図７と図８に示す。
【００３３】
図７は図５において、台座２２の半球面表面がフィン形状となるように半球面に溝２４を設けたものである。これにより台座２２の表面面積が拡大することとなる。換言すると、台座２２とAgペーストの接する面積が広くなるため、放熱性を向上させることが可能となる。加えて、気泡がAgペーストの内に含まれている場合、放熱性および接続信頼性の低下を招くため望ましくない。しかしながら、図７では台座２２の溝２４が基台２３上にある凹部の外まで通じているため、脱泡によりにAgペーストの内に含まれている気泡を外部へ取り除き易い構造となる。
【００３４】
また、図８は図５において、台座２２の半球面の一部に、平面を備えた形状としたものである。これにより、台座２２を平面上にも置くことが可能となり、半球状の台座を置くために台座２２と同じ半径を持つ凹部を備える治具を必要としなくなる。
【００３５】
次に基台２３の形状の実施形態を図９と図１０に示す。
【００３６】
図９は図５の基台２３の形状を、円柱状の凹部２５を持つ形状に変更したものである。このことにより、基台２３に凹部を作製することが半球状の凹部を作製するのに比較して容易となる。ここで、台座２２の半球面の半径をr、基台２３の凹部２５の開口部直径をWとすると、W<2rの関係が成立している必要がある。なぜならば、W>2rの場合、台座２２が凹部２５内に配置されることとなり、台座２２を安定して固定することができないためである（換言すると、台座２２の半球面と基台２３が点接触となる）。
【００３７】
また、図１０は図５の基台２３の形状を、台座２２と基台２３を接合するAgペーストが基台２３上にあふれることを防ぐための溝２４を備えた形状に変更したものである。Agペーストが基台２３上にあふれると、Agペーストから発生したアウトガスが発光素子１１の発光部に付着してしまう。基台２３に溝２４を備え、台座２２と基台２３をYAG溶接で固定するにより、Agペーストで接合したことによる放熱性を保持したまま、Agペーストから発生するアウトガスの低減が可能となる。
【００３８】
なお、今回は基台２３上の凹部を台座２２と同じ曲率半径を持つ半球状の凹部としたが、台座２２を安定して配置することが可能であればよい。具体的には、台座２２と基台２３をYAG溶接する場合には、基台２３上の凹部を半球状とするならば、凹部の曲率半径を台座２２の半径rより小さくして、YAG溶接で接合する箇所を作る必要がある。また、台座２２と基台２３の接合材にはんだのみを用い、基台２３上の凹部の形状を半球状とするならば、凹部の曲率半径を台座２２の半径rより大きくし台座２２と基台２３が接触する点を作る必要がある。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
１本の光ファイバで複数の波長の光を伝送する、波長多重光伝送や１芯双方向光伝送の端末機として用いられる光モジュールに関して、低損失な光学特性及び高信頼性を保ちつつ、光部品数、実装工程数を大幅削減し、小型化且つ低コストな光モジュールおよびその製造方法を提供できる。
【符号の説明】
【００４０】
１１・・・発光素子、１２a、１２b・・・受光素子、２１・・・基板、２２・・・台座、２３・・・基台、２４・・・溝、２５・・・円柱溝、３・・・光合分波器、３０・・・透明基板、３１、３１a、３１b・・・波長選択フィルタ、４０・・・レンズ、４１a、４２b・・・ミラー、５０・・・パッケージ、６０・・・ファイバ、７０・・・ＵＶ硬化接着剤、７１・・・Agペースト、８０・・・FFP測定器、９０・・・マニピュレーター、９１・・・Xステージ、９２・・・Yステージ、９３・・・Zステージ、９４・・・φステージ、９５・・・θステージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2010186090.tif 000006
【図５】
2010186090.tif 000007
【図６（ａ）】
2010186090.tif 000008
【図６（ｂ）】
2010186090.tif 000009
【図６（ｃ）】
2010186090.tif 000010
【図６（ｄ）】
2010186090.tif 000011
【図６（ｅ）】
2010186090.tif 000012
【図７】
2010186090.tif 000013
【図８】
2010186090.tif 000014
【図９】
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【図１０】
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