(57)【要約】【課題】  従来よりも簡単な方法によりＴＡＢテープの配線間距離を短時間で安定化させ、配線間距離の正確な寸法を効率よく測定する方法を提供する。【解決手段】  所定の寸法測定環境に対して相対湿度のみが高い環境下でＴＡＢテープに吸湿させる加速吸湿工程と、引き続き所定の寸法測定環境下でポリイミドフィルム上の配線間距離が安定するまでＴＡＢテープを保持する保持安定化工程とを経た後、配線間距離の寸法測定を行う。加速吸湿工程では、ＴＡＢテープを水中に保持して３〜６時間吸湿させることが特に好ましい。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリイミドフィルムの少なくとも一方の面に配線を形成したＴＡＢテープの配線間距離を測定する方法であって、所定の寸法測定環境に対して相対湿度のみが高い環境下でＴＡＢテープに吸湿させる加速吸湿工程と、引き続き所定の寸法測定環境下でポリイミドフィルム上の配線間距離が安定するまでＴＡＢテープを保持する保持安定化工程とを経た後、配線間距離の寸法測定を行うことを特徴とするＴＡＢテープの配線間距離測定方法。
【請求項２】
前記加速吸湿工程において、前記保持安定化工程で配線間距離が安定するまで保持されたＴＡＢテープの配線間距離の寸法値を基準としたとき、この基準寸法値に対する寸法変化率が０.００〜０.０２％となる範囲内で吸湿させることを特徴とする、請求項１に記載のＴＡＢテープの配線間距離測定方法。
【請求項３】
前記加速吸湿工程において、ＴＡＢテープを水中に保持して吸湿させることを特徴とする、請求項１又は２に記載のＴＡＢテープの配線間距離測定方法。
【請求項４】
前記加速吸湿工程において、ＴＡＢテープを水中に３〜６時間保持して吸湿させることを特徴とする、請求項３に記載のＴＡＢテープの配線間距離測定方法。
【請求項５】
前記加速吸湿工程において、ＴＡＢテープを相対湿度が８０％以上の庫室内に７〜９時間保持して吸湿させることを特徴とする、請求項１又は２に記載のＴＡＢテープの配線間距離測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープの配線間距離を従来よりも短時間で測定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＡＢテープは、ポリイミドフィルムなどの絶縁性フィルム表面に銅などの導電性材料で配線が施されたものであり、半導体パッケージの厚さを薄くできるため、小型化軽量化に伴い液晶パネル駆動用ＬＳＩなどの分野で広く使用されている。
【０００３】
このようなＴＡＢテープにおいては、半導体チップと接合するインナーリード部、及び外部基板と接続するアウターリード部ともに、ピッチ間隔（配線間距離）について高い精度が要求されている。そのため、製造されたＴＡＢテープは、寸法測定装置によりリード部を拡大して配線間距離の寸法を測定し、寸法値が規格を満たしていることを確認して出荷されている。
【０００４】
ところが、ＴＡＢテープの製造過程では、ポリイミドフィルム上に銅の配線を形成し、配線の必要部分にスズめっきを施した後に加熱処理を行い、更に保護膜としてソルダーレジストを表面に塗布し、硬化させるための加熱処理が行なわれる。このように度重なる加熱処理を経て製造されたＴＡＢテープは、ポリイミドフィルムが脱水された状態にあるため収縮しており、これに伴ってリード部の配線間隔も設計値に比べ収縮している。
【０００５】
そのため、リード部の配線間距離の寸法測定を行う際には、製造後のＴＡＢテープを直ちに測定するのではなく、所定の寸法測定環境下に保持することにより自然吸湿させて、収縮状態を元に戻してから寸法測定を行っている。尚、ＴＡＢテープの寸法測定環境は、顧客により多少の違いはあるが、一般的なクリーンルーム環境に近い環境であり、具体的には概ね温度２２℃±３℃及び相対湿度５５％±１０％の範囲である。
【０００６】
しかしながら、自然吸湿によりＴＡＢテープの配線間距離が安定した寸法となるためには、ポリイミドフィルムの種類などによって収縮や膨張の状態に多少の差があるものの、上記した所定の寸法測定環境下において少なくとも４８時間以上保持する必要があった。そのため、ＴＡＢテープの寸法検査の工程で製品の滞留時間が長くなり、生産性が向上しない事態となっていた。
【０００７】
この問題を解決する方法として、特開平９−２０５１１８号公報（特許文献１）には、製造後のＴＡＢテープの配線間距離を安定化させるために、温度３０℃以上及び相対湿度３０〜７０％の環境において、ＴＡＢテープを所定の時間保持することが記載されている。
【特許文献１】特開平９−２０５１１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１の方法によれば、温度３０℃及び相対湿度３０％の環境下で保持して吸湿させることにより、約４０時間以下で、また温度が高いほど更に短時間で、配線間距離が安定化することが記載されている。しかしながら、温度と湿度を高めた環境を長時間維持するためには、専用の庫室を設けて温度と湿度の両方を所定の範囲内に管理することが必要となる。
【０００９】
本発明は、このような従来の事情に鑑み、従来よりも簡単な方法によりＴＡＢテープの配線間距離を短時間で安定化させ、配線間距離の正確な寸法を効率よく測定する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明が提供する、ＴＡＢテープの配線間距離測定方法は、所定の寸法測定環境に対して相対湿度のみが高い環境下でＴＡＢテープに吸湿させる加速吸湿工程と、引き続き所定の寸法測定環境下でポリイミドフィルム上の配線間距離が安定するまでＴＡＢテープを保持する保持安定化工程とを経た後、配線間距離の寸法測定を行うことを特徴とする。
【００１１】
上記本発明のＴＡＢテープの配線間距離測定方法では、前記加速吸湿工程において、前記保持安定化工程で配線間距離が安定するまで保持されたＴＡＢテープの配線間距離の寸法値を基準としたとき、この基準寸法値に対する寸法変化率が０.００〜０.０２％となる範囲内で吸湿させることが好ましい。
【００１２】
上記本発明のＴＡＢテープの配線間距離測定方法では、前記保持安定化工程においてＴＡＢテープを水中に保持して吸湿させることが好ましく、その場合にはＴＡＢテープを水中に３〜６時間保持して吸湿させることを特徴とするものである。また、前記保持安定化工程では、ＴＡＢテープを相対湿度が８０％以上の庫室内に７〜９時間保持して吸湿させることもできる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、従来よりも簡単な方法により、ＴＡＢテープの配線間距離を従来の自然吸湿による方法に比べて短時間で安定化させ、配線間距離の寸法を効率よく測定することができる。従って、ＴＡＢテープの寸法検査工程での滞留時間を短縮でき、生産性の向上を図ることができる。
【００１４】
更に、ＴＡＢテープを水中に保持して加速吸湿させる方法によれば、温度と湿度の両方を制御できる専用の庫室などを設ける必要がなく、極めて簡単に実施することが可能であるため、ＴＡＢテープの検査工程において極めて有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明のＴＡＢテープの配線間距離測定方法においては、製造後のＴＡＢテープについて、配線間距離の寸法測定を行う前に、そのＴＡＢテープを所定の寸法測定環境に対して相対湿度のみが高い環境下に保持して一旦過剰な状態にまで強制的に吸湿させ（加速吸湿工程）、次に所定の寸法測定環境下で水分を蒸発させて配線間距離を安定化させる（保持安定化工程）。
【００１６】
一般にＴＡＢテープの製造では、銅の配線を形成したポリイミドフィルムに対し、スズめっきを施して所定の加熱処理を行い、更にソルダーレジストを塗布した後、硬化のため約１２０℃の炉で９０分間加熱するため、ポリイミドフィルムと共に配線間距離が設計寸法値よりも０.０４〜０.０５％程度縮んでいる。この収縮した状態のＴＡＢテープに対して、本発明では強制的に加速吸湿させた後、水分を蒸発させることにより配線間距離を安定化させるのである。
【００１７】
まず、加速吸湿工程において、上記のごとく製造されたＴＡＢテープを、所定の寸法測定環境に対して相対湿度のみが高い（温度は実質的に同じ）環境下に保持することにより、過剰な状態にまで強制的に吸湿させる。上記の寸法測定環境とは、ＴＡＢテープ毎に定められた寸法測定時における温度と湿度の条件を備えた環境であり、一般的には温度が常温（２２℃±３℃）程度で且つ相対湿度が５５％±１０％程度である。
【００１８】
従って、加速吸湿工程でＴＡＢテープに強制的に吸湿させる場合、温度は常温のままで、相対湿度のみを高めた雰囲気の庫室を使用すればよいため、条件管理が比較的容易である。特に、ＴＡＢテープを水中に保持して強制的に吸湿させる方法によれば、通常は水の温度も相対湿度も調整する必要がなく、若しくは水の温度のみを調整するだけよいため、加速吸湿工程の操作が極めて簡単になるという利点がある。
【００１９】
上記加速吸湿工程での保持時間は、ＴＡＢテープの最終的に安定化した配線間距離の寸法値（通常は設計寸法値と同一となる）を基準とし、この基準寸法値に対する寸法変化率が０.０２％となるまでの範囲内とすることが望ましい。上記基準寸法値に対する寸法変化率が０.００％未満では、その後の保持安定化工程でも自然吸湿が継続されることになる。また、寸法変化率が０.０２％を超えると保持安定化工程での保持時間が長くなる。その結果、いずれの場合もトータルの処理時間が従来と同程度にまで長くなるため好ましくない。
【００２０】
例えば、加速吸湿工程で相対湿度が８０％以上の庫室を用いる場合、ＴＡＢテープを７〜９時間保持して吸湿させることにより、上記配線間距離の基準寸法値に対する寸法変化率が０.００〜０.０２％となる。また、ＴＡＢテープを水中に保持して吸湿させる方法では、水中に３〜６時間保持して吸湿させることによって、上記配線間距離の基準寸法値に対する寸法変化率を０.００〜０.０２％の範囲内とすることができる。
【００２１】
次に、保持安定化工程では、上記加速吸湿工程で過剰に吸湿させることで膨張したＴＡＢテープを所定の寸法測定環境下に保持することによって、ＴＡＢテープから水分を蒸発させる。水分の蒸発に伴ってＴＡＢテープは収縮して行き、配線間距離が一定の寸法に安定化する。
【００２２】
上記保持安定化工程後のＴＡＢテープの配線間距離は、加熱処理により収縮している状態のＴＡＢテープの配線間距離が０.０４〜０.０５％程度伸びることで、加熱前の配線形成時の状態となっている。従って、この工程終了後のＴＡＢテープを測定することで、正確な配線間距離を得ることができる。
【実施例】
【００２３】
厚さ３４μｍのポリイミドフィルム（宇部興産（株）製、商品名：ユーピレックス−Ｓ）に銅配線パターンを形成し、スズめっきを施した後、所定の加熱処理を行った。引き続き、配線パターン面にソルダーレジストを塗布し、硬化のために約１２０℃に保持された加熱炉で９０分間加熱することにより、ＴＡＢテープを製造した。
【００２４】
得られたＴＡＢテープは加熱により収縮した状態にあり、配線間距離の寸法値は加熱前の設計寸法値よりも０.０４〜０.０５％程度縮んでいることが分っている。この収縮した状態にあるＴＡＢテープを均等に５分割し、長さ３００ｍｍのシート状のサンプルを作製し、それぞれの配線間距離の寸法を測定して初期寸法値を得た。
【００２５】
上記５分割したシート状サンプルを、下記水準１〜５に示す温度と相対湿度に制御した環境下に保持して、強制的に吸湿させた。即ち、水準１では温度２０℃／相対湿度５０％の庫室内、水準２では温度１４℃／相対湿度８０％の庫室内、水準３〜水準５では温度２０℃の水中に保持し、それぞれ適当な時間間隔で配線間距離を測定しながら吸湿させた。
【００２６】
水準１については、配線間距離の寸法測定値が伸び続けたため、そのまま吸湿を続けたところ、４８時間で配線間距離の寸法測定値が安定した。また、水準２〜５については、途中で温度２０℃／相対湿度５０％の室内に移して保持し、４８時間まで寸法値を測定ながら観察した。
【００２７】
上記水準１〜５について、製造後のＴＡＢテープに対する吸湿開始からの経過時間と、ＴＡＢテープにおける配線間距の初期寸法値（吸湿開始前の寸法値）に対する寸法変化率との関係を、それぞれ図２に示した。
【００２８】
図２に基づいて具体的に説明すると、水準２では、９時間経過した時点で配線間距離が初期寸法値よりも０.０５％程度伸びていたため、温度１４℃／相対湿度８０％に保持された庫室内から取り出し、温度２０℃／相対湿度５０％の庫室内で保持した。尚、上記の初期寸法値よりも０.０５％程度の伸びは、配線間距離が安定化するまで保持されたＴＡＢテープの寸法値を基準とすると、約７時間経過時点で０.００％、９時間経過時点で０.００５％の寸法変化率になる。
【００２９】
水準３については、４時間経過した時点で配線間距離が初期寸法よりも０.０５５％程度伸びため水中から取り出し、上記水準２と同様に温度２０℃／相対湿度５０％の庫室内で保持した。尚、上記の初期寸法よりも０.０５５％程度の伸びは、配線間距離が安定化するまで保持されたＴＡＢテープの寸法値を基準とすると、約３時間経過時点で０.００％、４時間経過時点で０.０１％の寸法変化率になる。
【００３０】
水準４については、６時間経過した時点で配線間距離が初期寸法よりも０.０６５％程度伸びたため水中から取り出し、上記水準２と同様に温度２０℃／相対湿度５０％の庫室内で保持した。尚、上記の初期寸法よりも０.０６５％程度の伸びは、配線間距離が安定化するまで保持されたＴＡＢテープの寸法値を基準とすると、０.０２％の寸法変化率になる。
【００３１】
また、水準５については、７時間経過した時点で配線間距離が初期寸法よりも０.０７％程度伸びたため水中から取り出し、上記水準２と同様に温度２０℃／相対湿度５０％の庫室内で保持した。尚、上記の初期寸法よりも０.０７％程度の伸びは、配線間距離が安定化するまで保持されたＴＡＢテープの寸法値を基準とすると、０.０２５％の寸法変化率になる。
【００３２】
そして、所定の測定環境である温度２０℃／相対湿度５０％の庫室内に移した上記水準２〜水準５の観察結果は、水準２については温度２０℃／相対湿度５０％に移行してから１２経過時間後に配線間距離の寸法値が安定化し、水準３については同じく１７時間経過後に安定化した。また、水準４については同じく２７時間経過後、水準５については同じく３８時間経過後に安定化した。
【００３３】
従って、製造後のＴＡＢテープの配線間距離が吸湿開始から安定するまでに必要とした時間は、水準１が４８時間、水準２が２１時間、水準３が２１時間、水準４が３３時間、水準５が４５時間となる。尚、上記水準１の方法は、温度２０℃／相対湿度５０％の測定環境下に保時して自然吸湿させる従来方法と同様の方法である。
【００３４】
この結果から、水準２と水準３については、従来方法と同様の温度２０℃／相対湿度５０％の測定環境下で保時した水準１と比較して、半分以下の極めて短い時間で配線間距離が安定化したＴＡＢテープを得ることができた。また、水準４は従来方法と同様の水準１よりもやや優れ、水準５は従来方法と同様の水準１とほぼ同等の結果となった。
【００３５】
これらの結果より、所定の測定環境下で配線間距離が安定化するまで保持されたＴＡＢテープの配線間距離の寸法値を基準としたとき、この基準寸法値に対する寸法変化率が０.０２％の範囲内で加速吸湿させた後、所定の測定環境下で保持することによって、従来の自然吸湿による方法に比べて半分以下の極めて短い時間で配線間距離の寸法値が安定化することが分った。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施例の水準１〜５について、ＴＡＢテープの吸湿開始からの経過時間と配線間距の初期寸法値に対する寸法変化率との関係を示すグラフである。
【図１】
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