(57)【要約】【課題】放電セル毎の放電特性のばらつきや色むらの小さい品質の高い画像を表示するプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】１対の走査電極と維持電極との間に放電ギャップを形成した表示電極対を複数備えた前面基板と、隔壁と隣接する前記隔壁間に蛍光体を形成した背面基板とで形成され、前記１対の表示電極を構成する前記走査電極および前記維持電極は、複数の長手方向の電極とそれらをつなぐブリッジ電極とによって梯子状に形成され、前記梯子状の電極の間隙には、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布焼成した透明電極が形成され、前記ブリッジ電極が形成されている位置は、前記蛍光体が形成されている位置に相当し、前記ブリッジ電極が形成されている位置の前記蛍光体の色が、隣接する前記ブリッジ電極が形成されている位置の前記蛍光体の色と異なることを特徴とする。【選択図】図２
2010277803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１対の走査電極と維持電極との間に放電ギャップを形成した表示電極対を複数備えた前面基板と、隔壁と隣接する前記隔壁間に蛍光体を形成した背面基板とで形成されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記走査電極は走査バス電極と走査透明電極とを有し、前記維持電極は維持バス電極と維持透明電極とを有し、
前記走査バス電極および前記維持バス電極は、前記放電ギャップを形成するように、それぞれ前記前面基板上に形成され、
前記１対の表示電極を構成する前記走査電極および前記維持電極は、複数の長手方向の電極とそれらをつなぐブリッジ電極とによって梯子状に形成され、
前記梯子状の電極の間隙には、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布焼成した透明電極が形成され、
前記ブリッジ電極が形成されている位置は、前記蛍光体が形成されている位置に相当し、
前記ブリッジ電極が形成されている位置の前記蛍光体の色が、隣接する前記ブリッジ電極が形成されている位置の前記蛍光体の色と異なることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
それぞれの前記ブリッジ電極の一部は、前記隔壁が形成された位置に相当する位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記分散液をインクジェット法で塗布したしたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示デバイス等に用いる交流面放電型プラズマディスプレイパネル、に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、単に「パネル」と略記する）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、ガラス製の前面基板と、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対と、それらを覆う誘電体層および保護層を有する。背面板は、ガラス製の背面基板と、データ電極と、それを覆う誘電体層と、隔壁と、蛍光体層とを有する。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に隔壁で仕切られた放電セルが形成される。このように構成されたパネルの各放電セル内でガス放電を発生させ、赤、緑、青各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００３】
走査電極および維持電極のそれぞれは、例えば幅の広いストライプ状の透明電極の上に幅の狭いストライプ状のバス電極を積層して形成されている。透明電極は、例えばスパッタ法等を用いて前面基板上に形成されたＩＴＯ薄膜を、フォトリソグラフ法等によりストライプ状にパターニングして形成する。またバス電極は、透明電極上に銀ペーストをストライプ状に印刷し焼成して形成する（例えば、特許文献１参照）。しかしながらスパッタ法等でＩＴＯ薄膜を形成するためには真空装置や露光機等の設備が必要となり、生産設備が大型になるだけでなく、生産性が低いという問題点があった。
【０００４】
これらの課題を解決するために、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛から選ばれた金属の微粒子を含有する分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、これらの課題を解決するための別の方法として、インジウム、錫および亜鉛から選ばれた金属の酸化物微粒子を含有する分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法も開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
また前面基板の電極を透明電極を形成せず金属電極のみで梯子状のパターンを形成して放電させる方法も提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１５６１６８号公報
【特許文献２】特開２００５−１８３０５４号公報
【特許文献３】特開２００５−１６６３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、透明電極形成用の分散液を塗布する方法では、厚膜印刷法は印刷精度に限界があり、精度のよい透明電極を形成することが困難であり、また、インクジェット塗布方式は電極パターンエッジ形状の直線性実現が難しい。特に放電セル内部の走査電極と維持電極との距離、すなわち放電ギャップの距離は、その放電セルの放電特性を大きく左右する。そのため透明電極の印刷精度が悪く放電ギャップの距離のばらつきが大きいと、放電セル毎の放電特性のばらつきも大きくなり表示画面にむらが発生して画像表示品質が低下するという課題があった。
【０００９】
また、金属電極のみで梯子状のパターンを形成して透明電極を用いない方式では、電極エッジの直線性とパターン精度は比較的良好に実現できるものの、良好な放電を得るために電極による遮光面積を広くとる構成とする必要があり、表示輝度が下がりパネルの発光効率が低くなってしまうという問題点を有していた。
【００１０】
一方で、金属電極の梯子状を形成するブリッジ電極の形成数を多くした場合、背面板側の蛍光体による発光を遮光するため、遮光される蛍光体の各色によって、色むらが生じる原因となっていた。
【００１１】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布焼成して形成した透明電極を有し、電極間放電特性と表示輝度特性を両立させながら色むらのない表示品位を維持したパネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために本発明は、１対の走査電極と維持電極との間に放電ギャップを形成した表示電極対を複数備えた前面基板と、隔壁と隣接する前記隔壁間に蛍光体を形成した背面基板とで形成されたプラズマディスプレイパネルであって、前記走査電極は走査バス電極と走査透明電極とを有し、前記維持電極は維持バス電極と維持透明電極とを有し、前記走査バス電極および前記維持バス電極は、前記放電ギャップを形成するように、それぞれ前記前面基板上に形成され、前記１対の表示電極を構成する前記走査電極および前記維持電極は、複数の長手方向の電極とそれらをつなぐブリッジ電極とによって梯子状に形成され、前記梯子状の電極の間隙には、金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を塗布焼成した透明電極が形成され、前記ブリッジ電極が形成されている位置は、前記蛍光体が形成されている位置に相当し、前記ブリッジ電極が形成されている位置の前記蛍光体の色が、隣接する前記ブリッジ電極が形成されている位置の前記蛍光体の色と異なることを特徴とする。この構成により、金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を焼成して形成した透明電極を有した、放電セル毎の放電特性のばらつきおよび色むらが少なく、表示の明るい品質の高い画像を表示するパネルを提供することができる。
【００１３】
また、それぞれの前記ブリッジ電極の一部は、前記隔壁が形成された位置に相当する位置に形成されていてもよい。また、前記分散液をインクジェット法で塗布してもよい。インクジェット印刷法によれば必要な部分にのみ分散液を塗布するので材料の無駄がなく、また複雑なパターンであっても容易に対応できるという利点がある。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、放電セル毎の放電特性のばらつきおよび色むらが少なく、表示の明るい品質の高い画像を表示するパネルを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態におけるパネルの構造を示す分解斜視図
【図２】同パネルの表示電極対の詳細を示す図
【図３】本発明の実施の形態のパネルの前面板の製造方法例を説明するための図
【図４】本発明の実施の形態のパネルの背面板の製造方法例を説明するための図
【図５】本発明の実施の形態のパネルの前面板の別の製造方法例を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態におけるパネルについて、図面を用いて説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施の形態におけるパネルの構造を示す分解斜視図である。パネル１０は、前面板２０と背面板３０とを対向配置し、周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。
【００１８】
前面板２０は、ガラス製の前面基板２１と、走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４と、ブラックストライプ２５と、誘電体層２６と、保護層２７とを有する。前面基板２１上には１対の走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４が互いに平行に複数形成されている。そして隣り合う表示電極対２４の間にはブラックストライプ２５が形成されている。図１には表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されている図を示した。しかし表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されていてもよい。
【００１９】
そしてそれら表示電極対２４およびブラックストライプ２５を覆うように誘電体層２６が形成され、誘電体層２６上に保護層２７が形成されている。
【００２０】
背面板３０は、ガラス製の背面基板３１と、データ電極３２と、下地誘電体層３３と、隔壁３４と、蛍光体層３５とを有する。背面基板３１上には、複数のデータ電極３２が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極３２を覆うように下地誘電体層３３が形成され、さらにその上に井桁状の隔壁３４が形成され、下地誘電体層３３の表面と隔壁３４の側面とに赤、緑、青各色の蛍光体層３５が形成されている。
【００２１】
そして、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように前面板２０と背面板３０とが対向配置され、表示電極対２４とデータ電極３２とが対向する部分に放電セルが形成される。放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で、低融点ガラスを用いて前面板２０と背面板３０とが封着され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。
【００２２】
図２は、本発明の実施の形態におけるパネル１０の表示電極対２４の詳細を示す図であり、図２（ａ）はパネル１０を前面板２０側から見た正面図、図２（ｂ）は前面板２０の断面図である。
【００２３】
走査電極２２は、不透明な金属製の２本の走査バス電極２２１ａ、２２２ａおよび２本の電極間をブリッジとしてつなぐ２２３ａと、透明な走査透明電極２２ｂとを有する。維持電極２３も２本の維持バス電極２３１ａ、２３２ａおよび２本の電極間をブリッジとしてつなぐ２３３ａと維持透明電極２３ｂとを有する。そして走査バス電極２２１ａと維持バス電極２３１ａとの間に放電ギャップ（ｄ１）が形成される。
【００２４】
走査バス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａ（２２３ａは断面図に表示していない）のそれぞれは黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ（図には表示されない）と導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２２３ｄ（図には表示されない）とからなる。維持バス電極２３１ａ、２３２ａ、２３３ａ（２３３ａは断面図に表示していない）のそれぞれも黒色層２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃ（図には表示されない）と導電層２３１ｄ、２３２ｄ、２３３ｄ（図には表示されない）とからなる。以下、走査バス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａおよび維持バス電極２３１ａ、２３２ａ、２３３ａをそれぞれ単に「バス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａ」および「バス電極２３１ａ、２３２ａ、２３３ａ」と称する。また走査透明電極２２ｂおよび維持透明電極２３ｂをそれぞれ単に「透明電極２２ｂ」および「透明電極２３ｂ」と称する。
【００２５】
黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ（図には表示されない）、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃ（図には表示されない）は、パネルを表示面側から見たときにバス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａ、２３１ａ、２３２ａ、２３３ａを黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１の上に幅の狭いストライプおよびストライプをつなぐブリッジで構成された梯子形状に形成したものである。そして導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２２３ｄ（図には表示されない）、２３１ｄ、２３２ｄ、２３３ｄ（図には表示されない）は、バス電極２２ａ、２３ａの導電性を高めるために設けられており、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃの上に銀を含む導電性の材料を積層して形成したものである。
【００２６】
ブラックストライプ２５は、パネルを表示面側から見たときに表示面を黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１上に形成したものである。
【００２７】
本実施の形態では、黒色層として酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を用いているが、本発明の適用材料としてはこの材料に限定されるものではなく、黒色顔料を主成分とした焼成プロセスを通したあと黒色に見える他の材料でも適用できるものである。
【００２８】
透明電極２２ｂ、２３ｂは、放電空間に強い電界を発生して放電を発生させるとともに、蛍光体層３５で発生した光をパネル外部へ取り出すために設けられている。そして透明電極２２ｂ、２３ｂはそれぞれ、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛から選ばれた金属または金属酸化物の微粒子を含む分散液を梯子状の金属電極のストライプ状または短冊状に塗布し、非酸化性雰囲気中で乾燥したあと酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。
【００２９】
バス電極２２３ａおよび２３３ａは、バス電極２２１ａ、２２２ａおよび２３１ａ、２３２ａのいずれかが断線したときに断線補償して不良としないための構造であり、金属電極幅を細くしてパネル表示透過率を高くした場合の断線発生率上昇の対策として重要な構造である。
【００３０】
本発明の実施の形態では、ブリッジとしてつなぐバス電極２２３ａおよび２３３ａ(以下、単にブリッジ電極２２３ａ、２３３ａと改めて称する)の形成する位置に特徴がある。具体的には、ブリッジ電極２２３ａ、２３３ａが形成されている位置は、背面板３０に形成された蛍光体層３５が存在する位置に相当し、かつブリッジ電極２２３ａが形成されている位置に相当する蛍光体層３５の色と、ブリッジ電極２３３ａが形成されている位置に相当する蛍光体層３５の色とが異なるようになっている。
【００３１】
図２で示した例では、ブリッジ電極２２３ａが蛍光体層３５の赤色蛍光体の位置に相当し、ブリッジ電極２３３ａが蛍光体層３５の緑色蛍光体の位置に相当する。
【００３２】
従来の透明電極の無い梯子形状電極では、十分な放電の広がりを得るためには各個の放電セル毎に梯子のブリッジ電極２２３ａおよび２３３ａを放電セル中心付近に配置する必要があり、そのバス電極２２３ａ、２３３ａにより表示開口面積が低くなり十分な輝度を得られなかったが、本実施の形態の構成により透明電極で放電の広がりを確保でき、表示開口面積を下げるバス電極２２３ａおよび２３３ａを４分の１に削減できるため表示開口面積を広げ輝度、発光効率を高くでき、遮光される蛍光体層３５の色に偏りがなく、色むらも抑えることができる。また、ブリッジ電極２２３ａ、２３３ａの一部は隔壁上であってもよい。
【００３３】
さらに、本発明の実施の形態では、透明電極をインクジェット直接パターン形成法で形成しているため、従来の透明電極形成方式と比較すると工程数、使用材料ともに少なく大幅にコストを削減できるものである。
【００３４】
以下に、図３及び図４を用いて本発明の実施の形態のパネル１０の製造方法の一例について説明しておく。図３は、本発明の実施の形態におけるパネル１０の前面板２０の製造方法の例を示す図である。
【００３５】
前面板２０を製造するため、まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄する。
【００３６】
次に、透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。透明電極２２ｂ、２３ｂを形成するには、まず、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍであって、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛の中の少なくとも１つの金属の微粒子、またはこれら金属の中の少なくとも１つの金属の酸化物の微粒子（これら金属の中の２つ以上の元素を含む、いわゆる複合酸化物の微粒子を含む）、またはこれら金属の中の２つ以上の合金の微粒子、またはこれらの微粒子の混合物を含む分散液を作成する。本実施の形態においては、平均粒径が１０ｎｍのインジウム−錫の合金微粒子を１２ｗｔ％の濃度で分散剤とともに有機溶媒中に分散させ、分散液を作成した。なお、有機溶媒としては、デカヒドロナフタレンを用いたが、これ以外にも、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、テトラデカンのような無極性溶媒、芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、トリメチルペンタン等の長鎖アルカン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等の環状アルカン等を用いることができる。
【００３７】
次に、インクジェット塗布法を用いて、ストライプ状に分散液を塗布して透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成する。本実施の形態においては、多数穴の微細ノズルを有するインクジェット塗布装置を用いて、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成した。このとき、放電ギャップ側の前駆体２２ｂｘと前駆体２３ｂｘとの距離ｄ２は、放電ギャップの距離ｄ１よりも広くなるように塗布した（図３（ａ））。
【００３８】
その後、前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃〜６００℃で焼成して、８０ｎｍ〜１０００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。本実施の形態においては、まず前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を１×１０−３Ｐａの減圧下において２３０℃で１０ｍｉｎ保持して乾燥した。そしてその後、大気中で５００℃で６０ｍｉｎ保持して焼成し、厚さ約３００ｎｍのＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した（図３（ｂ））。
【００３９】
その後、酸化ルテニウムや黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２２３ｃ（２２３ｃは図には表示されない）、２３１ｃ、２３２ｃ、２３３ｃ（２３３ｃは図には表示されない）、の前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、およびブラックストライプ２５の前駆体２５ｘを形成する。このとき、前駆体２２１ｃｘは透明電極２２ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うように形成し、前駆体２３１ｃｘは透明電極２３ｂの放電ギャップ側の外縁部を覆うように形成する。そして前駆体２２１ｃｘと前駆体２３１ｃｘとの距離は放電ギャップの距離ｄ１である。また前駆体２２２ｃｘは少なくとも透明電極２２ｂの一部と重なるように形成し、前駆体２３２ｃｘは少なくとも透明電極２３ｂの一部と重なるように形成する。そして、銀を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘの上に導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２２３ｄ（２２３ｄは図には表示されない）、２３１ｄ、２３２ｄ、２３３ｄ（２３３ｄは図には表示されない）の前駆体２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘを形成する。
【００４０】
バス電極２２１ａ、２３１ａは放電ギャップを形成するので、それらの前駆体である前駆体２２１ｃｘ、２３１ｃｘ、２２１ｄｘ、２３１ｄｘも精度よく形成する必要がある。本実施の形態においては、スクリーン印刷法を用いて感光性の黒色層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。その後、感光性の導電層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光する。そしてその後、現像を行って前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘを形成した（図３（ｃ））。
【００４１】
次に、前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２２３ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２３３ｃｘ、２５ｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２２３ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ、２３３ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、バス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａ、２３１ａ、２３２ａ、２３３ａ、ブラックストライプ２５を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０℃〜６００℃が望ましく、本実施の形態においては５８０℃である。またバス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａ、２３１ａ、２３２ａ、２３３ａの厚みは、１μｍ〜６μｍが望ましく、本実施の形態においては４μｍである（図３（ｄ））。
【００４２】
次に、走査電極２２、維持電極２３、およびブラックストライプ２５が形成された前面基板２１上に、スクリーン印刷法等の公知技術により、誘電体層の前駆体を形成する。そして誘電体層の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ〜５０μｍの誘電体層２６を形成する。
【００４３】
本実施の形態においては、酸化硼素３５ｗｔ％、酸化硅素１．４ｗｔ％、酸化亜鉛２７．６ｗｔ％、酸化物バリウム３．３ｗｔ％、酸化ビスマス２５ｗｔ％、酸化アルミニウム１．１ｗｔ％、酸化モリブデン４．０ｗｔ％、酸化タングステン３．０ｗｔ％を含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。このようにして作成された誘電体ガラスの軟化点は約５７０℃である。次に走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が生成された前面基板２１上にダイコート法により誘電体ペーストを塗布して誘電体層の前駆体を形成した。そして誘電体層の前駆体を約５９０℃で焼成して誘電体層２６を形成した。このときの誘電体層２６の厚みは約４０μｍである。
【００４４】
なお、誘電体ペーストとしては、上記以外にも、例えば、酸化硼素、酸化硅素、酸化亜鉛、アルカリ土類酸化物、アルカリ金属酸化物、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化セリウム等の中からいくつかを含んだ軟化点５２０℃〜５９０℃の誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを用いることができる。
【００４５】
そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層２７を、真空蒸着法等の公知技術により形成する（図３（ｅ））。
【００４６】
なお本実施の形態においては、インジウム−錫の合金微粒子を用いてストライプ状にＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成したが、上記以外にも、例えば錫の微粒子を用いて酸化錫膜からなる透明電極を形成してもよく、また亜鉛の微粒子を用いて酸化亜鉛膜からなる透明電極を形成してもよい。また、インジウム−錫の複合酸化物微粒子（ＩＴＯ微粒子）を用いてＩＴＯ膜からなる透明電極を形成してもよく、酸化錫の微粒子を用いて酸化錫膜からなる透明電極を形成してもよく、また酸化亜鉛の微粒子を用いて酸化亜鉛膜からなる透明電極を形成してもよい。また、透明電極２２ｂ、２３ｂの形状としては、バス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａで囲まれるエリアまたは２３１ａ、２３２ａ、２３３ａで囲まれるエリアをカバーし、２２１ａ、２２２ａから走査電極外にはみ出さない、または２３１ａ、２３２ａから維持電極外にはみ出さない大きさの短冊状に形成しても良い。
【００４７】
また本実施の形態では、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを焼成した後、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃおよび導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成し焼成した。しかし、例えば透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘの上にさらに黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃおよび導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成し、その後これらの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘ、２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを同時に焼成して走査電極２２、維持電極２３を形成してもよい。
【００４８】
次に背面板３０の製造方法について説明する。図４は、本実施の形態における背面板３０の製造方法を説明するための図である。
【００４９】
まず、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて、背面基板３１上に、銀を主成分とする導電層用ペーストを一定間隔でストライプ状に塗布し、データ電極３２の前駆体３２ｘを形成する。（図４（ａ））。
【００５０】
次に、前駆体３２ｘが形成された背面基板３１を焼成して、データ電極３２を形成する。データ電極３２の厚みは、例えば２〜１０μｍである。（図４（ｂ））。本実施の形態ではデータ電極３２の厚みは３μｍである。
【００５１】
続いて、データ電極３２を形成した背面基板３１上に誘電体ペーストを塗布し、この後焼成して下地誘電体層３３を形成する。下地誘電体層３３の厚みは、例えば約５〜１５μｍである（図４（ｃ））。本実施の形態では下地誘電体層３３の厚みは１０μｍである。
【００５２】
続いて、下地誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性の誘電体ペーストを塗布した後、焼成して隔壁３４の前駆体を形成する。その後、露光マスクを用いて感光し、エッチングして隔壁３４を形成する。隔壁３４の高さは、例えば１００〜１５０μｍである（図４（ｄ））。本実施の形態では隔壁３４の高さは１２０μｍである。
【００５３】
そして、隔壁３４の壁面および下地誘電体層３３の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。そののち乾燥、焼成して蛍光体層３５を形成する。
【００５４】
赤色蛍光体としては、例えば（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、（Ｙ、Ｖ）ＰＯ４：Ｅｕ等を、緑色蛍光体としては、例えばＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｔｂ、（Ｙ、Ｇｄ）Ａｌ３（ＢＯ３）４：Ｔｂ等を、青色蛍光体としては、例えばＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、Ｓｒ３ＭｇＳｉ２Ｏ８：Ｅｕ等をそれぞれ用いることができる（図４（ｅ））。
【００５５】
そして上述した前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、パネル１０が完成する。
【００５６】
本実施の形態においては、上述したようにインクジェット塗布法を用いて透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。インクジェット印刷法によれば必要な部分にのみ分散液を塗布するので材料の無駄がなく、また複雑なパターンであっても容易に対応できるという利点がある。その反面、インクの液滴が着弾したときのスポット径で塗布形状精度が制限されるため、精度の高い塗布が難しいという欠点がある。
【００５７】
しかし本実施の形態においては、放電ギャップ側のバス電極２２１ａとバス電極２３１ａの外縁部で放電ギャップを形成してそのバス電極の内側に透明電極２２ｂ、２３ｂが収まるように塗布形成されているようにしている。
【００５８】
したがって放電ギャップの距離ｄ１は透明電極２２ｂ、２３ｂの距離で決まるのではなく、精度よく形成されたバス電極２２１ａとバス電極２３１ａとの距離で決定する。従って、放電ギャップを精度よく形成することができ、放電セル毎の放電特性のばらつきを小さく抑えることができる。
【００５９】
なお、本実施の形態においては、まず透明電極２２ｂ、２３ｂまたはその前駆体を形成し、その後に透明電極２２ｂ、２３ｂまたはその前駆体の外縁部を覆うようにバス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａおよびバス電極２３１ａ、２３２ａ、２３３ａとブラックストライプ２５を形成したが、図５に示すようにバス電極２２１ａ、２２２ａ、２２３ａ、２３１ａ、２３２ａ、２３３ａとブラックストライプ２５を形成し、その後に透明電極２２ｂ、２３ｂを形成してもよい。
【００６０】
なお、本実施の形態において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの仕様等に合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、輝度・発光効率が高くかつ放電セル毎の放電特性のばらつきが小さく、色むらを防止した品質の高い画像を表示することができるパネルを提供できる構造として有用である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  パネル
２０  前面板
２１  前面基板
２２  走査電極
２２ｂ、２３ｂ  透明電極
２２ｂｘ、２３ｂｘ  （透明電極の）前駆体
２３  維持電極
２４  表示電極対
２５  ブラックストライプ
２５ｘ  （ブラックストライプの）前駆体
２６  誘電体層
２７  保護層
３０  背面板
３１  背面基板
３２  データ電極
３２ｘ  （データ電極の）前駆体
３３  下地誘電体層
３４  隔壁
３５  蛍光体層
２２１ａ、２２２ａ、２３１ａ、２３２ａ  バス電極
２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃ  黒色層
２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ  （黒色層の）前駆体
２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄ  導電層
２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘ  （導電層の）前駆体
２２３ａ、２３３ａ  ブリッジ電極（バス電極）
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図２】
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