(57)【要約】【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。【解決手段】ベルト１１１の張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、テンション調整機構が、ベルト１１１に接触して張力を与えるアイドラ１３１と、アイドラ１３１を支持するとともにアームに対して第１支点１１９で回転可能に設けられたリンク１１８と、アームに対して第２支点１１７で回転可能に設けられ、リンク１１８の一部に接触するローラと、を備え、アームの温度上昇に伴って第１支点１１９と第２支点１１７とが離れると、リンク１１８がローラ１１７に接触しながら第１支点１１９で回転して張力を軽減するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１プーリの回転力をベルトによって第２プーリに伝達して回動するアームを備え、前記ベルトの張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、
前記テンション調整機構が、
前記ベルトに接触して前記ベルトに張力を与えるアイドラと、
前記アイドラを支持するとともに前記アームに対して第１支点で回転可能に設けられたリンクと、
前記アームに対して第２支点で回転可能に設けられ、前記リンクの一部に接触するローラと、を備え、
前記アームの温度上昇に伴って前記第１支点と前記第２支点とが離れると、前記リンクが前記ローラに接触しながら前記第１支点で回転して前記張力を軽減することを特徴とする水平多関節ロボット。
【請求項２】
前記アイドラが、ベースを介して前記リンクに支持され、前記ローラが前記ベースに接触するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。
【請求項３】
前記第１支点が前記ベルトの内側であって前記第１プーリの近傍に配置され、
前記第２支点が前記ベルトの内側であって前記第２プーリの近傍に配置され、
前記リンクが前記第１及び第２プーリの回転軸を結ぶ直線上に配置されるよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。
【請求項４】
請求項１記載の水平多関節ロボットを備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体および液晶の製造装置に使用され、ウェハ、液晶ガラス基板などの高温の基板をハンドに搭載して搬送する水平多関節のロボットにおいて、特にベルトとプーリによる動力伝達によってアームが動作するもので、基板や装置内機器からの輻射熱によるアームの変形や姿勢変化を極力小さくして基板を高精度に搬送できる構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶の製造装置（以下、単に製造装置と記載する）において、半導体ウェハや液晶といった基板を搬送する際、一般的に水平多関節形の搬送ロボットが使用されている。水平多関節形のロボットは、互いに水平面において回転可能に連結された複数のアームと、これらアームを回転駆動させる駆動部と、最先端のアームに連結され、基板を搭載可能なハンドと、から構成され、駆動部によってアームを回転させることによってハンドを旋回・伸縮動作させ、ハンド上の基板を所望の位置へと搬送する。ハンドやアームを回転させるための駆動部からの回転力は、アーム内に収容されたベルトとプーリとによって伝達される。ところがプーリに巻装されたベルトにはある程度の適切な張力（テンション）が必要であり、この張力が適切でないと、基板の搬送精度を低下させたり、基板搬送ロボットの故障を引き起こしたりする。そこで、ベルトの張力を適切に調整するために、様々なテンション調整機構が開発されている（例えば特許文献１）。
【０００３】
特に特許文献１の図３で示されるテンション調整機構は、一般的に広く使用されているので、このテンション調整機構について図５にて説明する。図５は従来の水平多関節ロボットの構成を示している。（ａ）が上面図、（ｂ）がその側面図を示している。
図５において、駆動部１はケーシング状に形成された駆動部で、複数のアームを回転駆動させる部分である。駆動部１の内部には図示しない回転型モータが配置されていて、各アームを回転駆動する。第１アーム１００は基端が駆動部１の上面で水平面において回転可能に支持されたアームである。第１アーム１００の先端上面には第２アーム２００の基端が水平面において回転可能に支持されている。第２アーム２００の先端上面には第３アーム３００が水平面において回転可能に支持されている。そして、第３アーム３００には基板５００を搭載可能なハンド４００が固定されている。ハンド４００は第３アーム３００の回転中心に対して１８０°対称な位置に同様な形状の２つのハンド（第１ハンド４００ａと第２ハンド４００ｂ）から構成されていて、その２つのハンドそれぞれで基板５００を搭載可能になっている。
【０００４】
図６（ａ）は、図５における第１アーム１００の内部構成を示す上面図である。ここでは第１アーム１００を示すものとして説明するが、第２アーム２００も同様な内部構成を有している。図のように第１アーム１００の筐体はケーシング状に形成されている（第１アームケース１０１）。その内部に駆動力伝達のための伝達機構が収容されている。伝達機構はベルトとプーリによるものや、ギヤによるものが知られている。ここではベルトとプーリによるものを示している。第１アームケース１０１の上面には、伝達機構から発生する粉塵の飛散を抑えたり、伝達機構そのものを保護したりするため、伝達機構を覆うように薄板状のカバーが設けられている（第１アームカバー１１４）。第１アームカバー１１４は、第１アームケース１０１の上面を隙間無く覆うように薄板状に形成されている。
【０００５】
図６（ｂ）はベルト２４に適切な張力を与えるためのテンション調整機構の側面の断面図である。ベルト２４の表面或いは裏面に当接するのがテンションプーリ２３である。ベルト２４は第１プーリ２１と第２プーリ２２とに巻装されていて、第１プーリ２１の回転力を第２プーリ２２に伝達する。テンションプーリ２３は支柱軸４３にベアリングなどで回転可能に支持されている。支柱軸４３は固定ベース４１に固定されている。固定ベース４１は第１アームケース１０１の内部にネジ等によって固定されるが、このとき、固定ベース４１に形成されている長孔によって固定ベース４１の第１アームケース１０１に対する位置が調整され、テンションプーリ２３のベルト２４への押し付け量が調整されて、ベルト２４が所定の張力となるように固定される。
【０００６】
以上で説明したアームの構成と伝達機構により、水平多関節ロボットは、第１アーム１００を所定量回動させ、第２アーム２００もその所定量だけ第１アーム１００の先端上で回動させ、第３アーム３００もその所定量だけ第２アーム２００の先端上で回動させて、第３アーム３００を第１アーム１００の回転中心から放射状の方向で伸縮させる。また、第１アーム１００、第２アーム２００、を同方向に同時に回転させることによって各アームの相対的な姿勢を維持させながら、第１アーム１００の回転中心にて第３アーム３００及び基板５００を旋回させる。つまり、これら伸縮動作と旋回動作とによってハンド４００上の基板５００を所望の位置へと搬送する。
【特許文献１】特開２００２−２６６９６２号公報（図１、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、昨今の製造装置では、製造過程において基板を数百度（５００〜６００℃）に加熱する処理が行われることがあり、水平多関節ロボットがこのような高温基板を搬送することが多くなってきている。特に基板温度を数百度に上昇させる工程は、減圧状態にした真空チャンバ内で施されることが多いため、水平多関節ロボットは真空チャンバ内に設置されて高温基板を搬送することになる。基板を直接搭載するハンド４００は、他の部品に比して単純な平板状の形であるため、セラミックスなどで形成可能であり、高温基板が直接搭載されてもハンド４００自身は温度上さほど問題はなく、また、熱伝導率も比較的低いため、第１アーム１００、第２アーム２００へ基板の熱を急激に伝達させることもない。一方、第１アーム１００、第２アーム２００の筐体（ケース）を形成する母材は、内部に伝達機構などを収納するため、複雑な形状を余儀なくされており、そのためアルミニウム（またはアルミニウム合金）が主に使用されており、熱によって変形しやすいものとなっている。
【０００８】
このような状況で高温基板を搬送する際に、第１アーム１００や第２アーム２００が高温基板や基板を加熱する設備（ヒータ等）からの輻射熱によって急激に膨張しようとするが、内部の伝達機構であるベルトは第１アーム１００や第２アーム２００の筐体のように急激に温度はあがらず、筐体の熱膨張を拘束することになる。筐体とベルトの温度上昇カーブの差、また熱膨張量の差によりアームが変形するだけでなく、ベルト張力も上昇してしまう問題が発生するようになってきた。
水平多関節ロボットは、上述した伸縮動作の過程で基板５００を加熱するヒータ６００に第２アームが接近する。すなわち、例えば図１のような停止姿勢を形成することが多く発生し、ハンド４００に搭載された高温の基板５００が、第２アーム２００の上面と非常に近接した状態となる姿勢を形成する。このような姿勢においては、特に第２アーム２００の上面が高温基板の輻射熱を強く受け、第２アーム２００先端部、第３アーム３００、及びハンド４００がヒータ６００からの輻射熱を受ける。その結果、第２アーム２００は急激に加熱されることになり熱膨張する。
そして、その状態からアームは縮小する姿勢（図示せず）になり、第１アーム１００の上に第２アーム２００が重なる姿勢となる。このとき、第１アーム１００は第２アーム２００からの輻射熱を受ける。
これらの姿勢において各アームケースは加熱され膨張しようとするが、伝達機構であるベルトの温度はまだアームケースより低く膨張量も少ないため、膨張しようとするアームケースがベルトにより拘束されることになり、アームケースが変形し、アーム姿勢が大きく乱れる。この結果、基板の搬送精度は悪化し、さらにアームケース内のベルトの張力が使用可能範囲上限もしくは超えるまで上昇し、ベルト寿命が短くなる。
アームケースとベルトの熱膨張差によるアームケースの変形やベルト張力上昇を抑えるには、アームケースの材質をハンドに用いたセラミックスのように比較的熱膨張係数の小さな材質にすることも考えられるが、セラミックスは高価であり、割れやすい（脆い）特性を有している。特に、メンテナンスにおいて頻繁に開閉されるアームのカバーにセラミックスのような脆い材質を使うと、作業時において割れやすいという問題が発生する。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、高温基板、ヒータの輻射熱を受けてもアームを極力変形させることなく、常温基板を搬送している場合に近いアーム姿勢を維持しながら、ベルト張力の上昇も抑え、高精度な基板搬送を実現することができる水平多関節ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、第１プーリの回転力をベルトによって第２プーリに伝達して回動するアームを備え、前記ベルトの張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、前記テンション調整機構が、前記ベルトに接触して前記ベルトに張力を与えるアイドラと、前記アイドラを支持するとともに前記アームに対して第１支点で回転可能に設けられたリンクと、前記アームに対して第２支点で回転可能に設けられ、前記リンクの一部に接触するローラと、を備え、前記アームの温度上昇に伴って前記第１支点と前記第２支点とが離れると、前記リンクが前記ローラに接触しながら前記第１支点で回転して前記張力を軽減することを特徴とする水平多関節ロボットとするものである。
請求項２に記載の発明は、前記アイドラが、ベースを介して前記リンクに支持され、前記ローラが前記ベースに接触するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボットとするものである。
請求項３に記載の発明は、前記第１支点が前記ベルトの内側であって前記第１プーリの近傍に配置され、前記第２支点が前記ベルトの内側であって前記第２プーリの近傍に配置され、前記リンクが前記第１及び第２プーリの回転軸を結ぶ直線上に配置されるよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボットとするものである。
請求項４に記載の発明は、請求項１記載の水平多関節ロボットを備えたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
以上、本発明によると、高温基板やヒータからの輻射熱によりアームケースの急激な熱膨張が発生しても、アーム内部の伝達機構のベルト張力変化を極力抑えることができる。従って、アームの姿勢変化を極力抑えることができ、高精度で基板搬送を行える水平多関節ロボットを構成することができる。
特に請求項２に記載の発明によると、アイドラがベースを介してリンクに支持されているので、ベースのリンクに対する固定位置を調整することで、様々な環境温度に対して簡単に張力の調節ができるようになる。
特に請求項３に記載の発明によると、第１支点と第２支点の距離を長く確保できるので、温度上昇に伴う第１支点と第２支点の間の距離の変化が顕著に発生し、これを張力の調整に反映できる。また、アーム先端となる第１あるいは第２プーリの近傍に第１あるいは第２支点を設置すると、温度上昇に伴うアームケースの初期伸びを張力調整に反映できる。
特に請求項４に記載の発明によると、製造過程において基板を高温に加熱する処理を有する製造装置であっても、アームが故障することなく、また、搬送精度が低下することがない製造装置を構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１は本発明の水平多関節ロボットの上面図を示している。また図４は、図１のアーム部の側断面図を示している。
図１および図４において、１００は駆動部１により回転する第１アーム１００である。第１アーム１００はケース状に形成された第１アームケース１０１と、その内部に収容されている第１ベルト１１１、第１プーリ１１２、第２プーリ１１３と、そして第１アームカバー１１４とから構成されている。第１アームケース１０１の基端側下面が駆動部１の第１駆動軸１ａと接続されていて、第１駆動軸１ａの回転によって第１アームケース１０１は回転する。第１アームケース１０１の基端側内部において第１プーリ１１２が第２駆動軸１ｂと接続されていて、第１プーリ１１２は第２駆動軸１ｂの回転によって回転する。第１アームケース１０１の先端側内部には第２プーリ１１３が第１アームケース１０１に対して回転可能に設けられている。第２プーリ１１３と第１プーリ１１２との間には第１ベルト１１１が巻装されていて、第２駆動軸１ｂの回転力が伝達されている。これら第１プーリ１１２、第１ベルト１１１、第２プーリ１１３を覆うように第１アームカバー１１４が第１アームケース１０１に対して固定されている。
第２アーム２００はケース状に形成された第２アームケース２０１と、その内部に収容されている第３プーリ２１２、第２ベルト２１１、第４プーリ２１３と、そして第２アームカバー２１４とから構成されている。第２アームケース２０１の基端側下面が第２プーリ１１３と接続されていて、第２プーリ１１３の回転に伴って第２アームケース２０１が回転する。第２アームケース２０１の基端側内部には、第３プーリ２１２が第１アームケース１０１から立設された固定シャフトに固定されている。第２アームケース２０１の先端側内部には第４プーリ２１３が第２アームケース２０１に対して回転可能に設けられている。第３プーリ２１２と第４プーリ２１３との間には第２ベルト２１１が巻装されている。これら第３プーリ２１２、第２ベルト２１１、第４プーリ２１３を覆うように第２アームカバー２１４が第２アームケース２０１に対して固定されている。
第４プーリ２１３の上部には第３アーム３００が固定されていて、第３アーム３００にはハンド４００が固定されている。ハンド４００は従来技術で説明したような第１ハンド４００ａと第２ハンド４００ｂとから構成されているものが固定されている。
そして、図１および図４では図示しないが、第１ベルト１１１と第２ベルト２１１のそれぞれに張力を与えるテンション調整機構が設けられている。本発明では、アームケースの熱膨張によるベルト張力の上昇を抑制するようなテンション調整機構が設置されている。
【００１３】
以下、特にテンション調整機構について、第１アームのテンション調整機構を例にして説明する。図２は本発明の水平多関節ロボットの第１アームケース１０１内の上面図を示している。図２のように、第１アームのテンション調整機構として、第１アームケース１０１内の底面に設けた支柱１１９を中心に回転自在に取り付けられたリンク１１８に、アイドラ１３１が組みつけられた可動アイドラ１１５と、固定アイドラ１１６とが設けられ、ベルトの張力を調整している。固定アイドラ１１６は、従来技術として説明したアイドラと同等の構成である。なお、第１アームケース１０１内部では、第１ベルト１１１の張力調整用として、可動アイドラ１１５、固定アイドラ１１６がそれぞれ１個ずつ設置されているが、可動アイドラ１１５が１個のみ、あるいは可動アイドラ１１５が複数で設置されることもある。
【００１４】
次に、可動アイドラ１１５の構成について図３および図７を使って説明する。図３は図２における可動アイドラ１１５の要部拡大図であり、図７はその斜視図である。
支柱１１９は第２プーリ１１３の近くに立設されて、軸受１２０の内周部を支持している。軸受１２０の外周部はホルダ１３０によって保持されている。ホルダ１３０には板状のリンク１１８の一端が固定用ボルト穴１２４を介して固定ボルト１２１によって固定されている。よって、リンク１１８は第１アームケース１０１に対して回転自在になっている。リンク１１８は第１アームケース１０１の延在する方向、つまり第１プーリ１１２の回転軸と第２プーリ１１３の回転軸とを結ぶ線の方向に延在するよう配置されている。固定用ボルト穴１２４は長穴形状となっていて、リンク１１８を第１プーリ１１２の回転軸と第２プーリ１１３の回転軸とを結ぶ方向に若干量その位置を調整可能にしている。
リンク１１８は、一体成形例えば板金加工で構成しても良いし、数部品に分割し形状を単純化し構成しても良い。また、リンク１１８への第１アームケース１０１からの輻射熱の影響が少なくなるように、アームケース内部の底面から距離をとることにより本発明の効果はより発揮される。また、リンク１１８の材質はアームケース材質と同じでも良いが、アームケースより熱膨張率が小さい材質、例えばアームケースは一般的にアルミニウムが使用されるため、リンク１１８材質には、ステンレス、セラミックス、チタン等のように熱膨張率が小さい材質を使用しても良い。
リンク１１８の他端には、ベルト１１１の内周面に当接するアイドラ１３１を回転可能に支持するベース１３２の一端が固定されている。アイドラ１３１はベアリングなどでベース１３２の他端に対して回転可能に支持されている。ベース１３２はリンク１１８と同様に板状に形成されていて、第１プーリ１１２の回転軸と第２プーリ１１３の回転軸とを結ぶ線をほぼ横切る方向に延在するよう設けられる。ただし、ベース１３２は、第１プーリ１１２の回転軸と第２プーリ１１３の回転軸とを結ぶ線の方向と垂直に交わる方向に対して、図３で示すような角度αがつけられてリンク１１８に固定されている。
ベース１３２の近傍には、ローラ１１７が設けられている。ローラ１１７は第１アームケース１０１から立設した支柱によって回転可能に支持されていて、ローラ１１７の外周がベース１３２の側面である接触面１２２と接触している。つまり、ローラ１１７は接触面１２２と接触することによって、ベルト１１１からの抗力に対向してリンク１１８の回転位置を保持している。
【００１５】
以上で構成された本発明のテンション調整機構によって、ベルト１１１の初期張力設定は次のように実施する。まず、固定アイドラ１１６をアームケース１０１内に固定する。次に、固定ボルト１２１を緩めた状態でアイドラ１３１にてベルト１１１を張り、かつベース１１２の接触面１２２がローラ１１７と接触した状態となるようにして固定ボルト１２１を締付け固定する。このとき、アイドラ１３１はベルト１１１から抗力を受け、支柱１１９を回転中心として図の時計回りに回転しようとするが、角度αの状態となっている接触面１２２とローラ１１７との接触による抗力とつりあってベルト１１１を所望の張力で維持している。角度αは、アームケース１０１の膨張量とリンク１１８の膨張量、及び温度変化時のベルト張力上昇傾向から適度な角度αを算出する。本実施例ではリンク１１８にベース１３２を介してアイドラ１３１を支持しているので、ベース１３２をリンク１１８に対して所望の角度αをつけて固定することが可能である。この場合、使用環境温度が異なる場合にもこの角度αを変化させることで対応することができる。しかし、使用環境温度が一定で、予めわかっている場合などは、リンク１１８自体に予め角度αの接触面１２２を設けていても良い。
【００１６】
ここで、水平多関節ロボットの使用中にアームケースが高温状態になると、第１プーリ１１２の回転軸と第２プーリ１１３の回転軸とが離れるようにアームケースが熱膨張を始める。このとき同時に、熱膨張により支柱１１９（第１の支点）とローラ１１７（第２の支点）の軸間が離れる方向に変化する。その際、接触面１２２とローラ１１７との接触点１２３が離れようとするが、リンク１１８はベルト１１１の張力により図３中ａ方向へ押されているため、傾斜面である接触面１２２をローラ１１７が転がりながら、アームケース膨張量に見合ったところまでリンク１１８が回転移動する。従って、ベルト１１１は、その初期張力から増大することがない。
【００１７】
なお、支柱１１９の位置が第２プーリ１１３の近くに立設されているのは、この部分、つまりアームの先端が最初に熱膨張しやすいことを利用するためである。つまり、アームの先端は、高温のヒータ６００に接近するとともに、高温の基板５００からの熱伝導が伝わりやすい位置であるため、アームケースにおいて最も早く熱膨張が起こりやすい。従って、支柱１１９を第２プーリ１１３の近くに立設することによって、熱膨張の初期段階から支柱１１９とローラ１１７の軸間が離れるようにしてベルト１１１の過度な張力を軽減している。
また、熱膨張による支柱１１９とローラ１１７の軸間が離れる効果を有効に利用するために、支柱１１９とローラ１１７の軸間はできるだけ長く確保したほうが望ましい。軸間距離が長ければ熱膨張による軸間距離の増大が顕著に現れるからである。本発明ではリンク１１８をベルト１１１の内周に配置し、かつ第１プーリ１１２の回転軸と第２プーリ１１３の回転軸とを結ぶ線上の近傍に配置してリンク１１８の長さを確保し、支柱１１９とローラ１１７の軸間が顕著に離れるようにしてベルト１１１の過度な張力を軽減している。
【００１８】
このように本発明では、輻射熱の影響を特に受けるアームケース内にアームケースの熱膨張に併せて可動するアイドラを設けることにより、輻射熱で高温になったアームケースが膨張しても可動アイドラが移動することでベルトの張力が上昇するのを防ぎ、これによりアームの変形を極力抑えることができる。従って、アーム変形によるアーム姿勢変化を最小限に抑えることが可能で、高精度な搬送を実現できる。
本発明では特に輻射熱の影響を受けるアームケース１０１内の膨張量が大きい部分に支柱１１９を設置し、膨張量に併せて位置が変化する可動アイドラ１１５を設けることにより、熱膨張によるベルト張力の上昇、アームの変形、姿勢変化を抑制し、アームケースを熱膨張係数が小さなセラミックスやチタン等の高価な材質を使用しなくても安価なアルミニウム（またはアルミニウム合金）で構成することができる。
【００１９】
なお、上記の伝達機構の形態、アームの数、適用箇所は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。例えばアームの数については、上記第２アームと上記第３アームとの間に第２アームと同様なアームをさらに備えたもので、その追加したアーム内にベルトのテンション調整機構が必要な場合には適用してもよい。
また、例えば可動アイドラの適用箇所は、搬送ロボットのアームケース内全てに適用しても良いし、限定的に一部で適用しても良い。また、アームケース内に複数の可動アイドラを適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の水平多関節ロボットを示す上面図
【図２】本発明の水平多関節ロボットの第１アーム内部を示す上面図
【図３】本発明の可動アイドラを示す上面図
【図４】本発明の水平多関節ロボットのアーム部分の側断面図
【図５】従来の水平多関節ロボットを示す図
【図６】従来の水平多関節ロボットのアーム内部を示す図
【図７】本発明の可動アイドラを示す斜視図
【符号の説明】
【００２１】
１     駆動部
１ａ   第１駆動軸
１ｂ   第２駆動軸
１００ 第１アーム
１０１ 第１アームケース
１１１ 第１ベルト
１１２ 第１プーリ
１１３ 第２プーリ
１１４ 第１アームカバー
１１５  可動アイドラ
１１６  固定アイドラ
１１７  ローラ
１１８  リンク
１１９  支柱
１２０  軸受
１２１  固定ボルト
１２２  接触面
１２３  接触点
１２４  固定用ボルト穴
１３０  ホルダ
１３１  アイドラ
１３２  ベース
２００ 第２アーム
２０１ 第２アームケース
２１１ 第２ベルト
２１２ 第３プーリ
２１３ 第４プーリ
２１４ 第２アームカバー
３００ 第３アーム
４００ ハンド
４００ａ      第１ハンド
４００ｂ      第２ハンド
５００ 基板
６００  ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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