(57)【要約】【課題】イオン量の減少問題を解消して高い除電性能を得ることができる。【解決手段】除電しようとする被除電物１４を搬送コンベア１２で搬送しながら、搬送コンベア１２の搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口４０Ａ，４０Ｃと、負イオンを吹き出す負イオン吹出口４０Ｂ，４０Ｄとを交互に配置し、被除電物１４に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、被除電物１４を除電する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
除電しようとする被除電物を搬送ラインで搬送しながら、前記搬送ラインの搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口と、負イオンを吹き出す負イオン吹出口とを交互に配置し、前記被除電物に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、前記被除電物を除電することを特徴とする除電装置。  
【請求項２】
前記搬送ラインで搬送される被除電物の搬送と一緒に移動して該被除電物の表面電位を測定する表面電位測定手段と、
前記搬送ラインで搬送される被除電物の搬送と一緒に移動して該被除電物の表面に付着している塵埃を除去する塵埃除去手段と、を備え、
前記表面電位測定手段で測定される表面電位が所定値以下になったときに前記塵埃除去手段を駆動制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項１の除電装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記表面電位測定手段で測定される被除電物の表面電位に基づいて前記正イオン吹出口及び負イオン吹出口から吹き出すイオン量を制御することを特徴とすることを特徴とする請求項２に記載の除電装置。
【請求項４】
前記被除電物を製造する製造装置に前記搬送ラインを組み込んで、該搬送ラインの搬送方向に沿って交互に配設された正イオン吹出口と負イオン吹出口のうちのどちらか一方の吹出口から吹き出すイオンを、前記製造装置に吹き付けることを特徴とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載の除電装置。
【請求項５】
除電しようとする帯状物を搬送させながら、該帯状物を除電する除電装置において、
前記搬送される帯状物の幅方向両側にそれぞれ、搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口と、負イオンを吹き出す負イオン吹出口とを交互に配置して、帯状物幅方向に対向する吹出口から同じイオンを前記帯状物幅方向に向けて吹き出すと共に、前記吹出口の高さ方向中央位置に前記帯状物が位置することを特徴とする除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は除電装置に係り、特に半導体製造工場のクリーンルーム内で発生する静電気を除去する除電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体などの製造工場、特に高性能化・高集積化が進む半導体デバイスや大型化が進むフラットパネルディスプレイを製造する製造工場では、静電気によるデバイスの破壊や塵埃の付着が問題となっている。これらの静電気障害を防止するため、空気をイオン化して供給することによって、発生した電位を低減する除電装置が用いられている。
【０００３】
ところで、近年では、製造装置の小型化により、除電装置に必要な設置スペースを製造装置内に確保することが困難となっている。そこで、特許文献１では、クリーンルーム内で、製造装置から離れた位置にイオン発生装置を設け、このイオン発生装置で発生させたイオンを除電場所まで搬送することにより、製造装置内の設置スペースを大幅に低減できるイオン搬送式除電装置が提案されている。この除電装置は、イオン発生装置で正イオンと負イオンを発生させ、これを別々に搬送した後で混合し、除電エアとして被除電物に吹きつけている。
【０００４】
また、特許文献２では、温風又は冷風を吹き出す送風ダクトの吹出口よりも内方の送風ダクト内にプラス電極とマイナス電極を対向させた直流除電器を設置してコロナ放電させ、発生した正イオンと負イオンとを送風ダクト内で混合して吹出口から吹き出すことにより、テスト環境の温度に影響を与えないようにした送風除電装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２１５９６号公報
【特許文献２】特開２００３−３６９９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び２の何れの除電装置の場合にも、吹き出す前に正イオンと負イオンとを混合して被除電物に吹き付けるようにしているので、正イオンと負イオンを混合した時点で少なからずイオン量が減少するという問題がある（イオン量減少問題）。
【０００６】
また、被除電物を除電する目的は最終的には被除電物に付着している塵埃の除去であるが、被除電物の塵埃除去を効果的に行うものはなかった。更に、従来の除電装置は、正イオンと負イオンとが交互に供給されるため、製品が逆極性に帯電し、製造装置と製品との間で放電するという問題もあった（放電問題）。
【０００７】
また、被除電物がフィルムのような帯状物で、帯状物を搬送しながら帯状物表裏面を除電する場合、帯状物の表裏面全体をカバーするには多量のイオン量を必要とするという問題があり、帯状物を効率的に除電するための除電装置がないのが実情である（帯状物の除電問題）。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、イオン量の減少問題を解消して高い除電性能を得ることができる除電装置を提供することを目的とする。
【０００９】
また、本発明は、放電問題を解決することを目的とする。
【００１０】
更に、本発明は、帯状物の表裏面を少ないイオン量で効率的に除電することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は前記目的を達成するために、除電しようとする被除電物を搬送ラインで搬送しながら、前記搬送ラインの搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口と、負イオンを吹き出す負イオン吹出口とを交互に配置し、前記被除電物に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、前記被除電物を除電することを特徴とする除電装置を提供する。
【００１２】
請求項１の発明では、被除電物を搬送ラインで搬送しながら、被除電物に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、被除電物に帯電されているイオンを除電するので、被除電物にイオンを吹き付ける前に正イオンと負イオンとが接触してイオン量が減少してしまうということがない。
【００１３】
これは、例えば半導体装置のような精密機器は、製造装置で製造直後に直ちに除電して塵埃を確実に除去することが好ましいからである。
【００１４】
また、本発明の態様においては、前記搬送ラインで搬送される被除電物の搬送と一緒に移動して該被除電物の表面電位を測定する表面電位測定手段と、前記搬送ラインで搬送される被除電物の搬送と一緒に移動して該被除電物の表面に付着している塵埃を除去する塵埃除去手段と、前記表面電位測定手段で測定される表面電位が所定値以下になったときに前記塵埃除去手段を駆動制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の除電装置では、被除電物に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けるので、被除電物の電荷は正又は負とに周期的に変化する。したがって、被除電物の表面電位が低くなる時点で被除電物に付着する塵埃を除去することが効果的である。
【００１６】
本発明では、被除電物の搬送と一緒に表面電位測定手段と塵埃除去手段を移動させて、被除電物の表面電位状態をモニタリングしながら制御手段で塵埃除去手段を駆動して除塵を行うことができるので、効果的な除塵を行うことができる。具体的には、被除電物の表面電位が±１０Ｖ以下の状態にあるときに除塵を行うとよい。
【００１７】
また、本発明の態様においては、前記制御手段は、前記表面電位測定手段で測定される被除電物の表面電位に基づいて前記正イオン吹出口及び負イオン吹出口から吹き出すイオン量を制御することを特徴とする。
【００１８】
被除電物が本発明の除電装置で処理される前の状態でどのような帯電状態にあるかによって、正イオンと負イオンとのイオン量を制御する必要があるが、本発明では、制御手段が、表面電位測定手段で測定される被除電物の表面電位に基づいて正イオン吹出口及び負イオン吹出口から吹き出すイオン量を制御するようにしたので、無駄なイオンの発生を防止できる。
【００１９】
本発明の態様において、前記被除電物を製造する製造装置に前記搬送ラインを組み込んで、該搬送ラインの搬送方向に沿って交互に配設された正イオン吹出口と負イオン吹出口のうちのどちらか一方の吹出口から吹き出すイオンを、前記製造装置に吹き付けることを特徴とする。
【００２０】
これにより、製造装置に帯電する極性と、製造装置で製造される製品の極性が一致するので、製造装置と製品との間で放電することがない。また、製造された製品が１つの極性にのみ帯電された状態で、次に逆極性のイオンが吹き付けられるので、次に吹き付ける必要イオン量を把握（制御）し易い。
【００２１】
請求項５に記載の発明は前記目的を達成するために、除電しようとする帯状物を搬送させながら、該帯状物を除電する除電装置において、前記搬送される帯状物の幅方向両側に、搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口と、負イオンを吹き出す負イオン吹出口とを交互に配置して、帯状物幅方向に対向する吹出口から同じイオンを前記帯状物幅方向に向けて吹き出すと共に、前記吹出口の高さ方向中央位置に前記帯状物が位置することを特徴とする除電装置を提供する。  
【００２２】
請求項５の発明は、搬送される帯状物の除電を行うのに適した除電装置であり、搬送される帯状物の幅方向両側にそれぞれ、搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口と、負イオンを吹き出す負イオン吹出口とを交互に配置して、帯状物幅方向に対向する吹出口から同じイオンを前記帯状物幅方向に向けて吹き出すようにした。
【００２３】
このように、帯状物に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、帯状物を除電するので、帯状物にイオンを吹き付ける前に正イオンと負イオンとが接触してイオン量が減少してしまうということがない。
【００２４】
更には、帯状物幅方向両側に対向配置された吹出口から同じイオンを帯状物幅方向に向けて吹き出すので、帯状物の面に薄膜なイオン層を形成することができ、帯状物面に対して直交する方向（上方及び／又は下方）からイオンを吹き付ける場合に比べて除電に必要なイオン量を減少できる。
【００２５】
更に、吹出口の高さ方向中央位置に前記帯状物が位置するように構成したので、帯状物の表裏面を一度に除電できる。
【００２６】
このように帯状物の両側に配置した一対の吹出口から同じイオンを対向するように吹き出すことで、帯状物の幅方向中央部までイオンを満遍なく到達させることができると共に、吹出口の高さ方向中央位置に帯状物が位置するようにすることで、少ないイオン量で帯状物の表裏面を一度に除電することができる。したがって、幅広な帯状物の表裏面を除電するのに好適である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の請求項１の除電装置によれば、被除電物にイオンが到達する前に正イオンと負イオンとが混合してイオン量を減少させることがないので、高い除電性能を得ることができる。
【００２８】
また、本発明の請求項５の除電装置によれば、帯状物の表裏面を一度に、少ないイオン量で効率的に除電することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下添付図面に従って本発明に係る除電装置の好ましい実施形態について説明する。
【００３０】
（除電装置の第１の実施の形態）  
図１は、本発明の除電装置の第１の実施の形態を模式的に示す断面図である。図１に示す除電装置１０は、被除電物１４に、イオン化エアを吹きつけて除電する装置であり、クリーンルーム１６の内部に配置される。
【００３１】
クリーンルーム１６の構成は特に限定するものではないが、たとえばその天井面にＦＦＵ（不図示）が配置され、ＦＦＵで除塵された清浄エアがクリーンルーム１６内に供給され、この清浄エアがクリーンルーム１６のグレーチング床から床下空間に吸い込まれることによって、クリーンルーム１６内が清浄化される。このクリーンルーム１６の内部に除電装置１０、更には図４で示す製造装置５０が配置される。
【００３２】
除電装置１０は主として、除電しようとする被除電物１４を搬送する搬送コンベア１２（搬送ライン）と、搬送コンベア１２の搬送方向に沿って被除電物１４に正イオン（正イオン風）と負イオン（負イオン風）とを交互に吹き付ける除電装置本体１８とにより構成される。
【００３３】
なお、図１では、被除電物１４には負イオンを最初に吹き付けるようにしたが、正イオンと負イオンのどちらを最初に吹き付けるかは問題としない。即ち図２〜図４に示すように、被除電物１４に正イオンを最初に吹き付けるようにしてもよい。
【００３４】
また、除電装置本体１８は、イオン発生装置２０、イオン搬送ダクト３０及びイオン吹出口４０によって構成される。このイオン発生装置２０で発生させたイオンがイオン搬送ダクト３０を介してイオン吹出口４０に搬送され、イオン吹出口４０から被除電物１４にイオン化エアが吹き出される。以下に各構成部について説明する。
【００３５】
イオン発生装置２０は、ケーシング２１を有し、このケーシング２１の内部に、ファン２２、ケミカルフィルタ２４、塵埃除去フィルタ２６、イオン発生部２８が順に設けられている。ケーシング２１の上部には、エア取入口２５が形成されており、ファン２２を駆動することによって、このエア取入口２５からケーシング２１内にエアが吸引される。ケーシング２１内に取り入れられたエアは、ケミカルフィルタ２４、塵埃除去フィルタ２６を順に通過する。
【００３６】
ケミカルフィルタ２４は、有機物などの分子状汚染物質を除去するフィルタであり、たとえば、繊維状活性炭のフェルトをプリーツ化したものや、不織布に粒状活性炭を固定した活性炭フィルタが用いられる。このケミカルフィルタ２４をエアが通過することによって、エア中の有機物、たとえばシロキサン、ＤＯＰ（フタル酸エステル）、ＤＢＰ（フタル酸ジブチル）、トルエンなどが所定の割合（８０〜９０％）で除去される。一方、塵埃除去フィルタ２６は、エア中の塵埃を除去するフィルタであり、たとえばクリーンルーム１６のＦＦＵ内のフィルタと同じフィルタ（通常ＨＥＰＡフィルタ）が用いられる。この塵埃除去フィルタ２６によってエア中の塵埃が除去される。
【００３７】
ケミカルフィルタ２４及び塵埃除去フィルタ２６によって有機物と塵埃が除去されたエアは、イオン発生部２８に送気される。イオン発生部２８は、仕切り板２９によって４つのイオン発生部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ，２８Ｄからなるエリアに区画されており、ファン２２でケーシング２１内に取り込まれたエアが各イオン発生部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ，２８Ｄに均等に流れるようになっている。
【００３８】
イオン発生部２８は、たとえば直流式コロナ放電によってエアをイオン化させる装置であり、エアを負イオン化する負イオン発生部２８Ａ、エアを正イオン化する正イオン発生部２８Ｂ、エアを負イオン化する負イオン発生部２８Ｃ、エアを正イオン化する正イオン発生部２８Ｄが交互に配設される。かかるイオン発生部２８でのイオン化に使用されるエアは、ケミカルフィルタ２４によって有機物が除去されているので、イオン発生部２８に設けられた高圧電線の絶縁被膜（不図示）が有機物によって腐食されることを防止できる。したがって、イオン発生部２８において安全にイオン化することができる。
【００３９】
また、イオン発生部２８には、塵埃除去フィルタ２６によって有機物が除去されたエアが供給されるので、イオン発生部２８の放電電極（不図示）に塵埃が付着することを抑制できる。したがって、イオン発生部２８でイオン発生量が減少することを防止でき、除電装置１０として高い除電性能を維持することができる。
【００４０】
なお、イオン発生部２８は、直流式コロナ放電に限定されるものではなく、交流式コロナ放電や軟Ｘ線を用い、片方のイオンを取り除くことによって正イオンと負イオンを別々に供給するようにしてもよい。
【００４１】
イオン発生部２８の下方には、イオン搬送ダクト３０が搬送コンベアの近傍まで延設されており、イオン搬送ダクト３０の先端にイオン吹出口４０が形成される。そして、イオン搬送ダクト３０及びイオン吹出口４０は、上記した４つのイオン発生部２８Ａ〜２８Ｄに対応して個別に設けられる。即ち、イオン発生部２８Ａは、イオン搬送ダクト３０Ａを介してイオン吹出口４０Ａに連通し、イオン発生部２８Ｂは、イオン搬送ダクト３０Ｂを介してイオン吹出口４０Ｂに連通する。また、イオン発生部２８Ｃは、イオン搬送ダクト３０Ｃを介してイオン吹出口４０Ｃに連通し、イオン発生部２８Ｄは、イオン搬送ダクト３０Ｄを介してイオン吹出口４０Ｄに連通する。これにより、搬送コンベア１２の搬送方向に沿って、負イオンを吹き出す負イオン吹出口と、正イオンを吹き出す正イオン吹出口とが交互に配置される。
【００４２】
上記の如く構成した除電装置１０によれば、被除電物１４を搬送コンベア１２で搬送しながら、被除電物１４に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、被除電物１４に帯電されているイオンを除電するので、被除電物１４にイオンを吹き付ける前に正イオンと負イオンとが接触してイオン量が減少してしまうことがない。これにより、少ないイオン量で被除電物１４を効率的に除電できる。
【００４３】
本発明の除電装置１０においては、図２の態様に示すように、被除電物１４の表面電位を測定する表面電位測定手段と、被除電物１４に付着する塵埃を除去する塵埃除去手段３４を、被除電物１４と一緒に移動させて、被除電物１４の表面電位が±１０Ｖ以下になったときに塵埃除去手段３４を駆動させることが好ましい。
【００４４】
図２の概念図に示すように、被除電物１４の上方には塵埃除去手段３４の吸引フード３４Ａが設けられ、吸引フード３４Ａはフレキシブルな材質で形成された吸引ダクト３４Ｂを介して吸引ブロア３８に接続される。また、吸引フード３４Ａは図示しない移動機構により、被除電物１４と一緒に図２の左側から右側に移動可能に構成される。吸引フード３４Ａには被除電物１４の表面電位を測定する表面電位測定手段３２が支持され、移動機構によって吸引フード３４Ａに付随して移動する。そして、制御手段３６は、被除電物１４の表面電位が±１０Ｖ以下になったときに吸引ブロアを駆動させる。
【００４５】
除電装置１０を図２の如く構成することにより、被除電物１４に付着している塵埃を効果的に除塵することができる。即ち、本発明の除電装置１０では、被除電物１４に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けるので、被除電物１４の電荷は正又は負とに周期的に変化する。したがって、被除電物１４の表面電位が低くなる時点で被除電物１４に付着する塵埃を除去することが効果的である。
【００４６】
図２に示す態様では、被除電物１４の搬送と一緒に表面電位測定手段３２と塵埃除去手段３４を移動させて、被除電物１４の表面電位状態をモニタリングしながら制御手段３６で塵埃除去手段３４を駆動して除塵を行うことができるので、効果的な除塵を行うことができる。
【００４７】
なお、図２の態様の除電装置１０では、被除電物１４の搬送と一緒に表面電位測定手段３２と塵埃除去手段３４を移動させるようにしたが、予め予備試験等により、被除電物１４の表面電位が±１０Ｖ以下になる搬送位置を把握すれば、その位置に塵埃除去手段３４を固定的に配置するようにしてもよい。また、塵埃除去手段３４として、エア吸引タイプの除塵方式を説明したが、被除電物にエアを吹き付けて塵埃を除去するエア吹き付けタイプを採用することもできる。
【００４８】
また、図２で示した表面電位測定手段３２で測定した被除電物１４の表面電位に基づいて、制御手段３６は、各イオン発生部２８Ａ〜２８Ｄで発生させる負イオン発生量と正イオン発生量を制御するようにしてもよい。これにより、無駄に消費されるイオン量を減少できる。
【００４９】
また、無駄に消費されるイオン量を減少するには、図３に示す構成を採用することも好ましい。即ち、正イオン吹出口と負イオン吹出口とが交互に配置された搬送コンベア１２の下流位置（例えば吹出口４０Ｃの位置）に、被除電物１４の表面電位を測定する表面電位測定手段３２を固定配置すると共に、最下流位置に設けたイオン吹出口４０Ｄのイオン搬送ダクト３０Ｄに風量調整ダンパ４２を設ける。そして、イオン吹出口４０Ｄを被除電物１４が通過した後の表面電位が±１０Ｖ以下になるように風量調整ダンパ４２の開度を調整して、吹出口４０Ｄから吹き出すイオン量を調整し、後段に配置した塵埃除去手段（図示せず）で被除電物１４に付着した塵埃を除去する。
【００５０】
図４は、被除電物１４を製造する製造装置５０に搬送ライン１２を組み込んだ態様である。
【００５１】
図４に示すように、イオン吹出口４０Ａの下方位置に、装置上面から装置内にイオンを取り込める構造を有する製造装置５０が設けられ、製造装置５０を搬送コンベア１２が通過する間に被除電物１４である製品が製造される。製造された被除電物１４は、搬送コンベアによってイオン吹出口４０Ｂからイオン吹出口４０Ｄに向けて搬送される。
【００５２】
これにより、搬送コンベア１２の搬送方向に沿って交互に配設された正イオン吹出口と負イオン吹出口のうちの最初のイオン吹出口４０Ａから吹き出すイオンを、製造装置５０と製造された製品である被除電物１４の両方に吹き付けることができる。したがって、製造装置５０に帯電する極性と、被除電物１４（製品）との極性が一致するので、製造装置５０と被除電物１４（製品）との間で放電することがない。
【００５３】
（除電装置の第２の実施の形態）
図５は、本発明の除電装置６０の第２の実施の形態を模式的に示す上面図であり、被除電物１４としてフィルム等の帯状物６２を除電する場合である。
【００５４】
図５に示すように、矢印方向に搬送される帯状物６２の幅方向両側にはそれぞれ、搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出装置６４と、負イオンを吹き出す負イオン吹出装置６６とが交互に配置される。また、帯状物６２の幅方向には、同じイオンを吹き出すイオン吹出装置が対向して配置される。
【００５５】
図５では、帯状物６２の搬送方向上流側から下流側に向けて、正イオン吹出装置６４、負イオン吹出装置６６、正イオン吹出装置６４、負イオン吹出装置６６の順に対向配置されるようにしたが、負イオン吹出装置６６、正イオン吹出装置６４の順に対向配置してもよい。
【００５６】
正イオン吹出装置６４及び負イオン吹出装置６６は、主として、エア供給部６８、イオン発生部７０、イオン吹出口７２で構成される。エア供給部６８のケーシング７４内にファン７６が設けられると共に、ケーシング７４のエア導入口にはフィルタ７８が設けられる。フィルタ７８は、第１の実施の形態と同様に、ケミカルフィルタ２４、塵埃除去フィルタ２６を設けることが好ましい。
【００５７】
また、イオン発生部７０のケーシング８０内には放電針８２（＋又は−）が設けられ、放電針８２がケーシング８０外に配設された直流高電圧電源８４（＋又は−）に接続される。イオン発生部７０のケーシング８０の後端部は、エア供給部６８のケーシング７４に連通されると共に、前端部が先細形状に形成されその先端部にイオン吹出口７２が形成される。
【００５８】
これにより、ファン７６により、フィルタ７８を介してイオン吹出装置内に取り込まれたエアは、イオン発生部７０でのコロナ放電により正イオン化又は負イオン化された後、イオン吹出口７２から吹き出される。
【００５９】
そして、図６に示すように、帯状物６２とイオン吹出口７２との関係は、イオン吹出口７２の高さ方向（帯状物の厚み方向）の中央位置に、搬送される帯状物６２が位置するように構成される。これにより、イオン吹出口７２から吹き出されたイオンは、帯状物６２の表裏面に沿って帯状物６２の幅方向に流れ、帯状物６２の表裏面に薄膜なイオン層を形成する。
【００６０】
このように帯状物６２の両側に配置した一対のイオン吹出口７２から同じイオンを対向するように吹き出すことで、帯状物６２の幅方向中央部までイオンを満遍なく到達させることができると共に、イオン吹出口７２の高さ方向中央位置に帯状物６２が位置するようにすることで、少ないイオン量で帯状物６２の表裏面を一度に除電することができる。したがって、第２の実施の形態の除電装置６０は、幅広な帯状物６２の表裏面を除電するのに好適である。
【００６１】
また、図６に示すように、本発明の第２の実施の形態の除電装置６０の場合にも、第１の実施の形態と同様に、帯状物６２の表裏面の表面電位を測定する一対の表面電位測定手段８６と、帯状物６２の表裏面に付着する塵埃を除去する一対の塵埃除去手段８８（エア吸引タイプ又はエア吹き付けタイプ）とを設けることが好ましい。そして、帯状物６２の表面電位が±１０Ｖ以下になったときに塵埃除去手段８８を駆動させるとよい。第２の実施の形態の場合には、搬送される帯状物６２を除電対象としていることから、表面電位測定手段８６と塵埃除去手段８８とは帯状物搬送方向の下流位置に固定配置することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１の実施の形態の除電装置を模式的に示す断面図
【図２】除電装置に移動式の表面電位表面電位測定手段と塵埃除去手段とを組み込んだ概念図
【図３】除電装置に表面電位表面電位測定手段を固定配置した概念図
【図４】除電装置を製造装置に組み込んだ概念図
【図５】本発明の第２の実施の形態の除電装置を模式的に示す上面図
【図６】第２の実施の形態に表面電位表面電位測定手段と塵埃除去手段とを組み込んだ正面断面図
【符号の説明】
【００６３】
１０、６０…除電装置、１２…搬送コンベア、１４…被除電物、１６…クリーンルーム、１８…除電装置本体、２０…イオン発生装置、２２…ファン、２４…ケミカルフィルタ、２６…塵埃除去フィルタ、２８…イオン発生部、２９…仕切り板、３０…イオン搬送ダクト、３２…表面電位測定手段、３４…塵埃除去手段、３６…制御手段、３８…吸引ブロア、４０…イオン吹出口、４２…風量調整ダンパ、５０…製造装置、６２…帯状物、６４…正イオン吹出装置、６６…負イオン吹出装置、６８…エア供給部、７０…イオン発生部、７２…イオン吹出口、７４…ケーシング、７６…ファン、７８…フィルタ、８０…ケーシング、８２…放電針、８４…直流高電圧電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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