(57)【要約】      （修正有）【課題】基板回路と電子素子との連結部位の整合度を大きく向上させるので、微細なピッチ（Pitch）を有する電子部品の内蔵に適用でき、さらに工程が簡単であってコストを最小化することができ、また既存の電子素子内蔵基板では実現することが困難であった２層内蔵基板の実現に好適である、電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を提供する。【解決手段】ボンディングシート２０の上面に、上面に電極１１ｂが形成された電子素子を搭載するステップと、電子素子に対応するキャビティが形成された絶縁体３０をボンディングシート２０の上面に搭載するステップと、電子素子の上面を覆うように、絶縁体３０の上面に第１絶縁樹脂を積層するステップと、電極１１ｂが露出するように第１絶縁樹脂を研磨するステップと、研磨された第１絶縁樹脂４１に、露出された電極１１ｂと電気的に接続される第１回路パターン５１を形成するステップと、を含むことを特徴とする。【選択図】図１０
2010021516.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングシートの上面に、上面に電極が形成された電子素子を搭載するステップと、
前記電子素子に対応するキャビティが形成された絶縁体を前記ボンディングシートの上面に搭載するステップと、
前記電子素子の上面を覆うように前記絶縁体の上面に第１絶縁樹脂を積層するステップと、
前記電極が露出するように前記第１絶縁樹脂を研磨するステップと、
前記研磨された第１絶縁樹脂に、前記露出している電極と電気的に接続される第１回路パターンを形成するステップと、
を含む電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法。
【請求項２】
前記第１絶縁樹脂から前記ボンディングシートを貫通するビアを形成するステップと、
前記ボンディングシートの下面に第２回路パターンを形成するステップと、
をさらに含む請求項１に記載の電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法。
【請求項３】
前記ボンディングシートの下面に第２絶縁樹脂を積層するステップと、
前記第１絶縁樹脂から前記第２絶縁樹脂を貫通するビアを形成するステップと、
前記絶縁樹脂の下面に第２回路パターンを形成するステップと、  をさらに含む請求項１に記載の電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１絶縁樹脂が、前記第２絶縁樹脂より厚いことを特徴とする請求項３に記載の電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法。
【請求項５】
前記ボンディングシートは、ガラス繊維が含浸されたエポキシ樹脂からなることを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法。
【請求項６】
前記キャビティが形成された絶縁体は、硬化された（Ｃ−stage）状態であることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子素子の小型化、高密度化に伴って、これら電子素子をパッケージに接続させる技術においても、より微細なパターンに対応できるように進化・発展している。特に、ワイヤボンディングのような伝統的な接続方法の場合、約４０〜５０μｍピッチのボンディングパッドにも適用させるための技術開発が推進されつつある。
【０００３】
しかし、現在開発されるこれら電子素子の内蔵技術は、一般的なレーザー工法や、スタッドバンプ（Stud bump）を用いたフリップチップ（flip chip）工法で微細化に対応しているが、それぞれの装備や工法には限界が存在する。
【０００４】
電子素子が内蔵される基板におけるピッチ微細化において、特にレーザー工法を用いる場合、その主な事項としては、層間整合度（Registration）の確保及び内部接続（interconnection）用ビア（via）サイズの最小化のための絶縁距離、すなわち、絶縁層厚の最小化などを挙げることができる。これに関して、現在知られている技術では１００μｍ程度のピッチへの対応がその限界である。
【０００５】
また、電子素子と基板との接続にレーザーを活用する場合、電子素子が内蔵される層の回路、すなわち、電子素子の電気的導通のためのパッドなどの高さと一致する層とこれに対応する反対側の層の回路は、電子素子の接続に関してはその回路の機能を行うことができず、単純整列（align）及び上／下部の電気的接続の役割だけを行う一種の余分の回路のように製品に位置づけられており、このため、製品の小型化及び高密度化に不適合である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
こうした従来技術の問題点を解決するために、本発明は、層間整合度を確保し、ビアのサイズを最小化して、製品の小型化及び高密度化を実現することができ、電子素子の内蔵時に必要のない回路要素を備えない電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態によれば、ボンディングシートの上面に、上面に電極が形成された電子素子を搭載するステップと、電子素子に対応するキャビティが形成された絶縁体をボンディングシートの上面に搭載するステップと、電子素子の上面を覆うように絶縁体の上面に第１絶縁樹脂を積層するステップと、電極が露出されるように第１絶縁樹脂を研磨するステップと、研磨された第１絶縁樹脂に、露出している電極と電気的に接続される第１回路パターンを形成するステップと、を含む電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法が提供される。
【０００８】
ここで、第１絶縁樹脂からボンディングシートを貫通するビアを形成するステップと、ボンディングシートの下面に第２回路パターンを形成するステップと、をさらに行うことができる。
【０００９】
一方、ボンディングシートの下面に第２絶縁樹脂を積層するステップと、第１絶縁樹脂から第２絶縁樹脂を貫通するビアを形成するステップと、絶縁樹脂の下面に第２回路パターンを形成するステップと、をさらに行うこともできる。
【００１０】
ここで、第１絶縁樹脂は第２絶縁樹脂より厚いものであってもよい。
【００１１】
ボンディングシートは、ガラス繊維が含浸されたエポキシ樹脂からなることができ、キャビティが形成された絶縁体は硬化された（Ｃ−stage）状態であることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の好ましい実施例によれば、基板回路と電子素子との連結部位の整合度を大きく向上させることができるので、微細なピッチ（Pitch）を有する電子部品への内蔵に適用でき、さらに工程が簡単であって、コストを最小化でき、また既存の電子素子内蔵基板では実現できなかった２層内蔵基板の実現に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す順序図である。
【図２】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図３】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図４】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図５】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図６】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図７】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図８】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図９】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図１０】本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図１１】本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す順序図である。
【図１２】本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図１３】本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図１４】本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【図１５】本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるため、本願では特定実施例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。本発明を説明するに当たって、係る公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００１５】
「第１」、「第２」などのような序数を含む用語は、多様な構成要素を説明するために用いられるに過ぎず、構成要素がそれらの用語により限定されるものではない。それらの用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的だけに用いられる。
【００１６】
本願で用いた用語は、ただ特定の実施例を説明するために用いたものであって、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文の中で明らかに表現しない限り、複数の表現を含む。本願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組合せたものの存在を指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組合せたものの存在または付加可能性を予め排除するものではないと理解しなくてはならない。
【００１７】
以下、本発明による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明し、添付図面を用いて説明するに当たって、同一かつ対応の構成要素には同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す順序図であり、図２〜図１０は本発明の一実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。図２〜図１０を参照すると、電子素子１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、ボンディングシート２０（bonding sheet）、絶縁体３０、キャビティ３２（cavity）、第１絶縁樹脂４１、第２絶縁樹脂４２、第１回路パターン５１、第２回路パターン５２、ビアホール５３、及びビア５４が示されている。
【００１９】
先ず、ステップＳ１１０で、図５に示すように、ボンディングシート２０の上面に、上面に電極が形成された電子素子を搭載する。ボンディングシート２０に搭載される電子素子としては、図２に示すように、両側に電極１１ａが形成された受動素子１０ａ、図３に示すように、ポスト形態の銅または金電極１１ｂが形成された能動素子１０ｂ、図４に示すように、スタッド形態の銅または金電極１１ｃが形成された能動素子１１ｃなどを用いることができる。その他にも、電極が電子部品の最外層表面より高く形成された形態であれば、どんな電子素子でも使用できる。
【００２０】
電子素子１０ａ，１０ｂ，１０ｃが搭載されるボンディングシート２０としては、電子部品を固定するのに好適な資材を用いることができ、その例には、ガラス繊維が含浸されたエポキシ樹脂などを挙げることができる。このような資材を用いることにより、後の工程における電子素子１０ａ，１０ｂ，１０ｃの位置が変動されることを防止でき、その結果、信頼度の高い整合度を確保できるようになる。
【００２１】
ボンディングシート２０の厚さは約２０〜４０μｍ程度であってもよく、２０μｍ以下であってもよい。
【００２２】
その後、ステップＳ１２０で、図６に示すように、電子素子１０ｂに対応するキャビティ３２が形成された絶縁体３０をボンディングシート２０の上面に搭載する。電子素子１０ｂの高さに応じて絶縁体の高さが決められるが、電子素子の電極を含む高さが５０μｍ程度である場合、絶縁体３０の高さは約４０μｍになることができる。
【００２３】
ここで、キャビティ３２が形成された絶縁体３０は硬化された（Ｃ−stage）状態であることができる。硬化された状態の絶縁体３０を用いると、以後に行われる積層などの工程においてもクリアランスが維持されるので、信頼度の高い整合度を確保することができる。
【００２４】
このような絶縁体３０は、一般の銅張積層板（ＣＣＬ、図示せず）にキャビティ３２を加工し、その後、銅張積層板（図示せず）の両面に形成された銅箔を全てエッチングすることにより製作することができる。勿論、金属箔が形成されていない絶縁資材（図示せず）にキャビティを形成して絶縁体３０を製作することも可能である。
【００２５】
その後、ステップＳ１３０で、図７に示すように、電子素子１０ｂの上面を覆うように、絶縁体３０の上面に第１絶縁樹脂４１を積層し、ステップＳ１４０で、ボンディングシート２０の下面に第２絶縁樹脂４２を積層する。第１絶縁樹脂４１の積層工程及び第２絶縁樹脂４２の積層工程は単一工程で同時に行われてもよく、順次行われてもよい。
【００２６】
一方、絶縁樹脂がキャビティ３２に充填されることを考慮して、第１絶縁樹脂４１は第２絶縁樹脂４２より厚いものを用いることができる。例えば、絶縁体３０の上面に積層される第１絶縁樹脂４１は約４０μｍ程度であり、ボンディングシート２０の下面に積層される第２絶縁樹脂４２は約２０μｍ程度であることができる。
【００２７】
このような第１絶縁樹脂４１としては、電子素子１０ｂの電極１１ｂを損なわないようにガラス繊維などが含浸されていない純粋な樹脂状態の資材を用いることができる。勿論、電極の形状に応じて一般のプリプレグ資材を使用することも可能である。
【００２８】
その後、ステップＳ１５０で、図８に示すように、絶縁体を貫通するビアホール５３を形成する。ビアホール５３は後述する第２回路パターン５２と第１回路パターン５１と間の層間導通を実現するためのものであって、レーザードリルまたは機械的ドリルなどにより形成されることができる。
【００２９】
その次、ステップＳ１６０で、図９に示すように、電極１１ｂが露出するように第１絶縁樹脂４１を研磨する。第１絶縁樹脂４１を研磨する方法としてはプラズマエッチング及びデスミア（desmear）工程などを挙げることができる。
【００３０】
このように電極１１ｂを露出させた後、図１０に示すように、ステップＳ１７０で、研磨された第１絶縁樹脂４１に、露出された電極１１ｂと電気的に接続される第１回路パターン５１を形成し、ステップＳ１８０で、第２絶縁樹脂４２に第２回路パターン５２を形成する。第１回路パターン５１及び第２回路パターン５２を形成すると共に、既に加工されたビアホール５３の内部に導電性物質を充填することにより、第１回路パターン５１と第２回路パターン５２とを電気的に接続させるビア５４を形成することもできる。
【００３１】
このように、本実施例によれば、電極１１ｂが露出された状態で第１絶縁樹脂４１の上に第１回路パターン５１を形成することにより、高い整合度を容易に確保することができる。また、電子素子１０ｂが実装された内層に、直ちに内層回路である第１回路パターン５１および第２回路パターン５２を形成することにより、２層構造を有する薄型の印刷回路基板を実現することができる。
【００３２】
次に、本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法について説明する。
【００３３】
図１１は、本発明の他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す順序図であり、図１２〜図１５は他の実施例による電子素子内蔵型印刷回路基板の製造方法を示す工程図である。図１２〜図１５を参照すると、電子素子１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，ボンディングシート２０、絶縁体３０、キャビティ３２、第１絶縁樹脂４１、第１回路パターン５１、第２回路パターン５２、ビアホール５３、ビア５４が示されている。
【００３４】
本実施例は、前述した一実施例とは異なっていて、第２絶縁樹脂４２の積層工程を省略しボンディングシート２０に第２回路パターン５２を直接形成することを特徴とする。ボンディングシート２０も絶縁樹脂としての役割をすることができるため、厚さ調節やその他の信頼性を目的とする場合に、第２絶縁樹脂４２を別途に利用しないこともあるからである。したがって、本実施例では前述した一実施例と同様な部分に関する具体的な説明は省略し、上記との相異点を中心に説明する。
【００３５】
先ず、ステップＳ２１０で、一実施例と同様にボンディングシート２０の上面に、上面に電極１１ｂが形成された電子素子を搭載し、ステップＳ２２０で、電子素子１０ｂに対応するキャビティ３２が形成された絶縁体３０をボンディングシート２０の上面に搭載し、ステップＳ２３０で、電子素子１０ｂの上面を覆うように絶縁体３０の上面に第１絶縁樹脂４１を積層する。このような過程を経て第１絶縁樹脂４１が積層されたものが図１２に示されている。回路を形成するに当たって、一般の回路基板では、場合によって第１絶縁樹脂４１を積層する際に、反対側のボンディングシート２０の下面に銅箔を積層して回路形成に活用することも可能である。
【００３６】
その後、ステップＳ２４０で、図１３に示すように、絶縁体３０を貫通するビアホール５３を形成し、その後、ステップＳ２５０で、図１４に示すように、電極１１ｂが露出するように第１絶縁樹脂４１を研磨する。第１絶縁樹脂４１の研磨方法としてはプラズマエッチング及びデスミア工程などを用いることができることは前述した実施例と同様である。
【００３７】
このように電極１１ｂを露出させた後、図１５に示すように、ステップＳ２６０で、研磨された第１絶縁樹脂４１に、露出された電極１１ｂと電気的に接続される第１回路パターン５１を形成し、ステップＳ２７０で、ボンディングシート２０の下面に第２回路パターン５２を形成する。第１回路パターン５１及び第２回路パターン５２を形成すると共に、既に加工されたビアホール５３の内部に導電性物質を充填することにより、第１回路パターン５１と第２回路パターン５２とを電気的に接続させるビア５４を形成することもできる。
【００３８】
このような過程を経て製造される構造も前述した一実施例で提示した構造と同じく高い整合度を容易に確保することができる。また、電子素子１０ｂが実装された内層に、直ちに内層回路である第１回路パターン５１および第２回路パターン５２を形成することにより、２層構造を有する薄型の印刷回路基板を実現することができる。
【００３９】
なお、明細書および特許請求の範囲における「上面」は、ボンディングシートが有する一の面を指し、天地方向の「上」の面のみを意味しない。同様に、「下面」は、ボンディングシートが有する他の面を指し、天地方向の「下」の面のみを意味しない。
【００４０】
以上、本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できよう。
【００４１】
前述した実施例の他、多様な実施例が本発明の特許請求範囲内に存在する。
【符号の説明】
【００４２】
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  電子素子
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ  電極
２０  ボンディングシート
３０  絶縁体
３２  キャビティ
４１  第１絶縁樹脂
４２  第２絶縁樹脂
５１  第１回路パターン
５２  第２回路パターン
５３  ビアホール
【図１】
2010021516.tif 000003
【図２】
2010021516.tif 000004
【図３】
2010021516.tif 000005
【図４】
2010021516.tif 000006
【図５】
2010021516.tif 000007
【図６】
2010021516.tif 000008
【図７】
2010021516.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2010021516.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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