(57)【要約】【課題】回転式のコンタクトプローブにおいて、バレル研磨を施すことなく、プランジャーのスムースな動作を長期に亘り安定的に確保すると共に、コンタクトプローブの電気抵抗を長期に亘り一定に維持する。【解決手段】プランジャー１を螺進退可能に収め入れ支持させるスリーブ２と、前進位置にこのプランジャー１を付勢により位置づける付勢手段３とを備えてなる。プランジャー１の前記螺進退は、プランジャー１の軸線方向ｘに螺旋状に連続すると共にプランジャー１の軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャー１の一部を切除して形成された螺旋状案内面１ｃに、スリーブ２の一部につけた凹みによりスリーブ２内に突き出された凸部２ｃを接触させることでなされるようになっている。この凸部２ｃが、螺旋状案内面１ｃに面的に接触する頂部面２ｄを有すると共に、螺旋状案内面１ｃの幅よりもこの頂部面２ｄの幅が小さくなるようにしてある。【選択図】図４
2010101687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端を検査対象物の電極への接触端とした丸棒状をなすプランジャーと、このプランジャーを螺進退可能に収め入れ支持させるスリーブと、このプランジャーの接触端側をスリーブから突き出させた前進位置にこのプランジャーを付勢により位置づける付勢手段とを備えてなるコンタクトプローブであって、
プランジャーの前記螺進退は、プランジャーの軸線方向に螺旋状に連続すると共にプランジャーの軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャーの一部を切除して形成された螺旋状案内面に、スリーブの一部につけた凹みによりスリーブ内に突き出された凸部を接触させることでなされるようになっており、
この凸部が、螺旋状案内面に面的に接触する頂部面を有すると共に、螺旋状案内面の幅よりもこの頂部面の幅が小さくなるようにしてあることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
プランジャーが螺旋状案内面の形成された導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成されていると共に、スリーブが導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成されていることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
スリーブの凸部の頂部面の隅部がアール状をなすように構成してあることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
付勢手段を、スリーブ内に収められてバネ一端をプランジャーの他端に接しさせた圧縮コイルバネとすると共に、このバネのバネ一端側がバネ端末に近づくに連れてこのバネの外径を細めるように成形されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体素子などの電子部品や、電子回路など、電気的な特性の測定が必要とされる検査対象物のこの測定にあたり、各種の測定器にこの検査対象物から得られる電気的信号を伝達させるために用いられるコンタクトプローブの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転式ないしはターンタイプといわれるコンタクトプローブがある。（特許文献１参照）このタイプのコンタクトプローブは、プランジャーに螺旋状案内面を切削加工により形成させると共に、この螺旋状案内面に接触する凸部をプランジャーを納めるスリーブに形成させ、さらに内蔵させた圧縮コイルバネなどの付勢手段によりプランジャーの接触端側がスリーブから一定量突き出した状態が維持されるようになっている。そして、プランジャーの接触端が半導体素子などの検査対象物の電極に所定の荷重で接触されたときに固定側となるスリーブ内でプランジャーが回転しながら後退するようになっている。
【０００３】
しかるに、近年では半導体素子などの電子部品や電子回路の小型化と高性能化に伴い、これらの電極数も増大の一途を辿っており、その検査にあたっての電極への接触荷重の低荷重化が強く求められるようになってきている。小型化により電子部品は脆弱になると共に、電極数の増加は検査時に電子部品に作用される総荷重を増大させるからである。
【０００４】
しかし、かかる接触荷重を単純に低減させてしまうと電極とプランジャーの接触端とを適切に電気的に接触させ難くする。プランジャーの接触端を鋭く形成させて単位面積当たりの荷重を大きくすることがその解決策となるが、このようにするとプランジャーを構成する導電性材料よりなる基材に前記螺旋状案内面を成形させた後にこれをバレル研磨することができなくなる。プランジャーの接触端の鈍化させてしまうからである。だからといってかかるバレル研磨を行わないと、螺旋状案内面の形成によりこの螺旋状案内面とプランジャーの周面との間の隅部に少なからず形成されるバリがスリーブの凸部を傷つけるなどして、プランジャーのスムースな動作が確保できなくなると共に、プランジャーの螺旋状案内面とスリーブの凸部との接触状態が安定しなくなるなどしてコンタクトプローブの電気的抵抗に変化を生じさせる。
【特許文献１】特開平９−２８１１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明が解決しようとする主たる問題点は、回転式のコンタクトプローブにおいて、これを構成するプランジャーに螺旋状案内面の成形後にバレル研磨を施すことなく、プランジャーのスムースな動作を長期に亘り安定的に確保すると共に、コンタクトプローブの電気抵抗を長期に亘り一定に維持できるようにする点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を達成するために、この発明にあっては、コンタクトプローブを、一端を検査対象物の電極への接触端とした丸棒状をなすプランジャーと、このプランジャーを螺進退可能に収め入れ支持させるスリーブと、このプランジャーの接触端側をスリーブから突き出させた前進位置にこのプランジャーを付勢により位置づける付勢手段とを備えてなるコンタクトプローブであって、
プランジャーの前記螺進退は、プランジャーの軸線方向に螺旋状に連続すると共にプランジャーの軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャーの一部を切除して形成された螺旋状案内面に、スリーブの一部につけた凹みによりスリーブ内に突き出された凸部を接触させることでなされるようになっており、
この凸部が、螺旋状案内面に面的に接触する頂部面を有すると共に、螺旋状案内面の幅よりもこの頂部面の幅が小さくなるようにしてあるものとした。
【０００７】
前記スリーブに形成された凸部は、螺旋状案内面に面的に接触する頂部面を有すると共に、螺旋状案内面の幅よりもこの頂部面の幅が小さくなるようにしてあることから、かかる凸部を、螺旋状案内面の形成時にバリの生じる螺旋状案内面とプランジャーの周面との間の隅部に、接触させない状態でかかる凸部を螺旋状案内面に接しさせてプランジャーを螺進退させることができる。これによりバレル研磨を施さずに接触端をできるだけ鋭く形成させたプランジャーを支障なく利用することができ、検査対象物の電極への接触荷重を減少させてもこの電極に適切に接触端を接触させ得るコンタクトプローブを構成させることができる。また、前記凸部は螺旋状案内面に面的に接触されることから、凸部と螺旋状案内面との単位面積当たりの接触荷重を低減してその接触状態を一定に保ち易く、プランジャーのスムースな動作を長期に亘って維持することができると共に、検査対象物の電極からの電気信号が螺旋状案内面と凸部を通じて出力される状態を安定的に確保させることができ、コンタクトプローブの電気抵抗を長期に亘り一定に維持させることができる。
【０００８】
前記プランジャーを螺旋状案内面の形成された導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成させると共に、スリーブを導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成させておけば、かかる金メッキによる金又は金合金の層により基材の表面を鏡面化させることができると共に、かかるプランジャーの螺旋状案内面とスリーブの凸部とはこの金又は金合金の層において他方に接することから、螺旋状案内面及び凸部のいずれか一方の側に偏った摩耗が生じ難く、また、金又は金合金の摩擦係数の低さと柔らかさもあいまって、プランジャーのスムースな動作は長期に亘って一層維持し易くなる。また、検査対象物の電極からの電気信号が螺旋状案内面と凸部を通じて出力される状態を安定的に確保させることができる。また、螺旋状案内面と凸部との接触側と反対の側において接触されるスリーブの開放端とプランジャーの外周面との接触箇所も検査対象物の電極からの電気信号の経路となるが、前記金メッキによりこの接触箇所の接触状態も長期に亘り安定的に確保させることができる。
【０００９】
前記スリーブの凸部の頂部面の隅部、すなわち、かかる凸部の頂部面と側部面との間に形成される隅部をアール状をなすように形成させておけば、特にプランジャーの螺進及び螺退動作の開始時における螺旋状案内面への凸部の接触をよりスムースなものとすることができる。
【００１０】
また、前記付勢手段を、スリーブ内に収められてバネ一端をプランジャーの他端に接しさせた圧縮コイルバネとすると共に、このバネのバネ一端側をバネ端末に近づくに連れてこのバネの外径を細めるように成形させておこともある。このようにした場合、プランジャーの螺進退にあたり前記バネ端末がスリーブの内面に接しないようにすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明にかかるコンタクトプローブによれば、スリーブに形成された凸部がプランジャーに形成された螺旋状案内面に面的に接触する頂部面を有すると共に、螺旋状案内面の幅よりもこの頂部面の幅が小さくなるようにしてあることから、凸部と螺旋状案内面との接触状態は一定に維持しやすく、加えて、螺旋状案内面の形成時にバリが生じる螺旋状案内面とプランジャーの周面との間の隅部に凸部が接しないようにすることができ、かかるプランジャーに螺旋状案内面の成形後にバレル研磨を施さなくとも、プランジャーのスムースな動作を長期に亘り安定的に確保できると共に、コンタクトプローブの電気抵抗を長期に亘り一定に維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図１〜図７に基づいて、この発明の典型的な実施の形態について説明する。
【００１３】
なお、ここで図１はこの発明を適用して構成されたコンタクトプローブの一例をそのプランジャー１の軸線に沿った向きにおいて断面にして、図２はかかるコンタクトプローブを側方から見て、図３はかかるプランジャー１のみを側方から見て、図４は図１に示されるコンタクトプローブをそのプランジャー１の軸線に直交した向きにおいて断面にして、図５はかかるコンタクトプローブのスリーブ２に形成された凸部２ｃを斜視の状態として、図６はこの凸部２ｃをスリーブ２に形成させるために用いられるピン４の先端を斜視の状態として、それぞれ示している。図７は図１〜図６に示されるコンタクトプローブの構成の一部を変更させた例を示している。
【００１４】
この実施の形態にかかるコンタクトプローブは、半導体素子などの電子部品や、電子回路など、電気的な特性の測定が必要とされる検査対象物のこの測定にあたり、各種の測定器にこの検査対象物から得られる電気的信号を伝達させるために用いられるものである。かかるコンタクトプローブは、検査対象物の電極に接触されるプランジャー１と、このプランジャー１を支持するスリーブ２とを備えている。典型的には、かかるコンタクトプローブは、さらに導電性材料からなる図示しないソケットに納められ、このソケットを一般にヘッドと称される取付部品に検査対象物に設けられた複数の電極のピッチに合わせた間隔で取り付けて用いられる。かかるヘッドを測定対象物に向けて移動させると、複数のコンタクトプローブのプランジャー１がそれぞれ、検査対象物の対応する電極に接触される。そして通例は、前記ソケットにおけるコンタクトプローブの突き出し側と反対の側の端部に得られた電気的信号を適宜の測定器に送るための導電性ワイヤをハンダ付けなどにより接続して用いる。
【００１５】
プランジャー１およびスリーブ２の基材はいずれも導電性材料から構成される。プランジャー１は、典型的には、ベリリウム銅よりなる基材に螺旋状案内面を切削により形成させるなどしてプランジャー１の外郭形状を備えさせた後、銅の層をメッキにより施し次いでニッケルの層をメッキにより施し、さらにその表面にメッキにより金又は金合金の層を形成させてなる。一方、スリーブ２は、典型的には、外層を金とした金とリン青銅とのクラッドパイプよりなる基材の表面にメッキにより金又は金合金の層を形成させてなる。プランジャー１は極細の丸棒状をなし、一端を検査対象物の電極への接触端１ａとしている。その外径は、典型的には、0.12mm〜0.65mmの範囲とされる。スリーブ２は、少なくとも一端を開放させてこの開放端２ａよりプランジャー１をその接触端１ａと反対の他端側から挿入可能な内径を備えた極細の円筒のチューブ状をなすように構成される。その外径は、典型的には、0.2mm〜0.8mmである。
【００１６】
この実施の形態にかかるコンタクトプローブにあっては、プランジャー１はスリーブ２に螺進退可能に収め入れ支持させており、いわゆる回転式ないしターンタイプのコンタクトプローブとなっている。スリーブ２内には、かかるプランジャー１の接触端１ａ側をスリーブ２の開放端２ｂから突き出させた前進位置にこのプランジャー１を付勢により位置づける付勢手段３としての圧縮コイルバネ３ａが納められている。かかる進退機能によって、検査対象物に設けられた複数の電極のレベルにバラつきがあっても、かかる複数の電極にそれぞれ前記のように配列された複数のコンタクトプローブのプランジャー１を適切に電気的に接触させることができる。また、かかる進退がプランジャー１の軸線を中心とした回転を伴ってなされることにより、検査対象物の電極にフラックスや酸化被膜などがある場合であっても、これらを除けてプランジャー１の接触端１ａをかかる電極に適切に電気的に接触させることができる。
【００１７】
図示の例では、スリーブ２は、筒一端を前記開放端２ｂとし、筒他端を閉塞させている。かかるスリーブ２内に納められた前記バネ３ａは、バネ一端３ｃをプランジャー１の他端１ｂに接しさせ、バネ他端３ｂこのスリーブ２の閉塞端２ｂに接しさせている。プランジャー１は、このバネ３ａの付勢により、その接触端１ａ側をスリーブ２の開放端２ｂから所定寸法突き出させた前進位置に位置づけられるようになっている。（図１）図示の例では、この前進位置において、後述する螺旋状案内面１ｃのプランジャー１の他端１ｂ側の末端とプランジャー１の周面１ｅとの間に形成された段差１ｄに後述する凸部２ｃがバネ３ａの付勢により当接して、それ以上プランジャー１が突き出されないようになっている。（図１）また、図示の例では、プランジャー１の接触端１ａは、先端に極小の接触面（直径0.1~0.05mmの円に内接する三角形の面）を備えた略三角錐状をなすように成形されており、検査対象物の電極に点的に接触するようになっている。
【００１８】
またこの実施の形態にあっては、プランジャー１の前記螺進退は、プランジャー１の軸線方向ｘに螺旋状に連続すると共にプランジャー１の軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャー１の一部を切除して形成された螺旋状案内面１ｃに、スリーブ２の一部につけた凹みによりスリーブ２内に突き出された凸部２ｃを接触させることでなされるようになっている。すなわち、前進位置にあるプランジャー１の接触端１ａが検査対象物の電極に接触されると、前記バネ３ａの付勢に抗してプランジャー１は後退されるが、前記凸部２ｃの接触される螺旋状案内面１ｃはプランジャー１の軸線方向ｘに螺旋状に連続することから、固定側となるスリーブ２内でプランジャー１はさらに回転される。かかる螺旋状案内面１ｃは、プランジャー１の接触端１ａと他端１ｂとの間において、必要な範囲で形成される。かかる螺旋状案内面１ｃはプランジャー１の軸線を一周以上するように形成しても、一周に至らない範囲で形成しても構わない。また、かかる螺旋状案内面１ｃは、この螺旋状案内面１ｃが倣う仮想のつる巻線とプランジャー１の軸線とがなす角度が螺旋状案内面１ｃの各所において一様になるように形成しても、一様にならないように形成しても構わない。
【００１９】
そして、この実施の形態にあっては、前記スリーブ２に形成された凸部２ｃが、螺旋状案内面１ｃに面的に接触する頂部面２ｄを有すると共に、螺旋状案内面１ｃの幅よりもこの頂部面２ｄの幅が小さくなるようにしてある。
【００２０】
具体的には、スリーブ２の内径とプランジャー１の螺旋状案内面１ｃの形成箇所以外の外径とは略等しいか、この外径の方がやや小さく、スリーブ２の軸線とプランジャー１の軸線とが略一致するようにしてスリーブ２に前記のようにプランジャー１を挿入した状態から、スリーブ２の中間部を外側からピン４で押圧して螺旋状案内面１ｃに接触する前記凸部２ｃを形成させている。
【００２１】
図示の例では、ピン軸線に直交する略長方形状を有する先端面４ａと、この先端面４ａに向けてピン４を細める向きに傾斜するカット面４ｂとを有すると共に、このカット面４ｂと先端面４ａとの間にアール面４ｃを持つように成形されたピン４（図６）のこの先端面４ａ側をプランジャー１に外側から押しつけることで、スリーブ２の内側に台形状に突き出される前記凸部２ｃを形成させている。（図５）かかる凸部２ｃの頂部面２ｄは長さ２ｅと幅２ｆを持ち、この長さ側が螺旋状案内面１ｃの幅側に向き、さらにこの頂部面２ｄの長さ側において、この頂部面２ｄの両隅部２ｇ、２ｇ間の寸法Ｌ１が螺旋状案内面１ｃの幅Ｌ２よりも小さくなっている。（図４）凸部２ｃの頂部面２ｄと側部との間にあるかかる隅部２ｇはアール状をなすように構成されている。
【００２２】
電子部品などの小型化と高性能化に伴いその検査にあたっての電極への接触荷重の低荷重化が求められているが、この接触荷重を単純に低減させてしまうと電極とプランジャー１の接触端１ａとを適切に電気的に接触させ難くする。プランジャー１の接触端１ａを鋭く形成させて単位面積当たりの荷重を大きくすることがその解決策となるが、このようにすると螺旋状案内面１ｃの成形後にプランジャー１をバレル研磨することができなくなる。プランジャー１の接触端１ａを鈍化させてしまうからである。このため、螺旋状案内面１ｃの形成によりこの螺旋状案内面１ｃとプランジャー１の周面１ｅとの間の隅部１ｃ’に少なからず形成されるバリを除去しない状態でのプランジャー１の利用が求められるところである。
【００２３】
この実施の形態にかかるコンタクトプローブにあっては、前記スリーブ２に形成された凸部２ｃが、螺旋状案内面１ｃに面的に接触する頂部面２ｄを有すると共に、螺旋状案内面１ｃの幅よりもこの頂部面２ｄの幅が小さくなるようにしてあることから、かかる凸部２ｃを、螺旋状案内面１ｃの形成時にバリの生じる螺旋状案内面１ｃとプランジャー１の周面との間の隅部１ｃ’に、接触させない状態でかかる凸部２ｃを螺旋状案内面１ｃに接しさせてプランジャー１を螺進退させることができる。これによりバレル研磨を施さずに接触端をできるだけ鋭く形成させたプランジャー１を支障なく利用することができ、検査対象物の電極への接触荷重を減少させてもこの電極に適切に接触端を接触させ得るコンタクトプローブを構成させることができる。また、前記凸部２ｃは螺旋状案内面１ｃに面的に接触されることから、凸部２ｃと螺旋状案内面１ｃとの単位面積当たりの接触荷重を低減してその接触状態を一定に保ち易く、プランジャー１のスムースな動作を長期に亘って維持することができると共に、検査対象物の電極からの電気信号が螺旋状案内面１ｃと凸部２ｃを通じて出力される状態を安定的に確保させることができ、コンタクトプローブの電気抵抗を長期に亘り一定に維持させることができる。すなわち、螺旋状案内面１ｃと凸部２ｃの双方又はいずれか一方が傷つくなどして両者の接触状態が悪くなり、これにより螺旋状案内面１ｃと凸部２ｃとを経由して出力される検査対象物の電極からの電気信号がその他の箇所を経由して出力されるなどして、コンタクトプローブの電気抵抗にバラツキが生じる事態をできる限り防止することができる。
【００２４】
また、この実施の形態にあっては、前記プランジャー１を螺旋状案内面１ｃの形成された導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成させると共に、スリーブを導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成されていることから、かかる金メッキによる金又は金合金の層により基材の表面を鏡面化させることができると共に、かかるプランジャー１の螺旋状案内面１ｃとスリーブの凸部２ｃとはこの金又は金合金の層において他方に接することから、螺旋状案内面１ｃ及び凸部２ｃのいずれか一方の側に偏った摩耗が生じ難く、また、金又は金合金の摩擦係数の低さと柔らかさもあいまって、プランジャー１のスムースな動作は長期に亘って一層維持し易くなる。すなわち、かかる金又は金合金の層は非油脂潤滑剤として機能される。また、検査対象物の電極からの電気信号が螺旋状案内面１ｃと凸部２ｃを通じて出力される状態を安定的に確保させることができる。また、螺旋状案内面１ｃと凸部２ｃとの接触側と反対の側において接触されるスリーブ２の開放端２ｂとプランジャー１の周面１ｅとの接触箇所も検査対象物の電極からの電気信号の経路となるが、前記金メッキによりこの接触箇所の接触状態も長期に亘り安定的に確保させることができる。特に、スリーブ２の開放端２ｂには金メッキの層が厚く形成されることから、スリーブ２の基材となる前記クラッドパイプなどに対する切断により形成される故に面取り処理を施すことを必要とさせるかかる開放端２ｂをかかる金メッキにより都合良く被覆させることができる。
【００２５】
実験例にかかるコンタクトプローブと、比較例にかかるコンタクトプローブとを用意し、基板に対し、コンタクトプローブの５０万回のコンタクトを行った。（各コンタクト毎にプランジャーが螺退される。）
実験例：プランジャー（以上に説明したプランジャー１と実質的に同一の構造のもの）は、ベリリウム銅よりなる基材に銅の層をメッキにより施し次いでニッケルの層をメッキにより施し、さらにその表面にメッキにより金又は金合金の層を形成させてなる。スリーブ（以上に説明したスリーブ２と実質的に同一の構造）は、外層を金とした金とリン青銅とのクラッドパイプよりなる基材の表面にメッキにより金又は金合金の層を形成させてなる。
プランジャーの径                0.28mm
スリーブの外径                  0.40mm
スリーブの内径                  0.29mm
スリーブの金メッキの層の厚さ    1.8μｍ
比較例：実験例におけるスリーブに金メッキを施していない他は、実験例と構成は同一である。
図８に示される構成を備えた試験装置を利用して、実験例と比較例の試験を行った。図中符号１の駆動装置のヘッドにマウントされた図中符号２のコンタクトプローブを図中符号３の基板に断続的にコンタクトさせる。実験例も比較例も同一条件で基板にコンタクトさせる。基板とコンタクトプローブとの間に０．３ｍｍの空間を開けた基準位置から基板側を１．５ｍｍ上昇させてそのプランジャーを１．２ｍｍ螺退させる。この上昇速度は、５ｍｍ／ｓｅｃとした。基板の一つのポイントへの一万回のコンタクトが終了したときに、基板を載置したステージを移動させ次のポイントへのコンタクトをなすようにして、かかる一万回のコンタクトを５０回行った。符号４の抵抗測定器とコンタクトプローブ及び基板とを導線で接続して各コンタクト毎に抵抗値(Ω）を測定した。
【００２６】
実験例の試験結果を以下に示す。（白抜きの四角形のデータポイントは各一万回毎のコンタクトにおける抵抗の最大値であり、黒塗りの四角形のデータポイントは各一万回毎のコンタクトにおける抵抗の最小値であり、菱形のデータポイントは各一万回毎のコンタクトにおける抵抗の平均値である。）
【表１】
2010101687.tif 000003
【００２７】
比較例の試験結果を以下に示す。（白抜きの四角形のデータポイントは各一万回毎のコンタクトにおける抵抗の最大値であり、黒塗りの四角形のデータポイントは各一万回毎のコンタクトにおける抵抗の最小値であり、菱形のデータポイントは各一万回毎のコンタクトにおける抵抗の平均値である。）
【表２】
2010101687.tif 000004
【００２８】
スリーブに金メッキを施していない比較例では、積算コンタクト回数が２６万回を超えると抵抗値が安定しなくなるが、実験例では積算コンタクト回数が５０万回に至るまでの間において抵抗値は安定していた。
【００２９】
また、この実施の形態にあっては、前記スリーブ２の凸部２ｃの頂部面２ｄの隅部２ｇをアール状をなすように形成させていることから、特にプランジャー１の螺進及び螺退動作の開始時における螺旋状案内面１ｃへの凸部２ｃの接触をよりスムースなものとすることができる。
【００３０】
図７は、前記付勢手段を構成する圧縮コイルバネ３ａのバネ一端３ｃ側をバネ端末３ｄに近づくに連れてこのバネの外径を細めるように成形させた例を示している。ここで、かかるバネ３ａはプランジャー１に納まる極細バネであるためバネ材の切断面となるそのバネ端末３ｄの研磨は困難である。かかるバネ端末３ｄがスリーブ２の内面に接するとプランジャー１の螺進退時の抵抗となると共にバネ端末３ｄによりかかる内面が削られこれにより生じた粉体がコンタクトプローブの各部に飛散しプランジャー１とスリーブ２との摺接箇所の損耗を早めてしまう。この図７に示されるようにした場合、プランジャー１の螺進退にあたり前記バネ端末３ｄがスリーブ２の内面に接しないようにすることができ、バネ３ａの端末の研磨処理をしなくてもこのバネ端末３ｄがプランジャー１の円滑な動作を妨げることはない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】コンタクトプローブの断面構成図
【図２】同側面構成図
【図３】プランジャー１の側面構成図
【図４】図１におけるＡ−Ａ線位置での断面構成図
【図５】スリーブ２の要部斜視構成図
【図６】スリーブ２に凸部２ｃを形成させるためのピン４の要部斜視構成図
【図７】コンタクトプローブの他の構成例を示した構成図
【図８】コンタクトプローブの試験装置の構成図
【符号の説明】
【００３２】
１  プランジャー
１ａ  接触端
１ｃ  螺旋状案内面
２  スリーブ
２ｃ  凸部
２ｄ  頂部面
３  付勢手段
ｘ  軸線方向
【図１】
2010101687.tif 000005
【図２】
2010101687.tif 000006
【図３】
2010101687.tif 000007
【図４】
2010101687.tif 000008
【図５】
2010101687.tif 000009
【図６】
2010101687.tif 000010
【図７】
2010101687.tif 000011
【図８】
2010101687.tif 000012