(57)【要約】【課題】偏肉がある基材に対しても複数のノズルを設けたディスペンサー方式で有機ＥＬパネルの発光層を全面にわたって均一に形成すること。【解決手段】隔壁間の溝に対向するノズルとして突き出し形状のノズルを用い、ノズルと基材載置テーブル間に電界を印加することによりノズル外形エッジ部分で形成されるビードの安定性を向上させることにより、ノズル先端と基材上面との間隔を遠ざけても、はみ出しの無い安定した連続線を塗布できる。【選択図】図１
2010277943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能膜の成分を溶媒に溶解した機能膜溶液をノズルの吐出孔から基材に連続的に塗布した後、前記溶媒を蒸発させて機能膜を形成する方法であって、
前記基材は基材載置テーブルに載置されており、前記ノズルと前記テーブルとの間、又は、前記ノズルと前記基材との間に電界を印加しながら、前記基材に前記機能膜溶液を塗布すること
を特徴とする機能膜の製造方法。
【請求項２】
前記ノズルのうち前記吐出孔の周辺に凸部を設け、前記凸部の外周のエッジ部での堰き止め効果により前記機能膜溶液を保持しながら塗布する、請求項１記載の機能膜の製造方法。
【請求項３】
前記凸部の立ち上がり面とノズルの吐出面との成す角度が、８０ｄｅｇ〜１００ｄｅｇである、請求項２記載の機能膜の製造方法。
【請求項４】
前記ノズルの吐出面の表面は、前記機能膜溶液に対して接触角が５０ｄｅｇ以上である、請求項３記載の機能膜の製造方法。
【請求項５】
基材上には隔壁で囲まれた複数の塗布領域が一定間隔で形成されており、かつ、
前記ノズルの孔の直径は、前記塗布領域の溝幅の０．７倍〜１．０倍の範囲である、請求項４記載の機能膜の製造方法。
【請求項６】
前記機能膜溶液を塗布する塗布方向と直交する方向の幅は、前記塗布領域の一定間隔の１．５倍〜２．５倍の範囲である、請求項５記載の機能膜の製造方法。
【請求項７】
前記機能膜溶液の粘度は、５０ｍＰａ・ｓｅｃ〜２００ｍＰａ・ｓｅｃの範囲である、請求項６記載の機能膜の製造方法。
【請求項８】
前記凸部の立ち上がり面とノズルの吐出面との成すエッジ部分の丸みは、半径１０ミクロン以下である、請求項７記載の機能膜の製造方法。
【請求項９】
前記凸部の立ち上がり面とノズルの吐出面との成すエッジ部分の丸みは、半径２ミクロン以下である、請求項７記載の機能膜の製造方法。
【請求項１０】
基材を載置する基材載置テーブルと、
前記テーブルと対向して配置され、少なくとも１つのノズルを有するディスペンサーと、
前記ノズルと前記テーブルを相対的に移動させる駆動手段と、
前記ノズルと前記基材の間、又は、前記ノズルと前記テーブルとの間に電界を印可する電界印加手段と、
前記駆動手段，前記ディスペンサー，及び，前記電界印加手段のタイミングを制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする機能膜の製造装置。
【請求項１１】
前記フィルム状の基材をロールで搬送する基材搬送機構と、
前記基材と対向して配置され、少なくとも１つのノズルを有するディスペンサーと、
前記基材を挟んで前記ノズルと反対側に配置された基材押圧ロールと、
前記ノズルと前記基材との間、又は、前記ノズルと前記基材押圧ロールとの間に電界を印可する電界印加手段と、
前記基材搬送機構、前記ディスペンサー、及び、前記電界印可手段のタイミングを制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする機能膜の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬディスプレイの発光層などの機能膜を、塗布技術を用いて製造する方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型、低消費電力、軽量のディスプレイへの要望が高かまる中、ディスプレイの機能膜を低コストの塗布方式によって製造する技術が注目を集めている。例えば、基板上に形成された隔壁で区切られた溝部へ有機発光材料インクをインクジェット法によって必要な画素部分に滴下して印刷する方法や、凸版印刷法により必要な画素部分に転写する方法などが提案されている。
【０００３】
しかしながら、従来のインクジェット法は、ノズル表面の僅かな濡れ具合のムラが液滴の飛翔方向を狂わせて、狙った画素に着弾し損ねたり、僅かな時間の吐出休止中に不吐出ノズルが発生したりするなどの問題がある。また、従来の凸版印刷法は、版の伸縮によってディスプレイの周辺部で印刷の位置精度が確保できないなどの問題が有った。そんな中、これらの問題を解決する方法として、インクジェットより不吐出の発生しにくいディスペンサーを高精度に位置決め出来るステージ上に搭載して高い精度でノズル先端を隔壁間の溝部の上方へ近接させて塗布する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
これについて図１７，及び，図１８を用いて説明する。
【０００５】
図１７は上記の従来の有機発光材料インクの塗布方法を示す図、図１８は図１７のＪ方向から見た断面図である。
【０００６】
図１７において、１０１は基材、１０３は基材の上に形成された隔壁、１４２は隔壁形成基材、１２０は基材を載置する基材載置テーブル、１２４は基材１０１の上方に不図示の駆動手段により一定の間隙を開けた状態で隔壁１０３間の溝に沿って基材全面にわたって移動可能に構成されたディスペンサーである。ディスペンサー２４は、下端部のノズル１２２と、その上部に連結されたマニホールド１２１と、マニホールド１２１の上部に接続された配管１２３、及び、配管１２３内に気体を供給する不図示の定圧気体供給装置より構成されている。１１４はディスペンサーから吐出される有機発光材料インクである。
【０００７】
次に上記のように構成された従来の塗布装置の動作について説明する。
【０００８】
まず、ディスペンサーのノズルを隔壁間の溝の延長線上で隔壁の形成されていない外側の場所に位置決めする。次に、隔壁間の溝方向にディスペンサーの移動を開始し、ノズルが隔壁間の溝の上部に到達するまでに一定速度に加速しておき、ノズルが隔壁間の溝の上部に到達した時点で定圧気体供給装置から配管へ気体を供給してマニホールド内の有機発光材料インクをノズル先端より吐出して基材上へ塗布する。そして、ノズルが溝の終端部へ到達した時点で定圧気体供給装置からの気体の供給を停止して塗布を停止し、次にディスペンサーを別の隔壁間の溝部へ移動させて同様の塗布動作を行い、この動作を繰り返して隔壁形成基材全面の必要部分に有機発光材料インクを塗布していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−１８９１９２号公報（第４頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の方法で有機ＥＬディスプレイの発光層を形成する場合、塗布タクトを短くしようとすると、複数のノズルを用いて同時に塗布する必要が有り、基板の偏肉による凹凸によっては、一部のノズルの先端と基板上面との間隙を十分に近接出来ない部分が生じる。その場合、その部分の塗布状態が途切れ途切れとなり、均一な発光層を形成できないという問題があった。
【００１１】
この課題について図面を用いて詳述する。図１９は、ディスペンサーのノズル先端と基材の間隔を離した場合の塗布状態を示す図である。図２０は、偏肉のある基材に対して複数のノズルを設けたディスペンサーで塗布する場合を示す図である。図２１は、図２０のＪ方向から見た断面図である。
【００１２】
有機発光材料インクのような粘度が数１００ｍＰａ・ｓｅｃ以下のインクの場合、インク自体が千切れやすく、ノズル先端と基材との間隔を遠ざけると、図１９のようにノズルから吐出されたインクが途切れ途切れになって塗布されて行く。１本のノズルで基板全面を塗布する場合であれば、ノズル先端と基材との間隙を逐次微少量に調節しながら塗布すれば連続線状に塗布することができる。しかしながら、図２０のように、基材自体に偏肉がある基材に対して複数のノズルを設けたディスペンサーで塗布する場合には、図２１に示すように、基材の最も薄い部分で、ノズル先端と基材上面との間隙を十分に近接させることが出来なくなり、そのノズルは断続的な塗布状態となってしまうと言う問題が有った。
【００１３】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、ノズル先端と基材との間隙を遠ざけても連続塗布を可能にする塗布方法であり、偏肉がある基材に対しても複数のノズルを設けたディスペンサーを用いて、基材全面にわたって均質な機能膜を形成する、塗布方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために本発明は、機能膜の成分を溶媒に溶かした機能膜溶液をノズルから連続的に吐出して前記ノズルと相対的に移動する基材に塗布して塗布後に前記機能膜溶液の前記溶媒を蒸発させて機能膜を形成する機能膜の形成方法であって、前記基材上には隔壁で囲まれた複数の塗布領域が一定間隔で形成されており、前記基材は基材載置テーブル上に載置され、前記ノズルと前記基材載置テーブルとの間または前記ノズルと前記基材との間に電界印加手段によって電界が印加され、前記塗布領域内に前記機能膜溶液を塗布することを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００１５】
また、より好ましくは前記ノズルの吐出孔周辺に凸部を設け、前記凸部の外周のエッジ部での堰き止め効果により前記機能膜溶液を保持しながら前記塗布領域内に前記機能膜溶液を塗布することを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００１６】
また、より好ましくは前記凸部の立上がり面とノズル面との成す角度が８０ｄｅｇから１００ｄｅｇであることを特徴とする機能膜の製造方法。
【００１７】
また、より好ましくは前記ノズルの表面が、前記機能膜溶液に対して接触角が５０ｄｅｇ以上であることを特徴とする機能膜の製造方法。
【００１８】
また、より好ましくは前記ノズルの孔の直径が前記塗布領域の溝幅の０．７倍から１．０倍の範囲のノズルを用いることを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００１９】
また、より好ましくは前記ノズルの吐出孔周辺の凸部の塗布方向と直交する方向の幅が前記塗布領域の前記一定間隔の１．５倍から２．５倍の範囲のものであることを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００２０】
また、より好ましくは前記機能膜溶液として粘度が５０ｍＰａ・ｓｅｃから２００ｍＰａ・ｓｅｃの範囲の機能膜溶液を用いることを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００２１】
また、より好ましくは前記凸部の立上がり面とノズル面との成すエッジ部分の丸みが半径１０ミクロン以下であることを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００２２】
更に、好ましくは前記凸部の立上がり面とノズル面との成すエッジ部分の丸みが半径２ミクロン以下であることを特徴とする機能膜の製造方法を提供するものである。
【００２３】
また本発明は、基材上に、機能膜の成分を溶媒に溶かした機能膜溶液を塗布して機能膜を形成する装置であって、前記基材を載置する基材載置テーブルと、前記基材上方に間隙をあけて配置された前記機能膜溶液を吐出する前記ノズルを少なくとも１つ有するディスペンサーと、前記ノズルと前記基材載置テーブルを相対的に移動させる駆動手段と、前記ノズルと前記基材の間または前記ノズルと前記基材載置テーブルの間に電界を印可する電界印加手段と、前記駆動手段と前記ディスペンサーと前記電界印加手段のタイミングを制御する制御手段を備えたことを特徴とする機能膜の製造装置を提供するものである。
【００２４】
また本発明は、基材上に、機能膜の成分を溶媒に溶かした機能膜溶液を塗布して機能膜を形成する装置であって、前記基材がフィルムであり、前記基材をロールｔｏロールで搬送する基材搬送機構を備え、前記基材上方に間隙をあけて配置された前記機能膜溶液を吐出する前記ノズルを少なくとも１つ有するディスペンサーと、前記基材を挟んで前記ノズルと反対側に配置された基材押圧ロールと、前記ノズルと前記基材の間または前記ノズルと前記基材押圧ロールの間に電界を印可する電界印加手段を備えるとともに、前記基材搬送機構と前記ディスペンサーと前記電界印可手段のタイミングを制御する制御手段を備えたことを特徴とする機能膜の製造装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明によれば、ノズル先端と基材との間隙を遠ざけても連続塗布ができ、かつ、偏肉がある基材に対しても複数のノズルを設けたディスペンサーを用いて基材全面にわたって均質な塗布ができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態１を示す図
【図２】本発明の実施の形態１の図１のＦ方向から見た図
【図３】本発明の実施の形態１の図１のＪ方向から見た図
【図４】本発明の実施の形態１の図２のＢ部の拡大図
【図５】本発明の実施の形態１の図２のＡ−Ａ方向矢視図
【図６】本発明の実施の形態１の図５のＣ部の拡大図
【図７】本発明の実施の形態１のノズル形状の変形版を示す図
【図８】本発明の実施の形態２を示す図
【図９】本発明の実施の形態２の図８のＪ方向から見た図
【図１０】本発明の実施の形態３を示す図
【図１１】本実施例の有機ＥＬディスプレイの構造を示す図
【図１２】本実施例の有機ＥＬディスプレイの隔壁を示す図
【図１３】本実施例の有機ＥＬディスプレイの発光層の形成段階を示す図
【図１４】ノズルの側壁への濡れ上がりを説明する図
【図１５】ノズルの最適な内径を説明するための図
【図１６】ノズルの最適な外径を説明するための図
【図１７】従来の有機ＥＬディスプレイの発光層の塗布方法を示す図
【図１８】従来の有機ＥＬディスプレイの発光層の塗布方法の図１７のＪ方向から見た図
【図１９】従来の有機ＥＬディスプレイの発光層の塗布方法における課題を説明するための図
【図２０】従来の塗布方式で偏肉のある基材に対して複数のノズルを設けたディスペンサーで塗布する場合の課題を説明するための図
【図２１】従来の塗布方式で偏肉のある基材に対して複数のノズルを設けたディスペンサーで塗布する場合の課題を説明するための図２０のＪ方向から見た図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２８】
本実施例では機能膜溶液として、有機発光材料を溶剤に溶解した有機発光材料インクを用いて有機ＥＬディスプレイの発光層を形成する取組みを行った。
【００２９】
まず、本実施例で作成した有機ＥＬディスプレイの構造について説明する。
【００３０】
図１１は本実施例で作成した有機ＥＬディスプレイの構造を示す図である。図１１（ａ）は平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００３１】
図１１において、１は基材、２は基材１の上に形成した第１電極である。本実施例では基材１には厚さ１００ミクロンのポリエチレンナフタレートのシートを用い、第１電極２の材料としては、ＩＴＯを用いてフォトリソグラフィー法によってパターニングした。３は第１電極２の上に形成した隔壁、１１は引き込み用凸部、４は隔壁３により形作られた溝部に形成した赤色（Ｒ）有機発光層、５は緑色（Ｇ）有機発光層、６は青色（Ｂ）有機発光層で発光層の厚さは６０ナノメートル程度とした。
【００３２】
隔壁３の材料としては、パターニング後に有機発光材料インクに対して撥液性を発現し、接触角が５０ｄｅｇ以上となるようにフッ素を含有させた感光性樹脂材料を用いてフォトリソグラフィー法によってパターニングした。引き込み用凸部１１についても隔壁３と同じ材料のものを用いて同様の方法で形成した。７は有機発光層４、５、６の上に形成された第２電極である。第２電極の材料としてはＡｌを用い、マスク越しの真空蒸着法によってパターニングした。
【００３３】
次に、前述のように構成される有機ＥＬディスプレイの有機発光層の形成手順を図１２、図１３を用いて説明する。図１２は、本実施例における有機ＥＬディスプレイの隔壁の配置を示す図、図１３は発光層の形成手順を示す図である。
【００３４】
本実施例では、図１２に示すように、基材１の上に隔壁３を形成した。隔壁の幅は４０ミクロン、隔壁間の溝幅を６０ミクロン、隔壁の高さは１ミクロンとした。引き込み用凸部の高さも隔壁と同じ１ミクロンとした。
【００３５】
この隔壁間の溝へ赤色（Ｒ）有機発光材料インクを塗布して乾燥させて、図１３（ａ）の赤色（Ｒ）有機発光層４を形成し、その後、緑色（Ｇ）有機発光材料インクを塗布して乾燥させて、図１３（ｂ）の緑色（Ｇ）有機発光層５を形成し、その後、青色（Ｂ）有機発光材料インクを塗布して乾燥させて、図１３（ｃ）の青色（Ｂ）有機発光層６を形成した。
【００３６】
（実施の形態１）
次に、本発明の実施の形態を、図１〜４を参照して説明する。
【００３７】
なお、図１は本発明の実施の形態１を示す図、図２は図１のＦ方向から見た図、図３は図１のＪ方向から見た図、図４は図２のＢ部の拡大図である。
【００３８】
図１において、１は基材、３は基材１の上に形成されたストライプ状の隔壁でありその間の溝部が塗布領域となる。２０は基材１を載置する基材載置テーブル、２４は基材１の上方に不図示の駆動手段により一定の間隙を開けた状態で塗布領域に沿って移動可能に構成されたディスペンサーである。
【００３９】
ディスペンサー２４は、下端部のノズル２２と、その上部に連結されたマニホールド２１と、マニホールド２１の上部に接続された配管２３および配管２３内に気体を供給する不図示の気体供給装置で構成されている。本実施の形態では気体供給装置として、電気信号の入力によって設定圧力を調整できる電空レギュレータを用いた。１４はディスペンサーから吐出される有機発光材料インクであり、４１はノズル２２と基材載置テーブル２０の間に接続された電界印加手段である。
【００４０】
次に、前述のように構成された本実施の形態の塗布装置の動作について説明する。
【００４１】
まず、ストライプ状の隔壁３を形成した基材１を、基材載置テーブル２０上で吸着固定する。次にディスペンサーのノズルを、隔壁３で囲まれた溝状の塗布領域の先頭の上方へ位置決めする。この状態で気体供給装置から配管へ気体を供給し、ノズル先端より有機発光材料インクを吐出して吐出した有機発光材料インクの先端を塗布領域の先端へと付着させる。その後、この状態で電界印加手段によって、ノズルと基材載置テーブル間に電界を印加し、更に配管へ気体を供給しながら不図示の駆動手段によりディスペンサーを塗布領域の終端方法へ向けて加速する。その後、一定速度で移動させて塗布領域へ有機発光材料インクを塗布した。
【００４２】
このディスペンサーの加速領域においては、その速度に応じて気体供給装置の設定圧力を変化させることで加速領域においても塗布量が一定量になるように調節した。その後、ノズルが塗布領域の終端部の上方に到達した時点で、配管への気体の供給及び電界の印加を停止し、ディスペンサーを減速させて停止して塗布を終了した。塗布中は図２に示すように有機発光材料インクがノズル突き出し部のエッジ部分で堰き止められてビードを形成し、更にその状態で電界を印加することによってノズル先端と基材上面との間隙が広くてもビードが電気的に引き付けられることにより分断されずに保持されて安定した連続線を塗布することができる。
【００４３】
本実施の形態では、隔壁として撥液性の隔壁を使用し、隔壁により囲まれる溝幅６０ミクロン、塗布領域の間隔１００ミクロンの基材に対して塗布を行った。ノズルについては、突き出し部の立ち上がり角度、表面の接触角、内径、外径、突き出し量について種々の条件を試みた結果、突き出し部の立ち上がり角度は８０ｄｅｇから１１０ｄｅｇ、接触角は５０ｄｅｇ以上が好ましく、更に内径は塗布領域の溝幅に対して０．７倍から１．０倍程度、外径は塗布領域の間隔の１．５倍から２．５倍程度が好ましいことを見出した。
【００４４】
この範囲の内径と外径が好ましくなる理由を、図５、図６、図１５、図１６を用いて以下に説明する。
【００４５】
図５は、図２のＡ−Ａ矢視図、図６は、図５のＣ部の拡大図、図１５は内径が大き過ぎる場合、及び、小さ過ぎる場合のＣ部の拡大図、図１６は外径が大き過ぎる場合、及び、小さ過ぎる場合のＣ部の拡大図である。これらの図で幅Ｗｂの点線は塗布領域の幅を示しており、幅Ｐの点線は塗布領域の間隔を示している。
【００４６】
図６に示すように、ノズル面において有機発光材料インクが塗布の上流側へ引き伸ばされて外径のエッジで堰き止められてビードが形成される。ビードの幅はノズル内径φｄに対して幅Ｗまで広がった形となる。このため図１５（ａ）のように、ノズル内径が塗布領域の溝幅Ｗｂより大きくなるとビードの幅は更に広くなり塗布領域の間隔Ｐを超えて隣接する塗布領域の溝部または隔壁上へはみ出してしまう。
【００４７】
また、ノズル内径φｄが小さ過ぎると、図１５（ｂ）のようにノズル穴とビードの間のインクの繋がりが細くなって千切れやすくなり安定した連続線を塗布することが困難となる。一方でノズル外径が大き過ぎると、図１６（ａ）のようにビードが大きくなり過ぎて塗布領域の間隔Ｐを超えて隣接する塗布領域の溝部、又は、隔壁上へはみ出してしまう。逆にノズル外径が小さ過ぎると、図１６（ｂ）のようにビードとノズル面との接触面積が小さくなってビードが千切れやすくなり安定した連続線を塗布することが困難となる。
【００４８】
また、ノズル突き出し部の立ち上がり角度については、８０ｄｅｇより小さくなると図１４のようにエッジ部分での堰き止め効果が弱くなりノズル側面にインクが濡れ広がってインクの溜りが生じる。そのインク溜りが成長しては脱落し、成長しては脱落して塗布中の連続線の途中に周期的なはみ出しが発生してしまう。同様に、エッジ部の丸みが大きくなると、堰き止め効果が弱くなってはみ出しが発生しやすくなるため、エッジ部の丸みについては半径１０ミクロン以下、更には半径２ミクロン以下にするのが好ましいことが分かった。
【００４９】
また、使用する有機発光材料インクについて、その粘度を数十ｍＰａ・ｓｅｃから数百ｍＰａ・ｓｅｃの範囲で塗布テストをしてみた結果、５０ｍＰａ・ｓｅｃから２００ｍＰａ・ｓｅｃが好ましく、更に１００ｍＰａ・ｓｅｃ程度が最も良好に塗布できることが分かった。
【００５０】
本実施の形態では、最終的に内径５０ミクロン、外形２５０ミクロン、突き出し量１５０ミクロン、立ち上がりの角度９０ｄｅｇ、接触角６０ｄｅｇのノズルを用い、インク粘度１１０ｍＰａ・ｓｅｃ、電界印加手段の設定電圧を２．０ｋＶに設定した。その結果、ノズル先端と基材上面との間隔を１００ミクロン離した状態で塗布領域の溝部からはみ出すこと無く有機発光材料インクを連続的に塗布することを確認した。この塗布動作を基材全面にわたって繰り返した後にインクを乾燥させて１色目の発光層を形成し、次の色の有機発光材料インクを同様に塗布して乾燥し、更に繰り返して三色の発光層を形成した。
【００５１】
なお、本実施の形態では、ノズルの外形が円形のものを用いたが、図７に示すように、塗布領域の間隔Ｐの方向と同様の方向の外形の幅ＤがＰの１．５倍から２．５倍程であれば、外形が楕円であっても長方形であっても構わない。また、本実施の形態では、ディスペンサーとして気体を介して押し出すタイプのものを用いたが、ピストン等で直接インクを押し出すタイプのものを用いても構わない。
【００５２】
また、本実施の形態では、気体供給装置として、電気信号の入力によって設定圧力を調整できる電空レギュレータを用いたものを使用したが、電気信号によってバルブの開度を調節する方式のものを用いても構わない。また、本実施の形態では、ディスペンサーを停止した状態でインクを吐出してビードを形成した後、電界を印加してディスペンサーを移動させ始める方式としたが、塗布領域に差し掛かる手前でディスペンサーを加速しておいて塗布領域に入った後で、インクの吐出と電界の印加を行っても構わない。
【００５３】
更に、本実施の形態では、ディスペンサーを移動させて塗布したが、基材側を移動させて塗布しても構わない。
【００５４】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２について図８及び図９を参照して説明する。なお、図８は本発明の実施の形態２を示す図、図９は図８のＪ方向から見た図である。
【００５５】
図８において、６２は多穴ノズル、６１は多穴ノズル６２の上部に連結されて全ノズルに均一にインクを供給するための多穴ノズル用マニホールドであり、多穴ノズル用マニホールドの上部に接続された配管６３と不図示の定圧気体供給装置と合せて多穴ディスペンサー６５を構成している。
【００５６】
基材１は偏肉のある基材であり、ノズル先端と基材上面との間隙は、図９に示すようにノズルの場所によって異なっていた。このような多穴ディスペンサーを用いた場合においても、ノズルと基材載置テーブル間に電界印加手段により電界を印加することによって、ノズル先端と基材上面との間隔を離しても連続線を塗布出来るため、偏肉のある機材に対しても基材全面にわたって安定した連続線を塗布できた。
【００５７】
本実施の形態では、１２８０本のノズルを用いて偏肉３０ミクロンの機材に対して、ノズル先端と基材上面との最小間隙を４０ミクロンに調整することで１２８０本全ノズルで安定した連続線の塗布を実現した。
【００５８】
（実施の形態３）
次に、実施の形態３を、図１０を参照しながら説明する。なお、図１０は本発明の実施の形態３の塗布装置を示す図である。
【００５９】
図１０において、１はロールに巻かれ偏肉のある長尺シートの基材、３は基材１上に基材の長手方向に平行に形成されたストライプ状の隔壁、４８は隔壁３の間の溝の上方に複数のノズルを配置されたマルチノズルディスペンサーヘッドである。また、４７は基材１の下面と４８のマルチノズルディスペンサーヘッドのノズル先端が均一な間隙になるように配置された基材押圧ロール、４１は４８のマルチノズルディスペンサーヘッドのノズルと４７の基材押圧ロールとの間に電界を印加するための電界印加手段、４５は基材搬送用ロール１、４６は基材搬送用ロール２であり不図示の駆動手段によって長尺シートの基材１を搬送できるようになっている。
【００６０】
更に、マルチノズルディスペンサーヘッド４８に接続されて気体を供給する不図示の気体供給手段と、前記駆動手段と前記電界印加手段と前記気体供給手段のタイミングを制御する不図示の制御手段とを備えている。次に、前述のように構成された本実施の形態の塗布装置の動作について説明する。
【００６１】
長尺シートの基材１は、搬送ロール１および２によって一定速度で連続搬送され、基材押圧ロールによって押圧されて基材の下面とマルチノズルディスペンサーヘッドのノズル先端とが一定の間隙になるように搬送される。一方、基材の上方に間隙を開けて配置されたマルチノズルディスペンサーは、ノズル先端が基材１の隔壁の始端の塗布領域上部に差し掛かると、不図示の気体供給装置より気体を供給されると共に、電界印加手段によってノズルと基材押圧ロールの間に電界が印加され、ノズルから有機発光材料インクを吐出して基材上に塗布を開始する。その後、インクを連続的に吐出して隔壁の終端がノズルの下方に到達した時点で、不図示の気体供給装置からの気体の供給を停止すると共に、電界印加手段による電界の印加を停止してノズルからのインクの吐出を終了する。
【００６２】
以上の動作を繰り返して、偏肉のある長尺シート上に形成された複数の隔壁ブロックに対して塗布を行こない、隔壁の溝内へ精度良く塗布することが出来た。
【００６３】
なお、本実施の形態において、有機発光層４、５、６を第１電極２の上に形成する場合について示したが、図１１（ｃ）のように第１電極２の上に正孔輸送層９、中間層１０をスピンコート法などで積層し、その上に隔壁３を形成した後、有機発光層４、５、６を形成しても良い。また、本実施の形態において、ノズルと基材載置テーブルの間に電界を印加したが、ノズルと基材との間に電界を印加しても同様の効果が得られる。
【００６４】
また、本実施の形態において、基材をポリエチレンナフタレートのシートとしたがこれに限定するものではなく、例えばガラス基板であっても構わない。更に、本実施の形態において、パッシブマトリクス型のディスプレイを示したが、アクティブマトリクス型のディスプレイにも実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明の有機ＥＬディスプレイの製造方法および装置は、画素ピッチが微細な有機ＥＬディスプレイの発光層を形成できるだけでなく、隔壁の溝内に中間層等を形成する場合においても適用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１    基材
３    隔壁
１４  有機発光材料インク
２０  基材載置テーブル
２１  マニホールド
２２  ノズル
２３  配管
２４  ディスペンサー
４１  電界印加手段
４２  隔壁形成基材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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