(57)【要約】【課題】この発明は、ＰＤＰの電極構造に関し、複数の維持電極を共通接続する共通電極の端部の形状を工夫することにより、電極パターンの上に形成されたレジストの剥離にかかる時間を短縮することを課題とする。【解決手段】プラズマディスプレイパネルを構成する基板に形成される電極の構造であって、前記基板上に、複数本の維持電極と複数本の走査電極とが同一方向にかつ交互に配置され、前記複数本の維持電極は、基板端部に配置された共通電極に接続され、前記共通電極は、一方向に細長い形状で、その長手方向のどちらか一方または両方の端部が先鋭形状であることを特徴とする。【選択図】図１
2010021009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルを構成する基板に形成される電極の構造であって、
前記基板上に、複数本の維持電極と複数本の走査電極とが同一方向にかつ交互に配置され、
前記複数本の維持電極は、基板端部に配置された共通電極に接続され、
前記共通電極は、一方向に細長い形状で、その長手方向のどちらか一方または両方の端部が先鋭形状であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【請求項２】
前記共通電極の端部のうち一方または両方の端部が、前記共通電極の形成時に、共通電極となるべき電極材料の領域の上に形成された感光剤を剥離するための起点を容易に形成することのできる形状であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【請求項３】
前記共通電極の端部のうち一方または両方の端部が、くし形パターン，くさび形パターン，槍型パターン，および凹凸形パターンのうちいずれかのパターンであることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【請求項４】
前記共通電極の端部のうち一方または両方の端部の先端部分が、鋭角的に細線化された形状となっていることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【請求項５】
前記共通電極の電極幅は、前記維持電極および走査電極の線幅よりも太いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【請求項６】
前記共通電極は、１つの電極パターンであることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【請求項７】
前記共通電極は複数個の分離された電極パターンからなり、各電極パターンの一方または両方の端部が先鋭形状であり、前記複数本の維持電極が、所定数の維持電極ごとに、前記電極パターンのいずれかに接続されていることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの電極構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマディスプレイパネルの電極構造に関し、特にプラズマディスプレイパネルの前面基板に形成される維持電極の端部の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在市販されているプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと呼ぶ）には種々の形式のパネルが存在するが、たとえば、３電極構造の面放電型パネルがある。
この面放電型パネルは、表示ラインを構成する走査電極と維持電極とを備えた前面基板と、それら電極と交差する方向のアドレス電極と隔壁と蛍光体とを備えた背面基板とから構成される。
【０００３】
前面基板には、ガラス基板上に同一方向に細長い形状の複数本の走査電極（データ電極とも呼ばれている）と維持電極とが交互に配置される。隣接する１対の走査電極と維持電極とで１つの表示ラインが構成され、背面基板のアドレス電極との交差部に１つの放電セルが構成される（特許文献１参照）。
走査及び維持電極は、透明電極と、透明電極の上に形成された３層構造（Ｃｒ，Ｃｕ，Ｃｒ）の金属電極（バス電極とも呼ばれている）とからなる。走査電極（Ｙ電極）を構成する金属電極の一方の端部は、パネルの一方の端面に導出され電極ごとに別々の端子部を介してパネル外部の走査電極用駆動回路と接続される。一方、維持電極（Ｘ電極）を構成する金属電極の他方の端部は、パネルの他方の端面に導出され、かつその端面に配置された１つの共通電極に共通接続されて、パネル外部の維持電極用駆動回路と接続される。
【０００４】
共通電極は、維持電極の長手方向に対して垂直な方向に細長く、比較的線幅の太い長方形状パターンの電極である。図２（ｃ）に、従来の共通電極のパターンを示す。
共通電極は、回路の削減を目的に設けられたものであるが、Ｘ電極のインピーダンスを低減して発熱を抑制するために走査電極や維持電極に比べて線幅を太くする必要がある。
たとえば、表示領域の表示電極の線幅が５０〜１００μｍ程度であるのに対し、共通電極は２０〜３０ｍｍ程度に太くする必要があった。
【特許文献１】特開２００７−２０７７４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記した従来のような共通電極を備えた前面基板の電極形成工程において、電極パターンのエッチング工程の後、共通電極の上に残っているレジスト（感光剤）を剥離するのに時間がかかり、前面基板の生産効率が悪いという問題点があった。
一般に前面基板に形成する走査及び維持電極の製造工程は、金属電極を例にとると電極材料のスパッタリングによる金属膜の積層工程，金属膜の上へのレジストの塗布工程，表示電極パターンを有する露光マスクを用いた露光工程，電極パターンとなる部分のレジストを残す現像工程，電極パターンとなる金属膜のエッチング工程，エッチングで残った金属膜の上にあるレジストを剥離する工程とからなる。
【０００６】
この工程のうち、最後のレジストの剥離工程は、たとえば水酸化ナトリウムの剥離溶液に、レジストが形成された前面基板を浸すことにより実施される。線幅が比較的細い走査及び維持電極の部分のレジストは、剥がれやすく短時間（たとえば、６０秒程度）で除去することができる。
しかし、線幅の太い共通電極の上に形成されたレジストは、はがれにくく、剥離工程にかける時間が短いと共通電極の上に一部分のレジストが残り、不良となる可能性があった。この共通電極の部分は表示に寄与する部分ではないが、レジストが残ったまま次の製造工程に進むと異物として不良の要因になるので、この共通電極上のレジストもすべて除去する必要がある。
この共通電極上のレジストを完全に除去するためには、さらに長い時間（たとえば、３００秒以上）をかける必要があり、前面基板の生産効率が悪かった。
【０００７】
また、ＰＤＰの製造現場では、画面の大型化に伴い、製造時間の短縮および製造コストの低減等のために、前面基板の生産効率の向上が望まれており、特に、電極形成工程において、共通電極上にレジストが残ることを防止し、レジストの剥離工程にかける時間を短縮することが望まれていた。
【０００８】
そこで、この発明は、以上のような事情を考慮してなされたものであり、ＰＤＰの電極形成時におけるレジストの剥離工程にかける時間を、従来よりも短縮することが可能なＰＤＰの電極構造、特にＰＤＰの複数の維持電極が共通に接続された共通電極の端部の構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、プラズマディスプレイパネルを構成する基板に形成される電極の構造であって、前記基板上に、複数本の維持電極と複数本の走査電極とが同一方向にかつ交互に配置され、前記複数本の維持電極は、基板端部に配置された共通電極に接続され、前記共通電極は、一方向に細長い形状で、その長手方向のどちらか一方または両方の端部が先鋭形状であることを特徴とする。
【００１０】
また、前記共通電極の端部のうち一方または両方の端部は、前記共通電極の形成時に、共通電極となるべき電極材料の領域の上に形成された感光剤を剥離するための起点を容易に形成することのできる形状であることを特徴とする。
さらに、前記共通電極の端部のうち一方または両方の端部は、くし形パターン，くさび形パターン，槍型パターン，および凹凸形パターンのうちいずれかのパターンであることを特徴とする。
あるいは、前記共通電極の端部のうち一方または両方の端部の先端部分は、鋭角的に細線化された形状となっていることを特徴とする。
【００１１】
この発明において、前記共通電極の電極幅は、前記維持電極および走査電極の線幅よりも太いことを特徴とする。
また、前記共通電極は、１つの電極パターンであることを特徴とする。
あるいは、前記共通電極は、複数個の分離された電極パターンからなり、各電極パターンの一方または両方の端部が先鋭形状であり、前記複数本の維持電極が所定数の維持電極ごとに、前記電極パターンのいずれかに接続されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、共通電極の端部の形状を先鋭形状としているので、基板上に共通電極を形成するときにその共通電極の上に形成される感光剤を剥離する時間を、従来よりも短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図に示す実施例に基づいて本発明を詳述する。なお、本発明はこれによって限定されるものではない。
＜ＰＤＰの前面基板の電極構造＞
図1に、この発明を適用したＰＤＰの前面基板の電極構造の一実施例の概略平面図を示す。
図１に示すように、前面基板１には、複数本の維持電極（Ｘ電極）１１と、複数本の走査電極（Ｙ電極）１２とが形成される。前面基板の表示に寄与する領域（表示領域）では、両電極とも２つに枝分かれしたパターンの分離電極であり、隣接するＸ電極１１とＹ電極１２とで、１つの表示ラインを構成する。Ｘ電極とＹ電極とは、どちらも同一方向に細長い形状で、線幅（電極幅）が５０〜１００μｍ程度の電極であり、交互に配置される。なお、図１ではＸ電極及びＹ電極ともに、表示領域内において形成される透明電極を省略し、金属電極だけを示している。因みにＸ電極及びＹ電極を金属電極だけで形成することも可能である。
【００１４】
図１において、前面基板１の表示に寄与しない左側の端部領域で、２つに枝分かれしたＹ電極１２は１本のＹ電極引出パターン１４にまとめられ、さらに数本のＹ電極引出パターン１４がＹ端子部２１に集められる。Ｙ端子部２１では、電極ごとに別々の端子が設けられ、Ｙ電極引出部（フレキシブルケーブル）２２を介して、Ｙ電極１２はパネル外部のＹ電極用駆動回路（図示せず）に接続される。
【００１５】
また、前面基板１の表示に寄与しない領域（非表示領域）であって図１では右側の基板端部領域に、共通電極１３が配置され、２つに枝分かれしたＸ電極１１が１つにまとめられて、共通電極１３に接続される。
共通電極１３は、数本の引出パターンを介してＸ端子部２３に接続され、さらに、Ｘ端子部２３がＸ電極引出部（フレキシブルケーブル）２４に接続され、このＸ電極引出部を介してＸ電極１１はパネル外部のＸ電極用駆動回路（図示せず）に接続される。
【００１６】
図１では、共通電極１３は、１つの電極パターンからなるものを示している。
共通電極１３は、Ｘ電極およびＹ電極の長手方向に対して垂直な方向に細長い形状であり、Ｘ電極やＹ電極の線幅よりも太い線幅を持つ電極である。共通電極１３は、たとえば、前記したようにＸ電極やＹ電極の線幅が５０〜１００μｍであるのに対し、その約５００倍の２０〜３０ｍｍ程度の線幅で形成される。共通電極１３は、細長い形状であるので、その長手方向の両端に、それぞれ端部１０を有する。
端部１０とは、Ｘ端子部２３から表示領域にあるＸ電極に対して流れる電流に影響をほとんど与えない部分であり、たとえば、共通電極１３の先端部分から５ｍｍ程度の領域をいう。
【００１７】
この発明では、図１に示すように、共通電極１３の端部１０の形状を、先鋭形状とする。
共通電極１３は、全体として帯状に長い長方形状のパターンであるが、その長手方向の端部１０の部分の形状が、従来の図２（ｃ）のように長方形の一辺を形成するような直線状ではなく、凹凸を有するパターンとして形成される。
この凹凸を有するパターンを、先鋭形状パターンとも呼ぶ。
【００１８】
共通電極１３の先鋭形状パターンを持つ端部１０は図１に示すように２つあるが、どちらか一方の端部１０のみを凹凸を有するパターンとしてもよい。
この凹凸を有するパターンとしては種々の形状のものが考えられるが、図１では、１つの例として線幅が比較的細い線状パターンを一定間隔で配置した「くし形パターン」を示している。
ＰＤＰの前面基板において、Ｘ電極１１，Ｙ電極１２および共通電極１３は、基板上に電極となるべき電極材料を積層して、所定の電極パターンを形成するために、電極材料層の上に感光剤（レジスト）を塗布した後、露光および現像をする。この現像によって、露光の際に感光しなかったレジストの部分が除去され、電極パターンとなるべき電極材料の領域の上にのみ、レジストが残る。
すなわち、図１に示したＸ電極１１，Ｙ電極１２，および共通電極１３となるべき電極材料の領域の上に形成されたレジストが残る。レジストは共通電極の端部１０の凹凸を有するパターンの上にも残っている。
【００１９】
この残ったレジストを用いて、次工程で、電極パターンそのもののエッチングが行われ、最後に、共通電極等の電極パターンそのものの上に残ったレジストの剥離が行われる。
凹凸を有するパターンは、共通電極１３の上に残ったレジストを剥離しやすくするためのパターンであり、共通電極１３の端部１０に、レジストを剥離するための起点を容易に形成することが可能なパターンである。
【００２０】
一般に、電極パターン上のレジストを剥離する場合、線幅の細いパターンよりも線幅の太いパターンの方が剥がしにくいことが経験により知られており、レジストの剥離時間を短縮する観点からは、共通電極１３の線幅は細い方が好ましい。しかし上記したように、Ｘ電極のインピーダンスを低減して発熱を抑制するために共通電極１３は太く形成することが必要である。
【００２１】
また、レジストを剥離する場合、電極パターンの線幅が太くても、剥離の起点ができ、レジストの一部分が剥がれ出すと、それに伴って、他の部分のレジストも容易に剥がれていく傾向がある。
特に、レジストを剥離する溶液を、前面基板上であって、共通電極の長手方向に従って、一方向に流すようにすれば、共通電極１３の端部１０に剥離の起点ができ、線幅の太い中央の本体部分のレジストも容易にはがれる。
したがって、共通電極１３は、全体としては線幅の太いパターンであって、共通電極１３の端部１０に容易に剥離の起点を形成できるような形状とすることが望ましい。
【００２２】
そこで、この発明では、レジストの剥離時間を短くするために、共通電極１３の端部１０の電極構造を、レジストが剥がれやすいように工夫したものである。
上記したように、共通電極の端部１０にレジストの剥離の起点ができれば、他の部分のレジストの剥離は容易に進行していくので、端部１０の形状を比較的レジストを剥離しやすい凹凸を有するパターンとする。
剥離の起点を容易に作る形状としては、図１に示したような線幅を細くしたくし形の細線状パターンや、先端部分を鋭角的にとがった形状とした先鋭形状パターンが考えられる。
【００２３】
図２に、この発明の共通電極の端部の形状パターンの一実施例を示す。ここで、図２（ａ）と（ｂ）が、この発明の端部の形状パターンの一実施例であり、図２（ｃ）が従来用いられていた共通電極の端部の形状パターンを示したものである。
図２（ａ）は、図１にも示したくし形パターンの端部１０を示したものである。このくし形パターンの端部１０は、共通電極１３の本体部分の電極幅よりもかなり細い線幅を持つ複数の線状パターンから形成されている。
【００２４】
図２（ｂ）は、端部１０を、局所的には鋭角三角形のパターンを多数備えたくさび形状にしたものを示している。
図２（ｃ）の従来の端部の先端部分は、直線状で、凹凸がない。
図２（ａ）および（ｂ）は、端部１０の先端部分が細い線状か細くとがった形状となっているので、この先端部分にレジストの剥離の起点が形成されやすく、図２（ｃ）に示した従来の端部１０よりも、早い時点で剥離の起点が形成され、その結果、共通電極全体としてもレジストの剥離の速度は速くなる。
【００２５】
図３に、図２（ａ）に示したくし形パターンの具体例の説明図を示す。
図３（ａ）は、図２（ａ）と同一の図であり、図３（ｂ）は、端部１０のくし形パターン部分を一部拡大した図であり、図３（ｃ）は、くし形パターンの寸法例を説明するための図である。
くし形パターンは、図３（ｂ）に示すように、一定線幅の線状パターン１５を一定間隔で配列したものである。たとえば、図３（ｃ）に示すように、１つの線状パターン１５の線幅Ｗを１００μｍとし、その長さＬを５ｍｍとする。
【００２６】
また、隣接する線状パターン１５のピッチＰを５００μｍとして、共通電極１３の本体部分の電極幅Ｗｈに相当する本数分だけ、線状パターン１５を配列する。
このようなくし形パターンの場合、各線状パターン１５の先端部分にレジストの剥離の起点ができると考えられる。
剥離の起点ができると、線状パターンの長さ方向（すなわち図面の上から下方向）にレジストの剥離が進行し、線状パターン部分の剥離がさらに共通電極１３の本体部分にも進行する。
図３（ｃ）のくし形パターンの線幅等は一例であり、これに限るものではない。たとえば、線状パターンごとに線幅や長さを変化させてもよいし、ピッチＰも変化させてもよい。
【００２７】
図４に、共通電極の各種端部形状について測定したレジストの剥離時間の実測値を示す。
図４には、図２に示した３つの端部形状（ａ，ｂ，ｃ）についてのレジストの剥離時間を示している。ここで、剥離時間は、レジストを除去するための剥離溶液を流し始めてから、共通電極の上のレジストがすべて完全に剥離されるまでの時間である。
また、５ｍｍ，１０ｍｍ，１５ｍｍ，および２０ｍｍの４通りの共通電極の電極幅（Ｗｈ）について、剥離時間を測定した。
【００２８】
これによれば、図２（ｃ）の従来の端部パターンのものでは、レジストの剥離に、３００秒から３６０秒かかっているのに対し、図２（ａ）および（ｂ）のこの発明の端部パターンのものでは、どちらも２１０秒から３００秒程度の時間で終了しており、レジストの剥離にかかる時間を１５％〜３０％程度短縮することができた。
すなわち、この発明において、共通電極の端部形状を図２（ａ）あるいは図２（ｂ）のようなパターンとすることにより、レジストの剥離の起点を容易に形成することができ、共通電極上のレジストの剥離時間を短縮することができる。よって、レジストの剥離工程にかける時間を短縮できるので、前面基板の生産効率の向上を図ることができる。
【００２９】
＜端部のパターン形状の変形例＞
図５に、共通電極の端部のその他のパターン形状を示す。
図２にこの発明の共通電極の端部１０のパターン形状の２つの例を示したが、これに限るものではない。前記したように、端部１０に、レジストの剥離の起点が形成されやすい形状パターンであればよく、たとえば図５に示すように、端部の先端部分が、鋭角的に細線化された形状パターンでもよい。
【００３０】
図５（ａ）は、くさび形パターンの先端部分に凹凸を付けた凹凸形パターンである。
図５（ｂ）は、図５（ａ）の凹凸形パターンの鋭角三角形状パターンを変形した冠形パターンである。
図５（ｃ）は、鋭角三角形状パターンの数を増やした冠形パターンである。
図５（ｄ）は、先端部分を１つの尖った形状にした槍形パターンである。
図５（ｅ）は、図５（ｄ）の槍形パターンを複数個備えた先鋭形パターンである。これらのパターンでも、端部１０の先端部分がとがっているので、この先端部分に、剥離の起点が容易に形成され、共通電極の上のレジストを剥離する時間を短縮できる。
【００３１】
＜前面基板の電極構造の変形例＞
図６に、この発明の前面基板の電極構造の変形例の概略平面図を示す。
図６では、１つの共通電極１３を設け、その端部１０をくし形パターンとしている点は、図１と同様である。ただし、図６において、Ｘ電極１１とＹ電極１２は、２つに分枝した電極ではなく１本ごとに独立し、Ｘ電極とＹ電極とを１本ごとに交互に配置している点と、共通電極１３から右側の端面部分に引き出されるパターンが複数本のパターンで１つのＸ端子部２３にまとめられている点が異なる。
【００３２】
図７に、前面基板の電極構造の他の実施例の概略平面図を示す。
ここでは、共通電極１３の構成が図６と異なる。共通電極１３は、１本の電極パターンではなく、複数個の分離された電極パターンとして形成されている。各共通電極から出た引出パターンはそれぞれ別々のＸ端子部２３へ引き出されている。また、複数本のＸ電極は、所定本数（図７では５本）のＸ電極ごとにまとめられ、共通電極の各電極パターンのいずれかに接続される。
図７では、１つの共通電極１３の両側の端部１０に、くし形パターンを設けたものを示している。
共通電極１３の２つの端部１０の形状は、くし形パターンの他、上記した図２（ｂ）のくさび形パターンや図５に示したいずれかのパターンとしてもよい。
また、共通電極の２つの端部１０にくし形パターンを設けるのではなく、一方の端部１０のみに設けてもよい。
たとえば、レジストを除去する剥離溶液を流す上流側の端部１０のみに、くし形パターンを設けて、下流側の端部１０にはくし形パターンを設けず直線状パターンとしてもよい。
【００３３】
図６および図７のいずれの場合も、共通電極１３の端部１０にレジストの剥離の起点ができ、レジストの剥離がここから徐々に進行し、さらに共通電極を含みＸ電極およびＹ電極の全体の電極パターン上のレジストが、より短時間で剥離される。
【００３４】
＜前面基板の電極の形成工程＞
図８に、この発明の前面基板の電極の形成工程の一実施例の説明図を示す。
前面基板に形成されるＸ電極の金属電極部分，Ｙ電極の金属電極部分，共通電極，および基板端面側への引出し電極パターンも、すべて同じ電極材料で構成され、同時に形成される。
【００３５】
（ａ）金属膜積層工程
まず、ガラス基板５１の上の全面に、電極となる材料の金属膜を、スパッタリングにより形成する。図８（ａ）では、基板上に、ＩＴＯからなる透明電極５２と、その上に３層の金属膜からなる金属電極を形成した状態を示している。
３層の金属膜は、たとえば、透明電極５２の上に形成される第１のＣｒ層５３と、第１のＣｒ層の上に形成されるＣｕ層５４と、Ｃｕ層の上に形成される第２のＣｒ層５５とから構成される。
【００３６】
ここで、金属膜の積層工程の条件は、たとえば、以下のとおりである。
第１のＣｒ層５３形成条件：電力５ＫＷ，温度３００℃，膜厚０．０５μｍ
Ｃｕ層５４形成条件：電力２５ＫＷ，温度３００℃，膜厚３０μｍ
第２のＣｒ層５５形成条件：電力１０ＫＷ，温度３００℃，膜厚０．１μｍ
【００３７】
（ｂ）レジスト塗布工程
上記３層の金属膜が基板の全面に積層された状態において、最上層の第２のＣｒ層５５の上の全面に、レジスト（感光剤）５６を塗布する。
レジストは、従来から用いられているものと同じ、たとえば、ネガレジスト、ポジレジストを用いればよい。
【００３８】
（ｃ）露光工程
レジスト５６の上方に、露光マスク５７を配置し、さらにその上方に配置された光源５９から光５８を照射し、露光マスク５７を透過した光５８によってレジストの所望の領域を感光させる。光が当たった部分が感光したレジスト５６１であり、その他の部分が感光していないレジスト５６０である。
図８（ｃ）では、レジスト５６のうち、感光した部分５６１の下の領域が電極として残る領域であり、感光されていないその他のレジスト部分５６０は次の現像工程で除去される部分である。
【００３９】
露光マスク５７は、図１に示したような電極パターンの透光領域を持つガラス板であり、感光した部分５６１は、Ｘ電極の金属電極部分，Ｙ電極の金属電極部分，共通電極，その他の電極パターンの領域に相当する。
露光工程の条件は、たとえば、以下のとおりである。
露光時間：１０ｓｅｃ；露光量１００ｍｊ／ｍ2
【００４０】
（ｄ）現像工程
上記（ｃ）の状態の前面基板を、炭酸ナトリウムの現像液に浸し、感光されていないレジスト部分５６０を除去する。これにより、電極パターンとなるべき領域の上に、レジスト５６１が残される。
（ｅ）第１エッチング工程（Ｃｒエッチング）
上記（ｄ）の状態の前面基板を、所定のエッチング液に浸し、第２のＣｒ層５５をエッチングする。
ここで、レジスト５６１が形成されていない領域の第２のＣｒ層５５が除去され、レジスト５６１のある直下の第２のＣｒ層の部分５５１のみが残る。
第１エッチング工程の条件としては、たとえば、温度４０℃，処理時間１００ｓｅｃである。
【００４１】
（ｆ）第２エッチング工程（Ｃｕエッチング）
上記（ｅ）の状態の前面基板を、所定のエッチング液に浸し、Ｃｕ層５４をエッチングする。
ここで、レジスト５６１が形成されていない領域のＣｕ層５４が除去され、レジスト５６１のある領域のＣｕ層の部分５４１が残る。
【００４２】
（ｇ）第３エッチング工程（Ｃｒエッチング）
上記（ｆ）の状態の前面基板を、所定のエッチング液に浸し、第１のＣｒ層５３をエッチングする。
ここで、レジスト５６１が形成されていない領域の第１のＣｒ層５３が除去され、レジスト５６１のある領域の第１のＣｒ層の部分５３１が残る。
【００４３】
（ｈ）レジスト剥離工程
上記（ｇ）の状態の前面基板の表面上に、剥離液（たとえば、水酸化ナトリウム）を流し、レジスト５６１のみを除去する。このとき、レジストが剥離しやすいように、前面基板の１つの辺側を持ち上げて傾け、剥離液が流れやすくすることが好ましい。
たとえば、図１の前面基板の上方の辺側を持ち上げて前面基板を少し傾けた状態で、この上方の辺側から、下方へ向けて剥離液を流せばよい。
【００４４】
図１のように、共通電極１３の一方の端部１０のくし形パターンが形成された領域が剥離液を流す上流側となるように、前面基板を傾けることが好ましい。
このように傾ければ、端部１０のくし形パターンの先端部分に剥離液が適当な流速であたるため、この先端部分にレジストの剥離の起点ができやすくなる。
【００４５】
また、剥離液を流す時間は、比較的線幅の太い共通電極１３の部分のレジストが最も剥がれにくいので、この部分のレジストが完全に除去されるのに必要な時間に設定すればよい。
この時間は、共通電極の端部１０を図２（ａ），（ｂ）や図５のようなくし形パターン等の形状とすることで、従来よりも短縮できる。
したがって剥離工程の時間が短縮できるので、利用する剥離液の量も節約でき、製造コストを低くでき、前面基板の生産効率の向上と製造コストの低減を図ることができる。
以上が、この発明の前面基板の電極の形成工程である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】この発明を適用したＰＤＰの前面基板の電極構造の一実施例の概略平面図である。
【図２】この発明の共通電極の端部の形状パターンの一実施例の説明図である。
【図３】この発明のくし形パターンの具体例の説明図である。
【図４】この発明のレジストの剥離時間の実測値を示した図である。
【図５】この発明の共通電極の端部の形状パターンの変形例の説明図である。
【図６】この発明の前面基板の電極構造の変形例の概略平面図である。
【図７】この発明の前面基板の電極構造の変形例の概略平面図である。
【図８】この発明の前面基板の電極形成工程の一実施例の説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  前面基板
１０  端部
１１  維持電極（Ｘ電極）
１２  走査電極（Ｙ電極）
１３  共通電極
１４  Ｙ電極引出パターン
１５  線状パターン
２１  Ｙ端子部
２２  Ｙ電極引出部
２３  Ｘ端子部
２４  Ｘ電極引出部
５１  ガラス基板
５２  透明電極
５３  第１のＣｒ層
５４  Ｃｕ層
５５  第２のＣｒ層
５６  レジスト
５７  露光マスク
５８  光
５９  光源
５３１  第１のＣｒ層
５４１  Ｃｕ層
５５１  第２のＣｒ層
５６０  感光していないレジスト
５６１  感光したレジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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