(57)【要約】【課題】簡単な構成及び製造方法で、運動案内装置の案内部材における振動を抑制できる技術を提供する。【解決手段】直進運動案内装置の軌道レール（１４２）が、軸方向から見て外周部全周を構成するレール外殻部（２）と、レール外殻部（２）の内壁に密接する制震部（３）とからなるようにし、制震部（３）の内部摩擦または、制震部（３）とレール外殻部（２）との接触摩擦によって、レール外殻部（２）に発生した振動エネルギーを消費して軌道レール（１４２）の振動を抑制する。【選択図】図３
2010101453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
運動案内装置における移動体を、多数の転動体を介して往復移動可能に支持することにより、前記移動体の運動のための軌道を形成する運動案内装置の案内部材であって、
軸方向から見た前記案内部材の外周部全周を構成する閉断面構造の中空構造部材と、
前記中空構造部材の内側の中空部に、その外壁面の少なくとも一部が該中空構造部材の内壁に密接するように配置されるとともに前記中空構造部材の振動エネルギーを内部摩擦または該中空構造部材との接触摩擦によって消費する内部部材と、
を有することを特徴とする案内部材。
【請求項２】
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で、両方の部材に冷間引き抜き加工を行うことによってともに変形させ、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部が前記中空構造部材の内壁に密接するように形成されたことを特徴とする請求項１に記載の案内部材。
【請求項３】
前記内部部材の外壁面の略全面が前記中空構造部材の内壁の略全面に密接することを特徴とする請求項１または２に記載の案内部材。
【請求項４】
前記内部部材がさらに閉断面構造を有するとともに、該内部部材の内側の中空部に、外壁面の少なくとも一部が該内部部材の内壁に密接して該内部部材の振動エネルギーを内部摩擦または該内部部材との接触摩擦によって消費する、さらなる内部部材が配置される積層構造を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の案内部材。
【請求項５】
前記内部部材の内壁の略全面に、該内部部材の内側の中空部に配置された前記さらなる内部部材の外壁面の略全面が密接することを特徴とする請求項４に記載の案内部材。
【請求項６】
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で、両方の部材に転造加工を行うことによってともに変形させ、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部が前記中空構造部材の内壁に密接するように形成されたことを特徴とする請求項１に記載の案内部材。
【請求項７】
前記内部部材と前記中空構造部材の線膨張係数を略一致させたことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の案内部材。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の案内部材と、
前記案内部材に沿って移動自在に設けられる移動体と、
前記移動体と前記案内部材の間に介装される多数の転動体と、
を備えた運動案内装置。
【請求項９】
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置する配置工程と、
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で冷間引き抜き加工を行うことによってともに変形させる成形工程と、
を有し、
前記成形工程において、前記管状の部材の外形を前記中空構造部材の外形と略一致させるとともに、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部を前記中空構造部材の内壁に密接させることを特徴とする請求項１に記載の案内部材の製造方法。
【請求項１０】
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置する配置工程と、
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で転造加工を行うことによってともに変形させる成形工程と、
を有し、
前記成形工程において、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部を前記中空構造部材の内壁に密接させることを特徴とする請求項１に記載の案内部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、案内部材に対して、多数の転動体を介して移動体を支持し、該移動体を案内部材に沿って移動自在とした運動案内装置及びその案内部材と、該案内部材の製造方法に関し、特に、案内部材に生じる振動を抑制する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械や組立て機械のテーブル等を精密かつ円滑に案内する手段として、近年は軌道レールに多数の転動体（例えばボール）を介してスライダを取り付けた運動案内装置が広く使用されている。この種の運動案内装置においては、スライダの運動を案内する軌道レールの振動が大きい場合には工作機械の加工精度が低下し、組立て機械における組立て位置精度が低下するなどの不都合が生じるおそれがあった。
【０００３】
また、スライダの停止後における軌道レールの振動の減衰が遅い場合には、例えば組立て機械においては振動の減衰を待ってから組み付け作業に移行する必要が生じ、作業時間の短縮の妨げとなる場合があった。一方、軌道レールには高い剛性が要求されるため、上記の振動を抑制できる構成とすることは困難であった。このことは、ボールスプライン軸に多数のボールを介して外筒体を移動自在としたボールスプライン装置や、外周面に螺旋状のボールねじ溝を有するねじ軸と、ボールねじ溝を内周面に有するボールナットと、ボールねじ溝どうしの間に転動自在に嵌合された多数のボールとを備えたボールねじ装置でも同様であった。
【０００４】
これに関連し、案内軸に中空部を形成すると共に、かかる中空部内に吸音材としての発泡体を充填し、かかる中空部内を伝播する発振音を上記発泡体で吸収させるようにした技術が提案されている（特許文献１参照。）。
【０００５】
また、案内軸に中空部を形成すると共に、かかる中空部内に僅かな隙間を残して中軸を挿入し、特定の固有振動数で振動する案内軸の内周面に対してそれとは異なる固有振動数の中軸を接触させることにより、該案内軸の振動を打ち消すようにした技術が知られている。
【０００６】
しかし、案内軸の中空部内に吸音材としての発泡体を充填する技術では、案内軸の振動によって発生した音を発泡体によって吸収し、騒音が外部へ伝播するのを抑制することはできるが、案内軸の振動そのものを抑制することは困難であった。すなわち、剛体である案内軸が振動しても発泡体の内部あるいは発砲体と案内軸との界面で摩擦が発生することはなく、案内軸に生じた振動エネルギーは発泡体によって消費されることはない。
【０００７】
また、案内軸に中空部を形成すると共に、かかる中空部内に僅かな隙間を残して異なる固有振動数の中軸を挿入する技術においては、案内軸と中軸との間には隙間が形成されていることから、案内軸に生じた振動エネルギーが中軸の存在によって消費されづらく、さらに、案内軸の振動の振幅が上記隙間の大きさを越えない限り、振動の抑制効果は期待できなかった。
【特許文献１】実開平２−５９３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記のような不都合を解決するためになされたものであり、その目的は、簡単な構成で、運動案内装置の案内部材における振動を抑制できる技術を提供することであ
る。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明は、運動案内装置の案内部材が、軸方向から見て外周部全周を構成する中空構造部材と、中空構造部材の内壁に密接する内部部材からなるようにし、内部部材の内部摩擦または、内部部材と中空構造部材との接触摩擦によって、中空構造部材の振動エネルギーを消費して振動を抑制することを最大の特徴とする。  
【００１０】
より詳しくは、運動案内装置における移動体を、多数の転動体を介して往復移動可能に支持することにより、前記移動体の運動のための軌道を形成する運動案内装置の案内部材であって、
軸方向から見た前記案内部材の外周部全周を構成する閉断面構造の中空構造部材と、
前記中空構造部材の内側の中空部に、その外壁面の少なくとも一部が該中空構造部材の内壁に密接するように配置されるとともに前記中空構造部材の振動エネルギーを内部摩擦または該中空構造部材との接触摩擦によって消費する内部部材と、
を有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の内部部材は、前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で、両方の部材に冷間引き抜き加工を行うことによってともに変形させ、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部が前記中空構造部材の内壁に密接するように形成してもよい。
【００１２】
また、本発明の案内部材は、前記内部部材の外壁面の略全面が前記中空構造部材の内壁の略全面に密接するようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明の案内部材は、前記内部部材がさらに閉断面構造を有するとともに、該内部部材の内側の中空部に、外壁面の少なくとも一部が該内部部材の内壁に密接して該内部部材の振動エネルギーを内部摩擦または該内部部材との接触摩擦によって消費する、さらなる内部部材が配置される積層構造を有するようにしてもよい。また、複数段の前記積層構造を有するようにしてもよい。また、前記内部部材の内壁の略全面に、該内部部材の内側の中空部に配置された前記さらなる内部部材の外壁面の略全面が密接するようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明の案内部材は、前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で、両方の部材に転造加工を行うことによってともに変形させ、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部が前記中空構造部材の内壁に密接するように形成されるようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明の案内部材は、前記内部部材と前記中空構造部材の線膨張係数を略一致させるようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明は、上記のいずれか一項に記載の案内部材と、
前記案内部材に沿って移動自在に設けられる移動体と、
前記移動体と前記案内部材の間に介装される多数の転動体と、
を備えた運動案内装置であってもよい。
【００１７】
また、本発明は、前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置する配置工程と、
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で冷間引き抜き加工を行うことによってともに変形させる成形工程と、
を有し、
前記成形工程において、前記管状の部材の外形を前記中空構造部材の外形と略一致させるとともに、前記中空構造部材の内壁に前記内部部材の外壁面の少なくとも一部を密接させることを特徴とする上記の案内部材の製造方法であってもよい。
【００１８】
また、本発明は、前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置する配置工程と、
前記中空構造部材を形成すべき管状の部材の内部に前記内部部材を形成すべき部材を配置した状態で転造加工を行うことによってともに変形させる成形工程と、
を有し、  前記成形工程において、前記内部部材の外壁面の少なくとも一部を前記中空構造部材の内壁に密接させることを特徴とする上記の案内部材の製造方法であってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、簡単な構成または製造方法によって、運動案内装置の案内部材における振動を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施例１）
以下、本発明に係る案内部材、運動案内装置及び、案内部材の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。本発明の実施例１に係る運動案内装置は直進運動案内装置であって、図１に示すように、案内部材としての軌道レール１４２と、この軌道レール１４２に沿って移動する移動体としての移動ブロック１４１とを備えている。そして、軌道レール１４２と移動ブロック１４１との間には、多数のボール（転動体）Ｂが転動自在に設けられている。
【００２１】
図２に示すように、軌道レール１４２は、断面略矩形に形成されている。軌道レール１４２の左右両側面１４２ｃ，１４２ｄには、長手方向に沿って上下一対のボール転動溝１４３，１４４が形成されている。移動ブロック１４１は連結部１４５とその両側から下方に向けて垂下された左右一対の袖部１４６，１４７とを有して下面側に凹部を備えている。そして移動ブロック１４１の両袖部１４６，１４７には、軌道レール１４２のボール転動溝１４３，１４４に対応する位置に長手方向に沿って、上下一対のボール転動溝１４８，１４９が形成されている。
【００２２】
また移動ブロック１４１には、上下一対のボール転動溝１４８，１４９に隣接して、かつ、これらボール転動溝１４８，１４９に対応して上下一対の無負荷ボール穴１５０，１５１が形成されている。移動ブロック１４１の前後両端面は内面側にボール転動溝１４８，１４９と無負荷ボール穴１５０，１５１の各端部間を互いに連結して無限循環通路を形成するボール方向転換通路を有した蓋部材１５２，１５２が取り付けられている。そして、多数のボールＢは、各無限循環通路内を循環し、軌道レール１４２のボール転動溝１４３，１４４と移動ブロック１４１のボール転動溝１４８，１４９との間で荷重を負荷しながら転送するようになっている。
【００２３】
ボール転動溝１４３，１４４，１４８，１４９は、その横断面形状をボール半径よりも大きい半径の単一の円弧として曲面状に形成されたサーキュラー溝からなり、ボール転動溝１４３，１４４，１４８，１４９は、ボールＢが接触転動する接触面を一面のみ有している。
【００２４】
ここで、従来の軌道レールは鋼材またはステンレス鋼材で形成されているために高い剛性と耐久性を得られる一方、制震性に欠ける場合があった。例えば図１に示した直進運動
案内装置を工作機械や組立て装置に用いた場合に、振動によって、加工精度や位置決め精度を維持することが困難になる場合があった。また、移動ブロックが停止した後の振動の減衰が遅いと、組立て装置において移動ブロックにおける振動の減衰を待ってから、部品の組み付けを行う必要が生じ、作業効率の低下を招く場合があった。これに対し、本実施例においては、複数の部材に対して一緒に冷間引き抜き加工を行うことで軌道レール１４２を形成し、この複数の部材の界面における摩擦あるいは内部摩擦によって軌道レール１４２の振動エネルギーを消費することで、軌道レール１４２の制震性を高めることとした。
【００２５】
図３を用いて、本実施例における軌道レール１４２の詳細な構成について説明する。図３（ａ）は、冷間引き抜き加工を行って軌道レール１４２を形成する前の、軌道レール１４２を形成すべき鋼管材１０２と制震部材１０３とが示されている。図３（ｂ）には、冷間引き抜き加工を行った後の軌道レール１４２の断面が示されている。軌道レール１４２は、鋼管材２によって形成された中空構造部材としてのレール外殻部２と、制震部材１０３が塑性変形してその外壁面が全周に亘ってレール外殻部２の内壁に密接（密着）して形成された内部部材としての制震部３とによって構成されている。
【００２６】
なお、本実施例において密接とは、中空構造部材としてのレール外殻部２の内壁と、内部部材としての制震部３の外壁面とが隙間なく接している状態を意味している。また、密着とは、中空構造部材としてのレール外殻部２の内壁と、内部部材としての制震部３の外壁面とが隙間なく離れないように接している状態を意味している。密接、密着という用語の意味は、以下の実施例においても同様に解釈できる。また、本実施例においては上記のように、レール外殻部２の内壁と、制震部３の外壁面とが全周に亘って密接（密着）しているが、このことは、内部部材の外壁面の略全面が中空構造部材の内壁の略全面に密接（密着）することに相当する。これは、中空構造部材としてのレール外殻部２の内壁と、内部部材としての制震部３の外壁面とが完全に全面において密接（密着）していることを必ずしも示していない。部分的に微小な隙間が生じていることを除外するものではない。
【００２７】
図３（ａ）に示すように、加工前には断面円形の鋼管材１０２の内部に、冷間引き抜き加工の後の最終的な鋼管材２の中空部の形状に近い断面形状を有し、且つ制震性を有する金属材料で形成された制震部材３が備えられている。この制震部材３の材料としては、Ｍｇ−Ｚｒ合金、Ａｌ−Ｚｎ合金、Ｍｇ合金の他、例えばスターサイレント（登録商標、大同特殊鋼（株）製）などを用いることができる。この制震部材３の特徴は、外部から加えられた振動エネルギーを内部摩擦によって効率的に消費可能である点にある。なお、制震部材３の材料として先に例示した材料によって、振動の減衰効率が高くなる周波数が異なることが分かっている。従って、軌道レール１４２として振動を抑制したい周波数あるいは、軌道レール１４２の固有振動数においてより高い減衰効率を示す制震部材３を選択することで、より効率的に軌道レール１４２の振動を抑制することができる。
【００２８】
本実施例においては、鋼管材２の内部に制震部材３を配置した状態で冷間引き抜き加工を行い、図３（ｂ）に示す形状とする。その後、高周波焼き入れ、ボールＢが接触する部分について研削による後加工が施される。このことで、軌道レール１４２が形成される。
【００２９】
図４には、鋼管材１０２と制震部材１０３とをダイス２００を通過させて冷間引き抜き加工を行い、レール外殻部２と制震部３とが形成される様子について示す。なお、ダイス２００の形状は、鋼管材１０２を変形させて軌道レール１４２の外形形状とさせることができ、且つ図３（ｂ）に示すように、制震部３の外壁とレール外殻部２の内壁とが全周に亘って密接（密着）するように検討の上で決定される。また、ダイス２００の形状、鋼管材の引き抜き速度などは、冷間引き抜き加工時に制震部材１０３に作用する塑性加工応力によって制震部材１０３の制震特性が変化しないように設定される。また、中間加熱を行
う場合には、加熱温度も制震部材１０３の制震特性が変化しないように設定される。
【００３０】
この構成に係る軌道レール１４２においては、レール外殻部２に外部から力や衝撃が作用することで生じた振動は、レール外殻部２と制震部３の界面を通過して制震部３の内部に伝播する。そして、主に制震部３の内部組織どうしの摩擦（内部摩擦）によって振動エネルギーは消費され、振動が抑制される。
【００３１】
なお、本実施例においてレール外殻部２（または鋼管材１０２）の厚みは、焼き入れ時の熱が制震部３に影響を及ぼさない範囲の厚みとして予め決定してもよい。また、鋼管材１０２の内壁あるいは制震部材１０３の外壁に対しては予め表面粗し処理を行ってもよい。これにより、図３（ｂ）に示した状態においてレール外殻部２と制震部３との界面の結合力をより高めることが可能となる。そうすると、より効率良くレール外殻部２の振動エネルギーが制震部３に伝播するので、より効率よく制震効果を得ることが可能となる。
【００３２】
なお、上記の実施例においては、制震部材１０３の断面形状は冷間引き抜き加工の前に、予め予想される制震部３の断面形状に近い形状に加工しておいた。一般に鋼管材を冷間引き抜き加工する場合には、加工後の断面形状に近い芯金を鋼管材の内部に配置することで、良好な加工性が得られることが知られているからである。上記の実施例における制震部材１０３は、この芯金の機能をも有するので、より精密に軌道レール１４２の外形を成形可能となる。これに対し、制震部材１０３が、より塑性加工し易い材料で形成されている場合には、図５（ａ）に示すように、制震部材２０３の断面形状を円形としてもよい。これによれば、一般に入手し易い円形の断面形状を有する制震部材２０３を鋼管材１０２の内部に挿入し、両者を一緒に冷間引き抜き加工するというさらに簡便な作業によって軌道レール１４２を形成することが可能になる。
【００３３】
また、上記の実施例において鋼管材１０２の内部に制震部材１０３または２０３を配置する工程は配置工程に相当する。鋼管材１０２の内部に制震部材１０３または２０３が配置された状態で冷間引き抜き加工を行う工程は成形工程に相当する。
【００３４】
（実施例２）
次に、本発明における実施例２について説明する。本実施例では、軌道レール１４２を鋼管材１１２の内部に鋼管材１１３を配置させた状態で、両者に対して冷間引き抜き加工を行う例について説明する。
【００３５】
本実施例においては、鋼管材１１２の内部には特に制震性に優れた制震部材を配置するのではなく、第２の鋼管材１１３を配置させる。そして、その状態で両者に冷間引き抜き加工を施す。これにより、軌道レール１４２を形成する。
【００３６】
本実施例における軌道レール１４２では、レール外殻部１２において発生した振動が制震部１３に伝播する際に、中空構造部材としてのレール外殻部１２の内壁と内部部材としての制震部１３の外壁面とが相対的に変位し、振動エネルギーは両者の界面における摩擦により消費される。
【００３７】
本実施例によれば、入手性の高い一般的な鋼管材１１２と１１３を２重に配置して冷間引き抜き加工を行うという、簡単な構成及び製法により、制震性に優れた軌道レール１４２を形成することができる。ここで、鋼管材１１２と鋼管材１１３の材質は同じとしてもよい。そうすると、両者の線膨張係数を完全に一致させることができるので、制震性の温度特性を安定させることが可能である。また鋼管材１１２と鋼管材１１３の材質を変更してもよい。そうすると、両者の共振周波数の差を大きく設定することができ、レール外殻部１２の共振点においてより効率的に振動を減衰させることが可能である。さらに、鋼管
材１１３の材質として、実施例１で説明した制震性の高い材料を用いてもよい。そうすれば、レール外殻部１２に生じた振動の振動エネルギーをより効率的に、制震部１３とレール外殻部１２との界面及び、制震部１３の内部の両方で摩擦として消費することができ、より高い制震効果を得ることが可能である。
【００３８】
なお、図６においては、鋼管材１１２と鋼管材１１３とを２重に配置して冷間引き抜き加工を行った例について説明したが、図７に示すように、さらに多くの鋼管材１１２〜１１４を重ねて配置し、積層構造にしても構わない。これにより、レール外殻部加工後の鋼管材１２の内壁と制震部１３の外壁面との間の摩擦及び、制震部１３の内壁と制震部１４の外壁面との間の摩擦によって振動エネルギーを消費することができ、レール外殻部１３において発生した振動をより効率的に減衰させることができる。また、鋼管材をさらに多く重ねて配置して冷間引き抜き加工を行うようにしても構わない。
【００３９】
また、上記の実施例においては、運動案内装置及び案内部材として図１に示した直進運動案内装置１の軌道レール１４２を例に挙げて本発明について説明した。しかしながら、運動案内装置は直進運動案内装置に限られない。また、案内部材は軌道レールに限られない。例えば、運動案内装置としてボールスプライン装置やボールねじ装置、案内部材としてボールスプライン軸やボールねじ軸を用いた場合にも、本発明を適用することができる。
【００４０】
また、上記の実施例における鋼管材１０２、１１２、１１３、１１４はステンレス鋼によって形成されていてもよいことは当然である。
【００４１】
また、上記の実施例においては、軌道レール１４２においてレール外殻部２、１２と制震部３、１３とは、レール外殻部２、１２の内壁の全周に亘って密接していた（内部部材の外壁面の略全面が中空構造部材の内壁の略全面に密接していた）。このことにより、内部部材と中空構造部材の接触面積が大きくなるので、より効率的に振動を抑制することができる。しかしながら、本発明において中空構造部材と内部部材とは、必ずしも中空構造部材の内壁の全周に亘って密接している必要はない。中空構造部材の内壁の少なくとも一部において内部部材と密接していれば、程度の差こそあれ、本発明の効果は得ることができる。
【００４２】
（実施例３）
次に、本発明を、ボールねじ軸に対するボールねじ溝の転造加工を行う場合に適用した例について説明する。図８には、本実施例における直進運動案内装置２０の概略構成を示す。図８（ａ）は直線運動案内装置２０を軸方向から見た図、図８（ｂ）は軸に垂直な方向から見た図である。この直進運動案内装置２０は、ナット１６１とボールねじ軸１６２とから構成されているボールねじ装置である。このボールねじ装置においては、ボールねじ軸１６２に設けられたボール転送溝１６２ａ及び、ナット１６１に設けられたボール転送溝（不図示）を負荷ボールが軸方向荷重を受けながらころがり運動することで、ナット１６１がボールねじ軸１６２に沿って円滑に直線運動を行う。
【００４３】
図８に示した案内部材としてのボールねじ軸１６２は、鋼管材に転造加工によってボールねじ溝１６２ａを付することで形成されている。また、転造加工の後に鋼管材に対して高周波焼き入れが施される。本実施例においては、ボールねじ軸１６２を形成すべき鋼管材１２２の内部に、円柱状の制震部材１２３を配置した状態で転造加工を施している。制震部材１２３の材質としては、実施例１で制震部材２の材質として例示したものを用いることができる。
【００４４】
図９（ａ）には、本実施例における転造加工前の鋼管材１２２及び制震部材１２３を示
す。また、図９（ｂ）には、転造加工によって形成されたボールねじ軸１６２の、ねじ軸外殻部２２及び制震部２３について示す。本実施例においては、鋼管材１２２に転造加工によってボールねじ溝１６２ａを付した際に、ねじ軸外殻部２２の内壁にはボールねじ溝１６２ａに相当する螺旋状の凸条２２ａが発生する。そして、この凸条２２ａが発生した際に、制震部材１２３に凸条２２ａが食い込むことで、制震部材１２３における凸条２２ａと相当する部分が内側に塑性変形するとともに、凸条２２ａと制震部材１２３とが強固に結合して密接する。なお、図９（ｂ）においては、ねじ軸外殻部２２の凸条２２ａ以外の部分では、ねじ軸外殻部２２と制震部２３との間に隙間があることとなっているが、制震部材１２３の延性によっては、凸条２２ａが食い込むことにより、上記隙間が存在しなくなる場合も考えられる。その場合は、ねじ軸外殻部２２と制震部２３との密着性をより高めることができる。
【００４５】
この構成に係るボールねじ軸１６２においては、ねじ軸外殻部２２に外部から力や衝撃が作用することで生じた振動は、ねじ軸外殻部２２と制震部２３の界面を通過して制震部２３の内部に伝播する。そして、主に制震部２３の内部組織どうしの摩擦（内部摩擦）によって振動エネルギーは消費され、振動が抑制される。よって、簡単な構成及び製造方法によって直線運動案内装置２０におけるボールねじ軸１６２の振動を抑制することが可能となる。
【００４６】
次に、図１０には、鋼管材１３２の内側に第２の鋼管材１３３を配置した状態で、両者に転造加工を施し、ボールねじ軸１６２を形成する場合について示す。図１０（ａ）は転造加工前の状態を、図１０（ｂ）は転造加工後の状態を示す。この例では、転造加工によってねじ軸外殻部３２の内壁に凸条３２ａが発生した際に、鋼管材１３３における凸条３２ａに相当する部分が内側に塑性変形し、制震部３３が形成される。
【００４７】
本実施例におけるボールねじ軸１６２では、ねじ軸外殻部３２において発生した振動が制震部３３に伝播する際に、中空構造部材としてのねじ軸外殻部３２の内壁の凸条３２ａと内部部材としての制震部３３の外壁面とが相対的に変位し、振動エネルギーは両者の界面における摩擦により消費される。
【００４８】
本実施例によれば、入手性の高い一般的な鋼管材１３２と１３３を２重に配置して転造加工を行うという、簡単な構成及び製法により、制震性に優れたボールねじ軸１６２を形成することができる。
【００４９】
なお、本実施例においてねじ軸外殻部２２、３２（または鋼管材１２２、１３２）の厚みは、焼き入れ時の熱が制震部２３、３３に影響を及ぼさない範囲の厚みとして予め決定してもよい。また、鋼管材１２２の内壁あるいは、制震部材１２３の外壁面に対しては予め表面粗し処理を行ってもよい
【００５０】
また、本実施例において鋼管材１２２、１３２の内部に制震部材１２３または第２の鋼管材１３３を配置する工程は配置工程に相当する。鋼管材１２２、１３２の内部に制震部材１２３または第２の鋼管材１３３が配置された状態で転造加工を行う工程は成形工程に相当する。
【００５１】
なお、図１０においては、鋼管材１３２と第２の鋼管材１３３とを２重に配置して転造加工を行った例について説明したが、さらに多くの鋼管材を重ねて配置し、積層構造にしても構わない。
【００５２】
また、本実施例における鋼管材１２２、１３２、１３３はステンレス鋼によって形成されていてもよいことは当然である。
【００５３】
また、本実施例においては、ボールねじ軸１６２においてねじ軸外殻部２２、３２と制震部２３、３３とは、ねじ軸外殻部２２、３２の凸条２２ａ，３２ａの全周において密接していた。このことにより、内部部材と中空構造部材の接触面積が大きくなるので、より効率的に振動を抑制することができる。しかしながら、本発明において中空構造部材と内部部材とは、必ずしも中空構造部材の内壁の全周に亘って密接している必要はない。中空構造部材の内壁の少なくとも一部において内部部材と密接していれば、程度の差こそあれ、本発明の効果は得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施例１に係る直線運動案内装置の外観斜視図である。
【図２】本発明の実施例１に係る直線運動案内装置の一部断面図を含む正面図である。
【図３】本発明の実施例１に係る軌道レールの冷間引き抜き加工前の状態と加工後の状態を示す縦断面図である。
【図４】本発明の実施例１に係る冷間引き抜き加工の様子を説明するための図である。
【図５】本発明の実施例１に係る軌道レールの冷間引き抜き加工前の状態と加工後の状態の他の例を示す縦断面図である。
【図６】本発明の実施例２に係る軌道レールの冷間引き抜き加工前の状態と加工後の状態を示す縦断面図である。
【図７】本発明の実施例２に係る軌道レールの冷間引き抜き加工前の状態と加工後の状態の他の例を示す縦断面図である。
【図８】本発明の実施例３に係る直線運動案内装置を示す図である。
【図９】本発明の実施例３に係るボールねじ軸の転造加工前の状態と加工後の状態を示す横断面図である。
【図１０】本発明の実施例３に係るボールねじ軸の転造加工前の状態と加工後の状態の他の例を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  直線運動案内装置、２  レール外殻部、３  制震部、１２  レール外殻部、１３  制震部、１４  制震部、２０  直線運動案内装置、２２  ねじ軸外殻部、２２ａ  凸条、２３  制震部、３２  ねじ軸外殻部、３２ａ  凸条、３３  制震部、１０２  鋼管材、１０３  制震部材、１１２  鋼管材、１１３  鋼管材、１１４  鋼管材、１２２  鋼管材、１２３  制震部材、１３２  鋼管材、１３３  鋼管材、１４１  移動ブロック、１４２  軌道レール、１５２  蓋部材、１６１  ナット、１６２  ボールねじ軸、１６２ａ  ボールねじ溝、２００  ダイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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