(57)【要約】【課題】移動シートの動きを制御することが可能で、その部分が密封構造となっている静電アクチュエータを提供する。【解決手段】移動シートと、固定シートと、位置検出シートと、電源部と、制御部と、包装体から成る静電アクチュエータである。移動シートはその一方の面が固定シートの面に対向し、他方の面が位置検出シートの面に対向して移動可能に配置され、静電力によって移動を行う。固定シートには電極郡が存在する。位置検出シートは移動シート位置の検出信号を出力する。電源部は電極郡に対して所定の電位を供給する。制御部は検出信号に基づいて電源部が電極郡に供給する所定の電位を制御する。包装体は固定シートと電源部とを接続するためのリード線を外部に引出して移動シートと固定シートと位置検出シートを包装する。【選択図】  図１
2010081681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動シートと、固定シートと、位置検出シートと、電源部と、制御部と、包装体から成る静電アクチュエータであって、
前記移動シートはその一方の面が前記固定シートの面に対向し、他方の面が位置検出シートの面に対向して移動可能に配置され、その対向面に前記固定シートの電極電位に応じた電荷が誘起され、その誘起された電荷と前記固定シートの電極電位との間に静電力が発生し、その発生した静電力によって前記固定シートに対して移動を行い、
前記固定シートはその面が前記移動シートの前記一方の面に対向して配置され、その対向面に沿う方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって３系統に統合接続されて３系統の端子が設けられた電極郡を成し、
前記位置検出シートはその面が前記移動シートの前記他方の面に対向して配置され、前記移動シートが検出位置を遮っているか否かを示す検出信号を出力する位置センサを有し、
前記電源部は前記制御部の制御下において前記電極郡に対して所定の電位を前記３系統の端子から供給し、
前記制御部は前記位置センサの検出信号に基づいて前記電源部が前記電極郡に供給する前記所定の電位を制御し、
前記包装体は前記固定シートと前記電源部とを接続するためのリード線を外部に引出して前記移動シートと前記固定シートと位置検出シートを包装する、
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載の静電アクチュエータにおいて、前記移動シートは前記他方の面に印刷が行なわれており、また前記固定シートは前記移動シートとの対向面に印刷が行なわれていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２記載の静電アクチュエータにおいて、  前記包装体における所定の内部空間を保持する気体および／または液体が使用されることを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラスチックフィルム等のシートを使用した静電アクチュエータの技術分野に属する。特に、移動シートの位置を検出する位置検出シートを備え、位置検出シートが出力する検出信号に基づいて制御を行う等が可能な静電アクチュエータに関する。また、この静電アクチュエータにおけるシートの表面に印刷を施すことによって、表現性、注目性、意外性、訴求性、等に優れた広告掲示物（たとえばポスター等の）とすることができる。
【背景技術】
【０００２】
複数の表示シートが無限軌道体を移動することにより繰返表示を可能とする連続表示装置の発明が知られている（特許文献１）。この発明によれば、無限軌道体はシート電極と駆動電源とを備える。シート電極は、無限軌道体の長さ方向に対して略直角方向に延びた複数の電極Ｐｕ，Ｐｖ，Ｐｗを形成し、所定間隔ごとに各電極Ｐｕ，Ｐｖ，Ｐｗを繰返し接続し、無限軌道体の無限軌道に対して一体に形成した電極である。また、駆動電源はシート電極の各電極Ｐｕ，Ｐｖ，Ｐｗ に対して順次電圧を印加する電源である。表示シートはシート電極に対向配置され、表示シートにはシート電極の各電極Ｐｕ，Ｐｖ，Ｐｗに対向する表面に電荷が誘起される。その誘起された電荷とシート電極の各電極Ｐｕ，Ｐｖ，Ｐｗ に駆動電源が順次印加する電圧によって、両者間に静電力を発生させる。そして、その発生した静電力によって表示シートは無限軌道を移動する。
【０００３】
また、透光量調整装置や広告装置として利用可能であり、装置全体を薄型に構成することが出来る静電アクチュエータ装置の発明が知られている（特許文献２）。この発明によれば、静電アクチュエータ装置は移動体と一対の透光ガラス板と透明板状体とインシュレータとを備える。移動体は３相の帯状電極が所定ピッチで平行に複数配設されたフィルムであって、所定間隔に対向配置された一対の透光ガラス板間に配置される。透明板状体は、帯状電極と直交する方向に折返された扁平なＳ字状断面をなす移動体の基端部を固定する。インシュレータは移動体の折返し重合部における基端部側と中間部との間に介設される。その構成において、３相の帯状電極に供給される電荷の極性変化に応じて移動体の折返し重合部における先端部側に伸縮駆動力を付与する。折返した移動体の伸縮により透光量調整や表示のためのフィルム移動が行なわれる。
【特許文献１】特開平１１−２４９５９８
【特許文献２】特開平１０−３２９８７
【０００４】
しかしながら、この従来の方法においては、表示シート（移動体）は無限軌道（透光ガラス板）に内側を密接したままで、外側は露出しており外界の環境に曝されながら移動を行なう。すなわち、表示シート（移動体）の移動の態様は完全に想定されたものである。そのため、ポスター等の広告掲示物に適用したときには、従来から存在する他の駆動方式に基づく動きのある広告掲示物と大差ない印象を見る者に与えるだけであるという問題がある。また、ポスター等の広告掲示物に適用したときには、環境の悪影響を受け易くその動きに対する信頼性が低いという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、移動シートの動きを制御することが可能で、たとえばポスター等の広告掲示物に適用したときの表現性、注目性、意外性、訴求性、等に優れ、また、移動シートと固定シートの部分が密封構造となっており環境の悪影響を受け難くその動きに対する高い信頼性が得られる静電アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータは、  移動シートと、固定シートと、位置検出シートと、電源部と、制御部と、包装体から成る静電アクチュエータであって、  前記移動シートはその一方の面が前記固定シートの面に対向し、他方の面が位置検出シートの面に対向して移動可能に配置され、その対向面に前記固定シートの電極電位に応じた電荷が誘起され、その誘起された電荷と前記固定シートの電極電位との間に静電力が発生し、その発生した静電力によって前記固定シートに対して移動を行い、  前記固定シートはその面が前記移動シートの前記一方の面に対向して配置され、その対向面に沿う方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって３系統に統合接続されて３系統の端子が設けられた電極郡を成し、  前記位置検出シートはその面が前記移動シートの前記他方の面に対向して配置され、前記移動シートが検出位置を遮っているか否かを示す検出信号を出力する位置センサを有し、  前記電源部は前記制御部の制御下において前記電極郡に対して所定の電位を前記３系統の端子から供給し、  前記制御部は前記位置センサの検出信号に基づいて前記電源部が前記電極郡に供給する前記所定の電位を制御し、  前記包装体は前記固定シートと前記電源部とを接続するためのリード線を外部に引出して前記移動シートと前記固定シートと位置検出シートを包装するようにしたものである。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータは、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、前記移動シートは前記他方の面に印刷が行なわれており、また前記固定シートは前記移動シートとの対向面に印刷が行なわれているようにしたものである。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータは、請求項１または２に係る静電アクチュエータにおいて、  前記包装体における所定の内部空間を保持する気体および／または液体が使用されるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータによれば、  その静電アクチュエータは移動シートと、固定シートと、位置検出シートと、電源部と、制御部と、包装体から成る。移動シートはその一方の面が固定シートの面に対向し、他方の面が位置検出シートの面に対向して移動可能に配置され、その対向面に固定シートの電極電位に応じた電荷が誘起され、その誘起された電荷と固定シートの電極電位との間に静電力が発生し、その発生した静電力によって固定シートに対して移動を行う。  固定シートはその面が移動シートの一方の面に対向して配置され、その対向面に沿う方向に電極線の複数本が互いに平行となるように配列され、その複数本の電極線が前記配列の順序にしたがって３系統に統合接続されて３系統の端子が設けられた電極郡を成す。  位置検出シートはその面が移動シートの他方の面に対向して配置され、移動シートが検出位置を遮っているか否かを示す検出信号を出力する位置センサを有する。  電源部は制御部の制御下において電極郡に対して所定の電位を３系統の端子から供給し、  制御部は位置センサの検出信号に基づいて電源部が電極郡に供給する所定の電位を制御する。  包装体は固定シートと電源部とを接続するためのリード線を外部に引出して移動シートと固定シートと位置検出シートを包装する。
すなわち、移動シートの動きを制御して変化に富んだ動作をさせることが可能である。また、移動シートと固定シートの部分が密封構造となっている。したがって、たとえばポスター等の広告掲示物に適用したときの表現性、注目性、意外性、訴求性、等に優れ、また環境の悪影響を受け難くその動きに対する高い信頼性が得られる静電アクチュエータが提供される。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータによれば、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、移動シートは他方の面に印刷が行なわれており、また固定シートは移動シートとの対向面に印刷が行なわれている。したがって、固定シートにおける移動シートに隠されていない部分の印刷内容が移動シートの移動により変化をともなって表れ、移動シートの印刷内容と合わさって顕著な相乗効果を生じさせることができる。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータによれば、請求項１または２に係る静電アクチュエータにおいて、  包装体における所定の内部空間を保持する気体および／または液体が使用される。したがって、移動シートの移動を可能とする空間が保持され、移動シートの移動を容易にする潤滑性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の静電アクチュエータにおける構成の一例を図１、図２に示す。図１、図２において、１は移動シート、２は固定シートである、３は位置検出シート、４ａ，４ｂは包装体、５は流動体、６はリード線である。
本発明に静電アクチュエータは、図１に示すように、移動シート１、固定シート２、位置検出シート３を流動対５とともに包装体４ａ，４ｂで包み込んで、固定シート２と位置検出シート３のリード線６を包装体４ａ，４ｂの外部に引出した構造を有する。
移動シート１は、断面図として図１に示すように、その面が固定シート２の面に対向して移動可能に配置されている。相対的なものであるから、固定シート２は、図１に示すように、その面が移動シート１の面に対向して配置されている。移動シート１には固定シート２の対向面に対して反対面である表面に印刷が行なわれている。固定シート２にも、移動シート１と同様に、移動シート１の対向面である表面に印刷を行なうことができる。すなわち、本発明の静電アクチュエータは移動シート１と固定シート２を重ね合わせた構成部分を備えており、その構成部分が、図２に示すように、ポスターまたは広告掲示物として表示される領域となっている。
【０００９】
図１に示す一例において、移動シート１には電極線は設けられていない。移動シート１は一般的には絶縁材料（誘電体）であり、たとえば、ポリエステルフィルム、ポロプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリ塩化ビニール、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、等のプラスチックフィルムを使用することができる。また、そのような絶縁材料を固定シート２との対向面にラミネートした（貼り合せた）紙、等の複合材料を使用することができる。移動シート１の表面は、表面抵抗率が約１０11〜１０13程度が好適である。この場合微弱な電気が流れるため、固定シート２の電極線によって移動シート１に誘起された電荷は、電極線における電圧の瞬間的な変化に対して遅れて追従することになる。このような表面物性は材料表面の処理に大きく影響されることがあるため、使用することができる材料は上記に限定されず、コーティング処理で表面低効率を最適化してもよい。
一方、図１に示す一例において、固定シート２には電極線が設けられている。固定シート２としては、プリント配線板、フレキシブルプリント配線板を使用することができる。電極線は固定シート２の移動シート１との対向面に沿う方向に複数本が互いに平行となるように配列している。その複数本の電極線が配列の順序にしたがって３系統に統合接続されて３系統の端子が設けられた電極郡を成す。後述するように、その電極郡も複数個が存在する。
【００１０】
移動シート１は固定シート２との間で静電力が働くことによって固定シート２に対して移動を行なうことができる。本発明の静電アクチュエータにおいては、その移動の方向を制御することができる。図２に示す駆動回路ボックスは、固定シート２に設けられた電極線に対して制御された電圧を印加することによって静電力を働かせる駆動回路を収めたボックスである。駆動回路は電源部と制御部とを有している。電源部は制御部の制御下において固定シート２に設けられた電極郡に対して所定の電位を３系統の端子から供給する。また、制御部は位置検出シート３に設けられた位置センサの検出信号に基づいて電源部が電極郡に供給する所定の電位を制御する。したがって、図２に示す駆動回路ボックスと静電アクチュエータの本体部分とを接続するリード線６としては、固定シート２に電位を供給するリード線と、位置センサが出力する信号を伝達するリード線が含まれている。
【００１１】
位置検出シート３は、図１に示すように、その面が移動シート１の面に対向して配置されており、移動シート１が検出位置を遮っているか否かを示す検出信号を出力する位置センサを有している。位置検出シート３としては、固定シート２と同様で、プリント配線板、フレキシブルプリント配線板を使用することができる。位置検出シート３の一例を図３〜図５に示す。図３〜図５に示す位置検出シート３においては、位置センサは６行４列で合計１２個が行列配置している。ｍ行目でｎ列目の位置センサを位置センサ（ｍ，ｎ）で表すものとする。
図３に示す一例においては、移動シート１によって位置センサ（３，１）、位置センサ（３，２）、位置センサ（３，３）、位置センサ（４，１）、位置センサ（４，２）、位置センサ（４，３）の６つの位置センサの検出位置が遮られている。これらの位置センサの出力信号に基づいて制御部は移動シート１が中央左側に位置していることを判定することができる。
また、図４に示す一例においては、移動シート１によって位置センサ（３，２）、位置センサ（３，３）、位置センサ（３，４）の３つの位置センサの検出位置が遮られている。これらの位置センサの出力信号に基づいて制御部は移動シート１がやや上方の右側に位置していることを判定することができる。
また、図５に示す一例においては、移動シート１によって位置センサ（２，２）、位置センサ（３，２）、位置センサ（３，３）、位置センサ（４，３）の４つの位置センサの検出位置が遮られている。これらの位置センサの出力信号に基づいて制御部は移動シート１がやや上方の中央の位置において、右下がりに傾いていることを判定することができる。
このように、検出位置が遮られた位置センサがどの位置センサであるかによって、移動シート１の位置と姿勢とを検出することができる。図３〜図５に示す一例においては位置センサを６行４列に配置したが、この配置の密度を高めることにより高い精度で移動シート１の位置を検出することが可能となる。
【００１２】
位置センサの具体例として反射型フォトインタラクタを図６に示す。反射型フォトインタラクタは、図６（Ａ）に断面図を示すように、発光素子と受光素子とを有している。反射型フォトインタラクタの上方に物体、すなわち移動シート１が存在しないときには、発光素子が放射する光は受光素子に到達しない。反射型フォトインタラクタの上方に物体、すなわち移動シート１が存在するときには、発光素子が放射する光は移動シート１によって反射されて受光素子に到達する。
位置検出シート３に反射型フォトインタラクタを実装するときには、図６（Ｂ）に回路図を示すように、発光素子と受光素子の両方に対して抵抗器を直列に付加する。
また、図６（Ｃ）に示すように、外来光等により誤動作することがないように、特定の発振周波数で発光素子を発光させ、受光素子の出力側にフィルター回路を設ける等によりその特定の発振周波数の信号だけを検知する検知方式とする。
【００１３】
次に、本発明の静電アクチュエータにおける包装体４ａ，４ｂの部分の構成について、図１を参照して説明する。
包装体４ａ，４ｂは、図１に示すように、移動シート１、固定シート２、位置検出シート３、流動体５、等を封入する。包装体４ａ，４ｂは、図１に示す上側の包装体である包装体４ａの部分と図１に示す下側の包装体である包装体４ｂの部分とを貼り合わせた構成を有する。移動シート１、固定シート２、流動体５、等が包装体４ａ，４ｂに封入された状態において、移動シート１は移動可能となっている。移動シート１を移動可能とする条件としては、（条件１）移動シート１と固定シート２とが対向面において静電力が十分に作用するように接近していること、（条件２）移動シート１と固定シート２とは対向面において大きな摩擦力が作用しないこと、（条件３）移動シート１は対向面以外の部分において大きな接触抵抗を受けないこと、等である。図１に示す一例においては、水平面に対して移動シート１、固定シート２の各面が平行となるような姿勢で載置しており、さらに流動体５が封入されていることから、上記の条件を満たしている。
なお、リード線６は、包装体４ａと包装体４ｂとの貼り合わせ部分を貫通して包装体４ａ，４ｂの内部から外部へと引出されている（図７、図８参照）。このリード線６は、電極を有する固定シート２と電源部（後述する）とを電気的に接続するリード線と、位置センサを有する位置検出シート３と制御部とを電気的に接続するリード線によって構成される。
【００１４】
包装体４ａ，４ｂの要求特性の１つに密閉性がある。包装体４ａ，４ｂにより包装する目的は、環境の悪影響を受け難くして、移動シート１の動きに対する高い信頼性を得ることである。したがって、外側にあるものが内側に入り込むことによって、移動シート１の動作その他に不具合が生じないような密閉性を必要とする。たとえば、塵埃、水分、水蒸気、その他の固体、液体、気体の浸入を防ぐ密閉性（バリア性）を必要とする。
また、その反対に内側に常に存在しなければならない物質、たとえば流動体５を包装体４ａ，４ｂの内側に封入しておき流動体５が漏れ出すことがないような密閉性を必要とする。
また包装体４ａ，４ｂの要求特性の１つに透明性がある。移動シート１および固定シート２に印刷されている文字絵柄を包装体４ａ，４ｂの外部から視認できなければ、ポスター等の広告掲示物としての用途において意味をなさない。したがって、すくなくとも印刷面の側を被覆する包装体４ａ，４ｂの部分は、光学的な透明性を有することが必須条件である。
また包装体４ａ，４ｂの要求特性の１つに化学的安定性がある。たとえば、流動体５と包装体４ａ，４ｂが化学反応等により変質してその役割を果たさなくなることがない安定性を必要とする。
また包装体４ａ，４ｂの要求特性の１つに機械的耐久性がある。たとえば、静電アクチュエータがポスターとして使用されれば公共の場所に掲示されることから、機械的な接触等が起きることは避けられない。したがって、振動、衝突、変形、摩擦、かすり傷、ひっかき傷、等に対する耐久性を必要とする。
以上の条件を満たすものであれば、本発明においては包装体４ａ，４ｂの材料、構成、等について特に限定はなく周知のものを適用することができる。
【００１５】
包装体４ａ，４ｂからリード線６を引出す部分の構造について図を参照して説明する。包装体４ａ，４ｂからリード線６を引出す部分の構造の一例を図７、図８に示す。図７、図８において、４ａ，４ｂは包装体、６はリード線、７はヒートシール材（シーラント）である。リード線６は、包装体４ａと包装体４ｂとの貼り合わせ部分を貫通して包装体４ａ，４ｂの内部から外部へと引出されている。包装体４ａと包装体４ｂの対向する面はヒートシール層を設ける等によりヒートシール可能な表面となっている。
リード線６としては、その素線の断面が円形でなく断面が長辺の長い矩形すなわち平板であり、その素線の複数を束ねたフラットケーブルを使用することができる。そのようなリード線は他の円形の素線を有するリード線に比べれば厚さを薄くすることができ好適である。しかし、それでもリード線６は相応の厚さを有する（多くは０．３〜１．０ｍｍの範囲）ため、そのままではヒートシールしても隙間のある不完全なシール状態となって十分な密閉性を得ることができない。
そこで、図７と図８に示す一例においては、包装体４ａ，４ｂにおけるヒートシール部分にヒートシール材７を使用している。
【００１６】
ヒートシール材７は、加熱時に溶融または半溶融の状態となって、包装体４ａと包装体４ｂの対向する面に溶着する性質を有する材料である。ヒートシール材７としては、包装体４ａと包装体４ｂにおけるヒートシール層と同一の材料を使用することができる。また、ＥＶＡ（エチレン酢酸ビニル共重合体）、ＣＰＰ（無延伸ポリプロピレン）、ＬＬＤＰＥ（直鎖状低密度（Linear Low Density）ポリエチレン）、ＭＤＰＥ（中密度ポリエチレン）、等の一般的なヒートシール材（シーラント）を使用することができる。
包装体４ａ，４ｂのリード線６を引出すヒートシール部分は、図７、図８においては断面が屈曲した形状となっており、その屈曲した形状が隘路となって高い密閉性を得ることができる。包装体４ａ，４ｂの底面部分である包装体４ｂは、図７に示す一例においては平面となっており水平面に載置したときの安定性が優れる。一方、図８に示す一例においては、屈曲面となっており密閉性に優れる。
【００１７】
流動体５は移動シート１の移動を可能とするため包装体４ａ，４ｂにおける所定の内部空間を保持する機能を有する。この機能を果たす流動体５としては空気、窒素ガス、炭酸ガス、等の気体、シリコーンオイル、フッ素系液体、等の電気絶縁性を有する液体を使用することができる。また、移動シート１の固定シート２に対向する面と固定シート２の移動シート１に対向する面との間の領域に入り込んで潤滑性の薄い皮膜を形成して移動シート１の移動を容易にする機能を有する。この機能を果たす流動体５としては気体よりもシリコーンオイル、フッ素系液体（たとえば、フロリナート（商標））、等の不活性かつ電気絶縁性を有する液体を使用する方が好適である。また、滑り抵抗ではなく、潤滑層と同様の作用効果を有する直径１０〜２０μｍ程度のビーズを使用し転がり抵抗としてもよい。
流動体５は気体、液体、等を単独で使用することができる。また、流動体５は気体、液体、等を組み合わせて使用することができる。たとえば、流動体５として空間を保持するための気体として窒素ガスまたは炭酸ガスを、潤滑性を得るための液体としてフロリナート（商標）の２つを使用すると好適である。
【００１８】
次に、固定シート２の電極構成について説明する。固定シート２における電極線のパターンの一例を図９に示す。固定シート２において移動シート１との対向面に沿う方向に複数本が互いに平行となるように配列している電極線は、図９に示すパターンの一例においては中央部分に存在する。その中央部分を挟む左側部分と右側部分は、電極線の複数本を端子Ｕ，Ｖ，Ｗに結合するための結合線である。端子Ｕ，Ｖ，Ｗと、その各々に結合する結合線と、電極線とは３系統に一体化した導電線であり、端子、結合線、電極線という区別は無意味にも思えるが、ここではその役割において区別する。すなわち、電源部から電力を供給する導電線の部分が端子Ｕ，Ｖ，Ｗであり、端子Ｕ，Ｖ，Ｗと電極線とを結合し電力を伝送する導電線の部分が結合線であり、移動シート１と固定シート２における静電力が作用する主要な導電線の部分が電極線である。
図５においては、端子Ｕに結合するＵ相結合線が左側部分に配置し、端子Ｗに結合するＷ相結合線が右側部分に配置している。また、Ｕ相結合線とＷ相結合線とは固定シート２における表面に配置している。一方、端子Ｖに結合するＶ相結合線は固定シート２における裏面に配置している。Ｖ相結合線は、図５に示すパターンの一例においては、左側部分と右側部分に分かれて配置している。端子Ｖに結合するＶ相電極線を表面に配置するためには、裏面に配置しているＶ相結合線からスルーホールにより表面に配置しているＶ相結合線に電気的な接続を行ない、その表面に配置しているＶ相結合線とＶ相電極線とを結合するパターンとする。
【００１９】
固定シート２においては、上述のように、複数本の電極線は配列の順序にしたがって３系統に統合接続されて３系統の端子Ｕ，Ｖ，Ｗが設けられている。その端子Ｕ，Ｖ，Ｗに属する結合線と電極とによって１つの電極郡が構成される。固定シート２における電極郡のパターンの一例を図１０に示す。固定シート２においては、図１０に一例を示すように、端子Ｕａ，Ｖａ，Ｗａを有する電極郡Ａ、端子Ｕｂ，Ｖｂ，Ｗｂを有する電極郡Ｂ、端子Ｕｃ，Ｖｃ，Ｗｃを有する電極郡Ｃ、のように複数の電極郡が並列配置されている。
それらの複数の電極郡の各端子に対しては、印加する電圧を独立に制御することができる。電源部は制御部の制御下において動作し、電源部は複数の電極郡の各端子に対して、制御部にプログラミングされた所定の時系列パターンで変化する電圧を印加する。また、制御部は位置検出シート３に配置された位置センサの出力信号を入力しており、その出力信号に基づいてプログラミングされた所定の動作パターンで電源部を制御するときの態様を変化させることができる。
【００２０】
次に、本発明の静電アクチュエータにおける電源部と制御部について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成の一例を図１１に示す。また、本発明の静電アクチュエータにおける制御部の構成の一例を図１２に示す。図１１において、１０１は入力器、１０２は制御器、１０３は高電圧電源、１０４は復号器、１０５は切替器であり、これらによって電源部が構成される。また図１２において２００は制御部である。
入力器１０１は、制御部２００から制御の態様を指令する信号を入力し、制御器１０２に対してその信号を出力する部分である。すなわち、インタフェース、バッファ等の役割を有する部分である。その信号にはＵＰ、ＤＯＷＮ、ＳＴＡＲＴ、ＳＴＯＰ、ＳＰＥＥＤが存在する。ＵＰは移動シート１を上昇移行させる指令信号であり、ＤＯＷＮは移動シート１を下降移行させる指令信号である。また、ＳＴＡＲＴは高電圧電源の電力供給を開始する指令信号であり、ＳＴＯＰは高電圧電源の電力供給を停止する指令信号である。また、ＳＰＥＥＤは３相交流における周波数を決定する指令信号である。
なお、当然のことながら、ＵＰ、ＤＯＷＮは上下方向の移行だけを意味するのではなく、電極線の配列方向（個々の電極郡の配置方向）によって、前後方向、左右方向、その他の方向の移行を行うことが可能である。
【００２１】
制御器１０２は入力器１０１から入力した指令信号に基づいて高圧電源１０３と復号器１０４を操作する操作信号を出力する制御器である。
高電圧電源１０３はグランドに対してプラス高電圧とマイナスの高電圧を出力する電源である。高電圧電源１０３は制御器１０２が出力する操作信号に基づいてプラス高電圧とマイナスの高電圧における出力電圧を変化することができる。出力電圧の範囲は、たとえば、２００〜２０００ボルト（Ｖ）である。
復号器１０４は、制御器１０２が出力する操作信号を切替器１０５を動作させる切替信号に複合化する。
切替器１０５は、復号器１０４が複合化する切替信号によって、高圧電源１０３の出力を切替える。その切替によって得られる出力は、たとえば、（１）３相正向進行波、（２）３相逆向進行波、（３）３つの出力をすべてプラス高電圧、（４）３つの出力をすべてマイナス高電圧、（５）３つの出力をすべてグランド（０電圧）のいずれかである。
【００２２】
上述の図１１に示す電源部は、図１２に一例を示すように、電源部Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・、のように複数個が存在する。その複数個の電源部Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・の各々は、複数個の電極郡Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・の各々に電力を供給する。すなわち、１つの電極郡には１つの電源部が対応している。
制御部２００は、電源部の入力器１０１に対して前述した制御の態様を指令する信号を出力する。その指令信号の出力は、移動シート１が所定の動作を行なうようにするためのものである。そのために、制御部２００は、移動シート１の所定の動作に対応した動作プログラムを備えている。その動作プログラムを実行することにより電源部Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・の各々に対応した指令信号を時系列で生成する。そして、その生成した指令信号を電源部Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・に対して出力する。その結果、移動シート１がプログラムされた所定の動作を行なう。制御部２００としては、パーソナルコンピュータ等のデータ処理装置を使用することができる。
【００２３】
また、制御部２００は、位置検出シート３に配置された位置センサの出力信号を入力する。そして、その出力信号に基づいてプログラミングされた所定の動作パターンで電源部を制御するときの態様を変化させる。
たとえば、制御部２００は、位置センサの出力信号に基づいて、移動シート１の位置を検出し、その移動シート１の位置が所定の初期位置となるように電源部を制御する。そして、移動シート１の位置が所定の初期位置となったところで、移動シート１がプログラムされた所定の動作を行なうように、電源部の入力器１０１に対して前述した制御の態様を指令する信号を出力する。
また、制御部２００は、時系列で定められた所定のの目標位置と、位置センサの出力信号に基づく実際の移動シート１の位置との差、すなわち誤差を演算し、その誤差が小さくなるように、電源部の入力器１０１に対して前述した制御の態様を指令する信号を出力する。
これらの制御部２００による制御動作を精度の高いものとするためには、位置検出シート３に配置された位置センサの配置密度を高めることと、個々に制御が可能な１つの電極郡の寸法を小さくして電極郡の配置密度を高めることを行えばよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の静電アクチュエータにおける構成の一例を示す図（断面図）である。
【図２】本発明の静電アクチュエータにおける構成の一例を示す図（構成図）である。
【図３】位置検出シートの一例を示す図（その１）である。
【図４】位置検出シートの一例を示す図（その２）である。
【図５】位置検出シートの一例を示す図（その３）である。
【図６】位置センサの具体例として反射型フォトインタラクタを示す図である。
【図７】包装体からリード線を引出す部分の構造の一例を示す図（その１）である。
【図８】包装体からリード線を引出す部分の構造の一例を示す図（その２）である。
【図９】固定シートにおける電極線のパターンの一例を示す図である。
【図１０】固定シートにおける電極郡のパターンの一例を示す図である。
【図１１】本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成の一例を示す図である。
【図１２】本発明の静電アクチュエータにおける制御部の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  移動シート
２  固定シート
４ａ，４ｂ  包装体
５  流動体
６  リード線
７  ヒートシール材（シーラント）
１０１  入力器
１０２  制御器
１０３  高電圧電源
１０４  復号器
１０５  切替器
２００  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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