(57)【要約】【課題】固体撮像素子上に異物が再付着することを低減することができる固体撮像装置の製造方法を提供する。【解決手段】相互に離間した第１側面壁と第２側面壁と、第１側面壁の第１端部と第２側面壁の第１端部の間の第１端面壁と、第１側面壁の第２端部と第２側面壁の第２端部の間の第２端面壁と、これらの底面を結ぶ底面部を備え、第１側面壁、第２側面壁、第１端面壁、第２側面壁、底面部に囲まれた凹部が形成され、底面部に配置された固体撮像素子を備え、第１側面壁の凹部側の面と、底面部に対して垂直で長手方向と平行な面との間の距離（第１の距離）と、第２側面壁の凹部側の面と、底面部に対して垂直で長手方向と平行な面との間の距離（第２の距離）が、長手方向の位置に依存して変化し、固体撮像素子にノズルにより流体を吹き付ける洗浄工程では、第１及び第２の距離が長くなる方向にノズルを走査させる。【選択図】図１
2010021343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に伸びた第１の側面壁と、
前記長手方向に伸び、前記第１の側面壁から離間した第２の側面壁と、
前記第１の側面壁の第１の端部と前記第２の側面壁の第１の端部との間に設けられた第１の端面壁と、
前記第１の側面壁の第２の端部と前記第２の側面壁の第２の端部との間に設けられた第２の端面壁と、
前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁及び前記第２の端面壁の底面を結ぶ底面部と、
を備え、
前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁、前記第２の側面壁及び前記底面部に囲まれた凹部が形成され、
前記底面部の前記凹部を臨んだ面に配置された固体撮像素子を更に備え、
前記第１の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離（以下、「第１の距離」という。）が、前記長手方向の位置に依存して変化していて、
前記第２の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離（以下、「第２の距離」という。）も、前記長手方向の位置に依存して変化している固体撮像装置の製造方法であって、
前記固体撮像素子にノズルにより流体を吹き付ける洗浄工程を有し、該洗浄工程では、前記第１の距離及び前記第２の距離が長くなる方向に向かって前記ノズルを走査させることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法であって、
前記第１の距離及び前記第２の距離が、前記第１の端面壁から前記第２の端面壁に向かうに従って長くなり、前記洗浄工程では、前記ノズルを前記第１の端面壁から前記第２の端面壁に向かって走査させることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法であって、
前記長手方向の中央部の前記第１の距離及び前記第２の距離が、それぞれ、前記長手方向の両端部の前記第１の距離及び前記第２の距離よりも短く、前記洗浄工程では、２つの前記ノズルを前記長手方向の中央部から前記長手方向の両端部に向かって走査させることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法であって、
前記長手方向の中央部の前記第１の距離及び前記第２の距離が、それぞれ、前記長手方向の両端部の前記第１の距離及び前記第２の距離よりも長く、前記洗浄工程では、２つの前記ノズルを前記長手方向の両端部から前記長手方向の中央部に向かって走査させることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項５】
長手方向に伸びた第１の側面壁と、
前記長手方向に伸び、前記第１の側面壁から離間した第２の側面壁と、
前記第１の側面壁の第１の端部と前記第２の側面壁の第１の端部との間に設けられた第１の端面壁と、
前記第１の側面壁の第２の端部と前記第２の側面壁の第２の端部との間に設けられた第２の端面壁と、
前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁及び前記第２の端面壁の底面を結ぶ底面部と、
を備え、
前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁、前記第２の側面壁及び前記底面部に囲まれた凹部が形成され、
前記底面部の前記凹部を臨んだ面に配置された固体撮像素子を更に備え、
前記第１の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離（以下、「第１の距離」という。）が、前記長手方向の位置に依存して変化していて、
前記第２の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離（以下、「第２の距離」という。）も、前記長手方向の位置に依存して変化していることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項６】
請求項５に記載の固体撮像装置であって、
前記第１の距離及び前記第２の距離が、前記第１の端面壁から前記第２の端面壁に向かうに従って長くなることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項７】
請求項５に記載の固体撮像装置であって、
前記長手方向の中央部の前記第１の距離及び前記第２の距離が、それぞれ、前記長手方向の両端部の前記第１の距離及び前記第２の距離よりも短いことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項８】
請求項５に記載の固体撮像装置であって、
前記長手方向の中央部の前記第１の距離及び前記第２の距離が、それぞれ、前記長手方向の両端部の前記第１の距離及び前記第２の距離よりも長いことを特徴とする固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージの凹部に固体撮像素子が搭載された固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＯＡ(Office Automation)機器類のデジタル複写機やイメージスキャナ等に使用されるラインセンサでは、長尺型のＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子が、凹部を有するセラミック製や樹脂製のパッケージに搭載されている。また、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラに使用される２次元センサも同様である。
【０００３】
特許文献１には、ダストをきらう撮像素子を製造する場合、組立て工程においては、不良品の発生を防止するために撮像素子のチップや外囲器などの被洗浄物に付着したダストを除去するブロー洗浄装置が記載されている。
【特許文献１】特開平４−４８９７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような洗浄は、中空型のパッケージの場合においては、透明部材を接着する工程の前に、固体撮像素子の表面に形成された画素上の異物を除去する為、凹内部を含む固体撮像素子表面の洗浄を行うのが一般的である。
【０００５】
これは、固体撮像素子の画素上に異物が付着していた場合には、異物が入射光を遮断してしまうことによって、固体撮像素子の電気光学特性に異常をもたらしてしまうからである。
【０００６】
パッケージの凹部を洗浄する方法としては、超音波洗浄等のウェットプロセス洗浄や、エアー等の流体を利用した洗浄、ＵＶ(Ultra Violet)洗浄、オゾン洗浄等各種方法がある。中でも流体を利用した洗浄は、流体ノズルから噴出する流体を走査するだけの非常に簡易な工程で実現でき、かつ短タクトの為、有力な洗浄方法の一つである。
【０００７】
しかしながら、凹部を有する半導体パッケージに流体洗浄を行う場合には、下記のような問題があった。
【０００８】
図８は、従来のラインセンサを構成する固体撮像装置を示す概略図であり、（ａ）に平面図、（ｂ）にＡ−Ａ’断面図を示している。
【０００９】
図８中、８０１は固体撮像素子、８０２はパッケージを示しており、内部に凹部８０６を有している。また、８０３は金線等の金属ワイヤーであり、固体撮像素子８０１の表面に形成された電極（不図示）と、インナーリード８０４とを電気的且つ機械的に接続している。
【００１０】
また、８０５はガラス等の透明部材を示しており、中空型パッケージの上面に接着することによって、凹部８０６内の気密性を維持している。
【００１１】
このような固体撮像装置の製造方法では次のようなことが行われる。すなわち、中空型パッケージの凹部８０６の底面に固体撮像素子８０１を接着固定する。その後、固体撮像素子８０１の表面に形成された電極と、パッケージのインナーリードとを電気的且つ機械的に接続する為に、金等のワイヤーで、ワイヤーボンディングを行う。
【００１２】
ワイヤーボンディング後には、透明部材８０５をパッケージ上部に接着固定することにより、固体撮像装置８１２が完成する。
【００１３】
図９は、図８（ａ）の点線部の拡大図であり、流体の走査と異物除去の様子を模式的に示す。
【００１４】
図９中、８０１は固体撮像素子、８０２はパッケージを示している。また、円状に示した部分９０３は、固体撮像素子８０１の上部に配置された流体ノズルからの流体の噴出領域を示しており、ノズルを矢印９１１の方向に走査することによって噴出領域９０３も同様に走査される様子を示している。さらに、９０４〜９０６は固体撮像素子上に付着している異物を示している。
【００１５】
ノズルから流体を噴出させながらノズルを矢印９１１の方向に走査させることにより、付着異物が固体撮像装置８０１から脱離し、ランダムな方向に飛散する。この時、異物９０４、異物９０５のようにほとんどの異物は、流体の圧力を受けながら走査方向に飛散しながら除去されていく。
【００１６】
しかしながら、異物９０６のように、ノズルの走査方向に対して垂直な方向に飛散し、凹部８０６の内壁に向かった異物は、そのまま内壁に垂直に反射して舞い戻り、再付着するという問題があった。
【００１７】
このような現象のために、流体洗浄を行ったのにも関わらず、異物が残留するという問題を生じていた。特に、長尺型の固体撮像装置においては、画素領域と、パッケージの内壁が接近している為、上記反射による残留異物が多く、特に顕著であった。
【００１８】
本発明は、このような問題点に鑑み、固体撮像素子上に異物が再付着することを低減することができる固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明によれば、長手方向に伸びた第１の側面壁と、前記長手方向に伸び、前記第１の側面壁から離間した第２の側面壁と、前記第１の側面壁の第１の端部と前記第２の側面壁の第１の端部との間に設けられた第１の端面壁と、前記第１の側面壁の第２の端部と前記第２の側面壁の第２の端部との間に設けられた第２の端面壁と、前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁及び前記第２の端面壁の底面を結ぶ底面部と、を備え、前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁、前記第２の側面壁及び前記底面部に囲まれた凹部が形成され、前記底面部の前記凹部を臨んだ面に配置された固体撮像素子を更に備え、前記第１の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離が、前記長手方向の位置に依存して変化していて、前記第２の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離も、前記長手方向の位置に依存して変化している固体撮像装置の製造方法であって、前記固体撮像素子にノズルにより流体を吹き付ける洗浄工程を有し、該洗浄工程では、前記第１の距離及び前記第２の距離が長くなる方向に向かって前記ノズルを走査させることを特徴とする固体撮像装置の製造方法が提供される。
【００２０】
また、本発明によれば、長手方向に伸びた第１の側面壁と、前記長手方向に伸び、前記第１の側面壁から離間した第２の側面壁と、前記第１の側面壁の第１の端部と前記第２の側面壁の第１の端部との間に設けられた第１の端面壁と、前記第１の側面壁の第２の端部と前記第２の側面壁の第２の端部との間に設けられた第２の端面壁と、前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁及び前記第２の端面壁の底面を結ぶ底面部と、を備え、前記第１の側面壁、前記第２の側面壁、前記第１の端面壁、前記第２の側面壁及び前記底面部に囲まれた凹部が形成され、前記底面部の前記凹部を臨んだ面に配置された固体撮像素子を更に備え、前記第１の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離が、前記長手方向の位置に依存して変化していて、前記第２の側面壁の前記凹部に臨んだ面と、前記底面部に対して垂直で前記長手方向と平行な面との間の距離も、前記長手方向の位置に依存して変化していることを特徴とする固体撮像装置が提供される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、洗浄工程において、固体撮像素子上に異物が再付着することを低減することができ、生産歩留りが向上することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【００２３】
［実施形態１］
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態を示す固体撮像装置の正面図、図１（ｂ）はそのＸ−Ｘ’断面図、図１（ｃ）はそのＹ−Ｙ’断面図である。
【００２４】
図１中、１０１は固体撮像素子、１０２はセラミック又は樹脂等から成るパッケージ部である。１０３は金線等の金属ワイヤーであり、固体撮像素子１０１の表面に形成された電極（不図示）と、インナーリード１０４とを電気的且つ機械的に接続している。
【００２５】
パッケージ部１０２は、第１の側面壁１０２−１、第２の側面壁１０２−２、第１の端部１０２−３、第２の端部１０２−４及び底面部１０２−５を含む。第１の側面壁１０２−１は第２の側面壁１０２−２から離間して配置されており、第１の端部１０２−３は第２の端部１０２−４から離間して配置されている。第１の端面壁１０２−３は第１の側面壁１０２−１の第１の端部と第２の側面壁１０２−２の第１の端部との間に設けられている。第２の端面壁１０２−４は第１の側面壁１０２−１の第２の端部と第２の側面壁１０２−２の第２の端部との間に設けられている。
【００２６】
また、１０５はガラス等の透明部材を示しており、中空型パッケージ１０２の上面に接着することによって、凹部１０６の気密性を保持している。
【００２７】
凹部１０６は、内壁面１０７〜１１１の５面により形成されており、このうち固体撮像装置の長手方向に沿った面は、１０７〜１０９である。
【００２８】
本実施形態においては、内壁面１０７と内壁面１０８とを、固体撮像素子１０１の長手方向に対して平行とせず、ある程度の傾きをもって傾斜させていることが特徴である。従って、第１の側面壁１０２−１の凹部１０６に臨んだ面と第２の側面壁１０２−２の凹部１０６に臨んだ面との間の距離が、長手方向の位置に依存して異なる。また、この傾斜をつけることによって、凹部１０６の長手方向に対して垂直な面における凹部１０６の断面積が連続的に変化する構造をとっている。
【００２９】
ここで断面積が連続的に変化する場合とは、固体撮像素子１０１の長手方向に対して平行でない内壁面１０７、１０８が、平面又は曲面から構成されている場合を含む。
【００３０】
図２は、図１の点線部の拡大図である。そして、図２は、本発明の流体の走査と異物除去の様子を模式的に示す。図２中、１０１は固体撮像素子、１０２はパッケージ部を示している。また、円状に示した部分２０３は、固体撮像素子１０１の上部に配置された流体ノズルからの流体噴出領域を示しており、ノズルを走査することによって噴出領域も同様に矢印２０１で示されるように走査される様子を示している。さらに、２０４〜２０６は固体撮像素子１０１上に付着している異物を示している。
【００３１】
ノズルから流体を噴出させながらノズル及び流体を固体撮像素子１０１の長手方向に走査させることにより、付着異物が固体撮像素子１０１から脱離し、ランダムな方向に飛散する。この時、異物２０４、異物２０５のようにほとんどの異物は、流体の圧力の影響を受けて、ノズルの走査に従ってノズル進行方向に飛散しながら除去されていく。
【００３２】
また、異物２０６のように、凹部１０６の内壁１０８に向かって、ノズル進行方向に対して垂直に飛散した場合においても、異物２０６の内壁１０８の面による反射方向をノズル進行方向と一致させることができる。これは、内壁１０８の面に傾斜が設けられているからである。また、これによって、異物２０６をノズル進行方向に押し流すことが可能となる。
【００３３】
以上の作用により、従来構成では残留していた異物を、本発明においては、効率よく除去することが可能となり、異物の除去確率を高め、歩留りを向上させることが可能となる。
【００３４】
図７（ａ）〜（ｅ）は、本発明の固体撮像装置の製造工程を示す模式図である。
【００３５】
このような固体撮像装置の製造方法としては、まず上述のパッケージ１０２を用意し（図７（ａ））、パッケージ１０２の凹部１０６の底面に固体撮像素子１０１を接着固定する（図７（ｂ））。
【００３６】
次に、固体撮像素子１０１の表面に形成された電極と、パッケージのインナーリードとを電気的且つ機械的に接続する為に、金等のワイヤー１０３で、ワイヤーボンディングを行う（図７（ｃ））。さらにパッケージ１０２の凹部内の固体撮像素子１０１面上とその周辺に存在する異物を取り除く（図７（ｄ））。最後に、透明部材１０５をパッケージ上部に接着固定することにより、固体撮像装置１１２が完成する（図７（ｅ））。
【００３７】
ここで、図７（ｄ）において、７２１はノズル、７２２は流体を示しており、ノズル７２１からの流体７２２を固体撮像素子１０１上の長手方向に沿って走査させることによって、固体撮像素子１０１上の異物を除去する（洗浄する）ことが可能である。
【００３８】
この時、流体の走査方向としては、図中矢印７２３で示した方向に走査を行う。即ち、凹部１０６の長手方向に対して垂直な面における断面積が、狭い位置から広い位置に向かって走査することが特徴である。すなわち、第１の側面壁１０２−１の凹部１０６に臨んだ面と、底面部１０２−５に対して垂直で長手方向と平行な面との間の距離（以下、「第１の距離」という。）が、長くなり、第２の側面壁１０２−２の凹部１０６に臨んだ面と、底面部１０２−５に対して垂直で長手方向と平行な面との間の距離（以下、「第２の距離」という。）も、長くなる方向に走査させることが特徴である。
【００３９】
流体７２２をこのような方向に走査することによって、異物の内壁面に対する反射方向がノズル進行方向を含むようにすることができ、異物を前方に押し流すことが可能となる。
【００４０】
本実施形態においては、長手方向の２つの側壁面１０７、１０８に傾斜が形成されている場合について説明を行ったが、この場合においては、２つの側壁面１０７、１０８からの反射異物を押し流すことが可能となり、最も好適である。
【００４１】
しかしながら、特に２つの面１０７、１０８である必要は無く、少なくとも内壁面１０７、１０８の少なくとも一つの面が、半導体素子１０１の長手方向と平行でないことによって、異物の除去能力を従来よりも向上することも可能である。
【００４２】
内壁面１０７、１０８の半導体素子１０１の長手方向に対する傾斜角度には特に限定は無い。しかし、傾斜角度が小さい場合には、内壁面１０７、１０８を反射した異物の進行方向が流体進行方向を含む確率が低くなる。逆に、傾斜角度が大きい場合には、パッケージ１０２が大きくなり、パッケージコストの増大を招いてしまう。それらの兼ね合いから、傾斜角度としては、固体撮像素子１０１の長手方向に対して１度乃至３０度が好適である。
【００４３】
また、本実施形態の製造方法においては、洗浄工程をワイヤーボンディング工程の後に行う場合について説明を行った。しかし、洗浄工程は固体撮像素子１０１を搭載した（図７（ｂ））後から封止する工程（図７（ｅ））の前であれば、どの工程の後でもよく、限定は無い。また、状況に応じて、洗浄工程を、最大で他の各工程間に設けても構わない。
【００４４】
また、本発明の固体撮像装置としては、長尺型の固体撮像素子を利用した長尺型の固体撮像装置において、とりわけ上述の作用効果を発揮することができ、固体撮像素子の長辺側と短辺側の比が、長辺／短辺＝２以上の長尺の固体撮像装置に対して好適である。
【００４５】
［実施形態２］
図３は、本発明の第２の実施形態を示す固体撮像装置の正面図である。
【００４６】
図３中、１０１は固体撮像素子、３０２はセラミック又は樹脂等から成るパッケージ部、１０３は金線等の金属ワイヤーであり、固体撮像素子１０１の表面に形成された電極（不図示）と、インナーリード１０４とを電気的且つ機械的に接続している。
【００４７】
パッケージ部３０２は、第１の側面壁３０２−１、第２の側面壁３０２−２、第１の端部３０２−３、第２の端部３０２−４及び底面部３０２−５を含む。第１の側面壁３０２−１は第２の側面壁３０２−２から離間して配置されており、第１の端部３０２−３は第２の端部３０２−４から離間して配置されている。第１の端面壁３０２−３は第１の側面壁３０２−１の第１の端部と第２の側面壁３０２−２の第１の端部との間に設けられている。第２の端面壁３０２−４は第１の側面壁３０２−１の第２の端部と第２の側面壁３０２−２の第２の端部との間に設けられている。
【００４８】
また、１０５はガラス等の透明部材を示しており、中空型パッケージ３０２の上面に接着することによって、凹部３０６の気密性を保持している。
【００４９】
凹部３０６は、内壁面３０７〜３１１の５面により形成されており、このうち固体撮像装置の長手方向に沿った面は、３０７〜３０９である。
【００５０】
本実施形態においては、内壁面３０７と内壁面３０８とが、固体撮像素子３０１の長手方向に対して平行とせず、ある角度を持って傾斜していることを特徴としている。従って、第１の側面壁３０２−１の凹部３０６に臨んだ面と第２の側面壁３０２−２の凹部３０６に臨んだ面との間の距離が、長手方向の位置に依存して異なる。
【００５１】
また、上記傾斜をつけることによって、前記凹部３０６の長手方向に対して垂直な面における断面積が、長手方向の一端から長手方向の中央部に向かって連続的に減少する。そして、長手方向の中央部から長手方向の他端に向かって連続的に増加する。すなわち、上述した長手方向の中央部の第１の距離及び第２の距離が、それぞれ、長手方向の両端部の第１の距離及び第２の距離よりも短い。
【００５２】
図４には、実施形態２において最適な固体撮像装置の洗浄工程を示す模式図を示している。ここで、図４において、４２１はノズル、４２２は流体を示している。２つのノズル４２１及び２つの流体４２２の走査方向は、パッケージの長手方向の中央部からパッケージの長手方向の外側２方向にそれぞれ向かうものである。即ち、凹部３０６の長手方向に対して垂直な面における断面積が狭い位置から広い位置に向かって走査することが特徴である。
【００５３】
２つのノズル４２１からの２つの流体４２２を固体撮像素子１０１上の固体撮像装置３１２の長手方向の中央部から固体撮像装置３１２の長手方向の外側２方向にそれぞれ走査させる。これによって、実施形態１と同様の作用により、固体撮像素子上の異物を除去する（洗浄する）ことが可能である。
【００５４】
［実施形態３］
図５は、本発明の第３の実施形態を示す固体撮像装置の正面図である。
【００５５】
図５中、１０１は固体撮像素子、５０２はセラミック又は樹脂等から成るパッケージ部である。１０３は金線等の金属ワイヤーであり、固体撮像素子１０１の表面に形成された電極（不図示）と、インナーリード１０４とを電気的かつ機械的に接続している。
【００５６】
パッケージ部５０２は、第１の側面壁５０２−１、第２の側面壁５０２−２、第１の端部５０２−３、第２の端部５０２−４及び底面部５０２−５を含む。第１の側面壁５０２−１は第２の側面壁５０２−２から離間して配置されており、第１の端部５０２−３は第２の端部５０２−４から離間して配置されている。第１の端面壁５０２−３は第１の側面壁５０２−１の第１の端部と第２の側面壁５０２−２の第１の端部との間に設けられている。第２の端面壁５０２−４は第１の側面壁５０２−１の第２の端部と第２の側面壁５０２−２の第２の端部との間に設けられている。
【００５７】
また、１０５はガラス等の透明部材を示しており、中空型パッケージ５０２の上面に接着することによって、凹部５０６の機密性を保持している。
【００５８】
凹部５０６は、内壁面５０７〜５１１の５面により形成されており、このうち固体撮像装置の長手方向に沿った面は、５０７〜５０９である。
【００５９】
本実施形態においては、内壁面５０７と内壁面５０８とが、固体撮像素子５０１の長手方向に対して平行とせず、ある角度を持って傾斜していることを特徴としている。従って、第１の側面壁５０２−１の凹部５０６に臨んだ面と第２の側面壁５０２−２の凹部５０６に臨んだ面との間の距離が、長手方向の位置に依存して異なる。
【００６０】
また、上記傾斜をつけることによって、前記凹部５０６の長手方向に対して垂直な面における断面積が、長手方向の一方から長手方向の中央部に向かって連続的に増加する。そして、長手方向の中央部から長手方向の他端に向かって連続的に減少する。すなわち、長手方向の中央部の第１の距離及び第２の距離が、それぞれ、長手方向の両端部の第１の距離及び第２の距離よりも長い。
【００６１】
図６には、実施形態３において最適な固体撮像装置の洗浄工程を示す模式図を示している。ここで、図６において、６２１はノズル、６２２は流体を示している。２つのノズル６２１及び２つの流体６２２の走査方向は、パッケージ長手方向の外側２方向からパッケージの長手方向の中央部にそれぞれ向かうものである。即ち、凹部５０６の長手方向に対して垂直な面における断面積が狭い位置から広い位置に向かって走査することが特徴である。
【００６２】
２つのノズル６２１からの２つの流体６２２を固体撮像素子１０１上の固体撮像装置５１２の長手外側２方向からパッケージ３１２の中央部にそれぞれ走査させる。これによって、実施形態１と同様の作用により、固体撮像素子上の異物を除去する（洗浄する）ことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施形態の固体撮像装置を示す概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｃ）はＹ−Ｙ’断面図である。
【図２】本発明の実施形態による固体撮像装置の異物除去方法の模式図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の固体撮像装置を示す概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｃ）はＹ−Ｙ’断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の固体撮像装置の洗浄工程を示す模式図である。
【図５】本発明の第３の実施形態の固体撮像装置を示す概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｃ）はＹ−Ｙ’断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態の固体撮像装置の洗浄工程を示す模式図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の固体撮像装置製造工程を示す概略図である。
【図８】従来の固体撮像装置を示す概略図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はＡ−Ａ’断面図である。
【図９】従来の固体撮像装置の異物除去方法の模式図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０１、３０１、５０１、８０１  固体撮像素子
１０２、３０２、５０２、８０２  パッケージ
１０３、８０３  ワイヤー
１０４、８０４  インナーリード
１０５、８０５  透明部材
１０６、３０６、５０６、８０６  凹部
１０７〜１１１、３０７〜３０８、５０７〜５０８  内壁面
１１２、３１２、５１２、８１２  固体撮像装置
２０３、９０３  流体噴射領域
２０４〜２０６、９０４〜９０６  異物
４２１、６２１、７２１  ノズル
４２２、６２２、７２２  流体
【図１】
2010021343.tif 000003
【図２】
2010021343.tif 000004
【図３】
2010021343.tif 000005
【図４】
2010021343.tif 000006
【図５】
2010021343.tif 000007
【図６】
2010021343.tif 000008
【図７】
2010021343.tif 000009
【図８】
2010021343.tif 000010
【図９】
2010021343.tif 000011