(57)【要約】【課題】ＰＤＰの封着・排気中に、パネル内部の圧力を外部気圧より増加することで背面側ガラス基板のリブと前面側ガラス基板との間に隙間を強制的に設けることで内部の流動性を確保し、結果、均質な特性を有するパネルを提供する手段を提供する。【解決手段】前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０との封着・排気による貼合に際し、炉６０内の気圧を前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０との間の気圧より低下させる。併せて、パネル間を固定するクリップ４０を配置する箇所に隔壁３１を設ける。これらにより、パネル中央部のたわみの発生を防ぎ、パネル内部の流動性を確保する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リブが多数形成された背面側ガラス基板と、前面側ガラス基板とを有し、前記背面側ガラス基板と前記前面側ガラス基板の重複範囲外周を昇温・溶融したシール材を圧着することで放電空間の気密をするプラズマディスプレイパネルであって、
封着の昇温時に前記背面側ガラス基板と前記前面側ガラス基板を固定用治具で固定する箇所に前記シール材がパネル内側に載置されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
請求項１記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記シール材が内側に載置された箇所の前記重複範囲外周よりに隔壁を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
請求項２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記隔壁は前記背面側ガラス基板に形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
請求項１ないし２に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、前記背面側ガラス基板には少なくとも酸素を有するガスを導入する排気管が設けられ、前記シール材を封着する工程の加熱昇温中に該排気管を通して前記酸素を有するガスを導入することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
背面側ガラス基板と、前面側ガラス基板とを有し、前記背面側ガラス基板と前記前面側ガラス基板の重複範囲外周を昇温・溶融したシール材を圧着することで放電空間の気密をするプラズマディスプレイパネルの製造用炉であって、
前記プラズマディスプレイパネルの前記背面側ガラス基板には排気管が設けられ、
前記排気管を通して酸素を有するガスを導入するガス導入手段を有し、前記シール材を昇温・溶融する工程の加熱昇温時に前記酸素を有するガスを導入することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造用炉。
【請求項６】
請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの製造用炉において、前記シール材を昇温・溶融する工程の過熱昇温時に前記背面側ガラス基板と前記前面側ガラス基板との間の気圧により炉内の気圧を低下させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造用炉。
【請求項７】
請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造用炉において、炉内循環風を用いて前記炉内の気圧の低下を実現することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造用炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイの製造方法、特に前面側ガラス基板と背面側ガラス基板の密閉方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は前面側ガラス基板と背面側ガラス基板を対向して張り合わせ、基板周辺で封着し、内部に放電ガス（Ｘｅなど）を封入した構成を取る。
【０００３】
このうち背面側ガラス基板には放電単位であるセル間での放電干渉（クロストーク）を防ぐため、リブが形成され、放電空間が仕切られている。従来は垂直方向に色毎に区切るストライプリブがよく用いられていた。しかし、現在では画面の水平方向にもリブを設けるボックスリブが主流となりつつある。併せて、ＰＤＰ自体の高精細化が進み、放電セルの数がより多くなっているため、ＰＤＰ全体におけるリブの本数は増加する傾向にある。
【０００４】
これらのリブの量産工程における形成に際しては、感光性リブ材料を用いたリブ形成方法（感光性リブ形成方法）と、サンドブラスト法によるリブ形成方法が採用されることが多い。このうち、感光性リブ形成方法では、段差を有するリブ形成が可能である一方、一括露光では形成が難しく、複数回の露光を行うなど、工程が複雑となる問題がある。また、サンドブラスト法は、均一な厚さの誘電体乾燥膜を形成し、その表面にリブパターンに対応したレジストパターンを形成し、切削粒子を吹き付ける方法である。しかし、サンドブラスト法では、リブの高さが一定となる弱点もある。
【０００５】
このようにリブが多数形成された背面側ガラス基板と前面側ガラス基板とを、低融点ガラスを用いて昇温し気密・密封する際には、焼成残渣などの有機物や、吸着した水、二酸化炭素を効率的に排出することが多数のリブの存在により困難になる。特に排気封着工程では、パネル周辺部をクリップで押圧して加熱を行うが、基板サイズの大型化、基板厚の薄型化に伴い、基板の自重によるたわみにより、パネル中央付近の前背面が接した状態となり同一パネル内のパネルの特性にバラつきが生じることがある。
【０００６】
この問題点については以下のような先行技術が上げられる。
【０００７】
特開２００４−２０００３５号公報（特許文献１）においては、隣接する放電セル間でのクロストークの抑制と排気工程における排気コンダクタンスの低下抑制とが可能な構造のＰＤＰの提案がなされている。これは、前面側ガラス基板と背面側ガラス基板に設けられたリブとの当接部の一部に非直線的に連通する連通部を備えることで実現する。
【０００８】
また、特開２００３−３１７６２１号公報（特許文献２）においては、封着後十分に降温した後に放電空間に対し酸素を有する乾燥ガスを導入することが記載されている。
【０００９】
更に、特開２００２−１３４０２０号公報（特許文献３）においては、封着済みパネルに洗浄ガスを供給し、パネル内を陽圧にする工程が記載されている。
【特許文献１】特開２００４−２０００３５号公報
【特許文献２】特開２００３−３１７６２１号公報
【特許文献３】特開２００２−１３４０２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１記載の技術では、前面ガラス基板の誘電体表面に溝を形成するなど、工程、材料費が増える。
【００１１】
また、特許文献２記載の技術では、封着温度より降温した後に乾燥ガスを導入しており、排気管も２本必要で基板の加工費、排気管の材料費が増える。これは特許文献３記載の技術でも、同様である。
【００１２】
本発明の目的は、ＰＤＰの封着工程における昇温中に、パネル内部の圧力を外部気圧より増加することで背面側ガラス基板のリブと前面側ガラス基板との間に隙間を強制的に設けることで内部の流動性を確保するとともに、有機系付着物の燃焼を促進し、結果、均質な特性を有するパネルを提供する手段を提供することにある。
【００１３】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
【００１５】
本発明の代表的な実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルは、リブが多数形成された背面側ガラス基板と、前面側ガラス基板とを有し、背面側ガラス基板と前面側ガラス基板の重複範囲外周を昇温・溶融したシール材を圧着することで放電空間の気密をし、封着の昇温時に背面側ガラス基板と前面側ガラス基板を固定用治具で固定する箇所に前記シール材がパネル内側へ載置されることを特徴とする。
【００１６】
このプラズマディスプレイパネルのシール材が内側に載置された箇所の外周よりに隔壁が形成されることを特徴としても良い。
【００１７】
このプラズマディスプレイパネルの隔壁は背面側ガラス基板に形成されていることを特徴としてもよい。
【００１８】
このプラズマディスプレイパネルの背面側ガラス基板には酸素を有する乾燥ガスを導入する排気管が設けられることを特徴としてもよい。
【００１９】
本発明の代表的な実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの製造用炉は、背面側ガラス基板と、前面側ガラス基板とを有し、背面側ガラス基板と前面側ガラス基板の重複範囲外周を昇温・溶融したシール材を圧着することで放電空間の気密をするプラズマディスプレイパネルを対象とするものであって、シール材の昇温・溶融時に前記背面側ガラス基板と前面側ガラス基板との間の気圧より炉内の気圧を低下させることを特徴とする。
【００２０】
このプラズマディスプレイパネルの製造用炉は、背面側ガラス基板には排気管が設けられたプラズマディスプレイパネルを対象としたものであり、排気管を通して酸素を有するガスを導入するガス導入手段を有し、前記シール材の昇温・溶融時に前記酸素を有するガスを導入することを特徴としてもよい。
【００２１】
このプラズマディスプレイパネルの製造用炉は、炉内循環風を用いて前記炉内の気圧の低下を実現することを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
【００２３】
本発明の代表的な実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの製造方法によって、封着工程の昇温時における焼成残渣等の有機成分の燃焼を促進し、パネル外へ効率よく排出することが可能となる。特に、排気孔（排気管）からパネル内へ少なくとも酸素を含んだガスを導入することで、同様の効果が得られる。
【００２４】
また前面側ガラス基板と背面側ガラス基板とを固定するクリップで押圧する位置のシール材を前面側ガラス基板と背面側ガラス基板の重なり合う部分の最外周よりも内側に配置する。そして、シール上部から外側の部分を押圧することで、パネル中央に隙間を形成しやすい構成とすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、従来のＰＤＰの製造に関する実施の形態を説明した後に、本発明の実施の形態を説明する。
【００２６】
（従来の実施の形態）
図１は３電極プラズマディスプレイの構成を表す断面斜視図である。従来は、製造上の簡便さから当初はストライプリブ構造であったが、近年は格子パターンやワッフルパターンのリブ構造が多くなっている。図１はこの段差を有する格子パターンの斜視断面図を表している。
【００２７】
この３電極プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）１は、前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０を含んで構成される。
【００２８】
またこのＰＤＰ１の表示面ＥＳはｍ×ｎ個のセル（発光セル）からなる。各セルにおいて表示放電を生じさせるための電極対を構成するＸ表示電極Ｘ、Ｙ表示電極Ｙがマトリクス表示の行方向（横方向）に延び、アドレス電極Ａが列方向（縦方向）に延びている。
【００２９】
Ｘ表示電極Ｘ、Ｙ表示電極Ｙは前面側ガラス基板１０の基材である前面ガラス基板１１の内面に一対ずつ配置されている。本明細書中では、Ｘ表示電極Ｘ、Ｙ表示電極Ｙのそれぞれは、面放電ギャップ（放電ギャップ）を形成する透明電極膜４２と、その列方向の端縁に重ねられた金属電極４１からなることを想定する。ただし、透明電極膜４２がない金属電極４１のみからなる構成でも本発明の適用は可能である。なお、Ｘ表示電極Ｘの金属電極４１を金属電極４１Ｘ、Ｙ表示電極Ｙの金属電極４１を金属電極４１Ｙと以下の説明で記載する場合もある。
【００３０】
Ｘ表示電極Ｘ、Ｙ表示電極Ｙを被覆するように厚さ２０〜４０μｍ程度の誘電体層１７が設けられ、誘電体層１７の表面には保護膜１８として酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が被着されている。この保護膜１８はＳｒＣａＯ等の他の電子放出係数の高い膜であっても良い。なお、行間の電極間隙（逆スリット）には、コントラストを高める目的で、塗料をガラス基板１１の外側に塗布する、マンガン、酸化鉄、クロム、他の顔料などを含む着色ガラス層をガラス基板１１の内面側に形成する、等によりブラックマトリクスと呼称される暗色層が配置されていても良い。
【００３１】
アドレス電極Ａは背面側ガラス基板２０の基材である背面ガラス基板２１の内側にセル１列に対し１本ずつ配置されている。アドレス電極Ａは誘電体層２４で被覆されている。誘電体層２４の上に本発明に特有の構造を持つ格子パターンのリブ２９が設けられている。
【００３２】
リブ２９は低融点ガラスの封着・排気体である。リブ２９は放電空間を列ごとに区画する部分（垂直リブ）２９１と、行ごとに区画する部分（水平リブ）２９２とからなる。垂直リブ２９１と水平リブ２９２の交差部分は互いの共通部分である。
【００３３】
誘電体層２４の表面及びリブ２９の側面を被覆するように、カラー表示のためのＲＧＢ（赤緑青）の三色に対応した蛍光体層２８Ｒ、２８Ｇ、２８Ｂが設けられている。図中の斜体文字は蛍光体の発光色を表す。色配列は各列のセルを同色としたＲ、Ｇ、Ｂの繰り返しパターンである。
【００３４】
蛍光体層２８Ｒ、２８Ｇ、２８Ｂは該当するセル内の放電ガスが放つ紫外線によって励起され発光する蛍光体の層である。
【００３５】
このような格子パターンのように、平面視で閉じた形状の閉鎖系のリブパターンをサンドブラスト法で形成した場合を考える。
【００３６】
図２は従来のプラズマディスプレイパネルを封着・排気するときの断面を表す図である。この図では背面側ガラス基板２０を基板支持用テーブルに設置したものとして説明する。
【００３７】
従来は封着・排気時にクリップ（固定用治具）４０によって前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０を挟む際の応力及び前面側ガラス基板１０の自重により「たわみ」が発生する。
【００３８】
サンドブラスト法でリブを形成した大型基板の場合、この「たわみ」により、中央付近では、前面ガラス基板１０側の誘電体１８とリブパターンの頂面が当接する形で封着・排気が行われる。このように、前背面が接した状態では、セル内部に残った焼成残渣などの有機物や、吸着した水、二酸化炭素を効率よく燃焼脱離し、パネル外に排気することが難しい。その為、放電セル内に不純物が残留し、パネル特性に悪影響を与える。特に、パネル周辺と中央において、その差が顕著となり、表示ムラを発生する原因となる。
【００３９】
また、シール材料を前面基板と背面基板の交差部の最外周よりも内側に形成すると、シールと表示エリアの最外周の隔壁との間隔が狭くなり、排気の経路が小さくなる問題がある。また、シールが封着温度でつぶれ、前面基板と背面基板の交差部の最外周まで広がらない場合には、ごみや水分が浸入する問題もある。すなわち、封着排気工程後の電極端子を覆う誘電体層を除去する工程で、誘電体を除去するエッチング液や、水洗の水が残留し、パネルのスローリークなどの問題を発生するおそれがある。
【００４０】
（第１の実施の形態）
図３は本発明の第１の実施の形態の原理を説明するための概念図である。
【００４１】
このプラズマディスプレイパネルは、前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０を含んで構成される。これらの前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０及び後述するシール材３０によって、放電空間を形成する。
【００４２】
シール材３０は、前面ガラス基板と背面ガラス基板の重複範囲外周に沿って配置され、クリップ４０を用いて固定する箇所に応じて、パネル内側へ配置されている。シール材３０が内側に載置された箇所で前面側ガラス基板１０と背面側ガラス基板２０の間に挟まれる形で、隔壁３１が点在している。この隔壁３１は、前面側ガラス基板１０または背面側ガラス基板２０上に形成されてもよく、また別体として設けても良い。
【００４３】
従来でも固定用にクリップ４０を用いていたのは上述の通りである。本発明ではクリップ４０の固定箇所をシール材３０の上から隔壁３１よりにずらして用いる。これによりクリップにより生じる押圧力（応力）が、シール上を支点として前背面基板のシール内周側を密着させる力をなくすことができる。なお、この隔壁３１は表示面に形成されるリブ２９と同じ形成方法（サンドブラスト工程）で形成可能であるため、新たな工程の追加を要することは無く、パターンの変更だけで対応可能である。
【００４４】
隔壁３１の内周側にプラズマディスプレイパネルを密閉するシール材３０が配置される。シール材３０の材料としては低融点ガラスが一般的であり、本発明においてもこれらの一般的材料の使用を想定している。
【００４５】
このシール材３０の配置の際に、クリップ４０を固定する隔壁３１が存在する箇所ではシール材３０を内側に寄せる。このように処理することで、シール材３０が内側によっても、前背面の隙間を隔壁が埋めるため、水分やごみの浸入が防止できる。
【００４６】
排気管５０はセル内部に残った焼成残渣や吸着水などを排気工程でガス化して外部に放出するための排気管である。
【００４７】
なお、図上ではクリップ４０は一箇所に記載しているが、隔壁３１の存在する各箇所でクリップ４０による固定がなされる。本図では１２ヶ所で固定されることを想定する。
【００４８】
図４は本発明の第１の実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルを形成するときの図３のＡ−Ａ´における断面を表す断面図である。なお、この図では封着昇温工程の際に用いられる炉６０の中に存在するものとして説明する。
【００４９】
本実施の形態では、クリップ４０はシール材３０上、または、シール材３０よりも外周側で固定する。これにより、クリップ４０の応力によって画面中央部がたわむことをまず防止する。
【００５０】
また、炉６０の内部圧力Ｐｏｕｔをパネル内部の圧力Ｐｉｎより高くすべく（Ｐｏｕｔ＜Ｐｉｎ）、炉６０内を減圧雰囲気とする。併せて、排気管５０から酸素及び窒素の混合されたガスを導入することで、Ｐｏｕｔ＜Ｐｉｎとすることを促進する。このガスの導入により、酸化剤としての酸素が導入され、セル内部の有機系の残渣や吸着物質の焼成を促進し、パネル周辺と中央における表示ムラの発生を防ぐ。この際、炉６０内の減圧にはポンプ等を使うのが一般的である。また、シールの兆部にはわずかな凹凸があり対向配置された基板との間にもわずかな隙間があるので排気管５０から前記酸素を含むガスを導入した場合に、燃焼、ガス化された有機系の不純物質は、この隙間を通じてパネル外へ排出される。これにより、パネル周辺と中央における表示ムラの発生を防ぐ効果も有する。
【００５１】
これらの策をうち、Ｐｏｕｔ＜Ｐｉｎとすることで、前面ガラス基板１０の誘電体１８とリブパターンの頂面の間に隙間ができ、結果、放電空間内での流動性を確保できる。この流動性により、焼成残渣や水、二酸化炭素を効率よく拡散でき、結果排気管から導入したガスを排出し、Ｘｅ等の放電ガスを封入した後の放電空間内の均質化が図れる。このガスの導入手段を炉が有することも炉６０の特徴であろう。
【００５２】
具体的には、パネルサイズが５０インチ、前面側ガラス基板１０のガラス基板の厚さが１．８ｍｍのとき、ＰｉｎをＰｏｕｔより３ｔｏｒｒ高くすることで上記の目的を達成することが可能である。
【００５３】
また、シールの外側に位置するように、隔壁３１を形成することでエッチング液や、水洗の水が残留することを防ぐことが可能となる。
【００５４】
変形例として、以下のようなものも考えられる。
【００５５】
図５は本発明の第１の実施の形態の原理を説明するための別の概念図である。すなわち、隔壁３１を表示面の外周全てに設けてもよい。このようにすることでクリップ４０を配置する際の位置あわせなどの作業工数低減が図れる。また、クリップ数の増減などの工程の変更などに即応できるという別のメリットもある。
【００５６】
また、上記では、クリップ４０をシール材３０上で固定する旨述べたが、シール材３０より外側で固定してもよい。シール材３０より外側に力が働けば、中央部付近で膨らむように応力が働くためである。
【００５７】
（第２の実施の形態）
次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００５８】
第１の実施の形態では、ポンプなどを使って減圧することを述べた。これに対し第２の実施の形態では、流体力学の定理のひとつであるベルヌーイの定理を用いて、減圧することを目的とする。
【００５９】
図６は本発明の第２の実施の形態に関わる他のプラズマディスプレイパネルを形成するときの図５のＡ−Ａ´に平行なパネル中央付近における断面を表す断面図である。
【００６０】
本実施の形態では温風循環型の炉６１を用いる。この炉６１は略筒型の構成を取る。この炉の入出口部分でパネルに対向する炉壁との距離が長く、ＰＤＰを載置する基板支持用テーブル付近パネルに対向する炉壁との距離が短いものとする。
【００６１】
この炉は炉内循環風を炉６１の一方の開口部から高温の循環風を流入させることを特徴とする。すなわち「流速が増加すれば、圧力は低下する」というベルヌーイの定理により、図の破線で描かれた円の箇所（パネルと対向する炉壁との距離が一番短い箇所）の圧力が低下する。この箇所に製造対象のＰＤＰの表示面ＥＳの中央を位置させることにより、第１の実施の形態と同様の効果を生じることができる。
【００６２】
なお、上記では炉６１は略筒型としたが、製造するＰＤＰの大きさ等によっては断面が矩形をとっても問題は無い。
【００６３】
（第３の実施の形態）
次に本発明の第３の実施の形態について説明する。
【００６４】
図７は本発明の第３の実施の形態の原理を説明するための概念図である。この図ではシール材３０の内側に隔壁３１を置くと共に、隔壁３１に面した箇所のシール材３０を他の箇所より内側に寄せることを特徴とする。
【００６５】
隔壁３１をシール材３０の内側に置くことで以下の利点が存在する。すなわち、シール材３１が昇温によって封着温度に達すると、クリップ４０の押圧力によって流動・変形する。この際、隔壁３１の存在によって、流動方向が外側にのみ向けられる。なお、図上では矢印によって流動方向を表している。
【００６６】
このようにすることで、内側に寄せて塗布したシール材３０を基板端まで広げることが容易となり、パネルの封着・排気後の前面側ガラス基板１０及び背面側ガラス基板２０間の隙間をなくすことが可能となる。これにより、ゴミやエッチング液、水洗水などの残留も抑制できる。
【００６７】
（第４の実施の形態）
最後に本発明の第４の実施の形態について説明する。
【００６８】
図８は本発明の第４の実施の形態の原理を説明するための概念図である。この図８はシール材３０が外周から遠近されて配置されている図３及び図７を基礎として、電極端子７０をどのように引き出すかを表すことを目的としたものである。
【００６９】
電極端子７０は前面側ガラス基板１０に設けられるＸ表示電極Ｘ、Ｙ表示電極Ｙの電極端子及び背面側ガラス基板２０に設けられるアドレス電極Ａへ駆動波形を投入するための電極端子である。Ｘ表示電極Ｘに接続された電極端子７０は図示しないＸ電極駆動回路に接続される。また、Ｙ表示電極Ｙに接続された電極端子７０は図示しないＹ電極駆動回路に、アドレス電極Ａに接続された電極端子７０は図示しないアドレス電極駆動回路にそれぞれ接続される。なお、Ｘ表示電極Ｘ、Ｙ表示電極Ｙ、アドレス電極Ａのいずれに接続される電極端子かはあまり重要ではないので、特に必要なき限り、ここでは一括して電極端子７０として説明する。
【００７０】
この実施の形態では、電極端子７０をより外周に沿った位置にシール材３０が配置された場所から引き出すことを特徴とする。すなわち、シール材３０が内側によった部分を避けて電極を引き出している。
【００７１】
このようにすることで、前背面基板間の隙間部分に金属などの導電性のごみが入り、端子間の短絡が生じる確率を減少させることが可能となる。
【００７２】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明は、ＰＤＰなどのガス放電パネルにおける放電空間の密閉に関して説明した。しかし、必ずしもこれに限定されるものでなく、シール材として低融点ガラスを用い、気密する平板型のものであれば全てに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】３電極プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）の構成を表す断面斜視図である。
【図２】従来のプラズマディスプレイパネルを形成するときの断面を表す図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態の原理を説明するための概念図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルを形成するときの図３のＡ−Ａ´における断面を表す断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態の原理を説明するための別の概念図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に関わる他のプラズマディスプレイパネルを形成するときの図５のＡ−Ａ´に平行なパネル中央付近における断面を表す断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態の原理を説明するための概念図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態の原理を説明するための概念図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０…前面側ガラス基板、１１…前面ガラス基板、１７…誘電体層、１８…保護膜、
２０…背面側ガラス基板、２１…背面ガラス基板、２４…誘電体層、
２８Ｒ、２８Ｇ、２８Ｂ…蛍光体層、２９…リブ、３０…シール材、３１…隔壁、
３０…シール材、３１…隔壁、３３…ガス封入空間、４０…クリップ、
４１…金属電極、４２…透明電極、５０…排気管、６０、６１…炉、
７０…電極端子、
２９１…垂直リブ、２９２…水平リブ、
Ａ…アドレス電極、Ｃ…セル、ＥＳ…表示面、Ｘ…Ｘ表示電極、Ｙ…Ｙ表示電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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