(57)【要約】【課題】ＶＯＣガスを含有する大風量かつ低濃度のＶＯＣガス含有空気からＶＯＣガスを吸脱着して回収するにあたり、小型でありながら効率良くＶＯＣを回収する装置を提供する。【解決手段】ＶＯＣガスを吸脱着する吸着剤を充填した複数の吸脱着剤槽５、７から吸着可能な吸脱着剤槽を選択し、該吸脱着剤槽に大風量かつ低濃度のＶＯＣガス含有空気を供給してＶＯＣガスを吸着せしめた後、前記ＶＯＣガス含有空気の供給を、小風量の脱着用空気の供給に切換えて、前記吸着されたＶＯＣガスを脱着し、該脱着された小風量かつ高濃度のＶＯＣガス含有空気を可般式の貯蔵容器３６に供給して該貯蔵容器にＶＯＣを充填させ、該貯蔵容器に充填させたＶＯＣを回収可能に構成した。【選択図】図１
2010149086.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性有機化合物ガスを吸脱着できる吸着剤が装填された複数の吸脱着剤槽から選択された一部の未吸着の吸脱着剤槽に、大風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を供給して揮発性有機化合物ガスを吸着するガス吸着手段と、前記複数の吸脱着剤槽から選択された一部の既吸着の吸脱着剤槽に小風量の脱着用空気を供給して揮発性有機化合物ガスを脱着するガス脱着手段と、前記ガス吸着手段と前記ガス脱着手段とを切換えるための切換え手段と、前記ガス脱着手段で脱着された小風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を吸着又は吸収充填する可搬式の貯蔵容器とを備えて構成されていることを特徴とする揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項２】
吸脱着剤槽は、揮発性有機化合物ガス含有空気が通過する吸着用空気流路と、脱着用空気が通過する脱着用空気流路とが、選択切換え可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項３】
ガス脱着手段からガス吸着手段への切換えにあたり、ガス脱着手段とガス吸着手段との間に吸脱着剤槽を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項４】
吸脱着剤槽は、揮発性有機化合物ガス含有空気あるいは脱着用空気が通過する器筐と、該器筐内の流路に沿って、断面が菱形あるいは平行四辺形とする筒状のセルに吸着剤を装填した吸脱着セルが縦横マトリックス状に複数支持されて構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項５】
貯蔵容器は、揮発性有機化合物ガスを吸脱着する吸着剤または吸収剤からなる複数の包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートを備えて構成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項６】
包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートは、縦横に組み合わされたハニカム状構造であることを特徴とする請求項５記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項７】
包袋状吸着シートあるいは包袋状吸収シートは、無機物質あるいは金属水酸化物を配合した高分子ゲル化剤で構成されていることを特徴とする請求項５または６記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項８】
前記吸脱着剤槽または前記貯蔵容器において、吸着剤または吸収剤が吸着または吸収した揮発性有機化合物ガスの量と、吸着剤または吸収剤の破過を監視するセンサを備え、該センサの出力に応じて自動運転するための制御装置を備えて構成されていることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着装置。
【請求項９】
揮発性有機化合物ガスを吸脱着できる吸着剤が装填された複数の吸脱着剤槽から選択された一部の未吸着の吸脱着剤槽に、大風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を供給して揮発性有機化合物ガスを吸着させた後、前記複数の吸脱着剤槽から選択された一部の既吸着の吸脱着剤槽に小風量の脱着用空気を供給して前記吸着した揮発性有機化合物ガスを脱着させる工程と、他方の吸脱着剤槽に、小風量の脱着用空気を供給して既吸着している揮発性有機化合物ガスを脱着させた後、大風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を供給して揮発性有機化合物ガスを吸着させる工程とを交互同時的に進行させて吸脱着を連続して行うと共に、前記連続的に脱着された揮発性有機化合物ガス含有空気を複数ある可搬式の貯蔵容器のなかから選択された少なくとも一つの貯蔵容器に吸着または吸収充填して、該貯蔵容器に揮発性有機化合物ガスを連続して吸着または吸収充填するようにしたことを特徴とする揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着方法。
【請求項１０】
吸脱着剤槽に、揮発性有機化合物ガス含有空気が通過する吸着用空気流路と、脱着用空気が通過する脱着用空気流路とを、該吸脱着剤槽に吸着された揮発性有機化合物ガスの吸着可能量あるいは該吸脱着剤槽の破過によって選択切換えすることを特徴とする請求項９記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着方法。
【請求項１１】
吸脱着剤槽に、小風量の脱着用空気を供給して既吸着している揮発性有機化合物ガスを脱着させた後、大風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を供給して揮発性有機化合物ガスを吸着させる工程において、前記脱着と前記吸着との間に前記吸脱着剤槽を冷却させる冷却工程を加えたことを特徴とする請求項９または１０記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着方法。
【請求項１２】
吸脱着剤槽から脱着された揮発性有機化合物ガス含有空気の濃度を、揮発性有機化合物ガス含有空気よりも高濃度な状態で貯蔵容器に供給充填し、該貯蔵容器が破過に達するまで供給充填することを特徴とする請求項９乃至１１の何れか1項記載の揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性有機化合物を使用する施設等で発生する揮発性有機化合物ガス含有空気に含まれる揮発性有機化合物ガスを、吸脱着剤槽内に装填した吸着剤に吸着させて回収し、揮発性有機化合物ガスが含有する空気を施設外部に排出させないようにする揮発性有機化合物ガスの吸脱着装置及び吸脱着方法に関するものである。又、揮発性有機化合物ガス含有空気を施設外に排出することなく、揮発性有機化合物ガス含有空気から揮発性有機化合物を高濃度に分離することで液化して有機溶剤として回収したり、高濃度の状態にすることによって助燃剤を用いることなく分解等の処理ができるための吸脱着装置及び吸脱着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
今日、キシレン、トルエン、ベンゼン、トリクロロエチレン等の有害物質を含む揮発性の高い有機化合物は、揮発性有機化合物と称され、これらの物質は大気中に放出されてガス化することによって、光化学オキシダントの生成や浮遊粒子状物質の発生等大気汚染の主要な原因となっており、人の健康被害の発生等深刻な問題となっている。つまりこれら揮発性有機化合物（以下ＶＯＣという）の排出抑制対策は、今日の重要課題である。
【０００３】
ところでこのようなＶＯＣは、化学工場、塗装工場、印刷工場、薬品工場等の各種製造工程にて行われる製品の洗浄、塗装、接着、乾燥、コーティング、反応、抽出等において、溶剤として広く使用されている。そして、このようなＶＯＣが気化することによって工場外部へ排出することのないよう、施設の排気流路においてＶＯＣガスの除去設備を設置することが強く求められており、場合によってはＶＯＣガス除去設備の設置が義務化されている。
【０００４】
このような除去装置を設置する場合、工場内で発生するＶＯＣガスを強制的に吸引して吸着容器内に送りこみ、ここで活性炭等の吸着剤に吸着せしめた上で脱着し、脱着したＶＯＣガスを液化して燃焼処理する技術が知られている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、吸着塔を複数設けて、一方の吸着塔でＶＯＣガスを吸着剤に吸着せしめ、他方の吸着塔で既吸着のＶＯＣガスの脱着を行い、吸着塔の処理ガス濃度が規定値以下になったら吸着塔と脱着塔を切り替えて吸着脱着を繰返すことにより処理ガスを高濃度にして回収する技術が知られている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００‐３００９５５号公報
【特許文献２】特開２００６‐８８００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、ＶＯＣガス発生源から発生するガスは、発生状況によってガス含有濃度が１０ｐｐｍから１０００ｐｐｍ位までとその濃度に非常な差が発生することがある。例えばＶＯＣガス濃度が、１０ｐｐｍ程度と低い場合、吸着量も少ないことから吸着剤が破過するまでには長時間かかるが、１０００ｐｐｍと高濃度になった場合、吸着剤は短時間のうちに破過状態となってしまう。そして高濃度のものに対応する吸脱着剤槽を用意しようとすれば大容量のものとせざるを得ず、必然設備の大型化につながる。また、これを回避するために吸着剤をできるだけ多く高密度に装填することも考えられるが、このようにすると吸脱着剤槽内はＶＯＣガス含有空気が通過しにくいものとなってしまう。例えば風量が２００００ｍ３／時という大風量のものを前記高密度の吸脱着剤槽に通過させた場合、大きな風圧損失を招くものとなって作業効率が低下するという問題がある。つまり、前述した幅広いＶＯＣガス濃度の排気ガスを効率よく吸着処理しようとすると、設備を大型化せざるを得ず、そうなると設置場所も制約され、また設備コストも高いものとなってしまい、設備投資意欲の減退を招く結果となる。大気中のＶＯＣガスを減少させ、大気汚染を防止するという目的の達成を図るためには、比較的小規模な工場等のＶＯＣガス発生施設でも設置しやすい、小型で比較的安価な排気ガス処理設備を提供することが必要であり、これらに本発明が解決せんとする課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の如き実情に鑑みこれらの課題を解決することを目的として創作されたものであって、請求項１の発明は、ＶＯＣガスを吸脱着できる吸着剤が装填された複数の吸脱着剤槽から選択された一部の未吸着の吸脱着剤槽に、大風量のＶＯＣガス含有空気を供給してＶＯＣガスを吸着するガス吸着手段と、前記複数の吸脱着剤槽から選択された一部の既吸着の吸脱着剤槽に小風量の脱着用空気を供給してＶＯＣガスを脱着するガス脱着手段と、前記ガス吸着手段と前記ガス脱着手段とを切換えるための切換え手段と、前記ガス脱着手段で脱着された小風量のＶＯＣガス含有空気を吸着又は吸収充填する可搬式の貯蔵容器とを備えて構成されていることを特徴とするＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項２の発明は、吸脱着剤槽は、ＶＯＣガス含有空気が通過する吸着用空気流路と、脱着用空気が通過する脱着用空気流路とが、選択切換え可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項３の発明は、ガス脱着手段からガス吸着手段への切換えにあたり、ガス脱着手段とガス吸着手段との間に吸脱着剤槽を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項４の発明は、吸脱着剤槽は、ＶＯＣガス含有空気あるいは脱着用空気が通過する器筐と、該器筐内の流路に沿って、断面が菱形あるいは平行四辺形とする筒状のセルに吸着剤を装填した吸脱着セルが縦横マトリックス状に複数支持されて構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項５の発明は、貯蔵容器は、ＶＯＣガスを吸脱着する吸着剤または吸収剤からなる複数の包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートを備えて構成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項６の発明は、包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートは、縦横に組み合わされたハニカム状構造であることを特徴とする請求項５記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項７の発明は、包袋状吸着シートあるいは包袋状吸収シートは、無機物質あるいは金属水酸化物を配合した高分子ゲル化剤で構成されていることを特徴とする請求項５または６記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項８の発明は、前記吸脱着剤槽または前記貯蔵容器において、吸着剤または吸収剤が吸着または吸収したＶＯＣガスの量と、吸着剤または吸収剤の破過を監視するセンサを備え、該センサの出力に応じて自動運転するための制御装置を備えて構成されていることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置である。
請求項９の発明は、揮発性有機化合物ガスを吸脱着できる吸着剤が装填された複数の吸脱着剤槽から選択された一部の未吸着の吸脱着剤槽に、大風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を供給して揮発性有機化合物ガスを吸着させた後、前記複数の吸脱着剤槽から選択された一部の既吸着の吸脱着剤槽に小風量の脱着用空気を供給して前記吸着した揮発性有機化合物ガスを脱着させる工程と、他方の吸脱着剤槽に、小風量の脱着用空気を供給して既吸着している揮発性有機化合物ガスを脱着させた後、大風量の揮発性有機化合物ガス含有空気を供給して揮発性有機化合物ガスを吸着させる工程とを交互同時的に進行させて吸脱着を連続して行うと共に、前記連続的に脱着された揮発性有機化合物ガス含有空気を複数ある可搬式の貯蔵容器のなかから選択された少なくとも一つの貯蔵容器に吸着または吸収充填して、該貯蔵容器に揮発性有機化合物ガスを連続して吸着または吸収充填するようにしたことを特徴とする揮発性有機化合物ガス含有空気の吸脱着方法である。
請求項１０の発明は、吸脱着剤槽に、ＶＯＣガス含有空気が通過する吸着用空気流路と、脱着用空気が通過する脱着用空気流路とを、該吸脱着剤槽に吸着されたＶＯＣガスの吸着可能量あるいは該吸脱着剤槽の破過によって選択切換えすることを特徴とする請求項９記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着方法である。
請求項１１の発明は、吸脱着剤槽に、小風量の脱着用空気を供給して既吸着しているＶＯＣガスを脱着させた後、大風量のＶＯＣガス含有空気を供給してＶＯＣガスを吸着させる工程において、前記脱着と前記吸着との間に前記吸脱着剤槽を冷却させる冷却工程を加えたことを特徴とする請求項９または１０記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着方法である。
請求項１２の発明は、吸脱着剤槽から脱着されたＶＯＣガス含有空気の濃度を、ＶＯＣガス含有空気よりも高濃度な状態で貯蔵容器に供給充填し、該貯蔵容器が破過に達するまで供給充填することを特徴とする請求項９乃至１１の何れか１項記載のＶＯＣガス含有空気の吸脱着方法である。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１または９の発明とすることで、施設内で発生する大風量かつ低濃度のＶＯＣガスを吸脱着剤槽で吸着及び脱着するにあたり、同じ吸脱着剤槽での吸着と脱着とを切換えて行うことによって小風量かつ高濃度のものにすることができ、この小風量かつ高濃度となったＶＯＣガスを可搬式の貯蔵容器内に設けた包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートに吸着または吸収させて貯蔵するため、吸脱着剤槽における一度の吸着量及び脱着量が少量であったとしても、吸脱着剤槽の吸着と脱着の切換え周期を短くすることによって一定時間における吸着および脱着処理能力を確保することができる。つまり、ＶＯＣガスを吸脱着剤槽のみで吸着あるいは脱着するものに比べて、吸脱着剤槽の一回の吸着能力は低いものであってもよいため、吸脱着剤槽を小型なものに構成することができて、大風量低濃度のＶＯＣガスを小風量高濃度にして吸着することができるものでありながら、吸脱着装置を小型なものにすることができる。
請求項２の発明とすることで、吸脱着剤槽での吸着と脱着を切換えることによって、比較的短時間の内に吸脱着剤槽での吸着脱着を繰返すことができる。つまりは、ＶＯＣガスの吸脱着を少量ずつおこなうことができ、この脱着済みのＶＯＣガスを直ちに脱着用空気流路によって貯蔵容器まで移送することができて、吸脱着処理効率の良いものとすることができる。
請求項３または１１の発明とすることで、高温となっている脱着後の吸脱着剤槽を積極的に冷却することにより、次に行われる吸着をより効率良くおこなうことができる。
請求項４の発明とすることで、ＶＯＣガスの吸着をさらに効率よく行うことができる。
請求項５の発明とすることで、貯蔵容器のＶＯＣガス貯蔵能力を高いものとしながらも、包袋状吸着シートもしくは包袋状吸収シートからＶＯＣを抜き取り、それを液化回収することができるようになり、これによって抜き取ったＶＯＣを再利用することができるばかりでなく、包袋状吸着シートもしくは包袋状吸収シート自体も再利用することができる。従って、廃棄物の減量に資するばかりでなく、炭酸ガスを発生させる燃焼処理を行う必要がないため、さらに環境に良いＶＯＣ処理を行うことができる。
請求項６の発明とすることで、貯蔵容器での充填貯蔵効率をさらに上げることができる。
請求項７の発明とすることで、包袋状吸着シートあるいは包袋状吸収シートを完全ゲル化しない状態のまま吸着処理を終わらせることができて、さらに効率よくＶＯＣの抜き取り回収することが可能となる。
請求項８の発明とすることで、ＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置は、ＶＯＣガス含有量の計量および吸着剤あるいは吸収剤の破過を監視するセンサが設けられたものとなり、これらセンサの監視に基づいて自動制御されることになって、より効率的な吸脱着が行える装置とすることができる。
請求項１０の発明とすることで、吸脱着剤槽の吸着脱着切換えを、吸脱着剤槽の吸着可能量あるいは破過に基づいて行うことになり、吸脱着処理効率の良いものとすることができる。
請求項１２の発明とすることで、吸脱着剤槽で脱着されたＶＯＣガスを高濃度なものとし、可搬式貯蔵容器では高濃度な状態のＶＯＣガスを吸着充填または吸収充填することになり、貯蔵容器でのＶＯＣ貯蔵を効率の良いものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。図１において、１はＶＯＣガスを発生させるガス発生施設（ガス発生源）であって、該ガス発生施設１から発生したＶＯＣガスを含んだ吸着前空気は吸着前流路２に集められる。そして該吸着前流路２は、上流側から順にＶＯＣガスの濃度を測定するＶＯＣガス濃度センサ３、ＶＯＣガス含有空気の風量を計測する第一風量計４を経た後、二路に分岐され、第一分岐流路２ａは第一吸脱着剤槽５の吸着用入口側に設けられた第一バルブ６に接続し、第二分岐流路２ｂは第二吸脱着剤槽７の吸着用入口側に設けられた第二バルブ８に接続している。前記第一吸脱着剤槽５の吸着用出口側にはさらに第三バルブ９が設けられ、第二吸着剤槽７の吸着用出口側にはさらに第四バルブ１０が設けられている。そしてこれら第一〜第四バルブ６、８、９、１０は、第一、第三バルブ６、９が開成しているときには第二、第四バルブ８、１０は閉成し、第一、第三バルブ６、９が閉成しているときには第二、第四バルブ８、１０が開成するように開閉制御されている。
【００１０】
そして、前記吸着前流路２を通過する吸着前空気は、第一、第三バルブ６、９が開成している場合の、第一分岐流路２ａから第一吸脱着剤槽５に流入してＶＯＣガスが吸着処理された後、該吸着後空気は第三バルブ９から第一合流流路２ｃを経て吸着後流路２ｄに合流するものと、第二、第四バルブ８、１０が開成している場合の、第二分岐流路２ｂから第二吸脱着剤槽７に流入してＶＯＣガスが吸着処理された後の吸着後空気は、第四バルブ１０から第二合流流路２ｅを経て吸着後流路２ｄに合流するものとに交互切換がなされるように制御される。
【００１１】
前記吸着後流路２ｄには、第一吸脱着剤槽５或いは第二吸脱着剤槽７の破過を監視する第一破過監視センサ１１、これら流路の送風を行うための第一ブロア１３、第二風量計１４が順次設けられ、そして前記吸着処理された吸着後空気は排出口１５を介して屋外に排出されるようになっている。
【００１２】
尚、前記吸着後流路２ｄには、後述する脱着用空気流路１６ａ、１６ｂ、１６ｃまでの途中に設けられた加温器１７に分流する分流路１８が設けられ、前記吸着後空気の一部の空気がバルブ１９を介して脱着用空気流路１６ａまたは１６ｂに配流するようになっている。また、ブロア１３の送風によって取り込まれた空気を分流路１８に配流したり、バルブ２０を介して脱着用空気流路１６から取り込まれた外気を配流させたりすることもできるようになっている。
そして、ブロア１３が停止している場合や脱着用空気流路１６からの外気が比較的清浄な場合には外気を用い、外気が他のガス等で汚染された状態である場合は分流路１８から分流した吸着後空気を用いることができるようになっている。
【００１３】
前記脱着用空気流路１６、または分流路１８は、上流から順に電動バルブ２０、またはバルブ１９を経て、脱着前空気（キャリアガス）を加温する前述の加温器１７及び第二風量計２１を経た後、吸着前流路２と同様に二路に分岐され、第三分岐流路１６ａは第一吸脱着剤槽５の脱着用入口側に設けられた第五バルブ２２に接続し、第四分岐流路１６ｂは第二吸脱着剤槽７の脱着用入口側に設けられた第六バルブ２３に接続している。加温器１７は、本実施の形態では絞り弁が設けられており、後述する脱着後空気流路１６ｃに設けた真空ポンプ２４の吸引によって加温器１７から下流側の空気流路が減圧状態になるように設定されている。
【００１４】
そして前記第一吸脱着剤槽５の脱着用出口側にはさらに第七バルブ２５が、第二吸脱着剤槽７の脱着用出口側にはさらに第八バルブ２６が設けられている。そしてこれら第五〜第八バルブ２２、２３、２５、２６は、前述の第一、第三バルブ６、９が開成しているときには、第五、第七バルブ２２、２５は閉成しているが、第六、第八バルブ２３、２６が開成しているときには、第二、第四バルブ８、１０は閉成していることになり、これによって、第一吸脱着剤槽５が前述したようにＶＯＣガスを吸着しているときには、第二吸脱着剤槽７に前記減圧及び加温された脱着用空気が供給されてＶＯＣガスの脱着処理が行われ、そして脱着処理された脱着後空気は、第八バルブ２６から第四合流流路１６ｅを経て脱着後空気流路１６ｃに合流し、第二、第四バルブ８、１０が開成しているときには、第六、第八バルブ２３、２６は閉成しているが、第五、第七バルブ２２、２５は開成しており、これによって、第二吸脱着剤槽７がＶＯＣガスを吸着しているときには、第一吸脱着剤槽５に前記減圧及び加温された脱着用空気が供給されてＶＯＣガスの脱着処理が行われ、そして脱着処理された脱着後空気は、第七バルブ２５から第四合流流路１６ｄを経て脱着後空気流路１６ｃに合流するように切換制御が実行されて、これによって第一、第二吸脱着剤槽５、７の吸脱着が交互に実行されるようになっている。
【００１５】
尚、第一吸脱着剤槽５、第二吸脱着剤槽７には、それぞれ槽内冷却のために冷却風が送り込まれる、冷却用パイプ２７、２８を備えた冷却路２７ａ、２８ａが設けられているが、該冷却路２７ａ、２８ａは、吸着後流路２ｄから流入した吸着後空気を冷却したものが各対応する脱着剤槽５、７に供給されて槽冷却をしてから槽外に排出されるようになっている。斯かる冷却路２７ａ、２８ａにおける冷却風の流れは冷却用ポンプ２８ｄの駆動によって実行されるようになっているが、この冷却風による脱着剤槽５、７の冷却は、脱着処理する場合に加温された吸脱着剤槽を早期のうちに冷却するため行うものであり、このため開閉制御が必要においてなされる開閉バルブ２７ｂ、２７ｃ、２８ｂ、２８ｃが設けられている。そして吸脱着剤槽５、７内の冷却流路は、各槽内での吸脱着流路とは分離してＶＯＣガスが混ざらないようにしたものとなっており、そのため、例えば吸脱着剤槽５、７の外周面を囲繞するようにして形成したり、各槽内に専用の流路配管を形成したりしたものとして実行することができるが、その詳細については省略する。
【００１６】
そして、第七バルブ２５、第八バルブ２６からの合流流路１６ｄ、１６ｅから合流した脱着後空気流路１６ｃには、下流側に向けて順に前述した真空ポンプ２４、脱着用ガス流路内のＶＯＣガス濃度を希釈するために外気が送り込まれる希釈ライン２９が設けられている。そして該希釈ライン２９には、上流から順に外気が取り込まれる外気口３０、電動バルブ３１、第三風量計３２、ＶＯＣガスの外部への漏出を防止する逆止弁３３が設けられている。脱着用空気流路１６と希釈ライン２９の合流地点より下流側には、第四風量計３４、後述する貯蔵容器に充填貯蔵されるＶＯＣガス濃度を計測して充填貯蔵計量用センサ３５が設けられており、さらに吸脱着剤槽５、７の下流側で脱着後空気流路１６ｃは複数の流路（本実施形態では３路）に分岐している。そしてそれぞれの分岐流路１６ｆ、１６ｇ、１６ｈは、第一貯蔵容器３６、第二貯蔵容器３７、第三貯蔵容器３８をそれぞれ通過し、該通過後は再び合流し、該合流流路１６ｉは処理前空気流路２にさらに合流するように形成されている。尚、各貯蔵容器の両端部にはそれぞれ電動開閉バルブ３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂ、３８ａ、３８ｂが設けられていて、これらのバルブの開閉により第一貯蔵容器３６、第二貯蔵容器３７、第三貯蔵容器３８等の何れか単独で稼動させるか、或いは同時に複数器を稼動できるようにすることもできる。尚、前記合流流路１６ｉには、吸着処理中の貯蔵容器の破過を監視する第二破過監視センサ３９、さらに第四風量計４０、第二ブロア４１が設けられている。
【００１７】
図２において、４２は、円筒状の吸脱着塔であって、該吸脱着塔４２には、第一吸脱着剤槽５、第二吸脱着剤槽７及び該第一、第二吸脱着剤槽５、７と同じ構造の第三吸脱着剤槽４３が、前記円筒状内周面側に、吸脱着塔４２の軸芯を中心として扇形に三分割するように格納されている。尚、図１においては、吸脱着剤槽を二つとして構成したものの説明をしたが、ここでは吸脱着剤槽を三つにして吸着工程、脱着工程、そして冷却工程を順次繰返すことができるようにして吸脱着処理を中断することなく円滑に行えるようにしている。
【００１８】
そしてこれら吸脱着剤槽５、７、４３は何れも同じ構造であるため、第一吸脱着剤槽５の構造について図３を用いて説明し、第二、第三吸脱着剤槽７、４３の説明については省略する。第一吸脱着剤槽５は、図３（Ａ）において上下面が断面菱形をした複数の筒状の吸脱着セル５２を内蔵した筐体４４を備え、上側出入口部４５は、前記第一バルブ６、第七バルブ２５にそれぞれ接続される流出入配管４６、４７が設けられ、下側出入口部４８は、第三バルブ９、第五バルブ２２にそれぞれ接続される排出入配管４９、５０が設けられている。
【００１９】
前記筐体４４には、出入口部４５側に偏倚する状態で通気性を有する板状の支持部材５１が設けられるが、該支持部材５１には、吸脱着セル５２を貫通状に支持するための支持孔５１ａが縦横マトリックス状に穿設されている。一方、吸脱着セル５２は、両端が開口した筒状になっており、本実施の形態では断面が菱形或いは平行四辺形の筒体となっていて縦横マトリックス状に配設したときに広い吸脱着面積を確保できるように配慮されている。そして吸脱着セル５２は、上端にフランジ部５２ｂ、下端にフランジ部５２ｄが形成され、フランジ部５２ｂを前記支持部材５１に穿設された支持孔５１ａに挿入組み込みして、前記フランジ部５２ｂを支持孔５１ａの周縁部に持たせることで筐体４４に組込まれるようになっている。そして、このように組み込んだ状態で吸脱着セル５２の下端に形成されたフランジ部５２ｄの周縁が隣接する吸脱着セルの周縁と連結部５２ｅを介して連結されてフランジ部５２ｄ同士が固定される。さらに、フランジ部５２ｂの上端部には蓋体５２ａが取付けられている。
【００２０】
このように構成することによって、第一バルブ６から流入する吸着前空気は、出入口部４５側に設けられた流入配管４６を経由して通気性を有する支持部材５１を通過し、吸脱着セル５２の外側面から吸脱着セル５２を通過して、吸脱着セル５２の下端に形成された空気流通孔５２ｃから第三バルブ９を経て筒外に排出されることになり、吸着前空気は、吸脱着セル通過時にＶＯＣガスが吸着されるようになっている。そしてこのものでは、吸脱着セル５２を通過する空気が、表面積の広い外側から内側へと通過することになっており、これによって吸脱着能率が高められるように配慮されている。
【００２１】
また、吸着されたＶＯＣガスを脱着する場合は、第五バルブ２２から脱着用空気が流入することになるが、この場合は、下側出入口部４８側に設けられた排出配管５０を経由して脱着用空気が流入し、吸脱着セル５２を通過して吸脱着セル５２の内側面から外側面に排出されることでＶＯＣガスが脱着されるように設定されている。
【００２２】
尚、吸脱着セル５２としては、通風性のある表皮材を用いて袋状に内外面が形成され、この袋内に吸着剤を装填して構成されているが、吸着剤が粒状である場合には図３（Ｂ）に示すように肉薄にし、繊維状である場合には同図（Ｃ）に示すように肉厚にし、これによってより吸着能率を高めるように配慮されている。因みに、吸着剤としては、活性炭、ゼオライト、シリカ等の通常知られた吸着剤を用いている。
尚、吸脱着セル５２の形状としては菱形や平行四辺形の他に、円筒形、六角形、三角形、或いは図４（Ａ）に示すように、扇形（楔形）としてもよい。この場合は、図４（Ｂ）に示すように、筐体４４内に各吸脱着セル５２の扇形の鋭角部５２ｆが筐体４４の中心部を向くように配置してそれぞれの吸脱着セル５２ができるだけ多く配置できるように構成している。つまり、図４（Ｃ）に示すように、通気性を有する支持部材５１から流入した空気は、吸脱着セル５２の外側面へと流れ込んだ後、吸脱着セル５２の内面側を通過し、底面５２ｃを通って第三バルブ９から筒外へと排気される。
【００２３】
さらに、前記第一貯蔵容器３６、第二貯蔵容器３７、第三貯蔵容器３８について説明するが、これら貯蔵容器は何れも同じ構造のものであるから、第一貯蔵容器３６について詳細を説明し、他のものについての詳細は省略する。前記貯蔵容器３６は、直方体形状または円筒形状の容器３６ｃが用いられ、前述したように脱着後空気が流入することになるが、容器３６ｃの内部には、図５（Ａ）または（Ｂ）に示すように、ＶＯＣガス吸着体で形成される薄板状の包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シート５３が脱着後空気流路１６に沿って複数袋積層状に格納され、或いは図６（Ａ）または（Ｂ）に示すように、包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートを縦横に組み合わせたものがハニカム状に複数袋格納されており、高濃度ＶＯＣガスを含む脱着後空気がこの包袋状吸着シートもしくは包袋状吸収シートまたはハニカム状の包袋状吸着シートもしくは包袋状吸収シート５３の間を小風量で通過することによってＶＯＣガスが包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シート５３に吸着または吸収され、破過直後の未吸着または未吸収のＶＯＣガスがある場合は、貯蔵容器３６のバルブ３６ｂを通過して再び吸着前流路２に還流されるようになっている。そして貯蔵容器３６は、流路から取り外して搬送できる可搬式になっており、吸着または吸収した高濃度のＶＯＣを脱着工場に搬送し、必要な脱着処理を施された後、再び流路に組み込んで使用できるようになっている。
【００２４】
前記包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シート５３としては、活性炭等の吸着材を採用してもよいが、吸収性能に優れたスチレンブタジエン系共重合体やアルキルスチレンポリマー等のＶＯＣの吸収性（吸着性）に優れた有機物化合物系高分子を使用することができる。しかしながら、これら有機化合物系高分子吸収体は吸収性能においては活性炭よりはるかに優れてはいるものの、ＶＯＣとの相溶性に優れたものであることから一旦ゲル化してしまうとＶＯＣの脱離回収が難しい。そこでこれら高い吸収性を保ちながら、該吸収体によって吸収されたＶＯＣを回収可能なものとするために、前記有機化合物系高分子吸収体に水酸化アルミニウム、或いは水酸化鉄等の無機化合物を配合しておくことによって該有機化合物系高分子吸収体のゲル化を調整することができ、該有機化合物系高分子吸収体自体は十分にＶＯＣの吸収性が確保されたものでありながら、ＶＯＣを吸収した状態であっても完全ゲル化する一歩手前の状態で留まらせておいて、ＶＯＣの回収、そして再使用ができるものとなるよう配慮している。
【００２５】
さらに、これら有機化合物系高分子吸収体は、活性炭、ゼオライト、シリカ等の無機系化合物のような細孔を有せず、従って通気性が乏しいため、前述の包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シート５３は薄いものに形成して多数の該シートを間隙を存して積層させるか、或いは包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートを縦横に組み合わせたハニカム状構造にすることによって通気流路を確保しながら表面積を大きくすると共に、貯蔵容器を通過する脱着後空気はできるだけ小風量となるよう制御してＶＯＣの吸着性能を高めたものとしている。
【００２６】
次に、本発明の切換え手段の実施形態である吸脱着装置の制御について説明する。
図７は、吸脱着装置の制御システム全体（システムクラス）の流れを示す制御フローである。ここではまず、電源投入によりシステムタスクが開始（Ｓ１）し、システムの初期化（Ｓ２）がなされるとともに冷却用ポンプ２８ｄを駆動（Ｓ３）し、吸着タスクの開始（Ｓ４）、脱着タスクの開始（Ｓ５）を実行する。  
吸着タスクは、後述する吸着クラスの制御フローに従って処理を行い、脱着タスクは、後述する脱着クラスの制御フローに従って処理を行う。そして、システムクラスは停止ボタン等のシステム停止要求があるまで待機（Ｓ６）し、停止ボタン等のシステム停止要求があった場合、脱着タスクを停止するため脱着停止機能の開始（Ｓ７）、吸着タスクを停止するため吸着停止機能の開始（Ｓ８）を実行する。脱着停止機能は、後述する脱着クラスの制御フローに従って処理を行い、吸着停止機能は、後述する吸着クラスの制御フローに従って処理を行う。そして、冷却用ポンプ２８ｄを駆動停止（Ｓ９）して、システムタスクが終了（Ｓ１０）する。
【００２７】
図８（Ａ）は、吸着処理（吸着クラス）の流れを示す制御フローである。まず、吸着クラスの制御は、前述したシステムクラスからの吸着タスクの開始（Ｓ４）の実行に基づいて吸着タスクが開始（Ｓ１１）し、複数設けられた吸脱着剤槽の中から、吸着可能状態の吸脱着剤槽Ｘを吸着可能量の大きいものから検索（Ｓ１２）し、吸着可能状態の吸脱着剤槽Ｘが存在するか否かを判断（Ｓ１３）し、Ｎｏの場合は、ステップ１２の処理に戻る。Ｙｅｓの場合は、その中から吸着可能量の最も大きい吸脱着剤槽を選択して吸着時間を設定して待機（Ｓ１４）し、次のステップで選択された吸脱着剤槽Ｘに接続するバルブを開成し、それ以外のバルブを閉成し、第一ブロア１３を駆動（Ｓ１５）する。例えば、選択された吸脱着剤槽Ｘが第一吸脱着剤槽５であった場合、第一バルブ６、第三バルブ９を開成し、第二吸脱着剤槽７であった場合、第二バルブ８、第四バルブ１０を開成し、それ以外の吸着前空気流路上にあるバルブは全て閉成する。ここで設定される吸着時間は、該吸脱着剤槽が既脱着の吸脱着剤槽であった場合は前回の脱着量データと吸着処理中に通過する吸着前空気のＶＯＣガス含有空気のＶＯＣ平均濃度データとから演算して求めることができる。次のステップでは、前記選択された吸脱着剤槽Ｘが破過であるか否かを判断（Ｓ１６）し、破過と判断されなければ前記設定された吸着時間が経過したか否かを判断（Ｓ１７）し、Ｓ１６またはＳ１７のいずれかがＹＥＳであった場合は、吸脱着剤槽Ｘを吸着不能状態に設定（Ｓ１８）し、Ｓ１６およびＳ１７がいずれもＮＯであった場合は、吸着処理を続行する。
【００２８】
図８（Ｂ）は、前述したシステムクラスのステップ８（Ｓ８）の指示に基づいて吸着停止機能を開始する制御フローである。システムクラスのステップ８（Ｓ８）から吸着タスクの停止の指示を受けて吸着停止機能を開始（Ｓ１９）し、第一ブロア１３を駆動停止し、吸着処理中の吸着前空気を供給していたバルブ、例えば第一吸着剤槽５であった場合は、第一バルブ６、第三バルブ９を閉成し、第二吸着剤槽７であった場合は、第二バルブ８、第四バルブ１０を閉成（Ｓ２０）して、吸着停止機能を終了（Ｓ２１）する。
【００２９】
図９（Ａ）は、脱着処理（脱着クラス）の流れを示す制御フローである。まず、脱着クラスの制御は、前述したシステムクラスからの脱着タスクの開始（Ｓ５）の指示に基づいて脱着タスクが開始（Ｓ２２）し、複数設けられた吸脱着剤槽の内、前記吸着処理によって吸着不能状態となった吸脱着剤槽Ｘを検索（Ｓ２３）し、Ｘが存在するか否かを判断（Ｓ２４）し、Ｘが存在すると判断した場合は、充填貯蔵可能な可搬式貯蔵容器Ｚが存在するか否かを判断（Ｓ２５）する。そして、Ｓ２４またはＳ２５のいずれかがＮＯであった場合は、Ｓ２３に戻って検索を続け、Ｓ２４およびＳ２５のいずれもがＹＥＳであった場合は、脱着可能と判断された吸脱着剤槽Ｘに接続する脱着前空気流路上のバルブを開成し、それ以外のバルブを閉成すべく設定して待機し、脱着時間を設定（Ｓ２６）する。例えば、選択された吸脱着剤槽Ｘが第一吸脱着剤槽5であった場合、第一バルブ６、第三バルブ９を閉成し、第五バルブ２２、第七バルブ２５を開成すべく設定した状態で待機する。ここで脱着時間は、吸脱着剤槽のうち、現在吸着処理に用いられている吸脱着剤槽の破過に至るまでの所要時間を予測し、この破過所要時間から該吸脱着剤槽の加温時間および冷却時間を差引いたものである。そして、次のステップで、現在吸着中の吸脱着剤槽の吸着前空気流路および吸着後空気流路上のバルブが閉成するまで待機（Ｓ２７）し、ステップ２０（Ｓ２０）の処理終了の信号を受信したら、ステップ２６の設定を実行する。つまり、脱着前空気流路および脱着後空気流路上のバルブを開成し、冷却路上の開閉バルブを閉成する。例えば、選択された吸脱着剤槽Ｘが第一吸脱着剤槽５であった場合、第五バルブ２２及び第七バルブ２５を開成するとともに、第一吸脱着剤槽５の冷却のために設けられた冷却バルブ２７ａ、２７ｂを閉成する。そして、加温器１７を通電するとともに真空ポンプ２４を駆動させる（Ｓ２８）。
【００３０】
次のステップとして、後述する充填処理（充填クラス）を開始（Ｓ２９）し、そして、脱着処理中に吸着可能な可般式貯蔵容器が存在するか否かを判断（Ｓ３０）し、さらに設定した脱着時間が経過したか否かを判断（Ｓ３１）し、Ｓ３０およびＳ３１のいずれもがＮＯであった場合は、脱着処理を続行し、Ｓ３０またはＳ３１のいずれかがＹＥＳであった場合は、脱着を停止し、脱着停止機能を開始（Ｓ３２）する。そして、該脱着処理停止した吸脱着剤槽を吸着可能状態に設定するとともに、該吸脱着剤槽の吸着可能量を記録（Ｓ３３）する。
【００３１】
図９（Ｂ）は、前述した脱着クラスのステップ３２（Ｓ３２）の指示に基づいて脱着停止機能を開始する制御フローである。システムクラスのステップ７（Ｓ７）もしくは脱着クラスのステップ３２（Ｓ３２）から脱着停止の指示を受けて脱着停止機能を開始（Ｓ３４）し、充填タスクを停止し、後述する充填クラスの充填停止機能を開始する（Ｓ３５）。次に真空ポンプ２４を停止し、加温器１７を停電し、冷却バルブ２７ｂ、２７ｃを開成（Ｓ３６）する。そして、吸脱着剤槽が設定温度に冷却されたか否かを判断（Ｓ３７）し、ＮＯの場合は、前記処理を実行し続け、ＹＥＳの場合は冷却バルブ２７ｂ、２７ｃを閉成（Ｓ３８）して脱着停止機能終了（Ｓ３９）とする。
【００３２】
図１０（Ａ）は、可搬式貯蔵容器への充填処理（充填クラス）を示す制御フローである。まず、充填クラスの制御は、前述した脱着クラスからの充填タスクの開始（Ｓ２９）の指示に基づいて充填タスクが開始（Ｓ４０）し、未破過の可搬式貯蔵容器Ｚを検索（Ｓ４１）する。そして、Ｚが存在するか否かを判断（Ｓ４２）し、存在する場合は、次のステップとして、選択された可搬式貯蔵容器以外のバルブを閉成（Ｓ４３）する。たとえば、選択された可搬式貯蔵容器が第一貯蔵容器３６であった場合、第二貯蔵容器バルブ３７ａ、３７ｂ、第三貯蔵容器バルブ３８ａ、３８ｂは閉とし、第二ブロア４１を駆動（Ｓ４４）させる。そして、破過となったか否かを判断（Ｓ４５）し、ＮＯであれば前記処理を実行し続け、ＹＥＳの場合は可搬式貯蔵容器の交換を指示（Ｓ４６）する。
【００３３】
一方、ステップ４２において、該未破過の可搬式貯蔵容器が存在しない場合は、後述する充填停止機能を開始（Ｓ４７）し、交換指示中の容器がある場合は、交換が完了したか否かを判断（Ｓ４８）し、ＮＯの場合は、前記処理を実行し続け、ＹＥＳの場合はステップ４１に戻って処理する。図１０（Ｂ）は、前述した脱着クラスのステップ３５（Ｓ３５）あるいは充填クラスのステップ４７（Ｓ４７）の指示に基づいて充填停止機能を開始する制御フローである。充填停止機能開始の指示を受けて、充填停止機能（Ｓ４９）では第二ブロア４１を停止し、第一貯蔵容器３６から第三貯蔵容器３８に至る全ての貯蔵容器に接続するバルブを閉成（Ｓ５０）して充填停止機能終了（Ｓ５１）とする。
【００３４】
叙述の如く構成された本発明の実施の形態において、ガス発生施設１において発生したＶＯＣガス含有空気中に低濃度に含有するＶＯＣを高濃度にして回収処理することになるが、まず、本発明のガス吸着手段の実施形態である、吸脱着剤槽にＶＯＣを吸着させて、吸着後の浄化空気をＶＯＣガスの発生施設から外部に排出するまでを説明する。
【００３５】
ガス発生施設１から発生したＶＯＣガスは、吸着前空気流路２を通って、吸着処理を行う、例えば第一吸脱着剤槽５まで搬送される。ここで、吸着前流路２は、ＶＯＣガス含有空気が約２００００ｍ３／時の風量で外部に排出されるよう第一ブロア１３によって搬送設定されている。第一吸脱着剤槽５に設けられた第一バルブ６を通過して第一吸脱着剤槽５に流入した吸着前空気は、ここで第一吸脱着剤槽５に複数設けられた吸脱着セル５２を通過して第三バルブ９から排出されることになるが、その際、吸着前空気に含有するＶＯＣガスは、吸脱着剤槽を構成する吸脱着セル５２に吸着される。
【００３６】
ここで吸脱着剤槽に組み込まれた吸脱着セル５２は、風圧の損失をなるべく抑制しつつ吸着効率を良くするため、断面が菱形或いは平行四辺形の筒体であって、縦横マトリックス状に配設したときに広い吸脱着面積を確保できるものとしたので、流入した吸着前空気は該開口部近辺から他端方向に向かって流れ、これによって吸着前空気を効率的に吸着することができる。しかも、吸脱着セル５２を通過する空気は、表面積の広い外側から内側に通過するようにしたものであるから、さらに吸脱着能率の良いものとなっている。そして、第一吸脱着剤槽５を通過して第三バルブ９から排出された吸着後空気は有害なＶＯＣガスが除去された清浄な浄化空気となって、第一ブロア１３に吸引されて排気口１５へと向かい、ここから施設外部に排出される。
【００３７】
次に本発明のガス脱着手段の実施形態である、吸脱着剤槽によって吸着されたＶＯＣガスを脱着用空気によって脱着して、貯蔵容器に充填するまでを説明する。例えば、第一吸脱着剤槽５での吸着処理が終了すると、該第一吸脱着剤槽５では、吸着済みのＶＯＣガスの脱着処理をおこなう。まず、第二吸脱着剤槽７の第二バルブ８、第四バルブ１０が開成し、これによって吸着前流路２が第二吸脱着剤槽７に開かれることになる。ここで脱着用空気流路上にある第二吸脱着剤槽７の第六バルブ２３及び第八バルブ２６は閉じている。そして、第二吸脱着剤槽７の吸着前流路２に設けられた第二バルブ８、第四バルブ１０が完全に開成し、吸着前空気が第二吸脱着剤槽７に流入可能となった時点で第一吸脱着剤槽５の第一バルブ６及び第三バルブ９が閉成し、これによって吸着前空気は第一吸脱着剤槽５には送り込まれなくなると同時に第五バルブ２２及び第七バルブ２５が開成して脱着用空気が第一吸脱着剤槽５に送り込まれる。
【００３８】
このとき、脱着用空気流路１６から送り込まれる脱着用空気は、加温器１７によって加温されて第一吸脱着剤槽５に供給されるが、下流に設けられた真空ポンプ２４によって減圧された小風量の状態で第一吸脱着剤槽５に送り込まれることになる。そして、前記第二吸脱着剤槽７の第六バルブ２３及び第八バルブ２６は閉じていることから、脱着用空気は第一吸脱着剤槽５の第五バルブ２２から吸脱着剤槽に流入し、第七バルブ２５から流出する。第一吸脱着剤槽５の吸脱着セル５２には既に吸着処理によってＶＯＣガスが既吸着となっており、小風量、高温減圧の脱着用空気がここに流入することによって、吸着セル５２に吸着されているＶＯＣガスは吸着脱セル５２から脱離してゆき、該脱着した高濃度の状態にあるＶＯＣガスは小風量の脱着用空気（キャリアガス）によって輸送され、貯蔵容器３６、３７、３８に流入する。
【００３９】
尚、加温器１７は、含有するＶＯＣガスに沸点の高いものが含まれる場合には、吸脱着剤槽に流入する脱着用空気の温度が該ＶＯＣの沸点近傍に加温されるように温度設定される。
【００４０】
また、脱着用空気は、外部から取り込まれた空気等としたが、代わりに前述した分流路１８から浄化された吸着後空気を取り込んでもよく、こうすることによって吸着後流路２ｄを通過する浄化された空気の風量を利用することができ、これによって省エネルギー化を図ることができる。
【００４１】
このように脱着処理は、加温された脱着用空気を供給して行われるため、脱着処理終了後の吸脱着剤槽内は加温された状態となっており、直ちに吸着処理をおこなうには不適である。そのため、例えば脱着処理終了後の吸脱着剤槽が第一吸脱着剤槽５であった場合、冷却用パイプ２７に接続するバルブ２７ｂ、２７ｃを開くことによって、脱着処理後の吸脱着剤槽を冷却し、次の吸着処理が効率よく行われるようにしている。
【００４２】
また、図２に示すように吸脱着剤層を三槽に構成したものにおいては、一つの吸脱着剤槽がＶＯＣガスを吸着している間に、もう一つの既吸着の吸脱着剤槽は吸着されたＶＯＣガスを脱着し、さらにもう一つの既脱着の吸脱着剤槽は脱着によって加温状態となった吸脱着剤槽の冷却を行うように構成している。  
そして各吸脱着剤槽の処理工程は、吸着、脱着、冷却を順に繰返すように設定されており、この各吸脱着剤槽の処理工程の切換えは同時に行われるように設定されている。これによって、吸脱着を連続的に行うことができ、しかも、脱着後の加温状態となった吸脱着剤槽に十分な冷却処理を施すことができて、次の吸着処理を効率よく行うことができる。
【００４３】
こうして例えば第一吸脱着剤槽５を通過して高濃度ＶＯＣガスとなった小風量の脱着用空気は、第七バルブ２５から排出され、真空ポンプ２４で吸引されてバルブが開成しているいずれかの貯蔵容器に充填貯蔵されるが、真空ポンプ２４で吸引後のＶＯＣガスは高濃度であり、爆発の危険性もあるため、真空ポンプ２４より下流に設けられた充填貯蔵計量用センサ３５によって基準値以上の高濃度が検出された場合には、真空ポンプ２４での吸引直後に設けられた希釈ライン２９から外気を取り込むよう制御されている。
【００４４】
そして、危険性のない程度の高濃度状態となったＶＯＣガスは複数の貯蔵容器の内、貯蔵処理可能ないずれかの貯蔵容器に充填貯蔵することになるが、このとき、どの貯蔵容器のバルブを開成するかは貯蔵容器より上流側に設けられた充填貯蔵計量用センサ３５及び貯蔵容器下流側に設けられた貯蔵容器破過監視センサ３９からのデータに基づいて自動制御される。
【００４５】
因みに、これまで述べたような、各吸脱着剤槽や流路内の温度管理、風量風圧管理、ＶＯＣガス濃度管理、希釈ラインからの外気の取り込み、貯蔵容器のバルブ開閉等の操作等、全ての操作はコンピュータ管理の下に自動制御される。
【００４６】
ここで、前述した通り、貯蔵容器に充填されたＶＯＣ吸着体あるいは吸収体は、吸脱着剤槽に組み込まれた吸着剤よりも吸着性能の高いものとなっているため、流入した高濃度の脱着用空気に含有するＶＯＣを効率よく吸着あるいは吸収することができる。そして、貯蔵容器を通過した後の空気は吸着後空気として再び吸着前流路２に合流することにより、たとえ貯蔵容器が破過状態となった直後に貯蔵容器を通過したＶＯＣガスを多く含む脱着用空気であってもさらに吸脱着剤槽を通過することによる吸着が行われて、高濃度のＶＯＣガスが外部に排出されることはない。
【００４７】
前記貯蔵容器での吸着剤または吸収剤は前述の通り、吸収性能に優れた、スチレンブタジエン系共重合体などの有機化合物系高分子ゲル化剤、或いはアルキルスチレンポリマーといった吸収性高分子体などの有機物系吸収体を使用すれば、高濃度のＶＯＣを高濃度なまま大量に吸着することができる。しかも、前記有機化合物系吸収体に水酸化アルミニウム、或いは水酸化鉄等の無機化合物を配合したことにより、該有機化合物系吸収体が完全ゲル状態となることを抑制し、完全ゲル化する一歩手前の状態を保持したまま吸収し続けることを可能なものとしたことで、貯蔵容器の吸収体である包袋状吸収シート５３或いは包袋状吸収シートを縦横に組み合わせたハニカム状構造を再利用することも可能となる。
【００４８】
つまり、ＶＯＣガス含有空気発生時の吸着前空気は、大風量かつ低濃度であるが、本発明におけるＶＯＣガス含有空気吸脱着装置によってＶＯＣガスを効率よく吸着することによって、ＶＯＣガス含有空気を小風量かつ高濃度なものにして回収することができるようになり、ＶＯＣ吸脱着装置を小型で比較的安価なものにすることができる。
【００４９】
因みに、充填済みの貯蔵容器は、施設外に搬送され、そこで液化回収等の処理が施されることになるが、貯蔵容器が充填済みとなり、施設外に搬送可能の状態になったというデータが、例えば外部の業者等に送信されるようにすれば、これによって貯蔵容器が充填済みとなった場合、遅滞なく業者等に連絡され引取られることになって、吸脱着装置を容器搬送回収効率の非常に良いものとすることができる。また、液化回収処理済みの貯蔵容器は再び吸脱着装置への取付けが可能であり、これによって廃棄物を減らすことができ、この点においても環境破壊の防止につながる吸脱着装置とすることができる。
【００５０】
以上説明したような、ＶＯＣガス含有空気に対して行われる吸着から脱着、そして貯蔵に至る一連の処理は、前述したとおり、流路内の各所に設けられたＶＯＣガスの濃度、あるいは温度、圧力等の計測器によって得たデータに基づいて、自動制御によって行われるため、正確で精度の高い処理を行うことができる。
【００５１】
さらに、本実施形態において設けられる排出濃度計量センサ、破過監視センサ、ブロア等の各種機器は、故障か否かを自己診断できるようプログラムすることができ、故障の場合、対処法として修理による復旧が可能か、あるいは取替えが必要か等の判断を表示する。これによって装置全体をさらにメンテナンス性のよいものとすることができ、また、自己判断することによって適切な処置を施すことができるため、無駄な或いは不適切な処置をすることがなくなってコストを削減することができる。
【００５２】
尚、前述したように、本実施形態の貯蔵容器に支持される吸着剤または吸収剤を活性炭等の無機化合物系吸着体ではないものとしたが、これに限定されるものではなく、十分に賦活した活性炭、シリカゲル、ゼオライト、活性アルミナ等の無機化合物系吸収体であってもよいことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】ＶＯＣガス含有空気の吸脱着装置の回収回路図である。
【図２】吸脱着剤槽の上部断面図である。
【図３】（Ａ）は吸脱着剤槽の正面図、（Ｂ）、（Ｃ）は共に吸脱着セル内に充填される吸着体の斜視図である。
【図４】（Ａ）は吸脱着セルの斜視図、（Ｂ）は吸脱着剤槽の上部断面図、（Ｃ）は吸脱着剤槽の正面図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）はともに包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートが格納される貯蔵容器の形状を示す斜視図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はともに包袋状吸着シートまたは包袋状吸収シートがハニカム状に格納される貯蔵容器の形状を示す斜視図である。
【図７】システムクラスの制御を示すフローチャートである。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）はともに吸着クラスの制御を示すフローチャートである。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）はともに脱着クラスの制御を示すフローチャートである。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）はともに充填クラスの制御を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５４】
２    吸着前空気流路
５    第一吸脱着剤槽
７    第二吸脱着剤槽
１６  脱着用空気流路
３６  第一貯蔵容器
３７  第二貯蔵容器
３８  第三貯蔵容器
【図１】
2010149086.tif 000003
【図２】
2010149086.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2010149086.tif 000012