(57)【要約】【課題】メンテナンス性に優れた基板検査装置を提供する。【解決手段】複数のコンタクト・プローブ２６は、それらの位置に応じて６つのグループに分けられている。そして、各グループでは、そのグループの複数のコンタクト・プローブが所定の位置関係となるようにホルダ２６１に固定され、ユニット化されている。また、ピンボード２４は複数の保持部を有し、各保持部のそれぞれにユニットが装着されている。この場合、複数のコンタクト・プローブ２６のいずれかに不良（摩耗、変形）が発見されても、該不良のコンタクト・プローブ２６が含まれるユニットのみを交換すれば良いため、従来よりもメンテナンス性を向上させることができる。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線基板を検査する基板検査装置であって、
検査の際に、検査対象のプリント配線基板における複数の所定位置にそれぞれ接触する複数のコンタクト・プローブと；
前記複数のコンタクト・プローブを保持するとともに、該複数のコンタクト・プローブの少なくとも１つが着脱可能であるプローブ保持部材と；
前記複数のコンタクト・プローブに対する電気信号の入出力を行い、前記検査対象のプリント配線基板の検査を行う制御装置と；を備える基板検査装置。
【請求項２】
前記着脱可能なコンタクト・プローブは、２以上のコンタクト・プローブであり、
該着脱可能な２以上のコンタクト・プローブは、少なくとも１つのユニットとされていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記少なくとも１つのユニットの使用回数が所定の回数以上であるか否かを判断することを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つのユニットは、前記使用回数が格納されるメモリを有することを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つのユニットは、発光部材を有し、
前記制御装置は、前記少なくとも１つのユニットの使用回数が所定の値以上であると判断すると、該ユニットの発光部材を点灯させることを特徴とする請求項３又は４に記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記制御装置は、前記少なくとも１つのユニットの使用回数が所定の値以上であると判断すると、外部に通知することを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つのユニットは、該ユニットを特定するためのＩＤ情報を有し、
前記制御装置は、前記ＩＤ情報に基づいて、前記少なくとも１つのユニットが、前記検査対象のプリント配線基板に対して適切であるか否かを判断することを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つのユニットは、前記ＩＤ情報が格納されているメモリを有することを特徴とする請求項７に記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つのユニットは、発光部材を有し、
前記制御装置は、前記少なくとも１つのユニットが前記検査対象のプリント配線基板に対して不適切であると判断すると、該ユニットの発光部材を点灯させることを特徴とする請求項７又は８に記載の基板検査装置。
【請求項１０】
前記制御装置は、前記少なくとも１つのユニットが前記検査対象のプリント配線基板に対して不適切であると判断すると、外部に通知することを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つのユニットは、複数のユニットであり、
前記制御装置は、前記ＩＤ情報に基づいて、前記複数のユニットが正しい位置に装着されているか否かを判断することを特徴とする請求項７又は８に記載の基板検査装置。
【請求項１２】
前記複数のユニットは、発光部材を有し、
前記制御装置は、正しい位置に装着されていないユニットがあると、該ユニットの発光部材を点灯させることを特徴とする請求項１１に記載の基板検査装置。
【請求項１３】
前記制御装置は、正しい位置に装着されていないユニットがあると、外部に通知することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の基板検査装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つのユニットの前記プローブ保持部材に対する着脱方向は、前記プローブ保持部材の表面に直交する方向であることを特徴とする請求項２〜１３のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項１５】
前記プローブ保持部材は、前記少なくとも１つのユニットが装着されるときに該ユニットを所定位置に案内するためのガイド機構を有することを特徴とする請求項１４に記載の基板検査装置。
【請求項１６】
前記ガイド機構は、前記着脱方向に延びる少なくとも１つの突起部を含むことを特徴とする請求項１５に記載の基板検査装置。
【請求項１７】
前記少なくとも１つのユニットは、前記着脱方向に平行な軸に対して回転対称性を有しない形状であることを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項１８】
前記プローブ保持部材は、前記少なくとも１つのユニットからの配線部材が接続されるコネクタを有することを特徴とする請求項２〜１７のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項１９】
前記コネクタは、前記検査対象のプリント配線基板に対して前記プローブ保持部材の裏側の面に設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の基板検査装置。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれか一項に記載の基板検査装置と；
検査対象のプリント配線基板に関する情報を前記基板検査装置に入力するための入力装置と；
前記基板検査装置での検査結果を表示する表示装置と；を備える基板検査システム。
【請求項２１】
複数の検査プログラムが格納されているメモリをさらに備え、
前記基板検査装置の制御装置は、前記入力装置から入力された情報に基づいて、前記複数の検査プログラムの中から前記検査対象のプリント配線基板に対応した検査プログラムを選択することを特徴とする請求項２０に記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置及び基板検査システムに係り、更に詳しくは、プリント配線基板を検査する基板検査装置、及び該基板検査装置を備える基板検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気・電子機器の小型化及び高機能化に伴い、電気・電子機器に搭載されるプリント配線基板では、実装部品及び配線の高密度化、線幅の縮小化などが図られている。
【０００３】
そこで、プリント配線基板に部品が正しく実装されているか、はんだ付けが正しくなされているか、配線に不良（断線やショート）はないか、実装されている部品に欠陥はないかといった検査を効率良く行うために、基板検査装置が用いられるようになった（例えば、特許文献１〜５参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１７１５１２号公報
【特許文献２】特開２００６−１３８８０８号公報
【特許文献３】特開２００６−２９２７１５号公報
【特許文献４】特開２００８−２２４２９５号公報
【特許文献５】特開２００８−２２６８８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、コンタクト・プローブは、使用状況等によってその先端が摩耗したり変形したりして使用できなくなることがある。通常、すべてのコンタクト・プローブが同時に使用できなくなることはほとんどなく、一部のコンタクト・プローブのみが使用できなくなることが一般的である。
【０００６】
しかしながら、特許文献１〜５に開示されている検査装置では、一つのコンタクト・プローブのみが使用できなくなっても、すべてのコンタクト・プローブを交換しなければならないという不都合があった。
【０００７】
本発明は、かかる事情の下になされたもので、その第１の目的は、メンテナンス性に優れた基板検査装置を提供することにある。
【０００８】
また、本発明の第２の目的は、検査効率に優れた基板検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、第１の観点からすると、プリント配線基板を検査する基板検査装置であって、検査の際に、検査対象のプリント配線基板における複数の所定位置にそれぞれ接触する複数のコンタクト・プローブと；前記複数のコンタクト・プローブを保持するとともに、該複数のコンタクト・プローブの少なくとも１つが着脱可能であるプローブ保持部材と；前記複数のコンタクト・プローブに対する電気信号の入出力を行い、前記検査対象のプリント配線基板の検査を行う制御装置と；を備える基板検査装置である。
【００１０】
これによれば、メンテナンス性を従来よりも向上させることが可能となる。
【００１１】
本発明は、第２の観点からすると、本発明の基板検査装置と；検査対象のプリント配線基板に関する情報を前記基板検査装置に入力するための入力装置と；前記基板検査装置での検査結果を表示する表示装置と；を備える基板検査システムである。
【００１２】
これによれば、メンテナンス性に優れた本発明の基板検査装置を備えているため、その結果として検査効率を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図３５に基づいて説明する。図１には、一実施形態に係る基板検査システム１の概略構成が示されている。
【００１４】
この基板検査システム１は、パーソナルコンピュータ（パソコン）１０と、基板検査機２０とを有している。
【００１５】
パソコン１０は、表示装置１１、入力装置１２、ハードディスク装置（ＨＤＤ）１３、ＣＰＵ１５、ＲＡＭ１６、ＲＯＭ１７及びインターフェース１９等を備えている。
【００１６】
表示装置１１は、例えばＣＲＴ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）及びプラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）などを用いた表示部（図示省略）を備え、ＣＰＵ１５から指示された各種情報を表示する。
【００１７】
入力装置１２は、例えばキーボード、マウス、タブレット、ライトペン及びタッチパネルなどのうち少なくとも１つの入力媒体（図示省略）を備え、ユーザから入力された各種情報をＣＰＵ１５に通知する。なお、入力媒体からの情報はワイヤレス方式で入力されても良い。また、表示装置１１と入力装置１２とが一体化されたものとして、例えばタッチパネル付きＬＣＤなどがある。
【００１８】
ＨＤＤ１３は、ハードディスクと、該ハードディスクを駆動するための駆動装置などから構成されている。
【００１９】
インターフェース１９は、基板検査機２０との双方向の通信インターフェース（例えば、ＵＳＢインターフェース、ＰＣＩインターフェースなど）である。
【００２０】
ＲＯＭ１７には、ＣＰＵ１５にて解読可能なコードで記述された基板検査管理プログラムや複数の検査プログラムを含む各種プログラム、及びプログラムの実行に用いられる各種データ等が格納されている。
【００２１】
ＣＰＵ１５は、ＲＯＭ１７に格納されているプログラムに従って前記各部の動作を制御する。
【００２２】
ＲＡＭ１６は、作業用のメモリである。
【００２３】
基板検査機２０の外観が、一例として図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示されている。この基板検査機２０の筐体は３つの部分（上部２１Ａ、中間部２１Ｂ、下部２１Ｃ）からなっている。なお、本明細書では、ＸＹＺ３次元直交座標系において、基板検査機２０が設置される床面に直交する方向をＺ軸方向として説明する。
【００２４】
上部２１Ａは、＋Ｙ側の端部が蝶番で中間部２１Ｂに固定されている。また、上部２１Ａの正面（−Ｙ側の面）には、取っ手が設けられている。そこで、該取っ手を持ち上げることにより、一例として図３（Ａ）に示されるように、上部２１Ａと中間部２１Ｂを分離することができるようになっている。
【００２５】
中間部２１Ｂは、＋Ｙ側の端部が蝶番で下部２１Ｃに固定されている。また、中間部２１Ｂの正面（−Ｙ側の面）には、取っ手が設けられている。そこで、該取っ手を持ち上げることにより、一例として図３（Ｂ）に示されるように、中間部２１Ｂと下部２１Ｃを分離することができるようになっている。
【００２６】
基板検査機２０の筐体内には、一例として図４に示されるように、基板押さえ部材２２、セットベース２３、ピンボード２４、治具基板２５、複数のコンタクト・プローブ２６、２つの電源装置（２７Ａ、２７Ｂ）などが収容されている。なお、図４では、配線部材は図示を省略している。
【００２７】
セットベース２３は、検査対象のプリント配線基板３１（以下では、便宜上「対象基板３１」ともいう）を支持する板状部材であり、中間部２１Ｂに固定されている。
【００２８】
セットベース２３は、一例として図５及び図６に示されるように、その＋Ｚ側の面に複数の第１突起部１２３Ａ及び第２突起部１２３Ｂを有している。複数の第１突起部１２３Ａは、対象基板３１に設けられている複数の取り付け穴に対応し、対象基板３１をガイドする。複数の第２突起部１２３Ｂは、対象基板３１を支持する。
【００２９】
また、セットベース２３には、複数のコンタクト・プローブ２６との干渉を避けるための開口部が設けられている。
【００３０】
複数のコンタクト・プローブ２６は、検査の際に、＋Ｚ側の先端が対象基板３１の複数の所定位置にそれぞれ接触する針状部材である。なお、先端の形状は、本実施形態に限定されるものではない。
【００３１】
複数のコンタクト・プローブ２６は、それらの位置に応じて複数のグループに分けられている。ここでは、一例として図７に示されるように、６つのグループ（Ｇ１〜Ｇ６）に分けられている。
【００３２】
各グループは、一例として図８及び図９に示されるように、そのグループを構成する複数のコンタクト・プローブ２６が所定の位置関係となるようにホルダ２６１に固定され、ユニット化されている。なお、図８及び図９は、グループＧ４を例にしている。
【００３３】
ここでは、各ホルダ２６１は、台形状の板状部材である。すなわち、Ｚ軸方向に平行な軸に対して回転対称性を有しない形状である。
【００３４】
以下では、グループ（Ｇ１〜Ｇ６）がユニット化されたものをユニット（ＵＮ１〜ＵＮ６）という。
【００３５】
各ユニットは、それぞれを特定するためのＩＤ（ユニットＩＤ）を有している。ここでは、一例として、ＵＮ１のユニットＩＤをＩＤ０１、ＵＮ２のユニットＩＤをＩＤ０２、ＵＮ３のユニットＩＤをＩＤ０３、ＵＮ４のユニットＩＤをＩＤ０４、ＵＮ５のユニットＩＤをＩＤ０５、ＵＮ６のユニットＩＤをＩＤ０６としている。
【００３６】
各ホルダ１２６は、フラッシュメモリ２６２を有しており、該フラッシュメモリ２６２にそのユニットＩＤ及び使用回数が記録されている。フラッシュメモリ２６２内の情報は、ＣＰＵ１５から読み出し、及び書き換えが可能である。
【００３７】
各ホルダ２６１には、ピンボード２４に取り付ける際のガイドとなる複数の貫通孔が形成されている。
【００３８】
各ホルダ１２６には、ＬＥＤ２６４が設けられている。ＬＥＤ２６４は、ＣＰＵ１５から点灯／消灯が可能である。
【００３９】
各コンタクト・プローブ２６の−Ｚ側端部には、配線部材２６２の一端が接続されている。なお、この接続は、（１）はんだ接続、（２）ラッピング接続、（３）はんだかしめ接続、（４）端子接続、のいずれであっても良い。
【００４０】
各配線部材２６２の他端は、ユニット毎に１つのコネクタＣ１にまとめられている。
【００４１】
ピンボード２４は、一例として図１０〜図１２に示されるように、ユニットが着脱可能に保持される６つの保持部（ＡＤ１〜ＡＤ６）を有する板状部材であり、中間部２１Ｂに固定されている。なお、図１１は図１０のＡ−Ａ断面図であり、図１２は図１１の一部を拡大した図である。
【００４２】
各保持部は開口部を有し、該開口部の周囲は段付構造となっている。そして、段部にはユニットをガイドするための複数の突起部１２４が設けられている。また、各保持部の近傍には、ユニットのコネクタＣ１に対応するコネクタＣ２が配置されている。
【００４３】
各ユニットは、一例として図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）に示されるように、−Ｚ方向を装着方向として各保持部にセットされる。そして、コネクタＣ１とコネクタＣ２が接続される。
【００４４】
６つのユニット（ＵＮ１〜ＵＮ６）が、各保持部に装着された状態が図１４に示されている。
【００４５】
なお、各保持部へのユニットの着脱は、上部２１Ａが持ち上げられた状態（図３（Ａ）参照）で行われる。
【００４６】
治具基板２５は、板状部材であり、下部２１Ｃに固定されている。この治具基板２５には、一例として図１５に示されるように、６つのコネクタ（ＣＮ１〜ＣＮ６）が実装されている。
【００４７】
ここでは、コネクタＣＮ１には、保持部ＡＤ１のコネクタＣ２からの配線部材が接続され、コネクタＣＮ２には、保持部ＡＤ２のコネクタＣ２からの配線部材が接続され、コネクタＣＮ３には、保持部ＡＤ３のコネクタＣ２からの配線部材が接続されている。また、コネクタＣＮ４には、保持部ＡＤ４のコネクタＣ２からの配線部材が接続され、コネクタＣＮ５には、保持部ＡＤ５のコネクタＣ２からの配線部材が接続され、コネクタＣＮ６には、保持部ＡＤ６のコネクタＣ２からの配線部材が接続されている。
【００４８】
なお、治具基板２５におけるコネクタの接続は、中間部２１Ｂが持ち上げられた状態（図３（Ｂ）参照）で行われる。
【００４９】
また、治具基板２５は複数のソケットを有しており、各ソケットには、デジタルＩＯボード、ＡＤ変換ボード、バッファボードなどが挿入されている。
【００５０】
治具基板２５は、パソコン１０のインターフェース１９とケーブル接続されている。
【００５１】
電源装置２７Ａは、治具基板２５に電力を供給するための電源装置であり、下部２１Ｃに設けられている電源スイッチでオンオフされる。
【００５２】
電源装置２７Ｂは、対象基板３１に電力を供給するための電源装置であり、ＣＰＵ１５からの信号によってオンオフされる。
【００５３】
基板押さえ部材２２は、板状部材であり、上部２１Ａに固定されている。そこで、上部２１Ａが持ち上げられると、同時に基板押さえ部材２２も持ち上がるようになっている（図１６参照）。
【００５４】
対象基板３１は、基板押さえ部材２２が持ち上げられている状態で、セットベース２３にセットされる（図１７参照）。
【００５５】
基板押さえ部材２２は、上部２１Ａが閉じられたときに、セットベース２３の複数の第２突起部１２３Ｂに対向する位置に複数の突起部が設けられている。そこで、上部２１Ａが閉じられると、対象基板３１は、基板押さえ部材２２の複数の突起部によって複数の第２突起部１２３Ｂに押しつけられる（図１８参照）。
【００５６】
中間部２１Ｂの＋Ｘ側には、レバー２８が設けられている。このレバー２８は、一例として図１９に示されるように、ピンボード２４に連結されている。そして、レバー２８を手前側（−Ｙ側）に倒すと、一例として図２０に示されるように、ピンボード２４が上昇（＋Ｚ側に移動）するような機構になっている。
【００５７】
次に、基板検査におけるＣＰＵ１５の動作について図２１〜図３４を用いて説明する。図２１及び図２２のフローチャートは、ＣＰＵ１５によって実行される一連の処理アルゴリズムに対応している。
【００５８】
作業者が、入力装置１２を介して基板検査要求を入力すると、ＲＯＭ１７に格納されている基板検査管理プログラムの開始アドレスがプログラムカウンタにセットされ、検査処理がスタートする。
【００５９】
なお、ＲＯＭ１７には、一例として図２３に示されるように、基板検査システム１で検査可能なプリント配線基板の型番毎に、対応する検査プログラム及び対応するユニットのユニットＩＤがテーブルデータとして格納されている。
【００６０】
最初のステップＳ４０１では、一例として図２４に示されるように、表示装置１１の表示部に、検査番号、作業者Ｎｏ、対象基板３１の型番などの検査情報の入力画面を表示させる。
【００６１】
次のステップＳ４０３では、検査情報の入力が完了したか否かを判断する。未入力の項目があれば、ここでの判断は否定され、すべての項目が入力されるまで待機する。すべての項目が入力されると、ここでの判断は肯定され、ステップＳ４０５に移行する。
【００６２】
このステップＳ４０５では、上記テーブルデータを参照し、入力された対象基板３１の型番に対応した検査プログラムを選択する。ここでは、一例として、入力された対象基板３１の型番が「ＰＲＫ−００１」であるものとする。
【００６３】
次のステップＳ４０７では、上記テーブルデータを参照し、入力された対象基板３１の型番に対応したユニットのユニットＩＤを取得する。
【００６４】
次のステップＳ４０９では、選択された検査プログラム及び取得されたユニットＩＤを表示装置１１の表示部に表示させる（図２５参照）。
【００６５】
次のステップＳ４１１では、各保持部に対してユニットＩＤの読み出しを行う。
【００６６】
次のステップＳ４１３では、全ての保持部に対してユニットＩＤの読み出しができたか否かを判断する。ユニットＩＤの読み出しができなかった保持部が１つでもあれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ４１５に移行する。
【００６７】
このステップＳ４１５では、ユニットＩＤの読み出しができなかった保持部へのユニットの装着を要求するメッセージを表示部に表示させる（図２６参照）。そして、上記ステップＳ４１１に戻る。
【００６８】
以降、ステップＳ４１３での判断が肯定されるまで、ステップＳ４１１〜Ｓ４１５の処理を繰り返し行う。
【００６９】
全ての保持部に対してユニットＩＤの読み出しができていれば、ステップＳ４１３での判断は肯定され、ステップＳ４１７に移行する。
【００７０】
このステップＳ４１７では、保持部毎に、テーブルデータから取得したユニットＩＤと装着されているユニットから読み出したユニットＩＤとが一致するか否かを判断する。一致しないユニットＩＤが１つでもあれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ４１９に移行する。
【００７１】
このステップＳ４１９では、ユニットＩＤが一致していない保持部を明示して、ユニットの交換を要求するメッセージを表示部に表示させる（図２７参照）。
【００７２】
次のステップＳ４２１では、ユニットＩＤが一致していない保持部に装着されているユニットのＬＥＤ２６４を点灯させる（図２８参照）。そして、上記ステップＳ４１１に戻る。
【００７３】
以降、ステップＳ４１７での判断が肯定されるまで、ステップＳ４１１〜Ｓ４２１の処理を繰り返し行う。
【００７４】
全ての保持部に関して、テーブルデータから取得したユニットＩＤと保持部に装着されているユニットから読み出したユニットＩＤとが一致すると、ステップＳ４１７での判断が肯定され、ステップＳ４２３に移行する。
【００７５】
このステップＳ４２３では、対象基板３１がセットベース２３にセットされているか否かを判断する。例えば、電源装置２７Ｂから対象基板３１への電力供給をオンにしたときに、所定のコンタクト・プローブ２６から信号を得ることができなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ４２５に移行する。
【００７６】
このステップＳ４２５では、対象基板３１のセットを要求するメッセージを表示部に表示させる（図２９参照）。そして、上記ステップＳ４２３に戻る。
【００７７】
以降、ステップＳ４２３での判断が肯定されるまで、ステップＳ４２３〜Ｓ４２５の処理を繰り返し行う。
【００７８】
対象基板３１がセットベース２３にセットされていると、ステップＳ４２３での判断は肯定され、ステップＳ４２７に移行する。
【００７９】
このステップＳ４２７では、基板検査の開始がＯＫであることを示すメッセージを表示部に表示させる（図３０参照）。
【００８０】
次のステップＳ５０１では、キャンセルボタンがクリックされたか否かを判断する。キャンセルボタンがクリックされたならば、ここでの判断は肯定され、上記ステップＳ４０１に戻る。一方、キャンセルボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ５０３に移行する。
【００８１】
このステップＳ５０３では、検査開始ボタンがクリックされたか否かを判断する。検査開始ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、上記ステップＳ５０１に戻る。一方、検査開始ボタンがクリックされたならば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ５０５に移行する。
【００８２】
このステップＳ５０５では、上記選択された検査プログラムの開始アドレスをプログラムカウンタにセットする。これにより、検査プログラムが起動する。
【００８３】
次のステップＳ５０７では、該検査プログラムに従って検査を行う（図３１参照）。
【００８４】
検査プログラムは、コンタクト・プローブ２６を介して、所定の信号等を対象基板３１に供給し、所望の出力（例えば、電圧レベル）が得られるか否かで合否を判断する。なお、検査は複数の項目（例えば、実装されているチップ毎）について行われ、項目毎に合否が判断される。そして、１つでも合格しない項目があると、検査は不合格とする。
【００８５】
なお、検査中止ボタンがクリックされると、検査を中止し、上記ステップＳ４０１に戻る。
【００８６】
検査プログラムによる検査が終了するとステップＳ５０９に移行する。
【００８７】
このステップＳ５０９では、検査結果を表示部に表示させる（図３２及び図３３参照）。このとき、検査情報と検査結果をＨＤＤ１３に保存しても良い。また、検査情報と検査結果を不図示のプリンタで印刷しても良い。
【００８８】
次のステップＳ５１１では、各ユニットのフラッシュメモリ２６２から使用回数を読み出す。
【００８９】
次のステップＳ５１３では、読み出した使用回数の値をそれぞれ＋１する。ここで＋１された値は、各ユニットのフラッシュメモリ２６２に記録（上書き）される。
【００９０】
次のステップＳ５１５では、使用回数が所定の値以上のユニットがあるか否かを判断する。使用回数が所定の値以上のユニットが１つでもあれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ５１７に移行する。なお、所定の値とは、例えば、コンタクト・プローブ２６の先端が摩耗したり、変形したりして対象基板３１との接触が担保できなくなるおそれがあると予想される使用回数であり、過去の経験等から決定される値（例えば、１５０００回）である。
【００９１】
このステップＳ５１７では、使用回数が所定の値以上のユニットの交換を要求するメッセージを表示部に表示させる（図３４参照）。
【００９２】
次のステップＳ５１９では、使用回数が所定の値以上のユニットのＬＥＤ２６４を点灯させる（図３５参照）。
【００９３】
次のステップＳ５２１では、入力画面ボタンがクリックされたか否かを判断する。入力画面ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、上記ステップＳ４０１に戻る。一方、入力画面ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ５２３に移行する。
【００９４】
このステップＳ５２３では、再検査ボタンがクリックされたか否かを判断する。再検査ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、上記ステップＳ５０５に戻る。一方、再検査ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ５２５に移行する。なお、ここでは、検査結果が不合格のときのみ再検査ボタンは有効となる。
【００９５】
このステップＳ５２５では、プログラム終了ボタンがクリックされたか否かを判断する。プログラム終了ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、検査処理を終了する。一方、プログラム終了ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、上記ステップＳ５２１に戻る。
【００９６】
ところで、続いて基板検査を行う場合に、例えば対象基板３１の型番が「ＰＲＫ−００３」であれば、保持部ＡＤ３に装着されているユニット（ここでは、ユニットＩＤがＩＤ０３のユニット）をユニットＩＤがＩＤ０７のユニットに交換することにより、同様にして基板検査を行うことが可能である。すなわち、基板検査システム１は、複数種類のプリント配線基板の検査が可能である。
【００９７】
以上の説明から明らかなように、本実施形態に係る基板検査システム１では、基板検査機２０とＣＰＵ１５とによって基板検査装置が構成されている。
【００９８】
そして、ピンボード２４によってプローブ保持部材が構成され、治具基板２５とＣＰＵ１５とによって制御装置が構成されている。
【００９９】
なお、上記のＣＰＵ１５によるプログラムに従う処理によって実現した構成各部の少なくとも一部をハードウェアによって構成することとしても良いし、あるいは全ての構成部分をハードウェアによって構成することとしても良い。
【０１００】
以上説明したように、本実施形態に係る基板検査機２０によると、複数のコンタクト・プローブ２６は、それらの位置に応じて６つのグループに分けられている。そして、各グループでは、そのグループの複数のコンタクト・プローブが所定の位置関係となるようにホルダ２６１に固定され、ユニット化されている。また、ピンボード２４は複数の保持部を有し、各保持部のそれぞれにユニットが装着されている。この場合、複数のコンタクト・プローブ２６のいずれかに不良（摩耗、変形）が発見されても、該不良のコンタクト・プローブ２６が含まれるユニットのみを交換すれば良いため、従来よりもメンテナンス性を向上させることができる。
【０１０１】
また、本実施形態によると、複数のコンタクト・プローブ２６と治具基板２５との間の配線部材の配線チェック及び誤配線の修正を従来よりも容易に行うことが可能である。
【０１０２】
また、本実施形態によると、対象基板３１の型番が前回と異なっていても、その型番に応じたユニットに交換することにより、該対象基板３１の基板検査を行うことができる。すなわち、種類の異なる複数のプリント配線基板を検査することが可能である。
【０１０３】
また、本実施形態によると、対象基板３１の型番に応じた検査プログラムが選択され、該検査プログラムに従って基板検査が行われている。これにより、例えば、対象基板３１の型番によって検査項目が異なる場合であっても、対応することができる。
【０１０４】
また、本実施形態によると、ユニットの使用回数が所定の値以上になると、表示装置１１の表示部にメッセージを表示している。これにより、コンタクト・プローブ２６の不良に起因する誤検査を防止することができる。
【０１０５】
また、本実施形態によると、ユニットの使用回数が所定の値以上になると、そのユニットのＬＥＤを点灯させている。これにより、交換対象のユニットを簡単に認識することができる。
【０１０６】
また、本実施形態によると、テーブルデータから取得したユニットＩＤと読み出したユニットＩＤとが一致するか否かをチェックし、一致しない場合には表示装置１１の表示部にメッセージを表示している。これにより、誤ったユニットが装着されるのを防止することができる。
【０１０７】
また、本実施形態によると、テーブルデータから取得したユニットＩＤと読み出したユニットＩＤとが一致するか否かをチェックし、一致しない場合には、そのユニットのＬＥＤを点灯させている。これにより、誤って装着されているユニットを簡単に認識することができる。
【０１０８】
また、本実施形態によると、ホルダ２６１が台形状の板状部材であるため、ピンボード２４の保持部に装着する際に、間違った姿勢で装着するのを防止することができる。なお、Ｚ軸方向に平行な軸に対して回転対称性を有しない形状であれば、台形状に限定されるものではない。
【０１０９】
また、本実施形態によると、ピンボード２４の保持部に対するホルダ２６１の着脱方向がＺ軸方向に平行であるため、容易に確実に着脱することができる。
【０１１０】
また、本実施形態によると、ピンボード２４の保持部近傍にコネクタＣ２が設けられているため、ホルダ２６１の着脱を簡単に行うことができる。
【０１１１】
また、本実施形態によると、ユニットＩＤがホルダ２６１のフラッシュメモリ２６２に格納されているため、ＣＰＵ１５は保持部に装着されているユニットのユニットＩＤを確実に、そして容易に取得することができる。
【０１１２】
また、本実施形態によると、ユニットの使用回数がホルダ２６１のフラッシュメモリ２６２に格納されているため、ＣＰＵ１５は保持部に装着されているユニットの使用回数を確実に、そして容易に取得することができる。
【０１１３】
また、本実施形態によると、各保持部が、ユニットをガイドするための複数の突起部１２４を有しているため、ユニットを保持部に、確実にしかも容易に装着することができる。
【０１１４】
そして、本実施形態に係る基板検査システム１によると、検査効率を向上させることができる。
【０１１５】
なお、上記実施形態では、ユニット及びピンボード２４の保持部が、ユニットを上（ここでは、＋Ｚ側）からピンボード２４の保持部に装着する構造となっている場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図３６（Ａ）及び図３６（Ｂ）に示されるように、ユニット及びピンボード２４の保持部が、ユニットを下（ここでは、−Ｚ側）からピンボード２４の保持部に装着する構造となっていても良い。この場合に、ユニットをピンボード２４に固定するための機構（例えば、ねじ止め機構）を設けても良い。
【０１１６】
また、上記実施形態では、複数のコンタクト・プローブ２６が、６つのグループに分けられる場合について説明したが、これに限定されるものではない（図３７参照）。
【０１１７】
また、上記実施形態では、６つのグループ全てがユニット化される場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、交換することが予想されるグループが１つのときには、該グループのみをユニット化しても良い（図３８参照）。
【０１１８】
また、上記実施形態では、各ユニットの外形が同じ場合について説明したが、これに限定されるものではない。
【０１１９】
また、上記実施形態では、検査終了後に使用回数のチェックを行っているが、検査開始前に使用回数のチェックを行っても良い。
【０１２０】
また、上記実施形態では、全てのコンタクト・プローブ２６が、着脱可能な場合について説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、１つのコンタクト・プローブ２６のみが着脱可能であっても良い。
【０１２１】
また、上記実施形態では、ユニットＩＤがフラッシュメモリ２６２に格納されている場合について説明したが、これに限らず、例えば、ユニットにディップスイッチを設け、該ディップスイッチでユニットＩＤが設定されていても良い。
【０１２２】
また、上記実施形態では、使用回数がフラッシュメモリ２６２に記録されている場合について説明したが、これに限らず、例えば、パソコン１０のＨＤＤ１３にユニットＩＤ毎に使用回数が記録されても良い。
【０１２３】
また、上記実施形態では、ユニットの使用回数を＋１し、その値が所定の値以上の時を該ユニットの交換時期とする場合について説明したが、これに限定されるものではない。最初に使用回数として所定の値をフラッシュメモリ２６２に格納しておき、使用する度に使用回数を−１し、その値が０になった時を該ユニットの交換時期としても良い。
【０１２４】
また、上記実施形態において、ピンボード２４の各保持部近傍にＬＥＤを設け、装着されているユニットが適切なユニットでない場合や、装着されているユニットの使用回数が所定の値以上の場合に、対応するＬＥＤを点灯させても良い。
【０１２５】
また、上記実施形態において、装着されているユニットの使用回数が所定の値以上のときに、該ユニットを交換したことをパソコン１０に通知するためのボタン（図３９参照）が基板検査機２０に設けられていても良い。この場合に、ＣＰＵ１５は、該ボタンが押されるまで次の処理に移行しないようにしても良い。また、パソコン１０側にこのボタンが設けられていても良い。
【０１２６】
また、上記実施形態において、複数の検査項目があるときに、作業者が指定した項目のみを検査できるようにしても良い。
【０１２７】
また、上記実施形態におけるテーブルデータは一例であり、これに限定されるものではない。
【０１２８】
また、上記実施形態における表示部の表示内容、表示レイアウトは一例であり、これに限定されるものではない。
【０１２９】
また、上記実施形態において、基板検査機２０に検査結果を示すためのＬＥＤが設けられても良い。例えば、合格時に緑色発光するＬＥＤと不合格時に赤色発光するＬＥＤとが設けられても良い。
【０１３０】
また、上記実施形態において、ＣＰＵ１５によるプログラムに従う処理の少なくとも一部が、基板検査機２０側で行われても良い。この場合に、例えば、治具基板２５にＣＰＵとプログラム等が格納されたＲＯＭとが搭載されても良い。
【０１３１】
また、上記実施形態において、基板検査機２０側の各種ボード（デジタルＩＯボード、ＡＤ変換ボード、バッファボードなど）の少なくとも一部が、パソコン１０側に設けられても良い。
【０１３２】
また、上記実施形態において、対象基板３１が、組み込みソフト（ファームウエア）が搭載されたいわゆるＣＰＵ基板のときに、パソコン１０と対象基板３１とを例えばシリアル接続し、ＣＰＵ基板の動作チェックを行っても良い（図４０参照）。
【０１３３】
また、上記実施形態において、各ユニットのフラッシュメモリ２６２とパソコン１０との接続がＵＳＢ接続であっても良い。この場合、パソコン１０では、各フラッシュメモリ２６２をリムーバブルディスクとして認識し、それぞれに固有のドライブレターが付与される。
【０１３４】
また、上記実施形態において、パソコン１０と基板検査機２０とが一体化されていても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１３５】
以上説明したように、本発明の基板検査装置によれば、従来よりもメンテナンス性を向上させるのに適している。また、本発明の基板検査システムによれば、検査効率を向上させるのに適している。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板検査システムの概略構成を説明するための図である。
【図２】図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、それぞれ図１における基板検査機の外観図である。
【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、それぞれ基板検査機の筐体の構造を説明するための図である。
【図４】基板検査機の筐体内に収容されている各部を説明するための図である。
【図５】セットベースを説明するための図（その１）である。
【図６】セットベースを説明するための図（その２）である。
【図７】コンタクト・プローブのグループ分けを説明するための図である。
【図８】ユニットを説明するための図（その１）である。
【図９】ユニットを説明するための図（その２）である。
【図１０】ピンボードを説明するための図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ断面図である。
【図１２】図１１の一部分を拡大した図である。
【図１３】図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、それぞれユニットのピンボードへの装着方法を説明するための図である。
【図１４】全てのユニットが装着されたピンボードを説明するための図である。
【図１５】治具基板を説明するための図である。
【図１６】基板押さえ部材の作用を説明するための図（その１）である。
【図１７】基板押さえ部材の作用を説明するための図（その２）である。
【図１８】基板押さえ部材の作用を説明するための図（その３）である。
【図１９】レバーの作用を説明するための図（その１）である。
【図２０】レバーの作用を説明するための図（その２）である。
【図２１】ＣＰＵによる検査処理を説明するためのフローチャート（その１）である。
【図２２】ＣＰＵによる検査処理を説明するためのフローチャート（その２）である。
【図２３】ＲＯＭに格納されているテーブルデータを説明するための図である。
【図２４】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その１）である。
【図２５】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その２）である。
【図２６】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その３）である。
【図２７】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その４）である。
【図２８】ユニットＩＤが一致しないユニットにおけるＬＥＤの点灯を説明するための図である。
【図２９】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その５）である。
【図３０】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その６）である。
【図３１】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その７）である。
【図３２】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その８）である。
【図３３】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その９）である。
【図３４】検査処理の際に表示装置の表示部に表示される内容を説明するための図（その１０）である。
【図３５】使用回数が所定の値以上のユニットにおけるＬＥＤの点灯を説明するための図である。
【図３６】図３６（Ａ）及び図３６（Ｂ）は、それぞれユニット及びピンボードの保持部の変形例を説明するための図である。
【図３７】コンタクト・プローブのグループ分けの変形例を説明するための図である。
【図３８】ピンボードの変形例を説明するための図である。
【図３９】ユニット交換通知ボタンを説明するための図である。
【図４０】対象基板がＣＰＵ基板のときの検査例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１３７】
１…基板検査システム、１０…パソコン、１１…表示装置（表示手段）、１２…入力装置（入力手段）、１５…ＣＰＵ（制御装置の一部）、１７…ＲＯＭ（メモリ）、２０…基板検査機、２３…セットベース、２４…ピンボード（プローブ保持部材）、２５…治具基板（制御装置の一部）、２６…コンタクト・プローブ、３１…プリント配線基板、１２４…突起部、２６２…フラッシュメモリ（メモリ）、２６４…ＬＥＤ（発光部材）、Ｃ１…コネクタ、Ｃ２…コネクタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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