(57)【要約】【課題】歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体を噴射可能な第一噴射孔列に連通して並設された複数の第一溝３５を有する第一アクチュエータプレート３０Ａと、第一溝のそれぞれに液体を供給する第一液体導入孔３１ａが形成された第一カバープレート３１Ａと、を備えた第一ヘッドチップ２１Ａと、液体を噴射可能な第二噴射孔列に連通して並設された複数の第二溝３５を有する第二アクチュエータプレート３０Ｂと、第二溝のそれぞれに液体を供給する第二液体導入孔３１ｂが形成された第二カバープレート３１Ｂと、を備えた少なくとも一つ以上の第二ヘッドチップ２１Ｂと、が積層され、複数の噴射孔列を有する液体噴射ヘッドの製造方法において、第一液体導入孔と第二液体導入孔との間を連通する貫通孔３９を形成する工程を有し、貫通孔がサンドブラスト加工にて形成される。【選択図】図６
2010208226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射可能な第一噴射孔列に連通して並設された複数の第一溝を有する第一アクチュエータプレートと、前記第一溝のそれぞれに液体を供給する第一液体導入孔が形成された第一カバープレートと、を備えた第一ヘッドチップと、
液体を噴射可能な第二噴射孔列に連通して並設された複数の第二溝を有する第二アクチュエータプレートと、前記第二溝のそれぞれに液体を供給する第二液体導入孔が形成された第二カバープレートと、を備えた少なくとも一つ以上の第二ヘッドチップと、が積層され、複数の噴射孔列を有する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第一液体導入孔と前記第二液体導入孔との間を連通する貫通孔を形成する工程を有し、
前記貫通孔がサンドブラスト加工にて形成されることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第一アクチュエータプレートに前記貫通孔を形成する工程と、
前記第一カバープレートに前記貫通孔を形成する工程と、
前記第二アクチュエータプレートに前記貫通孔を形成する工程と、
前記第二カバープレートに前記貫通孔を形成する工程と、を有し、
前記第一アクチュエータプレート、前記第一カバープレート、前記第二アクチュエータプレートおよび前記第二カバープレートに前記貫通孔をそれぞれ形成した後に、前記第一アクチュエータプレート、前記第一カバープレート、前記第二アクチュエータプレートおよび前記第二カバープレートを貼り合わせる工程を有していることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第一アクチュエータプレートまたは前記第二アクチュエータプレートに前記貫通孔を形成する工程の後に、前記第一溝または前記第二溝を加工する工程を有し、
前記貫通孔を形成する工程の際に、前記第一溝または前記第二溝を加工するための位置決め用の合わせマークをサンドブラスト加工にて形成する工程を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射口より液体を噴射して被記録媒体に画像や文字を記録する液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液体噴射記録装置、例えば各種印刷を行うインクジェットプリンタは、被記録媒体を搬送する搬送装置と、インクなどの液体を噴射する液体噴射ヘッド（以下、インクジェットヘッドという。）と、を備えている。インクジェットヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズル体と、該ノズル孔に連通する複数の圧力発生室と、該圧力発生室にインクを供給するインク供給系と、圧力発生室に隣接配置された圧電アクチュエータと、を備えており、圧電アクチュエータを駆動して圧力発生室を加圧し、圧力発生室内のインクをノズル孔から噴射することにより被記録媒体に文字や画像を記録できるようになっている。
【０００３】
近年では、高解像度の印刷データに対応することができるインクジェットヘッドが求められており、複数のノズル列が設けられたインクジェットヘッドが提案されている。この種のインクジェットヘッドは、ノズル列に対応したヘッドチップが複数配されている。しかしながら、複数のヘッドチップへインクを供給する場合に、各ヘッドチップへインクの供給流路を設ける必要があり、インクジェットヘッドのスペースを有効に利用できていなかった。
【０００４】
そこで、複数のヘッドチップに対して単一の供給流路を用いてインクを供給するために、ヘッドチップに貫通孔を設け、該貫通孔からそれぞれのヘッドチップへインクを供給する方式を提案している（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−５０６８７号公報
【特許文献２】特開２００８−２０７３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来は上述した方式を採用したインクジェットヘッドの製造工程において、ヘッドチップに貫通孔を形成する際には電動ドリルを用いている。そのため、ドリル加工により発生するゴミが、インクの供給流路やノズルプレートを詰まらせ、歩留まりを低下させる要因になっている。
【０００７】
また、ヘッドチップは硬質なセラミックなどで構成されているため、ヘッドチップに貫通孔を形成するためにドリル加工すると、高硬質ドリルであっても耐久性に問題があり、加工品質や製造コストの面で問題がある。さらに、ドリル加工はドリルの回転エネルギーによって切削加工を行う加工方法であるが、この回転エネルギーに伴うモーメントにより、微薄なアクチュエータウエハの機械構造（インクの吐出構造）を破壊してしまう虞がある。
【０００８】
そこで本発明は、上述の事情を鑑みてなされたものであり、歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、液体を噴射可能な第一噴射孔列に連通して並設された複数の第一溝を有する第一アクチュエータプレートと、前記第一溝のそれぞれに液体を供給する第一液体導入孔が形成された第一カバープレートと、を備えた第一ヘッドチップと、液体を噴射可能な第二噴射孔列に連通して並設された複数の第二溝を有する第二アクチュエータプレートと、前記第二溝のそれぞれに液体を供給する第二液体導入孔が形成された第二カバープレートと、を備えた少なくとも一つ以上の第二ヘッドチップと、が積層され、複数の噴射孔列を有する液体噴射ヘッドの製造方法において、前記第一液体導入孔と前記第二液体導入孔との間を連通する貫通孔を形成する工程を有し、前記貫通孔がサンドブラスト加工にて形成されることを特徴としている。
【００１０】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法においては、第一液体導入孔と第二液体導入孔との間を連通する貫通孔をサンドブラスト加工で形成するため、貫通孔加工時に切削屑などのゴミの発生を抑制することができる。したがって、液体噴射ヘッドの組立工程における歩留まりを向上することができる。また、貫通孔をサンドブラスト加工で形成することにより、貫通孔の加工精度を向上することができるため、液体を第一液体導入孔から第二液体導入孔へ確実に流通させることができ、液体の吐出不良の発生を抑制することができる。
【００１１】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、前記第一アクチュエータプレートに前記貫通孔を形成する工程と、前記第一カバープレートに前記貫通孔を形成する工程と、前記第二アクチュエータプレートに前記貫通孔を形成する工程と、前記第二カバープレートに前記貫通孔を形成する工程と、を有し、前記第一アクチュエータプレート、前記第一カバープレート、前記第二アクチュエータプレートおよび前記第二カバープレートに前記貫通孔をそれぞれ形成した後に、前記第一アクチュエータプレート、前記第一カバープレート、前記第二アクチュエータプレートおよび前記第二カバープレートを貼り合わせる工程を有していることを特徴としている。
【００１２】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法においては、各プレートに貫通孔をサンドブラスト加工で形成した後に、各プレートを貼り合わせるようにしたため、各プレートに形成する貫通孔の加工精度を向上することができる。また、あるプレートの貫通孔に精度不良などの不具合が生じた場合には、そのプレートのみ交換することで製造することができる。したがって、液体噴射ヘッドの組立工程における無駄の発生を抑制することができ、歩留まりを向上することができる。
【００１３】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、前記第一アクチュエータプレートまたは前記第二アクチュエータプレートに前記貫通孔を形成する工程の後に、前記第一溝または前記第二溝を加工する工程を有し、前記貫通孔を形成する工程の際に、前記第一溝または前記第二溝を加工するための位置決め用の合わせマークをサンドブラスト加工にて形成する工程を有していることを特徴としている。
【００１４】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法においては、第一溝または第二溝を加工するための位置決め用の合わせマークをサンドブラスト加工で精度良く形成することができる。したがって、第一溝または第二溝を所望の位置に高精度に形成することができるため、液体噴射ヘッドの組立工程における歩留まりを向上することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法によれば、第一液体導入孔と第二液体導入孔との間を連通する貫通孔をサンドブラスト加工で形成するため、貫通孔加工時に切削屑などのゴミの発生を抑制することができる。したがって、液体噴射ヘッドの組立工程における歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態におけるインクジェットプリンタの斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドの概略構成断面図である。
【図４】本発明の実施形態におけるヘッドチップの斜視図である。
【図５】図４に示すヘッドチップの拡大図であって、アクチュエータプレートとカバープレートとを分解した状態における拡大図である。
【図６】図４に示すヘッドチップの断面図であって、溝部とノズル孔との位置関係を示す図である。
【図７】本発明の実施形態におけるヘッドチップの製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る液体噴射ヘッドの実施形態を、図１〜図７を用いて説明する。なお、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例として、インクＷを吐出可能なインクジェットヘッドを例に挙げて、そのインクジェットヘッドを搭載したインクジェットプリンタについて説明する。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態のインクジェットプリンタ１は、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた搬送方向Ｌ１に搬送する搬送手段３と、この搬送方向Ｌ１に直交する直交方向Ｌ２に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４とを、備えている。
【００１９】
つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを搬送方向Ｌ１に搬送しながら、該搬送方向Ｌ１に直交する直交方向Ｌ２にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録するシャトルタイプのプリンタである。なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタおよびイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
【００２０】
キャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、該基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されており、直交方向Ｌ２に沿って配置された一対のガイドレール７，７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７，７に支持された状態で、一対のプーリ８，８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８，８のうち一方のプーリ８ａは、モータ１０の出力軸に連結されており、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、直交方向Ｌ２に向けて往復移動できるようになっている。すなわち、これら一対のガイドレール７，７、一対のプーリ８，８、搬送ベルト９およびモータ１０は、上記移動手段４として機能する。
【００２１】
また、筐体５には、一対のガイドレール７，７と同じ直交方向Ｌ２に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６とが間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５および一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう搬送方向Ｌ１に沿って記録紙Ｐを搬送することができるようになっている。すなわち、これら一対の搬入ローラ１５および一対の搬送ローラ１６は、上記搬送手段３として機能する。
【００２２】
また、インクジェットヘッド２には供給チューブ６０が接続されており、この供給チューブ６０は、筐体５内に組み込まれたインクタンク４１に連結されている。これにより、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、４つのインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。このインクタンク４１は、各色のインクが充填されており、キャリッジ６のＬ２方向の移動や、記録紙Ｐの移動の邪魔にならない位置で、かつインクジェットヘッド２内に負圧を与えるように、インクジェットヘッド２のノズル開口よりも所定量低い位置に設けられている。
【００２３】
さらに、インクジェットプリンタ１には、インクジェットヘッド２のクリーニング動作を行うサービスステーション１１が搭載されている。このサービスステーション１１では、初めてインクジェットヘッド２を取付けたときにノズル内にインクＷを充填する、いわゆる初期充填動作が行われる。また、起動時、印刷開始前などの所定のタイミング、あるいは任意のタイミングで、インクジェットヘッド２の表面に付着したゴミやインク滴などの除去や、ノズル詰まりを回復する、いわゆるクリーニング動作が行われる。
【００２４】
次に、インクジェットヘッド２について説明する。
図２、図３に示すように、各インクジェットヘッド２は、キャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、ヘッドチップ２１の後述するインク導入孔３１ａ（図３参照）にインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７（図５参照）に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。
【００２５】
また、固定板２０の上面には、アルミニウムなどで形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２１のインク導入孔３１ａにインクＷを供給する流路２２ｅが形成された流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室２２ｄを内部に有する圧力緩衝器２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ６０が取り付けられている。
【００２６】
このように構成されたインクジェットヘッド２は、供給チューブ６０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、該インクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室２２ｄに一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路２２ｅを介してヘッドチップ２１のインク導入孔３１ａに供給するようになっている。すなわち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂおよびインク連結管２２ｃは、上記供給手段２２として機能する。
【００２７】
また、ベースプレート２４には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路などの駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５と、ヘッドチップ２１の駆動電極３７（３７Ａ，３７Ｂ）とは、複数の引き出し電極２７（２７ａ，２７ｂ）がプリント配線されたフレキシブル基板２７（２７Ａ，２７Ｂ）を介して電気的に接続されている。そして、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。すなわち、駆動回路２５及びフレキシブル基板２７は、上記制御手段２３として機能する。
【００２８】
次に、ヘッドチップ２１について説明する。
ヘッドチップ２１は、図４に示すように、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１、支持プレート３２、ノズルプレート３３とで主に構成されている。それぞれのプレート部材は、不図示の接着剤によって接着固定されている。
【００２９】
アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電材料から形成された平面視矩形のプレートである。本実施形態では、アクチュエータプレート３０が一対（２枚）設けられている。一対のアクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂのそれぞれの表面には、長さ方向（矢印Ｘ方向）に伸びる溝部３５が横幅方向（矢印Ｙ方向）に一定間隔を空けた状態で複数形成されている。すなわち、複数の溝部３５は、側壁３６（図５参照）によってそれぞれ区分けされた状態となっている。また、一対のアクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂは裏面同士が接着剤などにより接合された状態で配されている。アクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂが接合された状態において、それぞれに形成された溝部３５は横幅方向（矢印Ｙ方向）に向けて交互に千鳥状に配列形成されている（図６参照）。
【００３０】
図５に示すように、複数の溝部３５は、アクチュエータプレート３０の前端面側に開口するように形成されているとともに、後端面に向かうにしたがって漸次深さが浅くなるように形成されている。なお、溝部３５の後端面側は、図示しない封止手段によって封止されている。これら複数の溝部３５は、インクＷが充填されるチャネルとして機能する。
【００３１】
図５、図６に示すように、側壁３６の側面には、長さ方向に亘って駆動電極３７がアルミニウムなどを蒸着することにより形成されている。この駆動電極３７は、各溝部３５内において深さが浅くなるアクチュエータプレート３０の後端面側まで延設されており、図２に示す制御手段２３から駆動電圧を個別に印加される。ここで、本実施形態ではアクチュエータプレート３０Ａの駆動電極３７Ａにはフレキシブル基板２７Ａの引き出し電極２７ａが、深さが浅くなった各溝部３５に嵌り込む形で電気的に接続され、アクチュエータプレート３０Ｂの駆動電極３７Ｂにはフレキシブル基板２７Ｂの引き出し電極２７ｂが、深さが浅くなった各溝部３５に嵌り込む形で電気的に接続されている。
【００３２】
そして、駆動電極３７（３７Ａ，３７Ｂ）は、駆動電圧が印加されたときに、側壁３６を圧電厚み滑り効果により変形させることで溝部３５内の圧力を高め、充填されたインクＷを溝部３５内から吐出させる働きをしている。なお、アクチュエータプレート３０Ａの駆動電極３７Ａと、アクチュエータプレート３０Ｂに接続された駆動電極３７Ｂと、は別個に制御可能に構成されている。
【００３３】
図４に戻り、カバープレート３１（３１Ａ，３１Ｂ）は、複数の溝部３５の一部を露出させた状態で、アクチュエータプレート３０（３０Ａ，３０Ｂ）の上面にそれぞれ重ね合わされている。また、カバープレート３１には、インクＷが供給されてくるインク導入孔３１ａ，３１ｂが横幅方向に亘って形成されている。このように構成することで、複数の溝部３５にインクＷを充填できるようになっている。また、インク導入孔３１ａとインク導入孔３１ｂとの間を連通する貫通孔３９が、カバープレート３１（３１Ａ，３１Ｂ）およびアクチュエータプレート３０（３０Ａ，３０Ｂ）にそれぞれ形成されている。このように構成することで、供給手段２２からインク導入孔３１ａに供給されたインクＷが貫通孔３９を通過してインク導入孔３１ｂにも供給される。なお、アクチュエータプレート３０Ａとカバープレート３１Ａとで第一ヘッドチップ２１Ａを構成し、アクチュエータプレート３０Ｂとカバープレート３１Ｂとで第二ヘッドチップ２１Ｂを構成している。
【００３４】
支持プレート３２は、重ね合わされたアクチュエータプレート３０（３０Ａ，３０Ｂ）およびカバープレート３１（３１Ａ，３１Ｂ）を支持しているとともに、ノズルプレート３３を同時に支持している。支持プレート３２には、横幅方向に亘って嵌合孔３２ａが形成されており、重ね合わされたアクチュエータプレート３０およびカバープレート３１をこの嵌合孔３２ａ内に嵌め込んだ状態で各プレート３０，３１を支持している。この際、支持プレート３２の端面は、両プレート３０，３１の前端面と面一となるように組み合わされている。
【００３５】
そして、これら支持プレート３２の端面、両プレート３０，３１の前端面に、ノズルプレート３３が接着剤（不図示）により接着固定されている。
【００３６】
ノズルプレート３３は、例えば、厚みが５０μｍ程度のポリイミドなどのフィルム材からなるシート状のプレートである。そして、ノズルプレート３３は、一方の面がアクチュエータプレート３０、カバープレート３１および支持プレート３２に接着される接着面となっており、他方の面が記録紙Ｐに対向する対向面（表面３３ｂ）となっている。なお、表面３３ｂには、インクＷの付着などを防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。
【００３７】
また、このノズルプレート３３には、横幅方向（Ｙ方向）に複数の溝部３５のピッチと同じ間隔で複数のノズル孔３３ａが形成されている。この際、ノズル孔３３ａは、隣り合うノズル孔３３ａに対して横幅方向に直交するノズルプレート３３の縦幅方向（Ｚ方向）に所定距離Ｎ１だけずれた状態で配列形成されている。つまり、ノズル孔３３ａは、アクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂに形成された溝部３５に対応して形成されている。
より具体的に説明すると、複数のノズル孔３３ａは、横幅方向に向けて交互に千鳥状に配列形成されており、縦幅方向に所定距離Ｎ１だけ間を空けて平行に二列並んだ状態となっている。つまり、ノズル列３８が二列形成されている。しかも、各ノズル孔３３ａは、各溝部３５の横幅中心軸上にその中心が位置するように形成されている。このように構成することで、高解像度印刷に対応したインクジェットヘッド２を構成することができる。
【００３８】
また、各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、図４に示すように、接着面側の入口径Ｄ１（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が表面３３ｂ側の出口径Ｄ２よりも大きい、断面テーパ状に形成されている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置などを用いて形成されている。
【００３９】
（ヘッドチップの製造方法）
次に、本実施形態のヘッドチップ２１の製造方法について図７のフローチャートを用いて説明する。
初めに、カバープレート作製工程を行って一対のカバープレート３１Ａ，３１Ｂを作製する（Ｓ１０）。具体的には、まずカバープレート用のウエハにレジストラミネートを行う（Ｓ１１）。続いて、該レジストに対して露光、現像を行い、貫通孔３９、インク導入孔３１ａ，３１ｂおよび次工程のサンドブラスト加工の際に用いるアライメントマーク（合わせマーク）に相当する箇所のレジストを除去する（Ｓ１２）。そして、アライメントマークを用いて位置合わせをしたウエハに対してサンドブラスト加工を行い、貫通孔３９およびインク導入孔３１ａ，３１ｂを形成して、ウエハにカバープレート３１Ａ，３１Ｂをそれぞれ複数作製する（Ｓ１３）。なお、ウエハは複数のカバープレート３１Ａ，３１Ｂが形成される大きさを有している。また、一対のカバープレート３１Ａ，３１Ｂがそれぞれ形成されたウエハは同時に作製してもよいし、別々に作製してもよい。また、サンドブラスト加工の条件としては、例えば、圧力０．２ＭＰａとし、砥粒にアルミナの６００番を用いて行う。
【００４０】
次に、アクチュエータプレート作製工程を行って一対のアクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂを作製する（Ｓ２０）。具体的には、まずアクチュエータプレート用のウエハにレジストラミネートを行う（Ｓ２１）。続いて、該レジストに対して露光、現像を行い、貫通孔３９および次工程のサンドブラスト加工を行う際の第１アライメントマーク（合わせマーク）に相当する箇所のレジストを除去する（Ｓ２２）。そして、第１アライメントマークを用いて位置合わせをしたウエハに対してサンドブラスト加工を行い、貫通孔３９および次工程の溝加工を行う際の第２アライメントマークを形成する（Ｓ２３）。
【００４１】
次に、ウエハにレジストラミネートを行い（Ｓ２４）、該レジストに対して露光、現像を行い（Ｓ２５）、駆動電極３７Ａ，３７Ｂ（溝部３５）に相当する箇所のレジストを除去して電極パターンを形成する。電極パターンが形成されたら、第２アライメントマークを用いて位置合わせをしたウエハに対して、ダイシングソーを用いて溝部３５を形成する（Ｓ２６）。溝部３５が形成された後、溝部３５が形成されたウエハの表面に対して所定の斜め方向からアルミニウムを蒸着して、駆動電極３７Ａ，３７Ｂをそれぞれ形成する（Ｓ２７）。そして、ウエハの表面に残っているレジストをリフトオフして、ウエハにアクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂをそれぞれ複数作製する（Ｓ２８）。なお、なお、ウエハは複数のアクチュエータプレートが形成される大きさを有している。また、一対のアクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ形成されたウエハは同時に作製してもよいし、別々に作製してもよい。また、サンドブラスト加工の条件としては、例えば、圧力０．２ＭＰａとし、砥粒にアルミナの６００番を用いて行う。
【００４２】
各ウエハに一対のカバープレート３１Ａ，３１Ｂおよび一対のアクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ形成された後、次に各ウエハを貼り合わせる。
まず、カバープレート３１Ａが形成されたウエハとアクチュエータプレート３０Ａが形成されたウエハとを貼り合わせて第一ヘッドチップ２１Ａが複数形成されるようにし、カバープレート３１Ｂが形成されたウエハとアクチュエータプレート３０Ｂが形成されたウエハとを貼り合わせて第二ヘッドチップ２１Ｂが複数形成されるようにする（Ｓ３０）。なお、このとき上述で形成したアライメントマークを用いて貫通孔３９が連通する位置で貼り合わせる。
【００４３】
次に、第一ヘッドチップ２１Ａが複数形成された一対のウエハと、第二ヘッドチップ２１Ｂが複数形成された一対のウエハと、をさらに貼り合わせる（Ｓ４０）。なお、Ｓ３０と同様に、アライメントマークを用いて貫通孔３９が連通する位置で貼り合わせる。
【００４４】
各ウエハの貼り合わせが完了した後、ウエハを切断して、ヘッドチップ２１ごとに個片化する（Ｓ５０）。
個片化されたヘッドチップ２１に対してパリレン（パラキシレン系ポリマー）を全体的に蒸着して、保護膜を形成する（Ｓ６０）。そして、最後にアッシングをすることで、ヘッドチップ２１が作製される（Ｓ７０）。
【００４５】
本実施形態によれば、複数のノズル列３８を有するインクジェットヘッド２のヘッドチップ２１を製造する際に、一方のインク導入孔３１ａに供給されたインクＷを他方のインク導入孔３１ｂに導くための貫通孔３９をサンドブラスト加工で形成したため、貫通孔３９の加工時に、従来のドリル加工時に発生していた切削屑などのゴミの発生を抑制することができる。したがって、インクジェットヘッド２の組立工程における歩留まりを向上することができる。
また、貫通孔３９をサンドブラスト加工で形成することにより、貫通孔３９の加工精度を向上することができるため、インクＷを一方のインク導入孔３１ａから他方のインク導入孔３１ｂへ確実に流通させることができ、インクＷの吐出不良の発生を抑制することができる。
【００４６】
また、各プレート３０Ａ，３０Ｂ，３１Ａ，３１Ｂに貫通孔３９をそれぞれ形成した後に、各プレート３０Ａ，３０Ｂ，３１Ａ，３１Ｂを貼り合わせるようにしたため、各プレート３０Ａ，３０Ｂ，３１Ａ，３１Ｂに形成する貫通孔３９の加工精度を向上することができる。また、あるプレートの貫通孔３９に精度不良などの不具合が生じた場合には、そのプレートのみ交換することでヘッドチップ２１を製造することができる。したがって、インクジェットヘッド２の組立工程における無駄な材料の発生を抑制することができ、歩留まりを向上することができる。
【００４７】
また、アクチュエータプレート３０Ａ，３０Ｂに貫通孔３９を形成する際に、溝部３５を加工するための位置決め用のアライメントマークをサンドブラスト加工にて同時に形成するようにしたため、アライメントマークを精度良く形成することができる。したがって、溝部３５を所望の位置に高精度に形成することができるため、インクジェットヘッド２の組立工程における歩留まりを向上することができる。
【００４８】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、各プレート３０Ａ，３０Ｂ，３１Ａ，３１Ｂに貫通孔３９をそれぞれ形成した後に、各プレート３０Ａ，３０Ｂ，３１Ａ，３１Ｂを貼り合わせるようにしたが、各プレート３０Ａ，３０Ｂ，３１Ａ，３１Ｂを貼り合せた後に、全てのプレートを貫通する貫通孔３９を形成してもよい。このように構成することで、１回の貫通孔形成工程で全てのプレートに貫通孔３９を形成することができる。
【００４９】
また、上記実施形態では、アクチュエータプレートとカバープレートとで構成されるヘッドチップを２組用いて、ノズル孔列が２列形成されたインクジェットヘッドの場合について説明したが、ノズル孔列が３列以上形成されたインクジェットヘッドであっても、上記製造方法にてヘッドチップを製造すれば同様の作用効果を得ることができる。
【００５０】
また、上記実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェット記録装置１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機などであっても構わない。
また、上記実施形態では、インクＷの初期充填動作に関し、図１に示すサービスステーション１１を用いた吸引充填方法を示したが、その他の充填方法である、供給チューブ６０上に加圧ポンプを配置し、インクタンク４１側からインクジェットヘッド２側へ向けてインクＷを加圧する加圧充填方式を採用しても構わない。
また、上記実施形態では、インクＷを吐出するアクチュエータとして、電極が設けられたアクチュエータプレート３０を備えるようにしたが、この形態に限られるものではない。例えば、電気熱変換素子を用いて、インクＷが充填されている室内に気泡を生じさせ、その圧力によって、インクＷを吐出する機構としても構わない。
また、上記実施形態では、インク導入孔３１ａ，３１ｂが各溝部３５の併設方向に亘って形成され、インクＷはインク導入孔３１ａ，３１ｂから各溝部３５へ充填されるようにしたが、この形態に限られるものではない。例えば、インク導入孔３１ａ，３１ｂを全ての溝部３５と連通させず、カバープレート３１Ａ，３１Ｂにスリット形状の溝を設け、そのスリットが溝部３５の併設ピッチの半分となるように形成されていてもよい。すなわち、スリットが溝部３５の一つ置きに対応し、インクＷがスリットに対応する溝部３５のみに充填される形式にしても構わない。この形態を採用することで、導電性のインクＷを用いたとしても、電極がインクＷを介して短絡することがなく、多種多様なインクＷを採用し、印刷を実施することができる。
また、上記実施形態では、図６に示すように、ノズル孔３３ａおよび溝部３５が横幅方向（矢印Ｙ方向）に向けて交互に千鳥状に配列形成されている形態を示したが、これに限定されず、ノズル孔列のノズル孔がＹ方向において同じ位置に形成されていても構わない。
【符号の説明】
【００５１】
２１Ａ…第一ヘッドチップ  ２１Ｂ…第二ヘッドチップ  ３０Ａ…アクチュエータプレート（第一アクチュエータプレート）  ３０Ｂ…アクチュエータプレート（第二アクチュエータプレート）  ３１Ａ…カバープレート（第一カバープレート）  ３１Ｂ…カバープレート（第二カバープレート）  ３１ａ…インク導入孔（第一液体導入孔）  ３１ｂ…インク導入孔（第二液体導入孔）  ３５…溝部（第一溝、第二溝）  ３８ａ…ノズル孔列（第一噴射孔列）  ３８ｂ…ノズル孔列（第二噴射孔列）  ３９…貫通孔  Ｗ…インク（液体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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