(57)【要約】      （修正有）【課題】特に大直径の単結晶を引き上げて製造する際に、有転位化を効果的に抑制することができ、高品質の単結晶を歩留まり良く製造することができる単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】結晶原料をルツボ１６内でヒーター１４により加熱溶融して溶融液１５を生成する工程と、溶融液１５を放置して熟成させる工程と、熟成後の溶融液１５に種結晶を浸漬して単結晶を育成する工程とを含む、チョクラルスキー法により単結晶を製造する方法であって、熟成工程において、ヒーター１４とルツボ１６を相対的に上下動させる。このとき、ヒーターのヒータースリット下端の移動下限位置が、前記ルツボ内の溶融液の最下端から５ｃｍ上より下の位置となるようにすることが好ましい。万遍無くルツボ内の融液全体を加熱できるので、溶融液中のドーパント等の溶け残りを溶かしたり、ルツボ表面のヒーター熱による局所的な変質を均一にする等の効果が得られる。【選択図】図１
2010208908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、結晶原料をルツボ内でヒーターにより加熱溶融して溶融液を生成する工程と、該溶融液を放置して熟成させる工程と、該熟成後の溶融液に種結晶を浸漬して単結晶を育成する工程とを含む、チョクラルスキー法により単結晶を製造する方法であって、
前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に上下動させることを特徴とする単結晶の製造方法。
【請求項２】
前記熟成工程におけるヒーターパワーを、前記熟成工程開始時は、前記単結晶を育成する工程の開始時より大きく、前記溶融液を生成する工程の時と同じか小さい値とし、前記熟成工程終了時は、前記溶融液を生成する工程より小さく、前記単結晶を育成する工程の開始時と同じか大きい値とすることを特徴とする請求項１に記載の単結晶の製造方法。
【請求項３】
前記熟成工程において、前記溶融液を２時間以上放置して熟成させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の単結晶の製造方法。
【請求項４】
前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に２ｍｍ／ｍｉｎ以下の速さで上下動させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法。
【請求項５】
前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に１０ｃｍ以上の幅で上下動させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法。
【請求項６】
前記熟成工程において、前記ヒーターのヒータースリット下端の移動下限位置が、前記ルツボ内の溶融液の最下端から５ｃｍ上より下の位置になるように、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に上下動させることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法。
【請求項７】
前記熟成工程において、前記ルツボ内の溶融液に磁場を印加することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法。
【請求項８】
前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボの相対的な上下動の移動、及び／又は、前記ヒーターパワーを自動で調節して、前記ヒーターと前記ルツボの熟成工程における最終位置を、前記単結晶を育成する工程における結晶育成開始位置とし、前記ヒーターパワーを育成開始時の値になるように調節することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法。
【請求項９】
前記ルツボの直径を、３２インチ（８１ｃｍ）以上にすることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チョクラルスキー法（Ｃｚｏｃｈｒａｌｓｋｉ  Ｍｅｔｈｏｄ、以下ＣＺ法と略称する）により、特に大直径ルツボを使用して単結晶を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体デバイスの高集積化、高精度化がますます進み、利用されるウェーハは大直径化の一途をたどっている。特に、直径１５０ｍｍ、２００ｍｍ、さらには直径３００ｍｍ以上といった大直径のウェーハに対する需要が増大している。
ところで、ＣＺ法で大直径結晶を育成する際に、特に直径が１５０ｍｍ以上の結晶を育成するようになった時代から、有転位化が発生しやすいという問題が生じている。特に、大直径の窒素ドープ結晶や低抵抗率結晶を製造する際に、有転位化の発生が顕著に増えている。
【０００３】
結晶製造は、ルツボに装填した結晶原料を溶かす工程、結晶製造開始に相応しい融液の状態まで、融液の温度を下げる工程を経て初めて結晶の製造開始が可能となる。従来は、溶融、降温、結晶製造と、製造全体の時間を短縮するために、出来るだけ上記各工程の時間を短縮して、なるべく早く結晶の製造が開始できるようにしていた。
但し、単結晶の大直径化に伴い、このような方法では、低抵抗品の単結晶の育成などの条件で操業性が悪くなることがあるため、最近では、結晶原料の溶融終了後に溶融液を熟成する工程を設け、例えばドーパントや結晶原料の溶け残りをなくすような工程をわざわざ設ける事により、操業性の改善を図る技術もある（特許文献１、２参照）。
【０００４】
結晶は有転位化することなくＤＦ（Ｄｉｓｌｏｃａｔｉｏｎ  Ｆｒｅｅ（無転位））のまま引上げられれば、時間や製品のロスは少ないが、実際は、ある頻度で有転位化が発生する。一度有転位化すると、無転位の部分にまで、おおよそ直径の長さ分、転位が入る。有転位化した部分は、当然製品とならないため、製品にできる結晶部分の長さが短い場合は、再びその結晶を再溶融する事になる。また、逆に製品にできる結晶部分が所定長さ以上の場合は、ある程度製品部分が確保できるので、再溶融せずに、そのまま取り出すこともある。どちらにしても、前者は、仮に再溶融後に無転位で結晶が最後まで引きあげられたとしても、それまで結晶製造していた時間＋再溶融時間＋再度温度を下げる時間分が時間ロスとなり、生産性が悪化する。後者の場合は、単純に有転位化した部分が製品とならないため、歩留まり・生産性共に悪化する。
【０００５】
結晶の再溶融がどのくらい実施されたかを、結晶１本当たりに平均して換算したものを、再溶融率という。また、引き上げられた結晶のうち、最後までＤＦで引き上げられた結晶本数を全体本数当たりに換算したものをＤＦ化率と定義する。以前は上記の再溶融率は小直径（つまりルツボも小直径）の場合は少ないが、大直径結晶（つまりルツボも大直径）の場合、再溶融率が多くなり、ＤＦ化率も小直径に比べて大直径の方が悪くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１７５６２０号公報
【特許文献２】特開２００８−２４７７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のように単結晶育成前の放置を実施する事により、ある程度は再溶融率やＤＦ化率の改善も図れるが、まだまだ改善の余地は多々ある。さらに、時間やルツボ位置、ヒーターパワーなどのバラツキによって、単結晶の品質、歩留まりが悪化することもあった。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、単結晶の製造において、特に大直径の単結晶を引き上げる際に、有転位化を効果的に抑制することができ、高品質の単結晶を歩留まり良く製造することができる単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも、結晶原料をルツボ内でヒーターにより加熱溶融して溶融液を生成する工程と、該溶融液を放置して熟成させる工程と、該熟成後の溶融液に種結晶を浸漬して単結晶を育成する工程とを含む、チョクラルスキー法により単結晶を製造する方法であって、前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に上下動させることを特徴とする単結晶の製造方法を提供する。
【００１０】
このように、溶融液を放置して熟成させることにより、ドーパント等を溶融液中に十分に溶け込ますことができる。そして、その熟成中にヒーターとルツボを相対的に上下動させることにより、万遍無くルツボ内の融液全体を加熱することができるため、特に直径の大きなルツボ内の溶融液中のドーパント等の溶け残りを溶かす効果がさらに増す。また、相対的な上下動によりルツボ表面のヒーター熱による局所的な変質を均一にすることができるため、ルツボ表面の局所を過剰に劣化させることが無く、ルツボ表面から表面の一部や表面に付着した酸化物が剥がれることを防止できる。また、炉内の酸化物が溶融液中に落ちた場合でも、均一な加熱により溶融液中に十分に溶かしこむことができる。
以上のように、本発明の単結晶の製造方法によれば、熟成工程において溶融液中のドーパント等の溶け残りや、ルツボ表面から酸化物等がはがれるのを効果的に抑制することができるため、有転位化の発生を防止しながら単結晶の製造を歩留まり良く行うことができる。
【００１１】
このとき、前記熟成工程におけるヒーターパワーを、前記熟成工程開始時は、前記単結晶を育成する工程の開始時より大きく、前記溶融液を生成する工程の時と同じか小さい値とし、前記熟成工程終了時は、前記溶融液を生成する工程より小さく、前記単結晶を育成する工程の開始時と同じか大きい値とすることが好ましい。
このようなヒーターパワーにすることで、ヒーターパワーを過剰に大きくせずに熟成中に溶融液が固化することを効率的に防止できる。また、ヒーターパワーを上記範囲にすることで、ヒーターの上下動を、より安全に実施できる。
【００１２】
このとき、前記熟成工程において、前記溶融液を２時間以上放置して熟成させることが好ましい。
このように、２時間以上放置することで、難溶性のドーパントを多量に投入した場合等でも、溶融液中の溶け残りを十分に溶け込ませることができる。
【００１３】
このとき、前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に２ｍｍ／ｍｉｎ以下の速さで上下動させることが好ましい。
このような速さであれば、ヒーターによる加熱中に、より安全に上下動させることができる。
【００１４】
このとき、前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に１０ｃｍ以上の幅で上下動させることが好ましい。
このような幅で上下動させることにより、ルツボと溶融液がより均一に加熱されて、溶融液中の溶け残りをより低減でき、さらにルツボ表面の局所的な劣化が抑制されるため、後工程の単結晶引き上げ中に、より効果的に有転位化を防止することができる。
【００１５】
このとき、前記熟成工程において、前記ヒーターのヒータースリット下端の移動下限位置が、前記ルツボ内の溶融液の最下端から５ｃｍ上より下の位置になるように、前記ヒーターと前記ルツボを相対的に上下動させることが好ましい。
このように上下動させることにより、ルツボや溶融液を下方まで均一に加熱することができ、より効果的に有転位化を防止することができる。
【００１６】
このとき、前記熟成工程において、前記ルツボ内の溶融液に磁場を印加することが好ましい。
このように、熟成工程中に溶融液に磁場を印加することにより、後工程での単結晶引き上げ中の有転位化をさらに効果的に抑制することができる。
【００１７】
このとき、前記熟成工程において、前記ヒーターと前記ルツボの相対的な上下動の移動、及び／又は、前記ヒーターパワーを自動で調節して、前記ヒーターと前記ルツボの熟成工程における最終位置を、前記単結晶を育成する工程における結晶育成開始位置とし、前記ヒーターパワーを育成開始時の値になるように調節することが好ましい。
このように、熟成工程中にルツボとヒーターの移動位置やヒーターパワーを、熟成工程終了時には単結晶育成工程の結晶育成開始位置、結晶育成開始温度になるように調整することで、溶融液やヒーターの状態を熟成工程から育成工程にスムーズに移行することができるため、生産性がより向上する。さらに、この移動やヒーターパワーの調整を自動で行うことで、実際のルツボの位置や温度等と製造条件とのずれがほとんど生じ無いため、品質のバラツキが無く、高品質の単結晶をより確実に製造することができる。
【００１８】
このとき、前記ルツボの直径が３２インチ（８１ｃｍ）以上の場合に、本発明の操業性に対する効果が大きい。
このような、比較的大きな直径のルツボは、溶融液中の溶け残りも多く、ルツボ表面の局所的な劣化も生じやすいため、本発明の製造方法を適用するのに好適である。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、本発明の単結晶の製造方法によれば、熟成工程において溶融液中のドーパント等の溶け残りを低減し、さらにルツボ表面から酸化物等がはがれるのを抑制することができるため、単結晶の製造を有転位化の発生を効果的に防止しながら歩留まり良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の単結晶の製造方法を説明するための説明図である。
【図２】本発明の単結晶の製造方法に用いることができる単結晶製造装置のヒーターの（ａ）展開図と（ｂ）側面図である。
【図３】本発明の単結晶の製造方法に用いることができる単結晶製造装置の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
特に大直径の単結晶の製造の際に、引き上げ中の結晶が有転位化してしまい、単結晶製造の歩留まりが悪くなるという問題があった。
このような問題に対して、本発明者らが鋭意検討した結果、以下のことを見出した。
【００２２】
本発明者らは、有転位化する原因として「（１）溶融液中の原料の溶け残りが結晶に付着し有転位化」「（２）溶融液中に落下した酸化物の溶け残りが結晶に付着し有転位化」「（３）ルツボ表面状態が悪く、その表面からはがれた物などが結晶に付着し有転位化」などの原因を見出した。このような本発明者の知見より、結晶原料溶融終了〜降温の間に、溶融液を熟成する工程を設け、このときにヒーターとルツボを相対的に上下動させることとした。
これにより、一箇所に集中するよりも、万遍なく加熱する方が、溶け残りを溶かす効果と、ルツボ表面の変質を満遍なく均一にできるという効果が高いことを見出した。結果、同じ時間でヒーターとルツボ位置を固定して熟成した場合に比べて、ヒーターを上下動させた方が、再溶融率とＤＦ化率のどちらも、さらに改善できることを見出して、本発明を完成させた。
【００２３】
以下、本発明の単結晶の製造方法について、実施態様の一例として、図を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１は、本発明の単結晶の製造方法を説明するための説明図である。図２は、本発明の単結晶の製造方法に用いることができる単結晶製造装置のヒーターの（ａ）展開図と（ｂ）側面図である。図３は、本発明の単結晶の製造方法に用いることができる単結晶製造装置の一例を示す概略図である。
【００２４】
本発明の単結晶の製造方法を実施する装置としては、特に限定されず、一般的な装置を用いることができるが、例えば図３に示すような単結晶製造装置を用いることができる。
図３に示す単結晶製造装置１０はメインチャンバー１２内に、結晶原料が溶融された溶融液１５を収容する石英ルツボ１６とその石英ルツボ１６を支持する黒鉛ルツボ１７が設けられ、これらのルツボ１６、１７は駆動機構２６によって回転昇降自在にシャフト１９で支持されている。このルツボ１６、１７の駆動機構２６は、単結晶の育成中は単結晶１８の引き上げに伴う溶融液１５の液面低下を補償すべく、ルツボ１６、１７を液面低下分だけ上昇させるようにしている。このルツボ１６、１７の中心軸と同一軸上には引き上げワイヤー１３が配設されており、引き上げワイヤー１３の下端には種結晶２０が保持されている。そして、種結晶２０の下端面には単結晶１８が形成される。
【００２５】
メインチャンバー１２の外側には溶融液１５に水平磁場を印加させるように、ルツボ１６、１７を挟んで同軸上に対向して磁場印加装置２１が設置されている。また、ルツボ１６、１７を囲繞するように、原料を加熱溶融させるためのヒーター１４が配置されている。このヒーター１４の外側には、ヒーター１４からの熱がメインチャンバー１２に直接輻射されるのを防止するために、断熱部材１１がその周囲を取り囲むように設けられている。
【００２６】
ここで、通常用いられるヒーター１４として、黒鉛ヒーターを図２に（ａ）展開図と（ｂ）側面図として示した。この黒鉛ヒーター１４の形状は、円筒形状であり、主に等方性黒鉛でできている。直流方式では端子部２３を２本配し、その端子部２３で黒鉛ヒーター１４を支える構造になっている。黒鉛ヒーター１４は、より効率的に発熱できるように、上端から下へ延びる上ヒータースリット２５と、下端から上へ延びる下ヒータースリット２２の２種類のヒータースリット２５、２２が数箇所から数十箇所刻まれている。このような黒鉛ヒーター１４は、特に、上ヒータースリット２５の下端と下ヒータースリットの上端の間の部分である各発熱スリット部２４から主に発熱する。
また、特に本発明の製造方法に用いる装置として、ヒーター１４が加熱しながら上下動可能とするためにヒーター駆動機構２７が取り付けられていることが好適である。
【００２７】
そして、本発明の単結晶の製造方法では、まず、上記のような単結晶製造装置１０の石英ルツボ１６内に結晶原料を入れて、ヒーター１４により加熱溶融して溶融液１５を生成する。
【００２８】
この工程では、例えばシリコン多結晶などの結晶原料とドーパントをルツボに装填して溶融する。この際に溶融液と結晶原料とが混在しているうちは、石英ルツボ内の溶融液の温度は結晶原料の融点になっている。そして、結晶原料が完全に溶融した後にヒーターのパワーを下げるなどの操作を速やかに行い、短時間で次工程における所望の維持温度に到達させることが、高生産性を保つためにも重要である。
【００２９】
また、結晶原料と一緒に添加して溶融するドーパントとしては、例えばボロン等の単結晶に導電型を与えるためのもの、あるいは、例えば窒素やカーボンといった結晶欠陥を抑制するためのものがあげられる。これらを単独もしくは複合して結晶原料と一緒に溶融する。また、これらのドーパントは結晶原料溶融後に添加してもよい。この時、目視ではルツボ内の原料が全て溶けたように見える場合であっても、視認することのできない微細な未溶融物が溶融液表面を遊離していたり、あるいは、溶融液中のルツボ内壁（特に底部）に未溶融原料が固着していたりする。これらは、その後の単結晶の育成において有転位化の原因となる。そこで、本発明では以下のような熟成工程を行う。
【００３０】
なお、用いるルツボ１６の直径は３２インチ（８１ｃｍ）以上の場合に、本発明の操業性に対する効果が大きい。
このような、比較的大きな直径のルツボは、溶融液中の溶け残りも多く、ルツボ表面の局所的な劣化も生じやすいため、本発明の製造方法を適用するのに好適である。
また、ドーパントを多量に添加する低抵抗率結晶の製造の際には、溶融液中の溶け残りを低減できる本発明の製造方法を適用するのに好適である。
【００３１】
次に、本発明の製造方法では、結晶原料を溶融した溶融液１５を放置して熟成させる。そして、この工程において、図１に示すように、ヒーター１４とルツボ１６、１７を相対的に上下動させる。
このように、溶融液を放置して熟成させることにより、未溶融原料やドーパント等を溶融液中にそれなりに溶け込ますことができるが、従来のようにヒーター及びルツボを固定して熟成すると、同じ発熱分布で長時間同じ所が加熱されることとなり、局所的に過熱部分と比較的低温部分が生じてしまうため、未溶融原料やドーパント等の溶かし込みが一部不十分であることに加え、局所加熱部分では、ルツボの劣化が促進してしまうという問題があった。これに対し、本発明の製造方法では、その熟成中にヒーターとルツボを相対的に上下動させることにより、万遍無くルツボ内の融液全体を加熱することができるため、特に直径の大きなルツボ内の溶融液中のドーパント等の溶け残りを溶かす効果がさらに増す。また、相対的な上下動によりルツボ表面のヒーター熱による局所的な変質を均一にすることができるため、ルツボ表面の局所を過剰に劣化させることが無く、ルツボ表面から表面の一部や表面に付着した酸化物が剥がれることを防止できる。また、炉内の酸化物が溶融液中に落ちた場合でも、均一な加熱により溶融液中に十分に溶かし込むことができる。このように、本発明では、相対的にヒーターとルツボを移動させるので、局所的な温度分布が解消されて、それにより溶け残り等の問題も解消される。
【００３２】
このとき、相対的な上下動であるため、ルツボ１６、１７又はヒーター１４のどちらか一方のみ上下動させてもよいし、ルツボ１６、１７とヒーター１４両方をそれぞれ上下逆方向に上下動させてもよいが、ヒーター１４のみを上下動させることが好ましい。
ヒーターのみを上下動させる方が、溶融液が入ったルツボを上下動させるより容易であり、上下動の幅の微調整も簡便に行うことができる。
また、この相対的な上下動は熟成工程中ずっと動き続けてもよいし、定期的に上下動してもよいが、熟成工程中に少なくとも一回は上下動すれば、本発明の効果を発揮することができる。
【００３３】
このとき、熟成工程におけるヒーターパワーとしては、溶融液１５の表面が固化しなければよく、特に限定されないが、溶融液１５を生成する工程の時より小さく、次工程の単結晶１８を育成する工程の開始時より大きくすることが好ましい。
このようなヒーターパワーにすることで、ヒーターパワーを過剰に大きくせずに熟成中に溶融液が固化することを効率的に防止できる。また、ヒーターパワーを上記範囲にすることで、ヒーターの上下動を、より安全に実施できるし、コストの上昇も抑えられる。
【００３４】
このとき、熟成工程において、溶融液１５を放置する時間としては、特に限定されないが、例えば２時間以上放置して熟成させることが好ましい。
このように、２時間以上放置することで、難溶性のドーパントを多量に投入した場合等でも、溶融液中の溶け残りを十分に溶け込ませることができる。また、放置時間が長いほうが、より溶け残りが低減されて操業性は良くなるが、あまりに熟成工程が長いと全体の操業時間が長くなってしまうので、再溶融にかかる時間や再溶融率等を考慮すると、放置する時間の上限を１０時間とするのが好ましい。
【００３５】
このとき、熟成工程において、ヒーター１４とルツボ１６、１７を相対的に２ｍｍ／ｍｉｎ以下の速さで上下動させることが好ましい。
このような速さであれば、ヒーターによる加熱中に、より安全に上下動させることができる。
【００３６】
このとき、熟成工程において、ヒーター１４とルツボ１６、１７を相対的に１０ｃｍ以上、より好ましくは１５ｃｍ以上の幅で上下動させることが好ましい。
このような幅で上下動させることにより、ルツボと溶融液がより均一に加熱されて、溶融液中の溶け残りをより低減でき、さらにルツボ表面の局所的な劣化が抑制されるため、後工程の単結晶引き上げ中に、より効果的に有転位化を防止することができる。
【００３７】
このとき、図１に示すように、熟成工程において、ヒーター１４のヒータースリット２５下端の移動下限位置が、ルツボ１６、１７内の溶融液１５の最下端（メルト底）から５ｃｍ上より下の位置になるように、ヒーター１４とルツボ１６、１７を相対的に上下動させることが好ましい。
このように上下動させることにより、ルツボや溶融液を下方まで均一に加熱することができ、より効果的に後工程での有転位化を防止することができる。
【００３８】
このとき、熟成工程において、ルツボ１６、１７内の溶融液に磁場印加装置２１により磁場を印加することが好ましい。
これにより、熟成工程中に溶融液に磁場が印加され、後工程の単結晶引き上げ中の有転位化をさらに抑制することができる。これは、磁場を印加することにより、ルツボ表面の結晶化による改善が、ヒーター・ルツボの相対位置移動により、万遍無くなされるためと推測される。
【００３９】
このとき、熟成工程において、ヒーター１４とルツボ１６、１７の相対的な上下動の移動、及び／又は、ヒーターパワーを自動で調節して、ヒーター１４とルツボ１６、１７の熟成工程における最終位置を、単結晶１８を育成する工程における結晶育成開始位置とし、ヒーターパワーを育成開始時の値になるように調節することが好ましい。
このように、熟成工程中にルツボとヒーターの移動位置やヒーターパワーを、熟成工程終了時には単結晶育成工程の結晶育成開始位置、結晶育成開始温度になるように調整することで、溶融液やヒーターの状態を熟成工程から単結晶育成工程にスムーズに移行することができるため、生産性がより向上する。さらに、この熟成の開始から、最期のヒーター移動やヒーターパワーの調整を自動で行うことで、毎回同じ条件での熟成を実施することができ、操業性のバラツキがなく、単結晶の製造を実施することができ、作業負担も軽減される。
【００４０】
そして、次に、熟成後の溶融液１５に種結晶２０を浸漬して引き上げワイヤー１３で引き上げることにより単結晶１８を育成する。
このとき、上記熟成工程に続いて、磁場を印加したまま溶融液の対流を制御しながら単結晶を引き上げるＭＣＺ法（Ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｆｉｅｌｄ  ａｐｐｌｉｅｄ  ＣＺ法）を用いることもできる。
【００４１】
以上のように、本発明の単結晶の製造方法によれば、熟成工程において溶融液中の原料及びドーパント等の溶け残りや、ルツボ表面から酸化物等がはがれるのを効果的に抑制することができるため、有転位化の発生を防止しながら単結晶の製造を歩留まり良く行うことができる。
【実施例】
【００４２】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
直径３２インチ（８１ｃｍ）のルツボを用いて、直径３００ｍｍの単結晶棒の製造を行った。まず、結晶原料の初期溶融を実施した後、すぐに温度（ヒーターパワー）を下げるのではなく、一度、溶融時のヒーターパワーと、結晶成長開始時のヒーターパワーの丁度中間に合わせて、その後２時間放置して熟成する工程を設け、その後結晶成長開始時適正温度まで下げて、単結晶育成を行った。
【００４３】
この２時間の熟成工程の間に、速度２ｍｍ／ｍｉｎにて、ヒーターを１２ｃｍの幅で上下動させた（１２ｃｍ上昇、１２ｃｍ下降）。この際、ヒータースリットの下端の移動下限位置を、メルト底（溶融液の最下端）から３ｃｍ上の位置とした。
このときのヒーターパワーは、溶融時のヒーターパワーを２００ｋＷ、結晶成長を開始する時のヒーターパワーを１５０ｋＷ、放置している間のヒーターパワーを１７５ｋＷとした。また、熟成工程終了直後の結晶成長開始時点の位置関係は「ヒータースリット下端〜メルト底の間の距離」を１５０ｍｍとした。
この条件で３０本引上げた時の再溶融率は０．３、ＤＦ化率は８０％となった。
【００４４】
（実施例２）
次は、ヒーターパワー等の条件は実施例１と同じにして、ただし、熟成工程中のヒーターとルツボの位置、上下動の幅を変えて単結晶製造を行った。
熟成工程において、ヒータースリットの下端が、メルト底と同じになる位置に合わせるようにヒーターを最初は下げておき、２時間の熟成の間に１５ｃｍ上昇させ、最終的なルツボやヒーターの位置を単結晶育成の開始条件（実施例１と同じ）と合わせるように、自動で実施した。
この条件で３０本引上げた時の再溶融率０．２９、ＤＦ化率８０％と、実施例１とほぼ同等となり、且つ、自動になった事により、作業者は、手動でヒーター移動などをすることなく、同等の操業性改善効果が得られた。
【００４５】
（実施例３）
次に、ヒーターパワー等の条件は実施例１と同じにして、ただし、熟成工程中のヒーターとルツボの位置、上下動の幅を変えて単結晶製造を行った。
熟成工程において、ヒータースリット下端の位置を、メルト底から１０ｃｍ上の位置に合わせるように最初はヒーターを下げておき、２時間の熟成の間に５ｃｍ上昇させ、最終的なルツボやヒーターの位置を、単結晶育成の開始条件（実施例１と同じ）と合わせるように、自動で実施した。
この条件で３０本引上げた時の再溶融率０．５、ＤＦ化率７７％と、移動させないよりは改善するものの、実施例１、２には及ばない。やはり、上下動の幅は１０ｃｍ以上、そして、ヒータースリット下端〜メルト底の間隔を一旦は５ｃｍ以下にする事が望ましいと言える。
【００４６】
（比較例１）
直径３２インチ（８１ｃｍ）のルツボを用いて、直径３００ｍｍの結晶製造を行った。まず、結晶原料の初期溶融を実施した後、すぐに温度（ヒーターパワー）を、結晶育成を開始する適正温度まで下げてから結晶育成を行った。
このときのヒーターパワーは、溶融時のヒーターパワーを２００ｋＷ、結晶成長を開始する時のヒーターパワーを１５０ｋＷとした。また、結晶成長開始時点の位置関係は「ヒータースリット下端〜メルト底の間の距離」を１５０ｍｍとした。溶融終了から結晶成長開始までの時間は温度が安定するまでの時間を含めて３０分程度であった。
この条件で３０本引上げた時の再溶融率は１．２、ＤＦ化率は７０％となった。
【００４７】
（比較例２）
比較例１と同じ条件で、ただし、結晶原料の初期溶融を実施した後、すぐに温度（ヒーターパワー）を下げるのではなく、ヒーターパワーを溶融時のヒーターパワーと、結晶成長開始時のヒーターパワーの丁度中間に合わせて、その後２時間放置して熟成する工程を設けた。その後、結晶成長開始時の適正温度まで下げて、結晶育成を行った。この熟成する工程中にはルツボとヒーターは固定された状態にした。
この条件で３０本引上げた時の再溶融率は０．８、ＤＦ化率は７０％となった。
【００４８】
以上より、実施例１−３のように、熟成工程を設けて且つルツボとヒーターを相対的に上下動させることで、従来に比べて再溶融率は半減、ＤＦ化率は１０％程度改善されることがわかった。なお、上記の実施例ではヒーターのみを上下動させたが、ルツボのみを上下動させた場合も、ルツボとヒーター両方を上下動させた場合にも同様の結果が得られた。
【００４９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５０】
１０…単結晶製造装置、  １１…断熱部材、  １２…メインチャンバー、
１３…引き上げワイヤー、  １４…ヒーター、  １５…溶融液、
１６…石英ルツボ、  １７…黒鉛ルツボ、  １８…単結晶、
１９…シャフト、  ２０…種結晶、  ２１…磁場印加装置、
２２…下ヒータースリット、  ２３…端子部、  ２４…発熱スリット部、
２５…上ヒータースリット、  ２６…ルツボ駆動機構、
２７…ヒーター駆動機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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