(57)【要約】      （修正有）【課題】インクジェットノズルを用いた塗布動作を中断して待機するに際して、乾燥雰囲気中にあってもインクジェットノズル先端部に保持されているインクの乾燥を遅らせ、作業効率を低下させることなく、吐出不良を引き起こすことのない塗布方法および塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置は、複数のインクジェットノズル１３を有するインクジェットヘッド１２と塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布装置であって、前記インクジェットノズル１３にインクを供給するインクタンク１８、１９と、前記インクジェットノズル１３内のインクの負圧を制御する圧力調整手段１７と、塗布動作後に所定の信号が入力されると、前記圧力調整手段１３に塗布時の負圧より大気圧に近い負圧とする指示を出す制御手段と、を備える。【選択図】図３
2010149028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布方法であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給する工程と、
前記インクに第１の負圧をかけて前記塗布対象物に塗布する工程と、
前記第１の負圧より大気圧に近い第２の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有する塗布方法。
【請求項２】
前記第２の負圧は、前記第１の負圧の４０％〜９０％の範囲の値である請求項１に記載の塗布方法。
【請求項３】
前記塗布を待機する工程は、前記インクジェットノズルから一定時間間隔でインクを間欠吐出する工程である請求項１に記載された塗布方法。
【請求項４】
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布装置であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給するサブタンクと、
前記サブタンクにインクを供給するインク供給手段と、
前記サブタンク内の圧力を測定する圧力センサーと、
前記サブタンク内の圧力を減圧する減圧手段と、
制御部を有し、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドにインクを吐出させる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を上げる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を下げる指示命令とを有し、
前記塗布対象物にインクを塗布する場合には前記サブタンク内の圧力を第１の負圧にし、塗布の待機の場合には第２の負圧に調整する塗布装置。
【請求項５】
前記第２の負圧は前記第１の負圧の４０％〜９０％の範囲のである請求項４に記載された塗布装置。
【請求項６】
前記塗布の待機では、ノズルから一定時間間隔でインクを間欠吐出する請求項４に記載された塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物にインクを塗布する複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象物に対して相対的に移動させて、塗布対象物にインクを塗布する塗布方法および塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の情報端末の画像表示技術の進展は目覚ましく、大画面の画像表示機器（ディスプレイ）や、或いは小型の画面であっても非常に高い精細度の画像表示機器が実用化され、製造されている。このような状況の中で、低コストで高品位な画像表示を可能とする画像表示機器に対する要求が強くなってきている。このような要求に応える画像表示機器のキーデバイスとしてカラーフィルタがあり、このカラーフィルタの製造方法及び製造装置にも様々な工夫が取り入れられている。
【０００３】
このようなカラーフィルタの製造方法および製造装置において開発された従来技術の一つに、遮光機能を果たす種々の材料によって基板等にマトリクス状の遮光部を形成し、この遮光部のマス目にコーティング技術を利用してインクを塗布する技術がある。しかし、このような製造方法及び製造装置では、ＲＧＢ３色の着色工程がそれぞれ独立しており、それぞれの着色工程で、遮光などのための非常に高い精度が要求される遮蔽部材（マスク）を必要とした。
【０００４】
このようなカラーフィルタの製造技術は、工数的にも、使用する装置及び部材の点でも、製造コストが高くつくという問題を抱えていた。そこで最近では、このような技術に代わって、インクジェットヘッドを装備した塗布装置を用いて、マトリクス状に遮光部が形成された基板等上にインクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクを吐出・塗布してカラーフィルタを製造する方法が提案されている。
【０００５】
このような塗布装置において、インクジェットノズルを用いた塗布動作を一旦中断して待機している状態、またはノズルから一定時間間隔の間欠吐出による捨て打ち（以後、フラッシングという）しながら待機している状態では、以下のような問題が発生する。まず、雰囲気の乾燥空気によりインクジェットノズル先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクは乾燥しやすい。乾燥によってノズル先端部のインクの粘度が上昇（増粘）し、万一インクがインクジェットノズル先端部で乾燥により固着や増粘が発生すると、このインクジェットノズルからはインクが吐出されず、いわゆるドット抜けやノズル欠と言われる問題が引き起こされる。
【０００６】
そこで、このインクジェットヘッドのインクジェットノズルにおけるインクの乾燥ならびに目詰まりを防止するため、インクジェットヘッドを使用しないときには、キャップを用いてインクジェットノズルの先端面を封止する構造を有する塗布装置が提案されている（特許文献１、特許文献２を参照）。
【０００７】
特許文献１に開示された塗布装置では、インクジェットノズルの先端面を、溶解液が貯留されたキャップ部材で封止することにより、先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。
【０００８】
また、特許文献２に開示された塗布装置では、インクジェットノズルの先端面を、溶解液が貯留されたキャップ部材で封止するとともに、キャップ部材内部の圧力を上げてインクジェットノズル内に溶解液が充満するように構成することにより、先端部のインクジェットノズル内方に負圧の作用によって保持されているインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。そして、インクジェットノズル内に充満した溶解液によりインクジェットノズル内に残留する気泡を追い出し、排除している。
【特許文献１】特開２００２−２３４１７４号公報
【特許文献２】特開２００６−２１２５００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の特許文献１および２に開示された塗布装置では、いずれも溶解液が貯留されたキャップ部材を用いてインクジェットノズルの先端面を封止することにより、封止された環境の下でインクジェットヘッドの内部が湿潤な状態が維持され、インクジェットノズル内部のインクが乾燥するのを防止するとともに、固着して目詰まりを起こすのを防止している。
【００１０】
しかしながら、このようなキャップ部材を用いる塗布装置では、必然的にキャップ部材やキャップ部材に溶解液を供給する付帯設備が必要となり、また、キャップ部材を塗布作業領域の外部エリアに設置した場合、インクジェットノズルを用いた塗布動作を一旦中断するたびにキャップ部材の設置場所にインクジェットノズルを移動させねばならず、タクトタイムの中でこのような動作を組み込むことになり、作業効率を低下させることになる。
【００１１】
本発明は、上記のような問題に鑑みて為されたものであり、インクジェットノズルを用いた塗布動作を中断して待機するに際、インクジェットノズル先端部に保持されているインクの乾燥が起こりにくい塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の塗布方法は、複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する方法であって、前記インクジェットノズルに供給する前記インクに第１の負圧をかけて塗布する工程と、前記インクに前記負圧より大気圧に近い第２の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有するものである。
【００１３】
すなわち、本発明は、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布方法であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給する工程と、
前記インクに第１の負圧をかけて前記塗布対象物に塗布する工程と、
前記インクに前記第１の負圧より大気圧に近い第２の負圧をかけて塗布を待機する工程とを有する塗布方法を提供する。
【００１４】
また本発明は、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドと塗布対象物を相対的に移動させて、前記塗布対象物にインクを塗布する塗布装置であって、
前記インクジェットノズルにインクを供給するサブタンクと、
前記サブタンクにインクを供給するインク供給手段と、
前記サブタンク内の圧力を測定する圧力センサーと、
前記サブタンク内の圧力を減圧する減圧手段と、
制御部を有し、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドにインクを吐出させる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を上げる指示命令と、
前記サブタンク内の圧力を下げる指示命令とを有し、
前記塗布対象物にインクを塗布する場合には前記サブタンク内の圧力を第１の負圧にし、塗布の待機の場合には第２の負圧に調整する塗布装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の塗布方法および塗布装置によれば、インクジェットノズル内のインクは、塗布の待機状態の際に、負圧状態ではあるが、塗布時の負圧よりも大気圧に近い負圧状態に置かれている。そのため、インクジェットノズル内に形成されるメニスカスは、インクジェットノズルの口端から大気の引き込み量が小さくなり、それに伴い大気に接する表面積が減少する。従って、気液界面からの溶剤の蒸発量が減少し、インクの乾燥を長引かせることができるという効果を奏する。
【００１６】
本発明のようなバッチ式の塗布装置の場合は、塗布対象物（例えば基板）の交換にはある程度の時間がかかる。その間、塗布装置としては動作しているものの、インクジェットヘッドは一定時間間隔の間欠吐出による捨て打ち（フラッシング）をしながらの待機状態、または、何もしないで待機している状態におかれている。本発明は、これらの待機時間において、インクの乾燥を抑制することができ、次の塗布工程の際にインクジェットノズルの詰まり、すなわち、塗布のドット抜けの発生率を下げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係る塗布装置の最良の実施形態について、図面を参照して、以下において詳細に説明する。なお、以下において、塗布装置の具体例として、インクを塗布対象物としてのガラス基板に塗布するカラーフィルタ製造装置を例に挙げて説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る塗布装置１としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台２０上に吸着テーブル３（保持ステージ）、塗布ガントリー４、カメラガントリー６が支承されている。保持ステージである吸着テーブル３は、ガラス基板２を吸着保持するものであり、このガラス基板２を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｚ軸周りに回転駆動される。
【００１９】
また、塗布ガントリー４は、インクジェットヘッドバー５を保持するものであり、ガラス基板２の所定位置にインクを塗布するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって主走査方向（Ｘ方向）に駆動される。また、インクジェットヘッドバー５は塗布ガントリー４の図示しないガイド機構によって副走査方向（Ｙ方向）に駆動される。
【００２０】
カメラガントリー６は、ガラス基板２のアラインメントのためのアラインメントカメラ７、８を保持するとともに、ガラス基板２に供給されたインクを検出するための計測手段であるスキャンカメラ９を保持しており、アラインメント、インクの検出のため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＸ方向に駆動される。また、アラインメントカメラ７、８及びスキャンカメラ９は、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＹ方向に駆動される。アラインメントカメラ７、８は、ガラス基板２のマーク（図示せず）を検出するものであり、アラインメントカメラ７、８によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル３を回転させ、および／またはＹ方向に移動させることにより、ガラス基板２に対するアラインメントを実行することができる。
【００２１】
ここで、Ｘ軸、Ｙ軸は、吸着テーブル３により吸着保持されたガラス基板２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する軸であり、Ｚ軸は、Ｘ軸とＹ軸により規定された平面と直交する軸である。
【００２２】
インクジェットヘッドバー５は、各色調のインクを吐出する複数のインクジェットノズル１３を有するインクジェットヘッド１２を整列配置して構成されるものである。インクジェットヘッドバー５は、塗布ガントリー４に保持された状態で、主走査方向（Ｘ方向）、副走査方向（Ｙ方向）およびＺ方向に駆動され、複数のインクジェットノズル１３から各色調のインクを吐出し、ガラス基板２の所定位置に塗布する。
【００２３】
図２は、本発明の塗布装置のインク供給および塗布動作の制御に関しての構成を示す。本発明の塗布装置には、図１で示した塗布装置の構成に加え、図２のインク供給および塗布動作の制御が加わる。
【００２４】
本発明の塗布装置のインク供給および塗布動作の制御系は、塗布ガントリー４に取り付けられたインクジェットヘッド１２にインクを供給するサブタンク６２と、サブタンク６２にインクを供給するインク供給系と、サブタンク６２の圧力を調整する圧力調整系と、塗布ガントリー４の位置情報を得るための位置センサー１０２と、全体を制御する制御部１００を含む。サブタンクには、圧力および量センサー１０５（以後単に「センサー１０５」と呼ぶ。）を有する。センサー１０５はサブタンク内の圧力とインク量を知る。
【００２５】
インク供給系は、サブタンク６２へ供給するインク量を調整する電磁弁１１４と、電磁弁１１４を介して供給するインクを蓄積するメインタンク６０と、メインタンク６０への圧力を加えるための加圧ポンプ７４と、加圧ポンプ７４によって加えられる高圧エアと大気圧のいずれかを選択する切換弁１１６を含む。メインタンク６０には圧力センサー１０７を有する。
【００２６】
また、圧力調整系は、加圧ポンプ７２と、加圧ポンプ７２と大気圧を選択する切換弁１１２と、減圧ポンプ７０と、減圧ポンプ７０と切換弁１１２を切り替える切換弁１１０とを含む。
【００２７】
また、制御部１００は、インクジェットヘッド１２、位置センサー１０２、切換弁１１０、１１２、１１６、センサー１０５、圧力センサー１０７、タイマ１０６と接続されている。
【００２８】
制御部１００は、インクジェットヘッド１２に対してインク吐出指示Ｃｉｋを送る。この信号によってインクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクが吐出される。また、制御部１００は、位置センサー１０２からインクジェットヘッドの位置情報Ｄｘｙを得る。この位置情報Ｄｘｙに基づいてインクを吐出させる。
【００２９】
また、制御部１００は、センサー１０５よりサブタンク内の圧力情報Ｄｐｓとインク量Ｄｑｓを得る。サブタンク６２内のインク量が少ない場合は、インク供給系よりインクをサブタンクに供給する。
【００３０】
インク供給系では、加圧ポンプ７４と切換弁１１６によって、メインタンク６０内を加圧状態にできる。具体的には、制御部１００が、切換弁１１６に切換弁の駆動指示指令Ｃｓｓを送信し、メインタンク６０内の圧力が所定の圧力になるまで高圧エアをメインタンク６０に導入する。メインタンク内の圧力は圧力センサー１０７からの圧力情報Ｄｐｍによって知る。
【００３１】
次にサブタンク内へインクを注入するために電磁弁１１４を開く。電磁弁１１４は、制御部１００からの電磁弁駆動指示Ｃｖｍによって行われる。
【００３２】
本発明の塗布装置は、サブタンク内の圧力を調整するために、圧力調整系を有する。圧力調整系には、陰圧源である減圧ポンプ７０と、圧力源である加圧ポンプ７２と、これらを切り替える切換弁１１２と１１０を有する。制御部１００は、サブタンク内を減圧させる場合は、弁操作指示Ｃｖｓを切換弁１１０に送り、サブタンク内からエアを抜く。また、サブタンク内を加圧したい場合は、切換弁１１０と１１２に対してそれぞれ弁操作指示ＣｖｓとＣｖａを送る。
【００３３】
切換弁１１２および１１６において、符号７９は、大気導入口である。切換弁１１２および１１６を大気導入口７９にすることによって、メインタンクおよびサブタンク内の圧力は大気圧に戻り、所定以上の圧力になることを回避する。
【００３４】
加圧ポンプ７４によって圧縮されたエアは、切換弁１１６を開くことでメインタンク６０に導入される。メインタンク６０内は大気に対して正圧となる。この時のメインタンク内の圧力は圧力センサー１０７によって検知され圧力情報Ｄｐｍとして制御部１００に送られる。制御部１００は、切換弁１１６を操作指示Ｃｓｓによって開閉し、メインタンク６０内を所定の圧力に保つことができる。
【００３５】
電磁弁１１４が操作指示Ｃｖｍによって開かれると、メインタンク６０内のインクがサブタンク６２内に注入される。このとき、減圧ポンプ７０が接続された切換弁１１０を操作指示Ｃｖｓで開き、サブタンク６２内を大気圧に対して負圧にすれば、よりスムースにインクの導入が可能である。
【００３６】
制御部１００は、サブタンク６２内のインクの量を、センサー１０５のインク量情報Ｄｑｓによって知る。そこでサブタンク６２内のインク量が適正な量になったら、電磁弁１１４を閉じる。
【００３７】
次にインクジェットヘッドを用いた塗布について説明する。図３にはインクジェットヘッドノズル１３の断面を示す。図３（ａ）を参照して、通常インクジェットヘッドで塗布を行う際には、インクジェットノズル１３中のインクには若干の負圧をかけて、インクと大気の気液界面にメニスカス６３を作る。微小なノズルから液滴状にしたインクを飛ばすためである。
【００３８】
再度図２を参照する。そのため、サブタンク６２内は大気圧に対して所定の負圧状態に保つ必要がある。制御部１００は、センサー１０５からの圧力情報Ｄｐｓをモニタしながら、圧力が所定値より高い場合は、切換弁１１０を減圧ポンプ側に接続しサブタンク内の圧力を減圧する。また、サブタンク内の圧力が低すぎる場合は、切換弁１１０を切換弁１１２側にしたうえで、大気圧口７９若しくは加圧ポンプ７２を選択し、サブタンク内の圧力を上昇させる。
【００３９】
再度図３を参照して、塗布状態のインクジェットノズルでは、インクと大気の気液界面に所定のメニスカスを作る必要がある。しかし、このメニスカスは大気圧より負圧になっているので、インクジェットノズル口からの引き込み量６５が大きく、気液界面の表面積が大きい。従って、このままの状態で放置されると、インク中の溶媒が蒸発し、ノズルが詰まるといった不良状態が発生する。
【００４０】
そこで、塗布を待機する状態になった場合は、フラッシングを行なっていても、サブタンク内を大気圧に近い第２の負圧にする。これによりインクジェットノズル内のインクの気液界面のメニスカスの引き込み量６６が小さくなり、気液界面の表面積が減少し、インク中の溶媒の蒸発を低減することができる。すなわち、より乾きにくくなる。従って、ノズル詰まりといった不良状態の発生を低減することができる。
【００４１】
ここで、サブタンク内の圧力は大気圧に対して負圧状態には保たれる。すなわち、大気状態で塗布の待機を行うわけではない。ノズル内が大気圧になると、インクの自重によりインクジェットノズルからインクが垂れ落ちる場合もあり、待機状態のサブタンク内のインクにかかる圧力は塗布時に設定される負圧の４０〜９０％程度の圧力が好ましく、より好ましくは６０〜８０％の圧力が好ましい。
【００４２】
図４には、このように動作する本発明の塗布装置の塗布処理のフローを示す。本発明の塗布装置がスタートすると（Ｓ１００）、塗布前準備（Ｓ１０２）を行う。塗布前準備とは、メインタンクからインクをサブタンクに注入したり、メインタンク、サブタンク内の圧力を所定の圧力に調整する作業である。
【００４３】
塗布前作業が終了するとヘッド待機状態に入る（Ｓ１０４）。ヘッド待機状態は、インクジェットヘッドの待機状態に関する処理判断を行う状態であり、塗布装置全体はヘッド待機状態とは関係なく進む。なお、ヘッド待機状態中の処理については、図５を用いて後に説明する。
【００４４】
次に塗布対象物をステージにセットする（Ｓ１０６）。この処理は特に限定されることはなく、塗布装置自体が行ってもよいし、人の手で行ってもよいし、他のロボットなどが行ってもよい。塗布対象物がステージにセットされたら、ヘッド準備状態に入る（Ｓ１０８）。
【００４５】
ヘッド準備状態（Ｓ１０８）は、インクジェットヘッドが塗布できる状態になったら、塗布を開始してもよいという状態である。この状態になると、制御部１００にインクジェットヘッド始動のコマンドが入力される。
【００４６】
このコマンドは、塗布装置自体が塗布対象物の状態を検知して発してもよいし、人の手によってスイッチなどが押されることで制御部１００に入力されてもよい。
【００４７】
インクジェットヘッド開始のコマンドが入力されると、制御部１００はインクジェットヘッドを塗布可能な状態にし、塗布処理を開始する（Ｓ１１０）。塗布処理は、あらかじめ決められた手順に従って塗布対象物にインクを塗布してゆく。ここでは塗布終了判断（１１２）によって塗布処理が終了したか否かを判断するとしたが、決められた処理が終了すれば塗布終了としてもよい。
【００４８】
次に塗布装置自体を終了するか否かを判断する（Ｓ１１６）。これは塗布対象物の有無で決めてもよいし、あらかじめ塗布回数を決めておき、その回数が終了したかで判断してもよい。また人によって終了か否かを判断してもよい。終了でなければ（Ｓ１１４のＮ分岐）、ヘッド待機状態（Ｓ１０４）に戻る。
【００４９】
図５には、ヘッド待機状態（Ｓ１０４）の処理の一例を示す。インクジェットヘッドが待機状態になったら（Ｓ２００）、まず時計から現在時刻を記録する（Ｓ２０２）。待機時間を積算するためである。これは制御部１００が図５の時計１０６から時刻情報を取得することで実現できる。
【００５０】
次にインクジェットヘッドが所定位置に設置されたか否かを判断する（Ｓ２０４）。インクジェットヘッドは塗布ガントリー４に配設されており、塗布ガントリーのＸおよびＹ方向の動きによって可動範囲内の任意の位置に移動できる。そこで、あらかじめインクジェットヘッドの待機場所が塗布装置に設けられている場合がある。ステップＳ２０４の判断は、そのような位置にインクジェットヘッドが配置されたら、直ちにステップＳ２１０以下の処理を行うことを意味する。なお、インクジェットヘッドが所定の位置に来たか否かについては、位置センサー１０２からの位置情報Ｄｘｙに基づいて制御部１００が判断する。
【００５１】
ステップＳ２１０は、サブタンク内の圧力を上昇させる処理である。このときの圧力上昇により塗布時の圧力（負圧）よりは大気圧に近い第２の負圧に設定する。具体的には、サブタンクの圧力をセンサー１０５からの圧力情報Ｄｐｓによって知り、切換弁１１０と切換弁１１２を操作指示ＣｖｓおよびＣｖａで切り替えてサブタンク１０５内の圧力を所定の圧力に設定する。
【００５２】
サブタンク１０５内の圧力が所定の値になったら、フラッシング開始しコマンド待ちに入るか、または何もせずにコマンド待ちに入る。（Ｓ２１２）。ここでコマンドとは、インクジェットヘッド始動のコマンドである。このコマンドが入力されたら（Ｓ２１２のＹ分岐）、サブタンク内の圧力を塗布時の圧力まで下げ（Ｓ２１４）、メインルーチンに戻る（Ｓ２１６）。
【００５３】
また、待機状態の圧力上昇（Ｓ２１０）は、インクジェットヘッドが所定の位置に移動するだけでなく、他の要因（イベント）によって状態を変化させてもよい。ステップＳ２０６はそのようなイベントの例示の１つである。ここでは所定時間が経過したか否かの判断を行う。もし、このステップＳ１０４から始める待機処理に入って、所定時間が経過すれば、インクジェットヘッドの位置に関わらず、サブタンクの圧力上昇処理（Ｓ２１０）に移ってもよい（Ｓ２０６のＹ分岐）。
【００５４】
所定時間の経過がない場合は（Ｓ２０６のＮ分岐）、コマンド待ちを判断し（Ｓ２０８）、コマンドがまだ受けていない場合は（Ｓ２０８のＮ分岐）ステップＳ２０４に戻る。コマンドを受けた場合は（Ｓ２０８のＹ分岐）サブタンク内の圧力を下げて、処理をメインルーチンに戻す（Ｓ２１６）。
【００５５】
以上の処理により、インクジェットヘッドが所定の場所に移動されるか、塗布の待機中に所定の時間が経過したかによって、サブタンク内の圧力は大気圧より負圧ではあるが、塗布時の負圧より大気圧に近い負圧状態に設定しなおされる。これによってインクジェットノズルの詰まりの発生率を低下させることができる。
【実施例】
【００５６】
実際のインクジェットヘッドを用いて、サブタンク内の圧力によるインクジェットヘッドの目詰まりの程度を確認した。用いたインクジェットヘッドは、幅３４ｍｍにインクジェットノズルが２５６個設けられたものを用いた。インクジェットヘッドには上記の実施の形態で説明したサブタンクおよび制御部などが結合されている。
【００５７】
確認は以下のようにして行った。
【００５８】
まず、インクジェットヘッドのインクジェットノズルからインクを多量に出させ、面に残ったインク液滴を溶剤に浸した布でふき取った。サブタンクからインクジェットヘッドまでの配管をインクで満たすためである。
【００５９】
次に、サブタンク内を塗布時の圧力まで負圧にした。この圧力は大気圧に対して−１．４ｋＰａである。そして、１分間全インクジェットノズルからインクを吐出させた。
【００６０】
次に、インクの吐出を止めてから、サブタンク内を所定の圧力にした。この圧力が待機時の圧力である。そして、所定時間経過後に再度全てのインクジェットヘッドからインクを吐出させ、２５６個のインクジェットノズルのうち、１ノズルでもインクが吐出しない状態が発生するまでの時間（ノズル欠発生時間）を調べた。
【００６１】
図６に待機時の圧力（横軸）とノズル欠発生時間（縦軸）の関係を示す。塗布時の圧力（−１．４ｋＰａ）では、ノズル欠発生時間は１８０秒であったのが、その約４０％の圧力（−０．６Ｐａ）では、２９０秒になった。これは、２９０秒の間、塗布を待機していても、次の塗布の際にすべてのインクジェットノズルからインクが吐出されることを示している。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る塗布装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る塗布装置の制御に関する構成を示す図である。
【図３】インクジェットヘッドノズルの中のインクと大気の気液界面の状態を示す図である。
【図４】本発明に係る塗布装置の処理フローを示す図である。
【図５】本発明に係るインクジェットヘッドの待機状態のフローを示す図である。
【図６】塗布装置の圧力調整手段によるインクの乾燥抑制・防止効果を示す負圧と吐出不良発生までの時間との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６３】
１    塗布装置
２    ガラス基板（塗布対象物）
３    吸着テーブル（保持ステージ）
４    塗布ガントリー
５    インクジェットヘッドバー
６    カメラガントリー
７，８    アラインメントカメラ
９    スキャンカメラ（計測手段）
１０    インクジェットヘッドユニット
１１    インクジェットヘッドモジュール
１２    インクジェットヘッド
１３    インクジェットノズル
１５    吐出位置制御部
１６    吐出圧制御部
１７    圧力制御部
２０    機台
６０    メインタンク
６２    サブタンク
７０    減圧ポンプ
７２、７４    加圧ポンプ
１００    制御部
１０２  位置センサー
１０５  圧力およびインク量センサー
１１０  切換弁
１１２  切換弁
１１６  切換弁
【図１】
2010149028.tif 000003
【図２】
2010149028.tif 000004
【図３】
2010149028.tif 000005
【図４】
2010149028.tif 000006
【図５】
2010149028.tif 000007
【図６】
2010149028.tif 000008