(57)【要約】【課題】複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図るイオナイザを提供する。さらに同程度の噴射量・噴射圧・噴射速度の清浄ガスに載せてイオンを噴射するようにしてイオン噴射量の均一化を図るイオナイザを提供する。また、これらのようなイオナイザを複数備えるイオナイザシステムを提供する。【解決手段】イオナイザの電気系回路には環状配線部１３が含まれるようにして印加電圧を均一にした。また、イオナイザの流体系回路には、上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞの下流側流路部の本数が同数となるようになされた流路部が含まれるようにして噴射量・噴射圧・噴射速度を均一にした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
環状の配線部が含まれる電気系回路と、
環状の配線部に電気的に接続される放電電極と、
を備え、
前記放電電極は、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、電気系回路の環状の配線部を通じて電圧が印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とするイオナイザ。
【請求項２】
請求項１記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路は、高電圧を生成する高圧電源発生部を含むことを特徴とするイオナイザ。
【請求項３】
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
環状の配線部が含まれる電気系回路と、
流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路と、
電気系回路の環状の配線部に電気的に接続される放電電極と、流体系回路の流路部に接続されるとともに内部に放電電極が配置される噴射ノズルと、を有する電極ユニットと、
を備え、
前記電極ユニットは、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、流体系回路の流路部を通じて供給された清浄ガスが噴射ノズルから噴射されるとともに、電気系回路の環状の配線部を通じて電圧が放電電極に印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とするイオナイザ。
【請求項４】
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
配線部が含まれる電気系回路と、
上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞれの下流側流路部の本数が同数となるようになされた流路部を含み、流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路と、
電気系回路の配線部に電気的に接続される放電電極と、流体系回路の流路部に接続されるとともに内部に放電電極が配置される噴射ノズルと、を有する電極ユニットと、
を備え、
前記電極ユニットは、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、流体系回路の流路部を通じて供給された清浄ガスが噴射ノズルから噴射されるとともに、電気系回路の配線部を通じて電圧が放電電極に印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とするイオナイザ。
【請求項５】
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
環状の配線部が含まれる電気系回路と、
上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞの下流側流路部の本数が同数となるようになされた流路部を含み、流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路と、
電気系回路の環状の配線部に電気的に接続される放電電極と、流体系回路の流路部に接続されるとともに内部に放電電極が配置される噴射ノズルと、を有する電極ユニットと、
を備え、
前記電極ユニットは、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、流体系回路の流路部を通じて供給された清浄ガスが噴射ノズルから噴射されるとともに、電気系回路の環状の配線部を通じて電圧が放電電極に印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とするイオナイザ。
【請求項６】
請求項３〜請求項５の何れか一項記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路は、高電圧を生成する高圧電源部を含むことを特徴とするイオナイザ。
【請求項７】
請求項１または請求項２記載のイオナイザを複数有するイオナイザシステムであって、
複数個のイオナイザの前記電気系回路は、中央電源部に接続されることを特徴とするイオナイザシステム。
【請求項８】
請求項３〜請求項６の何れか一項記載のイオナイザを複数有するイオナイザシステムであって、
複数個のイオナイザの前記電気系回路は、中央電源部に接続され、
複数個のイオナイザの前記流体系回路は、清浄ガス供給部に接続される、
ことを特徴とするイオナイザシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コロナ放電により生成されたイオンを用いて除電対象の除電を行うイオナイザ、および、このようなイオナイザを複数組み合わせたイオナイザシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来技術のバー型のイオナイザとしては、例えば、複数個にわたる針状の放電電極（針状電極）に高電圧を印加して空気からプラスイオンのみ、マイナスイオンのみ、または、プラスイオンとマイナスイオンとの両イオン（以下これらプラスイオンのみ、マイナスイオンのみ、または、プラスイオンとマイナスイオンとの両イオンを意味するときは単にイオンという）を発生させ、帯電している除電対象にイオンとともに清浄ガスを噴射して除電するコロナ放電式イオナイザがある。この除電対象の一例として、例えば板状のガラス基板などを挙げることができる。このガラス基板は、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、または、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等で用いられる。
【０００３】
このようなコロナ放電式イオナイザは、さらに針状電極に印加する高圧電源に直流電源を使用する直流方式イオナイザと、交流電源を使用する交流方式イオナイザと、に大別される。各々のイオナイザに特徴があり、使用する目的によって選択する必要がある。
直流方式イオナイザは、プラスの針状電極とマイナスの針状電極とをそれぞれ同数交互に設けたものであり、プラスの針状電極がプラスイオンを、マイナスの針状電極がマイナスイオンをそれぞれ生成する。針状電極は噴射ノズル内に配置されており、針状電極と噴射ノズルとを一組とした電極ユニットが複数組にわたり配置される。そして、発生したプラスイオン・マイナスイオンを清浄ガスに載せてプラスイオン・マイナスイオンの移動速度を速くすることで、除電効果を高めている。
交流方式イオナイザは主として商用周波数の交流電源を昇圧トランスで昇圧した電源電圧を使用しており、プラスイオンとマイナスイオンとが１本の針状電極から交互に発生する。このような針状電極は噴射ノズル内に配置されており、針状電極と噴射ノズルとを一組とした電極ユニットが複数組にわたり配置される。そして、発生したプラスイオン・マイナスイオンを清浄ガスに載せてプラスイオン・マイナスイオンの移動速度を速くすることで、除電効果を高めている。
【０００４】
さて、このようなイオナイザでは、電気系回路および流体系回路を構成する必要がある。このような電気系回路および流体系回路を含むイオナイザの先行技術として、例えば、特許文献１（特開２００７−１４１６９１号公報，発明の名称：イオン化装置）が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１４１６９１号公報（電気系回路について図１５〜図１８、流体系回路について図２０〜図２２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術のバー型のイオナイザにおいて、電気系回路や流体系回路に接続される複数個の放電電極や噴射ノズルは所定間隔離れて配置されており、この接続位置により印加される電圧や清浄ガスの噴射量・噴射圧・噴射速度が相違し、この結果、イオンバランスが崩れるという問題があった。この点について図を参照しつつ説明する。図１２は、従来技術のイオナイザの説明図であり、図１２（ａ）は電気系内部ブロック図、図１２（ｂ）は針状電極の位置における印加電圧の相違を説明する説明図である。図１３は、従来技術のイオナイザの説明図であり、図１３（ａ）は流体系内部ブロック図、図１３（ｂ）は噴射ノズルの位置における清浄ガスの噴射量等の相違を説明する説明図である。
【０００７】
まず、従来技術の電気系回路に起因するイオンバランスの崩れについて説明する。
図１２（ａ）は、イオナイザ１００の電気系回路のみを図示している。イオナイザ１００は、イオナイザ本体１０１、高圧電源発生部１０２、ケース体１０３、配線部１０４、複数（この例では８個）の分岐配線部１０５、複数（この例では８個）の針状電極１０６を備える。配線部１０４には、複数（８個）の分岐配線部１０５が並列接続され、それぞれの分岐配線部１０５に針状電極１０６が電気的に接続される。配線部１０４は高圧電源発生部１０２から高電圧が供給される。
【０００８】
この場合、図１２（ａ）中のＡ点を見ると、高圧電源発生部１０２からの高電圧はＡ点で二分岐して印可されることとなり、視点を変えれば、高圧電源発生部１０２に近い一方の側では１個の針状電極１０６が接続され、高圧電源発生部１０２から遠い他方の側には７個の針状電極１０６が接続されたものとみなすことができる。そして、高圧電源発生部１０２に近い一方の側の１個の針状電極１０６では、イオン生成により電圧が降下し、高圧電源発生部１０２に遠い７個の針状電極１０６へは減少した高電圧が印加される。B点でも高圧電源発生部１０２に近い一方の側では１個の針状電極１０６が接続され、高圧電源発生部１０２から遠い他方の側には６個の針状電極１０６が接続されたものとみなすことができる。
【０００９】
以下、同様に高圧電源発生部１０２から遠ざかるにつれて、電圧が減少していき、図１２（ｂ）で示すように、高圧電源発生部１０２から遠ざかるほど印加される電圧が減少する。このような傾向を有することを本発明者は知見した。その結果、高圧電源発生部１０２から遠ざかるにつれて針状電極１０６からのイオン生成量も減少していくというものであり、高圧電源発生部１０２に近い箇所と遠い箇所とではイオンバランスが不均衡になるおそれがあった。
【００１０】
続いて、流体系に起因するイオンバランスの崩れについて説明する。
図１３（ａ）は、イオナイザ１００の流体系回路のみを図示している。イオナイザ１００は、イオナイザ本体１０１、ケース体１０３、清浄ガス供給部１０７、主流路部１０８、複数（この例では針状電極１０６と同数の８個）の分岐流路部１０９、複数（この例では針状電極１０６と同数の８個）の噴射ノズル１１０を備える。それぞれの噴射ノズル１１０内に前記の針状電極１０６が配置されて電極ユニットを形成している。
主流路部１０８には、複数（８個）の分岐流路部１０９が並列に連通されており、それぞれの分岐流路部１０９に噴射ノズル１１０が連通される。清浄ガス供給部１０７から主流路部１０８へ高圧の清浄ガスが供給されると全ての噴射ノズル１１０から清浄ガスが噴射される。これと同時に噴射ノズル１１０内に前記の針状電極１０６がイオンを生成しており、イオンが噴射流に載って噴射ノズル１１０から噴射される。
【００１１】
この場合、図１３（ａ）中のＣ点を見ると、清浄ガス供給部１０７からの清浄ガスはＣ点で二分岐して流れることとなり、視点を変えれば、清浄ガス供給部１０７に近い一方の側では１個の噴射ノズル１１０が接続され、清浄ガス供給部１０７から遠い他方の側では７個の噴射ノズル１１０が接続される。そして、清浄ガス供給部１０７に近い一方の側の１個の噴射ノズル１１０では、噴射により清浄ガスが消費されるため、清浄ガス供給部１０７から遠い７個の噴射ノズル１１０では流量が減少した清浄ガスが流れる。
【００１２】
以下、同様に清浄ガス供給部１０７から遠ざかるほど、清浄ガスの流量が減少していき、図１２（ｂ）で示すように、清浄ガス供給部１０７から遠ざかるほど清浄ガスの噴射量・噴射圧・噴射速度が減少する。このような傾向を有することを本発明者は知見した。このため清浄ガス供給部１０７に近い箇所と遠い箇所とではイオン到達速度などが異なり、また特にＡＣ方式などでは噴射速度の低下はプラスイオンとマイナスイオンとが再び結合する事象（以下、再結合という）が発生することもあって除電能力が低下するおそれもあり、イオンバランスが不均衡になるおそれがあった。
【００１３】
近年では、例えば大型液晶テレビなどでは画面サイズの増大に伴ってガラス基板の大型化が進むなど、除電対象が大型化する傾向が著しい。大型の除電対象に対しては、従来技術のイオナイザでは、イオンバランスが不均衡である傾向がより顕著に表れる。除電対象の場所によらず、等しいイオン量が到達するようにしてイオンバランスを均一化したいという要請があった。
また、特許文献１に記載のイオン化装置も、先に説明した問題を包含するような電気系回路・流体系回路を有するものであり、除電対象が大型になるにつれて、イオンバランスが不均衡になる傾向が大きくなるおそれがあるものであった。
【００１４】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、除電能力を向上させるイオナイザを提供することにある。
さらにはイオン生成量の均一化に加えて、同程度の噴射量・噴射圧・噴射速度の清浄ガスに載せてイオンを噴射するようにしてイオン噴射量の均一化を図り、除電能力を向上させるイオナイザを提供することにある。
また、これらのようなイオナイザを複数備えて、イオン生成量を均一化しつつより大きい除電対象の除電を行うイオナイザシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の請求項１に係るイオナイザは、
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
環状の配線部が含まれる電気系回路と、
環状の配線部に電気的に接続される放電電極と、
を備え、
前記放電電極は、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、電気系回路の環状の配線部を通じて電圧が印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項２に係るイオナイザは、
請求項１記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路は、高電圧を生成する高圧電源発生部を含むことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項３に係るイオナイザは、
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
環状の配線部が含まれる電気系回路と、
流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路と、
電気系回路の環状の配線部に電気的に接続される放電電極と、流体系回路の流路部に接続されるとともに内部に放電電極が配置される噴射ノズルと、を有する電極ユニットと、
を備え、
前記電極ユニットは、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、流体系回路の流路部を通じて供給された清浄ガスが噴射ノズルから噴射されるとともに、電気系回路の環状の配線部を通じて電圧が放電電極に印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項４に係るイオナイザは、
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
配線部が含まれる電気系回路と、
上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞれの下流側流路部の本数が同数となるようになされた流路部を含み、流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路と、
電気系回路の配線部に電気的に接続される放電電極と、流体系回路の流路部に接続されるとともに内部に放電電極が配置される噴射ノズルと、を有する電極ユニットと、
を備え、
前記電極ユニットは、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、流体系回路の流路部を通じて供給された清浄ガスが噴射ノズルから噴射されるとともに、電気系回路の配線部を通じて電圧が放電電極に印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の請求項５に係るイオナイザは、
長尺体として形成されるイオナイザ本体と、
環状の配線部が含まれる電気系回路と、
上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞの下流側流路部の本数が同数となるようになされた流路部を含み、流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路と、
電気系回路の環状の配線部に電気的に接続される放電電極と、流体系回路の流路部に接続されるとともに内部に放電電極が配置される噴射ノズルと、を有する電極ユニットと、
を備え、
前記電極ユニットは、イオナイザ本体に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられ、流体系回路の流路部を通じて供給された清浄ガスが噴射ノズルから噴射されるとともに、電気系回路の環状の配線部を通じて電圧が放電電極に印加されてコロナ放電によりイオンが生成されることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の請求項６に係るイオナイザは、
請求項３〜請求項５の何れか一項記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路は、高電圧を生成する高圧電源部を含むことを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項７に係るイオナイザシステムは、
請求項１または請求項２記載のイオナイザを複数有するイオナイザシステムであって、
複数個のイオナイザの前記電気系回路は、中央電源部に接続されることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の請求項８に係るイオナイザシステムは、
請求項３〜請求項６の何れか一項記載のイオナイザを複数有するイオナイザシステムであって、
複数個のイオナイザの前記電気系回路は、中央電源部に接続され、
複数個のイオナイザの前記流体系回路は、清浄ガス供給部に接続される、
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
以上のような本発明によれば、複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、除電能力を向上させるイオナイザを提供することができる。
さらにはイオン生成量の均一化に加えて、同程度の噴射量・噴射圧・噴射速度の清浄ガスに載せてイオンを噴射するようにしてイオン噴射量の均一化を図り、除電能力を向上させるイオナイザを提供することができる。
また、これらのようなイオナイザを複数備えて、イオン生成量を均一化しつつより大きい除電対象の除電を行うイオナイザシステムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
続いて、本発明を実施するための最良の形態のイオナイザについて図を参照しつつ説明する。本形態では前記したような直流方式イオナイザ・交流方式イオナイザやパルス交流方式イオナイザを想定して説明する。また、清浄エアを噴射しない形態とする。図１は本形態のイオナイザの外観図である。図２は本形態のイオナイザの説明図であり、図２（ａ）はイオナイザの電気系内部ブロック図、図２（ｂ）は放電電極の接続位置別の印加電圧を説明する説明図である。ここにイオナイザ１を説明するにあたって、図１，図２のイオナイザ１の左右方向をイオナイザ１の長手方向とし、上下方向をそのまま上下方向として説明する。
【００２５】
このようなイオナイザ１は、図１に示すように、イオナイザ本体１０、高圧電源発生部２０、電源供給線３０を備えている。イオナイザ本体１０は、さらに図１，図２に示すように、ケース体１１、放電電極１２、環状配線部１３、分岐配線部１４を備える。
【００２６】
ケース体１１は、図１でも明らかなように正面から視て、電極配列方向である長手方向に長く、かつ上下方向に短くしてバー状に長尺体として形成されている。
放電電極１２は、イオナイザ本体１０のケース体１１に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられる。それぞれの電極間隔は一定間隔とする。本形態では放電電極１２として、特に尖り先を有する針状電極を想定しているが、棒状、角柱状等の各種の放電電極を採用することができる。後述するが、放電電極１２の先端付近でコロナ放電によりイオンが生成される。なお、放電電極１２は外部に突出する形態ではなく、例えば、ケース体１１から突出しないで内部の奥まった位置に収納されていたり、ケース体１１から突出するも周囲を筒体により保護する構成等を採用することができる。
【００２７】
環状配線部１３は、電線を一周させてループ状に形成した配線である。環状配線部１３には電源供給線３０を介して高圧電源発生部２０に電気的に接続される。接続箇所は図１（ａ）ではａ−ｂ間に接続されている。
分岐配線部１４は、複数本（本形態では８本）準備され、その一端がそれぞれ環状配線部１３に電気的に接続され、また、その他端がそれぞれ放電電極１２に電気的に接続される。
【００２８】
続いて、本形態のイオナイザの機能について説明する。例えば直流プラス高電圧が印加されるイオナイザであるものとする。電源から供給された電源電圧を用いて高圧電源発生部２０が直流プラス高電圧を生成し、電源供給線３０を介してこの直流プラス高電圧が環状配線部１３に印加される。この場合、図２（ａ）中のａ点を見ると、高圧電源発生部２０からの直流プラス高電圧はａ点で二分岐して印可されることとなり、高圧電源発生部２０に近い側の１個の放電電極１２では、イオン生成により電圧が降下されるため、高圧電源発生部２０から遠い７個の放電電極１２へは減少した直流プラス高電圧が印加される。以下、同様に高圧電源発生部２０から遠ざかる（ｂ点に近づく）につれて、図２（ｂ）の破線のように、直流プラス高電圧が低下していく。なお、図２（ａ）は降下を強調して図示している。
【００２９】
一方、環状配線部１３により、図２（ａ）中のｂ点へも高圧電源発生部２０から直流プラス高電圧が迂回されて直接印加される。この場合、図２（ａ）中のｂ点を見ると、高圧電源発生部２０からの直流プラス高電圧はｂ点で二分岐して印可されることとなり、高圧電源発生部２０に最も遠い１個の放電電極１２では、イオン生成により電圧が降下されるため、高圧電源発生部２０へ近い７個の放電電極１２へは減少した直流プラス高電圧が印加される。以下、同様に高圧電源発生部２０へ近づく（ａ点に近づく）につれて、図２（ｂ）の細線のように、直流プラス高電圧が低下していく。
【００３０】
これらａ点・ｂ点の両側から印加される直流プラス高電圧を合算すると全ての放電電極１２へほぼ等しい直流プラス高電圧が印加されると推定される。また、外側と中側で従来技術よりは電圧に差がない点も実験等により確認された。このようなイオナイザ１によれば、全ての放電電極１２に印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図ることができる。
【００３１】
なお、本形態では説明の具体化のため直流プラス高電圧が印加される直流方式イオナイザであるとして説明したが、直流マイナス高電圧が印加される直流方式イオナイザとしても良い。また、直流ではなく、放電電極１２に交流高電圧が印加される交流方式イオナイザやパルス交流高電圧が印加されるパルス交流方式イオナイザとしても良い。また、電源供給線３０の環状配線部１３への接続箇所もａ−ｂ間のみならず、例えば、中央の２個の放電電極１２の間を接続箇所としても同様の効果が得られる。
【００３２】
これらのようなイオナイザによれば、複数の放電電極の接続位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、除電能力を向上させることができる。
【００３３】
続いて他の形態のイオナイザについて図を参照しつつ説明する。図３は、他の形態のイオナイザの電気系内部ブロック図である。
このようなイオナイザ２は、図３に示すように、イオナイザ本体１０、電源供給線３０を備えている。イオナイザ本体１０は、さらに、ケース体１１、放電電極１２、環状配線部１３、分岐配線部１４、高圧電源発生部１５を備える。本形態でも直流方式イオナイザ・交流方式イオナイザやパルス交流方式イオナイザを想定して説明する。また、清浄エアを噴射しない形態とする。
【００３４】
先に図１，図２を用いて説明した形態と、本形態と、を比較すると、先の形態では、高圧電源発生部２０を外側に配置する構成としたが、本形態では高圧電源発生部１５をケース体１１の内部に収容した点が相違する。なお、他の構成は先の説明と同じであり、同じ符号を付すとともに重複する説明を省略する。本形態では、特にイオナイザの設置性を高めている。また、商用電源を直接接続できる構成を採用できるなど利便性を高めている。
【００３５】
続いて、他の形態のイオナイザについて図を参照しつつ説明する。本形態でも直流方式イオナイザ・交流方式イオナイザやパルス交流方式イオナイザを想定して説明する。また、清浄エアを噴射しない形態とする。図４は他の形態のイオナイザの電気系内部ブロック図である。
このようなイオナイザ３は、図４に示すように、イオナイザ本体１０、電源供給線３０を備えている。イオナイザ本体１０は、さらにケース体１１、放電電極１２ａ，１２ｂ、環状配線部１３ａ，１３ｂ、分岐配線部１４ａ，１４ｂを備える。なお、本形態では放電電極１２ａが分岐接続部１４ａを介して環状配線１３ａに接続されてなる第１の回路と、放電電極１２ｂが分岐接続部１４ｂを介して環状配線１３ｂに接続されてなる第２の回路とを有するものとする。以下の説明では第１の回路の放電電極１２ａ、環状配線１３ａ、分岐接続部１４ａについて説明し、放電電極１２ｂ、環状配線１３ｂ、分岐接続部１４ｂについては同じ構成であるものとして重複する説明を省略する。
【００３６】
ケース体１１は、図４でも明らかなように正面から視て、電極配列方向である長手方向に長く、かつ上下方向に短くしてバー状に長尺体として形成されている。
放電電極１２ａは、イオナイザ本体１０のケース体１１に対して長手方向に所定の電極間隔で複数並べられて設けられる。本形態では放電電極１２ａとして、特に尖り先を有する針状電極を想定しているが、棒状、角柱状等の各種の放電電極を採用することができる。後述するが、放電電極１２ａの先端付近でコロナ放電によりイオンが生成される。なお、放電電極１２ａは外部に突出する形態ではなく、例えば、ケース体１１から突出しないで内部の奥まった位置に収納されていたり、ケース体１１から突出するも周囲を筒体により保護する構成等を採用することができる。
【００３７】
環状配線部１３ａは、電線を一周させてループ状に形成した配線である。環状配線部１３ａは高圧電源発生部１５に電気的に接続される。なお、先に説明したように接続位置は限定されることなく適宜選択できる。
分岐配線部１４ａは、複数本（本形態では４本）準備され、その一端がそれぞれ環状配線部１３ａに電気的に接続され、また、その他端がそれぞれ放電電極１２ａに電気的に接続される。このようにして第１の回路が形成される。また、第２の回路も同様に形成される。これら第１，第２の回路において、放電電極１２ａと放電電極１２ｂとは交互に同一間隔で配置される。
【００３８】
続いて、本形態のイオナイザの機能について説明する。例えば第１の回路に直流プラス高電圧が印加され、第２の回路に直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザであるものとする。先の説明からも明らかなように、環状配線部１３ａにより第１の回路の放電電極１２ａには同電位の直流プラス高電圧が印加され、また、環状配線部１３ｂにより第２の回路の放電電極１２ｂには同電位の直流マイナス高電圧が印加されることとなる。このようなイオナイザによれば、第１回路の全ての放電電極１２ａに印加される直流プラス高電圧の相違を減少させ、また、第２回路の全ての放電電極１２ｂに印加される直流マイナス高電圧の相違を減少させたため、イオン生成量の均一化を図ることができる。
【００３９】
なお、本形態では説明の具体化のため第１の回路に直流プラス高電圧が、また、第２の回路に直流マイナス高電圧が、それぞれ印加される直流方式イオナイザであるものとして説明したが、例えば、第１の回路に正弦波高電圧が、また、第２の回路に位相を１８０°ずらした正弦波高電圧が印加される交流方式イオナイザとしても良い。さらに、第１の回路にパルス交流高電圧が、また、第２の回路に位相を１８０°ずらしたパルス交流高電圧が印加されるパルス交流方式イオナイザとしても良い。
また、高圧電源発生部１５を図１で示したように外付けとしても良い。
【００４０】
このようなイオナイザによれば、第１の回路や第２の回路において、それぞれ複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、除電能力を向上させることができる。
【００４１】
なお、図１〜図４を用いて説明したイオナイザ１，２，３に対し、さらに、図１３に示した流体系回路を追加した形態としても良い。この場合、電気系回路でイオン生成量の均一化を実現しており、従来技術と比較しても除電能力を向上させることができる。
【００４２】
続いて、他の形態のイオナイザについて図を参照しつつ説明する。図５は他の形態のイオナイザの流体系内部ブロック図である。図６は流体系回路の接続関係の説明図である。本形態では、放電電極の周囲から清浄ガスを噴射する形態であり、その流体系回路に特徴を有するものである。電気系回路は、図１〜図４を用いて説明したイオナイザ１，２，３の何れかの形態である。また、図１２を用いて説明したイオナイザ１００の電気系回路と本形態の流体系回路とを組み合わせる構成としても効果が見込める。
【００４３】
このようなイオナイザ１，２，３は、図５に示すように、イオナイザ本体１０、清浄ガス供給部４０を備えている。イオナイザ本体１０は、ケース体１１、主流路部１６、第１分岐流路部１７ａ、第２分岐流路部１７ｂ、第３分岐流路部１７ｃ、噴射ノズル１８を備える。
【００４４】
ケース体１１は、図５でも明らかなように正面から視て、噴射ノズル配列方向である長手方向に長く、かつ上下方向に短くしてバー状に長尺体として形成されている。
主流路部１６は、清浄ガス供給部４０と連通するように接続される。
【００４５】
２流路の第１分岐流路部１７ａは、主流路部１６とｃ点で連通する。第１分岐流路部１７ａは２流路設けられる。
２流路の第２分岐流路部１７ｂは、第１分岐流路部１７ａとｄ点で連通する。そして、ｅ点でも同様に、他の２流路の第２分岐流路部１７ｂが、第１分岐流路部１７ａと連通する。第２分岐流路部１７ｂは４流路設けられる。
２流路の第３分岐流路部１７ｃは、第２分岐流路部１７ｂとｆ点で連通する。そして、ｇ点，ｈ点，ｉ点でも同様に、他の２流路の第３分岐流路部１７ｃが、第２分岐流路部１７ｂと連通する。第３分岐流路部１７ｃは８流路設けられる。
これら主流路部１６、第１分岐流路部１７ａ、第２分岐流路部１７ｂ、第３分岐流路部１７ｃにより本発明の流路が形成される。流体系回路は直感的には図６で示すように下流にいくにつれて二分岐していく二分岐流路となる。
【００４６】
噴射ノズル１８は、複数本（本形態では８本）準備され、その一端がそれぞれ第３分岐流路部１７ｃと連通するように接続される。噴射ノズル１８は、第３分岐流路部１７ｃを通じて供給される清浄エアを噴射する。噴射ノズル１８内には前記の放電電極１２が配置されて本発明の電極ユニットを構成しており、生成したイオンが清浄エアにより搬送されて噴射されることとなる。この清浄エアは、塵埃等が除去されたエアやアルゴンのような希ガスを用いることができる。
【００４７】
続いて、本形態のイオナイザの機能について説明する。清浄ガス供給部４０により高圧の清浄ガスが供給され、主流路部１６を流れる。この場合、図５，図６中のｃ点を見ると、上流側流路部である主流路部１６から分岐されて２本の下流側流路部である第１分岐流路部１７ａへ流れる。この場合、それぞれの第１分岐流路部１７ａの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の４個づつとなるようにしている。このようにｃ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第１分岐流路部１７ａへはｃ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００４８】
さらに、図５，図６中のｄ点を見ると、上流側流路部である第１分岐流路部１７ａから分岐されて２本の下流側流路部である第２分岐流路部１７ｂへ流れる。この場合、それぞれの第２分岐流路部１７ｂの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の２個づつとなるようにしている。このようにｄ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第２分岐流路部１７ｂへはｄ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
同様に、図５，図６中のｅ点を見ると、上流側流路部である第１分岐流路部１７ａから分岐されて２本の下流側流路部である第２分岐流路部１７ｂへ流れる。この場合、それぞれの第２分岐流路部１７ｂの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の２個づつとなるようにしている。このようにｅ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第２分岐流路部１７ｂへはｅ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００４９】
さらに、図５，図６中のｆ点を見ると、上流側流路部である第２分岐流路部１７ｂから分岐されて２本の下流側流路部である第３分岐流路部１７ｃへ流れる。この場合、それぞれの第３分岐流路部１７ｃの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の１個づつとなるようにしている。このようにｆ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第３分岐流路部１７ｃへはｆ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
同様に、図５，図６中のｇ点，ｈ点，ｉ点を見ると、それぞれ上流側流路部である第２分岐流路部１７ｂから分岐されて２本の下流側流路部である第３分岐流路部１７ｃへ接続される。この場合、それぞれの第３分岐流路部１７ｃの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の１個づつとなるようにしている。このようにｇ点，ｈ点，ｉ点では何れも下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第３分岐流路部１７ｃへはｇ点，ｈ点，ｉ点で何れも同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００５０】
これら全ての噴射ノズル１８からほぼ等しい流量の清浄ガスが噴射される。このようなイオナイザによれば、清浄ガスの噴射量・噴射圧力・噴射速度が場所によらず一定になってイオン噴射量の均一化が見込め、その結果イオンバランスの均一化を図ることができる。さらに、前記のような、環状配線部に直流プラス高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、環状配線部に直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、環状配線部に交流高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、二本の環状配線部でそれぞれ直流プラス高電圧と直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、二本の環状配線部でそれぞれ位相をずらした交流高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、または、二本の環状配線部でそれぞれ位相をずらしたパルス交流高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、では全ての放電電極１２に印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化も図ることができる。これらイオン生成量やイオン噴射量の均一化という効果が相乗的に相俟って、更なるイオンバランスの均一化を図り、高精度な除電能力を確保することができる。さらに上記イオナイザでは高圧電源発生部の外付け型・内部組み込み型の何れでも採用できる。
【００５１】
このようなイオナイザによれば、複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、さらに清浄ガスの噴射量・噴射圧力・噴射速度に起因するイオン噴射量も均一化させたため除電能力を向上させることができる。
【００５２】
続いて、他の形態のイオナイザについて図を参照しつつ説明する。図７は他の形態のイオナイザの接続関係の説明図である。本形態では、先の図５，図６を用いて説明したイオナイザと同様に、放電電極の周囲から清浄ガスを噴射しつつイオンを生成する形態であるが、その流体系回路のみ変更している。電気系回路は、図１〜図４を用いて説明したイオナイザ１，２，３の何れかの形態である。また、図１２を用いて説明したイオナイザ１００の電気系回路と本形態の流体系回路とを組み合わせる構成としても効果が見込める。
【００５３】
イオナイザの流路部について説明する。
主流路部１６は、清浄ガス供給部４０と連通するように接続される。
２流路の第１分岐流路部１７ａは、主流路部１６とｊ点で連通する。第１分岐流路部１７ａは２流路設けられる。
２流路の第２分岐流路部１７ｂは、第１分岐流路部１７ａとｋ点で連通する。そして、ｌ点でも同様に、他の２流路の第２分岐流路部１７ｂが、第１分岐流路部１７ａと連通する。第２分岐流路部１７ｂは４流路設けられる。
３流路の第３分岐流路部１７ｃは、第２分岐流路部１７ｂとｍ点で連通する。そして、ｎ点，ｏ点，ｐ点でも同様に、他の３流路の第３分岐流路部１７ｃが、第２分岐流路部１７ｂと連通する。第３分岐流路部１７ｃは１２流路設けられる。
これら主流路部１６、第１分岐流路部１７ａ、第２分岐流路部１７ｂ、第３分岐流路部１７ｃにより本発明の流路が形成される。
【００５４】
続いて、本形態のイオナイザの機能について説明する。清浄ガス供給部４０により高圧の清浄ガスが供給され、主流路部１６を流れる。この場合、図７中のｊ点を見ると、上流側流路部である主流路部１６から分岐されて２本の下流側流路部である第１分岐流路部１７ａへ流れる。この場合、それぞれの第１分岐流路部１７ａの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の６個づつとなるようにしている。このようにｊ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第１分岐流路部１７ａへはｊ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００５５】
さらに、図７中のｋ点を見ると、上流側流路部である第１分岐流路部１７ａから分岐されて２本の下流側流路部である第２分岐流路部１７ｂへ流れる。この場合、それぞれの第２分岐流路部１７ｂの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の３個づつとなるようにしている。このようにｋ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第２分岐流路部１７ｂへはｋ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
同様に、図７中のｌ点を見ると、上流側流路部である第１分岐流路部１７ａから分岐されて２本の下流側流路部である第２分岐流路部１７ｂへ流れる。この場合、それぞれの第２分岐流路部１７ｂの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の３個づつとなるようにしている。このようにｌ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第２分岐流路部１７ｂへはｌ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００５６】
さらに、図７中のｍ点を見ると、上流側流路部である第２分岐流路部１７ｂから分岐されて３本の下流側流路部である第３分岐流路部１７ｃへ流れる。この場合、それぞれの第３分岐流路部１７ｃの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の１個づつとなるようにしている。このようにｍ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、３流路の第３分岐流路部１７ｃへはｍ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
同様に、図７中のｎ点，ｏ点，ｐ点を見ると、それぞれ上流側流路部である第２分岐流路部１７ｂから分岐されて３本の下流側流路部である第３分岐流路部１７ｃへ接続される。この場合、それぞれの第３分岐流路部１７ｃの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の１個づつとなるようにしている。このようにｎ点，ｏ点，ｐ点では何れも下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、３流路の第３分岐流路部１７ｃへはｎ点，ｏ点，ｐ点で何れも同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００５７】
このように構成しても全ての噴射ノズルからほぼ等しい流量の清浄ガスが噴射される。このようなイオナイザによれば、清浄ガスの噴射量・噴射圧力・噴射速度の均一化が見込め、イオンバランスの均一化を図ることができる。さらに、前記のような、環状配線部に直流プラス高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、環状配線部に直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、環状配線部に交流高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、二本の環状配線部でそれぞれ直流プラス高電圧と直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、二本の環状配線部でそれぞれ位相をずらした交流高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、または、二本の環状配線部でそれぞれ位相をずらしたパルス交流高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、では全ての放電電極１２に印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化も図ることができる。これらイオン生成量やイオン噴射量の均一化という効果が相乗的に相俟って、更なるイオンバランスの均一化を図り、高精度な除電能力を確保することができる。さらに上記イオナイザでは高圧電源発生部の外付け型・内部組み込み型の何れでも採用できる。
【００５８】
このようなイオナイザによれば、複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、さらに清浄ガスの噴射量も均一化させたため除電能力を向上させることができる。
【００５９】
続いて、他の形態のイオナイザについて図を参照しつつ説明する。図８は他の形態のイオナイザの接続関係の説明図である。本形態では、先の図５，図６を用いて説明したイオナイザと同様に、放電電極の周囲から清浄ガスを噴射しつつイオンを生成する形態であるが、その流体系回路のみ変更している。電気系回路は、図１〜図４を用いて説明したイオナイザ１，２，３の何れかの形態である。また、図１２を用いて説明したイオナイザ１００の電気系回路と本形態の流体系回路とを組み合わせる構成としても効果が見込める。
【００６０】
イオナイザの流路部について説明する。
主流路部１６は、清浄ガス供給部４０と連通するように接続される。
２流路の第１分岐流路部１７ａは、主流路部１６とｑ点で連通する。第１分岐流路部１７ａは２流路設けられる。
３流路の第２分岐流路部１７ｂは、第１分岐流路部１７ａとｒ点で連通する。そして、ｓ点でも同様に、他の３流路の第２分岐流路部１７ｂが、第１分岐流路部１７ａと連通する。第２分岐流路部１７ｂは６流路設けられる。
２流路の第３分岐流路部１７ｃは、第２分岐流路部１７ｂとｔ点で連通する。そして、ｕ点，ｖ点，ｗ点，ｘ点，ｙ点でも同様に、他の２流路の第３分岐流路部１７ｃが、第２分岐流路部１７ｂと連通する。第３分岐流路部１７ｃは１２流路設けられる。
これら主流路部１６、第１分岐流路部１７ａ、第２分岐流路部１７ｂ、第３分岐流路部１７ｃにより本発明の流路が形成される。
【００６１】
続いて、本形態のイオナイザの機能について説明する。清浄ガス供給部４０により高圧の清浄ガスが供給され、主流路部１６を流れる。この場合、図８中のｑ点を見ると、上流側流路部である主流路部１６から分岐されて２本の下流側流路部である第１分岐流路部１７ａへ流れる。この場合、それぞれの第１分岐流路部１７ａの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の６個づつとなるようにしている。このようにｑ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第１分岐流路部１７ａへはｑ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００６２】
さらに、図８中のｒ点を見ると、上流側流路部である第１分岐流路部１７ａから分岐されて３本の下流側流路部である第２分岐流路部１７ｂへ流れる。この場合、それぞれの第２分岐流路部１７ｂの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の２個づつとなるようにしている。このようにｒ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、３流路の第２分岐流路部１７ｂへはｒ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
同様に、図８中のｓ点を見ると、上流側流路部である第１分岐流路部１７ａから分岐されて３本の下流側流路部である第２分岐流路部１７ｂへ流れる。この場合、それぞれの第２分岐流路部１７ｂの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の２個づつとなるようにしている。このようにｓ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、３流路の第２分岐流路部１７ｂへはｓ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００６３】
さらに、図８中のｔ点を見ると、上流側流路部である第２分岐流路部１７ｂから分岐されて２本の下流側流路部である第３分岐流路部１７ｃへ流れる。この場合、それぞれの第３分岐流路部１７ｃの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の１個づつとなるようにしている。このようにｔ点で下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第３分岐流路部１７ｃへはｔ点で同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
同様に、図８中のｕ点，ｖ点，ｗ点，ｘ点，ｙ点を見ると、それぞれ上流側流路部である第２分岐流路部１７ｂから分岐されて２本の下流側流路部である第３分岐流路部１７ｃへ接続される。この場合、それぞれの第３分岐流路部１７ｃの下流に含まれる噴射ノズル１８の個数（噴射ノズル１８に接続される第３分岐流路部１７ｃの本数）が同数の１個づつとなるようにしている。このようにｕ点，ｖ点，ｗ点，ｘ点，ｙ点では何れも下流側の噴射ノズル１８（第３分岐流路部１７ｃ）が同数になるように配慮したため、２流路の第３分岐流路部１７ｃへはｕ点，ｖ点，ｗ点，ｘ点，ｙ点で何れも同じ流量の清浄ガスが分配して流される。
【００６４】
このように構成しても全ての噴射ノズルからほぼ等しい流量の清浄ガスが噴射される。このようなイオナイザによれば、清浄ガスの噴射量・噴射圧力・噴射速度の均一化が見込め、イオンバランスの均一化を図ることができる。さらに、前記のような、環状配線部に直流プラス高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、環状配線部に直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、環状配線部に交流高電圧が印加されるイオナイザ（図１，図２，図３参照）、二本の環状配線部でそれぞれ直流プラス高電圧と直流マイナス高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、二本の環状配線部でそれぞれ位相をずらした交流高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、または、二本の環状配線部でそれぞれ位相をずらしたパルス交流高電圧が印加されるイオナイザ（図４参照）、では全ての放電電極１２に印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化も図ることができる。これらイオン生成量やイオン噴射量の均一化という効果が相乗的に相俟って、更なるイオンバランスの均一化を図り、高精度な除電能力を確保することができる。さらに上記イオナイザでは高圧電源発生部の外付け型・内部組み込み型の何れでも採用できる。
【００６５】
このようなイオナイザによれば、複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、さらに清浄ガスの噴射量も均一化させたため除電能力を向上させることができる。
【００６６】
図４〜図８を用いて説明したイオナイザの流体系回路では、その本質は、上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞれの下流側流路部に含まれる噴射ノズルの個数が同数となるようになされた流路部を含み、流路部を通じて清浄ガスを供給する流体系回路とすれば、同じ流量の清浄ガスが分配して流されることとなり、イオンバランスの均一化に寄与する。放電電極の数も適宜選択できるようになる。
【００６７】
続いて、上記した形態のイオナイザをシステム化したイオナイザシステムについて図を参照しつつ説明する。図９は本形態のイオナイザシステムのシステム構成図である。本形態では図１〜図４を用いて説明した上記のイオナイザ１，２，３を複数配列し、中央電源部５０をこれら複数のイオナイザ１，２，３をに放射接続する構成である。中央電源部５０から供給される電圧が変動したとしても、各イオナイザ１，２，３の高圧電源発生部３０で電圧を所定振幅の電圧等にしてから環状配線部１３に供給すれば、全てのイオナイザ１，２，３でイオンバランスを均一化できる。また、中央電源部５０で同じ振幅の電源電圧を供給しても良い。
【００６８】
このようなイオナイザシステムによれば、複数のイオナイザや、イオナイザの放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、除電能力を向上させることができる。
【００６９】
続いて、上記した形態のイオナイザをシステム化した他のイオナイザシステムについて図を参照しつつ説明する。図１０は他の形態のイオナイザシステムのシステム構成図である。本形態では図１〜図４を用いて説明した上記のイオナイザ１，２，３を複数配列し、中央電源部５０にこれら複数のイオナイザ１，２，３を並列接続する構成である。この場合でも、中央電源部５０から供給される電圧が変動したとしても、各イオナイザの高圧電源発生部２０で電圧を所定振幅の電圧等にしてから環状配線部１３に供給すれば、全てのイオナイザ１，２，３でイオンバランスを均一化できる。
【００７０】
このようなイオナイザシステムによれば、複数のイオナイザや、イオナイザの放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、除電能力を向上させることができる。
【００７１】
続いて、上記したイオナイザシステムに流体系回路を加えたシステムについて図を参照しつつ説明する。図１１は他の形態のイオナイザシステムのシステム構成図である。本形態では図９，図１０を用いて説明した上記の複数のイオナイザ１，２，３がさらに図５〜図８を用いて説明したような流体系回路を備え、清浄ガス供給部４０にこれら複数のイオナイザ１，２，３の流体系回路を放射接続する構成である（図１１では噴射ノズル１８を４個備えた形態としているが図５〜図８のように８個として良い）。清浄ガス供給部４０から供給される清浄ガスに噴射圧を均一化することで、全てのイオナイザでイオンバランスを均一化できる。
【００７２】
このようなイオナイザシステムによれば、複数のイオナイザや、イオナイザの放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、さらに清浄ガスの噴射量も均一化させたため除電能力を向上させることができる。
【００７３】
以上本形態のイオナイザおよびイオナイザシステムについて図を参照しつつ説明した。先の説明において放電電極や電極ユニットの個数も８個や１２個であるものとして説明した。しかしながら、放電電極の個数は設計時に適宜選択できるものであり、例えば、１６個や１８個の電極ユニットを有するイオナイザなど、電極ユニットを適宜増やしたイオナイザを採用できる。
【００７４】
このようなイオナイザによれば、複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図り、さらに清浄ガスの噴射量も均一化させてイオン噴射量の均一化を実現したため除電能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明を実施するための最良の形態のイオナイザの外観図である。
【図２】本発明を実施するための最良の形態のイオナイザの説明図であり、図２（ａ）はイオナイザの電気系内部ブロック図、図２（ｂ）は放電電極の接続位置別の印加電圧を説明する説明図である。
【図３】他の形態のイオナイザの電気系内部ブロック図である。
【図４】他の形態のイオナイザの電気系内部ブロック図である。
【図５】他の形態のイオナイザの流体系内部ブロック図である。
【図６】流体系回路の接続関係の説明図である。
【図７】他の形態のイオナイザの流体系回路の接続関係の説明図である。
【図８】他の形態のイオナイザの流体系回路の接続関係の説明図である。
【図９】本発明を実施するための最良の形態のイオナイザシステムのシステム構成図である。
【図１０】他の形態のイオナイザシステムのシステム構成図である。
【図１１】他の形態のイオナイザシステムのシステム構成図である。
【図１２】従来技術のイオナイザの説明図であり、図１２（ａ）は電気系内部ブロック図、図１２（ｂ）は針状電極の位置における印加電圧の相違を説明する説明図である。
【図１３】従来技術のイオナイザの説明図であり、図１３（ａ）は流体系内部ブロック図、図１３（ｂ）は噴射ノズルの位置における清浄ガスの噴射量等の相違を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００７６】
１，２，３：イオナイザ
１０：イオナイザ本体
１１：ケース体
１２，１２ａ，１２ｂ：放電電極
１３，１３ａ，１３ｂ：環状配線部
１４，１４ａ，１４ｂ：分岐配線部
１５，２０：高圧電源発生部
１６：主流路部
１７ａ：第１分岐流路部
１７ｂ：第２分岐流路部
１７ｃ：第３分岐流路部
１８：噴射ノズル
３０：電源供給線
４０：清浄ガス供給部
５０：中央電源部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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