(57)【要約】【課題】各ノズルから吐出される液滴の量を均一化することができ、かつ全てのノズルから吐出を行うことができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド５は、ノズルＮの各々に対応して設けられた圧力発生手段（振動板２０、圧電素子ＰＺ）によって容積が変化する圧力室２４と、複数のノズルＮに共通して設けられ機能液を貯留する共通貯留室２２と、共通貯留室２２と圧力室２４とを連通する供給流路２４ａと、を備え、複数のノズルＮの配列方向の両端部５ｅ，５ｅにおける供給流路２４ａの流路抵抗が、中央部５ｍにおける供給流路２４ａの流路抵抗よりも増加するように設けられていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出させる複数のノズルと、前記ノズルの各々に対応して設けられ前記ノズルから前記機能液を吐出させる圧力発生手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記液滴吐出ヘッドは、前記ノズルの各々に対応して設けられ前記圧力発生手段によって圧力が変化する圧力室と、前記複数のノズルに共通して設けられ前記機能液を貯留する共通貯留室と、前記共通貯留室と前記圧力室とを連通する供給流路と、を備え、
前記複数のノズルの配列方向の両端部における前記供給流路の流路抵抗が、中央部における前記供給流路の流路抵抗よりも増加するように設けられていること
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記両端部における前記供給流路の断面積が、前記中央部における前記供給流路の断面積よりも小さいこと
を特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記両端部における前記供給流路の流路長が、前記中央部における前記供給流路の流路長よりも大きいこと
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記両端部における前記供給流路の幅が、前記中央部における前記供給流路の幅よりも小さいこと
を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えること
を特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば表示装置用のカラーフィルター基板に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のカラーフィルター層を形成する装置として液滴吐出装置（インクジェット装置）が知られている。この液滴吐出装置は、ピエゾ素子等の圧電素子を駆動することで液滴を吐出可能なノズルが複数形成された液滴吐出ヘッドを備えている。そして、この液滴吐出ヘッドを走査させつつ、ノズルからカラーフィルター材料の液滴を吐出することにより、カラーフィルター基板上の画素領域にカラーフィルター層を形成するものである。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドの各ノズルによる液滴の吐出量にばらつきがあるという課題がある。例えば、液滴吐出ヘッドのノズルの配列方向の両端部では、ノズルから吐出される液滴の量が中央部よりも多くなる。このようなノズルの位置による液滴の吐出量のばらつきは、例えば液滴として吐出するカラーフィルター材料等の機能液を貯留する共通貯留室（インクリザーバー）の形状に起因している。各ノズルの液滴の吐出量にばらつきが発生すると、均一な膜厚のカラーフィルター層を形成することができず、すじムラなどの表示不良の原因となる。
【０００５】
特許文献１では、このような吐出量のばらつきを抑制するために、ノズルの配列方向の両端部に位置するノズルからは液滴の吐出を行わないようにしている。これにより、吐出量のばらつきを改善することができる。しかし、吐出を行わないノズルが存在すると、液滴吐出ヘッドの描画領域が縮小し、カラーフィルター等の成膜における生産性が低下してしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、各ノズルから吐出される液滴の量を均一化することができ、かつ全てのノズルから吐出を行うことができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記ノズルの各々に対応して設けられ前記ノズルから前記機能液を吐出させる圧力発生手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記液滴吐出ヘッドは、前記ノズルの各々に対応して設けられ前記圧力発生手段によって圧力が変化する圧力室と、前記複数のノズルに共通して設けられ前記機能液を貯留する共通貯留室と、前記共通貯留室と前記圧力室とを連通する供給流路と、を備え、前記複数のノズルの配列方向の両端部における前記供給流路の流路抵抗が、中央部における前記供給流路の流路抵抗よりも増加するように設けられていることを特徴とする。
【０００８】
このように構成することで、駆動素子を駆動させ、振動板を駆動素子によって振動させると、圧力室の容積が増減する。圧力室の容積が増加すると圧力室内に貯留された機能液の圧力が低下し、共通貯留室に貯留された機能液が供給流路を介して圧力室内に供給される。次いで、圧力室の容積が減少すると、圧力室内の圧力が上昇してノズルから機能液の液滴が吐出される。
ここで、共通貯留室の両端部における断面積が中央部よりも減少しているため、圧力室へ機能液が流入する際には、共通貯留室の両端部において共通貯留室内の機能液の流速が増加する。そのため、共通貯留室の中央部よりも両端部において機能液が供給流路を介して圧力室に流入しやすくなる。
しかし、共通貯留室の両端部における供給流路の流路抵抗が中央部の共通流路の流路抵抗よりも大きくなるように設けられている。そのため、共通貯留室の中央部よりも両端部において機能液が共通流路を介して圧力室に流入し難くなる。すなわち、共通貯留室の形状に起因する圧力室への機能液の流入量の増加を、供給流路の流路抵抗の増加による圧力室への機能液の流入量の減少により相殺することができる。
したがって、共通貯留室の形状にかかわらず、各ノズルに対応する圧力室に機能液を均一に流入させ、各ノズルから吐出される液滴の量を均一化することができる。また、全てのノズルの吐出量を均一化することができるので、全てのノズルから吐出を行うことができる。
【０００９】
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、前記両端部における前記供給流路の断面積が、前記中央部における前記供給流路の断面積よりも小さいことを特徴とする。
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、前記両端部における前記供給流路の流路長が、前記中央部における前記供給流路の流路長よりも大きいことを特徴とする。
このように構成することで、液滴吐出ヘッドの両端部における供給流路の流路抵抗を中央部における供給流路の流路抵抗よりも大きくすることができる。
【００１０】
前記両端部における前記供給流路の幅が、前記中央部における前記供給流路の幅よりも小さいことを特徴とする。
このように構成することで、通常の液滴吐出ヘッドの製造方法を用いて、容易に液滴吐出ヘッドの両端部における供給流路の流路抵抗を中央部における供給流路の流路抵抗よりも大きくすることができる。
【００１１】
また、本発明の液滴吐出装置は、上記いずれかの液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
このように構成することで、吐出ヘッドの共通貯留室の形状にかかわらず、各ノズルに対応する圧力室に機能液を均一に流入させ、各ノズルから吐出される液滴の量を均一化することができる。また、全てのノズルの吐出量を均一化することができるので、全てのノズルから吐出を行うことができる。したがって、液滴吐出ヘッドの描画領域が縮小することなく、カラーフィルター等の成膜における生産性が低下することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態における液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態における液滴吐出ヘッドであり、（ａ）は底面図、（ｂ）は部分分解斜視図、（ｃ）は断面図である。
【図３】図２に示す液滴吐出ヘッドの供給流路の幅と液滴吐出量との関係を示すグラフである。
【図４】図２に示す液滴吐出ヘッドの各ノズルの液滴吐出量を示すグラフである。
【図５】従来の液滴吐出ヘッドの各ノズルの液滴吐出量を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各図面では、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、部材毎に縮尺を適宜変更している。本実施形態の液滴吐出装置は、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板（液滴吐出対象物）上にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置である。
【００１４】
図１は、本実施形態における液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。
図１に示すように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０及び制御装置１１を備えている。
【００１５】
以下では、図１に示すようにＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。ここで、ワークステージ２は水平面と平行に設けられている。すなわち、Ｘ軸及びＹ軸は水平面と平行で、Ｚ軸は鉛直方向と平行になっている。
【００１６】
装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３を支持する支持台である。
ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されている。また、ワークステージ２は、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルター基板Ｐを、真空吸着機構により保持するように設けられている。
【００１７】
ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。
キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するように設けられ、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。
【００１８】
液滴吐出ヘッド５は、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルター材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられている。液滴吐出ヘッド５の各々には、キャリッジ４を介してチューブ７が連結されている。
【００１９】
Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５に連結されたチューブ７は、Ｒ（赤）用のカラーフィルター材料を貯蔵する第１タンク８に接続されている。Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５に連結されたチューブ７は、Ｇ（緑）用のカラーフィルター材料を貯蔵する第２タンク９に接続されている。Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５に連結されたチューブ７は、Ｂ（青）用のカラーフィルター材料を貯蔵する第３タンク１０に接続されている。
【００２０】
これにより、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５の各々には、第１タンク８、第２タンク９、及び第３タンク１０から、チューブ７を介してそれぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のカラーフィルター材料が供給されるようになっている。
【００２１】
キャリッジ移動装置６は、装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えている。キャリッジ移動装置６は、制御装置１１から入力される制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００２２】
制御装置１１は、制御信号として、ステージ移動装置３に対してワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置を出力するように構成されている。また、キャリッジ移動装置６に対してキャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置を出力するように構成されている。また、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板（図示略）に描画データ及び駆動制御信号を出力するように構成されている。
【００２３】
図２（ａ）は、一の液滴吐出ヘッド５の底面図である。図２（ｂ）は、一の液滴吐出ヘッド５を部分的に切断して表した斜視図である。図２（ｃ）は、図２（ａ）に示すノズルＮの配列方向（Ｙ方向）に沿う一の液滴吐出ヘッド５の断面図である。
【００２４】
図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５はノズルプレート２１、隔壁部材２３、振動板２０及び圧電素子ＰＺ（圧力発生手段）を備えている。
ノズルプレート２１には、図２（ａ）に示すように、長方形のノズルプレート２１の長辺方向（Ｙ軸）と平行な配列方向に一列に配置された複数（例えば１８０個）のノズルＮが形成されている。ノズルＮは、図２（ｃ）に示すように、ノズルプレート２１を貫通するように形成されている。
【００２５】
隔壁部材２３は、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すようにノズルプレート２１に接合され、共通貯留室（リザーバー）２２、圧力室（キャビティー）２４、及び、供給流路２４ａを区画している。隔壁部材２３は、例えばシリコン基板をエッチングし、共通貯留室２２、圧力室２４、及び供給流路２４ａに対応する部分を選択的に除去することにより形成されている。隔壁部材２３には、共通貯留室２２、圧力室２４、及び供給流路２４ａの上部を封止するように振動板２０が接合されている。
【００２６】
これにより、共通貯留室２２及び圧力室２４は、ノズルプレート２１、隔壁部材２３、振動板２０によって囲まれてカラーフィルター材料を貯留するように設けられている。同様に、供給流路２４ａは、ノズルプレート２１、隔壁部材２３、振動板２０によって囲まれ、共通貯留室２２に貯留されたカラーフィルター材料を各々の圧力室２４に供給する流路として形成されている。
【００２７】
振動板２０上には、各々の圧力室２４に対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは例えばピエゾ素子であり、図２（ｃ）に示すように、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものである。圧電素子ＰＺは、一対の電極２６に駆動回路基板（図示略）から供給される電圧波形に応じて圧電材料２５が収縮し、振動板２０を圧力室２４方向（Ｚ軸方向）に振動させるようになっている。また、振動板２０には、図１に示すチューブ７が連結される供給口２０ａが形成されている。
【００２８】
共通貯留室２２は複数のノズルＮに共通して設けられ、図１に示すチューブ７を介して液滴吐出ヘッド５に供給されたカラーフィルター材料を貯留するようになっている。共通貯留室２２は、図２（ａ）に示すように、Ｚ軸方向（鉛直方向）から見て台形状の形状に形成されている。そのため、液滴吐出ヘッド５のノズルＮの配列方向の両端部５ｅ，５ｅにおける共通貯留室２２のＸ軸に沿う断面積は、液滴吐出ヘッド５の中央部５ｍにおける共通貯留室２２のＸ軸に沿う断面積よりも小さくなっている。
【００２９】
圧力室２４は各々のノズルＮに対応して設けられ、共通貯留室２２から供給流路２４ａを介して供給されるカラーフィルター材料を貯留するようになっている。圧力室２４は、振動板２０の振動により容積が変化する。
【００３０】
供給流路２４ａは、共通貯留室２２と圧力室２４の各々とを連通する流路である。本実施形態では、図２（ａ）に示す液滴吐出ヘッド５のノズルＮの配列方向の両端部５ｅ，５ｅにおいて、中央部５ｍよりも供給流路２４ａの流路抵抗が増加するように設けられている。すなわち、共通貯留室２２の断面積の減少に応じて供給流路２４ａの流路抵抗を増加させている。具体的には、図２（ｂ）に示すように、供給流路２４ａの幅Ｗ、高さＨ、及び流路長ＦＬを調整することで、流路抵抗を増減させている。
【００３１】
本実施形態では、共通貯留室２２の断面積の減少に応じてノズルプレート２１の長辺方向に沿う方向（ノズルＮの配列方向）の供給流路２４ａの幅Ｗを減少させている。これにより、液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅにおける供給流路２４ａの断面積が、中央部５ｍにおける供給流路２４ａの断面積よりも小さくなっている。また、液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅに近づくほど、供給流路２４ａの断面積が小さくなっている。
【００３２】
図１に示す液滴吐出装置ＩＪによってカラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルター層を形成する際には、まず、第１タンク８〜第３タンク１０からチューブ７を介して各々の液滴吐出ヘッド５にカラーフィルター材料を供給する。第１タンク８〜第３タンク１０から各々の液滴吐出ヘッド５に供給されたカラーフィルター材料は、図２（ａ）に示す供給口２０ａから共通貯留室２２へ導入される。共通貯留室２２を満たしたカラーフィルター材料は、供給流路２４ａを介して圧力室２４の各々に導入される。これにより、液滴吐出ヘッド５の共通貯留室２２及び圧力室２４は、カラーフィルター材料によって満たされた状態となる。
【００３３】
また、ワークステージ２上にカラーフィルター基板Ｐを保持し、制御装置１１によりステージ移動装置３に制御信号を出力し、ステージ移動装置３を駆動させてワークステージ２をＸ軸方向の所定の位置に移動させる。また、制御装置１１によりキャリッジ移動装置６に制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６を駆動させてキャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向の所定の位置に移動させる。
【００３４】
キャリッジ４がカラーフィルター基板Ｐ上の所定の位置に到達したら、制御装置１１は液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板（図示略）に描画データ及び駆動制御信号を出力する。駆動回路基板は入力された駆動制御信号に基づいて圧電素子ＰＺに電圧波形を供給する。圧電素子ＰＺは、入力された電圧波形に応じて収縮し、振動板２０を圧力室２４と反対の方向（Ｚ軸方向）に膨出するように変形させる。すると、圧力室２４の容積が増加し、圧力室２４内の圧力が減少する。これにより、共通貯留室２２から圧力室２４内にカラーフィルター材料が流入する。
【００３５】
次いで、圧電素子ＰＺが供給された電圧波形に応じて元の形状に戻り、圧力室２４と反対方向に変形した振動板が元の形状に戻る。これにより、圧力室２４の容積が減少し、圧力室２４内の圧力が上昇する。すると、ノズルＮからカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。複数のノズルＮから吐出された液滴Ｌは、図１に示すカラーフィルター基板Ｐ上の所定の領域に着弾し、カラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルター層が形成される。
【００３６】
ここで、図２（ａ）に示すように、共通貯留室２２は液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅにおいて中央部５ｍよりも断面積が小さくなる台形状の形状に形成されている。そのため、圧力室２４にカラーフィルター材料が流入する際には、液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅにおいてカラーフィルター材料の流速が増加する。カラーフィルター材料の流速が増加すると、カラーフィルター材料が供給流路２４ａを介して圧力室２４内に流入しやすくなる。
【００３７】
図５は、従来の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置のノズルの位置と液滴の吐出量との関係を示すグラフである。横軸は液滴吐出ヘッドのノズルの配列方向の位置、縦軸は液滴の吐出量を表している。
図５に示すように、従来の液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの両端部においてカラーフィルター材料の流速が増加し、両端部の圧力室により多くのカラーフィルター材料が流入した結果、液滴吐出ヘッドの両端部の液滴吐出量が中央部の液滴吐出量よりも多くなっていた。
【００３８】
一方、本実施形態の液滴吐出ヘッド５では、共通貯留室２２の断面積の減少に応じて供給流路２４ａの幅Ｗを減少させている。これにより、液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅにおける供給流路２４ａの断面積を、中央部５ｍにおける供給流路２４ａの断面積よりも小さくしている。また、液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅに近づくほど、供給流路２４ａの断面積が小さくなっている。これにより、図２（ａ）に示す液滴吐出ヘッド５のノズルＮの配列方向の両端部５ｅ，５ｅにおいて、中央部５ｍよりも供給流路２４ｅの流路抵抗が増加するようになっている。
【００３９】
図３は、供給流路２４ａの幅Ｗと液滴Ｌの吐出量との関係を示すグラフである。
図３に示すように、供給流路２４ａの幅Ｗと液滴Ｌの吐出量は、直線により近似可能な比例関係を示している。本実施形態では、この供給流路２４ａの幅Ｗと液滴Ｌの吐出量との比例関係を用いて、各々のノズルＮからの液滴Ｌの吐出量が均一化されるように、各々のノズルＮに対応する供給流路２４ａの幅Ｗを決定している。
【００４０】
本実施形態では、液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅにおける供給流路２４ａの流路抵抗が中央部５ｍの供給流路２４ａの流路抵抗よりも大きくなるように設けられている。そのため、液滴吐出ヘッド５の中央部５ｍよりも両端部５ｅ，５ｅにおいてカラーフィルター材料が供給流路２４ａを介して圧力室２４に流入し難くなる。すなわち、共通貯留室２２の形状に起因する圧力室２４へのカラーフィルター材料の流入量の増加を、供給流路２４ａの流路抵抗の増加による圧力室２４へのカラーフィルター材料の流入量の減少により相殺することができる。
【００４１】
図４は、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪのノズルＮの位置と液滴Ｌの吐出量との関係を示すグラフである。横軸は液滴吐出ヘッド５のノズルＮの配列方向の位置、縦軸は液滴Ｌの吐出量を表している。
図４に示すように、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪによれば、共通貯留室２２の形状にかかわらず、各ノズルＮに対応する圧力室２４にカラーフィルター材料を均一に流入させ、各ノズルＮから吐出される液滴Ｌの量を均一化することができる。また、全てのノズルＮの液滴Ｌの吐出量を均一化することができるので、全てのノズルＮから吐出を行うことができる。
【００４２】
また、本実施形態では、共通貯留室２２の断面積の減少に応じて供給流路２４ａの幅Ｗを調整することで、供給流路２４ａの流路抵抗を調整している。そのため、フォトリソグラフィー、エッチング等による通常の製造方法により、容易に液滴吐出ヘッド５の両端部５ｅ，５ｅにおける供給流路２４ａの流路抵抗を、中央部５ｍにおける供給流路２４ａの流路抵抗よりも大きくすることができる。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態の液滴吐出ヘッド５及び液滴吐出装置ＩＪによれば、各ノズルＮから吐出される液滴Ｌの量を均一化することができ、かつ全てのノズルＮから吐出を行うことができる。したがって、液滴吐出ヘッド５の描画領域が縮小することなく、カラーフィルターの成膜における生産性が低下することを防止できる。
【００４４】
尚、この発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、圧力発生手段として、圧電素子及び振動板以外の構成を用いてもよい。本発明は、例えば機能液を加熱して気泡の発生させることで圧力室の圧力を変化させる圧力発生手段を備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に適用することも可能である。
また、供給流路２４ａの流路抵抗の調整は、供給流路２４ａの流路長の調整や供給流路２４ａの高さを調整することで行ってもよい。また、これらを組み合わせて供給流路２４ａの流路抵抗を調整してもよい。
また、共通貯留室の形状は、図２（ａ）に示す形状及び配置に限定されない。例えば、台形形状の共通貯留室の上辺と下辺とを逆転させ、液滴吐出ヘッドの両端部における供給流路の長さを長くするようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
５  液滴吐出ヘッド、５ｅ  端部、５ｍ  中央部、２０  振動板（圧力発生手段）、２２  共通貯留室、２４  圧力室、２４ａ  供給流路、ＦＬ  流路長、ＩＪ  液滴吐出装置、Ｎ  ノズル、ＰＺ  圧電素子（圧力発生手段）、Ｗ  幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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