(57)【要約】【課題】基板Ｗの搬送中における基板Ｗと浮上ユニット２３等との干渉を回避しつつ、浮上搬送装置１による基板Ｗの搬送効率を十分に高めること。【解決手段】搬送方向に隣接関係にある搬送ローラ２３間に負圧を発生させるための負圧空間Ｓを区画する壁部材４１と、負圧空間Ｓに連通しかつ空気吸引源４９に接続された吸引パイプ４７と、を具備したこと。【選択図】    図１
2010116220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームの搬送領域に前記搬送方向に沿って配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置フレームにおける前記搬送領域の両側に前記搬送方向に沿って間隔を置いてかつ搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能にそれぞれ設けられ、基板の裏面を直接的又は間接的に支持する複数の搬送ローラと、
複数の前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送アクチュエータと、
前記搬送方向に隣接関係にある前記搬送ローラ間に負圧を発生させるための負圧空間を区画する壁部材と、
前記負圧空間に連通してあって、空気吸引源に接続された吸引パイプと、を具備したことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記壁部材の上縁の高さ位置が前記搬送ローラによる基板の支持高さ位置と同じか或いは僅かに低くなっていることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記搬送幅方向に隣接関係にある前記搬送ローラに巻回され、前記搬送ローラのローラ幅に応じ分だけ離隔した無端状の一対の巻回ロープと、を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記搬送幅方向に隣接関係にある前記搬送ローラに巻回され、周面に複数のベルト穴が周方向に沿って間隔を置いて貫通して形成された無端状の巻回ベルトと、を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板等の基板を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、基板の表面の清浄度を考慮した浮上搬送装置の先行技術として特許文献１及び特許文献２に示すものがある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、先行技術に係る浮上搬送装置は、搬送方向へ延びた装置フレームをベースとして具備しており、この装置フレームの搬送領域には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向へ間隔を置いて設けられている。また、各浮上ユニットの内部は、ファン等の圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）に接続されており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。
【０００４】
装置フレームにおける搬送領域の両側には、基板の裏面を直接的に支持する複数の搬送ローラが搬送方向に間隔を置いてそれぞれ設けられており、各搬送ローラは、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能である。また、装置フレームの適宜位置には、複数の搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータが設けられている。
【０００５】
従って、空気供給源を適宜に作動させて、各浮上ユニットの内部に圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させる。また、搬送モータの駆動によって複数の搬送ローラを搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、浮上搬送装置に供給された基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【特許文献２】特開２００５−１５４０４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、基板の搬送中における基板と浮上ユニット等との干渉を回避するにするには、浮上ユニットのノズルから噴出される圧縮空気の圧力を上げて、浮上ユニットの浮上性能を高める必要がある。一方、浮上ユニットのノズルから噴出させる圧縮空気の圧力を上げると、搬送ローラと基板との接触圧（摩擦力）を十分に確保することができず、搬送ローラに対する基板の滑り量が増えて、浮上搬送装置による基板の搬送効率が低下する。つまり、基板の搬送中における基板と浮上ユニット等との干渉を回避しつつ、浮上搬送装置による基板の搬送効率を高めることは困難であるという問題がある。
【０００７】
なお、特許文献２に示すように、浮上ユニットの上面に基板を吸引可能な吸引孔を搬送ローラに近接して形成した場合でも、吸引孔の吸引力が浮上ユニットの浮上力によって打ち消され、搬送ローラと基板との接触圧を十分に確保できず、前述の問題は依然として残るものである。
【０００８】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置及び搬送ローラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の特徴は、基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、装置フレームの搬送領域に前記搬送方向に沿って配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記装置フレームにおける前記搬送領域の両側に前記搬送方向に沿って間隔を置いてかつ搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能にそれぞれ設けられ、基板の裏面を直接的又は間接的に支持する複数の搬送ローラと、複数の前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送アクチュエータと、前記搬送方向に隣接関係にある前記搬送ローラ間に負圧を発生させるための負圧空間を区画する壁部材と、前記負圧空間に連通してあって、空気吸引源に接続された吸引パイプと、を具備したことを要旨とする。
【００１０】
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、同様に、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に配設されたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意であって、「搬送幅方向」とは、前記搬送方向に直交する方向のことをいう。
【００１１】
本発明の特徴によると、各浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させる。また、前記空気吸引源の作動により前記負圧空間に負圧を発生させて、基板を前記搬送ローラ側に吸引しつつ、前記搬送アクチュエータの駆動によって複数の前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、前記浮上搬送装置に供給された基板を浮上させた状態で前記搬送方向へ搬送することができる。
【００１２】
そして、前記壁部材によって前記搬送方向に隣接関係にある前記搬送ローラ間に前記負圧空間を区画し、前記吸引パイプが前記負圧空間に連通しているため、前記浮上ユニットの前記ノズルから噴出される浮上ガスの圧力を上げて、前記浮上ユニットの浮上性能を高めても、前記負圧空間の吸引力が前記浮上ユニットの浮上力によって打ち消されたり、前記搬送ローラの周方向に拡散（分散）したりすることがなく、前記搬送ローラと基板の接触圧（摩擦力）を十分に確保することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、前記浮上ユニットの前記ノズルから噴出される浮上ガスの圧力を上げて、前記浮上ユニットの浮上性能を高めても、前記搬送ローラと基板の接触圧を十分に確保することができるため、基板の搬送中における基板と前記浮上ユニット等との干渉を回避しつつ、前記浮上搬送装置による基板の搬送効率を十分に高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態について図１から図６を参照して説明する。ここで、図１は、本発明の実施形態に係る搬送ローラの周辺構造を示す斜視図、図２は、本発明の実施形態の搬送ローラの周辺構造を示す断面図、図３は、本発明の第１実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図４は、図３におけるIV-IV線に沿った図、図５は、図３における矢視部Vを示す図、図６は、図３におけるIV-IV線に沿った図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１５】
図３から図６に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを浮上させた状態で搬送方向（前後方向（前方向又は後方向））へ搬送する装置であって、前後方向へ延びた装置フレーム（支持フレーム）３を具備している。また、装置フレーム３は、前後方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。
【００１６】
支持台５の搬送領域Ａには、左右方向（搬送幅方向）へ延びかつ浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数のチャンバー１１が前後方向へ間隔を置いて設けられている。また、各チャンバー１１の下面には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を導入可能な複数の導入穴１３が貫通して形成されており、各チャンバー１１の上面には、複数の連絡穴１５が貫通して形成されている。更に、各チャンバー１１における各導入穴１３の周縁部には、空気をチャンバー１１の内部へ供給するファン（浮上ガス供給源の一例）１７がブラケット１９を介して設けられている。なお、前後方向に隣接関係にあるチャンバー１１の間には、左右方向へ延びかつ床Ｂ側に開放した開口部２１が形成されている。
【００１７】
各チャンバー１１における各連絡穴１５の周縁部には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の浮上ユニット２３が設けられており、換言すれば、支持台５の搬送領域Ａには、複数の浮上ユニット２３が複数のチャンバー１１を介して前後方向及び左右方向に沿って設けられている。また、各浮上ユニット２３の側面視形状及び正面視形状は、それぞれＴ字形状を呈してあって、各浮上ユニット２３の内部は、チャンバー１１を介してファン１７に接続されている。更に、各浮上ユニット２３の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル２５が貫通して形成されており、各ノズル２５は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、鉛直方向に対してユニット中心側（浮上ユニット２３の中心側）へ傾斜するように構成されている。なお、各浮上ユニット２３の上面に枠状のノズル２５が貫通して形成される代わりに、丸形の複数のノズルが貫通して形成されるようにしても構わない。
【００１８】
図３及び図５に示すように、支持台５における搬送領域Ａの左右両側（搬送幅方向の両側）には、搬送方向へ延びたローラ支持部材２７がそれぞれ設けられており、一対のローラ支持部材２７には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する複数の搬送ローラ２９が前後方向に沿って間隔を置いて設けられている。換言すれば、支持台５における搬送領域Ａの左右両側には、一対のローラ支持部材２７等を介して複数の搬送ローラ２９が前後方向に沿って間隔を置いて設けられている。また、各搬送ローラ２９は、ベアリング３１を介して搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能である。なお、搬送ローラ２９は、基板Ｗの裏面を直接的に支持する代わりに、基板Ｗの裏面をＯリング等の弾性体を介して間接的に支持するようにしても構わない。
【００１９】
支持台５の前側左部及び前側右部には、複数の搬送ローラ２９を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる一対の搬送モータ３３（搬送アクチュエータの一例）が設けられている。そして、支持台５における各ローラ支持部材２７の近傍には、前後方向へ延びた駆動軸３５がベアリング等を介して回転可能に設けられており、各駆動軸３５は、対応する搬送モータ３３の出力軸に連動連結してある。更に、各駆動軸３５には、複数のウォーム３７が前後方向に間隔を置いて設けられており、各搬送ローラ２９のローラ軸には、対応するウォーム３７に噛合したウォームホイール３９が一体的に設けられている。
【００２０】
図１及び図２に示すように、各ローラ支持部材２７には、略Ｕ字形状の複数の壁部材４１がブラケット４３を介して前後方向へ間隔を置いて設けられており、各壁部材４１は、搬送方向に隣接関係にある搬送ローラ２９間に負圧を発生させるため負圧空間Ｓを画定するものである。更に、搬送方向に隣接関係のある搬送ローラ２９間には、無端状の一対の巻回ロープ４５が巻回されており、一対の巻回ロープ４５は、搬送ローラ２９のローラ幅に応じた分だけ搬送幅方向（換言すれば、搬送ローラ２９のローラ幅方向）に離隔してある。なお、巻回ロープ４５は搬送ローラ２９の周面に対して径方向外側へ突出するようにしてもよく、この場合には、搬送ローラ２９は、基板Ｗの裏面を巻回ロープ４５を介して間接的に支持することになる。また、各壁部材４１の上縁の高さ位置は、巻回ロープ４５との間に隙間をつくらないため、搬送ローラ２９による基板Ｗの支持高さ位置と同じか或いは僅かに低くなっている。
【００２１】
各壁部材４１の下面の適宜位置（換言すれば、搬送方向に隣接関係にある浮上ユニット２３間の適宜位置）には、吸引パイプ（吸引口）４７が設けられている。また、各吸引パイプ４７は、負圧空間Ｓに連通してあって、空気を吸引する真空ポンプ又はエジェクタ等の共通の空気吸引源４９に配管５１を介して接続されてある。
【００２２】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００２３】
各ファン１７を適宜に作動させて、各浮上ユニット２３の内部へ圧縮空気をチャンバー１１を介して供給することにより、各浮上ユニット２３のノズル２５から圧縮空気を噴出させる。また、空気吸引源４９を適宜に作動させて、負圧空間Ｓに負圧を発生させて、基板Ｗを搬送ローラ２９側に吸引しつつ、一対の搬送モータ３３の駆動により複数の搬送ローラ２９を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、浮上搬送装置１に供給された基板Ｗを浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。
【００２４】
そして、本発明の実施形態にあっては、壁部材４１によって搬送方向に隣接関係にある搬送ローラ２９間に負圧空間Ｓを区画し、吸引パイプが前記負圧空間Ｓに連通しているため、浮上ユニット２３のノズル２５から噴出される圧縮空気の圧力を上げて、浮上ユニット２３の浮上性能を高めても、負圧空間Ｓの吸引力が浮上ユニット２３の浮上力によって打ち消されたり、搬送ローラ２９の周方向に拡散（分散）したりすることがなく、搬送方向に隣接関係にある搬送ローラ２９間の間隙に応じた面積を負圧面積として、搬送ローラ２９と基板Ｗの接触圧（摩擦力）を十分に確保することができる。
【００２５】
従って、本発明の実施形態によれば、浮上ユニット２３のノズル２５から噴出される圧縮空気の圧力を上げて、浮上ユニット２３の浮上性能を高めても、搬送ローラ２９と基板Ｗの接触圧を十分に確保できるため、基板Ｗの搬送中における基板Ｗと浮上ユニット２３等との干渉を回避しつつ、浮上搬送装置１による基板Ｗの搬送効率を十分に高めることができる。
【００２６】
（変形例）
本発明の実施形態の変形例について図６及び図７を参照して説明する。ここで、図７は、本発明の実施形態の変形例に係る搬送ローラの周辺構造を示す斜視図で、図８は、本発明の実施形態の変形例に係る搬送ローラの周辺構造を示す断面図である。
【００２７】
前述のように、搬送方向に隣接関係のある搬送ローラ２９間に無端状の一対の巻回ロープ４５が巻回される代わりに、図７及び図８に示すように、搬送方向に隣接関係のある搬送ローラ２９間に無端状の巻回ベルト５３が巻回され、各巻回ベルト５３の周面に複数のベルト穴５５が間隔を置いて貫通して形成されるようにしても構わない。
【００２８】
そして、本発明の実施形態の変形例においても、前述の本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００２９】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送ローラの周辺構造を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態の搬送ローラの周辺構造を示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図４】図３におけるIV-IV線に沿った図である。
【図５】図３における矢視部Vを示す図である。
【図６】図３におけるVI-VI線に沿った図である。
【図７】本発明の実施形態の変形例に係る搬送ローラの周辺構造を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例に係る搬送ローラの周辺構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１        浮上搬送装置
３        装置フレーム
１７        ファン
２３        浮上ユニット
２５        ノズル
２９        搬送ローラ
３３        搬送モータ
４１        壁部材
４５        巻回ロープ
４７        吸引パイプ
４９        空気吸引源
５３        巻回ベルト
５５        ベルト穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010116220.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010116220.tif 000007
【図６】
2010116220.tif 000008
【図７】
2010116220.tif 000009
【図８】
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