(57)【要約】【課題】  導波路を備えたヘッド支持機構において、ヘッドを傾かずに取り付ける。【解決手段】磁気ヘッド２をその端部に有するスライダ３が搭載されるスライダ接合面６２をその一部に有する板状の弾性支持部材６を備えたヘッド支持機構において、弾性支持部材であるフレクシャ６のスライダ接合面６２中央に、導波路４をスライダ接合面６２の長手方向に沿って配置し、導波路４は磁気ヘッド２とは反対側の一方端から延伸する構成とし、導波路４と同じ厚さの補助部材１２ａ，１２ｂを導波路４に対し平行に且つスライダ接合面６２の長手方向両側端部に配置する。【選択図】図３
2010129129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも情報を記録する磁気記録媒体と、
磁気記録媒体への情報の書き込みまたは読み出しを行う磁気ヘッドをその端部に有するスライダと、
一部に前記スライダが搭載されるスライダ接合面を有する板状の弾性支持部材と、前記ヘッドに電気的に接続される回路材と光源からの光を前記ヘッドへ導入する導波路とを前記弾性支持部材上に有するヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置において、
前記導波路を、前記スライダ接合面の中央部であって、前記スライダ接合面の長手方向に沿って配置し、
かつ、前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側の一方端から延伸し、
かつ、前記導波路の前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側端の一方端側から延伸した部分が前記弾性支持部材または前記回路材に接続され、
前記スライダ接合面に前記導波路とほぼ同じ厚さを有する補助部材を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記補助部材は、前記スライダ接合面の長手方向両端部に前記導波路と平行に配置され、前記導波路とほぼ同じ厚さを有する第一の補助部材であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
請求項２記載の磁気ディスク装置において、前記スライダ接合面の短手方向であって、搭載されるスライダの前記磁気ヘッドとは反対側の一方端に前記導波路に直交するよう配置され、前記導波路とほぼ同じ厚さを有する第二の補助部材を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項４】
少なくとも情報を記録する磁気記録媒体と、
磁気記録媒体への情報の書き込みまたは読み出しを行う磁気ヘッドをその端部に有するスライダと、
一部に前記スライダが搭載されるスライダ接合面を有する弾性支持部材と、前記ヘッドに電気的に接続される回路材を前記弾性支持部材上に有するヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置において、
前記回路部材の一部を、前記スライダ接合面の中央部であって、前記スライダ接合面の長手方向に沿って配置し、
かつ、前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側の一方端から延伸し、
かつ、前記回路材の前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側端の一方端側から延伸した部分が前記弾性支持部材または前記回路材に接続され、
前記スライダ接合面に前記回路部材の一部とほぼ同じ厚さを有する補助部材を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項５】
請求項４記載の磁気ディスク装置において、前記補助部材は、前記スライダ接合面の長手方向両側端部に前記回路部材の一部と平行に配置され、前記回路部材の一部とほぼ同じ厚さを有する第一の補助部材であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】
請求項５記載の磁気ディスク装置において、前記スライダ接合面の短手方向であって、搭載されるスライダの前記磁気ヘッドとは反対側の一方端に前記回路部材の一部に直交するよう配置され、前記回路部材の一部とほぼ同じ厚さを有する第二の補助部材を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項７】
磁気記録媒体への情報の書き込みまたは読み出しを行う磁気ヘッドをその端部に有するスライダが搭載され得るスライダ接合面を一部に有する板状の弾性支持部材と、前記ヘッドに電気的に接続される回路材と光源からの光を前記ヘッドへ導入する導波路とを前記弾性支持部材上に有するヘッド支持機構において、
前記導波路を、前記スライダ接合面の中央部であって、前記スライダ接合面の長手方向に沿って配置し、
かつ、前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側の一方端から延伸し、
かつ、前記導波路の前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側端の一方端側から延伸した部分が前記弾性支持部材または前記回路材に接続され、
前記スライダ接合面に前記導波路とほぼ同じ厚さを有する補助部材を設けたことを特徴とするヘッド支持機構。
【請求項８】
請求項７記載のヘッド支持機構において、前記補助部材は、前記スライダ接合面の長手方向両端部に前記導波路と平行に配置され、前記導波路とほぼ同じ厚さを有する第一の補助部材であることを特徴とするヘッド支持機構。
【請求項９】
請求項８記載のヘッド支持機構において、前記スライダ接合面の短手方向であって、搭載されるスライダの前記磁気ヘッドとは反対側の一方端に前記導波路に直交するよう配置され、前記導波路とほぼ同じ厚さを有する第二の補助部材を設けたことを特徴とするヘッド支持機構。
【請求項１０】
磁気記録媒体への情報の書き込みまたは読み出しを行う磁気ヘッドをその端部に有するスライダが搭載され得るスライダ接合面を一部に有する板状の弾性支持部材と、前記ヘッドに電気的に接続される回路材を前記弾性支持部材上に有するヘッド支持機構において、
前記回路部材の一部を、前記スライダ接合面の中央部であって、前記スライダ接合面の長手方向に沿って配置し、
かつ、前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側の一方端から延伸し、
かつ、前記回路材の前記スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側端の一方端側から延伸した部分が前記弾性支持部材または前記回路材に接続され、
前記スライダ接合面に前記回路部材の一部とほぼ同じ厚さを有する補助部材を設けたことを特徴とするヘッド支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に係り、特に、レーザー光をヘッドと一体で形成されている磁気ヘッド内の近接場光学素子に導く導波路を備えたヘッド支持機構及び磁気ディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク装置の記録密度を飛躍的に向上させる技術の一つとして、熱アシスト記録が挙げられる。熱アシスト記録とは、ディスク上の数十ｎｍ×数十ｎｍ程度の微小領域に２００℃以上の熱と磁場を加えることで、ディスク上にデータを記録するものである。この微小領域を加熱する機構として、記録磁極近傍に配置した近接場光学素子でレーザー光を近接場光に変換して利用することが考えられている。
【０００３】
また、通常、磁気ディスク装置のサスペンションは、フレクシャとロードビームから成る。フレクシャはヘッドと直接接合される薄い板状の部材であり、ヘッドの姿勢を拘束しない形になっている。ロードビームは、フレクシャを介してディスク面に押し付ける方向にヘッドに荷重を加えるための板状の部材である。フレクシャとロードビームは溶接により接合されている。
【０００４】
従来、この種のヘッド支持機構としては、例えば、特開２００３−６９１２号公報（特許文献１）がある。特許文献１によるヘッド支持機構においては、フレクシャに相当する部分が導波路で形成されており、この導波路は光が通る高屈折率のコアを低屈折率のクラッドで覆い形成されている。コアの端面を導波路の途中、かつ、ヘッドとの固定面に設けることで、光をクラッドの中で一旦拡大させ、その後、反射面でヘッド側に反射させる。反射した光束をマイクロレンズで集光した上で、近接場光学素子に照射させることで、ヘッドの姿勢によらず高強度の光を近接場光学素子に光を導くことを可能としている。
【０００５】
また、他のヘッド支持機構に係わるものとして、例えば、特開２００１−１０１７０４号公報（特許文献２）がある。特許文献２によるヘッド支持機構においては、フレクシャのヘッド接続面の裏面に導波路が配置されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−６９１２号公報
【特許文献２】特開２００１−１０１７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
通常のサスペンションでは、フレクシャにエッチングでパターンを切り、スライダ接合部を柔軟に支持する構造になっている。これによりヘッドは、エアベリングサーフェス（ＡＢＳ）で発生する正圧力及び負圧力とディンプルを介してロードビームから伝わる押付荷重が釣合う浮上量及び姿勢でディスク上を安定浮上し、ディスクの面振れやうねりにも追随している。また、これにより外部から衝撃を受けた場合やディスク及びディスク上の異物に接触した場合でも、クラッシュすることなく浮上することができる。
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示されるヘッド支持機構では、導波路がスライダ接合部全体を覆う構造となっている。そのため、導波路の表面に接着剤を塗布あるいはヘッドの接合面に接着剤を塗布することによりヘッドと導波路を接合する場合、接着剤の厚さのばらつきにより、スライダ接合面に対してヘッドが傾いて取り付き、ヘッドの浮上量や姿勢に大きく影響を及ぼすようになり、ヘッドの安定浮上に悪影響を及ぼす恐れがある。
【０００９】
また、特許文献２に開示されるヘッド支持機構では、導波路がフレクシャのスライダ接合面の裏側に配置されており、導波路端の光の出口からヘッドまでの距離が長く、光の結合損失が大きくなる恐れがある。
【００１０】
本発明の目的は、導波路とヘッドとの光の結合損失を小さくし、且つヘッドの安定浮上を実現し得るヘッド支持機構及びそれを備えた磁気ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、導波路を、スライダを弾性支持する弾性支持部材のスライダ接合面の中央部であって、スライダ接合面の長手方向に沿って配置すると共に、スライダ接合面の前記磁気ヘッドとは反対側の一方端から延伸し、回路材のスライダ接合面の磁気ヘッドとは反対側端の一方端側から延伸した部分が弾性支持部材または回路材に接続され、スライダ接合面に回路部材の一部とほぼ同じ厚さを有する補助部材を設けたを設けたことを特徴とする。
【００１２】
尚、補助部材は、スライダ接合面の長手方向両側端部に導波路と平行に配置され、導波路とほぼ同じ厚さを有することを特徴とする。
【００１３】
これにより、スライダを接着剤により弾性支持部材のスライダ接合面に接合する場合において、接着剤がスライダと導波路との間及びスライダと第１の補助部材の間に充填され、スライダ接合面に対し精度良くスライダを接合することが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、端部に磁気ヘッドが形成されたスライダを、弾性支持部材のスライダ接合面に傾かずに取り付けることができ、浮上量や姿勢に与える影響を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施の形態を以下図面を用いて説明する。  
図１は、本発明によるヘッド支持機構を搭載した磁気ディスク装置の斜視図である。
【００１６】
図１において、磁気記録媒体であるディスク１は回転可能に支持されている。近接場光発生素子を備えた磁気ヘッド２はスライダ３の端面に一体で形成されており、スライダ３は、ディスク１の記録面上を所定の間隔で浮上している。スライダ３は、導波路４（図２以降で説明）を備えたサスペンション５に支持されている。サスペンション５は、ロードビーム７と弾性支持部材としてのフレクシャ６から成り、スライダ３は、その姿勢が拘束されない状態でフレクシャ６に柔軟に支持されている。ロードビーム７は、フレクシャ６を介して、ディスク１に押し付ける方向にスライダ３に荷重を加えている。サスペンション５はキャリッジアーム８に支持されており、キャリッジアーム８はピボット９を回転軸として揺動可能に支持されている。
【００１７】
ボイスコイルモータ１０を駆動させることにより、ピボット９を回転軸として、キャリッジアーム８を揺動させ、回転するディスク１に対して、近接場光発生素子を備えた磁気ヘッド２をディスク１上の所望のトラック上に移動させ、情報の記録，再生を行う。
【００１８】
以下では、図面を用いてヘッド支持時機構を中心に説明する。
【実施例１】
【００１９】
図２は本発明の一実施例であるスライダが搭載された状態でのヘッド支持機構の先端拡大図、図３は本発明の一実施例であるスライダ搭載前のヘッド支持機構の先端拡大図、図４は図２におけるＡ−Ａ′断面図である。
【００２０】
ロードビーム７と共にサスペンション５を構成するフレクシャ６は、例えば薄肉のステンレス製板材を用いてその一部に切り欠きを設けることで形成される。そして図３に示めされるように、フレクシャ６は、ステンレス基板６１と、ステンレス基板６１と両持ち梁にて連続するスライダ接合面６２からなっている。フレクシャ６上には、回路材６３，導波路４，導波路４と同じ厚さの補助部材１２ａ，１２ｂが形成されている。ここで回路材６３とは、例えばポリイミド，銅配線，ポリイミドの順に積層形成された配線部材である。フレクシャ６のスライダ接合面６２の中央には導波路４が配置され、更に導波路４に平行にスライダ接合面６２の長手方向両側端部近傍には導波路４と同じ厚さの補助部材１２ａが、また、導波路４とほぼ直交するようにスライダ接合面６２の一方端部近傍には導波路４と同じ厚さの補助部材１２ｂが配置されている。スライダ３は接着剤（図示なし）によって、フレクシャ６のスライダ接合面６２に接続されるが、接着剤（図示なし）は、フレクシャ６のスライダ接合面６２の中央に配置された導波路４と導波路４と同じ厚さの補助部材１２ａ，１２ｂの間の空間に盛られる。具体的には、当初、接着剤（図示なし）は導波路４より高く盛られるが、スライダ３を押し付けることにより、スライダ３と導波路４，スライダ３と補助部材１２ａ，１２ｂの間に流れ込み、その結果、スライダ３とスライダ接合面６２は隙間無く接続され、スライダ３は、スライダ接合面６２に傾くことなく精度よく接続できる。
【００２１】
熱アシスト記録用磁気ヘッド２としては、例えば「Flying demonstration and analysis of pico slider with optical waveguide for heat assisted magnetic recording」(The 19th Magnetic Recording Conference (TMRC) 2008, Singapore, July 29-31, 2008）に開示されるように、スライダ３の磁気ヘッド２付近から光を導入する構造になっているものもある。このような構造のスライダ３を用いた場合において、本実施例によれば、上述のとおり導波路４がスライダ３の先端部に一体形成された磁気ヘッド２まで延伸する構造であり、かつ、導波路４とスライダ３が直接接続されるので、導波路４から磁気ヘッド２に光を導入入れるときのロスを小さくすることが可能となる。
【実施例２】
【００２２】
本実施例は、従来の磁気記録方式、すなわち、熱アシスト方式を用いない磁気ディスク装置用ヘッド支持機構であり、実施例１における導波路４を有していない。
【００２３】
図５は本発明の一実施例である導波路４を有さないヘッド支持機構の先端拡大図、図６は図５のヘッド支持機構のスライダ搭載前の状態を示す図である。図中実施例１と同一のものには同一の符号を付している。
【００２４】
本実施例の基本構成は実施例１と同じであるが、実施例１の導波路４の代わりに回路材６３の一部を用い、実施例１の導波路４と同じ厚さの補助部材１２の代わりに回路材６３と同じ厚さの補助部材１３ａ及び１３ｂを用いている。図５において回路材６３のアーム６３１は、フレクシャ６のステンレス基板のアーム６１１と重なる部分を除いては、フレクシャ６のステンレス基板６１と重なっていない。そのため、フレクシャ６のスライダ接合面６２は、フレキシブルな動きが可能となっている。図６を用いて具体的に説明すると、フレクシャ６のスライダ接合面６２の中央には回路材６３の一部６３２が延伸され配置され、更に回路材６３の一部６３２に平行にスライダ接合面６２の長手方向両側端部近傍には、回路材６３の一部６３２４と同じ厚さの補助部材１３ａ，１３ｂが配置されている。
【００２５】
図７は、実施例２の効果を示すヘッド支持機構の振動特性図であり、図５と同一構成のヘッド支持機構を回転円板間に配置したときの、スライダ３の短手方向（紙面縦方向）の振動、すなわちヘッドの流体起因振動の測定結果を示している。横軸は、ヘッド支持機構取り付け面から円板までの距離である。本実施例によるヘッド支持機構の振動特性１４に対し、回路材６３の一部６３２を有さない従来のヘッド支持機構の振動特性１５は大きい。これは回路材６３の一部６３２によりフレクシャ６のスライダ接合面６２とロードビーム７の相対振動が抑制されるためである。
【００２６】
尚、本実施例においても実施例１と同様に、スライダ３を、スライダ接合面６２に傾くことなく精度よく接続することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明によるヘッド支持機構を搭載した磁気ディスク装置の斜視図。
【図２】本発明の一実施例であるスライダが搭載された状態でのヘッド支持機構の先端拡大図。
【図３】本発明の一実施例であるスライダ搭載前のヘッド支持機構の先端拡大図。
【図４】図２におけるＡ−Ａ′断面図。
【図５】本発明の一実施例である導波路４を有さないヘッド支持機構の先端拡大図。
【図６】図５のヘッド支持機構のスライダ搭載前の状態を示す図。
【図７】本発明の実施例２の効果を示すヘッド支持機構の振動特性図。
【符号の説明】
【００２８】
１  ディスク
２  磁気ヘッド
３  スライダ
４  導波路
５  サスペンション
６  フレクシャ
７  ロードビーム
８  キャリッジアーム
９  ピボット
１０  ボイスコイルモータ
１２  導波路４と同じ厚さの補助部材
１３  回路材６３と同じ厚さの補助部材
６１  フレクシャ６のステンレス基板
６２  フレクシャ６のスライダ接合面
６３  回路材
６１１  フレクシャ６のステンレス基板６１のアーム
６３１  回路材６３のアーム
６３２  回路材６３の一部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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