(57)【要約】【課題】外スプリングタイプで低背で組立性の良いプローブを提供する。【解決手段】（イ）導電性材料よりなる段付きの柱状のプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のための形状としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に単体もしくは多分割の柱状形状の先端の外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。（ロ）導電性材料よりなるバーレル（９）の一端を他との接触のための形状とし、この下部にバーレル固定部（６）、更に内面にてプランジャ接触部（３）と接するためのバーレル接触部（５）を設ける。（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（４）の両端の内部にプランジャ固定部（２）及びバーレル固定部（６）を固定し、プランジャ（８）、バーレル（９）、外スプリング（４）を相互に連結して設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）導電性材料よりなる段付きのプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のために円錐形状やクラウン形状等としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に単体もしくは多分割の柱状形状の先端の外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。
（ロ）導電性材料よりなるバーレル（９）の一端を他との接触のための形状、たとえば円錐形状などとし、この下部にバーレル固定部（６）、更に内面にてプランジャ接触部（３）と接するためのバーレル接触部（５）を設ける。
（ハ）金属材料で製作された外スプリング（４）の内部にプランジャ接触部（３）とバーレル接触部（５）を接触、可動自由に位置させ、更に両端の内面にプランジャ固定部（２）及びバーレル固定部（６）を位置決め、固定し、相互に連結して設ける。
以上の構成のコンタクトプローブ。
【請求項２】
（イ）導電性材料よりなる段付きのプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のために円錐形状やクラウン形状等としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に単体もしくは多分割の柱状形状の先端の外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。
（ロ）導電性材料よりなるバーレル（９）の一端を他との接触のための形状、たとえば円錐形状等とし、この下部にバーレル固定部（６）、更に内面にてプランジャ接触部（３）と接するため、コイルスプリングを密着したものや板材をカーリングしたパイプや細管、を用いて製作されるバーレル接触部材（１１）をバーレル固定部小（１７）に組み込み設ける。
（ハ）金属材料で製作された外スプリング（４）の内部にプランジャ接触部（３）とバーレル接触部（５）を接触、可動自由に位置させ、更に両端の内面にプランジャ固定部（２）及びバーレル固定部（６）を位置決め、固定し、相互に連結して設ける。
以上の構成のコンタクトプローブ。
【請求項３】
（イ）導電性材料よりなる段付きのプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のために円錐形状やクラウン形状等としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に単体もしくは多分割の柱状形状の先端の外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。
（ロ）導電性材料よりなり、コイルスプリングを密着したものや板材をカーリングしたパイプや細管にて製作された中空バーレル（１３）の途中にバーレル位置決め部材（１８）を設ける。
（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（４）の内部にプランジャ接触部（３）とバーレル接触部（５）を接触、可動自由に位置させ、更に両端の内部にプランジャ固定部（２）及びバーレル位置決め部（１８）を位置決め、固定し、相互に連結して設ける。
【請求項４】
バーレル位置決め部材（１８）をコイルスプリングやカーリングした板材、細管と一体に設けた請求項２若しくは請求項３の構成のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】この発明は、半導体や基板などの電気計測に持ちい、両端が可動するコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】従来、図７のごとく一般的な形状として円筒状のバーレルといわれる本体の両端に可動するプランジャーがあり、バーレルの内部にコイルスプリングが設けられたものや、図８のごとくプランジャ同士を片方のプランジャの内部で接触、可動するように組み合わせ、外周にコイルスプリングを設けたもの、図９のごとくバーレルと言われる円筒状の筒を片端が密着巻とし、他端を通常のごとくバネ作用を行う形態とし、これらを一つのコイルスプリングにより一体で設け、二本のプランジャをこのスプリングに固定し、これらが軸方向に動くことにより、コイルスプリングの密着部に片側のプランジャの端点が接触するものがあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】そのためには次のような問題が有った。
（イ）一般的なものはコイルスプリングが内部に収納されているため狭いピッチに対応すら際、本体の径が小さくなるために内部のコイルスプリングの径も小さくなり、バネとしての耐久性が低下し、スプリングの全長を長くすることができない場合は、結果的に製品としての耐久性がひくかった。
（ロ）外周にスプリングを設けたものはバーレルとプランジャのストロークエンドを決めて抜け止め、固定する場合、スプリングが障害となるため圧縮してこれらを露出してから加工する必要があり、作業が煩雑でり、また加工によるばらつきが動作の動きのスムーズさに直接影響した。更にカシメをおこなうバーレル側は、必ず電気接触をするための深穴を必要とし、この部位はバネの外側に位置する必要があり、結果的に全長が長くなり、構成部品の加工、特に深穴の加工が難しくなり、電気特性的にも不利であった。
（ハ）バーレルとスプリングを一本のコイルスプリングで併用したタイプは電気接触させる部位がスプリングとしての特性を必要とする部位の先に追加されるためスプリングの全長が長くなり、結果的に製品全体が長くなった。また接触部がバネ自体であるため凹凸が大きく動きがスムーズではなかった。また径の小さなスプリングの新たな追加が空間的、構造的にできなかった。更に電気導体としての特性と機械的な特性を両立するコイルスプリング材料がないためどちらか一方の特徴をいかした材質を選定する必要があった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】バーレルとプランジャを内部で摺動自由に組み合わせ、これらの外周にコイルスプリングを設け、しかもこの両者をこのコイルスプリングの両端で繋ぐように設けた。
【発明の効果】
【０００５】コイルスプリングにより内部の２部品を圧入などにより接続するため二部品の簡単な平行な動作により構成する全ての部品の組立がかのうであり、簡便で安価である。【０００６】内部においてなプランジャとバーレルによる滑らかな面同士での電気接触であるため動きがスムーズである。【０００７】コイルスプリングとバーレル及びプランジャの共有がないため製品の全長が短く、電気特性的に有利であり、機械的にも最良のコイルスプリングを用いることが可能である。【０００８】コイルスプリングと二部品との接続において二部品の外周に溝加工を施すことによりコイルスプリングの先端を内部に折り込むことにより溝に落としこむことができるため、より強固に３部品の接続が可能であり、かつこの部位が外部より直接見えるため作業が容易である。【０００９】コイルスプリングの荷重が不足するばあい内部に空間およびガイドとなる軸があるためこの部位にスプリングを追加で設けることができる。【００１０】プローブとしての要求外形が小さくなり構成部品の製作が困難な場合、特にバーレルの深穴加工が困難な場合もバーレルの一部をプレス技術、スプリング部材や細管を持ちいて細いパイプを作り、代用できるため、微細な製品にも容易に対応が可能である。【００１１】電流容量を増加させるための工夫としてバーレルもしくはプランジャの内側の部位をバネ性を持たせた形状とすることにより内部の接触圧力を向上し、電気抵抗を低減することにより電流容量を上がることが容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】以下に本発明の実施の形態を、図１、図１０を用いて説明する。
（イ）導電性材料よりなる段付きの柱状のプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のために円錐形状やクラウン形状としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。
（ロ）導電性材料よりなるバーレル（９）の一端を他との接触のための形状、たとえば円錐形状などとし、この下部にバーレル固定部（６）、更に内面にてプランジャ接触部（３）と接するためのバーレル接触部（５）を設ける。
（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（４）の両端の内部にプランジャ固定部（２）及びバーレル固定部（６）を位置決めし、たとえば圧入により固定し、相互に連結して設ける。
本案を使用の際は、外スプリング部は狭い空間を設けた円筒穴、プランジャ及びバーレルの先端部も又上下に自由に動くことが可能なように空間を設けた円筒穴の中に位置決めし設ける。プランジャ（８）とバーレル（９）と外スプリング（４）の固定方法は圧入のほかに外スプリング（４）のカシメや溶接などにより行ってもよい。
図１０のようにプランジャ接触部（３）が設けられる柱状部を分割にすることによりプランジャ内部バネ（２０）を設け、バネ性を持たせた形態でも良い。【００１３】以下に本発明の実施の他の形態を、図２、図３を用いて説明する。
（イ）導電性材料よりなる段付きの柱状のプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のために円錐形状やクラウン形状としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。
（ロ）導電性材料よりなるバーレル（９）の一端を他との接触のための形状、たとえば円錐形状などとし、この下部にバーレル固定部（６）、更に内面にてプランジャ接触部（３）と接するための、通常のコイルスプリングと同じく線材を密着して巻くことにより製作されるバーレル接触部材（１１）をバーレル固定部小（１７）に組み込み設ける。
（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（４）の両端の内部にプランジャ固定部（２）及びバーレル固定部（６）を位置決めし、例えば圧入により固定し、相互に連結して設ける。
この際中空バーレル接触部材（１１）はプレス技術による薄板の円筒や押し出し細管を用いたものでも良い。【００１４】以下に本発明の実施の他の形態を、図４，図５を用いて説明する。
（イ）導電性材料よりなる段付きの柱状のプランジャ（８）において、一端は他のものとの接触のために円錐形状やクラウン形状としたプランジャ先端部（１）を設け、この部位の下にプランジャ固定部（２）、更に外面にて相手と接触するプランジャ接触部（３）を設ける。
（ロ）導電性材料よりなり、引っ張りタイプのコイルスプリングと同じく線材を密着して製作された中空バーレル（１３）の途中にバーレル位置決め部材（１８）を設ける。
（ハ）おもに機械強度的に有利な材料を用いて製作された外スプリング（４）の両端の内部にプランジャ固定部（２）及びバーレル位置決め部（１８）を位置決めし、例えば圧入により連結して設ける。
この際中空バーレル（１３）はプレスによる薄板の円筒加工による方法や細管を用いたものでも良い。またバーレル位置決め部材（１８）は中空バーレル（１３）を製作するさいに用いる材料にて一体で設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の側面より見た断面図である。
【図２】本発明の他の案の側面からみた断面図である。
【図３】本発明の他の案の側面より見た断面図である。
【図４】本発明の他の案の側面からみた断面図である。
【図５】本発明の他の案の側面より見た断面図である。
【図６】本発明の他の案の側面より見た断面図である。
【図７】従来の案の側面よりみた断面図である。
【図８】従来の案の側面よりみた断面図である。
【図９】従来の案の側面よりみた断面図である。
【図１０】本発明の他の案の側面より見た断面図である。
【符号の説明】
【００１６】１．プランジャー先端部
２．プランジャー固定部
３．プランジャー接触部
４．外スプリング
５．バーレル接触部
６．バーレル固定部
７．バーレル先端
８．プランジャ
９．バーレル
１０．内スプリング
１１．バーレル接触部材
１２．プランジャ１
１３．中空バーレル
１４．プランジャ・バーレル抜け止め部
１５．電気導通部
１６．バネ特性部
１７．バーレル固定部小
１８．バーレル位置決め部材
１９．プランジャ２
２０．プランジャ内部バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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