(57)【要約】【課題】接着シートの初期段階の剥離を行い易くすることができるようにすること。【解決手段】シート剥離装置１０は、接着シートＳが貼付されたウエハＷを支持するテーブル１１と、剥離用テープＰＴを保持する保持手段１４と、この保持手段１４に保持された剥離用テープＰＴを接着シートＳに押圧して貼付する直動モータ１５と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと支持手段１１とを相対移動させてウエハＷから接着シートＳを剥離するための単軸ロボット１６とを備えて構成されている。保持手段１４は、剥離切っ掛け形成手段２７を備え、この剥離切っ掛け形成手段２７は、保持手段１４に保持された剥離用テープＰＴを部分的に凹ませて接着シートＳの外縁側を剥離可能に設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを保持する保持手段と、この保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、接着シートに貼付された剥離用テープと前記支持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記保持手段は、剥離切っ掛け形成手段を備え、この剥離切っ掛け形成手段は、保持手段に保持された剥離用テープを部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記保持手段は、前記剥離用テープを吸引可能な吸着面を備え、この吸着面を部分的に凹み変形可能に設けることで前記剥離切っ掛け形成手段が構成されることを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記保持手段は、前記剥離用テープ及び接着シートの少なくとも一方を挟み込む挟み込み手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を支持する工程と、
前記剥離用テープを保持手段により保持する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを、剥離切っ掛け形成手段を介して部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）の処理工程では、ウエハはその回路面に保護用の接着シートが貼付され、裏面研削等、種々の処理が行われ、ダイシングテープを介してリングフレームにマウントされた後、ダイシング前にこの接着シートは剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献では、剥離用テープを接着シートの外縁側に貼付した後、当該剥離用テープと、リングフレームと共にウエハを支持するテーブルとを相対移動させることにより、ウエハから接着シートを剥離するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１００７２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、接着シートに対する剥離用テープの貼付位置は、接着シートの初期段階の剥離を行い易くするため、ウエハの外縁に近くなる程好ましい。ところが、剥離用テープの貼付位置を、ウエハの外縁にできるだけ近付くように設定した場合、剥離用テープがダイシングテープに貼付され易くなる、という不都合がある。この状態で接着シートを剥離する動作が行われると、ダイシングテープが剥離用テープに引っ張られてウエハが損傷することとなり、結果として前記初期段階の剥離が行えなくなるという不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートの初期段階の剥離を行い易くすることができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを保持する保持手段と、この保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、接着シートに貼付された剥離用テープと前記支持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記保持手段は、剥離切っ掛け形成手段を備え、この剥離切っ掛け形成手段は、保持手段に保持された剥離用テープを部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記保持手段は、前記剥離用テープを吸引可能な吸着面を備え、この吸着面を部分的に凹み変形可能に設けることで前記剥離切っ掛け形成手段が構成されるとよい。
【０００８】
また、前記保持手段は、前記剥離用テープ及び接着シートの少なくとも一方を挟み込む挟み込み手段を有する、という構成も好ましくは採用される。
【０００９】
また、本発明の剥離方法は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を支持する工程と、
前記剥離用テープを保持手段により保持する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを、剥離切っ掛け形成手段を介して部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、保持手段に保持された剥離用テープを接着シートの外縁からはみ出た状態で貼付した後、接着シート外縁上方に位置する領域の剥離用テープを剥離切っ掛け形成手段により部分的に凹ませることにより、接着シートの外縁側を剥離することができる。これにより、剥離初期段階で、ウエハ等の被着体の外縁から接着シートをスムースに剥離することが可能となる。また、接着シートの外縁からはみ出た部分の剥離用テープを保持手段により保持させ、当該剥離用テープがダイシングシート等の意図しない部位に貼付されることを防止でき、接着シートの剥離工程においてダイシングシート等が引っ張られ、被着体が破損することを回避可能となる。
【００１１】
更に、保持手段の吸着面を部分的に凹み変形可能に設けることで、剥離切っ掛け形成手段を簡単に形成することができる。
【００１２】
また、挟み込み手段を有する場合、剥離用テープと支持手段とを相対移動させるときに、剥離用テープ等をしっかりと保持して接着シートを剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、前記シート剥離装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は、保持手段を下から見た動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１において、シート剥離装置１０は、接着シートＳが貼付された被着体としてのウエハＷを支持する支持手段としてのテーブル１１と、剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１２と、剥離用テープＰＴを保持する保持手段１４と、この保持手段１４に保持された剥離用テープＰＴを接着シートＳに押圧して貼付する押圧手段としての直動モータ１５と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと支持手段１１とを相対移動させる移動手段としての単軸ロボット１６とを備えて構成されている。ここで、ウエハＷは、ダイシングテープＤＴを介してリングフレームＲＦに一体化されている。
【００１６】
前記テーブル１１は、その上面がダイシングテープＤＴを吸着する吸着面として形成されている。テーブル１１は、その下部に設けられた単軸ロボット１６を介して図１中左右方向に移動可能に支持されている。
【００１７】
前記繰出手段１２は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に枚葉の剥離用テープＰＴが所定間隔毎に仮着された原反Ｒを支持する支持ローラ１８と、剥離シートＲＬの繰出方向を反転させて当該剥離シートＲＬから剥離用テープＰＴを剥離するピールプレート１９と、モータＭによって回転する駆動ローラ２１と、当該駆動ローラ２１との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２２と、駆動ローラ２１と同期回転して剥離シートＲＬを巻き取る巻取ローラ２３とにより構成されている。なお、繰出手段１２は、図示しないフレームに支持されるようになっている。
【００１８】
前記保持手段１４は、下面を吸着面１４Ａとして剥離用テープＰＴを吸着保持可能に設けられ、その上部に設けられた直動モータ１５の出力軸１５Ａを介して図１中上下方向に移動可能に支持されている。また、保持手段１４は、図３に示されるように、コ字状に形成されて同図中左側に受容部２６Ａを有する本体部２６と、この受容部２６Ａ内に設けられる剥離切っ掛け形成手段２７とを備えて構成されている。
【００１９】
前記本体部２６は、図２に示されるように、穴２６Ｂを介して図示しない吸引ポンプに接続されるチャンバ３１と、吸着面１４Ａに形成されてチャンバ３１に連通する複数の吸引穴３２と、受容部２６Ａの上面側に形成されてチャンバ３１に連通する複数の補助吸引穴３３とを備えて構成されている。
【００２０】
前記剥離切っ掛け形成手段２７は、移動体２７Ａと、本体部２６の内部に取り付けられた直動モータ２８からなり、移動体２７Ａは、直動モータ２８のスライダ２９に取り付けられて図２中左右方向に移動可能になっている。また、移動体２７Ａは、穴２７Ｂを介して図示しない吸引ポンプに接続されるチャンバ３５と、吸着面１４Ａに形成されてチャンバ３５に連通する複数の吸引穴３６とを備えている。移動体２７Ａは、図２（Ａ）、図３（Ａ）に示される状態では、本体部２６と共にフラットな吸着面１４Ａを形成する一方、図２（Ｂ）、図３（Ｂ）に示されるように、左方向に移動することで吸着面１４Ａを部分的に凹ませ、補助吸引穴３３による吸引が行えるように変位可能に設けられている。なお、図２（Ｂ）、図３（Ｂ）に示されるように、移動体２７Ａの図中右側の面２７Ｃと受容部２６Ａを形成する右側の面２６Ｃとで挟み込み手段１７が形成される。
【００２１】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について説明する。
【００２２】
図１に示されるように、図示しない搬送手段によってテーブル１１上にリングフレームＲＦと一体化されたウエハＷを吸着保持させる。ウエハＷの吸着保持が確認されると、繰出手段１２のモータＭが駆動して、剥離シートＲＬの巻き取りが行われ、ピールプレート１９によって剥離シートＲＬから剥離用テープＰＴが剥離されつつ保持手段１４の吸着面１４Ａに吸着保持される。この一方、テーブル１１が単軸ロボット１６を介して移動され、当該単軸ロボット１６の出力パルスによってウエハＷが保持手段１４の下方所定位置に達したことを検知すると、単軸ロボット１６の駆動が停止される。その後、直動モータ１５を駆動させることにより、保持手段１４を下降させて、剥離用テープＰＴを接着シートＳ外縁に跨る領域に貼付する（図２（Ａ）、図３（Ａ）参照）。
【００２３】
剥離用テープＰＴの貼付が終了すると、図２（Ｂ）、図３（Ｂ）に示されるように、直動モータ２８を作動して移動体２７Ａを同図中左方向に移動させ、吸着面１４Ａの面内を部分的に凹ませる。すると、吸着面１４Ａの凹んだ部分において、補助吸引穴３３により吸引が行われて剥離用テープＰＴも部分的に凹むよう変形し、この剥離用テープＰＴの凹み変形と共に、接着シートＳの外縁側も捲り上げられて剥離される。その後、直動モータ２８を作動して移動体２７Ａを右方向に移動させることで、挟み込み手段１７によって剥離用テープＰＴ及び接着シートＳの外縁側が挟み込まれて保持される（図２（Ｃ）、図３（Ｃ）参照）。次いで、直動モータ１５を作動して保持手段１４を若干上昇させた後、図２（Ｃ）に示されるように、テーブル１１が左側に移動することで接着シートＳがウエハＷから剥離されることとなる。
【００２４】
従って、このような実施形態によれば、移動体２７Ａを移動させるだけで、接着シートＳの初期剥離を行うことができる。これにより、剥離用テープＰＴがダイシングテープＤＴに貼付されないようにしつつ、接着シートＳの初期段階の剥離をスムースに行うことが可能となる。しかも、凹んだ剥離用テープＰＴや接着シートＳを挟み込み手段１７によって挟持することで、初期剥離後の接着シートＳの剥離も確実に行うことが可能となる。
【００２５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２６】
例えば、挟み込み手段１７は、剥離用テープＰＴ及び接着シートＳの少なくとも一方を挟み込んで接着シートＳの剥離を行えばよい。
【００２７】
更に、直動モータ１５、２８や各単軸ロボット１６は、エアシリンダ、油圧シリンダ等の駆動手段に代えてもよい。
【００２８】
また、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００２９】
更に、単軸ロボット等の移動手段１６を保持手段１４側にも取り付け、保持手段１４と支持手段１１との少なくとも一方を移動させて相対移動するように構成して接着シートＳの剥離を行ってもよい。
【００３０】
また、保持手段１４は吸引によって剥離用テープを保持する以外に、チャックシリンダ等によって機械的に保持したり、静電気やベルヌーイ吸着手段等であってもよい。
【符号の説明】
【００３１】
１０  シート剥離装置
１１  テーブル（支持手段）
１４  保持手段
１４Ａ  吸着面
１５  直動モータ（押圧手段）
１６  単軸ロボット（移動手段）
１７  挟み込み手段
２７  剥離切っ掛け形成手段
ＰＴ  剥離用テープ
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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