(57)【要約】【課題】磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に影響が及ばないようにディスクケースの再利用回数を適確に管理することができるディスクケースの使用方法を提供すること。【解決手段】本発明は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することを特徴とするディスクケースの使用方法。
【請求項２】
前記パーティクル発生率は、当該サイクル回数を経たディスクケースへガラス基板を挿入する前後において、０．１μｍ以上の大きさの異物が１０個以上増加するガラス基板数（ｎ）を、当該サイクル回数を経た当該ディスクケースへ挿入したガラス基板数（Ｎ）で除したもので定義することを特徴とする請求項１に記載のディスクケースの使用方法。
【請求項３】
本発明のディスクケースの使用方法においては、前記洗浄・乾燥の条件が、水洗浄後、又は水／洗剤洗浄後に５０℃以上／３０分以上の乾燥であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスクケースの使用方法。
【請求項４】
本発明のディスクケースの使用方法においては、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数が１５回以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のディスクケースの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースの使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ハードディスク、光ディスク等の記録媒体や、このような記録媒体用基板としては円盤状のガラス基板が広く用いられている。このようなガラス基板は、高記録密度化に伴い、その表面平滑性を確保することが要請されている。ガラス基板は、一般的に、研削加工（ラッピング）、形状加工工程（コアリング及びチャンファリングなど）、研磨加工（端面部および表面部）、最終検査工程を経て製造される。そして、各工程間では検査が実施され、この検査により異常が発見された場合、原因を調べ、これに対処するということが行われている。例えば、研磨装置の上定盤の研磨パッドに異物が混入したことにより、研磨工程を経たガラス基板の表面に傷や異物が発見された場合、上定盤の研磨パッドの交換が行われる。このような製造管理は、要求される品質を確保し収率を改善することで量産／製造コストを低減するという要請に応えるために実施され、製造の各工程で一度に処理する枚数は、例えば１２５枚を１ロットとする単位で行われている。
【０００３】
ガラス基板は厚みも通常０．６ｍｍ〜１．５ｍｍ程度と薄いので、製造の各工程における処理や各工程を経たガラス基板の保管、搬送に際しては、ガラス基板が相互に接触したり、あるいは他のものと接触したりして損傷を受けることがないようにする必要がある。そこで、ガラス基板の処理、保管及び搬送に際しては、複数枚のガラス基板を所定の間隔を配して収納するディスクケースが用いられている。このようなディスクケースとしては、例えば特許文献１で開示されたものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２４７１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ディスク製造工程を経たガラス基板は、所定枚数（例えば２５枚）ごとにディスクケースに収納されて搬送される。搬送先では、搬送されたディスクケースから磁気ディスク用基板として降ろされる。その後、空の状態となった（磁気ディスク用ガラス基板を収容していない）ディスクケースは搬送元に戻され、そこで、洗浄、乾燥されて再利用される。
【０００６】
ディスクケースの洗浄・乾燥工程では、ディスクケースに６０℃前後の温度が加わるので、使用回数が増えると、ディスクケースが徐々に変形する。このように変形した状態のディスクケースにガラス基板を挿入すると、ガラス基板がディスクケースのリブなどに擦れて発塵が起こり、ガラス基板上にパーティクルとして付着する恐れがある。このため、ある程度の再利用回数でディスクケースを取り換える必要がある。しかしながら、新たなディスクケースに取り換えるための適確な評価基準がなかった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に影響が及ばないようにディスクケースの再利用回数を適確に管理することができるディスクケースの使用方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のディスクケースの使用方法は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することを特徴とする。
【０００９】
この方法によれば、磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数でディスクケースの再利用回数を管理するので、ディスクケースが変形する前に交換することになる。このため、ディスクケースの変形に起因する磁気ディスク用ガラス基板への影響がない。したがって、ディスクケースが原因で発生するパーティクル発生率を大幅に引き下げることができ、安定した品質の磁気ディスク用ガラス基板を提供することができる。
【００１０】
本発明のディスクケースの使用方法においては、前記パーティクル発生率は、当該サイクル回数を経たディスクケースへガラス基板を挿入する前後において、０．１μｍ以上の大きさの異物が１０個以上増加するガラス基板数（ｎ）を、当該サイクル回数を経た当該ディスクケースへ挿入したガラス基板数（Ｎ）で除したもので定義し、そのパーティクル発生率が低いことが好ましい。
【００１１】
本発明のディスクケースの使用方法においては、前記洗浄・乾燥の条件が、水洗浄後、又は水／洗剤洗浄後に５０℃以上／３０分以上の乾燥であることが好ましい。
【００１２】
本発明のディスクケースの使用方法においては、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数が１５回以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理するものであり、磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に影響が及ばないようにディスクケースの再利用回数を適確に管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のディスクケースの使用方法を説明するための図であり、ディスクケースのサイクル回数と磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率との間の関係を示す図である。
【図２】ディスクケースを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
本発明者らは、磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用するサイクル回数と、ディスクケースを再利用することで該ディスクケースに生ずる変形が原因で不良品となる磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率との間の関係を検証し、パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数があることを突き止めた。
【００１６】
図１は、ディスクケースのサイクル回数と磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率（％）との間の関係を示す図である。同図から分るように、磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率は、ディスクケースのサイクル回数が１５回を超えると急激に上昇している。この検証結果に基づき、磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率が急激に上昇するサイクル数未満のサイクル数でディスクケースの再利用回数を管理すれば、ディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に悪影響が及ばないようにできることが分かる。また、このようにしてディスクケースを管理することで、常に安定した品質の磁気ディスク用ガラス基板を提供することが可能となる。
【００１７】
ここで、パーティクル発生率は、当該サイクル回数を経たディスクケースへガラス基板を挿入する前後において、０．１μｍ以上の大きさの異物が１０個以上増加するガラス基板数（ｎ）を、当該サイクル回数を経た当該ディスクケースへ挿入したガラス基板数（Ｎ）で除したもので定義する。磁気ディスク用ガラス基板上にパーティクルが発生したかどうかの評価は、磁気ディスク用ガラス基板を作製した後に、ディスクケースに入れて搬送し、搬送先で取り出した後、光学式欠陥検査装置（Optical Surface Analyzer：OSA）を用いて欠陥検査を行って評価する。すなわち、光学式欠陥検査装置により、当該サイクル回数を経たディスクケースへガラス基板を挿入する前後における０．１μｍ以上の大きさのパーティクルの個数の差分が１０個以上あるもので規定する。
【００１８】
また、１サイクルは、ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程をいう。また、洗浄・乾燥の条件が、水洗浄後、又は水／洗剤洗浄後に５０℃以上／３０分以上の乾燥であることが好ましい。
【００１９】
すなわち、本発明の骨子は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することである。
【００２０】
なお、ディスクケースサイクル数管理のため、そのサイクル数をディスクケース本体に記録（例えば刻印するなど、機械的／化学的方法などを用いて）、或いはＩＣタグのような電子方式記録などの併用を排除しない。
【００２１】
図２は、当該文献で開示されたディスクケース１０を示す斜視図である。同図に示すディスクケース１０は、側壁１１に複数のリブ（仕切り板）１２を有し、リブ間の隙間によって形成した溝１３に磁気ディスク用ガラス基板１を収納する。ガラス基板１の収納は、ディスクケース１０の開放された上方から溝１３に向けて挿入する。このように、多数枚のガラス基板１を立てた状態で配列収納する。なお、ディスクケースの材料としては、ポリカーボネイト、ポリプロピレンなどの合成樹脂、或いはカーボンを含有させた静電気防止タイプの合成樹脂などが用いられている。
【００２２】
磁気ディスク用ガラス基板の材料としては、結晶化ガラス、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどが用いられる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平坦性及び基板強度において優れたガラス基板を提供することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好ましく用いることができる。
【００２３】
また、ガラス基板の製造工程は、素材加工工程及び第１ラッピング工程；端部形状工程（穴部を形成するコアリング工程、端部（外周端部及び／又は内周端部）に面取り面を形成するチャンファリング工程（面取り面形成工程））；端面研磨工程（外周端部及び内周端部）；第２ラッピング工程；主表面研磨工程（第１及び第２研磨工程）；化学強化工程などの工程を含む。
【００２４】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
（実施例）
上記製造工程を経て得られた磁気ディスク用ガラス基板を、パーティクル発生率が急激に上がらない前のサイクル数である１５回（１５回目の利用）のディスクケース：４セットに各２５枚収納して搬送先までに搬送し、搬送先で磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、光学式欠陥検査装置を用いて前記のパーティクル発生率を調査した。その結果、パーティクル発生率は０％であった。
【００２５】
（比較例）
上記製造工程を経て得られた磁気ディスク用ガラス基板を、パーティクル発生率が急激に上がった後のサイクル数である１６回〜２０回（１６回目〜２０回目の利用）の各サイクル別にディスクケース：４セットに各２５枚収納して搬送先までに搬送し、搬送先で磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、光学式欠陥検査装置を用いて前記のパーティクル発生率を調査した。その結果、パーティクル発生率は１％〜１２％であった。
【００２６】
上記実施例及び比較例の結果から明らかなように、パーティクル発生率が急激に上がらない前のサイクル数のディスクケースを用いている、すなわちディスクケースの再利用回数を管理することにより、常に安定した品質の磁気ディスク用ガラス基板を提供することが可能となる。
【００２７】
本発明は上記実施の形態に限定されず、適宜変更して実施することができる。上記実施の形態における磁気ディスク用ガラス基板の欠陥の判断基準（０．１μｍ以上の大きさの異物が、ディスクケースへのガラス基板挿入前後において１０個以上増加する）は一例であり、本発明の効果を発揮する範囲内において種々変更して実施することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１  磁気ディスク用ガラス基板
１０  ディスクケース
１１  側壁
１２  リブ
１３  溝
【図１】
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【図２】
2010179930.tif 000004