(57)【要約】【課題】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、透明電極の不具合を確実に検出することによって、製造歩留まりを向上することができる。【解決手段】第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、第１のバス電極および第２のバス電極は、それぞれ前面基板上に形成し、第１の透明電極は少なくとも第１のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、第２の透明電極は少なくとも第２のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成し、分散液は顔料を有することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第１のバス電極および前記第２のバス電極は、それぞれ前記前面基板上に形成し、
前記第１の透明電極は少なくとも前記第１のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、前記第２の透明電極は少なくとも前記第２のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成し、
前記分散液は顔料を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記第１の透明電極および前記第２の透明電極の欠陥検出工程を有していることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記分散液をインクジェット法で印刷したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記分散液を塗布した透明電極前駆体を４００℃〜６００℃にて熱処理する工程を有していることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示デバイス等に用いる交流面放電型プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、単に「パネル」と略記する）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、ガラス製の前面基板と、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対と、それらを覆う誘電体層および保護層を有する。背面板は、ガラス製の背面基板と、データ電極と、それを覆う誘電体層と、隔壁と、蛍光体層とを有する。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このように構成されたパネルの各放電セル内でガス放電を発生させ、赤、緑、青各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００３】
走査電極および維持電極のそれぞれは、例えば幅の広いストライプ状の透明電極の上に幅の狭いストライプ状のバス電極を積層して形成されている。透明電極は、例えばスパッタ法等を用いて前面基板上に形成されたＩＴＯ薄膜を、フォトリソグラフィー法等によりストライプ状にパターニングして形成する。またバス電極は、透明電極上に銀ペーストをストライプ状に印刷し焼成して形成する（例えば、特許文献１参照）。しかしながらスパッタ法等でＩＴＯ薄膜を形成するためには真空装置や露光機等の設備が必要となり、生産設備が大型になるだけでなく、生産性が低いという問題点があった。
【０００４】
これらの課題を解決するために、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛から選ばれた金属の微粒子を含む分散液を塗布、焼成して、透明電極を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１５６１６８号公報
【特許文献２】特開２００５−１８３０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
パネルの透明電極は放電効率の向上目的で多数の形状パターンが考案されている。さらに画素高精細化が進むにつれ透明電極の加工寸法精度に対する要求も高まっている。パネルの透明電極は主にスパッタ法により均一膜面が形成され、その後レジスト液を塗布・乾燥後、露光・現像工程を経てパターンが形成される。
【０００７】
その他、インクジェットによる透明電極前駆体インクを直接基板に描画し、パターンを形成後、焼成工程を経て透明電極を形成する方法もある。
【０００８】
ところで、製造工程においては、不良品が後工程に漏れ流れないように、自工程に要求される品質が確保されている事を確認して後工程に送ることが重要となってきている。しかし透明電極は光を透過してしまうため、顕微鏡やＣＣＤカメラでははっきりと認識することが困難であり、透明電極の形成不良やパターニングした後の残渣を確認することは困難である。視軸と光軸を一致させた落射光のみでの視認が可能とはいえ、透明物質は認識が難しく欠陥の検出率は十分なものではない。
【０００９】
また、透明電極パターンの導通検査による欠陥検出方法も存在するが、欠陥の種類、発生の詳細な原因を調べられるものではない。さらにインクジェットなどの塗布パターニングによる透明電極形成法においては、塗布膜特有の表面凹凸により、表面反射光による階調識別はスパッタ膜と比較し困難である。また導通検査による欠陥検出は塗布膜の場合焼成工程を経なければ、実施できないといった問題がある。
【００１０】
本発明はこのような課題を解決する手段を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のパネルの製造方法は、第１のバス電極と第１の透明電極とを有する走査電極と、第２のバス電極と第２の透明電極とを有する維持電極とを、前面基板上に形成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、第１のバス電極および第２のバス電極は、それぞれ前面基板上に形成し、第１の透明電極は少なくとも第１のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、第２の透明電極は少なくとも第２のバス電極またはその前駆体の一部を覆うように、それぞれ金属の微粒子または金属酸化物の微粒子を含む分散液を用いて形成し、分散液は顔料を有することを特徴とする。
【００１２】
また、第１の透明電極および第２の透明電極の欠陥検出工程を有していてもよい。そして、分散液をインクジェット法で印刷してもよく、さらに、分散液を塗布した透明電極前駆体を４００℃〜６００℃にて熱処理する工程を有していてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の製造方法によって、パネルの製造工程において、有色有機溶媒を混合した透明電極前駆体は有色となり、視認が容易になることで欠陥検出率の向上に繋がる。また前面板の画像表示側からの透過光照明による検査も可能となる。
【００１４】
これによって、パネル製造時の透明電極の不具合を確実に検出することができ、歩留まりを向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態におけるパネルの構造を示す分解斜視図
【図２】同パネルの表示電極対の詳細を示す図
【図３】本発明の実施の形態のパネルの前面板の製造方法例を説明するための図
【図４】同パネルの背面板の製造方法を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態におけるパネルについて、図面を用いて説明する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるパネルの構造を示す分解斜視図である。パネル１０は、前面板２０と背面板３０とを対向配置し、周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。
【００１８】
前面板２０は、ガラス製の前面基板２１と、走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４と、ブラックストライプ２５と、誘電体層２６と、保護層２７とを有する。前面基板２１上には１対の走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４が互いに平行に複数形成されている。そして隣り合う表示電極対２４の間にはブラックストライプ２５が形成されている。図１には表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されている図を示した。しかし表示電極対２４とブラックストライプ２５とが、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、維持電極２３、走査電極２２、ブラックストライプ２５、・・・となるように形成されていてもよい。
【００１９】
そしてそれら表示電極対２４およびブラックストライプ２５を覆うように誘電体層２６が形成され、誘電体層２６上に保護層２７が形成されている。
【００２０】
背面板３０は、ガラス製の背面基板３１と、データ電極３２と、誘電体層３３と、隔壁３４と、蛍光体層３５とを有する。背面基板３１上には、複数のデータ電極３２が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極３２を覆うように誘電体層３３が形成され、さらにその上に井桁状の隔壁３４が形成され、誘電体層３３の表面と隔壁３４の側面とに赤、緑、青各色の蛍光体層３５が形成されている。
【００２１】
そして、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように前面板２０と背面板３０とが対向配置され、表示電極対２４とデータ電極３２とが対向する部分に放電セルが形成される。放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で、低融点ガラスを用いて前面板２０と背面板３０とが封着され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。
【００２２】
図２は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の表示電極対２４の詳細を示す図であり、図２（ａ）はパネル１０を前面板２０側から見た正面図、図２（ｂ）は前面板２０の断面図である。
【００２３】
走査電極２２は、不透明な第１のバス電極２２ａと、透明な第１の透明電極２２ｂとを有する。バス電極２２ａは黒色層２２ｃと導電層２２ｄとからなる。維持電極２３も同様に第２のバス電極２３ａと第２の透明電極２３ｂとを有し、バス電極２３ａは黒色層２３ｃと導電層２３ｄとからなる。以下、第１のバス電極２２ａおよび第２のバス電極２３ａをそれぞれ単に「バス電極２２ａ」および「バス電極２３ａ」と称する。また第１の透明電極２２ｂおよび第２の透明電極２３ｂをそれぞれ単に「透明電極２２ｂ」および「透明電極２３ｂ」と称する。
【００２４】
黒色層２２ｃ、２３ｃは、パネルを表示面側から見たときにバス電極２２ａ、２３ａを黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１の上に幅の狭いストライプ状に形成したものである。そして導電層２２ｄ、２３ｄは、バス電極２２ａ、２３ａの導電性を高めるために設けられており、黒色層２２ｃ、２３ｃの上に銀を含む導電性の材料を積層して形成したものである。
【００２５】
ブラックストライプ２５は、パネルを表示面側から見たときに表示面を黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１上に形成したものである。
【００２６】
透明電極２２ｂ、２３ｂは、放電空間に強い電界を発生して放電を発生させるとともに、蛍光体層３５で発生した光をパネル外部へ取り出すために設けられている。そして透明電極２２ｂはバス電極２２ａの少なくとも一部を覆うように、また透明電極２３ｂはバス電極２３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれインジウム、錫等の金属微粒子を含む分散液を幅の広いストライプ状に塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成したものである。
【００２７】
次にパネル１０の製造方法について説明する。図３は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の前面板２０の製造方法を説明するための図である。
【００２８】
前面板２０を製造するには、まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄する。その後、酸化ルテニウムや黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２ｃ、２３ｃの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、およびブラックストライプ２５の前駆体２５ｘを前面基板２１上に形成する。これら前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２５ｘはスクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて形成することができる。その後、銀を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘの上に導電層２２ｄ、２３ｄの前駆体２２ｄｘ、２３ｄｘを形成する（図３（ａ））。
【００２９】
次に、前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２５ｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、バス電極２２ａ、２３ａ、ブラックストライプ２５を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０〜６００℃が望ましく、本実施の形態においては５８０℃である。またバス電極２２ａ、２３ａの厚みは、１μｍ〜６μｍが望ましく、本実施の形態においては４μｍである（図３（ｂ））。
【００３０】
次に、透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。透明電極２２ｂ、２３ｂを形成するには、まず、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍであって、インジウム、錫、アンチモン、アルミニウムおよび亜鉛の中の少なくとも１つの金属の微粒子、またはこれらの合金の微粒子、またはこれらの微粒子の酸化物を含有する分散液を作成する。
【００３１】
本実施の形態においては、平均粒径が１０ｎｍのインジウム−錫の酸化物微粒子を１２ｗｔ％の濃度で分散剤と顔料とともに有機溶媒中に分散させ、分散液を作成した。
【００３２】
なお、有機溶媒としては、デカヒドロナフタレンを用いたが、これ以外にも、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、テトラデカンのような無極性溶媒、芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、及びトリメチルペンタン等の長鎖アルカン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、及びシクロオクタン等の環状アルカン等を、顔料としてはトルイジンレッド、パーマネントカーミンＦＢ、ジスアゾオレンジＰＭＰ、レーキレッドＣ、ブリリアントカーミン６Ｂ、キナクリドンレッド、ジオキサンバイオレット、オルトニトロアニリンオレンジ、ジニトロアニリンオレンジ、バルカンオレンジ、トルイジンレッド、塩素化パラレッド、ブリリアントファーストスカーレット、ナフトールレッド２３、ビラゾロンレッド、バリウムレッド２Ｂ、カルシウムレッド２Ｂ、ストロンチウムレッド２Ｂ、マンガンレッド２Ｂ、バリウムリソームレッド、ピグメントスカーレッド３Ｂレーキ、レーキボルドー１０Ｂ、アンソシン３Ｂレーキ、アンソシン５Ｂレーキ、ローダミン６Ｇレーキ、エオシンレーキ、べんがら、ファフトールレッドＦＧＲ、ローダミンＢレーキ、メチルバイオレッドレーキ、ジオキサジンバイオレッド、ナフトールカーミンＦＢ、ナフトールレッドＭ、ファストイエローＡＡＡ、ファストイエロー１０Ｇ、ジスアゾイエローＡＡＭＸ、ジスアゾイエローＡＡＯＴ、ジスアゾイエローＡＡＯＡ、ジスアゾイエローＨＲ、イソインドリンイエロー、ファストイエローＧ、ジスアゾイエローＡＡＡ、フタロシアニンブルー、ピクトリアピュアブルー、ベーシックブルー５Ｂレーキ、ベーシックブルー６Ｇレーキ、ファストスカイブルー、アルカリブルーＲトナー、ピーコックブルーレーキ、紺青、群青、レフレックスブルー２Ｇ、レフレックスブルーＲ、アルカリブルーＧトナー、ブリリアントグリーンレーキ、ダイアモンドグリーンチオフラビンレーキ、フタロシアニングリーンＧ、グリーンゴールド、フタロシアニングリーンＹ、酸化鉄粉、さびこ、亜鉛華、酸化チタン、炭酸カルシウム、クレー、硫酸バリウム、アルミナホワイト、アルミニウム粉、ブロンズ粉、昼光蛍光顔料、パール顔料等を単独または任意混合して用いることができる。
【００３３】
次に、インクジェット塗布装置を用いて、バス電極２２ａの少なくとも一部を覆う幅の広いストライプ状に、またバス電極２３ａの少なくとも一部を覆う幅の広いストライプ状に分散液を塗布して透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成する。本実施の形態においては、多数穴の微細ノズルを有するインクジェット塗布装置を用いて、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成した。このとき、透明電極２２ｂの前駆体２２ｂｘはバス電極２２ａを覆うように塗布し、透明電極２３ｂの前駆体２３ｂｘはバス電極２３ａを覆うように塗布した。（図３（ｃ））。
【００３４】
次に有色の透明電極前駆体パターンをＣＣＤカメラでスキャンし欠陥画像を検出する画像検査装置を用いパターン欠陥を検出する。検出方法としては隣接比較法を用いる。本検査で用いる隣接比較法は注目画像検出領域と一定間隔はなれた画像検出領域との濃度差を計算するものである。この処理を行うと、繰り返しパターン部の濃度が均一であれば、繰り返しパターンは全て正常と認識し、濃度差が設定閾値以上となれば欠陥と認識する。閾値判定で、所定の明るさの差を越える画像領域のみを検出することでショートやカケ、を欠陥として検出することができる。その後、前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘが形成された前面基板２１を乾燥し、酸化性雰囲気中で４００℃〜６００℃で焼成することで、顔料を焼失させ、膜を透明にし、８０〜５００ｎｍの透明導電膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成する。（図３（ｄ））。
【００３５】
次に、走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が形成された前面基板２１上に、印刷法等の公知技術により、誘電体層の前駆体を形成する。そして誘電体層の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ〜５０μｍの誘電体層２６を形成する。
【００３６】
本実施の形態においては、酸化硼素３５ｗｔ％、酸化硅素１．４ｗｔ％、酸化亜鉛２７．６ｗｔ％、酸化物バリウム３．３ｗｔ％、酸化ビスマス２５ｗｔ％、酸化アルミニウム１．１ｗｔ％、酸化モリブデン４．０ｗｔ％、酸化タングステン３．０ｗｔ％を含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。このようにして作成された誘電体ガラスの軟化点は約５７０℃である。次に走査電極２２、維持電極２３およびブラックストライプ２５が生成された前面基板２１上にダイコート法により誘電体ペーストを塗布して誘電体層の前駆体を形成した。そして誘電体層の前駆体を約５９０℃で焼成して誘電体層２６を形成した。このときの誘電体層２６の厚みは約４０μｍである。
【００３７】
なお、誘電体ペーストとしては、上記以外にも、例えば、酸化硼素、酸化硅素、酸化亜鉛、アルカリ土類酸化物、アルカリ金属酸化物、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化
モリブデン、酸化タングステン、酸化セリウム等の中からいくつかを含んだ軟化点５２０℃〜５９０℃の誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを用いることができる。
【００３８】
そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層２７を、真空蒸着法等の公知技術により形成する（図３（ｅ））。
【００３９】
なお、本実施の形態においては、インジウム−錫の合金微粒子を用いてＩＴＯ膜からなる透明電極２２ｂ、２３ｂを形成したが、上記以外にも、例えば錫の微粒子を用いて酸化錫膜からなる透明電極を形成してもよく、また亜鉛の微粒子を用いて酸化亜鉛膜からなる透明電極を形成してもよい。
【００４０】
また本実施の形態では、黒色層２２ｃ、２３ｃおよび導電層２２ｄ、２３ｄの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘを焼成後、透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成し焼成した。しかし、例えば黒色層２２ｃ、２３ｃおよび導電層２２ｄ、２３ｄの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘの上にさらに透明電極２２ｂ、２３ｂの前駆体２２ｂｘ、２３ｂｘを形成し、その後これらの前駆体２２ｃｘ、２３ｃｘ、２２ｄｘ、２３ｄｘ、２２ｂｘ、２３ｂｘを同時に焼成して走査電極２２、維持電極２３を形成してもよい。
【００４１】
次に背面板３０の製造方法について説明する。図４は、本実施の形態におけるパネル１０の背面板３０の製造方法を説明するための図である。
【００４２】
まず、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて、背面基板３１上に、銀を主成分とする導電層用ペーストを一定間隔でストライプ状に塗布し、データ電極３２の前駆体３２ｘを形成する（図４（ａ））。
【００４３】
次に、前駆体３２ｘが形成された背面基板３１を焼成して、データ電極３２を形成する。データ電極３２の厚みは、例えば２μｍ〜１０μｍである（図４（ｂ））。
【００４４】
続いて、データ電極３２を形成した背面基板３１上に誘電体ペーストを塗布し、この後焼成して誘電体層３３を形成する。誘電体層３３の厚みは、例えば約５μｍ〜１５μｍである（図４（ｃ））。
【００４５】
続いて、誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性の誘電体ペーストを塗布した後、焼成して隔壁３４の前駆体を形成する。その後、露光マスクを用いて感光し、エッチングして隔壁３４を形成する。隔壁３４の高さは、例えば１００μｍ〜１５０μｍである（図４（ｄ））。
【００４６】
そして、隔壁３４の壁面および誘電体層３３の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。その後乾燥、焼成して蛍光体層３５を形成する。
【００４７】
赤色蛍光体としては、例えば（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、（Ｙ、Ｖ）ＰＯ４：Ｅｕ等を、緑色蛍光体としては、例えばＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｔｂ、（Ｙ、Ｇｄ）Ａｌ３（ＢＯ３）４：Ｔｂ等を、青色蛍光体としては、例えばＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、Ｓｒ３ＭｇＳｉ２Ｏ８：Ｅｕ等をそれぞれ用いることができる（図４（ｅ））。
【００４８】
そして上述した前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点
ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、パネル１０が完成する。
【００４９】
本実施の形態においては、透明電極２２ｂはバス電極２２ａの少なくとも一部を覆うように、透明電極２３ｂはバス電極２３ａの少なくとも一部を覆うように、それぞれインジウム、錫等の金属微粒子を含む分散液を幅の広いストライプ状に塗布し、酸化性雰囲気中で焼成して形成した。そしてその次の工程において透明電極２２ｂ、２３ｂを覆うように誘電体層２６を形成した。そのため、たとえ透明電極２２ｂ、２３ｂの機械的強度が低くても、傷がついたり剥れたりする可能性が非常に小さくなる。
【００５０】
また本実施の形態において、平均粒径が１０ｎｍのインジウム−錫の合金微粒子を高濃度で分散させた分散液を塗布後、５００℃の高温で焼成した透明電極２２ｂ、２３ｂは、抵抗が低く、透過率が高く、かつ前面基板２１やバス電極２２ａ、２３ａとの密着性も良好であった。この理由としては、例えば焼成によりインジウムが酸化インジウムに変化する際に微粒子が膨張することにより、粒子間の密着性や基板との密着性がより向上したためではないかと考えられる。
【００５１】
また本実施の形態において、平均粒径が５ｎｍ〜１００ｎｍの金属の微粒子を用いて透明電極２２ｂ、２３ｂを形成した。これは、平均粒径が５ｎｍ以下では、微粒子と誘電体ガラスとの反応が生じやすく、また、銀を含むバス電極２２ａ、２３ａとの段差部に亀裂が生じやすくなるためである。また、平均粒径が１００ｎｍ以上になると、インクジェット塗布装置の微細ノズルに目詰まりが起こりやすくなるためである。また平均粒径が大きすぎると、粒子間の接触面積が減少しシート抵抗が大きくなるためである。
【００５２】
また本実施の形態においては、金属の微粒子を含む分散液をインクジェット法によりストライプ状に塗布した。このようにインクジェット法を用いることにより、分散液を無駄なく、かつ精度よくパターニングすることができる。
【００５３】
なお、実施の形態において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの仕様等に合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明によれば、透明電極の不具合を確実に検出することによって、製造歩留まりを向上することができ、パネルの製造方法として有用である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  パネル
２０  前面板
２１  前面基板
２２  走査電極
２２ａ  （第１の）バス電極
２２ｂ  （第１の）透明電極
２２ｂｘ、２３ｂｘ  （透明電極の）前駆体
２２ｃ、２３ｃ  黒色層
２２ｃｘ、２３ｃｘ  （黒色層の）前駆体
２２ｄ、２３ｄ  導電層
２２ｄｘ、２３ｄｘ  （導電層の）前駆体
２３  維持電極
２３ａ  （第２の）バス電極
２３ｂ  （第２の）透明電極
２４  表示電極対
２５  ブラックストライプ
２５ｘ  （ブラックストライプの）前駆体
２６  誘電体層
２７  保護層
３０  背面板
３１  背面基板
３２  データ電極
３２ｘ  （データ電極の）前駆体
３３  誘電体層
３４  隔壁
３５  蛍光体層
【図１】
2010277804.tif 000003
【図２】
2010277804.tif 000004
【図３】
2010277804.tif 000005
【図４】
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