(57)【要約】【課題】加工容易性を向上させた上で、チャネルの挟ピッチ化を実現することができ、高分解能化を図ることができる液体噴射ヘッドチップ及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】第１アクチュエータプレート４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとの両者の隔壁３６が互い違いになるようにして重ね合わせられ、第１アクチュエータプレート４１ａの隔壁３６と第２アクチュエータプレート４１ｂの隔壁３６との間に、インクＷが充填される吐出チャネル５０が形成されることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の噴射孔が形成された噴射プレートと、
前記噴射孔に連通するチャネルを有し、前記チャネルから前記噴射孔に向けて前記液体を供給する液体供給部とを備えた液体噴射ヘッドチップにおいて、
前記液体供給部は、第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートを備え、
前記第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートは、前記噴射孔の配列方向に一定間隔を空けた状態で形成された複数の隔壁と、隣接する前記隔壁の間に形成された溝部とを有し、
前記第１アクチュエータプレートと前記第２アクチュエータプレートとは、一方の前記アクチュエータプレートの前記隔壁が他方の前記アクチュエータプレートの溝部内に入り込むようにして重ね合わせられ、
前記チャネルは、前記第１アクチュエータプレートの前記隔壁と前記第２アクチュエータプレートの前記隔壁との間に構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項２】
前記両アクチュエータプレートは、同一形状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項３】
前記噴射孔は、開口部輪郭が楕円形状に形成され、
前記噴射孔は、前記噴射孔の短軸方向と前記チャネルの開口部における短手方向とが一致した状態で配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項４】
前記第１アクチュエータプレートまたは前記第２アクチュエータプレートの何れか一方には、前記チャネルに連通して前記チャネル内に液体を供給可能な液体導入孔が形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項５】
前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートのうち、何れか一方の前記アクチュエータプレートの前記溝部には、他方の前記アクチュエータプレートの前記隔壁の幅方向一側に、前記溝部よりも深く形成された深溝部が形成され、
前記深溝部が形成された前記チャネルにのみ、前記液体導入孔が連通可能に構成されていることを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項６】
液体を吐出する複数の噴射孔が形成された噴射プレートと、
前記噴射孔に連通するチャネルを有し、前記チャネルから前記噴射孔に向けて前記液体を供給する液体供給部とを備えた液体噴射ヘッドチップの製造方法であって、
前記液体供給部は、第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートが組み合わされて構成され、
前記両アクチュエータプレートの前記噴射孔の配列方向に一定間隔を空けた状態で、前記両アクチュエータプレートの前記噴射孔の配列方向に面内で直交する方向に沿う複数の溝部を形成する溝部形成工程と、
一方の前記アクチュエータプレートの前記隔壁が他方の前記アクチュエータプレートの溝部内に入り込むようにして、前記両アクチュエータプレートを重ね合わせる重ね合わせ工程とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドチップの製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドチップと、
所定量の前記液体を前記液体導入孔に供給する供給手段と、
前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段とを備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７記載の液体噴射ヘッドと、
前記被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、
前記被記録媒体の搬送方向に直交する方向に前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドチップ及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射ヘッドを有する液体噴射記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ヘッドチップ（液体噴射ヘッドチップ）のノズル孔（液体噴射孔）から液体、例えばインクを噴射し被記録媒体にインク滴を着弾させ、文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置（液体噴射記録装置）が利用されている。ヘッドチップの各ノズル孔には、圧電アクチュエータ（液体供給部）が連結されている。この圧電アクチュエータには、インクが充填される複数の溝部（チャネル）が形成されている。そして、溝部を仕切る隔壁に設けられた駆動電極に通電することにより、隔壁が変形してインクを押し出してノズル孔からインク滴を吐出し被記録媒体に印刷するものである。
【０００３】
ところで、圧電アクチュエータの溝部は、ダイシング工程において、ダイサーと呼ばれるダイヤモンドブレードを用い、アクチュエータプレートを研削して形成することが一般的である（例えば、特許文献１，２参照）。例えば、特許文献１に示されるように、ダイサーにより研削されて形成される圧電アクチュエータの溝部は、約６０〜８６μｍ程度である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２６９９９５号公報
【特許文献２】特開２００５−２７１３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、上述したインクジェット記録装置等の液体噴射記録装置では、被記録媒体に印刷する文字や記号の解像度を高め、更なる高分解能化（高精細化）を図るような要請がある。
【０００６】
ここで、インクジェット記録装置の高分解能化を図るためには、例えば、圧電アクチュエータの溝部のピッチを狭くすることが考えられる。溝部の挟ピッチ化を図るためには、可能な限り幅の狭いダイサーを用いてアクチュエータプレートを研削することが考えられる。
しかしながら、ダイシング加工で用いるダイサーの幅にはダイサーの強度などによる限界があるため、溝部の狭ピッチ化には限界がある。
【０００７】
また、溝部の挟ピッチ化を図るためには、隔壁の幅を縮小することも考えられる。
しかしながら、隔壁の幅を縮小すると隔壁が折れてしまう可能性があり、隔壁の幅を縮小するためには、高い加工精度が要求され、加工が難しくなるので、歩留まりの向上が見込めず、加工不可能になる虞がある。
このように、今後溝部のさらなる挟ピッチ化は困難な状況にある。
【０００８】
そこで、本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、加工容易性を向上させた上で、チャネルの挟ピッチ化を実現することができ、高分解能化を図ることができる液体噴射ヘッドチップ及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドチップは、液体を吐出する複数の噴射孔が形成された噴射プレートと、前記噴射孔に連通するチャネルを有し、前記チャネルから前記噴射孔に向けて前記液体を供給する液体供給部とを備えた液体噴射ヘッドチップにおいて、前記液体供給部は、第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートを備え、前記第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートは、前記噴射孔の配列方向に一定間隔を空けた状態で形成された複数の隔壁と、隣接する前記隔壁の間に形成された溝部とを有し、前記第１アクチュエータプレートと前記第２アクチュエータプレートとは、一方の前記アクチュエータプレートの前記隔壁が他方の前記アクチュエータプレートの溝部内に入り込むようにして重ね合わせられ、前記チャネルは、前記第１アクチュエータプレートの前記隔壁と前記第２アクチュエータプレートの前記隔壁との間に構成されていることを特徴としている。
【００１０】
この構成によれば、第１アクチュエータプレートの隔壁が第２アクチュエータプレートの溝部内に、第２アクチュエータプレートの隔壁が第１アクチュエータプレートの溝部内にそれぞれ入り込むようにした状態で重ね合わされる。すなわち、両アクチュエータプレートの隔壁が互い違いになるように重ね合わされ、互いの隔壁により互いの溝部内を幅方向において２分割するように配置される。これにより、１つの溝部により２つのチャネルを形成することができるため、既存の加工器具及び製造方法を用いて、従来のチャネルの幅よりも狭いチャネルを形成することができる。
したがって、加工容易性を向上させ、歩留まりの向上を図った上で、チャネルの挟ピッチ化を図ることができるため、被記録媒体に印刷する文字や記号の解像度を高め、高分解能化を図ることができる。
【００１１】
また、前記両アクチュエータプレートは、同一形状に形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、両アクチュエータプレートを同一形状に形成することで、両アクチュエータプレートを同一の加工器具及び製造方法を用いて製造することができるため、加工容易性を向上させることができるとともに、製造コストを低減させることができる。
【００１２】
また、前記噴射孔は、開口部輪郭が楕円形状に形成され、前記噴射孔は、前記噴射孔の短軸方向と前記チャネルの開口部における短手方向とが一致した状態で配置されていることを特徴としている。
この構成によれば、噴射孔の短軸方向とチャネルの短手方向とを一致させることで、円形の噴射孔に比べて開口面積を増加させることができるため、幅の狭いチャネルから液体を噴射する場合であっても、液体の噴射量を確保することができる。
【００１３】
また、前記第１アクチュエータプレートまたは前記第２アクチュエータプレートの何れか一方には、前記チャネルに連通して前記チャネル内に液体を供給可能な液体導入孔が形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、一方のアクチュエータプレートにチャネルに連通可能な液体導入孔を形成することで、複数のチャネルに一括して液体を充填することができる。これにより、例えばチャネル毎に液体の供給孔を設ける構成比べて、構成の簡素化を図ることができる。
【００１４】
また、前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートのうち、何れか一方の前記アクチュエータプレートの前記溝部には、他方の前記アクチュエータプレートの前記隔壁の幅方向一側に、前記溝部よりも深く形成された深溝部が形成され、前記深溝部が形成された前記チャネルにのみ、前記液体導入孔が連通可能に構成されていることを特徴としている。
この構成によれば、溝部が分割されてなる複数のチャネルが、１つおきに吐出チャネルとして機能するので、例えば導電性を有する液体を用いる場合であっても、吐出チャネルに設けられた駆動電極と、ダミーチャネルに設けられた駆動電極とを液体を介して導通させることなく、電気的に切り離した状態で使い分けることができる。したがって、導電性を有する液体を利用して記録を行うことができる。このように、導電性を有する液体であっても問題なく利用できるので、付加価値を高めることができる。
特に、一方のアクチュエータプレートの溝部の幅方向一側に、さらに深溝部を形成するとともに、深溝部のみに連通する液体導入孔を形成することで、吐出チャネルのみに液体を充填することができる。これにより、加工工数を大幅に増やすことなく導電性を有する液体にも対応可能な圧電アクチュエータを提供することができる。そのため、製造コスト及び製造効率を維持することができる。
【００１５】
また、本発明に係る液体噴射ヘッドチップの製造方法は、液体を吐出する複数の噴射孔が形成された噴射プレートと、前記噴射孔に連通するチャネルを有し、前記チャネルから前記噴射孔に向けて前記液体を供給する液体供給部とを備えた液体噴射ヘッドチップの製造方法であって、前記液体供給部は、第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートが組み合わされて構成され、前記両アクチュエータプレートの前記噴射孔の配列方向に一定間隔を空けた状態で、前記両アクチュエータプレートの前記噴射孔の配列方向に面内で直交する方向に沿う複数の溝部を形成する溝部形成工程と、一方の前記アクチュエータプレートの前記隔壁が他方の前記アクチュエータプレートの溝部内に入り込むようにして、前記両アクチュエータプレートを重ね合わせる重ね合わせ工程とを有することを特徴としている。
この構成によれば、両アクチュエータプレートの隔壁が互い違いになるように重ね合わせることで、互いの隔壁により互いの溝部内を幅方向において２分割するように配置される。これにより、１つの溝部により２つのチャネルを形成することができるため、既存の加工器具及び製造方法を用いて、従来のチャネルの幅よりも狭いチャネルを形成することができる。
したがって、加工容易性を向上させた上で、チャネルの挟ピッチ化を図ることができるため、被記録媒体に印刷する文字や記号の解像度を高め高分解能化が可能な、液体噴射ヘッドチップを提供することができる。
【００１６】
また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、上記本発明の液体噴射ヘッドチップと、所定量の前記液体を前記液体導入孔に供給する供給手段と、前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段とを備えていることを特徴としている。
この構成によれば、供給手段が液体噴射ヘッドチップの液体導入孔に対して所定量の液体を確実に供給している。そして、制御手段により駆動電極に駆動電圧を適宜印加することで、上述したように液体を噴射孔から吐出して記録を行うことができる。
特に、チャネルが挟ピッチ化された高品質な液体噴射ヘッドチップを備えているので、記録を確実に行うことができ、液体噴射ヘッド自体の高品質化を図ることができる。
【００１７】
また、本発明に係る液体噴射記録装置は、上記本発明の液体噴射ヘッドと、前記被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、前記被記録媒体の搬送方向に直交する方向に前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動手段とを備えていることを特徴としている。
この構成によれば、搬送手段が被記録媒体を予め決められた方向に搬送しながら、移動手段が被記録媒体の搬送方向に直交する方向に液体噴射ヘッドを往復移動させる。これにより、被記録媒体の所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。特に、チャネルが挟ピッチ化された高品質な液体噴射ヘッドチップを備えているので、やはり同様に液体噴射記録装置自体の高品質化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば。第１アクチュエータプレートの隔壁が第２アクチュエータプレートの溝部内に、第２アクチュエータプレートの隔壁が第１アクチュエータプレートの溝部内にそれぞれ入り込むようにした状態で重ね合わされる。すなわち、両アクチュエータプレートの隔壁が互い違いになるように重ね合わされ、互いの隔壁により互いの溝部内を幅方向において２分割するように配置される。これにより、１つの溝部により２つのチャネルを形成することができるため、既存の加工器具及び製造方法を用いて、従来のチャネルの幅よりも狭いチャネルを形成することができる。
したがって、加工容易性を向上させた上で、チャネルの挟ピッチ化を図ることができるため、被記録媒体に印刷する文字や記号の解像度を高め高分解能化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態におけるインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図３】ヘッドチップの斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態における圧電アクチュエータの側面図である。
【図５】（ａ）は図４のＡ−Ａ線に沿う断面図、（ｂ）は図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】アクチュエータプレートの平面図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【図７】圧電アクチュエータの製造方法を示す工程図である。
【図８】圧電アクチュエータの製造方法を示す工程図である。
【図９】本発明の第２実施形態における圧電アクチュエータの断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態における圧電アクチュエータの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
（インクジェットプリンタ）
次に、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、非導電性の油性インク（液体）Ｗを利用して記録を行うインクジェットプリンタ１を例に挙げて説明する。
図１は、インクジェットプリンタ１の概略構成を示す斜視図である。
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた搬送方向Ｌ１に搬送する搬送手段３と、この搬送方向Ｌ１に直交する直交方向Ｌ２に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４とを、備えている。
【００２１】
つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを搬送方向Ｌ１に搬送しながら、該搬送方向Ｌ１に直交する直交方向Ｌ２にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録する、いわゆるシャトル方式のプリンタである。なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタ及びイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。
【００２２】
これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
このキャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、該基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されており、直交方向Ｌ２に沿って配置されたガイドレール７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７に支持された状態で一対のプーリ８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８のうち一方のプーリ８は、モータ１０の出力軸に連結されており、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、直交方向Ｌ２に向けて往復移動できるようになっている。
すなわち、これら一対のガイドレール７、一対のプーリ８、搬送ベルト９及びモータ１０は、上記移動手段４として機能する。
【００２３】
また、筐体５には、一対のガイドレール７と同じ直交方向Ｌ２に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６とが間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう搬送方向Ｌ１に沿って記録紙Ｐを搬送することができるようになっている。
すなわち、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、上記搬送手段３として機能する。
【００２４】
（インクジェットヘッド）
図２は、インクジェットヘッド２の外観斜視図である。
図２に示すように、各インクジェットヘッド２は、いわゆるシェアモード型インクジェットヘッドであって、キャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、ヘッドチップ２１の後述するインク導入孔４０（図３参照）にインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。
【００２５】
（ヘッドチップ）
図３は、ヘッドチップ２１の斜視図である。
図３に示すように、ヘッドチップ２１は、圧電アクチュエータ（液体供給部）３０、支持プレート３２、ノズルプレート３３で主に構成されている。
支持プレート３２は、圧電アクチュエータ３０を支持しているとともに、ノズルプレート３３を同時に支持している。支持プレート３２には、横幅方向（Ｙ方向）に亘って嵌合孔３２ａが形成されており、この嵌合孔３２ａ内に圧電アクチュエータ３０を嵌め込んだ状態で支持している。この際、支持プレート３２の前端面は、圧電アクチュエータ３０の前端面と面一となるように組み合わされている。
【００２６】
そして、これら支持プレート３２の端面、圧電アクチュエータ３０の前端面に、ノズルプレート３３が接着剤（不図示）により接着固定されている。
ノズルプレート３３は、例えば、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状のプレートである。そして、ノズルプレート３３は、一方の面が支持プレート３２に接着される接着面となっており、他方の面が記録紙Ｐに対向する対向面（表面３３ｂ）となっている。なお、表面３３ｂには、インクＷの付着などを防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。
【００２７】
また、このノズルプレート３３には、横幅方向（Ｙ方向）に沿って複数のノズル孔３３ａが形成されている。この際、ノズル孔３３ａは、ノズルプレート３３の横幅方向（Ｙ方向）に沿って略直線状に等間隔に形成されている。
また、各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が楕円形を描くように形成されている。例えば、ノズル孔３３ａは、短軸が約１０μｍ、長軸が約５３μｍ程度に形成されており、ノズル孔３３ａの吐出量は約３０ｐｌ程度に設定されている。しかも、接着面側の入口径Ｄ１（例えば、ノズル孔３３ａの短軸）が表面３３ｂ側の出口径Ｄ２よりも大きい、断面テーパ状に形成されている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置などを用いて形成されている。
【００２８】
図２に示すように、ヘッドチップ２１は、上述したように固定板２０の上面に固定されている。この固定板２０の上面には、アルミニウム等で形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２１のインク導入孔４０にインクＷを供給する流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ６０が取り付けられている。
【００２９】
このように構成されたインクジェットヘッド２は、供給チューブ６０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、該インクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室に一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１のインク導入孔４０に供給するようになっている。すなわち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂおよびインク連結管２２ｃは、上記供給手段２２として機能する。
【００３０】
図４は圧電アクチュエータ３０の側面図であり、図５は圧電アクチュエータ３０の断面図であり、（ａ）は図４のＡ−Ａ線に沿う断面図、（ｂ）は図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
ここで、図３〜５に示すように、圧電アクチュエータ３０は、第１アクチュエータプレート４１ａと、第２アクチュエータプレート４１ｂとを重ね合わせて構成されている。なお、第１アクチュエータプレート４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとは略同一の構成であるため、以下の説明では、両者の区別が必要な場合以外は、両者をまとめてアクチュエータプレート４１として説明する。
【００３１】
図６はアクチュエータプレート４１の平面図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
図６に示すように、アクチュエータプレート４１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料から形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート４１の表面４２ａ側には、長さ方向（矢印Ｘ方向）に伸びる溝部３５が長さ方向に直交する横幅方向（矢印Ｙ方向）に一定間隔を空けた状態で複数形成されている。複数の溝部３５は、隔壁３６によってそれぞれ区分けされた状態となっている。この場合、溝部３５の幅Ｉ１は、隔壁３６の幅Ｉ２よりも広く形成されており、例えば溝部３５の幅Ｉ１が約５０μｍ、隔壁３６の幅Ｉ２は約２０μｍ、溝部３５のピッチＩ３は約７０μｍ程度に形成されている（図６（ｃ）参照）。
【００３２】
複数の溝部３５は、インクＷが充填される後述する吐出チャネル５０（図５参照）として機能するものであり、アクチュエータプレート４１の長さ方向（Ｘ方向）両側に開口するように形成されている。
また、隔壁３６は、長さ方向（Ｘ方向）前側は、アクチュエータプレート４１の前端面４２ｂから長さ方向の略中央部まで延びる前側延出部３６ａと、この前側延出部３６ａの後部から後方に向かって隔壁３６の高さが漸次低くなる傾斜部３６ｂとで形成されている。すなわち、隔壁３６は側面視台形状に形成されるとともに（図６（ｂ）参照）、アクチュエータプレート４１の後端面４２ｃ側から見ると、複数の隔壁３６が横幅方向に並んで櫛歯状に配列されている（図６（ｃ）参照）。そして、隔壁３６の傾斜部３６ｂよりも後方は、各溝部３５がアクチュエータプレート４１の横幅方向（Ｙ方向）に開放されて平坦面３８を構成している。
【００３３】
複数の溝部３５の隔壁３６及び平坦面３８には、長さ方向に亘ってアルミニウム、金等からなる駆動電極３７が斜方蒸着等により形成されている。この駆動電極３７は、隔壁３６の側面に形成された側面電極３７ａと、平坦面３８上に形成された平坦面電極３７ｂとで構成されている。
側面電極３７ａは、前側延出部３６ａの側面における前端側から後端側まで周縁部分に沿って形成されており、具体的には、隔壁３６の上端から高さ方向における中間位置まで形成されている。また、側面電極３７ａは、傾斜部３６ｂの側面に沿って形成されるとともに、傾斜部３６ｂが低くなるにつれて溝部３５の底面３５ａにおける後端側にも形成されている。
そして、平坦面電極３７ｂは、溝部３５の後端側から側面電極３７ａに接続された状態で、平坦面３８上を長さ方向（Ｘ方向）に沿って形成され、アクチュエータプレート４１の後端面４２ｃまで延在している。すなわち、各駆動電極３７は、アクチュエータプレート４１の長さ方向において、前端面４２ｂ側から後端面４２ｃ側まで隔壁３６及び平坦面３８に亘って形成され、横幅方向において、側面電極３７ａは隔壁３６間で対向し、平坦面電極３７ｂは平坦面３８上で横幅方向に所定距離を空けた状態で平行に延出している。
【００３４】
これにより、各駆動電極３７の平坦面電極３７ｂが、後述するフレキシブル基板４５ａ，４５ｂ（図４参照）の引き出し電極（不図示）にそれぞれ電気的に接続され、制御手段２３から駆動電圧が個別に印加されるようになっている。そして、駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、隔壁３６を圧電厚み滑り効果により変形させる働きをしている。
【００３５】
ここで、図３〜５に示すように、第１アクチュエータプレート４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとは、両者４１ａ，４１ｂの溝部３５が形成された面（表面４２ａ）同士が重ね合わされている。具体的には、第１アクチュエータプレート４１ａの隔壁３６が第２アクチュエータプレート４１ｂの溝部３５内に、第２アクチュエータプレート４１ｂの隔壁３６が第１アクチュエータプレート４１ａの溝部３５内にそれぞれ入り込むようにした状態で重ね合わされている。すなわち、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの隔壁３６が互い違いになるように重ね合わされ、互いの隔壁３６により互いの溝部３５内を横幅方向（Ｙ方向）において２分割するように配置されている。そして、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂは、一方のアクチュエータプレート（例えば、第１アクチュエータプレート４１ａ）の隔壁３６の上端面と、他方のアクチュエータプレート（例えば、第２アクチュエータプレート４１ｂ）の溝部３５の底面３５ａとの間で接着剤（不図示）を塗布することで接着固定されている。なお、この時用いられる接着剤としては、エポキシ系の接着剤が好適に用いられている。
【００３６】
隔壁３６によって２分割された各溝部３５は、インクＷが充填される吐出チャネル５０として機能するものである。この場合、吐出チャネル５０の幅は約１５μｍ、吐出チャネル５０のピッチは約３５μｍ程度に形成されており、上述したノズルプレート３３の複数のノズル孔３３ａのピッチも同じ間隔で形成されている。なお、各ノズル孔３３ａは、ノズル孔３３ａの短軸方向と吐出チャネル５０の幅方向とを一致させた状態で、各吐出チャネル５０の横幅方向における中心軸上にその中心が位置するように配置されている。
【００３７】
なお、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの側面電極３７ａは、隔壁３６の周縁部分に形成されている関係で、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂが重ね合わされた状態においては、各吐出チャネル５０内の側面電極３７ａは上下方向において互い違いの状態（対向しない状態）で配置されることになる。しかしながら、隔壁３６を変形させるために対となる側面電極３７ａは、同一隔壁３６に形成された側面電極３７ａであるため、駆動上何ら問題はない。
【００３８】
また、第２アクチュエータプレート４１ｂには、その裏面４２ｄ側から溝部３５の底面３５ａに連通するインク導入孔４０が形成されている。このインク導入孔４０は、第２アクチュエータプレート４１ｂの横幅方向に亘って形成された平面視矩形状の貫通孔であり、長さ方向における前側延出部３６ａの形成領域に形成されている。すなわち、インク導入孔４０は、各吐出チャネル５０に連通可能に構成されており、複数の吐出チャネル５０に一括してインクＷを充填できるようになっている。これにより、吐出チャネル５０毎にインクＷの供給孔を設ける構成比べて、構成の簡素化を図ることができる。
【００３９】
また、図２に示すように、圧電アクチュエータ３０には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路などの駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５と、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの各駆動電極３７とは、それぞれ第１，２フレキシブル基板４５ａ，４５ｂにより電気的に接続されている。具体的には、第１フレキシブル基板４５ａは、一端がＩＣ基板２６上における一側で図示しない配線パターンを介して駆動回路２５に接続され、他端が第１アクチュエータプレート４１ａの平坦面３８まで引き回され、平坦面３８上に形成された駆動電極３７の平坦面電極３７ｂに接続されている。
【００４０】
一方、第２フレキシブル基板４５ｂは、一端がＩＣ基板２６上における他側で図示しない配線パターンを介して駆動回路２５に接続され、他端が第２アクチュエータプレート４１ｂの平坦面３８まで引き回され、平坦面３８上に形成された駆動電極３７の平坦面電極３７ｂに接続されている。すなわち、第１フレキシブル基板４５ａと第２フレキシブル基板４５ｂとの一端側の接続部は、互いにＩＣ基板２６の幅方向でずらして接続されている。なお、第２フレキシブル基板４５ｂは、駆動回路２５とのコンタクト部（不図示）は一方の面側に形成され、平坦面電極３７ｂとのコンタクト部（不図示）は他方の面側に形成された、いわゆる反転フレキシブル基板を用いている。
駆動回路２５は、各フレキシブル基板４５ａ，４５ｂを介して駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。すなわち、駆動回路２５及びフレキシブル基板４５は、上記制御手段２３として機能する。
【００４１】
そして、図４に示すように、圧電アクチュエータ３０の後側、すなわち両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの平坦面３８間には、封止剤４４が充填されている。この封止剤は、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの横幅方向に亘って充填され、圧電アクチュエータ３０の後端側からのインクＷ漏れを防ぐとともに、両フレキシブル基板４５ａ，４５ｂ間の絶縁を図るものである。この封止剤４４の構成材料としては、多少の弾性を有し、かつインクＷの耐性が高い樹脂材料、例えばシリコン樹脂等が好適に用いられている。封止剤４４に弾性を有する構成材料を用いることで、隔壁変形時の応力を吸収してアクチュエータプレート４１の割れ等を防ぐことができる。
【００４２】
また、本実施形態では、封止剤４４の前端側と各吐出チャネル５０の後端側との間に、長さ方向における隙間が生じており、各吐出チャネル５０が連通している。なお、本実施形態のように油性（非水系）のインクＷを用いる場合には、電流がインクＷを伝ってリークする虞がないため、隣接する各吐出チャネル５０が連通していても構わないが、封止剤４４を各吐出チャネル５０の後端側まで充填し、各吐出チャネル５０をそれぞれ区画してもよい。
【００４３】
（ヘッドチップの製造方法）
次に、上述したヘッドチップ２１の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、主として圧電アクチュエータ３０の製造方法について説明する。図７，８は圧電アクチュエータ３０の製造方法を示す工程図である。
まず、図７（ａ）に示すように、アクチュエータプレート４１を研削する（研削工程）。具体的には、アクチュエータプレート４１の長さ方向後側に平坦面３８を形成するとともに、平坦面３８から前側にかけてアクチュエータプレート４１の厚さが漸次厚くなるような傾斜部３６ｂを形成する。
【００４４】
次に、図７（ｂ）に示すように、アクチュエータプレート４１の表面４２ａの長さ方向前側にラミネート５１を貼付する（マスク形成工程）。具体的には、まずアクチュエータプレート４１の表面４２ａにおける傾斜部３６ｂと平坦面３８とを除く領域（溝部３５の形成領域）に、ドライフィルムレジスト等のフィルム状のレジストを貼付する。そして、フォトリソグラフィ技術を用いてラミネートを露光、現像することにより、溝部３５（図５参照）の形成領域のラミネート５１を除去する。これにより、アクチュエータプレート４１の表面４２ａに、溝部３５形成のためのマスクパターンが形成される。なお、マスク工程に用いるレジスト材料は、ドライフィルムレジストの他に、液状レジスト等も採用することが可能であるが、本実施形態のようにドライフィルムレジストを採用することで、ラミネート５１の厚さが均一となるため、後述するダイシング工程において溝部３５の深さ管理が容易になる。
【００４５】
次に、図７（ｃ）に示すように、アクチュエータプレート４１の表面４２ａにダイシング加工を施して、溝部３５を形成する（溝部形成工程）。具体的には、ダイヤモンドブレード等のダイサーを用い、アクチュエータプレート４１上に形成されたラミネート５１のマスクパターンに従って、アクチュエータプレート４１を研削する。これにより、アクチュエータプレート４１の表面４２ａに上述した幅寸法、及びピッチで複数の溝部３５が形成されるとともに、各溝部３５を区画する隔壁３６が櫛歯状に形成されることになる。
【００４６】
そして、図８（ａ）に示すように、アクチュエータプレート４１の表面４２ａに駆動電極３７（図６参照）となる電極膜５２を形成する（電極膜形成工程）。具体的には、公知の斜方蒸着等により、アクチュエータプレート４１の表面４２ａに対して斜め方向から蒸着材料を飛散させることで、隔壁３６の上面及び側面の上半部や平坦面３８上に亘って電極膜５２を形成する。この時、隔壁３６の前側延出部３６ａの側面及び前側延出部３６ａに相当する溝部３５の底面３５ａ（図５参照）には、電極膜５２は形成されない。
【００４７】
次に、図８（ｂ）に示すように、隔壁３６の前側延出部３６ａの上面に貼付されたラミネート５１（図７（ｃ）参照）のマスクパターンをリフトオフし、ラミネート５１上に形成された電極膜５２ともに除去する（リフトオフ工程）。
そして、図８（ｃ）に示すように、アクチュエータプレート４１の表面４２ａに形成された電極膜５２を複数の駆動電極３７に分離する（トリミング工程）。具体的には、溝部３５の横幅方向中央部及び隔壁３６の横幅方向中央部において、アクチュエータプレートの長さ方向に沿ってレーザトリミングを行うことにより、各電極膜５２が横幅方向で所定間隔を空けた状態で分離され、複数の駆動電極３７が形成される。
以上により、上述した第１アクチュエータプレート４１ａ及び第２アクチュエータプレート４１ｂが完成する。
【００４８】
その後、図５に示すように、第２アクチュエータプレート４１ｂの裏面４２ｄ側から溝部３５の底面３５ａに連通するインク導入孔４０を、第２アクチュエータプレート４１ｂの横幅方向に沿って形成する。
そして、第１アクチュエータプレート４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとを接着剤を介して貼り合わせる（重ね合わせ工程）。具体的には、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの隔壁３６の上端面に接着剤を塗布し、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの隔壁３６が互い違いになるように重ね合わせ、互いの隔壁３６により互いの溝部３５内を横幅方向において２分割するように配置する。ここで、上述したように溝部３５の幅Ｉ１は、隔壁３６の幅Ｉ２よりも広く形成されているため、第１アクチュエータプレート４１ａの隔壁３６を第２アクチュエータプレート４１ｂの溝部３５内に、第２アクチュエータプレート４１ｂの隔壁３６を第１アクチュエータプレート４１ａの溝部３５内に確実に入り込ませることができる。
これにより、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂが、一方のアクチュエータプレート（例えば、第１アクチュエータプレート４１ａ）の隔壁３６の上端面と、他方のアクチュエータプレート（例えば、第２アクチュエータプレート４１ｂ）の溝部３５の底面３５ａとの間で接着剤（不図示）を塗布することで接着固定され、圧電アクチュエータ３０が完成する。
【００４９】
その後、支持プレート３２の嵌合孔３２ａ内に圧電アクチュエータ３０を嵌め込み、支持プレート３２及び圧電アクチュエータ３０の前端面に、ノズルプレート３３を接着固定する。この時、ノズルプレート３３のノズル孔３３ａと圧電アクチュエータ３０の吐出チャネル５０とがそれぞれ連通するように位置合わせした状態でこれらを接着する。
以上により、本実施形態のヘッドチップ２１が完成する。
【００５０】
（インクジェットプリンタの動作方法）
次に、上述したように構成されたインクジェットプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。なお、初期状態として、４つのインクタンク３９にはそれぞれ異なる色のインクＷが十分に封入されているものとする。また、インクタンク３９内のインクＷが供給チューブ６０を介して圧力緩衝器２２ｂに供給された状態となっている。そのため、所定量のインクＷが、インク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１のインク導入孔４０に供給され、スリット３１ｂを介してチャネル内に充填された状態となっている。
【００５１】
このような初期状態のもと、筐体５の背面側の開口部から記録紙Ｐを挿入し、インクジェットプリンタ１を作動させると、まず図１に示すように、一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６が回転して記録紙Ｐを搬送方向Ｌ１に向けて搬送する。また、これと同時にモータ１０がプーリ８を回転させて搬送ベルト９を動かす。これにより、キャリッジ６がガイドレール７でガイドされながら直交方向Ｌ２に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド２のヘッドチップ２１より４色のインクＷを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。特に、本実施形態のインクジェットプリンタ１はシャトル方式であるので、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。
【００５２】
ここで、各インクジェットヘッド２の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ６によって往復移動が開始されると、駆動回路２５は、フレキシブル基板４５ａ，４５ｂを介して駆動電極３７に駆動電圧を印加する。本実施形態の圧電アクチュエータ３０は、アクチュエータプレート４１の分極方向が一方向であり、側面電極３７ａが隔壁３６の側面の高さ方向における中間位置までしか形成されていないため、駆動電圧を印加することで、隔壁３６の高さ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５０の容積が増大し、インクＷがインク導入孔４０から吐出チャネル５０に誘導される。そして、インクＷによる圧力波がノズル孔３３ａの近傍に到着したタイミングで、駆動電極３７に印加した駆動電圧をゼロにすることにより、隔壁３６の変形が元に戻り、一旦増大した吐出チャネル５０の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル５０の内部の圧力が増加し、インクＷが加圧される。その結果、インクＷが隔壁３６に押し出されるようにして吐出チャネル５０内から吐出される。
【００５３】
吐出されたインクＷは、ノズル孔３３ａを通過した後、外部に吐出される。しかもノズル孔３３ａを通過する際に、インクＷは液滴状、即ちインク滴となって吐出される。その結果、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。
【００５４】
このように、本実施形態では、第１アクチュエータプレート４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとの両者の隔壁３６が互い違いになるようにして重ね合わせられ、第１アクチュエータプレート４１ａの隔壁３６と第２アクチュエータプレート４１ｂの隔壁３６との間に、インクＷが充填される吐出チャネル５０が形成される構成とした。
この構成によれば、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂの隔壁３６が互い違いになるように重ね合わされることで、互いの隔壁３６により互いの溝部３５内を幅方向において２分割するように配置される。これにより、１つの溝部３５により２つの吐出チャネル５０を形成することができるため、既存の加工器具及び製造方法を用いて、従来の吐出チャネル５０の幅よりも狭い吐出チャネル５０を形成することができる。
したがって、加工容易性を向上させ、歩留まりの向上を図った上で、吐出チャネル５０の挟ピッチ化を図ることができるため、記録紙Ｐに印刷する文字や記号の解像度を高め、高分解能化を図ることができる。その結果、インクジェットプリンタ１自体の高品質化を図ることができる。
【００５５】
しかも、本実施形態では、同一形状のアクチュエータプレート４１用いることで、両アクチュエータプレート４１ａ，４１ｂを同一の加工器具及び製造方法を用いて製造することができる。そのため、加工容易性をより向上させることができるとともに、製造コストを低減させることができる。
また、ノズル孔３３ａの短軸方向と吐出チャネル５０の幅方向とを一致させた状態で連通させることで、例えば円形のノズル孔に比べて開口面積を増加させることができるため、幅の狭い吐出チャネル５０からインクＷを噴射する場合であっても、インクＷの吐出量を確保することができる。
【００５６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図９は、図５に相当する断面図であり、第２実施形態における圧電アクチュエータ１３０の断面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。本実施形態のインクジェットプリンタは、主として導電性の水性インクを利用して記録を行う場合の構成である。
図９に示すように、本実施形態のヘッドチップ１２１の圧電アクチュエータ１３０は、溝部３５が２分割されて構成されるチャネルのうち、一方のチャネルはインクＷが充填される吐出チャネル１５０を構成し、他方のチャネルはインクＷが充填されないダミーチャネル１５１を構成している。すなわち、本実施形態のチャネルは、吐出チャネル１５０とダミーチャネル１５１とが交互に並んだ状態になっている。
【００５７】
第２アクチュエータプレート４１ｂの溝部３５における吐出チャネル１５０側には、溝部３５の底面３５ａよりさらに深く研削された深溝部１００が形成されている。この深溝部１００は、上述したダイシング工程後、ダイシング工程で用いるダイサーよりもブレード幅が狭い（約半分）のダイサーを用い、溝部３５の吐出チャネル１５０の形成領域を研削することで形成することができる。なお、深溝部１００とダミーチャネル１５１とは第１アクチュエータプレート４１ａの隔壁３６によって区画されている。
【００５８】
ここで、第２アクチュエータプレート４１ｂには、その裏面４２ｄ側から深溝部１００の底面１００ａのみに連通するインク導入孔１４０が形成されている。このインク導入孔１４０は、第２アクチュエータプレート４１ｂの横幅方向に亘って形成された平面視矩形状の貫通孔である。すなわち、インク導入孔１４０は、深溝部１００を介して吐出チャネル１５０に連通して吐出チャネル１５０内にインクＷを充填可能に構成されている一方、ダミーチャネル１５１には連通しておらず、ダミーチャネル１５１内にはインクＷが充填されないようになっている。
【００５９】
したがって、本実施形態によれば、上述の第１実施形態と同様の効果を奏するとともに、溝部３５が分割されてなる複数のチャネルが、１つおきに吐出チャネル１５０として機能するので、導電性を有する水性のインクＷを用いる場合であっても、吐出チャネル１５０に設けられた駆動電極３７と、ダミーチャネル１５１に設けられた駆動電極３７とをインクＷを介して導通させることなく、電気的に切り離した状態で使い分けることができる。したがって、水性のインクＷを利用して記録を行うことができる。このように、導電性を有するインクＷであっても問題なく利用できるので、インクジェットプリンタ１の付加価値を高めることができる。
この場合、第２アクチュエータプレート４１ｂの溝部３５に、さらに深溝部１００を形成するとともに、深溝部１００のみに連通するインク導入孔１４０を形成することで、吐出チャネル１５０のみにインクＷを充填することができる。これにより、油性のインクＷを用いる場合に比べて、加工工数を大幅に増やすことなく水性のインクＷにも対応可能な圧電アクチュエータ１３０を提供することができる。そのため、製造コスト及び製造効率を維持することができる。
【００６０】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図１０は、第２実施形態における圧電アクチュエータ２３０の側面図である。なお、以下の説明では上述した第１実施形態と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
図１０に示すように、本実施形態のヘッドチップ２２１の圧電アクチュエータ２３０は、第１アクチュエータプレート２４１ａの形状が上述した第１実施形態と相違している。第１アクチュエータプレート２４１ａは、図１０に示すように、上述した第１実施形態の第１アクチュエータプレート４１ａ（図４参照）と同様に、ＰＺＴ等の圧電材料から形成されたプレートである。第１アクチュエータプレート２４１ａの上面には、長さ方向（矢印Ｘ方向）に伸びる溝部２３５が横幅方向（矢印Ｙ方向）に一定間隔を空けた状態で複数形成されている。そして、複数の溝部２３５は、櫛歯状に形成された複数の隔壁２３６によってそれぞれ区分けされた状態となっている。
【００６１】
複数の溝部２３５は、第１アクチュエータプレート２４１ａの前端面２４２ｂ側に開口するように形成されていると共に、後端面２４２ｃに向かうにしたがって漸次深さが浅くなるように形成されている。すなわち、各溝部２３５の底面は、第１アクチュエータプレート２４１ａの前端面２４２ｂから長さ方向の略中央部まで延びる前方平坦面２３５ａと、この前方平坦面２３５ａの後部から後側に向かって溝深さが漸次浅くなる傾斜面２３５ｂと、この傾斜面２３５ｂの後部から後側に向かって延びる後方平坦面２３５ｃとからなっている。
これら隔壁２３６の側面における溝部２３５の開口側には、第１アクチュエータプレート２４１ａの長さ方向に亘って駆動電圧印加用の駆動電極２３７が延設されている。この駆動電極２３７は、斜方蒸着等により形成されており、その後端側にフレキシブル基板４５ａの引き出し電極（不図示）が接合されている。
【００６２】
そして、第１アクチュエータプレート２４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとは、第１アクチュエータプレート２４１ａの後方平坦面２３５ｃと第２アクチュエータプレート４１ｂの平坦面３８とが対向した状態で、両アクチュエータプレート２４１ａ，４１ｂの隔壁２３６，３６が互い違いになるように重ね合わされ、互いの隔壁２３６，３６により互いの溝部２３５，３５内を横幅方向において２分割するように配置されている。そして、両アクチュエータプレート２４１ａ，４１ｂは、一方のアクチュエータプレート（例えば、第１アクチュエータプレート２４１ａ）の隔壁２３６の上端面と、他方のアクチュエータプレート（例えば、第２アクチュエータプレート４１ｂ）の溝部３５の底面３５ａとの間で接着剤（不図示）を塗布することで接着固定されている。これにより、隔壁２３６，３６によって２分割された各溝部２３５，３５は、インクＷが充填される吐出チャネル２５０を構成することになる。
【００６３】
本実施形態によれば、溝部２３５を有する第１アクチュエータプレート２４１ａに対して、第１実施形態と同様の第２アクチュエータプレート４１ｂを重ね合わせるのみで、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。そのため、異なる種類のアクチュエータプレート２４１ａ，４１ｂを組み合わせることができるため、設計の自由度を向上させることができる。
【００６４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機などであっても構わない。
【００６５】
また、上述した実施形態では、分極方向が一方向のアクチュエータプレート４１を用い、隔壁３６の高さ方向中央部まで駆動電極３７を形成することで、隔壁３６を屈曲変形させる場合について説明したが、分極方向が上下二方向のアクチュエータプレートを用いても構わない（いわゆる、シェブロン方式）。この場合、隔壁の側面全面に亘って駆動電極を形成することで、圧電滑り効果により隔壁の高さ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形することになる。そのため、低電圧で隔壁を変形させることができる。
【００６６】
また、アクチュエータプレートにおける溝部や隔壁の幅寸法、吐出チャネルのピッチ等は適宜設計変更が可能である。
また、上述した実施形態では、第１フレキシブル基板４５ａと第２フレキシブル基板４５ｂとの一端側の接続部を、ＩＣ基板２６の幅方向にずらして接続したが、長さの異なるフレキシブル基板を用いてＩＣ基板２６の長さ方向にずらして接続してもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）  ２…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）  ３…搬送手段  ４…移動手段  ２１，１２１，２２１…ヘッドチップ（液体噴射ヘッドチップ）  ２３…制御手段  ３０，１３０，２３０…圧電アクチュエータ（液体供給部）  ３３…ノズルプレート  ３３ａ…ノズル孔  ３５，２３５…溝部  ３６，２３６…隔壁  ３７…駆動電極  ４０，１４０…インク導入孔（液体導入孔）  ４１ａ，２４１ａ…第１アクチュエータプレート  ４１ｂ…第２アクチュエータプレート  ５０，１５０…吐出チャネル（チャネル）  １００…深溝部  １５１…ダミーチャネル  Ｗ…インク（液体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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