(57)【要約】【課題】ガラス板等の板状体を吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する場合でも、省スペース化を図りつつ、板状体の搬送効率を可及的に向上させる。【解決手段】ガラス板Ｇを吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する板状体搬送装置１であって、搬送経路上に設けられた複数の板状体受渡エリアＸと、複数の板状体受渡エリアＸそれぞれの定位置に配置される第１支持手段２と、搬送経路上の複数箇所で隣接する板状体受渡エリアＸを相互に搬送経路に沿って往来する第２支持手段３とを備え、各々の第２支持手段３で、搬送経路の上流側の板状体受渡エリアＸに配置された第１支持手段２に吊り下げ支持されたガラス板Ｇを順次受け取って、その下流側に隣接する板状体受渡エリアＸに配置された前記第１支持手段まで搬送して引き渡すように構成されている。【選択図】図１
2010073796.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体を吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する板状体の搬送装置において、
前記搬送経路上に設けられた複数の板状体受渡エリアと、
複数の前記板状体受渡エリアのそれぞれの定位置に配置され、前記搬送経路上で板状体を吊り下げ支持する第１支持手段と、
前記搬送経路上の複数箇所で隣接する前記板状体受渡エリアを相互に前記搬送経路に沿って往来しながら板状体を吊り下げ支持する第２支持手段とを備え、
各々の前記第２支持手段で、前記搬送経路の上流側の前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段に吊り下げ支持された板状体を順次受け取って、その下流側に隣接する前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段まで搬送して引き渡すように構成されていることを特徴とする板状体の搬送装置。
【請求項２】
前記第１支持手段および前記第２支持手段が、ともに板状体の上縁を表裏両側から挟持することで、板状体を吊り下げ支持するように構成されている請求項１に記載の板状体の搬送装置。
【請求項３】
各々の前記第２支持手段が前記搬送経路に沿って往来する往来区間の少なくとも１つに、板状体の欠陥の有無を検知する欠陥検知手段を配置した請求項１又は２に記載の板状体の搬送装置。
【請求項４】
前記欠陥検知手段が配置された前記往来区間を往来する前記第２支持手段が、前記欠陥検知手段が配置されていない前記往来区間を往来する他の前記第２支持手段よりも相対的に遅い搬送速度で板状体を搬送するように構成されている請求項３に記載の板状体の搬送装置。
【請求項５】
前記欠陥検知手段が配置された前記往来区間を往来する前記第２支持手段を移動可能に支持する軌道が、前記欠陥検知手段が配置されていない前記往来区間を往来する他の前記第２支持手段を移動可能に支持する軌道と分離されている請求項３又は４に記載の板状体の搬送装置。
【請求項６】
前記第２支持手段のうち、前記搬送経路に沿う方向で隣接する２以上のものが、共通の駆動源による駆動力によって、一体となって前記搬送経路に沿って往来するように構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の板状体の搬送装置。
【請求項７】
板状体を吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する板状体の搬送方法であって、
板状体を受け渡すための板状体受渡エリアを前記搬送経路上に複数設け、
複数の前記板状体受渡エリアのそれぞれの定位置に配置され、前記搬送経路上で板状体を吊り下げ支持する第１支持手段を設け、
前記搬送経路上の複数箇所で隣接する前記板状体受渡エリアを相互に前記搬送経路に沿って往来しながら板状体を吊り下げ支持する第２支持手段を設け、
各々の前記第２支持手段で、前記搬送経路の上流側の前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段に吊り下げ支持された板状体を順次受け取って、その下流側に隣接する前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段まで搬送して引き渡す動作を繰り返すことにより、板状体を前記搬送経路に沿って順次搬送することを特徴とする板状体の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板等の板状体を吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する板状体の搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板を初めとする各種ガラス板を搬送する手法として、ガラス板を吊り下げ支持した状態で搬送経路に沿って搬送する手法が広く普及している。
【０００３】
この種の搬送手法の具体例としては、例えば下記の特許文献１には、搬送経路を構成する１本の移送軸を配置し、この移送軸に沿ってガラス板を吊り下げ支持したキャリッジ（支持手段）を移動させることで、ガラス板を搬送することが開示されている。なお、同文献では、このようにしてガラス板を搬送しながらガラス板の検査を行うようにしている。
【特許文献１】２００２−２２８４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の特許文献１のように、１本の移送軸に沿ってキャリッジを移動させる場合、移送軸の上流端から下流端まで複数枚のガラス板を順次搬送しようとしたときに、移送軸の上流端から下流端まで移動させたキャリッジを再び同一の移送軸を使って上流端に復帰させるまでの間は、次のガラス板を搬送することができず、ガラス板の搬送効率が悪いという問題がある。特に、移送軸が長尺になるに連れて、１つのキャリッジが移送軸の上流端と下流端との間を往復するのに要する時間がそれだけ長くなるので、上記のような搬送効率の問題は、より顕著なものとなって現れる。
【０００５】
そこで、このような問題を解消するために、搬送経路の上流端から下流端まで移動したキャリッジを、ガラス板を支持していない空の状態で再び上流端に戻すための専用の搬送経路を別途設けることも考えられるが、この場合には、前記専用の搬送経路を設置するためのスペースが新たに必要となることから、省スペース化を十分に図れないという問題が生じてしまう。
【０００６】
なお、以上のような問題は、ガラス板に限らず、シリコン基板などの他の板状体を吊り下げ支持した状態で搬送経路に沿って搬送する場合にも同様に生じ得る。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑み、ガラス板等の板状体を吊り下げ支持した状態で搬送経路に沿って搬送する場合でも、省スペース化を図りつつ、板状体の搬送効率を可及的に向上させることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、板状体を吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する板状体の搬送装置において、前記搬送経路上に設けられた板状体を受け渡すための複数の板状体受渡エリアと、複数の前記板状体受渡エリアのそれぞれの定位置に配置され、前記搬送経路上で板状体を吊り下げ支持する第１支持手段と、前記搬送経路上の複数箇所で隣接する前記板状体受渡エリアを相互に前記搬送経路に沿って往来しながら板状体を吊り下げ支持する第２支持手段とを備え、各々の前記第２支持手段で、前記搬送経路の上流側の前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段に吊り下げ支持された板状体を順次受け取って、その下流側に隣接する前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段まで搬送して引き渡すように構成されていることに特徴づけられる。
【０００９】
このような構成によれば、搬送経路上に複数設けられた板状体受渡エリアのそれぞれに配置された第１支持手段と、搬送経路上の複数箇所で隣接する板状体受渡エリアを相互に搬送経路に沿って往来する第２支持手段との間で、順次板状体が受け渡されるので、隣接する板状体受渡エリアに配置された第１支持手段の間を板状体が順々に搬送されることになる。換言すれば、板状体は、いわばバケツリレー式に搬送されることになるため、従来のように板状体を支持する支持手段を搬送経路の下流端から上流端に戻すための専用の搬送経路を別途設けなくても、一枚の板状体が搬送経路の上流端から下流端に搬送されるまでの間に、搬送経路の上流端から順次板状体を供給することができる。したがって、省スペース化を図りつつ、複数枚の板状体を一挙に搬送することでき、板状体の搬送効率を確実に向上させることが可能となる。
【００１０】
また、各板状体受渡エリアでは、板状体が第１支持手段によって一旦支持されることになるので、各板状体受渡エリアに板状体に対してスクライブ、折り割り等の加工工程や、肉眼による目視検査等の検査工程を組み込むことも可能となる。
【００１１】
上記の構成において、前記第１支持手段および前記第２支持手段が、ともに板状体の上縁を挟持することで、板状体を吊り下げ支持するように構成されていることが好ましい。
【００１２】
すなわち、板状体を吊り下げ支持する手法としては、例えば、板状体の上縁の片面のみを負圧で吸着する手法などを採用することも勿論可能であるが、上記の構成のように、板状体の上縁を表裏両側から挟持する手法の方が、板状体をより安定した状態で支持することが可能となるとともに、各第１支持手段と各第２支持手段との間で繰り返し行われる板状体の受渡しを円滑に行うことができる。
【００１３】
上記の構成において、各々の前記第２支持手段が前記搬送経路に沿って往来する往来区間の少なくとも１つに、板状体の欠陥の有無を検知する欠陥検知手段を配置することが好ましい。
【００１４】
このようにすれば、板状体が移動して欠陥検知手段の検知エリアを順次通過することになるので、仮に欠陥検知手段を搬送経路の定位置に固定した場合でも、板状体の欠陥の有無を能率的に検知することができる。
【００１５】
上記の構成において、前記欠陥検知手段が配置された前記往来区間を往来する前記第２支持手段が、前記欠陥検知手段が配置されていない前記往来区間を往来する他の前記第２支持手段よりも相対的に遅い搬送速度で板状体を搬送するように構成されていることが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、欠陥検知手段が配置された往来区間では、第２支持手段により相対的に遅い搬送速度で板状体が搬送されるので、欠陥の有無の検知精度を向上させることができる。
【００１７】
上記の構成において、前記欠陥検知手段が配置された前記往来区間を往来する前記第２支持手段を移動可能に支持する軌道が、前記欠陥検知手段が配置されていない前記往来区間を往来する他の前記第２支持手段を移動可能に支持する軌道と分離されていることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、欠陥検知手段が配置されていない往来区間を往来する第２支持手段を支持する軌道に生じた振動等などが、欠陥検知手段が配置された往来区間を往来する第２支持手段を支持する軌道に伝播するという事態を防止することが可能となる。すなわち、欠陥検知手段によって板状体の欠陥の有無を検知している間に、板状体が不当に揺れて検知精度が低下するという事態を低減することができる。
【００１９】
上記の構成において、前記第２支持手段のうち、前記搬送経路に沿う方向で隣接する２以上のものが、共通の駆動源による駆動力によって、一体となって前記搬送経路に沿って往来するように構成されていてもよい。
【００２０】
このようにすれば、第２支持手段の全てを個別の駆動源によって、搬送経路に沿って往来させる場合に比べて、隣接する第２支持手段相互間の同期を簡単に取ることができるので、板状体の搬送をスムーズに行うことが可能となる。
【００２１】
なお、これとは逆に、本発明では、第２支持手段の全てが、個別の駆動源によって個別駆動するようにしてもよい。このようにすれば、各々の板状体受渡エリア毎に搬送速度を決定することが可能となるので、各々の板状体受渡エリアに板状体加工工程（スクライブや折り割りなど）や、検査工程を組み込んだ場合に、その工程に応じた処理が可能となる。ただし、この場合には、第２支持手段の動きを同期させる必要はないが、板状体の搬送サイクルは同じになるようにすることが好ましい。
【００２２】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、板状体を吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する板状体の搬送方法であって、板状体を受け渡すための板状体受渡エリアを前記搬送経路上に複数設け、複数の前記板状体受渡エリアのそれぞれの定位置に配置され、前記搬送経路上で板状体を吊り下げ支持する第１支持手段を設け、前記搬送経路上の複数箇所で隣接する前記板状体受渡エリアを相互に前記搬送経路に沿って往来しながら板状体を吊り下げ支持する第２支持手段を設け、各々の前記第２支持手段で、前記搬送経路の上流側の前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段に吊り下げ支持された板状体を順次受け取って、その下流側に隣接する前記板状体受渡エリアに配置された前記第１支持手段まで搬送して引き渡す動作を繰り返すことにより、板状体を前記搬送経路に沿って順次搬送することに特徴づけられる。
【００２３】
このような方法によれば、既に段落０００９で述べた作用効果を同様に享受することが可能となる。
【発明の効果】
【００２４】
以上のように本発明によれば、板状体の上縁を挟持して吊り下げ支持した状態で、搬送経路に沿って搬送する場合でも、省スペース化を図りつつ、板状体の搬送効率を可及的に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２６】
図１は、本実施形態に係る板状体搬送装置を示す斜視図である。同図に示すように、この板状体搬送装置１は、ガラス板Ｇを搬送対象の板状体とするものであって、搬送経路上に設けられた複数の板状体受渡エリアＸと、複数の板状体受渡エリアＸのそれぞれの定位置に配置された第１支持手段２と、搬送経路上の複数箇所で隣接する板状体受渡エリアＸを相互に搬送経路に沿って往来する第２支持手段３とを備えている。なお、搬送するガラス板Ｇとしては、例えば、厚みが０．０５〜２．５ｍｍで、一辺の寸法が１ｍ以上の液晶ディスプレイ用のガラス基板などのＦＰＤ用のガラス基板が好適である。また、板状体受渡エリアＸは、搬送経路で少なくとも３つ以上あるものとする。
【００２７】
各々の第１支持手段２は、一対の支持部材４を計２組備えている。一対の支持部材４は、相互にガラス板Ｇの厚み方向に離反した開状態と、相互にガラス板Ｇの厚み方向に接近した閉状態（後述する図２を参照）とを取り得る構造になっており、閉状態でガラス板Ｇの上縁を表裏面の両側から挟持するようになっている。なお、各支持部材４のガラス板支持面には、ガラス板Ｇに傷が付かないように、図示しない弾性パッドが取り付けられている。
【００２８】
各々の第２支持手段３は、搬送経路に沿って延びる有端の１本のガイドレール（軌道）５上にスライド自在に取り付けられたスライド部材６と、このスライド部材６に吊り下げ支持された２本のロボットハンド７とを備えている。スライド部材６は、駆動源８によって付与される駆動力によって、スライド幅が制御された状態でガイドレール５上を往復動するようになっている。この実施形態では、駆動源８によって制御されるスライド幅は、搬送経路に沿う方向で隣接する板状体受渡エリアＸの中心間距離に設定されている。なお、スライド部材６をガイドレール５に沿って往復動させる機構の具体的な構成としては、例えば、スライド部材６に駆動源８を取り付けた状態で、駆動源８の駆動軸にピニオンを取り付け、そのピニオンをガイドレール５に形成したラックと結合（ピニオン・ラック結合）したものが挙げられる。また、その他の機構としては、例えば、ガイドレール５に駆動源８を取り付けた状態で、駆動源８の駆動軸にプーリーを取り付けるとともに、２つ以上のプーリーに、スライド部材６を取り付けた無端ベルトを掛け渡したものが挙げられる。そして、この例示した２つの機構では、駆動源８に取り付けられたピニオンや、プーリーを正転又は逆転させることで、スライド部材６が所定の範囲内で往復動するようになっている。
【００２９】
一方、ロボットハンド７は、スライド部材６から垂下したハンド本体７ａと、ハンド本体７ａの下端に取り付けられた一対のフィンガー部材７ｂとから構成されている。一対のフィンガー部材７ｂは、ガラス板Ｇから離反する方向に略１８０度開いた開状態と、両者が上下方向の下方に向いて略平行になる閉状態（後述する図３を参照）とを取り得る構造になっており、閉状態でガラス板Ｇの上縁を表裏面の両側から挟持するようになっている。なお、各フィンガー部材７ｂのガラス板支持面には、ガラス板Ｇに傷が付かないように、図示しない弾性パッドが取り付けられている。
【００３０】
さらに、この実施形態では、複数の第２支持手段１のうちの１つが往来する区間内に、欠陥検知手段９が配置されている。この欠陥検知手段９は、ガラス板Ｇの表裏面のいずれか一方側に配置され上下方向に長いライン光を出射する光源１０と、ガラス板Ｇの他方側に配置され複数のカメラが上下方向に配列されたラインセンサー１１とを備えており、光源１０からガラス板Ｇに向けて照射された光を、ガラス板Ｇの反対側でラインセンサー１１により受光し、その受光した光量の変化に基づいて欠陥の有無を検出するようになっている。なお、光源１０と、ラインセンサー１１の上下方向寸法は、ガラス板Ｇの上下方向寸法と同一か、それよりも長く設定される。また、欠陥検知手段９は、搬送経路の定位置に固定されているものの他にも、第２支持手段３によるガラス板Ｇの搬送速度よりも遅い速度でガラス板Ｇに追随し、検査終了後に元の位置に復帰するように構成してもよい。後者のようにすれば、ガラス板Ｇは、欠陥検知手段９との間の速度差に応じた検査スピードで走査されることになるので、ガラス板Ｇの搬送速度を必要以上に遅くしなくても、ガラス板Ｇの検査時間を十分確保することができる。
【００３１】
次に、以上のように構成された板状体搬送装置１の動作を説明する。まず、図２に示すように、搬送経路の上流端に位置する板状体受渡エリアＸに配置された第１支持手段２に対応した位置にガラス板Ｇを供給する。これと同時に、その第１支持手段２の対向する支持部材４を閉状態とし、ガラス板Ｇの上縁の両隅を挟持してガラス板Ｇを吊り下げ支持する。次に、この状態のまま、図３に示すように、第２支持手段３のロボットハンド７のフィンガー部材７ｂを閉状態とし、ガラス板Ｇの上縁の両隅よりも中央側を挟持してガラス板Ｇを吊り下げ支持する。すなわち、第１支持手段２と第２支持手段３の両方でガラス板Ｇを吊り下げ支持する。そして、この状態から図４に示すように、第１支持手段２の支持部材４を開状態として第１支持手段２による支持を解除し、第１支持手段２で支持されていたガラス板Ｇを第２支持手段３で受け取る。その後、図５に示すように、第２支持手段３のスライド部材６を搬送経路の下流側へとスライドさせ、ガラス板Ｇを開状態にある一対の支持部材４の間を通して下流側に隣接する板状体受渡エリアＸに配置された第１支持手段２に対応する位置まで搬送する。この状態から図６に示すように、第２支持手段３の対向する支持部材４を接近させて閉状態としてガラス板Ｇの上縁を挟持し、再び第１支持手段２と第２支持手段３の両方でガラス板Ｇを吊り下げ支持した状態とする。そして、この状態から図７に示すように、第２支持手段３のフィンガー部材７ｂを開いて開状態とし、第２支持手段３によるガラス板Ｇの支持を解除し、第１支持手段２にガラス板Ｇを引き渡す。その後、第２支持手段３のスライド部材６を上流側にスライドさせ、図８に示すように、第２支持手段３を元の位置まで戻す。
【００３２】
以上の一連の動作を繰り返すことにより、ガラス板Ｇが、隣接する板状体受渡エリアＸに配置された第１支持手段２間を順々に搬送される。なお、この実施形態では、各第１支持手段２の動作に同期が取られるとともに、各第２支持手段３の動作にも同期が取られているので、図９に示すように、２枚目以降のガラス板Ｇを同様にして、搬送経路の上流端に位置する板状体受渡エリアＸに配置された第１支持手段２に供給すれば、それら複数枚のガラス板Ｇが同じタイミングで、隣接する板状体受渡エリアＸにそれぞれ配置された第１支持手段２の間を下流側へと順々に搬送されていく。
【００３３】
そして、このようにしてガラス板Ｇが搬送されていく途中で、その搬送経路の両側方に配置された欠陥検知手段９の光源１０とラインセンサー１１との間にガラス板Ｇが順次通されていき、ガラス板Ｇの欠陥の有無が検知される。このとき、欠陥検知手段９が配置された区間を往来する第２支持手段３によるガラス板Ｇの搬送速度が、欠陥検知手段９が配置されていない区間を往来する他の第２支持手段３によるガラス板Ｇの搬送速度よりも遅くなるように設定してもよい。この場合、第２支持手段３は同期していないが、ガラス板Ｇの搬送サイクルは同じになるように設定される。この場合、搬送サイクルは、搬送速度が最も遅く設定されている板状体受渡エリアＸ間の搬送に要する時間に合わせて決定される。すなわち、このように搬送速度を変えてガラス板Ｇを搬送する場合であっても、搬送速度を落として搬送されているガラス板Ｇに後続のガラス板Ｇが衝突しないようにすることが肝要である。
【００３４】
図１０は、本発明の第２実施形態に係る板状体搬送装置１を示す斜視図である。この第２実施形態に係る板状体搬送装置１が、上述した第１実施形態に係る板状体搬送装置１と相違するところは、大きく分けて次の２点である。第１の点は、隣接する複数（図示例では２つ）の第２支持手段３のスライド部材６が１つに共通化されており、スライド部材６が共通化された全ての第２支持手段３が、共通の１つの駆動源８による駆動力によって、一体となって搬送経路に沿って往来するようになっているところである。このようにすれば、第２支持手段３の全てを個別の駆動源８によって、搬送経路に沿って往来させる場合に比べて、隣接する第２支持手段３相互間の同期を簡単に取ることができるので、ガラス板Ｇの搬送をスムーズに行うことが可能となる。
【００３５】
第２の点は、欠陥検知手段９が配置された区間を往来する第２支持手段３を移動可能に支持するガイドレール５が、欠陥検知手段９が配置されていない区間を往来する他の第２支持手段３を移動可能に支持するガイドレール５と分離されているところである。このようにすれば、欠陥検知手段９が配置されていない区間を往来する第２支持手段３を支持するガイドレール５に生じた振動等などが、欠陥検知手段９が配置された区間を往来する第２支持手段３を支持するガイドレール５に伝播するという事態を防止することが可能となる。すなわち、欠陥検知手段９によってガラス板Ｇの欠陥の有無を検知している間に、ガラス板Ｇが不当に揺れて欠陥の検知精度が低下するという事態を低減することができる。なお、このような観点からは、欠陥検知手段９が配置された区間を往来する第２支持手段３を支持するガイドレール５に防振機構を取り付けるなどして、ガイドレール５自体にも防振機能を付与することが好ましい。具体的な防振機能の付与方法としては、例えば、欠陥検知手段９が配置された区間を往来する第２支持手段３を支持するガイドレール５の質量を大きくしたり、当該ガイドレール５を防振台の上に載置したり、或いは、駆動源８としてリニアモータなどを利用してスライド部材６の移動を抵抗なくスムーズに行い得るようにすることなどが挙げられる。
【００３６】
以上のように、第１実施形態および第２実施形態に係る板状体搬送装置１によれば、搬送経路上に複数設けられた板状体受渡エリアＸのそれぞれに配置された第１支持手段２と、搬送経路上の複数箇所で隣接する板状体受渡エリアＸを相互に搬送経路に沿って往来する第２支持手段との間で、順次ガラス体Ｇが受け渡されるので、隣接する板状体受渡エリアＸに配置された第１支持手段２の間をガラス板Ｇが順々に搬送されることになる。換言すれば、ガラス板Ｇは、いわばバケツリレー式に搬送されることになるため、従来のようにガラス板を支持する支持手段を搬送経路の下流端から上流端に戻すための専用の搬送経路を別途設けなくても、一枚のガラス板Ｇが搬送経路の上流端から下流端に搬送されるまでの間に、搬送経路の上流端から順次ガラス板Ｇを供給することができる。したがって、省スペース化を図りつつ、複数枚のガラス板Ｇを一挙に搬送することでき、ガラス板Ｇの搬送効率を確実に向上させることが可能となる。また、各板状体受渡エリアＸでは、ガラス板Ｇが第１支持手段２によって一旦支持されることになるので、各板状体受渡エリアＸにガラス板Ｇに対してスクライブ、折り割り等の加工工程や、肉眼による目視検査等の検査工程を組み込むことも可能となる。
【００３７】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の形態において実施することができる。例えば、上記の実施形態では、ガラス板Ｇを一方向に搬送する場合を説明したが、ガラス板Ｇの供給位置を、ガイドレール５の端部ではなく中間位置とするとともに、その供給位置から左右両側にガラス板Ｇを振り分けて搬送するようにしてもよい。このようにすれば、例えば、複数のガラス板Ｇの中から任意枚数のガラス板Ｇを選択してより詳細な検査（例えば破壊検査等）を行う際に、当該検査対象となるガラス板Ｇのみを他のガラス板Ｇと分けて搬送することが可能となる。また、供給位置から左右両側にガラス板Ｇを振り分けて、２つのルートでガラス板Ｇを搬送する場合には、例えば、供給位置から左側にガラス板Ｇを搬送する第２支持手段３と、供給位置から右側にガラス板Ｇを搬送する第２支持手段３とのいずれか一方が供給位置に位置していないときには、他方が供給位置に位置するようにすれば、搬送効率を向上させることができる。つまり、このようにすれば、少なくともいずれか一方の第２支持手段３が供給位置に配置された第１支持手段２からガラス板Ｇを受け取ることが可能となるので、単位時間当たりのガラス板Ｇの搬送枚数を約２倍に増加させることができる。
【００３８】
さらに、各々の第２支持手段３によってガラス板Ｇを搬送する距離は、その全てが同一になるようにしてもよいし、勿論、第２支持手段３の全部又は一部で、ガラス板Ｇを搬送する距離が異なるようしてもよい。具体的には、例えば、第１支持手段２を搬送方向に沿って等間隔で配置した場合（図１参照）には、その隣接する３つ以上の第１支持手段２のうち、中央側に位置する第１支持手段２を不使用状態、つまり不使用状態の第１支持手段２の支持部材４を常時開状態とし、その両端の第１支持手段２の間を、１つの第２支持手段３が往来するようにしてもよい。
【００３９】
また、上記の実施形態では、各第２支持手段２のロボットハンド７が、搬送方向にのみ移動する場合を説明したが、勿論、搬送方向に加えて、上下方向にも移動可能としてもよい。このようにすれば、各ロボットハンド７の動作により高い自由度を与えることができる。
【００４０】
さらに、第１支持手段２の一対の支持部材４の数や、第２支持手段３のロボットハンド７の数は、搬送するガラス板Ｇの大きさや、重量等に応じて適宜変更することができる。すなわち、一枚のガラス板Ｇを２箇所で支持するものに限らず、１箇所或いは３箇所以上で支持するようにしてもよい。
【００４１】
また、板状体受渡エリアＸの相互間は、隙間なく隣接していてもよいし、隙間を設けて離間していてもよい。板状体受渡エリアＸの搬送方向の長さは、全てが同一の長さであってもよいが、各ガラス受渡エリアＸに組み込まれる加工工程（スクライブや折り割りなど）の種類などに応じて適宜変更しても勿論よい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る板状体搬送装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図３】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図４】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図５】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図６】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図７】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図８】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図９】図１に示す板状体搬送装置によるガラス板の搬送手順を説明するための斜視図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る板状体搬送装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４３】
１      板状体搬送装置
２      第１支持手段
３      第２支持手段
４      支持部材
５      ガイドレール
６      スライド部材
７      ロボットハンド
７ａ    ハンド本体
７ｂ    フィンガー部材
８      駆動源
９      欠陥検知手段
１０    光源
１１    ラインセンサー
Ｇ      ガラス板（板状体）
Ｘ      板状体受渡エリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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