(57)【要約】【課題】圧力センサー機能とアクチュエーター機能を一つのデバイスとして両立させたセンサー・アクチュエーターを提供する。【解決手段】接触、離間可能な距離の空間１９をあけて配置された第１導電体１１および第２導電体１２を有して第２導電体１２は導電性高分子よりなる。第１導電体１１および第２導電体１２の接触による両者間における抵抗変化を電流計１４より測定して圧力センサーとして機能させ、第２導電体１２への通電による導電性高分子の収縮作用によってアクチュエータとして機能させる。【選択図】図１
2010096629.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電体と、
電気を流すことにより収縮、膨張する導電性高分子を含む材料からなる第２導電体と、
前記第１導電体および前記第２導電体を接触、離間可能な距離の空間をあけて固定する絶縁体と、
を有することを特徴とするセンサー・アクチュエーター。
【請求項２】
前記第１導電体は無機導電性部材からなることを特徴とする請求項１記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項３】
前記第１導電体は前記導電性高分子を含む材料からなり、
前記第１導電体は前記空間において前記第２導電体と接触する部分を含む露出部を有し他の部分が絶縁体によって被覆され、
前記第２導電体は前記空間において前記第１導電体と接触する部分を含み、前記第１導電体の露出部の表面積より大きい露出部を有し、他の部分が絶縁体によって被覆されていることを特徴とする請求項１記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項４】
前記第１導電体および第２導電体のうち、一方の導電体の幅より他方の導電体の幅が広いことを特徴とする請求項１記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項５】
前記第１導電体および第２導電体のうち、一方の導電体は線形状であり、他方の導電体は平板形状であることを特徴とする請求項４記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項６】
前記導電性高分子は、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリ３，４−エチレンジオキシチオフェンにポリ４−スチレンスルホネートをドープした高分子、およびこれらの誘導体よりなる群から選択された少なくとも一つの導電性高分子からなることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項７】
さらに、前記第１導電体および第２導電体が接触したときに、少なくとも当該接触部分を流れる電流を測定する電流測定手段と、
前記第１導電体および第２導電体のうち少なくとも前記導電性高分子からなる導電体を収縮または膨張させるための電力を供給するアクチュエート電力供給手段と、
を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項８】
前記電流測定手段は、センサー用電源と当該センサー用電源に対して直列に接続された電流計とを有し、前記センサー用電源および前記電流計に前記第１導電体および前記第２導電体が直列に接続されており、
アクチュエート電力供給手段は、アクチュエーター用電源を有し、前記アクチュエーター用電源に対して前記第１導電体および前記第２導電体が直列に接続されており、
さらに、前記電流測定手段とアクチュエート電力供給手段を切り換えるスイッチを有することを特徴とする請求項７記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項９】
前記電流測定手段は、センサー用電源と当該センサー用電源に対して直列に接続された電流計とを有し、前記センサー用電源および前記電流計に前記第１導電体および前記第２導電体が前記空間を介し直列に接続されており、
アクチュエート電力供給手段は、アクチュエーター用電源を有し、前記アクチュエーター用電源に対して第２導電体のみが直列に接続された回路を構成することを特徴とする請求項７記載のセンサー・アクチュエーター。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれか一つに記載のセンサー・アクチュエーターを搭載したことを特徴とする車両。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサー機能とアクチュエーター機能を併せ持つセンサー・アクチュエーター、およびこれを用いた車両に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機材料からなる導電性高分子を利用した機能性デバイスの開発が行われている。
【０００３】
導電性高分子を利用した機能性デバイス一つにアクチュエーターがある。たとえば、導電性高分子材料の表面に、導電性高分子材料とは異なる材料を積層した構造のアクチュエーターがある。このアクチュエーターは、導電性高分子の電気化学的な酸化還元反応を用いて導電性高分子材料を伸縮させることで、積層した材料との伸縮量の違いにより積層体全体を屈曲させている（特許文献１）。
【０００４】
また、他の機能性デバイスとしてはセンサーがある。センサーとしては、繊維にした導電性高分子からなる織布または不織布を絶縁体で覆い、この織布または不織布の抵抗変化を読み取ることで圧力センサーとして用いているものがある（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００６−２４１６１３号公報
【特許文献２】特開２００６−１５３４７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、軽量、省スペース、かつ圧力センサー機能とアクチュエーター機能を両立させた機能性デバイスはこれまでにはない。
【０００６】
そこで本発明の目的は、軽量、省スペース、かつ圧力センサー機能とアクチュエーター機能を一つのデバイスとして両立させたセンサー・アクチュエーターを提供することである。また、本発明の他の目的はこのセンサー・アクチュエーターを搭載した車両を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明のセンサー・アクチュエーターは、一対の導電体である第１導電体及び第２導電体が接触、離間可能な距離の空間をあけて配置され絶縁体によって固定されている。そして、一対の導電体のうち、少なくとも一方の導電体である第２導電体は電気を流すことにより収縮、膨張する導電性高分子を含む材料からなる。
【０００８】
また、上記課題を解決するための本発明の車両は、上述した本発明によるセンサー・アクチュエーターを搭載したものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のセンサー・アクチュエーターによれば、圧力センサー機能とアクチュエーター機能を一つの装置として提供することができる。また、圧力センサー機能とアクチュエーター機能が一つのデバイスにあるのでいっそうの軽量化、省スペース化を達成することができる。
【００１０】
また、本発明の車両によれば、本発明によるセンサー・アクチュエーターを用いたことで、車両内におけるセンサー・アクチュエーターを設置するための面積や体積が少なくてすむようになり、車両全体の空間的な自由度が向上する。また、センサー・アクチュエーター自体が軽量化されているため、その分車両の軽量化を進めることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１２】
本発明を適用した最良の実施形態は、電気回路構成の違いによる２つのタイプがある。一つは、圧力センサー機能とアクチュエーター機能を、一つのセンサー・アクチュエーターで個別に動作させるタイプである。これと第１タイプと称する。他の一つは、圧力センサー機能とアクチュエーター機能を、一つのセンサー・アクチュエーターで同時動作可能にしたタイプである。これと第２タイプと称する。
【００１３】
まず、第１タイプのセンサー・アクチュエーターの構成について説明する。
【００１４】
図１は第１タイプのセンサー・アクチュエーター１の構成を説明するための概略図である。
【００１５】
このセンサー・アクチュエーター１は、第１導電体１１と第２導電体１２が、所定の空間１９をあけてほぼ平行に絶縁体１３によって支持されている。所定の空間１９は、第１導電体１１と第２導電体１２のほぼ中間部分にあって、第１導電体１１および第２導電体１２が接触、離間可能な距離の空間である。そして２つの導電体に力が加わったときに、２つの導電体および絶縁体１３が変形してこの空間１９が押しつぶされて２つの導電体が互いに接触する。
【００１６】
この２つの導電体１１および１２のうち、第１導電体１１は無機導電性部材、第２導電体１２を導電性高分子を含む材料により形成している。導電性高分子は、湿潤性があり電流を流していない状態では空気中の水分を含んで伸びた状態にある。一方、電流を流すとジュール熱の発生によって水分が蒸発して縮む。なお、導電体１１および１２の具体的な素材などについては後述する。
【００１７】
なお、実施形態の記載において、電気回路構成を除く、第１および第２導電体１１および１２と、絶縁体１３より構成される部分を「デバイス」という。
【００１８】
この第１タイプのセンサー・アクチュエーター１における電気回路は、センサー用回路（電流測定手段）とアクチュエーター用回路（アクチュエート電力供給手段）が独立して動作可能なようになっている。
【００１９】
センサー用回路は、図示、第１導電体１１の左端から電流計１４を通り、センサー用電源１５を経てスイッチ１８ａを介して第２導電体１２に至る。第１導電体１１の右端と第２導電体１２の右端は導線１６により接続されている。センサー用電源１５は、後述する通り、２つの導電体が互いに接触してその接触度合いによって生じる電流変化を電流計１４で検出できればよい。したがって、たとえば１．０〜１．５Ｖなど電池１個分の電圧があればよい。
【００２０】
一方、アクチュエーター用回路は、図示、第１導電体１１の左端から電流計１４を通り、アクチュエーター用電源１７を経て、スイッチ１８ｂを介して第２導電体１２に至る。第１導電体１１の右端と第２導電体１２の右端は導線１６により接続されていることは同じである。アクチュエーター用電源１７は、後述する通り、第２導電体１２を変形させるために必要な電圧を供給する必要がある。具体的には、アクチュエーターとして動作させるデバイスの大きさや素材によって異なるが、たとえば５〜２０Ｖ程度などであり、下限は、動作するために必要な電圧、上限は破壊しない電圧とすればよい。なお、動作量については、これも素材や大きさにより異なるものの、おおむね電圧を２倍にすると収縮率は約１．５倍くらいとなる。
【００２１】
スイッチ１８ａおよび１８ｂはオン、オフが逆となって連動する連動スイッチである。すなわち、スイッチ１８ａがオンのときスイッチ１８ｂはオフ、スイッチ１８ａがオフのときスイッチ１８ｂはオンとなる。このスイッチ１８ａおよび１８ｂによって、センサーとして動作させるかアクチュエーターとして動作させるかを切り替えている。なお、ここで、連動スイッチを用いたのは、アクチュエーターの動作をさせないときには、自動的にセンサーとして機能させるようにするためである。なお、独立したスイッチを設けてもよい。
【００２２】
次に、第２タイプのセンサー・アクチュエーター２の構成について説明する。
【００２３】
図２は第２タイプのセンサー・アクチュエーター２の構成を説明するための概略図である。なお、第１タイプのセンサー・アクチュエーター１と同じ部材については同じ符号を付した。
【００２４】
このセンサー・アクチュエーター２は、電気回路構成を除くデバイスの構造は第１タイプと同じである。したがって、第１導電体１１と第２導電体１２は所定の空間１９をあけてほぼ平行に絶縁体１３によって支持されている。所定の空間１９は、第１導電体１１と第２導電体１２のほぼ中間部分にあり、２つの導電体に力が加わったときに、２つの導電体および絶縁体１３が変形してこの空間１９が押しつぶされて２つの導電体が互いに接触する。また、第１タイプ同様に第２導電体１２は導電性高分子により形成している。
【００２５】
一方、この第２タイプにおける電気回路は、第１タイプと異なり、センサー用回路（電流測定手段）とアクチュエーター用回路（アクチュエート電力供給手段）が同時に動作できるようにしている。
【００２６】
このためセンサー用回路は、図示、第１導電体１１の左端から電流計１４を通り、センサー用電源１５を経て第２導電体１２の図示右端に接続される。ここでセンサー用電源１５は第１タイプと同様に２つの導電体が互いに接触してその接触度合いによって生じる電流変化を電流計１４で検出できればよい。
【００２７】
一方、アクチュエーター用回路は、図示、第２導電体１２の左端から、アクチュエーター用電源１７を経て、スイッチ１８を介して第２導電体１２の右端に接続される。アクチュエーター用電源１７も、第１タイプ同様に第２導電体１２を変形させるために必要な電圧を供給するものである。
【００２８】
この第２タイプでは、センサーは常に動作させておくこととしているため、センサー用回路系にスイッチは設けていない。つまりアクチュエーターとして動作させているときでもセンサーとして機能させることが可能となっている。なお、センサー動作、アクチュエーター動作十に、印加する電圧はタイプ１と同じである。
【００２９】
次にセンサー・アクチュエーターのセンサー動作およびアクチュエーター動作について説明する。第１タイプおよび第２タイプのセンサー・アクチュエーター２は電気回路構成を除くデバイスとしてのセンサー動作およびアクチュエーター動作は同じである。したがってここではまず、基本的なセンサー動作およびアクチュエーター動作について説明し、つづいて第１タイプおよび第２タイプのそれぞれで異なる電気的な動作について説明する。
【００３０】
図３は、センサー動作時のデバイス（第１及び第２導電体部分）の動きを説明するための説明図である。
【００３１】
センサー動作においては、圧力が加わっていない状態では図３（ａ）に示すように、２つの導電体１１および１２は、互いにはなれているため、これらの間で電気は流れない。
【００３２】
そして２つの導電体に圧力が加わると、図３（ｂ）に示すように、２つの導電体および絶縁体１３が変形して空間１９が押しつぶされ、２つの導電体が互いに接触し、第１および第２導電体１１および１２の間が導通状態となる。
【００３３】
このような第１および第２導電体１１および１２の間が導通状態を電流計１４で検出することにより圧力センサーとして機能させることができる。そして、圧力が強く加わると、図３（ｃ）に示すように、空間部分での第１および第２導電体１１および１２の接触面積が圧力に応じて変化する。これを第１および第２導電体１１および１２の間が導通電流量の違いとして電流計１４で計測すれば、加わった圧力の大きさがわかるようになる。
【００３４】
図４は、アクチュエーター動作を説明するための説明図である。
【００３５】
第２導電体１２に電流を流すと、ジュール熱の発生によって第２導電体１２が含んでいた水分が蒸発する。これにより、膨潤状態で伸びていた導電性高分子が縮む。一方、第１導電体１１は無機導電性部材であるため、電流を流したとしても、第２導電体１２と比較すればほとんど大きさに変化がない。このため、図４に示すように、第２導電体１２が縮むことによりデバイス全体が屈曲することになる。
【００３６】
次に、第１タイプと第２タイプの電気回路の違いによるセンサー動作をアクチュエーター動作の違いについて説明する。
【００３７】
図５は第１タイプのセンサー・アクチュエーター１におけるはセンサー動作時（（ａ）図）とアクチュエーター動作時（（ｂ）図）の電気的等価回路図である。なお、この図において、可変抵抗器Ｒ６は空間１９での第１導電体１１と第２導電体１２との接触面積の違いによる導電性の違いを可変抵抗器として示しており、非接触状態で抵抗値∞、接触面積が大きくなるほど抵抗値は少なくなる。
【００３８】
センサー動作時は、図５（ａ）に示すように、加圧されていないとき（図３（ａ）の状態）の電流パスはｉ１→ｉ２→ｉ３→ｉ４→ｉ５となる。そして、加圧されたときには（図３（ｂ）または（ｃ）の状態）、第１および第２導電体１１および１２が接触するので、電流パスｉ１→ｉ６→ｉ５が形成される。したがって、第１タイプのセンサー動作は、このような電流パスの違いによって電流計１４で測定される電流値の変化を見ることになる。
【００３９】
第１タイプでのアクチュエーター動作では、図５（ｂ）に示すように、第１および第２導電体１１および１２が接触していない状態では、電流パスｉ１→ｉ２→ｉ３→ｉ４→ｉ５と電流が流れる。また、第１および第２導電体１１および１２が接触した状態では電流パスｉ１→ｉ２→ｉ３→ｉ４→ｉ５に加えて、第１および第２導電体１１および１２の接触面積に応じて電流パスｉ１→ｉ６→ｉ５にも電流が流れる。したがって、第１および第２導電体１１および１２の接触、非接触に関わらずどちらの場合でも第２導電体１２には、その全長にわたり電流が流れることになる。なお、図５（ｂ）に示した等価回路では、スイッチ１８ｂがオンの状態でアクチュエーター動作しているときの等価回路を示している（したがって、この図においてスイッチ１８ｂ省略している）。
【００４０】
図６は第２タイプのセンサー・アクチュエーター２におけるセンサー動作時（（ａ）図）とアクチュエーター動作時（（ｂ）図）の電気的等価回路図である。なお、この図において、可変抵抗器Ｒ６は空間１９での第１導電体１１と第２導電体１２との接触面積の違いによる導電性の違いを可変抵抗器として示しており、非接触状態で抵抗値∞、接触面積が大きくなるほど抵抗値は少なくなる。
【００４１】
センサー動作時には図６（ａ）に示すように、加圧されていないときは第１および第２導電体１１および１２が接触した部分がないためＲ６の抵抗値が無限大となり、電流パスは形成されない。そして、加圧されて第１および第２導電体１１および１２が接触すると、電流パスｉ１→ｉ６→ｉ５が形成され、これによる電流の流れが電流計１４で測定される。
【００４２】
第２タイプでのアクチュエーター動作では、図６（ｂ）に示すように、第１および第２導電体１１および１２の接触、非接触に関わらず、電流パスｉ４→ｉ５となっていて、第２導電体１２の全長にわたり電流が流れることになる。なお、図６（ｂ）に示した等価回路では、スイッチ１８がオンの状態でアクチュエーター動作しているときの等価回路を示している（したがって、この図においてスイッチ１８省略している）。
【００４３】
次に、センサー・アクチュエーター１および２のデバイスを構成するための好ましい寸法や素材などについて説明する。
【００４４】
まず、第１および第２導電体１１および１２の導電率は、０．０１〜１０００Ｓ／ｃｍ程度の範囲が好ましい。導電率が０．０１Ｓ／ｃｍ未満では、センサー動作させたときのデバイス全体の抵抗値が高くなり、計測される電流値が極小さなものになって計測誤差が多くなる可能性があるためである。また、導電率が１０００Ｓ／ｃｍを超えて高いと、導電体間の接触時に、もともと導電率が高いことで微小面積の接触でも大きな電流が流れて接触面積の変化を抵抗変化として計測できない可能性があるためである。
【００４５】
空間部分の長さ（図１、図２のＬ）は、おおよそ５〜２５ｍｍ程度の範囲が好ましい。５ｍｍ未満では、圧力が加わった際に導電体を接触させるための変形量が多く必要になるため、センサーとしての部材の変形が大きくなり劣化が早くなる恐れがある。一方、２５ｍｍを超えると、導電体同士が、自重などによるたるみで、圧力が加わらなくても接触してしまう恐れがあるため、好ましくない。接触面積による抵抗変化を考慮した場合、１０ｍｍ程度とすることがより好ましい。
【００４６】
空間部分における第１および第２導電体１１，１２の間隔は、５〜５０μｍ程度の範囲が好ましい。５μｍ未満では、第１および第２導電体１１，１２の間隔が少なすぎて、常に接触下状態となる可能性があるので好ましくない。一方、５０μｍを超えて広くした場合には、接触させるために必要な変形量が大きくなるため、センサーとして少ない圧力を検出できなくなる恐れがある。また、部材にかかる変形負荷が大きくなりデバイスとしての劣化が早くなる恐れがある。
【００４７】
第１導電体１１は導電性を有する素材であれば特に限定することはない。したがって、たとえば銅、アルミニウム、ステンレスなど金属板を利用することができる（ただし、可撓性を有するような厚さに必要がある）。また、カーボン粉末（アセチレンブラック、カーボンブラック、カーボンナノチューブなど）や金属微粒子（金、銀、銅など）など無機導電性素材を樹脂中に練りこみ成型したものを使用することも可能である。さらに、これら無機導電性素材を溶媒中に分散させ展延法（キャスト法）、スプレー法等で製膜し、溶媒を乾燥させることで作製したもの、あらかじめ作製しておいた樹脂フィルムの上に金や炭素を蒸着およびスパッタを施したものなどでもよい。さらにこれらの形状は板形状に限らず、たとえば繊維にして束ねたり、編み込んだものを使用してもよい。繊維状にするためには、たとえば溶融紡糸や湿式紡糸、エレクトロスピニングなどの直接的に糸形状する方法を用いてカーボン粉末や金属微粒子を混入させたものや、一般的樹脂繊維の表面に金属めっきなどを施すことにより作製された繊維を用いることができる。なお、このような導電体形状の変形形態については後述する。
【００４８】
次に第２導電体１２は導電性高分子よりなる繊維（線材）または導電性高分子を含む導電性繊維（線材）である。用いられる導電性高分子としては、導電性を示すものであって、数Ｖ〜数十Ｖ（上限は導電性高分子が破壊されない電圧となる）の通電により縮むものを使用する。この伸縮は、通電による水の脱着によりおこる。
【００４９】
この導電性高分子としては、たとえば、化学式１の基本骨格を有するアセチレン系、複素５員環系、化学式５の基本骨格を有するフェニレン系、化学式６の基本骨格を有するアニリン系の各導電性を示す高分子やこれらの共重合体などが挙げられる。
【００５０】
上記複素５員環系としては、化学式２の骨格を有するピロール系高分子、化学式３の基本骨格を有するチオフェン系高分子、化学式４の基本骨格を有するイソチアナフテン系高分子がより好ましい。具体的には、たとえばモノマーとして、３−メチルピロール、３−エチルピロール、３−ドデシルピロールなどの３−アルキルピロール；３，４−ジメチルピロール、３−メチル−４−ドデシルピロールなどの３，４−ジアルキルピロール；Ｎ−メチルピロール、Ｎ−ドデシルピロールなどのＮ−アルキルピロール；Ｎ−メチル−３−メチルピロール、Ｎ−エチル−３−ドデシルピロールなどのＮ−アルキル−３−アルキルピロール；３−カルボキシピロールなどを重合して得られたピロール系高分子、チオフェン系高分子、イソチアナフテン系高分子などが挙げられる。なお、上記導電性高分子は、それぞれ１種類のみを単独で導電性線材に使用してもよく、また複数を混合して使用してもよい。
【００５１】
【化１】
2010096629.tif 000003
【００５２】
【化２】
2010096629.tif 000004
【００５３】
【化３】
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【００５４】
【化４】
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【００５５】
【化５】
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【００５６】
【化６】
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【００５７】
上記導電性高分子のうち、ポリピロール、ポリアニリン、およびポリ３，４−エチレンジオキシチオフェンからなる群から選択された一つのモノマーを重合した高分子に、ポリ４−スチレンスルホネートをドープしたＰＥＤＴＯＴ／ＰＳＳ、およびポリパラフェニレンビニレンからなる群から選択された導電性高分子、ならび／またはこれらの誘導体から選ばれた少なくとも１種を含むことが好ましい。
【００５８】
さらに、チオフェン系導電性高分子のＰＥＤＯＴにポリ４−スチレンスルホネート（ＰＳをドープしたＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（Ｂａｙｅｒ社、Ｂａｙｔｒｏｎ  Ｐ（登録商標））や、フェニレン系のＰＰＶ、ピロール系のポリピロールなどが特に好ましく挙げられる。
【００５９】
これら導電性高分子の分子量（重量平均分子量）は、１０００〜１０００００が好ましく、１００００〜５００００がより好ましく、２００００〜３００００が特に好ましい。
【００６０】
上記導電性高分子の分子量が、１０００未満だと、導電性の低下から負荷検知の誤差を招きやすくなり、１０００００超だと繊維（線材）としての柔らかさが損なわれる。
【００６１】
なお、第２導電体としては、これら導電性高分子そのものを繊維（線材）に形成したもののほか、導電性高分子を含む導電性繊維（線材）を使用することもできる。その場合、導電性繊維に対して導電性高分子の含有量が５０〜１００質量％が好ましく、９０〜１００質量％が好ましい。
【００６２】
さらにこれら導電性高分子においては、ドーパントを加えることで、いっそうの導電性を付与することができる。用いられるドーパントとしては、たとえば、塩化物イオン、臭化物イオンなどのハロゲン化物イオン、過塩素酸イオン、テトラフルオロ硼酸イオン、六フッ化ヒ酸イオン、硫酸イオン、硝酸イオン、チオシアン酸イオン、六フッ化ケイ酸イオン、燐酸イオン、フェニル燐酸イオン、六フッ化燐酸イオンなどの燐酸系イオン、トリフルオロ酢酸イオン、トシレートイオン、エチルベンゼンスルホン酸イオン、ドデシルベンゼンスルホン酸イオンなどのアルキルベンゼンスルホン酸イオン、メチルスルホン酸イオン、エチルスルホン酸イオンなどのアルキルスルホン酸イオン、ポリアクリル酸イオン、ポリビニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸イオン、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）イオンなどの高分子イオンのうち、少なくとも一種のイオンが使用される。中でも、高い導電性を容易に調整できることから、ポリスチレンスルホン酸イオンが好ましい。
【００６３】
ドーパントの添加量は、導電性に効果を与える量であれば特に制限はされないが、通常、導電性高分子１００質量部に対し、３〜５０質量部、好ましくは１０〜３０質量部の範囲である。
【００６４】
これらの性能を示す導電性高分子のうち、ポリピロール、ポリアニリン、ポリ３，４−エチレンジオキシチオフェンにポリ４−スチレンスルホネートをドープしたＰＥＤＴＯＴ／ＰＳＳおよびポリパラフェニレンビニレンよりなる群、および／またはこれらの誘導体から選ばれた少なくとも１種を含むことが好ましい。
【００６５】
第２導電体１２は、以上のような導電性高分子を用いて、フィルム（平板）形状や戦士形状などに形成して用いる。
【００６６】
フィルム形状にする場合は、たとえば化学重合法、電解重合法、可溶性前駆体法、マトリックス（鋳型）重合法、さらに水や有機溶媒に分散させた導電性高分子分散溶液を展延法（キャスト法）により製膜し、分散液を蒸発、乾燥させる方法などにより製造することができる。
【００６７】
また、繊維に形成して用いる場合は、繊維として得やすい材料として、たとえばチオフェン系導電性高分子のＰＥＤＯＴにポリ４−スチレンスルフォネートＰＳＳをドープしたＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（Ｂａｙｅｒ社、Ｂａｙｔｒｏｎ  Ｐ  ＡＧ（登録商標））や、フェニレン系のＰＰＶ、ピロール系のポリピロールなどを使用することになる。
【００６８】
これらの材料は、導電性高分子の中でも湿式紡糸やエレクトロスピニングなどの方法で、容易に繊維化することが可能であり、また、上述した導電率を満たす材料となる。
【００６９】
たとえば、チオフェン系、ピロール系、アニリン系では、湿式紡糸による製造が可能で、たとえば、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの水分散液（Ｂａｙｅｒ社Ｂａｙｔｒｏｎ  Ｐ  ＡＧ（登録商標））をアセトン中にシリンダーから押し出すことで、容易に導電性高分子繊維を得ることができる。なお、このような紡糸方法自体は通常化学繊維製造に用いられているものであり、また本発明の主題とは異なるので詳述しない。
【００７０】
また、たとえばフェニレン系では、ポリパラフェニレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリフルオレンなど、ベンゼン環上のπ結合とそれに繋がる直鎖上のπ結合を利用して導電するタイプで、これらの導電性高分子は、エレクトロスピニング法により、繊維化することが可能である。エレクトロスピニング法自体も、通常化学繊維製造において用いられている公知の方法を利用すればよい。
【００７１】
次に、絶縁体は、導電性高分子以外の、絶縁性のある高分子材料によって形成されている。たとえば絶縁体に用いる樹脂には、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、共重合成分を含むポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアクリロニトリルなどを単独あるいは混合したものや、塩化ビニル、酢酸ビニルなどの単独のコーティング剤およびこれらの共重合体等を用いることもできる。
【００７２】
このような絶縁体は第２導電体１２である高分子材料上に直接形成して第２導電体１２の露出させる部分を除去することで容易に形成することができる。これにより強度、耐久性を向上し、また、安定したセンシングおよびアクチュエート挙動をもたらすことが可能となる。
【００７３】
たとえば図１または２に示したように、第２導電体１２がフィルム形状（板形状）の場合、まず第２導電体１２の全面を絶縁体で被覆する。これには絶縁体となるコーティング溶液をキャスト法やスプレー法により絶縁皮膜を製膜する。その後、第１絶縁体と接触させる部分、空間１９となる部分の絶縁体をエッチングなどで除去する。
【００７４】
また、そのほかにスクリーン印刷法などを用いることで絶縁体を付着させる部分と露出させる部分とをあらかじめ決めたパターンとして第２絶縁体上に印刷するようにしてもよい。
【００７５】
また、一方、導電体が繊維の場合は、単純な一成分からなる繊維の他、芯鞘型、サイドバイサイド型、海島型の断面形状等を取ることがある。なお芯鞘型を用いた場合のデバイス構造については後述する。
【００７６】
図７乃至図１３は繊維形態を示す説明図である。
【００７７】
繊維形態としては、たとえば図７に示すような均一な単一の導電性高分子１０１でできているものを使用することができる。その他にも、たとえば図８に示すように断面で見て芯部に導電性高分子１０２、その外皮として非導電性高分子１０３からなる芯鞘構造、図９に示すように導電性高分子１０２と非導電性高分子１０３からなるサイドバイサイド構造、図１０に示すように複数の導電性高分子１０２を非導電性高分子１０３で被覆した海島（多芯）構造、図１１および図１２に示すように単一の導電性高分子１０１で断面が円形ではない変形断面形状、図１３に示すように中空部１０４をもつ導電性高分子１０５でできた中空構造など様々な形状に形成することができる。これら繊維の形状は、本実施形態１によるセンサー、アクチュエーターを実装した場合の機能化の一つの手段として用いることができる。たとえば繊維自体が自然によじれた形状にして風合いを変える、繊維表面積を大きくして軽量化・断熱性を狙うなどに用いられる。このような多様な繊維形状は、デバイスの実装の際に高機能化とセンシングおよびアクチュエート機能を両立させることができる。
【００７８】
繊維の径およびフィルムの厚さは、１本または１枚あたり概ね特に３０μｍから５００μｍ程度のものが、絶縁体露出部での導電体の接触の安定化による抵抗変化値の安定性、取り扱い上の観点からより好ましい。
【００７９】
さらに好ましい繊維形態としては芯鞘型（前記図８）がある。ここでいう芯鞘型とは、断面積に対する芯鞘形状を形成する成分が異なることを示す。ここで芯は１本に限らず、多芯（海島構造）でも同様の効果が得られる。
【００８０】
芯鞘型の導電性高分子繊維は、たとえば湿式紡糸や電界重合で得られた芯部の導電性繊維に、連続工程で鞘成分として導電性高分子ではない樹脂成分を主成分とする絶縁体を塗布することにより製造することができる。湿式紡糸の場合に芯鞘型用の吐出口金を用いることで、一回の液相からの引き上げで芯鞘型繊維を作製することも可能である。
【００８１】
できあがった芯鞘型の繊維の絶縁体の被覆をエッチング処理等により溶出させ、第１導電体１１と接触させる空間１９にあたる露出部を設ける。たとえば、塩化ビニル、酢酸ビニルの共重合体（日信化学工業社ソルバイン）を用い絶縁体を形成した場合には、アセトンやシクロヘキサノンなどを用いることでこれら絶縁体被覆を溶出させることができる。
【００８２】
次に、本実施形態１における変形形態について説明する。
【００８３】
図１および２に示した第１タイプおよび第２タイプのセンサー・アクチュエーター１および２のデバイスは、第１および第２導電体１１および１２の形態が、ともにフィルム（平板）形態のものを示した。しかし既に説明したように、導電体の形状はフィルム形態のほかに繊維形態も可能である。そこでここでは、繊維形態を使用した場合を含めて様々なデバイス形態について説明する。
【００８４】
図１４乃至１６は、他のデバイス形態を示す概略図である。ここでは、図１および２に示したもの以外のデバイス形態について説明する。また、図１４〜１６に示したデバイスは、いずれも電気回路としては上述した第１タイプ、第２タイプのいずれのタイプをとってもよい。したがって図示では電気回路については省略した。
【００８５】
まず図１４に示した形態は、第１導電体１１を繊維状、第２導電体１２をフィルム（平板）としたものである。
【００８６】
次に図１５に示した形態は、第１導電体１１をフィルム（平板）、第２導電体１２を繊維状にしたものである。
【００８７】
次に図１６に示した形態は、第１導電体１１および第２導電体１２を共に繊維状にしたものである。
【００８８】
これらの形態は、第１導電体１１と第２導電体１２のうち、少なくとも一方が繊維状であるため、第１導電体１１と第２導電体１２との接触部分が線状となる。すなわち、一方の導電体の幅より他方の導電体の幅を広くした形態となっている。このため、圧力センタとして使用される際には、第１導電体１１と第２導電体１２が加わる圧力に対応して接触する量が線的に変化するため、図１および２に示した場合と比較して圧力を細かく段階的に計測することができる。なお、このような一方の導電体の幅より他方の導電体の幅を広くした形態は、両方をフィルム（平板）形態として、その幅だけを違えるようにしてもよい。
【００８９】
また、これら様々な組み合わせとすることで、たとえば、車のシートなどに使用した場合に（詳細後述）、表面側に位置する導電性部材の形態をフィルム状にするか繊維状にするかでその見栄えや質感を様々に演出することが可能となる。
【００９０】
＜車両への応用＞
ここで、前述した実施形態１のセンサー・アクチュエーター１を車両のシートに用いた例について説明する。
【００９１】
図１７および１８は、実施形態１のセンサー・アクチュエーター１または２を車両のシートに用いた場合の構成を説明するための説明図である。
【００９２】
まず、図１７に示すように、センサー・アクチュエーター１または２を複数連続的に配置したセンサー・アクチュエーターユニット１００を製造する。これを図１８に示すように、シート２００の背もたれ部分に設置する。なお図においてはセンサー・アクチュエーターユニット１００がシート２００の背もたれから突出しかつ露出しているように描かれているが、これは、このような構成を説明するために誇張したものである。したがって、実際にはセンサー・アクチュエーターユニット１００はシート面とほぼ一体的な面となるように配置し、さらにセンサー・アクチュエーターユニット１００の表面をシート素材によって覆うようにしてもよい。
【００９３】
近年、車両のシートには様々な機能が搭載されている。たとえば、搭乗者の乗り心地を改善するために、シート形状を電動によって変化させる機能がある。その一つに、シート背もたれ部分が変形して搭乗者の腰や背中を支えるランバーサポートがある。
【００９４】
図１８に示したように、本実施形態のセンサー・アクチュエーター１または２を、このようにシート２００の背もたれに設置することで、搭乗者によって加わる圧力を検知し、その圧力に応じてシート２００の形状（たとえばランバーサポート）をセンサー・アクチュエーター１または２のアクチュエーター機能によって変えることができる。アクチュエーターの動作は、複数のセンサー・アクチュエーター１または２のそれぞれが計測した圧力に応じてそれぞれのセンサー・アクチュエーター１または２ごとにアクチュエーター動作量を変えることも可能である。
【００９５】
センサー・アクチュエーターユニット１００の動作は第１タイプと第２タイプの場合で若干異なる。第１タイプのセンサー・アクチュエーター１の場合は、たとえば、まず圧力センサーとして圧力を測定するようにスイッチを切り替えておいて、シート２００に加わった圧力を測定する。その後、測定された圧力の大きさからあらかじめ決められた位置のセンサー・アクチュエーター１をあらかじめ決められた量だけ変形するようにアクチュエーター動作させる。一方、第２タイプのセンサー・アクチュエーター２を用いた場合は、圧力センサーとしてシート２００に加わった圧力を測定し、そのまま測定された圧力の大きさからあらかじめ決められた位置のセンサー・アクチュエーター２をあらかじめ決められた量だけ変形するようにアクチュエーター動作させる。
【００９６】
なお、図１７および１８では、横方向に複数のセンサー・アクチュエーター１または２を接続した形態を示したが、これはあくまでもシート２００にセンサー・アクチュエーターユニット１００を設置した場合の一例である。したがって、センサー・アクチュエーター１または２の並びは縦方向に複数のセンサー・アクチュエーター１または２が並ぶようにしてもよい。さらには、横方向に並べたユニットと縦方向に並べたユニットを設けるなど複数のユニットを一つのシート２００に設置するようにしてもよい。このようなユニットの配置やユニット内のセンサー・アクチュエーター１または２の並べ方などは、シート２００の形状やそこで変形させる形状に応じて適宜設定すればよい。
【００９７】
以上説明したように、本実施形態１によれば以下のような効果を奏する。
【００９８】
無機導電性部材と導電性高分子を組み合わせることで、圧力センサーとアクチュエーターの両機能を一つのデバイスで実行することができるようになる。しかも、第１タイプのように、電気回路を第１導電体１１と第２導電体１２に常に流れるように配線した上でスイッチの切り替えにより圧力センサー動作とアクチュエーター動作を切り替えて使用できるようにできる。一方、第２タイプのように、電気回路を圧力センサー動作用とアクチュエーター動作用に分けて配線することで、圧力センサー動作とアクチュエーター動作を同時に行わせるようにすることもできる。
【００９９】
また、様々なデバイス形態に加工することで、圧力センサーやアクチュエーターとしての機能ばかりでなく、使用用途や場所に応じて見た目の変化をつけたり、質感を変えるなどの製品として様々な装飾効果を出すことができる。
【０１００】
さらに、車両のシートにこのセンサー・アクチュエーターを設けることで、シートのような限られたスペースで、圧力を感知してそれに対応して形状変化をつけることができるようになる。
【０１０１】
（実施形態２）
実施形態２は、第１導電体と第２導電体を共に導電性高分子を用いたものである。本実施形態２においても電気回路の異なる第１タイプと第２タイプの形態がある。
【０１０２】
図１９は実施形態２における第１タイプのセンサー・アクチュエーター３の構成を説明するための概略図である。図２０は実施形態２における第２タイプのセンサー・アクチュエーター４の構成を説明するための概略図である。
【０１０３】
本実施形態２においても第１タイプと第２タイプの違いは電気回路であり、この電気回路の構成は、実施形態１と同じであるので説明を省略する。また、第１タイプと第２タイプによる動作の違いも実施形態１と同じであるので説明を省略する。
【０１０４】
本実施形態２の電気回路を除くデバイス構成は、第１タイプ、第２タイプともに同じである。第１導電体２１および第２導電体２２がともに導電性高分子よりなるフィルムである。なお、導電性高分子は実施形態１で説明したものと同じである。
【０１０５】
そして、一方の導電体、図において第１導電体２１は、第２導電体２２と比較してより多くの面積が絶縁性部材によって覆われている。すなわち、第１導電体２１は第２導電体２２との間で所定の空間１９を保つための絶縁部材１３と、さらに第２導電体２２に向かう面の反対面側の面（図においては第１導電体２１の上面）を被覆用絶縁部材２３により覆っている。
【０１０６】
これにより、第１導電体２１と第２導電体２２は、通電した際の水分の脱量を違えることができる。この違いはアクチュエーター動作に作用する。つまり第１導電体２１は絶縁部材で覆われている部分が多いため、絶縁部材から露出している部分の多い第２導電体２２に比べ、通電による水の脱量が少ない。このため、第１導電体２１と第２導電体２２の間で膨潤率差が生じて、図２１に示すように第２導電体２２側へ屈曲する。
【０１０７】
ここで、第１導電体２１における露出部分：被覆部分＝１０：１以上とすることが好ましい。これは、露出部分：被覆部分が１０：１未満であると、露出部分が多くなりすぎて、第２導電体２２との膨潤率差がつけにくくなって、屈曲しにくくなるためである。
【０１０８】
なお、圧力センサーとしては実施形態１と同じように機能するので説明は省略する。
【０１０９】
アクチュエーター動作に印加する電圧の大きさは、水の脱離を引き起こす電圧が必要であり、これも実施形態１同様に、たとえば５〜３０Ｖである。一方、圧力センサーとしては、たとえば１．０〜１．５Ｖである。
【０１１０】
なお、本実施形態２において第１導電体２１および第２導電体２２として使用される導電性高分子はその素材および形態のいずれも実施形態１と同じでよい。
【０１１１】
さらに本実施形態２においても、図１９および２０のほかに、繊維状の導電体を用いることで様々なデバイス形態とすることができる。
【０１１２】
図２２〜２４は、本実施形態２における、電気回路を除くデバイス形態を示す図面である。
【０１１３】
まず、図２２に示すように、第１導電体２１はフィルム（平板）状とし、第２導電体２２を繊維状としたものである。
【０１１４】
次に、図２３に示すように、第１導電体２１は繊維状とし、第２導電体２２をフィルム（平板）状としたものである。
【０１１５】
次に、図２４に示すように、第１導電体２１と第２導電体２２を共に繊維状としたものである。
【０１１６】
ここで図２４に示したものは、第１導電体２１を繊維状にした場合において、絶縁体として露出部以外の部分を繊維の円周方向に沿って覆うように鞘型の絶縁体２４を設けたものとしている。このような形態は、たとえば、繊維状の導電性高分子に、空間１９となる露出部を除いて絶縁体２４で覆うとよい。または繊維状の導電性高分子を全体にわたりいったん絶縁体２４で覆い、空間１９となる露出部だけ絶縁体２４を除去するようにしてもよい。なお、図２３に示した形態においても、同様に第１導電体２１を鞘型の絶縁体２４としてもよい。
【０１１７】
なお、本実施形態２のセンサー・アクチュエーター３または４においても、実施形態１同様に車両のシート設置することで、シートに加わる圧力に応じてシート形状を変えることが容易に行えるようになる。
【０１１８】
このように構成された実施形態２では、前述の実施形態１の効果を持つとともに、さらに加えて、以下のような効果を奏する。
【０１１９】
第１導電体２１と第２導電体２２をともに導電性高分子を用いたので、同じ材料を用いてデバイス部分を製造することができる。また、特に導電性高分子を用いた繊維（線材）を使用することで、実施形態１にも増して、さまざまな風合いや柔軟性などを付与することができる。したがって、車両のシート２００に用いた場合に、実施形態１にも増して座り心地や肌触りなどを加味した加工が可能となる。
【実施例】
【０１２０】
次に、上述した実施形態１および２に基づいたデバイスを実際に作成して圧力センサーおよびアクチュエーターとして動作させた結果を説明する。
【０１２１】
（実施例１（デバイス形態図１、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体１１：塩ビフィルム（ＰＶＣ）に炭素粉末をスパッタした導電性フィルム（約３０μｍ）を作製した。
【０１２２】
（２）第２導電体１２：導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（Ｂａｙｅｒ社、Ｂａｙｔｒｏｎ  Ｐ  ＡＧ（登録商標））水分散液をテフロンシャーレにキャストし、７０℃、１５時間乾燥させることで膜厚約３０μｍのＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムを作製した（以下の各実施例においてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムは同様にして作製している）。
【０１２３】
（３）デバイス作製：上記（２）で作製したＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムの上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。そして絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、その上に上記（１）の導電性フィルムを貼り付け、乾燥させることで図１に示したような３層構造となったデバイス構造体を作製した。この構造体を２００μｍ×１０ｃｍの短冊状にカットしてその両端１０ｍｍおよびその中央部を１０ｍｍ間隔で絶縁体１３を溶出させ、各導電体同士が接触できる露出部を得てデバイスとした。
【０１２４】
（４）電気回路：各導電体の両端に露出している部分に電極として、導線（ニラコ社製  ＣＵ−１１１１０７、繊維径０．０５ｍｍ）を銀ペースト（藤倉化成社製ドータイトＤ−５００）を用いて接続し、第１タイプのセンサー・アクチュエーター１を作製した。
【０１２５】
（実施例２（デバイス形態図２、電気回路第２タイプ））
実施例１と同じ材料、同じデバイス構造として電気回路を図２で示した第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター２を作製した。
【０１２６】
（実施例３（デバイス形態図１４、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体１１：膜厚約３０μｍの導電性フィルム（ＰＶＣ＋炭素）を用いた。
【０１２７】
（２）第２導電体１２：導電性高分子繊維を、湿式紡糸法を用いて以下のように作製した。
【０１２８】
導電性高分子繊維の原料である導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（Ｂａｙｅｒ社、Ｂａｙｔｒｏｎ  Ｐ  ＡＧ（登録商標））水分散液をマイクロシリンジ（伊藤製作所製、ＭＳ−ＧＬＬ２５０）の先端に針部内径３００μｍ×１５口の吐出口を設けたシリンジを４本用意し、合計１５０μＬ／ｍｉｎ．の速度で原料をアセトン中へ押し出し、液相中でまとめて空気中の巻き取り機へ巻き上げた。これにより直径約１５０μｍの導電性繊維を得た。得られた導電性高分子繊維の導電率をＪＩＳ  Ｋ  ７１９４（導電性プラスチックの４探針法による抵抗率試験方法）に準拠して測定し、得られた抵抗率（Ω・ｃｍ）の逆数（Ｓ／ｃｍ）として算出したところ、約１００Ｓ／ｃｍとなった。
【０１２９】
（３）デバイス作製：上記（１）の導電性フィルム上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。この絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、（２）の導電性高分子繊維を貼り付け乾燥させることで、図１４に示した３層構造となったデバイスを作製した。
【０１３０】
（４）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１３１】
（実施例４（デバイス形態図１４、電気回路第２タイプ））
実施例３と同じ材料、同じデバイス構造（図１４）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１３２】
（実施例５（デバイス形態図１５、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体１１：導電性繊維を、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を５ｗｔ％分散させたコンポジット材料を溶融紡糸装置を用いて作成した。溶融紡糸装置は、口金温度；２５０℃、吐出口径；１ｍｍ、吐出量；８ｃｃ／ｍｉｎ、巻き取り速度；２０００ｍ／ｍｉｎ、および１０００ｍ／ｍｉｎとして作製し、直径１００μｍの導電性繊維を得た。
【０１３３】
（２）第２導電体１２：膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムを用いた。
【０１３４】
（３）デバイス作製：（２）のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルム上の上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。この絶縁体１３上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、その上に（１）の導電性繊維を貼り付け、乾燥させることで図１５に示した３層構造となったデバイスを作製した。
【０１３５】
（４）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１３６】
（実施例６（デバイス形態図１５、電気回路第２タイプ））
実施例５と同じ材料、同じデバイス構造（図１５）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１３７】
（実施例７（デバイス形態図１６、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体１１：テフロン（登録商標）シート上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥後、テフロンシートからはがした。続いて絶縁体膜の片面にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、その上に第１導電体１１として導電性繊維（ＰＢＴ＋ＣＮＴ）を貼り付け、乾燥させた。
【０１３８】
（２）第２導電体１２およびデバイス作製：（１）の絶縁体１３の導電性繊維を貼付けた面の反対側にシクロヘキサノンを塗り、その上に、導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを貼り付け乾燥させることで図１６に示した３層構造となったデバイスを作製した。
【０１３９】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１４０】
（実施例８（デバイス形態図１６、電気回路第２タイプ））
実施例７と同じ材料、同じデバイス構造（図１６）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１４１】
（実施例９（デバイス形態図１９、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体２１：膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムを用いた。
【０１４２】
（２）第２導電体２２およびデバイス作製：（１）のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルム上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液（以下コーティング液は同様のものである）を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１４３】
この絶縁体１３の上に、シクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、（１）と同じＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムを貼り付け乾燥させ、第１導電体２１である（１）のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルム上にさらに絶縁体２３として同様のコーティング液を塗布し１２時間乾燥させることで図１９に示した４層構造となったデバイスを作製した。
【０１４４】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１４５】
（実施例１０（デバイス形態図２０、電気回路第２タイプ））
実施例９と同じ材料、同じデバイス構造（図２０）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１４６】
（実施例１１（デバイス形態図２２、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体２１：テフロンシート上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥後、テフロンシートからはがした。つづいて絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、膜厚約３０μｍのＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムを貼り付け乾燥させた。さらにＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムの絶縁体１３を貼付けた面の反対面に絶縁体２３として同様のコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１４７】
（２）第２導電体２２およびデバイス作製：（１）の絶縁体１３にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを貼り付け乾燥させ、図２２に示した４層構造となったデバイスを作製した。
【０１４８】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１４９】
（実施例１２（デバイス形態図２２、電気回路第２タイプ））
実施例１１と同じ材料、同じデバイス構造（図２２）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１５０】
（実施例１３（デバイス形態図２３、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体２１：導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを作製した。
【０１５１】
（２）第２導電体２２およびデバイス作製：膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムの上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥した。続いて、シクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、（１）の導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを貼り付け乾燥させた。その後さらに第１導電体２１の導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳに絶縁体２３としてコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１５２】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１５３】
（実施例１４（デバイス形態図２３、電気回路第２タイプ））
実施例１３と同じ材料、同じデバイス構造（図２３）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１５４】
（実施例１５（デバイス形態図２４、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体２１：導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに５０ｗｔ％溶解したコーティング液に、導電性高分子繊維を含浸させ、その後１２時間乾燥させた。これにより、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ繊維が芯、絶縁体２４が鞘型となるようにコーティングされた。
【０１５５】
（２）第２導電体２２およびデバイス作製：（２）の鞘型の絶縁体２４の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ繊維を貼り付け乾燥させた。これにより図２４に示したデバイスを作製した。
【０１５６】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１５７】
（実施例１６（デバイス形態図２４、電気回路第２タイプ））
実施例１５と同じ材料、同じデバイス構造（図２４）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１５８】
（実施例１７（デバイス形態図１９、電気回路第１タイプ））
（１）第２導電体２２となる膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムの上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１５９】
（２）上記（１）の絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、第１導電体２１となる導電性フィルム（ＰＶＣ＋炭素）を貼り付け乾燥させ、さらに絶縁体２３としてコーティング液を塗布し１２時間乾燥させることで、図１９に示した４層構造となったデバイスを作製した。
【０１６０】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１６１】
（実施例１８（デバイス形態図２０、電気回路第２タイプ））
実施例１７と同じ材料、同じデバイス構造（図２０）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１６２】
（実施例１９（デバイス形態図２２、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体２１：テフロンシート上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥後、テフロンシートからはがした。この塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体層の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、導電性フィルム（ＰＶＣ＋炭素）を貼り付け乾燥させた。その後さらに絶縁体２３としてコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１６３】
（２）第２導電体２２およびデバイス作製：絶縁体１３にシクロヘキサノンを塗り、第２導電体２２となる導電性高分子繊維ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを貼り付け乾燥させ、図２２に示した４層のデバイスを作製した。
【０１６４】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１６５】
（実施例２０（デバイス形態図２２、電気回路第２タイプ））
実施例１９と同じ材料、同じデバイス構造（図２２）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１６６】
（実施例２１（デバイス形態図２３、電気回路第１タイプ））
（１）第２導電体２２：膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムの上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥した。
【０１６７】
（２）第１導電体２１およびデバイス作製：（１）の絶縁体１３上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、導電性繊維（ＰＢＴ＋ＣＮＴ）を貼り付け乾燥させた。その後さらに導電性繊維に絶縁体２３としてコーティング液を塗布し１２時間乾燥させ、図２３に示した４層のデバイスを作製した。
【０１６８】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１６９】
（実施例２２（デバイス形態図２３、電気回路第２タイプ））
実施例２１と同じ材料、同じデバイス構造（図２３）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１７０】
（実施例２３（デバイス形態図２４、電気回路第１タイプ））
（１）第１導電体２１：導電性繊維（ＰＢＴ＋ＣＮＴ）を塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）を、シクロヘキサノンに５０ｗｔ％溶解したコーティング液に含浸後、１２時間乾燥させた。これにより、導電性繊維が芯、絶縁体２４が鞘型となるようにコーティングされた。
【０１７１】
（２）第２導電体２２およびデバイス作製：（１）の鞘型の絶縁体２３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ繊維を貼り付けた。これにより図２４に示したデバイスを作製した。
【０１７２】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付け第１タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１７３】
（実施例２４（デバイス形態図２４、電気回路第２タイプ））
実施例２３と同じ材料、同じデバイス構造（図２４）として電気回路を第２タイプとなるように配線してセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１７４】
（実施例２５（デバイス形態図２、電気回路第２タイプ））
（１）第１導電体１１：導電性高分子であるポリアニリン水分散液（Ｐａｎｉｐｏｌ社製、ＰａｎｉｐｏｌＷ）をテフロンシャーレにキャストし、７０℃、１５時間乾燥させることで膜厚約３０μｍのポリアニリンフィルムを作製した。これにポリアニリンフィルムの上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１７５】
（２）第２導電体１２およびデバイス作製：（１）の絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、その上に導電性フィルム（ＰＶＣ＋炭素）を貼り付け、乾燥させることで図２に示した３層のデバイスを作製した。
【０１７６】
（３）電気回路：実施例１と同様、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付けて、第２タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１７７】
（実施例２６（デバイス形態図２、電気回路第２タイプ））
（１）第１導電体１１：導電性高分子であるポリピロール水分散液（シグマアルドリッチジャパン社製、製品番号４８２５５−２）をテフロンシャーレにキャストし、７０℃、１５時間乾燥させることで膜厚約３０μｍのポリアニリンフィルムを作製した。続いてポリアニリンフィルムの上に絶縁体１３として塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。
【０１７８】
（２）第２導電体１２およびデバイス作製：（１）の絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、その上に導電性フィルム（ＰＶＣ＋炭素）を貼り付け、乾燥させることで図２に示した３層のデバイスを作製した。
【０１７９】
（３）電気回路：実施例１と同様に、中央部と両端の露出部を形成して電極を取り付けて、第２タイプの電気回路としたセンサー・アクチュエーター構造体を作製した。
【０１８０】
（比較例１）
比較例１として、デバイス構造的には、図２に示した構造と同様にして、２枚の非導電性フィルムを絶縁体１３により支持した形態を作製した。
【０１８１】
すなわち、厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムの上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥させた。続いて絶縁体１３の上にシクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、さらに厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムを貼り付け乾燥させた。
【０１８２】
そして、実施形態１同様に電極を取り付けて、図２に示したような第２タイプの電気回路形態となる比較例１のデバイスを作製した。
【０１８３】
（比較例２）
比較例２として、デバイス構造的には、図２に示した構造と同様にして、２枚の導電性フィルムを絶縁体１３により支持した形態を作製した。
【０１８４】
膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムの上に絶縁体１３である塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体（日信化学工業社製、商品名；ソルバイン）をシクロヘキサノンに２０ｗｔ％溶解したコーティング液を塗布し１２時間乾燥した。続いて、シクロヘキサノンを糊がわりとして少々塗り、さらに膜厚約３０μｍの導電性高分子ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳフィルムを貼り付けた。
【０１８５】
そして、実施形態１同様に電極を取り付けて、図２に示したような第２タイプの電気回路形態となる比較例２のデバイスを作製した。
【０１８６】
（評価試験）
センサー試験
図２５は、センサーおよびアクチュエーター機能の試験を行うための試験装置構成を説明するための図面である。
【０１８７】
図２５に示すように、試験台のくぼみ部分に試験体（上述した各実施例および比較例のセンサー・アクチュエーター構造体）を載せ、多少たるませた状態でテンションをかけて両端をテープで止めて固定しておく。試験体の感度がある空間部分（絶縁体から露出した部分）の下部に平面の台を設置、上部からはφ１７ｍｍの先端部が平面円形のゴム圧子を用いて試験体に対して、ロードセルで測定しながら０〜０．５Ｎの力で押し付けた。このときあらかじめ試験体に、１Ｖの電圧を印加しておき、電流計で電流値を測定、抵抗値に変換する。０〜０．５Ｎの間の抵抗バラツキ幅を考慮し、この幅が重ならない範囲がいくつ確保できるかを、荷重分解能の指標とした。
【０１８８】
アクチュエート試験
図２６はアクチュエート試験を説明するための概略図である。なお、試験装置自体は図２５と同じものを用いている。
【０１８９】
図２６に示すように、試験体をたるませた状態のたるみを振幅と表現し、通電前と通電後（５〜２０Ｖ）の範囲で最大振幅の大きさの比（通電後／通電前）をとりアクチュエート性能とした。なお、比が１になれば地面と平行に近い状態まで変位したことを表し、１以上になれば上に凸な状態にまで変位したことを表している。
【０１９０】
ただし、評価には次のことに注意し行った。
【０１９１】
第１タイプの電気回路とした場合、圧力センサーとして機能させる際の電圧印加によりアクチュエート動作が同時に起ってしまう可能性がある。そのためセンサー評価の時はゴム圧子をロードセルで押し付けアクチュエートが起らないようにし、実際にはアクチュエート動作が起こらないと考えられる１〜４Ｖを印加して実施した。
【０１９２】
一方、アクチュエート評価のときはゴム圧子を押し付けないで、５〜２０Ｖ印加して実施した。
【０１９３】
なお、第２タイプの電気回路のときはセンサー試験とアクチュエート試験を別々にできる。そのためセンサー試験のときはセンサー回路の方に１〜４Ｖ印加して行い、アクチュエート試験の時はアクチュエート回路の方に５〜２０Ｖ、それぞれ別々に印加して実施した。
【０１９４】
（試験結果）
表１〜３に実施例および比較例の試験結果を示す。なおアクチュエート評価は電圧１０Ｖを印加した際の結果を表している。
【０１９５】
【表１】
2010096629.tif 000009
【０１９６】
【表２】
2010096629.tif 000010
【０１９７】
【表３】
2010096629.tif 000011
【０１９８】
表１と２から第１導電体１１と第２導電体１２が絶縁体１３から剥き出しになっている場合の方が変位量（振幅）大きかった。
【０１９９】
表２から実施形態２の形態において、第１導電体２１が導電性高分子ではない、つまり通電により変形しない材料を用いている方が変位量（振幅）が大きかった。第１導電体２１の面側と第２導電体２２の面側の膨潤率差が大きくなるためだと考えられる。
【０２００】
また、各表から第１タイプおよび第２タイプで、さほど変位量（振幅）に差が出なかった。
【０２０１】
また、すべて実施例において圧力センサー機能は認められた。圧力の違いによる抵抗値（印加した電圧を電流計による電流値で割った値）は、約１７００〜２３００Ωの範囲で加えた圧力に応じた変化が認められた。
【０２０２】
一方、表３から、比較例１は圧力センサー機能、アクチュエーター機能のいずれも認められず、比較例２は圧力センサー機能は認められたものの、アクチュエーター機能は示さなかった。
【０２０３】
以上説明したように、本発明を適用した実施形態および実施例によれば以下のような効果を奏する。
【０２０４】
一対の導電体のうち、少なくとも一方を導電性高分子を含む材料を用いて、この一対の導電体を平行に配置したというきわめて簡単な構成により、圧力センサーとアクチュエーターの両機能を一つのデバイスで実行することができるようになる。そして、このように圧力センサー機能とアクチュエーター機能が一つのデバイスにあるのでいっそうの軽量化、省スペース化を達成することができる。
【０２０５】
より具体的な構成としては、実施形態１のように第１導電体を無機導電性部材とし、第２導電体を導電性高分子を含む材料によって形成したことで、第１導電体側は電圧の印加によっても、ほとんど大きさが変化しないため（ジュール熱による膨張収縮分を除く）、アクチュエーターとして大きく動作させることができる。
【０２０６】
また、実施形態２のように、第１導電体および第２導電体を共に導電性高分子を含む材料によって形成したことで、使用用途や場所に応じて導電性高分子を用いたフィルムや繊維（線材）を使用して、さまざまな風合いや柔軟性などを付与することができる。
【０２０７】
また、実施形態１および２共に、さまざまな導電体の組み合わせを可能としている。具体的には、両方の導電体を共にフィルム（平板）形状としたもの、一方の導電体を繊維（線材）他方をフィルムとして一方の導電体の幅より他方の導電体の幅を広くしたもの、両方を繊維形状としたものである。中でも、一方の導電体の幅より他方の導電体の幅を広くした形態することで、第１導電体１１と第２導電体１２が加わる圧力に対応して接触する量が線的に変化するため圧力を細かく段階的に計測することができる。
【０２０８】
また、導電体として使用する導電性高分子は、特に、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリ３，４−エチレンジオキシチオフェンにポリ４−スチレンスルホネートをドープした高分子、およびこれらの誘導体よりなる群から選択された少なくとも一つの導電性高分子が好ましく、これらの導電性高分子はセンサーとして良好な導電性を持つと共に、アクチュエーター動作をさせるために必要な湿潤性を備えている。
【０２０９】
また、実施形態１および２共に電気回路として、圧力センサー機能とアクチュエーター機能を独立して動作させるタイプ１と、圧力センサー機能とアクチュエーター機能を同時に動作させるタイプ２の形態を設けたので、使用用途に応じてさまざまな展開が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２１０】
【図１】実施形態１の第１タイプのセンサー・アクチュエーターの構成を説明するための概略図である。
【図２】実施形態１の第２タイプのセンサー・アクチュエーターの構成を説明するための概略図である。
【図３】センサー動作時のデバイス（第１及び第２導電体部分）の動きを説明するための説明図である。
【図４】アクチュエーター動作を説明するための説明図である。
【図５】第１タイプのセンサー・アクチュエーターにおけるはセンサー動作時（（ａ）図）とアクチュエーター動作時（（ｂ）図）の電気的等価回路図である。
【図６】第２タイプのセンサー・アクチュエーター２におけるはセンサー動作時（（ａ）図）とアクチュエーター動作時（（ｂ）図）の電気的等価回路図である。
【図７】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図８】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図９】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図１０】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図１１】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図１２】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図１３】導電性高分子を用いた繊維形態を示す説明図である。
【図１４】実施形態１の他のデバイス形態を示す概略図である。
【図１５】実施形態１の他のデバイス形態を示す概略図である。
【図１６】実施形態１の他のデバイス形態を示す概略図である。
【図１７】実施形態１のセンサー・アクチュエーターを車両のシートに用いた場合の構成を説明するための説明図である。
【図１８】実施形態１のセンサー・アクチュエーターを車両のシートに用いた場合の構成を説明するための説明図である。
【図１９】実施形態２における第１タイプのセンサー・アクチュエーター３の構成を説明するための概略図である。
【図２０】実施形態２における第２タイプのセンサー・アクチュエーター３の構成を説明するための概略図である。
【図２１】アクチュエーター動作を説明するための説明図である。
【図２２】実施形態２の他のデバイス形態を示す概略図である。
【図２３】実施形態２の他のデバイス形態を示す概略図である。
【図２４】実施形態２の他のデバイス形態を示す概略図である。
【図２５】センサーおよびアクチュエーター機能の試験を行うための試験装置構成を説明するための図面である。
【図２６】アクチュエート試験を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【０２１１】
１、２、３、４  センサー・アクチュエーター、
１１、２１  第１導電体、
１２、２２  第２導電体、
１３、２３、２４  絶縁体、
１４  電流計、
１５  センサー用電源、
１７  アクチュエーター用電源、
１８、１８ａ、１８ｂ  スイッチ、
１９  空間、
２３  被覆用絶縁部材、
１００  センサー・アクチュエーターユニット、
２００  シート。
【図１】
2010096629.tif 000012
【図２】
2010096629.tif 000013
【図３】
2010096629.tif 000014
【図４】
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【図５】
2010096629.tif 000016
【図６】
2010096629.tif 000017
【図７】
2010096629.tif 000018
【図８】
2010096629.tif 000019
【図９】
2010096629.tif 000020
【図１０】
2010096629.tif 000021
【図１１】
2010096629.tif 000022
【図１２】
2010096629.tif 000023
【図１３】
2010096629.tif 000024
【図１４】
2010096629.tif 000025
【図１５】
2010096629.tif 000026
【図１６】
2010096629.tif 000027
【図１７】
2010096629.tif 000028
【図１８】
2010096629.tif 000029
【図１９】
2010096629.tif 000030
【図２０】
2010096629.tif 000031
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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