(57)【要約】【課題】吸着による保持力が不足しても、搬送する板状部材の脱落を防止することができるようにすること。【解決手段】搬送装置１０は、板状部材Ｂを上面側で吸着保持する吸着パッド１１と、この吸着パッド１１で保持された板状部材Ｂを載置面Ｔ１から上昇するときに、板状部材Ｂの下方に移動可能な片部材２３を含む脱落防止手段１２とを備えて構成されている。また、搬送装置１０は、板状部材Ｂを回転して天地反転させる回転手段１３と、この回転手段１３による回転中に板状部材Ｂの下端側に位置するストッパ１５とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を上面側で吸着保持する保持手段と、この保持手段で保持された板状部材を所定の載置面から上昇させるときに、当該板状部材の下方に移動可能な脱落防止手段とを備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記板状部材を回転して天地反転させる回転手段と、板状部材の面方向への移動を規制するストッパとを備えていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記脱落防止手段は、板状部材の下方と側方との間で移動可能な変位部材を含み、
前記変位部材は、前記載置面に保持手段が近付くときに板状部材の側方に移動する一方、保持手段で保持された板状部材を載置面から上昇するときに板状部材の下方に移動することを特徴とする請求項１又は２記載の搬送装置。
【請求項４】
所定の載置面上から板状部材を搬送する方法において、
前記載置面上の板状部材を上面側で吸着保持する工程と、
前記板状部材を載置面から上昇するときに、板状部材の下方に脱落防止手段を移動させた後、板状部材を所定位置まで搬送する工程とを行うことを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置及び搬送方法に係り、更に詳しくは、板状部材の搬送中における脱落を防止することができる搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）がダイシングテープを介してリングフレームに一体された板状部材を搬送する場合、例えば、特許文献１に開示される搬送装置が利用される。同文献の搬送装置では、アームの先端側でリングフレームを吸着保持した後、アームを旋回することで前記板状部材を天地反転させ、所定のテーブル上に搬送するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−７７９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１にあっては、吸着による保持力が足りなくなった場合、板状部材が脱落してウエハを損傷させてしまう、という不都合がある。かかる不都合は、比較的大きい保持力が必要となる前記天地反転の最中に顕出することとなる。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、吸着による保持力が不足しても、搬送する板状部材の脱落を防止することができる搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、板状部材を上面側で吸着保持する保持手段と、この保持手段で保持された板状部材を所定の載置面から上昇させるときに、当該板状部材の下方に移動可能な脱落防止手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記板状部材を回転して天地反転させる回転手段と、板状部材の面方向への移動を規制するストッパとを備える、という構成を採ってもよい。
【０００８】
また、前記脱落防止手段は、板状部材の下方と側方との間で移動可能な変位部材を含み、
前記変位部材は、前記載置面に保持手段が近付くときに板状部材の側方に移動する一方、保持手段で保持された板状部材を載置面から上昇するときに板状部材の下方に移動する、という構成も好ましくは採用される。
【０００９】
また、本発明の搬送方法は、所定の載置面上から板状部材を搬送する方法において、
前記載置面上の板状部材を上面側で吸着保持する工程と、
前記板状部材を載置面から上昇するときに、板状部材の下方に脱落防止手段を移動させた後、板状部材を所定位置まで搬送する工程とを行う、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、保持手段による保持力が足りなくなり、当該保持手段での保持が解除された場合であっても、脱落防止手段により板状部材を保持することが可能となる。これにより、板状部材が脱落しないように安定して搬送することができ、当該板状部材の損傷等を未然に防ぐことが可能となる。
【００１１】
また、回転手段によって板状部材を天地反転させる場合、板状部材の面方向への移動を規制するストッパを設けたので、回転動作中に保持が解除されても、板状部材が面方向へずれて脱落することも回避することが可能となる。
【００１２】
更に、板状部材の下方と側方との間で変位する変位部材を用いることで、脱落防止手段の構造の簡略化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書及び特許請求の範囲の方向若しくは位置を示す用語は、特に明示しない限り、図１を基準とし、「前」とは同図中手前側を示す一方、「後」とは、同奥行き側について用いられ、「左」「右」も同様とする。
【００１４】
図１には、実施形態に係る搬送装置の概略正面図が示されている。また、図２には、図１の右側面図が示され、図３には、図１を下から見た図が示されている。これらの図において、搬送装置１０は、図１〜図３中二点鎖線で示されるように、リングフレームＲＦと、このリングフレームＲＦの開口内部にダイシングテープＤＴを介して一体化されたウエハＷとからなる板状部材Ｂを保持して所定位置に搬送可能に設けられている。搬送装置１０は、板状部材Ｂの左右両側に２体ずつ設けられた保持手段としての吸着パッド１１と、当該吸着パッド１１の隣接位置に設けられた脱落防止手段１２と、吸着パッド１１及び脱落防止手段１２を回転させる回転手段１３と、この回転手段１３に支持されたストッパ１５と、回転手段１３をアーム１６を介して支持する移動手段１７とを備えて構成されている。なお、本実施形態におけるウエハＷは、その回路面（下面）を保護する保護用の接着シートＳが予め貼付されたものが対象とされているが、限定されるものではない。
【００１５】
ここで、前記搬送装置１０は、左右対称となる構造となっており、以下において、特に明示しない限り、右側の構造について説明し、左側の構造には、同一符号を付して説明を省略する。
【００１６】
前記吸着パッド１１は、前後にそれぞれ一体ずつ設けられており、図示しない減圧源に接続されている。吸着パッド１１は、リングフレームＲＦの上面を吸着することで、板状部材Ｂを保持可能に設けられている。
【００１７】
前記脱落防止手段１２は、前後の吸着パッド１１の間に設けられたＬ型アーム２０と、このＬ型アーム２０を回転軸２１を介して支持するブラケット２２と、Ｌ型アーム２０の先端側に連設された変位部材としての片状体２３とを備えている。前記回転軸２１には、コイルばね等からなる付勢手段２４が設けられている。Ｌ型アーム２０は、図１に示される位置から外側（矢印Ｒ１方向）に向かって回転可能に設けられるとともに、常時は、付勢手段２４を介して同図に示される位置に維持するよう付勢される。
【００１８】
前記回転手段１３は、アーム１６に支持されたロータリシリンダ２５と、当該ロータリシリンダ２５の出力軸２５Ａに取り付けられた支持体２６により構成され、支持体２６には、吸着パッド１１、脱落防止手段１２及びストッパ１５が支持されている。このような構成により、支持体２６は図２中矢印Ｒ２方向に相対回転可能に構成されている。
【００１９】
前記ストッパ１５は、支持体２６に支持され前方に延びるブラケット２７と、このブラケット２７の前端側から下方に延び、リングフレームＲＦの前方に位置する軸状体２８とからなる。
【００２０】
前記移動手段１７は、アーム１６の基部が連結されるスライダ３０と、このスライダ３０を左右に移動させるモータ３１と、左右の各モータ３１を連結する連結フレーム３２と、この連結フレーム３２を支持して当該連結フレーム３２を所定位置に搬送する図示しない搬送手段とを備えている。
【００２１】
次に、前記搬送装置１０による板状部材Ｂの搬送方法について説明する。
【００２２】
図４に示されるように、移動手段１７を介して回転手段１３以下を移動させ、載置面Ｔ１上の板状部材ＢにおけるリングフレームＲＦの上方に吸着パッド１１を位置させる。この状態から移動手段１７を介して回転手段１３以下を下降させると、図５に示されるように、Ｌ型アーム２０の下端が載置面Ｔ１に当接し、その後も更に下降を継続すると、Ｌ型アーム２０がＲ１方向に回転し、図６に示されるように、吸着パッド１１がリングフレームＲＦの上面に当接する。
【００２３】
吸着パッド１１がリングフレームＲＦを吸着保持した後、移動手段１７を介して回転手段１３以下を上昇させ、吸着パッド１１に保持された板状部材Ｂを上昇させる。このとき、Ｌ型アーム２０は付勢手段２４によって矢印Ｒ３方向に回転し、片状体２３がリングフレームＲＦの下方の所定位置に移動する。これにより、図７に示されるように、吸着パッド１１と片状体２３との間にリングフレームＲＦが位置する。このような状態において、仮に吸着パッド１１の吸着が解除されても、板状部材Ｂは片状体２３によって受け止められて下方への脱落が規制される。
【００２４】
その後、図８に示されるように、ロータリシリンダ２５を作動して支持体２６以下を矢印Ｒ４方向に１８０°回転させることにより、図９に示されるように、板状部材Ｂが天地反転し、ダイシングテープＤＴが下方に位置した状態となる。この回転動作中において、吸着パッド１１の吸着が解除されても、板状部材Ｂは片状体２３と軸状体２８によって受け止められ、脱落することはない。板状部材Ｂの回転を終えた後、後工程が行われる所定のテーブルＴＡ上に板状部材Ｂを載置し、吸着パッド１１の吸着を解除するとともに、各モータ３１を作動して左右のスライダ３０を離間させることで、搬送が完了する。その後、次の板状部材Ｂを搬送すべく移動手段１７が回転手段１３以下を元の位置に復帰させる。
【００２５】
従って、このような実施形態によれば、仮に、吸着パッド１１による吸着力が不足して板状部材Ｂの保持が解除されても、片状体２３や軸状体２８により板状部材Ｂを受け止めることができる。これにより、板状部材Ｂの搬送中や回転中に、当該板状部材Ｂの不用意な脱落を回避することができ、ウエハＷが損傷することを防止することが可能となる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２７】
例えば、脱落防止手段１２は、板状部材Ｂの脱落を防止できる限りにおいて種々の変更が可能である。但し、前記実施形態の構成とすれば、より簡単な構造として脱落防止を図ることが可能となる。
【００２８】
また、板状部材Ｂは、リングフレームＲＦ等を省略してウエハＷだけとしたり、ウエハＷに接着シートＳを貼付しただけの構成に代替してもよい。
【００２９】
更に、ストッパ１５は、支持体２６に対して前側だけでなく、後側にも設けてもよい。このように両側に設けることで、回転手段１３による双方向回転に対応して板状部材Ｂの脱落を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】実施形態に係る搬送装置の概略正面図。
【図２】図１の右側面図。
【図３】図１を下から見た図。
【図４】板状部材を搬送する準備状態の説明図。
【図５】Ｌ型アームが載置面に当接した状態の説明図。
【図６】片状体が板状部材の側方に移動した状態の説明図。
【図７】片状体が板状部材の下方に移動した後の状態の説明図。
【図８】板状体を天地反転させる最中の側面図。
【図９】板状部材を天地反転させた状態の説明図。
【符号の説明】
【００３１】
１０  搬送装置
１１  吸着パッド（保持手段）
１２  脱落防止手段
１３  回転手段
１５  ストッパ
２３  片状体（変位手段）
Ｂ  板状部材
Ｔ１  載置面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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