(57)【要約】【課題】導電性高分子層形成のための重合プロセス時間を短縮することができ、効率良く固体電解コンデンサを製造する。【解決手段】陽極１を形成する工程と、陽極１の表面上に誘電体層２を形成する工程と、誘電体層２の表面上に導電性高分子層３を形成する工程とを備える固体電解コンデンサの製造方法であって、導電性高分子層３を形成する工程が、マイクロ波の照射による重合により導電性高分子層３を形成する工程を含むことを特徴としている。【選択図】図１
2010021305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極を形成する工程と、
前記陽極の表面上に誘電体層を形成する工程と、
前記誘電体層の表面上に導電性高分子層を形成する工程とを備える固体電解コンデンサの製造方法であって、
前記導電性高分子層を形成する工程が、マイクロ波の照射による重合により前記導電性高分子層を形成する工程を含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項２】
前記導電性高分子層を形成する工程が、導電性高分子のモノマー溶液を前記誘電体層の表面上に付着させる工程と、付着させた導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により化学重合させる工程とを含むことを特徴とする請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項３】
前記導電性高分子層を形成する工程が、導電性高分子のモノマーを気相から前記誘電体層の表面上に供給し、供給された導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により気相重合させる工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項４】
前記導電性高分子層を形成する工程が、マイクロ波の照射による重合の後、電解重合により前記導電性高分子層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項５】
前記誘電体層が、五酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化アルミニウム及び酸化チタンから選ばれる少なくとも１種から形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解コンデンサの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、固体電解コンデンサは、アルミニウム（Ａｌ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）などの弁作用金属からなる陽極を用い、この陽極の表面を陽極酸化することにより、主に酸化物からなる誘電体層を陽極の上に形成している。誘電体層の陰極側には電解液を用いたものと、固体の導電膜を用いたものが知られている。電解液を用いた場合、電解液が漏れだしたり、陽極と陰極の極性を間違えて接続した場合に発煙するなどの問題がある。現在では、固体の導電膜が一般に用いられている。
【０００３】
固体の導電膜としては、二酸化マンガン、電荷移動錯体、導電性高分子等が用いられている。導電率の観点では、二酸化マンガンよりも、電荷移動錯体や導電性高分子等の有機導電材料の方が優れている。導電率の高い材料を用いることにより、固体電解コンデンサの特性値の１つである等価直列抵抗（ＥＳＲ：Equivalent Series Resistance）の値を低くすることができる。特にポリピロール、ポリチオフェンなどの導電率の高い導電性高分子を用いた場合、ＥＳＲを非常に低くすることが可能である。固体電解コンデンサは、直流電源回路におけるノイズリダクション回路に用いられる場合があるが、ＥＳＲが小さいほど、リップル（交流成分）除去能力に優れ、ノイズリダクションの性能が上がるため、導電性高分子を用いた固体電解コンデンサはその付加価値が高いものとなる。
【０００４】
導電性高分子を用いた固体電解コンデンサの製造方法としては、弁作用金属からなる陽極を陽極酸化してその表面に誘電体層を形成した後、たとえば、化学重合法により形成したポリピロール膜からなる第１導電性高分子層と、電解重合法により形成したポリピロールからなる第２導電性高分子層とを順に形成する方法が提案されている（特許文献１）。
【０００５】
しかしながら、導電性高分子のモノマーを含有した溶液を加熱することによる化学重合法の場合、モノマーと重合開始剤の混合された溶液中において、自然に重合が進行し、溶液中でポリマーが発生してしまうなどの問題があった。このため、溶液のポットライフが短く、本来目的としている誘電体層表面上への被覆を適切に行うには、条件設定等が難しい等の問題があった。また、ポットライフが短いため、原材料である溶液が無駄になるなどの問題もあった。
【０００６】
また、電解重合法により、導電性高分子層を形成する場合、電解重合の電圧を上げすぎると、溶剤の電位窓の許容範囲を越えて溶剤の電気分解が生じ、成膜速度の向上を図ることができないという問題があった。電極間のショート等によるコンデンサの故障を防ぐためには、一定膜厚の導電性高分子層を形成する必要があるが、成膜速度を向上させることができないため、スループットが悪く、大量の素子を生産するためには、多数の電解重合槽の設備を設ける必要があるなど、製造面において問題があった。
【０００７】
本発明は、後述するように、マイクロ波の照射により導電性高分子のモノマーを重合させるものである。非特許文献１には、ＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン））とＶ２Ｏ５のナノコンポジットにおいて、マイクロ波を照射してポリマーを合成することが開示されているが、固体電解コンデンサの誘電体層表面上の導電性高分子層の形成に、マイクロ波を用いることについては開示されていない。
【特許文献１】特開平４−４８７１０号公報
【非特許文献１】Electrochimica Acta 50(2005)4627-4636
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、導電性高分子層形成のための重合プロセス時間を短縮することができ、効率良く固体電解コンデンサを製造することができる製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、陽極を形成する工程と、陽極の表面上に誘電体層を形成する工程と、誘電体層の表面上に導電性高分子層を形成する工程とを備える固体電解コンデンサの製造方法であって、導電性高分子層を形成する工程が、マイクロ波の照射による重合により導電性高分子層を形成する工程を含むことを特徴としている。
【００１０】
本発明においては、マイクロ波の照射による重合により導電性高分子層を形成しているので、重合プロセス時間を短縮することができ、効率良く固体電解コンデンサを製造することができる。
【００１１】
本発明においては、マイクロ波を照射することにより、誘電体層を加熱しており、この誘電体層の加熱により、その表面上で導電性高分子のモノマーを重合させて、導電性高分子層を形成させている。一般に、固体電解コンデンサの陽極は、弁作用金属からなる多孔質焼結体から形成されており、誘電体層は、多孔質焼結体である陽極の内部表面上も形成されている。本発明によれば、マイクロ波の照射により誘電体層を加熱しているので、陽極の内部表面における誘電体層も均一に加熱することができる。このため、誘電体層の上に、導電性高分子層を均一に形成することができる。従って、本発明によれば、導電性高分子の不十分な重合や、導電性高分子層の膜厚の不足などにより生じると考えられる漏れ電流増大や電極間のショートなどの不具合を防止することができ、素子の信頼性を向上させることができる。
【００１２】
本発明によれば、上述のように、固体電解コンデンサの陽極の中心部から外側までの誘電体層を均一に加熱することができるので、良好な品質の導電性高分子層を陽極全体に均一に形成することができる。このため、コンデンサ素子の特性や信頼性を高めることができ、さらには、ロット中における各コンデンサ素子の品質の均一性等を高めることができる。
【００１３】
また、誘電体層近傍での局所的な加熱を実現することができるので、少量の材料を用い、かつ少ないエネルギーで、確実に導電性高分子のモノマーを重合させることができる。このため、製造エネルギー及び製造コストを低減させることができる。
【００１４】
また、本発明によれば、従来のように熱源からの距離によって加熱される度合いが変化するものではないので、１回のバッチ処理で多数のコンデンサ素子に対して、導電性高分子層を均一に形成することができる。
【００１５】
本発明において用いるマイクロ波は、誘電体層を加熱することができるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、一般に電子レンジやマイクロ波加熱などに用いられている、２．４５ＧＨｚ帯のものを用いることができる。
【００１６】
本発明に従う好ましい実施形態の１つにおいては、導電性高分子層を形成する工程が、導電性高分子のモノマー溶液を誘電体層の表面上に付着させる工程と、付着させた導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により化学重合させる工程とを含んでいる。この実施形態においては、マイクロ波を照射することにより、誘電体層を加熱し、誘電体層の表面上に付着した導電性高分子のモノマーを加熱することにより、化学重合させて導電性高分子層を形成する。
【００１７】
導電性高分子を形成するためのモノマーとしては、例えば、ピロール環またはチオフェン環を有するモノマーが挙げられる。従って、このようなモノマーが形成される導電性高分子として、ポリピロール及びポリチオフェン等が挙げられる。
【００１８】
モノマー溶液を調製するための溶媒としては、モノマーを溶解することができるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、水、メタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、アセトニトリル、エタノールなどが挙げられる。
【００１９】
モノマー溶液におけるモノマー濃度は、使用するモノマーの種類等に応じて適宜選択することができる。
【００２０】
本実施形態において、導電性高分子のモノマー溶液を誘電体層の表面上に付着させる工程と、付着させた導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により化学重合させる工程は、交互に複数回繰り返してもよい。これらの工程を交互に複数回繰り返すことにより、導電性高分子層の膜厚を厚くすることができる。
【００２１】
本発明に従う好ましい他の実施形態においては、導電性高分子層を形成する工程が、導電性高分子のモノマーを気相から誘電体層の表面上に供給し、供給された導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により気相重合させる工程を含んでいる。本実施形態においては、誘電体層の表面上に供給された導電性高分子のモノマーを、マイクロ波の照射により誘電体層を加熱することにより重合させ、誘電体層の上に導電性高分子層を形成することができる。
【００２２】
本実施形態においては、導電性高分子のモノマーを気相から供給する方法として、導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により加熱して気化させて供給する方法を用いてもよい。
【００２３】
本実施形態におけるモノマーとしては、上記のピロール環またはチオフェン環を有するモノマーが挙げられる。
【００２４】
本発明において、マイクロ波を照射する条件は、特に限定されるものではなく、固体電解コンデンサの陽極の誘電体層を加熱することができる条件であれば特に限定されるものではない。一般的なマイクロ波の照射条件としては、例えば、１００〜１０００Ｗ程度の範囲の出力で、３分間〜１０分間照射する条件が挙げられる。しかしながら、このような条件は、マイクロ波を照射する固体電解コンデンサの大きさや量などによっても適宜調整されるものであり、限定されるものではない。
【００２５】
また、本発明においては、導電性高分子層を形成する工程が、マイクロ波の照射による重合の後、電解重合により導電性高分子層を形成する工程をさらに含んでいてもよい。
【００２６】
すなわち、本発明に従いマイクロ波の照射による重合で導電性高分子層を誘電体層の上に形成した後、形成した導電性高分子層を電極として用いて、電解重合によりその上にさらに導電性高分子層を形成してもよい。
【００２７】
本発明における陽極は、固体電解コンデンサに用いることができるものであれば、特に限定されるものではないが、一般には弁作用金属から形成される。弁作用金属としては、タンタル、ニオブ、アルミニウム、チタンなどから挙げられる。また、これらの弁作用金属の少なくとも１種を５０重量％以上含む合金から陽極を形成してもよい。
【００２８】
また、本発明における誘電体層は、一般には、陽極の表面を陽極酸化などにより、酸化させて形成することができる。従って、誘電体層としては、五酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化アルミニウム、酸化チタンなどから形成されたものが挙げられる。誘電体層は、このように金属酸化物等からなる極性分子から形成されるものであるので、マイクロ波を照射することにより、マイクロ波を吸収して効率良く発熱させることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、導電性高分子層の形成のための重合プロセス時間を短縮することができ、効率良く固体電解コンデンサを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を具体的な実施形態により説明するが、本発明は、以下の実施形態により限定されるものではない。
【００３１】
図１は、本発明に従う方法で製造することができる一実施形態の固体電解コンデンサの概略断面図である。
【００３２】
図１に示すように、固体電解コンデンサ１０においては、陽極１の表面上に、誘電体層２、導電性高分子層３、カーボン層４ａ及び銀ペースト層４ｂが順に形成されている。陽極１は、多孔質焼結体から形成されている。
【００３３】
陽極１は、弁作用金属またはその合金などの多孔質焼結体から形成されており、誘電体層２は、この多孔質焼結体の表面を、陽極酸化等により酸化することにより形成されている。
【００３４】
導電性高分子層３は、誘電体層２の上に形成されており、本発明においては、この導電性高分子層３の少なくとも一部が、導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射で重合することにより形成されている。
【００３５】
上述のように、導電性高分子のモノマー溶液を、誘電体層２の表面上に付着させた後、付着させた導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により化学重合させて、導電性高分子層３を形成させることができる。
【００３６】
また、導電性高分子のモノマーを気相から誘電体層２の表面上に供給し、供給された導電性高分子のモノマーをマイクロ波の照射により気相重合させて、導電性高分子層３を形成してもよい。
【００３７】
また、上述のように、マイクロ波の照射により、モノマーを重合させて導電性高分子層を形成した後、この導電性高分子層を電極として用いて電解重合により導電性高分子層をさらに形成してもよい。
【００３８】
上述のように、陽極１は、多孔質焼結体から形成されているので、誘電体層２は、陽極１の内部にも形成されており、従って、導電性高分子層は、陽極１の内部の誘電体層２の表面上にも形成されている。
【００３９】
カーボン層４ａは、誘電体層２及び導電性高分子層３を形成した陽極１の外周面上に形成されている。カーボン層４ａは、例えば、カーボンペーストを塗布することにより形成することができる。
【００４０】
カーボン層４ａの上には、銀ペースト層４ｂが形成されている。銀ペースト層４ｂは、例えば、銀粒子を含む銀ペーストを塗布することにより形成することができる。カーボン層４ａ及び銀ペースト層４ｂから陰極４が構成されている。
【００４１】
銀ペースト層４ｂには、導電性接着剤５を介して陰極端子６が接続されている。また、陽極１の中心部には、陽極リード１ａが設けられており、陽極リード１ａは、陽極端子７に接続されている。
【００４２】
陽極端子７及び陰極端子６の端部が、外部に引き出されるように、モールド外装樹脂８が形成されている。
【００４３】
本発明の製造方法によれば、上述のように、導電性高分子層３の少なくとも一部を、マイクロ波の照射による重合により形成しているので、導電性高分子層３を形成するための重合プロセス時間を短縮することができ、効率良く固体電解コンデンサを製造することができる。
【００４４】
また、マイクロ波の照射により、誘電体層を発熱させているので、陽極全体を均一に加熱することができ、誘電体層２の表面に、導電性高分子層３を均一な厚みで形成することができる。
【００４５】
このため、導電性高分子層３の膜厚の不均一により生じる漏れ電流の増大やショートなどの不具合を防止することができ、素子の信頼性を高めることができる。
【実施例】
【００４６】
（実施例１）
図２〜図５は、本実施例における製造工程を説明するための斜視図である。以下、図２〜図５を参照して、本実施例の製造工程を説明する。
【００４７】
先ず、タンタルの芯線を中心に配置した状態で、タンタル粉体を焼結させて、焼結体ペレット（外径サイズ４．５ｍｍ×３．３ｍｍ×１．０ｍｍ）を作製した。この多孔質焼結体を、陽極１として用いた。この陽極１の表面を陽極酸化することにより、陽極１の表面に誘電体層を形成した。
【００４８】
図２は、陽極１を陽極酸化処理する工程を示す斜視図である。
【００４９】
陽極１の中心部には、上記のタンタル芯線からなる陽極リード１ａが設けられており、この陽極リード１ａを、図２に示すように治具１１に把持した状態で、陽極酸化浴１３中の電解液１２に浸漬する。
【００５０】
図２に示すように、直流電源１４のプラス極は、電流計１５を介して治具１１に接続されている。治具１１は、金属製の治具である。また、直流電源１４のマイナス極は、陽極酸化浴１３に接続されている。
【００５１】
治具１１で陽極１を把持した状態で、陽極１を陽極酸化浴１３中の電解液１２に浸漬し、直流電源１４より治具１１と陽極酸化浴１３の間に電圧を印加することにより、陽極１の表面を陽極酸化することができる。本実施例においては、電解液１２としてリン酸水溶液を用いている。図２に示すように、５個の陽極１を治具１１に把持し、治具１１を５列に並べて陽極酸化しているので、本実施例においては多数の陽極１を同時に陽極酸化処理している。
【００５２】
上記のようにして、陽極１の表面を陽極酸化することにより、陽極１の表面に、五酸化タンタルからなる誘電体層２を厚み７０ｎｍとなるように形成した。
【００５３】
陽極１を、電解液１２から引き上げた後、イオン交換水で洗浄し、乾燥した。
【００５４】
次に、導電性高分子を形成するためのモノマー溶液として、エチレンジオキシチオフェンの原液と、ｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）４０重量％エタノール溶液とを、エチレンジオキシチオフェンとｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）のモル比が１：２となるように混合した溶液を調製した。なお、ｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）はモノマーであるエチレンジオキシチオフェンを重合するための重合開始剤（酸化剤）である。
【００５５】
以上のようにして調製したモノマー溶液を用いて、陽極１の誘電体層の上に、導電性高分子層を形成した。
【００５６】
図３に示すように、溶液槽１７中にモノマー溶液１６を入れ、このモノマー溶液１６中に、治具１１で把持した陽極１を浸漬した。モノマー溶液１６の温度は室温（２０℃）であり、モノマー溶液１６中に１分間浸漬させた。これにより、陽極１の誘電体層の表面に、モノマー溶液１６を付着させた。なお、モノマー溶液１６は、陽極１の内部の誘電体層の表面上にも浸透し、付着している。
【００５７】
次に、陽極１を引き上げ、図４に示すように、架台１８の上に治具１１を載せて、乾燥させた。
【００５８】
次に、図５に示すように、金属製の治具１１を、樹脂製の治具２１に取り替え、樹脂製の治具２１で陽極１を把持した状態で、マイクロ波照射装置２０内にセットした。図５に示すように、上記と同様にして陽極酸化した後、ポリマー溶液を誘電体層の上に付着させた陽極１のセットを、さらに２組、マイクロ波照射装置２０内に入れ、これらを架台２２の上に載せてセッティングした。本発明では、マイクロ波の照射により、導電性高分子層を形成するので、図５に示すように、陽極１を立体的に配置し、多数の陽極１に対して導電性高分子層を同時に形成することができる。
【００５９】
図５に示す状態で、２００Ｗの出力でマイクロ波（２．４５ＧＨｚ）を３分間照射した。マイクロ波の照射を開始して２０〜４０秒後には、陽極１の表面の色が変化するのがマイクロ波照射装置２０の窓から観察された。陽極１の表面の色の変化は、表面に付着したモノマー溶液中のモノマーが重合反応を開始したことによるものと思われる。
【００６０】
上記のようにして、陽極１の誘電体層表面に付着したモノマーを重合させた後、陽極１をメタノールで１５分間洗浄し、その後、乾燥炉（１００℃）で３０分間乾燥させた。
【００６１】
次に、陽極１の外周面の上に、カーボンペーストを塗布してカーボン層を形成した後、その上に銀ペーストを塗布して、銀ペースト層を形成した。
【００６２】
その後、図１を参照して説明したように、陽極端子及び陰極端子を接続し、次に、樹脂によるモールドを行ってモールド外装樹脂を形成し、固体電解コンデンサを作製した。
【００６３】
以上のようにして作製した固体電解コンデンサの静電容量及び等価直列抵抗（ＥＳＲ）を測定した。静電容量は、４．６μＦであり、ＥＳＲは１．５Ωであった。
【００６４】
（実施例２）
実施例１における、陽極のモノマー溶液中への浸漬、乾燥及びマイクロ波照射によるモノマーの重合の工程を、５回繰り返して行った以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６５】
得られた固体電解コンデンサの静電容量は、２４．５μＦであり、ＥＳＲは１．１Ωであった。
【００６６】
（実施例３）
エチレンジオキシチオフェンと、ｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）を含有するモノマー溶液中に、導電性を向上させるための添加剤（反応制御剤）として、弱塩基性のイミダゾールを、ｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）に対して、１：１のモル比となるように添加した溶液を、モノマー溶液として用いる以外は、実施例２と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６７】
得られた固体電解コンデンサの静電容量は、８０μＦであり、ＥＳＲは０．３７Ωであった。
【００６８】
（実施例４）
実施例３で用いたモノマー溶液に、陽極を１回浸漬し、モノマー溶液を含浸させた後、マイクロ波を１００Ｗの出力で５分間照射してモノマーを重合させた。
【００６９】
次に、上記のようにして形成した導電性高分子層を陽極として、電解重合槽中に陽極を浸漬した状態で、電解重合を行い、ポリチオフェン膜（厚み約０．４μｍ）の上に、ポリピロール膜（厚み約４０μｍ）を形成して、導電性高分子層を形成した。電解重合に用いた電解液としては、ピロールとドデシルベンゼンスルホン酸を、モル比で、２：１の割合で含有する電解液を用いた。
【００７０】
上記以外は、実施例１と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。
【００７１】
得られた固体電解コンデンサの静電容量は、１２０μＦであり、ＥＳＲは０．０２Ωであった。
【００７２】
（実施例５）
本実施例では、ポリチオフェン膜を、マイクロ波照射による気相重合により形成した後、このポリチオフェン膜の上に電解重合によりポリピロール膜を形成して導電性高分子層を形成した。
【００７３】
先ず、ｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）のエタノール溶液中に、イミダゾールを、ｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）に対して１：１のモル比となるように添加した溶液を調製した。この溶液に、陽極を浸漬し、浸漬後引き上げて室温で１０分間乾燥させた。これにより、陽極の誘電体層の表面にｐ−トルエンスルホン酸鉄（III）（酸化剤）と、イミダゾール（反応制御剤）とを付着させた。
【００７４】
次に、この陽極をマイクロ波照射装置内に入れ、さらにエチレンジオキシチオフェンを５ｍｌを入れたガラス瓶をマイクロ波照射装置内に入れた。この状態で、２００Ｗの出力で５分間マイクロ波を照射した。
【００７５】
マイクロ波の照射により、マイクロ波照射装置内のエチレンジオキシチオフェンが気化し、蒸気として陽極１の誘電体層の表面上に供給された。誘電体層表面上で、このエチレンジオキシチオフェンを重合させた。
【００７６】
以上のようにして、陽極１の誘電体層の表面上にポリチオフェン膜（厚み約０．２μｍ）を形成した後、実施例４と同様にして、ポリピロール膜を形成した。ポリピロール膜は、厚み約４０μｍとなるように形成した。
【００７７】
その後、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００７８】
得られた固体電解コンデンサの静電容量は、１３０μＦであり、ＥＳＲは０．０１５Ωであった。
【００７９】
（比較例１）
実施例３で用いたモノマー溶液を用い、このモノマー溶液に陽極を浸漬した後、５０℃に保ったオーブン中に入れ、３分間保持し、加熱により陽極の誘電体層に付着したモノマーを重合させた。モノマー溶液の浸漬と、５０℃での重合を５回繰り返し、導電性高分子層を陽極の誘電体層の上に形成した。
【００８０】
次に、実施例１と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。
【００８１】
得られた固体電解コンデンサの特性を評価したところ、漏れ電流が１０ｍＡ以上と大きく、陽極と陰極とのショートにより、特性が評価できなかった。なお、実施例１〜５においては、漏れ電流の増大は５ｍＡ以下であった。
【００８２】
〔ガラス板上での導電性高分子層の形成〕
上記比較例１において用いたモノマー溶液を、ガラス板の上に滴下し、５０℃のオーブンで３分間加熱した。ガラス板上に形成された導電性高分子層の膜厚を、触針型の段差計で測定したところ、約０．４μｍであった。
【００８３】
一方、同様にガラス板上にモノマー溶液を滴下したものを、出力２００Ｗのマイクロ波を３分間照射した場合、約２μｍの膜厚が得られた。
【００８４】
以上のことからも、本発明に従いマイクロ波の照射による重合により導電性高分子層を形成することにより、導電性高分子層形成のための重合プロセス時間を短縮することができることがわかる。従って、本発明の製造方法によれば、効率良く固体電解コンデンサを製造できることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明に従う製造方法により製造される固体電解コンデンサの一例を示す概略断面図。
【図２】本発明に従う製造工程の実施例を説明するための斜視図。
【図３】本発明に従う製造工程の実施例を説明するための斜視図。
【図４】本発明に従う製造工程の実施例を説明するための斜視図。
【図５】本発明に従う製造工程の実施例を説明するための斜視図。
【符号の説明】
【００８６】
１…陽極
１ａ…陽極リード
２…誘電体層
３…導電性高分子層
４…陰極
４ａ…カーボン層
４ｂ…銀ペースト層
５…導電性接着剤層
６…陰極端子
７…陽極端子
８…モールド外装樹脂
１０…固体電解コンデンサ
１１…金属製治具
１２…電解液
１３…陽極酸化浴
１４…直流電源
１５…電流計
１６…モノマー溶液
１７…溶液槽
１８…架台
２０…マイクロ波照射装置
２１…樹脂製治具
２２…架台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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