(57)【要約】【課題】純水を共用していても純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止することができる。【解決手段】各基板処理装置Ａ，Ｂにおいて作成された個別のスケジュールにより、管理コンピュータＣは純水の使用タイミングとその使用量を受信することができる。制御部３は、ユーティリティの最大供給量と、全基板処理装置Ａ，Ｂの時間あたりの合計消費量とを比較して、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置Ａ，Ｂに対して再スケジュールを指示する。指示された基板処理装置Ａ，Ｂでは、純水の使用タイミングを後ろにずらすので、時間あたりの合計消費量が最大供給量以内に収まるようにできる。その結果、純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
純水のユーティリティを共用して基板を処理する基板処理システムにおいて、
予め各リソースを使用するタイミングを作成した後に基板を処理するスケジュール型の複数台の基板処理装置と、
前記複数台の基板処理装置との間で通信可能な管理コンピュータとを備え、
前記管理コンピュータは、ユーティリティから純水を供給可能な時間あたりの最大供給量を予め記憶した記憶手段と、
各基板処理装置において作成された個別のスケジュールに基づいて、各基板処理装置が純水を供給する使用タイミング及びその使用量とを受信し、全基板処理装置の純水の使用量を合計して得られた時間あたりの合計消費量と前記最大供給量とを比較し、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらす再スケジュールを指示する制御手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理システムにおいて、
前記管理コンピュータは、各基板処理装置の優先順位を規定した優先度テーブルを予め前記記憶手段に記憶し、
前記制御手段は、優先度が低いものから再スケジュールを指示することを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理システムにおいて、
前記優先度テーブルは、基板処理装置が複数個の処理部を備えている場合には、基板処理装置内にて処理部ごとに優先順位を規定してあることを特徴とする基板処理システム。
【請求項４】
純水のユーティリティを共用して基板を処理する基板処理システムのスケジュール作成方法において、
基板を処理するスケジュール型の基板処理装置のそれぞれにて、基板の処理に伴う各リソースの使用タイミングを作成して個別のスケジュールを作成する過程と、
各基板処理装置が純水を供給する使用タイミング及びその使用量とを、複数台の基板処理装置との間で通信可能な管理コンピュータが受信する過程と、
ユーティリティからの純水を供給可能な時間あたりの最大供給量と、全基板処理装置の純水の使用量を合計して得られた時間あたりの合計消費量とを比較する過程と、
合計消費量が最大供給量を超えている場合には、管理コンピュータがいずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらす再スケジュールを指示する過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理システムのスケジュール作成方法。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理システムのスケジュール作成方法において、
再スケジュールを指示する過程は、各基板処理装置の優先順位を予め規定した優先度テーブルを管理コンピュータが参照し、優先度が低いものから再スケジュールを指示することを特徴とする基板処理システムのスケジュール作成方法。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理システムのスケジュール作成方法において、
前記優先度テーブルは、基板処理装置が複数個の処理部を備えている場合には、基板処理装置内にて処理部ごとに優先順位を規定してあることを特徴とする基板処理システムのスケジュール作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板に対して純水を使用して処理を行う基板処理システム及びそのスケジュール作成方法に係り、特に、ユーティリティからの純水を複数台の基板処理装置で共用する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、半導体工場のユーティリティからの純水を基板処理装置で使用する際に、純水洗浄部や薬液処理部などのリソースでの純水の使用タイミングを予め作成し、各リソースで使用する純水について、ユーティリティから供給可能な供給量である最大供給量以内で使用可能なリソースとして容量リソースを定義する。そして、各リソースを使用して基板に対する処理を行う際に、複数のリソースにおける純水の容量リソースの使用により、その最大供給量を超えた時には、越える前に配置されたリソースをそのままにした状態で、純水の最大供給量を超える原因となったリソースの配置位置を後ろにずらしてスケジュールを作成するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第４０７３１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、基板処理装置の単体におけるスケジューリングであるが、純水のユーティリティは一般に複数台の基板処理装置によって共用されている。したがって、一台の基板処理装置において純水の容量リソースが最大供給量内に収まったとしても、他の基板処理装置で必要な純水量を確保することができず、他の基板処理装置において純水不足によるアラームが発生することがある。そのため、複数台の基板処理装置を含んだ基板処理システムとしてみた場合、稼働率が低下することがあるという問題がある。また、アラームが発生した場合、その基板処理装置による処理をやり直す必要があり、基板のプロセス特性の悪化を招くことがある。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、純水を共用していても純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止することができる基板処理システム及びそのスケジュール作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、純水のユーティリティを共用して基板を処理する基板処理システムにおいて、予め各リソースを使用するタイミングを作成した後に基板を処理するスケジュール型の複数台の基板処理装置と、前記複数台の基板処理装置との間で通信可能な管理コンピュータとを備え、前記管理コンピュータは、ユーティリティから純水を供給可能な時間あたりの最大供給量を予め記憶した記憶手段と、各基板処理装置において作成された個別のスケジュールに基づいて、各基板処理装置が純水を供給する使用タイミング及びその使用量とを受信し、全基板処理装置の純水の使用量を合計して得られた時間あたりの合計消費量と前記最大供給量とを比較し、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらす再スケジュールを指示する制御手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００６】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、各基板処理装置において作成された個別のスケジュールにより、管理コンピュータは純水の使用タイミングとその使用量を受信することができる。そこで、管理コンピュータの制御手段は、ユーティリティの最大供給量と、全基板処理装置の時間あたりの合計消費量とを比較して、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらすように再スケジュールを指示する。したがって、指示された基板処理装置では、純水の使用タイミングを後ろにずらすので、時間あたりの合計消費量が最大供給量以内に収まるようにできる。その結果、純水のユーティリティを共用していても純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止することができる。
【０００７】
また、本発明において、前記管理コンピュータは、各基板処理装置の優先順位を規定した優先度テーブルを予め前記記憶手段に記憶し、前記制御手段は、優先度が低いものから再スケジュールを指示することが好ましい（請求項２）。合計消費量が最大供給量を超える場合に、複数の基板処理装置で同量の純水消費量が設定されていることがあるが、このような場合には、管理コンピュータの制御手段における判断に不都合が生じることがある。そこで、優先度テーブルを設定しておくことにより、複数の基板処理装置にて同じ純水消費量であったとしても、いずれの基板処理装置の純水消費を低減させればよいかを判断できる。
【０００８】
また、本発明において、前記優先度テーブルは、基板処理装置が複数個の処理部を備えている場合には、基板処理装置内にて処理部ごとに優先順位を規定してあることが好ましい（請求項３）。一つの基板処理装置内において純水を使用する処理部が複数個ある場合には、いずれの基板処理装置に純水使用を低減させるかが決まっても、いずれの処理部に純水使用を低減させればよいかが決められない事態が生じうる。そこで、処理部ごとにも優先順位を規定しておくことにより、そのような不都合が生じることを回避できる。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、純水のユーティリティを共用して基板を処理する基板処理システムのスケジュール作成方法において、基板を処理するスケジュール型の基板処理装置のそれぞれにて、基板の処理に伴う各リソースの使用タイミングを作成して個別のスケジュールを作成する過程と、各基板処理装置が純水を供給する使用タイミング及びその使用量とを、複数台の基板処理装置との間で通信可能な管理コンピュータが受信する過程と、ユーティリティからの純水を供給可能な時間あたりの最大供給量と、全基板処理装置の純水の使用量を合計して得られた時間あたりの合計消費量とを比較する過程と、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、管理コンピュータがいずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらす再スケジュールを指示する過程と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、各基板処理装置において作成された個別のスケジュールにより、管理コンピュータは純水の使用タイミングと使用量と受信することができる。管理コンピュータの制御手段は、ユーティリティの最大供給量と、全基板処理装置の時間あたりの合計消費量とを比較し、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらすように再スケジュールを指示する。したがって、指示された基板処理装置では、純水の使用タイミングを後ろにずらすので、時間あたりの合計消費量が最大供給量以内に収まるようにできる。その結果、純水のユーティリティを共用していても純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止することができる。
【００１１】
また、本発明において、再スケジュールを指示する過程は、各基板処理装置の優先順位を予め規定した優先度テーブルを管理コンピュータが参照し、優先度が低いものから再スケジュールを指示することが好ましく（請求項５）、前記優先度テーブルは、基板処理装置が複数個の処理部を備えている場合には、基板処理装置内にて処理部ごとに優先順位を規定してあることが好ましい（請求項６）。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る基板処理システムによれば、各基板処理装置において作成された個別のスケジュールにより、管理コンピュータは純水の使用タイミングとその使用量を受信することができる。そこで、管理コンピュータの制御手段は、ユーティリティの最大供給量と、全基板処理装置の時間あたりの合計消費量とを比較して、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置に対して、純水の使用タイミングを後ろにずらすように再スケジュールを指示する。したがって、指示された基板処理装置では、純水の使用タイミングを後ろにずらすので、時間あたりの合計消費量が最大供給量以内に収まるようにできる。その結果、純水のユーティリティを共用していても純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【００１４】
この基板処理システムは、例えば、２台の基板処理装置Ａ，Ｂと、これらとの間で通信可能な管理コンピュータＣとを備えている。これらの基板処理装置Ａ，Ｂは、半導体工場に備えられたユーティリティのうち、純水供給源に連通接続された供給管１によって純水が供給される。つまり、２台の基板処理装置Ａ，Ｂは、供給管１を介して同じ純水供給源を共用している。
【００１５】
基板処理装置Ａは、例えば、リソースとして６個の処理槽を備えている。具体的には、薬液処理部Ａ１，純水処理部Ａ２，薬液処理部Ａ３，純水処理部Ａ４，薬液処理部Ａ５，純水処理部Ａ６のリソースを備えている。これらのリソースのうち、主として純水処理部Ａ２，Ａ４，Ａ６では、供給管１からの純水を利用して基板に対する純水洗浄処理が行われる。また、基板処理装置Ａは、その他のリソースとして、処理対象である基板を搬送する搬送機構等も備え、これらのリソースである各部は制御部Ａ７によって統括的に制御される。制御部Ａ７は、基板を処理するための処理手順を規定したレシピに基づいて、基板をどのリソースを用いてどのように処理するかを規定するスケジュールを作成するとともに、管理コンピュータＣとの間で通信を行う。
【００１６】
基板処理装置Ｂは、例えば、リソースとして４個の処理槽を備え、薬液処理部Ｂ１，純水処理部Ｂ２，薬液処理部Ｂ３，純水処理部Ｂ４を備えている。これらのリソースのうち、主として純水処理部Ｂ２，Ｂ４では、供給管１からの純水を利用して基板に対する純水洗浄処理が行われる。また、基板処理装置Ｂは、その他のリソースとして、処理対象である基板を搬送する搬送機構等も備えており、これらのリソースは制御部Ｂ５によって統括的に制御される。制御部Ｂ５は、上記制御部Ａ７と同様に、リソースを時系列的に配置してゆくスケジュールの作成を行うとともに、管理コンピュータＣとの間で通信を行う。
【００１７】
管理コンピュータＣは、制御部３とメモリ５とを備えている。メモリ５は、供給管１から供給可能な時間あたりの「最大供給量」を予め記憶している。制御部３は、各基板処理装置Ａ，Ｂにおいて作成された個別のスケジュールに基づいて、少なくとも各基板処理装置Ａ，Ｂが純水を供給する使用タイミング及びその使用量を受信する。そして、全基板処理装置Ａ，Ｂの純水の使用量を合計して得られた時間あたりの「合計消費量」と、メモリ５に格納されている最大供給量とを比較し、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置Ａ，Ｂに対して、純水の使用タイミングを後ろにずらすように再スケジュールを指示する。
【００１８】
なお、メモリ５が本発明における「記憶手段」に相当し、制御部３が「制御手段」に相当する。
【００１９】
この実施例では、メモリ５に予め記憶されている最大供給量が、例えば、単位時間あたりに「４」であるとする。実際には、例えば、記憶されている数値×１０リットル／分などとなる。また、メモリ５には、図２に示すような優先度テーブルも記憶されている。優先度は、例えば、レベル１〜４の４段階で表され、数字が大きいほど優先度が低い。この優先度が低いとは、個別に作成されたスケジュール内におけるリソースの配置がずらされやすいことを表し、優先度が高いとは、個別に作成されたスケジュール内におけるリソースの配置がずらされにくいことを表している。この例では、２台の基板処理装置Ａ，Ｂのうち、基板処理装置Ｂの方が基板処理装置Ａよりも優先度が低い。また、図２に示す優先度テーブルでは、基板処理装置Ａ，Ｂだけでなく、各基板処理装置Ａ，Ｂ内におけるリソース（処理部）についても優先度を規定している。具体的には、基板処理装置Ａのうち、純水処理部Ａ２は純水処理部Ａ４よりも優先度が低く、基板処理装置Ｂのうち、純水処理部Ｂ２は純水処理部Ｂ４よりも優先度が低く設定されている。優先度テーブルは、制御部３により参照される。
【００２０】
次に、図３〜図７を参照して、上述した基板処理システムの動作について説明する。なお、図３は管理コンピュータの動作を示すフローチャートであり、図４は各装置の動作を示すフローチャートである。また、図５は最初のスケジュール例を示すタイムチャートであり、図６，７は再スケジュールの例を示すタイムチャートである。ここでは、既に基板処理装置Ａ，Ｂにおいて個別のスケジュールが作成されているものとする。
【００２１】
ステップＳ１
優先順位を設定する。これは、上述した優先度テーブルのことであり、図示しない設定部を介して、優先度テーブルの内容がオペレータ等によって設定される。設定された優先度テーブルはメモリ５に記憶される。
【００２２】
ステップＳ２
全装置Ａ，Ｂの純水使用予定を入手する。具体的には、全基板処理装置Ａ，Ｂの個別のスケジュールに基づき、制御部３が各基板処理装置Ａ，Ｂから各スケジュールを受信する。ここでは、図５に示すように、基板処理装置Ａ，Ｂのスケジュールが作成されているとする。なお、各スケジュールでは、説明の理解を容易にするために、純水の使用に係るリソースの配置のみを示している。
【００２３】
ステップＳ３
全基板処理装置Ａ，Ｂの純水使用量を算出する。管理コンピュータＣの制御部３は、全装置Ａ，Ｂの制御部Ａ７，Ｂ５からスケジュールを受信し、純水の使用タイミングとその使用量から、純水の使用量を合計した時間あたりの合計消費量を求める。ここでいう時間あたりとは、例えば、５分間や１０分間など、管理コンピュータＣにおける管理単位のことである。基板処理装置Ａにおける時間あたりの合計消費量の一例は、図５に示すように、時間ｔ１〜ｔ１８にわたって順に「１，２，０，２，２，３，０，……，２，２，３」のようになり、基板処理装置Ｂにおける時間あたりの合計消費量の一例は、図５に示すように、時間ｔ１〜ｔ１８にわたって順に「１，１，１，０，１，２，０，……，０，１，２」のようになる。したがって、時間あたりの合計消費量は、図５に示すように、時間ｔ１〜ｔ１８にわたって順に「２，３，１，２，３，５，……，２，３，５」のようになる。
【００２４】
ステップＳ４
制御部３は、メモリ５を参照し、時間あたりの合計消費量のうち最大供給量「４」を越えるものがあるか否かを判断して処理を分岐する。具体的には、最大供給量を超えるものがある場合にはステップＳ５に移行し、最大供給量を超えるものがない場合には処理を終える。ここでは、図５に示すように、時間ｔ６において最大消費量が最大供給量を超えているので、ステップＳ５に処理を移行する。
【００２５】
ステップＳ５
制御部３は、メモリ５の優先度テーブル（図２）を参照し、レベル４のものの処理を後ろにずらすことにより、最大供給量を超えなくなるか否かを判断する。ここでは、レベル４のものが基板処理装置Ｂの純水処理部Ｂ２であって、最大供給量を超える配置が時間ｔ６の配置Ｂ２−２あるので、例えば、図６に示すように、純水処理部Ｂ２の配置Ｂ２−２を含む配置Ｂ２−６までを所定時間だけ後ろにずらしたとして、再び時間あたりの合計消費量を求める。すると、図６における時間ｔ１０において、最大消費量が最大供給量を超えるので、再び同じ純水処理部Ｂのものの処理を後ろにずらす。具体的には、図７に示すように、時間ｔ１０における配置Ｂ２−３以降を所定時間だけ後ろにずらす。そして、再び時間あたりの合計消費量を求める。すると、図７に示すように、いずれの時間においても、最大供給量内に収まっている。したがって、処理をステップＳ７に移行する。なお、同じレベルのものの配置を後ろにずらしても、最大消費量が最大供給量を下回らなくなった場合には、ステップＳ６へ処理を分岐する。
【００２６】
ステップＳ６
制御部３は、優先度テーブル（図２）を参照して、優先度のレベルが次に低いもの（例えば、レベル３のもの）について配置を後ろにずらす。具体的には、既にレベル４のものをずらしたので、次は、レベル３のものの処理配置を後ろにずらす。この処理を最大消費量が最大供給量を下回るまで繰り返す。
【００２７】
ステップＳ７，Ｓ８
制御部３は、最大消費量が最大供給量を下回った配置となるのに必要となった情報を、対象となる基板処理装置に伝え、その装置に再スケジュールを指示する。
【００２８】
次に、再スケジュールを指示された基板処理装置における動作について説明する。なお、ここでは、上述したように基板処理装置Ｂに対して再スケジュールの指示があったものとする。
【００２９】
ステップＴ１，Ｔ２
再スケジュールの指示を受けた基板処理装置Ｂでは、その制御部Ｂ５が、最大消費量が最大供給量を下回った配置を示す情報に基づいて、リソースの再配置を行って再スケジュールを行う。その結果、基板処理装置Ｂでは、図７に示すように配置がずらされて再スケジュールが行われる。なお、ずらされた配置の前の配置からは、純水を最低使用量（スローリーク）に移行するようにする。
【００３０】
ステップＴ３，Ｔ４
制御部Ｂ５は、装置自身の都合による再スケジュールの必要がある場合、例えば、基板処理装置Ｂのオペレータによる指示があった場合などでは、自身への指示を行うが、その際には、ステップＴ２での再スケジュールを優先する。これにより、純水供給が最大供給量を超えない配置を維持することができる。
【００３１】
ステップＴ５，Ｔ６
自身の都合による再スケジュールを含む再スケジュールが完了した場合には、再スケジュールの結果を管理コンピュータＣへ送信する。すると、管理コンピュータＣでは、上述したステップＳ２〜Ｓ８の処理を再び行い、最大消費量が最大供給量を超えていないことを確認の上、全基板処理装置Ａ，Ｂに対して処理の開始を許可する。
【００３２】
上述したように、本実施例によると、各基板処理装置Ａ，Ｂにおいて作成された個別のスケジュールにより、管理コンピュータＣは純水の使用タイミングとその使用量を受信することができる。そこで、管理コンピュータＣの制御部３は、ユーティリティの最大供給量と、全基板処理装置Ａ，Ｂの時間あたりの合計消費量とを比較して、合計消費量が最大供給量を超えている場合には、いずれかの基板処理装置Ａ，Ｂに対して、純水の使用タイミングを後ろにずらすように再スケジュールを指示する。したがって、指示された基板処理装置Ａ，Ｂでは、純水の使用タイミングを後ろにずらすので、時間あたりの合計消費量が最大供給量以内に収まるようにできる。その結果、純水供給源を共用していても純水不足が生じることを防止でき、稼働率を向上させることができて、プロセス特性の悪化を防止することができる。
【００３３】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００３４】
（１）上述した実施例では、優先度テーブルをメモリ５に格納しているが、これを省略し、基板処理装置内における識別番号の順に優先度を決めるようにしてもよい。
【００３５】
（２）上述した実施例では、優先度テーブルには、基板処理装置の処理部ごとに優先順位を設定しているが、基板処理装置内における処理部の識別番号順に優先度を決めてもよい。
【００３６】
（３）上述した実施例では、２台の基板処理装置Ａ，Ｂを含む基板処理システムを例にとって説明したが、本発明は３台以上の基板処理装置を含む基板処理システムでも適用することができる。
【００３７】
（４）上述した実施例では、説明の理解を容易にするために純水処理部Ａ２，Ａ４，Ａ６，Ｂ２，Ｂ４だけを例にとったが、純水及び薬液を使用する薬液処理部Ａ１，Ａ３，Ａ５，Ｂ２，Ｂ４を考慮するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】優先度テーブルの一例を示す模式図である。
【図３】管理コンピュータの動作を示すフローチャートである。
【図４】各装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】最初のスケジュール例を示すタイムチャートである。
【図６】再スケジュールの例を示すタイムチャートである。
【図７】再スケジュールの例を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
【００３９】
Ａ，Ｂ  …  基板処理装置
Ｃ  …  管理コンピュータ
３  …  制御部
５  …  メモリ
Ａ１，Ａ３，Ａ５  …  薬液処理部
Ａ２，Ａ４，Ａ６  …  純水処理部
Ａ７  …  制御部
Ｂ１，Ｂ３  …  薬液処理部
Ｂ２，Ｂ４  …  純水処理部
Ｂ５  …  制御部
【図１】
2010129600.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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