(57)【要約】【課題】  相対的に移動する一対の部材を、その相対移動の拘束が少ない状態で電気的に接続することができる導電構造を提供する。【解決手段】  基板７に配置された固定側電極９に導電性の導電端子１０の上端を電気的に接続する。移動子２の上面には凹溝１１を形成し、この凹溝１１にイオン性液体１２を充填し、凹溝１１の底部に配置された移動側電極２ｂに電気的に接続する。このイオン性液体１２には導電端子１０の下端を浸漬させ、固定側電極９と移動側電極２ｂとを、導電端子１０およびイオン性液体１２により電気的に接続する。【選択図】  図１
2010186677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部材側に配置された第１の電極と、前記第１の部材に対して相対移動可能な第２の部材側に配置された第２の電極と、を電気的に接続する導電構造であって、
前記第１の電極に電気的に接続されているとともに、前記第１の部材に設けられた収容部内に収容されている導電性流体と、
前記第２の電極に電気的に接続されているとともに、前記相対移動を許容するように前記導電性流体に接触させている導電性の導電端子と、
を備えていることを特徴とする導電構造。
【請求項２】
前記導電性流体が導電性の液体である請求項１に記載の導電構造。
【請求項３】
前記収容部は開口を有しており、当該開口は、前記液体が当該液体の自重により当該開口から表面張力によって落下しない程度に小さく形成されている請求項２に記載の導電構造。
【請求項４】
前記導電端子が、前記開口から前記液体に浸漬されて当該液体に接触している請求項３に記載の導電構造。
【請求項５】
前記導電端子が、前記開口に対して、当該開口の表面方向に沿って相対移動可能である請求項３または４に記載の導電構造。
【請求項６】
前記導電端子が、前記開口に対して、当該開口から前記収容部の深さ方向に相対移動可能である請求項３または４に記載の導電構造。
【請求項７】
前記導電端子が、前記収容部に対して、一次元方向に相対移動可能である請求項１〜６のいずれか一項に記載の導電構造。
【請求項８】
前記導電端子が、前記収容部に対して、二次元方向に相対移動可能である請求項１〜６のいずれか一項に記載の導電構造。
【請求項９】
前記導電端子が、前記収容部に対して、三次元方向に相対移動可能である請求項１〜６のいずれか一項に記載の導電構造。
【請求項１０】
前記導電端子がボンディングワイヤである請求項１〜９のいずれか一項に記載の導電構造。
【請求項１１】
前記導電端子が、前記導電性流体に接触させる接触範囲の全体に形成された導電性の導電部を有する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の導電構造。
【請求項１２】
前記導電端子が、前記導電性流体に接触させる接触範囲の一部に形成された導電性の導電部を有する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の導電構造。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えたアクチュエータであって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して相対移動可能な移動子であり、
前記固定体側に配置された電極と、前記移動子側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えた可変抵抗器であって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して相対移動可能な移動体であり、
前記第１の部材側に配置された複数の電極と、前記第２の部材側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とする可変抵抗器。
【請求項１５】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えた回動部材であって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に回動可能に取り付けられた回動体であり、
前記固定体側に配置された電極と、前記回動体側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とする回動部材。
【請求項１６】
請求項１５に記載の回動部材を備えていることを特徴とする回動式コネクタ。
【請求項１７】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えた電動機であって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材がステータを有するハウジングであり、他方の部材が前記ハウジングに対して回転可能であってかつロータを有する回転軸であり、
前記ハウジング側に配置された電極と、前記回転軸側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とする電動機。
【請求項１８】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えたコントローラであって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が筐体であり、他方の部材が前記筐体に対して移動操作可能な操作体であり、
前記筐体側に配置された電極と、前記操作体側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とするコントローラ。
【請求項１９】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えた回転情報検出装置であって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して回転可能な回転体であり、
前記第１の部材側に配置された複数の電極と、前記第２の部材側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とする回転情報検出装置。
【請求項２０】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の導電構造を備えたストローク検出装置であって、
前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して往復動可能な往復動体であり、
前記第１の部材側に配置された複数の電極と、前記第２の部材側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続することを特徴とするストローク検出装置。
【請求項２１】
一端を第１の電極に電気的に接続させるとともに、他端を前記第１の部材に対して相対移動可能な第２の電極に電気的に接続された導電性流体に接触させる導電端子の製造方法であって、
ダミー電極を配置し、
前記第１の電極と前記ダミー電極とをボンディングワイヤにより接続し、
前記ボンディングワイヤを前記第１の電極と前記ダミー電極との中間部で切断し、
前記ダミー電極および当該ダミー電極に接続されているボンディングワイヤを取り除く
ことを特徴とする導電端子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、相対移動可能な一対の部材を電気的に接続する導電構造、この導電構造を備えたアクチュエータ、可変抵抗器、回動部材、回動式コネクタ、電動機、コントローラ、回転情報検出装置、ストローク検出装置、および導電構造を構成する導電端子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば光通信用可変利得等化器などに用いられる小型のリニアアクチュエータにおいては、複数の移動子をベースフレームに対して相対移動させるようになっている（例えば特許文献１参照）。具体的には、移動子の下方に配置された搬送子に所定の電圧を印可することにより、移動子を搬送子に静電吸着させ、この状態で圧電素子を伸縮させることにより、搬送子とともに移動子を移動させることができる。その際、特定の移動子に搬送子と同じ電圧を印可することにより、その特定の移動子が搬送子とともに移動するのを規制するようになっている。
このため、各移動子には電極（以下、移動側電極という。）が形成され、この移動側電極とベースフレーム側に形成された電極（以下、固定側電極という。）とが電気的に接続されている。移動側電極と固定側電極とを接続するための導電構造は、小型のアクチュエータにおいては、通常、導電性を有する板バネが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２４４９７９号公報（図６〜図９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような導電構造にあっては、相対的に移動するベースフレームと移動子とが板バネにより接続されているため、移動子の移動量が増大するのに伴って板バネの付勢力が増大することから、移動子の移動が板バネの付勢力によって拘束されるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、相対的に移動する一対の部材を、その相対移動の拘束が少ない状態で電気的に接続することができる導電構造、この導電構造を備えたアクチュエータ、可変抵抗器、回動部材、回動式コネクタ、電動機、コントローラ、回転情報検出装置、ストローク検出装置、および導電端子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するための本発明の導電構造は、第１の部材側に配置された第１の電極と、前記第１の部材に対して相対移動可能な第２の部材側に配置された第２の電極と、を電気的に接続する導電構造であって、前記第１の電極に電気的に接続されているとともに、前記第１の部材に設けられた収容部内に収容されている導電性流体と、前記第２の電極に電気的に接続されているとともに、前記相対移動を許容するように前記導電性流体に接触させている導電性の導電端子と、を備えているものである。
この導電構造によれば、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、導電端子を導電性流体に接触させた状態で、両部材の相対移動を許容するようにしたので、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
【０００７】
また、前記導電性流体が導電性の液体であることが好ましい。これによれば、導電性の気体を用いる場合と比べると、液体を密封する必要がないので、簡単な構成で両部材の電極を電気的に接続することができる。
また、前記収容部は開口を有しており、当該開口は、前記液体が当該液体の自重により当該開口から表面張力によって落下しない程度に小さく形成されていることが好ましい。これによれば、一方の部材の配置を、収容部の開口が下方へ向くように変更しても、液体が落下するのを防止することができる。
また、前記導電端子は、前記開口から前記液体に浸漬されて当該液体に接触していることが好ましい。これによれば、さらに簡単な構成で両部材の電極を電気的に接続することができる。
【０００８】
また、前記導電端子が、前記開口に対して、当該開口の表面方向に沿って相対移動可能であることが好ましい。これによれば、導電端子を開口の表面方向に沿って相対移動させるように、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
また、前記導電端子が、前記開口に対して、当該開口から前記収容部の深さ方向に相対移動可能であることが好ましい。これによれば、導電端子を開口から収容部の深さ方向に相対移動させるように、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
【０００９】
また、前記導電端子が、前記収容部に対して、一次元方向に相対移動可能であることが好ましい。これによれば、導電端子を収容部に対して一次元方向に相対移動させるように、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
また、前記導電端子が、前記収容部に対して、二次元方向に相対移動可能であることが好ましい。これによれば、導電端子を収容部に対して二次元方向に相対移動させるように、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
また、前記導電端子が、前記収容部に対して、三次元方向に相対移動可能であることが好ましい。これによれば、導電端子を収容部に対して三次元方向に相対移動させるように、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
【００１０】
また、前記導電端子がボンディングワイヤであることが好ましい。これによれば、簡単な構成で両部材の電極を電気的に接続することができる。
また、前記導電端子が、前記導電性流体に接触させる接触範囲の全体に形成された導電性の導電部を有することが好ましい。これによれば、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、導電端子の接触範囲が変動しても、両部材の電極を電気的に接続することができる。
また、前記導電端子が、前記導電性流体に接触させる接触範囲の一部に形成された導電性の導電部を有することが好ましい。これによれば、導電端子の接触範囲以外の部分が、誤って両部材の電極以外の他の電極と電気的に接続されるのを防止することができる。
【００１１】
また、本発明のアクチュエータは、前記導電構造を備えたアクチュエータであって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して相対移動可能な移動子であり、前記固定体側に配置された電極と、前記移動子側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成されたアクチュエータによれば、固定体側の電極と、固定体に対して相対移動可能な移動子側の電極とを、導電性流体と導電端子とにより電気的に接続するようにしたので、固定体に対して移動子が相対移動する際に、その移動範囲内において導電端子を導電性流体に接触させた状態で導電端子または導電性流体を移動させることができる。したがって、移動子の移動をほとんど拘束することなく、固定体側の電極と移動子側の電極とを電気的に接続することができる。
【００１２】
また、本発明の可変抵抗器は、前記導電構造を備えた可変抵抗器であって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して相対移動可能な移動体であり、前記第１の部材側に配置された複数の電極と、前記第２の部材側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成された可変抵抗器によれば、固定体側および移動体側のいずれか一方の複数の電極に電気的に接続された導電性流体に、他方の電極に電気的に接続された導電端子を接触させるようにしたので、前記一方の電極間に電圧を印可させた状態で移動体または固定体を移動させることにより、導電端子の物理的な移動位置に応じた抵抗値を得ることができる。
【００１３】
また、本発明の回動部材は、前記導電構造を備えた回動部材であって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に回動可能に取り付けられた回動体であり、前記固定体側に配置された電極と、前記回動体側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成された回動部材によれば、固定体側の電極と回動体側の電極とを、導電性流体と導電端子とにより電気的に接続するようにしたので、固定体に対して回動体が回動する際に、その回動範囲内において導電端子を導電性流体に接触させた状態で導電端子または導電性流体を回動させることができる。したがって、回動体の回動をほとんど拘束することなく、固定体側の電極と回動体側の電極とを電気的に接続することができる。
【００１４】
また、本発明の回動式コネクタは、前記回動部材を備えているものである。
このように構成された回動式コネクタによれば、固定体側の電極と回動体側の電極とを、導電性流体と導電端子とにより電気的に接続するようにしたので、固定体に対して回動体が回動する際に、その回動範囲内において導電端子を導電性流体に接触させた状態で導電端子または導電性流体を回動させることができる。したがって、回動体の回動をほとんど拘束することなく、固定体側の電極と回動体側の電極とを電気的に接続することができる。
【００１５】
また、本発明の電動機は、前記導電構造を備えた電動機であって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材がステータを有するハウジングであり、他方の部材が前記ハウジングに対して回転可能であってかつロータを有する回転軸であり、前記ハウジング側に配置された電極と、前記回転軸側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成された電動機によれば、ハウジング側の電極と回転軸側の電極とを、導電性流体と導電端子とにより電気的に接続するようにしたので、ハウジングに対して回転軸が回転する際に、導電端子を導電性流体に接触させた状態で導電端子または導電性流体を回転させることができる。したがって、回転軸の回転をほとんど拘束することなく、ハウジング側の電極と回転軸側の電極とを電気的に接続することができる。
【００１６】
また、本発明のコントローラは、前記導電構造を備えたコントローラであって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が筐体であり、他方の部材が前記筐体に対して移動操作可能な操作体であり、前記筐体側に配置された電極と、前記操作体側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成されたコントローラによれば、筐体側の電極と操作体側の電極とを、導電性流体と導電端子とにより電気的に接続するようにしたので、筐体に対して操作体が移動操作する際に、導電端子を導電性流体に接触させた状態で導電端子または導電性流体を移動させることができる。したがって、操作体の移動操作をほとんど拘束することなく、筐体側の電極と操作体側の電極とを電気的に接続することができる。
【００１７】
また、本発明の回転情報検出装置は、前記導電構造を備えた回転情報検出装置であって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して回転可能な回転体であり、前記第１の部材側に配置された複数の電極と、前記第２の部材側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成された回転情報検出装置によれば、固定体側の複数の電極に電気的に接続された導電性流体に、導電端子を接触させるようにしたので、前記固定体側の電極間に電圧を印可させた状態で回転体を回転させることにより、導電端子の物理的な回転位置に応じた抵抗値を得ることができ、この抵抗値から回転体の回転情報を検出することができる。
【００１８】
また、本発明のストローク検出装置は、前記導電構造を備えたストローク検出装置であって、前記第１の部材および前記第２の部材のうち、いずれか一方の部材が固定体であり、他方の部材が前記固定体に対して往復動可能な往復動体であり、前記第１の部材側に配置された複数の電極と、前記第２の部材側に配置された電極とを、前記導電端子および前記導電性流体により電気的に接続するものである。
このように構成されたストローク検出装置によれば、固定体側の複数の電極に電気的に接続された導電性流体に、往復動体側の電極に電気的に接側された導電端子を接触させるようにしたので、前記固定体側の電極間に電圧を印可させた状態で往復動体を往復動させることにより、導電端子の物理的な往復動位置に応じた抵抗値を得ることができ、この抵抗値から往復動体のストローク量を検出することができる。
【００１９】
また、前記導電構造の製造方法は、一端を第１の電極に電気的に接続させるとともに、他端を前記第１の部材に対して相対移動可能な第２の電極に電気的に接続された導電性流体に接触させる導電端子の製造方法であって、ダミー電極を配置し、前記第１の電極と前記ダミー電極とをボンディングワイヤにより接続し、前記ボンディングワイヤを前記第１の電極と前記ダミー電極との中間部で切断し、前記ダミー電極および当該ダミー電極に接続されているボンディングワイヤを取り除くものである。この製造方法によれば、特殊な製造機器を使用する必要がないため、導電端子を容易に製造することができる。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、第１の部材および第２の部材が相対移動する際に、導電端子を導電性流体に接触させた状態で、両部材の相対移動を許容するようにしたので、両部材の相対移動をほとんど拘束することなく、両部材の電極を電気的に接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る導電構造を備えたアクチュエータを示す斜視図である。
【図２】上記アクチュエータの移動子を示す側断面図である。
【図３】上記移動子に充填されるイオン性液体の表面張力を示す移動子の断面図である。
【図４】上記アクチュエータの移動子を正方向に移動させる場合の動作説明図である。
【図５】上記アクチュエータの移動子を負方向に移動させる場合の動作説明図である。
【図６】上記導電構造の導電端子の製造方法を示す斜視図である。
【図７】（ａ）は本発明の第２の実施形態に係る可変抵抗器の斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）の可変抵抗器の回路図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係る可変抵抗器の分解斜視図である。
【図９】本発明の第４の実施形態に係る可変抵抗器の斜視図である。
【図１０】上記可変抵抗器における固定側電極から導電端子までの水平距離と抵抗値との関係を示すグラフである。
【図１１】（ａ）は本発明の第５の実施形態に係る回動式コネクタの斜視図、（ｂ）は（ａ）の回動式コネクタにおける回動部材の固定体を示す斜視図である。
【図１２】（ａ）は本発明の第６の実施形態に係る電動機の側断面図、（ｂ）は（ａ）の（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）の要部拡大図である。
【図１３】本発明の第７の実施形態に係るコントローラの斜視図である。
【図１４】本発明の第８の実施形態に係る回転情報検出装置の斜視図である。
【図１５】本発明の第９の実施形態に係るストローク検出装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、この発明の実施の形態について添付図面を参照しながら説明する。
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る導電構造を備えたアクチュエータの斜視図である。図において、このアクチュエータ１は、光通信用可変利得等化器に用いられる小型のリニアアクチュエータであり、アレイ状に並設された複数の第１の部材である移動子２と、これら移動子２の下方に対向配置されて移動子２を搬送する搬送子３と、これら移動子２の下方に対向配置された固定子４と、矢符Ａ方向に沿う伸縮動作によって搬送子３を変位させるＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛セラミック）等からなる積層型圧電素子５と、固定子４、搬送子３および積層型圧電素子５を載置するベースフレーム６と、移動子２の上方に配置されている第２の部材である固定体としての基板７と、この基板７側の電極と各移動子２側の電極とを電気的に接続するための導電構造８とを備えており、半導体製造技術を用いて小型で精密に製作される。
【００２３】
積層型圧電素子５は、一端がベースフレーム６に固定されているとともに、他端が搬送子３に連結されており、矢符Ａ方向に伸縮動作を行うものである。搬送子３は、移動子２に対向する上面に、該移動子２を静電引力によって吸着するための吸着用電極３ａを有しており、この吸着用電極３ａに移動子２を吸着して積層型圧電素子５の変位に応じて矢符Ａ方向に移動子２を搬送するものである。固定子４は、移動子２に対向する上面に、該移動子２を静電引力によって吸着して保持する吸着用電極４ａを有しており、ベースフレーム６上に固定されている。
【００２４】
図２は、移動子２の側断面図である。各移動子２は、下面に絶縁層２ａが形成されるとともに、絶縁層２ａの上に第１の電極である移動側電極２ｂが配置されている。この移動側電極２ｂの上面は、後述する凹溝１１の底面を構成している。
また、移動子２の外側面はパリレンコーディングが行われ、図示しない絶縁層が形成されており、隣接する移動子２は電気的に絶縁されている。これにより、各移動子２は、個別に矢符Ａ方向に移動させることができる。
【００２５】
次に、導電構造８について、詳しく説明する。図１において、基板７上には、移動子２と同一数の第２の電極である固定側電極９が配置されており、各固定側電極９には、ピン形状の導電端子１０の上端部が接続されている。この導電端子１０の下端部は、後述するイオン性液体１２に浸漬させてイオン性液体１２に接触させている。導電端子１０は、その浸漬範囲（接触範囲）の全体に導電性の導電部１０ａが形成されている。
【００２６】
図２において、各移動子２の上面には、移動子２の長手方向（矢符Ａ方向）に延びる収容部である凹溝１１が形成されている。この凹溝１１には、その上部に形成された開口１１ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体１２が充填（特許請求の範囲における「収容」に相当する。以下、各実施形態において同じ。）されており、このイオン性液体１２およびこのイオン性液体１２に開口１１ａから浸漬されてる導電端子１０（導電部１０ａ）を介して、基板７側の固定側電極９と移動子２側の移動側電極２ｂとが電気的に接続されている。本発明の導電構造８は、上記導電端子１０とイオン性液体１２とによって構成されている。
【００２７】
凹溝１１は、横幅が２ｍｍ、長さが１５ｍｍ、深さが０．２ｍｍであって、ＤＲＩＥ（深堀り反応性イオンエッチング）により形成されている。また、凹溝１１の開口１１ａの長手方向の長さは、導電端子１０が開口１１ａの表面方向（矢符Ａ方向）に移動する移動全長より若干長く形成されている。これにより、導電端子１０は、移動子２の矢符Ａ方向の移動を許容するように、イオン性液体１２に浸漬されている。
【００２８】
凹溝１１の開口１１ａの大きさは、図３に示すように、アクチュエータ１を上下逆さまに配置して凹溝１１の開口１１ａを下方へ向けた場合に、イオン性液体１２がその自重により開口１１ａから表面張力によって落下しない程度に小さく形成されている。しがたって、イオン性液体１２としては、上記表面張力を有するとともに移動子２の移動を阻害しない程度の粘性であって、かつ高導電性および不揮発性のものが望ましい。本実施の形態では、ＥＭＩｍＴＦＳＩ（１−メチル−３−エチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニルイミド）が使用されている。
ここで、開口１１ａの幅をＷ（ｍ）、開口１１ａの長さをＬ（ｍ，図２参照）、毛細管現象によりイオン性液体１２が凹溝１１内を上昇している高さをＨ（ｍ）、接触角をθ（ｍ）、接触角をθ、イオン性液体１２の密度をρは（ｋｇ／ｍ3）、および、重力加速度をｇ（ｍ／ｓ2 ）とすると、表面張力γ（Ｎ／ｍ）は、
γ＝ＬＷＨ／２（Ｌ＋Ｗ）×ρｇ／ｃｏｓθ
で表される。この式から、本実施形態のイオン性液体１２であるＥＭＩｍＴＦＳＩの表面張力は、約０．０５７（Ｎ／ｍ）となる。
【００２９】
本実施形態のアクチュエータ１は、制御信号によって積層型圧電素子５の伸縮動作が制御されるものである。以下、その具体的な制御について、図４および図５を参照しながら説明する。
図４において、移動子２を正方向（図４（ｂ）の矢印Ａ１方向）に移動させる場合には、まず、図４（ａ）に示すように、搬送子３に所定の電圧を印加し、矢印Ｂの如く移動子２を静電引力により搬送子３に吸着させる。その際、固定子４は、移動子２を吸着しないように０電位とされ、移動子２も０電位とされる。この状態から、積層型圧電素子５を矢印Ｄ１方向へ伸長動作させると、図４（ｂ）に示すように、移動子２は、正方向へ変位する搬送子３に吸着保持されながら、正方向へ移動する。その際、移動子２の凹溝１１も正方向へ移動するが、凹溝１１はその移動方向（図１の矢符Ａ１方向）に伸びるように形成されているため、この凹溝内のイオン性液体１２に浸漬されている導電端子１０が凹溝１１の壁面と干渉することはない。
【００３０】
積層型圧電素子５の伸長動作が終了すると、移動子２が元の位置へ戻らないように、図４（ｃ）に示すように、搬送子３に対する電圧の印加を止めて移動子２の吸着を解除するとともに、固定子４に所定の電圧を印加し、矢印Ｃの如く移動子２を静電引力により固定子４に吸着させる。この状態から、積層型圧電素子５を縮小動作させると、図４（ｄ）に示すように、搬送子３のみが矢印Ｄ２方向へ変位する。
以上の動作を繰り返すことによって、積層型圧電素子５を伸長動作する度に、移動子２が正方向に順次移動することになる。このようにして、積層型圧電素子５によって高い精度で移動子２を変位させることができるとともに、繰り返し動作によって十分な移動距離を確保できる。
【００３１】
図５において、移動子２を負方向（図５（ｂ）の矢印Ａ２方向）に移動させる場合には、まず、図５（ａ）に示すように、搬送子３に所定の電圧を印加し、矢印Ｂの如く移動子２を静電引力により搬送子３に吸着させる。その際、固定子４は、移動子２を吸着しないように０電位とされ、移動子２も０電位とされる。この状態から、積層型圧電素子５を矢印Ｄ２方向へ収縮動作させると、図５（ｂ）に示すように、移動子２は、負方向へ変位する搬送子３に吸着保持されながら負方向へ移動する。
【００３２】
積層型圧電素子５の収縮動作が終了すると、移動子２が元の位置へ戻らないように、図５（ｃ）に示すように、搬送子３に対する電圧の印加を止めて移動子２の吸着を解除するとともに、固定子４に所定の電圧を印加し、矢印Ｃの如く移動子２を静電引力により固定子４に吸着させる。この状態から、積層型圧電素子５を伸長動作させると、図５（ｄ）に示すように、搬送子３のみが矢印Ｄ１方向へ変位する。
以上の動作を繰り返すことによって、積層型圧電素子５を収縮動作する度に、移動子２が負方向に順次移動することになる。
【００３３】
上記のように、移動子２の電位を０にしておくことによって、正方向または負方向に移動子２を移動させることができるのであるが、この実施の形態では、上述の図１に示されるように、搬送子３、固定子４および積層型圧電素子５は、一つであるのに対して、移動子２は、複数備えられており、これら複数の移動子２のうち、固定位置に保持しておきたい移動子２に対しては、その移動子２に電圧を印加する。すなわち、搬送子３により移動子２を正方向または負方向に移動させる動作を行う際に、搬送子３に印加される電圧と同じ電圧を、移動子２に印加する。具体的には、基板７上の固定側電極９から導電端子１０およびイオン性液体１２を介して移動側電極２ｂに電圧が印加される。これにより、移動子２は、搬送子３に吸着されず、固定位置の固定子４に吸着保持される。
このように、搬送子３、固定子４および移動子２に印加する電圧を制御することによって、複数の移動子２のうち、所望の移動子２のみを正方向あるいは負方向に個別に移動させることができる。
【００３４】
図６は、導電端子１０の製造方法を示す斜視図である。以下、その製造方法について具体的に説明する。
図６において、導電端子１０は、半導体装置の製造工程において使用されるワイヤボンディング装置（図示せず）を使用して製造される。具体的には、上面に段差が形成された基板７の下段７ａにダミー電極１３を配置し、このダミー電極１３および上段７ｂに取り付けた固定側電極９に、ワイヤボンディング装置によりボンディングワイヤ１４を接続する（図６（ａ）参照）。次に、図示しないレーザーにより、ボンディングワイヤ１４を、固定側電極９とダミー電極１３との中間位置で切断する（図６（ｂ）参照）。ボンディングワイヤ１４の切断後は、基板７を、下段７ａと上段７ｂとに分割するように水平方向に切断し、ダミー電極１３側の下段７ａを取り除く（図６（ｃ）参照）。これにより、固定側電極９側に接続されているボンディングワイヤ１４を導電端子１０として使用することができる。
【００３５】
以上の構成により、第１の実施形態に係る導電構造８を備えたアクチュエータ１によれば、基板７側の固定側電極９と、基板７に対して相対移動可能な移動子２側の移動側電極２ｂとを、導電性流体のイオン性液体１２と導電端子１０とにより電気的に接続するようにしたので、導電端子１０をイオン性液体１２に浸漬させた状態で、移動子２を基板７に対して移動させることができる。したがって、移動子２の移動をほとんど拘束することなく、基板７側の固定側電極９と移動子２側の移動側電極２ｂとを電気的に接続することができる。
【００３６】
また、導電性流体として、導電性の液体（イオン性液体１２）を用いているため、導電性の気体を用いる場合と比べると、液体を充填する収容部を密封する必要がないので、簡単な構成で固定側電極９と移動側電極２ｂとを電気的に接続することができる。
さらに、凹溝１１の開口１１ａは、イオン性液体１２がその自重により開口１１ａから表面張力によって落下しない程度に小さく形成されているため、アクチュエータ１の配置を、上記開口１１ａが下方へ向くように配置しても、イオン性液体１２が開口１１ａから落下するのを防止することができる。
また、導電端子１０を、凹溝１１に形成された開口１１ａからイオン性液体１２に浸漬させるようにしたので、さらに簡単な構成で固定側電極９と移動側電極２ｂとを電気的に接続することができる。
【００３７】
また、導電端子１０には、イオン性液体１２に浸漬される浸漬範囲全体に導電性の導電部１０ａが形成されているため、基板７に対して移動子２が移動する際に、導電端子１０の浸漬範囲が変動しても、固定側電極９と移動側電極２ｂとを電気的に接続することができる。
また、導電端子１０としてボンディングワイヤ１４を使用しているため、簡単な構成で固定側電極９と移動側電極２ｂとを電気的に接続することができる。
また、導電端子１０の製造方法によれば、固定側電極９とダミー電極１３とをボンディングワイヤ１４により接続し、このボンディングワイヤ１４を固定側電極９とダミー電極１３との中間部で切断し、ダミー電極１３側を取り除くようにしたので、特殊な製造機器を使用する必要がないことから、導電端子１０を容易に製造することができる。
【００３８】
なお、本実施の形態では、第１の部材を移動子２、第２の部材を基板７として説明したが、第１の部材を基板、第２の部材を移動子とし、基板側にイオン性液体を充填し、移動子側に導電端子の一端を接続し、導電端子の他端をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は固定側電極、第２の電極は移動側電極となる。
また、導電端子１０をワイヤボンディング装置により製造する際に、ダミー電極１３を基板７上に取り付けているが、各移動子２の凹溝１１の底部にダミー電極を取り付け、このダミー電極と基板７上の固定側電極９とをワイヤボンディング装置により接合した後、ボンディングワイヤを凹溝１１の底部に近い位置で切断するようにしてもよい。この場合、固定側電極９側に接合されているボンディングワイヤ（導電端子）の切断部（下端部）は、凹溝内に配置されているため、導電端子の下端部を凹溝内に位置合わせを行う作業が不要になる。
さらに、導電端子１０の製造時に用いられるダミー電極１３を、各移動子２側に配置される移動側電極として用いることも可能である。
また、本実施の形態では、導電端子１０としてボンディングワイヤ１４を用いているが、その他の導電性部材を用いることも可能である。
【００３９】
［第２の実施形態］
図７（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る可変抵抗器の斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ−Ａ断面図、  図７（ｃ）は、可変抵抗器の回路図である。
図７（ａ）において、本実施形態の可変抵抗器１５は、リニアポテンショメータとして使用されるものであって、第１の部材である固定体１６に対して第２の部材である移動体１７が矢符Ｅ方向（一次元方向）に直線的に移動するものである。可変抵抗器１５は、固定体１６側に配置された一対の第１の電極である固定側電極１８と、移動体１７側に配置された第２の電極である移動側電極１９と、固定側電極１８と移動側電極１９とを電気的に接続するための導電構造２０とを備えている。
【００４０】
以下、この導電構造２０について詳しく説明する。固定体１６の上面には、移動体１７の移動方向（矢符Ｅ方向）に延びる収容部である凹溝２１が形成されている。この凹溝２１の上部には開口２１ａが形成され、凹溝２１の長手方向の両側には、それぞれ上記固定側電極１８が配置されている。
図７（ｂ）に示すように、固定側電極１８は、凹溝２１の長手方向の両側面、およびその両側面に隣接する固定体１６の上面を沿うようにＬ字型に形成されている。各固定側電極１８はそれぞれ接続端子２２を有し、一方の接続端子２２は接地されており、他方の接続端子２２は電源（図示せず）に接続されて電圧が印加されるようになっている。
また、凹溝２１には、その開口２１ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体２３（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。このイオン性液体２３は、一対の固定側電極１８に配置される抵抗体としての役目を果たすようになっている（図７（ｃ）参照）。
【００４１】
移動体１７に配置されている移動側電極１９は、外部回路（図示せず）に接続される出力用の電極として使用されている。移動側電極１９には、ピン形状の導電端子２４の上端部が接続されている。この導電端子２４の下端部は、固定体１６側の凹溝２１の開口２１ａからイオン性液体２３に浸漬させてイオン性液体２３に接触させている。図７（ｂ）に示すように、導電端子２４の下端には導電性の導電部２４ａが形成されており、この導電部２４ａによって固定側電極１８と移動側電極１９とが電気的に接続されている。導電部２４ａは、導電端子２４がイオン性液体２３に浸漬されている鉛直方向の浸漬範囲（接触範囲）の一部に形成されており、導電端子２４の導電部２４ａを除く部分は、パリレンコーディングにより絶縁層２４ｂが形成されている。絶縁層２４ｂの表面には、イオン性液体２３を弾くようにフッ素素材等による撥液加工（図示せず）が施されている。本実施形態の導電構造２０は、導電端子２４とイオン性液体２３とにより構成されている。
【００４２】
なお、凹溝２１の開口２１ａの長手方向の長さは、導電端子２４が開口２１ａの表面方向（矢符Ｅ方向）に移動する移動全長より若干長く形成されている。これにより、導電端子２４は、移動体１７の矢符Ｅ方向の移動を許容するように、イオン性液体２３に浸漬されている。また、導電端子２４は、イオン性液体２３に浸漬された状態で、凹溝２１の一対の固定側電極１８間において、移動体１７とともに直線的に移動可能となっている。
したがって、固定体１６側の接続端子２２に電圧を印加した状態で、移動体１７を矢符Ｅ方向に直線的に移動させると、イオン性液体２３（抵抗体）に浸漬（接触）しながら移動する導電端子２４の導電部２４ａの物理的な位置に応じた抵抗値が得られ、この抵抗値から移動体１７の移動位置を検出することができる。
【００４３】
以上の構成により、第２の実施形態に係る可変抵抗器１５によれば、イオン性液体２３を抵抗体とする可変抵抗器１５（リニアポテンショメータ）として、導電端子２４の物理的な位置に応じた抵抗値を得ることができるとともに、その抵抗値から直線的に移動する移動体１７の移動位置を検出することができる。
また、導電端子２４は、イオン性液体２３の浸漬範囲の一部（下端）のみに導電部２４ａを形成しているため、導電端子２４の浸漬範囲以外の部分が、誤って上記固定側電極１８および移動側電極１９以外の他の電極と電気的に接続されるのを防止することができる。
さらに、導電端子２４には、導電部２４ａを除く部分に絶縁層２４ｂが形成されているともに、絶縁層２４ｂの表面に撥液加工が施されているため、導電端子２４をイオン性液体２３に浸漬させた状態で継続使用することにより、イオン性液体２３が毛細管現象等により導電端子２４を伝って凹溝２１から外部へ出ていくのを防止することができる。特に、イオン性液体２３が導電端子２４の上方に配置される場合には、毛細管現象以外にイオン性液体２３の自重も作用するため、凹溝２１から出て行くのを効果的に防止することができる。
【００４４】
なお、本実施の形態では、第１の部材を固定体１６、第２の部材を移動体１７として説明したが、第１の部材を移動体、第２の部材を固定体とし、移動体側に一対の移動側電極とイオン性液体を充填する凹溝を設け、固定体側に１個の固定側電極と導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は上記一対の移動側電極、第２の電極は固定体側の上記１個固定側電極となる。
さらに、本実施の形態では、移動体１７の移動方向は、導電端子２４の浸漬範囲が変動しない方向（図７（ｂ）のＥ方向）であるが、導電端子２４の浸漬範囲が変動する方向へ移動させるようにしてもよい。この場合は、後述する第４の実施形態のように、導電端子の浸漬範囲の全体に導電部を形成し、この浸漬範囲の変動に応じた抵抗値を得ることができる。
【００４５】
［第３の実施形態］
図８は、本発明の第３の実施形態に係る可変抵抗器の分解斜視図である。
図において、本実施形態の可変抵抗器２５は、ロータリポテンショメータとして使用されものであって、第１の部材である固定体２６に対して矢符Ｆ方向（二次元方向）に円弧移動する第２の部材である移動体２７の回転角度を検出するものである。可変抵抗器２５は、固定体２６側に配置された一対の第１の電極である固定側電極２８と、移動体２７側に配置された第２の電極である移動側電極２９と、固定側電極２８と移動側電極２９とを電気的に接続するための導電構造３０とを備えている。
【００４６】
以下、この導電構造３０について詳しく説明する。固定体２６の上面には、移動体２７の回転方向（矢符Ｆ方向）に沿って収容部である凹溝３１が円弧状に形成されており、この凹溝３１の上部には開口３１ａが形成され、凹溝３１の円弧方向の両側には、それぞれ上記固定側電極２８が配置されている。
固定側電極２８は、凹溝３１の円弧方向の両端部およびにこれに隣接する固定体２６の上面を沿うように形成されている。各固定側電極２８はそれぞれ接続端子３２を有し、一方の接続端子３２は接地されており、他方の接続端子３２は電源（図示せず）に接続されて電圧が印加されるようになっている。
また、凹溝３１には、その開口３１ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体３３（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。このイオン性液体３３、一対の固定側電極２８に配置される抵抗体としての役目を果たすようになっている。
【００４７】
移動体２７は、固定体２６の回転軸２６ａに回転可能に取り付けられるものであって、回転操作用の摘み部２７ａと、この摘み部２７ａの下面に取り付けられた鍔部２７ｂとを有している。鍔部２７ｂの下面には、上記移動側電極２９が配置されており、この移動側電極２９は、外部回路（図示せず）に接続される出力用の電極として使用されている。移動側電極２９には、ピン形状の導電端子３４の上端部が接続されている。
【００４８】
導電端子３４の下端部は、図８の二点鎖線で示すように、移動体２７を固定体２６に取り付けた状態で、固定体２６側の凹溝３１の開口３１ａからイオン性液体３３に浸漬させてイオン性液体３３に接触させている。導電端子３４の下端には導電性の導電部３４ａが形成されており、この導電部３４ａによって固定側電極２８と移動側電極２９とが電気的に接続されている。導電部３４ａは、導電端子３４がイオン性液体３３に浸漬されている鉛直方向の浸漬範囲（接触範囲）の一部に形成されており、導電端子３４の導電部３４ａを除く部分は、パリレンコーディングにより絶縁層３４ｂが形成されている。絶縁層３４ｂの表面には、イオン性液体３３を弾くようにフッ素素材等による撥液加工（図示せず）が施されている。本実施形態の導電構造３０は、イオン性液体３３と導電端子３４とにより構成されている。
【００４９】
なお、凹溝３１の開口３１ａの長手方向の長さは、導電端子３４が開口３１ａの表面方向（矢符Ｆ方向）に移動する移動全長より若干長く形成されている。これにより、導電端子３４は、移動体２７の矢符Ｆ方向の移動を許容するように、イオン性液体３３に浸漬されている。また、導電端子３４は、イオン性液体３３に浸漬された状態で、凹溝３１の一対の固定側電極２８間において、移動体２７とともに回転移動可能となっている。
したがって、固定体２６側の接続端子３２に電圧を印加した状態で、移動体２７を矢符Ｆ方向に回転させると、イオン性液体３３（抵抗体）に浸漬（接触）しながら回転する導電端子３４の導電部３４ａの物理的な位置に応じた抵抗値が得られ、この抵抗値から移動体２７の回転角度を検出することができる。
【００５０】
以上の構成により、第３の実施形態に係る可変抵抗器２５によれば、イオン性液体３４を抵抗体とする可変抵抗器２５（ロータリポテンショメータ）として、導電端子３４の物理的な位置に応じた抵抗値を得ることができるとともに、その抵抗値から円弧移動する移動体２７の回転角度を検出することができる。
また、導電端子３４は、イオン性液体３３の浸漬範囲の一部（下端）のみに導電部３４ａを形成しているため、導電端子３４の浸漬範囲以外の部分が、誤って上記固定側電極２８および移動側電極２９以外の他の電極と電気的に接続されるのを防止することができる。
さらに、導電端子３４には、導電部３４ａを除く部分に絶縁層３４ｂが形成されているともに、絶縁層３４ｂの表面に撥液加工が施されているため、導電端子３４をイオン性液体３３に浸漬させた状態で継続使用することにより、イオン性液体３３が毛細管現象等により導電端子３４を伝って凹溝３１から外部へ出ていくのを防止することができる。特に、イオン性液体３３が導電端子３４の上方に配置される場合には、毛細管現象以外にイオン性液体３３の自重も作用するため、凹溝３１から出て行くのを効果的に防止することができる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、第１の部材を固定体２６、第２の部材を移動体２７として説明したが、第１の部材を移動体、第２の部材を固定体とし、移動体側に一対の移動側電極とイオン性液体を充填する凹溝を設け、固定体側に１個の固定側電極と導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は上記一対の移動側電極、第２の電極は上記１個の固定側電極となる。
【００５２】
［第４の実施形態］
図９は、本発明の第４の実施形態に係る可変抵抗器の斜視図である。図９において、本実施形態の可変抵抗器３５は、三次元位置検出器として使用されものであって、第１の部材である固定体３６に対して矢符Ｘ，ＹおよびＺ方向（三次元方向）にそれぞれ移動可能な第２の部材である移動体３７の移動位置を検出するものである。可変抵抗器３５は、固定体３６側に配置された第１の電極である４個の固定側電極３８ａ〜３８ｄと、移動体３７側に配置された第２の電極である１個の移動側電極３９と、固定側電極３８ａ〜３８ｄと移動側電極３９とを電気的に接続するための導電構造４０とを備えている。
【００５３】
以下、この導電構造４０について詳しく説明する。固定体３６の上面には、平面視で四角形状の収容部である凹溝４１が形成されており、この凹溝４１の上部には開口４１ａが形成されている。
また、固定体３６の上面の四隅の角部には、それぞれ上記固定側電極３８ａ〜３８ｄが配置されている。各固定側電極３８ａ〜３８ｄの矢符Ｚ方向の長さは、凹溝４１の深さと同一長さに設定されており、各固定側電極３８ａ〜３８ｄの内側の角部は、凹溝４１の内側へ向かって突出している。各固定側電極３８ａ〜３８ｄはそれぞれ接続端子４２ａ〜４２ｄを有し、これら４つの接続端子４２ａ〜４２ｄのうち、一つの接続端子４２ａは接地されており、その他の接続端子４２ｂ〜４２ｄは電源（図示せず）に接続されて電圧が印加されるようになっている。
また、凹溝４１には、その開口４１ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体４３（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。このイオン性液体４３は、各固定側電極３８ａ〜３８ｄ間に配置される抵抗体としての役目を果たすようになっている。
【００５４】
移動体３７に配置されている移動側電極３９は、外部回路（図示せず）に接続される出力用の電極として使用されている。移動側電極３９には、ピン形状の導電端子４４の上端が接続されている。導電端子４４の下端部は、固定体３６側の凹溝４１の開口４１ａからイオン性液体４３に浸漬させてイオン性液体４３に接触させており、その鉛直方向の浸漬範囲（接触範囲）全体に導電性の導電部４４ａが形成されている。この導電部４４ａを介して固定側電極３８ａ〜３８ｄと移動側電極３９とが電気的に接続されている。本実施形態の導電構造４０は、導電端子４４とイオン性液体４３とにより構成されている。
【００５５】
なお、凹溝４１の開口４１ａの矢符ＸおよびＹ方向の長さは、導電端子４４が開口４１ａの表面方向（矢符ＸおよびＹ方向）に移動する移動全長より若干長く形成されている。また、凹溝４１の深さ（矢符Ｚ方向の長さ）は、導電端子４４がイオン性液体４３の表面から凹溝４１の深さ方向に移動する移動全長より若干長く形成されている。これにより、導電端子４４は、移動体３７の矢符Ｘ，ＹおよびＺ方向の移動を許容するように、イオン性液体４３に浸漬されている。また、導電端子４４は、イオン性液体４３に浸漬された状態で、凹溝４１の固定側電極３８ａ〜３８ｄ間において、移動体３７とともに三次元方向に移動可能となっている。
【００５６】
したがって、固定体３６側の接続端子４２に電圧を印加した状態で、移動体３７を矢符Ｘ，ＹおよびＺ方向に移動させると、イオン性液体４３（抵抗体）に浸漬（接触）しながら移動する導電端子４４の導電部４４ａの物理的な三次元位置に応じた抵抗値が得られ、この抵抗値から移動体３７の三次元位置を検出することができる。
また、移動体３７が任意の方向に回動可能な場合には、図９に示すように、移動体３７とともに回動する導電端子４４の回動角度θに応じて、導電部４４ａの三次元位置も変化するため、この三次元位置に応じた抵抗値の変化により、上記回動角度θを検出することも可能である。
【００５７】
移動体３７が矢符Ｚ方向に移動する場合は、イオン性液体４３に浸漬されている導電部４４ａの浸漬範囲が変動することによって、抵抗値が変動するため、この抵抗値から矢符Ｚ方向の移動位置を検出することができる。
図１０は、固定側電極３８ａから導電端子４４の導電部４４ａまでの水平距離と抵抗値との関係を示しているグラフである。導電部４４ａのイオン性液体４３の浸漬範囲は、５０μｍ〜２００μｍの間で変化させている。図１０より、上記水平距離が長くなるのにしたがって抵抗値が増大しているのが分かる。また、水平距離が同じでも、浸漬範囲が長いほど抵抗値が減少しているのが分かる。この減少度合いは、水平距離が長くなるほど顕著になっている。
【００５８】
以上の構成により、第４の実施形態に係る可変抵抗器３５によれば、イオン性液体４３を抵抗体とする可変抵抗器３５（三次元位置検出器）として、導電端子４４の物理的な位置に応じた抵抗値を得ることができるとともに、その抵抗値から移動体３７の三次元位置および回動角度を検出することができる。その際、導電端子４４には、イオン性液体４３の浸漬範囲全体に導電部４４ａを形成しているため、導電部４４ａの浸漬範囲に応じた抵抗値を得ることができる。したがって、この抵抗値から、導電部４４ａの浸漬範囲が変動する方向に移動する移動体３７の移動位置（矢符Ｚ方向の移動位置）を検出することができる（導電部の浸漬範囲と抵抗値との関係は後述する図１０を参照。）。
【００５９】
なお、本実施の形態では、第１の部材を固定体３６、第２の部材を移動体３７として説明したが、第１の部材を移動体、第２の部材を固定体とし、移動体側に４個の移動側電極とイオン性液体を充填する凹溝を設け、固定体側に１個の固定側電極と導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は上記４個の移動側電極、第２の電極は上記１個の固定側電極となる。
また、本実施の形態では、導電端子４４の導電部４４ａおよび各固定側電極３８ａ〜３８ｄを、いずれも導電端子４４の浸漬範囲全体に亘って形成することにより、矢符Ｚ方向の抵抗値が変動するようになっているが、導電部４４ａおよび各固定側電極３８ａ〜３８ｄを、いずれも導電端子４４の浸漬範囲の一部のみに形成するようにしてもよい。この場合は、導電部４４ａの浸漬位置（矢符Ｚ方向の位置）が変動することにより、導電部と、各固定側電極３８ａ〜３８ｄとの直線距離が変動することにより、矢符Ｚ方向の抵抗値を変動させることができる。
さらに、本実施の形態では、１個の固定体３６に対して１個の移動体３７の三次元位置を検出しているが、１個の固定体のイオン性液体に、複数の移動体の導電端子を浸漬させ、各移動体の三次元位置を検出するようにしてもよい。
【００６０】
［第５の実施形態］
図１１（ａ）は、本発明の第５の実施形態に係る導電構造を備えた回動式コネクタの斜視図である。
図において、本実施形態の回動式コネクタ４５は、接続ケーブル４６と、回動自在な回動部材４７と、内部に複数のピン４８が突設された凹形状の嵌合部４９とを備えた回動式の雄側コネクタである。なお、嵌合部４９には、図示しないピン穴を有する雌側コネクタが嵌合されるようになっており、その際、ピン４８がピン穴に差し込まれることにより、雄側コネクタと雌側コネクタとが電気的に接続される。
回動部材４７は、接続ケーブル４６が接続された第１の部材である固定体５０と、この固定体５１に回動可能に取り付けられた第２の部材である回動体５１と、固定体５０側に配置された複数の第１の電極である固定側電極５２と、回動体５１側に配置された複数の第２の電極である移動側電極５３と、固定側電極５２と移動側電極５３とを電気的に接続するための導電構造５４とを備えている。
【００６１】
以下、上記導電構造５４について詳しく説明する。図１１（ｂ）は、回動部材４７の固定体５０のみを示す斜視図である。図において、固定体５０は円柱状に形成されており、その外周面には、周方向（矢符Ｇ方向）に延びる収容部である凹溝５５が複数形成されている。各凹溝５５の外周部には開口５５ａが形成され、図１１（ａ）に示すように、各凹溝５５の底面および周方向の両側面に沿って、上記固定側電極１８が配置されている。
また、凹溝５５には、その開口５５ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体５６（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。
【００６２】
回動体５１には断面円形の取付孔５７が形成されており、この取付孔５７に固定体５０が差し込まれている。また、回動体５１には上記嵌合部４９が形成されており、嵌合部４９の底部５８には、ピン４８の一端部に配置された上記移動側電極５３が埋設されている。この移動側電極には導電端子５９の一端が接続されており、この導電端子５９の他端は、取付孔５７の周面を貫通して、上記凹溝５５内に突出し、凹溝５５の開口５５ａからイオン性液体５６に浸漬させてイオン性液体５６に接触させている。導電端子５９は、その浸漬範囲（接触範囲）全体に導電性の導電部５９ａが形成されている。
【００６３】
なお、凹溝５５の開口５５ａの周方向の長さは、導電端子５９が開口５５ａの表面方向（矢符Ｇ方向）に回動する全回動長さより若干長く形成されている。これにより、導電端子５９は、回動体５１の矢符Ｇ方向の回動を許容するように、イオン性液体５６に浸漬されている。また、導電端子５９は、イオン性液体５６に浸漬された状態で、回動体５１とともに凹溝５５に対して回動可能となっている。
したがって、固定体５１に対して回動体５１を回動させると、導電端子５９がイオン性液体５６に浸漬された状態で回動体５１とともに回動するため、固定側電極５２と移動側電極５３とが、導電端子５９（導電部５９ａ）およびイオン性液体５６を介して電気的に接続された状態が維持される。本実施形態の導電構造５４は、このイオン性液体５６と導電端子５９とにより構成されている。
【００６４】
以上の構成により、第５の実施形態に係る回動部材４７および回動式コネクタ４５によれば、固定体５１側の固定側電極５２と、回動体５１側の移動側電極５３とを導電性流体であるイオン性液体５６と導電端子５９とにより電気的に接続するようにしたので、導電端子５９をイオン性液体５６に浸漬させた状態で、固定体５１に対して回動体５１を回動させることができる。したがって、回動体５１の回動をほとんど拘束することなく、固定体５１側の固定側電極５２と回動体５１側の移動側電極５３とを電気的に接続することができる。
【００６５】
なお、本実施の形態では、第１の部材を固定体５０、第２の部材を回動体５１として説明したが、第１の部材を回動体、第２の部材を固定体とし、回動体側にイオン性液体を充填する凹溝を設け、固定体側に導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は移動側電極、第２の電極は固定側電極となる。
また、本実施の形態では、回動式コネクタ４５を、雄側コネクタとしているが、雌側コネクタとすることも可能である。
さらに、本実施の形態では、回動部材４７は、回動式コネクタ４５の回動部分として用いられているが、その体の機器、例えば折り畳み式の携帯電話機において、その折り畳み回動部を上記回動部材４７により構成するようにしてもよい。
【００６６】
［第６の実施形態］
図１２（ａ）は、本発明の第６の実施形態に係る電動機の側断面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の要部拡大図であり、図１２（ｃ）は図１２（ａ）の要部拡大図である。
図１２（ａ）において、本実施形態の電動機６０は、巻線型三相誘導電動機であって、第１の部材であるハウジング６１に軸受６２を介して回転可能に支持されている第２の部材である回転軸６３に、巻線６４ａを有するロータ６４を取り付け、このロータ６４に対向するハウジング６１の内面に、巻線６５ａを有するステータ６５を取り付けたものである。
この電動機６０は、図１２（ｃ）に示すように、ハウジング６１側に配置された３個の第１の電極である固定側電極６６と、回転軸６３側に配置された３個の第２の電極である移動側電極６７と、各固定側電極６６と各移動側電極６７とを電気的に接続するための導電構造６８とを備えている。
【００６７】
以下、この導電構造６８について詳しく説明する。ハウジング６１の図１２（ａ）左側の側壁６１ａには、図１２（ｂ）に示すように、直径の異なる４個の環状部６１ｂが、それぞれ内側に突出するように固定されている。隣接する一対の環状部６１ｂと、これらの環状部６１ｂに位置する側壁６１ａの内面とによって、収容部である３個の環状凹溝６９が形成されている。各環状凹溝６９には、図１２（ｃ）に示すように、開口６９ａが形成され、環状凹溝６９の底面（側壁６１ａの内面）および環状部６１ｂに沿って、断面コ字形状の上記固定側電極６６が配置されている。各固定側電極６６は、ハウジング６１の側壁６１ａに貫通固定されたボルト７０により、図示しない外部電源に接続される電源ケーブル７１に接続されている。
また、各環状凹溝６９には、その開口６９ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体 ７２（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。環状凹溝６９の開口６９ａの大きさは、イオン性液体７２がその自重により開口６９ａから表面張力によって落下しない程度に小さく形成されている。
【００６８】
図１２（ａ）に示すように、回転軸６３の左側の端部には、環状凹溝６９に対向するように回転基板７３が固定されており、この回転基板７３には、図１２（ｃ）に示すように、上記各移動側電極６７が、それぞれ径方向に配置されている。各移動側電極６７は、回転軸６３内に配置された配線ケーブル（図示せず）を介してロータ６４に電気的に接続されている。
各移動側電極６７には、導電性の導電端子７４の一端が接続されており、各導電端子７４の他端は、各環状凹溝６９に充填されたイオン性液体７２に開口６９ａから浸漬させてイオン性液体７２に接触させている。導電端子７４は、その浸漬範囲（接触範囲）全体に導電性の導電部７４ａが形成されている。
【００６９】
なお、環状凹溝６９を構成する各環状部６１ｂは、その中心が回転軸６３の軸線と一致するように側壁６１ａの内面に取り付けられている。これにより、導電端子７４は、回転軸６３の回転を許容するように、イオン性液体７２に浸漬されている。また、導電端子７４は、イオン性液体７２に浸漬された状態で、回転軸６３とともに環状凹溝６９に対して回転可能となっている。
したがって、回転軸６３を回転させると、導電端子７４が環状溝内のイオン性液体７２に浸漬された状態で回転するため、固定側電極６６と移動側電極６７とが、導電端子７４およびイオン性液体７２を介して電気的に接続された状態が維持される。本実施形態の導電構造６８は、この導電端子７４（導電部７４ａ）とイオン性液体７２とにより構成されている。
【００７０】
以上の構成により、第６の実施形態に係る電動機６０によれば、ハウジング６１側の固定側電極６６と回転軸６３側の移動側電極６７とを、導電性流体のイオン性液体７２と導電端子７４とにより電気的に接続するようにしたので、導電端子７４をイオン性液体７２に浸漬させた状態で、回転軸６３をハウジング６１に対して回転させることができる。したがって、回転軸６３の回転をほとんど拘束することなく、ハウジング６１側の固定側電極６６と回転軸６３側の移動側電極６７とを電気的に接続することができる。
【００７１】
なお、本実施の形態では、第１の部材をハウジング６１、第２の部材を回転軸６３として説明したが、第１の部材を回転軸、第２の部材をハウジングとし、回転軸側にイオン性液体を充填する凹溝を設け、ハウジング側に導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は移動側電極、第２の電極は固定側電極となる。
【００７２】
［第７の実施形態］
図１３は、本発明の第７の実施形態に係るコントローラの斜視図である。図１３において、本実施形態のコントローラ７５は、スティックコントローラとして使用されものであって、第１の部材である筐体７６に対して矢符ＸおよびＹ方向にそれぞれ傾倒操作可能かつ矢符Ｚ方向に移動操作可能な第２の部材である操作体７７により三次元方向を操作するものである。
操作体７７は、鉛直方向（矢符Ｚ方向）に延びる操作軸７７ａと、この操作軸７７ａの上端に固定された把手７７ｂとを有している。操作軸７７ａの下端は球状体７８を介して保持体７９に傾倒回動可能に取り付けられている。また操作軸７７ａは球状体７８に対して軸線方向に移動可能に支持されている。これにより、把手７７ｂを持って操作軸７７ａを傾倒回動することにより矢符ＸおよびＹ方向への操作を行うことができ、把手７７ｂを持って操作軸７７ａを軸線方向に移動させることにより矢符Ｚ方向への操作を行うことができる。
【００７３】
コントローラ７５は、筐体７６側に配置された第１の電極である４個の固定側電極８０ａ〜８０ｄと、操作体７７側に配置された第２の電極である１個の移動側電極８１と、固定側電極８０ａ〜８０ｄと移動側電極８１とを電気的に接続するための導電構造８２とを備えている。
以下、この導電構造８２について詳しく説明する。筐体７６の上面には、平面視で四角形状の収容部である凹溝８３が形成されており、この凹溝８３の上部には開口８３ａが形成されている。また、筐体７６の上面の四隅の角部には、それぞれ上記固定側電極８０ａ〜８０ｄが配置されている。各固定側電極８０ａ〜８０ｄの矢符Ｚ方向の長さは、凹溝８３の深さと同一長さに設定されており、各固定側電極８０ａ〜８０ｄの内側の角部は、凹溝８３の内側へ向かって突出している。各固定側電極８０ａ〜８０ｄはそれぞれ接続端子８４ａ〜８４ｄを有し、これら４つの接続端子８４ａ〜８４ｄのうち、一つの接続端子８４ａは接地されており、その他の接続端子８４ｂ〜８４ｄは電源（図示せず）に接続されて電圧が印加されるようになっている。
また、凹溝８３には、その開口８３ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体８５（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。このイオン性液体８５は、各固定側電極８０ａ〜８０間に配置される抵抗体としての役目を果たすようになっている。
【００７４】
操作体７７に配置されている移動側電極８１は、外部回路（図示せず）に接続される出力用の電極として使用されている。移動側電極８１には、ピン形状の導電端子８６の上端が接続されている。導電端子８６の下端部は、筐体７６側の凹溝８３の開口８３ａからイオン性液体８５に浸漬させてイオン性液体８５に接触させており、その鉛直方向の浸漬範囲（接触範囲）全体に導電性の導電部８６ａが形成されている。この導電部８６ａを介して固定側電極８０ａ〜８０と移動側電極８１とが電気的に接続されている。本実施形態の導電構造８２は、導電端子８６とイオン性液体８５とにより構成されている。
【００７５】
なお、凹溝８３の開口８３ａの矢符ＸおよびＹ方向の長さは、導電端子８６が矢符ＸおよびＹ方向に傾倒移動する移動全長より若干長く形成されている。また、凹溝８３の深さ（矢符Ｚ方向の長さ）は、導電端子８６がイオン性液体８５の表面から凹溝８３の深さ方向に移動する移動全長より若干長く形成されている。これにより、導電端子８６は、操作体７７の矢符Ｘ，Ｙの傾倒操作および矢符Ｚ方向の移動操作を許容するように、イオン性液体８５に浸漬されている。また、導電端子８６は、イオン性液体８５に浸漬された状態で、凹溝８３の固定側電極８０ａ〜８０間において、操作体７７とともに三次元方向に移動可能となっている。
【００７６】
したがって、筐体７６側の接続端子８４に電圧を印加した状態で、操作体７７を矢符Ｘ，Ｙ方向に傾倒操作および矢符Ｚ方向に移動操作させると、イオン性液体８５（抵抗体）に浸漬（接触）しながら移動する導電端子８６の導電部８６ａの物理的な三次元位置に応じた抵抗値が得られ、この抵抗値から操作体７７により三次元方向の操作を行うことができる。
【００７７】
以上の構成により、第７の実施形態に係るコントローラ７５によれば、筐体７６側の固定側電極８０ａ〜８０ｄと操作体７７側の移動側電極８１とを、導電性流体のイオン性液体７２と導電端子７４とにより電気的に接続するようにしたので、導電端子７４をイオン性液体７２に浸漬させた状態で、操作体７７を筐体７６に対して傾倒操作および移動操作させることができる。したがって、操作体７７の傾倒操作および移動操作をほとんど拘束することなく、筐体７６側の固定側電極８０ａ〜８０ｄと操作体７７側の移動側電極８１とを電気的に接続することができる。
【００７８】
なお、本実施の形態では、第１の部材を筐体７６、第２の部材を操作体７７として説明したが、第１の部材を操作体、第２の部材を筐体とし、操作体側に４個の移動側電極とイオン性液体を充填する凹溝を設け、筐体側に１個の固定側電極と導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は上記４個の移動側電極、第２の電極は上記１個の固定側電極となる。
また、本実施の形態では、コントローラ７５は、三次元方向の操作を行うものとして説明したが、一次元または二次元方向の操作を行うものであってもよい。
【００７９】
さらに、導電端子８６の導電部８６ａおよび各固定側電極８０ａ〜８０ｄを、いずれも導電端子８６の浸漬範囲全体に亘って形成することにより、矢符Ｚ方向の抵抗値が変動するようになっているが、導電部８６ａおよび各固定側電極８０ａ〜８０ｄを、いずれも導電端子８６の浸漬範囲の一部のみに形成するようにしてもよい。この場合は、導電部８６ａの浸漬位置（矢符Ｚ方向の位置）が変動することにより、導電部と、各固定側電極８０ａ〜８０ｄとの直線距離が変動することにより、矢符Ｚ方向の抵抗値を変動させることができる。
また、本実施の形態では、１個の筐体７６に対して１個の操作体７７により三次元方向の操作を行っているが、１個の筐体のイオン性液体に、複数の操作体の導電端子を浸漬させ、各操作体により三次元方向の操作を行うようにしてもよい。
【００８０】
［第８の実施形態］
図１４は、本発明の第８の実施形態に係る回転情報検出装置の斜視図である。図１４において、本実施形態の回転情報検出装置８７は、第１の部材である固定体８８に対して矢符Ｚ方向軸周り（矢符Ｈ方向）に回転可能な第２の部材である回転体８９の回転方向や回転量等の回転情報を検出するものである。回転情報検出装置８７は、固定体８８側に配置された第１の電極である４個の固定側電極９０ａ〜９０ｄと、回転体８９側に配置された第２の電極である１個の移動側電極９１と、固定側電極９０ａ〜９０ｄと移動側電極９１とを電気的に接続するための導電構造９２とを備えている。
【００８１】
以下、この導電構造９２について詳しく説明する。固定体８８の上面には、平面視で四角形状の収容部である凹溝９３が形成されており、この凹溝９３の上部には開口９３ａが形成されている。
また、固定体８８の上面の四隅の角部には、それぞれ上記固定側電極９０ａ〜３８ｄが配置されている。各固定側電極９０ａ〜９０ｄの矢符Ｚ方向の長さは、凹溝９３の深さと同一長さに設定されており、各固定側電極９０ａ〜９０ｄの内側の角部は、凹溝９３の内側へ向かって突出している。各固定側電極９０ａ〜９０ｄはそれぞれ接続端子９４ａ〜９４ｄを有し、これら４つの接続端子９４ａ〜９４ｄのうち、一つの接続端子９４ａは接地されており、その他の接続端子９４ａ〜９４ｄは電源（図示せず）に接続されて電圧が印加されるようになっている。
また、凹溝９３には、その開口９３ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体９５（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。このイオン性液体９５は、各固定側電極９０ａ〜９０ｄ間に配置される抵抗体としての役目を果たすようになっている。
【００８２】
回転体８９の下面に配置されている移動側電極９１は、外部回路（図示せず）に接続される出力用の電極として使用されている。移動側電極９１には、ピン形状の導電端子９６の上端が接続されている。導電端子９６は、その下部に回転板９６ｂを有し、この回転板９６ｂの下端部は、固定体８８側の凹溝９３の開口９３ａからイオン性液体９５に浸漬させてイオン性液体９５に接触させており、回転板９６ｂの鉛直方向（矢符Ｚ方向）の浸漬範囲（接触範囲）全体に導電性の導電部９６ａが形成されている。この導電部９６ａを介して固定側電極９０ａ〜９０ｄと移動側電極９１とが電気的に接続されている。本実施形態の導電構造９２は、導電端子９６とイオン性液体９５とにより構成されている。
【００８３】
なお、凹溝９３の開口９３ａの矢符ＸおよびＹ方向の長さは、導電端子９６の回転板９６ｂの全長（矢符Ｚ方向軸に対して径方向に延びる長さ）より若干長く形成されている。これにより、導電端子９６は、回転体８９の矢符Ｈ方向の回転を許容するように、イオン性液体９５に浸漬されている。また、導電端子９６は、イオン性液体９５に浸漬された状態で、凹溝９３の固定側電極９０ａ〜９０ｄ間において、回転体８９とともに矢符Ｈ方向に回転可能となっている。
【００８４】
したがって、固定体８８側の接続端子９４に電圧を印加した状態で、回転体８９を矢符Ｈ方向に回転させると、イオン性液体９５（抵抗体）に浸漬（接触）しながら回転する導電端子９６の導電部９６ａの物理的な回転位置に応じた抵抗値が得られ、この抵抗値から回転体８９の回転情報を検出することができる。
以上の構成により、第８の実施形態に係る回転情報検出装置８７によれば、導電端子９６の物理的な回転位置に応じた抵抗値を得ることができ、この抵抗値から回転体８９の回転情報を検出することができる。
【００８５】
なお、本実施の形態では、第１の部材を固定体８８、第２の部材を回転体８９として説明したが、第１の部材を移動体、第２の部材を固定体とし、移動体側に４個の移動側電極とイオン性液体を充填する凹溝を設け、固定体側に１個の固定側電極と導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は上記４個の移動側電極、第２の電極は上記１個の固定側電極となる。
また、本実施の形態では、１個の固定体８８に対して１個の回転体８９の回転情報を検出しているが、１個の固定体のイオン性液体に、複数の回転体の導電端子を浸漬させ、各回転体の回転情報を検出するようにしてもよい。
【００８６】
［第９の実施形態］
図１５は、本発明の第９の実施形態に係るストローク量検出装置の斜視図である。図１５において、本実施形態のストローク量検出装置９７は、第１の部材である円筒状の固定体９８内にて矢符Ｉ方向に直線的に往復動可能な第２の部材である往復動体９９のストローク量を検出するものである。ストローク量検出装置９７は、固定体９８側に配置された第１の電極である一対の固定側電極１００と、往復動体９９側に配置された第２の電極である１個の移動側電極１０１と、固定側電極１００と移動側電極１０１とを電気的に接続するための導電構造１０２とを備えている。
【００８７】
以下、この導電構造１０２について詳しく説明する。固定体９８には、往復動体９９の往復動方向（矢符Ｉ方向）に延びる収容部である凹溝１０３が形成されている。この凹溝１０３の上部には開口１０３ａが形成され、凹溝１０３の長手方向の両側には、それぞれ上記固定側電極１００が配置されている。一対の固定側電極１００のうち、一方は接地されており、他方は電源（図示せず）に接続されて電圧が印加されるようになっている。
また、凹溝１０３には、その開口１０３ａから導電性流体であるイミダゾリウム塩系のイオン性液体１０４（ＥＭＩｍＴＦＳＩ）が充填されている。このイオン性液体１０４は、一対の固定側電極１００に配置される抵抗体としての役目を果たすようになっている。
【００８８】
往復動体９９に配置されている移動側電極１０１は、外部回路（図示せず）に接続される出力用の電極として使用されている。移動側電極１０１には、ピン形状の導電端子１０５の上端部が接続されている。この導電端子１０５の下端部は、固定体９８側の凹溝１０３の開口１０３ａからイオン性液体１０４に浸漬させてイオン性液体１０４に接触させている。導電端子１０５には、その鉛直方向（凹溝の深さ方向）の浸漬範囲（接触範囲）全体に導電性の導電部１０５ａが形成されており、この導電部１０５ａによって固定側電極１００と移動側電極１０１とが電気的に接続されている。本実施形態の導電構造１０２は、導電端子１０５とイオン性液体１０４とにより構成されている。
【００８９】
なお、凹溝１０３の深さは、導電端子１０５がイオン性液体１０４の表面から凹溝１０３の深さ方向（矢符Ｉ方向）に移動する移動全長より長く形成されている。これにより、導電端子１０５は、往復動体９９の矢符Ｉ方向の移動を許容するように、イオン性液体１０４に浸漬されている。また、導電端子１０５は、イオン性液体１０４に浸漬された状態で、凹溝１０３の一対の固定側電極１００間において、往復動体９９とともに往復動可能となっている。
【００９０】
したがって、固定体９８側の固定側電極１００に電圧を印加した状態で、往復動体９９を矢符Ｉ方向に往復動させると、イオン性液体１０４（抵抗体）に浸漬（接触）しながら移動する導電端子１０５の導電部１０５ａの物理的な往復動位置に応じた抵抗値が得られ、この抵抗値から往復動体９９のストローク量を検出することができる。
以上の構成により、第９の実施形態に係るストローク量検出装置によれば、、導電端子１０５の物理的な往復動位置に応じた抵抗値を得ることができ、この抵抗値により往復動体９９のストローク量を検出することができる。
【００９１】
なお、本実施の形態では、第１の部材を固定体９８、第２の部材を往復動体９９として説明したが、第１の部材を復動体、第２の部材を固定体とし、復動体側に一対の移動側電極とイオン性液体を充填する凹溝を設け、固定体側に１個の固定側電極と導電端子を設け、この導電端子をイオン性液体に浸漬させるようにしてもよい。この場合、第１の電極は上記一対の移動側電極、第２の電極は上記１個の固定側電極となる。
【００９２】
本発明は、上記各実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記各実施形態では、導電性流体として、イオン性液体１２（２３，３３，４３，５６，７２，８５，９５，１０４）のＥＭＩｍＴＦＳＩを使用しているが、上述のように、高導電性および不揮発性であって、かつ所定の粘性を有するものであれば、他の導電性の液体を使用してもよい。
また、上記各実施形態では、イオン性液体１２（２３，３３，４３，５６，７２，８５，９５，１０４）が充填される収容部は、凹溝１１（２１，３１，４１，５５，６９，８３，９３，１０３）により形成されているが、その他の形状であってもよい。
また、上記各実施形態では、導電端子２４（３４）の絶縁層２４ｂ（３４ｂ）の表面に、イオン性液体２３（３３）を弾く撥液加工を施しているが、これに加えて、凹溝２１（３１）の開口２１ａ（３１ａ）の端縁に沿って、イオン性液体２３（３３）をはじく撥液加工を施すことも可能である。この場合、イオン性液体２３が凹溝２１（３１）から外部へ流出するのをさらに効果的に防止することができる。
【００９３】
さらに、上記各実施形態では、導電端子１０（２４，３４，４４，５９，７４，８６，９６，１０５）をイオン性液体１２（２３，３３，４３，５６，７２，８５，９５，１０４）に浸漬させて当該液体に接触させているが、導電性流体を高粘度のゲル状の液体とし、このゲル状液体の表面に導電端子（導電部）の先端面を接触させ、この状態で導電端子の先端面を上記表面を摺動させるようにしてもよい。この場合は、高粘度の導電性流体であっても、移動体の移動をほとんど拘束することはない。特に、導電性流体が導電端子の上方に配置される場合に、導電性流体の落下を防止することができるという点で有効である。その際、さらに、導電端子の先端面に導電性を有しかつゲル状液体を弾く撥液加工を加えれば、ゲル状液体の表面を円滑に摺動させることが可能となる。
【００９４】
また、上記各実施形態では、導電性流体として、導電性の液体１２（２３，３３，４３，５６，７２，８５，９５，１０４）を使用しているが、密封された導電性の気体に導電部材を挿入した状態で使用することも可能である。
また、上記各実施形態では、第２の電極９（１９，２９，３９，５３，６７，８１，９１，１０１）を、第２の部材７（１７，２７，３７，５１，６３，７７，８９，９９）上に配置されているものとして説明したが、上記第２の電極から電気的に接続されている全ての導電性部材（導電端子１０（２４，３４，４４，５９，７４，８６，９６，１０５）を除く）を、第２の電極としてもよい。
【符号の説明】
【００９５】
１    アクチュエータ
２    移動子（第１の部材）
２ａ  移動側電極（第１の電極）
７    基板（固定体，第２の部材）
８    導電構造
９    固定側電極（第２の電極）
１０    導電端子
１１    凹溝（収容部）
１１ａ  開口
１２    イオン性液体（導電性流体）
１３    ダミー電極
１４    ボンディングワイヤ
１５，２５，３５    可変抵抗器
１６，２６，３６    固定体（第１の部材）
１７，２７，３７    移動体（第２の部材）
１８，２８，３８    固定側電極（第１の電極）
１９，２９，３９    移動側電極（第２の電極）
２０，３０，４０    導電構造
２１，３１，４１    凹溝（収容部）
２１ａ，３１ａ，４１ａ  開口
２３，３３，４３    イオン性液体（導電性流体）
２４，３４，４４    導電端子
２４ａ，３４ａ，４４ａ  導電部
４５    回動式コネクタ
４７    回動部材
５０    固定体（第１の部材）
５１    回動体（第２の部材）
５２    固定側電極（第１の電極）
５３    移動側電極（第２の電極）
５４    導電構造
５６    イオン性液体（導電性流体）
５９    導電端子
６０    電動機
６１    ハウジング（第１の部材）
６３    回転軸（第２の部材）
６４    ロータ
６５    ステータ
６６    固定側電極（第１の電極）
６７    移動側電極（第２の電極）
６８    導電構造
７２    イオン性液体（導電性流体）
７４    導電端子
７５    コントローラ
７６    筐体（第１の部材）
７７    操作体（第２の部材）
８０    固定側電極（第１の電極）
８１    移動側電極（第２の電極）
８２    導電構造
８５    イオン性液体（導電性流体）
８６    導電端子
８７    回転情報検出装置
８８    固定体（第１の部材）
８９    回転体（第２の部材）
９０    固定側電極（第１の電極）
９１    移動側電極（第２の電極）
９２    導電構造
９５    イオン性液体（導電性流体）
９６    導電端子
９７    ストローク検出装置
９８    固定体（第１の部材）
９９    往復動体（第２の部材）
１００    固定側電極（第１の電極）
１０１    移動側電極（第２の電極）
１０２    導電構造
１０４    イオン性液体（導電性流体）
１０５    導電端子
γ    表面張力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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