(57)【要約】【課題】コストを抑えると共に微小流量の制御を高い精度で行うことができる微小流量液体ポンプ制御装置を提供する。【解決手段】電磁駆動式ポンプの駆動コイルの駆動周波数及び駆動パルス幅を制御することによって送液流量を変化させる微小流量液体ポンプ制御装置１であって、液相の圧力に基づいて駆動周波数及びパルス幅を制御する。このように、液相の圧力に基づいて電磁駆動式ポンプ２の駆動コイル６の駆動周波数及び駆動パルス幅を制御することによって、微小流量であっても高い精度で制御を行うことを可能とする。また、電磁駆動式ポンプ２を適用することによってコストを低減することを可能とする。【選択図】図１
2010209856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁駆動式ポンプの駆動コイルの駆動周波数及び駆動パルス幅を制御することによって送液流量を変化させる微小流量液体ポンプ制御装置であって、
液相の圧力に基づいて前記駆動周波数及び前記パルス幅を制御することを特徴とする微小流量液体ポンプ制御装置。
【請求項２】
前記送液流量が１ｇ／ｍｉｎ以下であることを特徴とする請求項１記載の微小流量液体ポンプ制御装置。
【請求項３】
前記圧力を圧力センサで取得することを特徴とする請求項１又は２記載の微小流量液体ポンプ制御装置。
【請求項４】
予測することによって前記圧力を取得することを特徴とする請求項１又は２記載の微小流量液体ポンプ制御装置。
【請求項５】
前記送液流量を前記圧力の範囲ごとに複数の区間に分割し、それぞれの前記区間において前記送液流量が前記圧力に従って直線的に変化すると仮定して制御を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の微小流量液体ポンプ制御装置。
【請求項６】
前記送液流量を前記駆動周波数、前記駆動パルス幅を変数として表した関数を用いて制御を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の微小流量液体ポンプ制御装置。
【請求項７】
前記送液流量を前記圧力を変数として表した関数を更に用いて制御を行うことを特徴とする請求項６記載の微小流量液体ポンプ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁駆動式ポンプの制御を行う微小流量液体ポンプ制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、省資源及び地球温暖化抑制の観点から世界的に化石燃料の使用を減らすことが求められており、そのひとつの解決策として燃料電池が開発されている。また、燃料電池の特色を生かすため、その普及は家庭設置型の小型のものが主流となっている。ここで、中大型の燃料電池システムに比べて発電量の小さな燃料電池システムにおいては、燃料や水の時間当たりの送液量が非常に小さくなっている。また、使用する部品の部品単体コストの全体システムのコストに及ぼす影響も小型燃料電池の場合には非常に大きく、高精度であっても高コストな部品はその普及過程においては使用することができず、安価で高精度な送液ポンプの開発が求められていた。そして、従来のポンプとしては、ダイヤフラム型やハイセラ型ポンプを燃料電池システムに適用したものが知られていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１８９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のようなダイヤフラム型やハイセラ型ポンプは送液量が比較的大きく、燃料電池システムに適用するポンプとして好適な微小流量（例えば１ｇ／ｍｉｎ以下）を制御した場合に十分な精度を得ることができないという問題があった。また、試験室的に微小流量を送液するためには化学分析機器などで使用されるダブルプランジャ型ポンプ（高速液体クロマトグラムなどで使用）が使用されているが、非常に高価であり燃料電池システムに適用した場合にコストが高くなってしまうという問題があった。更に、流量精度を向上させるために、ポンプの送液側に流量測定器を接続し、計測した送液流量に基づいて制御することが行われていたが、流量測定器では微小流量を測定することが困難であり、燃料電池システムに適用するための十分な精度が得られないという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、コストを抑えると共に微小流量の制御を高い精度で行うことができる微小流量液体ポンプ制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ここで、本発明の発明者らは、鋭意研究の結果、送液ポンプのコスト低減のためには電磁駆動式ポンプを用いることが最も有効であり、その圧力に応じた流量特性の変化の機構を解明することにより、電磁駆動式ポンプで微小流量の制御を行うには、流量測定器の測定結果に基づいて制御を行うよりもポンプの圧力に基づいて制御を行うことが好適であり、これによって精密な流量制御を行うことが可能となることを見出した。
【０００７】
そこで、本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置は、電磁駆動式ポンプの駆動コイルの駆動周波数及び駆動パルス幅を制御することによって送液流量を変化させる微小流量液体ポンプ制御装置であって、液相の圧力に基づいて駆動周波数及びパルス幅を制御することを特徴とする。
【０００８】
この微小流量液体ポンプ制御装置では、液相の圧力に基づいて電磁駆動式ポンプの駆動コイルの駆動周波数及び駆動パルス幅を制御することによって、微小流量であっても高い精度で制御を行うことができる。また、電磁駆動式ポンプを適用することによってコストを低減することもできる。以上によって、コストを抑えると共に微小流量の制御を高い精度で行うことができる。
【０００９】
また、本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置では、送液流量が１ｇ／ｍｉｎ以下を含むことが好ましく、このような微小な範囲の流量を制御した場合に、他のタイプのポンプよりも特に高い精度で流量制御をすることができる。
【００１０】
また、本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置では、圧力を圧力センサで取得することが好ましい。ポンプの圧力を圧力センサで直接検知することによって、正確な圧力を取得することができる。
【００１１】
また、本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置では、予測することによって圧力を取得すること可能である。例えば、使用環境と圧力との関係を予め測定してデータテーブルを作成しておくことにより、制御時における使用環境から圧力を予測することができる。これによって、新たに圧力センサを取り付けて部品点数を増やすことなく電磁駆動式ポンプを制御することができる。
【００１２】
ここで、本発明者らは、送液流量は圧力に従って非直線的に変化するものであるが、送液流量を圧力の範囲ごとに区切ることによって、各区分内では直線で近似できることを見出した。従って、本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置では、送液流量を圧力の範囲ごとに複数の区間に分割し、それぞれの区間において送液流量が圧力に従って直線的に変化すると仮定して制御を行うことが好ましい。これによって、制御時の演算処理の計算を容易にすることができる。
【００１３】
本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置では、送液流量を駆動周波数、駆動パルス幅を変数として表した関数を用いて制御を行うことが好ましい。駆動周波数、駆動パルス幅を変数として簡便な四則演算で表された送液流量の関数を用いることによって、制御時の演算処理の計算を容易にすることができる。
【００１４】
本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置では、送液流量を圧力を変数として表した関数を更に用いて制御を行うことが好ましい。送液流量を駆動周波数、駆動パルス幅を変数として表した関数は圧力が一定の場合に成り立つものであるが、圧力を変数とした関数を更に用いることによって、圧力が変動した場合でも、送液流量を駆動周波数、駆動パルス幅を変数として表した関数を用いて制御を行うことを可能とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、コストを抑えると共に微小流量の制御を高い精度で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る微小流量液体ポンプ制御装置を適用したポンプシステムの構成を示す図である。
【図２】圧力と送液流量との関係の近似について説明するための線図である。
【図３】本実施形態に係る微小流量液体ポンプ制御装置の制御処理を示すフローチャートである。
【図４】電磁駆動式ポンプの送液流量を測定するための評価装置の構成を示す図である。
【図５】実施例における測定結果を示す線図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明に係る微小流量液体ポンプ制御装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１８】
まず、本発明の実施形態に係る微小流量液体ポンプ制御装置１の構成を説明する。図１は、本発明の実施形態に係る微小流量液体ポンプ制御装置１を適用したポンプシステム１００の構成を示す図である。図１に示すように、ポンプシステム１００は、微小流量液体ポンプ制御装置１、電磁駆動式ポンプ２、圧力センサ３を備えて構成されている。このポンプシステム１００は、入力された目標流量にあわせて電磁駆動式ポンプ２を制御することによって液体を所望の流量だけ送液する機能を有している。このポンプシステム１００では、例えばガソリンなどの揮発性の高い液体では使用できないが、水を含む様々な液体に適用することができる。ここで、このポンプシステム１００が最も適しているのは、液体炭素水素燃料や合成燃料などの化石燃料を用いる燃料電池システムであり、炭素含有量８０質量％以上、９０質量％以下の炭化水素燃料を使用することが望ましい。
【００１９】
このポンプシステム１００の送液の密度が変化する場合、容積流量は制御することができるが、密度の変化により重量流量での制御は困難であり、１５℃における密度が０．７ｇ／ｃｍ３以上、０．９ｇ／ｃｍ３以下の炭化水素燃料を使用することが望ましい。更に、送液の動粘度はあらゆる種類のポンプの送液性能に影響を与えることが知られており、ポンプシステム１００では、電磁駆動式ポンプ２の特徴を踏まえ、送液の３０℃における動粘度が１．０ｍｍ２／ｓ以上、５．０ｍｍ２／ｓ以下の炭化水素系液体を使用することが望ましい。
【００２０】
燃料電池システムの燃料の送液では、ポンプ、配管部材からの硫黄分の溶出が問題になる場合があるが、本発明では電磁駆動式ポンプ２の接液部の材質を適切に選定することにより、送液中の全硫黄化合物基準で１０質量ｐｐｍ以下の硫黄化合物を有する炭化水素系液体を使用することが可能である。
【００２１】
また、ポンプシステム１００では、適用流量範囲の上限値は特に限定されないが、使用流量範囲の流量値基準で±５％以内の流量精度を考慮すると、単一のポンプでは１０ｇ／ｍｉｎ、より好ましくは５ｇ／ｍｉｎとすることが好ましい。そして、適用流量範囲として微小流量範囲である１ｇ／ｍｉｎ以下の範囲では、従来のポンプシステムに比して特に優れた精度で流量を制御することができる。この場合、適用流量範囲の下限値は、０．２ｇ／ｍｉｎ、より好ましくは０．３ｇ／ｍｉｎとすることが好ましい。
【００２２】
電磁駆動式ポンプ２は、周囲に駆動コイル６が取り付けられたケーシング７内にプランジャ８を往復動可能に配置することによって構成されている。ケーシング７には、液体をケーシング７内に取り込むための入口流路１１及び液体を圧力をかけて外部に供給するための出口流路１２が取り付けられている。電磁駆動式ポンプ２は、駆動コイル６に所定の駆動周波数及び駆動パルス幅の制御信号が入力されることによって、プランジャ８をケーシング７内で往復運動させることによって入口流路１１側から液体を取り込むと共に、圧力をかけて出口流路１２から液体を供給することができる。出口流路１２には圧力センサ３が取り付けられており、この圧力センサ３は、電磁駆動式ポンプ２から供給される液体の圧力を検知して、微小流量液体ポンプ制御装置１へ出力する。なお、電磁駆動式ポンプ２では、制御信号の駆動周波数が変化することによってプランジャ８の移動速度が変化し、駆動パルス幅が変化することによってプランジャ８の移動幅が変化する。すなわち、プランジャ８はケーシング７内をフルストロークで往復動するのみならず、制御信号の駆動パルス幅によってはストロークを短くすることができるので、フルストローク時に比して流量を少なくすることができる。従って、制御信号の駆動周波数及び駆動パルス幅によって、送液流量を制御することが可能となる。本実施形態では、使用する駆動周波数及び駆動パルス幅の範囲は特に限定されないが、駆動周波数５０Ｈｚ以下、駆動パルス幅５０ｍ・ｓｅｃ以内とすることが好ましい。その際、駆動パルス幅は、無通電時間よりも短くすることが好ましい。
【００２３】
微小流量液体ポンプ制御装置１は、外部装置からの信号や入力信号を受信することによって目標流量を設定する目標流量設定部２１と、設定された目標流量が得られるように駆動周波数及び駆動パルス幅を設定して電磁駆動式ポンプ２の駆動コイル６に制御信号を出力する制御部２２と、駆動周波数及び駆動パルス幅の設定のために予め取得しておいた各種データテーブルを格納する記憶部２３とを備えて構成されている。
【００２４】
制御部２２は、目標流量設定部２１で設定された目標流量と圧力センサ３で検知された圧力に基づいて、駆動周波数と駆動パルス幅を設定して制御信号を出力する機能を有している。このとき、制御部２２は、記憶部２３から適宜データテーブルを読み出し、各データテーブルと目標流量と取得した圧力を用いて駆動周波数及び駆動パルス幅を設定する。
【００２５】
また、制御部２２は、計算の負荷を低減するために使用駆動周波数の範囲において、送液流量が駆動周波数に従って直線的に変化すると仮定して制御を行う機能を有すると共に、使用駆動パルス幅の範囲で送液流量が駆動パルス幅に従って直線的に変化することを仮定して制御を行う機能を有している。
【００２６】
制御部２２は、圧力が一定の条件では、駆動周波数、駆動パルス幅を変数として表した関数を用いて制御を行う機能を有している。このように、駆動周波数、駆動パルス幅を変数として簡便な四則演算で表された送液流量の関数を用いることによって、制御時の演算処理の計算を容易にすることができる。例えば、駆動周波数と駆動パルス幅を変数として表された送液流量の関数の一例として式（１）に示すような式を用いることができる。なお、関数は式（１）に示すものに限らない。
【００２７】
[流量]＝係数１×[駆動周波数]×[駆動パルス幅]
＋係数２×[駆動周波数]＋係数３×[駆動パルス幅]＋係数４…式（１）
【００２８】
圧力が変化した場合には電磁駆動式ポンプ２の圧力特性により送液流量が変化することが知られている。これは一般的に圧力が高くなると送液流量が減少するという関係で現れてくる。ここで、本発明者らは、送液流量は圧力に従って非直線的に変化するものであるが、送液流量を圧力の範囲ごとに区切ることによって、各区分内では直線で近似できることを見出した。従って、同一の駆動周波数及び駆動パルス幅の組み合わせで制御を行う場合は、微小流量液体ポンプ制御装置では、送液流量を圧力の範囲ごとに複数の区間に分割し、それぞれの区間において送液流量が圧力に従って直線的に変化すると仮定して制御を行う機能を有している。これによって、制御時の演算処理の計算を容易にすることができる。例えば、図２に示すように、実際の流量が流量曲線Ｑで表される場合に、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との区間及び圧力Ｐ３と圧力Ｐ１との区間に分割し、それぞれの区間において流量が直線Ｌ１及び直線Ｌ２に従って変化すると仮定することができる。
【００２９】
制御部２２は、上述のような仮定を行うことによって、直線で表すことができる圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の区間においては、式（１）を用いることにより圧力Ｐ１での送液流量と圧力Ｐ２での送液流量を求めることによって、当該区間の所定の圧力ＰＡにおける送液流量を直線Ｌ１と近似して、例えば式（２）で表すことができる。
【００３０】
[流量]＝[圧力Ｐ１での流量]
＋｛（[圧力Ｐ２での流量]−[圧力Ｐ１での流量]）／（[圧力Ｐ２]−[圧力Ｐ１]）}
×（[圧力ＰＡ]−[圧力Ｐ１]）…式（２）
【００３１】
求める送液流量が圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の区間にない場合は新たな区間を設定することによって同様の方法で求めることができる。例えば、圧力Ｐ３と圧力Ｐ１の区間を設定して直線Ｌ２と近似して求めることができる。
【００３２】
次に、本発明の微小流量液体ポンプ制御装置１による制御処理について、図３を参照して詳細に説明する。図３は、本実施形態に係る微小流量液体ポンプ制御装置１の制御処理を示すフローチャートである。この処理は、電磁駆動式ポンプ２が運転している間、微小流量液体ポンプ制御装置１の制御部２２において所定のタイミングで実行される。なお、以下に示す制御処理は駆動周波数と駆動パルス幅を設定する方法の一例に過ぎず、他の方法で設定してもよい。
【００３３】
まず、制御処理について説明を行う前に、制御処理中に用いられるデータテーブルについて説明する。このデータテーブルは、予め評価装置による測定や演算を行うことによって作成され、記憶部２３に格納されて所望のタイミングで読み出される。なお、以下に示すデータテーブルは一例に過ぎず、他のデータテーブルを使用してもよい。
【００３４】
処理中の演算に用いられる式（１）の各係数を設定するためのデータテーブルの作成について説明する。まず、一般的な灯油を用いて、図４に示すように灯油が貯留された供給タンク３１と、供給タンク３１から灯油を送液する電磁駆動式ポンプ３２と、電磁駆動式ポンプ３２の出力流路３３に設けられた圧力センサ３４と、送液された灯油を貯留して電磁駆動式ポンプ３２の送液流量を測定する測定タンク３５とを備えて構成される評価装置３０を用いて、ポンプの圧力、駆動周波数、駆動パルス幅のそれぞれと送液流量との関係を測定する。例えば、測定条件として圧力０，１０，２０，５０ｋＰａの各圧力において、使用駆動周波数範囲、駆動パルス幅範囲に適切に分布するように、駆動周波数と駆動パルス幅を設定し、そのときの送液流量を測定する。代表例として、圧力２０ｋＰａにおける測定結果を表１に示す。
【００３５】
【表１】
2010209856.tif 000003
【００３６】
表１に代表される測定結果及び他の圧力における測定結果を用いて、式（１）における係数１、係数２、係数３、係数４を回帰分析によって求める。このとき、通常は回帰式の偏差が最小となるように求める手法が用いられるが、ここでは微小流量での精度を向上すべく、誤差（偏差の目標値に対する比率）を最小とするようにして算出する。このときの計算結果を表２に示す。この表２が制御処理において式（１）の係数を設定する際に用いるデータテーブルとなる。なお、測定する圧力を増やすことによってデータテーブルのデータ数を増加させてもよい。
【００３７】
【表２】
2010209856.tif 000004
【００３８】
処理中に駆動周波数を設定するためのデータテーブルの作成について説明する。このデータテーブルは、使用する送液流量の流量範囲及び圧力において、最適な駆動周波数を設定することによって作成される。最適な駆動周波数の設定には様々な方法が考えられるが、ここでは、電磁駆動式ポンプの駆動パルス幅の直線性が高い領域を使用できるように設定した。このような方法によって作成されたデータテーブルを表３に示す。なお、より細かく流量範囲を分けたデータテーブルを作成してもよい。
【００３９】
【表３】
2010209856.tif 000005
【００４０】
次に、図３の制御処理について説明する。図３に示すように、まず目標流量設定部２１から目標流量が入力される（ステップＳ１００）。次に、圧力センサ３４で測定された圧力が入力される（ステップＳ１１０）。目標流量及び圧力が入力された後、表３に示すデータテーブルを記憶部２３から読み出し、当該データテーブルに対して目標流量を照会すると共に測定した圧力を照会することによって、駆動周波数を設定する（ステップＳ１２０）。
【００４１】
次に、Ｓ１１０で入力された圧力において適用される式（１）の係数１〜４を設定する（ステップＳ１３０）。Ｓ１３０においては、表１に示すデータテーブルを記憶部２３から読み出し、測定した圧力が０〜１０，１０〜２０，２０〜５０ｋＰａのどの範囲に属するかを照会すると共に、０，１０，２０，５０ｋＰａのうち測定した圧力の前後の圧力に該当するものの係数１〜４の値をデータテーブルから取得すると共に、取得したデータを用いて線形補間によって、測定した圧力における係数１〜４を算出する。このように、係数１〜４を線形補間で直ちに求めることができるのは、送液流量を圧力の範囲ごとに複数の区間に分割し、それぞれの区間において送液流量が圧力に従って直線的に変化すると仮定し、式（２）のような関係が成り立つとしたためである。このように、制御部２２における計算の負荷を低減し、全体システムを制御する制御装置にポンプ制御を組み込むことを可能とする。
【００４２】
次に、式（１）を用いて駆動パルス幅の設定を行う（ステップＳ１４０）。Ｓ１４０においては、式（１）を式（３）に示すように変形し、その式（３）にＳ１００で入力された目標流量、Ｓ１２０で設定した駆動周波数及びＳ１３０で設定した係数１〜４を代入することによって、駆動パルス幅を算出する。
【００４３】
[駆動パルス幅]＝（[流量]−[駆動周波数]×係数２−係数４）
／（係数１×[駆動周波数]＋係数３）…式（３）
【００４４】
Ｓ１４０で駆動パルス幅を設定した後、設定した駆動周波数及び駆動パルス幅に従って電磁駆動式ポンプ２の駆動コイル６へ制御信号を出力する（ステップＳ１５０）。Ｓ１５０の処理が終了すると、図３に示す制御処理が終了し、再びＳ１００から処理が開始される。
【００４５】
以上によって、本発明の実施形態に係る微小流量液体ポンプ制御装置１によれば、液相の圧力に基づいて電磁駆動式ポンプ２の駆動コイル６の駆動周波数及び駆動パルス幅を制御することによって、微小流量であっても高い精度で制御を行うことができる。また、電磁駆動式ポンプ２を適用することによってコストを低減することもできる。以上によって、コストを抑えると共に微小流量の制御を高い精度で行うことができる。
【００４６】
ここで、図３に示した例に係る制御方法で電磁駆動式ポンプを制御した場合の実施例について説明する。本実施例では、表４に示す目標流量を得るための駆動周波数及び駆動パルス幅を図３に示した制御方法で設定し、電磁駆動式ポンプを駆動させて図４に示す評価装置３０で流量を測定した結果について説明する。なお、実際の運転では電磁駆動式ポンプの駆動中に圧力が変動するが、本測定では、圧力に基づいて設定した駆動周波数及び駆動パルス幅の適正を検証するために、圧力弁を調整して圧力を所定の値に保った状態で流量を測定した。表４では、「駆動周波数」と「駆動パルス幅」の欄にはそれぞれ「目標流量」と「圧力」の欄に示した値を入力値として計算した場合の設定値が記載されている。また、条件群１に係る測定は主に微小流量における流量制御の精度を検証するためになされており、条件群２に係る測定は条件群１に比して流量が大きく圧力の変動の幅が大きくなる流量範囲において、圧力が変動しても本発明の制御方法で精度よく流量制御ができることを検証するためになされている。条件群２では、各目標流量に対して想定される最低圧力と最高圧力のそれぞれについて測定している。なお、実施例においてはポンプごとの製造誤差などを考慮して４台の電磁駆動式ポンプについて同条件で測定を行い、各データをそれぞれ実施例１、実施例２、実施例３、実施例４とする。
【００４７】
【表４】
2010209856.tif 000006
【００４８】
表４の条件群１における測定結果を図５（ａ）に示し、条件群２における測定結果を図５（ｂ）に示す。図５においては、横軸を測定した測定流量とし、縦軸を各測定流量の目標流量に対する誤差としている。図５（ａ）に示すように、実施例１〜４の何れにおいても全ての流量について目標流量との誤差が±５％以内におさまっており、微小流量範囲においても精度の高い流量制御ができることが理解される。また、図５（ｂ）に示すように、所定の目標流量における最低圧力及び最高圧力を設定して測定した場合でも、全ての流量について目標流量に対する誤差が±７％以内におさまっていることから、圧力に変動があったとしても精度の高い流量制御ができることが理解される。従って、運転中の圧力変動が大きくなった場合であっても、圧力センサの計測値に従って新たに駆動周波数及び駆動パルス幅を設定することによって精度よく流量制御できることが理解される。
【００４９】
次に、比較例について説明する。一般的に燃料電池システムに用いられている流量測定器Ｂの保証精度及びその流量測定器Ｂよりも更に精度のよい流量測定器Ａの保証精度を表５に示す。
【００５０】
【表５】
2010209856.tif 000007
【００５１】
表５に示すように、精度の高い流量測定器Ａであっても低流量時の精度は±１０％ＲＤ（測定値の±１０％）しか保証されておらず、特に１ｇ／ｍｉｎ以下の微小流量については測定保障外とされている。更に、流量測定器Ａについて、測定保証外とされている流量範囲における精度を検証し、その結果を表６に示す。
【００５２】
【表６】
2010209856.tif 000008
【００５３】
表６から分かるように、０．５ｇ／ｍｉｎの低流量時では誤差が大幅に大きくなってしまうことが理解される。従って、このように誤差が大きくなってしまう流量測定器の測定結果を用いて微小流量範囲において流量制御を精度よく行うことができないことは明らかである。
【００５４】
本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。
【００５５】
本実施形態においては、圧力センサで液相の圧力を取得していたが、これに代えて、予測することによって圧力を取得してもよい。具体的には、予め温度などの使用環境と圧力との関係を測定してデータテーブルを作成しておき、電磁駆動式ポンプの運転時においては、使用環境をデータテーブルに照会させることによって圧力を予測し、その圧力値を入力してもよい。これによって、新たに圧力センサを取り付けて部品点数を増やすことなく電磁駆動式ポンプを制御することができる。なお、圧力センサによる取得と予測による取得の両方を行ってもよく、例えば、使用環境が安定している状態では予測のみを行い、使用環境が急激に変化して予測が難しくなる状況では圧力センサに切り替えてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１…微小流量液体ポンプ制御装置、２…電磁駆動式ポンプ、３…圧力センサ、６…駆動コイル。
【図１】
2010209856.tif 000009
【図２】
2010209856.tif 000010
【図３】
2010209856.tif 000011
【図４】
2010209856.tif 000012
【図５】
2010209856.tif 000013