(57)【要約】【課題】中抜き部の端部での応力集中に起因する圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供する。【解決手段】圧電素子３００に対向する領域には、被覆膜１００及び第２の電極８０の一部が除去された中抜き部１０１が設けられており、中抜き部１０１を画成する被覆膜１００の端面の流路形成基板１０に対する傾斜角度θ１と中抜き部１０１を画成する第２の電極８０の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしている構成とする。【選択図】図３
2010208237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板の上部に形成される第１の電極と、該第１の電極の上部に形成される圧電体層と、該圧電体層の上部に形成される第２の電極とで構成される圧電素子と、前記圧電素子を覆って設けられる被覆膜と、を具備すると共に、前記圧電素子に対向する領域には、前記被覆膜及び前記第２の電極の一部が除去された中抜き部が設けられており、
前記中抜き部を画成する前記被覆膜の端面の前記流路形成基板に対する傾斜角度θ１と前記中抜き部を画成する前記第２の電極の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記中抜き部を構成する前記被覆膜又は前記第２の電極の端面の傾斜角度が前記中抜き部の深さ方向で変化する場合には、
前記傾斜角度θ１が前記被覆膜の端面の上端と下端とを結ぶ直線の前記流路形成基板に対する傾斜角度であり、前記傾斜角度θ２が前記第２の電極の端面の上端と下端とを結ぶ直線の前記流路形成基板に対する傾斜角度であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記中抜き部を構成する前記被覆膜の端面及び前記第２の電極の端面の少なくとも一方が曲面で構成されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記中抜き部を構成する前記被覆膜の端面及び前記第２の電極の端面の少なくとも一方が、傾斜角度の異なる複数の傾斜面で構成されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
基板の上部に形成される第１の電極と、該第１の電極の上部に形成される圧電体層と、該圧電体層の上部に形成される第２の電極とで構成される圧電素子と、前記圧電素子を覆って設けられる被覆膜と、を具備すると共に、前記圧電素子に対向する領域には、前記被覆膜及び前記第２の電極の一部が除去された中抜き部が設けられており、
前記中抜き部を画成する前記被覆膜の端面の前記流路形成基板に対する傾斜角度θ１と前記中抜き部を画成する前記第２の電極の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしていることを特徴とするアクチュエーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の変位によりノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドは、例えば、圧力発生室の一部を構成する振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧することで、圧力発生室に連通するノズルからインクを噴射させている。また、このようなインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードのアクチュエーターを使用したものと、たわみ振動モードのアクチュエーターを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
たわみ振動モードのアクチュエーターを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィー法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものがある。
【０００４】
このような薄膜からなる圧電素子は、高密度に配設することができると共に高速駆動が可能となるといった利点があるが、例えば、湿気等の外部環境に起因して破壊され易いという問題がある。このような問題を解決するために、圧電素子を覆って被覆膜を設けるようにしたものがある。しかしながら、被覆膜によって圧電素子が拘束されてしまい圧電素子の変位量が低下するという問題がある。
【０００５】
このような問題に対し、圧電素子を構成する上電極の主要部に対応する領域に被覆膜（保護膜）が存在しない中抜き部を設けるようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。このような中抜き部を設けることにより、被覆膜によって圧電素子の外部環境に起因する破壊を防止しつつ圧電素子の変位量の低下も抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２１６４２９号公報（例えば、図３参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１にも記載されているように、中抜き部は、被覆膜（保護膜）をエッチングすることによって形成されるのが一般的である。このように被覆膜をエッチングによって中抜き部を形成すると、例えば、中抜き部の周縁部等に被覆膜が薄く残ってしまい、その部分から被覆膜が剥離してしまうといった問題が生じる虞がある。
【０００８】
このような問題に対しては、中抜き部を形成する際に、被覆膜と共に上電極の一部を除去することが考えられる。これにより中抜き部の被覆膜を完全に除去することができる。しかしながら、圧電素子の幅方向（短手方向）における中抜き部の端部（被覆膜及び上電極の端面部分）に応力集中が生じ、この部分を起点として圧電素子にクラックが生じてしまう虞がある。
【０００９】
なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、インク以外の液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。また液体噴射ヘッドだけでなく、圧電素子を具備するアクチュエーターにおいても、このような問題は同様に存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、中抜き部の端部での応力集中に起因する圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明は、ノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板の上部に形成される第１の電極と、該第１の電極の上部に形成される圧電体層と、該圧電体層の上部に形成される第２の電極とで構成される圧電素子と、前記圧電素子を覆って設けられる被覆膜と、を具備すると共に、前記圧電素子に対向する領域には、前記被覆膜及び前記第２の電極の一部が除去された中抜き部が設けられており、前記中抜き部を画成する前記被覆膜の端面の前記流路形成基板に対する傾斜角度θ１と前記中抜き部を画成する前記第２の電極の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、中抜き部の端部への応力集中が抑えられるため、この部分を起点として圧電素子にクラックが生じるのを抑えることができる。特に、圧電素子の幅方向（短手方向）の中抜き部の端部においては、クラックの発生が顕著に抑えられる。
【００１２】
ここで、前記中抜き部を構成する前記被覆膜又は前記第２の電極の端面の傾斜角度が前記中抜き部の深さ方向で変化する場合には、前記傾斜角度θ１が前記被覆膜の端面の上端と下端とを結ぶ直線の前記流路形成基板に対する傾斜角度であり、前記傾斜角度θ２が前記第２の電極の端面の上端と下端とを結ぶ直線の前記流路形成基板に対する傾斜角度である。
【００１３】
そして、前記中抜き部を構成する前記被覆膜又は前記第２の電極の端面の傾斜角度が前記中抜き部の深さ方向で変化する場合とは、例えば、前記中抜き部を構成する前記被覆膜の端面及び前記第２の電極の端面の少なくとも一方が曲面で構成されている場合や、前記中抜き部を構成する前記被覆膜の端面及び前記第２の電極の端面の少なくとも一方が、傾斜角度の異なる複数の傾斜面で構成されている場合である。
【００１４】
また本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、耐久性や信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【００１５】
さらに本発明は、基板の上部に形成される第１の電極と、該第１の電極の上部に形成される圧電体層と、該圧電体層の上部に形成される第２の電極とで構成される圧電素子と、前記圧電素子を覆って設けられる被覆膜と、を具備すると共に、前記圧電素子に対向する領域には、前記被覆膜及び前記第２の電極の一部が除去された中抜き部が設けられており、前記中抜き部を画成する前記被覆膜の端面の前記流路形成基板に対する傾斜角度θ１と前記中抜き部を画成する前記第２の電極の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしていることを特徴とするアクチュエーターにある。
かかる本発明では、中抜き部の端部への応力集中が抑えられるため、この部分を起点として圧電素子にクラックが生じるのを抑えることができる。特に、圧電素子の幅方向（短手方向）の中抜き部の端部においては、クラックの発生が顕著に抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】一実施形態に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】一実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】一実施形態に係る圧電素子の構成を示す平面図である。
【図４】一実施形態に係る圧電素子の構成を示す断面図である。
【図５】一実施形態に係る中抜き部の端部構造を示す拡大断面図である。
【図６】一実施形態に係る中抜き部の端部構造の変形例を示す拡大断面図である。
【図７】一実施形態に係る中抜き部の端部構造の変形例を示す拡大断面図である。
【図８】一実施形態に係る中抜き部の端部構造の変形例を示す拡大断面図である。
【図９】一実施形態に係る中抜き部の端部構造の変形例を示す拡大断面図である。
【図１０】一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図２はその断面図である。また図３は圧電素子の構成を示す平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′断面図である。
【００１８】
インクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位が（１１０）であるシリコン単結晶基板からなり、図示するように、その一方面には酸化膜からなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画されると共に一方側の面が弾性膜５０で構成される複数の圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。
【００１９】
流路形成基板１０には、圧力発生室１２の長手方向一端部側に、隔壁１１によって区画され各圧力発生室１２に連通するインク供給路１３と連通路１４とが設けられている。連通路１４の外側には、各連通路１４と連通する連通部１５が設けられている。インク供給路１３は、例えば、圧力発生室１２及び連通路１４よりも狭い幅で形成され、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たす。連通部１５は、後述する保護基板３０のリザーバー部３２と連通して、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１１０の一部を構成する。
【００２０】
流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１３とは反対側の端部近傍に連通するノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。
【００２１】
一方、流路形成基板１０の表面に形成された弾性膜５０上には、弾性膜５０とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体膜５５が形成されている。そして、絶縁体膜５５の上部に圧電素子３００が形成されている。圧電素子３００は、第１の電極である下電極膜６０と、下電極膜６０上に形成された圧電体層７０と、第２の電極である上電極膜８０とで構成されている。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極を圧電体層７０と共に圧力発生室１２毎にパターニングして個別電極とする。本実施形態では、下電極膜６０を共通電極とし、上電極膜８０を個別電極としている。また圧電素子３００として機能する範囲であれば、下電極膜６０と圧電体層７０との間や、圧電体層７０と上電極膜８０との間に他の層が設けられていてもよい。
【００２２】
そしてここでは、圧電素子３００と圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーターと称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５が振動板として作用する。勿論、振動板の構成は特に限定されず、弾性膜５０及び絶縁体膜５５以外の膜を含んでいてもよく、例えば、圧電素子３００を構成する下電極膜６０が振動板として機能するようにしてもよい。さらには、圧電素子３００自体が振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２３】
このような圧電素子３００上には、耐湿性を有する材料からなる被覆膜１００が設けられ、圧電素子３００の大部分はこの被覆膜１００によって覆われている。具体的には、上電極膜８０上に被覆膜１００が存在しない中抜き部１０１が設けられており、圧電素子３００はこの中抜き部１０１を除く部分が被覆膜１００によって覆われている。この中抜き部１０１は、圧力発生室１２に対向する領域内の上電極膜８０に対向する領域、つまり圧電素子３００に電圧を印加した際に実際に変位が生じる部分に、上電極膜８０を露出するように設けられている。
【００２４】
被覆膜１００によって圧電素子３００の大部分が覆われていることで、大気中の水分等に起因する圧電素子３００の破壊を抑制することができる。また上電極膜８０上に被覆膜１００が存在しない中抜き部１０１が設けられていることで、被覆膜１００による圧電素子３００の変位量の低下が抑えられ、インク滴の噴射特性を良好に維持することができる。
【００２５】
なお、被覆膜１００の材料としては、耐湿性を有する材料であればよいが、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯＸ）、酸化タンタル（ＴａＯＸ）、酸化アルミニウム（ＡｌＯＸ）等の無機絶縁材料が挙げられるが、特に、無機アモルファス材料である酸化アルミニウム（ＡｌＯＸ）、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を用いるのが好ましい。被覆膜１００の材料として酸化アルミニウムを用いた場合、被覆膜１００の膜厚を１００ｎｍ程度と比較的薄くしても、高湿度環境下での水分透過を十分に抑えることができる。なお無機絶縁材料は、ポリイミドなどの有機絶縁材料に比べてヤング率が高い。したがって、圧電素子３００を変形させた際、無機絶縁材料からなる被覆膜１００は、有機絶縁材料からなるものに比べて変形し難い。このため、圧電素子３００の被覆膜１００で覆われている領域と覆われていない領域とで受ける応力の差は、有機絶縁材料からなる被覆膜で覆われている場合の応力の差よりも著しく大きくなる。
【００２６】
ここで、中抜き部１０１は、被覆膜１００を、例えば、エッチング（例えば、イオンミリング）することによって形成されるが、その際、被覆膜１００だけでなく上電極膜８０の深さ方向の一部まで除去することによって形成されている。すなわち、中抜き部１０１は、被覆膜１００を貫通すると共に上電極膜８０の厚さ方向の一部に達する深さで形成されている。
【００２７】
そして、この中抜き部１０１を構成する被覆膜１００及び上電極膜８０の端面は、図５に示すように、流路形成基板１０の表面に対して傾斜する傾斜面となっており、被覆膜１００の端面の流路形成基板１０に対する傾斜角度θ１と、上電極膜８０の端面の傾斜角度θ２とが、θ２＜θ１の関係を満たしている。なお図５中において傾斜角度θ１は、上電極膜８０と被覆膜１００との境界面を基準とし、傾斜角度θ２は上電極膜８０の表面（中抜き部１０１の底面）を基準としているが、これらの面は何れも流路形成基板１０と平行な面である。
【００２８】
傾斜角度θ１，θ２がこのような関係を満たすように中抜き部１０１が形成されていることで、中抜き部１０１の端部に応力が集中して被覆膜１００や圧電素子３００にクラックが発生するのを抑えることができる。被覆膜１００や圧電素子３００のクラックは、特に、圧電素子３００の幅方向（短手方向）における中抜き部１０１の端部を起点として発生し易い。このため、少なくとも圧電素子３００の幅方向における中抜き部１０１の端部で、傾斜角度θ１，θ２の関係が満たされていればよく、圧電素子３００の長手方向における中抜き部１０１の端部では、傾斜角度θ１，θ２は必ずしも上記の関係を満たしていなくてもよい。なお圧電素子３００の幅方向と長手方向との関係を示したが、圧電素子３００の平面形状は矩形形状に限定されない。圧電素子３００の形状は、幅方向と長手方向とを概念できるものであればよく、その具体的な形状は特に限定されず、例えば、楕円形状であるものであってもよい。
【００２９】
また、例えば、エッチングによって中抜き部１０１を形成すると、中抜き部１０１を構成する被覆膜１００の端面や上電極膜８０の端面の傾斜角度が、中抜き部１０１の深さ方向で変化することがある。具体的には、例えば、図６に示すように、中抜き部１０１を構成する被覆膜の端面や上電極膜８０の端面が曲面で構成されることがある。
【００３０】
このような場合には、傾斜角度θ１を被覆膜１００の端面の上端１００ａと下端１００ｂとを結ぶ直線の流路形成基板１０に対する傾斜角度とし、傾斜角度θ２を上電極膜８０の端面の上端８０ａ（１００ｂ）と下端８０ｂとを結ぶ直線の流路形成基板１０に対する傾斜角度とする。そして、これら傾斜角度θ１，θ２が、θ２＜θ１の関係を満たすようにする。これにより、上述のように被覆膜１００や圧電素子３００にクラックが発生するのを抑えることができる。特に、無機絶縁材料からなる被覆膜１００が設けられた構成において有効である。被覆膜１００が無機絶縁材料で形成されていると、上述のように圧電素子３００の被覆膜１００で覆われている領域と覆われていない領域とで受ける応力の差が比較的大きくなるため、圧電素子３００等にクラックが生じ易いが、傾斜角度θ１，θ２が、θ２＜θ１の関係を満たすようにすることで、このようなクラックの発生を効果的に抑制することができる。
【００３１】
また、例えば、中抜き部１０１をエッチングで形成した場合には、図７に示すように、エッチングの終点付近の上電極膜８０の端面の曲率が、上電極膜８０の端面の他の部分と比べて極めて大きくなることがある。このような場合には、傾斜角度θ２を上電極膜８０の端面の上端と下端とを結ぶ直線の流路形成基板１０に対する傾斜角度とすると、必要以上に傾斜角度θ２が小さくなってしまう虞がある。このような場合には、傾斜角度θ２を、上電極膜８０の端面の上端８０ａと上電極膜８０のエッチング量がおよそ７０％である位置８０ｃとを結ぶ直線の流路形成基板１０に対する傾斜角度としてもよい。
【００３２】
また、このように中抜き部１０１を構成する被覆膜１００の端面や上電極膜８０の端面が曲面で構成される場合以外にも、中抜き部１０１を構成する被覆膜１００の端面や上電極膜８０の端面の傾斜角度が、中抜き部１０１の深さ方向で変化することがある。例えば、図８に示すように、中抜き部１０１を構成する被覆膜１００の端面が傾斜角度の異なる複数の傾斜面で構成される場合がある。このような構成の場合にも、傾斜角度θ１を複数の傾斜面で構成される被覆膜１００の端面の上端１００ａと下端１００ｂとを結ぶ直線の流路形成基板１０に対する傾斜角度とする。
【００３３】
このように被覆膜１００の端面が複数の傾斜面で構成されている場合でも、傾斜角度θ１，θ２が、θ２＜θ１の関係を満たしていることで、上述したように被覆膜１００や圧電素子３００にクラックが発生するのを抑えることができる。さらに被覆膜１００の端面が、複数の傾斜面で構成されていることで、中抜き部１０１の端部における被覆膜１００の剥離も抑制することができる。
【００３４】
また、このように被覆膜１００の端面が傾斜角度の異なる複数の傾斜面で構成されている場合、傾斜角度の異なる傾斜面同士の境界は、被覆膜１００と上電極膜８０との境界近傍ではなく、被覆膜１００の膜厚の中腹に設けられていることが好ましい。さらに傾斜面と中抜き部１０１の底面との境界も、被覆膜１００と上電極膜８０との境界近傍ではなく、上電極膜８０の膜厚の中腹に設けられていることが好ましい。例えば、傾斜面同士の境界を被覆膜１００と上電極膜８０の境界近傍に設けてしまうと、被覆膜１００と上電極膜８０の境界に応力が掛かり、そこを基点とする被覆膜１００の剥離を招く虞がある。しかしながら、上記構成とすることで、このような被覆膜１００の剥離の発生をより効果的に抑制することができる。
【００３５】
また、例えば、図９に示すように、中抜き部１０１を構成する上電極膜８０の端面が傾斜角度の異なる複数の傾斜面で構成されることがある。このような構成の場合にも、傾斜角度θ２を、複数の傾斜面で構成される上電極膜８０の端面の上端８０ａと下端８０ｂとを結ぶ直線の流路形成基板１０の傾斜角度とする。そして、これら傾斜角度θ２と傾斜角度θ１とが、θ２＜θ１の関係を満たすようにする。
【００３６】
このように上電極膜８０の端面が複数の傾斜面で構成されている場合でも、傾斜角度θ１，θ２が、θ２＜θ１の関係を満たしていることで、上述したように被覆膜１００や圧電素子３００にクラックが発生するのを抑えることができる。さらに上電極膜８０の端面が、複数の傾斜面で構成されていることで、中抜き部１０１の端部における被覆膜１００の剥離も抑制することができる。
【００３７】
したがって、本発明では圧電素子３００の耐久性を向上してユーザーの信頼性を向上したインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。
【００３８】
なお、このような被覆膜１００上には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が形成されており、このリード電極９０は被覆膜１００に形成されたコンタクトホール１０２で上電極膜８０と接続されている。このコンタクトホール１０２は、例えば、中抜き部１０１をエッチングによって形成する際に形成されるため、中抜き部１０１と同様に、上電極膜８０に達する深さで形成されている。
【００３９】
流路形成基板１０上には、圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。圧電素子保持部３１は、内部への大気の侵入を抑制できるように構成されているが、必ずしも密封されている必要はない。そして圧電素子３００は、このような圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。
【００４０】
また、保護基板３０には、連通部１５に対向する領域にリザーバー部３２が設けられており、このリザーバー部３２は、上述したように、流路形成基板１０の連通部１５と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１１０を構成している。また、保護基板３０の圧電素子保持部３１とリザーバー部３２との間の領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられ、この貫通孔３３内に下電極膜６０の一部及びリード電極９０の先端部が露出されている。
【００４１】
また保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってリザーバー部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のリザーバー１１０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバー１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００４２】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバー１１０からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加して撓み変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル２１からインク滴が噴射される。
【００４３】
また上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。
【００４４】
図１０に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００４５】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、このような実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を挙げて本発明を説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００４６】
また、本発明は、このような液体噴射ヘッド（インクジェット式記録ヘッド）に搭載されるアクチュエーターだけでなく、あらゆる装置に搭載されるアクチュエーターに適用することができる。本発明のアクチュエーターは、上述したヘッドの他に、例えば、センサー等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  １００  被覆膜、  １０１  中抜き部、  １０２  コンタクトホール、  ３００  圧電素子
【図１】
2010208237.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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