(57)【要約】【課題】共振周波数を高低いずれの方向にも調整することが可能な静電型アクチュエータを得る。【解決手段】ユーザは、三軸マニピュレータを操作して、切除したい可動部側電極１２３まで切除棒を移動させる。そして、切除棒の先端で、腕部１２２と調整用可動部側電極１２３ａとの接続部を押圧すると、接続部で調整用可動部側電極１２３ａが折れる。これにより、可動部１２０の質量が軽くなり、可動部１２０の共振周波数が高くなる。切除棒の先端で調整用梁１３２と開口部１３１との接続部を押圧すると、接続部で調整用梁１３２が折れる。これにより、支持部１３０の剛性が下がり、可動部１２０の共振周波数が低くなる。【選択図】図１
2010081758.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、
前記固定部に対して揺動自在に接続される可動部と、
前記可動部から前記固定部に向けて伸びる複数の可動部側電極と、
前記可動部側電極との間に静電力を生じさせうるように、前記固定部から前記可動部に向けて伸びる複数の固定部側電極とを備え、
前記可動部側電極のうちの一部を除去することにより、前記可動部の共振周波数を変更可能な静電型アクチュエータ。
【請求項２】
前記可動部を前記固定部に対して揺動可能に支持する支持部をさらに備え、
前記可動部は、ミラー部と、前記ミラー部から前記可動部の揺動軸に沿って伸びて前記ミラー部と前記支持部とを接続する腕部とを備え、
前記可動部側電極は、前記揺動軸に対して直角に前記腕部から前記固定部に向けて突出し、
前記固定部側電極は、前記可動部側電極と平行に前記固定部から前記腕部に向けて突出する請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項３】
除去される前記可動部側電極は、除去されない前記可動部側電極よりも前記支持部に近接する請求項２に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項４】
除去される前記可動部側電極が伸びる長さは、除去されない前記可動部側電極が伸びる長さよりも長い請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項５】
除去される前記可動部側電極の厚みは、除去されない前記可動部側電極よりも厚い請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項６】
複数の除去される前記可動部側電極は、前記可動部の揺動軸に対して対称な位置に設けられる請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項７】
固定部と、
可動部と、
前記可動部が前記固定部に対し揺動軸周りに揺動可能となるように支持する支持部と、
前記支持部は、前記支持部の剛性を変化させる支持調整部とを備え、
前記支持調整部を前記支持部から除去することにより前記支持部の剛性を変化させ、前記可動部の共振周波数を変更可能である静電型アクチュエータ。
【請求項８】
前記支持部は、前記揺動軸に対して直角方向に貫通する開口部を備え、
前記支持調整部は、前記揺動軸に対し直角方向に伸びて前記開口部の側面を接続する柱状部材である請求項７に記載の静電型アクチュエータ。
【請求項９】
前記支持部は、前記固定部から前記可動部に向けて一定の間隔を置いて棒状体が曲折する形状を成し、前記支持調整部は隣接する前記棒状体どうしを接続する柱状部材である請求項７に記載の静電型アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１に記載の静電型アクチュエータの共振周波数を調査する第１のステップと、
前記共振周波数が所望の共振周波数となるように、除去すべき前記可動部側電極を決定する第２のステップと、
前記可動部側電極のうちの一部を除去する第３のステップとを備える静電型アクチュエータの共振周波数調整方法。
【請求項１１】
前記第３のステップにおいて、前記可動部側電極と略同じ幅を有する棒状の切除棒で前記可動部側電極と前記可動部との接続部を押圧することにより、前記可動部側電極を除去する請求項１０に記載の静電型アクチュエータの共振周波数調整方法。
【請求項１２】
請求項７に記載の静電型アクチュエータの共振周波数を調査する第１のステップと、
前記静電型アクチュエータの共振周波数が所望の共振周波数となるように、除去すべき前記支持調整部を決定する第２のステップと、
前記支持調整部のうちの一部を除去する第３のステップとを備える静電型アクチュエータの共振周波数調整方法。
【請求項１３】
前記第３のステップにおいて、前記支持調整部と略同じ幅を有する棒状の切除棒で前記支持調整部と前記開口部との接続部を押圧することにより、前記支持調整部を除去する請求項１２に記載の静電型アクチュエータの共振周波数調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧を印加することにより揺動される静電型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電型アクチュエータは、可動部と固定部とを備え、可動部と固定部とが各々有する電極の間に静電力を生じさせて、可動部を固定部に対して揺動させる。この静電力は、静電型アクチュエータ制御装置がいずれかの電極に交流電圧を印加することにより生じる。静電型アクチュエータを効率よく駆動するため、交流電圧の周波数は静電型アクチュエータの共振周波数と略一致するように設定される。
【０００３】
一方、完成品としての静電型アクチュエータの共振周波数は、製造工程における加工精度に起因する寸法誤差により、設計した共振周波数との間に誤差を生じることがある。この誤差により可動部の振れ角度が小さくなる。これを防止するため、ミラー部において回転軸に対して対称となる位置に樹脂を付着させて共振周波数を調整する構成が知られている。
【特許文献１】特開２００６−３２０９６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、完全に対称となる位置に樹脂を付着させることは困難である。また、質量を付加することは可能であるが、質量を減少させることはできないため、共振周波数を上昇させることができない。さらに、ミラー部に樹脂を付着させることによりミラー部の質量が増加するため、電圧の印加に対するミラー部の応答性が低下する。
【０００５】
本発明は、共振周波数を高低いずれの方向にも調整することが可能な静電型アクチュエータを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願第１の発明による静電型アクチュエータは、固定部と、固定部に対して揺動自在に接続される可動部と、可動部から固定部に向けて伸びる複数の可動部側電極と、可動部側電極との間に静電力を生じさせうるように、固定部から可動部に向けて伸びる複数の固定部側電極とを備え、可動部側電極のうちの一部を除去することにより、可動部の共振周波数を変更可能であることを特徴とする。
【０００７】
可動部を固定部に対して揺動可能に支持する支持部をさらに備え、可動部は、ミラー部と、ミラー部から可動部の揺動軸に沿って伸びてミラー部と支持部とを接続する腕部とを備え、可動部側電極は、揺動軸に対して直角に腕部から固定部に向けて突出し、固定部側電極は、可動部側電極と平行に固定部から腕部に向けて突出することが好ましい。
【０００８】
除去される可動部側電極は、除去されない可動部側電極よりも支持部に近接することが好ましい。
【０００９】
除去される可動部側電極が伸びる長さは、除去されない可動部側電極が伸びる長さよりも長いことが好ましい。
【００１０】
除去される可動部側電極の厚さは、除去されない可動部側電極よりも厚いことが好ましい。
【００１１】
複数の除去される可動部側電極は、可動部の揺動軸に対して対称な位置に設けられることが好ましい。
【００１２】
本願第２の発明による静電型アクチュエータは、固定部と、可動部と、可動部が固定部に対し揺動軸周りに揺動可能となるように支持する支持部と、支持部は、支持部の剛性を変化させる支持調整部とを備え、支持調整部を支持部から除去することにより支持部の剛性を変化させ、可動部の共振周波数を変更可能であることを特徴とする。
【００１３】
支持部は、揺動軸に対して直角方向に貫通する開口部を備え、支持調整部は、揺動軸に対し直角方向に伸びて開口部の側面を接続する柱状部材であることが好ましい。
【００１４】
支持部は、固定部から可動部に向けて一定の間隔を置いて棒状体が曲折する形状を成し、支持調整部は隣接する棒状体どうしを接続する柱状部材であることが好ましい。
【００１５】
本願第３の発明による静電型アクチュエータの共振周波数調整方法は、前記静電型アクチュエータの共振周波数を調査する第１のステップと、共振周波数が所望の共振周波数となるように、除去すべき可動部側電極を決定する第２のステップと、可動部側電極のうちの一部を除去する第３のステップとを備えることを特徴とする。
【００１６】
第３のステップにおいて、可動部側電極と略同じ幅を有する棒状の切除棒で可動部側電極と可動部との接続部を押圧することにより、可動部側電極を除去しても良い。
【００１７】
第３のステップにおいて、支持調整部と略同じ幅を有する棒状の切除棒で支持調整部と開口部との接続部を押圧することにより、支持調整部を除去しても良い。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように本発明によれば、共振周波数を高低いずれの方向にも調整することが可能な静電型アクチュエータを得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図１から３を用いて本発明による第１の実施形態について説明する。
【００２０】
第１の静電型アクチュエータ１００は、周囲の部材に固定される固定部１１０と、固定部１１０に対して揺動する可動部１２０と、固定部１１０と可動部１２０とを接続する支持部１３０とを有する。
【００２１】
可動部１２０は、円盤形状を有するミラー部１２１と、ミラー部１２１の径方向に伸びる腕部１２２と、腕部１２２の延伸方向に対して直角に腕部１２２から伸びる可動部側電極１２３とを有する。ミラー部１２１の重心を通り、かつミラー部１２１の直径と平行な直線を支持軸Ｌとする。なお、ミラー部１２１は円盤形状に限らず、矩形状としてもよい。
【００２２】
ミラー部１２１は、片方の円形面が鏡面１２４を形成する。鏡面１２４に入射した光は鏡面１２４により反射される。可動部１２０が固定部１１０に対して揺動すると、固定部１１０に対する鏡面１２４の傾斜角度が変化する。これにより、鏡面１２４に入射した光の反射方向が変えられる。光を所定の方向へ安定的に反射させるため、可動部１２０の揺動角度、すなわち振れ角度は一定の許容範囲内に収まっていなければならない。
【００２３】
腕部１２２は、ミラー部１２１の径方向に伸びる平板状の直方体から成り、２つ設けられる。２つの腕部１２２は、支持軸Ｌ上に設けられ、ミラー部１２１の中心軸に対して互いに点対称となる。腕部１２２の厚さ、すなわちミラー部１２１の軸と平行な方向における長さはミラー部１２１の厚さよりも薄い。腕部１２２の正面はミラー部１２１の鏡面１２４と連続し、裏面はミラー部１２１の鏡面１２４の裏面１２５と連続する。腕部１２２の正面と裏面は、腕部１２２が伸びる方向に伸びる２つの側面１２６と、腕部１２２の先端となる先端面とにより接続される。
【００２４】
可動部側電極１２３は、腕部１２２の側面１２６から直角に伸びる複数の平板状の直方体から成る。板の長手方向長さは数μｍから１０μｍ程度である。可動部側電極１２３は、腕部１２２が伸びる方向に等間隔で並べられて、腕部１２２の２つの側面から固定部１１０に向けて突出する。可動部側電極１２３の先端は、固定部１１０と接触しない。２つの側面のうち一方から突出する可動部側電極１２３は、鏡面１２４側に近接する位置に設けられ、他方から突出する可動部側電極１２３は、鏡面１２４の裏面１２５側に近接する位置に設けられる。１つの側面１２６から突出する可動部側電極１２３のうち、支持部１３０に近接する４本が調整用可動部側電極１２３ａを形成する。つまり、全ての可動部側電極１２３のうち１６本が調整用可動部側電極１２３ａを形成する。
【００２５】
固定部１１０は、可動部１２０を取り囲むように設けられる。
【００２６】
支持部１３０は、棒状の直方体から成り、支持軸Ｌ上に２つ設けられる。２つの支持部１３０が固定部１１０から突出し、腕部１２２の先端面と接続される。支持部１３０は、捻れ方向に弾性を有する。支持部１３０における固定部１１０寄りの位置に開口部１３１が設けられる。開口部１３１は、支持部１３０が伸びる方向に長手方向を有する矩形を成す。支持部１３０が伸びる方向に対し直角に開口部１３１に渡される５本の調整用梁１３２が設けられる。調整用梁１３２が支持調整部を成す。調整用梁１３２の幅は数μｍから１０μｍ程度である。
【００２７】
固定部１１０における腕部１２２の側面１２６に対向する位置から固定部側電極１１１が突出する。固定部側電極１１１は、可動部側電極１２３と平行に伸びる複数の板状の直方体から成る。板の長手方向長さは数μｍから１０μｍ程度である。固定部側電極１１１は、腕部１２２が伸びる方向に等間隔で並べられ、可動部側電極１２３に挟まれるように、可動部側電極１２３の間にまで突出する。固定部側電極１１１と可動部側電極１２３との間隔は略均等であり、固定部側電極１１１は、可動部１２０及び可動部側電極１２３と接触しない。鏡面１２４側に近接する可動部側電極１２３の間に設けられる固定部側電極１１１は、鏡面１２４の裏面１２５側に近接する位置に設けられ、鏡面１２４の裏面１５５側に近接する可動部側電極１２３の間に設けられる固定部側電極１１１は、鏡面１２４側に近接する位置に設けられる。可動部側電極１２３と固定部側電極１１１の突出長さは同じである。
【００２８】
支持軸Ｌ方向から可動部側電極１２３と固定部側電極１１１とを見ると、可動部側電極１２３の一部と固定部側電極１１１の一部とが互いに重畳する。別言すると、支持軸Ｌ方向に垂直な投影面において、可動部側電極１２３の一部と固定部側電極１１１の一部とが互いに重畳している。
【００２９】
可動部側電極１２３には、腕部１２２及び支持部１３０を介して可動部電極用回路（図示しない）が接続される。可動部電極用回路は接地され、可動部側電極１２３の電位をグランドレベルに保持する。
【００３０】
固定部１１０には固定部側電極１１１に電荷を与えるための固定部側電極用回路（図示しない）が形成される。固定部側電極用回路には図示しない駆動電源が接続され、固定部側電極１１１と可動部側電極１２３との間に電位差を与える。
【００３１】
次に、第１の静電型アクチュエータ１００の動作について説明する。
【００３２】
固定部側電極用回路を介して、図示しない駆動電源が固定部側電極１１１に電位を与えると、可動部側電極１２３と固定部側電極１１１との間に電位差が生じる。このとき、可動部側電極１２３と固定部側電極１１１との間には、静電力により互いに引き合う引力、すなわち静電引力が生じる。
【００３３】
すると、この静電引力により支持部１３０が捻れて、可動部側電極１２３が固定部側電極１１１と重なりあう方向に移動する。これにより可動部１２０が支持部１３０周りに揺動、つまり回転する。可動部１２０が回転すると、鏡面１２４の角度が変化し、鏡面１２４による反射光の射出方向が変化する。
【００３４】
上述したように、支持部１３０の軸に対し垂直な投影面上では、可動部側電極１２３の一部と固定部側電極１１１の一部とが常時重なった状態になっている。すなわち、支持部１３０の軸と平行な方向において、可動部側電極１２３と固定部側電極１１１とが対向している。この構成によれば、より小さい電位差を両電極間に与えるだけで、可動部１２０を起動することが出来るとともに、与える電位差に対する可動部１２０の回転量の特性をほぼ線形にすることができる。
【００３５】
次に、第１の静電型アクチュエータ１００の共振周波数の調整手段について、図３を用いて説明する。
【００３６】
まず、共振周波数を高くする調整手段について説明する。
【００３７】
一般に、物体の質量が軽くなると物体の共振周波数が高くなる。そこで、可動部側電極１２３の一部を切除して可動部１２０の質量を軽くする。
【００３８】
可動部側電極１２３を切除するため、まず、可動部側電極１２３の幅と同程度、すなわち数μｍから１０μｍ程度の幅を有する棒を作成する。この棒を切除棒１５１と呼ぶ。この切除棒１５１を三軸マニピュレータ１５０に保持させる。ユーザは、三軸マニピュレータ１５０を操作して、切除したい可動部側電極１２３まで切除棒１５１を移動させる。例えば、切除したい可動部側電極１２３は、最も固定部１１０に近接する調整用可動部側電極１２３ａである。そして、切除棒１５１の先端で、調整用可動部側電極１２３ａの付け根、つまり腕部１２２と調整用可動部側電極１２３ａとの接続部を押圧する。すると、調整用可動部側電極１２３ａと腕部１２２との接続部に応力が集中し、接続部で調整用可動部側電極１２３ａが折れる。これにより、調整用可動部側電極１２３ａが可動部１２０から切除される。そして、静電型アクチュエータ１００を駆動して共振周波数を測定しながら、所望の共振周波数（設計値）となるように、ミラー部１２１の中心軸Ｍに対して対称な位置にある調整用可動部側電極１２３ａを切除する。この作業を繰り返して、可動部１２０の質量バランスを均衡に保ちながら、可動部１２０を安定的に振動させることができる。
【００３９】
次に、共振周波数を低くする調整手段について説明する。
【００４０】
可動部１２０を支持する支持部１３０の剛性を低くすると、容易に可動部１２０が振動可能となり、可動部１２０の共振周波数が低くなる。そこで、支持部１３０の一部を切除して支持部１３０の剛性を低下させる。支持部１３０の剛性を低下させるために、開口部１３１に設けられた調整用梁１３２を切除する。
【００４１】
調整用梁１３２を切除する手段は、可動部側電極１２３を切除する手段と同様である。調整用梁１３２の幅と同程度の数μｍから１０μｍ程度の幅を有する切除棒１５１を作成し、切除棒１５１の先端で調整用梁１３２と開口部１３１との接続部を押圧する。すると、調整用梁１３２と開口部１３１との接続部に応力が集中し、接続部で調整用梁１３２が折れる。これにより、調整用梁１３２が支持部１３０から切除される。そして、静電型アクチュエータ１００を駆動して共振周波数を測定しながら、所望の共振周波数(設計値)となるように、ミラー部１２１の中心軸Ｍに対して対称な位置にある調整用梁１３２を切除する。この作業を繰り返して、支持部１３０の質量バランスを均衡に保ちながら、支持部１３０を安定的に振動させることができる。
【００４２】
本実施形態によれば、形成した第１の静電型アクチュエータ１００の共振周波数が設計値と異なる場合であっても、可動部側電極１２３又は調整用梁１３２を切除することにより、設計値と共振周波数とを略一致させることができる。また、ミラー部に直接接続されていない調整用可動部側電極１２３ａ（可動部側電極１２３）及び調整用梁１３２を切除するため、鏡面１２４の精度に影響を与えることなく第１の静電型アクチュエータ１００の共振周波数を調整することができる。
【００４３】
なお、調整用梁１３２は５本に限定されない。
【００４４】
次に、第２の実施形態による第２の静電型アクチュエータ２００について図４を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については、同じ番号を付して説明を省略する。
【００４５】
可動部側電極２２３は、腕部１２２の側面から直角に伸びる複数の板状の直方体から成る。棒の幅は数μｍから１０μｍ程度である。可動部側電極２２３は、腕部１２２が伸びる方向に等間隔で並べられて、腕部１２２の２つの側面１２６から固定部１１０に向けて突出する。調整用可動部側電極２２３ａの長手方向長さは、調整用可動部側電極２２３ａに含まれない可動部側電極２２３の長手方向長さの約１．３倍である。調整用可動部側電極２２３ａの質量は、調整用可動部側電極２２３ａに含まれない可動部側電極２２３よりも大きい。
【００４６】
腕部１２２の先端付近の側面と固定部１１０との間隔は、腕部１２２のミラー部付近の側面と固定部１１０との間隔よりも長い。言い換えると、調整用可動部側電極２２３ａ付近の腕部１２２と固定部１１０との間隔は、腕部１２２のミラー部付近の側面と固定部１１０との間隔よりも長い。固定部において調整用可動部側電極２２３ａと対向する面から５本の調整用固定部側電極２１１ａが突出する。調整用固定部側電極２１１ａの間に調整用可動部側電極２２３が突出する。調整用固定部側電極２１１ａの長さは、調整用固定部側電極２１１ａに含まれない固定部側電極２１１の長さの約１．３倍であり、可動部側電極２２３と固定部側電極２１１の突出長さは同じである。
【００４７】
第２の静電型アクチュエータ２００の動作及び第２の静電型アクチュエータ２００の共振周波数の調整手段は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００４８】
本実施形態によれば、調整用可動部側電極２２３ａの質量が第１の実施形態による調整用可動部側電極１２３ａよりも大きいため、切除する調整用可動部側電極２２３ａの数を減らすことができる。
【００４９】
次に、第３の実施形態による第３の静電型アクチュエータ３００について図５を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については、同じ番号を付して説明を省略する。
【００５０】
可動部側電極３２３は、腕部１２２の側面から直角に伸びる複数の板状の直方体から成る。可動部側電極３２３は、腕部１２２が伸びる方向に並べられて、腕部１２２の２つの側面１２６から固定部１１０に向けて突出する。調整用可動部側電極３２３ａの厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）は、調整用可動部側電極３２３ａに含まれない可動部側電極３２３の厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）の約２倍である。調整用可動部側電極３２３ａの質量は、調整用可動部側電極３２３ａに含まれない可動部側電極３２３よりも大きい。
【００５１】
固定部３１０における腕部１２２の側面に対向する位置から固定部側電極３１１が突出する。固定部３１０において調整用可動部側電極３２３ａと対向する面から調整用可動部側電極３２３ａの間に、４本の調整用固定部側電極３１１ａが突出する。調整用固定部側電極３１１ａの幅は、調整用固定部側電極３１１ａに含まれない固定部側電極３１１の厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）の約２倍であり、調整用可動部側電極３２３ａの厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）と略同じである。また、可動部側電極３２３と固定部側電極１１１の突出長さは同じである。調整用固定部側電極３１１ａの質量は、調整用固定部側電極３１１ａに含まれない固定部側電極３１１よりも大きい。
【００５２】
第３の静電型アクチュエータ３００の動作及び第３の静電型アクチュエータ３００の共振周波数の調整手段は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００５３】
本実施形態によれば、調整用可動部側電極３２３ａを形成する可動部側電極３２３の質量が第１の実施形態による調整用可動部側電極３２３ａよりも大きいため、切除する可動部側電極３２３の数を減らすことができる。
【００５４】
次に、第４の実施形態による第４の静電型アクチュエータ４００について図６を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については、同じ番号を付して説明を省略する。
【００５５】
可動部側電極４２３は、腕部１２２の側面から直角に伸びる複数の板状の直方体から成る。可動部側電極４２３、腕部１２２が伸びる方向に並べられて、腕部１２２の２つの側面１２６から固定部１１０に向けて突出する。調整用可動部側電極４２３ａは４本の可動部側電極４２３から成る。調整用可動部側電極４２３ａのうち、ミラー部寄りの２本の調整用可動部側電極４２３ａの幅（腕部１２２が伸びる方向における長さ）は、調整用可動部側電極４２３ａに含まれない可動部側電極４２３の厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）と略同じであり、支持部寄りの２本の調整用可動部側電極４２３ａの厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）は、調整用可動部側電極４２３ａに含まれない可動部側電極４２３の厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）の約２倍である。
【００５６】
固定部３１０における腕部１２２の側面に対向する位置から固定部側電極３１１が突出する。固定部において調整用可動部側電極４２３ａと対向する面から５本の調整用固定部側電極４１１ａが突出する。５本の調整用固定部側電極４１１ａの間に４本の調整用可動部側電極４２３ａが突出する。
【００５７】
調整用固定部側電極４１１ａのうち、ミラー部寄りの３本の調整用固定部側電極４１１ａの幅（腕部１２２が伸びる方向における長さ）は、調整用固定部側電極４１１ａに含まれない固定部側電極４１１の厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）と略同じであり、支持部寄りの２本の調整用固定部側電極４１１ａの厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）は、調整用固定部側電極４１１ａに含まれない可動部側電極４２３の厚み（腕部１２２が伸びる方向における長さ）の約２倍である。つまり、厚みのある調整用固定部側電極４１１ａの間に、厚みのある調整用可動部側電極４２３ａが突出し、厚みが薄い調整用固定部側電極４１１ａの間に、厚みが薄い調整用可動部側電極４２３ａが突出する。
【００５８】
第４の静電型アクチュエータ４００の動作及び第４の静電型アクチュエータ４００の共振周波数の調整手段は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００５９】
本実施形態によれば、複数の調整用可動部側電極４２３ａが様々な質量を有するため、可動部４２０の質量を精密に調整することができる。
【００６０】
次に、第５の実施形態による第５の静電型アクチュエータ５００について図７を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については、同じ番号を付して説明を省略する。
【００６１】
支持部５３０が伸びる方向に対し平行に開口部５３１に渡される３本の調整用梁５３２が設けられる。開口部は支持部１３０が伸びる方向に長手方向を有するため、調整用梁５３２の長さは第１の実施形態による調整用梁１３２よりも長い。調整用梁５３２の幅は数μｍから１０μｍ程度である。
【００６２】
第５の静電型アクチュエータ５００の動作及び第５の静電型アクチュエータの共振周波数の調整手段は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００６３】
本実施形態によれば、調整用梁５３２の質量が第１の実施形態による調整用梁１３２よりも大きいため、切除する調整用梁５３２の数を減らすことができる。
【００６４】
次に、第６の実施形態による第６の静電型アクチュエータ６００について図８を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については、同じ番号を付して説明を省略する。
【００６５】
支持部６３０は、直方体の柱状部材６３１を幅方向に幾重にもつづら折れ状態に折り畳んで平板状にした形状であり、いわゆる雷紋状を成す。この形状により支持部６３０は捻り方向に弾性を有する。そして、略平行に近接する柱状部材６３１どうしが複数の調整用梁６３２により接続される。調整用梁６３２は支持部６３０の剛性を上げる役目を果たす。可動部１２０は、支持部６３０により固定部１１０に対して揺動可能に支持される。
【００６６】
第６の静電型アクチュエータ６００の動作は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００６７】
次に、第６の静電型アクチュエータ６００の共振周波数の調整手段について説明する。
【００６８】
第６の静電型アクチュエータ６００の共振周波数を高くする調整手段は第１の実施形態と同様であるため説明を省略し、第６の静電型アクチュエータ６００の共振周波数を低くする調整手段について説明する。
【００６９】
支持部６３０の剛性を低下させるため、柱状部材６３１を接続する調整用梁６３２を切除する。調整用梁６３２を切除する手段は、第１の実施形態と同様である。調整用梁６３２の幅と同程度の数μｍから１０μｍ程度の幅を有する切除棒１５１を作成し、切除棒１５１の先端で調整用梁６３２と柱状部材６３１との接続部を押圧する。すると、調整用梁６３２と柱状部材６３１との接続部に応力が集中し、接続部で調整用梁６３２が折れる。これにより、調整用梁６３２が柱状部材６３１から切除される。これを反復して支持部６３０の剛性を調節し、可動部１２０の共振周波数を所望の値に変更する。
【００７０】
本実施形態によれば、調整用梁６３２を多く設けることができるため、支持部６３０の剛性の調整範囲を広くすることができ、これにより可動部１２０の共振周波数の調整範囲を広く取ることができる。
【００７１】
なお、いずれの実施形態においても、ミラー部１２１は円盤形状に限らず、矩形状としてもよい。
【００７２】
また、調整用可動部側電極は４本に限定されず、固定部側に設けられなくても良い。
【００７３】
開口部１３１は固定部１１０寄りの位置に設けられなくてもよく、可動部側に設けられても良い。
【００７４】
可動部側電極、固定部側電極、及び調整用梁の幅は数μｍから１０μｍに限定されない。
【００７５】
切除する可動部側電極又は調整用梁は、ミラー部の中心軸に対して対称な位置にあるものでなくても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】第１の実施形態による第１の静電型アクチュエータを示した正面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線における第１の静電型アクチュエータの断面図である。
【図３】第１の静電型アクチュエータ共振周波数を調整する手段を示した概念図である。
【図４】第２の実施形態による第２の静電型アクチュエータを示した正面図である。
【図５】第３の実施形態による第３の静電型アクチュエータを示した正面図である。
【図６】第４の実施形態による第４の静電型アクチュエータを示した正面図である。
【図７】第５の実施形態による第５の静電型アクチュエータを示した正面図である。
【図８】第６の実施形態による第６の静電型アクチュエータを示した正面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１００  静電型アクチュエータ
１１０  固定部
１１１  固定部側電極
１２０  可動部
１２１  ミラー部
１２２  腕部
１２３  可動部側電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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