(57)【要約】【課題】  小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得る。【解決手段】  ベースプレート３３と、フレキシャ３９が設けられるロードビーム３５と、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子１３が少なくとも電気絶縁層５１を介して固設された取付部３３と、を備え、圧電素子１３の変形に従ってロードビーム３３の先端側をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、電気絶縁層５１は、電気絶縁性を有する高分子化合物を蒸着重合することで取付部３３に形成されている。【選択図】  図５
2010073281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が少なくとも電気絶縁層を介して固設された取付部と、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、
前記電気絶縁層は、
電気絶縁性を有する高分子化合物を蒸着重合することで前記取付部に形成されている、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項２】
請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
前記電気絶縁層は、
前記取付部のうち、少なくとも前記圧電素子と対面する部分を覆うように形成されている、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のヘッドサスペンションであって、
前記電気絶縁性を有する高分子化合物は、ポリイミド樹脂である、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
前記取付部は、前記ベースプレートに形成した開口部であり、当該開口部に前記圧電素子を嵌め込み式に固設してある、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が少なくとも電気絶縁層を介して取付部に固設されたヘッドサスペンションに係り、特に、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきており、かかる情勢から、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の分野では、かかるマイクロアクチュエータの要請が高い。
【０００３】
一方で、磁気ディスク装置は市場の拡大と装置の高性能化に伴い、記録装置の大容量化は益々重要となってきている。一般に磁気ディスク装置の大容量化は、ディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。しかし、ディスクの直径を変えずに高記録密度化を実現するには、単位長さあたりのトラック数 (TPI : Track Per inch) を大きくする、つまり、トラックの幅を狭くすることが必要となる。そのため、トラックにおける幅方向のヘッドの位置決め精度を向上することが必要となり、かかる観点からも、微細領域で高精度の位置決めを実現可能なアクチュエータが望まれる。
【０００４】
こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレートと、ベースプレートよりも薄いヒンジ部を備えた連結プレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、一対の圧電素子と、などを備えたディスク装置用サスペンション（例えば、特許文献１参照）を提案している。
【０００５】
上述の特許文献１に係る技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれ、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加え、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電素子を採用している。デュアル・アクチュエータ方式の圧電素子は、サスペンションの先端側あるいはスライダのみを、サスペンションにおける幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微少駆動する。デュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、ヘッド位置決めを高精度に行うことができる。
【０００６】
ところで、デュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションでは、サスペンション本体に対して圧電素子を、いかなる手段をもって実装するか、が問題となる。
【０００７】
こうした問題を解決するためのアプローチのひとつとして、本願出願人は、フレキシャが取付けられるロードビームと、ベースプレートを含むアクチュエータベースと、一対の圧電素子と、などを備え、アクチュエータベースに設けられた取付部に、電気絶縁性を有する接着剤を介して一対の圧電素子を実装するように構成したディスク装置用サスペンションを提案している（例えば、特許文献２の段落番号００２４〜００２６、及び図５中の接着剤層８０参照）。同特許文献２では、接着剤層は、電気絶縁性のマトリックス樹脂として機能する接着剤と、この接着剤に混入された電気絶縁材料からなる粒状のフィラーと、を有している。この粒状のフィラーが、圧電素子と取付部との間に介在するように位置することによって、電気絶縁性を高水準で確保するようにしている。
【０００８】
しかしながら、特許文献２に係る接着剤を介しての圧電素子の実装では、接着剤中における粒状フィラーの分散具合によっては、圧電素子と取付部との間に粒状フィラーが存在しないか、若しくは、少量しか存在しないといった事態が起こり得る。そうした事態の発生を可及的に除くためには、圧電素子と取付部との間に設計上の余裕分を含んだ比較的広い間隔を確保しなければならない。その結果、取付部の寸法が必然的に大きくならざるを得ず、ひいてはサスペンションの小型化要請に応えることが難しくなるといった問題を生じる。
【特許文献１】特開２００２−０５０１４０号公報
【特許文献２】特開２００２−１８４１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、従来技術では、サスペンションの小型化要請に応えることが難しくなるといった問題を生じる点である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得ることを目的として、ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が少なくとも電気絶縁層を介して固設された取付部と、を備え、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、前記電気絶縁層は、電気絶縁性を有する高分子化合物を蒸着重合することで前記取付部に形成されている、ことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るヘッドサスペンションでは、圧電素子と取付部との間に介在する電気絶縁層は、電気絶縁性を有する高分子化合物を蒸着重合することで前記取付部に形成されている。こうした蒸着重合によって取付部に形成された電気絶縁層では、設計上の電気絶縁特性を安定的に維持しながら、取付部の形状にかかわらず電気絶縁層の厚みを均一にすることができる。このため、圧電素子と取付部との間に、設計上の余裕分を含んだ比較的広い間隔の確保を要しない。従って、取付部の寸法を、圧電素子の寸法等を考慮しつつ可及的に小さく設計することが可能となる結果として、設計の自由度を確保するとともに、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得ることができる。
【００１２】
仮に、蒸着重合による取付部への電気絶縁層の形成に代えて、重合反応〜反応溶液塗布といった既存のプロセスを経て取付部に電気絶縁層を形成した場合、凸形状の部分では引けによって同層の厚みが薄くなる一方、凹形状の部分では液だまりによって同層の厚みが厚くなるなど、取付部の形状に依存して電気絶縁層の厚みにバラツキを生じる。特に、凹形状の取付部における隅部に傾斜面を有する液だまりが生じると、同液だまり部分が物理的な立体障害となって、圧電素子の本来の位置への配設に支障を来しかねない。すなわち、上述したような電気絶縁層の厚みのバラツキが、サスペンションの小型化要請に対応する上でのボトルネックとなっていたのである。これに対し、蒸着重合により取付部に電気絶縁層を形成する本発明では、設計上の電気絶縁特性を安定して維持しながら、取付部の形状にかかわらず電気絶縁層の厚みを均一にすることができる。すなわち、電気絶縁層の厚みにバラツキを生じることがなくなるから、電気絶縁層の一部が物理的な立体障害となる事態も生じなくなる。従って、取付部の寸法を、圧電素子の寸法等を考慮しつつ可及的に小さく設計することが可能となる結果として、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得ることができる、といった本発明特有の効果を奏する。また、重合反応〜反応溶液塗布といった既存のプロセスを経て取付部に電気絶縁層を形成した場合と比べて、絶縁不要部分に係るマスキング処理の手間が容易になるといった副次的な効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得るといった目的を、圧電素子と取付部との間に介在する電気絶縁層を、電気絶縁性を有する高分子化合物を蒸着重合することで前記取付部に形成することによって実現した。
【実施例】
【００１４】
以下、本発明実施例に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１５】
初めに、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。
【００１６】
［本発明実施例に係るヘッドサスペンション］
図１は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。
【００１７】
図１に示すように、本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子１３と、圧電素子１３の取付部としての機能を兼ねたベースプレート３３と、ロードビーム３５と、ヒンジ部材としての機能を兼ねた連結プレート３７と、などを備えている。このヘッドサスペンション３１は、ベースプレート３３に形成した開口部４３を有し、同開口部４３に圧電素子１３を嵌め込み式に装着することで、圧電素子１３の変形に従ってロードビーム３５の先端側をスウェイ方向に変位させる機能を獲得する如く構成されている。
【００１８】
ベースプレート３３は、板厚が例えば１５０〜２００μｍ程度の金属板（例えばステンレス鋼）から構成されている。ベースプレート３３は、Ｕ字状に湾曲した左右一対の可撓部４１ａ，４１ｂと、圧電素子１３を収容可能な開口部４３と、略円形のボス孔４５を有している。一対の可撓部４１ａ，４１ｂは、圧電素子１３の側面に対応したそれぞれの位置において、外側に凸となるように湾曲している。ベースプレート３３は、不図示のボイスコイルモータによって駆動されるアクチュエータアームの先端部に固定され、ボイスコイルモータによって旋回駆動されるようになっている。なお、ベースプレート３３の素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。かかる軽量素材を採用すれば、ベースプレート３３の慣性質量（イナーシャ）を小さくすることを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション３１のトレース能力向上に寄与することができる。なお、ベースプレート３３に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成に代えて、ベースプレート３３に対してその後端側が重ね合わされた状態でレーザ溶接等の適宜の固着手段によって固着されるアクチュエータプレート３４に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成を採用してもよい。すなわち、本発明は、ベースプレート３３とアクチュエータプレート３４を共に備えているヘッドサスペンションと、ベースプレート３３を備えているがアクチュエータプレート３４は備えていないヘッドサスペンションと、の両者を、その技術的範囲の射程に捉えている。ただし、以下では、説明の簡略化を企図して、「アクチュエータプレート３４」は、「ベースプレート３３」と一体であるものとして説明を進めることにする。
【００１９】
ロードビーム３５にはフレキシャ３９が設けられている。フレキシャ３９は、ロードビーム３５よりもさらに薄く精密な金属製の薄板ばねからなる。フレキシャ３９における先端側には、磁気ヘッドを構成するスライダ（不図示）が設けられている。ロードビーム３５は、フレキシャ３９におけるスライダに負荷荷重を与えるもので、例えば３０〜１５０μｍ程度の板厚のステンレス鋼で形成されている。ロードビーム３５には、その両側部に一対の曲げ縁３６ａ，３６ｂが形成されており、これにより、ロードビーム３５の剛性を高めるようにしている。ロードビーム３５における後端側には、連結プレート３７が一体に設けられている。なお、ロードビーム３５の素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。かかる軽量素材を採用すれば、ロードビーム３５の慣性質量（イナーシャ）を小さくすることを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション３１のトレース能力向上に寄与することができる。
【００２０】
連結プレート３７は、板厚が例えば３０μｍ程度のばね性を有する金属板から構成されている。連結プレート３７の一部には、厚み方向の曲げ剛性を下げるための孔４７が形成され、この孔４７の両側部に、厚み方向に撓むことのできる左右一対のヒンジ部４９ａ，４９ｂが形成されている。連結プレート３７における後端側は、ベースプレート３３における先端側に、その裏面側から重ね合わされて、レーザ溶接等の適宜の固着手段によって相互に固着されている。
【００２１】
本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の説明の途中であるが、ここで説明の便宜上、本発明実施例に係るヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの構成及びその作用効果について説明する。
【００２２】
［圧電アクチュエータ］
図２は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの外観斜視図、図３は、本圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。
【００２３】
図２及び図３に示すように、圧電アクチュエータ１１は、電圧の印加状態に応じて変形する、略矩形形状の圧電素子１３を有し、圧電素子１３の変形に従って被駆動部材（本発明実施例ではロードビーム３５）を駆動するように構成されている。ここで、「電圧の印加状態に応じて変形する」とは、電圧の印加又は開放に応じて変形する概念と、電圧の印加レベルに応じて変形する概念と、の両者を包含する概念である。
【００２４】
圧電素子１３は、共通の平面内において相互に所定距離離隔して配置される一対の第１及び第２電極板１５，１７と、一対の第１及び第２電極板１５，１７に対向して設けられる一つの共有電極板１９と、一対の第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９との間に設けられる圧電材料部２１と、を備えて構成されている。なお、第１及び第２電極板１５，１７、並びに共有電極板１９では、例えば金（Ａｕ）等の接触抵抗が低い金属材料を好適に用いることができる。また、一対の第１及び第２電極板１５，１７は、相互に略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。さらに、共有電極板１９は、一対の第１及び第２電極板１５，１７を統合したものと略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。
【００２５】
圧電材料部２１は、第１電極板１５への電圧の印加状態に応じて変形する第１圧電材料部２１ａと、第２電極板１７への電圧の印加状態に応じて変形する第２圧電材料部２１ｂとを、相互に異なる分極方向となるように配置して構成されている。具体的には、これら第１及び第２圧電材料部２１ａ，２１ｂは、例えば圧電セラミックスを素材として用いて、相互に１８０°異なる分極方向となるように配置されている。
【００２６】
次に、圧電アクチュエータ１１の動作について、圧電素子１３におけるＸ（図２参照）を固定側ベース部とする一方、Ｙ（図２参照）を駆動側ベース部とし、さらに、一対の第１及び第２電極板１５，１７を電気的に接地する一方、共有電極板１９に所要の電圧を印加した場合を想定して説明する。この場合、圧電素子１３は、図２に示すように、第１電極板１５における一方の端面２３が収縮する一方、第２電極板１７における他方の端面２５が伸長することで、全体として略台形形状に歪む。すると、圧電素子１３は、Ｚ方向（図２参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材の位置を変位させることができる。なお、上述とは逆に、共有電極板１９を電気的に接地する一方、一対の第１及び第２電極板１５，１７に所要の電圧を印加した場合には、マイナスＺ方向（図２のＺ方向とは逆方向）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材の位置を変位させることができる。
【００２７】
従って、上記実施例に係る圧電アクチュエータ１１によれば、第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９の３枚の各電極のそれぞれに対して都合３系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。
【００２８】
また、ひとつの圧電素子１３を用いて圧電アクチュエータを構成する本発明実施例では、部品点数削減を通じて、部品管理の煩わしさを低減するとともに、コスト的にも有利となる。
【００２９】
次いで、引き続き本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の説明に戻る。
【００３０】
図４は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションを裏面側から視た平面図、図５は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの開口部周辺における積層状態を概念的に示す部分断面図、図６は、ヘッドサスペンションにおける圧電素子の取付部に、蒸着重合によって電気絶縁層を形成する際に使用される蒸着重合ユニットの概略構成図である。
【００３１】
図１、並びに図４及び図５に示すように、ベースプレート３３における開口部４３には、第１及び第２電極板１５，１７が上方に位置する一方で、共有電極板１９が下方に位置するように、圧電素子１３が嵌め込み式に設けられている。また、ベースプレート３３の開口部４３の周縁における先端側及び後端側（本発明の「圧電素子の取付部」に相当する。）には、少なくとも圧電素子１３と対面する部分を覆うように、電気絶縁性を有する高分子化合物を蒸着重合することで電気絶縁層５１が形成されている。すなわち、圧電素子１３は、ベースプレート３３における開口部４３の周縁に形成された電気絶縁層５１に、下方並びに側方を含む周囲から包み込まれるようにはめ込まれることで、ベースプレート３３に固設されている。なお、この嵌め込みに際し、非導電性接着剤を併用する構成を採用してもよい。また、非導電性接着剤として、公知の非導電性接着剤にチキソトロピー性付与剤を添加することでチキソトロピー性が付与された特殊な接着剤であって、その塗布時においてゾル状となっているものを採用してもよい。
【００３２】
ヘッドサスペンション３１における圧電素子の取付部３３に、蒸着重合によって電気絶縁層５１を形成する際に使用される蒸着重合ユニット１０１は、図６に示すように、蒸着重合対象となるヘッドサスペンション３１を収容するための、蒸着重合室１０３を備える。蒸着重合室１０３には、２種類の原料モノマーの供給源となる一対の気化器１０５ａ，１０５ｂが、一対の吸気管１０７ａ，１０７ｂを介して連通接続されており、一対の気化器１０５ａ，１０５ｂにおいて気化された原料モノマーが、一対の吸気管１０７ａ，１０７ｂをそれぞれ介して蒸着重合室１０３へと導入されるように構成されている。一対の気化器１０５ａ，１０５ｂは、一対のハウジング１０９ａ，１０９ｂの内部に、原料モノマーを収容するための一対のモノマー容器１１１ａ，１１１ｂと、各原料モノマーを加熱するための一対の気化用熱源１１３ａ，１１３ｂと、をそれぞれ設けて構成されている。なお、本実施例では、既知のポリイミドを形成するための原料モノマーとして、例えば、モノマー容器１１１ａにはピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）が収容される一方、モノマー容器１１１ｂには４，４′−ジアミノジフェニルエーテル（ＯＤＡ）が収容されている。一対の気化器１０５ａ，１０５ｂから蒸着重合室１０３へと至る一対の吸気管１０７ａ，１０７ｂには、蒸着重合膜形成時に開閉することで膜厚を調整するための一対の吸気弁１１５ａ，１１５ｂがそれぞれ設けられている。蒸着重合室１０３は、各原料モノマーを混合してワークに供給するためのモノマー混合槽１１７と、モノマー混合槽１１７の周囲に設けられるヒータ（不図示）と、供給されてきた各原料モノマーに係る高分子化合物を蒸着重合反応を経てワーク上に形成するための反応槽１１９と、蒸着重合対象となるワーク（ヘッドサスペンション３１）が載置されるワーク台１２１と、を備えて構成されている。蒸着重合反応後における反応槽１１９内の雰囲気ガスを排気するために、反応槽１１９には排気管１２３が連通接続されている。排気管１２３には、所定のタイミングで開閉される排気弁１２５が設けられている。そして、一対の吸気弁１１５ａ，１１５ｂ、並びに排気弁１２５には、これらの弁の開閉を制御するとともに、蒸着重合反応プロセスに係るシーケンス制御を実行するための駆動制御部１２７が接続されている。
【００３３】
上述のように構成された蒸着重合ユニット１０１を用いてワーク（ヘッドサスペンション３１）における圧電素子１３の取付部にポリイミド樹脂膜を成膜するにあたっては、初めに、所定のマスキング処理を施しておいたワークを蒸着重合室１０３におけるワーク台１２１にセットする。その後、駆動制御部１２７からの動作指令を受けて、一対の吸気弁１１５ａ，１１５ｂが開放されて、所定時間の成膜プロセスが実行される。次いで、一対の吸気弁１１５ａ，１１５ｂが閉止されて、ワークが加熱処理室（不図示）に搬送される。この加熱処理室内において、所定の条件下で加熱処理が行われる。この加熱処理は、例えば、昇温速度１０度／分で２３０度まで加熱し、１時間この温度に保持し、最後に自然冷却するようにして行われる。蒸着重合室１０３内の雰囲気としては、例えば高真空、若しくは不活性ガスのような雰囲気条件下で行われる。
【００３４】
こうした蒸着重合反応プロセスを経て、電気絶縁性を有する高分子化合物（ポリイミド樹脂）を蒸着重合することで取付部に形成され電気絶縁層５１では、設計上の電気絶縁特性を安定的に維持しながら、取付部の形状にかかわらず電気絶縁層の厚み（例えば５〜１００μｍ程度）を均一にすることができる。このため、圧電素子１３と取付部３３との間に、設計上の余裕分を含んだ比較的広い間隔の確保を要しない。従って、取付部３３の寸法を、圧電素子１３の寸法等を考慮しつつ可及的に小さく設計することが可能となる結果として、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得ることができる。
【００３５】
仮に、蒸着重合による取付部への電気絶縁層の形成に代えて、重合反応〜反応溶液塗布といった既存のプロセスを経て取付部に電気絶縁層を形成した場合、凸形状の部分では引けによって同層の厚みが薄くなる一方、凹形状の部分では液だまりによって同層の厚みが厚くなるなど、取付部の形状に依存して電気絶縁層の厚みにバラツキを生じる。特に、凹形状の取付部における隅部に傾斜面を有する液だまりが生じると、同液だまり部分が物理的な立体障害となって、圧電素子の本来の位置への配設に支障を来しかねない。すなわち、上述したような電気絶縁層の厚みのバラツキが、サスペンションの小型化要請に対応する上でのボトルネックとなっていたのである。これに対し、蒸着重合により取付部３３に電気絶縁層５１を形成する本発明（図５参照）では、設計上の電気絶縁特性を安定して維持しながら、取付部３３の形状にかかわらず電気絶縁層の厚みを均一にすることができる。すなわち、電気絶縁層５１の厚みにバラツキを生じることがなくなるから、電気絶縁層５１の一部が物理的な立体障害となる事態も生じなくなる。従って、取付部３３の寸法を、圧電素子１３の寸法等を考慮しつつ可及的に小さく設計することが可能となる結果として、小型化要請に柔軟に対応可能なヘッドサスペンションを得ることができる、といった本発明特有の効果を奏する。また、重合反応〜反応溶液塗布といった既存のプロセスを経て取付部に電気絶縁層を形成した場合と比べて、絶縁不要部分に係るマスキング処理の手間が容易になるといった副次的な効果を奏する。
【００３６】
さらに、圧電素子１３とベースプレート（本発明の「取付部」に相当する。）３３との間に電気絶縁層５１が介在することによって、圧電素子１３の歪み（変位）を効果的にロードビーム３５に伝達するとともに、圧電素子１３における共有電極板１９とベースプレート３３間における電気的な絶縁性を確実に確保することができる。
【００３７】
なお、本実施例では、ベースプレート３３と、連結プレート３７とが相互に重なり合う部分によって、圧電アクチュエータ１１における駆動側ベース部Ｙが構成されている。
【００３８】
ところで、圧電素子１３は、取付部３３上に形成された電気絶縁層５１の内側面に規制されて所定の位置に位置決めされた状態ではめ込まれる。その結果、図５に示すように、フレキシャ３９における例えば銅製の配線部５５と、圧電素子１３における共有電極板１９とが、相互に同じ側を向いて露出しており、これら両者間の高低差は数１０μｍ程度とごく僅かである。この僅かな高低差を埋めて両者間の電気的な接続関係を確保するために、同両者間には、図５に示すように、導電性接着剤５７が設けられている。なお、この導電性接着剤５７にも、前述した電気絶縁層５１と同様に、チキソトロピー性が付与されることで塗布時においてゾル状とされる構成を採用してもよい。また、前記両者間に導電性接着剤５７を設ける態様に代えて、ボンディングワイヤ、半田付け、又は超音波接合等の接続手段を採用してもよい。
【００３９】
圧電素子１３における第１及び第２電極板１５，１７の各々と、ベースプレート３３との各間には、各間における電気的な接続を確保するための一対の導電性接着剤５３ａ，５３ｂが塗布されている。なお、一対の導電性接着剤５３ａ，５３ｂにも、前述した電気絶縁層５１又は導電性接着剤５７と同様に、チキソトロピー性が付与されることで塗布時においてゾル状とされる構成を採用してもよい。図５において、符合５９はフレキシャ３９の金属製基材、符合６１はフレキシャ３９における電気的絶縁層である。
【００４０】
次に、本本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の動作について、一対の第１及び第２電極板１５，１７を電気的に接地する一方、共有電極板１９に所要の電圧を印加した場合を想定して説明する。
【００４１】
この場合、圧電素子１３は、図２に示す通り、第１電極板１５における一方の端面２３が収縮する一方、第２電極板１７における他方の端面２５が伸長することで、全体として略台形形状に歪む。すると、圧電素子１３は、Ｚ方向（図１参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材としてのロードビーム３５の位置を、スウェイ方向に変位させることができる。なお、上述とは逆に、共有電極板１９を電気的に接地する一方、一対の第１及び第２電極板１５，１７に所要の電圧を印加した場合には、マイナスＺ方向（図１参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材としてのロードビーム３５の位置を、スウェイ方向に変位させることができる。
【００４２】
従って、上述した圧電アクチュエータ１１を組み込んだヘッドサスペンション３１では、圧電素子１３における第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９の３枚の各電極のそれぞれに対して都合３系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。
【００４３】
また、本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１では、ベースプレート３３によって嵌め込み式に圧電素子１３をその下面側から支持させるとともに、圧電素子１３のほぼ全周にわたってベースプレート３３（電気絶縁層５１）で包囲させる構成を採用したので、圧電素子１３を接着する際の位置決めが容易で、かつ、圧電素子１３の損傷を回避できるとともに、脆く欠けやすい圧電素子１３を効果的に保護することができる。
【００４４】
さらに、共有電極板１９と、同共有電極板１９に対面する配線部５５との間の電気的接続について、接続箇所は一箇所のみであるから、フレキシャ３９における配線本数削減、並びにフレキシャ３９における配線箇所の少数化に由来する取り数向上に寄与することができる。
【００４５】
しかも、一対の圧電素子を組み込んだヘッドサスペンションと比較して、ひとつの圧電素子を組み込んだ本発明実施例に係るヘッドサスペンションでは、圧電素子の部品点数削減を通じて、部品管理の煩わしさを低減するとともに、コスト的にも有利となる。
【００４６】
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
【００４７】
すなわち、ベースプレート３３に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成に代えて、アクチュエータプレート３４に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成を採用したヘッドサスペンションも、本発明の技術的範囲の射程に含まれる。従って、本発明の構成要件「ベースプレート」は、本発明実施例に係る「ベースプレート３３」及び「アクチュエータプレート３４」の両者を含む概念である。そのため、本発明の請求項に記載の構成要件「ベースプレート」は、必要に応じて「アクチュエータプレート」と読み替えることが可能である。具体的には、例えば、「ベースプレートに形成した開口部」は、必要に応じて「アクチュエータプレートに形成した開口部」と読み替えて、その技術的範囲を解釈することができる。
【００４８】
そして、本発明実施例中、ひとつの圧電素子１３を用いて圧電アクチュエータ１１を構成して、こうして構成したひとつの圧電素子１３に対し、本発明に係る圧電素子の電気的接続構造を適用する例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、例えば図７に示すように、一対の圧電素子８１ａ，８１ｂを用いて圧電アクチュエータ８３を構成して、こうして構成した一対の圧電素子８１ａ，８１ｂを、ヘッドサスペンションにおける取付部に固設するにあたり、本発明に係る蒸着重合による取付部への電気絶縁層の形成技術を適用してもよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。
【図２】ヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの外観斜視図である。
【図３】圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。
【図４】本発明実施例に係るヘッドサスペンションを裏面側から視た平面図である。
【図５】本発明実施例に係るヘッドサスペンションの開口部周辺における積層状態を概念的に示す部分断面図である。
【図６】ヘッドサスペンションにおける圧電素子の取付部に、蒸着重合によって電気絶縁層を形成する際に使用される蒸着重合ユニットの概略構成図である。
【図７】本発明の変形実施例に係るヘッドサスペンションの外観図である。
【符号の説明】
【００５０】
１１  圧電アクチュエータ
１３  圧電素子
３１  本発明実施例に係るヘッドサスペンション
３３  ベースプレート（取付部）
３４  アクチュエータプレート
３５  ロードビーム
３７  連結プレート（ヒンジ部材）
３９  フレキシャ
４１ａ，４１ｂ  一対の可撓部
４３  開口部
４９ａ，４９ｂ  ヒンジ部
５１  電気絶縁層
５３ａ，５３ｂ  一対の導電性接着剤
５５  配線部材
５７  導電性接着剤
８１ａ，８１ｂ  一対の圧電素子（圧電アクチュエータの一部を構成する。）
８３  圧電アクチュエータ
１０１  蒸着重合ユニット
【図１】
2010073281.tif 000003
【図２】
2010073281.tif 000004
【図３】
2010073281.tif 000005
【図４】
2010073281.tif 000006
【図５】
2010073281.tif 000007
【図６】
2010073281.tif 000008
【図７】
2010073281.tif 000009