(57)【要約】【課題】常圧型の洗浄槽を用いて被洗浄物の蒸気洗浄を簡易且つ廉価に行うとともに、この洗浄作業により汚染された溶剤の蒸留再生を、耐圧製の蒸気発生槽に於いて溶剤を熱劣化させることなく行う。被洗浄物の蒸気洗浄の際には常圧で使用する蒸気発生槽を、溶剤の蒸留再生時には減圧に切り換えて使用することにより、上述の如き技術効果を得る。【解決手段】常圧型の洗浄槽1に、槽内を減圧可能とし、溶剤4の加熱源23を備えた耐圧製の蒸気発生槽14を開閉バルブ12を介して接続する。被洗浄物2の蒸気洗浄時には、開閉バルブ12を開放して蒸気発生槽14内の溶剤蒸気を洗浄槽1内に導入して被洗浄物2の蒸気洗浄を行う。汚染溶剤の蒸留再生時には、洗浄槽1から溶剤4を蒸気発生槽14に導入した後開閉バルブ12を閉止し、蒸気発生槽14内のみを減圧し、加熱源23により溶剤4を加熱することにより、蒸気発生槽14内で溶剤4の真空蒸留再生を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を減圧及び加熱可能とする耐圧製の蒸気発生槽を常圧型の洗浄槽に開閉バルブを介して接続し、この開閉バルブを開放した状態で、前記蒸気発生槽内の溶剤を加熱して発生させた溶剤蒸気を、前記開閉バルブを介して前記洗浄槽内に導入して被洗浄物の常圧蒸気洗浄を行い、前記開閉バルブを閉止した状態で、前記蒸気発生槽の内部を減圧し、この減圧した蒸気発生槽内に於いて溶剤の真空蒸留再生を行うことを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
内部を減圧及び加熱可能とし、内部に収納した溶剤を常圧状態で加熱して溶剤蒸気を発生可能とするとともに、溶剤を減圧状態で加熱して溶剤の真空蒸留再生を可能とする耐圧製の蒸気発生槽と、この蒸気発生槽と蒸気導入管を介して接続し、前記蒸気発生槽内で発生させた溶剤蒸気を導入して被洗浄物の常圧蒸気洗浄を行う常圧型の洗浄槽と、前記蒸気導入管に配置した開閉バルブと、前記蒸気発生槽内を減圧可能とする減圧機構と、前記蒸気発生槽内を加熱するための加熱機構とを備えたことを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
【請求項３】
蒸気発生槽は、真空機構との間に溶剤蒸気の凝縮部を介在させ、この凝縮部を洗浄槽又は再生液回収部のいずれか一方と選択的に接続可能としたことを特徴とする請求項１の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項４】
蒸気発生槽は、真空機構との間に溶剤蒸気の凝縮部を介在させ、この凝縮部を、洗浄槽又は再生液回収部のいずれか一方と選択的に接続可能としたことを特徴とする請求項２の被洗浄物の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、機械部品、医療機器等の被洗浄物を簡易な構成で廉価に液洗浄及び蒸気洗浄するとともに、この液洗浄及び蒸気洗浄に使用した溶剤を蒸留再生するための、被洗浄物の洗浄方法及びその方法に使用する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品、機械部品、医療機器等の被洗浄物を液洗浄及び蒸気洗浄するためのものとして、特許文献１に示す如き装置が公知となっている。この従来技術は、内部を加熱可能とする常圧型の蒸気発生槽を常圧型の洗浄槽に開閉バルブを介して接続している。そして、前記蒸気発生槽内の溶剤を加熱して発生させた溶剤蒸気を、前記開閉バルブを介して前記洗浄槽内に導入して被洗浄物の常圧蒸気洗浄を行うものである。
【０００３】
また、上述の如き被洗浄物の蒸気洗浄を減圧状態で行うための装置として、特許文献２に示す如き技術が公知となっている。この従来技術は、内部を減圧及び加熱可能とする耐圧製の蒸気発生槽を、同じく耐圧製とした洗浄槽に開閉バルブを介して接続している。そして、前記蒸気発生槽内の溶剤を減圧状態で加熱して発生させた溶剤蒸気を、前記開閉バルブを介して前記洗浄槽内に導入して被洗浄物の減圧蒸気洗浄を行うものとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−９９１４８号公報
【特許文献２】特開平７−８０４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１、２に示す如き洗浄装置においては、被洗浄物の洗浄過程に於いて、被洗浄物の表面に付着していた切削油、研削油、研磨油等の油分や固形汚物等が溶剤に混入し、溶剤が汚染されるものとなる。そして、洗浄作業を繰り返して溶剤の汚染度が高まると、純度の高い溶剤蒸気を発生させることが困難となる。この点、特許文献１に示す如き常圧型の洗浄装置に於いては、溶剤を加熱して蒸留すれば、溶剤の汚染度を低下させることが可能である。しかしながら、このような常圧での加熱を行うと、それに伴って溶剤の熱劣化が進行し、溶剤の使用可能期間を短いものとする。そのため、ランニングコストが高くなるとともに、溶剤の廃棄に伴う環境への負荷も高いものとなっていた。
【０００６】
一方で、特許文献２に示す装置に於いては、蒸気発生槽の内部を減圧し、この減圧した蒸気発生槽内に於いて溶剤の真空蒸留再生を行うこととしている。このように蒸気発生槽内を減圧して溶剤の真空蒸留再生を行うことにより、溶剤の沸点を低下させることが可能となるため、溶剤の蒸留再生を、常圧より低い温度で行うことが可能となる。そのため、溶剤を熱劣化させることなく溶剤の汚染度を低下させることが可能となるため、溶剤の再生利用が長期間可能となり、この点に於いては、コストダウンを図ることができる。
【０００７】
しかしながら、特許文献２に於いては前述の如く、被洗浄物の洗浄作業も減圧で行うこととしているため、蒸気発生槽のみならず、洗浄槽及び洗浄槽と蒸気発生槽の接続部分についても耐圧構造としている。そのため、装置の製造工程が繁雑化するとともに、装置の製造コストが高価なものとなっていた。また、被洗浄物の洗浄時には蒸気発生槽及び洗浄槽を減圧する必要があるため、ランニングコストも高価なものとなっていた。
【０００８】
そこで本発明は、上述の如き課題を解決しようとするものであって、被洗浄物の洗浄を簡易且つ廉価に行うことを可能とするとともに、上記洗浄作業により汚染された溶剤を熱劣化させることなく蒸留再生することにより、溶剤の再利用を可能とし、ランニングコストを低くすることを可能とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明は上述の如き課題を解決するため、内部を減圧及び加熱可能とする耐圧製の蒸気発生槽を常圧型の洗浄槽に開閉バルブを介して接続している。そして、この開閉バルブを開放した状態で、前記蒸気発生槽内の溶剤を加熱して発生させた溶剤蒸気を、前記開閉バルブを介して前記洗浄槽内に導入して被洗浄物の常圧蒸気洗浄を行う。また、前記開閉バルブを閉止した状態で、前記蒸気発生槽の内部を減圧し、前記蒸気発生槽内に於いて溶剤の真空蒸留再生を行う。
【００１０】
また、上記方法を実施する装置は、内部を減圧及び加熱可能とし、内部に収納した溶剤を常圧状態で加熱して溶剤蒸気を発生可能とするとともに、溶剤を減圧状態で加熱して溶剤の真空蒸留再生を可能とする耐圧製の蒸気発生槽と、この蒸気発生槽と蒸気導入管を介して接続し、前記蒸気発生槽内で発生させた溶剤蒸気を導入して被洗浄物の常圧蒸気洗浄を行う常圧型の洗浄槽と、前記蒸気導入管に配置した開閉バルブと、前記蒸気発生槽内を減圧可能とする減圧機構と、前記蒸気発生槽内を加熱するための加熱機構とを備えたものである。
【００１１】
また、蒸気発生槽は、真空機構との間に溶剤蒸気の凝縮部を介在させ、この凝縮部を洗浄槽又は再生液回収部のいずれか一方と選択的に接続可能としたものであっても良い。このように形成することにより、真空機構への溶剤蒸気の流入を防止するとともに凝縮部で回収した溶剤を、蒸気洗浄槽への導入が必要であれば蒸気洗浄槽へ、蒸気洗浄槽への導入が不要であれば再生液回収部に、選択的に導入することが可能となり、装置の使用性を高めることが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は上述の如く構成したものであって、常圧型の洗浄槽と耐圧製の蒸気発生槽とを組み合わせ、この耐圧製の蒸気発生槽に於いて常圧で発生させた溶剤蒸気を常圧型の洗浄槽に導入し、常圧で被洗浄物の蒸気洗浄を行うものである。そのため、洗浄槽は減圧に耐える構成が不要となり、耐圧製の洗浄槽を用いて被洗浄物の蒸気洗浄を行う場合と比較して、装置の構成を簡易なものとし、装置の製造コストを廉価なものとすることが可能となる。また、被洗浄物の蒸気洗浄を常圧で行うものであるから、ランニングコストも廉価なものとすることが可能となる。また、上述の如く蒸気発生槽に於いて常圧で発生させた溶剤蒸気は、洗浄槽内に於いて凝縮蒸留されるものとなるため、溶剤の汚染の進行を遅らせることが可能となる。即ち、前述の被洗浄物の蒸気洗浄作業に伴い、溶剤の常圧蒸留再生を行うことが可能となる。
【００１３】
また、溶剤の汚染度が高まった場合には、上述の如く耐圧製とした蒸気発生槽において、溶剤の真空蒸留再生を行うことを可能としている。そして、真空状態に於いては、常圧と比較して溶剤の沸点を低下させることが可能となるため、常圧と比較して低い温度で溶剤の蒸留再生を行うことが可能となり、溶剤の熱劣化を防止することが可能となる。そのため、溶剤の耐用期間を長くして、ランニングコストを低くすることが可能となる。また、このように溶剤を蒸留再生して再利用することにより、蒸留後の廃液中に含まれる溶剤の量をわずかなものとすることが可能となり、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤等の環境汚染物質を溶剤として使用する場合であっても、環境への負荷を小さくすることが可能となる。
【００１４】
また、上述の如く、蒸留後の廃液中に含まれる溶剤の量をわずかなものとすることができるため、蒸留後の廃液中には、被洗浄物の表面に付着していた切削油、研削油、研磨油等の油分と固形汚物とが高い割合で残存するものとなる。そのため、この油分と固形汚物を分離することで、上記油分を加工油として再利用することが可能となり、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【００１５】
本願発明は上述の如く、常圧型の洗浄槽と耐圧製の蒸気発生槽とを組み合わせるとともに、上述の如く耐圧製とした蒸気発生槽を、常圧又は減圧にそれぞれ切り換えて使用するものである。そして、このような構成により、被洗浄物の蒸気洗浄を簡易且つ廉価に行うことを可能とするとともに、蒸留再生時の溶剤の熱劣化を抑制して溶剤を再利用可能とし、溶剤の耐用期間を長くして、ランニングコストを低くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１を示す概念図。
【実施例１】
【００１７】
本発明の実施例１を図１において説明すると、(１)は常圧型の洗浄槽で、内部の減圧に耐える構成とはなっておらず、上端部に被洗浄物（２）を出入させるための開口部（３）を形成している。このように、常圧型の洗浄槽（１）を用いることにより、耐圧用の洗浄槽（１）を用いる場合と比較して、装置の構成を簡易なものとし、装置の製造コストを廉価なものとすることが可能となる。なお、本明細書中に於いては、上部、下部等の用語は、図１を基準として用いる。
【００１８】
また、洗浄槽（１）は、被洗浄物（２）を溶剤（４）に浸漬して液洗浄を行うための液洗浄部（５）を下部に形成するとともに、この液洗浄部（５）の上方に、被洗浄物（２）の蒸気洗浄を行うための蒸気洗浄部（６）を形成しており、被洗浄物（２）を液洗浄部（５）から蒸気洗浄部（６）に移動させることにより、被洗浄物（２）の液洗浄及び蒸気洗浄を連続的に行うことを可能としている。
【００１９】
また、この蒸気洗浄部（６）の上方には、洗浄槽（１）の内面に冷却コイル（８）を配置することにより、溶剤蒸気を冷却凝縮して回収するための冷却乾燥部（７）を形成しており、被洗浄物（２）を蒸気洗浄部（６）から冷却乾燥部（７）に移動させることにより、被洗浄物（２）の蒸気洗浄及び冷却乾燥を連続して行うことを可能としている。また、この冷却乾燥部（７）に於いて、上記冷却コイル（８）に凝縮回収した溶剤（４）は、水分分離器（１０）を設けた戻し管（１１）を介して前記液洗浄部（５）に環流可能としている。
【００２０】
また、上記洗浄槽（１）は、図１に示す如く、ベーパーカット用の開閉バルブ（１２）を設けた蒸気導入管（１３）を介して耐圧製の蒸気発生槽（１４）と接続している。そして、後述の被洗浄物（２）の蒸気洗浄時には、蒸気発生槽（１４）内で発生させた溶剤蒸気を、前記蒸気導入管（１３）を介して洗浄槽（１）内に導入可能としている。また、洗浄槽（１）は、第１バルブ（１５）を設けたオーバーフロー管（１６）を介して、液洗浄部（５）の上端を前記蒸気発生槽（１４）内と接続しており、洗浄槽（１）の液洗浄部（５）内の溶剤（４）が一定量を超えた場合には、上記オーバーフロー管（１６）を介して洗浄槽（１）から蒸気発生槽（１４）に溶剤（４）を導入可能としている。
【００２１】
また、洗浄槽（１）は、第２バルブ（１７）を設けた溶剤導入管（１８）を介して、液洗浄部（５）の下端を蒸気発生槽（１４）と接続しており、後述の汚染された溶剤の蒸留再生時には、上記溶剤導入管（１８）を介して洗浄槽（１）内の溶剤（４）を蒸気発生槽（１４）内に導入可能としている。この汚染された溶剤（４）の導入は、第２バルブ（１７）を蒸気発生槽（１４）内の溶剤（４）の通常の液面よりも上方に配置し、第２バルブ（１７）を閉止した状態で、後述の真空機構（２１）により蒸気発生槽（１４）内を一定圧まで減圧した後に、第２バルブ（１７）を開放し、蒸気発生槽（１４）内の負圧を利用して洗浄槽（１）内の汚染された溶剤（４）を導入するものである。このように、蒸気発生槽（１４）内の負圧を利用して溶剤（４）を導入することにより、溶剤（４）を蒸気発生槽（１４）内に急激に導入することができるため、溶剤（４）中に含まれる鉄細片、切り粉等の汚物を確実に導入することが可能となる。
【００２２】
また、上述の如く洗浄槽（１）と接続する蒸気発生槽（１４）は、洗浄槽（１）から前記オーバーフロー管（１６）又は溶剤導入管（１８）を介して溶剤（４）を導入するための溶剤導入部（２２）を下部に形成し、この溶剤導入部（２２）内の溶剤（４）を加熱するための加熱源（２３）を下端に設けている。そして、被洗浄物（２）の蒸気洗浄時及び溶剤（４）の蒸留再生時には、後述の如く、上記加熱源（２３）により溶剤導入部（２２）内の溶剤（４）を加熱することにより、溶剤蒸気を発生可能としている。
【００２３】
また、蒸気発生槽（１４）の溶剤導入部（２２）には、蒸気発生槽（１４）への溶剤（４）の過剰な導入を感知して防止するための第１液位センサー（２４）を上部に配置するとともに、溶剤（４）の不足した状態での空炊きを防止するための第２液位センサー（２５）を下部に配置している。また、前記溶剤導入部（２２）の下部には温度センサー（２６）を配置して、蒸気発生槽（１４）内の過熱化による溶剤（４）の熱劣化を防止可能としている。また、溶剤導入部（２２）の下端を、第３バルブ（２７）を配置した廃液回収管（２８）を介して、廃液回収部（３０）と接続している。また、蒸気発生槽（１４）の上端を蓋体（３１）で気密的に被覆するとともに、この蓋体（３１）に減圧センサー（３２）を接続し、後述の如く蒸気発生槽（１４）内を減圧した際の減圧度を測定可能としている。
【００２４】
また、前記蒸気発生槽（１４）は、真空機構（２１）に接続して槽内を減圧可能としている。この蒸気発生槽（１４）と真空機構（２１）との接続について説明すると、図１に示す如く、蒸気発生槽（１４）に第１真空配管（３３）を接続しており、この第１真空配管（３３）に第２真空配管（３４）を接続している。また、この第２真空配管（３４）の上端を、溶剤蒸気の凝縮部（３５）内に配置した凝縮管（３６）の下端に接続している。この凝縮部（３５）は、冷却媒体の導入路（３７）を下端に接続するとともに、冷却媒体の導出路（３８）を上端に接続しており、導入路（３７）から導入した冷却媒体を、凝縮部（３５）内を流動させた後に導出路（３８）から導出することにより、内部を冷却可能としている。
【００２５】
また、前記凝縮管（３６）の上端を、第３真空配管（４０）と接続しており、この第３真空配管（４０）の上端を真空解除用の第４バルブ（４１）と接続するとともに、第３真空配管（４０）の上下方向中央を、第５バルブ（４２）を配置した第４真空配管（４３）を介して真空機構（２１）と接続している。そして、後述の溶剤（４）の蒸留再生時には、前記開閉バルブ（１２）、第１バルブ〜第４バルブ（１５）（１７）（２７）（４１）を閉止するとともに第５バルブ（４２）を開放した状態で、真空機構（２１）を稼働ことにより、第１真空配管〜第４真空配管（３３）（３４）（４０）（４３）を介して前記蒸気発生槽（１４）内を減圧可能としている。
【００２６】
また、前述の如く蒸気発生槽（１４）と真空機構（２１）との間に介在させた凝縮部（３５）を、前記洗浄槽（１）及び再生液回収部（４４）と接続している。この凝縮部（３５）と洗浄槽（１）及び再生液回収部（４４）との接続について説明すると、上記凝縮部（３５）の凝縮管（３６）の下端には、前述の如く、第２真空配管（３４）の上端を接続している。また、この第２真空配管（３４）の下端を、第３液位センサー（４５）を設けた水分分離槽（４６）と接続し、この水分分離槽（４６）を、第６、第７バルブ（４７）（４８）を配置した環流管（５０）を介して、洗浄槽（１）の液洗浄部（５）と接続している。また、上記環流管（５０）の第６バルブ（４７）と第７バルブ（４８）との間には、第８バルブ（５１）を設けた再生液回収管（５３）を接続し、この再生液回収管（５３）を、再生液回収部（４４）と接続している。
【００２７】
上述の如く構成したものに於いて、被洗浄物（２）の液洗浄、蒸気洗浄及び冷却乾燥を行うには、洗浄槽（１）の液洗浄部（５）及び蒸気発生槽（１４）の溶剤導入部（２２）に溶剤（４）を充填し、開閉バルブ（１２）及び第１バルブ（１５）を開放するとともに第２バルブ（１７）〜第８バルブ（１７）（２７）（４１）（４２）（４７）（４８）（５１）を閉止する。そして、蒸気発生槽（１４）の加熱源（２３）により、溶剤導入部（２２）内の溶剤（４）を加熱して、蒸気発生槽（１４）内に蒸気洗浄用の溶剤蒸気を常圧で発生させる。
【００２８】
そして、前述の如く蒸気発生槽（１４）内で発生させた溶剤蒸気を、開閉バルブ（１２）を開放した蒸気導入管（１３）を介して、前述の如く常圧型とした洗浄槽（１）の蒸気洗浄部（６）に導入する。そして、まず、上述の如く液洗浄部（５）内に充填した溶剤（４）に被洗浄物（２）を図１に矢印ａで示す如く浸漬して、被洗浄物（２）の常温又は冷却液洗浄を行う。この液洗浄は、超音波洗浄であっても、被洗浄物（２）を揺動させて行うものであっても良い。次に、この液洗浄を終えた被洗浄物（２）を、図１に矢印ｂで示す如く蒸気洗浄部（６）に移動させ、前述の如く蒸気洗浄部（６）に導入した溶剤蒸気に接触させて、被洗浄物（２）の蒸気洗浄を常圧で行う。本願発明に於いてはこのように、被洗浄物（２）の蒸気洗浄を常圧で行い、洗浄槽（１）内を減圧する必要がないため、ランニングコストを廉価なものとすることが可能となる。
【００２９】
また、被洗浄物（２）の蒸気洗浄完了後は、図１に矢印ｃで示す如く、被洗浄物（２）を冷却乾燥部（７）に移動させて冷却乾燥し、図１に矢印ｄで示す如く、開口部（３）から外部に取り出す。また、上述の冷却乾燥作業に於いて冷却コイル（８）に回収した溶剤（４）は、水分分離器（１０）で水分と分離した後、戻し管（１１）を介して液洗浄部（５）に導入する。この戻し管（１１）からの溶剤（４）の導入により液洗浄部（５）内の溶剤（４）が増加して一定量を超えると、第１バルブ（１５）を開放したオーバーフロー管（１６）を介して溶剤（４）が蒸気発生槽（１４）の溶剤導入部（２２）に環流される。このように洗浄槽（１）から蒸気発生槽（１４）に溶剤（４）を環流することにより、この環流した溶剤（４）を加熱源（２３）により再度加熱して溶剤蒸気を発生させることが可能となるため、上述の如き被洗浄物（２）の蒸気洗浄を連続的に行うことが可能となる。
【００３０】
また、上述の如く被洗浄物（２）の蒸気洗浄作業を行うと、被洗浄物（２）の表面に付着していた切削油、研削油、研磨油等の油分や固形汚物が、洗浄過程において溶剤（４）中に混入し、溶剤（４）が汚染されるものとなる。この点、本願発明においては、前述の如く蒸気発生槽（１４）内において溶剤（４）を常圧で加熱して溶剤蒸気を発生させており、この蒸気が洗浄槽（１）内の被洗浄物（２）、冷却コイル（８）等と接触して凝縮蒸留されるため、溶剤（４）の汚染の進行を遅らせることが可能となる。即ち、前述の被洗浄物（２）の蒸気洗浄作業に伴い、溶剤（４）の常圧蒸留再生を行うことが可能となる。
【００３１】
しかしながら、洗浄作業を繰り返すことにより、蒸気発生槽（１４）内の溶剤（４）中に多量の油分や固形汚物が含まれるようになった場合、即ち、溶剤（４）の汚染度が高まった場合には、上述の蒸気発生に伴う溶剤（４）の常圧蒸留だけでは不充分となり、純度の高い溶剤蒸気を発生させることが困難となる。そこで、本願発明においては、被洗浄物（２）の蒸気洗浄作業により溶剤（４）の汚染度が高まった場合には、減圧した蒸気発生槽（１４）内において、溶剤（４）の真空蒸留再生を行うこととしている。
【００３２】
この溶剤（４）の真空蒸留再生を行うには、まず、開閉バルブ（１２）及び第１バルブ（１５）を閉止し、第５バルブ（４２）を開放するとともに真空機構（２１）を稼働して、蒸気発生槽（１４）内を一定圧まで減圧する。そして、この減圧の後に、第２バルブ（１７）を開放し、蒸気発生槽（１４）内の負圧を利用して洗浄槽（１）内の汚染された溶剤（４）を蒸気発生槽（１４）内に導入する。
【００３３】
そして、この導入の完了後、第２バルブ（１７）を閉止する。そして、真空機構（２１）により第１真空配管〜第４真空配管（３３）（３４）（４０）（４３）を介して蒸気発生槽（１４）内を減圧するとともに、加熱源（２３）により溶剤導入部（２２）内の溶剤（４）を加熱し、減圧状態で溶剤蒸気を発生させる。そして、上述の如く発生させた溶剤蒸気を、真空機構（２１）により第１、第２真空配管（３３）（３４）を介して凝縮部（３５）に吸引導入して冷却し、凝縮液化させる。
【００３４】
本願発明に於いてはこのように、耐圧製の蒸気発生槽（１４）内に於いて減圧状態で溶剤蒸気を発生させて、溶剤（４）の真空蒸留再生を行うものである。そして、真空状態に於いては、常圧と比較して溶剤（４）の沸点を低下させることが可能となるため、常圧と比較して低い温度で溶剤（４）の蒸留再生を行うことが可能となり、溶剤（４）の熱劣化を防止することが可能となる。そのため、溶剤（４）の耐用期間を長くして、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【００３５】
また、本願発明は上述の如く、常圧型の洗浄槽（１）と耐圧製の蒸気発生槽（１４）とを組み合わせるとともに、上述の如く耐圧製とした蒸気発生槽（１４）を、被洗浄物（２）の蒸気洗浄時には常圧、溶剤（４）の蒸留再生時は減圧にそれぞれ切り換えて使用するものである。そして、このような構成により、被洗浄物（２）の蒸気洗浄を簡易且つ廉価に行うとともに、蒸留再生時の溶剤（４）の熱劣化を抑制して溶剤（４）を再利用可能とし、溶剤（４）の耐用期間を長くして、ランニングコストを低くすることができる。
【００３６】
また、前述の如く凝縮部（３５）に回収して凝縮液化した溶剤（４）は、第２真空配管（３４）を介して前記水分分離槽（４６）内に導入し、溶剤（４）に混入した水分と分離する。そして、洗浄槽（１）への溶剤（４）の環流が必要な場合には、第６、第７バルブ（４７）（４８）を開放するとともに第８バルブ（５１）を閉止して、上述の如く水分と分離した溶剤（４）を、環流管（５０）を介して洗浄槽（１）に環流する。また、洗浄槽（１）への溶剤（４）の環流が不要な場合には、第６、第８バルブ（４７）（５１）を開放するとともに第７バルブ（４８）を閉止して、環流管（５０）及び再生液回収管（５３）を介して、溶剤（４）を再生液回収部（４４）に導入する。本実施例に於いてはこのように、前記凝縮部（３５）を、水分分離槽（４６）を介して洗浄槽（１）又は再生液回収部（４４）のいずれか一方と選択的に接続可能とし、凝縮部（３５）に於いて凝縮した溶剤（４）を、洗浄槽（１）への導入が必要であれば洗浄槽（１）へ、洗浄槽（１）への導入が不要であれば再生液回収部（４４）に、選択的に導入することを可能としている。そのため、装置の使用性を高めることが可能となる。
【００３７】
また、上述の溶剤（４）の蒸留再生が完了した後には、第３、第４バルブ（２７）（４１）を開放して、蒸気発生槽（１４）内に残留した廃液を、廃液回収管（２８）を介して廃液回収部（３０）に回収する。本願発明に於いては前述の如く、溶剤（４）の蒸留再生を減圧した蒸気発生槽（１４）内で行うことにより、溶剤（４）の熱劣化を防止し、溶剤（４）の再生利用を可能としているため、上記廃液中に含まれる溶剤（４）の量をわずかなものとすることが可能となる。そのため、塩素系溶剤、フッ素系溶剤、臭素系溶剤等の環境汚染物質を溶剤（４）として使用する場合であっても、これらの溶剤（４）が廃液として捨てられる量がわずかであるため、環境への負荷を小さくすることが可能となる。
【００３８】
また、上述の如く、蒸留後の廃液中に含まれる溶剤（４）の量をわずかなものとすることができるため、蒸留後の廃液中には、被洗浄物（２）の表面に付着していた切削油、研削油、研磨油等の油分と固形汚物とが高い割合で残存するものとなる。そのため、この油分と固形汚物とを分離することで、上記油分を加工油として再利用することが可能となり、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【符号の説明】
【００３９】
１  洗浄槽
２  被洗浄物  
４  溶剤  
６  蒸気洗浄部  
７  冷却乾燥部
８  冷却コイル
１２  開閉バルブ
１４  蒸気発生槽  
１８  蒸気導入管  
２１  真空機構  
２３  加熱源  
３５  凝縮部    
４４  再生液回収部
【図１】
2010234193.tif 000003