(57)【要約】【課題】サーボ型加速度計の振子とトルカコイルが巻回されたコイルボビンとの組み立ての作業性を良くする。【解決手段】この発明のサーボ型加速度計は、トルカコイルと、トルカコイルとの接続用に２つの振子導体を有する振子と、トルカコイルを振子に固定するコイルボビンとを備える。コイルボビンは、端板と、端板の一方の面にその外形よりも小さな外形の凸部と、凸部の異なる２箇所から端板の外縁方向に形成されたボビン導体とを具備する。凸部に形成された２つのボビン導体と、２つの振子導体とが、それぞれ当接する位置に形成される。【選択図】図１
2010096509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トルカコイルと、
上記トルカコイルとの接続用に振子導体を有する振子と、
上記トルカコイルを上記振子に固定するコイルボビンと、
を備えるサーボ型加速度計において、
上記コイルボビンは、
端板と、
上記端板の一方の面にその外形よりも小さな外形の凸部と、
上記凸部の異なる２箇所から端板の外縁方向に形成されたボビン導体と、
を具備し、
上記トルカコイルの両端が上記ボビン導体にそれぞれ接続され、
上記凸部に形成された上記ボビン導体と上記振子導体の少なくとも一方が、当接する位置に形成されていることを特徴とするサーボ型加速度計。
【請求項２】
請求項１に記載のサーボ型加速度計において、
上記コイルボビンと上記トルカコイルとを２個ずつ具備し、
上記振子は、上記コイルボビンの凸部を貫通させる貫通孔を備え、
上記２個のコイルボビンの一方の第１コイルボビンと他方の第２コイルボビンとは、上記振子の両面にそれぞれ配置され上記凸部を上記貫通孔内で互いに嵌合い構造で連結し、
上記第１コイルボビンのボビン導体の一方と上記第２コイルボビンのボビン導体の一方が、上記振子と反対側のそれぞれの上記端板上に形成され、上記第１コイルボビンのボビン導体の一方と上記第２コイルボビンのボビン導体の一方とが上記第１・第２コイルボビンの凸部の内径面上で接続されることを特徴とするサーボ型加速度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、振子（ペンデュラム）とトルカコイルとの接合構造を改良したサーボ型加速度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のサーボ型加速度計の構造例としては、例えば図９に示すものが知られている。図９において、９０ａは振子で円板状の枠体９０の枠内に位置する。振子９０ａは、その周の一部が切り欠かれた舌片形状とされヒンジ９０ｂを介して枠体９０に連結されて枠体９０によって支持される。これら枠体９０、振子９０ａ、ヒンジ９０ｂは、例えば石英ガラスで一体に形成される。ヒンジ９０ｂは肉薄とされ弾性変形可能であり、入力加速度により振子９０ａが図９の上下方向に変位可能とされている。
【０００３】
枠体９０の両板面には一対の磁気ヨーク９１,９２が対接され、これら磁気ヨーク９１,９２によって枠体９０は挟み込まれている。磁気ヨーク９１,９２は、共に一端側が開放され他端側が閉塞された円筒状であり、その一端側開放端面が枠体９０に対接されている。磁気ヨーク９１，９２と枠体９０とは接着によって固定されている。
【０００４】
磁気ヨーク９１，９２の内部にはそれぞれポールピースボトム９６、永久磁石９７及びポールピーストップ９８が収容されている。これらポールピースボトム９６、永久磁石９７及びポールピーストップ９８はそれぞれ円板状をなし、その中心軸が磁気ヨーク９１，９２の中心軸に一致されて、磁気ヨーク９１，９２の他端側を閉塞している閉塞板部９１ａ，９２ａの内面上にそれぞれ順次積層されて配置されている。ポールピーストップ９８の周縁部は図９に示したように肉厚とされている。
【０００５】
永久磁石９７には例えばサマリウム系希土類コバルト磁石が用いられ、ポールピースボトム９６及びポールピーストップ９８は例えば電磁軟鉄材によって形成される。永久磁石９７とポールピースボトム９６及びポールピーストップ９８とはそれぞれ接着固定とされ、ポールピースボトム９６と磁気ヨーク９１，９２とはレーザ溶着によって接合固定される。
【０００６】
永久磁石９７は、その板厚方向に着磁され、磁気ヨーク９１，９２の開放端内周面とポールピーストップ９８の外周面との間に環状磁気空隙９９がそれぞれ形成される。これら環状磁気空隙９９内にそれぞれ位置するようにトルカコイル９３が巻回されたコイルボビン９４が、振子９０ａの両板面にそれぞれ取り付けられる。コイルボビン９４はその振子９０ａ側の端面に端板９４ａを備え、その端板９４ａの中央には円筒状をなす取り付け部９４ｂが形成されている。
【０００７】
振子９０ａの両板面には、その舌片形状の先端側外周に沿って静電容量電極９０ｃが円弧状にそれぞれ形成されており、これら静電容量電極９０ｃと対向する電極が磁気ヨーク９１，９２によって構成される。磁気ヨーク９１，９２の開放端面には図９に示すように外周側から順次、枠体当接面９１ｃ，９２ｃ、逃げ９１ｄ，９２ｄ及び電極面９１ｅ，９２ｅが形成され、電極面９１ｅ，９２ｅは振子９０ａの静電容量電極９０ｃと所定の間隔を空けて対向する。
【０００８】
このような構成を有するサーボ型加速度計においては、加速度入力による振子９０ａの変位が静電容量電極９０ｃと電極面９１ｅ，９２ｅ間の静電容量の変化として検出される。電極面９１ｅ，９２ｅは共通電位とされ、振子９０ａの両板面の静電容量電極９０ｃの検出信号が図示しないサーボアンプにより差動増幅され、一対のトルカコイル９３に静電容量差に基づいたトルカ電流が流される。このトルカ電流と永久磁石９７による磁界との相互作用により、変位した振子９０ａは元に戻り、中立点で平衡する。この時のトルカ電流は振子９０ａに加わった加速度に比例するので、この電流から入力加速度が求められる（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
ところで、トルカコイル９３が巻回されたコイルボビン９４の振子９０ａへの取り付けは、振子９０ａの両板面に接着固定された円柱状をなすホルダ９５に嵌合して、さらに接着固定して行われる。その後、トルカコイル９３のコイル端末９３ａ，９３ｂが振子９０ａ上の図示しない金属導体に接着されて電気的に接合される。
【００１０】
このように従来のサーボ型加速度計の振子９０ａとボビン９４とトルカコイル９３の組み立ては、トルカコイル９３が巻回されたボビン９４の振子９０ａへの機械的な接合と、トルカコイル９３のコイル端末９３ａ，９３ｂの電気的な接合と、を取る工程が別々であった。また、電気的な接合をコイルボビン９４の端板９４ａと振子９０ａとの間のわずかな隙間から行うために作業性が悪く歩留まりを低下させる原因になっていた。
【００１１】
そこで、この部分の作業性を改善する方法が従来から検討されている。その一例として特許文献２に開示されたサーボ型加速度計が知られている。特許文献２に示されたコイルボビンを図１０に示す。図１０（ａ）はコイルボビン１３の断面図である。図１０（ｂ）はトルカコイル１５が接合されたコイルボビン１３を振子側から見た斜視図である。コイルボビン１３は、例えば液晶ポリマー等の合成樹脂材料よりなり燐青銅等の弾性導電材料より成る２本の端子舌片１８を振子側の位置にインサートモールドして一体成型している。２本の端子舌片１８のコイルボビン１３の円筒外周側の端部１８１は、トルカコイル１５のコイル端末１５１を巻き付け固定する巻き付け部としてコイルボビン１３の側面から外側に突出している。その他方の円筒内側の端部は、接触端部１８２として振子側にわずかに折り曲げられている。接触端部１８２は、コイルボビン１３を振子に機械的に接合することで振子上の金属導体と電気的に接続する。したがって、振子上の金属導体に接触部１８２を接続する作業は容易である。
【特許文献１】特開平１１−２８１６７０号公報
【特許文献２】特開２０００−２３５０４５号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、特許文献２の方法において、インサートモールドされる２本の端子舌片１８は、変形により接触部１８２の位置がコイルボビン１３の振子側の面よりも浮く場合がある。この場合、作業者が手作業で接触部１８２の変形を修正する工数が増え、作業性を悪くしていた。
この発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、振子とトルカコイルが巻回されたコイルボビンとの組み立ての作業性を良くしたサーボ型加速度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明のサーボ型加速度計は、トルカコイルと、トルカコイルとの接続用に振子導体を有する振子と、トルカコイルを振子に固定するコイルボビンとを備える。コイルボビンは、端板と、端板の一方の面にその外形よりも小さな外形の凸部と、凸部の異なる２箇所
から端板の外縁方向に形成されたボビン導体とを具備する。トルカコイルの両端がボビン導体にそれぞれ接続される。そして、凸部に形成されたボビン導体と振子導体の少なくとも一方が当接する位置に形成される。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、振子導体にトルカコイルの凸部のボビン導体を接続するように振子とコイルボビンを接着固定するだけで、振子とトルカコイルの機械的接合と電気的接合を行うことができる。したがって、振子とトルカコイルが巻回されたコイルボビンの組み立ての作業性が良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施例では、振子と、トルカコイルが巻回されたコイルボビンを図示して説明を行う。他の部分の構成は背景技術で説明したサーボ型加速度計と同じであるのでその説明は省略する。複数の図面中同一のものには同じ参照符号を付し、説明は繰り返さない。
【実施例１】
【００１６】
図１にこの発明のサーボ型加速度計に用いられる振子と、トルカコイルが巻回されたコイルボビンとが機械的及び電気的に組み立てられた状態を示す。図１（ａ）は平面図であり、図１（ｂ）は断面図である。環状の枠体１０内に、舌片形状の振子１０ａが一対のヒンジ１０ｂ１，１０ｂ２によって連結して一体となって形成されている。トルカコイル１１が巻回された第１コイルボビン１４とトルカコイル１１´が巻回された第２コイルボビン１６は、振子１０ａ側にそれぞれ端板１４ａ，１６ａを備え、その中央部分に凸部１４ｂ，１６ｂが形成されている。凸部１４ａ，１６ｂは振子１０ａの中央部分の表裏に接着されて、第１コイルボビン１４と第２コイルボビン１６とが一体とされている。
【００１７】
第１コイルボビン１４と第２コイルボビン１６は、絶縁材料である例えば液晶ポリマーで形成される。ボビン導体１４ｃ，１４ｄが凸部１４ｂの異なる２箇所から端板１４ａの外縁まで形成されている。ボビン導体１４ｃにはトルカコイル１１のコイル端末１１ａが、ボビン導体１４ｄにはトルカコイル１１のコイル端末１１ｂが、それぞれ導電性接着剤で接続されている。第２コイルボビン１６側でも同様に２つのボビン導体が形成され、トルカコイル１１´のコイル端末の両端がボビン導体にそれぞれ導電性接着剤で接続される。
【００１８】
振子１０ａの一方の面には振子導体ＡとＢとが形成され、他方の面（図１では省略）には振子導体ＢとＣとが形成されている。振子１０ａに第１コイルボビン１４の凸部１４ｂを接着固定することで、振子導体Ａ，Ｂと、ボビン導体１４ｃ，１４ｄとがそれぞれ接合される。同様に、振子１０ａの他方の面に第２コイルボビン１６の凸部１６ｂを接着固定することで、振子導体Ｂ，Ｃと２つのボビン導体とがそれぞれ接続される。このように振子１０ａと第１コイルボビン１４、及び振子１０ａと第２コイルボビン１６との機械的接合と電気的接合は、凸部１４ｂ，１６ｂを振子１０ａに接着固定することで実現できるので、振子とトルカコイルの組み立ての作業性が良い。以降、振子、コイルボビン、の各構造を示して更に詳細に説明する。
【００１９】
〔振子〕
図２に、振子１０ａの平面図を示す。図２（ａ）は一方の面、図２（ｂ）は他方の面である。振子１０ａは、環状の枠体１０の枠内に位置し、枠体１０から一対のヒンジ１０ｂ１，１０ｂ２で連結されて舌片形状に形成されている。枠体１０、振子１０ａ、ヒンジ１０ｂ１，１０ｂ２は、例えば一枚の石英ガラスの円板からエッチングによって形成される。ヒンジ１０ｂ１，１０ｂ２は肉薄とされ弾性変形可能とされている。
【００２０】
振子導体Ａが、一方の面の枠体１０上に、枠体１０の幅の略半分の幅で円弧状に形成され、円弧状の金属導体の一端が一方のヒンジ１０ｂ１上をその延長方向に向けて延伸され、振子１０ａの中心部を超えた後にその中心部に向けて鈎状に折り返された形状で形成されている。円弧状の振子導体Ａは、トルカ電流の一方の入出力端部を構成する。
【００２１】
振子導体Ｂが、一方の面上で、振子１０ａの中央部に位置する振子導体Ａの端部から振子１０ａの中心を挟んで、後述するボビン導体同士の間隔と略等しい間隔を空けた位置から振子１０ａの外縁部に向けて振子導体Ａと同じ幅で形成されている。更に振子導体Ｂは、一対のヒンジ１０ｂ１，１０ｂ２の間の位置で振子１０ａの外縁部の側面を伝わって他方の面まで連続して形成されている。他方の面上の振子導体Ｂの形状は上記した一方の面上の形状と同じである。振子導体Ｂは、第１コイルボビン１４のトルカコイル１１と第２コイルボビン１６のトルカコイル１１´とを直列に接続する。
【００２２】
振子導体Ｃが、上記した振子導体Ａと略同じ形状で他方の面上に形成される。振子導体Ｃの端部が、一方の面の枠体１０上に枠体１０と略等しい幅で円弧状に形成される。一方の面の振子導体Ｃの端部と他方の面の振子導体Ｃとは、枠体１０の内径側の側面を伝わって連続して形成される。円弧状の振子導体Ｃは、トルカ電流の他方の入出力端を構成する。
【００２３】
静電容量検出電極Ｄが、振子１０ａの一方の面上で振子１０ａの外縁に沿って円弧状に形成され、更にヒンジ１０ｂ２上を伝わって、枠体１０上に枠体１０の外周部に沿って枠体１０の幅の略半分の幅で円弧状に端部が形成されている。
【００２４】
また、静電容量検出電極Ｅが、振子１０ａの他方の面上で、静電容量検出電極Ｄと同様に形成されている。更に静電容量検出電極Ｅは、枠体１０の内径側の側面を伝わって枠体１０の一方の面上まで連続し、枠体１０の一方の面上に枠体１０と略等しい幅で円弧状に端部が形成されている。枠体１０の一方の面上の静電容量検出電極Ｄ，Ｅのそれぞれの端部は図示しないサーボアンプに接続される。
以上述べた各振子導体は、石英ガラスから成る枠体１０、振子１０ａ、ヒンジ１０ｂ１，１０ｂ２の表面に金（Ａｕ）がスパッタリング若しくは真空蒸着された薄膜で形成される。
【００２５】
〔コイルボビン〕
図１に示した第１コイルボビン１４と第２コイルボビン１６は、同じ構造である。したがって、第１コイルボビン１４を図３に示してその構造を説明する。図３（ａ）は端板１４ａ側から見た第１コイルボビン１４の平面図、図３（ｂ）は中心線αで切断した断面図、図３（ｃ）は正面図である。
【００２６】
第１コイルボビン１４は端板１４ａを持ち、端板１４ａの中心部に凸部１４ｂが形成される。ボビン導体１４ｃと１４ｄが、端板１４ａの中心線α上で凸部１４ｂの２箇所から凸部１４ｂの側面を伝わって、端板１４ａの外縁部まで形成される。端板１４ａのボビン導体１４ｃ，１４ｄが形成された外縁部はトルカコイル１１の厚み分の幅に切り欠かれ、切り欠き部１４ｅ，１４ｆが形成される。トルカコイル１１が第１コイルボビン１４に巻回される。切り欠き部１４ｅ，１４ｆは、コイル端末１１ａ，１１ｂを、位置決めする。コイル端末１１ａ，１１ｂは、切り欠き部１４ｅ，１４ｆ付近のボビン導体１４ｃ，１４ｄに導電性接着剤でそれぞれ接着固定される。
【００２７】
第１コイルボビン１４は上記したように絶縁材料から成り、ボビン導体１４ｃ，１４ｄは、例えば金メッキで形成される。凸部１４ｂ上面のボビン導体１４ｃと１４ｄの間隔は、振子１０ａ上の振子導体ＡとＢの間隔、及び振子導体ＢとＣの間隔に略等しくされている。この凸部１４ｂ上面のボビン導体１４ｃ，１４ｄを、振子１０ａ上の振子導体ＡとＢにそれぞれ当接させて、例えばエポキシ系の接着剤で凸部１４ｂの凸部上面と振子１０ａとを接着固定する。
【００２８】
次に作業性を更に改善した構造を実施例２として説明する。
【実施例２】
【００２９】
実施例２を図４に示す。図４は第１コイルボビン４０と第２コイルボビン４２と振子４１とを組み立てた断面を示す図である。振子４１は、第１コイルボビン４０と第２コイルボビン４２の凸部４０ｂ，４２ｂを挿通させる貫通孔４３を備える。第１コイルボビン４０の凸部４０ｂと第２コイルボビン４２の凸部４２ｂとが、その貫通孔４３内で嵌合い構造で連結する。凸部４０ｂ，４２ｂの先端部は開放とされパイプ状である。そのパイプ状の凸部４０ｂ，４２ｂの外径は等しく一方の凸部、この例では凸部４２ｂが肉厚とされその先端部の外径が小径とされ、小径部の外壁が凸部４０ｂの内径内面に接して嵌る構造である。嵌合い構造で連結された凸部４０ｂと凸部４２ｂの外径面と、貫通孔４３とが例えばエポキシ系の接着剤で接着固定される。
【００３０】
凸部４０ｂの側面部分に形成されたボビン導体４０ｄ，４０ｃと振子４１の振子導体Ａ，Ｂの端部とが、それぞれ導電性接着剤４４で接続される。第２コイルボビン４２側も同様であり、ボビン導体４２ｃ，４２ｄと振子導体Ｂ，Ｃの端部とが、それぞれ導電接着剤４４で接続される。実施例２の他の部分の構造は、実施例１と同様である。
【００３１】
実施例２の構造によれば、第１コイルボビン４０の凸部４０ｂと第２コイルボビン４２の凸部４２ｂとが嵌合い構造で連結して、振子４１の貫通孔４３に接着固定されるので、実施例１に比べて、更に作業性を良くすることができる。
【００３２】
〔変形例１〕
実施例２を更に改善した変形例１を図５に示す。図５は振子４１と第１コイルボビン５０と第２コイルボビン５２とを組み立てた断面を示す図である。変形例１はボビン導体と振子導体の接続部の数を減らすことを目的として、第１コイルボビン５０のボビン導体５０ｃと第２コイルボビン５２のボビン導体５２ｃとの電気的接合が直接できるようにしたものである。コイル端末１１ａ，１１ａ´の接続用に切り欠け部５０ｅ，５２ｅが、端板と反対側の位置で第１コイルボビン５０と第２コイルボビン５２に設けられる。ボビン導体５０ｃ，５２ｅが、切り欠け部５０ｅ，５２ｅから第１コイルボビン５０、第２コイルボビン５２の内径面、端板上を伝わって凸部５０ｂ，５２ｂの内径面まで連続して形成されている。コイル端末１１ａ，１１ａ´は、切り欠け部５０ｅ，５２ｅ付近のボビン導体５０ｅ，５２ｅに導電性接着剤でそれぞれ接着固定される。
【００３３】
ボビン導体５０ｃと５２ｃの電気的接合は、凸部５０ｂと凸部５２ｂの内径内面上で導電性接着剤４４で接着接続することで行われる。振子導体Ｂを介さずにボビン導体５０ｃと５２ｃを電気的に接合することで、電気的接合部を１箇所減らすことができる。電気的接合数が少ない分、信頼性を高くすることができる。
【００３４】
また、凸部５０ｂ，５２ｂの基部にそれぞれ縁部５０ｇと５２ｇが形成されている。第１コイルボビン５０と第２コイルボビン５２は、縁部５０ｇ，５２ｇを、振子４１に突き当ててそれぞれ固定される。振子４１に縁部５０ｇ，５２ｇを突き当てて組み立てるので、振子４１に対する第１コイルボビン５０と第２コイルボビン５２の位置を容易に確定することができる。したがって、変形例１は実施例１あるいは２よりも作業性を良くすることができる。
変形例１の他の部分の構造は、実施例２と同様である。なお、振子４１の振子導体Ｂは無くてもよい。
【実施例３】
【００３５】
上記した実施例では、トルカコイルが巻回されたコイルボビンを用いた構造を示して説明を行ったが、コイルボビンの構造には保持台もあり、前記構造の他に環状磁気空隙を小さくする構造として巻回済みのトルカコイルを保持台に固定する構造も考えられる。保持台を用いた構造を実施例３として図６に示して説明する。図６は第１保持台６０と第２保持台６２と振子４１とを組み立てた断面を示す図である。第１保持台６０は、円板状であり、振子４１側の面の中央部に凸部６０ａが形成されている。
【００３６】
トルカコイル６１は、第１保持台６０に例えば接着剤で固定される。保持台６０の振子側の面と凸部６０ａには、実施例１のボビン導体１４ｃ，１４ｄと同様な保持台導体６０ｃ，６０ｄが形成されている。振子４１の中央部分の振子導体と保持台導体６０ｄ，６０ｃの位置を合わせて、振子４１と凸部６０ａが接着固定される。実施例３の他の部分の構造は実施例１と同様である。保持台を用いた構成も、実施例１と同様に機械的接合と電気的接合とを同時に得ることができる。
【実施例４】
【００３７】
上記した実施例２を、保持台と巻回済みのトルカコイルとを用いた構成とした実施例４を図７に示す。実施例４は、実施例２と同じ振子４１を用い、トルカコイル１１が巻回された第１コイルボビン４０を、第１保持台７０とトルカコイル６１に、トルカコイル１１´が巻回された第２コイルボビン４２を、第２保持台７２とトルカコイル６１´に置き換えたものである。第１保持台７０は、円板状であり、振子４１側の面の中央部に実施例２の凸部４０ｂと同様な形状の凸部７０ｂが形成されている。第１保持台７０の振子側の面と凸部７０ａには、実施例１のボビン導体１４ｃ、１４ｄと同様な保持台導体７０ｃ，７０ｄが形成されている。トルカコイル６１は、第１保持台７０に例えば接着剤で固定される。第２保持台７２側も、同様である。実施例４の他の部分の構成は実施例２と同じである。
【００３８】
〔変形例２〕
実施例４をより改善した変形例２を図８に示す。変形例２は、図５に示した変形例１のトルカコイル１１が巻回された第１コイルボビン５０を、第１保持台８０とトルカコイル６１に、トルカコイル１１´が巻回された第２コイルボビン５２を、第２保持台８２とトルカコイル６１´に置き換えたものである。第１保持台８０は、円板状であり、振子４１側の面の中央部に変形例１の凸部５０ｂと同様な形状の凸部７０ｂが形成されている。保持台８０，８２の振子４１と反対側の面の外縁部から、凸部８０ｂ，８２ｂの内径内面にかけてボビン導体５０ｃ、５２ｃと同様な保持台導体８０ｃ，８２ｃが形成されている。トルカコイル６１は、第１保持台８０に例えば接着剤で固定される。第２保持台８２側も、同様である。コイル端末は、保持台導体８０ｃ，８２ｃの外縁部に導電性接着剤でそれぞれ接着固定される。変形例２の他の部分の構成は変形例１と同じである。
【００３９】
なお、サーボ型加速度計において、コイルボビン若しくは保持台は必ずしも振子の両側に設ける必要はない。片側のみでもサーボ型加速度計を構成できる。また、トルカコイルが巻回されるコイルボビンの形状を円筒状を例に説明したがその形状は円筒状に限られない、例えば平面形状が四角形でも構わない。
【００４０】
また、コイルボビン及び保持台の材料は、セラミックスやガラスのような非金属無機材料でもよい。セラミックスには、メッキをすることが可能である。ガラスには、スパッタリング若しくは真空蒸着法によってボビン導体を形成することが可能である。コイルボビン若しくは保持台に熱膨張係数が小さい非金属無機材料を用いることにより、温度変化に対して、強くなる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】この発明のサーボ型加速度計に用いられる振子と、トルカコイルが巻回されたコイルボビンとが、機械的電気的に組み立てられた実施例１の状態を示す図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は断面図である。
【図２】図１の振子１０ａの平面図を示す図であり、図２（ａ）は一方の面、図２（ｂ）は他方の面を示す図である。
【図３】図１のトルカコイル１１が巻回された第１コイルボビン１４を示す図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は断面図、図３（ｃ）は正面図である。
【図４】第１コイルボビン４０と第２コイルボビン４２と振子４１とを、組み立てた、実施例２の断面を示す図。
【図５】第１コイルボビン５０と第２コイルボビン５２と振子４１とを、組み立てた変形例１の断面を示す図。
【図６】第１保持台６０と第２保持台６２と振子４１とを組み立てた、実施例３の断面を示す図。
【図７】第１保持台７０と第２保持台７２と振子４１とを組み立てた、実施例４の断面を示す図。
【図８】第１保持台８０と第２保持台８２と振子４１とを組み立てた、変形例２の断面を示す図。
【図９】従来のサーボ型加速度計の構造例を示す図。
【図１０】特許文献２に示されたコイルボビン１３を示す図であり、図１０（ａ）は断面図、図１０（ｂ）はトルカコイル１５が接着されたコイルボビン１３を振子側から見た斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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