(57)【要約】【課題】本発明は、適正な管理限界値を設定することができる品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラム、および製品の製造方法を提供する。【解決手段】製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを格納する実測データ格納部と、製品の検査結果に関するデータを格納する検査データ格納部と、前記実測データ格納部と、前記検査データ格納部と、に電気的に接続され、前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算する管理限界値適正化部と、を備えたことを特徴とする品質管理システムが提供される。【選択図】図１
2010224988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを格納する実測データ格納部と、
製品の検査結果に関するデータを格納する検査データ格納部と、
前記実測データ格納部と、前記検査データ格納部と、に電気的に接続され、前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算する管理限界値適正化部と、
を備えたことを特徴とする品質管理システム。
【請求項２】
製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを格納する実測データ格納部と、
製品の検査結果に関するデータを格納する検査データ格納部と、
前記実測データ格納部と、前記検査データ格納部と、に電気的に接続され、前記検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算する管理限界値適正化部と、
を備えたことを特徴とする品質管理システム。
【請求項３】
前記実測データ格納部と、前記検査データ格納部と、前記管理限界値適正化部と、に電気的に接続され、前記実測データ格納部に格納されている品質特性に関する実測データと、前記検査データ格納部に格納されている検査結果に関するデータと、から品質管理の対象となるデータを抽出して、管理限界値適正化部に提供するデータ抽出部を、さらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の品質管理システム。
【請求項４】
前記管理限界値適正化部は、前記検査結果に関するデータが不良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データを除いて管理限界値を演算すること、を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の品質管理システム。
【請求項５】
前記管理限界値適正化部は、前記実測データ格納部に格納されている品質特性に関する実測データを前記演算された管理限界値に基づいて再検査し、不良品の発生箇所を特定すること、を特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の品質管理システム。
【請求項６】
製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集し、
製品の検査結果に関するデータを収集し、
前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算すること、を特徴とする品質管理方法。
【請求項７】
製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集し、
製品の検査結果に関するデータを収集し、
前記検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算すること、を特徴とする品質管理方法。
【請求項８】
コンピューターに、
製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを入力させ、
製品の検査結果に関するデータを入力させ、
前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算させ、
前記演算された管理限界値の出力を実行させること、を特徴とする品質管理プログラム。
【請求項９】
コンピューターに、
製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを入力させ、
製品の検査結果に関するデータを入力させ、
前記検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算させ、
前記演算された管理限界値の出力を実行させること、を特徴とする品質管理プログラム。
【請求項１０】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の品質管理システムを用いて、製品の製造を行うことを特徴とする製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラム、および製品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年における製品の製造、特に、大量の製品を製造する場合においては、製品歩留りの向上や品質の維持が非常に重要となる。そのため、統計的品質管理（ＳＰＣ；Ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｃｏｎｔｒｏｌ）法を用いて、製造装置や製造プロセスを管理し、不良品の発生が最小限となるようにしている。    
例えば、製品の製造プロセスにおける温度や圧力などの品質特性に関する実測データが、予め設定された管理限界値を越えないように監視されるとともに、管理限界値を越えた場合には異常と判定するようにしている。
【０００３】
そして、この様な統計的品質管理法を用いた品質管理において、歩留まりに対する影響を考慮して管理限界値を設定する技術が提案されている（特許文献１を参照）。    
特許文献１に開示がされた技術においては、歩留まりに対する影響が大きい実測データに対する管理限界値を厳しくするとともに、歩留まりに対する影響が小さい実測データに対する管理限界値を緩和するようにしている。そのため、より影響が大きい実測データの異常を早期に発見し、迅速な対応を行うことが可能となる。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示がされた技術においては、管理限界値を設定する際に統計処理される実測データの適否に関する考慮がされていなかった。例えば、統計処理される実測データには、良品となったものの実測データの他にも不良品となったものの実測データが含まれている。そのため、以前に不良品となったものと同様の不良品の発生を検知することが困難になるなど、適正な管理限界値を設定することができなくなるおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１９８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、適正な管理限界値を設定することができる品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラム、および製品の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを格納する実測データ格納部と、製品の検査結果に関するデータを格納する検査データ格納部と、前記実測データ格納部と、前記検査データ格納部と、に電気的に接続され、前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算する管理限界値適正化部と、を備えたことを特徴とする品質管理システムが提供される。
【０００８】
また、本発明の他の一態様によれば、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを格納する実測データ格納部と、製品の検査結果に関するデータを格納する検査データ格納部と、前記実測データ格納部と、前記検査データ格納部と、に電気的に接続され、前記検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算する管理限界値適正化部と、を備えたことを特徴とする品質管理システムが提供される。
【０００９】
また、本発明の他の一態様によれば、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集し、製品の検査結果に関するデータを収集し、前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算すること、を特徴とする品質管理方法が提供される。
【００１０】
また、本発明の他の一態様によれば、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集し、製品の検査結果に関するデータを収集し、前記検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算すること、を特徴とする品質管理方法が提供される。
【００１１】
また、本発明の他の一態様によれば、コンピューターに、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを入力させ、製品の検査結果に関するデータを入力させ、前記検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算させ、前記演算された管理限界値の出力を実行させること、を特徴とする品質管理プログラムが提供される。
【００１２】
また、本発明の他の一態様によれば、コンピューターに、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを入力させ、製品の検査結果に関するデータを入力させ、前記検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する前記品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値を演算させ、前記演算された管理限界値の出力を実行させること、を特徴とする品質管理プログラムが提供される。
【００１３】
また、本発明の他の一態様によれば、上記の品質管理システムを用いて、製品の製造を行うことを特徴とする製品の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、適正な管理限界値を設定することができる品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラム、および製品の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施の形態に係る品質管理システムを例示するための模式図である。
【図２】判定部に設けられた表示手段に表示された管理図を例示するための模式グラフ図である。
【図３】不良品の発生箇所の特定を例示するための模式グラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施の形態に係る品質管理システムを例示するための模式図である。  
図１に示すように、品質管理システム１には、実測データ格納部２、検査データ格納部３、データ抽出部４、管理限界値適正化部５が設けられている。
【００１７】
実測データ格納部２には、製品を製造する製造装置６が電気的に接続され、各製造プロセスの過程における品質特性に関する実測データが実測データ格納部２により収集され、格納されるようになっている。すなわち、実測データ格納部２は、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集して格納する。  
製造装置６としては特に限定されるわけではなく、各種製品の製造に用いられる種々の製造装置を対象にすることができる。例えば、半導体製造ラインの一部を構成する製造装置を例にとれば、シリコンウェーハ上に薄膜を形成するプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長）装置や、プラズマエッチング装置、プラズマアッシング装置などを例示することができる。
【００１８】
なお、本明細書において「製品」というときは、製造装置において所定の処理がなされた後の部材をいい、いわゆる完成品の他に中間製品をも含むものとする。例えば、前述の例でいえば、薄膜が形成されたシリコンウェーハなども「製品」に含まれる。
【００１９】
検査データ格納部３には、製品を検査する検査装置７が電気的に接続され、各製品の検査結果に関するデータが検査データ格納部３により収集され、格納されるようになっている。すなわち、検査データ格納部３は、製品の検査結果に関するデータを収集して格納する。
【００２０】
検査装置７としては特に限定されるわけではなく、製造装置６で製造された製品の規格、特性、機能などを検査する種々の検査装置を対象にすることができる。例えば、半導体製造ラインの一部を構成する検査装置を例にとれば、膜厚検査装置、外観検査装置、機能検査装置などを例示することができる。また、対象となる検査は完成品の検査（最終検査など）のみならず、中間製品の検査（中間製品の出来ばえ検査など）とすることもできる。なお、接続される製造装置６や検査装置７の数は特に限定されるわけではなく、単数（1台）であってもよいし、複数であってもよい。
【００２１】
データ抽出部４には、実測データ格納部２、検査データ格納部３、管理限界値適正化部５が電気的に接続されている。そして、実測データ格納部２、検査データ格納部３に格納されている品質特性に関する実測データや検査結果に関するデータから品質管理の対象となるものを抽出して、管理限界値適正化部５に提供することができるようになっている。すなわち、データ抽出部４は、実測データ格納部２と、検査データ格納部３と、管理限界値適正化部５と、に電気的に接続され、実測データ格納部２に格納されている品質特性に関する実測データと、検査データ格納部３に格納されている検査結果に関するデータと、から品質管理の対象となるデータを抽出して、管理限界値適正化部５に提供する。  
なお、接続される製造装置６や検査装置７の数が少ない場合や、収集されるデータの種類や量が少ない場合にはデータ抽出部４を設ける必要はない。ただし、例えば、半導体製造ラインのように製造装置６、検査装置７の数が多く、また、収集されるデータの種類や量が多い場合には、データ抽出部４を設けるようにすることが好ましい。そのようにすれば、管理限界値適正化部５の負担を軽減させることができ、また、適正な管理限界値を演算する時間を短縮することができる。
【００２２】
管理限界値適正化部５には、データ抽出部４が電気的に接続されている。そして、データ抽出部４により抽出、提供された品質特性に関する実測データと検査結果に関するデータとに基づいて適正な管理限界値や目標値を演算することができるようになっている。    すなわち、管理限界値適正化部５は、データ抽出部４を介して実測データ格納部２と、検査データ格納部３と、に電気的に接続され、検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算する。または、管理限界値適正化部５は、データ抽出部４を介して実測データ格納部２と、検査データ格納部３と、に電気的に接続され、検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算する。
【００２３】
また、管理限界値適正化部５は、検査結果に関するデータが不良品となっているものに対応する品質特性に関する実測データを除いて管理限界値を演算する。    
また、管理限界値適正化部５は、実測データ格納部２に格納されている品質特性に関する実測データを演算された管理限界値に基づいて再検査し、不良品の発生箇所を特定する。なお、適正な管理限界値や目標値の演算に関する詳細は後述する。
【００２４】
また、管理限界値適正化部５には、判定部８が電気的に接続されている。そして、演算された管理限界値や目標値、実測データなどを電気的に接続された判定部８に提供することができるようになっている。  
判定部８は、提供された管理限界値や目標値、実測データなどに基づいて、正常／異常の判定を行う。例えば、逐次提供された実測データが提供された管理限界値を越えた場合には、異常と判定するようにすることができる。そして、異常と判定された場合には、外部に警報などを発するようにすることもできる。
また、判定部８に表示手段を設けて、提供された管理限界値や目標値、実測データ、前述した判定の結果や異常警報などを表示するようにすることもできる。
この場合、図１に示すように、提供された管理限界値や目標値、実測データを関連づけて「管理図」として表示させるようにすることもできる。
【００２５】
また、提供された管理限界値や目標値、実測データに基づいて判定部８に製造ラインの管理を行わせるようにすることもできる。  
製造ラインの管理としては、例えば、実測データが管理限界値を超えた場合には警報を発したり、製造装置６にプロセス条件を調整させたりするようなものを例示することができる。
なお、判定部８は必ずしも必要ではなく、品質管理システム１の外部に設けるようにすることもできる。
【００２６】
また、管理限界値適正化部５にキーボードなどの図示しない入力手段を電気的に接続し、品質管理の対象となるデータを特定することができるようにすることもできる。例えば、対象となる製造装置６や製造プロセスを図示しない入力手段から入力することで特定し、関連する品質特性に関する実測データ（例えば、温度や圧力など）や検査結果に関するデータをデータ抽出部４に抽出させるようにすることができる。    
なお、対象となる製造装置６や製造プロセスの特定は、品質管理システム１に電気的に接続された図示しないホストコンピュータにより特定させるようにすることもできるし、予め定められた順序に従い定期的に特定させるようにすることもできる。
【００２７】
次に、品質管理システム１の作用とともに本実施の形態に係る品質管理方法について例示をする。    
まず、各製造装置６における製造プロセスの過程で品質特性に関する実測データが実測データ格納部２により収集され、格納される。この際、収集された品質特性に関する実測データは、各製造装置６や製造プロセスなどと関連づけられて格納されるようになっている。    
一方、各検査装置７における検査結果に関するデータが検査データ格納部３により収集され、格納される。この際、収集された検査結果に関するデータは、各製造装置６や製造プロセスなどと関連づけられて格納されるようになっている。    
そのため、例えば、特定の製品の検査結果に対応する品質特性に関する実測データが特定できるようになっている。
【００２８】
次に、実測データ格納部２に格納されている品質特性に関する実測データと、検査データ格納部３に格納されている検査結果に関するデータとのうち、品質管理の対象となるもののデータがデータ抽出部４により抽出される。なお、品質管理の対象となるものは、前述したように、図示しない入力手段からの入力、図示しないホストコンピュータからの指令、予め定められた順序などにより特定される。    
この際、特定の製品の検査結果に対応する品質特性に関する実測データが特定できるようになっているので、例えば、良品となった製品に対応する品質特性に関する実測データと、不良品となった製品に対応する品質特性に関する実測データと、が区別できるようになっている。
【００２９】
例えば、品質管理の対象が特定の製造装置６における温度とされた場合には、特定の製造装置６における温度データが、実測データ格納部２に格納されている品質特性に関する実測データから抽出される。また、特定の製造装置６により製造された製品の検査結果が、検査データ格納部３に格納されている検査結果に関するデータから抽出される。    
この際、特定の製品の検査結果に対応する品質特性に関する実測データが特定できるようになっているので、良品となった製品に対応する温度データと、不良品となった製品に対応する温度データと、が区別できるようになっている。
【００３０】
次に、抽出された品質特性に関する実測データと検査結果に関するデータとが、管理限界値適正化部５に提供され、これらのデータに基づいて管理限界値適正化部５により管理限界値や目標値が演算される。    
この際、不良品となった製品に対応する品質特性に関する実測データが除かれ、良品となった製品に対応する品質特性に関する実測データのみにより管理限界値や目標値が演算されるようにすることができる。  
例えば、提供された温度データのうち良品となった製品に対応する温度データのみにより管理限界値や目標値が演算されるようにすることができる。
【００３１】
管理限界値や目標値の演算においては、良品となった製品に対応する品質特性に関する実測データ（例えば、温度データなど）のみに基づいて平均値と標準偏差σとが演算されるようにすることができる。そして、例えば、平均値を目標値とし、目標値に対する±３σの値を管理限界値とすることができる。なお、管理限界値は目標値に対する±３σの値に限定されるわけではなく適宜変更することができる。
【００３２】
以上に例示をしたように、本実施の形態に係る品質管理方法においては、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集し、製品の検査結果に関するデータを収集し、検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算する。    
または、後述するように、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを収集し、製品の検査結果に関するデータを収集し、検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算する。
【００３３】
次に、演算された管理限界値や目標値が判定部８や図示しないホストコンピュータなどに提供される。なお、この後例えば、提供された管理限界値や目標値、実測データを判定部８に表示させたり、提供された管理限界値や目標値、実測データに基づいて判定部８に正常／異常の判定をさせることもできる。また、前述したように製造ラインの管理を行わせるようにすることもできる。
【００３４】
この場合、例えば、演算された管理限界値と目標値、実測データとを関連づけて「管理図」に関するデータとして提供するようにすることができる。そして、「管理図」に関するデータとして提供されたものを判定部８に表示させるようにすることができる。なお、判定部８において「管理図」に関するデータを作成するようにすることもできる。
【００３５】
図２は、判定部に設けられた表示手段に表示された管理図を例示するための模式グラフ図である。なお、図２（ａ）は、比較例に係るものの場合における管理図を例示するための模式グラフ図であり、図２（ｂ）は本実施の形態に係る品質管理システム１の場合における管理図を例示するための模式グラフ図である。また、縦軸は品質特性に関する変数（例えば、温度や圧力など）、横軸は製品に関する事項（例えば、製品名やロット番号など）を表している。また、図中の「Ａ」に示す部分は不良品となった製品に対応する品質特性に関する実測データを表している。
【００３６】
図２（ａ）に示す比較例に係るものの場合には、管理限界値や目標値を演算処理する際に実測データの適否に関する考慮がされていない。すなわち、演算処理される実測データには、良品となったものの実測データの他にも不良品となったものの実測データＡが含まれている。そのため、演算された管理限界上限値と管理限界下限値とが大きな値となり、適正な管理限界値を設定することが困難となるおそれがある。また、演算される目標値が不適正なものとなるおそれもある。また、管理限界値や目標値を演算処理する際に不良品となったものの実測データＡをも用いているため、以前に不良品となったものと同様の不良品の発生を検知することが困難になるおそれもある。
【００３７】
これに対して、図２（ｂ）に示す本実施の形態に係る品質管理システム１の場合には、管理限界値や目標値を演算処理する際に実測データの適否に関する考慮がなされている。すなわち、演算処理される実測データには、良品となったものに対応する実測データのみが含まれ、不良品となったものに対応する実測データＡは含まれていない。そのため、演算された管理限界上限値と管理限界下限値とが適正な値となるので、適正な管理限界値を設定することができる。また、演算された目標値も適正なものとなる。また、管理限界値や目標値を演算処理する際に不良品となったものに対応する実測データＡが除かれているため、以前に不良品となったものと同様の不良品の発生を検知することが容易となる。
【００３８】
図３は、不良品の発生箇所の特定を例示するための模式グラフ図である。また、縦軸は品質特性に関する変数（例えば、温度や圧力など）、横軸は製品に関する事項（例えば、製品名やロット番号など）を表している。  
不良品の発生箇所を特定して製造装置６や製造プロセスの改善を図る場合がある。この様な場合には、検査データ格納部３に格納された検査結果に関するデータを分析することで不良品の発生箇所を特定することができる。しかしながら、製造される製品の数量が多い場合などには、分析に多大な時間と労力を要することになる。
【００３９】
そのため、本実施の形態においては、実測データ格納部２に格納されている品質特性に関する実測データを図２（ｂ）において例示をした管理限界値に基づいて再検査し、不良品の発生箇所を特定するようにしている。すなわち、管理限界値適正化部５により、実測データ格納部２に格納されている品質特性に関する実測データを演算された管理限界値に基づいて再検査し、不良品の発生箇所を特定するようにしている。
【００４０】
図２（ｂ）において例示をした管理限界値は、管理限界値や目標値を演算処理する際に不良品となったものの実測データが除かれている。そのため、この管理限界値に基づいて品質特性に関する実測データを再検査するようにすれば、図３に示すように、不良品となったものの実測データＡを容易に抽出することができる。そして、抽出された実測データＡから対応する製品に関する事項を知ることができるので、これに基づいて不良品の発生箇所を容易に特定することができる。その結果、不良品の発生箇所に関する分析に要する時間や労力を低減させることができるとともに、製造装置６や製造プロセスの改善を迅速に行うことができる。
【００４１】
なお、以上に例示をしたものの場合には、品質特性に関する実測データと検査結果に関するデータとを抽出し、管理限界値や目標値を演算処理する際に不良品となったものに対応する実測データを除くようにしているが、良品となったものに対応する実測データのみを抽出し、抽出された実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算するようにしてもよい。
【００４２】
また、良不良の区別のみならず、品質の等級などを考慮して管理限界値や目標値を演算するようにすることもできる。検査によっては等級の検査が行われる場合もある。そのような場合には、管理限界値や目標値を演算処理する際に特定の等級以外のものに対応する実測データを除くようにしたり、特定の等級のものに対応する実測データのみを抽出し、抽出された実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算したりすることもできる。そのようにすれば、製品の品質により管理限界値を厳格なものとしたり、緩和されたものとしたりすることができる。すなわち、製品の特性や品質管理の目的などに合わせて除外する実測データや抽出する実測データを選択する条件を適宜決定することで、管理限界値や目標値が適正なものとなるように制御することができる。
【００４３】
また、管理限界値や目標値の演算処理は、逐次行われるようにすることもできるし、予め定められた期間毎に定期的に行われるようにすることもできる。製造装置６の改善や製造プロセスの条件変更などによっては管理限界値や目標値を変更する必要が生じ得る。そのような場合であっても、管理限界値や目標値の演算処理が逐次行われるようにしたり、定期的に行われるようにしたりしておけば、適正な管理限界値や目標値となるように自動更新させることができる。
【００４４】
本実施の形態に係る品質管理システム１や品質管理方法によれば、管理限界値や目標値を演算処理する際に実測データの適否に関する考慮をしているので、演算された管理限界上限値と管理限界下限値とが適正な値となり、適正な管理限界値を設定することができる。また、演算された目標値も適正なものとすることができる。また、以前に不良品となったものと同様の不良品の発生を検知することが容易となるため、品質管理の精度を向上させることができる。
【００４５】
また、良不良の区別のみならず、品質の等級などを考慮して管理限界値や目標値を演算することで、製品の特性や品質管理の目的などに合わせて管理限界値や目標値が適正なものとなるように制御することができる。そのため、品質管理の精度や生産効率を向上させることができる。  
また、管理限界値や目標値の演算処理を逐次あるいは定期的に行うようにすることで、製造装置６の改善や製造プロセスの条件変更などが行われた場合にも適正な管理限界値や目標値となるように自動更新させることができる。
【００４６】
また、演算された管理限界値に基づいて品質特性に関する実測データを再検査するようにすれば、不良品となったものに対応する実測データＡを容易に抽出することができる。そのため、製造される製品の数量が多い場合などにおいても不良品の発生箇所を容易に特定することができる。その結果、不良品の発生箇所に関する分析に要する時間や労力を低減させることができるとともに、製造装置６や製造プロセスの改善を迅速に行うことができる。
【００４７】
次に、本実施の形態に係る品質管理プログラムについて例示をする。    
本実施の形態に係る品質管理プログラムは、コンピュータに、必要なデータを入力させ、前述した管理限界値や目標値の演算を実行させ、演算結果を出力させるためのものである。例えば、コンピューターに、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを入力させ、製品の検査結果に関するデータを入力させ、検査結果に関するデータが良品となっているものに対応する品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算させ、演算された管理限界値や目標値の出力を実行させるためのものである。
または、コンピューターに、製品の製造プロセスにおける品質特性に関する実測データを入力させ、製品の検査結果に関するデータを入力させ、検査結果に関するデータが所定の等級となっているものに対応する品質特性に関する実測データに基づいて管理限界値や目標値を演算させ、演算された管理限界値や目標値の出力を実行させるためのものである。
【００４８】
一連の演算処理を実行させるために、そのソフトウェアを構成する品質管理プログラムが、例えば、前述した管理限界値適正化部５の図示しない格納手段に格納される。品質管理プログラムは、例えば、図示しない記録媒体に格納された状態で管理限界値適正化部５に供給され、読み出されることで管理限界値適正化部５の図示しない格納手段に格納される。なお、図示しない通信手段などを介して、管理限界値適正化部５の図示しない格納手段に格納されるようにすることもできる。
【００４９】
そして、この品質管理プログラムを実行することで、前述した品質管理の対象となるものに関連するデータの抽出が実行され、管理限界値や目標値の演算が実行される。なお、品質管理の対象となるものは、図示しないキーボードなどの入力手段からの入力、図示しないホストコンピュータからの指令、予め定められた順序などにより特定される。
【００５０】
また、演算された管理限界値や目標値が判定部８や図示しないホストコンピュータなどに提供される。この場合、例えば、演算された管理限界値と目標値、実測データとを関連づけて「管理図」に関するデータとして提供されるようにすることもできる。
【００５１】
なお、本実施の形態に係る品質管理プログラムに基づいて実行されるステップは、記載された順序に従って時系列的に行われる処理はもちろん、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的あるいは個別に実行される処理をも含む。    
また、本実施の形態に係る品質管理プログラムは、単一の演算手段により処理されるものであってもよいし、複数の演算手段によって分散処理されるものであってもよい。
【００５２】
次に、本実施の形態に係る製品の製造方法について例示をする。    
本実施の形態に係る製品の製造方法は、前述した本実施の形態に係る品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラムを用いるものである。対象となる製品は特に限定されるわけではなくあらゆる製品の製造に対して広く適用させることができる。この場合、製造される製品の数量が多いものに適用させるようにすることがより好ましい。
【００５３】
例えば、食品などの製造に対して、原料の供給量、温度、濃度、乳酸菌などの数などを品質特性に関する実測データとして本実施の形態に係る品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラムを適用させることができる。  
また、有機材料、無機材料、金属材料、化学薬品などの製造に対して、原料の供給量、温度、濃度、成分比などを品質特性に関する実測データとして本実施の形態に係る品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラムを適用させることができる。
【００５４】
また、半導体装置、電子部品、自動車、輸送機器、精密機械、電気機械、産業用機械、機械部品、金型などの製造に対して、温度、電流、電圧、電力、圧力、ガスなどの流量などを品質特性に関する実測データとして本実施の形態に係る品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラムを適用させることができる。  
また、石油や、ガスなどの製造に対して、温度、圧力、流量、電力、成分比などを品質特性に関する実測データとして本実施の形態に係る品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラムを適用させることができる。  
その他、種々の製品の製造に対して、その製造に特有のプロセスデータや、電力などのような一般的なプロセスデータなどを品質特性に関する実測データとして本実施の形態に係る品質管理システム、品質管理方法、品質管理プログラムを適用させることができる。
【００５５】
以上、本実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。  
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。  
例えば、品質管理システム１が備える各要素の形状、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。  
また、品質管理システム１に製造装置６や検査装置７が電気的に接続される場合を例示したがこれに限定されるわけではなく、データの受け渡しができるようにされていればよい。例えば、品質特性に関する実測データや検査結果に関するデータを記録媒体を介して受け渡すような場合には、品質管理システム１に製造装置６や検査装置７が電気的に接続されていなくてもよい。  
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５６】
１  品質管理システム、２  実測データ格納部、３  検査データ格納部、４  データ抽出部、５  管理限界値適正化部、６  製造装置、７  検査装置、８  判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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