(57)【要約】【課題】異方性導電テープの貼付け前後に剥離したテープを簡単・コンパクトで安価な構成にて確実に分離回収する。【解決手段】テープＴを吸引して回収する回収手段２１を備えたＡＣＦ貼付装置１において、回収手段２１が、テープＴを回収して蓄積する回収容器２２と、回収容器２２の上面の中央部で回収容器２２内に突出する排気エア吸込筒３０と、排気エア吸込筒３０の上端に接続されたエア排出部３２と、回収容器２２における排気エア吸込筒３０の周囲に配設され、排気エア吸込筒３０の回りに円周方向のエア流れを発生させる少なくとも２つ以上のエア流入口２５ａ、２５ｂと、テープＴを吸引エアとともに吸入するテープ吸入口からエア流入口２５ａ、２５ｂに至るテープ回収経路２３とを備えている。【選択図】図２
2010129885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セパレータテープに積層された異方性導電テープを対象物に押し付けて貼り付けた後、異方性導電テープから剥離したセパレータテープを吸引して回収する回収手段を備えた異方性導電テープの貼付装置において、
回収手段が、
テープを回収して蓄積する回収容器と、
回収容器の上面の中央部で回収容器内に突出する排気エア吸込筒と、
排気エア吸込筒の上端に接続されたエア排出部と、
回収容器における排気エア吸込筒の周囲に配設され、排気エア吸込筒の回りに円周方向のエア流れを発生させる少なくとも２つ以上のエア流入口と、
剥離したテープを吸引エアとともに吸入するテープ吸入口と、
テープ吸入口から回収容器のエア流入口に至るテープ回収経路とを
備えたことを特徴とする異方性導電テープの貼付装置。
【請求項２】
テープ吸入口で吸引エアとともにテープを吸引するとともに、エア流入口に向けて圧送エアとともにテープを送給する真空エジェクタをテープ回収経路途中に配設したことを特徴とする請求項１記載の異方性導電テープの貼付装置。
【請求項３】
テープ吸入口から回収容器を経てエア排出部に向かう吸引エア流を形成する真空源をエア排出部に接続したことを特徴とする請求項１記載の異方性導電テープの貼付装置。
【請求項４】
回収部の内側に突出している排気エア吸込筒のエア排出部側の端部にエアフィルタを配設したことを特徴とする請求項１〜３の何れか１つに記載の異方性導電テープの貼付装置。
【請求項５】
各エア流入口とそれに最も近い排気エア吸込筒の開口縁とを結ぶ仮想延長線が回収容器の周壁と交差するように回収容器の深さを設定したことを特徴とする請求項１〜４の何れか１つに記載の異方性導電テープの貼付装置。
【請求項６】
前記回収手段は、更に異方性導電テープの表面に積層され異方性導電テープの貼り付け前に剥離したカバーテープを吸引して回収することを特徴とする請求項１記載の異方性導電テープの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや電子回路基板などの対象物に電子部品を実装する工程で、対象物に異方性導電テープを貼り付ける異方性導電テープの貼付装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に実装する方法として、異方性導電テープ（以下、ＡＣＦと記す）を用いる方法が知られている。すなわち、図５（ａ）に示すように、セパレータテープ５０に積層されたＡＣＦ５１をステージ５２上に設置された基板５３の電極５４上に対向位置させ、その後、図５（ｂ）に示すように、加圧ツール５５にてセパレータテープ５０上からＡＣＦ５１を基板５３の電極５４に押し付けることでＡＣＦ５１を基板５３の電極５４上に貼り付けるＡＣＦ貼付工程を行い、その後、基板５３の電極５４と電子部品の電極を位置合わせしてＡＣＦ５１の上から電子部品を装着し、加熱加圧することで、電極同士を接合する方法が知られている。
【０００３】
上記ＡＣＦ貼付工程では、ＡＣＦが粘着性を有しているので、上記のようにＡＣＦを容易に剥離可能なセパレータテープに積層した２層構造、又は必要に応じてさらにＡＣＦの表面に容易に剥離可能なカバーテープを積層した３層構造の積層テープとし、この積層テープを供給リールに巻回して取り扱われている。すなわち、供給リールから積層テープを引き出し、カバーテープがある場合はカバーテープを剥離した後、セパレータテープに積層されたＡＣＦをステージ上に設置された基板の電極上に対向位置させ、その後加圧ツールにてセパレータテープ上からＡＣＦを基板の電極に押し付けて貼り付け、その後ＡＣＦからセパレータテープを剥離し、剥離したカバーテープやセパレータテープは回収している。
【０００４】
このようにＡＣＦの貼付の前後にＡＣＦから剥離したカバーテープやセパレータテープなどのテープを確実に回収するため、テープを吸引部にて真空吸引して回収する回収手段を設けたＡＣＦ貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。その吸引部は、ケース内にテープを回収する回収室を設けるとともに、その一側に多孔板を介して吸引回収する吸引室を設けた構成とされている。
【０００５】
ところが、テープを吸引して回収する際には、テープとともにＡＣＦの微細粉なども同時に吸引することになり、特許文献１に記載の吸引部の構成では、その吸引回収するテープや微細粉が多孔板に向けて流出し、多孔板に目詰まりを発生させ、その目詰まり度合いによりテープの回収不良の原因になるという問題がある。また、本出願人は本発明に先立って、図６に示すような回収手段６１を構成した。図６において、剥離したテープ６０を吸引するテープ吸引口（図示せず）をテープ回収経路６２を通して回収容器６３に接続するとともに、そのテープ回収経路６２の途中に真空エジェクタ（図示せず）を設けて、テープ吸引口で吸引エアとともにテープ６０を吸引するとともに、回収容器６３に向けて圧送エアとともにテープ６０を送給するようにし、回収容器６３は、上壁にテープ回収経路６２の開口とエア排気口６４を設け、エア排気口６４にはエアフィルタ６５を配設し、かつエア排気口６４を排気管６６とマフラー６７を介して大気中に開放している。
【０００６】
なお、吸引気体中に含まれる粉粒体を遠心分離作用で分離除去し又は粉粒体を分級する装置としてのサイクロンは周知である。一般のサイクロンは、倒立円錐形状の容器の上部に接線方向に気体流を導入し、上端から排気し、下端部に分離した粉体を貯留するように構成されている。また、このサイクロン方式を電気掃除機に適用するについて、種々の工夫を行うことによって微細な塵埃を確実かつ高い収集率で分離収集できるようにした電気
掃除機も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】実開平９−２９８３８６号公報
【特許文献２】実開平５−１７６８７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、図６に示した回収手段６１の構成では、テープ回収経路６２から回収容器６３内にテープ６０とＡＣＦの微細粉７０が流入し、テープ６０は回収容器６３の底部に堆積残留し、微細粉７０は気流とともにエア排気口６４に向けて流動するが、エアフィルタ６５で捕集されて分離除去され、排気エアのみが排気管６６とマフラー６７を介して大気中に放出されるが、ある程度の期間使用すると、図６に示すように、エアフィルタ６５が回収された微細粉７０で目詰まりし、あるいは、エアフィルタ６５にテープ６０が吸込まれて目詰まりを起こしてしまう。
【０００８】
場合によってはこの目詰まりにより、回収容器６３内の圧力が上がってその蓋が外れ、内部の微細粉７０がクリーンルーム内に飛散する恐れがあるという不具合があった。
【０００９】
そこで、特許文献２等に記載されているサイクロンによる微粉末の分離回収技術を適用することが考えられるが、テープと微粉末が回収容器に入ってくるので、サイクロンを適用するために回収容器を倒立円錐状にすると、長尺のテープが回収容器の下部に滞留・蓄積して速やかに分離回収が不可能になってしまうという問題があり、図６に示した回収容器６３でテープ６０のみを先に回収した後、後段でサイクロン等にて微粉末７０を分離回収することも考えられるが、装置構成が大掛かりでかつコスト高になるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、異方性導電テープの貼付け前後に剥離したカバーテープやセパレータテープなどのテープ及び発生した異方性導電テープの微粉末を簡単・コンパクトで安価な構成にて確実に分離回収することができる異方性導電テープの貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の異方性導電テープの貼付装置は、セパレータテープに積層された異方性導電テープを対象物に押し付けて貼り付けた後、異方性導電テープから剥離したセパレータテープを吸引して回収する回収手段を備えた異方性導電テープの貼付装置において、回収手段が、テープを回収して蓄積する回収容器と、回収容器の上面の中央部で回収容器内に突出する排気エア吸込筒と、排気エア吸込筒の上端に接続されたエア排出部と、回収容器における排気エア吸込筒の周囲に配設され、排気エア吸込筒の回りに円周方向のエア流れを発生させる少なくとも２つ以上のエア流入口と、剥離したテープを吸引エアとともに吸入するテープ吸入口と、テープ吸入口から回収容器のエア流入口に至るテープ回収経路とを備えたものである。
【００１２】
この構成によると、異方性導電テープの貼付前後に剥離されたテープ及び異方性導電テープの微粉末は、吸引エアとともにテープ吸入口から吸入され、テープ回収経路を通ってエア流入口から回収容器内に流入し、かつエア流入口が排気エア吸込筒の回りに少なくとも２つ以上設けられて円周方向のエア流れが発生するようにされているので、単一のエア流入口を設けた場合に比して強力なエア旋回流が安定して得られ、そのエア旋回流とともにテープと微粉末が回収容器内を旋回し、エアは排気エア吸込筒の周囲を旋回しつつ下降した後回収容器の中心部を上昇して排気エア吸込筒内に入り、エア排出部を通って外部に放出される一方、テープと微粉末は回収容器内を旋回する間に遠心力と重力の作用によってエア旋回流から分離され、テープは回収容器の底部で旋回しつつ順次巻き取られる状態で貯留され、微粉末はテープや回収容器の内周面や排気エア吸込筒の外周面に付着した状態で貯留されることが出来る。
【００１３】
また回収部の内側に突出している排気エア吸込筒により、回収部の内側に回収されたテープが回収容器における排気エア吸込筒の周囲に配設されたエア流入口よりエア排出部側の端部に直接吸込まれてしまうことが抑制でき、テープ吸入口と、テープ回収経路と、排気エア吸込筒とエア流入口とを有する回収容器と、エア排出部とから成る簡単・コンパクトで安価な構成にてテープと微粉末を確実に分離回収することができる。
【００１４】
また、テープ吸入口で吸引エアとともにテープを吸引するとともに、エア流入口に向けて圧送エアとともにテープを送給する真空エジェクタをテープ回収経路途中に配設すると、工場内の高圧エア源を利用することで簡単でコンパクトな構成にてテープ吸入口に所要の吸引エアを発生させることができるとともに真空エジェクタより下流側では強力なエア流が形成されるのでテープ回収経路の内面への微粉末の付着を防止することができる。なお、真空エジェクタは、負圧側の圧力に比して正圧側の圧力が高いので、テープ吸入口の近傍に配設するのが好ましい。
【００１５】
また、真空エジェクタに代えて若しくは真空エジェクタとともに、テープ吸入口から回収容器を経てエア排出部に向かう吸引エア流を形成する真空源をエア排出部に接続しても良い。
【００１６】
また、回収部の内側に突出している排気エア吸込筒のエア排出部側の端部にエアフィルタを配設すると、排気エア吸込筒内に排気エアとともに流入した微粉末がエア排出部に流出するのを最終的に防止することができるとともに、回収部の内側に突出している排気エア吸込筒により排気エア吸込筒の上端まで微粉末が流れ込むことは滅多にないので長期使用によっても目詰まりを生じる恐れはない。
【００１７】
また、各エア流入口とそれに最も近い排気エア吸込筒の開口縁とを結ぶ仮想延長線が回収容器の周壁と交差するように回収容器の深さを設定すると、回収容器の底部にテープが順次巻き取られた状態で貯留されても、エア旋回流に悪影響を与える恐れがなくなり、上記テープと微粉末の分離回収作用を安定して確保することができる。
【００１８】
また、前記回収手段は、更に異方性導電テープの表面に積層され異方性導電テープの貼り付け前に剥離したカバーテープを吸引して回収するようにすることもできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の異方性導電テープの貼付装置によれば、吸引エアとともにテープと微粉末がテープ吸入口からテープ回収経路を通って回収容器内に流入し、かつ回収容器のエア流入口が排気エア吸込筒の回りに少なくとも２つ以上設けられていることで強力なエア旋回流が安定して得られ、そのエア旋回流にてテープと微粉末が回収容器内を旋回し、エアが旋回しつつ下降した後排気エア吸込筒内に入ってエア排出部を通って外部に放出される一方、テープは回収容器の底部で旋回しつつ順次巻き取られた状態で分離回収され、微粉末もテープや回収容器の内周面や排気エア吸込筒の外周面に付着した状態で回収されるので、簡単・コンパクトで安価な構成にてテープと微粉末を確実に分離回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の異方性導電テープの貼付装置（ＡＣＦ貼付装置）の一実施形態について、図１〜図４を参照して説明する。
【００２１】
図１において、１はＡＣＦ貼付装置であって、搬入された基板２が位置決め手段（図示せず）にて支持され、所定位置に移動されて位置決めされる。３は、位置決めされた基板２の側端部を下方から支持する下受け部である。５は、貼り付けるべきＡＣＦ層をセパレ
ータテープ４ａに積層したＡＣＦテープ４をセパレータテープ４ａに積層されたＡＣＦ層とは反対側のセパレータテープ４ａの側から押圧してＡＣＦ層を基板２に貼り付ける圧着機構部であり、下方に配置された下受け部３と対向する圧着面６ａを下面に有し、ＡＣＦテープ４の貼付動作を行う圧着ヘッド６と、この圧着ヘッド６を昇降駆動するシリンダ装置などのヘッド昇降装置７を備えている。圧着ヘッド６には、図示しない加熱手段が内蔵されており、圧着ヘッド６の圧着面６ａを所定温度に加熱することが可能となっている。
【００２２】
８は、ＡＣＦテープ４を供給するテープ供給部であり、ＡＣＦテープ４が巻回された供給リール９と、供給リール９を回転させてＡＣＦテープ４を供給する供給モータ１０と、供給リール９から引き出したＡＣＦテープ４に所定の張力を付与するテンション機構部１１を備えている。テンション機構部１１は、テンションローラ１２がガイド溝１３に沿って上下方向に移動自在に支持されるとともに、重力やばね力を利用した付勢手段（図示せず）にて上方に向けて移動付勢されている。なお、テンションローラ１２の位置を検出する検出センサ（図示せず）が配設され、その検出センサによる検出信号に基づいて供給モータ１０を駆動制御するように構成されている。
【００２３】
１４ａ、１４ｂは、圧着ヘッド６の両側に位置するように配設されたテープ走行案内部で、供給されたＡＣＦテープ４を基板２の貼付部位の上に配置するように案内する。テープ走行案内部１４ａと上記テンション機構部１１との間には、ＡＣＦテープ４の終端を検知する終端検知センサ１５と、ＡＣＦテープ４のセパレータテープ４ａ上のＡＣＦ層に対し、基板２におけるＡＣＦ貼付領域の大きさに応じた長さ毎に切り込みを入れるカッター１６とが配設されている。また、下受け台３と圧着ヘッド６の圧着面６ａとの間をその長手方向に往復移動して基板２に貼付けられたＡＣＦテープ４のＡＣＦ層からセパレータテープ４ａを剥離する剥離機構１７が配設されている。
【００２４】
テープ走行案内部１４ｂの上部には、ＡＣＦ層から剥離されたＡＣＦテープ４のセパレータテープ４ａを所定量づつ走行駆動するテープ走行駆動部１８が配設されている。テープ走行駆動部１８は、送りローラ１８ａとピンチローラ１８ｂを回転する送りモータ１８ｃにて構成され、セパレータテープ４ａを送りローラ１８ａとピンチローラ１８ｂの間で挟持した状態で送りモータ１８ｃにて送りローラ１８ａを回転することで、セパレータテープ４ａを所定量づつ送るように構成されている。
【００２５】
テープ走行駆動部１８の上部には、セパレータテープ４ａを吸入するテープ吸入口１９が配設されている。また、ＡＣＦテープ４が、セパレータテープ４ａ上にＡＣＦ層とカバーテープ４ｂとが積層された３層構造の場合に、テンション機構部１１の手前でＡＣＦテープ４から剥離されたカバーテープ４ｂを吸入して回収するテープ吸入口２０が配設されている。
【００２６】
次に、これらテープ吸入口１９、２０から吸入したセパレータテープ４ａやカバーテープ４ｂなどのテープＴとＡＣＦの微粉末Ｐを回収する回収手段２１について、図１〜図４を参照して詳しく説明する。
【００２７】
回収手段２１は、テープＴを回収して蓄積する回収容器２２と、テープ吸入口１９、２０と回収容器２２の間を接続するテープ回収経路２３と、テープ回収経路２３の途中に配設された真空エジェクタ２４とで構成されている。図示例では、テープ吸入口１９、２０にそれぞれ接続されたテープ回収経路２３が真空エジェクタ２４の手前で集合され、回収容器２２の手前で複数に分岐され、回収容器２２の上面に配設された少なくとも２つ以上のエア流入口２５ａ、２５ｂにそれぞれ接続されている。真空エジェクタ２４には、工場内の高圧エア源等から高圧エア２６が供給され、この圧縮エア２６が真空エジェクタ２４内で回収容器２２側に向けて噴出することで、テープ吸入口１９、２０側が負圧になって吸引エア流が発生するとともに、エア流入口２５ａ、２５ｂに向けて圧送エア流が発生し、テープＴ及び微粉末Ｐがテープ吸入口１９、２０で吸引エアとともに吸引されてエア流入口２５ａ、２５ｂに向けて圧送エアとともに圧送される。図示例（図２、図４）では、説明を簡略化するために、セパレータテープ４ａ上にＡＣＦ層が積層された２層構造のＡＣＦテープ４において、ＡＣＦ層から剥離されたセパレータテープ４ａを回収する場合、テープ吸入口２０からセパレータテープ４ａのテープＴが吸引され、一方のエア流入口２５ａに向けて圧送エアとともにテープＴとＡＣＦ層の剥離時やセパレータテープ４ａの回収時などに搬送経路で発生することがある微粉末Ｐが送られ、他方のエア流入口２５ｂには微粉末Ｐを含むことがある圧送エアが送られるようにしている。なお、真空エジェクタ２４は負圧側の圧力に比して正圧側の圧力が高いので、テープ吸入口１９、２０の近傍に配設されている。
【００２８】
回収容器２２は、図２に示すように、円筒容器２７の上面を開閉可能な蓋板２８にて密閉して構成されており、蓋板２８の中央部に形成した開口部２９の下面に回収容器２２内に突出する排気エア吸込筒３０が装着されるとともに、排気エア吸込筒３０の上端の取付フランジ３０ａと蓋板２８の下面との間にエアフィルタ３１が配設されている。蓋板２８の中央部の開口部２９の上面には、排気筒３３の上端部にマフラー３４を接続して成り、エア回収容器２２内からエアを排出するエア排出部３２が接続され、円筒容器２７内のエアを消音して大気に放出するように構成されている。
【００２９】
エア流入口２５ａ、２５ｂは、蓋板２８における排気エア吸込筒３０の周囲に、その開口３５が円周方向にかつ同一回転方向を向くように配設され、図２に仮想線の矢印で示すように、排気エア吸込筒３０の回りに円周方向のエア旋回流３６を発生させるように構成されている。エア流入口２５ａ、２５ｂは、具体的には図３に示すように、蓋板２８に形成した取付穴３７にスリーブ３８を斜め姿勢で貫通させた取付板３９を装着し、スリーブ３８の回収容器２２の内側の端部に螺合し、くの字状に屈曲した管継手４０ａの先端開口を円周方向に向いた開口３５とし、スリーブ３８の回収容器２２の外側の端部に螺合し、くの字状に屈曲した管継手４０ｂにテープ回収経路２３を接続している。
【００３０】
また、回収容器２２は、各エア流入口２５ａ、２５ｂとそれに最も近い排気エア吸込筒３０の開口縁とを結ぶ仮想延長線４１が回収容器２２の周壁と交差するように、その深さが設定されている。
【００３１】
この深さ以上の回収容器２２の深さであれば回収容器の底部にテープが順次巻き取られた状態で貯留されても、エア旋回流に悪影響を与える恐れがなくなり、上記テープと微粉末の分離回収作用を安定して確保することができる。
【００３２】
以上の構成によれば、真空エジェクタ２４に高圧エア２６を供給すると、ＡＣＦテープ４の貼付前後に剥離されたセパレータテープ４ａやカバーテープ４ｂなどのテープＴと貼付工程や回収経路で発生したＡＣＦの微粉末Ｐが、テープ吸入口１９、２０から吸引エアとともに吸入され、テープ回収経路２３を通って複数のエア流入口２５ａ、２５ｂから回収容器２２内に流入する。
【００３３】
ここで、エア流入口２５ａ、２５ｂを排気エア吸込筒３０の回りに少なくとも２つ以上設けて円周方向のエア流れが発生するようにしているので、図２に仮想線の矢印で示すように、強力なエア旋回流３６が安定して得られる。これに対して、単一のエア流入口２５ａのみを設けた場合には、エア流入口２５ａから円周方向の一方向にエアを流出させている状態で、逆方向にも圧力が分布し、回収容器２２の円周方向の圧力分布において圧力均衡点が発生してその位置からエア流入口２５ａまでの間エア旋回流３６を抑制させる作用が生じ、強力なエア旋回流３６を得ることが難しいことが判明した。本発明では、回収容器２２内で上記強力なエア旋回流３６が形成されることで、そのエア旋回流３６とともに
テープＴと微粉末Ｐが回収容器２２内を旋回する。
【００３４】
回収容器２２内に流入したエアは、排気エア吸込筒３０の周囲を旋回しつつ下降した後、回収容器２２の中心部を上昇して排気エア吸込筒３０内に入り、エア排出部３２を通って外部に放出される。一方、テープＴと微粉末Ｐは回収容器２２内を旋回する間に遠心力と重力の作用によってエア流から分離される。テープＴはエア旋回流の余波を受けて回収容器２２の底部で図２に矢印４２で示すように旋回しつつ順次巻き状態になり、図４に示すような状態で貯留される。この際に、各エア流入口２５ａ、２５ｂとそれに最も近い排気エア吸込筒３０の開口縁とを結ぶ仮想延長線４１が回収容器２２の周壁と交差するように回収容器２２の深さを深く設定していることで、回収容器２２の底部にテープＴが順次巻き取られた状態で貯留されても、エア旋回流３６に悪影響を与える恐れがなく、テープＴと微粉末Ｐを効果的に分離除去することができる。回収容器２２の底部に貯留されたテープＴは、蓋板２８を円筒容器２７から取り外すことで、円筒容器２７から簡単に排出することができる。
【００３５】
また、エア旋回流３６から分離された微粉末Ｐは、テープＴや回収容器２２の内周面や排気エア吸込筒３０の外周面に付着した状態で貯留される。さらに、回収容器２２の内側に突出している排気エア吸込筒３０の上端部にエアフィルタ３１を配設しているので、排気エア吸込筒３０内に排気エアとともに流入した微粉末Ｐがエア排出部３２に流出するのを最終的に防止することができるとともに、回収部の内側に突出している排気エア吸込筒により排気エア吸込筒３０の上端まで微粉末Ｐが流れ込むことは滅多にないので長期使用によってもエアフィルタ３１に目詰まりを生じる恐れはない。
【００３６】
また、テープ回収経路２３の途中に真空エジェクタ２４を配設して、テープ吸入口１９、２０に所要の吸引エアを発生させるとともに真空エジェクタ２４より下流側では強力なエア流が形成されるようにしているので、工場内の高圧エア源を利用した簡単でコンパクトな構成にて、テープ吸入口１９、２０で吸引エアとともにテープＴ及び微粉末Ｐを確実に吸引することができるとともに、エア流入口２５ａ、２５ｂに向けて圧送エアとともにテープＴ及び微粉末Ｐを送給することでテープ回収経路２３の内面への微粉末Ｐの付着も抑制することができる。
【００３７】
以上のように、本実施形態によれば、テープ吸入口１９、２０と、テープ回収経路２３と、真空エジェクタ２４と、排気エア吸込筒３０とエア流入口２５ａ、２５ｂとを有する回収容器２２と、エア排出部３２とから成る簡単・コンパクトで安価な構成にてテープＴと微粉末Ｐを確実に分離回収することができる。
【００３８】
なお、図示例（図２、図４）では、一方のエア流入口２５ａにのみテープ吸入口１９から吸入されたセパレータテープ４ａが流入する例を示したが、３層構造のＡＣＦテープ４を用いてテープ吸入口２０からカバーテープ４ｂが吸入される場合には、他方のエア流入口２５ｂにカバーテープ４ｂが流入するようにしても良く、勿論テープ吸入口１９、２０に対応してそれぞれにテープ回収経路２３と真空エジェクタ２４を配設した構成としても良い。
【００３９】
また、以上の実施形態では、テープ回収経路２３の途中に配設した真空エジェクタ２４にてテープ吸入口１９、２０に吸引気流を発生させ、回収容器２２に向かう圧送気流を発生させるようにした例を示したが、真空エジェクタ２４に代えて若しくは真空エジェクタ２４とともに、図２に仮想線で示すように、エア排出部３２の排気筒３３を延長してその先端に真空ポンプ４３を接続したり、工場内の真空排気系に接続したりすることで、テープ吸入口１９、２０からテープ回収経路２３、回収容器２２を経てエア排出部３２に向かう吸引エア流を形成するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、吸引エアとともにテープと微粉末がテープ吸入口からテープ回収経路を通って回収容器内に流入し、かつ回収容器のエア流入口が排気エア吸込筒の回りに少なくとも２つ以上設けられていることで強力なエア旋回流が安定して得られ、そのエア旋回流にてテープと微粉末が効果的に分離回収されるため、簡単・コンパクトで安価な構成にてテープと微粉末を確実に分離回収することができるので、セパレータテープに積層された異方性導電テープを対象物に押し付けて貼り付けた後、異方性導電テープから剥離したセパレータテープ、若しくは異方性導電テープの表面に積層され異方性導電テープの貼り付け前に剥離されたカバーテープ、又はセパレータテープとカバーテープの両方のテープを吸引して回収する回収手段を備えた異方性導電テープの貼付装置に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態の異方性導電テープ貼付装置の全体概略構成を示す斜視図。
【図２】同実施形態の回収手段の要部である回収容器の構成を示す縦断正面図。
【図３】同実施形態の回収容器のエア流入口の縦断面図。
【図４】同実施形態におけるテープの回収状態を示す回収容器の横断平面図。
【図５】異方性導電テープ貼付装置における動作説明図。
【図６】本発明に至る前段階の回収手段の要部構成を示す縦断正面図。
【符号の説明】
【００４２】
１  ＡＣＦ貼付装置（異方性導電テープの貼付装置）
４  ＡＣＦテープ
４ａ  セパレータテープ
４ｂ  カバーテープ
１９  テープ吸入口
２０  テープ吸入口
２１  回収手段
２２  回収容器
２３  テープ回収経路
２４  真空エジェクタ
２５ａ、２５ｂ  エア流入口
３０  排気エア吸込筒
３１  エアフィルタ
３２  エア排出部
４３  真空ポンプ
Ｔ（４ａ、４ｂ）  テープ
Ｐ  微粉末
【図１】
2010129885.tif 000003
【図２】
2010129885.tif 000004
【図３】
2010129885.tif 000005
【図４】
2010129885.tif 000006
【図５】
2010129885.tif 000007
【図６】
2010129885.tif 000008