(57)【要約】【課題】  電池電極用シート等に形成された被膜の境界位置を、被膜が薄くても計算することができる技術を提供する。【解決手段】  電池電極用シート２（測定対象物）に形成された被膜の境界を検出する装置が、電池電極用シート２上の表面にスリット光を照射するレーザ光源４１，４２（照射手段）と、スリット光が投影されている電池電極用シート２の表面を撮影するＣＣＤカメラ５１，５２（撮影手段）と、ＣＣＤカメラ５１，５２による撮影画像から、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する線幅変化点を特定する線幅変化点特定手段６５（第１特定手段）と、特定された撮影画像における線幅変化点の位置から、電池電極用シート２の表面に形成された被膜の境界位置を計算する第１境界計算手段６８を備えている。【選択図】  図２
2010025799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の表面に形成された被膜の境界を検出する装置であり、
測定対象物の表面にスリット光を照射する照射手段と、
スリット光が投影されている測定対象物の表面を撮影する撮影手段と、
撮影手段による撮影画像から、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する線幅変化点を特定する第１特定手段と、
特定された撮影画像における線幅変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する第１境界計算手段と、
を備える装置。
【請求項２】
撮影手段による撮影画像から、撮影されたスリット光の位置が不連続に変化する位置変化点を特定する第２特定手段と、
特定された撮影画像における位置変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する第２境界計算手段をさらに備え、
前記照射手段は、測定対象物の表面に対してスリット光を斜めに照射することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
撮影手段による撮影画像から、撮影された測定対象物の表面の色が不連続に変化する色変化点を特定する第３特定手段と、
特定された撮影画像における色変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する第３境界計算手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の表面に形成された被膜の境界を検出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集電体シート上に被膜が形成された電池電極用シートが知られている。
リチウムイオン２次電池等で用いる電池電極用シートでは、金属箔の集電体シート上に活物質層の被膜が形成されている。活物質層は、活物質粉末と決着剤などを水または有機溶媒に混錬して得られる活物質ペーストを、集電体シートの表面に塗布して乾燥することによって形成される。電池電極用シートに活物質ペーストを塗布する際に、活物質層の形成予定領域とずれた領域に活物質ペーストが塗布されてしまい、活物質層が形成予定領域と異なる領域に形成されることがある。すると、電池の性能に悪影響が及ぶ。そのことから、電池を製造する際には、電池電極用シートに形成した活物質層が、形成予定領域に正しく形成されているのか否かを検査する必要がある。
特許文献１には、電池電極用シートに形成された被膜の境界位置を、光学的手法によって検出する装置が開示されている。
【０００３】
電池電極用シート等の測定対象物に形成された被膜の境界位置を検出する光学的手法としては、一般的に、スリット光（線状光）を用いる光切断法が利用されている。図２０の電池電極用シート１０２では、集電体シート１１０上に被膜１３０が形成されている。このような電池電極用シート１０２を検査する検査装置は、電池電極用シート１０２の表面に、その表面に対してスリット光Ｌを斜めに照射する照射手段を備えている。また、検査装置は、スリット光Ｌが投影された電池電極用シート１０２を撮影するＣＣＤカメラ等の撮影手段を備えている。検査装置は、撮影手段による撮影画像（図２１参照）から、撮影されたスリット光Ｌの位置（電池電極用シート１０２の長さ方向の位置）が不連続に変化する位置変化点ａ１１を特定する。検査装置は、位置変化点ａ１１の位置（電池電極用シート１０２の幅方向の位置）から、電池電極用シート１０２に形成された被膜１３０の境界位置Ａ１１を計算する。検査装置は、被膜１３０の位置ずれが許容範囲内であるか否かを判別し、被膜１３０が形成予定範囲に正しく形成されているか否かを検査することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３５３５１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図２０に示すように、集電体シート１１０上に形成された被膜１３０が厚い場合には、集電体シート１１０と被膜１３０との段差が大きい。したがって、撮影されたレーザ光Ｌの位置が、不連続に大きく変化する位置変化点ａ１１（図２１参照）を特定し易い。ところが、被膜１３０が薄い場合には、集電体シート１１０と被膜１３０との段差が小さく、位置変化点ａ１１を特定し難い。この場合には、電池電極用シート１０２に形成された被膜１３０の境界位置Ａ１１を特定することが困難となる。
本発明は、上記の課題を解決する。本発明は、測定対象物に形成された被膜の境界位置を、被膜が薄くても計算することができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、測定対象物に形成された被膜の境界位置を検出する装置に具現化される。この装置は、照射手段と、撮影手段と、第１特定手段と、第１境界計算手段を備えている。
照射手段は、測定対象物の表面にスリット光を照射する。撮影手段は、スリット光が投影された測定対象物の表面を撮影する。第１特定手段は、撮影手段による撮影画像から、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する線幅変化点を特定する。第１境界計算手段は、特定された撮影画像における線幅変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する。
【０００７】
上記した装置では、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する線幅変化点の位置に基づいて、測定対象物に形成された被膜の境界位置を計算する。スリット光が照射されている表面の光反射率が大きい場合（例えば電池電極用シートの集電体シートである場合）、スリット光の反射光はその強度が強くなる。この場合、測定対象物を撮影した撮影画像では、スリット光の線幅が広く撮影される。一方、スリット光が照射された表面の光反射率が小さい場合（例えば電池電極用シートの活物質層等である場合）、スリット光の反射光はその強度が弱くなる。この場合、測定対象物を撮影した撮影画像では、スリット光の線幅が狭く撮影される。従って、測定対象物を撮影した画像では、被膜の境界位置において、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する。これにより、測定対象物に形成された被膜の境界位置を計算することができる。
上記した装置によると、被膜の境界の内外で光反射率に差が存在すれば、被膜の境界位置を検出することができる。例えば、電池電極用シートに形成された被膜の境界位置を、被膜が薄くても正しく検出することができる。
【０００８】
上記した装置は、第２特定手段と、第２境界計算手段を、さらに備えていることが好ましい。
第２特定手段は、撮影手段による撮影画像から、撮影されたスリット光の位置（スリット光の幅手方向の位置）が不連続に変化する位置変化点を特定する。第２境界計算手段は、特定された撮影画像における位置変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する。なお、照射手段は、測定対象物の表面に対してスリット光を斜めに照射する。
被膜の表面（例えば活物質層の表面）と、その被膜が形成されている表面（例えば集電体シートの表面）との間には、被膜の厚みによる段差が存在する。従って、測定対象物を撮影した撮影画像では、被膜の表面上で撮影されたスリット光の位置と、その被膜が形成されている表面上撮影されたスリット光の位置は、不連続に変化する。従って、撮影されたスリット光の位置が不連続に変化する点（典型的には切断される点）を特定することにより、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算することができる。
上記した装置によると、被覆の表面とその周囲の表面の間に相応の段差が存在するか（境界位置を検出する被膜がある程度厚いか）、あるいは被覆の表面とその周囲の表面の間に、照射したスリット光に対する反射率の差が存在すれば、その境界位置を計算することができる。例えば、膜厚は厚いが光反射率については周囲と差がない第１の被膜の境界と、膜厚は薄いが光反射率については周囲と有意な差が存在する第２の被膜の境界を、同時に検出することもできる。
【０００９】
上記した検査装置は、第３特定手段と、第３境界計算手段を、さらに備えていることが好ましい。
第３特定手段は、撮影手段による撮影画像から、撮影された電池電極用シートの色（明度、色相、彩度の少なくとも一つ）が不連続に変化する色変化点を特定する。第３境界計算手段は、特定された撮影画像における色変化点の位置から、電池電極用シートに形成された被膜の境界位置を計算する。
この構成によると、被覆の表面とその周囲の表面の間に、照射したスリット光に対する反射率の差が存在するか、あるいは、被覆の表面とその周囲の表面の間に、色（明度、色相、彩度の少なくとも一つ）の差が存在すれば、その境界位置を計算することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の装置によると、電池電極用シート等の測定対象物に形成された被膜の境界位置を、被膜が薄くても計算することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（１）測定対象物の表面には、少なくとも１枚の被膜が形成されている。「測定対象物の表面に形成された被膜の境界」とは、被膜が形成されているシートと被膜との境界でもよいし、第１の被膜と第２の被膜との境界でもよい。
（２）測定対象物が電池電極用シートである場合には、「測定対象物の表面に形成された被膜の境界」とは、集電体シートとコーティング層との境界位置でもよいし、コーティング層（第１の被膜）と活物質層（第２の被膜）との境界位置でもよい。
（３）集電体シートは金属を用いて形成されていることが多い。この場合には、集電体シートの表面におけるスリット光の反射光強度が強い。スリット光はその線幅が広く撮影される。
（４）被膜として、活物質層やコーティング層が形成されていることが多い。この場合には、被膜の表面におけるスリット光の反射光強度が弱い。スリット光はその線幅は狭く撮影される。
（５）スリット光はスリット状の光であればよく、レーザ光であることが好ましい。
（６）第１特定手段では、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する線幅変化点を特定すればよく、各位置の線幅を計算してもよいし計算しなくてもよい。
（７）第２特定手段では、撮影されたスリット光の位置が不連続に変化する位置変化点（いずれかの方向に不連続に変化していればよい）を特定すればよく、各位置を計算してもよいし計算しなくてもよい。
（８）第２境界計算手段によって位置変化点の位置から電池電極用シートに形成された被膜の境界位置を計算する方法としては、例えば光切断法を用いることができる。
（９）第３特定手段では、撮影された電池電極用シートの色（明度、色相、彩度の少なくとも一つ）が不連続に変化する色変化点を特定すればよく、各位置の色を計算してもよいし計算しなくてもよい。
（１０）照射手段は、複数個の照射装置を備えていてもよい。例えば、電池電極用シートの幅方向の一方端での境界位置を照射範囲に含む照射装置と、他方端での境界位置を照射範囲に含む照射装置を備えていることが好ましい。
（１１）撮影手段は、複数個の撮影装置を備えていてもよい。照射装置ごとに、撮影装置を備えていることが好ましい。
（１２）第２特定手段では、一の撮影画像から、撮影されたスリット光の位置が不連続に変化する位置変化点を特定する。第３特定手段では、その撮影画像以外の撮影画像から、撮影された電池電極用シートの色が不連続に変化する色変化点を特定する。第２特定手段で特定した位置変化点に基づいて計算した境界位置と、第３特定手段で特定した色変化点に基づいて計算した境界位置を同期させて、同じ位置（電池電極用シートの長さ方向の位置）での不良があるか否かを判別する。
（１３）第１特定手段では、一の撮影画像から、撮影されたスリット光の線幅が不連続に変化する線幅変化点を特定し、第２特定手段では、同じ撮影画像から、撮影されたスリット光の位置が不連続に変化する位置変化点を特定する。一の撮影画像から線幅変化点と位置変化点の両者を特定することができる。
【００１２】
以下に説明する実施例の主要な特徴を列記する。
（特徴１）電池電極用シートは、集電体シートとコーティング層と活物質層が順に積層されている積層構造を備えている。
（特徴２）第１特定手段は、撮影画像の画素のうち、スリット光の反射光で輝度が飽和している画素を検出することにより、反射光の線幅を判別する。
（特徴３）第２特定手段は、撮影画像の画素のＲＧＢ成分の各々の強度を検出することによって色を判別する。
（特徴４）検査装置は、活物質層が集電体シートに直接的に接触してない良好な状態か否かを判別することができる。
（特徴５）検査装置は、活物質層の幅が許容範囲内であるか否かを判別することができる。
（特徴６）検査装置は、コーティング層の幅が許容範囲内であるか否かを判別することができる。
（特徴７）集電体シートとコーティング層間では反射光強度差が大きいので、両者の境界位置は第１境界計算手段によって計算することができる。
（特徴８）集電体シートとコーティング層間では色差が大きいので、両者の境界位置は第３境界計算手段によって計算することができる。
（特徴９）コーティング層と活物質層間は段差が大きいので、両者の境界位置は第２境界計算手段によって計算することができる。
（特徴１０）被覆の表面とその周囲の表面の間に相応の段差が存在するか、あるいは、被覆の表面とその周囲の表面の間に色の差が存在すれば、その境界位置を計算することができる（図１７；第２実施例）。
この場合、測定対象物の表面に形成された被膜の境界を検出する装置は、
測定対象物の表面にスリット光を斜めに照射する照射手段と、
スリット光が投影されている測定対象物の表面を撮影する撮影手段と、
撮影手段による撮影画像から、撮影されたスリット光の位置が不連続に変化する位置変化点を特定する第２特定手段と、
特定された撮影画像における位置変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する第２境界計算手段と、
撮影手段による撮影画像から、撮影された測定対象物の表面の色が不連続に変化する色変化点を特定する第３特定手段と、
特定された撮影画像における色変化点の位置から、測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を計算する第３境界計算手段と、
を備えている。
上記した装置によっても、被膜の膜厚が薄い場合でも、被覆の表面とその周囲の表面の間に色の差が存在すれば、その被膜の境界位置を計算することができる。
【実施例】
【００１３】
（実施例１）
図１に示す電池電極用シート２は、長尺の集電体シート１０とコーティング層２０と活物質層３０が順に積層されている積層構造を備えている。
集電体シート１０は、電池電極用シート２が電池の正極用であればアルミ等の金属箔を用いて形成されている。集電体シート１０は、電池電極用シート２が電池の負極用であれば銅等の金属箔を用いて形成されている。集電体シート１０は金属箔を用いて形成されており、表面にスリット光を照射するとその反射光強度が強い。
【００１４】
コーティング層２０は、集電体シート１０の上に形成されている。コーティング層２０の幅（電池電極用シート２の長さ方向と交差する方向の長さ）は、集電体シート１０の幅よりも狭い。コーティング層２０には導電剤（例えばカーボン）が含まれている。コーティング層２０は、表面にスリット光を照射するとその反射光強度が弱い。また、コーティング層２０は、活物質層３０と集電体シート１０間でのイオンの授受が中継されるので、活物質層３０と比較して薄い方が好ましい。
【００１５】
活物質層３０は、コーティング層２０の上に形成されている。活物質層３０は、コーティング層２０の幅よりも狭い。活物質層３０と集電体シート１０は、直接的に接触していない。活物質層３０は、電池電極用シート２が電池の正極用であれば、正極活物質と導電剤（例えばカーボン）と結着剤等を有機溶媒で混合溶融させたものを用いて形成されている。活物質層３０は、電池電極用シート２が電池の負極用であれば、負極活物質と導電剤（例えばカーボン）と結着剤等を有機溶媒で混合溶融させたものを用いて形成されている。活物質層３０は、表面にスリット光を照射するとその反射光強度が弱い。電池の容量を大きくするために、活物質層３０の厚みは比較的厚い。
【００１６】
リチウムイオン二次電池は、正極用に形成された電池電極用シート２と、負極用に形成された電池電極用シート２を、セパレータを挟んで巻き回し、電解液が充填される電槽缶内に装着することによって構成されている。
【００１７】
図２に、本実施例の電池電極用シート２の検査装置１を模式的に示す。図３は、活物質層３０を形成しながら、検査装置１によって不良があるか否かを検査しているときの電池電極用シート２を上面視した図である。
図２、図３に示す集電体シート１０には、既に、幅Ｔの集電体シート１０上に、形成幅Ｚ２（Ｚ２＜Ｔ）のコーティング層２０が形成されている。図２に示すように、集電体シート１０は、コーティング層２０が形成されている側の面を上にして、塗工ローラ５によって図示矢印方向に搬送される。活物質層３０を形成するためのペースト材料が、塗工ダイ４からコーティング層２０上に、形成幅Ｚ１（Ｚ１＜Ｚ２）で塗布される。塗工ダイ４がペースト材料を塗布することに関わる条件は、塗工制御手段３によって制御される。
【００１８】
検査装置１は、活物質層３０がコーティング層２０からはみ出さずに塗布されているのか否か（活物質層３０が集電体シート１０に直接的に接していないか）を検査する。また、検査装置１は、コーティング層２０の形成幅Ｚ２が許容範囲内であるか否かを検査する。また、検査装置１は、活物質層３０の形成幅Ｚ１が許容範囲内であるか否かを検査する。
【００１９】
図２に示すように、検査装置１は、２個のレーザ光源４１，４２（照射手段の一例）と、２個のＣＣＤカメラ５１，５２（撮影手段の一例）と、制御装置６０を備えている。
レーザ光源４１，４２は、電池電極用シート２の表面に向けて、スリット状（線状）のレーザ光Ｌを照射する。レーザ光源４１，４２は、図３に示すように、集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置と、コーティング層２０と活物質層３０の境界位置の双方を照射範囲に含むように配置される。レーザ光源４１は、図３に矢印で示す電池電極用シート２の進行方向における右側（図３の下側）の境界位置を照射範囲に含んでいる。レーザ光源４２は、電池電極用シート２の進行方向における左側（図３の上側）の境界位置を照射範囲に含んでいる。レーザ光源４１，４２は、電池電極用シート２の進行方向に向けて傾けられており、電池電極用シート２の表面に対して斜めにレーザ光Ｌを照射する。電池電極用シート２の表面では、スリット状のレーザ光Ｌが、集電体シート１０とコーティング層２０の境界及びコーティング層２０と活物質層３０の境界に対して、略垂直に投影される。
【００２０】
ＣＣＤカメラ５１は、レーザ光源４１からのレーザ光Ｌが投影された電池電極用シート２を、上方から撮影する。ＣＣＤカメラ５１による撮影画像には、電池電極用シート２上に投影されているレーザ光源４１からのレーザ光Ｌが撮影される。ＣＣＤカメラ５２は、レーザ光源４２からのレーザ光Ｌが投影された電池電極用シート２を、上方から撮影する。ＣＣＤカメラ５２による撮影画像には、電池電極用シート２上に投影されているレーザ光源４２からのレーザ光Ｌが撮影される。
【００２１】
制御装置６０は、図２に示すように、制御手段６２と記憶手段６３と位置変化点特定手段６４（第２特定手段の一例）と線幅変化点特定手段６５（第１特定手段の一例）と第２境界計算手段６７と第１境界計算手段６８を備えている。
制御手段６２は、塗工制御手段３と接続されている。制御手段６２は、塗工制御手段３に、塗工ダイ４によって集電体シート１０にペースト材料が塗布されることに関わる条件等を送信する。
制御手段６２は、ＣＣＤカメラ５１，５２と接続されている。制御手段６２は、ＣＣＤカメラ５１，５２が電池電極用シート２を撮影する条件を制御する。また、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像の情報を取得する。
また、制御手段６２は、位置変化点特定手段６４と接続されている。制御手段６２は、位置変化点特定手段６４に、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像Ｅ１，Ｅ２（図５参照）から、位置変化点ａ１，ｂ１を特定することを指示する。
また、制御手段６２は、第２境界計算手段６７と接続されている。制御手段６２は、第２境界計算手段６７に、位置変化点特定手段６４で特定した位置変化点ａ１，ｂ１から、境界位置Ａ１，Ｂ１を計算することを指示する。制御手段６２は、第２境界計算手段６７によって計算された境界位置Ａ１，Ｂ１の情報を取得する。
また、制御手段６２は、線幅変化点特定手段６５と接続されている。制御手段６２は、線幅変化点特定手段６５に、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像Ｅ１，Ｅ２（図５参照）から、線幅変化点ａ２，ｂ２を特定することを指示する。
また、制御手段６２は、第１境界計算手段６８と接続されている。制御手段６２は、第１境界計算手段６８に、線幅変化点特定手段６５で特定された線幅変化点ａ２，ｂ２から、境界位置Ａ２，Ｂ２を計算することを指示する。制御手段６２は、第１境界計算手段６８によって計算された境界位置Ａ２，Ｂ２の情報を取得する。
また、制御手段６２は、第２境界計算手段６７から取得した境界位置Ａ１，Ｂ１の情報から、活物質層３０の幅Ｚ１を計算する。第１境界計算手段６８から取得した境界位置Ａ２，Ｂ２の情報から、コーティング層２０の幅Ｚ２を計算する。境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１と、幅Ｚ２から、電池電極用シート２に不良が発生しているか否かを判別する。不良が発生している場合には、後述する不良の種類を判別する。
また、制御手段６２は、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良があれば不良の種類を、検査した位置に対応させて記憶手段６３に記憶させる。
【００２２】
図４から図９を参照して、検査装置１が、電池電極用シート２に不良があるか否かを検査する動作を詳細に説明する。
図４のフローチャートに示すプログラムは、制御装置６０の制御手段６２（図２参照）が実行する。制御手段６２としては、例えばＣＰＵが利用される。フローチャートに示すプログラムは、図示省略のメモリに格納されている。制御手段６２が、メモリに格納されているプログラムを適宜読み出して実行する。メモリは制御手段６２に内蔵されていてもよい。
【００２３】
図３に示すように、レーザ光源４１，４２とＣＣＤカメラ５１，５２と電池電極用シート２との相対的な位置関係がセットされた後に、検査を開始する操作が成されると、検査装置１は電池電極用シート２を検査する動作をスタートする。
図４に示すステップＳ１の処理で、制御手段６２は、幅が既知の基準幅Ｔの基準試料を用いて第１境界計算手段６８と第２境界計算手段６７の零点調整を行う。図５に示すように、第１境界計算手段６８と第２境界計算手段６７は、集電体シート１０の進行方向における各々の端が零点となるように調整される。
次に、制御手段６２は、ステップＳ１ａの処理に進む。ステップＳ１ａでは、活物質層３０の幅Ｚ１と下限の閾値Ｚ１Ｌと上限の閾値Ｚ１Ｈと、コーティング層２０のの幅Ｚ２の下限の閾値Ｚ２Ｌと上限の閾値Ｚ２Ｈを決定される。
次に、制御手段６２は、ステップＳ１ｂの処理に進み、カウンタ値Ｃに初期値Ｃ０をセットする。
【００２４】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ２とステップＳ６の処理に進む。
ステップＳ２では、制御手段６２が、位置変化点特定手段６４に、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像Ｅ１，Ｅ２（図５参照）から、位置変化点を特定することを指示する。
図６に示すように、集電体シート１０とコーティング層２０と活物質層３０とでは、レーザ光Ｌが反射する位置（電池電極用シート２の長尺方向における位置）が相違する。図６の集電体シート１０上では、レーザ光Ｌが位置Ｌ１１で反射している。コーティング層２０上では、レーザ光Ｌが位置Ｌ２１で反射している。活物質層３０上では、レーザ光Ｌが位置Ｌ３１で反射している。したがって、図５に示すように、ＣＣＤカメラ５１で撮影した撮影画像Ｅ１には、位置Ｌ１１，Ｌ２１，Ｌ３１でレーザ光Ｌが撮影される。同様に、ＣＣＤカメラ５２で撮影した撮影画像Ｅ２には、位置Ｌ１２，Ｌ２２，Ｌ３２でレーザ光Ｌが撮影される。活物質層３０は厚みが厚く、コーティング層２０は厚みが薄い。したがって、位置Ｌ２１と位置Ｌ３１の隔たりは大きく、位置Ｌ１１と位置Ｌ２１の隔たりは小さい。同様にして、位置Ｌ２２と位置Ｌ３２の隔たりは大きく、位置Ｌ１２と位置Ｌ２２の隔たりは小さい。
位置変化点特定手段６４は、撮影画像Ｅ１，Ｅ２から、位置（電池電極用シート２の長さ方向の位置）が閾値以上に不連続に変化している位置変化点ａ１，ｂ１を特定する。位置変化点特定手段６４は、電池電極用シート２の幅方向における位置変化点ａ１，ｂ１の位置（電池電極用シート２の幅方向の位置）を特定する。
【００２５】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ４の処理に進む。
ステップＳ４では、制御手段６２が、第２境界計算手段６７に、位置変化点ａ１，ｂ１の位置（電池電極用シート２の幅方向の位置）から境界位置を計算することを指示する。第２境界計算手段６７は、位置変化点ａ１の位置から、図５に示すコーティング層２０と活物質層３０の境界位置Ａ１を計算する。また、第２境界計算手段６７は、位置変化点ｂ１の位置から、コーティング層２０と活物質層３０の境界位置Ｂ１を計算する。
【００２６】
また、図４のステップＳ６では、制御手段６２が、線幅変化点特定手段６５に、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像Ｅ１，Ｅ２（図５参照）から、線幅変化点を特定することを指示する。線幅変化点特定手段６５は、撮影画像Ｅ１，Ｅ２からレーザ光Ｌが撮影されている範囲を特定し、レーザ光Ｌの線幅（電池電極用シート２の長さ方向における寸法）が不連続に変化する位置（電池電極用シート２の幅方向の位置）を特定する。
図７は、撮影画像Ｅ１，Ｅ２中に撮影されたレーザ光Ｌの線幅方向Ｐ（電池電極用シート２の長さ方向）における輝度Ｓの分布を示している。図７のグラフＧ１は、集電体シート１０上に投影されたレーザ光Ｌの輝度分布を示し、図７のグラフＧ２は、コーティング層２０上に投影されたレーザ光Ｌの輝度分布を示している。図中の輝度値Ｓ１は、画素の輝度Ｓが飽和する値（画像Ｅ１，Ｅ２における輝度Ｓの最大値）を示している。線幅変化点特定手段６５は、撮影画像Ｅ１，Ｅ２において画素の輝度Ｓが飽和している範囲Ｗ１１、Ｗ２１を、レーザ光Ｌが撮影されている範囲として特定する。
集電体シート１０は、金属箔を用いて形成されている。従って、その表面で反射されたレーザ光Ｌの反射光強度は強く、そのピーク値は高くなる。その結果、図７のグラフＧ１に示すように、レーザ光Ｌの撮影範囲として特定される範囲（即ち、線幅）Ｗ１１は広くなる。一方、コーティング層２０は、集電体シート１０のような光沢を持たない。従って、その表面で反射されたレーザ光Ｌの反射光強度は弱く、そのピーク値は低くなる。その結果、図７のグラフＧ２に示すように、レーザ光Ｌの撮影範囲として特定される範囲（即ち、線幅）Ｗ２１は狭くなる。従って、撮影画像Ｅ１，Ｅ２において、集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置では、撮影されるレーザ光Ｌの線幅が不連続に変化する。
線幅変化点特定手段６５は、撮影されるレーザ光Ｌの線幅が閾値以上に変化している点を、線幅変化点ａ２，ｂ２として特定する。
【００２７】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ８の処理に進む。
ステップＳ８では、制御手段６２が、第１境界計算手段６８に、撮影画像Ｅ１、Ｅ２上における線幅変化点ａ２，ｂ２の位置から、電池電極用シート２における集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置を計算することを指示する。第１境界計算手段６８は、線幅変化点ａ２の位置から、図５に示す集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置Ａ２を計算する。また、第１境界計算手段６８は、線幅変化点ｂ２の位置から、集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置Ｂ２を計算する。
【００２８】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ９の処理に進む。制御手段６２は、第２境界計算手段６７で計算した境界位置Ａ１，Ｂ１と、第１境界計算手段６８で計算した境界位置Ａ２，Ｂ２取得する。
【００２９】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ１０の処理に進む。
制御手段６２は、境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きいか否かを判別する。境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きい場合（例えば、境界位置Ａ１が５ｍｍであり、境界位置Ａ２が３ｍｍである場合）には、電池電極用シート２の進行方向（図５に矢印で示す下方向）における右側（図５の左側）の活物質層３０の端がコーティング層２０の端よりも中央寄りに存在する。この場合には、電池電極用シート２の進行方向における右側の活物質層３０と集電体シート１０が直接的に接触していない良好な状態であることを判別し、制御手段６２は図４のステップＳ１４の処理に進む。
一方、境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きくない場合（例えば、境界位置Ａ１が３ｍｍであり、境界位置Ａ２が４ｍｍである場合）には、電池電極用シート２の進行方向における右側の活物質層３０と集電体シート１０が直接的に接触している不良な状態である。この場合、制御手段６２は図４のステップＳ１２の処理に進む。
【００３０】
制御手段６２は、ステップＳ１２で、カウンタ値Ｃを取得する。カウンタ値Ｃは、現時点の検査対象箇所を示している。制御手段６２は、先のステップ１０で検出した不良（電池電極用シート２の進行方向における右側の活物質層３０と集電体シート１０が直接的に接触している不良：不良モードＭ１）に、取得したカウンタ値Ｃを対応付けて記憶する。次に、制御手段６２は、図４のステップＳ１４の処理に進む。
【００３１】
ステップＳ１４の処理では、制御手段６２は、境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さいか否かを判別する。境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さい場合（例えば、境界位置Ｂ１が−８ｍｍであり、境界位置Ａ２が−５ｍｍである場合）には、電池電極用シート２の進行方向における左側（図５の右側）の活物質層３０と集電体シート１０が直接的に接触していない良好な状態であることを判別し、制御手段６２は図４のステップＳ１８の処理に進む。
一方、境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さくない場合（例えば、境界位置Ｂ１が−５ｍｍであり、境界位置Ａ２が−５ｍｍである場合）には、電池電極用シート２の進行方向における左側の活物質層３０と集電体シート１０が直接的に接触しており不良な状態であることを判別し、制御手段６２は、図４のステップＳ１６の処理に進む。
【００３２】
制御手段６２は、ステップＳ１６で、カウンタ値Ｃを取得する。カウンタ値Ｃは、現時点の検査対象箇所を示している。制御手段６２は、先のステップ１４で検出した不良（電池電極用シート２の進行方向における左側の活物質層３０と集電体シート１０が直接的に接触している不良：不良モードＭ２）に、取得したカウンタ値Ｃを対応付けて記憶する。次に、制御手段６２は、図４のステップＳ１８の処理に進む。
【００３３】
ステップＳ１８の処理では、制御手段６２は、活物質層３０の幅Ｚ１を計算する。幅Ｚ１は、［Ｚ１＝Ｔ−Ａ１＋Ｂ１］の計算式によって算出することができる。例えば、集電体シート１０の幅Ｔが１００ｍｍであり、境界位置Ａ１が５ｍｍであり、境界位置Ｂ１が−８ｍｍである場合には、幅Ｚ１＝１００−５＋（−８）＝８７（ｍｍ）となる。
【００３４】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ２０の処理に進む。
制御手段６２は、活物質層３０の幅Ｚ１が、ステップＳ１ａで決定した許容範囲内であるか否かを判別する。幅Ｚ１がＺ１Ｌよりも大きくＺ１Ｈよりも小さい場合には活物質層３０の幅Ｚ１が許容範囲内であり、良好な状態であることを判別してステップＳ２４の処理に進む。幅Ｚ１が許容範囲外の場合には、不良な状態であることを判別してステップＳ２２の処理に進む。
【００３５】
制御手段６２は、ステップＳ２２で、カウンタ値Ｃを取得する。カウンタ値Ｃは、現時点の検査対象箇所を示している。制御手段６２は、先のステップ２０で検出した不良（活物質層３０の幅Ｚ１が許容範囲外である不良：不良モードＭ３）に、取得したカウンタ値Ｃを対応付けて記憶する。次に、制御手段６２は、図４のステップＳ２４の処理に進む。
【００３６】
ステップＳ２４の処理では、制御手段６２は、コーティング層２０の幅Ｚ２を計算する。幅Ｚ２は［Ｚ２＝Ｔ−Ａ２＋Ｂ２］の計算式によって算出することができる。例えば、集電体シート１０の幅Ｔが１００ｍｍであり、境界位置Ａ２が３ｍｍであり、境界位置Ｂ２が−５ｍｍである場合には、幅Ｚ２＝１００−３＋（−５）＝９２（ｍｍ）となる。
【００３７】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ２６の処理に進む。
制御手段６２は、コーティング層２０の幅Ｚ２が、ステップＳ１ａで決定した許容範囲内であるか否かを判別する。幅Ｚ２がＺ２Ｌよりも大きくＺ２Ｈよりも小さい場合にはコーティング層２０の幅Ｚ２が許容範囲内であり、良好な状態であることを判別してステップＳ３０の処理に進む。幅Ｚ２が許容範囲外の場合には、不良な状態であることを判別してステップＳ２８の処理に進む。
【００３８】
制御手段６２は、ステップＳ２８で、カウンタ値Ｃを取得する。カウンタ値Ｃは、現時点の検査対象箇所を示している。制御手段６２は、先のステップ２６で検出した不良（コーティング層２０の幅Ｚ２が許容範囲外である不良：不良モードＭ４）に、取得したカウンタ値Ｃを対応付けて記憶する。次に、制御手段６２は、図４のステップＳ３０の処理に進む。
【００３９】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ３０の処理に進む。
ステップＳ３０の処理では、制御手段６２は、不良モードＭ１〜Ｍ４が存在していなければ、良好な状態であることを判別する。この際に、塗工ダイ４の動作にフィードバックが必要な場合には、制御手段６２は、塗工制御手段３に制御信号を出力する。また、制御手段６２は、図９に示すように、カウンタ値Ｃに対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードを記憶手段６３に記憶させる。なお、不良が無ければ不良モードは記憶しない。
【００４０】
次に、制御手段６２は、図４のステップＳ３２の処理に進む。
ステップＳ３２で、制御手段６２は、カウンタ値Ｃをカウントアップする。
制御手段６２は、その後にステップＳ２，Ｓ４の処理に戻って検査を継続する。制御手段６２は、検査装置１の停止信号を検出したとき（例えば、検査装置１の停止ボタンが操作されたとき）や、電池電極用シート２が存在しないことを検出したとき等に検査の動作を終了する。
【００４１】
以下に、図８と図９を参照し、実際に電池電極用シート２に形成されたコーティング層２０と活物質層３０の状態を例示する。
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ１に対応する位置では、上記したステップＳ１０で境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ１４で境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ２０で、活物質層３０の幅Ｚ１が、許容範囲内であること判別される。また、ステップＳ２６で、コーティング層２０の幅Ｚ２が許容範囲内であることが判別される。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ１に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２を記憶する。カウンタ値Ｃ＝Ｃ１の位置では不良が検出されなかったので、不良モードは記憶されていない。
【００４２】
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ３に対応する位置では、上記したステップＳ１２で境界位置Ａ１と境界位置Ａ２が同じであり、不良モードＭ１の不良が発生していることが判別される。また、ステップＳ１４で境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ２０で、活物質層３０の幅Ｚ１が、許容範囲内であること判別される。また、ステップＳ２６で、コーティング層２０の幅Ｚ２が許容範囲内であることが判別される。カウンタ値Ｃ＝Ｃ３に対応する位置では、不良モードＭ１（進行方向に向って右側の活物質層３０が、集電体シート１０と直接的に接触している不良）が発生している。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ３に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードＭ１を記憶する。検査後の工程で、カウンタ値Ｃ＝Ｃ３に対応する位置の電池電極用シート２が切り出して廃棄される。
【００４３】
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ５に対応する位置では、上記したステップＳ１０で境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ１６で境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも大きく不良モードＭ２の不良が発生していることが判別される。また、ステップＳ２０で、活物質層３０の幅Ｚ１が、許容範囲内であることが判別される。また、ステップＳ２６で、コーティング層２０の幅Ｚ２が許容範囲内であることが判別される。カウンタ値Ｃ＝Ｃ５に対応する位置では、不良モードＭ２（進行方向に向って左側の活物質層３０が、集電体シート１０と直接的に接触している不良）が発生している。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ５に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードＭ２を記憶する。検査後の工程で、カウンタ値Ｃ＝Ｃ５に対応する位置の電池電極用シート２が切り出して廃棄される。
【００４４】
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ１２に対応する位置では、上記したステップＳ１２で境界位置Ａ１と境界位置Ａ２が同じであり、不良モードＭ１が発生していることが判別される。また、ステップＳ１４で境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ２２で、活物質層３０の幅Ｚ１が、幅の上限値Ｚ１Ｈよりも大きく不良モードＭ３の不良が発生していることが判別される。ステップＳ２６で、コーティング層２０の幅Ｚ２が許容範囲内であることが判別される。カウンタ値Ｃ＝Ｃ１２に対応する位置では、不良モードＭ１と不良モードＭ３が発生している。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ１２に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードＭ１と不良モードＭ３を記憶する。検査後の工程で、カウンタ値Ｃ＝Ｃ１２に対応する位置の電池電極用シート２が切り出して廃棄される。
【００４５】
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ２０に対応する位置では、上記したステップＳ１０で境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ１４で境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ２２で、活物質層３０の幅Ｚ１が、幅の下限値Ｚ１Ｌよりも小さく不良モードＭ３の不良が発生していることが判別される。ステップＳ２６で、コーティング層２０の幅Ｚ２が、許容範囲内であることが判別される。カウンタ値Ｃ＝Ｃ２０に対応する位置では、不良モードＭ３の不良が発生している。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ２０に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードＭ３を記憶する。検査後の工程で、カウンタ値Ｃ＝Ｃ２０に対応する位置の電池電極用シート２が切り出して廃棄される。
【００４６】
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ２３に対応する位置では、上記したステップＳ１０で境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ１４で境界位置Ｂ１が境界位置Ｂ２よりも小さく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ２０で、活物質層３０の幅Ｚ１が許容範囲内であることが判別される。また、ステップＳ２８で、コーティング層２０の幅Ｚ２が、幅の上限値Ｚ２Ｈよりも大きく不良モードＭ４の不良が発生していることが判別される。カウンタ値Ｃ＝Ｃ２３に対応する位置では、不良モードＭ４が発生している。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ２３に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードＭ４を記憶する。検査後の工程で、カウンタ値Ｃ＝Ｃ２３に対応する位置の電池電極用シート２が切り出して廃棄される。
【００４７】
図８に示すカウンタ値Ｃ＝Ｃ２５に対応する位置では、上記したステップＳ１０で境界位置Ａ１が境界位置Ａ２よりも大きく良好な状態であることが判別される。また、ステップＳ１６で境界位置Ｂ１と境界位置Ｂ２が同じであり、不良モードＭ２の不良が発生していることが判別される。また、ステップＳ２０で、活物質層３０の幅Ｚ１が、許容範囲内であることが判別される。ステップＳ２８で、コーティング層２０の幅Ｚ２が、幅の下限値Ｚ２Ｌよりも小さく不良モードＭ４の不良が発生していることが判別される。カウンタ値Ｃ＝Ｃ２５に対応する位置では、不良モードＭ４の不良が発生している。
図９に示すように、ステップＳ３０で、記憶手段６３は、カウンタ値Ｃ＝Ｃ２３に対応させて、境界位置Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２と、幅Ｚ１，Ｚ２と、不良モードＭ２と不良モードＭ４を記憶する。検査後の工程で、カウンタ値Ｃ＝Ｃ２５に対応する位置の電池電極用シート２が切り出して廃棄される。
【００４８】
本実施例の電池電極用シート２の検査装置１では、撮影されたレーザ光Ｌの線幅が不連続に変化する線幅変化点ａ２，ｂ２の位置と、撮影されたレーザ光Ｌの位置が不連続に変化する位置変化点ａ１，ｂ１の位置に基づいて、集電体シート１０とコーティング層２０との境界位置Ａ２，Ｂ２と、コーティング層２０と活物質層３０との境界位置Ａ１，Ｂ１を計算する。
コーティング層２０は薄い層であるために、集電体シート１０とコーティング層２０の境界の段差が小さい。このため、位置変化点に基づいて（例えば光切断法によって）境界位置Ａ２，Ｂ２を検出することは難しい。一方、集電体シート１０とコーティング層２０は、レーザ光Ｌの反射光強度の差が大きい。したがって、撮影されたレーザ光Ｌの線幅の差が大きい。線幅変化点の位置に基づいて集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置Ａ２，Ｂ２を計算することができる。
また、活物質層３０は、コーティング層２０と同様にレーザ光Ｌの反射光強度が弱い。活物質層３０とコーティング層２０とは、レーザ光Ｌの反射光強度の差が小さい。このため、線幅変化点の位置に基づいて境界位置Ａ１，Ｂ１を検出し難い。一方、活物質層３０は厚い層であるために、コーティング層２０と活物質層３０の境界の段差が大きい。このため、位置変化点に基づいて境界位置Ａ１，Ｂ１を計算することができる。
検査装置１によると、被膜の表面とその周囲の表面の間に相応の段差が存在するか（境界位置を検出する被膜がある程度厚いか）、あるいは被膜の表面とその周囲の表面との間に、照射したレーザ光Ｌに対するは有意な反射率の差が存在すれば、被膜の境界位置を検出することができる。
【００４９】
また、電池電極用シート２の色の差を認識する方法により、被膜の境界位置を計算することも考えられる。色の差を認識する場合には、ＲＧＢのそれぞれの成分における反射光強度を検出する。位置変化点を特定するために、レーザ光Ｌを電池電極用シート２上に照射すると、レーザ光Ｌの輝度が大きいので、レーザ光Ｌを撮影した画像の画素は、レーザ光Ｌが投影されている部分やその周りの輝度Ｓが飽和状態になってしまう。このため、同じ撮影画像から、位置変化点と色の変化点を特定することは難しい。一の撮影画像から位置変化点を特定し、別の撮影画像から色の変化点を特定する。同じ位置（電池電極用シート２の長さ方向の位置）における位置変化点と色の変化点は、後の処理で同期させる。一方、線幅変化点を特定するためには、レーザ光Ｌを撮影した画像の画素のうち飽和状態となっている画素を特定すればよい。このため、同じ撮影画像から同じ位置（電池電極用シート２の長さ方向の位置）の位置変化点と線幅変化点を同時に特定することができる。検査に要する時間を短縮化することができる。
【００５０】
本実施例の検査装置１は、上記実施例で説明した電池電極用シート２と相違する構造の電池電極用シートについても、被膜の境界位置を計算することができる。
例えば、図１０に、電池電極用シート２ａの構成を示す。電池電極用シート２ａは、集電体シート１０ａと第１被膜２０ａと第２被膜３０ａの積層構造を備えている。集電体シート１０ａと第２被膜３０ａは、レーザ光Ｌを照射したときの反射光強度が弱い。第１被膜２０ａは、反射光強度が強い。集電体シート１０ａと第１被膜２０ａとの境界の段差は小さい。また、第１被膜２０ａと第２被膜３０ａの境界の段差は大きい。したがって、レーザ光Ｌが投影された電池電極用シート２ａは、図１１に示すように撮影される。
この場合には、集電体シート１０ａと第１被膜２０ａとの境界位置Ａ２ａ，Ｂ２ａを、反射光強度差による線幅変化点の位置に基づいて第１境界計算手段６８で計算することができる。第１被膜２０ａと第２被膜３０ａとの境界位置Ａ１ａ，Ｂ１ａを、線幅変化点の位置に基づいて第１境界計算手段６８で計算することができる。また、境界位置Ａ１ａ，Ｂ１ａは、位置変化点の位置に基づいて第２境界計算手段６７で計算することもできる。
【００５１】
図１２に、電池電極用シート２ｂの構成を示す。電池電極用シート２ｂは、集電体シート１０ｂと第１被膜２０ｂと第２被膜３０ｂの積層構造を備えている。第１被膜２０ｂは、レーザ光Ｌを照射したときの反射光強度が弱い。集電体シート１０ｂと第２被膜３０ｂは、反射光強度が強い。集電体シート１０ｂと第１被膜２０ｂとの境界の段差は小さい。また、第１被膜２０ｂと第２被膜３０ｂの境界の段差は大きい。したがって、レーザ光Ｌが投影された電池電極用シート２ｂは、図１３に示すように撮影される。
この場合には、集電体シート１０ｂと第１被膜２０ｂとの境界位置Ａ２ｂ，Ｂ２ｂは、反射光強度差による線幅変化点の位置に基づいて第１境界計算手段６８で計算することができる。第１被膜２０ｂと第２被膜３０ｂとの境界位置Ａ１ｂ，Ｂ１ｂは、線幅変化点の位置に基づいて第１境界計算手段６８で計算することができる。また、境界位置Ａ１ｂ，Ｂ１ｂは、位置変化点の位置に基づいて第２境界計算手段６７で計算することもできる。
【００５２】
図１４に、電池電極用シート２ｃの構成を示す。電池電極用シート２ｃは、集電体シート１０ｃと第１被膜２０ｃと第２被膜３０ｃの積層構造を備えている。集電体シート１０ｃは、レーザ光Ｌを照射したときの反射光強度が弱い。第１被膜２０ｃと第２被膜３０ｃは、反射光強度が強い。集電体シート１０ｃと第１被膜２０ｃとの境界の段差は小さい。また、第１被膜２０ｃと第２被膜３０ｃとの境界の段差は大きい。したがって、レーザ光Ｌが投影された電池電極用シート２ｃは、図１５に示すように撮影される。
この場合には、集電体シート１０ｂと第１被膜２０ｂとの境界位置Ａ２ｃ，Ｂ２ｃは、反射光強度差による線幅変化点の位置に基づいて第１境界計算手段６８で計算することができる。第１被膜２０ｃと第２被膜３０ｃとの境界位置Ａ１ｃ，Ｂ１ｃは、位置変化点の位置に基づいて第２境界計算手段６７で計算することができる。
【００５３】
（第１実施例の変形例）
電池電極用シート２の検査装置は、レーザ光源４１，４２と、ＣＣＤカメラ５１，５２と、線幅変化点特定手段６５と、第１境界計算手段６８と、位置変化点特定手段６４と、第２境界計算手段６７を備えていればよく、本発明の検査装置は本実施例の構成に限定されるものではない。
例えば、図１６に示す検査装置１ａは、図２に示す検査装置１の制御装置６０に代わって測定装置７０と制御装置８０を備えている。図１６では、図２に示す検査装置１と同等の構成要素には、同一番号の符号を付して重複説明を省略する。
【００５４】
測定装置７０は、測定制御手段７２と画像メモリ７３とインターフェース７１を備えている。
測定制御手段７２は、ＣＣＤカメラ５１，５２と接続されている。測定制御手段７２は、ＣＣＤカメラ５１，５２が電池電極用シート２を撮影する条件を制御する。また、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像の情報を、画像メモリ７３に記憶させる。測定制御手段７２は、制御装置８０の制御手段８２から画像情報の送信を要求されると、画像メモリ７３からインターフェース７１を介して制御装置８０に画像情報を送信する。
【００５５】
制御装置８０は、制御手段８２と位置変化点特定手段８４と線幅変化点特定手段８５と第２境界計算手段６７と第１境界計算手段６８と記憶手段８３とインターフェース８１を備えている。
制御手段８２は、塗工制御手段３と接続されている。制御手段６２は、塗工制御手段３に、塗工ダイ４がペースト材料を塗布することに関わる条件等を送信する。
制御手段８２は、インターフェース８１を介し、適宜のタイミングで測定装置７０に画像情報の送信を要求する。
制御手段８２と、位置変化点特定手段６４と線幅変化点特定手段６５と第２境界計算手段６７と第１境界計算手段６８と記憶手段６３の接続と動作は、図２で説明した検査装置１と同様である。
インターフェース７１とインターフェース８１との間の通信線は、有線であってもよいし無線でなってもよい。また、インターフェース８１と塗工制御手段３との通信線も、有線であってもよいし無線であってもよい。
制御装置８０と測定装置７０を別体構造としているので、測定装置７０は活物質層３０の塗工工程の現場に設置し、制御装置８０は事務所内等に設置することができる。
【００５６】
本発明の電測定対象物の表面に形成された被膜の境界位置を検出する装置は、図２の検査装置１の構成や、図１６の検査装置１ａの構成で例示したように、いずれの構成要素を一体化して形成してもよい。
本実施例では、位置変化点特定手段６４、線幅変化点特定手段６５、第２境界計算手段６７、第１境界計算手段６８は、制御手段６２が実行するプログラムのステップである場合について説明したが、少なくとも１つの手段が別のハードウェアで実行されるものであってもよい。
【００５７】
（実施例２）
図１７に、本実施例の電池電極用シート２の検査装置１ｂを模式的に示す。図１７では、図２に示す検査装置１と同等の構成要素には、同一番号の符号を付して重複説明を省略する。
検査装置１ｂの制御装置６０ｂは、図２に示す制御装置６０の線幅変化点特定手段６５に代わって色変化点特定手段９２（第３特定手段の一例）を備えている。また、制御装置６０ｂは、制御装置６０の第１境界計算手段６８に代わって第３境界計算手段９４を備えている。
ここで、集電体シート１０は金属箔を用いて形成されており、色が白い。一方、コーティング層２０と活物質層３０は、導電性のカーボンを含んでおり、色が黒い。
制御手段６２は、色変化点特定手段９２に、ＣＣＤカメラ５１，５２で撮影した撮影画像から、撮影された電池電極用シート２の色が不連続に変化する色変化点を特定することを指示する。本実施例の電池電極用シート２では、集電体シート１０とコーティング層２０は色が似ておらず、その境界において色が不連続に大きく変化する。また、コーティング層２０と活物質層３０は色が似ており、その境界における色の変化が小さい。したがって、色変化点は、図５に示した線幅変化点ａ２，ｂ２と同じ位置になる。以降、色変化点特定手段９２によって特定した色変化点を、色変化点ａ２，ｂ２という。
制御手段６２は、第３境界計算手段９４に、色変化点特定手段９２で特定した色変化点ａ２，ｂ２の位置（電池電極用シート２の幅方向の位置）から集電体シート１０とコーティング層２０との境界位置Ａ２，Ｂ２（図５参照）を計算する。
コーティング層２０と活物質層３０との境界位置Ａ１，Ａ２は、第１実施例の検査装置１と同様に、位置変化点特定手段６４と第２境界計算手段６７によって計算することができる。
【００５８】
本実施例の電池電極用シート２の検査装置１ａでは、撮影されたレーザ光Ｌの色が不連続に変化する色変化点ａ２，ｂ２の位置と、撮影されたレーザ光Ｌの位置が不連続に変化する位置変化点ａ１，ｂ１の位置に基づいて、集電体シート１０とコーティング層２０との境界位置Ａ２，Ｂ２と、コーティング層２０と活物質層３０との境界位置Ａ１，Ｂ１を計算する。
コーティング層２０は薄い層であるために、集電体シート１０とコーティング層２０の境界の段差が小さい。このため、位置変化点に基づいて（例えば光切断法によって）境界位置Ａ２，Ｂ２を検出することは難しい。一方、集電体シート１０とコーティング層２０は、色の差が大きい。したがって、色変化点の位置に基づいて集電体シート１０とコーティング層２０の境界位置Ａ２，Ｂ２を計算することができる。
また、活物質層３０は、コーティング層２０と色の差が少ない。このため、色変化点の位置に基づいて境界位置Ａ１，Ｂ１を検出し難い。一方、活物質層３０は厚い層であるために、コーティング層２０と活物質層３０の境界の段差が大きい。このため、位置変化点に基づいて境界位置Ａ１，Ｂ１を計算することができる。
検査装置１によると、境界位置の上層と下層の段差が大きいか、あるいは境界位置の上層と下層に色の差があれば、その境界位置を計算することができる。
【００５９】
第１実施例と第２実施例では、検査装置１，１ａで検査する電池電極用シート２が、集電体シート１０とコーティング層２０と活物質層３０の積層構造を備えている場合について説明した。測定対象物には、その表面に少なくとも１枚の被膜が形成されていればよい。例えば、図１８に示す電池電極用シート２ｄのように、被膜３０ｄの表面でのレーザ光Ｌの反射光強度が弱く、集電体シート１０ｄの表面でのレーザ光Ｌの反射光強度が強い場合には、被膜３０ｄと集電体シート１０ｄとの段差が小さくても、線幅変化点を特定することによって境界位置Ａ２，Ｂ２を計算することができる。
【００６０】
第１実施例では、検査装置１が、位置変化点と線幅変化点に基づいて電池電極用シート２に形成されている被膜の境界位置を計算する場合について説明した。また、第２実施例では、検査装置１ｂが、位置変化点と色変化点に基づいて電池電極用シート２に形成されている被膜の境界位置を計算する場合について説明した。検査装置は、位置変化点と線幅変化点と色変化点に基づいて電池電極用シート２に形成されている被膜の境界位置を計算してもよい。この場合には、被膜の表面とその周囲の表面の間に、相応の段差が存在するか（境界位置を検出する被膜がある程度厚いか）、あるいは照射したレーザ光Ｌに対するは有意な反射率の差が存在するか、あるいは色の差が存在すれば、被膜の境界位置を検出することができる。
また、本発明の検査装置は、線幅変化点のみに基づいて電池電極用シート２に形成されている被膜の境界位置を計算してもよい。この検査装置によっても、電池電極用シート２に形成された被膜の境界位置を、被膜が薄くても計算することができる。
【００６１】
第１実施例と第２実施例では、集電体シート１０の片面に被膜が形成されている電池電極用シート２を検査する場合について説明した。本発明の検査装置は、集電体シート１０の両面に被膜が形成されている電池電極用シート２の検査を行うこともできる。検査済みの一方の面の境界位置Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２と、活物質層の幅Ｚ１と、コーティング層２０の幅Ｚ２が記憶手段６３に記憶されている。他方の面に形成されている被膜を検査する際に、一方の面に形成されている被膜との位置ずれの有無をも検出することができる。
【００６２】
また、電池電極用シート２に活物質ペーストを塗工する工程では、集電体シート１０上に複数列の活物質ペーストを塗工してもよい。後の工程で列の間を切断して１枚ずつの電池電極用シート２とする。この場合には、活物質ペーストを塗工する工程では、すなわち検査装置によって被膜の境界を検出する時には、列の数分（電池電極用シート２の枚数分）のレーザ光源やＣＣＤカメラをさらに備えていていることが好ましい。
【００６３】
第１実施例と第２実施例では、本発明の装置が電池電極用シート２の表面に形成された被膜の境界を検出する場合について説明したが、本発明の装置は電池電極用シート２以外の表面に形成された被膜の境界も検出することができる。本発明の装置によると、測定対象物に形成された被膜の境界位置を、被膜が薄くても計算することができる。
【００６４】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】電池電極用シート２の構成を示す。
【図２】検査装置１の構成を模式的に示すブロック図である。
【図３】レーザ光源４１，４２とＣＣＤカメラ５１，５２が配置されている位置を示す電池電極用シート２の上面視図である。
【図４】電池電極用シート２を検査するために、制御手段６２が実行するプログラムのフローチャートである。
【図５】レーザ光Ｌが投影されている電池電極用シート２の表面の撮影画像Ｅ１，Ｅ２を示す。
【図６】撮影されたレーザ光Ｌの位置（電池電極用シート２の長さ方向の位置）が不連続に変化することを説明する図である。
【図７】撮影画像Ｅ１，Ｅ２中に撮影されたレーザ光Ｌにおいて、線幅方向Ｐにおける輝度Ｓの分布を示している。
【図８】検査装置１によって不良が判別された電池電極用シート２を示す。
【図９】記憶手段６３に記憶されている検査の結果を示す。
【図１０】電池電極用シート２ａの構成を示す。
【図１１】レーザ光Ｌが投影されている電池電極用シート２ａの表面の撮影画像を示す。
【図１２】電池電極用シート２ｂの構成を示す。
【図１３】レーザ光Ｌが投影されている電池電極用シート２ｂの表面の撮影画像を示す。
【図１４】電池電極用シート２ｃの構成を示す。
【図１５】レーザ光Ｌが投影されている電池電極用シート２ｃの表面の撮影画像を示す。
【図１６】検査装置１ａの構成を模式的に示すブロック図である。
【図１７】検査装置１ｂの構成を模式的に示すブロック図である。
【図１８】電池電極用シート２ｄの構成を示す。
【図１９】レーザ光Ｌが投影されている電池電極用シート２ｄの表面の撮影画像を示す。
【図２０】従来技術の光切断法を説明する図である。
【図２１】レーザ光Ｌが投影されている電池電極用シート１０２の表面の撮影画像を示す。
【符号の説明】
【００６６】
１：検査装置
１，１ａ，１ｂ：検査装置
２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ：電池電極用シート
３：塗工制御手段
４：塗工ダイ
５：塗工ローラ
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ：集電体シート
２０：コーティング層
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ：被膜
３０：活物質層
４１，４２：レーザ光源
５１，５２：カメラ
６０，６０ｂ：制御装置
６２，８２：制御手段
６３，８３：記憶手段
６４，８４：位置変化点特定手段
６５，８５：線幅変化点特定手段
６７：第２境界計算手段
６８：第１境界計算手段
７０：測定装置
７１，８１：インターフェース
７２：測定制御手段
７３：画像メモリ
８０：制御装置
９２：色変化点特定手段
９４：第３境界計算手段
Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２：境界位置
ａ１，ｂ１：位置変化点
ａ２，ｂ２：線幅変化点，色変化点
Ｃ：カウンタ値
Ｅ１，Ｅ２：撮影画像
Ｌ：レーザ光
Ｔ，Ｚ１，Ｚ２：幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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