(57)【要約】【課題】製造工程全体としての効率を高いものとすることができる太陽電池の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明による太陽電池の製造方法は、太陽光発電手段３の背面に太陽光を反射する反射手段５、６を備え、反射手段５、６が反射板６と背面基板５とを含む太陽電池の製造方法であって、反射板６と背面基板５をラミネート成形工程により同時に成形することを特徴とする。【選択図】図１
2010129754.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽光発電手段の背面に太陽光を反射する反射手段を備え、前記反射手段が反射板と背面基板とを含む太陽電池の製造方法であって、前記反射板と前記背面基板をラミネート成形工程により同時に成形することを特徴とする太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、石油代替エネルギーである太陽光を有効に活用して発電を行う太陽電池の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては地球温暖化を誘発する二酸化炭素を排出する石油や石炭を利用した火力による発電や動力機関に替わる代替エネルギー源として、太陽光を有効に活用して発電を行う太陽電池に関する研究、開発が行われている。このような太陽電池は、人工衛星用、自家発電用、商用電力供給用など様々な分野に適用可能なものとして、将来的に有用性が高まる可能性が高い。
【０００３】
このような太陽電池の一般的な構造として、例えば、多結晶又は単結晶の結晶シリコンよりなる太陽発電用のセルを複数個直列に接続したものを樹脂又はガラス等により挟持して封入して、平板状のセルストリングスを構成し、このセルストリングス内において複数のセルを縦方向又は横方向にほぼ等間隔に配列して、そのセルストリングスの前面側には透明の樹脂又はガラス等からなる前面板を配置し、セルストリングスの含む複数のセルの背面側にはこれも透明の樹脂又はガラス等からなる背面基板が配置され、この背面基板の背面側に太陽光を複数個のセルに対して集光する、例えば蛇腹状の波面を備えるミラーを設ける構成が提案されている。
【０００４】
このような太陽電池の製造方法としては、例えば、ラミネート成形と蒸着を併用したものが一般的であり、上述した前面板とセルストリングスの間、及び、セルストリングスと背面基板との間には、例えばＥＶＡ（Ethylene  Vinyl  Acetate  Copolymer：エチレン−酢酸ビニル共重合体）よりなる封止材が設けられる。
【０００５】
このような製造方法においては、前面板、封止材、セルストリングス、封止材、背面基板をこの順番に積層した後に、所定の温度の環境下において、背面基板側からラミネーター治具により所定の圧力を付与して、背面基板の上述した蛇腹状の波面を成形し、前面板とセルストリングスと背面基板を相互に接合した後において、背面基板の蛇腹状の波面に、例えば、Ａｇ−Ａｌ膜、ＳＵＳ膜、Ａｇ−Ａｌ膜をこの順番に、例えば特許文献１に記載されているような手法又は、真空蒸着法、金属蒸着法を含む蒸着法により積層することが行われている。
【特許文献１】特開２０００−２５８６１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、このような太陽電池の製造方法においては、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程の二つの工程が必須となり、これに加えて、ラミネート成形工程において必要な温度条件及び雰囲気条件（圧力条件）と、反射板蒸着工程において必要な温度条件と雰囲気条件とは、一般的に大きな差違があるため、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程を同時に実行することは不可能であることから、製造工程全体としての作業時間すなわちタクトが長くなることが不可避となる。さらに、反射板蒸着工程は一般的にコストが高くなる。このため、太陽電池を製造するにあたってのタクト及びコストの増大を招き、製造工程全体としての効率が低下するという問題が生じる。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑み、製造工程全体としての効率を高いものとすることができる太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の問題を解決するため、本発明に係る太陽電池の製造方法は、
太陽光発電手段の背面に太陽光を反射する反射手段を備え、
前記反射手段が反射板と背面基板とを含む太陽電池の製造方法であって、
前記反射板と前記背面基板をラミネート成形工程により同時に成形することを特徴とする。
【０００９】
なお、前記太陽電池は、太陽光の入射方向から順に、前面板、封止材、前記太陽光発電手段であるセルストリングス、封止材、前記反射手段を構成する背面基板、同じく前記反射手段を構成する前記反射板を前記ラミネート成形後に構成する基本材料である、例えばＡｇ−Ａｌ膜、ＳＵＳ膜、Ａｇ−Ａｌ膜をこの順番に積層して構成されるものである。
【００１０】
上述したような本発明の太陽電池の製造方法においては、前記前面板、前記封止材、前記セルストリングス、前記封止材、前記背面基板をこの順番に積層した後に、前記背面基板の背面側からラミネーター治具により所定の圧力を付与して、所定の温度の環境下において、前記背面基板の上述した蛇腹状の波面を成形し、前記前面板と前記セルストリングスと前記背面基板を相互に接合するラミネート成形工程を行った後において、前記背面基板の蛇腹状の波面に、例えば、Ａｇ−Ａｌ膜、ＳＵＳ膜、Ａｇ−Ａｌ膜をこの順番に、特許文献１に記載されているような蒸着法により積層する反射板蒸着工程を行うという、従来技術において必要であった二工程を時系列的に順番に実行することを廃することができる。
【００１１】
すなわち本発明の太陽電池の製造方法においては、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程の二つの工程が必須となることを廃することができるので、従来技術においてこれらの二工程が必須となり、ラミネート成形工程において必要な温度条件及び雰囲気条件（圧力条件）と、反射板蒸着工程において必要な温度条件と雰囲気条件とにおいて、一般的に大きな差違があることに起因して、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程を同時に実行することは不可能であったことに比べて、反射板蒸着工程そのものを廃して前記反射手段そのものを前記ラミネート成形工程において、他の構成要素、すなわち前記前面板、前記封止板、前記セルストリングス、背面基板とともに一体的かつ同時に成形するとともに、これらの構成要素相互間に接合を行うことができる。
【００１２】
このため、従来技術においては、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程の二工程を時系列的に順番に実行する必要性があることから、製造工程全体としての作業時間すなわちタクトが長くなることが不可避であったが、本発明の太陽電池の製造方法においてはタクトを短縮することができる。
【００１３】
加えて、本発明の太陽電池の製造方法においては、一般的にコストが高い前記反射板蒸着工程そのものを前記製造工程から排除することができるので、太陽電池を製造するにあたってのコストの増大を招くことを予め防止して、コストの削減を行うことができる。これらのことにより、前記太陽電池の製造方法においては、前記太陽電池の製造工程全体としての効率を高めることができる。
【００１４】
これに加えて、前記ラミネート成形工程により成形された前記反射板は、従来技術において前記ラミネート成形工程後において蒸着により形成された反射板に比して、前記背面基板との接合強度、前記反射板を構成する基本材料相互間の接合強度をともに高いものとすることができるので、前記反射板の耐久性をも高めることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、製造工程全体としての効率を高いものとすることができる太陽電池の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【００１７】
図１は、本発明に係わる太陽電池の製造方法の製造工程途中の一実施形態を従来の太陽電池の製造方法の製造工程とともに示す模式図であり、図２は、本発明に係わる太陽電池の製造方法の製造工程後の一実施形態を示す模式図である。
【００１８】
図１中右側は、本発明に係わる太陽電池の製造方法の製造工程、すなわち新規プロセスを示し、図１中左側は、従来の太陽電池の製造方法の製造工程、すなわち従来プロセスを示す。
【００１９】
図１中右側の新規プロセスに供される太陽電池（モジュール）１は、前面板２と、セルストリングス３と、一対の封止材４と、背面基板５と、ミラー６を構成するＡｇ−Ａｌ膜
６ａと、ＳＵＳ膜６ｂと、Ａｇ−Ａｌ膜６ｃとをこの順番に積層して構成される。
【００２０】
前面板２は、太陽光を透過するガラス材又は合成樹脂等により構成される。ガラス材としては例えば、白板ガラス、強化ガラス、倍強化ガラス、熱線反射ガラス等の種々のものを用いることができる。また、合成樹脂としては、例えばポリカーボネート樹脂等を用いることができる。
【００２１】
セルストリングス３は、多結晶又は単結晶の結晶シリコンよりなる複数の太陽発電用のセル３ａを図１中横方向にほぼ等間隔に並列して、これらの複数のセル３ａを複数個直列に接続して、図示しない出力端子を図１中後方に引き出した状態において、複数のセル３ａ及び出力端子を樹脂又はガラス等により上下方向に挟持されることにより、平板状に構成されるものであって、太陽光発電手段を構成する。
【００２２】
封止材４は、セルストリングス３と前面板２との間、及びセルストリングス３と背面基板５との間にそれぞれ封入される、例えばＥＶＡ（Ethylene  Vinyl  Acetate  Copolymer：エチレン−酢酸ビニル共重合体）であって、セルストリングス３と前面板２との間の隙間及びセルストリングス３と背面基板５との間の隙間に、空隙が生じることを防止するとともに、前述したラミネート成形工程における所定の圧力と温度により、セルストリングス３、前面板２、背面基板５のそれぞれとＥＶＡ架橋つまりは重合架橋して、セルストリング３、前面板２、背面基板５に対して強固に接合するものである。なお、図１においては、セルストリングス３と前面板２との間の封止材４については図示を省略している。
【００２３】
なお、ＥＶＡの架橋終了による接合とは、接着剤等の中間材を必要としない接合方法であるが、もちろん接着剤を用いた接合を用いてもよい。
【００２４】
背面基板５は、太陽光を透過するとともに、図１中のラミネート成形工程に用いる治具であるラミネーター治具５１の下面の有する蛇腹状の波面形状により背面側が成形可能な合成樹脂等により構成される。
【００２５】
ミラー６は、反射板を構成するものであって、ここでは、Ａｇ−Ａｌ膜６ａと、ＳＵＳ膜６ｂ、Ａｇ−Ａｌ膜６ｃを積層することにより構成されて、図１中のラミネート成形工程によりラミネーター治具５１の具備する蛇腹状の波面形状が押し付けられることにより、蛇腹状の波面形状を備えて、前面板２から入射する太陽光を反射するとともにセルストリングス３の備える複数のセル３ａに対して太陽光を集光する機能を備える。
【００２６】
セルストリングス３の複数の太陽発電用のセル３ａは、前面板２から入射されてミラー６により反射された集光された太陽光に基づいて、太陽光発電を行い、図示しない出力端子に所定の電圧を発生する。
【００２７】
つづいて、図１中右側に示す新規プロセスについて、図１中左側の従来プロセスとの比較に基づいて、さらに、詳細に説明する。図１中右側の上段図に示すように、新規プロセスの前段階においては、図示しないラミネート成形工程用の載置板上に、前面板２と、封止材４と、セルストリングス３と、封止材４と、背面基板５と、透明接着フィルム７と、Ａｇ−Ａｌ膜６ａと、ＳＵＳ膜６ｂ、Ａｇ−Ａｌ膜６ｃとをこの順番に積層して、温度条件がＴ＝１４０度となるように、チャンバー内の温度及び圧力を調節して、載置板の上側から、図１右側の上段図に示すようなラミネーター治具５１を、ラミネーター治具５１と載置板との間の雰囲気条件すなわち圧力条件がＰ＝１００ｋＰａとなるようにラミネーター治具５１を図１中下方に油圧等の適宜の手段により押し付ける。
【００２８】
以上のラミネート成形工程すなわち一工程により、Ａｇ−Ａｌ膜６ａとＳＵＳ膜６ｂとの間の界面作用、ＳＵＳ膜６ｂとＡｇ−Ａｌ膜６ｃの界面作用に基づいて、それぞれの界面が接合されて図２中右側の断面に示すようなミラー６が成形されるとともに、Ａｇ−Ａｌ膜６ａつまりはミラー６と背面基板５との間は透明接着フィルム７の接着力により接合される。さらに、前面板２、封止材４、セルストリングス３、封止材４、背面基板５、ミラー６が封止材４のＥＶＡ架橋つまりは重合架橋に基づいてこの順番に接合されて一体化すなわちモジュール化されて、太陽電池１が成形される。
【００２９】
これに対して、図１中左側に示す従来プロセスにおいては、図示しないラミネート成形用の載置板上にまず、前面板２と、封止材４と、セルストリングス３と、封止材４と、背面基板５をこの順番に載置して積層した後、チャンバー内の温度条件がＴ＝１４０度となるようにチャンバー内の温度及び圧力を調節して、ラミネート成形工程用のラミネーター治具５１を図１中左側の上段図に示すように、ラミネーター治具５１と載置板との間の雰囲気条件すなわち圧力条件がＰ＝１００ｋＰａとなるようにラミネーター治具５１を図１中下方に油圧等の適宜の手段により押し付ける。このことにより、背面基板５の背面に蛇腹状の波面形状が形成される。
【００３０】
この従来技術のラミネート成形工程が、図１中左側中段図に示すように終了した後において、ラミネーター治具５１を図１中上方に引き上げて、ラミネーター治具５１を背面基板５から引き離した後、チャンバー内をミラー蒸着工程すなわち反射板蒸着工程に適した温度条件となるように再度温度及び圧力を調整して、周知の蒸着法を用いて背面基板５の背面の蛇腹状の波面にミラーが形成される。
【００３１】
以上述べた本実施例の太陽電池の製造方法によれば、以下のような作用効果を得ることができる。すなわち、図１中右側及び図２に関しての説明において詳述したような本実施例の太陽電池の製造方法においては、前面板２、封止材４、セルストリングス３、封止材４、背面基板５をこの順番に積層した後に、背面基板５の背面側からラミネーター治具５１により１００ｋＰａの圧力を付与して、１４０度の温度の環境下において、背面基板５の背面に蛇腹状の波面を成形し、前面板２とセルストリングス３と背面基板５を封止材４のＥＶＡ架橋つまりは重合架橋に基づいて相互に接合するラミネート成形工程をまず行った後に、背面基板５の蛇腹状の波面に、Ａｇ−Ａｌ膜６ａ、ＳＵＳ膜６ｂ、Ａｇ−Ａｌ膜６ｃをこの順番に、蒸着法により積層する反射板蒸着工程を行うことを廃することができる。
【００３２】
換言すれば本実施例の太陽電池の製造方法においては、従来技術において必要であったラミネート成形工程及び反射板蒸着工程の二工程を時系列的に順番に実行することを回避することができる。
【００３３】
つまり、本実施例の太陽電池の製造方法においては、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程の二つの工程が必須となることを廃することができるので、従来技術においてこれらの二工程を時系列的に順番に実行することが必須となり、ラミネート成形工程において必要な温度条件及び雰囲気条件（圧力条件）と、反射板蒸着工程において必要な温度条件と雰囲気条件とが、一般的に大きく相違することに起因して、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程を同時に実行することは不可能であったことに比べて、反射板蒸着工程そのものを廃してミラー６そのものをラミネート成形工程において、前面板２、封止板４、セルストリングス３、封止板４、背面基板５とともに一体的かつ同時に成形するとともに、これらの構成要素相互間に接合を行うことができる。
【００３４】
特には、同一のチャンバー内において、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程を時系列的に連続して実行する場合においては、ラミネート成形工程に必要な温度条件及び雰囲気条件を実現するように、チャンバー内の温度及び圧力を調節した後に、反射板蒸着工程に必要な温度条件及び雰囲気条件を実現するように、チャンバー内の温度及び圧力を異なる値に再度変更して調節する作業が発生することとなるが、本実施例の太陽電池の製造方法によれば、単にラミネート成形工程に必要な温度条件及び雰囲気条件を満足する温度及び圧力を一旦設定した後は、再度の調整及び設定作業が不要となるため、従来技術のような煩雑な温度及び圧力の調節作業を廃することができる。
【００３５】
さらに、従来技術における太陽電池の製造方法においては、ラミネート成形工程と反射板蒸着工程の二工程を時系列的に順番に実行する必要性があることから、製造工程全体としての作業時間すなわちタクトが長くなることが不可避であったが、本発明の太陽電池の製造方法においては、再度の温度及び圧力の調整作業と、反射板蒸着工程に必要な作業をともに削除することができるので、作業工程全体のタクトを大幅に短縮することができる。
【００３６】
加えて、本実施例の太陽電池の製造方法においては、一般的にコストが高い反射板蒸着工程そのものを製造工程から排除することができるので、太陽電池を製造するにあたってのコストの増大を招くことを防止して、コストの削減を行うことができる。これらのことにより、本実施例の太陽電池の製造方法においては、太陽電池の製造工程全体としての効率を高めることができる。
【００３７】
これに加えて、ラミネート成形工程により成形されたミラー６は、従来技術においてラミネート成形工程後において蒸着により形成されたミラーに比して、背面基板５との接合強度を高くでき、ミラー６を構成するＡｇ−Ａｌ膜６ａ、ＳＵＳ膜６ｂ、Ａｇ−Ａｌ膜６ｃの基本材料相互間の接合強度をも高いものとすることができるので、ミラー６の耐久性を高めることができる。
【００３８】
これに加えて、本実施例の太陽電池の製造方法によれば、ラミネート成形工程がほぼ真空状態下において実施されることに起因して、前面板２、セルストリングス３、封止材４、背面基板５、ミラー６相互間の界面、ミラー６を構成するそれぞれの膜相互間の界面のいずれにおいてもボイド混入等の問題が生じることがないため、これにより、製造された太陽電池１の品質をより高めることができる。
【００３９】
以上本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明は上述した実施例に制限されることなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形および置換を加えることができる。
【００４０】
例えば、上述した実施例においては、ミラー６と背面基板５との接合に透明接着フィルム７を用いたが、接着剤を用いずに界面作用による接着により接合することももちろん可能である。異なる構成要素の間において接着剤を用いるか否かは、必要とされる接合強度と、太陽電池１の厚み方向の寸法制限に基づいて、適宜選択することが可能である。
【００４１】
また、ミラー６の前面板２側の形態については、蛇腹状の波面形状以外にも、セル３ａに対して太陽光を適度の倍率にて集光して反射可能なものであれば、ハーフパイプ形状、凹面形状等の種々の形状を採用することも可能である。なお、本実施例に示した太陽電池１は低倍集光型のものである。
【００４２】
さらに、反射手段を構成するミラー６をラミネート成形後に構成する基本材料として、本実施例においては、Ａｇ−Ａｌ膜、ＳＵＳ膜、Ａｇ−Ａｌ膜を励磁したが、基本材料としてはこれらの材料に限られることはなく、ラミネート成形工程により、ミラー６を成形することが可能な材料であればいずれの材料を用いても良い。
【００４３】
また、ラミネート成形工程における温度条件及び雰囲気条件についても、実施例中に示した数値はあくまで例示的なものであり、これに限られるものではなく、適宜変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、太陽電池の製造方法に関するものであり、比較的軽微な変更により、製造工程全体としての効率を高いものとすることができるので、産業上様々な分野に用いられる太陽電池の製造方法に適用して有益なものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る太陽電池の製造方法の一実施形態を示す模式図である。
【図２】本発明に係る太陽電池の製造方法の一実施形態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４６】
１      太陽電池（モジュール）
２      前面板
３      セルストリングス（太陽光発電手段）
３ａ    セル
４      封止材
５      背面基板
６      ミラー（反射板、５＋６：反射手段）
６ａ    Ａｇ−Ａｌ膜
６ｂ    ＳＵＳ膜
６ｃ    Ａｇ−Ａｌ膜
７      透明接着フィルム
５１      ラミネーター治具
【図１】
2010129754.tif 000003
【図２】
2010129754.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月10日(2009.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽光発電手段の背面に太陽光を反射する反射手段を備え、前記反射手段が反射板と背面基板とを含む太陽電池の製造方法であって、
前記反射板と前記背面基板をラミネート成形により同時に成形するラミネート成形工程を備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項２】
前記反射板は、
前記ラミネート成形工程は、Ａｇ−Ａｌ膜、ＳＵＳ膜及びＡｇ−Ａｌ膜の積層体を接合して前記反射板を形成することを含む、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記ラミネート成形工程は、略真空状態下で実施される、請求項１に記載の製造方法。
【請求項４】
前記ラミネート成形工程は、前面板及び前記太陽光発電手段であるセルストリングスに、前記背面基板及び前記反射板を接合させることを含む、請求項１に記載の製造方法。
【請求項５】
前記ラミネート成形工程は、前面板、封止材、前記太陽光発電手段であるセルストリングス、封止材、前記背面基板、及び、前記積層体を、積層した後に、前記背面基板の背面側からラミネーター治具により圧力を付与して、これらの各要素間を接合させることを含む、請求項２に記載の製造方法。
【請求項６】
前記ラミネート成形工程において、前記積層体は、前記背面基板上に透明接着フィルムを介して積層される、請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】
太陽電池であって、
太陽光発電手段と、
前記太陽光発電手段の背面に設けられ、太陽光を反射する反射手段とを備え、
前記反射手段は、背面基板と、前記背面基板上にラミネート成形により接合される反射板とを含むことを特徴とする太陽電池。
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月1日(2010.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽光発電手段の背面に太陽光を反射する反射手段を備え、前記反射手段が反射板と背面基板とを含む太陽電池の製造方法であって、
前記反射板と前記背面基板をラミネート成形により同時に成形するラミネート成形工程を備え、
前記ラミネート成形工程は、複数の膜の積層体を接合して前記反射板を形成することを含み、
前記ラミネート成形工程は、前面板、封止材、前記太陽光発電手段であるセルストリングス、封止材、前記背面基板、及び、前記積層体を、積層した後に、前記背面基板の背面側からラミネーター治具により圧力を付与して、これらの各要素間を接合させることを含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項２】
前記ラミネート成形工程において、前記積層体は、前記背面基板上に透明接着フィルムを介して積層される、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項３】
前記ラミネート成形工程は、略真空状態下で実施される、請求項２に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項４】
前記ラミネート成形工程は、前面板及び前記太陽光発電手段であるセルストリングスに、前記背面基板及び前記反射板を接合させることを含む、請求項３に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項５】
前記複数の膜はＡｇ−Ａｌ膜、ＳＵＳ膜及びＡｇ−Ａｌ膜である請求項４に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法により製造された太陽電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の問題を解決するため、本発明に係る太陽電池の製造方法は、
太陽光発電手段の背面に太陽光を反射する反射手段を備え、前記反射手段が反射板と背面基板とを含む太陽電池の製造方法であって、前記反射板と前記背面基板をラミネート成形により同時に成形するラミネート成形工程を備え、前記ラミネート成形工程は、複数の膜の積層体を接合して前記反射板を形成することを含み、前記ラミネート成形工程は、前面板、封止材、前記太陽光発電手段であるセルストリングス、封止材、前記背面基板、及び、前記積層体を、積層した後に、前記背面基板の背面側からラミネーター治具により圧力を付与して、これらの各要素間を接合させることを含むことを特徴とする。