(57)【要約】【課題】  構造が簡単であるにもかかわらず、アース用又は電源用の接触子の見かけ上の抵抗値を小さくすることにある。【解決手段】  電気的接続装置は、電気絶縁板と、該電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板と、第１及び第２の接触子とを含む。導電板は、接触子にオーバードライブが作用したとき、第１の接触子の針先部が当接することを許す少なくとも１つの第１の部位と、接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、第２の接触子の針先部が当接することを許さない複数の第２の部位とを有する穴を備える。【選択図】図１
2010096702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方の面に形成された導電性部と被検査体の電極部とを電気的に接続する装置であって、
電気絶縁板と、該電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板と、それぞれが、前記電気絶縁板内を左右方向へ伸びる針後部、該針後部の先端側に続きかつ上方に変形された外面を有する変形部、並びに前記変形部の先端側に続きかつ前記弾性板及び前記導電性シートを貫通して上方へ伸びる針先部を有する複数の接触子とを含み、
前記複数の接触子は第１及び第２の接触子を備え、
前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第１の接触子の前記針先部が当接することを許す少なくとも１つの第１の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第２の接触子の前記針先部が当接することを許さない複数の第２の部位とを有する穴を備える、電気的接続装置。
【請求項２】
前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第１の接触子の前記針先部が当接するように前記第１の部位に向けて突出する舌片を有する、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記左右方向における前記第１の部位の長さ寸法は、前記左右方向における前記第２の部位の長さ寸法より小さい、請求項１及び２のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の部位は、互いに連通されて、前後方向に長い長穴を共同して形成している、請求項１から３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の部位のそれぞれは、左右方向へ伸びるスリット領域であって、独立した不連続のスリット領域を含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記電気絶縁板は左右方向へ伸びる複数のスリットを有し、
前記針後部は、前記スリットに受け入れられて、その後端を、前記スリットを形成する面に当接させている、請求項１から５のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
さらに、前記導電板の上に配置された電気絶縁シートと、該電気絶縁シートの上に配置された導電性シートとを含み、
前記複数の接触子の針先部は、さらに、前記電気絶縁シートと前記導電性シートとを貫通して上方へ伸びており、
前記接触子は、少なくとも１つの前記第１の接触子と、複数の前記第２の接触子とを備え、
前記導電性シートは、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第２の接触子のうちの少なくとも１つの接触子の前記針先部が当接することを許す第３の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第２の接触子のうちの残りの接触子の前記針先部が当接することを許さない第４の部位とを有する第２の穴を備える、請求項１から６のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
さらに、厚さ方向両側に開放する開口を有するハウジングであって、前記電気絶縁体及び前記弾性板が前記開口に配置されたハウジングを含み、
該ハウジングは、前記導電性部を跨ぐ形に形成された複数の切り欠きであって、左右方向へ伸びる切り欠きを備え、前記導電板は、前記弾性板と前記ハウジングの上に配置されている、請求項７に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
前記ハウジングは、前記開口を有する第１のハウジングと、該第１のハウジングの周りに同軸的に配置された第２のハウジングとを含む、請求項８に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２のハウジングは導電性を有しており、前記導電板は前記第１のハウジングに電気的に接続されており、前記導電性シートは前記第２のハウジングに電気的に接続されている、請求項９に記載の電気的接続装置。
【請求項１１】
さらに、前記第１又は第２のハウジングに配置されたコンデンサを含み、該コンデンサの一方及び他方の端子は、それぞれ、前記第１及び第２のハウジングに電気的に接続されている、請求項１０に記載の電気的接続装置。
【請求項１２】
さらに、前記導電板又は導電性シートの上に配置された第２の電気絶縁シートと、該第２の電気絶縁シートの上に配置されたガイドであって、被検査体を受け入れる開口を有するガイドとを含み、
前記針先部は、さらに、前記第２の電気絶縁シートを貫通して先端を上方に突出させている、請求項１から１１のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板のような基板の導電性部と、集積回路のような被検査体の電極部とを電気的に接続する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路の電気的試験（すなわち、検査）は、一般に、配線基板の一方の面に形成された配線パターンのような導電性部と、集積回路のリード電極、パッド電極、バンプ電極、突起電極等の電極部とを電気的に接続する装置を用いて行われる。
【０００３】
この種の電気的接続装置の１つとして、左右方向へ伸びる針後部、該針後部の先端側に続きかつ上方に変形された外面を有する変形部、及び変形部の先端側に続きかつ上方へ伸びる針先部をそれぞれ有する、Ｊ字状又はＬ字状をした複数の接触子を用いるものがある（特許文献１）。
【０００４】
この電気的接続装置は、被検査体を受け入れるべく上下に開放する開口を有するガイドと、該開口内に配置されたシート状の電気絶縁板と、前記開口内にあって前記電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板とを含む。
【０００５】
各接触子は、その針後部が電気絶縁板に設けられたスリットに位置し、針先部が弾性板を貫通して上方へ伸びるように、電気絶縁板及び弾性板に支持されている。電気的接続装置は、各接触子がその変形部において配線基板の導電性部に押圧された状態に、配線基板に組み付けられる。
【０００６】
集積回路は、ガイドの開口部に上方から入れられて、接触子に受けられ、電極部を接触子の針先部の先端に対して相対的に押圧される。これにより、接触子は、弾性体を弾性変形させると共に、配線基板の導電性部に押圧される。その結果、配線基板の導電性部と集積回路の電極部とが電気的に接続される。
【０００７】
試験時、少なくとも1つの導電性部及び該導電性部に押圧された接触子は電源の負側(又は、正側)のいわゆるアース用として用いられ、他の幾つかの導電性部及び該導電性部に押圧された接触子は電源の正側（又は、負側）のいわゆる電源用として用いられ、残りの導電性部及び該導電性部に押圧された接触子は信号の供給又は取り出しのためのいわゆる信号用として用いられる。
【０００８】
上記の状態において、信号用の一部の接触子を介して集積回路に電気信号が供給されると共に、集積回路からの信号が信号用の他の接触子を介して取り出され、それにより集積回路の電気的試験が行われる。
【０００９】
しかし、従来の電気的接続装置では、集積回路の各電極部と配線基板の対応する導電性部との間の電気通路の中に接触子が位置されているから、電極部と導電性部との間の電気的な有効長さ寸法が大きく、電極部と導電性部との間の抵抗値が大きい。そのように抵抗値が大きいと、高周波信号を用いる試験を正確に行うことができない。
【００１０】
アース用又は電源用の接触子の見かけ上の抵抗値を小さくして、高周波信号に対するインピーダンスを整合するようにした技術が提案されている（特許文献２）。
【００１１】
特許文献２の技術は、板状をした電気絶縁性のブロックに複数の貫通穴と、導電層とを形成し、ポゴピンタイプの接触子を各貫通穴に配置し、少なくとも1つの接触子を導電層に接触させている。この技術においては、導電層に接触する接触子をアース用（又は、電源用）とし、他の接触子を電源用(又は、アース用)及び信号用として用いる。
【００１２】
しかし、上記従来技術では、各接触子がポゴピンタイプのものであるから、接触子自体の構造が複雑になる。また、導電層を、これに接触子を導電層に接触させる構造にする技術が複雑であり、接触子を導電層に確実に接触させることが難しい。
【００１３】
【特許文献１】特開２００２−２８０３１７号公報
【特許文献２】特開２００７−１７８１６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、構造が簡単であるにもかかわらず、アース用又は電源用の接触子の見かけ上の抵抗値を小さくすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る電気的接続装置は、電気絶縁板と、該電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板と、それぞれが、前記電気絶縁板内を左右方向へ伸びる針後部、該針後部の先端側に続きかつ上方に変形された外面を有する変形部、並びに前記変形部の先端側に続きかつ前記弾性板及び前記導電性シートを貫通して上方へ伸びる針先部を有する複数の接触子とを含む。
【００１６】
前記複数の接触子は第１及び第２の接触子を備える。前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第１の接触子の前記針先部が当接することを許す少なくとも１つの第１の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第２の接触子の前記針先部が当接することを許さない複数の第２の部位とを有する穴を備える。
【００１７】
前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第１の接触子の前記針先部が当接するように前記第１の部位に向けて突出する舌片を有することができる。
【００１８】
前記左右方向における前記第１の部位の長さ寸法は、前記左右方向における前記第２の部位の長さ寸法より小さくすることができる。
【００１９】
前記第１及び第２の部位は、互いに連通されて、前後方向に長い長穴を共同して形成していてもよい。これの代わりに、前記第１及び第２の部位のそれぞれは、左右方向へ伸びるスリット領域であって、独立した不連続のスリット領域を含むことができる。
【００２０】
前記電気絶縁板は左右方向へ伸びる複数のスリットを有し、前記針後部は、前記スリットに受け入れられて、その後端を、前記スリットを形成する面に当接させていてもよい。
【００２１】
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、前記導電板の上に配置された電気絶縁シートと、該電気絶縁シートの上に配置された導電性シートとを含むことができる。この場合、前記複数の接触子の針先部は、さらに、前記電気絶縁シートと前記導電性シートとを貫通して上方へ伸びていてもよく、また前記接触子は、少なくとも１つの前記第１の接触子と、複数の前記第２の接触子とを備えていてもよい。さらに、前記導電性シートは、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第２の接触子のうちの少なくとも１つの接触子の前記針先部が当接することを許す第３の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第２の接触子のうちの残りの接触子の前記針先部が当接することを許さない第４の部位とを有する穴を備えることができる。
【００２２】
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、厚さ方向両側に開放する開口を有するハウジングであって、前記電気絶縁体及び前記弾性板が前記開口に配置されたハウジングを含むことができる。また、該ハウジングは、基板に設けられた導電性部を跨ぐ形に形成された複数の切り欠きであって、左右方向へ伸びる切り欠きを備え、前記導電板は、前記弾性板と前記ハウジングの上に配置されていてもよい。
【００２３】
前記ハウジングは、前記開口を有する第１のハウジングと、該第１のハウジングの周りに同軸的に配置された第２のハウジングとを含むことができる。
【００２４】
前記第１及び第２のハウジングは導電性を有していてもよく、また前記導電板は前記第１のハウジングに電気的に接続されていてもよく、さらに前記導電性シートは前記第２のハウジングに電気的に接続されていてもよい。
【００２５】
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、前記第１又は第２のハウジングに配置されたコンデンサを含むことができ、また該コンデンサの一方及び他方の端子は、それぞれ、前記第１及び第２のハウジングに電気的に接続されていてもよい。
【００２６】
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、前記導電板又は導電性シートの上に配置された第２の電気絶縁シートと、該第２の電気絶縁シートの上に配置されたガイドであって、被検査体を受け入れる開口を有するガイドとを含むことができ、また前記針先部は、さらに、前記第２の電気絶縁シートを貫通して先端を上方に突出させていてもよい。
【発明の効果】
【００２７】
例えば、導電板に接続された第１の接触子をアース用及び電源用のいずれか一方に用い、第２の接触子をアース用及び電源用の他方と信号用とに用いることができる。第１の接触子の針先部が導電板に接続されているから、第１の接触子の見かけ状の電気的な有効長さ寸法（被検査体の電極部と導電板との間の長さ寸法）が小さくなる。
【００２８】
上記の結果、本発明によれば、Ｊ字状又はＬ字状の接触子を用いたことと、導電板に複数の穴部を設け、それらの穴部のうち、第１の部位は、接触子にオーバードライブが作用したとき、少なくとも１つの接触子の針先部が当接することを許すが、第２の部位は、接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、他の接触子の針先部が当接することを許さないこととが相まって、接触子自体のみならず、導電板自体の構造が簡単であるにもかかわらず、アース用又は電源用の電気通路の見かけ上の抵抗値が小さくなる。その結果、高周波信号を用いる試験を正確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
［用語の説明］
【００３０】
本発明においては、図１において、左右方向を左右方向（Ｘ方向）といい、前後方向（Ｙ方向）を前後方向といい、紙面に垂直な方向（Ｚ方向）を上下方向という。しかし、これらの方向は、被検査体をその検査装置に配置する姿勢に応じて異なる。
【００３１】
したがって、上記の方向は、検査装置による試験時の被検査体の姿勢に応じて、左右方向（Ｘ方向）及び前後方向（Ｙ方向）を含む面（ＸＹ面）が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定される。
【００３２】
［第１の実施例］
【００３３】
図１〜図５を参照するに、電気的接続装置１０は、集積回路のような平板状の被検査体１２の電気的検査すなわち電気的試験に用いるソケットとして基板１４と共に用いられる。
【００３４】
被検査体１２は、板状をした本体１６と、本体１６の一方の面に配置された平坦な複数の電極部１８とを備える。電極部１８は、図示の例では、左右方向に間隔をおいた２列に配置されており、また電極部列毎に前後方向に間隔をおいている。
【００３５】
基板１４は、配線パターンを電気絶縁性の材料から形成された板部材２０に印刷配線技術により形成した配線基板であり、また配線パターンの一部を露出させて被検査体１２の電極部１８に個々に対応された複数の導電性部２２としている。
【００３６】
導電性部２２は、電極部１８に一対一の形に対応されている。このため、導電性部２２も、左右方向に間隔をおいた２列に配置されており、また導電性部列毎に前後方向に間隔をおいている。複数の導電性部２２のうち、複数の導電性部２２はアース用として用いられ、他の複数の導電性部２２は信号用及び電源用として用いられる。
【００３７】
図においては、アース用の導電性部２２をその符号２２にアルファベットのａを付して示し、信号用及び電源用の導電性部２２をそれぞれそれらの符号２２にアルファベットのｂ及びｃを付して示す。
【００３８】
アース用の導電性部２２ａは直流電源の負側（又は、正側）の端子として用いられ、信号用の導電性部２２ｂは信号の供給及び取り出し用の端子として用いられ、電源用の導電性部２２ｃは直流電源の正側（又は、負側）の端子として用いられる。
【００３９】
しかし、導電性部２２ａを直流電源の正側（又は、負側）の端子として用い、導電性部２２ｃを直流電源の負側（又は、正側）の端子（すなわち、アース用端子）として用いてもよい。
【００４０】
ソケット、すなわち電気的接続装置１０は、枠状のハウジング３０と、ハウジング３０内に配置されたシート状の電気絶縁板３２と、電気絶縁板３２に重ねて配置された電気絶縁材料製の弾性板３４と、ハウジング３０及び弾性板３４に重ねて配置されたシート状の導電板３６と、導電板３６に重ねて配置された電気絶縁シート３８と、電気絶縁シート３８に重ねて配置されたガイド４０と、被検査体１２の電極部１８及び基板１４の導電性部２２に一対一の形に対応された複数の接触子４２とを含む。
【００４１】
ハウジング３０は、導電性の板状部材で矩形の板の形に製作されており、また厚さ方向両側（上下）に開放する矩形の開口４４を中央領域に有することにより矩形の枠の形に形成されており、さらに下方に開放する複数の切り欠き４６を下端部の左右方向における一端及び他端のそれぞれに有している。
【００４２】
各切り欠き４６は、開口４４とハウジング３０の外側の空間とを連通するように左右方向へ伸びる溝であり、また電源用及び信号用の導電性部２２ｂ及び２２ｃを跨ぐ形に形成されて、ハウジング３０が導電性部２２ｂ及び２２ｃに接触することを防止している。これにより、導電性部２２ａ，２２ｂ及び２２ｃを互いに短絡させることを防止している。
【００４３】
電気絶縁板３２は、ポリイミド樹脂のような電気絶縁材料で所定の厚さ寸法と開口４４とほぼ同じ大きさとを有する矩形のシートの形に製作されており、またハウジング３０の開口４４内にあって配線基板１４の上に配置されている。
【００４４】
電気絶縁板３２は、図９に示すように、導電性部２２に一対一の形に対応された複数のスリット４８を中央領域に有する。複数のスリット４８は、対応する導電性部２２の上方を左右方向へ伸びていると共に、左右方向に間隔をおいた２列に配置されており、さらにスリット列毎に前後方向に間隔をおいている。
【００４５】
弾性板３４は、シリコーンゴムのように三次元的に弾性変形可能の電気絶縁性及びばね性を有するゴム材で電気絶縁板３２とほぼ同じ大きさを有する矩形の形に製作されており、またハウジング３０の開口４４にあって電気絶縁板３２の上に配置されている。
【００４６】
弾性板３４は、図８に示すように、スリット４８に一対一の形に対応された複数の穴５０を中央領域に有する。穴５０は、対応するスリット４８の一端部に対応する箇所にあって、弾性板３４を厚さ方向に貫通する貫通穴である。それらの穴５０も、左右方向に間隔をおいた２列に配置されており、また穴列毎に前後方向に間隔をおいている。
【００４７】
導電板３６は、ベリリウムのように導電性及びばね性を有するシート状の板部材でハウジング３０とほぼ同じ大きさを有する矩形に製作されており、またハウジング３０及び弾性板３４の上に配置されている。
【００４８】
導電板３６は、図７に示すように、左右方向に間隔をおいた一対の長穴５２を有する。各長穴５２は、一方(又は、他方)の穴列の全ての穴５０に対応されており、対応する穴５０が上方に露出するように、対応する穴５０の上方を前後方向へ伸びている。
【００４９】
両長穴５２の互いに近い側に位置する辺は、他の辺からの距離（左右方向における長さ寸法）が複数箇所において異なるように、平面凹凸状に形成されている。これにより、左右方向における長さ寸法が異なりかつ前後方向に連通された複数の第１及び第２の部位５２ａ及び５２ｂが形成されている。
【００５０】
各第１の部位５２ａは、導電性部２２ａに対応されて、対応する導電性部２２ａ及び穴５０の上方の箇所に位置されている。第２の部位５２ｂは、複数の導電性部２２ｂ又は２２ｃに対応されて、対応する導電性部２２ｂ又は２２ｃと、複数の穴５０の上方の箇所に位置されている。
【００５１】
左右方向における第１の部位５２ａの長さ寸法（長穴５２の一方の縁部から他方の縁部までの距離）は、左右方向における第２の部位５２ｂの長さ寸法より小さい。図示の例では、第１の部位５２ａの左右方向における長さ寸法は、長穴５２に向けて突出する舌片５１により、第２の部位５２ｂのそれより小さくされている。
【００５２】
電気絶縁シート３８は、ポリイミド樹脂のような電気絶縁材料で導電板３６とほぼ同じ大きさを有する矩形の薄い板の形に製作されており、また導電板３６の上に配置されている。
【００５３】
電気絶縁シート３８は、図６に示すように、左右方向に間隔をおいた長方形の一対の長穴５４を有する。各長穴５４は、長穴５２に対応されており、対応する長穴５２に重なるように対応する長穴５２の上方を前後方向へ伸びている。
【００５４】
各長穴５４の左右方向における一端側（基端側）の位置は、長穴５２のそれと一致している。しかし、各長穴５４の左右方向における他端側の位置は、左右方向における各長穴５４の長さ寸法が、第１の部位５２ａのそれより大きくなると共に、第２の部位５２ｂのそれより小さくなるように、長穴５２のそれより一端側に位置されている。
【００５５】
ガイド４０は、合成樹脂のような電気絶縁材料で電気絶縁シート３８とほぼ同じ大きさを有する矩形の板の形に製作されており、また電気絶縁シート３８の上に配置されている。ガイド４０は、被検査体１２が受け入れられる開口５６を有する。
【００５６】
開口５６は、接続装置１０に対する被検査体１２の位置を規制するように四角筒面により形成された規制部と、規制部の上方にあって被検査体１２を接触子４４に案内するように截頭四角錐面により形成された傾斜部とを有している。
【００５７】
複数の接触子４２は、スリット一対一の形に対応されており、また導電性部２２の列及びスリット４８の列に対応された左右一対の接触子列のいずれかに属する。
【００５８】
各接触子４２は、図５に示すように、僅かに斜め上方に湾曲変形された外面を備えかつ電気絶縁板３２内を左右方向へ伸びる針後部５８ａと、針後部５８ａの先端側に続きかつ斜め上方に湾曲変形された外面を有する変形部５８ｂと、変形部５８ｂの先端側に続き、かつ弾性板３０、導電板３６及び導電性シート３８を貫通して上方へ伸びて開口５６内に突出する針先部５８ｃとを有する。
【００５９】
各接触子４２は、左右方向に間隔をおいた３つの接触子群に分けられて、導電性部２２に一対一の形に対応されている。このため、接触子４２は、アース用の接触子４２ａの接触子群と、信号用の接触子４２ｂの接触子群と、電源用の接触子４２ｃの接触子群とに分けられており、また接触子群毎に前後方向に間隔をおいている。
【００６０】
接触子４２ａは、その針先部５８ｃが第１の部位５２ａ（舌辺５１）と対向するように位置されており、接触子４２ｂ及び４２ｃは、その針先部５８ｃが第２の部位５２ｂを形成する箇所と対向するように位置されている。
【００６１】
各接触子４２の針後部５８ａは、相手側の接触子群の側に伸びる状態に、対応するスリット４８に受け入れられて、後端を、対応するスリット４８を形成する面のうち、後端側に位置する内向きの面に当接させている。
【００６２】
各接触子４２は、針先部５８ｃが穴５０，５２及び５４を経て開口５６に突出する状態に、及び針後部５８ａの斜め上方に湾曲変形された外面が導電性部２２に当接する状態に、電気絶縁板３２、弾性板３４等によりハウジング３０に配置されている。各接触子４２の針先部５８ｃの上端は、被検査体１２の電極部１８に接触される針先として作用する。
【００６３】
各接触子４２は、針後部５８ａが対応するスリット４８に締り嵌めの状態（すなわち、スリット４８を形成する部分で針後部５８ａを挟持された状態）に受け入れられていると共に、針先部５８ｃが穴５０を押し広げつつ、穴５０及び５４を貫通していることにより、ハウジング３０に安定に維持されている。しかし、そのような状態においても、各接触子４２の針先部５８ｃは導電板３６に接触していない。
【００６４】
ハウジング３０、電気絶縁板３２、弾性板３４、導電板３６、電気絶縁シート３８及びガイド４０は、これらが上記のように重ねられかつ接触子４２が上記のように維持された状態で、これらを貫通して基板１４に達する複数の位置決めピン６０（図１参照）により相互に及び基板１４に対して位置決められて、それらを貫通して基板１４に螺合された複数のねじ部材６２（図１参照）により基板１４に組み付けられる。
【００６５】
導電板３６は、ハウジング３０及びアース用の導電性部２２ａに電気的に接続されて、アース電位に維持される。ガイド４０も、アース電位に維持される。最上層に位置する電気絶縁シート３８は、ガイド４０が導電板３６に接触して導電板３６に電気的に接続されることを防止しているのみならず、開口５６に受け入れられた被検査体１２が導電板３６に接触して導電板３６に電気的に接続されることを防止している。
【００６６】
試験時、被検査体１２がその電極部１８を下方とした状態で、ガイド４０の開口５６に上方から配置される。これにより、被検査体１２の電極部１８が接触子４２の針先に受けられる。この際、被検査体１２は、ガイド４０の傾斜部により案内されて、規制部に達するから、被検査体１２の電極部１８と接触子４２の針先とを容易にかつ確実に接触させることができる。
【００６７】
上記状態で、電気的接続装置１０と被検査体１２とが相対的に接近されて、接触子４２の針先と被検査体１２の電極部１８とが相対的に押圧される。これにより、各接触子４２は、被検査体１２の電極部１８と基板１４の導電性部２２とに押圧されつつ、回転移動、すなわち回転変位される。
【００６８】
接触子４２の上記のような回転変位の際、各接触子４２は、針後部５８ａの後端が電気絶縁板３２のスリット４８を形成している内向きの面に当接されて、後退を阻止された状態で、これに作用するオーバードライブにより図５に点線で示す状態から実線で示す状態に角度的に回転変位する。このため、各接触子４２は基板１４の導電性部２２と被検査体１２の電極部１８とに確実に接触する。
【００６９】
また、接触子４２の針先と被検査体１２の電極部１８とが相対的に押圧されると、接触子４２が弾性板３４を弾性変形させつつ変位するから、基板１４の導電性部２２及び被検査体１２の電極部１８と接触子４２との接触圧が大きくなり、基板１４の導電性部２２及び被検査体１２の電極部１８に接触子４２がより確実に接触する。
【００７０】
接触子４２の針先と被検査体１２の電極部１８とが相対的に押圧されたときに接触子４２に作用する力は、両接触子列の接触子４２の延在方向が逆であるから、両接触子列の接触子４２に作用する力が互いに逆方向となることにより、相殺される。
【００７１】
前記のように電気的接続装置１０に組み立てられた状態において、各接触子４２の針先部５８ｃは、穴５０，５２及び５４を貫通してはいるものの、導電体３６に接触していない。
【００７２】
しかし、接触子４２にオーバードライブが作用すると、接触子４２ａは、接触子４２ａの針先部５８ｃから回転変位方向（左右方向）における第１の部位５２ａの一端部までの距離寸法が舌片５１により接触子４２ｂの針先部５８ｃから同方向における第２の部位５２ｂのそれより小さくされている。
【００７３】
このため、接触子４２ａは、図５に実線で示すように、第１の部位５２ａを形成している舌片５１に当接して舌片５１を下方に弾性変形させる。これにより、接触子４２ａは導電体３６に電気的に接続される。
【００７４】
これに対し、接触子４２ｂ及び４２ｃにおいては、接触子４２ｂ及び４２ｃの針先部５８ｃから同方向における第２の部位５２ｂの一端部までの距離寸法が接触子４２ａの針先部５８ｃから同方向における第１の部位５２ａのそれより大きい。すなわち、舌片５１に対応する舌片が弾性板３６に設けられていない。
【００７５】
このため、接触子４２ｂ及び４２ｃは、オーバードライブが作用しても、図５に実線で示すように、第２の部位５２ｂを形成している縁部に当接しない。その結果、接触子４２ｂ及び４２ｃは導電体３６に電気的に接続されない。
【００７６】
上記のように、接触子４２にオーバードライブが作用した状態で、電源電圧及び検査用電気信号が所定の接触子４２を介して被検査体に供給され、被検査体１２からの電気信号が他の所定の接触子４２を介してテスターに取り出される。テスターは、取り出された信号を用いて、被検査体１２の良否の検査をする。
【００７７】
電気的接続装置１０において、被検査体１２へのアース電位の印加は、基板１４の導電性部２２ａ及び導電性のハウジング３０を介して導電板３６から接触子４２ａの針先部５８ｃを介して行われる。
【００７８】
これに対し、検査用の信号、他の電源電位等、他の電気信号の被検査体１２への受け渡しは、基板１４の導電性部２２ｂ及び２２ｃ、並びに接触子４２ｂ及び４２ｃの変形部５８ｂ及び針先部５８ｃを介して行われる。このため、アース用の電気通路の有効長さは、接触子４２ｂ及び４２ｃを経る他の電気信号用のそれに比べ、短くなる。
【００７９】
上記のように、電気的接続装置１０によれば、接触子４２にオーバードライブが作用したとき、アース用の接触子４２ａの針先部５８ｃは導電板３６に当接するが、他の接触子４２ｂ及び４２ｃの針先部５８ｃは導電板３６に当接しない。このため、Ｊ字状又はＬ字状の接触子を用いたことと相まって、導電板３６自体の構造が簡単であるにもかかわらず、アース用の電気通路の見かけ上の抵抗値が小さくなる。その結果、高周波信号を用いる試験を正確に行うことができる。
【００８０】
［第２の実施例］
【００８１】
図１０から図１２を参照するに、電気的接続装置７０は、ハウジング３０を、開口４４を有する第１のハウジング３０ａと、第１のハウジング３０ａの周りに間隔をおいて同軸的に配置された矩形の第２のハウジング３０ｂとで構成し、さらに、電気絶縁シート３８の上に重ねて配置された導電性シート７２と、導電性シート７２の上に重ねて配置された電気絶縁シート７４とを含む。
【００８２】
第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂは、上記間隔により電気的に絶縁されている。しかし、上記間隔に電気絶縁材料を配置して、該電気絶縁材料により第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂを電気的に絶縁してもよい。
【００８３】
第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂは、それぞれ、導電板３６及び導電性シート７２とほぼ同じ大きさを有する矩形の形に導電性材料で製作されている。第１のハウジング３０ａの高さ寸法は、第２のハウジング３０ｂの高さ寸法より導電板３６及び電気絶縁シート３８の厚さ分だけ小さい。
【００８４】
第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂは、それぞれ、導電板３６及び導電性シート７２に電気的に接続されている。このため、第１ハウジング３０ａは導電板３６をアース用の導電性部２２ａに接続し、第２のハウジング３０ｂは導電性シート７２を電源用の導電性部２２ｃに接続している。しかし、第２のハウジング３０ｂは導電板３６に接触していない。
【００８５】
第１のハウジング３０ａの高さ寸法は、第２のハウジング３０ｂの高さ寸法より導電板３６及び電気絶縁シート３８の厚さ分だけ小さい。
【００８６】
導電性シート７２及び電気絶縁シート７４は、それぞれ、導電板３６の穴５２及び電気絶縁シート３８の長穴５４に対向された一対の穴７６及び一対の長穴７８を有しており、また電気絶縁シート３８及び導電性シート７２の上に重ねて配置されている。
【００８７】
導電性シート７２の長穴７６は、導電板３６の長穴５２と同様に、左右方向に間隔をおいて電気絶縁シート３８の長穴５４に重なるように、長穴５４の上を前後方向へ伸びている。これに対し、電気絶縁シート７４の長穴７８は、電気絶縁シート３８の長穴５４と同様に、左右方向に間隔をおいて導電性シート７２の長穴７６に重なるように、長穴７６の上を前後方向へ伸びている。
【００８８】
導電性シート７２の両長穴７６の互いに近い側に位置する辺は、他の辺からの距離（左右方向における長さ寸法）が複数箇所において異なるように長穴７６内に突出する舌辺８０により、平面凹凸状に形成されている。これにより、左右方向における長さ寸法が異なりかつ前後方向に連通された複数の第３及び第４の部位７６ａ及び７６ｂ（図１０参照）が形成されている。
【００８９】
第３の部位７６ａは電源用の接触子４２ｃに対応する箇所に形成されている。このため、電源用の接触子４２ｃは、その針先部５８ｃを舌片８０に対向させている。第３の部位７６ａの左右方向における長さ寸法は、舌片８０により左右方向における第４の部位７６ｂの長さ寸法より小さくされている。
【００９０】
第４の部位７６ｂは、アース用及び信号用の接触子４２ａ及び４２ｂに対応する箇所に形成されている。
【００９１】
電気絶縁シート７４の長穴７８は、前後方向に長い長方形の形状を有する。各長穴７８の左右方向における一端側（基端側）の位置は、長穴５２，５４，７６のそれらと一致している。
【００９２】
しかし、各長穴７８の左右方向における他端側の位置は、左右方向における各長穴７６の長さ寸法が、左右方向における第３の部位７６ａの長さ寸法より大きくなると共に、左右方向における第４の部位７６ｂの長さ寸法より小さくなるように、長穴７６の左右方向における他端側の位置より一端側に位置されている。
【００９３】
図示の例では、電気絶縁シート３８は、導電性シート７２の舌片８０と同様の舌片８２を有する。舌片８２は平面的に見て、舌片８０と同じ箇所に形成されている。
【００９４】
第１及び第２のハウジング３０ａ，３０ｂ、導電性シート７２及び電気絶縁シート７４は、それら並びに電気絶縁シート３８及び導電板３６を貫通して第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂに達する複数の位置決めピン８４及び８６（図１０参照）により、電気絶縁シート３８及び導電板３６を貫通して第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂに対し位置決められている。
【００９５】
最上層に位置する電気絶縁シート７４は、ガイド４０が導電性シート７２に接触して導電性シート７２に電気的に接続されることを防止しているのみならず、開口５６に受け入れられた被検査体１２が導電性シート７２に接触して導電性シート７２に電気的に接続されることを防止している。
【００９６】
電気的接続装置７０において、接触子４２にオーバードライブが作用したとき、接触子４２ａ及び４２ｂは、電気的接続装置１０の場合と同様に作用する。これに対し、接触子４２ｃの針先部５８ｃから回転変位方向における第３の部位７６ａの一端部までの距離寸法が舌片８０により接触子４２ｂの針先部５８ｃから同方向における第４の部位７６ｂのそれより小さくされている。
【００９７】
このため、接触子４２ｃは、図１２に実線で示すように、第３の部位７６ａを形成している舌片８０に当接して舌片８０を弾性変形させる。これにより、接触子４２ｃは導電性シート７２に電気的に接続される。このとき、電気絶縁シート３８の舌片８２は、舌片８０と共に下方に弾性変形されて、接触子４２ｃの針先部５８ｃが導電板３６に接触することを防止する。
【００９８】
これに対し、アース用及び信号用の接触子４２ａ及び４２ｂの針先部５８ｃは、それらが第４の部位７６ｂに位置されているから、導電性シート７２に接触しない。
【００９９】
電気的接続装置７０において、アース電位は、導電性部２２ａ、第１のハウジング３０ａ及び導電板３６等を介して、アース用の接触子４２ａに印加される。また、被検査体１２に対する信号の供給及び取り出しは、接触子４２ｂ及び導電性部２２ｂを介して行われる。
【０１００】
これに対し、被検査体１２への正（又は、負）の電源電位の印加は、電源用の導電性部２２ｃ、第２のハウジング３０ｂ及び導電性シート７２から接触子４２ｃの針先部５８ｃを介して行われる。
【０１０１】
上記の結果、電気的接続装置７０によれば、電気的接続装置１０よりも、電源電位のための電気通路の有効長さが、接触子４２ｂを経る電気信号のそれに比べ、短くなる。その結果、高周波信号を用いる試験をより正確に行うことができる。
【０１０２】
上記のように、電気的接続装置７０によれば、接触子４２にオーバードライブが作用したとき、アース用及び電源用の接触子４２ａ及び４２ｃの針先部５８ｃは、それぞれ、導電板３６及び導電性シート７２に当接する。このため、アース用及び電源用の電気通路の見かけ上の抵抗値が小さくなる。信号用の接触子４２ｂの針先部５８ｃは、導電板３６及び導電性シート７２に当接しない。
【０１０３】
［第３の実施例］
【０１０４】
図１２から図１４を参照するに、電気的接続装置９０は第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂに設けられた凹所９４に配置されたコンデンサ９２を含む。コンデンサ９２は、これの一方及び他方の端子を、それぞれ、第１及び第２のハウジング３０ａ及び３０ｂに電気的に接続されて、電源電位印加用として作用する。
【０１０５】
電気的接続装置９０によれば、正（又は、負）の電源電位が、被検査体１２により近づいて、その有効電気的長さがより短くなるから、高周波信号を用いる試験をより正確に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０６】
本発明は、本体部１６の一方の面に複数の電極部１８を有する被検査体のみならず、本体から並列的に突出するリード電極のような複数の電極部を有する被検査体の通電試験に用いる電気的接続装置にも適用することができる。
【０１０７】
本発明は、上記実施例以外の形状を有する接触子を用いる電気的接続装置にも適用することができるし、また液晶表示パネルのような他の平板状被検査体の通電試験用の電気的接続装置にも適用することができ、さらに上下の側を上記した実施例と逆にした状態で用いる電気的接続装置にも適用することができる。
【０１０８】
各長穴５２又は７６は、それぞれが左右方向へ伸びる独立した不連続のスリット領域とされた第１及び第２の部位５２ａ及び５２ｂ又は第３及び第４の部位７６ａ及び７６ｂで形成されていてもよい。
【０１０９】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の第１実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示す電気的接続装置の正面図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】図１における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図１に示す電気的接続装置における主要部分の拡大断面図である。
【図６】電気絶縁シートの長穴の近傍の一実施例を示す平面図である。
【図７】導電板の長穴の近傍の一実施例を示す平面図である。
【図８】弾性板の穴の近傍の一実施例を示す平面図である。
【図９】電気絶縁板のスリットの近傍の一実施例を示す平面図である。
【図１０】本発明に係る電気的接続装置の第２の実施例を示す平面図である。
【図１１】図１０における１１−１１線に沿って得た断面図である。
【図１２】図１０に示す電気的接続装置における主要部分の拡大断面図である。
【図１３】本発明に係る電気的接続装置の第３の実施例を示す平面図である。
【図１４】図１３における１４−１４線に沿って得た拡大断面図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０，７０，９０  電気的接続装置
１２  被検査体
１４  基板
１８  被検査体の電極部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ  基板の導電性部
３０  ハウジング
３０ａ，３０ｂ  第１及び第２のハウジング
３２  電気絶縁板
３４  弾性板
３６  導電板
３８  電気絶縁シート
４０  ガイド
４２，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ  接触子
４４  ハウジングの開口
４６  ハウジングの切り欠き
４８  電気絶縁板のスリット
５０  弾性板の穴
５１，８０，８２  舌片
５２  導電板の長穴
５２ａ，５２ｂ  第１及び第２の部位
５４  電気絶縁シートの長穴
５６  ガイドの開口
５８ａ  接触子の針後部
５８ｂ  接触子の変形部
５８ｃ  接触子の針先部
７２  導電性シート
７４  電気絶縁シート
７６  導電性シートの長穴
７８  電気絶縁シートの長穴
９２  コンデンサ
【図１】
2010096702.tif 000003
【図２】
2010096702.tif 000004
【図３】
2010096702.tif 000005
【図４】
2010096702.tif 000006
【図５】
2010096702.tif 000007
【図６】
2010096702.tif 000008
【図７】
2010096702.tif 000009
【図８】
2010096702.tif 000010
【図９】
2010096702.tif 000011
【図１０】
2010096702.tif 000012
【図１１】
2010096702.tif 000013
【図１２】
2010096702.tif 000014
【図１３】
2010096702.tif 000015
【図１４】
2010096702.tif 000016