(57)【要約】【課題】液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドと液体供給装置とを具備し、この液体供給装置を構成する負圧室用可撓性部材５２Ａを、その外周部が支持部材３４に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成し、負圧室５３の長手方向の断面における連通孔用弁体押圧部材５１の後端部側に設けられて支持部材５３の表面に対して傾斜する第１の傾斜部８１と、連通孔用弁体押圧部材５１の前端部側に設けられて第１の傾斜部８１よりも傾斜角度の大きい第２の傾斜部８２とを有すると共に、これら第１及び第２の傾斜部８１，８２の間に支持部材３４の表面に対して平行な平面部８３を有する構成とする。【選択図】図６
2010208279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドと、
液体が貯留された液体供給源から前記液体噴射ヘッドに向けて液体を供給する液体供給路と、該液体供給路の途中に設けられるとともに前記液体中に含まれる気泡を脱泡するべく滞留させるための脱泡室と、前記脱泡室と隔壁を隔てて隣り合う位置に設けられるとともに前記脱泡室の圧力よりも低圧となるようにポンプによって減圧される減圧室とを備え、前記隔壁が前記減圧室の減圧により気体の透過を許容するとともに液体の透過を規制するように構成された液体供給装置と、を具備し、
前記液体供給装置は、前記減圧室と連通孔を介して連通すると共に前記減圧室を減圧するべく負圧にされる負圧室と、前記連通孔に配されて閉弁状態となることにより当該連通孔を閉塞すると共に開弁状態となることにより前記連通孔を開放する連通孔用弁体と、該連通孔用弁体を閉弁状態となる方向に付勢する連通孔用弁体付勢部材と、前記負圧室の壁面の一部を構成し当該負圧室内の圧力変動に基づいて変位する負圧室用可撓性部材と、後端部が支持されて前記負圧室用可撓性部材の変位に伴って変位することで前記連通孔用弁体付勢部材の付勢力に抗して前記連通孔用弁体を開弁状態となる方向に押圧する連通孔用弁体押圧部材と、を備え、
且つ前記負圧室用可撓性部材は、その外周部が支持部材に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成され、前記負圧室の長手方向の断面における当該連通孔用弁体押圧部材の後端部側に設けられて前記支持部材の表面に対して傾斜する第１の傾斜部と、前記連通孔用弁体押圧部材の前端部側に設けられて前記第１の傾斜部よりも傾斜角度の大きい第２の傾斜部とを有すると共に、これら第１及び第２の傾斜部の間に前記支持部材の表面に対して平行な平面部を有することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記負圧室の長手方向の断面において前記平面部の長さが前記第１及び第２の傾斜部の長さよりも長いことを特徴する請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記負圧室の長手方向の断面における前記第２の傾斜部の長さが、前記第１の傾斜部の長さよりも短いことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記液体供給装置は、前記液体供給路に、前記液体を流入させるための流入孔及び前記液体を流出させるための流出孔を有する圧力室と、開弁状態となることにより前記連通孔を閉塞すると共に、開弁状態となることにより前記流入孔を開放する流入孔用弁体と、該流入孔用弁体を常に閉弁状態となる方向に付勢する流入孔用弁体付勢部材と、前記圧力室の壁面の一部を構成し、その圧力室内の圧力変動に基づいて変位する圧力室用可撓性部材と、後端部が支持されて前記圧力室用可撓性部材の変位に伴って変位することで、前記流入孔用弁体付勢部材の付勢力に抗して前記流入孔用弁体を開弁状態となる方向に押圧する流入孔用弁体押圧部材と、をさらに備え、
前記圧力室用可撓性部材が、その外周部が支持部材に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成され、前記圧力室の長手方向の断面における当該圧力室用弁体押圧部材の後端部側に設けられて前記支持部材の表面に対して傾斜する第３の傾斜部と、前記圧力室用弁体押圧部材の前端部側に設けられて前記第３の傾斜部よりも傾斜角度の大きい第４の傾斜部とを有すると共に、これら第３及び第４の傾斜部の間に前記支持部材の表面に対して平行な平面部を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記圧力室の長手方向の断面において前記平面部の長さが前記第３及び第４の傾斜部の長さよりも長いことを特徴する請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記圧力室の長手方向の断面における前記第４の傾斜部の長さが、前記第３の傾斜部の長さよりも短いことを特徴とする請求項４又は５に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドと、液滴が貯留された液体供給源から前記液体噴射ヘッドに向けて液体を供給する液体供給路を具備する液体供給装置と、を具備し、
該液体供給装置は前記液体供給路に、前記液体を流入させるための流入孔及び前記液体を流出させるための流出孔を有する圧力室と、開弁状態となることにより前記連通孔を閉塞すると共に、開弁状態となることにより前記流入孔を開放する流入孔用弁体と、該流入孔用弁体を常に閉弁状態となる方向に付勢する流入孔用弁体付勢部材と、前記圧力室の壁面の一部を構成し、その圧力室内の圧力変動に基づいて変位する圧力室用可撓性部材と、後端部が支持されて前記圧力室用可撓性部材の変位に伴って変位することで、前記流入孔用弁体付勢部材の付勢力に抗して前記流入孔用弁体を開弁状態となる方向に押圧する流入孔用弁体押圧部材と、を備え、
且つ前記圧力室用可撓性部材は、その外周部が支持部材に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成され、前記圧力室の長手方向の断面における当該圧力室用弁体押圧部材の後端部側に設けられて前記支持部材の表面に対して傾斜する第３の傾斜部と、前記圧力室用弁体押圧部材の前端部側に設けられて前記第３の傾斜部よりも傾斜角度の大きい第４の傾斜部とを有すると共に、これら第３及び第４の傾斜部の間に前記支持部材の表面に対して平行な平面部を有することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、インクジェット式記録装置等の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置に関し、特に、液体噴射装置に備えられ所定の圧力で液体噴射ヘッドに液体を供給するための液体供給装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドのノズルからターゲットに液体を噴射する液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」ともいう）のノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録装置（以下、単に「記録装置」ともいう）が広く知られている。
【０００３】
このような記録装置では、インクカートリッジ等のインク貯留手段と各記録ヘッドとの間にインク供給路を有するインク供給装置が備えられ、インク貯留手段のインクがこのインク供給路を介して各記録ヘッドに供給されるように構成されたものがある。また、このインク供給装置には、例えば、各記録ヘッドに供給されるインクの圧力を所定の範囲となるように調整するための圧力調整手段が設けられたものがある。
【０００４】
この圧力調整手段としては、例えば、弁体を作動させる弁体押圧部材（作動レバー）と、インク供給路（キャビティー）の圧力変化に伴って弁体押圧部材を変位させる可撓性部材（フィルム部材）とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。また、この特許文献１に記載されているように、可撓性部材（受圧フィルム）を湾曲した断面形状に変形させたものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２１０１２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように可撓性部材（受圧フィルム）を湾曲させることで、この可撓性部材によって弁体押圧部材を比較的効率よく変位させることはできる。しかしながら、特許文献１に記載されているような可撓性部材の形状では、耐久性に乏しく、また弁体押圧部材（作動レバー）の所望の変位量を確保できないことがある。そして、このことに起因して、インク滴の噴射特性の低下や、噴射特性のばらつきといった問題が生じる虞がある。
【０００７】
なおこのような問題は、インク滴以外の液滴を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置においても、同様に存在する。
【０００８】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドと、液体が貯留された液体供給源から前記液体噴射ヘッドに向けて液体を供給する液体供給路と、該液体供給路の途中に設けられるとともに前記液体中に含まれる気泡を脱泡するべく滞留させるための脱泡室と、前記脱泡室と隔壁を隔てて隣り合う位置に設けられるとともに前記脱泡室の圧力よりも低圧となるようにポンプによって減圧される減圧室とを備え、前記隔壁が前記減圧室の減圧により気体の透過を許容するとともに液体の透過を規制するように構成された液体供給装置と、を具備し、前記液体供給装置は、前記減圧室と連通孔を介して連通すると共に前記減圧室を減圧するべく負圧にされる負圧室と、前記連通孔に配されて閉弁状態となることにより当該連通孔を閉塞すると共に開弁状態となることにより前記連通孔を開放する連通孔用弁体と、該連通孔用弁体を閉弁状態となる方向に付勢する連通孔用弁体付勢部材と、前記負圧室の壁面の一部を構成し当該負圧室内の圧力変動に基づいて変位する負圧室用可撓性部材と、後端部が支持されて前記負圧室用可撓性部材の変位に伴って変位することで前記連通孔用弁体付勢部材の付勢力に抗して前記連通孔用弁体を開弁状態となる方向に押圧する連通孔用弁体押圧部材と、を備え、且つ前記負圧室用可撓性部材は、その外周部が支持部材に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成され、前記負圧室の長手方向の断面における当該連通孔用弁体押圧部材の後端部側に設けられて前記支持部材の表面に対して傾斜する第１の傾斜部と、前記連通孔用弁体押圧部材の前端部側に設けられて前記第１の傾斜部よりも傾斜角度の大きい第２の傾斜部とを有すると共に、これら第１及び第２の傾斜部の間に前記支持部材の表面に対して平行な平面部を有することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００１０】
かかる本発明の態様では、負圧室用可撓性部材が、第１の傾斜部と第２の傾斜部との間に平面部を有することで、負圧室用可撓性部材による連通孔用弁体押圧部材の変位特性が向上する。つまり、負圧室用可撓性部材によって連通孔用弁体押圧部材を所望の変位量だけ良好に変位させることができる。また、第２の傾斜部の傾斜角度が第１の傾斜部の傾斜角度よりも大きいことで、負圧室用可撓性部材の耐久性が大幅に向上する。これにより、液体中に溶存した気体を良好に脱気（除去）することができ、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる。
【００１１】
ここで、前記負圧室の長手方向の断面において前記平面部の長さが前記第１及び第２の傾斜部の長さよりも長いことが好ましい。また、前記負圧室の長手方向の断面における前記第２の傾斜部の長さが、前記第１の傾斜部の長さよりも短いことが好ましい。これにより、負圧室用可撓性部材による連通孔用弁体押圧部材の変位特性がさらに向上すると共に、負圧室用可撓性部材の耐久性がより確実に向上する。
【００１２】
また、前記液体供給装置は、前記液体供給路に、前記液体を流入させるための流入孔及び前記液体を流出させるための流出孔を有する圧力室と、開弁状態となることにより前記連通孔を閉塞すると共に、開弁状態となることにより前記流入孔を開放する流入孔用弁体と、該流入孔用弁体を常に閉弁状態となる方向に付勢する流入孔用弁体付勢部材と、前記圧力室の壁面の一部を構成し、その圧力室内の圧力変動に基づいて変位する圧力室用可撓性部材と、後端部が支持されて前記圧力室用可撓性部材の変位に伴って変位することで、前記流入孔用弁体付勢部材の付勢力に抗して前記流入孔用弁体を開弁状態となる方向に押圧する流入孔用弁体押圧部材と、をさらに備え、前記圧力室用可撓性部材が、その外周部が支持部材に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成され、前記圧力室の長手方向の断面における当該圧力室用弁体押圧部材の後端部側に設けられて前記支持部材の表面に対して傾斜する第３の傾斜部と、前記圧力室用弁体押圧部材の前端部側に設けられて前記第３の傾斜部よりも傾斜角度の大きい第４の傾斜部とを有すると共に、これら第３及び第４の傾斜部の間に前記支持部材の表面に対して平行な平面部を有することが好ましい。
【００１３】
このように圧力室用可撓性部材が、第３の傾斜部と第４の傾斜部との間に平面部を有することで、圧力室用可撓性部材による連通孔用弁体押圧部材の変位特性が向上する。つまり、圧力室用可撓性部材によって流入孔用弁体押圧部材を所望の変位量だけ良好に変位させることができる。また、第４の傾斜部の傾斜角度が第３の傾斜部の傾斜角度よりも大きいことで、圧力室用可撓性部材の耐久性が大幅に向上する。これにより、記録ヘッドに液体を所定の圧力で安定して供給することができ、液滴の噴射特性を長期に亘ってさらに良好に維持することができる。
【００１４】
ここで、前記圧力室の長手方向の断面において前記平面部の長さが前記第３及び第４の傾斜部の長さよりも長いことが好ましい。また、前記圧力室の長手方向の断面における前記第４の傾斜部の長さが、前記第３の傾斜部の長さよりも短いことが好ましい。これにより、圧力室用可撓性部材による流入孔用弁体押圧部材の変位特性がさらに向上すると共に、圧力室用可撓性部材の耐久性がより確実に向上する。
【００１５】
さらに本発明は、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドと、液滴が貯留された液体供給源から前記液体噴射ヘッドに向けて液体を供給する液体供給路を具備する液体供給装置と、を具備し、該液体供給装置は前記液体供給路に、前記液体を流入させるための流入孔及び前記液体を流出させるための流出孔を有する圧力室と、開弁状態となることにより前記連通孔を閉塞すると共に、開弁状態となることにより前記流入孔を開放する流入孔用弁体と、該流入孔用弁体を常に閉弁状態となる方向に付勢する流入孔用弁体付勢部材と、前記圧力室の壁面の一部を構成し、その圧力室内の圧力変動に基づいて変位する圧力室用可撓性部材と、後端部が支持されて前記圧力室用可撓性部材の変位に伴って変位することで、前記流入孔用弁体付勢部材の付勢力に抗して前記流入孔用弁体を開弁状態となる方向に押圧する流入孔用弁体押圧部材と、を備え、且つ前記圧力室用可撓性部材は、その外周部が支持部材に固定された状態でコマ型を当接させることにより湾曲するように形成され、前記圧力室の長手方向の断面における当該圧力室用弁体押圧部材の後端部側に設けられて前記支持部材の表面に対して傾斜する第３の傾斜部と、前記圧力室用弁体押圧部材の前端部側に設けられて前記第３の傾斜部よりも傾斜角度の大きい第４の傾斜部とを有すると共に、これら第３及び第４の傾斜部の間に前記支持部材の表面に対して平行な平面部を有することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００１６】
かかる本発明では、第３の傾斜部と第４の傾斜部との間に平面部を有することで、圧力室用可撓性部材による連通孔用弁体押圧部材の変位特性が向上する。つまり、圧力室用可撓性部材によって流入孔用弁体押圧部材を所望の変位量だけ良好に変位させることができる。また、第４の傾斜部の傾斜角度が第３の傾斜部の傾斜角度よりも大きいことで、圧力室用可撓性部材の耐久性が大幅に向上する。これにより、記録ヘッドに液体を所定の圧力で安定して供給することができ、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一実施形態に係る記録装置の概略平面図である。
【図２】一実施形態に係るバルブユニットの平断面図である。
【図３】一実施形態に係るバルブユニットの断面図である。
【図４】一実施形態に係るバルブユニットの断面図である。
【図５】一実施形態に係るバルブユニットの断面図である。
【図６】一実施形態に係る負圧室用可撓性部材の湾曲形状を示す断面図である。
【図７】一実施形態に係る圧力室用可撓性部材の湾曲形状を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施形態に基づいて説明する。まずは、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成について説明する。なお、以下の説明において、「前後方向」、「左右方向」、「上下方向」をいう場合は図１に矢印で示す前後方向、左右方向、上下方向をそれぞれ示すものとする。
【００１９】
図１に示すように、インクジェット式記録装置１１は平面視矩形状をなす本体フレーム１２を備えている。この本体フレーム１２内にはプラテン１３が主走査方向となる左右方向に沿って延設されている。プラテン１３上には、図示しない紙送り機構により記録用紙（図示略）が副走査方向となる前後方向に沿って給送されるようになっている。また、本体フレーム１２内におけるプラテン１３の上方には、プラテン１３の長手方向（左右方向）と平行に延びる棒状のガイド軸１４が架設されている。
【００２０】
このガイド軸１４には、キャリッジ１５がガイド軸１４に沿って往復移動可能な状態で支持されている。キャリッジ１５は、本体フレーム１２の後壁内面に設けられた一対のプーリー１６ａ間に掛装された無端状のタイミングベルト１６を介して本体フレーム１２の背面に設けられたキャリッジモーター１７に連結されている。これにより、キャリッジ１５は、キャリッジモーター１７の駆動によってガイド軸１４に沿って往復移動されるようになっている。
【００２１】
キャリッジ１５におけるプラテン１３と対向する下端側には、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１８が支持されている。またキャリッジ１５には、一時貯留した液体としてのインクを下流側（記録ヘッド１８側）に供給する平面視長方形状をなすバルブユニット１９が搭載されている。
【００２２】
記録ヘッド１８の下面には図示しない複数のノズルが開口しており、記録ヘッド１８内に設けられた図示しない圧電素子を駆動することにより、各ノズルからプラテン１３上に給送された記録用紙（図示略）にそれぞれインク滴が噴射されることで印刷が行われるようになっている。
【００２３】
本体フレーム１２内の右端部にはカートリッジホルダー２１が設けられており、カートリッジホルダー２１には液体供給源としての複数（本実施形態では６つ）のインクカートリッジ２２がそれぞれ着脱自在に装着されている。各インクカートリッジ２２には、互いに種類（色）の異なるインクが収容されている。カートリッジホルダー２１は、キャリッジ１５に搭載されたバルブユニット１９と複数（本実施形態では６本）のインク供給チューブ２４を介して接続されている。
【００２４】
そして、カートリッジホルダー２１に各インクカートリッジ２２を装着した状態では、各インクカートリッジ２２が各インク供給チューブ２４を介して液体供給装置としてのバルブユニット１９とそれぞれ連通するようになっている。バルブユニット１９は、各インクカートリッジ２２から各インク供給チューブ２４を介してそれぞれ供給されるインクを個別に一時貯留するようになっており、個別に一時貯留した各インクはそれぞれ記録ヘッド１８に供給されるようになっている。
【００２５】
また図１に示すように、本体フレーム１２内における右端部寄りの位置であって、キャリッジ１５のホームポジション領域には、記録ヘッド１８のクリーニング等のメンテナンスを行うためのメンテナンスユニット２６が設けられている。このメンテナンスユニット２６は、記録ヘッド１８の各ノズルの開口を囲うように該記録ヘッド１８に当接したり各ノズルの開口からフラッシングによって吐出されるインクを受容したりするためのキャップ２７と、キャップ２７内を吸引可能な吸引ポンプ（図示略）とを備えている。
【００２６】
そして、記録ヘッド１８の各ノズルの開口を囲うように記録ヘッド１８にキャップ２７を当接した状態でキャップ２７内を吸引ポンプ（図示略）によって吸引することで、各ノズルの開口から増粘したインクや気泡などをキャップ２７内に強制的に排出させる、いわゆるクリーニングが行われるようになっている。
【００２７】
次に、バルブユニット１９の構成について詳述する。なお図２は、本実施形態に係るバルブユニットの平断面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ′断面図であり、図５は、図３のＣ−Ｃ′断面図である。
【００２８】
これらの図に示すように、バルブユニット１９は、有底四角箱状をなす脱泡室形成部材３０と、脱泡室形成部材３０の内底面上に積重された平板状の隔壁３１と、隔壁３１の上面に積重された平板状の減圧室形成部材３２と、減圧室形成部材３２の上面に積重された平板状の負圧室形成部材３３とを備えている。脱泡室形成部材３０の上面上には、脱泡室形成部材３０の上端開口を閉塞するように、有蓋四角箱状をなす支持部材であるカバー部材３４がシールゴム３５を介して図示しないねじによって固定されている。
【００２９】
脱泡室形成部材３０の内底面と隔壁３１の下面、隔壁３１の上面と減圧室形成部材３２の下面、及び減圧室形成部材３２の上面と負圧室形成部材３３の下面は、それぞれ互いに接着剤によって接着されており、隔壁３１、減圧室形成部材３２及び負圧室形成部材３３は、脱泡室形成部材３０とカバー部材３４とによって完全に覆われている。なお、脱泡室形成部材３０、隔壁３１、減圧室形成部材３２、負圧室形成部材３３及びカバー部材３４は、剛性を有するとともに液体を透過しない合成樹脂によって構成されている。
【００３０】
負圧室形成部材３３とカバー部材３４との間には空間である空気室３６が形成されている。カバー部材３４の前端部における下面とシールゴム３５との間には、空気室３６を大気と連通させる大気連通路３７が形成されている。したがって、空気室３６は常に大気圧となっている。この大気連通路３７の形状は、特に限定されないが、例えば、細長く且つ蛇行状に延びており、空気室３６と大気とを連通させつつ、空気室３６から大気中へ水分が蒸発することを抑制している。
【００３１】
図５に示すように、脱泡室形成部材３０の内底面における前端側の位置には、左右に長い平面視矩形状をなす複数（本実施形態では６つ）の脱泡凹部３８が並設されている。各脱泡凹部３８は、前後方向に３列となるとともに左右方向に２列となるように、かつ前後方向及び左右方向において等間隔で配設されている。すなわち、６つの脱泡凹部３８は、脱泡室形成部材３０の左右方向における中央を境に３つずつ左右対称となるように配設されている。
【００３２】
図３及び図５に示すように、各脱泡凹部３８と隔壁３１とで囲まれて形成された６つの空間は、上流側から流入する各インク中に含まれる（浮遊する）気泡をそれぞれ脱泡するべく滞留させるための脱泡室３９とされている。また、各脱泡凹部３８の底面において、脱泡室形成部材３０の左右方向における中央部側の端部であって前後方向の中央部には、脱泡室３９内のインクをインクが消費される下流側に位置する記録ヘッド１８側へ流出させるための流出口４０が開口している。
【００３３】
図３に示すように、減圧室形成部材３２の下面における前端部側には前後方向に長い平面視矩形状をなす減圧凹部４１が形成されており、減圧凹部４１と隔壁３１とで囲まれて形成された空間は減圧室４２とされている。減圧室４２は、内部の圧力が各脱泡室３９の圧力よりも低圧となるように減圧されるようになっている。また減圧室４２は、平面視において各脱泡室３９の流出口４０側と部分的に重なっている（図５参照）。
【００３４】
なお、隔壁３１は、減圧室４２が減圧された際に気体を透過可能な材料、例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）等によって成型されている。
【００３５】
そして、隔壁３１における減圧室４２と各脱泡室３９とで挟まれた部分は区画部３１ａとされており、減圧室４２は隔壁３１における区画部３１ａを隔てて各脱泡室３９と上側に隣り合う位置に配置されており、隔壁３１（区画部３１ａ）の厚さは減圧室４２の減圧により各脱泡室３９内の気泡が透過する程度に設定されている。この場合、隔壁３１を構成する合成樹脂は、脱泡室形成部材３０、減圧室形成部材３２、負圧室形成部材３３及びカバー部材３４を構成する合成樹脂よりも気体透過性が高くなっている。そのため、区画部３１ａは、区画部３１ａ以外の厚みを有する部分に比べて気体の透過性を高めることができる。
【００３６】
減圧室４２内の後端部における上面には上下に延びる円筒状のケース部４３が形成されており、ケース部４３の下面は隔壁３１の上面に当接している。ケース部４３の前端側には、ケース部４３の内外を連通するスリット４３ａが形成されている。したがって、ケース部４３内と減圧室４２内とは連通している。そして、負圧室形成部材３３の上面における減圧室形成部材３２のケース部４３と上下方向で重なる位置には、負圧凹部４４が形成されている。
【００３７】
負圧凹部４４は、図２に示すように、負圧室形成部材３３の上面における中央部に位置しており、前後方向に長い平面視矩形状をなしている。さらに、負圧室形成部材３３の上面には、複数（本実施形態では６つ）の圧力凹部４５が形成されている。各圧力凹部４５は前後方向に長い平面視矩形状をなしている。
【００３８】
また、各圧力凹部４５は、前後方向の長さが負圧凹部４４のそれよりも長く、左右方向の幅が負圧凹部４４のそれと同じになっている。そして、６つの圧力凹部４５は、負圧凹部４４を境として左右に３つずつ互いに平行となるようにそれぞれ等間隔で配列されている。
【００３９】
さらに、負圧室形成部材３３の上面上には、適度な弾力性を有するステンレス製の１枚の薄板からなる作動板４６が配置されている。作動板４６は、負圧室形成部材３３の上面における後端部に位置するとともに左右方向に長く延びる平面視矩形状をなす基部４７を備えている。基部４７は、負圧室形成部材３３の上面上に固定されているとともに、この基部４７における各圧力凹部４５の後端部と対向する前端部には、各圧力凹部４５に向かって前方に延びる圧力連結部４８がそれぞれ設けられている。
【００４０】
各圧力連結部４８は、平面視における各圧力凹部４５の後端部まで延びており、それらの先端には平面視で圧力凹部４５よりも一回り小さい矩形状の流入孔用弁体押圧部材としての圧力作動部４９がそれぞれ設けられている。すなわち、各圧力作動部４９は、平面視において各圧力凹部４５内に収まるように、各圧力凹部４５と重なっている。そして、各圧力作動部４９の左右両端縁部は下側に向かって直角に屈曲されているとともに、各圧力作動部４９の左右方向の幅は各圧力連結部４８のそれよりも広くなっている。
【００４１】
基部４７における負圧凹部４４の後端部と対向する前端部には、負圧凹部４４に向かって前方に延びる負圧連結部５０が設けられている。負圧連結部５０は基端部よりも先端部の方が左右方向の幅が狭くなっていると共に、先端部の左右方向の幅は各圧力連結部４８のそれと同じになっている。負圧連結部５０の先端部の先端には平面視で負圧凹部４４よりも一回り小さい矩形状の連通孔用弁体押圧部材としての負圧作動部５１が設けられている。
【００４２】
すなわち、負圧作動部５１は、平面視において負圧凹部４４内に収まるように、負圧凹部４４と重なっている。さらに、負圧作動部５１の左右両端縁部は、下側に向かって直角に屈曲されている。そして、各圧力作動部４９は、作動圧力が負圧作動部５１よりも大きいため、前後方向の長さが負圧作動部５１のそれよりも長くなっている。なお、各圧力作動部４９の前端部及び負圧作動部５１の前端部は固定されない自由端となっている。
【００４３】
また、負圧室形成部材３３の上面には、可撓性を有する合成樹脂製のフィルム部材からなる負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂが設けられている。負圧室用可撓性部材５２Ａは負圧凹部４４の上端開口部を封止しており、この負圧室用可撓性部材５２Ａと負圧凹部４４とで囲まれた空間は負圧室５３とされる。また、圧力室用可撓性部材５２Ｂは圧力凹部４５の上端開口部を封止しており、この圧力室用可撓性部材５２Ｂと圧力凹部４５とで囲まれた空間は、それぞれ圧力室５４とされている。本実施形態では、これら負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂが１枚のフィルム部材によって構成されている。つまり、作動板４６の上から負圧室形成部材３３の上面全体を覆うように、負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂとしての１枚のフィルム部材が溶着されている。
【００４４】
なお、これら負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂは、図３及び図４に示すように負圧作動部５１又は圧力作動部４９に密着している状態ではほぼ平坦になっているが、実際には湾曲して形成されている。負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂの湾曲形状については、詳しく後述する。
【００４５】
また図３に示すように、減圧室形成部材３２におけるケース部４３内の上壁には、上壁を上下に貫通する連通孔としての第１連通孔５５が形成されていると共に、負圧室形成部材３３における負圧室５３の底壁には該底壁を上下に貫通する連通孔としての第２連通孔５６が第１連通孔５５と対応するように形成されている。すなわち、第１連通孔５５と第２連通孔５６とは、内径が同じになっているとともに、互いに連通している。したがって、負圧室５３とケース部４３内とは第１連通孔５５及び第２連通孔５６を介して連通している。
【００４６】
減圧室４２内及び負圧室５３内には、これら両室４２，５３を跨ぐように連通孔用弁体としての負圧弁体５７が収容されている。この負圧弁体５７は、第１連通孔５５及び第２連通孔５６に挿通された円柱状の負圧バルブ軸５８と、ケース部４３内において負圧バルブ軸５８の下端部に設けられた負圧バルブ軸５８の外径よりも大きい外径を持つ円板状の負圧鍔部５９とを備えている。負圧バルブ軸５８の下端は負圧鍔部５９の上面における中心に連結されているとともに、負圧バルブ軸５８の上端は負圧作動部５１の下面に当接している。
【００４７】
負圧鍔部５９の外径は、第１連通孔５５及び第２連通孔５６の内径よりも大きく、且つケース部４３の内径よりも僅かに小さくなっている。負圧鍔部５９の上面には、この上面の周縁に沿って可撓性材料よりなる円環状の負圧シール部材６０が負圧バルブ軸５８を囲むように固着されている。この負圧シール部材６０の外径は負圧鍔部５９の外径とほぼ同じになっている。また、ケース部４３内において、負圧鍔部５９の下面と隔壁３１の上面との間には連通孔用弁体付勢部材としての負圧コイルばね６１が介装されている。
【００４８】
この負圧コイルばね６１は、負圧弁体５７を常に閉弁状態となる方向である上方に向かって付勢するようになっている。そして、この負圧弁体５７の閉弁状態では、負圧シール部材６０が第１連通孔５５を囲んだ状態でケース部４３内の上壁面に密着して第１連通孔５５が閉鎖された状態、すなわちケース部４３内と負圧室５３内とが非連通状態になっている。なお、負圧室５３内は、ポンプとしての減圧ポンプ６２によって減圧可能になっている。
【００４９】
そして、減圧ポンプ６２と減圧室４２との間に負圧弁体５７が配置されている。そのため、減圧ポンプ６２を常に駆動していなくても、減圧室４２を長時間減圧状態に維持することが可能となる。したがって、記録装置１１の電源をＯＦＦにした場合でも、減圧室４２からの脱泡を行うことも可能となる。
【００５０】
そして、負圧室５３内が減圧ポンプ６２によって減圧されて、負圧室５３内に負圧が発生すると、大気圧との差圧によって負圧室用可撓性部材５２Ａが負圧室５３側（下側）に撓むように変位する。この負圧室用可撓性部材５２Ａの変位に伴って負圧作動部５１が、負圧作動部５１の後端をヒンジとして下方に向かって屈曲するように弾性変形する。
【００５１】
この負圧作動部５１の弾性変形により、負圧作動部５１によって負圧バルブ軸５８が負圧コイルばね６１の付勢力に抗して下方に押し下げられて負圧シール部材６０がケース部４３内の上壁面から離間することで、負圧弁体５７が開弁されるようになっている。そして、負圧弁体５７が開弁状態にある場合には、第１連通孔５５が開放された状態、すなわちケース部４３内と負圧室５３内とが連通状態になっている。
【００５２】
図４に示すように、減圧室形成部材３２の下面において各圧力凹部４５の後端部と上下方向に重なる位置にはインク供給凹部６３がそれぞれ形成されており、各インク供給凹部６３と隔壁とで囲まれた空間はそれぞれインク供給室６４とされている。これら各インク供給室６４には、上流端が各インク供給チューブ２４（図１参照）の下流端に接続された図示しない流入路の下流端がそれぞれ開口している。
【００５３】
減圧室形成部材３２における各インク供給室６４の上壁には、上壁を上下に貫通する流入孔としての第１流入孔６５がそれぞれ形成されているとともに、負圧室形成部材３３における各圧力室５４の底壁には該底壁を上下に貫通する流入孔としての第２流入孔６６が各第１流入孔６５とそれぞれ対応するように形成されている。すなわち、第１流入孔６５と第２流入孔６６とは、内径が同じになっているとともに、互いに連通している。したがって、各圧力室５４と各インク供給室６４とは各第１流入孔６５及び各第２流入孔６６を介してそれぞれ連通している。
【００５４】
図４に示すように、圧力室５４内及びインク供給室６４内には、これら両室５４，６４を跨ぐように流入孔用弁体としての圧力弁体６７が収容されている。この圧力弁体６７は、第１流入孔６５及び第２流入孔６６に挿通された円柱状の圧力バルブ軸６８と、インク供給室６４内において圧力バルブ軸６８の下端部に設けられた該圧力バルブ軸６８の外径よりも大きい外径を持つ円板状の圧力鍔部６９とを備えている。圧力バルブ軸６８の下端は圧力鍔部６９の上面における中心に連結されているとともに、圧力バルブ軸６８の上端は圧力作動部４９の下面に当接している。
【００５５】
圧力鍔部６９の外径は、第１流入孔６５及び第２流入孔６６の内径よりも大きく、且つインク供給室６４の内径よりも小さくなっている。圧力鍔部６９の上面には、この上面の周縁に沿って可撓性材料よりなる円環状の圧力シール部材７０が圧力バルブ軸６８を囲むように固着されている。この圧力シール部材７０の外径は圧力鍔部６９の外径とほぼ同じになっている。また、インク供給室６４内において、圧力鍔部６９の下面と隔壁３１の上面との間には流入孔用弁体付勢部材としての圧力コイルばね７１が介装されている。
【００５６】
この圧力コイルばね７１は、圧力弁体６７を常に閉弁状態となる方向である上方に向かって付勢するようになっている。そして、この圧力弁体６７の閉弁状態では、圧力シール部材７０が第１流入孔６５を囲んだ状態でインク供給室６４の上壁面に密着して第１流入孔６５が閉鎖された状態、すなわちインク供給室６４と圧力室５４とが非連通状態になっている。
【００５７】
負圧室形成部材３３において、各圧力室５４の前端部における底壁には該底壁を上下に貫通する流出孔としての第１流出孔７２がそれぞれ形成されている。また、減圧室形成部材３２における各第１流出孔７２と対応する位置には、減圧室形成部材３２を上下に貫通する流出孔としての第２流出孔７３がそれぞれ形成されている。さらに、隔壁３１における各第２流出孔７３と対応する位置には、隔壁３１を上下に貫通する流出孔としての第３流出孔７４がそれぞれ形成されている。
【００５８】
したがって、各第１流出孔７２と各第２流出孔７３とはそれぞれ連通していると共に、各第２流出孔７３と各第３流出孔７４とはそれぞれ連通している。また、各第３流出孔７４は、脱泡室形成部材３０に形成された図示しない流路を介して各脱泡室３９とそれぞれ連通している。したがって、各圧力室５４内のインクは、各第１流出孔７２、各第２流出孔７３、各第３流出孔７４、及び脱泡室形成部材３０に形成された図示しない流路を介して各脱泡室３９にそれぞれ供給されるようになっている。
【００５９】
そして、記録ヘッド１８から各インクが噴射されて各圧力室５４内のインクが減少すると、各圧力室５４内に負圧が発生するため、大気圧との差圧によって圧力室用可撓性部材５２Ｂが圧力室５４側（下側）に撓むように変位する。この圧力室用可撓性部材５２Ｂの変位に伴って各圧力作動部４９が、各圧力作動部４９の後端をヒンジとして下方に向かって屈曲するように弾性変形する。
【００６０】
この各圧力作動部４９の弾性変形により、各圧力作動部４９によって各圧力バルブ軸６８が各圧力コイルばね７１の付勢力に抗して下方に押し下げられて各圧力シール部材７０が各インク供給室６４の上壁面から離間することで、各圧力弁体６７が開弁されるようになっている。そして、各圧力弁体６７が開弁状態にある場合には、各第１流入孔６５が開放された状態、すなわち各インク供給室６４と各圧力室５４とが連通状態になっている。
【００６１】
なお、本実施形態では、各インク供給チューブ２４、各インク供給室６４、各第１流入孔６５、各第２流入孔６６、各圧力室５４、各第１流出孔７２、各第２流出孔７３、各第３流出孔７４、各脱泡室３９、及び各流出口４０により液体供給路が構成され、各インク供給チューブ２４及びバルブユニット１９により液体供給装置が構成されている。
【００６２】
次に、バルブユニット１９の作用について説明する。
【００６３】
減圧ポンプ６２を駆動することによって負圧室５３内を、例えば、−５０ｋＰａ程度の圧力になるまで減圧すると、大気圧によって負圧室用可撓性部材５２Ａが負圧室５３側（下側）に撓むように変位する。この負圧室用可撓性部材５２Ａの変位に伴って負圧作動部５１が負圧作動部５１の後端をヒンジとして下方に向かって屈曲するように弾性変形する。この負圧作動部５１の弾性変形により、負圧作動部５１によって負圧バルブ軸５８が負圧コイルばね６１の付勢力に抗して下方に押し下げられて負圧シール部材６０がケース部４３内の上壁面から離間することで、負圧弁体５７が開弁される。
【００６４】
すると、減圧ポンプ６２により、負圧室５３とともに減圧室４２も、−５０ｋＰａ程度の圧力まで減圧される。この状態で、減圧ポンプ６２を停止して負圧室５３を大気開放させると、負圧室５３及び減圧室４２の圧力が上昇する。そして、負圧室５３及び減圧室４２の圧力が、例えば、−３０ｋＰａ程度になると、負圧コイルばね６１の付勢力によって負圧弁体５７が閉弁される。すると、負圧室５３の圧力は大気圧まで上昇するとともに、減圧室４２の圧力は−３０ｋＰａ程度に保持される。
【００６５】
続いて、印刷時に記録ヘッド１８から各インクが噴射されて各圧力室５４内のインクが減少すると、各圧力室５４内に負圧が発生するため、大気圧との差圧によって圧力室用可撓性部材５２Ｂが圧力室５４側（下側）に撓むように変位する。この圧力室用可撓性部材５２Ｂの変位に伴って各圧力作動部４９が、各圧力作動部４９の後端をヒンジとして下方に向かって屈曲するように弾性変形する。
【００６６】
この各圧力作動部４９の弾性変形により、各圧力作動部４９によって各圧力バルブ軸６８が各圧力コイルばね７１の付勢力に抗して下方に押し下げられて各圧力シール部材７０が各インク供給室６４の上壁面から離間することで、各圧力弁体６７が開弁される。すると、各インク供給室６４のインクが第１流入孔６５及び第２流入孔６６を介して各圧力室５４内に流れ込む。そして、各圧力室５４内にそれぞれインクが十分に補充されると、各圧力室５４内の負圧が解消されて圧力室用可撓性部材５２Ｂ及び各圧力作動部４９が元の位置に戻るとともに、各圧力コイルばね７１の付勢力により各圧力弁体６７がそれぞれ閉弁されることにより各圧力室５４は常に一定の圧力に保たれる。
【００６７】
この場合、各圧力室５４から各第１流出孔７２、各第２流出孔７３、及び各第３流出孔７４を介して流出した各インクは、各脱泡室３９を経由して各流出口４０から記録ヘッド１８へそれぞれ流れる。そして、減圧室４２の圧力は−３０ｋＰａ程度に保持されているため、各脱泡室３９では各インク中に浮遊する気泡が隔壁３１を透過して減圧室４２へ脱泡される。
【００６８】
以上説明したように、本実施形態のバルブユニット１９においては、負圧室用可撓性部材５２Ａの変位に伴って負圧作動部５１を弾性変形させている。また圧力室用可撓性部材５２Ｂの変位に伴って圧力作動部４９を弾性変形させている。そして、本実施形態では、これら負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂを所定の形状に形成することで、負圧作動部５１及び圧力作動部４９を所望の変位量で確実に変位させることができるようにしている。
【００６９】
具体的には、負圧室用可撓性部材５２Ａは、その外周部がカバー部材３４に溶着（固定）された状態で、所定温度に加熱したコマ型を当接させることにより湾曲するように形成されている。そして、図６に示すように、負圧室用可撓性部材５２Ａは、負圧室５３の長手方向の断面における負圧作動部５１の後端部側に設けられてカバー部材３４の表面に対して所定の傾斜角度θ１で傾斜する第１の傾斜部８１と、負圧作動部５１の前端部側に設けられて第１の傾斜部８１よりも大きい傾斜角度θ２の第２の傾斜部８２とを有すると共に、これら第１及び第２の傾斜部８１，８２の間にカバー部材３４の表面に対して平行な平面部８３を有する。
【００７０】
負圧室用可撓性部材５２Ａが、このように第１及び第２の傾斜部８１，８２と共に平面部８３を有することで、この負圧室用可撓性部材５２Ａの変形に伴って負圧作動部５１を十分に弾性変形させることができる。また、第２の傾斜部８２の傾斜角度θ２が第１の傾斜部８１の傾斜角度θ１よりも大きいことで、負圧室用可撓性部材５２Ａの耐久性が大幅に向上する。したがって、インク中に溶存した気体を良好に脱気（除去）することができ、インク滴の噴射特性を長期亘って良好に維持することができる。
【００７１】
ここで、第１の傾斜部８１の傾斜角度θ１は、負圧作動部５１に接触するため、負圧作動部５１の変位量を考慮して適宜決定することが好ましい。具体的には、第１の傾斜部８１の傾斜角度θ１は、負圧作動部５１の最大に変位した状態での傾斜角度とほぼ一致していることが好ましい。なお、第１の傾斜部８１の傾斜角度θ１が負圧作動部５１の上記傾斜角度よりも大きいと、負圧室用可撓性部材５２Ａの破れが生じる虞がある。また第１の傾斜部８１の傾斜角度θ１が負圧作動部５１の上記傾斜角度よりも小さいと負圧作動部５１を十分に押圧することができなくなる虞がある。
【００７２】
一方、第２の傾斜部８２は、負圧作動部５１には実質的に接触しないため、その傾斜角度θ２は負圧作動部５１の変位量を考慮する必要はなく、第１の傾斜部８１の傾斜角度θ１よりも大きい所望の角度とすることができる。
【００７３】
また、平面部８３の長さＬ３は、第１の傾斜部８１の長さＬ１及び第２の傾斜部８２の長さＬ２よりも長いことが好ましい。さらに、第２の傾斜部８２の長さＬ２が、第１の傾斜部８１の長さＬ１よりも短いことが好ましい。これにより、負圧室用可撓性部材５２Ａによる負圧作動部５１の変位特性がさらに向上すると共に、負圧室用可撓性部材５２Ａの耐久性もより確実に向上する。
【００７４】
また、このような負圧室用可撓性部材５２Ａと同様に、圧力室用可撓性部材５２Ｂも、その外周部がカバー部材３４に溶着（固定）された状態で、所定温度に加熱したコマ型を当接させることにより湾曲するように形成されている。そして、図７に示すように、圧力室用可撓性部材５２Ｂは、圧力室５４の長手方向の断面における圧力作動部４９の後端部側に設けられてカバー部材３４の表面に対して所定角度θ３で傾斜する第３の傾斜部８４と、圧力作動部４９の前端部側に設けられて第３の傾斜部８４よりも大きい傾斜角度θ４の第４の傾斜部８５とを有すると共に、これら第３及び第４の傾斜部８４，８５の間にカバー部材３４の表面に対して平行な平面部８６を有する。
【００７５】
これにより、圧力室用可撓性部材５２Ｂの変形に伴って圧力作動部４９を十分に弾性変形させることができる。また、第４の傾斜部８５の傾斜角度θ４が第３の傾斜部８４の傾斜角度θ３よりも大きいことで、圧力室用可撓性部材５２Ｂの耐久性が大幅に向上する。これにより、バルブユニット１９から記録ヘッド１８にインクを所定の圧力で安定して供給することができ、インク滴の噴射特性を長期に亘ってさらに良好に維持することができる。
【００７６】
また、平面部８６の長さＬ６は、第３の傾斜部８４の長さＬ４及び第４の傾斜部８５の長さＬ５よりも長いことが好ましい。さらに、第４の傾斜部８５の長さＬ５が、第３の傾斜部８４の長さＬ４よりも短いことが好ましい。これにより、圧力室用可撓性部材５２Ｂによる圧力作動部４９の変位特性がさらに向上すると共に、圧力室用可撓性部材５２Ｂの耐久性もより確実に向上する。
【００７７】
なお、このような湾曲形状の負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂの製造方法は、特に限定されず、例えば、上述した特許文献１等に記載の公知の方法を用いることができる。
【００７８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこのような実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂのそれぞれが、湾曲形状を有する構成を例示したが、勿論、負圧室用可撓性部材５２Ａ又は圧力室用可撓性部材５２Ｂの何れか一方のみが湾曲形状を有するようにしてもよい。
【００７９】
また例えば、上述の実施形態では、各圧力作動部４９と負圧作動部５１とが一体的に形成されていたが、これら圧力作動部４９と負圧作動部５１とは互いに別部材として構成されていてもよい。また、上述の実施形態では、負圧室用可撓性部材５２Ａと圧力室用可撓性部材５２Ｂとが、一枚のフィルム部材によって一体的に形成されていたが、勿論、これら負圧室用可撓性部材５２Ａ及び圧力室用可撓性部材５２Ｂも、別々のフィルム部材で形成されていてもよい。
【００８０】
また、例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて本発明を説明したが、本発明は広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体（機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体を含む）を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。なお「液体」には、例えば、無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等が含まれるほか、液状体、流状体などが含まれる。
【００８１】
その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００８２】
１１  インクジェット式記録装置、  １８  インクジェット式記録ヘッド、  １９  バルブユニット、  ２２  インクカートリッジ、  ２４  インク供給チューブ、  ３０  脱泡室形成部材、  ３１  隔壁、  ３２  減圧室形成部材、  ３３  負圧室形成部材、  ３４  カバー部材、  ３５  シールゴム、  ４４  負圧凹部、  ４５  圧力凹部、  ４６  作動板、  ４９  圧力作動部、  ５１  負圧作動部、  ５２Ａ  負圧室用可撓性部材、  ５２Ｂ  圧力室用可撓性部材、  ５３  負圧室、  ５４  圧力室、  ８１  第１の傾斜部、  ８２  第２の傾斜部、  ８３  平面部、  ８４  第３の傾斜部、  ８５  第４の傾斜部、  ８６  平面部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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