(57)【要約】【課題】高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置を提供する。【解決手段】印刷装置１Ａは、印刷版または基板である平板Ａが載置されるステージ１２ａ，１２ｂと、シート状のブランケット１４を保持する可撓性のブランケット保持板１３と、ブランケット保持板１３の一端部１３ａを移動不能に支持する固定支持部１５と、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを移動可能に支持する単純支持部１６と、ブランケット保持板１３を押圧することでブランケット１４を平板Ａに接触させるエアバルーン１８と、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置を可変に調節することで平板Ａに対してブランケット１４を順次接触させて接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、接触端における平板Ａとブランケット１４との接触圧が略一定となるようにエアバルーン１８の内圧を調節する接触圧調節部とを備える。【選択図】図５
2010234714.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷版または基板である平板を支持するためのステージと、
前記ステージと対向配置されたブランケットと、
前記ブランケットから見て前記ステージが位置する側とは反対側に前記ブランケットに沿うように配置され、前記ブランケットを保持する可撓性のブランケット保持板と、
前記ブランケット保持板から見て前記ステージが位置する側とは反対側に配置され、前記ブランケット保持板を押圧することで前記ブランケットを前記平板に接触させる圧力付与部材と、
前記ブランケット保持板の一端部を移動不能に支持する第１支持部と、
前記ブランケット保持板の他端部と前記ステージとの間の距離が可変となるように、前記ブランケット保持板の前記他端部を移動可能に支持する第２支持部と、
前記ブランケット保持板の前記他端部と前記ステージとの間の距離が徐々に小さくなるように前記第２支持部を駆動することにより、前記平板に対して前記ブランケットを前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置に向けて順次接触させ、これにより前記平板と前記ブランケットとの接触部分のうち、前記ブランケット保持板の前記他端部寄りに位置する接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、
前記接触端位置調節部によって前記接触端の位置を可変に調節するに際し、前記接触端における前記平板と前記ブランケットとの接触圧が、前記接触端が前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、前記圧力付与部材の駆動を制御する接触圧調節部とを備えた、印刷装置。
【請求項２】
前記接触端の位置を検出する接触端位置検出部をさらに備え、
前記接触圧調節部は、前記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報に基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御する、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記ブランケット保持板を支持することで前記第２支持部に印加されることとなる荷重を検出する支持荷重検出部をさらに備え、
前記接触圧調節部は、前記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と前記支持荷重検出部によって検出された荷重情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御する、請求項２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記第２支持部によって支持された部分の前記ブランケット保持板の位置を検出する支持位置検出部をさらに備え、
前記接触圧調節部は、前記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と前記支持位置検出部によって検出された支持位置情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御する、請求項２に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含み、
前記接触圧調節部は、前記エアバルーンの内圧を制御して前記ブランケット保持板に対する前記エアバルーンの押圧力を調節することで前記接触圧を調節する、請求項１から４のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項６】
前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板上を移動しつつ前記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含み、
前記接触圧調節部は、前記ブランケット保持板に対する前記押圧ローラの押圧力を調節することで前記接触圧を調節する、請求項１から４のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項７】
前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含み、
前記接触圧調節部は、前記ブランケット保持板に対する前記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで前記接触圧を調節する、請求項１から４のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項８】
一端部が移動不能に支持されるとともに他端部が移動可能に支持された可撓性を有するブランケット保持板によって保持されたブランケットを、印刷版または基板である平板に対向するように配置し、前記ブランケット保持板の前記他端部と前記平板との間の距離が徐々に小さくなるように前記ブランケット保持板の前記他端部の位置を変化させつつ前記ブランケット保持板を圧力付与部材を用いて押圧することにより、前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置に向けて前記ブランケットを前記平板に順次接触させて印刷を行なう印刷方法であって、
前記平板と前記ブランケットとの接触部分のうち、前記ブランケット保持板の前記他端部寄りに位置する接触端における前記平板と前記ブランケットとの接触圧が、前記接触端が前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、印刷方法。
【請求項９】
前記接触端の位置を検出しつつ、検出された前記接触端の位置情報に基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、請求項８に記載の印刷方法。
【請求項１０】
前記ブランケット保持板の前記他端部を支持する荷重を検出しつつ、検出された前記接触端の位置情報と検出された荷重情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、請求項９に記載の印刷方法。
【請求項１１】
前記ブランケット保持板の前記他端部を支持する位置を検出しつつ、検出された前記接触端の位置情報と検出された支持位置情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、請求項９に記載の印刷方法。
【請求項１２】
前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含み、
前記エアバルーンの内圧を制御して前記ブランケット保持板に対する前記エアバルーンの押圧力を調節することで前記接触圧を調節することを特徴とする、請求項８から１１のいずれかに記載の印刷方法。
【請求項１３】
前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板上を移動しつつ前記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含み、
前記ブランケット保持板に対する前記押圧ローラの押圧力を調節することで前記接触圧を調節することを特徴とする、請求項８から１１のいずれかに記載の印刷方法。
【請求項１４】
前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含み、
前記ブランケット保持板に対する前記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで前記接触圧を調節することを特徴とする、請求項８から１１のいずれかに記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置および印刷方法に関し、より特定的には、可撓性を有する平板状のブランケット保持板に取付けられたブランケットを用いてオフセット印刷を行なう印刷装置および印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、電子部品や光学部品等の製造の際に行なわれる微細パターンの形成には、フォトレジストを用いたフォトリソグラフィ法が利用される。たとえば、液晶パネルの製造の際に行なわれる配線パターンの形成や素子形成には、フォトリソグラフィ法を利用したレジストの加工やエッチング等が行なわれる。
【０００３】
しかしながら、フォトリソグラフィ法は、レジストの塗布工程、露光工程および現像工程といった複雑な工程を必要とするものであり、必ずしも簡便に微細パターンが形成できるプロセスとは言えない。そのため、フォトリソグラフィ法を利用して微細パターンを形成することとした場合には、製造に要する処理時間が長くなるといった問題や巨額の設備投資を必要とするといった問題を招来し、結果として製造コストを圧迫してしまうことになっていた。したがって、より簡便に微細パターンの形成が行なえるプロセスの考案が求められている。
【０００４】
このような要求に応える微細パターンの形成プロセスとして、従来より、オフセット印刷法の利用が提案されている。オフセット印刷法とは、インクパターンを印刷版からブランケットと呼ばれる弾性部材に転写した後に、当該インクパターンを再度ブランケットから印刷すべき基板に転写することにより、基板上に所望のインクパターンを付着させて微細パターンを形成する方法である。
【０００５】
一般的に、オフセット印刷法は、シート状のブランケットを巻き付けた円柱状の転胴を回転させ、これと同期させて印刷版もしくは基板を相対的に並進運動させてブランケットと印刷版もしくは基板を接触させ、これによりインクパターンを印刷版からブランケットへもしくはブランケットから基板へ転写することで印刷を行なう技術である（たとえば、特開平１１−５８９２１号公報（特許文献１）、特開２００４−２４９６９６号公報（特許文献２）等参照）。
【０００６】
しかしながら、上述した如くの構成のブランケットおよび転胴を用いて大型の基板に対して印刷を行なうこととした場合には、転胴が大型化することに伴って転胴の回転時にブレが生じ易くなり、そのため転写されるインクパターンの位置精度に低下が生じ、形成される微細パターンに歪みが発生してしまう問題があった。たとえば、近年の液晶パネルはその大型化が飛躍的に進んでおり、この大型の液晶パネルの製造に際して上述した如くの構成のブランケットおよび転胴を用いてオフセット印刷を行なった場合には、位置精度の低下に伴って均一な微細パターンの形成が困難になり、印刷精度が低下してしまう問題が生じてしまうことになる。
【０００７】
そこで、このような問題を解決することを目的として考案されたオフセット印刷法として、特開２００８−１３２７４３号公報（特許文献３）に開示の如くのオフセット印刷法がある。上記特許文献３に開示のオフセット印刷法は、シート状のブランケットを平板状の可撓性を有するブランケット保持板に貼り合わせるとともに、当該ブランケット保持板の背後に加圧機を配置し、加圧機を用いてブランケット保持板を一端部から他端部にかけて徐々に押圧することでブランケットを印刷版もしくは基板に順次接触させ、これによりインクパターンを印刷版からブランケットへもしくはブランケットから基板へ転写して印刷を行なうものである。このようなオフセット印刷法を利用すれば、上述した位置ずれの問題の発生が未然に防止できることになり、転写されるインクパターンの位置精度を高精度に管理することが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−５８９２１号公報
【特許文献２】特開２００４−２４９６９６号公報
【特許文献３】特開２００８−１３２７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した特許文献３においては、加圧機によってブランケットに印加される加圧力について何ら検討が行なわれていない。そのため、上述した特許文献３に開示の如くのオフセット印刷装置およびオフセット印刷法をそのまま利用して印刷を行なった場合には、ブランケットを印刷版もしくは基板に接触させる際の接触圧が何ら制御されていないことになり、インクパターンを転写する面内において部位毎に接触圧がばらついて転写精度が不均一になり、再現性よくインクパターンを転写することができなくなる問題が生じる。
【００１０】
そこで、本発明は、上述の問題点を解決すべくなされたものであり、高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置および印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に基づく印刷装置は、ステージと、ブランケットと、ブランケット保持板と、圧力付与部材と、第１支持部と、第２支持部と、接触端位置調節部と、接触圧調節部とを備える。上記ステージは、印刷版または基板である平板を支持するためのものであり、上記ブランケットは、上記ステージに対向配置されている。上記ブランケット保持板は、上記ブランケットを保持する可撓性の部材からなり、上記ブランケットから見て上記ステージが位置する側とは反対側に上記ブランケットに沿うように配置されている。上記圧力付与部材は、上記ブランケット保持板を押圧することで上記ブランケットを上記平板に接触させるためのものであり、上記ブランケット保持板から見て上記ステージが位置する側とは反対側に配置されている。上記第１支持部は、上記ブランケット保持板の一端部を移動不能に支持するものであり、上記第２支持部は、上記ブランケット保持板の他端部と上記ステージとの間の距離が可変となるように、上記ブランケット保持板の上記他端部を移動可能に支持するものである。上記接触端位置調節部は、上記ブランケット保持板の上記他端部と上記ステージとの間の距離が徐々に小さくなるように上記第２支持部を駆動することにより、上記平板に対して上記ブランケットを上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置に向けて順次接触させ、これにより上記平板と上記ブランケットとの接触部分のうち、上記ブランケット保持板の上記他端部寄りに位置する接触端の位置を可変に調節する部位である。上記接触圧調節部は、上記接触端位置調節部によって上記接触端の位置を可変に調節するに際し、上記接触端における上記平板と上記ブランケットとの接触圧が、上記接触端が上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、上記圧力付与部材の駆動を制御する部位である。
【００１２】
上記本発明に基づく印刷装置は、上記接触端の位置を検出する接触端位置検出部をさらに備えていることが好ましく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報に基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御するように構成されていることが好ましい。
【００１３】
上記本発明に基づく印刷装置は、上記ブランケット保持板を支持することで上記第２支持部に印加されることとなる荷重を検出する支持荷重検出部をさらに備えていることが好ましく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と上記支持荷重検出部によって検出された荷重情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御するように構成されていることが好ましい。
【００１４】
上記本発明に基づく印刷装置は、上記第２支持部によって支持された部分の上記ブランケット保持板の位置を検出する支持位置検出部をさらに備えていることが好ましく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と上記支持位置検出部によって検出された支持位置情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御するように構成されていることが好ましい。
【００１５】
上記本発明に基づく印刷装置にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含んでいてもよく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記エアバルーンの内圧を制御して上記ブランケット保持板に対する上記エアバルーンの押圧力を調節することで上記接触圧を調節するように構成されていることが好ましい。
【００１６】
上記本発明に基づく印刷装置にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板上を移動しつつ上記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含んでいてもよく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記ブランケット保持板に対する上記押圧ローラの押圧力を調節することで上記接触圧を調節するように構成されていることが好ましい。
【００１７】
上記本発明に基づく印刷装置にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含んでいてもよく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記ブランケット保持板に対する上記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで上記接触圧を調節するように構成されていることが好ましい。
【００１８】
本発明に基づく印刷方法は、一端部が移動不能に支持されるとともに他端部が移動可能に支持された可撓性を有するブランケット保持板によって保持されたブランケットを、印刷版または基板である平板に対向するように配置し、上記ブランケット保持板の上記他端部と上記平板との間の距離が徐々に小さくなるように上記ブランケット保持板の上記他端部の位置を変化させつつ上記ブランケット保持板を圧力付与部材を用いて押圧することにより、上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置に向けて上記ブランケットを上記平板に順次接触させて印刷を行なう方法であって、上記平板と上記ブランケットとの接触部分のうち、上記ブランケット保持板の上記他端部寄りに位置する接触端における上記平板と上記ブランケットとの接触圧が、上記接触端が上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、上記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とするものである。
【００１９】
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、好ましくは、上記接触端の位置を検出しつつ、検出された上記接触端の位置情報に基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御する。
【００２０】
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、好ましくは、上記ブランケット保持板の上記他端部を支持する荷重を検出しつつ、検出された上記接触端の位置情報と検出された荷重情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御する。
【００２１】
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、好ましくは、上記ブランケット保持板の上記他端部を支持する位置を検出しつつ、検出された上記接触端の位置情報と検出された支持位置情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御する。
【００２２】
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含んでいてもよく、その場合には、好ましくは、上記エアバルーンの内圧を制御して上記ブランケット保持板に対する上記エアバルーンの押圧力を調節することで上記接触圧を調節する。
【００２３】
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板上を移動しつつ上記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含んでいてもよく、その場合には、好ましくは、上記ブランケット保持板に対する上記押圧ローラの押圧力を調節することで上記接触圧を調節する。
【００２４】
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含んでいてもよく、その場合には、好ましくは、上記ブランケット保持板に対する上記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで上記接触圧を調節する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明により、高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置および印刷方法とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】関連技術に係る印刷装置の具体的な構成例および印刷方法の具体的な手順例を説明するための図である。
【図２】関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、ブランケット保持板に加わる圧力の変化およびブランケットと平板の接触圧の変化を模式的に表した図である。
【図３】関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、初期状態から最終加圧状態に至るまでの間に平板に加わった接触圧の最大値を部位毎に模式的に表した図である。
【図４】関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、平板に加わることとなる接触圧の圧力分布のシミュレーションの結果を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１における印刷装置の構成を示す概略斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態１における印刷装置の要部拡大平面図である。
【図７】本発明の実施の形態１における印刷装置の機能ブロックの構成を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態１における印刷装置の動作フローを示す図である。
【図９】本発明の実施の形態１における印刷装置の動作状態を示す概略側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態１における印刷装置において、接触圧を均一化するために参照したバルーンの内圧と接触端の位置との対応関係をグラフ化した図である。
【図１１】本発明の実施の形態１における印刷装置において、エアバルーンの内圧制御の参考としたモデルを示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態２における印刷装置の構成を示す概略側面図である。
【図１３】本発明の実施の形態３における印刷装置の構成を示す概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下においては、まず上述した特許文献３に開示のオフセット印刷法を利用する場合の印刷装置の具体的な構成例および印刷方法の具体的な手順例について、これを関連技術として図を参照して詳細に説明する。
【００２８】
（関連技術）
図１は、関連技術に係る印刷装置の具体的な構成例および印刷方法の具体的な手順例を説明するための模式図である。
【００２９】
図１（Ａ）ないし図１（Ｃ）に示すように、関連技術に係る印刷装置１Ｆは、印刷版または基板である平板Ａを保持するステージ１１２と、ステージ１１２の上方に位置する加圧盤１１７と、ステージ１１２と加圧盤１１７との間に配置された板バネ状のブランケット保持板１１３とを主として備えている。加圧盤１１７は、その一方端に設けられた回転軸１１９によって回転可能に支持されている。ブランケット保持板１１３は、平板状の可撓性を有する板状部材にて構成されており、上述した回転軸１１９が設けられた側と同じ側の端部である一端部１１３ａが固定支持部（不図示）によって移動不能に支持されており、他端部１１３ｂが単純支持部（不図示）によって移動可能に支持されている。加圧盤１１７の下面には、所定容量の空気が封入されたエアバルーン１１８が設けられており、ブランケット保持板１１３の下面には、インクパターンを保持可能なシート状のブランケット１１４が設けられている。
【００３０】
当該印刷装置１Ｆを用いて印刷を行なう場合には、加圧盤１１７およびブランケット保持板１１３をステージ１１２から遠ざけた位置に配置し、ステージ１１２上に平板Ａをセットし、加圧盤１１７を回転させることでエアバルーン１１８をブランケット保持板１１３に押し当ててブランケット保持板１１３を撓ませる（図１（Ａ）参照）。次に、加圧盤１１７をさらに徐々に回転させることにより、ブランケット１１４を平板Ａに対してブランケット保持板１１３の一端部１１３ａ寄りの位置から順次ブランケット保持板１１３の他端部１１３ｂ寄りの位置に向けて接触させていく（図１（Ｂ）参照）。そして、ブランケット保持板１１３の撓みがなくなりブランケット保持板１１３と平板Ａとが平行になるまで加圧盤１１７を回転させる（図１（Ｃ）参照）。以上により、平板Ａとして印刷版を用いた場合には、インクパターンが印刷版からブランケット１１４に転写され、平板Ａとして基板を用いた場合には、インクパターンがブランケット１１４から基板に転写されることになる。
【００３１】
上述した関連技術に係る印刷装置および印刷方法では、形成されるインクパターンの位置精度が向上して歪みが生じ難いため、印刷すべき基板が大型である場合に特に有効に利用され得るが、その一方で、板バネ状のブランケット保持板１１３によって印刷版または基板の面を全面的に均一に加圧できているかが重要になる。すなわち、板バネ状のブランケット保持板１１３によって印刷版または基板の面を全面的に均一に加圧できなければ、インクパターンを転写する面内において部位毎に転写精度が不均一になり、再現性よくインクパターンを転写できない問題が生じる。この点について、次に検討を行なう。
【００３２】
図２は、関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、ブランケット保持板に加わる圧力の変化およびブランケットと平板の接触圧の変化を模式的に表した図である。ここで、図２（Ａ）に示す初期状態は、加圧盤１１７が下降する前の状態であり、図２（Ｂ）に示す第１加圧過程状態は、加圧盤１１７が僅かに下降してブランケット１１４が平板Ａに接触し始めた状態である。また、図２（Ｃ）に示す第２加圧過程状態は、加圧盤１１７がさらに下降してブランケット１１４と平板Ａの接触範囲が広がった状態であり、図２（Ｄ）に示す最終加圧状態は、加圧盤１１７がさらに下降してブランケット１１４と平板Ａとが完全に接触した状態である。一方、図３は、関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、上述した初期状態から最終加圧状態に至るまでの間に平板に加わった接触圧の最大値を部位毎に表した図である。
【００３３】
図２（Ａ）に示す初期状態においては、エアバルーン１１８によってブランケット保持板１１３に均一な圧力Ｐが加わっている。この状態においては、ブランケット保持板１１３を支持する一対の支点である固定支持部１１５および単純支持部１１６によってブランケット保持板１１３に加わる力（圧力Ｐの総和）が支えられており、これら固定支持部１１５および単純支持部１１６には、それぞれ圧力Ｐよりも大きな力Ｆ１0，Ｆ２0が加わっている。
【００３４】
図２（Ｂ）に示す第１加圧過程状態においては、ブランケット１１４と平板Ａとが接触する境界部分である接触端において上記圧力Ｐとは大きさの異なる接触圧Ｆ１1が生じる。当該接触圧Ｆ１1は、ブランケット保持板１１３をエアバルーン１１８が加圧する圧力Ｐと単純支持部１１６の位置により決まるが、ブランケット保持板１１３に加わる力のうちブランケット１１４と平板Ａとの非接触エリアに対応する部分に加わる圧力Ｐの総和をこの接触端と単純支持部１１６とで支えることになる。図示する如くの第１加圧過程状態においては、ブランケット１１４と平板Ａとの非接触エリアが大きいため、接触端において生じる接触圧Ｆ１1は圧力Ｐよりも明らかに大きい力となり、単純支持部１１６に加わる力Ｆ２1も圧力Ｐよりも大きい力となる。
【００３５】
図２（Ｃ）に示す第２加圧過程状態においては、ブランケット１１４と平板Ａとが接触する境界部分である接触端において上記圧力Ｐとは大きさの異なる接触圧Ｆ１2が生じる。当該接触圧Ｆ１2は、やはりブランケット保持板１１３をエアバルーン１１８が加圧する圧力Ｐと単純支持部１１６の位置により決まるが、接触端の位置が上述した第１加圧過程状態に比べて単純支持部１１６側へと移動することでブランケット１１４と平板Ａとの非接触エリアが小さくなることに伴い、接触圧Ｆ１1よりも小さい力となる。なお、単純支持部１１６に加わる力Ｆ２2も上述した力Ｆ２1よりも小さい力となる。
【００３６】
図２（Ｄ）に示す最終加圧状態においては、ブランケット保持板１１３をエアバルーン１１８が加圧する圧力Ｐがブランケット１１４を介してそのまま平板Ａに加わることになるため、ブランケット１１４と平板Ａの接触圧は、この圧力Ｐに対応した大きさの力となる。
【００３７】
ここで、図３に示すように、平板Ａに加わる接触圧の最大値Ｆ１maxは、固定支持部１１５側の端部から単純支持部１１６側の端部に向かうにつれて徐々に減少していることが分かる。このように、関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合には、平板Ａに加わる接触圧の最大値Ｆ１maxが部位毎に異なることになり、転写精度の低下やインクパターンの再現性の低下が、この不均一な接触圧に起因して生じることが理解される。
【００３８】
また、図４は、上述した関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、平板に加わることとなる接触圧の圧力分布のシミュレーションの結果を示す図である。なお、図４（Ａ）は、上述した第１加圧過程状態を示す図であり、図４（Ｂ）は、当該第１加圧過程状態において平板Ａの面に加わる接触圧の圧力分布を示す図であり、図４（Ｃ）は、当該第１加圧過程状態において平板Ａの中央位置Ｃに加わる接触圧の圧力分布と、平板Ａの中央位置Ｃに加わる接触圧の最大値を部位毎にプロットした結果を示す図である。
【００３９】
図４（Ａ）ないし図４（Ｃ）を参照して、シミュレーション結果からも、接触端においてその周囲よりも大きい接触圧が平板Ａに加わることや、平板Ａに加わる接触圧の最大値が固定支持部１１５側の端部から単純支持部１１６側の端部に向かうにつれて徐々に減少していることが確認できる。
【００４０】
以上を踏まえ、本発明者らは、関連技術における印刷装置および印刷方法において、接触端における接触圧を適宜に調節して当該接触圧の均一化を図ることにより、転写精度の低下やインクパターンの再現性の低下が防止できることに着想し、以下に示す如くの本発明の実施の形態１ないし３における印刷装置および印刷方法を考案した。以下においては、これら本発明の実施の形態１ないし３について、図を参照して詳細に説明する。
【００４１】
（実施の形態１）
図５は、本発明の実施の形態１における印刷装置の構成を示す概略斜視図であり、図６は、本実施の形態における印刷装置の要部拡大平面図である。また、図７は、本実施の形態における印刷装置の機能ブロックの構成を示す図である。まず、これら図５ないし図７を参照して、本実施の形態における印刷装置の構成について説明する。
【００４２】
図５に示すように、本実施の形態における印刷装置１Ａは、印刷版用ステージ１２ａと、基板用ステージ１２ｂと、ブランケット保持板１３と、ブランケット１４と、第１支持部としての固定支持部１５と、第２支持部としての単純支持部１６と、圧力付与部材としてのエアバルーン１８とを主として備えている。
【００４３】
印刷版用ステージ１２ａは、平板Ａとしての印刷版を支持するためのステージであり、基板用ステージ１２ｂは、平板Ａとしての基板を支持するためのステージである。印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂの各々は、それぞれ真空チャックを行なうことで平板Ａとしての印刷版および基板を保持する。これら印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂは、基台１０上に設けられたガイドレール１１上に配置されており、基台１０上を図中矢印Ｂ方向に沿ってスライド移動可能となるように構成されている。基台１０、ガイドレール１１、印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂは、いずれも後述するエアバルーン１８によって印加される加圧力に対して十分な剛性を示す構造体にて構成されている。
【００４４】
印刷版用ステージ１２ａ上にて保持される印刷版は、ブランケット１４にインクパターンを転写するためのものであり、凹版を用いるグラビアオフセット印刷版や凹凸のない平版を用いるオフセット印刷版等が利用される。一方、基板用ステージ１２ｂ上にて保持される基板は、ブランケット１４によって保持されたインクパターンが転写されて微細パターンがその表面に形成されるものであり、たとえばガラス基板等である。
【００４５】
ここで、基板用ステージ１２ｂは、図示しない位置調節機構によってその位置が微動調節可能とされている。具体的には、位置調節機構は、図６中に示すｘ，ｙおよびθ方向に基板用ステージ１２ｂを微動調節可能であり、当該位置調節機構を駆動することで基板用ステージ１２ｂによって保持された基板の位置合わせが行なわれる。当該位置合わせには、基板に予め付されているアラインメントマークが利用され、図示しないカメラにて当該アラインメントマークを認識し、これに基づいてアライナーを用いて基板用ステージ１２ｂの微動調節が行なわれることで基板の位置合わせが行なわれる。なお、印刷版用ステージ１２ａにも同様の位置調節機構が設けられており、当該位置調節機構を用いて印刷版用ステージ１２ａが微動調節されることで印刷版用ステージ１２ａによって保持された印刷版の位置合わせが行なわれる。
【００４６】
図５に示すように、基台１０の所定位置の上方には、ブランケット保持板１３が配置されている。ブランケット保持板１３は、平板状の可撓性を有する部材からなり、ブランケット１４をその下面に保持している。ブランケット１４は、シート状の弾性部材にて構成されており、その表面にインクパターンを一時的に保持可能なものが利用される。ブランケット保持板１３の一端部１３ａは、基台１０上に設けられた固定支持部１５によって固定されており、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂは、基台１０上に設けられた単純支持部１６によって支持されている。
【００４７】
固定支持部１５は、たとえばブランケット保持板１３の一端部１３ａを挟みこむことで当該一端部１３ａを移動不能に固定している。一方、単純支持部１６は、たとえば基台１０から立設する一対の支柱１６ａと、この一対の支柱１６ａによって橋渡しされて支持されることでブランケット保持板１３の他端部１３ｂを下方から支持可能なシャフト１６ｂとによって構成され、シャフト１６ｂが上下方向に昇降可能に一対の支柱１６ａによって支持されることで、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを上下方向に移動可能に支持している。シャフト１６ｂとしては、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを支持した状態において当該ブランケット保持板１３に曲げモーメントが発生しないものであることが好ましい。したがって、シャフト１６ｂとしては、円柱状または円筒状の形状を有しているものを利用することが好ましく、また一対の支柱１６ａによって回転可能に支持されていることが好ましい。
【００４８】
ここで、固定支持部１５および単純支持部１６は、上述した基台１０に設けられたガイドレール１１を挟み込む位置に設けられている。そのため、これら固定支持部１５および単純支持部１６によってその一端部１３ａおよび他端部１３ｂが固定および支持されたブランケット保持板１３は、ガイドレール１１を跨ぐように配置されることになる。したがって、ガイドレール１１上を印刷版用ステージ１２ａが移動してブランケット保持板１３の下方に位置した状態においては、ブランケット１４が印刷版用ステージ１２ａ上に保持された印刷版と対向配置されることになり、ガイドレール１１上を基板用ステージ１２ｂが移動してブランケット保持板１３の下方に位置した状態においては、ブランケット１４が基板用ステージ１２ｂ上に保持された基板と対向配置されることになる。
【００４９】
ブランケット保持板１３の上方には、ブランケット保持板１３の上面に沿うようにエアバルーン１８が配置されている。エアバルーン１８は、基台１０に設けられた側面視略Ｌ字状の固定枠１７ａの先端に取付けられた固定板１７ｂにその上部が固定されている。エアバルーン１８は、ブランケット１４が取付けられた部分に対応するブランケット保持板１３の上面部分を押圧可能な大きさを有している。
【００５０】
図７に示すように、本実施の形態における印刷装置１Ａは、上述した構成要素に加え、制御部３０と、ステージ駆動機構３１と、単純支持部駆動機構３２と、加減圧機構３３と、圧力検出部３４と、接触端位置検出部２０とを備えている。制御部３０は、印刷装置１Ａの全体の動作を制御するための部位であり、印刷装置１Ａに含まれる上述した各部等に対して制御信号をそれぞれ出力する。
【００５１】
ステージ駆動機構３１は、上述した印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂをスライド移動させるための部位であり、制御部３０から入力された制御信号に基づいて印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂを駆動する。ステージ駆動機構３１は、たとえばモータ等のアクチュエータを駆動源として含んでいる。なお、印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂのスライド移動は、これらの間の距離が所定の大きさ以上となるように間隔が保たれて行なわれる。
【００５２】
単純支持部駆動機構３２は、上述した単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置を調節するための部位であり、制御部３０から入力された制御信号に基づいて単純支持部１６を駆動する。単純支持部駆動機構３２は、たとえばモータ等のアクチュエータを駆動源として含んでおり、当該駆動源によって一対の支柱１６ａによって橋渡し支持されたシャフト１６ｂの位置（高さ）を調節することにより、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置（支持高さ）が調節される。
【００５３】
ここで、制御部３０の制御信号に基づいて単純支持部駆動機構３２が単純支持部１６を駆動し、これにより単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置が調節されることにより、印刷版または基板である平板Ａとブランケット１４との接触状態が種々変更されることになる。具体的には、ブランケット保持板１３の一端部１３ａが固定支持部１５によって移動不能に固定されているため、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置が上下動することに伴い、ブランケット１４と平板Ａとの接触部分の大きさが可変に調節されることになる。したがって、ブランケット１４と平板Ａとの接触部分のうち、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂ寄りに位置する接触端は、上述した単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置に応じて移動することになり、その結果、上述した単純支持部駆動機構３２および制御部３０が接触端位置調節部の機能を果たすことになる。
【００５４】
加減圧機構３３は、エアバルーン１８を加減圧することでエアバルーン１８の内圧を可変に調節するための部位であり、制御部３０から入力された制御信号に基づいて駆動する。加減圧機構３３としては、たとえばコンプレッサと制御弁の組み合わせが好適に利用される。
【００５５】
ここで、制御部３０の制御信号に基づいて加減圧機構３３の駆動が制御されてエアバルーン１８の内圧が種々調節されることにより、エアバルーン１８によってブランケット保持板１３に印加される押圧力が可変に調節されることになる。したがって、上記接触端におけるブランケット１４と平板Ａとの接触圧も、エアバルーン１８の内圧によって可変に調節されることになり、その結果、上述した加減圧機構３３および制御部３０が接触圧調節部の機能を果たすことになる。
【００５６】
圧力検出部３４は、エアバルーン１８の内圧を検出し、検出した圧力に応じた信号を制御部３０に入力する。圧力検出部３４としては、たとえば静電容量式の圧力センサや圧電素子を利用した圧力センサ等が利用可能である。
【００５７】
接触端位置検出部２０は、上述した接触端がどの位置にあるかを検出するための検出素子（図５参照）を含んでおり、検出した接触端の位置に応じた信号を位置情報として制御部３０に入力する。接触端位置検出部２０としては、たとえば図５に示す如く、印刷版用ステージ１２ａおよび基板用ステージ１２ｂに着脱自在に取付け可能なユニット状の形態を有するものとして構成されていることが好ましい。図５に示す接触端位置検出部２０にあっては、直線状に整列して配置された複数の光電センサが検出素子２１として利用されており、当該検出素子２１にブランケット保持板１３が接近したか否かを検出することで接触端の位置が検出される。なお、検出素子２１としては、上述した非接触式の光電センサの他にも、非接触式の検出素子である近接センサや磁気センサ、接触式の検出素子であるタクトスイッチやタッチセンサ等が利用可能である。
【００５８】
本実施の形態における印刷装置１Ａを用いて印刷を行なう場合の印刷方法としては、まず上述した印刷版用ステージ１２ａ上に平板Ａとしての印刷版をセットするとともに、基板用ステージ１２ｂ上に平板Ａとしての基板をセットする。つづいて、上述した位置調節機構を用いて平板Ａである印刷版および基板の位置合わせを行なった後、ステージ駆動機構３１を用いてブランケット１４の下方に印刷版用ステージ１２ａを配置する。そして、ブランケット１４を印刷版に接触させた後にこれらの接触を解除することでインクパターンを印刷版からブランケット１４へと転写する。次に、ステージ駆動機構３１を用いてブランケット１４の下方に基板用ステージ１２ｂを配置し、ブランケット１４を基板に接触させた後にこれらの接触を解除することでインクパターンをブランケット１４から基板へと転写する。
【００５９】
図８は、本実施の形態における印刷装置の印刷動作フローを示す図であり、図９は、本実施の形態における印刷装置の印刷動作時の状態を示す概略側面図である。以下においては、上述した転写処理を行なう際の印刷装置１Ａの動作について、これら図８および図９を参照してより詳細に説明する。なお、印刷版からブランケット１４への転写の場合とブランケット１４から基板への転写の場合とでその転写動作は同様である。
【００６０】
図８に示すように、転写処理を行なうに当たっては、まずエアバルーン１８の内圧が予め定めた初期圧力に達することとなるようにエアバルーン１８を加圧する（ステップＳ１０１）。具体的には、制御部３０の指令に基づいて加減圧機構３３が駆動されることでエアバルーン１８の加圧が行なわれ、圧力検出部３４によって検出されたエアバルーン１８の内圧の情報に基づいて制御部３０が予め定めた初期圧力に達したか否かを判断することでエアバルーン１８の内圧の調整が行なわれる。その際、図９（Ａ）に示すように、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置は、平板Ａから離間した上方の位置とし、これによりブランケット保持板１３を撓ませた状態としておく。なお、ブランケット保持板１３の上面は、エアバルーン１８に接触した状態とされている。
【００６１】
次に、図８に示すように、接触端の位置が転写完了位置にあるか否かを判断する（ステップＳ１０２）。具体的には、接触端位置検出部２０によって検出された接触端の位置情報に基づいて制御部３０が接触端が転写完了位置にあるか否かを判断する。接触端が転写完了位置にあると判断した場合（ステップＳ１０２においてＹＥＳの場合）には、転写を完了し、エアバルーン１８を減圧しつつ単純支持部１６によるブランケット１４の他端部１３ｂの支持位置を初期位置に復帰させる。接触端が転写完了位置にないと判断した場合（ステップＳ１０２においてＮＯの場合）には、後述するステップＳ１０３へと移行する。
【００６２】
ステップＳ１０２において、接触端が転写完了位置にないと判断した場合には、ブランケット保持板１３を所定量だけ下降させる（ステップＳ１０３）。具体的には、制御部３０の指令に基づいて単純支持部駆動機構３２を駆動し、単純支持部１６を下方に所定量だけ下降させることでブランケット１４の他端部１３ｂの支持位置を下降させる。
【００６３】
次に、接触端の位置を検出し（ステップＳ１０４）、つづいてエアバルーン１８の内圧を検出する（ステップＳ１０５）。具体的には、接触端位置検出部２０から入力された接触端の位置情報を制御部３０が認識することで接触端の位置が検出され、圧力検出部３４から入力された圧力情報を制御部３０が認識することでエアバルーン１８の内圧が検出される。
【００６４】
次に、エアバルーン１８の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっているか否かを判断する（Ｓ１０６）。具体的には、制御部３０は、接触端の位置に応じた最適なエアバルーンの内圧が定められたテーブルを予め記憶しており、上述したステップＳ１０４およびステップＳ１０５において検出された接触端の位置情報とエアバルーン１８の圧力情報とに基づき、上記テーブルを参照してエアバルーン１８の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっているか否かを判断する。エアバルーン１８の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっていると判断した場合（ステップＳ１０６においてＹＥＳの場合）には、ステップＳ１０２へと移行する。一方、エアバルーン１８の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっていないと判断した場合（ステップＳ１０６においてＮＯの場合）には、ステップＳ１０７へと移行する。
【００６５】
ステップＳ１０６において、エアバルーン１８の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっていないと判断した場合には、エアバルーンを所定量だけ加圧する（ステップＳ１０７）。具体的には、制御部３０の指令に基づいて加減圧機構３３が駆動されることでエアバルーン１８の加圧が行なわれる。なお、ステップＳ１０７の加圧処理が完了した後は、ステップＳ１０５へと移行する。
【００６６】
以上において説明した如くの動作フローに従って転写処理を行なうことにより、図９（Ｂ）に示すように、ブランケット１４が平板Ａに対してブランケット保持板１３の一端部１３ａ寄りの位置からブランケット保持板１３の他端部１３ｂ寄りの位置に向けて順次接触することになる。したがって、接触端は、ブランケット保持板１３の一端部１３ａ寄りの位置からブランケット保持板１３の他端部１３ｂ寄りの位置に向けて順次移動することになる。ここで、上述した如くの動作フローに従えば、接触端における接触圧が随時最適化されることになる。
【００６７】
なお、ブランケット１４と平板Ａの接触が完了した後にこれらを剥離する処理においても、上述したブランケット１４を平板Ａに接触させる場合の処理と同様に、接触端における接触圧が変動しないように制御を行うことが好ましい。
【００６８】
ここで、本実施の形態における印刷装置１Ａにあっては、接触圧調節部としての制御部３０が、接触端における平板Ａとブランケット１４との接触圧が、接触端がブランケット保持板１３の一端部１３ａ寄りの位置からブランケット保持板１３の他端部１３ｂ寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、エアバルーンの内圧が制御される。したがって、このような圧力調整を行ないつつ転写処理を行なわれることにより、板バネ状のブランケット保持板１３によって平板Ａの面が全面的にほぼ均一に加圧されることになり、転写精度が均一化して再現性よくインクパターンが転写されることになる。
【００６９】
上述したステップＳ１０６において、接触端の位置とエアバルーン１８の内圧との関係が適合しているか否かの判断基準となるテーブルとしては、実験的に導き出されたデータの使用や理論的に導き出されたデータの使用が考えられる。たとえば、理論的に導き出されたデータを使用することとした場合には、以下の手法で当該データが導き出せる。
【００７０】
図１０（Ａ）は、本実施の形態における印刷装置の加圧過程状態を模式的に示した図であり、図１０（Ｂ）は、本実施の形態において使用するデータをグラフ化した図である。また、図１１（Ａ）ないし図１１（Ｃ）は、本実施の形態における印刷装置において、エアバルーンの内圧制御の参考としたモデルを導き出すための説明図である。
【００７１】
図１０（Ａ）に示す加圧過程において、各種変数を以下のように定義する。
Ｆ１：接触端における接触圧
Ｐ：エアバルーン１８の内圧（ブランケット保持板１３に加わる単位長当たりの力）
ａ：固定支持部１５から加圧領域まで（ブランケット１４の固定支持部１５側の端部まで）の距離
ｂ：加圧領域（ブランケット１４の固定支持部１５側の端部から単純支持部１６側の端部まで）の長さ
ｌ：ブランケット保持板１３の支持部間距離（固定支持部１５と単純支持部１６の距離）
ｘ：固定支持部１５から接触端までの距離
Ｅ：ブランケット保持板１３のヤング率
Ｉ：ブランケット保持板１３の断面２次モーメント
Ｋ：ブランケット保持板１３の曲げ量定数
その場合、制御対象であるエアバルーン１８の内圧Ｐは、上記変数に基づいて以下の式（１）で表される。
【００７２】
【数１】
2010234714.tif 000003
【００７３】
上記式（１）に基づき、制御対象であるエアバルーン１８の内圧Ｐと接触端の位置ｘとの関係をグラフ化すると、図１０（Ｂ）の如くとなる。ここで、図１０（Ｂ）においては、横軸に接触端の位置ｘをとり、縦軸にエアバルーン１８の内圧Ｐをとっている。この図から理解されるように、接触端における接触圧を一定に保つためには、エアバルーン１８の内圧Ｐを徐々に昇圧することが必要である。なお、図１０（Ｂ）においては、一定に制御すべきブランケット１４と平板Ａとの部位毎の接触圧の最大値Ｆ１maxについてもこれをグラフ化して表示している。
【００７４】
この図１０（Ｂ）に示す関係は、図１１（Ｃ）に示すモデルにて算出したものを利用している。図１１（Ａ）は、上述した加圧過程を模式的に示したものであり、ブランケット保持板１３が平板Ａと接触し、接触端において所定の接触圧Ｆ１が発生している状態である。図１１（Ｂ）は、これを梁に置き換えて考えたモデルであり、接触端の接触圧より図中左側（すなわち固定支持部１５が位置する側）では、ブランケット保持板１３と平板Ａとの間でこれらに加わる力のバランスがとれているため、当該部分の圧力を無視して考えると上記加圧過程は、図１１（Ｃ）に示す如くにモデル化される。上述した式（１）は、このモデルに従って導き出されたものである。
【００７５】
以上において説明した本実施の形態における印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なうことにより、簡便にブランケット保持板１３によって平板Ａである印刷版または基板の面を全面的に略均一に加圧できるようになるため、転写精度の向上が図られ、再現性よくインクパターンを転写することが可能になる。したがって、大型の基板への印刷に本実施の形態における印刷装置および印刷方法を利用することにより、高精度にかつ高い再現性での印刷が可能になる。
【００７６】
なお、図１０（Ａ）に示す加圧過程において、単純支持部１６の支持力（単純支持部１６に加わる荷重）をＦ２とした場合には、支持荷重Ｆ２は、制御対象であるエアバルーン１８の内圧Ｐと接触端の位置ｘと接触端における接触圧Ｆ１を用いて以下の式（２）で表される。
【００７７】
【数２】
2010234714.tif 000004
【００７８】
したがって、単純支持部１６にロードセル等の支持荷重検出部を追加して単純支持部１６の支持力（支持荷重）を検出し、制御対象であるエアバルーン１８の内圧を接触端の位置に応じて最適化するに際して、支持荷重検出部にて検出された荷重情報を利用することとすれば、さらに高精度に接触圧を調節することが可能になる。なお、図１０（Ｂ）においては、支持荷重Ｆ２と接触端の位置ｘとの関係についてもこれをグラフ化して表示している。
【００７９】
また、単純支持部１６に支持位置検出部を追加して単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置（支持高さ）を検出し、制御対象であるエアバルーン１８の内圧を接触端の位置に応じて最適化するに際して、支持位置検出部にて検出された支持位置情報を利用することとすれば、さらに高精度に接触圧を調節することも可能である。
【００８０】
なお、上述した本実施の形態における印刷装置１Ａにおいて設けられていた接触端位置検出部２０については、印刷装置１Ａの調整時のみ取り付けを行い、ブランケット１４と平板Ａの接触端移動速度、エアバルーン１８の加圧速度、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを支持する単純支持部１６の下降速度の関係を制御部３０に記憶させた後には、取外すこととしても構わない。また、上述した支持荷重検出部や支持位置検出部についても、上述した接触端位置検出部２０と同様に、印刷装置１Ａの調整時のみの取り付けとしてもよい。
【００８１】
（実施の形態２）
図１２は、本発明の実施の形態２における印刷装置の構成を示す概略側面図である。なお、上述した実施の形態１における印刷装置１Ａと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
【００８２】
図１２に示すように、本実施の形態における印刷装置１Ｂにおいては、上述した実施の形態１における印刷装置１Ａと圧力付与部材の構成において相違している。本実施の形態における印刷装置１Ｂにおいては、上述した実施の形態１における印刷装置１Ａにおいて使用していた圧力付与部材としてのエアバルーン１８に代えて、ブランケット保持板１３上を移動しつつブランケット保持板１３を押圧する押圧ローラ４２を圧力付与部材として具備している。
【００８３】
ここで、押圧ローラ４２は、ロードセル４３を介してアクチュエータ４４に接続されており、これにより押圧ローラ４２によるブランケット保持板１３への押圧力が制御される。また、押圧ローラ４２は、もう一つのアクチュエータ４１にも接続されており、当該アクチュエータ４１に駆動されることで印刷方向に沿って移動する。なお、上述したアクチュエータ４１，４４は、いずれも制御部３０に接続されてその動作が制御される。
【００８４】
このように構成した場合にも、上述した本発明の実施の形態１において説明した効果と同様の効果を得ることができる。すなわち、上記構成を採用することにより、簡便にブランケット保持板１３によって平板Ａである印刷版または基板の面を全面的に略均一に加圧できるようになり、転写精度の向上が図られ、再現性よくインクパターンを転写することが可能になる。
【００８５】
（実施の形態３）
図１３は、本発明の実施の形態３における印刷装置の構成を示す概略側面図である。なお、上述した実施の形態１における印刷装置１Ａと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
【００８６】
図１３に示すように、本実施の形態における印刷装置１Ｃにおいては、上述した実施の形態１における印刷装置１Ａと圧力付与部材の構成において相違している。本実施の形態における印刷装置１Ｃにおいては、上述した実施の形態１における印刷装置１Ａにおいて使用していた圧力付与部材としてのエアバルーン１８に代えて、ブランケット保持板１３の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッド５３を圧力付与部材として具備している。
【００８７】
複数の押圧パッド５３は、印刷方向に整列して配置されている。そして、各々の押圧パッド５３は、それぞれロードセル５２を介してアクチュエータ５１に接続されており、これにより各々の押圧パッド５３によるブランケット保持板１３への押圧力が制御される。なお、押圧パッド５３としては、たとえばゴム、バルーン等の柔軟性を有するものにて構成されていることが好ましい。
【００８８】
このように構成した場合にも、上述した本発明の実施の形態１において説明した効果と同様の効果を得ることができる。すなわち、上記構成を採用することにより、簡便にブランケット保持板１３によって平板Ａである印刷版または基板の面を全面的に略均一に加圧できるようになり、転写精度の向上が図られ、再現性よくインクパターンを転写することが可能になる。
【００８９】
今回開示した上記各実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００９０】
１Ａ〜１Ｃ，１Ｆ  印刷装置、１０  基台、１１  ガイドレール、１２ａ  印刷版用ステージ、１２ｂ  基板用ステージ、１３  ブランケット保持板、１３ａ  一端部、１３ｂ  他端部、１４  ブランケット、１５  固定支持部、１６  単純支持部、１６ａ  支柱、１６ｂ  シャフト、１７ａ  固定枠、１７ｂ  固定板、１８  エアバルーン、２０  接触端位置検出部、２１  検出素子、３０  制御部、３１  ステージ駆動機構、３２  単純支持部駆動機構、３３  加減圧機構、３４  圧力検出部、４１，４４  アクチュエータ、４２  押圧ローラ、４３  ロードセル、５１  アクチュエータ、５２  ロードセル、５３  押圧パッド、Ａ  平板。
【図１】
2010234714.tif 000005
【図２】
2010234714.tif 000006
【図３】
2010234714.tif 000007
【図５】
2010234714.tif 000008
【図６】
2010234714.tif 000009
【図７】
2010234714.tif 000010
【図８】
2010234714.tif 000011
【図９】
2010234714.tif 000012
【図１０】
2010234714.tif 000013
【図１１】
2010234714.tif 000014
【図１２】
2010234714.tif 000015
【図１３】
2010234714.tif 000016
【図４】
2010234714.tif 000017