(57)【要約】      （修正有）【課題】ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行えるテストシステム及び波形観測方法を提供する。【解決手段】操作部１３による操作情報を出力するオシロスコープ１と、このオシロスコープ１の操作情報により動作を行うＩＣテスタとを備え、ＩＣテスタの本体５にオシロスコープ制御手段５２および記憶部５１を設け、ＬＡＮインタターフェース１５および５３によりオシロスコープ１とＩＣテスタを結合させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報により動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするテストシステム。
【請求項２】
操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報を入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするテストシステム。
【請求項３】
前記ＩＣテスタは、
テストプログラムを記憶する記憶部と、
被試験対象を試験する試験部と、
前記オシロスコープの操作情報により、前記オシロスコープを制御すると共に、前記記憶部のテストプログラムにより、前記試験部を制御するオシロスコープ制御手段と
を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のテストシステム。
【請求項４】
前記オシロスコープは、
前記ＩＣテスタの波形を計測する計測回路と、
前記ＩＣテスタからの制御により、操作部の操作情報をＩＣテスタに出力すると共に、前記計測回路を制御する外部制御手段と
を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のテストシステム。
【請求項５】
オシロスコープによりＩＣテスタを波形観測する波形観測方法において、
前記オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、
この操作情報を、ＩＣテスタが入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、テストプログラムの実行を制御することを特徴とする波形観測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オシロスコープによりＩＣテスタを波形観測するテストシステム及び波形観測方法に関し、容易に波形観測が行えるテストシステム及び波形観測方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、被試験対象（以下ＤＵＴ）に信号を出力し、ＤＵＴの出力により良否の判定を行うものである。従来、例えば、下記特許文献１，２に示されるように、オシロスコープを用いて、ＩＣテスタの出力端の波形観測を行っていた。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２２８７２０号公報
【特許文献２】特開２００８−２６０８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＩＣテスタは、一般的に、本体とテストヘッドからなり、本体からテストヘッドに対して制御を行っている。そして、オシロスコープによる波形観測は、テストヘッドにプローブを接続させて行われる。このため、ＩＣテスタに対して、同じ動作をさせ、波形観測を行うためには、波形観測を行うテストヘッドから離れて、本体に対して、キーボードやマウスを用いて、指示を出して、操作を行わなければならず、何度もテストヘッドと本体間を往来しなければならなかった。また、プローブを固定できない状態では、プロービングしながらのＩＣテスタへの操作が困難だった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行えるテストシステム及び波形観測方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報により動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、
操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報を入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明であって、
前記ＩＣテスタは、
テストプログラムを記憶する記憶部と、
被試験対象を試験する試験部と、
前記オシロスコープの操作情報により、前記オシロスコープを制御すると共に、前記記憶部のテストプログラムにより、前記試験部を制御するオシロスコープ制御手段と
を設けたことを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明であって、
前記オシロスコープは、
前記ＩＣテスタの波形を計測する計測回路と、
前記ＩＣテスタからの制御により、操作部の操作情報をＩＣテスタに出力すると共に、前記計測回路を制御する外部制御手段と
を有することを特徴とするものである。
請求項５記載の発明は、
オシロスコープによりＩＣテスタを波形観測する波形観測方法において、
前記オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、
この操作情報を、ＩＣテスタが入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、テストプログラムの実行を制御することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば以下のような効果がある。
請求項１〜４によれば、オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、この操作情報によりＩＣテスタが動作するので、ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行える。
【０００８】
請求項３，４によれば、オシロスコープ制御手段がオシロスコープを制御するので、外部制御可能なオシロスコープであれば、オシロスコープの操作によりＩＣテスタが動作することができる。つまり、オシロスコープの改造を必要としない。
【０００９】
請求項５によれば、オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、この操作情報によりＩＣテスタが動作するので、ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。
【００１１】
図１において、オシロスコープ１は、波形観測を行うと共に、操作情報を出力する。そして、オシロスコープ１は、プローブ１１、計測回路１２、キー、タッチパネル等の操作部１３、液晶ディスプレイ等の表示部１４、ＬＡＮインターフェース１５、コントローラ１６を有する。計測回路１２は、プローブ１１と電気的に接続し、計測を行う。ＬＡＮインターフェース１５は、ネットワークケーブルに接続する。コントローラ１６は、外部制御手段１６１を有し、操作部１３から指示が入力され、計測回路１２を制御し、表示部５４に表示を行うと共に、ＬＡＮインターフェース１５と接続する。外部制御手段１６１は、外部からの制御により、計測回路１２、操作部１３、表示部１４の制御を行うと共に、操作部１３による操作情報を出力する。
【００１２】
ＤＵＴ２は、ＩＣ、ＬＳＩ等である。パフォーマンスボード３は、ＤＵＴ２の試験のための周辺回路を含むプリント基板で、ＤＵＴ２と電気的に接続する。テストヘッド４は、パフォーマンスボード３と電気的に接続し、ピンエレクトロニクスボードと呼ばれる複数のプリント基板が搭載されている。本体５は、テストヘッド４とケーブルを介して電気的に接続される。そして、本体５は、記憶部５１、コントローラ５２、ＬＡＮインターフェース５３等を有する。記憶部５１は、テストプログラムを記憶する。コントローラ５２は、オシロスコープ制御手段５２１を有し、記憶部５１のテストプログラムの実行を行い、テストヘッド４の制御を行う。オシロスコープ制御手段５２１は、オシロスコープ１の操作情報により、オシロスコープ１を制御すると共に、記憶部５１のテストプログラムにより、テストヘッド４を制御する。ＬＡＮインターフェース５３は、コントローラ５２と接続すると共に、ネットワークケーブルを介して、ＬＡＮインターフェース１５に接続する。ここで、パフォーンスボード３、テストヘッド４、本体５がＩＣテスタである。また、パフォーマンスボード３、テストヘッド４が、ＤＵＴ２を試験する試験部である。
【００１３】
このような装置の動作を以下に説明する。コントローラ５２のオシロスコープ制御手段５２１が、ＬＡＮインターフェース５３，１５を介して、コントローラ１６の外部制御手段１６１を動作させる。そして、操作者が、オシロスコープ１の操作部１３を操作し、操作部１３の操作情報を、外部制御手段１６１がＬＡＮインターフェース１５，５３を介して、オシロスコープ制御手段５２１に送る。オシロスコープ制御手段５２１は、操作情報、例えば、実行ボタン（開始／停止ボタン）が押された情報により、記憶部５１のテストプログラムを実行させ、テストヘッド４を動作させる。また、オシロスコープ制御手段５２１は、ＬＡＮインターフェース５３，１５を介して、コントローラ１６の外部制御手段１６１に対して、実行命令を送る。この結果、外部制御手段１６１は、計測回路１２に対して、計測を開始させる。計測回路１２は、パフォーマンスボード３に接続するプローブ１１から信号を入力し、測定を行い、この測定結果を、外部制御手段１６１は表示部１４に波形表示させる。
【００１４】
再び、操作者が、オシロスコープ１の操作部１３を操作し、操作部１３の操作情報を、外部制御手段１６１がＬＡＮインターフェース１５，５３を介して、オシロスコオープ制御手段５２１に送る。オシロスコープ制御手段５２１は、操作情報、例えば、実行ボタンが押された情報により、記憶部５１のテストプログラムの実行を停止し、テストヘッド４の動作を停止させる。オシロスコープ制御手段５２１は、ＬＡＮインターフェース５３，１５を介して、コントローラ１６の外部制御手段１６１に対して、停止命令を送る。この結果、外部制御手段１６１は、計測回路１２に対して、計測を停止させる。ここで、操作部１３の実行ボタンの操作情報に対して、１回目の操作には実行命令、２回目の操作には停止命令が割り当てられている。
【００１５】
このように、オシロスコープ１が操作部１３による操作情報を出力し、この操作情報によりＩＣテスタが動作するので、ＩＣテスタのオシロスコープ１による波形観測が容易に行える。
【００１６】
また、オシロスコープ制御手段５２１がオシロスコープ１の外部制御手段１６１を制御するので、外部制御可能なオシロスコープ１であれば、オシロスコープ１の操作によりＩＣテスタが動作することができる。つまり、オシロスコープ１の改造を必要としない。
【００１７】
なお、キー等の操作情報をＩＣテスタに送信する構成を示したが、プローブ１１に実行ボタンを設け、オシロスコープ１がプローブ１１の実行ボタンの操作情報を出力する構成でもよい。要するに、操作部であればどのような構成でもよい。
【００１８】
また、ＩＣテスタが実質的にはオシロスコープ１を制御する構成を示したが、オシロスコープ１がＩＣテスタを直接制御する構成にしてもよい。つまり、オシロスコープ１が、操作部１３の操作により計測回路１２を動作させ、操作情報を出力し、この操作情報により、ＩＣテスタが動作する構成にしてもよい。
【００１９】
また、ＤＵＴ２を試験するために、ＤＵＴ２の周辺に配置される周辺回路は、ＩＣテスタに含まれる。
【００２０】
また、パフォーマンスボード３、テストヘッド４が試験部の例を示したが、テストヘッド４の一部を本体５に本体試験部として設ける構成でもよい。
【００２１】
そして、オシロスコープ１と本体５とをネットワークケーブルにより接続する構成を示したが、これに限定されるものではない。
【００２２】
さらに、オシロスコープ制御手段５２１が、例えば、テスト開始、停止の情報を外部制御手段１６１に送り、外部制御手段１６１が表示部１４にテスト開始、停止を表示部１４に表示する構成にしてもよい。つまり、ＩＣテスタからの各種情報をオシロスコープ１に表示させる構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  オシロスコープ
１２  計測回路
１３  操作部
１６  コントローラ
１６１  外部制御手段
２  ＤＵＴ
３  パフォーマンスボード
４  テストヘッド
５  本体
５１  記憶部
５２  コントローラ
５２１  オシロスコープ制御手段
【図１】
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